0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,1.037954e-09,3.042803e-09,1.491580e-08,4.240963e-08,6.823778e-08,1.891814e-07,1.962263e-07,4.391338e-07,5.336682e-07,8.412074e-07,1.178807e-06,1.450823e-06,2.239405e-06,2.319672e-06,3.497267e-06,3.830204e-06,5.018237e-06,6.023834e-06,6.889614e-06,8.810120e-06,9.090436e-06,1.158218e-05,1.211150e-05,1.431967e-05,1.582511e-05,1.725744e-05,1.984834e-05,2.035241e-05,2.356461e-05,2.408692e-05,2.685705e-05,2.845581e-05,3.019565e-05,3.287866e-05,3.354914e-05,3.688908e-05,3.728771e-05,4.018992e-05,4.162399e-05,4.342914e-05,4.583764e-05,4.658726e-05,4.964786e-05,4.988807e-05,5.259747e-05,5.374377e-05,5.542546e-05,5.738170e-05,5.812380e-05,6.068684e-05,6.078649e-05,6.311111e-05,6.394953e-05,6.539506e-05,6.686795e-05,6.753872e-05,6.954349e-05,7.141187e-05,7.198149e-05,7.314727e-05,7.419002e-05,7.475382e-05,7.617921e-05,7.623618e-05,7.759935e-05,7.796039e-05,7.884856e-05,7.954562e-05,7.998919e-05,8.094735e-05,8.102668e-05,8.196649e-05,8.217811e-05,8.281401e-05,8.325029e-05,8.357453e-05,8.417593e-05,8.425321e-05,8.485503e-05,8.496659e-05,8.538477e-05,8.563330e-05,8.584706e-05,8.618648e-05,8.624630e-05,8.658667e-05,8.663594e-05,8.687218e-05,8.699085e-05,8.710660e-05,8.725976e-05,8.729351e-05,8.743631e-05,8.745063e-05,8.753819e-05,8.757084e-05,8.760218e-05,8.762722e-05,8.763111e-05,8.762766e-05,8.762606e-05,8.759434e-05,8.757318e-05,8.753351e-05,8.747393e-05,8.744738e-05,8.733804e-05,8.733321e-05,8.720742e-05,8.715554e-05,8.705735e-05,8.694508e-05,8.688955e-05,8.670561e-05,8.650701e-05,8.644060e-05,8.629517e-05,8.615324e-05,8.607137e-05,8.584641e-05,8.583684e-05,8.559271e-05,8.552278e-05,8.534004e-05,8.518475e-05,8.507981e-05,8.483452e-05,8.481295e-05,8.454031e-05,8.447410e-05,8.426267e-05,8.410530e-05,8.398079e-05,8.372977e-05,8.369535e-05,8.340698e-05,8.334901e-05,8.311628e-05,8.296438e-05,8.282379e-05,8.257709e-05,8.253002e-05,8.223544e-05,8.218826e-05,8.194047e-05,8.179887e-05,8.164553e-05,8.140984e-05,8.135097e-05,8.105714e-05,8.102195e-05,8.076436e-05,8.063593e-05,8.047289e-05,8.025243e-05,8.018301e-05,7.989496e-05,7.987200e-05,7.960895e-05,7.949517e-05,7.932519e-05,7.912237e-05,7.904385e-05,7.876510e-05,7.875400e-05,7.848908e-05,7.839041e-05,7.821594e-05,7.803191e-05,7.794579e-05,7.767873e-05,7.733112e-05,7.698926e-05,7.665330e-05,7.632337e-05,7.599957e-05,7.568199e-05,7.537067e-05,7.506567e-05,7.476700e-05,7.447467e-05,7.418868e-05,7.390900e-05,7.363560e-05,7.336844e-05,7.310748e-05,7.285265e-05,7.260389e-05,7.236112e-05,7.212428e-05,7.189329e-05,7.166804e-05,7.144846e-05,7.123446e-05,7.102594e-05
0.000000e+00,3.187982e-09,7.357676e-09,2.552155e-08,5.832522e-08,8.526062e-08,1.943806e-07,2.002718e-07,3.892861e-07,4.582443e-07,6.731669e-07,8.987698e-07,1.075557e-06,1.571900e-06,1.621388e-06,2.330979e-06,2.526762e-06,3.210869e-06,3.774522e-06,4.250276e-06,5.280244e-06,5.428143e-06,6.722281e-06,6.993309e-06,8.113477e-06,8.869831e-06,9.585688e-06,1.087478e-05,1.112507e-05,1.271906e-05,1.297838e-05,1.435588e-05,1.515344e-05,1.602424e-05,1.737435e-05,1.771331e-05,1.941276e-05,1.961693e-05,2.111288e-05,2.185879e-05,2.280465e-05,2.407975e-05,2.447988e-05,2.613122e-05,2.626210e-05,2.775220e-05,2.839082e-05,2.933727e-05,3.045363e-05,3.088175e-05,3.238187e-05,3.244091e-05,3.383457e-05,3.434543e-05,3.523738e-05,3.616191e-05,3.658861e-05,3.788711e-05,3.913220e-05,3.951930e-05,4.032366e-05,4.105809e-05,4.146161e-05,4.250413e-05,4.254651e-05,4.357903e-05,4.385886e-05,4.456004e-05,4.512437e-05,4.549062e-05,4.630324e-05,4.637197e-05,4.720536e-05,4.739840e-05,4.799218e-05,4.841299e-05,4.873385e-05,4.935033e-05,4.943183e-05,5.008760e-05,5.021382e-05,5.070265e-05,5.100687e-05,5.127846e-05,5.173290e-05,5.181651e-05,5.231824e-05,5.239525e-05,5.278511e-05,5.299723e-05,5.321850e-05,5.354204e-05,5.361979e-05,5.399032e-05,5.403278e-05,5.433140e-05,5.447247e-05,5.464428e-05,5.486398e-05,5.493020e-05,5.519035e-05,5.521008e-05,5.542587e-05,5.551343e-05,5.563788e-05,5.577658e-05,5.582746e-05,5.599563e-05,5.600193e-05,5.614340e-05,5.619179e-05,5.627173e-05,5.634837e-05,5.638155e-05,5.647375e-05,5.654919e-05,5.656992e-05,5.660868e-05,5.663876e-05,5.665303e-05,5.668206e-05,5.668299e-05,5.669929e-05,5.670151e-05,5.670264e-05,5.669871e-05,5.669370e-05,5.667518e-05,5.667312e-05,5.664152e-05,5.663236e-05,5.659949e-05,5.657161e-05,5.654760e-05,5.649421e-05,5.648639e-05,5.641639e-05,5.640137e-05,5.633808e-05,5.629424e-05,5.625195e-05,5.617389e-05,5.615846e-05,5.605803e-05,5.604135e-05,5.595110e-05,5.589757e-05,5.583805e-05,5.574347e-05,5.571927e-05,5.559512e-05,5.557988e-05,5.546596e-05,5.540762e-05,5.533211e-05,5.522745e-05,5.519389e-05,5.505161e-05,5.504006e-05,5.490556e-05,5.484614e-05,5.475600e-05,5.464630e-05,5.460321e-05,5.444744e-05,5.444115e-05,5.428893e-05,5.423123e-05,5.412790e-05,5.401707e-05,5.396457e-05,5.379915e-05,5.357793e-05,5.335385e-05,5.312730e-05,5.289866e-05,5.266828e-05,5.243649e-05,5.220361e-05,5.196991e-05,5.173567e-05,5.150113e-05,5.126653e-05,5.103209e-05,5.079801e-05,5.056447e-05,5.033165e-05,5.009970e-05,4.986879e-05,4.963904e-05,4.941059e-05,4.918355e-05,4.895802e-05,4.873411e-05,4.851191e-05,4.829151e-05
0.000000e+00,1.238954e-08,2.838413e-08,9.790361e-08,2.238933e-07,3.279665e-07,7.555889e-07,7.789438e-07,1.541744e-06,1.826038e-06,2.729422e-06,3.699910e-06,4.471014e-06,6.652937e-06,6.870114e-06,9.941172e-06,1.077069e-05,1.360671e-05,1.587945e-05,1.776172e-05,2.175206e-05,2.231754e-05,2.720707e-05,2.822017e-05,3.237702e-05,3.516071e-05,3.778111e-05,4.246982e-05,4.337611e-05,4.912023e-05,5.005039e-05,5.497278e-05,5.780894e-05,6.089458e-05,6.565677e-05,6.684839e-05,7.279955e-05,7.351197e-05,7.871645e-05,8.130163e-05,8.457076e-05,8.896265e-05,9.033750e-05,9.599546e-05,9.644284e-05,1.015267e-04,1.037003e-04,1.069165e-04,1.107029e-04,1.121531e-04,1.172272e-04,1.174267e-04,1.221319e-04,1.238551e-04,1.268623e-04,1.299778e-04,1.314153e-04,1.357892e-04,1.399835e-04,1.412878e-04,1.439989e-04,1.464755e-04,1.478368e-04,1.513563e-04,1.514994e-04,1.549895e-04,1.559362e-04,1.583101e-04,1.602226e-04,1.614649e-04,1.642241e-04,1.644576e-04,1.672924e-04,1.679497e-04,1.699733e-04,1.714090e-04,1.725047e-04,1.746121e-04,1.748909e-04,1.771363e-04,1.775689e-04,1.792454e-04,1.802896e-04,1.812224e-04,1.827844e-04,1.830719e-04,1.847981e-04,1.850632e-04,1.864053e-04,1.871358e-04,1.878978e-04,1.890119e-04,1.892796e-04,1.905548e-04,1.907008e-04,1.917274e-04,1.922118e-04,1.928013e-04,1.935538e-04,1.937803e-04,1.946681e-04,1.947353e-04,1.954683e-04,1.957647e-04,1.961845e-04,1.966500e-04,1.968200e-04,1.973782e-04,1.973990e-04,1.978624e-04,1.980192e-04,1.982757e-04,1.985177e-04,1.986210e-04,1.989015e-04,1.991199e-04,1.991771e-04,1.992790e-04,1.993509e-04,1.993815e-04,1.994290e-04,1.994300e-04,1.994270e-04,1.994172e-04,1.993749e-04,1.993211e-04,1.992761e-04,1.991459e-04,1.991328e-04,1.989473e-04,1.988967e-04,1.987216e-04,1.985784e-04,1.984577e-04,1.981955e-04,1.981576e-04,1.978233e-04,1.977525e-04,1.974565e-04,1.972535e-04,1.970589e-04,1.967025e-04,1.966323e-04,1.961783e-04,1.961033e-04,1.956985e-04,1.954594e-04,1.951943e-04,1.947744e-04,1.946672e-04,1.941185e-04,1.940513e-04,1.935497e-04,1.932934e-04,1.929620e-04,1.925034e-04,1.923566e-04,1.917346e-04,1.916842e-04,1.910974e-04,1.908384e-04,1.904458e-04,1.899684e-04,1.897810e-04,1.891039e-04,1.890766e-04,1.884155e-04,1.881651e-04,1.877168e-04,1.872362e-04,1.870085e-04,1.862916e-04,1.853334e-04,1.843632e-04,1.833826e-04,1.823934e-04,1.813968e-04,1.803943e-04,1.793871e-04,1.783765e-04,1.773636e-04,1.763494e-04,1.753350e-04,1.743213e-04,1.733091e-04,1.722992e-04,1.712925e-04,1.702895e-04,1.692909e-04,1.682974e-04,1.673095e-04,1.663277e-04,1.653525e-04,1.643843e-04,1.634235e-04,1.624705e-04
0.000000e+00,9.764026e-10,2.808702e-09,1.327464e-08,3.663711e-08,5.808616e-08,1.559092e-07,1.615327e-07,3.534248e-07,4.276085e-07,6.687478e-07,9.343069e-07,1.149351e-06,1.778436e-06,1.842896e-06,2.795027e-06,3.065678e-06,4.032678e-06,4.848905e-06,5.547276e-06,7.074522e-06,7.294436e-06,9.211246e-06,9.609302e-06,1.123504e-05,1.231177e-05,1.331332e-05,1.507141e-05,1.540582e-05,1.748269e-05,1.781199e-05,1.952199e-05,2.048257e-05,2.150751e-05,2.304902e-05,2.342724e-05,2.527236e-05,2.548844e-05,2.703657e-05,2.778603e-05,2.871563e-05,2.993317e-05,3.030704e-05,3.180977e-05,3.192616e-05,3.322395e-05,3.376505e-05,3.455071e-05,3.545290e-05,3.579197e-05,3.695020e-05,3.699484e-05,3.802832e-05,3.839744e-05,3.902956e-05,3.966825e-05,3.995737e-05,4.081530e-05,4.160694e-05,4.184686e-05,4.233590e-05,4.277118e-05,4.300572e-05,4.359631e-05,4.361985e-05,4.418161e-05,4.432995e-05,4.469418e-05,4.497940e-05,4.516063e-05,4.555153e-05,4.558386e-05,4.596661e-05,4.605275e-05,4.631150e-05,4.648901e-05,4.662097e-05,4.686584e-05,4.689732e-05,4.714275e-05,4.718831e-05,4.735929e-05,4.746111e-05,4.754885e-05,4.768854e-05,4.771322e-05,4.785411e-05,4.787457e-05,4.797307e-05,4.802282e-05,4.807159e-05,4.813662e-05,4.815105e-05,4.821274e-05,4.821901e-05,4.825788e-05,4.827279e-05,4.828760e-05,4.830052e-05,4.830295e-05,4.830494e-05,4.830454e-05,4.829448e-05,4.828701e-05,4.827245e-05,4.824988e-05,4.823966e-05,4.819687e-05,4.819496e-05,4.814479e-05,4.812390e-05,4.808409e-05,4.803821e-05,4.801539e-05,4.793928e-05,4.785630e-05,4.782838e-05,4.776697e-05,4.770668e-05,4.767176e-05,4.757525e-05,4.757113e-05,4.746549e-05,4.743507e-05,4.735525e-05,4.728704e-05,4.724076e-05,4.713200e-05,4.712239e-05,4.700045e-05,4.697069e-05,4.687525e-05,4.680382e-05,4.674708e-05,4.663204e-05,4.661620e-05,4.648287e-05,4.645593e-05,4.634732e-05,4.627603e-05,4.620978e-05,4.609285e-05,4.607045e-05,4.592952e-05,4.590684e-05,4.578719e-05,4.571842e-05,4.564362e-05,4.552799e-05,4.549898e-05,4.535342e-05,4.533590e-05,4.520708e-05,4.514247e-05,4.506009e-05,4.494802e-05,4.491258e-05,4.476467e-05,4.475282e-05,4.461646e-05,4.455712e-05,4.446807e-05,4.436116e-05,4.431958e-05,4.417110e-05,4.416516e-05,4.402270e-05,4.396932e-05,4.387447e-05,4.377381e-05,4.372648e-05,4.357881e-05,4.338446e-05,4.319092e-05,4.299831e-05,4.280674e-05,4.261633e-05,4.242717e-05,4.223936e-05,4.205297e-05,4.186808e-05,4.168476e-05,4.150306e-05,4.132305e-05,4.114476e-05,4.096825e-05,4.079356e-05,4.062071e-05,4.044974e-05,4.028067e-05,4.011354e-05,3.994835e-05,3.978512e-05,3.962387e-05,3.946460e-05,3.930733e-05
0.000000e+00,3.123398e-09,9.294584e-09,4.697044e-08,1.371849e-07,2.239140e-07,6.430328e-07,6.678946e-07,1.542907e-06,1.890115e-06,3.035797e-06,4.312879e-06,5.351943e-06,8.399009e-06,8.711538e-06,1.334250e-05,1.466803e-05,1.946438e-05,2.361457e-05,2.726025e-05,3.559909e-05,3.684567e-05,4.825260e-05,5.074972e-05,6.143535e-05,6.895919e-05,7.628916e-05,8.995285e-05,9.266954e-05,1.104074e-04,1.133593e-04,1.293194e-04,1.387587e-04,1.492159e-04,1.657136e-04,1.699060e-04,1.912015e-04,1.937889e-04,2.129208e-04,2.225667e-04,2.348913e-04,2.516572e-04,2.569517e-04,2.789533e-04,2.807068e-04,3.007617e-04,3.094035e-04,3.222567e-04,3.374794e-04,3.433332e-04,3.639005e-04,3.647115e-04,3.838821e-04,3.909196e-04,4.032149e-04,4.159642e-04,4.218481e-04,4.397424e-04,4.568691e-04,4.621840e-04,4.732084e-04,4.832469e-04,4.887491e-04,5.029126e-04,5.034867e-04,5.174232e-04,5.211827e-04,5.305656e-04,5.380746e-04,5.429255e-04,5.536185e-04,5.545180e-04,5.653612e-04,5.678543e-04,5.754756e-04,5.808295e-04,5.848834e-04,5.925965e-04,5.936083e-04,6.016749e-04,6.032114e-04,6.091086e-04,6.127324e-04,6.159349e-04,6.212186e-04,6.221797e-04,6.278687e-04,6.287291e-04,6.330274e-04,6.353226e-04,6.376808e-04,6.410563e-04,6.418535e-04,6.455697e-04,6.459860e-04,6.488526e-04,6.501657e-04,6.517250e-04,6.536470e-04,6.542088e-04,6.563254e-04,6.564795e-04,6.580952e-04,6.587104e-04,6.595378e-04,6.603845e-04,6.606722e-04,6.615165e-04,6.615445e-04,6.620882e-04,6.622305e-04,6.624038e-04,6.624803e-04,6.624793e-04,6.623299e-04,6.619700e-04,6.618126e-04,6.614134e-04,6.609602e-04,6.606734e-04,6.598020e-04,6.597625e-04,6.586924e-04,6.583659e-04,6.574747e-04,6.566776e-04,6.561200e-04,6.547615e-04,6.546385e-04,6.530400e-04,6.526399e-04,6.513335e-04,6.503340e-04,6.495279e-04,6.478634e-04,6.476313e-04,6.456516e-04,6.452463e-04,6.435961e-04,6.424996e-04,6.414718e-04,6.396390e-04,6.392853e-04,6.370428e-04,6.366792e-04,6.347502e-04,6.336336e-04,6.324131e-04,6.305148e-04,6.300366e-04,6.276256e-04,6.273342e-04,6.251849e-04,6.241027e-04,6.227187e-04,6.208299e-04,6.202312e-04,6.177262e-04,6.175251e-04,6.152072e-04,6.141965e-04,6.126778e-04,6.108519e-04,6.101410e-04,6.075998e-04,6.074981e-04,6.050571e-04,6.041418e-04,6.025153e-04,6.007887e-04,5.999769e-04,5.974442e-04,5.941132e-04,5.908002e-04,5.875091e-04,5.842437e-04,5.810071e-04,5.778023e-04,5.746320e-04,5.714984e-04,5.684037e-04,5.653497e-04,5.623379e-04,5.593697e-04,5.564463e-04,5.535687e-04,5.507378e-04,5.479542e-04,5.452184e-04,5.425309e-04,5.398919e-04,5.373017e-04,5.347602e-04,5.322675e-04,5.298236e-04,5.274281e-04
0.000000e+00,8.807459e-10,2.532987e-09,1.196192e-08,3.295450e-08,5.215734e-08,1.388661e-07,1.438078e-07,3.097867e-07,3.726541e-07,5.725590e-07,7.858167e-07,9.540271e-07,1.428163e-06,1.475524e-06,2.157360e-06,2.346916e-06,3.017216e-06,3.581337e-06,4.067228e-06,5.151843e-06,5.311295e-06,6.744824e-06,7.053386e-06,8.356955e-06,9.261161e-06,1.013334e-05,1.174078e-05,1.205802e-05,1.411438e-05,1.445449e-05,1.628550e-05,1.736337e-05,1.855424e-05,2.042799e-05,2.090344e-05,2.331602e-05,2.360899e-05,2.577522e-05,2.686784e-05,2.826484e-05,3.016776e-05,3.076943e-05,3.327456e-05,3.347459e-05,3.576690e-05,3.675750e-05,3.823437e-05,3.998946e-05,4.066622e-05,4.305303e-05,4.314744e-05,4.538669e-05,4.621244e-05,4.766038e-05,4.916932e-05,4.986847e-05,5.200646e-05,5.407084e-05,5.471546e-05,5.605905e-05,5.729069e-05,5.796933e-05,5.972889e-05,5.980062e-05,6.155251e-05,6.202881e-05,6.322510e-05,6.419081e-05,6.481896e-05,6.621658e-05,6.633503e-05,6.777456e-05,6.810882e-05,6.913906e-05,6.987104e-05,7.043024e-05,7.150733e-05,7.164999e-05,7.280030e-05,7.302221e-05,7.388327e-05,7.442050e-05,7.490104e-05,7.570719e-05,7.585581e-05,7.674979e-05,7.688734e-05,7.758521e-05,7.796605e-05,7.836426e-05,7.894840e-05,7.908915e-05,7.976201e-05,7.983936e-05,8.038498e-05,8.064382e-05,8.096014e-05,8.136652e-05,8.148950e-05,8.197506e-05,8.201207e-05,8.241874e-05,8.258491e-05,8.282241e-05,8.308930e-05,8.318789e-05,8.351693e-05,8.352936e-05,8.381124e-05,8.390901e-05,8.407246e-05,8.423201e-05,8.430218e-05,8.450193e-05,8.467318e-05,8.472220e-05,8.481736e-05,8.489605e-05,8.493583e-05,8.502659e-05,8.502990e-05,8.510086e-05,8.511675e-05,8.514990e-05,8.516930e-05,8.517820e-05,8.518688e-05,8.518688e-05,8.517701e-05,8.517199e-05,8.514962e-05,8.512700e-05,8.510570e-05,8.505413e-05,8.504620e-05,8.497202e-05,8.495550e-05,8.488403e-05,8.483310e-05,8.478307e-05,8.468881e-05,8.466992e-05,8.454535e-05,8.452441e-05,8.441008e-05,8.434156e-05,8.426481e-05,8.414184e-05,8.411021e-05,8.394689e-05,8.392674e-05,8.377547e-05,8.369763e-05,8.359653e-05,8.345585e-05,8.341062e-05,8.321825e-05,8.320260e-05,8.301994e-05,8.293905e-05,8.281615e-05,8.266628e-05,8.260733e-05,8.239394e-05,8.238531e-05,8.217636e-05,8.209708e-05,8.195500e-05,8.180250e-05,8.173022e-05,8.150238e-05,8.119751e-05,8.088861e-05,8.057637e-05,8.026142e-05,7.994434e-05,7.962568e-05,7.930596e-05,7.898564e-05,7.866517e-05,7.834494e-05,7.802534e-05,7.770671e-05,7.738938e-05,7.707363e-05,7.675974e-05,7.644795e-05,7.613850e-05,7.583158e-05,7.552739e-05,7.522610e-05,7.492787e-05,7.463282e-05,7.434108e-05,7.405278e-05
0.000000e+00,5.036668e-09,1.153454e-08,3.973001e-08,9.065484e-08,1.325649e-07,3.034315e-07,3.127063e-07,6.128521e-07,7.235233e-07,1.072025e-06,1.442975e-06,1.736797e-06,2.573345e-06,2.657515e-06,3.874749e-06,4.213041e-06,5.399373e-06,6.379038e-06,7.205900e-06,8.992554e-06,9.248539e-06,1.148083e-05,1.194649e-05,1.386417e-05,1.515281e-05,1.636801e-05,1.854601e-05,1.896742e-05,2.164099e-05,2.207433e-05,2.436941e-05,2.569321e-05,2.713471e-05,2.936213e-05,2.992001e-05,3.270939e-05,3.304367e-05,3.548794e-05,3.670351e-05,3.824199e-05,4.031097e-05,4.095909e-05,4.362818e-05,4.383933e-05,4.623958e-05,4.726609e-05,4.878502e-05,5.057294e-05,5.125756e-05,5.365155e-05,5.374561e-05,5.596254e-05,5.677351e-05,5.818719e-05,5.964938e-05,6.032311e-05,6.236882e-05,6.432356e-05,6.492983e-05,6.618724e-05,6.733241e-05,6.796033e-05,6.957813e-05,6.964376e-05,7.123885e-05,7.166986e-05,7.274724e-05,7.361143e-05,7.417080e-05,7.540737e-05,7.551164e-05,7.677200e-05,7.706277e-05,7.795424e-05,7.858307e-05,7.906078e-05,7.997392e-05,8.009414e-05,8.105682e-05,8.124110e-05,8.195136e-05,8.239042e-05,8.278027e-05,8.342768e-05,8.354607e-05,8.425122e-05,8.435858e-05,8.489815e-05,8.518871e-05,8.548926e-05,8.592352e-05,8.602687e-05,8.651328e-05,8.656831e-05,8.695069e-05,8.712820e-05,8.734128e-05,8.760810e-05,8.768713e-05,8.799029e-05,8.801275e-05,8.825272e-05,8.834671e-05,8.847633e-05,8.861433e-05,8.866296e-05,8.881440e-05,8.881976e-05,8.893237e-05,8.896697e-05,8.901852e-05,8.905975e-05,8.907445e-05,8.910170e-05,8.910174e-05,8.909625e-05,8.907601e-05,8.904666e-05,8.902588e-05,8.895601e-05,8.895265e-05,8.885760e-05,8.882725e-05,8.874194e-05,8.866314e-05,8.860684e-05,8.846633e-05,8.845340e-05,8.828271e-05,8.823929e-05,8.809579e-05,8.798440e-05,8.789363e-05,8.770386e-05,8.767716e-05,8.744730e-05,8.739979e-05,8.720489e-05,8.707417e-05,8.695078e-05,8.672886e-05,8.668575e-05,8.641055e-05,8.636562e-05,8.612591e-05,8.598613e-05,8.583251e-05,8.559193e-05,8.553101e-05,8.522205e-05,8.518450e-05,8.490621e-05,8.476521e-05,8.458407e-05,8.433537e-05,8.425618e-05,8.392305e-05,8.389619e-05,8.358518e-05,8.344881e-05,8.324304e-05,8.299430e-05,8.289707e-05,8.254770e-05,8.253366e-05,8.219534e-05,8.206783e-05,8.184036e-05,8.159767e-05,8.148314e-05,8.112402e-05,8.064763e-05,8.016921e-05,7.968943e-05,7.920890e-05,7.872819e-05,7.824784e-05,7.776833e-05,7.729012e-05,7.681364e-05,7.633927e-05,7.586736e-05,7.539825e-05,7.493225e-05,7.446961e-05,7.401060e-05,7.355545e-05,7.310436e-05,7.265752e-05,7.221509e-05,7.177725e-05,7.134410e-05,7.091579e-05,7.049241e-05,7.007405e-05
0.000000e+00,8.962721e-10,2.653787e-09,1.328834e-08,3.856552e-08,6.279725e-08,1.800803e-07,1.870630e-07,4.353622e-07,5.353377e-07,8.710057e-07,1.254876e-06,1.573842e-06,2.535719e-06,2.636085e-06,4.142918e-06,4.577338e-06,6.145142e-06,7.486503e-06,8.648438e-06,1.124362e-05,1.162422e-05,1.502598e-05,1.575282e-05,1.880087e-05,2.089352e-05,2.289562e-05,2.654479e-05,2.725893e-05,3.184212e-05,3.259273e-05,3.659914e-05,3.893135e-05,4.148638e-05,4.546216e-05,4.646263e-05,5.148908e-05,5.209388e-05,5.652952e-05,5.874302e-05,6.155050e-05,6.533460e-05,6.652161e-05,7.141558e-05,7.180302e-05,7.620843e-05,7.809250e-05,8.087945e-05,8.415724e-05,8.541121e-05,8.978948e-05,8.996125e-05,9.400302e-05,9.547786e-05,9.804337e-05,1.006888e-04,1.019046e-04,1.055831e-04,1.090771e-04,1.101562e-04,1.123867e-04,1.144086e-04,1.155131e-04,1.183445e-04,1.184589e-04,1.212274e-04,1.219713e-04,1.238229e-04,1.252992e-04,1.262503e-04,1.283399e-04,1.285153e-04,1.306240e-04,1.311076e-04,1.325829e-04,1.336169e-04,1.343986e-04,1.358829e-04,1.360774e-04,1.376257e-04,1.379203e-04,1.390499e-04,1.397434e-04,1.403560e-04,1.413664e-04,1.415502e-04,1.426381e-04,1.428027e-04,1.436254e-04,1.440652e-04,1.445175e-04,1.451661e-04,1.453196e-04,1.460366e-04,1.461172e-04,1.466733e-04,1.469293e-04,1.472344e-04,1.476128e-04,1.477240e-04,1.481464e-04,1.481774e-04,1.485054e-04,1.486321e-04,1.488049e-04,1.489856e-04,1.490483e-04,1.492391e-04,1.492457e-04,1.493804e-04,1.494198e-04,1.494754e-04,1.495149e-04,1.495268e-04,1.495373e-04,1.495097e-04,1.494932e-04,1.494462e-04,1.493879e-04,1.493493e-04,1.492268e-04,1.492211e-04,1.490636e-04,1.490146e-04,1.488789e-04,1.487558e-04,1.486688e-04,1.484545e-04,1.484350e-04,1.481791e-04,1.481146e-04,1.479028e-04,1.477397e-04,1.476075e-04,1.473330e-04,1.472946e-04,1.469654e-04,1.468977e-04,1.466211e-04,1.464366e-04,1.462630e-04,1.459523e-04,1.458921e-04,1.455095e-04,1.454472e-04,1.451161e-04,1.449237e-04,1.447129e-04,1.443838e-04,1.443007e-04,1.438805e-04,1.438295e-04,1.434529e-04,1.432626e-04,1.430187e-04,1.426847e-04,1.425786e-04,1.421332e-04,1.420974e-04,1.416832e-04,1.415020e-04,1.412291e-04,1.409000e-04,1.407716e-04,1.403110e-04,1.402925e-04,1.398479e-04,1.396807e-04,1.393828e-04,1.390656e-04,1.389160e-04,1.384481e-04,1.378291e-04,1.372094e-04,1.365899e-04,1.359711e-04,1.353537e-04,1.347382e-04,1.341253e-04,1.335154e-04,1.329089e-04,1.323063e-04,1.317079e-04,1.311140e-04,1.305249e-04,1.299411e-04,1.293625e-04,1.287896e-04,1.282225e-04,1.276614e-04,1.271064e-04,1.265577e-04,1.260153e-04,1.254795e-04,1.249503e-04,1.244278e-04
0.000000e+00,7.503273e-10,2.190996e-09,1.065401e-08,3.007417e-08,4.820142e-08,1.323316e-07,1.372064e-07,3.042731e-07,3.689113e-07,5.782515e-07,8.068200e-07,9.901943e-07,1.517613e-06,1.570909e-06,2.343439e-06,2.558604e-06,3.315607e-06,3.945173e-06,4.480813e-06,5.654249e-06,5.824305e-06,7.328378e-06,7.646857e-06,8.974824e-06,9.881252e-06,1.074562e-05,1.231610e-05,1.262287e-05,1.458857e-05,1.491008e-05,1.662452e-05,1.762133e-05,1.871232e-05,2.040753e-05,2.083359e-05,2.297019e-05,2.322678e-05,2.510463e-05,2.603880e-05,2.722035e-05,2.880629e-05,2.930201e-05,3.133574e-05,3.149599e-05,3.330937e-05,3.407960e-05,3.521248e-05,3.653416e-05,3.703648e-05,3.877456e-05,3.884222e-05,4.042165e-05,4.099161e-05,4.197428e-05,4.297504e-05,4.343046e-05,4.478949e-05,4.605182e-05,4.643554e-05,4.721886e-05,4.791675e-05,4.829283e-05,4.923893e-05,4.927659e-05,5.017352e-05,5.040959e-05,5.098733e-05,5.143739e-05,5.172205e-05,5.233169e-05,5.238181e-05,5.297088e-05,5.310221e-05,5.349349e-05,5.375869e-05,5.395383e-05,5.431071e-05,5.435603e-05,5.470406e-05,5.476751e-05,5.500176e-05,5.513788e-05,5.525277e-05,5.543010e-05,5.546058e-05,5.562848e-05,5.565185e-05,5.575956e-05,5.581027e-05,5.585674e-05,5.591190e-05,5.592273e-05,5.596007e-05,5.596274e-05,5.597113e-05,5.596824e-05,5.595810e-05,5.593335e-05,5.592302e-05,5.586778e-05,5.586254e-05,5.579413e-05,5.575989e-05,5.570370e-05,5.562903e-05,5.559796e-05,5.547831e-05,5.547326e-05,5.534602e-05,5.529553e-05,5.520226e-05,5.509850e-05,5.504811e-05,5.488458e-05,5.471258e-05,5.465590e-05,5.453298e-05,5.441440e-05,5.434654e-05,5.416180e-05,5.415399e-05,5.395601e-05,5.389968e-05,5.375319e-05,5.362942e-05,5.354612e-05,5.335230e-05,5.333531e-05,5.312124e-05,5.306943e-05,5.290436e-05,5.278183e-05,5.268508e-05,5.249043e-05,5.246378e-05,5.224081e-05,5.219604e-05,5.201649e-05,5.189940e-05,5.179111e-05,5.160119e-05,5.156496e-05,5.133829e-05,5.130199e-05,5.111133e-05,5.100234e-05,5.088429e-05,5.070274e-05,5.065738e-05,5.043078e-05,5.040362e-05,5.020466e-05,5.010536e-05,4.997918e-05,4.980832e-05,4.975447e-05,4.953067e-05,4.951281e-05,4.930790e-05,4.921911e-05,4.908628e-05,4.892747e-05,4.886590e-05,4.864686e-05,4.863812e-05,4.842924e-05,4.835126e-05,4.821312e-05,4.806706e-05,4.799858e-05,4.778567e-05,4.750725e-05,4.723190e-05,4.695974e-05,4.669086e-05,4.642533e-05,4.616322e-05,4.590460e-05,4.564949e-05,4.539796e-05,4.515001e-05,4.490568e-05,4.466498e-05,4.442792e-05,4.419450e-05,4.396473e-05,4.373859e-05,4.351608e-05,4.329717e-05,4.308186e-05,4.287013e-05,4.266193e-05,4.245726e-05,4.225608e-05,4.205837e-05
0.000000e+00,2.623704e-09,7.811200e-09,3.956158e-08,1.160288e-07,1.900397e-07,5.534303e-07,5.752567e-07,1.360076e-06,1.679562e-06,2.760808e-06,4.005054e-06,5.039096e-06,8.130478e-06,8.449824e-06,1.316957e-05,1.450771e-05,1.927837e-05,2.331178e-05,2.678636e-05,3.452625e-05,3.566179e-05,4.584704e-05,4.803487e-05,5.726624e-05,6.366228e-05,6.982859e-05,8.118887e-05,8.343041e-05,9.795696e-05,1.003589e-04,1.132846e-04,1.208885e-04,1.292835e-04,1.424763e-04,1.458203e-04,1.627612e-04,1.648149e-04,1.799748e-04,1.876024e-04,1.973349e-04,2.105529e-04,2.147223e-04,2.320270e-04,2.334047e-04,2.491489e-04,2.559261e-04,2.659988e-04,2.779181e-04,2.824987e-04,2.985816e-04,2.992154e-04,3.141913e-04,3.196858e-04,3.292817e-04,3.392276e-04,3.438163e-04,3.577672e-04,3.711144e-04,3.752556e-04,3.838446e-04,3.916647e-04,3.959509e-04,4.069842e-04,4.074314e-04,4.182889e-04,4.212181e-04,4.285298e-04,4.343824e-04,4.381640e-04,4.465020e-04,4.472036e-04,4.556631e-04,4.576087e-04,4.635584e-04,4.677397e-04,4.709068e-04,4.769355e-04,4.777266e-04,4.840366e-04,4.852391e-04,4.898560e-04,4.926947e-04,4.952043e-04,4.993471e-04,5.001010e-04,5.045655e-04,5.052410e-04,5.086170e-04,5.104205e-04,5.122743e-04,5.149287e-04,5.155558e-04,5.184797e-04,5.188074e-04,5.210634e-04,5.220969e-04,5.233240e-04,5.248362e-04,5.252780e-04,5.269413e-04,5.270623e-04,5.283292e-04,5.288106e-04,5.294565e-04,5.301149e-04,5.303375e-04,5.309857e-04,5.310070e-04,5.314144e-04,5.315174e-04,5.316359e-04,5.316745e-04,5.316624e-04,5.315053e-04,5.311756e-04,5.310354e-04,5.306838e-04,5.302885e-04,5.300398e-04,5.292873e-04,5.292532e-04,5.283331e-04,5.280528e-04,5.272882e-04,5.266047e-04,5.261266e-04,5.249618e-04,5.248563e-04,5.234847e-04,5.231413e-04,5.220189e-04,5.211594e-04,5.204656e-04,5.190315e-04,5.188313e-04,5.171220e-04,5.167717e-04,5.153435e-04,5.143932e-04,5.135013e-04,5.119084e-04,5.116005e-04,5.096461e-04,5.093288e-04,5.076428e-04,5.066651e-04,5.055949e-04,5.039273e-04,5.035067e-04,5.013820e-04,5.011248e-04,4.992247e-04,4.982661e-04,4.970383e-04,4.953591e-04,4.948260e-04,4.925912e-04,4.924115e-04,4.903367e-04,4.894300e-04,4.880653e-04,4.864210e-04,4.857798e-04,4.834825e-04,4.833904e-04,4.811759e-04,4.803437e-04,4.788622e-04,4.772859e-04,4.765435e-04,4.742216e-04,4.711552e-04,4.680905e-04,4.650311e-04,4.619804e-04,4.589415e-04,4.559170e-04,4.529095e-04,4.499213e-04,4.469545e-04,4.440109e-04,4.410924e-04,4.382004e-04,4.353363e-04,4.325013e-04,4.296966e-04,4.269230e-04,4.241814e-04,4.214726e-04,4.187972e-04,4.161557e-04,4.135485e-04,4.109761e-04,4.084387e-04,4.059365e-04
0.000000e+00,1.866869e-09,5.388131e-09,2.565792e-08,7.137341e-08,1.137096e-07,3.097524e-07,3.211427e-07,7.158611e-07,8.711414e-07,1.384125e-06,1.960825e-06,2.434777e-06,3.844468e-06,3.990163e-06,6.149850e-06,6.763090e-06,8.941471e-06,1.076246e-05,1.230906e-05,1.566710e-05,1.614913e-05,2.035194e-05,2.122733e-05,2.482247e-05,2.722692e-05,2.948436e-05,3.350345e-05,3.427688e-05,3.915053e-05,3.993496e-05,4.406351e-05,4.642490e-05,4.897962e-05,5.289325e-05,5.386704e-05,5.869785e-05,5.927255e-05,6.344770e-05,6.550647e-05,6.809567e-05,7.154907e-05,7.262421e-05,7.701900e-05,7.736444e-05,8.126869e-05,8.292594e-05,8.536471e-05,8.821513e-05,8.930087e-05,9.307317e-05,9.322062e-05,9.667953e-05,9.793707e-05,1.001195e-04,1.023640e-04,1.033939e-04,1.065047e-04,1.094546e-04,1.103651e-04,1.122470e-04,1.139533e-04,1.148859e-04,1.172788e-04,1.173756e-04,1.197207e-04,1.203520e-04,1.219259e-04,1.231839e-04,1.239961e-04,1.257857e-04,1.259362e-04,1.277513e-04,1.281688e-04,1.294460e-04,1.303444e-04,1.310254e-04,1.323236e-04,1.324941e-04,1.338568e-04,1.341171e-04,1.351181e-04,1.357353e-04,1.362822e-04,1.371882e-04,1.373536e-04,1.383363e-04,1.384856e-04,1.392344e-04,1.396366e-04,1.400518e-04,1.406500e-04,1.407921e-04,1.414590e-04,1.415343e-04,1.420560e-04,1.422974e-04,1.425864e-04,1.429469e-04,1.430533e-04,1.434600e-04,1.434900e-04,1.438093e-04,1.439336e-04,1.441041e-04,1.442841e-04,1.443470e-04,1.445408e-04,1.445476e-04,1.446880e-04,1.447300e-04,1.447908e-04,1.448366e-04,1.448517e-04,1.448727e-04,1.448561e-04,1.448432e-04,1.448038e-04,1.447526e-04,1.447178e-04,1.446052e-04,1.445999e-04,1.444518e-04,1.444052e-04,1.442752e-04,1.441563e-04,1.440718e-04,1.438623e-04,1.438431e-04,1.435905e-04,1.435265e-04,1.433154e-04,1.431521e-04,1.430193e-04,1.427422e-04,1.427032e-04,1.423686e-04,1.422995e-04,1.420164e-04,1.418268e-04,1.416479e-04,1.413265e-04,1.412641e-04,1.408660e-04,1.408010e-04,1.404545e-04,1.402525e-04,1.400306e-04,1.396831e-04,1.395951e-04,1.391490e-04,1.390947e-04,1.386929e-04,1.384892e-04,1.382276e-04,1.378682e-04,1.377538e-04,1.372722e-04,1.372334e-04,1.367836e-04,1.365862e-04,1.362884e-04,1.359281e-04,1.357872e-04,1.352808e-04,1.352604e-04,1.347694e-04,1.345843e-04,1.342538e-04,1.339009e-04,1.337343e-04,1.332114e-04,1.325167e-04,1.318178e-04,1.311156e-04,1.304108e-04,1.297043e-04,1.289967e-04,1.282888e-04,1.275810e-04,1.268741e-04,1.261685e-04,1.254647e-04,1.247632e-04,1.240644e-04,1.233686e-04,1.226764e-04,1.219879e-04,1.213035e-04,1.206234e-04,1.199480e-04,1.192774e-04,1.186119e-04,1.179517e-04,1.172970e-04,1.166478e-04
0.000000e+00,5.750286e-10,1.641387e-09,7.637015e-09,2.077366e-08,3.266082e-08,8.557408e-08,8.856465e-08,1.880999e-07,2.254715e-07,3.435518e-07,4.686454e-07,5.668790e-07,8.424158e-07,8.698584e-07,1.263888e-06,1.373174e-06,1.759047e-06,2.083243e-06,2.362097e-06,2.982887e-06,3.073896e-06,3.887899e-06,4.061910e-06,4.791217e-06,5.290880e-06,5.767562e-06,6.631799e-06,6.800121e-06,7.873256e-06,8.047772e-06,8.973106e-06,9.506905e-06,1.008755e-05,1.098244e-05,1.120598e-05,1.231909e-05,1.245191e-05,1.341870e-05,1.389637e-05,1.449765e-05,1.530003e-05,1.554981e-05,1.656995e-05,1.665004e-05,1.755379e-05,1.793636e-05,1.849790e-05,1.915159e-05,1.939971e-05,2.025739e-05,2.029076e-05,2.106979e-05,2.135105e-05,2.183639e-05,2.233149e-05,2.255717e-05,2.323255e-05,2.386337e-05,2.405599e-05,2.445071e-05,2.480441e-05,2.499592e-05,2.548111e-05,2.550053e-05,2.596619e-05,2.608982e-05,2.639462e-05,2.663456e-05,2.678762e-05,2.711944e-05,2.714699e-05,2.747454e-05,2.754861e-05,2.777203e-05,2.792615e-05,2.804121e-05,2.825600e-05,2.828375e-05,2.850126e-05,2.854190e-05,2.869530e-05,2.878742e-05,2.886735e-05,2.899590e-05,2.901880e-05,2.915100e-05,2.917045e-05,2.926521e-05,2.931398e-05,2.936260e-05,2.942916e-05,2.944430e-05,2.951136e-05,2.951847e-05,2.956478e-05,2.958420e-05,2.960547e-05,2.962843e-05,2.963432e-05,2.965214e-05,2.965311e-05,2.965969e-05,2.965999e-05,2.965768e-05,2.965070e-05,2.964679e-05,2.962764e-05,2.962671e-05,2.960082e-05,2.958939e-05,2.956687e-05,2.953998e-05,2.952631e-05,2.947961e-05,2.942723e-05,2.940934e-05,2.936958e-05,2.933010e-05,2.930705e-05,2.924278e-05,2.924002e-05,2.916881e-05,2.914817e-05,2.909376e-05,2.904701e-05,2.901517e-05,2.893997e-05,2.893331e-05,2.884845e-05,2.882766e-05,2.876083e-05,2.871065e-05,2.867069e-05,2.858946e-05,2.857825e-05,2.848370e-05,2.846455e-05,2.838723e-05,2.833637e-05,2.828903e-05,2.820532e-05,2.818926e-05,2.808808e-05,2.807177e-05,2.798563e-05,2.793605e-05,2.788205e-05,2.779846e-05,2.777748e-05,2.767202e-05,2.765931e-05,2.756580e-05,2.751885e-05,2.745892e-05,2.737732e-05,2.735149e-05,2.724359e-05,2.723494e-05,2.713531e-05,2.709192e-05,2.702674e-05,2.694844e-05,2.691796e-05,2.680903e-05,2.680467e-05,2.670003e-05,2.666078e-05,2.659101e-05,2.651691e-05,2.648205e-05,2.637319e-05,2.622974e-05,2.608669e-05,2.594412e-05,2.580214e-05,2.566083e-05,2.552027e-05,2.538053e-05,2.524168e-05,2.510378e-05,2.496688e-05,2.483103e-05,2.469627e-05,2.456266e-05,2.443022e-05,2.429898e-05,2.416898e-05,2.404023e-05,2.391277e-05,2.378661e-05,2.366178e-05,2.353827e-05,2.341612e-05,2.329532e-05,2.317588e-05
0.000000e+00,5.233356e-08,1.562856e-07,7.955593e-07,2.338719e-06,3.830628e-06,1.109652e-05,1.152946e-05,2.684491e-05,3.295137e-05,5.317146e-05,7.579397e-05,9.424105e-05,1.484558e-04,1.540227e-04,2.365651e-04,2.601984e-04,3.457054e-04,4.196756e-04,4.846527e-04,6.333784e-04,6.556351e-04,8.597866e-04,9.046250e-04,1.097245e-03,1.233686e-03,1.367320e-03,1.618409e-03,1.668650e-03,1.999333e-03,2.054816e-03,2.357038e-03,2.537561e-03,2.739097e-03,3.060330e-03,3.142601e-03,3.564481e-03,3.616193e-03,4.001593e-03,4.197935e-03,4.450787e-03,4.798350e-03,4.908973e-03,5.373173e-03,5.410483e-03,5.840568e-03,6.027826e-03,6.308531e-03,6.644452e-03,6.774648e-03,7.236733e-03,7.255104e-03,7.692834e-03,7.855228e-03,8.141234e-03,8.440979e-03,8.580445e-03,9.009196e-03,9.426424e-03,9.557356e-03,9.831256e-03,1.008352e-02,1.022300e-02,1.058625e-02,1.060111e-02,1.096520e-02,1.106460e-02,1.131501e-02,1.151797e-02,1.165038e-02,1.194612e-02,1.197126e-02,1.227770e-02,1.234910e-02,1.256979e-02,1.272716e-02,1.284771e-02,1.308074e-02,1.311169e-02,1.336199e-02,1.341044e-02,1.359893e-02,1.371696e-02,1.382282e-02,1.400108e-02,1.403403e-02,1.423294e-02,1.426364e-02,1.441992e-02,1.450554e-02,1.459536e-02,1.472768e-02,1.475968e-02,1.491326e-02,1.493098e-02,1.505650e-02,1.511636e-02,1.518981e-02,1.528473e-02,1.531358e-02,1.542819e-02,1.543697e-02,1.553402e-02,1.557398e-02,1.563145e-02,1.569659e-02,1.572083e-02,1.580252e-02,1.580563e-02,1.587686e-02,1.590189e-02,1.594419e-02,1.598614e-02,1.600483e-02,1.605909e-02,1.610728e-02,1.612146e-02,1.614967e-02,1.617390e-02,1.618656e-02,1.621704e-02,1.621821e-02,1.624488e-02,1.625149e-02,1.626683e-02,1.627783e-02,1.628429e-02,1.629658e-02,1.629749e-02,1.630665e-02,1.630827e-02,1.631199e-02,1.631339e-02,1.631371e-02,1.631238e-02,1.631200e-02,1.630705e-02,1.630568e-02,1.629903e-02,1.629371e-02,1.628812e-02,1.627684e-02,1.627448e-02,1.625827e-02,1.625544e-02,1.623963e-02,1.622986e-02,1.621870e-02,1.620041e-02,1.619563e-02,1.617054e-02,1.616740e-02,1.614356e-02,1.613111e-02,1.611479e-02,1.609182e-02,1.608437e-02,1.605239e-02,1.604976e-02,1.601895e-02,1.600519e-02,1.598416e-02,1.595832e-02,1.594810e-02,1.591087e-02,1.590936e-02,1.587255e-02,1.585850e-02,1.583322e-02,1.580593e-02,1.579295e-02,1.575183e-02,1.569634e-02,1.563962e-02,1.558182e-02,1.552306e-02,1.546347e-02,1.540316e-02,1.534224e-02,1.528081e-02,1.521896e-02,1.515679e-02,1.509437e-02,1.503177e-02,1.496908e-02,1.490635e-02,1.484364e-02,1.478102e-02,1.471853e-02,1.465622e-02,1.459414e-02,1.453233e-02,1.447082e-02,1.440966e-02,1.434887e-02,1.428849e-02
0.000000e+00,4.294065e-09,9.843536e-09,3.376853e-08,7.644195e-08,1.111304e-07,2.492839e-07,2.566496e-07,4.887954e-07,5.716904e-07,8.248036e-07,1.083087e-06,1.280976e-06,1.819703e-06,1.872292e-06,2.610585e-06,2.810403e-06,3.500831e-06,4.064140e-06,4.537507e-06,5.558720e-06,5.705071e-06,6.982797e-06,7.249669e-06,8.349418e-06,9.088550e-06,9.785139e-06,1.103126e-05,1.127186e-05,1.279290e-05,1.303840e-05,1.433276e-05,1.507431e-05,1.587706e-05,1.710679e-05,1.741262e-05,1.892754e-05,1.910743e-05,2.041133e-05,2.105194e-05,2.185492e-05,2.292048e-05,2.325078e-05,2.459277e-05,2.469765e-05,2.587613e-05,2.637223e-05,2.709738e-05,2.793689e-05,2.825422e-05,2.934536e-05,2.938763e-05,3.037039e-05,3.072326e-05,3.132966e-05,3.194489e-05,3.222415e-05,3.305534e-05,3.382508e-05,3.405877e-05,3.453556e-05,3.496027e-05,3.518917e-05,3.576550e-05,3.578846e-05,3.633605e-05,3.648048e-05,3.683463e-05,3.711137e-05,3.728688e-05,3.766432e-05,3.769546e-05,3.806298e-05,3.814535e-05,3.839195e-05,3.856026e-05,3.868483e-05,3.891456e-05,3.894394e-05,3.917155e-05,3.921348e-05,3.936978e-05,3.946193e-05,3.954067e-05,3.966449e-05,3.968613e-05,3.980798e-05,3.982540e-05,3.990793e-05,3.994861e-05,3.998759e-05,4.003773e-05,4.004848e-05,4.009201e-05,4.009613e-05,4.011951e-05,4.012685e-05,4.013222e-05,4.013272e-05,4.013132e-05,4.011789e-05,4.011631e-05,4.009295e-05,4.007997e-05,4.005745e-05,4.002585e-05,4.001228e-05,3.995826e-05,3.995592e-05,3.989615e-05,3.987196e-05,3.982669e-05,3.977559e-05,3.975053e-05,3.966831e-05,3.958059e-05,3.955145e-05,3.948792e-05,3.942624e-05,3.939080e-05,3.929380e-05,3.928969e-05,3.918503e-05,3.915514e-05,3.907721e-05,3.901117e-05,3.896662e-05,3.886272e-05,3.885360e-05,3.873847e-05,3.871056e-05,3.862152e-05,3.855535e-05,3.850304e-05,3.839772e-05,3.838329e-05,3.826249e-05,3.823822e-05,3.814086e-05,3.807736e-05,3.801862e-05,3.791560e-05,3.789595e-05,3.777302e-05,3.775334e-05,3.764999e-05,3.759095e-05,3.752701e-05,3.742876e-05,3.740422e-05,3.728174e-05,3.726707e-05,3.715968e-05,3.710614e-05,3.703816e-05,3.694621e-05,3.691726e-05,3.679708e-05,3.678750e-05,3.667769e-05,3.663018e-05,3.655918e-05,3.647443e-05,3.644160e-05,3.632503e-05,3.632038e-05,3.620950e-05,3.616818e-05,3.609508e-05,3.601793e-05,3.598181e-05,3.586973e-05,3.572366e-05,3.557980e-05,3.543820e-05,3.529891e-05,3.516199e-05,3.502745e-05,3.489532e-05,3.476563e-05,3.463838e-05,3.451358e-05,3.439123e-05,3.427133e-05,3.415387e-05,3.403884e-05,3.392623e-05,3.381601e-05,3.370817e-05,3.360268e-05,3.349952e-05,3.339866e-05,3.330008e-05,3.320374e-05,3.310962e-05,3.301767e-05
0.000000e+00,1.396582e-09,3.235385e-09,1.124336e-08,2.565209e-08,3.743106e-08,8.472729e-08,8.726316e-08,1.677982e-07,1.968198e-07,2.862182e-07,3.785812e-07,4.500673e-07,6.474405e-07,6.668953e-07,9.425821e-07,1.017811e-06,1.278945e-06,1.492979e-06,1.673438e-06,2.064999e-06,2.121420e-06,2.618152e-06,2.722967e-06,3.159385e-06,3.457113e-06,3.741223e-06,4.258570e-06,4.359868e-06,5.011431e-06,5.118467e-06,5.691839e-06,6.027431e-06,6.396812e-06,6.975488e-06,7.121895e-06,7.862513e-06,7.952211e-06,8.614029e-06,8.946959e-06,9.371840e-06,9.949218e-06,1.013146e-05,1.088857e-05,1.094891e-05,1.163911e-05,1.193664e-05,1.237933e-05,1.290395e-05,1.310578e-05,1.381542e-05,1.384342e-05,1.450556e-05,1.474878e-05,1.517389e-05,1.561491e-05,1.581850e-05,1.643782e-05,1.703064e-05,1.721460e-05,1.759611e-05,1.794337e-05,1.813363e-05,1.862304e-05,1.864286e-05,1.912368e-05,1.925322e-05,1.957618e-05,1.983420e-05,2.000066e-05,2.036680e-05,2.039755e-05,2.076744e-05,2.085226e-05,2.111099e-05,2.129218e-05,2.142901e-05,2.168840e-05,2.172232e-05,2.199183e-05,2.204296e-05,2.223847e-05,2.235800e-05,2.246320e-05,2.263578e-05,2.266702e-05,2.285097e-05,2.287863e-05,2.301609e-05,2.308894e-05,2.316330e-05,2.326879e-05,2.329351e-05,2.340765e-05,2.342030e-05,2.350657e-05,2.354550e-05,2.359114e-05,2.364631e-05,2.366216e-05,2.372045e-05,2.372458e-05,2.376675e-05,2.378208e-05,2.380181e-05,2.382047e-05,2.382630e-05,2.384090e-05,2.384129e-05,2.384624e-05,2.384601e-05,2.384291e-05,2.383601e-05,2.383151e-05,2.381257e-05,2.378661e-05,2.377690e-05,2.375412e-05,2.373012e-05,2.371557e-05,2.367326e-05,2.367139e-05,2.362199e-05,2.360728e-05,2.356778e-05,2.353309e-05,2.350910e-05,2.345149e-05,2.344633e-05,2.337978e-05,2.336328e-05,2.330976e-05,2.326915e-05,2.323657e-05,2.316976e-05,2.316048e-05,2.308176e-05,2.306572e-05,2.300064e-05,2.295759e-05,2.291735e-05,2.284587e-05,2.283211e-05,2.274513e-05,2.273106e-05,2.265658e-05,2.261358e-05,2.256666e-05,2.249383e-05,2.247552e-05,2.238332e-05,2.237219e-05,2.229021e-05,2.224899e-05,2.219633e-05,2.212455e-05,2.210181e-05,2.200676e-05,2.199914e-05,2.191131e-05,2.187303e-05,2.181555e-05,2.174646e-05,2.171958e-05,2.162349e-05,2.161965e-05,2.152738e-05,2.149279e-05,2.143132e-05,2.136606e-05,2.133538e-05,2.123964e-05,2.111366e-05,2.098827e-05,2.086358e-05,2.073972e-05,2.061677e-05,2.049484e-05,2.037399e-05,2.025430e-05,2.013583e-05,2.001864e-05,1.990279e-05,1.978830e-05,1.967523e-05,1.956359e-05,1.945343e-05,1.934476e-05,1.923760e-05,1.913196e-05,1.902787e-05,1.892532e-05,1.882432e-05,1.872487e-05,1.862698e-05,1.853064e-05
0.000000e+00,2.197480e-09,6.024427e-09,2.617376e-08,6.798084e-08,1.048435e-07,2.664021e-07,2.755245e-07,5.832312e-07,7.014664e-07,1.085955e-06,1.510747e-06,1.855500e-06,2.861177e-06,2.963508e-06,4.446682e-06,4.856944e-06,6.280506e-06,7.436242e-06,8.398207e-06,1.043987e-05,1.072875e-05,1.321572e-05,1.372804e-05,1.581784e-05,1.720587e-05,1.850404e-05,2.080687e-05,2.124910e-05,2.403104e-05,2.447822e-05,2.682994e-05,2.817398e-05,2.962744e-05,3.185308e-05,3.240673e-05,3.515254e-05,3.547913e-05,3.785139e-05,3.902092e-05,4.049157e-05,4.245274e-05,4.306322e-05,4.555824e-05,4.575433e-05,4.797023e-05,4.891064e-05,5.029435e-05,5.191130e-05,5.252712e-05,5.466629e-05,5.474989e-05,5.671073e-05,5.742345e-05,5.866011e-05,5.993159e-05,6.051488e-05,6.227614e-05,6.394544e-05,6.446051e-05,6.552476e-05,6.648936e-05,6.701640e-05,6.836822e-05,6.842288e-05,6.974687e-05,7.010318e-05,7.099114e-05,7.170063e-05,7.215856e-05,7.316720e-05,7.325202e-05,7.427440e-05,7.450951e-05,7.522857e-05,7.573417e-05,7.611738e-05,7.684767e-05,7.694361e-05,7.770999e-05,7.785632e-05,7.841918e-05,7.876623e-05,7.907378e-05,7.958330e-05,7.967630e-05,8.022917e-05,8.031318e-05,8.073474e-05,8.096129e-05,8.119528e-05,8.153277e-05,8.161298e-05,8.198994e-05,8.203253e-05,8.232818e-05,8.246525e-05,8.262965e-05,8.283533e-05,8.289622e-05,8.312968e-05,8.314698e-05,8.333174e-05,8.340414e-05,8.350405e-05,8.361058e-05,8.364819e-05,8.376566e-05,8.376982e-05,8.385790e-05,8.388521e-05,8.392631e-05,8.395988e-05,8.397219e-05,8.399680e-05,8.400136e-05,8.399877e-05,8.398700e-05,8.396840e-05,8.395483e-05,8.390817e-05,8.390590e-05,8.384120e-05,8.382039e-05,8.376169e-05,8.370725e-05,8.366826e-05,8.357078e-05,8.356180e-05,8.344313e-05,8.341292e-05,8.331302e-05,8.323545e-05,8.317224e-05,8.304008e-05,8.302148e-05,8.286144e-05,8.282837e-05,8.269275e-05,8.260182e-05,8.251602e-05,8.236180e-05,8.233185e-05,8.214079e-05,8.210961e-05,8.194336e-05,8.184648e-05,8.174006e-05,8.157352e-05,8.153137e-05,8.131775e-05,8.129181e-05,8.109962e-05,8.100232e-05,8.087739e-05,8.070599e-05,8.065144e-05,8.042215e-05,8.040367e-05,8.018986e-05,8.009617e-05,7.995489e-05,7.978423e-05,7.971756e-05,7.947817e-05,7.946856e-05,7.923700e-05,7.914979e-05,7.899430e-05,7.882852e-05,7.875033e-05,7.850533e-05,7.818072e-05,7.785517e-05,7.752915e-05,7.720304e-05,7.687724e-05,7.655211e-05,7.622795e-05,7.590507e-05,7.558375e-05,7.526424e-05,7.494676e-05,7.463154e-05,7.431876e-05,7.400859e-05,7.370120e-05,7.339673e-05,7.309531e-05,7.279705e-05,7.250207e-05,7.221045e-05,7.192228e-05,7.163762e-05,7.135654e-05,7.107909e-05
0.000000e+00,1.328288e-09,3.849244e-09,1.845550e-08,5.153741e-08,8.218472e-08,2.233444e-07,2.314966e-07,5.104182e-07,6.183126e-07,9.683087e-07,1.351888e-06,1.660945e-06,2.557741e-06,2.649088e-06,3.989378e-06,4.367970e-06,5.715735e-06,6.851271e-06,7.824406e-06,9.967712e-06,1.027884e-05,1.302735e-05,1.360764e-05,1.601736e-05,1.765158e-05,1.920134e-05,2.199519e-05,2.253768e-05,2.598965e-05,2.655045e-05,2.952422e-05,3.124121e-05,3.311126e-05,3.600007e-05,3.672321e-05,4.033495e-05,4.076724e-05,4.392388e-05,4.549053e-05,4.746999e-05,5.012560e-05,5.095590e-05,5.436682e-05,5.463607e-05,5.769051e-05,5.899326e-05,6.091706e-05,6.317563e-05,6.403878e-05,6.704989e-05,6.716797e-05,6.994637e-05,7.096052e-05,7.272570e-05,7.454804e-05,7.538661e-05,7.792889e-05,8.035321e-05,8.110429e-05,8.266098e-05,8.407769e-05,8.485419e-05,8.685413e-05,8.693525e-05,8.890696e-05,8.943985e-05,9.077236e-05,9.184190e-05,9.253467e-05,9.406784e-05,9.419726e-05,9.576357e-05,9.612555e-05,9.723708e-05,9.802301e-05,9.862128e-05,9.976826e-05,9.991964e-05,1.011356e-04,1.013692e-04,1.022725e-04,1.028335e-04,1.033336e-04,1.041687e-04,1.043221e-04,1.052412e-04,1.053820e-04,1.060938e-04,1.064803e-04,1.068829e-04,1.074705e-04,1.076115e-04,1.082823e-04,1.083590e-04,1.088979e-04,1.091520e-04,1.094610e-04,1.098554e-04,1.099741e-04,1.104395e-04,1.104748e-04,1.108596e-04,1.110154e-04,1.112364e-04,1.114822e-04,1.115722e-04,1.118689e-04,1.118800e-04,1.121286e-04,1.122134e-04,1.123530e-04,1.124865e-04,1.125441e-04,1.127034e-04,1.128327e-04,1.128680e-04,1.129335e-04,1.129838e-04,1.130073e-04,1.130542e-04,1.130556e-04,1.130798e-04,1.130824e-04,1.130811e-04,1.130715e-04,1.130609e-04,1.130242e-04,1.130203e-04,1.129605e-04,1.129434e-04,1.128826e-04,1.128315e-04,1.127877e-04,1.126908e-04,1.126767e-04,1.125506e-04,1.125237e-04,1.124104e-04,1.123322e-04,1.122569e-04,1.121182e-04,1.120909e-04,1.119132e-04,1.118837e-04,1.117246e-04,1.116305e-04,1.115259e-04,1.113600e-04,1.113176e-04,1.111005e-04,1.110739e-04,1.108752e-04,1.107736e-04,1.106422e-04,1.104604e-04,1.104022e-04,1.101557e-04,1.101357e-04,1.099031e-04,1.098006e-04,1.096451e-04,1.094561e-04,1.093820e-04,1.091143e-04,1.091035e-04,1.088423e-04,1.087435e-04,1.085666e-04,1.083772e-04,1.082875e-04,1.080053e-04,1.076287e-04,1.072482e-04,1.068643e-04,1.064778e-04,1.060892e-04,1.056991e-04,1.053080e-04,1.049164e-04,1.045248e-04,1.041335e-04,1.037430e-04,1.033535e-04,1.029655e-04,1.025793e-04,1.021950e-04,1.018130e-04,1.014336e-04,1.010568e-04,1.006830e-04,1.003123e-04,9.994484e-05,9.958081e-05,9.922034e-05,9.886355e-05
0.000000e+00,4.786267e-09,1.097709e-08,3.780807e-08,8.617008e-08,1.259205e-07,2.878427e-07,2.966314e-07,5.812585e-07,6.863419e-07,1.017727e-06,1.371113e-06,1.651347e-06,2.449657e-06,2.529945e-06,3.687879e-06,4.008070e-06,5.122736e-06,6.031848e-06,6.790383e-06,8.401568e-06,8.629364e-06,1.058540e-05,1.098688e-05,1.261820e-05,1.369562e-05,1.469868e-05,1.646686e-05,1.680478e-05,1.891862e-05,1.925651e-05,2.102499e-05,2.202941e-05,2.311055e-05,2.475606e-05,2.516354e-05,2.717371e-05,2.741162e-05,2.913222e-05,2.997564e-05,3.103166e-05,3.243197e-05,3.286600e-05,3.463050e-05,3.476853e-05,3.632164e-05,3.697697e-05,3.793698e-05,3.905222e-05,3.947504e-05,4.093519e-05,4.099197e-05,4.231750e-05,4.279619e-05,4.362265e-05,4.446666e-05,4.485182e-05,4.600655e-05,4.708873e-05,4.742005e-05,4.810047e-05,4.871207e-05,4.904406e-05,4.988802e-05,4.992190e-05,5.073649e-05,5.095359e-05,5.149037e-05,5.191461e-05,5.218608e-05,5.277695e-05,5.282617e-05,5.341316e-05,5.354641e-05,5.394951e-05,5.422865e-05,5.443765e-05,5.482921e-05,5.487994e-05,5.527867e-05,5.535338e-05,5.563607e-05,5.580630e-05,5.595429e-05,5.619284e-05,5.623540e-05,5.648140e-05,5.651763e-05,5.669419e-05,5.678508e-05,5.687562e-05,5.699937e-05,5.702745e-05,5.715137e-05,5.716444e-05,5.724899e-05,5.728401e-05,5.732185e-05,5.736157e-05,5.737142e-05,5.739911e-05,5.740042e-05,5.740627e-05,5.740366e-05,5.739415e-05,5.737419e-05,5.736399e-05,5.731694e-05,5.731472e-05,5.725409e-05,5.722780e-05,5.717649e-05,5.711581e-05,5.708514e-05,5.698098e-05,5.686492e-05,5.682540e-05,5.673780e-05,5.665101e-05,5.660042e-05,5.645961e-05,5.645357e-05,5.629795e-05,5.625291e-05,5.613427e-05,5.603246e-05,5.596317e-05,5.579974e-05,5.578527e-05,5.560115e-05,5.555610e-05,5.541137e-05,5.530281e-05,5.521644e-05,5.504104e-05,5.501686e-05,5.481309e-05,5.477187e-05,5.460558e-05,5.449633e-05,5.439474e-05,5.421534e-05,5.418096e-05,5.396460e-05,5.392977e-05,5.374603e-05,5.364042e-05,5.352555e-05,5.334801e-05,5.330349e-05,5.308012e-05,5.305325e-05,5.285573e-05,5.275674e-05,5.263057e-05,5.245907e-05,5.240486e-05,5.217885e-05,5.216077e-05,5.195274e-05,5.186232e-05,5.172673e-05,5.156416e-05,5.150100e-05,5.127572e-05,5.126672e-05,5.105105e-05,5.097035e-05,5.082715e-05,5.067540e-05,5.060415e-05,5.038218e-05,5.009096e-05,4.980200e-05,4.951553e-05,4.923175e-05,4.895085e-05,4.867300e-05,4.839833e-05,4.812698e-05,4.785905e-05,4.759466e-05,4.733388e-05,4.707679e-05,4.682344e-05,4.657389e-05,4.632817e-05,4.608633e-05,4.584838e-05,4.561434e-05,4.538422e-05,4.515801e-05,4.493572e-05,4.471733e-05,4.450283e-05,4.429221e-05
0.000000e+00,2.162034e-09,4.946431e-09,1.697352e-08,3.852296e-08,5.611721e-08,1.267389e-07,1.305259e-07,2.508483e-07,2.942284e-07,4.278892e-07,5.659887e-07,6.728645e-07,9.680523e-07,9.971755e-07,1.411192e-06,1.524773e-06,1.921601e-06,2.249800e-06,2.528211e-06,3.135401e-06,3.223029e-06,3.993031e-06,4.154797e-06,4.824082e-06,5.275979e-06,5.703208e-06,6.470534e-06,6.619136e-06,7.562058e-06,7.714836e-06,8.523264e-06,8.988801e-06,9.494893e-06,1.027488e-05,1.046980e-05,1.144151e-05,1.155762e-05,1.240421e-05,1.282359e-05,1.335274e-05,1.406137e-05,1.428263e-05,1.519007e-05,1.526159e-05,1.607189e-05,1.641685e-05,1.692553e-05,1.752158e-05,1.774903e-05,1.854087e-05,1.857187e-05,1.930004e-05,1.956521e-05,2.002593e-05,2.050038e-05,2.071827e-05,2.137705e-05,2.200255e-05,2.219575e-05,2.259523e-05,2.295761e-05,2.315572e-05,2.366421e-05,2.368478e-05,2.418327e-05,2.431749e-05,2.465212e-05,2.491963e-05,2.509234e-05,2.547294e-05,2.550495e-05,2.589100e-05,2.597981e-05,2.625152e-05,2.644266e-05,2.658758e-05,2.686389e-05,2.690021e-05,2.719043e-05,2.724587e-05,2.745925e-05,2.759090e-05,2.770764e-05,2.790120e-05,2.793655e-05,2.814691e-05,2.817890e-05,2.833959e-05,2.842606e-05,2.851547e-05,2.864463e-05,2.867537e-05,2.882008e-05,2.883646e-05,2.895038e-05,2.900333e-05,2.906699e-05,2.914690e-05,2.917062e-05,2.926195e-05,2.926874e-05,2.934161e-05,2.937035e-05,2.941023e-05,2.945313e-05,2.946839e-05,2.951666e-05,2.951839e-05,2.955557e-05,2.956738e-05,2.958563e-05,2.960127e-05,2.960734e-05,2.962116e-05,2.962753e-05,2.962806e-05,2.962688e-05,2.962296e-05,2.961961e-05,2.960676e-05,2.960610e-05,2.958673e-05,2.958030e-05,2.956183e-05,2.954438e-05,2.953175e-05,2.949976e-05,2.949679e-05,2.945725e-05,2.944711e-05,2.941343e-05,2.938711e-05,2.936558e-05,2.932036e-05,2.931398e-05,2.925886e-05,2.924743e-05,2.920045e-05,2.916886e-05,2.913899e-05,2.908515e-05,2.907467e-05,2.900771e-05,2.899676e-05,2.893828e-05,2.890413e-05,2.886657e-05,2.880767e-05,2.879275e-05,2.871698e-05,2.870776e-05,2.863942e-05,2.860476e-05,2.856020e-05,2.849899e-05,2.847948e-05,2.839739e-05,2.839076e-05,2.831404e-05,2.828037e-05,2.822955e-05,2.816808e-05,2.814404e-05,2.805762e-05,2.805415e-05,2.797038e-05,2.793879e-05,2.788242e-05,2.782225e-05,2.779383e-05,2.770470e-05,2.758635e-05,2.746736e-05,2.734790e-05,2.722812e-05,2.710816e-05,2.698814e-05,2.686819e-05,2.674842e-05,2.662893e-05,2.650981e-05,2.639116e-05,2.627304e-05,2.615555e-05,2.603873e-05,2.592266e-05,2.580740e-05,2.569299e-05,2.557948e-05,2.546692e-05,2.535534e-05,2.524479e-05,2.513528e-05,2.502686e-05,2.491954e-05
0.000000e+00,3.934660e-09,9.025001e-09,3.102240e-08,7.040973e-08,1.025454e-07,2.314353e-07,2.383447e-07,4.578864e-07,5.370627e-07,7.810847e-07,1.033098e-06,1.227765e-06,1.761374e-06,1.813547e-06,2.542415e-06,2.737737e-06,3.404287e-06,3.938601e-06,4.381739e-06,5.323214e-06,5.456822e-06,6.613091e-06,6.852728e-06,7.835237e-06,8.491877e-06,9.108505e-06,1.020698e-05,1.041845e-05,1.175100e-05,1.196539e-05,1.309268e-05,1.373620e-05,1.443091e-05,1.549126e-05,1.575422e-05,1.705244e-05,1.720611e-05,1.831684e-05,1.886053e-05,1.954013e-05,2.043868e-05,2.071646e-05,2.184133e-05,2.192899e-05,2.291148e-05,2.332370e-05,2.392473e-05,2.461833e-05,2.487987e-05,2.577651e-05,2.581116e-05,2.661496e-05,2.690271e-05,2.739607e-05,2.789513e-05,2.812115e-05,2.879181e-05,2.940995e-05,2.959700e-05,2.997764e-05,3.031550e-05,3.049707e-05,3.095242e-05,3.097050e-05,3.140023e-05,3.151303e-05,3.178854e-05,3.200260e-05,3.213771e-05,3.242628e-05,3.244995e-05,3.272742e-05,3.278908e-05,3.297222e-05,3.309580e-05,3.318637e-05,3.335099e-05,3.337179e-05,3.353032e-05,3.355896e-05,3.366374e-05,3.372375e-05,3.377371e-05,3.384914e-05,3.386183e-05,3.392960e-05,3.393865e-05,3.397845e-05,3.399557e-05,3.400972e-05,3.402294e-05,3.402469e-05,3.402456e-05,3.402358e-05,3.401044e-05,3.400008e-05,3.398341e-05,3.395485e-05,3.394447e-05,3.389455e-05,3.389011e-05,3.383454e-05,3.380789e-05,3.376526e-05,3.371008e-05,3.368749e-05,3.360196e-05,3.359838e-05,3.350934e-05,3.347440e-05,3.341029e-05,3.333957e-05,3.330540e-05,3.319522e-05,3.308029e-05,3.304258e-05,3.296108e-05,3.288276e-05,3.283806e-05,3.271676e-05,3.271165e-05,3.258225e-05,3.254553e-05,3.245023e-05,3.236991e-05,3.231594e-05,3.219066e-05,3.217970e-05,3.204181e-05,3.200850e-05,3.190254e-05,3.182405e-05,3.176216e-05,3.163790e-05,3.162091e-05,3.147901e-05,3.145057e-05,3.133666e-05,3.126253e-05,3.119407e-05,3.107422e-05,3.105140e-05,3.090882e-05,3.088603e-05,3.076648e-05,3.069829e-05,3.062452e-05,3.051132e-05,3.048308e-05,3.034226e-05,3.032540e-05,3.020217e-05,3.014079e-05,3.006292e-05,2.995771e-05,2.992460e-05,2.978729e-05,2.977635e-05,2.965106e-05,2.959689e-05,2.951598e-05,2.941948e-05,2.938212e-05,2.924954e-05,2.924426e-05,2.911827e-05,2.907135e-05,2.898837e-05,2.890084e-05,2.885988e-05,2.873283e-05,2.856739e-05,2.840457e-05,2.824444e-05,2.808702e-05,2.793236e-05,2.778046e-05,2.763136e-05,2.748505e-05,2.734154e-05,2.720083e-05,2.706290e-05,2.692775e-05,2.679535e-05,2.666569e-05,2.653875e-05,2.641449e-05,2.629289e-05,2.617392e-05,2.605754e-05,2.594372e-05,2.583243e-05,2.572362e-05,2.561726e-05,2.551330e-05
0.000000e+00,6.194125e-09,1.421135e-08,4.894445e-08,1.113398e-07,1.623642e-07,3.675775e-07,3.785952e-07,7.291318e-07,8.556965e-07,1.246143e-06,1.650206e-06,1.963300e-06,2.829492e-06,2.915045e-06,4.132403e-06,4.466586e-06,5.634215e-06,6.599640e-06,7.418410e-06,9.204491e-06,9.462434e-06,1.173313e-05,1.221141e-05,1.419623e-05,1.554255e-05,1.682043e-05,1.912871e-05,1.957775e-05,2.244268e-05,2.290944e-05,2.539141e-05,2.682991e-05,2.840143e-05,3.083918e-05,3.145138e-05,3.452114e-05,3.488994e-05,3.759192e-05,3.893888e-05,4.064646e-05,4.294736e-05,4.366912e-05,4.664602e-05,4.688182e-05,4.956503e-05,5.071404e-05,5.241576e-05,5.442107e-05,5.518953e-05,5.787922e-05,5.798498e-05,6.047922e-05,6.139240e-05,6.298524e-05,6.463404e-05,6.539420e-05,6.770408e-05,6.991377e-05,7.059965e-05,7.202300e-05,7.332033e-05,7.403213e-05,7.586760e-05,7.594211e-05,7.775435e-05,7.824450e-05,7.947065e-05,8.045525e-05,8.109312e-05,8.250493e-05,8.262410e-05,8.406611e-05,8.439925e-05,8.542183e-05,8.614437e-05,8.669402e-05,8.774670e-05,8.788551e-05,8.899914e-05,8.921278e-05,9.003780e-05,9.054922e-05,9.100434e-05,9.176257e-05,9.190159e-05,9.273235e-05,9.285928e-05,9.349936e-05,9.384568e-05,9.420533e-05,9.472792e-05,9.485288e-05,9.544457e-05,9.551194e-05,9.598289e-05,9.620347e-05,9.647026e-05,9.680804e-05,9.690903e-05,9.730147e-05,9.733092e-05,9.764976e-05,9.777719e-05,9.795602e-05,9.815167e-05,9.822231e-05,9.845059e-05,9.845896e-05,9.864275e-05,9.870344e-05,9.880063e-05,9.888929e-05,9.892596e-05,9.902045e-05,9.908572e-05,9.910068e-05,9.912331e-05,9.913353e-05,9.913471e-05,9.912236e-05,9.912137e-05,9.908465e-05,9.907036e-05,9.902586e-05,9.898053e-05,9.894627e-05,9.885571e-05,9.884708e-05,9.872944e-05,9.869858e-05,9.859445e-05,9.851167e-05,9.844317e-05,9.829737e-05,9.827661e-05,9.809573e-05,9.805792e-05,9.790145e-05,9.779542e-05,9.769464e-05,9.751187e-05,9.747616e-05,9.724679e-05,9.720913e-05,9.700730e-05,9.688896e-05,9.675841e-05,9.655301e-05,9.650083e-05,9.623521e-05,9.620283e-05,9.596218e-05,9.583985e-05,9.568234e-05,9.546545e-05,9.539625e-05,9.510447e-05,9.508090e-05,9.480750e-05,9.468738e-05,9.450585e-05,9.428601e-05,9.419996e-05,9.389029e-05,9.387784e-05,9.357726e-05,9.346383e-05,9.326127e-05,9.304489e-05,9.294269e-05,9.262188e-05,9.219557e-05,9.176670e-05,9.133596e-05,9.090397e-05,9.047133e-05,9.003859e-05,8.960624e-05,8.917475e-05,8.874455e-05,8.831605e-05,8.788960e-05,8.746554e-05,8.704419e-05,8.662581e-05,8.621067e-05,8.579901e-05,8.539103e-05,8.498693e-05,8.458688e-05,8.419104e-05,8.379954e-05,8.341251e-05,8.303006e-05,8.265229e-05
0.000000e+00,2.713440e-09,6.893666e-09,2.677940e-08,6.495968e-08,9.732051e-08,2.333970e-07,2.409107e-07,4.883660e-07,5.811598e-07,8.768030e-07,1.195146e-06,1.448725e-06,2.172118e-06,2.244767e-06,3.286831e-06,3.572715e-06,4.559822e-06,5.356283e-06,6.015798e-06,7.404750e-06,7.600065e-06,9.269153e-06,9.610274e-06,1.099242e-05,1.190238e-05,1.274785e-05,1.423486e-05,1.451862e-05,1.629109e-05,1.657406e-05,1.805394e-05,1.889384e-05,1.979770e-05,2.117367e-05,2.151456e-05,2.319816e-05,2.339771e-05,2.484344e-05,2.555418e-05,2.644649e-05,2.763471e-05,2.800435e-05,2.951493e-05,2.963369e-05,3.097679e-05,3.154769e-05,3.238907e-05,3.337498e-05,3.375138e-05,3.506366e-05,3.511511e-05,3.632618e-05,3.676859e-05,3.753942e-05,3.833660e-05,3.870403e-05,3.982083e-05,4.089072e-05,4.122334e-05,4.191470e-05,4.254645e-05,4.289385e-05,4.379267e-05,4.382926e-05,4.472208e-05,4.496459e-05,4.557346e-05,4.606488e-05,4.638456e-05,4.709621e-05,4.715656e-05,4.789063e-05,4.806130e-05,4.858794e-05,4.896280e-05,4.924962e-05,4.980330e-05,4.987677e-05,5.047057e-05,5.058543e-05,5.103217e-05,5.131184e-05,5.156266e-05,5.198499e-05,5.206308e-05,5.253449e-05,5.260730e-05,5.297795e-05,5.318116e-05,5.339443e-05,5.370885e-05,5.378491e-05,5.415037e-05,5.419258e-05,5.449172e-05,5.463451e-05,5.480987e-05,5.503670e-05,5.510572e-05,5.538012e-05,5.540117e-05,5.563390e-05,5.572982e-05,5.586787e-05,5.602452e-05,5.608283e-05,5.627954e-05,5.628704e-05,5.645873e-05,5.651909e-05,5.662113e-05,5.672232e-05,5.676742e-05,5.689829e-05,5.701438e-05,5.704852e-05,5.711633e-05,5.717444e-05,5.720474e-05,5.727743e-05,5.728021e-05,5.734330e-05,5.735882e-05,5.739457e-05,5.741987e-05,5.743454e-05,5.746178e-05,5.746373e-05,5.748265e-05,5.748571e-05,5.749175e-05,5.749274e-05,5.749152e-05,5.748394e-05,5.748238e-05,5.746478e-05,5.746028e-05,5.743913e-05,5.742274e-05,5.740582e-05,5.737220e-05,5.736523e-05,5.731775e-05,5.730954e-05,5.726372e-05,5.723557e-05,5.720350e-05,5.715107e-05,5.713740e-05,5.706574e-05,5.705679e-05,5.698884e-05,5.695342e-05,5.690699e-05,5.684164e-05,5.682046e-05,5.672954e-05,5.672208e-05,5.663447e-05,5.659535e-05,5.653552e-05,5.646201e-05,5.643293e-05,5.632692e-05,5.632261e-05,5.621771e-05,5.617766e-05,5.610552e-05,5.602764e-05,5.599056e-05,5.587302e-05,5.571424e-05,5.555170e-05,5.538579e-05,5.521688e-05,5.504532e-05,5.487144e-05,5.469554e-05,5.451792e-05,5.433884e-05,5.415858e-05,5.397737e-05,5.379543e-05,5.361299e-05,5.343025e-05,5.324738e-05,5.306458e-05,5.288200e-05,5.269980e-05,5.251813e-05,5.233711e-05,5.215688e-05,5.197754e-05,5.179922e-05,5.162200e-05
0.000000e+00,4.328387e-09,9.905159e-09,3.397275e-08,7.702703e-08,1.121288e-07,2.526860e-07,2.602104e-07,4.987435e-07,5.845244e-07,8.482436e-07,1.119945e-06,1.329767e-06,1.907626e-06,1.964522e-06,2.771443e-06,2.992233e-06,3.761809e-06,4.396232e-06,4.933004e-06,6.099440e-06,6.267327e-06,7.738107e-06,8.046133e-06,9.317270e-06,1.017268e-05,1.097936e-05,1.242337e-05,1.270231e-05,1.446686e-05,1.475188e-05,1.625593e-05,1.711882e-05,1.805415e-05,1.948997e-05,1.984768e-05,2.162407e-05,2.183555e-05,2.337232e-05,2.413011e-05,2.508284e-05,2.635254e-05,2.674748e-05,2.835940e-05,2.848590e-05,2.991311e-05,3.051731e-05,3.140436e-05,3.243758e-05,3.283000e-05,3.418791e-05,3.424080e-05,3.547684e-05,3.592386e-05,3.669632e-05,3.748595e-05,3.784652e-05,3.892817e-05,3.994244e-05,4.025301e-05,4.089086e-05,4.146412e-05,4.177525e-05,4.256592e-05,4.259765e-05,4.336025e-05,4.356337e-05,4.406534e-05,4.446178e-05,4.471529e-05,4.526662e-05,4.531251e-05,4.585940e-05,4.598343e-05,4.635835e-05,4.661771e-05,4.681173e-05,4.717483e-05,4.722184e-05,4.759094e-05,4.766003e-05,4.792123e-05,4.807834e-05,4.821481e-05,4.843457e-05,4.847375e-05,4.870000e-05,4.873330e-05,4.889546e-05,4.897887e-05,4.906193e-05,4.917540e-05,4.920114e-05,4.931475e-05,4.932674e-05,4.940434e-05,4.943654e-05,4.947141e-05,4.950820e-05,4.951738e-05,4.954363e-05,4.954491e-05,4.955143e-05,4.954967e-05,4.954203e-05,4.952525e-05,4.951657e-05,4.947618e-05,4.947426e-05,4.942188e-05,4.939912e-05,4.935468e-05,4.930209e-05,4.927551e-05,4.918525e-05,4.908475e-05,4.905055e-05,4.897479e-05,4.889980e-05,4.885613e-05,4.873468e-05,4.872947e-05,4.859547e-05,4.855672e-05,4.845477e-05,4.836738e-05,4.830795e-05,4.816797e-05,4.815559e-05,4.799819e-05,4.795972e-05,4.783625e-05,4.774377e-05,4.767025e-05,4.752115e-05,4.750062e-05,4.732776e-05,4.729284e-05,4.715207e-05,4.705971e-05,4.697391e-05,4.682259e-05,4.679362e-05,4.661151e-05,4.658223e-05,4.642789e-05,4.633930e-05,4.624304e-05,4.609444e-05,4.605721e-05,4.587065e-05,4.584823e-05,4.568360e-05,4.560119e-05,4.549626e-05,4.535381e-05,4.530883e-05,4.512150e-05,4.510652e-05,4.493443e-05,4.485972e-05,4.474780e-05,4.461378e-05,4.456175e-05,4.437642e-05,4.436902e-05,4.419193e-05,4.412575e-05,4.400841e-05,4.388422e-05,4.382596e-05,4.364468e-05,4.340735e-05,4.317241e-05,4.294005e-05,4.271040e-05,4.248361e-05,4.225979e-05,4.203904e-05,4.182145e-05,4.160710e-05,4.139604e-05,4.118833e-05,4.098400e-05,4.078309e-05,4.058563e-05,4.039162e-05,4.020108e-05,4.001401e-05,3.983040e-05,3.965024e-05,3.947352e-05,3.930022e-05,3.913031e-05,3.896378e-05,3.880059e-05
0.000000e+00,2.970147e-09,8.438044e-09,3.890984e-08,1.052958e-07,1.654264e-07,4.369180e-07,4.524963e-07,9.868587e-07,1.195398e-06,1.880252e-06,2.641965e-06,3.259344e-06,5.032470e-06,5.209493e-06,7.684451e-06,8.336957e-06,1.049045e-05,1.211501e-05,1.338610e-05,1.585503e-05,1.618066e-05,1.876235e-05,1.924808e-05,2.108316e-05,2.218304e-05,2.313447e-05,2.465752e-05,2.492793e-05,2.648390e-05,2.671235e-05,2.782541e-05,2.839989e-05,2.897525e-05,2.977167e-05,2.995498e-05,3.078451e-05,3.087484e-05,3.148204e-05,3.175147e-05,3.206415e-05,3.243861e-05,3.254577e-05,3.294014e-05,3.296829e-05,3.325908e-05,3.336791e-05,3.351299e-05,3.366068e-05,3.371094e-05,3.386084e-05,3.386593e-05,3.396943e-05,3.399955e-05,3.404248e-05,3.407440e-05,3.408493e-05,3.410096e-05,3.409413e-05,3.408763e-05,3.406747e-05,3.404120e-05,3.402355e-05,3.396718e-05,3.396456e-05,3.389237e-05,3.387003e-05,3.380861e-05,3.375338e-05,3.371466e-05,3.362027e-05,3.361173e-05,3.350086e-05,3.347318e-05,3.338300e-05,3.331424e-05,3.325894e-05,3.314522e-05,3.312941e-05,3.299505e-05,3.296765e-05,3.285645e-05,3.278287e-05,3.271411e-05,3.259201e-05,3.256851e-05,3.242008e-05,3.239609e-05,3.226918e-05,3.219598e-05,3.211618e-05,3.199248e-05,3.196139e-05,3.180511e-05,3.178627e-05,3.164760e-05,3.157798e-05,3.148912e-05,3.136815e-05,3.132987e-05,3.117008e-05,3.115728e-05,3.100994e-05,3.094582e-05,3.084961e-05,3.073415e-05,3.068926e-05,3.052904e-05,3.052263e-05,3.036908e-05,3.031159e-05,3.020952e-05,3.010130e-05,3.005046e-05,2.989202e-05,2.973429e-05,2.968398e-05,2.957736e-05,2.947738e-05,2.942131e-05,2.927241e-05,2.926623e-05,2.911218e-05,2.906923e-05,2.895922e-05,2.886799e-05,2.880741e-05,2.866881e-05,2.865680e-05,2.850745e-05,2.847180e-05,2.835940e-05,2.827707e-05,2.821268e-05,2.808469e-05,2.806732e-05,2.792338e-05,2.789476e-05,2.778086e-05,2.770732e-05,2.763979e-05,2.752244e-05,2.750021e-05,2.736212e-05,2.734016e-05,2.722554e-05,2.716052e-05,2.709049e-05,2.698356e-05,2.695698e-05,2.682502e-05,2.680929e-05,2.669462e-05,2.663773e-05,2.656578e-05,2.646891e-05,2.643851e-05,2.631280e-05,2.630282e-05,2.618868e-05,2.613946e-05,2.606612e-05,2.597885e-05,2.594513e-05,2.582571e-05,2.582097e-05,2.570786e-05,2.566581e-05,2.559156e-05,2.551337e-05,2.547682e-05,2.536363e-05,2.521656e-05,2.507216e-05,2.493041e-05,2.479126e-05,2.465472e-05,2.452073e-05,2.438929e-05,2.426036e-05,2.413390e-05,2.400989e-05,2.388830e-05,2.376910e-05,2.365224e-05,2.353770e-05,2.342544e-05,2.331543e-05,2.320764e-05,2.310202e-05,2.299855e-05,2.289718e-05,2.279789e-05,2.270064e-05,2.260539e-05,2.251211e-05
0.000000e+00,1.861651e-09,5.408897e-09,2.605112e-08,7.295743e-08,1.164528e-07,3.164459e-07,3.279666e-07,7.197506e-07,8.700212e-07,1.352722e-06,1.874055e-06,2.288954e-06,3.472182e-06,3.591325e-06,5.321937e-06,5.807543e-06,7.537775e-06,9.007694e-06,1.028237e-05,1.315079e-05,1.357463e-05,1.740021e-05,1.822568e-05,2.171221e-05,2.412417e-05,2.644128e-05,3.067848e-05,3.150875e-05,3.683676e-05,3.770851e-05,4.235355e-05,4.504966e-05,4.799544e-05,5.256127e-05,5.370662e-05,5.943863e-05,6.012581e-05,6.514948e-05,6.764604e-05,7.080303e-05,7.504224e-05,7.636843e-05,8.181963e-05,8.225011e-05,8.713502e-05,8.921910e-05,9.229705e-05,9.591080e-05,9.729179e-05,1.021086e-04,1.022975e-04,1.067398e-04,1.083605e-04,1.111801e-04,1.140889e-04,1.154266e-04,1.194780e-04,1.233347e-04,1.245280e-04,1.269985e-04,1.292432e-04,1.304719e-04,1.336307e-04,1.337587e-04,1.368629e-04,1.377000e-04,1.397893e-04,1.414620e-04,1.425431e-04,1.449287e-04,1.451296e-04,1.475544e-04,1.481129e-04,1.498231e-04,1.510276e-04,1.519416e-04,1.536860e-04,1.539154e-04,1.557505e-04,1.561013e-04,1.574523e-04,1.582864e-04,1.590264e-04,1.602539e-04,1.604782e-04,1.618132e-04,1.620163e-04,1.630364e-04,1.635853e-04,1.641529e-04,1.649725e-04,1.651675e-04,1.660851e-04,1.661889e-04,1.669102e-04,1.672451e-04,1.676472e-04,1.681511e-04,1.683004e-04,1.688740e-04,1.689165e-04,1.693718e-04,1.695506e-04,1.697978e-04,1.700620e-04,1.701555e-04,1.704485e-04,1.704590e-04,1.706803e-04,1.707494e-04,1.708540e-04,1.709406e-04,1.709728e-04,1.710397e-04,1.710575e-04,1.710533e-04,1.710290e-04,1.709876e-04,1.709568e-04,1.708487e-04,1.708434e-04,1.706913e-04,1.706421e-04,1.705027e-04,1.703730e-04,1.702799e-04,1.700465e-04,1.700249e-04,1.697398e-04,1.696671e-04,1.694265e-04,1.692393e-04,1.690867e-04,1.687673e-04,1.687223e-04,1.683349e-04,1.682548e-04,1.679262e-04,1.677057e-04,1.674975e-04,1.671231e-04,1.670504e-04,1.665862e-04,1.665105e-04,1.661063e-04,1.658707e-04,1.656119e-04,1.652066e-04,1.651041e-04,1.645841e-04,1.645209e-04,1.640529e-04,1.638160e-04,1.635117e-04,1.630941e-04,1.629612e-04,1.624026e-04,1.623575e-04,1.618365e-04,1.616082e-04,1.612639e-04,1.608480e-04,1.606855e-04,1.601021e-04,1.600787e-04,1.595144e-04,1.593019e-04,1.589230e-04,1.585191e-04,1.583286e-04,1.577317e-04,1.569410e-04,1.561482e-04,1.553545e-04,1.545608e-04,1.537682e-04,1.529775e-04,1.521896e-04,1.514051e-04,1.506247e-04,1.498492e-04,1.490790e-04,1.483147e-04,1.475567e-04,1.468056e-04,1.460616e-04,1.453252e-04,1.445966e-04,1.438762e-04,1.431642e-04,1.424607e-04,1.417661e-04,1.410804e-04,1.404038e-04,1.397365e-04
0.000000e+00,7.171428e-09,1.663991e-08,5.805675e-08,1.330428e-07,1.946674e-07,4.442810e-07,4.577472e-07,8.888264e-07,1.045536e-06,1.531738e-06,2.038365e-06,2.432789e-06,3.530079e-06,3.638846e-06,5.192715e-06,5.621231e-06,7.125489e-06,8.378059e-06,9.446661e-06,1.179497e-05,1.213560e-05,1.514093e-05,1.577384e-05,1.839134e-05,2.015337e-05,2.181221e-05,2.476903e-05,2.533785e-05,2.891566e-05,2.949009e-05,3.250513e-05,3.422280e-05,3.607517e-05,3.890077e-05,3.960159e-05,4.306537e-05,4.347606e-05,4.645149e-05,4.791364e-05,4.974815e-05,5.218806e-05,5.294619e-05,5.603870e-05,5.628139e-05,5.902070e-05,6.018174e-05,6.188877e-05,6.388205e-05,6.464087e-05,6.727609e-05,6.737906e-05,6.979442e-05,7.067254e-05,7.219664e-05,7.376450e-05,7.448411e-05,7.665869e-05,7.872262e-05,7.936011e-05,8.067843e-05,8.187468e-05,8.252889e-05,8.420890e-05,8.427689e-05,8.592548e-05,8.636970e-05,8.747776e-05,8.836421e-05,8.893688e-05,9.019971e-05,9.030600e-05,9.158827e-05,9.188345e-05,9.278684e-05,9.342264e-05,9.390482e-05,9.482439e-05,9.494525e-05,9.591115e-05,9.609565e-05,9.680548e-05,9.724320e-05,9.763111e-05,9.827361e-05,9.839086e-05,9.908747e-05,9.919325e-05,9.972362e-05,1.000083e-04,1.003019e-04,1.007246e-04,1.008249e-04,1.012949e-04,1.013479e-04,1.017144e-04,1.018836e-04,1.020858e-04,1.023371e-04,1.024111e-04,1.026925e-04,1.027132e-04,1.029322e-04,1.030168e-04,1.031321e-04,1.032525e-04,1.032941e-04,1.034202e-04,1.034245e-04,1.035121e-04,1.035372e-04,1.035716e-04,1.035944e-04,1.036003e-04,1.035998e-04,1.035717e-04,1.035572e-04,1.035175e-04,1.034697e-04,1.034386e-04,1.033408e-04,1.033363e-04,1.032120e-04,1.031734e-04,1.030669e-04,1.029704e-04,1.029023e-04,1.027346e-04,1.027193e-04,1.025190e-04,1.024685e-04,1.023025e-04,1.021746e-04,1.020709e-04,1.018552e-04,1.018250e-04,1.015659e-04,1.015126e-04,1.012945e-04,1.011487e-04,1.010115e-04,1.007655e-04,1.007179e-04,1.004143e-04,1.003649e-04,1.001016e-04,9.994852e-05,9.978053e-05,9.951804e-05,9.945168e-05,9.911572e-05,9.907496e-05,9.877330e-05,9.862074e-05,9.842499e-05,9.815670e-05,9.807137e-05,9.771297e-05,9.768411e-05,9.735031e-05,9.720416e-05,9.698386e-05,9.671794e-05,9.661410e-05,9.624146e-05,9.622650e-05,9.586636e-05,9.573080e-05,9.548921e-05,9.523175e-05,9.511036e-05,9.473019e-05,9.422690e-05,9.372262e-05,9.321802e-05,9.271373e-05,9.221034e-05,9.170839e-05,9.120838e-05,9.071076e-05,9.021598e-05,8.972440e-05,8.923640e-05,8.875230e-05,8.827240e-05,8.779697e-05,8.732625e-05,8.686047e-05,8.639982e-05,8.594449e-05,8.549464e-05,8.505040e-05,8.461189e-05,8.417923e-05,8.375251e-05,8.333179e-05
0.000000e+00,1.286835e-09,2.963352e-09,1.023137e-08,2.326012e-08,3.388195e-08,7.631385e-08,7.857946e-08,1.500419e-07,1.755638e-07,2.534331e-07,3.327440e-07,3.933846e-07,5.578872e-07,5.739011e-07,7.980223e-07,8.585014e-07,1.067154e-06,1.237291e-06,1.380388e-06,1.690028e-06,1.734542e-06,2.125009e-06,2.207011e-06,2.546657e-06,2.776509e-06,2.994291e-06,3.386643e-06,3.462800e-06,3.947205e-06,4.025861e-06,4.442700e-06,4.683125e-06,4.944717e-06,5.348147e-06,5.448989e-06,5.951615e-06,6.011649e-06,6.449101e-06,6.665563e-06,6.938391e-06,7.303144e-06,7.416870e-06,7.882361e-06,7.918984e-06,8.333102e-06,8.508948e-06,8.767715e-06,9.070059e-06,9.185170e-06,9.584746e-06,9.600350e-06,9.965993e-06,1.009871e-05,1.032869e-05,1.056472e-05,1.067282e-05,1.099851e-05,1.130602e-05,1.140064e-05,1.159572e-05,1.177199e-05,1.186806e-05,1.211365e-05,1.212356e-05,1.236277e-05,1.242691e-05,1.258628e-05,1.271310e-05,1.279470e-05,1.297367e-05,1.298866e-05,1.316879e-05,1.321003e-05,1.333570e-05,1.342363e-05,1.349002e-05,1.361587e-05,1.363234e-05,1.376326e-05,1.378813e-05,1.388337e-05,1.394173e-05,1.399320e-05,1.407793e-05,1.409332e-05,1.418422e-05,1.419794e-05,1.426641e-05,1.430291e-05,1.434037e-05,1.439391e-05,1.440655e-05,1.446539e-05,1.447198e-05,1.451732e-05,1.453808e-05,1.456273e-05,1.459312e-05,1.460201e-05,1.463551e-05,1.463795e-05,1.466358e-05,1.467336e-05,1.468655e-05,1.470011e-05,1.470474e-05,1.471844e-05,1.471890e-05,1.472793e-05,1.473037e-05,1.473349e-05,1.473515e-05,1.473536e-05,1.473379e-05,1.472901e-05,1.472684e-05,1.472123e-05,1.471477e-05,1.471066e-05,1.469806e-05,1.469749e-05,1.468191e-05,1.467714e-05,1.466409e-05,1.465239e-05,1.464419e-05,1.462419e-05,1.462238e-05,1.459879e-05,1.459288e-05,1.457357e-05,1.455879e-05,1.454685e-05,1.452220e-05,1.451876e-05,1.448940e-05,1.448339e-05,1.445890e-05,1.444261e-05,1.442735e-05,1.440011e-05,1.439485e-05,1.436150e-05,1.435609e-05,1.432738e-05,1.431075e-05,1.429257e-05,1.426428e-05,1.425716e-05,1.422121e-05,1.421686e-05,1.418479e-05,1.416864e-05,1.414797e-05,1.411976e-05,1.411081e-05,1.407336e-05,1.407036e-05,1.403568e-05,1.402056e-05,1.399782e-05,1.397047e-05,1.395982e-05,1.392173e-05,1.392020e-05,1.388358e-05,1.386984e-05,1.384542e-05,1.381949e-05,1.380729e-05,1.376921e-05,1.371908e-05,1.366917e-05,1.361953e-05,1.357023e-05,1.352130e-05,1.347280e-05,1.342476e-05,1.337722e-05,1.333020e-05,1.328375e-05,1.323788e-05,1.319262e-05,1.314798e-05,1.310398e-05,1.306064e-05,1.301796e-05,1.297596e-05,1.293465e-05,1.289402e-05,1.285409e-05,1.281486e-05,1.277633e-05,1.273850e-05,1.270137e-05
0.000000e+00,6.806873e-09,2.030751e-08,1.031630e-07,3.027288e-07,4.953868e-07,1.432044e-06,1.487808e-06,3.459382e-06,4.245344e-06,6.848938e-06,9.765004e-06,1.214563e-05,1.915469e-05,1.987519e-05,3.056382e-05,3.362288e-05,4.467087e-05,5.419245e-05,6.252404e-05,8.147688e-05,8.429954e-05,1.100401e-04,1.156601e-04,1.396822e-04,1.565916e-04,1.730775e-04,2.038731e-04,2.100091e-04,2.502029e-04,2.569158e-04,2.933388e-04,3.149855e-04,3.390602e-04,3.772421e-04,3.869841e-04,4.367112e-04,4.427804e-04,4.878356e-04,5.106686e-04,5.399533e-04,5.799843e-04,5.926707e-04,6.456112e-04,6.498453e-04,6.984210e-04,7.194341e-04,7.507732e-04,7.880154e-04,8.023708e-04,8.529487e-04,8.549472e-04,9.022744e-04,9.196857e-04,9.501481e-04,9.817857e-04,9.964015e-04,1.040897e-03,1.083524e-03,1.096755e-03,1.124199e-03,1.149180e-03,1.162865e-03,1.198058e-03,1.199483e-03,1.234035e-03,1.243339e-03,1.266520e-03,1.285024e-03,1.296952e-03,1.323158e-03,1.325357e-03,1.351772e-03,1.357821e-03,1.376244e-03,1.389119e-03,1.398826e-03,1.417181e-03,1.419577e-03,1.438560e-03,1.442151e-03,1.455844e-03,1.464182e-03,1.471497e-03,1.483437e-03,1.485590e-03,1.498196e-03,1.500080e-03,1.509386e-03,1.514275e-03,1.519231e-03,1.526186e-03,1.527801e-03,1.535167e-03,1.535973e-03,1.541394e-03,1.543791e-03,1.546549e-03,1.549790e-03,1.550696e-03,1.553896e-03,1.554113e-03,1.556208e-03,1.556897e-03,1.557689e-03,1.558271e-03,1.558393e-03,1.558373e-03,1.558358e-03,1.557678e-03,1.557272e-03,1.556355e-03,1.555121e-03,1.554450e-03,1.552005e-03,1.549061e-03,1.548020e-03,1.545656e-03,1.543252e-03,1.541827e-03,1.537783e-03,1.537607e-03,1.533029e-03,1.531687e-03,1.528123e-03,1.525035e-03,1.522919e-03,1.517890e-03,1.517442e-03,1.511720e-03,1.510312e-03,1.505775e-03,1.502356e-03,1.499629e-03,1.494072e-03,1.493305e-03,1.486821e-03,1.485507e-03,1.480196e-03,1.476701e-03,1.473447e-03,1.467694e-03,1.466591e-03,1.459642e-03,1.458522e-03,1.452614e-03,1.449217e-03,1.445521e-03,1.439808e-03,1.438375e-03,1.431187e-03,1.430322e-03,1.423967e-03,1.420784e-03,1.416727e-03,1.411215e-03,1.409474e-03,1.402217e-03,1.401636e-03,1.394964e-03,1.392066e-03,1.387723e-03,1.382519e-03,1.380499e-03,1.373300e-03,1.373012e-03,1.366130e-03,1.363558e-03,1.358996e-03,1.354167e-03,1.351902e-03,1.344852e-03,1.335621e-03,1.326483e-03,1.317445e-03,1.308514e-03,1.299694e-03,1.290993e-03,1.282412e-03,1.273957e-03,1.265629e-03,1.257432e-03,1.249368e-03,1.241437e-03,1.233642e-03,1.225982e-03,1.218459e-03,1.211073e-03,1.203823e-03,1.196709e-03,1.189730e-03,1.182887e-03,1.176177e-03,1.169599e-03,1.163153e-03,1.156837e-03
0.000000e+00,6.885662e-10,1.961770e-09,9.099966e-09,2.471027e-08,3.883006e-08,1.017554e-07,1.053172e-07,2.242465e-07,2.690945e-07,4.114751e-07,5.633722e-07,6.833615e-07,1.022890e-06,1.056925e-06,1.549404e-06,1.687128e-06,2.176762e-06,2.591678e-06,2.950787e-06,3.756370e-06,3.875070e-06,4.941676e-06,5.170534e-06,6.131189e-06,6.789533e-06,7.416766e-06,8.549836e-06,8.769699e-06,1.016361e-05,1.038889e-05,1.157623e-05,1.225550e-05,1.298956e-05,1.411100e-05,1.438927e-05,1.576396e-05,1.592679e-05,1.710455e-05,1.768168e-05,1.840380e-05,1.936003e-05,1.965602e-05,2.085680e-05,2.095054e-05,2.200287e-05,2.244545e-05,2.309196e-05,2.383999e-05,2.412264e-05,2.509419e-05,2.513182e-05,2.600654e-05,2.632058e-05,2.686018e-05,2.740755e-05,2.765599e-05,2.839523e-05,2.907945e-05,2.928706e-05,2.971040e-05,3.008714e-05,3.029002e-05,3.080003e-05,3.082032e-05,3.130344e-05,3.143054e-05,3.174151e-05,3.198364e-05,3.213671e-05,3.246427e-05,3.249118e-05,3.280705e-05,3.287734e-05,3.308639e-05,3.322763e-05,3.333125e-05,3.351976e-05,3.354359e-05,3.372531e-05,3.375814e-05,3.387825e-05,3.394699e-05,3.400417e-05,3.409030e-05,3.410476e-05,3.418164e-05,3.419184e-05,3.423634e-05,3.425516e-05,3.427034e-05,3.428357e-05,3.428503e-05,3.428174e-05,3.428020e-05,3.426173e-05,3.424794e-05,3.422621e-05,3.418952e-05,3.417629e-05,3.411306e-05,3.410746e-05,3.403753e-05,3.400409e-05,3.395066e-05,3.388161e-05,3.385336e-05,3.374647e-05,3.374201e-05,3.363081e-05,3.358717e-05,3.350713e-05,3.341882e-05,3.337615e-05,3.323854e-05,3.309494e-05,3.304782e-05,3.294593e-05,3.284799e-05,3.279208e-05,3.264032e-05,3.263391e-05,3.247192e-05,3.242593e-05,3.230655e-05,3.220590e-05,3.213825e-05,3.198116e-05,3.196741e-05,3.179442e-05,3.175262e-05,3.161962e-05,3.152107e-05,3.144335e-05,3.128726e-05,3.126591e-05,3.108759e-05,3.105184e-05,3.090864e-05,3.081543e-05,3.072933e-05,3.057859e-05,3.054987e-05,3.037049e-05,3.034181e-05,3.019137e-05,3.010555e-05,3.001271e-05,2.987022e-05,2.983466e-05,2.965739e-05,2.963618e-05,2.948104e-05,2.940376e-05,2.930573e-05,2.917327e-05,2.913159e-05,2.895872e-05,2.894495e-05,2.878724e-05,2.871905e-05,2.861722e-05,2.849577e-05,2.844876e-05,2.828192e-05,2.827529e-05,2.811678e-05,2.805776e-05,2.795339e-05,2.784332e-05,2.779182e-05,2.763209e-05,2.742417e-05,2.721964e-05,2.701856e-05,2.682099e-05,2.662697e-05,2.643653e-05,2.624969e-05,2.606647e-05,2.588685e-05,2.571085e-05,2.553844e-05,2.536961e-05,2.520433e-05,2.504258e-05,2.488432e-05,2.472951e-05,2.457812e-05,2.443010e-05,2.428541e-05,2.414399e-05,2.400580e-05,2.387078e-05,2.373889e-05,2.361007e-05
0.000000e+00,4.477839e-09,1.333662e-08,6.750565e-08,1.974010e-07,3.223745e-07,9.266463e-07,9.624938e-07,2.223589e-06,2.723567e-06,4.371284e-06,6.204174e-06,7.692571e-06,1.204361e-05,1.248882e-05,1.906647e-05,2.094346e-05,2.771938e-05,3.356774e-05,3.869789e-05,5.041828e-05,5.216945e-05,6.819013e-05,7.169694e-05,8.670271e-05,9.726705e-05,1.075568e-04,1.267265e-04,1.305356e-04,1.553802e-04,1.595097e-04,1.818069e-04,1.949672e-04,2.095208e-04,2.324196e-04,2.382258e-04,2.676314e-04,2.711937e-04,2.974587e-04,3.106480e-04,3.274453e-04,3.501915e-04,3.573484e-04,3.869473e-04,3.892960e-04,4.160449e-04,4.275041e-04,4.444686e-04,4.644323e-04,4.720704e-04,4.987260e-04,4.997710e-04,5.243343e-04,5.332809e-04,5.488156e-04,5.647879e-04,5.721102e-04,5.941765e-04,6.149893e-04,6.213825e-04,6.345375e-04,6.463849e-04,6.528226e-04,6.691993e-04,6.698569e-04,6.856616e-04,6.898704e-04,7.002655e-04,7.084657e-04,7.137034e-04,7.250703e-04,7.260148e-04,7.372430e-04,7.397816e-04,7.474339e-04,7.527055e-04,7.566354e-04,7.639528e-04,7.648961e-04,7.722652e-04,7.736364e-04,7.787920e-04,7.818692e-04,7.845250e-04,7.887621e-04,7.895118e-04,7.937989e-04,7.944229e-04,7.974314e-04,7.989554e-04,8.004529e-04,8.024583e-04,8.029052e-04,8.048282e-04,8.050252e-04,8.062602e-04,8.067441e-04,8.072375e-04,8.076973e-04,8.077944e-04,8.079637e-04,8.079614e-04,8.077761e-04,8.076076e-04,8.072605e-04,8.067016e-04,8.064443e-04,8.053530e-04,8.053040e-04,8.040107e-04,8.034704e-04,8.024398e-04,8.012519e-04,8.006614e-04,7.986951e-04,7.965592e-04,7.958427e-04,7.942707e-04,7.927334e-04,7.918455e-04,7.894026e-04,7.892985e-04,7.866433e-04,7.858822e-04,7.838926e-04,7.822014e-04,7.810583e-04,7.783863e-04,7.781513e-04,7.751818e-04,7.744608e-04,7.721590e-04,7.704463e-04,7.690917e-04,7.663621e-04,7.659879e-04,7.628550e-04,7.622255e-04,7.596997e-04,7.580521e-04,7.565282e-04,7.538560e-04,7.533465e-04,7.501596e-04,7.496496e-04,7.469726e-04,7.454440e-04,7.437898e-04,7.412493e-04,7.406152e-04,7.374528e-04,7.370742e-04,7.343057e-04,7.329266e-04,7.311771e-04,7.288135e-04,7.280698e-04,7.249863e-04,7.247408e-04,7.219290e-04,7.207139e-04,7.188999e-04,7.167375e-04,7.159009e-04,7.129336e-04,7.128156e-04,7.099995e-04,7.089517e-04,7.071000e-04,7.051487e-04,7.042362e-04,7.014092e-04,6.977353e-04,6.941287e-04,6.905908e-04,6.871227e-04,6.837251e-04,6.803986e-04,6.771435e-04,6.739600e-04,6.708480e-04,6.678074e-04,6.648377e-04,6.619385e-04,6.591093e-04,6.563492e-04,6.536576e-04,6.510336e-04,6.484763e-04,6.459846e-04,6.435576e-04,6.411943e-04,6.388934e-04,6.366539e-04,6.344746e-04,6.323543e-04
0.000000e+00,9.688227e-09,2.225474e-08,7.684474e-08,1.753344e-07,2.562129e-07,5.841579e-07,6.018768e-07,1.170940e-06,1.378740e-06,2.026562e-06,2.706153e-06,3.237880e-06,4.724077e-06,4.871562e-06,6.968414e-06,7.540402e-06,9.515181e-06,1.111494e-05,1.244739e-05,1.528271e-05,1.568486e-05,1.915769e-05,1.987541e-05,2.281042e-05,2.476565e-05,2.659785e-05,2.985480e-05,3.048108e-05,3.442541e-05,3.506003e-05,3.839946e-05,4.030915e-05,4.237501e-05,4.553958e-05,4.632699e-05,5.023359e-05,5.069842e-05,5.407616e-05,5.574248e-05,5.783911e-05,6.063779e-05,6.150975e-05,6.507797e-05,6.535876e-05,6.853601e-05,6.988702e-05,7.187812e-05,7.421035e-05,7.510030e-05,7.820004e-05,7.832146e-05,8.117605e-05,8.221705e-05,8.402807e-05,8.589688e-05,8.675667e-05,8.936309e-05,9.184912e-05,9.261957e-05,9.421696e-05,9.567151e-05,9.646915e-05,9.852504e-05,9.860848e-05,1.006379e-04,1.011869e-04,1.025606e-04,1.036643e-04,1.043797e-04,1.059646e-04,1.060985e-04,1.077203e-04,1.080955e-04,1.092484e-04,1.100644e-04,1.106861e-04,1.118790e-04,1.120366e-04,1.133032e-04,1.135467e-04,1.144891e-04,1.150749e-04,1.155973e-04,1.164705e-04,1.166310e-04,1.175931e-04,1.177406e-04,1.184866e-04,1.188919e-04,1.193143e-04,1.199309e-04,1.200790e-04,1.207833e-04,1.208639e-04,1.214300e-04,1.216969e-04,1.220215e-04,1.224356e-04,1.225603e-04,1.230488e-04,1.230857e-04,1.234893e-04,1.236525e-04,1.238840e-04,1.241411e-04,1.242351e-04,1.245447e-04,1.245563e-04,1.248148e-04,1.249027e-04,1.250473e-04,1.251849e-04,1.252441e-04,1.254070e-04,1.255378e-04,1.255731e-04,1.256381e-04,1.256870e-04,1.257094e-04,1.257522e-04,1.257535e-04,1.257716e-04,1.257723e-04,1.257654e-04,1.257505e-04,1.257361e-04,1.256899e-04,1.256851e-04,1.256135e-04,1.255934e-04,1.255227e-04,1.254639e-04,1.254138e-04,1.253039e-04,1.252879e-04,1.251461e-04,1.251159e-04,1.249893e-04,1.249022e-04,1.248186e-04,1.246652e-04,1.246349e-04,1.244391e-04,1.244067e-04,1.242320e-04,1.241289e-04,1.240145e-04,1.238335e-04,1.237873e-04,1.235512e-04,1.235223e-04,1.233068e-04,1.231969e-04,1.230549e-04,1.228588e-04,1.227961e-04,1.225310e-04,1.225095e-04,1.222602e-04,1.221504e-04,1.219842e-04,1.217827e-04,1.217037e-04,1.214189e-04,1.214075e-04,1.211306e-04,1.210260e-04,1.208390e-04,1.206392e-04,1.205447e-04,1.202481e-04,1.198535e-04,1.194564e-04,1.190574e-04,1.186573e-04,1.182568e-04,1.178565e-04,1.174570e-04,1.170587e-04,1.166622e-04,1.162679e-04,1.158762e-04,1.154876e-04,1.151022e-04,1.147206e-04,1.143428e-04,1.139693e-04,1.136001e-04,1.132356e-04,1.128759e-04,1.125212e-04,1.121715e-04,1.118272e-04,1.114881e-04,1.111545e-04
0.000000e+00,4.151583e-10,1.177132e-09,5.410387e-09,1.458036e-08,2.282215e-08,5.923820e-08,6.128877e-08,1.293358e-07,1.548308e-07,2.353348e-07,3.206372e-07,3.876744e-07,5.759831e-07,5.947563e-07,8.643681e-07,9.390711e-07,1.202013e-06,1.421416e-06,1.608705e-06,2.020369e-06,2.080105e-06,2.608011e-06,2.719527e-06,3.182779e-06,3.497017e-06,3.794982e-06,4.331854e-06,4.436034e-06,5.098227e-06,5.205664e-06,5.774570e-06,6.102343e-06,6.458669e-06,7.007574e-06,7.144659e-06,7.827191e-06,7.908628e-06,8.501453e-06,8.794392e-06,9.163194e-06,9.655462e-06,9.808741e-06,1.043501e-05,1.048420e-05,1.103948e-05,1.127471e-05,1.162019e-05,1.202276e-05,1.217569e-05,1.270500e-05,1.272562e-05,1.320751e-05,1.338179e-05,1.368295e-05,1.399082e-05,1.413140e-05,1.455315e-05,1.494871e-05,1.506986e-05,1.531874e-05,1.554253e-05,1.566404e-05,1.597310e-05,1.598551e-05,1.628408e-05,1.636372e-05,1.656077e-05,1.671670e-05,1.681659e-05,1.703442e-05,1.705259e-05,1.726978e-05,1.731922e-05,1.746918e-05,1.757343e-05,1.765176e-05,1.779928e-05,1.781848e-05,1.797027e-05,1.799891e-05,1.810799e-05,1.817434e-05,1.823251e-05,1.832749e-05,1.834462e-05,1.844509e-05,1.846014e-05,1.853465e-05,1.857397e-05,1.861399e-05,1.867054e-05,1.868375e-05,1.874457e-05,1.875129e-05,1.879700e-05,1.881757e-05,1.884162e-05,1.887061e-05,1.887892e-05,1.890940e-05,1.891156e-05,1.893351e-05,1.894147e-05,1.895169e-05,1.896133e-05,1.896433e-05,1.897181e-05,1.897201e-05,1.897450e-05,1.897436e-05,1.897272e-05,1.896912e-05,1.896679e-05,1.895700e-05,1.894363e-05,1.893864e-05,1.892694e-05,1.891462e-05,1.890717e-05,1.888551e-05,1.888455e-05,1.885929e-05,1.885178e-05,1.883160e-05,1.881390e-05,1.880167e-05,1.877229e-05,1.876966e-05,1.873575e-05,1.872735e-05,1.870009e-05,1.867942e-05,1.866283e-05,1.862883e-05,1.862411e-05,1.858405e-05,1.857589e-05,1.854277e-05,1.852086e-05,1.850039e-05,1.846401e-05,1.845701e-05,1.841273e-05,1.840557e-05,1.836765e-05,1.834575e-05,1.832185e-05,1.828475e-05,1.827542e-05,1.822842e-05,1.822275e-05,1.818094e-05,1.815991e-05,1.813304e-05,1.809640e-05,1.808479e-05,1.803623e-05,1.803234e-05,1.798744e-05,1.796786e-05,1.793845e-05,1.790309e-05,1.788933e-05,1.784011e-05,1.783814e-05,1.779083e-05,1.777309e-05,1.774154e-05,1.770804e-05,1.769228e-05,1.764307e-05,1.757826e-05,1.751368e-05,1.744938e-05,1.738543e-05,1.732188e-05,1.725877e-05,1.719615e-05,1.713406e-05,1.707253e-05,1.701159e-05,1.695126e-05,1.689158e-05,1.683257e-05,1.677425e-05,1.671662e-05,1.665972e-05,1.660354e-05,1.654811e-05,1.649343e-05,1.643950e-05,1.638634e-05,1.633395e-05,1.628234e-05,1.623150e-05
0.000000e+00,9.393642e-10,2.748895e-09,1.341506e-08,3.795143e-08,6.087138e-08,1.671480e-07,1.732970e-07,3.832982e-07,4.641531e-07,7.245660e-07,1.006638e-06,1.231533e-06,1.873853e-06,1.938540e-06,2.875709e-06,3.137144e-06,4.059330e-06,4.828061e-06,5.481842e-06,6.906648e-06,7.111742e-06,8.903314e-06,9.276659e-06,1.080713e-05,1.182576e-05,1.277643e-05,1.445070e-05,1.476969e-05,1.675129e-05,1.706518e-05,1.869117e-05,1.959999e-05,2.056439e-05,2.200122e-05,2.235070e-05,2.403412e-05,2.422861e-05,2.560266e-05,2.625415e-05,2.704798e-05,2.806081e-05,2.836506e-05,2.955186e-05,2.964118e-05,3.060892e-05,3.099597e-05,3.153897e-05,3.213244e-05,3.234652e-05,3.303745e-05,3.306276e-05,3.361866e-05,3.380248e-05,3.409773e-05,3.436921e-05,3.448262e-05,3.478144e-05,3.500221e-05,3.505766e-05,3.515275e-05,3.521570e-05,3.524052e-05,3.527228e-05,3.527257e-05,3.525545e-05,3.524268e-05,3.519521e-05,3.514068e-05,3.509737e-05,3.497847e-05,3.496694e-05,3.480845e-05,3.476669e-05,3.462593e-05,3.451458e-05,3.442297e-05,3.423002e-05,3.420279e-05,3.396819e-05,3.391976e-05,3.372166e-05,3.358949e-05,3.346539e-05,3.324400e-05,3.320129e-05,3.293102e-05,3.288730e-05,3.265604e-05,3.252276e-05,3.237763e-05,3.215316e-05,3.209687e-05,3.181474e-05,3.178083e-05,3.153205e-05,3.140768e-05,3.124953e-05,3.103531e-05,3.096779e-05,3.068738e-05,3.066502e-05,3.040874e-05,3.029788e-05,3.013228e-05,2.993477e-05,2.985834e-05,2.958720e-05,2.957642e-05,2.931912e-05,2.922340e-05,2.905430e-05,2.887617e-05,2.879291e-05,2.853511e-05,2.828101e-05,2.820049e-05,2.803070e-05,2.787254e-05,2.778428e-05,2.755141e-05,2.754179e-05,2.730329e-05,2.723723e-05,2.706880e-05,2.693004e-05,2.683835e-05,2.662991e-05,2.661194e-05,2.638958e-05,2.633681e-05,2.617125e-05,2.605075e-05,2.595695e-05,2.577167e-05,2.574664e-05,2.554031e-05,2.549952e-05,2.533792e-05,2.523422e-05,2.513942e-05,2.497568e-05,2.494480e-05,2.475399e-05,2.472381e-05,2.456695e-05,2.447850e-05,2.438364e-05,2.423963e-05,2.420400e-05,2.402798e-05,2.400710e-05,2.385552e-05,2.378076e-05,2.368658e-05,2.356049e-05,2.352109e-05,2.335899e-05,2.334617e-05,2.320023e-05,2.313765e-05,2.304475e-05,2.293480e-05,2.289249e-05,2.274339e-05,2.273749e-05,2.259740e-05,2.254559e-05,2.245445e-05,2.235895e-05,2.231448e-05,2.217744e-05,2.200093e-05,2.182929e-05,2.166239e-05,2.150010e-05,2.134228e-05,2.118883e-05,2.103961e-05,2.089451e-05,2.075340e-05,2.061618e-05,2.048274e-05,2.035295e-05,2.022672e-05,2.010394e-05,1.998451e-05,1.986833e-05,1.975531e-05,1.964534e-05,1.953835e-05,1.943423e-05,1.933291e-05,1.923430e-05,1.913832e-05,1.904489e-05
0.000000e+00,3.083857e-10,7.030892e-10,2.398549e-09,5.415093e-09,7.863377e-09,1.758794e-08,1.810530e-08,3.435426e-08,4.013020e-08,5.768326e-08,7.547106e-08,8.902078e-08,1.256075e-07,1.291587e-07,1.787537e-07,1.921239e-07,2.383171e-07,2.761613e-07,3.081869e-07,3.782941e-07,3.884761e-07,4.790072e-07,4.983032e-07,5.792665e-07,6.349805e-07,6.884231e-07,7.862197e-07,8.054178e-07,9.290738e-07,9.493962e-07,1.058184e-06,1.121744e-06,1.191561e-06,1.300564e-06,1.328060e-06,1.466586e-06,1.483296e-06,1.606106e-06,1.667558e-06,1.745653e-06,1.851173e-06,1.884332e-06,2.021328e-06,2.032193e-06,2.155910e-06,2.208920e-06,2.287434e-06,2.379922e-06,2.415344e-06,2.539172e-06,2.544034e-06,2.658535e-06,2.700352e-06,2.773131e-06,2.848215e-06,2.882734e-06,2.987187e-06,3.086394e-06,3.117024e-06,3.180315e-06,3.237653e-06,3.268959e-06,3.349137e-06,3.352374e-06,3.430647e-06,3.451657e-06,3.503891e-06,3.545479e-06,3.572243e-06,3.630939e-06,3.635857e-06,3.694905e-06,3.708416e-06,3.749564e-06,3.778327e-06,3.800023e-06,3.841101e-06,3.846469e-06,3.889095e-06,3.897179e-06,3.928092e-06,3.946998e-06,3.963648e-06,3.990991e-06,3.995948e-06,4.025172e-06,4.029574e-06,4.051496e-06,4.063150e-06,4.075087e-06,4.092102e-06,4.096108e-06,4.114714e-06,4.116792e-06,4.131054e-06,4.137562e-06,4.145268e-06,4.154733e-06,4.157492e-06,4.167852e-06,4.168604e-06,4.176470e-06,4.179454e-06,4.183459e-06,4.187544e-06,4.188928e-06,4.192978e-06,4.193112e-06,4.195705e-06,4.196381e-06,4.197200e-06,4.197557e-06,4.197549e-06,4.196830e-06,4.195118e-06,4.194373e-06,4.192486e-06,4.190349e-06,4.188999e-06,4.184905e-06,4.184719e-06,4.179705e-06,4.178177e-06,4.174012e-06,4.170291e-06,4.167690e-06,4.161362e-06,4.160790e-06,4.153354e-06,4.151495e-06,4.145427e-06,4.140788e-06,4.137048e-06,4.129330e-06,4.128254e-06,4.119081e-06,4.117203e-06,4.109560e-06,4.104482e-06,4.099723e-06,4.091236e-06,4.089598e-06,4.079212e-06,4.077528e-06,4.068592e-06,4.063417e-06,4.057759e-06,4.048956e-06,4.046737e-06,4.035546e-06,4.034193e-06,4.024206e-06,4.019174e-06,4.012735e-06,4.003940e-06,4.001150e-06,3.989466e-06,3.988528e-06,3.977700e-06,3.972973e-06,3.965864e-06,3.957307e-06,3.953973e-06,3.942037e-06,3.941559e-06,3.930069e-06,3.925755e-06,3.918080e-06,3.909919e-06,3.906078e-06,3.894075e-06,3.878241e-06,3.862437e-06,3.846679e-06,3.830983e-06,3.815363e-06,3.799831e-06,3.784400e-06,3.769079e-06,3.753879e-06,3.738807e-06,3.723871e-06,3.709078e-06,3.694435e-06,3.679946e-06,3.665618e-06,3.651453e-06,3.637455e-06,3.623629e-06,3.609976e-06,3.596499e-06,3.583200e-06,3.570081e-06,3.557142e-06,3.544386e-06
0.000000e+00,1.267733e-09,3.623314e-09,1.691681e-08,4.622761e-08,7.292318e-08,1.934236e-07,2.003096e-07,4.337271e-07,5.233843e-07,8.133941e-07,1.130915e-06,1.386865e-06,2.129357e-06,2.204842e-06,3.304319e-06,3.611263e-06,4.688743e-06,5.578567e-06,6.329457e-06,7.952287e-06,8.184921e-06,1.021591e-05,1.064023e-05,1.239036e-05,1.356904e-05,1.468254e-05,1.668304e-05,1.707079e-05,1.953558e-05,1.993580e-05,2.205831e-05,2.328446e-05,2.462081e-05,2.668741e-05,2.720519e-05,2.979400e-05,3.010415e-05,3.237049e-05,3.349615e-05,3.491894e-05,3.682804e-05,3.742487e-05,3.987531e-05,4.006860e-05,4.225890e-05,4.319138e-05,4.456592e-05,4.617502e-05,4.678839e-05,4.892000e-05,4.900330e-05,5.095599e-05,5.166486e-05,5.289306e-05,5.415270e-05,5.472923e-05,5.646367e-05,5.809659e-05,5.859784e-05,5.962904e-05,6.055787e-05,6.106279e-05,6.234851e-05,6.240019e-05,6.364407e-05,6.397602e-05,6.479759e-05,6.544776e-05,6.586421e-05,6.677184e-05,6.684753e-05,6.775130e-05,6.795678e-05,6.857930e-05,6.901131e-05,6.933534e-05,6.994411e-05,7.002317e-05,7.064646e-05,7.076370e-05,7.120882e-05,7.147832e-05,7.171372e-05,7.209591e-05,7.216454e-05,7.256450e-05,7.262399e-05,7.291671e-05,7.306968e-05,7.322411e-05,7.343967e-05,7.348953e-05,7.371561e-05,7.374022e-05,7.390491e-05,7.397717e-05,7.405982e-05,7.415594e-05,7.418260e-05,7.427539e-05,7.428158e-05,7.434022e-05,7.435875e-05,7.437899e-05,7.439176e-05,7.439347e-05,7.438537e-05,7.438460e-05,7.435625e-05,7.434092e-05,7.430762e-05,7.426411e-05,7.424086e-05,7.415728e-05,7.405813e-05,7.402331e-05,7.394456e-05,7.386481e-05,7.381765e-05,7.368422e-05,7.367843e-05,7.352784e-05,7.348376e-05,7.336678e-05,7.326547e-05,7.319610e-05,7.303124e-05,7.301657e-05,7.282895e-05,7.278279e-05,7.263392e-05,7.252171e-05,7.243213e-05,7.224945e-05,7.222419e-05,7.201066e-05,7.196734e-05,7.179209e-05,7.167661e-05,7.156898e-05,7.137839e-05,7.134179e-05,7.111096e-05,7.107371e-05,7.087690e-05,7.076352e-05,7.064000e-05,7.044869e-05,7.040063e-05,7.015912e-05,7.013000e-05,6.991578e-05,6.980820e-05,6.967091e-05,6.948395e-05,6.942479e-05,6.917767e-05,6.915787e-05,6.892981e-05,6.883050e-05,6.868142e-05,6.850237e-05,6.843271e-05,6.818389e-05,6.817394e-05,6.793514e-05,6.784564e-05,6.768663e-05,6.751787e-05,6.743853e-05,6.719097e-05,6.686527e-05,6.654108e-05,6.621864e-05,6.589822e-05,6.558002e-05,6.526426e-05,6.495110e-05,6.464070e-05,6.433323e-05,6.402879e-05,6.372751e-05,6.342949e-05,6.313482e-05,6.284357e-05,6.255582e-05,6.227163e-05,6.199104e-05,6.171409e-05,6.144083e-05,6.117127e-05,6.090544e-05,6.064336e-05,6.038503e-05,6.013045e-05
0.000000e+00,1.550073e-09,3.565464e-09,1.231505e-08,2.804675e-08,4.090730e-08,9.251815e-08,9.528290e-08,1.828764e-07,2.143228e-07,3.107373e-07,4.096079e-07,4.856322e-07,6.936461e-07,7.140315e-07,1.001824e-06,1.080281e-06,1.353557e-06,1.579356e-06,1.771290e-06,2.192619e-06,2.253833e-06,2.797170e-06,2.912654e-06,3.395702e-06,3.726721e-06,4.043302e-06,4.620704e-06,4.733820e-06,5.461198e-06,5.580600e-06,6.219482e-06,6.592712e-06,7.002816e-06,7.643664e-06,7.805472e-06,8.621898e-06,8.720540e-06,9.446784e-06,9.811111e-06,1.027512e-05,1.090409e-05,1.110226e-05,1.192397e-05,1.198935e-05,1.273642e-05,1.305803e-05,1.353623e-05,1.410261e-05,1.432047e-05,1.508665e-05,1.511689e-05,1.583267e-05,1.609596e-05,1.655682e-05,1.703605e-05,1.725775e-05,1.793442e-05,1.858610e-05,1.878927e-05,1.921228e-05,1.959953e-05,1.981270e-05,2.036479e-05,2.038727e-05,2.093608e-05,2.108516e-05,2.145934e-05,2.176117e-05,2.195739e-05,2.239370e-05,2.243066e-05,2.287964e-05,2.298385e-05,2.330492e-05,2.353294e-05,2.370710e-05,2.404242e-05,2.408683e-05,2.444478e-05,2.451382e-05,2.478167e-05,2.494875e-05,2.509818e-05,2.534883e-05,2.539504e-05,2.567295e-05,2.571570e-05,2.593262e-05,2.605099e-05,2.617475e-05,2.635630e-05,2.640004e-05,2.660916e-05,2.663320e-05,2.680278e-05,2.688323e-05,2.698155e-05,2.710787e-05,2.714610e-05,2.729705e-05,2.730856e-05,2.743500e-05,2.748667e-05,2.756053e-05,2.764354e-05,2.767421e-05,2.777657e-05,2.778044e-05,2.786816e-05,2.789859e-05,2.794947e-05,2.799915e-05,2.802100e-05,2.808323e-05,2.813661e-05,2.815190e-05,2.818159e-05,2.820615e-05,2.821857e-05,2.824695e-05,2.824799e-05,2.827022e-05,2.827520e-05,2.828564e-05,2.829177e-05,2.829461e-05,2.829748e-05,2.829749e-05,2.829460e-05,2.829309e-05,2.828627e-05,2.827934e-05,2.827280e-05,2.825692e-05,2.825448e-05,2.823159e-05,2.822649e-05,2.820442e-05,2.818867e-05,2.817320e-05,2.814404e-05,2.813820e-05,2.809964e-05,2.809315e-05,2.805775e-05,2.803653e-05,2.801275e-05,2.797465e-05,2.796484e-05,2.791423e-05,2.790798e-05,2.786109e-05,2.783695e-05,2.780561e-05,2.776198e-05,2.774795e-05,2.768829e-05,2.768344e-05,2.762678e-05,2.760169e-05,2.756356e-05,2.751707e-05,2.749878e-05,2.743258e-05,2.742990e-05,2.736507e-05,2.734047e-05,2.729638e-05,2.724906e-05,2.722663e-05,2.715593e-05,2.706133e-05,2.696547e-05,2.686857e-05,2.677083e-05,2.667244e-05,2.657356e-05,2.647435e-05,2.637496e-05,2.627552e-05,2.617618e-05,2.607703e-05,2.597819e-05,2.587977e-05,2.578184e-05,2.568450e-05,2.558783e-05,2.549189e-05,2.539675e-05,2.530247e-05,2.520910e-05,2.511669e-05,2.502529e-05,2.493493e-05,2.484565e-05
0.000000e+00,5.197688e-10,1.522066e-09,7.445174e-09,2.113036e-08,3.396750e-08,9.396752e-08,9.745894e-08,2.177239e-07,2.644889e-07,4.165431e-07,5.833408e-07,7.176186e-07,1.105810e-06,1.145196e-06,1.719277e-06,1.880194e-06,2.449546e-06,2.926407e-06,3.334164e-06,4.232813e-06,4.363568e-06,5.524612e-06,5.771359e-06,6.802902e-06,7.509062e-06,8.183699e-06,9.411903e-06,9.652122e-06,1.119315e-05,1.144544e-05,1.279164e-05,1.357488e-05,1.443245e-05,1.576550e-05,1.610061e-05,1.778159e-05,1.798350e-05,1.946152e-05,2.019698e-05,2.112747e-05,2.237693e-05,2.276764e-05,2.437150e-05,2.449796e-05,2.592992e-05,2.653878e-05,2.743515e-05,2.848237e-05,2.888085e-05,3.026207e-05,3.031592e-05,3.157511e-05,3.203060e-05,3.281746e-05,3.362108e-05,3.398764e-05,3.508509e-05,3.611007e-05,3.642289e-05,3.706350e-05,3.763677e-05,3.794678e-05,3.873047e-05,3.876178e-05,3.951072e-05,3.970891e-05,4.019606e-05,4.057784e-05,4.082046e-05,4.134349e-05,4.138672e-05,4.189768e-05,4.201241e-05,4.235623e-05,4.259120e-05,4.276523e-05,4.308640e-05,4.312749e-05,4.344579e-05,4.350441e-05,4.372281e-05,4.385141e-05,4.396114e-05,4.413327e-05,4.416328e-05,4.433162e-05,4.435557e-05,4.446843e-05,4.452354e-05,4.457588e-05,4.464210e-05,4.465604e-05,4.471085e-05,4.471581e-05,4.474214e-05,4.474891e-05,4.475165e-05,4.474533e-05,4.474102e-05,4.471178e-05,4.470868e-05,4.466538e-05,4.464232e-05,4.460317e-05,4.454930e-05,4.452642e-05,4.443632e-05,4.443246e-05,4.433400e-05,4.429437e-05,4.422049e-05,4.413742e-05,4.409677e-05,4.396375e-05,4.382229e-05,4.377537e-05,4.367318e-05,4.357407e-05,4.351715e-05,4.336152e-05,4.335492e-05,4.318711e-05,4.313921e-05,4.301433e-05,4.290851e-05,4.283714e-05,4.267069e-05,4.265607e-05,4.247160e-05,4.242687e-05,4.228417e-05,4.217808e-05,4.209421e-05,4.192527e-05,4.190212e-05,4.170824e-05,4.166928e-05,4.151292e-05,4.141089e-05,4.131647e-05,4.115078e-05,4.111917e-05,4.092130e-05,4.088960e-05,4.072309e-05,4.062791e-05,4.052479e-05,4.036621e-05,4.032659e-05,4.012870e-05,4.010498e-05,3.993129e-05,3.984463e-05,3.973454e-05,3.958553e-05,3.953858e-05,3.934356e-05,3.932800e-05,3.914961e-05,3.907235e-05,3.895684e-05,3.881884e-05,3.876536e-05,3.857527e-05,3.856770e-05,3.838666e-05,3.831913e-05,3.819960e-05,3.807333e-05,3.801417e-05,3.783044e-05,3.759061e-05,3.735394e-05,3.712055e-05,3.689052e-05,3.666392e-05,3.644081e-05,3.622123e-05,3.600522e-05,3.579280e-05,3.558400e-05,3.537882e-05,3.517727e-05,3.497933e-05,3.478500e-05,3.459427e-05,3.440711e-05,3.422349e-05,3.404340e-05,3.386679e-05,3.369364e-05,3.352390e-05,3.335753e-05,3.319450e-05,3.303476e-05
0.000000e+00,2.119344e-09,5.015328e-09,1.786882e-08,4.133320e-08,6.067275e-08,1.391184e-07,1.433509e-07,2.787570e-07,3.279369e-07,4.804160e-07,6.392284e-07,7.628784e-07,1.107055e-06,1.141181e-06,1.628350e-06,1.762380e-06,2.230702e-06,2.617268e-06,2.944309e-06,3.654729e-06,3.756983e-06,4.653678e-06,4.841817e-06,5.620188e-06,6.146184e-06,6.644117e-06,7.540576e-06,7.714554e-06,8.821594e-06,9.001493e-06,9.956002e-06,1.050766e-05,1.110906e-05,1.203939e-05,1.227255e-05,1.343878e-05,1.357857e-05,1.460067e-05,1.510885e-05,1.575181e-05,1.661593e-05,1.688647e-05,1.799965e-05,1.808764e-05,1.908709e-05,1.951404e-05,2.014522e-05,2.088726e-05,2.117111e-05,2.216248e-05,2.220139e-05,2.311757e-05,2.345226e-05,2.403512e-05,2.463719e-05,2.491433e-05,2.575475e-05,2.655627e-05,2.680455e-05,2.731903e-05,2.778702e-05,2.804341e-05,2.870323e-05,2.872997e-05,2.937943e-05,2.955474e-05,2.999263e-05,3.034352e-05,3.057048e-05,3.107175e-05,3.111399e-05,3.162421e-05,3.174183e-05,3.210223e-05,3.235626e-05,3.254915e-05,3.291760e-05,3.296609e-05,3.335417e-05,3.342842e-05,3.371452e-05,3.389130e-05,3.404823e-05,3.430878e-05,3.435641e-05,3.464013e-05,3.468332e-05,3.490042e-05,3.501734e-05,3.513831e-05,3.531317e-05,3.535480e-05,3.555084e-05,3.557304e-05,3.572739e-05,3.579912e-05,3.588534e-05,3.599349e-05,3.602558e-05,3.614896e-05,3.615812e-05,3.625629e-05,3.629491e-05,3.634838e-05,3.640567e-05,3.642598e-05,3.648983e-05,3.649211e-05,3.654063e-05,3.655586e-05,3.657907e-05,3.659848e-05,3.660579e-05,3.662143e-05,3.662659e-05,3.662612e-05,3.662184e-05,3.661386e-05,3.660773e-05,3.658589e-05,3.658481e-05,3.655357e-05,3.654340e-05,3.651450e-05,3.648750e-05,3.646807e-05,3.641924e-05,3.641473e-05,3.635489e-05,3.633961e-05,3.628897e-05,3.624955e-05,3.621736e-05,3.614993e-05,3.614043e-05,3.605852e-05,3.604158e-05,3.597199e-05,3.592528e-05,3.588116e-05,3.580175e-05,3.578632e-05,3.568778e-05,3.567169e-05,3.558582e-05,3.553574e-05,3.548070e-05,3.539450e-05,3.537267e-05,3.526199e-05,3.524854e-05,3.514886e-05,3.509838e-05,3.503353e-05,3.494452e-05,3.491618e-05,3.479703e-05,3.478743e-05,3.467625e-05,3.462753e-05,3.455403e-05,3.446523e-05,3.443053e-05,3.430592e-05,3.430091e-05,3.418034e-05,3.413492e-05,3.405394e-05,3.396759e-05,3.392685e-05,3.379921e-05,3.363007e-05,3.346044e-05,3.329055e-05,3.312063e-05,3.295088e-05,3.278151e-05,3.261269e-05,3.244458e-05,3.227732e-05,3.211106e-05,3.194593e-05,3.178203e-05,3.161947e-05,3.145834e-05,3.129874e-05,3.114073e-05,3.098440e-05,3.082979e-05,3.067697e-05,3.052597e-05,3.037686e-05,3.022966e-05,3.008440e-05,2.994111e-05
0.000000e+00,1.002271e-09,2.816653e-09,1.272251e-08,3.378903e-08,5.249632e-08,1.339388e-07,1.384876e-07,2.882888e-07,3.440545e-07,5.195348e-07,7.049710e-07,8.505309e-07,1.258697e-06,1.299302e-06,1.878921e-06,2.037855e-06,2.589085e-06,3.037608e-06,3.411555e-06,4.204711e-06,4.316640e-06,5.273950e-06,5.469351e-06,6.258269e-06,6.774162e-06,7.250232e-06,8.078426e-06,8.234990e-06,9.200829e-06,9.352948e-06,1.013828e-05,1.057585e-05,1.103966e-05,1.173064e-05,1.189886e-05,1.271122e-05,1.280539e-05,1.347348e-05,1.379243e-05,1.418360e-05,1.468785e-05,1.484072e-05,1.544493e-05,1.549100e-05,1.599715e-05,1.620382e-05,1.649896e-05,1.683020e-05,1.695243e-05,1.735997e-05,1.737535e-05,1.772424e-05,1.784531e-05,1.804801e-05,1.824648e-05,1.833409e-05,1.858528e-05,1.880429e-05,1.886800e-05,1.899373e-05,1.910060e-05,1.915608e-05,1.928863e-05,1.929368e-05,1.940872e-05,1.943716e-05,1.950321e-05,1.955084e-05,1.957905e-05,1.963380e-05,1.963792e-05,1.968142e-05,1.968973e-05,1.971097e-05,1.972191e-05,1.972788e-05,1.973326e-05,1.973334e-05,1.972845e-05,1.972631e-05,1.971416e-05,1.970333e-05,1.969139e-05,1.966630e-05,1.966094e-05,1.962355e-05,1.961697e-05,1.957989e-05,1.955689e-05,1.953057e-05,1.948742e-05,1.947615e-05,1.941713e-05,1.940976e-05,1.935397e-05,1.932497e-05,1.928708e-05,1.923400e-05,1.921686e-05,1.914364e-05,1.913767e-05,1.906776e-05,1.903672e-05,1.898949e-05,1.893181e-05,1.890911e-05,1.882685e-05,1.882353e-05,1.874295e-05,1.871239e-05,1.865762e-05,1.859886e-05,1.857102e-05,1.848335e-05,1.839476e-05,1.836625e-05,1.830540e-05,1.824787e-05,1.821540e-05,1.812852e-05,1.812489e-05,1.803397e-05,1.800846e-05,1.794276e-05,1.788794e-05,1.785136e-05,1.776717e-05,1.775984e-05,1.766830e-05,1.764634e-05,1.757682e-05,1.752563e-05,1.748545e-05,1.740520e-05,1.739427e-05,1.730334e-05,1.728518e-05,1.721270e-05,1.716571e-05,1.712242e-05,1.704689e-05,1.703254e-05,1.694309e-05,1.692883e-05,1.685413e-05,1.681161e-05,1.676568e-05,1.669532e-05,1.667779e-05,1.659047e-05,1.658003e-05,1.650376e-05,1.646580e-05,1.641768e-05,1.635270e-05,1.633226e-05,1.624751e-05,1.624076e-05,1.616346e-05,1.613004e-05,1.608013e-05,1.602057e-05,1.599752e-05,1.591565e-05,1.591239e-05,1.583454e-05,1.580553e-05,1.575419e-05,1.570000e-05,1.567462e-05,1.559583e-05,1.549304e-05,1.539164e-05,1.529164e-05,1.519304e-05,1.509586e-05,1.500010e-05,1.490575e-05,1.481283e-05,1.472131e-05,1.463120e-05,1.454250e-05,1.445520e-05,1.436928e-05,1.428474e-05,1.420157e-05,1.411976e-05,1.403929e-05,1.396015e-05,1.388234e-05,1.380583e-05,1.373060e-05,1.365666e-05,1.358397e-05,1.351253e-05
0.000000e+00,7.135374e-09,1.647990e-08,5.717168e-08,1.307277e-07,1.912683e-07,4.383043e-07,4.517285e-07,8.872179e-07,1.048329e-06,1.557414e-06,2.101787e-06,2.534428e-06,3.771117e-06,3.895836e-06,5.702037e-06,6.204120e-06,7.961160e-06,9.403790e-06,1.061268e-05,1.318990e-05,1.355477e-05,1.668598e-05,1.732743e-05,1.992595e-05,2.163359e-05,2.321620e-05,2.598745e-05,2.651424e-05,2.978797e-05,3.030775e-05,3.301210e-05,3.453585e-05,3.616597e-05,3.862684e-05,3.923242e-05,4.219734e-05,4.254573e-05,4.504916e-05,4.626572e-05,4.777886e-05,4.976752e-05,5.037967e-05,5.284674e-05,5.303823e-05,5.517715e-05,5.607072e-05,5.736965e-05,5.886287e-05,5.942435e-05,6.134264e-05,6.141657e-05,6.312688e-05,6.373698e-05,6.478024e-05,6.583171e-05,6.630656e-05,6.771015e-05,6.899569e-05,6.938294e-05,7.016814e-05,7.086150e-05,7.123257e-05,7.215759e-05,7.219414e-05,7.305797e-05,7.328303e-05,7.382918e-05,7.424955e-05,7.451280e-05,7.506856e-05,7.511371e-05,7.563668e-05,7.575111e-05,7.608633e-05,7.630776e-05,7.646709e-05,7.674858e-05,7.678324e-05,7.703887e-05,7.708307e-05,7.723787e-05,7.732022e-05,7.738399e-05,7.746845e-05,7.748076e-05,7.753157e-05,7.753565e-05,7.753962e-05,7.752919e-05,7.750795e-05,7.745595e-05,7.743944e-05,7.733681e-05,7.732233e-05,7.720265e-05,7.713426e-05,7.703938e-05,7.689725e-05,7.684930e-05,7.663459e-05,7.661641e-05,7.639727e-05,7.629645e-05,7.613927e-05,7.594173e-05,7.586241e-05,7.556838e-05,7.555629e-05,7.525879e-05,7.514381e-05,7.493513e-05,7.470772e-05,7.459881e-05,7.425116e-05,7.389341e-05,7.377699e-05,7.352673e-05,7.328786e-05,7.315219e-05,7.278620e-05,7.277082e-05,7.238357e-05,7.227421e-05,7.199132e-05,7.175391e-05,7.159489e-05,7.122715e-05,7.119506e-05,7.079254e-05,7.069561e-05,7.038800e-05,7.016082e-05,6.998207e-05,6.962415e-05,6.957531e-05,6.916826e-05,6.908686e-05,6.876142e-05,6.855009e-05,6.835523e-05,6.801486e-05,6.795013e-05,6.754651e-05,6.748209e-05,6.714471e-05,6.695260e-05,6.674508e-05,6.642713e-05,6.634791e-05,6.595347e-05,6.590634e-05,6.556203e-05,6.539081e-05,6.517382e-05,6.488105e-05,6.478903e-05,6.440786e-05,6.437752e-05,6.403048e-05,6.388062e-05,6.365704e-05,6.339068e-05,6.328768e-05,6.292252e-05,6.290800e-05,6.256167e-05,6.243284e-05,6.220522e-05,6.196539e-05,6.185326e-05,6.150585e-05,6.105433e-05,6.061096e-05,6.017582e-05,5.974896e-05,5.933043e-05,5.892022e-05,5.851834e-05,5.812477e-05,5.773947e-05,5.736239e-05,5.699347e-05,5.663263e-05,5.627979e-05,5.593486e-05,5.559775e-05,5.526834e-05,5.494653e-05,5.463220e-05,5.432523e-05,5.402551e-05,5.373290e-05,5.344728e-05,5.316851e-05,5.289648e-05
0.000000e+00,6.538715e-09,1.785013e-08,7.703318e-08,1.991670e-07,3.064969e-07,7.745773e-07,8.009179e-07,1.685077e-06,2.022909e-06,3.115917e-06,4.316167e-06,5.286644e-06,8.111152e-06,8.398650e-06,1.258210e-05,1.374673e-05,1.781737e-05,2.115580e-05,2.395615e-05,2.995833e-05,3.081350e-05,3.822947e-05,3.976830e-05,4.608100e-05,5.030351e-05,5.427279e-05,6.135931e-05,6.272664e-05,7.137444e-05,7.277189e-05,8.015452e-05,8.439914e-05,8.901024e-05,9.611423e-05,9.788970e-05,1.067458e-04,1.078048e-04,1.155360e-04,1.193731e-04,1.242233e-04,1.307371e-04,1.327759e-04,1.411668e-04,1.418304e-04,1.493738e-04,1.526009e-04,1.573788e-04,1.630092e-04,1.651676e-04,1.727295e-04,1.730271e-04,1.800566e-04,1.826358e-04,1.871437e-04,1.918242e-04,1.939877e-04,2.005872e-04,2.069425e-04,2.089247e-04,2.130548e-04,2.168403e-04,2.189267e-04,2.243404e-04,2.245613e-04,2.299625e-04,2.314336e-04,2.351347e-04,2.381301e-04,2.400827e-04,2.444412e-04,2.448116e-04,2.493266e-04,2.503790e-04,2.536332e-04,2.559560e-04,2.577370e-04,2.611851e-04,2.616437e-04,2.653589e-04,2.660794e-04,2.688882e-04,2.706519e-04,2.722373e-04,2.749155e-04,2.754119e-04,2.784175e-04,2.788830e-04,2.812595e-04,2.825671e-04,2.839433e-04,2.859800e-04,2.864742e-04,2.888575e-04,2.891338e-04,2.910981e-04,2.920401e-04,2.932012e-04,2.947105e-04,2.951715e-04,2.970139e-04,2.971559e-04,2.987330e-04,2.993871e-04,3.003332e-04,3.014143e-04,3.018191e-04,3.031949e-04,3.032477e-04,3.044647e-04,3.048968e-04,3.056328e-04,3.063709e-04,3.067029e-04,3.076790e-04,3.085648e-04,3.088297e-04,3.093638e-04,3.098313e-04,3.100796e-04,3.106916e-04,3.107156e-04,3.112750e-04,3.114183e-04,3.117611e-04,3.120188e-04,3.121769e-04,3.125000e-04,3.125254e-04,3.128096e-04,3.128685e-04,3.130322e-04,3.131309e-04,3.131958e-04,3.132933e-04,3.133033e-04,3.133569e-04,3.133614e-04,3.133593e-04,3.133410e-04,3.133127e-04,3.132374e-04,3.132195e-04,3.130818e-04,3.130557e-04,3.129017e-04,3.128008e-04,3.126813e-04,3.124773e-04,3.124226e-04,3.121275e-04,3.120897e-04,3.117977e-04,3.116421e-04,3.114352e-04,3.111387e-04,3.110415e-04,3.106183e-04,3.105832e-04,3.101673e-04,3.099794e-04,3.096898e-04,3.093306e-04,3.091875e-04,3.086616e-04,3.086401e-04,3.081137e-04,3.079112e-04,3.075448e-04,3.071468e-04,3.069564e-04,3.063497e-04,3.055225e-04,3.046680e-04,3.037884e-04,3.028860e-04,3.019631e-04,3.010217e-04,3.000637e-04,2.990910e-04,2.981053e-04,2.971082e-04,2.961013e-04,2.950861e-04,2.940640e-04,2.930362e-04,2.920040e-04,2.909686e-04,2.899310e-04,2.888922e-04,2.878533e-04,2.868150e-04,2.857783e-04,2.847440e-04,2.837128e-04,2.826853e-04
0.000000e+00,3.228295e-09,7.652911e-09,2.725847e-08,6.291791e-08,9.221655e-08,2.105154e-07,2.168799e-07,4.198590e-07,4.933621e-07,7.208091e-07,9.572633e-07,1.141196e-06,1.652837e-06,1.703555e-06,2.427324e-06,2.626307e-06,3.320590e-06,3.891895e-06,4.373501e-06,5.412882e-06,5.561632e-06,6.856044e-06,7.125282e-06,8.230391e-06,8.969203e-06,9.662750e-06,1.089736e-05,1.113491e-05,1.263127e-05,1.287199e-05,1.413804e-05,1.486129e-05,1.564278e-05,1.683753e-05,1.713426e-05,1.860236e-05,1.877653e-05,2.003814e-05,2.065760e-05,2.143384e-05,2.246368e-05,2.278289e-05,2.407994e-05,2.418132e-05,2.532075e-05,2.580059e-05,2.650218e-05,2.731480e-05,2.762208e-05,2.867917e-05,2.872013e-05,2.967296e-05,3.001524e-05,3.060364e-05,3.120083e-05,3.147198e-05,3.227918e-05,3.302685e-05,3.325383e-05,3.371688e-05,3.412922e-05,3.435139e-05,3.491039e-05,3.493265e-05,3.546303e-05,3.560276e-05,3.594499e-05,3.621194e-05,3.638098e-05,3.674361e-05,3.677346e-05,3.712486e-05,3.720335e-05,3.743757e-05,3.759664e-05,3.771388e-05,3.792872e-05,3.795605e-05,3.816623e-05,3.820462e-05,3.834650e-05,3.842907e-05,3.849882e-05,3.860655e-05,3.862508e-05,3.872707e-05,3.874126e-05,3.880650e-05,3.883709e-05,3.886497e-05,3.889768e-05,3.890400e-05,3.892502e-05,3.892640e-05,3.892939e-05,3.892636e-05,3.891837e-05,3.890046e-05,3.889318e-05,3.885492e-05,3.885133e-05,3.880465e-05,3.878141e-05,3.874337e-05,3.869295e-05,3.867200e-05,3.859141e-05,3.858800e-05,3.850240e-05,3.846845e-05,3.840575e-05,3.833603e-05,3.830216e-05,3.819230e-05,3.807678e-05,3.803872e-05,3.795619e-05,3.787659e-05,3.783106e-05,3.770713e-05,3.770189e-05,3.756916e-05,3.753142e-05,3.743330e-05,3.735045e-05,3.729471e-05,3.716513e-05,3.715378e-05,3.701085e-05,3.697629e-05,3.686626e-05,3.678467e-05,3.672029e-05,3.659094e-05,3.657324e-05,3.642536e-05,3.639571e-05,3.627689e-05,3.619953e-05,3.612806e-05,3.600291e-05,3.597906e-05,3.583010e-05,3.580628e-05,3.568134e-05,3.561005e-05,3.553294e-05,3.541458e-05,3.538505e-05,3.523782e-05,3.522020e-05,3.509135e-05,3.502718e-05,3.494577e-05,3.483579e-05,3.480118e-05,3.465767e-05,3.464624e-05,3.451534e-05,3.445875e-05,3.437425e-05,3.427348e-05,3.423448e-05,3.409609e-05,3.409059e-05,3.395914e-05,3.391020e-05,3.382368e-05,3.373245e-05,3.368976e-05,3.355741e-05,3.338518e-05,3.321583e-05,3.304940e-05,3.288595e-05,3.272550e-05,3.256809e-05,3.241372e-05,3.226241e-05,3.211415e-05,3.196895e-05,3.182679e-05,3.168766e-05,3.155153e-05,3.141838e-05,3.128819e-05,3.116092e-05,3.103655e-05,3.091503e-05,3.079632e-05,3.068040e-05,3.056721e-05,3.045671e-05,3.034887e-05,3.024362e-05
0.000000e+00,2.835387e-09,7.525485e-09,3.109455e-08,7.834347e-08,1.194158e-07,2.983457e-07,3.084628e-07,6.527772e-07,7.867782e-07,1.228134e-06,1.722534e-06,2.125926e-06,3.294422e-06,3.411733e-06,5.065801e-06,5.507898e-06,6.996761e-06,8.163002e-06,9.111064e-06,1.107143e-05,1.134418e-05,1.365548e-05,1.412455e-05,1.601738e-05,1.725833e-05,1.840849e-05,2.042596e-05,2.081024e-05,2.320566e-05,2.358727e-05,2.557900e-05,2.670610e-05,2.791594e-05,2.975059e-05,3.020363e-05,3.243095e-05,3.269370e-05,3.458857e-05,3.551387e-05,3.666907e-05,3.819510e-05,3.866675e-05,4.057758e-05,4.072662e-05,4.239923e-05,4.310251e-05,4.413004e-05,4.531972e-05,4.576961e-05,4.731854e-05,4.737863e-05,4.877828e-05,4.928231e-05,5.015073e-05,5.103534e-05,5.143827e-05,5.264359e-05,5.376964e-05,5.411374e-05,5.481951e-05,5.545290e-05,5.579636e-05,5.666844e-05,5.670342e-05,5.754388e-05,5.776770e-05,5.832091e-05,5.875798e-05,5.903762e-05,5.964633e-05,5.969705e-05,6.030212e-05,6.043957e-05,6.085569e-05,6.114421e-05,6.136048e-05,6.176644e-05,6.181913e-05,6.223414e-05,6.231212e-05,6.260792e-05,6.278676e-05,6.294276e-05,6.319555e-05,6.324087e-05,6.350431e-05,6.354338e-05,6.373507e-05,6.383479e-05,6.393505e-05,6.407406e-05,6.410602e-05,6.424969e-05,6.426517e-05,6.436767e-05,6.441183e-05,6.446148e-05,6.451752e-05,6.453259e-05,6.458236e-05,6.458546e-05,6.461210e-05,6.461866e-05,6.462303e-05,6.461992e-05,6.461633e-05,6.459309e-05,6.459183e-05,6.455437e-05,6.453683e-05,6.450115e-05,6.445716e-05,6.443437e-05,6.435492e-05,6.426362e-05,6.423204e-05,6.416128e-05,6.409032e-05,6.404863e-05,6.393146e-05,6.392639e-05,6.379523e-05,6.375699e-05,6.365577e-05,6.356837e-05,6.350862e-05,6.336693e-05,6.335434e-05,6.319345e-05,6.315392e-05,6.302647e-05,6.293048e-05,6.285388e-05,6.269770e-05,6.267610e-05,6.249359e-05,6.245655e-05,6.230672e-05,6.220796e-05,6.211589e-05,6.195279e-05,6.192145e-05,6.172373e-05,6.169181e-05,6.152305e-05,6.142576e-05,6.131971e-05,6.115532e-05,6.111400e-05,6.090619e-05,6.088112e-05,6.069651e-05,6.060373e-05,6.048522e-05,6.032369e-05,6.027253e-05,6.005865e-05,6.004150e-05,5.984379e-05,5.975761e-05,5.962813e-05,5.947246e-05,5.941184e-05,5.919510e-05,5.918642e-05,5.897805e-05,5.889987e-05,5.876085e-05,5.861313e-05,5.854363e-05,5.832651e-05,5.804030e-05,5.775475e-05,5.747011e-05,5.718659e-05,5.690439e-05,5.662370e-05,5.634468e-05,5.606750e-05,5.579228e-05,5.551916e-05,5.524826e-05,5.497966e-05,5.471348e-05,5.444980e-05,5.418868e-05,5.393020e-05,5.367443e-05,5.342140e-05,5.317117e-05,5.292378e-05,5.267926e-05,5.243764e-05,5.219895e-05,5.196320e-05
0.000000e+00,1.184476e-09,3.470931e-09,1.700930e-08,4.839369e-08,7.793398e-08,2.170223e-07,2.251619e-07,5.081692e-07,6.194678e-07,9.855579e-07,1.393737e-06,1.726822e-06,2.710028e-06,2.811369e-06,4.319098e-06,4.751270e-06,6.308728e-06,7.640565e-06,8.793435e-06,1.135978e-05,1.173455e-05,1.505763e-05,1.576039e-05,1.867490e-05,2.064344e-05,2.250095e-05,2.582052e-05,2.646016e-05,3.048846e-05,3.113571e-05,3.453267e-05,3.646635e-05,3.854895e-05,4.171743e-05,4.250128e-05,4.636022e-05,4.681583e-05,5.010189e-05,5.170602e-05,5.370728e-05,5.634703e-05,5.716166e-05,6.045406e-05,6.071021e-05,6.357687e-05,6.477737e-05,6.652540e-05,6.853912e-05,6.929748e-05,7.189309e-05,7.199327e-05,7.431405e-05,7.514343e-05,7.656362e-05,7.799767e-05,7.864628e-05,8.056740e-05,8.233305e-05,8.286627e-05,8.394976e-05,8.490944e-05,8.542438e-05,8.671284e-05,8.676392e-05,8.797546e-05,8.829271e-05,8.906601e-05,8.966515e-05,9.004250e-05,9.084592e-05,9.091166e-05,9.168003e-05,9.185015e-05,9.235391e-05,9.269226e-05,9.293932e-05,9.338590e-05,9.344205e-05,9.386756e-05,9.394386e-05,9.422108e-05,9.437811e-05,9.450755e-05,9.469978e-05,9.473162e-05,9.489770e-05,9.491917e-05,9.500993e-05,9.504583e-05,9.507222e-05,9.508856e-05,9.508823e-05,9.506142e-05,9.505548e-05,9.499501e-05,9.495403e-05,9.489204e-05,9.479108e-05,9.475534e-05,9.458759e-05,9.457291e-05,9.439128e-05,9.430528e-05,9.416873e-05,9.399348e-05,9.392213e-05,9.365351e-05,9.364234e-05,9.336480e-05,9.325628e-05,9.305775e-05,9.283935e-05,9.273406e-05,9.239525e-05,9.204279e-05,9.192735e-05,9.167803e-05,9.143872e-05,9.130224e-05,9.093218e-05,9.091658e-05,9.052216e-05,9.041030e-05,9.012001e-05,8.987539e-05,8.971106e-05,8.932960e-05,8.929621e-05,8.887629e-05,8.877484e-05,8.845207e-05,8.821289e-05,8.802425e-05,8.764533e-05,8.759351e-05,8.716045e-05,8.707362e-05,8.672566e-05,8.649906e-05,8.628967e-05,8.592286e-05,8.585296e-05,8.541599e-05,8.534608e-05,8.497919e-05,8.476970e-05,8.454295e-05,8.419461e-05,8.410763e-05,8.367357e-05,8.362158e-05,8.324106e-05,8.305133e-05,8.281040e-05,8.248450e-05,8.238186e-05,8.195565e-05,8.192166e-05,8.153202e-05,8.136333e-05,8.111115e-05,8.080995e-05,8.069324e-05,8.027845e-05,8.026193e-05,7.986694e-05,7.971962e-05,7.945884e-05,7.918334e-05,7.905428e-05,7.865337e-05,7.812993e-05,7.761324e-05,7.710347e-05,7.660077e-05,7.610527e-05,7.561705e-05,7.513621e-05,7.466280e-05,7.419687e-05,7.373845e-05,7.328755e-05,7.284416e-05,7.240829e-05,7.197990e-05,7.155897e-05,7.114546e-05,7.073931e-05,7.034048e-05,6.994891e-05,6.956452e-05,6.918725e-05,6.881702e-05,6.845375e-05,6.809736e-05
0.000000e+00,1.143181e-09,3.216746e-09,1.460830e-08,3.911897e-08,6.114042e-08,1.592208e-07,1.647925e-07,3.529718e-07,4.251015e-07,6.580500e-07,9.116503e-07,1.114031e-06,1.686323e-06,1.743176e-06,2.546823e-06,2.764495e-06,3.513672e-06,4.121482e-06,4.630761e-06,5.729354e-06,5.887158e-06,7.273404e-06,7.565426e-06,8.780191e-06,9.608059e-06,1.039745e-05,1.183313e-05,1.211394e-05,1.391730e-05,1.421302e-05,1.579426e-05,1.671729e-05,1.773098e-05,1.931398e-05,1.971347e-05,2.172794e-05,2.197119e-05,2.376114e-05,2.465844e-05,2.580063e-05,2.734778e-05,2.783499e-05,2.985390e-05,3.001447e-05,3.184825e-05,3.263732e-05,3.381019e-05,3.519894e-05,3.573306e-05,3.761135e-05,3.768549e-05,3.944057e-05,4.008638e-05,4.121722e-05,4.239391e-05,4.293862e-05,4.460288e-05,4.620873e-05,4.671014e-05,4.775548e-05,4.871428e-05,4.924295e-05,5.061533e-05,5.067133e-05,5.204105e-05,5.241415e-05,5.335286e-05,5.411256e-05,5.460776e-05,5.571296e-05,5.580687e-05,5.695150e-05,5.721825e-05,5.804303e-05,5.863164e-05,5.908293e-05,5.995651e-05,6.007268e-05,6.101383e-05,6.119636e-05,6.190793e-05,6.235479e-05,6.275654e-05,6.343537e-05,6.356123e-05,6.432353e-05,6.444167e-05,6.504496e-05,6.537716e-05,6.572700e-05,6.624527e-05,6.637113e-05,6.697876e-05,6.704930e-05,6.755131e-05,6.779246e-05,6.809012e-05,6.847787e-05,6.859652e-05,6.907178e-05,6.910849e-05,6.951715e-05,6.968721e-05,6.993384e-05,7.021675e-05,7.032301e-05,7.068577e-05,7.069975e-05,7.102323e-05,7.113873e-05,7.133644e-05,7.153608e-05,7.162639e-05,7.189408e-05,7.214045e-05,7.221493e-05,7.236639e-05,7.250069e-05,7.257280e-05,7.275334e-05,7.276050e-05,7.293032e-05,7.297477e-05,7.308302e-05,7.316675e-05,7.321937e-05,7.333099e-05,7.334009e-05,7.344586e-05,7.346909e-05,7.353735e-05,7.358259e-05,7.361521e-05,7.367295e-05,7.368006e-05,7.373249e-05,7.374153e-05,7.377306e-05,7.378965e-05,7.380232e-05,7.381855e-05,7.382080e-05,7.382900e-05,7.382940e-05,7.382741e-05,7.382331e-05,7.381650e-05,7.380135e-05,7.379670e-05,7.376844e-05,7.376451e-05,7.373215e-05,7.371373e-05,7.368821e-05,7.364993e-05,7.363700e-05,7.357888e-05,7.357395e-05,7.351421e-05,7.348659e-05,7.344332e-05,7.338861e-05,7.336653e-05,7.328415e-05,7.328074e-05,7.319647e-05,7.316366e-05,7.310377e-05,7.303802e-05,7.300634e-05,7.290442e-05,7.276344e-05,7.261564e-05,7.246153e-05,7.230159e-05,7.213630e-05,7.196608e-05,7.179136e-05,7.161252e-05,7.142993e-05,7.124394e-05,7.105488e-05,7.086306e-05,7.066877e-05,7.047230e-05,7.027390e-05,7.007382e-05,6.987229e-05,6.966954e-05,6.946577e-05,6.926117e-05,6.905593e-05,6.885022e-05,6.864421e-05,6.843804e-05
0.000000e+00,1.180436e-09,3.397087e-09,1.605232e-08,4.421739e-08,6.996425e-08,1.860884e-07,1.927023e-07,4.147725e-07,4.988998e-07,7.666581e-07,1.052897e-06,1.279170e-06,1.919164e-06,1.983238e-06,2.906757e-06,3.163311e-06,4.066739e-06,4.819714e-06,5.461169e-06,6.865997e-06,7.069260e-06,8.859709e-06,9.236701e-06,1.079885e-05,1.185528e-05,1.285482e-05,1.465078e-05,1.499855e-05,1.720351e-05,1.756033e-05,1.944524e-05,2.052760e-05,2.170101e-05,2.350154e-05,2.394978e-05,2.617227e-05,2.643636e-05,2.835116e-05,2.929207e-05,3.047124e-05,3.203507e-05,3.251948e-05,3.448511e-05,3.463852e-05,3.635957e-05,3.708233e-05,3.813646e-05,3.935281e-05,3.981130e-05,4.138144e-05,4.144205e-05,4.284580e-05,4.334708e-05,4.420464e-05,4.506906e-05,4.545937e-05,4.661235e-05,4.766666e-05,4.798379e-05,4.862596e-05,4.919192e-05,4.949433e-05,5.024646e-05,5.027613e-05,5.097590e-05,5.115776e-05,5.159826e-05,5.193646e-05,5.214786e-05,5.259316e-05,5.262927e-05,5.304698e-05,5.313824e-05,5.340533e-05,5.358164e-05,5.370850e-05,5.393282e-05,5.396049e-05,5.416510e-05,5.420066e-05,5.432595e-05,5.439343e-05,5.444643e-05,5.451879e-05,5.452975e-05,5.457891e-05,5.458379e-05,5.459672e-05,5.459492e-05,5.458583e-05,5.455809e-05,5.454867e-05,5.448753e-05,5.447869e-05,5.440455e-05,5.436163e-05,5.430169e-05,5.421136e-05,5.418080e-05,5.404356e-05,5.403192e-05,5.389156e-05,5.382695e-05,5.372625e-05,5.359975e-05,5.354898e-05,5.336100e-05,5.335328e-05,5.316347e-05,5.309023e-05,5.295745e-05,5.281301e-05,5.274392e-05,5.252380e-05,5.229791e-05,5.222454e-05,5.206704e-05,5.191699e-05,5.183188e-05,5.160272e-05,5.159311e-05,5.135131e-05,5.128315e-05,5.110705e-05,5.095953e-05,5.086084e-05,5.063299e-05,5.061313e-05,5.036437e-05,5.030455e-05,5.011494e-05,4.997510e-05,4.986521e-05,4.964546e-05,4.961550e-05,4.936613e-05,4.931632e-05,4.911736e-05,4.898833e-05,4.886946e-05,4.866205e-05,4.862264e-05,4.837711e-05,4.833796e-05,4.813308e-05,4.801652e-05,4.789070e-05,4.769809e-05,4.765013e-05,4.741152e-05,4.738302e-05,4.717498e-05,4.707160e-05,4.694064e-05,4.676407e-05,4.670859e-05,4.647893e-05,4.646066e-05,4.625173e-05,4.616155e-05,4.602706e-05,4.586690e-05,4.580498e-05,4.558556e-05,4.557683e-05,4.536882e-05,4.529146e-05,4.515481e-05,4.501087e-05,4.494357e-05,4.473512e-05,4.446427e-05,4.419836e-05,4.393739e-05,4.368139e-05,4.343035e-05,4.318426e-05,4.294309e-05,4.270683e-05,4.247543e-05,4.224886e-05,4.202706e-05,4.180999e-05,4.159759e-05,4.138980e-05,4.118657e-05,4.098782e-05,4.079350e-05,4.060352e-05,4.041783e-05,4.023634e-05,4.005899e-05,3.988570e-05,3.971641e-05,3.955102e-05
0.000000e+00,7.162300e-09,1.701522e-08,6.074762e-08,1.403758e-07,2.058335e-07,4.702585e-07,4.844873e-07,9.382613e-07,1.102520e-06,1.610358e-06,2.137333e-06,2.546437e-06,3.680565e-06,3.792706e-06,5.389467e-06,5.827900e-06,7.358866e-06,8.622146e-06,9.690186e-06,1.200266e-05,1.233404e-05,1.521459e-05,1.581189e-05,1.825128e-05,1.986823e-05,2.137409e-05,2.402295e-05,2.452773e-05,2.766995e-05,2.816937e-05,3.076836e-05,3.223244e-05,3.379784e-05,3.615844e-05,3.673875e-05,3.957590e-05,3.990880e-05,4.229768e-05,4.345642e-05,4.489560e-05,4.678350e-05,4.736382e-05,4.969876e-05,4.987974e-05,5.189878e-05,5.274096e-05,5.396383e-05,5.536777e-05,5.589519e-05,5.769517e-05,5.776448e-05,5.936696e-05,5.993814e-05,6.091436e-05,6.189771e-05,6.234165e-05,6.365345e-05,6.485458e-05,6.521639e-05,6.595002e-05,6.659795e-05,6.694478e-05,6.780966e-05,6.784385e-05,6.865218e-05,6.886292e-05,6.937464e-05,6.976887e-05,7.001596e-05,7.053827e-05,7.058074e-05,7.107343e-05,7.118143e-05,7.149833e-05,7.170820e-05,7.185955e-05,7.212788e-05,7.216103e-05,7.240656e-05,7.244927e-05,7.259974e-05,7.268066e-05,7.274402e-05,7.282981e-05,7.284266e-05,7.289878e-05,7.290401e-05,7.291533e-05,7.291004e-05,7.289511e-05,7.285426e-05,7.284079e-05,7.275487e-05,7.274255e-05,7.263973e-05,7.258041e-05,7.249764e-05,7.237292e-05,7.233070e-05,7.214093e-05,7.212482e-05,7.193021e-05,7.184046e-05,7.170033e-05,7.152390e-05,7.145296e-05,7.118970e-05,7.117885e-05,7.091201e-05,7.080878e-05,7.062129e-05,7.041684e-05,7.031887e-05,7.000596e-05,6.968371e-05,6.957881e-05,6.935323e-05,6.913785e-05,6.901550e-05,6.868535e-05,6.867148e-05,6.832205e-05,6.822336e-05,6.796805e-05,6.775377e-05,6.761024e-05,6.727830e-05,6.724933e-05,6.688600e-05,6.679851e-05,6.652088e-05,6.631584e-05,6.615453e-05,6.583156e-05,6.578750e-05,6.542029e-05,6.534686e-05,6.505334e-05,6.486279e-05,6.468711e-05,6.438030e-05,6.432196e-05,6.395827e-05,6.390024e-05,6.359638e-05,6.342339e-05,6.323658e-05,6.295043e-05,6.287915e-05,6.252436e-05,6.248197e-05,6.217244e-05,6.201856e-05,6.182359e-05,6.156065e-05,6.147802e-05,6.113590e-05,6.110868e-05,6.079737e-05,6.066300e-05,6.046259e-05,6.022394e-05,6.013168e-05,5.980474e-05,5.979174e-05,5.948188e-05,5.936666e-05,5.916317e-05,5.894886e-05,5.884870e-05,5.853852e-05,5.813574e-05,5.774063e-05,5.735325e-05,5.697364e-05,5.660183e-05,5.623783e-05,5.588161e-05,5.553315e-05,5.519241e-05,5.485934e-05,5.453385e-05,5.421589e-05,5.390536e-05,5.360217e-05,5.330622e-05,5.301741e-05,5.273562e-05,5.246074e-05,5.219265e-05,5.193122e-05,5.167634e-05,5.142789e-05,5.118572e-05,5.094972e-05
0.000000e+00,5.212369e-09,1.555188e-08,7.910362e-08,2.328207e-07,3.819957e-07,1.116600e-06,1.160782e-06,2.751104e-06,3.399065e-06,5.595185e-06,8.133877e-06,1.025861e-05,1.672036e-05,1.739807e-05,2.762743e-05,3.059286e-05,4.135014e-05,5.062215e-05,5.870565e-05,7.693462e-05,7.962810e-05,1.039248e-04,1.091666e-04,1.313312e-04,1.467114e-04,1.615425e-04,1.888478e-04,1.942303e-04,2.290524e-04,2.347987e-04,2.656590e-04,2.837608e-04,3.036985e-04,3.349270e-04,3.428219e-04,3.826881e-04,3.875062e-04,4.229686e-04,4.407423e-04,4.633520e-04,4.939324e-04,5.035475e-04,5.432883e-04,5.464405e-04,5.823334e-04,5.977080e-04,6.204694e-04,6.472590e-04,6.575105e-04,6.932995e-04,6.947031e-04,7.277061e-04,7.397333e-04,7.606262e-04,7.821212e-04,7.919801e-04,8.217104e-04,8.497804e-04,8.584088e-04,8.761719e-04,8.921797e-04,9.008822e-04,9.230327e-04,9.239225e-04,9.453163e-04,9.510158e-04,9.650969e-04,9.762081e-04,9.833062e-04,9.987124e-04,9.999925e-04,1.015210e-03,1.018650e-03,1.029015e-03,1.036153e-03,1.041470e-03,1.051363e-03,1.052637e-03,1.062578e-03,1.064425e-03,1.071359e-03,1.075487e-03,1.079042e-03,1.084693e-03,1.085690e-03,1.091364e-03,1.092186e-03,1.096126e-03,1.098104e-03,1.100032e-03,1.102578e-03,1.103138e-03,1.105499e-03,1.105735e-03,1.107166e-03,1.107692e-03,1.108188e-03,1.108563e-03,1.108613e-03,1.108484e-03,1.108451e-03,1.107844e-03,1.107454e-03,1.106733e-03,1.105662e-03,1.105188e-03,1.103245e-03,1.103160e-03,1.100937e-03,1.100023e-03,1.098296e-03,1.096324e-03,1.095350e-03,1.092127e-03,1.088653e-03,1.087493e-03,1.084952e-03,1.082474e-03,1.081046e-03,1.077123e-03,1.076956e-03,1.072701e-03,1.071483e-03,1.068299e-03,1.065595e-03,1.063768e-03,1.059498e-03,1.059123e-03,1.054377e-03,1.053225e-03,1.049546e-03,1.046807e-03,1.044640e-03,1.040271e-03,1.039672e-03,1.034652e-03,1.033643e-03,1.029591e-03,1.026945e-03,1.024496e-03,1.020198e-03,1.019377e-03,1.014241e-03,1.013419e-03,1.009096e-03,1.006625e-03,1.003947e-03,9.998303e-04,9.988017e-04,9.936644e-04,9.930488e-04,9.885407e-04,9.862917e-04,9.834350e-04,9.795695e-04,9.783517e-04,9.732946e-04,9.728913e-04,9.682673e-04,9.662654e-04,9.632729e-04,9.596990e-04,9.583144e-04,9.533944e-04,9.531984e-04,9.485153e-04,9.467692e-04,9.436792e-04,9.404163e-04,9.388881e-04,9.341437e-04,9.279551e-04,9.218536e-04,9.158418e-04,9.099217e-04,9.040953e-04,8.983638e-04,8.927284e-04,8.871898e-04,8.817485e-04,8.764050e-04,8.711592e-04,8.660110e-04,8.609602e-04,8.560064e-04,8.511490e-04,8.463873e-04,8.417205e-04,8.371477e-04,8.326680e-04,8.282802e-04,8.239834e-04,8.197762e-04,8.156575e-04,8.116261e-04
0.000000e+00,6.729141e-10,1.955457e-09,9.424825e-09,2.643058e-08,4.223791e-08,1.153687e-07,1.196032e-07,2.649621e-07,3.213910e-07,5.050455e-07,7.072263e-07,8.707102e-07,1.347417e-06,1.396132e-06,2.113139e-06,2.316218e-06,3.040242e-06,3.650973e-06,4.174540e-06,5.327368e-06,5.494612e-06,6.970053e-06,7.280980e-06,8.569394e-06,9.440330e-06,1.026390e-05,1.174237e-05,1.202848e-05,1.384140e-05,1.413465e-05,1.568366e-05,1.657335e-05,1.753844e-05,1.902123e-05,1.939086e-05,2.122772e-05,2.144653e-05,2.303744e-05,2.382250e-05,2.481005e-05,2.612715e-05,2.653709e-05,2.821159e-05,2.834310e-05,2.982799e-05,3.045729e-05,3.138205e-05,3.246059e-05,3.287068e-05,3.429187e-05,3.434730e-05,3.564453e-05,3.611463e-05,3.692835e-05,3.776217e-05,3.814365e-05,3.929124e-05,4.037243e-05,4.070465e-05,4.138885e-05,4.200622e-05,4.234238e-05,4.320056e-05,4.323513e-05,4.406933e-05,4.429273e-05,4.484728e-05,4.528802e-05,4.557132e-05,4.619188e-05,4.624384e-05,4.686720e-05,4.700975e-05,4.744374e-05,4.774700e-05,4.797574e-05,4.840885e-05,4.846546e-05,4.891504e-05,4.900033e-05,4.932661e-05,4.952627e-05,4.970217e-05,4.999126e-05,5.004369e-05,5.035302e-05,5.039965e-05,5.063196e-05,5.075556e-05,5.088222e-05,5.106287e-05,5.110542e-05,5.130314e-05,5.132522e-05,5.147685e-05,5.154604e-05,5.162796e-05,5.172852e-05,5.175782e-05,5.186770e-05,5.187567e-05,5.195882e-05,5.199028e-05,5.203233e-05,5.207497e-05,5.208932e-05,5.213082e-05,5.213217e-05,5.215782e-05,5.216417e-05,5.217124e-05,5.217306e-05,5.217196e-05,5.216083e-05,5.213862e-05,5.212929e-05,5.210608e-05,5.208017e-05,5.206392e-05,5.201502e-05,5.201282e-05,5.195339e-05,5.193534e-05,5.188623e-05,5.184247e-05,5.181192e-05,5.173768e-05,5.173098e-05,5.164391e-05,5.162215e-05,5.155119e-05,5.149696e-05,5.145326e-05,5.136312e-05,5.135056e-05,5.124348e-05,5.122157e-05,5.113239e-05,5.107316e-05,5.101765e-05,5.091870e-05,5.089960e-05,5.077854e-05,5.075892e-05,5.065479e-05,5.059451e-05,5.052861e-05,5.042610e-05,5.040027e-05,5.027001e-05,5.025426e-05,5.013808e-05,5.007955e-05,5.000468e-05,4.990244e-05,4.987002e-05,4.973431e-05,4.972341e-05,4.959771e-05,4.954286e-05,4.946040e-05,4.936118e-05,4.932253e-05,4.918427e-05,4.917873e-05,4.904574e-05,4.899583e-05,4.890708e-05,4.881278e-05,4.876842e-05,4.862986e-05,4.844731e-05,4.826536e-05,4.808422e-05,4.790408e-05,4.772511e-05,4.754747e-05,4.737129e-05,4.719671e-05,4.702383e-05,4.685277e-05,4.668361e-05,4.651642e-05,4.635129e-05,4.618828e-05,4.602744e-05,4.586882e-05,4.571245e-05,4.555838e-05,4.540662e-05,4.525721e-05,4.511016e-05,4.496548e-05,4.482318e-05,4.468326e-05
0.000000e+00,5.747769e-10,1.560156e-09,6.648029e-09,1.695715e-08,2.587082e-08,6.359303e-08,6.566880e-08,1.330508e-07,1.577933e-07,2.348637e-07,3.153350e-07,3.779740e-07,5.518856e-07,5.690851e-07,8.137053e-07,8.807200e-07,1.113982e-06,1.305508e-06,1.466825e-06,1.814940e-06,1.864782e-06,2.298966e-06,2.389404e-06,2.761136e-06,3.010129e-06,3.244200e-06,3.661594e-06,3.741999e-06,4.249030e-06,4.330671e-06,4.760287e-06,5.005835e-06,5.271209e-06,5.676931e-06,5.777691e-06,6.276110e-06,6.335225e-06,6.763341e-06,6.973486e-06,7.236768e-06,7.586021e-06,7.694276e-06,8.134219e-06,8.168617e-06,8.555391e-06,8.718409e-06,8.956975e-06,9.233708e-06,9.338495e-06,9.699762e-06,9.713792e-06,1.004084e-05,1.015873e-05,1.036199e-05,1.056919e-05,1.066363e-05,1.094631e-05,1.121068e-05,1.129152e-05,1.145742e-05,1.160644e-05,1.168730e-05,1.189283e-05,1.190108e-05,1.209955e-05,1.215248e-05,1.228349e-05,1.238720e-05,1.245367e-05,1.259874e-05,1.261086e-05,1.275578e-05,1.278882e-05,1.288916e-05,1.295905e-05,1.301166e-05,1.311099e-05,1.312394e-05,1.322663e-05,1.324607e-05,1.332031e-05,1.336565e-05,1.340555e-05,1.347101e-05,1.348287e-05,1.355278e-05,1.356331e-05,1.361575e-05,1.364364e-05,1.367222e-05,1.371301e-05,1.372262e-05,1.376735e-05,1.377235e-05,1.380677e-05,1.382252e-05,1.384123e-05,1.386430e-05,1.387106e-05,1.389657e-05,1.389843e-05,1.391805e-05,1.392557e-05,1.393577e-05,1.394634e-05,1.394998e-05,1.396093e-05,1.396130e-05,1.396884e-05,1.397098e-05,1.397391e-05,1.397585e-05,1.397635e-05,1.397634e-05,1.397406e-05,1.397287e-05,1.396966e-05,1.396581e-05,1.396330e-05,1.395549e-05,1.395513e-05,1.394527e-05,1.394223e-05,1.393385e-05,1.392631e-05,1.392100e-05,1.390800e-05,1.390682e-05,1.389141e-05,1.388755e-05,1.387488e-05,1.386517e-05,1.385732e-05,1.384107e-05,1.383880e-05,1.381941e-05,1.381544e-05,1.379923e-05,1.378845e-05,1.377833e-05,1.376027e-05,1.375678e-05,1.373462e-05,1.373103e-05,1.371194e-05,1.370087e-05,1.368877e-05,1.366992e-05,1.366517e-05,1.364119e-05,1.363829e-05,1.361687e-05,1.360608e-05,1.359226e-05,1.357339e-05,1.356740e-05,1.354232e-05,1.354030e-05,1.351705e-05,1.350691e-05,1.349164e-05,1.347327e-05,1.346611e-05,1.344049e-05,1.343946e-05,1.341480e-05,1.340554e-05,1.338907e-05,1.337157e-05,1.336333e-05,1.333759e-05,1.330367e-05,1.326983e-05,1.323612e-05,1.320257e-05,1.316922e-05,1.313610e-05,1.310323e-05,1.307064e-05,1.303835e-05,1.300638e-05,1.297474e-05,1.294346e-05,1.291255e-05,1.288201e-05,1.285186e-05,1.282212e-05,1.279278e-05,1.276385e-05,1.273535e-05,1.270727e-05,1.267962e-05,1.265240e-05,1.262562e-05,1.259927e-05
0.000000e+00,6.609286e-10,1.893552e-09,8.865337e-09,2.421511e-08,3.813690e-08,1.002023e-07,1.037112e-07,2.204330e-07,2.642085e-07,4.023236e-07,5.483159e-07,6.627272e-07,9.824257e-07,1.014153e-06,1.466635e-06,1.590895e-06,2.024239e-06,2.381138e-06,2.682704e-06,3.337147e-06,3.431304e-06,4.256735e-06,4.429858e-06,5.145719e-06,5.628953e-06,6.085850e-06,6.906594e-06,7.065544e-06,8.073770e-06,8.237018e-06,9.099876e-06,9.595716e-06,1.013355e-05,1.095928e-05,1.116492e-05,1.218465e-05,1.230582e-05,1.318417e-05,1.361554e-05,1.415579e-05,1.487141e-05,1.509282e-05,1.598965e-05,1.605951e-05,1.684176e-05,1.716929e-05,1.764575e-05,1.819345e-05,1.839924e-05,1.910079e-05,1.912776e-05,1.974987e-05,1.997070e-05,2.034666e-05,2.072301e-05,2.089199e-05,2.138723e-05,2.183416e-05,2.196731e-05,2.223487e-05,2.246814e-05,2.259169e-05,2.289525e-05,2.290710e-05,2.318366e-05,2.325449e-05,2.342396e-05,2.355182e-05,2.363059e-05,2.379311e-05,2.380606e-05,2.395282e-05,2.398403e-05,2.407321e-05,2.412994e-05,2.416945e-05,2.423584e-05,2.424365e-05,2.429777e-05,2.430635e-05,2.433367e-05,2.434570e-05,2.435304e-05,2.435771e-05,2.435747e-05,2.434843e-05,2.434583e-05,2.432726e-05,2.431315e-05,2.429518e-05,2.426243e-05,2.425333e-05,2.420273e-05,2.419612e-05,2.414434e-05,2.411640e-05,2.407900e-05,2.402518e-05,2.400750e-05,2.393054e-05,2.392417e-05,2.384877e-05,2.381484e-05,2.376276e-05,2.369852e-05,2.367306e-05,2.358014e-05,2.357636e-05,2.348444e-05,2.344938e-05,2.338635e-05,2.331848e-05,2.328624e-05,2.318443e-05,2.308121e-05,2.304793e-05,2.297685e-05,2.290958e-05,2.287160e-05,2.276992e-05,2.276567e-05,2.265926e-05,2.262940e-05,2.255255e-05,2.248845e-05,2.244571e-05,2.234742e-05,2.233888e-05,2.223219e-05,2.220662e-05,2.212578e-05,2.206634e-05,2.201973e-05,2.192681e-05,2.191417e-05,2.180917e-05,2.178824e-05,2.170481e-05,2.165082e-05,2.160116e-05,2.151471e-05,2.149830e-05,2.139628e-05,2.138004e-05,2.129515e-05,2.124694e-05,2.119496e-05,2.111551e-05,2.109574e-05,2.099755e-05,2.098583e-05,2.090040e-05,2.085799e-05,2.080432e-05,2.073204e-05,2.070935e-05,2.061550e-05,2.060804e-05,2.052279e-05,2.048603e-05,2.043123e-05,2.036604e-05,2.034085e-05,2.025164e-05,2.024810e-05,2.016362e-05,2.013222e-05,2.007679e-05,2.001844e-05,1.999117e-05,1.990674e-05,1.979714e-05,1.968963e-05,1.958421e-05,1.948087e-05,1.937960e-05,1.928039e-05,1.918321e-05,1.908806e-05,1.899490e-05,1.890372e-05,1.881450e-05,1.872720e-05,1.864181e-05,1.855830e-05,1.847663e-05,1.839678e-05,1.831873e-05,1.824243e-05,1.816787e-05,1.809501e-05,1.802381e-05,1.795426e-05,1.788632e-05,1.781996e-05
0.000000e+00,3.755620e-10,1.094478e-09,5.295906e-09,1.486470e-08,2.373596e-08,6.437969e-08,6.671247e-08,1.454849e-07,1.754233e-07,2.706531e-07,3.720480e-07,4.517737e-07,6.750272e-07,6.972016e-07,1.013851e-06,1.101039e-06,1.406541e-06,1.660419e-06,1.876857e-06,2.352994e-06,2.422212e-06,3.035992e-06,3.166161e-06,3.708746e-06,4.078291e-06,4.429572e-06,5.063936e-06,5.187156e-06,5.970384e-06,6.097363e-06,6.768666e-06,7.154252e-06,7.572103e-06,8.212425e-06,8.371603e-06,9.158963e-06,9.252275e-06,9.926938e-06,1.025706e-05,1.066930e-05,1.121313e-05,1.138085e-05,1.205746e-05,1.210998e-05,1.269600e-05,1.294023e-05,1.329430e-05,1.369941e-05,1.385109e-05,1.436589e-05,1.438561e-05,1.483891e-05,1.499911e-05,1.527095e-05,1.554194e-05,1.566325e-05,1.601743e-05,1.633538e-05,1.642980e-05,1.661917e-05,1.678387e-05,1.687098e-05,1.708471e-05,1.709305e-05,1.728760e-05,1.733744e-05,1.745682e-05,1.754708e-05,1.760283e-05,1.771839e-05,1.772764e-05,1.783315e-05,1.785580e-05,1.792114e-05,1.796339e-05,1.799328e-05,1.804486e-05,1.805109e-05,1.809597e-05,1.810351e-05,1.812921e-05,1.814229e-05,1.815198e-05,1.816378e-05,1.816532e-05,1.817019e-05,1.817025e-05,1.816747e-05,1.816369e-05,1.815791e-05,1.814583e-05,1.814224e-05,1.812107e-05,1.811818e-05,1.809496e-05,1.808205e-05,1.806444e-05,1.803857e-05,1.802996e-05,1.799193e-05,1.798874e-05,1.795072e-05,1.793342e-05,1.790667e-05,1.787336e-05,1.786008e-05,1.781122e-05,1.780922e-05,1.776034e-05,1.774158e-05,1.770767e-05,1.767094e-05,1.765341e-05,1.759774e-05,1.754084e-05,1.752239e-05,1.748285e-05,1.744523e-05,1.742391e-05,1.736657e-05,1.736416e-05,1.730372e-05,1.728668e-05,1.724269e-05,1.720582e-05,1.718116e-05,1.712421e-05,1.711924e-05,1.705700e-05,1.704203e-05,1.699453e-05,1.695947e-05,1.693189e-05,1.687669e-05,1.686916e-05,1.680638e-05,1.679383e-05,1.674362e-05,1.671101e-05,1.668093e-05,1.662836e-05,1.661836e-05,1.655594e-05,1.654598e-05,1.649373e-05,1.646395e-05,1.643176e-05,1.638238e-05,1.637006e-05,1.630867e-05,1.630133e-05,1.624762e-05,1.622087e-05,1.618693e-05,1.614106e-05,1.612663e-05,1.606674e-05,1.606196e-05,1.600728e-05,1.598362e-05,1.594827e-05,1.590608e-05,1.588973e-05,1.583168e-05,1.582937e-05,1.577413e-05,1.575354e-05,1.571710e-05,1.567861e-05,1.566059e-05,1.560462e-05,1.553157e-05,1.545950e-05,1.538842e-05,1.531834e-05,1.524928e-05,1.518123e-05,1.511422e-05,1.504825e-05,1.498331e-05,1.491942e-05,1.485656e-05,1.479475e-05,1.473398e-05,1.467423e-05,1.461552e-05,1.455783e-05,1.450116e-05,1.444550e-05,1.439085e-05,1.433718e-05,1.428451e-05,1.423280e-05,1.418206e-05,1.413228e-05
0.000000e+00,1.164768e-09,3.338973e-09,1.564285e-08,4.272558e-08,6.727001e-08,1.764556e-07,1.826172e-07,3.869430e-07,4.632720e-07,7.030970e-07,9.550616e-07,1.151506e-06,1.696380e-06,1.750179e-06,2.513992e-06,2.723108e-06,3.452604e-06,4.055355e-06,4.566764e-06,5.682966e-06,5.844090e-06,7.257423e-06,7.553146e-06,8.768283e-06,9.578289e-06,1.033407e-05,1.166234e-05,1.191478e-05,1.347677e-05,1.372309e-05,1.499375e-05,1.569995e-05,1.644620e-05,1.755224e-05,1.782027e-05,1.910663e-05,1.925479e-05,2.029955e-05,2.079402e-05,2.139620e-05,2.216486e-05,2.239603e-05,2.330032e-05,2.336860e-05,2.411175e-05,2.441114e-05,2.483411e-05,2.530160e-05,2.547197e-05,2.603040e-05,2.605117e-05,2.651483e-05,2.667217e-05,2.693078e-05,2.717736e-05,2.728382e-05,2.757935e-05,2.782262e-05,2.789025e-05,2.801859e-05,2.812136e-05,2.817194e-05,2.828310e-05,2.828702e-05,2.836787e-05,2.838489e-05,2.841818e-05,2.843513e-05,2.844134e-05,2.844130e-05,2.844041e-05,2.841818e-05,2.840996e-05,2.837716e-05,2.834684e-05,2.831962e-05,2.825693e-05,2.824759e-05,2.816288e-05,2.814457e-05,2.806714e-05,2.801349e-05,2.796183e-05,2.786692e-05,2.784824e-05,2.772754e-05,2.770764e-05,2.760077e-05,2.753804e-05,2.746886e-05,2.736018e-05,2.733262e-05,2.719280e-05,2.717582e-05,2.705006e-05,2.698647e-05,2.690497e-05,2.679345e-05,2.675805e-05,2.660978e-05,2.659787e-05,2.646055e-05,2.640068e-05,2.631075e-05,2.620271e-05,2.616069e-05,2.601067e-05,2.600467e-05,2.586094e-05,2.580716e-05,2.571174e-05,2.561069e-05,2.556327e-05,2.541570e-05,2.526920e-05,2.522257e-05,2.512391e-05,2.503162e-05,2.497996e-05,2.484311e-05,2.483744e-05,2.469646e-05,2.465728e-05,2.455711e-05,2.447430e-05,2.441944e-05,2.429433e-05,2.428352e-05,2.414942e-05,2.411750e-05,2.401716e-05,2.394392e-05,2.388679e-05,2.377365e-05,2.375834e-05,2.363183e-05,2.360676e-05,2.350728e-05,2.344330e-05,2.338472e-05,2.328329e-05,2.326413e-05,2.314555e-05,2.312676e-05,2.302895e-05,2.297370e-05,2.291436e-05,2.282411e-05,2.280175e-05,2.269113e-05,2.267799e-05,2.258248e-05,2.253530e-05,2.247580e-05,2.239602e-05,2.237106e-05,2.226827e-05,2.226012e-05,2.216739e-05,2.212757e-05,2.206841e-05,2.199832e-05,2.197132e-05,2.187609e-05,2.187232e-05,2.178270e-05,2.174953e-05,2.169113e-05,2.162989e-05,2.160136e-05,2.151337e-05,2.139988e-05,2.128940e-05,2.118185e-05,2.107717e-05,2.097532e-05,2.087622e-05,2.077982e-05,2.068607e-05,2.059489e-05,2.050624e-05,2.042005e-05,2.033626e-05,2.025482e-05,2.017567e-05,2.009875e-05,2.002401e-05,1.995138e-05,1.988083e-05,1.981229e-05,1.974571e-05,1.968104e-05,1.961823e-05,1.955724e-05,1.949800e-05
0.000000e+00,5.737662e-09,1.308503e-08,4.475573e-08,1.016434e-07,1.483649e-07,3.390592e-07,3.494371e-07,6.873406e-07,8.129046e-07,1.210450e-06,1.633468e-06,1.964916e-06,2.873554e-06,2.961543e-06,4.165091e-06,4.479373e-06,5.529171e-06,6.349622e-06,7.018749e-06,8.413685e-06,8.609191e-06,1.028093e-05,1.062346e-05,1.201619e-05,1.293783e-05,1.379753e-05,1.531678e-05,1.560762e-05,1.742935e-05,1.772079e-05,1.924628e-05,2.011214e-05,2.104306e-05,2.245655e-05,2.280576e-05,2.452215e-05,2.472450e-05,2.618187e-05,2.689194e-05,2.777643e-05,2.894057e-05,2.929919e-05,3.074517e-05,3.085742e-05,3.211100e-05,3.263441e-05,3.339470e-05,3.426761e-05,3.459545e-05,3.571348e-05,3.575649e-05,3.674982e-05,3.710323e-05,3.770620e-05,3.831198e-05,3.858484e-05,3.938837e-05,4.011970e-05,4.033898e-05,4.078194e-05,4.117101e-05,4.137833e-05,4.189195e-05,4.191214e-05,4.238668e-05,4.250938e-05,4.280522e-05,4.303081e-05,4.317098e-05,4.346356e-05,4.348710e-05,4.375661e-05,4.381468e-05,4.398241e-05,4.409083e-05,4.416732e-05,4.429834e-05,4.431402e-05,4.442505e-05,4.444320e-05,4.450286e-05,4.453096e-05,4.454976e-05,4.456686e-05,4.456792e-05,4.455943e-05,4.455573e-05,4.452624e-05,4.450208e-05,4.447019e-05,4.441007e-05,4.439303e-05,4.429640e-05,4.428357e-05,4.418184e-05,4.412613e-05,4.405081e-05,4.394104e-05,4.390465e-05,4.374466e-05,4.373130e-05,4.357203e-05,4.349969e-05,4.338789e-05,4.324877e-05,4.319329e-05,4.298921e-05,4.298087e-05,4.277659e-05,4.269812e-05,4.255628e-05,4.240250e-05,4.232909e-05,4.209578e-05,4.185704e-05,4.177961e-05,4.161354e-05,4.145547e-05,4.136587e-05,4.112474e-05,4.111463e-05,4.086032e-05,4.078863e-05,4.060345e-05,4.044829e-05,4.034447e-05,4.010472e-05,4.008381e-05,3.982187e-05,3.975885e-05,3.955900e-05,3.941153e-05,3.929556e-05,3.906349e-05,3.903184e-05,3.876815e-05,3.871544e-05,3.850475e-05,3.836798e-05,3.824188e-05,3.802165e-05,3.797978e-05,3.771864e-05,3.767697e-05,3.745868e-05,3.733436e-05,3.720004e-05,3.699421e-05,3.694291e-05,3.668743e-05,3.665689e-05,3.643372e-05,3.632268e-05,3.618191e-05,3.599188e-05,3.593212e-05,3.568443e-05,3.566471e-05,3.543894e-05,3.534137e-05,3.519572e-05,3.502206e-05,3.495486e-05,3.471640e-05,3.470691e-05,3.448041e-05,3.439607e-05,3.424694e-05,3.408963e-05,3.401602e-05,3.378770e-05,3.349033e-05,3.319758e-05,3.290950e-05,3.262611e-05,3.234744e-05,3.207347e-05,3.180422e-05,3.153966e-05,3.127979e-05,3.102456e-05,3.077395e-05,3.052791e-05,3.028641e-05,3.004940e-05,2.981682e-05,2.958862e-05,2.936475e-05,2.914513e-05,2.892972e-05,2.871844e-05,2.851123e-05,2.830802e-05,2.810875e-05,2.791335e-05
0.000000e+00,6.676357e-09,1.523742e-08,5.217871e-08,1.185440e-07,1.730019e-07,3.945367e-07,4.065552e-07,7.956620e-07,9.391758e-07,1.389901e-06,1.863948e-06,2.232055e-06,3.231934e-06,3.328378e-06,4.647743e-06,4.993239e-06,6.152481e-06,7.064691e-06,7.812770e-06,9.383537e-06,9.604823e-06,1.150716e-05,1.189900e-05,1.349861e-05,1.456226e-05,1.555771e-05,1.732384e-05,1.766288e-05,1.979296e-05,2.013472e-05,2.192776e-05,2.294858e-05,2.404859e-05,2.572386e-05,2.613870e-05,2.818350e-05,2.842523e-05,3.017063e-05,3.102401e-05,3.208997e-05,3.349835e-05,3.393355e-05,3.569541e-05,3.583269e-05,3.737131e-05,3.801697e-05,3.895861e-05,4.004580e-05,4.045596e-05,4.186312e-05,4.191754e-05,4.318077e-05,4.363346e-05,4.441031e-05,4.519705e-05,4.555371e-05,4.661339e-05,4.759209e-05,4.788865e-05,4.849277e-05,4.902971e-05,4.931858e-05,5.004390e-05,5.007273e-05,5.075851e-05,5.093872e-05,5.137917e-05,5.172165e-05,5.193793e-05,5.240005e-05,5.243796e-05,5.288238e-05,5.298110e-05,5.327418e-05,5.347171e-05,5.361630e-05,5.387851e-05,5.391155e-05,5.416265e-05,5.420781e-05,5.437221e-05,5.446559e-05,5.454271e-05,5.465750e-05,5.467655e-05,5.477601e-05,5.478888e-05,5.484326e-05,5.486471e-05,5.488037e-05,5.488969e-05,5.488932e-05,5.487198e-05,5.486822e-05,5.483013e-05,5.480438e-05,5.476545e-05,5.470202e-05,5.467955e-05,5.457394e-05,5.456468e-05,5.445005e-05,5.439569e-05,5.430926e-05,5.419814e-05,5.415283e-05,5.398199e-05,5.397487e-05,5.379788e-05,5.372856e-05,5.360157e-05,5.346165e-05,5.339410e-05,5.317642e-05,5.294943e-05,5.287497e-05,5.271400e-05,5.255926e-05,5.247092e-05,5.223107e-05,5.222094e-05,5.196479e-05,5.189205e-05,5.170312e-05,5.154373e-05,5.143656e-05,5.118751e-05,5.116570e-05,5.089109e-05,5.082468e-05,5.061324e-05,5.045642e-05,5.033264e-05,5.008380e-05,5.004974e-05,4.976497e-05,4.970782e-05,4.947871e-05,4.932939e-05,4.919134e-05,4.894933e-05,4.890319e-05,4.861460e-05,4.856840e-05,4.832586e-05,4.818729e-05,4.803724e-05,4.780661e-05,4.774901e-05,4.746139e-05,4.742693e-05,4.717463e-05,4.704877e-05,4.688891e-05,4.667258e-05,4.660443e-05,4.632136e-05,4.629878e-05,4.603987e-05,4.592775e-05,4.576010e-05,4.555981e-05,4.548219e-05,4.520626e-05,4.519526e-05,4.493242e-05,4.483437e-05,4.466078e-05,4.447737e-05,4.439144e-05,4.412447e-05,4.377583e-05,4.343163e-05,4.309198e-05,4.275700e-05,4.242679e-05,4.210142e-05,4.178095e-05,4.146543e-05,4.115490e-05,4.084937e-05,4.054885e-05,4.025336e-05,3.996288e-05,3.967739e-05,3.939688e-05,3.912131e-05,3.885066e-05,3.858487e-05,3.832391e-05,3.806773e-05,3.781627e-05,3.756949e-05,3.732731e-05,3.708968e-05
0.000000e+00,3.031575e-09,8.242445e-09,3.528063e-08,9.055050e-08,1.387903e-07,3.471533e-07,3.588092e-07,7.473968e-07,8.948851e-07,1.369774e-06,1.888753e-06,2.307379e-06,3.524645e-06,3.648622e-06,5.456763e-06,5.961534e-06,7.728613e-06,9.177801e-06,1.039073e-05,1.297447e-05,1.334031e-05,1.648362e-05,1.712883e-05,1.974876e-05,2.147666e-05,2.308291e-05,2.590755e-05,2.644628e-05,2.980733e-05,3.034307e-05,3.313984e-05,3.472262e-05,3.642143e-05,3.899695e-05,3.963276e-05,4.275735e-05,4.312578e-05,4.578129e-05,4.707692e-05,4.869322e-05,5.082581e-05,5.148423e-05,5.414770e-05,5.435512e-05,5.667910e-05,5.765403e-05,5.907579e-05,6.071737e-05,6.133676e-05,6.346242e-05,6.354466e-05,6.545439e-05,6.613924e-05,6.731522e-05,6.850735e-05,6.904823e-05,7.065732e-05,7.214685e-05,7.259900e-05,7.352146e-05,7.434313e-05,7.478600e-05,7.590101e-05,7.594544e-05,7.700477e-05,7.728412e-05,7.796898e-05,7.850389e-05,7.884298e-05,7.957152e-05,7.963158e-05,8.033947e-05,8.049787e-05,8.097120e-05,8.129334e-05,8.153114e-05,8.196785e-05,8.202350e-05,8.245232e-05,8.253080e-05,8.282145e-05,8.299104e-05,8.313458e-05,8.335690e-05,8.339521e-05,8.360669e-05,8.363618e-05,8.377218e-05,8.383617e-05,8.389469e-05,8.396367e-05,8.397706e-05,8.402200e-05,8.402500e-05,8.403205e-05,8.402604e-05,8.400962e-05,8.397227e-05,8.395701e-05,8.387635e-05,8.386875e-05,8.376969e-05,8.372018e-05,8.363894e-05,8.353089e-05,8.348589e-05,8.331227e-05,8.330492e-05,8.311967e-05,8.304598e-05,8.290959e-05,8.275749e-05,8.268347e-05,8.244263e-05,8.218833e-05,8.210431e-05,8.192176e-05,8.174523e-05,8.164402e-05,8.136786e-05,8.135617e-05,8.105916e-05,8.097449e-05,8.075393e-05,8.056721e-05,8.044134e-05,8.014794e-05,8.012219e-05,7.979723e-05,7.971846e-05,7.946719e-05,7.928038e-05,7.913271e-05,7.883520e-05,7.879443e-05,7.845292e-05,7.838428e-05,7.810872e-05,7.792885e-05,7.776235e-05,7.747006e-05,7.741427e-05,7.706493e-05,7.700895e-05,7.671474e-05,7.654646e-05,7.636408e-05,7.608345e-05,7.601330e-05,7.566275e-05,7.562071e-05,7.531272e-05,7.515895e-05,7.496351e-05,7.469881e-05,7.461537e-05,7.426856e-05,7.424088e-05,7.392330e-05,7.378568e-05,7.357980e-05,7.333368e-05,7.323825e-05,7.289883e-05,7.288530e-05,7.256171e-05,7.244094e-05,7.222703e-05,7.200092e-05,7.189494e-05,7.156555e-05,7.113509e-05,7.070978e-05,7.028983e-05,6.987540e-05,6.946666e-05,6.906372e-05,6.866670e-05,6.827569e-05,6.789076e-05,6.751196e-05,6.713934e-05,6.677292e-05,6.641273e-05,6.605876e-05,6.571101e-05,6.536946e-05,6.503409e-05,6.470487e-05,6.438176e-05,6.406472e-05,6.375370e-05,6.344865e-05,6.314949e-05,6.285618e-05
0.000000e+00,7.302032e-09,1.779263e-08,6.531312e-08,1.528071e-07,2.249841e-07,5.166933e-07,5.323711e-07,1.030473e-06,1.209775e-06,1.760591e-06,2.326648e-06,2.762417e-06,3.955223e-06,4.072049e-06,5.716837e-06,6.163031e-06,7.706004e-06,8.964196e-06,1.001912e-05,1.228029e-05,1.260209e-05,1.538004e-05,1.595226e-05,1.827813e-05,1.981130e-05,2.123388e-05,2.372531e-05,2.419861e-05,2.713446e-05,2.759942e-05,3.001156e-05,3.136452e-05,3.280614e-05,3.496961e-05,3.549941e-05,3.807691e-05,3.837788e-05,4.052802e-05,4.156449e-05,4.284551e-05,4.451469e-05,4.502507e-05,4.706485e-05,4.722199e-05,4.896510e-05,4.968651e-05,5.072774e-05,5.191339e-05,5.235599e-05,5.385410e-05,5.391138e-05,5.522704e-05,5.569169e-05,5.648028e-05,5.726706e-05,5.761962e-05,5.865104e-05,5.958054e-05,5.985743e-05,6.041409e-05,6.089991e-05,6.115753e-05,6.179177e-05,6.181658e-05,6.239681e-05,6.254587e-05,6.290351e-05,6.317435e-05,6.334174e-05,6.368858e-05,6.371631e-05,6.403179e-05,6.409920e-05,6.429249e-05,6.441609e-05,6.450248e-05,6.464836e-05,6.466557e-05,6.478537e-05,6.480443e-05,6.486523e-05,6.489204e-05,6.490832e-05,6.491827e-05,6.491760e-05,6.489582e-05,6.488962e-05,6.484556e-05,6.481204e-05,6.476924e-05,6.469094e-05,6.466911e-05,6.454725e-05,6.453126e-05,6.440562e-05,6.433752e-05,6.424604e-05,6.411380e-05,6.407020e-05,6.387968e-05,6.386385e-05,6.367592e-05,6.359103e-05,6.346031e-05,6.329842e-05,6.323408e-05,6.299842e-05,6.298881e-05,6.275441e-05,6.266472e-05,6.250306e-05,6.232843e-05,6.224531e-05,6.198200e-05,6.171395e-05,6.162729e-05,6.144189e-05,6.126598e-05,6.116650e-05,6.089959e-05,6.088843e-05,6.060824e-05,6.052948e-05,6.032647e-05,6.015687e-05,6.004363e-05,5.978285e-05,5.976015e-05,5.947647e-05,5.940840e-05,5.919296e-05,5.903440e-05,5.890998e-05,5.866164e-05,5.862784e-05,5.834684e-05,5.829080e-05,5.806725e-05,5.792250e-05,5.778931e-05,5.755728e-05,5.751325e-05,5.723926e-05,5.719563e-05,5.696753e-05,5.683796e-05,5.669823e-05,5.648463e-05,5.643150e-05,5.616747e-05,5.613597e-05,5.590626e-05,5.579225e-05,5.564798e-05,5.545370e-05,5.539272e-05,5.514056e-05,5.512052e-05,5.489157e-05,5.479288e-05,5.464581e-05,5.447090e-05,5.440334e-05,5.416420e-05,5.415470e-05,5.392842e-05,5.384436e-05,5.369603e-05,5.353995e-05,5.346705e-05,5.324150e-05,5.294905e-05,5.266260e-05,5.238215e-05,5.210768e-05,5.183917e-05,5.157657e-05,5.131985e-05,5.106894e-05,5.082378e-05,5.058432e-05,5.035047e-05,5.012216e-05,4.989930e-05,4.968183e-05,4.946963e-05,4.926264e-05,4.906075e-05,4.886387e-05,4.867192e-05,4.848479e-05,4.830238e-05,4.812462e-05,4.795139e-05,4.778260e-05
0.000000e+00,4.280687e-09,9.782072e-09,3.353938e-08,7.618168e-08,1.110987e-07,2.522878e-07,2.599071e-07,5.045340e-07,5.939139e-07,8.730441e-07,1.166968e-06,1.397937e-06,2.049355e-06,2.114544e-06,3.054180e-06,3.315018e-06,4.231062e-06,4.989690e-06,5.631188e-06,7.017948e-06,7.216411e-06,8.940690e-06,9.298454e-06,1.076280e-05,1.173780e-05,1.265007e-05,1.426699e-05,1.457710e-05,1.652365e-05,1.683574e-05,1.847283e-05,1.940502e-05,2.041009e-05,2.194270e-05,2.232268e-05,2.419934e-05,2.442164e-05,2.603020e-05,2.681904e-05,2.780679e-05,2.911627e-05,2.952199e-05,3.116997e-05,3.129876e-05,3.274617e-05,3.335577e-05,3.424723e-05,3.528014e-05,3.567085e-05,3.701569e-05,3.706783e-05,3.828128e-05,3.871752e-05,3.946787e-05,4.023006e-05,4.057635e-05,4.160814e-05,4.256506e-05,4.285582e-05,4.344930e-05,4.397817e-05,4.426325e-05,4.498095e-05,4.500953e-05,4.569087e-05,4.587039e-05,4.631008e-05,4.665297e-05,4.687001e-05,4.733526e-05,4.737353e-05,4.782348e-05,4.792380e-05,4.822265e-05,4.842503e-05,4.857379e-05,4.884518e-05,4.887956e-05,4.914256e-05,4.919025e-05,4.936529e-05,4.946600e-05,4.955016e-05,4.967788e-05,4.969948e-05,4.981545e-05,4.983106e-05,4.990022e-05,4.993041e-05,4.995579e-05,4.998053e-05,4.998410e-05,4.998697e-05,4.998569e-05,4.996616e-05,4.994993e-05,4.992332e-05,4.987699e-05,4.986002e-05,4.977774e-05,4.977038e-05,4.967789e-05,4.963333e-05,4.956180e-05,4.946888e-05,4.943074e-05,4.928589e-05,4.927982e-05,4.912837e-05,4.906876e-05,4.895924e-05,4.883811e-05,4.877949e-05,4.859007e-05,4.839187e-05,4.832672e-05,4.818570e-05,4.804994e-05,4.797236e-05,4.776148e-05,4.775258e-05,4.752704e-05,4.746295e-05,4.729640e-05,4.715582e-05,4.706126e-05,4.684145e-05,4.682219e-05,4.657972e-05,4.652108e-05,4.633436e-05,4.619586e-05,4.608656e-05,4.586683e-05,4.583676e-05,4.558537e-05,4.553493e-05,4.533276e-05,4.520105e-05,4.507930e-05,4.486596e-05,4.482530e-05,4.457107e-05,4.453039e-05,4.431690e-05,4.419499e-05,4.406304e-05,4.386035e-05,4.380975e-05,4.355724e-05,4.352701e-05,4.330573e-05,4.319544e-05,4.305541e-05,4.286607e-05,4.280645e-05,4.255902e-05,4.253930e-05,4.231327e-05,4.221547e-05,4.206933e-05,4.189488e-05,4.182732e-05,4.158736e-05,4.157781e-05,4.134956e-05,4.126449e-05,4.111400e-05,4.095515e-05,4.088077e-05,4.064995e-05,4.034905e-05,4.005259e-05,3.976069e-05,3.947343e-05,3.919089e-05,3.891313e-05,3.864019e-05,3.837211e-05,3.810891e-05,3.785059e-05,3.759715e-05,3.734858e-05,3.710486e-05,3.686597e-05,3.663187e-05,3.640252e-05,3.617788e-05,3.595790e-05,3.574253e-05,3.553171e-05,3.532538e-05,3.512347e-05,3.492593e-05,3.473269e-05
0.000000e+00,3.970212e-10,1.128465e-09,5.210244e-09,1.408962e-08,2.208953e-08,5.751632e-08,5.951288e-08,1.257666e-07,1.505701e-07,2.287616e-07,3.113495e-07,3.760317e-07,5.564998e-07,5.743821e-07,8.288442e-07,8.985830e-07,1.141779e-06,1.342648e-06,1.513240e-06,1.887538e-06,1.941945e-06,2.425899e-06,2.529105e-06,2.962560e-06,3.261448e-06,3.548827e-06,4.076937e-06,4.181000e-06,4.854789e-06,4.966141e-06,5.565370e-06,5.917986e-06,6.307482e-06,6.920131e-06,7.075545e-06,7.863799e-06,7.959470e-06,8.666437e-06,9.022674e-06,9.477738e-06,1.009672e-05,1.029218e-05,1.110456e-05,1.116931e-05,1.191002e-05,1.222927e-05,1.270418e-05,1.326675e-05,1.348311e-05,1.424339e-05,1.427337e-05,1.498210e-05,1.524228e-05,1.569682e-05,1.616811e-05,1.638559e-05,1.704689e-05,1.767960e-05,1.787590e-05,1.828299e-05,1.865356e-05,1.885662e-05,1.937920e-05,1.940038e-05,1.991437e-05,2.005299e-05,2.039892e-05,2.067571e-05,2.085452e-05,2.124866e-05,2.128182e-05,2.168158e-05,2.177352e-05,2.205465e-05,2.225225e-05,2.240195e-05,2.268701e-05,2.272443e-05,2.302310e-05,2.308007e-05,2.329898e-05,2.343376e-05,2.355307e-05,2.375043e-05,2.378641e-05,2.400000e-05,2.403240e-05,2.419481e-05,2.428194e-05,2.437183e-05,2.450125e-05,2.453197e-05,2.467615e-05,2.469243e-05,2.480525e-05,2.485749e-05,2.492010e-05,2.499836e-05,2.502151e-05,2.511026e-05,2.511683e-05,2.518707e-05,2.521462e-05,2.525266e-05,2.529331e-05,2.530769e-05,2.535280e-05,2.535441e-05,2.538860e-05,2.539931e-05,2.541565e-05,2.542933e-05,2.543451e-05,2.544568e-05,2.544966e-05,2.544949e-05,2.544691e-05,2.544182e-05,2.543787e-05,2.542364e-05,2.542294e-05,2.540252e-05,2.539587e-05,2.537698e-05,2.535935e-05,2.534667e-05,2.531485e-05,2.531191e-05,2.527302e-05,2.526310e-05,2.523029e-05,2.520478e-05,2.518399e-05,2.514050e-05,2.513438e-05,2.508172e-05,2.507084e-05,2.502622e-05,2.499632e-05,2.496812e-05,2.491745e-05,2.490762e-05,2.484490e-05,2.483467e-05,2.478016e-05,2.474842e-05,2.471356e-05,2.465906e-05,2.464528e-05,2.457545e-05,2.456698e-05,2.450423e-05,2.447249e-05,2.443175e-05,2.437590e-05,2.435814e-05,2.428351e-05,2.427750e-05,2.420799e-05,2.417755e-05,2.413167e-05,2.407629e-05,2.405466e-05,2.397706e-05,2.397394e-05,2.389894e-05,2.387071e-05,2.382040e-05,2.376679e-05,2.374151e-05,2.366234e-05,2.355754e-05,2.345253e-05,2.334743e-05,2.324239e-05,2.313750e-05,2.303289e-05,2.292863e-05,2.282483e-05,2.272155e-05,2.261888e-05,2.251687e-05,2.241560e-05,2.231510e-05,2.221545e-05,2.211666e-05,2.201880e-05,2.192189e-05,2.182597e-05,2.173106e-05,2.163719e-05,2.154438e-05,2.145266e-05,2.136203e-05,2.127251e-05
0.000000e+00,5.896648e-09,1.348148e-08,4.633071e-08,1.056878e-07,1.546694e-07,3.560923e-07,3.671101e-07,7.281626e-07,8.632610e-07,1.293565e-06,1.755254e-06,2.119665e-06,3.130294e-06,3.228988e-06,4.590139e-06,4.948234e-06,6.149437e-06,7.091900e-06,7.862055e-06,9.470405e-06,9.696045e-06,1.162715e-05,1.202317e-05,1.363462e-05,1.470224e-05,1.569914e-05,1.746379e-05,1.780210e-05,1.992559e-05,2.026610e-05,2.205265e-05,2.307025e-05,2.416762e-05,2.584137e-05,2.625642e-05,2.830674e-05,2.854967e-05,3.030813e-05,3.117095e-05,3.225195e-05,3.368645e-05,3.413131e-05,3.594096e-05,3.608260e-05,3.767711e-05,3.835038e-05,3.933723e-05,4.048461e-05,4.091990e-05,4.242464e-05,4.248320e-05,4.385169e-05,4.434656e-05,4.520194e-05,4.607692e-05,4.647676e-05,4.767790e-05,4.880740e-05,4.915408e-05,4.986751e-05,5.051067e-05,5.086063e-05,5.175331e-05,5.178925e-05,5.265593e-05,5.288785e-05,5.346324e-05,5.392019e-05,5.421372e-05,5.485615e-05,5.490991e-05,5.555428e-05,5.570150e-05,5.614928e-05,5.646179e-05,5.669725e-05,5.714240e-05,5.720050e-05,5.766124e-05,5.774848e-05,5.808162e-05,5.828494e-05,5.846368e-05,5.875646e-05,5.880941e-05,5.912072e-05,5.916745e-05,5.939941e-05,5.952212e-05,5.964725e-05,5.982442e-05,5.986589e-05,6.005693e-05,6.007807e-05,6.022189e-05,6.028659e-05,6.036224e-05,6.045328e-05,6.047934e-05,6.057453e-05,6.058124e-05,6.064907e-05,6.067337e-05,6.070414e-05,6.073239e-05,6.074091e-05,6.076044e-05,6.076088e-05,6.076377e-05,6.076120e-05,6.075190e-05,6.073561e-05,6.072574e-05,6.068619e-05,6.063408e-05,6.061489e-05,6.057023e-05,6.052355e-05,6.049539e-05,6.041387e-05,6.041027e-05,6.031558e-05,6.028743e-05,6.021194e-05,6.014573e-05,6.009999e-05,5.999014e-05,5.998030e-05,5.985342e-05,5.982197e-05,5.971989e-05,5.964240e-05,5.958020e-05,5.945255e-05,5.943482e-05,5.928419e-05,5.925348e-05,5.912875e-05,5.904614e-05,5.896887e-05,5.883144e-05,5.880496e-05,5.863735e-05,5.861022e-05,5.846640e-05,5.838325e-05,5.829242e-05,5.815126e-05,5.811571e-05,5.793656e-05,5.791491e-05,5.775524e-05,5.767484e-05,5.757201e-05,5.743161e-05,5.738709e-05,5.720073e-05,5.718577e-05,5.701314e-05,5.693780e-05,5.682451e-05,5.668817e-05,5.663504e-05,5.644491e-05,5.643729e-05,5.625428e-05,5.618557e-05,5.606332e-05,5.593335e-05,5.587217e-05,5.568098e-05,5.542876e-05,5.517696e-05,5.492587e-05,5.467570e-05,5.442667e-05,5.417900e-05,5.393285e-05,5.368840e-05,5.344580e-05,5.320518e-05,5.296667e-05,5.273038e-05,5.249641e-05,5.226485e-05,5.203578e-05,5.180928e-05,5.158540e-05,5.136420e-05,5.114573e-05,5.093003e-05,5.071713e-05,5.050706e-05,5.029985e-05,5.009551e-05
0.000000e+00,1.838116e-09,4.862546e-09,1.993468e-08,4.968944e-08,7.511787e-08,1.818132e-07,1.876682e-07,3.777966e-07,4.477936e-07,6.668210e-07,8.972844e-07,1.077931e-06,1.584582e-06,1.635040e-06,2.357515e-06,2.556626e-06,3.252358e-06,3.826423e-06,4.312145e-06,5.368967e-06,5.521411e-06,6.863547e-06,7.146563e-06,8.323502e-06,9.124716e-06,9.887774e-06,1.127310e-05,1.154370e-05,1.327886e-05,1.356302e-05,1.508083e-05,1.596581e-05,1.693704e-05,1.845261e-05,1.883492e-05,2.076205e-05,2.099469e-05,2.270634e-05,2.356425e-05,2.465622e-05,2.613516e-05,2.660083e-05,2.853015e-05,2.868356e-05,3.043507e-05,3.118835e-05,3.230746e-05,3.363141e-05,3.414021e-05,3.592723e-05,3.599768e-05,3.766336e-05,3.827507e-05,3.934440e-05,4.045429e-05,4.096699e-05,4.252856e-05,4.402726e-05,4.449335e-05,4.546186e-05,4.634603e-05,4.683168e-05,4.808559e-05,4.813653e-05,4.937665e-05,4.971235e-05,5.055259e-05,5.122771e-05,5.166524e-05,5.263393e-05,5.271571e-05,5.370531e-05,5.393391e-05,5.463550e-05,5.513106e-05,5.550790e-05,5.622915e-05,5.632420e-05,5.708616e-05,5.723219e-05,5.779560e-05,5.814435e-05,5.845434e-05,5.896984e-05,5.906422e-05,5.962709e-05,5.971291e-05,6.014479e-05,6.037777e-05,6.061914e-05,6.096860e-05,6.105192e-05,6.144489e-05,6.148946e-05,6.179978e-05,6.194431e-05,6.211827e-05,6.233699e-05,6.240199e-05,6.265255e-05,6.267121e-05,6.287148e-05,6.295054e-05,6.306029e-05,6.317840e-05,6.322043e-05,6.335331e-05,6.335807e-05,6.346027e-05,6.349269e-05,6.354264e-05,6.358524e-05,6.360167e-05,6.363857e-05,6.365453e-05,6.365540e-05,6.365066e-05,6.363828e-05,6.362805e-05,6.358967e-05,6.358773e-05,6.353070e-05,6.351188e-05,6.345793e-05,6.340709e-05,6.337032e-05,6.327738e-05,6.326876e-05,6.315409e-05,6.312470e-05,6.302711e-05,6.295092e-05,6.288860e-05,6.275776e-05,6.273930e-05,6.257990e-05,6.254687e-05,6.241110e-05,6.231981e-05,6.223352e-05,6.207803e-05,6.204779e-05,6.185450e-05,6.182290e-05,6.165419e-05,6.155571e-05,6.144741e-05,6.127767e-05,6.123467e-05,6.101645e-05,6.098992e-05,6.079321e-05,6.069351e-05,6.056539e-05,6.038945e-05,6.033341e-05,6.009767e-05,6.007866e-05,5.985855e-05,5.976203e-05,5.961639e-05,5.944036e-05,5.937155e-05,5.912435e-05,5.911442e-05,5.887509e-05,5.878491e-05,5.862407e-05,5.845251e-05,5.837155e-05,5.811781e-05,5.778140e-05,5.744381e-05,5.710553e-05,5.676701e-05,5.642869e-05,5.609094e-05,5.575413e-05,5.541860e-05,5.508464e-05,5.475254e-05,5.442254e-05,5.409490e-05,5.376981e-05,5.344747e-05,5.312806e-05,5.281173e-05,5.249863e-05,5.218889e-05,5.188260e-05,5.157989e-05,5.128083e-05,5.098549e-05,5.069395e-05,5.040627e-05
0.000000e+00,8.670847e-10,2.582069e-09,1.306440e-08,3.818454e-08,6.233759e-08,1.789641e-07,1.858756e-07,4.285818e-07,5.245932e-07,8.402564e-07,1.190184e-06,1.473509e-06,2.298091e-06,2.382194e-06,3.620024e-06,3.971911e-06,5.238836e-06,6.329690e-06,7.285900e-06,9.473003e-06,9.800490e-06,1.281107e-05,1.347437e-05,1.633431e-05,1.837126e-05,2.037579e-05,2.416829e-05,2.493127e-05,2.998802e-05,3.084236e-05,3.552589e-05,3.834737e-05,4.151824e-05,4.661776e-05,4.793268e-05,5.473182e-05,5.557163e-05,6.187402e-05,6.511376e-05,6.931420e-05,7.513874e-05,7.700464e-05,8.489581e-05,8.553427e-05,9.293726e-05,9.618456e-05,1.010784e-04,1.069737e-04,1.092693e-04,1.174615e-04,1.177885e-04,1.256084e-04,1.285217e-04,1.336663e-04,1.390738e-04,1.415943e-04,1.493551e-04,1.569149e-04,1.592866e-04,1.642439e-04,1.688012e-04,1.713162e-04,1.778436e-04,1.781097e-04,1.846062e-04,1.863700e-04,1.907913e-04,1.943481e-04,1.966539e-04,2.017560e-04,2.021864e-04,2.073839e-04,2.085812e-04,2.122447e-04,2.148197e-04,2.167693e-04,2.204750e-04,2.209605e-04,2.248231e-04,2.255568e-04,2.283637e-04,2.300801e-04,2.315902e-04,2.340643e-04,2.345117e-04,2.371384e-04,2.375320e-04,2.394812e-04,2.405084e-04,2.415518e-04,2.430202e-04,2.433620e-04,2.449242e-04,2.450956e-04,2.462508e-04,2.467631e-04,2.473543e-04,2.480514e-04,2.482472e-04,2.489417e-04,2.489891e-04,2.494500e-04,2.496038e-04,2.497838e-04,2.499226e-04,2.499546e-04,2.499732e-04,2.499710e-04,2.498505e-04,2.497737e-04,2.495965e-04,2.493539e-04,2.492212e-04,2.487337e-04,2.481431e-04,2.479337e-04,2.474576e-04,2.469729e-04,2.466853e-04,2.458693e-04,2.458338e-04,2.449100e-04,2.446393e-04,2.439208e-04,2.432984e-04,2.428724e-04,2.418607e-04,2.417707e-04,2.406214e-04,2.403390e-04,2.394295e-04,2.387454e-04,2.382000e-04,2.370905e-04,2.369374e-04,2.356458e-04,2.353844e-04,2.343292e-04,2.336360e-04,2.329913e-04,2.318535e-04,2.316355e-04,2.302648e-04,2.300443e-04,2.288823e-04,2.282152e-04,2.274905e-04,2.263721e-04,2.260920e-04,2.246890e-04,2.245205e-04,2.232838e-04,2.226652e-04,2.218781e-04,2.208107e-04,2.204739e-04,2.190726e-04,2.189607e-04,2.176759e-04,2.171188e-04,2.162851e-04,2.152881e-04,2.149014e-04,2.135260e-04,2.134712e-04,2.121599e-04,2.116706e-04,2.108040e-04,2.098883e-04,2.094592e-04,2.081261e-04,2.063857e-04,2.046684e-04,2.029753e-04,2.013075e-04,1.996657e-04,1.980506e-04,1.964628e-04,1.949026e-04,1.933703e-04,1.918662e-04,1.903904e-04,1.889429e-04,1.875237e-04,1.861327e-04,1.847698e-04,1.834347e-04,1.821273e-04,1.808473e-04,1.795943e-04,1.783681e-04,1.771683e-04,1.759945e-04,1.748462e-04,1.737233e-04
0.000000e+00,1.329219e-08,3.061065e-08,1.061527e-07,2.431302e-07,3.560780e-07,8.173224e-07,8.423754e-07,1.653202e-06,1.952015e-06,2.891259e-06,3.885676e-06,4.667037e-06,6.847523e-06,7.062782e-06,1.009229e-05,1.090979e-05,1.371654e-05,1.598737e-05,1.788664e-05,2.197531e-05,2.256184e-05,2.770820e-05,2.879121e-05,3.329370e-05,3.636069e-05,3.928479e-05,4.460399e-05,4.564476e-05,5.233334e-05,5.343115e-05,5.930723e-05,6.274273e-05,6.652093e-05,7.243323e-05,7.392782e-05,8.148128e-05,8.239536e-05,8.913574e-05,9.252437e-05,9.684758e-05,1.027216e-04,1.045758e-04,1.122827e-04,1.128972e-04,1.199338e-04,1.229717e-04,1.274988e-04,1.328768e-04,1.349504e-04,1.422657e-04,1.425551e-04,1.494247e-04,1.519605e-04,1.564112e-04,1.610564e-04,1.632116e-04,1.698152e-04,1.762139e-04,1.782171e-04,1.824016e-04,1.862489e-04,1.883740e-04,1.939022e-04,1.941282e-04,1.996628e-04,2.011731e-04,2.049776e-04,2.080613e-04,2.100735e-04,2.145697e-04,2.149520e-04,2.196159e-04,2.207036e-04,2.240685e-04,2.264713e-04,2.283143e-04,2.318829e-04,2.323576e-04,2.362024e-04,2.369480e-04,2.398536e-04,2.416773e-04,2.433159e-04,2.460818e-04,2.465941e-04,2.496933e-04,2.501729e-04,2.526186e-04,2.539625e-04,2.553751e-04,2.574621e-04,2.579678e-04,2.604018e-04,2.606834e-04,2.626821e-04,2.636380e-04,2.648137e-04,2.663374e-04,2.668016e-04,2.686507e-04,2.687928e-04,2.703658e-04,2.710153e-04,2.719516e-04,2.730158e-04,2.734126e-04,2.747535e-04,2.748047e-04,2.759786e-04,2.763922e-04,2.770924e-04,2.777882e-04,2.780989e-04,2.790024e-04,2.798069e-04,2.800441e-04,2.805163e-04,2.809222e-04,2.811345e-04,2.816455e-04,2.816651e-04,2.821118e-04,2.822223e-04,2.824780e-04,2.826606e-04,2.827672e-04,2.829681e-04,2.829827e-04,2.831278e-04,2.831524e-04,2.832054e-04,2.832206e-04,2.832187e-04,2.831795e-04,2.831705e-04,2.830638e-04,2.830356e-04,2.829011e-04,2.827953e-04,2.826852e-04,2.824647e-04,2.824187e-04,2.821040e-04,2.820493e-04,2.817435e-04,2.815549e-04,2.813395e-04,2.809865e-04,2.808943e-04,2.804100e-04,2.803493e-04,2.798886e-04,2.796480e-04,2.793323e-04,2.788873e-04,2.787429e-04,2.781223e-04,2.780713e-04,2.774723e-04,2.772044e-04,2.767946e-04,2.762904e-04,2.760909e-04,2.753627e-04,2.753331e-04,2.746118e-04,2.743361e-04,2.738394e-04,2.733027e-04,2.730470e-04,2.722361e-04,2.711395e-04,2.700157e-04,2.688674e-04,2.676972e-04,2.665076e-04,2.653009e-04,2.640794e-04,2.628450e-04,2.615997e-04,2.603454e-04,2.590838e-04,2.578166e-04,2.565452e-04,2.552711e-04,2.539957e-04,2.527203e-04,2.514460e-04,2.501739e-04,2.489051e-04,2.476405e-04,2.463811e-04,2.451277e-04,2.438811e-04,2.426419e-04
0.000000e+00,1.189510e-09,2.821347e-09,1.007463e-08,2.331236e-08,3.420743e-08,7.820919e-08,8.057403e-08,1.557191e-07,1.827711e-07,2.658710e-07,3.512726e-07,4.170386e-07,5.973442e-07,6.150406e-07,8.653946e-07,9.338309e-07,1.172949e-06,1.371533e-06,1.541145e-06,1.916237e-06,1.971047e-06,2.460698e-06,2.565425e-06,3.005450e-06,3.308463e-06,3.599091e-06,4.130655e-06,4.234960e-06,4.906568e-06,5.016927e-06,5.607797e-06,5.953209e-06,6.332899e-06,6.926503e-06,7.076432e-06,7.833239e-06,7.924713e-06,8.598437e-06,8.936588e-06,9.367434e-06,9.951767e-06,1.013595e-05,1.090005e-05,1.096088e-05,1.165617e-05,1.195565e-05,1.240110e-05,1.292894e-05,1.313205e-05,1.384657e-05,1.387478e-05,1.454263e-05,1.478834e-05,1.521848e-05,1.566581e-05,1.587275e-05,1.650435e-05,1.711247e-05,1.730202e-05,1.769655e-05,1.805757e-05,1.825623e-05,1.877042e-05,1.879135e-05,1.930194e-05,1.944052e-05,1.978814e-05,2.006826e-05,2.025022e-05,2.065435e-05,2.068855e-05,2.110359e-05,2.119979e-05,2.149586e-05,2.170580e-05,2.186595e-05,2.217375e-05,2.221446e-05,2.254205e-05,2.260511e-05,2.284939e-05,2.300143e-05,2.313716e-05,2.336428e-05,2.340606e-05,2.365679e-05,2.369526e-05,2.389004e-05,2.399599e-05,2.410650e-05,2.426803e-05,2.430685e-05,2.449176e-05,2.451295e-05,2.466190e-05,2.473224e-05,2.481790e-05,2.492739e-05,2.496039e-05,2.508998e-05,2.509981e-05,2.520727e-05,2.525087e-05,2.531282e-05,2.538188e-05,2.540721e-05,2.549096e-05,2.549410e-05,2.556460e-05,2.558874e-05,2.562863e-05,2.566693e-05,2.568354e-05,2.572978e-05,2.576782e-05,2.577833e-05,2.579808e-05,2.581355e-05,2.582097e-05,2.583639e-05,2.583690e-05,2.584625e-05,2.584773e-05,2.584938e-05,2.584842e-05,2.584665e-05,2.583924e-05,2.583839e-05,2.582493e-05,2.582096e-05,2.580657e-05,2.579427e-05,2.578362e-05,2.575984e-05,2.575635e-05,2.572503e-05,2.571831e-05,2.568993e-05,2.567027e-05,2.565130e-05,2.561628e-05,2.560935e-05,2.556433e-05,2.555685e-05,2.551644e-05,2.549250e-05,2.546590e-05,2.542368e-05,2.541289e-05,2.535760e-05,2.535082e-05,2.530021e-05,2.527433e-05,2.524089e-05,2.519461e-05,2.517979e-05,2.511707e-05,2.511199e-05,2.505288e-05,2.502682e-05,2.498735e-05,2.493942e-05,2.492062e-05,2.485280e-05,2.485007e-05,2.478402e-05,2.475904e-05,2.471438e-05,2.466660e-05,2.464400e-05,2.457297e-05,2.447839e-05,2.438305e-05,2.428714e-05,2.419084e-05,2.409431e-05,2.399771e-05,2.390118e-05,2.380484e-05,2.370881e-05,2.361320e-05,2.351811e-05,2.342364e-05,2.332986e-05,2.323686e-05,2.314469e-05,2.305343e-05,2.296313e-05,2.287385e-05,2.278561e-05,2.269848e-05,2.261248e-05,2.252764e-05,2.244400e-05,2.236157e-05
0.000000e+00,5.756834e-10,1.472377e-09,5.752937e-09,1.393019e-08,2.079609e-08,4.900171e-08,5.052936e-08,9.932817e-08,1.169578e-07,1.711564e-07,2.268125e-07,2.695949e-07,3.864261e-07,3.978531e-07,5.587457e-07,6.024874e-07,7.546058e-07,8.802162e-07,9.870947e-07,1.222565e-06,1.256907e-06,1.563489e-06,1.629076e-06,1.904990e-06,2.095444e-06,2.278534e-06,2.614542e-06,2.680648e-06,3.107610e-06,3.177978e-06,3.555642e-06,3.777078e-06,4.020994e-06,4.403274e-06,4.499992e-06,4.989066e-06,5.048267e-06,5.484785e-06,5.704161e-06,5.983894e-06,6.363600e-06,6.483344e-06,6.980322e-06,7.019896e-06,7.472276e-06,7.667130e-06,7.956924e-06,8.300213e-06,8.432266e-06,8.896577e-06,8.914899e-06,9.348402e-06,9.507764e-06,9.786542e-06,1.007616e-05,1.021004e-05,1.061815e-05,1.101033e-05,1.113241e-05,1.138623e-05,1.161816e-05,1.174564e-05,1.207508e-05,1.208848e-05,1.241480e-05,1.250323e-05,1.272475e-05,1.290296e-05,1.301857e-05,1.327487e-05,1.329654e-05,1.355902e-05,1.361975e-05,1.380641e-05,1.393851e-05,1.403913e-05,1.423217e-05,1.425766e-05,1.446245e-05,1.450181e-05,1.465401e-05,1.474854e-05,1.483281e-05,1.497351e-05,1.499936e-05,1.515415e-05,1.517785e-05,1.529766e-05,1.536268e-05,1.543038e-05,1.552910e-05,1.555278e-05,1.566532e-05,1.567819e-05,1.576846e-05,1.581097e-05,1.586263e-05,1.592845e-05,1.594824e-05,1.602572e-05,1.603158e-05,1.609547e-05,1.612128e-05,1.615785e-05,1.619842e-05,1.621324e-05,1.626200e-05,1.626382e-05,1.630446e-05,1.631827e-05,1.634095e-05,1.636252e-05,1.637179e-05,1.639728e-05,1.641769e-05,1.642320e-05,1.643332e-05,1.644093e-05,1.644441e-05,1.645104e-05,1.645124e-05,1.645402e-05,1.645411e-05,1.645300e-05,1.645066e-05,1.644840e-05,1.644118e-05,1.644042e-05,1.642926e-05,1.642614e-05,1.641512e-05,1.640597e-05,1.639818e-05,1.638109e-05,1.637861e-05,1.635657e-05,1.635188e-05,1.633223e-05,1.631871e-05,1.630573e-05,1.628191e-05,1.627722e-05,1.624683e-05,1.624180e-05,1.621468e-05,1.619867e-05,1.618092e-05,1.615281e-05,1.614564e-05,1.610897e-05,1.610448e-05,1.607100e-05,1.605391e-05,1.603184e-05,1.600134e-05,1.599158e-05,1.595032e-05,1.594698e-05,1.590814e-05,1.589102e-05,1.586511e-05,1.583366e-05,1.582133e-05,1.577686e-05,1.577506e-05,1.573176e-05,1.571539e-05,1.568612e-05,1.565479e-05,1.563998e-05,1.559341e-05,1.553137e-05,1.546880e-05,1.540580e-05,1.534249e-05,1.527895e-05,1.521527e-05,1.515155e-05,1.508785e-05,1.502424e-05,1.496080e-05,1.489758e-05,1.483463e-05,1.477200e-05,1.470975e-05,1.464791e-05,1.458653e-05,1.452564e-05,1.446526e-05,1.440544e-05,1.434619e-05,1.428754e-05,1.422951e-05,1.417212e-05,1.411538e-05
0.000000e+00,1.856640e-08,5.553424e-08,2.837533e-07,8.376128e-07,1.375601e-06,4.019169e-06,4.177693e-06,9.842666e-06,1.212843e-05,1.979004e-05,2.850936e-05,3.571903e-05,5.733048e-05,5.957958e-05,9.339735e-05,1.032019e-04,1.389438e-04,1.700651e-04,1.974773e-04,2.603129e-04,2.697185e-04,3.559591e-04,3.748895e-04,4.561730e-04,5.137256e-04,5.700917e-04,6.760382e-04,6.972486e-04,8.370083e-04,8.604890e-04,9.885881e-04,1.065282e-03,1.151078e-03,1.288245e-03,1.323462e-03,1.504640e-03,1.526918e-03,1.693454e-03,1.778644e-03,1.888708e-03,2.040665e-03,2.089194e-03,2.293711e-03,2.310211e-03,2.501087e-03,2.584583e-03,2.710194e-03,2.861220e-03,2.919962e-03,3.129389e-03,3.137745e-03,3.337547e-03,3.412009e-03,3.543593e-03,3.682104e-03,3.746762e-03,3.946379e-03,4.141846e-03,4.203433e-03,4.332650e-03,4.452111e-03,4.518351e-03,4.691484e-03,4.698585e-03,4.873053e-03,4.920837e-03,5.041518e-03,5.139640e-03,5.203803e-03,5.347536e-03,5.359779e-03,5.509367e-03,5.544312e-03,5.652526e-03,5.729884e-03,5.789253e-03,5.904276e-03,5.919579e-03,6.043561e-03,6.067602e-03,6.161280e-03,6.220052e-03,6.272838e-03,6.361873e-03,6.378355e-03,6.477966e-03,6.493365e-03,6.571815e-03,6.614861e-03,6.660058e-03,6.726726e-03,6.742858e-03,6.820383e-03,6.829340e-03,6.892805e-03,6.923099e-03,6.960299e-03,7.008407e-03,7.023041e-03,7.081207e-03,7.085668e-03,7.134974e-03,7.155287e-03,7.184514e-03,7.217664e-03,7.230002e-03,7.271605e-03,7.273191e-03,7.309491e-03,7.322252e-03,7.343823e-03,7.365219e-03,7.374759e-03,7.402454e-03,7.427060e-03,7.434305e-03,7.448723e-03,7.461108e-03,7.467584e-03,7.483184e-03,7.483782e-03,7.497449e-03,7.500840e-03,7.508714e-03,7.514371e-03,7.517699e-03,7.524056e-03,7.524525e-03,7.529306e-03,7.530162e-03,7.532152e-03,7.532941e-03,7.533170e-03,7.532633e-03,7.532460e-03,7.530122e-03,7.529467e-03,7.526248e-03,7.523656e-03,7.520928e-03,7.515405e-03,7.514248e-03,7.506291e-03,7.504904e-03,7.497134e-03,7.492335e-03,7.486854e-03,7.477869e-03,7.475522e-03,7.463206e-03,7.461666e-03,7.449973e-03,7.443876e-03,7.435885e-03,7.424642e-03,7.421000e-03,7.405377e-03,7.404096e-03,7.389068e-03,7.382365e-03,7.372126e-03,7.359564e-03,7.354600e-03,7.336537e-03,7.335804e-03,7.317980e-03,7.311187e-03,7.298972e-03,7.285809e-03,7.279553e-03,7.259761e-03,7.233126e-03,7.205982e-03,7.178403e-03,7.150455e-03,7.122204e-03,7.093706e-03,7.065018e-03,7.036190e-03,7.007268e-03,6.978297e-03,6.949316e-03,6.920363e-03,6.891472e-03,6.862675e-03,6.834000e-03,6.805474e-03,6.777122e-03,6.748966e-03,6.721025e-03,6.693320e-03,6.665866e-03,6.638678e-03,6.611771e-03,6.585156e-03
0.000000e+00,2.323945e-09,5.341481e-09,1.845395e-08,4.225151e-08,6.199084e-08,1.441698e-07,1.487102e-07,2.994025e-07,3.562584e-07,5.355913e-07,7.209109e-07,8.609820e-07,1.226790e-06,1.261217e-06,1.723484e-06,1.842801e-06,2.240759e-06,2.552791e-06,2.808653e-06,3.347134e-06,3.423203e-06,4.079953e-06,4.215921e-06,4.773673e-06,5.147059e-06,5.498379e-06,6.126260e-06,6.247469e-06,7.013997e-06,7.137788e-06,7.790919e-06,8.165498e-06,8.571343e-06,9.193802e-06,9.348743e-06,1.011712e-05,1.020846e-05,1.087112e-05,1.119711e-05,1.160611e-05,1.214958e-05,1.231822e-05,1.300430e-05,1.305798e-05,1.366193e-05,1.391659e-05,1.428934e-05,1.472168e-05,1.488536e-05,1.544935e-05,1.547124e-05,1.598110e-05,1.616467e-05,1.648080e-05,1.680252e-05,1.694892e-05,1.738621e-05,1.779358e-05,1.791779e-05,1.817210e-05,1.839975e-05,1.852294e-05,1.883485e-05,1.884734e-05,1.914656e-05,1.922600e-05,1.942189e-05,1.957615e-05,1.967460e-05,1.988822e-05,1.990597e-05,2.011722e-05,2.016506e-05,2.030955e-05,2.040941e-05,2.048409e-05,2.062385e-05,2.064194e-05,2.078416e-05,2.081082e-05,2.091174e-05,2.097260e-05,2.102561e-05,2.111133e-05,2.112667e-05,2.121575e-05,2.122895e-05,2.129365e-05,2.132729e-05,2.136111e-05,2.140802e-05,2.141882e-05,2.146744e-05,2.147269e-05,2.150757e-05,2.152270e-05,2.153981e-05,2.155935e-05,2.156467e-05,2.158267e-05,2.158382e-05,2.159427e-05,2.159722e-05,2.159992e-05,2.160054e-05,2.160003e-05,2.159499e-05,2.159468e-05,2.158515e-05,2.158050e-05,2.157085e-05,2.155874e-05,2.155241e-05,2.153013e-05,2.150428e-05,2.149529e-05,2.147512e-05,2.145483e-05,2.144289e-05,2.140928e-05,2.140782e-05,2.137013e-05,2.135913e-05,2.133000e-05,2.130484e-05,2.128764e-05,2.124684e-05,2.124321e-05,2.119688e-05,2.118549e-05,2.114880e-05,2.112117e-05,2.109912e-05,2.105418e-05,2.104796e-05,2.099547e-05,2.098482e-05,2.094175e-05,2.091338e-05,2.088693e-05,2.084009e-05,2.083110e-05,2.077436e-05,2.076520e-05,2.071680e-05,2.068891e-05,2.065852e-05,2.061142e-05,2.059959e-05,2.054009e-05,2.053292e-05,2.048009e-05,2.045356e-05,2.041967e-05,2.037350e-05,2.035887e-05,2.029777e-05,2.029288e-05,2.023642e-05,2.021182e-05,2.017487e-05,2.013046e-05,2.011317e-05,2.005137e-05,2.004890e-05,1.998951e-05,1.996723e-05,1.992763e-05,1.988556e-05,1.986577e-05,1.980397e-05,1.972253e-05,1.964132e-05,1.956040e-05,1.947984e-05,1.939969e-05,1.932000e-05,1.924082e-05,1.916219e-05,1.908414e-05,1.900672e-05,1.892995e-05,1.885387e-05,1.877850e-05,1.870386e-05,1.862998e-05,1.855686e-05,1.848454e-05,1.841302e-05,1.834231e-05,1.827243e-05,1.820339e-05,1.813519e-05,1.806784e-05,1.800135e-05
0.000000e+00,1.556652e-08,4.655217e-08,2.378300e-07,7.023254e-07,1.153988e-06,3.380009e-06,3.513827e-06,8.317732e-06,1.026703e-05,1.684048e-05,2.438578e-05,3.066867e-05,4.969219e-05,5.168563e-05,8.188577e-05,9.070319e-05,1.229945e-04,1.512280e-04,1.761378e-04,2.332471e-04,2.417879e-04,3.199019e-04,3.369903e-04,4.100851e-04,4.615486e-04,5.117096e-04,6.053441e-04,6.239889e-04,7.460241e-04,7.663905e-04,8.768351e-04,9.424385e-04,1.015384e-03,1.131073e-03,1.160596e-03,1.311379e-03,1.329795e-03,1.466639e-03,1.536094e-03,1.625301e-03,1.747514e-03,1.786319e-03,1.948696e-03,1.961716e-03,2.111489e-03,2.176525e-03,2.273823e-03,2.389963e-03,2.434891e-03,2.593964e-03,2.600276e-03,2.750389e-03,2.805941e-03,2.903591e-03,3.005670e-03,3.053071e-03,3.198405e-03,3.339237e-03,3.383303e-03,3.475277e-03,3.559719e-03,3.606295e-03,3.727188e-03,3.732120e-03,3.852627e-03,3.885404e-03,3.967739e-03,4.034200e-03,4.077419e-03,4.173526e-03,4.181666e-03,4.280509e-03,4.303433e-03,4.374005e-03,4.424056e-03,4.462233e-03,4.535595e-03,4.545293e-03,4.623299e-03,4.638305e-03,4.696381e-03,4.732483e-03,4.764677e-03,4.818455e-03,4.828335e-03,4.887508e-03,4.896570e-03,4.942356e-03,4.967193e-03,4.993039e-03,5.030696e-03,5.039719e-03,5.082561e-03,5.087452e-03,5.121725e-03,5.137834e-03,5.157374e-03,5.182212e-03,5.189664e-03,5.218752e-03,5.220945e-03,5.244790e-03,5.254384e-03,5.267926e-03,5.282868e-03,5.288305e-03,5.306066e-03,5.306724e-03,5.321345e-03,5.326263e-03,5.334273e-03,5.341785e-03,5.344976e-03,5.353575e-03,5.360187e-03,5.361901e-03,5.364924e-03,5.367021e-03,5.367893e-03,5.369176e-03,5.369197e-03,5.368935e-03,5.368593e-03,5.367199e-03,5.365488e-03,5.364079e-03,5.360061e-03,5.359662e-03,5.354027e-03,5.352502e-03,5.347253e-03,5.342990e-03,5.339413e-03,5.331689e-03,5.330578e-03,5.320814e-03,5.318756e-03,5.310184e-03,5.304335e-03,5.298749e-03,5.288562e-03,5.286564e-03,5.273685e-03,5.271564e-03,5.260163e-03,5.253458e-03,5.246045e-03,5.234354e-03,5.231379e-03,5.216207e-03,5.214354e-03,5.200570e-03,5.193553e-03,5.184508e-03,5.172040e-03,5.168058e-03,5.151254e-03,5.149895e-03,5.134129e-03,5.127196e-03,5.116714e-03,5.104012e-03,5.099038e-03,5.081130e-03,5.080409e-03,5.063015e-03,5.056448e-03,5.044718e-03,5.032184e-03,5.026262e-03,5.007670e-03,4.982953e-03,4.958077e-03,4.933084e-03,4.908011e-03,4.882892e-03,4.857761e-03,4.832645e-03,4.807572e-03,4.782568e-03,4.757653e-03,4.732850e-03,4.708177e-03,4.683652e-03,4.659290e-03,4.635106e-03,4.611111e-03,4.587320e-03,4.563740e-03,4.540383e-03,4.517256e-03,4.494367e-03,4.471723e-03,4.449329e-03,4.427190e-03
0.000000e+00,7.477080e-09,1.710679e-08,5.877458e-08,1.336965e-07,1.950946e-07,4.434020e-07,4.567969e-07,8.862686e-07,1.042848e-06,1.530566e-06,2.042092e-06,2.442721e-06,3.567798e-06,3.680107e-06,5.297484e-06,5.747006e-06,7.332479e-06,8.656952e-06,9.786548e-06,1.225839e-05,1.261520e-05,1.574043e-05,1.639338e-05,1.907625e-05,2.086844e-05,2.254728e-05,2.552349e-05,2.609405e-05,2.967105e-05,3.024371e-05,3.324306e-05,3.494742e-05,3.678213e-05,3.957428e-05,4.026557e-05,4.367480e-05,4.407816e-05,4.699458e-05,4.842367e-05,5.021256e-05,5.258404e-05,5.331897e-05,5.630629e-05,5.653996e-05,5.916907e-05,6.027842e-05,6.190359e-05,6.379177e-05,6.450771e-05,6.698061e-05,6.707680e-05,6.932257e-05,7.013382e-05,7.153478e-05,7.296595e-05,7.361922e-05,7.557847e-05,7.741560e-05,7.797824e-05,7.913403e-05,8.017323e-05,8.073746e-05,8.217218e-05,8.222979e-05,8.361503e-05,8.398427e-05,8.489729e-05,8.561893e-05,8.608070e-05,8.708567e-05,8.716938e-05,8.816742e-05,8.839392e-05,8.907888e-05,8.955295e-05,8.990771e-05,9.057182e-05,9.065779e-05,9.133292e-05,9.145927e-05,9.193676e-05,9.222377e-05,9.247288e-05,9.287343e-05,9.294476e-05,9.335571e-05,9.341603e-05,9.370898e-05,9.385898e-05,9.400767e-05,9.420934e-05,9.425477e-05,9.445315e-05,9.447381e-05,9.460557e-05,9.465877e-05,9.471470e-05,9.477024e-05,9.478306e-05,9.481309e-05,9.481391e-05,9.480713e-05,9.479516e-05,9.476739e-05,9.471907e-05,9.469602e-05,9.459504e-05,9.459041e-05,9.446640e-05,9.441368e-05,9.431196e-05,9.419310e-05,9.413347e-05,9.393263e-05,9.371104e-05,9.363600e-05,9.347022e-05,9.330668e-05,9.321163e-05,9.294794e-05,9.293665e-05,9.264658e-05,9.256283e-05,9.234268e-05,9.215420e-05,9.202613e-05,9.172469e-05,9.169805e-05,9.135949e-05,9.127680e-05,9.101148e-05,9.081281e-05,9.065495e-05,9.033488e-05,9.029081e-05,8.991992e-05,8.984500e-05,8.954308e-05,8.934502e-05,8.916104e-05,8.883665e-05,8.877454e-05,8.838423e-05,8.832147e-05,8.799077e-05,8.780096e-05,8.759474e-05,8.727645e-05,8.719672e-05,8.679722e-05,8.674921e-05,8.639676e-05,8.622037e-05,8.599579e-05,8.569099e-05,8.559476e-05,8.519406e-05,8.516204e-05,8.479410e-05,8.463439e-05,8.439521e-05,8.410886e-05,8.399773e-05,8.360198e-05,8.358619e-05,8.320823e-05,8.306703e-05,8.281676e-05,8.255199e-05,8.242782e-05,8.204163e-05,8.153642e-05,8.103682e-05,8.054320e-05,8.005593e-05,7.957530e-05,7.910159e-05,7.863503e-05,7.817583e-05,7.772414e-05,7.728012e-05,7.684388e-05,7.641551e-05,7.599508e-05,7.558265e-05,7.517824e-05,7.478187e-05,7.439353e-05,7.401322e-05,7.364089e-05,7.327652e-05,7.292004e-05,7.257141e-05,7.223054e-05,7.189736e-05
0.000000e+00,4.977854e-09,1.156791e-08,4.049890e-08,9.327164e-08,1.370127e-07,3.175364e-07,3.274243e-07,6.515169e-07,7.727439e-07,1.158925e-06,1.574568e-06,1.904731e-06,2.834801e-06,2.926850e-06,4.215087e-06,4.558548e-06,5.719005e-06,6.635016e-06,7.385397e-06,8.954665e-06,9.174906e-06,1.105950e-05,1.144584e-05,1.301726e-05,1.405786e-05,1.502928e-05,1.674866e-05,1.707832e-05,1.914845e-05,1.948063e-05,2.122502e-05,2.222013e-05,2.329484e-05,2.493796e-05,2.534626e-05,2.736922e-05,2.760965e-05,2.935524e-05,3.021553e-05,3.129732e-05,3.274041e-05,3.318985e-05,3.502844e-05,3.517309e-05,3.680980e-05,3.750576e-05,3.853155e-05,3.973338e-05,4.019210e-05,4.179053e-05,4.185317e-05,4.332644e-05,4.386407e-05,4.479990e-05,4.576638e-05,4.621132e-05,4.756141e-05,4.885110e-05,4.925122e-05,5.008149e-05,5.083840e-05,5.125384e-05,5.232596e-05,5.236952e-05,5.342994e-05,5.371716e-05,5.443660e-05,5.501543e-05,5.539105e-05,5.622437e-05,5.629485e-05,5.714959e-05,5.734760e-05,5.795685e-05,5.838875e-05,5.871818e-05,5.935140e-05,5.943514e-05,6.010928e-05,6.023910e-05,6.074211e-05,6.105535e-05,6.133513e-05,6.180358e-05,6.188981e-05,6.240759e-05,6.248711e-05,6.288988e-05,6.310917e-05,6.333804e-05,6.367291e-05,6.375343e-05,6.413735e-05,6.418136e-05,6.449107e-05,6.463746e-05,6.481583e-05,6.504403e-05,6.511284e-05,6.538326e-05,6.540378e-05,6.562823e-05,6.571934e-05,6.584884e-05,6.599320e-05,6.604616e-05,6.622122e-05,6.622777e-05,6.637501e-05,6.642535e-05,6.650850e-05,6.658815e-05,6.662261e-05,6.671826e-05,6.679630e-05,6.681769e-05,6.685758e-05,6.688837e-05,6.690290e-05,6.693212e-05,6.693304e-05,6.694876e-05,6.695068e-05,6.695078e-05,6.694571e-05,6.693980e-05,6.691878e-05,6.691647e-05,6.688147e-05,6.687139e-05,6.683539e-05,6.680498e-05,6.677884e-05,6.672088e-05,6.671240e-05,6.663662e-05,6.662039e-05,6.655202e-05,6.650471e-05,6.645911e-05,6.637501e-05,6.635839e-05,6.625031e-05,6.623237e-05,6.613534e-05,6.607783e-05,6.601390e-05,6.591237e-05,6.588640e-05,6.575325e-05,6.573691e-05,6.561481e-05,6.555232e-05,6.547146e-05,6.535943e-05,6.532353e-05,6.517137e-05,6.515903e-05,6.501529e-05,6.495183e-05,6.485560e-05,6.473854e-05,6.469258e-05,6.452651e-05,6.451981e-05,6.435767e-05,6.429625e-05,6.418629e-05,6.406844e-05,6.401263e-05,6.383691e-05,6.360219e-05,6.336475e-05,6.312503e-05,6.288346e-05,6.264044e-05,6.239632e-05,6.215145e-05,6.190616e-05,6.166074e-05,6.141547e-05,6.117062e-05,6.092641e-05,6.068309e-05,6.044084e-05,6.019987e-05,5.996035e-05,5.972244e-05,5.948629e-05,5.925204e-05,5.901982e-05,5.878974e-05,5.856190e-05,5.833640e-05,5.811332e-05
0.000000e+00,2.204171e-09,5.024380e-09,1.712557e-08,3.865356e-08,5.614861e-08,1.259929e-07,1.297274e-07,2.481286e-07,2.907624e-07,4.221610e-07,5.581377e-07,6.635668e-07,9.554619e-07,9.842888e-07,1.393413e-06,1.505122e-06,1.892265e-06,2.207963e-06,2.472339e-06,3.038520e-06,3.119146e-06,3.817607e-06,3.962308e-06,4.554685e-06,4.949578e-06,5.319616e-06,5.977023e-06,6.103347e-06,6.897976e-06,7.025645e-06,7.696404e-06,8.079076e-06,8.492157e-06,9.122844e-06,9.279327e-06,1.005258e-05,1.014420e-05,1.080717e-05,1.113220e-05,1.153900e-05,1.207781e-05,1.224460e-05,1.292114e-05,1.297394e-05,1.356643e-05,1.381542e-05,1.417886e-05,1.459885e-05,1.475737e-05,1.530140e-05,1.532244e-05,1.581086e-05,1.598583e-05,1.628595e-05,1.658962e-05,1.672718e-05,1.713539e-05,1.751158e-05,1.762538e-05,1.785690e-05,1.806231e-05,1.817265e-05,1.844921e-05,1.846019e-05,1.872090e-05,1.878929e-05,1.895623e-05,1.908584e-05,1.916761e-05,1.934213e-05,1.935644e-05,1.952413e-05,1.956138e-05,1.967201e-05,1.974666e-05,1.980138e-05,1.990091e-05,1.991349e-05,2.000953e-05,2.002692e-05,2.009064e-05,2.012727e-05,2.015788e-05,2.020438e-05,2.021226e-05,2.025475e-05,2.026051e-05,2.028624e-05,2.029770e-05,2.030758e-05,2.031786e-05,2.031954e-05,2.032288e-05,2.032274e-05,2.031828e-05,2.031391e-05,2.030639e-05,2.029285e-05,2.028781e-05,2.026309e-05,2.026086e-05,2.023276e-05,2.021917e-05,2.019730e-05,2.016885e-05,2.015717e-05,2.011278e-05,2.011092e-05,2.006453e-05,2.004628e-05,2.001277e-05,1.997574e-05,1.995784e-05,1.990005e-05,1.983970e-05,1.981989e-05,1.977705e-05,1.973586e-05,1.971235e-05,1.964852e-05,1.964583e-05,1.957770e-05,1.955837e-05,1.950817e-05,1.946585e-05,1.943742e-05,1.937139e-05,1.936561e-05,1.929290e-05,1.927534e-05,1.921945e-05,1.917804e-05,1.914538e-05,1.907979e-05,1.907082e-05,1.899589e-05,1.898086e-05,1.892068e-05,1.888150e-05,1.884531e-05,1.878193e-05,1.876985e-05,1.869440e-05,1.868234e-05,1.861903e-05,1.858290e-05,1.854381e-05,1.848379e-05,1.846881e-05,1.839408e-05,1.838514e-05,1.831969e-05,1.828707e-05,1.824567e-05,1.818970e-05,1.817208e-05,1.809897e-05,1.809314e-05,1.802636e-05,1.799746e-05,1.795429e-05,1.790276e-05,1.788280e-05,1.781191e-05,1.780909e-05,1.774165e-05,1.771652e-05,1.767205e-05,1.762510e-05,1.760312e-05,1.753488e-05,1.744589e-05,1.735817e-05,1.727175e-05,1.718665e-05,1.710289e-05,1.702048e-05,1.693944e-05,1.685977e-05,1.678148e-05,1.670457e-05,1.662903e-05,1.655488e-05,1.648209e-05,1.641067e-05,1.634061e-05,1.627190e-05,1.620452e-05,1.613847e-05,1.607373e-05,1.601029e-05,1.594813e-05,1.588725e-05,1.582761e-05,1.576921e-05
0.000000e+00,5.256242e-09,1.211632e-08,4.215965e-08,9.713483e-08,1.429430e-07,3.342521e-07,3.448288e-07,6.963778e-07,8.300404e-07,1.262362e-06,1.737091e-06,2.120155e-06,3.223853e-06,3.334891e-06,4.917667e-06,5.347379e-06,6.816639e-06,7.990101e-06,8.957279e-06,1.099047e-05,1.127658e-05,1.372945e-05,1.423305e-05,1.628357e-05,1.764329e-05,1.891407e-05,2.116744e-05,2.160017e-05,2.432354e-05,2.476160e-05,2.706755e-05,2.838752e-05,2.981711e-05,3.201154e-05,3.255859e-05,3.527991e-05,3.560459e-05,3.797045e-05,3.914214e-05,4.062113e-05,4.260429e-05,4.322440e-05,4.577406e-05,4.597555e-05,4.826510e-05,4.924420e-05,5.069364e-05,5.240182e-05,5.305677e-05,5.535244e-05,5.544284e-05,5.757927e-05,5.836387e-05,5.973633e-05,6.116311e-05,6.182331e-05,6.384027e-05,6.578765e-05,6.639622e-05,6.766614e-05,6.883263e-05,6.947664e-05,7.115175e-05,7.122023e-05,7.289812e-05,7.335633e-05,7.451163e-05,7.544941e-05,7.606216e-05,7.743427e-05,7.755116e-05,7.898015e-05,7.931434e-05,8.035064e-05,8.109314e-05,8.166418e-05,8.277423e-05,8.292233e-05,8.412666e-05,8.436120e-05,8.527870e-05,8.585761e-05,8.637999e-05,8.726698e-05,8.743207e-05,8.843643e-05,8.859280e-05,8.939456e-05,8.983846e-05,9.030791e-05,9.100733e-05,9.117793e-05,9.200602e-05,9.210264e-05,9.279356e-05,9.312758e-05,9.354189e-05,9.408522e-05,9.425234e-05,9.492619e-05,9.497856e-05,9.556470e-05,9.581049e-05,9.616910e-05,9.658382e-05,9.674058e-05,9.728031e-05,9.730126e-05,9.778942e-05,9.796542e-05,9.826901e-05,9.857882e-05,9.872016e-05,9.914390e-05,9.954126e-05,9.966300e-05,9.991321e-05,1.001384e-04,1.002607e-04,1.005722e-04,1.005847e-04,1.008860e-04,1.009665e-04,1.011656e-04,1.013233e-04,1.014243e-04,1.016446e-04,1.016629e-04,1.018822e-04,1.019321e-04,1.020830e-04,1.021876e-04,1.022660e-04,1.024129e-04,1.024319e-04,1.025815e-04,1.026095e-04,1.027154e-04,1.027790e-04,1.028342e-04,1.029229e-04,1.029387e-04,1.030293e-04,1.030425e-04,1.031067e-04,1.031393e-04,1.031715e-04,1.032146e-04,1.032242e-04,1.032653e-04,1.032695e-04,1.032954e-04,1.033053e-04,1.033150e-04,1.033231e-04,1.033244e-04,1.033243e-04,1.033239e-04,1.033150e-04,1.033088e-04,1.032970e-04,1.032789e-04,1.032707e-04,1.032364e-04,1.032349e-04,1.031946e-04,1.031778e-04,1.031457e-04,1.031085e-04,1.030899e-04,1.030277e-04,1.029363e-04,1.028350e-04,1.027244e-04,1.026052e-04,1.024781e-04,1.023436e-04,1.022024e-04,1.020549e-04,1.019017e-04,1.017433e-04,1.015801e-04,1.014126e-04,1.012411e-04,1.010661e-04,1.008880e-04,1.007070e-04,1.005236e-04,1.003381e-04,1.001506e-04,9.996164e-05,9.977133e-05,9.957996e-05,9.938776e-05,9.919496e-05
0.000000e+00,5.372232e-09,1.284040e-08,4.628097e-08,1.077765e-07,1.587201e-07,3.671269e-07,3.784431e-07,7.438376e-07,8.780314e-07,1.298440e-06,1.742323e-06,2.091402e-06,3.074441e-06,3.172553e-06,4.577973e-06,4.964721e-06,6.310611e-06,7.412054e-06,8.336052e-06,1.031842e-05,1.060108e-05,1.305396e-05,1.356316e-05,1.565206e-05,1.704886e-05,1.836122e-05,2.070188e-05,2.115309e-05,2.400308e-05,2.446298e-05,2.688925e-05,2.828156e-05,2.979173e-05,3.211333e-05,3.269257e-05,3.557569e-05,3.591978e-05,3.842692e-05,3.966813e-05,4.123397e-05,4.333129e-05,4.398641e-05,4.667551e-05,4.688767e-05,4.929400e-05,5.032034e-05,5.183630e-05,5.361707e-05,5.429802e-05,5.667599e-05,5.676934e-05,5.896803e-05,5.977185e-05,6.117281e-05,6.262185e-05,6.328966e-05,6.531858e-05,6.726002e-05,6.786295e-05,6.911488e-05,7.025710e-05,7.088436e-05,7.250410e-05,7.256993e-05,7.417328e-05,7.460772e-05,7.569623e-05,7.657224e-05,7.714077e-05,7.840225e-05,7.850894e-05,7.980287e-05,8.010261e-05,8.102473e-05,8.167830e-05,8.217670e-05,8.313436e-05,8.326098e-05,8.427977e-05,8.447586e-05,8.523526e-05,8.570781e-05,8.612961e-05,8.683519e-05,8.696497e-05,8.774344e-05,8.786286e-05,8.846710e-05,8.879559e-05,8.913799e-05,8.963803e-05,8.975808e-05,9.032934e-05,9.039470e-05,9.085365e-05,9.106996e-05,9.133288e-05,9.166806e-05,9.176883e-05,9.216326e-05,9.219307e-05,9.251787e-05,9.264894e-05,9.283433e-05,9.303946e-05,9.311424e-05,9.335918e-05,9.336827e-05,9.357064e-05,9.363886e-05,9.375010e-05,9.385459e-05,9.389899e-05,9.401866e-05,9.411046e-05,9.413416e-05,9.417566e-05,9.420401e-05,9.421551e-05,9.423102e-05,9.423120e-05,9.422389e-05,9.421788e-05,9.419470e-05,9.416712e-05,9.414469e-05,9.408120e-05,9.407491e-05,9.398636e-05,9.396242e-05,9.387999e-05,9.381300e-05,9.375674e-05,9.363502e-05,9.361750e-05,9.346312e-05,9.343050e-05,9.329442e-05,9.320131e-05,9.311221e-05,9.294927e-05,9.291725e-05,9.271026e-05,9.267608e-05,9.249196e-05,9.238335e-05,9.226302e-05,9.207264e-05,9.202408e-05,9.177577e-05,9.174537e-05,9.151869e-05,9.140295e-05,9.125341e-05,9.104666e-05,9.098049e-05,9.070043e-05,9.067774e-05,9.041376e-05,9.029735e-05,9.012095e-05,8.990659e-05,8.982247e-05,8.951876e-05,8.950651e-05,8.921024e-05,8.909807e-05,8.889731e-05,8.868221e-05,8.858037e-05,8.825978e-05,8.783162e-05,8.739849e-05,8.696112e-05,8.652018e-05,8.607633e-05,8.563014e-05,8.518220e-05,8.473302e-05,8.428310e-05,8.383289e-05,8.338284e-05,8.293333e-05,8.248474e-05,8.203743e-05,8.159171e-05,8.114788e-05,8.070623e-05,8.026701e-05,7.983045e-05,7.939677e-05,7.896618e-05,7.853886e-05,7.811499e-05,7.769470e-05
0.000000e+00,2.181767e-09,4.985679e-09,1.708276e-08,3.875272e-08,5.645879e-08,1.277385e-07,1.315716e-07,2.539675e-07,2.983857e-07,4.361667e-07,5.798569e-07,6.918603e-07,1.003877e-06,1.034808e-06,1.475297e-06,1.595935e-06,2.014758e-06,2.356816e-06,2.643436e-06,3.257308e-06,3.344705e-06,4.101329e-06,4.257950e-06,4.898600e-06,5.325187e-06,5.724572e-06,6.433316e-06,6.569393e-06,7.424651e-06,7.561956e-06,8.282978e-06,8.694120e-06,9.137854e-06,9.815383e-06,9.983530e-06,1.081498e-05,1.091358e-05,1.162789e-05,1.197875e-05,1.241868e-05,1.300307e-05,1.318443e-05,1.392287e-05,1.398071e-05,1.463229e-05,1.490765e-05,1.531151e-05,1.578143e-05,1.595981e-05,1.657686e-05,1.660090e-05,1.716267e-05,1.736595e-05,1.771749e-05,1.807732e-05,1.824183e-05,1.873636e-05,1.920188e-05,1.934486e-05,1.963929e-05,1.990493e-05,2.004957e-05,2.041888e-05,2.043376e-05,2.079289e-05,2.088910e-05,2.112804e-05,2.131806e-05,2.144027e-05,2.170819e-05,2.173064e-05,2.200019e-05,2.206190e-05,2.224993e-05,2.238150e-05,2.248085e-05,2.266925e-05,2.269390e-05,2.289002e-05,2.292728e-05,2.307007e-05,2.315764e-05,2.323492e-05,2.336225e-05,2.338539e-05,2.352225e-05,2.354294e-05,2.364625e-05,2.370142e-05,2.375811e-05,2.383931e-05,2.385851e-05,2.394808e-05,2.395813e-05,2.402744e-05,2.405929e-05,2.409719e-05,2.414411e-05,2.415788e-05,2.421003e-05,2.421384e-05,2.425414e-05,2.426964e-05,2.429070e-05,2.431259e-05,2.432014e-05,2.434291e-05,2.434369e-05,2.435941e-05,2.436389e-05,2.437001e-05,2.437405e-05,2.437510e-05,2.437500e-05,2.437004e-05,2.436749e-05,2.436055e-05,2.435222e-05,2.434680e-05,2.432987e-05,2.432908e-05,2.430765e-05,2.430102e-05,2.428276e-05,2.426626e-05,2.425464e-05,2.422612e-05,2.422352e-05,2.418960e-05,2.418107e-05,2.415309e-05,2.413158e-05,2.411416e-05,2.407806e-05,2.407301e-05,2.402980e-05,2.402092e-05,2.398468e-05,2.396052e-05,2.393781e-05,2.389719e-05,2.388933e-05,2.383937e-05,2.383125e-05,2.378806e-05,2.376298e-05,2.373551e-05,2.369267e-05,2.368185e-05,2.362718e-05,2.362056e-05,2.357159e-05,2.354687e-05,2.351519e-05,2.347183e-05,2.345806e-05,2.340029e-05,2.339564e-05,2.334195e-05,2.331847e-05,2.328312e-05,2.324050e-05,2.322387e-05,2.316428e-05,2.316189e-05,2.310439e-05,2.308277e-05,2.304428e-05,2.300329e-05,2.298398e-05,2.292357e-05,2.284372e-05,2.276385e-05,2.268405e-05,2.260441e-05,2.252501e-05,2.244594e-05,2.236725e-05,2.228900e-05,2.221127e-05,2.213409e-05,2.205752e-05,2.198160e-05,2.190637e-05,2.183186e-05,2.175810e-05,2.168512e-05,2.161296e-05,2.154162e-05,2.147113e-05,2.140151e-05,2.133277e-05,2.126492e-05,2.119798e-05,2.113196e-05
0.000000e+00,6.863104e-10,1.999153e-09,9.672732e-09,2.718399e-08,4.346663e-08,1.186375e-07,1.229795e-07,2.712393e-07,3.283835e-07,5.128281e-07,7.132329e-07,8.732759e-07,1.329674e-06,1.375456e-06,2.032099e-06,2.212747e-06,2.841252e-06,3.356308e-06,3.789594e-06,4.724490e-06,4.858453e-06,6.027737e-06,6.271884e-06,7.277561e-06,7.952884e-06,8.588684e-06,9.723819e-06,9.942575e-06,1.132150e-05,1.154332e-05,1.270869e-05,1.337284e-05,1.408855e-05,1.517763e-05,1.544698e-05,1.677152e-05,1.692767e-05,1.805157e-05,1.859839e-05,1.927843e-05,2.017103e-05,2.044532e-05,2.154732e-05,2.163256e-05,2.258116e-05,2.297518e-05,2.354512e-05,2.419562e-05,2.443878e-05,2.526282e-05,2.529436e-05,2.601880e-05,2.627471e-05,2.670899e-05,2.714213e-05,2.733616e-05,2.790349e-05,2.841438e-05,2.856651e-05,2.887230e-05,2.913920e-05,2.928078e-05,2.962964e-05,2.964330e-05,2.996326e-05,3.004568e-05,3.024396e-05,3.039485e-05,3.048853e-05,3.068418e-05,3.069993e-05,3.088095e-05,3.092016e-05,3.103417e-05,3.110874e-05,3.116202e-05,3.125530e-05,3.126671e-05,3.135031e-05,3.136467e-05,3.141471e-05,3.144119e-05,3.146165e-05,3.148876e-05,3.149272e-05,3.150939e-05,3.151081e-05,3.151298e-05,3.151043e-05,3.150472e-05,3.149033e-05,3.148572e-05,3.145699e-05,3.145293e-05,3.141946e-05,3.140038e-05,3.137398e-05,3.133458e-05,3.132133e-05,3.126220e-05,3.125721e-05,3.119725e-05,3.116977e-05,3.112706e-05,3.107358e-05,3.105217e-05,3.097308e-05,3.096983e-05,3.089023e-05,3.085957e-05,3.080404e-05,3.074372e-05,3.071489e-05,3.062312e-05,3.052905e-05,3.049851e-05,3.043297e-05,3.037056e-05,3.033516e-05,3.023985e-05,3.023585e-05,3.013528e-05,3.010692e-05,3.003365e-05,2.997224e-05,2.993114e-05,2.983622e-05,2.982795e-05,2.972422e-05,2.969926e-05,2.962010e-05,2.956168e-05,2.951574e-05,2.942380e-05,2.941126e-05,2.930676e-05,2.928587e-05,2.920237e-05,2.914816e-05,2.909817e-05,2.901086e-05,2.899426e-05,2.889072e-05,2.887419e-05,2.878761e-05,2.873830e-05,2.868502e-05,2.860336e-05,2.858301e-05,2.848163e-05,2.846951e-05,2.838093e-05,2.833686e-05,2.828097e-05,2.820552e-05,2.818179e-05,2.808343e-05,2.807560e-05,2.798592e-05,2.794717e-05,2.788930e-05,2.782030e-05,2.779360e-05,2.769884e-05,2.769507e-05,2.760506e-05,2.757153e-05,2.751226e-05,2.744973e-05,2.742047e-05,2.732970e-05,2.721148e-05,2.709510e-05,2.698059e-05,2.686794e-05,2.675720e-05,2.664835e-05,2.654141e-05,2.643637e-05,2.633325e-05,2.623202e-05,2.613269e-05,2.603525e-05,2.593969e-05,2.584599e-05,2.575414e-05,2.566412e-05,2.557591e-05,2.548950e-05,2.540487e-05,2.532200e-05,2.524086e-05,2.516143e-05,2.508368e-05,2.500761e-05
0.000000e+00,3.633729e-10,1.046480e-09,4.953223e-09,1.366482e-08,2.163756e-08,5.761967e-08,5.966861e-08,1.283440e-07,1.542791e-07,2.364593e-07,3.236527e-07,3.920907e-07,5.834817e-07,6.024829e-07,8.738965e-07,9.486995e-07,1.211265e-06,1.430212e-06,1.617559e-06,2.032398e-06,2.093047e-06,2.635062e-06,2.751036e-06,3.238565e-06,3.574572e-06,3.897085e-06,4.487535e-06,4.603469e-06,5.350321e-06,5.473076e-06,6.130218e-06,6.514151e-06,6.935843e-06,7.594084e-06,7.760093e-06,8.596188e-06,8.697008e-06,9.437763e-06,9.808262e-06,1.027896e-05,1.091473e-05,1.111447e-05,1.193961e-05,1.200505e-05,1.275031e-05,1.306974e-05,1.354308e-05,1.410115e-05,1.431506e-05,1.506392e-05,1.509337e-05,1.578783e-05,1.604205e-05,1.648542e-05,1.694424e-05,1.715573e-05,1.779814e-05,1.841233e-05,1.860289e-05,1.899824e-05,1.935846e-05,1.955604e-05,2.006537e-05,2.008604e-05,2.058873e-05,2.072466e-05,2.106467e-05,2.133769e-05,2.151456e-05,2.190607e-05,2.193912e-05,2.233915e-05,2.243160e-05,2.271548e-05,2.291618e-05,2.306894e-05,2.336176e-05,2.340040e-05,2.371072e-05,2.377032e-05,2.400075e-05,2.414383e-05,2.427134e-05,2.448423e-05,2.452334e-05,2.475755e-05,2.479342e-05,2.497477e-05,2.507323e-05,2.517579e-05,2.532544e-05,2.536135e-05,2.553219e-05,2.555174e-05,2.568902e-05,2.575376e-05,2.583252e-05,2.593306e-05,2.596334e-05,2.608212e-05,2.609112e-05,2.618947e-05,2.622934e-05,2.628597e-05,2.634905e-05,2.637218e-05,2.644864e-05,2.645151e-05,2.651587e-05,2.653791e-05,2.657436e-05,2.660938e-05,2.662458e-05,2.666699e-05,2.670201e-05,2.671172e-05,2.673006e-05,2.674454e-05,2.675153e-05,2.676631e-05,2.676681e-05,2.677624e-05,2.677788e-05,2.678017e-05,2.678003e-05,2.677893e-05,2.677349e-05,2.677283e-05,2.676217e-05,2.675896e-05,2.674723e-05,2.673709e-05,2.672827e-05,2.670847e-05,2.670556e-05,2.667933e-05,2.667369e-05,2.664983e-05,2.663327e-05,2.661727e-05,2.658771e-05,2.658186e-05,2.654380e-05,2.653747e-05,2.650327e-05,2.648300e-05,2.646047e-05,2.642471e-05,2.641556e-05,2.636871e-05,2.636296e-05,2.632006e-05,2.629812e-05,2.626976e-05,2.623052e-05,2.621796e-05,2.616478e-05,2.616047e-05,2.611034e-05,2.608825e-05,2.605478e-05,2.601413e-05,2.599819e-05,2.594068e-05,2.593836e-05,2.588236e-05,2.586118e-05,2.582331e-05,2.578280e-05,2.576364e-05,2.570341e-05,2.562320e-05,2.554236e-05,2.546102e-05,2.537935e-05,2.529747e-05,2.521552e-05,2.513360e-05,2.505183e-05,2.497030e-05,2.488910e-05,2.480832e-05,2.472803e-05,2.464829e-05,2.456918e-05,2.449074e-05,2.441304e-05,2.433611e-05,2.425999e-05,2.418473e-05,2.411036e-05,2.403691e-05,2.396440e-05,2.389286e-05,2.382230e-05
0.000000e+00,1.978566e-10,5.771807e-10,2.801179e-09,7.891835e-09,1.263246e-08,3.452083e-08,3.578379e-08,7.874127e-08,9.519856e-08,1.479199e-07,2.045702e-07,2.494254e-07,3.762446e-07,3.889279e-07,5.715573e-07,6.223145e-07,8.017213e-07,9.526835e-07,1.082781e-06,1.373799e-06,1.416684e-06,1.803803e-06,1.887543e-06,2.243092e-06,2.491457e-06,2.732387e-06,3.179871e-06,3.268697e-06,3.848401e-06,3.944911e-06,4.467386e-06,4.777142e-06,5.121152e-06,5.665992e-06,5.804905e-06,6.513654e-06,6.600143e-06,7.242312e-06,7.567916e-06,7.985793e-06,8.557675e-06,8.739106e-06,9.497446e-06,9.558192e-06,1.025626e-05,1.055896e-05,1.101132e-05,1.155045e-05,1.175876e-05,1.249508e-05,1.252426e-05,1.321723e-05,1.347320e-05,1.392252e-05,1.439133e-05,1.460871e-05,1.527391e-05,1.591662e-05,1.611733e-05,1.653566e-05,1.691900e-05,1.713015e-05,1.767724e-05,1.769953e-05,1.824344e-05,1.839114e-05,1.876175e-05,1.906047e-05,1.925453e-05,1.968553e-05,1.972200e-05,2.016452e-05,2.026706e-05,2.058254e-05,2.080615e-05,2.097664e-05,2.130414e-05,2.134743e-05,2.169561e-05,2.176259e-05,2.202190e-05,2.218317e-05,2.232706e-05,2.256764e-05,2.261187e-05,2.287713e-05,2.291781e-05,2.312362e-05,2.323550e-05,2.335214e-05,2.352254e-05,2.356347e-05,2.375839e-05,2.378071e-05,2.393764e-05,2.401174e-05,2.410197e-05,2.421733e-05,2.425210e-05,2.438873e-05,2.439910e-05,2.451253e-05,2.455861e-05,2.462416e-05,2.469734e-05,2.472423e-05,2.481337e-05,2.481671e-05,2.489214e-05,2.491807e-05,2.496111e-05,2.500269e-05,2.502081e-05,2.507175e-05,2.511443e-05,2.512641e-05,2.514930e-05,2.516773e-05,2.517681e-05,2.519670e-05,2.519740e-05,2.521146e-05,2.521428e-05,2.521939e-05,2.522135e-05,2.522154e-05,2.521874e-05,2.521829e-05,2.520995e-05,2.520722e-05,2.519684e-05,2.518754e-05,2.517928e-05,2.516036e-05,2.515754e-05,2.513190e-05,2.512632e-05,2.510261e-05,2.508603e-05,2.506993e-05,2.504003e-05,2.503409e-05,2.499531e-05,2.498885e-05,2.495380e-05,2.493297e-05,2.490977e-05,2.487284e-05,2.486339e-05,2.481485e-05,2.480888e-05,2.476432e-05,2.474149e-05,2.471196e-05,2.467103e-05,2.465792e-05,2.460235e-05,2.459784e-05,2.454538e-05,2.452223e-05,2.448714e-05,2.444450e-05,2.442777e-05,2.436736e-05,2.436492e-05,2.430603e-05,2.428374e-05,2.424388e-05,2.420120e-05,2.418101e-05,2.411752e-05,2.403289e-05,2.394750e-05,2.386153e-05,2.377513e-05,2.368845e-05,2.360163e-05,2.351478e-05,2.342803e-05,2.334148e-05,2.325523e-05,2.316936e-05,2.308396e-05,2.299909e-05,2.291484e-05,2.283124e-05,2.274838e-05,2.266628e-05,2.258500e-05,2.250458e-05,2.242506e-05,2.234646e-05,2.226881e-05,2.219215e-05,2.211648e-05
0.000000e+00,1.484347e-09,3.386944e-09,1.157803e-08,2.620085e-08,3.810580e-08,8.566494e-08,8.820642e-08,1.685624e-07,1.973651e-07,2.856266e-07,3.761447e-07,4.457921e-07,6.366839e-07,6.554214e-07,9.205902e-07,9.930927e-07,1.246330e-06,1.456325e-06,1.635257e-06,2.028832e-06,2.086038e-06,2.592899e-06,2.700244e-06,3.146879e-06,3.450230e-06,3.737938e-06,4.256057e-06,4.356517e-06,4.994155e-06,5.097441e-06,5.643508e-06,5.957450e-06,6.298181e-06,6.821947e-06,6.952548e-06,7.601635e-06,7.678956e-06,8.241046e-06,8.518311e-06,8.866931e-06,9.331493e-06,9.475966e-06,1.006533e-05,1.011156e-05,1.063270e-05,1.085305e-05,1.117621e-05,1.155195e-05,1.169444e-05,1.218638e-05,1.220550e-05,1.265136e-05,1.281208e-05,1.308907e-05,1.337109e-05,1.349945e-05,1.388270e-05,1.423923e-05,1.434776e-05,1.456960e-05,1.476764e-05,1.487453e-05,1.514408e-05,1.515483e-05,1.541140e-05,1.547912e-05,1.564520e-05,1.577495e-05,1.585721e-05,1.603391e-05,1.604847e-05,1.622001e-05,1.625836e-05,1.637285e-05,1.645066e-05,1.650802e-05,1.661314e-05,1.662651e-05,1.672931e-05,1.674807e-05,1.681736e-05,1.685762e-05,1.689158e-05,1.694389e-05,1.695286e-05,1.700204e-05,1.700884e-05,1.703994e-05,1.705435e-05,1.706733e-05,1.708218e-05,1.708496e-05,1.709352e-05,1.709397e-05,1.709368e-05,1.709126e-05,1.708607e-05,1.707546e-05,1.707129e-05,1.704990e-05,1.704792e-05,1.702244e-05,1.700987e-05,1.698940e-05,1.696243e-05,1.695126e-05,1.690846e-05,1.690666e-05,1.686142e-05,1.684352e-05,1.681053e-05,1.677391e-05,1.675615e-05,1.669864e-05,1.663831e-05,1.661846e-05,1.657547e-05,1.653406e-05,1.651039e-05,1.644607e-05,1.644335e-05,1.637458e-05,1.635505e-05,1.630432e-05,1.626153e-05,1.623277e-05,1.616599e-05,1.616014e-05,1.608661e-05,1.606885e-05,1.601235e-05,1.597051e-05,1.593753e-05,1.587133e-05,1.586228e-05,1.578675e-05,1.577162e-05,1.571106e-05,1.567168e-05,1.563533e-05,1.557176e-05,1.555966e-05,1.548415e-05,1.547209e-05,1.540890e-05,1.537290e-05,1.533399e-05,1.527435e-05,1.525949e-05,1.518547e-05,1.517663e-05,1.511200e-05,1.507986e-05,1.503914e-05,1.498420e-05,1.496693e-05,1.489543e-05,1.488974e-05,1.482467e-05,1.479658e-05,1.475469e-05,1.470482e-05,1.468554e-05,1.461723e-05,1.461452e-05,1.454980e-05,1.452574e-05,1.448327e-05,1.443855e-05,1.441765e-05,1.435297e-05,1.426905e-05,1.418682e-05,1.410628e-05,1.402746e-05,1.395037e-05,1.387501e-05,1.380137e-05,1.372945e-05,1.365925e-05,1.359075e-05,1.352394e-05,1.345880e-05,1.339530e-05,1.333344e-05,1.327318e-05,1.321450e-05,1.315738e-05,1.310178e-05,1.304769e-05,1.299507e-05,1.294390e-05,1.289414e-05,1.284576e-05,1.279874e-05
0.000000e+00,2.569754e-09,5.904401e-09,2.032999e-08,4.616128e-08,6.722323e-08,1.515234e-07,1.560340e-07,2.989042e-07,3.502261e-07,5.078311e-07,6.699536e-07,7.949992e-07,1.138853e-06,1.172678e-06,1.652182e-06,1.783403e-06,2.241274e-06,2.619608e-06,2.940459e-06,3.640067e-06,3.741008e-06,4.627396e-06,4.813420e-06,5.582081e-06,6.100019e-06,6.588798e-06,7.464339e-06,7.633537e-06,8.704289e-06,8.877306e-06,9.790586e-06,1.031476e-05,1.088313e-05,1.175604e-05,1.197360e-05,1.305453e-05,1.318328e-05,1.411931e-05,1.458118e-05,1.516216e-05,1.593698e-05,1.617813e-05,1.716308e-05,1.724043e-05,1.811365e-05,1.848364e-05,1.902721e-05,1.966093e-05,1.990180e-05,2.073608e-05,2.076860e-05,2.152923e-05,2.180462e-05,2.228092e-05,2.276840e-05,2.299120e-05,2.366046e-05,2.428938e-05,2.448225e-05,2.487884e-05,2.523587e-05,2.542990e-05,2.592391e-05,2.594377e-05,2.642173e-05,2.654931e-05,2.686516e-05,2.711522e-05,2.727545e-05,2.762488e-05,2.765404e-05,2.800233e-05,2.808158e-05,2.832176e-05,2.848855e-05,2.861371e-05,2.884900e-05,2.887957e-05,2.912068e-05,2.916605e-05,2.933833e-05,2.944265e-05,2.953376e-05,2.968165e-05,2.970820e-05,2.986280e-05,2.988577e-05,2.999867e-05,3.005755e-05,3.011688e-05,3.019942e-05,3.021844e-05,3.030433e-05,3.031363e-05,3.037547e-05,3.040233e-05,3.043274e-05,3.046751e-05,3.047698e-05,3.050899e-05,3.051104e-05,3.052951e-05,3.053466e-05,3.053926e-05,3.054000e-05,3.053893e-05,3.052915e-05,3.052857e-05,3.051053e-05,3.050178e-05,3.048365e-05,3.046094e-05,3.044906e-05,3.040728e-05,3.035878e-05,3.034192e-05,3.030404e-05,3.026594e-05,3.024350e-05,3.018029e-05,3.017756e-05,3.010661e-05,3.008590e-05,3.003103e-05,2.998360e-05,2.995116e-05,2.987418e-05,2.986734e-05,2.977987e-05,2.975836e-05,2.968904e-05,2.963682e-05,2.959514e-05,2.951017e-05,2.949842e-05,2.939914e-05,2.937899e-05,2.929751e-05,2.924381e-05,2.919376e-05,2.910513e-05,2.908810e-05,2.898072e-05,2.896340e-05,2.887181e-05,2.881903e-05,2.876153e-05,2.867243e-05,2.865004e-05,2.853751e-05,2.852394e-05,2.842407e-05,2.837390e-05,2.830986e-05,2.822262e-05,2.819500e-05,2.807961e-05,2.807036e-05,2.796381e-05,2.791740e-05,2.784770e-05,2.776396e-05,2.773138e-05,2.761494e-05,2.761028e-05,2.749846e-05,2.745654e-05,2.738203e-05,2.730293e-05,2.726573e-05,2.714962e-05,2.699677e-05,2.684451e-05,2.669297e-05,2.654228e-05,2.639253e-05,2.624382e-05,2.609624e-05,2.594987e-05,2.580479e-05,2.566104e-05,2.551870e-05,2.537781e-05,2.523841e-05,2.510055e-05,2.496425e-05,2.482956e-05,2.469649e-05,2.456507e-05,2.443531e-05,2.430723e-05,2.418083e-05,2.405614e-05,2.393315e-05,2.381187e-05
0.000000e+00,8.430031e-09,1.947536e-08,6.756613e-08,1.543229e-07,2.254970e-07,5.133955e-07,5.289190e-07,1.025732e-06,1.206300e-06,1.766322e-06,2.349305e-06,2.802582e-06,4.059979e-06,4.184289e-06,5.953268e-06,6.438855e-06,8.136521e-06,9.543283e-06,1.073987e-05,1.336339e-05,1.374370e-05,1.710195e-05,1.781036e-05,2.074522e-05,2.272443e-05,2.458835e-05,2.790502e-05,2.854129e-05,3.252057e-05,3.315485e-05,3.645729e-05,3.831602e-05,4.029991e-05,4.328184e-05,4.401277e-05,4.757271e-05,4.798888e-05,5.096561e-05,5.240339e-05,5.418369e-05,5.651033e-05,5.722360e-05,6.008507e-05,6.030632e-05,6.277005e-05,6.379537e-05,6.528207e-05,6.698619e-05,6.762576e-05,6.980657e-05,6.989050e-05,7.183046e-05,7.252185e-05,7.370371e-05,7.489480e-05,7.543283e-05,7.702437e-05,7.848488e-05,7.892562e-05,7.982081e-05,8.061337e-05,8.103852e-05,8.210202e-05,8.214417e-05,8.314375e-05,8.340542e-05,8.404303e-05,8.453679e-05,8.484758e-05,8.550870e-05,8.556274e-05,8.619362e-05,8.633304e-05,8.674512e-05,8.702103e-05,8.722190e-05,8.758320e-05,8.762842e-05,8.796892e-05,8.802945e-05,8.824743e-05,8.836905e-05,8.846781e-05,8.861066e-05,8.863368e-05,8.874852e-05,8.876238e-05,8.881561e-05,8.883178e-05,8.883807e-05,8.882588e-05,8.881883e-05,8.876071e-05,8.875124e-05,8.866634e-05,8.861398e-05,8.853823e-05,8.841976e-05,8.837875e-05,8.819013e-05,8.817385e-05,8.797451e-05,8.788114e-05,8.773386e-05,8.754618e-05,8.747009e-05,8.718498e-05,8.717315e-05,8.688020e-05,8.676598e-05,8.655735e-05,8.632825e-05,8.621791e-05,8.586331e-05,8.549486e-05,8.537424e-05,8.511382e-05,8.486390e-05,8.472137e-05,8.433491e-05,8.431861e-05,8.390658e-05,8.378969e-05,8.348627e-05,8.323049e-05,8.305859e-05,8.265937e-05,8.262441e-05,8.218454e-05,8.207821e-05,8.173974e-05,8.148877e-05,8.129073e-05,8.089264e-05,8.083816e-05,8.038268e-05,8.029129e-05,7.992486e-05,7.968606e-05,7.946526e-05,7.907819e-05,7.900438e-05,7.854271e-05,7.846880e-05,7.808069e-05,7.785892e-05,7.761873e-05,7.724948e-05,7.715724e-05,7.669656e-05,7.664135e-05,7.623703e-05,7.603529e-05,7.577897e-05,7.543200e-05,7.532266e-05,7.486838e-05,7.483213e-05,7.441636e-05,7.423624e-05,7.396684e-05,7.364486e-05,7.352003e-05,7.307613e-05,7.305843e-05,7.263530e-05,7.247739e-05,7.219772e-05,7.190210e-05,7.176354e-05,7.133288e-05,7.077003e-05,7.021379e-05,6.966439e-05,6.912203e-05,6.858685e-05,6.805900e-05,6.753860e-05,6.702574e-05,6.652048e-05,6.602288e-05,6.553299e-05,6.505082e-05,6.457638e-05,6.410968e-05,6.365068e-05,6.319938e-05,6.275573e-05,6.231970e-05,6.189122e-05,6.147024e-05,6.105671e-05,6.065054e-05,6.025166e-05,5.986000e-05
0.000000e+00,3.437480e-09,8.149287e-09,2.906748e-08,6.721715e-08,9.862273e-08,2.257154e-07,2.325605e-07,4.509612e-07,5.300179e-07,7.742761e-07,1.027377e-06,1.223585e-06,1.766388e-06,1.819988e-06,2.582702e-06,2.792209e-06,3.525483e-06,4.133898e-06,4.651618e-06,5.785492e-06,5.949560e-06,7.393045e-06,7.696194e-06,8.947221e-06,9.787260e-06,1.057678e-05,1.198133e-05,1.225116e-05,1.394587e-05,1.421757e-05,1.564175e-05,1.645165e-05,1.732377e-05,1.865129e-05,1.897999e-05,2.060090e-05,2.079265e-05,2.217894e-05,2.285812e-05,2.370819e-05,2.483498e-05,2.518415e-05,2.660351e-05,2.671454e-05,2.796402e-05,2.849142e-05,2.926431e-05,3.016286e-05,3.050376e-05,3.168235e-05,3.172824e-05,3.280060e-05,3.318856e-05,3.385942e-05,3.454607e-05,3.486002e-05,3.580388e-05,3.669266e-05,3.696572e-05,3.752814e-05,3.803573e-05,3.831218e-05,3.901827e-05,3.904673e-05,3.973372e-05,3.991783e-05,4.037513e-05,4.073890e-05,4.097289e-05,4.148594e-05,4.152893e-05,4.204512e-05,4.216329e-05,4.252331e-05,4.277516e-05,4.296527e-05,4.332562e-05,4.337275e-05,4.374743e-05,4.381857e-05,4.409091e-05,4.425772e-05,4.440477e-05,4.464661e-05,4.469050e-05,4.494953e-05,4.498860e-05,4.518327e-05,4.528686e-05,4.539302e-05,4.554442e-05,4.558007e-05,4.574562e-05,4.576410e-05,4.589084e-05,4.594858e-05,4.601683e-05,4.610038e-05,4.612466e-05,4.621534e-05,4.622188e-05,4.628983e-05,4.631530e-05,4.634905e-05,4.638273e-05,4.639389e-05,4.642517e-05,4.642615e-05,4.644370e-05,4.644739e-05,4.645023e-05,4.644819e-05,4.644548e-05,4.643015e-05,4.640488e-05,4.639480e-05,4.637030e-05,4.634355e-05,4.632699e-05,4.627773e-05,4.627552e-05,4.621642e-05,4.619858e-05,4.615020e-05,4.610726e-05,4.607734e-05,4.600484e-05,4.599830e-05,4.591350e-05,4.589234e-05,4.582337e-05,4.577070e-05,4.572828e-05,4.564081e-05,4.562862e-05,4.552472e-05,4.550347e-05,4.541693e-05,4.535945e-05,4.530556e-05,4.520946e-05,4.519091e-05,4.507325e-05,4.505417e-05,4.495287e-05,4.489419e-05,4.483000e-05,4.473009e-05,4.470490e-05,4.457778e-05,4.456240e-05,4.444886e-05,4.439162e-05,4.431835e-05,4.421821e-05,4.418643e-05,4.405329e-05,4.404259e-05,4.391909e-05,4.386515e-05,4.378400e-05,4.368627e-05,4.364817e-05,4.351174e-05,4.350627e-05,4.337484e-05,4.332547e-05,4.323760e-05,4.314415e-05,4.310015e-05,4.296259e-05,4.278103e-05,4.259970e-05,4.241879e-05,4.223851e-05,4.205902e-05,4.188049e-05,4.170307e-05,4.152688e-05,4.135205e-05,4.117868e-05,4.100688e-05,4.083674e-05,4.066834e-05,4.050174e-05,4.033702e-05,4.017423e-05,4.001342e-05,3.985463e-05,3.969791e-05,3.954328e-05,3.939078e-05,3.924042e-05,3.909222e-05,3.894621e-05
0.000000e+00,4.996630e-09,1.165553e-08,4.093751e-08,9.419216e-08,1.380803e-07,3.165546e-07,3.262093e-07,6.364713e-07,7.497947e-07,1.102969e-06,1.472955e-06,1.761744e-06,2.563488e-06,2.642520e-06,3.756037e-06,4.057229e-06,5.094063e-06,5.935857e-06,6.641698e-06,8.165866e-06,8.384970e-06,1.031146e-05,1.071768e-05,1.240893e-05,1.356287e-05,1.466422e-05,1.666997e-05,1.706270e-05,1.958827e-05,2.000301e-05,2.222354e-05,2.352210e-05,2.495024e-05,2.718485e-05,2.774965e-05,3.060307e-05,3.094824e-05,3.349235e-05,3.477049e-05,3.640015e-05,3.861238e-05,3.931016e-05,4.220739e-05,4.243820e-05,4.507830e-05,4.621655e-05,4.791083e-05,4.992050e-05,5.069442e-05,5.342001e-05,5.352771e-05,5.607994e-05,5.702018e-05,5.866785e-05,6.038378e-05,6.117848e-05,6.360725e-05,6.595112e-05,6.668287e-05,6.820801e-05,6.960611e-05,7.037655e-05,7.237462e-05,7.245609e-05,7.444648e-05,7.498786e-05,7.634809e-05,7.744674e-05,7.816167e-05,7.975339e-05,7.988835e-05,8.152950e-05,8.191081e-05,8.308669e-05,8.392271e-05,8.456171e-05,8.579328e-05,8.595648e-05,8.727302e-05,8.752712e-05,8.851342e-05,8.912907e-05,8.967986e-05,9.060412e-05,9.077454e-05,9.179968e-05,9.195740e-05,9.275751e-05,9.319402e-05,9.365027e-05,9.431911e-05,9.448016e-05,9.524940e-05,9.533773e-05,9.596014e-05,9.625489e-05,9.661453e-05,9.707547e-05,9.721467e-05,9.776262e-05,9.780426e-05,9.826040e-05,9.844591e-05,9.870999e-05,9.900493e-05,9.911331e-05,9.947224e-05,9.948570e-05,9.978862e-05,9.989245e-05,1.000642e-04,1.002292e-04,1.003008e-04,1.005000e-04,1.006635e-04,1.007086e-04,1.007929e-04,1.008585e-04,1.008897e-04,1.009533e-04,1.009553e-04,1.009913e-04,1.009963e-04,1.009991e-04,1.009907e-04,1.009799e-04,1.009396e-04,1.009351e-04,1.008659e-04,1.008458e-04,1.007736e-04,1.007123e-04,1.006593e-04,1.005415e-04,1.005242e-04,1.003694e-04,1.003361e-04,1.001959e-04,1.000986e-04,1.000046e-04,9.983107e-05,9.979672e-05,9.957304e-05,9.953584e-05,9.933450e-05,9.921498e-05,9.908197e-05,9.887044e-05,9.881629e-05,9.853826e-05,9.850410e-05,9.824866e-05,9.811775e-05,9.794822e-05,9.771307e-05,9.763765e-05,9.731765e-05,9.729166e-05,9.698885e-05,9.685502e-05,9.665190e-05,9.640459e-05,9.630740e-05,9.595591e-05,9.594171e-05,9.559799e-05,9.546767e-05,9.523418e-05,9.498367e-05,9.486497e-05,9.449085e-05,9.399027e-05,9.348295e-05,9.296983e-05,9.245180e-05,9.192972e-05,9.140435e-05,9.087644e-05,9.034668e-05,8.981572e-05,8.928416e-05,8.875257e-05,8.822146e-05,8.769134e-05,8.716266e-05,8.663583e-05,8.611126e-05,8.558931e-05,8.507031e-05,8.455457e-05,8.404238e-05,8.353399e-05,8.302966e-05,8.252959e-05,8.203399e-05
0.000000e+00,1.081765e-09,2.483019e-09,8.555123e-09,1.946080e-08,2.837432e-08,6.417079e-08,6.609016e-08,1.270203e-07,1.489554e-07,2.164147e-07,2.859028e-07,3.395267e-07,4.869020e-07,5.013808e-07,7.059196e-07,7.615940e-07,9.546373e-07,1.112716e-06,1.245894e-06,1.534333e-06,1.575812e-06,1.939732e-06,2.016185e-06,2.333027e-06,2.547681e-06,2.751298e-06,3.118857e-06,3.190328e-06,3.646037e-06,3.720232e-06,4.114470e-06,4.342715e-06,4.591827e-06,4.977711e-06,5.074508e-06,5.559165e-06,5.617309e-06,6.042745e-06,6.254463e-06,6.522520e-06,6.883122e-06,6.996101e-06,7.461428e-06,7.498243e-06,7.916775e-06,8.095795e-06,8.360736e-06,8.672694e-06,8.792183e-06,9.210254e-06,9.226689e-06,9.614316e-06,9.756261e-06,1.000394e-05,1.026050e-05,1.037886e-05,1.073897e-05,1.108429e-05,1.119167e-05,1.141491e-05,1.161888e-05,1.173103e-05,1.202110e-05,1.203291e-05,1.232086e-05,1.239903e-05,1.259521e-05,1.275346e-05,1.285635e-05,1.308527e-05,1.310467e-05,1.334058e-05,1.339539e-05,1.356448e-05,1.368478e-05,1.377681e-05,1.395441e-05,1.397797e-05,1.416839e-05,1.420522e-05,1.434847e-05,1.443816e-05,1.451861e-05,1.465414e-05,1.467922e-05,1.483066e-05,1.485406e-05,1.497331e-05,1.503877e-05,1.510754e-05,1.520910e-05,1.523370e-05,1.535212e-05,1.536583e-05,1.546314e-05,1.550972e-05,1.556707e-05,1.564149e-05,1.566420e-05,1.575485e-05,1.576183e-05,1.583929e-05,1.587138e-05,1.591779e-05,1.597077e-05,1.599061e-05,1.605800e-05,1.606058e-05,1.612021e-05,1.614138e-05,1.617746e-05,1.621367e-05,1.622998e-05,1.627797e-05,1.632165e-05,1.633475e-05,1.636121e-05,1.638446e-05,1.639684e-05,1.642751e-05,1.642871e-05,1.645700e-05,1.646431e-05,1.648188e-05,1.649523e-05,1.650349e-05,1.652063e-05,1.652200e-05,1.653755e-05,1.654085e-05,1.655027e-05,1.655621e-05,1.656030e-05,1.656700e-05,1.656777e-05,1.657279e-05,1.657352e-05,1.657549e-05,1.657602e-05,1.657598e-05,1.657476e-05,1.657436e-05,1.657074e-05,1.656998e-05,1.656521e-05,1.656191e-05,1.655787e-05,1.655075e-05,1.654880e-05,1.653810e-05,1.653671e-05,1.652585e-05,1.651998e-05,1.651212e-05,1.650074e-05,1.649699e-05,1.648053e-05,1.647916e-05,1.646281e-05,1.645539e-05,1.644390e-05,1.642958e-05,1.642386e-05,1.640275e-05,1.640189e-05,1.638064e-05,1.637244e-05,1.635756e-05,1.634135e-05,1.633359e-05,1.630876e-05,1.627476e-05,1.623948e-05,1.620300e-05,1.616543e-05,1.612685e-05,1.608734e-05,1.604700e-05,1.600589e-05,1.596408e-05,1.592164e-05,1.587864e-05,1.583513e-05,1.579117e-05,1.574682e-05,1.570212e-05,1.565712e-05,1.561186e-05,1.556640e-05,1.552076e-05,1.547499e-05,1.542912e-05,1.538318e-05,1.533721e-05,1.529123e-05
0.000000e+00,1.882807e-09,4.476046e-09,1.606365e-08,3.741646e-08,5.517553e-08,1.285457e-07,1.325627e-07,2.640115e-07,3.130694e-07,4.688926e-07,6.355774e-07,7.670154e-07,1.132733e-06,1.168648e-06,1.669897e-06,1.803933e-06,2.261028e-06,2.628070e-06,2.933594e-06,3.587880e-06,3.681425e-06,4.499588e-06,4.671254e-06,5.383428e-06,5.867361e-06,6.328010e-06,7.164425e-06,7.327877e-06,8.377008e-06,8.549011e-06,9.468886e-06,1.000616e-05,1.059662e-05,1.151985e-05,1.175310e-05,1.293122e-05,1.307371e-05,1.412395e-05,1.465164e-05,1.532456e-05,1.623834e-05,1.652665e-05,1.772436e-05,1.781982e-05,1.891237e-05,1.938377e-05,2.008592e-05,2.091955e-05,2.124083e-05,2.237350e-05,2.241830e-05,2.348088e-05,2.387284e-05,2.456044e-05,2.527759e-05,2.561013e-05,2.662836e-05,2.761390e-05,2.792222e-05,2.856591e-05,2.915732e-05,2.948382e-05,3.033267e-05,3.036735e-05,3.121646e-05,3.144805e-05,3.203126e-05,3.250381e-05,3.281208e-05,3.350079e-05,3.355935e-05,3.427361e-05,3.444019e-05,3.495551e-05,3.532350e-05,3.560575e-05,3.615240e-05,3.622511e-05,3.681440e-05,3.692873e-05,3.737446e-05,3.765442e-05,3.790614e-05,3.833147e-05,3.841033e-05,3.888789e-05,3.896189e-05,3.933972e-05,3.954772e-05,3.976669e-05,4.009094e-05,4.016966e-05,4.054949e-05,4.059356e-05,4.090703e-05,4.105749e-05,4.124309e-05,4.148464e-05,4.155849e-05,4.185402e-05,4.187682e-05,4.213044e-05,4.223582e-05,4.238850e-05,4.256335e-05,4.262894e-05,4.285246e-05,4.286105e-05,4.305974e-05,4.313052e-05,4.325146e-05,4.337326e-05,4.342825e-05,4.359074e-05,4.373954e-05,4.378436e-05,4.387522e-05,4.395544e-05,4.399835e-05,4.410525e-05,4.410947e-05,4.420911e-05,4.423502e-05,4.429778e-05,4.434591e-05,4.437595e-05,4.443901e-05,4.444411e-05,4.450269e-05,4.451538e-05,4.455215e-05,4.457602e-05,4.459291e-05,4.462188e-05,4.462535e-05,4.464988e-05,4.465387e-05,4.466688e-05,4.467285e-05,4.467669e-05,4.467964e-05,4.467967e-05,4.467615e-05,4.467500e-05,4.466644e-05,4.465968e-05,4.465087e-05,4.463438e-05,4.462972e-05,4.460328e-05,4.459976e-05,4.457182e-05,4.455645e-05,4.453560e-05,4.450504e-05,4.449487e-05,4.444988e-05,4.444610e-05,4.440085e-05,4.438016e-05,4.434802e-05,4.430773e-05,4.429158e-05,4.423175e-05,4.422929e-05,4.416873e-05,4.414529e-05,4.410269e-05,4.405616e-05,4.403382e-05,4.396230e-05,4.386410e-05,4.376192e-05,4.365610e-05,4.354697e-05,4.343482e-05,4.331996e-05,4.320264e-05,4.308312e-05,4.296165e-05,4.283846e-05,4.271374e-05,4.258772e-05,4.246057e-05,4.233248e-05,4.220360e-05,4.207411e-05,4.194414e-05,4.181384e-05,4.168334e-05,4.155275e-05,4.142219e-05,4.129177e-05,4.116159e-05,4.103173e-05
0.000000e+00,2.117394e-09,4.851572e-09,1.672903e-08,3.817831e-08,5.580306e-08,1.272758e-07,1.311363e-07,2.549885e-07,3.001511e-07,4.407823e-07,5.881913e-07,7.035832e-07,1.027335e-06,1.059622e-06,1.523569e-06,1.652082e-06,2.103584e-06,2.478925e-06,2.798298e-06,3.498023e-06,3.599436e-06,4.496653e-06,4.686754e-06,5.480284e-06,6.023065e-06,6.541839e-06,7.488156e-06,7.673671e-06,8.868541e-06,9.065095e-06,1.011933e-05,1.073747e-05,1.141889e-05,1.248882e-05,1.276003e-05,1.413559e-05,1.430263e-05,1.553845e-05,1.616257e-05,1.696171e-05,1.805294e-05,1.839873e-05,1.984323e-05,1.995893e-05,2.128934e-05,2.186701e-05,2.273167e-05,2.376503e-05,2.416532e-05,2.558589e-05,2.564238e-05,2.698949e-05,2.748996e-05,2.837273e-05,2.930018e-05,2.973266e-05,3.106678e-05,3.237297e-05,3.278476e-05,3.364949e-05,3.445024e-05,3.489495e-05,3.606033e-05,3.610823e-05,3.728849e-05,3.761296e-05,3.843512e-05,3.910678e-05,3.954772e-05,4.054105e-05,4.062606e-05,4.167006e-05,4.191552e-05,4.267979e-05,4.323033e-05,4.365542e-05,4.448597e-05,4.459722e-05,4.550554e-05,4.568322e-05,4.638081e-05,4.682305e-05,4.722351e-05,4.790659e-05,4.803416e-05,4.881330e-05,4.893508e-05,4.956155e-05,4.990991e-05,5.027950e-05,5.083249e-05,5.096782e-05,5.162713e-05,5.170433e-05,5.225811e-05,5.252694e-05,5.286142e-05,5.330185e-05,5.343774e-05,5.398774e-05,5.403062e-05,5.451209e-05,5.471480e-05,5.501147e-05,5.535595e-05,5.548656e-05,5.593801e-05,5.595558e-05,5.636648e-05,5.651522e-05,5.677262e-05,5.703637e-05,5.715707e-05,5.752047e-05,5.786345e-05,5.796898e-05,5.818660e-05,5.838331e-05,5.849055e-05,5.876482e-05,5.877588e-05,5.904317e-05,5.911486e-05,5.929299e-05,5.943474e-05,5.952591e-05,5.972573e-05,5.974246e-05,5.994319e-05,5.998907e-05,6.012862e-05,6.022597e-05,6.029926e-05,6.043759e-05,6.045561e-05,6.059816e-05,6.062505e-05,6.072739e-05,6.078947e-05,6.084376e-05,6.093190e-05,6.094772e-05,6.103973e-05,6.105337e-05,6.112021e-05,6.115486e-05,6.118957e-05,6.123735e-05,6.124825e-05,6.129662e-05,6.130175e-05,6.133508e-05,6.134896e-05,6.136401e-05,6.137984e-05,6.138377e-05,6.139472e-05,6.139522e-05,6.139721e-05,6.139591e-05,6.139157e-05,6.138267e-05,6.137814e-05,6.135724e-05,6.135625e-05,6.132916e-05,6.131736e-05,6.129422e-05,6.126668e-05,6.125270e-05,6.120488e-05,6.113260e-05,6.105043e-05,6.095897e-05,6.085878e-05,6.075039e-05,6.063432e-05,6.051107e-05,6.038110e-05,6.024488e-05,6.010283e-05,5.995538e-05,5.980291e-05,5.964581e-05,5.948444e-05,5.931915e-05,5.915027e-05,5.897811e-05,5.880298e-05,5.862516e-05,5.844492e-05,5.826253e-05,5.807824e-05,5.789227e-05,5.770485e-05
0.000000e+00,3.131443e-09,8.229057e-09,3.341333e-08,8.279721e-08,1.248405e-07,3.003340e-07,3.099297e-07,6.198953e-07,7.332671e-07,1.085652e-06,1.452862e-06,1.738382e-06,2.529968e-06,2.608164e-06,3.718384e-06,4.021967e-06,5.077920e-06,5.946106e-06,6.680073e-06,8.278770e-06,8.509790e-06,1.055009e-05,1.098192e-05,1.278399e-05,1.401641e-05,1.519420e-05,1.734177e-05,1.776255e-05,2.046974e-05,2.091442e-05,2.329541e-05,2.468764e-05,2.621848e-05,2.861271e-05,2.921759e-05,3.227154e-05,3.264071e-05,3.535974e-05,3.672431e-05,3.846261e-05,4.081932e-05,4.156190e-05,4.464088e-05,4.488586e-05,4.768451e-05,4.888903e-05,5.067952e-05,5.279927e-05,5.361437e-05,5.647929e-05,5.659231e-05,5.926610e-05,6.024892e-05,6.196819e-05,6.375451e-05,6.458035e-05,6.709859e-05,6.952007e-05,7.027418e-05,7.184293e-05,7.327732e-05,7.406619e-05,7.610658e-05,7.618961e-05,7.821357e-05,7.876257e-05,8.013899e-05,8.124750e-05,8.196724e-05,8.356489e-05,8.370005e-05,8.533943e-05,8.571923e-05,8.688766e-05,8.771574e-05,8.834715e-05,8.956016e-05,8.972051e-05,9.101040e-05,9.125860e-05,9.221958e-05,9.281738e-05,9.335085e-05,9.424294e-05,9.440699e-05,9.539083e-05,9.554171e-05,9.630512e-05,9.672010e-05,9.715264e-05,9.778441e-05,9.793610e-05,9.865817e-05,9.874082e-05,9.932146e-05,9.959534e-05,9.992852e-05,1.003538e-04,1.004819e-04,1.009839e-04,1.010219e-04,1.014369e-04,1.016049e-04,1.018433e-04,1.021082e-04,1.022052e-04,1.025248e-04,1.025367e-04,1.028041e-04,1.028952e-04,1.030451e-04,1.031882e-04,1.032498e-04,1.034201e-04,1.035576e-04,1.035950e-04,1.036641e-04,1.037169e-04,1.037414e-04,1.037894e-04,1.037909e-04,1.038142e-04,1.038163e-04,1.038128e-04,1.038007e-04,1.037881e-04,1.037459e-04,1.037414e-04,1.036740e-04,1.036549e-04,1.035872e-04,1.035306e-04,1.034822e-04,1.033756e-04,1.033601e-04,1.032219e-04,1.031924e-04,1.030688e-04,1.029835e-04,1.029016e-04,1.027512e-04,1.027215e-04,1.025292e-04,1.024974e-04,1.023257e-04,1.022243e-04,1.021117e-04,1.019336e-04,1.018881e-04,1.016557e-04,1.016272e-04,1.014150e-04,1.013067e-04,1.011668e-04,1.009736e-04,1.009118e-04,1.006506e-04,1.006294e-04,1.003837e-04,1.002755e-04,1.001118e-04,9.991310e-05,9.983524e-05,9.955467e-05,9.954337e-05,9.927053e-05,9.916745e-05,9.898325e-05,9.878634e-05,9.869329e-05,9.840103e-05,9.801238e-05,9.762124e-05,9.722836e-05,9.683447e-05,9.644021e-05,9.604620e-05,9.565299e-05,9.526111e-05,9.487101e-05,9.448314e-05,9.409790e-05,9.371564e-05,9.333670e-05,9.296138e-05,9.258994e-05,9.222263e-05,9.185967e-05,9.150126e-05,9.114756e-05,9.079872e-05,9.045489e-05,9.011618e-05,8.978268e-05,8.945448e-05
0.000000e+00,1.098480e-09,2.762613e-09,1.056642e-08,2.531440e-08,3.765167e-08,8.830505e-08,9.105228e-08,1.792025e-07,2.112659e-07,3.106311e-07,4.139261e-07,4.941614e-07,7.164651e-07,7.384182e-07,1.049984e-06,1.135137e-06,1.431224e-06,1.674638e-06,1.880490e-06,2.329375e-06,2.394320e-06,2.969012e-06,3.090938e-06,3.600987e-06,3.951062e-06,4.286638e-06,4.901270e-06,5.022131e-06,5.803284e-06,5.932206e-06,6.625532e-06,7.033374e-06,7.483951e-06,8.193234e-06,8.373328e-06,9.288256e-06,9.399504e-06,1.022323e-05,1.063956e-05,1.117277e-05,1.190084e-05,1.213149e-05,1.309422e-05,1.317126e-05,1.405607e-05,1.443952e-05,1.501247e-05,1.569535e-05,1.595925e-05,1.689264e-05,1.692965e-05,1.780930e-05,1.813463e-05,1.870632e-05,1.930377e-05,1.958119e-05,2.043182e-05,2.125649e-05,2.151466e-05,2.205383e-05,2.254930e-05,2.282282e-05,2.353368e-05,2.356271e-05,2.427302e-05,2.446656e-05,2.495350e-05,2.534744e-05,2.560411e-05,2.617640e-05,2.622498e-05,2.681640e-05,2.695400e-05,2.737878e-05,2.768121e-05,2.791263e-05,2.835930e-05,2.841856e-05,2.889723e-05,2.898976e-05,2.934939e-05,2.957428e-05,2.977579e-05,3.011465e-05,3.017724e-05,3.055455e-05,3.061273e-05,3.090855e-05,3.107044e-05,3.124009e-05,3.148971e-05,3.155000e-05,3.183909e-05,3.187243e-05,3.210821e-05,3.222050e-05,3.235815e-05,3.253576e-05,3.258970e-05,3.280363e-05,3.282001e-05,3.300071e-05,3.307498e-05,3.318166e-05,3.330236e-05,3.334719e-05,3.349801e-05,3.350374e-05,3.363476e-05,3.368067e-05,3.375810e-05,3.383463e-05,3.386865e-05,3.396700e-05,3.405375e-05,3.407914e-05,3.412943e-05,3.417232e-05,3.419459e-05,3.424773e-05,3.424975e-05,3.429538e-05,3.430652e-05,3.433197e-05,3.434977e-05,3.435997e-05,3.437852e-05,3.437981e-05,3.439192e-05,3.439372e-05,3.439669e-05,3.439630e-05,3.439450e-05,3.438712e-05,3.438573e-05,3.437071e-05,3.436699e-05,3.434980e-05,3.433669e-05,3.432330e-05,3.429695e-05,3.429152e-05,3.425477e-05,3.424845e-05,3.421332e-05,3.419183e-05,3.416743e-05,3.412770e-05,3.411737e-05,3.406338e-05,3.405664e-05,3.400569e-05,3.397919e-05,3.394453e-05,3.389585e-05,3.388010e-05,3.381262e-05,3.380710e-05,3.374228e-05,3.371339e-05,3.366926e-05,3.361513e-05,3.359374e-05,3.351589e-05,3.351273e-05,3.343587e-05,3.340657e-05,3.335384e-05,3.329698e-05,3.326993e-05,3.318429e-05,3.306882e-05,3.295086e-05,3.283066e-05,3.270850e-05,3.258461e-05,3.245920e-05,3.233250e-05,3.220469e-05,3.207595e-05,3.194647e-05,3.181640e-05,3.168588e-05,3.155507e-05,3.142408e-05,3.129304e-05,3.116206e-05,3.103124e-05,3.090070e-05,3.077050e-05,3.064075e-05,3.051151e-05,3.038287e-05,3.025488e-05,3.012761e-05
0.000000e+00,3.791098e-09,1.130478e-08,5.744477e-08,1.689831e-07,2.772276e-07,8.108187e-07,8.429458e-07,2.001790e-06,2.475003e-06,4.080004e-06,5.929716e-06,7.466800e-06,1.205576e-05,1.252931e-05,1.952562e-05,2.151040e-05,2.859969e-05,3.461561e-05,3.981764e-05,5.147745e-05,5.319678e-05,6.872050e-05,7.207913e-05,8.634428e-05,9.631625e-05,1.059978e-04,1.240063e-04,1.275857e-04,1.509886e-04,1.548923e-04,1.760645e-04,1.886483e-04,2.026514e-04,2.248891e-04,2.305705e-04,2.596299e-04,2.631843e-04,2.896297e-04,3.030748e-04,3.203654e-04,3.440909e-04,3.516327e-04,3.832313e-04,3.857677e-04,4.149684e-04,4.276607e-04,4.466612e-04,4.693565e-04,4.781395e-04,5.092472e-04,5.104818e-04,5.398436e-04,5.507085e-04,5.698036e-04,5.897566e-04,5.990181e-04,6.273937e-04,6.548521e-04,6.634343e-04,6.813293e-04,6.977360e-04,7.067748e-04,7.301963e-04,7.311504e-04,7.544290e-04,7.607480e-04,7.765939e-04,7.893546e-04,7.976371e-04,8.160061e-04,8.175587e-04,8.363655e-04,8.407145e-04,8.540703e-04,8.635100e-04,8.706908e-04,8.844374e-04,8.862491e-04,9.007705e-04,9.035528e-04,9.142832e-04,9.209212e-04,9.268175e-04,9.366137e-04,9.384055e-04,9.490804e-04,9.507059e-04,9.588761e-04,9.632759e-04,9.678272e-04,9.744033e-04,9.759685e-04,9.833344e-04,9.841679e-04,9.899595e-04,9.926485e-04,9.958775e-04,9.999229e-04,1.001122e-03,1.005725e-03,1.006067e-03,1.009719e-03,1.011153e-03,1.013135e-03,1.015253e-03,1.016003e-03,1.018351e-03,1.018434e-03,1.020208e-03,1.020762e-03,1.021601e-03,1.022297e-03,1.022557e-03,1.023099e-03,1.023253e-03,1.023224e-03,1.023041e-03,1.022724e-03,1.022485e-03,1.021648e-03,1.021607e-03,1.020427e-03,1.020045e-03,1.018963e-03,1.017957e-03,1.017236e-03,1.015427e-03,1.015261e-03,1.013055e-03,1.012494e-03,1.010636e-03,1.009193e-03,1.008017e-03,1.005559e-03,1.005213e-03,1.002239e-03,1.001624e-03,9.991058e-04,9.974184e-04,9.958272e-04,9.929692e-04,9.924146e-04,9.888791e-04,9.883027e-04,9.852311e-04,9.834431e-04,9.814807e-04,9.784130e-04,9.776374e-04,9.737099e-04,9.732334e-04,9.697068e-04,9.679236e-04,9.656361e-04,9.625017e-04,9.615052e-04,9.573214e-04,9.569846e-04,9.530912e-04,9.513876e-04,9.488211e-04,9.457253e-04,9.445170e-04,9.401846e-04,9.400108e-04,9.358291e-04,9.342564e-04,9.314555e-04,9.284734e-04,9.270684e-04,9.226723e-04,9.168626e-04,9.110530e-04,9.052517e-04,8.994659e-04,8.937025e-04,8.879676e-04,8.822667e-04,8.766049e-04,8.709869e-04,8.654166e-04,8.598980e-04,8.544342e-04,8.490283e-04,8.436828e-04,8.384002e-04,8.331824e-04,8.280313e-04,8.229482e-04,8.179346e-04,8.129914e-04,8.081196e-04,8.033199e-04,7.985928e-04,7.939386e-04
0.000000e+00,1.459481e-09,3.683065e-09,1.413960e-08,3.392614e-08,5.048501e-08,1.185049e-07,1.221956e-07,2.407141e-07,2.838718e-07,4.177858e-07,5.572753e-07,6.658458e-07,9.679965e-07,9.979694e-07,1.426920e-06,1.545495e-06,1.962681e-06,2.310983e-06,2.608567e-06,3.263223e-06,3.358227e-06,4.196849e-06,4.373633e-06,5.106003e-06,5.600678e-06,6.068035e-06,6.905924e-06,7.067909e-06,8.093250e-06,8.258955e-06,9.133751e-06,9.635957e-06,1.018065e-05,1.101765e-05,1.122636e-05,1.226424e-05,1.238798e-05,1.328850e-05,1.373355e-05,1.429413e-05,1.504329e-05,1.527686e-05,1.623311e-05,1.630838e-05,1.716000e-05,1.752200e-05,1.805523e-05,1.867921e-05,1.891709e-05,1.974434e-05,1.977670e-05,2.053621e-05,2.081254e-05,2.129232e-05,2.178600e-05,2.201260e-05,2.269725e-05,2.334674e-05,2.354724e-05,2.396167e-05,2.433744e-05,2.454282e-05,2.506978e-05,2.509109e-05,2.560744e-05,2.574643e-05,2.609290e-05,2.636981e-05,2.654857e-05,2.694240e-05,2.697553e-05,2.737490e-05,2.746676e-05,2.774779e-05,2.794545e-05,2.809531e-05,2.838101e-05,2.841855e-05,2.871859e-05,2.877591e-05,2.899647e-05,2.913255e-05,2.925322e-05,2.945327e-05,2.948981e-05,2.970721e-05,2.974028e-05,2.990635e-05,2.999571e-05,3.008811e-05,3.022158e-05,3.025335e-05,3.040290e-05,3.041982e-05,3.053754e-05,3.059226e-05,3.065804e-05,3.074061e-05,3.076513e-05,3.085949e-05,3.086651e-05,3.094180e-05,3.097149e-05,3.101269e-05,3.105701e-05,3.107277e-05,3.112263e-05,3.112442e-05,3.116281e-05,3.117501e-05,3.119384e-05,3.120998e-05,3.121623e-05,3.123047e-05,3.123701e-05,3.123754e-05,3.123628e-05,3.123220e-05,3.122871e-05,3.121537e-05,3.121469e-05,3.119460e-05,3.118793e-05,3.116879e-05,3.115072e-05,3.113762e-05,3.110449e-05,3.110141e-05,3.106047e-05,3.104997e-05,3.101509e-05,3.098784e-05,3.096555e-05,3.091873e-05,3.091212e-05,3.085506e-05,3.084323e-05,3.079460e-05,3.076190e-05,3.073098e-05,3.067525e-05,3.066441e-05,3.059510e-05,3.058377e-05,3.052325e-05,3.048791e-05,3.044904e-05,3.038809e-05,3.037265e-05,3.029424e-05,3.028471e-05,3.021399e-05,3.017813e-05,3.013204e-05,3.006870e-05,3.004852e-05,2.996359e-05,2.995674e-05,2.987737e-05,2.984255e-05,2.978998e-05,2.972640e-05,2.970154e-05,2.961216e-05,2.960856e-05,2.952194e-05,2.948927e-05,2.943098e-05,2.936875e-05,2.933938e-05,2.924722e-05,2.912486e-05,2.900186e-05,2.887839e-05,2.875459e-05,2.863063e-05,2.850663e-05,2.838271e-05,2.825899e-05,2.813558e-05,2.801257e-05,2.789006e-05,2.776813e-05,2.764686e-05,2.752631e-05,2.740655e-05,2.728764e-05,2.716963e-05,2.705257e-05,2.693651e-05,2.682149e-05,2.670754e-05,2.659470e-05,2.648299e-05,2.637244e-05
0.000000e+00,5.921836e-09,1.538497e-08,6.152203e-08,1.513304e-07,2.276860e-07,5.474930e-07,5.650553e-07,1.137353e-06,1.349135e-06,2.015367e-06,2.720737e-06,3.275136e-06,4.825936e-06,4.979465e-06,7.149577e-06,7.737950e-06,9.765013e-06,1.141097e-05,1.279040e-05,1.576524e-05,1.619236e-05,1.994136e-05,2.073031e-05,2.400899e-05,2.624038e-05,2.836577e-05,3.222586e-05,3.298009e-05,3.781820e-05,3.861071e-05,4.284469e-05,4.531370e-05,4.802335e-05,5.225148e-05,5.331797e-05,5.869327e-05,5.934211e-05,6.411561e-05,6.650816e-05,6.955359e-05,7.367908e-05,7.497839e-05,8.036401e-05,8.079246e-05,8.568753e-05,8.779499e-05,9.092903e-05,9.464244e-05,9.607146e-05,1.011006e-04,1.012992e-04,1.060046e-04,1.077376e-04,1.107743e-04,1.139371e-04,1.154022e-04,1.198830e-04,1.242129e-04,1.255662e-04,1.283895e-04,1.309814e-04,1.324115e-04,1.361270e-04,1.362788e-04,1.399921e-04,1.410044e-04,1.435528e-04,1.456168e-04,1.469629e-04,1.499695e-04,1.502251e-04,1.533421e-04,1.540689e-04,1.563172e-04,1.579226e-04,1.591539e-04,1.615385e-04,1.618557e-04,1.644265e-04,1.649252e-04,1.668700e-04,1.680917e-04,1.691903e-04,1.710469e-04,1.713911e-04,1.734766e-04,1.737998e-04,1.754506e-04,1.763597e-04,1.773170e-04,1.787352e-04,1.790796e-04,1.807423e-04,1.809353e-04,1.823088e-04,1.829684e-04,1.837826e-04,1.848430e-04,1.851674e-04,1.864667e-04,1.865671e-04,1.876839e-04,1.881485e-04,1.888222e-04,1.895949e-04,1.898850e-04,1.908753e-04,1.909134e-04,1.917961e-04,1.921112e-04,1.926505e-04,1.931950e-04,1.934413e-04,1.941712e-04,1.948429e-04,1.950460e-04,1.954591e-04,1.958254e-04,1.960221e-04,1.965150e-04,1.965346e-04,1.969987e-04,1.971203e-04,1.974167e-04,1.976463e-04,1.977908e-04,1.980981e-04,1.981232e-04,1.984157e-04,1.984802e-04,1.986704e-04,1.987973e-04,1.988892e-04,1.990534e-04,1.990738e-04,1.992260e-04,1.992527e-04,1.993475e-04,1.993990e-04,1.994398e-04,1.994959e-04,1.995044e-04,1.995430e-04,1.995469e-04,1.995569e-04,1.995552e-04,1.995474e-04,1.995239e-04,1.995159e-04,1.994636e-04,1.994560e-04,1.993918e-04,1.993543e-04,1.993016e-04,1.992213e-04,1.991940e-04,1.990702e-04,1.990597e-04,1.989312e-04,1.988716e-04,1.987780e-04,1.986593e-04,1.986114e-04,1.984323e-04,1.984249e-04,1.982417e-04,1.981704e-04,1.980403e-04,1.978976e-04,1.978289e-04,1.976083e-04,1.973041e-04,1.969865e-04,1.966571e-04,1.963170e-04,1.959677e-04,1.956104e-04,1.952460e-04,1.948758e-04,1.945006e-04,1.941214e-04,1.937390e-04,1.933543e-04,1.929679e-04,1.925805e-04,1.921928e-04,1.918054e-04,1.914188e-04,1.910335e-04,1.906500e-04,1.902686e-04,1.898899e-04,1.895141e-04,1.891416e-04,1.887727e-04
0.000000e+00,2.431161e-09,5.955443e-09,2.208593e-08,5.213914e-08,7.714433e-08,1.794517e-07,1.849945e-07,3.628643e-07,4.276123e-07,6.285263e-07,8.378424e-07,1.000779e-06,1.454070e-06,1.499002e-06,2.140540e-06,2.317198e-06,2.935723e-06,3.448503e-06,3.884469e-06,4.839956e-06,4.978551e-06,6.206658e-06,6.467357e-06,7.557515e-06,8.304950e-06,9.020587e-06,1.032892e-05,1.058580e-05,1.224313e-05,1.251616e-05,1.398231e-05,1.484312e-05,1.579284e-05,1.728539e-05,1.766393e-05,1.958469e-05,1.981800e-05,2.154429e-05,2.241608e-05,2.353214e-05,2.505548e-05,2.553801e-05,2.755224e-05,2.771346e-05,2.956580e-05,3.036916e-05,3.157044e-05,3.300403e-05,3.355868e-05,3.552370e-05,3.560173e-05,3.745964e-05,3.814845e-05,3.936138e-05,4.063276e-05,4.122455e-05,4.304550e-05,4.482123e-05,4.537950e-05,4.654933e-05,4.762944e-05,4.822793e-05,4.979152e-05,4.985564e-05,5.143148e-05,5.186333e-05,5.295486e-05,5.384357e-05,5.442548e-05,5.573186e-05,5.584336e-05,5.720871e-05,5.752862e-05,5.852197e-05,5.923486e-05,5.978374e-05,6.085207e-05,6.099474e-05,6.215583e-05,6.238214e-05,6.326795e-05,6.382723e-05,6.433211e-05,6.518972e-05,6.534938e-05,6.632089e-05,6.647216e-05,6.724777e-05,6.767717e-05,6.813121e-05,6.880746e-05,6.897237e-05,6.977245e-05,6.986576e-05,7.053264e-05,7.085479e-05,7.125412e-05,7.177728e-05,7.193807e-05,7.258565e-05,7.263592e-05,7.319801e-05,7.343335e-05,7.377629e-05,7.417216e-05,7.432159e-05,7.483500e-05,7.485489e-05,7.531760e-05,7.548399e-05,7.577042e-05,7.606186e-05,7.619450e-05,7.659083e-05,7.696037e-05,7.707313e-05,7.730409e-05,7.751095e-05,7.762291e-05,7.790638e-05,7.791772e-05,7.818940e-05,7.826145e-05,7.843881e-05,7.857810e-05,7.866675e-05,7.885821e-05,7.887405e-05,7.906148e-05,7.910359e-05,7.922978e-05,7.931596e-05,7.937971e-05,7.949700e-05,7.951196e-05,7.962723e-05,7.964831e-05,7.972618e-05,7.977140e-05,7.980946e-05,7.986777e-05,7.987770e-05,7.993150e-05,7.993880e-05,7.997144e-05,7.998586e-05,7.999810e-05,8.001023e-05,8.001203e-05,8.001374e-05,8.001315e-05,8.000377e-05,7.999580e-05,7.998260e-05,7.995932e-05,7.995071e-05,7.990857e-05,7.990477e-05,7.985662e-05,7.983319e-05,7.979530e-05,7.974558e-05,7.972502e-05,7.964619e-05,7.964286e-05,7.955919e-05,7.952594e-05,7.946440e-05,7.939569e-05,7.936219e-05,7.925291e-05,7.909838e-05,7.893286e-05,7.875704e-05,7.857162e-05,7.837723e-05,7.817448e-05,7.796396e-05,7.774623e-05,7.752182e-05,7.729122e-05,7.705493e-05,7.681339e-05,7.656704e-05,7.631629e-05,7.606154e-05,7.580315e-05,7.554147e-05,7.527685e-05,7.500959e-05,7.474001e-05,7.446839e-05,7.419499e-05,7.392008e-05,7.364390e-05
0.000000e+00,1.621100e-09,4.777245e-09,2.368332e-08,6.808806e-08,1.102753e-07,3.116167e-07,3.234974e-07,7.409463e-07,9.069256e-07,1.458081e-06,2.079778e-06,2.591126e-06,4.111775e-06,4.268897e-06,6.599595e-06,7.262995e-06,9.631828e-06,1.163286e-05,1.335131e-05,1.715217e-05,1.770616e-05,2.263045e-05,2.367764e-05,2.805634e-05,3.105418e-05,3.391838e-05,3.913381e-05,4.015415e-05,4.670364e-05,4.777676e-05,5.350866e-05,5.684913e-05,6.051251e-05,6.622168e-05,6.766011e-05,7.489833e-05,7.577058e-05,8.217659e-05,8.537935e-05,8.944741e-05,9.494114e-05,9.666696e-05,1.037955e-04,1.043608e-04,1.107978e-04,1.135563e-04,1.176429e-04,1.224592e-04,1.243047e-04,1.307612e-04,1.310150e-04,1.369949e-04,1.391817e-04,1.429920e-04,1.469295e-04,1.487423e-04,1.542390e-04,1.594779e-04,1.610996e-04,1.644574e-04,1.675083e-04,1.691780e-04,1.734684e-04,1.736421e-04,1.778532e-04,1.789877e-04,1.818165e-04,1.840779e-04,1.855378e-04,1.887536e-04,1.890240e-04,1.922821e-04,1.930310e-04,1.953200e-04,1.969280e-04,1.981456e-04,2.004630e-04,2.007671e-04,2.031927e-04,2.036550e-04,2.054306e-04,2.065229e-04,2.074891e-04,2.090854e-04,2.093762e-04,2.110998e-04,2.113609e-04,2.126676e-04,2.133671e-04,2.140873e-04,2.151213e-04,2.153662e-04,2.165112e-04,2.166399e-04,2.175293e-04,2.179388e-04,2.184271e-04,2.190328e-04,2.192108e-04,2.198867e-04,2.199363e-04,2.204606e-04,2.206629e-04,2.209381e-04,2.212252e-04,2.213245e-04,2.216251e-04,2.216354e-04,2.218447e-04,2.219048e-04,2.219880e-04,2.220442e-04,2.220595e-04,2.220636e-04,2.220042e-04,2.219725e-04,2.218854e-04,2.217798e-04,2.217107e-04,2.214937e-04,2.214837e-04,2.212078e-04,2.211222e-04,2.208861e-04,2.206724e-04,2.205217e-04,2.201513e-04,2.201176e-04,2.196763e-04,2.195652e-04,2.192006e-04,2.189201e-04,2.186929e-04,2.182215e-04,2.181555e-04,2.175907e-04,2.174746e-04,2.170005e-04,2.166843e-04,2.163871e-04,2.158552e-04,2.157522e-04,2.150977e-04,2.149913e-04,2.144253e-04,2.140966e-04,2.137366e-04,2.131748e-04,2.130330e-04,2.123161e-04,2.122293e-04,2.115872e-04,2.112631e-04,2.108476e-04,2.102791e-04,2.100985e-04,2.093411e-04,2.092802e-04,2.085764e-04,2.082687e-04,2.078055e-04,2.072471e-04,2.070293e-04,2.062487e-04,2.062174e-04,2.054646e-04,2.051816e-04,2.046778e-04,2.041416e-04,2.038890e-04,2.030990e-04,2.020554e-04,2.010122e-04,1.999708e-04,1.989323e-04,1.978978e-04,1.968684e-04,1.958450e-04,1.948284e-04,1.938193e-04,1.928185e-04,1.918266e-04,1.908442e-04,1.898716e-04,1.889095e-04,1.879582e-04,1.870180e-04,1.860893e-04,1.851723e-04,1.842672e-04,1.833744e-04,1.824939e-04,1.816258e-04,1.807703e-04,1.799275e-04
0.000000e+00,1.257121e-09,2.877112e-09,9.776948e-09,2.189458e-08,3.164010e-08,6.996559e-08,7.199486e-08,1.355939e-07,1.582080e-07,2.271590e-07,2.975076e-07,3.514521e-07,4.985760e-07,5.129576e-07,7.151239e-07,7.698969e-07,9.591778e-07,1.113430e-06,1.242698e-06,1.519303e-06,1.558568e-06,1.895343e-06,1.964022e-06,2.239580e-06,2.417329e-06,2.578966e-06,2.853522e-06,2.904380e-06,3.210215e-06,3.257114e-06,3.493671e-06,3.621463e-06,3.753837e-06,3.945337e-06,3.990952e-06,4.205912e-06,4.230275e-06,4.399967e-06,4.479094e-06,4.574550e-06,4.695131e-06,4.731158e-06,4.871298e-06,4.881842e-06,4.996435e-06,5.042606e-06,5.107971e-06,5.180598e-06,5.207224e-06,5.295420e-06,5.298734e-06,5.373686e-06,5.399633e-06,5.443052e-06,5.485615e-06,5.504447e-06,5.558707e-06,5.606585e-06,5.620669e-06,5.648747e-06,5.673009e-06,5.685787e-06,5.717014e-06,5.718230e-06,5.746539e-06,5.753782e-06,5.771126e-06,5.784245e-06,5.792353e-06,5.809190e-06,5.810540e-06,5.825969e-06,5.829290e-06,5.838890e-06,5.845115e-06,5.849526e-06,5.857151e-06,5.858072e-06,5.864705e-06,5.865816e-06,5.869580e-06,5.871467e-06,5.872837e-06,5.874416e-06,5.874603e-06,5.874990e-06,5.874931e-06,5.874101e-06,5.873248e-06,5.872028e-06,5.869574e-06,5.868855e-06,5.864660e-06,5.864092e-06,5.859513e-06,5.856964e-06,5.853479e-06,5.848335e-06,5.846615e-06,5.838979e-06,5.838336e-06,5.830620e-06,5.827084e-06,5.821585e-06,5.814686e-06,5.811918e-06,5.801660e-06,5.801238e-06,5.790849e-06,5.786828e-06,5.779520e-06,5.771538e-06,5.767707e-06,5.755442e-06,5.742753e-06,5.738608e-06,5.729668e-06,5.721099e-06,5.716214e-06,5.702974e-06,5.702416e-06,5.688295e-06,5.684287e-06,5.673875e-06,5.665088e-06,5.659177e-06,5.645425e-06,5.644219e-06,5.629021e-06,5.625339e-06,5.613600e-06,5.604873e-06,5.597973e-06,5.584064e-06,5.582156e-06,5.566165e-06,5.562947e-06,5.550013e-06,5.541555e-06,5.533715e-06,5.519920e-06,5.517283e-06,5.500730e-06,5.498071e-06,5.484067e-06,5.476033e-06,5.467306e-06,5.453834e-06,5.450458e-06,5.433533e-06,5.431497e-06,5.416539e-06,5.409043e-06,5.399488e-06,5.386495e-06,5.382387e-06,5.365244e-06,5.363871e-06,5.348069e-06,5.341191e-06,5.330868e-06,5.318471e-06,5.313648e-06,5.296417e-06,5.295728e-06,5.279181e-06,5.272976e-06,5.261946e-06,5.250231e-06,5.244719e-06,5.227505e-06,5.204811e-06,5.182161e-06,5.159565e-06,5.137035e-06,5.114579e-06,5.092207e-06,5.069927e-06,5.047747e-06,5.025674e-06,5.003715e-06,4.981877e-06,4.960165e-06,4.938585e-06,4.917142e-06,4.895840e-06,4.874685e-06,4.853679e-06,4.832827e-06,4.812133e-06,4.791598e-06,4.771227e-06,4.751021e-06,4.730983e-06,4.711115e-06
0.000000e+00,7.115864e-10,1.990698e-09,8.934277e-09,2.366043e-08,3.673976e-08,9.385860e-08,9.705821e-08,2.029291e-07,2.425548e-07,3.677604e-07,5.004403e-07,6.044399e-07,8.931999e-07,9.216102e-07,1.320521e-06,1.428023e-06,1.797065e-06,2.095660e-06,2.345349e-06,2.882255e-06,2.959162e-06,3.632005e-06,3.773050e-06,4.356849e-06,4.751802e-06,5.126044e-06,5.800481e-06,5.931428e-06,6.764543e-06,6.899846e-06,7.616916e-06,8.030465e-06,8.480326e-06,9.173785e-06,9.347043e-06,1.021001e-05,1.031301e-05,1.106296e-05,1.143367e-05,1.190049e-05,1.252388e-05,1.271807e-05,1.351200e-05,1.357440e-05,1.427941e-05,1.457843e-05,1.501812e-05,1.553136e-05,1.572664e-05,1.640399e-05,1.643042e-05,1.704969e-05,1.727437e-05,1.766365e-05,1.806313e-05,1.824612e-05,1.879756e-05,1.931869e-05,1.947918e-05,1.981033e-05,2.010995e-05,2.027345e-05,2.069217e-05,2.070908e-05,2.111830e-05,2.122831e-05,2.150223e-05,2.172092e-05,2.186199e-05,2.217258e-05,2.219870e-05,2.251345e-05,2.258585e-05,2.280734e-05,2.296320e-05,2.308141e-05,2.330701e-05,2.333668e-05,2.357413e-05,2.361956e-05,2.379469e-05,2.390302e-05,2.399928e-05,2.415942e-05,2.418876e-05,2.436394e-05,2.439069e-05,2.452561e-05,2.459864e-05,2.467452e-05,2.478493e-05,2.481137e-05,2.493684e-05,2.495116e-05,2.505156e-05,2.509879e-05,2.515614e-05,2.522920e-05,2.525116e-05,2.533715e-05,2.534365e-05,2.541462e-05,2.544334e-05,2.548407e-05,2.552937e-05,2.554596e-05,2.560071e-05,2.560276e-05,2.564875e-05,2.566447e-05,2.569045e-05,2.571539e-05,2.572620e-05,2.575633e-05,2.578118e-05,2.578807e-05,2.580106e-05,2.581130e-05,2.581626e-05,2.582671e-05,2.582706e-05,2.583372e-05,2.583488e-05,2.583650e-05,2.583640e-05,2.583562e-05,2.583179e-05,2.583132e-05,2.582380e-05,2.582154e-05,2.581326e-05,2.580611e-05,2.579989e-05,2.578593e-05,2.578387e-05,2.576537e-05,2.576138e-05,2.574454e-05,2.573284e-05,2.572154e-05,2.570065e-05,2.569651e-05,2.566959e-05,2.566511e-05,2.564090e-05,2.562654e-05,2.561056e-05,2.558519e-05,2.557870e-05,2.554541e-05,2.554133e-05,2.551080e-05,2.549518e-05,2.547497e-05,2.544698e-05,2.543802e-05,2.540001e-05,2.539693e-05,2.536105e-05,2.534522e-05,2.532121e-05,2.529202e-05,2.528056e-05,2.523917e-05,2.523750e-05,2.519711e-05,2.518181e-05,2.515444e-05,2.512510e-05,2.511122e-05,2.506750e-05,2.500914e-05,2.495012e-05,2.489055e-05,2.483054e-05,2.477018e-05,2.470954e-05,2.464872e-05,2.458779e-05,2.452681e-05,2.446585e-05,2.440496e-05,2.434421e-05,2.428364e-05,2.422329e-05,2.416322e-05,2.410346e-05,2.404405e-05,2.398501e-05,2.392639e-05,2.386822e-05,2.381050e-05,2.375328e-05,2.369657e-05,2.364040e-05
0.000000e+00,3.079610e-09,8.311042e-09,3.521616e-08,9.012656e-08,1.383036e-07,3.504191e-07,3.624870e-07,7.758980e-07,9.374383e-07,1.466129e-06,2.042110e-06,2.494335e-06,3.719814e-06,3.837257e-06,5.429400e-06,5.842573e-06,7.221425e-06,8.301498e-06,9.185967e-06,1.104442e-05,1.130672e-05,1.357061e-05,1.403939e-05,1.596398e-05,1.725462e-05,1.847125e-05,2.065242e-05,2.107463e-05,2.375441e-05,2.418888e-05,2.648963e-05,2.781590e-05,2.925872e-05,3.148396e-05,3.204026e-05,3.481356e-05,3.514487e-05,3.755927e-05,3.875401e-05,4.025972e-05,4.227209e-05,4.289928e-05,4.546448e-05,4.566614e-05,4.794408e-05,4.890985e-05,5.032901e-05,5.198357e-05,5.261233e-05,5.478900e-05,5.487380e-05,5.685577e-05,5.757252e-05,5.881090e-05,6.007638e-05,6.065402e-05,6.238587e-05,6.400815e-05,6.450451e-05,6.552328e-05,6.643812e-05,6.693430e-05,6.819417e-05,6.824470e-05,6.945829e-05,6.978129e-05,7.057910e-05,7.120878e-05,7.161129e-05,7.248627e-05,7.255909e-05,7.342672e-05,7.362349e-05,7.421837e-05,7.463003e-05,7.493813e-05,7.551522e-05,7.558998e-05,7.617778e-05,7.628798e-05,7.670523e-05,7.695683e-05,7.717587e-05,7.752980e-05,7.759310e-05,7.796013e-05,7.801441e-05,7.828003e-05,7.841770e-05,7.855571e-05,7.874624e-05,7.878989e-05,7.898517e-05,7.900611e-05,7.914401e-05,7.920294e-05,7.926869e-05,7.934195e-05,7.936140e-05,7.942417e-05,7.942795e-05,7.945893e-05,7.946539e-05,7.946748e-05,7.945836e-05,7.945152e-05,7.941265e-05,7.941064e-05,7.935237e-05,7.932570e-05,7.927208e-05,7.920674e-05,7.917312e-05,7.905673e-05,7.892407e-05,7.887837e-05,7.877625e-05,7.867416e-05,7.861429e-05,7.844642e-05,7.843917e-05,7.825180e-05,7.819726e-05,7.805304e-05,7.792865e-05,7.784369e-05,7.764239e-05,7.762451e-05,7.739622e-05,7.734014e-05,7.715948e-05,7.702345e-05,7.691492e-05,7.669372e-05,7.666314e-05,7.640470e-05,7.635226e-05,7.614013e-05,7.600029e-05,7.586991e-05,7.563891e-05,7.559452e-05,7.531439e-05,7.526916e-05,7.502995e-05,7.489199e-05,7.474157e-05,7.450828e-05,7.444963e-05,7.415447e-05,7.411885e-05,7.385642e-05,7.372444e-05,7.355578e-05,7.332575e-05,7.325285e-05,7.294790e-05,7.292342e-05,7.264118e-05,7.251806e-05,7.233294e-05,7.211020e-05,7.202341e-05,7.171281e-05,7.170036e-05,7.140132e-05,7.128901e-05,7.108916e-05,7.087659e-05,7.077649e-05,7.046350e-05,7.005011e-05,6.963676e-05,6.922379e-05,6.881147e-05,6.840008e-05,6.798987e-05,6.758107e-05,6.717390e-05,6.676856e-05,6.636521e-05,6.596403e-05,6.556517e-05,6.516877e-05,6.477496e-05,6.438384e-05,6.399554e-05,6.361014e-05,6.322773e-05,6.284839e-05,6.247219e-05,6.209919e-05,6.172945e-05,6.136302e-05,6.099995e-05
0.000000e+00,3.680598e-09,8.508696e-09,2.968877e-08,6.841570e-08,1.006107e-07,2.342638e-07,2.416173e-07,4.842773e-07,5.757592e-07,8.689600e-07,1.185720e-06,1.436732e-06,2.136247e-06,2.204866e-06,3.159754e-06,3.414252e-06,4.280248e-06,4.974266e-06,5.551539e-06,6.787718e-06,6.964531e-06,8.512615e-06,8.837898e-06,1.018950e-05,1.111009e-05,1.198813e-05,1.358707e-05,1.390026e-05,1.591636e-05,1.624789e-05,1.802580e-05,1.906814e-05,2.021710e-05,2.202098e-05,2.247820e-05,2.479682e-05,2.507833e-05,2.716071e-05,2.821207e-05,2.955793e-05,3.139508e-05,3.197709e-05,3.440745e-05,3.460206e-05,3.683909e-05,3.781004e-05,3.926293e-05,4.099864e-05,4.167080e-05,4.405551e-05,4.415033e-05,4.641076e-05,4.725036e-05,4.873107e-05,5.028650e-05,5.101176e-05,5.324890e-05,5.543923e-05,5.612981e-05,5.758017e-05,5.892347e-05,5.966961e-05,6.162535e-05,6.170575e-05,6.368739e-05,6.423237e-05,6.561368e-05,6.674262e-05,6.748402e-05,6.915508e-05,6.929814e-05,7.105601e-05,7.146953e-05,7.275776e-05,7.368635e-05,7.440371e-05,7.580633e-05,7.599430e-05,7.753009e-05,7.783073e-05,7.901176e-05,7.976109e-05,8.044007e-05,8.159923e-05,8.181586e-05,8.313999e-05,8.334712e-05,8.441341e-05,8.500692e-05,8.563708e-05,8.658086e-05,8.681199e-05,8.793916e-05,8.807127e-05,8.901964e-05,8.948052e-05,9.005445e-05,9.081102e-05,9.104466e-05,9.199131e-05,9.206519e-05,9.289546e-05,9.324546e-05,9.375818e-05,9.435426e-05,9.458050e-05,9.536346e-05,9.539397e-05,9.610810e-05,9.636698e-05,9.681544e-05,9.727564e-05,9.748649e-05,9.812224e-05,9.872369e-05,9.890906e-05,9.929179e-05,9.963832e-05,9.982751e-05,1.003122e-04,1.003318e-04,1.008055e-04,1.009328e-04,1.012497e-04,1.015023e-04,1.016651e-04,1.020226e-04,1.020526e-04,1.024131e-04,1.024957e-04,1.027475e-04,1.029236e-04,1.030565e-04,1.033081e-04,1.033410e-04,1.036017e-04,1.036510e-04,1.038394e-04,1.039541e-04,1.040548e-04,1.042192e-04,1.042488e-04,1.044219e-04,1.044477e-04,1.045750e-04,1.046415e-04,1.047086e-04,1.048020e-04,1.048235e-04,1.049202e-04,1.049306e-04,1.049995e-04,1.050290e-04,1.050619e-04,1.050984e-04,1.051081e-04,1.051385e-04,1.051403e-04,1.051539e-04,1.051560e-04,1.051547e-04,1.051466e-04,1.051415e-04,1.051148e-04,1.051135e-04,1.050751e-04,1.050578e-04,1.050230e-04,1.049806e-04,1.049588e-04,1.048831e-04,1.047663e-04,1.046312e-04,1.044787e-04,1.043099e-04,1.041257e-04,1.039268e-04,1.037141e-04,1.034885e-04,1.032507e-04,1.030014e-04,1.027414e-04,1.024713e-04,1.021917e-04,1.019034e-04,1.016069e-04,1.013028e-04,1.009916e-04,1.006738e-04,1.003500e-04,1.000207e-04,9.968626e-05,9.934717e-05,9.900385e-05,9.865670e-05
0.000000e+00,3.657562e-10,1.054944e-09,5.003673e-09,1.381627e-08,2.188161e-08,5.827005e-08,6.034187e-08,1.298158e-07,1.560838e-07,2.394975e-07,3.283568e-07,3.983829e-07,5.954647e-07,6.151191e-07,8.969240e-07,9.747387e-07,1.247253e-06,1.472745e-06,1.663788e-06,2.079198e-06,2.138991e-06,2.662597e-06,2.772174e-06,3.223884e-06,3.527271e-06,3.812804e-06,4.322184e-06,4.420280e-06,5.038147e-06,5.137466e-06,5.659019e-06,5.956114e-06,6.276201e-06,6.763212e-06,6.883658e-06,7.476034e-06,7.545877e-06,8.048676e-06,8.293350e-06,8.597668e-06,8.997111e-06,9.119847e-06,9.612791e-06,9.650907e-06,1.007479e-05,1.025067e-05,1.050479e-05,1.079430e-05,1.090234e-05,1.126750e-05,1.128144e-05,1.160077e-05,1.171309e-05,1.190300e-05,1.209138e-05,1.217536e-05,1.241921e-05,1.263608e-05,1.270004e-05,1.282758e-05,1.293757e-05,1.299533e-05,1.313558e-05,1.314101e-05,1.326627e-05,1.329790e-05,1.337271e-05,1.342818e-05,1.346186e-05,1.352990e-05,1.353522e-05,1.359417e-05,1.360631e-05,1.363999e-05,1.366038e-05,1.367392e-05,1.369482e-05,1.369706e-05,1.371046e-05,1.371205e-05,1.371507e-05,1.371429e-05,1.371177e-05,1.370347e-05,1.370135e-05,1.368456e-05,1.368132e-05,1.366205e-05,1.364939e-05,1.363442e-05,1.360902e-05,1.360224e-05,1.356599e-05,1.356139e-05,1.352614e-05,1.350757e-05,1.348309e-05,1.344846e-05,1.343721e-05,1.338884e-05,1.338487e-05,1.333828e-05,1.331751e-05,1.328582e-05,1.324700e-05,1.323170e-05,1.317615e-05,1.317390e-05,1.311937e-05,1.309867e-05,1.306155e-05,1.302173e-05,1.300287e-05,1.294347e-05,1.288349e-05,1.286420e-05,1.282306e-05,1.278420e-05,1.276230e-05,1.270374e-05,1.270130e-05,1.264017e-05,1.262304e-05,1.257898e-05,1.254228e-05,1.251782e-05,1.246164e-05,1.245676e-05,1.239585e-05,1.238126e-05,1.233516e-05,1.230129e-05,1.227475e-05,1.222184e-05,1.221465e-05,1.215491e-05,1.214301e-05,1.209557e-05,1.206488e-05,1.203667e-05,1.198754e-05,1.197823e-05,1.192028e-05,1.191106e-05,1.186286e-05,1.183548e-05,1.180597e-05,1.176087e-05,1.174965e-05,1.169391e-05,1.168726e-05,1.163876e-05,1.161469e-05,1.158422e-05,1.154319e-05,1.153031e-05,1.147702e-05,1.147279e-05,1.142438e-05,1.140350e-05,1.137238e-05,1.133535e-05,1.132104e-05,1.127035e-05,1.126834e-05,1.122033e-05,1.120249e-05,1.117097e-05,1.113779e-05,1.112229e-05,1.107427e-05,1.101190e-05,1.095071e-05,1.089067e-05,1.083179e-05,1.077406e-05,1.071748e-05,1.066202e-05,1.060769e-05,1.055447e-05,1.050235e-05,1.045131e-05,1.040135e-05,1.035245e-05,1.030459e-05,1.025776e-05,1.021194e-05,1.016712e-05,1.012328e-05,1.008041e-05,1.003848e-05,9.997494e-06,9.957419e-06,9.918244e-06,9.879951e-06
0.000000e+00,1.499420e-09,4.441266e-09,2.227030e-08,6.479276e-08,1.057137e-07,3.054864e-07,3.174579e-07,7.476239e-07,9.229006e-07,1.518142e-06,2.209064e-06,2.789833e-06,4.570888e-06,4.759010e-06,7.627460e-06,8.467947e-06,1.153966e-05,1.420205e-05,1.652308e-05,2.172130e-05,2.248268e-05,2.924451e-05,3.067536e-05,3.660574e-05,4.060386e-05,4.436788e-05,5.106694e-05,5.235294e-05,6.040863e-05,6.169529e-05,6.840835e-05,7.219724e-05,7.624897e-05,8.235080e-05,8.384791e-05,9.114048e-05,9.199251e-05,9.807730e-05,1.010071e-04,1.046223e-04,1.093188e-04,1.107507e-04,1.164475e-04,1.168844e-04,1.217061e-04,1.236866e-04,1.265264e-04,1.297290e-04,1.309146e-04,1.348812e-04,1.350313e-04,1.384404e-04,1.396252e-04,1.416093e-04,1.435509e-04,1.444070e-04,1.468540e-04,1.489715e-04,1.495830e-04,1.507810e-04,1.517872e-04,1.523038e-04,1.535157e-04,1.535611e-04,1.545735e-04,1.548158e-04,1.553607e-04,1.557328e-04,1.559416e-04,1.563093e-04,1.563342e-04,1.565555e-04,1.565849e-04,1.566216e-04,1.565965e-04,1.565476e-04,1.563775e-04,1.563472e-04,1.560331e-04,1.559577e-04,1.556170e-04,1.553639e-04,1.551097e-04,1.546204e-04,1.545211e-04,1.538602e-04,1.537483e-04,1.531351e-04,1.527666e-04,1.523535e-04,1.516921e-04,1.515222e-04,1.506473e-04,1.505396e-04,1.497345e-04,1.493222e-04,1.487890e-04,1.480514e-04,1.478154e-04,1.468178e-04,1.467371e-04,1.458003e-04,1.453884e-04,1.447661e-04,1.440129e-04,1.437184e-04,1.426600e-04,1.426175e-04,1.415935e-04,1.412081e-04,1.405212e-04,1.397898e-04,1.394452e-04,1.383673e-04,1.372892e-04,1.369444e-04,1.362123e-04,1.355245e-04,1.351382e-04,1.341106e-04,1.340679e-04,1.330026e-04,1.327054e-04,1.319433e-04,1.313109e-04,1.308908e-04,1.299291e-04,1.298458e-04,1.288092e-04,1.285617e-04,1.277814e-04,1.272099e-04,1.267630e-04,1.258750e-04,1.257545e-04,1.247563e-04,1.245580e-04,1.237688e-04,1.232596e-04,1.227922e-04,1.219806e-04,1.218269e-04,1.208731e-04,1.207215e-04,1.199308e-04,1.194828e-04,1.190004e-04,1.182647e-04,1.180820e-04,1.171755e-04,1.170676e-04,1.162812e-04,1.158915e-04,1.153990e-04,1.147367e-04,1.145290e-04,1.136712e-04,1.136031e-04,1.128256e-04,1.124908e-04,1.119922e-04,1.113996e-04,1.111709e-04,1.103616e-04,1.103295e-04,1.095645e-04,1.092804e-04,1.087792e-04,1.082521e-04,1.080059e-04,1.072443e-04,1.062570e-04,1.052898e-04,1.043425e-04,1.034149e-04,1.025066e-04,1.016174e-04,1.007469e-04,9.989496e-05,9.906115e-05,9.824518e-05,9.744674e-05,9.666550e-05,9.590114e-05,9.515335e-05,9.442179e-05,9.370615e-05,9.300611e-05,9.232135e-05,9.165154e-05,9.099639e-05,9.035557e-05,8.972879e-05,8.911574e-05,8.851612e-05
0.000000e+00,6.275579e-10,1.440901e-09,4.971902e-09,1.133174e-08,1.654280e-08,3.756067e-08,3.869120e-08,7.474192e-08,8.779113e-08,1.281360e-07,1.700108e-07,2.025342e-07,2.928108e-07,3.017483e-07,4.292328e-07,4.643085e-07,5.870381e-07,6.886859e-07,7.750272e-07,9.639833e-07,9.913605e-07,1.233631e-06,1.284991e-06,1.499540e-06,1.646461e-06,1.787020e-06,2.043758e-06,2.094138e-06,2.418993e-06,2.472486e-06,2.759643e-06,2.928179e-06,3.114085e-06,3.406185e-06,3.480258e-06,3.856066e-06,3.901710e-06,4.239407e-06,4.409928e-06,4.628211e-06,4.926120e-06,5.020474e-06,5.414284e-06,5.445801e-06,5.807852e-06,5.964836e-06,6.199524e-06,6.479506e-06,6.587800e-06,6.971338e-06,6.986564e-06,7.348955e-06,7.483245e-06,7.719627e-06,7.967268e-06,8.082485e-06,8.436800e-06,8.781982e-06,8.890431e-06,9.117562e-06,9.327125e-06,9.443183e-06,9.746173e-06,9.758591e-06,1.006362e-05,1.014715e-05,1.035817e-05,1.052987e-05,1.064224e-05,1.089434e-05,1.091584e-05,1.117908e-05,1.124072e-05,1.143207e-05,1.156932e-05,1.167497e-05,1.188053e-05,1.190798e-05,1.213130e-05,1.217482e-05,1.234516e-05,1.245271e-05,1.254980e-05,1.271476e-05,1.274548e-05,1.293245e-05,1.296157e-05,1.311097e-05,1.319374e-05,1.328131e-05,1.341187e-05,1.344374e-05,1.359851e-05,1.361658e-05,1.374588e-05,1.380845e-05,1.388612e-05,1.398808e-05,1.401947e-05,1.414618e-05,1.415604e-05,1.426650e-05,1.431290e-05,1.438067e-05,1.445918e-05,1.448890e-05,1.459143e-05,1.459542e-05,1.468848e-05,1.472211e-05,1.478025e-05,1.483974e-05,1.486694e-05,1.494876e-05,1.502590e-05,1.504963e-05,1.509854e-05,1.514275e-05,1.516686e-05,1.522854e-05,1.523103e-05,1.529122e-05,1.530738e-05,1.534758e-05,1.537963e-05,1.540028e-05,1.544565e-05,1.544946e-05,1.549526e-05,1.550576e-05,1.553782e-05,1.556029e-05,1.557728e-05,1.560954e-05,1.561376e-05,1.564739e-05,1.565378e-05,1.567828e-05,1.569330e-05,1.570655e-05,1.572835e-05,1.573230e-05,1.575565e-05,1.575917e-05,1.577670e-05,1.578601e-05,1.579553e-05,1.580907e-05,1.581225e-05,1.582695e-05,1.582859e-05,1.583971e-05,1.584474e-05,1.585062e-05,1.585772e-05,1.585976e-05,1.586719e-05,1.586772e-05,1.587301e-05,1.587489e-05,1.587727e-05,1.587942e-05,1.588005e-05,1.588141e-05,1.588144e-05,1.588142e-05,1.588110e-05,1.588013e-05,1.587855e-05,1.587761e-05,1.587392e-05,1.586732e-05,1.585888e-05,1.584871e-05,1.583692e-05,1.582360e-05,1.580886e-05,1.579279e-05,1.577547e-05,1.575698e-05,1.573740e-05,1.571680e-05,1.569526e-05,1.567285e-05,1.564961e-05,1.562563e-05,1.560094e-05,1.557560e-05,1.554968e-05,1.552320e-05,1.549623e-05,1.546880e-05,1.544095e-05,1.541273e-05,1.538417e-05
0.000000e+00,1.282981e-08,2.943258e-08,1.016554e-07,2.324144e-07,3.401818e-07,7.802164e-07,8.041191e-07,1.577828e-06,1.862977e-06,2.759029e-06,3.706769e-06,4.450305e-06,6.517238e-06,6.720530e-06,9.565941e-06,1.032887e-05,1.293396e-05,1.502706e-05,1.676877e-05,2.049355e-05,2.102531e-05,2.566557e-05,2.663651e-05,3.065360e-05,3.337276e-05,3.595294e-05,4.061746e-05,4.152595e-05,4.733412e-05,4.828267e-05,5.333891e-05,5.627992e-05,5.950259e-05,6.452360e-05,6.578907e-05,7.216459e-05,7.293413e-05,7.859812e-05,8.143990e-05,8.506158e-05,8.997832e-05,9.152996e-05,9.798124e-05,9.849601e-05,1.043963e-04,1.069484e-04,1.107586e-04,1.152988e-04,1.170541e-04,1.232708e-04,1.235177e-04,1.293989e-04,1.315816e-04,1.354299e-04,1.394721e-04,1.413571e-04,1.471748e-04,1.528786e-04,1.546792e-04,1.584650e-04,1.619772e-04,1.639310e-04,1.690634e-04,1.692748e-04,1.744947e-04,1.759339e-04,1.795898e-04,1.825867e-04,1.845595e-04,1.890207e-04,1.894037e-04,1.941224e-04,1.952362e-04,1.987160e-04,2.012341e-04,2.031853e-04,2.070160e-04,2.075310e-04,2.117541e-04,2.125842e-04,2.158559e-04,2.179413e-04,2.198376e-04,2.230905e-04,2.237006e-04,2.274465e-04,2.280351e-04,2.310769e-04,2.327789e-04,2.345934e-04,2.373258e-04,2.379978e-04,2.412919e-04,2.416798e-04,2.444775e-04,2.458453e-04,2.475565e-04,2.498265e-04,2.505309e-04,2.534025e-04,2.536278e-04,2.561733e-04,2.572538e-04,2.588453e-04,2.607090e-04,2.614204e-04,2.639007e-04,2.639980e-04,2.662881e-04,2.671252e-04,2.685846e-04,2.700954e-04,2.707923e-04,2.729129e-04,2.749486e-04,2.755824e-04,2.769013e-04,2.781083e-04,2.787728e-04,2.804950e-04,2.805652e-04,2.822803e-04,2.827469e-04,2.839200e-04,2.848684e-04,2.854862e-04,2.868637e-04,2.869807e-04,2.884052e-04,2.887369e-04,2.897617e-04,2.904923e-04,2.910519e-04,2.921338e-04,2.922775e-04,2.934403e-04,2.936654e-04,2.945418e-04,2.950910e-04,2.955839e-04,2.964144e-04,2.965681e-04,2.974960e-04,2.976393e-04,2.983692e-04,2.987694e-04,2.991893e-04,2.998081e-04,2.999578e-04,3.006761e-04,3.007591e-04,3.013459e-04,3.016255e-04,3.019684e-04,3.024108e-04,3.025451e-04,3.030774e-04,3.031181e-04,3.035666e-04,3.037506e-04,3.040141e-04,3.043112e-04,3.044212e-04,3.047891e-04,3.048030e-04,3.051191e-04,3.052288e-04,3.054124e-04,3.055914e-04,3.056701e-04,3.058935e-04,3.061378e-04,3.063267e-04,3.064628e-04,3.065484e-04,3.065858e-04,3.065774e-04,3.065252e-04,3.064314e-04,3.062980e-04,3.061270e-04,3.059203e-04,3.056797e-04,3.054069e-04,3.051038e-04,3.047719e-04,3.044128e-04,3.040281e-04,3.036193e-04,3.031877e-04,3.027348e-04,3.022619e-04,3.017702e-04,3.012610e-04,3.007354e-04
0.000000e+00,4.622669e-10,1.067105e-09,3.697405e-09,8.431040e-09,1.230374e-08,2.787913e-08,2.871523e-08,5.530854e-08,6.490722e-08,9.450973e-08,1.251237e-07,1.488177e-07,2.140990e-07,2.205150e-07,3.109213e-07,3.354164e-07,4.199325e-07,4.887533e-07,5.465753e-07,6.717193e-07,6.897361e-07,8.483882e-07,8.818907e-07,1.021539e-06,1.116964e-06,1.208142e-06,1.374443e-06,1.407042e-06,1.616962e-06,1.651480e-06,1.836505e-06,1.944870e-06,2.064183e-06,2.251142e-06,2.298446e-06,2.537719e-06,2.566693e-06,2.780436e-06,2.887929e-06,3.025079e-06,3.211401e-06,3.270199e-06,3.514446e-06,3.533911e-06,3.756583e-06,3.852593e-06,3.995498e-06,4.164966e-06,4.230212e-06,4.459880e-06,4.468952e-06,4.683792e-06,4.762874e-06,4.901360e-06,5.045440e-06,5.112118e-06,5.315711e-06,5.511880e-06,5.573058e-06,5.700460e-06,5.817123e-06,5.881360e-06,6.047778e-06,6.054559e-06,6.220092e-06,6.265078e-06,6.378044e-06,6.469227e-06,6.528541e-06,6.660547e-06,6.671738e-06,6.807821e-06,6.839444e-06,6.936991e-06,7.006388e-06,7.059467e-06,7.161889e-06,7.175476e-06,7.285254e-06,7.306482e-06,7.389038e-06,7.440717e-06,7.487068e-06,7.565140e-06,7.579581e-06,7.666813e-06,7.680295e-06,7.748993e-06,7.786712e-06,7.826347e-06,7.884902e-06,7.899093e-06,7.967443e-06,7.975359e-06,8.031602e-06,8.058555e-06,8.091767e-06,8.134937e-06,8.148127e-06,8.200863e-06,8.204931e-06,8.250150e-06,8.268937e-06,8.296155e-06,8.327334e-06,8.339034e-06,8.378942e-06,8.380479e-06,8.416022e-06,8.428705e-06,8.450412e-06,8.472327e-06,8.482243e-06,8.511640e-06,8.538722e-06,8.546918e-06,8.563602e-06,8.578419e-06,8.586387e-06,8.606386e-06,8.607181e-06,8.626079e-06,8.631044e-06,8.643175e-06,8.652604e-06,8.658556e-06,8.671264e-06,8.672306e-06,8.684504e-06,8.687209e-06,8.695226e-06,8.700612e-06,8.704543e-06,8.711634e-06,8.712523e-06,8.719233e-06,8.720428e-06,8.724733e-06,8.727134e-06,8.729081e-06,8.731886e-06,8.732335e-06,8.734548e-06,8.734808e-06,8.735769e-06,8.736017e-06,8.736047e-06,8.735622e-06,8.735429e-06,8.733957e-06,8.733725e-06,8.731674e-06,8.730422e-06,8.728619e-06,8.725804e-06,8.724830e-06,8.720344e-06,8.719956e-06,8.715194e-06,8.712956e-06,8.709413e-06,8.704879e-06,8.703034e-06,8.696085e-06,8.695796e-06,8.688596e-06,8.685773e-06,8.680593e-06,8.674871e-06,8.672103e-06,8.663151e-06,8.650665e-06,8.637467e-06,8.623606e-06,8.609126e-06,8.594073e-06,8.578486e-06,8.562405e-06,8.545865e-06,8.528902e-06,8.511548e-06,8.493834e-06,8.475789e-06,8.457440e-06,8.438814e-06,8.419934e-06,8.400825e-06,8.381509e-06,8.362005e-06,8.342335e-06,8.322516e-06,8.302567e-06,8.282504e-06,8.262343e-06,8.242099e-06
0.000000e+00,2.038500e-09,5.631925e-09,2.473744e-08,6.450988e-08,9.946460e-08,2.503995e-07,2.588053e-07,5.355164e-07,6.386581e-07,9.640586e-07,1.309221e-06,1.580765e-06,2.341995e-06,2.417535e-06,3.489879e-06,3.782251e-06,4.795237e-06,5.624358e-06,6.323756e-06,7.846036e-06,8.066161e-06,1.001502e-05,1.042897e-05,1.216345e-05,1.335703e-05,1.450383e-05,1.661140e-05,1.702693e-05,1.972157e-05,2.016777e-05,2.257449e-05,2.399573e-05,2.557053e-05,2.805908e-05,2.869277e-05,3.192290e-05,3.231685e-05,3.524153e-05,3.672461e-05,3.862861e-05,4.123604e-05,4.206378e-05,4.552683e-05,4.580448e-05,4.899793e-05,5.038432e-05,5.245801e-05,5.493225e-05,5.588900e-05,5.927406e-05,5.940828e-05,6.259771e-05,6.377646e-05,6.584599e-05,6.800538e-05,6.900650e-05,7.206844e-05,7.502262e-05,7.594390e-05,7.786138e-05,7.961471e-05,8.057856e-05,8.306826e-05,8.316942e-05,8.563051e-05,8.629603e-05,8.795960e-05,8.929318e-05,9.015556e-05,9.205809e-05,9.221821e-05,9.414826e-05,9.459189e-05,9.594717e-05,9.689803e-05,9.761704e-05,9.898189e-05,9.916054e-05,1.005808e-04,1.008503e-04,1.018813e-04,1.025115e-04,1.030658e-04,1.039742e-04,1.041385e-04,1.051034e-04,1.052481e-04,1.059650e-04,1.063432e-04,1.067277e-04,1.072695e-04,1.073958e-04,1.079739e-04,1.080374e-04,1.084662e-04,1.086568e-04,1.088772e-04,1.091379e-04,1.092112e-04,1.094723e-04,1.094901e-04,1.096645e-04,1.097230e-04,1.097919e-04,1.098456e-04,1.098582e-04,1.098672e-04,1.098664e-04,1.098224e-04,1.097938e-04,1.097272e-04,1.096354e-04,1.095849e-04,1.093986e-04,1.091714e-04,1.090905e-04,1.089061e-04,1.087175e-04,1.086054e-04,1.082859e-04,1.082719e-04,1.079082e-04,1.078012e-04,1.075165e-04,1.072690e-04,1.070991e-04,1.066942e-04,1.066581e-04,1.061955e-04,1.060814e-04,1.057132e-04,1.054351e-04,1.052129e-04,1.047593e-04,1.046965e-04,1.041654e-04,1.040575e-04,1.036212e-04,1.033335e-04,1.030652e-04,1.025902e-04,1.024989e-04,1.019235e-04,1.018307e-04,1.013402e-04,1.010577e-04,1.007500e-04,1.002736e-04,1.001540e-04,9.955317e-05,9.948079e-05,9.894846e-05,9.868137e-05,9.834069e-05,9.787724e-05,9.773067e-05,9.711913e-05,9.707017e-05,9.650679e-05,9.626177e-05,9.589428e-05,9.545350e-05,9.528220e-05,9.467112e-05,9.464671e-05,9.406156e-05,9.384259e-05,9.345401e-05,9.304224e-05,9.284890e-05,9.224665e-05,9.145670e-05,9.067319e-05,8.989683e-05,8.912825e-05,8.836801e-05,8.761660e-05,8.687445e-05,8.614193e-05,8.541937e-05,8.470704e-05,8.400516e-05,8.331393e-05,8.263349e-05,8.196395e-05,8.130541e-05,8.065793e-05,8.002153e-05,7.939621e-05,7.878198e-05,7.817878e-05,7.758658e-05,7.700531e-05,7.643489e-05,7.587522e-05
0.000000e+00,3.483986e-09,8.691575e-09,3.286678e-08,7.818088e-08,1.159166e-07,2.700884e-07,2.784278e-07,5.453507e-07,6.422172e-07,9.419395e-07,1.253012e-06,1.494459e-06,2.163850e-06,2.230080e-06,3.175623e-06,3.436544e-06,4.354811e-06,5.123727e-06,5.783863e-06,7.250971e-06,7.465850e-06,9.385647e-06,9.795418e-06,1.150885e-05,1.267752e-05,1.378700e-05,1.578153e-05,1.616708e-05,1.860017e-05,1.899155e-05,2.104586e-05,2.221477e-05,2.347291e-05,2.538516e-05,2.585788e-05,2.818336e-05,2.845777e-05,3.043647e-05,3.140238e-05,3.260777e-05,3.419897e-05,3.469044e-05,3.667974e-05,3.683475e-05,3.857262e-05,3.930236e-05,4.036743e-05,4.159864e-05,4.206365e-05,4.366172e-05,4.372361e-05,4.516284e-05,4.567985e-05,4.656886e-05,4.747179e-05,4.788209e-05,4.910525e-05,5.024134e-05,5.058702e-05,5.129357e-05,5.192453e-05,5.226529e-05,5.312557e-05,5.315992e-05,5.398094e-05,5.419811e-05,5.473182e-05,5.515010e-05,5.541597e-05,5.598938e-05,5.603679e-05,5.659758e-05,5.672360e-05,5.710155e-05,5.736012e-05,5.755182e-05,5.790603e-05,5.795140e-05,5.830318e-05,5.836805e-05,5.860996e-05,5.875259e-05,5.887441e-05,5.906570e-05,5.909908e-05,5.928641e-05,5.931308e-05,5.943874e-05,5.950008e-05,5.955828e-05,5.963174e-05,5.964716e-05,5.970736e-05,5.971275e-05,5.974082e-05,5.974753e-05,5.974933e-05,5.974018e-05,5.973462e-05,5.969831e-05,5.969452e-05,5.964194e-05,5.961411e-05,5.956698e-05,5.950228e-05,5.947481e-05,5.936672e-05,5.936209e-05,5.924396e-05,5.919640e-05,5.910769e-05,5.900787e-05,5.895900e-05,5.879893e-05,5.862846e-05,5.857187e-05,5.844851e-05,5.832877e-05,5.825995e-05,5.807158e-05,5.806359e-05,5.786019e-05,5.780208e-05,5.765048e-05,5.752191e-05,5.743514e-05,5.723259e-05,5.721480e-05,5.699005e-05,5.693552e-05,5.676146e-05,5.663197e-05,5.652955e-05,5.632312e-05,5.629482e-05,5.605771e-05,5.601004e-05,5.581867e-05,5.569373e-05,5.557808e-05,5.537507e-05,5.533633e-05,5.509376e-05,5.505490e-05,5.485071e-05,5.473396e-05,5.460746e-05,5.441292e-05,5.436431e-05,5.412152e-05,5.409242e-05,5.387932e-05,5.377300e-05,5.363794e-05,5.345516e-05,5.339758e-05,5.315845e-05,5.313938e-05,5.292071e-05,5.282604e-05,5.268452e-05,5.251552e-05,5.245004e-05,5.221741e-05,5.220814e-05,5.198674e-05,5.190420e-05,5.175815e-05,5.160395e-05,5.153174e-05,5.130762e-05,5.101539e-05,5.072746e-05,5.044395e-05,5.016499e-05,4.989070e-05,4.962114e-05,4.935640e-05,4.909653e-05,4.884156e-05,4.859152e-05,4.834643e-05,4.810628e-05,4.787107e-05,4.764079e-05,4.741542e-05,4.719491e-05,4.697924e-05,4.676837e-05,4.656224e-05,4.636080e-05,4.616400e-05,4.597178e-05,4.578407e-05,4.560081e-05
0.000000e+00,7.479591e-10,1.789957e-09,6.439469e-09,1.491993e-08,2.188487e-08,4.989518e-08,5.139599e-08,9.890285e-08,1.159338e-07,1.680735e-07,2.214390e-07,2.624180e-07,3.743825e-07,3.853471e-07,5.401220e-07,5.823370e-07,7.295669e-07,8.515188e-07,9.554236e-07,1.184232e-06,1.217543e-06,1.513618e-06,1.576589e-06,1.839874e-06,2.020052e-06,2.192097e-06,2.505079e-06,2.566265e-06,2.958717e-06,3.022978e-06,3.366086e-06,3.565986e-06,3.785203e-06,4.126910e-06,4.213029e-06,4.646617e-06,4.698898e-06,5.083117e-06,5.275389e-06,5.519790e-06,5.850170e-06,5.954033e-06,6.383410e-06,6.417481e-06,6.805674e-06,6.972126e-06,7.218796e-06,7.509562e-06,7.620974e-06,8.010643e-06,8.025951e-06,8.386482e-06,8.518182e-06,8.747404e-06,8.983862e-06,9.092548e-06,9.421274e-06,9.733138e-06,9.829326e-06,1.002788e-05,1.020748e-05,1.030541e-05,1.055568e-05,1.056576e-05,1.080913e-05,1.087426e-05,1.103579e-05,1.116391e-05,1.124611e-05,1.142556e-05,1.144054e-05,1.161960e-05,1.166034e-05,1.178383e-05,1.186954e-05,1.193382e-05,1.205453e-05,1.207019e-05,1.219356e-05,1.221673e-05,1.230457e-05,1.235762e-05,1.240385e-05,1.247864e-05,1.249202e-05,1.256971e-05,1.258121e-05,1.263753e-05,1.266674e-05,1.269605e-05,1.273655e-05,1.274584e-05,1.278747e-05,1.279194e-05,1.282145e-05,1.283412e-05,1.284830e-05,1.286423e-05,1.286849e-05,1.288249e-05,1.288336e-05,1.289073e-05,1.289251e-05,1.289363e-05,1.289262e-05,1.289157e-05,1.288493e-05,1.288458e-05,1.287406e-05,1.286918e-05,1.285929e-05,1.284717e-05,1.284092e-05,1.281925e-05,1.279455e-05,1.278605e-05,1.276708e-05,1.274815e-05,1.273708e-05,1.270610e-05,1.270476e-05,1.267036e-05,1.266037e-05,1.263405e-05,1.261143e-05,1.259603e-05,1.255968e-05,1.255646e-05,1.251551e-05,1.250549e-05,1.247333e-05,1.244922e-05,1.243005e-05,1.239116e-05,1.238581e-05,1.234072e-05,1.233162e-05,1.229491e-05,1.227083e-05,1.224847e-05,1.220905e-05,1.220150e-05,1.215409e-05,1.214647e-05,1.210633e-05,1.208331e-05,1.205830e-05,1.201972e-05,1.201006e-05,1.196168e-05,1.195587e-05,1.191322e-05,1.189190e-05,1.186475e-05,1.182793e-05,1.181631e-05,1.176796e-05,1.176409e-05,1.171973e-05,1.170048e-05,1.167167e-05,1.163720e-05,1.162382e-05,1.157621e-05,1.157431e-05,1.152887e-05,1.151190e-05,1.148184e-05,1.145004e-05,1.143513e-05,1.138878e-05,1.132818e-05,1.126827e-05,1.120911e-05,1.115071e-05,1.109313e-05,1.103637e-05,1.098045e-05,1.092541e-05,1.087125e-05,1.081798e-05,1.076561e-05,1.071415e-05,1.066361e-05,1.061398e-05,1.056526e-05,1.051746e-05,1.047056e-05,1.042457e-05,1.037949e-05,1.033530e-05,1.029199e-05,1.024957e-05,1.020801e-05,1.016732e-05
0.000000e+00,3.203694e-09,7.341939e-09,2.534982e-08,5.801964e-08,8.501314e-08,1.958113e-07,2.018541e-07,3.985892e-07,4.715906e-07,7.025462e-07,9.494729e-07,1.145370e-06,1.702021e-06,1.757804e-06,2.556705e-06,2.775722e-06,3.532930e-06,4.146558e-06,4.657565e-06,5.744987e-06,5.899283e-06,7.233153e-06,7.509261e-06,8.640515e-06,9.396385e-06,1.010660e-05,1.137422e-05,1.161879e-05,1.316570e-05,1.341571e-05,1.473682e-05,1.549668e-05,1.632246e-05,1.759545e-05,1.791376e-05,1.950278e-05,1.969296e-05,2.108246e-05,2.177296e-05,2.264670e-05,2.382196e-05,2.419029e-05,2.570885e-05,2.582914e-05,2.719879e-05,2.778607e-05,2.865718e-05,2.968637e-05,3.008172e-05,3.147065e-05,3.152544e-05,3.282262e-05,3.330010e-05,3.413672e-05,3.500833e-05,3.541231e-05,3.664905e-05,3.784682e-05,3.822188e-05,3.900568e-05,3.972702e-05,4.012584e-05,4.116509e-05,4.120763e-05,4.225151e-05,4.253707e-05,4.325798e-05,4.384416e-05,4.422764e-05,4.508776e-05,4.516112e-05,4.605910e-05,4.626942e-05,4.692230e-05,4.739077e-05,4.775145e-05,4.845354e-05,4.854732e-05,4.931066e-05,4.945950e-05,5.004227e-05,5.041042e-05,5.074292e-05,5.130813e-05,5.141341e-05,5.205452e-05,5.215442e-05,5.266703e-05,5.295111e-05,5.325172e-05,5.369997e-05,5.380937e-05,5.434074e-05,5.440277e-05,5.484658e-05,5.506125e-05,5.532764e-05,5.567712e-05,5.578465e-05,5.621834e-05,5.625205e-05,5.662942e-05,5.678767e-05,5.701858e-05,5.728559e-05,5.738651e-05,5.773388e-05,5.774736e-05,5.806135e-05,5.817449e-05,5.836957e-05,5.856848e-05,5.865915e-05,5.893073e-05,5.918490e-05,5.926265e-05,5.942224e-05,5.956558e-05,5.964334e-05,5.984082e-05,5.984874e-05,6.003901e-05,6.008964e-05,6.021466e-05,6.031326e-05,6.037623e-05,6.051285e-05,6.052420e-05,6.065908e-05,6.068955e-05,6.078134e-05,6.084447e-05,6.089145e-05,6.097865e-05,6.098985e-05,6.107700e-05,6.109311e-05,6.115331e-05,6.118885e-05,6.121921e-05,6.126680e-05,6.127509e-05,6.132134e-05,6.132788e-05,6.135836e-05,6.137295e-05,6.138650e-05,6.140286e-05,6.140612e-05,6.141758e-05,6.141842e-05,6.142121e-05,6.142040e-05,6.141732e-05,6.140955e-05,6.140626e-05,6.138830e-05,6.138658e-05,6.136377e-05,6.135217e-05,6.133293e-05,6.130699e-05,6.129608e-05,6.125348e-05,6.125166e-05,6.120539e-05,6.118678e-05,6.115206e-05,6.111293e-05,6.109375e-05,6.103067e-05,6.094053e-05,6.084300e-05,6.073858e-05,6.062772e-05,6.051087e-05,6.038844e-05,6.026085e-05,6.012847e-05,5.999168e-05,5.985081e-05,5.970621e-05,5.955819e-05,5.940705e-05,5.925309e-05,5.909657e-05,5.893775e-05,5.877689e-05,5.861421e-05,5.844995e-05,5.828430e-05,5.811749e-05,5.794968e-05,5.778107e-05,5.761183e-05
0.000000e+00,1.408693e-09,3.269707e-09,1.139357e-08,2.604433e-08,3.803899e-08,8.629095e-08,8.888084e-08,1.712097e-07,2.008992e-07,2.923726e-07,3.868720e-07,4.600075e-07,6.621513e-07,6.821172e-07,9.668099e-07,1.045299e-06,1.321395e-06,1.552411e-06,1.750539e-06,2.189770e-06,2.253943e-06,2.825366e-06,2.946933e-06,3.454388e-06,3.800401e-06,4.129523e-06,4.724581e-06,4.840323e-06,5.577977e-06,5.697983e-06,6.335099e-06,6.703539e-06,7.105344e-06,7.727190e-06,7.883087e-06,8.663237e-06,8.756792e-06,9.441137e-06,9.781588e-06,1.021253e-05,1.079203e-05,1.097353e-05,1.172068e-05,1.177976e-05,1.245090e-05,1.273764e-05,1.316155e-05,1.365981e-05,1.385036e-05,1.451551e-05,1.454160e-05,1.515550e-05,1.537952e-05,1.576923e-05,1.617115e-05,1.635591e-05,1.691503e-05,1.744636e-05,1.761051e-05,1.794990e-05,1.825766e-05,1.842584e-05,1.885710e-05,1.887453e-05,1.929649e-05,1.940993e-05,1.969232e-05,1.991758e-05,2.006275e-05,2.038176e-05,2.040854e-05,2.073054e-05,2.080437e-05,2.102961e-05,2.118742e-05,2.130667e-05,2.153299e-05,2.156262e-05,2.179838e-05,2.184319e-05,2.201486e-05,2.212012e-05,2.221298e-05,2.236584e-05,2.239361e-05,2.255762e-05,2.258238e-05,2.270588e-05,2.277168e-05,2.283919e-05,2.293563e-05,2.295838e-05,2.306419e-05,2.307602e-05,2.315737e-05,2.319456e-05,2.323864e-05,2.329285e-05,2.330867e-05,2.336812e-05,2.337243e-05,2.341761e-05,2.343475e-05,2.345774e-05,2.348115e-05,2.348907e-05,2.351215e-05,2.351291e-05,2.352750e-05,2.353122e-05,2.353559e-05,2.353720e-05,2.353691e-05,2.353188e-05,2.352092e-05,2.351623e-05,2.350444e-05,2.349117e-05,2.348282e-05,2.345754e-05,2.345640e-05,2.342552e-05,2.341612e-05,2.339051e-05,2.336764e-05,2.335166e-05,2.331278e-05,2.330927e-05,2.326360e-05,2.325218e-05,2.321490e-05,2.318641e-05,2.316343e-05,2.311602e-05,2.310941e-05,2.305305e-05,2.304151e-05,2.299455e-05,2.296335e-05,2.293411e-05,2.288198e-05,2.287191e-05,2.280812e-05,2.279777e-05,2.274289e-05,2.271112e-05,2.267639e-05,2.262235e-05,2.260874e-05,2.254009e-05,2.253179e-05,2.247056e-05,2.243972e-05,2.240026e-05,2.234640e-05,2.232932e-05,2.225783e-05,2.225209e-05,2.218589e-05,2.215701e-05,2.211359e-05,2.206136e-05,2.204102e-05,2.196826e-05,2.196534e-05,2.189538e-05,2.186913e-05,2.182246e-05,2.177288e-05,2.174955e-05,2.167673e-05,2.158083e-05,2.148529e-05,2.139022e-05,2.129573e-05,2.120190e-05,2.110881e-05,2.101655e-05,2.092518e-05,2.083475e-05,2.074531e-05,2.065693e-05,2.056963e-05,2.048346e-05,2.039844e-05,2.031460e-05,2.023196e-05,2.015055e-05,2.007039e-05,1.999147e-05,1.991382e-05,1.983744e-05,1.976233e-05,1.968851e-05,1.961596e-05
0.000000e+00,1.478563e-09,4.159990e-09,1.883553e-08,5.012912e-08,7.796582e-08,1.993743e-07,2.061608e-07,4.297053e-07,5.128984e-07,7.744565e-07,1.050436e-06,1.266815e-06,1.873210e-06,1.933577e-06,2.798914e-06,3.038065e-06,3.876984e-06,4.572643e-06,5.162554e-06,6.443883e-06,6.627876e-06,8.230436e-06,8.563366e-06,9.924908e-06,1.082871e-05,1.167108e-05,1.315364e-05,1.343618e-05,1.519425e-05,1.547344e-05,1.692462e-05,1.774036e-05,1.861069e-05,1.991854e-05,2.023904e-05,2.179891e-05,2.198107e-05,2.328194e-05,2.390846e-05,2.468191e-05,2.568768e-05,2.599461e-05,2.721760e-05,2.731153e-05,2.835000e-05,2.877766e-05,2.939229e-05,3.008784e-05,3.034613e-05,3.121406e-05,3.124703e-05,3.199935e-05,3.226254e-05,3.270581e-05,3.314330e-05,3.333762e-05,3.389917e-05,3.439497e-05,3.454048e-05,3.482954e-05,3.507758e-05,3.520731e-05,3.552054e-05,3.553260e-05,3.580956e-05,3.587900e-05,3.604214e-05,3.616195e-05,3.623406e-05,3.637774e-05,3.638883e-05,3.650970e-05,3.653401e-05,3.659972e-05,3.663770e-05,3.666169e-05,3.669509e-05,3.669821e-05,3.671168e-05,3.671181e-05,3.670429e-05,3.669288e-05,3.667805e-05,3.664279e-05,3.663480e-05,3.657623e-05,3.656554e-05,3.650389e-05,3.646469e-05,3.641917e-05,3.634336e-05,3.632337e-05,3.621766e-05,3.620436e-05,3.610310e-05,3.605014e-05,3.598067e-05,3.588290e-05,3.585125e-05,3.571565e-05,3.570456e-05,3.557461e-05,3.551683e-05,3.542881e-05,3.532123e-05,3.527886e-05,3.512530e-05,3.511909e-05,3.496866e-05,3.491161e-05,3.480940e-05,3.469982e-05,3.464794e-05,3.448467e-05,3.431993e-05,3.426696e-05,3.415405e-05,3.404743e-05,3.398733e-05,3.382672e-05,3.382002e-05,3.365237e-05,3.360540e-05,3.348461e-05,3.338398e-05,3.331693e-05,3.316290e-05,3.314952e-05,3.298255e-05,3.294256e-05,3.281617e-05,3.272330e-05,3.265051e-05,3.250542e-05,3.248570e-05,3.232185e-05,3.228920e-05,3.215907e-05,3.207487e-05,3.199745e-05,3.186264e-05,3.183707e-05,3.167801e-05,3.165268e-05,3.152033e-05,3.144516e-05,3.136410e-05,3.124019e-05,3.120937e-05,3.105619e-05,3.103791e-05,3.090459e-05,3.083841e-05,3.075463e-05,3.064177e-05,3.060633e-05,3.045971e-05,3.044805e-05,3.031481e-05,3.025733e-05,3.017164e-05,3.006964e-05,3.003022e-05,2.989056e-05,2.988501e-05,2.975268e-05,2.970348e-05,2.961659e-05,2.952506e-05,2.948228e-05,2.934977e-05,2.917760e-05,2.900856e-05,2.884263e-05,2.867981e-05,2.852009e-05,2.836343e-05,2.820982e-05,2.805924e-05,2.791164e-05,2.776701e-05,2.762531e-05,2.748650e-05,2.735055e-05,2.721742e-05,2.708707e-05,2.695946e-05,2.683454e-05,2.671228e-05,2.659264e-05,2.647557e-05,2.636103e-05,2.624897e-05,2.613936e-05,2.603215e-05
0.000000e+00,1.048340e-09,3.113947e-09,1.567620e-08,4.562451e-08,7.432619e-08,2.124221e-07,2.205931e-07,5.073366e-07,6.208084e-07,9.944974e-07,1.410188e-06,1.747976e-06,2.737104e-06,2.838458e-06,4.338237e-06,4.766733e-06,6.313555e-06,7.646442e-06,8.812366e-06,1.146000e-05,1.185339e-05,1.542372e-05,1.619826e-05,1.948486e-05,2.177277e-05,2.398173e-05,2.804908e-05,2.885024e-05,3.402266e-05,3.487390e-05,3.943110e-05,4.209152e-05,4.500967e-05,4.955293e-05,5.069595e-05,5.643201e-05,5.712111e-05,6.216501e-05,6.467418e-05,6.784769e-05,7.210709e-05,7.343851e-05,7.890173e-05,7.933234e-05,8.420730e-05,8.627969e-05,8.933060e-05,9.289537e-05,9.425213e-05,9.895707e-05,9.914060e-05,1.034348e-04,1.049897e-04,1.076785e-04,1.104286e-04,1.116846e-04,1.154525e-04,1.189839e-04,1.200646e-04,1.222825e-04,1.242739e-04,1.253537e-04,1.280943e-04,1.282041e-04,1.308413e-04,1.315427e-04,1.332737e-04,1.346385e-04,1.355101e-04,1.374024e-04,1.375597e-04,1.394319e-04,1.398559e-04,1.411361e-04,1.420204e-04,1.426814e-04,1.439173e-04,1.440772e-04,1.453322e-04,1.455671e-04,1.464551e-04,1.469897e-04,1.474543e-04,1.482039e-04,1.483378e-04,1.491130e-04,1.492275e-04,1.497874e-04,1.500773e-04,1.503678e-04,1.507689e-04,1.508608e-04,1.512724e-04,1.513166e-04,1.516085e-04,1.517339e-04,1.518746e-04,1.520331e-04,1.520757e-04,1.522168e-04,1.522256e-04,1.523023e-04,1.523219e-04,1.523364e-04,1.523314e-04,1.523231e-04,1.522662e-04,1.522630e-04,1.521689e-04,1.521247e-04,1.520347e-04,1.519238e-04,1.518664e-04,1.516669e-04,1.514388e-04,1.513601e-04,1.511845e-04,1.510091e-04,1.509063e-04,1.506188e-04,1.506064e-04,1.502867e-04,1.501938e-04,1.499489e-04,1.497384e-04,1.495949e-04,1.492563e-04,1.492263e-04,1.488444e-04,1.487509e-04,1.484507e-04,1.482256e-04,1.480465e-04,1.476830e-04,1.476329e-04,1.472111e-04,1.471258e-04,1.467820e-04,1.465564e-04,1.463467e-04,1.459769e-04,1.459061e-04,1.454608e-04,1.453892e-04,1.450119e-04,1.447952e-04,1.445598e-04,1.441964e-04,1.441053e-04,1.436491e-04,1.435943e-04,1.431916e-04,1.429901e-04,1.427335e-04,1.423851e-04,1.422751e-04,1.418170e-04,1.417804e-04,1.413596e-04,1.411769e-04,1.409032e-04,1.405754e-04,1.404482e-04,1.399950e-04,1.399769e-04,1.395438e-04,1.393819e-04,1.390949e-04,1.387912e-04,1.386487e-04,1.382052e-04,1.376246e-04,1.370497e-04,1.364810e-04,1.359188e-04,1.353634e-04,1.348152e-04,1.342742e-04,1.337408e-04,1.332151e-04,1.326973e-04,1.321875e-04,1.316857e-04,1.311921e-04,1.307067e-04,1.302296e-04,1.297607e-04,1.293002e-04,1.288480e-04,1.284040e-04,1.279683e-04,1.275408e-04,1.271214e-04,1.267102e-04,1.263070e-04
0.000000e+00,4.498054e-09,1.026855e-08,3.511260e-08,7.949048e-08,1.156627e-07,2.606728e-07,2.684468e-07,5.156316e-07,6.048934e-07,8.805407e-07,1.166333e-06,1.388109e-06,2.002165e-06,2.062771e-06,2.921380e-06,3.155213e-06,3.963500e-06,4.620581e-06,5.169879e-06,6.345000e-06,6.512339e-06,7.963496e-06,8.264648e-06,9.500017e-06,1.032607e-05,1.110212e-05,1.248577e-05,1.275238e-05,1.443484e-05,1.470602e-05,1.613466e-05,1.695263e-05,1.783799e-05,1.919454e-05,1.953203e-05,2.120516e-05,2.140403e-05,2.284707e-05,2.355726e-05,2.444879e-05,2.563452e-05,2.600277e-05,2.750284e-05,2.762036e-05,2.894415e-05,2.950338e-05,3.032310e-05,3.127589e-05,3.163720e-05,3.288495e-05,3.293347e-05,3.406573e-05,3.447442e-05,3.517965e-05,3.589926e-05,3.622742e-05,3.721027e-05,3.812983e-05,3.841102e-05,3.898801e-05,3.950603e-05,3.978699e-05,4.050045e-05,4.052908e-05,4.121669e-05,4.139980e-05,4.185232e-05,4.220978e-05,4.243847e-05,4.293617e-05,4.297764e-05,4.347229e-05,4.358466e-05,4.392484e-05,4.416076e-05,4.433763e-05,4.466980e-05,4.471293e-05,4.505291e-05,4.511685e-05,4.535968e-05,4.550674e-05,4.563524e-05,4.584398e-05,4.588149e-05,4.610024e-05,4.613281e-05,4.629321e-05,4.637716e-05,4.646203e-05,4.658073e-05,4.660824e-05,4.673329e-05,4.674694e-05,4.683856e-05,4.687896e-05,4.692536e-05,4.697972e-05,4.699490e-05,4.704835e-05,4.705196e-05,4.708677e-05,4.709817e-05,4.711120e-05,4.712067e-05,4.712260e-05,4.712188e-05,4.712161e-05,4.710988e-05,4.710295e-05,4.708740e-05,4.706651e-05,4.705519e-05,4.701397e-05,4.696439e-05,4.694686e-05,4.690708e-05,4.686661e-05,4.684261e-05,4.677451e-05,4.677155e-05,4.669440e-05,4.667177e-05,4.661165e-05,4.655950e-05,4.652376e-05,4.643872e-05,4.643114e-05,4.633421e-05,4.631034e-05,4.623333e-05,4.617525e-05,4.612886e-05,4.603422e-05,4.602113e-05,4.591044e-05,4.588798e-05,4.579710e-05,4.573719e-05,4.568136e-05,4.558248e-05,4.556349e-05,4.544372e-05,4.542440e-05,4.532229e-05,4.526347e-05,4.519939e-05,4.510015e-05,4.507523e-05,4.494999e-05,4.493489e-05,4.482384e-05,4.476809e-05,4.469694e-05,4.460010e-05,4.456945e-05,4.444151e-05,4.443126e-05,4.431324e-05,4.426187e-05,4.418478e-05,4.409222e-05,4.405623e-05,4.392770e-05,4.392256e-05,4.379930e-05,4.375312e-05,4.367111e-05,4.358411e-05,4.354323e-05,4.341573e-05,4.324815e-05,4.308154e-05,4.291603e-05,4.275175e-05,4.258883e-05,4.242737e-05,4.226746e-05,4.210919e-05,4.195264e-05,4.179787e-05,4.164494e-05,4.149390e-05,4.134480e-05,4.119768e-05,4.105256e-05,4.090949e-05,4.076848e-05,4.062955e-05,4.049271e-05,4.035798e-05,4.022535e-05,4.009485e-05,3.996646e-05,3.984018e-05
0.000000e+00,4.119277e-10,1.201277e-09,5.826135e-09,1.641358e-08,2.628594e-08,7.211861e-08,7.477725e-08,1.661988e-07,2.017449e-07,3.175689e-07,4.452706e-07,5.486790e-07,8.512168e-07,8.822412e-07,1.342134e-06,1.473699e-06,1.948110e-06,2.354701e-06,2.707386e-06,3.493638e-06,3.608424e-06,4.622769e-06,4.836022e-06,5.713415e-06,6.298256e-06,6.843378e-06,7.799453e-06,7.980841e-06,9.100910e-06,9.277206e-06,1.018538e-05,1.068938e-05,1.122158e-05,1.201008e-05,1.220118e-05,1.311904e-05,1.322488e-05,1.397236e-05,1.432704e-05,1.476004e-05,1.531485e-05,1.548226e-05,1.614011e-05,1.619001e-05,1.673541e-05,1.695653e-05,1.727051e-05,1.762006e-05,1.774820e-05,1.817153e-05,1.818737e-05,1.854377e-05,1.866592e-05,1.886830e-05,1.906349e-05,1.914857e-05,1.938796e-05,1.958983e-05,1.964703e-05,1.975739e-05,1.984807e-05,1.989374e-05,1.999798e-05,2.000180e-05,2.008429e-05,2.010316e-05,2.014378e-05,2.016941e-05,2.018260e-05,2.020193e-05,2.020293e-05,2.020673e-05,2.020538e-05,2.019580e-05,2.018386e-05,2.017177e-05,2.014095e-05,2.013610e-05,2.009012e-05,2.007980e-05,2.003502e-05,2.000312e-05,1.997186e-05,1.991328e-05,1.990159e-05,1.982507e-05,1.981229e-05,1.974305e-05,1.970193e-05,1.965621e-05,1.958369e-05,1.956517e-05,1.947047e-05,1.945888e-05,1.937258e-05,1.932862e-05,1.927195e-05,1.919388e-05,1.916897e-05,1.906397e-05,1.905550e-05,1.895728e-05,1.891419e-05,1.884917e-05,1.877060e-05,1.873990e-05,1.862969e-05,1.862526e-05,1.851874e-05,1.847866e-05,1.840724e-05,1.833120e-05,1.829536e-05,1.818325e-05,1.807104e-05,1.803513e-05,1.795885e-05,1.788711e-05,1.784679e-05,1.773944e-05,1.773498e-05,1.762349e-05,1.759234e-05,1.751241e-05,1.744599e-05,1.740182e-05,1.730056e-05,1.729178e-05,1.718236e-05,1.715620e-05,1.707361e-05,1.701302e-05,1.696558e-05,1.687115e-05,1.685832e-05,1.675187e-05,1.673068e-05,1.664627e-05,1.659170e-05,1.654154e-05,1.645428e-05,1.643773e-05,1.633485e-05,1.631847e-05,1.623293e-05,1.618435e-05,1.613199e-05,1.605195e-05,1.603204e-05,1.593312e-05,1.592131e-05,1.583522e-05,1.579247e-05,1.573836e-05,1.566545e-05,1.564255e-05,1.554781e-05,1.554027e-05,1.545413e-05,1.541696e-05,1.536152e-05,1.529551e-05,1.526999e-05,1.517953e-05,1.517594e-05,1.509016e-05,1.505825e-05,1.500186e-05,1.494244e-05,1.491465e-05,1.482851e-05,1.471646e-05,1.460628e-05,1.449796e-05,1.439148e-05,1.428684e-05,1.418402e-05,1.408300e-05,1.398377e-05,1.388631e-05,1.379059e-05,1.369660e-05,1.360432e-05,1.351373e-05,1.342480e-05,1.333750e-05,1.325183e-05,1.316775e-05,1.308524e-05,1.300427e-05,1.292483e-05,1.284688e-05,1.277041e-05,1.269538e-05,1.262178e-05
0.000000e+00,5.878142e-10,1.679314e-09,7.817451e-09,2.124439e-08,3.336546e-08,8.703303e-08,9.005378e-08,1.899634e-07,2.271957e-07,3.439857e-07,4.664761e-07,5.618804e-07,8.262841e-07,8.523841e-07,1.223119e-06,1.324750e-06,1.680128e-06,1.975176e-06,2.226875e-06,2.781844e-06,2.862690e-06,3.581007e-06,3.733513e-06,4.368518e-06,4.799264e-06,5.206421e-06,5.933724e-06,6.073574e-06,6.949857e-06,7.089723e-06,7.818305e-06,8.228365e-06,8.665732e-06,9.321931e-06,9.482457e-06,1.026168e-05,1.035243e-05,1.099885e-05,1.130909e-05,1.169111e-05,1.218623e-05,1.233696e-05,1.293592e-05,1.298181e-05,1.348831e-05,1.369644e-05,1.399513e-05,1.433264e-05,1.445785e-05,1.487832e-05,1.489429e-05,1.525867e-05,1.538621e-05,1.560118e-05,1.581371e-05,1.590828e-05,1.618239e-05,1.642595e-05,1.649782e-05,1.664132e-05,1.676543e-05,1.683080e-05,1.699036e-05,1.699656e-05,1.714066e-05,1.717740e-05,1.726504e-05,1.733094e-05,1.737147e-05,1.745497e-05,1.746162e-05,1.753701e-05,1.755306e-05,1.759902e-05,1.762838e-05,1.764892e-05,1.768374e-05,1.768788e-05,1.771695e-05,1.772166e-05,1.773710e-05,1.774434e-05,1.774919e-05,1.775369e-05,1.775400e-05,1.775225e-05,1.775141e-05,1.774458e-05,1.773897e-05,1.773157e-05,1.771767e-05,1.771375e-05,1.769158e-05,1.768865e-05,1.766551e-05,1.765290e-05,1.763591e-05,1.761128e-05,1.760315e-05,1.756753e-05,1.756457e-05,1.752935e-05,1.751343e-05,1.748888e-05,1.745846e-05,1.744635e-05,1.740198e-05,1.740017e-05,1.735597e-05,1.733904e-05,1.730850e-05,1.727546e-05,1.725972e-05,1.720980e-05,1.715887e-05,1.714238e-05,1.710705e-05,1.707348e-05,1.705447e-05,1.700338e-05,1.700124e-05,1.694744e-05,1.693229e-05,1.689317e-05,1.686042e-05,1.683852e-05,1.678796e-05,1.678355e-05,1.672835e-05,1.671507e-05,1.667298e-05,1.664192e-05,1.661749e-05,1.656862e-05,1.656195e-05,1.650641e-05,1.649531e-05,1.645092e-05,1.642209e-05,1.639551e-05,1.634907e-05,1.634024e-05,1.628513e-05,1.627633e-05,1.623023e-05,1.620395e-05,1.617556e-05,1.613201e-05,1.612116e-05,1.606705e-05,1.606057e-05,1.601325e-05,1.598969e-05,1.595980e-05,1.591942e-05,1.590671e-05,1.585401e-05,1.584981e-05,1.580170e-05,1.578089e-05,1.574981e-05,1.571272e-05,1.569835e-05,1.564734e-05,1.564531e-05,1.559679e-05,1.557870e-05,1.554670e-05,1.551292e-05,1.549710e-05,1.544798e-05,1.538391e-05,1.532072e-05,1.525843e-05,1.519704e-05,1.513657e-05,1.507703e-05,1.501841e-05,1.496073e-05,1.490398e-05,1.484817e-05,1.479329e-05,1.473935e-05,1.468634e-05,1.463426e-05,1.458311e-05,1.453287e-05,1.448355e-05,1.443513e-05,1.438761e-05,1.434098e-05,1.429523e-05,1.425035e-05,1.420634e-05,1.416318e-05
0.000000e+00,1.456789e-09,3.300617e-09,1.113018e-08,2.494248e-08,3.613762e-08,8.098255e-08,8.339378e-08,1.607879e-07,1.891212e-07,2.778281e-07,3.712107e-07,4.440868e-07,6.439489e-07,6.633295e-07,9.279574e-07,9.966088e-07,1.223304e-06,1.396941e-06,1.535944e-06,1.817878e-06,1.856545e-06,2.178955e-06,2.243251e-06,2.498839e-06,2.663037e-06,2.812826e-06,3.069944e-06,3.118097e-06,3.412235e-06,3.458123e-06,3.693206e-06,3.822896e-06,3.959362e-06,4.160773e-06,4.209463e-06,4.442679e-06,4.469505e-06,4.658570e-06,4.748040e-06,4.857054e-06,4.996389e-06,5.038356e-06,5.202956e-06,5.215421e-06,5.351516e-06,5.406624e-06,5.484838e-06,5.571912e-06,5.603849e-06,5.709537e-06,5.713501e-06,5.802897e-06,5.833679e-06,5.884915e-06,5.934703e-06,5.956556e-06,6.018752e-06,6.072370e-06,6.087844e-06,6.118175e-06,6.143708e-06,6.156854e-06,6.187885e-06,6.189057e-06,6.215392e-06,6.221791e-06,6.236414e-06,6.246710e-06,6.252703e-06,6.264052e-06,6.264885e-06,6.273345e-06,6.274865e-06,6.278454e-06,6.279968e-06,6.280524e-06,6.280066e-06,6.279848e-06,6.276679e-06,6.275766e-06,6.271251e-06,6.267608e-06,6.263778e-06,6.256061e-06,6.254451e-06,6.243439e-06,6.241531e-06,6.230895e-06,6.224372e-06,6.216960e-06,6.204896e-06,6.201761e-06,6.185413e-06,6.183379e-06,6.168021e-06,6.160062e-06,6.149680e-06,6.135161e-06,6.130478e-06,6.110495e-06,6.108865e-06,6.089805e-06,6.081346e-06,6.068474e-06,6.052755e-06,6.046565e-06,6.024135e-06,6.023228e-06,6.001237e-06,5.992889e-06,5.977920e-06,5.961847e-06,5.954228e-06,5.930203e-06,5.905885e-06,5.898047e-06,5.881309e-06,5.865461e-06,5.856509e-06,5.832519e-06,5.831516e-06,5.806359e-06,5.799289e-06,5.781065e-06,5.765833e-06,5.755659e-06,5.732207e-06,5.730165e-06,5.704604e-06,5.698462e-06,5.678998e-06,5.664645e-06,5.653365e-06,5.630799e-06,5.627722e-06,5.602088e-06,5.596963e-06,5.576476e-06,5.563172e-06,5.550903e-06,5.529460e-06,5.525380e-06,5.499921e-06,5.495854e-06,5.474538e-06,5.462384e-06,5.449241e-06,5.429073e-06,5.424041e-06,5.398947e-06,5.395944e-06,5.373969e-06,5.363017e-06,5.349114e-06,5.330312e-06,5.324391e-06,5.299805e-06,5.297845e-06,5.275365e-06,5.265630e-06,5.251075e-06,5.233683e-06,5.226942e-06,5.202971e-06,5.202016e-06,5.179167e-06,5.170639e-06,5.155533e-06,5.139562e-06,5.132075e-06,5.108795e-06,5.078345e-06,5.048220e-06,5.018425e-06,4.988965e-06,4.959846e-06,4.931070e-06,4.902642e-06,4.874563e-06,4.846835e-06,4.819461e-06,4.792441e-06,4.765776e-06,4.739465e-06,4.713509e-06,4.687908e-06,4.662659e-06,4.637763e-06,4.613218e-06,4.589021e-06,4.565172e-06,4.541668e-06,4.518506e-06,4.495684e-06,4.473200e-06
0.000000e+00,1.257218e-09,3.608373e-09,1.698574e-08,4.672636e-08,7.394858e-08,1.974307e-07,2.045007e-07,4.441733e-07,5.360879e-07,8.324430e-07,1.155201e-06,1.414318e-06,2.163855e-06,2.240109e-06,3.359240e-06,3.675848e-06,4.806206e-06,5.763475e-06,6.587920e-06,8.418007e-06,8.685347e-06,1.106605e-05,1.157310e-05,1.369546e-05,1.515042e-05,1.654205e-05,1.908069e-05,1.957815e-05,2.277896e-05,2.330483e-05,2.612144e-05,2.776959e-05,2.958333e-05,3.242410e-05,3.314275e-05,3.677806e-05,3.721838e-05,4.046791e-05,4.210334e-05,4.419150e-05,4.703162e-05,4.792878e-05,5.166079e-05,5.195859e-05,5.536984e-05,5.684333e-05,5.903968e-05,6.164939e-05,6.265566e-05,6.620477e-05,6.634517e-05,6.967563e-05,7.090407e-05,7.305853e-05,7.530443e-05,7.634532e-05,7.952936e-05,8.260539e-05,8.356621e-05,8.556937e-05,8.740613e-05,8.841840e-05,9.104359e-05,9.115062e-05,9.376502e-05,9.447590e-05,9.626139e-05,9.770270e-05,9.864015e-05,1.007256e-04,1.009023e-04,1.030494e-04,1.035478e-04,1.050833e-04,1.061736e-04,1.070061e-04,1.086084e-04,1.088205e-04,1.105290e-04,1.108583e-04,1.121346e-04,1.129298e-04,1.136402e-04,1.148299e-04,1.150489e-04,1.163638e-04,1.165657e-04,1.175881e-04,1.181445e-04,1.187250e-04,1.195736e-04,1.197775e-04,1.207489e-04,1.208602e-04,1.216422e-04,1.220114e-04,1.224606e-04,1.230343e-04,1.232071e-04,1.238845e-04,1.239358e-04,1.244958e-04,1.247225e-04,1.250439e-04,1.254008e-04,1.255313e-04,1.259610e-04,1.259770e-04,1.263354e-04,1.264571e-04,1.266570e-04,1.268469e-04,1.269284e-04,1.271519e-04,1.273298e-04,1.273774e-04,1.274643e-04,1.275286e-04,1.275576e-04,1.276102e-04,1.276117e-04,1.276286e-04,1.276270e-04,1.276104e-04,1.275833e-04,1.275587e-04,1.274833e-04,1.274755e-04,1.273625e-04,1.273311e-04,1.272212e-04,1.271304e-04,1.270533e-04,1.268848e-04,1.268604e-04,1.266439e-04,1.265979e-04,1.264052e-04,1.262727e-04,1.261456e-04,1.259125e-04,1.258666e-04,1.255693e-04,1.255201e-04,1.252549e-04,1.250982e-04,1.249245e-04,1.246495e-04,1.245793e-04,1.242204e-04,1.241764e-04,1.238486e-04,1.236813e-04,1.234651e-04,1.231662e-04,1.230706e-04,1.226661e-04,1.226333e-04,1.222524e-04,1.220845e-04,1.218303e-04,1.215216e-04,1.214006e-04,1.209640e-04,1.209464e-04,1.205211e-04,1.203603e-04,1.200727e-04,1.197650e-04,1.196194e-04,1.191617e-04,1.185520e-04,1.179369e-04,1.173176e-04,1.166952e-04,1.160707e-04,1.154450e-04,1.148190e-04,1.141935e-04,1.135692e-04,1.129468e-04,1.123270e-04,1.117103e-04,1.110973e-04,1.104884e-04,1.098842e-04,1.092850e-04,1.086912e-04,1.081031e-04,1.075211e-04,1.069455e-04,1.063764e-04,1.058141e-04,1.052589e-04,1.047108e-04
0.000000e+00,2.389901e-09,5.471345e-09,1.883207e-08,4.293035e-08,6.273383e-08,1.432217e-07,1.475796e-07,2.880364e-07,3.395626e-07,5.009856e-07,6.715832e-07,8.059566e-07,1.185836e-06,1.223895e-06,1.772599e-06,1.924843e-06,2.458955e-06,2.900704e-06,3.274083e-06,4.082004e-06,4.197828e-06,5.207752e-06,5.418302e-06,6.284495e-06,6.865551e-06,7.412623e-06,8.390817e-06,8.579724e-06,9.775365e-06,9.968691e-06,1.099039e-05,1.157802e-05,1.221652e-05,1.320034e-05,1.344622e-05,1.467265e-05,1.481930e-05,1.588962e-05,1.642066e-05,1.709165e-05,1.799224e-05,1.827397e-05,1.943248e-05,1.952402e-05,2.056377e-05,2.100802e-05,2.166506e-05,2.243815e-05,2.273414e-05,2.376935e-05,2.381004e-05,2.476947e-05,2.512076e-05,2.573371e-05,2.636866e-05,2.666163e-05,2.755307e-05,2.840814e-05,2.867412e-05,2.922715e-05,2.973262e-05,3.001059e-05,3.072980e-05,3.075908e-05,3.147333e-05,3.166729e-05,3.215416e-05,3.254697e-05,3.280244e-05,3.337088e-05,3.341907e-05,3.400502e-05,3.414118e-05,3.456123e-05,3.486009e-05,3.508869e-05,3.552985e-05,3.558837e-05,3.606124e-05,3.615268e-05,3.650826e-05,3.673080e-05,3.693037e-05,3.726637e-05,3.732850e-05,3.770357e-05,3.776150e-05,3.805647e-05,3.821824e-05,3.838806e-05,3.863855e-05,3.869918e-05,3.899066e-05,3.902436e-05,3.926329e-05,3.937748e-05,3.951784e-05,3.969967e-05,3.975506e-05,3.997566e-05,3.999261e-05,4.018034e-05,4.025791e-05,4.036978e-05,4.049711e-05,4.054463e-05,4.070550e-05,4.071166e-05,4.085301e-05,4.090295e-05,4.098773e-05,4.107233e-05,4.111023e-05,4.122104e-05,4.132069e-05,4.135030e-05,4.140966e-05,4.146123e-05,4.148845e-05,4.155493e-05,4.155751e-05,4.161728e-05,4.163241e-05,4.166820e-05,4.169467e-05,4.171067e-05,4.174262e-05,4.174508e-05,4.177182e-05,4.177713e-05,4.179124e-05,4.179905e-05,4.180370e-05,4.180916e-05,4.180952e-05,4.180903e-05,4.180821e-05,4.180255e-05,4.179690e-05,4.179035e-05,4.177590e-05,4.177273e-05,4.174996e-05,4.174585e-05,4.172229e-05,4.170735e-05,4.168999e-05,4.166097e-05,4.165328e-05,4.161241e-05,4.160723e-05,4.156758e-05,4.154666e-05,4.151902e-05,4.147973e-05,4.146691e-05,4.141147e-05,4.140689e-05,4.135286e-05,4.132858e-05,4.129128e-05,4.124520e-05,4.122689e-05,4.115986e-05,4.115712e-05,4.109033e-05,4.106473e-05,4.101847e-05,4.096834e-05,4.094442e-05,4.086830e-05,4.076490e-05,4.065843e-05,4.054916e-05,4.043736e-05,4.032325e-05,4.020706e-05,4.008902e-05,3.996933e-05,3.984816e-05,3.972572e-05,3.960215e-05,3.947763e-05,3.935229e-05,3.922629e-05,3.909976e-05,3.897281e-05,3.884557e-05,3.871815e-05,3.859064e-05,3.846315e-05,3.833576e-05,3.820856e-05,3.808163e-05,3.795505e-05
0.000000e+00,1.934872e-09,4.418473e-09,1.512244e-08,3.426654e-08,4.988420e-08,1.125572e-07,1.159189e-07,2.228547e-07,2.614812e-07,3.807659e-07,5.044317e-07,6.003980e-07,8.662742e-07,8.925427e-07,1.265680e-06,1.367714e-06,1.722058e-06,2.012008e-06,2.255582e-06,2.779628e-06,2.854523e-06,3.506090e-06,3.641684e-06,4.198912e-06,4.572236e-06,4.923384e-06,5.550324e-06,5.671240e-06,6.435115e-06,6.558365e-06,7.208288e-06,7.580877e-06,7.984568e-06,8.603995e-06,8.758275e-06,9.524264e-06,9.615440e-06,1.027796e-05,1.060464e-05,1.101536e-05,1.156280e-05,1.173311e-05,1.242840e-05,1.248298e-05,1.309900e-05,1.335993e-05,1.374322e-05,1.419003e-05,1.435985e-05,1.494808e-05,1.497101e-05,1.550749e-05,1.570179e-05,1.603797e-05,1.638226e-05,1.653970e-05,1.701306e-05,1.745862e-05,1.759545e-05,1.787710e-05,1.813108e-05,1.826931e-05,1.862196e-05,1.863616e-05,1.897860e-05,1.907025e-05,1.929763e-05,1.947824e-05,1.959427e-05,1.984829e-05,1.986955e-05,2.012448e-05,2.018275e-05,2.036007e-05,2.048391e-05,2.057729e-05,2.075401e-05,2.077710e-05,2.096044e-05,2.099520e-05,2.112818e-05,2.120954e-05,2.128120e-05,2.139896e-05,2.142032e-05,2.154633e-05,2.156532e-05,2.165997e-05,2.171034e-05,2.176198e-05,2.183566e-05,2.185303e-05,2.193377e-05,2.194280e-05,2.200483e-05,2.203317e-05,2.206678e-05,2.210812e-05,2.212019e-05,2.216558e-05,2.216888e-05,2.220344e-05,2.221659e-05,2.223426e-05,2.225234e-05,2.225848e-05,2.227651e-05,2.227711e-05,2.228877e-05,2.229184e-05,2.229561e-05,2.229736e-05,2.229741e-05,2.229449e-05,2.228718e-05,2.228396e-05,2.227577e-05,2.226644e-05,2.226054e-05,2.224258e-05,2.224176e-05,2.221969e-05,2.221295e-05,2.219455e-05,2.217810e-05,2.216658e-05,2.213852e-05,2.213598e-05,2.210295e-05,2.209469e-05,2.206768e-05,2.204702e-05,2.203035e-05,2.199592e-05,2.199111e-05,2.195013e-05,2.194174e-05,2.190756e-05,2.188484e-05,2.186353e-05,2.182551e-05,2.181817e-05,2.177161e-05,2.176406e-05,2.172397e-05,2.170074e-05,2.167534e-05,2.163580e-05,2.162583e-05,2.157555e-05,2.156947e-05,2.152457e-05,2.150194e-05,2.147299e-05,2.143343e-05,2.142088e-05,2.136832e-05,2.136410e-05,2.131538e-05,2.129412e-05,2.126213e-05,2.122363e-05,2.120862e-05,2.115492e-05,2.115277e-05,2.110108e-05,2.108168e-05,2.104715e-05,2.101046e-05,2.099318e-05,2.093922e-05,2.086806e-05,2.079706e-05,2.072632e-05,2.065590e-05,2.058586e-05,2.051628e-05,2.044721e-05,2.037869e-05,2.031078e-05,2.024351e-05,2.017692e-05,2.011105e-05,2.004591e-05,1.998155e-05,1.991797e-05,1.985521e-05,1.979327e-05,1.973218e-05,1.967194e-05,1.961257e-05,1.955408e-05,1.949646e-05,1.943973e-05,1.938389e-05
0.000000e+00,3.407420e-09,7.800901e-09,2.692031e-08,6.173515e-08,9.066909e-08,2.111490e-07,2.177974e-07,4.379392e-07,5.210251e-07,7.856866e-07,1.066124e-06,1.283223e-06,1.866088e-06,1.921782e-06,2.676761e-06,2.872825e-06,3.527425e-06,4.039953e-06,4.459046e-06,5.336385e-06,5.459748e-06,6.518424e-06,6.736141e-06,7.623973e-06,8.213679e-06,8.765255e-06,9.743548e-06,9.931356e-06,1.111189e-05,1.130146e-05,1.229729e-05,1.286545e-05,1.347899e-05,1.441667e-05,1.464958e-05,1.580275e-05,1.593970e-05,1.693332e-05,1.742249e-05,1.803708e-05,1.885597e-05,1.911078e-05,2.015201e-05,2.023385e-05,2.115901e-05,2.155194e-05,2.213059e-05,2.280780e-05,2.306607e-05,2.396512e-05,2.400032e-05,2.482779e-05,2.512947e-05,2.565426e-05,2.619579e-05,2.644495e-05,2.720044e-05,2.792142e-05,2.814497e-05,2.860868e-05,2.903122e-05,2.926308e-05,2.986121e-05,2.988551e-05,3.047688e-05,3.063703e-05,3.103813e-05,3.136083e-05,3.157023e-05,3.203483e-05,3.207413e-05,3.255078e-05,3.266123e-05,3.300113e-05,3.324219e-05,3.342612e-05,3.377986e-05,3.382666e-05,3.420367e-05,3.427633e-05,3.455803e-05,3.473363e-05,3.489060e-05,3.515374e-05,3.520223e-05,3.549374e-05,3.553857e-05,3.576594e-05,3.588996e-05,3.601960e-05,3.620970e-05,3.625549e-05,3.647433e-05,3.649948e-05,3.667683e-05,3.676094e-05,3.686369e-05,3.699565e-05,3.703557e-05,3.719311e-05,3.720511e-05,3.733693e-05,3.739075e-05,3.746763e-05,3.755395e-05,3.758580e-05,3.769199e-05,3.769600e-05,3.778675e-05,3.781816e-05,3.787058e-05,3.792160e-05,3.794399e-05,3.800747e-05,3.806147e-05,3.807682e-05,3.810644e-05,3.813069e-05,3.814282e-05,3.817004e-05,3.817101e-05,3.819142e-05,3.819579e-05,3.820441e-05,3.820881e-05,3.821037e-05,3.820993e-05,3.820963e-05,3.820255e-05,3.819994e-05,3.818944e-05,3.817958e-05,3.817062e-05,3.814956e-05,3.814638e-05,3.811701e-05,3.811054e-05,3.808279e-05,3.806316e-05,3.804397e-05,3.800801e-05,3.800082e-05,3.795358e-05,3.794565e-05,3.790247e-05,3.787663e-05,3.784772e-05,3.780144e-05,3.778954e-05,3.772814e-05,3.772057e-05,3.766372e-05,3.763446e-05,3.759645e-05,3.754353e-05,3.752652e-05,3.745410e-05,3.744820e-05,3.737935e-05,3.734883e-05,3.730243e-05,3.724579e-05,3.722350e-05,3.714268e-05,3.713941e-05,3.706013e-05,3.703001e-05,3.697597e-05,3.691788e-05,3.689032e-05,3.680331e-05,3.668656e-05,3.656788e-05,3.644750e-05,3.632564e-05,3.620252e-05,3.607831e-05,3.595321e-05,3.582738e-05,3.570098e-05,3.557417e-05,3.544708e-05,3.531984e-05,3.519258e-05,3.506540e-05,3.493842e-05,3.481173e-05,3.468543e-05,3.455960e-05,3.443432e-05,3.430966e-05,3.418570e-05,3.406249e-05,3.394010e-05,3.381857e-05
0.000000e+00,6.373802e-10,1.885182e-09,9.408705e-09,2.717891e-08,4.410432e-08,1.249027e-07,1.296634e-07,2.960659e-07,3.617091e-07,5.775545e-07,8.173841e-07,1.012106e-06,1.580578e-06,1.638598e-06,2.489286e-06,2.729134e-06,3.581893e-06,4.300734e-06,4.918528e-06,6.289478e-06,6.489959e-06,8.280066e-06,8.662602e-06,1.026863e-05,1.137360e-05,1.243279e-05,1.436837e-05,1.474787e-05,1.718787e-05,1.758808e-05,1.972600e-05,2.097120e-05,2.233516e-05,2.445557e-05,2.498851e-05,2.766006e-05,2.798068e-05,3.032512e-05,3.148973e-05,3.296085e-05,3.493157e-05,3.554656e-05,3.806400e-05,3.826196e-05,4.049752e-05,4.144443e-05,4.283410e-05,4.445049e-05,4.506336e-05,4.717740e-05,4.725948e-05,4.917070e-05,4.985801e-05,5.103983e-05,5.223906e-05,5.278326e-05,5.440111e-05,5.589488e-05,5.634710e-05,5.726728e-05,5.808352e-05,5.852185e-05,5.961935e-05,5.966286e-05,6.069514e-05,6.096538e-05,6.162385e-05,6.213362e-05,6.245443e-05,6.313668e-05,6.319244e-05,6.384346e-05,6.398738e-05,6.441301e-05,6.469839e-05,6.490649e-05,6.528199e-05,6.532914e-05,6.568602e-05,6.574993e-05,6.598193e-05,6.611324e-05,6.622145e-05,6.638222e-05,6.640889e-05,6.654832e-05,6.656643e-05,6.664356e-05,6.667464e-05,6.669818e-05,6.671488e-05,6.671552e-05,6.669866e-05,6.669448e-05,6.665048e-05,6.662006e-05,6.657367e-05,6.649765e-05,6.647067e-05,6.634379e-05,6.633268e-05,6.619514e-05,6.613002e-05,6.602666e-05,6.589410e-05,6.584016e-05,6.563730e-05,6.562887e-05,6.541961e-05,6.533789e-05,6.518851e-05,6.502437e-05,6.494530e-05,6.469118e-05,6.442726e-05,6.434090e-05,6.415455e-05,6.397585e-05,6.387401e-05,6.359812e-05,6.358650e-05,6.329281e-05,6.320958e-05,6.299370e-05,6.281190e-05,6.268983e-05,6.240661e-05,6.238184e-05,6.207030e-05,6.199506e-05,6.175575e-05,6.157848e-05,6.143869e-05,6.115796e-05,6.111957e-05,6.079880e-05,6.073449e-05,6.047679e-05,6.030896e-05,6.015387e-05,5.988218e-05,5.983040e-05,5.950666e-05,5.945486e-05,5.918295e-05,5.902765e-05,5.885952e-05,5.860113e-05,5.853660e-05,5.821443e-05,5.817583e-05,5.789320e-05,5.775221e-05,5.757310e-05,5.733069e-05,5.725431e-05,5.693698e-05,5.691166e-05,5.662125e-05,5.649544e-05,5.630727e-05,5.608234e-05,5.599514e-05,5.568499e-05,5.567263e-05,5.537691e-05,5.526653e-05,5.507100e-05,5.486426e-05,5.476734e-05,5.446601e-05,5.407193e-05,5.368217e-05,5.329685e-05,5.291608e-05,5.253994e-05,5.216852e-05,5.180186e-05,5.144003e-05,5.108306e-05,5.073099e-05,5.038382e-05,5.004159e-05,4.970428e-05,4.937189e-05,4.904443e-05,4.872186e-05,4.840418e-05,4.809136e-05,4.778337e-05,4.748018e-05,4.718175e-05,4.688804e-05,4.659901e-05,4.631461e-05
0.000000e+00,1.068074e-09,2.638158e-09,9.868267e-09,2.336855e-08,3.459936e-08,8.046331e-08,8.294382e-08,1.623199e-07,1.911140e-07,2.801605e-07,3.724995e-07,4.441154e-07,6.424058e-07,6.620020e-07,9.411666e-07,1.017945e-06,1.286899e-06,1.510231e-06,1.700371e-06,2.117424e-06,2.177895e-06,2.712500e-06,2.825570e-06,3.296251e-06,3.616692e-06,3.921610e-06,4.474066e-06,4.581768e-06,5.270525e-06,5.382990e-06,5.982108e-06,6.330162e-06,6.711056e-06,7.303215e-06,7.452171e-06,8.200528e-06,8.290594e-06,8.951500e-06,9.281639e-06,9.700804e-06,1.026674e-05,1.044453e-05,1.117919e-05,1.123748e-05,1.190169e-05,1.218668e-05,1.260937e-05,1.310844e-05,1.329998e-05,1.397167e-05,1.399812e-05,1.462292e-05,1.485213e-05,1.525257e-05,1.566795e-05,1.585977e-05,1.644392e-05,1.700465e-05,1.717912e-05,1.754183e-05,1.787326e-05,1.805546e-05,1.852656e-05,1.854572e-05,1.901289e-05,1.913962e-05,1.945737e-05,1.971336e-05,1.987963e-05,2.024893e-05,2.028019e-05,2.065965e-05,2.074764e-05,2.101861e-05,2.121092e-05,2.135773e-05,2.164025e-05,2.167765e-05,2.197906e-05,2.203718e-05,2.226262e-05,2.240324e-05,2.252900e-05,2.273997e-05,2.277886e-05,2.301287e-05,2.304888e-05,2.323166e-05,2.333146e-05,2.343586e-05,2.358913e-05,2.362608e-05,2.380293e-05,2.382328e-05,2.396698e-05,2.403525e-05,2.411879e-05,2.422631e-05,2.425890e-05,2.438785e-05,2.439770e-05,2.450614e-05,2.455058e-05,2.461425e-05,2.468606e-05,2.471266e-05,2.480182e-05,2.480520e-05,2.488217e-05,2.490902e-05,2.495412e-05,2.499845e-05,2.501808e-05,2.507442e-05,2.512353e-05,2.513778e-05,2.516576e-05,2.518933e-05,2.520144e-05,2.522985e-05,2.523091e-05,2.525447e-05,2.526005e-05,2.527243e-05,2.528063e-05,2.528507e-05,2.529224e-05,2.529266e-05,2.529548e-05,2.529547e-05,2.529376e-05,2.529091e-05,2.528775e-05,2.527910e-05,2.527769e-05,2.526378e-05,2.526055e-05,2.524624e-05,2.523575e-05,2.522527e-05,2.520514e-05,2.520106e-05,2.517380e-05,2.516916e-05,2.514365e-05,2.512821e-05,2.511080e-05,2.508266e-05,2.507539e-05,2.503758e-05,2.503288e-05,2.499751e-05,2.497920e-05,2.495533e-05,2.492194e-05,2.491116e-05,2.486514e-05,2.486138e-05,2.481738e-05,2.479782e-05,2.476800e-05,2.473151e-05,2.471711e-05,2.466482e-05,2.466270e-05,2.461121e-05,2.459161e-05,2.455640e-05,2.451848e-05,2.450046e-05,2.444350e-05,2.436686e-05,2.428874e-05,2.420930e-05,2.412872e-05,2.404713e-05,2.396468e-05,2.388149e-05,2.379768e-05,2.371337e-05,2.362866e-05,2.354365e-05,2.345844e-05,2.337311e-05,2.328775e-05,2.320242e-05,2.311719e-05,2.303214e-05,2.294732e-05,2.286279e-05,2.277860e-05,2.269479e-05,2.261142e-05,2.252853e-05,2.244615e-05
0.000000e+00,1.077567e-09,2.496263e-09,8.686120e-09,1.985455e-08,2.900480e-08,6.586394e-08,6.784428e-08,1.308802e-07,1.536471e-07,2.238857e-07,2.965615e-07,3.528541e-07,5.084033e-07,5.237454e-07,7.414313e-07,8.009442e-07,1.007923e-06,1.177947e-06,1.321442e-06,1.632755e-06,1.677568e-06,2.071124e-06,2.153884e-06,2.497174e-06,2.730049e-06,2.951201e-06,3.351105e-06,3.428975e-06,3.926429e-06,4.007582e-06,4.439595e-06,4.690354e-06,4.964601e-06,5.390610e-06,5.497704e-06,6.035342e-06,6.100002e-06,6.574185e-06,6.810860e-06,7.111173e-06,7.516327e-06,7.643536e-06,8.168831e-06,8.210484e-06,8.684944e-06,8.888405e-06,9.190077e-06,9.546125e-06,9.682740e-06,1.016173e-05,1.018059e-05,1.062612e-05,1.078958e-05,1.107520e-05,1.137158e-05,1.150849e-05,1.192567e-05,1.232659e-05,1.245144e-05,1.271124e-05,1.294892e-05,1.307973e-05,1.341843e-05,1.343223e-05,1.376902e-05,1.386055e-05,1.409042e-05,1.427602e-05,1.439680e-05,1.466575e-05,1.468856e-05,1.496615e-05,1.503070e-05,1.522999e-05,1.537191e-05,1.548056e-05,1.569044e-05,1.571831e-05,1.594372e-05,1.598736e-05,1.615724e-05,1.626373e-05,1.635934e-05,1.652061e-05,1.655047e-05,1.673106e-05,1.675900e-05,1.690154e-05,1.697991e-05,1.706235e-05,1.718429e-05,1.721387e-05,1.735651e-05,1.737305e-05,1.749065e-05,1.754707e-05,1.761665e-05,1.770719e-05,1.773487e-05,1.784565e-05,1.785420e-05,1.794932e-05,1.798886e-05,1.804619e-05,1.811190e-05,1.813657e-05,1.822074e-05,1.822398e-05,1.829899e-05,1.832577e-05,1.837159e-05,1.841786e-05,1.843879e-05,1.850084e-05,1.855797e-05,1.857525e-05,1.861041e-05,1.864161e-05,1.865838e-05,1.870041e-05,1.870207e-05,1.874170e-05,1.875210e-05,1.877745e-05,1.879711e-05,1.880950e-05,1.883587e-05,1.883803e-05,1.886319e-05,1.886875e-05,1.888516e-05,1.889612e-05,1.890408e-05,1.891832e-05,1.892009e-05,1.893334e-05,1.893567e-05,1.894396e-05,1.894849e-05,1.895208e-05,1.895705e-05,1.895781e-05,1.896128e-05,1.896163e-05,1.896259e-05,1.896249e-05,1.896186e-05,1.895986e-05,1.895917e-05,1.895464e-05,1.895398e-05,1.894835e-05,1.894505e-05,1.894039e-05,1.893328e-05,1.893085e-05,1.891981e-05,1.891886e-05,1.890734e-05,1.890198e-05,1.889353e-05,1.888279e-05,1.887844e-05,1.886213e-05,1.886146e-05,1.884468e-05,1.883813e-05,1.882615e-05,1.881296e-05,1.880659e-05,1.878607e-05,1.875760e-05,1.872765e-05,1.869634e-05,1.866378e-05,1.863007e-05,1.859530e-05,1.855956e-05,1.852294e-05,1.848551e-05,1.844734e-05,1.840852e-05,1.836909e-05,1.832914e-05,1.828870e-05,1.824785e-05,1.820663e-05,1.816510e-05,1.812329e-05,1.808125e-05,1.803903e-05,1.799666e-05,1.795418e-05,1.791162e-05,1.786902e-05
0.000000e+00,1.740505e-09,3.985398e-09,1.371501e-08,3.122963e-08,4.558367e-08,1.035455e-07,1.066667e-07,2.063907e-07,2.425779e-07,3.547282e-07,4.714682e-07,5.622773e-07,8.142331e-07,8.391215e-07,1.191868e-06,1.288018e-06,1.621186e-06,1.893667e-06,2.123117e-06,2.620527e-06,2.692177e-06,3.323003e-06,3.456133e-06,4.010554e-06,4.388854e-06,4.749863e-06,5.407138e-06,5.535804e-06,6.362992e-06,6.498796e-06,7.225786e-06,7.650869e-06,8.118361e-06,8.849891e-06,9.034807e-06,9.969260e-06,1.008233e-05,1.091601e-05,1.133507e-05,1.186962e-05,1.259580e-05,1.282499e-05,1.377743e-05,1.385337e-05,1.472271e-05,1.509795e-05,1.565705e-05,1.632114e-05,1.657717e-05,1.748023e-05,1.751597e-05,1.836386e-05,1.867682e-05,1.922608e-05,1.979934e-05,2.006530e-05,2.088028e-05,2.167008e-05,2.191739e-05,2.243404e-05,2.290919e-05,2.317171e-05,2.385493e-05,2.388287e-05,2.456746e-05,2.475439e-05,2.522557e-05,2.560781e-05,2.585742e-05,2.641579e-05,2.646331e-05,2.704365e-05,2.717918e-05,2.759890e-05,2.789907e-05,2.812957e-05,2.857668e-05,2.863623e-05,2.911946e-05,2.921335e-05,2.957988e-05,2.981049e-05,3.001811e-05,3.036955e-05,3.043480e-05,3.083059e-05,3.089202e-05,3.120613e-05,3.137938e-05,3.156206e-05,3.183310e-05,3.189901e-05,3.221761e-05,3.225464e-05,3.251849e-05,3.264542e-05,3.280225e-05,3.300684e-05,3.306950e-05,3.332082e-05,3.334025e-05,3.355677e-05,3.364698e-05,3.377793e-05,3.392830e-05,3.398483e-05,3.417799e-05,3.418544e-05,3.435795e-05,3.441959e-05,3.452519e-05,3.463190e-05,3.468020e-05,3.482345e-05,3.495540e-05,3.499531e-05,3.507649e-05,3.514849e-05,3.518715e-05,3.528396e-05,3.528779e-05,3.537882e-05,3.540264e-05,3.546062e-05,3.550543e-05,3.553356e-05,3.559317e-05,3.559802e-05,3.565433e-05,3.566667e-05,3.570284e-05,3.572672e-05,3.574388e-05,3.577405e-05,3.577775e-05,3.580476e-05,3.580937e-05,3.582522e-05,3.583335e-05,3.583939e-05,3.584663e-05,3.584755e-05,3.584996e-05,3.584984e-05,3.584689e-05,3.584353e-05,3.583857e-05,3.582829e-05,3.582523e-05,3.580711e-05,3.580463e-05,3.578443e-05,3.577305e-05,3.575739e-05,3.573405e-05,3.572619e-05,3.569104e-05,3.568806e-05,3.565212e-05,3.563553e-05,3.560960e-05,3.557687e-05,3.556368e-05,3.551450e-05,3.551247e-05,3.546224e-05,3.544270e-05,3.540705e-05,3.536792e-05,3.534908e-05,3.528846e-05,3.520465e-05,3.511678e-05,3.502514e-05,3.493001e-05,3.483165e-05,3.473030e-05,3.462619e-05,3.451956e-05,3.441060e-05,3.429952e-05,3.418650e-05,3.407173e-05,3.395537e-05,3.383759e-05,3.371853e-05,3.359834e-05,3.347715e-05,3.335510e-05,3.323230e-05,3.310887e-05,3.298492e-05,3.286055e-05,3.273585e-05,3.261092e-05
0.000000e+00,2.190351e-09,5.013489e-09,1.718688e-08,3.893049e-08,5.663337e-08,1.273525e-07,1.311317e-07,2.506505e-07,2.935092e-07,4.249137e-07,5.597677e-07,6.635494e-07,9.476377e-07,9.754593e-07,1.366710e-06,1.472610e-06,1.837806e-06,2.134683e-06,2.383448e-06,2.918688e-06,2.995316e-06,3.664634e-06,3.804651e-06,4.383083e-06,4.773458e-06,5.142759e-06,5.807130e-06,5.935989e-06,6.755217e-06,6.888207e-06,7.593015e-06,7.999622e-06,8.442159e-06,9.124992e-06,9.295748e-06,1.014732e-05,1.024908e-05,1.099093e-05,1.135822e-05,1.182130e-05,1.244063e-05,1.263376e-05,1.342437e-05,1.348657e-05,1.418984e-05,1.448839e-05,1.492756e-05,1.544037e-05,1.563549e-05,1.631219e-05,1.633859e-05,1.695667e-05,1.718069e-05,1.756843e-05,1.796565e-05,1.814732e-05,1.869350e-05,1.920741e-05,1.936514e-05,1.968969e-05,1.998213e-05,2.014118e-05,2.054649e-05,2.056280e-05,2.095561e-05,2.106058e-05,2.132071e-05,2.152695e-05,2.165927e-05,2.194830e-05,2.197245e-05,2.226145e-05,2.232735e-05,2.252745e-05,2.266680e-05,2.277162e-05,2.296933e-05,2.299509e-05,2.319897e-05,2.323749e-05,2.338434e-05,2.347377e-05,2.355224e-05,2.368051e-05,2.370367e-05,2.383957e-05,2.385993e-05,2.396086e-05,2.401414e-05,2.406841e-05,2.414511e-05,2.416304e-05,2.424556e-05,2.425468e-05,2.431669e-05,2.434457e-05,2.437715e-05,2.441638e-05,2.442761e-05,2.446871e-05,2.447161e-05,2.450103e-05,2.451164e-05,2.452516e-05,2.453775e-05,2.454162e-05,2.455092e-05,2.455115e-05,2.455354e-05,2.455293e-05,2.454992e-05,2.454411e-05,2.454049e-05,2.452564e-05,2.450577e-05,2.449840e-05,2.448121e-05,2.446318e-05,2.445230e-05,2.442075e-05,2.441935e-05,2.438267e-05,2.437177e-05,2.434254e-05,2.431690e-05,2.429920e-05,2.425672e-05,2.425291e-05,2.420391e-05,2.419176e-05,2.415240e-05,2.412254e-05,2.409860e-05,2.404951e-05,2.404270e-05,2.398487e-05,2.397309e-05,2.392530e-05,2.389369e-05,2.386414e-05,2.381165e-05,2.380155e-05,2.373765e-05,2.372732e-05,2.367260e-05,2.364099e-05,2.360650e-05,2.355296e-05,2.353949e-05,2.347167e-05,2.346348e-05,2.340314e-05,2.337278e-05,2.333400e-05,2.328110e-05,2.326434e-05,2.319425e-05,2.318863e-05,2.312381e-05,2.309555e-05,2.305309e-05,2.300204e-05,2.298217e-05,2.291110e-05,2.290826e-05,2.283996e-05,2.281434e-05,2.276879e-05,2.272042e-05,2.269766e-05,2.262661e-05,2.253304e-05,2.243979e-05,2.234695e-05,2.225462e-05,2.216286e-05,2.207175e-05,2.198135e-05,2.189171e-05,2.180288e-05,2.171491e-05,2.162784e-05,2.154170e-05,2.145653e-05,2.137235e-05,2.128920e-05,2.120708e-05,2.112602e-05,2.104604e-05,2.096714e-05,2.088935e-05,2.081265e-05,2.073708e-05,2.066262e-05,2.058928e-05
0.000000e+00,1.738941e-09,4.170384e-09,1.509225e-08,3.518807e-08,5.180433e-08,1.192990e-07,1.229393e-07,2.390974e-07,2.811010e-07,4.106080e-07,5.443142e-07,6.476197e-07,9.320145e-07,9.600023e-07,1.356982e-06,1.465763e-06,1.846441e-06,2.163109e-06,2.433847e-06,3.033254e-06,3.120904e-06,3.904317e-06,4.071884e-06,4.775374e-06,5.258732e-06,5.720983e-06,6.561742e-06,6.725868e-06,7.774847e-06,7.945836e-06,8.854291e-06,9.379760e-06,9.952590e-06,1.083825e-05,1.106007e-05,1.216870e-05,1.230149e-05,1.327182e-05,1.375398e-05,1.436387e-05,1.518356e-05,1.544025e-05,1.649716e-05,1.658078e-05,1.753153e-05,1.793839e-05,1.854088e-05,1.925102e-05,1.952328e-05,2.047728e-05,2.051483e-05,2.140179e-05,2.172726e-05,2.229611e-05,2.288677e-05,2.315980e-05,2.399267e-05,2.479473e-05,2.504491e-05,2.556617e-05,2.604397e-05,2.630731e-05,2.699068e-05,2.701856e-05,2.770044e-05,2.788619e-05,2.835354e-05,2.873185e-05,2.897849e-05,2.952916e-05,2.957596e-05,3.014667e-05,3.027973e-05,3.069133e-05,3.098523e-05,3.121068e-05,3.164736e-05,3.170546e-05,3.217643e-05,3.226783e-05,3.262432e-05,3.284836e-05,3.304988e-05,3.339063e-05,3.345384e-05,3.383691e-05,3.389631e-05,3.419981e-05,3.436705e-05,3.454324e-05,3.480442e-05,3.486788e-05,3.517439e-05,3.520998e-05,3.546343e-05,3.558524e-05,3.573564e-05,3.593165e-05,3.599165e-05,3.623204e-05,3.625062e-05,3.645742e-05,3.654350e-05,3.666836e-05,3.681161e-05,3.686542e-05,3.704912e-05,3.705620e-05,3.722001e-05,3.727848e-05,3.737858e-05,3.747962e-05,3.752532e-05,3.766073e-05,3.778525e-05,3.782287e-05,3.789934e-05,3.796708e-05,3.800342e-05,3.809432e-05,3.809793e-05,3.818325e-05,3.820555e-05,3.825978e-05,3.830165e-05,3.832791e-05,3.838347e-05,3.838799e-05,3.844038e-05,3.845184e-05,3.848541e-05,3.850754e-05,3.852342e-05,3.855131e-05,3.855472e-05,3.857962e-05,3.858385e-05,3.859841e-05,3.860586e-05,3.861137e-05,3.861796e-05,3.861878e-05,3.862091e-05,3.862077e-05,3.861800e-05,3.861488e-05,3.861030e-05,3.860085e-05,3.859804e-05,3.858146e-05,3.857919e-05,3.856077e-05,3.855041e-05,3.853617e-05,3.851500e-05,3.850788e-05,3.847608e-05,3.847340e-05,3.844097e-05,3.842604e-05,3.840272e-05,3.837333e-05,3.836150e-05,3.831748e-05,3.831566e-05,3.827081e-05,3.825340e-05,3.822166e-05,3.818689e-05,3.817017e-05,3.811648e-05,3.804246e-05,3.796514e-05,3.788480e-05,3.780170e-05,3.771609e-05,3.762822e-05,3.753830e-05,3.744656e-05,3.735318e-05,3.725836e-05,3.716227e-05,3.706509e-05,3.696697e-05,3.686807e-05,3.676851e-05,3.666844e-05,3.656797e-05,3.646723e-05,3.636632e-05,3.626535e-05,3.616440e-05,3.606358e-05,3.596296e-05,3.586263e-05
0.000000e+00,4.475394e-09,1.024063e-08,3.518920e-08,7.999829e-08,1.166442e-07,2.640192e-07,2.719296e-07,5.233880e-07,6.140433e-07,8.931222e-07,1.180845e-06,1.402934e-06,2.013030e-06,2.072924e-06,2.917751e-06,3.147236e-06,3.941195e-06,4.589230e-06,5.133654e-06,6.307878e-06,6.476183e-06,7.946982e-06,8.254665e-06,9.525152e-06,1.038180e-05,1.119152e-05,1.264646e-05,1.292841e-05,1.471941e-05,1.500995e-05,1.654919e-05,1.743706e-05,1.840361e-05,1.989619e-05,2.026979e-05,2.213620e-05,2.235968e-05,2.399268e-05,2.480408e-05,2.583047e-05,2.721008e-05,2.764216e-05,2.942158e-05,2.956238e-05,3.116371e-05,3.184920e-05,3.286458e-05,3.406188e-05,3.452108e-05,3.613093e-05,3.619433e-05,3.769249e-05,3.824262e-05,3.920470e-05,4.020449e-05,4.066696e-05,4.207906e-05,4.344112e-05,4.386646e-05,4.475350e-05,4.556761e-05,4.601678e-05,4.718401e-05,4.723169e-05,4.839911e-05,4.871761e-05,4.952002e-05,5.017066e-05,5.059544e-05,5.154562e-05,5.162650e-05,5.261432e-05,5.284510e-05,5.356009e-05,5.407179e-05,5.446498e-05,5.522842e-05,5.533019e-05,5.615690e-05,5.631773e-05,5.694632e-05,5.734247e-05,5.769961e-05,5.830531e-05,5.841794e-05,5.910246e-05,5.920892e-05,5.975428e-05,6.005587e-05,6.037452e-05,6.084870e-05,6.096426e-05,6.152456e-05,6.158986e-05,6.205644e-05,6.228173e-05,6.256092e-05,6.292660e-05,6.303898e-05,6.349157e-05,6.352670e-05,6.391962e-05,6.408417e-05,6.432403e-05,6.460107e-05,6.470569e-05,6.506544e-05,6.507939e-05,6.540410e-05,6.552102e-05,6.572248e-05,6.592779e-05,6.602135e-05,6.630147e-05,6.656355e-05,6.664372e-05,6.680829e-05,6.695615e-05,6.703639e-05,6.724031e-05,6.724849e-05,6.744524e-05,6.749766e-05,6.762724e-05,6.772961e-05,6.779509e-05,6.793750e-05,6.794936e-05,6.809060e-05,6.812262e-05,6.821935e-05,6.828619e-05,6.833613e-05,6.842938e-05,6.844142e-05,6.853572e-05,6.855330e-05,6.861947e-05,6.865901e-05,6.869314e-05,6.874753e-05,6.875714e-05,6.881190e-05,6.881983e-05,6.885781e-05,6.887681e-05,6.889525e-05,6.891937e-05,6.892461e-05,6.894623e-05,6.894832e-05,6.896046e-05,6.896446e-05,6.896763e-05,6.896856e-05,6.896807e-05,6.896207e-05,6.896132e-05,6.894994e-05,6.894343e-05,6.893196e-05,6.891555e-05,6.890841e-05,6.887954e-05,6.887828e-05,6.884562e-05,6.883222e-05,6.880689e-05,6.877792e-05,6.876358e-05,6.871592e-05,6.864672e-05,6.857079e-05,6.848860e-05,6.840058e-05,6.830713e-05,6.820865e-05,6.810551e-05,6.799805e-05,6.788661e-05,6.777150e-05,6.765302e-05,6.753146e-05,6.740708e-05,6.728014e-05,6.715088e-05,6.701953e-05,6.688630e-05,6.675141e-05,6.661503e-05,6.647737e-05,6.633858e-05,6.619884e-05,6.605830e-05,6.591710e-05
0.000000e+00,1.175654e-09,3.104686e-09,1.269564e-08,3.158468e-08,4.769330e-08,1.149707e-07,1.186481e-07,2.372497e-07,2.805224e-07,4.146305e-07,5.537769e-07,6.615982e-07,9.594136e-07,9.887885e-07,1.406596e-06,1.521452e-06,1.924625e-06,2.261439e-06,2.550389e-06,3.193122e-06,3.287436e-06,4.134000e-06,4.315936e-06,5.083419e-06,5.614614e-06,6.126020e-06,7.065958e-06,7.251058e-06,8.447831e-06,8.645277e-06,9.706045e-06,1.032890e-05,1.101584e-05,1.209441e-05,1.236770e-05,1.375244e-05,1.392039e-05,1.516115e-05,1.578635e-05,1.658526e-05,1.767285e-05,1.801662e-05,1.944752e-05,1.956176e-05,2.087082e-05,2.143651e-05,2.227993e-05,2.328235e-05,2.366892e-05,2.503249e-05,2.508644e-05,2.636599e-05,2.683790e-05,2.766542e-05,2.852783e-05,2.892741e-05,3.014917e-05,3.132847e-05,3.169658e-05,3.246358e-05,3.316626e-05,3.355324e-05,3.455577e-05,3.459661e-05,3.559322e-05,3.586387e-05,3.654292e-05,3.709026e-05,3.744584e-05,3.823553e-05,3.830236e-05,3.911306e-05,3.930089e-05,3.987871e-05,4.028812e-05,4.060020e-05,4.119939e-05,4.127856e-05,4.191489e-05,4.203722e-05,4.251040e-05,4.280433e-05,4.306631e-05,4.350362e-05,4.358392e-05,4.406453e-05,4.413808e-05,4.450946e-05,4.471075e-05,4.492005e-05,4.522468e-05,4.529762e-05,4.564349e-05,4.568292e-05,4.595895e-05,4.608846e-05,4.624530e-05,4.644422e-05,4.650379e-05,4.673564e-05,4.675308e-05,4.694207e-05,4.701778e-05,4.712424e-05,4.724102e-05,4.728329e-05,4.742032e-05,4.742536e-05,4.753642e-05,4.757329e-05,4.763261e-05,4.768716e-05,4.770990e-05,4.776925e-05,4.781161e-05,4.782172e-05,4.783786e-05,4.784661e-05,4.784888e-05,4.784590e-05,4.784550e-05,4.782853e-05,4.782144e-05,4.779873e-05,4.777500e-05,4.775684e-05,4.770824e-05,4.770358e-05,4.763962e-05,4.762275e-05,4.756562e-05,4.752003e-05,4.748220e-05,4.740148e-05,4.738997e-05,4.728949e-05,4.726845e-05,4.718131e-05,4.712219e-05,4.706595e-05,4.696388e-05,4.694392e-05,4.681570e-05,4.679464e-05,4.668173e-05,4.661552e-05,4.654246e-05,4.642750e-05,4.639830e-05,4.624964e-05,4.623152e-05,4.609686e-05,4.602843e-05,4.594033e-05,4.581905e-05,4.578037e-05,4.561732e-05,4.560415e-05,4.545148e-05,4.538443e-05,4.528314e-05,4.516055e-05,4.511259e-05,4.494009e-05,4.493315e-05,4.476588e-05,4.470280e-05,4.459022e-05,4.447004e-05,4.441331e-05,4.423537e-05,4.399926e-05,4.376213e-05,4.352441e-05,4.328644e-05,4.304859e-05,4.281116e-05,4.257445e-05,4.233872e-05,4.210423e-05,4.187120e-05,4.163983e-05,4.141031e-05,4.118282e-05,4.095751e-05,4.073451e-05,4.051396e-05,4.029596e-05,4.008061e-05,3.986801e-05,3.965823e-05,3.945133e-05,3.924737e-05,3.904641e-05,3.884848e-05
0.000000e+00,1.988320e-09,4.565611e-09,1.573256e-08,3.577974e-08,5.215732e-08,1.178732e-07,1.213945e-07,2.330733e-07,2.732319e-07,3.966032e-07,5.235117e-07,6.213626e-07,8.901905e-07,9.166136e-07,1.290802e-06,1.393102e-06,1.749921e-06,2.044896e-06,2.295438e-06,2.844063e-06,2.923575e-06,3.626854e-06,3.775753e-06,4.396434e-06,4.819885e-06,5.223540e-06,5.956694e-06,6.099892e-06,7.017650e-06,7.167827e-06,7.969284e-06,8.435947e-06,8.947485e-06,9.744398e-06,9.945157e-06,1.095546e-05,1.107723e-05,1.197185e-05,1.241940e-05,1.298821e-05,1.375711e-05,1.399886e-05,1.499863e-05,1.507800e-05,1.598291e-05,1.637136e-05,1.694765e-05,1.762819e-05,1.788938e-05,1.880517e-05,1.884122e-05,1.969261e-05,2.000478e-05,2.054982e-05,2.111469e-05,2.137533e-05,2.216809e-05,2.292744e-05,2.316330e-05,2.365299e-05,2.409956e-05,2.434467e-05,2.497695e-05,2.500262e-05,2.562720e-05,2.579617e-05,2.621892e-05,2.655844e-05,2.677842e-05,2.726537e-05,2.730647e-05,2.780391e-05,2.791883e-05,2.827163e-05,2.852094e-05,2.871061e-05,2.907391e-05,2.912183e-05,2.950629e-05,2.958006e-05,2.986501e-05,3.004171e-05,3.019901e-05,3.046120e-05,3.050930e-05,3.079688e-05,3.084085e-05,3.106273e-05,3.118291e-05,3.130783e-05,3.148958e-05,3.153310e-05,3.173946e-05,3.176299e-05,3.192779e-05,3.200517e-05,3.209897e-05,3.221809e-05,3.225381e-05,3.239312e-05,3.240362e-05,3.251767e-05,3.256353e-05,3.262821e-05,3.269952e-05,3.272544e-05,3.281006e-05,3.281319e-05,3.288272e-05,3.290607e-05,3.294405e-05,3.297960e-05,3.299466e-05,3.303512e-05,3.306599e-05,3.307394e-05,3.308780e-05,3.309724e-05,3.310106e-05,3.310618e-05,3.310624e-05,3.310381e-05,3.310182e-05,3.309420e-05,3.308517e-05,3.307785e-05,3.305718e-05,3.305514e-05,3.302647e-05,3.301874e-05,3.299219e-05,3.297068e-05,3.295265e-05,3.291378e-05,3.290819e-05,3.285912e-05,3.284878e-05,3.280574e-05,3.277637e-05,3.274833e-05,3.269719e-05,3.268716e-05,3.262250e-05,3.261185e-05,3.255459e-05,3.252091e-05,3.248367e-05,3.242490e-05,3.240994e-05,3.233363e-05,3.232431e-05,3.225494e-05,3.221961e-05,3.217406e-05,3.211123e-05,3.209116e-05,3.200642e-05,3.199957e-05,3.192000e-05,3.188500e-05,3.183206e-05,3.176788e-05,3.174274e-05,3.165218e-05,3.164853e-05,3.156051e-05,3.152726e-05,3.146785e-05,3.140435e-05,3.137433e-05,3.128006e-05,3.115464e-05,3.102831e-05,3.090130e-05,3.077378e-05,3.064596e-05,3.051798e-05,3.039002e-05,3.026220e-05,3.013467e-05,3.000754e-05,2.988093e-05,2.975493e-05,2.962966e-05,2.950518e-05,2.938159e-05,2.925895e-05,2.913733e-05,2.901679e-05,2.889738e-05,2.877915e-05,2.866215e-05,2.854641e-05,2.843197e-05,2.831885e-05
0.000000e+00,9.691361e-10,2.811559e-09,1.351078e-08,3.781077e-08,6.037317e-08,1.647207e-07,1.707651e-07,3.785840e-07,4.594619e-07,7.235119e-07,1.015589e-06,1.252716e-06,1.947895e-06,2.019172e-06,3.070949e-06,3.369336e-06,4.433593e-06,5.331581e-06,6.101832e-06,7.801091e-06,8.048163e-06,1.023665e-05,1.070023e-05,1.263187e-05,1.394841e-05,1.520217e-05,1.747607e-05,1.791972e-05,2.075960e-05,2.122377e-05,2.369869e-05,2.513820e-05,2.671497e-05,2.916925e-05,2.978716e-05,3.289462e-05,3.326893e-05,3.601749e-05,3.739153e-05,3.913691e-05,4.149443e-05,4.223519e-05,4.529604e-05,4.553883e-05,4.830474e-05,4.949066e-05,5.124831e-05,5.332096e-05,5.411549e-05,5.689680e-05,5.700615e-05,5.958442e-05,6.052779e-05,6.217217e-05,6.387238e-05,6.465543e-05,6.703098e-05,6.929678e-05,6.999848e-05,7.145190e-05,7.277307e-05,7.349637e-05,7.535572e-05,7.543102e-05,7.725733e-05,7.774955e-05,7.897733e-05,7.995931e-05,8.059349e-05,8.199107e-05,8.210864e-05,8.352586e-05,8.385179e-05,8.484845e-05,8.554903e-05,8.607981e-05,8.709073e-05,8.722345e-05,8.828292e-05,8.848503e-05,8.926177e-05,8.974008e-05,9.016353e-05,9.086398e-05,9.099168e-05,9.174965e-05,9.186463e-05,9.244077e-05,9.274972e-05,9.306829e-05,9.352664e-05,9.363537e-05,9.414506e-05,9.420251e-05,9.460031e-05,9.478410e-05,9.500394e-05,9.527786e-05,9.535868e-05,9.566716e-05,9.568991e-05,9.593187e-05,9.602604e-05,9.615521e-05,9.629170e-05,9.633948e-05,9.648687e-05,9.649203e-05,9.659948e-05,9.663189e-05,9.667929e-05,9.671581e-05,9.672822e-05,9.674807e-05,9.674058e-05,9.673267e-05,9.670738e-05,9.667336e-05,9.665004e-05,9.657366e-05,9.657004e-05,9.646881e-05,9.643684e-05,9.634768e-05,9.626598e-05,9.620793e-05,9.606395e-05,9.605077e-05,9.587735e-05,9.583344e-05,9.568877e-05,9.557693e-05,9.548606e-05,9.529677e-05,9.527021e-05,9.504214e-05,9.499514e-05,9.480275e-05,9.467407e-05,9.455287e-05,9.433544e-05,9.429329e-05,9.402477e-05,9.398102e-05,9.374802e-05,9.361245e-05,9.346371e-05,9.323126e-05,9.317249e-05,9.287496e-05,9.283885e-05,9.257168e-05,9.243657e-05,9.226321e-05,9.202561e-05,9.195006e-05,9.163270e-05,9.160714e-05,9.131159e-05,9.118220e-05,9.098717e-05,9.075177e-05,9.065985e-05,9.033001e-05,9.031676e-05,8.999800e-05,8.987802e-05,8.966419e-05,8.943632e-05,8.932888e-05,8.899239e-05,8.854689e-05,8.810043e-05,8.765359e-05,8.720689e-05,8.676081e-05,8.631579e-05,8.587225e-05,8.543056e-05,8.499105e-05,8.455405e-05,8.411984e-05,8.368868e-05,8.326080e-05,8.283643e-05,8.241575e-05,8.199895e-05,8.158617e-05,8.117757e-05,8.077325e-05,8.037335e-05,7.997794e-05,7.958713e-05,7.920097e-05,7.881954e-05
0.000000e+00,9.590799e-10,2.749537e-09,1.290391e-08,3.537406e-08,5.585962e-08,1.481614e-07,1.534222e-07,3.306749e-07,3.981951e-07,6.145701e-07,8.482656e-07,1.034541e-06,1.566665e-06,1.620221e-06,2.393342e-06,2.607722e-06,3.358809e-06,3.979675e-06,4.505225e-06,5.648341e-06,5.813124e-06,7.261978e-06,7.566973e-06,8.833000e-06,9.692554e-06,1.050932e-05,1.198732e-05,1.227527e-05,1.411567e-05,1.441604e-05,1.601542e-05,1.694391e-05,1.795928e-05,1.953589e-05,1.993202e-05,2.191852e-05,2.215712e-05,2.390408e-05,2.477378e-05,2.587465e-05,2.735415e-05,2.781712e-05,2.971954e-05,2.986968e-05,3.157128e-05,3.229565e-05,3.336306e-05,3.461159e-05,3.508709e-05,3.673702e-05,3.680140e-05,3.830786e-05,3.885327e-05,3.979597e-05,4.075934e-05,4.119892e-05,4.251535e-05,4.374491e-05,4.412008e-05,4.488809e-05,4.557491e-05,4.594608e-05,4.688328e-05,4.692069e-05,4.781422e-05,4.805023e-05,4.862934e-05,4.908201e-05,4.936903e-05,4.998568e-05,5.003650e-05,5.063506e-05,5.076885e-05,5.116816e-05,5.143939e-05,5.163925e-05,5.200526e-05,5.205178e-05,5.240917e-05,5.247433e-05,5.271477e-05,5.285429e-05,5.297182e-05,5.315254e-05,5.318348e-05,5.335279e-05,5.337614e-05,5.348263e-05,5.353177e-05,5.357580e-05,5.362571e-05,5.363493e-05,5.366253e-05,5.366383e-05,5.366096e-05,5.365161e-05,5.363246e-05,5.359409e-05,5.357914e-05,5.350298e-05,5.349596e-05,5.340586e-05,5.336154e-05,5.328953e-05,5.319479e-05,5.315561e-05,5.300565e-05,5.299934e-05,5.284108e-05,5.277852e-05,5.266324e-05,5.253537e-05,5.247338e-05,5.227267e-05,5.206219e-05,5.199293e-05,5.184295e-05,5.169847e-05,5.161589e-05,5.139138e-05,5.138189e-05,5.114177e-05,5.107354e-05,5.089627e-05,5.074669e-05,5.064610e-05,5.041238e-05,5.039191e-05,5.013430e-05,5.007203e-05,4.987383e-05,4.972690e-05,4.961101e-05,4.937816e-05,4.934632e-05,4.908020e-05,4.902684e-05,4.881306e-05,4.867387e-05,4.854528e-05,4.832010e-05,4.827720e-05,4.800914e-05,4.796627e-05,4.774139e-05,4.761306e-05,4.747422e-05,4.726107e-05,4.720788e-05,4.694260e-05,4.691085e-05,4.667858e-05,4.656287e-05,4.641602e-05,4.621754e-05,4.615507e-05,4.589591e-05,4.587526e-05,4.563867e-05,4.553634e-05,4.538348e-05,4.520107e-05,4.513045e-05,4.487970e-05,4.486971e-05,4.463131e-05,4.454248e-05,4.438536e-05,4.421956e-05,4.414194e-05,4.390111e-05,4.358726e-05,4.327814e-05,4.297382e-05,4.267439e-05,4.237989e-05,4.209037e-05,4.180586e-05,4.152637e-05,4.125190e-05,4.098245e-05,4.071800e-05,4.045853e-05,4.020400e-05,3.995439e-05,3.970964e-05,3.946972e-05,3.923457e-05,3.900414e-05,3.877836e-05,3.855717e-05,3.834052e-05,3.812833e-05,3.792054e-05,3.771707e-05
0.000000e+00,3.382184e-09,7.733061e-09,2.653498e-08,6.025607e-08,8.781026e-08,1.985354e-07,2.044770e-07,3.933925e-07,4.615482e-07,6.716281e-07,8.887411e-07,1.056758e-06,1.520527e-06,1.566245e-06,2.214965e-06,2.392441e-06,3.010420e-06,3.518861e-06,3.948273e-06,4.879358e-06,5.013194e-06,6.184762e-06,6.430060e-06,7.442777e-06,8.125049e-06,8.769272e-06,9.924891e-06,1.014852e-05,1.156652e-05,1.179613e-05,1.301057e-05,1.370951e-05,1.446906e-05,1.563911e-05,1.593143e-05,1.738815e-05,1.756216e-05,1.883076e-05,1.945909e-05,2.025187e-05,2.131362e-05,2.164517e-05,2.300537e-05,2.311262e-05,2.432815e-05,2.484598e-05,2.561006e-05,2.650622e-05,2.684847e-05,2.804147e-05,2.808823e-05,2.918775e-05,2.958882e-05,3.028656e-05,3.100646e-05,3.133758e-05,3.234084e-05,3.329669e-05,3.359264e-05,3.420574e-05,3.476335e-05,3.506881e-05,3.585500e-05,3.588687e-05,3.666099e-05,3.687003e-05,3.739237e-05,3.781120e-05,3.808226e-05,3.868144e-05,3.873197e-05,3.934281e-05,3.948377e-05,3.991613e-05,4.022131e-05,4.045329e-05,4.089716e-05,4.095565e-05,4.142454e-05,4.151441e-05,4.186126e-05,4.207608e-05,4.226712e-05,4.258509e-05,4.264335e-05,4.299121e-05,4.304431e-05,4.331188e-05,4.345650e-05,4.360655e-05,4.382433e-05,4.387635e-05,4.412238e-05,4.415035e-05,4.434570e-05,4.443703e-05,4.454735e-05,4.468672e-05,4.472832e-05,4.488958e-05,4.490166e-05,4.503206e-05,4.508399e-05,4.515665e-05,4.523577e-05,4.526422e-05,4.535560e-05,4.535892e-05,4.543158e-05,4.545531e-05,4.549293e-05,4.552668e-05,4.554040e-05,4.557469e-05,4.559649e-05,4.560094e-05,4.560645e-05,4.560690e-05,4.560520e-05,4.559400e-05,4.559333e-05,4.557143e-05,4.556358e-05,4.554005e-05,4.551690e-05,4.549972e-05,4.545515e-05,4.545095e-05,4.539422e-05,4.537948e-05,4.533000e-05,4.529093e-05,4.525873e-05,4.519052e-05,4.518084e-05,4.509673e-05,4.507920e-05,4.500679e-05,4.495785e-05,4.491140e-05,4.482732e-05,4.481091e-05,4.470565e-05,4.468839e-05,4.459596e-05,4.454182e-05,4.448213e-05,4.438830e-05,4.436447e-05,4.424326e-05,4.422849e-05,4.411875e-05,4.406300e-05,4.399122e-05,4.389241e-05,4.386089e-05,4.372801e-05,4.371728e-05,4.359279e-05,4.353809e-05,4.345544e-05,4.335535e-05,4.331617e-05,4.317515e-05,4.316948e-05,4.303258e-05,4.298091e-05,4.288862e-05,4.279003e-05,4.274344e-05,4.259720e-05,4.240276e-05,4.220704e-05,4.201032e-05,4.181289e-05,4.161500e-05,4.141689e-05,4.121878e-05,4.102088e-05,4.082338e-05,4.062645e-05,4.043026e-05,4.023496e-05,4.004068e-05,3.984756e-05,3.965571e-05,3.946523e-05,3.927623e-05,3.908880e-05,3.890301e-05,3.871895e-05,3.853666e-05,3.835623e-05,3.817769e-05,3.800109e-05
0.000000e+00,1.892623e-09,5.199303e-09,2.260603e-08,5.848528e-08,8.981426e-08,2.238933e-07,2.313182e-07,4.739890e-07,5.637306e-07,8.449594e-07,1.141015e-06,1.373063e-06,2.024627e-06,2.089668e-06,3.027530e-06,3.288955e-06,4.215554e-06,4.996700e-06,5.669109e-06,7.163324e-06,7.381786e-06,9.326964e-06,9.740718e-06,1.146789e-05,1.264605e-05,1.376743e-05,1.579738e-05,1.619265e-05,1.871548e-05,1.912653e-05,2.131172e-05,2.257760e-05,2.395988e-05,2.610254e-05,2.664031e-05,2.933466e-05,2.965809e-05,3.202572e-05,3.320452e-05,3.469725e-05,3.670520e-05,3.733412e-05,3.992240e-05,4.012697e-05,4.244943e-05,4.344052e-05,4.490394e-05,4.662072e-05,4.727613e-05,4.955765e-05,4.964693e-05,5.174164e-05,5.250291e-05,5.382263e-05,5.517673e-05,5.579653e-05,5.766049e-05,5.941289e-05,5.994997e-05,6.105317e-05,6.204426e-05,6.258173e-05,6.394514e-05,6.399975e-05,6.530898e-05,6.565638e-05,6.651184e-05,6.718372e-05,6.761130e-05,6.853433e-05,6.861068e-05,6.951358e-05,6.971635e-05,7.032389e-05,7.073870e-05,7.104561e-05,7.161071e-05,7.168285e-05,7.223977e-05,7.234188e-05,7.272054e-05,7.294183e-05,7.312933e-05,7.342006e-05,7.347021e-05,7.374719e-05,7.378584e-05,7.396416e-05,7.404811e-05,7.412492e-05,7.421550e-05,7.423311e-05,7.429225e-05,7.429621e-05,7.430571e-05,7.429801e-05,7.427673e-05,7.422822e-05,7.420838e-05,7.410360e-05,7.409373e-05,7.396516e-05,7.390096e-05,7.379571e-05,7.365591e-05,7.359775e-05,7.337365e-05,7.336417e-05,7.312564e-05,7.303091e-05,7.285583e-05,7.266091e-05,7.256619e-05,7.225858e-05,7.193477e-05,7.182799e-05,7.159638e-05,7.137287e-05,7.124495e-05,7.089666e-05,7.088194e-05,7.050867e-05,7.040249e-05,7.012642e-05,6.989324e-05,6.973635e-05,6.937153e-05,6.933957e-05,6.893709e-05,6.883975e-05,6.852986e-05,6.830006e-05,6.811876e-05,6.775445e-05,6.770462e-05,6.728819e-05,6.720470e-05,6.687019e-05,6.665241e-05,6.645125e-05,6.609906e-05,6.603198e-05,6.561294e-05,6.554595e-05,6.519464e-05,6.499426e-05,6.477755e-05,6.444504e-05,6.436210e-05,6.394869e-05,6.389923e-05,6.353767e-05,6.335767e-05,6.312938e-05,6.282110e-05,6.272413e-05,6.232217e-05,6.229017e-05,6.192377e-05,6.176545e-05,6.152913e-05,6.124744e-05,6.113847e-05,6.075195e-05,6.073658e-05,6.036975e-05,6.023323e-05,5.999199e-05,5.973771e-05,5.961880e-05,5.925029e-05,5.877117e-05,5.830054e-05,5.783854e-05,5.738527e-05,5.694081e-05,5.650519e-05,5.607844e-05,5.566056e-05,5.525152e-05,5.485128e-05,5.445980e-05,5.407698e-05,5.370276e-05,5.333703e-05,5.297970e-05,5.263064e-05,5.228975e-05,5.195689e-05,5.163194e-05,5.131475e-05,5.100519e-05,5.070312e-05,5.040839e-05,5.012086e-05
0.000000e+00,1.817888e-09,5.062609e-09,2.255607e-08,5.946990e-08,9.219245e-08,2.350629e-07,2.430727e-07,5.087918e-07,6.086371e-07,9.258043e-07,1.265445e-06,1.535018e-06,2.304246e-06,2.381852e-06,3.512873e-06,3.831254e-06,4.966758e-06,5.929477e-06,6.760176e-06,8.607191e-06,8.876975e-06,1.127173e-05,1.177890e-05,1.388562e-05,1.531217e-05,1.666155e-05,1.908299e-05,1.955131e-05,2.251631e-05,2.299554e-05,2.552574e-05,2.697850e-05,2.855449e-05,3.097718e-05,3.158157e-05,3.458921e-05,3.494807e-05,3.756215e-05,3.885584e-05,4.048743e-05,4.267193e-05,4.335405e-05,4.615287e-05,4.637361e-05,4.887642e-05,4.994339e-05,5.151876e-05,5.336833e-05,5.407529e-05,5.654262e-05,5.663943e-05,5.891845e-05,5.975105e-05,6.120136e-05,6.270032e-05,6.339073e-05,6.548663e-05,6.748966e-05,6.811118e-05,6.940086e-05,7.057649e-05,7.122166e-05,7.288618e-05,7.295379e-05,7.459922e-05,7.504469e-05,7.616008e-05,7.705694e-05,7.763863e-05,7.892819e-05,7.903718e-05,8.035817e-05,8.066394e-05,8.160405e-05,8.226986e-05,8.277729e-05,8.375162e-05,8.388036e-05,8.491570e-05,8.511485e-05,8.588573e-05,8.636515e-05,8.679287e-05,8.750800e-05,8.763948e-05,8.842789e-05,8.854879e-05,8.916037e-05,8.949274e-05,8.983913e-05,9.034492e-05,9.046634e-05,9.104412e-05,9.111023e-05,9.157452e-05,9.179340e-05,9.205953e-05,9.239897e-05,9.250108e-05,9.290107e-05,9.293132e-05,9.326129e-05,9.339465e-05,9.358352e-05,9.379296e-05,9.386946e-05,9.412076e-05,9.413011e-05,9.433900e-05,9.440978e-05,9.452573e-05,9.463546e-05,9.468242e-05,9.481051e-05,9.491136e-05,9.493811e-05,9.498632e-05,9.502130e-05,9.503667e-05,9.506298e-05,9.506362e-05,9.506837e-05,9.506588e-05,9.505206e-05,9.503263e-05,9.501579e-05,9.496569e-05,9.496060e-05,9.488752e-05,9.486743e-05,9.479751e-05,9.474007e-05,9.469152e-05,9.458573e-05,9.457043e-05,9.443510e-05,9.440640e-05,9.428637e-05,9.420400e-05,9.412503e-05,9.398030e-05,9.395182e-05,9.376749e-05,9.373701e-05,9.357272e-05,9.347573e-05,9.336819e-05,9.319796e-05,9.315453e-05,9.293236e-05,9.290515e-05,9.270225e-05,9.259864e-05,9.246478e-05,9.227970e-05,9.222047e-05,9.196983e-05,9.194953e-05,9.171336e-05,9.160925e-05,9.145152e-05,9.125993e-05,9.118476e-05,9.091350e-05,9.090256e-05,9.063814e-05,9.053809e-05,9.035908e-05,9.016739e-05,9.007669e-05,8.979130e-05,8.941059e-05,8.902598e-05,8.863816e-05,8.824776e-05,8.785539e-05,8.746159e-05,8.706689e-05,8.667177e-05,8.627668e-05,8.588204e-05,8.548824e-05,8.509565e-05,8.470460e-05,8.431539e-05,8.392831e-05,8.354364e-05,8.316160e-05,8.278243e-05,8.240632e-05,8.203347e-05,8.166404e-05,8.129819e-05,8.093605e-05,8.057776e-05
0.000000e+00,2.632760e-09,7.842546e-09,3.980616e-08,1.171650e-07,1.924358e-07,5.662318e-07,5.888708e-07,1.413786e-06,1.754705e-06,2.926161e-06,4.303525e-06,5.469545e-06,9.055934e-06,9.433922e-06,1.514256e-05,1.679309e-05,2.274772e-05,2.783361e-05,3.223185e-05,4.203544e-05,4.347140e-05,5.629371e-05,5.903151e-05,7.050924e-05,7.838829e-05,8.592674e-05,9.966936e-05,1.023592e-04,1.196261e-04,1.224545e-04,1.375537e-04,1.463445e-04,1.559759e-04,1.709631e-04,1.747344e-04,1.936800e-04,1.959593e-04,2.126730e-04,2.210112e-04,2.315842e-04,2.458289e-04,2.502956e-04,2.687017e-04,2.701581e-04,2.867094e-04,2.937825e-04,3.042382e-04,3.165236e-04,3.212198e-04,3.375981e-04,3.382400e-04,3.533281e-04,3.588252e-04,3.683753e-04,3.782044e-04,3.827149e-04,3.963307e-04,4.092146e-04,4.131823e-04,4.213647e-04,4.287574e-04,4.327852e-04,4.430708e-04,4.434851e-04,4.534777e-04,4.561511e-04,4.627796e-04,4.680371e-04,4.714102e-04,4.787759e-04,4.793910e-04,4.867453e-04,4.884198e-04,4.934973e-04,4.970247e-04,4.996722e-04,5.046489e-04,5.052954e-04,5.103927e-04,5.113512e-04,5.149895e-04,5.171905e-04,5.191113e-04,5.222246e-04,5.227828e-04,5.260284e-04,5.265097e-04,5.288715e-04,5.301001e-04,5.313352e-04,5.330477e-04,5.334413e-04,5.352112e-04,5.354020e-04,5.366652e-04,5.372099e-04,5.378228e-04,5.385158e-04,5.387026e-04,5.393224e-04,5.393613e-04,5.396990e-04,5.397852e-04,5.398486e-04,5.398243e-04,5.397863e-04,5.395267e-04,5.395124e-04,5.390833e-04,5.388813e-04,5.384692e-04,5.379604e-04,5.376966e-04,5.367771e-04,5.357215e-04,5.353567e-04,5.345402e-04,5.337226e-04,5.332428e-04,5.318967e-04,5.318385e-04,5.303360e-04,5.298988e-04,5.287432e-04,5.277475e-04,5.270679e-04,5.254598e-04,5.253171e-04,5.234977e-04,5.230515e-04,5.216159e-04,5.205371e-04,5.196777e-04,5.179299e-04,5.176887e-04,5.156540e-04,5.152420e-04,5.135786e-04,5.124849e-04,5.114672e-04,5.096688e-04,5.093239e-04,5.071528e-04,5.068031e-04,5.049577e-04,5.038966e-04,5.027422e-04,5.009573e-04,5.005095e-04,4.982628e-04,4.979924e-04,4.960049e-04,4.950085e-04,4.937385e-04,4.920119e-04,4.914661e-04,4.891901e-04,4.890079e-04,4.869127e-04,4.860018e-04,4.846358e-04,4.829980e-04,4.823615e-04,4.800914e-04,4.800007e-04,4.778272e-04,4.770138e-04,4.755704e-04,4.740408e-04,4.733224e-04,4.710846e-04,4.681481e-04,4.652339e-04,4.623441e-04,4.594809e-04,4.566459e-04,4.538409e-04,4.510673e-04,4.483262e-04,4.456187e-04,4.429459e-04,4.403084e-04,4.377071e-04,4.351423e-04,4.326147e-04,4.301245e-04,4.276721e-04,4.252577e-04,4.228813e-04,4.205431e-04,4.182430e-04,4.159809e-04,4.137569e-04,4.115707e-04,4.094221e-04
0.000000e+00,1.102122e-09,3.182761e-09,1.514565e-08,4.199309e-08,6.669667e-08,1.793663e-07,1.858342e-07,4.055895e-07,4.900184e-07,7.625171e-07,1.059546e-06,1.298066e-06,1.987606e-06,2.057678e-06,3.082912e-06,3.371548e-06,4.395415e-06,5.253269e-06,5.984678e-06,7.582530e-06,7.812929e-06,9.830757e-06,1.025271e-05,1.198982e-05,1.315420e-05,1.424841e-05,1.619711e-05,1.657202e-05,1.893211e-05,1.931143e-05,2.130438e-05,2.244107e-05,2.366758e-05,2.553873e-05,2.600264e-05,2.829236e-05,2.856332e-05,3.052119e-05,3.147896e-05,3.267531e-05,3.425502e-05,3.474271e-05,3.671325e-05,3.686644e-05,3.857870e-05,3.929399e-05,4.033278e-05,4.152420e-05,4.197106e-05,4.349085e-05,4.354916e-05,4.489106e-05,4.536588e-05,4.617199e-05,4.697566e-05,4.733525e-05,4.838354e-05,4.932047e-05,4.959746e-05,5.015033e-05,5.062743e-05,5.087788e-05,5.148489e-05,5.150831e-05,5.204707e-05,5.218226e-05,5.249976e-05,5.273236e-05,5.287189e-05,5.314781e-05,5.316894e-05,5.339630e-05,5.344108e-05,5.355923e-05,5.362422e-05,5.366278e-05,5.370860e-05,5.371175e-05,5.371078e-05,5.370497e-05,5.366419e-05,5.362331e-05,5.357609e-05,5.347278e-05,5.345026e-05,5.329028e-05,5.326174e-05,5.309948e-05,5.299786e-05,5.288094e-05,5.268807e-05,5.263753e-05,5.237190e-05,5.233865e-05,5.208650e-05,5.195524e-05,5.178356e-05,5.154289e-05,5.146517e-05,5.113323e-05,5.110614e-05,5.078948e-05,5.064904e-05,5.043552e-05,5.017518e-05,5.007283e-05,4.970272e-05,4.968778e-05,4.932644e-05,4.918969e-05,4.894510e-05,4.868341e-05,4.855970e-05,4.817119e-05,4.778040e-05,4.765500e-05,4.738810e-05,4.713656e-05,4.699498e-05,4.661740e-05,4.660167e-05,4.620873e-05,4.609885e-05,4.581669e-05,4.558209e-05,4.542601e-05,4.506814e-05,4.503710e-05,4.465033e-05,4.455786e-05,4.426605e-05,4.405205e-05,4.388454e-05,4.355134e-05,4.350609e-05,4.313092e-05,4.305630e-05,4.275924e-05,4.256742e-05,4.239125e-05,4.208510e-05,4.202710e-05,4.166692e-05,4.160968e-05,4.131086e-05,4.114143e-05,4.095900e-05,4.068060e-05,4.061144e-05,4.026824e-05,4.022736e-05,3.992948e-05,3.978184e-05,3.959519e-05,3.934414e-05,3.926541e-05,3.894016e-05,3.891434e-05,3.861948e-05,3.849248e-05,3.830335e-05,3.807857e-05,3.799179e-05,3.768479e-05,3.767261e-05,3.738234e-05,3.727457e-05,3.708442e-05,3.688440e-05,3.679100e-05,3.650206e-05,3.612748e-05,3.576056e-05,3.540122e-05,3.504935e-05,3.470487e-05,3.436764e-05,3.403756e-05,3.371450e-05,3.339834e-05,3.308895e-05,3.278621e-05,3.248998e-05,3.220013e-05,3.191654e-05,3.163907e-05,3.136759e-05,3.110196e-05,3.084207e-05,3.058777e-05,3.033896e-05,3.009548e-05,2.985724e-05,2.962409e-05,2.939593e-05
0.000000e+00,2.435695e-09,6.689401e-09,2.910643e-08,7.545714e-08,1.160670e-07,2.910130e-07,3.007479e-07,6.210868e-07,7.404644e-07,1.117087e-06,1.516870e-06,1.832035e-06,2.722819e-06,2.812075e-06,4.102467e-06,4.462654e-06,5.738486e-06,6.811295e-06,7.731745e-06,9.764951e-06,1.006069e-05,1.267604e-05,1.322819e-05,1.551768e-05,1.706562e-05,1.852900e-05,2.115458e-05,2.166244e-05,2.487911e-05,2.539926e-05,2.814671e-05,2.972501e-05,3.143768e-05,3.407105e-05,3.472802e-05,3.799667e-05,3.838655e-05,4.122518e-05,4.262880e-05,4.439755e-05,4.676255e-05,4.750016e-05,5.052161e-05,5.075952e-05,5.345260e-05,5.459795e-05,5.628577e-05,5.826190e-05,5.901556e-05,6.163787e-05,6.174048e-05,6.414988e-05,6.502689e-05,6.655012e-05,6.811813e-05,6.883805e-05,7.101395e-05,7.307890e-05,7.371649e-05,7.503445e-05,7.622951e-05,7.688262e-05,7.855803e-05,7.862577e-05,8.026659e-05,8.070806e-05,8.180794e-05,8.268626e-05,8.325285e-05,8.449968e-05,8.460445e-05,8.586594e-05,8.615565e-05,8.704055e-05,8.766159e-05,8.813153e-05,8.902496e-05,8.914209e-05,9.007543e-05,9.025311e-05,9.093471e-05,9.135329e-05,9.172302e-05,9.233258e-05,9.244340e-05,9.309881e-05,9.319784e-05,9.369215e-05,9.395573e-05,9.422622e-05,9.461266e-05,9.470377e-05,9.512745e-05,9.517479e-05,9.549982e-05,9.564806e-05,9.582338e-05,9.603811e-05,9.610052e-05,9.633357e-05,9.635037e-05,9.652476e-05,9.659000e-05,9.667625e-05,9.676192e-05,9.679013e-05,9.686839e-05,9.687081e-05,9.691296e-05,9.692112e-05,9.692569e-05,9.691707e-05,9.690836e-05,9.686267e-05,9.679026e-05,9.676171e-05,9.669270e-05,9.661777e-05,9.657151e-05,9.643425e-05,9.642811e-05,9.626389e-05,9.621436e-05,9.608017e-05,9.596111e-05,9.587823e-05,9.567737e-05,9.565925e-05,9.542441e-05,9.536582e-05,9.517481e-05,9.502898e-05,9.491149e-05,9.466923e-05,9.463547e-05,9.434770e-05,9.428882e-05,9.404909e-05,9.388983e-05,9.374053e-05,9.347424e-05,9.342283e-05,9.309678e-05,9.304389e-05,9.276315e-05,9.260052e-05,9.242263e-05,9.214573e-05,9.207592e-05,9.172365e-05,9.168103e-05,9.136644e-05,9.120785e-05,9.100487e-05,9.072749e-05,9.063948e-05,9.027080e-05,9.024118e-05,8.989933e-05,8.975007e-05,8.952553e-05,8.925520e-05,8.914985e-05,8.877269e-05,8.875758e-05,8.839446e-05,8.825811e-05,8.801553e-05,8.775763e-05,8.763625e-05,8.725694e-05,8.675675e-05,8.625773e-05,8.576049e-05,8.526560e-05,8.477356e-05,8.428486e-05,8.379991e-05,8.331912e-05,8.284283e-05,8.237136e-05,8.190501e-05,8.144403e-05,8.098866e-05,8.053909e-05,8.009550e-05,7.965805e-05,7.922687e-05,7.880208e-05,7.838378e-05,7.797205e-05,7.756694e-05,7.716850e-05,7.677678e-05,7.639180e-05
0.000000e+00,2.109582e-09,6.308349e-09,3.221337e-08,9.502902e-08,1.559998e-07,4.551790e-07,4.731017e-07,1.112568e-06,1.370110e-06,2.231717e-06,3.209569e-06,4.016138e-06,6.423862e-06,6.673610e-06,1.041260e-05,1.149176e-05,1.541297e-05,1.881685e-05,2.181144e-05,2.867617e-05,2.970468e-05,3.915756e-05,4.123916e-05,5.020946e-05,5.659496e-05,6.287773e-05,7.476660e-05,7.715939e-05,9.303201e-05,9.571678e-05,1.104544e-04,1.193510e-04,1.293676e-04,1.455212e-04,1.496959e-04,1.713489e-04,1.740315e-04,1.942231e-04,2.046456e-04,2.182045e-04,2.370958e-04,2.431707e-04,2.689940e-04,2.710930e-04,2.955432e-04,3.063365e-04,3.226863e-04,3.425238e-04,3.502929e-04,3.782352e-04,3.793581e-04,4.063907e-04,4.165562e-04,4.346427e-04,4.538530e-04,4.628818e-04,4.910062e-04,5.189226e-04,5.277979e-04,5.465464e-04,5.640366e-04,5.738016e-04,5.995571e-04,6.006207e-04,6.269447e-04,6.342195e-04,6.527223e-04,6.679083e-04,6.779102e-04,7.005308e-04,7.024720e-04,7.263778e-04,7.320148e-04,7.496039e-04,7.623067e-04,7.721322e-04,7.913693e-04,7.939495e-04,8.150471e-04,8.191798e-04,8.354205e-04,8.457280e-04,8.550687e-04,8.710140e-04,8.739935e-04,8.921999e-04,8.950467e-04,9.096949e-04,9.178425e-04,9.264878e-04,9.394237e-04,9.425893e-04,9.580118e-04,9.598175e-04,9.727687e-04,9.790546e-04,9.868745e-04,9.971689e-04,1.000344e-03,1.013194e-03,1.014196e-03,1.025440e-03,1.030174e-03,1.037099e-03,1.045140e-03,1.048188e-03,1.058723e-03,1.059133e-03,1.068721e-03,1.072192e-03,1.078199e-03,1.084356e-03,1.087174e-03,1.095662e-03,1.103680e-03,1.106149e-03,1.111243e-03,1.115852e-03,1.118368e-03,1.124808e-03,1.125068e-03,1.131361e-03,1.133052e-03,1.137260e-03,1.140616e-03,1.142779e-03,1.147534e-03,1.147933e-03,1.152735e-03,1.153837e-03,1.157198e-03,1.159554e-03,1.161335e-03,1.164716e-03,1.165159e-03,1.168680e-03,1.169349e-03,1.171912e-03,1.173482e-03,1.174865e-03,1.177138e-03,1.177550e-03,1.179978e-03,1.180343e-03,1.182158e-03,1.183120e-03,1.184101e-03,1.185491e-03,1.185816e-03,1.187313e-03,1.187478e-03,1.188600e-03,1.189102e-03,1.189685e-03,1.190380e-03,1.190577e-03,1.191285e-03,1.191333e-03,1.191814e-03,1.191978e-03,1.192174e-03,1.192331e-03,1.192370e-03,1.192411e-03,1.192409e-03,1.192302e-03,1.192227e-03,1.192049e-03,1.191799e-03,1.191660e-03,1.191140e-03,1.190261e-03,1.189177e-03,1.187899e-03,1.186438e-03,1.184804e-03,1.183009e-03,1.181062e-03,1.178972e-03,1.176749e-03,1.174399e-03,1.171932e-03,1.169355e-03,1.166675e-03,1.163899e-03,1.161034e-03,1.158085e-03,1.155058e-03,1.151960e-03,1.148795e-03,1.145569e-03,1.142286e-03,1.138951e-03,1.135567e-03,1.132140e-03
0.000000e+00,1.650757e-09,4.132812e-09,1.570964e-08,3.750383e-08,5.570581e-08,1.303886e-07,1.344401e-07,2.646372e-07,3.121071e-07,4.596177e-07,6.135302e-07,7.333739e-07,1.065771e-06,1.098557e-06,1.561112e-06,1.686287e-06,2.116318e-06,2.463510e-06,2.752749e-06,3.370498e-06,3.458492e-06,4.223264e-06,4.382492e-06,5.038007e-06,5.478583e-06,5.894199e-06,6.639335e-06,6.783510e-06,7.697729e-06,7.845777e-06,8.628857e-06,9.079543e-06,9.569254e-06,1.032344e-05,1.051180e-05,1.144999e-05,1.156199e-05,1.237805e-05,1.278187e-05,1.329097e-05,1.397202e-05,1.418450e-05,1.505513e-05,1.512371e-05,1.590005e-05,1.623031e-05,1.671708e-05,1.728716e-05,1.750462e-05,1.826155e-05,1.829118e-05,1.898720e-05,1.924070e-05,1.968125e-05,2.013513e-05,2.034368e-05,2.097472e-05,2.157481e-05,2.176039e-05,2.214453e-05,2.249354e-05,2.268460e-05,2.317591e-05,2.319582e-05,2.367908e-05,2.380950e-05,2.413529e-05,2.439643e-05,2.456541e-05,2.493893e-05,2.497043e-05,2.535131e-05,2.543924e-05,2.570903e-05,2.589961e-05,2.604457e-05,2.632225e-05,2.635888e-05,2.665289e-05,2.670934e-05,2.692751e-05,2.706295e-05,2.718363e-05,2.738510e-05,2.742210e-05,2.764375e-05,2.767771e-05,2.784939e-05,2.794263e-05,2.803978e-05,2.818162e-05,2.821567e-05,2.837777e-05,2.839633e-05,2.852678e-05,2.858836e-05,2.866334e-05,2.875920e-05,2.878809e-05,2.890164e-05,2.891025e-05,2.900455e-05,2.904287e-05,2.909739e-05,2.915829e-05,2.918068e-05,2.925494e-05,2.925773e-05,2.932063e-05,2.934228e-05,2.937823e-05,2.941300e-05,2.942817e-05,2.947088e-05,2.950674e-05,2.951684e-05,2.953615e-05,2.955176e-05,2.955947e-05,2.957645e-05,2.957705e-05,2.958921e-05,2.959169e-05,2.959627e-05,2.959818e-05,2.959853e-05,2.959662e-05,2.959628e-05,2.958978e-05,2.958761e-05,2.957929e-05,2.957177e-05,2.956506e-05,2.954964e-05,2.954733e-05,2.952631e-05,2.952174e-05,2.950222e-05,2.948855e-05,2.947526e-05,2.945053e-05,2.944561e-05,2.941347e-05,2.940810e-05,2.937899e-05,2.936167e-05,2.934235e-05,2.931159e-05,2.930370e-05,2.926319e-05,2.925821e-05,2.922096e-05,2.920186e-05,2.917713e-05,2.914284e-05,2.913184e-05,2.908521e-05,2.908142e-05,2.903735e-05,2.901788e-05,2.898836e-05,2.895245e-05,2.893835e-05,2.888741e-05,2.888536e-05,2.883564e-05,2.881682e-05,2.878312e-05,2.874703e-05,2.872994e-05,2.867617e-05,2.860441e-05,2.853191e-05,2.845881e-05,2.838526e-05,2.831137e-05,2.823727e-05,2.816306e-05,2.808884e-05,2.801470e-05,2.794073e-05,2.786701e-05,2.779360e-05,2.772058e-05,2.764800e-05,2.757592e-05,2.750439e-05,2.743345e-05,2.736315e-05,2.729353e-05,2.722461e-05,2.715643e-05,2.708903e-05,2.702241e-05,2.695661e-05
0.000000e+00,2.573130e-09,7.674534e-09,3.896293e-08,1.142580e-07,1.868889e-07,5.394320e-07,5.603952e-07,1.300020e-06,1.594110e-06,2.565597e-06,3.649238e-06,4.530864e-06,7.113945e-06,7.378627e-06,1.129454e-05,1.241344e-05,1.645665e-05,1.995069e-05,2.301875e-05,3.003986e-05,3.109045e-05,4.072339e-05,4.283764e-05,5.191013e-05,5.832376e-05,6.459282e-05,7.633278e-05,7.867516e-05,9.403303e-05,9.659929e-05,1.105231e-04,1.187951e-04,1.279896e-04,1.425563e-04,1.462694e-04,1.651970e-04,1.675040e-04,1.846082e-04,1.932610e-04,2.043435e-04,2.194649e-04,2.242504e-04,2.441862e-04,2.457783e-04,2.640193e-04,2.718966e-04,2.836302e-04,2.975520e-04,3.029122e-04,3.217720e-04,3.225164e-04,3.401288e-04,3.466007e-04,3.579148e-04,3.696541e-04,3.750738e-04,3.915608e-04,4.073409e-04,4.122369e-04,4.223889e-04,4.316271e-04,4.366875e-04,4.497001e-04,4.502271e-04,4.630044e-04,4.664457e-04,4.750220e-04,4.818707e-04,4.862871e-04,4.959961e-04,4.968110e-04,5.066086e-04,5.088538e-04,5.156974e-04,5.204849e-04,5.240974e-04,5.309368e-04,5.318302e-04,5.389190e-04,5.402615e-04,5.453876e-04,5.485144e-04,5.512608e-04,5.557525e-04,5.565636e-04,5.613212e-04,5.620335e-04,5.655586e-04,5.674152e-04,5.693009e-04,5.719548e-04,5.725726e-04,5.753979e-04,5.757080e-04,5.778002e-04,5.787292e-04,5.798025e-04,5.810706e-04,5.814272e-04,5.826957e-04,5.827825e-04,5.836289e-04,5.839128e-04,5.842469e-04,5.845074e-04,5.845688e-04,5.846131e-04,5.846094e-04,5.843977e-04,5.842598e-04,5.839394e-04,5.834973e-04,5.832544e-04,5.823581e-04,5.812652e-04,5.808763e-04,5.799897e-04,5.790838e-04,5.785450e-04,5.770105e-04,5.769436e-04,5.751976e-04,5.746843e-04,5.733182e-04,5.721311e-04,5.713163e-04,5.693751e-04,5.692021e-04,5.669851e-04,5.664388e-04,5.646745e-04,5.633429e-04,5.622789e-04,5.601069e-04,5.598063e-04,5.572645e-04,5.567485e-04,5.546606e-04,5.532843e-04,5.520014e-04,5.497296e-04,5.492933e-04,5.465422e-04,5.460984e-04,5.437538e-04,5.424037e-04,5.409334e-04,5.386574e-04,5.380860e-04,5.352161e-04,5.348704e-04,5.323281e-04,5.310528e-04,5.294262e-04,5.272136e-04,5.265140e-04,5.235951e-04,5.233614e-04,5.206729e-04,5.195038e-04,5.177505e-04,5.156477e-04,5.148306e-04,5.119160e-04,5.117995e-04,5.090091e-04,5.079649e-04,5.061122e-04,5.041491e-04,5.032274e-04,5.003568e-04,4.965922e-04,4.928590e-04,4.891608e-04,4.855003e-04,4.818804e-04,4.783034e-04,4.747712e-04,4.712857e-04,4.678485e-04,4.644607e-04,4.611236e-04,4.578379e-04,4.546045e-04,4.514238e-04,4.482963e-04,4.452223e-04,4.422019e-04,4.392352e-04,4.363222e-04,4.334625e-04,4.306561e-04,4.279027e-04,4.252017e-04,4.225529e-04
0.000000e+00,2.351971e-10,6.918430e-10,3.416836e-09,9.791471e-09,1.583320e-08,4.460433e-08,4.630086e-08,1.059273e-07,1.296523e-07,2.084418e-07,2.970550e-07,3.694537e-07,5.806397e-07,6.020592e-07,9.110576e-07,9.962790e-07,1.292476e-06,1.534460e-06,1.737361e-06,2.172939e-06,2.235103e-06,2.775078e-06,2.887243e-06,3.347219e-06,3.654300e-06,3.942135e-06,4.453057e-06,4.551093e-06,5.166010e-06,5.264444e-06,5.779470e-06,6.071420e-06,6.384785e-06,6.859182e-06,6.976057e-06,7.548237e-06,7.615408e-06,8.097155e-06,8.330434e-06,8.619534e-06,8.997273e-06,9.112954e-06,9.575808e-06,9.611485e-06,1.000722e-05,1.017090e-05,1.040693e-05,1.067526e-05,1.077527e-05,1.111296e-05,1.112584e-05,1.142109e-05,1.152504e-05,1.170103e-05,1.187605e-05,1.195429e-05,1.218252e-05,1.238742e-05,1.244834e-05,1.257069e-05,1.267741e-05,1.273401e-05,1.287353e-05,1.287900e-05,1.300720e-05,1.304029e-05,1.312007e-05,1.318101e-05,1.321898e-05,1.329873e-05,1.330519e-05,1.337985e-05,1.339617e-05,1.344403e-05,1.347575e-05,1.349869e-05,1.353963e-05,1.354473e-05,1.358293e-05,1.358970e-05,1.361402e-05,1.362759e-05,1.363864e-05,1.365476e-05,1.365739e-05,1.367078e-05,1.367246e-05,1.367930e-05,1.368178e-05,1.368337e-05,1.368369e-05,1.368338e-05,1.367969e-05,1.367901e-05,1.367259e-05,1.366847e-05,1.366239e-05,1.365272e-05,1.364934e-05,1.363368e-05,1.363232e-05,1.361562e-05,1.360777e-05,1.359536e-05,1.357951e-05,1.357307e-05,1.354893e-05,1.354793e-05,1.352308e-05,1.351338e-05,1.349566e-05,1.347619e-05,1.346681e-05,1.343663e-05,1.340523e-05,1.339495e-05,1.337273e-05,1.335139e-05,1.333921e-05,1.330616e-05,1.330477e-05,1.326947e-05,1.325945e-05,1.323341e-05,1.321143e-05,1.319665e-05,1.316226e-05,1.315925e-05,1.312128e-05,1.311209e-05,1.308280e-05,1.306105e-05,1.304387e-05,1.300927e-05,1.300453e-05,1.296483e-05,1.295685e-05,1.292482e-05,1.290390e-05,1.288454e-05,1.285052e-05,1.284403e-05,1.280332e-05,1.279679e-05,1.276246e-05,1.274280e-05,1.272148e-05,1.268862e-05,1.268040e-05,1.263926e-05,1.263432e-05,1.259809e-05,1.257997e-05,1.255690e-05,1.252561e-05,1.251573e-05,1.247460e-05,1.247131e-05,1.243353e-05,1.241712e-05,1.239254e-05,1.236308e-05,1.235164e-05,1.231087e-05,1.230924e-05,1.227023e-05,1.225563e-05,1.222973e-05,1.220229e-05,1.218941e-05,1.214926e-05,1.209656e-05,1.204421e-05,1.199226e-05,1.194072e-05,1.188960e-05,1.183894e-05,1.178874e-05,1.173902e-05,1.168980e-05,1.164109e-05,1.159290e-05,1.154525e-05,1.149812e-05,1.145155e-05,1.140553e-05,1.136006e-05,1.131516e-05,1.127083e-05,1.122706e-05,1.118387e-05,1.114125e-05,1.109921e-05,1.105774e-05,1.101684e-05
0.000000e+00,2.256747e-09,5.180253e-09,1.785622e-08,4.071321e-08,5.950897e-08,1.361753e-07,1.403417e-07,2.755701e-07,3.256360e-07,4.839280e-07,6.531697e-07,7.874504e-07,1.168548e-06,1.206658e-06,1.749862e-06,1.897820e-06,2.406107e-06,2.814517e-06,3.152412e-06,3.865211e-06,3.965692e-06,4.827805e-06,5.004836e-06,5.725248e-06,6.202331e-06,6.647581e-06,7.435248e-06,7.586203e-06,8.533646e-06,8.685599e-06,9.483223e-06,9.937984e-06,1.042890e-05,1.117898e-05,1.136527e-05,1.228754e-05,1.239706e-05,1.319155e-05,1.358261e-05,1.407380e-05,1.472795e-05,1.493139e-05,1.576203e-05,1.582726e-05,1.656396e-05,1.687640e-05,1.733595e-05,1.787277e-05,1.807716e-05,1.878707e-05,1.881481e-05,1.946555e-05,1.970213e-05,2.011272e-05,2.053506e-05,2.072890e-05,2.131463e-05,2.187056e-05,2.204228e-05,2.239743e-05,2.271976e-05,2.289607e-05,2.334905e-05,2.336739e-05,2.381232e-05,2.393229e-05,2.423180e-05,2.447167e-05,2.462680e-05,2.496941e-05,2.499829e-05,2.534723e-05,2.542773e-05,2.567456e-05,2.584877e-05,2.598121e-05,2.623466e-05,2.626807e-05,2.653604e-05,2.658744e-05,2.678596e-05,2.690906e-05,2.701865e-05,2.720139e-05,2.723492e-05,2.743554e-05,2.746623e-05,2.762123e-05,2.770528e-05,2.779272e-05,2.792014e-05,2.795068e-05,2.809576e-05,2.811234e-05,2.822861e-05,2.828333e-05,2.834980e-05,2.843447e-05,2.845992e-05,2.855952e-05,2.856705e-05,2.864913e-05,2.868228e-05,2.872923e-05,2.878130e-05,2.880033e-05,2.886286e-05,2.886519e-05,2.891727e-05,2.893495e-05,2.896398e-05,2.899155e-05,2.900339e-05,2.903586e-05,2.906178e-05,2.906874e-05,2.908147e-05,2.909097e-05,2.909528e-05,2.910329e-05,2.910351e-05,2.910647e-05,2.910639e-05,2.910443e-05,2.910093e-05,2.909768e-05,2.908752e-05,2.908647e-05,2.907104e-05,2.906674e-05,2.905164e-05,2.903912e-05,2.902848e-05,2.900517e-05,2.900178e-05,2.897175e-05,2.896536e-05,2.893857e-05,2.892014e-05,2.890244e-05,2.886992e-05,2.886352e-05,2.882198e-05,2.881510e-05,2.877799e-05,2.875605e-05,2.873169e-05,2.869310e-05,2.868324e-05,2.863276e-05,2.862657e-05,2.858039e-05,2.855678e-05,2.852625e-05,2.848400e-05,2.847046e-05,2.841314e-05,2.840849e-05,2.835439e-05,2.833052e-05,2.829432e-05,2.825030e-05,2.823302e-05,2.817058e-05,2.816806e-05,2.810710e-05,2.808401e-05,2.804266e-05,2.799832e-05,2.797733e-05,2.791119e-05,2.782278e-05,2.773325e-05,2.764275e-05,2.755140e-05,2.745935e-05,2.736671e-05,2.727359e-05,2.718010e-05,2.708634e-05,2.699240e-05,2.689837e-05,2.680432e-05,2.671033e-05,2.661647e-05,2.652281e-05,2.642940e-05,2.633630e-05,2.624356e-05,2.615123e-05,2.605936e-05,2.596799e-05,2.587715e-05,2.578688e-05,2.569721e-05
0.000000e+00,1.833851e-10,5.357263e-10,2.607577e-09,7.366221e-09,1.180923e-08,3.241062e-08,3.360275e-08,7.432129e-08,8.999723e-08,1.404598e-07,1.950582e-07,2.385409e-07,3.625801e-07,3.750693e-07,5.564445e-07,6.073295e-07,7.886534e-07,9.427827e-07,1.076555e-06,1.378155e-06,1.422802e-06,1.826988e-06,1.914521e-06,2.285694e-06,2.543981e-06,2.793379e-06,3.252869e-06,3.343443e-06,3.929014e-06,4.025547e-06,4.543369e-06,4.846588e-06,5.180102e-06,5.701538e-06,5.833187e-06,6.496989e-06,6.577113e-06,7.166268e-06,7.461226e-06,7.836193e-06,8.343040e-06,8.502356e-06,9.160791e-06,9.213023e-06,9.807983e-06,1.006301e-05,1.044088e-05,1.088623e-05,1.105687e-05,1.165381e-05,1.167726e-05,1.222994e-05,1.243198e-05,1.278390e-05,1.314742e-05,1.331471e-05,1.382168e-05,1.430441e-05,1.445374e-05,1.476276e-05,1.504333e-05,1.519679e-05,1.559080e-05,1.560674e-05,1.599298e-05,1.609695e-05,1.635604e-05,1.656298e-05,1.669650e-05,1.699034e-05,1.701504e-05,1.731238e-05,1.738068e-05,1.758930e-05,1.773575e-05,1.784658e-05,1.805738e-05,1.808502e-05,1.830544e-05,1.834743e-05,1.850863e-05,1.860774e-05,1.869539e-05,1.884014e-05,1.886650e-05,1.902272e-05,1.904639e-05,1.916480e-05,1.922819e-05,1.929345e-05,1.938717e-05,1.940937e-05,1.951323e-05,1.952491e-05,1.960566e-05,1.964287e-05,1.968729e-05,1.974247e-05,1.975871e-05,1.982048e-05,1.982502e-05,1.987314e-05,1.989178e-05,1.991722e-05,1.994390e-05,1.995319e-05,1.998153e-05,1.998251e-05,2.000268e-05,2.000862e-05,2.001707e-05,2.002320e-05,2.002510e-05,2.002716e-05,2.002360e-05,2.002133e-05,2.001477e-05,2.000651e-05,2.000101e-05,1.998344e-05,1.998262e-05,1.995990e-05,1.995279e-05,1.993312e-05,1.991522e-05,1.990255e-05,1.987131e-05,1.986845e-05,1.983105e-05,1.982161e-05,1.979058e-05,1.976666e-05,1.974725e-05,1.970692e-05,1.970127e-05,1.965281e-05,1.964284e-05,1.960208e-05,1.957485e-05,1.954923e-05,1.950333e-05,1.949444e-05,1.943784e-05,1.942863e-05,1.937960e-05,1.935110e-05,1.931984e-05,1.927103e-05,1.925870e-05,1.919630e-05,1.918873e-05,1.913275e-05,1.910445e-05,1.906816e-05,1.901845e-05,1.900264e-05,1.893629e-05,1.893095e-05,1.886919e-05,1.884217e-05,1.880144e-05,1.875230e-05,1.873311e-05,1.866429e-05,1.866153e-05,1.859504e-05,1.857002e-05,1.852544e-05,1.847794e-05,1.845554e-05,1.838542e-05,1.829260e-05,1.819960e-05,1.810653e-05,1.801351e-05,1.792062e-05,1.782796e-05,1.773560e-05,1.764362e-05,1.755209e-05,1.746106e-05,1.737061e-05,1.728077e-05,1.719160e-05,1.710314e-05,1.701542e-05,1.692849e-05,1.684236e-05,1.675708e-05,1.667266e-05,1.658914e-05,1.650651e-05,1.642481e-05,1.634405e-05,1.626424e-05
0.000000e+00,5.756082e-10,1.634819e-09,7.536477e-09,2.035121e-08,3.188023e-08,8.281362e-08,8.567923e-08,1.805307e-07,2.159316e-07,3.271901e-07,4.442130e-07,5.355780e-07,7.896870e-07,8.148372e-07,1.173239e-06,1.271842e-06,1.617713e-06,1.906052e-06,2.152815e-06,2.699404e-06,2.779328e-06,3.493401e-06,3.646077e-06,4.287058e-06,4.727776e-06,5.149794e-06,5.919524e-06,6.070190e-06,7.036929e-06,7.195180e-06,8.039250e-06,8.530013e-06,9.067057e-06,9.901303e-06,1.011094e-05,1.116216e-05,1.128841e-05,1.221272e-05,1.267285e-05,1.325533e-05,1.403838e-05,1.428350e-05,1.529153e-05,1.537115e-05,1.627453e-05,1.665977e-05,1.722840e-05,1.789525e-05,1.814981e-05,1.903617e-05,1.907087e-05,1.988555e-05,2.018200e-05,2.069662e-05,2.122584e-05,2.146858e-05,2.220107e-05,2.289416e-05,2.310769e-05,2.354826e-05,2.394673e-05,2.416404e-05,2.471996e-05,2.474239e-05,2.528439e-05,2.542980e-05,2.579125e-05,2.607904e-05,2.626428e-05,2.667076e-05,2.670484e-05,2.711437e-05,2.720819e-05,2.749429e-05,2.769465e-05,2.784605e-05,2.813344e-05,2.817108e-05,2.847078e-05,2.852781e-05,2.874653e-05,2.888088e-05,2.899963e-05,2.919570e-05,2.923140e-05,2.944304e-05,2.947512e-05,2.963576e-05,2.972188e-05,2.981069e-05,2.993854e-05,2.996889e-05,3.011140e-05,3.012749e-05,3.023919e-05,3.029099e-05,3.035318e-05,3.043113e-05,3.045425e-05,3.054323e-05,3.054985e-05,3.062091e-05,3.064898e-05,3.068801e-05,3.073017e-05,3.074524e-05,3.079324e-05,3.079498e-05,3.083265e-05,3.084484e-05,3.086403e-05,3.088108e-05,3.088795e-05,3.090490e-05,3.091539e-05,3.091745e-05,3.091985e-05,3.091975e-05,3.091873e-05,3.091276e-05,3.091242e-05,3.090129e-05,3.089737e-05,3.088571e-05,3.087437e-05,3.086601e-05,3.084451e-05,3.084249e-05,3.081546e-05,3.080848e-05,3.078518e-05,3.076691e-05,3.075192e-05,3.072037e-05,3.071591e-05,3.067739e-05,3.066940e-05,3.063657e-05,3.061450e-05,3.059364e-05,3.055610e-05,3.054880e-05,3.050222e-05,3.049462e-05,3.045407e-05,3.043044e-05,3.040449e-05,3.036390e-05,3.035364e-05,3.030165e-05,3.029534e-05,3.024864e-05,3.022503e-05,3.019474e-05,3.015324e-05,3.014005e-05,3.008469e-05,3.008023e-05,3.002874e-05,3.000622e-05,2.997230e-05,2.993141e-05,2.991546e-05,2.985828e-05,2.985599e-05,2.980086e-05,2.978013e-05,2.974325e-05,2.970400e-05,2.968552e-05,2.962773e-05,2.955145e-05,2.947529e-05,2.939935e-05,2.932373e-05,2.924853e-05,2.917381e-05,2.909965e-05,2.902612e-05,2.895328e-05,2.888118e-05,2.880986e-05,2.873937e-05,2.866975e-05,2.860102e-05,2.853322e-05,2.846637e-05,2.840049e-05,2.833560e-05,2.827171e-05,2.820883e-05,2.814698e-05,2.808617e-05,2.802639e-05,2.796765e-05
0.000000e+00,5.824196e-09,1.739863e-08,8.881538e-08,2.627269e-07,4.326706e-07,1.281987e-06,1.333627e-06,3.224806e-06,4.009846e-06,6.709803e-06,9.866416e-06,1.250870e-05,2.043209e-05,2.125039e-05,3.332068e-05,3.673544e-05,4.889350e-05,5.916402e-05,6.801248e-05,8.774490e-05,9.064361e-05,1.166995e-04,1.223109e-04,1.460493e-04,1.625577e-04,1.785220e-04,2.080611e-04,2.139092e-04,2.519676e-04,2.582869e-04,2.924234e-04,3.126069e-04,3.349782e-04,3.703207e-04,3.793150e-04,4.251058e-04,4.306826e-04,4.720187e-04,4.929308e-04,5.197247e-04,5.563144e-04,5.679040e-04,6.162508e-04,6.201170e-04,6.644785e-04,6.836761e-04,7.123225e-04,7.463968e-04,7.595428e-04,8.059247e-04,8.077598e-04,8.512800e-04,8.673246e-04,8.954464e-04,9.247294e-04,9.382866e-04,9.796876e-04,1.019559e-03,1.031982e-03,1.057830e-03,1.081460e-03,1.094450e-03,1.128022e-03,1.129387e-03,1.162620e-03,1.171619e-03,1.194145e-03,1.212242e-03,1.223968e-03,1.249917e-03,1.252107e-03,1.278586e-03,1.284697e-03,1.303437e-03,1.316657e-03,1.326700e-03,1.345890e-03,1.348416e-03,1.368632e-03,1.372500e-03,1.387399e-03,1.396602e-03,1.404768e-03,1.418316e-03,1.420791e-03,1.435525e-03,1.437766e-03,1.449022e-03,1.455077e-03,1.461337e-03,1.470375e-03,1.472524e-03,1.482637e-03,1.483781e-03,1.491728e-03,1.495417e-03,1.499847e-03,1.505399e-03,1.507045e-03,1.513370e-03,1.513840e-03,1.518869e-03,1.520847e-03,1.523587e-03,1.526525e-03,1.527567e-03,1.530852e-03,1.530970e-03,1.533482e-03,1.534276e-03,1.535496e-03,1.536531e-03,1.536929e-03,1.537818e-03,1.538197e-03,1.538215e-03,1.538097e-03,1.537795e-03,1.537548e-03,1.536627e-03,1.536581e-03,1.535222e-03,1.534775e-03,1.533498e-03,1.532298e-03,1.531433e-03,1.529254e-03,1.529052e-03,1.526377e-03,1.525694e-03,1.523429e-03,1.521666e-03,1.520228e-03,1.517217e-03,1.516793e-03,1.513142e-03,1.512387e-03,1.509292e-03,1.507217e-03,1.505260e-03,1.501742e-03,1.501059e-03,1.496705e-03,1.495995e-03,1.492212e-03,1.490009e-03,1.487591e-03,1.483811e-03,1.482855e-03,1.478015e-03,1.477428e-03,1.473082e-03,1.470884e-03,1.468066e-03,1.464204e-03,1.462976e-03,1.457821e-03,1.457406e-03,1.452610e-03,1.450511e-03,1.447350e-03,1.443536e-03,1.442048e-03,1.436713e-03,1.436499e-03,1.431349e-03,1.429412e-03,1.425963e-03,1.422292e-03,1.420562e-03,1.415149e-03,1.407997e-03,1.400845e-03,1.393703e-03,1.386580e-03,1.379484e-03,1.372423e-03,1.365403e-03,1.358430e-03,1.351510e-03,1.344647e-03,1.337847e-03,1.331112e-03,1.324447e-03,1.317855e-03,1.311338e-03,1.304899e-03,1.298541e-03,1.292264e-03,1.286070e-03,1.279961e-03,1.273938e-03,1.268002e-03,1.262153e-03,1.256393e-03
0.000000e+00,1.111994e-09,3.242737e-09,1.574710e-08,4.449624e-08,7.143884e-08,1.979362e-07,2.053380e-07,4.634633e-07,5.654972e-07,9.032006e-07,1.282641e-06,1.593441e-06,2.508167e-06,2.601723e-06,3.966404e-06,4.347057e-06,5.680600e-06,6.779120e-06,7.704651e-06,9.701304e-06,9.987137e-06,1.247772e-05,1.299676e-05,1.513155e-05,1.656285e-05,1.790944e-05,2.031331e-05,2.077677e-05,2.370243e-05,2.417402e-05,2.665808e-05,2.807976e-05,2.961787e-05,3.197288e-05,3.255839e-05,3.545870e-05,3.580314e-05,3.830051e-05,3.952825e-05,4.106821e-05,4.311407e-05,4.374890e-05,4.633219e-05,4.653439e-05,4.881017e-05,4.977054e-05,5.117719e-05,5.281060e-05,5.342957e-05,5.556536e-05,5.564835e-05,5.758409e-05,5.828229e-05,5.948651e-05,6.071458e-05,6.127437e-05,6.295021e-05,6.451718e-05,6.499619e-05,6.597886e-05,6.686089e-05,6.733919e-05,6.855358e-05,6.860229e-05,6.977240e-05,7.008396e-05,7.085384e-05,7.146192e-05,7.185088e-05,7.269727e-05,7.276777e-05,7.360865e-05,7.379961e-05,7.437757e-05,7.477820e-05,7.507844e-05,7.564190e-05,7.571502e-05,7.629092e-05,7.639913e-05,7.680961e-05,7.705783e-05,7.727440e-05,7.762547e-05,7.768843e-05,7.805469e-05,7.810906e-05,7.837604e-05,7.851513e-05,7.865517e-05,7.884981e-05,7.889465e-05,7.909688e-05,7.911876e-05,7.926418e-05,7.932728e-05,7.939870e-05,7.948027e-05,7.950249e-05,7.957749e-05,7.958230e-05,7.962553e-05,7.963759e-05,7.964833e-05,7.965005e-05,7.964753e-05,7.962466e-05,7.962331e-05,7.958116e-05,7.956072e-05,7.951842e-05,7.946541e-05,7.943770e-05,7.934025e-05,7.922718e-05,7.918789e-05,7.909960e-05,7.901080e-05,7.895851e-05,7.881126e-05,7.880489e-05,7.863962e-05,7.859137e-05,7.846356e-05,7.835308e-05,7.827752e-05,7.809819e-05,7.808225e-05,7.787846e-05,7.782836e-05,7.766683e-05,7.754513e-05,7.744799e-05,7.724992e-05,7.722253e-05,7.699102e-05,7.694403e-05,7.675397e-05,7.662869e-05,7.651190e-05,7.630501e-05,7.626526e-05,7.601450e-05,7.597402e-05,7.576003e-05,7.563669e-05,7.550225e-05,7.529389e-05,7.524152e-05,7.497819e-05,7.494643e-05,7.471257e-05,7.459506e-05,7.444499e-05,7.424048e-05,7.417572e-05,7.390504e-05,7.388333e-05,7.363320e-05,7.352419e-05,7.336044e-05,7.316361e-05,7.308698e-05,7.281304e-05,7.280208e-05,7.253882e-05,7.244006e-05,7.226449e-05,7.207798e-05,7.199023e-05,7.171622e-05,7.135514e-05,7.099506e-05,7.063629e-05,7.027910e-05,6.992373e-05,6.957043e-05,6.921939e-05,6.887081e-05,6.852486e-05,6.818169e-05,6.784145e-05,6.750425e-05,6.717023e-05,6.683947e-05,6.651207e-05,6.618811e-05,6.586766e-05,6.555078e-05,6.523752e-05,6.492793e-05,6.462205e-05,6.431991e-05,6.402154e-05,6.372695e-05
0.000000e+00,5.784749e-09,1.326393e-08,4.587064e-08,1.052226e-07,1.544312e-07,3.578512e-07,3.690075e-07,7.351885e-07,8.722492e-07,1.307926e-06,1.772900e-06,2.137882e-06,3.144375e-06,3.242549e-06,4.603282e-06,4.964765e-06,6.192117e-06,7.172817e-06,7.986424e-06,9.721369e-06,9.968633e-06,1.212306e-05,1.257324e-05,1.443388e-05,1.569176e-05,1.688424e-05,1.903735e-05,1.945629e-05,2.213142e-05,2.256775e-05,2.489084e-05,2.623983e-05,2.771602e-05,3.001157e-05,3.058923e-05,3.349386e-05,3.384379e-05,3.641466e-05,3.770135e-05,3.933792e-05,4.155371e-05,4.225149e-05,4.514478e-05,4.537508e-05,4.800865e-05,4.914419e-05,5.083538e-05,5.284395e-05,5.361851e-05,5.635279e-05,5.646108e-05,5.903386e-05,5.998529e-05,6.165810e-05,6.340871e-05,6.422280e-05,6.672582e-05,6.916557e-05,6.993274e-05,7.154095e-05,7.302705e-05,7.385121e-05,7.600740e-05,7.609592e-05,7.827495e-05,7.887332e-05,8.038839e-05,8.162509e-05,8.243653e-05,8.426353e-05,8.441982e-05,8.633882e-05,8.678989e-05,8.819424e-05,8.920580e-05,8.998687e-05,9.151313e-05,9.171758e-05,9.338729e-05,9.371400e-05,9.499701e-05,9.581069e-05,9.654776e-05,9.780560e-05,9.804061e-05,9.947667e-05,9.970124e-05,1.008571e-04,1.015002e-04,1.021829e-04,1.032051e-04,1.034554e-04,1.046757e-04,1.048187e-04,1.058450e-04,1.063436e-04,1.069644e-04,1.077825e-04,1.080351e-04,1.090583e-04,1.091381e-04,1.100351e-04,1.104132e-04,1.109668e-04,1.116103e-04,1.118544e-04,1.126992e-04,1.127321e-04,1.135021e-04,1.137812e-04,1.142644e-04,1.147601e-04,1.149872e-04,1.156715e-04,1.163184e-04,1.165177e-04,1.169290e-04,1.173012e-04,1.175043e-04,1.180243e-04,1.180453e-04,1.185531e-04,1.186894e-04,1.190286e-04,1.192988e-04,1.194728e-04,1.198546e-04,1.198866e-04,1.202710e-04,1.203590e-04,1.206270e-04,1.208142e-04,1.209553e-04,1.212221e-04,1.212569e-04,1.215326e-04,1.215847e-04,1.217833e-04,1.219040e-04,1.220098e-04,1.221819e-04,1.222129e-04,1.223933e-04,1.224202e-04,1.225520e-04,1.226206e-04,1.226895e-04,1.227848e-04,1.228066e-04,1.229041e-04,1.229145e-04,1.229827e-04,1.230114e-04,1.230429e-04,1.230769e-04,1.230855e-04,1.231112e-04,1.231125e-04,1.231205e-04,1.231198e-04,1.231141e-04,1.231000e-04,1.230925e-04,1.230564e-04,1.230546e-04,1.230062e-04,1.229849e-04,1.229426e-04,1.228920e-04,1.228662e-04,1.227773e-04,1.226418e-04,1.224868e-04,1.223133e-04,1.221223e-04,1.219148e-04,1.216919e-04,1.214544e-04,1.212032e-04,1.209391e-04,1.206631e-04,1.203759e-04,1.200782e-04,1.197708e-04,1.194544e-04,1.191295e-04,1.187970e-04,1.184573e-04,1.181111e-04,1.177590e-04,1.174014e-04,1.170388e-04,1.166719e-04,1.163009e-04,1.159264e-04
0.000000e+00,2.739351e-09,6.283253e-09,2.169478e-08,4.960398e-08,7.262371e-08,1.668522e-07,1.719826e-07,3.387491e-07,4.005522e-07,5.958826e-07,8.040803e-07,9.683093e-07,1.427314e-06,1.472574e-06,2.106760e-06,2.276865e-06,2.857595e-06,3.324064e-06,3.712204e-06,4.542568e-06,4.661175e-06,5.697241e-06,5.914323e-06,6.813778e-06,7.423925e-06,8.003927e-06,9.055104e-06,9.260231e-06,1.057457e-05,1.078967e-05,1.193826e-05,1.260772e-05,1.334228e-05,1.448837e-05,1.477746e-05,1.623475e-05,1.641069e-05,1.770540e-05,1.835456e-05,1.918113e-05,2.030135e-05,2.065429e-05,2.211789e-05,2.223437e-05,2.356572e-05,2.413918e-05,2.499231e-05,2.600364e-05,2.639297e-05,2.776371e-05,2.781787e-05,2.910125e-05,2.957411e-05,3.040292e-05,3.126648e-05,3.166663e-05,3.289079e-05,3.407426e-05,3.444424e-05,3.521630e-05,3.592526e-05,3.631650e-05,3.733320e-05,3.737472e-05,3.839109e-05,3.866821e-05,3.936592e-05,3.993108e-05,4.029971e-05,4.112307e-05,4.119307e-05,4.204673e-05,4.224579e-05,4.286152e-05,4.330115e-05,4.363832e-05,4.429123e-05,4.437808e-05,4.508177e-05,4.521826e-05,4.575039e-05,4.608456e-05,4.638497e-05,4.689247e-05,4.698654e-05,4.755614e-05,4.764437e-05,4.809478e-05,4.834264e-05,4.860350e-05,4.898960e-05,4.908330e-05,4.953517e-05,4.958756e-05,4.996009e-05,5.013877e-05,5.035902e-05,5.064541e-05,5.073290e-05,5.108265e-05,5.110961e-05,5.140915e-05,5.153345e-05,5.171329e-05,5.191890e-05,5.199592e-05,5.225785e-05,5.226791e-05,5.249989e-05,5.258231e-05,5.272282e-05,5.286389e-05,5.292741e-05,5.311437e-05,5.328442e-05,5.333538e-05,5.343825e-05,5.352850e-05,5.357653e-05,5.369524e-05,5.369989e-05,5.380897e-05,5.383704e-05,5.390437e-05,5.395528e-05,5.398666e-05,5.405128e-05,5.405641e-05,5.411417e-05,5.412630e-05,5.416045e-05,5.418154e-05,5.419576e-05,5.421815e-05,5.422060e-05,5.423542e-05,5.423723e-05,5.424069e-05,5.423980e-05,5.423684e-05,5.422688e-05,5.422430e-05,5.420347e-05,5.419939e-05,5.417474e-05,5.415825e-05,5.413848e-05,5.410431e-05,5.409507e-05,5.404485e-05,5.403838e-05,5.398815e-05,5.396123e-05,5.392530e-05,5.387361e-05,5.385661e-05,5.378239e-05,5.377622e-05,5.370291e-05,5.366971e-05,5.361845e-05,5.355471e-05,5.352929e-05,5.343567e-05,5.343184e-05,5.333784e-05,5.330164e-05,5.323605e-05,5.316467e-05,5.313050e-05,5.302143e-05,5.287241e-05,5.271807e-05,5.255884e-05,5.239513e-05,5.222734e-05,5.205582e-05,5.188094e-05,5.170302e-05,5.152237e-05,5.133929e-05,5.115406e-05,5.096693e-05,5.077816e-05,5.058798e-05,5.039662e-05,5.020427e-05,5.001114e-05,4.981741e-05,4.962326e-05,4.942884e-05,4.923431e-05,4.903981e-05,4.884549e-05,4.865146e-05
0.000000e+00,1.494874e-09,3.425832e-09,1.183086e-08,2.708443e-08,3.969092e-08,9.146049e-08,9.428509e-08,1.863155e-07,2.204988e-07,3.287368e-07,4.445078e-07,5.362700e-07,7.958272e-07,8.217044e-07,1.189355e-06,1.289292e-06,1.633006e-06,1.910534e-06,2.141608e-06,2.634628e-06,2.704804e-06,3.314371e-06,3.441245e-06,3.963662e-06,4.315055e-06,4.646899e-06,5.243123e-06,5.358722e-06,6.093993e-06,6.213479e-06,6.847764e-06,7.214746e-06,7.615303e-06,8.236241e-06,8.392154e-06,9.174195e-06,9.268206e-06,9.957682e-06,1.030200e-05,1.073927e-05,1.133019e-05,1.151602e-05,1.228540e-05,1.234656e-05,1.304523e-05,1.334607e-05,1.379369e-05,1.432470e-05,1.452930e-05,1.525081e-05,1.527936e-05,1.595722e-05,1.620768e-05,1.664777e-05,1.710798e-05,1.732187e-05,1.797906e-05,1.861905e-05,1.882018e-05,1.924165e-05,1.963092e-05,1.984674e-05,2.041113e-05,2.043430e-05,2.100438e-05,2.116087e-05,2.155706e-05,2.188038e-05,2.209249e-05,2.257001e-05,2.261086e-05,2.311235e-05,2.323023e-05,2.359722e-05,2.386157e-05,2.406570e-05,2.446463e-05,2.451807e-05,2.495461e-05,2.504005e-05,2.537562e-05,2.558850e-05,2.578140e-05,2.611070e-05,2.617225e-05,2.654849e-05,2.660736e-05,2.691044e-05,2.707920e-05,2.725842e-05,2.752696e-05,2.759275e-05,2.791375e-05,2.795139e-05,2.822174e-05,2.835321e-05,2.851703e-05,2.873316e-05,2.879995e-05,2.907082e-05,2.909197e-05,2.932993e-05,2.943035e-05,2.957760e-05,2.974902e-05,2.981414e-05,3.003985e-05,3.004865e-05,3.025501e-05,3.032995e-05,3.045993e-05,3.059358e-05,3.065490e-05,3.084019e-05,3.101608e-05,3.107042e-05,3.118285e-05,3.128491e-05,3.134076e-05,3.148427e-05,3.149008e-05,3.163106e-05,3.166907e-05,3.176396e-05,3.183992e-05,3.188902e-05,3.199736e-05,3.200648e-05,3.211659e-05,3.214195e-05,3.221957e-05,3.227421e-05,3.231565e-05,3.239466e-05,3.240505e-05,3.248798e-05,3.250381e-05,3.256466e-05,3.260212e-05,3.263528e-05,3.269009e-05,3.270007e-05,3.275919e-05,3.276814e-05,3.281286e-05,3.283673e-05,3.286125e-05,3.289629e-05,3.290455e-05,3.294292e-05,3.294721e-05,3.297655e-05,3.298989e-05,3.300561e-05,3.302472e-05,3.303024e-05,3.305062e-05,3.305207e-05,3.306690e-05,3.307230e-05,3.307923e-05,3.308573e-05,3.308774e-05,3.309260e-05,3.309272e-05,3.309393e-05,3.309357e-05,3.309186e-05,3.308859e-05,3.308654e-05,3.307808e-05,3.306232e-05,3.304159e-05,3.301615e-05,3.298625e-05,3.295214e-05,3.291406e-05,3.287221e-05,3.282683e-05,3.277812e-05,3.272627e-05,3.267149e-05,3.261395e-05,3.255382e-05,3.249128e-05,3.242649e-05,3.235959e-05,3.229075e-05,3.222010e-05,3.214777e-05,3.207390e-05,3.199861e-05,3.192202e-05,3.184424e-05,3.176539e-05
0.000000e+00,1.178406e-09,3.371382e-09,1.573897e-08,4.289436e-08,6.749460e-08,1.772360e-07,1.834508e-07,3.912008e-07,4.697009e-07,7.196807e-07,9.878144e-07,1.200713e-06,1.807747e-06,1.868901e-06,2.756406e-06,3.004454e-06,3.879893e-06,4.608464e-06,5.225724e-06,6.558519e-06,6.748622e-06,8.386989e-06,8.723069e-06,1.008081e-05,1.096680e-05,1.178135e-05,1.318854e-05,1.345292e-05,1.507074e-05,1.532340e-05,1.661799e-05,1.733208e-05,1.808321e-05,1.919104e-05,1.945868e-05,2.073923e-05,2.088635e-05,2.192174e-05,2.241055e-05,2.300472e-05,2.376116e-05,2.398815e-05,2.487329e-05,2.493992e-05,2.566252e-05,2.595208e-05,2.635919e-05,2.680580e-05,2.696748e-05,2.749219e-05,2.751152e-05,2.793858e-05,2.808117e-05,2.831217e-05,2.852751e-05,2.861862e-05,2.886358e-05,2.905261e-05,2.910217e-05,2.919107e-05,2.925552e-05,2.928407e-05,2.933506e-05,2.933643e-05,2.935265e-05,2.935128e-05,2.933686e-05,2.931362e-05,2.929288e-05,2.923051e-05,2.922418e-05,2.913392e-05,2.910936e-05,2.902492e-05,2.895666e-05,2.889973e-05,2.877799e-05,2.876064e-05,2.860967e-05,2.857821e-05,2.844862e-05,2.836144e-05,2.827911e-05,2.813121e-05,2.810254e-05,2.792016e-05,2.789051e-05,2.773307e-05,2.764189e-05,2.754226e-05,2.738749e-05,2.734856e-05,2.715273e-05,2.712912e-05,2.695542e-05,2.686829e-05,2.675722e-05,2.660630e-05,2.655863e-05,2.636009e-05,2.634422e-05,2.616198e-05,2.608294e-05,2.596465e-05,2.582322e-05,2.576839e-05,2.557346e-05,2.556569e-05,2.538007e-05,2.531087e-05,2.518843e-05,2.505919e-05,2.499870e-05,2.481102e-05,2.462551e-05,2.456663e-05,2.444229e-05,2.432627e-05,2.426144e-05,2.409012e-05,2.408303e-05,2.390713e-05,2.385833e-05,2.373378e-05,2.363102e-05,2.356304e-05,2.340827e-05,2.339492e-05,2.322946e-05,2.319014e-05,2.306666e-05,2.297667e-05,2.290655e-05,2.276786e-05,2.274911e-05,2.259436e-05,2.256374e-05,2.244229e-05,2.236427e-05,2.229289e-05,2.216944e-05,2.214614e-05,2.200203e-05,2.197922e-05,2.186054e-05,2.179356e-05,2.172166e-05,2.161241e-05,2.158535e-05,2.145159e-05,2.143571e-05,2.132035e-05,2.126340e-05,2.119161e-05,2.109542e-05,2.106534e-05,2.094150e-05,2.093169e-05,2.082006e-05,2.077215e-05,2.070099e-05,2.061670e-05,2.058425e-05,2.046981e-05,2.046528e-05,2.035764e-05,2.031781e-05,2.024770e-05,2.017420e-05,2.013996e-05,2.003437e-05,1.989825e-05,1.976574e-05,1.963678e-05,1.951126e-05,1.938912e-05,1.927027e-05,1.915463e-05,1.904213e-05,1.893268e-05,1.882621e-05,1.872264e-05,1.862189e-05,1.852390e-05,1.842859e-05,1.833589e-05,1.824573e-05,1.815804e-05,1.807276e-05,1.798982e-05,1.790916e-05,1.783071e-05,1.775441e-05,1.768021e-05,1.760804e-05
0.000000e+00,3.034022e-09,8.979020e-09,4.490354e-08,1.301259e-07,2.116835e-07,6.052099e-07,6.285899e-07,1.457303e-06,1.789692e-06,2.900233e-06,4.157679e-06,5.189687e-06,8.219318e-06,8.528213e-06,1.302342e-05,1.427768e-05,1.869298e-05,2.236972e-05,2.550378e-05,3.239619e-05,3.339857e-05,4.230699e-05,4.420341e-05,5.214883e-05,5.760614e-05,6.283461e-05,7.239095e-05,7.426569e-05,8.633503e-05,8.831783e-05,9.892883e-05,1.051255e-04,1.119287e-04,1.225402e-04,1.252145e-04,1.386670e-04,1.402869e-04,1.521709e-04,1.581006e-04,1.656174e-04,1.757360e-04,1.789057e-04,1.919455e-04,1.929755e-04,2.046570e-04,2.096340e-04,2.169721e-04,2.255614e-04,2.288344e-04,2.401987e-04,2.406424e-04,2.510306e-04,2.547947e-04,2.613055e-04,2.679661e-04,2.710080e-04,2.801305e-04,2.886722e-04,2.912836e-04,2.966384e-04,3.014392e-04,3.040392e-04,3.106249e-04,3.108885e-04,3.172035e-04,3.188786e-04,3.230037e-04,3.262455e-04,3.283104e-04,3.327758e-04,3.331459e-04,3.375333e-04,3.385222e-04,3.414960e-04,3.435384e-04,3.450574e-04,3.478778e-04,3.482405e-04,3.510678e-04,3.515926e-04,3.535613e-04,3.547330e-04,3.557421e-04,3.573471e-04,3.576303e-04,3.592454e-04,3.594797e-04,3.606058e-04,3.611734e-04,3.617288e-04,3.624674e-04,3.626310e-04,3.633279e-04,3.633984e-04,3.638342e-04,3.640001e-04,3.641636e-04,3.643036e-04,3.643290e-04,3.643426e-04,3.643374e-04,3.642156e-04,3.641278e-04,3.639586e-04,3.636986e-04,3.635815e-04,3.630935e-04,3.630718e-04,3.625033e-04,3.622673e-04,3.618188e-04,3.613035e-04,3.610477e-04,3.601968e-04,3.592728e-04,3.589626e-04,3.582816e-04,3.576146e-04,3.572289e-04,3.561654e-04,3.561201e-04,3.549600e-04,3.546266e-04,3.537532e-04,3.530085e-04,3.525039e-04,3.513206e-04,3.512163e-04,3.498939e-04,3.495717e-04,3.485402e-04,3.477698e-04,3.471585e-04,3.459218e-04,3.457518e-04,3.443228e-04,3.440346e-04,3.428742e-04,3.421140e-04,3.414084e-04,3.401655e-04,3.399276e-04,3.384341e-04,3.381940e-04,3.369296e-04,3.362042e-04,3.354162e-04,3.342000e-04,3.338954e-04,3.323689e-04,3.321854e-04,3.308381e-04,3.301636e-04,3.293045e-04,3.281378e-04,3.277693e-04,3.262337e-04,3.261109e-04,3.246988e-04,3.240853e-04,3.231657e-04,3.220635e-04,3.216354e-04,3.201086e-04,3.200476e-04,3.185863e-04,3.180395e-04,3.170692e-04,3.160409e-04,3.155580e-04,3.140534e-04,3.120784e-04,3.101173e-04,3.081711e-04,3.062410e-04,3.043278e-04,3.024323e-04,3.005553e-04,2.986975e-04,2.968594e-04,2.950415e-04,2.932442e-04,2.914679e-04,2.897130e-04,2.879797e-04,2.862682e-04,2.845787e-04,2.829113e-04,2.812661e-04,2.796431e-04,2.780425e-04,2.764642e-04,2.749081e-04,2.733743e-04,2.718626e-04
0.000000e+00,1.140622e-08,2.684907e-08,9.523740e-08,2.210782e-07,3.262854e-07,7.688425e-07,7.934577e-07,1.619579e-06,1.937266e-06,2.975657e-06,4.131755e-06,5.075056e-06,7.840253e-06,8.122097e-06,1.219754e-05,1.331726e-05,1.715535e-05,2.020066e-05,2.267775e-05,2.774585e-05,2.844163e-05,3.421483e-05,3.535693e-05,3.985663e-05,4.271041e-05,4.528753e-05,4.965362e-05,5.046348e-05,5.536039e-05,5.611703e-05,5.996562e-05,6.207074e-05,6.427379e-05,6.750606e-05,6.828453e-05,7.200122e-05,7.242774e-05,7.543014e-05,7.684986e-05,7.858000e-05,8.079379e-05,8.146150e-05,8.408663e-05,8.428595e-05,8.646831e-05,8.735583e-05,8.862006e-05,9.003467e-05,9.055564e-05,9.228880e-05,9.235411e-05,9.383309e-05,9.434535e-05,9.520169e-05,9.603847e-05,9.640727e-05,9.746197e-05,9.837728e-05,9.864253e-05,9.916405e-05,9.960487e-05,9.983249e-05,1.003717e-04,1.003921e-04,1.008519e-04,1.009639e-04,1.012201e-04,1.014002e-04,1.015043e-04,1.016979e-04,1.017118e-04,1.018492e-04,1.018724e-04,1.019225e-04,1.019377e-04,1.019374e-04,1.019063e-04,1.018990e-04,1.018123e-04,1.017896e-04,1.016816e-04,1.015977e-04,1.015110e-04,1.013397e-04,1.013043e-04,1.010649e-04,1.010238e-04,1.007960e-04,1.006573e-04,1.005006e-04,1.002469e-04,1.001812e-04,9.984048e-05,9.979827e-05,9.948063e-05,9.931679e-05,9.910377e-05,9.880716e-05,9.871181e-05,9.830652e-05,9.827357e-05,9.788954e-05,9.771981e-05,9.746235e-05,9.714924e-05,9.702634e-05,9.658275e-05,9.656487e-05,9.613275e-05,9.596939e-05,9.567740e-05,9.536520e-05,9.521766e-05,9.475444e-05,9.428856e-05,9.413904e-05,9.382076e-05,9.352068e-05,9.335173e-05,9.290090e-05,9.288211e-05,9.241246e-05,9.228103e-05,9.194333e-05,9.166229e-05,9.147517e-05,9.104572e-05,9.100844e-05,9.054353e-05,9.043226e-05,9.008080e-05,8.982275e-05,8.962058e-05,8.921791e-05,8.916318e-05,8.870886e-05,8.861839e-05,8.825787e-05,8.802475e-05,8.781044e-05,8.743749e-05,8.736676e-05,8.692701e-05,8.685703e-05,8.649136e-05,8.628374e-05,8.605994e-05,8.571794e-05,8.563289e-05,8.521031e-05,8.515990e-05,8.479230e-05,8.460985e-05,8.437896e-05,8.406798e-05,8.397035e-05,8.356654e-05,8.353444e-05,8.316758e-05,8.300936e-05,8.277351e-05,8.249284e-05,8.238438e-05,8.200021e-05,8.198495e-05,8.162102e-05,8.148573e-05,8.124682e-05,8.099523e-05,8.087763e-05,8.051344e-05,8.004038e-05,7.957601e-05,7.912031e-05,7.867323e-05,7.823472e-05,7.780472e-05,7.738315e-05,7.696994e-05,7.656500e-05,7.616825e-05,7.577957e-05,7.539889e-05,7.502608e-05,7.466105e-05,7.430369e-05,7.395388e-05,7.361151e-05,7.327647e-05,7.294864e-05,7.262790e-05,7.231413e-05,7.200721e-05,7.170704e-05,7.141348e-05
0.000000e+00,4.377759e-09,9.999067e-09,3.425835e-08,7.777048e-08,1.133815e-07,2.572783e-07,2.650405e-07,5.141508e-07,6.051317e-07,8.891538e-07,1.187992e-06,1.422547e-06,2.081741e-06,2.147444e-06,3.086892e-06,3.344773e-06,4.239594e-06,4.968512e-06,5.577448e-06,6.875635e-06,7.059810e-06,8.648158e-06,8.975673e-06,1.031131e-05,1.119734e-05,1.202467e-05,1.348798e-05,1.376826e-05,1.552508e-05,1.580638e-05,1.728025e-05,1.811821e-05,1.902056e-05,2.039422e-05,2.073434e-05,2.241138e-05,2.260972e-05,2.404294e-05,2.474450e-05,2.562176e-05,2.678273e-05,2.714198e-05,2.859908e-05,2.871282e-05,2.998978e-05,3.052694e-05,3.131188e-05,3.222061e-05,3.256419e-05,3.374634e-05,3.379217e-05,3.485868e-05,3.524220e-05,3.590214e-05,3.657305e-05,3.687813e-05,3.778841e-05,3.863505e-05,3.889290e-05,3.942031e-05,3.989177e-05,4.014659e-05,4.079066e-05,4.081640e-05,4.143228e-05,4.159541e-05,4.199679e-05,4.231190e-05,4.251248e-05,4.294595e-05,4.298185e-05,4.340736e-05,4.350322e-05,4.379139e-05,4.398919e-05,4.413625e-05,4.440911e-05,4.444418e-05,4.471732e-05,4.476795e-05,4.495771e-05,4.507043e-05,4.516732e-05,4.532099e-05,4.534803e-05,4.550162e-05,4.552380e-05,4.562980e-05,4.568277e-05,4.573417e-05,4.580155e-05,4.581626e-05,4.587753e-05,4.588355e-05,4.591935e-05,4.593193e-05,4.594303e-05,4.594965e-05,4.594980e-05,4.594082e-05,4.593945e-05,4.591719e-05,4.590387e-05,4.587994e-05,4.584525e-05,4.583007e-05,4.576849e-05,4.576580e-05,4.569608e-05,4.566751e-05,4.561365e-05,4.555227e-05,4.552198e-05,4.542180e-05,4.531380e-05,4.527770e-05,4.519862e-05,4.512142e-05,4.507687e-05,4.495434e-05,4.494912e-05,4.481591e-05,4.477770e-05,4.467774e-05,4.459265e-05,4.453508e-05,4.440026e-05,4.438839e-05,4.423807e-05,4.420150e-05,4.408452e-05,4.399726e-05,4.392810e-05,4.378836e-05,4.376917e-05,4.360804e-05,4.357558e-05,4.344501e-05,4.335958e-05,4.328037e-05,4.314102e-05,4.311438e-05,4.294728e-05,4.292046e-05,4.277932e-05,4.269845e-05,4.261070e-05,4.247546e-05,4.244162e-05,4.227227e-05,4.225194e-05,4.210283e-05,4.202829e-05,4.193346e-05,4.180487e-05,4.176430e-05,4.159551e-05,4.158202e-05,4.142720e-05,4.136004e-05,4.125950e-05,4.113920e-05,4.109253e-05,4.092638e-05,4.091975e-05,4.076115e-05,4.070191e-05,4.059693e-05,4.048587e-05,4.043379e-05,4.027182e-05,4.005992e-05,3.985029e-05,3.964308e-05,3.943839e-05,3.923631e-05,3.903694e-05,3.884033e-05,3.864655e-05,3.845565e-05,3.826768e-05,3.808267e-05,3.790063e-05,3.772160e-05,3.754558e-05,3.737259e-05,3.720262e-05,3.703567e-05,3.687173e-05,3.671079e-05,3.655284e-05,3.639785e-05,3.624581e-05,3.609670e-05,3.595047e-05
0.000000e+00,5.851965e-10,1.608497e-09,7.008692e-09,1.818745e-08,2.798709e-08,7.021720e-08,7.256714e-08,1.498789e-07,1.786812e-07,2.695316e-07,3.659733e-07,4.420367e-07,6.573913e-07,6.790123e-07,9.928735e-07,1.081008e-06,1.395563e-06,1.663405e-06,1.895964e-06,2.419348e-06,2.496605e-06,3.191803e-06,3.341175e-06,3.969146e-06,4.400738e-06,4.813265e-06,5.562911e-06,5.709173e-06,6.643871e-06,6.796273e-06,7.606575e-06,8.075940e-06,8.588357e-06,9.382427e-06,9.581695e-06,1.058011e-05,1.069998e-05,1.157793e-05,1.201547e-05,1.257017e-05,1.331781e-05,1.355243e-05,1.452088e-05,1.459766e-05,1.547220e-05,1.584729e-05,1.640358e-05,1.706049e-05,1.731267e-05,1.819757e-05,1.823244e-05,1.905679e-05,1.935959e-05,1.988920e-05,2.043950e-05,2.069399e-05,2.147065e-05,2.221893e-05,2.245236e-05,2.293876e-05,2.338459e-05,2.363030e-05,2.426781e-05,2.429382e-05,2.492975e-05,2.510293e-05,2.553860e-05,2.589117e-05,2.612098e-05,2.663396e-05,2.667755e-05,2.720902e-05,2.733292e-05,2.771614e-05,2.798978e-05,2.819969e-05,2.860633e-05,2.866045e-05,2.909920e-05,2.918438e-05,2.951673e-05,2.972571e-05,2.991380e-05,3.023209e-05,3.029118e-05,3.064963e-05,3.070528e-05,3.098989e-05,3.114696e-05,3.131266e-05,3.155876e-05,3.161865e-05,3.190852e-05,3.194225e-05,3.218293e-05,3.229894e-05,3.244252e-05,3.263027e-05,3.268789e-05,3.291965e-05,3.293762e-05,3.313837e-05,3.322233e-05,3.334459e-05,3.348562e-05,3.353884e-05,3.372162e-05,3.372870e-05,3.389344e-05,3.395271e-05,3.405477e-05,3.415870e-05,3.420604e-05,3.434770e-05,3.448016e-05,3.452067e-05,3.460383e-05,3.467853e-05,3.471907e-05,3.482214e-05,3.482628e-05,3.492578e-05,3.495231e-05,3.501794e-05,3.506983e-05,3.510305e-05,3.517542e-05,3.518145e-05,3.525342e-05,3.526977e-05,3.531926e-05,3.535354e-05,3.537922e-05,3.542735e-05,3.543359e-05,3.548260e-05,3.549178e-05,3.552649e-05,3.554738e-05,3.556551e-05,3.559467e-05,3.559986e-05,3.562976e-05,3.563415e-05,3.565542e-05,3.566628e-05,3.567702e-05,3.569151e-05,3.569475e-05,3.570880e-05,3.571024e-05,3.571932e-05,3.572288e-05,3.572649e-05,3.572979e-05,3.573046e-05,3.573138e-05,3.573133e-05,3.572939e-05,3.572782e-05,3.572464e-05,3.571958e-05,3.571725e-05,3.570735e-05,3.570691e-05,3.569507e-05,3.569008e-05,3.568051e-05,3.566937e-05,3.566379e-05,3.564502e-05,3.561727e-05,3.558634e-05,3.555244e-05,3.551578e-05,3.547654e-05,3.543490e-05,3.539103e-05,3.534509e-05,3.529723e-05,3.524760e-05,3.519633e-05,3.514354e-05,3.508937e-05,3.503391e-05,3.497729e-05,3.491960e-05,3.486094e-05,3.480140e-05,3.474107e-05,3.468003e-05,3.461836e-05,3.455613e-05,3.449341e-05,3.443027e-05
0.000000e+00,1.814050e-10,5.313223e-10,2.600027e-09,7.381052e-09,1.186551e-08,3.280649e-08,3.402382e-08,7.586006e-08,9.207623e-08,1.446071e-07,2.019240e-07,2.478794e-07,3.802511e-07,3.936736e-07,5.902596e-07,6.459122e-07,8.457275e-07,1.017166e-06,1.166955e-06,1.507414e-06,1.558085e-06,2.019248e-06,2.119597e-06,2.546458e-06,2.844456e-06,3.132695e-06,3.664514e-06,3.769413e-06,4.447732e-06,4.559547e-06,5.159139e-06,5.510034e-06,5.895784e-06,6.498469e-06,6.650558e-06,7.417063e-06,7.509553e-06,8.189562e-06,8.530018e-06,8.962926e-06,9.548435e-06,9.732595e-06,1.049455e-05,1.055507e-05,1.124530e-05,1.154178e-05,1.198185e-05,1.250193e-05,1.270166e-05,1.340267e-05,1.343030e-05,1.408321e-05,1.432294e-05,1.474201e-05,1.517709e-05,1.537814e-05,1.599097e-05,1.658016e-05,1.676368e-05,1.714557e-05,1.749499e-05,1.768729e-05,1.818526e-05,1.820554e-05,1.870070e-05,1.883527e-05,1.917325e-05,1.944615e-05,1.962375e-05,2.001927e-05,2.005282e-05,2.046115e-05,2.055614e-05,2.084943e-05,2.105839e-05,2.121841e-05,2.152772e-05,2.156881e-05,2.190138e-05,2.196582e-05,2.221685e-05,2.237437e-05,2.251594e-05,2.275504e-05,2.279936e-05,2.306781e-05,2.310942e-05,2.332196e-05,2.343906e-05,2.356244e-05,2.374542e-05,2.378990e-05,2.400491e-05,2.402991e-05,2.420807e-05,2.429384e-05,2.439991e-05,2.453847e-05,2.458097e-05,2.475175e-05,2.476498e-05,2.491272e-05,2.497448e-05,2.506436e-05,2.516800e-05,2.520709e-05,2.534133e-05,2.534653e-05,2.546748e-05,2.551099e-05,2.558591e-05,2.566222e-05,2.569699e-05,2.580105e-05,2.589842e-05,2.592821e-05,2.598940e-05,2.604442e-05,2.607430e-05,2.615034e-05,2.615340e-05,2.622695e-05,2.624658e-05,2.629521e-05,2.633373e-05,2.635842e-05,2.641232e-05,2.641682e-05,2.647061e-05,2.648286e-05,2.652001e-05,2.654583e-05,2.656521e-05,2.660167e-05,2.660641e-05,2.664378e-05,2.665081e-05,2.667749e-05,2.669363e-05,2.670771e-05,2.673050e-05,2.673458e-05,2.675826e-05,2.676177e-05,2.677889e-05,2.678775e-05,2.679661e-05,2.680876e-05,2.681153e-05,2.682379e-05,2.682508e-05,2.683349e-05,2.683698e-05,2.684076e-05,2.684472e-05,2.684570e-05,2.684840e-05,2.684852e-05,2.684897e-05,2.684862e-05,2.684750e-05,2.684523e-05,2.684408e-05,2.683879e-05,2.683854e-05,2.683171e-05,2.682874e-05,2.682293e-05,2.681602e-05,2.681251e-05,2.680054e-05,2.678245e-05,2.676191e-05,2.673905e-05,2.671402e-05,2.668694e-05,2.665792e-05,2.662709e-05,2.659455e-05,2.656039e-05,2.652473e-05,2.648765e-05,2.644923e-05,2.640957e-05,2.636873e-05,2.632680e-05,2.628385e-05,2.623994e-05,2.619513e-05,2.614950e-05,2.610309e-05,2.605596e-05,2.600817e-05,2.595977e-05,2.591080e-05
0.000000e+00,2.881364e-09,7.215412e-09,2.766133e-08,6.714686e-08,1.010522e-07,2.483300e-07,2.566779e-07,5.429457e-07,6.553345e-07,1.027239e-06,1.442517e-06,1.777210e-06,2.718982e-06,2.811446e-06,4.090578e-06,4.428240e-06,5.565369e-06,6.463479e-06,7.201953e-06,8.759100e-06,8.979293e-06,1.088263e-05,1.127730e-05,1.289945e-05,1.398905e-05,1.501768e-05,1.686637e-05,1.722501e-05,1.950885e-05,1.988052e-05,2.185657e-05,2.300251e-05,2.425578e-05,2.620422e-05,2.669461e-05,2.916193e-05,2.945943e-05,3.164754e-05,3.274460e-05,3.414224e-05,3.603920e-05,3.663782e-05,3.912704e-05,3.932571e-05,4.160366e-05,4.258955e-05,4.406229e-05,4.581876e-05,4.649834e-05,4.890792e-05,4.900371e-05,5.128779e-05,5.213673e-05,5.363523e-05,5.521180e-05,5.594799e-05,5.822424e-05,6.046248e-05,6.117049e-05,6.266151e-05,6.404787e-05,6.482039e-05,6.685446e-05,6.693839e-05,6.901497e-05,6.958893e-05,7.104973e-05,7.225041e-05,7.304243e-05,7.483843e-05,7.499292e-05,7.690115e-05,7.735285e-05,7.876718e-05,7.979377e-05,8.059113e-05,8.216152e-05,8.237316e-05,8.411353e-05,8.445663e-05,8.581252e-05,8.667974e-05,8.747046e-05,8.883167e-05,8.908772e-05,9.066470e-05,9.091331e-05,9.220184e-05,9.292565e-05,9.369959e-05,9.486976e-05,9.515844e-05,9.657887e-05,9.674676e-05,9.796140e-05,9.855784e-05,9.930656e-05,1.003042e-04,1.006149e-04,1.018870e-04,1.019872e-04,1.031233e-04,1.036080e-04,1.043245e-04,1.051680e-04,1.054912e-04,1.066238e-04,1.066684e-04,1.077230e-04,1.081107e-04,1.087894e-04,1.094961e-04,1.098236e-04,1.108261e-04,1.117975e-04,1.121019e-04,1.127385e-04,1.133249e-04,1.136495e-04,1.144965e-04,1.145312e-04,1.153842e-04,1.156179e-04,1.162090e-04,1.166906e-04,1.170062e-04,1.177157e-04,1.177763e-04,1.185200e-04,1.186946e-04,1.192377e-04,1.196286e-04,1.199301e-04,1.205189e-04,1.205977e-04,1.212409e-04,1.213667e-04,1.218605e-04,1.221734e-04,1.224567e-04,1.229400e-04,1.230303e-04,1.235817e-04,1.236679e-04,1.241114e-04,1.243581e-04,1.246199e-04,1.250117e-04,1.251076e-04,1.255752e-04,1.256300e-04,1.260231e-04,1.262140e-04,1.264516e-04,1.267647e-04,1.268614e-04,1.272528e-04,1.272834e-04,1.276263e-04,1.277708e-04,1.279824e-04,1.282282e-04,1.283215e-04,1.286439e-04,1.286565e-04,1.289502e-04,1.290565e-04,1.292407e-04,1.294294e-04,1.295158e-04,1.297760e-04,1.300972e-04,1.303938e-04,1.306668e-04,1.309170e-04,1.311452e-04,1.313521e-04,1.315386e-04,1.317054e-04,1.318532e-04,1.319828e-04,1.320948e-04,1.321899e-04,1.322688e-04,1.323321e-04,1.323805e-04,1.324144e-04,1.324346e-04,1.324415e-04,1.324358e-04,1.324180e-04,1.323885e-04,1.323479e-04,1.322966e-04,1.322352e-04
0.000000e+00,4.785423e-10,1.354732e-09,6.206824e-09,1.668045e-08,2.607230e-08,6.746002e-08,6.978749e-08,1.469598e-07,1.758666e-07,2.671984e-07,3.641289e-07,4.404462e-07,6.555811e-07,6.770932e-07,9.873946e-07,1.073827e-06,1.379598e-06,1.636435e-06,1.856685e-06,2.342856e-06,2.413517e-06,3.037280e-06,3.168612e-06,3.711278e-06,4.076042e-06,4.418985e-06,5.029040e-06,5.146203e-06,5.881471e-06,5.999225e-06,6.615682e-06,6.965524e-06,7.341518e-06,7.912114e-06,8.053019e-06,8.745293e-06,8.826875e-06,9.414342e-06,9.700512e-06,1.005696e-05,1.052611e-05,1.067064e-05,1.125357e-05,1.129884e-05,1.180451e-05,1.201575e-05,1.232275e-05,1.267550e-05,1.280808e-05,1.326067e-05,1.327810e-05,1.368103e-05,1.382461e-05,1.406995e-05,1.431696e-05,1.442843e-05,1.475764e-05,1.505886e-05,1.514956e-05,1.533345e-05,1.549585e-05,1.558280e-05,1.579974e-05,1.580833e-05,1.601144e-05,1.606448e-05,1.619352e-05,1.629324e-05,1.635592e-05,1.648907e-05,1.649994e-05,1.662681e-05,1.665485e-05,1.673773e-05,1.679330e-05,1.683382e-05,1.690696e-05,1.691614e-05,1.698570e-05,1.699816e-05,1.704343e-05,1.706906e-05,1.709021e-05,1.712165e-05,1.712687e-05,1.715417e-05,1.715772e-05,1.717284e-05,1.717894e-05,1.718355e-05,1.718680e-05,1.718691e-05,1.718351e-05,1.718268e-05,1.717388e-05,1.716781e-05,1.715853e-05,1.714332e-05,1.713792e-05,1.711247e-05,1.711024e-05,1.708259e-05,1.706948e-05,1.704865e-05,1.702190e-05,1.701100e-05,1.696996e-05,1.696825e-05,1.692581e-05,1.690921e-05,1.687884e-05,1.684542e-05,1.682931e-05,1.677745e-05,1.672347e-05,1.670579e-05,1.666759e-05,1.663092e-05,1.661000e-05,1.655326e-05,1.655087e-05,1.649036e-05,1.647319e-05,1.642862e-05,1.639105e-05,1.636580e-05,1.630716e-05,1.630203e-05,1.623743e-05,1.622181e-05,1.617211e-05,1.613525e-05,1.610617e-05,1.604772e-05,1.603972e-05,1.597284e-05,1.595943e-05,1.590563e-05,1.587056e-05,1.583814e-05,1.578130e-05,1.577047e-05,1.570266e-05,1.569181e-05,1.563480e-05,1.560222e-05,1.556693e-05,1.551267e-05,1.549911e-05,1.543139e-05,1.542327e-05,1.536381e-05,1.533413e-05,1.529642e-05,1.524535e-05,1.522925e-05,1.516235e-05,1.515701e-05,1.509574e-05,1.506918e-05,1.502945e-05,1.498195e-05,1.496352e-05,1.489798e-05,1.489536e-05,1.483283e-05,1.480948e-05,1.476812e-05,1.472436e-05,1.470385e-05,1.464004e-05,1.455657e-05,1.447396e-05,1.439227e-05,1.431151e-05,1.423170e-05,1.415287e-05,1.407504e-05,1.399822e-05,1.392241e-05,1.384764e-05,1.377390e-05,1.370121e-05,1.362956e-05,1.355897e-05,1.348942e-05,1.342092e-05,1.335347e-05,1.328707e-05,1.322170e-05,1.315737e-05,1.309407e-05,1.303179e-05,1.297053e-05,1.291027e-05
0.000000e+00,2.473408e-09,5.682491e-09,1.958574e-08,4.457318e-08,6.503399e-08,1.476982e-07,1.521556e-07,2.950880e-07,3.472302e-07,5.097480e-07,6.801126e-07,8.131266e-07,1.181936e-06,1.218215e-06,1.727138e-06,1.863993e-06,2.332379e-06,2.709656e-06,3.024070e-06,3.697605e-06,3.793875e-06,4.635114e-06,4.811411e-06,5.541900e-06,6.037418e-06,6.508435e-06,7.362044e-06,7.528611e-06,8.595844e-06,8.770503e-06,9.703073e-06,1.024657e-05,1.084283e-05,1.177288e-05,1.200740e-05,1.318895e-05,1.333150e-05,1.437972e-05,1.490462e-05,1.557217e-05,1.647514e-05,1.675915e-05,1.793397e-05,1.802724e-05,1.909049e-05,1.954672e-05,2.022323e-05,2.102134e-05,2.132736e-05,2.239876e-05,2.244088e-05,2.343395e-05,2.379719e-05,2.443012e-05,2.508410e-05,2.538509e-05,2.629723e-05,2.716545e-05,2.743389e-05,2.798911e-05,2.849275e-05,2.876800e-05,2.947374e-05,2.950225e-05,3.019233e-05,3.037772e-05,3.083892e-05,3.120639e-05,3.144297e-05,3.196203e-05,3.200554e-05,3.252789e-05,3.264741e-05,3.301133e-05,3.326558e-05,3.345727e-05,3.381985e-05,3.386719e-05,3.424257e-05,3.431363e-05,3.458492e-05,3.475039e-05,3.489574e-05,3.513355e-05,3.517652e-05,3.542872e-05,3.546651e-05,3.565377e-05,3.575257e-05,3.585308e-05,3.599490e-05,3.602799e-05,3.617982e-05,3.619655e-05,3.630983e-05,3.636043e-05,3.641922e-05,3.648931e-05,3.650918e-05,3.658081e-05,3.658578e-05,3.663518e-05,3.665233e-05,3.667331e-05,3.669125e-05,3.669616e-05,3.670467e-05,3.670472e-05,3.669970e-05,3.669477e-05,3.668209e-05,3.666331e-05,3.665264e-05,3.661210e-05,3.656117e-05,3.654280e-05,3.650055e-05,3.645695e-05,3.643086e-05,3.635600e-05,3.635272e-05,3.626669e-05,3.624126e-05,3.617332e-05,3.611400e-05,3.607314e-05,3.597535e-05,3.596661e-05,3.585420e-05,3.582640e-05,3.573635e-05,3.566813e-05,3.561346e-05,3.550146e-05,3.548593e-05,3.535411e-05,3.532726e-05,3.521836e-05,3.514632e-05,3.507899e-05,3.495936e-05,3.493632e-05,3.479064e-05,3.476707e-05,3.464223e-05,3.457009e-05,3.449133e-05,3.436898e-05,3.433819e-05,3.418304e-05,3.416430e-05,3.402611e-05,3.395654e-05,3.386758e-05,3.374616e-05,3.370766e-05,3.354652e-05,3.353358e-05,3.338433e-05,3.331920e-05,3.322126e-05,3.310338e-05,3.305745e-05,3.289305e-05,3.288646e-05,3.272819e-05,3.266875e-05,3.256299e-05,3.245052e-05,3.239757e-05,3.223204e-05,3.201354e-05,3.179526e-05,3.157738e-05,3.136010e-05,3.114359e-05,3.092799e-05,3.071346e-05,3.050012e-05,3.028808e-05,3.007746e-05,2.986835e-05,2.966084e-05,2.945500e-05,2.925091e-05,2.904863e-05,2.884821e-05,2.864971e-05,2.845316e-05,2.825861e-05,2.806609e-05,2.787563e-05,2.768724e-05,2.750096e-05,2.731679e-05
0.000000e+00,1.146851e-08,3.425350e-08,1.744971e-07,5.137604e-07,8.426033e-07,2.454209e-06,2.550719e-06,5.995387e-06,7.384081e-06,1.203739e-05,1.733264e-05,2.171082e-05,3.482472e-05,3.618787e-05,5.662364e-05,6.252315e-05,8.392316e-05,1.024232e-04,1.186222e-04,1.554502e-04,1.609297e-04,2.108193e-04,2.216927e-04,2.681001e-04,3.007071e-04,3.324584e-04,3.916899e-04,4.034822e-04,4.806774e-04,4.935645e-04,5.634802e-04,6.050373e-04,6.512710e-04,7.246504e-04,7.433866e-04,8.391354e-04,8.508360e-04,9.378110e-04,9.819730e-04,1.038706e-03,1.116443e-03,1.141127e-03,1.244400e-03,1.252679e-03,1.347890e-03,1.389211e-03,1.450999e-03,1.524693e-03,1.553180e-03,1.653937e-03,1.657931e-03,1.752824e-03,1.787890e-03,1.849455e-03,1.913701e-03,1.943493e-03,2.034656e-03,2.122711e-03,2.150201e-03,2.207472e-03,2.259922e-03,2.288795e-03,2.363532e-03,2.366574e-03,2.440741e-03,2.460855e-03,2.511259e-03,2.551814e-03,2.578120e-03,2.636414e-03,2.641338e-03,2.700951e-03,2.714728e-03,2.757014e-03,2.786884e-03,2.809596e-03,2.853054e-03,2.858779e-03,2.904657e-03,2.913445e-03,2.947329e-03,2.968287e-03,2.986903e-03,3.017832e-03,3.023489e-03,3.057203e-03,3.062338e-03,3.088159e-03,3.102073e-03,3.116476e-03,3.137306e-03,3.142269e-03,3.165654e-03,3.168304e-03,3.186746e-03,3.195329e-03,3.205657e-03,3.218637e-03,3.222495e-03,3.237369e-03,3.238477e-03,3.250380e-03,3.255086e-03,3.261630e-03,3.268694e-03,3.271215e-03,3.279228e-03,3.279517e-03,3.285757e-03,3.287762e-03,3.290890e-03,3.293625e-03,3.294708e-03,3.297290e-03,3.298709e-03,3.298930e-03,3.299039e-03,3.298709e-03,3.298346e-03,3.296779e-03,3.296696e-03,3.294149e-03,3.293284e-03,3.290765e-03,3.288356e-03,3.286599e-03,3.282120e-03,3.281702e-03,3.276126e-03,3.274692e-03,3.269917e-03,3.266180e-03,3.263120e-03,3.256685e-03,3.255777e-03,3.247928e-03,3.246300e-03,3.239610e-03,3.235112e-03,3.230860e-03,3.223200e-03,3.221710e-03,3.212194e-03,3.210639e-03,3.202340e-03,3.197498e-03,3.192177e-03,3.183842e-03,3.181731e-03,3.171029e-03,3.169728e-03,3.160093e-03,3.155212e-03,3.148945e-03,3.140345e-03,3.137607e-03,3.126099e-03,3.125172e-03,3.114439e-03,3.109737e-03,3.102645e-03,3.094079e-03,3.090733e-03,3.078718e-03,3.078236e-03,3.066616e-03,3.062240e-03,3.054439e-03,3.046124e-03,3.042202e-03,3.029915e-03,3.013640e-03,2.997323e-03,2.980987e-03,2.964651e-03,2.948335e-03,2.932055e-03,2.915827e-03,2.899666e-03,2.883584e-03,2.867593e-03,2.851704e-03,2.835927e-03,2.820271e-03,2.804743e-03,2.789351e-03,2.774100e-03,2.758998e-03,2.744048e-03,2.729256e-03,2.714625e-03,2.700159e-03,2.685861e-03,2.671733e-03,2.657777e-03
0.000000e+00,1.930957e-09,5.051791e-09,2.037107e-08,5.027692e-08,7.570685e-08,1.820648e-07,1.878976e-07,3.775562e-07,4.475592e-07,6.672521e-07,8.991719e-07,1.081113e-06,1.589055e-06,1.639271e-06,2.346998e-06,2.537955e-06,3.191627e-06,3.716918e-06,4.153105e-06,5.081213e-06,5.213088e-06,6.356473e-06,6.593978e-06,7.570036e-06,8.224646e-06,8.841217e-06,9.944430e-06,1.015757e-05,1.150667e-05,1.172474e-05,1.287629e-05,1.353751e-05,1.425465e-05,1.535617e-05,1.563070e-05,1.699432e-05,1.715668e-05,1.833652e-05,1.891825e-05,1.964951e-05,2.062374e-05,2.092670e-05,2.216273e-05,2.225970e-05,2.335338e-05,2.381619e-05,2.449547e-05,2.528642e-05,2.558677e-05,2.662586e-05,2.666632e-05,2.761202e-05,2.795405e-05,2.854516e-05,2.914958e-05,2.942565e-05,3.025427e-05,3.103213e-05,3.127053e-05,3.176056e-05,3.220152e-05,3.244110e-05,3.305090e-05,3.307540e-05,3.366523e-05,3.382266e-05,3.421240e-05,3.452098e-05,3.471873e-05,3.515008e-05,3.518607e-05,3.561625e-05,3.571416e-05,3.601106e-05,3.621737e-05,3.637227e-05,3.666369e-05,3.670158e-05,3.700066e-05,3.705699e-05,3.727112e-05,3.740096e-05,3.751449e-05,3.769908e-05,3.773227e-05,3.792587e-05,3.795469e-05,3.809666e-05,3.817092e-05,3.824594e-05,3.835072e-05,3.837496e-05,3.848489e-05,3.849686e-05,3.857687e-05,3.861193e-05,3.865197e-05,3.869838e-05,3.871120e-05,3.875554e-05,3.875847e-05,3.878591e-05,3.879434e-05,3.880318e-05,3.880797e-05,3.880817e-05,3.880169e-05,3.880120e-05,3.878445e-05,3.877576e-05,3.875719e-05,3.873325e-05,3.872055e-05,3.867517e-05,3.862166e-05,3.860290e-05,3.856056e-05,3.851774e-05,3.849243e-05,3.842087e-05,3.841777e-05,3.833705e-05,3.831342e-05,3.825072e-05,3.819641e-05,3.815921e-05,3.807080e-05,3.806293e-05,3.796226e-05,3.793748e-05,3.785755e-05,3.779727e-05,3.774914e-05,3.765093e-05,3.763735e-05,3.752249e-05,3.749917e-05,3.740483e-05,3.734264e-05,3.728465e-05,3.718193e-05,3.716220e-05,3.703771e-05,3.701761e-05,3.691141e-05,3.685020e-05,3.678350e-05,3.668016e-05,3.665420e-05,3.652368e-05,3.650794e-05,3.639211e-05,3.633394e-05,3.625967e-05,3.615853e-05,3.612651e-05,3.599277e-05,3.598205e-05,3.585859e-05,3.580483e-05,3.572410e-05,3.562714e-05,3.558942e-05,3.545466e-05,3.544926e-05,3.531991e-05,3.527143e-05,3.518530e-05,3.509387e-05,3.505089e-05,3.491679e-05,3.474037e-05,3.456477e-05,3.439017e-05,3.421669e-05,3.404446e-05,3.387361e-05,3.370422e-05,3.353640e-05,3.337024e-05,3.320579e-05,3.304314e-05,3.288233e-05,3.272342e-05,3.256646e-05,3.241148e-05,3.225852e-05,3.210760e-05,3.195874e-05,3.181197e-05,3.166730e-05,3.152474e-05,3.138429e-05,3.124596e-05,3.110976e-05
0.000000e+00,1.492230e-09,4.418139e-09,2.208557e-08,6.383342e-08,1.035656e-07,2.925382e-07,3.036335e-07,6.887274e-07,8.392376e-07,1.329034e-06,1.865126e-06,2.295093e-06,3.530514e-06,3.655397e-06,5.474284e-06,5.985634e-06,7.809192e-06,9.359943e-06,1.070614e-05,1.374315e-05,1.419310e-05,1.827347e-05,1.915912e-05,2.292357e-05,2.555182e-05,2.809601e-05,3.279770e-05,3.372632e-05,3.973985e-05,4.073230e-05,4.605715e-05,4.917374e-05,5.259793e-05,5.793858e-05,5.928367e-05,6.603960e-05,6.685165e-05,7.279599e-05,7.575230e-05,7.948916e-05,8.449838e-05,8.606216e-05,9.246518e-05,9.296876e-05,9.865576e-05,1.010644e-04,1.045987e-04,1.087083e-04,1.102660e-04,1.156361e-04,1.158445e-04,1.206941e-04,1.224366e-04,1.254305e-04,1.284652e-04,1.298410e-04,1.339254e-04,1.376876e-04,1.388245e-04,1.411345e-04,1.431794e-04,1.442756e-04,1.470139e-04,1.471223e-04,1.496874e-04,1.503571e-04,1.519850e-04,1.532412e-04,1.540297e-04,1.557003e-04,1.558365e-04,1.574204e-04,1.577691e-04,1.587966e-04,1.594819e-04,1.599795e-04,1.608718e-04,1.609833e-04,1.618217e-04,1.619707e-04,1.625077e-04,1.628082e-04,1.630535e-04,1.634122e-04,1.634708e-04,1.637704e-04,1.638082e-04,1.639627e-04,1.640195e-04,1.640569e-04,1.640676e-04,1.640619e-04,1.639858e-04,1.639715e-04,1.638360e-04,1.637487e-04,1.636196e-04,1.634144e-04,1.633428e-04,1.630115e-04,1.629828e-04,1.626309e-04,1.624660e-04,1.622060e-04,1.618752e-04,1.617413e-04,1.612408e-04,1.612201e-04,1.607083e-04,1.605094e-04,1.601472e-04,1.597509e-04,1.595607e-04,1.589515e-04,1.583224e-04,1.581172e-04,1.576756e-04,1.572535e-04,1.570135e-04,1.563651e-04,1.563379e-04,1.556507e-04,1.554564e-04,1.549535e-04,1.545311e-04,1.542480e-04,1.535926e-04,1.535354e-04,1.528171e-04,1.526439e-04,1.520942e-04,1.516878e-04,1.513678e-04,1.507265e-04,1.506389e-04,1.499084e-04,1.497622e-04,1.491771e-04,1.487968e-04,1.484458e-04,1.478320e-04,1.477152e-04,1.469859e-04,1.468693e-04,1.462584e-04,1.459101e-04,1.455334e-04,1.449554e-04,1.448113e-04,1.440925e-04,1.440065e-04,1.433775e-04,1.430641e-04,1.426666e-04,1.421293e-04,1.419602e-04,1.412585e-04,1.412026e-04,1.405620e-04,1.402848e-04,1.398707e-04,1.393765e-04,1.391850e-04,1.385051e-04,1.384780e-04,1.378311e-04,1.375900e-04,1.371633e-04,1.367127e-04,1.365017e-04,1.358465e-04,1.349917e-04,1.341485e-04,1.333171e-04,1.324977e-04,1.316904e-04,1.308952e-04,1.301124e-04,1.293419e-04,1.285837e-04,1.278379e-04,1.271043e-04,1.263831e-04,1.256742e-04,1.249775e-04,1.242928e-04,1.236202e-04,1.229596e-04,1.223107e-04,1.216736e-04,1.210481e-04,1.204341e-04,1.198314e-04,1.192399e-04,1.186595e-04
0.000000e+00,3.215974e-09,7.450024e-09,2.592335e-08,5.930202e-08,8.671576e-08,1.978612e-07,2.038665e-07,3.968169e-07,4.673345e-07,6.874444e-07,9.188260e-07,1.100210e-06,1.608725e-06,1.659307e-06,2.380732e-06,2.578267e-06,3.262672e-06,3.819691e-06,4.285172e-06,5.279332e-06,5.420663e-06,6.643435e-06,6.896537e-06,7.932512e-06,8.623286e-06,9.270934e-06,1.042282e-05,1.064439e-05,1.204027e-05,1.226492e-05,1.344715e-05,1.412325e-05,1.485456e-05,1.597447e-05,1.625301e-05,1.763397e-05,1.779814e-05,1.898990e-05,1.957688e-05,2.031434e-05,2.129646e-05,2.160183e-05,2.284794e-05,2.294573e-05,2.404915e-05,2.451645e-05,2.520284e-05,2.600299e-05,2.630714e-05,2.736087e-05,2.740195e-05,2.836345e-05,2.871182e-05,2.931480e-05,2.993261e-05,3.021526e-05,3.106551e-05,3.186651e-05,3.211262e-05,3.261945e-05,3.307671e-05,3.332566e-05,3.396103e-05,3.398662e-05,3.460389e-05,3.476911e-05,3.517908e-05,3.550468e-05,3.571384e-05,3.617154e-05,3.620984e-05,3.666872e-05,3.677351e-05,3.709214e-05,3.731438e-05,3.748173e-05,3.779785e-05,3.783908e-05,3.816572e-05,3.822749e-05,3.846316e-05,3.860678e-05,3.873286e-05,3.893901e-05,3.897624e-05,3.919464e-05,3.922736e-05,3.938938e-05,3.947482e-05,3.956171e-05,3.968425e-05,3.971284e-05,3.984392e-05,3.985836e-05,3.995606e-05,3.999968e-05,4.005033e-05,4.011063e-05,4.012772e-05,4.018921e-05,4.019347e-05,4.023572e-05,4.025032e-05,4.026812e-05,4.028318e-05,4.028725e-05,4.029391e-05,4.029393e-05,4.028887e-05,4.028433e-05,4.027284e-05,4.025602e-05,4.024651e-05,4.021054e-05,4.016555e-05,4.014934e-05,4.011212e-05,4.007377e-05,4.005083e-05,3.998508e-05,3.998220e-05,3.990674e-05,3.988446e-05,3.982494e-05,3.977299e-05,3.973724e-05,3.965172e-05,3.964407e-05,3.954585e-05,3.952157e-05,3.944297e-05,3.938346e-05,3.933579e-05,3.923820e-05,3.922467e-05,3.910992e-05,3.908656e-05,3.899186e-05,3.892926e-05,3.887079e-05,3.876696e-05,3.874698e-05,3.862070e-05,3.860029e-05,3.849220e-05,3.842980e-05,3.836171e-05,3.825604e-05,3.822946e-05,3.809564e-05,3.807949e-05,3.796047e-05,3.790062e-05,3.782413e-05,3.771983e-05,3.768679e-05,3.754861e-05,3.753753e-05,3.740976e-05,3.735407e-05,3.727038e-05,3.716978e-05,3.713061e-05,3.699057e-05,3.698496e-05,3.685039e-05,3.679991e-05,3.671018e-05,3.661488e-05,3.657005e-05,3.643010e-05,3.624580e-05,3.606217e-05,3.587940e-05,3.569765e-05,3.551707e-05,3.533780e-05,3.515997e-05,3.498369e-05,3.480906e-05,3.463617e-05,3.446511e-05,3.429594e-05,3.412873e-05,3.396353e-05,3.380040e-05,3.363938e-05,3.348050e-05,3.332379e-05,3.316928e-05,3.301699e-05,3.286694e-05,3.271914e-05,3.257359e-05,3.243030e-05
0.000000e+00,1.396129e-09,3.236261e-09,1.124736e-08,2.565938e-08,3.744605e-08,8.486619e-08,8.741367e-08,1.686035e-07,1.979966e-07,2.889625e-07,3.835447e-07,4.571030e-07,6.613994e-07,6.816082e-07,9.686568e-07,1.047050e-06,1.318623e-06,1.539946e-06,1.725254e-06,2.122321e-06,2.178918e-06,2.670137e-06,2.772157e-06,3.190914e-06,3.471150e-06,3.734597e-06,4.204755e-06,4.295417e-06,4.868137e-06,4.960545e-06,5.447859e-06,5.727248e-06,6.029969e-06,6.494457e-06,6.610138e-06,7.184370e-06,7.252703e-06,7.749046e-06,7.993637e-06,8.300970e-06,8.710188e-06,8.837381e-06,9.355983e-06,9.396644e-06,9.854934e-06,1.004868e-05,1.033281e-05,1.066323e-05,1.078858e-05,1.122157e-05,1.123841e-05,1.163146e-05,1.177334e-05,1.201816e-05,1.226795e-05,1.238185e-05,1.272289e-05,1.304180e-05,1.313928e-05,1.333923e-05,1.351866e-05,1.361593e-05,1.386280e-05,1.387269e-05,1.411039e-05,1.417365e-05,1.432990e-05,1.445325e-05,1.453212e-05,1.470367e-05,1.471795e-05,1.488829e-05,1.492696e-05,1.504400e-05,1.512512e-05,1.518592e-05,1.530005e-05,1.531487e-05,1.543163e-05,1.545359e-05,1.553696e-05,1.558745e-05,1.563156e-05,1.570325e-05,1.571613e-05,1.579130e-05,1.580249e-05,1.585768e-05,1.588659e-05,1.591585e-05,1.595683e-05,1.596634e-05,1.600968e-05,1.601442e-05,1.604633e-05,1.606046e-05,1.607675e-05,1.609597e-05,1.610137e-05,1.612057e-05,1.612189e-05,1.613474e-05,1.613907e-05,1.614421e-05,1.614832e-05,1.614933e-05,1.615038e-05,1.615034e-05,1.614766e-05,1.614581e-05,1.614144e-05,1.613534e-05,1.613197e-05,1.611948e-05,1.610419e-05,1.609874e-05,1.608631e-05,1.607360e-05,1.606603e-05,1.604448e-05,1.604354e-05,1.601900e-05,1.601178e-05,1.599256e-05,1.597585e-05,1.596438e-05,1.593704e-05,1.593460e-05,1.590335e-05,1.589564e-05,1.587074e-05,1.585193e-05,1.583690e-05,1.580617e-05,1.580192e-05,1.576591e-05,1.575860e-05,1.572897e-05,1.570942e-05,1.569118e-05,1.565884e-05,1.565262e-05,1.561337e-05,1.560703e-05,1.557350e-05,1.555417e-05,1.553309e-05,1.550040e-05,1.549218e-05,1.545086e-05,1.544587e-05,1.540916e-05,1.539071e-05,1.536714e-05,1.533503e-05,1.532485e-05,1.528235e-05,1.527894e-05,1.523966e-05,1.522254e-05,1.519683e-05,1.516592e-05,1.515390e-05,1.511090e-05,1.510918e-05,1.506787e-05,1.505237e-05,1.502483e-05,1.499558e-05,1.498182e-05,1.493887e-05,1.488230e-05,1.482591e-05,1.476977e-05,1.471391e-05,1.465838e-05,1.460321e-05,1.454844e-05,1.449410e-05,1.444021e-05,1.438680e-05,1.433390e-05,1.428152e-05,1.422969e-05,1.417841e-05,1.412770e-05,1.407758e-05,1.402806e-05,1.397914e-05,1.393083e-05,1.388315e-05,1.383609e-05,1.378967e-05,1.374387e-05,1.369872e-05
0.000000e+00,1.183614e-09,2.753560e-09,9.629054e-09,2.206184e-08,3.225218e-08,7.324496e-08,7.544343e-08,1.451548e-07,1.701965e-07,2.469874e-07,3.257286e-07,3.862598e-07,5.517931e-07,5.680081e-07,7.968025e-07,8.591418e-07,1.076199e-06,1.255485e-06,1.407867e-06,1.742462e-06,1.791099e-06,2.223338e-06,2.315373e-06,2.701170e-06,2.966448e-06,3.220929e-06,3.687177e-06,3.778850e-06,4.371046e-06,4.468710e-06,4.993470e-06,5.301744e-06,5.641928e-06,6.176545e-06,6.312111e-06,6.999668e-06,7.083136e-06,7.700278e-06,8.011590e-06,8.409726e-06,8.952322e-06,9.123970e-06,9.839199e-06,9.896352e-06,1.055188e-05,1.083551e-05,1.125879e-05,1.176254e-05,1.195702e-05,1.264401e-05,1.267123e-05,1.331753e-05,1.355632e-05,1.397566e-05,1.441357e-05,1.461680e-05,1.523964e-05,1.584310e-05,1.603198e-05,1.642639e-05,1.678882e-05,1.698890e-05,1.750899e-05,1.753023e-05,1.805013e-05,1.819185e-05,1.854851e-05,1.883722e-05,1.902540e-05,1.944529e-05,1.948095e-05,1.991538e-05,2.001653e-05,2.032900e-05,2.055167e-05,2.072218e-05,2.105160e-05,2.109533e-05,2.144893e-05,2.151734e-05,2.178345e-05,2.195004e-05,2.209942e-05,2.235089e-05,2.239738e-05,2.267786e-05,2.272115e-05,2.294141e-05,2.306208e-05,2.318861e-05,2.337496e-05,2.342000e-05,2.363614e-05,2.366108e-05,2.383758e-05,2.392169e-05,2.402485e-05,2.415804e-05,2.419850e-05,2.435905e-05,2.437134e-05,2.450700e-05,2.456277e-05,2.464287e-05,2.473349e-05,2.476714e-05,2.488029e-05,2.488459e-05,2.498277e-05,2.501715e-05,2.507505e-05,2.513220e-05,2.515757e-05,2.523073e-05,2.529497e-05,2.531370e-05,2.535067e-05,2.538202e-05,2.539822e-05,2.543655e-05,2.543799e-05,2.547035e-05,2.547813e-05,2.549564e-05,2.550756e-05,2.551419e-05,2.552559e-05,2.552633e-05,2.553238e-05,2.553296e-05,2.553263e-05,2.553034e-05,2.552737e-05,2.551840e-05,2.551688e-05,2.550142e-05,2.549776e-05,2.548127e-05,2.546901e-05,2.545666e-05,2.543272e-05,2.542784e-05,2.539502e-05,2.538942e-05,2.535844e-05,2.533961e-05,2.531831e-05,2.528378e-05,2.527483e-05,2.522818e-05,2.522238e-05,2.517857e-05,2.515584e-05,2.512617e-05,2.508458e-05,2.507114e-05,2.501367e-05,2.500897e-05,2.495389e-05,2.492937e-05,2.489197e-05,2.484615e-05,2.482805e-05,2.476227e-05,2.475961e-05,2.469476e-05,2.467006e-05,2.462565e-05,2.457780e-05,2.455506e-05,2.448310e-05,2.438621e-05,2.428738e-05,2.418683e-05,2.408478e-05,2.398143e-05,2.387696e-05,2.377155e-05,2.366538e-05,2.355859e-05,2.345132e-05,2.334373e-05,2.323592e-05,2.312803e-05,2.302016e-05,2.291241e-05,2.280488e-05,2.269767e-05,2.259084e-05,2.248448e-05,2.237866e-05,2.227345e-05,2.216889e-05,2.206506e-05,2.196200e-05
0.000000e+00,2.499925e-09,6.076545e-09,2.220827e-08,5.183376e-08,7.628688e-08,1.757325e-07,1.811131e-07,3.542933e-07,4.177203e-07,6.160010e-07,8.243803e-07,9.870690e-07,1.435653e-06,1.479436e-06,2.083684e-06,2.242511e-06,2.773167e-06,3.185990e-06,3.520385e-06,4.209031e-06,4.304543e-06,5.110587e-06,5.273355e-06,5.926841e-06,6.352035e-06,6.743549e-06,7.423697e-06,7.552229e-06,8.345494e-06,8.470550e-06,9.117044e-06,9.478108e-06,9.861691e-06,1.043527e-05,1.057537e-05,1.125511e-05,1.133430e-05,1.189893e-05,1.217053e-05,1.250576e-05,1.294197e-05,1.307526e-05,1.360775e-05,1.364877e-05,1.410405e-05,1.429269e-05,1.456533e-05,1.487657e-05,1.499303e-05,1.538878e-05,1.540397e-05,1.575432e-05,1.587886e-05,1.609143e-05,1.630534e-05,1.640189e-05,1.668748e-05,1.694987e-05,1.702921e-05,1.719071e-05,1.733425e-05,1.741153e-05,1.760605e-05,1.761380e-05,1.779887e-05,1.784778e-05,1.796802e-05,1.806236e-05,1.812243e-05,1.825240e-05,1.826318e-05,1.839129e-05,1.842026e-05,1.850769e-05,1.856808e-05,1.861324e-05,1.869777e-05,1.870873e-05,1.879488e-05,1.881105e-05,1.887237e-05,1.890945e-05,1.894181e-05,1.899435e-05,1.900378e-05,1.905880e-05,1.906699e-05,1.910734e-05,1.912848e-05,1.914987e-05,1.917982e-05,1.918677e-05,1.921845e-05,1.922192e-05,1.924524e-05,1.925557e-05,1.926748e-05,1.928152e-05,1.928546e-05,1.929946e-05,1.930042e-05,1.930975e-05,1.931288e-05,1.931656e-05,1.931944e-05,1.932012e-05,1.932063e-05,1.932059e-05,1.931829e-05,1.931679e-05,1.931329e-05,1.930845e-05,1.930579e-05,1.929594e-05,1.928391e-05,1.927962e-05,1.926982e-05,1.925979e-05,1.925381e-05,1.923674e-05,1.923599e-05,1.921650e-05,1.921075e-05,1.919542e-05,1.918206e-05,1.917286e-05,1.915089e-05,1.914893e-05,1.912370e-05,1.911746e-05,1.909726e-05,1.908196e-05,1.906970e-05,1.904458e-05,1.904109e-05,1.901150e-05,1.900547e-05,1.898100e-05,1.896480e-05,1.894965e-05,1.892271e-05,1.891752e-05,1.888465e-05,1.887933e-05,1.885111e-05,1.883479e-05,1.881695e-05,1.878920e-05,1.878221e-05,1.874694e-05,1.874268e-05,1.871119e-05,1.869532e-05,1.867499e-05,1.864721e-05,1.863839e-05,1.860143e-05,1.859846e-05,1.856413e-05,1.854913e-05,1.852654e-05,1.849931e-05,1.848869e-05,1.845060e-05,1.844907e-05,1.841230e-05,1.839847e-05,1.837383e-05,1.834759e-05,1.833521e-05,1.829647e-05,1.824517e-05,1.819375e-05,1.814225e-05,1.809072e-05,1.803920e-05,1.798773e-05,1.793635e-05,1.788508e-05,1.783397e-05,1.778304e-05,1.773232e-05,1.768183e-05,1.763161e-05,1.758167e-05,1.753203e-05,1.748271e-05,1.743373e-05,1.738511e-05,1.733686e-05,1.728899e-05,1.724153e-05,1.719447e-05,1.714784e-05,1.710163e-05
0.000000e+00,6.648535e-10,1.945189e-09,9.495313e-09,2.688958e-08,4.316586e-08,1.189014e-07,1.232945e-07,2.738875e-07,3.321138e-07,5.203827e-07,7.253804e-07,8.895127e-07,1.361326e-06,1.409086e-06,2.106323e-06,2.302747e-06,3.003276e-06,3.597272e-06,4.110209e-06,5.254056e-06,5.421707e-06,6.918835e-06,7.238253e-06,8.574834e-06,9.488982e-06,1.036030e-05,1.193888e-05,1.224624e-05,1.420549e-05,1.452408e-05,1.621308e-05,1.718712e-05,1.824622e-05,1.987719e-05,2.028427e-05,2.230857e-05,2.254975e-05,2.430248e-05,2.516633e-05,2.625136e-05,2.769452e-05,2.814253e-05,2.996532e-05,3.010791e-05,3.171097e-05,3.238603e-05,3.337261e-05,3.451402e-05,3.494510e-05,3.642493e-05,3.648216e-05,3.781004e-05,3.828530e-05,3.909965e-05,3.992217e-05,4.029411e-05,4.139475e-05,4.240368e-05,4.270759e-05,4.332358e-05,4.386703e-05,4.415761e-05,4.488079e-05,4.490933e-05,4.558255e-05,4.575752e-05,4.618123e-05,4.650636e-05,4.670945e-05,4.713669e-05,4.717129e-05,4.757080e-05,4.765786e-05,4.791197e-05,4.807899e-05,4.819866e-05,4.840887e-05,4.843462e-05,4.862345e-05,4.865586e-05,4.876859e-05,4.882788e-05,4.887330e-05,4.893231e-05,4.894071e-05,4.897374e-05,4.897602e-05,4.897516e-05,4.896538e-05,4.894757e-05,4.890625e-05,4.889340e-05,4.881495e-05,4.880401e-05,4.871435e-05,4.866359e-05,4.859359e-05,4.848947e-05,4.845452e-05,4.829889e-05,4.828577e-05,4.812829e-05,4.805620e-05,4.794422e-05,4.780414e-05,4.774807e-05,4.754113e-05,4.753265e-05,4.732459e-05,4.724450e-05,4.709955e-05,4.694220e-05,4.686704e-05,4.662800e-05,4.638330e-05,4.630393e-05,4.613374e-05,4.597183e-05,4.588008e-05,4.563333e-05,4.562299e-05,4.536311e-05,4.528992e-05,4.510101e-05,4.494291e-05,4.483723e-05,4.459349e-05,4.457226e-05,4.430654e-05,4.424271e-05,4.404049e-05,4.389150e-05,4.377448e-05,4.354071e-05,4.350887e-05,4.324395e-05,4.319107e-05,4.298002e-05,4.284325e-05,4.271733e-05,4.249781e-05,4.245613e-05,4.219662e-05,4.215527e-05,4.193901e-05,4.181607e-05,4.168345e-05,4.148060e-05,4.143011e-05,4.117914e-05,4.114918e-05,4.093064e-05,4.082212e-05,4.068474e-05,4.049965e-05,4.044153e-05,4.020110e-05,4.018199e-05,3.996352e-05,3.986930e-05,3.972886e-05,3.956174e-05,3.949717e-05,3.926850e-05,3.925941e-05,3.904288e-05,3.896242e-05,3.882036e-05,3.867082e-05,3.860095e-05,3.838466e-05,3.810399e-05,3.782881e-05,3.755912e-05,3.729491e-05,3.703616e-05,3.678284e-05,3.653490e-05,3.629230e-05,3.605499e-05,3.582289e-05,3.559594e-05,3.537407e-05,3.515721e-05,3.494528e-05,3.473820e-05,3.453589e-05,3.433826e-05,3.414522e-05,3.395670e-05,3.377259e-05,3.359282e-05,3.341730e-05,3.324594e-05,3.307865e-05
0.000000e+00,4.916712e-09,1.130582e-08,3.897848e-08,8.872279e-08,1.295004e-07,2.948704e-07,3.038185e-07,5.924503e-07,6.985281e-07,1.031643e-06,1.384786e-06,1.663431e-06,2.451011e-06,2.529741e-06,3.656459e-06,3.965364e-06,5.032825e-06,5.894995e-06,6.608830e-06,8.108534e-06,8.318740e-06,1.010476e-05,1.046710e-05,1.192428e-05,1.287332e-05,1.374727e-05,1.526527e-05,1.555211e-05,1.732253e-05,1.760171e-05,1.904586e-05,1.985331e-05,2.071211e-05,2.199869e-05,2.231346e-05,2.384398e-05,2.402266e-05,2.529942e-05,2.591526e-05,2.667700e-05,2.767095e-05,2.797527e-05,2.919387e-05,2.928792e-05,3.033338e-05,3.076732e-05,3.139514e-05,3.211255e-05,3.238111e-05,3.329369e-05,3.332870e-05,3.413557e-05,3.442192e-05,3.490975e-05,3.539910e-05,3.561934e-05,3.626749e-05,3.685740e-05,3.703438e-05,3.739223e-05,3.770707e-05,3.787512e-05,3.829263e-05,3.830909e-05,3.869708e-05,3.879786e-05,3.904193e-05,3.922927e-05,3.934636e-05,3.959299e-05,3.961299e-05,3.984426e-05,3.989477e-05,4.004252e-05,4.013994e-05,4.020996e-05,4.033347e-05,4.034867e-05,4.046063e-05,4.047998e-05,4.054771e-05,4.058374e-05,4.061166e-05,4.064869e-05,4.065411e-05,4.067661e-05,4.067846e-05,4.068063e-05,4.067639e-05,4.066752e-05,4.064557e-05,4.063857e-05,4.059498e-05,4.058882e-05,4.053788e-05,4.050875e-05,4.046831e-05,4.040772e-05,4.038728e-05,4.029570e-05,4.028794e-05,4.019443e-05,4.015140e-05,4.008430e-05,3.999994e-05,3.996606e-05,3.984041e-05,3.983524e-05,3.970802e-05,3.965883e-05,3.956952e-05,3.947213e-05,3.942547e-05,3.927641e-05,3.912287e-05,3.907286e-05,3.896529e-05,3.886254e-05,3.880414e-05,3.864643e-05,3.863980e-05,3.847268e-05,3.842543e-05,3.830311e-05,3.820034e-05,3.813144e-05,3.797192e-05,3.795798e-05,3.778301e-05,3.774082e-05,3.760680e-05,3.750768e-05,3.742960e-05,3.727303e-05,3.725165e-05,3.707315e-05,3.703740e-05,3.689430e-05,3.680123e-05,3.671531e-05,3.656495e-05,3.653632e-05,3.635751e-05,3.632893e-05,3.617902e-05,3.609351e-05,3.600100e-05,3.585899e-05,3.582355e-05,3.564681e-05,3.562566e-05,3.547088e-05,3.539375e-05,3.529585e-05,3.516350e-05,3.512182e-05,3.494888e-05,3.493509e-05,3.477709e-05,3.470871e-05,3.460652e-05,3.448451e-05,3.443725e-05,3.426932e-05,3.426263e-05,3.410279e-05,3.404320e-05,3.393772e-05,3.382631e-05,3.377413e-05,3.361207e-05,3.340055e-05,3.319183e-05,3.298595e-05,3.278297e-05,3.258293e-05,3.238586e-05,3.219179e-05,3.200072e-05,3.181268e-05,3.162767e-05,3.144568e-05,3.126672e-05,3.109077e-05,3.091783e-05,3.074787e-05,3.058089e-05,3.041685e-05,3.025574e-05,3.009753e-05,2.994219e-05,2.978969e-05,2.964000e-05,2.949309e-05,2.934892e-05
0.000000e+00,1.220422e-09,3.402242e-09,1.517344e-08,3.998117e-08,6.191688e-08,1.570386e-07,1.623405e-07,3.364964e-07,4.011229e-07,6.037855e-07,8.168509e-07,9.833985e-07,1.448019e-06,1.494114e-06,2.152080e-06,2.333100e-06,2.966061e-06,3.489720e-06,3.934130e-06,4.905546e-06,5.046160e-06,6.288915e-06,6.551965e-06,7.648985e-06,8.398254e-06,9.113352e-06,1.041456e-05,1.066908e-05,1.230300e-05,1.257078e-05,1.400159e-05,1.483586e-05,1.575113e-05,1.717819e-05,1.753786e-05,1.934830e-05,1.956653e-05,2.116949e-05,2.197105e-05,2.298924e-05,2.436433e-05,2.479630e-05,2.658054e-05,2.672201e-05,2.833297e-05,2.902326e-05,3.004582e-05,3.125083e-05,3.171251e-05,3.332761e-05,3.339107e-05,3.488675e-05,3.543367e-05,3.638658e-05,3.737130e-05,3.782464e-05,3.919927e-05,4.050950e-05,4.091511e-05,4.175500e-05,4.251819e-05,4.293590e-05,4.400937e-05,4.405283e-05,4.510671e-05,4.539067e-05,4.609882e-05,4.666502e-05,4.703061e-05,4.783601e-05,4.790374e-05,4.872003e-05,4.890768e-05,4.948135e-05,4.988442e-05,5.018968e-05,5.077076e-05,5.084702e-05,5.145539e-05,5.157137e-05,5.201683e-05,5.229089e-05,5.253333e-05,5.293393e-05,5.300690e-05,5.343948e-05,5.350501e-05,5.383297e-05,5.400852e-05,5.418925e-05,5.444870e-05,5.451012e-05,5.479733e-05,5.482962e-05,5.505258e-05,5.515518e-05,5.527750e-05,5.542913e-05,5.547367e-05,5.564261e-05,5.565499e-05,5.578578e-05,5.583615e-05,5.590458e-05,5.597579e-05,5.600036e-05,5.607439e-05,5.607692e-05,5.612791e-05,5.614239e-05,5.616210e-05,5.617488e-05,5.617808e-05,5.617694e-05,5.615968e-05,5.615092e-05,5.612731e-05,5.609908e-05,5.608074e-05,5.602350e-05,5.602086e-05,5.594854e-05,5.592616e-05,5.586456e-05,5.580891e-05,5.576971e-05,5.567346e-05,5.566471e-05,5.555025e-05,5.552145e-05,5.542700e-05,5.535438e-05,5.529559e-05,5.517367e-05,5.515661e-05,5.501062e-05,5.498063e-05,5.485817e-05,5.477651e-05,5.469976e-05,5.456245e-05,5.453588e-05,5.436698e-05,5.433952e-05,5.419350e-05,5.410872e-05,5.401584e-05,5.387098e-05,5.383441e-05,5.364956e-05,5.362716e-05,5.346164e-05,5.337807e-05,5.327099e-05,5.312446e-05,5.307792e-05,5.288271e-05,5.286701e-05,5.268565e-05,5.260636e-05,5.248700e-05,5.234312e-05,5.228700e-05,5.208589e-05,5.207783e-05,5.188389e-05,5.181099e-05,5.168120e-05,5.154308e-05,5.147802e-05,5.127453e-05,5.100574e-05,5.073708e-05,5.046887e-05,5.020144e-05,4.993506e-05,4.967000e-05,4.940648e-05,4.914472e-05,4.888493e-05,4.862726e-05,4.837190e-05,4.811897e-05,4.786861e-05,4.762093e-05,4.737603e-05,4.713402e-05,4.689495e-05,4.665891e-05,4.642594e-05,4.619611e-05,4.596945e-05,4.574600e-05,4.552578e-05,4.530882e-05
0.000000e+00,1.679807e-09,4.600178e-09,1.989798e-08,5.130285e-08,7.866894e-08,1.955770e-07,2.020459e-07,4.133537e-07,4.914556e-07,7.360563e-07,9.931951e-07,1.194367e-06,1.756645e-06,1.812508e-06,2.610950e-06,2.830772e-06,3.598727e-06,4.231867e-06,4.766500e-06,5.923055e-06,6.088861e-06,7.534357e-06,7.835561e-06,9.073489e-06,9.902339e-06,1.068114e-05,1.206889e-05,1.233606e-05,1.401975e-05,1.429068e-05,1.571577e-05,1.652985e-05,1.740940e-05,1.875375e-05,1.908757e-05,2.073881e-05,2.093467e-05,2.235332e-05,2.304991e-05,2.392294e-05,2.508172e-05,2.544108e-05,2.690265e-05,2.701701e-05,2.830391e-05,2.884692e-05,2.964231e-05,3.056618e-05,3.091638e-05,3.212551e-05,3.217253e-05,3.326980e-05,3.366600e-05,3.434997e-05,3.504847e-05,3.536723e-05,3.632313e-05,3.721953e-05,3.749413e-05,3.805846e-05,3.856623e-05,3.884212e-05,3.954454e-05,3.957277e-05,4.025274e-05,4.043436e-05,4.088434e-05,4.124105e-05,4.146990e-05,4.196990e-05,4.201169e-05,4.251191e-05,4.262602e-05,4.297271e-05,4.321432e-05,4.339617e-05,4.373953e-05,4.378430e-05,4.413901e-05,4.420610e-05,4.446213e-05,4.461826e-05,4.475542e-05,4.497995e-05,4.502054e-05,4.525908e-05,4.529489e-05,4.547257e-05,4.556657e-05,4.566244e-05,4.579825e-05,4.583005e-05,4.597672e-05,4.599297e-05,4.610365e-05,4.615355e-05,4.621202e-05,4.628264e-05,4.630292e-05,4.637742e-05,4.638270e-05,4.643648e-05,4.645599e-05,4.648104e-05,4.650465e-05,4.651200e-05,4.653017e-05,4.653064e-05,4.653636e-05,4.653580e-05,4.653131e-05,4.652182e-05,4.651573e-05,4.649028e-05,4.645559e-05,4.644264e-05,4.641226e-05,4.638026e-05,4.636086e-05,4.630440e-05,4.630190e-05,4.623591e-05,4.621623e-05,4.616334e-05,4.611684e-05,4.608465e-05,4.600722e-05,4.600027e-05,4.591058e-05,4.588831e-05,4.581598e-05,4.576098e-05,4.571681e-05,4.562603e-05,4.561341e-05,4.550611e-05,4.548420e-05,4.539519e-05,4.533619e-05,4.528095e-05,4.518262e-05,4.516366e-05,4.504356e-05,4.502410e-05,4.492090e-05,4.486117e-05,4.479589e-05,4.469435e-05,4.466877e-05,4.453971e-05,4.452411e-05,4.440892e-05,4.435087e-05,4.427658e-05,4.417506e-05,4.414284e-05,4.400788e-05,4.399704e-05,4.387185e-05,4.381716e-05,4.373487e-05,4.363575e-05,4.359710e-05,4.345865e-05,4.345310e-05,4.331965e-05,4.326950e-05,4.318021e-05,4.308518e-05,4.304042e-05,4.290040e-05,4.271537e-05,4.253028e-05,4.234533e-05,4.216069e-05,4.197651e-05,4.179293e-05,4.161011e-05,4.142815e-05,4.124716e-05,4.106726e-05,4.088854e-05,4.071107e-05,4.053495e-05,4.036024e-05,4.018701e-05,4.001531e-05,3.984521e-05,3.967674e-05,3.950995e-05,3.934487e-05,3.918155e-05,3.902000e-05,3.886026e-05,3.870235e-05
0.000000e+00,2.459547e-10,7.086649e-10,3.351981e-09,9.226556e-09,1.458437e-08,3.862438e-08,3.998828e-08,8.552912e-08,1.026749e-07,1.569538e-07,2.145973e-07,2.599520e-07,3.874984e-07,4.002207e-07,5.828916e-07,6.334440e-07,8.108931e-07,9.581207e-07,1.083017e-06,1.354552e-06,1.393583e-06,1.734141e-06,1.805049e-06,2.095672e-06,2.289191e-06,2.470002e-06,2.789300e-06,2.850310e-06,3.231090e-06,3.291750e-06,3.607903e-06,3.786272e-06,3.977116e-06,4.264966e-06,4.335706e-06,4.681126e-06,4.721586e-06,5.011241e-06,5.151177e-06,5.324293e-06,5.549930e-06,5.618890e-06,5.894005e-06,5.915150e-06,6.148963e-06,6.245215e-06,6.383419e-06,6.539500e-06,6.597335e-06,6.790959e-06,6.798288e-06,6.964781e-06,7.022638e-06,7.119492e-06,7.214209e-06,7.255945e-06,7.375115e-06,7.478061e-06,7.507757e-06,7.565891e-06,7.614692e-06,7.639736e-06,7.698517e-06,7.700723e-06,7.749954e-06,7.761777e-06,7.788491e-06,7.806905e-06,7.817349e-06,7.836170e-06,7.837481e-06,7.849779e-06,7.851658e-06,7.855067e-06,7.855252e-06,7.854104e-06,7.848639e-06,7.847585e-06,7.836142e-06,7.833314e-06,7.820348e-06,7.810590e-06,7.800719e-06,7.781606e-06,7.777716e-06,7.751753e-06,7.747349e-06,7.723198e-06,7.708670e-06,7.692384e-06,7.666306e-06,7.659606e-06,7.625126e-06,7.620886e-06,7.589178e-06,7.572950e-06,7.551969e-06,7.522962e-06,7.513685e-06,7.474492e-06,7.471321e-06,7.434535e-06,7.418369e-06,7.393947e-06,7.364398e-06,7.352843e-06,7.311328e-06,7.309660e-06,7.269496e-06,7.254375e-06,7.227430e-06,7.198730e-06,7.185204e-06,7.142886e-06,7.100536e-06,7.086987e-06,7.058208e-06,7.031153e-06,7.015951e-06,6.975490e-06,6.973807e-06,6.931816e-06,6.920091e-06,6.890014e-06,6.865036e-06,6.848432e-06,6.810395e-06,6.807098e-06,6.766039e-06,6.756228e-06,6.725277e-06,6.702587e-06,6.684832e-06,6.649518e-06,6.644724e-06,6.604968e-06,6.597060e-06,6.565580e-06,6.545247e-06,6.526571e-06,6.494107e-06,6.487955e-06,6.449741e-06,6.443664e-06,6.411937e-06,6.393939e-06,6.374551e-06,6.344949e-06,6.337591e-06,6.301062e-06,6.296707e-06,6.264968e-06,6.249225e-06,6.229313e-06,6.202511e-06,6.194101e-06,6.159334e-06,6.156572e-06,6.125013e-06,6.111411e-06,6.091141e-06,6.067030e-06,6.057716e-06,6.024740e-06,6.023431e-06,5.992212e-06,5.980612e-06,5.960132e-06,5.938572e-06,5.928497e-06,5.897307e-06,5.856813e-06,5.817084e-06,5.778116e-06,5.739900e-06,5.702429e-06,5.665696e-06,5.629691e-06,5.594406e-06,5.559831e-06,5.525957e-06,5.492773e-06,5.460270e-06,5.428436e-06,5.397261e-06,5.366734e-06,5.336845e-06,5.307582e-06,5.278935e-06,5.250893e-06,5.223444e-06,5.196577e-06,5.170283e-06,5.144549e-06,5.119365e-06
0.000000e+00,2.528687e-09,6.381026e-09,2.450565e-08,5.882607e-08,8.756030e-08,2.056266e-07,2.120327e-07,4.176690e-07,4.924949e-07,7.244290e-07,9.655578e-07,1.152844e-06,1.671651e-06,1.722877e-06,2.449757e-06,2.648319e-06,3.337827e-06,3.902802e-06,4.378633e-06,5.408155e-06,5.556071e-06,6.852445e-06,7.124501e-06,8.251072e-06,9.013581e-06,9.736428e-06,1.104030e-05,1.129370e-05,1.290847e-05,1.317123e-05,1.456663e-05,1.537391e-05,1.625446e-05,1.761728e-05,1.795888e-05,1.966758e-05,1.987236e-05,2.136925e-05,2.211309e-05,2.305371e-05,2.431682e-05,2.471199e-05,2.633638e-05,2.646466e-05,2.792038e-05,2.854144e-05,2.945868e-05,3.053555e-05,3.094707e-05,3.238233e-05,3.243860e-05,3.376214e-05,3.424499e-05,3.508497e-05,3.595148e-05,3.634995e-05,3.755680e-05,3.870570e-05,3.906120e-05,3.979724e-05,4.046614e-05,4.083234e-05,4.177399e-05,4.181214e-05,4.273801e-05,4.298779e-05,4.361144e-05,4.411101e-05,4.443406e-05,4.514744e-05,4.520755e-05,4.593364e-05,4.610104e-05,4.661409e-05,4.697586e-05,4.725065e-05,4.777593e-05,4.784510e-05,4.839915e-05,4.850526e-05,4.891451e-05,4.916776e-05,4.939284e-05,4.976723e-05,4.983579e-05,5.024491e-05,5.030733e-05,5.062174e-05,5.079159e-05,5.096777e-05,5.122337e-05,5.128442e-05,5.157308e-05,5.160590e-05,5.183506e-05,5.194222e-05,5.207166e-05,5.223524e-05,5.228409e-05,5.247353e-05,5.248772e-05,5.264111e-05,5.270226e-05,5.278791e-05,5.288133e-05,5.291498e-05,5.302329e-05,5.302725e-05,5.311381e-05,5.314222e-05,5.318744e-05,5.322831e-05,5.324505e-05,5.328748e-05,5.331550e-05,5.332155e-05,5.332989e-05,5.333227e-05,5.333136e-05,5.332127e-05,5.332061e-05,5.329829e-05,5.329006e-05,5.326505e-05,5.324010e-05,5.322147e-05,5.317274e-05,5.316812e-05,5.310557e-05,5.308925e-05,5.303433e-05,5.299082e-05,5.295489e-05,5.287858e-05,5.286773e-05,5.277330e-05,5.275358e-05,5.267203e-05,5.261681e-05,5.256434e-05,5.246920e-05,5.245061e-05,5.233122e-05,5.231162e-05,5.220652e-05,5.214488e-05,5.207686e-05,5.196976e-05,5.194254e-05,5.180389e-05,5.178697e-05,5.166118e-05,5.159718e-05,5.151471e-05,5.140103e-05,5.136473e-05,5.121150e-05,5.119911e-05,5.105526e-05,5.099197e-05,5.089623e-05,5.078013e-05,5.073464e-05,5.057069e-05,5.056409e-05,5.040458e-05,5.034428e-05,5.023648e-05,5.012115e-05,5.006660e-05,4.989508e-05,4.966646e-05,4.943563e-05,4.920291e-05,4.896863e-05,4.873304e-05,4.849644e-05,4.825905e-05,4.802112e-05,4.778286e-05,4.754448e-05,4.730615e-05,4.706806e-05,4.683037e-05,4.659322e-05,4.635676e-05,4.612112e-05,4.588642e-05,4.565277e-05,4.542027e-05,4.518902e-05,4.495911e-05,4.473062e-05,4.450362e-05,4.427818e-05
0.000000e+00,1.694541e-09,3.903673e-09,1.344554e-08,3.045900e-08,4.427398e-08,9.917485e-08,1.020973e-07,1.940161e-07,2.267660e-07,3.265889e-07,4.282454e-07,5.060360e-07,7.176035e-07,7.382515e-07,1.028336e-06,1.106969e-06,1.379256e-06,1.602151e-06,1.789956e-06,2.196428e-06,2.254803e-06,2.765479e-06,2.872345e-06,3.313396e-06,3.610424e-06,3.890819e-06,4.393640e-06,4.490919e-06,5.107526e-06,5.207328e-06,5.734920e-06,6.038310e-06,6.367727e-06,6.874472e-06,7.000909e-06,7.629792e-06,7.704762e-06,8.250113e-06,8.519344e-06,8.858066e-06,9.309776e-06,9.450330e-06,1.002409e-05,1.006912e-05,1.057705e-05,1.079198e-05,1.110739e-05,1.147444e-05,1.161375e-05,1.209521e-05,1.211395e-05,1.255124e-05,1.270914e-05,1.298164e-05,1.325969e-05,1.338648e-05,1.376611e-05,1.412105e-05,1.422953e-05,1.445201e-05,1.465162e-05,1.475981e-05,1.503436e-05,1.504536e-05,1.530964e-05,1.537996e-05,1.555366e-05,1.569079e-05,1.577847e-05,1.596922e-05,1.598511e-05,1.617462e-05,1.621766e-05,1.634800e-05,1.643843e-05,1.650625e-05,1.663376e-05,1.665033e-05,1.678114e-05,1.680579e-05,1.689956e-05,1.695651e-05,1.700642e-05,1.708782e-05,1.710250e-05,1.718855e-05,1.720144e-05,1.726527e-05,1.729897e-05,1.733330e-05,1.738190e-05,1.739328e-05,1.744577e-05,1.745159e-05,1.749131e-05,1.750928e-05,1.753041e-05,1.755611e-05,1.756354e-05,1.759112e-05,1.759310e-05,1.761357e-05,1.762120e-05,1.763127e-05,1.764127e-05,1.764457e-05,1.765380e-05,1.765409e-05,1.765926e-05,1.766036e-05,1.766123e-05,1.766072e-05,1.765999e-05,1.765576e-05,1.764879e-05,1.764601e-05,1.763928e-05,1.763195e-05,1.762743e-05,1.761402e-05,1.761342e-05,1.759743e-05,1.759262e-05,1.757961e-05,1.756810e-05,1.756011e-05,1.754080e-05,1.753907e-05,1.751661e-05,1.751103e-05,1.749286e-05,1.747904e-05,1.746793e-05,1.744509e-05,1.744192e-05,1.741492e-05,1.740941e-05,1.738704e-05,1.737221e-05,1.735834e-05,1.733368e-05,1.732892e-05,1.729885e-05,1.729398e-05,1.726818e-05,1.725327e-05,1.723699e-05,1.721171e-05,1.720535e-05,1.717329e-05,1.716942e-05,1.714088e-05,1.712652e-05,1.710816e-05,1.708312e-05,1.707519e-05,1.704200e-05,1.703933e-05,1.700863e-05,1.699524e-05,1.697511e-05,1.695092e-05,1.694150e-05,1.690781e-05,1.690646e-05,1.687408e-05,1.686193e-05,1.684034e-05,1.681740e-05,1.680661e-05,1.677292e-05,1.672854e-05,1.668431e-05,1.664029e-05,1.659651e-05,1.655300e-05,1.650980e-05,1.646695e-05,1.642446e-05,1.638236e-05,1.634068e-05,1.629944e-05,1.625865e-05,1.621833e-05,1.617849e-05,1.613915e-05,1.610032e-05,1.606200e-05,1.602420e-05,1.598694e-05,1.595021e-05,1.591402e-05,1.587838e-05,1.584329e-05,1.580874e-05
0.000000e+00,9.257933e-10,2.573344e-09,1.141440e-08,2.994135e-08,4.625793e-08,1.165832e-07,1.204867e-07,2.479556e-07,2.949255e-07,4.411934e-07,5.934396e-07,7.114556e-07,1.036726e-06,1.068720e-06,1.521505e-06,1.645170e-06,2.076401e-06,2.433304e-06,2.737193e-06,3.406237e-06,3.503671e-06,4.370653e-06,4.555297e-06,5.328065e-06,5.857249e-06,6.362387e-06,7.279718e-06,7.458668e-06,8.602132e-06,8.788528e-06,9.779032e-06,1.035211e-05,1.097691e-05,1.194277e-05,1.218460e-05,1.339221e-05,1.353669e-05,1.459103e-05,1.511373e-05,1.577348e-05,1.665717e-05,1.693308e-05,1.806439e-05,1.815354e-05,1.916296e-05,1.959238e-05,2.022520e-05,2.096597e-05,2.124839e-05,2.223051e-05,2.226892e-05,2.317020e-05,2.349793e-05,2.406665e-05,2.465134e-05,2.491951e-05,2.572886e-05,2.649507e-05,2.673124e-05,2.721880e-05,2.766009e-05,2.790092e-05,2.851758e-05,2.854248e-05,2.914463e-05,2.930633e-05,2.970863e-05,3.002926e-05,3.023580e-05,3.068945e-05,3.072752e-05,3.118517e-05,3.129009e-05,3.161015e-05,3.183439e-05,3.200386e-05,3.232555e-05,3.236767e-05,3.270295e-05,3.276670e-05,3.301102e-05,3.316089e-05,3.329317e-05,3.351107e-05,3.355066e-05,3.378472e-05,3.382007e-05,3.399651e-05,3.409060e-05,3.418718e-05,3.432524e-05,3.435782e-05,3.450949e-05,3.452646e-05,3.464320e-05,3.469659e-05,3.475991e-05,3.483782e-05,3.486056e-05,3.494603e-05,3.495224e-05,3.501718e-05,3.504181e-05,3.507482e-05,3.510839e-05,3.511973e-05,3.515264e-05,3.515372e-05,3.517427e-05,3.517942e-05,3.518529e-05,3.518705e-05,3.518634e-05,3.517803e-05,3.516095e-05,3.515373e-05,3.513566e-05,3.511540e-05,3.510266e-05,3.506422e-05,3.506248e-05,3.501559e-05,3.500132e-05,3.496243e-05,3.492771e-05,3.490344e-05,3.484438e-05,3.483903e-05,3.476959e-05,3.475221e-05,3.469547e-05,3.465206e-05,3.461703e-05,3.454470e-05,3.453461e-05,3.444851e-05,3.443087e-05,3.435902e-05,3.431125e-05,3.426644e-05,3.418647e-05,3.417103e-05,3.407303e-05,3.405713e-05,3.397269e-05,3.392376e-05,3.387023e-05,3.378688e-05,3.376586e-05,3.365979e-05,3.364696e-05,3.355220e-05,3.350443e-05,3.344328e-05,3.335970e-05,3.333318e-05,3.322208e-05,3.321315e-05,3.311011e-05,3.306512e-05,3.299743e-05,3.291593e-05,3.288416e-05,3.277043e-05,3.276588e-05,3.265637e-05,3.261524e-05,3.254206e-05,3.246426e-05,3.242763e-05,3.231317e-05,3.216220e-05,3.201152e-05,3.186132e-05,3.171176e-05,3.156300e-05,3.141516e-05,3.126837e-05,3.112274e-05,3.097838e-05,3.083537e-05,3.069379e-05,3.055373e-05,3.041524e-05,3.027838e-05,3.014320e-05,3.000975e-05,2.987807e-05,2.974818e-05,2.962012e-05,2.949391e-05,2.936957e-05,2.924711e-05,2.912655e-05,2.900788e-05
0.000000e+00,2.148756e-09,6.398620e-09,3.239068e-08,9.479681e-08,1.549462e-07,4.471615e-07,4.645646e-07,1.081188e-06,1.327870e-06,2.148851e-06,3.074978e-06,3.835563e-06,6.091752e-06,6.324670e-06,9.788918e-06,1.078133e-05,1.436216e-05,1.744184e-05,2.013178e-05,2.623882e-05,2.714746e-05,3.543208e-05,3.724186e-05,4.498893e-05,5.045768e-05,5.580548e-05,6.584586e-05,6.785520e-05,8.109827e-05,8.332457e-05,9.548206e-05,1.027728e-04,1.109416e-04,1.240325e-04,1.274001e-04,1.447705e-04,1.469118e-04,1.629563e-04,1.711896e-04,1.818530e-04,1.966225e-04,2.013507e-04,2.213354e-04,2.229517e-04,2.416911e-04,2.499112e-04,2.623018e-04,2.772353e-04,2.830535e-04,3.038353e-04,3.046657e-04,3.245415e-04,3.319577e-04,3.450722e-04,3.588853e-04,3.653348e-04,3.852444e-04,4.047243e-04,4.108558e-04,4.237064e-04,4.355659e-04,4.421313e-04,4.592475e-04,4.599479e-04,4.771138e-04,4.817987e-04,4.935942e-04,5.031419e-04,5.093620e-04,5.232216e-04,5.243971e-04,5.386858e-04,5.420030e-04,5.522203e-04,5.594691e-04,5.649983e-04,5.756188e-04,5.770220e-04,5.882979e-04,5.904641e-04,5.988361e-04,6.040287e-04,6.086499e-04,6.163452e-04,6.177551e-04,6.261698e-04,6.274534e-04,6.339139e-04,6.373991e-04,6.410087e-04,6.462320e-04,6.474765e-04,6.533406e-04,6.540049e-04,6.586247e-04,6.607722e-04,6.633529e-04,6.665894e-04,6.675493e-04,6.712380e-04,6.715119e-04,6.744430e-04,6.755949e-04,6.771879e-04,6.788923e-04,6.794957e-04,6.813893e-04,6.814567e-04,6.828905e-04,6.833392e-04,6.840211e-04,6.845887e-04,6.848017e-04,6.852524e-04,6.853927e-04,6.853750e-04,6.852411e-04,6.849993e-04,6.848157e-04,6.841655e-04,6.841335e-04,6.832111e-04,6.829119e-04,6.820642e-04,6.812745e-04,6.807078e-04,6.792872e-04,6.791562e-04,6.774231e-04,6.769816e-04,6.755214e-04,6.743875e-04,6.734636e-04,6.715329e-04,6.712614e-04,6.689259e-04,6.684437e-04,6.664677e-04,6.651442e-04,6.638967e-04,6.616570e-04,6.612225e-04,6.584541e-04,6.580030e-04,6.555999e-04,6.542018e-04,6.526679e-04,6.502714e-04,6.496657e-04,6.466005e-04,6.462288e-04,6.434790e-04,6.420894e-04,6.403076e-04,6.378676e-04,6.370922e-04,6.338384e-04,6.335766e-04,6.305516e-04,6.292287e-04,6.272367e-04,6.248353e-04,6.238984e-04,6.205412e-04,6.204065e-04,6.171690e-04,6.159521e-04,6.137857e-04,6.114807e-04,6.103951e-04,6.070003e-04,6.025184e-04,5.980415e-04,5.935758e-04,5.891268e-04,5.846996e-04,5.802988e-04,5.759284e-04,5.715922e-04,5.672935e-04,5.630352e-04,5.588201e-04,5.546504e-04,5.505283e-04,5.464555e-04,5.424336e-04,5.384640e-04,5.345478e-04,5.306860e-04,5.268793e-04,5.231285e-04,5.194339e-04,5.157959e-04,5.122147e-04,5.086906e-04
0.000000e+00,9.702623e-10,2.722434e-09,1.229611e-08,3.276366e-08,5.105652e-08,1.317493e-07,1.363005e-07,2.883269e-07,3.458647e-07,5.297777e-07,7.283396e-07,8.869618e-07,1.343770e-06,1.390153e-06,2.070738e-06,2.263487e-06,2.953122e-06,3.538957e-06,4.044489e-06,5.167887e-06,5.331955e-06,6.790194e-06,7.099850e-06,8.391362e-06,9.272017e-06,1.011055e-05,1.163057e-05,1.192698e-05,1.382323e-05,1.413300e-05,1.578415e-05,1.674430e-05,1.779604e-05,1.943366e-05,1.984615e-05,2.192242e-05,2.217278e-05,2.401347e-05,2.493543e-05,2.610861e-05,2.769750e-05,2.819790e-05,3.027222e-05,3.043727e-05,3.232336e-05,3.313566e-05,3.434401e-05,3.577637e-05,3.632778e-05,3.826920e-05,3.834591e-05,4.016367e-05,4.083344e-05,4.200741e-05,4.323060e-05,4.379738e-05,4.553126e-05,4.720731e-05,4.773123e-05,4.882437e-05,4.982798e-05,5.038173e-05,5.182037e-05,5.187912e-05,5.331660e-05,5.370840e-05,5.469454e-05,5.549298e-05,5.601357e-05,5.717576e-05,5.727452e-05,5.847838e-05,5.875893e-05,5.962629e-05,6.024514e-05,6.071949e-05,6.163730e-05,6.175931e-05,6.274713e-05,6.293858e-05,6.368440e-05,6.415228e-05,6.457258e-05,6.528181e-05,6.541316e-05,6.620764e-05,6.633058e-05,6.695751e-05,6.730203e-05,6.766424e-05,6.819957e-05,6.832932e-05,6.895419e-05,6.902654e-05,6.954029e-05,6.978624e-05,7.008900e-05,7.048188e-05,7.060172e-05,7.107977e-05,7.111656e-05,7.152449e-05,7.169332e-05,7.193713e-05,7.221508e-05,7.231896e-05,7.267118e-05,7.268467e-05,7.299497e-05,7.310479e-05,7.329147e-05,7.347808e-05,7.356180e-05,7.380704e-05,7.402822e-05,7.409408e-05,7.422636e-05,7.434153e-05,7.440243e-05,7.455158e-05,7.455739e-05,7.469214e-05,7.472637e-05,7.480757e-05,7.486791e-05,7.490454e-05,7.497815e-05,7.498387e-05,7.504635e-05,7.505893e-05,7.509276e-05,7.511201e-05,7.512384e-05,7.513907e-05,7.514030e-05,7.514283e-05,7.514172e-05,7.513210e-05,7.512149e-05,7.510874e-05,7.507981e-05,7.507337e-05,7.502659e-05,7.501809e-05,7.496897e-05,7.493762e-05,7.490105e-05,7.483967e-05,7.482337e-05,7.473644e-05,7.472541e-05,7.464074e-05,7.459598e-05,7.453675e-05,7.445244e-05,7.442491e-05,7.430567e-05,7.429582e-05,7.417944e-05,7.412708e-05,7.404662e-05,7.394713e-05,7.390760e-05,7.376274e-05,7.375683e-05,7.361241e-05,7.355701e-05,7.345693e-05,7.334845e-05,7.329665e-05,7.313187e-05,7.290798e-05,7.267744e-05,7.244086e-05,7.219883e-05,7.195192e-05,7.170063e-05,7.144547e-05,7.118691e-05,7.092537e-05,7.066128e-05,7.039503e-05,7.012697e-05,6.985746e-05,6.958683e-05,6.931536e-05,6.904336e-05,6.877108e-05,6.849878e-05,6.822669e-05,6.795503e-05,6.768401e-05,6.741381e-05,6.714462e-05,6.687659e-05
0.000000e+00,1.368683e-09,3.515756e-09,1.380455e-08,3.350602e-08,5.007657e-08,1.184459e-07,1.221639e-07,2.418457e-07,2.855423e-07,4.214628e-07,5.635129e-07,6.743390e-07,9.833221e-07,1.013967e-06,1.450594e-06,1.570244e-06,1.985973e-06,2.326097e-06,2.611711e-06,3.226007e-06,3.313802e-06,4.077948e-06,4.237095e-06,4.891722e-06,5.330923e-06,5.744525e-06,6.484163e-06,6.626989e-06,7.530489e-06,7.676453e-06,8.446910e-06,8.889107e-06,9.368564e-06,1.010478e-05,1.028823e-05,1.119920e-05,1.130764e-05,1.209541e-05,1.248365e-05,1.297147e-05,1.362090e-05,1.382271e-05,1.464521e-05,1.470967e-05,1.543579e-05,1.574250e-05,1.619195e-05,1.671404e-05,1.691189e-05,1.759440e-05,1.762091e-05,1.823884e-05,1.846146e-05,1.884497e-05,1.923531e-05,1.941293e-05,1.994325e-05,2.043667e-05,2.058694e-05,2.089422e-05,2.116876e-05,2.131706e-05,2.169154e-05,2.170649e-05,2.206388e-05,2.215840e-05,2.239066e-05,2.257265e-05,2.268831e-05,2.293768e-05,2.295830e-05,2.320210e-05,2.325687e-05,2.342115e-05,2.353354e-05,2.361687e-05,2.377090e-05,2.379064e-05,2.394377e-05,2.397203e-05,2.407755e-05,2.413987e-05,2.419320e-05,2.427719e-05,2.429188e-05,2.437471e-05,2.438657e-05,2.444275e-05,2.447045e-05,2.449699e-05,2.453109e-05,2.453839e-05,2.456783e-05,2.457060e-05,2.458618e-05,2.459094e-05,2.459421e-05,2.459389e-05,2.459270e-05,2.458233e-05,2.458114e-05,2.456377e-05,2.455420e-05,2.453765e-05,2.451450e-05,2.450456e-05,2.446504e-05,2.446333e-05,2.441960e-05,2.440189e-05,2.436873e-05,2.433128e-05,2.431289e-05,2.425249e-05,2.418793e-05,2.416646e-05,2.411959e-05,2.407402e-05,2.404780e-05,2.397595e-05,2.397289e-05,2.389518e-05,2.387295e-05,2.381493e-05,2.376568e-05,2.373242e-05,2.365472e-05,2.364789e-05,2.356157e-05,2.354061e-05,2.347368e-05,2.342385e-05,2.338441e-05,2.330488e-05,2.329397e-05,2.320250e-05,2.318410e-05,2.311019e-05,2.306191e-05,2.301718e-05,2.293862e-05,2.292362e-05,2.282962e-05,2.281455e-05,2.273532e-05,2.268998e-05,2.264082e-05,2.256516e-05,2.254624e-05,2.245166e-05,2.244032e-05,2.235718e-05,2.231566e-05,2.226288e-05,2.219138e-05,2.216884e-05,2.207512e-05,2.206764e-05,2.198180e-05,2.194459e-05,2.188893e-05,2.182237e-05,2.179657e-05,2.170476e-05,2.170110e-05,2.161357e-05,2.158089e-05,2.152302e-05,2.146183e-05,2.143315e-05,2.134401e-05,2.122751e-05,2.111238e-05,2.099870e-05,2.088650e-05,2.077583e-05,2.066673e-05,2.055922e-05,2.045334e-05,2.034910e-05,2.024652e-05,2.014561e-05,2.004638e-05,1.994883e-05,1.985296e-05,1.975877e-05,1.966626e-05,1.957542e-05,1.948625e-05,1.939873e-05,1.931285e-05,1.922859e-05,1.914595e-05,1.906491e-05,1.898545e-05
0.000000e+00,2.259006e-09,5.178650e-09,1.783684e-08,4.063662e-08,5.934131e-08,1.350989e-07,1.391895e-07,2.705026e-07,3.184405e-07,4.679073e-07,6.247733e-07,7.475515e-07,1.090648e-06,1.124670e-06,1.607406e-06,1.738782e-06,2.191835e-06,2.559021e-06,2.865545e-06,3.521391e-06,3.614903e-06,4.428317e-06,4.597814e-06,5.296154e-06,5.766087e-06,6.209900e-06,7.007057e-06,7.161544e-06,8.143304e-06,8.302669e-06,9.147568e-06,9.635430e-06,1.016696e-05,1.098862e-05,1.119444e-05,1.222347e-05,1.234676e-05,1.324803e-05,1.369600e-05,1.426272e-05,1.502435e-05,1.526282e-05,1.624427e-05,1.632187e-05,1.720365e-05,1.758058e-05,1.813817e-05,1.879435e-05,1.904560e-05,1.992421e-05,1.995874e-05,2.077276e-05,2.107070e-05,2.159038e-05,2.212842e-05,2.237656e-05,2.313105e-05,2.385388e-05,2.407853e-05,2.454527e-05,2.497142e-05,2.520559e-05,2.581075e-05,2.583536e-05,2.643521e-05,2.659789e-05,2.700583e-05,2.733448e-05,2.754798e-05,2.802232e-05,2.806248e-05,2.855016e-05,2.866330e-05,2.901187e-05,2.925941e-05,2.944849e-05,2.981264e-05,2.986088e-05,3.024990e-05,3.032498e-05,3.061643e-05,3.079841e-05,3.096129e-05,3.123485e-05,3.128533e-05,3.158935e-05,3.163619e-05,3.187415e-05,3.200425e-05,3.214050e-05,3.234081e-05,3.238917e-05,3.262087e-05,3.264756e-05,3.283632e-05,3.292614e-05,3.303620e-05,3.317811e-05,3.322118e-05,3.339190e-05,3.340496e-05,3.354898e-05,3.360813e-05,3.369302e-05,3.378898e-05,3.382460e-05,3.394426e-05,3.394881e-05,3.405255e-05,3.408885e-05,3.414998e-05,3.421028e-05,3.423704e-05,3.431422e-05,3.438197e-05,3.440173e-05,3.444073e-05,3.447382e-05,3.449093e-05,3.453144e-05,3.453297e-05,3.456724e-05,3.457549e-05,3.459411e-05,3.460684e-05,3.461395e-05,3.462629e-05,3.462711e-05,3.463390e-05,3.463462e-05,3.463465e-05,3.463255e-05,3.462966e-05,3.462076e-05,3.461923e-05,3.460363e-05,3.459992e-05,3.458314e-05,3.457063e-05,3.455800e-05,3.453348e-05,3.452847e-05,3.449477e-05,3.448901e-05,3.445714e-05,3.443775e-05,3.441580e-05,3.438018e-05,3.437093e-05,3.432276e-05,3.431676e-05,3.427146e-05,3.424794e-05,3.421721e-05,3.417412e-05,3.416019e-05,3.410057e-05,3.409569e-05,3.403850e-05,3.401302e-05,3.397414e-05,3.392646e-05,3.390762e-05,3.383910e-05,3.383632e-05,3.376869e-05,3.374291e-05,3.369654e-05,3.364653e-05,3.362275e-05,3.354744e-05,3.344591e-05,3.334216e-05,3.323643e-05,3.312894e-05,3.301987e-05,3.290943e-05,3.279779e-05,3.268510e-05,3.257154e-05,3.245725e-05,3.234235e-05,3.222699e-05,3.211129e-05,3.199535e-05,3.187928e-05,3.176319e-05,3.164716e-05,3.153128e-05,3.141563e-05,3.130028e-05,3.118531e-05,3.107078e-05,3.095676e-05,3.084329e-05
0.000000e+00,9.726137e-10,2.877913e-09,1.437157e-08,4.151268e-08,6.733881e-08,1.902140e-07,1.974319e-07,4.482269e-07,5.463974e-07,8.664398e-07,1.217699e-06,1.500119e-06,2.314834e-06,2.397444e-06,3.605508e-06,3.946668e-06,5.168175e-06,6.212295e-06,7.122178e-06,9.185235e-06,9.492009e-06,1.228623e-05,1.289560e-05,1.549736e-05,1.732546e-05,1.910470e-05,2.241911e-05,2.307798e-05,2.738054e-05,2.809683e-05,3.197162e-05,3.426517e-05,3.680794e-05,4.082360e-05,4.184487e-05,4.703741e-05,4.766885e-05,5.234094e-05,5.469840e-05,5.771198e-05,6.181336e-05,6.310880e-05,6.849207e-05,6.892103e-05,7.382525e-05,7.593693e-05,7.907504e-05,8.278636e-05,8.421160e-05,8.920875e-05,8.940540e-05,9.404398e-05,9.574130e-05,9.869849e-05,1.017524e-04,1.031570e-04,1.074076e-04,1.114414e-04,1.126854e-04,1.152526e-04,1.175733e-04,1.188378e-04,1.220661e-04,1.221961e-04,1.253282e-04,1.261651e-04,1.282370e-04,1.298767e-04,1.309266e-04,1.332119e-04,1.334022e-04,1.356703e-04,1.361845e-04,1.377379e-04,1.388110e-04,1.396127e-04,1.411095e-04,1.413028e-04,1.428167e-04,1.430991e-04,1.441629e-04,1.447996e-04,1.453501e-04,1.462307e-04,1.463868e-04,1.472816e-04,1.474122e-04,1.480428e-04,1.483630e-04,1.486784e-04,1.491019e-04,1.491964e-04,1.496044e-04,1.496463e-04,1.499096e-04,1.500132e-04,1.501192e-04,1.502185e-04,1.502397e-04,1.502775e-04,1.502771e-04,1.502388e-04,1.502031e-04,1.501292e-04,1.500095e-04,1.499542e-04,1.497190e-04,1.497084e-04,1.494284e-04,1.493111e-04,1.490870e-04,1.488281e-04,1.486992e-04,1.482689e-04,1.478000e-04,1.476424e-04,1.472960e-04,1.469567e-04,1.467604e-04,1.462192e-04,1.461961e-04,1.456062e-04,1.454368e-04,1.449934e-04,1.446158e-04,1.443602e-04,1.437618e-04,1.437091e-04,1.430421e-04,1.428799e-04,1.423615e-04,1.419751e-04,1.416691e-04,1.410515e-04,1.409667e-04,1.402560e-04,1.401130e-04,1.395385e-04,1.391632e-04,1.388157e-04,1.382053e-04,1.380888e-04,1.373591e-04,1.372422e-04,1.366277e-04,1.362764e-04,1.358957e-04,1.353102e-04,1.351640e-04,1.344335e-04,1.343459e-04,1.337050e-04,1.333852e-04,1.329792e-04,1.324299e-04,1.322569e-04,1.315386e-04,1.314814e-04,1.308250e-04,1.305410e-04,1.301165e-04,1.296099e-04,1.294137e-04,1.287168e-04,1.286891e-04,1.280264e-04,1.277795e-04,1.273428e-04,1.268820e-04,1.266663e-04,1.259971e-04,1.251254e-04,1.242674e-04,1.234236e-04,1.225942e-04,1.217795e-04,1.209797e-04,1.201950e-04,1.194255e-04,1.186712e-04,1.179322e-04,1.172084e-04,1.164997e-04,1.158062e-04,1.151277e-04,1.144641e-04,1.138152e-04,1.131809e-04,1.125609e-04,1.119553e-04,1.113636e-04,1.107857e-04,1.102214e-04,1.096705e-04,1.091327e-04
0.000000e+00,2.236554e-09,5.536907e-09,2.079742e-08,4.948305e-08,7.351641e-08,1.731925e-07,1.786521e-07,3.569381e-07,4.232583e-07,6.333209e-07,8.576751e-07,1.034804e-06,1.529687e-06,1.578423e-06,2.259299e-06,2.441189e-06,3.059668e-06,3.553738e-06,3.963082e-06,4.833728e-06,4.957547e-06,6.033630e-06,6.257878e-06,7.182666e-06,7.806087e-06,8.395839e-06,9.457696e-06,9.663871e-06,1.097705e-05,1.119068e-05,1.232542e-05,1.298221e-05,1.369904e-05,1.480960e-05,1.508823e-05,1.648380e-05,1.665129e-05,1.787724e-05,1.848766e-05,1.926083e-05,2.030152e-05,2.062772e-05,2.197195e-05,2.207835e-05,2.328846e-05,2.380634e-05,2.457307e-05,2.547630e-05,2.582239e-05,2.703372e-05,2.708136e-05,2.820506e-05,2.861666e-05,2.933497e-05,3.007914e-05,3.042251e-05,3.146717e-05,3.246883e-05,3.278029e-05,3.342763e-05,3.401896e-05,3.434400e-05,3.518437e-05,3.521856e-05,3.605210e-05,3.627826e-05,3.684552e-05,3.730274e-05,3.759984e-05,3.826023e-05,3.831616e-05,3.899562e-05,3.915333e-05,3.963938e-05,3.998474e-05,4.024865e-05,4.075723e-05,4.082464e-05,4.136854e-05,4.147358e-05,4.188156e-05,4.213653e-05,4.236489e-05,4.274879e-05,4.281969e-05,4.324711e-05,4.331302e-05,4.364825e-05,4.383179e-05,4.402421e-05,4.430756e-05,4.437605e-05,4.470480e-05,4.474275e-05,4.501145e-05,4.513963e-05,4.529698e-05,4.550042e-05,4.556231e-05,4.580835e-05,4.582722e-05,4.603596e-05,4.612203e-05,4.624599e-05,4.638677e-05,4.643924e-05,4.661649e-05,4.662326e-05,4.677849e-05,4.683322e-05,4.692596e-05,4.701830e-05,4.705960e-05,4.718006e-05,4.728798e-05,4.731997e-05,4.738398e-05,4.743943e-05,4.746864e-05,4.753977e-05,4.754253e-05,4.760619e-05,4.762225e-05,4.766013e-05,4.768804e-05,4.770486e-05,4.773827e-05,4.774084e-05,4.776853e-05,4.777399e-05,4.778837e-05,4.779621e-05,4.780078e-05,4.780586e-05,4.780615e-05,4.780487e-05,4.780384e-05,4.779729e-05,4.779099e-05,4.778378e-05,4.776809e-05,4.776466e-05,4.774026e-05,4.773588e-05,4.771087e-05,4.769508e-05,4.767680e-05,4.764635e-05,4.763831e-05,4.759568e-05,4.759030e-05,4.754915e-05,4.752751e-05,4.749898e-05,4.745855e-05,4.744539e-05,4.738860e-05,4.738393e-05,4.732883e-05,4.730413e-05,4.726627e-05,4.721961e-05,4.720112e-05,4.713355e-05,4.713080e-05,4.706375e-05,4.703811e-05,4.699188e-05,4.694191e-05,4.691810e-05,4.684255e-05,4.674037e-05,4.663568e-05,4.652877e-05,4.641992e-05,4.630938e-05,4.619739e-05,4.608417e-05,4.596994e-05,4.585488e-05,4.573919e-05,4.562302e-05,4.550654e-05,4.538989e-05,4.527321e-05,4.515663e-05,4.504026e-05,4.492422e-05,4.480860e-05,4.469351e-05,4.457902e-05,4.446521e-05,4.435217e-05,4.423995e-05,4.412861e-05
0.000000e+00,8.823235e-10,2.510985e-09,1.162577e-08,3.153356e-08,4.953537e-08,1.298344e-07,1.343852e-07,2.867712e-07,3.444700e-07,5.285292e-07,7.263264e-07,8.835343e-07,1.331945e-06,1.377102e-06,2.031520e-06,2.214096e-06,2.858067e-06,3.395161e-06,3.852700e-06,4.855078e-06,5.000227e-06,6.281564e-06,6.552233e-06,7.678272e-06,8.444598e-06,9.173838e-06,1.049562e-05,1.075342e-05,1.240317e-05,1.267275e-05,1.410977e-05,1.494528e-05,1.586013e-05,1.728324e-05,1.764134e-05,1.944079e-05,1.965737e-05,2.124627e-05,2.203959e-05,2.304620e-05,2.440372e-05,2.482973e-05,2.658698e-05,2.672615e-05,2.830905e-05,2.898625e-05,2.998816e-05,3.116670e-05,3.161760e-05,3.319178e-05,3.325353e-05,3.470618e-05,3.523603e-05,3.615731e-05,3.710657e-05,3.754257e-05,3.886021e-05,4.010926e-05,4.049440e-05,4.128938e-05,4.200857e-05,4.240080e-05,4.340382e-05,4.344426e-05,4.442089e-05,4.468256e-05,4.533214e-05,4.584823e-05,4.617976e-05,4.690503e-05,4.696568e-05,4.769200e-05,4.785769e-05,4.836094e-05,4.871133e-05,4.897479e-05,4.947126e-05,4.953589e-05,5.004660e-05,5.014290e-05,5.050927e-05,5.073166e-05,5.092624e-05,5.124286e-05,5.129981e-05,5.163221e-05,5.168172e-05,5.192564e-05,5.205327e-05,5.218223e-05,5.236236e-05,5.240404e-05,5.259305e-05,5.261362e-05,5.275117e-05,5.281143e-05,5.288023e-05,5.295998e-05,5.298200e-05,5.305816e-05,5.306319e-05,5.311030e-05,5.312478e-05,5.313996e-05,5.314822e-05,5.314861e-05,5.313762e-05,5.313679e-05,5.310832e-05,5.309353e-05,5.306196e-05,5.302130e-05,5.299973e-05,5.292276e-05,5.283211e-05,5.280039e-05,5.272881e-05,5.265649e-05,5.261380e-05,5.249322e-05,5.248799e-05,5.235223e-05,5.231255e-05,5.220734e-05,5.211635e-05,5.205408e-05,5.190631e-05,5.189317e-05,5.172528e-05,5.168402e-05,5.155106e-05,5.145095e-05,5.137110e-05,5.120845e-05,5.118598e-05,5.099623e-05,5.095777e-05,5.080234e-05,5.070005e-05,5.060480e-05,5.043637e-05,5.040405e-05,5.020049e-05,5.016769e-05,4.999452e-05,4.989491e-05,4.978650e-05,4.961885e-05,4.957679e-05,4.936569e-05,4.934027e-05,4.915350e-05,4.905987e-05,4.894051e-05,4.877826e-05,4.872698e-05,4.851315e-05,4.849604e-05,4.829925e-05,4.821372e-05,4.808549e-05,4.793178e-05,4.787206e-05,4.765916e-05,4.765066e-05,4.744695e-05,4.737075e-05,4.723558e-05,4.709241e-05,4.702521e-05,4.681597e-05,4.654170e-05,4.626987e-05,4.600071e-05,4.573442e-05,4.547119e-05,4.521118e-05,4.495453e-05,4.470136e-05,4.445177e-05,4.420586e-05,4.396370e-05,4.372535e-05,4.349086e-05,4.326028e-05,4.303362e-05,4.281091e-05,4.259216e-05,4.237737e-05,4.216654e-05,4.195965e-05,4.175670e-05,4.155766e-05,4.136251e-05,4.117121e-05
0.000000e+00,2.902473e-09,7.289060e-09,2.795447e-08,6.758438e-08,1.013359e-07,2.455675e-07,2.536449e-07,5.256920e-07,6.301524e-07,9.667976e-07,1.326743e-06,1.606283e-06,2.359986e-06,2.432345e-06,3.421973e-06,3.682106e-06,4.561471e-06,5.262484e-06,5.844319e-06,7.088515e-06,7.266376e-06,8.823222e-06,9.150280e-06,1.050899e-05,1.143405e-05,1.231595e-05,1.392047e-05,1.423448e-05,1.625331e-05,1.658480e-05,1.835982e-05,1.939814e-05,2.054048e-05,2.232899e-05,2.278128e-05,2.506807e-05,2.534491e-05,2.738695e-05,2.841396e-05,2.972457e-05,3.150593e-05,3.206837e-05,3.440673e-05,3.459324e-05,3.672912e-05,3.765146e-05,3.902615e-05,4.065962e-05,4.128956e-05,4.351225e-05,4.360023e-05,4.568821e-05,4.645912e-05,4.781244e-05,4.922525e-05,4.988088e-05,5.189033e-05,5.383838e-05,5.444848e-05,5.572327e-05,5.689589e-05,5.754383e-05,5.923046e-05,5.929944e-05,6.098987e-05,6.145153e-05,6.261531e-05,6.355956e-05,6.417623e-05,6.555593e-05,6.567338e-05,6.710771e-05,6.744273e-05,6.848037e-05,6.922258e-05,6.979261e-05,7.089850e-05,7.104582e-05,7.224146e-05,7.247381e-05,7.338104e-05,7.395199e-05,7.446614e-05,7.533669e-05,7.549836e-05,7.647929e-05,7.663159e-05,7.741056e-05,7.784039e-05,7.829376e-05,7.896679e-05,7.913050e-05,7.992234e-05,8.001442e-05,8.067086e-05,8.098687e-05,8.137756e-05,8.188761e-05,8.204395e-05,8.267149e-05,8.272006e-05,8.326162e-05,8.348751e-05,8.381572e-05,8.419314e-05,8.433516e-05,8.482127e-05,8.484004e-05,8.527532e-05,8.543117e-05,8.569856e-05,8.596939e-05,8.609221e-05,8.645743e-05,8.679537e-05,8.689793e-05,8.710712e-05,8.729340e-05,8.739376e-05,8.764625e-05,8.765631e-05,8.789576e-05,8.795880e-05,8.811308e-05,8.823324e-05,8.830920e-05,8.847168e-05,8.848502e-05,8.864140e-05,8.867614e-05,8.877918e-05,8.884852e-05,8.889917e-05,8.899066e-05,8.900214e-05,8.908884e-05,8.910429e-05,8.916000e-05,8.919109e-05,8.921631e-05,8.925263e-05,8.925844e-05,8.928705e-05,8.929041e-05,8.930274e-05,8.930587e-05,8.930613e-05,8.930036e-05,8.929778e-05,8.927825e-05,8.927519e-05,8.924809e-05,8.923157e-05,8.920779e-05,8.917069e-05,8.915785e-05,8.909876e-05,8.909365e-05,8.903096e-05,8.900150e-05,8.895489e-05,8.889525e-05,8.887099e-05,8.877965e-05,8.877585e-05,8.868126e-05,8.864419e-05,8.857620e-05,8.850113e-05,8.846483e-05,8.834749e-05,8.818404e-05,8.801149e-05,8.783054e-05,8.764185e-05,8.744603e-05,8.724367e-05,8.703532e-05,8.682151e-05,8.660274e-05,8.637947e-05,8.615215e-05,8.592120e-05,8.568701e-05,8.544997e-05,8.521041e-05,8.496868e-05,8.472508e-05,8.447992e-05,8.423347e-05,8.398600e-05,8.373774e-05,8.348895e-05,8.323982e-05,8.299058e-05
0.000000e+00,5.889233e-09,1.364161e-08,4.754451e-08,1.093064e-07,1.605798e-07,3.736841e-07,3.854339e-07,7.750045e-07,9.228172e-07,1.400307e-06,1.923752e-06,2.345258e-06,3.552593e-06,3.673299e-06,5.375513e-06,5.831492e-06,7.371333e-06,8.581332e-06,9.566664e-06,1.160662e-05,1.189055e-05,1.429645e-05,1.478456e-05,1.675331e-05,1.804325e-05,1.923830e-05,2.133358e-05,2.173258e-05,2.421919e-05,2.461526e-05,2.668225e-05,2.785172e-05,2.910678e-05,3.100922e-05,3.147879e-05,3.378560e-05,3.405748e-05,3.601594e-05,3.697053e-05,3.816024e-05,3.972751e-05,4.021071e-05,4.216119e-05,4.231276e-05,4.400728e-05,4.471581e-05,4.574617e-05,4.693098e-05,4.737651e-05,4.889820e-05,4.895681e-05,5.031227e-05,5.079534e-05,5.162069e-05,5.245150e-05,5.282632e-05,5.393240e-05,5.494257e-05,5.524624e-05,5.586096e-05,5.640253e-05,5.669186e-05,5.741135e-05,5.743972e-05,5.810903e-05,5.828296e-05,5.870424e-05,5.902764e-05,5.922978e-05,5.965545e-05,5.968995e-05,6.008894e-05,6.017604e-05,6.043074e-05,6.059862e-05,6.071921e-05,6.093186e-05,6.095801e-05,6.115065e-05,6.118394e-05,6.130044e-05,6.136243e-05,6.141049e-05,6.147438e-05,6.148374e-05,6.152297e-05,6.152626e-05,6.153077e-05,6.152408e-05,6.150959e-05,6.147332e-05,6.146171e-05,6.138926e-05,6.137901e-05,6.129423e-05,6.124576e-05,6.117851e-05,6.107778e-05,6.104381e-05,6.089177e-05,6.087890e-05,6.072390e-05,6.065263e-05,6.054160e-05,6.040215e-05,6.034618e-05,6.013888e-05,6.013035e-05,5.992081e-05,5.983988e-05,5.969305e-05,5.953313e-05,5.945656e-05,5.921227e-05,5.896102e-05,5.887928e-05,5.870359e-05,5.853594e-05,5.844072e-05,5.818388e-05,5.817309e-05,5.790133e-05,5.782457e-05,5.762601e-05,5.745934e-05,5.734768e-05,5.708939e-05,5.706684e-05,5.678395e-05,5.671580e-05,5.649945e-05,5.633957e-05,5.621373e-05,5.596158e-05,5.592715e-05,5.564007e-05,5.558262e-05,5.535278e-05,5.520341e-05,5.506559e-05,5.482461e-05,5.477875e-05,5.449252e-05,5.444680e-05,5.420712e-05,5.407048e-05,5.392276e-05,5.369614e-05,5.363963e-05,5.335790e-05,5.332419e-05,5.307773e-05,5.295499e-05,5.279928e-05,5.258888e-05,5.252267e-05,5.224802e-05,5.222614e-05,5.197546e-05,5.186703e-05,5.170507e-05,5.151178e-05,5.143694e-05,5.117117e-05,5.116059e-05,5.090782e-05,5.081362e-05,5.064696e-05,5.047103e-05,5.038865e-05,5.013293e-05,4.979945e-05,4.947065e-05,4.914663e-05,4.882743e-05,4.851310e-05,4.820367e-05,4.789917e-05,4.759961e-05,4.730499e-05,4.701531e-05,4.673054e-05,4.645069e-05,4.617571e-05,4.590558e-05,4.564026e-05,4.537972e-05,4.512392e-05,4.487280e-05,4.462631e-05,4.438441e-05,4.414705e-05,4.391415e-05,4.368567e-05,4.346155e-05
0.000000e+00,5.157421e-09,1.542032e-08,7.871385e-08,2.320940e-07,3.808812e-07,1.110123e-06,1.153773e-06,2.709149e-06,3.334653e-06,5.424422e-06,7.792367e-06,9.743845e-06,1.556923e-05,1.617398e-05,2.525071e-05,2.787979e-05,3.746781e-05,4.582934e-05,5.320832e-05,7.017794e-05,7.272484e-05,9.615772e-05,1.013203e-04,1.235607e-04,1.393771e-04,1.549202e-04,1.842702e-04,1.901665e-04,2.291817e-04,2.357636e-04,2.718035e-04,2.934850e-04,3.178295e-04,3.569421e-04,3.670211e-04,4.191077e-04,4.255387e-04,4.737918e-04,4.985942e-04,5.307546e-04,5.753650e-04,5.896617e-04,6.501693e-04,6.550687e-04,7.119300e-04,7.369076e-04,7.745984e-04,8.200913e-04,8.378361e-04,9.013166e-04,9.038564e-04,9.647288e-04,9.874835e-04,1.027780e-03,1.070310e-03,1.090200e-03,1.151738e-03,1.212172e-03,1.231243e-03,1.271299e-03,1.308373e-03,1.328945e-03,1.382749e-03,1.384956e-03,1.439205e-03,1.454063e-03,1.491583e-03,1.522076e-03,1.542006e-03,1.586609e-03,1.590406e-03,1.636734e-03,1.647541e-03,1.680959e-03,1.704799e-03,1.723063e-03,1.758357e-03,1.763042e-03,1.800904e-03,1.808223e-03,1.836666e-03,1.854441e-03,1.870355e-03,1.897079e-03,1.902008e-03,1.931664e-03,1.936227e-03,1.959372e-03,1.971995e-03,1.985183e-03,2.004503e-03,2.009152e-03,2.031337e-03,2.033882e-03,2.051798e-03,2.060271e-03,2.070598e-03,2.083813e-03,2.087798e-03,2.103463e-03,2.104652e-03,2.117655e-03,2.122934e-03,2.130438e-03,2.138803e-03,2.141873e-03,2.152022e-03,2.152402e-03,2.160946e-03,2.163870e-03,2.168704e-03,2.173342e-03,2.175352e-03,2.180948e-03,2.185546e-03,2.186815e-03,2.189198e-03,2.191063e-03,2.191956e-03,2.193807e-03,2.193868e-03,2.194983e-03,2.195158e-03,2.195344e-03,2.195219e-03,2.194998e-03,2.194089e-03,2.193984e-03,2.192344e-03,2.191862e-03,2.190116e-03,2.188625e-03,2.187337e-03,2.184463e-03,2.184041e-03,2.180263e-03,2.179453e-03,2.176035e-03,2.173668e-03,2.171386e-03,2.167178e-03,2.166346e-03,2.160943e-03,2.160046e-03,2.155202e-03,2.152334e-03,2.149149e-03,2.144097e-03,2.142807e-03,2.136199e-03,2.135389e-03,2.129346e-03,2.126258e-03,2.122268e-03,2.116750e-03,2.114984e-03,2.107513e-03,2.106907e-03,2.099871e-03,2.096770e-03,2.092075e-03,2.086375e-03,2.084140e-03,2.076081e-03,2.075756e-03,2.067911e-03,2.064945e-03,2.059643e-03,2.053971e-03,2.051289e-03,2.042861e-03,2.031640e-03,2.020333e-03,2.008959e-03,1.997538e-03,1.986090e-03,1.974630e-03,1.963175e-03,1.951737e-03,1.940330e-03,1.928966e-03,1.917655e-03,1.906408e-03,1.895233e-03,1.884137e-03,1.873130e-03,1.862216e-03,1.851402e-03,1.840694e-03,1.830095e-03,1.819611e-03,1.809244e-03,1.798999e-03,1.788877e-03,1.778882e-03
0.000000e+00,3.794565e-09,8.752133e-09,3.046397e-08,7.013876e-08,1.031238e-07,2.400735e-07,2.476069e-07,4.959041e-07,5.893299e-07,8.883562e-07,1.211964e-06,1.470026e-06,2.201473e-06,2.274259e-06,3.301832e-06,3.578848e-06,4.524734e-06,5.282032e-06,5.909152e-06,7.239430e-06,7.428100e-06,9.061729e-06,9.400796e-06,1.079440e-05,1.172994e-05,1.261240e-05,1.419591e-05,1.450268e-05,1.645240e-05,1.676901e-05,1.844883e-05,1.942003e-05,2.047950e-05,2.212062e-05,2.253244e-05,2.459633e-05,2.484422e-05,2.666073e-05,2.756677e-05,2.871622e-05,3.026718e-05,3.075434e-05,3.276774e-05,3.292755e-05,3.475013e-05,3.553318e-05,3.669618e-05,3.807235e-05,3.860152e-05,4.046258e-05,4.053606e-05,4.227656e-05,4.291764e-05,4.404132e-05,4.521241e-05,4.575528e-05,4.741735e-05,4.902689e-05,4.953079e-05,5.058359e-05,5.155212e-05,5.208742e-05,5.348157e-05,5.353862e-05,5.493760e-05,5.532003e-05,5.628495e-05,5.706888e-05,5.758141e-05,5.872990e-05,5.882779e-05,6.002502e-05,6.030514e-05,6.117406e-05,6.179687e-05,6.227596e-05,6.320748e-05,6.333178e-05,6.434261e-05,6.453948e-05,6.530958e-05,6.579543e-05,6.623380e-05,6.697794e-05,6.711641e-05,6.795854e-05,6.808960e-05,6.876132e-05,6.913301e-05,6.952588e-05,7.011074e-05,7.025331e-05,7.094472e-05,7.102532e-05,7.160119e-05,7.187924e-05,7.222378e-05,7.267494e-05,7.281355e-05,7.337151e-05,7.341481e-05,7.389869e-05,7.410117e-05,7.439607e-05,7.473628e-05,7.486462e-05,7.530528e-05,7.532234e-05,7.571898e-05,7.586149e-05,7.610663e-05,7.635579e-05,7.646910e-05,7.680725e-05,7.712193e-05,7.721780e-05,7.741394e-05,7.758930e-05,7.768409e-05,7.792358e-05,7.793314e-05,7.816185e-05,7.822235e-05,7.837096e-05,7.848730e-05,7.856116e-05,7.872006e-05,7.873316e-05,7.888762e-05,7.892216e-05,7.902520e-05,7.909510e-05,7.914652e-05,7.924034e-05,7.925221e-05,7.934286e-05,7.935923e-05,7.941904e-05,7.945312e-05,7.948131e-05,7.952328e-05,7.953023e-05,7.956631e-05,7.957092e-05,7.959006e-05,7.959723e-05,7.960198e-05,7.960332e-05,7.960255e-05,7.959222e-05,7.959028e-05,7.957146e-05,7.955913e-05,7.954069e-05,7.951087e-05,7.950033e-05,7.945079e-05,7.944644e-05,7.939246e-05,7.936675e-05,7.932572e-05,7.927267e-05,7.925095e-05,7.916849e-05,7.916503e-05,7.907869e-05,7.904462e-05,7.898188e-05,7.891221e-05,7.887838e-05,7.876850e-05,7.861421e-05,7.844999e-05,7.827648e-05,7.809427e-05,7.790395e-05,7.770606e-05,7.750113e-05,7.728967e-05,7.707213e-05,7.684900e-05,7.662069e-05,7.638761e-05,7.615017e-05,7.590874e-05,7.566367e-05,7.541530e-05,7.516395e-05,7.490993e-05,7.465353e-05,7.439503e-05,7.413468e-05,7.387275e-05,7.360947e-05,7.334505e-05
0.000000e+00,1.704372e-08,5.084519e-08,2.585410e-07,7.607060e-07,1.247856e-06,3.644854e-06,3.788924e-06,8.967660e-06,1.107382e-05,1.819593e-05,2.639909e-05,3.324131e-05,5.392830e-05,5.608781e-05,8.846599e-05,9.778101e-05,1.313375e-04,1.600043e-04,1.848327e-04,2.403594e-04,2.485166e-04,3.216397e-04,3.373183e-04,4.032840e-04,4.487729e-04,4.924368e-04,5.723487e-04,5.880320e-04,6.889762e-04,7.055502e-04,7.941720e-04,8.458576e-04,9.025383e-04,9.908097e-04,1.013029e-03,1.124653e-03,1.138079e-03,1.236483e-03,1.285533e-03,1.347673e-03,1.431278e-03,1.457461e-03,1.565176e-03,1.573686e-03,1.670237e-03,1.711405e-03,1.772151e-03,1.843351e-03,1.870515e-03,1.965003e-03,1.968698e-03,2.055366e-03,2.086849e-03,2.141421e-03,2.197414e-03,2.223048e-03,2.300179e-03,2.372794e-03,2.395079e-03,2.440912e-03,2.482170e-03,2.504586e-03,2.561609e-03,2.563899e-03,2.618957e-03,2.633628e-03,2.669885e-03,2.698516e-03,2.716821e-03,2.756605e-03,2.759915e-03,2.799326e-03,2.808254e-03,2.835216e-03,2.853838e-03,2.867751e-03,2.893740e-03,2.897099e-03,2.923425e-03,2.928342e-03,2.946892e-03,2.958020e-03,2.967663e-03,2.983141e-03,2.985894e-03,3.001736e-03,3.004060e-03,3.015338e-03,3.021113e-03,3.026840e-03,3.034622e-03,3.036379e-03,3.044083e-03,3.044890e-03,3.050078e-03,3.052204e-03,3.054479e-03,3.056828e-03,3.057400e-03,3.058946e-03,3.059013e-03,3.059217e-03,3.058989e-03,3.058307e-03,3.056972e-03,3.056306e-03,3.053298e-03,3.053158e-03,3.049361e-03,3.047731e-03,3.044570e-03,3.040860e-03,3.038994e-03,3.032699e-03,3.025745e-03,3.023390e-03,3.018189e-03,3.013063e-03,3.010086e-03,3.001838e-03,3.001485e-03,2.992432e-03,2.989823e-03,2.982972e-03,2.977118e-03,2.973146e-03,2.963814e-03,2.962990e-03,2.952541e-03,2.949993e-03,2.941831e-03,2.935731e-03,2.930890e-03,2.921096e-03,2.919749e-03,2.908432e-03,2.906150e-03,2.896965e-03,2.890951e-03,2.885371e-03,2.875549e-03,2.873670e-03,2.861883e-03,2.859990e-03,2.850028e-03,2.844318e-03,2.838121e-03,2.828570e-03,2.826180e-03,2.814217e-03,2.812780e-03,2.802247e-03,2.796981e-03,2.790281e-03,2.781198e-03,2.778333e-03,2.766411e-03,2.765459e-03,2.754526e-03,2.749785e-03,2.742688e-03,2.734197e-03,2.730903e-03,2.719180e-03,2.718713e-03,2.707526e-03,2.703349e-03,2.695947e-03,2.688119e-03,2.684449e-03,2.673037e-03,2.658114e-03,2.643360e-03,2.628783e-03,2.614391e-03,2.600191e-03,2.586188e-03,2.572387e-03,2.558792e-03,2.545407e-03,2.532234e-03,2.519274e-03,2.506530e-03,2.494002e-03,2.481692e-03,2.469598e-03,2.457721e-03,2.446061e-03,2.434616e-03,2.423386e-03,2.412368e-03,2.401562e-03,2.390966e-03,2.380577e-03,2.370394e-03
0.000000e+00,3.442253e-10,9.999800e-10,4.815207e-09,1.348758e-08,2.153672e-08,5.866958e-08,6.081534e-08,1.342484e-07,1.626526e-07,2.547217e-07,3.553164e-07,4.359197e-07,6.661485e-07,6.892361e-07,1.020017e-06,1.110991e-06,1.428166e-06,1.689623e-06,1.911176e-06,2.395716e-06,2.465980e-06,3.089443e-06,3.222088e-06,3.778239e-06,4.161009e-06,4.528613e-06,5.203331e-06,5.336186e-06,6.195865e-06,6.337872e-06,7.101859e-06,7.551322e-06,8.047747e-06,8.828552e-06,9.026621e-06,1.003124e-05,1.015317e-05,1.105418e-05,1.150818e-05,1.208806e-05,1.287666e-05,1.312565e-05,1.416007e-05,1.424249e-05,1.518488e-05,1.559078e-05,1.619422e-05,1.690837e-05,1.718280e-05,1.814604e-05,1.818398e-05,1.908000e-05,1.940841e-05,1.998143e-05,2.057447e-05,2.084773e-05,2.167691e-05,2.246756e-05,2.271227e-05,2.321877e-05,2.367863e-05,2.393011e-05,2.457545e-05,2.460154e-05,2.523337e-05,2.540326e-05,2.582621e-05,2.616354e-05,2.638090e-05,2.685841e-05,2.689848e-05,2.738014e-05,2.749054e-05,2.782720e-05,2.806295e-05,2.824103e-05,2.857887e-05,2.862309e-05,2.897484e-05,2.904168e-05,2.929775e-05,2.945477e-05,2.959332e-05,2.982151e-05,2.986297e-05,3.010813e-05,3.014518e-05,3.033018e-05,3.042895e-05,3.053045e-05,3.067584e-05,3.071021e-05,3.087070e-05,3.088871e-05,3.101307e-05,3.107026e-05,3.113844e-05,3.122300e-05,3.124786e-05,3.134234e-05,3.134928e-05,3.142282e-05,3.145129e-05,3.149018e-05,3.153104e-05,3.154528e-05,3.158889e-05,3.159041e-05,3.162177e-05,3.163112e-05,3.164461e-05,3.165475e-05,3.165807e-05,3.166276e-05,3.165927e-05,3.165651e-05,3.164813e-05,3.163722e-05,3.162985e-05,3.160603e-05,3.160491e-05,3.157376e-05,3.156399e-05,3.153682e-05,3.151204e-05,3.149447e-05,3.145106e-05,3.144710e-05,3.139503e-05,3.138188e-05,3.133861e-05,3.130522e-05,3.127813e-05,3.122178e-05,3.121388e-05,3.114612e-05,3.113217e-05,3.107511e-05,3.103698e-05,3.100109e-05,3.093674e-05,3.092427e-05,3.084487e-05,3.083194e-05,3.076309e-05,3.072303e-05,3.067910e-05,3.061043e-05,3.059307e-05,3.050519e-05,3.049452e-05,3.041559e-05,3.037566e-05,3.032442e-05,3.025417e-05,3.023182e-05,3.013792e-05,3.013035e-05,3.004283e-05,3.000449e-05,2.994668e-05,2.987684e-05,2.984956e-05,2.975158e-05,2.974765e-05,2.965284e-05,2.961712e-05,2.955342e-05,2.948547e-05,2.945341e-05,2.935289e-05,2.921954e-05,2.908560e-05,2.895121e-05,2.881651e-05,2.868163e-05,2.854669e-05,2.841180e-05,2.827706e-05,2.814256e-05,2.800839e-05,2.787464e-05,2.774138e-05,2.760867e-05,2.747659e-05,2.734518e-05,2.721451e-05,2.708461e-05,2.695555e-05,2.682736e-05,2.670007e-05,2.657373e-05,2.644836e-05,2.632399e-05,2.620065e-05
0.000000e+00,1.168616e-09,3.392514e-09,1.632412e-08,4.573361e-08,7.306114e-08,1.995168e-07,2.068420e-07,4.584944e-07,5.562611e-07,8.743896e-07,1.223578e-06,1.504248e-06,2.309007e-06,2.389913e-06,3.552010e-06,3.872380e-06,4.990963e-06,5.914234e-06,6.696965e-06,8.408670e-06,8.656779e-06,1.085588e-05,1.132306e-05,1.327846e-05,1.462074e-05,1.590688e-05,1.825947e-05,1.872143e-05,2.170040e-05,2.219075e-05,2.482043e-05,2.636100e-05,2.805710e-05,3.071373e-05,3.138558e-05,3.478133e-05,3.519219e-05,3.822060e-05,3.974184e-05,4.168102e-05,4.431228e-05,4.514190e-05,4.858452e-05,4.885862e-05,5.199224e-05,5.334223e-05,5.535055e-05,5.773090e-05,5.864706e-05,6.187133e-05,6.199867e-05,6.501481e-05,6.612532e-05,6.807066e-05,7.009579e-05,7.103353e-05,7.389944e-05,7.666559e-05,7.752937e-05,7.933017e-05,8.098174e-05,8.189225e-05,8.425522e-05,8.435163e-05,8.670870e-05,8.735046e-05,8.896436e-05,9.026962e-05,9.111993e-05,9.301606e-05,9.317705e-05,9.513763e-05,9.559404e-05,9.700379e-05,9.800843e-05,9.877778e-05,1.002646e-04,1.004620e-04,1.020590e-04,1.023681e-04,1.035712e-04,1.043249e-04,1.050012e-04,1.061408e-04,1.063516e-04,1.076251e-04,1.078218e-04,1.088241e-04,1.093739e-04,1.099512e-04,1.108028e-04,1.110089e-04,1.119997e-04,1.121142e-04,1.129260e-04,1.133138e-04,1.137902e-04,1.144069e-04,1.145947e-04,1.153417e-04,1.153990e-04,1.160334e-04,1.162951e-04,1.166720e-04,1.171001e-04,1.172596e-04,1.177982e-04,1.178187e-04,1.182898e-04,1.184557e-04,1.187364e-04,1.190153e-04,1.191398e-04,1.195018e-04,1.198242e-04,1.199193e-04,1.201087e-04,1.202716e-04,1.203568e-04,1.205624e-04,1.205703e-04,1.207506e-04,1.207953e-04,1.208991e-04,1.209737e-04,1.210174e-04,1.211007e-04,1.211069e-04,1.211687e-04,1.211796e-04,1.212043e-04,1.212132e-04,1.212148e-04,1.212042e-04,1.212014e-04,1.211654e-04,1.211555e-04,1.211077e-04,1.210695e-04,1.210295e-04,1.209486e-04,1.209317e-04,1.208154e-04,1.207952e-04,1.206815e-04,1.206113e-04,1.205310e-04,1.203991e-04,1.203646e-04,1.201832e-04,1.201605e-04,1.199877e-04,1.198974e-04,1.197788e-04,1.196116e-04,1.195573e-04,1.193238e-04,1.193047e-04,1.190791e-04,1.189783e-04,1.188239e-04,1.186339e-04,1.185586e-04,1.182841e-04,1.182729e-04,1.180008e-04,1.178967e-04,1.177092e-04,1.175066e-04,1.174101e-04,1.171037e-04,1.166893e-04,1.162643e-04,1.158298e-04,1.153867e-04,1.149359e-04,1.144784e-04,1.140149e-04,1.135461e-04,1.130727e-04,1.125956e-04,1.121151e-04,1.116321e-04,1.111469e-04,1.106602e-04,1.101724e-04,1.096840e-04,1.091954e-04,1.087070e-04,1.082192e-04,1.077324e-04,1.072468e-04,1.067628e-04,1.062807e-04,1.058006e-04
0.000000e+00,3.003094e-09,8.948157e-09,4.534595e-08,1.327953e-07,2.170819e-07,6.260401e-07,6.503617e-07,1.509370e-06,1.851529e-06,2.984576e-06,4.253668e-06,5.290312e-06,8.348788e-06,8.663942e-06,1.336324e-05,1.471814e-05,1.965608e-05,2.397246e-05,2.779681e-05,3.665584e-05,3.799315e-05,5.038019e-05,5.312676e-05,6.501470e-05,7.351164e-05,8.188644e-05,9.774446e-05,1.009349e-04,1.220640e-04,1.256300e-04,1.451533e-04,1.568923e-04,1.700645e-04,1.912045e-04,1.966472e-04,2.247412e-04,2.282062e-04,2.541801e-04,2.675154e-04,2.847930e-04,3.087377e-04,3.164071e-04,3.488492e-04,3.514752e-04,3.819484e-04,3.953344e-04,4.155376e-04,4.399343e-04,4.494553e-04,4.835473e-04,4.849125e-04,5.176678e-04,5.299316e-04,5.516805e-04,5.746827e-04,5.854591e-04,6.188881e-04,6.518632e-04,6.623038e-04,6.842909e-04,7.047188e-04,7.160886e-04,7.459549e-04,7.471845e-04,7.775168e-04,7.858656e-04,8.070333e-04,8.243334e-04,8.356909e-04,8.612672e-04,8.634548e-04,8.902976e-04,8.966005e-04,9.161994e-04,9.302879e-04,9.411462e-04,9.623029e-04,9.651299e-04,9.881474e-04,9.926350e-04,1.010200e-03,1.021288e-03,1.031293e-03,1.048276e-03,1.051435e-03,1.070637e-03,1.073623e-03,1.088914e-03,1.097363e-03,1.106282e-03,1.119534e-03,1.122759e-03,1.138363e-03,1.140178e-03,1.153117e-03,1.159344e-03,1.167040e-03,1.177080e-03,1.180156e-03,1.192486e-03,1.193440e-03,1.204055e-03,1.208474e-03,1.214885e-03,1.222239e-03,1.225000e-03,1.234423e-03,1.234786e-03,1.243177e-03,1.246170e-03,1.251286e-03,1.256443e-03,1.258772e-03,1.265657e-03,1.271964e-03,1.273864e-03,1.277715e-03,1.281113e-03,1.282930e-03,1.287453e-03,1.287632e-03,1.291839e-03,1.292931e-03,1.295572e-03,1.297592e-03,1.298850e-03,1.301481e-03,1.301693e-03,1.304118e-03,1.304639e-03,1.306143e-03,1.307109e-03,1.307786e-03,1.308929e-03,1.309064e-03,1.309992e-03,1.310137e-03,1.310587e-03,1.310770e-03,1.310865e-03,1.310863e-03,1.310839e-03,1.310524e-03,1.310448e-03,1.309934e-03,1.309558e-03,1.309083e-03,1.308222e-03,1.307983e-03,1.306647e-03,1.306472e-03,1.305087e-03,1.304333e-03,1.303315e-03,1.301833e-03,1.301341e-03,1.299177e-03,1.298996e-03,1.296834e-03,1.295848e-03,1.294320e-03,1.292410e-03,1.291646e-03,1.288821e-03,1.288705e-03,1.285855e-03,1.284753e-03,1.282754e-03,1.280574e-03,1.279529e-03,1.276187e-03,1.271608e-03,1.266856e-03,1.261945e-03,1.256891e-03,1.251708e-03,1.246410e-03,1.241009e-03,1.235516e-03,1.229945e-03,1.224304e-03,1.218604e-03,1.212855e-03,1.207065e-03,1.201242e-03,1.195395e-03,1.189532e-03,1.183657e-03,1.177779e-03,1.171903e-03,1.166035e-03,1.160179e-03,1.154342e-03,1.148527e-03,1.142738e-03
0.000000e+00,4.929190e-10,1.431183e-09,6.882117e-09,1.923918e-08,3.067314e-08,8.303091e-08,8.603783e-08,1.878039e-07,2.266102e-07,3.505226e-07,4.832075e-07,5.880338e-07,8.835896e-07,9.130879e-07,1.336521e-06,1.453699e-06,1.865694e-06,2.209334e-06,2.503024e-06,3.151429e-06,3.245983e-06,4.088391e-06,4.268092e-06,5.021812e-06,5.539948e-06,6.036455e-06,6.943746e-06,7.121665e-06,8.266240e-06,8.454115e-06,9.458704e-06,1.004472e-05,1.068757e-05,1.168931e-05,1.194161e-05,1.321010e-05,1.336281e-05,1.448302e-05,1.504212e-05,1.575123e-05,1.670685e-05,1.700655e-05,1.824183e-05,1.833960e-05,1.945099e-05,1.992616e-05,2.062892e-05,2.145534e-05,2.177149e-05,2.287547e-05,2.291879e-05,2.393839e-05,2.431063e-05,2.495851e-05,2.562716e-05,2.593472e-05,2.686641e-05,2.775344e-05,2.802789e-05,2.859604e-05,2.911222e-05,2.939473e-05,3.012090e-05,3.015031e-05,3.086374e-05,3.105610e-05,3.153616e-05,3.192043e-05,3.216880e-05,3.271683e-05,3.276299e-05,3.332011e-05,3.344846e-05,3.384158e-05,3.411856e-05,3.432883e-05,3.473045e-05,3.478330e-05,3.520642e-05,3.528740e-05,3.559960e-05,3.579267e-05,3.596422e-05,3.624942e-05,3.630163e-05,3.661316e-05,3.666069e-05,3.690009e-05,3.702944e-05,3.716365e-05,3.735848e-05,3.740504e-05,3.762541e-05,3.765050e-05,3.782587e-05,3.790805e-05,3.800749e-05,3.813356e-05,3.817130e-05,3.831826e-05,3.832932e-05,3.844933e-05,3.849751e-05,3.856540e-05,3.864017e-05,3.866733e-05,3.875594e-05,3.875922e-05,3.883201e-05,3.885647e-05,3.889629e-05,3.893363e-05,3.894949e-05,3.899229e-05,3.902533e-05,3.903394e-05,3.904923e-05,3.906000e-05,3.906457e-05,3.907175e-05,3.907190e-05,3.907176e-05,3.907045e-05,3.906464e-05,3.905721e-05,3.905101e-05,3.903313e-05,3.903134e-05,3.900605e-05,3.899918e-05,3.897553e-05,3.895631e-05,3.894018e-05,3.890537e-05,3.890036e-05,3.885642e-05,3.884716e-05,3.880867e-05,3.878244e-05,3.875743e-05,3.871191e-05,3.870299e-05,3.864563e-05,3.863620e-05,3.858560e-05,3.855591e-05,3.852314e-05,3.847160e-05,3.845850e-05,3.839189e-05,3.838377e-05,3.832351e-05,3.829292e-05,3.825356e-05,3.819946e-05,3.818222e-05,3.810966e-05,3.810381e-05,3.803605e-05,3.800634e-05,3.796153e-05,3.790740e-05,3.788625e-05,3.781034e-05,3.780729e-05,3.773393e-05,3.770632e-05,3.765712e-05,3.760474e-05,3.758005e-05,3.750280e-05,3.740072e-05,3.729871e-05,3.719695e-05,3.709561e-05,3.699485e-05,3.689479e-05,3.679557e-05,3.669730e-05,3.660008e-05,3.650399e-05,3.640912e-05,3.631554e-05,3.622331e-05,3.613248e-05,3.604310e-05,3.595520e-05,3.586883e-05,3.578401e-05,3.570075e-05,3.561909e-05,3.553902e-05,3.546056e-05,3.538372e-05,3.530849e-05
0.000000e+00,2.976845e-09,8.873524e-09,4.501206e-08,1.319778e-07,2.159311e-07,6.246606e-07,6.490317e-07,1.513602e-06,1.859827e-06,3.012769e-06,4.314263e-06,5.384008e-06,8.565933e-06,8.895423e-06,1.382396e-05,1.524564e-05,2.040641e-05,2.487368e-05,2.878816e-05,3.768628e-05,3.900903e-05,5.102414e-05,5.363427e-05,6.473199e-05,7.248452e-05,7.999544e-05,9.390267e-05,9.665497e-05,1.145369e-04,1.174993e-04,1.334589e-04,1.428562e-04,1.532347e-04,1.695448e-04,1.736779e-04,1.946054e-04,1.971407e-04,2.158403e-04,2.252375e-04,2.372151e-04,2.534570e-04,2.585736e-04,2.797725e-04,2.814575e-04,3.006826e-04,3.089397e-04,3.211896e-04,3.356486e-04,3.411940e-04,3.606109e-04,3.613743e-04,3.793696e-04,3.859502e-04,3.974128e-04,4.092502e-04,4.146957e-04,4.311846e-04,4.468565e-04,4.516963e-04,4.616971e-04,4.707559e-04,4.757007e-04,4.883575e-04,4.888683e-04,5.012068e-04,5.045146e-04,5.127286e-04,5.192562e-04,5.234500e-04,5.326239e-04,5.333910e-04,5.425743e-04,5.446682e-04,5.510247e-04,5.554467e-04,5.587689e-04,5.650215e-04,5.658344e-04,5.722499e-04,5.734575e-04,5.780442e-04,5.808213e-04,5.832463e-04,5.871797e-04,5.878853e-04,5.919898e-04,5.925988e-04,5.955880e-04,5.971434e-04,5.987075e-04,6.008765e-04,6.013751e-04,6.036170e-04,6.038587e-04,6.054585e-04,6.061481e-04,6.069237e-04,6.078002e-04,6.080362e-04,6.088184e-04,6.088674e-04,6.092918e-04,6.093994e-04,6.094770e-04,6.094428e-04,6.093935e-04,6.090600e-04,6.090417e-04,6.084943e-04,6.082371e-04,6.077133e-04,6.070674e-04,6.067329e-04,6.055683e-04,6.042338e-04,6.037731e-04,6.027430e-04,6.017128e-04,6.011088e-04,5.994161e-04,5.993431e-04,5.974574e-04,5.969094e-04,5.954624e-04,5.942172e-04,5.933682e-04,5.913622e-04,5.911844e-04,5.889198e-04,5.883653e-04,5.865829e-04,5.852455e-04,5.841814e-04,5.820207e-04,5.817229e-04,5.792141e-04,5.787069e-04,5.766616e-04,5.753190e-04,5.740714e-04,5.718706e-04,5.714492e-04,5.688002e-04,5.683742e-04,5.661293e-04,5.648410e-04,5.634413e-04,5.612813e-04,5.607402e-04,5.580302e-04,5.577046e-04,5.553149e-04,5.541194e-04,5.525977e-04,5.505334e-04,5.498819e-04,5.471702e-04,5.469536e-04,5.444656e-04,5.433863e-04,5.417705e-04,5.398372e-04,5.390872e-04,5.364178e-04,5.363113e-04,5.337643e-04,5.328133e-04,5.311286e-04,5.293472e-04,5.285122e-04,5.259166e-04,5.225246e-04,5.191742e-04,5.158677e-04,5.126072e-04,5.093947e-04,5.062316e-04,5.031193e-04,5.000588e-04,4.970511e-04,4.940967e-04,4.911963e-04,4.883502e-04,4.855585e-04,4.828215e-04,4.801390e-04,4.775110e-04,4.749371e-04,4.724172e-04,4.699507e-04,4.675373e-04,4.651764e-04,4.628674e-04,4.606098e-04,4.584028e-04
0.000000e+00,2.584382e-09,6.968273e-09,2.939716e-08,7.459584e-08,1.136526e-07,2.797404e-07,2.889312e-07,5.906558e-07,7.031366e-07,1.059172e-06,1.439372e-06,1.740477e-06,2.593442e-06,2.678707e-06,3.895891e-06,4.228414e-06,5.374882e-06,6.300802e-06,7.069853e-06,8.700038e-06,8.930601e-06,1.091519e-05,1.132394e-05,1.299061e-05,1.409658e-05,1.512981e-05,1.695870e-05,1.730920e-05,1.950729e-05,1.985937e-05,2.170418e-05,2.275281e-05,2.388150e-05,2.559799e-05,2.602257e-05,2.811259e-05,2.835933e-05,3.013880e-05,3.100730e-05,3.209055e-05,3.351875e-05,3.395930e-05,3.573851e-05,3.587683e-05,3.742355e-05,3.807047e-05,3.901142e-05,4.009365e-05,4.050067e-05,4.189112e-05,4.194469e-05,4.318362e-05,4.362524e-05,4.437988e-05,4.513960e-05,4.548237e-05,4.649406e-05,4.741833e-05,4.769623e-05,4.825886e-05,4.875463e-05,4.901952e-05,4.967829e-05,4.970427e-05,5.031714e-05,5.047641e-05,5.086214e-05,5.115819e-05,5.134319e-05,5.173260e-05,5.176415e-05,5.212877e-05,5.220829e-05,5.244064e-05,5.259355e-05,5.270324e-05,5.289619e-05,5.291986e-05,5.309368e-05,5.312357e-05,5.322769e-05,5.328259e-05,5.332474e-05,5.337968e-05,5.338752e-05,5.341859e-05,5.342078e-05,5.342033e-05,5.341141e-05,5.339500e-05,5.335669e-05,5.334474e-05,5.327154e-05,5.326130e-05,5.317727e-05,5.312957e-05,5.306369e-05,5.296548e-05,5.293245e-05,5.278509e-05,5.277265e-05,5.262305e-05,5.255443e-05,5.244768e-05,5.231387e-05,5.226024e-05,5.206191e-05,5.205376e-05,5.185378e-05,5.177665e-05,5.163687e-05,5.148486e-05,5.141215e-05,5.118049e-05,5.094273e-05,5.086548e-05,5.069963e-05,5.054158e-05,5.045191e-05,5.021036e-05,5.020022e-05,4.994519e-05,4.987326e-05,4.968739e-05,4.953160e-05,4.942734e-05,4.918653e-05,4.916553e-05,4.890242e-05,4.883913e-05,4.863842e-05,4.849034e-05,4.837393e-05,4.814104e-05,4.810928e-05,4.784482e-05,4.779198e-05,4.758085e-05,4.744386e-05,4.731763e-05,4.709731e-05,4.705544e-05,4.679448e-05,4.675286e-05,4.653499e-05,4.641102e-05,4.627716e-05,4.607220e-05,4.602115e-05,4.576713e-05,4.573679e-05,4.551525e-05,4.540513e-05,4.526563e-05,4.507750e-05,4.501839e-05,4.477363e-05,4.475416e-05,4.453146e-05,4.443533e-05,4.429195e-05,4.412119e-05,4.405517e-05,4.382120e-05,4.381190e-05,4.359008e-05,4.350758e-05,4.336186e-05,4.320835e-05,4.313659e-05,4.291429e-05,4.262546e-05,4.234192e-05,4.206369e-05,4.179078e-05,4.152321e-05,4.126097e-05,4.100404e-05,4.075238e-05,4.050598e-05,4.026477e-05,4.002873e-05,3.979778e-05,3.957188e-05,3.935095e-05,3.913493e-05,3.892375e-05,3.871733e-05,3.851560e-05,3.831849e-05,3.812590e-05,3.793777e-05,3.775400e-05,3.757452e-05,3.739925e-05
0.000000e+00,4.485077e-09,1.088167e-08,3.985427e-08,9.339389e-08,1.377425e-07,3.183304e-07,3.280899e-07,6.406043e-07,7.541668e-07,1.106185e-06,1.472325e-06,1.756663e-06,2.541721e-06,2.618872e-06,3.703250e-06,3.995921e-06,5.001841e-06,5.816918e-06,6.499312e-06,7.969714e-06,8.180739e-06,1.003241e-05,1.042197e-05,1.204055e-05,1.314177e-05,1.419040e-05,1.609400e-05,1.646580e-05,1.884930e-05,1.923947e-05,2.132246e-05,2.253586e-05,2.386630e-05,2.593943e-05,2.646175e-05,2.909014e-05,2.940690e-05,3.173361e-05,3.289714e-05,3.437537e-05,3.637243e-05,3.700002e-05,3.959367e-05,3.979944e-05,4.214404e-05,4.314963e-05,4.464049e-05,4.639943e-05,4.707401e-05,4.943709e-05,4.953006e-05,5.172369e-05,5.252719e-05,5.392908e-05,5.538052e-05,5.604974e-05,5.808318e-05,6.002789e-05,6.063132e-05,6.188315e-05,6.302352e-05,6.364890e-05,6.526036e-05,6.532573e-05,6.691468e-05,6.734402e-05,6.841719e-05,6.927794e-05,6.983505e-05,7.106646e-05,7.117029e-05,7.242515e-05,7.271462e-05,7.360201e-05,7.422792e-05,7.470338e-05,7.561218e-05,7.573183e-05,7.668997e-05,7.687339e-05,7.758045e-05,7.801763e-05,7.840590e-05,7.905095e-05,7.916895e-05,7.987218e-05,7.997932e-05,8.051815e-05,8.080861e-05,8.110936e-05,8.154453e-05,8.164824e-05,8.213717e-05,8.219260e-05,8.257848e-05,8.275814e-05,8.297440e-05,8.324628e-05,8.332710e-05,8.363870e-05,8.366192e-05,8.391123e-05,8.400974e-05,8.414664e-05,8.429422e-05,8.434682e-05,8.451359e-05,8.451959e-05,8.464870e-05,8.468991e-05,8.475382e-05,8.480900e-05,8.483057e-05,8.488049e-05,8.490507e-05,8.490782e-05,8.490573e-05,8.489424e-05,8.488384e-05,8.484280e-05,8.484068e-05,8.477752e-05,8.475641e-05,8.469554e-05,8.463780e-05,8.459589e-05,8.448953e-05,8.447964e-05,8.434785e-05,8.431402e-05,8.420150e-05,8.411355e-05,8.404155e-05,8.389025e-05,8.386889e-05,8.368438e-05,8.364613e-05,8.348885e-05,8.338307e-05,8.328307e-05,8.310285e-05,8.306780e-05,8.284373e-05,8.280711e-05,8.261156e-05,8.249742e-05,8.237190e-05,8.217521e-05,8.212538e-05,8.187257e-05,8.184184e-05,8.161403e-05,8.149859e-05,8.135027e-05,8.114664e-05,8.108180e-05,8.080907e-05,8.078708e-05,8.053254e-05,8.042096e-05,8.025263e-05,8.004923e-05,7.996974e-05,7.968425e-05,7.967278e-05,7.939651e-05,7.929245e-05,7.910687e-05,7.890899e-05,7.881565e-05,7.852314e-05,7.813556e-05,7.774685e-05,7.735758e-05,7.696829e-05,7.657946e-05,7.619152e-05,7.580490e-05,7.541997e-05,7.503706e-05,7.465651e-05,7.427860e-05,7.390359e-05,7.353172e-05,7.316320e-05,7.279823e-05,7.243699e-05,7.207962e-05,7.172628e-05,7.137708e-05,7.103212e-05,7.069152e-05,7.035533e-05,7.002365e-05,6.969651e-05
0.000000e+00,3.816965e-09,8.722532e-09,2.985996e-08,6.761875e-08,9.837686e-08,2.214227e-07,2.280063e-07,4.366351e-07,5.116456e-07,7.422747e-07,9.799842e-07,1.163653e-06,1.669930e-06,1.719806e-06,2.427286e-06,2.620776e-06,3.294245e-06,3.847906e-06,4.315140e-06,5.327105e-06,5.472454e-06,6.743917e-06,7.009979e-06,8.108109e-06,8.847773e-06,9.546163e-06,1.079901e-05,1.104148e-05,1.257903e-05,1.282802e-05,1.414488e-05,1.490265e-05,1.572591e-05,1.699337e-05,1.730981e-05,1.888512e-05,1.907307e-05,2.044131e-05,2.111749e-05,2.196889e-05,2.310553e-05,2.345950e-05,2.490592e-05,2.501953e-05,2.630210e-05,2.684537e-05,2.764313e-05,2.857233e-05,2.892518e-05,3.014541e-05,3.019291e-05,3.130194e-05,3.170246e-05,3.239366e-05,3.309879e-05,3.342019e-05,3.438173e-05,3.527905e-05,3.555281e-05,3.611332e-05,3.661485e-05,3.688606e-05,3.757168e-05,3.759908e-05,3.825441e-05,3.842786e-05,3.885422e-05,3.918841e-05,3.940081e-05,3.985868e-05,3.989652e-05,4.034376e-05,4.044415e-05,4.074492e-05,4.095035e-05,4.110242e-05,4.138275e-05,4.141858e-05,4.169572e-05,4.174666e-05,4.193605e-05,4.204720e-05,4.214175e-05,4.228931e-05,4.231491e-05,4.245753e-05,4.247764e-05,4.257154e-05,4.261665e-05,4.265878e-05,4.271048e-05,4.272101e-05,4.275989e-05,4.276306e-05,4.277701e-05,4.277805e-05,4.277390e-05,4.275888e-05,4.275197e-05,4.271260e-05,4.270873e-05,4.265705e-05,4.263058e-05,4.258654e-05,4.252716e-05,4.250222e-05,4.240516e-05,4.240103e-05,4.229638e-05,4.225454e-05,4.217685e-05,4.208988e-05,4.204745e-05,4.190905e-05,4.176243e-05,4.171390e-05,4.160834e-05,4.150614e-05,4.144750e-05,4.128733e-05,4.128055e-05,4.110811e-05,4.105893e-05,4.093078e-05,4.082224e-05,4.074907e-05,4.057849e-05,4.056352e-05,4.037458e-05,4.032878e-05,4.018271e-05,4.007413e-05,3.998831e-05,3.981546e-05,3.979178e-05,3.959347e-05,3.955362e-05,3.939372e-05,3.928939e-05,3.919285e-05,3.902346e-05,3.899114e-05,3.878886e-05,3.875647e-05,3.858628e-05,3.848899e-05,3.838361e-05,3.822156e-05,3.818107e-05,3.797887e-05,3.795464e-05,3.777719e-05,3.768866e-05,3.757620e-05,3.742401e-05,3.737606e-05,3.717691e-05,3.716102e-05,3.697888e-05,3.690001e-05,3.678209e-05,3.664124e-05,3.658667e-05,3.639270e-05,3.638497e-05,3.620028e-05,3.613141e-05,3.600950e-05,3.588074e-05,3.582043e-05,3.563314e-05,3.538874e-05,3.514768e-05,3.491005e-05,3.467595e-05,3.444546e-05,3.421862e-05,3.399550e-05,3.377611e-05,3.356050e-05,3.334868e-05,3.314065e-05,3.293642e-05,3.273598e-05,3.253931e-05,3.234639e-05,3.215721e-05,3.197173e-05,3.178992e-05,3.161175e-05,3.143716e-05,3.126613e-05,3.109861e-05,3.093455e-05,3.077389e-05
0.000000e+00,7.959281e-10,2.235742e-09,1.010286e-08,2.686920e-08,4.178381e-08,1.068118e-07,1.104442e-07,2.298163e-07,2.740703e-07,4.124882e-07,5.572913e-07,6.699263e-07,9.817107e-07,1.012468e-06,1.449158e-06,1.568834e-06,1.987355e-06,2.335072e-06,2.632068e-06,3.289012e-06,3.385047e-06,4.243735e-06,4.427578e-06,5.200478e-06,5.732673e-06,6.242496e-06,7.171519e-06,7.353054e-06,8.513535e-06,8.702600e-06,9.705596e-06,1.028405e-05,1.091267e-05,1.187954e-05,1.212061e-05,1.331777e-05,1.346024e-05,1.449475e-05,1.500423e-05,1.564405e-05,1.649536e-05,1.675982e-05,1.783755e-05,1.792202e-05,1.887388e-05,1.927626e-05,1.986644e-05,2.055309e-05,2.081368e-05,2.171475e-05,2.174983e-05,2.256937e-05,2.286569e-05,2.337774e-05,2.390131e-05,2.414046e-05,2.485843e-05,2.553279e-05,2.573958e-05,2.616485e-05,2.654784e-05,2.675608e-05,2.728667e-05,2.730801e-05,2.782226e-05,2.795972e-05,2.830045e-05,2.857075e-05,2.874424e-05,2.912353e-05,2.915524e-05,2.953507e-05,2.962176e-05,2.988529e-05,3.006905e-05,3.020743e-05,3.046888e-05,3.050300e-05,3.077342e-05,3.082461e-05,3.102008e-05,3.113939e-05,3.124430e-05,3.141623e-05,3.144735e-05,3.163044e-05,3.165797e-05,3.179475e-05,3.186727e-05,3.194136e-05,3.204662e-05,3.207133e-05,3.218566e-05,3.219838e-05,3.228530e-05,3.232472e-05,3.237114e-05,3.242768e-05,3.244404e-05,3.250481e-05,3.250918e-05,3.255422e-05,3.257096e-05,3.259298e-05,3.261469e-05,3.262179e-05,3.264130e-05,3.264189e-05,3.265211e-05,3.265398e-05,3.265480e-05,3.265228e-05,3.264993e-05,3.263800e-05,3.261952e-05,3.261229e-05,3.259493e-05,3.257619e-05,3.256468e-05,3.253068e-05,3.252917e-05,3.248879e-05,3.247666e-05,3.244391e-05,3.241496e-05,3.239487e-05,3.234636e-05,3.234199e-05,3.228559e-05,3.227156e-05,3.222595e-05,3.219124e-05,3.216334e-05,3.210599e-05,3.209801e-05,3.203022e-05,3.201638e-05,3.196018e-05,3.192294e-05,3.188810e-05,3.182614e-05,3.181420e-05,3.173865e-05,3.172642e-05,3.166163e-05,3.162419e-05,3.158331e-05,3.151982e-05,3.150385e-05,3.142338e-05,3.141367e-05,3.134206e-05,3.130604e-05,3.126001e-05,3.119723e-05,3.117735e-05,3.109418e-05,3.108751e-05,3.101063e-05,3.097713e-05,3.092679e-05,3.086630e-05,3.084275e-05,3.075860e-05,3.075523e-05,3.067441e-05,3.064411e-05,3.059027e-05,3.053312e-05,3.050625e-05,3.042241e-05,3.031212e-05,3.020239e-05,3.009332e-05,2.998503e-05,2.987762e-05,2.977116e-05,2.966574e-05,2.956142e-05,2.945828e-05,2.935636e-05,2.925571e-05,2.915637e-05,2.905839e-05,2.896179e-05,2.886659e-05,2.877284e-05,2.868053e-05,2.858969e-05,2.850033e-05,2.841245e-05,2.832607e-05,2.824118e-05,2.815779e-05,2.807589e-05
0.000000e+00,3.599892e-10,1.069723e-09,5.390530e-09,1.570668e-08,2.560645e-08,7.335481e-08,7.618486e-08,1.757629e-07,2.152897e-07,3.458640e-07,4.917533e-07,6.107430e-07,9.611892e-07,9.972552e-07,1.533957e-06,1.688252e-06,2.248345e-06,2.734505e-06,3.162198e-06,4.141201e-06,4.287550e-06,5.625937e-06,5.918686e-06,7.170448e-06,8.051041e-06,8.908518e-06,1.050643e-05,1.082414e-05,1.289931e-05,1.324488e-05,1.511494e-05,1.622257e-05,1.745135e-05,1.939406e-05,1.988864e-05,2.240698e-05,2.271369e-05,2.498684e-05,2.613654e-05,2.760922e-05,2.961942e-05,3.025590e-05,3.290961e-05,3.312172e-05,3.555423e-05,3.660617e-05,3.817494e-05,4.003944e-05,4.075830e-05,4.329236e-05,4.339254e-05,4.576666e-05,4.664101e-05,4.817224e-05,4.976490e-05,5.050161e-05,5.274868e-05,5.490866e-05,5.558085e-05,5.697799e-05,5.825362e-05,5.895422e-05,6.076244e-05,6.083589e-05,6.262242e-05,6.310562e-05,6.431404e-05,6.528380e-05,6.591162e-05,6.729956e-05,6.741659e-05,6.883087e-05,6.915705e-05,7.015675e-05,7.086159e-05,7.139684e-05,7.241939e-05,7.255396e-05,7.363114e-05,7.383726e-05,7.463151e-05,7.512241e-05,7.555828e-05,7.628226e-05,7.641470e-05,7.720402e-05,7.732430e-05,7.792945e-05,7.825591e-05,7.859418e-05,7.908433e-05,7.920129e-05,7.975382e-05,7.981659e-05,8.025468e-05,8.045943e-05,8.070671e-05,8.101927e-05,8.111262e-05,8.147504e-05,8.150223e-05,8.179644e-05,8.191406e-05,8.207923e-05,8.226020e-05,8.232567e-05,8.253793e-05,8.254574e-05,8.271806e-05,8.277543e-05,8.286802e-05,8.295372e-05,8.298967e-05,8.308475e-05,8.315493e-05,8.317239e-05,8.320177e-05,8.322020e-05,8.322677e-05,8.323151e-05,8.323131e-05,8.321673e-05,8.320939e-05,8.318427e-05,8.315671e-05,8.313512e-05,8.307610e-05,8.307037e-05,8.299109e-05,8.297001e-05,8.289825e-05,8.284069e-05,8.279279e-05,8.269023e-05,8.267558e-05,8.254745e-05,8.252058e-05,8.240918e-05,8.233351e-05,8.226150e-05,8.213068e-05,8.210510e-05,8.194063e-05,8.191361e-05,8.176872e-05,8.168372e-05,8.158992e-05,8.144230e-05,8.140480e-05,8.121385e-05,8.119057e-05,8.101757e-05,8.092963e-05,8.081640e-05,8.066050e-05,8.061077e-05,8.040109e-05,8.038415e-05,8.018773e-05,8.010144e-05,7.997106e-05,7.981319e-05,7.975140e-05,7.952908e-05,7.952014e-05,7.930440e-05,7.922299e-05,7.907763e-05,7.892236e-05,7.884903e-05,7.861886e-05,7.831303e-05,7.800536e-05,7.769632e-05,7.738634e-05,7.707581e-05,7.676509e-05,7.645451e-05,7.614439e-05,7.583500e-05,7.552661e-05,7.521946e-05,7.491375e-05,7.460970e-05,7.430749e-05,7.400728e-05,7.370923e-05,7.341347e-05,7.312013e-05,7.282933e-05,7.254117e-05,7.225574e-05,7.197312e-05,7.169339e-05,7.141661e-05
0.000000e+00,3.760204e-09,1.125294e-08,5.752922e-08,1.697586e-07,2.786005e-07,8.108125e-07,8.425923e-07,1.969092e-06,2.418927e-06,3.909265e-06,5.576447e-06,6.934911e-06,1.091991e-05,1.132843e-05,1.737315e-05,1.910040e-05,2.534352e-05,3.074426e-05,3.549464e-05,4.641056e-05,4.805072e-05,6.319237e-05,6.654302e-05,8.104363e-05,9.141887e-05,1.016614e-04,1.211096e-04,1.250310e-04,1.510693e-04,1.554744e-04,1.796354e-04,1.941916e-04,2.105427e-04,2.368076e-04,2.435719e-04,2.784824e-04,2.827861e-04,3.150208e-04,3.315471e-04,3.529294e-04,3.824983e-04,3.919517e-04,4.318373e-04,4.350581e-04,4.723462e-04,4.886729e-04,5.132515e-04,5.428292e-04,5.543414e-04,5.954210e-04,5.970614e-04,6.363123e-04,6.509557e-04,6.768552e-04,7.041519e-04,7.169072e-04,7.563426e-04,7.950521e-04,8.072701e-04,8.329419e-04,8.567239e-04,8.699325e-04,9.045359e-04,9.059576e-04,9.409635e-04,9.505764e-04,9.749072e-04,9.947495e-04,1.007756e-03,1.036989e-03,1.039486e-03,1.070082e-03,1.077255e-03,1.099534e-03,1.115527e-03,1.127841e-03,1.151806e-03,1.155005e-03,1.181035e-03,1.186105e-03,1.205941e-03,1.218453e-03,1.229739e-03,1.248887e-03,1.252448e-03,1.274089e-03,1.277453e-03,1.294683e-03,1.304204e-03,1.314255e-03,1.329195e-03,1.332832e-03,1.350440e-03,1.352489e-03,1.367107e-03,1.374149e-03,1.382860e-03,1.394240e-03,1.397729e-03,1.411742e-03,1.412827e-03,1.424928e-03,1.429977e-03,1.437315e-03,1.445756e-03,1.448933e-03,1.459809e-03,1.460229e-03,1.469971e-03,1.473460e-03,1.479446e-03,1.485511e-03,1.488262e-03,1.496444e-03,1.504018e-03,1.506318e-03,1.511010e-03,1.515190e-03,1.517444e-03,1.523117e-03,1.523343e-03,1.528731e-03,1.530151e-03,1.533630e-03,1.536343e-03,1.538061e-03,1.541744e-03,1.542047e-03,1.545608e-03,1.546401e-03,1.548762e-03,1.550358e-03,1.551530e-03,1.553660e-03,1.553929e-03,1.555978e-03,1.556347e-03,1.557693e-03,1.558459e-03,1.559092e-03,1.560034e-03,1.560190e-03,1.561001e-03,1.561106e-03,1.561542e-03,1.561710e-03,1.561827e-03,1.561878e-03,1.561868e-03,1.561679e-03,1.561641e-03,1.561272e-03,1.561028e-03,1.560660e-03,1.560065e-03,1.559855e-03,1.558867e-03,1.558780e-03,1.557706e-03,1.557196e-03,1.556384e-03,1.555337e-03,1.554910e-03,1.553293e-03,1.553225e-03,1.551542e-03,1.550881e-03,1.549666e-03,1.548323e-03,1.547673e-03,1.545572e-03,1.542643e-03,1.539553e-03,1.536318e-03,1.532953e-03,1.529470e-03,1.525883e-03,1.522203e-03,1.518442e-03,1.514611e-03,1.510719e-03,1.506775e-03,1.502789e-03,1.498768e-03,1.494719e-03,1.490650e-03,1.486568e-03,1.482478e-03,1.478386e-03,1.474297e-03,1.470217e-03,1.466149e-03,1.462098e-03,1.458067e-03,1.454060e-03
0.000000e+00,2.275140e-09,5.603223e-09,2.083638e-08,4.909189e-08,7.249465e-08,1.675693e-07,1.726966e-07,3.363724e-07,3.956332e-07,5.787572e-07,7.686011e-07,9.158728e-07,1.323902e-06,1.364245e-06,1.939160e-06,2.097273e-06,2.650679e-06,3.109118e-06,3.498121e-06,4.345088e-06,4.467002e-06,5.532556e-06,5.754820e-06,6.667302e-06,7.276369e-06,7.846664e-06,8.857103e-06,9.050717e-06,1.026368e-05,1.045770e-05,1.147292e-05,1.204892e-05,1.266810e-05,1.360831e-05,1.384065e-05,1.498346e-05,1.511831e-05,1.609067e-05,1.656531e-05,1.715755e-05,1.793910e-05,1.818041e-05,1.915655e-05,1.923256e-05,2.008412e-05,2.044128e-05,2.096204e-05,2.156316e-05,2.178993e-05,2.256794e-05,2.259803e-05,2.329674e-05,2.354725e-05,2.397737e-05,2.441335e-05,2.461117e-05,2.519971e-05,2.574475e-05,2.591028e-05,2.624815e-05,2.654936e-05,2.671184e-05,2.712145e-05,2.713779e-05,2.752796e-05,2.763107e-05,2.788432e-05,2.808269e-05,2.820876e-05,2.848065e-05,2.850313e-05,2.876924e-05,2.882909e-05,2.900878e-05,2.913195e-05,2.922342e-05,2.939293e-05,2.941470e-05,2.958411e-05,2.961550e-05,2.973307e-05,2.980289e-05,2.986290e-05,2.995809e-05,2.997485e-05,3.007010e-05,3.008387e-05,3.014977e-05,3.018279e-05,3.021491e-05,3.025721e-05,3.026649e-05,3.030543e-05,3.030930e-05,3.033261e-05,3.034105e-05,3.034882e-05,3.035429e-05,3.035484e-05,3.035137e-05,3.035071e-05,3.033909e-05,3.033184e-05,3.031860e-05,3.029911e-05,3.029051e-05,3.025536e-05,3.025381e-05,3.021366e-05,3.019713e-05,3.016589e-05,3.013017e-05,3.011250e-05,3.005391e-05,2.999053e-05,2.996929e-05,2.992271e-05,2.987715e-05,2.985081e-05,2.977824e-05,2.977515e-05,2.969602e-05,2.967329e-05,2.961373e-05,2.956294e-05,2.952853e-05,2.944779e-05,2.944067e-05,2.935039e-05,2.932839e-05,2.925791e-05,2.920523e-05,2.916342e-05,2.907878e-05,2.906714e-05,2.896923e-05,2.894946e-05,2.886986e-05,2.881766e-05,2.876919e-05,2.868374e-05,2.866738e-05,2.856455e-05,2.854802e-05,2.846085e-05,2.841080e-05,2.835639e-05,2.827235e-05,2.825129e-05,2.814565e-05,2.813294e-05,2.803957e-05,2.799279e-05,2.793316e-05,2.785211e-05,2.782649e-05,2.771965e-05,2.771110e-05,2.761272e-05,2.756994e-05,2.750577e-05,2.742879e-05,2.739887e-05,2.729207e-05,2.728781e-05,2.718545e-05,2.714712e-05,2.707905e-05,2.700685e-05,2.697293e-05,2.686713e-05,2.672805e-05,2.658970e-05,2.645218e-05,2.631557e-05,2.617993e-05,2.604534e-05,2.591184e-05,2.577949e-05,2.564834e-05,2.551844e-05,2.538981e-05,2.526250e-05,2.513653e-05,2.501192e-05,2.488871e-05,2.476691e-05,2.464654e-05,2.452760e-05,2.441012e-05,2.429410e-05,2.417955e-05,2.406647e-05,2.395487e-05,2.384475e-05
0.000000e+00,1.446503e-09,4.191427e-09,2.007703e-08,5.595258e-08,8.907450e-08,2.404357e-07,2.491225e-07,5.432329e-07,6.555404e-07,1.015036e-06,1.401720e-06,1.708591e-06,2.580562e-06,2.668136e-06,3.935615e-06,4.289580e-06,5.543426e-06,6.598117e-06,7.503962e-06,9.511720e-06,9.804895e-06,1.241521e-05,1.297098e-05,1.529535e-05,1.688597e-05,1.840420e-05,2.116324e-05,2.170201e-05,2.515098e-05,2.571440e-05,2.871500e-05,3.045640e-05,3.235952e-05,3.531081e-05,3.605146e-05,3.975948e-05,4.020411e-05,4.345427e-05,4.506876e-05,4.710892e-05,4.984460e-05,5.069921e-05,5.420382e-05,5.447992e-05,5.760445e-05,5.893207e-05,6.088582e-05,6.316750e-05,6.403556e-05,6.704410e-05,6.716140e-05,6.990443e-05,7.089690e-05,7.261186e-05,7.436415e-05,7.516374e-05,7.755922e-05,7.979898e-05,8.048310e-05,8.188496e-05,8.314064e-05,8.382017e-05,8.553969e-05,8.560846e-05,8.725433e-05,8.769032e-05,8.876279e-05,8.960413e-05,9.013921e-05,9.129374e-05,9.138922e-05,9.251859e-05,9.277233e-05,9.353313e-05,9.405329e-05,9.443868e-05,9.514999e-05,9.524101e-05,9.594580e-05,9.607554e-05,9.655860e-05,9.684271e-05,9.708481e-05,9.746373e-05,9.752965e-05,9.789814e-05,9.795034e-05,9.819511e-05,9.831362e-05,9.842520e-05,9.856410e-05,9.859283e-05,9.870223e-05,9.871164e-05,9.875741e-05,9.876550e-05,9.876218e-05,9.873434e-05,9.872018e-05,9.863484e-05,9.862624e-05,9.850942e-05,9.844871e-05,9.834697e-05,9.820873e-05,9.815042e-05,9.792250e-05,9.791277e-05,9.766579e-05,9.756680e-05,9.738272e-05,9.717635e-05,9.707557e-05,9.674651e-05,9.639755e-05,9.628199e-05,9.603059e-05,9.578712e-05,9.564742e-05,9.526587e-05,9.524970e-05,9.483900e-05,9.472188e-05,9.441679e-05,9.415851e-05,9.398444e-05,9.357882e-05,9.354322e-05,9.309434e-05,9.298560e-05,9.263891e-05,9.238140e-05,9.217797e-05,9.176857e-05,9.171250e-05,9.124340e-05,9.114922e-05,9.077150e-05,9.052528e-05,9.029759e-05,8.989849e-05,8.982240e-05,8.934658e-05,8.927043e-05,8.887076e-05,8.864254e-05,8.839552e-05,8.801610e-05,8.792138e-05,8.744884e-05,8.739226e-05,8.697833e-05,8.677206e-05,8.651027e-05,8.615642e-05,8.604504e-05,8.558299e-05,8.554617e-05,8.512442e-05,8.494204e-05,8.466963e-05,8.434467e-05,8.421888e-05,8.377239e-05,8.375463e-05,8.333039e-05,8.317241e-05,8.289306e-05,8.259843e-05,8.246057e-05,8.203308e-05,8.147665e-05,8.092941e-05,8.039158e-05,7.986332e-05,7.934478e-05,7.883606e-05,7.833722e-05,7.784831e-05,7.736934e-05,7.690031e-05,7.644118e-05,7.599192e-05,7.555246e-05,7.512272e-05,7.470261e-05,7.429203e-05,7.389087e-05,7.349901e-05,7.311632e-05,7.274267e-05,7.237790e-05,7.202188e-05,7.167446e-05,7.133548e-05
0.000000e+00,1.983844e-09,5.533424e-09,2.466071e-08,6.485377e-08,1.003107e-07,2.537603e-07,2.623119e-07,5.439337e-07,6.489693e-07,9.807367e-07,1.333676e-06,1.612450e-06,2.401651e-06,2.480706e-06,3.617838e-06,3.931987e-06,5.027068e-06,5.922466e-06,6.670584e-06,8.258142e-06,8.481967e-06,1.039083e-05,1.077887e-05,1.233860e-05,1.335186e-05,1.428186e-05,1.588772e-05,1.618956e-05,1.803936e-05,1.832879e-05,1.981475e-05,2.063675e-05,2.150336e-05,2.278547e-05,2.309595e-05,2.458590e-05,2.475757e-05,2.596891e-05,2.654290e-05,2.724273e-05,2.813751e-05,2.840698e-05,2.946284e-05,2.954269e-05,3.041290e-05,3.076410e-05,3.126089e-05,3.181081e-05,3.201144e-05,3.266975e-05,3.269424e-05,3.324134e-05,3.342701e-05,3.373207e-05,3.402261e-05,3.414787e-05,3.449469e-05,3.477831e-05,3.485664e-05,3.500431e-05,3.512117e-05,3.517800e-05,3.530020e-05,3.530441e-05,3.538824e-05,3.540468e-05,3.543385e-05,3.544457e-05,3.544530e-05,3.542885e-05,3.542629e-05,3.538023e-05,3.536550e-05,3.531024e-05,3.526165e-05,3.521914e-05,3.512356e-05,3.510950e-05,3.498364e-05,3.495670e-05,3.484365e-05,3.476591e-05,3.469143e-05,3.455536e-05,3.452868e-05,3.435693e-05,3.432871e-05,3.417756e-05,3.408912e-05,3.399180e-05,3.383933e-05,3.380074e-05,3.360538e-05,3.358169e-05,3.340660e-05,3.331826e-05,3.320518e-05,3.305078e-05,3.300183e-05,3.279718e-05,3.278076e-05,3.259177e-05,3.250951e-05,3.238610e-05,3.223811e-05,3.218062e-05,3.197571e-05,3.196753e-05,3.177171e-05,3.169856e-05,3.156894e-05,3.143188e-05,3.136765e-05,3.116808e-05,3.097044e-05,3.090763e-05,3.077491e-05,3.065094e-05,3.058164e-05,3.039835e-05,3.039076e-05,3.020239e-05,3.015011e-05,3.001664e-05,2.990647e-05,2.983357e-05,2.966758e-05,2.965326e-05,2.947577e-05,2.943360e-05,2.930114e-05,2.920461e-05,2.912941e-05,2.898070e-05,2.896059e-05,2.879472e-05,2.876190e-05,2.863180e-05,2.854825e-05,2.847183e-05,2.833974e-05,2.831482e-05,2.816074e-05,2.813637e-05,2.800961e-05,2.793810e-05,2.786138e-05,2.774489e-05,2.771606e-05,2.757361e-05,2.755671e-05,2.743401e-05,2.737348e-05,2.729723e-05,2.719515e-05,2.716324e-05,2.703201e-05,2.702163e-05,2.690351e-05,2.685286e-05,2.677769e-05,2.668874e-05,2.665452e-05,2.653397e-05,2.652920e-05,2.641599e-05,2.637414e-05,2.630055e-05,2.622348e-05,2.618760e-05,2.607711e-05,2.593495e-05,2.579690e-05,2.566286e-05,2.553274e-05,2.540644e-05,2.528387e-05,2.516494e-05,2.504955e-05,2.493761e-05,2.482902e-05,2.472370e-05,2.462156e-05,2.452251e-05,2.442646e-05,2.433334e-05,2.424305e-05,2.415553e-05,2.407068e-05,2.398844e-05,2.390872e-05,2.383145e-05,2.375657e-05,2.368399e-05,2.361366e-05
0.000000e+00,1.451796e-09,4.341329e-09,2.216314e-08,6.533896e-08,1.071991e-07,3.120276e-07,3.242704e-07,7.593108e-07,9.336329e-07,1.513593e-06,2.166529e-06,2.701512e-06,4.283573e-06,4.446645e-06,6.872014e-06,7.567734e-06,1.008430e-05,1.225719e-05,1.416120e-05,1.850147e-05,1.914894e-05,2.506621e-05,2.636119e-05,3.190881e-05,3.582555e-05,3.965330e-05,4.682689e-05,4.825978e-05,5.767441e-05,5.925152e-05,6.783181e-05,7.294962e-05,7.865757e-05,8.774518e-05,9.007078e-05,1.019865e-04,1.034461e-04,1.143181e-04,1.198534e-04,1.269791e-04,1.367699e-04,1.398853e-04,1.529561e-04,1.540065e-04,1.661152e-04,1.713876e-04,1.792922e-04,1.887541e-04,1.924223e-04,2.054473e-04,2.059654e-04,2.183151e-04,2.229000e-04,2.309800e-04,2.394557e-04,2.434022e-04,2.555479e-04,2.673884e-04,2.711090e-04,2.789002e-04,2.860864e-04,2.900644e-04,3.004410e-04,3.008660e-04,3.112939e-04,3.141456e-04,3.213403e-04,3.271828e-04,3.310003e-04,3.395442e-04,3.402716e-04,3.491541e-04,3.512283e-04,3.576498e-04,3.622396e-04,3.657621e-04,3.725878e-04,3.734961e-04,3.808579e-04,3.822862e-04,3.878546e-04,3.913512e-04,3.944942e-04,3.998019e-04,4.007854e-04,4.067373e-04,4.076588e-04,4.123595e-04,4.149438e-04,4.176617e-04,4.216799e-04,4.226541e-04,4.273467e-04,4.278902e-04,4.317499e-04,4.335982e-04,4.358738e-04,4.388274e-04,4.397286e-04,4.433243e-04,4.436011e-04,4.466708e-04,4.479419e-04,4.497780e-04,4.518723e-04,4.526553e-04,4.553122e-04,4.554140e-04,4.577577e-04,4.585881e-04,4.600008e-04,4.614148e-04,4.620500e-04,4.639139e-04,4.656005e-04,4.661041e-04,4.671177e-04,4.680034e-04,4.684732e-04,4.696290e-04,4.696742e-04,4.707280e-04,4.709975e-04,4.716412e-04,4.721246e-04,4.724207e-04,4.730250e-04,4.730726e-04,4.736032e-04,4.737131e-04,4.740183e-04,4.742024e-04,4.743235e-04,4.745055e-04,4.745242e-04,4.746258e-04,4.746347e-04,4.746331e-04,4.746013e-04,4.745510e-04,4.744163e-04,4.743841e-04,4.741367e-04,4.740899e-04,4.738131e-04,4.736319e-04,4.734173e-04,4.730513e-04,4.729532e-04,4.724245e-04,4.723569e-04,4.718348e-04,4.715568e-04,4.711874e-04,4.706588e-04,4.704855e-04,4.697323e-04,4.696700e-04,4.689308e-04,4.685973e-04,4.680838e-04,4.674472e-04,4.671939e-04,4.662638e-04,4.662258e-04,4.652960e-04,4.649388e-04,4.642928e-04,4.635915e-04,4.632564e-04,4.621891e-04,4.607363e-04,4.592375e-04,4.576971e-04,4.561189e-04,4.545067e-04,4.528640e-04,4.511941e-04,4.495000e-04,4.477847e-04,4.460509e-04,4.443010e-04,4.425375e-04,4.407627e-04,4.389786e-04,4.371872e-04,4.353903e-04,4.335896e-04,4.317868e-04,4.299833e-04,4.281805e-04,4.263798e-04,4.245823e-04,4.227892e-04,4.210016e-04
0.000000e+00,3.782272e-09,8.695339e-09,3.012641e-08,6.921248e-08,1.017394e-07,2.376777e-07,2.452060e-07,4.965147e-07,5.925893e-07,9.044321e-07,1.246247e-06,1.519375e-06,2.284496e-06,2.359565e-06,3.398838e-06,3.673428e-06,4.598510e-06,5.329212e-06,5.929952e-06,7.196450e-06,7.375540e-06,8.924088e-06,9.245400e-06,1.056731e-05,1.145673e-05,1.229777e-05,1.381317e-05,1.410779e-05,1.598905e-05,1.629605e-05,1.793235e-05,1.888429e-05,1.992777e-05,2.155453e-05,2.196472e-05,2.403226e-05,2.428189e-05,2.611927e-05,2.704088e-05,2.821475e-05,2.980637e-05,3.030798e-05,3.238876e-05,3.255439e-05,3.444754e-05,3.526290e-05,3.647555e-05,3.791220e-05,3.846490e-05,4.040860e-05,4.048531e-05,4.230060e-05,4.296805e-05,4.413577e-05,4.534903e-05,4.590988e-05,4.761956e-05,4.926223e-05,4.977341e-05,5.083604e-05,5.180657e-05,5.233981e-05,5.371698e-05,5.377295e-05,5.513536e-05,5.550421e-05,5.642744e-05,5.716923e-05,5.764994e-05,5.871414e-05,5.880397e-05,5.989088e-05,6.014192e-05,6.091226e-05,6.145626e-05,6.186988e-05,6.266135e-05,6.276564e-05,6.360155e-05,6.376173e-05,6.437969e-05,6.476219e-05,6.510218e-05,6.566766e-05,6.577119e-05,6.638887e-05,6.648308e-05,6.695737e-05,6.721340e-05,6.747881e-05,6.786350e-05,6.795530e-05,6.838889e-05,6.843813e-05,6.878157e-05,6.894190e-05,6.913530e-05,6.937924e-05,6.945196e-05,6.973338e-05,6.975443e-05,6.998135e-05,7.007154e-05,7.019755e-05,7.033447e-05,7.038363e-05,7.054119e-05,7.054692e-05,7.067171e-05,7.071237e-05,7.077667e-05,7.083415e-05,7.085745e-05,7.091539e-05,7.095175e-05,7.095903e-05,7.096776e-05,7.096786e-05,7.096457e-05,7.094449e-05,7.094331e-05,7.090501e-05,7.089138e-05,7.085070e-05,7.081083e-05,7.078134e-05,7.070502e-05,7.069784e-05,7.060107e-05,7.057596e-05,7.049186e-05,7.042557e-05,7.037101e-05,7.025562e-05,7.023926e-05,7.009733e-05,7.006778e-05,6.994590e-05,6.986361e-05,6.978561e-05,6.964457e-05,6.961708e-05,6.944088e-05,6.941202e-05,6.925758e-05,6.916723e-05,6.906770e-05,6.891139e-05,6.887173e-05,6.867015e-05,6.864561e-05,6.846341e-05,6.837092e-05,6.825193e-05,6.808828e-05,6.803611e-05,6.781635e-05,6.779860e-05,6.759299e-05,6.750272e-05,6.736639e-05,6.720140e-05,6.713686e-05,6.690472e-05,6.689538e-05,6.667025e-05,6.658533e-05,6.643374e-05,6.627188e-05,6.619544e-05,6.595560e-05,6.563704e-05,6.531671e-05,6.499505e-05,6.467252e-05,6.434949e-05,6.402635e-05,6.370342e-05,6.338103e-05,6.305947e-05,6.273900e-05,6.241987e-05,6.210230e-05,6.178651e-05,6.147267e-05,6.116096e-05,6.085154e-05,6.054455e-05,6.024013e-05,5.993838e-05,5.963941e-05,5.934332e-05,5.905019e-05,5.876011e-05,5.847312e-05
0.000000e+00,5.096464e-10,1.495496e-09,7.350872e-09,2.097791e-08,3.384494e-08,9.476029e-08,9.833851e-08,2.234315e-07,2.729175e-07,4.364106e-07,6.191465e-07,7.678409e-07,1.200082e-06,1.243880e-06,1.876819e-06,2.052079e-06,2.664765e-06,3.170163e-06,3.597718e-06,4.528199e-06,4.662460e-06,5.844743e-06,6.094022e-06,7.129923e-06,7.833925e-06,8.503030e-06,9.713206e-06,9.948766e-06,1.145161e-05,1.169632e-05,1.299602e-05,1.374760e-05,1.456675e-05,1.583242e-05,1.614917e-05,1.772957e-05,1.791847e-05,1.929540e-05,1.997683e-05,2.083551e-05,2.198276e-05,2.234019e-05,2.380126e-05,2.391605e-05,2.521202e-05,2.576101e-05,2.656719e-05,2.750622e-05,2.786281e-05,2.909613e-05,2.914413e-05,3.026541e-05,3.067050e-05,3.136985e-05,3.208378e-05,3.240940e-05,3.338467e-05,3.429674e-05,3.457548e-05,3.514706e-05,3.565967e-05,3.593741e-05,3.664155e-05,3.666976e-05,3.734628e-05,3.752601e-05,3.796928e-05,3.831842e-05,3.854124e-05,3.902450e-05,3.906464e-05,3.954192e-05,3.964987e-05,3.997550e-05,4.020008e-05,4.036771e-05,4.068045e-05,4.072084e-05,4.103710e-05,4.109612e-05,4.131862e-05,4.145197e-05,4.156745e-05,4.175264e-05,4.178554e-05,4.197476e-05,4.200247e-05,4.213688e-05,4.220558e-05,4.227362e-05,4.236582e-05,4.238659e-05,4.247732e-05,4.248678e-05,4.254727e-05,4.257182e-05,4.259782e-05,4.262407e-05,4.263028e-05,4.264589e-05,4.264644e-05,4.264581e-05,4.264163e-05,4.263114e-05,4.261214e-05,4.260294e-05,4.256217e-05,4.256029e-05,4.250977e-05,4.248823e-05,4.244661e-05,4.239793e-05,4.237351e-05,4.229124e-05,4.220053e-05,4.216984e-05,4.210208e-05,4.203530e-05,4.199652e-05,4.188905e-05,4.188445e-05,4.176645e-05,4.173242e-05,4.164306e-05,4.156664e-05,4.151476e-05,4.139282e-05,4.138205e-05,4.124534e-05,4.121199e-05,4.110507e-05,4.102510e-05,4.096162e-05,4.083303e-05,4.081534e-05,4.066660e-05,4.063658e-05,4.051569e-05,4.043646e-05,4.036292e-05,4.023336e-05,4.020856e-05,4.005289e-05,4.002787e-05,3.989613e-05,3.982057e-05,3.973852e-05,3.961196e-05,3.958027e-05,3.942157e-05,3.940250e-05,3.926260e-05,3.919262e-05,3.910355e-05,3.898270e-05,3.894456e-05,3.878579e-05,3.877310e-05,3.862736e-05,3.856412e-05,3.846941e-05,3.835605e-05,3.831206e-05,3.815541e-05,3.814916e-05,3.799955e-05,3.794366e-05,3.784460e-05,3.773978e-05,3.769062e-05,3.753769e-05,3.733757e-05,3.713956e-05,3.694379e-05,3.675038e-05,3.655942e-05,3.637101e-05,3.618522e-05,3.600212e-05,3.582175e-05,3.564416e-05,3.546940e-05,3.529747e-05,3.512842e-05,3.496225e-05,3.479896e-05,3.463857e-05,3.448108e-05,3.432646e-05,3.417473e-05,3.402585e-05,3.387981e-05,3.373659e-05,3.359618e-05,3.345853e-05
0.000000e+00,7.559917e-10,2.140674e-09,9.821260e-09,2.645527e-08,4.142153e-08,1.078117e-07,1.115636e-07,2.368919e-07,2.842496e-07,4.351200e-07,5.969326e-07,7.252299e-07,1.088782e-06,1.125143e-06,1.645893e-06,1.789091e-06,2.287735e-06,2.697379e-06,3.043060e-06,3.793474e-06,3.901609e-06,4.853253e-06,5.053911e-06,5.888506e-06,6.456826e-06,6.998169e-06,7.981001e-06,8.172952e-06,9.403275e-06,9.604624e-06,1.067926e-05,1.130501e-05,1.199087e-05,1.305905e-05,1.332807e-05,1.468109e-05,1.484406e-05,1.604057e-05,1.663851e-05,1.739777e-05,1.842277e-05,1.874469e-05,2.007417e-05,2.017958e-05,2.137991e-05,2.189432e-05,2.265651e-05,2.355504e-05,2.389944e-05,2.510502e-05,2.515242e-05,2.627030e-05,2.667950e-05,2.739309e-05,2.813147e-05,2.847178e-05,2.950536e-05,3.049328e-05,3.079974e-05,3.143541e-05,3.201444e-05,3.233198e-05,3.315026e-05,3.318346e-05,3.399055e-05,3.420870e-05,3.475419e-05,3.519197e-05,3.547547e-05,3.610264e-05,3.615556e-05,3.679574e-05,3.694359e-05,3.739733e-05,3.771788e-05,3.796172e-05,3.842869e-05,3.849027e-05,3.898439e-05,3.907920e-05,3.944546e-05,3.967263e-05,3.987488e-05,4.021211e-05,4.027399e-05,4.064411e-05,4.070073e-05,4.098655e-05,4.114146e-05,4.130256e-05,4.153716e-05,4.159337e-05,4.186015e-05,4.189060e-05,4.210406e-05,4.220441e-05,4.232619e-05,4.248110e-05,4.252760e-05,4.270932e-05,4.272304e-05,4.287233e-05,4.293251e-05,4.301757e-05,4.311164e-05,4.314594e-05,4.325830e-05,4.326248e-05,4.335550e-05,4.338693e-05,4.343831e-05,4.348679e-05,4.350750e-05,4.356379e-05,4.360787e-05,4.361951e-05,4.364041e-05,4.365547e-05,4.366204e-05,4.367310e-05,4.367336e-05,4.367495e-05,4.367373e-05,4.366736e-05,4.365861e-05,4.365110e-05,4.362892e-05,4.362668e-05,4.359458e-05,4.358578e-05,4.355524e-05,4.353022e-05,4.350911e-05,4.346321e-05,4.345658e-05,4.339806e-05,4.338567e-05,4.333391e-05,4.329845e-05,4.326449e-05,4.320236e-05,4.319014e-05,4.311118e-05,4.309814e-05,4.302792e-05,4.298651e-05,4.294064e-05,4.286812e-05,4.284963e-05,4.275514e-05,4.274358e-05,4.265743e-05,4.261348e-05,4.255674e-05,4.247835e-05,4.245328e-05,4.234728e-05,4.233870e-05,4.223894e-05,4.219499e-05,4.212845e-05,4.204768e-05,4.201600e-05,4.190176e-05,4.189715e-05,4.178589e-05,4.174381e-05,4.166856e-05,4.158801e-05,4.154991e-05,4.143009e-05,4.127034e-05,4.110907e-05,4.094654e-05,4.078301e-05,4.061870e-05,4.045384e-05,4.028862e-05,4.012324e-05,3.995787e-05,3.979266e-05,3.962777e-05,3.946333e-05,3.929948e-05,3.913632e-05,3.897398e-05,3.881254e-05,3.865209e-05,3.849273e-05,3.833453e-05,3.817755e-05,3.802187e-05,3.786754e-05,3.771461e-05,3.756313e-05
0.000000e+00,4.456175e-09,1.040302e-08,3.648888e-08,8.374227e-08,1.225654e-07,2.797942e-07,2.882786e-07,5.602545e-07,6.593692e-07,9.679076e-07,1.291122e-06,1.543857e-06,2.250216e-06,2.320339e-06,3.318500e-06,3.591310e-06,4.535468e-06,5.303181e-06,5.944588e-06,7.314947e-06,7.509869e-06,9.197966e-06,9.547807e-06,1.098136e-05,1.193869e-05,1.283727e-05,1.443775e-05,1.474592e-05,1.668951e-05,1.700261e-05,1.865163e-05,1.959552e-05,2.061711e-05,2.218255e-05,2.257208e-05,2.450405e-05,2.473380e-05,2.640199e-05,2.722380e-05,2.825640e-05,2.963167e-05,3.005929e-05,3.180411e-05,3.194103e-05,3.348577e-05,3.413986e-05,3.510045e-05,3.621999e-05,3.664546e-05,3.811912e-05,3.817656e-05,3.952063e-05,4.000749e-05,4.084994e-05,4.171288e-05,4.210759e-05,4.329462e-05,4.441248e-05,4.475586e-05,4.546292e-05,4.610074e-05,4.644795e-05,4.733403e-05,4.736972e-05,4.823053e-05,4.846095e-05,4.903273e-05,4.948692e-05,4.977874e-05,5.041751e-05,5.047096e-05,5.111180e-05,5.125822e-05,5.170363e-05,5.201451e-05,5.224876e-05,5.269167e-05,5.274949e-05,5.320800e-05,5.329482e-05,5.362643e-05,5.382887e-05,5.400686e-05,5.429850e-05,5.435127e-05,5.466156e-05,5.470817e-05,5.493958e-05,5.506208e-05,5.518708e-05,5.536423e-05,5.540574e-05,5.559716e-05,5.561838e-05,5.576289e-05,5.582805e-05,5.590439e-05,5.599658e-05,5.602304e-05,5.612019e-05,5.612707e-05,5.619709e-05,5.622245e-05,5.625495e-05,5.628546e-05,5.629491e-05,5.631805e-05,5.631865e-05,5.632543e-05,5.632441e-05,5.631800e-05,5.630498e-05,5.629671e-05,5.626245e-05,5.621604e-05,5.619875e-05,5.615828e-05,5.611571e-05,5.608993e-05,5.601502e-05,5.601171e-05,5.592429e-05,5.589825e-05,5.582830e-05,5.576686e-05,5.572437e-05,5.562223e-05,5.561307e-05,5.549493e-05,5.546562e-05,5.537048e-05,5.529821e-05,5.524020e-05,5.512110e-05,5.510455e-05,5.496397e-05,5.493530e-05,5.481888e-05,5.474177e-05,5.466965e-05,5.454138e-05,5.451666e-05,5.436026e-05,5.433494e-05,5.420077e-05,5.412321e-05,5.403851e-05,5.390689e-05,5.387376e-05,5.370680e-05,5.368663e-05,5.353789e-05,5.346301e-05,5.336728e-05,5.323661e-05,5.319519e-05,5.302185e-05,5.300793e-05,5.284745e-05,5.277744e-05,5.267219e-05,5.254558e-05,5.249626e-05,5.231982e-05,5.231275e-05,5.214303e-05,5.207932e-05,5.196603e-05,5.184564e-05,5.178899e-05,5.161201e-05,5.137873e-05,5.114605e-05,5.091423e-05,5.068347e-05,5.045399e-05,5.022596e-05,4.999956e-05,4.977493e-05,4.955221e-05,4.933152e-05,4.911298e-05,4.889669e-05,4.868273e-05,4.847119e-05,4.826212e-05,4.805561e-05,4.785169e-05,4.765041e-05,4.745181e-05,4.725593e-05,4.706279e-05,4.687241e-05,4.668480e-05,4.649999e-05
0.000000e+00,3.165302e-09,8.112283e-09,3.175392e-08,7.702283e-08,1.151995e-07,2.742165e-07,2.829407e-07,5.681407e-07,6.743158e-07,1.010683e-06,1.369790e-06,1.653058e-06,2.442661e-06,2.520223e-06,3.597576e-06,3.882800e-06,4.842007e-06,5.595031e-06,6.209435e-06,7.487291e-06,7.665858e-06,9.185710e-06,9.495413e-06,1.074826e-05,1.157156e-05,1.233532e-05,1.367520e-05,1.393027e-05,1.551777e-05,1.577013e-05,1.708388e-05,1.782433e-05,1.861625e-05,1.981068e-05,2.010429e-05,2.153925e-05,2.170754e-05,2.291426e-05,2.349889e-05,2.422419e-05,2.517403e-05,2.546558e-05,2.663641e-05,2.672700e-05,2.773592e-05,2.815579e-05,2.876440e-05,2.946153e-05,2.972298e-05,3.061340e-05,3.064763e-05,3.143796e-05,3.171917e-05,3.219930e-05,3.268236e-05,3.290030e-05,3.354399e-05,3.413348e-05,3.431117e-05,3.467186e-05,3.499102e-05,3.516219e-05,3.559050e-05,3.560748e-05,3.601060e-05,3.611630e-05,3.637433e-05,3.657477e-05,3.670132e-05,3.697185e-05,3.699407e-05,3.725493e-05,3.731305e-05,3.748614e-05,3.760344e-05,3.768977e-05,3.784773e-05,3.786780e-05,3.802206e-05,3.805021e-05,3.815424e-05,3.821479e-05,3.826596e-05,3.834508e-05,3.835870e-05,3.843384e-05,3.844431e-05,3.849267e-05,3.851548e-05,3.853640e-05,3.856127e-05,3.856615e-05,3.858295e-05,3.858414e-05,3.858777e-05,3.858633e-05,3.858151e-05,3.856986e-05,3.856501e-05,3.853905e-05,3.853659e-05,3.850435e-05,3.848818e-05,3.846159e-05,3.842617e-05,3.841140e-05,3.835435e-05,3.835193e-05,3.829100e-05,3.826674e-05,3.822184e-05,3.817175e-05,3.814736e-05,3.806800e-05,3.798415e-05,3.795644e-05,3.789621e-05,3.783795e-05,3.780453e-05,3.771331e-05,3.770944e-05,3.761126e-05,3.758325e-05,3.751027e-05,3.744844e-05,3.740674e-05,3.730946e-05,3.730092e-05,3.719305e-05,3.716688e-05,3.708335e-05,3.702119e-05,3.697202e-05,3.687286e-05,3.685926e-05,3.674524e-05,3.672231e-05,3.663014e-05,3.656991e-05,3.651410e-05,3.641601e-05,3.639727e-05,3.627980e-05,3.626095e-05,3.616179e-05,3.610500e-05,3.604339e-05,3.594844e-05,3.592468e-05,3.580579e-05,3.579151e-05,3.568680e-05,3.563444e-05,3.556781e-05,3.547742e-05,3.544889e-05,3.533014e-05,3.532065e-05,3.521161e-05,3.516429e-05,3.509339e-05,3.500849e-05,3.497553e-05,3.485809e-05,3.485341e-05,3.474114e-05,3.469916e-05,3.462470e-05,3.454586e-05,3.450885e-05,3.439361e-05,3.424252e-05,3.409267e-05,3.394413e-05,3.379698e-05,3.365128e-05,3.350707e-05,3.336442e-05,3.322337e-05,3.308395e-05,3.294620e-05,3.281015e-05,3.267582e-05,3.254324e-05,3.241242e-05,3.228337e-05,3.215611e-05,3.203064e-05,3.190697e-05,3.178511e-05,3.166505e-05,3.154679e-05,3.143034e-05,3.131568e-05,3.120281e-05
0.000000e+00,1.270896e-09,3.784522e-09,1.922938e-08,5.682321e-08,9.368059e-08,2.801661e-07,2.916226e-07,7.183182e-07,8.983735e-07,1.522953e-06,2.253094e-06,2.859199e-06,4.641726e-06,4.822985e-06,7.446840e-06,8.174895e-06,1.072804e-05,1.284624e-05,1.464853e-05,1.860757e-05,1.918322e-05,2.430240e-05,2.539345e-05,2.997191e-05,3.312484e-05,3.615289e-05,4.170840e-05,4.280173e-05,4.987060e-05,5.103721e-05,5.730819e-05,6.099350e-05,6.506085e-05,7.145307e-05,7.307386e-05,8.129262e-05,8.229014e-05,8.966373e-05,9.338201e-05,9.813610e-05,1.046133e-04,1.066619e-04,1.151970e-04,1.158790e-04,1.237014e-04,1.270864e-04,1.321393e-04,1.381556e-04,1.404793e-04,1.486943e-04,1.490199e-04,1.567609e-04,1.596247e-04,1.646597e-04,1.699268e-04,1.723747e-04,1.798930e-04,1.872044e-04,1.894991e-04,1.943014e-04,1.987283e-04,2.011784e-04,2.075700e-04,2.078318e-04,2.142597e-04,2.160189e-04,2.204614e-04,2.240741e-04,2.264376e-04,2.317378e-04,2.321898e-04,2.377204e-04,2.390151e-04,2.430325e-04,2.459132e-04,2.481297e-04,2.524407e-04,2.530161e-04,2.576961e-04,2.586078e-04,2.621745e-04,2.644252e-04,2.664562e-04,2.699044e-04,2.705462e-04,2.744498e-04,2.750574e-04,2.781722e-04,2.798962e-04,2.817188e-04,2.844330e-04,2.850948e-04,2.883056e-04,2.886801e-04,2.913565e-04,2.926495e-04,2.942525e-04,2.963532e-04,2.969990e-04,2.996008e-04,2.998029e-04,3.020631e-04,3.030101e-04,3.043907e-04,3.059859e-04,3.065884e-04,3.086608e-04,3.087412e-04,3.106126e-04,3.112866e-04,3.124483e-04,3.136323e-04,3.141720e-04,3.157882e-04,3.173009e-04,3.177638e-04,3.187142e-04,3.195683e-04,3.200319e-04,3.212106e-04,3.212579e-04,3.223957e-04,3.226991e-04,3.234491e-04,3.240420e-04,3.244214e-04,3.252472e-04,3.253160e-04,3.261361e-04,3.263222e-04,3.268849e-04,3.272742e-04,3.275654e-04,3.281101e-04,3.281806e-04,3.287333e-04,3.288365e-04,3.292262e-04,3.294598e-04,3.296621e-04,3.299859e-04,3.300434e-04,3.303727e-04,3.304207e-04,3.306523e-04,3.307696e-04,3.308846e-04,3.310379e-04,3.310718e-04,3.312160e-04,3.312306e-04,3.313194e-04,3.313524e-04,3.313838e-04,3.314079e-04,3.314112e-04,3.314035e-04,3.314014e-04,3.313624e-04,3.313371e-04,3.312898e-04,3.312188e-04,3.311871e-04,3.310560e-04,3.310502e-04,3.308981e-04,3.308350e-04,3.307148e-04,3.305764e-04,3.305075e-04,3.302776e-04,3.299416e-04,3.295714e-04,3.291696e-04,3.287387e-04,3.282813e-04,3.277996e-04,3.272959e-04,3.267721e-04,3.262301e-04,3.256720e-04,3.250993e-04,3.245137e-04,3.239167e-04,3.233099e-04,3.226944e-04,3.220718e-04,3.214430e-04,3.208093e-04,3.201718e-04,3.195313e-04,3.188889e-04,3.182455e-04,3.176017e-04,3.169585e-04
0.000000e+00,3.725415e-09,8.666620e-09,3.033551e-08,6.969634e-08,1.021517e-07,2.345953e-07,2.417853e-07,4.743587e-07,5.600293e-07,8.292543e-07,1.114245e-06,1.338143e-06,1.962507e-06,2.024079e-06,2.888390e-06,3.120715e-06,3.914835e-06,4.553096e-06,5.083986e-06,6.218063e-06,6.379802e-06,7.789357e-06,8.083897e-06,9.301167e-06,1.012400e-05,1.090398e-05,1.231223e-05,1.258624e-05,1.433589e-05,1.462127e-05,1.614055e-05,1.702264e-05,1.798768e-05,1.948760e-05,1.986485e-05,2.176004e-05,2.198812e-05,2.366187e-05,2.449804e-05,2.555982e-05,2.699375e-05,2.744433e-05,2.930685e-05,2.945467e-05,3.113993e-05,3.186347e-05,3.293721e-05,3.420603e-05,3.469332e-05,3.640388e-05,3.647131e-05,3.806540e-05,3.865099e-05,3.967517e-05,4.073923e-05,4.123123e-05,4.273223e-05,4.417738e-05,4.462796e-05,4.556633e-05,4.642579e-05,4.689915e-05,4.812621e-05,4.817623e-05,4.939822e-05,4.973062e-05,5.056600e-05,5.124108e-05,5.168063e-05,5.266017e-05,5.274330e-05,5.375531e-05,5.399081e-05,5.471804e-05,5.523618e-05,5.563293e-05,5.639962e-05,5.650144e-05,5.732508e-05,5.748455e-05,5.810533e-05,5.849442e-05,5.884371e-05,5.943267e-05,5.954170e-05,6.020076e-05,6.030269e-05,6.082235e-05,6.110782e-05,6.140788e-05,6.185128e-05,6.195875e-05,6.247630e-05,6.253623e-05,6.296185e-05,6.316569e-05,6.341668e-05,6.374258e-05,6.384205e-05,6.423914e-05,6.426973e-05,6.460914e-05,6.474981e-05,6.495317e-05,6.518541e-05,6.527232e-05,6.556765e-05,6.557898e-05,6.584017e-05,6.593288e-05,6.609086e-05,6.624935e-05,6.632067e-05,6.653051e-05,6.672125e-05,6.677840e-05,6.689375e-05,6.699494e-05,6.704880e-05,6.718198e-05,6.718720e-05,6.730969e-05,6.734124e-05,6.741700e-05,6.747439e-05,6.750982e-05,6.758299e-05,6.758882e-05,6.765463e-05,6.766853e-05,6.770787e-05,6.773242e-05,6.774914e-05,6.777599e-05,6.777899e-05,6.779798e-05,6.780052e-05,6.780662e-05,6.780719e-05,6.780542e-05,6.779715e-05,6.779485e-05,6.777538e-05,6.777147e-05,6.774745e-05,6.773117e-05,6.771149e-05,6.767720e-05,6.766789e-05,6.761705e-05,6.761048e-05,6.755935e-05,6.753188e-05,6.749514e-05,6.744219e-05,6.742476e-05,6.734854e-05,6.734220e-05,6.726680e-05,6.723263e-05,6.717985e-05,6.711417e-05,6.708796e-05,6.699142e-05,6.698746e-05,6.689049e-05,6.685313e-05,6.678542e-05,6.671174e-05,6.667647e-05,6.656386e-05,6.640999e-05,6.625062e-05,6.608622e-05,6.591721e-05,6.574402e-05,6.556702e-05,6.538658e-05,6.520304e-05,6.501673e-05,6.482796e-05,6.463700e-05,6.444415e-05,6.424964e-05,6.405372e-05,6.385661e-05,6.365853e-05,6.345969e-05,6.326026e-05,6.306042e-05,6.286035e-05,6.266018e-05,6.246008e-05,6.226018e-05,6.206060e-05
0.000000e+00,2.793208e-09,8.318950e-09,4.213475e-08,1.234313e-07,2.019068e-07,5.845398e-07,6.073936e-07,1.421280e-06,1.748930e-06,2.846815e-06,4.097806e-06,5.134359e-06,8.254646e-06,8.580457e-06,1.349852e-05,1.492920e-05,2.015080e-05,2.469276e-05,2.868066e-05,3.775011e-05,3.909735e-05,5.130686e-05,5.395079e-05,6.515193e-05,7.293527e-05,8.044216e-05,9.425289e-05,9.697245e-05,1.145336e-04,1.174252e-04,1.329184e-04,1.419762e-04,1.519253e-04,1.674487e-04,1.713612e-04,1.910435e-04,1.934137e-04,2.108016e-04,2.194782e-04,2.304787e-04,2.452912e-04,2.499329e-04,2.690376e-04,2.705475e-04,2.876823e-04,2.949896e-04,3.057723e-04,3.184085e-04,3.232284e-04,3.399867e-04,3.406418e-04,3.559975e-04,3.615709e-04,3.712240e-04,3.811171e-04,3.856417e-04,3.992366e-04,4.120044e-04,4.159158e-04,4.239489e-04,4.311661e-04,4.350809e-04,4.450184e-04,4.454168e-04,4.549780e-04,4.575197e-04,4.637896e-04,4.687284e-04,4.718798e-04,4.787115e-04,4.792787e-04,4.860182e-04,4.875412e-04,4.921310e-04,4.952927e-04,4.976502e-04,5.020424e-04,5.026089e-04,5.070401e-04,5.078658e-04,5.109759e-04,5.128372e-04,5.144477e-04,5.170277e-04,5.174858e-04,5.201196e-04,5.205053e-04,5.223768e-04,5.233345e-04,5.242843e-04,5.255755e-04,5.258673e-04,5.271500e-04,5.272848e-04,5.281550e-04,5.285148e-04,5.289037e-04,5.293136e-04,5.294161e-04,5.297111e-04,5.297258e-04,5.298062e-04,5.297920e-04,5.297180e-04,5.295496e-04,5.294617e-04,5.290517e-04,5.290323e-04,5.285013e-04,5.282712e-04,5.278229e-04,5.272943e-04,5.270279e-04,5.261270e-04,5.251300e-04,5.247922e-04,5.240462e-04,5.233109e-04,5.228839e-04,5.217017e-04,5.216511e-04,5.203550e-04,5.199817e-04,5.190023e-04,5.181661e-04,5.175991e-04,5.162686e-04,5.161513e-04,5.146640e-04,5.143018e-04,5.131423e-04,5.122767e-04,5.115905e-04,5.102034e-04,5.100128e-04,5.084131e-04,5.080908e-04,5.067948e-04,5.059471e-04,5.051614e-04,5.037796e-04,5.035156e-04,5.018603e-04,5.015948e-04,5.001981e-04,4.993984e-04,4.985312e-04,4.971959e-04,4.968619e-04,4.951921e-04,4.949918e-04,4.935236e-04,4.927903e-04,4.918580e-04,4.905952e-04,4.901970e-04,4.885420e-04,4.884098e-04,4.868941e-04,4.862372e-04,4.852546e-04,4.840799e-04,4.836245e-04,4.820049e-04,4.819404e-04,4.803967e-04,4.798206e-04,4.788005e-04,4.777225e-04,4.772173e-04,4.756476e-04,4.735974e-04,4.715730e-04,4.695756e-04,4.676061e-04,4.656652e-04,4.637537e-04,4.618720e-04,4.600206e-04,4.581998e-04,4.564100e-04,4.546514e-04,4.529239e-04,4.512278e-04,4.495630e-04,4.479295e-04,4.463272e-04,4.447559e-04,4.432155e-04,4.417057e-04,4.402264e-04,4.387772e-04,4.373579e-04,4.359682e-04,4.346077e-04
0.000000e+00,1.770282e-09,5.033037e-09,2.326962e-08,6.309132e-08,9.913146e-08,2.604396e-07,2.696100e-07,5.784245e-07,6.961774e-07,1.074327e-06,1.483805e-06,1.810406e-06,2.739944e-06,2.832982e-06,4.161615e-06,4.525101e-06,5.783335e-06,6.808348e-06,7.667608e-06,9.516630e-06,9.781374e-06,1.209462e-05,1.257878e-05,1.458018e-05,1.593218e-05,1.721222e-05,1.951754e-05,1.996504e-05,2.281263e-05,2.327529e-05,2.572882e-05,2.714532e-05,2.868771e-05,3.106869e-05,3.166425e-05,3.463478e-05,3.498979e-05,3.757754e-05,3.885843e-05,4.047298e-05,4.263129e-05,4.330406e-05,4.605624e-05,4.627263e-05,4.871755e-05,4.975440e-05,5.127837e-05,5.305573e-05,5.373136e-05,5.607127e-05,5.616247e-05,5.829476e-05,5.906631e-05,6.039999e-05,6.176370e-05,6.238648e-05,6.425493e-05,6.600692e-05,6.654333e-05,6.764480e-05,6.863450e-05,6.917152e-05,7.053578e-05,7.059052e-05,7.190537e-05,7.225537e-05,7.311977e-05,7.380179e-05,7.423760e-05,7.518429e-05,7.526303e-05,7.620054e-05,7.641294e-05,7.705446e-05,7.749768e-05,7.782891e-05,7.844793e-05,7.852797e-05,7.915560e-05,7.927289e-05,7.971555e-05,7.998120e-05,8.021151e-05,8.058129e-05,8.064705e-05,8.102557e-05,8.108106e-05,8.135031e-05,8.148801e-05,8.162440e-05,8.180922e-05,8.185084e-05,8.203255e-05,8.205147e-05,8.217224e-05,8.222107e-05,8.227251e-05,8.232388e-05,8.233583e-05,8.236455e-05,8.236542e-05,8.236089e-05,8.235084e-05,8.232699e-05,8.228498e-05,8.226484e-05,8.217634e-05,8.217228e-05,8.206330e-05,8.201693e-05,8.192742e-05,8.182280e-05,8.177031e-05,8.159350e-05,8.139843e-05,8.133238e-05,8.118648e-05,8.104257e-05,8.095894e-05,8.072695e-05,8.071701e-05,8.046186e-05,8.038819e-05,8.019455e-05,8.002877e-05,7.991612e-05,7.965097e-05,7.962753e-05,7.932968e-05,7.925692e-05,7.902344e-05,7.884857e-05,7.870960e-05,7.842774e-05,7.838892e-05,7.806213e-05,7.799609e-05,7.772988e-05,7.755517e-05,7.739281e-05,7.710638e-05,7.705151e-05,7.670654e-05,7.665103e-05,7.635841e-05,7.619034e-05,7.600762e-05,7.572539e-05,7.565464e-05,7.529988e-05,7.525720e-05,7.494375e-05,7.478671e-05,7.458663e-05,7.431477e-05,7.422886e-05,7.387080e-05,7.384215e-05,7.351272e-05,7.336956e-05,7.315493e-05,7.289765e-05,7.279770e-05,7.244126e-05,7.242702e-05,7.208586e-05,7.195821e-05,7.173170e-05,7.149169e-05,7.137899e-05,7.102791e-05,7.056728e-05,7.011015e-05,6.965684e-05,6.920765e-05,6.876283e-05,6.832262e-05,6.788721e-05,6.745679e-05,6.703151e-05,6.661150e-05,6.619689e-05,6.578776e-05,6.538421e-05,6.498629e-05,6.459406e-05,6.420755e-05,6.382681e-05,6.345184e-05,6.308266e-05,6.271925e-05,6.236162e-05,6.200975e-05,6.166361e-05,6.132317e-05
0.000000e+00,2.510991e-09,6.440260e-09,2.528569e-08,6.150954e-08,9.210364e-08,2.193319e-07,2.262915e-07,4.522235e-07,5.355388e-07,7.970537e-07,1.073412e-06,1.290508e-06,1.898272e-06,1.958515e-06,2.811676e-06,3.043457e-06,3.843064e-06,4.493184e-06,5.038408e-06,6.215077e-06,6.384104e-06,7.868713e-06,8.181393e-06,9.481942e-06,1.036826e-05,1.121352e-05,1.275155e-05,1.305253e-05,1.498716e-05,1.530474e-05,1.700468e-05,1.799859e-05,1.909161e-05,2.080178e-05,2.123402e-05,2.341778e-05,2.368194e-05,2.562887e-05,2.660689e-05,2.785373e-05,2.954587e-05,3.007947e-05,3.229403e-05,3.247038e-05,3.448639e-05,3.535486e-05,3.664663e-05,3.817715e-05,3.876598e-05,4.083685e-05,4.091858e-05,4.285278e-05,4.356401e-05,4.480845e-05,4.610164e-05,4.669955e-05,4.852285e-05,5.027574e-05,5.082148e-05,5.195646e-05,5.299379e-05,5.356405e-05,5.503810e-05,5.509805e-05,5.655858e-05,5.695443e-05,5.794618e-05,5.874410e-05,5.926177e-05,6.040956e-05,6.050657e-05,6.168207e-05,6.195406e-05,6.278993e-05,6.338147e-05,6.383199e-05,6.469613e-05,6.481021e-05,6.572662e-05,6.590267e-05,6.658334e-05,6.700594e-05,6.738248e-05,6.801085e-05,6.812622e-05,6.881669e-05,6.892237e-05,6.945604e-05,6.974539e-05,7.004638e-05,7.048476e-05,7.058979e-05,7.108830e-05,7.114520e-05,7.154391e-05,7.173128e-05,7.195855e-05,7.224744e-05,7.233411e-05,7.267242e-05,7.269793e-05,7.297524e-05,7.308682e-05,7.324430e-05,7.341803e-05,7.348123e-05,7.368763e-05,7.369527e-05,7.386503e-05,7.392209e-05,7.401492e-05,7.410185e-05,7.413870e-05,7.423774e-05,7.431334e-05,7.433279e-05,7.436676e-05,7.438987e-05,7.439920e-05,7.441167e-05,7.441181e-05,7.440569e-05,7.440077e-05,7.438190e-05,7.435957e-05,7.434145e-05,7.429034e-05,7.428529e-05,7.421435e-05,7.419523e-05,7.412952e-05,7.407626e-05,7.403163e-05,7.393533e-05,7.392149e-05,7.379986e-05,7.377422e-05,7.366747e-05,7.359461e-05,7.352502e-05,7.339808e-05,7.337318e-05,7.321258e-05,7.318611e-05,7.304382e-05,7.296008e-05,7.286747e-05,7.272131e-05,7.268409e-05,7.249420e-05,7.247099e-05,7.229828e-05,7.221029e-05,7.209681e-05,7.194027e-05,7.189025e-05,7.167901e-05,7.166192e-05,7.146349e-05,7.137618e-05,7.124410e-05,7.108393e-05,7.102118e-05,7.079509e-05,7.078598e-05,7.056615e-05,7.048309e-05,7.033467e-05,7.017598e-05,7.010096e-05,6.986530e-05,6.955166e-05,6.923565e-05,6.891780e-05,6.859859e-05,6.827849e-05,6.795792e-05,6.763728e-05,6.731692e-05,6.699720e-05,6.667840e-05,6.636084e-05,6.604475e-05,6.573039e-05,6.541798e-05,6.510772e-05,6.479980e-05,6.449437e-05,6.419160e-05,6.389163e-05,6.359457e-05,6.330054e-05,6.300963e-05,6.272194e-05,6.243755e-05
0.000000e+00,3.765053e-09,8.640517e-09,2.976400e-08,6.787795e-08,9.928272e-08,2.281318e-07,2.351689e-07,4.651414e-07,5.507792e-07,8.210074e-07,1.104695e-06,1.323061e-06,1.904759e-06,1.960004e-06,2.703355e-06,2.894796e-06,3.529575e-06,4.022179e-06,4.422297e-06,5.252564e-06,5.368542e-06,6.356408e-06,6.557952e-06,7.374295e-06,7.911686e-06,8.410886e-06,9.288178e-06,9.455416e-06,1.049798e-05,1.066400e-05,1.152977e-05,1.201895e-05,1.254326e-05,1.333662e-05,1.353219e-05,1.449159e-05,1.460455e-05,1.541770e-05,1.581390e-05,1.630777e-05,1.695899e-05,1.716001e-05,1.797338e-05,1.803675e-05,1.874747e-05,1.904612e-05,1.948238e-05,1.998753e-05,2.017862e-05,2.083699e-05,2.086255e-05,2.145850e-05,2.167345e-05,2.204435e-05,2.242300e-05,2.259581e-05,2.311425e-05,2.360105e-05,2.375037e-05,2.405760e-05,2.433457e-05,2.448531e-05,2.487005e-05,2.488555e-05,2.525964e-05,2.535988e-05,2.560889e-05,2.580704e-05,2.593456e-05,2.621438e-05,2.623784e-05,2.651990e-05,2.658456e-05,2.678185e-05,2.692014e-05,2.702473e-05,2.722351e-05,2.724957e-05,2.745731e-05,2.749689e-05,2.764888e-05,2.774239e-05,2.782514e-05,2.796198e-05,2.798692e-05,2.813499e-05,2.815746e-05,2.827011e-05,2.833057e-05,2.839297e-05,2.848288e-05,2.850424e-05,2.860455e-05,2.861588e-05,2.869450e-05,2.873094e-05,2.877465e-05,2.882935e-05,2.884555e-05,2.890770e-05,2.891231e-05,2.896158e-05,2.898092e-05,2.900765e-05,2.903622e-05,2.904633e-05,2.907804e-05,2.907917e-05,2.910316e-05,2.911067e-05,2.912206e-05,2.913154e-05,2.913509e-05,2.914257e-05,2.914481e-05,2.914447e-05,2.914211e-05,2.913792e-05,2.913474e-05,2.912353e-05,2.912298e-05,2.910707e-05,2.910191e-05,2.908725e-05,2.907357e-05,2.906374e-05,2.903905e-05,2.903677e-05,2.900652e-05,2.899879e-05,2.897319e-05,2.895326e-05,2.893697e-05,2.890284e-05,2.889803e-05,2.885653e-05,2.884793e-05,2.881262e-05,2.878889e-05,2.876646e-05,2.872605e-05,2.871818e-05,2.866793e-05,2.865971e-05,2.861581e-05,2.859018e-05,2.856196e-05,2.851771e-05,2.850650e-05,2.844951e-05,2.844258e-05,2.839112e-05,2.836501e-05,2.833142e-05,2.828523e-05,2.827050e-05,2.820845e-05,2.820344e-05,2.814535e-05,2.811984e-05,2.808129e-05,2.803461e-05,2.801634e-05,2.795057e-05,2.794793e-05,2.788406e-05,2.785994e-05,2.781686e-05,2.777081e-05,2.774904e-05,2.768067e-05,2.758964e-05,2.749786e-05,2.740544e-05,2.731249e-05,2.721910e-05,2.712537e-05,2.703139e-05,2.693724e-05,2.684299e-05,2.674873e-05,2.665451e-05,2.656040e-05,2.646646e-05,2.637275e-05,2.627931e-05,2.618619e-05,2.609343e-05,2.600109e-05,2.590919e-05,2.581778e-05,2.572688e-05,2.563653e-05,2.554675e-05,2.545758e-05
0.000000e+00,2.327732e-09,5.322605e-09,1.827440e-08,4.153157e-08,6.055630e-08,1.371549e-07,1.412713e-07,2.724283e-07,3.198689e-07,4.664713e-07,6.185287e-07,7.365441e-07,1.063565e-06,1.095883e-06,1.555406e-06,1.681300e-06,2.119870e-06,2.480897e-06,2.786110e-06,3.449910e-06,3.545652e-06,4.388552e-06,4.566288e-06,5.305360e-06,5.808407e-06,6.287405e-06,7.156745e-06,7.326505e-06,8.414667e-06,8.592794e-06,9.543927e-06,1.009823e-05,1.070632e-05,1.165476e-05,1.189393e-05,1.309900e-05,1.324442e-05,1.431404e-05,1.484997e-05,1.553196e-05,1.645543e-05,1.674617e-05,1.795060e-05,1.804637e-05,1.913986e-05,1.961022e-05,2.030917e-05,2.113635e-05,2.145435e-05,2.257188e-05,2.261596e-05,2.365887e-05,2.404224e-05,2.471296e-05,2.541000e-05,2.573233e-05,2.671562e-05,2.766188e-05,2.795676e-05,2.857053e-05,2.913221e-05,2.944134e-05,3.024171e-05,3.027431e-05,3.106968e-05,3.128571e-05,3.182790e-05,3.226524e-05,3.254955e-05,3.318180e-05,3.323537e-05,3.388617e-05,3.403726e-05,3.450287e-05,3.483368e-05,3.508643e-05,3.557334e-05,3.563785e-05,3.615817e-05,3.625859e-05,3.664845e-05,3.689187e-05,3.710974e-05,3.747561e-05,3.754311e-05,3.794961e-05,3.801223e-05,3.833029e-05,3.850414e-05,3.868615e-05,3.895366e-05,3.901821e-05,3.932744e-05,3.936306e-05,3.961481e-05,3.973456e-05,3.988123e-05,4.007025e-05,4.012760e-05,4.035481e-05,4.037218e-05,4.056369e-05,4.064230e-05,4.075507e-05,4.088246e-05,4.092972e-05,4.108841e-05,4.109443e-05,4.123186e-05,4.127992e-05,4.136079e-05,4.144052e-05,4.147588e-05,4.157776e-05,4.166707e-05,4.169309e-05,4.174441e-05,4.178789e-05,4.181035e-05,4.186346e-05,4.186546e-05,4.191026e-05,4.192102e-05,4.194525e-05,4.196175e-05,4.197094e-05,4.198675e-05,4.198779e-05,4.199624e-05,4.199706e-05,4.199672e-05,4.199367e-05,4.198965e-05,4.197750e-05,4.197543e-05,4.195442e-05,4.194944e-05,4.192699e-05,4.191031e-05,4.189349e-05,4.186089e-05,4.185424e-05,4.180956e-05,4.180193e-05,4.175976e-05,4.173412e-05,4.170512e-05,4.165811e-05,4.164592e-05,4.158242e-05,4.157452e-05,4.151487e-05,4.148393e-05,4.144352e-05,4.138690e-05,4.136860e-05,4.129033e-05,4.128393e-05,4.120891e-05,4.117551e-05,4.112455e-05,4.106210e-05,4.103744e-05,4.094777e-05,4.094413e-05,4.085570e-05,4.082200e-05,4.076141e-05,4.069610e-05,4.066505e-05,4.056678e-05,4.043437e-05,4.029919e-05,4.016154e-05,4.002170e-05,3.987992e-05,3.973645e-05,3.959153e-05,3.944536e-05,3.929815e-05,3.915008e-05,3.900134e-05,3.885208e-05,3.870247e-05,3.855264e-05,3.840274e-05,3.825289e-05,3.810320e-05,3.795378e-05,3.780474e-05,3.765618e-05,3.750817e-05,3.736080e-05,3.721415e-05,3.706829e-05
0.000000e+00,1.054973e-09,2.961614e-09,1.336514e-08,3.550556e-08,5.518672e-08,1.409943e-07,1.457900e-07,3.036842e-07,3.623909e-07,5.466892e-07,7.406111e-07,8.922327e-07,1.315213e-06,1.357177e-06,1.956629e-06,2.121841e-06,2.701220e-06,3.182825e-06,3.593000e-06,4.491904e-06,4.622006e-06,5.766805e-06,6.007249e-06,6.999559e-06,7.665878e-06,8.292063e-06,9.405602e-06,9.619424e-06,1.096110e-05,1.117594e-05,1.230056e-05,1.293870e-05,1.362450e-05,1.466524e-05,1.492226e-05,1.618530e-05,1.633419e-05,1.740690e-05,1.792991e-05,1.858195e-05,1.944149e-05,1.970669e-05,2.077856e-05,2.086198e-05,2.179609e-05,2.218771e-05,2.275862e-05,2.341763e-05,2.366627e-05,2.451972e-05,2.455274e-05,2.532012e-05,2.559556e-05,2.606899e-05,2.654967e-05,2.676808e-05,2.741936e-05,2.802490e-05,2.820936e-05,2.858684e-05,2.892460e-05,2.910734e-05,2.957003e-05,2.958855e-05,3.003260e-05,3.015056e-05,3.044155e-05,3.067091e-05,3.081740e-05,3.113561e-05,3.116208e-05,3.147743e-05,3.154895e-05,3.176522e-05,3.191496e-05,3.202711e-05,3.223741e-05,3.226469e-05,3.247947e-05,3.251981e-05,3.267286e-05,3.276542e-05,3.284621e-05,3.297726e-05,3.300078e-05,3.313776e-05,3.315812e-05,3.325827e-05,3.331058e-05,3.336336e-05,3.343700e-05,3.345403e-05,3.353120e-05,3.353959e-05,3.359574e-05,3.362035e-05,3.364848e-05,3.368115e-05,3.369019e-05,3.372159e-05,3.372368e-05,3.374336e-05,3.374952e-05,3.375614e-05,3.376010e-05,3.376052e-05,3.375707e-05,3.375677e-05,3.374631e-05,3.374075e-05,3.372874e-05,3.371314e-05,3.370483e-05,3.367500e-05,3.363968e-05,3.362728e-05,3.359924e-05,3.357084e-05,3.355405e-05,3.350650e-05,3.350444e-05,3.345074e-05,3.343501e-05,3.339324e-05,3.335703e-05,3.333223e-05,3.327322e-05,3.326796e-05,3.320070e-05,3.318414e-05,3.313067e-05,3.309033e-05,3.305809e-05,3.299228e-05,3.298318e-05,3.290612e-05,3.289046e-05,3.282709e-05,3.278528e-05,3.274627e-05,3.267712e-05,3.266383e-05,3.257991e-05,3.256635e-05,3.249465e-05,3.245329e-05,3.240820e-05,3.233825e-05,3.232067e-05,3.223219e-05,3.222151e-05,3.214287e-05,3.210333e-05,3.205281e-05,3.198394e-05,3.196212e-05,3.187088e-05,3.186356e-05,3.177919e-05,3.174241e-05,3.168713e-05,3.162066e-05,3.159477e-05,3.150220e-05,3.149849e-05,3.140947e-05,3.137606e-05,3.131665e-05,3.125351e-05,3.122380e-05,3.113099e-05,3.100861e-05,3.088648e-05,3.076473e-05,3.064343e-05,3.052268e-05,3.040257e-05,3.028316e-05,3.016452e-05,3.004672e-05,2.992981e-05,2.981384e-05,2.969887e-05,2.958493e-05,2.947206e-05,2.936030e-05,2.924967e-05,2.914021e-05,2.903194e-05,2.892487e-05,2.881904e-05,2.871445e-05,2.861111e-05,2.850905e-05,2.840827e-05
0.000000e+00,7.956249e-10,2.287993e-09,1.078915e-08,2.964468e-08,4.682933e-08,1.239273e-07,1.283023e-07,2.744509e-07,3.294979e-07,5.037712e-07,6.887410e-07,8.341037e-07,1.241442e-06,1.281916e-06,1.858854e-06,2.016968e-06,2.566538e-06,3.016777e-06,3.395556e-06,4.212887e-06,4.330004e-06,5.352300e-06,5.565786e-06,6.445449e-06,7.036555e-06,7.593499e-06,8.589220e-06,8.781347e-06,9.994510e-06,1.019003e-05,1.121908e-05,1.180701e-05,1.244182e-05,1.341037e-05,1.365039e-05,1.483352e-05,1.497330e-05,1.598127e-05,1.647283e-05,1.708515e-05,1.789041e-05,1.813819e-05,1.913500e-05,1.921219e-05,2.007165e-05,2.042885e-05,2.094561e-05,2.153531e-05,2.175564e-05,2.250157e-05,2.253008e-05,2.318416e-05,2.341466e-05,2.380496e-05,2.419288e-05,2.436611e-05,2.487021e-05,2.532019e-05,2.545326e-05,2.571917e-05,2.594927e-05,2.607043e-05,2.636577e-05,2.637723e-05,2.664284e-05,2.671026e-05,2.687043e-05,2.699003e-05,2.706309e-05,2.721197e-05,2.722371e-05,2.735508e-05,2.738255e-05,2.745978e-05,2.750768e-05,2.754025e-05,2.759280e-05,2.759872e-05,2.763728e-05,2.764278e-05,2.765785e-05,2.766201e-05,2.766217e-05,2.765443e-05,2.765186e-05,2.762839e-05,2.762350e-05,2.759309e-05,2.757232e-05,2.754720e-05,2.750361e-05,2.749182e-05,2.742796e-05,2.741977e-05,2.735653e-05,2.732292e-05,2.727836e-05,2.721491e-05,2.719421e-05,2.710476e-05,2.709739e-05,2.701063e-05,2.697180e-05,2.691239e-05,2.683940e-05,2.681055e-05,2.670557e-05,2.670131e-05,2.659786e-05,2.655850e-05,2.648782e-05,2.641183e-05,2.637579e-05,2.626208e-05,2.614698e-05,2.610990e-05,2.603076e-05,2.595590e-05,2.591365e-05,2.580059e-05,2.579587e-05,2.567760e-05,2.564443e-05,2.555904e-05,2.548783e-05,2.544034e-05,2.533114e-05,2.532165e-05,2.520310e-05,2.517469e-05,2.508483e-05,2.501875e-05,2.496693e-05,2.486357e-05,2.484951e-05,2.473267e-05,2.470937e-05,2.461647e-05,2.455634e-05,2.450101e-05,2.440464e-05,2.438635e-05,2.427254e-05,2.425442e-05,2.415965e-05,2.410581e-05,2.404773e-05,2.395892e-05,2.393681e-05,2.382695e-05,2.381384e-05,2.371817e-05,2.367066e-05,2.361050e-05,2.352944e-05,2.350399e-05,2.339864e-05,2.339026e-05,2.329448e-05,2.325315e-05,2.319153e-05,2.311816e-05,2.308980e-05,2.298932e-05,2.298533e-05,2.289008e-05,2.285467e-05,2.279211e-05,2.272620e-05,2.269539e-05,2.259995e-05,2.247592e-05,2.235411e-05,2.223452e-05,2.211716e-05,2.200200e-05,2.188905e-05,2.177828e-05,2.166968e-05,2.156324e-05,2.145893e-05,2.135673e-05,2.125662e-05,2.115857e-05,2.106256e-05,2.096856e-05,2.087655e-05,2.078649e-05,2.069835e-05,2.061211e-05,2.052774e-05,2.044520e-05,2.036446e-05,2.028550e-05,2.020828e-05
0.000000e+00,6.945095e-10,1.980386e-09,9.181534e-09,2.485670e-08,3.895766e-08,1.010966e-07,1.045846e-07,2.196410e-07,2.624223e-07,3.964832e-07,5.370451e-07,6.465799e-07,9.505723e-07,9.806121e-07,1.407403e-06,1.524225e-06,1.930743e-06,2.264423e-06,2.545257e-06,3.149457e-06,3.235636e-06,3.981005e-06,4.134790e-06,4.760392e-06,5.172983e-06,5.555752e-06,6.225489e-06,6.352575e-06,7.139398e-06,7.263725e-06,7.907101e-06,8.266599e-06,8.648365e-06,9.218366e-06,9.357341e-06,1.002946e-05,1.010746e-05,1.066130e-05,1.092591e-05,1.125053e-05,1.166898e-05,1.179580e-05,1.229667e-05,1.233482e-05,1.275344e-05,1.292400e-05,1.316710e-05,1.343906e-05,1.353914e-05,1.387147e-05,1.388396e-05,1.416628e-05,1.426369e-05,1.442598e-05,1.458378e-05,1.465304e-05,1.484996e-05,1.501921e-05,1.506793e-05,1.516320e-05,1.524316e-05,1.528423e-05,1.538080e-05,1.538444e-05,1.546586e-05,1.548555e-05,1.553038e-05,1.556169e-05,1.557970e-05,1.561302e-05,1.561541e-05,1.563895e-05,1.564293e-05,1.565160e-05,1.565438e-05,1.565455e-05,1.564998e-05,1.564887e-05,1.563549e-05,1.563196e-05,1.561526e-05,1.560229e-05,1.558894e-05,1.556263e-05,1.555721e-05,1.552069e-05,1.551444e-05,1.547993e-05,1.545899e-05,1.543539e-05,1.539735e-05,1.538753e-05,1.533672e-05,1.533045e-05,1.528333e-05,1.525910e-05,1.522766e-05,1.518402e-05,1.517001e-05,1.511064e-05,1.510582e-05,1.504976e-05,1.502503e-05,1.498759e-05,1.494213e-05,1.492432e-05,1.486011e-05,1.485753e-05,1.479514e-05,1.477158e-05,1.472952e-05,1.468461e-05,1.466340e-05,1.459689e-05,1.453010e-05,1.450868e-05,1.446311e-05,1.442019e-05,1.439603e-05,1.433161e-05,1.432892e-05,1.426187e-05,1.424311e-05,1.419494e-05,1.415486e-05,1.412818e-05,1.406698e-05,1.406167e-05,1.399543e-05,1.397959e-05,1.392954e-05,1.389279e-05,1.386401e-05,1.380669e-05,1.379890e-05,1.373424e-05,1.372136e-05,1.367006e-05,1.363688e-05,1.360638e-05,1.355331e-05,1.354324e-05,1.348066e-05,1.347070e-05,1.341865e-05,1.338910e-05,1.335724e-05,1.330856e-05,1.329645e-05,1.323628e-05,1.322911e-05,1.317676e-05,1.315078e-05,1.311789e-05,1.307359e-05,1.305968e-05,1.300215e-05,1.299758e-05,1.294530e-05,1.292275e-05,1.288913e-05,1.284912e-05,1.283366e-05,1.277888e-05,1.277670e-05,1.272480e-05,1.270550e-05,1.267142e-05,1.263553e-05,1.261875e-05,1.256677e-05,1.249925e-05,1.243294e-05,1.236786e-05,1.230399e-05,1.224133e-05,1.217987e-05,1.211959e-05,1.206050e-05,1.200258e-05,1.194581e-05,1.189019e-05,1.183569e-05,1.178231e-05,1.173003e-05,1.167884e-05,1.162872e-05,1.157965e-05,1.153162e-05,1.148462e-05,1.143861e-05,1.139360e-05,1.134956e-05,1.130648e-05,1.126433e-05
0.000000e+00,5.434539e-09,1.245200e-08,4.297256e-08,9.823849e-08,1.437866e-07,3.296466e-07,3.397345e-07,6.657599e-07,7.856828e-07,1.162066e-06,1.560436e-06,1.874241e-06,2.758995e-06,2.847301e-06,4.110760e-06,4.457894e-06,5.665301e-06,6.654950e-06,7.488134e-06,9.290442e-06,9.549456e-06,1.182227e-05,1.230016e-05,1.428392e-05,1.563197e-05,1.691462e-05,1.924153e-05,1.969591e-05,2.260974e-05,2.308706e-05,2.563813e-05,2.712716e-05,2.876309e-05,3.132062e-05,3.196683e-05,3.523203e-05,3.562719e-05,3.854210e-05,4.000866e-05,4.188137e-05,4.442977e-05,4.523533e-05,4.859073e-05,4.885885e-05,5.193560e-05,5.326819e-05,5.525934e-05,5.763405e-05,5.855260e-05,6.180730e-05,6.193659e-05,6.501650e-05,6.615952e-05,6.817433e-05,7.028978e-05,7.127589e-05,7.431712e-05,7.729475e-05,7.823371e-05,8.020617e-05,8.203378e-05,8.304936e-05,8.571324e-05,8.582283e-05,8.852549e-05,8.926945e-05,9.115666e-05,9.270088e-05,9.371597e-05,9.600700e-05,9.620334e-05,9.861890e-05,9.918798e-05,1.009630e-04,1.022446e-04,1.032361e-04,1.051783e-04,1.054389e-04,1.075722e-04,1.079906e-04,1.096368e-04,1.106836e-04,1.116337e-04,1.132596e-04,1.135640e-04,1.154286e-04,1.157209e-04,1.172287e-04,1.180703e-04,1.189656e-04,1.203103e-04,1.206403e-04,1.222541e-04,1.224438e-04,1.238083e-04,1.244736e-04,1.253041e-04,1.264026e-04,1.267427e-04,1.281254e-04,1.282336e-04,1.294535e-04,1.299697e-04,1.307281e-04,1.316136e-04,1.319507e-04,1.331224e-04,1.331682e-04,1.342445e-04,1.346365e-04,1.353181e-04,1.360212e-04,1.363446e-04,1.373251e-04,1.382608e-04,1.385510e-04,1.391529e-04,1.397015e-04,1.400025e-04,1.407793e-04,1.408109e-04,1.415790e-04,1.417870e-04,1.423080e-04,1.427272e-04,1.429991e-04,1.436023e-04,1.436533e-04,1.442715e-04,1.444147e-04,1.448550e-04,1.451669e-04,1.454046e-04,1.458611e-04,1.459214e-04,1.464064e-04,1.464996e-04,1.468605e-04,1.470847e-04,1.472846e-04,1.476183e-04,1.476796e-04,1.480465e-04,1.481027e-04,1.483862e-04,1.485398e-04,1.486994e-04,1.489315e-04,1.489871e-04,1.492500e-04,1.492799e-04,1.494889e-04,1.495867e-04,1.497047e-04,1.498537e-04,1.498981e-04,1.500698e-04,1.500826e-04,1.502206e-04,1.502752e-04,1.503511e-04,1.504330e-04,1.504622e-04,1.505543e-04,1.505576e-04,1.506283e-04,1.506506e-04,1.506847e-04,1.507134e-04,1.507242e-04,1.507474e-04,1.507540e-04,1.507345e-04,1.506903e-04,1.506224e-04,1.505322e-04,1.504208e-04,1.502892e-04,1.501385e-04,1.499699e-04,1.497841e-04,1.495823e-04,1.493653e-04,1.491340e-04,1.488892e-04,1.486318e-04,1.483625e-04,1.480821e-04,1.477913e-04,1.474908e-04,1.471813e-04,1.468634e-04,1.465377e-04,1.462047e-04,1.458652e-04
0.000000e+00,4.801536e-09,1.135003e-08,4.037980e-08,9.342289e-08,1.372659e-07,3.166809e-07,3.264398e-07,6.430967e-07,7.602181e-07,1.129887e-06,1.523554e-06,1.834104e-06,2.702291e-06,2.787852e-06,3.982719e-06,4.301297e-06,5.380698e-06,6.237667e-06,6.943690e-06,8.433002e-06,8.643450e-06,1.045874e-05,1.083405e-05,1.237145e-05,1.339881e-05,1.436430e-05,1.608761e-05,1.642003e-05,1.852117e-05,1.886040e-05,2.065027e-05,2.167713e-05,2.279027e-05,2.449917e-05,2.492494e-05,2.703922e-05,2.729090e-05,2.911950e-05,3.002090e-05,3.115380e-05,3.266276e-05,3.313189e-05,3.504525e-05,3.519531e-05,3.688706e-05,3.760253e-05,3.865207e-05,3.987313e-05,4.033648e-05,4.193777e-05,4.200007e-05,4.345457e-05,4.397983e-05,4.488648e-05,4.581186e-05,4.623390e-05,4.749792e-05,4.868019e-05,4.904157e-05,4.978276e-05,5.044768e-05,5.080805e-05,5.172208e-05,5.175871e-05,5.263758e-05,5.287119e-05,5.344760e-05,5.390181e-05,5.419178e-05,5.482091e-05,5.487318e-05,5.549481e-05,5.563544e-05,5.605968e-05,5.635231e-05,5.657072e-05,5.697820e-05,5.703081e-05,5.744273e-05,5.751958e-05,5.780918e-05,5.798264e-05,5.813276e-05,5.837327e-05,5.841597e-05,5.866118e-05,5.869705e-05,5.887071e-05,5.895925e-05,5.904673e-05,5.916483e-05,5.919134e-05,5.930651e-05,5.931844e-05,5.939413e-05,5.942443e-05,5.945601e-05,5.948686e-05,5.949383e-05,5.950922e-05,5.950953e-05,5.950371e-05,5.949598e-05,5.947873e-05,5.944948e-05,5.943567e-05,5.937581e-05,5.937309e-05,5.930038e-05,5.926964e-05,5.921054e-05,5.914177e-05,5.910737e-05,5.899190e-05,5.886511e-05,5.882230e-05,5.872791e-05,5.863504e-05,5.858116e-05,5.843204e-05,5.842566e-05,5.826220e-05,5.821510e-05,5.809147e-05,5.798584e-05,5.791417e-05,5.774578e-05,5.773091e-05,5.754231e-05,5.749631e-05,5.734891e-05,5.723872e-05,5.715125e-05,5.697418e-05,5.694982e-05,5.674508e-05,5.670378e-05,5.653747e-05,5.642850e-05,5.632738e-05,5.614927e-05,5.611520e-05,5.590128e-05,5.586692e-05,5.568596e-05,5.558220e-05,5.546954e-05,5.529582e-05,5.525232e-05,5.503456e-05,5.500841e-05,5.481652e-05,5.472055e-05,5.459842e-05,5.443277e-05,5.438049e-05,5.416293e-05,5.414554e-05,5.394592e-05,5.385931e-05,5.372964e-05,5.357446e-05,5.351425e-05,5.329990e-05,5.329135e-05,5.308672e-05,5.301029e-05,5.287485e-05,5.273158e-05,5.266439e-05,5.245546e-05,5.218217e-05,5.191190e-05,5.164484e-05,5.138115e-05,5.112096e-05,5.086439e-05,5.061155e-05,5.036251e-05,5.011735e-05,4.987612e-05,4.963889e-05,4.940567e-05,4.917650e-05,4.895140e-05,4.873036e-05,4.851340e-05,4.830051e-05,4.809167e-05,4.788687e-05,4.768608e-05,4.748928e-05,4.729643e-05,4.710750e-05,4.692245e-05
0.000000e+00,3.342334e-09,7.735553e-09,2.693130e-08,6.167928e-08,9.024008e-08,2.059806e-07,2.122272e-07,4.123672e-07,4.852191e-07,7.116078e-07,9.480586e-07,1.132429e-06,1.645375e-06,1.696121e-06,2.415726e-06,2.611760e-06,3.289547e-06,3.841350e-06,4.303799e-06,5.298529e-06,5.440905e-06,6.684415e-06,6.944578e-06,8.019778e-06,8.746024e-06,9.433707e-06,1.067289e-05,1.091359e-05,1.244723e-05,1.269680e-05,1.402277e-05,1.479057e-05,1.562888e-05,1.692855e-05,1.725484e-05,1.889070e-05,1.908723e-05,2.052740e-05,2.124570e-05,2.215685e-05,2.338595e-05,2.377191e-05,2.536646e-05,2.549297e-05,2.693526e-05,2.755457e-05,2.847397e-05,2.956119e-05,2.997905e-05,3.144764e-05,3.150559e-05,3.287755e-05,3.338251e-05,3.426711e-05,3.518836e-05,3.561516e-05,3.692092e-05,3.818396e-05,3.857909e-05,3.940416e-05,4.016264e-05,4.058162e-05,4.167208e-05,4.171667e-05,4.280978e-05,4.310842e-05,4.386157e-05,4.447309e-05,4.487274e-05,4.576784e-05,4.584410e-05,4.677653e-05,4.699461e-05,4.767093e-05,4.815554e-05,4.852826e-05,4.925282e-05,4.934950e-05,5.013565e-05,5.028876e-05,5.088772e-05,5.126566e-05,5.160672e-05,5.218586e-05,5.229366e-05,5.294954e-05,5.305167e-05,5.357537e-05,5.386538e-05,5.417212e-05,5.462924e-05,5.474077e-05,5.528226e-05,5.534546e-05,5.579754e-05,5.601619e-05,5.628751e-05,5.664353e-05,5.675309e-05,5.719514e-05,5.722952e-05,5.761453e-05,5.777612e-05,5.801208e-05,5.828525e-05,5.838860e-05,5.874491e-05,5.875875e-05,5.908175e-05,5.919839e-05,5.939988e-05,5.960589e-05,5.970003e-05,5.998289e-05,6.024917e-05,6.033098e-05,6.049951e-05,6.065167e-05,6.073457e-05,6.094642e-05,6.095496e-05,6.116129e-05,6.121662e-05,6.135414e-05,6.146361e-05,6.153407e-05,6.168868e-05,6.170164e-05,6.185737e-05,6.189303e-05,6.200176e-05,6.207785e-05,6.213531e-05,6.224425e-05,6.225850e-05,6.237178e-05,6.239329e-05,6.247560e-05,6.252599e-05,6.257038e-05,6.264331e-05,6.265654e-05,6.273446e-05,6.274619e-05,6.280454e-05,6.283550e-05,6.286714e-05,6.291208e-05,6.292262e-05,6.297131e-05,6.297672e-05,6.301355e-05,6.303018e-05,6.304966e-05,6.307318e-05,6.307993e-05,6.310465e-05,6.310640e-05,6.312412e-05,6.313050e-05,6.313860e-05,6.314608e-05,6.314835e-05,6.315362e-05,6.315374e-05,6.315464e-05,6.315402e-05,6.315166e-05,6.314745e-05,6.314488e-05,6.313453e-05,6.311573e-05,6.309149e-05,6.306224e-05,6.302837e-05,6.299026e-05,6.294826e-05,6.290271e-05,6.285393e-05,6.280221e-05,6.274783e-05,6.269106e-05,6.263214e-05,6.257131e-05,6.250879e-05,6.244478e-05,6.237948e-05,6.231307e-05,6.224572e-05,6.217758e-05,6.210881e-05,6.203953e-05,6.196990e-05,6.190001e-05,6.182998e-05
0.000000e+00,3.632902e-09,8.317093e-09,2.865547e-08,6.544656e-08,9.577693e-08,2.198824e-07,2.266385e-07,4.462408e-07,5.276239e-07,7.848491e-07,1.059117e-06,1.275652e-06,1.882475e-06,1.942465e-06,2.785574e-06,3.012287e-06,3.786812e-06,4.408569e-06,4.925097e-06,6.026424e-06,6.183259e-06,7.547674e-06,7.832246e-06,9.006445e-06,9.798502e-06,1.054814e-05,1.189879e-05,1.216118e-05,1.383365e-05,1.410596e-05,1.555343e-05,1.639216e-05,1.730839e-05,1.872971e-05,1.908667e-05,2.087681e-05,2.109192e-05,2.266823e-05,2.345429e-05,2.445112e-05,2.579499e-05,2.621673e-05,2.795731e-05,2.809527e-05,2.966614e-05,3.033948e-05,3.133757e-05,3.251519e-05,3.296694e-05,3.455046e-05,3.461280e-05,3.608516e-05,3.662525e-05,3.756881e-05,3.854770e-05,3.899982e-05,4.037713e-05,4.170018e-05,4.211205e-05,4.296880e-05,4.375223e-05,4.418318e-05,4.529838e-05,4.534377e-05,4.645127e-05,4.675197e-05,4.750654e-05,4.811505e-05,4.851061e-05,4.939012e-05,4.946463e-05,5.036982e-05,5.057995e-05,5.122750e-05,5.168754e-05,5.203901e-05,5.271604e-05,5.280573e-05,5.352907e-05,5.366865e-05,5.421043e-05,5.454862e-05,5.485124e-05,5.535920e-05,5.545289e-05,5.601678e-05,5.610358e-05,5.654427e-05,5.678494e-05,5.703672e-05,5.740635e-05,5.749546e-05,5.792178e-05,5.797082e-05,5.831696e-05,5.848129e-05,5.868223e-05,5.894057e-05,5.901879e-05,5.932783e-05,5.935140e-05,5.961049e-05,5.971641e-05,5.986787e-05,6.003814e-05,6.010106e-05,6.031108e-05,6.031902e-05,6.049897e-05,6.056137e-05,6.066568e-05,6.076744e-05,6.081218e-05,6.093937e-05,6.104813e-05,6.107919e-05,6.113933e-05,6.118885e-05,6.121378e-05,6.127023e-05,6.127227e-05,6.131558e-05,6.132509e-05,6.134445e-05,6.135512e-05,6.135957e-05,6.136194e-05,6.136164e-05,6.135133e-05,6.134708e-05,6.132925e-05,6.131198e-05,6.129603e-05,6.125803e-05,6.125224e-05,6.119846e-05,6.118655e-05,6.113523e-05,6.109878e-05,6.106306e-05,6.099590e-05,6.098246e-05,6.089390e-05,6.087902e-05,6.079785e-05,6.074922e-05,6.069475e-05,6.060749e-05,6.058503e-05,6.046909e-05,6.045477e-05,6.034731e-05,6.029198e-05,6.022008e-05,6.011995e-05,6.008774e-05,5.995065e-05,5.993949e-05,5.980913e-05,5.975135e-05,5.966349e-05,5.955625e-05,5.951404e-05,5.936106e-05,5.935487e-05,5.920482e-05,5.914782e-05,5.904558e-05,5.893572e-05,5.888360e-05,5.871912e-05,5.849856e-05,5.827452e-05,5.804748e-05,5.781788e-05,5.758612e-05,5.735259e-05,5.711765e-05,5.688164e-05,5.664488e-05,5.640766e-05,5.617025e-05,5.593291e-05,5.569588e-05,5.545939e-05,5.522363e-05,5.498880e-05,5.475507e-05,5.452262e-05,5.429158e-05,5.406210e-05,5.383431e-05,5.360833e-05,5.338425e-05,5.316218e-05
0.000000e+00,8.593397e-10,2.430874e-09,1.113103e-08,2.993712e-08,4.683877e-08,1.217324e-07,1.259629e-07,2.672470e-07,3.206342e-07,4.907847e-07,6.735468e-07,8.188339e-07,1.233949e-06,1.275850e-06,1.886470e-06,2.058245e-06,2.670010e-06,3.187265e-06,3.632337e-06,4.617536e-06,4.760939e-06,6.028737e-06,6.296142e-06,7.403309e-06,8.150012e-06,8.854288e-06,1.011345e-05,1.035632e-05,1.188898e-05,1.213590e-05,1.343572e-05,1.417901e-05,1.498271e-05,1.621246e-05,1.651810e-05,1.803158e-05,1.821128e-05,1.951411e-05,2.015456e-05,2.095787e-05,2.202505e-05,2.235618e-05,2.370349e-05,2.380893e-05,2.499534e-05,2.549576e-05,2.622833e-05,2.707820e-05,2.739997e-05,2.850867e-05,2.855169e-05,2.955363e-05,2.991418e-05,3.053475e-05,3.116565e-05,3.145249e-05,3.230783e-05,3.310217e-05,3.334374e-05,3.383719e-05,3.427737e-05,3.451486e-05,3.511345e-05,3.513732e-05,3.570685e-05,3.585715e-05,3.622580e-05,3.651390e-05,3.669658e-05,3.708924e-05,3.712161e-05,3.750329e-05,3.758870e-05,3.784396e-05,3.801770e-05,3.814595e-05,3.838147e-05,3.841148e-05,3.864272e-05,3.868504e-05,3.884176e-05,3.893319e-05,3.901058e-05,3.913044e-05,3.915110e-05,3.926513e-05,3.928104e-05,3.935441e-05,3.938896e-05,3.942057e-05,3.945791e-05,3.946518e-05,3.948971e-05,3.949137e-05,3.949556e-05,3.949255e-05,3.948403e-05,3.946442e-05,3.945637e-05,3.941376e-05,3.940974e-05,3.935729e-05,3.933105e-05,3.928800e-05,3.923073e-05,3.920687e-05,3.911482e-05,3.911092e-05,3.901270e-05,3.897364e-05,3.890134e-05,3.882072e-05,3.878149e-05,3.865386e-05,3.851912e-05,3.847461e-05,3.837791e-05,3.828440e-05,3.823080e-05,3.808455e-05,3.807836e-05,3.792109e-05,3.787626e-05,3.775949e-05,3.766064e-05,3.759400e-05,3.743868e-05,3.742505e-05,3.725303e-05,3.721133e-05,3.707831e-05,3.697942e-05,3.690124e-05,3.674373e-05,3.672214e-05,3.654131e-05,3.650496e-05,3.635904e-05,3.626377e-05,3.617558e-05,3.602074e-05,3.599118e-05,3.580607e-05,3.577640e-05,3.562046e-05,3.553125e-05,3.543454e-05,3.528571e-05,3.524850e-05,3.506251e-05,3.504020e-05,3.487672e-05,3.479508e-05,3.469129e-05,3.455067e-05,3.450634e-05,3.432200e-05,3.430728e-05,3.413839e-05,3.406517e-05,3.395561e-05,3.382459e-05,3.377377e-05,3.359295e-05,3.358574e-05,3.341323e-05,3.334882e-05,3.323470e-05,3.311401e-05,3.305742e-05,3.288145e-05,3.265129e-05,3.242364e-05,3.219860e-05,3.197627e-05,3.175672e-05,3.154002e-05,3.132624e-05,3.111540e-05,3.090756e-05,3.070274e-05,3.050097e-05,3.030225e-05,3.010661e-05,2.991404e-05,2.972455e-05,2.953813e-05,2.935477e-05,2.917445e-05,2.899717e-05,2.882289e-05,2.865161e-05,2.848329e-05,2.831791e-05,2.815543e-05
0.000000e+00,1.741441e-10,5.143706e-10,2.559467e-09,7.371034e-09,1.193934e-08,3.362944e-08,3.490273e-08,7.917199e-08,9.653162e-08,1.532987e-07,2.159382e-07,2.665551e-07,4.136433e-07,4.286276e-07,6.484013e-07,7.104800e-07,9.317923e-07,1.119039e-06,1.280381e-06,1.639398e-06,1.691982e-06,2.162031e-06,2.262555e-06,2.684693e-06,2.975133e-06,3.253483e-06,3.761927e-06,3.861575e-06,4.501966e-06,4.606954e-06,5.167583e-06,5.493968e-06,5.851388e-06,6.406886e-06,6.546485e-06,7.246231e-06,7.330210e-06,7.944345e-06,8.249479e-06,8.635006e-06,9.151656e-06,9.312938e-06,9.973472e-06,1.002544e-05,1.061259e-05,1.086147e-05,1.122694e-05,1.165240e-05,1.181383e-05,1.237120e-05,1.239285e-05,1.289757e-05,1.307929e-05,1.339203e-05,1.370980e-05,1.385414e-05,1.428390e-05,1.468165e-05,1.480228e-05,1.504807e-05,1.526655e-05,1.538407e-05,1.567900e-05,1.569072e-05,1.596927e-05,1.604240e-05,1.622105e-05,1.635985e-05,1.644747e-05,1.663462e-05,1.664998e-05,1.683002e-05,1.687004e-05,1.698903e-05,1.706942e-05,1.712842e-05,1.723595e-05,1.724957e-05,1.735379e-05,1.737271e-05,1.744232e-05,1.748256e-05,1.751637e-05,1.756819e-05,1.757705e-05,1.762543e-05,1.763209e-05,1.766249e-05,1.767653e-05,1.768916e-05,1.770360e-05,1.770631e-05,1.771472e-05,1.771518e-05,1.771514e-05,1.771297e-05,1.770825e-05,1.769852e-05,1.769469e-05,1.767505e-05,1.767323e-05,1.764985e-05,1.763833e-05,1.761960e-05,1.759494e-05,1.758474e-05,1.754572e-05,1.754407e-05,1.750290e-05,1.748662e-05,1.745664e-05,1.742339e-05,1.740728e-05,1.735510e-05,1.730040e-05,1.728240e-05,1.724342e-05,1.720586e-05,1.718439e-05,1.712601e-05,1.712354e-05,1.706107e-05,1.704331e-05,1.699714e-05,1.695817e-05,1.693195e-05,1.687097e-05,1.686563e-05,1.679833e-05,1.678205e-05,1.673019e-05,1.669171e-05,1.666133e-05,1.660022e-05,1.659185e-05,1.652187e-05,1.650782e-05,1.645148e-05,1.641475e-05,1.638077e-05,1.632119e-05,1.630982e-05,1.623871e-05,1.622732e-05,1.616750e-05,1.613331e-05,1.609627e-05,1.603930e-05,1.602506e-05,1.595395e-05,1.594542e-05,1.588297e-05,1.585180e-05,1.581218e-05,1.575852e-05,1.574161e-05,1.567131e-05,1.566570e-05,1.560132e-05,1.557342e-05,1.553167e-05,1.548175e-05,1.546239e-05,1.539350e-05,1.539075e-05,1.532504e-05,1.530051e-05,1.525703e-05,1.521106e-05,1.518950e-05,1.512245e-05,1.503474e-05,1.494795e-05,1.486213e-05,1.477730e-05,1.469348e-05,1.461070e-05,1.452897e-05,1.444832e-05,1.436875e-05,1.429028e-05,1.421292e-05,1.413666e-05,1.406151e-05,1.398748e-05,1.391457e-05,1.384277e-05,1.377209e-05,1.370252e-05,1.363405e-05,1.356668e-05,1.350041e-05,1.343522e-05,1.337111e-05,1.330807e-05
0.000000e+00,1.696314e-09,3.886957e-09,1.337610e-08,3.042259e-08,4.435774e-08,1.003125e-07,1.033116e-07,1.984150e-07,2.325941e-07,3.374792e-07,4.451191e-07,5.278817e-07,7.538430e-07,7.759185e-07,1.085449e-06,1.169017e-06,1.457104e-06,1.691778e-06,1.889156e-06,2.317078e-06,2.378760e-06,2.922463e-06,3.037353e-06,3.516252e-06,3.843316e-06,4.155538e-06,4.723964e-06,4.835198e-06,5.549682e-06,5.666844e-06,6.293167e-06,6.658600e-06,7.059725e-06,7.685630e-06,7.843480e-06,8.638751e-06,8.734699e-06,9.440174e-06,9.793454e-06,1.024279e-05,1.085078e-05,1.104208e-05,1.183407e-05,1.189700e-05,1.261523e-05,1.292398e-05,1.338257e-05,1.392506e-05,1.413357e-05,1.486613e-05,1.489503e-05,1.557859e-05,1.582988e-05,1.626960e-05,1.672672e-05,1.693818e-05,1.758363e-05,1.820549e-05,1.839946e-05,1.880351e-05,1.917369e-05,1.937761e-05,1.990632e-05,1.992787e-05,2.045449e-05,2.059775e-05,2.095777e-05,2.124869e-05,2.143809e-05,2.186010e-05,2.189590e-05,2.233171e-05,2.243309e-05,2.274605e-05,2.296891e-05,2.313949e-05,2.346891e-05,2.351263e-05,2.386608e-05,2.393446e-05,2.420044e-05,2.436697e-05,2.451634e-05,2.476788e-05,2.481440e-05,2.509523e-05,2.513861e-05,2.535945e-05,2.548055e-05,2.560766e-05,2.579510e-05,2.584045e-05,2.605840e-05,2.608358e-05,2.626208e-05,2.634733e-05,2.645206e-05,2.658760e-05,2.662886e-05,2.679303e-05,2.680563e-05,2.694507e-05,2.700261e-05,2.708550e-05,2.717968e-05,2.721478e-05,2.733340e-05,2.733793e-05,2.744181e-05,2.747842e-05,2.754045e-05,2.760217e-05,2.762975e-05,2.771013e-05,2.778198e-05,2.780323e-05,2.784569e-05,2.788236e-05,2.790163e-05,2.794836e-05,2.795016e-05,2.799163e-05,2.800202e-05,2.802637e-05,2.804413e-05,2.805471e-05,2.807539e-05,2.807695e-05,2.809340e-05,2.809652e-05,2.810434e-05,2.810816e-05,2.811004e-05,2.811094e-05,2.811078e-05,2.810680e-05,2.810546e-05,2.809836e-05,2.809228e-05,2.808569e-05,2.807194e-05,2.806901e-05,2.804855e-05,2.804494e-05,2.802452e-05,2.801177e-05,2.799710e-05,2.797287e-05,2.796650e-05,2.793290e-05,2.792868e-05,2.789648e-05,2.787961e-05,2.785741e-05,2.782604e-05,2.781584e-05,2.777194e-05,2.776833e-05,2.772585e-05,2.770684e-05,2.767772e-05,2.764187e-05,2.762768e-05,2.757586e-05,2.757375e-05,2.752239e-05,2.750276e-05,2.746738e-05,2.742916e-05,2.741096e-05,2.735322e-05,2.727518e-05,2.719527e-05,2.711369e-05,2.703065e-05,2.694633e-05,2.686092e-05,2.677458e-05,2.668746e-05,2.659972e-05,2.651147e-05,2.642286e-05,2.633401e-05,2.624501e-05,2.615598e-05,2.606702e-05,2.597820e-05,2.588962e-05,2.580135e-05,2.571347e-05,2.562603e-05,2.553911e-05,2.545275e-05,2.536701e-05,2.528194e-05
0.000000e+00,3.146734e-10,9.024223e-10,4.240768e-09,1.165132e-08,1.843134e-08,4.922476e-08,5.099096e-08,1.110925e-07,1.342383e-07,2.089311e-07,2.896603e-07,3.534361e-07,5.307384e-07,5.481451e-07,7.915230e-07,8.568162e-07,1.080279e-06,1.260530e-06,1.411002e-06,1.734033e-06,1.780259e-06,2.184314e-06,2.268938e-06,2.618940e-06,2.855471e-06,3.079391e-06,3.482355e-06,3.560499e-06,4.056858e-06,4.137325e-06,4.563020e-06,4.807899e-06,5.073706e-06,5.482169e-06,5.583964e-06,6.089308e-06,6.149426e-06,6.585799e-06,6.800567e-06,7.070092e-06,7.428285e-06,7.539440e-06,7.991678e-06,8.027066e-06,8.425178e-06,8.593061e-06,8.838799e-06,9.123878e-06,9.231822e-06,9.603891e-06,9.618336e-06,9.954951e-06,1.007622e-05,1.028519e-05,1.049805e-05,1.059500e-05,1.088490e-05,1.115554e-05,1.123819e-05,1.140764e-05,1.155961e-05,1.164197e-05,1.185097e-05,1.185935e-05,1.206058e-05,1.211414e-05,1.224649e-05,1.235101e-05,1.241787e-05,1.256341e-05,1.257553e-05,1.272023e-05,1.275311e-05,1.285270e-05,1.292181e-05,1.297366e-05,1.307111e-05,1.308378e-05,1.318370e-05,1.320252e-05,1.327405e-05,1.331743e-05,1.335539e-05,1.341716e-05,1.342828e-05,1.349324e-05,1.350293e-05,1.355075e-05,1.357585e-05,1.360128e-05,1.363698e-05,1.364527e-05,1.368312e-05,1.368726e-05,1.371521e-05,1.372760e-05,1.374191e-05,1.375882e-05,1.376357e-05,1.378049e-05,1.378165e-05,1.379299e-05,1.379681e-05,1.380134e-05,1.380493e-05,1.380581e-05,1.380665e-05,1.380661e-05,1.380409e-05,1.380239e-05,1.379837e-05,1.379276e-05,1.378967e-05,1.377820e-05,1.376415e-05,1.375913e-05,1.374768e-05,1.373595e-05,1.372896e-05,1.370900e-05,1.370813e-05,1.368535e-05,1.367864e-05,1.366075e-05,1.364517e-05,1.363445e-05,1.360887e-05,1.360658e-05,1.357725e-05,1.357000e-05,1.354656e-05,1.352881e-05,1.351461e-05,1.348553e-05,1.348150e-05,1.344732e-05,1.344036e-05,1.341214e-05,1.339349e-05,1.337606e-05,1.334510e-05,1.333914e-05,1.330145e-05,1.329535e-05,1.326306e-05,1.324440e-05,1.322403e-05,1.319238e-05,1.318441e-05,1.314428e-05,1.313943e-05,1.310367e-05,1.308566e-05,1.306263e-05,1.303119e-05,1.302122e-05,1.297947e-05,1.297612e-05,1.293743e-05,1.292054e-05,1.289513e-05,1.286455e-05,1.285262e-05,1.280993e-05,1.280821e-05,1.276708e-05,1.275162e-05,1.272411e-05,1.269484e-05,1.268106e-05,1.263794e-05,1.258096e-05,1.252398e-05,1.246704e-05,1.241018e-05,1.235346e-05,1.229691e-05,1.224056e-05,1.218446e-05,1.212864e-05,1.207312e-05,1.201792e-05,1.196309e-05,1.190862e-05,1.185456e-05,1.180091e-05,1.174770e-05,1.169493e-05,1.164262e-05,1.159079e-05,1.153945e-05,1.148860e-05,1.143825e-05,1.138842e-05,1.133910e-05
0.000000e+00,1.558994e-09,4.122070e-09,1.690348e-08,4.217049e-08,6.377931e-08,1.543981e-07,1.593642e-07,3.200177e-07,3.788175e-07,5.614880e-07,7.515484e-07,8.990886e-07,1.307393e-06,1.347707e-06,1.921374e-06,2.079057e-06,2.631992e-06,3.092842e-06,3.487195e-06,4.360812e-06,4.488612e-06,5.632234e-06,5.877395e-06,6.910506e-06,7.625415e-06,8.314283e-06,9.583308e-06,9.833790e-06,1.145883e-05,1.172793e-05,1.317881e-05,1.403492e-05,1.498276e-05,1.647879e-05,1.685938e-05,1.879723e-05,1.903334e-05,2.078487e-05,2.167230e-05,2.281108e-05,2.437012e-05,2.486503e-05,2.693642e-05,2.710259e-05,2.901558e-05,2.984740e-05,3.109360e-05,3.258448e-05,3.316236e-05,3.521458e-05,3.529623e-05,3.724379e-05,3.796755e-05,3.924432e-05,4.058579e-05,4.121130e-05,4.314057e-05,4.502862e-05,4.562361e-05,4.687260e-05,4.802853e-05,4.867019e-05,5.035053e-05,5.041956e-05,5.211934e-05,5.258626e-05,5.376856e-05,5.473353e-05,5.536656e-05,5.679118e-05,5.691300e-05,5.840779e-05,5.875886e-05,5.985106e-05,6.063689e-05,6.124312e-05,6.242617e-05,6.258447e-05,6.387570e-05,6.412799e-05,6.511753e-05,6.574402e-05,6.631076e-05,6.727616e-05,6.745628e-05,6.855502e-05,6.872654e-05,6.960798e-05,7.009744e-05,7.061618e-05,7.139122e-05,7.158067e-05,7.250254e-05,7.261035e-05,7.338286e-05,7.375732e-05,7.422273e-05,7.483465e-05,7.502325e-05,7.578551e-05,7.584487e-05,7.651060e-05,7.679048e-05,7.719962e-05,7.767397e-05,7.785362e-05,7.847367e-05,7.849779e-05,7.906083e-05,7.926435e-05,7.961611e-05,7.997602e-05,8.014054e-05,8.063510e-05,8.110078e-05,8.124386e-05,8.153854e-05,8.180448e-05,8.194931e-05,8.231911e-05,8.233401e-05,8.269355e-05,8.278983e-05,8.302879e-05,8.321863e-05,8.334059e-05,8.360748e-05,8.362980e-05,8.389722e-05,8.395825e-05,8.414366e-05,8.427278e-05,8.436988e-05,8.455283e-05,8.457664e-05,8.476467e-05,8.480010e-05,8.493469e-05,8.501622e-05,8.508740e-05,8.520278e-05,8.522346e-05,8.534353e-05,8.536130e-05,8.544825e-05,8.549325e-05,8.553824e-05,8.560003e-05,8.561410e-05,8.567641e-05,8.568301e-05,8.572574e-05,8.574347e-05,8.576263e-05,8.578268e-05,8.578762e-05,8.580122e-05,8.580183e-05,8.580392e-05,8.580206e-05,8.579622e-05,8.578449e-05,8.577858e-05,8.575145e-05,8.575017e-05,8.571527e-05,8.570011e-05,8.567047e-05,8.563528e-05,8.561745e-05,8.555661e-05,8.546498e-05,8.536123e-05,8.524619e-05,8.512061e-05,8.498524e-05,8.484078e-05,8.468790e-05,8.452724e-05,8.435941e-05,8.418499e-05,8.400453e-05,8.381856e-05,8.362757e-05,8.343204e-05,8.323242e-05,8.302913e-05,8.282259e-05,8.261317e-05,8.240124e-05,8.218714e-05,8.197121e-05,8.175374e-05,8.153504e-05,8.131536e-05
0.000000e+00,4.344757e-09,1.017402e-08,3.584123e-08,8.251535e-08,1.209678e-07,2.773387e-07,2.858006e-07,5.580489e-07,6.576688e-07,9.688425e-07,1.296058e-06,1.552378e-06,2.267883e-06,2.338664e-06,3.337362e-06,3.607091e-06,4.530628e-06,5.272602e-06,5.888415e-06,7.197693e-06,7.383623e-06,8.994854e-06,9.329412e-06,1.070419e-05,1.162634e-05,1.249519e-05,1.405104e-05,1.435188e-05,1.625849e-05,1.656714e-05,1.819960e-05,1.913919e-05,2.016035e-05,2.173368e-05,2.212678e-05,2.408603e-05,2.432010e-05,2.602655e-05,2.687178e-05,2.793818e-05,2.936627e-05,2.981218e-05,3.164123e-05,3.178542e-05,3.341931e-05,3.411516e-05,3.514164e-05,3.634510e-05,3.680455e-05,3.840534e-05,3.846805e-05,3.994219e-05,4.047957e-05,4.141399e-05,4.237740e-05,4.282028e-05,4.416109e-05,4.543691e-05,4.583157e-05,4.664856e-05,4.739086e-05,4.779717e-05,4.884176e-05,4.888406e-05,4.991076e-05,5.018766e-05,5.087889e-05,5.143237e-05,5.179019e-05,5.257996e-05,5.264648e-05,5.344961e-05,5.363465e-05,5.420143e-05,5.460075e-05,5.490384e-05,5.548258e-05,5.555871e-05,5.616790e-05,5.628442e-05,5.673325e-05,5.701051e-05,5.725657e-05,5.766497e-05,5.773962e-05,5.818414e-05,5.825180e-05,5.859181e-05,5.877488e-05,5.896427e-05,5.923798e-05,5.930314e-05,5.960994e-05,5.964467e-05,5.988619e-05,5.999843e-05,6.013333e-05,6.030256e-05,6.035277e-05,6.054587e-05,6.056022e-05,6.071392e-05,6.077442e-05,6.085820e-05,6.094803e-05,6.097990e-05,6.108021e-05,6.108379e-05,6.116024e-05,6.118430e-05,6.122107e-05,6.125201e-05,6.126375e-05,6.128925e-05,6.129854e-05,6.129824e-05,6.129254e-05,6.128107e-05,6.127211e-05,6.123972e-05,6.123811e-05,6.119133e-05,6.117605e-05,6.113254e-05,6.109182e-05,6.106249e-05,6.098869e-05,6.098187e-05,6.089136e-05,6.086824e-05,6.079161e-05,6.073193e-05,6.068322e-05,6.058116e-05,6.056678e-05,6.044286e-05,6.041722e-05,6.031198e-05,6.024134e-05,6.017465e-05,6.005467e-05,6.003136e-05,5.988257e-05,5.985829e-05,5.972873e-05,5.965320e-05,5.957023e-05,5.944036e-05,5.940750e-05,5.924089e-05,5.922066e-05,5.907078e-05,5.899491e-05,5.889750e-05,5.876389e-05,5.872138e-05,5.854272e-05,5.852833e-05,5.836182e-05,5.828889e-05,5.817894e-05,5.804620e-05,5.799436e-05,5.780832e-05,5.780086e-05,5.762106e-05,5.755339e-05,5.743279e-05,5.730430e-05,5.724373e-05,5.705407e-05,5.680311e-05,5.655184e-05,5.630063e-05,5.604981e-05,5.579969e-05,5.555058e-05,5.530272e-05,5.505637e-05,5.481175e-05,5.456906e-05,5.432848e-05,5.409018e-05,5.385430e-05,5.362099e-05,5.339037e-05,5.316254e-05,5.293759e-05,5.271562e-05,5.249669e-05,5.228087e-05,5.206821e-05,5.185876e-05,5.165255e-05,5.144962e-05
0.000000e+00,2.122092e-09,4.863610e-09,1.668824e-08,3.782437e-08,5.505735e-08,1.241978e-07,1.279075e-07,2.460543e-07,2.888173e-07,4.212246e-07,5.590997e-07,6.665484e-07,9.665373e-07,9.963762e-07,1.424716e-06,1.543439e-06,1.961507e-06,2.310226e-06,2.607390e-06,3.257105e-06,3.350839e-06,4.171332e-06,4.342641e-06,5.046066e-06,5.515515e-06,5.954912e-06,6.732913e-06,6.881910e-06,7.814820e-06,7.963971e-06,8.744163e-06,9.186707e-06,9.662388e-06,1.038477e-05,1.056331e-05,1.144177e-05,1.154546e-05,1.229345e-05,1.265877e-05,1.311479e-05,1.371690e-05,1.390288e-05,1.465546e-05,1.471408e-05,1.537089e-05,1.564640e-05,1.604807e-05,1.651159e-05,1.668638e-05,1.728570e-05,1.730887e-05,1.784627e-05,1.803870e-05,1.836869e-05,1.870258e-05,1.885383e-05,1.930278e-05,1.971681e-05,1.984216e-05,2.009735e-05,2.032400e-05,2.044588e-05,2.075179e-05,2.076395e-05,2.105316e-05,2.112919e-05,2.131510e-05,2.145982e-05,2.155133e-05,2.174730e-05,2.176341e-05,2.195283e-05,2.199509e-05,2.212105e-05,2.220652e-05,2.226946e-05,2.238473e-05,2.239939e-05,2.251209e-05,2.253267e-05,2.260878e-05,2.265310e-05,2.269057e-05,2.274856e-05,2.275855e-05,2.281369e-05,2.282139e-05,2.285696e-05,2.287377e-05,2.288923e-05,2.290767e-05,2.291131e-05,2.292399e-05,2.292491e-05,2.292797e-05,2.292715e-05,2.292393e-05,2.291588e-05,2.291250e-05,2.289424e-05,2.289250e-05,2.286970e-05,2.285824e-05,2.283939e-05,2.281425e-05,2.280377e-05,2.276328e-05,2.276156e-05,2.271832e-05,2.270111e-05,2.266927e-05,2.263375e-05,2.261647e-05,2.256026e-05,2.250094e-05,2.248134e-05,2.243878e-05,2.239763e-05,2.237405e-05,2.230972e-05,2.230699e-05,2.223783e-05,2.221811e-05,2.216677e-05,2.212331e-05,2.209402e-05,2.202574e-05,2.201975e-05,2.194413e-05,2.192580e-05,2.186732e-05,2.182384e-05,2.178946e-05,2.172020e-05,2.171070e-05,2.163115e-05,2.161516e-05,2.155094e-05,2.150900e-05,2.147017e-05,2.140197e-05,2.138895e-05,2.130736e-05,2.129428e-05,2.122551e-05,2.118614e-05,2.114346e-05,2.107773e-05,2.106129e-05,2.097908e-05,2.096922e-05,2.089689e-05,2.086075e-05,2.081478e-05,2.075246e-05,2.073280e-05,2.065102e-05,2.064448e-05,2.056947e-05,2.053692e-05,2.048820e-05,2.042988e-05,2.040725e-05,2.032667e-05,2.032345e-05,2.024648e-05,2.021772e-05,2.016672e-05,2.011275e-05,2.008742e-05,2.000861e-05,1.990537e-05,1.980308e-05,1.970177e-05,1.960151e-05,1.950232e-05,1.940423e-05,1.930728e-05,1.921148e-05,1.911687e-05,1.902346e-05,1.893126e-05,1.884028e-05,1.875054e-05,1.866205e-05,1.857480e-05,1.848880e-05,1.840406e-05,1.832058e-05,1.823834e-05,1.815736e-05,1.807763e-05,1.799915e-05,1.792190e-05,1.784588e-05
0.000000e+00,1.821365e-09,4.369278e-09,1.565285e-08,3.595325e-08,5.243199e-08,1.175106e-07,1.209547e-07,2.283050e-07,2.661288e-07,3.801966e-07,4.946490e-07,5.811758e-07,8.123823e-07,8.346511e-07,1.142728e-06,1.224882e-06,1.505849e-06,1.732697e-06,1.922269e-06,2.329280e-06,2.387449e-06,2.893573e-06,2.998787e-06,3.429573e-06,3.715702e-06,3.982063e-06,4.448681e-06,4.537117e-06,5.082158e-06,5.167726e-06,5.607177e-06,5.849872e-06,6.105023e-06,6.480549e-06,6.571061e-06,7.002645e-06,7.052052e-06,7.398613e-06,7.561501e-06,7.758872e-06,8.009183e-06,8.084102e-06,8.375531e-06,8.397431e-06,8.634764e-06,8.729853e-06,8.863660e-06,9.010806e-06,9.064230e-06,9.238556e-06,9.245013e-06,9.388737e-06,9.437290e-06,9.516832e-06,9.592338e-06,9.624826e-06,9.714615e-06,9.787985e-06,9.808271e-06,9.846600e-06,9.877086e-06,9.891998e-06,9.924459e-06,9.925593e-06,9.948677e-06,9.953419e-06,9.962423e-06,9.966635e-06,9.967893e-06,9.966440e-06,9.966044e-06,9.957739e-06,9.954873e-06,9.943753e-06,9.933699e-06,9.924776e-06,9.904441e-06,9.901427e-06,9.874256e-06,9.868407e-06,9.843754e-06,9.826725e-06,9.810360e-06,9.780361e-06,9.774464e-06,9.736415e-06,9.730149e-06,9.696522e-06,9.676801e-06,9.655060e-06,9.620928e-06,9.612276e-06,9.568387e-06,9.563055e-06,9.523589e-06,9.503635e-06,9.478055e-06,9.443054e-06,9.431942e-06,9.385386e-06,9.381646e-06,9.338511e-06,9.319697e-06,9.291427e-06,9.257453e-06,9.244233e-06,9.197015e-06,9.195127e-06,9.149853e-06,9.132901e-06,9.102814e-06,9.070931e-06,9.055962e-06,9.009353e-06,8.963034e-06,8.948281e-06,8.917050e-06,8.887815e-06,8.871440e-06,8.828039e-06,8.826239e-06,8.781475e-06,8.769024e-06,8.737177e-06,8.710831e-06,8.693367e-06,8.653510e-06,8.650065e-06,8.607291e-06,8.597105e-06,8.565058e-06,8.541649e-06,8.523380e-06,8.487172e-06,8.482269e-06,8.441733e-06,8.433695e-06,8.401780e-06,8.381237e-06,8.362416e-06,8.329809e-06,8.323646e-06,8.285474e-06,8.279422e-06,8.247901e-06,8.230080e-06,8.210930e-06,8.181786e-06,8.174560e-06,8.138791e-06,8.134539e-06,8.103622e-06,8.088337e-06,8.069050e-06,8.043175e-06,8.035075e-06,8.001691e-06,7.999045e-06,7.968896e-06,7.955941e-06,7.936685e-06,7.913852e-06,7.905054e-06,7.873997e-06,7.872767e-06,7.843510e-06,7.832673e-06,7.813587e-06,7.793559e-06,7.784222e-06,7.755408e-06,7.718208e-06,7.681942e-06,7.646596e-06,7.612153e-06,7.578596e-06,7.545910e-06,7.514077e-06,7.483079e-06,7.452902e-06,7.423526e-06,7.394935e-06,7.367112e-06,7.340039e-06,7.313701e-06,7.288080e-06,7.263159e-06,7.238923e-06,7.215354e-06,7.192437e-06,7.170156e-06,7.148495e-06,7.127439e-06,7.106973e-06,7.087081e-06
0.000000e+00,2.624494e-09,6.033167e-09,2.092397e-08,4.805777e-08,7.055860e-08,1.635478e-07,1.686466e-07,3.360527e-07,3.988008e-07,5.989768e-07,8.143791e-07,9.850202e-07,1.462757e-06,1.509871e-06,2.170501e-06,2.348038e-06,2.956025e-06,3.446943e-06,3.857362e-06,4.741589e-06,4.868593e-06,5.985542e-06,6.221291e-06,7.204460e-06,7.877254e-06,8.521221e-06,9.699356e-06,9.930925e-06,1.142776e-05,1.167490e-05,1.300499e-05,1.378844e-05,1.465510e-05,1.602222e-05,1.636996e-05,1.814097e-05,1.835685e-05,1.995934e-05,2.077214e-05,2.181621e-05,2.324782e-05,2.370288e-05,2.561093e-05,2.576425e-05,2.753233e-05,2.830294e-05,2.945959e-05,3.084691e-05,3.138575e-05,3.330447e-05,3.338098e-05,3.521003e-05,3.589181e-05,3.709733e-05,3.836794e-05,3.896187e-05,4.079975e-05,4.260758e-05,4.317926e-05,4.438251e-05,4.550006e-05,4.612212e-05,4.775706e-05,4.782442e-05,4.948781e-05,4.994641e-05,5.111103e-05,5.206526e-05,5.269309e-05,5.411164e-05,5.423330e-05,5.573119e-05,5.608434e-05,5.718646e-05,5.798276e-05,5.859903e-05,5.980680e-05,5.996895e-05,6.129639e-05,6.155680e-05,6.258164e-05,6.323342e-05,6.382508e-05,6.483761e-05,6.502719e-05,6.618848e-05,6.637054e-05,6.730955e-05,6.783356e-05,6.839102e-05,6.922812e-05,6.943355e-05,7.043785e-05,7.055583e-05,7.140463e-05,7.181832e-05,7.233464e-05,7.301731e-05,7.322863e-05,7.408737e-05,7.415457e-05,7.491163e-05,7.523186e-05,7.570220e-05,7.625098e-05,7.645984e-05,7.718535e-05,7.721371e-05,7.787950e-05,7.812186e-05,7.854305e-05,7.897719e-05,7.917679e-05,7.978146e-05,8.035783e-05,8.053641e-05,8.090664e-05,8.124375e-05,8.142862e-05,8.190516e-05,8.192450e-05,8.239500e-05,8.252228e-05,8.284081e-05,8.309674e-05,8.326264e-05,8.363012e-05,8.366116e-05,8.403704e-05,8.412396e-05,8.439095e-05,8.457977e-05,8.472351e-05,8.499903e-05,8.503538e-05,8.532716e-05,8.538316e-05,8.559946e-05,8.573356e-05,8.585288e-05,8.605159e-05,8.608800e-05,8.630539e-05,8.633857e-05,8.650561e-05,8.659577e-05,8.668919e-05,8.682444e-05,8.685668e-05,8.700858e-05,8.702579e-05,8.714542e-05,8.720098e-05,8.726768e-05,8.735115e-05,8.737585e-05,8.747040e-05,8.747739e-05,8.755179e-05,8.758076e-05,8.762047e-05,8.766230e-05,8.767688e-05,8.772144e-05,8.772298e-05,8.775457e-05,8.776378e-05,8.777668e-05,8.778561e-05,8.778815e-05,8.778938e-05,8.777595e-05,8.774614e-05,8.770077e-05,8.764061e-05,8.756641e-05,8.747889e-05,8.737874e-05,8.726663e-05,8.714321e-05,8.700909e-05,8.686486e-05,8.671111e-05,8.654838e-05,8.637720e-05,8.619807e-05,8.601150e-05,8.581794e-05,8.561785e-05,8.541165e-05,8.519977e-05,8.498259e-05,8.476051e-05,8.453387e-05,8.430305e-05
0.000000e+00,9.749321e-10,2.695734e-09,1.186692e-08,3.104316e-08,4.797788e-08,1.218909e-07,1.260431e-07,2.646887e-07,3.172911e-07,4.862831e-07,6.702750e-07,8.182873e-07,1.247978e-06,1.291769e-06,1.933455e-06,2.114004e-06,2.752165e-06,3.282978e-06,3.732381e-06,4.704457e-06,4.843638e-06,6.054266e-06,6.305906e-06,7.338221e-06,8.028068e-06,8.675661e-06,9.829143e-06,1.005127e-05,1.145260e-05,1.167847e-05,1.286899e-05,1.355139e-05,1.429094e-05,1.542666e-05,1.570980e-05,1.711773e-05,1.728561e-05,1.850766e-05,1.911186e-05,1.987326e-05,2.089147e-05,2.120908e-05,2.251038e-05,2.261287e-05,2.377325e-05,2.426691e-05,2.499454e-05,2.584672e-05,2.617180e-05,2.730323e-05,2.734752e-05,2.838763e-05,2.876635e-05,2.942430e-05,3.010185e-05,3.041302e-05,3.135391e-05,3.224742e-05,3.252344e-05,3.309423e-05,3.361211e-05,3.389527e-05,3.462220e-05,3.465161e-05,3.536445e-05,3.555643e-05,3.603509e-05,3.641779e-05,3.666490e-05,3.720948e-05,3.725530e-05,3.780772e-05,3.793481e-05,3.832361e-05,3.859710e-05,3.880443e-05,3.919967e-05,3.925160e-05,3.966656e-05,3.974581e-05,4.005068e-05,4.023869e-05,4.040533e-05,4.068143e-05,4.073184e-05,4.103148e-05,4.107701e-05,4.130550e-05,4.142830e-05,4.155512e-05,4.173803e-05,4.178150e-05,4.198576e-05,4.200884e-05,4.216898e-05,4.224321e-05,4.233221e-05,4.244350e-05,4.247644e-05,4.260263e-05,4.261197e-05,4.271170e-05,4.275074e-05,4.280454e-05,4.286181e-05,4.288199e-05,4.294487e-05,4.294709e-05,4.299394e-05,4.300837e-05,4.302995e-05,4.304734e-05,4.305360e-05,4.306558e-05,4.306653e-05,4.306460e-05,4.305707e-05,4.304582e-05,4.303778e-05,4.301055e-05,4.300924e-05,4.297197e-05,4.296004e-05,4.292650e-05,4.289547e-05,4.287330e-05,4.281794e-05,4.281285e-05,4.274559e-05,4.272848e-05,4.267194e-05,4.262805e-05,4.259230e-05,4.251757e-05,4.250706e-05,4.241659e-05,4.239789e-05,4.232122e-05,4.226981e-05,4.222130e-05,4.213408e-05,4.211714e-05,4.200903e-05,4.199139e-05,4.189727e-05,4.184240e-05,4.178211e-05,4.168773e-05,4.166383e-05,4.154266e-05,4.152794e-05,4.141884e-05,4.136358e-05,4.129259e-05,4.119514e-05,4.116412e-05,4.103362e-05,4.102310e-05,4.090129e-05,4.084788e-05,4.076730e-05,4.066990e-05,4.063183e-05,4.049504e-05,4.048954e-05,4.035707e-05,4.030715e-05,4.021808e-05,4.012305e-05,4.007820e-05,3.993757e-05,3.975098e-05,3.956354e-05,3.937552e-05,3.918713e-05,3.899858e-05,3.881008e-05,3.862181e-05,3.843393e-05,3.824660e-05,3.805997e-05,3.787416e-05,3.768931e-05,3.750551e-05,3.732288e-05,3.714151e-05,3.696149e-05,3.678288e-05,3.660577e-05,3.643022e-05,3.625629e-05,3.608402e-05,3.591348e-05,3.574469e-05,3.557769e-05
0.000000e+00,9.643924e-09,2.205902e-08,7.594645e-08,1.735746e-07,2.542704e-07,5.866203e-07,6.048103e-07,1.200939e-06,1.423974e-06,2.134679e-06,2.899315e-06,3.505884e-06,5.209364e-06,5.377627e-06,7.732783e-06,8.362324e-06,1.049996e-05,1.220167e-05,1.360631e-05,1.657629e-05,1.699668e-05,2.063001e-05,2.138279e-05,2.447253e-05,2.654295e-05,2.849312e-05,3.198550e-05,3.266097e-05,3.694486e-05,3.763894e-05,4.131316e-05,4.343064e-05,4.573431e-05,4.928852e-05,5.017748e-05,5.461322e-05,5.514368e-05,5.901405e-05,6.093280e-05,6.335491e-05,6.659997e-05,6.761341e-05,7.177006e-05,7.209768e-05,7.580825e-05,7.738717e-05,7.971419e-05,8.243827e-05,8.347681e-05,8.708752e-05,8.722869e-05,9.053998e-05,9.174325e-05,9.382991e-05,9.597286e-05,9.695476e-05,9.991355e-05,1.027066e-04,1.035655e-04,1.053353e-04,1.069324e-04,1.078019e-04,1.100202e-04,1.101095e-04,1.122619e-04,1.128372e-04,1.142630e-04,1.153929e-04,1.161173e-04,1.176978e-04,1.178297e-04,1.194049e-04,1.197631e-04,1.208481e-04,1.216004e-04,1.221643e-04,1.232216e-04,1.233586e-04,1.244363e-04,1.246382e-04,1.254023e-04,1.258621e-04,1.262616e-04,1.269046e-04,1.270191e-04,1.276797e-04,1.277768e-04,1.282481e-04,1.284894e-04,1.287287e-04,1.290530e-04,1.291260e-04,1.294444e-04,1.294775e-04,1.296879e-04,1.297724e-04,1.298606e-04,1.299469e-04,1.299664e-04,1.300089e-04,1.300097e-04,1.299919e-04,1.299692e-04,1.299187e-04,1.298331e-04,1.297926e-04,1.296170e-04,1.296089e-04,1.293947e-04,1.293038e-04,1.291287e-04,1.289244e-04,1.288220e-04,1.284770e-04,1.280964e-04,1.279675e-04,1.276827e-04,1.274016e-04,1.272382e-04,1.267845e-04,1.267651e-04,1.262655e-04,1.261212e-04,1.257416e-04,1.254163e-04,1.251951e-04,1.246741e-04,1.246280e-04,1.240420e-04,1.238988e-04,1.234388e-04,1.230941e-04,1.228199e-04,1.222636e-04,1.221869e-04,1.215412e-04,1.214106e-04,1.208840e-04,1.205383e-04,1.202168e-04,1.196494e-04,1.195407e-04,1.188568e-04,1.187467e-04,1.181662e-04,1.178327e-04,1.174700e-04,1.169097e-04,1.167691e-04,1.160645e-04,1.159797e-04,1.153569e-04,1.150448e-04,1.146472e-04,1.141068e-04,1.139361e-04,1.132244e-04,1.131674e-04,1.125127e-04,1.122281e-04,1.118016e-04,1.112903e-04,1.110918e-04,1.103837e-04,1.103554e-04,1.096779e-04,1.094245e-04,1.089749e-04,1.084986e-04,1.082751e-04,1.075789e-04,1.066661e-04,1.057611e-04,1.048645e-04,1.039772e-04,1.030995e-04,1.022321e-04,1.013754e-04,1.005298e-04,9.969564e-05,9.887322e-05,9.806278e-05,9.726455e-05,9.647870e-05,9.570536e-05,9.494463e-05,9.419659e-05,9.346128e-05,9.273873e-05,9.202892e-05,9.133184e-05,9.064744e-05,8.997564e-05,8.931639e-05,8.866957e-05
0.000000e+00,5.338558e-10,1.542598e-09,7.346982e-09,2.038087e-08,3.237851e-08,8.714839e-08,9.029526e-08,1.974128e-07,2.386742e-07,3.722426e-07,5.184249e-07,6.361263e-07,9.767573e-07,1.011322e-06,1.513612e-06,1.653475e-06,2.143088e-06,2.545503e-06,2.883369e-06,3.606812e-06,3.709648e-06,4.596777e-06,4.779528e-06,5.523163e-06,6.014487e-06,6.471462e-06,7.274804e-06,7.427893e-06,8.381276e-06,8.532890e-06,9.322268e-06,9.767145e-06,1.024285e-05,1.095991e-05,1.113606e-05,1.199591e-05,1.209660e-05,1.281732e-05,1.316547e-05,1.359616e-05,1.415762e-05,1.432926e-05,1.501439e-05,1.506708e-05,1.565024e-05,1.589065e-05,1.623632e-05,1.662759e-05,1.677288e-05,1.726081e-05,1.727934e-05,1.770155e-05,1.784901e-05,1.809695e-05,1.834101e-05,1.844916e-05,1.876060e-05,1.903384e-05,1.911362e-05,1.927142e-05,1.940596e-05,1.947595e-05,1.964357e-05,1.964998e-05,1.979598e-05,1.983217e-05,1.991635e-05,1.997722e-05,2.001335e-05,2.008378e-05,2.008910e-05,2.014557e-05,2.015646e-05,2.018458e-05,2.019944e-05,2.020783e-05,2.021649e-05,2.021687e-05,2.021312e-05,2.021095e-05,2.019788e-05,2.018580e-05,2.017231e-05,2.014364e-05,2.013748e-05,2.009436e-05,2.008675e-05,2.004383e-05,2.001717e-05,1.998666e-05,1.993664e-05,1.992359e-05,1.985525e-05,1.984672e-05,1.978223e-05,1.974875e-05,1.970504e-05,1.964390e-05,1.962418e-05,1.954007e-05,1.953322e-05,1.945310e-05,1.941759e-05,1.936362e-05,1.929782e-05,1.927195e-05,1.917838e-05,1.917460e-05,1.908318e-05,1.904855e-05,1.898657e-05,1.892019e-05,1.888879e-05,1.879001e-05,1.869044e-05,1.865843e-05,1.859022e-05,1.852582e-05,1.848952e-05,1.839250e-05,1.838845e-05,1.828716e-05,1.825877e-05,1.818575e-05,1.812489e-05,1.808432e-05,1.799108e-05,1.798298e-05,1.788180e-05,1.785756e-05,1.778088e-05,1.772449e-05,1.768027e-05,1.759204e-05,1.758004e-05,1.748026e-05,1.746036e-05,1.738098e-05,1.732957e-05,1.728225e-05,1.719978e-05,1.718412e-05,1.708663e-05,1.707110e-05,1.698982e-05,1.694360e-05,1.689371e-05,1.681736e-05,1.679835e-05,1.670376e-05,1.669247e-05,1.660997e-05,1.656896e-05,1.651699e-05,1.644689e-05,1.642486e-05,1.633358e-05,1.632631e-05,1.624317e-05,1.620725e-05,1.615365e-05,1.608975e-05,1.606503e-05,1.597732e-05,1.597383e-05,1.589052e-05,1.585951e-05,1.580466e-05,1.574680e-05,1.571973e-05,1.563574e-05,1.552631e-05,1.541853e-05,1.531240e-05,1.520793e-05,1.510511e-05,1.500393e-05,1.490440e-05,1.480650e-05,1.471022e-05,1.461555e-05,1.452249e-05,1.443101e-05,1.434110e-05,1.425275e-05,1.416594e-05,1.408066e-05,1.399688e-05,1.391459e-05,1.383376e-05,1.375439e-05,1.367644e-05,1.359991e-05,1.352476e-05,1.345098e-05
0.000000e+00,6.651345e-09,1.834900e-08,8.063480e-08,2.113930e-07,3.276323e-07,8.432941e-07,8.726438e-07,1.873259e-06,2.262309e-06,3.541290e-06,4.975180e-06,6.153003e-06,9.654953e-06,1.001660e-05,1.536166e-05,1.687185e-05,2.220126e-05,2.661086e-05,3.032363e-05,3.829202e-05,3.942652e-05,4.923753e-05,5.126554e-05,5.955180e-05,6.506344e-05,7.022189e-05,7.937888e-05,8.113828e-05,9.221412e-05,9.399602e-05,1.033761e-04,1.087452e-04,1.145596e-04,1.234828e-04,1.257068e-04,1.367653e-04,1.380842e-04,1.476890e-04,1.524418e-04,1.584365e-04,1.664648e-04,1.689724e-04,1.792665e-04,1.800788e-04,1.892937e-04,1.932253e-04,1.990340e-04,2.058602e-04,2.084714e-04,2.175942e-04,2.179525e-04,2.263941e-04,2.294819e-04,2.348658e-04,2.404376e-04,2.430065e-04,2.508159e-04,2.582953e-04,2.606194e-04,2.654474e-04,2.698549e-04,2.722764e-04,2.785330e-04,2.787874e-04,2.849861e-04,2.866667e-04,2.908792e-04,2.942711e-04,2.964735e-04,3.013628e-04,3.017764e-04,3.067956e-04,3.079589e-04,3.115389e-04,3.140775e-04,3.160140e-04,3.197368e-04,3.202291e-04,3.241921e-04,3.249552e-04,3.279110e-04,3.297510e-04,3.313937e-04,3.341423e-04,3.346480e-04,3.376817e-04,3.381471e-04,3.405024e-04,3.417829e-04,3.431176e-04,3.450667e-04,3.455347e-04,3.477608e-04,3.480154e-04,3.498030e-04,3.506452e-04,3.516683e-04,3.529718e-04,3.533634e-04,3.548948e-04,3.550104e-04,3.562689e-04,3.567760e-04,3.574921e-04,3.582826e-04,3.585702e-04,3.595093e-04,3.595441e-04,3.603151e-04,3.605737e-04,3.609932e-04,3.613841e-04,3.615489e-04,3.619875e-04,3.623141e-04,3.623957e-04,3.625336e-04,3.626200e-04,3.626507e-04,3.626712e-04,3.626702e-04,3.625964e-04,3.625596e-04,3.624337e-04,3.622951e-04,3.621862e-04,3.618872e-04,3.618581e-04,3.614532e-04,3.613450e-04,3.609752e-04,3.606770e-04,3.604279e-04,3.598916e-04,3.598147e-04,3.591390e-04,3.589967e-04,3.584041e-04,3.579996e-04,3.576132e-04,3.569077e-04,3.567692e-04,3.558751e-04,3.557276e-04,3.549338e-04,3.544659e-04,3.539478e-04,3.531288e-04,3.529200e-04,3.518527e-04,3.517220e-04,3.507483e-04,3.502513e-04,3.496093e-04,3.487218e-04,3.484378e-04,3.472360e-04,3.471386e-04,3.460059e-04,3.455064e-04,3.447495e-04,3.438298e-04,3.434688e-04,3.421655e-04,3.421129e-04,3.408414e-04,3.403600e-04,3.394982e-04,3.385747e-04,3.381375e-04,3.367608e-04,3.349216e-04,3.330603e-04,3.311800e-04,3.292836e-04,3.273738e-04,3.254531e-04,3.235240e-04,3.215886e-04,3.196491e-04,3.177075e-04,3.157656e-04,3.138251e-04,3.118878e-04,3.099551e-04,3.080284e-04,3.061091e-04,3.041984e-04,3.022974e-04,3.004072e-04,2.985288e-04,2.966630e-04,2.948108e-04,2.929728e-04,2.911498e-04
0.000000e+00,6.775524e-10,1.992226e-09,9.820770e-09,2.804256e-08,4.520866e-08,1.257696e-07,1.304645e-07,2.921587e-07,3.549293e-07,5.583623e-07,7.802388e-07,9.579059e-07,1.467558e-06,1.519002e-06,2.265608e-06,2.474289e-06,3.212648e-06,3.832474e-06,4.364244e-06,5.543321e-06,5.715752e-06,7.256770e-06,7.586530e-06,8.973297e-06,9.929883e-06,1.084893e-05,1.253415e-05,1.286547e-05,1.500328e-05,1.535521e-05,1.724161e-05,1.834539e-05,1.955888e-05,2.145477e-05,2.193312e-05,2.434236e-05,2.463279e-05,2.676507e-05,2.782997e-05,2.918059e-05,3.099957e-05,3.156949e-05,3.391391e-05,3.409905e-05,3.619781e-05,3.709120e-05,3.840713e-05,3.994487e-05,4.052992e-05,4.255633e-05,4.263527e-05,4.447858e-05,4.514392e-05,4.629088e-05,4.745834e-05,4.798926e-05,4.957148e-05,5.103682e-05,5.148110e-05,5.238582e-05,5.318884e-05,5.362012e-05,5.469954e-05,5.474232e-05,5.575580e-05,5.602062e-05,5.666453e-05,5.716132e-05,5.747296e-05,5.813223e-05,5.818587e-05,5.880825e-05,5.894472e-05,5.934521e-05,5.961051e-05,5.980187e-05,6.014137e-05,6.018335e-05,6.049465e-05,6.054893e-05,6.074069e-05,6.084441e-05,6.092618e-05,6.103853e-05,6.105566e-05,6.113347e-05,6.114140e-05,6.116372e-05,6.116251e-05,6.115032e-05,6.111063e-05,6.109692e-05,6.100698e-05,6.099389e-05,6.088373e-05,6.081972e-05,6.073016e-05,6.059492e-05,6.054911e-05,6.034317e-05,6.032570e-05,6.011479e-05,6.001766e-05,5.986621e-05,5.967590e-05,5.959951e-05,5.931661e-05,5.930499e-05,5.901931e-05,5.890907e-05,5.870923e-05,5.849185e-05,5.838788e-05,5.805667e-05,5.771686e-05,5.760650e-05,5.736964e-05,5.714403e-05,5.701609e-05,5.667164e-05,5.665719e-05,5.629386e-05,5.619145e-05,5.592694e-05,5.570538e-05,5.555718e-05,5.521510e-05,5.518528e-05,5.481189e-05,5.472211e-05,5.443757e-05,5.422776e-05,5.406288e-05,5.373321e-05,5.368828e-05,5.331422e-05,5.323951e-05,5.294111e-05,5.274759e-05,5.256931e-05,5.225824e-05,5.219914e-05,5.183091e-05,5.177219e-05,5.146488e-05,5.129005e-05,5.110131e-05,5.081236e-05,5.074040e-05,5.038235e-05,5.033959e-05,5.002734e-05,4.987214e-05,4.967553e-05,4.941037e-05,4.932705e-05,4.898202e-05,4.895457e-05,4.864056e-05,4.850499e-05,4.830275e-05,4.806183e-05,4.796867e-05,4.763840e-05,4.762527e-05,4.731199e-05,4.719544e-05,4.698949e-05,4.677244e-05,4.667094e-05,4.635637e-05,4.594728e-05,4.554519e-05,4.515014e-05,4.476212e-05,4.438111e-05,4.400708e-05,4.364001e-05,4.327982e-05,4.292648e-05,4.257991e-05,4.224003e-05,4.190676e-05,4.158003e-05,4.125974e-05,4.094580e-05,4.063811e-05,4.033657e-05,4.004108e-05,3.975153e-05,3.946784e-05,3.918988e-05,3.891755e-05,3.865075e-05,3.838937e-05
0.000000e+00,2.717546e-09,6.249024e-09,2.156429e-08,4.914183e-08,7.177395e-08,1.636604e-07,1.686347e-07,3.290958e-07,3.880550e-07,5.731255e-07,7.692215e-07,9.239184e-07,1.361316e-06,1.405071e-06,2.032394e-06,2.204885e-06,2.803295e-06,3.289937e-06,3.695563e-06,4.556994e-06,4.678823e-06,5.725596e-06,5.940602e-06,6.814685e-06,7.392292e-06,7.930167e-06,8.878385e-06,9.059583e-06,1.019261e-05,1.037362e-05,1.132034e-05,1.185741e-05,1.243488e-05,1.331229e-05,1.352924e-05,1.459732e-05,1.472346e-05,1.563384e-05,1.607876e-05,1.663444e-05,1.736865e-05,1.759556e-05,1.851451e-05,1.858614e-05,1.938931e-05,1.972657e-05,2.021869e-05,2.078734e-05,2.100201e-05,2.173914e-05,2.176766e-05,2.243037e-05,2.266810e-05,2.307639e-05,2.349036e-05,2.367820e-05,2.423701e-05,2.475423e-05,2.491121e-05,2.523140e-05,2.551652e-05,2.567016e-05,2.605679e-05,2.607218e-05,2.643920e-05,2.653593e-05,2.677295e-05,2.695793e-05,2.707513e-05,2.732672e-05,2.734745e-05,2.759154e-05,2.764611e-05,2.780901e-05,2.791973e-05,2.800138e-05,2.815109e-05,2.817014e-05,2.831672e-05,2.834350e-05,2.844248e-05,2.850008e-05,2.854872e-05,2.862378e-05,2.863667e-05,2.870751e-05,2.871733e-05,2.876235e-05,2.878331e-05,2.880226e-05,2.882410e-05,2.882822e-05,2.884120e-05,2.884192e-05,2.884207e-05,2.883885e-05,2.883170e-05,2.881678e-05,2.881087e-05,2.878034e-05,2.877750e-05,2.874081e-05,2.872263e-05,2.869296e-05,2.865370e-05,2.863740e-05,2.857475e-05,2.857210e-05,2.850554e-05,2.847912e-05,2.843030e-05,2.837595e-05,2.834953e-05,2.826368e-05,2.817320e-05,2.814333e-05,2.807848e-05,2.801582e-05,2.797992e-05,2.788201e-05,2.787786e-05,2.777265e-05,2.774267e-05,2.766460e-05,2.759853e-05,2.755401e-05,2.745025e-05,2.744115e-05,2.732628e-05,2.729844e-05,2.720965e-05,2.714365e-05,2.709148e-05,2.698638e-05,2.697198e-05,2.685136e-05,2.682712e-05,2.672979e-05,2.666627e-05,2.660746e-05,2.650423e-05,2.648452e-05,2.636112e-05,2.634135e-05,2.623741e-05,2.617796e-05,2.611351e-05,2.601434e-05,2.598955e-05,2.586563e-05,2.585077e-05,2.574187e-05,2.568749e-05,2.561836e-05,2.552471e-05,2.549519e-05,2.537244e-05,2.536264e-05,2.525020e-05,2.520146e-05,2.512853e-05,2.504132e-05,2.500749e-05,2.488716e-05,2.488237e-05,2.476759e-05,2.472474e-05,2.464882e-05,2.456854e-05,2.453091e-05,2.441389e-05,2.426087e-05,2.410956e-05,2.396003e-05,2.381235e-05,2.366656e-05,2.352272e-05,2.338086e-05,2.324101e-05,2.310320e-05,2.296744e-05,2.283377e-05,2.270218e-05,2.257268e-05,2.244529e-05,2.231998e-05,2.219678e-05,2.207566e-05,2.195661e-05,2.183964e-05,2.172472e-05,2.161184e-05,2.150098e-05,2.139213e-05,2.128526e-05
0.000000e+00,3.921417e-09,1.173491e-08,6.002971e-08,1.774473e-07,2.916909e-07,8.549172e-07,8.887723e-07,2.103270e-06,2.595515e-06,4.253008e-06,6.151299e-06,7.729050e-06,1.249437e-05,1.299295e-05,2.053698e-05,2.273787e-05,3.079837e-05,3.785145e-05,4.408147e-05,5.839728e-05,6.054256e-05,8.021948e-05,8.453790e-05,1.030666e-04,1.161672e-04,1.289797e-04,1.530094e-04,1.578114e-04,1.893801e-04,1.946715e-04,2.234765e-04,2.406731e-04,2.598685e-04,2.904676e-04,2.983064e-04,3.385277e-04,3.434612e-04,3.802616e-04,3.990332e-04,4.232345e-04,4.565549e-04,4.671742e-04,5.118144e-04,5.154081e-04,5.568980e-04,5.750003e-04,6.021805e-04,6.347777e-04,6.474326e-04,6.924411e-04,6.942336e-04,7.370112e-04,7.529145e-04,7.809664e-04,8.104236e-04,8.241491e-04,8.664203e-04,9.076589e-04,9.206197e-04,9.477612e-04,9.727895e-04,9.866401e-04,1.022746e-03,1.024224e-03,1.060454e-03,1.070350e-03,1.095286e-03,1.115501e-03,1.128688e-03,1.158135e-03,1.160637e-03,1.191121e-03,1.198219e-03,1.220136e-03,1.235744e-03,1.247685e-03,1.270724e-03,1.273779e-03,1.298432e-03,1.303192e-03,1.321667e-03,1.333196e-03,1.343507e-03,1.360796e-03,1.363981e-03,1.383122e-03,1.386062e-03,1.400961e-03,1.409073e-03,1.417536e-03,1.429910e-03,1.432883e-03,1.447041e-03,1.448662e-03,1.460049e-03,1.465418e-03,1.471946e-03,1.480271e-03,1.482774e-03,1.492571e-03,1.493311e-03,1.501378e-03,1.504632e-03,1.509234e-03,1.514324e-03,1.516179e-03,1.522250e-03,1.522476e-03,1.527488e-03,1.529176e-03,1.531927e-03,1.534509e-03,1.535605e-03,1.538558e-03,1.540820e-03,1.541404e-03,1.542425e-03,1.543122e-03,1.543405e-03,1.543789e-03,1.543793e-03,1.543619e-03,1.543474e-03,1.542913e-03,1.542246e-03,1.541704e-03,1.540171e-03,1.540019e-03,1.537886e-03,1.537310e-03,1.535330e-03,1.533723e-03,1.532375e-03,1.529465e-03,1.529047e-03,1.525367e-03,1.524591e-03,1.521358e-03,1.519151e-03,1.517042e-03,1.513192e-03,1.512437e-03,1.507564e-03,1.506761e-03,1.502442e-03,1.499900e-03,1.497087e-03,1.492649e-03,1.491518e-03,1.485751e-03,1.485046e-03,1.479800e-03,1.477127e-03,1.473681e-03,1.468926e-03,1.467408e-03,1.460994e-03,1.460475e-03,1.454452e-03,1.451803e-03,1.447795e-03,1.442937e-03,1.441035e-03,1.434181e-03,1.433905e-03,1.427245e-03,1.424730e-03,1.420236e-03,1.415434e-03,1.413165e-03,1.406040e-03,1.396566e-03,1.387032e-03,1.377454e-03,1.367848e-03,1.358229e-03,1.348610e-03,1.339005e-03,1.329423e-03,1.319877e-03,1.310376e-03,1.300928e-03,1.291543e-03,1.282227e-03,1.272988e-03,1.263831e-03,1.254762e-03,1.245786e-03,1.236907e-03,1.228130e-03,1.219458e-03,1.210894e-03,1.202440e-03,1.194100e-03,1.185875e-03
0.000000e+00,2.000529e-09,4.576080e-09,1.571370e-08,3.574905e-08,5.219267e-08,1.189995e-07,1.226180e-07,2.393738e-07,2.822392e-07,4.162514e-07,5.564293e-07,6.649252e-07,9.588128e-07,9.871237e-07,1.374174e-06,1.475498e-06,1.815499e-06,2.083110e-06,2.302614e-06,2.763595e-06,2.828540e-06,3.386810e-06,3.501782e-06,3.971033e-06,4.282975e-06,4.574862e-06,5.092696e-06,5.192112e-06,5.816943e-06,5.917254e-06,6.444013e-06,6.744387e-06,7.068591e-06,7.563704e-06,7.686611e-06,8.294687e-06,8.366851e-06,8.890080e-06,9.147464e-06,9.470652e-06,9.900967e-06,1.003480e-05,1.058137e-05,1.062431e-05,1.110961e-05,1.131567e-05,1.161910e-05,1.197421e-05,1.210965e-05,1.258131e-05,1.259979e-05,1.303427e-05,1.319282e-05,1.346886e-05,1.375409e-05,1.388549e-05,1.428464e-05,1.466684e-05,1.478565e-05,1.503264e-05,1.525842e-05,1.538263e-05,1.570428e-05,1.571738e-05,1.603749e-05,1.612457e-05,1.634352e-05,1.652062e-05,1.663605e-05,1.689373e-05,1.691563e-05,1.718280e-05,1.724514e-05,1.743809e-05,1.757605e-05,1.768200e-05,1.788762e-05,1.791502e-05,1.813762e-05,1.818093e-05,1.835025e-05,1.845702e-05,1.855334e-05,1.871687e-05,1.874730e-05,1.893254e-05,1.896140e-05,1.910943e-05,1.919148e-05,1.927833e-05,1.940794e-05,1.943959e-05,1.959354e-05,1.961154e-05,1.974050e-05,1.980302e-05,1.988076e-05,1.998306e-05,2.001461e-05,2.014233e-05,2.015229e-05,2.026418e-05,2.031133e-05,2.038040e-05,2.046073e-05,2.049124e-05,2.059691e-05,2.060104e-05,2.069765e-05,2.073274e-05,2.079364e-05,2.085632e-05,2.088510e-05,2.097220e-05,2.105513e-05,2.108081e-05,2.113405e-05,2.118254e-05,2.120913e-05,2.127774e-05,2.128053e-05,2.134839e-05,2.136678e-05,2.141285e-05,2.144996e-05,2.147406e-05,2.152760e-05,2.153213e-05,2.158719e-05,2.159998e-05,2.163937e-05,2.166737e-05,2.168877e-05,2.173003e-05,2.173550e-05,2.177967e-05,2.178820e-05,2.182137e-05,2.184211e-05,2.186070e-05,2.189197e-05,2.189774e-05,2.193260e-05,2.193798e-05,2.196534e-05,2.198033e-05,2.199605e-05,2.201921e-05,2.202481e-05,2.205169e-05,2.205479e-05,2.207675e-05,2.208722e-05,2.210007e-05,2.211667e-05,2.212171e-05,2.214174e-05,2.214327e-05,2.216021e-05,2.216717e-05,2.217717e-05,2.218849e-05,2.219270e-05,2.220683e-05,2.220736e-05,2.221962e-05,2.222390e-05,2.223112e-05,2.223822e-05,2.224137e-05,2.225042e-05,2.226061e-05,2.226888e-05,2.227532e-05,2.228003e-05,2.228307e-05,2.228454e-05,2.228451e-05,2.228305e-05,2.228022e-05,2.227611e-05,2.227075e-05,2.226423e-05,2.225659e-05,2.224788e-05,2.223817e-05,2.222750e-05,2.221592e-05,2.220347e-05,2.219020e-05,2.217615e-05,2.216136e-05,2.214587e-05,2.212972e-05,2.211294e-05
0.000000e+00,3.073123e-09,7.302469e-09,2.611265e-08,6.049054e-08,8.885669e-08,2.042944e-07,2.105421e-07,4.115320e-07,4.850511e-07,7.144343e-07,9.546991e-07,1.141704e-06,1.655496e-06,1.705598e-06,2.400358e-06,2.584922e-06,3.211020e-06,3.710332e-06,4.123754e-06,5.002557e-06,5.127479e-06,6.212322e-06,6.438164e-06,7.368419e-06,7.994337e-06,8.585423e-06,9.646834e-06,9.852464e-06,1.115836e-05,1.137016e-05,1.249191e-05,1.313862e-05,1.384221e-05,1.492753e-05,1.519891e-05,1.655246e-05,1.671425e-05,1.789425e-05,1.847893e-05,1.921673e-05,2.020485e-05,2.051338e-05,2.177878e-05,2.187852e-05,2.300848e-05,2.348956e-05,2.419901e-05,2.503041e-05,2.534771e-05,2.645269e-05,2.649596e-05,2.751271e-05,2.788316e-05,2.852709e-05,2.919069e-05,2.949564e-05,3.041852e-05,3.129624e-05,3.156769e-05,3.212956e-05,3.264002e-05,3.291943e-05,3.363788e-05,3.366698e-05,3.437342e-05,3.456404e-05,3.504007e-05,3.542152e-05,3.566828e-05,3.621350e-05,3.625946e-05,3.681502e-05,3.694320e-05,3.733636e-05,3.761388e-05,3.782488e-05,3.822875e-05,3.828198e-05,3.870901e-05,3.879092e-05,3.910728e-05,3.930345e-05,3.947809e-05,3.976926e-05,3.982268e-05,4.014227e-05,4.019116e-05,4.043802e-05,4.057184e-05,4.071105e-05,4.091386e-05,4.096246e-05,4.119326e-05,4.121963e-05,4.140448e-05,4.149145e-05,4.159706e-05,4.173152e-05,4.177192e-05,4.192994e-05,4.194188e-05,4.207196e-05,4.212448e-05,4.219880e-05,4.228114e-05,4.231121e-05,4.240993e-05,4.241361e-05,4.249567e-05,4.252349e-05,4.256909e-05,4.261232e-05,4.263085e-05,4.268153e-05,4.272174e-05,4.273249e-05,4.275203e-05,4.276645e-05,4.277292e-05,4.278461e-05,4.278492e-05,4.278852e-05,4.278809e-05,4.278417e-05,4.277793e-05,4.277232e-05,4.275514e-05,4.275337e-05,4.272773e-05,4.272062e-05,4.269577e-05,4.267525e-05,4.265786e-05,4.261984e-05,4.261433e-05,4.256553e-05,4.255516e-05,4.251175e-05,4.248192e-05,4.245330e-05,4.240079e-05,4.239045e-05,4.232348e-05,4.231240e-05,4.225264e-05,4.221733e-05,4.217818e-05,4.211615e-05,4.210032e-05,4.201929e-05,4.200937e-05,4.193531e-05,4.189747e-05,4.184856e-05,4.178090e-05,4.175924e-05,4.166753e-05,4.166009e-05,4.157360e-05,4.153545e-05,4.147762e-05,4.140733e-05,4.137975e-05,4.128012e-05,4.127610e-05,4.117888e-05,4.114207e-05,4.107617e-05,4.100555e-05,4.097212e-05,4.086684e-05,4.072618e-05,4.058384e-05,4.044005e-05,4.029503e-05,4.014899e-05,4.000210e-05,3.985455e-05,3.970652e-05,3.955814e-05,3.940957e-05,3.926094e-05,3.911237e-05,3.896399e-05,3.881590e-05,3.866820e-05,3.852098e-05,3.837434e-05,3.822835e-05,3.808309e-05,3.793862e-05,3.779502e-05,3.765233e-05,3.751062e-05,3.736992e-05
0.000000e+00,1.125060e-09,3.289662e-09,1.604565e-08,4.544328e-08,7.298641e-08,2.017047e-07,2.092004e-07,4.680865e-07,5.691692e-07,8.995251e-07,1.264736e-06,1.560628e-06,2.423090e-06,2.511021e-06,3.796974e-06,4.158009e-06,5.434177e-06,6.499624e-06,7.407269e-06,9.395048e-06,9.682784e-06,1.222130e-05,1.275709e-05,1.498382e-05,1.649662e-05,1.793380e-05,2.053169e-05,2.103721e-05,2.426187e-05,2.478700e-05,2.757696e-05,2.919152e-05,3.095262e-05,3.367733e-05,3.435999e-05,3.777140e-05,3.817977e-05,4.116063e-05,4.263852e-05,4.450335e-05,4.699897e-05,4.777738e-05,5.096303e-05,5.121354e-05,5.404327e-05,5.524256e-05,5.700380e-05,5.905467e-05,5.983308e-05,6.252223e-05,6.262678e-05,6.506491e-05,6.594358e-05,6.745711e-05,6.899678e-05,6.969689e-05,7.178413e-05,7.372028e-05,7.430836e-05,7.550812e-05,7.657626e-05,7.715152e-05,7.859767e-05,7.865520e-05,8.002453e-05,8.038465e-05,8.126535e-05,8.195072e-05,8.238385e-05,8.331029e-05,8.338637e-05,8.427937e-05,8.447811e-05,8.506926e-05,8.546892e-05,8.576236e-05,8.629715e-05,8.636487e-05,8.688279e-05,8.697673e-05,8.732188e-05,8.752090e-05,8.768767e-05,8.794213e-05,8.798541e-05,8.822006e-05,8.825207e-05,8.839634e-05,8.846153e-05,8.851867e-05,8.858049e-05,8.859121e-05,8.861787e-05,8.861816e-05,8.860230e-05,8.858296e-05,8.854791e-05,8.848257e-05,8.845787e-05,8.833515e-05,8.832400e-05,8.818249e-05,8.811363e-05,8.800247e-05,8.785725e-05,8.779746e-05,8.756967e-05,8.756011e-05,8.732115e-05,8.722698e-05,8.705381e-05,8.686216e-05,8.676940e-05,8.646956e-05,8.615580e-05,8.605270e-05,8.582954e-05,8.561477e-05,8.549206e-05,8.515865e-05,8.514457e-05,8.478819e-05,8.468695e-05,8.442394e-05,8.420201e-05,8.405278e-05,8.370597e-05,8.367559e-05,8.329320e-05,8.320073e-05,8.290635e-05,8.268804e-05,8.251576e-05,8.216944e-05,8.212205e-05,8.172584e-05,8.164634e-05,8.132767e-05,8.112002e-05,8.092805e-05,8.059160e-05,8.052746e-05,8.012633e-05,8.006213e-05,7.972506e-05,7.953251e-05,7.932402e-05,7.900359e-05,7.892356e-05,7.852398e-05,7.847611e-05,7.812558e-05,7.795073e-05,7.772862e-05,7.742805e-05,7.733335e-05,7.693998e-05,7.690860e-05,7.654874e-05,7.639287e-05,7.615979e-05,7.588127e-05,7.577332e-05,7.538948e-05,7.537418e-05,7.500842e-05,7.487194e-05,7.463026e-05,7.437483e-05,7.425512e-05,7.388312e-05,7.339702e-05,7.291674e-05,7.244243e-05,7.197425e-05,7.151230e-05,7.105669e-05,7.060750e-05,7.016479e-05,6.972861e-05,6.929900e-05,6.887597e-05,6.845954e-05,6.804970e-05,6.764644e-05,6.724975e-05,6.685960e-05,6.647595e-05,6.609876e-05,6.572799e-05,6.536359e-05,6.500551e-05,6.465367e-05,6.430802e-05,6.396850e-05
0.000000e+00,1.685537e-09,4.869823e-09,2.320736e-08,6.447626e-08,1.025562e-07,2.772114e-07,2.872794e-07,6.314918e-07,7.646791e-07,1.197306e-06,1.672532e-06,2.056063e-06,3.169629e-06,3.282935e-06,4.937309e-06,5.400865e-06,7.034291e-06,8.388974e-06,9.534279e-06,1.200840e-05,1.236230e-05,1.543515e-05,1.607225e-05,1.867748e-05,2.040914e-05,2.202650e-05,2.488433e-05,2.543092e-05,2.884848e-05,2.939406e-05,3.224372e-05,3.385649e-05,3.558653e-05,3.820569e-05,3.885132e-05,4.201655e-05,4.238881e-05,4.506453e-05,4.636474e-05,4.798118e-05,5.010335e-05,5.075589e-05,5.338122e-05,5.358464e-05,5.585261e-05,5.679752e-05,5.816800e-05,5.973850e-05,6.032755e-05,6.233323e-05,6.241031e-05,6.418841e-05,6.482025e-05,6.589752e-05,6.697897e-05,6.746589e-05,6.889947e-05,7.020464e-05,7.059626e-05,7.138804e-05,7.208460e-05,7.245637e-05,7.337991e-05,7.341631e-05,7.427446e-05,7.449738e-05,7.503724e-05,7.545172e-05,7.571085e-05,7.625693e-05,7.630124e-05,7.681408e-05,7.692623e-05,7.725478e-05,7.747197e-05,7.762844e-05,7.790566e-05,7.793990e-05,7.819369e-05,7.823790e-05,7.839406e-05,7.847848e-05,7.854501e-05,7.863637e-05,7.865029e-05,7.871340e-05,7.871980e-05,7.873760e-05,7.873629e-05,7.872594e-05,7.869271e-05,7.868127e-05,7.860623e-05,7.859531e-05,7.850331e-05,7.844978e-05,7.837479e-05,7.826132e-05,7.822281e-05,7.804937e-05,7.803462e-05,7.785632e-05,7.777399e-05,7.764537e-05,7.748332e-05,7.741814e-05,7.717610e-05,7.716613e-05,7.692065e-05,7.682565e-05,7.665306e-05,7.646478e-05,7.637453e-05,7.608618e-05,7.578902e-05,7.569223e-05,7.548402e-05,7.528511e-05,7.517206e-05,7.486680e-05,7.485397e-05,7.453052e-05,7.443908e-05,7.420241e-05,7.400358e-05,7.387030e-05,7.356176e-05,7.353481e-05,7.319650e-05,7.311494e-05,7.285589e-05,7.266433e-05,7.251347e-05,7.221101e-05,7.216970e-05,7.182498e-05,7.175596e-05,7.147971e-05,7.130006e-05,7.113423e-05,7.084412e-05,7.078889e-05,7.044397e-05,7.038885e-05,7.009977e-05,6.993489e-05,6.975655e-05,6.948282e-05,6.941453e-05,6.907394e-05,6.903318e-05,6.873499e-05,6.858641e-05,6.839785e-05,6.814295e-05,6.806270e-05,6.772969e-05,6.770315e-05,6.739896e-05,6.726734e-05,6.707065e-05,6.683583e-05,6.674487e-05,6.642172e-05,6.640885e-05,6.610131e-05,6.598665e-05,6.578373e-05,6.556942e-05,6.546904e-05,6.515732e-05,6.475050e-05,6.434909e-05,6.395320e-05,6.356291e-05,6.317828e-05,6.279938e-05,6.242625e-05,6.205892e-05,6.169740e-05,6.134170e-05,6.099183e-05,6.064777e-05,6.030950e-05,5.997700e-05,5.965023e-05,5.932917e-05,5.901377e-05,5.870398e-05,5.839976e-05,5.810105e-05,5.780778e-05,5.751992e-05,5.723738e-05,5.696011e-05
0.000000e+00,3.288929e-09,7.539463e-09,2.595825e-08,5.909020e-08,8.622849e-08,1.957592e-07,2.016564e-07,3.900803e-07,4.584503e-07,6.701533e-07,8.896958e-07,1.059385e-06,1.522768e-06,1.567878e-06,2.195197e-06,2.362854e-06,2.935951e-06,3.398202e-06,3.784495e-06,4.616035e-06,4.735347e-06,5.782437e-06,6.002794e-06,6.918592e-06,7.541848e-06,8.135405e-06,9.212914e-06,9.423344e-06,1.077200e-05,1.099270e-05,1.217044e-05,1.285609e-05,1.360748e-05,1.477749e-05,1.507210e-05,1.655365e-05,1.673209e-05,1.804209e-05,1.869678e-05,1.952819e-05,2.065090e-05,2.100362e-05,2.246101e-05,2.257662e-05,2.389396e-05,2.445905e-05,2.529704e-05,2.628620e-05,2.666574e-05,2.799639e-05,2.804878e-05,2.928609e-05,2.973991e-05,3.053264e-05,3.135482e-05,3.173446e-05,3.289049e-05,3.400011e-05,3.434535e-05,3.506313e-05,3.571905e-05,3.607966e-05,3.701214e-05,3.705008e-05,3.797499e-05,3.822592e-05,3.885519e-05,3.936222e-05,3.969159e-05,4.042329e-05,4.048523e-05,4.123724e-05,4.141165e-05,4.194879e-05,4.233004e-05,4.262112e-05,4.318131e-05,4.325547e-05,4.385314e-05,4.396838e-05,4.441537e-05,4.469416e-05,4.494346e-05,4.536157e-05,4.543864e-05,4.590218e-05,4.597349e-05,4.633528e-05,4.653272e-05,4.673916e-05,4.704201e-05,4.711498e-05,4.746389e-05,4.750401e-05,4.778700e-05,4.792128e-05,4.808540e-05,4.829630e-05,4.836013e-05,4.861222e-05,4.863144e-05,4.884265e-05,4.892898e-05,4.905238e-05,4.919109e-05,4.924233e-05,4.941339e-05,4.941985e-05,4.956641e-05,4.961725e-05,4.970224e-05,4.978518e-05,4.982166e-05,4.992545e-05,5.001434e-05,5.003976e-05,5.008905e-05,5.012975e-05,5.015027e-05,5.019696e-05,5.019866e-05,5.023483e-05,5.024286e-05,5.025942e-05,5.026885e-05,5.027299e-05,5.027623e-05,5.027611e-05,5.026932e-05,5.026627e-05,5.025313e-05,5.024015e-05,5.022805e-05,5.019898e-05,5.019453e-05,5.015304e-05,5.014382e-05,5.010402e-05,5.007568e-05,5.004787e-05,4.999550e-05,4.998501e-05,4.991581e-05,4.990417e-05,4.984064e-05,4.980254e-05,4.975985e-05,4.969140e-05,4.967378e-05,4.958275e-05,4.957151e-05,4.948706e-05,4.944356e-05,4.938701e-05,4.930823e-05,4.928288e-05,4.917493e-05,4.916614e-05,4.906343e-05,4.901789e-05,4.894862e-05,4.886404e-05,4.883073e-05,4.870998e-05,4.870510e-05,4.858659e-05,4.854157e-05,4.846077e-05,4.837391e-05,4.833270e-05,4.820257e-05,4.802794e-05,4.785041e-05,4.767034e-05,4.748807e-05,4.730392e-05,4.711817e-05,4.693112e-05,4.674301e-05,4.655409e-05,4.636459e-05,4.617472e-05,4.598467e-05,4.579464e-05,4.560478e-05,4.541527e-05,4.522624e-05,4.503784e-05,4.485019e-05,4.466342e-05,4.447762e-05,4.429291e-05,4.410936e-05,4.392708e-05,4.374613e-05
0.000000e+00,1.846265e-08,4.239521e-08,1.492914e-07,3.561447e-07,5.396932e-07,1.404336e-06,1.456250e-06,3.365525e-06,4.160180e-06,6.844287e-06,9.797023e-06,1.208367e-05,1.803964e-05,1.859049e-05,2.572618e-05,2.748263e-05,3.308898e-05,3.723062e-05,4.047558e-05,4.691204e-05,4.778244e-05,5.494948e-05,5.636226e-05,6.193489e-05,6.548420e-05,6.870520e-05,7.420469e-05,7.523145e-05,8.148935e-05,8.246430e-05,8.745882e-05,9.021701e-05,9.312437e-05,9.743051e-05,9.847513e-05,1.035052e-04,1.040872e-04,1.082129e-04,1.101825e-04,1.126000e-04,1.157228e-04,1.166716e-04,1.204351e-04,1.207231e-04,1.239000e-04,1.252048e-04,1.270772e-04,1.291933e-04,1.299787e-04,1.326169e-04,1.327171e-04,1.350048e-04,1.358057e-04,1.371554e-04,1.384889e-04,1.390817e-04,1.407964e-04,1.423120e-04,1.427569e-04,1.436404e-04,1.443977e-04,1.447932e-04,1.457451e-04,1.457816e-04,1.466162e-04,1.468236e-04,1.473069e-04,1.476564e-04,1.478635e-04,1.482650e-04,1.482951e-04,1.486102e-04,1.486694e-04,1.488170e-04,1.488883e-04,1.489231e-04,1.489391e-04,1.489359e-04,1.488621e-04,1.488375e-04,1.487082e-04,1.485985e-04,1.484802e-04,1.482356e-04,1.481838e-04,1.478244e-04,1.477613e-04,1.474069e-04,1.471872e-04,1.469360e-04,1.465238e-04,1.464162e-04,1.458515e-04,1.457809e-04,1.452459e-04,1.449674e-04,1.446030e-04,1.440915e-04,1.439262e-04,1.432185e-04,1.431607e-04,1.424831e-04,1.421818e-04,1.417227e-04,1.411611e-04,1.409398e-04,1.401369e-04,1.401044e-04,1.393163e-04,1.390169e-04,1.384799e-04,1.379033e-04,1.376299e-04,1.367681e-04,1.358960e-04,1.356151e-04,1.350154e-04,1.344480e-04,1.341276e-04,1.332700e-04,1.332342e-04,1.323362e-04,1.320842e-04,1.314350e-04,1.308931e-04,1.305316e-04,1.296994e-04,1.296270e-04,1.287221e-04,1.285050e-04,1.278179e-04,1.273122e-04,1.269152e-04,1.261225e-04,1.260146e-04,1.251168e-04,1.249377e-04,1.242225e-04,1.237591e-04,1.233323e-04,1.225881e-04,1.224467e-04,1.215662e-04,1.214258e-04,1.206912e-04,1.202732e-04,1.198221e-04,1.191313e-04,1.189593e-04,1.181031e-04,1.180008e-04,1.172539e-04,1.168825e-04,1.164118e-04,1.157768e-04,1.155772e-04,1.147503e-04,1.146845e-04,1.139312e-04,1.136059e-04,1.131202e-04,1.125414e-04,1.123174e-04,1.115229e-04,1.114913e-04,1.107368e-04,1.104559e-04,1.099593e-04,1.094355e-04,1.091904e-04,1.084302e-04,1.074401e-04,1.064653e-04,1.055058e-04,1.045618e-04,1.036331e-04,1.027199e-04,1.018219e-04,1.009391e-04,1.000715e-04,9.921890e-05,9.838121e-05,9.755829e-05,9.674999e-05,9.595615e-05,9.517659e-05,9.441115e-05,9.365963e-05,9.292186e-05,9.219764e-05,9.148676e-05,9.078903e-05,9.010425e-05,8.943221e-05,8.877269e-05
0.000000e+00,4.406626e-09,1.007863e-08,3.463620e-08,7.886772e-08,1.151870e-07,2.627014e-07,2.706867e-07,5.280950e-07,6.225440e-07,9.182840e-07,1.229794e-06,1.473560e-06,2.149705e-06,2.216147e-06,3.145763e-06,3.394926e-06,4.245211e-06,4.927562e-06,5.494642e-06,6.704900e-06,6.877390e-06,8.379435e-06,8.693011e-06,9.987756e-06,1.086175e-05,1.168926e-05,1.318059e-05,1.347033e-05,1.531683e-05,1.561738e-05,1.721429e-05,1.813892e-05,1.914824e-05,2.071213e-05,2.110452e-05,2.306966e-05,2.330546e-05,2.503105e-05,2.588987e-05,2.697719e-05,2.843969e-05,2.889780e-05,3.078388e-05,3.093303e-05,3.262770e-05,3.335191e-05,3.442281e-05,3.568211e-05,3.616391e-05,3.784683e-05,3.791289e-05,3.946836e-05,4.003662e-05,4.102620e-05,4.204832e-05,4.251879e-05,4.394526e-05,4.530532e-05,4.572654e-05,4.659916e-05,4.739271e-05,4.782735e-05,4.894550e-05,4.899081e-05,5.009074e-05,5.038752e-05,5.112853e-05,5.172203e-05,5.210575e-05,5.295276e-05,5.302411e-05,5.388537e-05,5.408378e-05,5.469140e-05,5.511935e-05,5.544408e-05,5.606383e-05,5.614533e-05,5.679707e-05,5.692165e-05,5.740122e-05,5.769719e-05,5.795966e-05,5.839481e-05,5.847427e-05,5.894689e-05,5.901874e-05,5.937932e-05,5.957313e-05,5.977331e-05,6.006198e-05,6.013058e-05,6.045280e-05,6.048919e-05,6.074158e-05,6.085846e-05,6.099849e-05,6.117337e-05,6.122506e-05,6.142275e-05,6.143736e-05,6.159297e-05,6.165367e-05,6.173709e-05,6.182545e-05,6.185644e-05,6.195229e-05,6.195565e-05,6.202585e-05,6.204710e-05,6.207829e-05,6.210248e-05,6.211076e-05,6.212433e-05,6.212004e-05,6.211506e-05,6.209890e-05,6.207697e-05,6.206186e-05,6.201219e-05,6.200984e-05,6.194371e-05,6.192278e-05,6.186432e-05,6.181066e-05,6.177248e-05,6.167765e-05,6.166895e-05,6.155447e-05,6.152545e-05,6.142975e-05,6.135568e-05,6.129545e-05,6.116986e-05,6.115222e-05,6.100067e-05,6.096941e-05,6.084138e-05,6.075568e-05,6.067492e-05,6.052993e-05,6.050181e-05,6.032256e-05,6.029334e-05,6.013765e-05,6.004701e-05,5.994753e-05,5.979200e-05,5.975266e-05,5.955344e-05,5.952926e-05,5.935026e-05,5.925970e-05,5.914350e-05,5.898419e-05,5.893352e-05,5.872066e-05,5.870352e-05,5.850523e-05,5.841841e-05,5.828755e-05,5.812958e-05,5.806789e-05,5.784653e-05,5.783765e-05,5.762374e-05,5.754323e-05,5.739975e-05,5.724687e-05,5.717480e-05,5.694910e-05,5.665039e-05,5.635119e-05,5.605190e-05,5.575291e-05,5.545457e-05,5.515720e-05,5.486109e-05,5.456652e-05,5.427374e-05,5.398298e-05,5.369444e-05,5.340832e-05,5.312478e-05,5.284398e-05,5.256605e-05,5.229113e-05,5.201932e-05,5.175072e-05,5.148542e-05,5.122350e-05,5.096501e-05,5.071002e-05,5.045857e-05,5.021070e-05
0.000000e+00,4.256727e-09,9.721015e-09,3.333691e-08,7.584886e-08,1.107840e-07,2.531342e-07,2.608627e-07,5.111701e-07,6.035446e-07,8.944686e-07,1.203728e-06,1.448018e-06,2.138222e-06,2.207118e-06,3.189345e-06,3.457177e-06,4.377706e-06,5.116409e-06,5.725818e-06,7.003463e-06,7.182550e-06,8.707591e-06,9.018113e-06,1.027230e-05,1.109449e-05,1.185582e-05,1.318857e-05,1.344194e-05,1.501732e-05,1.526761e-05,1.657068e-05,1.730560e-05,1.809245e-05,1.928170e-05,1.957464e-05,2.101075e-05,2.117973e-05,2.239566e-05,2.298776e-05,2.372551e-05,2.469765e-05,2.499757e-05,2.621012e-05,2.630452e-05,2.736226e-05,2.780615e-05,2.845383e-05,2.920244e-05,2.948520e-05,3.045724e-05,3.049491e-05,3.137117e-05,3.168623e-05,3.222846e-05,3.277994e-05,3.303083e-05,3.378010e-05,3.447821e-05,3.469112e-05,3.512715e-05,3.551759e-05,3.572893e-05,3.626416e-05,3.628558e-05,3.679911e-05,3.693545e-05,3.727151e-05,3.753600e-05,3.770470e-05,3.807024e-05,3.810058e-05,3.846099e-05,3.854241e-05,3.878771e-05,3.895660e-05,3.908247e-05,3.931673e-05,3.934692e-05,3.958267e-05,3.962651e-05,3.979125e-05,3.988946e-05,3.997413e-05,4.010891e-05,4.013270e-05,4.026833e-05,4.028799e-05,4.038230e-05,4.042967e-05,4.047583e-05,4.053675e-05,4.055012e-05,4.060627e-05,4.061184e-05,4.064536e-05,4.065742e-05,4.066841e-05,4.067580e-05,4.067639e-05,4.067021e-05,4.066913e-05,4.065077e-05,4.063946e-05,4.061889e-05,4.058869e-05,4.057538e-05,4.052098e-05,4.051859e-05,4.045642e-05,4.043082e-05,4.038237e-05,4.032693e-05,4.029948e-05,4.020837e-05,4.010962e-05,4.007650e-05,4.000377e-05,3.993255e-05,3.989136e-05,3.977772e-05,3.977287e-05,3.964877e-05,3.961308e-05,3.951951e-05,3.943966e-05,3.938551e-05,3.925839e-05,3.924717e-05,3.910486e-05,3.907015e-05,3.895893e-05,3.887576e-05,3.880973e-05,3.867597e-05,3.865756e-05,3.850273e-05,3.847147e-05,3.834552e-05,3.826292e-05,3.818620e-05,3.805093e-05,3.802502e-05,3.786221e-05,3.783603e-05,3.769801e-05,3.761875e-05,3.753261e-05,3.739956e-05,3.736621e-05,3.719901e-05,3.717890e-05,3.703118e-05,3.695717e-05,3.686287e-05,3.673475e-05,3.669426e-05,3.652547e-05,3.651196e-05,3.635665e-05,3.628914e-05,3.618792e-05,3.606656e-05,3.601941e-05,3.585121e-05,3.584449e-05,3.568345e-05,3.562318e-05,3.551621e-05,3.540283e-05,3.534958e-05,3.518365e-05,3.496583e-05,3.474953e-05,3.453490e-05,3.432207e-05,3.411117e-05,3.390231e-05,3.369558e-05,3.349108e-05,3.328887e-05,3.308902e-05,3.289160e-05,3.269665e-05,3.250421e-05,3.231433e-05,3.212704e-05,3.194235e-05,3.176029e-05,3.158087e-05,3.140409e-05,3.122997e-05,3.105851e-05,3.088970e-05,3.072353e-05,3.056001e-05
0.000000e+00,3.666108e-09,8.365186e-09,2.860801e-08,6.483113e-08,9.441770e-08,2.135501e-07,2.199594e-07,4.248520e-07,4.993252e-07,7.306848e-07,9.723408e-07,1.160751e-06,1.684092e-06,1.735743e-06,2.464164e-06,2.661015e-06,3.335524e-06,3.877368e-06,4.326425e-06,5.277316e-06,5.411802e-06,6.570258e-06,6.809116e-06,7.784178e-06,8.432268e-06,9.038512e-06,1.011351e-05,1.031981e-05,1.161574e-05,1.182367e-05,1.291495e-05,1.353666e-05,1.420709e-05,1.522944e-05,1.548289e-05,1.673423e-05,1.688241e-05,1.795421e-05,1.847955e-05,1.913711e-05,2.000848e-05,2.027839e-05,2.137458e-05,2.146024e-05,2.242317e-05,2.282888e-05,2.342252e-05,2.411105e-05,2.437176e-05,2.527067e-05,2.530559e-05,2.611961e-05,2.641311e-05,2.691924e-05,2.743530e-05,2.767054e-05,2.837487e-05,2.903370e-05,2.923518e-05,2.964868e-05,3.002004e-05,3.022153e-05,3.073349e-05,3.075404e-05,3.124802e-05,3.137967e-05,3.170526e-05,3.196270e-05,3.212753e-05,3.248665e-05,3.251660e-05,3.287416e-05,3.295548e-05,3.320189e-05,3.337297e-05,3.350136e-05,3.374275e-05,3.377412e-05,3.402164e-05,3.406825e-05,3.424534e-05,3.435270e-05,3.444656e-05,3.459916e-05,3.462659e-05,3.478665e-05,3.481048e-05,3.492790e-05,3.498935e-05,3.505145e-05,3.513824e-05,3.515834e-05,3.524957e-05,3.525951e-05,3.532608e-05,3.535531e-05,3.538876e-05,3.542767e-05,3.543846e-05,3.547597e-05,3.547847e-05,3.550206e-05,3.550945e-05,3.551743e-05,3.552224e-05,3.552276e-05,3.551870e-05,3.551835e-05,3.550584e-05,3.549917e-05,3.548475e-05,3.546599e-05,3.545598e-05,3.542003e-05,3.537738e-05,3.536239e-05,3.532849e-05,3.529412e-05,3.527378e-05,3.521616e-05,3.521365e-05,3.514850e-05,3.512941e-05,3.507868e-05,3.503468e-05,3.500452e-05,3.493275e-05,3.492636e-05,3.484448e-05,3.482431e-05,3.475919e-05,3.471003e-05,3.467074e-05,3.459049e-05,3.457939e-05,3.448538e-05,3.446628e-05,3.438893e-05,3.433789e-05,3.429027e-05,3.420582e-05,3.418958e-05,3.408706e-05,3.407050e-05,3.398289e-05,3.393235e-05,3.387723e-05,3.379174e-05,3.377024e-05,3.366208e-05,3.364903e-05,3.355288e-05,3.350454e-05,3.344278e-05,3.335857e-05,3.333189e-05,3.322034e-05,3.321140e-05,3.310824e-05,3.306327e-05,3.299570e-05,3.291444e-05,3.288280e-05,3.276964e-05,3.276511e-05,3.265631e-05,3.261548e-05,3.254288e-05,3.246574e-05,3.242945e-05,3.231606e-05,3.216660e-05,3.201749e-05,3.186887e-05,3.172086e-05,3.157357e-05,3.142710e-05,3.128154e-05,3.113698e-05,3.099349e-05,3.085115e-05,3.071001e-05,3.057012e-05,3.043156e-05,3.029435e-05,3.015853e-05,3.002415e-05,2.989124e-05,2.975983e-05,2.962993e-05,2.950157e-05,2.937477e-05,2.924953e-05,2.912589e-05,2.900384e-05
0.000000e+00,1.597822e-09,3.731825e-09,1.302015e-08,2.962486e-08,4.310702e-08,9.661062e-08,9.945533e-08,1.887976e-07,2.205803e-07,3.173451e-07,4.157594e-07,4.909970e-07,6.952841e-07,7.151895e-07,9.939705e-07,1.069190e-06,1.328216e-06,1.538455e-06,1.714344e-06,2.091478e-06,2.145285e-06,2.612834e-06,2.710039e-06,3.109230e-06,3.376431e-06,3.627561e-06,4.075356e-06,4.161623e-06,4.705709e-06,4.793332e-06,5.254487e-06,5.518088e-06,5.802963e-06,6.238396e-06,6.346498e-06,6.880857e-06,6.944179e-06,7.402265e-06,7.626720e-06,7.907449e-06,8.278826e-06,8.393659e-06,8.858690e-06,8.894924e-06,9.300857e-06,9.471035e-06,9.718952e-06,1.000465e-05,1.011225e-05,1.048043e-05,1.049463e-05,1.082350e-05,1.094091e-05,1.114177e-05,1.134432e-05,1.143582e-05,1.170640e-05,1.195443e-05,1.202921e-05,1.218094e-05,1.231510e-05,1.238700e-05,1.256666e-05,1.257378e-05,1.274241e-05,1.278653e-05,1.289406e-05,1.297737e-05,1.302987e-05,1.314176e-05,1.315093e-05,1.325830e-05,1.328215e-05,1.335300e-05,1.340086e-05,1.343599e-05,1.350004e-05,1.350815e-05,1.357035e-05,1.358166e-05,1.362335e-05,1.364753e-05,1.366791e-05,1.369930e-05,1.370469e-05,1.373432e-05,1.373844e-05,1.375739e-05,1.376629e-05,1.377442e-05,1.378404e-05,1.378592e-05,1.379234e-05,1.379279e-05,1.379409e-05,1.379347e-05,1.379155e-05,1.378697e-05,1.378507e-05,1.377499e-05,1.377404e-05,1.376159e-05,1.375537e-05,1.374515e-05,1.373158e-05,1.372592e-05,1.370413e-05,1.370321e-05,1.368000e-05,1.367077e-05,1.365371e-05,1.363469e-05,1.362545e-05,1.359538e-05,1.356366e-05,1.355318e-05,1.353043e-05,1.350843e-05,1.349582e-05,1.346141e-05,1.345995e-05,1.342294e-05,1.341238e-05,1.338488e-05,1.336159e-05,1.334588e-05,1.330924e-05,1.330603e-05,1.326540e-05,1.325554e-05,1.322408e-05,1.320066e-05,1.318213e-05,1.314476e-05,1.313964e-05,1.309665e-05,1.308800e-05,1.305322e-05,1.303049e-05,1.300942e-05,1.297237e-05,1.296529e-05,1.292088e-05,1.291375e-05,1.287624e-05,1.285474e-05,1.283140e-05,1.279541e-05,1.278640e-05,1.274129e-05,1.273587e-05,1.269609e-05,1.267619e-05,1.265084e-05,1.261644e-05,1.260557e-05,1.256031e-05,1.255669e-05,1.251507e-05,1.249699e-05,1.246989e-05,1.243741e-05,1.242480e-05,1.237980e-05,1.237800e-05,1.233492e-05,1.231880e-05,1.229018e-05,1.225985e-05,1.224560e-05,1.220119e-05,1.214287e-05,1.208490e-05,1.202733e-05,1.197018e-05,1.191346e-05,1.185722e-05,1.180146e-05,1.174620e-05,1.169147e-05,1.163727e-05,1.158361e-05,1.153052e-05,1.147800e-05,1.142605e-05,1.137469e-05,1.132393e-05,1.127376e-05,1.122420e-05,1.117524e-05,1.112690e-05,1.107917e-05,1.103205e-05,1.098554e-05,1.093966e-05
0.000000e+00,4.263025e-09,9.770255e-09,3.371146e-08,7.717628e-08,1.131821e-07,2.621716e-07,2.703558e-07,5.399459e-07,6.413665e-07,9.658924e-07,1.316484e-06,1.595139e-06,2.377936e-06,2.455159e-06,3.531279e-06,3.816925e-06,4.778895e-06,5.535147e-06,6.152743e-06,7.438849e-06,7.618758e-06,9.152347e-06,9.465440e-06,1.073454e-05,1.157113e-05,1.234946e-05,1.372098e-05,1.398308e-05,1.562285e-05,1.588501e-05,1.725751e-05,1.803736e-05,1.887714e-05,2.015625e-05,2.047321e-05,2.203852e-05,2.222400e-05,2.356719e-05,2.422695e-05,2.505453e-05,2.615500e-05,2.649692e-05,2.789174e-05,2.800121e-05,2.923714e-05,2.976120e-05,3.053200e-05,3.143266e-05,3.177574e-05,3.296827e-05,3.301491e-05,3.410987e-05,3.450848e-05,3.520113e-05,3.591483e-05,3.624285e-05,3.723604e-05,3.818184e-05,3.847468e-05,3.908146e-05,3.963359e-05,3.993622e-05,4.071584e-05,4.074747e-05,4.151659e-05,4.172458e-05,4.224497e-05,4.266303e-05,4.293402e-05,4.353440e-05,4.358512e-05,4.419966e-05,4.434185e-05,4.477898e-05,4.508853e-05,4.532444e-05,4.577746e-05,4.583733e-05,4.631893e-05,4.641161e-05,4.677049e-05,4.699383e-05,4.719322e-05,4.752690e-05,4.758831e-05,4.795688e-05,4.801347e-05,4.830006e-05,4.845608e-05,4.861892e-05,4.885719e-05,4.891449e-05,4.918778e-05,4.921912e-05,4.943975e-05,4.954411e-05,4.967135e-05,4.983430e-05,4.988348e-05,5.007701e-05,5.009171e-05,5.025277e-05,5.031828e-05,5.041157e-05,5.051584e-05,5.055419e-05,5.068137e-05,5.068615e-05,5.079385e-05,5.083087e-05,5.089230e-05,5.095158e-05,5.097739e-05,5.104977e-05,5.111004e-05,5.112687e-05,5.115879e-05,5.118421e-05,5.119659e-05,5.122308e-05,5.122398e-05,5.124148e-05,5.124468e-05,5.124960e-05,5.125016e-05,5.124880e-05,5.124059e-05,5.123955e-05,5.122228e-05,5.121700e-05,5.119743e-05,5.118035e-05,5.116539e-05,5.113156e-05,5.112655e-05,5.108129e-05,5.107149e-05,5.102995e-05,5.100096e-05,5.097287e-05,5.092073e-05,5.091039e-05,5.084280e-05,5.083154e-05,5.077042e-05,5.073406e-05,5.069353e-05,5.062894e-05,5.061239e-05,5.052727e-05,5.051680e-05,5.043841e-05,5.039820e-05,5.034607e-05,5.027369e-05,5.025045e-05,5.015179e-05,5.014377e-05,5.005029e-05,5.000893e-05,4.994614e-05,4.986962e-05,4.983954e-05,4.973066e-05,4.972627e-05,4.961969e-05,4.957926e-05,4.950679e-05,4.942899e-05,4.939210e-05,4.927579e-05,4.912002e-05,4.896197e-05,4.880193e-05,4.864019e-05,4.847701e-05,4.831261e-05,4.814723e-05,4.798108e-05,4.781436e-05,4.764726e-05,4.747994e-05,4.731257e-05,4.714529e-05,4.697826e-05,4.681160e-05,4.664543e-05,4.647987e-05,4.631502e-05,4.615098e-05,4.598783e-05,4.582567e-05,4.566456e-05,4.550459e-05,4.534581e-05
0.000000e+00,5.119193e-09,1.281259e-08,4.892751e-08,1.180425e-07,1.768726e-07,4.283141e-07,4.424016e-07,9.178509e-07,1.101417e-06,1.701344e-06,2.363877e-06,2.895676e-06,4.389900e-06,4.536519e-06,6.560720e-06,7.093198e-06,8.878967e-06,1.028072e-05,1.142753e-05,1.382902e-05,1.416684e-05,1.706948e-05,1.766755e-05,2.011242e-05,2.174285e-05,2.327351e-05,2.600364e-05,2.653018e-05,2.985940e-05,3.039725e-05,3.323800e-05,3.487057e-05,3.664331e-05,3.937221e-05,4.005371e-05,4.344911e-05,4.385467e-05,4.681129e-05,4.827589e-05,5.012412e-05,5.260021e-05,5.337366e-05,5.654812e-05,5.679853e-05,5.963782e-05,6.084817e-05,6.263500e-05,6.473223e-05,6.553363e-05,6.832922e-05,6.843886e-05,7.101871e-05,7.196055e-05,7.360016e-05,7.529333e-05,7.607266e-05,7.843612e-05,8.069116e-05,8.139006e-05,8.283897e-05,8.415802e-05,8.488117e-05,8.674420e-05,8.681978e-05,8.865709e-05,8.915371e-05,9.039559e-05,9.139238e-05,9.203797e-05,9.346647e-05,9.358703e-05,9.504563e-05,9.538256e-05,9.641668e-05,9.714733e-05,9.770312e-05,9.876752e-05,9.890788e-05,1.000339e-04,1.002499e-04,1.010840e-04,1.016010e-04,1.020611e-04,1.028275e-04,1.029680e-04,1.038074e-04,1.039356e-04,1.045820e-04,1.049315e-04,1.052944e-04,1.058213e-04,1.059473e-04,1.065430e-04,1.066108e-04,1.070840e-04,1.073054e-04,1.075727e-04,1.079105e-04,1.080113e-04,1.084021e-04,1.084313e-04,1.087471e-04,1.088728e-04,1.090484e-04,1.092395e-04,1.093081e-04,1.095280e-04,1.095360e-04,1.097101e-04,1.097667e-04,1.098561e-04,1.099356e-04,1.099677e-04,1.100466e-04,1.100944e-04,1.101034e-04,1.101127e-04,1.101096e-04,1.101029e-04,1.100685e-04,1.100666e-04,1.100049e-04,1.099834e-04,1.099194e-04,1.098571e-04,1.098112e-04,1.096927e-04,1.096816e-04,1.095317e-04,1.094929e-04,1.093627e-04,1.092601e-04,1.091757e-04,1.089969e-04,1.089716e-04,1.087515e-04,1.087056e-04,1.085163e-04,1.083883e-04,1.082669e-04,1.080472e-04,1.080043e-04,1.077292e-04,1.076841e-04,1.074424e-04,1.073008e-04,1.071447e-04,1.068993e-04,1.068369e-04,1.065196e-04,1.064810e-04,1.061936e-04,1.060475e-04,1.058593e-04,1.056003e-04,1.055176e-04,1.051689e-04,1.051407e-04,1.048137e-04,1.046700e-04,1.044527e-04,1.041895e-04,1.040864e-04,1.037152e-04,1.037002e-04,1.033395e-04,1.032033e-04,1.029599e-04,1.026997e-04,1.025767e-04,1.021904e-04,1.016762e-04,1.011581e-04,1.006366e-04,1.001127e-04,9.958692e-05,9.905991e-05,9.853227e-05,9.800455e-05,9.747725e-05,9.695085e-05,9.642578e-05,9.590246e-05,9.538126e-05,9.486253e-05,9.434659e-05,9.383374e-05,9.332425e-05,9.281837e-05,9.231634e-05,9.181835e-05,9.132461e-05,9.083528e-05,9.035052e-05,8.987048e-05
0.000000e+00,1.381036e-09,3.872094e-09,1.748053e-08,4.664597e-08,7.282339e-08,1.896494e-07,1.963043e-07,4.224156e-07,5.097698e-07,7.942276e-07,1.107329e-06,1.359127e-06,2.076174e-06,2.147578e-06,3.155081e-06,3.426678e-06,4.355327e-06,5.101179e-06,5.720856e-06,7.041988e-06,7.230095e-06,8.866059e-06,9.207128e-06,1.061376e-05,1.156186e-05,1.245850e-05,1.407202e-05,1.438514e-05,1.637806e-05,1.670201e-05,1.842136e-05,1.941541e-05,2.049932e-05,2.217640e-05,2.259674e-05,2.469935e-05,2.495137e-05,2.679404e-05,2.771013e-05,2.886909e-05,3.042661e-05,3.091422e-05,3.292060e-05,3.307921e-05,3.488087e-05,3.565067e-05,3.678900e-05,3.812783e-05,3.864019e-05,4.043078e-05,4.050110e-05,4.215807e-05,4.276402e-05,4.382024e-05,4.491273e-05,4.541619e-05,4.694543e-05,4.840801e-05,4.886202e-05,4.980439e-05,5.066369e-05,5.113538e-05,5.235262e-05,5.240207e-05,5.360578e-05,5.393173e-05,5.474798e-05,5.540445e-05,5.583030e-05,5.677461e-05,5.685444e-05,5.782218e-05,5.804624e-05,5.873533e-05,5.922355e-05,5.959576e-05,6.031079e-05,6.040531e-05,6.116583e-05,6.131221e-05,6.187917e-05,6.223206e-05,6.254714e-05,6.307448e-05,6.317152e-05,6.375408e-05,6.384352e-05,6.429653e-05,6.454315e-05,6.480054e-05,6.517718e-05,6.526775e-05,6.569975e-05,6.574929e-05,6.609807e-05,6.626305e-05,6.646422e-05,6.672186e-05,6.679964e-05,6.710573e-05,6.712899e-05,6.738386e-05,6.748757e-05,6.763532e-05,6.780058e-05,6.786139e-05,6.806328e-05,6.807087e-05,6.824217e-05,6.830115e-05,6.839918e-05,6.849401e-05,6.853541e-05,6.865191e-05,6.874967e-05,6.877716e-05,6.882968e-05,6.887200e-05,6.889286e-05,6.893851e-05,6.894010e-05,6.897226e-05,6.897868e-05,6.899017e-05,6.899440e-05,6.899460e-05,6.898744e-05,6.898633e-05,6.896606e-05,6.895949e-05,6.893450e-05,6.891214e-05,6.889231e-05,6.884689e-05,6.884012e-05,6.877854e-05,6.876515e-05,6.870816e-05,6.866827e-05,6.862953e-05,6.855749e-05,6.854318e-05,6.844961e-05,6.843401e-05,6.834932e-05,6.829893e-05,6.824276e-05,6.815331e-05,6.813038e-05,6.801260e-05,6.799812e-05,6.788981e-05,6.783430e-05,6.776241e-05,6.766271e-05,6.763075e-05,6.749518e-05,6.748417e-05,6.735603e-05,6.729944e-05,6.721362e-05,6.710923e-05,6.706824e-05,6.692018e-05,6.691421e-05,6.676972e-05,6.671501e-05,6.661709e-05,6.651220e-05,6.646256e-05,6.630635e-05,6.609794e-05,6.588746e-05,6.567535e-05,6.546202e-05,6.524784e-05,6.503317e-05,6.481834e-05,6.460365e-05,6.438938e-05,6.417579e-05,6.396311e-05,6.375157e-05,6.354136e-05,6.333267e-05,6.312566e-05,6.292049e-05,6.271730e-05,6.251620e-05,6.231732e-05,6.212075e-05,6.192658e-05,6.173491e-05,6.154578e-05,6.135928e-05
0.000000e+00,1.316986e-09,3.014404e-09,1.034688e-08,2.348627e-08,3.421712e-08,7.733285e-08,7.964715e-08,1.533110e-07,1.799347e-07,2.621859e-07,3.475050e-07,4.137539e-07,5.976054e-07,6.158047e-07,8.753656e-07,9.467588e-07,1.196334e-06,1.402456e-06,1.576795e-06,1.954666e-06,2.008898e-06,2.481991e-06,2.580601e-06,2.985849e-06,3.257111e-06,3.511934e-06,3.965904e-06,4.053300e-06,4.604167e-06,4.692846e-06,5.159567e-06,5.426468e-06,5.715136e-06,6.157102e-06,6.267013e-06,6.811801e-06,6.876554e-06,7.346551e-06,7.577998e-06,7.868752e-06,8.255933e-06,8.376318e-06,8.867566e-06,8.906119e-06,9.341189e-06,9.525477e-06,9.796225e-06,1.011196e-05,1.023202e-05,1.064817e-05,1.066440e-05,1.104453e-05,1.118237e-05,1.142112e-05,1.166601e-05,1.177814e-05,1.211592e-05,1.243487e-05,1.253305e-05,1.273551e-05,1.291857e-05,1.301840e-05,1.327384e-05,1.328415e-05,1.353339e-05,1.360031e-05,1.376678e-05,1.389949e-05,1.398499e-05,1.417290e-05,1.418867e-05,1.437849e-05,1.442205e-05,1.455508e-05,1.464844e-05,1.471909e-05,1.485349e-05,1.487112e-05,1.501177e-05,1.503859e-05,1.514162e-05,1.520506e-05,1.526123e-05,1.535417e-05,1.537112e-05,1.547181e-05,1.548710e-05,1.556379e-05,1.560499e-05,1.564753e-05,1.570889e-05,1.572347e-05,1.579205e-05,1.579980e-05,1.585366e-05,1.587867e-05,1.590870e-05,1.594637e-05,1.595754e-05,1.600052e-05,1.600372e-05,1.603799e-05,1.605150e-05,1.607025e-05,1.609043e-05,1.609761e-05,1.612036e-05,1.612118e-05,1.613876e-05,1.614437e-05,1.615308e-05,1.616061e-05,1.616355e-05,1.617042e-05,1.617389e-05,1.617432e-05,1.617418e-05,1.617279e-05,1.617149e-05,1.616627e-05,1.616600e-05,1.615789e-05,1.615517e-05,1.614733e-05,1.613988e-05,1.613447e-05,1.612074e-05,1.611947e-05,1.610247e-05,1.609811e-05,1.608360e-05,1.607227e-05,1.606300e-05,1.604353e-05,1.604079e-05,1.601707e-05,1.601215e-05,1.599196e-05,1.597838e-05,1.596556e-05,1.594245e-05,1.593796e-05,1.590927e-05,1.590458e-05,1.587956e-05,1.586496e-05,1.584892e-05,1.582379e-05,1.581742e-05,1.578514e-05,1.578122e-05,1.575216e-05,1.573743e-05,1.571852e-05,1.569256e-05,1.568430e-05,1.564956e-05,1.564676e-05,1.561434e-05,1.560014e-05,1.557871e-05,1.555282e-05,1.554271e-05,1.550638e-05,1.550492e-05,1.546978e-05,1.545654e-05,1.543294e-05,1.540777e-05,1.539590e-05,1.535870e-05,1.530940e-05,1.525996e-05,1.521045e-05,1.516091e-05,1.511142e-05,1.506203e-05,1.501278e-05,1.496373e-05,1.491491e-05,1.486636e-05,1.481811e-05,1.477021e-05,1.472267e-05,1.467553e-05,1.462880e-05,1.458251e-05,1.453668e-05,1.449133e-05,1.444647e-05,1.440211e-05,1.435828e-05,1.431497e-05,1.427220e-05,1.422998e-05
0.000000e+00,1.107597e-08,2.740686e-08,1.041492e-07,2.543592e-07,3.860610e-07,9.851773e-07,1.020298e-06,2.278176e-06,2.791039e-06,4.507633e-06,6.390338e-06,7.855470e-06,1.174620e-05,1.211354e-05,1.702236e-05,1.827872e-05,2.243264e-05,2.565227e-05,2.827054e-05,3.372763e-05,3.449361e-05,4.106841e-05,4.242268e-05,4.796141e-05,5.165941e-05,5.513571e-05,6.135001e-05,6.255085e-05,7.016333e-05,7.139661e-05,7.792769e-05,8.169519e-05,8.579872e-05,9.214300e-05,9.373284e-05,1.016887e-04,1.026430e-04,1.096282e-04,1.131075e-04,1.175171e-04,1.234598e-04,1.253248e-04,1.330250e-04,1.336356e-04,1.405950e-04,1.435822e-04,1.480158e-04,1.532577e-04,1.552720e-04,1.623509e-04,1.626302e-04,1.692425e-04,1.716761e-04,1.759394e-04,1.803791e-04,1.824359e-04,1.887283e-04,1.948143e-04,1.967180e-04,2.006927e-04,2.043460e-04,2.063636e-04,2.116132e-04,2.118278e-04,2.170868e-04,2.185228e-04,2.221428e-04,2.250800e-04,2.269984e-04,2.312912e-04,2.316567e-04,2.361210e-04,2.371639e-04,2.403949e-04,2.427066e-04,2.444823e-04,2.479281e-04,2.483872e-04,2.521136e-04,2.528378e-04,2.556657e-04,2.574454e-04,2.590479e-04,2.617606e-04,2.622643e-04,2.653193e-04,2.657934e-04,2.682172e-04,2.695537e-04,2.709624e-04,2.730515e-04,2.735591e-04,2.760116e-04,2.762964e-04,2.783242e-04,2.792984e-04,2.805009e-04,2.820669e-04,2.825459e-04,2.844633e-04,2.846113e-04,2.862571e-04,2.869409e-04,2.879312e-04,2.890646e-04,2.894895e-04,2.909358e-04,2.909914e-04,2.922738e-04,2.927297e-04,2.935072e-04,2.942880e-04,2.946395e-04,2.956743e-04,2.966150e-04,2.968966e-04,2.974648e-04,2.979626e-04,2.982271e-04,2.988795e-04,2.989051e-04,2.995018e-04,2.996547e-04,3.000203e-04,3.002951e-04,3.004636e-04,3.008074e-04,3.008344e-04,3.011357e-04,3.011980e-04,3.013701e-04,3.014732e-04,3.015403e-04,3.016390e-04,3.016489e-04,3.016983e-04,3.017013e-04,3.016910e-04,3.016656e-04,3.016294e-04,3.015373e-04,3.015157e-04,3.013522e-04,3.013216e-04,3.011411e-04,3.010235e-04,3.008844e-04,3.006476e-04,3.005842e-04,3.002424e-04,3.001987e-04,2.998610e-04,2.996810e-04,2.994417e-04,2.990989e-04,2.989865e-04,2.984969e-04,2.984563e-04,2.979748e-04,2.977572e-04,2.974217e-04,2.970052e-04,2.968392e-04,2.962288e-04,2.962038e-04,2.955920e-04,2.953565e-04,2.949302e-04,2.944666e-04,2.942447e-04,2.935370e-04,2.925708e-04,2.915708e-04,2.905396e-04,2.894799e-04,2.883941e-04,2.872845e-04,2.861534e-04,2.850028e-04,2.838347e-04,2.826511e-04,2.814538e-04,2.802445e-04,2.790249e-04,2.777964e-04,2.765605e-04,2.753187e-04,2.740722e-04,2.728224e-04,2.715703e-04,2.703170e-04,2.690637e-04,2.678113e-04,2.665608e-04,2.653129e-04
0.000000e+00,9.520827e-09,2.843964e-08,1.448775e-07,4.263507e-07,6.988829e-07,2.030601e-06,2.110157e-06,4.937172e-06,6.070629e-06,9.846600e-06,1.410911e-05,1.761194e-05,2.803239e-05,2.911216e-05,4.530803e-05,5.000261e-05,6.716476e-05,8.219815e-05,9.551804e-05,1.263111e-04,1.309485e-04,1.737375e-04,1.831837e-04,2.239012e-04,2.528454e-04,2.812534e-04,3.347446e-04,3.454617e-04,4.160902e-04,4.279533e-04,4.926284e-04,5.313016e-04,5.745117e-04,6.434628e-04,6.611376e-04,7.518789e-04,7.630140e-04,8.460952e-04,8.884855e-04,9.431437e-04,1.018403e-03,1.042389e-03,1.143211e-03,1.151327e-03,1.245015e-03,1.285884e-03,1.347237e-03,1.420796e-03,1.449346e-03,1.550855e-03,1.554896e-03,1.651316e-03,1.687146e-03,1.750326e-03,1.816640e-03,1.847527e-03,1.942606e-03,2.035290e-03,2.064405e-03,2.125350e-03,2.181520e-03,2.212593e-03,2.293550e-03,2.296862e-03,2.378035e-03,2.400196e-03,2.456021e-03,2.501254e-03,2.530754e-03,2.596602e-03,2.602196e-03,2.670330e-03,2.686190e-03,2.735159e-03,2.770026e-03,2.796703e-03,2.848172e-03,2.854997e-03,2.910089e-03,2.920728e-03,2.962038e-03,2.987832e-03,3.010912e-03,3.049645e-03,3.056787e-03,3.099746e-03,3.106355e-03,3.139875e-03,3.158158e-03,3.177263e-03,3.205261e-03,3.212001e-03,3.244183e-03,3.247878e-03,3.273903e-03,3.286224e-03,3.301255e-03,3.320517e-03,3.326333e-03,3.349228e-03,3.350969e-03,3.370034e-03,3.377792e-03,3.388840e-03,3.401192e-03,3.405735e-03,3.420805e-03,3.421371e-03,3.434134e-03,3.438522e-03,3.445804e-03,3.452833e-03,3.455895e-03,3.464484e-03,3.471646e-03,3.473648e-03,3.477452e-03,3.480489e-03,3.481973e-03,3.485165e-03,3.485275e-03,3.487423e-03,3.487826e-03,3.488479e-03,3.488614e-03,3.488503e-03,3.487663e-03,3.487553e-03,3.485682e-03,3.485102e-03,3.482945e-03,3.481052e-03,3.479391e-03,3.475626e-03,3.475068e-03,3.470024e-03,3.468933e-03,3.464302e-03,3.461073e-03,3.457945e-03,3.452143e-03,3.450992e-03,3.443483e-03,3.442232e-03,3.435454e-03,3.431426e-03,3.426940e-03,3.419803e-03,3.417975e-03,3.408590e-03,3.407437e-03,3.398816e-03,3.394400e-03,3.388682e-03,3.380756e-03,3.378215e-03,3.367442e-03,3.366567e-03,3.356386e-03,3.351890e-03,3.345072e-03,3.336779e-03,3.333523e-03,3.321759e-03,3.321284e-03,3.309800e-03,3.305451e-03,3.297667e-03,3.289325e-03,3.285376e-03,3.272946e-03,3.256352e-03,3.239578e-03,3.222657e-03,3.205620e-03,3.188494e-03,3.171307e-03,3.154082e-03,3.136841e-03,3.119607e-03,3.102397e-03,3.085229e-03,3.068120e-03,3.051085e-03,3.034137e-03,3.017288e-03,3.000551e-03,2.983936e-03,2.967452e-03,2.951107e-03,2.934910e-03,2.918868e-03,2.902985e-03,2.887270e-03,2.871725e-03
0.000000e+00,9.480695e-10,2.729009e-09,1.291067e-08,3.563891e-08,5.648607e-08,1.512237e-07,1.566519e-07,3.407290e-07,4.113233e-07,6.388139e-07,8.861066e-07,1.083992e-06,1.650628e-06,1.707638e-06,2.527404e-06,2.753343e-06,3.539916e-06,4.184844e-06,4.727697e-06,5.900966e-06,6.069410e-06,7.544772e-06,7.854228e-06,9.135244e-06,1.000195e-05,1.082331e-05,1.230410e-05,1.259174e-05,1.442319e-05,1.472091e-05,1.630026e-05,1.721237e-05,1.820567e-05,1.973909e-05,2.012263e-05,2.203525e-05,2.226376e-05,2.392883e-05,2.475250e-05,2.579013e-05,2.717593e-05,2.760756e-05,2.937126e-05,2.950978e-05,3.107311e-05,3.173503e-05,3.270663e-05,3.383765e-05,3.426693e-05,3.575051e-05,3.580822e-05,3.715518e-05,3.764130e-05,3.847983e-05,3.933478e-05,3.972431e-05,4.088926e-05,4.197597e-05,4.230748e-05,4.298624e-05,4.359371e-05,4.392228e-05,4.475338e-05,4.478661e-05,4.558195e-05,4.579267e-05,4.631119e-05,4.671824e-05,4.697730e-05,4.753695e-05,4.758329e-05,4.813218e-05,4.825575e-05,4.862696e-05,4.888150e-05,4.907057e-05,4.942087e-05,4.946585e-05,4.981558e-05,4.988030e-05,5.012244e-05,5.026592e-05,5.038899e-05,5.058355e-05,5.061770e-05,5.081093e-05,5.083871e-05,5.097093e-05,5.103655e-05,5.109982e-05,5.118191e-05,5.119964e-05,5.127232e-05,5.127931e-05,5.131969e-05,5.133295e-05,5.134346e-05,5.134676e-05,5.134527e-05,5.132667e-05,5.132434e-05,5.128911e-05,5.126908e-05,5.123396e-05,5.118409e-05,5.116252e-05,5.107600e-05,5.107224e-05,5.097555e-05,5.093619e-05,5.086226e-05,5.077840e-05,5.073713e-05,5.060113e-05,5.045515e-05,5.040647e-05,5.030003e-05,5.019633e-05,5.013657e-05,4.997248e-05,4.996550e-05,4.978753e-05,4.973655e-05,4.960330e-05,4.949002e-05,4.941343e-05,4.923427e-05,4.921850e-05,4.901904e-05,4.897055e-05,4.881555e-05,4.870002e-05,4.860851e-05,4.842372e-05,4.839835e-05,4.818549e-05,4.814263e-05,4.797031e-05,4.785762e-05,4.775317e-05,4.756951e-05,4.753441e-05,4.731434e-05,4.727903e-05,4.709325e-05,4.698684e-05,4.687141e-05,4.669357e-05,4.664908e-05,4.642649e-05,4.639977e-05,4.620385e-05,4.610594e-05,4.598139e-05,4.581253e-05,4.575927e-05,4.553768e-05,4.551998e-05,4.531677e-05,4.522863e-05,4.509670e-05,4.493885e-05,4.487761e-05,4.465962e-05,4.465092e-05,4.444285e-05,4.436513e-05,4.422740e-05,4.408171e-05,4.401338e-05,4.380088e-05,4.352284e-05,4.324776e-05,4.297579e-05,4.270706e-05,4.244168e-05,4.217975e-05,4.192137e-05,4.166659e-05,4.141548e-05,4.116808e-05,4.092443e-05,4.068457e-05,4.044851e-05,4.021625e-05,3.998782e-05,3.976320e-05,3.954239e-05,3.932537e-05,3.911214e-05,3.890266e-05,3.869691e-05,3.849487e-05,3.829649e-05,3.810175e-05
0.000000e+00,7.935931e-10,2.319296e-09,1.131127e-08,3.207263e-08,5.157636e-08,1.433245e-07,1.486951e-07,3.357671e-07,4.095356e-07,6.528298e-07,9.246632e-07,1.146253e-06,1.794218e-06,1.860230e-06,2.820596e-06,3.088210e-06,4.027247e-06,4.804142e-06,5.461933e-06,6.892892e-06,7.099173e-06,8.912490e-06,9.294027e-06,1.087653e-05,1.194938e-05,1.296729e-05,1.480467e-05,1.516186e-05,1.743821e-05,1.780859e-05,1.977521e-05,2.091257e-05,2.215278e-05,2.407136e-05,2.455211e-05,2.695591e-05,2.724391e-05,2.934863e-05,3.039432e-05,3.171658e-05,3.349233e-05,3.404797e-05,3.633287e-05,3.651340e-05,3.856312e-05,3.943840e-05,4.073220e-05,4.225318e-05,4.283507e-05,4.486800e-05,4.494782e-05,4.682838e-05,4.751601e-05,4.871456e-05,4.995434e-05,5.052573e-05,5.226172e-05,5.392290e-05,5.443880e-05,5.551010e-05,5.648762e-05,5.702450e-05,5.841116e-05,5.846753e-05,5.984083e-05,6.021311e-05,6.114622e-05,6.189763e-05,6.238558e-05,6.346921e-05,6.356093e-05,6.467427e-05,6.493247e-05,6.572767e-05,6.629216e-05,6.672319e-05,6.755299e-05,6.766288e-05,6.854876e-05,6.871966e-05,6.938284e-05,6.979675e-05,7.016709e-05,7.078875e-05,7.090342e-05,7.159371e-05,7.170001e-05,7.223980e-05,7.253474e-05,7.284345e-05,7.329698e-05,7.340639e-05,7.393030e-05,7.399063e-05,7.441680e-05,7.461941e-05,7.486745e-05,7.518691e-05,7.528377e-05,7.566723e-05,7.569653e-05,7.601922e-05,7.615152e-05,7.634112e-05,7.655500e-05,7.663424e-05,7.689984e-05,7.690991e-05,7.713913e-05,7.721907e-05,7.735329e-05,7.748514e-05,7.754345e-05,7.771068e-05,7.785602e-05,7.789808e-05,7.798049e-05,7.804963e-05,7.808503e-05,7.816750e-05,7.817057e-05,7.823800e-05,7.825375e-05,7.828817e-05,7.831032e-05,7.832189e-05,7.833906e-05,7.833994e-05,7.834309e-05,7.834170e-05,7.833204e-05,7.831992e-05,7.830750e-05,7.827526e-05,7.827012e-05,7.822054e-05,7.820921e-05,7.815937e-05,7.812317e-05,7.808719e-05,7.801846e-05,7.800456e-05,7.791202e-05,7.789633e-05,7.781009e-05,7.775797e-05,7.769925e-05,7.760449e-05,7.757998e-05,7.745273e-05,7.743694e-05,7.731793e-05,7.725633e-05,7.717599e-05,7.706359e-05,7.702732e-05,7.687229e-05,7.685962e-05,7.671127e-05,7.664526e-05,7.654460e-05,7.642129e-05,7.637262e-05,7.619565e-05,7.618848e-05,7.601400e-05,7.594751e-05,7.582795e-05,7.569906e-05,7.563778e-05,7.544377e-05,7.518221e-05,7.491495e-05,7.464252e-05,7.436542e-05,7.408411e-05,7.379904e-05,7.351062e-05,7.321924e-05,7.292528e-05,7.262908e-05,7.233096e-05,7.203124e-05,7.173021e-05,7.142813e-05,7.112526e-05,7.082185e-05,7.051811e-05,7.021426e-05,6.991050e-05,6.960701e-05,6.930397e-05,6.900154e-05,6.869987e-05,6.839912e-05
0.000000e+00,8.912123e-10,2.567159e-09,1.213917e-08,3.341998e-08,5.284494e-08,1.402258e-07,1.451946e-07,3.118117e-07,3.748937e-07,5.758135e-07,7.910698e-07,9.616291e-07,1.445388e-06,1.493866e-06,2.190913e-06,2.383446e-06,3.055535e-06,3.607815e-06,4.072560e-06,5.073293e-06,5.216314e-06,6.459622e-06,6.718063e-06,7.778809e-06,8.488303e-06,9.154905e-06,1.034377e-05,1.057294e-05,1.202070e-05,1.225438e-05,1.348756e-05,1.419552e-05,1.496364e-05,1.614474e-05,1.643942e-05,1.790541e-05,1.808023e-05,1.935224e-05,1.998039e-05,2.077071e-05,2.182432e-05,2.215198e-05,2.348777e-05,2.359243e-05,2.477052e-05,2.526726e-05,2.599365e-05,2.683420e-05,2.715156e-05,2.823976e-05,2.828179e-05,2.925488e-05,2.960197e-05,3.019466e-05,3.079001e-05,3.105788e-05,3.184435e-05,3.255475e-05,3.276623e-05,3.319055e-05,3.355931e-05,3.375397e-05,3.422925e-05,3.424770e-05,3.467477e-05,3.478287e-05,3.503864e-05,3.522816e-05,3.534301e-05,3.557374e-05,3.559168e-05,3.578855e-05,3.582852e-05,3.593752e-05,3.600146e-05,3.604243e-05,3.610124e-05,3.610697e-05,3.613470e-05,3.613613e-05,3.612902e-05,3.611393e-05,3.609314e-05,3.604188e-05,3.603008e-05,3.594265e-05,3.592657e-05,3.583344e-05,3.577400e-05,3.570486e-05,3.558954e-05,3.555912e-05,3.539823e-05,3.537800e-05,3.522403e-05,3.514360e-05,3.503819e-05,3.489009e-05,3.484220e-05,3.463745e-05,3.462072e-05,3.442515e-05,3.433837e-05,3.420641e-05,3.404550e-05,3.398224e-05,3.375351e-05,3.374428e-05,3.352103e-05,3.343656e-05,3.328551e-05,3.312395e-05,3.304760e-05,3.280785e-05,3.256678e-05,3.248943e-05,3.232484e-05,3.216973e-05,3.208244e-05,3.184964e-05,3.183994e-05,3.159766e-05,3.152990e-05,3.135589e-05,3.121118e-05,3.111488e-05,3.089402e-05,3.087486e-05,3.063604e-05,3.057892e-05,3.039858e-05,3.026627e-05,3.016266e-05,2.995642e-05,2.992840e-05,2.969594e-05,2.964968e-05,2.946539e-05,2.934629e-05,2.923684e-05,2.904647e-05,2.901038e-05,2.878608e-05,2.875039e-05,2.856400e-05,2.845822e-05,2.834421e-05,2.817006e-05,2.812675e-05,2.791167e-05,2.788602e-05,2.769898e-05,2.760617e-05,2.748874e-05,2.733059e-05,2.728095e-05,2.707563e-05,2.705931e-05,2.687280e-05,2.679237e-05,2.667247e-05,2.652978e-05,2.647464e-05,2.627932e-05,2.627156e-05,2.608650e-05,2.601770e-05,2.589619e-05,2.576820e-05,2.570837e-05,2.552304e-05,2.528220e-05,2.504564e-05,2.481333e-05,2.458524e-05,2.436132e-05,2.414152e-05,2.392579e-05,2.371409e-05,2.350636e-05,2.330254e-05,2.310257e-05,2.290640e-05,2.271396e-05,2.252520e-05,2.234005e-05,2.215845e-05,2.198034e-05,2.180566e-05,2.163433e-05,2.146631e-05,2.130152e-05,2.113991e-05,2.098141e-05,2.082596e-05
0.000000e+00,1.358307e-09,3.120465e-09,1.075153e-08,2.443056e-08,3.558726e-08,8.020400e-08,8.258838e-08,1.579010e-07,1.848453e-07,2.672047e-07,3.513237e-07,4.158052e-07,5.914979e-07,6.086655e-07,8.502833e-07,9.159561e-07,1.144269e-06,1.332600e-06,1.492586e-06,1.843786e-06,1.894829e-06,2.348212e-06,2.444655e-06,2.848332e-06,3.125176e-06,3.390070e-06,3.873419e-06,3.968132e-06,4.577246e-06,4.677236e-06,5.212195e-06,5.524633e-06,5.867829e-06,6.403818e-06,6.539076e-06,7.220982e-06,7.303297e-06,7.908760e-06,8.212057e-06,8.597849e-06,9.119791e-06,9.283974e-06,9.963186e-06,1.001711e-05,1.063190e-05,1.089571e-05,1.128691e-05,1.174845e-05,1.192543e-05,1.254506e-05,1.256943e-05,1.314380e-05,1.335391e-05,1.372002e-05,1.409833e-05,1.427245e-05,1.480012e-05,1.530239e-05,1.545768e-05,1.577886e-05,1.607018e-05,1.622938e-05,1.663749e-05,1.665398e-05,1.705290e-05,1.716004e-05,1.742649e-05,1.763870e-05,1.777526e-05,1.807470e-05,1.809979e-05,1.840076e-05,1.846957e-05,1.867891e-05,1.882500e-05,1.893503e-05,1.914285e-05,1.916994e-05,1.938449e-05,1.942503e-05,1.957953e-05,1.967353e-05,1.975593e-05,1.989033e-05,1.991454e-05,2.005623e-05,2.007739e-05,2.018184e-05,2.023666e-05,2.029218e-05,2.037000e-05,2.038806e-05,2.047027e-05,2.047925e-05,2.053956e-05,2.056615e-05,2.059667e-05,2.063236e-05,2.064230e-05,2.067715e-05,2.067949e-05,2.070185e-05,2.070903e-05,2.071704e-05,2.072243e-05,2.072332e-05,2.072126e-05,2.072102e-05,2.071142e-05,2.070607e-05,2.069432e-05,2.067879e-05,2.067044e-05,2.064028e-05,2.060428e-05,2.059160e-05,2.056287e-05,2.053372e-05,2.051646e-05,2.046755e-05,2.046543e-05,2.041014e-05,2.039395e-05,2.035096e-05,2.031371e-05,2.028820e-05,2.022756e-05,2.022217e-05,2.015317e-05,2.013620e-05,2.008147e-05,2.004024e-05,2.000734e-05,1.994028e-05,1.993102e-05,1.985274e-05,1.983687e-05,1.977272e-05,1.973050e-05,1.969118e-05,1.962164e-05,1.960829e-05,1.952425e-05,1.951070e-05,1.943922e-05,1.939810e-05,1.935336e-05,1.928418e-05,1.926683e-05,1.917975e-05,1.916928e-05,1.909228e-05,1.905369e-05,1.900452e-05,1.893770e-05,1.891659e-05,1.882860e-05,1.882156e-05,1.874065e-05,1.870550e-05,1.865283e-05,1.858973e-05,1.856522e-05,1.847791e-05,1.847443e-05,1.839097e-05,1.835978e-05,1.830447e-05,1.824593e-05,1.821847e-05,1.813303e-05,1.802119e-05,1.791053e-05,1.780115e-05,1.769313e-05,1.758654e-05,1.748147e-05,1.737795e-05,1.727605e-05,1.717580e-05,1.707724e-05,1.698040e-05,1.688529e-05,1.679194e-05,1.670036e-05,1.661055e-05,1.652252e-05,1.643627e-05,1.635179e-05,1.626907e-05,1.618811e-05,1.610889e-05,1.603140e-05,1.595563e-05,1.588155e-05
0.000000e+00,8.681590e-10,2.298769e-09,9.430471e-09,2.348907e-08,3.547511e-08,8.546947e-08,8.819911e-08,1.760877e-07,2.080909e-07,3.070887e-07,4.095428e-07,4.887649e-07,7.068785e-07,7.283370e-07,1.032454e-06,1.115681e-06,1.406424e-06,1.647480e-06,1.852839e-06,2.304640e-06,2.370356e-06,2.953911e-06,3.077930e-06,3.596301e-06,3.951010e-06,4.289749e-06,4.906134e-06,5.026656e-06,5.799748e-06,5.926329e-06,6.602026e-06,6.995487e-06,7.426707e-06,8.098155e-06,8.267216e-06,9.117227e-06,9.219578e-06,9.970731e-06,1.034591e-05,1.082210e-05,1.146452e-05,1.166617e-05,1.249826e-05,1.256418e-05,1.331423e-05,1.363528e-05,1.411048e-05,1.466985e-05,1.488397e-05,1.563217e-05,1.566155e-05,1.635306e-05,1.660558e-05,1.704507e-05,1.749855e-05,1.770707e-05,1.833829e-05,1.893831e-05,1.912369e-05,1.950699e-05,1.985454e-05,2.004444e-05,2.053131e-05,2.055099e-05,2.102712e-05,2.115507e-05,2.147347e-05,2.172730e-05,2.189080e-05,2.224984e-05,2.227996e-05,2.264184e-05,2.272474e-05,2.297742e-05,2.315422e-05,2.328769e-05,2.354059e-05,2.357366e-05,2.383636e-05,2.388620e-05,2.407681e-05,2.419339e-05,2.429603e-05,2.446450e-05,2.449502e-05,2.467476e-05,2.470180e-05,2.483622e-05,2.490750e-05,2.498033e-05,2.508374e-05,2.510800e-05,2.522011e-05,2.523255e-05,2.531749e-05,2.535588e-05,2.540096e-05,2.545558e-05,2.547130e-05,2.552927e-05,2.553339e-05,2.557557e-05,2.559098e-05,2.561091e-05,2.562993e-05,2.563593e-05,2.565127e-05,2.565169e-05,2.565752e-05,2.565765e-05,2.565525e-05,2.564913e-05,2.564502e-05,2.562733e-05,2.560268e-05,2.559340e-05,2.557155e-05,2.554842e-05,2.553436e-05,2.549337e-05,2.549156e-05,2.544353e-05,2.542920e-05,2.539066e-05,2.535676e-05,2.533331e-05,2.527688e-05,2.527181e-05,2.520651e-05,2.519030e-05,2.513769e-05,2.509773e-05,2.506565e-05,2.499982e-05,2.499067e-05,2.491300e-05,2.489717e-05,2.483289e-05,2.479034e-05,2.475057e-05,2.467987e-05,2.466625e-05,2.458015e-05,2.456622e-05,2.449246e-05,2.444985e-05,2.440335e-05,2.433117e-05,2.431301e-05,2.422159e-05,2.421055e-05,2.412924e-05,2.408836e-05,2.403612e-05,2.396491e-05,2.394235e-05,2.384806e-05,2.384050e-05,2.375337e-05,2.371540e-05,2.365839e-05,2.358988e-05,2.356322e-05,2.346796e-05,2.346415e-05,2.337270e-05,2.333843e-05,2.327753e-05,2.321291e-05,2.318253e-05,2.308777e-05,2.296317e-05,2.283924e-05,2.271614e-05,2.259397e-05,2.247284e-05,2.235284e-05,2.223407e-05,2.211661e-05,2.200051e-05,2.188584e-05,2.177266e-05,2.166100e-05,2.155092e-05,2.144243e-05,2.133557e-05,2.123037e-05,2.112684e-05,2.102499e-05,2.092484e-05,2.082639e-05,2.072965e-05,2.063461e-05,2.054128e-05,2.044965e-05
0.000000e+00,6.456616e-10,1.887746e-09,9.203803e-09,2.604225e-08,4.179122e-08,1.150606e-07,1.193112e-07,2.651125e-07,3.215453e-07,5.042699e-07,7.036769e-07,8.636472e-07,1.324711e-06,1.371455e-06,2.054249e-06,2.246495e-06,2.930786e-06,3.509050e-06,4.007064e-06,5.114804e-06,5.277017e-06,6.726965e-06,7.037073e-06,8.339760e-06,9.236736e-06,1.009720e-05,1.167188e-05,1.198104e-05,1.397322e-05,1.430082e-05,1.605588e-05,1.708250e-05,1.821134e-05,1.997635e-05,2.042209e-05,2.267093e-05,2.294255e-05,2.494113e-05,2.594262e-05,2.721665e-05,2.894024e-05,2.948233e-05,3.172411e-05,3.190203e-05,3.392912e-05,3.479821e-05,3.608588e-05,3.760317e-05,3.818434e-05,4.021596e-05,4.029572e-05,4.217360e-05,4.285911e-05,4.405157e-05,4.528077e-05,4.584545e-05,4.755208e-05,4.916938e-05,4.966785e-05,5.069629e-05,5.162596e-05,5.213262e-05,5.342679e-05,5.347893e-05,5.473642e-05,5.507283e-05,5.590683e-05,5.656817e-05,5.699235e-05,5.791822e-05,5.799550e-05,5.891910e-05,5.912926e-05,5.976614e-05,6.020822e-05,6.053978e-05,6.116244e-05,6.124326e-05,6.187985e-05,6.199943e-05,6.245286e-05,6.272678e-05,6.296555e-05,6.335196e-05,6.342115e-05,6.382283e-05,6.388230e-05,6.417366e-05,6.432488e-05,6.447663e-05,6.468649e-05,6.473463e-05,6.495042e-05,6.497361e-05,6.512667e-05,6.519236e-05,6.526594e-05,6.534853e-05,6.537064e-05,6.544309e-05,6.544756e-05,6.548551e-05,6.549454e-05,6.549998e-05,6.549421e-05,6.548849e-05,6.545291e-05,6.545101e-05,6.539502e-05,6.536904e-05,6.531649e-05,6.525212e-05,6.521892e-05,6.510379e-05,6.497251e-05,6.492730e-05,6.482640e-05,6.472568e-05,6.466670e-05,6.450170e-05,6.449459e-05,6.431117e-05,6.425792e-05,6.411746e-05,6.399671e-05,6.391444e-05,6.372022e-05,6.370301e-05,6.348403e-05,6.343044e-05,6.325828e-05,6.312919e-05,6.302652e-05,6.281814e-05,6.278943e-05,6.254768e-05,6.249882e-05,6.230187e-05,6.217263e-05,6.205256e-05,6.184083e-05,6.180029e-05,6.154555e-05,6.150460e-05,6.128880e-05,6.116498e-05,6.103047e-05,6.082293e-05,6.077095e-05,6.051062e-05,6.047934e-05,6.024982e-05,6.013500e-05,5.998886e-05,5.979061e-05,5.972804e-05,5.946763e-05,5.944683e-05,5.920789e-05,5.910423e-05,5.894904e-05,5.876335e-05,5.869131e-05,5.843488e-05,5.842465e-05,5.817994e-05,5.808856e-05,5.792665e-05,5.775544e-05,5.767517e-05,5.742563e-05,5.709943e-05,5.677709e-05,5.645884e-05,5.614488e-05,5.583538e-05,5.553048e-05,5.523031e-05,5.493496e-05,5.464453e-05,5.435907e-05,5.407863e-05,5.380326e-05,5.353298e-05,5.326779e-05,5.300770e-05,5.275270e-05,5.250277e-05,5.225789e-05,5.201803e-05,5.178314e-05,5.155318e-05,5.132810e-05,5.110786e-05,5.089238e-05
0.000000e+00,2.134966e-09,4.923599e-09,1.705830e-08,3.895332e-08,5.692374e-08,1.297098e-07,1.336395e-07,2.597546e-07,3.057783e-07,4.491944e-07,5.994791e-07,7.168288e-07,1.042737e-06,1.074860e-06,1.526853e-06,1.648789e-06,2.066966e-06,2.404372e-06,2.685698e-06,3.288164e-06,3.374213e-06,4.125041e-06,4.282087e-06,4.931463e-06,5.370597e-06,5.786910e-06,6.538449e-06,6.684643e-06,7.617673e-06,7.769754e-06,8.578802e-06,9.047989e-06,9.560764e-06,1.035650e-05,1.055638e-05,1.155872e-05,1.167913e-05,1.256127e-05,1.300086e-05,1.355792e-05,1.430806e-05,1.454323e-05,1.551235e-05,1.558906e-05,1.646114e-05,1.683414e-05,1.738605e-05,1.803554e-05,1.828418e-05,1.915323e-05,1.918736e-05,1.999143e-05,2.028536e-05,2.079749e-05,2.132679e-05,2.157054e-05,2.231012e-05,2.301605e-05,2.323485e-05,2.368845e-05,2.410133e-05,2.432764e-05,2.491052e-05,2.493416e-05,2.550867e-05,2.566390e-05,2.605196e-05,2.636330e-05,2.656490e-05,2.701081e-05,2.704843e-05,2.750355e-05,2.760867e-05,2.793128e-05,2.815923e-05,2.833266e-05,2.866489e-05,2.870872e-05,2.906050e-05,2.912804e-05,2.938904e-05,2.955103e-05,2.969534e-05,2.993617e-05,2.998039e-05,3.024517e-05,3.028571e-05,3.049059e-05,3.060180e-05,3.071759e-05,3.088650e-05,3.092702e-05,3.111975e-05,3.114179e-05,3.129658e-05,3.136955e-05,3.145830e-05,3.157157e-05,3.160567e-05,3.173940e-05,3.174953e-05,3.186020e-05,3.190504e-05,3.196871e-05,3.203960e-05,3.206559e-05,3.215142e-05,3.215464e-05,3.222680e-05,3.225149e-05,3.229228e-05,3.233142e-05,3.234838e-05,3.239561e-05,3.243444e-05,3.244518e-05,3.246535e-05,3.248117e-05,3.248876e-05,3.250457e-05,3.250509e-05,3.251474e-05,3.251629e-05,3.251808e-05,3.251721e-05,3.251548e-05,3.250813e-05,3.250727e-05,3.249379e-05,3.248981e-05,3.247534e-05,3.246296e-05,3.245223e-05,3.242824e-05,3.242472e-05,3.239309e-05,3.238629e-05,3.235759e-05,3.233769e-05,3.231847e-05,3.228297e-05,3.227595e-05,3.223025e-05,3.222266e-05,3.218158e-05,3.215723e-05,3.213014e-05,3.208712e-05,3.207612e-05,3.201968e-05,3.201276e-05,3.196101e-05,3.193453e-05,3.190027e-05,3.185280e-05,3.183760e-05,3.177315e-05,3.176792e-05,3.170706e-05,3.168019e-05,3.163946e-05,3.158992e-05,3.157048e-05,3.150022e-05,3.149739e-05,3.142882e-05,3.140285e-05,3.135636e-05,3.130654e-05,3.128295e-05,3.120869e-05,3.110951e-05,3.100920e-05,3.090794e-05,3.080589e-05,3.070322e-05,3.060007e-05,3.049658e-05,3.039287e-05,3.028907e-05,3.018528e-05,3.008160e-05,2.997813e-05,2.987495e-05,2.977214e-05,2.966979e-05,2.956794e-05,2.946668e-05,2.936605e-05,2.926611e-05,2.916691e-05,2.906848e-05,2.897088e-05,2.887414e-05,2.877829e-05
0.000000e+00,3.522534e-09,8.601966e-09,3.177770e-08,7.500107e-08,1.111312e-07,2.611066e-07,2.693378e-07,5.392939e-07,6.402508e-07,9.614936e-07,1.306238e-06,1.579000e-06,2.340708e-06,2.415537e-06,3.454067e-06,3.728832e-06,4.653364e-06,5.380762e-06,5.975969e-06,7.220379e-06,7.395065e-06,8.890721e-06,9.197535e-06,1.044618e-05,1.127348e-05,1.204595e-05,1.341308e-05,1.367513e-05,1.531940e-05,1.558297e-05,1.696520e-05,1.775201e-05,1.860003e-05,1.989240e-05,2.021265e-05,2.179330e-05,2.198042e-05,2.333371e-05,2.399695e-05,2.482712e-05,2.592733e-05,2.626816e-05,2.765278e-05,2.776102e-05,2.897812e-05,2.949121e-05,3.024233e-05,3.111415e-05,3.144446e-05,3.258428e-05,3.262858e-05,3.366217e-05,3.403520e-05,3.467899e-05,3.533618e-05,3.563601e-05,3.653476e-05,3.737702e-05,3.763493e-05,3.816472e-05,3.864116e-05,3.889990e-05,3.955822e-05,3.958467e-05,4.022117e-05,4.039102e-05,4.081153e-05,4.114448e-05,4.135788e-05,4.182346e-05,4.186232e-05,4.232691e-05,4.243270e-05,4.275362e-05,4.297677e-05,4.314442e-05,4.346008e-05,4.350116e-05,4.382565e-05,4.388683e-05,4.411963e-05,4.426100e-05,4.438477e-05,4.458636e-05,4.462266e-05,4.483483e-05,4.486649e-05,4.502274e-05,4.510474e-05,4.518779e-05,4.530426e-05,4.533131e-05,4.545455e-05,4.546804e-05,4.555873e-05,4.559883e-05,4.564500e-05,4.569925e-05,4.571443e-05,4.576808e-05,4.577172e-05,4.580692e-05,4.581853e-05,4.583189e-05,4.584178e-05,4.584388e-05,4.584371e-05,4.584347e-05,4.583220e-05,4.582543e-05,4.581010e-05,4.578938e-05,4.577811e-05,4.573692e-05,4.568718e-05,4.566955e-05,4.562947e-05,4.558863e-05,4.556439e-05,4.549547e-05,4.549247e-05,4.541422e-05,4.539124e-05,4.533013e-05,4.527706e-05,4.524066e-05,4.515396e-05,4.514623e-05,4.504727e-05,4.502288e-05,4.494414e-05,4.488472e-05,4.483723e-05,4.474027e-05,4.472686e-05,4.461336e-05,4.459031e-05,4.449704e-05,4.443553e-05,4.437818e-05,4.427658e-05,4.425706e-05,4.413392e-05,4.411405e-05,4.400901e-05,4.394849e-05,4.388255e-05,4.378041e-05,4.375475e-05,4.362582e-05,4.361028e-05,4.349593e-05,4.343852e-05,4.336526e-05,4.326554e-05,4.323398e-05,4.310225e-05,4.309169e-05,4.297019e-05,4.291732e-05,4.283796e-05,4.274271e-05,4.270567e-05,4.257345e-05,4.256816e-05,4.244140e-05,4.239393e-05,4.230963e-05,4.222023e-05,4.217823e-05,4.204729e-05,4.187530e-05,4.170443e-05,4.153485e-05,4.136669e-05,4.120008e-05,4.103515e-05,4.087199e-05,4.071069e-05,4.055134e-05,4.039402e-05,4.023877e-05,4.008566e-05,3.993473e-05,3.978603e-05,3.963957e-05,3.949541e-05,3.935354e-05,3.921400e-05,3.907678e-05,3.894190e-05,3.880937e-05,3.867918e-05,3.855132e-05,3.842579e-05
0.000000e+00,3.791043e-09,1.130316e-08,5.734723e-08,1.680890e-07,2.748883e-07,7.933560e-07,8.241958e-07,1.913354e-06,2.347057e-06,3.782420e-06,5.388353e-06,6.698617e-06,1.055592e-05,1.095265e-05,1.685191e-05,1.854704e-05,2.470315e-05,3.005637e-05,3.477745e-05,4.563398e-05,4.726311e-05,6.223293e-05,6.552309e-05,7.964523e-05,8.962409e-05,9.936894e-05,1.175843e-04,1.212127e-04,1.449478e-04,1.489043e-04,1.703237e-04,1.830103e-04,1.970788e-04,2.192978e-04,2.249481e-04,2.536684e-04,2.571597e-04,2.829832e-04,2.960064e-04,3.126470e-04,3.352814e-04,3.424276e-04,3.721097e-04,3.744740e-04,4.014960e-04,4.131272e-04,4.304089e-04,4.508440e-04,4.586913e-04,4.862067e-04,4.872897e-04,5.128392e-04,5.221915e-04,5.384922e-04,5.553366e-04,5.630884e-04,5.865676e-04,6.088862e-04,6.157779e-04,6.300150e-04,6.429052e-04,6.499381e-04,6.679260e-04,6.686513e-04,6.861606e-04,6.908492e-04,7.024806e-04,7.117106e-04,7.176333e-04,7.305673e-04,7.316472e-04,7.445555e-04,7.474930e-04,7.563954e-04,7.625740e-04,7.672072e-04,7.759050e-04,7.770335e-04,7.859183e-04,7.875863e-04,7.939066e-04,7.977212e-04,8.010436e-04,8.064139e-04,8.073745e-04,8.129440e-04,8.137675e-04,8.177961e-04,8.198829e-04,8.219737e-04,8.248581e-04,8.255184e-04,8.284707e-04,8.287870e-04,8.308693e-04,8.317590e-04,8.327516e-04,8.338587e-04,8.341530e-04,8.351077e-04,8.351657e-04,8.356478e-04,8.357547e-04,8.358040e-04,8.356951e-04,8.356053e-04,8.350792e-04,8.350517e-04,8.342514e-04,8.338843e-04,8.331463e-04,8.322482e-04,8.317868e-04,8.301943e-04,8.283890e-04,8.277695e-04,8.263897e-04,8.250165e-04,8.242140e-04,8.219748e-04,8.218785e-04,8.193985e-04,8.186801e-04,8.167883e-04,8.151653e-04,8.140613e-04,8.114601e-04,8.112300e-04,8.083060e-04,8.075916e-04,8.052999e-04,8.035844e-04,8.022218e-04,7.994610e-04,7.990810e-04,7.958862e-04,7.952414e-04,7.926451e-04,7.909440e-04,7.893653e-04,7.865854e-04,7.860537e-04,7.827164e-04,7.821804e-04,7.793593e-04,7.777425e-04,7.759879e-04,7.732838e-04,7.726071e-04,7.692215e-04,7.688151e-04,7.658353e-04,7.643462e-04,7.624524e-04,7.598858e-04,7.590764e-04,7.557104e-04,7.554417e-04,7.523576e-04,7.510208e-04,7.490206e-04,7.466293e-04,7.457021e-04,7.424041e-04,7.422727e-04,7.391289e-04,7.379558e-04,7.358783e-04,7.336829e-04,7.326541e-04,7.294577e-04,7.252836e-04,7.211632e-04,7.170991e-04,7.130934e-04,7.091477e-04,7.052637e-04,7.014424e-04,6.976848e-04,6.939918e-04,6.903637e-04,6.868011e-04,6.833042e-04,6.798729e-04,6.765073e-04,6.732072e-04,6.699723e-04,6.668022e-04,6.636965e-04,6.606547e-04,6.576761e-04,6.547602e-04,6.519061e-04,6.491131e-04,6.463805e-04
0.000000e+00,8.228388e-09,2.458684e-08,1.253960e-07,3.697286e-07,6.069913e-07,1.774137e-06,1.844222e-06,4.356516e-06,5.374122e-06,8.796623e-06,1.270061e-05,1.592372e-05,2.548832e-05,2.647259e-05,4.099500e-05,4.511318e-05,5.983059e-05,7.233421e-05,8.315769e-05,1.074500e-04,1.110351e-04,1.434230e-04,1.504321e-04,1.801933e-04,2.009794e-04,2.211373e-04,2.585530e-04,2.659754e-04,3.143678e-04,3.224151e-04,3.659276e-04,3.916790e-04,4.202348e-04,4.653634e-04,4.768495e-04,5.353258e-04,5.424469e-04,5.952221e-04,6.219157e-04,6.561118e-04,7.028023e-04,7.175901e-04,7.792800e-04,7.842138e-04,8.408362e-04,8.653503e-04,9.019471e-04,9.455144e-04,9.623358e-04,1.021760e-03,1.024114e-03,1.080011e-03,1.100659e-03,1.136911e-03,1.174755e-03,1.192313e-03,1.246097e-03,1.298168e-03,1.314456e-03,1.348453e-03,1.379674e-03,1.396901e-03,1.441650e-03,1.443477e-03,1.488161e-03,1.500332e-03,1.530948e-03,1.555712e-03,1.571844e-03,1.607812e-03,1.610866e-03,1.648036e-03,1.656685e-03,1.683388e-03,1.702404e-03,1.716958e-03,1.745059e-03,1.748788e-03,1.778923e-03,1.784750e-03,1.807411e-03,1.821592e-03,1.834304e-03,1.855699e-03,1.859654e-03,1.883512e-03,1.887195e-03,1.905934e-03,1.916202e-03,1.926972e-03,1.942843e-03,1.946681e-03,1.965113e-03,1.967241e-03,1.982320e-03,1.989517e-03,1.998354e-03,2.009786e-03,2.013265e-03,2.027103e-03,2.028165e-03,2.039914e-03,2.044762e-03,2.051746e-03,2.059684e-03,2.062644e-03,2.072650e-03,2.073033e-03,2.081808e-03,2.084905e-03,2.090158e-03,2.095394e-03,2.097738e-03,2.104588e-03,2.110742e-03,2.112570e-03,2.116236e-03,2.119421e-03,2.121103e-03,2.125215e-03,2.125375e-03,2.129082e-03,2.130023e-03,2.132254e-03,2.133913e-03,2.134920e-03,2.136947e-03,2.137105e-03,2.138836e-03,2.139186e-03,2.140137e-03,2.140686e-03,2.141031e-03,2.141500e-03,2.141542e-03,2.141689e-03,2.141677e-03,2.141495e-03,2.141265e-03,2.140977e-03,2.140306e-03,2.140155e-03,2.139046e-03,2.138843e-03,2.137667e-03,2.136914e-03,2.136034e-03,2.134555e-03,2.134162e-03,2.132066e-03,2.131800e-03,2.129760e-03,2.128682e-03,2.127257e-03,2.125230e-03,2.124569e-03,2.121708e-03,2.121472e-03,2.118686e-03,2.117435e-03,2.115514e-03,2.113142e-03,2.112201e-03,2.108758e-03,2.108617e-03,2.105193e-03,2.103882e-03,2.101517e-03,2.098957e-03,2.097736e-03,2.093860e-03,2.088609e-03,2.083220e-03,2.077710e-03,2.072091e-03,2.066378e-03,2.060583e-03,2.054718e-03,2.048794e-03,2.042821e-03,2.036808e-03,2.030764e-03,2.024697e-03,2.018615e-03,2.012525e-03,2.006434e-03,2.000347e-03,1.994270e-03,1.988210e-03,1.982169e-03,1.976153e-03,1.970167e-03,1.964213e-03,1.958296e-03,1.952418e-03
0.000000e+00,2.524361e-09,6.169206e-09,2.276825e-08,5.352041e-08,7.900890e-08,1.827847e-07,1.883908e-07,3.677422e-07,4.328237e-07,6.342042e-07,8.430608e-07,1.004843e-06,1.449970e-06,1.493610e-06,2.105057e-06,2.269339e-06,2.830538e-06,3.280370e-06,3.653016e-06,4.442581e-06,4.554346e-06,5.518271e-06,5.717274e-06,6.530381e-06,7.071316e-06,7.577523e-06,8.475231e-06,8.647479e-06,9.728929e-06,9.902322e-06,1.081154e-05,1.132886e-05,1.188611e-05,1.273454e-05,1.294462e-05,1.398030e-05,1.410278e-05,1.498761e-05,1.542066e-05,1.596213e-05,1.667872e-05,1.690048e-05,1.780022e-05,1.787048e-05,1.865972e-05,1.899201e-05,1.947801e-05,2.004143e-05,2.025470e-05,2.098987e-05,2.101842e-05,2.168394e-05,2.192388e-05,2.233766e-05,2.275960e-05,2.295196e-05,2.352797e-05,2.406692e-05,2.423178e-05,2.457014e-05,2.487408e-05,2.503900e-05,2.545809e-05,2.547492e-05,2.587930e-05,2.598708e-05,2.625358e-05,2.646428e-05,2.659915e-05,2.689289e-05,2.691737e-05,2.720961e-05,2.727602e-05,2.747715e-05,2.761666e-05,2.772127e-05,2.791769e-05,2.794319e-05,2.814408e-05,2.818184e-05,2.832509e-05,2.841172e-05,2.848731e-05,2.860981e-05,2.863177e-05,2.875949e-05,2.877843e-05,2.887141e-05,2.891980e-05,2.896846e-05,2.903598e-05,2.905151e-05,2.912138e-05,2.912892e-05,2.917888e-05,2.920046e-05,2.922477e-05,2.925232e-05,2.925976e-05,2.928453e-05,2.928609e-05,2.929974e-05,2.930329e-05,2.930601e-05,2.930532e-05,2.930393e-05,2.929405e-05,2.929350e-05,2.927689e-05,2.926904e-05,2.925297e-05,2.923308e-05,2.922276e-05,2.918671e-05,2.914523e-05,2.913089e-05,2.909875e-05,2.906655e-05,2.904764e-05,2.899454e-05,2.899225e-05,2.893294e-05,2.891567e-05,2.887001e-05,2.883066e-05,2.880379e-05,2.874019e-05,2.873455e-05,2.866256e-05,2.864491e-05,2.858809e-05,2.854539e-05,2.851137e-05,2.844217e-05,2.843262e-05,2.835207e-05,2.833576e-05,2.826991e-05,2.822661e-05,2.818633e-05,2.811516e-05,2.810151e-05,2.801562e-05,2.800178e-05,2.792881e-05,2.788686e-05,2.784123e-05,2.777070e-05,2.775302e-05,2.766430e-05,2.765363e-05,2.757521e-05,2.753592e-05,2.748585e-05,2.741781e-05,2.739632e-05,2.730673e-05,2.729956e-05,2.721717e-05,2.718137e-05,2.712772e-05,2.706343e-05,2.703846e-05,2.694948e-05,2.694593e-05,2.686083e-05,2.682901e-05,2.677259e-05,2.671284e-05,2.668480e-05,2.659753e-05,2.648322e-05,2.636999e-05,2.625796e-05,2.614719e-05,2.603778e-05,2.592977e-05,2.582324e-05,2.571823e-05,2.561478e-05,2.551294e-05,2.541272e-05,2.531416e-05,2.521728e-05,2.512210e-05,2.502862e-05,2.493685e-05,2.484679e-05,2.475846e-05,2.467184e-05,2.458693e-05,2.450372e-05,2.442221e-05,2.434238e-05,2.426421e-05
0.000000e+00,1.424148e-09,4.122243e-09,1.992481e-08,5.710553e-08,9.329125e-08,2.801434e-07,2.918824e-07,7.452852e-07,9.421021e-07,1.623799e-06,2.389305e-06,2.988870e-06,4.569975e-06,4.717173e-06,6.626003e-06,7.093930e-06,8.573586e-06,9.648089e-06,1.047662e-05,1.208222e-05,1.229539e-05,1.401552e-05,1.434739e-05,1.563458e-05,1.643705e-05,1.715420e-05,1.835533e-05,1.857638e-05,1.990211e-05,2.010529e-05,2.113146e-05,2.168722e-05,2.226412e-05,2.310060e-05,2.330008e-05,2.424011e-05,2.434655e-05,2.508610e-05,2.542929e-05,2.584111e-05,2.635659e-05,2.650930e-05,2.709571e-05,2.713925e-05,2.760605e-05,2.779024e-05,2.804642e-05,2.832368e-05,2.842309e-05,2.874225e-05,2.875390e-05,2.900988e-05,2.909471e-05,2.923161e-05,2.935887e-05,2.941268e-05,2.955784e-05,2.967136e-05,2.970165e-05,2.975707e-05,2.979890e-05,2.981833e-05,2.985690e-05,2.985811e-05,2.987897e-05,2.988174e-05,2.988318e-05,2.987852e-05,2.987266e-05,2.985145e-05,2.984912e-05,2.981401e-05,2.980401e-05,2.976861e-05,2.973911e-05,2.971403e-05,2.965917e-05,2.965123e-05,2.958106e-05,2.956621e-05,2.950428e-05,2.946196e-05,2.942154e-05,2.934786e-05,2.933343e-05,2.924048e-05,2.922519e-05,2.914315e-05,2.909501e-05,2.904188e-05,2.895829e-05,2.893706e-05,2.882902e-05,2.881585e-05,2.871809e-05,2.866844e-05,2.860457e-05,2.851672e-05,2.848871e-05,2.837078e-05,2.836126e-05,2.825100e-05,2.820261e-05,2.812957e-05,2.804124e-05,2.800670e-05,2.788256e-05,2.787757e-05,2.775733e-05,2.771201e-05,2.763116e-05,2.754491e-05,2.750420e-05,2.737658e-05,2.724843e-05,2.720733e-05,2.711986e-05,2.703742e-05,2.699100e-05,2.686710e-05,2.686193e-05,2.673276e-05,2.669658e-05,2.660357e-05,2.652609e-05,2.647446e-05,2.635580e-05,2.634549e-05,2.621674e-05,2.618588e-05,2.608828e-05,2.601649e-05,2.596017e-05,2.584777e-05,2.583247e-05,2.570524e-05,2.567985e-05,2.557852e-05,2.551285e-05,2.545237e-05,2.534686e-05,2.532682e-05,2.520192e-05,2.518200e-05,2.507771e-05,2.501834e-05,2.495422e-05,2.485598e-05,2.483149e-05,2.470955e-05,2.469497e-05,2.458841e-05,2.453538e-05,2.446812e-05,2.437728e-05,2.434869e-05,2.423015e-05,2.422070e-05,2.411251e-05,2.406571e-05,2.399579e-05,2.391233e-05,2.388001e-05,2.376519e-05,2.376062e-05,2.365133e-05,2.361058e-05,2.353846e-05,2.346227e-05,2.342657e-05,2.331569e-05,2.317086e-05,2.302781e-05,2.288655e-05,2.274708e-05,2.260942e-05,2.247357e-05,2.233953e-05,2.220731e-05,2.207690e-05,2.194829e-05,2.182150e-05,2.169650e-05,2.157330e-05,2.145187e-05,2.133223e-05,2.121434e-05,2.109821e-05,2.098381e-05,2.087114e-05,2.076018e-05,2.065091e-05,2.054332e-05,2.043739e-05,2.033311e-05
0.000000e+00,7.127911e-09,2.135785e-08,1.096355e-07,3.255555e-07,5.368895e-07,1.591840e-06,1.655839e-06,3.986405e-06,4.947193e-06,8.232355e-06,1.205565e-05,1.525497e-05,2.488978e-05,2.588958e-05,4.075009e-05,4.499169e-05,6.021794e-05,7.321974e-05,8.451438e-05,1.099803e-04,1.137512e-04,1.479531e-04,1.553858e-04,1.870663e-04,2.093065e-04,2.309629e-04,2.713899e-04,2.794451e-04,3.322515e-04,3.410814e-04,3.890656e-04,4.176552e-04,4.495259e-04,5.002546e-04,5.132371e-04,5.797811e-04,5.879364e-04,6.487282e-04,6.797150e-04,7.196471e-04,7.746023e-04,7.921129e-04,8.657150e-04,8.716404e-04,9.400623e-04,9.699268e-04,1.014788e-03,1.068632e-03,1.089551e-03,1.164041e-03,1.167010e-03,1.237974e-03,1.264404e-03,1.311097e-03,1.360244e-03,1.383188e-03,1.454048e-03,1.523508e-03,1.545415e-03,1.591422e-03,1.634019e-03,1.657669e-03,1.719603e-03,1.722148e-03,1.784775e-03,1.801970e-03,1.845487e-03,1.880975e-03,1.904237e-03,1.956522e-03,1.960988e-03,2.015721e-03,2.028555e-03,2.068424e-03,2.097051e-03,2.119097e-03,2.162017e-03,2.167748e-03,2.214393e-03,2.223483e-03,2.259053e-03,2.281501e-03,2.301757e-03,2.336139e-03,2.342536e-03,2.381426e-03,2.387476e-03,2.418468e-03,2.435604e-03,2.453704e-03,2.480622e-03,2.487178e-03,2.518936e-03,2.522634e-03,2.549026e-03,2.561750e-03,2.577497e-03,2.598081e-03,2.604396e-03,2.629774e-03,2.631740e-03,2.653680e-03,2.662841e-03,2.676162e-03,2.691496e-03,2.697271e-03,2.717054e-03,2.717819e-03,2.735560e-03,2.741918e-03,2.752834e-03,2.763901e-03,2.768924e-03,2.783875e-03,2.797730e-03,2.801940e-03,2.810534e-03,2.818196e-03,2.822329e-03,2.832740e-03,2.833155e-03,2.843053e-03,2.845663e-03,2.852061e-03,2.857055e-03,2.860218e-03,2.867001e-03,2.867559e-03,2.874121e-03,2.875584e-03,2.879937e-03,2.882881e-03,2.885041e-03,2.888969e-03,2.889465e-03,2.893239e-03,2.893919e-03,2.896394e-03,2.897800e-03,2.898959e-03,2.900677e-03,2.900960e-03,2.902425e-03,2.902612e-03,2.903380e-03,2.903665e-03,2.903850e-03,2.903892e-03,2.903858e-03,2.903427e-03,2.903347e-03,2.902579e-03,2.902080e-03,2.901337e-03,2.900141e-03,2.899719e-03,2.897746e-03,2.897574e-03,2.895437e-03,2.894423e-03,2.892809e-03,2.890730e-03,2.889881e-03,2.886667e-03,2.886533e-03,2.883186e-03,2.881869e-03,2.879451e-03,2.876774e-03,2.875477e-03,2.871279e-03,2.865417e-03,2.859217e-03,2.852706e-03,2.845911e-03,2.838857e-03,2.831567e-03,2.824063e-03,2.816366e-03,2.808495e-03,2.800470e-03,2.792306e-03,2.784022e-03,2.775631e-03,2.767148e-03,2.758587e-03,2.749961e-03,2.741282e-03,2.732560e-03,2.723806e-03,2.715030e-03,2.706241e-03,2.697448e-03,2.688659e-03,2.679881e-03
0.000000e+00,3.582964e-09,1.055573e-08,5.240702e-08,1.514319e-07,2.464552e-07,7.115481e-07,7.395494e-07,1.757290e-06,2.177776e-06,3.620799e-06,5.300522e-06,6.696477e-06,1.080201e-05,1.121821e-05,1.718159e-05,1.881079e-05,2.442262e-05,2.895542e-05,3.272563e-05,4.074283e-05,4.187982e-05,5.169732e-05,5.372560e-05,6.201393e-05,6.752702e-05,7.268448e-05,8.182486e-05,8.357762e-05,9.457231e-05,9.633324e-05,1.055558e-04,1.107929e-04,1.164234e-04,1.249687e-04,1.270784e-04,1.374337e-04,1.386524e-04,1.474126e-04,1.516668e-04,1.569496e-04,1.638685e-04,1.659908e-04,1.744943e-04,1.751504e-04,1.824303e-04,1.854413e-04,1.897802e-04,1.947040e-04,1.965353e-04,2.026963e-04,2.029305e-04,2.082715e-04,2.101379e-04,2.132758e-04,2.163627e-04,2.177293e-04,2.216560e-04,2.250833e-04,2.260793e-04,2.280402e-04,2.296995e-04,2.305566e-04,2.325863e-04,2.326630e-04,2.343898e-04,2.348093e-04,2.357666e-04,2.364367e-04,2.368222e-04,2.375336e-04,2.375844e-04,2.380791e-04,2.381609e-04,2.383312e-04,2.383750e-04,2.383637e-04,2.382276e-04,2.381980e-04,2.378541e-04,2.377655e-04,2.373502e-04,2.370307e-04,2.367034e-04,2.360608e-04,2.359290e-04,2.350411e-04,2.348894e-04,2.340527e-04,2.335461e-04,2.329756e-04,2.320571e-04,2.318203e-04,2.305965e-04,2.304454e-04,2.293130e-04,2.287314e-04,2.279777e-04,2.269328e-04,2.265979e-04,2.251801e-04,2.250652e-04,2.237300e-04,2.231422e-04,2.222531e-04,2.211757e-04,2.207540e-04,2.192372e-04,2.191762e-04,2.177065e-04,2.171527e-04,2.161653e-04,2.151131e-04,2.146170e-04,2.130643e-04,2.115098e-04,2.110123e-04,2.099558e-04,2.089624e-04,2.084043e-04,2.069191e-04,2.068573e-04,2.053164e-04,2.048862e-04,2.037830e-04,2.028673e-04,2.022587e-04,2.008652e-04,2.007444e-04,1.992414e-04,1.988824e-04,1.977505e-04,1.969212e-04,1.962726e-04,1.949834e-04,1.948085e-04,1.933588e-04,1.930706e-04,1.919240e-04,1.911841e-04,1.905048e-04,1.893249e-04,1.891015e-04,1.877145e-04,1.874941e-04,1.863441e-04,1.856923e-04,1.849906e-04,1.839202e-04,1.836543e-04,1.823353e-04,1.821782e-04,1.810337e-04,1.804666e-04,1.797497e-04,1.787857e-04,1.784834e-04,1.772348e-04,1.771356e-04,1.760038e-04,1.755164e-04,1.747906e-04,1.739281e-04,1.735951e-04,1.724172e-04,1.723704e-04,1.712569e-04,1.708435e-04,1.701141e-04,1.693469e-04,1.689887e-04,1.678806e-04,1.664442e-04,1.650373e-04,1.636598e-04,1.623112e-04,1.609910e-04,1.596990e-04,1.584347e-04,1.571976e-04,1.559873e-04,1.548033e-04,1.536452e-04,1.525125e-04,1.514048e-04,1.503214e-04,1.492621e-04,1.482262e-04,1.472133e-04,1.462229e-04,1.452545e-04,1.443078e-04,1.433821e-04,1.424770e-04,1.415922e-04,1.407270e-04
0.000000e+00,1.564732e-09,3.569600e-09,1.218158e-08,2.751586e-08,3.998192e-08,8.974496e-08,9.240481e-08,1.766484e-07,2.069354e-07,3.001039e-07,3.962267e-07,4.705488e-07,6.753882e-07,6.955443e-07,9.802314e-07,1.057536e-06,1.324186e-06,1.540410e-06,1.720840e-06,2.105910e-06,2.160645e-06,2.634270e-06,2.732325e-06,3.133697e-06,3.401287e-06,3.652077e-06,4.097717e-06,4.183354e-06,4.721990e-06,4.808506e-06,5.262839e-06,5.521816e-06,5.801127e-06,6.226958e-06,6.332477e-06,6.852948e-06,6.914504e-06,7.359081e-06,7.576458e-06,7.847925e-06,8.206367e-06,8.317046e-06,8.764514e-06,8.799330e-06,9.188887e-06,9.351932e-06,9.589167e-06,9.862104e-06,9.964763e-06,1.031543e-05,1.032894e-05,1.064126e-05,1.075252e-05,1.094255e-05,1.113369e-05,1.121985e-05,1.147385e-05,1.170536e-05,1.177485e-05,1.191532e-05,1.203883e-05,1.210470e-05,1.226810e-05,1.227453e-05,1.242586e-05,1.246506e-05,1.255974e-05,1.263213e-05,1.267722e-05,1.277169e-05,1.277931e-05,1.286702e-05,1.288604e-05,1.294132e-05,1.297741e-05,1.300312e-05,1.304789e-05,1.305333e-05,1.309276e-05,1.309943e-05,1.312223e-05,1.313387e-05,1.314249e-05,1.315291e-05,1.315425e-05,1.315817e-05,1.315812e-05,1.315490e-05,1.315095e-05,1.314501e-05,1.313271e-05,1.312906e-05,1.310756e-05,1.310463e-05,1.308100e-05,1.306782e-05,1.304982e-05,1.302329e-05,1.301444e-05,1.297525e-05,1.297196e-05,1.293262e-05,1.291468e-05,1.288689e-05,1.285221e-05,1.283836e-05,1.278732e-05,1.278523e-05,1.273406e-05,1.271439e-05,1.267881e-05,1.264023e-05,1.262182e-05,1.256329e-05,1.250342e-05,1.248402e-05,1.244241e-05,1.240283e-05,1.238041e-05,1.232012e-05,1.231759e-05,1.225409e-05,1.223621e-05,1.219004e-05,1.215141e-05,1.212558e-05,1.206599e-05,1.206080e-05,1.199582e-05,1.198021e-05,1.193074e-05,1.189427e-05,1.186563e-05,1.180839e-05,1.180059e-05,1.173568e-05,1.172272e-05,1.167097e-05,1.163742e-05,1.160653e-05,1.155264e-05,1.154241e-05,1.147866e-05,1.146850e-05,1.141533e-05,1.138510e-05,1.135246e-05,1.130253e-05,1.129010e-05,1.122826e-05,1.122088e-05,1.116699e-05,1.114022e-05,1.110631e-05,1.106061e-05,1.104625e-05,1.098683e-05,1.098210e-05,1.092807e-05,1.090475e-05,1.086998e-05,1.082858e-05,1.081258e-05,1.075588e-05,1.075362e-05,1.069989e-05,1.067991e-05,1.064463e-05,1.060747e-05,1.059009e-05,1.053629e-05,1.046641e-05,1.039782e-05,1.033054e-05,1.026455e-05,1.019986e-05,1.013646e-05,1.007434e-05,1.001351e-05,9.953937e-06,9.895621e-06,9.838545e-06,9.782696e-06,9.728056e-06,9.674611e-06,9.622342e-06,9.571232e-06,9.521263e-06,9.472415e-06,9.424670e-06,9.378009e-06,9.332410e-06,9.287856e-06,9.244325e-06,9.201798e-06
0.000000e+00,6.109113e-09,1.493974e-08,5.534311e-08,1.308943e-07,1.941318e-07,4.568557e-07,4.712767e-07,9.440573e-07,1.120781e-06,1.683246e-06,2.288445e-06,2.769835e-06,4.134314e-06,4.270307e-06,6.195919e-06,6.716527e-06,8.496153e-06,9.920489e-06,1.109799e-05,1.358581e-05,1.393731e-05,1.696469e-05,1.758916e-05,2.014103e-05,2.184042e-05,2.343311e-05,2.626588e-05,2.681092e-05,3.024651e-05,3.079979e-05,3.371369e-05,3.538193e-05,3.718813e-05,3.995790e-05,4.064761e-05,4.407223e-05,4.447999e-05,4.744455e-05,4.890787e-05,5.074963e-05,5.320872e-05,5.397494e-05,5.711029e-05,5.735698e-05,6.014763e-05,6.133369e-05,6.308081e-05,6.512563e-05,6.590535e-05,6.861825e-05,6.872442e-05,7.121776e-05,7.212565e-05,7.370316e-05,7.532810e-05,7.607461e-05,7.833301e-05,8.047980e-05,8.114350e-05,8.251691e-05,8.376414e-05,8.444662e-05,8.620050e-05,8.627152e-05,8.799437e-05,8.845888e-05,8.961812e-05,9.054606e-05,9.114581e-05,9.246913e-05,9.258057e-05,9.392554e-05,9.423532e-05,9.518390e-05,9.585193e-05,9.635881e-05,9.732620e-05,9.745342e-05,9.847082e-05,9.866531e-05,9.941408e-05,9.987626e-05,1.002862e-04,1.009659e-04,1.010901e-04,1.018286e-04,1.019409e-04,1.025046e-04,1.028077e-04,1.031208e-04,1.035725e-04,1.036798e-04,1.041843e-04,1.042412e-04,1.046366e-04,1.048197e-04,1.050392e-04,1.053134e-04,1.053945e-04,1.057047e-04,1.057276e-04,1.059720e-04,1.060673e-04,1.061984e-04,1.063374e-04,1.063862e-04,1.065371e-04,1.065424e-04,1.066531e-04,1.066866e-04,1.067360e-04,1.067743e-04,1.067875e-04,1.068094e-04,1.068032e-04,1.067956e-04,1.067705e-04,1.067364e-04,1.067129e-04,1.066353e-04,1.066316e-04,1.065281e-04,1.064954e-04,1.064038e-04,1.063197e-04,1.062598e-04,1.061111e-04,1.060974e-04,1.059178e-04,1.058722e-04,1.057220e-04,1.056057e-04,1.055111e-04,1.053138e-04,1.052861e-04,1.050480e-04,1.049989e-04,1.047977e-04,1.046631e-04,1.045361e-04,1.043083e-04,1.042641e-04,1.039824e-04,1.039365e-04,1.036918e-04,1.035493e-04,1.033930e-04,1.031486e-04,1.030868e-04,1.027738e-04,1.027358e-04,1.024546e-04,1.023123e-04,1.021298e-04,1.018796e-04,1.018000e-04,1.014658e-04,1.014389e-04,1.011277e-04,1.009914e-04,1.007860e-04,1.005382e-04,1.004415e-04,1.000943e-04,1.000804e-04,9.974503e-05,9.961885e-05,9.939402e-05,9.915454e-05,9.904166e-05,9.868828e-05,9.822084e-05,9.775295e-05,9.728526e-05,9.681839e-05,9.635292e-05,9.588936e-05,9.542819e-05,9.496986e-05,9.451476e-05,9.406327e-05,9.361572e-05,9.317241e-05,9.273363e-05,9.229962e-05,9.187059e-05,9.144677e-05,9.102831e-05,9.061538e-05,9.020811e-05,8.980663e-05,8.941102e-05,8.902138e-05,8.863778e-05,8.826026e-05
0.000000e+00,8.553452e-09,2.010624e-08,7.106510e-08,1.637490e-07,2.400796e-07,5.502939e-07,5.670757e-07,1.106991e-06,1.304631e-06,1.922648e-06,2.574361e-06,3.086947e-06,4.533604e-06,4.678378e-06,6.762748e-06,7.340065e-06,9.361256e-06,1.102709e-05,1.243028e-05,1.544930e-05,1.588004e-05,1.961245e-05,2.038515e-05,2.354370e-05,2.564407e-05,2.760798e-05,3.108666e-05,3.175360e-05,3.593845e-05,3.660922e-05,4.012688e-05,4.212935e-05,4.428792e-05,4.757865e-05,4.839439e-05,5.242252e-05,5.289962e-05,5.635179e-05,5.804476e-05,6.016482e-05,6.297609e-05,6.384733e-05,6.738793e-05,6.766477e-05,7.077794e-05,7.209031e-05,7.401117e-05,7.623974e-05,7.708371e-05,7.999362e-05,8.010662e-05,8.274062e-05,8.368985e-05,8.532588e-05,8.699260e-05,8.775170e-05,9.002139e-05,9.213897e-05,9.278521e-05,9.410905e-05,9.529481e-05,9.593668e-05,9.756215e-05,9.762721e-05,9.918616e-05,9.959986e-05,1.006192e-04,1.014210e-04,1.019320e-04,1.030385e-04,1.031303e-04,1.042195e-04,1.044653e-04,1.052053e-04,1.057142e-04,1.060930e-04,1.067971e-04,1.068877e-04,1.075946e-04,1.077259e-04,1.082185e-04,1.085117e-04,1.087641e-04,1.091652e-04,1.092359e-04,1.096381e-04,1.096963e-04,1.099749e-04,1.101146e-04,1.102503e-04,1.104289e-04,1.104680e-04,1.106316e-04,1.106478e-04,1.107445e-04,1.107789e-04,1.108098e-04,1.108297e-04,1.108308e-04,1.108103e-04,1.108070e-04,1.107511e-04,1.107172e-04,1.106559e-04,1.105664e-04,1.105270e-04,1.103670e-04,1.103599e-04,1.101779e-04,1.101032e-04,1.099620e-04,1.098008e-04,1.097212e-04,1.094574e-04,1.091724e-04,1.090770e-04,1.088679e-04,1.086636e-04,1.085455e-04,1.082206e-04,1.082067e-04,1.078529e-04,1.077513e-04,1.074854e-04,1.072589e-04,1.071055e-04,1.067460e-04,1.067144e-04,1.063131e-04,1.062154e-04,1.059028e-04,1.056695e-04,1.054845e-04,1.051104e-04,1.050589e-04,1.046272e-04,1.045401e-04,1.041899e-04,1.039606e-04,1.037480e-04,1.033736e-04,1.033021e-04,1.028529e-04,1.027807e-04,1.024010e-04,1.021833e-04,1.019470e-04,1.015828e-04,1.014916e-04,1.010351e-04,1.009803e-04,1.005782e-04,1.003770e-04,1.001211e-04,9.977397e-05,9.966442e-05,9.920847e-05,9.917203e-05,9.875362e-05,9.857207e-05,9.830021e-05,9.797483e-05,9.784857e-05,9.739897e-05,9.738103e-05,9.695168e-05,9.679127e-05,9.650696e-05,9.620613e-05,9.606503e-05,9.562610e-05,9.505164e-05,9.448316e-05,9.392100e-05,9.336549e-05,9.281690e-05,9.227548e-05,9.174143e-05,9.121494e-05,9.069614e-05,9.018518e-05,8.968215e-05,8.918712e-05,8.870017e-05,8.822133e-05,8.775063e-05,8.728808e-05,8.683368e-05,8.638740e-05,8.594924e-05,8.551914e-05,8.509706e-05,8.468294e-05,8.427674e-05,8.387837e-05
0.000000e+00,2.555510e-09,6.201337e-09,2.276761e-08,5.356325e-08,7.922035e-08,1.848419e-07,1.905972e-07,3.771194e-07,4.458772e-07,6.619497e-07,8.910313e-07,1.071821e-06,1.583986e-06,1.635360e-06,2.376855e-06,2.582811e-06,3.306114e-06,3.905441e-06,4.413025e-06,5.515357e-06,5.673898e-06,7.062331e-06,7.353212e-06,8.555204e-06,9.366351e-06,1.013360e-05,1.151398e-05,1.178180e-05,1.348617e-05,1.376325e-05,1.523441e-05,1.608577e-05,1.701514e-05,1.845598e-05,1.881777e-05,2.063250e-05,2.085064e-05,2.245028e-05,2.324893e-05,2.426291e-05,2.563252e-05,2.606305e-05,2.784424e-05,2.798574e-05,2.960086e-05,3.029553e-05,3.132813e-05,3.255133e-05,3.302207e-05,3.467934e-05,3.474483e-05,3.629724e-05,3.686963e-05,3.787370e-05,3.892121e-05,3.940716e-05,4.089647e-05,4.234091e-05,4.279357e-05,4.374005e-05,4.461165e-05,4.509375e-05,4.635062e-05,4.640208e-05,4.766534e-05,4.801103e-05,4.888397e-05,4.959395e-05,5.005853e-05,5.110080e-05,5.118971e-05,5.227828e-05,5.253329e-05,5.332508e-05,5.389336e-05,5.433097e-05,5.518307e-05,5.529691e-05,5.622383e-05,5.640462e-05,5.711271e-05,5.756023e-05,5.796455e-05,5.865219e-05,5.878034e-05,5.956107e-05,5.968280e-05,6.030775e-05,6.065435e-05,6.102136e-05,6.156910e-05,6.170289e-05,6.235329e-05,6.242929e-05,6.297353e-05,6.323713e-05,6.356455e-05,6.399476e-05,6.412728e-05,6.466261e-05,6.470428e-05,6.517145e-05,6.536776e-05,6.565465e-05,6.598717e-05,6.611308e-05,6.654756e-05,6.656446e-05,6.695891e-05,6.710149e-05,6.734792e-05,6.760008e-05,6.771536e-05,6.806199e-05,6.838853e-05,6.848890e-05,6.869570e-05,6.888245e-05,6.898420e-05,6.924421e-05,6.925469e-05,6.950784e-05,6.957570e-05,6.974428e-05,6.987838e-05,6.996463e-05,7.015366e-05,7.016949e-05,7.035944e-05,7.040287e-05,7.053504e-05,7.062732e-05,7.069685e-05,7.082825e-05,7.084539e-05,7.098118e-05,7.100685e-05,7.110472e-05,7.116428e-05,7.121649e-05,7.130162e-05,7.131695e-05,7.140657e-05,7.141993e-05,7.148577e-05,7.152021e-05,7.155499e-05,7.160344e-05,7.161462e-05,7.166508e-05,7.167053e-05,7.170674e-05,7.172237e-05,7.173997e-05,7.175981e-05,7.176513e-05,7.178257e-05,7.178364e-05,7.179263e-05,7.179465e-05,7.179562e-05,7.179357e-05,7.179186e-05,7.178165e-05,7.178111e-05,7.176528e-05,7.175793e-05,7.174304e-05,7.172469e-05,7.171519e-05,7.168200e-05,7.163043e-05,7.157055e-05,7.150289e-05,7.142796e-05,7.134624e-05,7.125819e-05,7.116425e-05,7.106483e-05,7.096034e-05,7.085115e-05,7.073762e-05,7.062009e-05,7.049888e-05,7.037431e-05,7.024667e-05,7.011624e-05,6.998327e-05,6.984803e-05,6.971074e-05,6.957164e-05,6.943093e-05,6.928882e-05,6.914551e-05,6.900116e-05
0.000000e+00,1.326558e-09,3.080816e-09,1.073443e-08,2.451162e-08,3.576642e-08,8.082869e-08,8.323807e-08,1.593654e-07,1.866082e-07,2.698924e-07,3.549680e-07,4.201866e-07,5.978630e-07,6.152189e-07,8.592298e-07,9.254258e-07,1.154900e-06,1.343236e-06,1.502466e-06,1.849603e-06,1.899804e-06,2.343470e-06,2.437423e-06,2.829576e-06,3.097794e-06,3.354104e-06,3.821370e-06,3.912905e-06,4.501661e-06,4.598343e-06,5.115870e-06,5.418371e-06,5.750886e-06,6.270707e-06,6.401987e-06,7.064460e-06,7.144500e-06,7.733690e-06,8.029142e-06,8.405245e-06,8.914598e-06,9.074945e-06,9.738928e-06,9.791692e-06,1.039369e-05,1.065229e-05,1.103610e-05,1.148945e-05,1.166344e-05,1.227340e-05,1.229741e-05,1.286403e-05,1.307161e-05,1.343377e-05,1.380864e-05,1.398142e-05,1.450608e-05,1.500714e-05,1.516243e-05,1.548426e-05,1.577698e-05,1.593730e-05,1.634964e-05,1.636634e-05,1.677161e-05,1.688088e-05,1.715349e-05,1.737160e-05,1.751248e-05,1.782301e-05,1.784914e-05,1.816414e-05,1.823660e-05,1.845820e-05,1.861400e-05,1.873206e-05,1.895697e-05,1.898651e-05,1.922234e-05,1.926735e-05,1.944037e-05,1.954698e-05,1.964141e-05,1.979773e-05,1.982624e-05,1.999568e-05,2.002141e-05,2.015048e-05,2.021980e-05,2.029139e-05,2.039463e-05,2.041917e-05,2.053450e-05,2.054753e-05,2.063807e-05,2.068009e-05,2.073054e-05,2.079379e-05,2.081255e-05,2.088469e-05,2.089006e-05,2.094755e-05,2.097022e-05,2.100167e-05,2.103553e-05,2.104759e-05,2.108579e-05,2.108717e-05,2.111677e-05,2.112624e-05,2.114097e-05,2.115377e-05,2.115882e-05,2.117074e-05,2.117710e-05,2.117803e-05,2.117828e-05,2.117648e-05,2.117463e-05,2.116687e-05,2.116647e-05,2.115410e-05,2.114993e-05,2.113784e-05,2.112633e-05,2.111795e-05,2.109668e-05,2.109470e-05,2.106833e-05,2.106157e-05,2.103909e-05,2.102153e-05,2.100718e-05,2.097706e-05,2.097282e-05,2.093620e-05,2.092862e-05,2.089751e-05,2.087664e-05,2.085693e-05,2.082149e-05,2.081461e-05,2.077072e-05,2.076356e-05,2.072539e-05,2.070317e-05,2.067877e-05,2.064063e-05,2.063098e-05,2.058214e-05,2.057622e-05,2.053238e-05,2.051021e-05,2.048179e-05,2.044285e-05,2.043047e-05,2.037853e-05,2.037435e-05,2.032604e-05,2.030491e-05,2.027309e-05,2.023473e-05,2.021977e-05,2.016613e-05,2.016398e-05,2.011226e-05,2.009281e-05,2.005820e-05,2.002138e-05,2.000404e-05,1.994981e-05,1.987822e-05,1.980673e-05,1.973543e-05,1.966442e-05,1.959378e-05,1.952359e-05,1.945391e-05,1.938480e-05,1.931632e-05,1.924853e-05,1.918145e-05,1.911515e-05,1.904963e-05,1.898495e-05,1.892113e-05,1.885818e-05,1.879613e-05,1.873500e-05,1.867479e-05,1.861553e-05,1.855722e-05,1.849986e-05,1.844347e-05,1.838804e-05
0.000000e+00,1.525322e-09,4.338466e-09,2.006386e-08,5.436144e-08,8.534054e-08,2.232644e-07,2.310705e-07,4.919615e-07,5.905232e-07,9.042676e-07,1.240480e-06,1.507128e-06,2.265672e-06,2.341937e-06,3.445751e-06,3.753447e-06,4.838666e-06,5.744190e-06,6.516121e-06,8.209345e-06,8.454780e-06,1.062413e-05,1.108299e-05,1.299411e-05,1.429662e-05,1.553744e-05,1.778963e-05,1.822935e-05,2.104656e-05,2.150743e-05,2.396648e-05,2.539797e-05,2.696679e-05,2.941004e-05,3.002536e-05,3.312037e-05,3.349320e-05,3.623058e-05,3.759861e-05,3.933568e-05,4.168032e-05,4.241655e-05,4.545556e-05,4.569638e-05,4.843675e-05,4.960981e-05,5.134600e-05,5.338915e-05,5.417105e-05,5.690157e-05,5.700870e-05,5.952909e-05,6.044843e-05,6.204687e-05,6.369363e-05,6.444984e-05,6.673440e-05,6.889837e-05,6.956518e-05,7.094075e-05,7.218406e-05,7.286161e-05,7.459219e-05,7.466191e-05,7.634339e-05,7.679322e-05,7.790843e-05,7.879276e-05,7.935994e-05,8.059788e-05,8.070121e-05,8.193587e-05,8.221675e-05,8.306780e-05,8.365831e-05,8.410104e-05,8.493195e-05,8.503975e-05,8.588810e-05,8.604730e-05,8.665030e-05,8.701399e-05,8.733053e-05,8.784159e-05,8.793291e-05,8.846149e-05,8.853948e-05,8.892022e-05,8.911673e-05,8.931294e-05,8.958209e-05,8.964337e-05,8.991510e-05,8.994393e-05,9.013161e-05,9.021024e-05,9.029622e-05,9.038858e-05,9.041212e-05,9.048236e-05,9.048610e-05,9.050986e-05,9.050953e-05,9.049741e-05,9.046520e-05,9.044765e-05,9.036312e-05,9.035905e-05,9.024620e-05,9.019662e-05,9.009918e-05,8.998311e-05,8.992421e-05,8.972335e-05,8.949854e-05,8.942184e-05,8.925160e-05,8.908277e-05,8.898429e-05,8.871002e-05,8.869824e-05,8.839500e-05,8.830722e-05,8.807604e-05,8.787769e-05,8.774273e-05,8.742454e-05,8.739638e-05,8.703821e-05,8.695062e-05,8.666938e-05,8.645858e-05,8.629097e-05,8.595086e-05,8.590400e-05,8.550945e-05,8.542970e-05,8.510819e-05,8.489718e-05,8.470109e-05,8.435519e-05,8.428894e-05,8.387248e-05,8.380549e-05,8.345240e-05,8.324967e-05,8.302936e-05,8.268921e-05,8.260397e-05,8.217679e-05,8.212544e-05,8.174837e-05,8.155959e-05,8.131919e-05,8.099279e-05,8.088971e-05,8.046037e-05,8.042605e-05,8.003157e-05,7.986029e-05,7.960368e-05,7.929635e-05,7.917703e-05,7.875196e-05,7.873499e-05,7.832875e-05,7.817691e-05,7.790768e-05,7.762270e-05,7.748900e-05,7.707294e-05,7.652811e-05,7.598865e-05,7.545496e-05,7.492737e-05,7.440620e-05,7.389171e-05,7.338412e-05,7.288363e-05,7.239039e-05,7.190456e-05,7.142624e-05,7.095551e-05,7.049245e-05,7.003710e-05,6.958949e-05,6.914963e-05,6.871753e-05,6.829316e-05,6.787651e-05,6.746752e-05,6.706616e-05,6.667237e-05,6.628609e-05,6.590723e-05
0.000000e+00,4.509107e-09,1.068622e-08,3.814270e-08,8.830125e-08,1.296373e-07,2.970770e-07,3.060982e-07,5.938981e-07,6.980305e-07,1.019514e-06,1.352085e-06,1.609317e-06,2.316389e-06,2.385717e-06,3.359177e-06,3.621911e-06,4.525820e-06,5.259579e-06,5.874900e-06,7.203766e-06,7.394789e-06,9.073796e-06,9.427610e-06,1.089937e-05,1.190202e-05,1.285756e-05,1.459367e-05,1.493292e-05,1.710880e-05,1.746510e-05,1.936772e-05,2.047629e-05,2.169195e-05,2.358651e-05,2.406389e-05,2.646661e-05,2.675623e-05,2.888410e-05,2.994862e-05,3.130160e-05,3.313064e-05,3.370576e-05,3.608469e-05,3.627360e-05,3.842806e-05,3.935341e-05,4.072700e-05,4.235051e-05,4.297409e-05,4.516323e-05,4.524952e-05,4.728954e-05,4.803886e-05,4.934922e-05,5.071027e-05,5.133946e-05,5.325827e-05,5.510444e-05,5.567975e-05,5.687732e-05,5.797346e-05,5.857685e-05,6.013972e-05,6.020339e-05,6.175768e-05,6.218007e-05,6.324077e-05,6.409698e-05,6.465396e-05,6.589362e-05,6.599872e-05,6.727669e-05,6.757366e-05,6.848962e-05,6.914114e-05,6.963936e-05,7.060035e-05,7.072779e-05,7.175687e-05,7.195573e-05,7.272854e-05,7.321178e-05,7.364478e-05,7.437302e-05,7.450755e-05,7.531880e-05,7.544394e-05,7.608044e-05,7.642897e-05,7.679438e-05,7.733244e-05,7.746248e-05,7.808656e-05,7.815857e-05,7.866840e-05,7.891147e-05,7.920974e-05,7.959511e-05,7.971227e-05,8.017764e-05,8.021331e-05,8.060745e-05,8.076976e-05,8.100325e-05,8.126800e-05,8.136653e-05,8.169876e-05,8.171143e-05,8.200134e-05,8.210328e-05,8.227564e-05,8.244667e-05,8.252295e-05,8.274456e-05,8.294168e-05,8.299978e-05,8.311549e-05,8.321502e-05,8.326712e-05,8.339285e-05,8.339768e-05,8.350821e-05,8.353571e-05,8.359972e-05,8.364591e-05,8.367319e-05,8.372565e-05,8.372955e-05,8.376970e-05,8.377702e-05,8.379451e-05,8.380201e-05,8.380480e-05,8.380247e-05,8.380136e-05,8.378497e-05,8.378020e-05,8.375634e-05,8.373686e-05,8.371619e-05,8.367404e-05,8.366518e-05,8.360395e-05,8.359325e-05,8.353313e-05,8.349590e-05,8.345330e-05,8.338333e-05,8.336502e-05,8.326884e-05,8.325679e-05,8.316527e-05,8.311748e-05,8.305480e-05,8.296652e-05,8.293790e-05,8.281503e-05,8.280495e-05,8.268661e-05,8.263378e-05,8.255305e-05,8.245393e-05,8.241475e-05,8.227207e-05,8.226628e-05,8.212537e-05,8.207164e-05,8.197499e-05,8.187080e-05,8.182126e-05,8.166447e-05,8.145333e-05,8.123802e-05,8.101912e-05,8.079720e-05,8.057277e-05,8.034630e-05,8.011826e-05,7.988907e-05,7.965910e-05,7.942872e-05,7.919826e-05,7.896804e-05,7.873835e-05,7.850944e-05,7.828157e-05,7.805496e-05,7.782981e-05,7.760631e-05,7.738464e-05,7.716496e-05,7.694740e-05,7.673210e-05,7.651917e-05,7.630873e-05
0.000000e+00,1.051917e-09,3.037065e-09,1.445415e-08,4.010821e-08,6.374872e-08,1.719128e-07,1.781371e-07,3.904129e-07,4.723356e-07,7.379154e-07,1.029101e-06,1.263918e-06,1.945614e-06,2.014998e-06,3.029145e-06,3.313843e-06,4.320200e-06,5.160150e-06,5.875322e-06,7.440043e-06,7.666367e-06,9.661658e-06,1.008257e-05,1.183179e-05,1.302063e-05,1.415085e-05,1.619702e-05,1.659578e-05,1.914523e-05,1.956148e-05,2.177883e-05,2.306697e-05,2.447660e-05,2.666782e-05,2.721891e-05,2.998650e-05,3.031942e-05,3.276068e-05,3.397876e-05,3.552359e-05,3.760552e-05,3.825850e-05,4.095000e-05,4.116302e-05,4.358417e-05,4.461896e-05,4.614868e-05,4.794600e-05,4.863297e-05,5.102813e-05,5.112197e-05,5.332691e-05,5.412975e-05,5.552368e-05,5.695699e-05,5.761420e-05,5.959561e-05,6.146623e-05,6.204131e-05,6.322548e-05,6.429306e-05,6.487367e-05,6.635249e-05,6.641193e-05,6.784203e-05,6.822339e-05,6.916633e-05,6.991126e-05,7.038760e-05,7.142289e-05,7.150901e-05,7.253396e-05,7.276600e-05,7.346608e-05,7.394892e-05,7.430913e-05,7.498038e-05,7.506694e-05,7.574342e-05,7.586929e-05,7.634244e-05,7.662461e-05,7.686787e-05,7.725516e-05,7.732353e-05,7.771314e-05,7.776960e-05,7.804036e-05,7.817631e-05,7.830874e-05,7.848339e-05,7.852171e-05,7.868259e-05,7.869855e-05,7.879459e-05,7.882917e-05,7.886076e-05,7.888223e-05,7.888406e-05,7.886731e-05,7.886433e-05,7.881321e-05,7.878169e-05,7.872433e-05,7.864017e-05,7.860311e-05,7.845189e-05,7.844525e-05,7.827289e-05,7.820206e-05,7.806821e-05,7.791538e-05,7.783984e-05,7.758968e-05,7.731952e-05,7.722912e-05,7.703104e-05,7.683755e-05,7.672585e-05,7.641855e-05,7.640546e-05,7.607130e-05,7.597545e-05,7.572470e-05,7.551130e-05,7.536693e-05,7.502894e-05,7.499918e-05,7.462257e-05,7.453098e-05,7.423815e-05,7.401984e-05,7.384691e-05,7.349772e-05,7.344978e-05,7.304761e-05,7.296665e-05,7.264123e-05,7.242850e-05,7.223139e-05,7.188497e-05,7.181880e-05,7.140412e-05,7.133762e-05,7.098797e-05,7.078787e-05,7.057092e-05,7.023701e-05,7.015352e-05,6.973625e-05,6.968621e-05,6.931958e-05,6.913655e-05,6.890394e-05,6.858897e-05,6.848971e-05,6.807726e-05,6.804435e-05,6.766693e-05,6.750346e-05,6.725903e-05,6.696700e-05,6.685384e-05,6.645161e-05,6.643559e-05,6.605260e-05,6.590978e-05,6.565700e-05,6.539005e-05,6.526502e-05,6.487684e-05,6.437052e-05,6.387141e-05,6.337978e-05,6.289588e-05,6.241990e-05,6.195200e-05,6.149231e-05,6.104092e-05,6.059791e-05,6.016332e-05,5.973719e-05,5.931950e-05,5.891026e-05,5.850943e-05,5.811697e-05,5.773282e-05,5.735691e-05,5.698916e-05,5.662949e-05,5.627779e-05,5.593396e-05,5.559788e-05,5.526945e-05,5.494854e-05
0.000000e+00,8.313097e-09,1.892360e-08,6.441417e-08,1.453972e-07,2.113252e-07,4.758182e-07,4.900214e-07,9.434912e-07,1.108210e-06,1.620128e-06,2.155693e-06,2.574228e-06,3.743262e-06,3.859259e-06,5.508431e-06,5.958143e-06,7.508287e-06,8.758354e-06,9.793187e-06,1.196844e-05,1.227351e-05,1.486699e-05,1.539337e-05,1.751030e-05,1.888855e-05,2.015694e-05,2.235709e-05,2.277226e-05,2.532944e-05,2.573171e-05,2.780715e-05,2.896307e-05,3.018831e-05,3.201451e-05,3.245938e-05,3.461004e-05,3.485965e-05,3.663290e-05,3.748115e-05,3.852319e-05,3.986963e-05,4.027857e-05,4.189873e-05,4.202254e-05,4.338516e-05,4.394289e-05,4.474075e-05,4.563798e-05,4.596952e-05,4.707646e-05,4.711829e-05,4.806724e-05,4.839664e-05,4.894793e-05,4.948714e-05,4.972486e-05,5.040448e-05,5.099325e-05,5.116351e-05,5.149752e-05,5.177877e-05,5.192347e-05,5.226426e-05,5.227708e-05,5.256407e-05,5.263323e-05,5.278985e-05,5.289810e-05,5.295958e-05,5.307038e-05,5.307809e-05,5.314992e-05,5.316069e-05,5.317931e-05,5.317871e-05,5.317021e-05,5.313329e-05,5.312630e-05,5.305099e-05,5.303244e-05,5.294743e-05,5.288340e-05,5.281855e-05,5.269269e-05,5.266703e-05,5.249536e-05,5.246618e-05,5.230581e-05,5.220911e-05,5.210050e-05,5.192619e-05,5.188133e-05,5.165009e-05,5.162161e-05,5.140839e-05,5.129911e-05,5.115771e-05,5.096202e-05,5.089940e-05,5.063471e-05,5.061329e-05,5.036476e-05,5.025553e-05,5.009057e-05,4.989106e-05,4.981308e-05,4.953315e-05,4.952191e-05,4.925153e-05,4.914988e-05,4.896894e-05,4.877654e-05,4.868600e-05,4.840328e-05,4.812130e-05,4.803130e-05,4.784052e-05,4.766164e-05,4.756135e-05,4.729521e-05,4.728416e-05,4.700929e-05,4.693278e-05,4.673703e-05,4.657503e-05,4.646763e-05,4.622252e-05,4.620134e-05,4.593834e-05,4.587573e-05,4.567882e-05,4.553507e-05,4.542293e-05,4.520084e-05,4.517079e-05,4.492252e-05,4.487333e-05,4.467820e-05,4.455275e-05,4.443793e-05,4.423925e-05,4.420174e-05,4.396970e-05,4.393296e-05,4.374184e-05,4.363395e-05,4.351817e-05,4.334228e-05,4.329873e-05,4.308350e-05,4.305796e-05,4.287249e-05,4.278098e-05,4.266569e-05,4.251132e-05,4.246307e-05,4.226462e-05,4.224892e-05,4.207030e-05,4.199373e-05,4.188009e-05,4.174565e-05,4.169393e-05,4.151179e-05,4.150459e-05,4.133363e-05,4.127045e-05,4.115939e-05,4.104312e-05,4.098902e-05,4.082247e-05,4.060837e-05,4.040070e-05,4.019932e-05,4.000410e-05,3.981488e-05,3.963152e-05,3.945390e-05,3.928185e-05,3.911523e-05,3.895391e-05,3.879774e-05,3.864658e-05,3.850029e-05,3.835873e-05,3.822178e-05,3.808928e-05,3.796112e-05,3.783717e-05,3.771730e-05,3.760138e-05,3.748930e-05,3.738093e-05,3.727617e-05,3.717490e-05
0.000000e+00,2.831634e-09,7.650258e-09,3.249049e-08,8.318825e-08,1.275240e-07,3.202838e-07,3.311247e-07,6.954064e-07,8.348282e-07,1.286069e-06,1.779454e-06,2.174540e-06,3.295163e-06,3.406594e-06,4.980588e-06,5.406231e-06,6.868590e-06,8.052402e-06,9.042943e-06,1.117705e-05,1.148344e-05,1.417481e-05,1.474199e-05,1.710338e-05,1.871532e-05,2.025493e-05,2.306302e-05,2.361363e-05,2.716185e-05,2.774589e-05,3.088035e-05,3.271973e-05,3.474863e-05,3.793680e-05,3.874540e-05,4.284925e-05,4.334790e-05,4.703901e-05,4.890442e-05,5.129425e-05,5.456006e-05,5.559560e-05,5.992497e-05,6.027202e-05,6.426576e-05,6.600183e-05,6.860285e-05,7.171564e-05,7.292277e-05,7.721360e-05,7.738448e-05,8.146487e-05,8.298386e-05,8.566752e-05,8.849353e-05,8.981378e-05,9.389705e-05,9.791178e-05,9.918123e-05,1.018533e-04,1.043358e-04,1.057179e-04,1.093527e-04,1.095025e-04,1.132047e-04,1.142263e-04,1.168226e-04,1.189523e-04,1.203548e-04,1.235279e-04,1.238003e-04,1.271586e-04,1.279516e-04,1.304294e-04,1.322227e-04,1.336126e-04,1.363415e-04,1.367083e-04,1.397171e-04,1.403085e-04,1.426395e-04,1.441252e-04,1.454761e-04,1.477932e-04,1.482278e-04,1.508955e-04,1.513146e-04,1.534803e-04,1.546918e-04,1.559832e-04,1.579273e-04,1.584053e-04,1.607480e-04,1.610239e-04,1.630125e-04,1.639844e-04,1.652000e-04,1.668118e-04,1.673119e-04,1.693495e-04,1.695093e-04,1.713143e-04,1.720801e-04,1.732075e-04,1.745272e-04,1.750307e-04,1.767851e-04,1.768539e-04,1.784723e-04,1.790635e-04,1.800936e-04,1.811592e-04,1.816505e-04,1.831443e-04,1.845764e-04,1.850219e-04,1.859483e-04,1.867953e-04,1.872613e-04,1.884677e-04,1.885168e-04,1.897161e-04,1.900421e-04,1.908607e-04,1.915217e-04,1.919518e-04,1.929095e-04,1.929907e-04,1.939788e-04,1.942085e-04,1.949174e-04,1.954218e-04,1.958076e-04,1.965520e-04,1.966508e-04,1.974482e-04,1.976022e-04,1.982009e-04,1.985751e-04,1.989103e-04,1.994735e-04,1.995774e-04,2.002034e-04,2.002999e-04,2.007895e-04,2.010570e-04,2.013367e-04,2.017473e-04,2.018462e-04,2.023190e-04,2.023734e-04,2.027562e-04,2.029376e-04,2.031588e-04,2.034423e-04,2.035278e-04,2.038643e-04,2.038898e-04,2.041691e-04,2.042824e-04,2.044432e-04,2.046222e-04,2.046877e-04,2.049033e-04,2.049113e-04,2.050909e-04,2.051518e-04,2.052515e-04,2.053457e-04,2.053860e-04,2.054950e-04,2.056015e-04,2.056671e-04,2.056934e-04,2.056824e-04,2.056355e-04,2.055545e-04,2.054409e-04,2.052962e-04,2.051219e-04,2.049193e-04,2.046900e-04,2.044351e-04,2.041559e-04,2.038538e-04,2.035299e-04,2.031853e-04,2.028212e-04,2.024386e-04,2.020386e-04,2.016222e-04,2.011903e-04,2.007438e-04,2.002837e-04,1.998108e-04
0.000000e+00,2.548184e-09,7.581597e-09,3.838026e-08,1.126796e-07,1.848067e-07,5.419223e-07,5.635180e-07,1.348998e-06,1.672714e-06,2.777406e-06,4.052109e-06,5.105389e-06,8.197925e-06,8.512427e-06,1.306942e-05,1.433535e-05,1.877868e-05,2.246821e-05,2.560847e-05,3.250565e-05,3.350806e-05,4.241245e-05,4.430726e-05,5.224362e-05,5.769254e-05,6.291117e-05,7.244433e-05,7.431365e-05,8.634050e-05,8.831499e-05,9.887467e-05,1.050359e-04,1.117956e-04,1.223296e-04,1.249825e-04,1.383173e-04,1.399220e-04,1.516874e-04,1.575541e-04,1.649880e-04,1.749907e-04,1.781235e-04,1.910090e-04,1.920268e-04,2.035709e-04,2.084907e-04,2.157468e-04,2.242453e-04,2.274855e-04,2.387462e-04,2.391862e-04,2.494983e-04,2.532401e-04,2.597200e-04,2.663606e-04,2.693977e-04,2.785248e-04,2.871009e-04,2.897294e-04,2.951305e-04,2.999868e-04,3.026229e-04,3.093216e-04,3.095904e-04,3.160483e-04,3.177676e-04,3.220142e-04,3.253653e-04,3.275069e-04,3.321597e-04,3.325467e-04,3.371542e-04,3.381980e-04,3.413506e-04,3.435290e-04,3.451571e-04,3.482010e-04,3.485947e-04,3.516840e-04,3.522619e-04,3.544453e-04,3.557579e-04,3.568979e-04,3.587335e-04,3.590608e-04,3.609521e-04,3.612306e-04,3.625890e-04,3.632892e-04,3.639880e-04,3.649464e-04,3.651647e-04,3.661340e-04,3.662371e-04,3.669099e-04,3.671935e-04,3.675057e-04,3.678457e-04,3.679338e-04,3.682059e-04,3.682213e-04,3.683331e-04,3.683458e-04,3.683258e-04,3.682427e-04,3.681936e-04,3.679457e-04,3.679335e-04,3.675905e-04,3.674379e-04,3.671360e-04,3.667742e-04,3.665898e-04,3.659588e-04,3.652495e-04,3.650070e-04,3.644680e-04,3.639326e-04,3.636200e-04,3.627483e-04,3.627109e-04,3.617456e-04,3.614658e-04,3.607287e-04,3.600957e-04,3.596647e-04,3.586476e-04,3.585575e-04,3.574110e-04,3.571303e-04,3.562286e-04,3.555521e-04,3.550138e-04,3.539203e-04,3.537695e-04,3.524988e-04,3.522417e-04,3.512042e-04,3.505224e-04,3.498882e-04,3.487681e-04,3.485533e-04,3.472017e-04,3.469840e-04,3.458353e-04,3.451748e-04,3.444562e-04,3.433449e-04,3.430661e-04,3.416666e-04,3.414981e-04,3.402594e-04,3.396382e-04,3.388459e-04,3.377684e-04,3.374276e-04,3.360055e-04,3.358917e-04,3.345811e-04,3.340108e-04,3.331553e-04,3.321284e-04,3.317292e-04,3.303037e-04,3.302467e-04,3.288798e-04,3.283678e-04,3.274584e-04,3.264936e-04,3.260401e-04,3.246258e-04,3.227661e-04,3.209158e-04,3.190763e-04,3.172488e-04,3.154342e-04,3.136337e-04,3.118480e-04,3.100780e-04,3.083243e-04,3.065876e-04,3.048683e-04,3.031671e-04,3.014843e-04,2.998203e-04,2.981754e-04,2.965499e-04,2.949441e-04,2.933580e-04,2.917920e-04,2.902460e-04,2.887201e-04,2.872146e-04,2.857293e-04,2.842642e-04
0.000000e+00,1.082927e-09,3.180026e-09,1.563244e-08,4.451298e-08,7.163958e-08,1.982629e-07,2.056137e-07,4.572447e-07,5.542141e-07,8.661029e-07,1.202595e-06,1.469640e-06,2.226187e-06,2.301916e-06,3.392478e-06,3.695405e-06,4.764699e-06,5.662095e-06,6.433330e-06,8.150422e-06,8.402455e-06,1.066543e-05,1.115204e-05,1.320664e-05,1.463080e-05,1.600367e-05,1.853095e-05,1.902913e-05,2.225191e-05,2.278365e-05,2.563833e-05,2.731160e-05,2.915303e-05,3.203290e-05,3.275991e-05,3.642302e-05,3.686470e-05,4.010740e-05,4.172663e-05,4.377985e-05,4.654387e-05,4.740956e-05,5.096864e-05,5.124955e-05,5.443246e-05,5.578646e-05,5.777989e-05,6.010794e-05,6.099332e-05,6.405868e-05,6.417805e-05,6.696523e-05,6.797116e-05,6.970540e-05,7.147116e-05,7.227446e-05,7.467023e-05,7.689274e-05,7.756762e-05,7.894393e-05,8.016835e-05,8.082731e-05,8.248190e-05,8.254765e-05,8.411075e-05,8.452111e-05,8.552313e-05,8.630115e-05,8.679188e-05,8.783866e-05,8.792443e-05,8.892838e-05,8.915105e-05,8.981142e-05,9.025596e-05,9.058118e-05,9.117080e-05,9.124514e-05,9.181058e-05,9.191248e-05,9.228455e-05,9.249711e-05,9.267377e-05,9.293993e-05,9.298467e-05,9.322332e-05,9.325519e-05,9.339548e-05,9.345609e-05,9.350654e-05,9.355481e-05,9.356156e-05,9.356530e-05,9.356251e-05,9.352216e-05,9.348939e-05,9.343625e-05,9.334472e-05,9.331140e-05,9.315114e-05,9.313689e-05,9.295876e-05,9.287350e-05,9.273730e-05,9.256141e-05,9.248955e-05,9.221812e-05,9.220680e-05,9.192538e-05,9.181522e-05,9.161356e-05,9.139165e-05,9.128466e-05,9.094058e-05,9.058302e-05,9.046602e-05,9.021358e-05,8.997158e-05,8.983371e-05,8.946047e-05,8.944475e-05,8.904793e-05,8.893557e-05,8.864438e-05,8.839946e-05,8.823514e-05,8.785444e-05,8.782117e-05,8.740334e-05,8.730258e-05,8.698245e-05,8.674570e-05,8.655925e-05,8.618545e-05,8.613440e-05,8.570853e-05,8.562328e-05,8.528219e-05,8.506049e-05,8.485591e-05,8.449822e-05,8.443016e-05,8.400537e-05,8.393752e-05,8.358193e-05,8.337927e-05,8.316021e-05,8.282428e-05,8.274052e-05,8.232318e-05,8.227327e-05,8.190844e-05,8.172685e-05,8.149655e-05,8.118556e-05,8.108774e-05,8.068219e-05,8.064989e-05,8.028009e-05,8.012026e-05,7.988161e-05,7.959701e-05,7.948687e-05,7.909602e-05,7.908047e-05,7.870916e-05,7.857089e-05,7.832640e-05,7.806850e-05,7.794781e-05,7.757349e-05,7.708600e-05,7.660617e-05,7.613409e-05,7.566984e-05,7.521346e-05,7.476498e-05,7.432442e-05,7.389179e-05,7.346705e-05,7.305019e-05,7.264117e-05,7.223993e-05,7.184642e-05,7.146056e-05,7.108229e-05,7.071153e-05,7.034818e-05,6.999217e-05,6.964340e-05,6.930176e-05,6.896717e-05,6.863950e-05,6.831867e-05,6.800456e-05
0.000000e+00,2.347530e-10,6.864726e-10,3.344863e-09,9.447633e-09,1.513854e-08,4.144435e-08,4.296295e-08,9.464726e-08,1.144648e-07,1.780279e-07,2.464831e-07,3.008135e-07,4.550780e-07,4.705598e-07,6.944979e-07,7.570389e-07,9.788926e-07,1.166176e-06,1.327675e-06,1.687811e-06,1.740618e-06,2.212160e-06,2.312652e-06,2.731919e-06,3.016902e-06,3.286654e-06,3.769475e-06,3.862470e-06,4.446421e-06,4.539834e-06,5.027338e-06,5.302342e-06,5.596088e-06,6.037449e-06,6.145500e-06,6.670145e-06,6.731237e-06,7.166090e-06,7.374484e-06,7.630657e-06,7.961701e-06,8.062208e-06,8.459963e-06,8.490316e-06,8.823846e-06,8.960010e-06,9.154353e-06,9.372168e-06,9.452429e-06,9.719373e-06,9.729425e-06,9.956742e-06,1.003529e-05,1.016627e-05,1.029380e-05,1.034982e-05,1.050929e-05,1.064661e-05,1.068618e-05,1.076365e-05,1.082877e-05,1.086225e-05,1.094116e-05,1.094414e-05,1.101097e-05,1.102720e-05,1.106427e-05,1.109036e-05,1.110547e-05,1.113380e-05,1.113587e-05,1.115665e-05,1.116033e-05,1.116890e-05,1.117240e-05,1.117359e-05,1.117215e-05,1.117159e-05,1.116369e-05,1.116147e-05,1.115059e-05,1.114194e-05,1.113292e-05,1.111494e-05,1.111122e-05,1.108599e-05,1.108166e-05,1.105767e-05,1.104310e-05,1.102665e-05,1.100011e-05,1.099326e-05,1.095781e-05,1.095343e-05,1.092058e-05,1.090369e-05,1.088179e-05,1.085141e-05,1.084168e-05,1.080041e-05,1.079707e-05,1.075817e-05,1.074104e-05,1.071511e-05,1.068367e-05,1.067136e-05,1.062704e-05,1.062526e-05,1.058226e-05,1.056605e-05,1.053712e-05,1.050626e-05,1.049170e-05,1.044609e-05,1.040036e-05,1.038570e-05,1.035456e-05,1.032525e-05,1.030877e-05,1.026485e-05,1.026302e-05,1.021738e-05,1.020463e-05,1.017189e-05,1.014467e-05,1.012657e-05,1.008508e-05,1.008148e-05,1.003664e-05,1.002592e-05,9.992077e-06,9.967257e-06,9.947826e-06,9.909158e-06,9.903906e-06,9.860340e-06,9.851671e-06,9.817148e-06,9.794842e-06,9.774347e-06,9.738709e-06,9.731954e-06,9.689982e-06,9.683307e-06,9.648445e-06,9.628664e-06,9.607353e-06,9.574807e-06,9.566716e-06,9.526543e-06,9.521754e-06,9.486842e-06,9.469525e-06,9.447620e-06,9.418133e-06,9.408880e-06,9.370630e-06,9.367591e-06,9.332871e-06,9.317907e-06,9.295608e-06,9.269087e-06,9.258843e-06,9.222577e-06,9.221137e-06,9.186811e-06,9.174058e-06,9.151547e-06,9.127853e-06,9.116783e-06,9.082520e-06,9.038057e-06,8.994461e-06,8.951727e-06,8.909849e-06,8.868822e-06,8.828637e-06,8.789288e-06,8.750764e-06,8.713057e-06,8.676157e-06,8.640053e-06,8.604736e-06,8.570194e-06,8.536415e-06,8.503389e-06,8.471103e-06,8.439545e-06,8.408704e-06,8.378568e-06,8.349123e-06,8.320358e-06,8.292261e-06,8.264819e-06,8.238020e-06
0.000000e+00,1.011123e-09,2.811327e-09,1.248134e-08,3.280818e-08,5.079010e-08,1.292489e-07,1.336512e-07,2.802444e-07,3.356596e-07,5.130159e-07,7.051011e-07,8.589674e-07,1.302901e-06,1.347942e-06,2.004334e-06,2.187916e-06,2.833286e-06,3.366070e-06,3.814295e-06,4.774697e-06,4.911163e-06,6.086884e-06,6.328700e-06,7.311383e-06,7.959704e-06,8.562247e-06,9.621041e-06,9.822820e-06,1.108020e-05,1.128036e-05,1.232386e-05,1.291328e-05,1.354490e-05,1.450024e-05,1.473564e-05,1.588950e-05,1.602521e-05,1.700094e-05,1.747534e-05,1.806543e-05,1.884084e-05,1.907944e-05,2.004039e-05,2.011492e-05,2.094659e-05,2.129351e-05,2.179714e-05,2.237498e-05,2.259191e-05,2.333143e-05,2.335987e-05,2.401668e-05,2.425036e-05,2.464911e-05,2.504988e-05,2.523049e-05,2.576285e-05,2.624843e-05,2.639430e-05,2.668949e-05,2.694948e-05,2.708837e-05,2.743383e-05,2.744746e-05,2.776910e-05,2.785277e-05,2.805564e-05,2.821167e-05,2.830935e-05,2.851565e-05,2.853241e-05,2.872691e-05,2.876957e-05,2.889485e-05,2.897800e-05,2.903811e-05,2.914520e-05,2.915850e-05,2.925769e-05,2.927513e-05,2.933728e-05,2.937141e-05,2.939874e-05,2.943739e-05,2.944348e-05,2.947279e-05,2.947613e-05,2.948788e-05,2.949042e-05,2.948990e-05,2.948280e-05,2.947989e-05,2.945883e-05,2.945560e-05,2.942763e-05,2.941091e-05,2.938715e-05,2.935065e-05,2.933816e-05,2.928141e-05,2.927655e-05,2.921756e-05,2.919018e-05,2.914725e-05,2.909296e-05,2.907106e-05,2.898954e-05,2.898617e-05,2.890318e-05,2.887099e-05,2.881245e-05,2.874848e-05,2.871778e-05,2.861958e-05,2.851821e-05,2.848516e-05,2.841402e-05,2.834600e-05,2.830732e-05,2.820281e-05,2.819842e-05,2.808758e-05,2.805624e-05,2.797507e-05,2.790685e-05,2.786110e-05,2.775517e-05,2.774591e-05,2.762969e-05,2.760167e-05,2.751263e-05,2.744677e-05,2.739490e-05,2.729087e-05,2.727666e-05,2.715805e-05,2.713430e-05,2.703922e-05,2.697738e-05,2.692029e-05,2.682039e-05,2.680137e-05,2.668257e-05,2.666358e-05,2.656400e-05,2.650719e-05,2.644573e-05,2.635141e-05,2.632787e-05,2.621047e-05,2.619642e-05,2.609362e-05,2.604240e-05,2.597738e-05,2.588949e-05,2.586181e-05,2.574697e-05,2.573781e-05,2.563289e-05,2.558749e-05,2.551964e-05,2.543862e-05,2.540724e-05,2.529575e-05,2.529130e-05,2.518518e-05,2.514561e-05,2.507558e-05,2.500161e-05,2.496697e-05,2.485937e-05,2.471894e-05,2.458035e-05,2.444366e-05,2.430889e-05,2.417607e-05,2.404521e-05,2.391634e-05,2.378946e-05,2.366459e-05,2.354171e-05,2.342085e-05,2.330199e-05,2.318513e-05,2.307026e-05,2.295737e-05,2.284646e-05,2.273750e-05,2.263048e-05,2.252539e-05,2.242221e-05,2.232092e-05,2.222150e-05,2.212393e-05,2.202818e-05
0.000000e+00,3.306712e-10,9.499990e-10,4.469564e-09,1.225326e-08,1.933272e-08,5.101823e-08,5.281427e-08,1.127892e-07,1.353907e-07,2.070723e-07,2.834528e-07,3.437518e-07,5.143568e-07,5.314630e-07,7.790970e-07,8.483562e-07,1.094276e-06,1.301802e-06,1.480336e-06,1.875712e-06,1.933268e-06,2.441404e-06,2.548257e-06,2.988481e-06,3.282701e-06,3.557688e-06,4.042146e-06,4.134419e-06,4.707249e-06,4.797943e-06,5.267814e-06,5.530719e-06,5.810207e-06,6.228231e-06,6.330321e-06,6.825321e-06,6.882933e-06,7.293260e-06,7.490226e-06,7.732841e-06,8.047455e-06,8.143274e-06,8.524180e-06,8.553374e-06,8.875539e-06,9.007868e-06,9.197654e-06,9.411787e-06,9.491110e-06,9.756742e-06,9.766803e-06,9.995594e-06,1.007525e-05,1.020888e-05,1.033999e-05,1.039794e-05,1.056422e-05,1.070920e-05,1.075134e-05,1.083440e-05,1.090484e-05,1.094131e-05,1.102812e-05,1.103142e-05,1.110613e-05,1.112448e-05,1.116682e-05,1.119705e-05,1.121478e-05,1.124869e-05,1.125121e-05,1.127723e-05,1.128205e-05,1.129390e-05,1.129950e-05,1.130215e-05,1.130316e-05,1.130288e-05,1.129687e-05,1.129492e-05,1.128484e-05,1.127643e-05,1.126746e-05,1.124914e-05,1.124530e-05,1.121891e-05,1.121432e-05,1.118875e-05,1.117307e-05,1.115527e-05,1.112634e-05,1.111883e-05,1.107980e-05,1.107495e-05,1.103846e-05,1.101961e-05,1.099508e-05,1.096092e-05,1.094993e-05,1.090321e-05,1.089941e-05,1.085512e-05,1.083555e-05,1.080585e-05,1.076974e-05,1.075556e-05,1.070438e-05,1.070232e-05,1.065245e-05,1.063359e-05,1.059988e-05,1.056383e-05,1.054679e-05,1.049327e-05,1.043940e-05,1.042210e-05,1.038526e-05,1.035051e-05,1.033094e-05,1.027867e-05,1.027649e-05,1.022197e-05,1.020670e-05,1.016744e-05,1.013474e-05,1.011295e-05,1.006289e-05,1.005854e-05,1.000426e-05,9.991259e-06,9.950147e-06,9.919927e-06,9.896230e-06,9.848972e-06,9.842543e-06,9.789117e-06,9.778465e-06,9.735977e-06,9.708466e-06,9.683148e-06,9.639028e-06,9.630652e-06,9.578510e-06,9.570201e-06,9.526739e-06,9.502026e-06,9.475357e-06,9.434541e-06,9.424378e-06,9.373817e-06,9.367778e-06,9.323684e-06,9.301765e-06,9.273993e-06,9.236528e-06,9.224752e-06,9.175970e-06,9.172088e-06,9.127656e-06,9.108463e-06,9.079816e-06,9.045668e-06,9.032456e-06,8.985582e-06,8.983717e-06,8.939197e-06,8.922620e-06,8.893307e-06,8.862385e-06,8.847913e-06,8.803019e-06,8.744526e-06,8.686910e-06,8.630172e-06,8.574312e-06,8.519329e-06,8.465222e-06,8.411987e-06,8.359620e-06,8.308116e-06,8.257470e-06,8.207675e-06,8.158725e-06,8.110611e-06,8.063326e-06,8.016861e-06,7.971209e-06,7.926358e-06,7.882301e-06,7.839027e-06,7.796527e-06,7.754789e-06,7.713805e-06,7.673563e-06,7.634054e-06
0.000000e+00,2.129506e-09,4.862875e-09,1.664499e-08,3.773230e-08,5.495259e-08,1.242252e-07,1.279486e-07,2.467729e-07,2.898666e-07,4.234573e-07,5.626543e-07,6.710705e-07,9.726868e-07,1.002552e-06,1.427118e-06,1.543137e-06,1.945044e-06,2.272328e-06,2.545985e-06,3.130667e-06,3.213781e-06,3.932417e-06,4.081019e-06,4.688522e-06,5.092836e-06,5.471288e-06,6.142788e-06,6.271709e-06,7.081976e-06,7.212058e-06,7.895146e-06,8.284645e-06,8.704997e-06,9.346745e-06,9.505993e-06,1.029329e-05,1.038665e-05,1.106276e-05,1.139476e-05,1.181093e-05,1.236356e-05,1.253501e-05,1.323285e-05,1.328750e-05,1.390287e-05,1.416283e-05,1.454399e-05,1.498735e-05,1.515561e-05,1.573748e-05,1.576014e-05,1.628971e-05,1.648131e-05,1.681263e-05,1.715176e-05,1.730681e-05,1.777296e-05,1.821194e-05,1.834682e-05,1.862466e-05,1.887548e-05,1.901212e-05,1.936128e-05,1.937536e-05,1.971540e-05,1.980660e-05,2.003331e-05,2.021386e-05,2.033012e-05,2.058544e-05,2.060686e-05,2.086452e-05,2.092363e-05,2.110407e-05,2.123066e-05,2.132644e-05,2.150862e-05,2.153252e-05,2.172317e-05,2.175953e-05,2.189923e-05,2.198526e-05,2.206145e-05,2.218759e-05,2.221061e-05,2.234739e-05,2.236818e-05,2.247249e-05,2.252857e-05,2.258653e-05,2.267022e-05,2.269013e-05,2.278386e-05,2.279447e-05,2.286826e-05,2.290258e-05,2.294385e-05,2.299571e-05,2.301112e-05,2.307053e-05,2.307495e-05,2.312251e-05,2.314132e-05,2.316749e-05,2.319575e-05,2.320584e-05,2.323795e-05,2.323911e-05,2.326415e-05,2.327221e-05,2.328479e-05,2.329580e-05,2.330017e-05,2.331059e-05,2.331633e-05,2.331722e-05,2.331765e-05,2.331629e-05,2.331481e-05,2.330838e-05,2.330803e-05,2.329756e-05,2.329399e-05,2.328359e-05,2.327362e-05,2.326633e-05,2.324771e-05,2.324597e-05,2.322269e-05,2.321669e-05,2.319667e-05,2.318095e-05,2.316805e-05,2.314085e-05,2.313700e-05,2.310366e-05,2.309673e-05,2.306817e-05,2.304891e-05,2.303066e-05,2.299768e-05,2.299125e-05,2.295006e-05,2.294331e-05,2.290720e-05,2.288607e-05,2.286278e-05,2.282619e-05,2.281690e-05,2.276965e-05,2.276390e-05,2.272113e-05,2.269939e-05,2.267141e-05,2.263288e-05,2.262059e-05,2.256873e-05,2.256454e-05,2.251591e-05,2.249453e-05,2.246221e-05,2.242303e-05,2.240768e-05,2.235239e-05,2.235017e-05,2.229641e-05,2.227609e-05,2.223978e-05,2.220094e-05,2.218257e-05,2.212482e-05,2.204784e-05,2.197013e-05,2.189177e-05,2.181287e-05,2.173350e-05,2.165375e-05,2.157369e-05,2.149340e-05,2.141294e-05,2.133238e-05,2.125178e-05,2.117118e-05,2.109064e-05,2.101022e-05,2.092994e-05,2.084987e-05,2.077002e-05,2.069045e-05,2.061119e-05,2.053226e-05,2.045369e-05,2.037552e-05,2.029777e-05,2.022046e-05
0.000000e+00,2.159181e-09,4.926132e-09,1.682711e-08,3.805882e-08,5.534606e-08,1.245074e-07,1.282091e-07,2.456068e-07,2.878590e-07,4.178833e-07,5.520166e-07,6.556842e-07,9.412571e-07,9.693587e-07,1.366894e-06,1.475180e-06,1.850307e-06,2.156458e-06,2.413193e-06,2.964229e-06,3.042830e-06,3.724928e-06,3.866476e-06,4.446643e-06,4.833922e-06,5.197133e-06,5.842969e-06,5.967132e-06,6.748447e-06,6.874002e-06,7.533660e-06,7.909936e-06,8.316005e-06,8.935671e-06,9.089347e-06,9.848207e-06,9.938063e-06,1.058780e-05,1.090605e-05,1.130406e-05,1.183073e-05,1.199364e-05,1.265387e-05,1.270536e-05,1.328278e-05,1.352523e-05,1.387895e-05,1.428743e-05,1.444154e-05,1.497015e-05,1.499059e-05,1.546484e-05,1.563469e-05,1.592598e-05,1.622070e-05,1.635421e-05,1.675040e-05,1.711560e-05,1.722611e-05,1.745098e-05,1.765055e-05,1.775780e-05,1.802668e-05,1.803736e-05,1.829102e-05,1.835758e-05,1.852013e-05,1.864637e-05,1.872603e-05,1.889611e-05,1.891006e-05,1.907351e-05,1.910981e-05,1.921762e-05,1.929034e-05,1.934363e-05,1.944044e-05,1.945267e-05,1.954587e-05,1.956270e-05,1.962427e-05,1.965954e-05,1.968890e-05,1.973322e-05,1.974068e-05,1.978054e-05,1.978587e-05,1.980931e-05,1.981943e-05,1.982781e-05,1.983571e-05,1.983677e-05,1.983692e-05,1.983638e-05,1.982892e-05,1.982298e-05,1.981339e-05,1.979692e-05,1.979093e-05,1.976208e-05,1.975951e-05,1.972736e-05,1.971193e-05,1.968724e-05,1.965528e-05,1.964219e-05,1.959262e-05,1.959055e-05,1.953893e-05,1.951866e-05,1.948149e-05,1.944046e-05,1.942063e-05,1.935669e-05,1.928996e-05,1.926807e-05,1.922073e-05,1.917522e-05,1.914925e-05,1.907874e-05,1.907576e-05,1.900050e-05,1.897914e-05,1.892367e-05,1.887691e-05,1.884548e-05,1.877248e-05,1.876609e-05,1.868569e-05,1.866626e-05,1.860444e-05,1.855861e-05,1.852247e-05,1.844985e-05,1.843992e-05,1.835693e-05,1.834028e-05,1.827360e-05,1.823018e-05,1.819005e-05,1.811977e-05,1.810638e-05,1.802268e-05,1.800929e-05,1.793904e-05,1.789893e-05,1.785553e-05,1.778888e-05,1.777224e-05,1.768922e-05,1.767928e-05,1.760654e-05,1.757028e-05,1.752426e-05,1.746202e-05,1.744243e-05,1.736109e-05,1.735461e-05,1.728030e-05,1.724814e-05,1.720008e-05,1.714271e-05,1.712049e-05,1.704155e-05,1.703840e-05,1.696328e-05,1.693528e-05,1.688573e-05,1.683341e-05,1.680891e-05,1.673284e-05,1.663361e-05,1.653578e-05,1.643936e-05,1.634440e-05,1.625090e-05,1.615888e-05,1.606837e-05,1.597937e-05,1.589188e-05,1.580591e-05,1.572146e-05,1.563853e-05,1.555711e-05,1.547719e-05,1.539877e-05,1.532184e-05,1.524638e-05,1.517238e-05,1.509982e-05,1.502870e-05,1.495899e-05,1.489068e-05,1.482374e-05,1.475817e-05
0.000000e+00,1.192835e-09,2.723540e-09,9.309171e-09,2.104551e-08,3.058294e-08,6.854595e-08,7.056883e-08,1.342486e-07,1.569487e-07,2.261250e-07,2.965013e-07,3.502825e-07,4.961724e-07,5.103803e-07,7.095135e-07,7.633821e-07,9.498511e-07,1.102757e-06,1.232027e-06,1.513823e-06,1.554553e-06,1.913779e-06,1.989594e-06,2.304605e-06,2.518457e-06,2.721406e-06,3.087532e-06,3.158645e-06,3.611116e-06,3.684596e-06,4.073978e-06,4.298513e-06,4.542749e-06,4.919230e-06,5.013295e-06,5.481840e-06,5.537765e-06,5.944982e-06,6.146263e-06,6.399713e-06,6.738063e-06,6.843424e-06,7.273915e-06,7.307726e-06,7.689379e-06,7.851025e-06,8.088389e-06,8.364872e-06,8.469871e-06,8.833065e-06,8.847205e-06,9.177497e-06,9.296849e-06,9.502943e-06,9.713391e-06,9.809397e-06,1.009703e-05,1.036616e-05,1.044844e-05,1.061723e-05,1.076868e-05,1.085077e-05,1.105904e-05,1.106738e-05,1.126773e-05,1.132101e-05,1.145250e-05,1.155618e-05,1.162241e-05,1.176621e-05,1.177817e-05,1.192051e-05,1.195276e-05,1.205014e-05,1.211745e-05,1.216777e-05,1.226188e-05,1.227406e-05,1.236969e-05,1.238759e-05,1.245528e-05,1.249603e-05,1.253145e-05,1.258858e-05,1.259878e-05,1.265783e-05,1.266655e-05,1.270912e-05,1.273114e-05,1.275316e-05,1.278349e-05,1.279042e-05,1.282136e-05,1.282466e-05,1.284638e-05,1.285563e-05,1.286591e-05,1.287730e-05,1.288031e-05,1.288994e-05,1.289051e-05,1.289513e-05,1.289603e-05,1.289620e-05,1.289458e-05,1.289344e-05,1.288714e-05,1.288681e-05,1.287754e-05,1.287333e-05,1.286490e-05,1.285469e-05,1.284945e-05,1.283140e-05,1.281095e-05,1.280393e-05,1.278829e-05,1.277272e-05,1.276361e-05,1.273815e-05,1.273705e-05,1.270879e-05,1.270059e-05,1.267897e-05,1.266038e-05,1.264771e-05,1.261781e-05,1.261516e-05,1.258143e-05,1.257317e-05,1.254663e-05,1.252672e-05,1.251087e-05,1.247868e-05,1.247425e-05,1.243685e-05,1.242928e-05,1.239876e-05,1.237871e-05,1.236007e-05,1.232715e-05,1.232084e-05,1.228116e-05,1.227477e-05,1.224107e-05,1.222171e-05,1.220065e-05,1.216812e-05,1.215996e-05,1.211904e-05,1.211411e-05,1.207794e-05,1.205981e-05,1.203671e-05,1.200532e-05,1.199540e-05,1.195404e-05,1.195073e-05,1.191267e-05,1.189613e-05,1.187133e-05,1.184160e-05,1.183005e-05,1.178886e-05,1.178722e-05,1.174779e-05,1.173303e-05,1.170686e-05,1.167912e-05,1.166609e-05,1.162552e-05,1.157228e-05,1.151946e-05,1.146708e-05,1.141518e-05,1.136379e-05,1.131295e-05,1.126267e-05,1.121297e-05,1.116388e-05,1.111542e-05,1.106758e-05,1.102040e-05,1.097387e-05,1.092801e-05,1.088282e-05,1.083830e-05,1.079447e-05,1.075132e-05,1.070886e-05,1.066709e-05,1.062599e-05,1.058559e-05,1.054586e-05,1.050682e-05
0.000000e+00,1.113647e-08,2.559392e-08,8.833983e-08,2.012586e-07,2.937190e-07,6.663372e-07,6.863708e-07,1.324876e-06,1.555848e-06,2.269371e-06,3.008765e-06,3.581990e-06,5.167244e-06,5.323670e-06,7.544236e-06,8.151651e-06,1.026483e-05,1.200013e-05,1.346271e-05,1.662310e-05,1.707608e-05,2.102711e-05,2.185112e-05,2.524157e-05,2.751560e-05,2.965567e-05,3.347800e-05,3.421533e-05,3.887377e-05,3.962546e-05,4.358976e-05,4.586294e-05,4.832660e-05,5.210910e-05,5.305178e-05,5.773669e-05,5.829496e-05,6.235661e-05,6.436324e-05,6.689052e-05,7.026785e-05,7.132089e-05,7.563345e-05,7.597300e-05,7.981688e-05,8.145207e-05,8.386248e-05,8.668630e-05,8.776385e-05,9.151657e-05,9.166354e-05,9.511789e-05,9.637701e-05,9.856650e-05,1.008242e-04,1.018622e-04,1.050059e-04,1.079991e-04,1.089255e-04,1.108441e-04,1.125883e-04,1.135435e-04,1.160009e-04,1.161005e-04,1.185185e-04,1.191711e-04,1.208011e-04,1.221072e-04,1.229520e-04,1.248181e-04,1.249754e-04,1.268750e-04,1.273130e-04,1.286551e-04,1.296012e-04,1.303197e-04,1.316921e-04,1.318727e-04,1.333183e-04,1.335949e-04,1.346603e-04,1.353186e-04,1.359027e-04,1.368721e-04,1.370493e-04,1.381038e-04,1.382643e-04,1.390701e-04,1.395035e-04,1.399516e-04,1.405981e-04,1.407518e-04,1.414743e-04,1.415560e-04,1.421224e-04,1.423848e-04,1.426992e-04,1.430919e-04,1.432080e-04,1.436518e-04,1.436846e-04,1.440335e-04,1.441695e-04,1.443561e-04,1.445533e-04,1.446223e-04,1.448348e-04,1.448422e-04,1.449962e-04,1.450422e-04,1.451089e-04,1.451591e-04,1.451755e-04,1.451983e-04,1.451794e-04,1.451649e-04,1.451211e-04,1.450640e-04,1.450254e-04,1.449003e-04,1.448944e-04,1.447300e-04,1.446783e-04,1.445341e-04,1.444021e-04,1.443084e-04,1.440759e-04,1.440546e-04,1.437745e-04,1.437035e-04,1.434695e-04,1.432885e-04,1.431413e-04,1.428343e-04,1.427912e-04,1.424206e-04,1.423442e-04,1.420310e-04,1.418212e-04,1.416235e-04,1.412684e-04,1.411994e-04,1.407599e-04,1.406882e-04,1.403061e-04,1.400835e-04,1.398391e-04,1.394566e-04,1.393598e-04,1.388693e-04,1.388097e-04,1.383685e-04,1.381451e-04,1.378583e-04,1.374648e-04,1.373396e-04,1.368131e-04,1.367707e-04,1.362797e-04,1.360645e-04,1.357400e-04,1.353480e-04,1.351948e-04,1.346447e-04,1.346226e-04,1.340904e-04,1.338900e-04,1.335325e-04,1.331513e-04,1.329715e-04,1.324081e-04,1.316613e-04,1.309122e-04,1.301617e-04,1.294110e-04,1.286607e-04,1.279118e-04,1.271651e-04,1.264212e-04,1.256809e-04,1.249446e-04,1.242131e-04,1.234867e-04,1.227659e-04,1.220513e-04,1.213430e-04,1.206416e-04,1.199473e-04,1.192605e-04,1.185812e-04,1.179099e-04,1.172467e-04,1.165917e-04,1.159451e-04,1.153071e-04
0.000000e+00,4.742604e-10,1.401249e-09,6.977866e-09,2.011488e-08,3.260329e-08,9.205370e-08,9.555070e-08,2.175474e-07,2.655882e-07,4.233896e-07,5.986553e-07,7.410739e-07,1.158505e-06,1.201305e-06,1.834153e-06,2.014474e-06,2.661950e-06,3.214361e-06,3.692895e-06,4.763460e-06,4.920718e-06,6.329029e-06,6.630488e-06,7.896075e-06,8.765774e-06,9.597984e-06,1.111407e-05,1.141052e-05,1.330994e-05,1.362037e-05,1.527335e-05,1.623205e-05,1.727889e-05,1.889970e-05,1.930586e-05,2.133486e-05,2.157761e-05,2.334792e-05,2.422433e-05,2.532865e-05,2.680328e-05,2.726236e-05,2.913618e-05,2.928315e-05,3.093910e-05,3.163832e-05,3.266202e-05,3.384885e-05,3.429770e-05,3.584068e-05,3.590041e-05,3.728719e-05,3.778385e-05,3.863502e-05,3.949469e-05,3.988332e-05,4.103249e-05,4.208395e-05,4.240014e-05,4.304002e-05,4.360321e-05,4.390372e-05,4.464934e-05,4.467869e-05,4.536896e-05,4.554764e-05,4.597886e-05,4.630808e-05,4.651287e-05,4.694110e-05,4.697560e-05,4.737166e-05,4.745730e-05,4.770561e-05,4.786716e-05,4.798191e-05,4.818081e-05,4.820489e-05,4.837871e-05,4.840793e-05,4.850734e-05,4.855761e-05,4.859451e-05,4.863829e-05,4.864376e-05,4.865840e-05,4.865774e-05,4.864153e-05,4.862310e-05,4.859604e-05,4.854084e-05,4.852460e-05,4.842967e-05,4.841681e-05,4.831355e-05,4.825630e-05,4.817835e-05,4.806402e-05,4.802598e-05,4.785825e-05,4.784421e-05,4.767676e-05,4.760066e-05,4.748302e-05,4.733671e-05,4.727839e-05,4.706412e-05,4.705536e-05,4.684135e-05,4.675927e-05,4.661111e-05,4.645078e-05,4.637437e-05,4.613199e-05,4.588476e-05,4.580474e-05,4.563339e-05,4.547066e-05,4.537856e-05,4.513120e-05,4.512084e-05,4.486080e-05,4.478764e-05,4.459893e-05,4.444112e-05,4.433568e-05,4.409262e-05,4.407146e-05,4.380665e-05,4.374304e-05,4.354158e-05,4.339315e-05,4.327658e-05,4.304364e-05,4.301191e-05,4.274784e-05,4.269512e-05,4.248460e-05,4.234811e-05,4.222240e-05,4.200310e-05,4.196143e-05,4.170187e-05,4.166048e-05,4.144387e-05,4.132063e-05,4.118757e-05,4.098385e-05,4.093311e-05,4.068059e-05,4.065042e-05,4.043012e-05,4.032058e-05,4.018179e-05,3.999454e-05,3.993568e-05,3.969186e-05,3.967246e-05,3.945040e-05,3.935449e-05,3.921136e-05,3.904077e-05,3.897478e-05,3.874072e-05,3.873141e-05,3.850919e-05,3.842647e-05,3.828024e-05,3.812604e-05,3.805390e-05,3.783018e-05,3.753891e-05,3.725227e-05,3.697028e-05,3.669294e-05,3.642025e-05,3.615221e-05,3.588880e-05,3.562999e-05,3.537575e-05,3.512606e-05,3.488088e-05,3.464016e-05,3.440385e-05,3.417192e-05,3.394431e-05,3.372096e-05,3.350182e-05,3.328684e-05,3.307595e-05,3.286909e-05,3.266621e-05,3.246724e-05,3.227211e-05,3.208078e-05
0.000000e+00,2.175178e-10,6.394701e-10,3.150831e-09,8.990474e-09,1.448540e-08,4.019925e-08,4.169421e-08,9.295601e-08,1.127431e-07,1.764649e-07,2.453106e-07,2.999991e-07,4.551179e-07,4.706580e-07,6.947059e-07,7.570347e-07,9.774733e-07,1.163124e-06,1.323275e-06,1.682290e-06,1.735307e-06,2.215508e-06,2.319802e-06,2.764434e-06,3.076807e-06,3.381232e-06,3.950241e-06,4.063732e-06,4.808624e-06,4.933324e-06,5.611647e-06,6.016291e-06,6.467756e-06,7.187064e-06,7.371267e-06,8.315991e-06,8.431818e-06,9.295353e-06,9.735491e-06,1.030252e-05,1.108227e-05,1.133051e-05,1.237233e-05,1.245607e-05,1.342109e-05,1.384103e-05,1.447010e-05,1.522193e-05,1.551296e-05,1.654369e-05,1.658459e-05,1.755675e-05,1.791615e-05,1.854713e-05,1.920533e-05,1.951036e-05,2.044257e-05,2.134044e-05,2.162005e-05,2.220126e-05,2.273172e-05,2.302287e-05,2.377322e-05,2.380365e-05,2.454247e-05,2.474172e-05,2.523868e-05,2.563583e-05,2.589203e-05,2.645536e-05,2.650264e-05,2.707099e-05,2.720118e-05,2.759780e-05,2.787503e-05,2.808406e-05,2.847935e-05,2.853094e-05,2.893976e-05,2.901709e-05,2.931200e-05,2.949161e-05,2.964919e-05,2.990652e-05,2.995294e-05,3.022491e-05,3.026558e-05,3.046675e-05,3.057262e-05,3.068013e-05,3.083144e-05,3.086669e-05,3.102804e-05,3.104579e-05,3.116576e-05,3.121927e-05,3.128137e-05,3.135535e-05,3.137634e-05,3.145207e-05,3.145734e-05,3.150990e-05,3.152832e-05,3.155113e-05,3.157120e-05,3.157695e-05,3.158851e-05,3.158869e-05,3.158690e-05,3.158329e-05,3.157314e-05,3.155732e-05,3.154817e-05,3.151290e-05,3.146816e-05,3.145197e-05,3.141473e-05,3.137632e-05,3.135335e-05,3.128757e-05,3.128469e-05,3.120939e-05,3.118720e-05,3.112804e-05,3.107655e-05,3.104118e-05,3.095684e-05,3.094932e-05,3.085293e-05,3.082918e-05,3.075246e-05,3.069456e-05,3.064831e-05,3.055390e-05,3.054084e-05,3.043042e-05,3.040801e-05,3.031736e-05,3.025763e-05,3.020196e-05,3.010343e-05,3.008450e-05,2.996524e-05,2.994601e-05,2.984441e-05,2.978591e-05,2.972222e-05,2.962364e-05,2.959889e-05,2.947459e-05,2.945962e-05,2.934951e-05,2.929427e-05,2.922381e-05,2.912794e-05,2.909762e-05,2.897109e-05,2.896096e-05,2.884434e-05,2.879361e-05,2.871750e-05,2.862617e-05,2.859066e-05,2.846394e-05,2.845887e-05,2.833741e-05,2.829193e-05,2.821117e-05,2.812553e-05,2.808529e-05,2.795985e-05,2.779505e-05,2.763125e-05,2.746859e-05,2.730718e-05,2.714711e-05,2.698848e-05,2.683136e-05,2.667582e-05,2.652191e-05,2.636970e-05,2.621922e-05,2.607052e-05,2.592363e-05,2.577858e-05,2.563538e-05,2.549407e-05,2.535465e-05,2.521714e-05,2.508155e-05,2.494787e-05,2.481611e-05,2.468628e-05,2.455836e-05,2.443236e-05
0.000000e+00,2.637080e-09,6.566642e-09,2.484377e-08,5.926730e-08,8.805624e-08,2.064388e-07,2.128694e-07,4.197237e-07,4.951902e-07,7.297056e-07,9.743656e-07,1.164907e-06,1.694525e-06,1.746927e-06,2.491691e-06,2.695404e-06,3.403622e-06,3.985375e-06,4.476890e-06,5.547117e-06,5.701780e-06,7.068505e-06,7.358044e-06,8.567691e-06,9.396478e-06,1.018982e-05,1.164006e-05,1.192479e-05,1.376171e-05,1.406431e-05,1.568895e-05,1.664256e-05,1.769437e-05,1.934665e-05,1.976555e-05,2.189004e-05,2.214798e-05,2.405566e-05,2.501852e-05,2.625070e-05,2.793179e-05,2.846412e-05,3.068565e-05,3.086343e-05,3.290590e-05,3.379173e-05,3.511644e-05,3.669775e-05,3.730974e-05,3.947921e-05,3.956541e-05,4.161913e-05,4.238130e-05,4.372460e-05,4.513450e-05,4.579149e-05,4.781640e-05,4.979652e-05,5.042033e-05,5.172963e-05,5.294133e-05,5.361400e-05,5.537593e-05,5.544833e-05,5.723172e-05,5.772185e-05,5.896358e-05,5.997782e-05,6.064361e-05,6.214341e-05,6.227176e-05,6.384818e-05,6.421886e-05,6.537321e-05,6.620494e-05,6.684731e-05,6.810285e-05,6.827106e-05,6.964516e-05,6.991409e-05,7.097040e-05,7.164048e-05,7.224760e-05,7.328400e-05,7.347768e-05,7.466157e-05,7.484677e-05,7.580024e-05,7.633104e-05,7.689470e-05,7.773912e-05,7.794597e-05,7.895508e-05,7.907339e-05,7.992307e-05,8.033623e-05,8.085099e-05,8.153005e-05,8.173988e-05,8.259077e-05,8.265723e-05,8.340470e-05,8.372016e-05,8.418270e-05,8.472118e-05,8.492578e-05,8.563494e-05,8.566262e-05,8.631117e-05,8.654674e-05,8.695544e-05,8.737578e-05,8.756871e-05,8.815192e-05,8.870599e-05,8.887729e-05,8.923184e-05,8.955398e-05,8.973035e-05,9.018400e-05,9.020239e-05,9.064880e-05,9.076932e-05,9.107044e-05,9.131186e-05,9.146810e-05,9.181346e-05,9.184258e-05,9.219466e-05,9.227592e-05,9.252510e-05,9.270097e-05,9.283464e-05,9.309031e-05,9.312399e-05,9.339386e-05,9.344556e-05,9.364494e-05,9.376829e-05,9.387788e-05,9.406001e-05,9.409333e-05,9.429194e-05,9.432219e-05,9.447430e-05,9.455624e-05,9.464102e-05,9.476352e-05,9.479267e-05,9.492983e-05,9.494534e-05,9.505303e-05,9.510296e-05,9.516282e-05,9.523760e-05,9.525970e-05,9.534417e-05,9.535041e-05,9.541673e-05,9.544252e-05,9.547784e-05,9.551502e-05,9.552797e-05,9.556755e-05,9.556892e-05,9.559702e-05,9.560524e-05,9.561680e-05,9.562491e-05,9.562728e-05,9.562886e-05,9.561797e-05,9.559306e-05,9.555496e-05,9.550443e-05,9.544220e-05,9.536900e-05,9.528548e-05,9.519231e-05,9.509010e-05,9.497943e-05,9.486088e-05,9.473499e-05,9.460226e-05,9.446320e-05,9.431826e-05,9.416790e-05,9.401255e-05,9.385260e-05,9.368844e-05,9.352045e-05,9.334898e-05,9.317434e-05,9.299687e-05,9.281688e-05
0.000000e+00,2.369936e-09,6.287196e-09,2.590188e-08,6.479289e-08,9.810831e-08,2.381729e-07,2.458635e-07,4.954439e-07,5.871727e-07,8.734265e-07,1.173236e-06,1.407242e-06,2.059460e-06,2.124137e-06,3.046704e-06,3.300278e-06,4.186210e-06,4.918745e-06,5.540599e-06,6.902124e-06,7.099587e-06,8.850383e-06,9.222414e-06,1.077999e-05,1.184972e-05,1.287531e-05,1.475344e-05,1.512264e-05,1.750737e-05,1.790064e-05,2.001386e-05,2.125542e-05,2.262564e-05,2.477941e-05,2.532564e-05,2.809652e-05,2.843296e-05,3.092106e-05,3.217651e-05,3.378247e-05,3.597189e-05,3.666469e-05,3.955262e-05,3.978348e-05,4.243230e-05,4.357897e-05,4.529103e-05,4.732991e-05,4.811744e-05,5.090153e-05,5.101188e-05,5.363456e-05,5.460448e-05,5.630908e-05,5.809108e-05,5.891881e-05,6.145862e-05,6.392438e-05,6.469723e-05,6.631286e-05,6.779979e-05,6.862166e-05,7.076158e-05,7.084910e-05,7.299413e-05,7.357990e-05,7.505626e-05,7.625371e-05,7.703545e-05,7.878336e-05,7.893207e-05,8.074684e-05,8.117031e-05,8.248076e-05,8.341690e-05,8.413507e-05,8.552613e-05,8.571119e-05,8.721068e-05,8.750153e-05,8.863524e-05,8.934700e-05,8.998668e-05,9.106674e-05,9.126686e-05,9.247771e-05,9.266514e-05,9.362118e-05,9.414669e-05,9.469924e-05,9.551594e-05,9.571389e-05,9.666713e-05,9.677748e-05,9.756092e-05,9.793587e-05,9.839725e-05,9.899563e-05,9.917807e-05,9.990528e-05,9.996120e-05,1.005808e-04,1.008369e-04,1.012064e-04,1.016271e-04,1.017841e-04,1.023154e-04,1.023358e-04,1.028023e-04,1.029671e-04,1.032464e-04,1.035248e-04,1.036494e-04,1.040129e-04,1.043384e-04,1.044348e-04,1.046275e-04,1.047942e-04,1.048818e-04,1.050944e-04,1.051026e-04,1.052914e-04,1.053387e-04,1.054495e-04,1.055302e-04,1.055782e-04,1.056719e-04,1.056789e-04,1.057528e-04,1.057667e-04,1.058011e-04,1.058173e-04,1.058249e-04,1.058265e-04,1.058254e-04,1.058037e-04,1.057968e-04,1.057608e-04,1.057305e-04,1.056978e-04,1.056300e-04,1.056156e-04,1.055152e-04,1.054975e-04,1.053975e-04,1.053351e-04,1.052634e-04,1.051448e-04,1.051137e-04,1.049493e-04,1.049286e-04,1.047709e-04,1.046882e-04,1.045793e-04,1.044254e-04,1.043753e-04,1.041596e-04,1.041418e-04,1.039327e-04,1.038391e-04,1.036955e-04,1.035186e-04,1.034485e-04,1.031923e-04,1.031819e-04,1.029275e-04,1.028302e-04,1.026547e-04,1.024648e-04,1.023743e-04,1.020870e-04,1.016979e-04,1.012985e-04,1.008900e-04,1.004732e-04,1.000490e-04,9.961843e-05,9.918220e-05,9.874108e-05,9.829581e-05,9.784707e-05,9.739551e-05,9.694171e-05,9.648626e-05,9.602967e-05,9.557246e-05,9.511508e-05,9.465797e-05,9.420154e-05,9.374617e-05,9.329221e-05,9.284000e-05,9.238984e-05,9.194201e-05,9.149678e-05
0.000000e+00,9.332889e-10,2.593684e-09,1.149348e-08,3.012062e-08,4.652195e-08,1.173657e-07,1.213090e-07,2.509266e-07,2.991458e-07,4.510057e-07,6.118668e-07,7.385152e-07,1.096088e-06,1.131906e-06,1.650010e-06,1.794829e-06,2.308970e-06,2.743046e-06,3.116879e-06,3.946835e-06,4.067938e-06,5.140521e-06,5.366847e-06,6.302024e-06,6.929401e-06,7.517416e-06,8.557223e-06,8.755843e-06,9.993214e-06,1.018984e-05,1.121190e-05,1.178639e-05,1.239935e-05,1.332077e-05,1.354669e-05,1.464762e-05,1.477638e-05,1.569772e-05,1.614285e-05,1.669401e-05,1.741401e-05,1.763462e-05,1.851861e-05,1.858687e-05,1.934582e-05,1.966091e-05,2.011677e-05,2.063758e-05,2.083250e-05,2.149451e-05,2.151990e-05,2.210467e-05,2.231203e-05,2.266509e-05,2.301895e-05,2.317810e-05,2.364616e-05,2.407178e-05,2.419942e-05,2.445749e-05,2.468456e-05,2.480581e-05,2.510731e-05,2.511920e-05,2.540006e-05,2.547319e-05,2.565067e-05,2.578744e-05,2.587322e-05,2.605497e-05,2.606978e-05,2.624230e-05,2.628034e-05,2.639261e-05,2.646773e-05,2.652242e-05,2.662097e-05,2.663333e-05,2.672680e-05,2.674353e-05,2.680422e-05,2.683857e-05,2.686687e-05,2.690892e-05,2.691590e-05,2.695242e-05,2.695717e-05,2.697741e-05,2.698560e-05,2.699182e-05,2.699628e-05,2.699647e-05,2.699217e-05,2.699108e-05,2.697962e-05,2.697167e-05,2.695951e-05,2.693953e-05,2.693243e-05,2.689896e-05,2.689602e-05,2.685961e-05,2.684233e-05,2.681486e-05,2.677955e-05,2.676516e-05,2.671092e-05,2.670866e-05,2.665251e-05,2.663053e-05,2.659028e-05,2.654595e-05,2.652455e-05,2.645563e-05,2.638379e-05,2.636022e-05,2.630928e-05,2.626030e-05,2.623234e-05,2.615640e-05,2.615320e-05,2.607205e-05,2.604899e-05,2.598908e-05,2.593851e-05,2.590448e-05,2.582534e-05,2.581841e-05,2.573101e-05,2.570985e-05,2.564243e-05,2.559236e-05,2.555281e-05,2.547317e-05,2.546226e-05,2.537090e-05,2.535254e-05,2.527884e-05,2.523073e-05,2.518618e-05,2.510795e-05,2.509301e-05,2.499941e-05,2.498441e-05,2.490548e-05,2.486030e-05,2.481128e-05,2.473578e-05,2.471689e-05,2.462238e-05,2.461103e-05,2.452780e-05,2.448618e-05,2.443321e-05,2.436135e-05,2.433867e-05,2.424423e-05,2.423668e-05,2.414993e-05,2.411227e-05,2.405583e-05,2.398822e-05,2.396196e-05,2.386836e-05,2.386462e-05,2.377507e-05,2.374156e-05,2.368212e-05,2.361912e-05,2.358954e-05,2.349737e-05,2.337636e-05,2.325616e-05,2.313682e-05,2.301839e-05,2.290091e-05,2.278442e-05,2.266896e-05,2.255456e-05,2.244124e-05,2.232904e-05,2.221798e-05,2.210807e-05,2.199934e-05,2.189179e-05,2.178545e-05,2.168032e-05,2.157641e-05,2.147373e-05,2.137229e-05,2.127208e-05,2.117312e-05,2.107541e-05,2.097893e-05,2.088370e-05
0.000000e+00,6.981750e-10,2.029978e-09,9.774595e-09,2.730999e-08,4.349711e-08,1.171904e-07,1.214035e-07,2.629883e-07,3.165338e-07,4.861712e-07,6.659162e-07,8.067598e-07,1.199423e-06,1.238307e-06,1.791738e-06,1.943587e-06,2.474013e-06,2.912889e-06,3.285616e-06,4.100585e-06,4.218456e-06,5.256487e-06,5.474921e-06,6.378793e-06,6.988232e-06,7.562915e-06,8.589344e-06,8.787037e-06,1.003099e-05,1.023062e-05,1.127659e-05,1.187023e-05,1.250764e-05,1.347235e-05,1.370988e-05,1.487094e-05,1.500699e-05,1.598034e-05,1.644981e-05,1.702943e-05,1.778215e-05,1.801141e-05,1.892125e-05,1.899081e-05,1.975565e-05,2.006784e-05,2.051286e-05,2.101003e-05,2.119257e-05,2.179573e-05,2.181829e-05,2.232434e-05,2.249692e-05,2.278126e-05,2.305280e-05,2.317003e-05,2.349469e-05,2.375958e-05,2.383246e-05,2.396925e-05,2.407658e-05,2.412829e-05,2.423758e-05,2.424127e-05,2.431262e-05,2.432572e-05,2.434659e-05,2.435073e-05,2.434722e-05,2.432159e-05,2.431827e-05,2.426323e-05,2.424650e-05,2.418532e-05,2.413282e-05,2.408749e-05,2.398704e-05,2.397240e-05,2.384244e-05,2.381486e-05,2.369979e-05,2.362124e-05,2.354636e-05,2.341042e-05,2.338388e-05,2.321387e-05,2.318607e-05,2.303768e-05,2.295127e-05,2.285650e-05,2.270866e-05,2.267137e-05,2.248320e-05,2.246046e-05,2.229281e-05,2.220852e-05,2.210090e-05,2.195439e-05,2.190806e-05,2.171483e-05,2.169937e-05,2.152168e-05,2.144454e-05,2.132901e-05,2.119079e-05,2.113717e-05,2.094646e-05,2.093886e-05,2.075715e-05,2.068938e-05,2.056944e-05,2.044283e-05,2.038355e-05,2.019963e-05,2.001781e-05,1.996010e-05,1.983823e-05,1.972452e-05,1.966098e-05,1.949309e-05,1.948614e-05,1.931379e-05,1.926598e-05,1.914396e-05,1.904330e-05,1.897672e-05,1.882516e-05,1.881208e-05,1.865008e-05,1.861160e-05,1.849073e-05,1.840266e-05,1.833404e-05,1.819836e-05,1.818002e-05,1.802865e-05,1.799870e-05,1.787994e-05,1.780365e-05,1.773386e-05,1.761319e-05,1.759042e-05,1.744957e-05,1.742728e-05,1.731132e-05,1.724586e-05,1.717562e-05,1.706888e-05,1.704245e-05,1.691179e-05,1.689628e-05,1.678360e-05,1.672798e-05,1.665786e-05,1.656390e-05,1.653452e-05,1.641355e-05,1.640398e-05,1.629492e-05,1.624812e-05,1.617860e-05,1.609625e-05,1.606454e-05,1.595271e-05,1.594829e-05,1.584308e-05,1.580414e-05,1.573560e-05,1.566372e-05,1.563023e-05,1.552695e-05,1.539373e-05,1.526398e-05,1.513761e-05,1.501455e-05,1.489469e-05,1.477797e-05,1.466429e-05,1.455358e-05,1.444576e-05,1.434074e-05,1.423845e-05,1.413882e-05,1.404177e-05,1.394723e-05,1.385512e-05,1.376539e-05,1.367796e-05,1.359276e-05,1.350974e-05,1.342882e-05,1.334995e-05,1.327308e-05,1.319814e-05,1.312507e-05
0.000000e+00,7.235180e-10,2.103704e-09,1.014861e-08,2.846853e-08,4.548695e-08,1.239992e-07,1.285331e-07,2.833171e-07,3.429698e-07,5.355415e-07,7.450028e-07,9.126573e-07,1.394306e-06,1.443013e-06,2.151760e-06,2.350349e-06,3.053636e-06,3.643646e-06,4.148788e-06,5.263491e-06,5.425790e-06,6.867449e-06,7.173879e-06,8.454843e-06,9.331579e-06,1.016903e-05,1.169335e-05,1.199146e-05,1.390400e-05,1.421718e-05,1.588893e-05,1.686232e-05,1.792899e-05,1.958957e-05,2.000761e-05,2.210912e-05,2.236213e-05,2.421893e-05,2.514640e-05,2.632374e-05,2.791270e-05,2.841168e-05,3.047233e-05,3.063572e-05,3.249673e-05,3.329461e-05,3.447737e-05,3.587282e-05,3.640808e-05,3.828394e-05,3.835777e-05,4.010112e-05,4.074037e-05,4.185682e-05,4.301454e-05,4.354907e-05,4.517669e-05,4.673907e-05,4.722524e-05,4.823618e-05,4.916024e-05,4.966840e-05,5.098297e-05,5.103648e-05,5.234144e-05,5.269568e-05,5.358454e-05,5.430130e-05,5.476722e-05,5.580327e-05,5.589104e-05,5.695767e-05,5.720534e-05,5.796882e-05,5.851149e-05,5.892627e-05,5.972583e-05,5.983181e-05,6.068726e-05,6.085249e-05,6.149439e-05,6.189560e-05,6.225500e-05,6.285924e-05,6.297084e-05,6.364364e-05,6.374741e-05,6.427509e-05,6.456398e-05,6.486684e-05,6.531275e-05,6.542052e-05,6.593767e-05,6.599735e-05,6.641984e-05,6.662129e-05,6.686850e-05,6.718794e-05,6.728507e-05,6.767095e-05,6.770053e-05,6.802747e-05,6.816215e-05,6.835593e-05,6.857574e-05,6.865757e-05,6.893360e-05,6.894413e-05,6.918518e-05,6.926998e-05,6.941343e-05,6.955586e-05,6.961942e-05,6.980418e-05,6.996872e-05,7.001726e-05,7.011399e-05,7.019727e-05,7.024090e-05,7.034629e-05,7.035035e-05,7.044317e-05,7.046630e-05,7.052020e-05,7.055915e-05,7.058219e-05,7.062661e-05,7.062992e-05,7.066409e-05,7.067035e-05,7.068539e-05,7.069195e-05,7.069449e-05,7.069291e-05,7.069202e-05,7.067859e-05,7.067464e-05,7.065478e-05,7.063848e-05,7.062114e-05,7.058568e-05,7.057821e-05,7.052650e-05,7.051744e-05,7.046650e-05,7.043489e-05,7.039867e-05,7.033908e-05,7.032347e-05,7.024132e-05,7.023101e-05,7.015263e-05,7.011163e-05,7.005779e-05,6.998183e-05,6.995718e-05,6.985115e-05,6.984244e-05,6.974005e-05,6.969426e-05,6.962420e-05,6.953803e-05,6.950392e-05,6.937950e-05,6.937444e-05,6.925123e-05,6.920416e-05,6.911938e-05,6.902781e-05,6.898421e-05,6.884596e-05,6.865917e-05,6.846794e-05,6.827277e-05,6.807410e-05,6.787235e-05,6.766794e-05,6.746123e-05,6.725256e-05,6.704228e-05,6.683069e-05,6.661807e-05,6.640469e-05,6.619080e-05,6.597664e-05,6.576242e-05,6.554835e-05,6.533462e-05,6.512140e-05,6.490885e-05,6.469714e-05,6.448639e-05,6.427674e-05,6.406831e-05,6.386121e-05
0.000000e+00,5.160498e-10,1.427355e-09,6.273039e-09,1.634642e-08,2.518826e-08,6.333237e-08,6.545696e-08,1.355061e-07,1.616728e-07,2.442826e-07,3.315509e-07,3.995519e-07,5.855015e-07,6.035381e-07,8.518448e-07,9.172664e-07,1.137596e-06,1.311577e-06,1.454483e-06,1.754820e-06,1.797134e-06,2.160632e-06,2.235409e-06,2.540149e-06,2.742217e-06,2.930832e-06,3.264110e-06,3.327869e-06,3.726619e-06,3.790284e-06,4.122768e-06,4.310842e-06,4.512454e-06,4.817297e-06,4.892354e-06,5.259733e-06,5.302869e-06,5.612449e-06,5.762574e-06,5.948929e-06,6.193131e-06,6.268121e-06,6.569429e-06,6.592753e-06,6.852646e-06,6.960882e-06,7.117881e-06,7.297911e-06,7.365497e-06,7.596046e-06,7.604922e-06,7.810219e-06,7.883461e-06,8.008799e-06,8.135353e-06,8.192624e-06,8.362561e-06,8.519478e-06,8.567082e-06,8.664230e-06,8.750870e-06,8.797644e-06,8.915791e-06,8.920513e-06,9.033589e-06,9.063593e-06,9.137579e-06,9.195889e-06,9.233144e-06,9.314154e-06,9.320901e-06,9.401421e-06,9.419728e-06,9.475233e-06,9.513821e-06,9.542825e-06,9.597519e-06,9.604647e-06,9.661113e-06,9.671798e-06,9.712605e-06,9.737531e-06,9.759471e-06,9.795502e-06,9.802035e-06,9.840594e-06,9.846410e-06,9.875418e-06,9.890882e-06,9.906760e-06,9.929482e-06,9.934850e-06,9.959902e-06,9.962714e-06,9.982113e-06,9.991033e-06,1.000166e-05,1.001485e-05,1.001872e-05,1.003345e-05,1.003453e-05,1.004598e-05,1.005041e-05,1.005646e-05,1.006280e-05,1.006500e-05,1.007173e-05,1.007196e-05,1.007674e-05,1.007815e-05,1.008015e-05,1.008160e-05,1.008205e-05,1.008251e-05,1.008164e-05,1.008109e-05,1.007950e-05,1.007749e-05,1.007616e-05,1.007189e-05,1.007170e-05,1.006617e-05,1.006444e-05,1.005964e-05,1.005527e-05,1.005217e-05,1.004451e-05,1.004381e-05,1.003460e-05,1.003228e-05,1.002461e-05,1.001868e-05,1.001386e-05,1.000382e-05,1.000241e-05,9.990300e-06,9.987801e-06,9.977561e-06,9.970702e-06,9.964233e-06,9.952608e-06,9.950351e-06,9.935947e-06,9.933596e-06,9.921052e-06,9.913738e-06,9.905698e-06,9.893101e-06,9.889910e-06,9.873718e-06,9.871749e-06,9.857146e-06,9.849741e-06,9.840219e-06,9.827132e-06,9.822961e-06,9.805393e-06,9.803974e-06,9.787536e-06,9.780317e-06,9.769412e-06,9.756207e-06,9.751038e-06,9.732435e-06,9.731686e-06,9.713618e-06,9.706796e-06,9.694606e-06,9.681574e-06,9.675414e-06,9.656057e-06,9.630279e-06,9.604272e-06,9.578066e-06,9.551689e-06,9.525168e-06,9.498529e-06,9.471795e-06,9.444987e-06,9.418128e-06,9.391238e-06,9.364334e-06,9.337434e-06,9.310556e-06,9.283714e-06,9.256923e-06,9.230196e-06,9.203548e-06,9.176989e-06,9.150532e-06,9.124186e-06,9.097962e-06,9.071869e-06,9.045915e-06,9.020110e-06
0.000000e+00,9.818160e-10,2.380045e-09,8.691159e-09,2.031658e-08,2.993694e-08,6.917697e-08,7.130291e-08,1.397398e-07,1.647829e-07,2.429525e-07,3.250349e-07,3.892763e-07,5.688916e-07,5.867276e-07,8.409349e-07,9.105693e-07,1.152101e-06,1.348731e-06,1.512666e-06,1.859714e-06,1.908550e-06,2.323951e-06,2.408138e-06,2.745606e-06,2.964065e-06,3.164075e-06,3.508489e-06,3.573114e-06,3.968658e-06,4.030502e-06,4.348072e-06,4.523940e-06,4.709675e-06,4.985444e-06,5.052468e-06,5.375958e-06,5.413472e-06,5.680049e-06,5.807746e-06,5.964944e-06,6.168889e-06,6.231082e-06,6.479072e-06,6.498148e-06,6.709646e-06,6.797180e-06,6.923618e-06,7.067881e-06,7.121850e-06,7.305221e-06,7.312260e-06,7.474617e-06,7.532347e-06,7.630906e-06,7.730127e-06,7.774931e-06,7.907502e-06,8.029391e-06,8.066261e-06,8.141332e-06,8.208072e-06,8.244012e-06,8.334474e-06,8.338079e-06,8.424138e-06,8.446878e-06,8.502756e-06,8.546576e-06,8.574460e-06,8.634742e-06,8.639739e-06,8.699051e-06,8.712446e-06,8.752819e-06,8.780655e-06,8.801436e-06,8.840249e-06,8.845267e-06,8.884650e-06,8.892020e-06,8.919898e-06,8.936691e-06,8.951303e-06,8.974911e-06,8.979134e-06,9.003641e-06,9.007270e-06,9.025057e-06,9.034302e-06,9.043596e-06,9.056492e-06,9.059459e-06,9.072832e-06,9.074277e-06,9.083886e-06,9.088056e-06,9.092781e-06,9.098188e-06,9.099665e-06,9.104676e-06,9.105000e-06,9.107943e-06,9.108789e-06,9.109586e-06,9.109825e-06,9.109715e-06,9.108436e-06,9.108356e-06,9.105843e-06,9.104606e-06,9.102029e-06,9.098780e-06,9.097076e-06,9.091063e-06,9.084064e-06,9.081627e-06,9.076147e-06,9.070629e-06,9.067377e-06,9.058211e-06,9.057814e-06,9.047514e-06,9.044505e-06,9.036530e-06,9.029632e-06,9.024911e-06,9.013701e-06,9.012704e-06,8.999952e-06,8.996815e-06,8.986696e-06,8.979067e-06,8.972975e-06,8.960543e-06,8.958823e-06,8.944275e-06,8.941321e-06,8.929363e-06,8.921475e-06,8.914117e-06,8.901073e-06,8.898565e-06,8.882733e-06,8.880176e-06,8.866647e-06,8.858842e-06,8.850329e-06,8.837124e-06,8.833803e-06,8.817089e-06,8.815072e-06,8.800207e-06,8.792731e-06,8.783176e-06,8.770142e-06,8.766012e-06,8.748733e-06,8.747346e-06,8.731354e-06,8.724378e-06,8.713891e-06,8.701272e-06,8.696356e-06,8.678763e-06,8.678059e-06,8.661125e-06,8.654767e-06,8.643454e-06,8.631423e-06,8.625759e-06,8.608053e-06,8.584678e-06,8.561321e-06,8.538000e-06,8.514735e-06,8.491542e-06,8.468436e-06,8.445432e-06,8.422544e-06,8.399783e-06,8.377162e-06,8.354691e-06,8.332378e-06,8.310234e-06,8.288266e-06,8.266482e-06,8.244888e-06,8.223491e-06,8.202296e-06,8.181308e-06,8.160532e-06,8.139971e-06,8.119630e-06,8.099512e-06,8.079619e-06
0.000000e+00,8.038970e-10,2.210337e-09,9.622539e-09,2.493022e-08,3.833170e-08,9.611487e-08,9.933618e-08,2.058893e-07,2.459027e-07,3.732191e-07,5.098405e-07,6.181937e-07,9.240820e-07,9.544925e-07,1.384229e-06,1.500231e-06,1.896458e-06,2.213338e-06,2.475169e-06,3.028033e-06,3.106116e-06,3.778376e-06,3.917007e-06,4.483416e-06,4.860548e-06,5.213955e-06,5.842367e-06,5.963241e-06,6.724720e-06,6.847256e-06,7.491971e-06,7.860468e-06,8.258781e-06,8.867928e-06,9.019243e-06,9.767900e-06,9.856707e-06,1.049986e-05,1.081551e-05,1.121086e-05,1.173499e-05,1.189735e-05,1.255646e-05,1.260794e-05,1.318603e-05,1.342921e-05,1.378449e-05,1.419557e-05,1.435090e-05,1.488484e-05,1.490553e-05,1.538639e-05,1.555909e-05,1.585596e-05,1.615735e-05,1.629425e-05,1.670225e-05,1.708113e-05,1.719643e-05,1.743217e-05,1.764281e-05,1.775666e-05,1.804449e-05,1.805600e-05,1.833163e-05,1.840475e-05,1.858494e-05,1.872679e-05,1.881732e-05,1.901379e-05,1.903013e-05,1.922466e-05,1.926876e-05,1.940212e-05,1.949449e-05,1.956370e-05,1.969362e-05,1.971049e-05,1.984354e-05,1.986859e-05,1.996381e-05,2.002161e-05,2.007222e-05,2.015473e-05,2.016960e-05,2.025674e-05,2.026979e-05,2.033438e-05,2.036847e-05,2.040319e-05,2.045230e-05,2.046379e-05,2.051677e-05,2.052265e-05,2.056267e-05,2.058075e-05,2.060198e-05,2.062773e-05,2.063516e-05,2.066264e-05,2.066460e-05,2.068481e-05,2.069227e-05,2.070203e-05,2.071156e-05,2.071465e-05,2.072298e-05,2.072322e-05,2.072730e-05,2.072793e-05,2.072789e-05,2.072629e-05,2.072500e-05,2.071885e-05,2.070968e-05,2.070614e-05,2.069767e-05,2.068859e-05,2.068302e-05,2.066664e-05,2.066591e-05,2.064649e-05,2.064066e-05,2.062492e-05,2.061100e-05,2.060134e-05,2.057799e-05,2.057589e-05,2.054869e-05,2.054192e-05,2.051986e-05,2.050305e-05,2.048951e-05,2.046163e-05,2.045775e-05,2.042466e-05,2.041790e-05,2.039035e-05,2.037205e-05,2.035490e-05,2.032430e-05,2.031839e-05,2.028089e-05,2.027481e-05,2.024249e-05,2.022375e-05,2.020324e-05,2.017128e-05,2.016321e-05,2.012247e-05,2.011754e-05,2.008107e-05,2.006266e-05,2.003906e-05,2.000676e-05,1.999650e-05,1.995343e-05,1.994997e-05,1.990991e-05,1.989238e-05,1.986597e-05,1.983410e-05,1.982166e-05,1.977701e-05,1.977522e-05,1.973206e-05,1.971582e-05,1.968686e-05,1.965598e-05,1.964142e-05,1.959579e-05,1.953531e-05,1.947460e-05,1.941372e-05,1.935274e-05,1.929171e-05,1.923067e-05,1.916967e-05,1.910875e-05,1.904797e-05,1.898734e-05,1.892691e-05,1.886671e-05,1.880677e-05,1.874712e-05,1.868778e-05,1.862878e-05,1.857014e-05,1.851188e-05,1.845402e-05,1.839658e-05,1.833958e-05,1.828303e-05,1.822694e-05,1.817132e-05
0.000000e+00,1.552123e-09,4.174266e-09,1.754926e-08,4.442247e-08,6.757334e-08,1.652285e-07,1.705929e-07,3.443443e-07,4.079689e-07,6.055602e-07,8.109438e-07,9.702091e-07,1.410149e-06,1.453522e-06,2.069439e-06,2.238311e-06,2.828997e-06,3.319481e-06,3.737844e-06,4.660244e-06,4.794681e-06,5.992294e-06,6.247812e-06,7.320123e-06,8.058139e-06,8.766305e-06,1.006356e-05,1.031853e-05,1.196425e-05,1.223539e-05,1.369068e-05,1.454424e-05,1.548487e-05,1.696025e-05,1.733379e-05,1.922455e-05,1.945364e-05,2.114454e-05,2.199546e-05,2.308170e-05,2.455838e-05,2.502462e-05,2.696274e-05,2.711729e-05,2.888640e-05,2.964985e-05,3.078695e-05,3.213670e-05,3.265673e-05,3.448911e-05,3.456154e-05,3.627842e-05,3.691108e-05,3.801992e-05,3.917484e-05,3.970977e-05,4.134488e-05,4.292292e-05,4.341554e-05,4.444217e-05,4.538311e-05,4.590152e-05,4.724554e-05,4.730033e-05,4.863839e-05,4.900218e-05,4.991589e-05,5.065351e-05,5.113330e-05,5.220090e-05,5.229139e-05,5.339111e-05,5.364648e-05,5.443361e-05,5.499290e-05,5.542019e-05,5.624322e-05,5.635224e-05,5.723125e-05,5.740083e-05,5.805879e-05,5.846930e-05,5.883645e-05,5.945234e-05,5.956587e-05,6.024869e-05,6.035373e-05,6.088657e-05,6.117728e-05,6.148117e-05,6.192678e-05,6.203411e-05,6.254702e-05,6.260596e-05,6.302150e-05,6.321850e-05,6.345911e-05,6.376797e-05,6.386138e-05,6.422981e-05,6.425787e-05,6.456587e-05,6.469155e-05,6.487098e-05,6.507228e-05,6.514653e-05,6.539387e-05,6.540319e-05,6.561429e-05,6.568730e-05,6.580907e-05,6.592750e-05,6.597942e-05,6.612654e-05,6.625155e-05,6.628707e-05,6.635557e-05,6.641162e-05,6.643966e-05,6.650258e-05,6.650484e-05,6.655210e-05,6.656225e-05,6.658239e-05,6.659280e-05,6.659663e-05,6.659630e-05,6.659569e-05,6.658042e-05,6.657472e-05,6.655164e-05,6.652990e-05,6.651011e-05,6.646363e-05,6.645659e-05,6.639180e-05,6.637755e-05,6.631642e-05,6.627326e-05,6.623112e-05,6.615225e-05,6.613651e-05,6.603321e-05,6.601591e-05,6.592179e-05,6.586559e-05,6.580280e-05,6.570252e-05,6.567678e-05,6.554423e-05,6.552790e-05,6.540562e-05,6.534284e-05,6.526142e-05,6.514836e-05,6.511207e-05,6.495799e-05,6.494547e-05,6.479957e-05,6.473507e-05,6.463719e-05,6.451804e-05,6.447122e-05,6.430200e-05,6.429517e-05,6.412986e-05,6.406723e-05,6.395511e-05,6.383493e-05,6.377804e-05,6.359893e-05,6.335985e-05,6.311826e-05,6.287471e-05,6.262968e-05,6.238365e-05,6.213704e-05,6.189026e-05,6.164367e-05,6.139761e-05,6.115241e-05,6.090833e-05,6.066567e-05,6.042465e-05,6.018549e-05,5.994841e-05,5.971359e-05,5.948118e-05,5.925135e-05,5.902423e-05,5.879994e-05,5.857858e-05,5.836025e-05,5.814504e-05,5.793301e-05
0.000000e+00,8.742663e-10,2.490350e-09,1.155337e-08,3.139968e-08,4.938298e-08,1.298585e-07,1.344287e-07,2.878259e-07,3.460332e-07,5.319330e-07,7.318240e-07,8.906542e-07,1.343287e-06,1.388847e-06,2.049584e-06,2.234320e-06,2.888148e-06,3.436184e-06,3.904537e-06,4.932297e-06,5.081013e-06,6.388356e-06,6.662718e-06,7.795081e-06,8.556318e-06,9.273042e-06,1.055233e-05,1.079884e-05,1.235319e-05,1.260342e-05,1.391990e-05,1.467217e-05,1.548512e-05,1.672810e-05,1.703684e-05,1.856473e-05,1.874604e-05,2.005996e-05,2.070557e-05,2.151518e-05,2.259067e-05,2.292442e-05,2.428300e-05,2.438939e-05,2.558741e-05,2.609342e-05,2.683519e-05,2.769762e-05,2.802479e-05,2.915547e-05,2.919947e-05,3.022712e-05,3.059854e-05,3.124019e-05,3.189604e-05,3.219555e-05,3.309441e-05,3.393827e-05,3.419696e-05,3.472881e-05,3.520759e-05,3.546783e-05,3.613060e-05,3.615725e-05,3.679904e-05,3.697048e-05,3.739519e-05,3.773181e-05,3.794770e-05,3.841916e-05,3.845854e-05,3.892965e-05,3.903702e-05,3.936295e-05,3.958977e-05,3.976029e-05,4.008162e-05,4.012346e-05,4.045420e-05,4.051661e-05,4.075419e-05,4.089858e-05,4.102505e-05,4.123119e-05,4.126832e-05,4.148549e-05,4.151791e-05,4.167798e-05,4.176201e-05,4.184714e-05,4.196656e-05,4.199429e-05,4.212064e-05,4.213446e-05,4.222740e-05,4.226845e-05,4.231567e-05,4.237106e-05,4.238654e-05,4.244103e-05,4.244471e-05,4.248010e-05,4.249162e-05,4.250468e-05,4.251390e-05,4.251565e-05,4.251383e-05,4.251351e-05,4.250003e-05,4.249227e-05,4.247499e-05,4.245191e-05,4.243942e-05,4.239401e-05,4.233939e-05,4.232007e-05,4.227617e-05,4.223147e-05,4.220494e-05,4.212951e-05,4.212622e-05,4.204056e-05,4.201539e-05,4.194842e-05,4.189023e-05,4.185029e-05,4.175508e-05,4.174659e-05,4.163775e-05,4.161090e-05,4.152415e-05,4.145861e-05,4.140618e-05,4.129903e-05,4.128419e-05,4.115850e-05,4.113294e-05,4.102943e-05,4.096108e-05,4.089728e-05,4.078410e-05,4.076233e-05,4.062485e-05,4.060264e-05,4.048509e-05,4.041726e-05,4.034328e-05,4.022851e-05,4.019965e-05,4.005441e-05,4.003688e-05,3.990775e-05,3.984283e-05,3.975987e-05,3.964677e-05,3.961095e-05,3.946113e-05,3.944912e-05,3.931060e-05,3.925021e-05,3.915948e-05,3.905040e-05,3.900793e-05,3.885606e-05,3.884998e-05,3.870401e-05,3.864924e-05,3.855188e-05,3.844845e-05,3.839979e-05,3.824783e-05,3.804762e-05,3.784801e-05,3.764919e-05,3.745132e-05,3.725457e-05,3.705908e-05,3.686496e-05,3.667235e-05,3.648133e-05,3.629201e-05,3.610448e-05,3.591880e-05,3.573506e-05,3.555329e-05,3.537357e-05,3.519594e-05,3.502043e-05,3.484709e-05,3.467595e-05,3.450702e-05,3.434033e-05,3.417590e-05,3.401373e-05,3.385384e-05
0.000000e+00,2.124987e-09,6.232358e-09,3.058926e-08,8.711442e-08,1.403286e-07,3.906158e-07,4.052438e-07,9.123990e-07,1.111087e-06,1.761795e-06,2.482500e-06,3.066958e-06,4.772431e-06,4.946481e-06,7.497147e-06,8.215456e-06,1.076411e-05,1.290456e-05,1.473754e-05,1.878285e-05,1.937191e-05,2.460565e-05,2.571850e-05,3.037234e-05,3.355948e-05,3.660529e-05,4.215303e-05,4.323856e-05,5.020706e-05,5.134882e-05,5.744634e-05,6.099865e-05,6.489277e-05,7.095713e-05,7.248404e-05,8.015986e-05,8.108387e-05,8.786270e-05,9.124648e-05,9.553871e-05,1.013239e-04,1.031384e-04,1.106173e-04,1.112091e-04,1.179358e-04,1.208106e-04,1.250601e-04,1.300530e-04,1.319615e-04,1.386165e-04,1.388773e-04,1.450064e-04,1.472391e-04,1.511173e-04,1.551081e-04,1.569392e-04,1.624657e-04,1.676939e-04,1.693038e-04,1.726235e-04,1.756225e-04,1.772564e-04,1.814288e-04,1.815968e-04,1.856504e-04,1.867349e-04,1.894241e-04,1.915573e-04,1.929260e-04,1.959152e-04,1.961648e-04,1.991500e-04,1.998297e-04,2.018912e-04,2.033236e-04,2.043987e-04,2.064198e-04,2.066824e-04,2.087526e-04,2.091419e-04,2.106194e-04,2.115131e-04,2.122928e-04,2.135561e-04,2.137826e-04,2.150983e-04,2.152933e-04,2.162493e-04,2.167459e-04,2.172446e-04,2.179346e-04,2.180929e-04,2.188027e-04,2.188789e-04,2.193820e-04,2.195976e-04,2.198386e-04,2.201082e-04,2.201800e-04,2.204133e-04,2.204275e-04,2.205453e-04,2.205712e-04,2.205825e-04,2.205541e-04,2.205311e-04,2.203971e-04,2.203901e-04,2.201860e-04,2.200922e-04,2.199033e-04,2.196727e-04,2.195539e-04,2.191428e-04,2.186744e-04,2.185132e-04,2.181532e-04,2.177938e-04,2.175832e-04,2.169938e-04,2.169683e-04,2.163123e-04,2.161216e-04,2.156184e-04,2.151854e-04,2.148902e-04,2.141924e-04,2.141306e-04,2.133426e-04,2.131495e-04,2.125289e-04,2.120630e-04,2.116922e-04,2.109387e-04,2.108348e-04,2.099592e-04,2.097820e-04,2.090674e-04,2.085979e-04,2.081615e-04,2.073910e-04,2.072434e-04,2.063149e-04,2.061655e-04,2.053777e-04,2.049252e-04,2.044333e-04,2.036737e-04,2.034833e-04,2.025290e-04,2.024142e-04,2.015716e-04,2.011498e-04,2.006125e-04,1.998831e-04,1.996527e-04,1.986933e-04,1.986166e-04,1.977352e-04,1.973526e-04,1.967794e-04,1.960930e-04,1.958266e-04,1.948777e-04,1.948398e-04,1.939334e-04,1.935946e-04,1.929942e-04,1.923590e-04,1.920610e-04,1.911341e-04,1.899213e-04,1.887217e-04,1.875361e-04,1.863654e-04,1.852104e-04,1.840716e-04,1.829497e-04,1.818450e-04,1.807580e-04,1.796891e-04,1.786383e-04,1.776061e-04,1.765924e-04,1.755975e-04,1.746213e-04,1.736639e-04,1.727253e-04,1.718054e-04,1.709041e-04,1.700213e-04,1.691569e-04,1.683107e-04,1.674826e-04,1.666723e-04
0.000000e+00,4.923992e-09,1.159248e-08,4.117893e-08,9.559238e-08,1.409317e-07,3.295999e-07,3.399946e-07,6.834956e-07,8.131506e-07,1.229067e-06,1.679278e-06,2.037025e-06,3.038719e-06,3.137229e-06,4.506661e-06,4.869962e-06,6.096579e-06,7.066796e-06,7.864347e-06,9.542955e-06,9.779836e-06,1.182102e-05,1.224270e-05,1.396964e-05,1.512372e-05,1.620868e-05,1.814706e-05,1.852133e-05,2.089064e-05,2.127386e-05,2.329981e-05,2.446552e-05,2.573239e-05,2.768469e-05,2.817263e-05,3.060582e-05,3.089667e-05,3.301850e-05,3.407044e-05,3.539868e-05,3.717937e-05,3.773587e-05,4.002113e-05,4.020147e-05,4.224688e-05,4.311909e-05,4.440697e-05,4.591889e-05,4.649670e-05,4.851256e-05,4.859162e-05,5.045203e-05,5.113120e-05,5.231349e-05,5.353426e-05,5.409610e-05,5.579970e-05,5.742465e-05,5.792814e-05,5.897175e-05,5.992157e-05,6.044218e-05,6.178303e-05,6.183742e-05,6.315921e-05,6.351639e-05,6.440927e-05,6.512558e-05,6.558932e-05,6.661512e-05,6.670167e-05,6.774872e-05,6.799051e-05,6.873252e-05,6.925668e-05,6.965538e-05,7.041884e-05,7.051950e-05,7.132700e-05,7.148191e-05,7.208009e-05,7.245089e-05,7.278087e-05,7.333064e-05,7.343143e-05,7.403380e-05,7.412584e-05,7.458996e-05,7.484109e-05,7.510190e-05,7.548088e-05,7.557150e-05,7.600060e-05,7.604946e-05,7.639097e-05,7.655091e-05,7.674433e-05,7.698914e-05,7.706232e-05,7.734657e-05,7.736789e-05,7.759862e-05,7.769076e-05,7.781998e-05,7.796117e-05,7.801209e-05,7.817636e-05,7.818237e-05,7.831412e-05,7.835747e-05,7.842665e-05,7.848939e-05,7.851518e-05,7.858091e-05,7.862499e-05,7.863470e-05,7.864850e-05,7.865325e-05,7.865251e-05,7.863895e-05,7.863803e-05,7.860603e-05,7.859405e-05,7.855743e-05,7.852068e-05,7.849313e-05,7.842084e-05,7.841398e-05,7.832081e-05,7.829645e-05,7.821439e-05,7.814929e-05,7.809548e-05,7.798107e-05,7.796479e-05,7.782302e-05,7.779339e-05,7.767082e-05,7.758777e-05,7.750883e-05,7.736562e-05,7.733763e-05,7.715782e-05,7.712829e-05,7.696994e-05,7.687705e-05,7.677452e-05,7.661308e-05,7.657204e-05,7.636301e-05,7.633750e-05,7.614786e-05,7.605138e-05,7.592705e-05,7.575570e-05,7.570098e-05,7.547006e-05,7.545138e-05,7.523465e-05,7.513932e-05,7.499513e-05,7.482032e-05,7.475184e-05,7.450510e-05,7.449516e-05,7.425523e-05,7.416457e-05,7.400252e-05,7.382921e-05,7.374726e-05,7.348973e-05,7.314671e-05,7.280072e-05,7.245228e-05,7.210187e-05,7.174994e-05,7.139693e-05,7.104321e-05,7.068917e-05,7.033515e-05,6.998146e-05,6.962840e-05,6.927625e-05,6.892525e-05,6.857566e-05,6.822767e-05,6.788150e-05,6.753733e-05,6.719533e-05,6.685566e-05,6.651845e-05,6.618385e-05,6.585197e-05,6.552292e-05,6.519679e-05
0.000000e+00,1.293922e-09,3.837169e-09,1.924726e-08,5.580984e-08,9.071229e-08,2.574703e-07,2.672892e-07,6.093198e-07,7.435102e-07,1.181649e-06,1.663230e-06,2.050726e-06,3.169170e-06,3.282596e-06,4.941077e-06,5.409292e-06,7.085020e-06,8.516561e-06,9.763541e-06,1.258994e-05,1.301020e-05,1.683945e-05,1.767515e-05,2.124727e-05,2.376206e-05,2.621426e-05,3.079604e-05,3.170911e-05,3.769127e-05,3.869053e-05,4.411300e-05,4.733608e-05,5.092093e-05,5.660669e-05,5.805738e-05,6.546161e-05,6.636515e-05,7.307107e-05,7.646796e-05,8.082258e-05,8.677017e-05,8.865356e-05,9.650309e-05,9.713008e-05,1.043130e-04,1.074134e-04,1.120286e-04,1.174970e-04,1.195996e-04,1.269806e-04,1.272713e-04,1.341315e-04,1.366426e-04,1.410174e-04,1.455334e-04,1.476092e-04,1.538833e-04,1.598211e-04,1.616479e-04,1.654093e-04,1.687979e-04,1.706390e-04,1.753181e-04,1.755058e-04,1.800089e-04,1.812049e-04,1.841511e-04,1.864653e-04,1.879378e-04,1.911148e-04,1.913774e-04,1.944798e-04,1.951755e-04,1.972570e-04,1.986750e-04,1.997221e-04,2.016446e-04,2.018894e-04,2.037737e-04,2.041180e-04,2.053904e-04,2.061304e-04,2.067549e-04,2.077178e-04,2.078830e-04,2.087900e-04,2.089156e-04,2.094910e-04,2.097587e-04,2.100009e-04,2.102809e-04,2.103340e-04,2.105041e-04,2.105142e-04,2.105244e-04,2.104891e-04,2.104074e-04,2.102342e-04,2.101652e-04,2.098090e-04,2.097759e-04,2.093494e-04,2.091389e-04,2.087965e-04,2.083458e-04,2.081595e-04,2.074472e-04,2.074173e-04,2.066678e-04,2.063722e-04,2.058287e-04,2.052277e-04,2.049371e-04,2.039993e-04,2.030213e-04,2.027008e-04,2.020088e-04,2.013449e-04,2.009666e-04,1.999426e-04,1.998995e-04,1.988118e-04,1.985040e-04,1.977073e-04,1.970380e-04,1.965896e-04,1.955525e-04,1.954620e-04,1.943274e-04,1.940543e-04,1.931885e-04,1.925497e-04,1.920477e-04,1.910441e-04,1.909073e-04,1.897692e-04,1.895420e-04,1.886353e-04,1.880478e-04,1.875071e-04,1.865648e-04,1.863860e-04,1.852735e-04,1.850963e-04,1.841705e-04,1.836448e-04,1.830782e-04,1.822126e-04,1.819974e-04,1.809290e-04,1.808016e-04,1.798736e-04,1.794135e-04,1.788318e-04,1.780494e-04,1.778041e-04,1.767910e-04,1.767106e-04,1.757928e-04,1.753978e-04,1.748099e-04,1.741118e-04,1.738425e-04,1.728908e-04,1.728531e-04,1.719549e-04,1.716219e-04,1.710351e-04,1.704187e-04,1.701312e-04,1.692434e-04,1.680962e-04,1.669768e-04,1.658853e-04,1.648213e-04,1.637846e-04,1.627748e-04,1.617917e-04,1.608348e-04,1.599036e-04,1.589979e-04,1.581169e-04,1.572604e-04,1.564278e-04,1.556185e-04,1.548321e-04,1.540681e-04,1.533259e-04,1.526050e-04,1.519048e-04,1.512250e-04,1.505648e-04,1.499240e-04,1.493018e-04,1.486979e-04
0.000000e+00,4.765346e-09,1.122799e-08,4.032108e-08,9.571572e-08,1.436930e-07,3.593514e-07,3.719082e-07,8.157171e-07,9.927954e-07,1.567542e-06,2.171319e-06,2.628116e-06,3.810876e-06,3.921139e-06,5.382098e-06,5.753328e-06,6.975302e-06,7.917451e-06,8.680625e-06,1.026261e-05,1.048370e-05,1.237137e-05,1.275787e-05,1.432991e-05,1.537152e-05,1.634466e-05,1.806929e-05,1.840030e-05,2.048134e-05,2.081564e-05,2.257262e-05,2.357584e-05,2.465984e-05,2.631782e-05,2.672987e-05,2.877101e-05,2.901351e-05,3.077317e-05,3.163952e-05,3.272782e-05,3.417721e-05,3.462795e-05,3.646800e-05,3.661248e-05,3.824385e-05,3.893550e-05,3.995249e-05,4.113995e-05,4.159195e-05,4.316111e-05,4.322241e-05,4.465961e-05,4.518179e-05,4.608764e-05,4.701879e-05,4.744590e-05,4.873548e-05,4.995780e-05,5.033502e-05,5.111455e-05,5.182120e-05,5.220737e-05,5.319811e-05,5.323818e-05,5.420900e-05,5.447035e-05,5.512185e-05,5.564261e-05,5.597883e-05,5.671969e-05,5.678201e-05,5.753346e-05,5.770633e-05,5.823522e-05,5.860726e-05,5.888933e-05,5.942710e-05,5.949777e-05,6.006249e-05,6.017035e-05,6.058535e-05,6.084132e-05,6.106821e-05,6.144419e-05,6.151283e-05,6.192095e-05,6.198297e-05,6.229422e-05,6.246149e-05,6.263426e-05,6.288341e-05,6.294262e-05,6.322079e-05,6.325222e-05,6.347023e-05,6.357123e-05,6.369231e-05,6.384361e-05,6.388836e-05,6.405968e-05,6.407235e-05,6.420748e-05,6.426029e-05,6.433296e-05,6.441012e-05,6.443724e-05,6.452141e-05,6.452438e-05,6.458652e-05,6.460548e-05,6.463355e-05,6.465570e-05,6.466346e-05,6.467718e-05,6.467557e-05,6.467195e-05,6.465947e-05,6.464193e-05,6.462968e-05,6.458891e-05,6.458696e-05,6.453206e-05,6.451460e-05,6.446566e-05,6.442058e-05,6.438844e-05,6.430838e-05,6.430103e-05,6.420404e-05,6.417940e-05,6.409805e-05,6.403498e-05,6.398363e-05,6.387637e-05,6.386128e-05,6.373153e-05,6.370474e-05,6.359486e-05,6.352120e-05,6.345171e-05,6.332679e-05,6.330253e-05,6.314774e-05,6.312248e-05,6.298773e-05,6.290918e-05,6.282287e-05,6.268775e-05,6.265354e-05,6.248007e-05,6.245899e-05,6.230279e-05,6.222366e-05,6.212201e-05,6.198246e-05,6.193803e-05,6.175112e-05,6.173605e-05,6.156155e-05,6.148504e-05,6.136958e-05,6.123001e-05,6.117545e-05,6.097938e-05,6.097150e-05,6.078160e-05,6.071001e-05,6.058230e-05,6.044602e-05,6.038169e-05,6.017996e-05,5.991223e-05,5.964322e-05,5.937329e-05,5.910276e-05,5.883194e-05,5.856111e-05,5.829054e-05,5.802047e-05,5.775114e-05,5.748274e-05,5.721547e-05,5.694952e-05,5.668504e-05,5.642218e-05,5.616109e-05,5.590189e-05,5.564469e-05,5.538961e-05,5.513674e-05,5.488617e-05,5.463797e-05,5.439221e-05,5.414896e-05,5.390828e-05
0.000000e+00,9.176267e-10,2.128892e-09,7.426307e-09,1.701284e-08,2.488649e-08,5.674141e-08,5.845849e-08,1.133803e-07,1.333352e-07,1.952594e-07,2.598480e-07,3.101824e-07,4.502551e-07,4.641239e-07,6.612698e-07,7.151898e-07,9.026180e-07,1.056587e-06,1.186724e-06,1.470384e-06,1.511423e-06,1.874728e-06,1.951868e-06,2.274925e-06,2.497074e-06,2.710406e-06,3.102261e-06,3.179502e-06,3.680367e-06,3.763319e-06,4.210928e-06,4.475472e-06,4.768860e-06,5.233200e-06,5.351604e-06,5.956397e-06,6.030317e-06,6.580314e-06,6.860115e-06,7.220311e-06,7.715554e-06,7.873286e-06,8.536135e-06,8.589497e-06,9.205796e-06,9.474898e-06,9.879296e-06,1.036499e-05,1.055379e-05,1.122660e-05,1.125344e-05,1.189522e-05,1.213446e-05,1.255738e-05,1.300287e-05,1.321098e-05,1.385419e-05,1.448537e-05,1.468458e-05,1.510313e-05,1.549088e-05,1.570626e-05,1.627059e-05,1.629378e-05,1.686486e-05,1.702173e-05,1.741886e-05,1.774284e-05,1.795528e-05,1.843298e-05,1.847380e-05,1.897421e-05,1.909160e-05,1.945643e-05,1.971852e-05,1.992046e-05,2.031384e-05,2.036641e-05,2.079446e-05,2.087794e-05,2.120486e-05,2.141139e-05,2.159791e-05,2.191491e-05,2.197395e-05,2.233337e-05,2.238936e-05,2.267658e-05,2.283569e-05,2.300403e-05,2.325496e-05,2.331619e-05,2.361355e-05,2.364827e-05,2.389658e-05,2.401668e-05,2.416571e-05,2.436125e-05,2.442141e-05,2.466414e-05,2.468301e-05,2.489436e-05,2.498305e-05,2.511252e-05,2.526237e-05,2.531905e-05,2.551439e-05,2.552198e-05,2.569895e-05,2.576283e-05,2.587314e-05,2.598588e-05,2.603737e-05,2.619202e-05,2.633747e-05,2.638213e-05,2.647408e-05,2.655703e-05,2.660219e-05,2.671751e-05,2.672215e-05,2.683429e-05,2.686432e-05,2.693890e-05,2.699819e-05,2.703630e-05,2.711979e-05,2.712678e-05,2.721063e-05,2.722979e-05,2.728810e-05,2.732880e-05,2.735946e-05,2.741741e-05,2.742497e-05,2.748486e-05,2.749618e-05,2.753936e-05,2.756564e-05,2.758869e-05,2.762629e-05,2.763307e-05,2.767270e-05,2.767861e-05,2.770777e-05,2.772305e-05,2.773848e-05,2.776003e-05,2.776501e-05,2.778753e-05,2.778997e-05,2.780620e-05,2.781324e-05,2.782119e-05,2.783022e-05,2.783265e-05,2.784073e-05,2.784124e-05,2.784557e-05,2.784663e-05,2.784731e-05,2.784671e-05,2.784607e-05,2.784198e-05,2.784176e-05,2.783517e-05,2.783207e-05,2.782574e-05,2.781789e-05,2.781381e-05,2.779949e-05,2.777709e-05,2.775092e-05,2.772119e-05,2.768812e-05,2.765187e-05,2.761265e-05,2.757063e-05,2.752596e-05,2.747880e-05,2.742930e-05,2.737761e-05,2.732385e-05,2.726815e-05,2.721063e-05,2.715142e-05,2.709060e-05,2.702830e-05,2.696461e-05,2.689961e-05,2.683341e-05,2.676609e-05,2.669772e-05,2.662838e-05,2.655815e-05
0.000000e+00,2.876897e-07,8.498435e-07,4.228986e-06,1.217523e-05,1.971309e-05,5.540826e-05,5.749886e-05,1.298598e-04,1.580690e-04,2.497021e-04,3.498093e-04,4.300133e-04,6.602426e-04,6.835055e-04,1.022281e-03,1.117528e-03,1.457263e-03,1.746251e-03,1.997152e-03,2.563207e-03,2.647071e-03,3.407674e-03,3.572823e-03,4.275315e-03,4.766560e-03,5.242963e-03,6.126272e-03,6.301256e-03,7.439332e-03,7.628050e-03,8.645409e-03,9.244879e-03,9.907185e-03,1.094829e-02,1.121213e-02,1.254776e-02,1.270950e-02,1.390179e-02,1.450033e-02,1.526241e-02,1.629397e-02,1.661842e-02,1.795942e-02,1.806576e-02,1.927589e-02,1.979368e-02,2.055934e-02,2.145877e-02,2.180234e-02,2.299856e-02,2.304536e-02,2.414276e-02,2.454110e-02,2.523077e-02,2.593687e-02,2.625944e-02,2.722657e-02,2.813081e-02,2.840678e-02,2.897162e-02,2.947647e-02,2.974911e-02,3.043661e-02,3.046402e-02,3.111756e-02,3.128977e-02,3.171138e-02,3.203981e-02,3.224744e-02,3.269153e-02,3.272799e-02,3.315546e-02,3.325044e-02,3.353242e-02,3.372245e-02,3.386153e-02,3.411371e-02,3.414550e-02,3.438702e-02,3.443046e-02,3.458878e-02,3.467886e-02,3.475342e-02,3.486491e-02,3.488351e-02,3.498153e-02,3.499440e-02,3.504987e-02,3.507280e-02,3.509081e-02,3.510531e-02,3.510653e-02,3.509910e-02,3.509674e-02,3.507045e-02,3.505161e-02,3.502243e-02,3.497405e-02,3.495677e-02,3.487508e-02,3.486790e-02,3.477888e-02,3.473666e-02,3.466958e-02,3.458351e-02,3.454848e-02,3.441682e-02,3.441135e-02,3.427572e-02,3.422282e-02,3.412624e-02,3.402030e-02,3.396935e-02,3.380594e-02,3.363684e-02,3.358166e-02,3.346283e-02,3.334920e-02,3.328459e-02,3.311012e-02,3.310278e-02,3.291800e-02,3.286580e-02,3.273079e-02,3.261750e-02,3.254164e-02,3.236632e-02,3.235102e-02,3.215935e-02,3.211323e-02,3.196700e-02,3.185912e-02,3.177432e-02,3.160475e-02,3.158163e-02,3.138923e-02,3.135080e-02,3.119736e-02,3.109789e-02,3.100627e-02,3.084652e-02,3.081618e-02,3.062726e-02,3.059716e-02,3.043971e-02,3.035021e-02,3.025367e-02,3.010602e-02,3.006928e-02,2.988666e-02,2.986487e-02,2.970594e-02,2.962704e-02,2.952719e-02,2.939272e-02,2.935051e-02,2.917598e-02,2.916211e-02,2.900365e-02,2.893535e-02,2.883359e-02,2.871257e-02,2.866583e-02,2.850042e-02,2.849385e-02,2.833739e-02,2.827929e-02,2.817677e-02,2.806892e-02,2.801857e-02,2.786280e-02,2.766095e-02,2.746336e-02,2.727005e-02,2.708100e-02,2.689618e-02,2.671556e-02,2.653911e-02,2.636677e-02,2.619851e-02,2.603427e-02,2.587398e-02,2.571758e-02,2.556502e-02,2.541622e-02,2.527112e-02,2.512964e-02,2.499171e-02,2.485727e-02,2.472623e-02,2.459853e-02,2.447410e-02,2.435285e-02,2.423472e-02,2.411963e-02
0.000000e+00,6.293038e-10,1.808738e-09,8.531150e-09,2.347931e-08,3.714347e-08,9.881332e-08,1.023280e-07,2.204476e-07,2.652384e-07,4.078934e-07,5.604873e-07,6.811498e-07,1.022621e-06,1.056834e-06,1.551118e-06,1.689023e-06,2.177828e-06,2.589983e-06,2.945044e-06,3.736046e-06,3.852011e-06,4.889072e-06,5.110792e-06,6.040758e-06,6.679090e-06,7.289439e-06,8.400515e-06,8.617699e-06,1.000929e-05,1.023681e-05,1.144929e-05,1.215362e-05,1.292400e-05,1.412024e-05,1.442080e-05,1.592810e-05,1.610917e-05,1.743531e-05,1.809595e-05,1.893287e-05,2.005929e-05,2.041227e-05,2.186608e-05,2.198108e-05,2.328793e-05,2.384649e-05,2.467247e-05,2.564375e-05,2.601533e-05,2.731309e-05,2.736402e-05,2.856311e-05,2.900105e-05,2.976353e-05,3.055084e-05,3.091313e-05,3.201126e-05,3.305775e-05,3.338176e-05,3.405286e-05,3.466301e-05,3.499715e-05,3.585667e-05,3.589150e-05,3.673696e-05,3.696510e-05,3.753480e-05,3.799121e-05,3.828639e-05,3.893827e-05,3.899321e-05,3.965678e-05,3.980979e-05,4.027871e-05,4.060939e-05,4.086059e-05,4.134079e-05,4.140403e-05,4.191063e-05,4.200768e-05,4.238200e-05,4.261370e-05,4.281968e-05,4.316243e-05,4.322521e-05,4.360007e-05,4.365730e-05,4.394572e-05,4.410166e-05,4.426355e-05,4.449870e-05,4.455493e-05,4.482116e-05,4.485147e-05,4.506350e-05,4.516288e-05,4.528318e-05,4.543570e-05,4.548136e-05,4.565916e-05,4.567254e-05,4.581766e-05,4.587588e-05,4.595787e-05,4.604807e-05,4.608080e-05,4.618737e-05,4.619131e-05,4.627849e-05,4.630768e-05,4.635502e-05,4.639915e-05,4.641778e-05,4.646755e-05,4.650509e-05,4.651463e-05,4.653110e-05,4.654201e-05,4.654626e-05,4.655121e-05,4.655122e-05,4.654660e-05,4.654367e-05,4.653299e-05,4.652074e-05,4.651094e-05,4.648366e-05,4.648099e-05,4.644363e-05,4.643362e-05,4.639936e-05,4.637172e-05,4.634863e-05,4.629899e-05,4.629187e-05,4.622950e-05,4.621639e-05,4.616190e-05,4.612482e-05,4.608946e-05,4.602512e-05,4.601252e-05,4.593142e-05,4.591807e-05,4.584647e-05,4.580442e-05,4.575798e-05,4.568483e-05,4.566623e-05,4.557150e-05,4.555995e-05,4.547404e-05,4.543036e-05,4.537409e-05,4.529661e-05,4.527189e-05,4.516765e-05,4.515923e-05,4.506157e-05,4.501867e-05,4.495386e-05,4.487539e-05,4.484469e-05,4.473424e-05,4.472979e-05,4.462267e-05,4.458226e-05,4.451014e-05,4.443315e-05,4.439680e-05,4.428278e-05,4.413145e-05,4.397945e-05,4.382703e-05,4.367443e-05,4.352187e-05,4.336954e-05,4.321764e-05,4.306633e-05,4.291577e-05,4.276611e-05,4.261746e-05,4.246995e-05,4.232369e-05,4.217877e-05,4.203527e-05,4.189329e-05,4.175288e-05,4.161411e-05,4.147704e-05,4.134171e-05,4.120817e-05,4.107646e-05,4.094660e-05,4.081862e-05
0.000000e+00,1.075727e-09,3.202620e-09,1.619676e-08,4.732273e-08,7.724326e-08,2.216940e-07,2.302543e-07,5.309108e-07,6.498851e-07,1.041227e-06,1.475380e-06,1.827137e-06,2.851842e-06,2.956414e-06,4.495754e-06,4.933147e-06,6.505474e-06,7.854573e-06,9.032444e-06,1.170730e-05,1.210539e-05,1.573493e-05,1.652744e-05,1.991623e-05,2.230318e-05,2.463177e-05,2.898546e-05,2.985354e-05,3.554472e-05,3.649601e-05,4.166117e-05,4.473362e-05,4.815288e-05,5.357998e-05,5.496544e-05,6.204155e-05,6.290561e-05,6.932245e-05,7.257574e-05,7.674936e-05,8.245597e-05,8.426473e-05,9.181335e-05,9.241709e-05,9.934326e-05,1.023391e-04,1.068065e-04,1.121141e-04,1.141595e-04,1.213636e-04,1.216481e-04,1.283850e-04,1.308622e-04,1.351949e-04,1.396924e-04,1.417693e-04,1.480889e-04,1.541385e-04,1.560155e-04,1.599073e-04,1.634483e-04,1.653877e-04,1.703736e-04,1.705755e-04,1.754694e-04,1.767871e-04,1.800705e-04,1.826919e-04,1.843821e-04,1.880974e-04,1.884093e-04,1.921585e-04,1.930178e-04,1.956375e-04,1.974710e-04,1.988550e-04,2.014775e-04,2.018203e-04,2.045434e-04,2.050599e-04,2.070346e-04,2.082418e-04,2.093042e-04,2.110473e-04,2.113630e-04,2.132213e-04,2.135008e-04,2.148898e-04,2.156262e-04,2.163785e-04,2.174469e-04,2.176976e-04,2.188567e-04,2.189855e-04,2.198653e-04,2.202638e-04,2.207325e-04,2.213023e-04,2.214669e-04,2.220770e-04,2.221207e-04,2.225707e-04,2.227373e-04,2.229556e-04,2.231695e-04,2.232390e-04,2.234277e-04,2.234334e-04,2.235282e-04,2.235440e-04,2.235467e-04,2.235153e-04,2.234889e-04,2.233605e-04,2.231665e-04,2.230913e-04,2.229118e-04,2.227191e-04,2.226011e-04,2.222540e-04,2.222386e-04,2.218284e-04,2.217055e-04,2.213743e-04,2.210823e-04,2.208799e-04,2.203923e-04,2.203485e-04,2.197834e-04,2.196430e-04,2.191873e-04,2.188411e-04,2.185632e-04,2.179928e-04,2.179135e-04,2.172408e-04,2.171036e-04,2.165472e-04,2.161789e-04,2.158348e-04,2.152234e-04,2.151057e-04,2.143618e-04,2.142415e-04,2.136047e-04,2.132370e-04,2.128360e-04,2.122137e-04,2.120572e-04,2.112699e-04,2.111749e-04,2.104751e-04,2.101235e-04,2.096743e-04,2.090623e-04,2.088685e-04,2.080588e-04,2.079939e-04,2.072462e-04,2.069205e-04,2.064315e-04,2.058442e-04,2.056157e-04,2.047996e-04,2.047669e-04,2.039838e-04,2.036903e-04,2.031690e-04,2.026159e-04,2.023560e-04,2.015452e-04,2.004794e-04,1.994196e-04,1.983669e-04,1.973222e-04,1.962864e-04,1.952600e-04,1.942439e-04,1.932386e-04,1.922446e-04,1.912624e-04,1.902923e-04,1.893346e-04,1.883898e-04,1.874579e-04,1.865393e-04,1.856341e-04,1.847423e-04,1.838642e-04,1.829998e-04,1.821491e-04,1.813122e-04,1.804890e-04,1.796795e-04,1.788838e-04
0.000000e+00,2.135017e-09,4.978734e-09,1.746685e-08,4.018033e-08,5.893317e-08,1.356871e-07,1.398641e-07,2.755183e-07,3.257435e-07,4.844973e-07,6.542887e-07,7.892358e-07,1.174903e-06,1.213783e-06,1.776358e-06,1.932550e-06,2.478621e-06,2.926832e-06,3.302808e-06,4.107324e-06,4.221695e-06,5.209702e-06,5.413749e-06,6.246964e-06,6.800755e-06,7.318732e-06,8.237322e-06,8.413669e-06,9.522501e-06,9.700653e-06,1.063718e-05,1.117215e-05,1.175046e-05,1.263561e-05,1.285572e-05,1.394692e-05,1.407665e-05,1.501857e-05,1.548265e-05,1.606587e-05,1.684295e-05,1.708465e-05,1.807134e-05,1.814880e-05,1.902306e-05,1.939343e-05,1.993754e-05,2.057195e-05,2.081311e-05,2.164862e-05,2.168119e-05,2.244342e-05,2.271952e-05,2.319724e-05,2.368650e-05,2.391024e-05,2.458287e-05,2.521586e-05,2.541019e-05,2.581013e-05,2.617064e-05,2.636677e-05,2.686688e-05,2.688700e-05,2.737214e-05,2.750187e-05,2.782355e-05,2.807880e-05,2.824266e-05,2.860092e-05,2.863088e-05,2.898965e-05,2.907153e-05,2.932039e-05,2.949388e-05,2.962450e-05,2.987117e-05,2.990335e-05,3.015826e-05,3.020648e-05,3.039053e-05,3.050277e-05,3.060140e-05,3.076286e-05,3.079206e-05,3.096367e-05,3.098943e-05,3.111732e-05,3.118500e-05,3.125407e-05,3.135196e-05,3.137491e-05,3.148079e-05,3.149254e-05,3.157264e-05,3.160882e-05,3.165130e-05,3.170276e-05,3.171759e-05,3.177229e-05,3.177618e-05,3.181613e-05,3.183078e-05,3.184980e-05,3.186813e-05,3.187397e-05,3.188926e-05,3.188970e-05,3.189625e-05,3.189684e-05,3.189550e-05,3.189083e-05,3.188753e-05,3.187284e-05,3.185190e-05,3.184395e-05,3.182514e-05,3.180516e-05,3.179299e-05,3.175741e-05,3.175583e-05,3.171404e-05,3.170155e-05,3.166796e-05,3.163839e-05,3.161792e-05,3.156866e-05,3.156424e-05,3.150719e-05,3.149304e-05,3.144707e-05,3.141215e-05,3.138412e-05,3.132658e-05,3.131859e-05,3.125071e-05,3.123687e-05,3.118069e-05,3.114351e-05,3.110874e-05,3.104694e-05,3.103504e-05,3.095978e-05,3.094760e-05,3.088311e-05,3.084587e-05,3.080521e-05,3.074210e-05,3.072622e-05,3.064627e-05,3.063662e-05,3.056550e-05,3.052973e-05,3.048403e-05,3.042171e-05,3.040197e-05,3.031943e-05,3.031281e-05,3.023652e-05,3.020327e-05,3.015332e-05,3.009330e-05,3.006993e-05,2.998643e-05,2.998309e-05,2.990288e-05,2.987281e-05,2.981938e-05,2.976265e-05,2.973598e-05,2.965274e-05,2.954321e-05,2.943420e-05,2.932582e-05,2.921816e-05,2.911131e-05,2.900537e-05,2.890041e-05,2.879649e-05,2.869366e-05,2.859200e-05,2.849153e-05,2.839231e-05,2.829436e-05,2.819773e-05,2.810243e-05,2.800849e-05,2.791593e-05,2.782477e-05,2.773501e-05,2.764667e-05,2.755975e-05,2.747426e-05,2.739020e-05,2.730756e-05
0.000000e+00,3.763949e-09,8.571775e-09,2.915289e-08,6.564809e-08,9.522443e-08,2.127282e-07,2.189881e-07,4.163856e-07,4.869909e-07,7.031656e-07,9.248064e-07,1.095391e-06,1.563224e-06,1.609159e-06,2.258749e-06,2.435979e-06,3.052293e-06,3.558691e-06,3.985769e-06,4.908205e-06,5.040210e-06,6.186600e-06,6.424182e-06,7.394550e-06,8.038086e-06,8.637829e-06,9.694046e-06,9.895521e-06,1.115111e-05,1.135088e-05,1.239128e-05,1.297778e-05,1.360503e-05,1.455080e-05,1.478320e-05,1.591817e-05,1.605115e-05,1.700370e-05,1.746437e-05,1.803491e-05,1.877998e-05,1.900811e-05,1.992075e-05,1.999109e-05,2.077137e-05,2.109410e-05,2.155943e-05,2.208823e-05,2.228522e-05,2.294970e-05,2.297503e-05,2.355445e-05,2.375791e-05,2.410147e-05,2.444166e-05,2.459312e-05,2.503203e-05,2.542099e-05,2.553537e-05,2.576288e-05,2.595835e-05,2.606065e-05,2.630770e-05,2.631721e-05,2.653545e-05,2.659007e-05,2.671817e-05,2.681188e-05,2.686807e-05,2.697923e-05,2.698775e-05,2.707967e-05,2.709786e-05,2.714615e-05,2.717309e-05,2.718938e-05,2.720983e-05,2.721142e-05,2.721417e-05,2.721256e-05,2.719942e-05,2.718539e-05,2.716883e-05,2.713201e-05,2.712393e-05,2.706613e-05,2.705578e-05,2.699676e-05,2.695970e-05,2.691701e-05,2.684649e-05,2.682799e-05,2.673074e-05,2.671856e-05,2.662617e-05,2.657807e-05,2.651516e-05,2.642697e-05,2.639849e-05,2.627688e-05,2.626696e-05,2.615099e-05,2.609958e-05,2.602143e-05,2.592618e-05,2.588874e-05,2.575342e-05,2.574796e-05,2.561594e-05,2.556600e-05,2.547671e-05,2.538124e-05,2.533612e-05,2.519450e-05,2.505217e-05,2.500652e-05,2.490941e-05,2.481794e-05,2.476649e-05,2.462934e-05,2.462363e-05,2.448105e-05,2.444121e-05,2.433894e-05,2.425397e-05,2.419747e-05,2.406802e-05,2.405680e-05,2.391706e-05,2.388367e-05,2.377837e-05,2.370121e-05,2.364085e-05,2.352089e-05,2.350461e-05,2.336971e-05,2.334290e-05,2.323625e-05,2.316744e-05,2.310429e-05,2.299465e-05,2.297389e-05,2.284510e-05,2.282464e-05,2.271796e-05,2.265754e-05,2.259252e-05,2.249341e-05,2.246880e-05,2.234683e-05,2.233232e-05,2.222664e-05,2.217432e-05,2.210824e-05,2.201945e-05,2.199163e-05,2.187684e-05,2.186774e-05,2.176386e-05,2.171918e-05,2.165271e-05,2.157380e-05,2.154337e-05,2.143584e-05,2.143158e-05,2.133012e-05,2.129250e-05,2.122621e-05,2.115657e-05,2.112408e-05,2.102374e-05,2.089399e-05,2.076728e-05,2.064358e-05,2.052286e-05,2.040505e-05,2.029013e-05,2.017804e-05,2.006874e-05,1.996217e-05,1.985829e-05,1.975704e-05,1.965837e-05,1.956222e-05,1.946856e-05,1.937731e-05,1.928843e-05,1.920188e-05,1.911758e-05,1.903550e-05,1.895558e-05,1.887778e-05,1.880203e-05,1.872829e-05,1.865652e-05
0.000000e+00,3.264785e-09,7.454183e-09,2.551122e-08,5.779938e-08,8.412544e-08,1.895892e-07,1.952372e-07,3.743791e-07,4.388376e-07,6.370698e-07,8.413177e-07,9.989854e-07,1.432436e-06,1.475020e-06,2.076167e-06,2.239538e-06,2.804506e-06,3.264840e-06,3.650684e-06,4.479343e-06,4.597681e-06,5.626898e-06,5.841077e-06,6.721386e-06,7.311320e-06,7.866318e-06,8.857376e-06,9.048531e-06,1.025608e-05,1.045090e-05,1.147805e-05,1.206674e-05,1.270445e-05,1.368269e-05,1.392629e-05,1.513561e-05,1.527955e-05,1.632550e-05,1.684134e-05,1.749008e-05,1.835522e-05,1.862452e-05,1.972493e-05,1.981140e-05,2.078832e-05,2.120280e-05,2.181249e-05,2.252471e-05,2.279589e-05,2.373759e-05,2.377438e-05,2.463716e-05,2.495068e-05,2.549458e-05,2.605371e-05,2.631019e-05,2.708459e-05,2.781861e-05,2.804512e-05,2.851323e-05,2.893763e-05,2.916959e-05,2.976481e-05,2.978888e-05,3.037239e-05,3.052954e-05,3.092143e-05,3.123487e-05,3.143734e-05,3.188385e-05,3.192144e-05,3.237507e-05,3.247956e-05,3.279955e-05,3.302500e-05,3.319615e-05,3.352310e-05,3.356614e-05,3.391073e-05,3.397671e-05,3.423112e-05,3.438854e-05,3.452845e-05,3.476120e-05,3.480383e-05,3.505833e-05,3.509718e-05,3.529297e-05,3.539883e-05,3.550873e-05,3.566839e-05,3.570657e-05,3.588738e-05,3.590798e-05,3.605204e-05,3.611959e-05,3.620138e-05,3.630511e-05,3.633618e-05,3.645721e-05,3.646632e-05,3.656518e-05,3.660488e-05,3.666080e-05,3.672236e-05,3.674472e-05,3.681756e-05,3.682025e-05,3.687993e-05,3.689993e-05,3.693240e-05,3.696271e-05,3.697552e-05,3.700979e-05,3.703572e-05,3.704233e-05,3.705378e-05,3.706141e-05,3.706440e-05,3.706801e-05,3.706803e-05,3.706506e-05,3.706310e-05,3.705588e-05,3.704754e-05,3.704085e-05,3.702217e-05,3.702033e-05,3.699465e-05,3.698775e-05,3.696412e-05,3.694501e-05,3.692903e-05,3.689463e-05,3.688969e-05,3.684635e-05,3.683723e-05,3.679928e-05,3.677341e-05,3.674872e-05,3.670371e-05,3.669489e-05,3.663803e-05,3.662867e-05,3.657834e-05,3.654875e-05,3.651603e-05,3.646441e-05,3.645127e-05,3.638425e-05,3.637606e-05,3.631514e-05,3.628411e-05,3.624410e-05,3.618891e-05,3.617128e-05,3.609684e-05,3.609081e-05,3.602090e-05,3.599013e-05,3.594360e-05,3.588717e-05,3.586506e-05,3.578540e-05,3.578219e-05,3.570473e-05,3.567547e-05,3.562316e-05,3.556723e-05,3.554079e-05,3.545771e-05,3.534712e-05,3.523564e-05,3.512345e-05,3.501074e-05,3.489764e-05,3.478431e-05,3.467087e-05,3.455746e-05,3.444419e-05,3.433116e-05,3.421847e-05,3.410621e-05,3.399448e-05,3.388333e-05,3.377285e-05,3.366310e-05,3.355413e-05,3.344601e-05,3.333879e-05,3.323250e-05,3.312719e-05,3.302289e-05,3.291964e-05,3.281748e-05
0.000000e+00,1.907737e-07,5.628960e-07,2.794570e-06,8.029317e-06,1.298650e-05,3.640589e-05,3.777564e-05,8.511046e-05,1.035346e-04,1.633101e-04,2.285225e-04,2.807208e-04,4.304008e-04,4.455158e-04,6.655611e-04,7.274289e-04,9.482654e-04,1.136483e-03,1.300315e-03,1.671878e-03,1.727195e-03,2.232473e-03,2.343069e-03,2.817046e-03,3.151752e-03,3.478702e-03,4.090338e-03,4.212248e-03,5.010143e-03,5.143185e-03,5.863309e-03,6.289582e-03,6.761894e-03,7.506691e-03,7.695824e-03,8.655191e-03,8.771568e-03,9.630494e-03,1.006235e-02,1.061279e-02,1.135887e-02,1.159377e-02,1.256585e-02,1.264302e-02,1.352217e-02,1.389889e-02,1.445664e-02,1.511291e-02,1.536393e-02,1.623949e-02,1.627379e-02,1.707949e-02,1.737256e-02,1.788083e-02,1.840241e-02,1.864112e-02,1.935856e-02,2.003199e-02,2.023807e-02,2.066075e-02,2.103962e-02,2.124468e-02,2.176329e-02,2.178401e-02,2.227937e-02,2.241030e-02,2.273166e-02,2.298284e-02,2.314206e-02,2.348381e-02,2.351194e-02,2.384286e-02,2.391666e-02,2.413646e-02,2.428522e-02,2.439449e-02,2.459357e-02,2.461876e-02,2.481110e-02,2.484589e-02,2.497333e-02,2.504640e-02,2.510729e-02,2.519927e-02,2.521476e-02,2.529748e-02,2.530854e-02,2.535717e-02,2.537812e-02,2.539546e-02,2.541173e-02,2.541391e-02,2.541404e-02,2.541289e-02,2.539727e-02,2.538489e-02,2.536497e-02,2.533082e-02,2.531841e-02,2.525882e-02,2.525352e-02,2.518733e-02,2.515565e-02,2.510503e-02,2.503963e-02,2.501290e-02,2.491191e-02,2.490770e-02,2.480292e-02,2.476189e-02,2.468676e-02,2.460407e-02,2.456419e-02,2.443592e-02,2.430261e-02,2.425899e-02,2.416488e-02,2.407467e-02,2.402329e-02,2.388421e-02,2.387836e-02,2.373058e-02,2.368875e-02,2.358040e-02,2.348932e-02,2.342824e-02,2.328682e-02,2.327447e-02,2.311944e-02,2.308208e-02,2.296348e-02,2.287584e-02,2.280687e-02,2.266875e-02,2.264990e-02,2.249281e-02,2.246140e-02,2.233582e-02,2.225430e-02,2.217915e-02,2.204792e-02,2.202297e-02,2.186747e-02,2.184266e-02,2.171279e-02,2.163888e-02,2.155908e-02,2.143690e-02,2.140647e-02,2.125505e-02,2.123697e-02,2.110495e-02,2.103935e-02,2.095625e-02,2.084422e-02,2.080903e-02,2.066336e-02,2.065178e-02,2.051932e-02,2.046216e-02,2.037694e-02,2.027550e-02,2.023629e-02,2.009740e-02,2.009188e-02,1.996031e-02,1.991141e-02,1.982505e-02,1.973413e-02,1.969165e-02,1.956011e-02,1.938938e-02,1.922196e-02,1.905787e-02,1.889710e-02,1.873967e-02,1.858554e-02,1.843471e-02,1.828714e-02,1.814281e-02,1.800168e-02,1.786372e-02,1.772887e-02,1.759709e-02,1.746835e-02,1.734258e-02,1.721973e-02,1.709976e-02,1.698260e-02,1.686821e-02,1.675652e-02,1.664749e-02,1.654105e-02,1.643715e-02,1.633574e-02
0.000000e+00,6.705278e-10,1.761881e-09,7.142736e-09,1.765719e-08,2.658243e-08,6.367574e-08,6.569840e-08,1.308398e-07,1.545965e-07,2.282941e-07,3.049504e-07,3.645022e-07,5.295443e-07,5.458489e-07,7.774011e-07,8.407194e-07,1.060796e-06,1.241361e-06,1.393621e-06,1.723773e-06,1.771301e-06,2.189056e-06,2.277026e-06,2.642539e-06,2.891128e-06,3.127724e-06,3.556891e-06,3.640662e-06,4.177336e-06,4.265132e-06,4.733608e-06,5.006336e-06,5.305235e-06,5.770713e-06,5.887933e-06,6.477459e-06,6.548463e-06,7.069689e-06,7.330107e-06,7.660702e-06,8.106799e-06,8.246846e-06,8.824786e-06,8.870576e-06,9.391549e-06,9.614529e-06,9.944535e-06,1.033290e-05,1.048153e-05,1.100070e-05,1.102108e-05,1.150058e-05,1.167558e-05,1.198002e-05,1.229395e-05,1.243823e-05,1.287466e-05,1.328904e-05,1.341696e-05,1.368129e-05,1.392077e-05,1.405154e-05,1.438655e-05,1.440008e-05,1.472732e-05,1.481519e-05,1.503377e-05,1.520790e-05,1.532003e-05,1.556613e-05,1.558676e-05,1.583469e-05,1.589147e-05,1.606454e-05,1.618565e-05,1.627709e-05,1.645042e-05,1.647310e-05,1.665334e-05,1.668756e-05,1.681857e-05,1.689882e-05,1.696956e-05,1.708591e-05,1.710702e-05,1.723169e-05,1.725049e-05,1.734424e-05,1.739416e-05,1.744535e-05,1.751842e-05,1.753565e-05,1.761577e-05,1.762472e-05,1.768628e-05,1.771441e-05,1.774776e-05,1.778876e-05,1.780073e-05,1.784570e-05,1.784897e-05,1.788316e-05,1.789614e-05,1.791356e-05,1.793133e-05,1.793734e-05,1.795492e-05,1.795550e-05,1.796667e-05,1.796955e-05,1.797297e-05,1.797432e-05,1.797417e-05,1.797059e-05,1.796255e-05,1.795908e-05,1.795033e-05,1.794046e-05,1.793423e-05,1.791535e-05,1.791449e-05,1.789137e-05,1.788432e-05,1.786509e-05,1.784790e-05,1.783588e-05,1.780659e-05,1.780394e-05,1.776946e-05,1.776083e-05,1.773264e-05,1.771106e-05,1.769364e-05,1.765766e-05,1.765263e-05,1.760976e-05,1.760098e-05,1.756518e-05,1.754136e-05,1.751902e-05,1.747912e-05,1.747141e-05,1.742247e-05,1.741452e-05,1.737232e-05,1.734785e-05,1.732106e-05,1.727933e-05,1.726880e-05,1.721563e-05,1.720919e-05,1.716163e-05,1.713764e-05,1.710691e-05,1.706487e-05,1.705153e-05,1.699556e-05,1.699106e-05,1.693909e-05,1.691637e-05,1.688217e-05,1.684095e-05,1.682487e-05,1.676725e-05,1.676494e-05,1.670936e-05,1.668846e-05,1.665125e-05,1.661164e-05,1.659298e-05,1.653458e-05,1.645738e-05,1.638014e-05,1.630294e-05,1.622585e-05,1.614896e-05,1.607231e-05,1.599598e-05,1.592002e-05,1.584448e-05,1.576940e-05,1.569483e-05,1.562080e-05,1.554735e-05,1.547451e-05,1.540230e-05,1.533076e-05,1.525990e-05,1.518974e-05,1.512031e-05,1.505162e-05,1.498367e-05,1.491650e-05,1.485010e-05,1.478448e-05
0.000000e+00,5.762100e-10,1.683340e-09,8.200635e-09,2.321801e-08,3.729764e-08,1.032666e-07,1.071170e-07,2.406542e-07,2.930562e-07,4.651006e-07,6.561456e-07,8.110644e-07,1.260337e-06,1.305832e-06,1.963686e-06,2.146090e-06,2.785002e-06,3.313781e-06,3.762543e-06,4.744270e-06,4.886544e-06,6.146737e-06,6.414204e-06,7.532656e-06,8.299422e-06,9.033382e-06,1.037422e-05,1.063727e-05,1.233180e-05,1.261046e-05,1.410369e-05,1.497761e-05,1.593904e-05,1.744348e-05,1.782366e-05,1.974338e-05,1.997545e-05,2.168440e-05,2.254177e-05,2.363355e-05,2.511274e-05,2.557854e-05,2.750818e-05,2.766158e-05,2.941243e-05,3.016501e-05,3.128250e-05,3.260352e-05,3.311087e-05,3.489123e-05,3.496137e-05,3.661847e-05,3.722647e-05,3.828858e-05,3.939003e-05,3.989852e-05,4.144615e-05,4.293010e-05,4.339138e-05,4.434968e-05,4.522437e-05,4.570480e-05,4.694543e-05,4.699585e-05,4.822362e-05,4.855618e-05,4.938914e-05,5.005913e-05,5.049378e-05,5.145762e-05,5.153910e-05,5.252678e-05,5.275546e-05,5.345867e-05,5.395687e-05,5.433668e-05,5.506630e-05,5.516275e-05,5.593886e-05,5.608826e-05,5.666699e-05,5.702730e-05,5.734908e-05,5.788789e-05,5.798709e-05,5.858293e-05,5.867448e-05,5.913846e-05,5.939134e-05,5.965551e-05,6.004262e-05,6.013583e-05,6.058114e-05,6.063230e-05,6.099308e-05,6.116417e-05,6.137323e-05,6.164185e-05,6.172315e-05,6.204430e-05,6.206879e-05,6.233809e-05,6.244826e-05,6.260590e-05,6.278335e-05,6.284901e-05,6.306868e-05,6.307700e-05,6.326610e-05,6.333194e-05,6.344241e-05,6.355080e-05,6.359870e-05,6.373602e-05,6.385535e-05,6.388990e-05,6.395766e-05,6.401462e-05,6.404384e-05,6.411221e-05,6.411476e-05,6.417125e-05,6.418459e-05,6.421409e-05,6.423356e-05,6.424404e-05,6.426081e-05,6.426180e-05,6.426806e-05,6.426792e-05,6.426346e-05,6.425638e-05,6.424863e-05,6.422758e-05,6.422415e-05,6.419058e-05,6.418282e-05,6.414846e-05,6.412334e-05,6.409829e-05,6.405028e-05,6.404055e-05,6.397571e-05,6.396471e-05,6.390421e-05,6.386764e-05,6.382645e-05,6.376001e-05,6.374284e-05,6.365375e-05,6.364271e-05,6.355954e-05,6.351655e-05,6.346055e-05,6.338232e-05,6.335710e-05,6.324951e-05,6.324073e-05,6.313806e-05,6.309246e-05,6.302304e-05,6.293815e-05,6.290470e-05,6.278329e-05,6.277838e-05,6.265907e-05,6.261371e-05,6.253225e-05,6.244464e-05,6.240305e-05,6.227168e-05,6.209526e-05,6.191581e-05,6.173372e-05,6.154936e-05,6.136307e-05,6.117516e-05,6.098593e-05,6.079567e-05,6.060462e-05,6.041303e-05,6.022111e-05,6.002909e-05,5.983714e-05,5.964545e-05,5.945418e-05,5.926348e-05,5.907350e-05,5.888437e-05,5.869621e-05,5.850912e-05,5.832322e-05,5.813859e-05,5.795533e-05,5.777350e-05
0.000000e+00,1.879238e-09,5.535536e-09,2.739599e-08,7.853113e-08,1.268866e-07,3.551583e-07,3.685113e-07,8.306400e-07,1.010969e-06,1.598026e-06,2.242009e-06,2.760011e-06,4.256068e-06,4.407870e-06,6.626680e-06,7.251921e-06,9.480474e-06,1.136894e-05,1.300023e-05,1.664778e-05,1.718426e-05,2.200688e-05,2.304464e-05,2.742727e-05,3.046567e-05,3.339509e-05,3.878984e-05,3.985372e-05,4.674198e-05,4.787970e-05,5.399539e-05,5.758721e-05,6.154732e-05,6.775843e-05,6.933025e-05,7.727701e-05,7.823849e-05,8.532205e-05,8.887671e-05,9.340265e-05,9.953131e-05,1.014600e-04,1.094398e-04,1.100733e-04,1.172932e-04,1.203894e-04,1.249771e-04,1.303833e-04,1.324541e-04,1.396925e-04,1.399767e-04,1.466665e-04,1.491082e-04,1.533554e-04,1.577327e-04,1.597434e-04,1.658194e-04,1.715763e-04,1.733503e-04,1.770102e-04,1.803180e-04,1.821206e-04,1.867241e-04,1.869095e-04,1.913812e-04,1.925772e-04,1.955416e-04,1.978915e-04,1.993983e-04,2.026856e-04,2.029598e-04,2.062359e-04,2.069807e-04,2.092366e-04,2.108007e-04,2.119726e-04,2.141702e-04,2.144551e-04,2.166951e-04,2.171150e-04,2.187038e-04,2.196607e-04,2.204924e-04,2.218328e-04,2.220719e-04,2.234531e-04,2.236564e-04,2.246465e-04,2.251557e-04,2.256626e-04,2.263544e-04,2.265112e-04,2.272020e-04,2.272747e-04,2.277444e-04,2.279383e-04,2.281472e-04,2.283654e-04,2.284192e-04,2.285686e-04,2.285755e-04,2.286032e-04,2.285866e-04,2.285306e-04,2.284160e-04,2.283580e-04,2.280922e-04,2.280797e-04,2.277398e-04,2.275929e-04,2.273070e-04,2.269698e-04,2.267997e-04,2.262234e-04,2.255835e-04,2.253662e-04,2.248851e-04,2.244095e-04,2.241328e-04,2.233641e-04,2.233312e-04,2.224845e-04,2.222399e-04,2.215967e-04,2.210460e-04,2.206718e-04,2.197910e-04,2.197131e-04,2.187242e-04,2.184827e-04,2.177081e-04,2.171284e-04,2.166679e-04,2.157348e-04,2.156064e-04,2.145263e-04,2.143082e-04,2.134299e-04,2.128542e-04,2.123197e-04,2.113779e-04,2.111977e-04,2.100662e-04,2.098844e-04,2.089269e-04,2.083778e-04,2.077817e-04,2.068623e-04,2.066322e-04,2.054799e-04,2.053415e-04,2.043264e-04,2.038188e-04,2.031730e-04,2.022972e-04,2.020209e-04,2.008713e-04,2.007795e-04,1.997252e-04,1.992680e-04,1.985838e-04,1.977652e-04,1.974477e-04,1.963181e-04,1.962730e-04,1.951955e-04,1.947933e-04,1.940808e-04,1.933275e-04,1.929745e-04,1.918773e-04,1.904439e-04,1.890283e-04,1.876316e-04,1.862546e-04,1.848981e-04,1.835627e-04,1.822488e-04,1.809570e-04,1.796875e-04,1.784407e-04,1.772167e-04,1.760156e-04,1.748376e-04,1.736827e-04,1.725507e-04,1.714417e-04,1.703556e-04,1.692921e-04,1.682511e-04,1.672325e-04,1.662359e-04,1.652611e-04,1.643079e-04,1.633759e-04
0.000000e+00,2.142512e-09,6.269987e-09,3.075528e-08,8.810103e-08,1.428543e-07,4.100649e-07,4.261528e-07,1.012539e-06,1.255800e-06,2.094075e-06,3.074526e-06,3.891981e-06,6.306722e-06,6.552329e-06,1.008783e-05,1.105936e-05,1.442636e-05,1.717143e-05,1.947376e-05,2.443298e-05,2.514374e-05,3.136427e-05,3.266898e-05,3.807490e-05,4.174017e-05,4.522207e-05,5.152616e-05,5.275541e-05,6.062545e-05,6.191260e-05,6.878266e-05,7.278555e-05,7.717745e-05,8.403133e-05,8.576075e-05,9.448476e-05,9.553891e-05,1.033038e-04,1.072032e-04,1.121752e-04,1.189279e-04,1.210593e-04,1.299206e-04,1.306276e-04,1.387273e-04,1.422283e-04,1.474515e-04,1.536682e-04,1.560691e-04,1.645595e-04,1.648962e-04,1.729055e-04,1.758720e-04,1.810932e-04,1.865643e-04,1.891109e-04,1.969496e-04,2.046023e-04,2.070110e-04,2.120639e-04,2.167372e-04,2.193305e-04,2.261210e-04,2.264000e-04,2.332709e-04,2.351591e-04,2.399431e-04,2.438511e-04,2.464168e-04,2.521985e-04,2.526934e-04,2.587744e-04,2.602049e-04,2.646619e-04,2.678753e-04,2.703584e-04,2.752155e-04,2.758667e-04,2.811898e-04,2.822325e-04,2.863309e-04,2.889335e-04,2.912934e-04,2.953264e-04,2.960807e-04,3.006966e-04,3.014195e-04,3.051446e-04,3.072211e-04,3.094284e-04,3.127398e-04,3.135518e-04,3.175186e-04,3.179842e-04,3.213324e-04,3.229631e-04,3.249972e-04,3.276849e-04,3.285165e-04,3.318941e-04,3.321583e-04,3.351337e-04,3.363918e-04,3.382390e-04,3.403936e-04,3.412135e-04,3.440609e-04,3.441722e-04,3.467845e-04,3.477354e-04,3.493879e-04,3.510913e-04,3.518745e-04,3.542477e-04,3.565106e-04,3.572120e-04,3.586666e-04,3.599917e-04,3.607188e-04,3.625941e-04,3.626703e-04,3.645241e-04,3.650261e-04,3.662833e-04,3.672945e-04,3.679507e-04,3.694061e-04,3.695291e-04,3.710215e-04,3.713671e-04,3.724304e-04,3.731840e-04,3.737586e-04,3.748627e-04,3.750087e-04,3.761831e-04,3.764092e-04,3.772844e-04,3.778290e-04,3.783150e-04,3.791278e-04,3.792772e-04,3.801734e-04,3.803108e-04,3.810057e-04,3.813832e-04,3.817763e-04,3.823499e-04,3.824874e-04,3.831411e-04,3.832157e-04,3.837392e-04,3.839854e-04,3.842839e-04,3.846632e-04,3.847769e-04,3.852203e-04,3.852536e-04,3.856156e-04,3.857607e-04,3.859648e-04,3.861885e-04,3.862694e-04,3.865313e-04,3.865409e-04,3.867519e-04,3.868215e-04,3.869328e-04,3.870340e-04,3.870756e-04,3.871817e-04,3.872680e-04,3.872960e-04,3.872689e-04,3.871895e-04,3.870607e-04,3.868851e-04,3.866655e-04,3.864041e-04,3.861036e-04,3.857661e-04,3.853939e-04,3.849890e-04,3.845535e-04,3.840893e-04,3.835984e-04,3.830823e-04,3.825430e-04,3.819819e-04,3.814006e-04,3.808007e-04,3.801835e-04,3.795504e-04,3.789027e-04,3.782416e-04
0.000000e+00,3.058766e-09,7.327178e-09,2.641509e-08,6.134131e-08,9.011004e-08,2.064474e-07,2.127076e-07,4.121419e-07,4.842048e-07,7.065203e-07,9.364742e-07,1.114518e-06,1.606191e-06,1.654666e-06,2.342232e-06,2.530122e-06,3.182968e-06,3.717844e-06,4.167605e-06,5.135862e-06,5.274234e-06,6.476960e-06,6.726893e-06,7.752209e-06,8.437300e-06,9.080210e-06,1.022424e-05,1.044430e-05,1.183003e-05,1.205288e-05,1.322454e-05,1.389360e-05,1.461634e-05,1.572091e-05,1.599519e-05,1.735210e-05,1.751308e-05,1.867933e-05,1.925219e-05,1.997036e-05,2.092400e-05,2.121985e-05,2.242358e-05,2.251780e-05,2.357835e-05,2.402602e-05,2.468189e-05,2.544385e-05,2.573271e-05,2.673003e-05,2.676880e-05,2.767369e-05,2.800034e-05,2.856408e-05,2.913945e-05,2.940188e-05,3.018805e-05,3.092393e-05,3.114903e-05,3.161100e-05,3.202585e-05,3.225088e-05,3.282240e-05,3.284532e-05,3.339612e-05,3.354278e-05,3.390511e-05,3.419120e-05,3.437412e-05,3.477189e-05,3.480500e-05,3.519956e-05,3.528905e-05,3.555960e-05,3.574679e-05,3.588686e-05,3.614908e-05,3.618304e-05,3.644979e-05,3.649975e-05,3.668870e-05,3.680245e-05,3.690131e-05,3.706066e-05,3.708910e-05,3.725348e-05,3.727770e-05,3.739581e-05,3.745668e-05,3.751739e-05,3.760055e-05,3.761946e-05,3.770320e-05,3.771207e-05,3.776975e-05,3.779387e-05,3.782018e-05,3.784837e-05,3.785552e-05,3.787674e-05,3.787786e-05,3.788476e-05,3.788448e-05,3.788047e-05,3.787023e-05,3.786470e-05,3.783823e-05,3.783696e-05,3.780183e-05,3.778643e-05,3.775620e-05,3.772024e-05,3.770200e-05,3.763989e-05,3.757046e-05,3.754679e-05,3.749428e-05,3.744224e-05,3.741189e-05,3.732743e-05,3.732380e-05,3.723048e-05,3.720348e-05,3.713239e-05,3.707143e-05,3.702996e-05,3.693223e-05,3.692359e-05,3.681365e-05,3.678677e-05,3.670050e-05,3.663587e-05,3.658449e-05,3.648027e-05,3.646592e-05,3.634508e-05,3.632067e-05,3.622227e-05,3.615772e-05,3.609774e-05,3.599199e-05,3.597174e-05,3.584449e-05,3.582403e-05,3.571621e-05,3.565433e-05,3.558711e-05,3.548336e-05,3.545737e-05,3.532716e-05,3.531152e-05,3.519666e-05,3.513919e-05,3.506602e-05,3.496673e-05,3.493538e-05,3.480487e-05,3.479444e-05,3.467461e-05,3.462261e-05,3.454473e-05,3.445150e-05,3.441533e-05,3.428650e-05,3.428136e-05,3.415834e-05,3.411238e-05,3.403093e-05,3.394477e-05,3.390436e-05,3.377869e-05,3.361429e-05,3.345172e-05,3.329110e-05,3.313252e-05,3.297609e-05,3.282188e-05,3.266996e-05,3.252040e-05,3.237324e-05,3.222853e-05,3.208629e-05,3.194656e-05,3.180935e-05,3.167468e-05,3.154254e-05,3.141295e-05,3.128591e-05,3.116140e-05,3.103941e-05,3.091993e-05,3.080295e-05,3.068843e-05,3.057637e-05,3.046674e-05
0.000000e+00,3.206651e-10,9.374483e-10,4.564987e-09,1.288526e-08,2.063770e-08,5.641361e-08,5.847630e-08,1.285301e-07,1.553205e-07,2.410090e-07,3.329127e-07,4.055928e-07,6.107870e-07,6.312876e-07,9.259782e-07,1.007661e-06,1.295218e-06,1.535336e-06,1.740573e-06,2.193052e-06,2.258901e-06,2.843265e-06,2.967281e-06,3.484550e-06,3.837224e-06,4.172824e-06,4.779981e-06,4.898112e-06,5.650766e-06,5.773109e-06,6.421600e-06,6.795491e-06,7.201941e-06,7.827575e-06,7.983657e-06,8.759200e-06,8.851515e-06,9.521663e-06,9.851378e-06,1.026484e-05,1.081338e-05,1.098329e-05,1.167237e-05,1.172610e-05,1.232826e-05,1.258063e-05,1.294799e-05,1.337056e-05,1.352939e-05,1.407105e-05,1.409187e-05,1.457226e-05,1.474277e-05,1.503297e-05,1.532335e-05,1.545366e-05,1.583529e-05,1.617917e-05,1.628151e-05,1.648695e-05,1.666582e-05,1.676045e-05,1.699262e-05,1.700168e-05,1.721271e-05,1.726668e-05,1.739568e-05,1.749287e-05,1.755270e-05,1.767602e-05,1.768584e-05,1.779712e-05,1.782079e-05,1.788846e-05,1.793158e-05,1.796167e-05,1.801247e-05,1.801847e-05,1.806044e-05,1.806719e-05,1.808906e-05,1.809912e-05,1.810569e-05,1.811130e-05,1.811156e-05,1.810781e-05,1.810639e-05,1.809548e-05,1.808678e-05,1.807548e-05,1.805454e-05,1.804867e-05,1.801580e-05,1.801148e-05,1.797755e-05,1.795918e-05,1.793454e-05,1.789901e-05,1.788733e-05,1.783639e-05,1.783217e-05,1.778219e-05,1.775969e-05,1.772512e-05,1.768245e-05,1.766553e-05,1.760375e-05,1.760124e-05,1.754006e-05,1.751672e-05,1.747472e-05,1.742947e-05,1.740797e-05,1.734002e-05,1.727104e-05,1.724879e-05,1.720122e-05,1.715617e-05,1.713071e-05,1.706250e-05,1.705965e-05,1.698816e-05,1.696809e-05,1.691636e-05,1.687318e-05,1.684436e-05,1.677801e-05,1.677224e-05,1.670009e-05,1.668278e-05,1.662799e-05,1.658767e-05,1.655602e-05,1.649283e-05,1.648423e-05,1.641269e-05,1.639841e-05,1.634145e-05,1.630454e-05,1.627055e-05,1.621130e-05,1.620005e-05,1.612999e-05,1.611882e-05,1.606039e-05,1.602716e-05,1.599130e-05,1.593641e-05,1.592274e-05,1.585474e-05,1.584662e-05,1.578733e-05,1.575786e-05,1.572053e-05,1.567018e-05,1.565436e-05,1.558883e-05,1.558362e-05,1.552397e-05,1.549821e-05,1.545978e-05,1.541400e-05,1.539629e-05,1.533349e-05,1.533100e-05,1.527141e-05,1.524923e-05,1.521004e-05,1.516873e-05,1.514940e-05,1.508949e-05,1.501154e-05,1.493487e-05,1.485951e-05,1.478544e-05,1.471267e-05,1.464120e-05,1.457103e-05,1.450214e-05,1.443454e-05,1.436822e-05,1.430316e-05,1.423936e-05,1.417680e-05,1.411547e-05,1.405537e-05,1.399647e-05,1.393876e-05,1.388222e-05,1.382685e-05,1.377262e-05,1.371952e-05,1.366753e-05,1.361664e-05,1.356682e-05
0.000000e+00,3.327303e-10,9.537075e-10,4.476201e-09,1.228190e-08,1.941316e-08,5.172367e-08,5.357389e-08,1.164237e-07,1.406089e-07,2.189000e-07,3.045611e-07,3.734266e-07,5.714075e-07,5.913470e-07,8.774860e-07,9.560210e-07,1.227957e-06,1.449125e-06,1.634051e-06,2.030140e-06,2.086632e-06,2.577898e-06,2.680206e-06,3.101384e-06,3.384444e-06,3.651465e-06,4.130249e-06,4.222903e-06,4.810586e-06,4.905783e-06,5.409440e-06,5.699383e-06,6.014454e-06,6.499622e-06,6.620760e-06,7.223740e-06,7.295668e-06,7.819130e-06,8.077692e-06,8.403098e-06,8.837204e-06,8.972310e-06,9.523952e-06,9.567253e-06,1.005575e-05,1.026249e-05,1.056592e-05,1.091913e-05,1.105321e-05,1.151676e-05,1.153480e-05,1.195613e-05,1.210835e-05,1.237120e-05,1.263965e-05,1.276215e-05,1.312939e-05,1.347350e-05,1.357885e-05,1.379523e-05,1.398977e-05,1.409541e-05,1.436417e-05,1.437497e-05,1.463487e-05,1.470425e-05,1.487608e-05,1.501226e-05,1.509962e-05,1.529050e-05,1.530645e-05,1.549755e-05,1.554118e-05,1.567385e-05,1.576646e-05,1.583626e-05,1.596836e-05,1.598563e-05,1.612278e-05,1.614881e-05,1.624849e-05,1.630958e-05,1.636349e-05,1.645232e-05,1.646847e-05,1.656408e-05,1.657855e-05,1.665093e-05,1.668967e-05,1.672958e-05,1.678696e-05,1.680057e-05,1.686439e-05,1.687159e-05,1.692151e-05,1.694463e-05,1.697235e-05,1.700704e-05,1.701732e-05,1.705679e-05,1.705973e-05,1.709112e-05,1.710348e-05,1.712062e-05,1.713905e-05,1.714561e-05,1.716635e-05,1.716710e-05,1.718313e-05,1.718825e-05,1.719619e-05,1.720305e-05,1.720574e-05,1.721202e-05,1.721522e-05,1.721563e-05,1.721554e-05,1.721430e-05,1.721313e-05,1.720843e-05,1.720818e-05,1.720084e-05,1.719837e-05,1.719124e-05,1.718446e-05,1.717953e-05,1.716700e-05,1.716584e-05,1.715028e-05,1.714628e-05,1.713296e-05,1.712254e-05,1.711400e-05,1.709603e-05,1.709349e-05,1.707153e-05,1.706697e-05,1.704820e-05,1.703556e-05,1.702360e-05,1.700200e-05,1.699779e-05,1.697085e-05,1.696644e-05,1.694286e-05,1.692907e-05,1.691388e-05,1.689003e-05,1.688397e-05,1.685320e-05,1.684945e-05,1.682162e-05,1.680748e-05,1.678928e-05,1.676422e-05,1.675623e-05,1.672253e-05,1.671981e-05,1.668822e-05,1.667433e-05,1.665334e-05,1.662790e-05,1.661794e-05,1.658204e-05,1.658060e-05,1.654570e-05,1.653252e-05,1.650895e-05,1.648374e-05,1.647181e-05,1.643433e-05,1.638437e-05,1.633393e-05,1.628306e-05,1.623182e-05,1.618027e-05,1.612847e-05,1.607645e-05,1.602427e-05,1.597196e-05,1.591957e-05,1.586713e-05,1.581468e-05,1.576225e-05,1.570988e-05,1.565759e-05,1.560541e-05,1.555336e-05,1.550147e-05,1.544976e-05,1.539826e-05,1.534697e-05,1.529593e-05,1.524514e-05,1.519463e-05
0.000000e+00,1.114288e-09,2.533178e-09,8.591160e-09,1.933100e-08,2.805665e-08,6.304269e-08,6.492283e-08,1.251228e-07,1.470865e-07,2.156908e-07,2.879816e-07,3.447878e-07,5.044581e-07,5.203524e-07,7.464596e-07,8.079895e-07,1.019029e-06,1.187696e-06,1.326177e-06,1.613859e-06,1.653846e-06,1.990467e-06,2.058103e-06,2.327989e-06,2.502005e-06,2.661071e-06,2.934748e-06,2.986094e-06,3.300478e-06,3.349656e-06,3.602288e-06,3.742240e-06,3.890039e-06,4.109350e-06,4.162604e-06,4.419168e-06,4.448853e-06,4.659220e-06,4.759538e-06,4.882507e-06,5.040973e-06,5.089012e-06,5.278940e-06,5.293429e-06,5.452680e-06,5.517758e-06,5.610767e-06,5.715264e-06,5.753860e-06,5.882701e-06,5.887569e-06,5.998091e-06,6.036499e-06,6.100865e-06,6.163975e-06,6.191866e-06,6.271931e-06,6.341885e-06,6.362267e-06,6.402533e-06,6.436821e-06,6.454643e-06,6.497304e-06,6.498934e-06,6.536083e-06,6.545293e-06,6.566725e-06,6.582233e-06,6.591447e-06,6.609429e-06,6.610791e-06,6.625254e-06,6.628051e-06,6.635295e-06,6.639143e-06,6.641331e-06,6.643634e-06,6.643745e-06,6.642885e-06,6.642349e-06,6.639068e-06,6.636012e-06,6.632583e-06,6.625265e-06,6.623691e-06,6.612630e-06,6.610673e-06,6.599616e-06,6.592735e-06,6.584847e-06,6.571887e-06,6.568500e-06,6.550738e-06,6.548518e-06,6.531707e-06,6.522968e-06,6.511544e-06,6.495536e-06,6.490368e-06,6.468292e-06,6.466490e-06,6.445417e-06,6.436064e-06,6.421834e-06,6.404465e-06,6.397629e-06,6.372878e-06,6.371877e-06,6.347651e-06,6.338465e-06,6.322013e-06,6.304374e-06,6.296021e-06,6.269731e-06,6.243191e-06,6.234653e-06,6.216447e-06,6.199242e-06,6.189539e-06,6.163589e-06,6.162506e-06,6.135383e-06,6.127777e-06,6.108202e-06,6.091877e-06,6.080991e-06,6.055955e-06,6.053779e-06,6.026590e-06,6.020070e-06,5.999446e-06,5.984273e-06,5.972368e-06,5.948610e-06,5.945376e-06,5.918487e-06,5.913123e-06,5.891717e-06,5.877849e-06,5.865081e-06,5.842821e-06,5.838593e-06,5.812265e-06,5.808068e-06,5.786108e-06,5.773616e-06,5.760132e-06,5.739489e-06,5.734348e-06,5.708763e-06,5.705707e-06,5.683386e-06,5.672287e-06,5.658222e-06,5.639246e-06,5.633280e-06,5.608564e-06,5.606597e-06,5.584080e-06,5.574352e-06,5.559832e-06,5.542522e-06,5.535824e-06,5.512061e-06,5.511115e-06,5.488544e-06,5.480139e-06,5.465277e-06,5.449599e-06,5.442262e-06,5.419501e-06,5.389848e-06,5.360643e-06,5.331890e-06,5.303587e-06,5.275738e-06,5.248340e-06,5.221394e-06,5.194898e-06,5.168850e-06,5.143248e-06,5.118090e-06,5.093373e-06,5.069092e-06,5.045245e-06,5.021828e-06,4.998836e-06,4.976265e-06,4.954111e-06,4.932368e-06,4.911032e-06,4.890097e-06,4.869559e-06,4.849413e-06,4.829652e-06
0.000000e+00,1.181949e-09,2.870101e-09,1.052017e-08,2.464580e-08,3.632682e-08,8.366688e-08,8.621438e-08,1.671857e-07,1.963228e-07,2.857289e-07,3.774209e-07,4.478878e-07,6.404294e-07,6.592758e-07,9.249649e-07,9.973022e-07,1.249144e-06,1.457308e-06,1.634462e-06,2.024411e-06,2.081207e-06,2.586908e-06,2.694733e-06,3.146802e-06,3.457381e-06,3.754850e-06,4.298130e-06,4.404636e-06,5.089806e-06,5.202303e-06,5.804217e-06,6.155778e-06,6.541964e-06,7.145145e-06,7.297378e-06,8.065049e-06,8.157747e-06,8.839858e-06,9.181789e-06,9.617019e-06,1.020650e-05,1.039212e-05,1.116113e-05,1.122228e-05,1.192048e-05,1.222079e-05,1.266700e-05,1.319499e-05,1.339795e-05,1.411100e-05,1.413912e-05,1.480423e-05,1.504863e-05,1.547607e-05,1.592007e-05,1.612530e-05,1.675099e-05,1.735249e-05,1.753979e-05,1.792939e-05,1.828559e-05,1.848148e-05,1.898813e-05,1.900875e-05,1.951131e-05,1.964763e-05,1.998942e-05,2.026471e-05,2.044346e-05,2.084029e-05,2.087387e-05,2.128117e-05,2.137555e-05,2.166596e-05,2.187183e-05,2.202884e-05,2.233059e-05,2.237049e-05,2.269158e-05,2.275339e-05,2.299281e-05,2.314183e-05,2.327488e-05,2.349754e-05,2.353850e-05,2.378438e-05,2.382212e-05,2.401322e-05,2.411721e-05,2.422571e-05,2.438439e-05,2.442253e-05,2.460435e-05,2.462520e-05,2.477183e-05,2.484114e-05,2.492560e-05,2.503367e-05,2.506627e-05,2.519444e-05,2.520417e-05,2.531070e-05,2.535399e-05,2.541561e-05,2.548443e-05,2.550972e-05,2.559355e-05,2.559670e-05,2.566761e-05,2.569198e-05,2.573240e-05,2.577139e-05,2.578837e-05,2.583600e-05,2.587570e-05,2.588680e-05,2.590791e-05,2.592477e-05,2.593302e-05,2.595081e-05,2.595143e-05,2.596350e-05,2.596579e-05,2.596958e-05,2.597051e-05,2.597003e-05,2.596574e-05,2.596516e-05,2.595529e-05,2.595221e-05,2.594072e-05,2.593061e-05,2.592173e-05,2.590158e-05,2.589859e-05,2.587157e-05,2.586573e-05,2.584092e-05,2.582363e-05,2.580688e-05,2.577582e-05,2.576966e-05,2.572950e-05,2.572281e-05,2.568659e-05,2.566508e-05,2.564113e-05,2.560306e-05,2.559332e-05,2.554332e-05,2.553718e-05,2.549131e-05,2.546783e-05,2.543746e-05,2.539539e-05,2.538191e-05,2.532481e-05,2.532018e-05,2.526630e-05,2.524253e-05,2.520652e-05,2.516275e-05,2.514558e-05,2.508361e-05,2.508111e-05,2.502072e-05,2.499788e-05,2.495702e-05,2.491329e-05,2.489261e-05,2.482758e-05,2.474095e-05,2.465361e-05,2.456573e-05,2.447747e-05,2.438901e-05,2.430047e-05,2.421200e-05,2.412371e-05,2.403572e-05,2.394814e-05,2.386105e-05,2.377454e-05,2.368869e-05,2.360358e-05,2.351927e-05,2.343581e-05,2.335327e-05,2.327168e-05,2.319109e-05,2.311154e-05,2.303306e-05,2.295569e-05,2.287944e-05,2.280433e-05
0.000000e+00,7.406317e-10,2.179612e-09,1.077084e-08,3.085746e-08,4.986694e-08,1.399592e-07,1.452494e-07,3.297698e-07,4.025181e-07,6.420917e-07,9.093038e-07,1.127150e-06,1.767335e-06,1.832973e-06,2.799085e-06,3.072079e-06,4.041571e-06,4.854919e-06,5.549595e-06,7.073649e-06,7.294340e-06,9.239346e-06,9.649036e-06,1.134682e-05,1.249477e-05,1.358043e-05,1.552919e-05,1.590618e-05,1.829255e-05,1.867803e-05,2.071054e-05,2.187450e-05,2.313356e-05,2.505938e-05,2.553760e-05,2.790126e-05,2.818127e-05,3.020588e-05,3.119702e-05,3.243559e-05,3.407190e-05,3.457728e-05,3.662057e-05,3.677953e-05,3.855764e-05,3.930144e-05,4.038306e-05,4.162629e-05,4.209351e-05,4.368759e-05,4.374893e-05,4.516549e-05,4.566936e-05,4.652878e-05,4.739165e-05,4.778009e-05,4.892298e-05,4.996162e-05,5.027272e-05,5.090068e-05,5.145172e-05,5.174516e-05,5.247167e-05,5.250022e-05,5.317115e-05,5.334465e-05,5.376320e-05,5.408273e-05,5.428155e-05,5.469768e-05,5.473124e-05,5.511714e-05,5.520079e-05,5.544392e-05,5.560275e-05,5.571602e-05,5.591358e-05,5.593765e-05,5.611277e-05,5.614255e-05,5.624513e-05,5.629822e-05,5.633820e-05,5.638843e-05,5.639527e-05,5.641936e-05,5.642035e-05,5.641332e-05,5.640050e-05,5.637978e-05,5.633479e-05,5.632117e-05,5.623976e-05,5.622856e-05,5.613764e-05,5.608665e-05,5.601674e-05,5.591340e-05,5.587885e-05,5.572563e-05,5.571276e-05,5.555860e-05,5.548823e-05,5.537915e-05,5.524301e-05,5.518860e-05,5.498814e-05,5.497993e-05,5.477886e-05,5.470156e-05,5.456178e-05,5.441019e-05,5.433784e-05,5.410789e-05,5.387272e-05,5.379648e-05,5.363306e-05,5.347764e-05,5.338959e-05,5.315283e-05,5.314291e-05,5.289359e-05,5.282338e-05,5.264215e-05,5.249047e-05,5.238907e-05,5.215516e-05,5.213478e-05,5.187969e-05,5.181838e-05,5.162415e-05,5.148098e-05,5.136851e-05,5.114370e-05,5.111307e-05,5.085812e-05,5.080721e-05,5.060391e-05,5.047209e-05,5.035067e-05,5.013886e-05,5.009862e-05,4.984795e-05,4.980799e-05,4.959884e-05,4.947987e-05,4.935145e-05,4.915487e-05,4.910592e-05,4.886238e-05,4.883329e-05,4.862095e-05,4.851541e-05,4.838173e-05,4.820146e-05,4.814482e-05,4.791030e-05,4.789164e-05,4.767825e-05,4.758613e-05,4.744873e-05,4.728507e-05,4.722179e-05,4.699750e-05,4.698858e-05,4.677588e-05,4.669676e-05,4.655698e-05,4.640970e-05,4.634083e-05,4.612746e-05,4.585008e-05,4.557760e-05,4.531005e-05,4.504742e-05,4.478973e-05,4.453696e-05,4.428908e-05,4.404609e-05,4.380793e-05,4.357459e-05,4.334600e-05,4.312213e-05,4.290293e-05,4.268834e-05,4.247829e-05,4.227274e-05,4.207162e-05,4.187486e-05,4.168239e-05,4.149416e-05,4.131008e-05,4.113009e-05,4.095412e-05,4.078210e-05
0.000000e+00,9.225002e-10,2.582261e-09,1.159132e-08,3.067178e-08,4.759053e-08,1.212469e-07,1.253640e-07,2.612234e-07,3.119411e-07,4.720274e-07,6.419757e-07,7.759293e-07,1.154242e-06,1.192107e-06,1.737830e-06,1.889318e-06,2.421443e-06,2.862247e-06,3.234976e-06,4.040071e-06,4.155162e-06,5.152991e-06,5.359458e-06,6.202077e-06,6.760690e-06,7.281451e-06,8.199571e-06,8.374908e-06,9.469559e-06,9.644076e-06,1.055472e-05,1.106949e-05,1.162125e-05,1.245575e-05,1.266131e-05,1.366817e-05,1.378649e-05,1.463626e-05,1.504875e-05,1.556112e-05,1.623297e-05,1.643934e-05,1.726857e-05,1.733274e-05,1.804736e-05,1.834459e-05,1.877511e-05,1.926751e-05,1.945192e-05,2.007852e-05,2.010255e-05,2.065612e-05,2.085235e-05,2.118631e-05,2.152072e-05,2.167099e-05,2.211224e-05,2.251230e-05,2.263199e-05,2.287346e-05,2.308527e-05,2.319806e-05,2.347742e-05,2.348840e-05,2.374676e-05,2.381367e-05,2.397533e-05,2.409905e-05,2.417621e-05,2.433832e-05,2.435143e-05,2.450290e-05,2.453592e-05,2.463242e-05,2.469601e-05,2.474170e-05,2.482237e-05,2.483231e-05,2.490575e-05,2.491850e-05,2.496340e-05,2.498757e-05,2.500655e-05,2.503247e-05,2.503640e-05,2.505404e-05,2.505580e-05,2.506051e-05,2.505992e-05,2.505674e-05,2.504693e-05,2.504359e-05,2.502185e-05,2.501870e-05,2.499228e-05,2.497698e-05,2.495561e-05,2.492339e-05,2.491248e-05,2.486347e-05,2.485931e-05,2.480911e-05,2.478598e-05,2.474991e-05,2.470456e-05,2.468635e-05,2.461884e-05,2.461606e-05,2.454776e-05,2.452137e-05,2.447348e-05,2.442130e-05,2.439632e-05,2.431660e-05,2.423461e-05,2.420793e-05,2.415060e-05,2.409588e-05,2.406481e-05,2.398100e-05,2.397748e-05,2.388880e-05,2.386376e-05,2.379897e-05,2.374459e-05,2.370816e-05,2.362389e-05,2.361654e-05,2.352425e-05,2.350201e-05,2.343143e-05,2.337927e-05,2.333822e-05,2.325595e-05,2.324472e-05,2.315106e-05,2.313231e-05,2.305732e-05,2.300858e-05,2.296361e-05,2.288496e-05,2.287000e-05,2.277657e-05,2.276165e-05,2.268341e-05,2.263880e-05,2.259056e-05,2.251656e-05,2.249810e-05,2.240609e-05,2.239508e-05,2.231456e-05,2.227446e-05,2.222358e-05,2.215482e-05,2.213318e-05,2.204340e-05,2.203624e-05,2.195428e-05,2.191882e-05,2.186585e-05,2.180263e-05,2.177814e-05,2.169118e-05,2.168772e-05,2.160500e-05,2.157416e-05,2.151960e-05,2.146200e-05,2.143502e-05,2.135128e-05,2.124203e-05,2.113429e-05,2.102808e-05,2.092342e-05,2.082034e-05,2.071884e-05,2.061894e-05,2.052064e-05,2.042394e-05,2.032885e-05,2.023536e-05,2.014348e-05,2.005318e-05,1.996448e-05,1.987736e-05,1.979181e-05,1.970781e-05,1.962536e-05,1.954444e-05,1.946504e-05,1.938713e-05,1.931071e-05,1.923576e-05,1.916226e-05
0.000000e+00,3.069597e-09,7.200909e-09,2.542617e-08,5.868157e-08,8.619241e-08,1.991577e-07,2.053205e-07,4.061825e-07,4.808382e-07,7.172511e-07,9.694403e-07,1.168074e-06,1.719928e-06,1.774012e-06,2.524982e-06,2.724240e-06,3.397887e-06,3.931969e-06,4.371890e-06,5.300270e-06,5.431529e-06,6.564683e-06,6.799178e-06,7.760566e-06,8.403723e-06,9.008643e-06,1.008955e-05,1.029822e-05,1.161845e-05,1.183181e-05,1.295849e-05,1.360562e-05,1.430775e-05,1.538702e-05,1.565619e-05,1.699450e-05,1.715401e-05,1.831431e-05,1.888722e-05,1.960824e-05,2.057042e-05,2.087001e-05,2.209440e-05,2.219061e-05,2.327721e-05,2.373794e-05,2.441521e-05,2.520546e-05,2.550603e-05,2.654809e-05,2.658875e-05,2.754049e-05,2.788551e-05,2.848287e-05,2.909519e-05,2.937540e-05,3.021860e-05,3.101335e-05,3.125762e-05,3.176077e-05,3.221487e-05,3.246215e-05,3.309352e-05,3.311896e-05,3.373274e-05,3.389711e-05,3.430512e-05,3.462936e-05,3.483775e-05,3.529412e-05,3.533232e-05,3.579050e-05,3.589523e-05,3.621395e-05,3.643651e-05,3.660428e-05,3.692166e-05,3.696310e-05,3.729196e-05,3.735426e-05,3.759235e-05,3.773778e-05,3.786572e-05,3.807550e-05,3.811348e-05,3.833695e-05,3.837054e-05,3.853742e-05,3.862584e-05,3.871612e-05,3.884420e-05,3.887423e-05,3.901287e-05,3.902825e-05,3.913312e-05,3.918046e-05,3.923599e-05,3.930316e-05,3.932246e-05,3.939347e-05,3.939850e-05,3.944988e-05,3.946855e-05,3.949254e-05,3.951520e-05,3.952225e-05,3.953977e-05,3.954023e-05,3.954581e-05,3.954531e-05,3.954106e-05,3.953200e-05,3.952617e-05,3.950176e-05,3.946840e-05,3.945593e-05,3.942666e-05,3.939579e-05,3.937706e-05,3.932250e-05,3.932009e-05,3.925623e-05,3.923718e-05,3.918593e-05,3.914084e-05,3.910962e-05,3.903444e-05,3.902769e-05,3.894053e-05,3.891887e-05,3.884849e-05,3.879495e-05,3.875193e-05,3.866346e-05,3.865116e-05,3.854649e-05,3.852511e-05,3.843821e-05,3.838057e-05,3.832660e-05,3.823046e-05,3.821191e-05,3.809440e-05,3.807535e-05,3.797429e-05,3.791578e-05,3.785181e-05,3.775226e-05,3.772716e-05,3.760055e-05,3.758523e-05,3.747216e-05,3.741515e-05,3.734216e-05,3.724239e-05,3.721072e-05,3.707800e-05,3.706734e-05,3.694416e-05,3.689033e-05,3.680932e-05,3.671169e-05,3.667362e-05,3.653719e-05,3.653172e-05,3.640015e-05,3.635068e-05,3.626260e-05,3.616884e-05,3.612466e-05,3.598643e-05,3.580366e-05,3.562073e-05,3.543785e-05,3.525516e-05,3.507284e-05,3.489102e-05,3.470985e-05,3.452945e-05,3.434992e-05,3.417138e-05,3.399392e-05,3.381762e-05,3.364258e-05,3.346884e-05,3.329650e-05,3.312559e-05,3.295618e-05,3.278832e-05,3.262205e-05,3.245740e-05,3.229441e-05,3.213311e-05,3.197353e-05,3.181569e-05
0.000000e+00,6.647446e-10,1.796713e-09,7.607736e-09,1.933359e-08,2.945377e-08,7.221721e-08,7.456875e-08,1.508551e-07,1.788504e-07,2.660151e-07,3.569948e-07,4.278202e-07,6.247230e-07,6.442344e-07,9.231175e-07,1.000131e-06,1.271066e-06,1.497492e-06,1.691318e-06,2.119664e-06,2.182110e-06,2.737354e-06,2.855439e-06,3.349053e-06,3.686790e-06,4.009293e-06,4.596174e-06,4.710954e-06,5.447678e-06,5.568412e-06,6.213618e-06,6.590011e-06,7.003230e-06,7.648360e-06,7.811160e-06,8.632218e-06,8.731386e-06,9.461387e-06,9.827547e-06,1.029387e-05,1.092599e-05,1.112516e-05,1.195106e-05,1.201678e-05,1.276774e-05,1.309105e-05,1.357178e-05,1.414116e-05,1.436018e-05,1.513033e-05,1.516073e-05,1.588007e-05,1.614462e-05,1.660761e-05,1.708892e-05,1.731154e-05,1.799081e-05,1.864466e-05,1.884844e-05,1.927262e-05,1.966083e-05,1.987448e-05,2.042770e-05,2.045023e-05,2.100004e-05,2.114939e-05,2.152425e-05,2.182668e-05,2.202332e-05,2.246075e-05,2.249782e-05,2.294838e-05,2.305303e-05,2.337572e-05,2.360517e-05,2.378060e-05,2.411894e-05,2.416381e-05,2.452616e-05,2.459619e-05,2.486846e-05,2.503881e-05,2.519155e-05,2.544868e-05,2.549623e-05,2.578331e-05,2.582767e-05,2.605359e-05,2.617758e-05,2.630783e-05,2.650019e-05,2.654679e-05,2.677120e-05,2.679718e-05,2.698175e-05,2.707018e-05,2.717912e-05,2.732071e-05,2.736397e-05,2.753690e-05,2.755024e-05,2.769852e-05,2.776013e-05,2.784940e-05,2.795168e-05,2.799008e-05,2.812107e-05,2.812612e-05,2.824288e-05,2.828457e-05,2.835596e-05,2.842811e-05,2.846078e-05,2.855774e-05,2.864727e-05,2.867441e-05,2.872973e-05,2.877897e-05,2.880550e-05,2.887225e-05,2.887491e-05,2.893830e-05,2.895502e-05,2.899599e-05,2.902798e-05,2.904825e-05,2.909180e-05,2.909539e-05,2.913765e-05,2.914710e-05,2.917530e-05,2.919446e-05,2.920857e-05,2.923442e-05,2.923770e-05,2.926290e-05,2.926748e-05,2.928437e-05,2.929412e-05,2.930230e-05,2.931478e-05,2.931690e-05,2.932832e-05,2.932986e-05,2.933674e-05,2.933976e-05,2.934231e-05,2.934482e-05,2.934519e-05,2.934552e-05,2.934539e-05,2.934343e-05,2.934178e-05,2.933906e-05,2.933429e-05,2.933253e-05,2.932394e-05,2.932317e-05,2.931343e-05,2.930871e-05,2.930109e-05,2.929112e-05,2.928701e-05,2.927131e-05,2.927065e-05,2.925406e-05,2.924749e-05,2.923536e-05,2.922186e-05,2.921529e-05,2.919393e-05,2.916388e-05,2.913186e-05,2.909804e-05,2.906256e-05,2.902555e-05,2.898714e-05,2.894744e-05,2.890657e-05,2.886464e-05,2.882174e-05,2.877796e-05,2.873339e-05,2.868812e-05,2.864221e-05,2.859575e-05,2.854880e-05,2.850142e-05,2.845368e-05,2.840563e-05,2.835732e-05,2.830880e-05,2.826013e-05,2.821134e-05,2.816247e-05
0.000000e+00,2.512420e-09,5.760859e-09,1.982210e-08,4.504229e-08,6.562894e-08,1.480827e-07,1.524940e-07,2.920259e-07,3.420240e-07,4.950479e-07,6.515833e-07,7.717035e-07,1.099410e-06,1.131459e-06,1.582959e-06,1.705835e-06,2.133698e-06,2.487703e-06,2.789448e-06,3.456017e-06,3.553438e-06,4.425317e-06,4.612297e-06,5.400198e-06,5.944777e-06,6.468301e-06,7.427464e-06,7.615725e-06,8.826220e-06,9.024635e-06,1.008323e-05,1.069853e-05,1.137136e-05,1.241504e-05,1.267698e-05,1.398837e-05,1.414564e-05,1.529554e-05,1.586712e-05,1.658998e-05,1.756076e-05,1.786448e-05,1.911293e-05,1.921153e-05,2.033027e-05,2.080752e-05,2.151230e-05,2.233958e-05,2.265565e-05,2.375769e-05,2.380088e-05,2.481642e-05,2.518667e-05,2.583043e-05,2.649395e-05,2.679884e-05,2.772116e-05,2.859734e-05,2.886800e-05,2.942760e-05,2.993509e-05,3.021245e-05,3.092386e-05,3.095262e-05,3.164902e-05,3.183631e-05,3.230270e-05,3.267488e-05,3.291483e-05,3.344235e-05,3.348664e-05,3.401945e-05,3.414168e-05,3.451462e-05,3.477598e-05,3.497351e-05,3.534843e-05,3.539751e-05,3.578802e-05,3.586222e-05,3.614640e-05,3.632052e-05,3.647403e-05,3.672646e-05,3.677226e-05,3.704238e-05,3.708308e-05,3.728570e-05,3.739334e-05,3.750346e-05,3.766009e-05,3.769688e-05,3.786715e-05,3.788608e-05,3.801540e-05,3.807395e-05,3.814275e-05,3.822621e-05,3.825026e-05,3.833896e-05,3.834527e-05,3.840985e-05,3.843343e-05,3.846387e-05,3.849284e-05,3.850195e-05,3.852497e-05,3.852558e-05,3.853376e-05,3.853361e-05,3.852916e-05,3.851876e-05,3.851192e-05,3.848280e-05,3.844251e-05,3.842737e-05,3.839172e-05,3.835402e-05,3.833110e-05,3.826423e-05,3.826127e-05,3.818281e-05,3.815937e-05,3.809630e-05,3.804075e-05,3.800227e-05,3.790958e-05,3.790126e-05,3.779374e-05,3.776702e-05,3.768019e-05,3.761413e-05,3.756105e-05,3.745192e-05,3.743675e-05,3.730769e-05,3.728134e-05,3.717426e-05,3.710327e-05,3.703683e-05,3.691854e-05,3.689573e-05,3.675131e-05,3.672791e-05,3.660387e-05,3.653211e-05,3.645370e-05,3.633181e-05,3.630110e-05,3.614633e-05,3.612762e-05,3.598964e-05,3.592015e-05,3.583126e-05,3.570991e-05,3.567143e-05,3.551036e-05,3.549743e-05,3.534825e-05,3.528316e-05,3.518529e-05,3.506753e-05,3.502166e-05,3.485752e-05,3.485095e-05,3.469305e-05,3.463379e-05,3.452838e-05,3.441638e-05,3.436367e-05,3.419904e-05,3.398206e-05,3.376570e-05,3.355022e-05,3.333583e-05,3.312273e-05,3.291111e-05,3.270114e-05,3.249297e-05,3.228673e-05,3.208256e-05,3.188056e-05,3.168084e-05,3.148347e-05,3.128854e-05,3.109612e-05,3.090626e-05,3.071901e-05,3.053441e-05,3.035251e-05,3.017332e-05,2.999686e-05,2.982316e-05,2.965222e-05,2.948406e-05
0.000000e+00,4.189645e-10,1.236821e-09,6.156164e-09,1.777635e-08,2.887238e-08,8.234478e-08,8.552210e-08,1.983495e-07,2.437263e-07,3.956931e-07,5.679306e-07,7.090204e-07,1.120413e-06,1.162099e-06,1.763778e-06,1.930211e-06,2.512125e-06,2.992864e-06,3.400468e-06,4.291397e-06,4.420450e-06,5.562945e-06,5.805295e-06,6.818118e-06,7.511821e-06,8.175256e-06,9.385514e-06,9.622650e-06,1.114759e-05,1.139788e-05,1.273652e-05,1.351777e-05,1.437523e-05,1.571231e-05,1.604924e-05,1.774413e-05,1.794825e-05,1.944587e-05,2.019334e-05,2.114114e-05,2.241761e-05,2.281764e-05,2.446422e-05,2.459436e-05,2.607109e-05,2.670078e-05,2.762982e-05,2.871832e-05,2.913343e-05,3.057632e-05,3.063271e-05,3.195420e-05,3.243370e-05,3.326402e-05,3.411478e-05,3.450382e-05,3.567265e-05,3.677037e-05,3.710671e-05,3.779762e-05,3.841861e-05,3.875560e-05,3.961166e-05,3.964600e-05,4.047093e-05,4.069049e-05,4.123275e-05,4.166063e-05,4.193406e-05,4.252816e-05,4.257759e-05,4.316614e-05,4.329953e-05,4.370258e-05,4.398127e-05,4.418973e-05,4.457988e-05,4.463039e-05,4.502732e-05,4.510169e-05,4.538316e-05,4.555282e-05,4.570048e-05,4.593905e-05,4.598172e-05,4.622923e-05,4.626585e-05,4.644523e-05,4.653835e-05,4.663184e-05,4.676129e-05,4.679103e-05,4.692469e-05,4.693910e-05,4.703458e-05,4.707584e-05,4.712236e-05,4.717525e-05,4.718959e-05,4.723771e-05,4.724078e-05,4.726809e-05,4.727557e-05,4.728201e-05,4.728251e-05,4.728066e-05,4.726514e-05,4.726424e-05,4.723649e-05,4.722316e-05,4.719569e-05,4.716147e-05,4.714364e-05,4.708118e-05,4.700910e-05,4.698412e-05,4.692813e-05,4.687196e-05,4.683896e-05,4.674623e-05,4.674223e-05,4.663853e-05,4.660832e-05,4.652842e-05,4.645950e-05,4.641243e-05,4.630094e-05,4.629104e-05,4.616469e-05,4.613368e-05,4.603382e-05,4.595871e-05,4.589882e-05,4.577690e-05,4.576006e-05,4.561789e-05,4.558907e-05,4.547263e-05,4.539597e-05,4.532457e-05,4.519826e-05,4.517401e-05,4.502121e-05,4.499658e-05,4.486642e-05,4.479148e-05,4.470986e-05,4.458349e-05,4.455176e-05,4.439231e-05,4.437310e-05,4.423171e-05,4.416072e-05,4.407013e-05,4.394677e-05,4.390773e-05,4.374468e-05,4.373161e-05,4.358112e-05,4.351558e-05,4.341718e-05,4.329898e-05,4.325299e-05,4.308868e-05,4.308210e-05,4.292434e-05,4.286520e-05,4.276009e-05,4.264850e-05,4.259603e-05,4.243223e-05,4.221659e-05,4.200175e-05,4.178788e-05,4.157513e-05,4.136364e-05,4.115352e-05,4.094490e-05,4.073788e-05,4.053254e-05,4.032897e-05,4.012725e-05,3.992744e-05,3.972960e-05,3.953379e-05,3.934005e-05,3.914843e-05,3.895895e-05,3.877166e-05,3.858658e-05,3.840373e-05,3.822312e-05,3.804478e-05,3.786872e-05,3.769493e-05
0.000000e+00,5.557112e-09,1.320301e-08,4.732801e-08,1.101737e-07,1.624492e-07,3.785783e-07,3.904169e-07,7.778741e-07,9.224696e-07,1.382175e-06,1.876693e-06,2.270802e-06,3.397859e-06,3.511343e-06,5.146618e-06,5.597906e-06,7.165391e-06,8.440200e-06,9.501867e-06,1.175221e-05,1.206993e-05,1.479404e-05,1.535231e-05,1.761774e-05,1.911132e-05,2.049991e-05,2.294313e-05,2.340940e-05,2.632118e-05,2.678583e-05,2.921429e-05,3.059095e-05,3.207070e-05,3.431893e-05,3.487494e-05,3.761384e-05,3.793758e-05,4.027643e-05,4.142143e-05,4.285382e-05,4.475132e-05,4.533907e-05,4.772699e-05,4.791370e-05,5.001395e-05,5.089994e-05,5.219780e-05,5.370575e-05,5.427758e-05,5.625337e-05,5.633025e-05,5.812607e-05,5.877524e-05,5.989700e-05,6.104413e-05,6.156821e-05,6.314216e-05,6.462154e-05,6.507545e-05,6.600933e-05,6.685089e-05,6.730866e-05,6.847575e-05,6.852272e-05,6.965475e-05,6.995746e-05,7.070799e-05,7.130348e-05,7.168571e-05,7.252126e-05,7.259111e-05,7.342733e-05,7.361808e-05,7.419747e-05,7.460100e-05,7.490451e-05,7.547684e-05,7.555138e-05,7.614091e-05,7.625218e-05,7.667583e-05,7.693329e-05,7.715879e-05,7.752618e-05,7.759233e-05,7.797891e-05,7.803657e-05,7.832088e-05,7.846985e-05,7.862051e-05,7.883118e-05,7.887995e-05,7.910131e-05,7.912541e-05,7.928657e-05,7.935714e-05,7.943764e-05,7.953072e-05,7.955636e-05,7.964447e-05,7.965025e-05,7.970364e-05,7.971957e-05,7.973548e-05,7.974233e-05,7.974150e-05,7.972317e-05,7.972195e-05,7.968187e-05,7.966164e-05,7.961894e-05,7.956444e-05,7.953564e-05,7.943318e-05,7.931271e-05,7.927053e-05,7.917532e-05,7.907899e-05,7.902205e-05,7.886091e-05,7.885391e-05,7.867184e-05,7.861849e-05,7.847674e-05,7.835379e-05,7.826947e-05,7.806874e-05,7.805085e-05,7.782164e-05,7.776514e-05,7.758260e-05,7.744470e-05,7.733441e-05,7.710898e-05,7.707775e-05,7.681326e-05,7.675947e-05,7.654152e-05,7.639755e-05,7.626312e-05,7.602450e-05,7.597859e-05,7.568845e-05,7.564154e-05,7.539319e-05,7.524978e-05,7.509327e-05,7.485028e-05,7.478914e-05,7.448120e-05,7.444401e-05,7.416985e-05,7.403187e-05,7.385547e-05,7.361473e-05,7.353841e-05,7.321900e-05,7.319336e-05,7.289757e-05,7.276849e-05,7.257441e-05,7.234082e-05,7.224980e-05,7.192402e-05,7.191097e-05,7.159732e-05,7.147953e-05,7.126993e-05,7.104704e-05,7.094209e-05,7.061400e-05,7.018089e-05,6.974814e-05,6.931614e-05,6.888526e-05,6.845584e-05,6.802819e-05,6.760260e-05,6.717933e-05,6.675862e-05,6.634069e-05,6.592574e-05,6.551395e-05,6.510549e-05,6.470051e-05,6.429914e-05,6.390150e-05,6.350771e-05,6.311785e-05,6.273201e-05,6.235026e-05,6.197268e-05,6.159931e-05,6.123020e-05,6.086539e-05
0.000000e+00,4.577540e-10,1.346082e-09,6.635939e-09,1.894682e-08,3.054243e-08,8.494639e-08,8.811650e-08,1.972922e-07,2.396785e-07,3.770816e-07,5.270041e-07,6.470868e-07,9.914795e-07,1.026217e-06,1.529224e-06,1.669316e-06,2.162816e-06,2.574310e-06,2.925304e-06,3.697070e-06,3.809217e-06,4.803891e-06,5.015051e-06,5.896980e-06,6.499886e-06,7.075160e-06,8.120374e-06,8.324447e-06,9.630391e-06,9.843619e-06,1.097829e-05,1.163584e-05,1.235340e-05,1.346335e-05,1.374127e-05,1.512799e-05,1.529369e-05,1.650050e-05,1.709679e-05,1.784688e-05,1.884605e-05,1.915648e-05,2.042016e-05,2.051904e-05,2.163031e-05,2.209797e-05,2.278087e-05,2.356978e-05,2.386732e-05,2.488659e-05,2.492594e-05,2.583693e-05,2.616204e-05,2.671778e-05,2.727725e-05,2.752958e-05,2.827366e-05,2.895204e-05,2.915566e-05,2.956731e-05,2.992932e-05,3.012245e-05,3.060184e-05,3.062072e-05,3.106558e-05,3.118105e-05,3.146057e-05,3.167509e-05,3.180922e-05,3.209204e-05,3.211501e-05,3.238132e-05,3.243973e-05,3.261141e-05,3.272559e-05,3.280835e-05,3.295654e-05,3.297503e-05,3.311417e-05,3.313892e-05,3.322827e-05,3.327849e-05,3.331966e-05,3.338044e-05,3.339047e-05,3.344265e-05,3.344939e-05,3.347798e-05,3.348944e-05,3.349809e-05,3.350420e-05,3.350444e-05,3.349837e-05,3.349686e-05,3.348109e-05,3.347021e-05,3.345368e-05,3.342669e-05,3.341714e-05,3.337235e-05,3.336844e-05,3.332012e-05,3.329731e-05,3.326118e-05,3.321496e-05,3.319619e-05,3.312573e-05,3.312281e-05,3.305036e-05,3.302211e-05,3.297055e-05,3.291398e-05,3.288676e-05,3.279939e-05,3.270881e-05,3.267920e-05,3.261535e-05,3.255417e-05,3.251932e-05,3.242498e-05,3.242101e-05,3.232066e-05,3.229223e-05,3.221852e-05,3.215647e-05,3.211480e-05,3.201817e-05,3.200971e-05,3.190343e-05,3.187777e-05,3.179613e-05,3.173565e-05,3.168797e-05,3.159218e-05,3.157909e-05,3.146962e-05,3.144767e-05,3.135971e-05,3.130241e-05,3.124945e-05,3.115665e-05,3.113896e-05,3.102834e-05,3.101064e-05,3.091768e-05,3.086458e-05,3.080707e-05,3.071867e-05,3.069659e-05,3.058630e-05,3.057309e-05,3.047629e-05,3.042799e-05,3.036662e-05,3.028352e-05,3.025733e-05,3.014850e-05,3.013982e-05,3.004018e-05,2.999700e-05,2.993240e-05,2.985516e-05,2.982521e-05,2.971866e-05,2.971441e-05,2.961279e-05,2.957484e-05,2.950762e-05,2.943652e-05,2.940319e-05,2.929953e-05,2.916392e-05,2.902975e-05,2.889709e-05,2.876596e-05,2.863640e-05,2.850846e-05,2.838216e-05,2.825753e-05,2.813458e-05,2.801334e-05,2.789382e-05,2.777602e-05,2.765997e-05,2.754565e-05,2.743308e-05,2.732226e-05,2.721317e-05,2.710583e-05,2.700023e-05,2.689635e-05,2.679419e-05,2.669374e-05,2.659499e-05,2.649793e-05
0.000000e+00,5.219718e-09,1.420542e-08,6.084791e-08,1.559704e-07,2.386537e-07,5.917916e-07,6.113539e-07,1.252510e-06,1.490631e-06,2.240357e-06,3.034592e-06,3.659904e-06,5.423558e-06,5.599924e-06,8.139498e-06,8.844064e-06,1.131967e-05,1.337317e-05,1.511273e-05,1.888292e-05,1.942346e-05,2.412821e-05,2.510600e-05,2.911270e-05,3.178391e-05,3.428528e-05,3.872251e-05,3.957398e-05,4.492046e-05,4.577786e-05,5.027535e-05,5.283587e-05,5.559572e-05,5.980175e-05,6.084401e-05,6.598762e-05,6.659644e-05,7.099866e-05,7.315537e-05,7.585387e-05,7.942785e-05,8.053440e-05,8.502554e-05,8.537630e-05,8.931642e-05,9.097490e-05,9.339952e-05,9.620807e-05,9.727035e-05,1.009270e-04,1.010688e-04,1.043696e-04,1.055569e-04,1.076002e-04,1.096776e-04,1.106222e-04,1.134402e-04,1.160597e-04,1.168570e-04,1.184868e-04,1.199422e-04,1.207282e-04,1.227118e-04,1.227910e-04,1.246823e-04,1.251821e-04,1.264095e-04,1.273700e-04,1.279798e-04,1.292923e-04,1.294007e-04,1.306791e-04,1.309656e-04,1.318222e-04,1.324058e-04,1.328369e-04,1.336287e-04,1.337297e-04,1.345071e-04,1.346493e-04,1.351755e-04,1.354819e-04,1.357408e-04,1.361402e-04,1.362088e-04,1.365852e-04,1.366372e-04,1.368751e-04,1.369852e-04,1.370839e-04,1.371957e-04,1.372162e-04,1.372769e-04,1.372796e-04,1.372704e-04,1.372474e-04,1.372010e-04,1.371086e-04,1.370726e-04,1.368892e-04,1.368723e-04,1.366544e-04,1.365469e-04,1.363718e-04,1.361406e-04,1.360447e-04,1.356761e-04,1.356606e-04,1.352692e-04,1.351138e-04,1.348267e-04,1.345069e-04,1.343514e-04,1.338457e-04,1.333122e-04,1.331359e-04,1.327530e-04,1.323828e-04,1.321705e-04,1.315910e-04,1.315665e-04,1.309430e-04,1.307652e-04,1.303019e-04,1.299095e-04,1.296449e-04,1.290278e-04,1.289736e-04,1.282895e-04,1.281236e-04,1.275941e-04,1.272003e-04,1.268888e-04,1.262608e-04,1.261747e-04,1.254531e-04,1.253080e-04,1.247252e-04,1.243445e-04,1.239919e-04,1.233726e-04,1.232544e-04,1.225134e-04,1.223946e-04,1.217700e-04,1.214125e-04,1.210248e-04,1.204280e-04,1.202788e-04,1.195325e-04,1.194429e-04,1.187866e-04,1.184587e-04,1.180418e-04,1.174768e-04,1.172987e-04,1.165577e-04,1.164985e-04,1.158194e-04,1.155250e-04,1.150843e-04,1.145572e-04,1.143527e-04,1.136251e-04,1.135961e-04,1.129018e-04,1.126426e-04,1.121832e-04,1.116974e-04,1.114696e-04,1.107612e-04,1.098347e-04,1.089183e-04,1.080125e-04,1.071177e-04,1.062344e-04,1.053627e-04,1.045030e-04,1.036555e-04,1.028203e-04,1.019976e-04,1.011876e-04,1.003902e-04,9.960554e-05,9.883365e-05,9.807451e-05,9.732812e-05,9.659442e-05,9.587336e-05,9.516488e-05,9.446888e-05,9.378527e-05,9.311393e-05,9.245475e-05,9.180759e-05
0.000000e+00,3.421119e-09,8.039896e-09,2.839245e-08,6.530894e-08,9.560699e-08,2.177427e-07,2.243045e-07,4.330431e-07,5.083593e-07,7.404564e-07,9.802181e-07,1.165696e-06,1.677447e-06,1.727882e-06,2.443344e-06,2.639023e-06,3.320271e-06,3.880810e-06,4.354468e-06,5.383234e-06,5.531391e-06,6.832408e-06,7.105867e-06,8.239265e-06,9.007089e-06,9.735376e-06,1.104995e-05,1.130556e-05,1.293552e-05,1.320093e-05,1.461149e-05,1.542836e-05,1.632013e-05,1.770189e-05,1.804857e-05,1.978452e-05,1.999278e-05,2.151646e-05,2.227447e-05,2.323374e-05,2.452308e-05,2.492669e-05,2.658673e-05,2.671788e-05,2.820640e-05,2.884151e-05,2.977937e-05,3.088000e-05,3.130039e-05,3.276526e-05,3.282264e-05,3.417075e-05,3.466170e-05,3.551448e-05,3.639211e-05,3.679488e-05,3.801108e-05,3.916279e-05,3.951774e-05,4.025024e-05,4.091278e-05,4.127410e-05,4.219813e-05,4.223539e-05,4.313543e-05,4.337668e-05,4.397578e-05,4.445204e-05,4.475815e-05,4.542835e-05,4.548444e-05,4.615660e-05,4.631009e-05,4.677666e-05,4.710191e-05,4.734669e-05,4.780857e-05,4.786875e-05,4.834494e-05,4.843486e-05,4.877732e-05,4.898551e-05,4.916790e-05,4.946515e-05,4.951868e-05,4.983161e-05,4.987829e-05,5.010857e-05,5.022927e-05,5.035140e-05,5.052228e-05,5.056186e-05,5.074169e-05,5.076128e-05,5.089251e-05,5.095010e-05,5.101592e-05,5.109232e-05,5.111345e-05,5.118655e-05,5.119139e-05,5.123663e-05,5.125052e-05,5.126503e-05,5.127278e-05,5.127303e-05,5.126185e-05,5.126103e-05,5.123267e-05,5.121797e-05,5.118659e-05,5.114616e-05,5.112469e-05,5.104797e-05,5.095740e-05,5.092564e-05,5.085389e-05,5.078126e-05,5.073832e-05,5.061679e-05,5.061151e-05,5.047426e-05,5.043406e-05,5.032731e-05,5.023479e-05,5.017138e-05,5.002056e-05,5.000713e-05,4.983521e-05,4.979287e-05,4.965622e-05,4.955311e-05,4.947073e-05,4.930257e-05,4.927930e-05,4.908243e-05,4.904244e-05,4.888060e-05,4.877385e-05,4.867429e-05,4.849784e-05,4.846393e-05,4.824992e-05,4.821537e-05,4.803266e-05,4.792732e-05,4.781251e-05,4.763454e-05,4.758982e-05,4.736491e-05,4.733779e-05,4.713810e-05,4.703777e-05,4.690967e-05,4.673515e-05,4.667989e-05,4.644902e-05,4.643051e-05,4.621731e-05,4.612444e-05,4.598497e-05,4.581743e-05,4.575223e-05,4.551927e-05,4.550995e-05,4.528630e-05,4.520246e-05,4.505348e-05,4.489533e-05,4.482097e-05,4.458893e-05,4.428361e-05,4.397965e-05,4.367734e-05,4.337694e-05,4.307865e-05,4.278271e-05,4.248928e-05,4.219853e-05,4.191062e-05,4.162568e-05,4.134382e-05,4.106514e-05,4.078975e-05,4.051771e-05,4.024909e-05,3.998395e-05,3.972234e-05,3.946430e-05,3.920985e-05,3.895902e-05,3.871182e-05,3.846827e-05,3.822836e-05,3.799210e-05
0.000000e+00,4.241073e-09,9.817873e-09,3.414623e-08,7.804922e-08,1.140252e-07,2.589713e-07,2.667593e-07,5.146368e-07,6.041433e-07,8.801853e-07,1.165657e-06,1.386703e-06,1.997593e-06,2.057888e-06,2.915457e-06,3.150861e-06,3.973870e-06,4.655376e-06,5.234283e-06,6.500266e-06,6.683442e-06,8.299329e-06,8.640384e-06,1.005794e-05,1.102127e-05,1.193681e-05,1.359314e-05,1.391571e-05,1.597620e-05,1.631229e-05,1.810113e-05,1.913920e-05,2.027433e-05,2.203734e-05,2.248051e-05,2.470524e-05,2.497281e-05,2.693509e-05,2.791462e-05,2.915769e-05,3.083506e-05,3.136181e-05,3.353744e-05,3.370999e-05,3.567578e-05,3.651894e-05,3.776927e-05,3.924515e-05,3.981148e-05,4.179707e-05,4.187525e-05,4.372174e-05,4.439904e-05,4.558213e-05,4.680913e-05,4.737567e-05,4.910056e-05,5.075564e-05,5.127041e-05,5.234031e-05,5.331748e-05,5.385446e-05,5.524195e-05,5.529836e-05,5.667266e-05,5.704511e-05,5.797826e-05,5.872911e-05,5.921630e-05,6.029676e-05,6.038810e-05,6.149515e-05,6.175138e-05,6.253903e-05,6.309664e-05,6.352143e-05,6.433647e-05,6.444410e-05,6.530881e-05,6.547496e-05,6.611741e-05,6.651630e-05,6.687171e-05,6.746472e-05,6.757357e-05,6.822481e-05,6.832443e-05,6.882726e-05,6.909963e-05,6.938271e-05,6.979443e-05,6.989294e-05,7.035969e-05,7.041286e-05,7.078467e-05,7.095887e-05,7.116957e-05,7.143628e-05,7.151600e-05,7.182558e-05,7.184880e-05,7.209986e-05,7.220002e-05,7.234035e-05,7.249340e-05,7.254852e-05,7.272580e-05,7.273227e-05,7.287359e-05,7.291983e-05,7.299322e-05,7.305915e-05,7.308600e-05,7.315318e-05,7.319600e-05,7.320474e-05,7.321561e-05,7.321652e-05,7.321317e-05,7.319109e-05,7.318977e-05,7.314646e-05,7.313091e-05,7.308428e-05,7.303833e-05,7.300421e-05,7.291556e-05,7.290720e-05,7.279415e-05,7.276473e-05,7.266595e-05,7.258786e-05,7.252345e-05,7.238686e-05,7.236745e-05,7.219874e-05,7.216354e-05,7.201807e-05,7.191964e-05,7.182617e-05,7.165678e-05,7.162371e-05,7.141137e-05,7.137652e-05,7.118978e-05,7.108032e-05,7.095956e-05,7.076955e-05,7.072128e-05,7.047551e-05,7.044554e-05,7.022279e-05,7.010952e-05,6.996362e-05,6.976264e-05,6.969850e-05,6.942789e-05,6.940602e-05,6.915226e-05,6.904069e-05,6.887201e-05,6.866762e-05,6.858757e-05,6.829933e-05,6.828773e-05,6.800765e-05,6.790188e-05,6.771290e-05,6.751088e-05,6.741541e-05,6.711550e-05,6.671644e-05,6.631437e-05,6.590992e-05,6.550367e-05,6.509617e-05,6.468792e-05,6.427940e-05,6.387105e-05,6.346328e-05,6.305647e-05,6.265098e-05,6.224712e-05,6.184520e-05,6.144550e-05,6.104828e-05,6.065376e-05,6.026217e-05,5.987370e-05,5.948852e-05,5.910681e-05,5.872870e-05,5.835433e-05,5.798382e-05,5.761727e-05
0.000000e+00,8.451371e-10,2.272241e-09,9.517693e-09,2.398697e-08,3.641839e-08,8.899864e-08,9.190258e-08,1.872663e-07,2.228883e-07,3.360011e-07,4.573360e-07,5.537169e-07,8.271749e-07,8.544843e-07,1.241950e-06,1.346644e-06,1.702271e-06,1.982547e-06,2.210249e-06,2.677473e-06,2.741892e-06,3.280297e-06,3.387779e-06,3.814936e-06,4.089176e-06,4.339232e-06,4.768351e-06,4.848728e-06,5.340061e-06,5.416800e-06,5.810504e-06,6.028218e-06,6.257806e-06,6.597765e-06,6.680173e-06,7.076271e-06,7.121992e-06,7.445247e-06,7.598890e-06,7.786722e-06,8.027872e-06,8.100757e-06,8.387810e-06,8.409630e-06,8.648674e-06,8.745917e-06,8.884409e-06,9.039280e-06,9.096275e-06,9.285669e-06,9.292798e-06,9.454070e-06,9.509847e-06,9.602990e-06,9.693898e-06,9.733935e-06,9.848375e-06,9.947721e-06,9.976545e-06,1.003331e-05,1.008145e-05,1.010639e-05,1.016586e-05,1.016813e-05,1.021958e-05,1.023229e-05,1.026174e-05,1.028295e-05,1.029549e-05,1.031981e-05,1.032164e-05,1.034091e-05,1.034459e-05,1.035397e-05,1.035880e-05,1.036141e-05,1.036373e-05,1.036376e-05,1.036149e-05,1.036053e-05,1.035505e-05,1.035017e-05,1.034481e-05,1.033353e-05,1.033112e-05,1.031430e-05,1.031134e-05,1.029463e-05,1.028424e-05,1.027236e-05,1.025283e-05,1.024772e-05,1.022093e-05,1.021758e-05,1.019217e-05,1.017893e-05,1.016161e-05,1.013729e-05,1.012942e-05,1.009573e-05,1.009298e-05,1.006068e-05,1.004631e-05,1.002439e-05,9.997558e-06,9.986973e-06,9.948523e-06,9.946965e-06,9.909139e-06,9.894749e-06,9.868908e-06,9.841108e-06,9.827910e-06,9.786219e-06,9.743904e-06,9.730242e-06,9.701031e-06,9.673326e-06,9.657658e-06,9.615602e-06,9.613842e-06,9.569635e-06,9.557193e-06,9.525085e-06,9.498210e-06,9.480238e-06,9.438753e-06,9.435137e-06,9.389820e-06,9.378917e-06,9.344326e-06,9.318785e-06,9.298689e-06,9.258436e-06,9.252941e-06,9.207114e-06,9.197941e-06,9.161235e-06,9.137366e-06,9.115331e-06,9.076772e-06,9.069429e-06,9.023550e-06,9.016213e-06,8.977718e-06,8.955742e-06,8.931954e-06,8.895404e-06,8.886276e-06,8.840704e-06,8.835243e-06,8.795253e-06,8.775298e-06,8.749941e-06,8.715605e-06,8.704782e-06,8.659790e-06,8.656198e-06,8.614978e-06,8.597106e-06,8.570359e-06,8.538359e-06,8.525944e-06,8.481743e-06,8.479980e-06,8.437768e-06,8.421993e-06,8.394026e-06,8.364420e-06,8.350527e-06,8.307279e-06,8.250588e-06,8.194362e-06,8.138615e-06,8.083361e-06,8.028610e-06,7.974372e-06,7.920656e-06,7.867471e-06,7.814822e-06,7.762715e-06,7.711155e-06,7.660146e-06,7.609692e-06,7.559795e-06,7.510457e-06,7.461679e-06,7.413461e-06,7.365805e-06,7.318709e-06,7.272172e-06,7.226194e-06,7.180773e-06,7.135906e-06,7.091592e-06
0.000000e+00,2.023202e-09,5.413615e-09,2.252140e-08,5.645762e-08,8.541608e-08,2.058572e-07,2.124121e-07,4.222514e-07,4.980993e-07,7.309804e-07,9.694268e-07,1.152157e-06,1.648492e-06,1.696822e-06,2.373016e-06,2.555409e-06,3.184504e-06,3.697377e-06,4.128646e-06,5.060876e-06,5.194697e-06,6.364805e-06,6.609453e-06,7.617633e-06,8.294634e-06,8.931773e-06,1.006843e-05,1.028734e-05,1.166626e-05,1.188794e-05,1.305221e-05,1.371561e-05,1.443056e-05,1.551900e-05,1.578834e-05,1.711431e-05,1.727081e-05,1.839895e-05,1.894904e-05,1.963449e-05,2.053684e-05,2.081481e-05,2.193532e-05,2.202228e-05,2.299288e-05,2.339780e-05,2.398555e-05,2.465960e-05,2.491252e-05,2.577385e-05,2.580695e-05,2.657038e-05,2.684153e-05,2.730354e-05,2.776686e-05,2.797524e-05,2.858774e-05,2.914355e-05,2.930987e-05,2.964536e-05,2.993945e-05,3.009594e-05,3.048293e-05,3.049813e-05,3.085474e-05,3.094681e-05,3.116858e-05,3.133749e-05,3.144236e-05,3.166113e-05,3.167872e-05,3.188020e-05,3.192364e-05,3.204923e-05,3.213058e-05,3.218813e-05,3.228720e-05,3.229911e-05,3.238425e-05,3.239835e-05,3.244551e-05,3.246855e-05,3.248475e-05,3.250197e-05,3.250371e-05,3.250405e-05,3.250247e-05,3.248727e-05,3.247357e-05,3.245483e-05,3.241848e-05,3.240803e-05,3.234814e-05,3.234013e-05,3.227631e-05,3.224121e-05,3.219363e-05,3.212416e-05,3.210111e-05,3.199968e-05,3.199121e-05,3.189022e-05,3.184436e-05,3.177352e-05,3.168546e-05,3.165036e-05,3.152141e-05,3.151614e-05,3.138734e-05,3.133793e-05,3.124873e-05,3.115217e-05,3.110614e-05,3.096009e-05,3.081105e-05,3.076280e-05,3.065946e-05,3.056129e-05,3.050572e-05,3.035646e-05,3.035021e-05,3.019327e-05,3.014912e-05,3.003522e-05,2.993998e-05,2.987635e-05,2.972971e-05,2.971694e-05,2.955722e-05,2.951887e-05,2.939743e-05,2.930799e-05,2.923777e-05,2.909753e-05,2.907843e-05,2.891959e-05,2.888790e-05,2.876141e-05,2.867946e-05,2.860402e-05,2.847253e-05,2.844757e-05,2.829216e-05,2.826740e-05,2.813791e-05,2.806431e-05,2.798492e-05,2.786349e-05,2.783327e-05,2.768304e-05,2.766511e-05,2.753430e-05,2.746935e-05,2.738712e-05,2.727633e-05,2.724155e-05,2.709763e-05,2.708619e-05,2.695541e-05,2.689901e-05,2.681494e-05,2.671489e-05,2.667623e-05,2.653931e-05,2.653387e-05,2.640422e-05,2.635603e-05,2.627096e-05,2.618140e-05,2.613955e-05,2.601000e-05,2.584186e-05,2.567699e-05,2.551538e-05,2.535703e-05,2.520193e-05,2.505006e-05,2.490140e-05,2.475591e-05,2.461357e-05,2.447435e-05,2.433819e-05,2.420507e-05,2.407494e-05,2.394776e-05,2.382347e-05,2.370204e-05,2.358341e-05,2.346753e-05,2.335435e-05,2.324382e-05,2.313590e-05,2.303052e-05,2.292764e-05,2.282721e-05
0.000000e+00,8.787687e-09,2.013465e-08,6.954149e-08,1.593220e-07,2.336519e-07,5.402025e-07,5.569893e-07,1.107300e-06,1.313298e-06,1.970742e-06,2.681607e-06,3.249770e-06,4.873484e-06,5.036363e-06,7.360874e-06,7.994497e-06,1.017378e-05,1.193038e-05,1.338945e-05,1.648984e-05,1.692966e-05,2.073460e-05,2.152314e-05,2.475836e-05,2.692440e-05,2.896299e-05,3.260982e-05,3.331464e-05,3.778175e-05,3.850518e-05,4.233433e-05,4.454151e-05,4.694395e-05,5.065476e-05,5.158399e-05,5.622991e-05,5.678674e-05,6.085951e-05,6.288617e-05,6.545301e-05,6.890922e-05,6.999316e-05,7.446515e-05,7.481958e-05,7.885653e-05,8.058810e-05,8.315686e-05,8.619192e-05,8.735773e-05,9.145252e-05,9.161403e-05,9.543598e-05,9.684197e-05,9.930418e-05,1.018673e-04,1.030544e-04,1.066849e-04,1.101945e-04,1.112921e-04,1.135832e-04,1.156884e-04,1.168510e-04,1.198752e-04,1.199988e-04,1.230278e-04,1.238548e-04,1.259393e-04,1.276306e-04,1.287352e-04,1.312069e-04,1.314173e-04,1.339877e-04,1.345882e-04,1.364487e-04,1.377799e-04,1.388026e-04,1.407872e-04,1.410517e-04,1.431986e-04,1.436159e-04,1.452457e-04,1.462716e-04,1.471955e-04,1.487601e-04,1.490507e-04,1.508138e-04,1.510875e-04,1.524872e-04,1.532594e-04,1.540737e-04,1.552818e-04,1.555755e-04,1.569954e-04,1.571604e-04,1.583357e-04,1.589008e-04,1.595988e-04,1.605087e-04,1.607872e-04,1.619033e-04,1.619895e-04,1.629494e-04,1.633487e-04,1.639277e-04,1.645913e-04,1.648405e-04,1.656900e-04,1.657227e-04,1.664784e-04,1.667476e-04,1.672077e-04,1.676710e-04,1.678801e-04,1.684976e-04,1.690621e-04,1.692319e-04,1.695756e-04,1.698783e-04,1.700399e-04,1.704411e-04,1.704569e-04,1.708284e-04,1.709245e-04,1.711561e-04,1.713324e-04,1.714417e-04,1.716687e-04,1.716868e-04,1.718932e-04,1.719371e-04,1.720622e-04,1.721412e-04,1.721955e-04,1.722844e-04,1.722945e-04,1.723607e-04,1.723701e-04,1.723954e-04,1.724014e-04,1.724000e-04,1.723815e-04,1.723758e-04,1.723240e-04,1.723133e-04,1.722460e-04,1.721996e-04,1.721429e-04,1.720431e-04,1.720158e-04,1.718659e-04,1.718465e-04,1.716943e-04,1.716122e-04,1.715020e-04,1.713426e-04,1.712900e-04,1.710593e-04,1.710401e-04,1.708109e-04,1.707067e-04,1.705456e-04,1.703447e-04,1.702644e-04,1.699682e-04,1.699560e-04,1.696577e-04,1.695426e-04,1.693337e-04,1.691062e-04,1.689971e-04,1.686486e-04,1.681714e-04,1.676763e-04,1.671648e-04,1.666382e-04,1.660980e-04,1.655455e-04,1.649819e-04,1.644083e-04,1.638259e-04,1.632358e-04,1.626389e-04,1.620362e-04,1.614286e-04,1.608169e-04,1.602020e-04,1.595845e-04,1.589653e-04,1.583449e-04,1.577241e-04,1.571034e-04,1.564833e-04,1.558645e-04,1.552474e-04,1.546324e-04
0.000000e+00,2.384903e-09,5.489700e-09,1.900205e-08,4.339368e-08,6.340904e-08,1.443165e-07,1.486752e-07,2.879589e-07,3.384981e-07,4.950756e-07,6.579296e-07,7.844719e-07,1.134599e-06,1.169089e-06,1.655810e-06,1.787847e-06,2.243866e-06,2.615795e-06,2.928767e-06,3.607803e-06,3.705758e-06,4.570452e-06,4.753529e-06,5.518389e-06,6.042594e-06,6.544606e-06,7.462992e-06,7.643426e-06,8.808427e-06,9.000504e-06,1.003253e-05,1.063887e-05,1.130813e-05,1.236040e-05,1.262734e-05,1.398209e-05,1.414666e-05,1.536438e-05,1.597930e-05,1.676644e-05,1.784061e-05,1.818080e-05,1.960048e-05,1.971409e-05,2.101902e-05,2.158478e-05,2.243054e-05,2.343949e-05,2.382974e-05,2.521198e-05,2.526686e-05,2.657317e-05,2.705735e-05,2.790981e-05,2.880317e-05,2.921893e-05,3.049808e-05,3.174523e-05,3.213729e-05,3.295880e-05,3.371727e-05,3.413754e-05,3.523552e-05,3.528054e-05,3.638719e-05,3.669048e-05,3.745711e-05,3.808135e-05,3.849013e-05,3.940795e-05,3.948629e-05,4.044574e-05,4.067058e-05,4.136882e-05,4.187000e-05,4.225593e-05,4.300724e-05,4.310759e-05,4.392438e-05,4.408361e-05,4.470697e-05,4.510062e-05,4.545604e-05,4.605989e-05,4.617233e-05,4.685661e-05,4.696318e-05,4.750967e-05,4.781229e-05,4.813232e-05,4.860908e-05,4.872536e-05,4.928963e-05,4.935545e-05,4.982594e-05,5.005327e-05,5.033512e-05,5.070444e-05,5.081797e-05,5.127531e-05,5.131082e-05,5.170794e-05,5.187425e-05,5.211665e-05,5.239654e-05,5.250221e-05,5.286539e-05,5.287946e-05,5.320694e-05,5.332474e-05,5.352759e-05,5.373406e-05,5.382806e-05,5.410905e-05,5.437127e-05,5.445132e-05,5.461536e-05,5.476238e-05,5.484200e-05,5.504373e-05,5.505181e-05,5.524543e-05,5.529682e-05,5.542345e-05,5.552303e-05,5.558647e-05,5.572369e-05,5.573506e-05,5.586977e-05,5.590010e-05,5.599115e-05,5.605350e-05,5.609973e-05,5.618508e-05,5.619600e-05,5.628048e-05,5.629600e-05,5.635363e-05,5.638735e-05,5.641593e-05,5.646020e-05,5.646782e-05,5.650974e-05,5.651555e-05,5.654211e-05,5.655438e-05,5.656535e-05,5.657763e-05,5.657985e-05,5.658599e-05,5.658619e-05,5.658415e-05,5.658090e-05,5.657468e-05,5.656259e-05,5.655793e-05,5.653423e-05,5.653205e-05,5.650392e-05,5.649001e-05,5.646729e-05,5.643719e-05,5.642466e-05,5.637632e-05,5.637427e-05,5.632254e-05,5.630190e-05,5.626360e-05,5.622071e-05,5.619976e-05,5.613128e-05,5.603418e-05,5.592994e-05,5.581908e-05,5.570208e-05,5.557941e-05,5.545151e-05,5.531879e-05,5.518166e-05,5.504049e-05,5.489564e-05,5.474746e-05,5.459625e-05,5.444234e-05,5.428601e-05,5.412754e-05,5.396718e-05,5.380518e-05,5.364177e-05,5.347718e-05,5.331161e-05,5.314525e-05,5.297830e-05,5.281092e-05,5.264328e-05
0.000000e+00,3.626716e-09,9.113482e-09,3.484697e-08,8.352409e-08,1.242765e-07,2.917371e-07,3.008225e-07,5.923042e-07,6.982619e-07,1.026264e-06,1.366581e-06,1.630477e-06,2.360140e-06,2.432123e-06,3.453725e-06,3.733191e-06,4.706483e-06,5.508532e-06,6.188014e-06,7.672681e-06,7.887750e-06,9.792863e-06,1.019739e-05,1.189034e-05,1.305264e-05,1.416681e-05,1.620698e-05,1.660802e-05,1.919852e-05,1.962576e-05,2.192164e-05,2.327069e-05,2.475971e-05,2.710061e-05,2.769438e-05,3.070700e-05,3.107287e-05,3.377904e-05,3.514488e-05,3.689242e-05,3.927556e-05,4.002984e-05,4.317501e-05,4.342650e-05,4.631289e-05,4.756287e-05,4.942975e-05,5.165391e-05,5.251329e-05,5.555264e-05,5.567316e-05,5.853835e-05,5.959847e-05,6.146231e-05,6.341181e-05,6.431772e-05,6.709894e-05,6.980145e-05,7.064903e-05,7.242172e-05,7.405427e-05,7.495708e-05,7.730940e-05,7.740566e-05,7.976628e-05,8.041139e-05,8.203833e-05,8.335899e-05,8.422173e-05,8.615248e-05,8.631685e-05,8.832441e-05,8.879331e-05,9.024545e-05,9.128391e-05,9.208126e-05,9.362747e-05,9.383335e-05,9.550340e-05,9.582772e-05,9.709322e-05,9.788885e-05,9.860473e-05,9.981535e-05,1.000399e-04,1.014009e-04,1.016119e-04,1.026898e-04,1.032834e-04,1.039086e-04,1.048348e-04,1.050596e-04,1.061449e-04,1.062709e-04,1.071666e-04,1.075966e-04,1.081269e-04,1.088168e-04,1.090277e-04,1.098713e-04,1.099364e-04,1.106596e-04,1.109598e-04,1.113945e-04,1.118918e-04,1.120782e-04,1.127124e-04,1.127367e-04,1.132990e-04,1.134989e-04,1.138399e-04,1.141825e-04,1.143368e-04,1.147915e-04,1.152057e-04,1.153299e-04,1.155809e-04,1.158013e-04,1.159188e-04,1.162095e-04,1.162209e-04,1.164887e-04,1.165578e-04,1.167237e-04,1.168495e-04,1.169273e-04,1.170880e-04,1.171008e-04,1.172455e-04,1.172761e-04,1.173628e-04,1.174169e-04,1.174538e-04,1.175132e-04,1.175198e-04,1.175619e-04,1.175676e-04,1.175813e-04,1.175827e-04,1.175789e-04,1.175609e-04,1.175559e-04,1.175132e-04,1.175046e-04,1.174518e-04,1.174160e-04,1.173727e-04,1.172972e-04,1.172766e-04,1.171646e-04,1.171501e-04,1.170374e-04,1.169769e-04,1.168959e-04,1.167792e-04,1.167407e-04,1.165727e-04,1.165588e-04,1.163926e-04,1.163173e-04,1.162010e-04,1.160563e-04,1.159986e-04,1.157861e-04,1.157774e-04,1.155640e-04,1.154819e-04,1.153330e-04,1.151711e-04,1.150936e-04,1.148463e-04,1.145088e-04,1.141596e-04,1.137999e-04,1.134306e-04,1.130527e-04,1.126671e-04,1.122748e-04,1.118764e-04,1.114727e-04,1.110646e-04,1.106526e-04,1.102374e-04,1.098195e-04,1.093996e-04,1.089782e-04,1.085558e-04,1.081328e-04,1.077096e-04,1.072868e-04,1.068646e-04,1.064434e-04,1.060235e-04,1.056053e-04,1.051891e-04
0.000000e+00,4.863296e-09,1.137750e-08,4.000447e-08,9.209081e-08,1.351405e-07,3.120070e-07,3.216658e-07,6.371281e-07,7.547014e-07,1.128358e-06,1.530142e-06,1.850044e-06,2.761035e-06,2.852273e-06,4.151552e-06,4.504111e-06,5.706273e-06,6.658860e-06,7.436385e-06,9.043135e-06,9.265954e-06,1.114133e-05,1.151859e-05,1.302764e-05,1.400477e-05,1.490143e-05,1.645309e-05,1.674558e-05,1.854679e-05,1.883025e-05,2.029437e-05,2.111157e-05,2.197976e-05,2.327878e-05,2.359632e-05,2.513916e-05,2.531917e-05,2.660501e-05,2.722507e-05,2.799204e-05,2.899310e-05,2.929971e-05,3.052850e-05,3.062343e-05,3.167977e-05,3.211901e-05,3.275557e-05,3.348482e-05,3.375844e-05,3.469130e-05,3.472721e-05,3.555732e-05,3.585336e-05,3.635981e-05,3.687093e-05,3.710213e-05,3.778765e-05,3.841970e-05,3.861119e-05,3.900149e-05,3.934891e-05,3.953614e-05,4.000784e-05,4.002664e-05,4.047584e-05,4.059458e-05,4.088643e-05,4.111532e-05,4.126097e-05,4.157578e-05,4.160187e-05,4.191138e-05,4.198123e-05,4.219162e-05,4.233652e-05,4.244459e-05,4.264612e-05,4.267214e-05,4.287600e-05,4.291408e-05,4.305780e-05,4.314412e-05,4.321905e-05,4.333966e-05,4.336116e-05,4.348546e-05,4.350377e-05,4.359316e-05,4.363930e-05,4.368541e-05,4.374880e-05,4.376328e-05,4.382774e-05,4.383462e-05,4.387974e-05,4.389889e-05,4.392013e-05,4.394355e-05,4.394971e-05,4.396924e-05,4.397038e-05,4.397941e-05,4.398100e-05,4.398087e-05,4.397688e-05,4.397425e-05,4.396009e-05,4.395938e-05,4.393894e-05,4.392971e-05,4.391129e-05,4.388901e-05,4.387760e-05,4.383831e-05,4.379382e-05,4.377854e-05,4.374451e-05,4.371058e-05,4.369073e-05,4.363522e-05,4.363282e-05,4.357109e-05,4.355317e-05,4.350583e-05,4.346509e-05,4.343731e-05,4.337161e-05,4.336578e-05,4.329149e-05,4.327327e-05,4.321465e-05,4.317060e-05,4.313549e-05,4.306406e-05,4.305419e-05,4.297095e-05,4.295408e-05,4.288593e-05,4.284107e-05,4.279930e-05,4.272540e-05,4.271122e-05,4.262182e-05,4.260740e-05,4.253124e-05,4.248739e-05,4.243962e-05,4.236564e-05,4.234706e-05,4.225369e-05,4.224244e-05,4.215961e-05,4.211801e-05,4.206491e-05,4.199259e-05,4.196970e-05,4.187405e-05,4.186638e-05,4.177805e-05,4.173958e-05,4.168179e-05,4.161235e-05,4.158533e-05,4.148874e-05,4.148487e-05,4.139208e-05,4.135728e-05,4.129542e-05,4.122972e-05,4.119882e-05,4.110232e-05,4.097520e-05,4.084846e-05,4.072220e-05,4.059652e-05,4.047149e-05,4.034720e-05,4.022372e-05,4.010110e-05,3.997941e-05,3.985870e-05,3.973903e-05,3.962043e-05,3.950294e-05,3.938660e-05,3.927145e-05,3.915752e-05,3.904482e-05,3.893338e-05,3.882323e-05,3.871437e-05,3.860684e-05,3.850063e-05,3.839576e-05,3.829223e-05
0.000000e+00,1.552189e-09,4.584124e-09,2.280183e-08,6.563381e-08,1.062711e-07,2.989000e-07,3.101931e-07,7.018718e-07,8.549721e-07,1.353759e-06,1.900989e-06,2.340952e-06,3.610123e-06,3.738801e-06,5.619595e-06,6.150252e-06,8.047770e-06,9.666236e-06,1.107384e-05,1.425586e-05,1.472791e-05,1.901398e-05,1.994531e-05,2.390640e-05,2.667268e-05,2.934924e-05,3.428616e-05,3.525895e-05,4.152997e-05,4.255898e-05,4.804255e-05,5.121763e-05,5.467163e-05,5.997665e-05,6.129547e-05,6.780294e-05,6.857129e-05,7.409851e-05,7.678085e-05,8.010495e-05,8.443984e-05,8.576380e-05,9.103418e-05,9.143818e-05,9.589090e-05,9.771469e-05,1.003220e-04,1.032477e-04,1.043261e-04,1.079105e-04,1.080453e-04,1.110885e-04,1.121364e-04,1.138781e-04,1.155638e-04,1.163004e-04,1.183785e-04,1.201363e-04,1.206351e-04,1.215981e-04,1.223894e-04,1.227879e-04,1.236959e-04,1.237291e-04,1.244439e-04,1.246065e-04,1.249538e-04,1.251696e-04,1.252786e-04,1.254301e-04,1.254370e-04,1.254465e-04,1.254284e-04,1.253229e-04,1.252011e-04,1.250810e-04,1.247811e-04,1.247344e-04,1.242953e-04,1.241974e-04,1.237751e-04,1.234759e-04,1.231838e-04,1.226390e-04,1.225307e-04,1.218243e-04,1.217068e-04,1.210719e-04,1.206966e-04,1.202806e-04,1.196235e-04,1.194563e-04,1.186046e-04,1.185008e-04,1.177304e-04,1.173398e-04,1.168382e-04,1.161505e-04,1.159319e-04,1.150150e-04,1.149413e-04,1.140907e-04,1.137196e-04,1.131618e-04,1.124916e-04,1.122309e-04,1.113000e-04,1.112628e-04,1.103712e-04,1.100377e-04,1.094462e-04,1.088202e-04,1.085266e-04,1.076136e-04,1.067085e-04,1.064207e-04,1.058122e-04,1.052437e-04,1.049257e-04,1.040846e-04,1.040497e-04,1.031849e-04,1.029449e-04,1.023319e-04,1.018259e-04,1.014911e-04,1.007287e-04,1.006629e-04,9.984763e-05,9.965393e-05,9.904559e-05,9.860229e-05,9.825695e-05,9.757416e-05,9.748187e-05,9.672047e-05,9.656984e-05,9.597281e-05,9.558947e-05,9.523892e-05,9.463311e-05,9.451882e-05,9.381246e-05,9.370072e-05,9.311980e-05,9.279218e-05,9.244078e-05,9.190730e-05,9.177528e-05,9.112321e-05,9.104585e-05,9.048443e-05,9.020755e-05,8.985881e-05,8.939205e-05,8.924620e-05,8.864643e-05,8.859900e-05,8.805935e-05,8.782802e-05,8.748476e-05,8.707870e-05,8.692250e-05,8.637236e-05,8.635061e-05,8.583417e-05,8.564330e-05,8.530772e-05,8.495634e-05,8.479282e-05,8.428926e-05,8.364161e-05,8.301291e-05,8.240269e-05,8.181051e-05,8.123589e-05,8.067837e-05,8.013750e-05,7.961284e-05,7.910393e-05,7.861035e-05,7.813165e-05,7.766743e-05,7.721727e-05,7.678077e-05,7.635752e-05,7.594715e-05,7.554927e-05,7.516352e-05,7.478953e-05,7.442695e-05,7.407545e-05,7.373468e-05,7.340432e-05,7.308405e-05
0.000000e+00,4.642225e-09,1.115003e-08,4.063502e-08,9.615096e-08,1.433684e-07,3.475816e-07,3.591575e-07,7.573385e-07,9.143149e-07,1.435959e-06,2.022073e-06,2.497077e-06,3.842237e-06,3.974591e-06,5.798112e-06,6.274921e-06,7.859531e-06,9.084957e-06,1.007435e-05,1.210713e-05,1.238890e-05,1.476914e-05,1.525087e-05,1.719126e-05,1.846093e-05,1.963637e-05,2.169603e-05,2.208813e-05,2.453159e-05,2.492084e-05,2.695302e-05,2.810374e-05,2.933986e-05,3.121685e-05,3.168091e-05,3.396644e-05,3.423656e-05,3.618806e-05,3.714349e-05,3.833893e-05,3.992312e-05,4.041401e-05,4.240953e-05,4.256565e-05,4.432289e-05,4.506487e-05,4.615263e-05,4.741793e-05,4.789821e-05,4.955981e-05,4.962454e-05,5.113831e-05,5.168647e-05,5.263503e-05,5.360685e-05,5.405153e-05,5.539008e-05,5.665294e-05,5.704148e-05,5.784261e-05,5.856675e-05,5.896161e-05,5.997177e-05,6.001253e-05,6.099801e-05,6.126258e-05,6.192068e-05,6.244523e-05,6.278316e-05,6.352567e-05,6.358799e-05,6.433771e-05,6.450971e-05,6.503475e-05,6.540298e-05,6.568150e-05,6.621088e-05,6.628027e-05,6.683328e-05,6.693858e-05,6.734268e-05,6.759102e-05,6.781054e-05,6.817290e-05,6.823885e-05,6.862952e-05,6.868866e-05,6.898438e-05,6.914251e-05,6.930519e-05,6.953846e-05,6.959364e-05,6.985132e-05,6.988025e-05,7.007978e-05,7.017143e-05,7.028050e-05,7.041535e-05,7.045488e-05,7.060425e-05,7.061516e-05,7.072991e-05,7.077382e-05,7.083308e-05,7.089410e-05,7.091493e-05,7.097657e-05,7.097863e-05,7.101906e-05,7.102986e-05,7.104341e-05,7.105011e-05,7.105060e-05,7.104154e-05,7.101711e-05,7.100618e-05,7.097815e-05,7.094595e-05,7.092544e-05,7.086263e-05,7.085976e-05,7.078183e-05,7.075791e-05,7.069233e-05,7.063335e-05,7.059191e-05,7.049043e-05,7.048121e-05,7.036081e-05,7.033054e-05,7.023129e-05,7.015498e-05,7.009319e-05,6.996496e-05,6.994700e-05,6.979324e-05,6.976161e-05,6.963235e-05,6.954602e-05,6.946478e-05,6.931917e-05,6.929096e-05,6.911128e-05,6.908201e-05,6.892613e-05,6.883542e-05,6.873587e-05,6.858021e-05,6.854084e-05,6.834138e-05,6.831717e-05,6.813780e-05,6.804700e-05,6.793040e-05,6.777039e-05,6.771945e-05,6.750523e-05,6.748796e-05,6.728800e-05,6.720032e-05,6.706800e-05,6.690802e-05,6.684546e-05,6.662061e-05,6.661157e-05,6.639365e-05,6.631146e-05,6.616478e-05,6.600815e-05,6.593419e-05,6.570207e-05,6.539360e-05,6.508313e-05,6.477100e-05,6.445754e-05,6.414305e-05,6.382781e-05,6.351209e-05,6.319614e-05,6.288019e-05,6.256445e-05,6.224913e-05,6.193440e-05,6.162046e-05,6.130745e-05,6.099553e-05,6.068483e-05,6.037549e-05,6.006763e-05,5.976136e-05,5.945678e-05,5.915398e-05,5.885306e-05,5.855409e-05,5.825715e-05
0.000000e+00,1.699260e-09,4.655791e-09,2.020529e-08,5.246786e-08,8.095659e-08,2.065321e-07,2.136605e-07,4.564082e-07,5.507695e-07,8.609775e-07,1.208133e-06,1.492028e-06,2.323847e-06,2.408430e-06,3.625501e-06,3.958286e-06,5.098060e-06,6.006388e-06,6.751348e-06,8.301610e-06,8.517784e-06,1.034898e-05,1.071991e-05,1.221237e-05,1.318629e-05,1.408534e-05,1.565354e-05,1.595096e-05,1.779568e-05,1.808812e-05,1.960822e-05,2.046396e-05,2.137906e-05,2.276030e-05,2.310022e-05,2.476514e-05,2.496090e-05,2.636873e-05,2.705385e-05,2.790716e-05,2.903112e-05,2.937778e-05,3.077895e-05,3.088801e-05,3.210997e-05,3.262273e-05,3.337094e-05,3.423585e-05,3.456257e-05,3.568607e-05,3.572961e-05,3.674304e-05,3.710763e-05,3.773540e-05,3.837436e-05,3.866525e-05,3.953487e-05,4.034663e-05,4.059457e-05,4.110294e-05,4.155900e-05,4.180623e-05,4.243374e-05,4.245891e-05,4.306336e-05,4.322428e-05,4.362191e-05,4.393595e-05,4.413682e-05,4.457389e-05,4.461029e-05,4.504444e-05,4.514302e-05,4.544132e-05,4.564802e-05,4.580287e-05,4.609331e-05,4.613097e-05,4.642742e-05,4.648307e-05,4.669394e-05,4.682124e-05,4.693215e-05,4.711152e-05,4.714362e-05,4.732982e-05,4.735736e-05,4.749217e-05,4.756203e-05,4.763202e-05,4.772854e-05,4.775062e-05,4.784921e-05,4.785975e-05,4.792892e-05,4.795829e-05,4.799084e-05,4.802665e-05,4.803602e-05,4.806543e-05,4.806713e-05,4.808000e-05,4.808188e-05,4.808062e-05,4.807289e-05,4.806812e-05,4.804329e-05,4.804205e-05,4.800688e-05,4.799108e-05,4.795961e-05,4.792160e-05,4.790214e-05,4.783512e-05,4.775915e-05,4.773304e-05,4.767479e-05,4.761666e-05,4.758260e-05,4.748720e-05,4.748308e-05,4.737672e-05,4.734578e-05,4.726398e-05,4.719345e-05,4.714529e-05,4.703119e-05,4.702106e-05,4.689169e-05,4.685991e-05,4.675753e-05,4.668044e-05,4.661894e-05,4.649358e-05,4.647625e-05,4.632977e-05,4.630005e-05,4.617980e-05,4.610053e-05,4.602661e-05,4.589564e-05,4.587047e-05,4.571162e-05,4.568597e-05,4.555032e-05,4.547208e-05,4.538676e-05,4.525445e-05,4.522118e-05,4.505376e-05,4.503356e-05,4.488471e-05,4.480985e-05,4.471418e-05,4.458371e-05,4.454236e-05,4.436941e-05,4.435553e-05,4.419547e-05,4.412565e-05,4.402068e-05,4.389439e-05,4.384519e-05,4.366911e-05,4.366206e-05,4.349257e-05,4.342893e-05,4.331569e-05,4.319527e-05,4.313857e-05,4.296130e-05,4.272725e-05,4.249332e-05,4.225969e-05,4.202654e-05,4.179403e-05,4.156232e-05,4.133153e-05,4.110180e-05,4.087323e-05,4.064594e-05,4.042003e-05,4.019557e-05,3.997266e-05,3.975137e-05,3.953176e-05,3.931390e-05,3.909783e-05,3.888361e-05,3.867128e-05,3.846089e-05,3.825247e-05,3.804604e-05,3.784164e-05,3.763929e-05
0.000000e+00,1.946149e-09,5.466863e-09,2.474146e-08,6.609322e-08,1.032176e-07,2.689631e-07,2.784091e-07,5.997541e-07,7.241395e-07,1.130352e-06,1.580221e-06,1.944747e-06,2.997962e-06,3.103986e-06,4.613541e-06,5.022393e-06,6.415464e-06,7.521214e-06,8.426978e-06,1.031184e-05,1.057481e-05,1.280454e-05,1.325665e-05,1.507694e-05,1.626543e-05,1.736260e-05,1.927549e-05,1.963802e-05,2.188357e-05,2.223894e-05,2.408270e-05,2.511762e-05,2.622150e-05,2.788135e-05,2.828856e-05,3.027492e-05,3.050752e-05,3.217387e-05,3.298047e-05,3.398083e-05,3.529085e-05,3.569306e-05,3.730936e-05,3.743451e-05,3.882979e-05,3.941138e-05,4.025566e-05,4.122492e-05,4.158913e-05,4.283301e-05,4.288095e-05,4.399061e-05,4.438691e-05,4.506551e-05,4.575113e-05,4.606150e-05,4.698247e-05,4.783234e-05,4.808991e-05,4.861496e-05,4.908230e-05,4.933413e-05,4.996823e-05,4.999350e-05,5.059662e-05,5.075588e-05,5.114688e-05,5.145300e-05,5.164748e-05,5.206683e-05,5.210150e-05,5.251185e-05,5.260414e-05,5.288127e-05,5.307123e-05,5.321234e-05,5.347391e-05,5.350751e-05,5.376908e-05,5.381755e-05,5.399920e-05,5.410711e-05,5.419989e-05,5.434713e-05,5.437306e-05,5.452049e-05,5.454181e-05,5.464386e-05,5.469500e-05,5.474474e-05,5.481024e-05,5.482459e-05,5.488480e-05,5.489077e-05,5.492666e-05,5.493957e-05,5.495137e-05,5.495939e-05,5.496008e-05,5.495384e-05,5.495273e-05,5.493366e-05,5.492190e-05,5.490047e-05,5.486902e-05,5.485515e-05,5.479852e-05,5.479603e-05,5.473134e-05,5.470472e-05,5.465435e-05,5.459674e-05,5.456822e-05,5.447359e-05,5.437105e-05,5.433667e-05,5.426117e-05,5.418724e-05,5.414448e-05,5.402650e-05,5.402146e-05,5.389258e-05,5.385551e-05,5.375829e-05,5.367528e-05,5.361898e-05,5.348673e-05,5.347505e-05,5.332686e-05,5.329070e-05,5.317475e-05,5.308798e-05,5.301904e-05,5.287928e-05,5.286003e-05,5.269801e-05,5.266527e-05,5.253324e-05,5.244656e-05,5.236598e-05,5.222372e-05,5.219646e-05,5.202490e-05,5.199728e-05,5.185152e-05,5.176771e-05,5.167652e-05,5.153547e-05,5.150007e-05,5.132236e-05,5.130096e-05,5.114355e-05,5.106456e-05,5.096379e-05,5.082664e-05,5.078324e-05,5.060203e-05,5.058751e-05,5.042029e-05,5.034747e-05,5.023814e-05,5.010681e-05,5.005571e-05,4.987309e-05,4.986578e-05,4.969039e-05,4.962461e-05,4.950770e-05,4.938354e-05,4.932513e-05,4.914275e-05,4.890243e-05,4.866277e-05,4.842391e-05,4.818600e-05,4.794918e-05,4.771357e-05,4.747928e-05,4.724642e-05,4.701508e-05,4.678536e-05,4.655732e-05,4.633105e-05,4.610660e-05,4.588405e-05,4.566343e-05,4.544480e-05,4.522821e-05,4.501369e-05,4.480127e-05,4.459099e-05,4.438287e-05,4.417694e-05,4.397321e-05,4.377171e-05
0.000000e+00,2.782214e-09,6.682369e-09,2.423225e-08,5.659908e-08,8.342552e-08,1.929697e-07,1.989043e-07,3.896737e-07,4.593226e-07,6.761974e-07,9.031948e-07,1.080395e-06,1.573615e-06,1.622396e-06,2.313722e-06,2.502029e-06,3.154094e-06,3.687202e-06,4.136273e-06,5.111050e-06,5.251657e-06,6.492193e-06,6.754641e-06,7.850159e-06,8.600082e-06,9.317568e-06,1.062846e-05,1.088577e-05,1.254527e-05,1.281858e-05,1.428577e-05,1.514679e-05,1.609633e-05,1.758756e-05,1.796553e-05,1.988176e-05,2.011431e-05,2.183344e-05,2.270049e-05,2.380928e-05,2.532041e-05,2.579847e-05,2.779083e-05,2.795006e-05,2.977693e-05,3.056768e-05,3.174822e-05,3.315402e-05,3.369701e-05,3.561650e-05,3.569258e-05,3.750081e-05,3.816956e-05,3.934493e-05,4.057380e-05,4.114465e-05,4.289652e-05,4.459776e-05,4.513111e-05,4.624626e-05,4.727286e-05,4.784043e-05,4.931871e-05,4.937918e-05,5.086187e-05,5.126692e-05,5.228819e-05,5.311694e-05,5.365820e-05,5.486914e-05,5.497221e-05,5.623074e-05,5.652461e-05,5.743453e-05,5.808506e-05,5.858446e-05,5.955267e-05,5.968157e-05,6.072695e-05,6.092993e-05,6.172182e-05,6.221960e-05,6.266743e-05,6.342463e-05,6.356509e-05,6.441614e-05,6.454808e-05,6.522195e-05,6.559307e-05,6.598388e-05,6.656276e-05,6.670331e-05,6.738161e-05,6.746031e-05,6.802014e-05,6.828884e-05,6.862024e-05,6.905143e-05,6.918324e-05,6.971045e-05,6.975112e-05,7.020315e-05,7.039086e-05,7.066260e-05,7.097351e-05,7.109003e-05,7.148663e-05,7.150187e-05,7.185358e-05,7.197864e-05,7.219201e-05,7.240643e-05,7.250305e-05,7.278776e-05,7.304720e-05,7.312505e-05,7.328239e-05,7.342064e-05,7.349431e-05,7.367676e-05,7.368393e-05,7.385216e-05,7.389556e-05,7.399992e-05,7.407911e-05,7.412807e-05,7.422937e-05,7.423745e-05,7.432888e-05,7.434824e-05,7.440314e-05,7.443752e-05,7.446101e-05,7.449894e-05,7.450320e-05,7.453043e-05,7.453414e-05,7.454338e-05,7.454470e-05,7.454273e-05,7.453212e-05,7.452909e-05,7.450309e-05,7.449783e-05,7.446533e-05,7.444319e-05,7.441636e-05,7.436950e-05,7.435675e-05,7.428702e-05,7.427799e-05,7.420768e-05,7.416985e-05,7.411922e-05,7.404619e-05,7.402213e-05,7.391684e-05,7.390808e-05,7.380380e-05,7.375651e-05,7.368344e-05,7.359246e-05,7.355615e-05,7.342232e-05,7.341683e-05,7.328233e-05,7.323050e-05,7.313654e-05,7.303426e-05,7.298529e-05,7.282892e-05,7.261519e-05,7.239379e-05,7.216536e-05,7.193054e-05,7.168992e-05,7.144405e-05,7.119348e-05,7.093868e-05,7.068015e-05,7.041832e-05,7.015361e-05,6.988642e-05,6.961713e-05,6.934608e-05,6.907360e-05,6.880001e-05,6.852560e-05,6.825064e-05,6.797538e-05,6.770007e-05,6.742494e-05,6.715020e-05,6.687604e-05,6.660265e-05
0.000000e+00,3.330862e-09,9.330819e-09,4.203046e-08,1.118008e-07,1.741075e-07,4.489139e-07,4.644184e-07,9.828648e-07,1.179328e-06,1.807505e-06,2.483790e-06,3.020178e-06,4.530855e-06,4.680807e-06,6.804138e-06,7.381184e-06,9.375688e-06,1.100436e-05,1.237656e-05,1.535987e-05,1.579094e-05,1.960388e-05,2.041285e-05,2.379810e-05,2.612279e-05,2.835198e-05,3.243593e-05,3.323901e-05,3.842804e-05,3.928402e-05,4.388405e-05,4.658673e-05,4.956920e-05,5.425581e-05,5.544403e-05,6.146858e-05,6.219971e-05,6.760342e-05,7.032782e-05,7.381053e-05,7.855410e-05,8.005403e-05,8.630069e-05,8.679964e-05,9.252029e-05,9.499438e-05,9.868578e-05,1.030780e-04,1.047734e-04,1.107625e-04,1.109998e-04,1.166356e-04,1.187186e-04,1.223781e-04,1.262022e-04,1.279780e-04,1.334255e-04,1.387132e-04,1.403706e-04,1.438356e-04,1.470252e-04,1.487887e-04,1.533821e-04,1.535701e-04,1.581785e-04,1.594378e-04,1.626138e-04,1.651921e-04,1.668766e-04,1.706473e-04,1.709684e-04,1.748913e-04,1.758079e-04,1.786477e-04,1.806797e-04,1.822407e-04,1.852699e-04,1.856735e-04,1.889496e-04,1.895864e-04,1.920729e-04,1.936378e-04,1.950471e-04,1.974332e-04,1.978762e-04,2.005644e-04,2.009817e-04,2.031156e-04,2.042927e-04,2.055340e-04,2.073758e-04,2.078236e-04,2.099887e-04,2.102403e-04,2.120331e-04,2.128954e-04,2.139609e-04,2.153504e-04,2.157760e-04,2.174823e-04,2.176142e-04,2.190835e-04,2.196954e-04,2.205835e-04,2.216027e-04,2.219858e-04,2.232939e-04,2.233443e-04,2.245115e-04,2.249282e-04,2.256418e-04,2.263622e-04,2.266881e-04,2.276537e-04,2.285417e-04,2.288099e-04,2.293551e-04,2.298379e-04,2.300968e-04,2.307442e-04,2.307698e-04,2.313768e-04,2.315353e-04,2.319205e-04,2.322174e-04,2.324035e-04,2.327964e-04,2.328283e-04,2.331974e-04,2.332780e-04,2.335132e-04,2.336676e-04,2.337780e-04,2.339704e-04,2.339938e-04,2.341631e-04,2.341915e-04,2.342876e-04,2.343355e-04,2.343696e-04,2.344070e-04,2.344109e-04,2.344134e-04,2.344103e-04,2.343789e-04,2.343497e-04,2.343091e-04,2.342290e-04,2.342057e-04,2.340704e-04,2.340521e-04,2.339047e-04,2.338225e-04,2.337100e-04,2.335436e-04,2.334879e-04,2.332397e-04,2.332188e-04,2.329669e-04,2.328511e-04,2.326706e-04,2.324434e-04,2.323521e-04,2.320127e-04,2.319987e-04,2.316534e-04,2.315195e-04,2.312755e-04,2.310084e-04,2.308799e-04,2.304678e-04,2.298999e-04,2.293071e-04,2.286912e-04,2.280543e-04,2.273983e-04,2.267247e-04,2.260354e-04,2.253319e-04,2.246157e-04,2.238881e-04,2.231506e-04,2.224043e-04,2.216504e-04,2.208900e-04,2.201243e-04,2.193541e-04,2.185805e-04,2.178042e-04,2.170261e-04,2.162470e-04,2.154676e-04,2.146886e-04,2.139106e-04,2.131342e-04
0.000000e+00,6.513048e-10,1.779747e-09,7.675028e-09,1.975497e-08,3.027029e-08,7.510065e-08,7.757685e-08,1.581859e-07,1.878395e-07,2.802161e-07,3.765572e-07,4.514277e-07,6.587972e-07,6.792799e-07,9.708807e-07,1.051095e-06,1.332779e-06,1.568278e-06,1.770533e-06,2.221631e-06,2.288007e-06,2.886450e-06,3.015725e-06,3.563631e-06,3.945038e-06,4.313578e-06,4.993189e-06,5.127217e-06,5.993762e-06,6.136571e-06,6.902102e-06,7.349830e-06,7.841735e-06,8.609563e-06,8.803177e-06,9.778017e-06,9.895536e-06,1.075883e-05,1.119056e-05,1.173906e-05,1.248006e-05,1.271293e-05,1.367534e-05,1.375171e-05,1.462187e-05,1.499516e-05,1.554869e-05,1.620194e-05,1.645253e-05,1.733069e-05,1.736525e-05,1.818095e-05,1.847987e-05,1.900156e-05,1.954195e-05,1.979119e-05,2.054888e-05,2.127400e-05,2.149911e-05,2.196625e-05,2.239198e-05,2.262553e-05,2.322757e-05,2.325201e-05,2.384600e-05,2.400656e-05,2.440800e-05,2.473008e-05,2.493861e-05,2.539966e-05,2.543854e-05,2.590860e-05,2.601705e-05,2.634962e-05,2.658424e-05,2.676251e-05,2.710333e-05,2.714821e-05,2.750766e-05,2.757648e-05,2.784183e-05,2.800593e-05,2.815168e-05,2.839388e-05,2.843819e-05,2.870230e-05,2.874255e-05,2.894496e-05,2.905409e-05,2.916710e-05,2.933063e-05,2.936961e-05,2.955338e-05,2.957421e-05,2.971927e-05,2.978681e-05,2.986812e-05,2.997034e-05,3.000073e-05,3.011789e-05,3.012662e-05,3.022036e-05,3.025739e-05,3.030886e-05,3.036434e-05,3.038411e-05,3.044679e-05,3.044904e-05,3.049753e-05,3.051301e-05,3.053699e-05,3.055767e-05,3.056575e-05,3.058440e-05,3.059349e-05,3.059447e-05,3.059355e-05,3.058910e-05,3.058511e-05,3.056945e-05,3.056864e-05,3.054461e-05,3.053659e-05,3.051348e-05,3.049157e-05,3.047567e-05,3.043533e-05,3.043158e-05,3.038162e-05,3.036880e-05,3.032615e-05,3.029282e-05,3.026554e-05,3.020821e-05,3.020011e-05,3.013021e-05,3.011571e-05,3.005612e-05,3.001605e-05,2.997816e-05,2.990989e-05,2.989661e-05,2.981172e-05,2.979784e-05,2.972375e-05,2.968051e-05,2.963295e-05,2.955843e-05,2.953955e-05,2.944377e-05,2.943213e-05,2.934581e-05,2.930207e-05,2.924587e-05,2.916872e-05,2.914415e-05,2.904081e-05,2.903248e-05,2.893603e-05,2.889376e-05,2.882997e-05,2.875290e-05,2.872278e-05,2.861461e-05,2.861026e-05,2.850559e-05,2.846615e-05,2.839584e-05,2.832087e-05,2.828550e-05,2.817467e-05,2.802783e-05,2.788056e-05,2.773309e-05,2.758562e-05,2.743834e-05,2.729140e-05,2.714498e-05,2.699921e-05,2.685423e-05,2.671016e-05,2.656710e-05,2.642516e-05,2.628443e-05,2.614499e-05,2.600692e-05,2.587028e-05,2.573513e-05,2.560153e-05,2.546952e-05,2.533914e-05,2.521044e-05,2.508344e-05,2.495816e-05,2.483464e-05
0.000000e+00,1.641752e-09,4.584751e-09,2.050321e-08,5.414039e-08,8.395381e-08,2.139515e-07,2.212320e-07,4.624675e-07,5.530214e-07,8.405508e-07,1.148378e-06,1.392623e-06,2.088035e-06,2.157955e-06,3.167283e-06,3.447040e-06,4.424586e-06,5.226772e-06,5.899616e-06,7.338643e-06,7.543066e-06,9.306362e-06,9.669775e-06,1.115029e-05,1.213071e-05,1.304472e-05,1.465754e-05,1.496587e-05,1.689389e-05,1.720182e-05,1.881150e-05,1.972370e-05,2.070342e-05,2.218931e-05,2.255612e-05,2.435787e-05,2.457017e-05,2.609876e-05,2.684332e-05,2.777069e-05,2.899133e-05,2.936742e-05,3.088437e-05,3.100218e-05,3.231857e-05,3.286869e-05,3.366847e-05,3.458797e-05,3.493374e-05,3.611506e-05,3.616059e-05,3.721395e-05,3.758978e-05,3.823262e-05,3.888086e-05,3.917379e-05,4.004055e-05,4.083629e-05,4.107650e-05,4.156454e-05,4.199687e-05,4.222891e-05,4.280998e-05,4.283303e-05,4.338051e-05,4.352413e-05,4.387486e-05,4.414739e-05,4.431949e-05,4.468749e-05,4.471772e-05,4.507268e-05,4.515177e-05,4.538737e-05,4.554707e-05,4.566463e-05,4.587977e-05,4.590711e-05,4.611733e-05,4.615572e-05,4.629766e-05,4.638035e-05,4.645030e-05,4.655863e-05,4.657732e-05,4.668065e-05,4.669511e-05,4.676209e-05,4.679391e-05,4.682333e-05,4.685882e-05,4.686592e-05,4.689131e-05,4.689327e-05,4.690087e-05,4.690039e-05,4.689585e-05,4.688300e-05,4.687741e-05,4.684664e-05,4.684368e-05,4.680456e-05,4.678477e-05,4.675210e-05,4.670838e-05,4.669012e-05,4.661944e-05,4.661644e-05,4.654081e-05,4.651069e-05,4.645492e-05,4.639270e-05,4.636242e-05,4.626391e-05,4.615996e-05,4.612563e-05,4.605107e-05,4.597902e-05,4.593773e-05,4.582515e-05,4.582039e-05,4.569946e-05,4.566501e-05,4.557532e-05,4.549945e-05,4.544834e-05,4.532929e-05,4.531885e-05,4.518715e-05,4.515525e-05,4.505354e-05,4.497798e-05,4.491828e-05,4.479807e-05,4.478161e-05,4.464376e-05,4.461607e-05,4.450496e-05,4.443246e-05,4.436539e-05,4.424769e-05,4.422523e-05,4.408467e-05,4.406216e-05,4.394386e-05,4.387622e-05,4.380294e-05,4.369022e-05,4.366205e-05,4.352131e-05,4.350444e-05,4.338085e-05,4.331916e-05,4.324076e-05,4.313460e-05,4.310115e-05,4.296210e-05,4.295100e-05,4.282371e-05,4.276855e-05,4.268604e-05,4.258741e-05,4.254918e-05,4.241318e-05,4.240776e-05,4.227811e-05,4.222972e-05,4.214402e-05,4.205343e-05,4.201096e-05,4.187899e-05,4.170650e-05,4.153606e-05,4.136773e-05,4.120157e-05,4.103766e-05,4.087603e-05,4.071674e-05,4.055980e-05,4.040525e-05,4.025311e-05,4.010340e-05,3.995612e-05,3.981130e-05,3.966892e-05,3.952900e-05,3.939152e-05,3.925648e-05,3.912387e-05,3.899368e-05,3.886589e-05,3.874048e-05,3.861745e-05,3.849676e-05,3.837840e-05
0.000000e+00,6.003558e-10,1.755761e-09,8.571204e-09,2.430824e-08,3.908108e-08,1.083765e-07,1.124222e-07,2.526582e-07,3.076229e-07,4.878508e-07,6.879815e-07,8.508018e-07,1.329742e-06,1.379018e-06,2.111806e-06,2.322063e-06,3.081885e-06,3.734925e-06,4.302849e-06,5.575443e-06,5.762184e-06,7.426936e-06,7.780919e-06,9.255696e-06,1.025779e-05,1.120779e-05,1.291652e-05,1.324744e-05,1.534451e-05,1.568363e-05,1.747384e-05,1.850102e-05,1.961421e-05,2.132221e-05,2.174753e-05,2.385815e-05,2.410924e-05,2.593255e-05,2.683073e-05,2.795905e-05,2.946098e-05,2.992771e-05,3.183026e-05,3.197940e-05,3.365998e-05,3.437025e-05,3.541163e-05,3.662226e-05,3.708135e-05,3.866654e-05,3.872817e-05,4.016572e-05,4.068426e-05,4.157842e-05,4.248981e-05,4.290499e-05,4.414654e-05,4.530475e-05,4.565812e-05,4.638178e-05,4.702964e-05,4.738018e-05,4.826727e-05,4.830275e-05,4.915253e-05,4.937785e-05,4.993266e-05,5.036865e-05,5.064637e-05,5.124712e-05,5.129692e-05,5.188754e-05,5.202073e-05,5.242144e-05,5.269682e-05,5.290176e-05,5.328253e-05,5.333153e-05,5.371373e-05,5.378471e-05,5.405118e-05,5.420988e-05,5.434661e-05,5.456423e-05,5.460265e-05,5.482177e-05,5.485357e-05,5.500636e-05,5.508336e-05,5.515866e-05,5.525870e-05,5.528082e-05,5.537484e-05,5.538433e-05,5.544266e-05,5.546466e-05,5.548607e-05,5.550380e-05,5.550679e-05,5.550641e-05,5.550551e-05,5.548645e-05,5.547331e-05,5.544834e-05,5.541041e-05,5.539341e-05,5.532293e-05,5.531981e-05,5.523808e-05,5.520423e-05,5.513997e-05,5.506622e-05,5.502965e-05,5.490810e-05,5.477624e-05,5.473201e-05,5.463494e-05,5.453992e-05,5.448499e-05,5.433363e-05,5.432717e-05,5.416218e-05,5.411479e-05,5.399069e-05,5.388494e-05,5.381333e-05,5.364547e-05,5.363067e-05,5.344327e-05,5.339765e-05,5.325164e-05,5.314266e-05,5.305626e-05,5.288157e-05,5.285756e-05,5.265598e-05,5.261535e-05,5.245190e-05,5.234491e-05,5.224568e-05,5.207106e-05,5.203767e-05,5.182817e-05,5.179454e-05,5.161750e-05,5.151603e-05,5.140591e-05,5.123616e-05,5.119368e-05,5.098103e-05,5.095549e-05,5.076819e-05,5.067453e-05,5.055537e-05,5.039375e-05,5.034275e-05,5.013052e-05,5.011356e-05,4.991883e-05,4.983434e-05,4.970785e-05,4.955645e-05,4.949770e-05,4.928853e-05,4.928019e-05,4.908045e-05,4.900583e-05,4.887358e-05,4.873364e-05,4.866800e-05,4.846383e-05,4.819660e-05,4.793213e-05,4.767058e-05,4.741208e-05,4.715676e-05,4.690471e-05,4.665604e-05,4.641081e-05,4.616910e-05,4.593095e-05,4.569641e-05,4.546551e-05,4.523829e-05,4.501475e-05,4.479491e-05,4.457877e-05,4.436634e-05,4.415759e-05,4.395253e-05,4.375114e-05,4.355339e-05,4.335926e-05,4.316873e-05,4.298175e-05
0.000000e+00,3.280016e-09,7.480245e-09,2.555266e-08,5.783438e-08,8.415775e-08,1.898167e-07,1.954874e-07,3.761222e-07,4.415027e-07,6.438742e-07,8.544191e-07,1.018320e-06,1.474826e-06,1.520131e-06,2.168019e-06,2.346689e-06,2.972349e-06,3.489857e-06,3.927731e-06,4.875841e-06,5.011680e-06,6.192475e-06,6.437430e-06,7.438959e-06,8.104304e-06,8.725396e-06,9.822134e-06,1.003182e-05,1.134275e-05,1.155206e-05,1.264583e-05,1.326547e-05,1.393094e-05,1.494039e-05,1.518968e-05,1.641505e-05,1.655957e-05,1.760131e-05,1.810965e-05,1.874386e-05,1.958073e-05,1.983913e-05,2.088455e-05,2.096598e-05,2.187843e-05,2.226130e-05,2.281978e-05,2.346487e-05,2.370836e-05,2.454450e-05,2.457686e-05,2.532892e-05,2.559885e-05,2.606275e-05,2.653358e-05,2.674743e-05,2.738462e-05,2.797614e-05,2.815610e-05,2.852394e-05,2.885250e-05,2.903001e-05,2.947847e-05,2.949639e-05,2.992513e-05,3.003871e-05,3.031825e-05,3.053786e-05,3.067775e-05,3.098044e-05,3.100554e-05,3.130352e-05,3.137079e-05,3.157345e-05,3.171302e-05,3.181708e-05,3.201101e-05,3.203603e-05,3.223188e-05,3.226841e-05,3.240611e-05,3.248863e-05,3.256011e-05,3.267482e-05,3.269522e-05,3.281268e-05,3.282992e-05,3.291368e-05,3.295664e-05,3.299933e-05,3.305749e-05,3.307066e-05,3.312867e-05,3.313478e-05,3.317427e-05,3.319063e-05,3.320834e-05,3.322701e-05,3.323168e-05,3.324505e-05,3.324571e-05,3.324918e-05,3.324839e-05,3.324473e-05,3.323657e-05,3.323233e-05,3.321257e-05,3.321163e-05,3.318599e-05,3.317486e-05,3.315313e-05,3.312743e-05,3.311445e-05,3.307042e-05,3.302145e-05,3.300480e-05,3.296794e-05,3.293149e-05,3.291027e-05,3.285131e-05,3.284878e-05,3.278380e-05,3.276502e-05,3.271563e-05,3.267331e-05,3.264455e-05,3.257683e-05,3.257084e-05,3.249475e-05,3.247615e-05,3.241650e-05,3.237182e-05,3.233631e-05,3.226430e-05,3.225439e-05,3.217093e-05,3.215407e-05,3.208610e-05,3.204151e-05,3.200008e-05,3.192701e-05,3.191302e-05,3.182506e-05,3.181091e-05,3.173634e-05,3.169352e-05,3.164699e-05,3.157513e-05,3.155713e-05,3.146686e-05,3.145600e-05,3.137629e-05,3.133637e-05,3.128552e-05,3.121645e-05,3.119463e-05,3.110371e-05,3.109644e-05,3.101284e-05,3.097652e-05,3.092208e-05,3.085685e-05,3.083151e-05,3.074119e-05,3.073758e-05,3.065117e-05,3.061885e-05,3.056151e-05,3.050077e-05,3.047226e-05,3.038346e-05,3.026702e-05,3.015154e-05,3.003709e-05,2.992375e-05,2.981158e-05,2.970064e-05,2.959098e-05,2.948264e-05,2.937566e-05,2.927008e-05,2.916593e-05,2.906322e-05,2.896199e-05,2.886224e-05,2.876399e-05,2.866725e-05,2.857204e-05,2.847834e-05,2.838617e-05,2.829553e-05,2.820641e-05,2.811881e-05,2.803273e-05,2.794815e-05
0.000000e+00,4.232310e-09,9.668607e-09,3.322758e-08,7.595380e-08,1.113923e-07,2.589114e-07,2.670625e-07,5.385718e-07,6.422394e-07,9.794392e-07,1.352754e-06,1.655790e-06,2.533646e-06,2.622103e-06,3.880020e-06,4.219737e-06,5.373183e-06,6.284592e-06,7.029037e-06,8.574441e-06,8.789844e-06,1.061666e-05,1.098750e-05,1.248359e-05,1.346396e-05,1.437224e-05,1.596487e-05,1.626819e-05,1.815908e-05,1.846040e-05,2.003373e-05,2.092473e-05,2.188178e-05,2.333456e-05,2.369359e-05,2.546043e-05,2.566904e-05,2.717437e-05,2.790993e-05,2.882857e-05,3.004226e-05,3.041732e-05,3.193600e-05,3.205435e-05,3.338107e-05,3.393790e-05,3.475005e-05,3.568770e-05,3.604140e-05,3.725456e-05,3.730146e-05,3.838973e-05,3.877941e-05,3.944759e-05,4.012344e-05,4.042950e-05,4.133730e-05,4.217312e-05,4.242577e-05,4.293943e-05,4.339460e-05,4.363887e-05,4.425005e-05,4.427427e-05,4.484854e-05,4.499878e-05,4.536463e-05,4.564758e-05,4.582548e-05,4.620319e-05,4.623402e-05,4.659314e-05,4.667229e-05,4.690566e-05,4.706134e-05,4.717432e-05,4.737656e-05,4.740176e-05,4.759055e-05,4.762388e-05,4.774311e-05,4.780892e-05,4.786181e-05,4.793697e-05,4.794886e-05,4.800639e-05,4.801299e-05,4.803643e-05,4.804164e-05,4.804088e-05,4.802724e-05,4.802156e-05,4.798020e-05,4.797383e-05,4.791840e-05,4.788514e-05,4.783771e-05,4.776463e-05,4.773955e-05,4.762530e-05,4.761551e-05,4.749623e-05,4.744073e-05,4.735355e-05,4.724303e-05,4.719839e-05,4.703181e-05,4.702492e-05,4.685480e-05,4.678871e-05,4.666831e-05,4.653653e-05,4.647322e-05,4.627034e-05,4.606045e-05,4.599192e-05,4.584427e-05,4.570292e-05,4.562247e-05,4.540485e-05,4.539569e-05,4.516451e-05,4.509907e-05,4.492949e-05,4.478686e-05,4.469115e-05,4.446935e-05,4.444996e-05,4.420636e-05,4.414759e-05,4.396079e-05,4.382255e-05,4.371362e-05,4.349508e-05,4.346521e-05,4.321591e-05,4.316597e-05,4.296602e-05,4.283594e-05,4.271583e-05,4.250563e-05,4.246560e-05,4.221560e-05,4.217564e-05,4.196605e-05,4.184648e-05,4.171715e-05,4.151865e-05,4.146912e-05,4.122212e-05,4.119255e-05,4.097632e-05,4.086859e-05,4.073188e-05,4.054709e-05,4.048893e-05,4.024761e-05,4.022837e-05,4.000802e-05,3.991270e-05,3.977028e-05,3.960030e-05,3.953448e-05,3.930071e-05,3.929140e-05,3.906905e-05,3.898618e-05,3.883956e-05,3.868479e-05,3.861232e-05,3.838738e-05,3.809405e-05,3.780492e-05,3.752006e-05,3.723953e-05,3.696340e-05,3.669169e-05,3.642445e-05,3.616168e-05,3.590339e-05,3.564958e-05,3.540025e-05,3.515538e-05,3.491495e-05,3.467893e-05,3.444729e-05,3.421999e-05,3.399698e-05,3.377824e-05,3.356370e-05,3.335332e-05,3.314705e-05,3.294483e-05,3.274660e-05,3.255231e-05
0.000000e+00,4.506482e-09,1.028733e-08,3.535496e-08,8.102405e-08,1.191344e-07,2.797532e-07,2.887067e-07,5.900773e-07,7.062452e-07,1.086100e-06,1.508145e-06,1.851077e-06,2.844950e-06,2.945097e-06,4.365876e-06,4.747259e-06,6.028469e-06,7.021460e-06,7.817767e-06,9.425825e-06,9.645091e-06,1.145769e-05,1.181561e-05,1.322661e-05,1.412349e-05,1.493560e-05,1.631757e-05,1.657488e-05,1.813809e-05,1.838085e-05,1.962106e-05,2.030356e-05,2.102118e-05,2.208075e-05,2.233720e-05,2.356903e-05,2.371122e-05,2.471755e-05,2.519694e-05,2.578452e-05,2.654233e-05,2.677235e-05,2.768399e-05,2.775373e-05,2.852279e-05,2.883870e-05,2.929232e-05,2.980558e-05,2.999631e-05,3.063855e-05,3.066300e-05,3.122278e-05,3.141962e-05,3.175271e-05,3.208386e-05,3.223189e-05,3.266376e-05,3.305158e-05,3.316689e-05,3.339844e-05,3.360029e-05,3.370726e-05,3.397048e-05,3.398077e-05,3.422154e-05,3.428342e-05,3.443196e-05,3.454457e-05,3.461425e-05,3.475890e-05,3.477049e-05,3.490261e-05,3.493094e-05,3.501242e-05,3.506478e-05,3.510155e-05,3.516413e-05,3.517157e-05,3.522390e-05,3.523236e-05,3.525986e-05,3.527250e-05,3.528068e-05,3.528731e-05,3.528751e-05,3.528140e-05,3.527928e-05,3.526332e-05,3.525066e-05,3.523418e-05,3.520347e-05,3.519482e-05,3.514603e-05,3.513957e-05,3.508852e-05,3.506063e-05,3.502297e-05,3.496815e-05,3.494999e-05,3.487018e-05,3.486351e-05,3.478405e-05,3.474795e-05,3.469212e-05,3.462260e-05,3.459485e-05,3.449266e-05,3.448847e-05,3.438595e-05,3.434651e-05,3.427511e-05,3.419755e-05,3.416047e-05,3.404236e-05,3.392108e-05,3.388165e-05,3.379692e-05,3.371605e-05,3.367012e-05,3.354615e-05,3.354094e-05,3.340961e-05,3.337248e-05,3.327633e-05,3.319551e-05,3.314131e-05,3.301570e-05,3.300472e-05,3.286675e-05,3.283345e-05,3.272755e-05,3.264912e-05,3.258727e-05,3.246305e-05,3.244606e-05,3.230405e-05,3.227556e-05,3.216136e-05,3.208693e-05,3.201810e-05,3.189742e-05,3.187440e-05,3.173033e-05,3.170726e-05,3.158601e-05,3.151667e-05,3.144152e-05,3.132586e-05,3.129694e-05,3.115235e-05,3.113501e-05,3.100783e-05,3.094427e-05,3.086343e-05,3.075382e-05,3.071924e-05,3.057529e-05,3.056379e-05,3.043166e-05,3.037430e-05,3.028839e-05,3.018549e-05,3.014553e-05,3.000313e-05,2.999744e-05,2.986123e-05,2.981028e-05,2.971987e-05,2.962407e-05,2.957909e-05,2.943892e-05,2.925488e-05,2.907204e-05,2.889046e-05,2.871018e-05,2.853127e-05,2.835377e-05,2.817772e-05,2.800316e-05,2.783012e-05,2.765863e-05,2.748873e-05,2.732042e-05,2.715374e-05,2.698870e-05,2.682532e-05,2.666360e-05,2.650357e-05,2.634522e-05,2.618857e-05,2.603362e-05,2.588037e-05,2.572882e-05,2.557898e-05,2.543084e-05
0.000000e+00,2.549024e-09,6.608514e-09,2.634279e-08,6.467718e-08,9.724469e-08,2.336425e-07,2.411352e-07,4.854935e-07,5.760199e-07,8.612183e-07,1.164214e-06,1.403591e-06,2.082913e-06,2.151181e-06,3.140614e-06,3.417154e-06,4.395465e-06,5.214526e-06,5.913488e-06,7.443473e-06,7.664429e-06,9.602927e-06,1.000905e-05,1.168395e-05,1.280963e-05,1.387001e-05,1.576564e-05,1.613152e-05,1.844465e-05,1.881817e-05,2.078942e-05,2.192095e-05,2.314838e-05,2.503522e-05,2.550592e-05,2.784798e-05,2.812738e-05,3.016195e-05,3.116825e-05,3.243660e-05,3.413297e-05,3.466215e-05,3.683021e-05,3.700095e-05,3.893378e-05,3.975582e-05,4.096713e-05,4.238511e-05,4.292580e-05,4.480646e-05,4.488002e-05,4.660670e-05,4.723480e-05,4.832509e-05,4.944646e-05,4.996094e-05,5.151416e-05,5.298523e-05,5.343878e-05,5.437514e-05,5.522268e-05,5.568521e-05,5.686928e-05,5.691707e-05,5.807264e-05,5.838280e-05,5.915398e-05,5.976808e-05,6.016334e-05,6.103038e-05,6.110305e-05,6.197551e-05,6.217516e-05,6.278315e-05,6.320804e-05,6.352843e-05,6.413464e-05,6.421380e-05,6.484168e-05,6.496057e-05,6.541450e-05,6.569139e-05,6.593461e-05,6.633248e-05,6.640435e-05,6.682597e-05,6.688911e-05,6.720168e-05,6.736636e-05,6.753365e-05,6.776913e-05,6.782395e-05,6.807462e-05,6.810213e-05,6.828761e-05,6.836987e-05,6.846481e-05,6.857668e-05,6.860806e-05,6.871912e-05,6.872666e-05,6.879968e-05,6.882374e-05,6.885139e-05,6.887164e-05,6.887582e-05,6.887448e-05,6.887391e-05,6.884882e-05,6.883390e-05,6.880024e-05,6.875480e-05,6.873008e-05,6.863961e-05,6.853007e-05,6.849118e-05,6.840262e-05,6.831219e-05,6.825841e-05,6.810518e-05,6.809850e-05,6.792392e-05,6.787254e-05,6.773565e-05,6.761651e-05,6.753464e-05,6.733922e-05,6.732177e-05,6.709791e-05,6.704264e-05,6.686387e-05,6.672865e-05,6.662042e-05,6.639900e-05,6.636831e-05,6.610824e-05,6.605533e-05,6.584087e-05,6.569917e-05,6.556685e-05,6.533198e-05,6.528679e-05,6.500124e-05,6.495509e-05,6.471078e-05,6.456976e-05,6.441590e-05,6.417716e-05,6.411711e-05,6.381487e-05,6.377839e-05,6.350962e-05,6.337447e-05,6.320178e-05,6.296634e-05,6.289175e-05,6.257990e-05,6.255488e-05,6.226657e-05,6.214091e-05,6.195212e-05,6.172518e-05,6.163684e-05,6.132104e-05,6.130840e-05,6.100500e-05,6.089121e-05,6.068897e-05,6.047421e-05,6.037321e-05,6.005795e-05,5.964293e-05,5.922962e-05,5.881845e-05,5.840979e-05,5.800402e-05,5.760145e-05,5.720236e-05,5.680704e-05,5.641570e-05,5.602857e-05,5.564584e-05,5.526767e-05,5.489422e-05,5.452560e-05,5.416194e-05,5.380333e-05,5.344984e-05,5.310156e-05,5.275852e-05,5.242078e-05,5.208836e-05,5.176129e-05,5.143957e-05,5.112321e-05
0.000000e+00,4.127053e-09,9.457363e-09,3.258800e-08,7.428419e-08,1.084908e-07,2.468214e-07,2.542777e-07,4.927780e-07,5.794216e-07,8.481209e-07,1.127836e-06,1.345203e-06,1.945952e-06,2.005043e-06,2.837014e-06,3.062092e-06,3.837610e-06,4.468155e-06,4.997457e-06,6.141925e-06,6.306583e-06,7.755344e-06,8.060991e-06,9.333796e-06,1.020229e-05,1.103111e-05,1.254002e-05,1.283537e-05,1.473359e-05,1.504511e-05,1.671203e-05,1.768601e-05,1.875649e-05,2.042998e-05,2.085268e-05,2.298660e-05,2.324456e-05,2.514480e-05,2.609880e-05,2.731463e-05,2.896427e-05,2.948444e-05,3.164367e-05,3.181566e-05,3.378292e-05,3.463114e-05,3.589395e-05,3.739239e-05,3.796966e-05,4.000405e-05,4.008449e-05,4.199211e-05,4.269566e-05,4.392977e-05,4.521690e-05,4.581378e-05,4.764161e-05,4.941140e-05,4.996526e-05,5.112187e-05,5.218503e-05,5.277219e-05,5.429954e-05,5.436197e-05,5.589118e-05,5.630854e-05,5.736008e-05,5.821267e-05,5.876918e-05,6.001333e-05,6.011918e-05,6.141097e-05,6.171245e-05,6.264557e-05,6.331238e-05,6.382411e-05,6.481582e-05,6.494781e-05,6.601796e-05,6.622568e-05,6.703588e-05,6.754501e-05,6.800294e-05,6.877699e-05,6.892054e-05,6.979007e-05,6.992483e-05,7.061296e-05,7.099180e-05,7.139063e-05,7.198114e-05,7.212447e-05,7.281589e-05,7.289607e-05,7.346627e-05,7.373979e-05,7.407697e-05,7.451541e-05,7.464935e-05,7.518472e-05,7.522599e-05,7.568439e-05,7.587454e-05,7.614962e-05,7.646396e-05,7.658165e-05,7.698172e-05,7.699708e-05,7.735101e-05,7.747664e-05,7.769067e-05,7.790530e-05,7.800184e-05,7.828563e-05,7.854310e-05,7.862011e-05,7.877530e-05,7.891112e-05,7.898325e-05,7.916097e-05,7.916793e-05,7.933029e-05,7.937188e-05,7.947127e-05,7.954597e-05,7.959177e-05,7.968529e-05,7.969266e-05,7.977479e-05,7.979180e-05,7.983897e-05,7.986737e-05,7.988601e-05,7.991382e-05,7.991666e-05,7.993168e-05,7.993287e-05,7.993178e-05,7.992617e-05,7.991766e-05,7.989529e-05,7.988998e-05,7.984940e-05,7.984175e-05,7.979654e-05,7.976698e-05,7.973201e-05,7.967237e-05,7.965639e-05,7.957024e-05,7.955922e-05,7.947410e-05,7.942877e-05,7.936850e-05,7.928223e-05,7.925395e-05,7.913092e-05,7.912073e-05,7.899989e-05,7.894534e-05,7.886131e-05,7.875709e-05,7.871560e-05,7.856319e-05,7.855696e-05,7.840449e-05,7.834588e-05,7.823986e-05,7.812473e-05,7.806969e-05,7.789433e-05,7.765549e-05,7.740896e-05,7.715544e-05,7.689562e-05,7.663013e-05,7.635958e-05,7.608453e-05,7.580553e-05,7.552308e-05,7.523767e-05,7.494974e-05,7.465973e-05,7.436803e-05,7.407502e-05,7.378107e-05,7.348649e-05,7.319160e-05,7.289670e-05,7.260206e-05,7.230794e-05,7.201457e-05,7.172217e-05,7.143097e-05,7.114115e-05
0.000000e+00,2.124262e-10,5.878611e-10,2.582560e-09,6.714247e-09,1.032373e-08,2.572662e-08,2.657705e-08,5.423538e-08,6.440327e-08,9.608600e-08,1.291610e-07,1.548789e-07,2.259326e-07,2.329165e-07,3.310287e-07,3.574699e-07,4.480839e-07,5.210871e-07,5.818496e-07,7.115523e-07,7.300250e-07,8.906010e-07,9.240455e-07,1.061800e-06,1.154460e-06,1.241932e-06,1.398904e-06,1.429298e-06,1.622154e-06,1.653402e-06,1.818714e-06,1.913850e-06,2.017180e-06,2.176134e-06,2.215782e-06,2.412824e-06,2.436287e-06,2.606724e-06,2.690669e-06,2.796048e-06,2.936093e-06,2.979538e-06,3.156126e-06,3.169927e-06,3.324939e-06,3.390130e-06,3.485305e-06,3.595257e-06,3.636737e-06,3.778927e-06,3.784419e-06,3.911723e-06,3.957224e-06,4.035115e-06,4.113701e-06,4.149211e-06,4.254219e-06,4.350424e-06,4.379407e-06,4.438176e-06,4.490080e-06,4.517866e-06,4.587178e-06,4.589919e-06,4.654776e-06,4.671708e-06,4.712886e-06,4.744700e-06,4.764696e-06,4.807177e-06,4.810648e-06,4.851168e-06,4.860130e-06,4.886666e-06,4.904499e-06,4.917534e-06,4.941160e-06,4.944139e-06,4.966829e-06,4.970926e-06,4.985926e-06,4.994537e-06,5.001731e-06,5.012667e-06,5.014522e-06,5.024557e-06,5.025922e-06,5.032071e-06,5.034847e-06,5.037281e-06,5.039926e-06,5.040388e-06,5.041571e-06,5.041592e-06,5.041000e-06,5.040232e-06,5.038825e-06,5.036185e-06,5.035185e-06,5.030209e-06,5.029756e-06,5.024011e-06,5.021213e-06,5.016697e-06,5.010795e-06,5.008365e-06,4.999102e-06,4.998713e-06,4.988990e-06,4.985156e-06,4.978102e-06,4.970291e-06,4.966507e-06,4.954268e-06,4.941440e-06,4.937220e-06,4.928078e-06,4.919267e-06,4.914228e-06,4.900517e-06,4.899937e-06,4.885245e-06,4.881064e-06,4.870190e-06,4.860998e-06,4.854808e-06,4.840395e-06,4.839131e-06,4.823190e-06,4.819327e-06,4.807012e-06,4.797859e-06,4.790623e-06,4.776047e-06,4.774049e-06,4.757311e-06,4.753946e-06,4.740431e-06,4.731603e-06,4.723427e-06,4.709063e-06,4.706319e-06,4.689123e-06,4.686365e-06,4.671856e-06,4.663547e-06,4.654532e-06,4.640641e-06,4.637165e-06,4.619768e-06,4.617679e-06,4.602353e-06,4.594688e-06,4.584932e-06,4.571695e-06,4.567516e-06,4.550114e-06,4.548722e-06,4.532735e-06,4.525792e-06,4.515389e-06,4.502924e-06,4.498083e-06,4.480826e-06,4.480136e-06,4.463624e-06,4.457446e-06,4.446483e-06,4.434867e-06,4.429412e-06,4.412414e-06,4.390100e-06,4.367935e-06,4.345932e-06,4.324098e-06,4.302443e-06,4.280974e-06,4.259699e-06,4.238624e-06,4.217754e-06,4.197095e-06,4.176650e-06,4.156425e-06,4.136422e-06,4.116644e-06,4.097094e-06,4.077775e-06,4.058687e-06,4.039832e-06,4.021212e-06,4.002827e-06,3.984677e-06,3.966763e-06,3.949086e-06,3.931644e-06
0.000000e+00,1.225551e-09,2.824544e-09,9.792743e-09,2.239827e-08,3.276709e-08,7.491134e-08,7.719225e-08,1.506307e-07,1.775337e-07,2.616862e-07,3.503812e-07,4.200171e-07,6.152726e-07,6.346689e-07,9.102443e-07,9.853337e-07,1.244650e-06,1.455376e-06,1.631770e-06,2.010881e-06,2.065136e-06,2.539240e-06,2.638527e-06,3.049390e-06,3.327480e-06,3.591286e-06,4.067934e-06,4.160720e-06,4.753454e-06,4.850168e-06,5.365192e-06,5.664309e-06,5.991624e-06,6.500489e-06,6.628500e-06,7.271714e-06,7.349138e-06,7.917375e-06,8.201301e-06,8.561875e-06,9.048883e-06,9.201926e-06,9.834595e-06,9.884810e-06,1.045731e-05,1.070310e-05,1.106786e-05,1.149887e-05,1.166439e-05,1.224537e-05,1.226827e-05,1.280957e-05,1.300838e-05,1.335604e-05,1.371713e-05,1.388406e-05,1.439316e-05,1.488302e-05,1.503569e-05,1.535351e-05,1.564444e-05,1.580461e-05,1.621953e-05,1.623644e-05,1.664920e-05,1.676139e-05,1.704316e-05,1.727067e-05,1.741869e-05,1.774822e-05,1.777616e-05,1.811602e-05,1.819501e-05,1.843871e-05,1.861211e-05,1.874474e-05,1.900065e-05,1.903459e-05,1.930878e-05,1.936178e-05,1.956782e-05,1.969670e-05,1.981222e-05,2.000658e-05,2.004250e-05,2.025917e-05,2.029261e-05,2.046273e-05,2.055592e-05,2.065367e-05,2.079767e-05,2.083248e-05,2.099964e-05,2.101894e-05,2.115560e-05,2.122080e-05,2.130083e-05,2.140428e-05,2.143575e-05,2.156080e-05,2.157039e-05,2.167640e-05,2.172007e-05,2.178293e-05,2.185425e-05,2.188080e-05,2.197038e-05,2.197380e-05,2.205203e-05,2.207955e-05,2.212611e-05,2.217233e-05,2.219295e-05,2.225288e-05,2.230623e-05,2.232196e-05,2.235329e-05,2.238025e-05,2.239436e-05,2.242841e-05,2.242972e-05,2.245964e-05,2.246708e-05,2.248439e-05,2.249687e-05,2.250422e-05,2.251833e-05,2.251938e-05,2.253008e-05,2.253202e-05,2.253657e-05,2.253844e-05,2.253905e-05,2.253809e-05,2.253773e-05,2.253282e-05,2.253142e-05,2.252449e-05,2.251888e-05,2.251294e-05,2.250087e-05,2.249834e-05,2.248085e-05,2.247780e-05,2.246064e-05,2.245002e-05,2.243787e-05,2.241790e-05,2.241268e-05,2.238521e-05,2.238177e-05,2.235560e-05,2.234193e-05,2.232399e-05,2.229869e-05,2.229048e-05,2.225521e-05,2.225232e-05,2.221829e-05,2.220309e-05,2.217983e-05,2.215124e-05,2.213993e-05,2.209868e-05,2.209701e-05,2.205620e-05,2.204062e-05,2.201256e-05,2.198227e-05,2.196786e-05,2.192217e-05,2.186050e-05,2.179742e-05,2.173311e-05,2.166770e-05,2.160136e-05,2.153420e-05,2.146636e-05,2.139795e-05,2.132909e-05,2.125987e-05,2.119039e-05,2.112075e-05,2.105102e-05,2.098129e-05,2.091162e-05,2.084209e-05,2.077276e-05,2.070368e-05,2.063491e-05,2.056650e-05,2.049849e-05,2.043093e-05,2.036386e-05,2.029731e-05
0.000000e+00,4.800293e-09,1.184574e-08,4.441603e-08,1.058763e-07,1.576316e-07,3.746211e-07,3.866068e-07,7.829851e-07,9.326583e-07,1.413718e-06,1.938574e-06,2.361071e-06,3.581435e-06,3.704823e-06,5.481811e-06,5.970512e-06,7.660895e-06,9.030440e-06,1.017051e-05,1.259543e-05,1.293940e-05,1.591232e-05,1.652759e-05,1.904826e-05,2.073252e-05,2.231523e-05,2.514093e-05,2.568626e-05,2.913717e-05,2.969521e-05,3.264550e-05,3.434367e-05,3.619023e-05,3.903895e-05,3.975168e-05,4.331167e-05,4.373796e-05,4.685367e-05,4.840260e-05,5.036296e-05,5.300009e-05,5.382656e-05,5.723335e-05,5.750315e-05,6.057399e-05,6.188993e-05,6.384068e-05,6.614324e-05,6.702699e-05,7.012791e-05,7.025011e-05,7.313965e-05,7.420149e-05,7.605947e-05,7.799144e-05,7.888548e-05,8.161658e-05,8.425232e-05,8.507562e-05,8.679278e-05,8.836889e-05,8.923847e-05,9.149799e-05,9.159028e-05,9.384939e-05,9.446552e-05,9.601723e-05,9.727479e-05,9.809541e-05,9.992968e-05,1.000857e-04,1.019900e-04,1.024345e-04,1.038103e-04,1.047937e-04,1.055486e-04,1.070122e-04,1.072070e-04,1.087877e-04,1.090947e-04,1.102927e-04,1.110461e-04,1.117242e-04,1.128714e-04,1.130843e-04,1.143752e-04,1.145755e-04,1.155990e-04,1.161632e-04,1.167577e-04,1.176392e-04,1.178534e-04,1.188881e-04,1.190083e-04,1.198638e-04,1.202750e-04,1.207825e-04,1.214438e-04,1.216461e-04,1.224564e-04,1.225190e-04,1.232153e-04,1.235048e-04,1.239245e-04,1.244054e-04,1.245859e-04,1.252011e-04,1.252247e-04,1.257717e-04,1.259666e-04,1.262995e-04,1.266347e-04,1.267860e-04,1.272327e-04,1.276411e-04,1.277640e-04,1.280127e-04,1.282318e-04,1.283489e-04,1.286395e-04,1.286510e-04,1.289204e-04,1.289901e-04,1.291584e-04,1.292866e-04,1.293662e-04,1.295318e-04,1.295450e-04,1.296961e-04,1.297284e-04,1.298205e-04,1.298790e-04,1.299195e-04,1.299862e-04,1.299939e-04,1.300449e-04,1.300524e-04,1.300735e-04,1.300799e-04,1.300807e-04,1.300708e-04,1.300673e-04,1.300344e-04,1.300273e-04,1.299827e-04,1.299515e-04,1.299131e-04,1.298452e-04,1.298265e-04,1.297236e-04,1.297102e-04,1.296052e-04,1.295484e-04,1.294721e-04,1.293615e-04,1.293249e-04,1.291644e-04,1.291510e-04,1.289911e-04,1.289184e-04,1.288059e-04,1.286653e-04,1.286091e-04,1.284016e-04,1.283931e-04,1.281837e-04,1.281029e-04,1.279562e-04,1.277962e-04,1.277195e-04,1.274741e-04,1.271378e-04,1.267883e-04,1.264267e-04,1.260540e-04,1.256712e-04,1.252790e-04,1.248783e-04,1.244701e-04,1.240549e-04,1.236336e-04,1.232067e-04,1.227751e-04,1.223392e-04,1.218997e-04,1.214570e-04,1.210118e-04,1.205645e-04,1.201156e-04,1.196655e-04,1.192146e-04,1.187633e-04,1.183120e-04,1.178609e-04,1.174106e-04
0.000000e+00,3.097945e-09,7.087770e-09,2.425064e-08,5.481512e-08,7.964975e-08,1.786361e-07,1.839201e-07,3.509273e-07,4.108144e-07,5.945839e-07,7.835696e-07,9.293627e-07,1.330337e-06,1.369768e-06,1.927470e-06,2.079423e-06,2.606281e-06,3.037186e-06,3.399520e-06,4.181389e-06,4.293468e-06,5.272886e-06,5.477773e-06,6.323919e-06,6.894693e-06,7.434493e-06,8.405452e-06,8.593792e-06,9.791700e-06,9.986292e-06,1.101845e-05,1.161471e-05,1.226446e-05,1.326883e-05,1.352036e-05,1.477701e-05,1.492743e-05,1.602565e-05,1.657038e-05,1.725808e-05,1.817917e-05,1.846668e-05,1.964461e-05,1.973733e-05,2.078582e-05,2.123083e-05,2.188515e-05,2.264830e-05,2.293832e-05,2.394189e-05,2.398096e-05,2.489326e-05,2.522261e-05,2.579065e-05,2.636946e-05,2.663297e-05,2.741979e-05,2.815126e-05,2.837373e-05,2.882803e-05,2.923293e-05,2.945116e-05,3.000021e-05,3.002207e-05,3.054244e-05,3.067934e-05,3.101418e-05,3.127474e-05,3.143936e-05,3.179127e-05,3.182016e-05,3.215882e-05,3.223409e-05,3.245764e-05,3.260842e-05,3.271890e-05,3.291954e-05,3.294487e-05,3.313776e-05,3.317256e-05,3.329973e-05,3.337242e-05,3.343284e-05,3.352382e-05,3.353910e-05,3.362042e-05,3.363124e-05,3.367863e-05,3.369887e-05,3.371545e-05,3.373061e-05,3.373252e-05,3.373136e-05,3.373007e-05,3.371343e-05,3.370058e-05,3.368009e-05,3.364523e-05,3.363261e-05,3.357218e-05,3.356682e-05,3.349991e-05,3.346792e-05,3.341683e-05,3.335086e-05,3.332390e-05,3.322203e-05,3.321778e-05,3.311205e-05,3.307062e-05,3.299472e-05,3.291111e-05,3.287077e-05,3.274086e-05,3.260560e-05,3.256129e-05,3.246558e-05,3.237370e-05,3.232131e-05,3.217927e-05,3.217329e-05,3.202196e-05,3.197906e-05,3.186775e-05,3.177400e-05,3.171104e-05,3.156497e-05,3.155219e-05,3.139153e-05,3.135274e-05,3.122936e-05,3.113799e-05,3.106596e-05,3.092136e-05,3.090159e-05,3.073649e-05,3.070340e-05,3.057087e-05,3.048462e-05,3.040495e-05,3.026547e-05,3.023890e-05,3.007289e-05,3.004634e-05,2.990709e-05,2.982762e-05,2.974163e-05,2.960960e-05,2.957665e-05,2.941227e-05,2.939259e-05,2.924860e-05,2.917683e-05,2.908573e-05,2.896256e-05,2.892377e-05,2.876280e-05,2.874997e-05,2.860289e-05,2.853924e-05,2.844411e-05,2.833053e-05,2.828653e-05,2.813020e-05,2.812397e-05,2.797517e-05,2.791969e-05,2.782149e-05,2.771778e-05,2.766920e-05,2.751833e-05,2.732143e-05,2.712712e-05,2.693548e-05,2.674653e-05,2.656032e-05,2.637688e-05,2.619621e-05,2.601834e-05,2.584327e-05,2.567101e-05,2.550155e-05,2.533488e-05,2.517101e-05,2.500990e-05,2.485155e-05,2.469593e-05,2.454302e-05,2.439280e-05,2.424525e-05,2.410032e-05,2.395800e-05,2.381826e-05,2.368105e-05,2.354635e-05
0.000000e+00,9.143872e-09,2.090768e-08,7.186412e-08,1.638047e-07,2.394711e-07,5.484237e-07,5.652215e-07,1.110510e-06,1.312360e-06,1.950197e-06,2.631425e-06,3.171317e-06,4.700368e-06,4.853017e-06,7.024668e-06,7.615289e-06,9.644119e-06,1.127667e-05,1.263057e-05,1.549995e-05,1.590611e-05,1.940966e-05,2.013342e-05,2.309427e-05,2.506888e-05,2.692167e-05,3.022265e-05,3.085866e-05,3.487515e-05,3.552328e-05,3.894333e-05,4.090679e-05,4.303752e-05,4.631572e-05,4.713421e-05,5.121218e-05,5.169937e-05,5.525265e-05,5.701425e-05,5.923920e-05,6.222422e-05,6.315783e-05,6.699678e-05,6.730015e-05,7.074640e-05,7.221944e-05,7.439895e-05,7.696522e-05,7.794838e-05,8.139017e-05,8.152556e-05,8.472108e-05,8.589262e-05,8.793898e-05,9.006196e-05,9.104267e-05,9.403176e-05,9.690651e-05,9.780240e-05,9.966773e-05,1.013759e-04,1.023167e-04,1.047555e-04,1.048549e-04,1.072844e-04,1.079455e-04,1.096073e-04,1.109508e-04,1.118258e-04,1.137768e-04,1.139424e-04,1.159597e-04,1.164293e-04,1.178802e-04,1.189145e-04,1.197067e-04,1.212384e-04,1.214418e-04,1.230883e-04,1.234072e-04,1.246488e-04,1.254272e-04,1.261261e-04,1.273046e-04,1.275228e-04,1.288414e-04,1.290454e-04,1.300848e-04,1.306556e-04,1.312553e-04,1.321411e-04,1.323556e-04,1.333881e-04,1.335075e-04,1.343552e-04,1.347606e-04,1.352593e-04,1.359056e-04,1.361026e-04,1.368876e-04,1.369479e-04,1.376162e-04,1.378924e-04,1.382908e-04,1.387442e-04,1.389134e-04,1.394860e-04,1.395079e-04,1.400106e-04,1.401881e-04,1.404891e-04,1.407891e-04,1.409234e-04,1.413152e-04,1.416664e-04,1.417705e-04,1.419787e-04,1.421588e-04,1.422536e-04,1.424838e-04,1.424927e-04,1.426977e-04,1.427492e-04,1.428699e-04,1.429582e-04,1.430109e-04,1.431143e-04,1.431221e-04,1.432047e-04,1.432204e-04,1.432601e-04,1.432797e-04,1.432895e-04,1.432949e-04,1.432942e-04,1.432753e-04,1.432688e-04,1.432340e-04,1.432040e-04,1.431713e-04,1.431029e-04,1.430883e-04,1.429860e-04,1.429679e-04,1.428653e-04,1.428012e-04,1.427273e-04,1.426050e-04,1.425728e-04,1.424027e-04,1.423813e-04,1.422178e-04,1.421320e-04,1.420190e-04,1.418590e-04,1.418070e-04,1.415825e-04,1.415641e-04,1.413463e-04,1.412487e-04,1.410991e-04,1.409147e-04,1.408415e-04,1.405742e-04,1.405633e-04,1.402978e-04,1.401961e-04,1.400128e-04,1.398144e-04,1.397198e-04,1.394194e-04,1.390124e-04,1.385945e-04,1.381667e-04,1.377301e-04,1.372857e-04,1.368342e-04,1.363767e-04,1.359139e-04,1.354465e-04,1.349753e-04,1.345010e-04,1.340242e-04,1.335454e-04,1.330652e-04,1.325843e-04,1.321029e-04,1.316217e-04,1.311410e-04,1.306613e-04,1.301829e-04,1.297062e-04,1.292314e-04,1.287590e-04,1.282891e-04
0.000000e+00,1.021472e-09,2.592840e-09,1.001584e-08,2.407468e-08,3.582654e-08,8.392156e-08,8.652285e-08,1.696299e-07,1.996961e-07,2.923651e-07,3.879474e-07,4.617174e-07,6.643805e-07,6.842880e-07,9.658289e-07,1.042679e-06,1.310449e-06,1.531650e-06,1.719526e-06,2.130953e-06,2.190558e-06,2.716516e-06,2.827382e-06,3.286396e-06,3.595754e-06,3.887076e-06,4.405901e-06,4.505565e-06,5.130589e-06,5.230565e-06,5.753109e-06,6.048917e-06,6.366172e-06,6.846246e-06,6.964539e-06,7.544298e-06,7.612473e-06,8.102571e-06,8.340849e-06,8.637301e-06,9.027071e-06,9.147093e-06,9.631092e-06,9.668682e-06,1.008889e-05,1.026465e-05,1.052044e-05,1.081504e-05,1.092599e-05,1.130603e-05,1.132071e-05,1.166120e-05,1.178313e-05,1.199231e-05,1.220416e-05,1.230024e-05,1.258594e-05,1.285042e-05,1.293074e-05,1.309469e-05,1.324089e-05,1.331976e-05,1.351871e-05,1.352665e-05,1.371632e-05,1.376648e-05,1.388976e-05,1.398640e-05,1.404787e-05,1.418057e-05,1.419155e-05,1.432166e-05,1.435095e-05,1.443900e-05,1.449943e-05,1.454436e-05,1.462774e-05,1.463847e-05,1.472203e-05,1.473753e-05,1.479570e-05,1.483030e-05,1.486010e-05,1.490747e-05,1.491583e-05,1.496343e-05,1.497033e-05,1.500344e-05,1.502010e-05,1.503635e-05,1.505787e-05,1.506262e-05,1.508268e-05,1.508469e-05,1.509695e-05,1.510150e-05,1.510582e-05,1.510916e-05,1.510964e-05,1.510876e-05,1.510850e-05,1.510350e-05,1.510023e-05,1.509415e-05,1.508506e-05,1.508101e-05,1.506434e-05,1.506360e-05,1.504438e-05,1.503643e-05,1.502137e-05,1.500409e-05,1.499553e-05,1.496707e-05,1.493618e-05,1.492582e-05,1.490305e-05,1.488074e-05,1.486784e-05,1.483223e-05,1.483071e-05,1.479183e-05,1.478064e-05,1.475132e-05,1.472629e-05,1.470932e-05,1.466948e-05,1.466596e-05,1.462135e-05,1.461047e-05,1.457561e-05,1.454954e-05,1.452884e-05,1.448690e-05,1.448113e-05,1.443258e-05,1.442277e-05,1.438327e-05,1.435735e-05,1.433328e-05,1.429082e-05,1.428269e-05,1.423157e-05,1.422334e-05,1.417998e-05,1.415508e-05,1.412800e-05,1.408616e-05,1.407567e-05,1.402305e-05,1.401672e-05,1.397020e-05,1.394688e-05,1.391715e-05,1.387674e-05,1.386397e-05,1.381068e-05,1.380641e-05,1.375733e-05,1.373598e-05,1.370396e-05,1.366554e-05,1.365060e-05,1.359728e-05,1.359515e-05,1.354404e-05,1.352490e-05,1.349090e-05,1.345484e-05,1.343790e-05,1.338504e-05,1.331555e-05,1.324642e-05,1.317770e-05,1.310942e-05,1.304162e-05,1.297434e-05,1.290760e-05,1.284144e-05,1.277588e-05,1.271094e-05,1.264664e-05,1.258300e-05,1.252003e-05,1.245775e-05,1.239617e-05,1.233530e-05,1.227515e-05,1.221572e-05,1.215703e-05,1.209907e-05,1.204184e-05,1.198536e-05,1.192963e-05,1.187464e-05
0.000000e+00,1.251067e-09,3.011314e-09,1.091235e-08,2.539602e-08,3.733053e-08,8.556338e-08,8.815673e-08,1.706438e-07,2.003870e-07,2.919531e-07,3.864030e-07,4.593895e-07,6.605867e-07,6.804140e-07,9.620976e-07,1.039370e-06,1.309561e-06,1.533419e-06,1.723663e-06,2.139746e-06,2.199929e-06,2.730241e-06,2.841990e-06,3.305619e-06,3.619848e-06,3.917827e-06,4.455257e-06,4.559674e-06,5.224785e-06,5.332967e-06,5.907323e-06,6.239510e-06,6.601805e-06,7.162482e-06,7.303024e-06,8.006041e-06,8.090300e-06,8.706211e-06,9.012262e-06,9.399228e-06,9.918707e-06,1.008117e-05,1.074852e-05,1.080118e-05,1.139822e-05,1.165255e-05,1.202765e-05,1.246705e-05,1.263464e-05,1.321746e-05,1.324025e-05,1.377478e-05,1.396897e-05,1.430564e-05,1.465120e-05,1.480945e-05,1.528588e-05,1.573492e-05,1.587285e-05,1.615675e-05,1.641262e-05,1.655176e-05,1.690625e-05,1.692050e-05,1.726364e-05,1.735524e-05,1.758198e-05,1.776142e-05,1.787636e-05,1.812682e-05,1.814770e-05,1.839697e-05,1.845362e-05,1.862515e-05,1.874409e-05,1.883323e-05,1.900050e-05,1.902220e-05,1.919305e-05,1.922513e-05,1.934674e-05,1.942019e-05,1.948421e-05,1.958784e-05,1.960640e-05,1.971418e-05,1.973014e-05,1.980841e-05,1.984907e-05,1.988992e-05,1.994649e-05,1.995949e-05,2.001788e-05,2.002417e-05,2.006581e-05,2.008376e-05,2.010396e-05,2.012681e-05,2.013298e-05,2.015349e-05,2.015478e-05,2.016606e-05,2.016899e-05,2.017125e-05,2.017072e-05,2.016959e-05,2.016156e-05,2.016111e-05,2.014763e-05,2.014125e-05,2.012823e-05,2.011214e-05,2.010379e-05,2.007468e-05,2.004127e-05,2.002973e-05,2.000391e-05,1.997807e-05,1.996292e-05,1.992043e-05,1.991859e-05,1.987122e-05,1.985745e-05,1.982108e-05,1.978976e-05,1.976841e-05,1.971792e-05,1.971344e-05,1.965640e-05,1.964243e-05,1.959750e-05,1.956377e-05,1.953692e-05,1.948237e-05,1.947484e-05,1.941145e-05,1.939862e-05,1.934689e-05,1.931290e-05,1.928130e-05,1.922553e-05,1.921484e-05,1.914763e-05,1.913681e-05,1.907978e-05,1.904702e-05,1.901141e-05,1.895641e-05,1.894263e-05,1.887353e-05,1.886522e-05,1.880420e-05,1.877364e-05,1.873472e-05,1.868187e-05,1.866518e-05,1.859565e-05,1.859009e-05,1.852619e-05,1.849844e-05,1.845686e-05,1.840707e-05,1.838773e-05,1.831885e-05,1.831610e-05,1.825027e-05,1.822566e-05,1.818203e-05,1.813584e-05,1.811417e-05,1.804674e-05,1.795843e-05,1.787100e-05,1.778451e-05,1.769901e-05,1.761455e-05,1.753118e-05,1.744895e-05,1.736787e-05,1.728798e-05,1.720930e-05,1.713185e-05,1.705565e-05,1.698071e-05,1.690704e-05,1.683464e-05,1.676351e-05,1.669367e-05,1.662510e-05,1.655780e-05,1.649177e-05,1.642701e-05,1.636349e-05,1.630123e-05,1.624019e-05
0.000000e+00,2.766752e-09,6.383164e-09,2.204092e-08,5.011362e-08,7.306689e-08,1.657853e-07,1.707898e-07,3.318056e-07,3.908496e-07,5.760218e-07,7.720094e-07,9.263389e-07,1.359697e-06,1.402694e-06,2.009608e-06,2.173159e-06,2.730079e-06,3.172726e-06,3.536139e-06,4.295580e-06,4.401927e-06,5.307966e-06,5.492683e-06,6.240036e-06,6.731282e-06,7.187194e-06,7.987771e-06,8.140335e-06,9.091447e-06,9.242941e-06,1.003326e-05,1.048006e-05,1.095915e-05,1.168439e-05,1.186319e-05,1.274016e-05,1.284336e-05,1.358568e-05,1.394679e-05,1.439617e-05,1.498699e-05,1.516888e-05,1.590191e-05,1.595880e-05,1.659409e-05,1.685939e-05,1.724492e-05,1.768795e-05,1.785449e-05,1.842338e-05,1.844530e-05,1.895260e-05,1.913366e-05,1.944348e-05,1.975610e-05,1.989746e-05,2.031624e-05,2.070162e-05,2.081820e-05,2.105548e-05,2.126627e-05,2.137969e-05,2.166479e-05,2.167613e-05,2.194663e-05,2.201796e-05,2.219294e-05,2.232983e-05,2.241677e-05,2.260421e-05,2.261971e-05,2.280330e-05,2.284464e-05,2.296895e-05,2.305439e-05,2.311801e-05,2.323645e-05,2.325172e-05,2.337125e-05,2.339354e-05,2.347765e-05,2.352814e-05,2.357194e-05,2.364245e-05,2.365503e-05,2.372776e-05,2.373849e-05,2.379092e-05,2.381805e-05,2.384523e-05,2.388276e-05,2.389136e-05,2.392991e-05,2.393405e-05,2.396145e-05,2.397324e-05,2.398649e-05,2.400148e-05,2.400552e-05,2.401898e-05,2.401983e-05,2.402727e-05,2.402922e-05,2.403076e-05,2.403051e-05,2.402981e-05,2.402474e-05,2.402445e-05,2.401583e-05,2.401173e-05,2.400336e-05,2.399298e-05,2.398759e-05,2.396876e-05,2.394707e-05,2.393956e-05,2.392274e-05,2.390587e-05,2.389595e-05,2.386809e-05,2.386689e-05,2.383570e-05,2.382661e-05,2.380255e-05,2.378178e-05,2.376758e-05,2.373391e-05,2.373092e-05,2.369270e-05,2.368331e-05,2.365303e-05,2.363023e-05,2.361203e-05,2.357492e-05,2.356978e-05,2.352641e-05,2.351760e-05,2.348198e-05,2.345849e-05,2.343659e-05,2.339778e-05,2.339032e-05,2.334324e-05,2.333563e-05,2.329542e-05,2.327223e-05,2.324693e-05,2.320770e-05,2.319784e-05,2.314819e-05,2.314220e-05,2.309805e-05,2.307585e-05,2.304747e-05,2.300877e-05,2.299650e-05,2.294519e-05,2.294107e-05,2.289358e-05,2.287286e-05,2.284171e-05,2.280423e-05,2.278963e-05,2.273736e-05,2.273527e-05,2.268495e-05,2.266605e-05,2.263243e-05,2.259667e-05,2.257983e-05,2.252718e-05,2.245765e-05,2.238815e-05,2.231874e-05,2.224945e-05,2.218035e-05,2.211148e-05,2.204288e-05,2.197459e-05,2.190664e-05,2.183907e-05,2.177192e-05,2.170520e-05,2.163895e-05,2.157319e-05,2.150793e-05,2.144322e-05,2.137905e-05,2.131545e-05,2.125243e-05,2.119001e-05,2.112820e-05,2.106701e-05,2.100645e-05,2.094653e-05
0.000000e+00,2.137937e-08,6.318502e-08,3.147925e-07,9.076080e-07,1.471020e-06,4.149674e-06,4.307037e-06,9.781991e-06,1.193001e-05,1.895500e-05,2.670501e-05,3.296482e-05,5.114118e-05,5.299200e-05,8.014046e-05,8.781548e-05,1.152269e-04,1.384972e-04,1.586130e-04,2.035937e-04,2.102066e-04,2.695803e-04,2.823351e-04,3.360961e-04,3.732572e-04,4.089920e-04,4.745470e-04,4.874349e-04,5.705518e-04,5.842248e-04,6.574511e-04,7.002439e-04,7.472404e-04,8.205618e-04,8.390418e-04,9.320074e-04,9.432028e-04,1.025334e-03,1.066316e-03,1.118273e-03,1.188228e-03,1.210146e-03,1.300346e-03,1.307474e-03,1.388345e-03,1.422825e-03,1.473695e-03,1.533297e-03,1.556027e-03,1.635052e-03,1.638141e-03,1.710549e-03,1.736833e-03,1.782365e-03,1.829048e-03,1.850407e-03,1.914636e-03,1.975054e-03,1.993590e-03,2.031707e-03,2.066021e-03,2.084668e-03,2.132131e-03,2.134038e-03,2.179937e-03,2.192185e-03,2.222500e-03,2.246497e-03,2.261873e-03,2.295409e-03,2.298208e-03,2.331662e-03,2.339280e-03,2.362391e-03,2.378468e-03,2.390552e-03,2.413330e-03,2.416297e-03,2.439775e-03,2.444211e-03,2.461129e-03,2.471439e-03,2.480496e-03,2.495327e-03,2.498009e-03,2.513791e-03,2.516164e-03,2.527961e-03,2.534222e-03,2.540628e-03,2.549752e-03,2.551899e-03,2.561870e-03,2.562983e-03,2.570632e-03,2.574127e-03,2.578272e-03,2.583377e-03,2.584870e-03,2.590498e-03,2.590909e-03,2.595228e-03,2.596883e-03,2.599123e-03,2.601444e-03,2.602243e-03,2.604643e-03,2.604725e-03,2.606377e-03,2.606847e-03,2.607491e-03,2.607918e-03,2.608030e-03,2.608037e-03,2.607549e-03,2.607294e-03,2.606602e-03,2.605772e-03,2.605231e-03,2.603543e-03,2.603466e-03,2.601335e-03,2.600677e-03,2.598867e-03,2.597235e-03,2.596087e-03,2.593272e-03,2.593016e-03,2.589679e-03,2.588840e-03,2.586094e-03,2.583986e-03,2.582282e-03,2.578752e-03,2.578259e-03,2.574043e-03,2.573178e-03,2.569649e-03,2.567299e-03,2.565092e-03,2.561149e-03,2.560386e-03,2.555543e-03,2.554756e-03,2.550575e-03,2.548149e-03,2.545493e-03,2.541353e-03,2.540309e-03,2.535031e-03,2.534392e-03,2.529670e-03,2.527287e-03,2.524234e-03,2.520057e-03,2.518731e-03,2.513168e-03,2.512721e-03,2.507554e-03,2.505295e-03,2.501895e-03,2.497795e-03,2.496196e-03,2.490466e-03,2.490236e-03,2.484708e-03,2.482629e-03,2.478928e-03,2.474988e-03,2.473132e-03,2.467323e-03,2.459645e-03,2.451962e-03,2.444285e-03,2.436620e-03,2.428975e-03,2.421357e-03,2.413772e-03,2.406226e-03,2.398724e-03,2.391270e-03,2.383870e-03,2.376527e-03,2.369245e-03,2.362027e-03,2.354876e-03,2.347795e-03,2.340786e-03,2.333851e-03,2.326992e-03,2.320212e-03,2.313511e-03,2.306891e-03,2.300353e-03,2.293899e-03
0.000000e+00,3.937472e-09,1.168249e-08,5.871074e-08,1.707857e-07,2.783036e-07,7.978891e-07,8.287568e-07,1.920659e-06,2.357207e-06,3.811284e-06,5.455824e-06,6.810974e-06,1.086165e-05,1.128276e-05,1.761480e-05,1.945146e-05,2.614679e-05,3.196617e-05,3.707338e-05,4.867427e-05,5.039505e-05,6.594586e-05,6.930100e-05,8.345748e-05,9.323493e-05,1.026161e-04,1.197457e-04,1.230988e-04,1.445926e-04,1.481055e-04,1.668041e-04,1.776402e-04,1.894627e-04,2.077450e-04,2.123219e-04,2.351594e-04,2.378888e-04,2.577772e-04,2.676136e-04,2.800007e-04,2.965330e-04,3.016788e-04,3.226828e-04,3.243306e-04,3.429059e-04,3.507565e-04,3.622619e-04,3.756230e-04,3.806838e-04,3.981225e-04,3.987991e-04,4.145452e-04,4.202046e-04,4.299333e-04,4.398032e-04,4.442816e-04,4.575954e-04,4.698894e-04,4.736117e-04,4.811865e-04,4.879065e-04,4.915154e-04,5.005516e-04,5.009099e-04,5.094069e-04,5.116306e-04,5.170460e-04,5.212348e-04,5.238685e-04,5.294605e-04,5.299169e-04,5.352340e-04,5.364060e-04,5.398626e-04,5.421698e-04,5.438456e-04,5.468509e-04,5.472262e-04,5.500455e-04,5.505456e-04,5.523431e-04,5.533444e-04,5.541570e-04,5.553330e-04,5.555229e-04,5.564750e-04,5.565912e-04,5.570457e-04,5.571931e-04,5.572652e-04,5.572072e-04,5.571621e-04,5.567632e-04,5.566967e-04,5.560938e-04,5.557196e-04,5.551772e-04,5.543289e-04,5.540355e-04,5.526892e-04,5.525732e-04,5.511572e-04,5.504965e-04,5.494574e-04,5.481389e-04,5.476062e-04,5.456189e-04,5.455368e-04,5.435097e-04,5.427231e-04,5.412917e-04,5.397276e-04,5.389772e-04,5.365774e-04,5.341026e-04,5.332965e-04,5.315626e-04,5.299068e-04,5.289662e-04,5.264281e-04,5.263215e-04,5.236361e-04,5.228779e-04,5.209170e-04,5.192720e-04,5.181705e-04,5.156246e-04,5.154025e-04,5.126184e-04,5.119484e-04,5.098232e-04,5.082547e-04,5.070213e-04,5.045536e-04,5.042171e-04,5.014142e-04,5.008541e-04,4.986161e-04,4.971641e-04,4.958260e-04,4.934907e-04,4.930468e-04,4.902811e-04,4.898400e-04,4.875313e-04,4.862177e-04,4.847996e-04,4.826285e-04,4.820878e-04,4.793978e-04,4.790766e-04,4.767312e-04,4.755656e-04,4.740893e-04,4.720988e-04,4.714735e-04,4.688848e-04,4.686789e-04,4.663243e-04,4.653082e-04,4.637928e-04,4.619886e-04,4.612912e-04,4.588200e-04,4.587218e-04,4.563798e-04,4.555091e-04,4.539712e-04,4.523516e-04,4.515946e-04,4.492502e-04,4.462054e-04,4.432178e-04,4.402876e-04,4.374149e-04,4.345997e-04,4.318418e-04,4.291411e-04,4.264971e-04,4.239095e-04,4.213777e-04,4.189013e-04,4.164795e-04,4.141117e-04,4.117973e-04,4.095353e-04,4.073251e-04,4.051659e-04,4.030568e-04,4.009970e-04,3.989855e-04,3.970216e-04,3.951043e-04,3.932328e-04,3.914062e-04
0.000000e+00,4.169690e-09,9.966663e-09,3.570622e-08,8.242170e-08,1.207083e-07,2.748053e-07,2.830822e-07,5.468095e-07,6.422803e-07,9.378206e-07,1.245318e-06,1.484660e-06,2.150668e-06,2.216679e-06,3.157767e-06,3.416037e-06,4.314704e-06,5.050150e-06,5.666193e-06,6.979380e-06,7.165169e-06,8.755514e-06,9.079981e-06,1.038774e-05,1.124020e-05,1.202455e-05,1.338345e-05,1.363954e-05,1.521410e-05,1.546133e-05,1.673485e-05,1.744271e-05,1.819199e-05,1.930697e-05,1.957829e-05,2.088857e-05,2.104052e-05,2.211937e-05,2.263517e-05,2.326866e-05,2.408715e-05,2.433576e-05,2.532101e-05,2.539633e-05,2.622577e-05,2.656559e-05,2.705216e-05,2.760012e-05,2.780285e-05,2.848102e-05,2.850669e-05,2.909019e-05,2.929331e-05,2.963408e-05,2.996862e-05,3.011658e-05,3.054158e-05,3.091296e-05,3.102111e-05,3.123456e-05,3.141597e-05,3.151007e-05,3.173446e-05,3.174300e-05,3.193674e-05,3.198441e-05,3.209447e-05,3.217308e-05,3.221918e-05,3.230716e-05,3.231367e-05,3.238056e-05,3.239277e-05,3.242225e-05,3.243545e-05,3.244102e-05,3.244022e-05,3.243893e-05,3.241791e-05,3.241159e-05,3.237972e-05,3.235362e-05,3.232600e-05,3.226996e-05,3.225823e-05,3.217779e-05,3.216383e-05,3.208595e-05,3.203816e-05,3.198385e-05,3.189551e-05,3.187257e-05,3.175306e-05,3.173821e-05,3.162622e-05,3.156830e-05,3.149287e-05,3.138762e-05,3.135374e-05,3.120953e-05,3.119779e-05,3.106085e-05,3.100026e-05,3.090828e-05,3.079631e-05,3.075234e-05,3.059351e-05,3.058710e-05,3.043222e-05,3.037364e-05,3.026889e-05,3.015684e-05,3.010387e-05,2.993750e-05,2.977008e-05,2.971633e-05,2.960189e-05,2.949397e-05,2.943319e-05,2.927098e-05,2.926422e-05,2.909518e-05,2.904786e-05,2.892626e-05,2.882505e-05,2.875765e-05,2.860294e-05,2.858951e-05,2.842198e-05,2.838187e-05,2.825519e-05,2.816216e-05,2.808926e-05,2.794405e-05,2.792431e-05,2.776044e-05,2.772780e-05,2.759773e-05,2.751360e-05,2.743626e-05,2.730164e-05,2.727610e-05,2.711733e-05,2.709206e-05,2.695999e-05,2.688500e-05,2.680415e-05,2.668057e-05,2.664984e-05,2.649710e-05,2.647888e-05,2.634598e-05,2.628000e-05,2.619650e-05,2.608400e-05,2.604868e-05,2.590256e-05,2.589094e-05,2.575815e-05,2.570087e-05,2.561546e-05,2.551380e-05,2.547451e-05,2.533531e-05,2.532978e-05,2.519787e-05,2.514882e-05,2.506218e-05,2.497092e-05,2.492826e-05,2.479610e-05,2.462435e-05,2.445566e-05,2.429001e-05,2.412741e-05,2.396781e-05,2.381121e-05,2.365756e-05,2.350686e-05,2.335905e-05,2.321412e-05,2.307202e-05,2.293272e-05,2.279618e-05,2.266236e-05,2.253123e-05,2.240273e-05,2.227684e-05,2.215351e-05,2.203269e-05,2.191434e-05,2.179843e-05,2.168491e-05,2.157374e-05,2.146487e-05
0.000000e+00,1.042278e-09,2.403962e-09,8.320332e-09,1.895035e-08,2.762977e-08,6.237031e-08,6.422747e-08,1.228824e-07,1.438579e-07,2.079207e-07,2.732529e-07,3.232569e-07,4.591422e-07,4.723912e-07,6.583232e-07,7.086932e-07,8.832977e-07,1.026795e-06,1.148382e-06,1.414543e-06,1.453166e-06,1.795954e-06,1.868863e-06,2.174267e-06,2.384086e-06,2.585231e-06,2.953397e-06,3.025726e-06,3.492428e-06,3.569300e-06,3.981823e-06,4.223722e-06,4.490250e-06,4.908177e-06,5.013960e-06,5.549182e-06,5.614005e-06,6.092199e-06,6.332664e-06,6.639418e-06,7.056007e-06,7.187428e-06,7.733054e-06,7.776512e-06,8.273393e-06,8.487453e-06,8.805836e-06,9.183005e-06,9.328088e-06,9.838163e-06,9.858289e-06,1.033439e-05,1.050936e-05,1.081538e-05,1.113317e-05,1.128003e-05,1.172749e-05,1.215714e-05,1.229080e-05,1.256858e-05,1.282223e-05,1.296158e-05,1.332145e-05,1.333607e-05,1.369213e-05,1.378854e-05,1.402994e-05,1.422398e-05,1.434978e-05,1.462849e-05,1.465203e-05,1.493711e-05,1.500303e-05,1.520551e-05,1.534871e-05,1.545774e-05,1.566675e-05,1.569434e-05,1.591589e-05,1.595844e-05,1.612296e-05,1.622511e-05,1.631614e-05,1.646810e-05,1.649601e-05,1.666314e-05,1.668874e-05,1.681812e-05,1.688836e-05,1.696150e-05,1.706823e-05,1.709384e-05,1.721565e-05,1.722959e-05,1.732747e-05,1.737364e-05,1.742980e-05,1.750151e-05,1.752311e-05,1.760787e-05,1.761430e-05,1.768454e-05,1.771304e-05,1.775354e-05,1.779870e-05,1.781528e-05,1.787016e-05,1.787221e-05,1.791855e-05,1.793445e-05,1.796082e-05,1.798623e-05,1.799730e-05,1.802833e-05,1.805422e-05,1.806147e-05,1.807527e-05,1.808632e-05,1.809175e-05,1.810354e-05,1.810395e-05,1.811210e-05,1.811370e-05,1.811647e-05,1.811737e-05,1.811728e-05,1.811507e-05,1.811475e-05,1.810909e-05,1.810729e-05,1.810050e-05,1.809447e-05,1.808916e-05,1.807705e-05,1.807525e-05,1.805895e-05,1.805542e-05,1.804042e-05,1.802994e-05,1.801980e-05,1.800097e-05,1.799724e-05,1.797287e-05,1.796882e-05,1.794684e-05,1.793378e-05,1.791925e-05,1.789615e-05,1.789023e-05,1.785989e-05,1.785616e-05,1.782832e-05,1.781407e-05,1.779564e-05,1.777010e-05,1.776192e-05,1.772727e-05,1.772446e-05,1.769176e-05,1.767733e-05,1.765547e-05,1.762890e-05,1.761847e-05,1.758084e-05,1.757933e-05,1.754265e-05,1.752877e-05,1.750395e-05,1.747738e-05,1.746481e-05,1.742528e-05,1.737259e-05,1.731943e-05,1.726590e-05,1.721209e-05,1.715811e-05,1.710402e-05,1.704991e-05,1.699585e-05,1.694189e-05,1.688810e-05,1.683454e-05,1.678125e-05,1.672827e-05,1.667566e-05,1.662343e-05,1.657164e-05,1.652031e-05,1.646947e-05,1.641914e-05,1.636935e-05,1.632012e-05,1.627146e-05,1.622338e-05,1.617592e-05
0.000000e+00,1.551729e-09,3.549330e-09,1.216227e-08,2.755211e-08,4.008787e-08,9.020992e-08,9.289017e-08,1.777239e-07,2.081717e-07,3.015885e-07,3.975326e-07,4.714108e-07,6.738255e-07,6.936651e-07,9.730430e-07,1.048782e-06,1.310242e-06,1.522859e-06,1.700853e-06,2.082652e-06,2.137137e-06,2.610757e-06,2.709278e-06,3.114131e-06,3.385388e-06,3.640549e-06,4.096103e-06,4.183954e-06,4.738756e-06,4.828230e-06,5.299771e-06,5.569845e-06,5.862219e-06,6.310278e-06,6.421763e-06,6.974544e-06,7.040259e-06,7.517208e-06,7.752025e-06,8.046914e-06,8.439366e-06,8.561321e-06,9.058563e-06,9.097555e-06,9.537212e-06,9.723222e-06,9.996234e-06,1.031418e-05,1.043494e-05,1.085295e-05,1.086924e-05,1.125012e-05,1.138800e-05,1.162651e-05,1.187072e-05,1.198238e-05,1.231810e-05,1.263415e-05,1.273122e-05,1.293109e-05,1.311139e-05,1.320954e-05,1.346007e-05,1.347016e-05,1.371364e-05,1.377884e-05,1.394067e-05,1.406929e-05,1.415196e-05,1.433305e-05,1.434821e-05,1.453010e-05,1.457170e-05,1.469832e-05,1.478679e-05,1.485352e-05,1.497984e-05,1.499634e-05,1.512741e-05,1.515227e-05,1.524732e-05,1.530545e-05,1.535664e-05,1.544070e-05,1.545594e-05,1.554572e-05,1.555924e-05,1.562651e-05,1.566223e-05,1.569878e-05,1.575078e-05,1.576300e-05,1.581960e-05,1.582590e-05,1.586900e-05,1.588856e-05,1.591160e-05,1.593967e-05,1.594779e-05,1.597792e-05,1.598008e-05,1.600233e-05,1.601057e-05,1.602136e-05,1.603189e-05,1.603530e-05,1.604446e-05,1.604474e-05,1.604912e-05,1.604974e-05,1.604954e-05,1.604753e-05,1.604596e-05,1.603864e-05,1.602779e-05,1.602361e-05,1.601363e-05,1.600293e-05,1.599637e-05,1.597706e-05,1.597620e-05,1.595329e-05,1.594641e-05,1.592783e-05,1.591140e-05,1.589998e-05,1.587238e-05,1.586989e-05,1.583771e-05,1.582969e-05,1.580359e-05,1.578367e-05,1.576764e-05,1.573461e-05,1.573001e-05,1.569081e-05,1.568279e-05,1.565015e-05,1.562846e-05,1.560813e-05,1.557187e-05,1.556487e-05,1.552045e-05,1.551324e-05,1.547497e-05,1.545278e-05,1.542851e-05,1.539069e-05,1.538115e-05,1.533297e-05,1.532713e-05,1.528404e-05,1.526229e-05,1.523443e-05,1.519632e-05,1.518421e-05,1.513344e-05,1.512936e-05,1.508218e-05,1.506155e-05,1.503048e-05,1.499301e-05,1.497839e-05,1.492596e-05,1.492386e-05,1.487325e-05,1.485421e-05,1.482029e-05,1.478416e-05,1.476713e-05,1.471380e-05,1.464322e-05,1.457249e-05,1.450170e-05,1.443091e-05,1.436018e-05,1.428957e-05,1.421914e-05,1.414894e-05,1.407901e-05,1.400939e-05,1.394012e-05,1.387125e-05,1.380280e-05,1.373480e-05,1.366728e-05,1.360027e-05,1.353379e-05,1.346786e-05,1.340249e-05,1.333771e-05,1.327353e-05,1.320996e-05,1.314702e-05,1.308471e-05
0.000000e+00,4.370827e-10,1.257309e-09,5.940466e-09,1.637739e-08,2.593644e-08,6.924282e-08,7.171802e-08,1.552913e-07,1.871632e-07,2.892603e-07,3.993495e-07,4.869539e-07,7.369058e-07,7.620755e-07,1.126973e-06,1.228896e-06,1.589106e-06,1.890427e-06,2.147625e-06,2.711766e-06,2.793437e-06,3.512744e-06,3.664113e-06,4.290786e-06,4.713978e-06,5.113899e-06,5.831319e-06,5.970084e-06,6.848919e-06,6.991010e-06,7.741303e-06,8.172077e-06,8.639253e-06,9.356891e-06,9.535778e-06,1.042482e-05,1.053074e-05,1.130119e-05,1.168164e-05,1.216058e-05,1.280013e-05,1.299942e-05,1.381494e-05,1.387911e-05,1.460500e-05,1.491353e-05,1.536806e-05,1.590016e-05,1.610310e-05,1.680955e-05,1.683721e-05,1.748719e-05,1.772410e-05,1.813609e-05,1.856109e-05,1.875658e-05,1.934915e-05,1.991447e-05,2.008973e-05,2.045328e-05,2.078461e-05,2.096644e-05,2.143576e-05,2.145483e-05,2.191936e-05,2.204528e-05,2.236097e-05,2.261531e-05,2.278058e-05,2.314799e-05,2.317912e-05,2.355751e-05,2.364542e-05,2.391662e-05,2.410963e-05,2.425732e-05,2.454258e-05,2.458045e-05,2.488682e-05,2.494615e-05,2.517719e-05,2.532212e-05,2.545232e-05,2.567217e-05,2.571292e-05,2.595967e-05,2.599790e-05,2.619322e-05,2.630082e-05,2.641420e-05,2.658233e-05,2.662320e-05,2.682079e-05,2.684376e-05,2.700751e-05,2.708635e-05,2.718387e-05,2.731128e-05,2.735036e-05,2.750746e-05,2.751963e-05,2.765559e-05,2.771243e-05,2.779519e-05,2.789065e-05,2.792666e-05,2.805037e-05,2.805517e-05,2.816670e-05,2.820683e-05,2.827597e-05,2.834643e-05,2.837854e-05,2.847470e-05,2.856475e-05,2.859232e-05,2.864897e-05,2.869995e-05,2.872765e-05,2.879818e-05,2.880102e-05,2.886933e-05,2.888759e-05,2.893283e-05,2.896870e-05,2.899171e-05,2.904201e-05,2.904621e-05,2.909651e-05,2.910798e-05,2.914280e-05,2.916705e-05,2.918528e-05,2.921963e-05,2.922411e-05,2.925945e-05,2.926611e-05,2.929146e-05,2.930685e-05,2.932030e-05,2.934218e-05,2.934611e-05,2.936901e-05,2.937242e-05,2.938915e-05,2.939787e-05,2.940665e-05,2.941882e-05,2.942162e-05,2.943418e-05,2.943553e-05,2.944443e-05,2.944824e-05,2.945249e-05,2.945720e-05,2.945844e-05,2.946239e-05,2.946262e-05,2.946442e-05,2.946471e-05,2.946462e-05,2.946368e-05,2.946307e-05,2.945986e-05,2.945970e-05,2.945505e-05,2.945294e-05,2.944872e-05,2.944359e-05,2.944095e-05,2.943178e-05,2.941768e-05,2.940141e-05,2.938311e-05,2.936290e-05,2.934091e-05,2.931725e-05,2.929201e-05,2.926531e-05,2.923723e-05,2.920787e-05,2.917732e-05,2.914564e-05,2.911293e-05,2.907925e-05,2.904467e-05,2.900926e-05,2.897308e-05,2.893619e-05,2.889865e-05,2.886051e-05,2.882182e-05,2.878264e-05,2.874299e-05,2.870294e-05
0.000000e+00,6.838624e-10,1.898393e-09,8.407833e-09,2.205274e-08,3.408560e-08,8.614454e-08,8.904349e-08,1.842257e-07,2.195430e-07,3.303263e-07,4.468705e-07,5.380311e-07,7.926608e-07,8.179506e-07,1.179649e-06,1.279434e-06,1.629505e-06,1.920635e-06,2.168838e-06,2.714915e-06,2.794346e-06,3.500217e-06,3.650459e-06,4.279865e-06,4.712215e-06,5.126590e-06,5.884749e-06,6.033652e-06,6.994165e-06,7.152336e-06,8.001038e-06,8.498671e-06,9.046989e-06,9.906926e-06,1.012464e-05,1.122660e-05,1.136013e-05,1.234566e-05,1.284165e-05,1.347484e-05,1.433573e-05,1.460757e-05,1.573774e-05,1.582787e-05,1.685975e-05,1.730514e-05,1.796862e-05,1.875636e-05,1.905993e-05,2.012986e-05,2.017216e-05,2.117517e-05,2.154493e-05,2.219318e-05,2.286869e-05,2.318168e-05,2.413894e-05,2.506367e-05,2.535256e-05,2.595496e-05,2.650756e-05,2.681223e-05,2.760291e-05,2.763517e-05,2.842374e-05,2.863840e-05,2.917810e-05,2.961444e-05,2.989861e-05,3.053200e-05,3.058576e-05,3.124015e-05,3.139241e-05,3.186250e-05,3.219732e-05,3.245361e-05,3.294860e-05,3.301431e-05,3.354550e-05,3.364828e-05,3.404811e-05,3.429848e-05,3.452307e-05,3.490138e-05,3.497136e-05,3.539391e-05,3.545920e-05,3.579170e-05,3.597412e-05,3.616567e-05,3.644832e-05,3.651675e-05,3.684587e-05,3.688393e-05,3.715392e-05,3.728301e-05,3.744178e-05,3.764759e-05,3.771032e-05,3.796037e-05,3.797960e-05,3.819273e-05,3.828090e-05,3.840820e-05,3.855330e-05,3.860752e-05,3.879145e-05,3.879850e-05,3.896068e-05,3.901814e-05,3.911590e-05,3.921378e-05,3.925777e-05,3.938692e-05,3.950396e-05,3.953896e-05,3.960949e-05,3.967124e-05,3.970406e-05,3.978505e-05,3.978822e-05,3.986249e-05,3.988158e-05,3.992737e-05,3.996198e-05,3.998333e-05,4.002734e-05,4.003084e-05,4.007034e-05,4.007867e-05,4.010224e-05,4.011695e-05,4.012696e-05,4.014308e-05,4.014488e-05,4.015637e-05,4.015793e-05,4.016178e-05,4.016231e-05,4.016146e-05,4.015699e-05,4.015572e-05,4.014488e-05,4.014269e-05,4.012924e-05,4.012010e-05,4.010907e-05,4.008985e-05,4.008464e-05,4.005622e-05,4.005255e-05,4.002405e-05,4.000877e-05,3.998837e-05,3.995904e-05,3.994940e-05,3.990735e-05,3.990386e-05,3.986243e-05,3.984370e-05,3.981484e-05,3.977901e-05,3.976475e-05,3.971235e-05,3.971021e-05,3.965780e-05,3.963767e-05,3.960127e-05,3.956177e-05,3.954290e-05,3.948285e-05,3.940122e-05,3.931720e-05,3.923106e-05,3.914306e-05,3.905345e-05,3.896246e-05,3.887030e-05,3.877718e-05,3.868326e-05,3.858874e-05,3.849377e-05,3.839849e-05,3.830305e-05,3.820758e-05,3.811220e-05,3.801701e-05,3.792212e-05,3.782761e-05,3.773359e-05,3.764012e-05,3.754728e-05,3.745514e-05,3.736375e-05,3.727318e-05
0.000000e+00,4.423427e-09,1.069448e-08,3.906630e-08,9.151170e-08,1.349626e-07,3.117157e-07,3.212536e-07,6.255710e-07,7.355649e-07,1.074440e-06,1.423842e-06,1.693451e-06,2.433802e-06,2.506485e-06,3.532748e-06,3.812130e-06,4.782283e-06,5.579799e-06,6.254921e-06,7.730335e-06,7.944201e-06,9.841031e-06,1.024440e-05,1.193479e-05,1.309737e-05,1.421321e-05,1.625956e-05,1.666223e-05,1.926600e-05,1.969583e-05,2.200721e-05,2.336644e-05,2.486746e-05,2.722860e-05,2.782773e-05,3.086886e-05,3.123833e-05,3.397196e-05,3.535222e-05,3.711880e-05,3.952900e-05,4.029213e-05,4.347587e-05,4.373057e-05,4.665529e-05,4.792283e-05,4.981711e-05,5.207602e-05,5.294949e-05,5.604203e-05,5.616477e-05,5.908576e-05,6.016804e-05,6.207303e-05,6.406882e-05,6.499747e-05,6.785384e-05,7.063787e-05,7.151290e-05,7.334616e-05,7.503852e-05,7.597618e-05,7.842566e-05,7.852610e-05,8.099464e-05,8.167115e-05,8.338112e-05,8.477350e-05,8.568530e-05,8.773260e-05,8.790735e-05,9.004779e-05,9.054943e-05,9.210740e-05,9.322588e-05,9.408729e-05,9.576471e-05,9.598881e-05,9.781349e-05,9.816934e-05,9.956286e-05,1.004433e-04,1.012385e-04,1.025902e-04,1.028420e-04,1.043754e-04,1.046143e-04,1.058402e-04,1.065196e-04,1.072385e-04,1.083104e-04,1.085720e-04,1.098426e-04,1.099909e-04,1.110521e-04,1.115655e-04,1.122025e-04,1.130384e-04,1.132956e-04,1.143332e-04,1.144139e-04,1.153171e-04,1.156960e-04,1.162490e-04,1.168888e-04,1.171308e-04,1.179640e-04,1.179964e-04,1.187505e-04,1.190225e-04,1.194919e-04,1.199710e-04,1.201897e-04,1.208456e-04,1.214610e-04,1.216497e-04,1.220376e-04,1.223868e-04,1.225767e-04,1.230603e-04,1.230798e-04,1.235482e-04,1.236734e-04,1.239834e-04,1.242291e-04,1.243866e-04,1.247304e-04,1.247591e-04,1.251022e-04,1.251802e-04,1.254170e-04,1.255813e-04,1.257047e-04,1.259364e-04,1.259664e-04,1.262033e-04,1.262478e-04,1.264164e-04,1.265182e-04,1.266068e-04,1.267498e-04,1.267753e-04,1.269231e-04,1.269448e-04,1.270509e-04,1.271055e-04,1.271598e-04,1.272339e-04,1.272506e-04,1.273242e-04,1.273319e-04,1.273813e-04,1.274014e-04,1.274227e-04,1.274442e-04,1.274492e-04,1.274616e-04,1.274620e-04,1.274604e-04,1.274564e-04,1.274465e-04,1.274290e-04,1.274205e-04,1.273830e-04,1.273812e-04,1.273345e-04,1.273145e-04,1.272758e-04,1.272303e-04,1.272073e-04,1.271297e-04,1.270140e-04,1.268843e-04,1.267417e-04,1.265874e-04,1.264221e-04,1.262470e-04,1.260628e-04,1.258704e-04,1.256706e-04,1.254641e-04,1.252516e-04,1.250338e-04,1.248114e-04,1.245849e-04,1.243548e-04,1.241218e-04,1.238862e-04,1.236486e-04,1.234093e-04,1.231688e-04,1.229275e-04,1.226858e-04,1.224439e-04,1.222021e-04
0.000000e+00,2.023912e-09,5.070617e-09,1.928644e-08,4.602629e-08,6.832247e-08,1.593990e-07,1.643207e-07,3.214231e-07,3.782083e-07,5.531109e-07,7.333907e-07,8.724927e-07,1.254684e-06,1.292238e-06,1.823620e-06,1.968723e-06,2.474185e-06,2.891263e-06,3.245004e-06,4.018288e-06,4.130244e-06,5.119721e-06,5.329108e-06,6.201854e-06,6.797342e-06,7.365122e-06,8.396787e-06,8.598353e-06,9.890615e-06,1.010213e-05,1.123110e-05,1.188850e-05,1.260908e-05,1.373139e-05,1.401404e-05,1.543572e-05,1.560697e-05,1.686431e-05,1.749268e-05,1.829059e-05,1.936772e-05,1.970601e-05,2.110283e-05,2.121356e-05,2.247414e-05,2.301415e-05,2.381393e-05,2.475612e-05,2.511703e-05,2.637915e-05,2.642873e-05,2.759681e-05,2.802375e-05,2.876729e-05,2.953517e-05,2.988850e-05,3.095903e-05,3.197807e-05,3.229320e-05,3.294519e-05,3.353688e-05,3.386040e-05,3.469054e-05,3.472411e-05,3.553702e-05,3.575565e-05,3.630007e-05,3.673443e-05,3.701440e-05,3.762969e-05,3.768133e-05,3.830230e-05,3.844467e-05,3.887886e-05,3.918294e-05,3.941264e-05,3.984830e-05,3.990530e-05,4.035850e-05,4.044456e-05,4.077393e-05,4.097558e-05,4.115326e-05,4.144522e-05,4.149816e-05,4.181027e-05,4.185727e-05,4.209118e-05,4.221540e-05,4.234246e-05,4.252319e-05,4.256565e-05,4.276221e-05,4.278407e-05,4.293357e-05,4.300135e-05,4.308113e-05,4.317817e-05,4.320621e-05,4.331009e-05,4.331752e-05,4.339400e-05,4.342223e-05,4.345911e-05,4.349499e-05,4.350656e-05,4.353743e-05,4.353834e-05,4.355275e-05,4.355464e-05,4.355350e-05,4.354616e-05,4.354062e-05,4.351500e-05,4.347751e-05,4.346313e-05,4.342894e-05,4.339241e-05,4.337008e-05,4.330456e-05,4.330165e-05,4.322435e-05,4.320121e-05,4.313885e-05,4.308386e-05,4.304576e-05,4.295393e-05,4.294568e-05,4.283917e-05,4.281271e-05,4.272677e-05,4.266144e-05,4.260898e-05,4.250125e-05,4.248628e-05,4.235912e-05,4.233319e-05,4.222792e-05,4.215823e-05,4.209308e-05,4.197729e-05,4.195499e-05,4.181400e-05,4.179119e-05,4.167044e-05,4.160072e-05,4.152464e-05,4.140658e-05,4.137689e-05,4.122748e-05,4.120945e-05,4.107666e-05,4.100991e-05,4.092468e-05,4.080855e-05,4.077178e-05,4.061817e-05,4.060586e-05,4.046406e-05,4.040231e-05,4.030963e-05,4.019835e-05,4.015507e-05,4.000054e-05,3.999436e-05,3.984620e-05,3.979071e-05,3.969218e-05,3.958771e-05,3.953863e-05,3.938567e-05,3.918486e-05,3.898553e-05,3.878788e-05,3.859212e-05,3.839843e-05,3.820696e-05,3.801785e-05,3.783122e-05,3.764719e-05,3.746584e-05,3.728725e-05,3.711149e-05,3.693862e-05,3.676869e-05,3.660173e-05,3.643778e-05,3.627684e-05,3.611894e-05,3.596409e-05,3.581228e-05,3.566350e-05,3.551776e-05,3.537503e-05,3.523529e-05
0.000000e+00,1.717973e-09,3.940724e-09,1.356164e-08,3.081921e-08,4.491182e-08,1.014391e-07,1.044677e-07,2.005267e-07,2.350767e-07,3.412590e-07,4.505606e-07,5.348923e-07,7.668498e-07,7.896717e-07,1.113354e-06,1.202017e-06,1.511892e-06,1.768745e-06,1.987287e-06,2.466350e-06,2.535762e-06,3.148219e-06,3.277371e-06,3.812981e-06,4.175439e-06,4.518479e-06,5.135053e-06,5.254488e-06,6.012253e-06,6.134996e-06,6.784230e-06,7.157857e-06,7.563813e-06,8.189007e-06,8.345160e-06,9.123097e-06,9.215997e-06,9.893069e-06,1.022829e-05,1.065111e-05,1.121714e-05,1.139384e-05,1.211839e-05,1.217550e-05,1.282244e-05,1.309789e-05,1.350413e-05,1.398027e-05,1.416202e-05,1.479507e-05,1.481986e-05,1.540258e-05,1.561494e-05,1.598413e-05,1.636467e-05,1.653957e-05,1.706894e-05,1.757246e-05,1.772819e-05,1.805052e-05,1.834332e-05,1.850358e-05,1.891553e-05,1.893222e-05,1.933708e-05,1.944627e-05,1.971885e-05,1.993714e-05,2.007828e-05,2.038986e-05,2.041611e-05,2.073311e-05,2.080618e-05,2.103007e-05,2.118790e-05,2.130776e-05,2.153680e-05,2.156695e-05,2.180841e-05,2.185464e-05,2.203288e-05,2.214314e-05,2.224110e-05,2.240397e-05,2.243379e-05,2.261163e-05,2.263875e-05,2.277531e-05,2.284904e-05,2.292548e-05,2.303632e-05,2.306278e-05,2.318781e-05,2.320202e-05,2.330118e-05,2.334750e-05,2.340343e-05,2.347406e-05,2.349514e-05,2.357681e-05,2.358293e-05,2.364896e-05,2.367526e-05,2.371207e-05,2.375217e-05,2.376660e-05,2.381301e-05,2.381471e-05,2.385172e-05,2.386385e-05,2.388314e-05,2.390055e-05,2.390767e-05,2.392567e-05,2.393751e-05,2.394005e-05,2.394353e-05,2.394448e-05,2.394405e-05,2.393968e-05,2.393940e-05,2.392987e-05,2.392637e-05,2.391575e-05,2.390518e-05,2.389730e-05,2.387674e-05,2.387480e-05,2.384849e-05,2.384163e-05,2.381860e-05,2.380038e-05,2.378536e-05,2.375352e-05,2.374899e-05,2.370970e-05,2.370150e-05,2.366767e-05,2.364479e-05,2.362309e-05,2.358381e-05,2.357614e-05,2.352700e-05,2.351894e-05,2.347581e-05,2.345056e-05,2.342273e-05,2.337901e-05,2.336791e-05,2.331148e-05,2.330461e-05,2.325358e-05,2.322767e-05,2.319433e-05,2.314847e-05,2.313385e-05,2.307224e-05,2.306727e-05,2.300962e-05,2.298431e-05,2.294609e-05,2.289983e-05,2.288174e-05,2.281666e-05,2.281405e-05,2.275094e-05,2.272714e-05,2.268467e-05,2.263932e-05,2.261791e-05,2.255074e-05,2.246156e-05,2.237194e-05,2.228201e-05,2.219191e-05,2.210173e-05,2.201161e-05,2.192164e-05,2.183191e-05,2.174250e-05,2.165351e-05,2.156499e-05,2.147702e-05,2.138965e-05,2.130295e-05,2.121696e-05,2.113173e-05,2.104730e-05,2.096370e-05,2.088098e-05,2.079916e-05,2.071827e-05,2.063833e-05,2.055936e-05,2.048139e-05
0.000000e+00,4.519953e-08,1.339785e-07,6.716001e-07,1.947310e-06,3.166033e-06,9.005420e-06,9.350139e-06,2.142016e-05,2.618804e-05,4.187753e-05,5.932732e-05,7.351239e-05,1.150807e-04,1.193412e-04,1.823225e-04,2.002731e-04,2.648230e-04,3.201000e-04,3.682028e-04,4.767498e-04,4.928171e-04,6.382730e-04,6.697941e-04,8.036912e-04,8.972121e-04,9.878822e-04,1.156091e-03,1.189446e-03,1.406822e-03,1.442958e-03,1.638320e-03,1.753929e-03,1.882135e-03,2.084783e-03,2.136369e-03,2.399049e-03,2.431042e-03,2.668151e-03,2.788065e-03,2.941634e-03,3.151159e-03,3.217465e-03,3.493651e-03,3.515703e-03,3.768272e-03,3.877272e-03,4.039513e-03,4.231756e-03,4.305680e-03,4.565228e-03,4.575452e-03,4.816775e-03,4.905134e-03,5.059108e-03,5.218096e-03,5.291193e-03,5.512175e-03,5.721374e-03,5.785741e-03,5.918278e-03,6.037674e-03,6.102533e-03,6.267328e-03,6.273936e-03,6.432415e-03,6.474478e-03,6.578022e-03,6.659268e-03,6.710912e-03,6.822151e-03,6.831334e-03,6.939613e-03,6.963836e-03,7.036141e-03,7.085227e-03,7.121359e-03,7.187378e-03,7.195750e-03,7.259824e-03,7.271448e-03,7.314115e-03,7.338660e-03,7.359165e-03,7.390268e-03,7.395524e-03,7.423738e-03,7.427533e-03,7.444348e-03,7.451695e-03,7.457882e-03,7.463962e-03,7.464856e-03,7.465766e-03,7.465491e-03,7.461091e-03,7.457383e-03,7.451287e-03,7.440674e-03,7.436789e-03,7.418011e-03,7.416336e-03,7.395341e-03,7.385266e-03,7.369146e-03,7.348298e-03,7.339771e-03,7.307536e-03,7.306192e-03,7.272744e-03,7.259646e-03,7.235673e-03,7.209297e-03,7.196584e-03,7.155718e-03,7.113300e-03,7.099432e-03,7.069534e-03,7.040906e-03,7.024612e-03,6.980561e-03,6.978708e-03,6.931983e-03,6.918773e-03,6.884584e-03,6.855877e-03,6.836646e-03,6.792174e-03,6.788293e-03,6.739638e-03,6.727927e-03,6.690783e-03,6.663373e-03,6.641822e-03,6.598716e-03,6.592840e-03,6.543913e-03,6.534140e-03,6.495111e-03,6.469804e-03,6.446497e-03,6.405848e-03,6.398127e-03,6.350052e-03,6.342391e-03,6.302318e-03,6.279539e-03,6.254965e-03,6.217382e-03,6.208030e-03,6.161543e-03,6.155996e-03,6.115534e-03,6.095448e-03,6.070028e-03,6.035793e-03,6.025046e-03,5.980606e-03,5.977075e-03,5.936725e-03,5.919332e-03,5.893416e-03,5.862595e-03,5.850691e-03,5.808559e-03,5.806886e-03,5.767028e-03,5.752225e-03,5.726103e-03,5.698623e-03,5.685789e-03,5.646089e-03,5.594628e-03,5.544240e-03,5.494923e-03,5.446673e-03,5.399482e-03,5.353342e-03,5.308240e-03,5.264165e-03,5.221102e-03,5.179038e-03,5.137956e-03,5.097840e-03,5.058673e-03,5.020436e-03,4.983113e-03,4.946685e-03,4.911133e-03,4.876439e-03,4.842583e-03,4.809548e-03,4.777314e-03,4.745864e-03,4.715178e-03,4.685238e-03
0.000000e+00,1.264534e-08,3.741403e-08,1.868506e-07,5.400053e-07,8.764396e-07,2.482185e-06,2.576761e-06,5.879109e-06,7.179933e-06,1.145029e-05,1.618578e-05,2.002735e-05,3.126237e-05,3.241319e-05,4.945024e-05,5.432303e-05,7.194094e-05,8.715997e-05,1.005004e-04,1.308742e-04,1.353947e-04,1.764696e-04,1.853858e-04,2.232097e-04,2.495109e-04,2.748677e-04,3.214357e-04,3.305875e-04,3.894905e-04,3.991529e-04,4.507266e-04,4.807125e-04,5.134999e-04,5.643330e-04,5.770812e-04,6.408122e-04,6.484414e-04,7.041066e-04,7.316825e-04,7.664493e-04,8.129169e-04,8.273952e-04,8.865664e-04,8.912136e-04,9.436497e-04,9.658400e-04,9.983931e-04,1.036248e-03,1.050602e-03,1.100132e-03,1.102056e-03,1.146890e-03,1.163033e-03,1.190822e-03,1.219072e-03,1.231912e-03,1.270175e-03,1.305653e-03,1.316428e-03,1.338411e-03,1.357986e-03,1.368531e-03,1.395052e-03,1.396107e-03,1.421246e-03,1.427864e-03,1.444060e-03,1.456682e-03,1.464667e-03,1.481777e-03,1.483185e-03,1.499735e-03,1.503427e-03,1.514434e-03,1.521902e-03,1.527400e-03,1.537467e-03,1.538746e-03,1.548581e-03,1.550376e-03,1.557008e-03,1.560868e-03,1.564129e-03,1.569170e-03,1.570038e-03,1.574823e-03,1.575491e-03,1.578571e-03,1.580025e-03,1.581360e-03,1.582951e-03,1.583265e-03,1.584356e-03,1.584435e-03,1.584697e-03,1.584625e-03,1.584349e-03,1.583660e-03,1.583370e-03,1.581811e-03,1.581662e-03,1.579721e-03,1.578746e-03,1.577145e-03,1.575014e-03,1.574127e-03,1.570704e-03,1.570559e-03,1.566913e-03,1.565464e-03,1.562787e-03,1.559806e-03,1.558357e-03,1.553652e-03,1.548699e-03,1.547065e-03,1.543521e-03,1.540101e-03,1.538143e-03,1.532810e-03,1.532584e-03,1.526865e-03,1.525237e-03,1.521003e-03,1.517424e-03,1.515015e-03,1.509407e-03,1.508916e-03,1.502721e-03,1.501221e-03,1.496442e-03,1.492895e-03,1.490093e-03,1.484456e-03,1.483684e-03,1.477225e-03,1.475929e-03,1.470727e-03,1.467335e-03,1.464198e-03,1.458696e-03,1.457646e-03,1.451080e-03,1.450028e-03,1.444505e-03,1.441348e-03,1.437929e-03,1.432671e-03,1.431357e-03,1.424795e-03,1.424008e-03,1.418248e-03,1.415373e-03,1.411721e-03,1.406776e-03,1.405217e-03,1.398742e-03,1.398225e-03,1.392298e-03,1.389730e-03,1.385889e-03,1.381298e-03,1.379518e-03,1.373188e-03,1.372936e-03,1.366901e-03,1.364649e-03,1.360660e-03,1.356443e-03,1.354467e-03,1.348323e-03,1.340293e-03,1.332355e-03,1.324514e-03,1.316772e-03,1.309131e-03,1.301593e-03,1.294160e-03,1.286833e-03,1.279613e-03,1.272501e-03,1.265498e-03,1.258603e-03,1.251817e-03,1.245141e-03,1.238573e-03,1.232113e-03,1.225762e-03,1.219519e-03,1.213382e-03,1.207352e-03,1.201427e-03,1.195606e-03,1.189889e-03,1.184275e-03
0.000000e+00,1.144247e-09,3.341960e-09,1.627908e-08,4.611263e-08,7.411604e-08,2.056996e-07,2.133969e-07,4.813098e-07,5.868860e-07,9.349886e-07,1.324015e-06,1.641396e-06,2.571711e-06,2.666713e-06,4.054065e-06,4.442451e-06,5.811421e-06,6.951165e-06,7.921170e-06,1.004699e-05,1.035521e-05,1.308381e-05,1.366234e-05,1.607849e-05,1.773184e-05,1.931210e-05,2.219349e-05,2.275801e-05,2.638941e-05,2.698584e-05,3.017908e-05,3.204621e-05,3.409932e-05,3.731085e-05,3.812235e-05,4.222068e-05,4.271627e-05,4.636765e-05,4.820113e-05,5.053787e-05,5.370813e-05,5.470763e-05,5.885517e-05,5.918541e-05,6.296088e-05,6.458750e-05,6.700747e-05,6.987594e-05,7.098002e-05,7.486582e-05,7.501930e-05,7.865433e-05,7.999267e-05,8.233699e-05,8.477722e-05,8.590705e-05,8.935940e-05,9.269038e-05,9.373023e-05,9.589757e-05,9.788456e-05,9.897966e-05,1.018204e-04,1.019363e-04,1.047679e-04,1.055385e-04,1.074755e-04,1.090412e-04,1.100606e-04,1.123325e-04,1.125253e-04,1.148718e-04,1.154177e-04,1.171028e-04,1.183028e-04,1.192212e-04,1.209947e-04,1.212301e-04,1.231325e-04,1.235005e-04,1.249316e-04,1.258274e-04,1.266308e-04,1.279832e-04,1.282332e-04,1.297422e-04,1.299751e-04,1.311610e-04,1.318109e-04,1.324929e-04,1.334979e-04,1.337410e-04,1.349085e-04,1.350433e-04,1.359984e-04,1.364542e-04,1.370138e-04,1.377375e-04,1.379576e-04,1.388326e-04,1.388997e-04,1.396416e-04,1.399473e-04,1.403873e-04,1.408866e-04,1.410725e-04,1.416995e-04,1.417234e-04,1.422710e-04,1.424635e-04,1.427892e-04,1.431124e-04,1.432566e-04,1.436753e-04,1.440475e-04,1.441572e-04,1.443754e-04,1.445629e-04,1.446609e-04,1.448969e-04,1.449060e-04,1.451125e-04,1.451637e-04,1.452824e-04,1.453674e-04,1.454172e-04,1.455119e-04,1.455188e-04,1.455888e-04,1.456010e-04,1.456286e-04,1.456383e-04,1.456398e-04,1.456271e-04,1.456238e-04,1.455820e-04,1.455707e-04,1.455158e-04,1.454722e-04,1.454265e-04,1.453344e-04,1.453151e-04,1.451831e-04,1.451601e-04,1.450314e-04,1.449519e-04,1.448611e-04,1.447123e-04,1.446734e-04,1.444691e-04,1.444435e-04,1.442493e-04,1.441479e-04,1.440149e-04,1.438275e-04,1.437668e-04,1.435058e-04,1.434843e-04,1.432326e-04,1.431202e-04,1.429482e-04,1.427368e-04,1.426532e-04,1.423483e-04,1.423359e-04,1.420343e-04,1.419191e-04,1.417117e-04,1.414878e-04,1.413812e-04,1.410434e-04,1.405872e-04,1.401205e-04,1.396444e-04,1.391601e-04,1.386685e-04,1.381706e-04,1.376673e-04,1.371596e-04,1.366481e-04,1.361336e-04,1.356168e-04,1.350984e-04,1.345790e-04,1.340592e-04,1.335394e-04,1.330202e-04,1.325021e-04,1.319855e-04,1.314707e-04,1.309582e-04,1.304482e-04,1.299412e-04,1.294374e-04,1.289370e-04
0.000000e+00,9.684009e-09,2.375324e-08,8.824142e-08,2.089127e-07,3.099541e-07,7.302482e-07,7.533474e-07,1.512569e-06,1.797345e-06,2.706974e-06,3.690169e-06,4.474345e-06,6.699246e-06,6.920753e-06,1.004481e-05,1.088475e-05,1.374068e-05,1.601085e-05,1.787844e-05,2.180109e-05,2.235307e-05,2.708723e-05,2.805975e-05,3.202120e-05,3.464889e-05,3.710465e-05,4.145698e-05,4.229221e-05,4.754158e-05,4.838453e-05,5.281303e-05,5.534018e-05,5.806954e-05,6.224114e-05,6.327729e-05,6.840611e-05,6.901497e-05,7.342960e-05,7.560064e-05,7.832529e-05,8.194897e-05,8.307459e-05,8.766255e-05,8.802225e-05,9.207766e-05,9.379332e-05,9.631147e-05,9.924432e-05,1.003584e-04,1.042152e-04,1.043655e-04,1.078803e-04,1.091528e-04,1.113540e-04,1.136076e-04,1.146380e-04,1.177354e-04,1.206499e-04,1.215447e-04,1.233862e-04,1.250461e-04,1.259492e-04,1.282518e-04,1.283445e-04,1.305779e-04,1.311750e-04,1.326552e-04,1.338293e-04,1.345827e-04,1.362288e-04,1.363663e-04,1.380123e-04,1.383875e-04,1.395266e-04,1.403194e-04,1.409152e-04,1.420379e-04,1.421840e-04,1.433387e-04,1.435564e-04,1.443848e-04,1.448877e-04,1.453278e-04,1.460440e-04,1.461728e-04,1.469251e-04,1.470372e-04,1.475894e-04,1.478784e-04,1.481705e-04,1.485786e-04,1.486730e-04,1.491011e-04,1.491477e-04,1.494592e-04,1.495956e-04,1.497512e-04,1.499313e-04,1.499809e-04,1.501521e-04,1.501634e-04,1.502684e-04,1.503002e-04,1.503329e-04,1.503493e-04,1.503491e-04,1.503200e-04,1.503179e-04,1.502485e-04,1.502129e-04,1.501374e-04,1.500406e-04,1.499893e-04,1.498069e-04,1.495926e-04,1.495176e-04,1.493485e-04,1.491778e-04,1.490770e-04,1.487924e-04,1.487801e-04,1.484597e-04,1.483661e-04,1.481178e-04,1.479031e-04,1.477561e-04,1.474073e-04,1.473763e-04,1.469800e-04,1.468826e-04,1.465686e-04,1.463323e-04,1.461437e-04,1.457596e-04,1.457065e-04,1.452584e-04,1.451676e-04,1.448005e-04,1.445589e-04,1.443340e-04,1.439362e-04,1.438599e-04,1.433793e-04,1.433018e-04,1.428930e-04,1.426579e-04,1.424021e-04,1.420065e-04,1.419072e-04,1.414093e-04,1.413494e-04,1.409091e-04,1.406884e-04,1.404071e-04,1.400250e-04,1.399042e-04,1.394009e-04,1.393607e-04,1.388978e-04,1.386967e-04,1.383954e-04,1.380343e-04,1.378941e-04,1.373945e-04,1.373746e-04,1.368970e-04,1.367185e-04,1.364020e-04,1.360670e-04,1.359098e-04,1.354208e-04,1.347808e-04,1.341475e-04,1.335215e-04,1.329034e-04,1.322937e-04,1.316926e-04,1.311007e-04,1.305181e-04,1.299452e-04,1.293822e-04,1.288292e-04,1.282864e-04,1.277539e-04,1.272319e-04,1.267203e-04,1.262191e-04,1.257285e-04,1.252484e-04,1.247788e-04,1.243196e-04,1.238707e-04,1.234322e-04,1.230038e-04,1.225855e-04
0.000000e+00,1.368888e-08,4.052393e-08,2.025891e-07,5.859137e-07,9.512185e-07,2.694630e-06,2.797281e-06,6.378123e-06,7.786673e-06,1.240288e-05,1.750868e-05,2.164113e-05,3.368105e-05,3.491056e-05,5.302993e-05,5.818319e-05,7.670547e-05,9.257211e-05,1.063882e-04,1.375871e-04,1.422062e-04,1.840046e-04,1.930535e-04,2.314309e-04,2.581623e-04,2.840101e-04,3.317597e-04,3.411948e-04,4.023941e-04,4.125177e-04,4.669917e-04,4.990208e-04,5.343573e-04,5.898163e-04,6.038565e-04,6.748602e-04,6.834523e-04,7.467535e-04,7.785150e-04,8.189451e-04,8.736647e-04,8.908758e-04,9.620255e-04,9.676692e-04,1.031920e-03,1.059430e-03,1.100136e-03,1.148001e-03,1.166302e-03,1.230102e-03,1.232601e-03,1.291275e-03,1.312612e-03,1.349610e-03,1.387576e-03,1.404951e-03,1.457184e-03,1.506240e-03,1.521261e-03,1.552089e-03,1.579749e-03,1.594733e-03,1.632687e-03,1.634205e-03,1.670562e-03,1.680194e-03,1.703881e-03,1.722452e-03,1.734255e-03,1.759691e-03,1.761792e-03,1.786609e-03,1.792173e-03,1.808828e-03,1.820184e-03,1.828578e-03,1.844019e-03,1.845989e-03,1.861193e-03,1.863980e-03,1.874318e-03,1.880365e-03,1.885494e-03,1.893466e-03,1.894844e-03,1.902491e-03,1.903564e-03,1.908550e-03,1.910928e-03,1.913134e-03,1.915811e-03,1.916349e-03,1.918297e-03,1.918451e-03,1.919074e-03,1.919069e-03,1.918772e-03,1.917872e-03,1.917475e-03,1.915265e-03,1.915051e-03,1.912217e-03,1.910780e-03,1.908403e-03,1.905220e-03,1.903889e-03,1.898737e-03,1.898518e-03,1.893004e-03,1.890809e-03,1.886745e-03,1.882214e-03,1.880010e-03,1.872845e-03,1.865294e-03,1.862803e-03,1.857397e-03,1.852178e-03,1.849191e-03,1.841055e-03,1.840711e-03,1.831989e-03,1.829508e-03,1.823055e-03,1.817604e-03,1.813935e-03,1.805404e-03,1.804657e-03,1.795242e-03,1.792964e-03,1.785712e-03,1.780333e-03,1.776088e-03,1.767555e-03,1.766388e-03,1.756629e-03,1.754671e-03,1.746826e-03,1.741716e-03,1.736994e-03,1.728723e-03,1.727147e-03,1.717296e-03,1.715720e-03,1.707452e-03,1.702733e-03,1.697626e-03,1.689784e-03,1.687827e-03,1.678064e-03,1.676895e-03,1.668344e-03,1.664083e-03,1.658674e-03,1.651364e-03,1.649062e-03,1.639513e-03,1.638752e-03,1.630032e-03,1.626260e-03,1.620624e-03,1.613899e-03,1.611294e-03,1.602046e-03,1.601677e-03,1.592882e-03,1.589604e-03,1.583806e-03,1.577687e-03,1.574822e-03,1.565931e-03,1.554341e-03,1.542922e-03,1.531678e-03,1.520610e-03,1.509722e-03,1.499014e-03,1.488489e-03,1.478146e-03,1.467987e-03,1.458010e-03,1.448215e-03,1.438602e-03,1.429169e-03,1.419916e-03,1.410841e-03,1.401941e-03,1.393217e-03,1.384665e-03,1.376283e-03,1.368069e-03,1.360021e-03,1.352137e-03,1.344414e-03,1.336850e-03
0.000000e+00,3.587515e-09,1.056055e-08,5.220133e-08,1.495274e-07,2.415664e-07,6.767998e-07,7.023080e-07,1.588899e-06,1.936908e-06,3.077735e-06,4.342516e-06,5.369384e-06,8.378110e-06,8.686666e-06,1.325443e-05,1.455833e-05,1.924932e-05,2.326027e-05,2.673776e-05,3.451112e-05,3.565081e-05,4.581283e-05,4.797522e-05,5.699272e-05,6.312704e-05,6.894577e-05,7.941215e-05,8.143814e-05,9.425772e-05,9.632636e-05,1.072175e-04,1.134393e-04,1.201549e-04,1.303944e-04,1.329306e-04,1.454265e-04,1.469023e-04,1.575437e-04,1.627339e-04,1.692016e-04,1.777145e-04,1.803363e-04,1.908988e-04,1.917180e-04,2.008544e-04,2.046613e-04,2.101807e-04,2.164992e-04,2.188664e-04,2.269097e-04,2.272182e-04,2.343173e-04,2.368307e-04,2.411022e-04,2.453697e-04,2.472832e-04,2.528832e-04,2.579281e-04,2.594299e-04,2.624463e-04,2.650751e-04,2.664672e-04,2.698876e-04,2.700212e-04,2.731386e-04,2.739373e-04,2.758493e-04,2.772928e-04,2.781827e-04,2.800205e-04,2.801670e-04,2.818293e-04,2.821833e-04,2.831954e-04,2.838401e-04,2.842895e-04,2.850455e-04,2.851345e-04,2.857518e-04,2.858497e-04,2.861614e-04,2.862984e-04,2.863817e-04,2.864332e-04,2.864300e-04,2.863222e-04,2.862914e-04,2.860728e-04,2.859068e-04,2.856954e-04,2.853097e-04,2.852024e-04,2.846052e-04,2.845270e-04,2.839141e-04,2.835829e-04,2.831389e-04,2.824989e-04,2.822883e-04,2.813703e-04,2.812942e-04,2.803923e-04,2.799858e-04,2.793610e-04,2.785889e-04,2.782825e-04,2.771626e-04,2.771170e-04,2.760063e-04,2.755820e-04,2.748183e-04,2.739946e-04,2.736030e-04,2.723642e-04,2.711056e-04,2.706992e-04,2.698305e-04,2.690071e-04,2.685418e-04,2.672944e-04,2.672423e-04,2.659345e-04,2.655671e-04,2.646206e-04,2.638303e-04,2.633029e-04,2.620886e-04,2.619830e-04,2.606629e-04,2.603462e-04,2.593441e-04,2.586066e-04,2.580279e-04,2.568731e-04,2.567159e-04,2.554090e-04,2.551484e-04,2.541085e-04,2.534351e-04,2.528153e-04,2.517353e-04,2.515303e-04,2.502543e-04,2.500510e-04,2.489880e-04,2.483839e-04,2.477322e-04,2.467354e-04,2.464873e-04,2.452540e-04,2.451068e-04,2.440327e-04,2.434993e-04,2.428239e-04,2.419137e-04,2.416278e-04,2.404449e-04,2.403509e-04,2.392754e-04,2.388115e-04,2.381197e-04,2.372961e-04,2.369778e-04,2.358500e-04,2.358052e-04,2.347365e-04,2.343391e-04,2.336373e-04,2.328982e-04,2.325527e-04,2.314826e-04,2.300925e-04,2.287279e-04,2.273890e-04,2.260755e-04,2.247876e-04,2.235251e-04,2.222877e-04,2.210755e-04,2.198881e-04,2.187253e-04,2.175868e-04,2.164725e-04,2.153820e-04,2.143150e-04,2.132711e-04,2.122501e-04,2.112516e-04,2.102753e-04,2.093207e-04,2.083876e-04,2.074756e-04,2.065843e-04,2.057133e-04,2.048623e-04
0.000000e+00,1.873863e-09,4.847701e-09,1.920479e-08,4.679470e-08,7.000487e-08,1.654998e-07,1.706769e-07,3.363414e-07,3.963408e-07,5.813331e-07,7.721442e-07,9.193715e-07,1.323542e-06,1.363216e-06,1.923709e-06,2.076503e-06,2.608221e-06,3.046719e-06,3.418670e-06,4.231832e-06,4.349495e-06,5.386361e-06,5.604592e-06,6.506711e-06,7.113170e-06,7.682857e-06,8.693242e-06,8.886623e-06,1.009331e-05,1.028528e-05,1.128354e-05,1.184467e-05,1.244315e-05,1.334205e-05,1.356228e-05,1.463427e-05,1.475952e-05,1.565481e-05,1.608684e-05,1.662134e-05,1.731895e-05,1.753257e-05,1.838823e-05,1.845429e-05,1.918878e-05,1.949378e-05,1.993526e-05,2.044006e-05,2.062914e-05,2.127222e-05,2.129691e-05,2.186649e-05,2.206889e-05,2.241411e-05,2.276098e-05,2.291731e-05,2.337837e-05,2.379958e-05,2.392631e-05,2.418315e-05,2.440990e-05,2.453128e-05,2.483411e-05,2.484609e-05,2.512963e-05,2.520368e-05,2.538385e-05,2.552310e-05,2.561063e-05,2.579657e-05,2.581176e-05,2.598893e-05,2.602806e-05,2.614375e-05,2.622125e-05,2.627774e-05,2.637955e-05,2.639232e-05,2.648885e-05,2.650610e-05,2.656859e-05,2.660382e-05,2.663273e-05,2.667538e-05,2.668240e-05,2.671864e-05,2.672326e-05,2.674244e-05,2.674973e-05,2.675474e-05,2.675686e-05,2.675638e-05,2.674819e-05,2.674659e-05,2.673094e-05,2.672065e-05,2.670532e-05,2.668066e-05,2.667200e-05,2.663161e-05,2.662809e-05,2.658474e-05,2.656429e-05,2.653191e-05,2.649049e-05,2.647365e-05,2.641043e-05,2.640781e-05,2.634269e-05,2.631728e-05,2.627085e-05,2.621985e-05,2.619529e-05,2.611637e-05,2.603444e-05,2.600763e-05,2.594980e-05,2.589434e-05,2.586274e-05,2.577715e-05,2.577355e-05,2.568247e-05,2.565666e-05,2.558973e-05,2.553339e-05,2.549557e-05,2.540785e-05,2.540018e-05,2.530375e-05,2.528048e-05,2.520647e-05,2.515168e-05,2.510849e-05,2.502181e-05,2.500997e-05,2.491104e-05,2.489122e-05,2.481185e-05,2.476021e-05,2.471251e-05,2.462903e-05,2.461313e-05,2.451382e-05,2.449795e-05,2.441468e-05,2.436718e-05,2.431579e-05,2.423691e-05,2.421723e-05,2.411909e-05,2.410734e-05,2.402143e-05,2.397862e-05,2.392431e-05,2.385090e-05,2.382779e-05,2.373193e-05,2.372429e-05,2.363677e-05,2.359892e-05,2.354237e-05,2.347488e-05,2.344875e-05,2.335596e-05,2.335227e-05,2.326403e-05,2.323115e-05,2.317299e-05,2.311160e-05,2.308286e-05,2.299368e-05,2.287743e-05,2.276290e-05,2.265012e-05,2.253913e-05,2.242994e-05,2.232257e-05,2.221704e-05,2.211336e-05,2.201153e-05,2.191155e-05,2.181343e-05,2.171715e-05,2.162270e-05,2.153009e-05,2.143930e-05,2.135031e-05,2.126311e-05,2.117768e-05,2.109401e-05,2.101207e-05,2.093184e-05,2.085330e-05,2.077643e-05,2.070121e-05
0.000000e+00,4.375136e-09,1.276852e-08,6.202821e-08,1.749761e-07,2.803647e-07,7.693628e-07,7.976955e-07,1.768795e-06,2.144569e-06,3.361835e-06,4.691707e-06,5.759801e-06,8.843869e-06,9.156944e-06,1.373610e-05,1.502665e-05,1.961952e-05,2.349373e-05,2.682007e-05,3.416820e-05,3.523711e-05,4.469604e-05,4.669514e-05,5.499459e-05,6.061469e-05,6.593270e-05,7.547944e-05,7.732588e-05,8.900863e-05,9.089465e-05,1.008336e-04,1.065210e-04,1.126698e-04,1.220686e-04,1.244015e-04,1.359268e-04,1.372916e-04,1.471574e-04,1.519858e-04,1.580185e-04,1.659873e-04,1.684482e-04,1.783972e-04,1.791711e-04,1.878281e-04,1.914492e-04,1.967147e-04,2.027666e-04,2.050408e-04,2.127991e-04,2.130976e-04,2.199901e-04,2.224411e-04,2.266206e-04,2.308152e-04,2.327028e-04,2.382533e-04,2.432917e-04,2.447993e-04,2.478401e-04,2.505049e-04,2.519223e-04,2.554257e-04,2.555632e-04,2.587879e-04,2.596197e-04,2.616218e-04,2.631450e-04,2.640899e-04,2.660585e-04,2.662167e-04,2.680258e-04,2.684153e-04,2.695400e-04,2.702673e-04,2.707810e-04,2.716635e-04,2.717694e-04,2.725247e-04,2.726495e-04,2.730653e-04,2.732673e-04,2.734084e-04,2.735559e-04,2.735702e-04,2.735657e-04,2.735505e-04,2.734091e-04,2.732837e-04,2.731134e-04,2.727849e-04,2.726908e-04,2.721528e-04,2.720809e-04,2.715097e-04,2.711960e-04,2.707713e-04,2.701520e-04,2.699466e-04,2.690441e-04,2.689688e-04,2.680714e-04,2.676642e-04,2.670356e-04,2.662545e-04,2.659434e-04,2.648008e-04,2.647541e-04,2.636135e-04,2.631761e-04,2.623866e-04,2.615322e-04,2.611250e-04,2.598330e-04,2.585148e-04,2.580880e-04,2.571740e-04,2.563057e-04,2.558142e-04,2.544938e-04,2.544385e-04,2.530498e-04,2.526590e-04,2.516508e-04,2.508075e-04,2.502439e-04,2.489447e-04,2.488316e-04,2.474157e-04,2.470756e-04,2.459982e-04,2.452044e-04,2.445810e-04,2.433352e-04,2.431655e-04,2.417532e-04,2.414713e-04,2.403455e-04,2.396157e-04,2.389436e-04,2.377713e-04,2.375486e-04,2.361615e-04,2.359403e-04,2.347832e-04,2.341250e-04,2.334145e-04,2.323271e-04,2.320563e-04,2.307091e-04,2.305482e-04,2.293737e-04,2.287899e-04,2.280504e-04,2.270533e-04,2.267399e-04,2.254426e-04,2.253394e-04,2.241588e-04,2.236491e-04,2.228888e-04,2.219832e-04,2.216331e-04,2.203917e-04,2.203424e-04,2.191651e-04,2.187271e-04,2.179532e-04,2.171377e-04,2.167563e-04,2.155745e-04,2.140379e-04,2.125278e-04,2.110445e-04,2.095880e-04,2.081581e-04,2.067550e-04,2.053784e-04,2.040282e-04,2.027042e-04,2.014061e-04,2.001339e-04,1.988870e-04,1.976654e-04,1.964686e-04,1.952964e-04,1.941484e-04,1.930243e-04,1.919236e-04,1.908461e-04,1.897914e-04,1.887590e-04,1.877486e-04,1.867599e-04,1.857923e-04
0.000000e+00,4.757126e-10,1.243019e-09,4.996607e-09,1.228136e-08,1.843833e-08,4.386416e-08,4.524443e-08,8.941272e-08,1.053947e-07,1.545875e-07,2.051888e-07,2.441437e-07,3.507827e-07,3.612331e-07,5.087246e-07,5.489203e-07,6.889089e-07,8.045756e-07,9.028979e-07,1.118699e-06,1.150042e-06,1.428006e-06,1.487017e-06,1.733515e-06,1.902102e-06,2.063070e-06,2.355981e-06,2.413262e-06,2.780820e-06,2.841027e-06,3.162561e-06,3.349915e-06,3.555362e-06,3.875505e-06,3.956159e-06,4.361966e-06,4.410862e-06,4.769911e-06,4.949377e-06,5.177275e-06,5.484922e-06,5.581533e-06,5.980377e-06,6.011987e-06,6.371746e-06,6.525787e-06,6.753836e-06,7.022320e-06,7.125106e-06,7.484276e-06,7.498375e-06,7.830313e-06,7.951511e-06,8.162422e-06,8.379998e-06,8.480026e-06,8.782743e-06,9.070368e-06,9.159209e-06,9.342852e-06,9.509328e-06,9.600275e-06,9.833410e-06,9.842830e-06,1.007080e-05,1.013207e-05,1.028456e-05,1.040616e-05,1.048451e-05,1.065669e-05,1.067114e-05,1.084494e-05,1.088480e-05,1.100643e-05,1.109169e-05,1.115616e-05,1.127861e-05,1.129466e-05,1.142249e-05,1.144682e-05,1.154018e-05,1.159755e-05,1.164826e-05,1.173201e-05,1.174726e-05,1.183767e-05,1.185138e-05,1.191999e-05,1.195677e-05,1.199468e-05,1.204924e-05,1.206219e-05,1.212296e-05,1.212981e-05,1.217738e-05,1.219942e-05,1.222586e-05,1.225895e-05,1.226876e-05,1.230643e-05,1.230923e-05,1.233921e-05,1.235102e-05,1.236741e-05,1.238504e-05,1.239133e-05,1.241124e-05,1.241196e-05,1.242742e-05,1.243238e-05,1.244011e-05,1.244687e-05,1.244955e-05,1.245596e-05,1.245953e-05,1.246012e-05,1.246048e-05,1.245979e-05,1.245898e-05,1.245540e-05,1.245520e-05,1.244931e-05,1.244731e-05,1.244146e-05,1.243586e-05,1.243179e-05,1.242139e-05,1.242043e-05,1.240751e-05,1.240419e-05,1.239314e-05,1.238451e-05,1.237745e-05,1.236262e-05,1.236053e-05,1.234247e-05,1.233874e-05,1.232338e-05,1.231307e-05,1.230334e-05,1.228582e-05,1.228242e-05,1.226070e-05,1.225716e-05,1.223826e-05,1.222724e-05,1.221515e-05,1.219624e-05,1.219145e-05,1.216721e-05,1.216426e-05,1.214248e-05,1.213146e-05,1.211732e-05,1.209794e-05,1.209177e-05,1.206589e-05,1.206380e-05,1.203970e-05,1.202915e-05,1.201326e-05,1.199408e-05,1.198659e-05,1.195974e-05,1.195867e-05,1.193274e-05,1.192298e-05,1.190561e-05,1.188711e-05,1.187839e-05,1.185110e-05,1.181501e-05,1.177890e-05,1.174283e-05,1.170682e-05,1.167092e-05,1.163518e-05,1.159961e-05,1.156426e-05,1.152916e-05,1.149431e-05,1.145976e-05,1.142552e-05,1.139161e-05,1.135804e-05,1.132483e-05,1.129199e-05,1.125954e-05,1.122749e-05,1.119584e-05,1.116460e-05,1.113378e-05,1.110338e-05,1.107341e-05,1.104387e-05
0.000000e+00,3.867469e-09,9.317969e-09,3.378715e-08,7.867270e-08,1.157139e-07,2.661333e-07,2.742573e-07,5.347426e-07,6.296712e-07,9.251708e-07,1.234804e-06,1.477074e-06,2.155601e-06,2.223116e-06,3.188174e-06,3.453327e-06,4.375217e-06,5.128526e-06,5.759335e-06,7.107730e-06,7.299335e-06,8.953832e-06,9.295323e-06,1.068866e-05,1.161339e-05,1.247703e-05,1.400479e-05,1.429743e-05,1.613183e-05,1.642556e-05,1.796453e-05,1.883946e-05,1.978158e-05,2.121558e-05,2.157059e-05,2.332063e-05,2.352755e-05,2.502224e-05,2.575349e-05,2.666741e-05,2.787594e-05,2.824963e-05,2.976379e-05,2.988186e-05,3.120609e-05,3.176228e-05,3.257399e-05,3.351195e-05,3.386602e-05,3.508168e-05,3.512872e-05,3.622128e-05,3.661309e-05,3.728579e-05,3.796754e-05,3.827676e-05,3.919621e-05,4.004650e-05,4.030441e-05,4.083024e-05,4.129818e-05,4.155020e-05,4.218404e-05,4.220927e-05,4.281040e-05,4.296873e-05,4.335653e-05,4.365903e-05,4.385059e-05,4.426162e-05,4.429546e-05,4.469395e-05,4.478299e-05,4.504878e-05,4.522938e-05,4.536255e-05,4.560671e-05,4.563779e-05,4.587689e-05,4.592058e-05,4.608215e-05,4.617623e-05,4.625573e-05,4.637858e-05,4.639971e-05,4.651604e-05,4.653221e-05,4.660656e-05,4.664136e-05,4.667301e-05,4.670996e-05,4.671705e-05,4.674022e-05,4.674167e-05,4.674397e-05,4.673983e-05,4.672969e-05,4.670756e-05,4.669865e-05,4.665208e-05,4.664771e-05,4.659110e-05,4.656291e-05,4.651678e-05,4.645558e-05,4.643013e-05,4.633209e-05,4.632794e-05,4.622353e-05,4.618204e-05,4.610529e-05,4.601975e-05,4.597813e-05,4.584279e-05,4.569994e-05,4.565275e-05,4.555022e-05,4.545107e-05,4.539422e-05,4.523908e-05,4.523251e-05,4.506561e-05,4.501802e-05,4.489401e-05,4.478898e-05,4.471816e-05,4.455300e-05,4.453849e-05,4.435541e-05,4.431101e-05,4.416929e-05,4.406387e-05,4.398048e-05,4.381237e-05,4.378931e-05,4.359609e-05,4.355723e-05,4.340110e-05,4.329910e-05,4.320461e-05,4.303858e-05,4.300687e-05,4.280811e-05,4.277623e-05,4.260855e-05,4.251254e-05,4.240840e-05,4.224797e-05,4.220784e-05,4.200704e-05,4.198294e-05,4.180619e-05,4.171783e-05,4.160542e-05,4.145297e-05,4.140487e-05,4.120469e-05,4.118870e-05,4.100500e-05,4.092528e-05,4.080590e-05,4.066298e-05,4.060750e-05,4.040991e-05,4.040203e-05,4.021322e-05,4.014264e-05,4.001750e-05,3.988501e-05,3.982283e-05,3.962929e-05,3.937566e-05,3.912424e-05,3.887516e-05,3.862852e-05,3.838442e-05,3.814295e-05,3.790418e-05,3.766818e-05,3.743500e-05,3.720468e-05,3.697727e-05,3.675279e-05,3.653128e-05,3.631276e-05,3.609723e-05,3.588471e-05,3.567520e-05,3.546870e-05,3.526521e-05,3.506473e-05,3.486724e-05,3.467273e-05,3.448119e-05,3.429259e-05
0.000000e+00,1.085166e-08,3.220597e-08,1.618925e-07,4.707760e-07,7.667797e-07,2.192834e-06,2.277336e-06,5.252754e-06,6.435602e-06,1.035188e-05,1.474332e-05,1.833596e-05,2.895497e-05,3.004959e-05,4.632419e-05,5.098620e-05,6.779753e-05,8.222109e-05,9.477336e-05,1.230492e-04,1.272256e-04,1.648915e-04,1.730163e-04,2.073654e-04,2.311927e-04,2.541614e-04,2.964229e-04,3.047491e-04,3.585746e-04,3.674494e-04,4.150720e-04,4.429731e-04,4.736739e-04,5.216932e-04,5.338192e-04,5.949621e-04,6.023412e-04,6.565795e-04,6.837133e-04,7.181787e-04,7.646999e-04,7.793038e-04,8.395411e-04,8.443103e-04,8.985221e-04,9.216894e-04,9.559266e-04,9.961269e-04,1.011482e-03,1.064965e-03,1.067059e-03,1.116196e-03,1.134060e-03,1.165038e-03,1.196836e-03,1.211396e-03,1.255210e-03,1.296453e-03,1.309106e-03,1.335123e-03,1.358533e-03,1.371246e-03,1.403567e-03,1.404865e-03,1.436041e-03,1.444342e-03,1.464846e-03,1.481027e-03,1.491366e-03,1.513823e-03,1.515690e-03,1.537916e-03,1.542949e-03,1.558142e-03,1.568633e-03,1.576471e-03,1.591110e-03,1.593003e-03,1.607839e-03,1.610612e-03,1.621078e-03,1.627364e-03,1.632817e-03,1.641586e-03,1.643148e-03,1.652160e-03,1.653486e-03,1.659941e-03,1.663262e-03,1.666571e-03,1.671100e-03,1.672129e-03,1.676689e-03,1.677173e-03,1.680321e-03,1.681642e-03,1.683090e-03,1.684656e-03,1.685058e-03,1.686285e-03,1.686353e-03,1.686824e-03,1.686859e-03,1.686727e-03,1.686290e-03,1.686041e-03,1.684813e-03,1.684753e-03,1.683083e-03,1.682345e-03,1.680890e-03,1.679154e-03,1.678273e-03,1.675263e-03,1.671894e-03,1.670744e-03,1.668194e-03,1.665666e-03,1.664192e-03,1.660089e-03,1.659913e-03,1.655381e-03,1.654070e-03,1.650619e-03,1.647659e-03,1.645646e-03,1.640903e-03,1.640483e-03,1.635148e-03,1.633844e-03,1.629657e-03,1.626520e-03,1.624026e-03,1.618967e-03,1.618270e-03,1.612401e-03,1.611215e-03,1.606434e-03,1.603295e-03,1.600378e-03,1.595232e-03,1.594246e-03,1.588048e-03,1.587050e-03,1.581792e-03,1.578772e-03,1.575488e-03,1.570416e-03,1.569145e-03,1.562769e-03,1.562002e-03,1.556367e-03,1.553544e-03,1.549947e-03,1.545059e-03,1.543515e-03,1.537076e-03,1.536560e-03,1.530635e-03,1.528060e-03,1.524198e-03,1.519568e-03,1.517769e-03,1.511352e-03,1.511096e-03,1.504952e-03,1.502653e-03,1.498572e-03,1.494246e-03,1.492215e-03,1.485884e-03,1.477574e-03,1.469320e-03,1.461130e-03,1.453008e-03,1.444957e-03,1.436983e-03,1.429089e-03,1.421277e-03,1.413551e-03,1.405912e-03,1.398364e-03,1.390907e-03,1.383544e-03,1.376275e-03,1.369102e-03,1.362026e-03,1.355047e-03,1.348165e-03,1.341381e-03,1.334696e-03,1.328108e-03,1.321619e-03,1.315228e-03,1.308935e-03
0.000000e+00,4.715442e-09,1.397866e-08,7.007221e-08,2.031055e-07,3.300900e-07,9.370819e-07,9.728418e-07,2.220104e-06,2.710314e-06,4.314224e-06,6.082839e-06,7.509990e-06,1.164769e-05,1.206873e-05,1.825067e-05,2.000365e-05,2.629989e-05,3.170059e-05,3.641660e-05,4.712655e-05,4.871974e-05,6.321738e-05,6.637272e-05,7.980336e-05,8.919037e-05,9.827958e-05,1.150728e-04,1.183882e-04,1.398408e-04,1.433780e-04,1.623390e-04,1.734230e-04,1.855893e-04,2.045418e-04,2.093111e-04,2.332432e-04,2.361176e-04,2.571471e-04,2.675998e-04,2.808090e-04,2.985140e-04,3.040415e-04,3.266833e-04,3.284649e-04,3.485992e-04,3.571367e-04,3.696789e-04,3.842890e-04,3.898358e-04,4.090049e-04,4.097504e-04,4.271412e-04,4.334116e-04,4.442172e-04,4.552165e-04,4.602208e-04,4.751534e-04,4.890274e-04,4.932468e-04,5.018646e-04,5.095496e-04,5.136943e-04,5.241355e-04,5.245516e-04,5.344758e-04,5.370932e-04,5.435098e-04,5.485215e-04,5.516983e-04,5.585243e-04,5.590871e-04,5.657225e-04,5.672080e-04,5.716505e-04,5.746782e-04,5.769165e-04,5.810379e-04,5.815644e-04,5.856371e-04,5.863863e-04,5.891756e-04,5.908175e-04,5.922190e-04,5.944202e-04,5.948046e-04,5.969678e-04,5.972769e-04,5.987417e-04,5.994642e-04,6.001577e-04,6.010527e-04,6.012453e-04,6.020317e-04,6.021071e-04,6.025426e-04,6.026864e-04,6.028020e-04,6.028446e-04,6.028320e-04,6.026532e-04,6.026305e-04,6.022848e-04,6.020883e-04,6.017444e-04,6.012581e-04,6.010484e-04,6.002120e-04,6.001758e-04,5.992491e-04,5.988740e-04,5.981726e-04,5.973818e-04,5.969944e-04,5.957255e-04,5.943759e-04,5.939286e-04,5.929550e-04,5.920122e-04,5.914714e-04,5.899952e-04,5.899327e-04,5.883463e-04,5.878945e-04,5.867189e-04,5.857252e-04,5.850564e-04,5.835007e-04,5.833644e-04,5.816482e-04,5.812332e-04,5.799122e-04,5.789332e-04,5.781610e-04,5.766103e-04,5.763983e-04,5.746278e-04,5.742731e-04,5.728527e-04,5.719289e-04,5.710761e-04,5.695845e-04,5.693007e-04,5.675289e-04,5.672459e-04,5.657630e-04,5.649181e-04,5.640052e-04,5.626059e-04,5.622571e-04,5.605207e-04,5.603132e-04,5.587973e-04,5.580435e-04,5.570884e-04,5.558000e-04,5.553951e-04,5.537186e-04,5.535853e-04,5.520599e-04,5.514016e-04,5.504199e-04,5.492510e-04,5.487992e-04,5.471987e-04,5.471351e-04,5.456189e-04,5.450554e-04,5.440604e-04,5.430129e-04,5.425235e-04,5.410087e-04,5.390436e-04,5.371181e-04,5.352327e-04,5.333876e-04,5.315830e-04,5.298190e-04,5.280956e-04,5.264126e-04,5.247699e-04,5.231671e-04,5.216039e-04,5.200799e-04,5.185946e-04,5.171477e-04,5.157385e-04,5.143666e-04,5.130312e-04,5.117319e-04,5.104680e-04,5.092388e-04,5.080438e-04,5.068821e-04,5.057533e-04,5.046565e-04
0.000000e+00,3.577910e-09,8.180572e-09,2.804267e-08,6.360116e-08,9.262272e-08,2.091113e-07,2.153594e-07,4.140309e-07,4.857423e-07,7.069708e-07,9.358656e-07,1.113070e-06,1.601335e-06,1.649314e-06,2.324793e-06,2.507495e-06,3.136096e-06,3.645233e-06,4.070674e-06,4.983224e-06,5.113627e-06,6.251049e-06,6.488738e-06,7.470248e-06,8.132524e-06,8.759124e-06,9.886868e-06,1.010570e-05,1.149796e-05,1.172415e-05,1.292385e-05,1.361673e-05,1.437152e-05,1.553761e-05,1.582950e-05,1.728694e-05,1.746131e-05,1.873378e-05,1.936465e-05,2.016092e-05,2.122739e-05,2.156032e-05,2.292501e-05,2.303251e-05,2.424914e-05,2.476632e-05,2.552790e-05,2.641834e-05,2.675748e-05,2.793500e-05,2.798099e-05,2.905845e-05,2.944938e-05,3.012653e-05,3.082085e-05,3.113860e-05,3.209458e-05,3.299486e-05,3.327129e-05,3.384019e-05,3.435286e-05,3.463167e-05,3.534205e-05,3.537062e-05,3.605856e-05,3.624227e-05,3.669717e-05,3.705739e-05,3.728822e-05,3.779156e-05,3.783355e-05,3.833506e-05,3.844911e-05,3.879465e-05,3.903442e-05,3.921422e-05,3.955184e-05,3.959566e-05,3.994082e-05,4.000567e-05,4.025154e-05,4.040009e-05,4.052958e-05,4.073913e-05,4.077665e-05,4.099444e-05,4.102667e-05,4.118453e-05,4.126640e-05,4.134849e-05,4.146183e-05,4.148779e-05,4.160386e-05,4.161629e-05,4.169806e-05,4.173292e-05,4.177170e-05,4.181469e-05,4.182603e-05,4.186222e-05,4.186436e-05,4.188141e-05,4.188457e-05,4.188468e-05,4.187775e-05,4.187305e-05,4.184750e-05,4.184620e-05,4.180894e-05,4.179205e-05,4.175827e-05,4.171731e-05,4.169630e-05,4.162384e-05,4.154162e-05,4.151337e-05,4.145036e-05,4.138752e-05,4.135073e-05,4.124779e-05,4.124336e-05,4.112885e-05,4.109559e-05,4.100778e-05,4.093221e-05,4.088067e-05,4.075884e-05,4.074804e-05,4.061036e-05,4.057661e-05,4.046808e-05,4.038656e-05,4.032163e-05,4.018963e-05,4.017141e-05,4.001780e-05,3.998671e-05,3.986116e-05,3.977861e-05,3.970181e-05,3.956611e-05,3.954008e-05,3.937626e-05,3.934987e-05,3.921063e-05,3.913056e-05,3.904345e-05,3.890876e-05,3.887497e-05,3.870541e-05,3.868501e-05,3.853500e-05,3.845980e-05,3.836394e-05,3.823361e-05,3.819241e-05,3.802059e-05,3.800684e-05,3.784866e-05,3.777988e-05,3.767675e-05,3.755308e-05,3.750502e-05,3.733361e-05,3.732676e-05,3.716263e-05,3.710121e-05,3.699220e-05,3.687669e-05,3.682244e-05,3.665344e-05,3.643168e-05,3.621161e-05,3.599339e-05,3.577720e-05,3.556316e-05,3.535141e-05,3.514205e-05,3.493518e-05,3.473089e-05,3.452925e-05,3.433032e-05,3.413416e-05,3.394081e-05,3.375031e-05,3.356269e-05,3.337797e-05,3.319616e-05,3.301728e-05,3.284133e-05,3.266831e-05,3.249822e-05,3.233104e-05,3.216676e-05,3.200538e-05
0.000000e+00,7.678258e-10,2.174811e-09,1.000165e-08,2.707433e-08,4.256504e-08,1.125842e-07,1.165997e-07,2.538874e-07,3.072105e-07,4.816163e-07,6.752693e-07,8.328911e-07,1.294838e-06,1.342040e-06,2.030788e-06,2.222840e-06,2.893968e-06,3.443508e-06,3.903527e-06,4.886036e-06,5.025612e-06,6.231669e-06,6.480969e-06,7.500332e-06,8.179285e-06,8.815491e-06,9.946616e-06,1.016418e-05,1.153522e-05,1.175597e-05,1.291851e-05,1.358410e-05,1.430484e-05,1.541042e-05,1.568581e-05,1.705391e-05,1.721689e-05,1.840252e-05,1.898824e-05,1.972597e-05,2.071201e-05,2.101951e-05,2.227925e-05,2.237848e-05,2.350214e-05,2.398042e-05,2.468582e-05,2.551283e-05,2.582862e-05,2.692940e-05,2.697255e-05,2.798750e-05,2.835791e-05,2.900266e-05,2.966845e-05,2.997493e-05,3.090465e-05,3.179236e-05,3.206767e-05,3.263879e-05,3.315921e-05,3.344477e-05,3.418134e-05,3.421126e-05,3.493928e-05,3.513638e-05,3.562992e-05,3.602681e-05,3.628427e-05,3.685521e-05,3.690349e-05,3.748872e-05,3.762425e-05,3.804114e-05,3.833658e-05,3.856188e-05,3.899485e-05,3.905210e-05,3.951288e-05,3.960161e-05,3.994535e-05,4.015940e-05,4.035058e-05,4.067070e-05,4.072964e-05,4.108354e-05,4.113790e-05,4.141330e-05,4.156330e-05,4.171989e-05,4.194912e-05,4.200426e-05,4.226733e-05,4.229751e-05,4.251000e-05,4.261053e-05,4.273312e-05,4.289015e-05,4.293755e-05,4.312407e-05,4.313825e-05,4.329349e-05,4.335663e-05,4.344654e-05,4.354703e-05,4.358397e-05,4.370647e-05,4.371107e-05,4.381473e-05,4.385033e-05,4.390938e-05,4.396631e-05,4.399107e-05,4.406040e-05,4.411796e-05,4.413398e-05,4.416429e-05,4.418831e-05,4.419995e-05,4.422461e-05,4.422544e-05,4.424128e-05,4.424405e-05,4.424794e-05,4.424771e-05,4.424587e-05,4.423665e-05,4.423552e-05,4.421732e-05,4.421183e-05,4.419167e-05,4.417420e-05,4.415896e-05,4.412464e-05,4.411957e-05,4.407385e-05,4.406398e-05,4.402216e-05,4.399302e-05,4.396481e-05,4.391251e-05,4.390214e-05,4.383443e-05,4.382315e-05,4.376199e-05,4.372562e-05,4.368509e-05,4.362054e-05,4.360399e-05,4.351896e-05,4.350850e-05,4.343023e-05,4.339009e-05,4.333805e-05,4.326581e-05,4.324263e-05,4.314418e-05,4.313618e-05,4.304292e-05,4.300167e-05,4.293904e-05,4.286272e-05,4.283272e-05,4.272414e-05,4.271975e-05,4.261348e-05,4.257316e-05,4.250090e-05,4.242332e-05,4.238654e-05,4.227057e-05,4.211525e-05,4.195767e-05,4.179811e-05,4.163685e-05,4.147414e-05,4.131022e-05,4.114532e-05,4.097965e-05,4.081340e-05,4.064677e-05,4.047991e-05,4.031300e-05,4.014618e-05,3.997960e-05,3.981337e-05,3.964764e-05,3.948249e-05,3.931806e-05,3.915442e-05,3.899167e-05,3.882989e-05,3.866917e-05,3.850956e-05,3.835113e-05
0.000000e+00,2.666081e-09,7.934238e-09,4.010880e-08,1.172238e-07,1.914497e-07,5.512815e-07,5.726825e-07,1.329573e-06,1.631786e-06,2.635936e-06,3.766727e-06,4.694728e-06,7.449843e-06,7.734767e-06,1.198905e-05,1.321353e-05,1.764788e-05,2.147276e-05,2.481406e-05,3.237462e-05,3.349454e-05,4.362209e-05,4.581173e-05,5.508180e-05,6.152056e-05,6.773060e-05,7.915847e-05,8.140947e-05,9.595098e-05,9.834627e-05,1.111842e-04,1.186917e-04,1.269386e-04,1.398049e-04,1.430471e-04,1.593488e-04,1.613107e-04,1.756918e-04,1.828591e-04,1.919351e-04,2.041337e-04,2.079502e-04,2.236225e-04,2.248584e-04,2.388521e-04,2.448003e-04,2.535538e-04,2.637720e-04,2.676572e-04,2.811061e-04,2.816298e-04,2.938577e-04,2.982714e-04,3.058818e-04,3.136325e-04,3.171593e-04,3.276814e-04,3.374479e-04,3.404147e-04,3.464665e-04,3.518521e-04,3.547511e-04,3.620317e-04,3.623211e-04,3.692000e-04,3.710058e-04,3.754147e-04,3.788369e-04,3.809946e-04,3.855942e-04,3.859709e-04,3.903757e-04,3.913514e-04,3.942418e-04,3.961838e-04,3.976021e-04,4.001667e-04,4.004892e-04,4.029350e-04,4.033740e-04,4.049707e-04,4.058772e-04,4.066263e-04,4.077443e-04,4.079306e-04,4.089113e-04,4.090399e-04,4.095945e-04,4.098242e-04,4.100051e-04,4.101531e-04,4.101666e-04,4.101007e-04,4.100786e-04,4.098283e-04,4.096480e-04,4.093685e-04,4.089049e-04,4.087393e-04,4.079573e-04,4.078887e-04,4.070381e-04,4.066352e-04,4.059959e-04,4.051768e-04,4.048440e-04,4.035946e-04,4.035427e-04,4.022589e-04,4.017590e-04,4.008475e-04,3.998492e-04,3.993696e-04,3.978342e-04,3.962491e-04,3.957326e-04,3.946217e-04,3.935611e-04,3.929588e-04,3.913345e-04,3.912663e-04,3.895500e-04,3.890658e-04,3.878148e-04,3.867666e-04,3.860655e-04,3.844471e-04,3.843061e-04,3.825406e-04,3.821163e-04,3.807724e-04,3.797821e-04,3.790045e-04,3.774514e-04,3.772400e-04,3.754812e-04,3.751303e-04,3.737305e-04,3.728241e-04,3.719900e-04,3.705373e-04,3.702616e-04,3.685468e-04,3.682739e-04,3.668473e-04,3.660373e-04,3.651642e-04,3.638305e-04,3.634989e-04,3.618522e-04,3.616559e-04,3.602252e-04,3.595158e-04,3.586187e-04,3.574118e-04,3.570332e-04,3.554696e-04,3.553454e-04,3.539281e-04,3.533179e-04,3.524093e-04,3.513301e-04,3.509136e-04,3.494411e-04,3.493827e-04,3.479922e-04,3.474764e-04,3.465670e-04,3.456115e-04,3.451657e-04,3.437882e-04,3.420066e-04,3.402668e-04,3.385684e-04,3.369115e-04,3.352956e-04,3.337203e-04,3.321854e-04,3.306902e-04,3.292342e-04,3.278169e-04,3.264378e-04,3.250960e-04,3.237911e-04,3.225223e-04,3.212889e-04,3.200903e-04,3.189256e-04,3.177943e-04,3.166955e-04,3.156286e-04,3.145928e-04,3.135874e-04,3.126117e-04,3.116648e-04
0.000000e+00,5.752029e-10,1.693648e-09,8.375867e-09,2.400085e-08,3.877975e-08,1.086597e-07,1.127542e-07,2.549593e-07,3.107153e-07,4.932397e-07,6.951809e-07,8.588693e-07,1.337640e-06,1.386708e-06,2.113950e-06,2.322199e-06,3.075622e-06,3.726398e-06,4.296211e-06,5.589278e-06,5.781057e-06,7.513883e-06,7.887516e-06,9.461858e-06,1.054625e-05,1.158368e-05,1.346882e-05,1.383631e-05,1.617899e-05,1.655966e-05,1.857505e-05,1.973453e-05,2.099240e-05,2.292284e-05,2.340332e-05,2.578408e-05,2.606675e-05,2.811453e-05,2.911949e-05,3.037764e-05,3.204378e-05,3.255929e-05,3.464795e-05,3.481074e-05,3.663449e-05,3.739889e-05,3.851198e-05,3.979345e-05,4.027556e-05,4.192217e-05,4.198558e-05,4.345042e-05,4.397158e-05,4.486034e-05,4.575214e-05,4.615327e-05,4.733162e-05,4.839866e-05,4.871724e-05,4.935841e-05,4.991845e-05,5.021546e-05,5.094622e-05,5.097478e-05,5.164165e-05,5.181255e-05,5.222151e-05,5.252995e-05,5.271986e-05,5.311106e-05,5.314217e-05,5.349386e-05,5.356834e-05,5.378018e-05,5.391386e-05,5.400621e-05,5.415912e-05,5.417682e-05,5.429665e-05,5.431491e-05,5.437008e-05,5.439131e-05,5.440125e-05,5.439761e-05,5.439402e-05,5.435202e-05,5.434231e-05,5.427861e-05,5.423314e-05,5.417690e-05,5.407711e-05,5.404978e-05,5.389992e-05,5.388053e-05,5.372977e-05,5.364906e-05,5.354158e-05,5.338777e-05,5.333743e-05,5.311920e-05,5.310119e-05,5.288864e-05,5.279332e-05,5.264733e-05,5.246774e-05,5.239670e-05,5.213808e-05,5.212758e-05,5.187265e-05,5.177565e-05,5.160152e-05,5.141439e-05,5.132566e-05,5.104598e-05,5.076330e-05,5.067232e-05,5.047833e-05,5.029508e-05,5.019177e-05,4.991571e-05,4.990419e-05,4.961616e-05,4.953550e-05,4.932816e-05,4.915557e-05,4.904064e-05,4.877688e-05,4.875398e-05,4.846856e-05,4.840027e-05,4.818468e-05,4.802649e-05,4.790263e-05,4.765614e-05,4.762267e-05,4.734502e-05,4.728979e-05,4.706990e-05,4.692789e-05,4.679747e-05,4.657083e-05,4.652789e-05,4.626131e-05,4.621894e-05,4.599784e-05,4.587250e-05,4.573758e-05,4.553175e-05,4.548063e-05,4.522705e-05,4.519685e-05,4.497692e-05,4.486797e-05,4.473029e-05,4.454521e-05,4.448720e-05,4.424768e-05,4.422867e-05,4.401175e-05,4.391839e-05,4.377945e-05,4.361443e-05,4.355076e-05,4.332572e-05,4.331679e-05,4.310430e-05,4.302547e-05,4.288650e-05,4.274047e-05,4.267232e-05,4.246174e-05,4.218925e-05,4.192295e-05,4.166277e-05,4.140865e-05,4.116051e-05,4.091826e-05,4.068184e-05,4.045114e-05,4.022607e-05,4.000654e-05,3.979244e-05,3.958368e-05,3.938015e-05,3.918176e-05,3.898840e-05,3.879997e-05,3.861636e-05,3.843747e-05,3.826320e-05,3.809345e-05,3.792811e-05,3.776709e-05,3.761028e-05,3.745758e-05
0.000000e+00,1.307153e-09,3.188972e-09,1.173362e-08,2.750197e-08,4.052549e-08,9.320162e-08,9.603289e-08,1.859357e-07,2.182675e-07,3.174934e-07,4.193554e-07,4.977383e-07,7.123880e-07,7.334320e-07,1.030415e-06,1.111269e-06,1.392149e-06,1.623070e-06,1.818401e-06,2.244098e-06,2.305617e-06,2.848581e-06,2.963371e-06,3.441709e-06,3.768127e-06,4.079493e-06,4.645768e-06,4.756500e-06,5.467260e-06,5.583744e-06,6.206211e-06,6.569262e-06,6.967696e-06,7.589275e-06,7.746012e-06,8.535490e-06,8.630713e-06,9.330592e-06,9.680837e-06,1.012600e-05,1.072760e-05,1.091668e-05,1.169799e-05,1.175996e-05,1.246572e-05,1.276815e-05,1.321612e-05,1.374382e-05,1.394592e-05,1.465235e-05,1.468009e-05,1.533314e-05,1.557157e-05,1.598644e-05,1.641426e-05,1.661087e-05,1.720545e-05,1.776954e-05,1.794355e-05,1.830283e-05,1.862796e-05,1.880531e-05,1.925893e-05,1.927722e-05,1.971899e-05,1.983737e-05,2.013124e-05,2.036472e-05,2.051470e-05,2.084282e-05,2.087025e-05,2.119885e-05,2.127381e-05,2.150150e-05,2.166005e-05,2.177927e-05,2.200400e-05,2.203325e-05,2.226454e-05,2.230818e-05,2.247425e-05,2.257513e-05,2.266347e-05,2.280736e-05,2.283327e-05,2.298473e-05,2.300733e-05,2.311886e-05,2.317738e-05,2.323666e-05,2.331980e-05,2.333910e-05,2.342710e-05,2.343674e-05,2.350155e-05,2.353024e-05,2.356330e-05,2.360223e-05,2.361316e-05,2.365189e-05,2.365453e-05,2.368024e-05,2.368882e-05,2.369889e-05,2.370669e-05,2.370851e-05,2.370972e-05,2.370960e-05,2.370311e-05,2.369893e-05,2.368924e-05,2.367593e-05,2.366863e-05,2.364178e-05,2.360916e-05,2.359758e-05,2.357121e-05,2.354431e-05,2.352833e-05,2.348290e-05,2.348093e-05,2.342936e-05,2.341422e-05,2.337396e-05,2.333903e-05,2.331507e-05,2.325806e-05,2.325299e-05,2.318799e-05,2.317199e-05,2.312034e-05,2.308140e-05,2.305031e-05,2.298688e-05,2.297810e-05,2.290396e-05,2.288892e-05,2.282808e-05,2.278800e-05,2.275066e-05,2.268456e-05,2.267187e-05,2.259188e-05,2.257898e-05,2.251085e-05,2.247163e-05,2.242893e-05,2.236284e-05,2.234625e-05,2.226295e-05,2.225291e-05,2.217913e-05,2.214212e-05,2.209492e-05,2.203071e-05,2.201041e-05,2.192571e-05,2.191892e-05,2.184089e-05,2.180695e-05,2.175605e-05,2.169500e-05,2.167127e-05,2.158661e-05,2.158323e-05,2.150214e-05,2.147179e-05,2.141793e-05,2.136084e-05,2.133403e-05,2.125049e-05,2.114086e-05,2.103205e-05,2.092415e-05,2.081725e-05,2.071141e-05,2.060671e-05,2.050320e-05,2.040092e-05,2.029993e-05,2.020026e-05,2.010195e-05,2.000501e-05,1.990947e-05,1.981536e-05,1.972269e-05,1.963146e-05,1.954168e-05,1.945337e-05,1.936652e-05,1.928114e-05,1.919722e-05,1.911475e-05,1.903374e-05,1.895417e-05
0.000000e+00,6.633440e-09,1.521409e-08,5.290532e-08,1.228948e-07,1.822996e-07,4.402322e-07,4.549098e-07,9.609966e-07,1.159599e-06,1.805782e-06,2.496872e-06,3.029719e-06,4.443278e-06,4.577131e-06,6.376214e-06,6.839811e-06,8.380805e-06,9.582660e-06,1.056395e-05,1.261797e-05,1.290704e-05,1.539370e-05,1.590680e-05,1.800714e-05,1.941029e-05,2.072934e-05,2.308606e-05,2.354116e-05,2.642265e-05,2.688881e-05,2.935376e-05,3.077252e-05,3.231488e-05,3.469284e-05,3.528741e-05,3.825398e-05,3.860880e-05,4.119881e-05,4.248405e-05,4.410824e-05,4.628845e-05,4.697053e-05,4.977561e-05,4.999729e-05,5.251522e-05,5.359120e-05,5.518271e-05,5.705562e-05,5.777280e-05,6.028151e-05,6.038012e-05,6.270599e-05,6.355780e-05,6.504438e-05,6.658467e-05,6.729544e-05,6.945830e-05,7.153343e-05,7.217908e-05,7.352158e-05,7.474875e-05,7.542368e-05,7.717000e-05,7.724108e-05,7.897520e-05,7.944606e-05,8.062777e-05,8.158093e-05,8.220063e-05,8.357892e-05,8.369571e-05,8.511506e-05,8.544467e-05,8.646081e-05,8.718308e-05,8.773510e-05,8.879909e-05,8.894010e-05,9.007798e-05,9.029768e-05,9.115086e-05,9.168380e-05,9.216092e-05,9.296237e-05,9.311028e-05,9.400106e-05,9.413828e-05,9.483533e-05,9.521632e-05,9.561514e-05,9.620112e-05,9.634248e-05,9.701929e-05,9.709721e-05,9.764749e-05,9.790898e-05,9.822895e-05,9.864071e-05,9.876547e-05,9.925885e-05,9.929651e-05,9.971079e-05,9.988035e-05,1.001230e-04,1.003961e-04,1.004971e-04,1.008346e-04,1.008473e-04,1.011371e-04,1.012377e-04,1.014061e-04,1.015706e-04,1.016430e-04,1.018493e-04,1.020262e-04,1.020768e-04,1.021751e-04,1.022563e-04,1.022972e-04,1.023904e-04,1.023938e-04,1.024661e-04,1.024821e-04,1.025151e-04,1.025339e-04,1.025420e-04,1.025482e-04,1.025479e-04,1.025338e-04,1.025275e-04,1.025006e-04,1.024740e-04,1.024493e-04,1.023899e-04,1.023808e-04,1.022961e-04,1.022772e-04,1.021959e-04,1.021379e-04,1.020811e-04,1.019739e-04,1.019524e-04,1.018107e-04,1.017869e-04,1.016566e-04,1.015785e-04,1.014909e-04,1.013504e-04,1.013142e-04,1.011272e-04,1.011041e-04,1.009304e-04,1.008409e-04,1.007246e-04,1.005624e-04,1.005102e-04,1.002878e-04,1.002697e-04,1.000579e-04,9.996399e-05,9.982108e-05,9.964652e-05,9.957776e-05,9.932843e-05,9.931833e-05,9.907351e-05,9.898046e-05,9.881345e-05,9.863387e-05,9.854864e-05,9.827948e-05,9.791813e-05,9.755066e-05,9.717782e-05,9.680034e-05,9.641888e-05,9.603410e-05,9.564658e-05,9.525688e-05,9.486555e-05,9.447305e-05,9.407987e-05,9.368642e-05,9.329312e-05,9.290034e-05,9.250843e-05,9.211771e-05,9.172850e-05,9.134107e-05,9.095568e-05,9.057258e-05,9.019199e-05,8.981411e-05,8.943914e-05,8.906724e-05
0.000000e+00,3.925662e-09,8.992220e-09,3.112848e-08,7.185063e-08,1.061081e-07,2.525615e-07,2.608098e-07,5.420659e-07,6.515708e-07,1.008045e-06,1.392252e-06,1.690939e-06,2.490433e-06,2.566473e-06,3.590480e-06,3.854494e-06,4.731278e-06,5.413751e-06,5.969906e-06,7.130719e-06,7.293722e-06,8.692282e-06,8.980074e-06,1.015541e-05,1.093826e-05,1.167250e-05,1.298041e-05,1.323240e-05,1.482365e-05,1.508039e-05,1.643476e-05,1.721185e-05,1.805457e-05,1.934956e-05,1.967252e-05,2.127892e-05,2.147049e-05,2.286507e-05,2.355456e-05,2.442337e-05,2.558503e-05,2.594735e-05,2.743165e-05,2.754854e-05,2.887192e-05,2.943492e-05,3.026480e-05,3.123688e-05,3.160777e-05,3.289915e-05,3.294971e-05,3.413790e-05,3.457084e-05,3.532346e-05,3.609920e-05,3.645574e-05,3.753506e-05,3.856202e-05,3.887973e-05,3.953750e-05,4.013529e-05,4.046260e-05,4.130447e-05,4.133858e-05,4.216681e-05,4.239035e-05,4.294875e-05,4.339633e-05,4.368593e-05,4.432604e-05,4.438002e-05,4.503277e-05,4.518345e-05,4.564573e-05,4.597218e-05,4.622044e-05,4.669577e-05,4.675844e-05,4.726124e-05,4.735771e-05,4.773030e-05,4.796136e-05,4.816706e-05,4.851001e-05,4.857293e-05,4.894928e-05,4.900685e-05,4.929741e-05,4.945486e-05,4.961858e-05,4.985694e-05,4.991402e-05,5.018493e-05,5.021584e-05,5.043243e-05,5.053421e-05,5.065765e-05,5.081456e-05,5.086163e-05,5.104539e-05,5.105925e-05,5.120992e-05,5.127055e-05,5.135614e-05,5.145060e-05,5.148497e-05,5.159728e-05,5.160144e-05,5.169388e-05,5.172496e-05,5.177557e-05,5.182300e-05,5.184312e-05,5.189724e-05,5.193864e-05,5.194932e-05,5.196799e-05,5.198074e-05,5.198592e-05,5.199295e-05,5.199304e-05,5.198993e-05,5.198731e-05,5.197716e-05,5.196508e-05,5.195525e-05,5.192747e-05,5.192472e-05,5.188605e-05,5.187561e-05,5.183970e-05,5.181056e-05,5.178612e-05,5.173333e-05,5.172573e-05,5.165894e-05,5.164485e-05,5.158613e-05,5.154601e-05,5.150766e-05,5.143764e-05,5.142389e-05,5.133515e-05,5.132052e-05,5.124177e-05,5.119538e-05,5.114404e-05,5.106292e-05,5.104225e-05,5.093669e-05,5.092378e-05,5.082760e-05,5.077856e-05,5.071525e-05,5.062783e-05,5.059987e-05,5.048169e-05,5.047213e-05,5.036093e-05,5.031195e-05,5.023779e-05,5.014776e-05,5.011246e-05,4.998513e-05,4.998000e-05,4.985599e-05,4.980908e-05,4.972519e-05,4.963538e-05,4.959290e-05,4.945927e-05,4.928107e-05,4.910111e-05,4.891967e-05,4.873702e-05,4.855343e-05,4.836912e-05,4.818433e-05,4.799926e-05,4.781409e-05,4.762901e-05,4.744419e-05,4.725977e-05,4.707590e-05,4.689272e-05,4.671034e-05,4.652887e-05,4.634843e-05,4.616910e-05,4.599098e-05,4.581414e-05,4.563866e-05,4.546461e-05,4.529205e-05,4.512103e-05
0.000000e+00,5.633333e-09,1.294907e-08,4.462656e-08,1.014293e-07,1.478033e-07,3.338367e-07,3.438074e-07,6.603167e-07,7.742906e-07,1.124963e-06,1.486421e-06,1.765513e-06,2.533352e-06,2.608873e-06,3.678531e-06,3.970907e-06,4.990184e-06,5.831935e-06,6.545969e-06,8.104394e-06,8.329404e-06,1.030497e-05,1.071903e-05,1.242474e-05,1.356720e-05,1.463860e-05,1.653823e-05,1.690216e-05,1.917965e-05,1.954339e-05,2.144345e-05,2.251882e-05,2.367248e-05,2.541969e-05,2.585060e-05,2.796549e-05,2.821456e-05,3.000783e-05,3.088163e-05,3.197074e-05,3.340637e-05,3.384935e-05,3.564049e-05,3.577994e-05,3.734238e-05,3.799798e-05,3.895442e-05,4.005961e-05,4.047694e-05,4.191105e-05,4.196660e-05,4.325845e-05,4.372269e-05,4.452129e-05,4.533299e-05,4.570207e-05,4.680356e-05,4.782865e-05,4.814103e-05,4.878037e-05,4.935238e-05,4.966179e-05,5.044467e-05,5.047599e-05,5.122603e-05,5.142495e-05,5.191492e-05,5.230014e-05,5.254563e-05,5.307695e-05,5.312101e-05,5.364386e-05,5.376182e-05,5.411687e-05,5.436096e-05,5.454265e-05,5.488025e-05,5.492369e-05,5.526241e-05,5.532528e-05,5.556110e-05,5.570134e-05,5.582197e-05,5.601342e-05,5.604713e-05,5.623858e-05,5.626621e-05,5.639824e-05,5.646414e-05,5.652796e-05,5.661134e-05,5.662946e-05,5.670441e-05,5.671170e-05,5.675439e-05,5.676886e-05,5.678089e-05,5.678622e-05,5.678535e-05,5.676912e-05,5.676697e-05,5.673348e-05,5.671407e-05,5.667966e-05,5.663030e-05,5.660881e-05,5.652204e-05,5.651825e-05,5.642038e-05,5.638033e-05,5.630482e-05,5.621878e-05,5.617630e-05,5.603571e-05,5.588387e-05,5.583305e-05,5.572160e-05,5.561262e-05,5.554965e-05,5.537611e-05,5.536871e-05,5.517948e-05,5.512509e-05,5.498258e-05,5.486102e-05,5.477862e-05,5.458524e-05,5.456818e-05,5.435178e-05,5.429901e-05,5.412993e-05,5.400350e-05,5.390313e-05,5.369979e-05,5.367181e-05,5.343642e-05,5.338888e-05,5.319734e-05,5.307170e-05,5.295498e-05,5.274911e-05,5.270967e-05,5.246178e-05,5.242189e-05,5.221160e-05,5.209080e-05,5.195945e-05,5.175650e-05,5.170560e-05,5.145034e-05,5.141962e-05,5.119389e-05,5.108075e-05,5.093651e-05,5.074041e-05,5.067841e-05,5.041980e-05,5.039910e-05,5.016089e-05,5.005727e-05,4.990184e-05,4.971535e-05,4.964284e-05,4.938405e-05,4.937370e-05,4.912561e-05,4.903269e-05,4.886767e-05,4.869263e-05,4.861037e-05,4.835382e-05,4.801653e-05,4.768101e-05,4.734747e-05,4.701611e-05,4.668714e-05,4.636070e-05,4.603695e-05,4.571603e-05,4.539805e-05,4.508313e-05,4.477135e-05,4.446280e-05,4.415756e-05,4.385569e-05,4.355724e-05,4.326226e-05,4.297079e-05,4.268286e-05,4.239849e-05,4.211771e-05,4.184053e-05,4.156695e-05,4.129698e-05,4.103062e-05
0.000000e+00,1.285338e-08,3.846674e-08,1.977291e-07,5.916930e-07,9.832563e-07,3.013238e-06,3.139975e-06,7.979401e-06,1.008109e-05,1.761361e-05,2.685525e-05,3.483382e-05,5.948659e-05,6.206862e-05,1.004116e-04,1.112760e-04,1.498033e-04,1.820621e-04,2.096045e-04,2.701587e-04,2.789545e-04,3.569270e-04,3.734738e-04,4.425863e-04,4.898582e-04,5.350036e-04,6.171845e-04,6.332606e-04,7.364512e-04,7.533598e-04,8.436855e-04,8.963384e-04,9.540955e-04,1.044145e-03,1.066843e-03,1.181128e-03,1.194909e-03,1.296195e-03,1.346890e-03,1.411345e-03,1.498514e-03,1.525931e-03,1.639373e-03,1.648383e-03,1.751148e-03,1.795287e-03,1.860800e-03,1.938209e-03,1.967930e-03,2.072201e-03,2.076309e-03,2.173330e-03,2.208920e-03,2.271084e-03,2.335533e-03,2.365279e-03,2.455775e-03,2.542469e-03,2.569396e-03,2.625293e-03,2.676252e-03,2.704211e-03,2.776285e-03,2.779210e-03,2.850304e-03,2.869514e-03,2.917525e-03,2.956019e-03,2.980923e-03,3.035927e-03,3.040561e-03,3.096515e-03,3.109405e-03,3.148871e-03,3.176652e-03,3.197720e-03,3.237887e-03,3.243164e-03,3.285306e-03,3.293348e-03,3.324254e-03,3.343281e-03,3.360118e-03,3.387943e-03,3.393011e-03,3.423044e-03,3.427591e-03,3.450331e-03,3.462486e-03,3.474983e-03,3.492882e-03,3.497112e-03,3.516826e-03,3.519035e-03,3.534235e-03,3.541192e-03,3.549444e-03,3.559594e-03,3.562555e-03,3.573670e-03,3.574476e-03,3.582887e-03,3.586064e-03,3.590302e-03,3.594576e-03,3.596006e-03,3.600091e-03,3.600222e-03,3.602642e-03,3.603201e-03,3.603744e-03,3.603707e-03,3.603477e-03,3.601920e-03,3.599148e-03,3.598016e-03,3.595232e-03,3.592158e-03,3.590243e-03,3.584505e-03,3.584246e-03,3.577307e-03,3.575203e-03,3.569486e-03,3.564394e-03,3.560842e-03,3.552210e-03,3.551430e-03,3.541306e-03,3.538776e-03,3.530520e-03,3.524210e-03,3.519122e-03,3.508621e-03,3.507157e-03,3.494672e-03,3.492116e-03,3.481708e-03,3.474791e-03,3.468306e-03,3.456738e-03,3.454504e-03,3.440340e-03,3.438043e-03,3.425849e-03,3.418786e-03,3.411063e-03,3.399043e-03,3.396013e-03,3.380731e-03,3.378883e-03,3.365243e-03,3.358371e-03,3.349578e-03,3.337569e-03,3.333760e-03,3.317813e-03,3.316533e-03,3.301760e-03,3.295315e-03,3.285623e-03,3.273964e-03,3.269422e-03,3.253175e-03,3.252524e-03,3.236901e-03,3.231039e-03,3.220616e-03,3.209545e-03,3.204337e-03,3.188078e-03,3.166671e-03,3.145354e-03,3.124153e-03,3.103093e-03,3.082197e-03,3.061486e-03,3.040977e-03,3.020689e-03,3.000635e-03,2.980829e-03,2.961282e-03,2.942006e-03,2.923010e-03,2.904300e-03,2.885885e-03,2.867769e-03,2.849958e-03,2.832455e-03,2.815263e-03,2.798384e-03,2.781820e-03,2.765572e-03,2.749640e-03,2.734024e-03
0.000000e+00,9.649183e-09,2.885497e-08,1.480256e-07,4.418876e-07,7.331357e-07,2.235439e-06,2.328931e-06,5.884234e-06,7.422787e-06,1.292752e-05,1.968269e-05,2.552730e-05,4.368183e-05,4.559120e-05,7.408479e-05,8.219728e-05,1.110665e-04,1.353332e-04,1.561050e-04,2.019087e-04,2.085751e-04,2.677951e-04,2.803887e-04,3.330800e-04,3.692009e-04,4.037566e-04,4.668086e-04,4.791652e-04,5.586582e-04,5.717134e-04,6.415992e-04,6.824520e-04,7.273647e-04,7.976017e-04,8.153470e-04,9.049594e-04,9.157954e-04,9.956406e-04,1.035741e-03,1.086861e-03,1.156242e-03,1.178124e-03,1.268975e-03,1.276212e-03,1.358997e-03,1.394689e-03,1.447817e-03,1.510837e-03,1.535105e-03,1.620572e-03,1.623949e-03,1.703969e-03,1.733444e-03,1.785086e-03,1.838854e-03,1.863751e-03,1.939819e-03,2.013182e-03,2.036072e-03,2.083755e-03,2.127430e-03,2.151480e-03,2.213784e-03,2.216322e-03,2.278264e-03,2.295088e-03,2.337307e-03,2.371349e-03,2.393469e-03,2.442617e-03,2.446778e-03,2.497275e-03,2.508981e-03,2.545008e-03,2.570554e-03,2.590037e-03,2.627476e-03,2.632425e-03,2.672243e-03,2.679905e-03,2.709566e-03,2.728012e-03,2.744468e-03,2.771972e-03,2.777027e-03,2.807322e-03,2.811965e-03,2.835432e-03,2.848173e-03,2.861437e-03,2.880778e-03,2.885415e-03,2.907445e-03,2.909961e-03,2.927604e-03,2.935900e-03,2.945967e-03,2.958769e-03,2.962611e-03,2.977608e-03,2.978738e-03,2.991029e-03,2.995972e-03,3.002945e-03,3.010631e-03,3.013425e-03,3.022533e-03,3.022870e-03,3.030336e-03,3.032837e-03,3.036894e-03,3.040674e-03,3.042269e-03,3.046519e-03,3.049701e-03,3.050502e-03,3.051869e-03,3.052749e-03,3.053076e-03,3.053378e-03,3.053373e-03,3.052809e-03,3.052503e-03,3.051431e-03,3.050232e-03,3.049285e-03,3.046669e-03,3.046413e-03,3.042860e-03,3.041910e-03,3.038663e-03,3.036047e-03,3.033863e-03,3.029169e-03,3.028497e-03,3.022599e-03,3.021358e-03,3.016204e-03,3.012693e-03,3.009345e-03,3.003247e-03,3.002053e-03,2.994357e-03,2.993091e-03,2.986288e-03,2.982289e-03,2.977871e-03,2.970905e-03,2.969133e-03,2.960099e-03,2.958996e-03,2.950792e-03,2.946617e-03,2.941237e-03,2.933820e-03,2.931453e-03,2.921462e-03,2.920654e-03,2.911283e-03,2.907163e-03,2.900935e-03,2.893390e-03,2.890436e-03,2.879803e-03,2.879375e-03,2.869051e-03,2.865155e-03,2.858197e-03,2.850765e-03,2.847255e-03,2.836237e-03,2.821602e-03,2.806888e-03,2.792120e-03,2.777323e-03,2.762520e-03,2.747732e-03,2.732977e-03,2.718273e-03,2.703638e-03,2.689085e-03,2.674629e-03,2.660282e-03,2.646056e-03,2.631961e-03,2.618006e-03,2.604201e-03,2.590553e-03,2.577068e-03,2.563754e-03,2.550614e-03,2.537655e-03,2.524880e-03,2.512293e-03,2.499896e-03
0.000000e+00,5.983283e-10,1.735298e-09,8.318005e-09,2.316909e-08,3.685940e-08,9.923456e-08,1.028073e-07,2.235074e-07,2.695167e-07,4.167115e-07,5.751133e-07,7.009686e-07,1.059319e-06,1.095348e-06,1.616394e-06,1.761433e-06,2.271947e-06,2.696367e-06,3.056747e-06,3.841475e-06,3.954469e-06,4.943568e-06,5.150401e-06,6.002206e-06,6.573541e-06,7.110718e-06,8.067971e-06,8.252205e-06,9.412272e-06,9.598752e-06,1.057846e-05,1.113713e-05,1.173977e-05,1.265859e-05,1.288626e-05,1.400892e-05,1.414164e-05,1.509956e-05,1.556738e-05,1.615084e-05,1.691949e-05,1.715632e-05,1.811054e-05,1.818452e-05,1.900906e-05,1.935208e-05,1.984850e-05,2.041495e-05,2.062651e-05,2.134176e-05,2.136906e-05,2.199386e-05,2.221321e-05,2.258324e-05,2.294877e-05,2.311109e-05,2.357923e-05,2.399002e-05,2.410980e-05,2.434620e-05,2.454690e-05,2.465083e-05,2.489778e-05,2.490715e-05,2.511850e-05,2.517009e-05,2.528829e-05,2.537161e-05,2.541987e-05,2.551000e-05,2.551652e-05,2.558140e-05,2.559258e-05,2.561752e-05,2.562626e-05,2.562774e-05,2.561741e-05,2.561470e-05,2.558089e-05,2.557185e-05,2.552861e-05,2.549482e-05,2.545994e-05,2.539101e-05,2.537681e-05,2.528097e-05,2.526457e-05,2.517400e-05,2.511913e-05,2.505734e-05,2.495790e-05,2.493227e-05,2.479994e-05,2.478363e-05,2.466141e-05,2.459872e-05,2.451758e-05,2.440525e-05,2.436930e-05,2.421730e-05,2.420500e-05,2.406225e-05,2.399950e-05,2.390471e-05,2.379006e-05,2.374523e-05,2.358426e-05,2.357779e-05,2.342221e-05,2.336367e-05,2.325944e-05,2.314852e-05,2.309628e-05,2.293302e-05,2.276991e-05,2.271779e-05,2.260718e-05,2.250333e-05,2.244503e-05,2.229007e-05,2.228363e-05,2.212314e-05,2.207838e-05,2.196370e-05,2.186859e-05,2.180542e-05,2.166094e-05,2.164843e-05,2.149281e-05,2.145567e-05,2.133864e-05,2.125297e-05,2.118599e-05,2.105298e-05,2.103494e-05,2.088553e-05,2.085585e-05,2.073781e-05,2.066168e-05,2.059182e-05,2.047055e-05,2.044759e-05,2.030516e-05,2.028254e-05,2.016454e-05,2.009769e-05,2.002575e-05,1.991605e-05,1.988881e-05,1.975373e-05,1.973765e-05,1.962052e-05,1.956249e-05,1.948917e-05,1.939060e-05,1.935970e-05,1.923209e-05,1.922196e-05,1.910635e-05,1.905657e-05,1.898247e-05,1.889442e-05,1.886044e-05,1.874025e-05,1.873548e-05,1.862190e-05,1.857974e-05,1.850537e-05,1.842716e-05,1.839064e-05,1.827771e-05,1.813135e-05,1.798806e-05,1.784777e-05,1.771047e-05,1.757609e-05,1.744459e-05,1.731593e-05,1.719006e-05,1.706692e-05,1.694648e-05,1.682868e-05,1.671347e-05,1.660079e-05,1.649061e-05,1.638286e-05,1.627751e-05,1.617449e-05,1.607377e-05,1.597529e-05,1.587900e-05,1.578486e-05,1.569282e-05,1.560282e-05,1.551484e-05
0.000000e+00,2.349026e-09,6.999466e-09,3.548335e-08,1.040066e-07,1.701627e-07,4.925523e-07,5.117941e-07,1.195838e-06,1.470531e-06,2.388035e-06,3.427672e-06,4.283920e-06,6.828734e-06,7.091422e-06,1.098756e-05,1.209858e-05,1.608533e-05,1.948662e-05,2.243776e-05,2.907553e-05,3.005625e-05,3.892370e-05,4.084399e-05,4.900122e-05,5.470130e-05,6.023110e-05,7.050044e-05,7.253847e-05,8.583281e-05,8.804470e-05,1.000098e-04,1.070947e-04,1.149539e-04,1.273781e-04,1.305407e-04,1.466404e-04,1.486006e-04,1.631211e-04,1.704592e-04,1.798512e-04,1.926540e-04,1.967029e-04,2.135542e-04,2.148989e-04,2.302913e-04,2.369303e-04,2.468095e-04,2.585139e-04,2.630148e-04,2.788244e-04,2.794475e-04,2.941666e-04,2.995634e-04,3.089812e-04,3.187281e-04,3.232188e-04,3.368403e-04,3.498162e-04,3.538286e-04,3.621259e-04,3.696483e-04,3.737566e-04,3.842778e-04,3.847025e-04,3.949640e-04,3.977152e-04,4.045467e-04,4.099747e-04,4.134609e-04,4.210834e-04,4.217204e-04,4.293422e-04,4.310786e-04,4.363456e-04,4.400053e-04,4.427520e-04,4.479137e-04,4.485840e-04,4.538652e-04,4.548575e-04,4.586201e-04,4.608928e-04,4.628732e-04,4.660761e-04,4.666492e-04,4.699726e-04,4.704639e-04,4.728675e-04,4.741119e-04,4.753577e-04,4.770738e-04,4.774661e-04,4.792152e-04,4.794019e-04,4.806266e-04,4.811460e-04,4.817211e-04,4.823532e-04,4.825186e-04,4.830384e-04,4.830685e-04,4.832986e-04,4.833339e-04,4.833166e-04,4.831889e-04,4.831090e-04,4.826914e-04,4.826705e-04,4.820787e-04,4.818131e-04,4.812850e-04,4.806487e-04,4.803236e-04,4.792070e-04,4.779471e-04,4.775155e-04,4.765550e-04,4.755996e-04,4.750413e-04,4.734828e-04,4.734158e-04,4.716878e-04,4.711868e-04,4.698660e-04,4.687313e-04,4.679586e-04,4.661348e-04,4.659733e-04,4.639173e-04,4.634141e-04,4.617973e-04,4.605845e-04,4.596197e-04,4.576604e-04,4.573903e-04,4.551148e-04,4.546546e-04,4.527982e-04,4.515790e-04,4.504455e-04,4.484445e-04,4.480610e-04,4.456492e-04,4.452610e-04,4.432138e-04,4.420375e-04,4.407586e-04,4.387824e-04,4.382869e-04,4.358021e-04,4.355031e-04,4.333069e-04,4.322066e-04,4.308043e-04,4.288989e-04,4.282968e-04,4.257867e-04,4.255859e-04,4.232763e-04,4.222726e-04,4.207677e-04,4.189636e-04,4.182627e-04,4.157632e-04,4.156633e-04,4.132706e-04,4.123754e-04,4.107867e-04,4.091032e-04,4.083127e-04,4.058500e-04,4.026184e-04,3.994109e-04,3.962298e-04,3.930769e-04,3.899541e-04,3.868628e-04,3.838044e-04,3.807801e-04,3.777909e-04,3.748377e-04,3.719211e-04,3.690419e-04,3.662004e-04,3.633971e-04,3.606323e-04,3.579062e-04,3.552189e-04,3.525706e-04,3.499612e-04,3.473906e-04,3.448589e-04,3.423658e-04,3.399111e-04,3.374946e-04
0.000000e+00,1.321765e-09,3.026659e-09,1.042305e-08,2.376582e-08,3.472641e-08,7.920365e-08,8.160821e-08,1.589089e-07,1.871745e-07,2.754444e-07,3.683321e-07,4.412545e-07,6.464846e-07,6.669814e-07,9.614608e-07,1.042885e-06,1.327919e-06,1.563315e-06,1.762344e-06,2.194177e-06,2.256285e-06,2.800701e-06,2.914927e-06,3.387757e-06,3.707671e-06,4.010935e-06,4.558213e-06,4.664646e-06,5.343852e-06,5.454574e-06,6.043853e-06,6.385920e-06,6.760182e-06,7.342135e-06,7.488585e-06,8.225036e-06,8.313769e-06,8.965769e-06,9.292141e-06,9.707308e-06,1.026946e-05,1.044650e-05,1.118050e-05,1.123892e-05,1.190684e-05,1.219474e-05,1.262335e-05,1.313209e-05,1.332816e-05,1.401973e-05,1.404710e-05,1.469676e-05,1.493673e-05,1.535821e-05,1.579866e-05,1.600324e-05,1.663121e-05,1.724167e-05,1.743326e-05,1.783427e-05,1.820408e-05,1.840884e-05,1.894336e-05,1.896527e-05,1.950358e-05,1.965106e-05,2.002383e-05,2.032737e-05,2.052617e-05,2.097267e-05,2.101079e-05,2.147793e-05,2.158748e-05,2.192787e-05,2.217244e-05,2.236092e-05,2.272829e-05,2.277740e-05,2.317766e-05,2.325580e-05,2.356204e-05,2.375577e-05,2.393092e-05,2.422906e-05,2.428466e-05,2.462365e-05,2.467654e-05,2.494826e-05,2.509907e-05,2.525887e-05,2.549754e-05,2.555587e-05,2.583963e-05,2.587281e-05,2.611052e-05,2.622574e-05,2.636893e-05,2.655719e-05,2.661521e-05,2.684972e-05,2.686799e-05,2.707283e-05,2.715896e-05,2.728488e-05,2.743091e-05,2.748622e-05,2.767719e-05,2.768461e-05,2.785810e-05,2.792084e-05,2.802930e-05,2.814032e-05,2.819109e-05,2.834379e-05,2.848769e-05,2.853193e-05,2.862309e-05,2.870542e-05,2.875028e-05,2.886492e-05,2.886954e-05,2.898114e-05,2.901106e-05,2.908536e-05,2.914444e-05,2.918244e-05,2.926567e-05,2.927264e-05,2.935621e-05,2.937530e-05,2.943338e-05,2.947389e-05,2.950439e-05,2.956196e-05,2.956946e-05,2.962882e-05,2.964002e-05,2.968266e-05,2.970856e-05,2.973121e-05,2.976804e-05,2.977466e-05,2.981321e-05,2.981893e-05,2.984704e-05,2.986165e-05,2.987633e-05,2.989662e-05,2.990127e-05,2.992203e-05,2.992425e-05,2.993877e-05,2.994491e-05,2.995166e-05,2.995897e-05,2.996084e-05,2.996648e-05,2.996678e-05,2.996872e-05,2.996869e-05,2.996769e-05,2.996502e-05,2.996355e-05,2.995642e-05,2.995607e-05,2.994643e-05,2.994215e-05,2.993370e-05,2.992354e-05,2.991836e-05,2.990051e-05,2.987333e-05,2.984223e-05,2.980746e-05,2.976925e-05,2.972781e-05,2.968335e-05,2.963607e-05,2.958615e-05,2.953379e-05,2.947914e-05,2.942237e-05,2.936365e-05,2.930311e-05,2.924091e-05,2.917717e-05,2.911203e-05,2.904560e-05,2.897800e-05,2.890935e-05,2.883975e-05,2.876930e-05,2.869810e-05,2.862623e-05,2.855378e-05
0.000000e+00,2.240741e-10,6.634337e-10,3.316481e-09,9.585744e-09,1.555227e-08,4.392699e-08,4.559279e-08,1.033925e-07,1.259739e-07,1.994239e-07,2.797555e-07,3.441409e-07,5.289432e-07,5.476093e-07,8.192266e-07,8.955182e-07,1.167432e-06,1.398585e-06,1.599285e-06,2.052606e-06,2.119872e-06,2.731735e-06,2.865087e-06,3.434620e-06,3.835236e-06,4.225670e-06,4.954669e-06,5.099871e-06,6.050537e-06,6.209223e-06,7.069735e-06,7.580723e-06,8.148623e-06,9.048360e-06,9.277729e-06,1.044718e-05,1.058975e-05,1.164694e-05,1.218184e-05,1.286696e-05,1.380169e-05,1.409744e-05,1.532892e-05,1.542721e-05,1.655247e-05,1.703779e-05,1.775981e-05,1.861480e-05,1.894340e-05,2.009653e-05,2.014194e-05,2.121334e-05,2.160551e-05,2.228886e-05,2.299450e-05,2.331900e-05,2.430053e-05,2.523104e-05,2.551774e-05,2.610888e-05,2.664258e-05,2.693307e-05,2.767352e-05,2.770329e-05,2.841975e-05,2.861081e-05,2.908315e-05,2.945616e-05,2.969458e-05,3.021242e-05,3.025547e-05,3.076754e-05,3.088337e-05,3.123268e-05,3.147343e-05,3.165296e-05,3.198743e-05,3.203057e-05,3.236772e-05,3.243050e-05,3.266669e-05,3.280781e-05,3.292973e-05,3.312456e-05,3.315908e-05,3.335692e-05,3.338579e-05,3.352537e-05,3.359639e-05,3.366647e-05,3.376097e-05,3.378217e-05,3.387432e-05,3.388388e-05,3.394470e-05,3.396919e-05,3.399495e-05,3.402065e-05,3.402664e-05,3.404124e-05,3.404171e-05,3.404011e-05,3.403554e-05,3.402452e-05,3.400502e-05,3.399567e-05,3.395464e-05,3.395276e-05,3.390248e-05,3.388115e-05,3.384011e-05,3.379233e-05,3.376842e-05,3.368822e-05,3.360024e-05,3.357056e-05,3.350519e-05,3.344093e-05,3.340369e-05,3.330073e-05,3.329633e-05,3.318365e-05,3.315122e-05,3.306616e-05,3.299354e-05,3.294430e-05,3.282871e-05,3.281851e-05,3.268918e-05,3.265765e-05,3.255666e-05,3.248118e-05,3.242129e-05,3.230005e-05,3.228337e-05,3.214320e-05,3.211491e-05,3.200103e-05,3.192639e-05,3.185710e-05,3.173501e-05,3.171164e-05,3.156487e-05,3.154127e-05,3.141696e-05,3.134561e-05,3.126810e-05,3.114843e-05,3.111845e-05,3.096817e-05,3.095010e-05,3.081740e-05,3.075093e-05,3.066626e-05,3.055124e-05,3.051489e-05,3.036340e-05,3.035127e-05,3.021188e-05,3.015129e-05,3.006044e-05,2.995150e-05,2.990917e-05,2.975815e-05,2.975212e-05,2.960747e-05,2.955331e-05,2.945718e-05,2.935525e-05,2.930737e-05,2.915808e-05,2.896195e-05,2.876696e-05,2.857323e-05,2.838085e-05,2.818993e-05,2.800053e-05,2.781274e-05,2.762660e-05,2.744219e-05,2.725955e-05,2.707873e-05,2.689976e-05,2.672268e-05,2.654752e-05,2.637430e-05,2.620304e-05,2.603377e-05,2.586649e-05,2.570122e-05,2.553796e-05,2.537672e-05,2.521749e-05,2.506029e-05,2.490511e-05
0.000000e+00,1.098359e-08,2.515725e-08,8.662087e-08,1.975617e-07,2.888453e-07,6.611261e-07,6.813432e-07,1.336194e-06,1.577911e-06,2.339641e-06,3.150709e-06,3.792761e-06,5.615378e-06,5.798124e-06,8.422813e-06,9.145499e-06,1.165498e-05,1.369880e-05,1.540514e-05,1.903982e-05,1.955524e-05,2.399973e-05,2.491632e-05,2.865612e-05,3.113946e-05,3.346060e-05,3.757274e-05,3.836147e-05,4.331450e-05,4.410915e-05,4.828049e-05,5.065824e-05,5.322406e-05,5.714125e-05,5.811334e-05,6.291992e-05,6.348993e-05,6.761891e-05,6.964676e-05,7.218899e-05,7.556498e-05,7.661240e-05,8.087471e-05,8.120838e-05,8.496474e-05,8.655059e-05,8.887433e-05,9.157437e-05,9.259808e-05,9.613275e-05,9.627018e-05,9.947683e-05,1.006341e-04,1.026309e-04,1.046679e-04,1.055967e-04,1.083773e-04,1.109767e-04,1.117710e-04,1.133996e-04,1.148601e-04,1.156513e-04,1.176569e-04,1.177373e-04,1.196636e-04,1.201751e-04,1.214363e-04,1.224289e-04,1.230618e-04,1.244325e-04,1.245462e-04,1.258959e-04,1.262005e-04,1.271170e-04,1.277470e-04,1.282158e-04,1.290861e-04,1.291981e-04,1.300698e-04,1.302313e-04,1.308366e-04,1.311956e-04,1.315039e-04,1.319916e-04,1.320772e-04,1.325616e-04,1.326312e-04,1.329620e-04,1.331257e-04,1.332832e-04,1.334862e-04,1.335297e-04,1.337061e-04,1.337227e-04,1.338164e-04,1.338451e-04,1.338647e-04,1.338624e-04,1.338550e-04,1.337908e-04,1.337834e-04,1.336757e-04,1.336161e-04,1.335130e-04,1.333682e-04,1.333060e-04,1.330577e-04,1.330469e-04,1.327709e-04,1.326589e-04,1.324486e-04,1.322104e-04,1.320932e-04,1.317073e-04,1.312933e-04,1.311552e-04,1.308533e-04,1.305591e-04,1.303896e-04,1.299239e-04,1.299041e-04,1.293987e-04,1.292539e-04,1.288754e-04,1.285534e-04,1.283357e-04,1.278261e-04,1.277813e-04,1.272137e-04,1.270757e-04,1.266344e-04,1.263054e-04,1.260447e-04,1.255182e-04,1.254460e-04,1.248393e-04,1.247171e-04,1.242259e-04,1.239047e-04,1.236069e-04,1.230832e-04,1.229831e-04,1.223557e-04,1.222550e-04,1.217254e-04,1.214221e-04,1.210931e-04,1.205863e-04,1.204595e-04,1.198255e-04,1.197494e-04,1.191916e-04,1.189129e-04,1.185585e-04,1.180783e-04,1.179269e-04,1.172971e-04,1.172469e-04,1.166699e-04,1.164198e-04,1.160455e-04,1.155981e-04,1.154245e-04,1.148073e-04,1.147827e-04,1.141943e-04,1.139747e-04,1.135857e-04,1.131746e-04,1.129820e-04,1.123833e-04,1.116013e-04,1.108292e-04,1.100675e-04,1.093166e-04,1.085768e-04,1.078485e-04,1.071319e-04,1.064272e-04,1.057347e-04,1.050544e-04,1.043864e-04,1.037309e-04,1.030879e-04,1.024573e-04,1.018392e-04,1.012335e-04,1.006402e-04,1.000593e-04,9.949055e-05,9.893395e-05,9.838937e-05,9.785667e-05,9.733572e-05,9.682638e-05
0.000000e+00,1.227237e-09,2.805347e-09,9.611862e-09,2.177839e-08,3.168772e-08,7.126286e-08,7.337640e-08,1.401013e-07,1.639651e-07,2.369059e-07,3.114192e-07,3.685566e-07,5.243477e-07,5.395798e-07,7.541170e-07,8.124727e-07,1.015436e-06,1.182899e-06,1.325157e-06,1.637411e-06,1.682796e-06,2.086143e-06,2.172031e-06,2.532093e-06,2.779698e-06,3.017244e-06,3.452521e-06,3.538115e-06,4.091159e-06,4.182389e-06,4.672729e-06,4.960915e-06,5.279063e-06,5.779361e-06,5.906289e-06,6.550460e-06,6.628710e-06,7.207604e-06,7.499840e-06,7.873783e-06,8.383749e-06,8.545149e-06,9.218005e-06,9.271791e-06,9.888852e-06,1.015589e-05,1.055443e-05,1.102870e-05,1.121176e-05,1.185813e-05,1.188373e-05,1.249119e-05,1.271542e-05,1.310885e-05,1.351914e-05,1.370934e-05,1.429118e-05,1.485320e-05,1.502870e-05,1.539446e-05,1.572964e-05,1.591428e-05,1.639271e-05,1.641220e-05,1.688796e-05,1.701719e-05,1.734148e-05,1.760293e-05,1.777282e-05,1.815023e-05,1.818217e-05,1.856987e-05,1.865973e-05,1.893629e-05,1.913238e-05,1.928195e-05,1.956936e-05,1.960736e-05,1.991315e-05,1.997200e-05,2.019992e-05,2.034175e-05,2.046835e-05,2.068015e-05,2.071911e-05,2.095288e-05,2.098875e-05,2.117035e-05,2.126915e-05,2.137221e-05,2.152292e-05,2.155914e-05,2.173182e-05,2.175161e-05,2.189089e-05,2.195674e-05,2.203700e-05,2.213976e-05,2.217078e-05,2.229282e-05,2.230209e-05,2.240370e-05,2.244506e-05,2.250399e-05,2.256995e-05,2.259423e-05,2.267494e-05,2.267797e-05,2.274661e-05,2.277029e-05,2.280972e-05,2.284798e-05,2.286473e-05,2.291207e-05,2.295215e-05,2.296352e-05,2.298539e-05,2.300324e-05,2.301215e-05,2.303208e-05,2.303279e-05,2.304766e-05,2.305083e-05,2.305708e-05,2.306025e-05,2.306137e-05,2.306103e-05,2.306081e-05,2.305570e-05,2.305382e-05,2.304629e-05,2.303924e-05,2.303284e-05,2.301786e-05,2.301559e-05,2.299477e-05,2.299020e-05,2.297060e-05,2.295677e-05,2.294327e-05,2.291803e-05,2.291300e-05,2.287995e-05,2.287442e-05,2.284431e-05,2.282634e-05,2.280625e-05,2.277416e-05,2.276592e-05,2.272348e-05,2.271825e-05,2.267906e-05,2.265892e-05,2.263280e-05,2.259649e-05,2.258483e-05,2.253527e-05,2.253124e-05,2.248423e-05,2.246343e-05,2.243183e-05,2.239332e-05,2.237817e-05,2.232335e-05,2.232114e-05,2.226746e-05,2.224709e-05,2.221058e-05,2.217139e-05,2.215281e-05,2.209422e-05,2.201576e-05,2.193616e-05,2.185557e-05,2.177415e-05,2.169202e-05,2.160930e-05,2.152610e-05,2.144254e-05,2.135870e-05,2.127469e-05,2.119057e-05,2.110645e-05,2.102238e-05,2.093843e-05,2.085467e-05,2.077115e-05,2.068793e-05,2.060506e-05,2.052258e-05,2.044053e-05,2.035896e-05,2.027790e-05,2.019738e-05,2.011743e-05
0.000000e+00,2.081609e-09,6.216801e-09,3.166877e-08,9.325425e-08,1.529732e-07,4.460144e-07,4.635821e-07,1.091949e-06,1.345971e-06,2.199894e-06,3.176395e-06,3.987371e-06,6.434391e-06,6.690200e-06,1.055395e-05,1.167825e-05,1.578288e-05,1.935703e-05,2.250057e-05,2.967814e-05,3.074846e-05,4.050634e-05,4.263428e-05,5.171312e-05,5.808490e-05,6.428099e-05,7.581261e-05,7.810381e-05,9.306214e-05,9.555231e-05,1.090264e-04,1.170066e-04,1.258595e-04,1.398558e-04,1.434188e-04,1.615586e-04,1.637675e-04,1.801325e-04,1.884051e-04,1.989955e-04,2.134375e-04,2.180062e-04,2.370293e-04,2.385478e-04,2.559368e-04,2.634405e-04,2.746098e-04,2.878477e-04,2.929396e-04,3.108285e-04,3.115336e-04,3.281902e-04,3.342966e-04,3.449501e-04,3.559704e-04,3.610450e-04,3.764232e-04,3.910436e-04,3.955567e-04,4.048751e-04,4.133028e-04,4.178960e-04,4.296213e-04,4.300933e-04,4.414616e-04,4.444962e-04,4.520023e-04,4.579325e-04,4.617232e-04,4.699532e-04,4.706369e-04,4.787609e-04,4.805954e-04,4.861161e-04,4.899080e-04,4.927266e-04,4.979490e-04,4.986192e-04,5.038223e-04,5.047828e-04,5.083660e-04,5.104784e-04,5.122812e-04,5.151075e-04,5.155996e-04,5.183530e-04,5.187433e-04,5.205733e-04,5.214589e-04,5.222920e-04,5.233267e-04,5.235402e-04,5.243484e-04,5.244172e-04,5.247463e-04,5.247988e-04,5.247626e-04,5.245369e-04,5.244251e-04,5.237606e-04,5.236941e-04,5.227946e-04,5.223293e-04,5.215516e-04,5.204983e-04,5.200550e-04,5.183269e-04,5.182532e-04,5.163883e-04,5.156427e-04,5.142591e-04,5.127119e-04,5.119580e-04,5.095026e-04,5.069096e-04,5.060534e-04,5.041945e-04,5.023995e-04,5.013718e-04,4.985735e-04,4.984552e-04,4.954572e-04,4.946049e-04,4.923898e-04,4.905206e-04,4.892638e-04,4.863450e-04,4.860895e-04,4.828762e-04,4.821002e-04,4.796327e-04,4.778061e-04,4.763670e-04,4.734806e-04,4.730864e-04,4.697978e-04,4.691396e-04,4.665073e-04,4.647975e-04,4.632208e-04,4.604669e-04,4.599433e-04,4.566797e-04,4.561591e-04,4.534341e-04,4.518838e-04,4.502106e-04,4.476499e-04,4.470125e-04,4.438432e-04,4.434649e-04,4.407053e-04,4.393352e-04,4.376014e-04,4.352666e-04,4.345337e-04,4.315043e-04,4.312637e-04,4.285148e-04,4.273306e-04,4.255668e-04,4.234706e-04,4.226615e-04,4.198000e-04,4.196865e-04,4.169833e-04,4.159804e-04,4.142121e-04,4.123540e-04,4.114870e-04,4.088085e-04,4.053448e-04,4.019634e-04,3.986643e-04,3.954476e-04,3.923128e-04,3.892594e-04,3.862866e-04,3.833936e-04,3.805793e-04,3.778425e-04,3.751820e-04,3.725963e-04,3.700842e-04,3.676440e-04,3.652743e-04,3.629736e-04,3.607402e-04,3.585725e-04,3.564689e-04,3.544278e-04,3.524476e-04,3.505266e-04,3.486633e-04,3.468560e-04
0.000000e+00,4.834939e-09,1.447245e-08,7.405247e-08,2.188387e-07,3.595754e-07,1.051403e-06,1.092885e-06,2.574049e-06,3.170830e-06,5.167216e-06,7.432104e-06,9.299832e-06,1.487923e-05,1.545880e-05,2.416998e-05,2.669870e-05,3.594630e-05,4.404423e-05,5.121399e-05,6.776813e-05,7.025877e-05,9.321865e-05,9.828349e-05,1.201075e-04,1.356185e-04,1.508441e-04,1.795263e-04,1.852757e-04,2.231948e-04,2.295693e-04,2.643512e-04,2.851741e-04,3.084620e-04,3.456717e-04,3.552196e-04,4.043001e-04,4.103300e-04,4.553695e-04,4.783833e-04,5.080912e-04,5.490592e-04,5.621315e-04,6.171653e-04,6.216014e-04,6.728797e-04,6.952892e-04,7.289788e-04,7.694518e-04,7.851853e-04,8.412428e-04,8.434786e-04,8.969173e-04,9.168250e-04,9.519973e-04,9.890146e-04,1.006294e-03,1.059640e-03,1.111890e-03,1.128358e-03,1.162921e-03,1.194890e-03,1.212624e-03,1.259011e-03,1.260914e-03,1.307718e-03,1.320549e-03,1.352980e-03,1.379378e-03,1.396656e-03,1.435412e-03,1.438717e-03,1.479142e-03,1.488599e-03,1.517922e-03,1.538919e-03,1.555055e-03,1.586374e-03,1.590547e-03,1.624411e-03,1.630990e-03,1.656666e-03,1.672809e-03,1.687334e-03,1.711889e-03,1.716443e-03,1.744024e-03,1.748297e-03,1.770110e-03,1.782111e-03,1.794738e-03,1.813415e-03,1.817945e-03,1.839770e-03,1.842298e-03,1.860255e-03,1.868854e-03,1.879440e-03,1.893177e-03,1.897367e-03,1.914077e-03,1.915363e-03,1.929614e-03,1.935509e-03,1.944018e-03,1.953711e-03,1.957331e-03,1.969594e-03,1.970064e-03,1.980849e-03,1.984661e-03,1.991133e-03,1.997593e-03,2.000488e-03,2.008950e-03,2.016558e-03,2.018818e-03,2.023347e-03,2.027280e-03,2.029354e-03,2.034417e-03,2.034614e-03,2.039159e-03,2.040308e-03,2.043022e-03,2.045026e-03,2.046236e-03,2.048645e-03,2.048830e-03,2.050835e-03,2.051232e-03,2.052279e-03,2.052853e-03,2.053190e-03,2.053572e-03,2.053595e-03,2.053519e-03,2.053448e-03,2.052988e-03,2.052539e-03,2.052025e-03,2.050899e-03,2.050653e-03,2.048895e-03,2.048579e-03,2.046772e-03,2.045629e-03,2.044304e-03,2.042095e-03,2.041512e-03,2.038413e-03,2.038022e-03,2.035027e-03,2.033451e-03,2.031371e-03,2.028421e-03,2.027461e-03,2.023313e-03,2.022971e-03,2.018943e-03,2.017136e-03,2.014365e-03,2.010948e-03,2.009593e-03,2.004642e-03,2.004440e-03,1.999523e-03,1.997641e-03,1.994249e-03,1.990580e-03,1.988831e-03,1.983282e-03,1.975772e-03,1.968075e-03,1.960210e-03,1.952200e-03,1.944063e-03,1.935818e-03,1.927481e-03,1.919069e-03,1.910595e-03,1.902074e-03,1.893518e-03,1.884941e-03,1.876352e-03,1.867762e-03,1.859181e-03,1.850618e-03,1.842081e-03,1.833578e-03,1.825116e-03,1.816701e-03,1.808339e-03,1.800036e-03,1.791797e-03,1.783626e-03
0.000000e+00,9.144602e-10,2.713769e-09,1.364157e-08,3.968035e-08,6.465018e-08,1.851742e-07,1.923274e-07,4.449501e-07,5.457552e-07,8.808314e-07,1.258518e-06,1.568581e-06,2.487251e-06,2.581935e-06,3.984436e-06,4.383751e-06,5.813630e-06,7.028772e-06,8.078809e-06,1.042418e-05,1.076868e-05,1.385936e-05,1.452292e-05,1.731947e-05,1.925288e-05,2.111289e-05,2.452813e-05,2.520013e-05,2.953925e-05,3.025399e-05,3.408658e-05,3.633015e-05,3.879742e-05,4.265362e-05,4.362686e-05,4.853062e-05,4.912201e-05,5.346587e-05,5.563678e-05,5.839196e-05,6.210630e-05,6.327112e-05,6.806895e-05,6.844832e-05,7.275483e-05,7.459172e-05,7.730209e-05,8.047745e-05,8.168816e-05,8.589447e-05,8.605876e-05,8.990634e-05,9.130079e-05,9.371275e-05,9.617970e-05,9.730602e-05,1.006815e-04,1.038374e-04,1.048008e-04,1.067740e-04,1.085394e-04,1.094939e-04,1.119050e-04,1.120013e-04,1.143017e-04,1.149097e-04,1.164019e-04,1.175689e-04,1.183092e-04,1.199006e-04,1.200318e-04,1.215783e-04,1.219242e-04,1.229574e-04,1.236600e-04,1.241782e-04,1.251286e-04,1.252496e-04,1.261805e-04,1.263506e-04,1.269796e-04,1.273459e-04,1.276554e-04,1.281337e-04,1.282160e-04,1.286695e-04,1.287326e-04,1.290232e-04,1.291598e-04,1.292846e-04,1.294317e-04,1.294603e-04,1.295569e-04,1.295635e-04,1.295806e-04,1.295694e-04,1.295371e-04,1.294625e-04,1.294318e-04,1.292699e-04,1.292547e-04,1.290562e-04,1.289572e-04,1.287950e-04,1.285800e-04,1.284907e-04,1.281470e-04,1.281325e-04,1.277677e-04,1.276230e-04,1.273560e-04,1.270593e-04,1.269152e-04,1.264482e-04,1.259577e-04,1.257961e-04,1.254461e-04,1.251088e-04,1.249160e-04,1.243914e-04,1.243693e-04,1.238081e-04,1.236487e-04,1.232343e-04,1.228847e-04,1.226496e-04,1.221034e-04,1.220556e-04,1.214537e-04,1.213082e-04,1.208453e-04,1.205022e-04,1.202316e-04,1.196881e-04,1.196137e-04,1.189928e-04,1.188684e-04,1.183698e-04,1.180453e-04,1.177456e-04,1.172210e-04,1.171210e-04,1.164968e-04,1.163970e-04,1.158737e-04,1.155751e-04,1.152522e-04,1.147566e-04,1.146330e-04,1.140166e-04,1.139428e-04,1.134035e-04,1.131348e-04,1.127940e-04,1.123336e-04,1.121887e-04,1.115879e-04,1.115400e-04,1.109918e-04,1.107548e-04,1.104008e-04,1.099786e-04,1.098152e-04,1.092352e-04,1.092121e-04,1.086609e-04,1.084556e-04,1.080926e-04,1.077097e-04,1.075305e-04,1.069746e-04,1.062507e-04,1.055382e-04,1.048373e-04,1.041481e-04,1.034708e-04,1.028054e-04,1.021520e-04,1.015107e-04,1.008813e-04,1.002638e-04,9.965829e-05,9.906461e-05,9.848269e-05,9.791242e-05,9.735371e-05,9.680643e-05,9.627045e-05,9.574562e-05,9.523181e-05,9.472886e-05,9.423661e-05,9.375489e-05,9.328355e-05,9.282242e-05
0.000000e+00,3.160470e-09,7.385732e-09,2.590758e-08,5.936175e-08,8.674701e-08,1.967460e-07,2.026416e-07,3.896100e-07,4.568331e-07,6.633358e-07,8.757783e-07,1.039618e-06,1.490006e-06,1.534298e-06,2.161903e-06,2.333560e-06,2.932231e-06,3.426673e-06,3.846005e-06,4.761387e-06,4.893677e-06,6.059196e-06,6.304881e-06,7.324947e-06,8.017186e-06,8.674367e-06,9.861520e-06,1.009245e-05,1.156542e-05,1.180531e-05,1.308034e-05,1.381877e-05,1.462490e-05,1.587394e-05,1.618730e-05,1.775633e-05,1.794455e-05,1.932142e-05,2.000626e-05,2.087279e-05,2.203711e-05,2.240149e-05,2.389956e-05,2.401787e-05,2.536000e-05,2.593226e-05,2.677682e-05,2.776707e-05,2.814502e-05,2.946058e-05,2.951206e-05,3.072039e-05,3.115980e-05,3.192214e-05,3.270534e-05,3.306426e-05,3.414588e-05,3.516672e-05,3.548057e-05,3.612698e-05,3.671006e-05,3.702734e-05,3.783625e-05,3.786880e-05,3.865267e-05,3.886205e-05,3.938052e-05,3.979105e-05,4.005408e-05,4.062742e-05,4.067523e-05,4.124596e-05,4.137566e-05,4.176832e-05,4.204050e-05,4.224441e-05,4.262677e-05,4.267634e-05,4.306620e-05,4.313931e-05,4.341606e-05,4.358287e-05,4.372798e-05,4.396212e-05,4.400394e-05,4.424589e-05,4.428158e-05,4.445573e-05,4.454558e-05,4.463526e-05,4.475825e-05,4.478625e-05,4.491037e-05,4.492354e-05,4.500926e-05,4.504518e-05,4.508446e-05,4.512669e-05,4.513746e-05,4.516967e-05,4.517138e-05,4.518243e-05,4.518238e-05,4.517703e-05,4.516258e-05,4.515468e-05,4.511655e-05,4.511472e-05,4.506374e-05,4.504133e-05,4.499728e-05,4.494480e-05,4.491817e-05,4.482733e-05,4.472565e-05,4.469096e-05,4.461397e-05,4.453761e-05,4.449308e-05,4.436904e-05,4.436371e-05,4.422658e-05,4.418688e-05,4.408235e-05,4.399266e-05,4.393164e-05,4.378777e-05,4.377504e-05,4.361311e-05,4.357351e-05,4.344637e-05,4.335108e-05,4.327531e-05,4.312157e-05,4.310039e-05,4.292204e-05,4.288600e-05,4.274068e-05,4.264531e-05,4.255668e-05,4.240035e-05,4.237040e-05,4.218218e-05,4.215191e-05,4.199233e-05,4.190071e-05,4.180115e-05,4.164743e-05,4.160891e-05,4.141586e-05,4.139265e-05,4.122225e-05,4.113694e-05,4.102830e-05,4.088080e-05,4.083422e-05,4.064021e-05,4.062469e-05,4.044643e-05,4.036903e-05,4.025307e-05,4.011419e-05,4.006028e-05,3.986819e-05,3.986053e-05,3.967695e-05,3.960834e-05,3.948668e-05,3.935790e-05,3.929749e-05,3.910948e-05,3.886329e-05,3.861953e-05,3.837839e-05,3.814001e-05,3.790453e-05,3.767209e-05,3.744277e-05,3.721667e-05,3.699387e-05,3.677442e-05,3.655838e-05,3.634580e-05,3.613670e-05,3.593111e-05,3.572904e-05,3.553049e-05,3.533548e-05,3.514399e-05,3.495602e-05,3.477155e-05,3.459055e-05,3.441301e-05,3.423890e-05,3.406818e-05
0.000000e+00,1.772998e-09,4.425501e-09,1.679268e-08,4.016012e-08,5.977402e-08,1.411429e-07,1.455964e-07,2.906901e-07,3.444881e-07,5.143910e-07,6.954891e-07,8.386878e-07,1.242582e-06,1.282773e-06,1.852664e-06,2.007325e-06,2.539083e-06,2.968842e-06,3.327315e-06,4.094989e-06,4.204624e-06,5.161179e-06,5.361265e-06,6.188809e-06,6.748730e-06,7.279881e-06,8.239787e-06,8.426698e-06,9.621259e-06,9.816268e-06,1.085526e-05,1.145910e-05,1.212021e-05,1.314876e-05,1.340763e-05,1.470922e-05,1.486598e-05,1.601702e-05,1.659249e-05,1.732363e-05,1.831164e-05,1.862224e-05,1.990676e-05,2.000874e-05,2.117180e-05,2.167130e-05,2.241274e-05,2.328907e-05,2.362567e-05,2.480737e-05,2.485395e-05,2.595527e-05,2.635983e-05,2.706736e-05,2.780236e-05,2.814217e-05,2.917869e-05,3.017631e-05,3.048728e-05,3.113475e-05,3.172759e-05,3.205403e-05,3.289994e-05,3.293442e-05,3.377637e-05,3.400531e-05,3.458052e-05,3.504518e-05,3.534762e-05,3.602137e-05,3.607853e-05,3.677418e-05,3.693600e-05,3.743556e-05,3.779135e-05,3.806371e-05,3.858983e-05,3.865968e-05,3.922454e-05,3.933388e-05,3.975937e-05,4.002597e-05,4.026524e-05,4.066857e-05,4.074321e-05,4.119433e-05,4.126409e-05,4.161963e-05,4.181490e-05,4.202011e-05,4.232329e-05,4.239676e-05,4.275052e-05,4.279148e-05,4.308233e-05,4.322160e-05,4.339309e-05,4.361572e-05,4.368367e-05,4.395491e-05,4.397580e-05,4.420763e-05,4.430371e-05,4.444262e-05,4.460126e-05,4.466063e-05,4.486240e-05,4.487015e-05,4.504863e-05,4.511200e-05,4.522000e-05,4.532837e-05,4.537715e-05,4.552072e-05,4.565130e-05,4.569044e-05,4.576949e-05,4.583887e-05,4.587582e-05,4.596725e-05,4.597085e-05,4.605507e-05,4.607678e-05,4.612898e-05,4.616858e-05,4.619306e-05,4.624371e-05,4.624775e-05,4.629349e-05,4.630318e-05,4.633070e-05,4.634796e-05,4.635978e-05,4.637894e-05,4.638110e-05,4.639505e-05,4.639698e-05,4.640196e-05,4.640289e-05,4.640218e-05,4.639743e-05,4.639603e-05,4.638381e-05,4.638132e-05,4.636584e-05,4.635525e-05,4.634238e-05,4.631986e-05,4.631372e-05,4.628012e-05,4.627577e-05,4.624182e-05,4.622354e-05,4.619907e-05,4.616373e-05,4.615209e-05,4.610110e-05,4.609685e-05,4.604632e-05,4.602339e-05,4.598794e-05,4.594379e-05,4.592616e-05,4.586117e-05,4.585850e-05,4.579313e-05,4.576793e-05,4.572223e-05,4.567246e-05,4.564862e-05,4.557246e-05,4.546827e-05,4.536023e-05,4.524863e-05,4.513376e-05,4.501592e-05,4.489533e-05,4.477226e-05,4.464693e-05,4.451956e-05,4.439035e-05,4.425950e-05,4.412719e-05,4.399359e-05,4.385886e-05,4.372316e-05,4.358663e-05,4.344941e-05,4.331162e-05,4.317339e-05,4.303482e-05,4.289603e-05,4.275711e-05,4.261816e-05,4.247926e-05
0.000000e+00,1.439880e-09,3.607676e-09,1.377536e-08,3.310482e-08,4.939851e-08,1.174136e-07,1.211516e-07,2.435589e-07,2.891759e-07,4.335417e-07,5.869160e-07,7.070813e-07,1.038786e-06,1.071234e-06,1.524095e-06,1.645573e-06,2.062254e-06,2.400084e-06,2.683687e-06,3.298410e-06,3.387105e-06,4.171031e-06,4.337299e-06,5.033251e-06,5.511530e-06,5.970579e-06,6.812942e-06,6.978826e-06,8.052872e-06,8.230439e-06,9.186784e-06,9.750419e-06,1.037400e-05,1.135747e-05,1.160754e-05,1.288011e-05,1.303510e-05,1.418443e-05,1.476653e-05,1.551332e-05,1.653547e-05,1.685991e-05,1.821763e-05,1.832654e-05,1.958039e-05,2.012564e-05,2.094260e-05,2.192019e-05,2.229921e-05,2.364568e-05,2.369927e-05,2.497803e-05,2.545353e-05,2.629279e-05,2.717524e-05,2.758698e-05,2.885806e-05,3.010393e-05,3.049699e-05,3.132284e-05,3.208813e-05,3.251338e-05,3.362859e-05,3.367445e-05,3.480522e-05,3.511632e-05,3.590507e-05,3.654996e-05,3.697359e-05,3.792875e-05,3.801054e-05,3.901584e-05,3.925240e-05,3.998952e-05,4.052101e-05,4.093171e-05,4.173500e-05,4.184267e-05,4.272270e-05,4.289502e-05,4.357216e-05,4.400195e-05,4.439150e-05,4.505680e-05,4.518117e-05,4.594169e-05,4.606071e-05,4.667359e-05,4.701490e-05,4.737743e-05,4.792068e-05,4.805378e-05,4.870323e-05,4.877938e-05,4.932637e-05,4.959238e-05,4.992382e-05,5.036106e-05,5.049617e-05,5.104404e-05,5.108683e-05,5.156803e-05,5.177108e-05,5.206875e-05,5.241521e-05,5.254681e-05,5.300280e-05,5.302059e-05,5.343732e-05,5.358860e-05,5.385095e-05,5.412057e-05,5.424426e-05,5.461783e-05,5.497223e-05,5.508167e-05,5.530799e-05,5.551335e-05,5.562567e-05,5.591412e-05,5.592579e-05,5.620889e-05,5.628517e-05,5.647546e-05,5.662769e-05,5.672603e-05,5.694283e-05,5.696107e-05,5.718107e-05,5.723169e-05,5.738650e-05,5.749536e-05,5.757783e-05,5.773488e-05,5.775550e-05,5.791994e-05,5.795129e-05,5.807160e-05,5.814555e-05,5.821089e-05,5.831864e-05,5.833822e-05,5.845399e-05,5.847147e-05,5.855859e-05,5.860494e-05,5.865239e-05,5.871991e-05,5.873577e-05,5.880909e-05,5.881723e-05,5.887269e-05,5.889768e-05,5.892692e-05,5.896207e-05,5.897211e-05,5.900858e-05,5.901113e-05,5.903665e-05,5.904559e-05,5.905662e-05,5.906615e-05,5.906879e-05,5.907344e-05,5.907348e-05,5.907087e-05,5.906823e-05,5.906134e-05,5.905102e-05,5.904512e-05,5.902246e-05,5.898312e-05,5.893356e-05,5.887431e-05,5.880588e-05,5.872878e-05,5.864346e-05,5.855039e-05,5.845001e-05,5.834273e-05,5.822895e-05,5.810907e-05,5.798345e-05,5.785244e-05,5.771639e-05,5.757563e-05,5.743046e-05,5.728118e-05,5.712809e-05,5.697144e-05,5.681151e-05,5.664854e-05,5.648278e-05,5.631444e-05,5.614376e-05
0.000000e+00,1.875115e-09,5.567648e-09,2.800499e-08,8.143700e-08,1.325994e-07,3.783865e-07,3.929142e-07,9.019590e-07,1.103055e-06,1.764232e-06,2.498128e-06,3.093471e-06,4.832512e-06,5.010388e-06,7.636339e-06,8.384571e-06,1.107869e-05,1.339244e-05,1.541159e-05,1.998604e-05,2.066501e-05,2.682773e-05,2.816610e-05,3.385741e-05,3.783495e-05,4.169034e-05,4.883399e-05,5.024851e-05,5.944417e-05,6.096840e-05,6.918299e-05,7.402173e-05,7.936643e-05,8.776564e-05,8.989376e-05,1.006640e-04,1.019680e-04,1.115778e-04,1.164005e-04,1.225391e-04,1.308450e-04,1.334565e-04,1.442451e-04,1.451002e-04,1.548271e-04,1.589861e-04,1.651327e-04,1.723471e-04,1.751011e-04,1.846800e-04,1.850544e-04,1.938261e-04,1.970058e-04,2.025048e-04,2.081256e-04,2.106898e-04,2.183625e-04,2.255113e-04,2.276873e-04,2.321313e-04,2.360906e-04,2.382230e-04,2.435791e-04,2.437919e-04,2.488476e-04,2.501729e-04,2.534032e-04,2.559032e-04,2.574749e-04,2.608091e-04,2.610809e-04,2.642413e-04,2.649359e-04,2.669775e-04,2.683326e-04,2.693115e-04,2.710509e-04,2.712662e-04,2.728641e-04,2.731429e-04,2.741280e-04,2.746607e-04,2.750803e-04,2.756555e-04,2.757429e-04,2.761370e-04,2.761765e-04,2.762831e-04,2.762709e-04,2.762008e-04,2.759833e-04,2.759091e-04,2.754256e-04,2.753555e-04,2.747674e-04,2.744266e-04,2.739505e-04,2.732327e-04,2.729898e-04,2.718996e-04,2.718072e-04,2.706930e-04,2.701806e-04,2.693824e-04,2.683808e-04,2.679792e-04,2.664943e-04,2.664333e-04,2.649374e-04,2.643611e-04,2.633178e-04,2.621850e-04,2.616440e-04,2.599238e-04,2.581644e-04,2.575942e-04,2.563725e-04,2.552114e-04,2.545541e-04,2.527888e-04,2.527149e-04,2.508599e-04,2.503383e-04,2.489938e-04,2.478706e-04,2.471209e-04,2.453950e-04,2.452449e-04,2.433696e-04,2.429199e-04,2.414979e-04,2.404524e-04,2.396328e-04,2.379990e-04,2.377768e-04,2.359323e-04,2.355650e-04,2.341015e-04,2.331554e-04,2.322860e-04,2.307742e-04,2.304877e-04,2.287079e-04,2.284249e-04,2.269480e-04,2.261106e-04,2.252091e-04,2.238337e-04,2.234921e-04,2.217980e-04,2.215963e-04,2.201274e-04,2.194000e-04,2.184811e-04,2.172463e-04,2.168594e-04,2.152627e-04,2.151361e-04,2.136916e-04,2.130703e-04,2.121461e-04,2.110493e-04,2.106264e-04,2.091327e-04,2.090735e-04,2.076651e-04,2.071431e-04,2.062235e-04,2.052581e-04,2.048079e-04,2.034182e-04,2.016233e-04,1.998729e-04,1.981665e-04,1.965036e-04,1.948837e-04,1.933059e-04,1.917696e-04,1.902740e-04,1.888183e-04,1.874018e-04,1.860235e-04,1.846826e-04,1.833783e-04,1.821096e-04,1.808757e-04,1.796758e-04,1.785089e-04,1.773742e-04,1.762709e-04,1.751981e-04,1.741550e-04,1.731408e-04,1.721546e-04,1.711956e-04
0.000000e+00,5.522190e-10,1.585271e-09,7.446886e-09,2.038362e-08,3.212749e-08,8.447421e-08,8.743149e-08,1.856022e-07,2.223115e-07,3.377333e-07,4.591013e-07,5.537887e-07,8.166782e-07,8.426534e-07,1.211652e-06,1.312698e-06,1.664937e-06,1.955336e-06,2.201066e-06,2.735104e-06,2.811960e-06,3.484749e-06,3.625453e-06,4.204885e-06,4.593368e-06,4.958373e-06,5.607835e-06,5.732642e-06,6.516634e-06,6.642308e-06,7.300618e-06,7.674365e-06,8.076002e-06,8.684996e-06,8.835216e-06,9.571682e-06,9.658253e-06,1.027981e-05,1.058119e-05,1.095501e-05,1.144389e-05,1.159369e-05,1.219321e-05,1.223942e-05,1.275184e-05,1.296363e-05,1.326872e-05,1.361490e-05,1.374368e-05,1.417723e-05,1.419373e-05,1.457038e-05,1.470230e-05,1.492458e-05,1.514407e-05,1.524158e-05,1.552337e-05,1.577209e-05,1.584505e-05,1.598995e-05,1.611422e-05,1.617919e-05,1.633599e-05,1.634203e-05,1.648061e-05,1.651536e-05,1.659702e-05,1.665704e-05,1.669321e-05,1.676544e-05,1.677104e-05,1.683222e-05,1.684461e-05,1.687836e-05,1.689818e-05,1.691093e-05,1.692945e-05,1.693129e-05,1.694067e-05,1.694133e-05,1.694020e-05,1.693640e-05,1.693090e-05,1.691694e-05,1.691369e-05,1.688941e-05,1.688492e-05,1.685883e-05,1.684211e-05,1.682262e-05,1.679001e-05,1.678139e-05,1.673572e-05,1.672996e-05,1.668608e-05,1.666311e-05,1.663294e-05,1.659047e-05,1.657671e-05,1.651774e-05,1.651292e-05,1.645638e-05,1.643122e-05,1.639291e-05,1.634606e-05,1.632761e-05,1.626072e-05,1.625801e-05,1.619247e-05,1.616760e-05,1.612305e-05,1.607527e-05,1.605264e-05,1.598142e-05,1.590952e-05,1.588640e-05,1.583709e-05,1.579052e-05,1.576426e-05,1.569405e-05,1.569112e-05,1.561779e-05,1.559723e-05,1.554436e-05,1.550028e-05,1.547091e-05,1.540339e-05,1.539752e-05,1.532427e-05,1.530671e-05,1.525121e-05,1.521041e-05,1.517841e-05,1.511460e-05,1.510592e-05,1.503379e-05,1.501942e-05,1.496207e-05,1.492495e-05,1.489079e-05,1.483128e-05,1.481999e-05,1.474971e-05,1.473851e-05,1.467997e-05,1.464670e-05,1.461080e-05,1.455590e-05,1.454224e-05,1.447429e-05,1.446618e-05,1.440698e-05,1.437757e-05,1.434033e-05,1.429013e-05,1.427436e-05,1.420907e-05,1.420387e-05,1.414448e-05,1.411884e-05,1.408060e-05,1.403505e-05,1.401744e-05,1.395501e-05,1.395253e-05,1.389332e-05,1.387129e-05,1.383236e-05,1.379134e-05,1.377215e-05,1.371269e-05,1.363535e-05,1.355932e-05,1.348460e-05,1.341119e-05,1.333909e-05,1.326830e-05,1.319879e-05,1.313058e-05,1.306365e-05,1.299798e-05,1.293357e-05,1.287041e-05,1.280847e-05,1.274776e-05,1.268824e-05,1.262992e-05,1.257276e-05,1.251677e-05,1.246191e-05,1.240817e-05,1.235554e-05,1.230400e-05,1.225352e-05,1.220411e-05
0.000000e+00,3.658353e-09,9.076175e-09,3.426266e-08,8.204556e-08,1.224622e-07,2.933744e-07,3.028766e-07,6.196623e-07,7.399097e-07,1.123533e-06,1.528996e-06,1.841828e-06,2.681432e-06,2.761927e-06,3.863320e-06,4.153192e-06,5.134481e-06,5.918152e-06,6.569340e-06,7.963324e-06,8.162699e-06,9.908030e-06,1.027460e-05,1.179657e-05,1.283159e-05,1.381716e-05,1.560684e-05,1.595651e-05,1.819958e-05,1.856702e-05,2.053013e-05,2.167492e-05,2.293127e-05,2.489159e-05,2.538602e-05,2.787772e-05,2.817844e-05,3.039046e-05,3.149885e-05,3.290935e-05,3.481939e-05,3.542076e-05,3.791245e-05,3.811060e-05,4.037358e-05,4.134733e-05,4.279479e-05,4.450880e-05,4.516809e-05,4.748680e-05,4.757834e-05,4.974550e-05,5.054306e-05,5.193982e-05,5.339345e-05,5.406643e-05,5.612284e-05,5.810733e-05,5.872699e-05,6.001885e-05,6.120368e-05,6.185690e-05,6.355227e-05,6.362144e-05,6.531285e-05,6.577343e-05,6.693183e-05,6.786883e-05,6.847933e-05,6.984092e-05,6.995654e-05,7.136483e-05,7.169272e-05,7.270567e-05,7.342768e-05,7.398068e-05,7.504957e-05,7.519154e-05,7.633999e-05,7.656234e-05,7.742779e-05,7.797009e-05,7.845677e-05,7.927696e-05,7.942871e-05,8.034545e-05,8.048712e-05,8.120877e-05,8.160471e-05,8.202046e-05,8.263384e-05,8.278230e-05,8.349603e-05,8.357852e-05,8.416334e-05,8.444270e-05,8.478593e-05,8.523020e-05,8.536544e-05,8.590346e-05,8.594476e-05,8.640157e-05,8.658998e-05,8.686129e-05,8.716936e-05,8.728412e-05,8.767149e-05,8.768627e-05,8.802483e-05,8.814396e-05,8.834548e-05,8.854554e-05,8.863479e-05,8.889403e-05,8.912445e-05,8.919230e-05,8.932726e-05,8.944311e-05,8.950363e-05,8.964912e-05,8.965469e-05,8.978153e-05,8.981285e-05,8.988521e-05,8.993673e-05,8.996676e-05,9.002307e-05,9.002715e-05,9.006734e-05,9.007408e-05,9.008825e-05,9.009187e-05,9.009077e-05,9.007846e-05,9.007576e-05,9.004403e-05,9.003575e-05,8.999639e-05,8.996558e-05,8.993360e-05,8.986969e-05,8.985639e-05,8.976549e-05,8.974972e-05,8.966157e-05,8.960726e-05,8.954530e-05,8.944381e-05,8.941730e-05,8.927819e-05,8.926078e-05,8.912855e-05,8.905952e-05,8.896895e-05,8.884133e-05,8.879994e-05,8.862202e-05,8.860742e-05,8.843570e-05,8.835894e-05,8.824147e-05,8.809699e-05,8.803979e-05,8.783109e-05,8.782260e-05,8.761581e-05,8.753678e-05,8.739435e-05,8.724043e-05,8.716711e-05,8.693446e-05,8.661968e-05,8.629690e-05,8.596686e-05,8.563027e-05,8.528778e-05,8.494004e-05,8.458764e-05,8.423114e-05,8.387106e-05,8.350791e-05,8.314215e-05,8.277422e-05,8.240455e-05,8.203351e-05,8.166148e-05,8.128881e-05,8.091580e-05,8.054278e-05,8.017001e-05,7.979777e-05,7.942630e-05,7.905584e-05,7.868660e-05,7.831878e-05
0.000000e+00,1.235402e-09,2.845699e-09,9.826906e-09,2.234661e-08,3.256148e-08,7.346194e-08,7.565043e-08,1.449409e-07,1.698124e-07,2.461083e-07,3.244458e-07,3.847599e-07,5.501213e-07,5.663500e-07,7.957642e-07,8.583677e-07,1.076417e-06,1.256345e-06,1.408920e-06,1.741897e-06,1.789985e-06,2.212612e-06,2.301340e-06,2.667749e-06,2.914189e-06,3.146222e-06,3.560167e-06,3.639874e-06,4.141872e-06,4.222575e-06,4.646586e-06,4.888419e-06,5.149375e-06,5.547612e-06,5.646393e-06,6.134467e-06,6.192306e-06,6.610999e-06,6.816461e-06,7.073897e-06,7.415558e-06,7.521523e-06,7.952640e-06,7.986388e-06,8.366367e-06,8.526850e-06,8.762129e-06,9.035773e-06,9.139620e-06,9.498756e-06,9.512740e-06,9.839638e-06,9.957932e-06,1.016252e-05,1.037199e-05,1.046778e-05,1.075588e-05,1.102736e-05,1.111082e-05,1.128282e-05,1.143819e-05,1.152288e-05,1.173945e-05,1.174818e-05,1.195940e-05,1.201610e-05,1.215718e-05,1.226967e-05,1.234219e-05,1.250166e-05,1.251506e-05,1.267643e-05,1.271352e-05,1.282691e-05,1.290664e-05,1.296709e-05,1.308237e-05,1.309753e-05,1.321878e-05,1.324198e-05,1.333137e-05,1.338666e-05,1.343579e-05,1.351755e-05,1.353253e-05,1.362202e-05,1.363570e-05,1.370471e-05,1.374210e-05,1.378099e-05,1.383767e-05,1.385126e-05,1.391587e-05,1.392326e-05,1.397518e-05,1.399968e-05,1.402951e-05,1.406767e-05,1.407918e-05,1.412446e-05,1.412790e-05,1.416564e-05,1.418102e-05,1.420297e-05,1.422760e-05,1.423670e-05,1.426706e-05,1.426821e-05,1.429427e-05,1.430333e-05,1.431853e-05,1.433344e-05,1.434003e-05,1.435896e-05,1.437549e-05,1.438029e-05,1.438977e-05,1.439780e-05,1.440196e-05,1.441182e-05,1.441219e-05,1.442062e-05,1.442267e-05,1.442735e-05,1.443063e-05,1.443251e-05,1.443596e-05,1.443621e-05,1.443855e-05,1.443892e-05,1.443964e-05,1.443973e-05,1.443956e-05,1.443859e-05,1.443840e-05,1.443624e-05,1.443570e-05,1.443316e-05,1.443122e-05,1.442923e-05,1.442533e-05,1.442452e-05,1.441910e-05,1.441816e-05,1.441301e-05,1.440987e-05,1.440632e-05,1.440056e-05,1.439907e-05,1.439133e-05,1.439037e-05,1.438313e-05,1.437939e-05,1.437451e-05,1.436771e-05,1.436552e-05,1.435620e-05,1.435544e-05,1.434657e-05,1.434264e-05,1.433668e-05,1.432940e-05,1.432655e-05,1.431621e-05,1.431579e-05,1.430569e-05,1.430186e-05,1.429501e-05,1.428767e-05,1.428420e-05,1.427328e-05,1.425873e-05,1.424407e-05,1.422933e-05,1.421455e-05,1.419976e-05,1.418499e-05,1.417028e-05,1.415563e-05,1.414108e-05,1.412664e-05,1.411233e-05,1.409817e-05,1.408416e-05,1.407033e-05,1.405667e-05,1.404321e-05,1.402995e-05,1.401689e-05,1.400404e-05,1.399141e-05,1.397900e-05,1.396681e-05,1.395485e-05,1.394312e-05
0.000000e+00,6.950500e-10,2.016098e-09,9.677568e-09,2.702281e-08,4.306719e-08,1.166205e-07,1.208512e-07,2.645702e-07,3.196709e-07,4.967756e-07,6.884134e-07,8.412674e-07,1.278876e-06,1.323064e-06,1.966361e-06,2.146999e-06,2.788996e-06,3.330567e-06,3.796277e-06,4.829466e-06,4.980419e-06,6.325578e-06,6.612305e-06,7.813198e-06,8.636929e-06,9.424927e-06,1.086200e-05,1.114346e-05,1.295244e-05,1.324921e-05,1.483613e-05,1.576233e-05,1.677918e-05,1.836617e-05,1.876644e-05,2.078311e-05,2.102640e-05,2.281482e-05,2.370997e-05,2.484784e-05,2.638584e-05,2.686927e-05,2.886724e-05,2.902573e-05,3.083103e-05,3.160482e-05,3.275120e-05,3.410208e-05,3.461959e-05,3.642938e-05,3.650047e-05,3.817502e-05,3.878688e-05,3.985219e-05,4.095187e-05,4.145768e-05,4.298933e-05,4.444591e-05,4.489606e-05,4.582696e-05,4.667128e-05,4.713273e-05,4.831622e-05,4.836406e-05,4.952227e-05,4.983369e-05,5.060908e-05,5.122772e-05,5.162651e-05,5.250321e-05,5.257682e-05,5.346247e-05,5.366568e-05,5.428599e-05,5.472102e-05,5.505004e-05,5.567531e-05,5.575727e-05,5.641034e-05,5.653469e-05,5.701191e-05,5.730524e-05,5.756458e-05,5.799289e-05,5.807089e-05,5.853330e-05,5.860338e-05,5.895421e-05,5.914217e-05,5.933589e-05,5.961448e-05,5.968055e-05,5.999029e-05,6.002520e-05,6.026711e-05,6.037898e-05,6.051293e-05,6.068014e-05,6.072957e-05,6.091875e-05,6.093275e-05,6.108212e-05,6.114059e-05,6.122122e-05,6.130717e-05,6.133752e-05,6.143239e-05,6.143576e-05,6.150717e-05,6.152940e-05,6.156307e-05,6.159090e-05,6.160127e-05,6.162287e-05,6.162891e-05,6.162772e-05,6.162038e-05,6.160769e-05,6.159818e-05,6.156484e-05,6.156321e-05,6.151627e-05,6.150109e-05,6.145815e-05,6.141821e-05,6.138957e-05,6.131783e-05,6.131122e-05,6.122376e-05,6.120148e-05,6.112778e-05,6.107054e-05,6.102388e-05,6.092631e-05,6.091259e-05,6.079442e-05,6.077001e-05,6.066986e-05,6.060272e-05,6.053937e-05,6.042549e-05,6.040338e-05,6.026228e-05,6.023926e-05,6.011646e-05,6.004490e-05,5.996629e-05,5.984325e-05,5.981210e-05,5.965422e-05,5.963504e-05,5.949294e-05,5.942097e-05,5.932855e-05,5.920170e-05,5.916132e-05,5.899151e-05,5.897782e-05,5.881935e-05,5.874989e-05,5.864508e-05,5.851841e-05,5.846890e-05,5.829102e-05,5.828387e-05,5.811163e-05,5.804671e-05,5.793090e-05,5.780733e-05,5.774901e-05,5.756611e-05,5.732341e-05,5.707954e-05,5.683481e-05,5.658949e-05,5.634385e-05,5.609812e-05,5.585252e-05,5.560726e-05,5.536252e-05,5.511847e-05,5.487528e-05,5.463310e-05,5.439205e-05,5.415227e-05,5.391387e-05,5.367695e-05,5.344161e-05,5.320794e-05,5.297602e-05,5.274593e-05,5.251772e-05,5.229146e-05,5.206721e-05,5.184501e-05
0.000000e+00,3.583011e-10,1.053761e-09,5.197475e-09,1.484868e-08,2.394385e-08,6.662690e-08,6.911356e-08,1.546538e-07,1.877983e-07,2.949488e-07,4.113543e-07,5.042543e-07,7.696450e-07,7.963767e-07,1.184417e-06,1.293183e-06,1.680351e-06,2.009049e-06,2.294189e-06,2.937403e-06,3.032741e-06,3.898573e-06,4.086923e-06,4.889861e-06,5.453216e-06,6.001153e-06,7.021557e-06,7.224419e-06,8.549941e-06,8.770804e-06,9.966910e-06,1.067617e-05,1.146380e-05,1.271080e-05,1.302861e-05,1.464904e-05,1.484665e-05,1.631271e-05,1.705523e-05,1.800726e-05,1.930830e-05,1.972057e-05,2.144094e-05,2.157854e-05,2.315721e-05,2.384020e-05,2.485892e-05,2.606969e-05,2.653644e-05,2.818104e-05,2.824602e-05,2.978495e-05,3.035107e-05,3.134142e-05,3.236974e-05,3.284468e-05,3.428995e-05,3.567341e-05,3.610256e-05,3.699212e-05,3.780111e-05,3.824398e-05,3.938162e-05,3.942765e-05,4.054247e-05,4.084226e-05,4.158838e-05,4.218303e-05,4.256585e-05,4.340547e-05,4.347581e-05,4.431956e-05,4.451238e-05,4.509872e-05,4.550753e-05,4.581517e-05,4.639543e-05,4.647100e-05,4.706845e-05,4.718114e-05,4.760986e-05,4.787005e-05,4.809765e-05,4.846777e-05,4.853430e-05,4.892227e-05,4.898000e-05,4.926405e-05,4.941241e-05,4.956207e-05,4.977060e-05,4.981874e-05,5.003639e-05,5.006000e-05,5.021733e-05,5.028587e-05,5.036374e-05,5.045324e-05,5.047776e-05,5.056144e-05,5.056688e-05,5.061674e-05,5.063133e-05,5.064552e-05,5.065084e-05,5.064959e-05,5.063063e-05,5.062941e-05,5.059026e-05,5.057079e-05,5.053002e-05,5.047846e-05,5.045137e-05,5.035568e-05,5.024425e-05,5.020547e-05,5.011831e-05,5.003062e-05,4.997901e-05,4.983374e-05,4.982745e-05,4.966466e-05,4.961720e-05,4.949160e-05,4.938321e-05,4.930918e-05,4.913382e-05,4.911826e-05,4.891963e-05,4.887090e-05,4.871406e-05,4.859616e-05,4.850224e-05,4.831119e-05,4.828483e-05,4.806246e-05,4.801744e-05,4.783570e-05,4.771623e-05,4.760509e-05,4.740878e-05,4.737115e-05,4.713433e-05,4.709621e-05,4.689509e-05,4.677951e-05,4.665383e-05,4.645963e-05,4.641093e-05,4.616676e-05,4.613739e-05,4.592165e-05,4.581358e-05,4.567589e-05,4.548887e-05,4.542979e-05,4.518360e-05,4.516391e-05,4.493757e-05,4.483925e-05,4.469193e-05,4.451543e-05,4.444689e-05,4.420264e-05,4.419289e-05,4.395937e-05,4.387206e-05,4.371724e-05,4.355332e-05,4.347640e-05,4.323699e-05,4.292337e-05,4.261273e-05,4.230530e-05,4.200130e-05,4.170089e-05,4.140424e-05,4.111147e-05,4.082272e-05,4.053806e-05,4.025759e-05,3.998137e-05,3.970945e-05,3.944187e-05,3.917866e-05,3.891983e-05,3.866539e-05,3.841535e-05,3.816970e-05,3.792842e-05,3.769149e-05,3.745889e-05,3.723057e-05,3.700652e-05,3.678669e-05
0.000000e+00,1.829006e-09,5.178862e-09,2.372724e-08,6.374719e-08,9.962246e-08,2.577379e-07,2.666342e-07,5.620990e-07,6.730534e-07,1.024576e-06,1.398625e-06,1.692971e-06,2.514639e-06,2.595705e-06,3.733288e-06,4.038621e-06,5.079064e-06,5.910156e-06,6.596973e-06,8.048210e-06,8.253264e-06,1.001848e-05,1.038222e-05,1.186597e-05,1.285072e-05,1.377036e-05,1.539599e-05,1.570703e-05,1.765216e-05,1.796263e-05,1.958319e-05,2.049891e-05,2.147940e-05,2.295887e-05,2.332243e-05,2.509658e-05,2.530421e-05,2.678905e-05,2.750521e-05,2.838993e-05,2.954087e-05,2.989211e-05,3.129101e-05,3.139837e-05,3.258435e-05,3.307199e-05,3.377180e-05,3.456187e-05,3.485466e-05,3.583554e-05,3.587270e-05,3.671803e-05,3.701247e-05,3.750652e-05,3.799145e-05,3.820586e-05,3.882125e-05,3.935805e-05,3.951411e-05,3.982166e-05,4.008242e-05,4.021740e-05,4.053830e-05,4.055048e-05,4.082589e-05,4.089333e-05,4.104840e-05,4.115841e-05,4.122253e-05,4.134364e-05,4.135251e-05,4.144233e-05,4.145832e-05,4.149566e-05,4.151089e-05,4.151596e-05,4.150901e-05,4.150639e-05,4.146987e-05,4.145958e-05,4.140912e-05,4.136877e-05,4.132659e-05,4.124211e-05,4.122457e-05,4.110513e-05,4.108453e-05,4.097018e-05,4.090042e-05,4.082147e-05,4.069366e-05,4.066058e-05,4.048896e-05,4.046771e-05,4.030794e-05,4.022562e-05,4.011871e-05,3.997010e-05,3.992239e-05,3.971997e-05,3.970354e-05,3.951235e-05,3.942804e-05,3.930037e-05,3.914546e-05,3.908477e-05,3.886624e-05,3.885745e-05,3.864540e-05,3.856544e-05,3.842281e-05,3.827071e-05,3.819898e-05,3.797436e-05,3.774938e-05,3.767737e-05,3.752441e-05,3.738060e-05,3.729980e-05,3.708478e-05,3.707584e-05,3.685281e-05,3.679057e-05,3.663097e-05,3.649853e-05,3.641053e-05,3.620914e-05,3.619169e-05,3.597464e-05,3.592283e-05,3.575952e-05,3.563995e-05,3.554648e-05,3.536082e-05,3.533564e-05,3.512711e-05,3.508569e-05,3.492098e-05,3.481477e-05,3.471734e-05,3.454825e-05,3.451626e-05,3.431779e-05,3.428628e-05,3.412200e-05,3.402898e-05,3.392892e-05,3.377643e-05,3.373858e-05,3.355102e-05,3.352870e-05,3.336626e-05,3.328585e-05,3.318430e-05,3.304790e-05,3.300517e-05,3.282886e-05,3.281487e-05,3.265537e-05,3.258676e-05,3.248470e-05,3.236356e-05,3.231685e-05,3.215179e-05,3.214525e-05,3.198953e-05,3.193179e-05,3.183003e-05,3.172314e-05,3.167328e-05,3.151926e-05,3.132009e-05,3.112558e-05,3.093565e-05,3.075025e-05,3.056930e-05,3.039273e-05,3.022046e-05,3.005241e-05,2.988851e-05,2.972867e-05,2.957282e-05,2.942087e-05,2.927274e-05,2.912835e-05,2.898762e-05,2.885046e-05,2.871680e-05,2.858656e-05,2.845965e-05,2.833600e-05,2.821552e-05,2.809816e-05,2.798382e-05,2.787243e-05
0.000000e+00,6.162276e-10,1.807028e-09,8.860639e-09,2.519225e-08,4.053000e-08,1.123056e-07,1.164846e-07,2.604882e-07,3.164935e-07,4.985746e-07,6.982736e-07,8.590526e-07,1.324564e-06,1.371900e-06,2.065448e-06,2.261222e-06,2.958549e-06,3.546915e-06,4.051728e-06,5.164313e-06,5.325758e-06,6.748797e-06,7.048126e-06,8.284954e-06,9.116867e-06,9.899713e-06,1.129416e-05,1.156221e-05,1.324571e-05,1.351544e-05,1.492735e-05,1.572806e-05,1.658773e-05,1.788962e-05,1.821047e-05,1.978199e-05,1.996657e-05,2.129121e-05,2.193322e-05,2.272945e-05,2.377093e-05,2.409016e-05,2.536884e-05,2.546750e-05,2.656280e-05,2.701637e-05,2.767094e-05,2.841579e-05,2.869357e-05,2.963215e-05,2.966798e-05,3.048909e-05,3.077818e-05,3.126752e-05,3.175388e-05,3.197114e-05,3.260401e-05,3.317043e-05,3.333837e-05,3.367479e-05,3.396705e-05,3.412150e-05,3.450011e-05,3.451488e-05,3.485911e-05,3.494724e-05,3.515821e-05,3.531759e-05,3.541596e-05,3.561963e-05,3.563592e-05,3.582140e-05,3.586113e-05,3.597548e-05,3.604911e-05,3.610099e-05,3.618988e-05,3.620054e-05,3.627650e-05,3.628906e-05,3.633104e-05,3.635159e-05,3.636611e-05,3.638184e-05,3.638350e-05,3.638486e-05,3.638370e-05,3.637172e-05,3.636065e-05,3.634541e-05,3.631571e-05,3.630716e-05,3.625808e-05,3.625151e-05,3.619919e-05,3.617041e-05,3.613140e-05,3.607442e-05,3.605551e-05,3.597229e-05,3.596534e-05,3.588241e-05,3.584474e-05,3.578649e-05,3.571402e-05,3.568511e-05,3.557877e-05,3.557442e-05,3.546796e-05,3.542705e-05,3.535310e-05,3.527290e-05,3.523460e-05,3.511283e-05,3.498810e-05,3.494762e-05,3.486075e-05,3.477799e-05,3.473104e-05,3.460457e-05,3.459926e-05,3.446564e-05,3.442792e-05,3.433040e-05,3.424858e-05,3.419377e-05,3.406700e-05,3.405593e-05,3.391706e-05,3.388359e-05,3.377732e-05,3.369876e-05,3.363688e-05,3.351283e-05,3.349588e-05,3.335445e-05,3.332612e-05,3.321271e-05,3.313893e-05,3.307079e-05,3.295151e-05,3.292878e-05,3.278680e-05,3.276409e-05,3.264494e-05,3.257691e-05,3.250328e-05,3.239015e-05,3.236190e-05,3.222088e-05,3.220399e-05,3.208030e-05,3.201859e-05,3.194021e-05,3.183411e-05,3.180068e-05,3.166176e-05,3.165067e-05,3.152350e-05,3.146839e-05,3.138596e-05,3.128739e-05,3.124917e-05,3.111319e-05,3.110777e-05,3.097805e-05,3.092961e-05,3.084378e-05,3.075299e-05,3.071042e-05,3.057799e-05,3.040468e-05,3.023311e-05,3.006334e-05,2.989540e-05,2.972934e-05,2.956519e-05,2.940299e-05,2.924275e-05,2.908451e-05,2.892827e-05,2.877406e-05,2.862187e-05,2.847173e-05,2.832363e-05,2.817759e-05,2.803358e-05,2.789163e-05,2.775171e-05,2.761384e-05,2.747798e-05,2.734415e-05,2.721233e-05,2.708250e-05,2.695465e-05
0.000000e+00,2.392472e-09,6.262543e-09,2.509766e-08,6.123061e-08,9.145672e-08,2.143988e-07,2.210100e-07,4.304839e-07,5.055731e-07,7.352989e-07,9.701410e-07,1.150203e-06,1.639768e-06,1.687413e-06,2.350075e-06,2.526649e-06,3.124631e-06,3.597233e-06,3.983620e-06,4.785895e-06,4.897627e-06,5.842651e-06,6.033693e-06,6.800467e-06,7.298727e-06,7.756765e-06,8.550160e-06,8.699697e-06,9.619177e-06,9.763524e-06,1.050664e-05,1.091913e-05,1.135504e-05,1.200187e-05,1.215885e-05,1.291404e-05,1.300126e-05,1.361805e-05,1.391124e-05,1.426964e-05,1.472971e-05,1.486873e-05,1.541621e-05,1.545782e-05,1.591373e-05,1.609924e-05,1.636354e-05,1.665934e-05,1.676830e-05,1.713091e-05,1.714458e-05,1.745441e-05,1.756189e-05,1.774187e-05,1.791831e-05,1.799632e-05,1.822065e-05,1.841763e-05,1.847532e-05,1.858985e-05,1.868818e-05,1.873969e-05,1.886452e-05,1.886934e-05,1.898081e-05,1.900901e-05,1.907591e-05,1.912581e-05,1.915629e-05,1.921851e-05,1.922342e-05,1.927862e-05,1.929023e-05,1.932309e-05,1.934370e-05,1.935788e-05,1.938125e-05,1.938394e-05,1.940213e-05,1.940489e-05,1.941320e-05,1.941637e-05,1.941782e-05,1.941716e-05,1.941660e-05,1.941008e-05,1.940858e-05,1.939875e-05,1.939174e-05,1.938306e-05,1.936763e-05,1.936339e-05,1.934012e-05,1.933709e-05,1.931355e-05,1.930089e-05,1.928398e-05,1.925968e-05,1.925170e-05,1.921693e-05,1.921405e-05,1.917991e-05,1.916452e-05,1.914084e-05,1.911154e-05,1.909990e-05,1.905728e-05,1.905554e-05,1.901312e-05,1.899688e-05,1.896759e-05,1.893590e-05,1.892080e-05,1.887290e-05,1.882400e-05,1.880815e-05,1.877420e-05,1.874190e-05,1.872360e-05,1.867437e-05,1.867231e-05,1.862041e-05,1.860577e-05,1.856797e-05,1.853629e-05,1.851508e-05,1.846608e-05,1.846181e-05,1.840821e-05,1.839531e-05,1.835436e-05,1.832412e-05,1.830031e-05,1.825263e-05,1.824612e-05,1.819183e-05,1.818096e-05,1.813749e-05,1.810923e-05,1.808315e-05,1.803753e-05,1.802884e-05,1.797461e-05,1.796594e-05,1.792049e-05,1.789456e-05,1.786651e-05,1.782345e-05,1.781270e-05,1.775910e-05,1.775268e-05,1.770573e-05,1.768233e-05,1.765261e-05,1.761243e-05,1.759977e-05,1.754724e-05,1.754305e-05,1.749502e-05,1.747422e-05,1.744314e-05,1.740600e-05,1.739161e-05,1.734046e-05,1.733842e-05,1.728969e-05,1.727151e-05,1.723933e-05,1.720531e-05,1.718937e-05,1.713984e-05,1.707513e-05,1.701119e-05,1.694804e-05,1.688571e-05,1.682421e-05,1.676354e-05,1.670372e-05,1.664476e-05,1.658666e-05,1.652943e-05,1.647307e-05,1.641758e-05,1.636297e-05,1.630923e-05,1.625637e-05,1.620438e-05,1.615326e-05,1.610301e-05,1.605361e-05,1.600508e-05,1.595739e-05,1.591055e-05,1.586454e-05,1.581937e-05
0.000000e+00,2.552741e-09,6.900706e-09,2.932478e-08,7.520371e-08,1.155083e-07,2.930993e-07,3.032030e-07,6.493033e-07,7.847971e-07,1.232488e-06,1.734240e-06,2.142346e-06,3.313834e-06,3.430561e-06,5.063758e-06,5.497437e-06,6.953350e-06,8.090957e-06,9.014791e-06,1.092340e-05,1.118879e-05,1.343630e-05,1.389207e-05,1.572978e-05,1.693323e-05,1.804759e-05,1.999970e-05,2.037116e-05,2.268381e-05,2.305180e-05,2.497050e-05,2.605487e-05,2.721776e-05,2.897922e-05,2.941384e-05,3.154880e-05,3.180049e-05,3.361450e-05,3.449974e-05,3.560448e-05,3.706325e-05,3.751400e-05,3.933981e-05,3.948219e-05,4.107997e-05,4.175183e-05,4.273362e-05,4.387068e-05,4.430083e-05,4.578253e-05,4.584004e-05,4.718024e-05,4.766322e-05,4.849592e-05,4.934492e-05,4.973193e-05,5.089088e-05,5.197554e-05,5.230742e-05,5.298883e-05,5.360124e-05,5.393371e-05,5.477919e-05,5.481315e-05,5.563013e-05,5.584808e-05,5.638756e-05,5.681463e-05,5.708831e-05,5.768534e-05,5.773517e-05,5.833085e-05,5.846649e-05,5.887796e-05,5.916406e-05,5.937900e-05,5.978375e-05,5.983641e-05,6.025249e-05,6.033095e-05,6.062947e-05,6.081075e-05,6.096946e-05,6.122795e-05,6.127449e-05,6.154648e-05,6.158706e-05,6.178728e-05,6.189229e-05,6.199863e-05,6.214762e-05,6.218219e-05,6.233955e-05,6.235674e-05,6.247221e-05,6.252313e-05,6.258160e-05,6.265000e-05,6.266906e-05,6.273590e-05,6.274039e-05,6.278332e-05,6.279712e-05,6.281249e-05,6.282280e-05,6.282449e-05,6.282038e-05,6.281989e-05,6.280113e-05,6.279067e-05,6.276767e-05,6.273727e-05,6.272090e-05,6.266166e-05,6.259072e-05,6.256568e-05,6.250885e-05,6.245105e-05,6.241676e-05,6.231937e-05,6.231513e-05,6.220458e-05,6.217211e-05,6.208572e-05,6.201065e-05,6.195912e-05,6.183629e-05,6.182533e-05,6.168485e-05,6.165020e-05,6.153818e-05,6.145350e-05,6.138576e-05,6.124722e-05,6.122802e-05,6.106539e-05,6.103231e-05,6.089825e-05,6.080967e-05,6.072695e-05,6.058012e-05,6.055186e-05,6.037329e-05,6.034442e-05,6.019156e-05,6.010329e-05,6.000695e-05,5.985739e-05,5.981975e-05,5.963022e-05,5.960733e-05,5.943860e-05,5.935368e-05,5.924512e-05,5.909697e-05,5.905001e-05,5.885347e-05,5.883769e-05,5.865570e-05,5.857629e-05,5.845688e-05,5.831319e-05,5.825720e-05,5.805680e-05,5.804878e-05,5.785586e-05,5.778341e-05,5.765451e-05,5.751744e-05,5.745290e-05,5.725115e-05,5.698483e-05,5.671875e-05,5.645315e-05,5.618825e-05,5.592426e-05,5.566137e-05,5.539974e-05,5.513955e-05,5.488092e-05,5.462401e-05,5.436893e-05,5.411578e-05,5.386468e-05,5.361571e-05,5.336895e-05,5.312449e-05,5.288238e-05,5.264269e-05,5.240546e-05,5.217075e-05,5.193860e-05,5.170903e-05,5.148209e-05,5.125780e-05
0.000000e+00,2.232520e-09,5.199500e-09,1.823748e-08,4.211744e-08,6.204119e-08,1.456876e-07,1.503355e-07,3.061689e-07,3.660162e-07,5.610980e-07,7.765253e-07,9.500962e-07,1.442969e-06,1.491731e-06,2.168314e-06,2.346249e-06,2.938409e-06,3.395621e-06,3.763444e-06,4.513745e-06,4.617071e-06,5.482565e-06,5.656042e-06,6.348764e-06,6.796673e-06,7.207476e-06,7.918171e-06,8.052134e-06,8.877217e-06,9.007089e-06,9.678040e-06,1.005264e-05,1.045067e-05,1.104631e-05,1.119192e-05,1.189931e-05,1.198183e-05,1.257113e-05,1.285517e-05,1.320632e-05,1.366422e-05,1.380435e-05,1.436526e-05,1.440854e-05,1.488945e-05,1.508902e-05,1.537770e-05,1.570756e-05,1.583104e-05,1.625070e-05,1.626680e-05,1.663807e-05,1.676990e-05,1.699466e-05,1.722035e-05,1.732201e-05,1.762161e-05,1.789502e-05,1.797723e-05,1.814375e-05,1.829068e-05,1.836929e-05,1.856531e-05,1.857306e-05,1.875644e-05,1.880431e-05,1.892074e-05,1.901068e-05,1.906720e-05,1.918719e-05,1.919699e-05,1.931123e-05,1.933645e-05,1.941098e-05,1.946087e-05,1.949721e-05,1.956266e-05,1.957087e-05,1.963281e-05,1.964387e-05,1.968387e-05,1.970637e-05,1.972480e-05,1.975189e-05,1.975633e-05,1.977912e-05,1.978200e-05,1.979380e-05,1.979814e-05,1.980095e-05,1.980163e-05,1.980114e-05,1.979485e-05,1.979369e-05,1.978258e-05,1.977541e-05,1.976478e-05,1.974780e-05,1.974185e-05,1.971419e-05,1.971178e-05,1.968216e-05,1.966820e-05,1.964610e-05,1.961783e-05,1.960633e-05,1.956315e-05,1.956136e-05,1.951683e-05,1.949943e-05,1.946762e-05,1.943264e-05,1.941578e-05,1.936152e-05,1.930506e-05,1.928656e-05,1.924660e-05,1.920821e-05,1.918630e-05,1.912687e-05,1.912436e-05,1.906092e-05,1.904291e-05,1.899614e-05,1.895669e-05,1.893016e-05,1.886851e-05,1.886310e-05,1.879510e-05,1.877865e-05,1.872625e-05,1.868737e-05,1.865668e-05,1.859493e-05,1.858647e-05,1.851573e-05,1.850152e-05,1.844453e-05,1.840735e-05,1.837296e-05,1.831260e-05,1.830109e-05,1.822900e-05,1.821744e-05,1.815674e-05,1.812202e-05,1.808439e-05,1.802647e-05,1.801199e-05,1.793961e-05,1.793093e-05,1.786728e-05,1.783549e-05,1.779507e-05,1.774028e-05,1.772300e-05,1.765112e-05,1.764538e-05,1.757947e-05,1.755088e-05,1.750808e-05,1.745686e-05,1.743699e-05,1.736621e-05,1.736339e-05,1.729579e-05,1.727053e-05,1.722575e-05,1.717834e-05,1.715610e-05,1.708688e-05,1.699618e-05,1.690630e-05,1.681727e-05,1.672912e-05,1.664188e-05,1.655558e-05,1.647025e-05,1.638590e-05,1.630254e-05,1.622020e-05,1.613889e-05,1.605862e-05,1.597939e-05,1.590122e-05,1.582410e-05,1.574804e-05,1.567304e-05,1.559911e-05,1.552624e-05,1.545443e-05,1.538368e-05,1.531398e-05,1.524534e-05,1.517773e-05
0.000000e+00,3.350685e-09,7.715118e-09,2.660730e-08,6.043337e-08,8.800999e-08,1.983964e-07,2.043044e-07,3.915624e-07,4.588951e-07,6.658813e-07,8.791033e-07,1.043743e-06,1.497172e-06,1.541830e-06,2.176117e-06,2.350198e-06,2.960110e-06,3.467964e-06,3.902181e-06,4.862178e-06,5.002270e-06,6.248988e-06,6.514060e-06,7.618947e-06,8.369481e-06,9.079765e-06,1.035104e-05,1.059593e-05,1.213445e-05,1.238078e-05,1.366806e-05,1.439607e-05,1.517581e-05,1.635288e-05,1.664229e-05,1.805643e-05,1.822221e-05,1.941041e-05,1.998563e-05,2.069882e-05,2.163195e-05,2.191816e-05,2.306636e-05,2.315511e-05,2.414250e-05,2.455275e-05,2.514660e-05,2.582535e-05,2.607943e-05,2.694238e-05,2.697547e-05,2.773730e-05,2.800723e-05,2.846640e-05,2.892588e-05,2.913221e-05,2.973740e-05,3.028481e-05,3.044825e-05,3.077733e-05,3.106510e-05,3.121790e-05,3.159467e-05,3.160943e-05,3.195478e-05,3.204359e-05,3.225678e-05,3.241832e-05,3.251816e-05,3.272502e-05,3.274155e-05,3.292948e-05,3.296958e-05,3.308438e-05,3.315757e-05,3.320856e-05,3.329418e-05,3.330422e-05,3.337343e-05,3.338428e-05,3.341817e-05,3.343238e-05,3.344029e-05,3.344269e-05,3.344156e-05,3.342361e-05,3.341906e-05,3.338800e-05,3.336507e-05,3.333620e-05,3.328400e-05,3.326955e-05,3.318934e-05,3.317887e-05,3.309678e-05,3.305242e-05,3.299296e-05,3.290719e-05,3.287895e-05,3.275572e-05,3.274549e-05,3.262417e-05,3.256942e-05,3.248517e-05,3.238090e-05,3.233948e-05,3.218787e-05,3.218169e-05,3.203100e-05,3.197336e-05,3.186951e-05,3.175736e-05,3.170400e-05,3.153500e-05,3.136304e-05,3.130747e-05,3.118858e-05,3.107582e-05,3.101206e-05,3.084103e-05,3.083387e-05,3.065440e-05,3.060397e-05,3.047398e-05,3.036541e-05,3.029294e-05,3.012608e-05,3.011156e-05,2.993011e-05,2.988658e-05,2.974884e-05,2.964749e-05,2.956798e-05,2.940932e-05,2.938772e-05,2.920827e-05,2.917249e-05,2.902979e-05,2.893741e-05,2.885244e-05,2.870444e-05,2.867635e-05,2.850167e-05,2.847386e-05,2.832851e-05,2.824596e-05,2.815697e-05,2.802096e-05,2.798714e-05,2.781911e-05,2.779908e-05,2.765296e-05,2.758047e-05,2.748875e-05,2.736528e-05,2.732654e-05,2.716637e-05,2.715365e-05,2.700830e-05,2.694567e-05,2.685236e-05,2.674142e-05,2.669858e-05,2.654698e-05,2.654097e-05,2.639760e-05,2.634436e-05,2.625043e-05,2.615164e-05,2.610550e-05,2.596282e-05,2.577791e-05,2.559692e-05,2.541984e-05,2.524664e-05,2.507731e-05,2.491182e-05,2.475012e-05,2.459219e-05,2.443797e-05,2.428741e-05,2.414046e-05,2.399707e-05,2.385719e-05,2.372074e-05,2.358767e-05,2.345792e-05,2.333143e-05,2.320813e-05,2.308795e-05,2.297084e-05,2.285673e-05,2.274555e-05,2.263724e-05,2.253173e-05
0.000000e+00,9.739432e-10,2.900750e-09,1.468591e-08,4.296871e-08,7.020656e-08,2.022214e-07,2.100679e-07,4.870377e-07,5.973097e-07,9.623893e-07,1.371240e-06,1.705172e-06,2.689979e-06,2.791393e-06,4.300759e-06,4.734550e-06,6.307889e-06,7.671330e-06,8.868896e-06,1.160365e-05,1.201174e-05,1.573640e-05,1.654954e-05,2.002128e-05,2.245923e-05,2.483017e-05,2.924126e-05,3.011723e-05,3.583038e-05,3.678032e-05,4.191348e-05,4.494763e-05,4.830795e-05,5.360761e-05,5.495411e-05,6.179238e-05,6.262309e-05,6.876434e-05,7.185977e-05,7.581375e-05,8.119018e-05,8.288733e-05,8.993553e-05,9.049690e-05,9.691299e-05,9.967488e-05,1.037790e-04,1.086330e-04,1.104975e-04,1.170374e-04,1.172949e-04,1.233725e-04,1.255987e-04,1.294810e-04,1.334964e-04,1.353457e-04,1.409532e-04,1.462940e-04,1.479457e-04,1.513620e-04,1.544607e-04,1.561539e-04,1.604939e-04,1.606692e-04,1.649095e-04,1.660479e-04,1.688783e-04,1.711314e-04,1.725808e-04,1.757575e-04,1.760235e-04,1.792139e-04,1.799430e-04,1.821604e-04,1.837071e-04,1.848718e-04,1.870709e-04,1.873576e-04,1.896274e-04,1.900563e-04,1.916912e-04,1.926862e-04,1.935587e-04,1.949830e-04,1.952399e-04,1.967444e-04,1.969693e-04,1.980817e-04,1.986670e-04,1.992613e-04,2.000973e-04,2.002920e-04,2.011827e-04,2.012806e-04,2.019417e-04,2.022361e-04,2.025772e-04,2.029824e-04,2.030969e-04,2.035082e-04,2.035366e-04,2.038181e-04,2.039152e-04,2.040333e-04,2.041333e-04,2.041603e-04,2.042049e-04,2.042051e-04,2.041731e-04,2.041440e-04,2.040702e-04,2.039621e-04,2.039012e-04,2.036710e-04,2.033843e-04,2.032812e-04,2.030451e-04,2.028025e-04,2.026576e-04,2.022437e-04,2.022256e-04,2.017527e-04,2.016134e-04,2.012421e-04,2.009190e-04,2.006970e-04,2.001676e-04,2.001204e-04,1.995151e-04,1.993658e-04,1.988836e-04,1.985194e-04,1.982283e-04,1.976339e-04,1.975516e-04,1.968556e-04,1.967143e-04,1.961423e-04,1.957651e-04,1.954135e-04,1.947906e-04,1.946710e-04,1.939164e-04,1.937946e-04,1.931513e-04,1.927807e-04,1.923770e-04,1.917519e-04,1.915949e-04,1.908063e-04,1.907112e-04,1.900122e-04,1.896614e-04,1.892138e-04,1.886048e-04,1.884121e-04,1.876080e-04,1.875436e-04,1.868024e-04,1.864799e-04,1.859961e-04,1.854155e-04,1.851898e-04,1.843843e-04,1.843521e-04,1.835801e-04,1.832911e-04,1.827779e-04,1.822339e-04,1.819783e-04,1.811817e-04,1.801357e-04,1.790969e-04,1.780660e-04,1.770441e-04,1.760316e-04,1.750293e-04,1.740378e-04,1.730575e-04,1.720888e-04,1.711322e-04,1.701879e-04,1.692563e-04,1.683376e-04,1.674318e-04,1.665394e-04,1.656602e-04,1.647945e-04,1.639422e-04,1.631035e-04,1.622784e-04,1.614668e-04,1.606687e-04,1.598841e-04,1.591129e-04
0.000000e+00,7.933492e-10,2.080025e-09,8.401813e-09,2.070971e-08,3.112783e-08,7.420967e-08,7.654994e-08,1.514766e-07,1.785993e-07,2.621005e-07,3.480061e-07,4.141437e-07,5.952033e-07,6.129474e-07,8.634091e-07,9.316858e-07,1.169599e-06,1.366417e-06,1.533977e-06,1.902874e-06,1.956606e-06,2.435107e-06,2.537177e-06,2.965480e-06,3.260228e-06,3.543040e-06,4.061121e-06,4.162954e-06,4.820394e-06,4.928744e-06,5.510528e-06,5.851977e-06,6.228484e-06,6.819570e-06,6.969333e-06,7.728112e-06,7.820135e-06,8.499867e-06,8.842287e-06,9.279714e-06,9.874881e-06,1.006291e-05,1.084490e-05,1.090727e-05,1.162141e-05,1.192959e-05,1.238849e-05,1.293291e-05,1.314253e-05,1.388029e-05,1.390942e-05,1.459894e-05,1.485249e-05,1.529605e-05,1.575673e-05,1.596959e-05,1.661792e-05,1.723975e-05,1.743298e-05,1.783414e-05,1.819985e-05,1.840047e-05,1.891741e-05,1.893838e-05,1.944779e-05,1.958533e-05,1.992881e-05,2.020393e-05,2.038177e-05,2.077411e-05,2.080714e-05,2.120553e-05,2.129721e-05,2.157767e-05,2.177490e-05,2.192437e-05,2.220911e-05,2.224650e-05,2.254500e-05,2.260195e-05,2.282083e-05,2.295563e-05,2.307497e-05,2.327242e-05,2.330842e-05,2.352217e-05,2.355461e-05,2.371720e-05,2.380445e-05,2.389448e-05,2.402416e-05,2.405496e-05,2.419954e-05,2.421586e-05,2.432912e-05,2.438161e-05,2.444456e-05,2.452335e-05,2.454669e-05,2.463629e-05,2.464294e-05,2.471412e-05,2.474212e-05,2.478091e-05,2.482254e-05,2.483733e-05,2.488405e-05,2.488572e-05,2.492167e-05,2.493310e-05,2.495079e-05,2.496602e-05,2.497197e-05,2.498572e-05,2.499254e-05,2.499333e-05,2.499289e-05,2.498993e-05,2.498723e-05,2.497651e-05,2.497595e-05,2.495946e-05,2.495396e-05,2.493812e-05,2.492313e-05,2.491227e-05,2.488479e-05,2.488224e-05,2.484834e-05,2.483966e-05,2.481086e-05,2.478840e-05,2.477005e-05,2.473160e-05,2.472618e-05,2.467949e-05,2.466983e-05,2.463019e-05,2.460360e-05,2.457850e-05,2.453337e-05,2.452461e-05,2.446871e-05,2.445959e-05,2.441097e-05,2.438265e-05,2.435155e-05,2.430291e-05,2.429061e-05,2.422829e-05,2.422073e-05,2.416473e-05,2.413640e-05,2.410004e-05,2.405020e-05,2.403435e-05,2.396777e-05,2.396241e-05,2.390041e-05,2.387326e-05,2.383235e-05,2.378297e-05,2.376370e-05,2.369453e-05,2.369175e-05,2.362493e-05,2.359978e-05,2.355497e-05,2.350723e-05,2.348472e-05,2.341426e-05,2.332101e-05,2.322761e-05,2.313419e-05,2.304085e-05,2.294770e-05,2.285483e-05,2.276232e-05,2.267024e-05,2.257868e-05,2.248769e-05,2.239733e-05,2.230764e-05,2.221869e-05,2.213052e-05,2.204315e-05,2.195662e-05,2.187098e-05,2.178623e-05,2.170241e-05,2.161955e-05,2.153764e-05,2.145672e-05,2.137680e-05,2.129789e-05
0.000000e+00,8.421939e-10,2.392116e-09,1.103081e-08,2.980996e-08,4.673306e-08,1.218418e-07,1.260848e-07,2.675733e-07,3.208982e-07,4.902690e-07,6.711970e-07,8.143002e-07,1.219705e-06,1.260342e-06,1.846520e-06,2.009350e-06,2.581750e-06,3.056712e-06,3.459146e-06,4.331676e-06,4.456807e-06,5.545909e-06,5.772174e-06,6.698472e-06,7.314802e-06,7.890706e-06,8.908552e-06,9.103231e-06,1.032022e-05,1.051444e-05,1.152849e-05,1.210205e-05,1.271700e-05,1.364727e-05,1.387645e-05,1.499915e-05,1.513109e-05,1.607892e-05,1.653913e-05,1.711095e-05,1.786117e-05,1.809175e-05,1.901895e-05,1.909076e-05,1.989122e-05,2.022463e-05,2.070812e-05,2.126213e-05,2.146992e-05,2.217748e-05,2.220467e-05,2.283215e-05,2.305520e-05,2.343561e-05,2.381771e-05,2.398983e-05,2.449694e-05,2.495922e-05,2.509805e-05,2.537898e-05,2.562639e-05,2.575856e-05,2.608731e-05,2.610028e-05,2.640641e-05,2.648606e-05,2.667917e-05,2.682768e-05,2.692067e-05,2.711701e-05,2.713297e-05,2.731801e-05,2.735857e-05,2.747765e-05,2.755662e-05,2.761366e-05,2.771511e-05,2.772769e-05,2.782130e-05,2.783771e-05,2.789598e-05,2.792780e-05,2.795311e-05,2.798850e-05,2.799400e-05,2.801986e-05,2.802268e-05,2.803184e-05,2.803298e-05,2.803102e-05,2.802180e-05,2.801838e-05,2.799487e-05,2.799136e-05,2.796135e-05,2.794365e-05,2.791866e-05,2.788054e-05,2.786754e-05,2.780872e-05,2.780370e-05,2.774284e-05,2.771466e-05,2.767054e-05,2.761482e-05,2.759237e-05,2.750890e-05,2.750545e-05,2.742060e-05,2.738772e-05,2.732795e-05,2.726268e-05,2.723138e-05,2.713129e-05,2.702806e-05,2.699442e-05,2.692203e-05,2.685286e-05,2.681353e-05,2.670733e-05,2.670287e-05,2.659031e-05,2.655850e-05,2.647613e-05,2.640694e-05,2.636055e-05,2.625319e-05,2.624381e-05,2.612611e-05,2.609775e-05,2.600765e-05,2.594104e-05,2.588860e-05,2.578347e-05,2.576912e-05,2.564937e-05,2.562540e-05,2.552949e-05,2.546715e-05,2.540961e-05,2.530900e-05,2.528985e-05,2.517032e-05,2.515123e-05,2.505113e-05,2.499406e-05,2.493236e-05,2.483771e-05,2.481410e-05,2.469644e-05,2.468236e-05,2.457944e-05,2.452818e-05,2.446317e-05,2.437533e-05,2.434769e-05,2.423306e-05,2.422393e-05,2.411932e-05,2.407409e-05,2.400653e-05,2.392593e-05,2.389472e-05,2.378394e-05,2.377953e-05,2.367420e-05,2.363496e-05,2.356555e-05,2.349231e-05,2.345802e-05,2.335161e-05,2.321293e-05,2.307630e-05,2.294175e-05,2.280931e-05,2.267901e-05,2.255085e-05,2.242486e-05,2.230102e-05,2.217934e-05,2.205983e-05,2.194247e-05,2.182726e-05,2.171418e-05,2.160322e-05,2.149437e-05,2.138760e-05,2.128290e-05,2.118024e-05,2.107961e-05,2.098097e-05,2.088430e-05,2.078959e-05,2.069679e-05,2.060589e-05
0.000000e+00,3.962944e-09,1.141793e-08,5.419582e-08,1.503863e-07,2.393162e-07,6.504669e-07,6.743405e-07,1.501491e-06,1.826896e-06,2.901753e-06,4.108394e-06,5.096975e-06,8.008700e-06,8.306622e-06,1.265093e-05,1.386141e-05,1.809511e-05,2.157403e-05,2.449969e-05,3.079930e-05,3.170031e-05,3.955070e-05,4.118782e-05,4.793142e-05,5.246575e-05,5.674423e-05,6.441855e-05,6.590423e-05,7.533381e-05,7.686260e-05,8.495924e-05,8.962806e-05,9.470947e-05,1.025534e-04,1.045160e-04,1.143135e-04,1.154856e-04,1.240409e-04,1.282842e-04,1.336425e-04,1.408245e-04,1.430682e-04,1.522746e-04,1.530005e-04,1.612245e-04,1.647256e-04,1.698872e-04,1.759325e-04,1.782381e-04,1.862582e-04,1.865720e-04,1.939339e-04,1.966109e-04,2.012559e-04,2.060302e-04,2.082192e-04,2.148223e-04,2.210665e-04,2.229894e-04,2.269556e-04,2.305408e-04,2.324953e-04,2.374917e-04,2.376932e-04,2.425578e-04,2.438614e-04,2.470988e-04,2.496723e-04,2.513265e-04,2.549486e-04,2.552517e-04,2.588856e-04,2.597157e-04,2.622396e-04,2.639997e-04,2.653249e-04,2.678268e-04,2.681530e-04,2.707349e-04,2.712228e-04,2.730819e-04,2.742131e-04,2.752047e-04,2.768222e-04,2.771138e-04,2.788194e-04,2.790742e-04,2.803317e-04,2.809917e-04,2.816602e-04,2.825969e-04,2.828141e-04,2.838026e-04,2.839105e-04,2.846343e-04,2.849526e-04,2.853174e-04,2.857421e-04,2.858599e-04,2.862696e-04,2.862969e-04,2.865538e-04,2.866339e-04,2.867195e-04,2.867692e-04,2.867734e-04,2.867221e-04,2.867179e-04,2.865716e-04,2.864943e-04,2.863279e-04,2.861118e-04,2.859966e-04,2.855830e-04,2.850923e-04,2.849198e-04,2.845294e-04,2.841333e-04,2.838988e-04,2.832340e-04,2.832051e-04,2.824524e-04,2.822316e-04,2.816448e-04,2.811354e-04,2.807860e-04,2.799539e-04,2.798798e-04,2.789295e-04,2.786952e-04,2.779384e-04,2.773668e-04,2.769097e-04,2.759757e-04,2.758463e-04,2.747510e-04,2.745284e-04,2.736265e-04,2.730311e-04,2.724753e-04,2.714895e-04,2.712998e-04,2.701023e-04,2.699088e-04,2.688849e-04,2.682940e-04,2.676496e-04,2.666498e-04,2.663983e-04,2.651330e-04,2.649803e-04,2.638553e-04,2.632895e-04,2.625667e-04,2.615812e-04,2.612690e-04,2.599634e-04,2.598587e-04,2.586515e-04,2.581252e-04,2.573344e-04,2.563836e-04,2.560134e-04,2.546896e-04,2.546366e-04,2.533641e-04,2.528866e-04,2.520379e-04,2.511361e-04,2.507119e-04,2.493871e-04,2.476416e-04,2.459013e-04,2.441678e-04,2.424428e-04,2.407274e-04,2.390231e-04,2.373309e-04,2.356518e-04,2.339868e-04,2.323367e-04,2.307022e-04,2.290840e-04,2.274828e-04,2.258990e-04,2.243331e-04,2.227855e-04,2.212565e-04,2.197465e-04,2.182556e-04,2.167841e-04,2.153322e-04,2.139000e-04,2.124875e-04,2.110949e-04
0.000000e+00,5.266207e-09,1.224713e-08,4.275270e-08,9.780127e-08,1.428908e-07,3.244635e-07,3.342178e-07,6.446908e-07,7.568159e-07,1.102631e-06,1.460147e-06,1.736788e-06,2.499931e-06,2.575124e-06,3.642151e-06,3.934384e-06,4.954937e-06,5.799897e-06,6.518348e-06,8.092633e-06,8.320703e-06,1.033195e-05,1.075546e-05,1.250659e-05,1.368434e-05,1.479140e-05,1.675769e-05,1.713460e-05,1.949228e-05,1.986845e-05,2.183045e-05,2.293820e-05,2.412410e-05,2.591480e-05,2.635541e-05,2.851182e-05,2.876511e-05,3.058467e-05,3.146868e-05,3.256819e-05,3.401365e-05,3.445879e-05,3.625456e-05,3.639410e-05,3.795492e-05,3.860842e-05,3.956032e-05,4.065809e-05,4.107203e-05,4.249192e-05,4.254684e-05,4.382236e-05,4.427993e-05,4.506604e-05,4.586369e-05,4.622592e-05,4.730510e-05,4.830681e-05,4.861153e-05,4.923432e-05,4.979049e-05,5.009089e-05,5.084949e-05,5.087979e-05,5.160422e-05,5.179594e-05,5.226733e-05,5.263704e-05,5.287218e-05,5.337974e-05,5.342174e-05,5.391891e-05,5.403074e-05,5.436645e-05,5.459641e-05,5.476706e-05,5.508281e-05,5.512330e-05,5.543764e-05,5.549569e-05,5.571246e-05,5.584050e-05,5.595002e-05,5.612237e-05,5.615249e-05,5.632195e-05,5.634613e-05,5.646035e-05,5.651632e-05,5.656960e-05,5.663721e-05,5.665148e-05,5.670770e-05,5.671280e-05,5.673989e-05,5.674684e-05,5.674959e-05,5.674284e-05,5.673828e-05,5.670735e-05,5.670406e-05,5.665812e-05,5.663359e-05,5.659185e-05,5.653426e-05,5.650974e-05,5.641291e-05,5.640875e-05,5.630244e-05,5.625952e-05,5.617933e-05,5.608890e-05,5.604456e-05,5.589902e-05,5.574358e-05,5.569188e-05,5.557905e-05,5.546933e-05,5.540619e-05,5.523308e-05,5.522573e-05,5.503835e-05,5.498473e-05,5.484470e-05,5.472575e-05,5.464538e-05,5.445750e-05,5.444098e-05,5.423202e-05,5.418125e-05,5.401902e-05,5.389815e-05,5.380245e-05,5.360929e-05,5.358277e-05,5.336040e-05,5.331564e-05,5.313573e-05,5.301812e-05,5.290913e-05,5.271756e-05,5.268096e-05,5.245155e-05,5.241474e-05,5.222119e-05,5.211037e-05,5.199017e-05,5.180507e-05,5.175877e-05,5.152724e-05,5.149945e-05,5.129580e-05,5.119405e-05,5.106467e-05,5.088935e-05,5.083406e-05,5.060416e-05,5.058581e-05,5.037514e-05,5.028382e-05,5.014716e-05,4.998375e-05,4.992038e-05,4.969493e-05,4.968594e-05,4.947094e-05,4.939069e-05,4.924853e-05,4.909824e-05,4.902780e-05,4.880886e-05,4.852275e-05,4.824009e-05,4.796105e-05,4.768578e-05,4.741440e-05,4.714703e-05,4.688375e-05,4.662464e-05,4.636976e-05,4.611916e-05,4.587289e-05,4.563095e-05,4.539339e-05,4.516020e-05,4.493137e-05,4.470692e-05,4.448682e-05,4.427105e-05,4.405959e-05,4.385241e-05,4.364948e-05,4.345076e-05,4.325620e-05,4.306575e-05
0.000000e+00,1.079682e-09,3.161503e-09,1.546060e-08,4.385322e-08,7.045471e-08,1.943776e-07,2.015681e-07,4.479036e-07,5.430093e-07,8.497874e-07,1.182405e-06,1.447617e-06,2.204855e-06,2.281118e-06,3.388088e-06,3.698278e-06,4.801435e-06,5.735758e-06,6.543712e-06,8.354392e-06,8.621139e-06,1.102174e-05,1.153852e-05,1.371925e-05,1.522801e-05,1.667917e-05,1.934069e-05,1.986373e-05,2.323467e-05,2.378880e-05,2.675456e-05,2.848640e-05,3.038749e-05,3.335225e-05,3.409938e-05,3.785830e-05,3.831110e-05,4.163469e-05,4.329479e-05,4.540161e-05,4.824316e-05,4.913489e-05,5.281325e-05,5.310457e-05,5.641826e-05,5.783616e-05,5.993437e-05,6.240358e-05,6.334869e-05,6.665088e-05,6.678051e-05,6.983292e-05,7.094785e-05,7.288889e-05,7.489279e-05,7.581470e-05,7.860789e-05,8.126738e-05,8.209016e-05,8.379326e-05,8.534017e-05,8.618661e-05,8.836129e-05,8.844931e-05,9.058391e-05,9.115904e-05,9.259344e-05,9.374055e-05,9.448136e-05,9.611406e-05,9.625142e-05,9.790759e-05,9.828858e-05,9.945399e-05,1.002736e-04,1.008948e-04,1.020788e-04,1.022343e-04,1.034768e-04,1.037140e-04,1.046263e-04,1.051888e-04,1.056872e-04,1.065129e-04,1.066636e-04,1.075593e-04,1.076954e-04,1.083783e-04,1.087453e-04,1.091245e-04,1.096714e-04,1.098014e-04,1.104126e-04,1.104817e-04,1.109616e-04,1.111843e-04,1.114516e-04,1.117865e-04,1.118858e-04,1.122673e-04,1.122956e-04,1.125989e-04,1.127183e-04,1.128836e-04,1.130609e-04,1.131239e-04,1.133224e-04,1.133295e-04,1.134816e-04,1.135298e-04,1.136039e-04,1.136671e-04,1.136914e-04,1.137464e-04,1.137708e-04,1.137725e-04,1.137666e-04,1.137498e-04,1.137356e-04,1.136824e-04,1.136797e-04,1.136004e-04,1.135742e-04,1.134994e-04,1.134290e-04,1.133782e-04,1.132500e-04,1.132382e-04,1.130807e-04,1.130405e-04,1.129072e-04,1.128034e-04,1.127188e-04,1.125416e-04,1.125166e-04,1.123018e-04,1.122574e-04,1.120755e-04,1.119535e-04,1.118385e-04,1.116320e-04,1.115919e-04,1.113366e-04,1.112950e-04,1.110733e-04,1.109443e-04,1.108029e-04,1.105819e-04,1.105261e-04,1.102436e-04,1.102093e-04,1.099560e-04,1.098281e-04,1.096641e-04,1.094397e-04,1.093684e-04,1.090694e-04,1.090454e-04,1.087677e-04,1.086464e-04,1.084638e-04,1.082438e-04,1.081581e-04,1.078510e-04,1.078387e-04,1.075430e-04,1.074319e-04,1.072344e-04,1.070244e-04,1.069256e-04,1.066169e-04,1.062102e-04,1.058048e-04,1.054015e-04,1.050007e-04,1.046030e-04,1.042087e-04,1.038183e-04,1.034321e-04,1.030506e-04,1.026738e-04,1.023021e-04,1.019358e-04,1.015749e-04,1.012198e-04,1.008704e-04,1.005269e-04,1.001895e-04,9.985817e-05,9.953301e-05,9.921405e-05,9.890133e-05,9.859486e-05,9.829464e-05,9.800068e-05
0.000000e+00,2.069504e-09,4.893577e-09,1.737499e-08,4.005559e-08,5.870453e-08,1.342711e-07,1.383503e-07,2.691825e-07,3.168901e-07,4.654625e-07,6.211533e-07,7.429187e-07,1.083558e-06,1.117425e-06,1.601403e-06,1.734466e-06,2.197831e-06,2.577245e-06,2.895138e-06,3.573045e-06,3.668997e-06,4.491008e-06,4.658904e-06,5.336440e-06,5.778934e-06,6.186758e-06,6.895056e-06,7.028806e-06,7.853219e-06,7.983006e-06,8.653203e-06,9.026994e-06,9.423757e-06,1.001652e-05,1.016123e-05,1.086306e-05,1.094480e-05,1.152758e-05,1.180791e-05,1.215393e-05,1.260425e-05,1.274186e-05,1.329169e-05,1.333405e-05,1.380418e-05,1.399896e-05,1.428042e-05,1.460160e-05,1.472173e-05,1.512964e-05,1.514529e-05,1.550579e-05,1.563376e-05,1.585188e-05,1.607094e-05,1.616964e-05,1.646080e-05,1.672703e-05,1.680724e-05,1.696999e-05,1.711400e-05,1.719124e-05,1.738463e-05,1.739230e-05,1.757457e-05,1.762242e-05,1.773939e-05,1.783044e-05,1.788803e-05,1.801149e-05,1.802166e-05,1.814136e-05,1.816814e-05,1.824818e-05,1.830272e-05,1.834305e-05,1.841736e-05,1.842686e-05,1.850043e-05,1.851398e-05,1.856451e-05,1.859433e-05,1.861982e-05,1.865996e-05,1.866699e-05,1.870664e-05,1.871232e-05,1.873931e-05,1.875267e-05,1.876553e-05,1.878219e-05,1.878578e-05,1.880050e-05,1.880191e-05,1.881009e-05,1.881279e-05,1.881495e-05,1.881568e-05,1.881541e-05,1.881181e-05,1.881136e-05,1.880445e-05,1.880052e-05,1.879362e-05,1.878381e-05,1.877956e-05,1.876253e-05,1.876179e-05,1.874275e-05,1.873500e-05,1.872043e-05,1.870390e-05,1.869577e-05,1.866893e-05,1.864011e-05,1.863048e-05,1.860944e-05,1.858891e-05,1.857707e-05,1.854454e-05,1.854316e-05,1.850781e-05,1.849767e-05,1.847115e-05,1.844857e-05,1.843329e-05,1.839749e-05,1.839433e-05,1.835438e-05,1.834465e-05,1.831351e-05,1.829026e-05,1.827183e-05,1.823452e-05,1.822939e-05,1.818629e-05,1.817760e-05,1.814259e-05,1.811964e-05,1.809835e-05,1.806081e-05,1.805363e-05,1.800850e-05,1.800124e-05,1.796300e-05,1.794104e-05,1.791718e-05,1.788034e-05,1.787110e-05,1.782480e-05,1.781923e-05,1.777831e-05,1.775781e-05,1.773169e-05,1.769618e-05,1.768495e-05,1.763815e-05,1.763440e-05,1.759130e-05,1.757256e-05,1.754444e-05,1.751072e-05,1.749761e-05,1.745082e-05,1.744895e-05,1.740409e-05,1.738730e-05,1.735747e-05,1.732582e-05,1.731095e-05,1.726458e-05,1.720360e-05,1.714294e-05,1.708262e-05,1.702269e-05,1.696317e-05,1.690410e-05,1.684549e-05,1.678738e-05,1.672978e-05,1.667272e-05,1.661621e-05,1.656027e-05,1.650491e-05,1.645015e-05,1.639599e-05,1.634244e-05,1.628953e-05,1.623724e-05,1.618559e-05,1.613458e-05,1.608423e-05,1.603452e-05,1.598547e-05,1.593707e-05
0.000000e+00,1.215215e-08,2.799735e-08,9.707569e-08,2.221831e-07,3.252247e-07,7.451371e-07,7.679095e-07,1.503267e-06,1.773574e-06,2.621653e-06,3.518892e-06,4.225250e-06,6.212732e-06,6.410626e-06,9.228506e-06,9.997692e-06,1.265486e-05,1.481192e-05,1.661400e-05,2.047156e-05,2.102162e-05,2.580504e-05,2.680135e-05,3.090401e-05,3.366263e-05,3.626627e-05,4.093898e-05,4.184401e-05,4.759198e-05,4.852453e-05,5.346692e-05,5.631981e-05,5.942766e-05,6.423198e-05,6.543557e-05,7.145495e-05,7.217648e-05,7.745351e-05,8.007872e-05,8.340241e-05,8.787475e-05,8.927651e-05,9.505433e-05,9.551183e-05,1.007176e-04,1.029474e-04,1.062514e-04,1.101486e-04,1.116435e-04,1.168846e-04,1.170910e-04,1.219673e-04,1.237572e-04,1.268864e-04,1.301361e-04,1.316385e-04,1.362214e-04,1.406344e-04,1.420106e-04,1.448775e-04,1.475044e-04,1.489519e-04,1.527061e-04,1.528592e-04,1.566017e-04,1.576205e-04,1.601823e-04,1.622542e-04,1.636040e-04,1.666146e-04,1.668702e-04,1.699845e-04,1.707097e-04,1.729505e-04,1.745481e-04,1.757721e-04,1.781389e-04,1.784534e-04,1.809981e-04,1.814911e-04,1.834105e-04,1.846139e-04,1.856943e-04,1.875165e-04,1.878538e-04,1.898928e-04,1.902081e-04,1.918152e-04,1.926977e-04,1.936249e-04,1.949941e-04,1.953258e-04,1.969215e-04,1.971061e-04,1.984158e-04,1.990421e-04,1.998123e-04,2.008104e-04,2.011145e-04,2.023259e-04,2.024190e-04,2.034498e-04,2.038756e-04,2.044895e-04,2.051878e-04,2.054483e-04,2.063292e-04,2.063628e-04,2.071353e-04,2.074077e-04,2.078695e-04,2.083292e-04,2.085347e-04,2.091338e-04,2.096694e-04,2.098278e-04,2.101441e-04,2.104171e-04,2.105605e-04,2.109077e-04,2.109211e-04,2.112282e-04,2.113049e-04,2.114841e-04,2.116141e-04,2.116912e-04,2.118404e-04,2.118516e-04,2.119673e-04,2.119887e-04,2.120405e-04,2.120636e-04,2.120730e-04,2.120695e-04,2.120668e-04,2.120236e-04,2.120107e-04,2.119453e-04,2.118913e-04,2.118336e-04,2.117151e-04,2.116901e-04,2.115163e-04,2.114858e-04,2.113139e-04,2.112070e-04,2.110843e-04,2.108819e-04,2.108288e-04,2.105490e-04,2.105138e-04,2.102460e-04,2.101057e-04,2.099212e-04,2.096605e-04,2.095758e-04,2.092109e-04,2.091809e-04,2.088277e-04,2.086696e-04,2.084273e-04,2.081289e-04,2.080107e-04,2.075790e-04,2.075614e-04,2.071330e-04,2.069691e-04,2.066737e-04,2.063542e-04,2.062020e-04,2.057188e-04,2.050646e-04,2.043936e-04,2.037073e-04,2.030074e-04,2.022955e-04,2.015729e-04,2.008409e-04,2.001010e-04,1.993543e-04,1.986018e-04,1.978447e-04,1.970840e-04,1.963206e-04,1.955554e-04,1.947893e-04,1.940229e-04,1.932571e-04,1.924924e-04,1.917297e-04,1.909693e-04,1.902119e-04,1.894581e-04,1.887082e-04,1.879627e-04
0.000000e+00,6.739902e-10,1.877517e-09,8.361517e-09,2.201015e-08,3.407372e-08,8.641561e-08,8.933585e-08,1.854898e-07,2.212950e-07,3.340182e-07,4.531828e-07,5.467028e-07,8.084727e-07,8.344560e-07,1.204032e-06,1.305021e-06,1.655121e-06,1.941167e-06,2.181550e-06,2.700389e-06,2.774824e-06,3.426383e-06,3.562971e-06,4.128149e-06,4.510329e-06,4.872367e-06,5.524724e-06,5.651393e-06,6.457614e-06,6.588628e-06,7.283506e-06,7.684761e-06,8.121755e-06,8.796560e-06,8.965402e-06,9.807974e-06,9.908725e-06,1.064361e-05,1.100773e-05,1.146712e-05,1.208212e-05,1.227407e-05,1.306071e-05,1.312267e-05,1.382402e-05,1.412227e-05,1.456165e-05,1.507584e-05,1.527185e-05,1.595340e-05,1.598005e-05,1.660556e-05,1.683306e-05,1.722799e-05,1.763425e-05,1.782069e-05,1.838393e-05,1.891822e-05,1.908318e-05,1.942422e-05,1.973359e-05,1.990275e-05,2.033711e-05,2.035469e-05,2.078103e-05,2.089595e-05,2.118277e-05,2.141243e-05,2.156094e-05,2.188894e-05,2.191659e-05,2.225075e-05,2.232787e-05,2.256444e-05,2.273154e-05,2.285866e-05,2.310223e-05,2.313437e-05,2.339251e-05,2.344211e-05,2.363398e-05,2.375324e-05,2.385964e-05,2.403759e-05,2.407032e-05,2.426681e-05,2.429699e-05,2.444986e-05,2.453316e-05,2.462018e-05,2.474773e-05,2.477846e-05,2.492532e-05,2.494221e-05,2.506140e-05,2.511800e-05,2.518726e-05,2.527642e-05,2.530345e-05,2.541049e-05,2.541868e-05,2.550888e-05,2.554591e-05,2.559907e-05,2.565918e-05,2.568150e-05,2.575659e-05,2.575945e-05,2.582474e-05,2.584764e-05,2.588631e-05,2.592460e-05,2.594165e-05,2.599110e-05,2.603497e-05,2.604788e-05,2.607356e-05,2.609562e-05,2.610715e-05,2.613494e-05,2.613600e-05,2.616037e-05,2.616643e-05,2.618050e-05,2.619063e-05,2.619661e-05,2.620806e-05,2.620891e-05,2.621761e-05,2.621918e-05,2.622290e-05,2.622444e-05,2.622496e-05,2.622424e-05,2.622396e-05,2.622008e-05,2.621896e-05,2.621345e-05,2.620897e-05,2.620424e-05,2.619460e-05,2.619258e-05,2.617860e-05,2.617615e-05,2.616243e-05,2.615392e-05,2.614418e-05,2.612818e-05,2.612399e-05,2.610194e-05,2.609917e-05,2.607814e-05,2.606715e-05,2.605270e-05,2.603232e-05,2.602571e-05,2.599724e-05,2.599491e-05,2.596740e-05,2.595509e-05,2.593625e-05,2.591306e-05,2.590388e-05,2.587035e-05,2.586899e-05,2.583574e-05,2.582303e-05,2.580012e-05,2.577534e-05,2.576354e-05,2.572606e-05,2.567533e-05,2.562326e-05,2.556997e-05,2.551557e-05,2.546018e-05,2.540388e-05,2.534676e-05,2.528892e-05,2.523043e-05,2.517137e-05,2.511182e-05,2.505184e-05,2.499148e-05,2.493083e-05,2.486992e-05,2.480881e-05,2.474756e-05,2.468621e-05,2.462480e-05,2.456337e-05,2.450198e-05,2.444064e-05,2.437940e-05,2.431829e-05
0.000000e+00,5.918867e-10,1.618093e-09,6.924903e-09,1.756565e-08,2.663962e-08,6.403197e-08,6.605073e-08,1.299818e-07,1.528307e-07,2.224348e-07,2.931693e-07,3.471925e-07,4.937461e-07,5.080233e-07,7.080700e-07,7.620810e-07,9.480491e-07,1.098654e-06,1.224097e-06,1.490139e-06,1.527674e-06,1.848293e-06,1.913596e-06,2.176597e-06,2.347974e-06,2.505723e-06,2.779437e-06,2.831111e-06,3.149781e-06,3.199997e-06,3.459641e-06,3.604754e-06,3.759050e-06,3.990090e-06,4.046583e-06,4.320963e-06,4.352949e-06,4.581045e-06,4.690692e-06,4.825850e-06,5.001201e-06,5.054606e-06,5.266770e-06,5.283016e-06,5.462045e-06,5.535407e-06,5.640381e-06,5.758385e-06,5.801954e-06,5.947148e-06,5.952622e-06,6.076521e-06,6.119355e-06,6.190781e-06,6.260260e-06,6.290748e-06,6.377330e-06,6.451463e-06,6.472709e-06,6.514077e-06,6.548538e-06,6.566111e-06,6.606965e-06,6.608485e-06,6.642069e-06,6.650013e-06,6.667712e-06,6.679623e-06,6.686215e-06,6.697555e-06,6.698302e-06,6.704653e-06,6.705394e-06,6.705889e-06,6.704556e-06,6.702565e-06,6.696274e-06,6.695191e-06,6.684224e-06,6.681636e-06,6.670074e-06,6.661581e-06,6.653105e-06,6.636911e-06,6.633642e-06,6.611976e-06,6.608323e-06,6.588367e-06,6.576413e-06,6.563045e-06,6.541692e-06,6.536214e-06,6.508056e-06,6.504595e-06,6.478733e-06,6.465500e-06,6.448390e-06,6.424728e-06,6.417157e-06,6.385149e-06,6.382558e-06,6.352469e-06,6.339230e-06,6.319209e-06,6.294951e-06,6.285454e-06,6.251277e-06,6.249903e-06,6.216748e-06,6.204243e-06,6.181927e-06,6.158111e-06,6.146871e-06,6.111629e-06,6.076247e-06,6.064902e-06,6.040768e-06,6.018028e-06,6.005229e-06,5.971089e-06,5.969666e-06,5.934111e-06,5.924161e-06,5.898592e-06,5.877310e-06,5.863137e-06,5.830595e-06,5.827769e-06,5.792513e-06,5.784070e-06,5.757387e-06,5.737781e-06,5.722411e-06,5.691771e-06,5.687603e-06,5.652978e-06,5.646076e-06,5.618550e-06,5.600730e-06,5.584334e-06,5.555764e-06,5.550340e-06,5.516581e-06,5.511202e-06,5.483065e-06,5.467068e-06,5.449804e-06,5.423382e-06,5.416803e-06,5.384072e-06,5.380163e-06,5.351617e-06,5.337425e-06,5.319443e-06,5.295183e-06,5.287556e-06,5.255962e-06,5.253447e-06,5.224663e-06,5.212227e-06,5.193664e-06,5.171532e-06,5.162968e-06,5.132578e-06,5.131369e-06,5.102496e-06,5.091742e-06,5.072724e-06,5.052656e-06,5.043263e-06,5.014114e-06,4.976118e-06,4.938670e-06,4.901768e-06,4.865414e-06,4.829606e-06,4.794341e-06,4.759618e-06,4.725434e-06,4.691785e-06,4.658668e-06,4.626078e-06,4.594010e-06,4.562460e-06,4.531423e-06,4.500894e-06,4.470866e-06,4.441333e-06,4.412291e-06,4.383732e-06,4.355651e-06,4.328041e-06,4.300896e-06,4.274209e-06,4.247974e-06
0.000000e+00,1.561494e-09,4.203939e-09,1.768716e-08,4.476522e-08,6.808738e-08,1.665690e-07,1.719872e-07,3.481408e-07,4.129991e-07,6.156937e-07,8.283712e-07,9.945897e-07,1.458718e-06,1.504807e-06,2.163470e-06,2.344871e-06,2.979209e-06,3.503071e-06,3.945978e-06,4.904735e-06,5.042126e-06,6.237175e-06,6.485290e-06,7.500464e-06,8.175425e-06,8.805769e-06,9.919114e-06,1.013197e-05,1.146210e-05,1.167432e-05,1.278230e-05,1.340902e-05,1.408108e-05,1.509823e-05,1.534892e-05,1.657800e-05,1.672258e-05,1.776208e-05,1.826751e-05,1.889629e-05,1.972272e-05,1.997710e-05,2.100208e-05,2.108162e-05,2.196982e-05,2.234074e-05,2.287976e-05,2.349917e-05,2.373203e-05,2.452735e-05,2.455800e-05,2.526692e-05,2.551980e-05,2.595227e-05,2.638825e-05,2.658520e-05,2.716771e-05,2.770192e-05,2.786303e-05,2.819003e-05,2.847926e-05,2.863427e-05,2.902155e-05,2.903688e-05,2.940007e-05,2.949499e-05,2.972600e-05,2.990456e-05,3.001679e-05,3.025504e-05,3.027449e-05,3.050106e-05,3.055102e-05,3.069840e-05,3.079682e-05,3.086831e-05,3.099653e-05,3.101254e-05,3.113272e-05,3.115401e-05,3.123043e-05,3.127285e-05,3.130714e-05,3.135639e-05,3.136427e-05,3.140314e-05,3.140776e-05,3.142503e-05,3.142985e-05,3.143112e-05,3.142537e-05,3.142253e-05,3.140032e-05,3.139679e-05,3.136550e-05,3.134643e-05,3.131900e-05,3.127640e-05,3.126172e-05,3.119447e-05,3.118869e-05,3.111806e-05,3.108509e-05,3.103321e-05,3.096729e-05,3.094062e-05,3.084094e-05,3.083681e-05,3.073477e-05,3.069508e-05,3.062269e-05,3.054338e-05,3.050524e-05,3.038292e-05,3.025620e-05,3.021479e-05,3.012551e-05,3.003999e-05,2.999129e-05,2.985945e-05,2.985390e-05,2.971371e-05,2.967401e-05,2.957107e-05,2.948443e-05,2.942628e-05,2.929143e-05,2.927964e-05,2.913142e-05,2.909565e-05,2.898189e-05,2.889766e-05,2.883127e-05,2.869801e-05,2.867980e-05,2.852767e-05,2.849719e-05,2.837509e-05,2.829562e-05,2.822222e-05,2.809372e-05,2.806925e-05,2.791631e-05,2.789185e-05,2.776355e-05,2.769034e-05,2.761111e-05,2.748947e-05,2.745911e-05,2.730766e-05,2.728953e-05,2.715686e-05,2.709074e-05,2.700681e-05,2.689333e-05,2.685760e-05,2.670930e-05,2.669748e-05,2.656200e-05,2.650337e-05,2.641575e-05,2.631115e-05,2.627063e-05,2.612668e-05,2.612095e-05,2.598396e-05,2.593289e-05,2.584251e-05,2.574707e-05,2.570238e-05,2.556359e-05,2.538253e-05,2.520393e-05,2.502787e-05,2.485439e-05,2.468353e-05,2.451530e-05,2.434975e-05,2.418688e-05,2.402670e-05,2.386921e-05,2.371442e-05,2.356232e-05,2.341290e-05,2.326614e-05,2.312204e-05,2.298056e-05,2.284170e-05,2.270543e-05,2.257171e-05,2.244053e-05,2.231185e-05,2.218565e-05,2.206188e-05,2.194052e-05
0.000000e+00,2.276185e-09,5.324206e-09,1.863119e-08,4.252159e-08,6.199428e-08,1.398314e-07,1.439932e-07,2.758191e-07,3.232161e-07,4.690450e-07,6.195632e-07,7.359922e-07,1.056975e-06,1.088553e-06,1.533848e-06,1.654398e-06,2.068497e-06,2.402104e-06,2.678971e-06,3.265612e-06,3.348572e-06,4.062651e-06,4.209731e-06,4.809508e-06,5.207584e-06,5.579543e-06,6.238136e-06,6.364384e-06,7.156382e-06,7.283282e-06,7.948400e-06,8.326605e-06,8.733795e-06,9.353222e-06,9.506466e-06,1.026094e-05,1.035003e-05,1.099247e-05,1.130601e-05,1.169703e-05,1.221244e-05,1.237139e-05,1.301309e-05,1.306295e-05,1.362036e-05,1.385337e-05,1.419214e-05,1.458155e-05,1.472794e-05,1.522780e-05,1.524705e-05,1.569216e-05,1.585078e-05,1.612182e-05,1.639473e-05,1.651790e-05,1.688170e-05,1.721467e-05,1.731496e-05,1.751839e-05,1.769816e-05,1.779447e-05,1.803505e-05,1.804458e-05,1.827034e-05,1.832941e-05,1.847337e-05,1.858493e-05,1.865523e-05,1.880515e-05,1.881744e-05,1.896142e-05,1.899342e-05,1.908854e-05,1.915285e-05,1.920009e-05,1.928634e-05,1.929728e-05,1.938124e-05,1.939653e-05,1.945302e-05,1.948585e-05,1.951359e-05,1.955648e-05,1.956387e-05,1.960468e-05,1.961039e-05,1.963682e-05,1.964937e-05,1.966098e-05,1.967501e-05,1.967783e-05,1.968798e-05,1.968877e-05,1.969198e-05,1.969193e-05,1.969035e-05,1.968564e-05,1.968356e-05,1.967205e-05,1.967094e-05,1.965622e-05,1.964876e-05,1.963643e-05,1.961993e-05,1.961304e-05,1.958634e-05,1.958520e-05,1.955662e-05,1.954524e-05,1.952416e-05,1.950065e-05,1.948920e-05,1.945196e-05,1.941265e-05,1.939966e-05,1.937146e-05,1.934420e-05,1.932857e-05,1.928596e-05,1.928415e-05,1.923835e-05,1.922530e-05,1.919130e-05,1.916253e-05,1.914315e-05,1.909796e-05,1.909400e-05,1.904397e-05,1.903184e-05,1.899316e-05,1.896441e-05,1.894168e-05,1.889588e-05,1.888960e-05,1.883702e-05,1.882645e-05,1.878401e-05,1.875630e-05,1.873064e-05,1.868558e-05,1.867698e-05,1.862308e-05,1.861444e-05,1.856902e-05,1.854302e-05,1.851483e-05,1.847143e-05,1.846057e-05,1.840629e-05,1.839978e-05,1.835204e-05,1.832818e-05,1.829783e-05,1.825670e-05,1.824373e-05,1.818976e-05,1.818545e-05,1.813595e-05,1.811448e-05,1.808233e-05,1.804387e-05,1.802894e-05,1.797579e-05,1.797367e-05,1.792291e-05,1.790395e-05,1.787033e-05,1.783474e-05,1.781805e-05,1.776611e-05,1.769808e-05,1.763069e-05,1.756398e-05,1.749797e-05,1.743270e-05,1.736817e-05,1.730442e-05,1.724146e-05,1.717931e-05,1.711797e-05,1.705746e-05,1.699779e-05,1.693897e-05,1.688100e-05,1.682388e-05,1.676763e-05,1.671224e-05,1.665770e-05,1.660403e-05,1.655122e-05,1.649927e-05,1.644817e-05,1.639792e-05,1.634852e-05
0.000000e+00,1.349129e-09,4.021892e-09,2.041052e-08,5.989340e-08,9.805712e-08,2.843970e-07,2.955325e-07,6.920271e-07,8.514799e-07,1.384425e-06,1.988051e-06,2.484346e-06,3.952699e-06,4.103687e-06,6.332980e-06,6.966046e-06,9.232275e-06,1.116212e-05,1.283573e-05,1.660147e-05,1.715826e-05,2.219964e-05,2.329322e-05,2.794656e-05,3.120587e-05,3.437383e-05,4.027238e-05,4.144532e-05,4.911519e-05,5.039438e-05,5.732927e-05,6.144770e-05,6.602683e-05,7.328913e-05,7.514244e-05,8.460784e-05,8.576390e-05,9.435371e-05,9.871299e-05,1.043114e-04,1.119797e-04,1.144141e-04,1.245986e-04,1.254151e-04,1.348055e-04,1.388821e-04,1.449801e-04,1.522580e-04,1.550731e-04,1.650401e-04,1.654356e-04,1.748422e-04,1.783240e-04,1.844459e-04,1.908485e-04,1.938229e-04,2.029496e-04,2.118068e-04,2.145816e-04,2.203795e-04,2.257113e-04,2.286562e-04,2.363158e-04,2.366288e-04,2.442920e-04,2.463818e-04,2.516429e-04,2.559032e-04,2.586809e-04,2.648807e-04,2.654074e-04,2.718249e-04,2.733196e-04,2.779378e-04,2.812298e-04,2.837511e-04,2.886239e-04,2.892710e-04,2.945042e-04,2.955171e-04,2.994582e-04,3.019265e-04,3.041407e-04,3.078702e-04,3.085599e-04,3.127241e-04,3.133673e-04,3.166418e-04,3.184372e-04,3.203214e-04,3.230996e-04,3.237717e-04,3.270010e-04,3.273741e-04,3.300178e-04,3.312800e-04,3.328304e-04,3.348365e-04,3.354470e-04,3.378755e-04,3.380619e-04,3.401238e-04,3.409743e-04,3.421994e-04,3.435912e-04,3.441099e-04,3.458623e-04,3.459292e-04,3.474636e-04,3.480044e-04,3.489206e-04,3.498323e-04,3.502399e-04,3.514277e-04,3.524901e-04,3.528045e-04,3.534330e-04,3.539763e-04,3.542620e-04,3.549558e-04,3.549826e-04,3.556000e-04,3.557550e-04,3.561192e-04,3.563856e-04,3.565451e-04,3.568585e-04,3.568823e-04,3.571353e-04,3.571839e-04,3.573083e-04,3.573718e-04,3.574055e-04,3.574314e-04,3.574307e-04,3.573879e-04,3.573714e-04,3.572804e-04,3.572002e-04,3.571120e-04,3.569256e-04,3.568857e-04,3.566048e-04,3.565550e-04,3.562724e-04,3.560954e-04,3.558913e-04,3.555533e-04,3.554644e-04,3.549942e-04,3.549350e-04,3.544833e-04,3.542463e-04,3.539342e-04,3.534927e-04,3.533491e-04,3.527303e-04,3.526794e-04,3.520798e-04,3.518113e-04,3.513998e-04,3.508929e-04,3.506921e-04,3.499585e-04,3.499287e-04,3.492009e-04,3.489226e-04,3.484209e-04,3.478786e-04,3.476201e-04,3.468001e-04,3.456905e-04,3.445531e-04,3.433908e-04,3.422063e-04,3.410023e-04,3.397812e-04,3.385453e-04,3.372968e-04,3.360377e-04,3.347698e-04,3.334950e-04,3.322147e-04,3.309307e-04,3.296442e-04,3.283567e-04,3.270694e-04,3.257834e-04,3.244997e-04,3.232195e-04,3.219435e-04,3.206728e-04,3.194079e-04,3.181498e-04,3.168990e-04
0.000000e+00,1.543553e-09,3.987414e-09,1.578718e-08,3.850340e-08,5.764636e-08,1.365858e-07,1.408706e-07,2.780988e-07,3.278226e-07,4.811167e-07,6.391618e-07,7.610576e-07,1.095616e-06,1.128464e-06,1.593086e-06,1.720029e-06,2.163227e-06,2.530832e-06,2.844440e-06,3.536680e-06,3.637671e-06,4.537713e-06,4.729636e-06,5.533308e-06,6.083804e-06,6.609233e-06,7.563042e-06,7.749037e-06,8.936952e-06,9.130506e-06,1.015868e-05,1.075333e-05,1.140151e-05,1.240333e-05,1.265414e-05,1.390655e-05,1.405640e-05,1.514987e-05,1.569200e-05,1.637630e-05,1.729288e-05,1.757905e-05,1.875237e-05,1.884481e-05,1.989141e-05,2.033652e-05,2.099225e-05,2.175943e-05,2.205179e-05,2.306771e-05,2.310741e-05,2.403836e-05,2.437649e-05,2.496270e-05,2.556453e-05,2.584024e-05,2.667094e-05,2.745511e-05,2.769632e-05,2.819342e-05,2.864229e-05,2.888678e-05,2.951115e-05,2.953631e-05,3.014328e-05,3.030579e-05,3.070908e-05,3.102942e-05,3.123521e-05,3.168552e-05,3.172319e-05,3.217460e-05,3.227767e-05,3.259102e-05,3.280953e-05,3.297405e-05,3.328472e-05,3.332523e-05,3.364612e-05,3.370680e-05,3.393822e-05,3.407923e-05,3.420301e-05,3.440535e-05,3.444189e-05,3.465626e-05,3.468837e-05,3.484743e-05,3.493133e-05,3.501668e-05,3.513713e-05,3.516524e-05,3.529428e-05,3.530850e-05,3.540491e-05,3.544804e-05,3.549822e-05,3.555818e-05,3.557523e-05,3.563690e-05,3.564120e-05,3.568417e-05,3.569924e-05,3.571792e-05,3.573432e-05,3.573899e-05,3.574818e-05,3.574831e-05,3.574625e-05,3.574297e-05,3.573391e-05,3.571993e-05,3.571186e-05,3.568072e-05,3.564113e-05,3.562676e-05,3.559365e-05,3.555938e-05,3.553884e-05,3.547981e-05,3.547722e-05,3.540928e-05,3.538919e-05,3.533549e-05,3.528859e-05,3.525629e-05,3.517900e-05,3.517209e-05,3.508329e-05,3.506133e-05,3.499026e-05,3.493645e-05,3.489335e-05,3.480512e-05,3.479289e-05,3.468920e-05,3.466810e-05,3.458256e-05,3.452604e-05,3.447327e-05,3.437959e-05,3.436157e-05,3.424771e-05,3.422931e-05,3.413194e-05,3.407575e-05,3.401446e-05,3.391939e-05,3.389549e-05,3.377521e-05,3.376070e-05,3.365381e-05,3.360009e-05,3.353146e-05,3.343794e-05,3.340832e-05,3.328454e-05,3.327462e-05,3.316027e-05,3.311045e-05,3.303563e-05,3.294573e-05,3.291075e-05,3.278574e-05,3.278074e-05,3.266072e-05,3.261573e-05,3.253578e-05,3.245092e-05,3.241103e-05,3.228654e-05,3.212277e-05,3.195979e-05,3.179776e-05,3.163682e-05,3.147710e-05,3.131872e-05,3.116178e-05,3.100639e-05,3.085262e-05,3.070055e-05,3.055025e-05,3.040178e-05,3.025519e-05,3.011051e-05,2.996779e-05,2.982707e-05,2.968836e-05,2.955169e-05,2.941707e-05,2.928452e-05,2.915405e-05,2.902566e-05,2.889936e-05,2.877513e-05
0.000000e+00,2.231573e-09,5.117041e-09,1.762995e-08,4.018220e-08,5.869952e-08,1.338516e-07,1.379166e-07,2.687724e-07,3.167157e-07,4.667748e-07,6.252240e-07,7.499910e-07,1.102868e-06,1.138252e-06,1.649485e-06,1.791775e-06,2.292750e-06,2.709229e-06,3.062684e-06,3.831449e-06,3.942051e-06,4.909874e-06,5.112332e-06,5.947339e-06,6.509190e-06,7.039328e-06,7.989861e-06,8.173802e-06,9.340775e-06,9.529911e-06,1.053152e-05,1.110917e-05,1.173810e-05,1.270979e-05,1.295313e-05,1.416967e-05,1.431545e-05,1.538126e-05,1.591122e-05,1.658189e-05,1.748369e-05,1.776614e-05,1.892912e-05,1.902111e-05,2.006657e-05,2.051355e-05,2.117480e-05,2.195290e-05,2.225076e-05,2.329195e-05,2.333284e-05,2.429640e-05,2.464871e-05,2.526266e-05,2.589737e-05,2.618972e-05,2.707697e-05,2.792417e-05,2.818681e-05,2.873134e-05,2.922707e-05,2.949881e-05,3.019870e-05,3.022709e-05,3.091688e-05,3.110323e-05,3.156902e-05,3.194263e-05,3.218447e-05,3.271917e-05,3.276427e-05,3.330953e-05,3.343538e-05,3.382139e-05,3.409389e-05,3.430105e-05,3.469745e-05,3.474969e-05,3.516851e-05,3.524880e-05,3.555870e-05,3.575067e-05,3.592143e-05,3.620576e-05,3.625787e-05,3.656916e-05,3.661670e-05,3.685640e-05,3.698606e-05,3.712068e-05,3.731628e-05,3.736305e-05,3.758451e-05,3.760973e-05,3.778605e-05,3.786866e-05,3.796861e-05,3.809523e-05,3.813311e-05,3.828042e-05,3.829148e-05,3.841137e-05,3.845936e-05,3.852679e-05,3.860070e-05,3.862744e-05,3.871406e-05,3.871724e-05,3.878737e-05,3.881063e-05,3.884805e-05,3.888243e-05,3.889675e-05,3.893409e-05,3.896067e-05,3.896699e-05,3.897705e-05,3.898245e-05,3.898379e-05,3.898167e-05,3.898140e-05,3.897037e-05,3.896581e-05,3.895119e-05,3.893595e-05,3.892429e-05,3.889311e-05,3.889012e-05,3.884908e-05,3.883826e-05,3.880157e-05,3.877228e-05,3.874796e-05,3.869601e-05,3.868860e-05,3.862384e-05,3.861027e-05,3.855400e-05,3.851577e-05,3.847938e-05,3.841323e-05,3.840029e-05,3.831700e-05,3.830330e-05,3.822978e-05,3.818659e-05,3.813888e-05,3.806368e-05,3.804455e-05,3.794701e-05,3.793510e-05,3.784649e-05,3.780137e-05,3.774319e-05,3.766295e-05,3.763731e-05,3.752905e-05,3.752029e-05,3.741857e-05,3.737380e-05,3.730606e-05,3.722388e-05,3.719167e-05,3.707556e-05,3.707088e-05,3.695788e-05,3.691515e-05,3.683876e-05,3.675701e-05,3.671834e-05,3.659675e-05,3.643465e-05,3.627097e-05,3.610596e-05,3.593983e-05,3.577281e-05,3.560509e-05,3.543685e-05,3.526827e-05,3.509950e-05,3.493069e-05,3.476198e-05,3.459351e-05,3.442538e-05,3.425771e-05,3.409061e-05,3.392416e-05,3.375845e-05,3.359357e-05,3.342959e-05,3.326658e-05,3.310460e-05,3.294372e-05,3.278397e-05,3.262542e-05
0.000000e+00,8.169815e-10,2.263912e-09,9.998696e-09,2.619308e-08,4.048483e-08,1.026015e-07,1.060766e-07,2.212280e-07,2.644864e-07,4.020452e-07,5.497181e-07,6.672262e-07,1.003724e-06,1.037737e-06,1.533219e-06,1.672227e-06,2.164484e-06,2.576451e-06,2.927690e-06,3.696046e-06,3.807044e-06,4.782730e-06,4.987769e-06,5.836542e-06,6.410300e-06,6.953479e-06,7.931450e-06,8.121265e-06,9.329404e-06,9.525809e-06,1.056843e-05,1.117152e-05,1.182948e-05,1.284848e-05,1.310409e-05,1.438412e-05,1.453772e-05,1.566185e-05,1.622144e-05,1.693003e-05,1.788332e-05,1.818196e-05,1.941159e-05,1.950883e-05,2.061355e-05,2.108551e-05,2.178318e-05,2.260307e-05,2.291657e-05,2.401053e-05,2.405343e-05,2.506251e-05,2.543056e-05,2.607061e-05,2.673036e-05,2.703352e-05,2.795043e-05,2.882102e-05,2.908982e-05,2.964533e-05,3.014879e-05,3.042379e-05,3.112859e-05,3.115706e-05,3.184608e-05,3.203122e-05,3.249196e-05,3.285929e-05,3.309595e-05,3.361580e-05,3.365942e-05,3.418384e-05,3.430405e-05,3.467069e-05,3.492751e-05,3.512155e-05,3.548976e-05,3.553796e-05,3.592147e-05,3.599436e-05,3.627361e-05,3.644482e-05,3.659587e-05,3.684458e-05,3.688975e-05,3.715667e-05,3.719697e-05,3.739803e-05,3.750520e-05,3.761517e-05,3.777231e-05,3.780938e-05,3.798191e-05,3.800122e-05,3.813396e-05,3.819467e-05,3.826667e-05,3.835527e-05,3.838114e-05,3.847840e-05,3.848546e-05,3.855945e-05,3.858755e-05,3.862524e-05,3.866367e-05,3.867668e-05,3.871461e-05,3.871586e-05,3.873986e-05,3.874599e-05,3.875320e-05,3.875584e-05,3.875536e-05,3.874704e-05,3.872891e-05,3.872114e-05,3.870158e-05,3.867954e-05,3.866566e-05,3.862360e-05,3.862169e-05,3.857022e-05,3.855453e-05,3.851175e-05,3.847350e-05,3.844675e-05,3.838158e-05,3.837568e-05,3.829896e-05,3.827975e-05,3.821699e-05,3.816894e-05,3.813016e-05,3.805001e-05,3.803883e-05,3.794333e-05,3.792376e-05,3.784399e-05,3.779092e-05,3.774112e-05,3.765218e-05,3.763499e-05,3.752589e-05,3.750818e-05,3.741407e-05,3.735949e-05,3.729976e-05,3.720668e-05,3.718320e-05,3.706460e-05,3.705024e-05,3.694417e-05,3.689065e-05,3.682210e-05,3.672833e-05,3.669856e-05,3.657373e-05,3.656369e-05,3.644777e-05,3.639710e-05,3.632082e-05,3.622890e-05,3.619304e-05,3.606455e-05,3.605940e-05,3.593548e-05,3.588890e-05,3.580596e-05,3.571767e-05,3.567608e-05,3.554596e-05,3.537398e-05,3.520197e-05,3.503010e-05,3.485856e-05,3.468751e-05,3.451710e-05,3.434746e-05,3.417873e-05,3.401101e-05,3.384441e-05,3.367902e-05,3.351493e-05,3.335222e-05,3.319095e-05,3.303119e-05,3.287300e-05,3.271642e-05,3.256151e-05,3.240829e-05,3.225681e-05,3.210709e-05,3.195916e-05,3.181304e-05,3.166874e-05
0.000000e+00,4.725608e-09,1.096535e-08,3.825151e-08,8.762706e-08,1.281853e-07,2.923678e-07,3.012226e-07,5.847054e-07,6.878173e-07,1.008121e-06,1.342711e-06,1.603877e-06,2.333587e-06,2.406147e-06,3.445674e-06,3.732794e-06,4.739178e-06,5.572566e-06,6.278546e-06,7.811343e-06,8.031589e-06,9.955458e-06,1.035703e-05,1.200939e-05,1.311730e-05,1.415949e-05,1.601964e-05,1.637828e-05,1.864301e-05,1.900829e-05,2.093425e-05,2.203839e-05,2.323502e-05,2.507237e-05,2.553034e-05,2.780707e-05,2.807846e-05,3.005374e-05,3.103016e-05,3.226052e-05,3.390585e-05,3.441913e-05,3.652274e-05,3.668848e-05,3.856585e-05,3.936516e-05,4.054419e-05,4.192666e-05,4.245456e-05,4.429471e-05,4.436683e-05,4.606321e-05,4.668217e-05,4.775933e-05,4.887125e-05,4.938292e-05,5.093432e-05,5.241428e-05,5.287294e-05,5.382387e-05,5.468967e-05,5.516441e-05,5.638778e-05,5.643742e-05,5.764460e-05,5.797105e-05,5.878773e-05,5.944366e-05,5.986873e-05,6.081003e-05,6.088952e-05,6.185211e-05,6.207469e-05,6.275848e-05,6.324224e-05,6.361064e-05,6.431730e-05,6.441060e-05,6.516034e-05,6.530443e-05,6.586181e-05,6.620815e-05,6.651694e-05,6.703280e-05,6.712759e-05,6.769560e-05,6.778264e-05,6.822274e-05,6.846177e-05,6.871077e-05,6.907418e-05,6.916138e-05,6.957622e-05,6.962368e-05,6.995689e-05,7.011395e-05,7.030492e-05,7.054852e-05,7.062181e-05,7.090902e-05,7.093075e-05,7.116793e-05,7.126388e-05,7.139990e-05,7.155097e-05,7.160623e-05,7.178817e-05,7.179496e-05,7.194694e-05,7.199865e-05,7.208369e-05,7.216468e-05,7.219955e-05,7.229559e-05,7.237285e-05,7.239377e-05,7.243233e-05,7.246150e-05,7.247497e-05,7.250093e-05,7.250170e-05,7.251340e-05,7.251410e-05,7.251091e-05,7.250294e-05,7.249504e-05,7.246929e-05,7.246656e-05,7.242622e-05,7.241486e-05,7.237473e-05,7.234128e-05,7.231277e-05,7.225011e-05,7.224100e-05,7.216002e-05,7.214278e-05,7.207045e-05,7.202066e-05,7.197284e-05,7.188504e-05,7.186774e-05,7.175568e-05,7.173713e-05,7.163714e-05,7.157808e-05,7.151260e-05,7.140894e-05,7.138250e-05,7.124729e-05,7.123074e-05,7.110736e-05,7.104440e-05,7.096310e-05,7.085081e-05,7.081490e-05,7.066309e-05,7.065080e-05,7.050802e-05,7.044515e-05,7.035001e-05,7.023458e-05,7.018935e-05,7.002634e-05,7.001977e-05,6.986124e-05,6.980135e-05,6.969433e-05,6.957991e-05,6.952583e-05,6.935600e-05,6.913013e-05,6.890278e-05,6.867439e-05,6.844537e-05,6.821609e-05,6.798692e-05,6.775816e-05,6.753012e-05,6.730308e-05,6.707729e-05,6.685297e-05,6.663034e-05,6.640960e-05,6.619091e-05,6.597444e-05,6.576032e-05,6.554870e-05,6.533967e-05,6.513335e-05,6.492983e-05,6.472918e-05,6.453148e-05,6.433678e-05,6.414514e-05
0.000000e+00,3.703038e-09,8.505680e-09,2.932140e-08,6.672841e-08,9.733312e-08,2.206018e-07,2.272291e-07,4.386046e-07,5.151757e-07,7.522142e-07,9.987482e-07,1.190568e-06,1.724373e-06,1.777318e-06,2.534201e-06,2.742945e-06,3.474595e-06,4.081228e-06,4.596045e-06,5.717053e-06,5.878468e-06,7.291026e-06,7.586257e-06,8.801388e-06,9.615757e-06,1.038102e-05,1.174397e-05,1.200622e-05,1.365745e-05,1.392292e-05,1.531825e-05,1.611462e-05,1.697455e-05,1.828812e-05,1.861418e-05,2.022664e-05,2.041786e-05,2.180291e-05,2.248301e-05,2.333543e-05,2.446700e-05,2.481797e-05,2.624555e-05,2.635726e-05,2.761437e-05,2.814480e-05,2.892168e-05,2.982379e-05,3.016564e-05,3.134525e-05,3.139109e-05,3.246021e-05,3.284580e-05,3.351079e-05,3.418880e-05,3.449778e-05,3.542233e-05,3.628594e-05,3.654970e-05,3.709033e-05,3.757494e-05,3.783741e-05,3.850259e-05,3.852923e-05,3.916791e-05,3.933751e-05,3.975564e-05,4.008473e-05,4.029462e-05,4.074933e-05,4.078707e-05,4.123517e-05,4.133635e-05,4.164107e-05,4.185074e-05,4.200690e-05,4.229732e-05,4.233471e-05,4.262650e-05,4.268070e-05,4.288419e-05,4.300534e-05,4.310966e-05,4.327548e-05,4.330471e-05,4.347106e-05,4.349513e-05,4.361037e-05,4.366811e-05,4.372423e-05,4.379801e-05,4.381416e-05,4.388160e-05,4.388824e-05,4.392794e-05,4.394199e-05,4.395450e-05,4.396224e-05,4.396254e-05,4.395326e-05,4.395180e-05,4.392779e-05,4.391331e-05,4.388722e-05,4.384923e-05,4.383257e-05,4.376482e-05,4.376185e-05,4.368490e-05,4.365332e-05,4.359369e-05,4.352564e-05,4.349201e-05,4.338066e-05,4.326038e-05,4.322012e-05,4.313187e-05,4.304563e-05,4.299581e-05,4.285867e-05,4.285283e-05,4.270352e-05,4.266065e-05,4.254844e-05,4.245285e-05,4.238813e-05,4.223645e-05,4.222308e-05,4.205378e-05,4.201256e-05,4.188066e-05,4.178220e-05,4.170414e-05,4.154631e-05,4.152462e-05,4.134247e-05,4.130576e-05,4.115804e-05,4.106134e-05,4.097165e-05,4.081379e-05,4.078361e-05,4.059421e-05,4.056380e-05,4.040373e-05,4.031198e-05,4.021240e-05,4.005890e-05,4.002048e-05,3.982818e-05,3.980509e-05,3.963570e-05,3.955101e-05,3.944325e-05,3.929711e-05,3.925100e-05,3.905912e-05,3.904379e-05,3.886776e-05,3.879140e-05,3.867708e-05,3.854027e-05,3.848719e-05,3.829824e-05,3.829070e-05,3.811032e-05,3.804295e-05,3.792356e-05,3.779727e-05,3.773804e-05,3.755387e-05,3.731294e-05,3.707465e-05,3.683916e-05,3.660660e-05,3.637709e-05,3.615072e-05,3.592759e-05,3.570777e-05,3.549132e-05,3.527828e-05,3.506871e-05,3.486263e-05,3.466006e-05,3.446102e-05,3.426552e-05,3.407355e-05,3.388511e-05,3.370019e-05,3.351877e-05,3.334084e-05,3.316637e-05,3.299534e-05,3.282770e-05,3.266343e-05
0.000000e+00,7.211143e-09,1.638472e-08,5.549360e-08,1.245158e-07,1.802583e-07,4.005724e-07,4.122673e-07,7.792802e-07,9.097890e-07,1.307049e-06,1.710816e-06,2.019171e-06,2.854343e-06,2.935538e-06,4.069544e-06,4.374730e-06,5.424621e-06,6.276996e-06,6.990991e-06,8.524699e-06,8.743661e-06,1.064266e-05,1.103561e-05,1.263634e-05,1.369160e-05,1.466790e-05,1.636389e-05,1.668328e-05,1.863785e-05,1.894260e-05,2.049937e-05,2.135347e-05,2.224745e-05,2.355662e-05,2.387113e-05,2.536620e-05,2.553695e-05,2.673302e-05,2.729456e-05,2.797488e-05,2.883823e-05,2.909692e-05,3.010540e-05,3.018138e-05,3.100722e-05,3.133968e-05,3.180953e-05,3.232962e-05,3.251952e-05,3.314426e-05,3.316757e-05,3.369055e-05,3.386927e-05,3.416488e-05,3.444945e-05,3.457336e-05,3.492174e-05,3.521531e-05,3.529850e-05,3.545902e-05,3.559093e-05,3.565739e-05,3.580907e-05,3.581461e-05,3.593449e-05,3.596185e-05,3.602053e-05,3.605724e-05,3.607591e-05,3.610230e-05,3.610355e-05,3.610609e-05,3.610324e-05,3.608595e-05,3.606559e-05,3.604532e-05,3.599423e-05,3.598623e-05,3.591048e-05,3.589348e-05,3.581974e-05,3.576714e-05,3.571553e-05,3.561858e-05,3.559920e-05,3.547203e-05,3.545075e-05,3.533515e-05,3.526630e-05,3.518959e-05,3.506754e-05,3.503631e-05,3.487617e-05,3.485653e-05,3.470996e-05,3.463509e-05,3.453839e-05,3.440482e-05,3.436212e-05,3.418174e-05,3.416715e-05,3.399781e-05,3.392335e-05,3.381081e-05,3.367454e-05,3.362122e-05,3.342943e-05,3.342172e-05,3.323584e-05,3.316576e-05,3.304077e-05,3.290745e-05,3.284455e-05,3.264747e-05,3.244979e-05,3.238645e-05,3.225175e-05,3.212492e-05,3.205358e-05,3.186339e-05,3.185547e-05,3.165762e-05,3.160229e-05,3.146018e-05,3.134199e-05,3.126332e-05,3.108283e-05,3.106717e-05,3.087186e-05,3.082512e-05,3.067750e-05,3.056912e-05,3.048421e-05,3.031506e-05,3.029207e-05,3.010118e-05,3.006316e-05,2.991161e-05,2.981359e-05,2.972344e-05,2.956651e-05,2.953674e-05,2.935155e-05,2.932206e-05,2.916793e-05,2.908037e-05,2.898593e-05,2.884152e-05,2.880559e-05,2.862695e-05,2.860563e-05,2.845003e-05,2.837274e-05,2.827487e-05,2.814294e-05,2.810149e-05,2.792992e-05,2.791627e-05,2.776016e-05,2.769277e-05,2.759224e-05,2.747248e-05,2.742616e-05,2.726194e-05,2.725541e-05,2.709959e-05,2.704160e-05,2.693910e-05,2.683104e-05,2.678049e-05,2.662375e-05,2.641972e-05,2.621894e-05,2.602142e-05,2.582712e-05,2.563604e-05,2.544816e-05,2.526345e-05,2.508188e-05,2.490343e-05,2.472806e-05,2.455575e-05,2.438646e-05,2.422016e-05,2.405680e-05,2.389636e-05,2.373879e-05,2.358405e-05,2.343210e-05,2.328291e-05,2.313644e-05,2.299263e-05,2.285145e-05,2.271287e-05,2.257683e-05
0.000000e+00,1.796148e-09,4.489599e-09,1.706316e-08,4.085817e-08,6.086792e-08,1.442431e-07,1.488228e-07,2.988366e-07,3.548031e-07,5.324536e-07,7.228290e-07,8.737570e-07,1.299517e-06,1.341796e-06,1.937428e-06,2.097479e-06,2.641538e-06,3.073855e-06,3.429406e-06,4.175924e-06,4.280943e-06,5.181383e-06,5.366285e-06,6.119150e-06,6.618195e-06,7.084285e-06,7.909483e-06,8.067702e-06,9.060953e-06,9.220255e-06,1.005624e-05,1.053260e-05,1.104650e-05,1.183088e-05,1.202551e-05,1.298788e-05,1.310203e-05,1.392914e-05,1.433564e-05,1.484564e-05,1.552385e-05,1.573454e-05,1.659369e-05,1.666109e-05,1.742158e-05,1.774374e-05,1.821722e-05,1.876980e-05,1.898009e-05,1.971002e-05,1.973853e-05,2.040715e-05,2.065015e-05,2.107185e-05,2.150561e-05,2.170470e-05,2.230639e-05,2.287773e-05,2.305429e-05,2.341961e-05,2.375138e-05,2.393296e-05,2.439985e-05,2.441876e-05,2.487799e-05,2.500195e-05,2.531165e-05,2.555998e-05,2.572072e-05,2.607618e-05,2.610617e-05,2.646897e-05,2.655277e-05,2.681005e-05,2.699192e-05,2.713034e-05,2.739571e-05,2.743073e-05,2.771207e-05,2.776613e-05,2.797521e-05,2.810511e-05,2.822094e-05,2.841448e-05,2.845005e-05,2.866329e-05,2.869598e-05,2.886137e-05,2.895127e-05,2.904499e-05,2.918193e-05,2.921482e-05,2.937149e-05,2.938943e-05,2.951561e-05,2.957520e-05,2.964777e-05,2.974056e-05,2.976854e-05,2.987845e-05,2.988679e-05,2.997801e-05,3.001505e-05,3.006773e-05,3.012649e-05,3.014807e-05,3.021948e-05,3.022215e-05,3.028239e-05,3.030304e-05,3.033723e-05,3.037010e-05,3.038437e-05,3.042420e-05,3.045709e-05,3.046620e-05,3.048336e-05,3.049686e-05,3.050336e-05,3.051694e-05,3.051739e-05,3.052575e-05,3.052712e-05,3.052874e-05,3.052806e-05,3.052662e-05,3.052039e-05,3.051966e-05,3.050810e-05,3.050467e-05,3.049219e-05,3.048146e-05,3.047215e-05,3.045127e-05,3.044819e-05,3.042053e-05,3.041457e-05,3.038936e-05,3.037183e-05,3.035488e-05,3.032348e-05,3.031726e-05,3.027667e-05,3.026991e-05,3.023327e-05,3.021150e-05,3.018724e-05,3.014861e-05,3.013871e-05,3.008783e-05,3.008157e-05,3.003473e-05,3.001070e-05,2.997954e-05,2.993629e-05,2.992240e-05,2.986341e-05,2.985862e-05,2.980270e-05,2.977795e-05,2.974036e-05,2.969453e-05,2.967651e-05,2.961123e-05,2.960860e-05,2.954464e-05,2.952036e-05,2.947681e-05,2.943002e-05,2.940783e-05,2.933778e-05,2.924382e-05,2.914831e-05,2.905141e-05,2.895326e-05,2.885402e-05,2.875380e-05,2.865275e-05,2.855097e-05,2.844858e-05,2.834568e-05,2.824236e-05,2.813873e-05,2.803486e-05,2.793084e-05,2.782673e-05,2.772262e-05,2.761857e-05,2.751464e-05,2.741089e-05,2.730737e-05,2.720414e-05,2.710124e-05,2.699872e-05,2.689662e-05
0.000000e+00,1.328602e-09,3.104010e-09,1.082388e-08,2.460870e-08,3.579609e-08,8.021197e-08,8.257550e-08,1.569586e-07,1.834977e-07,2.645430e-07,3.472694e-07,4.106157e-07,5.822159e-07,5.988498e-07,8.288000e-07,8.896857e-07,1.095273e-06,1.257781e-06,1.391132e-06,1.670535e-06,1.709784e-06,2.045638e-06,2.114433e-06,2.393774e-06,2.578140e-06,2.749650e-06,3.051434e-06,3.108994e-06,3.467820e-06,3.524936e-06,3.822493e-06,3.990301e-06,4.169805e-06,4.440506e-06,4.507031e-06,4.831957e-06,4.870036e-06,5.142887e-06,5.274934e-06,5.438611e-06,5.652707e-06,5.718367e-06,5.981786e-06,6.002150e-06,6.228829e-06,6.323106e-06,6.459729e-06,6.616222e-06,6.674927e-06,6.875023e-06,6.882723e-06,7.060726e-06,7.124204e-06,7.232814e-06,7.342474e-06,7.392106e-06,7.539427e-06,7.675597e-06,7.716948e-06,7.801413e-06,7.876853e-06,7.917634e-06,8.020850e-06,8.024982e-06,8.124132e-06,8.150512e-06,8.215712e-06,8.267269e-06,8.300302e-06,8.372414e-06,8.378439e-06,8.450615e-06,8.467101e-06,8.517279e-06,8.552358e-06,8.578842e-06,8.629096e-06,8.635678e-06,8.688130e-06,8.698122e-06,8.736508e-06,8.760149e-06,8.781095e-06,8.815808e-06,8.822149e-06,8.859908e-06,8.865658e-06,8.894586e-06,8.910196e-06,8.926381e-06,8.949862e-06,8.955472e-06,8.982024e-06,8.985047e-06,9.006188e-06,9.016100e-06,9.028103e-06,9.043334e-06,9.047898e-06,9.065692e-06,9.067032e-06,9.081594e-06,9.087449e-06,9.095707e-06,9.104814e-06,9.108125e-06,9.118936e-06,9.119336e-06,9.128222e-06,9.131207e-06,9.136061e-06,9.140601e-06,9.142523e-06,9.147678e-06,9.151587e-06,9.152585e-06,9.154311e-06,9.155459e-06,9.155906e-06,9.156424e-06,9.156425e-06,9.155918e-06,9.155598e-06,9.154432e-06,9.153089e-06,9.152012e-06,9.148998e-06,9.148701e-06,9.144539e-06,9.143419e-06,9.139566e-06,9.136440e-06,9.133817e-06,9.128145e-06,9.127328e-06,9.120131e-06,9.118610e-06,9.112259e-06,9.107909e-06,9.103742e-06,9.096109e-06,9.094608e-06,9.084885e-06,9.083276e-06,9.074600e-06,9.069471e-06,9.063779e-06,9.054751e-06,9.052445e-06,9.040621e-06,9.039171e-06,9.028331e-06,9.022781e-06,9.015596e-06,9.005632e-06,9.002436e-06,8.988870e-06,8.987768e-06,8.974919e-06,8.969235e-06,8.960600e-06,8.950073e-06,8.945931e-06,8.930928e-06,8.930321e-06,8.915609e-06,8.910019e-06,8.899987e-06,8.889200e-06,8.884080e-06,8.867900e-06,8.846150e-06,8.823981e-06,8.801422e-06,8.778501e-06,8.755245e-06,8.731678e-06,8.707826e-06,8.683710e-06,8.659353e-06,8.634775e-06,8.609996e-06,8.585036e-06,8.559912e-06,8.534642e-06,8.509241e-06,8.483726e-06,8.458112e-06,8.432412e-06,8.406641e-06,8.380811e-06,8.354935e-06,8.329024e-06,8.303089e-06,8.277142e-06
0.000000e+00,8.817179e-10,2.543189e-09,1.207238e-08,3.339090e-08,5.295360e-08,1.416992e-07,1.467729e-07,3.179802e-07,3.831964e-07,5.917944e-07,8.162498e-07,9.946017e-07,1.502975e-06,1.554180e-06,2.298604e-06,2.507649e-06,3.252214e-06,3.883123e-06,4.427833e-06,5.641380e-06,5.818981e-06,7.399477e-06,7.735061e-06,9.131576e-06,1.007889e-05,1.097559e-05,1.258466e-05,1.289567e-05,1.486150e-05,1.517853e-05,1.684790e-05,1.780235e-05,1.883376e-05,2.040989e-05,2.080111e-05,2.273444e-05,2.296349e-05,2.462028e-05,2.543197e-05,2.644708e-05,2.778985e-05,2.820502e-05,2.988602e-05,3.001698e-05,3.148368e-05,3.209827e-05,3.299317e-05,3.402348e-05,3.441116e-05,3.573571e-05,3.578673e-05,3.696609e-05,3.738602e-05,3.810268e-05,3.882261e-05,3.914677e-05,4.010041e-05,4.096631e-05,4.122537e-05,4.174765e-05,4.220496e-05,4.244798e-05,4.304765e-05,4.307114e-05,4.362112e-05,4.376256e-05,4.410202e-05,4.435910e-05,4.451794e-05,4.484671e-05,4.487297e-05,4.517114e-05,4.523467e-05,4.541635e-05,4.553196e-05,4.561240e-05,4.574713e-05,4.576291e-05,4.587135e-05,4.588829e-05,4.594104e-05,4.596300e-05,4.597509e-05,4.597831e-05,4.597645e-05,4.594790e-05,4.594074e-05,4.589206e-05,4.585628e-05,4.581135e-05,4.573042e-05,4.570806e-05,4.558432e-05,4.556820e-05,4.544211e-05,4.537417e-05,4.528327e-05,4.515248e-05,4.510950e-05,4.492239e-05,4.490689e-05,4.472341e-05,4.464081e-05,4.451392e-05,4.435728e-05,4.429516e-05,4.406830e-05,4.405907e-05,4.383440e-05,4.374867e-05,4.359445e-05,4.342828e-05,4.334934e-05,4.309992e-05,4.284694e-05,4.276535e-05,4.259110e-05,4.242616e-05,4.233305e-05,4.208378e-05,4.207337e-05,4.181260e-05,4.173946e-05,4.155123e-05,4.139431e-05,4.128971e-05,4.104933e-05,4.102845e-05,4.076781e-05,4.070538e-05,4.050812e-05,4.036323e-05,4.024970e-05,4.002356e-05,3.999282e-05,3.973772e-05,3.968694e-05,3.948463e-05,3.935388e-05,3.923374e-05,3.902483e-05,3.898523e-05,3.873927e-05,3.870016e-05,3.849598e-05,3.838019e-05,3.825550e-05,3.806520e-05,3.801793e-05,3.778336e-05,3.775542e-05,3.755188e-05,3.745102e-05,3.732355e-05,3.715216e-05,3.709843e-05,3.687657e-05,3.685896e-05,3.665801e-05,3.657152e-05,3.644278e-05,3.628988e-05,3.623089e-05,3.602237e-05,3.601410e-05,3.581722e-05,3.574420e-05,3.561545e-05,3.548017e-05,3.541705e-05,3.522202e-05,3.496970e-05,3.472319e-05,3.448244e-05,3.424738e-05,3.401796e-05,3.379410e-05,3.357571e-05,3.336272e-05,3.315504e-05,3.295258e-05,3.275524e-05,3.256292e-05,3.237553e-05,3.219297e-05,3.201513e-05,3.184191e-05,3.167322e-05,3.150895e-05,3.134900e-05,3.119327e-05,3.104165e-05,3.089406e-05,3.075039e-05,3.061054e-05
0.000000e+00,1.969605e-09,5.515552e-09,2.478200e-08,6.565829e-08,1.019744e-07,2.608113e-07,2.697241e-07,5.658329e-07,6.773288e-07,1.032323e-06,1.413384e-06,1.715799e-06,2.572119e-06,2.657555e-06,3.872561e-06,4.203155e-06,5.340633e-06,6.258816e-06,7.022533e-06,8.647996e-06,8.878813e-06,1.087695e-05,1.129122e-05,1.299074e-05,1.412806e-05,1.519766e-05,1.710812e-05,1.747678e-05,1.980765e-05,2.018403e-05,2.216985e-05,2.330884e-05,2.454303e-05,2.643608e-05,2.690728e-05,2.924348e-05,2.952108e-05,3.153378e-05,3.252273e-05,3.376199e-05,3.540508e-05,3.591388e-05,3.797733e-05,3.813827e-05,3.994240e-05,4.069909e-05,4.180141e-05,4.307101e-05,4.354878e-05,4.518089e-05,4.524375e-05,4.669598e-05,4.721268e-05,4.809384e-05,4.897798e-05,4.937565e-05,5.054376e-05,5.160144e-05,5.191721e-05,5.255271e-05,5.310778e-05,5.340216e-05,5.412645e-05,5.415476e-05,5.481578e-05,5.498518e-05,5.539057e-05,5.569633e-05,5.588459e-05,5.627236e-05,5.630319e-05,5.665168e-05,5.672546e-05,5.693517e-05,5.706738e-05,5.715860e-05,5.730928e-05,5.732668e-05,5.744390e-05,5.746161e-05,5.751447e-05,5.753408e-05,5.754240e-05,5.753563e-05,5.753140e-05,5.748495e-05,5.747445e-05,5.740631e-05,5.735801e-05,5.729847e-05,5.719306e-05,5.716423e-05,5.700616e-05,5.698571e-05,5.682665e-05,5.674145e-05,5.662789e-05,5.646520e-05,5.641190e-05,5.618053e-05,5.616141e-05,5.593550e-05,5.583402e-05,5.567838e-05,5.548657e-05,5.541059e-05,5.513345e-05,5.512219e-05,5.484817e-05,5.474369e-05,5.455585e-05,5.435357e-05,5.425750e-05,5.395405e-05,5.364633e-05,5.354708e-05,5.333511e-05,5.313442e-05,5.302110e-05,5.271761e-05,5.270493e-05,5.238720e-05,5.229802e-05,5.206842e-05,5.187686e-05,5.174910e-05,5.145520e-05,5.142965e-05,5.111050e-05,5.103399e-05,5.079199e-05,5.061404e-05,5.047447e-05,5.019609e-05,5.015822e-05,4.984351e-05,4.978078e-05,4.953060e-05,4.936866e-05,4.921969e-05,4.896022e-05,4.891099e-05,4.860467e-05,4.855589e-05,4.830089e-05,4.815602e-05,4.799980e-05,4.776094e-05,4.770152e-05,4.740616e-05,4.737091e-05,4.711381e-05,4.698616e-05,4.682457e-05,4.660688e-05,4.653851e-05,4.625570e-05,4.623321e-05,4.597618e-05,4.586531e-05,4.570000e-05,4.550325e-05,4.542721e-05,4.515783e-05,4.514713e-05,4.489189e-05,4.479700e-05,4.462941e-05,4.445290e-05,4.437039e-05,4.411485e-05,4.378287e-05,4.345694e-05,4.313705e-05,4.282318e-05,4.251528e-05,4.221332e-05,4.191724e-05,4.162698e-05,4.134249e-05,4.106368e-05,4.079050e-05,4.052287e-05,4.026071e-05,4.000393e-05,3.975246e-05,3.950621e-05,3.926510e-05,3.902903e-05,3.879792e-05,3.857169e-05,3.835023e-05,3.813347e-05,3.792131e-05,3.771367e-05
0.000000e+00,1.406313e-09,3.472299e-09,1.296667e-08,3.064109e-08,4.530747e-08,1.049651e-07,1.081829e-07,2.107961e-07,2.478749e-07,3.621446e-07,4.800703e-07,5.711419e-07,8.212945e-07,8.458323e-07,1.191063e-06,1.284495e-06,1.606727e-06,1.869051e-06,2.089443e-06,2.566442e-06,2.635115e-06,3.239784e-06,3.367449e-06,3.899441e-06,4.262769e-06,4.609737e-06,5.241990e-06,5.365826e-06,6.162348e-06,6.293161e-06,6.993499e-06,7.402961e-06,7.853149e-06,8.557152e-06,8.734990e-06,9.632683e-06,9.741174e-06,1.054001e-05,1.094073e-05,1.145099e-05,1.214231e-05,1.236001e-05,1.326188e-05,1.333358e-05,1.415192e-05,1.450368e-05,1.502597e-05,1.564335e-05,1.588043e-05,1.671225e-05,1.674501e-05,1.751888e-05,1.780270e-05,1.829831e-05,1.881197e-05,1.904897e-05,1.976972e-05,2.045980e-05,2.067407e-05,2.111879e-05,2.152415e-05,2.174655e-05,2.231992e-05,2.234320e-05,2.290905e-05,2.306203e-05,2.344461e-05,2.375166e-05,2.395051e-05,2.439040e-05,2.442752e-05,2.487645e-05,2.498012e-05,2.529823e-05,2.552291e-05,2.569379e-05,2.602098e-05,2.606412e-05,2.641021e-05,2.647660e-05,2.673306e-05,2.689209e-05,2.703368e-05,2.726973e-05,2.731304e-05,2.757211e-05,2.761174e-05,2.781185e-05,2.792032e-05,2.803316e-05,2.819756e-05,2.823695e-05,2.842408e-05,2.844545e-05,2.859537e-05,2.866593e-05,2.875163e-05,2.886080e-05,2.889362e-05,2.902207e-05,2.903179e-05,2.913770e-05,2.918051e-05,2.924116e-05,2.930849e-05,2.933310e-05,2.941414e-05,2.941716e-05,2.948484e-05,2.950788e-05,2.954577e-05,2.958189e-05,2.959746e-05,2.964040e-05,2.967507e-05,2.968449e-05,2.970193e-05,2.971521e-05,2.972140e-05,2.973352e-05,2.973389e-05,2.973980e-05,2.974032e-05,2.973949e-05,2.973647e-05,2.973331e-05,2.972273e-05,2.972160e-05,2.970467e-05,2.969986e-05,2.968281e-05,2.966853e-05,2.965633e-05,2.962940e-05,2.962547e-05,2.959051e-05,2.958305e-05,2.955168e-05,2.953004e-05,2.950922e-05,2.947091e-05,2.946335e-05,2.941426e-05,2.940612e-05,2.936217e-05,2.933615e-05,2.930725e-05,2.926141e-05,2.924969e-05,2.918966e-05,2.918230e-05,2.912731e-05,2.909918e-05,2.906280e-05,2.901242e-05,2.899627e-05,2.892787e-05,2.892232e-05,2.885771e-05,2.882919e-05,2.878593e-05,2.873331e-05,2.871264e-05,2.863795e-05,2.863494e-05,2.856198e-05,2.853433e-05,2.848481e-05,2.843171e-05,2.840655e-05,2.832729e-05,2.822128e-05,2.811386e-05,2.800520e-05,2.789547e-05,2.778482e-05,2.767339e-05,2.756132e-05,2.744873e-05,2.733573e-05,2.722244e-05,2.710895e-05,2.699536e-05,2.688176e-05,2.676822e-05,2.665483e-05,2.654166e-05,2.642876e-05,2.631621e-05,2.620406e-05,2.609236e-05,2.598116e-05,2.587051e-05,2.576044e-05,2.565101e-05
0.000000e+00,2.646316e-10,7.676844e-10,3.685364e-09,1.028910e-08,1.639424e-08,4.433506e-08,4.593973e-08,1.002913e-07,1.210474e-07,1.874630e-07,2.588350e-07,3.154140e-07,4.758410e-07,4.919233e-07,7.240596e-07,7.886861e-07,1.017027e-06,1.208607e-06,1.373000e-06,1.737661e-06,1.791004e-06,2.267806e-06,2.369841e-06,2.798930e-06,3.094912e-06,3.379304e-06,3.900946e-06,4.003543e-06,4.666053e-06,4.775222e-06,5.361063e-06,5.704485e-06,6.082680e-06,6.675134e-06,6.824956e-06,7.581979e-06,7.673537e-06,8.347980e-06,8.686430e-06,9.117431e-06,9.701311e-06,9.885138e-06,1.064632e-05,1.070680e-05,1.139667e-05,1.169290e-05,1.213237e-05,1.265115e-05,1.285015e-05,1.354724e-05,1.357466e-05,1.422139e-05,1.445810e-05,1.487080e-05,1.529757e-05,1.549413e-05,1.609044e-05,1.665914e-05,1.683524e-05,1.719995e-05,1.753143e-05,1.771287e-05,1.817924e-05,1.819812e-05,1.865610e-05,1.877952e-05,1.908737e-05,1.933359e-05,1.949261e-05,1.984312e-05,1.987261e-05,2.022821e-05,2.031003e-05,2.056032e-05,2.073637e-05,2.086985e-05,2.112432e-05,2.115776e-05,2.142501e-05,2.147606e-05,2.167254e-05,2.179377e-05,2.190129e-05,2.207961e-05,2.211219e-05,2.230614e-05,2.233565e-05,2.248400e-05,2.256390e-05,2.264661e-05,2.276628e-05,2.279480e-05,2.292935e-05,2.294461e-05,2.305098e-05,2.310060e-05,2.316044e-05,2.323589e-05,2.325838e-05,2.334548e-05,2.335200e-05,2.342234e-05,2.345035e-05,2.348956e-05,2.353230e-05,2.354769e-05,2.359726e-05,2.359907e-05,2.363878e-05,2.365185e-05,2.367273e-05,2.369172e-05,2.369955e-05,2.371968e-05,2.373352e-05,2.373669e-05,2.374146e-05,2.374360e-05,2.374384e-05,2.374124e-05,2.374103e-05,2.373334e-05,2.373036e-05,2.372109e-05,2.371166e-05,2.370455e-05,2.368579e-05,2.368400e-05,2.365971e-05,2.365335e-05,2.363192e-05,2.361491e-05,2.360086e-05,2.357099e-05,2.356674e-05,2.352978e-05,2.352207e-05,2.349017e-05,2.346859e-05,2.344810e-05,2.341098e-05,2.340373e-05,2.335724e-05,2.334961e-05,2.330878e-05,2.328486e-05,2.325849e-05,2.321704e-05,2.320652e-05,2.315299e-05,2.314647e-05,2.309803e-05,2.307343e-05,2.304176e-05,2.299819e-05,2.298429e-05,2.292572e-05,2.292099e-05,2.286615e-05,2.284207e-05,2.280568e-05,2.276163e-05,2.274439e-05,2.268236e-05,2.267986e-05,2.261967e-05,2.259696e-05,2.255641e-05,2.251309e-05,2.249263e-05,2.242840e-05,2.234305e-05,2.225716e-05,2.217085e-05,2.208425e-05,2.199746e-05,2.191058e-05,2.182369e-05,2.173689e-05,2.165024e-05,2.156383e-05,2.147771e-05,2.139195e-05,2.130660e-05,2.122171e-05,2.113734e-05,2.105352e-05,2.097029e-05,2.088769e-05,2.080575e-05,2.072450e-05,2.064396e-05,2.056417e-05,2.048514e-05,2.040690e-05
0.000000e+00,1.732127e-09,3.987074e-09,1.374471e-08,3.122439e-08,4.549235e-08,1.028182e-07,1.058968e-07,2.040562e-07,2.396248e-07,3.498061e-07,4.644303e-07,5.534913e-07,7.994565e-07,8.236157e-07,1.162084e-06,1.252854e-06,1.561862e-06,1.808122e-06,2.011092e-06,2.438088e-06,2.498208e-06,3.013669e-06,3.119449e-06,3.549616e-06,3.834122e-06,4.099264e-06,4.567081e-06,4.656517e-06,5.215811e-06,5.305142e-06,5.772097e-06,6.036703e-06,6.320876e-06,6.751847e-06,6.858239e-06,7.380887e-06,7.442482e-06,7.886140e-06,8.102382e-06,8.371910e-06,8.727100e-06,8.836660e-06,9.279350e-06,9.313792e-06,9.699376e-06,9.860977e-06,1.009650e-05,1.036829e-05,1.047080e-05,1.082260e-05,1.083621e-05,1.115242e-05,1.126589e-05,1.146091e-05,1.165889e-05,1.174884e-05,1.201706e-05,1.226645e-05,1.234243e-05,1.249793e-05,1.263710e-05,1.271242e-05,1.290320e-05,1.291084e-05,1.309407e-05,1.314278e-05,1.326300e-05,1.335785e-05,1.341847e-05,1.355030e-05,1.356128e-05,1.369220e-05,1.372194e-05,1.381198e-05,1.387445e-05,1.392130e-05,1.400939e-05,1.402083e-05,1.411118e-05,1.412821e-05,1.419295e-05,1.423225e-05,1.426666e-05,1.432275e-05,1.433286e-05,1.439201e-05,1.440086e-05,1.444458e-05,1.446761e-05,1.449100e-05,1.452396e-05,1.453165e-05,1.456693e-05,1.457081e-05,1.459717e-05,1.460897e-05,1.462271e-05,1.463916e-05,1.464385e-05,1.466090e-05,1.466209e-05,1.467410e-05,1.467837e-05,1.468373e-05,1.468858e-05,1.469001e-05,1.469317e-05,1.469324e-05,1.469342e-05,1.469284e-05,1.469095e-05,1.468782e-05,1.468595e-05,1.467859e-05,1.466902e-05,1.466552e-05,1.465740e-05,1.464896e-05,1.464388e-05,1.462922e-05,1.462858e-05,1.461163e-05,1.460660e-05,1.459315e-05,1.458137e-05,1.457324e-05,1.455376e-05,1.455201e-05,1.452957e-05,1.452401e-05,1.450599e-05,1.449232e-05,1.448137e-05,1.445890e-05,1.445578e-05,1.442931e-05,1.442391e-05,1.440202e-05,1.438752e-05,1.437398e-05,1.434989e-05,1.434525e-05,1.431590e-05,1.431115e-05,1.428598e-05,1.427143e-05,1.425555e-05,1.423086e-05,1.422464e-05,1.419332e-05,1.418953e-05,1.416162e-05,1.414756e-05,1.412958e-05,1.410504e-05,1.409726e-05,1.406467e-05,1.406205e-05,1.403186e-05,1.401868e-05,1.399886e-05,1.397500e-05,1.396570e-05,1.393241e-05,1.393107e-05,1.389901e-05,1.388697e-05,1.386554e-05,1.384275e-05,1.383201e-05,1.379846e-05,1.375415e-05,1.370988e-05,1.366568e-05,1.362159e-05,1.357765e-05,1.353390e-05,1.349035e-05,1.344705e-05,1.340401e-05,1.336126e-05,1.331883e-05,1.327673e-05,1.323497e-05,1.319358e-05,1.315257e-05,1.311196e-05,1.307175e-05,1.303196e-05,1.299260e-05,1.295367e-05,1.291519e-05,1.287715e-05,1.283957e-05,1.280245e-05
0.000000e+00,2.306632e-08,6.906170e-08,3.534573e-07,1.044266e-06,1.715170e-06,5.004764e-06,5.201588e-06,1.220129e-05,1.500746e-05,2.434350e-05,3.485147e-05,4.345929e-05,6.892408e-05,7.155148e-05,1.107593e-04,1.220686e-04,1.632916e-04,1.993381e-04,2.312948e-04,3.054416e-04,3.166532e-04,4.207972e-04,4.439678e-04,5.446128e-04,6.169114e-04,6.884661e-04,8.247426e-04,8.522799e-04,1.035614e-03,1.066714e-03,1.237732e-03,1.341140e-03,1.457649e-03,1.645603e-03,1.694173e-03,1.945944e-03,1.977111e-03,2.211460e-03,2.332231e-03,2.489117e-03,2.707225e-03,2.777237e-03,3.074098e-03,3.098173e-03,3.377967e-03,3.501091e-03,3.687124e-03,3.912044e-03,3.999886e-03,4.314630e-03,4.327239e-03,4.629812e-03,4.743101e-03,4.943976e-03,5.156331e-03,5.255769e-03,5.563948e-03,5.867385e-03,5.963315e-03,6.165067e-03,6.352143e-03,6.456096e-03,6.728498e-03,6.739690e-03,7.015177e-03,7.090780e-03,7.281988e-03,7.437712e-03,7.539657e-03,7.768314e-03,7.787808e-03,8.026154e-03,8.081874e-03,8.254487e-03,8.377925e-03,8.472669e-03,8.656216e-03,8.680630e-03,8.878358e-03,8.916678e-03,9.065892e-03,9.159408e-03,9.243318e-03,9.384635e-03,9.410761e-03,9.568382e-03,9.592703e-03,9.716371e-03,9.784046e-03,9.854942e-03,9.959177e-03,9.984332e-03,1.010479e-02,1.011866e-02,1.021659e-02,1.026311e-02,1.032001e-02,1.039317e-02,1.041532e-02,1.050283e-02,1.050950e-02,1.058282e-02,1.061277e-02,1.065558e-02,1.070367e-02,1.072142e-02,1.078062e-02,1.078285e-02,1.083347e-02,1.085100e-02,1.088026e-02,1.090875e-02,1.092126e-02,1.095675e-02,1.098700e-02,1.099561e-02,1.101226e-02,1.102593e-02,1.103280e-02,1.104829e-02,1.104885e-02,1.106064e-02,1.106322e-02,1.106843e-02,1.107126e-02,1.107241e-02,1.107290e-02,1.107281e-02,1.106983e-02,1.106863e-02,1.106367e-02,1.105890e-02,1.105452e-02,1.104413e-02,1.104255e-02,1.102795e-02,1.102473e-02,1.101088e-02,1.100108e-02,1.099150e-02,1.097354e-02,1.096995e-02,1.094640e-02,1.094245e-02,1.092096e-02,1.090813e-02,1.089378e-02,1.087087e-02,1.086498e-02,1.083468e-02,1.083095e-02,1.080299e-02,1.078864e-02,1.077003e-02,1.074418e-02,1.073588e-02,1.070066e-02,1.069780e-02,1.066445e-02,1.064970e-02,1.062733e-02,1.060010e-02,1.058940e-02,1.055073e-02,1.054917e-02,1.051139e-02,1.049708e-02,1.047146e-02,1.044400e-02,1.043100e-02,1.039007e-02,1.033543e-02,1.028020e-02,1.022451e-02,1.016846e-02,1.011215e-02,1.005568e-02,9.999120e-03,9.942560e-03,9.886068e-03,9.829710e-03,9.773546e-03,9.717630e-03,9.662013e-03,9.606741e-03,9.551853e-03,9.497389e-03,9.443381e-03,9.389859e-03,9.336852e-03,9.284382e-03,9.232472e-03,9.181141e-03,9.130404e-03,9.080278e-03
0.000000e+00,2.535900e-09,5.799265e-09,1.990503e-08,4.521442e-08,6.590549e-08,1.491493e-07,1.536209e-07,2.960502e-07,3.475601e-07,5.067626e-07,6.719834e-07,8.003157e-07,1.156541e-06,1.191802e-06,1.694428e-06,1.832549e-06,2.314998e-06,2.713381e-06,3.050775e-06,3.785487e-06,3.891486e-06,4.824163e-06,5.020610e-06,5.836290e-06,6.390225e-06,6.916654e-06,7.869443e-06,8.055101e-06,9.242117e-06,9.435932e-06,1.046854e-05,1.106859e-05,1.172543e-05,1.274698e-05,1.300403e-05,1.429587e-05,1.445139e-05,1.559284e-05,1.616314e-05,1.688728e-05,1.786498e-05,1.817211e-05,1.944086e-05,1.954149e-05,2.068774e-05,2.117921e-05,2.190769e-05,2.276692e-05,2.309637e-05,2.425009e-05,2.429547e-05,2.536584e-05,2.575774e-05,2.644125e-05,2.714854e-05,2.747451e-05,2.846434e-05,2.940991e-05,2.970307e-05,3.031083e-05,3.086394e-05,3.116704e-05,3.194716e-05,3.197878e-05,3.274657e-05,3.295377e-05,3.347112e-05,3.388546e-05,3.415332e-05,3.474442e-05,3.479420e-05,3.539488e-05,3.553320e-05,3.595659e-05,3.625460e-05,3.648061e-05,3.691162e-05,3.696826e-05,3.742088e-05,3.750732e-05,3.783983e-05,3.804482e-05,3.822646e-05,3.852725e-05,3.858213e-05,3.890816e-05,3.895766e-05,3.920587e-05,3.933908e-05,3.947653e-05,3.967444e-05,3.972141e-05,3.994171e-05,3.996655e-05,4.013863e-05,4.021815e-05,4.031330e-05,4.043185e-05,4.046683e-05,4.060029e-05,4.061013e-05,4.071471e-05,4.075538e-05,4.081109e-05,4.086984e-05,4.089037e-05,4.095348e-05,4.095568e-05,4.100128e-05,4.101491e-05,4.103463e-05,4.104946e-05,4.105433e-05,4.106115e-05,4.105583e-05,4.105167e-05,4.103907e-05,4.102266e-05,4.101156e-05,4.097563e-05,4.097394e-05,4.092682e-05,4.091200e-05,4.087079e-05,4.083313e-05,4.080641e-05,4.074027e-05,4.073422e-05,4.065472e-05,4.063461e-05,4.056840e-05,4.051726e-05,4.047572e-05,4.038926e-05,4.037713e-05,4.027303e-05,4.025159e-05,4.016383e-05,4.010516e-05,4.004991e-05,3.995082e-05,3.993162e-05,3.980930e-05,3.978938e-05,3.968329e-05,3.962158e-05,3.955388e-05,3.944811e-05,3.942137e-05,3.928605e-05,3.926963e-05,3.914816e-05,3.908674e-05,3.900796e-05,3.890000e-05,3.886568e-05,3.872155e-05,3.870995e-05,3.857579e-05,3.851707e-05,3.842858e-05,3.832180e-05,3.828012e-05,3.813059e-05,3.812459e-05,3.798015e-05,3.792580e-05,3.782897e-05,3.772582e-05,3.767720e-05,3.752497e-05,3.732357e-05,3.712189e-05,3.692021e-05,3.671877e-05,3.651780e-05,3.631749e-05,3.611805e-05,3.591964e-05,3.572242e-05,3.552654e-05,3.533212e-05,3.513929e-05,3.494816e-05,3.475882e-05,3.457135e-05,3.438585e-05,3.420237e-05,3.402098e-05,3.384174e-05,3.366468e-05,3.348986e-05,3.331730e-05,3.314703e-05,3.297909e-05
0.000000e+00,6.379585e-09,1.899435e-08,9.612889e-08,2.813009e-07,4.597698e-07,1.326776e-06,1.378409e-06,3.207453e-06,3.938865e-06,6.371539e-06,9.113316e-06,1.136400e-05,1.804565e-05,1.873657e-05,2.905520e-05,3.202746e-05,4.280810e-05,5.213456e-05,6.030585e-05,7.888154e-05,8.164322e-05,1.067315e-04,1.121820e-04,1.353561e-04,1.515436e-04,1.672252e-04,1.962582e-04,2.020037e-04,2.393334e-04,2.455184e-04,2.788476e-04,2.984828e-04,3.201808e-04,3.543167e-04,3.629760e-04,4.068909e-04,4.122203e-04,4.516025e-04,4.714498e-04,4.968109e-04,5.313314e-04,5.422412e-04,5.876453e-04,5.912696e-04,6.328019e-04,6.507509e-04,6.775168e-04,7.093423e-04,7.216212e-04,7.649707e-04,7.666872e-04,8.074434e-04,8.224989e-04,8.489383e-04,8.765535e-04,8.893730e-04,9.286821e-04,9.668149e-04,9.787625e-04,1.003734e-03,1.026713e-03,1.039413e-03,1.072483e-03,1.073836e-03,1.106995e-03,1.116052e-03,1.138888e-03,1.157419e-03,1.169522e-03,1.196601e-03,1.198906e-03,1.227055e-03,1.233629e-03,1.253987e-03,1.268545e-03,1.279723e-03,1.301399e-03,1.304286e-03,1.327701e-03,1.332249e-03,1.349995e-03,1.361154e-03,1.371195e-03,1.388179e-03,1.391331e-03,1.410430e-03,1.413392e-03,1.428523e-03,1.436859e-03,1.445639e-03,1.458648e-03,1.461808e-03,1.477059e-03,1.478829e-03,1.491422e-03,1.497468e-03,1.504926e-03,1.514632e-03,1.517600e-03,1.529471e-03,1.530387e-03,1.540569e-03,1.544798e-03,1.550921e-03,1.557927e-03,1.560553e-03,1.569491e-03,1.569835e-03,1.577763e-03,1.580582e-03,1.585391e-03,1.590225e-03,1.592403e-03,1.598820e-03,1.604666e-03,1.606421e-03,1.609965e-03,1.613079e-03,1.614738e-03,1.618845e-03,1.619007e-03,1.622792e-03,1.623768e-03,1.626113e-03,1.627892e-03,1.628991e-03,1.631264e-03,1.631445e-03,1.633492e-03,1.633924e-03,1.635150e-03,1.635916e-03,1.636437e-03,1.637276e-03,1.637370e-03,1.637964e-03,1.638044e-03,1.638236e-03,1.638255e-03,1.638200e-03,1.637943e-03,1.637871e-03,1.637264e-03,1.637141e-03,1.636391e-03,1.635881e-03,1.635265e-03,1.634192e-03,1.633901e-03,1.632309e-03,1.632103e-03,1.630501e-03,1.629641e-03,1.628490e-03,1.626831e-03,1.626285e-03,1.623898e-03,1.623699e-03,1.621338e-03,1.620268e-03,1.618615e-03,1.616559e-03,1.615739e-03,1.612718e-03,1.612595e-03,1.609562e-03,1.608394e-03,1.606279e-03,1.603977e-03,1.602876e-03,1.599362e-03,1.594564e-03,1.589601e-03,1.584489e-03,1.579240e-03,1.573870e-03,1.568392e-03,1.562816e-03,1.557156e-03,1.551422e-03,1.545625e-03,1.539773e-03,1.533877e-03,1.527945e-03,1.521984e-03,1.516003e-03,1.510008e-03,1.504007e-03,1.498005e-03,1.492008e-03,1.486022e-03,1.480052e-03,1.474103e-03,1.468178e-03,1.462283e-03
0.000000e+00,7.825210e-09,1.817780e-08,6.395779e-08,1.489311e-07,2.207494e-07,5.293758e-07,5.468111e-07,1.144602e-06,1.379623e-06,2.159051e-06,3.032217e-06,3.737929e-06,5.731176e-06,5.927272e-06,8.640274e-06,9.355148e-06,1.175389e-05,1.363662e-05,1.517607e-05,1.839659e-05,1.884930e-05,2.273725e-05,2.353822e-05,2.681400e-05,2.900123e-05,3.105774e-05,3.473616e-05,3.544743e-05,3.996128e-05,4.069350e-05,4.457640e-05,4.682065e-05,4.926888e-05,5.306206e-05,5.401414e-05,5.878750e-05,5.936103e-05,6.356472e-05,6.566187e-05,6.832251e-05,7.191191e-05,7.303899e-05,7.769398e-05,7.806317e-05,8.226930e-05,8.407344e-05,8.674884e-05,8.990689e-05,9.111865e-05,9.536693e-05,9.553418e-05,9.948392e-05,1.009323e-04,1.034618e-04,1.060842e-04,1.072946e-04,1.109779e-04,1.145089e-04,1.156063e-04,1.178858e-04,1.199659e-04,1.211082e-04,1.240568e-04,1.241766e-04,1.270922e-04,1.278815e-04,1.298570e-04,1.314446e-04,1.324736e-04,1.347525e-04,1.349449e-04,1.372744e-04,1.378127e-04,1.394656e-04,1.406338e-04,1.415225e-04,1.432246e-04,1.434491e-04,1.452495e-04,1.455948e-04,1.469279e-04,1.477539e-04,1.484886e-04,1.497117e-04,1.499358e-04,1.512737e-04,1.514779e-04,1.525065e-04,1.530621e-04,1.536382e-04,1.544736e-04,1.546730e-04,1.556148e-04,1.557217e-04,1.564674e-04,1.568153e-04,1.572346e-04,1.577628e-04,1.579201e-04,1.585274e-04,1.585727e-04,1.590600e-04,1.592529e-04,1.595212e-04,1.598110e-04,1.599143e-04,1.602425e-04,1.602543e-04,1.605087e-04,1.605899e-04,1.607158e-04,1.608244e-04,1.608668e-04,1.609642e-04,1.610108e-04,1.610154e-04,1.610091e-04,1.609838e-04,1.609615e-04,1.608747e-04,1.608703e-04,1.607378e-04,1.606936e-04,1.605661e-04,1.604452e-04,1.603574e-04,1.601343e-04,1.601135e-04,1.598365e-04,1.597653e-04,1.595282e-04,1.593425e-04,1.591903e-04,1.588699e-04,1.588246e-04,1.584325e-04,1.583511e-04,1.580158e-04,1.577898e-04,1.575758e-04,1.571894e-04,1.571141e-04,1.566319e-04,1.565530e-04,1.561306e-04,1.558836e-04,1.556114e-04,1.551840e-04,1.550756e-04,1.545242e-04,1.544570e-04,1.539583e-04,1.537050e-04,1.533791e-04,1.529305e-04,1.527874e-04,1.521843e-04,1.521356e-04,1.515706e-04,1.513224e-04,1.509473e-04,1.504929e-04,1.503150e-04,1.496748e-04,1.496490e-04,1.490272e-04,1.487924e-04,1.483730e-04,1.479247e-04,1.477129e-04,1.470475e-04,1.461622e-04,1.452701e-04,1.443725e-04,1.434706e-04,1.425655e-04,1.416581e-04,1.407496e-04,1.398406e-04,1.389322e-04,1.380250e-04,1.371197e-04,1.362171e-04,1.353177e-04,1.344221e-04,1.335309e-04,1.326445e-04,1.317633e-04,1.308878e-04,1.300184e-04,1.291554e-04,1.282990e-04,1.274497e-04,1.266076e-04,1.257730e-04
0.000000e+00,6.888504e-10,2.022875e-09,9.957944e-09,2.845425e-08,4.593785e-08,1.288336e-07,1.337074e-07,3.043004e-07,3.718827e-07,5.955618e-07,8.464460e-07,1.051430e-06,1.652055e-06,1.713302e-06,2.605077e-06,2.853819e-06,3.727635e-06,4.451895e-06,5.066116e-06,6.405388e-06,6.598784e-06,8.302036e-06,8.661075e-06,1.015230e-05,1.116483e-05,1.212642e-05,1.386372e-05,1.420162e-05,1.635544e-05,1.670586e-05,1.856583e-05,1.964059e-05,2.081137e-05,2.261931e-05,2.307158e-05,2.532731e-05,2.559684e-05,2.756096e-05,2.853265e-05,2.975680e-05,3.139181e-05,3.190107e-05,3.398210e-05,3.414555e-05,3.599028e-05,3.677137e-05,3.791796e-05,3.925274e-05,3.975938e-05,4.151045e-05,4.157858e-05,4.316860e-05,4.374251e-05,4.473256e-05,4.574215e-05,4.620220e-05,4.757832e-05,4.886248e-05,4.925433e-05,5.005686e-05,5.077537e-05,5.116413e-05,5.214795e-05,5.218730e-05,5.312965e-05,5.337949e-05,5.399462e-05,5.447794e-05,5.478577e-05,5.545152e-05,5.550670e-05,5.616099e-05,5.630850e-05,5.675219e-05,5.705701e-05,5.728379e-05,5.770499e-05,5.775917e-05,5.818162e-05,5.826003e-05,5.855428e-05,5.872940e-05,5.888020e-05,5.911997e-05,5.916227e-05,5.940327e-05,5.943820e-05,5.960585e-05,5.969017e-05,5.977250e-05,5.988155e-05,5.990560e-05,6.000741e-05,6.001763e-05,6.008006e-05,6.010331e-05,6.012556e-05,6.014315e-05,6.014581e-05,6.014260e-05,6.014138e-05,6.011763e-05,6.010191e-05,6.007249e-05,6.002834e-05,6.000867e-05,5.992759e-05,5.992401e-05,5.983057e-05,5.979198e-05,5.971885e-05,5.963509e-05,5.959362e-05,5.945595e-05,5.930690e-05,5.925695e-05,5.914741e-05,5.904029e-05,5.897841e-05,5.880800e-05,5.880074e-05,5.861520e-05,5.856194e-05,5.842254e-05,5.830382e-05,5.822345e-05,5.803518e-05,5.801860e-05,5.780859e-05,5.775748e-05,5.759399e-05,5.747202e-05,5.737535e-05,5.717999e-05,5.715316e-05,5.692789e-05,5.688250e-05,5.669998e-05,5.658055e-05,5.646983e-05,5.627505e-05,5.623782e-05,5.600431e-05,5.596683e-05,5.576963e-05,5.565665e-05,5.553408e-05,5.534521e-05,5.529795e-05,5.506151e-05,5.503312e-05,5.482499e-05,5.472096e-05,5.458864e-05,5.440925e-05,5.435266e-05,5.411724e-05,5.409844e-05,5.388258e-05,5.378896e-05,5.364883e-05,5.348119e-05,5.341616e-05,5.318469e-05,5.317546e-05,5.295458e-05,5.287209e-05,5.272594e-05,5.257135e-05,5.249887e-05,5.227348e-05,5.197869e-05,5.168719e-05,5.139912e-05,5.111465e-05,5.083390e-05,5.055698e-05,5.028398e-05,5.001497e-05,4.975003e-05,4.948921e-05,4.923254e-05,4.898007e-05,4.873179e-05,4.848774e-05,4.824792e-05,4.801232e-05,4.778093e-05,4.755373e-05,4.733072e-05,4.711186e-05,4.689712e-05,4.668647e-05,4.647988e-05,4.627730e-05
0.000000e+00,4.627605e-09,1.065092e-08,3.702913e-08,8.550261e-08,1.261571e-07,2.986258e-07,3.082823e-07,6.355539e-07,7.627879e-07,1.182352e-06,1.653025e-06,2.037163e-06,3.149281e-06,3.260916e-06,4.837639e-06,5.260545e-06,6.691362e-06,7.819926e-06,8.742540e-06,1.066476e-05,1.093372e-05,1.322762e-05,1.369641e-05,1.559949e-05,1.685750e-05,1.803118e-05,2.010904e-05,2.050773e-05,2.301550e-05,2.341876e-05,2.554137e-05,2.675643e-05,2.807246e-05,3.009257e-05,3.059611e-05,3.310006e-05,3.339866e-05,3.557280e-05,3.664817e-05,3.800376e-05,3.981739e-05,4.038332e-05,4.270304e-05,4.288580e-05,4.495566e-05,4.583653e-05,4.713515e-05,4.865633e-05,4.923666e-05,5.125658e-05,5.133564e-05,5.319210e-05,5.386783e-05,5.504138e-05,5.624918e-05,5.680357e-05,5.847844e-05,6.006647e-05,6.055645e-05,6.156866e-05,6.248565e-05,6.298642e-05,6.426967e-05,6.432151e-05,6.557598e-05,6.591309e-05,6.675213e-05,6.742124e-05,6.785240e-05,6.879985e-05,6.887937e-05,6.983568e-05,7.005498e-05,7.072401e-05,7.119280e-05,7.154707e-05,7.221951e-05,7.230755e-05,7.300811e-05,7.314126e-05,7.365136e-05,7.396407e-05,7.423989e-05,7.469379e-05,7.477619e-05,7.526271e-05,7.533610e-05,7.570181e-05,7.589641e-05,7.609578e-05,7.637993e-05,7.644681e-05,7.675704e-05,7.679163e-05,7.702852e-05,7.713620e-05,7.726320e-05,7.741813e-05,7.746299e-05,7.762968e-05,7.764164e-05,7.776501e-05,7.781074e-05,7.787064e-05,7.792920e-05,7.794816e-05,7.799909e-05,7.800059e-05,7.802487e-05,7.802827e-05,7.802689e-05,7.801538e-05,7.800648e-05,7.796489e-05,7.790334e-05,7.787961e-05,7.782296e-05,7.776214e-05,7.772485e-05,7.761496e-05,7.761006e-05,7.747957e-05,7.744035e-05,7.733434e-05,7.724050e-05,7.717526e-05,7.701742e-05,7.700320e-05,7.681896e-05,7.677302e-05,7.662333e-05,7.650908e-05,7.641705e-05,7.622726e-05,7.620081e-05,7.597529e-05,7.592912e-05,7.574111e-05,7.561613e-05,7.549890e-05,7.528964e-05,7.524921e-05,7.499260e-05,7.495094e-05,7.472959e-05,7.460121e-05,7.446066e-05,7.424157e-05,7.418628e-05,7.390690e-05,7.387305e-05,7.362293e-05,7.349664e-05,7.333479e-05,7.311323e-05,7.304284e-05,7.274745e-05,7.272368e-05,7.244895e-05,7.232876e-05,7.214768e-05,7.192922e-05,7.184394e-05,7.153801e-05,7.152573e-05,7.123018e-05,7.111894e-05,7.092070e-05,7.070945e-05,7.060983e-05,7.029779e-05,6.988448e-05,6.947001e-05,6.905480e-05,6.863928e-05,6.822382e-05,6.780878e-05,6.739448e-05,6.698123e-05,6.656929e-05,6.615894e-05,6.575040e-05,6.534389e-05,6.493962e-05,6.453777e-05,6.413849e-05,6.374196e-05,6.334831e-05,6.295766e-05,6.257013e-05,6.218582e-05,6.180483e-05,6.142725e-05,6.105314e-05,6.068257e-05
0.000000e+00,1.311111e-09,3.624603e-09,1.593441e-08,4.156792e-08,6.409343e-08,1.612837e-07,1.666923e-07,3.444676e-07,4.105904e-07,6.186675e-07,8.385004e-07,1.010854e-06,1.491705e-06,1.539258e-06,2.211091e-06,2.393079e-06,3.018671e-06,3.524086e-06,3.945242e-06,4.844478e-06,4.972489e-06,6.083528e-06,6.314413e-06,7.262912e-06,7.898339e-06,8.496068e-06,9.563234e-06,9.769023e-06,1.106843e-05,1.127794e-05,1.238175e-05,1.301366e-05,1.369748e-05,1.474487e-05,1.500537e-05,1.629644e-05,1.644986e-05,1.756312e-05,1.811107e-05,1.879915e-05,1.971491e-05,1.999952e-05,2.116037e-05,2.125144e-05,2.227884e-05,2.271390e-05,2.335295e-05,2.409811e-05,2.438144e-05,2.536369e-05,2.540202e-05,2.629958e-05,2.662519e-05,2.718938e-05,2.776842e-05,2.803370e-05,2.883340e-05,2.958952e-05,2.982246e-05,3.030325e-05,3.073838e-05,3.097588e-05,3.158420e-05,3.160878e-05,3.220334e-05,3.236314e-05,3.276100e-05,3.307848e-05,3.328319e-05,3.373351e-05,3.377134e-05,3.422686e-05,3.433149e-05,3.465115e-05,3.487561e-05,3.504556e-05,3.536898e-05,3.541142e-05,3.575004e-05,3.581460e-05,3.606265e-05,3.621535e-05,3.635049e-05,3.657398e-05,3.661472e-05,3.685648e-05,3.689315e-05,3.707685e-05,3.717534e-05,3.727688e-05,3.742294e-05,3.745758e-05,3.761992e-05,3.763821e-05,3.776483e-05,3.782330e-05,3.789320e-05,3.798023e-05,3.800589e-05,3.810371e-05,3.811091e-05,3.818743e-05,3.821715e-05,3.825782e-05,3.830065e-05,3.831559e-05,3.836142e-05,3.836302e-05,3.839596e-05,3.840576e-05,3.841985e-05,3.843030e-05,3.843366e-05,3.843798e-05,3.843333e-05,3.843004e-05,3.842025e-05,3.840768e-05,3.839922e-05,3.837200e-05,3.837072e-05,3.833518e-05,3.832403e-05,3.829304e-05,3.826476e-05,3.824470e-05,3.819509e-05,3.819055e-05,3.813096e-05,3.811588e-05,3.806627e-05,3.802794e-05,3.799682e-05,3.793201e-05,3.792292e-05,3.784488e-05,3.782880e-05,3.776299e-05,3.771897e-05,3.767750e-05,3.760312e-05,3.758870e-05,3.749681e-05,3.748184e-05,3.740207e-05,3.735565e-05,3.730471e-05,3.722507e-05,3.720493e-05,3.710294e-05,3.709056e-05,3.699892e-05,3.695255e-05,3.689305e-05,3.681146e-05,3.678551e-05,3.667645e-05,3.666766e-05,3.656603e-05,3.652152e-05,3.645440e-05,3.637335e-05,3.634169e-05,3.622803e-05,3.622346e-05,3.611354e-05,3.607215e-05,3.599835e-05,3.591967e-05,3.588256e-05,3.576628e-05,3.561220e-05,3.545764e-05,3.530281e-05,3.514787e-05,3.499301e-05,3.483838e-05,3.468413e-05,3.453037e-05,3.437725e-05,3.422487e-05,3.407333e-05,3.392273e-05,3.377315e-05,3.362468e-05,3.347739e-05,3.333134e-05,3.318659e-05,3.304319e-05,3.290120e-05,3.276066e-05,3.262160e-05,3.248406e-05,3.234808e-05,3.221366e-05
0.000000e+00,1.475612e-07,4.412555e-07,2.252728e-06,6.641699e-06,1.089753e-05,3.173052e-05,3.297618e-05,7.727213e-05,9.503946e-05,1.542256e-04,2.210036e-04,2.758397e-04,4.387042e-04,4.555553e-04,7.076799e-04,7.805281e-04,1.045933e-03,1.277317e-03,1.481590e-03,1.951855e-03,2.022501e-03,2.673274e-03,2.816827e-03,3.435898e-03,3.876707e-03,4.310282e-03,5.129853e-03,5.294615e-03,6.385583e-03,6.569739e-03,7.578517e-03,8.185656e-03,8.867520e-03,9.963224e-03,1.024560e-02,1.170479e-02,1.188493e-02,1.323634e-02,1.393075e-02,1.483087e-02,1.607879e-02,1.647854e-02,1.816925e-02,1.830606e-02,1.989281e-02,2.058916e-02,2.163909e-02,2.290492e-02,2.339821e-02,2.516064e-02,2.523108e-02,2.691734e-02,2.754669e-02,2.865982e-02,2.983255e-02,3.038024e-02,3.207143e-02,3.372697e-02,3.424825e-02,3.534112e-02,3.635014e-02,3.690893e-02,3.836643e-02,3.842610e-02,3.988904e-02,4.028853e-02,4.129481e-02,4.210984e-02,4.264109e-02,4.382561e-02,4.392613e-02,4.514870e-02,4.543273e-02,4.630808e-02,4.692960e-02,4.740397e-02,4.831589e-02,4.843645e-02,4.940596e-02,4.959237e-02,5.031325e-02,5.076078e-02,5.115933e-02,5.182362e-02,5.194541e-02,5.267293e-02,5.278400e-02,5.334345e-02,5.364555e-02,5.395868e-02,5.441227e-02,5.452043e-02,5.503059e-02,5.508843e-02,5.549111e-02,5.567851e-02,5.590396e-02,5.618708e-02,5.627115e-02,5.659469e-02,5.661874e-02,5.687658e-02,5.697811e-02,5.711880e-02,5.726975e-02,5.732333e-02,5.749210e-02,5.749813e-02,5.762698e-02,5.766760e-02,5.772982e-02,5.778238e-02,5.780242e-02,5.784652e-02,5.786379e-02,5.786392e-02,5.785586e-02,5.783828e-02,5.782429e-02,5.777315e-02,5.777060e-02,5.769622e-02,5.767187e-02,5.760253e-02,5.753761e-02,5.749087e-02,5.737335e-02,5.736249e-02,5.721861e-02,5.718190e-02,5.706038e-02,5.696590e-02,5.688888e-02,5.672781e-02,5.670516e-02,5.651020e-02,5.646994e-02,5.630495e-02,5.619444e-02,5.609028e-02,5.590331e-02,5.586705e-02,5.563604e-02,5.559841e-02,5.539801e-02,5.528147e-02,5.515366e-02,5.495408e-02,5.490366e-02,5.464864e-02,5.461772e-02,5.438919e-02,5.427377e-02,5.412587e-02,5.392348e-02,5.385920e-02,5.358967e-02,5.356800e-02,5.331775e-02,5.320841e-02,5.304386e-02,5.284568e-02,5.276842e-02,5.249178e-02,5.248070e-02,5.221432e-02,5.211430e-02,5.193636e-02,5.174721e-02,5.165820e-02,5.138013e-02,5.101367e-02,5.064838e-02,5.028478e-02,4.992332e-02,4.956441e-02,4.920842e-02,4.885568e-02,4.850648e-02,4.816109e-02,4.781972e-02,4.748257e-02,4.714983e-02,4.682164e-02,4.649812e-02,4.617939e-02,4.586552e-02,4.555660e-02,4.525267e-02,4.495378e-02,4.465996e-02,4.437121e-02,4.408755e-02,4.380897e-02,4.353546e-02
0.000000e+00,1.549378e-09,3.997720e-09,1.577646e-08,3.837546e-08,5.740212e-08,1.360946e-07,1.403840e-07,2.790953e-07,3.300636e-07,4.897293e-07,6.583604e-07,7.910986e-07,1.165970e-06,1.203492e-06,1.743366e-06,1.892661e-06,2.413921e-06,2.841384e-06,3.199659e-06,3.964424e-06,4.072838e-06,5.004876e-06,5.196188e-06,5.972499e-06,6.483749e-06,6.958289e-06,7.790764e-06,7.949212e-06,8.935127e-06,9.091838e-06,9.907803e-06,1.036792e-05,1.086036e-05,1.160398e-05,1.178698e-05,1.268281e-05,1.278804e-05,1.354384e-05,1.391084e-05,1.436694e-05,1.496565e-05,1.514975e-05,1.589068e-05,1.594811e-05,1.658880e-05,1.685598e-05,1.724383e-05,1.768885e-05,1.785595e-05,1.842582e-05,1.844775e-05,1.895446e-05,1.913492e-05,1.944316e-05,1.975341e-05,1.989340e-05,2.030688e-05,2.068534e-05,2.079936e-05,2.103063e-05,2.123505e-05,2.134458e-05,2.161820e-05,2.162903e-05,2.188580e-05,2.195298e-05,2.211665e-05,2.224343e-05,2.232328e-05,2.249339e-05,2.250731e-05,2.267031e-05,2.270647e-05,2.281375e-05,2.288606e-05,2.293903e-05,2.303529e-05,2.304745e-05,2.314022e-05,2.315700e-05,2.321849e-05,2.325382e-05,2.328333e-05,2.332815e-05,2.333574e-05,2.337665e-05,2.338218e-05,2.340691e-05,2.341790e-05,2.342734e-05,2.343711e-05,2.343869e-05,2.344163e-05,2.344146e-05,2.343683e-05,2.343242e-05,2.342488e-05,2.341136e-05,2.340633e-05,2.338170e-05,2.337949e-05,2.335147e-05,2.333791e-05,2.331608e-05,2.328764e-05,2.327595e-05,2.323145e-05,2.322959e-05,2.318295e-05,2.316457e-05,2.313077e-05,2.309334e-05,2.307522e-05,2.301658e-05,2.295513e-05,2.293491e-05,2.289110e-05,2.284888e-05,2.282473e-05,2.275901e-05,2.275623e-05,2.268580e-05,2.266576e-05,2.261362e-05,2.256955e-05,2.253987e-05,2.247077e-05,2.246471e-05,2.238828e-05,2.236977e-05,2.231073e-05,2.226686e-05,2.223218e-05,2.216234e-05,2.215276e-05,2.207258e-05,2.205646e-05,2.199174e-05,2.194948e-05,2.191035e-05,2.184161e-05,2.182849e-05,2.174625e-05,2.173306e-05,2.166371e-05,2.162401e-05,2.158094e-05,2.151461e-05,2.149802e-05,2.141501e-05,2.140504e-05,2.133196e-05,2.129543e-05,2.124894e-05,2.118590e-05,2.116600e-05,2.108318e-05,2.107657e-05,2.100054e-05,2.096754e-05,2.091811e-05,2.085892e-05,2.083594e-05,2.075405e-05,2.075078e-05,2.067249e-05,2.064322e-05,2.059129e-05,2.053629e-05,2.051048e-05,2.043008e-05,2.032463e-05,2.021999e-05,2.011623e-05,2.001338e-05,1.991147e-05,1.981055e-05,1.971065e-05,1.961179e-05,1.951400e-05,1.941730e-05,1.932170e-05,1.922723e-05,1.913389e-05,1.904170e-05,1.895066e-05,1.886079e-05,1.877209e-05,1.868457e-05,1.859821e-05,1.851304e-05,1.842904e-05,1.834622e-05,1.826457e-05,1.818408e-05
0.000000e+00,9.820298e-10,2.783070e-09,1.279007e-08,3.455608e-08,5.426078e-08,1.431432e-07,1.482382e-07,3.226002e-07,3.904402e-07,6.125919e-07,8.589543e-07,1.058444e-06,1.632677e-06,1.690240e-06,2.503243e-06,2.720940e-06,3.453026e-06,4.022282e-06,4.480134e-06,5.407413e-06,5.534010e-06,6.580236e-06,6.786535e-06,7.597792e-06,8.111226e-06,8.574209e-06,9.356942e-06,9.501863e-06,1.037581e-05,1.051042e-05,1.119272e-05,1.156389e-05,1.195041e-05,1.251314e-05,1.264776e-05,1.328458e-05,1.335696e-05,1.386160e-05,1.409691e-05,1.438037e-05,1.473710e-05,1.484323e-05,1.525303e-05,1.528362e-05,1.561304e-05,1.574389e-05,1.592678e-05,1.612607e-05,1.619789e-05,1.643004e-05,1.643856e-05,1.662682e-05,1.668966e-05,1.679161e-05,1.688703e-05,1.692760e-05,1.703780e-05,1.712494e-05,1.714837e-05,1.719154e-05,1.722445e-05,1.723987e-05,1.727096e-05,1.727196e-05,1.728964e-05,1.729223e-05,1.729454e-05,1.729196e-05,1.728812e-05,1.727331e-05,1.727165e-05,1.724628e-05,1.723898e-05,1.721301e-05,1.719126e-05,1.717272e-05,1.713209e-05,1.712620e-05,1.707417e-05,1.706315e-05,1.701723e-05,1.698587e-05,1.695593e-05,1.690145e-05,1.689078e-05,1.682220e-05,1.681094e-05,1.675060e-05,1.671526e-05,1.667632e-05,1.661518e-05,1.659967e-05,1.652095e-05,1.651138e-05,1.644041e-05,1.640445e-05,1.635828e-05,1.629492e-05,1.627476e-05,1.619007e-05,1.618324e-05,1.610435e-05,1.606982e-05,1.601778e-05,1.595501e-05,1.593050e-05,1.584265e-05,1.583912e-05,1.575433e-05,1.572244e-05,1.566567e-05,1.560523e-05,1.557675e-05,1.548769e-05,1.539856e-05,1.537004e-05,1.530944e-05,1.525244e-05,1.522040e-05,1.513507e-05,1.513152e-05,1.504284e-05,1.501806e-05,1.495444e-05,1.490154e-05,1.486635e-05,1.478563e-05,1.477863e-05,1.469132e-05,1.467043e-05,1.460446e-05,1.455604e-05,1.451810e-05,1.444252e-05,1.443225e-05,1.434695e-05,1.432996e-05,1.426224e-05,1.421843e-05,1.417814e-05,1.410797e-05,1.409466e-05,1.401184e-05,1.399865e-05,1.392968e-05,1.389049e-05,1.384822e-05,1.378356e-05,1.376746e-05,1.368742e-05,1.367786e-05,1.360811e-05,1.357345e-05,1.352954e-05,1.347033e-05,1.345173e-05,1.337467e-05,1.336854e-05,1.329838e-05,1.326808e-05,1.322287e-05,1.316898e-05,1.314813e-05,1.307418e-05,1.307124e-05,1.300102e-05,1.297488e-05,1.292865e-05,1.287989e-05,1.285707e-05,1.278628e-05,1.269405e-05,1.260321e-05,1.251374e-05,1.242565e-05,1.233892e-05,1.225356e-05,1.216955e-05,1.208689e-05,1.200556e-05,1.192556e-05,1.184687e-05,1.176948e-05,1.169337e-05,1.161854e-05,1.154496e-05,1.147263e-05,1.140152e-05,1.133163e-05,1.126294e-05,1.119543e-05,1.112908e-05,1.106388e-05,1.099982e-05,1.093687e-05
0.000000e+00,2.719699e-09,6.433583e-09,2.298044e-08,5.350561e-08,7.898418e-08,1.852689e-07,1.911353e-07,3.855935e-07,4.593172e-07,6.972697e-07,9.579454e-07,1.167873e-06,1.770252e-06,1.830625e-06,2.686766e-06,2.917978e-06,3.705976e-06,4.333725e-06,4.850798e-06,5.938478e-06,6.091711e-06,7.408037e-06,7.678963e-06,8.784731e-06,9.520384e-06,1.020969e-05,1.143608e-05,1.167217e-05,1.316208e-05,1.340235e-05,1.466963e-05,1.539674e-05,1.618541e-05,1.739790e-05,1.770044e-05,1.920629e-05,1.938600e-05,2.069526e-05,2.134325e-05,2.216045e-05,2.325433e-05,2.359581e-05,2.499618e-05,2.510656e-05,2.635727e-05,2.688992e-05,2.767564e-05,2.859688e-05,2.894861e-05,3.017420e-05,3.022222e-05,3.135104e-05,3.176260e-05,3.247834e-05,3.321643e-05,3.355578e-05,3.458338e-05,3.556155e-05,3.586422e-05,3.649093e-05,3.706053e-05,3.737241e-05,3.817456e-05,3.820706e-05,3.899608e-05,3.920901e-05,3.974078e-05,4.016689e-05,4.044252e-05,4.105140e-05,4.110272e-05,4.172284e-05,4.186587e-05,4.230435e-05,4.261367e-05,4.284870e-05,4.329815e-05,4.335735e-05,4.383173e-05,4.392262e-05,4.427327e-05,4.449034e-05,4.468333e-05,4.500446e-05,4.506328e-05,4.541442e-05,4.546801e-05,4.573803e-05,4.588394e-05,4.603534e-05,4.625506e-05,4.630755e-05,4.655582e-05,4.658406e-05,4.678126e-05,4.687350e-05,4.698494e-05,4.712582e-05,4.716790e-05,4.733113e-05,4.734336e-05,4.747558e-05,4.752832e-05,4.760219e-05,4.768278e-05,4.771182e-05,4.780532e-05,4.780874e-05,4.788351e-05,4.790806e-05,4.794716e-05,4.798253e-05,4.799703e-05,4.803381e-05,4.805820e-05,4.806349e-05,4.807085e-05,4.807307e-05,4.807238e-05,4.806395e-05,4.806340e-05,4.804447e-05,4.803747e-05,4.801615e-05,4.799487e-05,4.797896e-05,4.793733e-05,4.793339e-05,4.787992e-05,4.786597e-05,4.781902e-05,4.778183e-05,4.775111e-05,4.768589e-05,4.767662e-05,4.759593e-05,4.757908e-05,4.750943e-05,4.746227e-05,4.741748e-05,4.733628e-05,4.732042e-05,4.721858e-05,4.720186e-05,4.711227e-05,4.705975e-05,4.700180e-05,4.691062e-05,4.688745e-05,4.676948e-05,4.675509e-05,4.664816e-05,4.659378e-05,4.652373e-05,4.642724e-05,4.639644e-05,4.626649e-05,4.625598e-05,4.613410e-05,4.608051e-05,4.599948e-05,4.590127e-05,4.586281e-05,4.572428e-05,4.571871e-05,4.558407e-05,4.553321e-05,4.544234e-05,4.534517e-05,4.529924e-05,4.515493e-05,4.496281e-05,4.476914e-05,4.457419e-05,4.437822e-05,4.418150e-05,4.398425e-05,4.378669e-05,4.358902e-05,4.339142e-05,4.319408e-05,4.299715e-05,4.280078e-05,4.260510e-05,4.241026e-05,4.221636e-05,4.202351e-05,4.183182e-05,4.164138e-05,4.145226e-05,4.126456e-05,4.107833e-05,4.089365e-05,4.071057e-05,4.052915e-05
0.000000e+00,5.940646e-09,1.397197e-08,4.955591e-08,1.148138e-07,1.690008e-07,3.926649e-07,4.049055e-07,8.051532e-07,9.543829e-07,1.428447e-06,1.937840e-06,2.343380e-06,3.500776e-06,3.617104e-06,5.288781e-06,5.748692e-06,7.342472e-06,8.636062e-06,9.712854e-06,1.199736e-05,1.232038e-05,1.509726e-05,1.566821e-05,1.799257e-05,1.953194e-05,2.096830e-05,2.350810e-05,2.399465e-05,2.704702e-05,2.753636e-05,3.010431e-05,3.156807e-05,3.314818e-05,3.556282e-05,3.616268e-05,3.913406e-05,3.948715e-05,4.205066e-05,4.331404e-05,4.490277e-05,4.702234e-05,4.768252e-05,5.038367e-05,5.059621e-05,5.300141e-05,5.402431e-05,5.553218e-05,5.729909e-05,5.797356e-05,6.032400e-05,6.041611e-05,6.258275e-05,6.337342e-05,6.474972e-05,6.617104e-05,6.682534e-05,6.881046e-05,7.070629e-05,7.129433e-05,7.251432e-05,7.362618e-05,7.423629e-05,7.581017e-05,7.587409e-05,7.742967e-05,7.785079e-05,7.890514e-05,7.975286e-05,8.030264e-05,8.152138e-05,8.162438e-05,8.287258e-05,8.316146e-05,8.404947e-05,8.467821e-05,8.515727e-05,8.607674e-05,8.619820e-05,8.717445e-05,8.736214e-05,8.808823e-05,8.853942e-05,8.894169e-05,8.961352e-05,8.973693e-05,9.047604e-05,9.058923e-05,9.116107e-05,9.147126e-05,9.179400e-05,9.226417e-05,9.237681e-05,9.291139e-05,9.297238e-05,9.339960e-05,9.360020e-05,9.384327e-05,9.415175e-05,9.424416e-05,9.460399e-05,9.463105e-05,9.492443e-05,9.504194e-05,9.520711e-05,9.538814e-05,9.545360e-05,9.566544e-05,9.567322e-05,9.584411e-05,9.590059e-05,9.599104e-05,9.607354e-05,9.610763e-05,9.619523e-05,9.625514e-05,9.626867e-05,9.628862e-05,9.629674e-05,9.629689e-05,9.628221e-05,9.628114e-05,9.624249e-05,9.622772e-05,9.618205e-05,9.613577e-05,9.610088e-05,9.600878e-05,9.600001e-05,9.588041e-05,9.584903e-05,9.574304e-05,9.565870e-05,9.558882e-05,9.543987e-05,9.541863e-05,9.523333e-05,9.519452e-05,9.503372e-05,9.492454e-05,9.482061e-05,9.463170e-05,9.459474e-05,9.435685e-05,9.431772e-05,9.410764e-05,9.398420e-05,9.384778e-05,9.363267e-05,9.357793e-05,9.329870e-05,9.326459e-05,9.301069e-05,9.288133e-05,9.271448e-05,9.248421e-05,9.241061e-05,9.209961e-05,9.207444e-05,9.178200e-05,9.165321e-05,9.145825e-05,9.122161e-05,9.112883e-05,9.079419e-05,9.078070e-05,9.045475e-05,9.033146e-05,9.011093e-05,8.987482e-05,8.976310e-05,8.941166e-05,8.894281e-05,8.846905e-05,8.799111e-05,8.750969e-05,8.702544e-05,8.653897e-05,8.605085e-05,8.556161e-05,8.507177e-05,8.458180e-05,8.409212e-05,8.360317e-05,8.311531e-05,8.262891e-05,8.214430e-05,8.166179e-05,8.118167e-05,8.070419e-05,8.022962e-05,7.975817e-05,7.929006e-05,7.882547e-05,7.836458e-05,7.790755e-05
0.000000e+00,6.682438e-10,1.952291e-09,9.508919e-09,2.691683e-08,4.324142e-08,1.198710e-07,1.243525e-07,2.804166e-07,3.419571e-07,5.446262e-07,7.694162e-07,9.504115e-07,1.464951e-06,1.516125e-06,2.238281e-06,2.433187e-06,3.100589e-06,3.637316e-06,4.083230e-06,5.031988e-06,5.166712e-06,6.332599e-06,6.574100e-06,7.563213e-06,8.222964e-06,8.841264e-06,9.939000e-06,1.014970e-05,1.147181e-05,1.168353e-05,1.279153e-05,1.341968e-05,1.409382e-05,1.511386e-05,1.536502e-05,1.659318e-05,1.673717e-05,1.776829e-05,1.826639e-05,1.888234e-05,1.968444e-05,1.992937e-05,2.090534e-05,2.098026e-05,2.180798e-05,2.214830e-05,2.263660e-05,2.318768e-05,2.339183e-05,2.407540e-05,2.410128e-05,2.468988e-05,2.489479e-05,2.523850e-05,2.557580e-05,2.572492e-05,2.615308e-05,2.652705e-05,2.663594e-05,2.685093e-05,2.703379e-05,2.712875e-05,2.735575e-05,2.736442e-05,2.756165e-05,2.761047e-05,2.772395e-05,2.780594e-05,2.785461e-05,2.794948e-05,2.795666e-05,2.803290e-05,2.804765e-05,2.808590e-05,2.810632e-05,2.811801e-05,2.813067e-05,2.813135e-05,2.812784e-05,2.812528e-05,2.810924e-05,2.809414e-05,2.807713e-05,2.804074e-05,2.803291e-05,2.797788e-05,2.796815e-05,2.791318e-05,2.787901e-05,2.783986e-05,2.777562e-05,2.775885e-05,2.767099e-05,2.766002e-05,2.757704e-05,2.753395e-05,2.747769e-05,2.739895e-05,2.737355e-05,2.726519e-05,2.725636e-05,2.715312e-05,2.710735e-05,2.703778e-05,2.695295e-05,2.691960e-05,2.679895e-05,2.679407e-05,2.667617e-05,2.663151e-05,2.655158e-05,2.646597e-05,2.642546e-05,2.629807e-05,2.616965e-05,2.612837e-05,2.604041e-05,2.595735e-05,2.591054e-05,2.578545e-05,2.578023e-05,2.564964e-05,2.561304e-05,2.551892e-05,2.544048e-05,2.538821e-05,2.526807e-05,2.525764e-05,2.512731e-05,2.509609e-05,2.499735e-05,2.492476e-05,2.486784e-05,2.475432e-05,2.473888e-05,2.461054e-05,2.458495e-05,2.448289e-05,2.441682e-05,2.435602e-05,2.425008e-05,2.422997e-05,2.410480e-05,2.408486e-05,2.398057e-05,2.392128e-05,2.385732e-05,2.375945e-05,2.373508e-05,2.361391e-05,2.359945e-05,2.349384e-05,2.344136e-05,2.337489e-05,2.328525e-05,2.325709e-05,2.314046e-05,2.313118e-05,2.302503e-05,2.297920e-05,2.291082e-05,2.282935e-05,2.279784e-05,2.268611e-05,2.268167e-05,2.257564e-05,2.253617e-05,2.246643e-05,2.239290e-05,2.235850e-05,2.225185e-05,2.211305e-05,2.197649e-05,2.184219e-05,2.171014e-05,2.158034e-05,2.145278e-05,2.132745e-05,2.120434e-05,2.108343e-05,2.096471e-05,2.084816e-05,2.073376e-05,2.062148e-05,2.051131e-05,2.040322e-05,2.029719e-05,2.019318e-05,2.009118e-05,1.999115e-05,1.989307e-05,1.979690e-05,1.970263e-05,1.961022e-05,1.951964e-05
0.000000e+00,5.971762e-10,1.682828e-09,7.654089e-09,2.048234e-08,3.196749e-08,8.260465e-08,8.545609e-08,1.803018e-07,2.159789e-07,3.291973e-07,4.500801e-07,5.456981e-07,8.168277e-07,8.440374e-07,1.237552e-06,1.347287e-06,1.734885e-06,2.058929e-06,2.335321e-06,2.940422e-06,3.027854e-06,3.795708e-06,3.956776e-06,4.621751e-06,5.069261e-06,5.491163e-06,6.245987e-06,6.391733e-06,7.313296e-06,7.462096e-06,8.247153e-06,8.697504e-06,9.185708e-06,9.935419e-06,1.012228e-05,1.105104e-05,1.116172e-05,1.196694e-05,1.236473e-05,1.286569e-05,1.353508e-05,1.374376e-05,1.459828e-05,1.466555e-05,1.542700e-05,1.575086e-05,1.622821e-05,1.678736e-05,1.700071e-05,1.774369e-05,1.777279e-05,1.845671e-05,1.870602e-05,1.913959e-05,1.958678e-05,1.979244e-05,2.041551e-05,2.100924e-05,2.119313e-05,2.157418e-05,2.192093e-05,2.211098e-05,2.260048e-05,2.262034e-05,2.310303e-05,2.323351e-05,2.355985e-05,2.382187e-05,2.399164e-05,2.436747e-05,2.439921e-05,2.478341e-05,2.487224e-05,2.514509e-05,2.533810e-05,2.548508e-05,2.576697e-05,2.580419e-05,2.610325e-05,2.616072e-05,2.638304e-05,2.652117e-05,2.664434e-05,2.685009e-05,2.688790e-05,2.711447e-05,2.714919e-05,2.732475e-05,2.742011e-05,2.751945e-05,2.766444e-05,2.769923e-05,2.786474e-05,2.788368e-05,2.801662e-05,2.807928e-05,2.815547e-05,2.825264e-05,2.828187e-05,2.839639e-05,2.840506e-05,2.849959e-05,2.853781e-05,2.859197e-05,2.865208e-05,2.867405e-05,2.874631e-05,2.874900e-05,2.880921e-05,2.882966e-05,2.886322e-05,2.889507e-05,2.890874e-05,2.894621e-05,2.897602e-05,2.898401e-05,2.899855e-05,2.900932e-05,2.901417e-05,2.902298e-05,2.902322e-05,2.902605e-05,2.902577e-05,2.902297e-05,2.901842e-05,2.901430e-05,2.900163e-05,2.900033e-05,2.898134e-05,2.897607e-05,2.895761e-05,2.894235e-05,2.892940e-05,2.890107e-05,2.889696e-05,2.886052e-05,2.885277e-05,2.882031e-05,2.879799e-05,2.877656e-05,2.873721e-05,2.872946e-05,2.867922e-05,2.867091e-05,2.862604e-05,2.859951e-05,2.857008e-05,2.852344e-05,2.851153e-05,2.845055e-05,2.844308e-05,2.838730e-05,2.835879e-05,2.832193e-05,2.827093e-05,2.825459e-05,2.818542e-05,2.817981e-05,2.811454e-05,2.808574e-05,2.804208e-05,2.798901e-05,2.796817e-05,2.789291e-05,2.788988e-05,2.781643e-05,2.778861e-05,2.773881e-05,2.768543e-05,2.766016e-05,2.758057e-05,2.747424e-05,2.736662e-05,2.725791e-05,2.714827e-05,2.703787e-05,2.692685e-05,2.681536e-05,2.670352e-05,2.659147e-05,2.647930e-05,2.636713e-05,2.625507e-05,2.614319e-05,2.603159e-05,2.592034e-05,2.580952e-05,2.569920e-05,2.558944e-05,2.548030e-05,2.537183e-05,2.526408e-05,2.515710e-05,2.505093e-05,2.494560e-05
0.000000e+00,3.723009e-09,8.526027e-09,2.931475e-08,6.663371e-08,9.713007e-08,2.195571e-07,2.261191e-07,4.342731e-07,5.091301e-07,7.390780e-07,9.755561e-07,1.157835e-06,1.658376e-06,1.707558e-06,2.403897e-06,2.594262e-06,3.258476e-06,3.808040e-06,4.275288e-06,5.300195e-06,5.448942e-06,6.766812e-06,7.046314e-06,8.213024e-06,9.010345e-06,9.771288e-06,1.115535e-05,1.142595e-05,1.316209e-05,1.344646e-05,1.496535e-05,1.585067e-05,1.682187e-05,1.833643e-05,1.871827e-05,2.064169e-05,2.087373e-05,2.257996e-05,2.343453e-05,2.452166e-05,2.599316e-05,2.645630e-05,2.837430e-05,2.852676e-05,3.026713e-05,3.101549e-05,3.212728e-05,3.344267e-05,3.394825e-05,3.572455e-05,3.579461e-05,3.745160e-05,3.806055e-05,3.912570e-05,4.023231e-05,4.074391e-05,4.230405e-05,4.380456e-05,4.427195e-05,4.524443e-05,4.613386e-05,4.662314e-05,4.788910e-05,4.794062e-05,4.919714e-05,4.953811e-05,5.039326e-05,5.108228e-05,5.152981e-05,5.252373e-05,5.260784e-05,5.362855e-05,5.386514e-05,5.459328e-05,5.510961e-05,5.550348e-05,5.626058e-05,5.636070e-05,5.716651e-05,5.732165e-05,5.792256e-05,5.829659e-05,5.863051e-05,5.918923e-05,5.929202e-05,5.990879e-05,6.000343e-05,6.048248e-05,6.074303e-05,6.101474e-05,6.141182e-05,6.150720e-05,6.196149e-05,6.201351e-05,6.237917e-05,6.255175e-05,6.276178e-05,6.303006e-05,6.311085e-05,6.342784e-05,6.345186e-05,6.371419e-05,6.382046e-05,6.397129e-05,6.413905e-05,6.420049e-05,6.440310e-05,6.441067e-05,6.458039e-05,6.463826e-05,6.473360e-05,6.482463e-05,6.486390e-05,6.497245e-05,6.506035e-05,6.508430e-05,6.512868e-05,6.516260e-05,6.517845e-05,6.520969e-05,6.521065e-05,6.522625e-05,6.522777e-05,6.522616e-05,6.521894e-05,6.521126e-05,6.518519e-05,6.518239e-05,6.514037e-05,6.512841e-05,6.508598e-05,6.505039e-05,6.501996e-05,6.495282e-05,6.494304e-05,6.485590e-05,6.483730e-05,6.475919e-05,6.470534e-05,6.465356e-05,6.455836e-05,6.453959e-05,6.441787e-05,6.439772e-05,6.428895e-05,6.422467e-05,6.415336e-05,6.404041e-05,6.401158e-05,6.386411e-05,6.384606e-05,6.371141e-05,6.364267e-05,6.355390e-05,6.343124e-05,6.339201e-05,6.322612e-05,6.321269e-05,6.305662e-05,6.298789e-05,6.288386e-05,6.275765e-05,6.270818e-05,6.252992e-05,6.252273e-05,6.234936e-05,6.228386e-05,6.216681e-05,6.204168e-05,6.198254e-05,6.179682e-05,6.154985e-05,6.130131e-05,6.105169e-05,6.080146e-05,6.055103e-05,6.030082e-05,6.005117e-05,5.980243e-05,5.955490e-05,5.930886e-05,5.906457e-05,5.882227e-05,5.858217e-05,5.834447e-05,5.810935e-05,5.787695e-05,5.764743e-05,5.742091e-05,5.719749e-05,5.697729e-05,5.676038e-05,5.654684e-05,5.633673e-05,5.613010e-05
0.000000e+00,6.340039e-09,1.471776e-08,5.138825e-08,1.177569e-07,1.722269e-07,3.919679e-07,4.037796e-07,7.796184e-07,9.152137e-07,1.332820e-06,1.763695e-06,2.096644e-06,3.014188e-06,3.104586e-06,4.388975e-06,4.741572e-06,5.976944e-06,7.005214e-06,7.883847e-06,9.824580e-06,1.010768e-05,1.262972e-05,1.316747e-05,1.542113e-05,1.696848e-05,1.844988e-05,2.115446e-05,2.168462e-05,2.509580e-05,2.565608e-05,2.865558e-05,3.040924e-05,3.233750e-05,3.535398e-05,3.611632e-05,3.996788e-05,4.043386e-05,4.386928e-05,4.559608e-05,4.779895e-05,5.079199e-05,5.173681e-05,5.566443e-05,5.597768e-05,5.956509e-05,6.111440e-05,6.342386e-05,6.616875e-05,6.722754e-05,7.096469e-05,7.111265e-05,7.462552e-05,7.592310e-05,7.820179e-05,8.058183e-05,8.168671e-05,8.507481e-05,8.836181e-05,8.939175e-05,9.154452e-05,9.352563e-05,9.462066e-05,9.747216e-05,9.758880e-05,1.004482e-04,1.012294e-04,1.031989e-04,1.047972e-04,1.058411e-04,1.081770e-04,1.083759e-04,1.108044e-04,1.113716e-04,1.131283e-04,1.143846e-04,1.153494e-04,1.172205e-04,1.174697e-04,1.194915e-04,1.198842e-04,1.214171e-04,1.223812e-04,1.232489e-04,1.247170e-04,1.249895e-04,1.266415e-04,1.268978e-04,1.282075e-04,1.289293e-04,1.296900e-04,1.308178e-04,1.310918e-04,1.324155e-04,1.325692e-04,1.336636e-04,1.341895e-04,1.348387e-04,1.356846e-04,1.359435e-04,1.369803e-04,1.370604e-04,1.379516e-04,1.383224e-04,1.388600e-04,1.394763e-04,1.397077e-04,1.404970e-04,1.405274e-04,1.412302e-04,1.414808e-04,1.419095e-04,1.423418e-04,1.425371e-04,1.431151e-04,1.436454e-04,1.438054e-04,1.441301e-04,1.444173e-04,1.445711e-04,1.449551e-04,1.449702e-04,1.453294e-04,1.454230e-04,1.456502e-04,1.458250e-04,1.459344e-04,1.461650e-04,1.461837e-04,1.463997e-04,1.464467e-04,1.465838e-04,1.466736e-04,1.467376e-04,1.468491e-04,1.468626e-04,1.469600e-04,1.469764e-04,1.470314e-04,1.470585e-04,1.470778e-04,1.470986e-04,1.471007e-04,1.471011e-04,1.470992e-04,1.470804e-04,1.470632e-04,1.470395e-04,1.469930e-04,1.469795e-04,1.469016e-04,1.468911e-04,1.468067e-04,1.467598e-04,1.466957e-04,1.466012e-04,1.465696e-04,1.464293e-04,1.464175e-04,1.462756e-04,1.462106e-04,1.461093e-04,1.459823e-04,1.459313e-04,1.457423e-04,1.457345e-04,1.455430e-04,1.454688e-04,1.453340e-04,1.451868e-04,1.451162e-04,1.448901e-04,1.445799e-04,1.442577e-04,1.439247e-04,1.435822e-04,1.432311e-04,1.428727e-04,1.425078e-04,1.421374e-04,1.417625e-04,1.413837e-04,1.410019e-04,1.406178e-04,1.402320e-04,1.398453e-04,1.394581e-04,1.390711e-04,1.386847e-04,1.382994e-04,1.379156e-04,1.375338e-04,1.371543e-04,1.367774e-04,1.364036e-04,1.360329e-04
0.000000e+00,3.685710e-10,9.701998e-10,3.944742e-09,9.770291e-09,1.472037e-08,3.529918e-08,3.642093e-08,7.249286e-08,8.561533e-08,1.261942e-07,1.681876e-07,2.006647e-07,2.901115e-07,2.989129e-07,4.236001e-07,4.576853e-07,5.765050e-07,6.746208e-07,7.578694e-07,9.398959e-07,9.662495e-07,1.199097e-06,1.248346e-06,1.453486e-06,1.593310e-06,1.726504e-06,1.968178e-06,2.015342e-06,2.317280e-06,2.366628e-06,2.629660e-06,2.782545e-06,2.949882e-06,3.210010e-06,3.275427e-06,3.603882e-06,3.643383e-06,3.932980e-06,4.077440e-06,4.260626e-06,4.507493e-06,4.584926e-06,4.904197e-06,4.929477e-06,5.216981e-06,5.339993e-06,5.522039e-06,5.736314e-06,5.818348e-06,6.105091e-06,6.116353e-06,6.381637e-06,6.478604e-06,6.647525e-06,6.822078e-06,6.902447e-06,7.146227e-06,7.378805e-06,7.450867e-06,7.600216e-06,7.736110e-06,7.810577e-06,8.002296e-06,8.010070e-06,8.198931e-06,8.249944e-06,8.377437e-06,8.479698e-06,8.545897e-06,8.692292e-06,8.704642e-06,8.854018e-06,8.888513e-06,8.994382e-06,9.069185e-06,9.126098e-06,9.235143e-06,9.249529e-06,9.365037e-06,9.387219e-06,9.472977e-06,9.526231e-06,9.573697e-06,9.652972e-06,9.667538e-06,9.754832e-06,9.768213e-06,9.835897e-06,9.872688e-06,9.911044e-06,9.967099e-06,9.980568e-06,1.004475e-05,1.005211e-05,1.010387e-05,1.012835e-05,1.015819e-05,1.019641e-05,1.020795e-05,1.025338e-05,1.025684e-05,1.029473e-05,1.031018e-05,1.033221e-05,1.035690e-05,1.036601e-05,1.039634e-05,1.039749e-05,1.042339e-05,1.043235e-05,1.044732e-05,1.046191e-05,1.046832e-05,1.048653e-05,1.050212e-05,1.050657e-05,1.051522e-05,1.052237e-05,1.052598e-05,1.053422e-05,1.053452e-05,1.054097e-05,1.054241e-05,1.054544e-05,1.054722e-05,1.054805e-05,1.054890e-05,1.054891e-05,1.054810e-05,1.054767e-05,1.054574e-05,1.054376e-05,1.054190e-05,1.053738e-05,1.053668e-05,1.053015e-05,1.052870e-05,1.052240e-05,1.051791e-05,1.051350e-05,1.050518e-05,1.050351e-05,1.049250e-05,1.049065e-05,1.048055e-05,1.047448e-05,1.046769e-05,1.045680e-05,1.045400e-05,1.043952e-05,1.043774e-05,1.042431e-05,1.041740e-05,1.040842e-05,1.039591e-05,1.039189e-05,1.037476e-05,1.037336e-05,1.035707e-05,1.034985e-05,1.033887e-05,1.032547e-05,1.032020e-05,1.030108e-05,1.030031e-05,1.028155e-05,1.027443e-05,1.026165e-05,1.024792e-05,1.024140e-05,1.022083e-05,1.019324e-05,1.016521e-05,1.013678e-05,1.010802e-05,1.007896e-05,1.004965e-05,1.002014e-05,9.990468e-06,9.960663e-06,9.930763e-06,9.900798e-06,9.870800e-06,9.840795e-06,9.810809e-06,9.780865e-06,9.750986e-06,9.721191e-06,9.691501e-06,9.661932e-06,9.632502e-06,9.603224e-06,9.574114e-06,9.545184e-06,9.516447e-06
0.000000e+00,2.664467e-10,7.888917e-10,3.945264e-09,1.141456e-08,1.853559e-08,5.254299e-08,5.454619e-08,1.244654e-07,1.519850e-07,2.422124e-07,3.420246e-07,4.227654e-07,6.573137e-07,6.811786e-07,1.030288e-06,1.128616e-06,1.478629e-06,1.774771e-06,2.030447e-06,2.602542e-06,2.686802e-06,3.446459e-06,3.610546e-06,4.306355e-06,4.791625e-06,5.261818e-06,6.133807e-06,6.306706e-06,7.433545e-06,7.620882e-06,8.633709e-06,9.233055e-06,9.897637e-06,1.094781e-05,1.121507e-05,1.257534e-05,1.274093e-05,1.396759e-05,1.458755e-05,1.538111e-05,1.646318e-05,1.680549e-05,1.823085e-05,1.834464e-05,1.964801e-05,2.021067e-05,2.104859e-05,2.204250e-05,2.242510e-05,2.377098e-05,2.382409e-05,2.508059e-05,2.554223e-05,2.634921e-05,2.718648e-05,2.757302e-05,2.874902e-05,2.987495e-05,3.022440e-05,3.094926e-05,3.160927e-05,3.197101e-05,3.290207e-05,3.293980e-05,3.385569e-05,3.410271e-05,3.471914e-05,3.521235e-05,3.553093e-05,3.623306e-05,3.629213e-05,3.700402e-05,3.716769e-05,3.766805e-05,3.801959e-05,3.828580e-05,3.879248e-05,3.885896e-05,3.938925e-05,3.949032e-05,3.987847e-05,4.011722e-05,4.032839e-05,4.067728e-05,4.074082e-05,4.111753e-05,4.117460e-05,4.146026e-05,4.161320e-05,4.177071e-05,4.199696e-05,4.205055e-05,4.230140e-05,4.232962e-05,4.252479e-05,4.261478e-05,4.272224e-05,4.285583e-05,4.289518e-05,4.304498e-05,4.305601e-05,4.317298e-05,4.321835e-05,4.328042e-05,4.334573e-05,4.336852e-05,4.343840e-05,4.344084e-05,4.349117e-05,4.350618e-05,4.352786e-05,4.354412e-05,4.354944e-05,4.355686e-05,4.355099e-05,4.354644e-05,4.353267e-05,4.351478e-05,4.350270e-05,4.346366e-05,4.346182e-05,4.341076e-05,4.339473e-05,4.335018e-05,4.330953e-05,4.328072e-05,4.320949e-05,4.320297e-05,4.311752e-05,4.309593e-05,4.302490e-05,4.297008e-05,4.292561e-05,4.283310e-05,4.282013e-05,4.270892e-05,4.268603e-05,4.259241e-05,4.252987e-05,4.247100e-05,4.236551e-05,4.234507e-05,4.221499e-05,4.219381e-05,4.208108e-05,4.201554e-05,4.194368e-05,4.183144e-05,4.180308e-05,4.165957e-05,4.164216e-05,4.151342e-05,4.144834e-05,4.136488e-05,4.125054e-05,4.121419e-05,4.106158e-05,4.104929e-05,4.090725e-05,4.084509e-05,4.075142e-05,4.063839e-05,4.059426e-05,4.043595e-05,4.042960e-05,4.027667e-05,4.021911e-05,4.011656e-05,4.000729e-05,3.995577e-05,3.979445e-05,3.958091e-05,3.936693e-05,3.915279e-05,3.893872e-05,3.872492e-05,3.851161e-05,3.829897e-05,3.808717e-05,3.787634e-05,3.766665e-05,3.745821e-05,3.725115e-05,3.704556e-05,3.684154e-05,3.663918e-05,3.643856e-05,3.623975e-05,3.604281e-05,3.584779e-05,3.565475e-05,3.546373e-05,3.527476e-05,3.508788e-05,3.490312e-05
0.000000e+00,3.072302e-09,7.879808e-09,3.083063e-08,7.460989e-08,1.113644e-07,2.630066e-07,2.712642e-07,5.382222e-07,6.363306e-07,9.437629e-07,1.268241e-06,1.522968e-06,2.234675e-06,2.305028e-06,3.294392e-06,3.560206e-06,4.464696e-06,5.184340e-06,5.776515e-06,7.019620e-06,7.194388e-06,8.690801e-06,8.997529e-06,1.024408e-05,1.106808e-05,1.183586e-05,1.319054e-05,1.344955e-05,1.506967e-05,1.532850e-05,1.668162e-05,1.744843e-05,1.827184e-05,1.952002e-05,1.982798e-05,2.133907e-05,2.151691e-05,2.279568e-05,2.341728e-05,2.419009e-05,2.520444e-05,2.551622e-05,2.676958e-05,2.686660e-05,2.794718e-05,2.839661e-05,2.904741e-05,2.979137e-05,3.006981e-05,3.101494e-05,3.105115e-05,3.188420e-05,3.217895e-05,3.267969e-05,3.317978e-05,3.340399e-05,3.406009e-05,3.465125e-05,3.482726e-05,3.518090e-05,3.548921e-05,3.565254e-05,3.605403e-05,3.606972e-05,3.643591e-05,3.652978e-05,3.675455e-05,3.692428e-05,3.702893e-05,3.724500e-05,3.726223e-05,3.745748e-05,3.749900e-05,3.761755e-05,3.769284e-05,3.774515e-05,3.783262e-05,3.784284e-05,3.791300e-05,3.792393e-05,3.795787e-05,3.797191e-05,3.797953e-05,3.798121e-05,3.797992e-05,3.796083e-05,3.795608e-05,3.792394e-05,3.790037e-05,3.787079e-05,3.781753e-05,3.780282e-05,3.772135e-05,3.771072e-05,3.762760e-05,3.758276e-05,3.752272e-05,3.743620e-05,3.740774e-05,3.728363e-05,3.727333e-05,3.715128e-05,3.709622e-05,3.701151e-05,3.690671e-05,3.686509e-05,3.671270e-05,3.670649e-05,3.655501e-05,3.649705e-05,3.639259e-05,3.627974e-05,3.622601e-05,3.605577e-05,3.588233e-05,3.582622e-05,3.570612e-05,3.559208e-05,3.552755e-05,3.535423e-05,3.534697e-05,3.516473e-05,3.511345e-05,3.498113e-05,3.487044e-05,3.479646e-05,3.462585e-05,3.461098e-05,3.442494e-05,3.438023e-05,3.423855e-05,3.413410e-05,3.405203e-05,3.388792e-05,3.386556e-05,3.367931e-05,3.364210e-05,3.349344e-05,3.339699e-05,3.330810e-05,3.315292e-05,3.312342e-05,3.293953e-05,3.291019e-05,3.275653e-05,3.266904e-05,3.257453e-05,3.242971e-05,3.239362e-05,3.221388e-05,3.219239e-05,3.203540e-05,3.195728e-05,3.185823e-05,3.172451e-05,3.168246e-05,3.150812e-05,3.149424e-05,3.133528e-05,3.126657e-05,3.116397e-05,3.104161e-05,3.099425e-05,3.082614e-05,3.081945e-05,3.065969e-05,3.060017e-05,3.049491e-05,3.038383e-05,3.033183e-05,3.017047e-05,2.996015e-05,2.975290e-05,2.954873e-05,2.934768e-05,2.914975e-05,2.895495e-05,2.876327e-05,2.857472e-05,2.838928e-05,2.820695e-05,2.802769e-05,2.785150e-05,2.767835e-05,2.750822e-05,2.734108e-05,2.717689e-05,2.701564e-05,2.685727e-05,2.670177e-05,2.654909e-05,2.639920e-05,2.625206e-05,2.610763e-05,2.596588e-05
0.000000e+00,1.990023e-08,4.574345e-08,1.603932e-07,3.774393e-07,5.652083e-07,1.408385e-06,1.457460e-06,3.202542e-06,3.912544e-06,6.322593e-06,9.080899e-06,1.133228e-05,1.771070e-05,1.833615e-05,2.688899e-05,2.910437e-05,3.640662e-05,4.199496e-05,4.647324e-05,5.559021e-05,5.684574e-05,6.738114e-05,6.949901e-05,7.798566e-05,8.350328e-05,8.858844e-05,9.744967e-05,9.912995e-05,1.095573e-04,1.112119e-04,1.198233e-04,1.246813e-04,1.298865e-04,1.377669e-04,1.397113e-04,1.492677e-04,1.503952e-04,1.585316e-04,1.625101e-04,1.674844e-04,1.740717e-04,1.761122e-04,1.844056e-04,1.850545e-04,1.923592e-04,1.954448e-04,1.999705e-04,2.052388e-04,2.072398e-04,2.141697e-04,2.144399e-04,2.207644e-04,2.230576e-04,2.270297e-04,2.311053e-04,2.329722e-04,2.385997e-04,2.439201e-04,2.455593e-04,2.489423e-04,2.520041e-04,2.536751e-04,2.579548e-04,2.581276e-04,2.623091e-04,2.634326e-04,2.662287e-04,2.684587e-04,2.698957e-04,2.730540e-04,2.733191e-04,2.765079e-04,2.772393e-04,2.794710e-04,2.810350e-04,2.822171e-04,2.844608e-04,2.847546e-04,2.870918e-04,2.875360e-04,2.892369e-04,2.902790e-04,2.911977e-04,2.927080e-04,2.929819e-04,2.945970e-04,2.948402e-04,2.960501e-04,2.966922e-04,2.973484e-04,2.982801e-04,2.984986e-04,2.995073e-04,2.996191e-04,3.003808e-04,3.007240e-04,3.011254e-04,3.016087e-04,3.017470e-04,3.022513e-04,3.022867e-04,3.026439e-04,3.027709e-04,3.029302e-04,3.030734e-04,3.031153e-04,3.032042e-04,3.032058e-04,3.032017e-04,3.031793e-04,3.031124e-04,3.030044e-04,3.029408e-04,3.026912e-04,3.023676e-04,3.022491e-04,3.019741e-04,3.016873e-04,3.015144e-04,3.010143e-04,3.009922e-04,3.004110e-04,3.002382e-04,2.997743e-04,2.993668e-04,2.990851e-04,2.984075e-04,2.983467e-04,2.975619e-04,2.973670e-04,2.967338e-04,2.962521e-04,2.958650e-04,2.950688e-04,2.949581e-04,2.940156e-04,2.938231e-04,2.930401e-04,2.925204e-04,2.920336e-04,2.911660e-04,2.909986e-04,2.899370e-04,2.897649e-04,2.888510e-04,2.883215e-04,2.877424e-04,2.868404e-04,2.866130e-04,2.854647e-04,2.853257e-04,2.842990e-04,2.837811e-04,2.831177e-04,2.822104e-04,2.819223e-04,2.807141e-04,2.806170e-04,2.794947e-04,2.790040e-04,2.782652e-04,2.773745e-04,2.770271e-04,2.757814e-04,2.757314e-04,2.745293e-04,2.740773e-04,2.732720e-04,2.724145e-04,2.720104e-04,2.707456e-04,2.690725e-04,2.673974e-04,2.657221e-04,2.640484e-04,2.623778e-04,2.607120e-04,2.590523e-04,2.573999e-04,2.557562e-04,2.541222e-04,2.524989e-04,2.508873e-04,2.492882e-04,2.477024e-04,2.461306e-04,2.445735e-04,2.430317e-04,2.415056e-04,2.399958e-04,2.385027e-04,2.370266e-04,2.355680e-04,2.341271e-04,2.327040e-04
0.000000e+00,9.100110e-09,2.094544e-08,7.256449e-08,1.662682e-07,2.437690e-07,5.631597e-07,5.806497e-07,1.154476e-06,1.369490e-06,2.055362e-06,2.793021e-06,3.376652e-06,5.003468e-06,5.163118e-06,7.382133e-06,7.971643e-06,9.967368e-06,1.155298e-05,1.286150e-05,1.563073e-05,1.602315e-05,1.942080e-05,2.012620e-05,2.302687e-05,2.497546e-05,2.681437e-05,3.011573e-05,3.075543e-05,3.482087e-05,3.548088e-05,3.898054e-05,4.100168e-05,4.320390e-05,4.660810e-05,4.746071e-05,5.172168e-05,5.223195e-05,5.595924e-05,5.780969e-05,6.014790e-05,6.328437e-05,6.426472e-05,6.828946e-05,6.860693e-05,7.220472e-05,7.373680e-05,7.599587e-05,7.864187e-05,7.965101e-05,8.316078e-05,8.329803e-05,8.651810e-05,8.768839e-05,8.971800e-05,9.180239e-05,9.275743e-05,9.563501e-05,9.835075e-05,9.918576e-05,1.009058e-04,1.024577e-04,1.033023e-04,1.054562e-04,1.055429e-04,1.076311e-04,1.081890e-04,1.095707e-04,1.106650e-04,1.113663e-04,1.128949e-04,1.130224e-04,1.145442e-04,1.148900e-04,1.159367e-04,1.166619e-04,1.172051e-04,1.182228e-04,1.183547e-04,1.193909e-04,1.195850e-04,1.203194e-04,1.207617e-04,1.211460e-04,1.217652e-04,1.218756e-04,1.225128e-04,1.226065e-04,1.230625e-04,1.232965e-04,1.235291e-04,1.238455e-04,1.239170e-04,1.242305e-04,1.242634e-04,1.244737e-04,1.245595e-04,1.246506e-04,1.247429e-04,1.247648e-04,1.248200e-04,1.248220e-04,1.248199e-04,1.248050e-04,1.247676e-04,1.246995e-04,1.246665e-04,1.245195e-04,1.245127e-04,1.243296e-04,1.242513e-04,1.240996e-04,1.239217e-04,1.238322e-04,1.235299e-04,1.231952e-04,1.230816e-04,1.228303e-04,1.225820e-04,1.224376e-04,1.220361e-04,1.220189e-04,1.215764e-04,1.214485e-04,1.211119e-04,1.208235e-04,1.206273e-04,1.201651e-04,1.201242e-04,1.196042e-04,1.194771e-04,1.190689e-04,1.187629e-04,1.185197e-04,1.180259e-04,1.179579e-04,1.173849e-04,1.172691e-04,1.168020e-04,1.164953e-04,1.162101e-04,1.157070e-04,1.156106e-04,1.150042e-04,1.149067e-04,1.143922e-04,1.140966e-04,1.137752e-04,1.132788e-04,1.131543e-04,1.125302e-04,1.124552e-04,1.119037e-04,1.116275e-04,1.112755e-04,1.107973e-04,1.106462e-04,1.100165e-04,1.099662e-04,1.093870e-04,1.091354e-04,1.087582e-04,1.083063e-04,1.081307e-04,1.075048e-04,1.074798e-04,1.068811e-04,1.066572e-04,1.062600e-04,1.058393e-04,1.056418e-04,1.050269e-04,1.042209e-04,1.034219e-04,1.026306e-04,1.018474e-04,1.010729e-04,1.003076e-04,9.955174e-05,9.880574e-05,9.806987e-05,9.734437e-05,9.662946e-05,9.592531e-05,9.523206e-05,9.454981e-05,9.387865e-05,9.321864e-05,9.256981e-05,9.193216e-05,9.130568e-05,9.069036e-05,9.008614e-05,8.949297e-05,8.891077e-05,8.833946e-05
0.000000e+00,1.148715e-09,2.616440e-09,8.904016e-09,2.005887e-08,2.909810e-08,6.496757e-08,6.687598e-08,1.269029e-07,1.482983e-07,2.135590e-07,2.800977e-07,3.310681e-07,4.698887e-07,4.834492e-07,6.740797e-07,7.257664e-07,9.046688e-07,1.050942e-06,1.174010e-06,1.439671e-06,1.477734e-06,1.809592e-06,1.878760e-06,2.163092e-06,2.353482e-06,2.532355e-06,2.850955e-06,2.912265e-06,3.298352e-06,3.360428e-06,3.686652e-06,3.872765e-06,4.073617e-06,4.380093e-06,4.456089e-06,4.831279e-06,4.875694e-06,5.196779e-06,5.353993e-06,5.550560e-06,5.810565e-06,5.890969e-06,6.216712e-06,6.242107e-06,6.526838e-06,6.646363e-06,6.820707e-06,7.022015e-06,7.097959e-06,7.358479e-06,7.368552e-06,7.602353e-06,7.686118e-06,7.829840e-06,7.975369e-06,8.041338e-06,8.237353e-06,8.418467e-06,8.473381e-06,8.585327e-06,8.684951e-06,8.738615e-06,8.873660e-06,8.879038e-06,9.007308e-06,9.041143e-06,9.124135e-06,9.189030e-06,9.230219e-06,9.318914e-06,9.326241e-06,9.412862e-06,9.432323e-06,9.490712e-06,9.530701e-06,9.560390e-06,9.615401e-06,9.622467e-06,9.677483e-06,9.687684e-06,9.725944e-06,9.748712e-06,9.768326e-06,9.799557e-06,9.805076e-06,9.836610e-06,9.841197e-06,9.863316e-06,9.874527e-06,9.885556e-06,9.900362e-06,9.903670e-06,9.917970e-06,9.919444e-06,9.928749e-06,9.932447e-06,9.936277e-06,9.939980e-06,9.940806e-06,9.942569e-06,9.942597e-06,9.941782e-06,9.940800e-06,9.938648e-06,9.935042e-06,9.933351e-06,9.926066e-06,9.925735e-06,9.916951e-06,9.913252e-06,9.906157e-06,9.897929e-06,9.893821e-06,9.880072e-06,9.865028e-06,9.859958e-06,9.848799e-06,9.837839e-06,9.831489e-06,9.813943e-06,9.813193e-06,9.793999e-06,9.788475e-06,9.773990e-06,9.761625e-06,9.753242e-06,9.733562e-06,9.731826e-06,9.709809e-06,9.704442e-06,9.687252e-06,9.674406e-06,9.664212e-06,9.643580e-06,9.640743e-06,9.616895e-06,9.612083e-06,9.592712e-06,9.580020e-06,9.568240e-06,9.547488e-06,9.543517e-06,9.518581e-06,9.514574e-06,9.493467e-06,9.481359e-06,9.468207e-06,9.447914e-06,9.442831e-06,9.417368e-06,9.414308e-06,9.391843e-06,9.380599e-06,9.366281e-06,9.346842e-06,9.340704e-06,9.315133e-06,9.313089e-06,9.289589e-06,9.279383e-06,9.264090e-06,9.245767e-06,9.238652e-06,9.213291e-06,9.212278e-06,9.188022e-06,9.178950e-06,9.162858e-06,9.145814e-06,9.137813e-06,9.112897e-06,9.080225e-06,9.047821e-06,9.015704e-06,8.983893e-06,8.952404e-06,8.921252e-06,8.890450e-06,8.860009e-06,8.829939e-06,8.800250e-06,8.770948e-06,8.742041e-06,8.713533e-06,8.685430e-06,8.657734e-06,8.630449e-06,8.603577e-06,8.577119e-06,8.551077e-06,8.525451e-06,8.500240e-06,8.475444e-06,8.451061e-06,8.427090e-06
0.000000e+00,3.499861e-10,1.027931e-09,5.054361e-09,1.439504e-08,2.317146e-08,6.418793e-08,6.657185e-08,1.483849e-07,1.800257e-07,2.822350e-07,3.932569e-07,4.818965e-07,7.352644e-07,7.607834e-07,1.130386e-06,1.233476e-06,1.597408e-06,1.901649e-06,2.161464e-06,2.732552e-06,2.815415e-06,3.547609e-06,3.702235e-06,4.344177e-06,4.779003e-06,5.190568e-06,5.929504e-06,6.072403e-06,6.975924e-06,7.121625e-06,7.888244e-06,8.325759e-06,8.797512e-06,9.515512e-06,9.693050e-06,1.056546e-05,1.066819e-05,1.140668e-05,1.176517e-05,1.221006e-05,1.279203e-05,1.297033e-05,1.368358e-05,1.373852e-05,1.434716e-05,1.459831e-05,1.495957e-05,1.536853e-05,1.552035e-05,1.602993e-05,1.604927e-05,1.648947e-05,1.664297e-05,1.690070e-05,1.715384e-05,1.726580e-05,1.758729e-05,1.786789e-05,1.794951e-05,1.811044e-05,1.824703e-05,1.831781e-05,1.848644e-05,1.849286e-05,1.863838e-05,1.867419e-05,1.875702e-05,1.881637e-05,1.885132e-05,1.891863e-05,1.892366e-05,1.897624e-05,1.898615e-05,1.901110e-05,1.902360e-05,1.903014e-05,1.903515e-05,1.903504e-05,1.902737e-05,1.902446e-05,1.900853e-05,1.899475e-05,1.897979e-05,1.894883e-05,1.894228e-05,1.889702e-05,1.888913e-05,1.884494e-05,1.881776e-05,1.878684e-05,1.873653e-05,1.872347e-05,1.865546e-05,1.864701e-05,1.858340e-05,1.855055e-05,1.850783e-05,1.844832e-05,1.842919e-05,1.834791e-05,1.834131e-05,1.826437e-05,1.823040e-05,1.817890e-05,1.811633e-05,1.809179e-05,1.800331e-05,1.799975e-05,1.791371e-05,1.788122e-05,1.782321e-05,1.776125e-05,1.773199e-05,1.764024e-05,1.754812e-05,1.751859e-05,1.745576e-05,1.739659e-05,1.736331e-05,1.727456e-05,1.727086e-05,1.717854e-05,1.715272e-05,1.708643e-05,1.703131e-05,1.699463e-05,1.691051e-05,1.690321e-05,1.681224e-05,1.679048e-05,1.672179e-05,1.667139e-05,1.663192e-05,1.655335e-05,1.654267e-05,1.645410e-05,1.643647e-05,1.636625e-05,1.632086e-05,1.627915e-05,1.620660e-05,1.619285e-05,1.610736e-05,1.609376e-05,1.602272e-05,1.598240e-05,1.593895e-05,1.587258e-05,1.585608e-05,1.577411e-05,1.576434e-05,1.569308e-05,1.565772e-05,1.561298e-05,1.555275e-05,1.553384e-05,1.545567e-05,1.544945e-05,1.537846e-05,1.534785e-05,1.530223e-05,1.524796e-05,1.522699e-05,1.515273e-05,1.514978e-05,1.507946e-05,1.505333e-05,1.500719e-05,1.495860e-05,1.493590e-05,1.486560e-05,1.477432e-05,1.468476e-05,1.459690e-05,1.451073e-05,1.442625e-05,1.434343e-05,1.426226e-05,1.418273e-05,1.410481e-05,1.402848e-05,1.395373e-05,1.388053e-05,1.380887e-05,1.373871e-05,1.367004e-05,1.360283e-05,1.353705e-05,1.347270e-05,1.340973e-05,1.334813e-05,1.328787e-05,1.322893e-05,1.317128e-05,1.311490e-05
0.000000e+00,2.800334e-08,6.450371e-08,2.250180e-07,5.223130e-07,7.736368e-07,1.855560e-06,1.916752e-06,4.014155e-06,4.836041e-06,7.537154e-06,1.050255e-05,1.284797e-05,1.925609e-05,1.987226e-05,2.821432e-05,3.036838e-05,3.750205e-05,4.301978e-05,4.748764e-05,5.672190e-05,5.800843e-05,6.894389e-05,7.117162e-05,8.019254e-05,8.613469e-05,9.166202e-05,1.014039e-04,1.032663e-04,1.149255e-04,1.167911e-04,1.265671e-04,1.321294e-04,1.381261e-04,1.472761e-04,1.495467e-04,1.607810e-04,1.621146e-04,1.717892e-04,1.765525e-04,1.825390e-04,1.905201e-04,1.930049e-04,2.031676e-04,2.039670e-04,2.130124e-04,2.168590e-04,2.225294e-04,2.291749e-04,2.317120e-04,2.405567e-04,2.409035e-04,2.490624e-04,2.520416e-04,2.572301e-04,2.625923e-04,2.650624e-04,2.725632e-04,2.797372e-04,2.819648e-04,2.865902e-04,2.908104e-04,2.931283e-04,2.991149e-04,2.993583e-04,3.052873e-04,3.068945e-04,3.109227e-04,3.141661e-04,3.162720e-04,3.209474e-04,3.213430e-04,3.261435e-04,3.272563e-04,3.306813e-04,3.331107e-04,3.349643e-04,3.385287e-04,3.390002e-04,3.427969e-04,3.435282e-04,3.463620e-04,3.481269e-04,3.497033e-04,3.523423e-04,3.528281e-04,3.557439e-04,3.561915e-04,3.584579e-04,3.596911e-04,3.609774e-04,3.628576e-04,3.633093e-04,3.654604e-04,3.657068e-04,3.674376e-04,3.682541e-04,3.692473e-04,3.705146e-04,3.708959e-04,3.723897e-04,3.725027e-04,3.737348e-04,3.742326e-04,3.749372e-04,3.757177e-04,3.760025e-04,3.769364e-04,3.769711e-04,3.777443e-04,3.780054e-04,3.784316e-04,3.788327e-04,3.790035e-04,3.794648e-04,3.798204e-04,3.799127e-04,3.800752e-04,3.801873e-04,3.802335e-04,3.802988e-04,3.802997e-04,3.802783e-04,3.802571e-04,3.801733e-04,3.800718e-04,3.799886e-04,3.797517e-04,3.797281e-04,3.793957e-04,3.793056e-04,3.789948e-04,3.787417e-04,3.785290e-04,3.780680e-04,3.780016e-04,3.774158e-04,3.772919e-04,3.767748e-04,3.764206e-04,3.760816e-04,3.754611e-04,3.753391e-04,3.745500e-04,3.744197e-04,3.737172e-04,3.733026e-04,3.728431e-04,3.721159e-04,3.719304e-04,3.709812e-04,3.708650e-04,3.699981e-04,3.695554e-04,3.689832e-04,3.681920e-04,3.679387e-04,3.668665e-04,3.667796e-04,3.657687e-04,3.653228e-04,3.646472e-04,3.638260e-04,3.635037e-04,3.623400e-04,3.622930e-04,3.611578e-04,3.607280e-04,3.599587e-04,3.591344e-04,3.587441e-04,3.575157e-04,3.558751e-04,3.542158e-04,3.525406e-04,3.508523e-04,3.491533e-04,3.474462e-04,3.457331e-04,3.440162e-04,3.422975e-04,3.405788e-04,3.388619e-04,3.371485e-04,3.354399e-04,3.337377e-04,3.320431e-04,3.303574e-04,3.286817e-04,3.270170e-04,3.253644e-04,3.237246e-04,3.220986e-04,3.204870e-04,3.188906e-04,3.173099e-04
0.000000e+00,9.064897e-09,2.695322e-08,1.359695e-07,3.964559e-07,6.464835e-07,1.851870e-06,1.923268e-06,4.431534e-06,5.425003e-06,8.698331e-06,1.234086e-05,1.530097e-05,2.396691e-05,2.485457e-05,3.797856e-05,4.172357e-05,5.522422e-05,6.683787e-05,7.698769e-05,1.000388e-04,1.034674e-04,1.346801e-04,1.414818e-04,1.705021e-04,1.908792e-04,2.107067e-04,2.476456e-04,2.549910e-04,3.029945e-04,3.109936e-04,3.543123e-04,3.799947e-04,4.085071e-04,4.536257e-04,4.651189e-04,5.236760e-04,5.308110e-04,5.837045e-04,6.104626e-04,6.447382e-04,6.915180e-04,7.063265e-04,7.680428e-04,7.729735e-04,8.294899e-04,8.539109e-04,8.903050e-04,9.335165e-04,9.501629e-04,1.008778e-03,1.011093e-03,1.065904e-03,1.086064e-03,1.121335e-03,1.157972e-03,1.174902e-03,1.226474e-03,1.275950e-03,1.291328e-03,1.323262e-03,1.352386e-03,1.368368e-03,1.409579e-03,1.411251e-03,1.451914e-03,1.462904e-03,1.490376e-03,1.512412e-03,1.526674e-03,1.558198e-03,1.560856e-03,1.592979e-03,1.600390e-03,1.623109e-03,1.639137e-03,1.651316e-03,1.674607e-03,1.677676e-03,1.702266e-03,1.706978e-03,1.725165e-03,1.736431e-03,1.746454e-03,1.763149e-03,1.766211e-03,1.784514e-03,1.787312e-03,1.801439e-03,1.809096e-03,1.817062e-03,1.828670e-03,1.831453e-03,1.844681e-03,1.846194e-03,1.856814e-03,1.861821e-03,1.867913e-03,1.875695e-03,1.878039e-03,1.887250e-03,1.887949e-03,1.895600e-03,1.898710e-03,1.903140e-03,1.908094e-03,1.909918e-03,1.915981e-03,1.916209e-03,1.921371e-03,1.923155e-03,1.926130e-03,1.929025e-03,1.930295e-03,1.933903e-03,1.936988e-03,1.937869e-03,1.939580e-03,1.940995e-03,1.941710e-03,1.943347e-03,1.943406e-03,1.944695e-03,1.944986e-03,1.945600e-03,1.945970e-03,1.946146e-03,1.946349e-03,1.946354e-03,1.946244e-03,1.946172e-03,1.945835e-03,1.945483e-03,1.945147e-03,1.944323e-03,1.944195e-03,1.942996e-03,1.942728e-03,1.941565e-03,1.940733e-03,1.939915e-03,1.938371e-03,1.938061e-03,1.936014e-03,1.935670e-03,1.933787e-03,1.932657e-03,1.931391e-03,1.929359e-03,1.928836e-03,1.926132e-03,1.925798e-03,1.923288e-03,1.921995e-03,1.920314e-03,1.917972e-03,1.917218e-03,1.914007e-03,1.913746e-03,1.910689e-03,1.909334e-03,1.907272e-03,1.904753e-03,1.903761e-03,1.900163e-03,1.900018e-03,1.896485e-03,1.895142e-03,1.892731e-03,1.890139e-03,1.888908e-03,1.885020e-03,1.879797e-03,1.874481e-03,1.869080e-03,1.863605e-03,1.858064e-03,1.852464e-03,1.846815e-03,1.841121e-03,1.835391e-03,1.829630e-03,1.823843e-03,1.818037e-03,1.812217e-03,1.806386e-03,1.800550e-03,1.794713e-03,1.788878e-03,1.783050e-03,1.777231e-03,1.771425e-03,1.765635e-03,1.759863e-03,1.754112e-03,1.748385e-03
0.000000e+00,4.412931e-08,1.318454e-07,6.718486e-07,1.977243e-06,3.240835e-06,9.408819e-06,9.776935e-06,2.283256e-05,2.805375e-05,4.539666e-05,6.488767e-05,8.084275e-05,1.280214e-04,1.328886e-04,2.055183e-04,2.264658e-04,3.027867e-04,3.694424e-04,4.284383e-04,5.648469e-04,5.854061e-04,7.754294e-04,8.174629e-04,9.989778e-04,1.128301e-03,1.255425e-03,1.495215e-03,1.543310e-03,1.860572e-03,1.913899e-03,2.204731e-03,2.378679e-03,2.573028e-03,2.883071e-03,2.962520e-03,3.370166e-03,3.420157e-03,3.792890e-03,3.982878e-03,4.227644e-03,4.564268e-03,4.671452e-03,5.121453e-03,5.157638e-03,5.574936e-03,5.756730e-03,6.029365e-03,6.355815e-03,6.482395e-03,6.931893e-03,6.949771e-03,7.375935e-03,7.534120e-03,7.812815e-03,8.105031e-03,8.241038e-03,8.659312e-03,9.066545e-03,9.194374e-03,9.461826e-03,9.708185e-03,9.844416e-03,1.019922e-02,1.021374e-02,1.056935e-02,1.066642e-02,1.091094e-02,1.110909e-02,1.123833e-02,1.152691e-02,1.155143e-02,1.185023e-02,1.191982e-02,1.213481e-02,1.228802e-02,1.240532e-02,1.263189e-02,1.266197e-02,1.290500e-02,1.295200e-02,1.313471e-02,1.324900e-02,1.335142e-02,1.352367e-02,1.355549e-02,1.374728e-02,1.377685e-02,1.392718e-02,1.400943e-02,1.409559e-02,1.422232e-02,1.425292e-02,1.439958e-02,1.441648e-02,1.453596e-02,1.459283e-02,1.466249e-02,1.475231e-02,1.477957e-02,1.488760e-02,1.489586e-02,1.498696e-02,1.502436e-02,1.507804e-02,1.513871e-02,1.516123e-02,1.523688e-02,1.523975e-02,1.530535e-02,1.532831e-02,1.536699e-02,1.540517e-02,1.542213e-02,1.547109e-02,1.551418e-02,1.552678e-02,1.555171e-02,1.557295e-02,1.558397e-02,1.561023e-02,1.561123e-02,1.563376e-02,1.563926e-02,1.565182e-02,1.566061e-02,1.566565e-02,1.567484e-02,1.567549e-02,1.568156e-02,1.568248e-02,1.568408e-02,1.568402e-02,1.568325e-02,1.567992e-02,1.567928e-02,1.567235e-02,1.567062e-02,1.566264e-02,1.565655e-02,1.565032e-02,1.563807e-02,1.563555e-02,1.561849e-02,1.561556e-02,1.559929e-02,1.558935e-02,1.557809e-02,1.555977e-02,1.555502e-02,1.553021e-02,1.552712e-02,1.550378e-02,1.549167e-02,1.547585e-02,1.545369e-02,1.544653e-02,1.541592e-02,1.541342e-02,1.538412e-02,1.537109e-02,1.535122e-02,1.532691e-02,1.531732e-02,1.528250e-02,1.528109e-02,1.524683e-02,1.523380e-02,1.521040e-02,1.518522e-02,1.517327e-02,1.513552e-02,1.508484e-02,1.503332e-02,1.498109e-02,1.492827e-02,1.487497e-02,1.482130e-02,1.476735e-02,1.471321e-02,1.465897e-02,1.460468e-02,1.455044e-02,1.449630e-02,1.444232e-02,1.438855e-02,1.433505e-02,1.428186e-02,1.422901e-02,1.417656e-02,1.412453e-02,1.407296e-02,1.402187e-02,1.397129e-02,1.392124e-02,1.387175e-02
0.000000e+00,3.499408e-09,8.382579e-09,3.035822e-08,7.101338e-08,1.048394e-07,2.440653e-07,2.516544e-07,4.978363e-07,5.887014e-07,8.746408e-07,1.178464e-06,1.418768e-06,2.102633e-06,2.171526e-06,3.173367e-06,3.454419e-06,4.451921e-06,5.290694e-06,6.009108e-06,7.590917e-06,7.820503e-06,9.848690e-06,1.027700e-05,1.205675e-05,1.326553e-05,1.441382e-05,1.649058e-05,1.689502e-05,1.947970e-05,1.990162e-05,2.214990e-05,2.345713e-05,2.488929e-05,2.712035e-05,2.768264e-05,3.051555e-05,3.085750e-05,3.337441e-05,3.463720e-05,3.624644e-05,3.843067e-05,3.911980e-05,4.198358e-05,4.221197e-05,4.482794e-05,4.595823e-05,4.764406e-05,4.964978e-05,5.042417e-05,5.316149e-05,5.327001e-05,5.585022e-05,5.680530e-05,5.848545e-05,6.024476e-05,6.106314e-05,6.358000e-05,6.603344e-05,6.680479e-05,6.842139e-05,6.991457e-05,7.074229e-05,7.290625e-05,7.299504e-05,7.517890e-05,7.577798e-05,7.729353e-05,7.852904e-05,7.933889e-05,8.115964e-05,8.131521e-05,8.322295e-05,8.367066e-05,8.506272e-05,8.606360e-05,8.683533e-05,8.834043e-05,8.854174e-05,9.018312e-05,9.050371e-05,9.176086e-05,9.255655e-05,9.327618e-05,9.450167e-05,9.473026e-05,9.612440e-05,9.634199e-05,9.745992e-05,9.808052e-05,9.873811e-05,9.972029e-05,9.996033e-05,1.011279e-04,1.012644e-04,1.022423e-04,1.027161e-04,1.033048e-04,1.040784e-04,1.043168e-04,1.052795e-04,1.053545e-04,1.061945e-04,1.065473e-04,1.070629e-04,1.076601e-04,1.078861e-04,1.086655e-04,1.086957e-04,1.094022e-04,1.096572e-04,1.100976e-04,1.105475e-04,1.107529e-04,1.113693e-04,1.119481e-04,1.121255e-04,1.124903e-04,1.128187e-04,1.129972e-04,1.134517e-04,1.134699e-04,1.139096e-04,1.140269e-04,1.143172e-04,1.145469e-04,1.146939e-04,1.150141e-04,1.150408e-04,1.153588e-04,1.154309e-04,1.156489e-04,1.157995e-04,1.159121e-04,1.161223e-04,1.161494e-04,1.163617e-04,1.164012e-04,1.165498e-04,1.166385e-04,1.167148e-04,1.168360e-04,1.168574e-04,1.169784e-04,1.169958e-04,1.170787e-04,1.171198e-04,1.171592e-04,1.172097e-04,1.172204e-04,1.172633e-04,1.172672e-04,1.172885e-04,1.172942e-04,1.172968e-04,1.172921e-04,1.172888e-04,1.172652e-04,1.172626e-04,1.172266e-04,1.172072e-04,1.171738e-04,1.171273e-04,1.171073e-04,1.170277e-04,1.170242e-04,1.169355e-04,1.168994e-04,1.168314e-04,1.167541e-04,1.167160e-04,1.165896e-04,1.164070e-04,1.162074e-04,1.159921e-04,1.157619e-04,1.155179e-04,1.152611e-04,1.149924e-04,1.147126e-04,1.144226e-04,1.141232e-04,1.138151e-04,1.134991e-04,1.131759e-04,1.128461e-04,1.125104e-04,1.121694e-04,1.118236e-04,1.114737e-04,1.111200e-04,1.107632e-04,1.104036e-04,1.100417e-04,1.096780e-04,1.093129e-04
0.000000e+00,1.012323e-08,2.336216e-08,8.087328e-08,1.847903e-07,2.705081e-07,6.231333e-07,6.424373e-07,1.276101e-06,1.513657e-06,2.271053e-06,3.083237e-06,3.722596e-06,5.481198e-06,5.651500e-06,7.969721e-06,8.569815e-06,1.055317e-05,1.207851e-05,1.330595e-05,1.581774e-05,1.616483e-05,1.908575e-05,1.967423e-05,2.203398e-05,2.356770e-05,2.497930e-05,2.743092e-05,2.789420e-05,3.075366e-05,3.120450e-05,3.353540e-05,3.483725e-05,3.622017e-05,3.828736e-05,3.879206e-05,4.123859e-05,4.152329e-05,4.355065e-05,4.452370e-05,4.572223e-05,4.727665e-05,4.775018e-05,4.963375e-05,4.977823e-05,5.137424e-05,5.203099e-05,5.297460e-05,5.404243e-05,5.443906e-05,5.577280e-05,5.582351e-05,5.698158e-05,5.738735e-05,5.807168e-05,5.874853e-05,5.904973e-05,5.992244e-05,6.069642e-05,6.092431e-05,6.137818e-05,6.176902e-05,6.197401e-05,6.247080e-05,6.248998e-05,6.293185e-05,6.304305e-05,6.330509e-05,6.349825e-05,6.361486e-05,6.384797e-05,6.386601e-05,6.406310e-05,6.410283e-05,6.421037e-05,6.427257e-05,6.431178e-05,6.436602e-05,6.437102e-05,6.439153e-05,6.439127e-05,6.437649e-05,6.435562e-05,6.432887e-05,6.426570e-05,6.425141e-05,6.414666e-05,6.412752e-05,6.401696e-05,6.394650e-05,6.386451e-05,6.372753e-05,6.369132e-05,6.349927e-05,6.347504e-05,6.329007e-05,6.319302e-05,6.306534e-05,6.288507e-05,6.282655e-05,6.257507e-05,6.255445e-05,6.231217e-05,6.220407e-05,6.203901e-05,6.183660e-05,6.175668e-05,6.146618e-05,6.145440e-05,6.116843e-05,6.105963e-05,6.086428e-05,6.065422e-05,6.055453e-05,6.023991e-05,5.992109e-05,5.981828e-05,5.959869e-05,5.939075e-05,5.927330e-05,5.895859e-05,5.894543e-05,5.861558e-05,5.852294e-05,5.828421e-05,5.808483e-05,5.795173e-05,5.764520e-05,5.761853e-05,5.728496e-05,5.720488e-05,5.695134e-05,5.676461e-05,5.661799e-05,5.632507e-05,5.628517e-05,5.595314e-05,5.588685e-05,5.562214e-05,5.545050e-05,5.529238e-05,5.501649e-05,5.496406e-05,5.463735e-05,5.458524e-05,5.431243e-05,5.415715e-05,5.398944e-05,5.373254e-05,5.366852e-05,5.334980e-05,5.331171e-05,5.303339e-05,5.289493e-05,5.271939e-05,5.248243e-05,5.240790e-05,5.209900e-05,5.207440e-05,5.179276e-05,5.167102e-05,5.148925e-05,5.127245e-05,5.118854e-05,5.089067e-05,5.087881e-05,5.059568e-05,5.049021e-05,5.030363e-05,5.010673e-05,5.001455e-05,4.972846e-05,4.935545e-05,4.898775e-05,4.862539e-05,4.826839e-05,4.791676e-05,4.757051e-05,4.722963e-05,4.689411e-05,4.656392e-05,4.623904e-05,4.591945e-05,4.560509e-05,4.529594e-05,4.499194e-05,4.469305e-05,4.439921e-05,4.411038e-05,4.382649e-05,4.354748e-05,4.327331e-05,4.300389e-05,4.273917e-05,4.247909e-05,4.222357e-05
0.000000e+00,1.247344e-09,3.227439e-09,1.283879e-08,3.152643e-08,4.744161e-08,1.145349e-07,1.182408e-07,2.401759e-07,2.858359e-07,4.311537e-07,5.875440e-07,7.121794e-07,1.068506e-06,1.104371e-06,1.620827e-06,1.763275e-06,2.258364e-06,2.662237e-06,3.000140e-06,3.723204e-06,3.826190e-06,4.719939e-06,4.905655e-06,5.668882e-06,6.180826e-06,6.663228e-06,7.527426e-06,7.694615e-06,8.755329e-06,8.927266e-06,9.837945e-06,1.036324e-05,1.093520e-05,1.181880e-05,1.204004e-05,1.314569e-05,1.327811e-05,1.424577e-05,1.472650e-05,1.533438e-05,1.615077e-05,1.640622e-05,1.745659e-05,1.753956e-05,1.848141e-05,1.888341e-05,1.947729e-05,2.017480e-05,2.044142e-05,2.137156e-05,2.140803e-05,2.226603e-05,2.257906e-05,2.312363e-05,2.368534e-05,2.394360e-05,2.472556e-05,2.546942e-05,2.569945e-05,2.617542e-05,2.660759e-05,2.684400e-05,2.745121e-05,2.747578e-05,2.807156e-05,2.823205e-05,2.863224e-05,2.895222e-05,2.915884e-05,2.961413e-05,2.965243e-05,3.011413e-05,3.022031e-05,3.054507e-05,3.077340e-05,3.094643e-05,3.127608e-05,3.131938e-05,3.166508e-05,3.173105e-05,3.198469e-05,3.214096e-05,3.227935e-05,3.250840e-05,3.255018e-05,3.279826e-05,3.283591e-05,3.302465e-05,3.312592e-05,3.323039e-05,3.338078e-05,3.341647e-05,3.358386e-05,3.360273e-05,3.373348e-05,3.379392e-05,3.386624e-05,3.395638e-05,3.398298e-05,3.408456e-05,3.409205e-05,3.417175e-05,3.420277e-05,3.424532e-05,3.429028e-05,3.430601e-05,3.435452e-05,3.435621e-05,3.439151e-05,3.440213e-05,3.441763e-05,3.442949e-05,3.443349e-05,3.443968e-05,3.443676e-05,3.443399e-05,3.442526e-05,3.441363e-05,3.440569e-05,3.437976e-05,3.437854e-05,3.434427e-05,3.433346e-05,3.430332e-05,3.427572e-05,3.425612e-05,3.420751e-05,3.420306e-05,3.414454e-05,3.412972e-05,3.408090e-05,3.404316e-05,3.401250e-05,3.394862e-05,3.393966e-05,3.386270e-05,3.384684e-05,3.378192e-05,3.373850e-05,3.369759e-05,3.362422e-05,3.360999e-05,3.351937e-05,3.350461e-05,3.342598e-05,3.338023e-05,3.333003e-05,3.325159e-05,3.323175e-05,3.313135e-05,3.311917e-05,3.302902e-05,3.298344e-05,3.292495e-05,3.284480e-05,3.281931e-05,3.271227e-05,3.270365e-05,3.260398e-05,3.256035e-05,3.249460e-05,3.241525e-05,3.238426e-05,3.227311e-05,3.226864e-05,3.216125e-05,3.212084e-05,3.204882e-05,3.197210e-05,3.193593e-05,3.182268e-05,3.167281e-05,3.152269e-05,3.137254e-05,3.122253e-05,3.107284e-05,3.092360e-05,3.077498e-05,3.062709e-05,3.048005e-05,3.033398e-05,3.018898e-05,3.004513e-05,2.990251e-05,2.976121e-05,2.962128e-05,2.948279e-05,2.934580e-05,2.921034e-05,2.907646e-05,2.894419e-05,2.881358e-05,2.868464e-05,2.855741e-05,2.843189e-05
0.000000e+00,8.346460e-10,2.046125e-09,7.594648e-09,1.794339e-08,2.656559e-08,6.196116e-08,6.388431e-08,1.258878e-07,1.485916e-07,2.194561e-07,2.938835e-07,3.521880e-07,5.157388e-07,5.320364e-07,7.657006e-07,8.301980e-07,1.055783e-06,1.241969e-06,1.399383e-06,1.741136e-06,1.790330e-06,2.222250e-06,2.313062e-06,2.689796e-06,2.945502e-06,3.188532e-06,3.628684e-06,3.714517e-06,4.263998e-06,4.353847e-06,4.833251e-06,5.112416e-06,5.418530e-06,5.895773e-06,6.016088e-06,6.622223e-06,6.695363e-06,7.233342e-06,7.502923e-06,7.846019e-06,8.310715e-06,8.457049e-06,9.063488e-06,9.111724e-06,9.662681e-06,9.899791e-06,1.025228e-05,1.066968e-05,1.083023e-05,1.139480e-05,1.141708e-05,1.194453e-05,1.213857e-05,1.247826e-05,1.283156e-05,1.299504e-05,1.349418e-05,1.397517e-05,1.412520e-05,1.443770e-05,1.472395e-05,1.488160e-05,1.529018e-05,1.530683e-05,1.571348e-05,1.582403e-05,1.610172e-05,1.632593e-05,1.647181e-05,1.679653e-05,1.682406e-05,1.715884e-05,1.723664e-05,1.747658e-05,1.764722e-05,1.777770e-05,1.802932e-05,1.806268e-05,1.833200e-05,1.838403e-05,1.858615e-05,1.871249e-05,1.882564e-05,1.901585e-05,1.905097e-05,1.926263e-05,1.929526e-05,1.946112e-05,1.955186e-05,1.964693e-05,1.978678e-05,1.982055e-05,1.998245e-05,2.000112e-05,2.013310e-05,2.019593e-05,2.027294e-05,2.037226e-05,2.040241e-05,2.052195e-05,2.053109e-05,2.063196e-05,2.067340e-05,2.073286e-05,2.080008e-05,2.082504e-05,2.090886e-05,2.091204e-05,2.098470e-05,2.101011e-05,2.105290e-05,2.109510e-05,2.111382e-05,2.116777e-05,2.121507e-05,2.122886e-05,2.125604e-05,2.127906e-05,2.129095e-05,2.131904e-05,2.132010e-05,2.134376e-05,2.134943e-05,2.136218e-05,2.137083e-05,2.137562e-05,2.138380e-05,2.138433e-05,2.138852e-05,2.138888e-05,2.138844e-05,2.138659e-05,2.138428e-05,2.137741e-05,2.137625e-05,2.136456e-05,2.136180e-05,2.134939e-05,2.134019e-05,2.133093e-05,2.131300e-05,2.130934e-05,2.128480e-05,2.128061e-05,2.125746e-05,2.124339e-05,2.122748e-05,2.120169e-05,2.119500e-05,2.116017e-05,2.115584e-05,2.112312e-05,2.110615e-05,2.108398e-05,2.105291e-05,2.104287e-05,2.099991e-05,2.099640e-05,2.095522e-05,2.093688e-05,2.090890e-05,2.087460e-05,2.086106e-05,2.081179e-05,2.080979e-05,2.076119e-05,2.074267e-05,2.070935e-05,2.067344e-05,2.065636e-05,2.060231e-05,2.052944e-05,2.045503e-05,2.037922e-05,2.030218e-05,2.022404e-05,2.014494e-05,2.006500e-05,1.998436e-05,1.990311e-05,1.982136e-05,1.973922e-05,1.965676e-05,1.957409e-05,1.949127e-05,1.940839e-05,1.932552e-05,1.924272e-05,1.916005e-05,1.907756e-05,1.899533e-05,1.891338e-05,1.883177e-05,1.875055e-05,1.866974e-05
0.000000e+00,3.273585e-10,9.747220e-10,4.931025e-09,1.441160e-08,2.352741e-08,6.754816e-08,7.015706e-08,1.617762e-07,1.980197e-07,3.171705e-07,4.492265e-07,5.561194e-07,8.670489e-07,8.987470e-07,1.364989e-06,1.497440e-06,1.974076e-06,2.384306e-06,2.743899e-06,3.566839e-06,3.690154e-06,4.825355e-06,5.075898e-06,6.158081e-06,6.930780e-06,7.692722e-06,9.138277e-06,9.429702e-06,1.136590e-05,1.169381e-05,1.349512e-05,1.458320e-05,1.580851e-05,1.778441e-05,1.829494e-05,2.094137e-05,2.126902e-05,2.373320e-05,2.500362e-05,2.665460e-05,2.895126e-05,2.968886e-05,3.281872e-05,3.307272e-05,3.602671e-05,3.732787e-05,3.929541e-05,4.167685e-05,4.260773e-05,4.594717e-05,4.608108e-05,4.929798e-05,5.050417e-05,5.264536e-05,5.491255e-05,5.597554e-05,5.927590e-05,6.253500e-05,6.356750e-05,6.574263e-05,6.776429e-05,6.888977e-05,7.184685e-05,7.196860e-05,7.497243e-05,7.579927e-05,7.789566e-05,7.960896e-05,8.073371e-05,8.326637e-05,8.348297e-05,8.614067e-05,8.676466e-05,8.870485e-05,9.009945e-05,9.117427e-05,9.326846e-05,9.354831e-05,9.582693e-05,9.627124e-05,9.801059e-05,9.910884e-05,1.001002e-04,1.017836e-04,1.020969e-04,1.040024e-04,1.042989e-04,1.058184e-04,1.066589e-04,1.075470e-04,1.088684e-04,1.091904e-04,1.107509e-04,1.109328e-04,1.122311e-04,1.128576e-04,1.136334e-04,1.146486e-04,1.149604e-04,1.162147e-04,1.163120e-04,1.173990e-04,1.178537e-04,1.185158e-04,1.192796e-04,1.195678e-04,1.205574e-04,1.205957e-04,1.214873e-04,1.218079e-04,1.223599e-04,1.229217e-04,1.231776e-04,1.239427e-04,1.246577e-04,1.248762e-04,1.253246e-04,1.257273e-04,1.259457e-04,1.265008e-04,1.265231e-04,1.270587e-04,1.272015e-04,1.275545e-04,1.278337e-04,1.280125e-04,1.284019e-04,1.284344e-04,1.288219e-04,1.289100e-04,1.291767e-04,1.293618e-04,1.295005e-04,1.297610e-04,1.297948e-04,1.300611e-04,1.301111e-04,1.303007e-04,1.304153e-04,1.305151e-04,1.306766e-04,1.307055e-04,1.308733e-04,1.308981e-04,1.310195e-04,1.310824e-04,1.311454e-04,1.312321e-04,1.312519e-04,1.313403e-04,1.313497e-04,1.314114e-04,1.314374e-04,1.314662e-04,1.314975e-04,1.315056e-04,1.315306e-04,1.315320e-04,1.315418e-04,1.315427e-04,1.315402e-04,1.315314e-04,1.315264e-04,1.315012e-04,1.314999e-04,1.314652e-04,1.314498e-04,1.314192e-04,1.313825e-04,1.313638e-04,1.312994e-04,1.312019e-04,1.310911e-04,1.309682e-04,1.308343e-04,1.306904e-04,1.305375e-04,1.303764e-04,1.302079e-04,1.300329e-04,1.298520e-04,1.296660e-04,1.294754e-04,1.292808e-04,1.290828e-04,1.288820e-04,1.286787e-04,1.284734e-04,1.282665e-04,1.280585e-04,1.278496e-04,1.276401e-04,1.274305e-04,1.272210e-04,1.270117e-04
0.000000e+00,4.188197e-10,1.145491e-09,4.924370e-09,1.257944e-08,1.916600e-08,4.666744e-08,4.816414e-08,9.592580e-08,1.131024e-07,1.655398e-07,2.187842e-07,2.593069e-07,3.682913e-07,3.788266e-07,5.250194e-07,5.641120e-07,6.980635e-07,8.064669e-07,8.972203e-07,1.092575e-06,1.120554e-06,1.364673e-06,1.415590e-06,1.624794e-06,1.764523e-06,1.895293e-06,2.126391e-06,2.170530e-06,2.445477e-06,2.489151e-06,2.715968e-06,2.843218e-06,2.978692e-06,3.181536e-06,3.231088e-06,3.471224e-06,3.499146e-06,3.697706e-06,3.792776e-06,3.909598e-06,4.060534e-06,4.106362e-06,4.287799e-06,4.301652e-06,4.453996e-06,4.516273e-06,4.605274e-06,4.705234e-06,4.742137e-06,4.865228e-06,4.869876e-06,4.975288e-06,5.011873e-06,5.073120e-06,5.133088e-06,5.159561e-06,5.235455e-06,5.301636e-06,5.320896e-06,5.358913e-06,5.391256e-06,5.408058e-06,5.448264e-06,5.449800e-06,5.484822e-06,5.493511e-06,5.513755e-06,5.528437e-06,5.537182e-06,5.554332e-06,5.555637e-06,5.569605e-06,5.572340e-06,5.579529e-06,5.583469e-06,5.585806e-06,5.588600e-06,5.588797e-06,5.588829e-06,5.588506e-06,5.586197e-06,5.583865e-06,5.581167e-06,5.575265e-06,5.573979e-06,5.564844e-06,5.563216e-06,5.553958e-06,5.548163e-06,5.541496e-06,5.530497e-06,5.527615e-06,5.512457e-06,5.510558e-06,5.496150e-06,5.488641e-06,5.478811e-06,5.465008e-06,5.460545e-06,5.441449e-06,5.439888e-06,5.421609e-06,5.413483e-06,5.401105e-06,5.385971e-06,5.380009e-06,5.358386e-06,5.357511e-06,5.336298e-06,5.328243e-06,5.313799e-06,5.298292e-06,5.290940e-06,5.267767e-06,5.244323e-06,5.236770e-06,5.220646e-06,5.205388e-06,5.196774e-06,5.173704e-06,5.172740e-06,5.148575e-06,5.141789e-06,5.124307e-06,5.109709e-06,5.099963e-06,5.077521e-06,5.075568e-06,5.051142e-06,5.045278e-06,5.026709e-06,5.013030e-06,5.002287e-06,4.980819e-06,4.977894e-06,4.953546e-06,4.948684e-06,4.929260e-06,4.916660e-06,4.905049e-06,4.884780e-06,4.880927e-06,4.856905e-06,4.853072e-06,4.832995e-06,4.821561e-06,4.809208e-06,4.790272e-06,4.785552e-06,4.762037e-06,4.759225e-06,4.738670e-06,4.728438e-06,4.715459e-06,4.697928e-06,4.692412e-06,4.669533e-06,4.667710e-06,4.646829e-06,4.637798e-06,4.624306e-06,4.608203e-06,4.601967e-06,4.579817e-06,4.578935e-06,4.557859e-06,4.550003e-06,4.536099e-06,4.521415e-06,4.514537e-06,4.493178e-06,4.465297e-06,4.437777e-06,4.410622e-06,4.383835e-06,4.357418e-06,4.331373e-06,4.305702e-06,4.280404e-06,4.255480e-06,4.230930e-06,4.206751e-06,4.182944e-06,4.159507e-06,4.136437e-06,4.113732e-06,4.091390e-06,4.069409e-06,4.047784e-06,4.026513e-06,4.005593e-06,3.985020e-06,3.964790e-06,3.944900e-06,3.925346e-06
0.000000e+00,7.719927e-10,2.161108e-09,9.700689e-09,2.565347e-08,3.977417e-08,1.009252e-07,1.043269e-07,2.155761e-07,2.566126e-07,3.844531e-07,5.175465e-07,6.207209e-07,9.051103e-07,9.330871e-07,1.329164e-06,1.437403e-06,1.815118e-06,2.128092e-06,2.394845e-06,2.982953e-06,3.068685e-06,3.832242e-06,3.994981e-06,4.676288e-06,5.142859e-06,5.588098e-06,6.395989e-06,6.553455e-06,7.558259e-06,7.721793e-06,8.589372e-06,9.090109e-06,9.634897e-06,1.047450e-05,1.068419e-05,1.172778e-05,1.185222e-05,1.275731e-05,1.320393e-05,1.376550e-05,1.451358e-05,1.474611e-05,1.569391e-05,1.576818e-05,1.660462e-05,1.695774e-05,1.747489e-05,1.807500e-05,1.830221e-05,1.908486e-05,1.911522e-05,1.982180e-05,2.007581e-05,2.051259e-05,2.095600e-05,2.115733e-05,2.175654e-05,2.231113e-05,2.247935e-05,2.282226e-05,2.312723e-05,2.329135e-05,2.370361e-05,2.372000e-05,2.410989e-05,2.421236e-05,2.446283e-05,2.465761e-05,2.478064e-05,2.504360e-05,2.506518e-05,2.531829e-05,2.537456e-05,2.554179e-05,2.565469e-05,2.573747e-05,2.588802e-05,2.590705e-05,2.605220e-05,2.607844e-05,2.617453e-05,2.622964e-05,2.627558e-05,2.634508e-05,2.635680e-05,2.641959e-05,2.642802e-05,2.646527e-05,2.648149e-05,2.649509e-05,2.650832e-05,2.651023e-05,2.651179e-05,2.651111e-05,2.650082e-05,2.649228e-05,2.647830e-05,2.645403e-05,2.644515e-05,2.640225e-05,2.639842e-05,2.635039e-05,2.632731e-05,2.629033e-05,2.624241e-05,2.622278e-05,2.614841e-05,2.614530e-05,2.606783e-05,2.603741e-05,2.598162e-05,2.592005e-05,2.589031e-05,2.579441e-05,2.569438e-05,2.566157e-05,2.559066e-05,2.552253e-05,2.548366e-05,2.537819e-05,2.537374e-05,2.526127e-05,2.522937e-05,2.514656e-05,2.507679e-05,2.502992e-05,2.492115e-05,2.491163e-05,2.479195e-05,2.476304e-05,2.467111e-05,2.460302e-05,2.454935e-05,2.444159e-05,2.442686e-05,2.430384e-05,2.427919e-05,2.418047e-05,2.411623e-05,2.405691e-05,2.395307e-05,2.393330e-05,2.380979e-05,2.379005e-05,2.368651e-05,2.362744e-05,2.356356e-05,2.346553e-05,2.344107e-05,2.331912e-05,2.330453e-05,2.319781e-05,2.314466e-05,2.307722e-05,2.298610e-05,2.295743e-05,2.283850e-05,2.282902e-05,2.272049e-05,2.267356e-05,2.260347e-05,2.251985e-05,2.248747e-05,2.237256e-05,2.236798e-05,2.225876e-05,2.221808e-05,2.214612e-05,2.207020e-05,2.203466e-05,2.192442e-05,2.178081e-05,2.163941e-05,2.150025e-05,2.136337e-05,2.122880e-05,2.109655e-05,2.096664e-05,2.083905e-05,2.071381e-05,2.059090e-05,2.047032e-05,2.035206e-05,2.023609e-05,2.012241e-05,2.001099e-05,1.990181e-05,1.979485e-05,1.969008e-05,1.958747e-05,1.948699e-05,1.938863e-05,1.929233e-05,1.919808e-05,1.910584e-05
0.000000e+00,9.878216e-10,2.931028e-09,1.472135e-08,4.274761e-08,6.954376e-08,1.979347e-07,2.055093e-07,4.701486e-07,5.743315e-07,9.156471e-07,1.292576e-06,1.597043e-06,2.480870e-06,2.570873e-06,3.893220e-06,4.268351e-06,5.615653e-06,6.770758e-06,7.778805e-06,1.006649e-05,1.040674e-05,1.350566e-05,1.418138e-05,1.706645e-05,1.909409e-05,2.106838e-05,2.474965e-05,2.548211e-05,3.027200e-05,3.107065e-05,3.539769e-05,3.796453e-05,4.081538e-05,4.532888e-05,4.647902e-05,5.234128e-05,5.305584e-05,5.835460e-05,6.103619e-05,6.447209e-05,6.916307e-05,7.064840e-05,7.684044e-05,7.733525e-05,8.300793e-05,8.545967e-05,8.911397e-05,9.345341e-05,9.512524e-05,1.010123e-04,1.012448e-04,1.067495e-04,1.087739e-04,1.123150e-04,1.159922e-04,1.176908e-04,1.228624e-04,1.278184e-04,1.293573e-04,1.325505e-04,1.354589e-04,1.370532e-04,1.411571e-04,1.413234e-04,1.453600e-04,1.464484e-04,1.491638e-04,1.513354e-04,1.527373e-04,1.558248e-04,1.560843e-04,1.592095e-04,1.599271e-04,1.621187e-04,1.636558e-04,1.648183e-04,1.670262e-04,1.673154e-04,1.696173e-04,1.700549e-04,1.717317e-04,1.727596e-04,1.736664e-04,1.751586e-04,1.754294e-04,1.770287e-04,1.772699e-04,1.784720e-04,1.791117e-04,1.797672e-04,1.807019e-04,1.809220e-04,1.819437e-04,1.820577e-04,1.828397e-04,1.831958e-04,1.836169e-04,1.841323e-04,1.842821e-04,1.848419e-04,1.848823e-04,1.853026e-04,1.854605e-04,1.856702e-04,1.858805e-04,1.859504e-04,1.861489e-04,1.861552e-04,1.862708e-04,1.862969e-04,1.863212e-04,1.863171e-04,1.863049e-04,1.862263e-04,1.860899e-04,1.860347e-04,1.858997e-04,1.857515e-04,1.856595e-04,1.853855e-04,1.853732e-04,1.850441e-04,1.849447e-04,1.846755e-04,1.844368e-04,1.842706e-04,1.838686e-04,1.838323e-04,1.833634e-04,1.832466e-04,1.828665e-04,1.825770e-04,1.823441e-04,1.818651e-04,1.817985e-04,1.812318e-04,1.811161e-04,1.806462e-04,1.803349e-04,1.800436e-04,1.795256e-04,1.794258e-04,1.787945e-04,1.786924e-04,1.781514e-04,1.778389e-04,1.774979e-04,1.769686e-04,1.768355e-04,1.761654e-04,1.760846e-04,1.754890e-04,1.751896e-04,1.748073e-04,1.742865e-04,1.741216e-04,1.734326e-04,1.733774e-04,1.727415e-04,1.724647e-04,1.720492e-04,1.715503e-04,1.713563e-04,1.706637e-04,1.706360e-04,1.699721e-04,1.697235e-04,1.692822e-04,1.688143e-04,1.685945e-04,1.679097e-04,1.670108e-04,1.661190e-04,1.652349e-04,1.643597e-04,1.634940e-04,1.626385e-04,1.617939e-04,1.609606e-04,1.601392e-04,1.593300e-04,1.585333e-04,1.577495e-04,1.569787e-04,1.562212e-04,1.554771e-04,1.547466e-04,1.540296e-04,1.533262e-04,1.526365e-04,1.519604e-04,1.512979e-04,1.506489e-04,1.500134e-04,1.493912e-04
0.000000e+00,2.521543e-09,7.509601e-09,3.800816e-08,1.111443e-07,1.815164e-07,5.218968e-07,5.420955e-07,1.253098e-06,1.535203e-06,2.465724e-06,3.502203e-06,4.344861e-06,6.812616e-06,7.065451e-06,1.080606e-05,1.187478e-05,1.573492e-05,1.906659e-05,2.198727e-05,2.864928e-05,2.964323e-05,3.871951e-05,4.070254e-05,4.917622e-05,5.513301e-05,6.093026e-05,7.172395e-05,7.386826e-05,8.785649e-05,9.018240e-05,1.027483e-04,1.101723e-04,1.183897e-04,1.313373e-04,1.346241e-04,1.512955e-04,1.533182e-04,1.682523e-04,1.757661e-04,1.853497e-04,1.983538e-04,2.024518e-04,2.194333e-04,2.207831e-04,2.361808e-04,2.427913e-04,2.525936e-04,2.641535e-04,2.685835e-04,2.840755e-04,2.846839e-04,2.990069e-04,3.042348e-04,3.133268e-04,3.226946e-04,3.269959e-04,3.399846e-04,3.522732e-04,3.560555e-04,3.638499e-04,3.708833e-04,3.747107e-04,3.844654e-04,3.848576e-04,3.942985e-04,3.968170e-04,4.030458e-04,4.079678e-04,4.111156e-04,4.179582e-04,4.185274e-04,4.253031e-04,4.268373e-04,4.314665e-04,4.346598e-04,4.370427e-04,4.414848e-04,4.420579e-04,4.465389e-04,4.473734e-04,4.505127e-04,4.523876e-04,4.540062e-04,4.565892e-04,4.570463e-04,4.596592e-04,4.600393e-04,4.618706e-04,4.627969e-04,4.637057e-04,4.649191e-04,4.651886e-04,4.663428e-04,4.664603e-04,4.671907e-04,4.674723e-04,4.677538e-04,4.680039e-04,4.680526e-04,4.681068e-04,4.681011e-04,4.679348e-04,4.678067e-04,4.675545e-04,4.671609e-04,4.669823e-04,4.662342e-04,4.662008e-04,4.653249e-04,4.649609e-04,4.642685e-04,4.634729e-04,4.630782e-04,4.617662e-04,4.603442e-04,4.598678e-04,4.588231e-04,4.578023e-04,4.572131e-04,4.555925e-04,4.555235e-04,4.537633e-04,4.532590e-04,4.519408e-04,4.508206e-04,4.500636e-04,4.482945e-04,4.481389e-04,4.461734e-04,4.456963e-04,4.441732e-04,4.430401e-04,4.421440e-04,4.403387e-04,4.400913e-04,4.380198e-04,4.376037e-04,4.359341e-04,4.348454e-04,4.338385e-04,4.320732e-04,4.317367e-04,4.296324e-04,4.292956e-04,4.275287e-04,4.265201e-04,4.254287e-04,4.237533e-04,4.233352e-04,4.212506e-04,4.210012e-04,4.191773e-04,4.182691e-04,4.171173e-04,4.155617e-04,4.150724e-04,4.130445e-04,4.128831e-04,4.110351e-04,4.102368e-04,4.090455e-04,4.076260e-04,4.070770e-04,4.051308e-04,4.050534e-04,4.032078e-04,4.025214e-04,4.013089e-04,4.000318e-04,3.994348e-04,3.975863e-04,3.951862e-04,3.928328e-04,3.905267e-04,3.882687e-04,3.860593e-04,3.838987e-04,3.817871e-04,3.797244e-04,3.777106e-04,3.757453e-04,3.738283e-04,3.719592e-04,3.701374e-04,3.683625e-04,3.666337e-04,3.649505e-04,3.633121e-04,3.617179e-04,3.601669e-04,3.586585e-04,3.571918e-04,3.557659e-04,3.543801e-04,3.530334e-04
0.000000e+00,8.545600e-10,2.107246e-09,7.832076e-09,1.840863e-08,2.713481e-08,6.234470e-08,6.423419e-08,1.241426e-07,1.456619e-07,2.116803e-07,2.794658e-07,3.316615e-07,4.748410e-07,4.889012e-07,6.878543e-07,7.422055e-07,9.316523e-07,1.088048e-06,1.220635e-06,1.509671e-06,1.551366e-06,1.917286e-06,1.994007e-06,2.310605e-06,2.523462e-06,2.723917e-06,3.081848e-06,3.150838e-06,3.586016e-06,3.656098e-06,4.024906e-06,4.235713e-06,4.463557e-06,4.811944e-06,4.898474e-06,5.326535e-06,5.377306e-06,5.744968e-06,5.925389e-06,6.151340e-06,6.450816e-06,6.543558e-06,6.919879e-06,6.949254e-06,7.278901e-06,7.417415e-06,7.619556e-06,7.853023e-06,7.941097e-06,8.243071e-06,8.254740e-06,8.525293e-06,8.622061e-06,8.787816e-06,8.955202e-06,9.030892e-06,9.254936e-06,9.460504e-06,9.522491e-06,9.648268e-06,9.759438e-06,9.818979e-06,9.967565e-06,9.973442e-06,1.011250e-05,1.014880e-05,1.023703e-05,1.030513e-05,1.034789e-05,1.043856e-05,1.044596e-05,1.053207e-05,1.055105e-05,1.060704e-05,1.064446e-05,1.067167e-05,1.072061e-05,1.072673e-05,1.077293e-05,1.078117e-05,1.081095e-05,1.082770e-05,1.084142e-05,1.086162e-05,1.086494e-05,1.088205e-05,1.088423e-05,1.089328e-05,1.089673e-05,1.089912e-05,1.090020e-05,1.090000e-05,1.089635e-05,1.089562e-05,1.088854e-05,1.088387e-05,1.087692e-05,1.086574e-05,1.086182e-05,1.084355e-05,1.084196e-05,1.082238e-05,1.081316e-05,1.079857e-05,1.077992e-05,1.077236e-05,1.074395e-05,1.074277e-05,1.071356e-05,1.070217e-05,1.068137e-05,1.065854e-05,1.064755e-05,1.061225e-05,1.057563e-05,1.056365e-05,1.053780e-05,1.051302e-05,1.049891e-05,1.046066e-05,1.045905e-05,1.041834e-05,1.040680e-05,1.037686e-05,1.035166e-05,1.033473e-05,1.029544e-05,1.029200e-05,1.024876e-05,1.023832e-05,1.020509e-05,1.018046e-05,1.016104e-05,1.012201e-05,1.011668e-05,1.007205e-05,1.006310e-05,1.002723e-05,1.000385e-05,9.982241e-06,9.944363e-06,9.937141e-06,9.891968e-06,9.884736e-06,9.846760e-06,9.825058e-06,9.801552e-06,9.765408e-06,9.756377e-06,9.711265e-06,9.705857e-06,9.666244e-06,9.646470e-06,9.621340e-06,9.587305e-06,9.576576e-06,9.531974e-06,9.528414e-06,9.487556e-06,9.469844e-06,9.443339e-06,9.411638e-06,9.399342e-06,9.355580e-06,9.353835e-06,9.312068e-06,9.296468e-06,9.268820e-06,9.239568e-06,9.225848e-06,9.183164e-06,9.127280e-06,9.071936e-06,9.017154e-06,8.962948e-06,8.909335e-06,8.856327e-06,8.803935e-06,8.752168e-06,8.701035e-06,8.650542e-06,8.600694e-06,8.551495e-06,8.502949e-06,8.455058e-06,8.407822e-06,8.361242e-06,8.315318e-06,8.270048e-06,8.225430e-06,8.181463e-06,8.138142e-06,8.095466e-06,8.053429e-06,8.012029e-06
0.000000e+00,3.781077e-09,8.690698e-09,3.006377e-08,6.870809e-08,1.004765e-07,2.293358e-07,2.362958e-07,4.595185e-07,5.408645e-07,7.939112e-07,1.058632e-06,1.265402e-06,1.842893e-06,1.900242e-06,2.718644e-06,2.943347e-06,3.725847e-06,4.368598e-06,4.910577e-06,6.084683e-06,6.253532e-06,7.735373e-06,8.046874e-06,9.339116e-06,1.021617e-05,1.104965e-05,1.255868e-05,1.285285e-05,1.473503e-05,1.504260e-05,1.668273e-05,1.763704e-05,1.868283e-05,2.031207e-05,2.072261e-05,2.279002e-05,2.303943e-05,2.487380e-05,2.579315e-05,2.696360e-05,2.855010e-05,2.905010e-05,3.112498e-05,3.129025e-05,3.318100e-05,3.399669e-05,3.521188e-05,3.665551e-05,3.721227e-05,3.917770e-05,3.925553e-05,4.110445e-05,4.178802e-05,4.298953e-05,4.424632e-05,4.483052e-05,4.662556e-05,4.837325e-05,4.892233e-05,5.007257e-05,5.113443e-05,5.172285e-05,5.326063e-05,5.332372e-05,5.487501e-05,5.530050e-05,5.637680e-05,5.725420e-05,5.782931e-05,5.912242e-05,5.923292e-05,6.058811e-05,6.090622e-05,6.189548e-05,6.260697e-05,6.315570e-05,6.422626e-05,6.436948e-05,6.553764e-05,6.576587e-05,6.666100e-05,6.722773e-05,6.774043e-05,6.861386e-05,6.877683e-05,6.977112e-05,6.992636e-05,7.072422e-05,7.116736e-05,7.163708e-05,7.233903e-05,7.251065e-05,7.334588e-05,7.344357e-05,7.414372e-05,7.448317e-05,7.490512e-05,7.546000e-05,7.563104e-05,7.632240e-05,7.637624e-05,7.698014e-05,7.723403e-05,7.760518e-05,7.803548e-05,7.819844e-05,7.876081e-05,7.878268e-05,7.929318e-05,7.947766e-05,7.979643e-05,8.012244e-05,8.027142e-05,8.071898e-05,8.113997e-05,8.126920e-05,8.153518e-05,8.177497e-05,8.190543e-05,8.223810e-05,8.225149e-05,8.257414e-05,8.266039e-05,8.287413e-05,8.304355e-05,8.315219e-05,8.338927e-05,8.340906e-05,8.364542e-05,8.369917e-05,8.386197e-05,8.397484e-05,8.405939e-05,8.421780e-05,8.423832e-05,8.439942e-05,8.442955e-05,8.454330e-05,8.461151e-05,8.467057e-05,8.476508e-05,8.478183e-05,8.487765e-05,8.489159e-05,8.495861e-05,8.499235e-05,8.502524e-05,8.506860e-05,8.507809e-05,8.511767e-05,8.512155e-05,8.514449e-05,8.515237e-05,8.515903e-05,8.516218e-05,8.516179e-05,8.515322e-05,8.515206e-05,8.513378e-05,8.512305e-05,8.510390e-05,8.507616e-05,8.506401e-05,8.501452e-05,8.501235e-05,8.495584e-05,8.493254e-05,8.488836e-05,8.483764e-05,8.481245e-05,8.472849e-05,8.460591e-05,8.447071e-05,8.432362e-05,8.416539e-05,8.399671e-05,8.381825e-05,8.363065e-05,8.343451e-05,8.323043e-05,8.301897e-05,8.280067e-05,8.257603e-05,8.234556e-05,8.210972e-05,8.186895e-05,8.162369e-05,8.137434e-05,8.112129e-05,8.086492e-05,8.060557e-05,8.034358e-05,8.007927e-05,7.981295e-05,7.954490e-05
0.000000e+00,1.733531e-09,4.769884e-09,2.080894e-08,5.401763e-08,8.312446e-08,2.085169e-07,2.154935e-07,4.450036e-07,5.304992e-07,8.000850e-07,1.085951e-06,1.311042e-06,1.945631e-06,2.009069e-06,2.922801e-06,3.176653e-06,4.071414e-06,4.818322e-06,5.455073e-06,6.847875e-06,7.048860e-06,8.808254e-06,9.175557e-06,1.068344e-05,1.168944e-05,1.263082e-05,1.429726e-05,1.461638e-05,1.661444e-05,1.693390e-05,1.860525e-05,1.955355e-05,2.057319e-05,2.212251e-05,2.250564e-05,2.439241e-05,2.461534e-05,2.622529e-05,2.701297e-05,2.799785e-05,2.930159e-05,2.970520e-05,3.134382e-05,3.147186e-05,3.291134e-05,3.351810e-05,3.440639e-05,3.543761e-05,3.582842e-05,3.717756e-05,3.723002e-05,3.845450e-05,3.889673e-05,3.966036e-05,4.044047e-05,4.079659e-05,4.186491e-05,4.286723e-05,4.317436e-05,4.380560e-05,4.437358e-05,4.468216e-05,4.546751e-05,4.549907e-05,4.625855e-05,4.646122e-05,4.696283e-05,4.735983e-05,4.761413e-05,4.816841e-05,4.821463e-05,4.876648e-05,4.889193e-05,4.927181e-05,4.953525e-05,4.973268e-05,5.010307e-05,5.015110e-05,5.052904e-05,5.059993e-05,5.086839e-05,5.103022e-05,5.117101e-05,5.139813e-05,5.143869e-05,5.167314e-05,5.170769e-05,5.187603e-05,5.196267e-05,5.204893e-05,5.216668e-05,5.219337e-05,5.231082e-05,5.232316e-05,5.240270e-05,5.243538e-05,5.247037e-05,5.250642e-05,5.251514e-05,5.253825e-05,5.253920e-05,5.254089e-05,5.253648e-05,5.252421e-05,5.250086e-05,5.248932e-05,5.243725e-05,5.243482e-05,5.236901e-05,5.234068e-05,5.228557e-05,5.222061e-05,5.218784e-05,5.207668e-05,5.195295e-05,5.191083e-05,5.181743e-05,5.172486e-05,5.167088e-05,5.152049e-05,5.151403e-05,5.134756e-05,5.129932e-05,5.117214e-05,5.106285e-05,5.098839e-05,5.081249e-05,5.079690e-05,5.059825e-05,5.054957e-05,5.039298e-05,5.027532e-05,5.018159e-05,4.999090e-05,4.996458e-05,4.974240e-05,4.969738e-05,4.951550e-05,4.939578e-05,4.928429e-05,4.908704e-05,4.904918e-05,4.881053e-05,4.877205e-05,4.856871e-05,4.845160e-05,4.832405e-05,4.812649e-05,4.807686e-05,4.782747e-05,4.779740e-05,4.757614e-05,4.746501e-05,4.732315e-05,4.712993e-05,4.706877e-05,4.681322e-05,4.679273e-05,4.655675e-05,4.645394e-05,4.629956e-05,4.611405e-05,4.604186e-05,4.578384e-05,4.577351e-05,4.552568e-05,4.543275e-05,4.526756e-05,4.509214e-05,4.500963e-05,4.475204e-05,4.441279e-05,4.407469e-05,4.373801e-05,4.340301e-05,4.306992e-05,4.273895e-05,4.241030e-05,4.208413e-05,4.176062e-05,4.143989e-05,4.112209e-05,4.080732e-05,4.049569e-05,4.018728e-05,3.988218e-05,3.958046e-05,3.928217e-05,3.898738e-05,3.869611e-05,3.840840e-05,3.812430e-05,3.784380e-05,3.756694e-05,3.729371e-05
0.000000e+00,1.848742e-09,5.497457e-09,2.776984e-08,8.122400e-08,1.328103e-07,3.847485e-07,3.998240e-07,9.388010e-07,1.156842e-06,1.891156e-06,2.733512e-06,3.435010e-06,5.560425e-06,5.783272e-06,9.161279e-06,1.014775e-05,1.375726e-05,1.690423e-05,1.966974e-05,2.595835e-05,2.689178e-05,3.533518e-05,3.715908e-05,4.486586e-05,5.020114e-05,5.533142e-05,6.473170e-05,6.657724e-05,7.845475e-05,8.040435e-05,9.082521e-05,9.690023e-05,1.035611e-04,1.139346e-04,1.165465e-04,1.296771e-04,1.312581e-04,1.428601e-04,1.486557e-04,1.560133e-04,1.659454e-04,1.690651e-04,1.819538e-04,1.829762e-04,1.946266e-04,1.996251e-04,2.070394e-04,2.157950e-04,2.191559e-04,2.309466e-04,2.314111e-04,2.423883e-04,2.464183e-04,2.534635e-04,2.607786e-04,2.641594e-04,2.744676e-04,2.843831e-04,2.874727e-04,2.939040e-04,2.997906e-04,3.030312e-04,3.114255e-04,3.117675e-04,3.201176e-04,3.223872e-04,3.280876e-04,3.326902e-04,3.356849e-04,3.423522e-04,3.429176e-04,3.497948e-04,3.513935e-04,3.563259e-04,3.598358e-04,3.625207e-04,3.677021e-04,3.683895e-04,3.739425e-04,3.750161e-04,3.791901e-04,3.818016e-04,3.841428e-04,3.880826e-04,3.888108e-04,3.932044e-04,3.938826e-04,3.973338e-04,3.992250e-04,4.012089e-04,4.041324e-04,4.048394e-04,4.082348e-04,4.086269e-04,4.114045e-04,4.127300e-04,4.143575e-04,4.164624e-04,4.171027e-04,4.196487e-04,4.198440e-04,4.220037e-04,4.228940e-04,4.241758e-04,4.256309e-04,4.261729e-04,4.280025e-04,4.280723e-04,4.296719e-04,4.302350e-04,4.311882e-04,4.321353e-04,4.325582e-04,4.337884e-04,4.348853e-04,4.352091e-04,4.358549e-04,4.364114e-04,4.367031e-04,4.374086e-04,4.374357e-04,4.380581e-04,4.382133e-04,4.385755e-04,4.388376e-04,4.389930e-04,4.392930e-04,4.393154e-04,4.395476e-04,4.395904e-04,4.396939e-04,4.397400e-04,4.397587e-04,4.397516e-04,4.397461e-04,4.396601e-04,4.396345e-04,4.395046e-04,4.393975e-04,4.392832e-04,4.390490e-04,4.389995e-04,4.386568e-04,4.385967e-04,4.382584e-04,4.380483e-04,4.378074e-04,4.374107e-04,4.373067e-04,4.367593e-04,4.366906e-04,4.361678e-04,4.358943e-04,4.355349e-04,4.350278e-04,4.348631e-04,4.341549e-04,4.340967e-04,4.334124e-04,4.331064e-04,4.326380e-04,4.320618e-04,4.318337e-04,4.310015e-04,4.309676e-04,4.301434e-04,4.298285e-04,4.292612e-04,4.286484e-04,4.283567e-04,4.274315e-04,4.261814e-04,4.249017e-04,4.235956e-04,4.222662e-04,4.209165e-04,4.195492e-04,4.181669e-04,4.167719e-04,4.153666e-04,4.139530e-04,4.125332e-04,4.111090e-04,4.096820e-04,4.082540e-04,4.068265e-04,4.054008e-04,4.039782e-04,4.025600e-04,4.011473e-04,3.997411e-04,3.983425e-04,3.969522e-04,3.955712e-04,3.942002e-04
0.000000e+00,1.223083e-08,3.658406e-08,1.869037e-07,5.515166e-07,9.054268e-07,2.641168e-06,2.745089e-06,6.447860e-06,7.936299e-06,1.290451e-05,1.852417e-05,2.314733e-05,3.690981e-05,3.833585e-05,5.970396e-05,6.588659e-05,8.843201e-05,1.081019e-04,1.254684e-04,1.654163e-04,1.714108e-04,2.265080e-04,2.386273e-04,2.907293e-04,3.276577e-04,3.638364e-04,4.318293e-04,4.454362e-04,5.350176e-04,5.500522e-04,6.319778e-04,6.809442e-04,7.356440e-04,8.229208e-04,8.452934e-04,9.601710e-04,9.742711e-04,1.079507e-03,1.133229e-03,1.202532e-03,1.298033e-03,1.328492e-03,1.456656e-03,1.466983e-03,1.586330e-03,1.638475e-03,1.716862e-03,1.811035e-03,1.847648e-03,1.978131e-03,1.983337e-03,2.107808e-03,2.154206e-03,2.236228e-03,2.322627e-03,2.362988e-03,2.487735e-03,2.610163e-03,2.648806e-03,2.730008e-03,2.805250e-03,2.847049e-03,2.956595e-03,2.961098e-03,3.072004e-03,3.102477e-03,3.179646e-03,3.242625e-03,3.283931e-03,3.376848e-03,3.384789e-03,3.482175e-03,3.505027e-03,3.576060e-03,3.627103e-03,3.666435e-03,3.743065e-03,3.753304e-03,3.836686e-03,3.852946e-03,3.916608e-03,3.956813e-03,3.993110e-03,4.054763e-03,4.066239e-03,4.136048e-03,4.146914e-03,4.202598e-03,4.233403e-03,4.265953e-03,4.314383e-03,4.326182e-03,4.383357e-03,4.390016e-03,4.437553e-03,4.460475e-03,4.488845e-03,4.525934e-03,4.537313e-03,4.583035e-03,4.586577e-03,4.626090e-03,4.642584e-03,4.666559e-03,4.694140e-03,4.704521e-03,4.740055e-03,4.741427e-03,4.773240e-03,4.784627e-03,4.804154e-03,4.823918e-03,4.832874e-03,4.859476e-03,4.884034e-03,4.891472e-03,4.906621e-03,4.920076e-03,4.927310e-03,4.945451e-03,4.946171e-03,4.963273e-03,4.967755e-03,4.978682e-03,4.987144e-03,4.992466e-03,5.003767e-03,5.004688e-03,5.015411e-03,5.017768e-03,5.024695e-03,5.029288e-03,5.032599e-03,5.038460e-03,5.039182e-03,5.044499e-03,5.045415e-03,5.048604e-03,5.050277e-03,5.051549e-03,5.053166e-03,5.053387e-03,5.054167e-03,5.054196e-03,5.053936e-03,5.053479e-03,5.052740e-03,5.051120e-03,5.050626e-03,5.047636e-03,5.047220e-03,5.043812e-03,5.041876e-03,5.039196e-03,5.035181e-03,5.033825e-03,5.027739e-03,5.027223e-03,5.020974e-03,5.018085e-03,5.013565e-03,5.007850e-03,5.005545e-03,4.996949e-03,4.996594e-03,4.987808e-03,4.984390e-03,4.978152e-03,4.971307e-03,4.968011e-03,4.957412e-03,4.942769e-03,4.927436e-03,4.911472e-03,4.894930e-03,4.877861e-03,4.860314e-03,4.842335e-03,4.823968e-03,4.805255e-03,4.786233e-03,4.766941e-03,4.747413e-03,4.727681e-03,4.707778e-03,4.687731e-03,4.667570e-03,4.647319e-03,4.627003e-03,4.606645e-03,4.586266e-03,4.565887e-03,4.545526e-03,4.525201e-03,4.504928e-03
0.000000e+00,3.620413e-08,1.064348e-07,5.246443e-07,1.498623e-06,2.416974e-06,6.736773e-06,6.989004e-06,1.570603e-05,1.910501e-05,3.017485e-05,4.233883e-05,5.214563e-05,8.060597e-05,8.350609e-05,1.261650e-04,1.382750e-04,1.817222e-04,2.188247e-04,2.510270e-04,3.233148e-04,3.339617e-04,4.295974e-04,4.501292e-04,5.365198e-04,5.960454e-04,6.531108e-04,7.573095e-04,7.777185e-04,9.087396e-04,9.301951e-04,1.044651e-03,1.111200e-03,1.184017e-03,1.297091e-03,1.325493e-03,1.467822e-03,1.484902e-03,1.609839e-03,1.671949e-03,1.750476e-03,1.855840e-03,1.888768e-03,2.023853e-03,2.034498e-03,2.154981e-03,2.206178e-03,2.281515e-03,2.369472e-03,2.402924e-03,2.518789e-03,2.523304e-03,2.628790e-03,2.666908e-03,2.732701e-03,2.799807e-03,2.830383e-03,2.921776e-03,3.006888e-03,3.032807e-03,3.085786e-03,3.133071e-03,3.158585e-03,3.222877e-03,3.225440e-03,3.286536e-03,3.302639e-03,3.342084e-03,3.372844e-03,3.392311e-03,3.434029e-03,3.437460e-03,3.477777e-03,3.486763e-03,3.513518e-03,3.531628e-03,3.544936e-03,3.569208e-03,3.572283e-03,3.595810e-03,3.600078e-03,3.615760e-03,3.624802e-03,3.632377e-03,3.643931e-03,3.645895e-03,3.656530e-03,3.657979e-03,3.664492e-03,3.667422e-03,3.669977e-03,3.672706e-03,3.673169e-03,3.674245e-03,3.674239e-03,3.673367e-03,3.672402e-03,3.670690e-03,3.667542e-03,3.666359e-03,3.660509e-03,3.659980e-03,3.653268e-03,3.650009e-03,3.644754e-03,3.637898e-03,3.635078e-03,3.624343e-03,3.623893e-03,3.612647e-03,3.608218e-03,3.600077e-03,3.591075e-03,3.586719e-03,3.572650e-03,3.557942e-03,3.553112e-03,3.542663e-03,3.532613e-03,3.526874e-03,3.511292e-03,3.510634e-03,3.493997e-03,3.489274e-03,3.477012e-03,3.466673e-03,3.459725e-03,3.443592e-03,3.442180e-03,3.424415e-03,3.420123e-03,3.406467e-03,3.396349e-03,3.388371e-03,3.372347e-03,3.370156e-03,3.351853e-03,3.348184e-03,3.333488e-03,3.323922e-03,3.315085e-03,3.299614e-03,3.296667e-03,3.278255e-03,3.275311e-03,3.259868e-03,3.251056e-03,3.241523e-03,3.226889e-03,3.223237e-03,3.205024e-03,3.202844e-03,3.186898e-03,3.178954e-03,3.168872e-03,3.155245e-03,3.150956e-03,3.133161e-03,3.131743e-03,3.115496e-03,3.108468e-03,3.097969e-03,3.085440e-03,3.080588e-03,3.063360e-03,3.062675e-03,3.046292e-03,3.040187e-03,3.029388e-03,3.017989e-03,3.012653e-03,2.996092e-03,2.974505e-03,2.953234e-03,2.932286e-03,2.911666e-03,2.891378e-03,2.871425e-03,2.851808e-03,2.832528e-03,2.813587e-03,2.794983e-03,2.776717e-03,2.758785e-03,2.741188e-03,2.723922e-03,2.706985e-03,2.690373e-03,2.674084e-03,2.658114e-03,2.642459e-03,2.627116e-03,2.612080e-03,2.597346e-03,2.582911e-03,2.568770e-03
0.000000e+00,7.907575e-10,2.226207e-09,1.010302e-08,2.698156e-08,4.207139e-08,1.085722e-07,1.123195e-07,2.373531e-07,2.846252e-07,4.355814e-07,5.981390e-07,7.273769e-07,1.093746e-06,1.130308e-06,1.650498e-06,1.792237e-06,2.281426e-06,2.678778e-06,3.011456e-06,3.727215e-06,3.829771e-06,4.727772e-06,4.916296e-06,5.698380e-06,6.229624e-06,6.735069e-06,7.652094e-06,7.831176e-06,8.979537e-06,9.167613e-06,1.017237e-05,1.075829e-05,1.140133e-05,1.240459e-05,1.265760e-05,1.393216e-05,1.408590e-05,1.521590e-05,1.578135e-05,1.649990e-05,1.747062e-05,1.777558e-05,1.903490e-05,1.913471e-05,2.027045e-05,2.075650e-05,2.147560e-05,2.232119e-05,2.264454e-05,2.377231e-05,2.381650e-05,2.485483e-05,2.523281e-05,2.588885e-05,2.656300e-05,2.687192e-05,2.780237e-05,2.867917e-05,2.894834e-05,2.950195e-05,3.000021e-05,3.027083e-05,3.095883e-05,3.098645e-05,3.164978e-05,3.182632e-05,3.226217e-05,3.260580e-05,3.282519e-05,3.330110e-05,3.334063e-05,3.381043e-05,3.391661e-05,3.423662e-05,3.445703e-05,3.462132e-05,3.492722e-05,3.496665e-05,3.527477e-05,3.533211e-05,3.554779e-05,3.567658e-05,3.578780e-05,3.596538e-05,3.599682e-05,3.617683e-05,3.620307e-05,3.632971e-05,3.639399e-05,3.645728e-05,3.654227e-05,3.656126e-05,3.664329e-05,3.665174e-05,3.670495e-05,3.672600e-05,3.674769e-05,3.676838e-05,3.677290e-05,3.678190e-05,3.678196e-05,3.677590e-05,3.676956e-05,3.675605e-05,3.673380e-05,3.672343e-05,3.667905e-05,3.667704e-05,3.662384e-05,3.660148e-05,3.655867e-05,3.650910e-05,3.648437e-05,3.640170e-05,3.631136e-05,3.628094e-05,3.621401e-05,3.614832e-05,3.611027e-05,3.600519e-05,3.600071e-05,3.588585e-05,3.585281e-05,3.576619e-05,3.569229e-05,3.564220e-05,3.552465e-05,3.551429e-05,3.538285e-05,3.535083e-05,3.524827e-05,3.517166e-05,3.511088e-05,3.498790e-05,3.497099e-05,3.482891e-05,3.480025e-05,3.468490e-05,3.460934e-05,3.453922e-05,3.441573e-05,3.439210e-05,3.424377e-05,3.421994e-05,3.409442e-05,3.402243e-05,3.394425e-05,3.382364e-05,3.379344e-05,3.364213e-05,3.362395e-05,3.349049e-05,3.342370e-05,3.333865e-05,3.322320e-05,3.318675e-05,3.303490e-05,3.302275e-05,3.288321e-05,3.282260e-05,3.273179e-05,3.262299e-05,3.258073e-05,3.243012e-05,3.242411e-05,3.228005e-05,3.222617e-05,3.213058e-05,3.202933e-05,3.198179e-05,3.183374e-05,3.163955e-05,3.144687e-05,3.125582e-05,3.106648e-05,3.087896e-05,3.069332e-05,3.050964e-05,3.032796e-05,3.014835e-05,2.997084e-05,2.979548e-05,2.962229e-05,2.945131e-05,2.928255e-05,2.911603e-05,2.895176e-05,2.878975e-05,2.863001e-05,2.847253e-05,2.831733e-05,2.816438e-05,2.801370e-05,2.786526e-05,2.771906e-05
0.000000e+00,1.880084e-09,4.335795e-09,1.502846e-08,3.433126e-08,5.017410e-08,1.142852e-07,1.177430e-07,2.284868e-07,2.687945e-07,3.941139e-07,5.252199e-07,6.277137e-07,9.149521e-07,9.435935e-07,1.355835e-06,1.470412e-06,1.874858e-06,2.213401e-06,2.502846e-06,3.139399e-06,3.231723e-06,4.046263e-06,4.217934e-06,4.929420e-06,5.410556e-06,5.865768e-06,6.683910e-06,6.842421e-06,7.848714e-06,8.011849e-06,8.875599e-06,9.373463e-06,9.915176e-06,1.075122e-05,1.096040e-05,1.200492e-05,1.212993e-05,1.304300e-05,1.349638e-05,1.406952e-05,1.483913e-05,1.507994e-05,1.607031e-05,1.614857e-05,1.703724e-05,1.741679e-05,1.797789e-05,1.863759e-05,1.888998e-05,1.977164e-05,1.980625e-05,2.062149e-05,2.091945e-05,2.143854e-05,2.197506e-05,2.222215e-05,2.297196e-05,2.368793e-05,2.390990e-05,2.437018e-05,2.478929e-05,2.501908e-05,2.561108e-05,2.563510e-05,2.621888e-05,2.637665e-05,2.677113e-05,2.708768e-05,2.729265e-05,2.774606e-05,2.778432e-05,2.824703e-05,2.835388e-05,2.868174e-05,2.891330e-05,2.908939e-05,2.942649e-05,2.947093e-05,2.982734e-05,2.989568e-05,3.015955e-05,3.032306e-05,3.046854e-05,3.071081e-05,3.075522e-05,3.102051e-05,3.106103e-05,3.126532e-05,3.137580e-05,3.149051e-05,3.165711e-05,3.169693e-05,3.188543e-05,3.190688e-05,3.205680e-05,3.212697e-05,3.221181e-05,3.231915e-05,3.235123e-05,3.247578e-05,3.248512e-05,3.258616e-05,3.262649e-05,3.268305e-05,3.274483e-05,3.276710e-05,3.283895e-05,3.284158e-05,3.289920e-05,3.291816e-05,3.294843e-05,3.297590e-05,3.298720e-05,3.301604e-05,3.303549e-05,3.303980e-05,3.304602e-05,3.304830e-05,3.304811e-05,3.304261e-05,3.304222e-05,3.302880e-05,3.302374e-05,3.300824e-05,3.299266e-05,3.298097e-05,3.295026e-05,3.294735e-05,3.290776e-05,3.289741e-05,3.286255e-05,3.283490e-05,3.281205e-05,3.276350e-05,3.275659e-05,3.269647e-05,3.268391e-05,3.263199e-05,3.259683e-05,3.256342e-05,3.250287e-05,3.249104e-05,3.241510e-05,3.240264e-05,3.233585e-05,3.229669e-05,3.225351e-05,3.218556e-05,3.216830e-05,3.208045e-05,3.206974e-05,3.199015e-05,3.194969e-05,3.189760e-05,3.182586e-05,3.180297e-05,3.170644e-05,3.169864e-05,3.160817e-05,3.156842e-05,3.150834e-05,3.143556e-05,3.140707e-05,3.130453e-05,3.130040e-05,3.120083e-05,3.116325e-05,3.109612e-05,3.102439e-05,3.099051e-05,3.088412e-05,3.074268e-05,3.060030e-05,3.045722e-05,3.031364e-05,3.016975e-05,3.002572e-05,2.988173e-05,2.973793e-05,2.959445e-05,2.945144e-05,2.930901e-05,2.916727e-05,2.902633e-05,2.888628e-05,2.874721e-05,2.860919e-05,2.847230e-05,2.833661e-05,2.820217e-05,2.806904e-05,2.793726e-05,2.780688e-05,2.767794e-05,2.755047e-05
0.000000e+00,2.911102e-09,8.667727e-09,4.384894e-08,1.281695e-07,2.092714e-07,6.012975e-07,6.245507e-07,1.442495e-06,1.766751e-06,2.835296e-06,4.023804e-06,4.988827e-06,7.809330e-06,8.097891e-06,1.236062e-05,1.357702e-05,1.796943e-05,2.176366e-05,2.509557e-05,3.272427e-05,3.386630e-05,4.434180e-05,4.664126e-05,5.650445e-05,6.346891e-05,7.026633e-05,8.296100e-05,8.548765e-05,1.019959e-04,1.047441e-04,1.196009e-04,1.283828e-04,1.381049e-04,1.534224e-04,1.573103e-04,1.770240e-04,1.794150e-04,1.970619e-04,2.059361e-04,2.172505e-04,2.325958e-04,2.374300e-04,2.574549e-04,2.590462e-04,2.771952e-04,2.849855e-04,2.965366e-04,3.101596e-04,3.153808e-04,3.336444e-04,3.343619e-04,3.512591e-04,3.574306e-04,3.681701e-04,3.792456e-04,3.843352e-04,3.997240e-04,4.143163e-04,4.188155e-04,4.281010e-04,4.364977e-04,4.410751e-04,4.527713e-04,4.532426e-04,4.646130e-04,4.676558e-04,4.752010e-04,4.811858e-04,4.850251e-04,4.934073e-04,4.941071e-04,5.024713e-04,5.043748e-04,5.101439e-04,5.141486e-04,5.171524e-04,5.227932e-04,5.235254e-04,5.292918e-04,5.303749e-04,5.344810e-04,5.369609e-04,5.391220e-04,5.426180e-04,5.432438e-04,5.468746e-04,5.474118e-04,5.500422e-04,5.514061e-04,5.527735e-04,5.546620e-04,5.550946e-04,5.570306e-04,5.572382e-04,5.586056e-04,5.591903e-04,5.598429e-04,5.605710e-04,5.607645e-04,5.613918e-04,5.614298e-04,5.617447e-04,5.618134e-04,5.618425e-04,5.617651e-04,5.617033e-04,5.613443e-04,5.613256e-04,5.607818e-04,5.605325e-04,5.600313e-04,5.594210e-04,5.591073e-04,5.580235e-04,5.567928e-04,5.563700e-04,5.554275e-04,5.544883e-04,5.539389e-04,5.524039e-04,5.523378e-04,5.506344e-04,5.501404e-04,5.488381e-04,5.477194e-04,5.469578e-04,5.451609e-04,5.450018e-04,5.429780e-04,5.424831e-04,5.408937e-04,5.397026e-04,5.387557e-04,5.368349e-04,5.365704e-04,5.343437e-04,5.338939e-04,5.320813e-04,5.308924e-04,5.297882e-04,5.278420e-04,5.274694e-04,5.251294e-04,5.247533e-04,5.227722e-04,5.216359e-04,5.204020e-04,5.184987e-04,5.180221e-04,5.156361e-04,5.153495e-04,5.132471e-04,5.121956e-04,5.108578e-04,5.090435e-04,5.084710e-04,5.060891e-04,5.058989e-04,5.037145e-04,5.027671e-04,5.013492e-04,4.996530e-04,4.989951e-04,4.966540e-04,4.965606e-04,4.943275e-04,4.934939e-04,4.920172e-04,4.904560e-04,4.897243e-04,4.874501e-04,4.844787e-04,4.815441e-04,4.786483e-04,4.757931e-04,4.729798e-04,4.702099e-04,4.674843e-04,4.648040e-04,4.621695e-04,4.595815e-04,4.570403e-04,4.545462e-04,4.520993e-04,4.496998e-04,4.473475e-04,4.450423e-04,4.427840e-04,4.405723e-04,4.384069e-04,4.362874e-04,4.342132e-04,4.321840e-04,4.301992e-04,4.282582e-04
0.000000e+00,7.421631e-08,2.162528e-07,1.047243e-06,2.946111e-06,4.713639e-06,1.288667e-05,1.335921e-05,2.951268e-05,3.574615e-05,5.589159e-05,7.783709e-05,9.542485e-05,1.460556e-04,1.511839e-04,2.259743e-04,2.469831e-04,3.215381e-04,3.842200e-04,4.379354e-04,5.564506e-04,5.736895e-04,7.264348e-04,7.587890e-04,8.935066e-04,9.851660e-04,1.072271e-03,1.229649e-03,1.260247e-03,1.455127e-03,1.486802e-03,1.654762e-03,1.751683e-03,1.857152e-03,2.019793e-03,2.060437e-03,2.262902e-03,2.287066e-03,2.462985e-03,2.549901e-03,2.659291e-03,2.805201e-03,2.850601e-03,3.035876e-03,3.050410e-03,3.214255e-03,3.283516e-03,3.385053e-03,3.503036e-03,3.547751e-03,3.701984e-03,3.707974e-03,3.847526e-03,3.897769e-03,3.984271e-03,4.072231e-03,4.112223e-03,4.231472e-03,4.342183e-03,4.375843e-03,4.444582e-03,4.505877e-03,4.538938e-03,4.622236e-03,4.625557e-03,4.704768e-03,4.725667e-03,4.776918e-03,4.816967e-03,4.842363e-03,4.896957e-03,4.901459e-03,4.954564e-03,4.966457e-03,5.002028e-03,5.026272e-03,5.044192e-03,5.077176e-03,5.081388e-03,5.113933e-03,5.119912e-03,5.142134e-03,5.155178e-03,5.166280e-03,5.183632e-03,5.186648e-03,5.203501e-03,5.205888e-03,5.217086e-03,5.222514e-03,5.227635e-03,5.234039e-03,5.235370e-03,5.240497e-03,5.240946e-03,5.243209e-03,5.243684e-03,5.243687e-03,5.242663e-03,5.242103e-03,5.238615e-03,5.238258e-03,5.233373e-03,5.230816e-03,5.226514e-03,5.220649e-03,5.218171e-03,5.208462e-03,5.208047e-03,5.197503e-03,5.193272e-03,5.185398e-03,5.176563e-03,5.172246e-03,5.158139e-03,5.143162e-03,5.138199e-03,5.127395e-03,5.116924e-03,5.110913e-03,5.094480e-03,5.093784e-03,5.076073e-03,5.071017e-03,5.057839e-03,5.046672e-03,5.039140e-03,5.021570e-03,5.020027e-03,5.000547e-03,4.995823e-03,4.980747e-03,4.969535e-03,4.960668e-03,4.942799e-03,4.940349e-03,4.919826e-03,4.915700e-03,4.899133e-03,4.888316e-03,4.878301e-03,4.860716e-03,4.857359e-03,4.836334e-03,4.832964e-03,4.815251e-03,4.805118e-03,4.794133e-03,4.777228e-03,4.773002e-03,4.751877e-03,4.749343e-03,4.730777e-03,4.721505e-03,4.709718e-03,4.693751e-03,4.688717e-03,4.667788e-03,4.666118e-03,4.646945e-03,4.638635e-03,4.626200e-03,4.611330e-03,4.605563e-03,4.585046e-03,4.584228e-03,4.564659e-03,4.557353e-03,4.544409e-03,4.530722e-03,4.524305e-03,4.504355e-03,4.478266e-03,4.452470e-03,4.426977e-03,4.401800e-03,4.376946e-03,4.352423e-03,4.328238e-03,4.304396e-03,4.280902e-03,4.257759e-03,4.234969e-03,4.212536e-03,4.190458e-03,4.168739e-03,4.147377e-03,4.126371e-03,4.105721e-03,4.085426e-03,4.065483e-03,4.045891e-03,4.026646e-03,4.007747e-03,3.989189e-03,3.970970e-03
0.000000e+00,8.109299e-10,2.280375e-09,1.033130e-08,2.755198e-08,4.291649e-08,1.102343e-07,1.140071e-07,2.385600e-07,2.849734e-07,4.308349e-07,5.844001e-07,7.044543e-07,1.039119e-06,1.072297e-06,1.545809e-06,1.676200e-06,2.133336e-06,2.513549e-06,2.837914e-06,3.552284e-06,3.656248e-06,4.580006e-06,4.776464e-06,5.598197e-06,6.161046e-06,6.698967e-06,7.678732e-06,7.870433e-06,9.100918e-06,9.302507e-06,1.037903e-05,1.100620e-05,1.169376e-05,1.276479e-05,1.303454e-05,1.439144e-05,1.455491e-05,1.575524e-05,1.635530e-05,1.711755e-05,1.814727e-05,1.847088e-05,1.980867e-05,1.991485e-05,2.112528e-05,2.164490e-05,2.241595e-05,2.332692e-05,2.367673e-05,2.490445e-05,2.495284e-05,2.609664e-05,2.651674e-05,2.725141e-05,2.801458e-05,2.836743e-05,2.944384e-05,3.048015e-05,3.080327e-05,3.147622e-05,3.209263e-05,3.243218e-05,3.331250e-05,3.334839e-05,3.422540e-05,3.446403e-05,3.506391e-05,3.554887e-05,3.586473e-05,3.656898e-05,3.662877e-05,3.735699e-05,3.752655e-05,3.805043e-05,3.842396e-05,3.871014e-05,3.926364e-05,3.933720e-05,3.993270e-05,4.004810e-05,4.049772e-05,4.077985e-05,4.103335e-05,4.146137e-05,4.154068e-05,4.202076e-05,4.209512e-05,4.247464e-05,4.268349e-05,4.290334e-05,4.322884e-05,4.330785e-05,4.368916e-05,4.373340e-05,4.404821e-05,4.419938e-05,4.438592e-05,4.462886e-05,4.470319e-05,4.500088e-05,4.502387e-05,4.527983e-05,4.538635e-05,4.554085e-05,4.571813e-05,4.578473e-05,4.601223e-05,4.602100e-05,4.622406e-05,4.629663e-05,4.642094e-05,4.654663e-05,4.660355e-05,4.677253e-05,4.692852e-05,4.697580e-05,4.707213e-05,4.715780e-05,4.720392e-05,4.731986e-05,4.732447e-05,4.743431e-05,4.746322e-05,4.753396e-05,4.758906e-05,4.762391e-05,4.769851e-05,4.770464e-05,4.777660e-05,4.779261e-05,4.784024e-05,4.787239e-05,4.789597e-05,4.793879e-05,4.794419e-05,4.798531e-05,4.799271e-05,4.801967e-05,4.803499e-05,4.804764e-05,4.806645e-05,4.806956e-05,4.808575e-05,4.808783e-05,4.809653e-05,4.809986e-05,4.810218e-05,4.810322e-05,4.810301e-05,4.809927e-05,4.809853e-05,4.809123e-05,4.808640e-05,4.807914e-05,4.806739e-05,4.806324e-05,4.804376e-05,4.804205e-05,4.802090e-05,4.801087e-05,4.799489e-05,4.797432e-05,4.796592e-05,4.793417e-05,4.793285e-05,4.789983e-05,4.788687e-05,4.786308e-05,4.783679e-05,4.782407e-05,4.778296e-05,4.772574e-05,4.766545e-05,4.760239e-05,4.753686e-05,4.746912e-05,4.739941e-05,4.732799e-05,4.725505e-05,4.718082e-05,4.710548e-05,4.702921e-05,4.695218e-05,4.687454e-05,4.679644e-05,4.671800e-05,4.663937e-05,4.656065e-05,4.648195e-05,4.640337e-05,4.632500e-05,4.624693e-05,4.616923e-05,4.609198e-05,4.601525e-05
0.000000e+00,1.601652e-09,4.541904e-09,2.085978e-08,5.611994e-08,8.773452e-08,2.268558e-07,2.346689e-07,4.931282e-07,5.896620e-07,8.937776e-07,1.215198e-06,1.467378e-06,2.174413e-06,2.244818e-06,3.254936e-06,3.534599e-06,4.518607e-06,5.339157e-06,6.038732e-06,7.569795e-06,7.790782e-06,9.723400e-06,1.012592e-05,1.177161e-05,1.286113e-05,1.387265e-05,1.564028e-05,1.597502e-05,1.804019e-05,1.836520e-05,2.004060e-05,2.097187e-05,2.195693e-05,2.342030e-05,2.377579e-05,2.548822e-05,2.568626e-05,2.708860e-05,2.775643e-05,2.857399e-05,2.962547e-05,2.994367e-05,3.119871e-05,3.129423e-05,3.234164e-05,3.276821e-05,3.337615e-05,3.405640e-05,3.430680e-05,3.513882e-05,3.517013e-05,3.587783e-05,3.612223e-05,3.652970e-05,3.692623e-05,3.710037e-05,3.759576e-05,3.802164e-05,3.814416e-05,3.838359e-05,3.858414e-05,3.868691e-05,3.892763e-05,3.893665e-05,3.913750e-05,3.918559e-05,3.929387e-05,3.936805e-05,3.940984e-05,3.948410e-05,3.948918e-05,3.953539e-05,3.954191e-05,3.955167e-05,3.954881e-05,3.954094e-05,3.951130e-05,3.950589e-05,3.944897e-05,3.943516e-05,3.937241e-05,3.932553e-05,3.927826e-05,3.918692e-05,3.916835e-05,3.904437e-05,3.902333e-05,3.890786e-05,3.883830e-05,3.876021e-05,3.863493e-05,3.860269e-05,3.843644e-05,3.841595e-05,3.826251e-05,3.818380e-05,3.808185e-05,3.794058e-05,3.789532e-05,3.770370e-05,3.768817e-05,3.750770e-05,3.742822e-05,3.730797e-05,3.716218e-05,3.710508e-05,3.689959e-05,3.689132e-05,3.669196e-05,3.661678e-05,3.648265e-05,3.633956e-05,3.627206e-05,3.606054e-05,3.584843e-05,3.578048e-05,3.563603e-05,3.550007e-05,3.542362e-05,3.521991e-05,3.521143e-05,3.499971e-05,3.494054e-05,3.478865e-05,3.466241e-05,3.457844e-05,3.438594e-05,3.436924e-05,3.416121e-05,3.411148e-05,3.395449e-05,3.383934e-05,3.374919e-05,3.356980e-05,3.354543e-05,3.334330e-05,3.330308e-05,3.314290e-05,3.303940e-05,3.294431e-05,3.277893e-05,3.274759e-05,3.255281e-05,3.252183e-05,3.236002e-05,3.226820e-05,3.216927e-05,3.201818e-05,3.198061e-05,3.179407e-05,3.177183e-05,3.160969e-05,3.152924e-05,3.142747e-05,3.129046e-05,3.124746e-05,3.106967e-05,3.105554e-05,3.089410e-05,3.082451e-05,3.072078e-05,3.059738e-05,3.054971e-05,3.038088e-05,3.037418e-05,3.021431e-05,3.015490e-05,3.004999e-05,2.993954e-05,2.988793e-05,2.972810e-05,2.952055e-05,2.931687e-05,2.911704e-05,2.892103e-05,2.872879e-05,2.854030e-05,2.835550e-05,2.817437e-05,2.799685e-05,2.782289e-05,2.765245e-05,2.748547e-05,2.732191e-05,2.716170e-05,2.700480e-05,2.685115e-05,2.670070e-05,2.655340e-05,2.640917e-05,2.626798e-05,2.612977e-05,2.599448e-05,2.586205e-05,2.573244e-05
0.000000e+00,5.409742e-10,1.568802e-09,7.530172e-09,2.106066e-08,3.363419e-08,9.208836e-08,9.549230e-08,2.137905e-07,2.604680e-07,4.150056e-07,5.889053e-07,7.315325e-07,1.151342e-06,1.194208e-06,1.815361e-06,1.986693e-06,2.577991e-06,3.053174e-06,3.444469e-06,4.259489e-06,4.372907e-06,5.327560e-06,5.519143e-06,6.281910e-06,6.771753e-06,7.217810e-06,7.980870e-06,8.123365e-06,8.990902e-06,9.125819e-06,9.815431e-06,1.019491e-05,1.059366e-05,1.118139e-05,1.132338e-05,1.200325e-05,1.208144e-05,1.263261e-05,1.289352e-05,1.321151e-05,1.361807e-05,1.374056e-05,1.422096e-05,1.425734e-05,1.465444e-05,1.481516e-05,1.504313e-05,1.529662e-05,1.538949e-05,1.569625e-05,1.570774e-05,1.596628e-05,1.605505e-05,1.620243e-05,1.634513e-05,1.640758e-05,1.658453e-05,1.673595e-05,1.677943e-05,1.686437e-05,1.693559e-05,1.697215e-05,1.705819e-05,1.706143e-05,1.713417e-05,1.715182e-05,1.719214e-05,1.722051e-05,1.723694e-05,1.726774e-05,1.726998e-05,1.729253e-05,1.729650e-05,1.730569e-05,1.730934e-05,1.731046e-05,1.730842e-05,1.730772e-05,1.729823e-05,1.729559e-05,1.728268e-05,1.727239e-05,1.726166e-05,1.724016e-05,1.723570e-05,1.720528e-05,1.720003e-05,1.717081e-05,1.715294e-05,1.713268e-05,1.709975e-05,1.709120e-05,1.704670e-05,1.704117e-05,1.699943e-05,1.697782e-05,1.694964e-05,1.691025e-05,1.689755e-05,1.684337e-05,1.683895e-05,1.678729e-05,1.676436e-05,1.672947e-05,1.668685e-05,1.667006e-05,1.660923e-05,1.660677e-05,1.654709e-05,1.652442e-05,1.648377e-05,1.644009e-05,1.641938e-05,1.635404e-05,1.628784e-05,1.626649e-05,1.622087e-05,1.617765e-05,1.615322e-05,1.608772e-05,1.608498e-05,1.601621e-05,1.599687e-05,1.594699e-05,1.590527e-05,1.587738e-05,1.581306e-05,1.580746e-05,1.573726e-05,1.572038e-05,1.566685e-05,1.562735e-05,1.559629e-05,1.553410e-05,1.552561e-05,1.545487e-05,1.544072e-05,1.538410e-05,1.534731e-05,1.531335e-05,1.525396e-05,1.524265e-05,1.517204e-05,1.516075e-05,1.510155e-05,1.506777e-05,1.503122e-05,1.497508e-05,1.496106e-05,1.489112e-05,1.488274e-05,1.482140e-05,1.479081e-05,1.475195e-05,1.469935e-05,1.468277e-05,1.461390e-05,1.460840e-05,1.454534e-05,1.451801e-05,1.447713e-05,1.442823e-05,1.440926e-05,1.434177e-05,1.433908e-05,1.427467e-05,1.425061e-05,1.420797e-05,1.416284e-05,1.414167e-05,1.407580e-05,1.398953e-05,1.390403e-05,1.381933e-05,1.373545e-05,1.365240e-05,1.357020e-05,1.348887e-05,1.340840e-05,1.332882e-05,1.325012e-05,1.317233e-05,1.309543e-05,1.301943e-05,1.294434e-05,1.287016e-05,1.279689e-05,1.272453e-05,1.265308e-05,1.258254e-05,1.251290e-05,1.244416e-05,1.237632e-05,1.230937e-05,1.224332e-05
0.000000e+00,2.001853e-09,5.055405e-09,1.944486e-08,4.675423e-08,6.966662e-08,1.641960e-07,1.693414e-07,3.353285e-07,3.961005e-07,5.856371e-07,7.843991e-07,9.398511e-07,1.374478e-06,1.417655e-06,2.033671e-06,2.202680e-06,2.790517e-06,3.272347e-06,3.677793e-06,4.553127e-06,4.678647e-06,5.776066e-06,6.005778e-06,6.955006e-06,7.595812e-06,8.202184e-06,9.293609e-06,9.505408e-06,1.085311e-05,1.107212e-05,1.223415e-05,1.290573e-05,1.363782e-05,1.477021e-05,1.505397e-05,1.647306e-05,1.664312e-05,1.788636e-05,1.850431e-05,1.928600e-05,2.033628e-05,2.066504e-05,2.201749e-05,2.212438e-05,2.333829e-05,2.385679e-05,2.462327e-05,2.552436e-05,2.586908e-05,2.707313e-05,2.712039e-05,2.823354e-05,2.864034e-05,2.934904e-05,3.008152e-05,3.041886e-05,3.144262e-05,3.242034e-05,3.272353e-05,3.335235e-05,3.392510e-05,3.423921e-05,3.504881e-05,3.508167e-05,3.588069e-05,3.609677e-05,3.663733e-05,3.707146e-05,3.735276e-05,3.797563e-05,3.802823e-05,3.866506e-05,3.881232e-05,3.926471e-05,3.958479e-05,3.982855e-05,4.029616e-05,4.035791e-05,4.085409e-05,4.094946e-05,4.131844e-05,4.154775e-05,4.175226e-05,4.209400e-05,4.215682e-05,4.253335e-05,4.259108e-05,4.288308e-05,4.304178e-05,4.320719e-05,4.344881e-05,4.350683e-05,4.378310e-05,4.381473e-05,4.403707e-05,4.414202e-05,4.426978e-05,4.443303e-05,4.448222e-05,4.467536e-05,4.469000e-05,4.485012e-05,4.491508e-05,4.500740e-05,4.511030e-05,4.514806e-05,4.527291e-05,4.527759e-05,4.538275e-05,4.541877e-05,4.547834e-05,4.553557e-05,4.556040e-05,4.562964e-05,4.568671e-05,4.570251e-05,4.573227e-05,4.575567e-05,4.576693e-05,4.579048e-05,4.579126e-05,4.580584e-05,4.580825e-05,4.581120e-05,4.581020e-05,4.580785e-05,4.579750e-05,4.579629e-05,4.577698e-05,4.577124e-05,4.575037e-05,4.573244e-05,4.571689e-05,4.568207e-05,4.567695e-05,4.563094e-05,4.562104e-05,4.557923e-05,4.555020e-05,4.552217e-05,4.547036e-05,4.546010e-05,4.539336e-05,4.538226e-05,4.532223e-05,4.528663e-05,4.524703e-05,4.518411e-05,4.516802e-05,4.508548e-05,4.507535e-05,4.499965e-05,4.496091e-05,4.491078e-05,4.484135e-05,4.481910e-05,4.472483e-05,4.471718e-05,4.462817e-05,4.458888e-05,4.452932e-05,4.445690e-05,4.442847e-05,4.432581e-05,4.432166e-05,4.422149e-05,4.418356e-05,4.411568e-05,4.404295e-05,4.400853e-05,4.390019e-05,4.375559e-05,4.360945e-05,4.346205e-05,4.331364e-05,4.316447e-05,4.301477e-05,4.286472e-05,4.271455e-05,4.256441e-05,4.241447e-05,4.226489e-05,4.211581e-05,4.196736e-05,4.181966e-05,4.167282e-05,4.152694e-05,4.138212e-05,4.123843e-05,4.109596e-05,4.095477e-05,4.081493e-05,4.067650e-05,4.053952e-05,4.040405e-05
0.000000e+00,1.187450e-09,2.812681e-09,1.004511e-08,2.328620e-08,3.421820e-08,7.862189e-08,8.101850e-08,1.576362e-07,1.854193e-07,2.713556e-07,3.605138e-07,4.296943e-07,6.213530e-07,6.403004e-07,9.102985e-07,9.845746e-07,1.244835e-06,1.461104e-06,1.645427e-06,2.050735e-06,2.109652e-06,2.632600e-06,2.743737e-06,3.208590e-06,3.527205e-06,3.832052e-06,4.388582e-06,4.497713e-06,5.200515e-06,5.316077e-06,5.935502e-06,6.298290e-06,6.697784e-06,7.324014e-06,7.482532e-06,8.285018e-06,8.382289e-06,9.100670e-06,9.462597e-06,9.925131e-06,1.055508e-05,1.075431e-05,1.158442e-05,1.165076e-05,1.241201e-05,1.274164e-05,1.323399e-05,1.382076e-05,1.404758e-05,1.485038e-05,1.488224e-05,1.564032e-05,1.592120e-05,1.641562e-05,1.693371e-05,1.717482e-05,1.791670e-05,1.864028e-05,1.886784e-05,1.934482e-05,1.978546e-05,2.002974e-05,2.066842e-05,2.069463e-05,2.133923e-05,2.151606e-05,2.196340e-05,2.232807e-05,2.256710e-05,2.310448e-05,2.315039e-05,2.371341e-05,2.384554e-05,2.425635e-05,2.455172e-05,2.477947e-05,2.522364e-05,2.528305e-05,2.576743e-05,2.586203e-05,2.623295e-05,2.646770e-05,2.668000e-05,2.704154e-05,2.710898e-05,2.752029e-05,2.758448e-05,2.791435e-05,2.809750e-05,2.829160e-05,2.858157e-05,2.865246e-05,2.899736e-05,2.903770e-05,2.932676e-05,2.946688e-05,2.964106e-05,2.987011e-05,2.994071e-05,3.022614e-05,3.024837e-05,3.049775e-05,3.060263e-05,3.075598e-05,3.093384e-05,3.100122e-05,3.123389e-05,3.124294e-05,3.145438e-05,3.153085e-05,3.166308e-05,3.179846e-05,3.186037e-05,3.204663e-05,3.222221e-05,3.227621e-05,3.238749e-05,3.248802e-05,3.254280e-05,3.268285e-05,3.268850e-05,3.282490e-05,3.286147e-05,3.295234e-05,3.302464e-05,3.307114e-05,3.317306e-05,3.318159e-05,3.328401e-05,3.330743e-05,3.337868e-05,3.342842e-05,3.346589e-05,3.353668e-05,3.354591e-05,3.361902e-05,3.363283e-05,3.368547e-05,3.371747e-05,3.374551e-05,3.379118e-05,3.379940e-05,3.384737e-05,3.385452e-05,3.388966e-05,3.390800e-05,3.392648e-05,3.395216e-05,3.395806e-05,3.398461e-05,3.398747e-05,3.400634e-05,3.401442e-05,3.402344e-05,3.403345e-05,3.403610e-05,3.404451e-05,3.404500e-05,3.404885e-05,3.404949e-05,3.404931e-05,3.404732e-05,3.404603e-05,3.403920e-05,3.403885e-05,3.402896e-05,3.402448e-05,3.401548e-05,3.400453e-05,3.399889e-05,3.397935e-05,3.394926e-05,3.391456e-05,3.387555e-05,3.383250e-05,3.378568e-05,3.373534e-05,3.368173e-05,3.362508e-05,3.356561e-05,3.350353e-05,3.343904e-05,3.337233e-05,3.330358e-05,3.323296e-05,3.316064e-05,3.308678e-05,3.301152e-05,3.293499e-05,3.285735e-05,3.277871e-05,3.269919e-05,3.261891e-05,3.253797e-05,3.245648e-05
0.000000e+00,2.702293e-09,6.637411e-09,2.460532e-08,5.786051e-08,8.535173e-08,1.965746e-07,2.025519e-07,3.922496e-07,4.604133e-07,6.693996e-07,8.836074e-07,1.048224e-06,1.498259e-06,1.542340e-06,2.164560e-06,2.334260e-06,2.926217e-06,3.417014e-06,3.835892e-06,4.762110e-06,4.897501e-06,6.108007e-06,6.367105e-06,7.455698e-06,8.204277e-06,8.920341e-06,1.022197e-05,1.047578e-05,1.209387e-05,1.235676e-05,1.374801e-05,1.454783e-05,1.541498e-05,1.674468e-05,1.707545e-05,1.871368e-05,1.890814e-05,2.031697e-05,2.100864e-05,2.187512e-05,2.302406e-05,2.338001e-05,2.482523e-05,2.493811e-05,2.620589e-05,2.673923e-05,2.751837e-05,2.841972e-05,2.876021e-05,2.992990e-05,2.997518e-05,3.102682e-05,3.140389e-05,3.205105e-05,3.270636e-05,3.300333e-05,3.388491e-05,3.469746e-05,3.494322e-05,3.544300e-05,3.588602e-05,3.612380e-05,3.671879e-05,3.674237e-05,3.730132e-05,3.744751e-05,3.780338e-05,3.807845e-05,3.825130e-05,3.861798e-05,3.864789e-05,3.899589e-05,3.907249e-05,3.929806e-05,3.944825e-05,3.955707e-05,3.975136e-05,3.977551e-05,3.995592e-05,3.998766e-05,4.010074e-05,4.016276e-05,4.021230e-05,4.028195e-05,4.029284e-05,4.034451e-05,4.035024e-05,4.036935e-05,4.037232e-05,4.036930e-05,4.035257e-05,4.034619e-05,4.030178e-05,4.029510e-05,4.023771e-05,4.020369e-05,4.015553e-05,4.008188e-05,4.005672e-05,3.994267e-05,3.993292e-05,3.981467e-05,3.975984e-05,3.967394e-05,3.956539e-05,3.952165e-05,3.935886e-05,3.935214e-05,3.918659e-05,3.912244e-05,3.900579e-05,3.887842e-05,3.881734e-05,3.862207e-05,3.842076e-05,3.835519e-05,3.821413e-05,3.807941e-05,3.800286e-05,3.779624e-05,3.778756e-05,3.756884e-05,3.750705e-05,3.734722e-05,3.721308e-05,3.712322e-05,3.691544e-05,3.689731e-05,3.666992e-05,3.661517e-05,3.644145e-05,3.631318e-05,3.621228e-05,3.601030e-05,3.598275e-05,3.575318e-05,3.570729e-05,3.552386e-05,3.540481e-05,3.529507e-05,3.510346e-05,3.506704e-05,3.484001e-05,3.480379e-05,3.461418e-05,3.450627e-05,3.438975e-05,3.421132e-05,3.416688e-05,3.394574e-05,3.391933e-05,3.372646e-05,3.363060e-05,3.350918e-05,3.334545e-05,3.329400e-05,3.308104e-05,3.306410e-05,3.287038e-05,3.278678e-05,3.266211e-05,3.251367e-05,3.245630e-05,3.225301e-05,3.224493e-05,3.205230e-05,3.198068e-05,3.185421e-05,3.172102e-05,3.165878e-05,3.146605e-05,3.121582e-05,3.097038e-05,3.072976e-05,3.049398e-05,3.026304e-05,3.003693e-05,2.981563e-05,2.959912e-05,2.938736e-05,2.918031e-05,2.897792e-05,2.878013e-05,2.858689e-05,2.839813e-05,2.821378e-05,2.803378e-05,2.785805e-05,2.768651e-05,2.751910e-05,2.735572e-05,2.719631e-05,2.704079e-05,2.688907e-05,2.674107e-05
0.000000e+00,3.918155e-09,1.119729e-08,5.226159e-08,1.426694e-07,2.248117e-07,5.929107e-07,6.138085e-07,1.313423e-06,1.577753e-06,2.417357e-06,3.312538e-06,4.018633e-06,6.009312e-06,6.208166e-06,9.068985e-06,9.863070e-06,1.266334e-05,1.500742e-05,1.701488e-05,2.145110e-05,2.209767e-05,2.784323e-05,2.906399e-05,3.416007e-05,3.763848e-05,4.095182e-05,4.695665e-05,4.812687e-05,5.560155e-05,5.682014e-05,6.330027e-05,6.705497e-05,7.115491e-05,7.750952e-05,7.910424e-05,8.709363e-05,8.805268e-05,9.507480e-05,9.857285e-05,1.030057e-04,1.089771e-04,1.108502e-04,1.185777e-04,1.191900e-04,1.261628e-04,1.291521e-04,1.335847e-04,1.388181e-04,1.408269e-04,1.478765e-04,1.481543e-04,1.547235e-04,1.571373e-04,1.613608e-04,1.657519e-04,1.677837e-04,1.739892e-04,1.799760e-04,1.818455e-04,1.857441e-04,1.893213e-04,1.912945e-04,1.964200e-04,1.966293e-04,2.017512e-04,2.031475e-04,2.066633e-04,2.095114e-04,2.113694e-04,2.155206e-04,2.158736e-04,2.201804e-04,2.211851e-04,2.242942e-04,2.265154e-04,2.282198e-04,2.315225e-04,2.319621e-04,2.355260e-04,2.362178e-04,2.389166e-04,2.406128e-04,2.421388e-04,2.447190e-04,2.451977e-04,2.480982e-04,2.485479e-04,2.508454e-04,2.521110e-04,2.534441e-04,2.554194e-04,2.558991e-04,2.582154e-04,2.584842e-04,2.603975e-04,2.613164e-04,2.624502e-04,2.639264e-04,2.643779e-04,2.661851e-04,2.663246e-04,2.678761e-04,2.685210e-04,2.694553e-04,2.705254e-04,2.709268e-04,2.722947e-04,2.723473e-04,2.735629e-04,2.739958e-04,2.747353e-04,2.754797e-04,2.758157e-04,2.768077e-04,2.777148e-04,2.779878e-04,2.785406e-04,2.790280e-04,2.792884e-04,2.799360e-04,2.799615e-04,2.805631e-04,2.807191e-04,2.810961e-04,2.813843e-04,2.815637e-04,2.819385e-04,2.819686e-04,2.823137e-04,2.823880e-04,2.826017e-04,2.827390e-04,2.828352e-04,2.829976e-04,2.830167e-04,2.831487e-04,2.831694e-04,2.832335e-04,2.832598e-04,2.832735e-04,2.832740e-04,2.832708e-04,2.832275e-04,2.832170e-04,2.831458e-04,2.830934e-04,2.830275e-04,2.829079e-04,2.828747e-04,2.826891e-04,2.826647e-04,2.824725e-04,2.823678e-04,2.822267e-04,2.820213e-04,2.819532e-04,2.816537e-04,2.816286e-04,2.813296e-04,2.811935e-04,2.809826e-04,2.807192e-04,2.806138e-04,2.802248e-04,2.802089e-04,2.798168e-04,2.796655e-04,2.793911e-04,2.790920e-04,2.789488e-04,2.784911e-04,2.778652e-04,2.772169e-04,2.765483e-04,2.758617e-04,2.751591e-04,2.744425e-04,2.737135e-04,2.729740e-04,2.722255e-04,2.714695e-04,2.707075e-04,2.699408e-04,2.691706e-04,2.683981e-04,2.676244e-04,2.668506e-04,2.660774e-04,2.653060e-04,2.645370e-04,2.637712e-04,2.630094e-04,2.622521e-04,2.615001e-04,2.607539e-04
0.000000e+00,4.395400e-09,1.004786e-08,3.445692e-08,7.819285e-08,1.139043e-07,2.572534e-07,2.649401e-07,5.091190e-07,5.971234e-07,8.681468e-07,1.147928e-06,1.364260e-06,1.960779e-06,2.019546e-06,2.853142e-06,3.081189e-06,3.875658e-06,4.530054e-06,5.083369e-06,6.285014e-06,6.457926e-06,7.972883e-06,8.290278e-06,9.600880e-06,1.048376e-05,1.131716e-05,1.281115e-05,1.310009e-05,1.493060e-05,1.522673e-05,1.679159e-05,1.769110e-05,1.866762e-05,2.016980e-05,2.054468e-05,2.241021e-05,2.263276e-05,2.425311e-05,2.505427e-05,2.606370e-05,2.741302e-05,2.783374e-05,2.955635e-05,2.969193e-05,3.122600e-05,3.187801e-05,3.283832e-05,3.396180e-05,3.439001e-05,3.587874e-05,3.593695e-05,3.730303e-05,3.779983e-05,3.866211e-05,3.954893e-05,3.995582e-05,4.118452e-05,4.234897e-05,4.270820e-05,4.345029e-05,4.412261e-05,4.448983e-05,4.543116e-05,4.546920e-05,4.639012e-05,4.663776e-05,4.725446e-05,4.774669e-05,4.806412e-05,4.876242e-05,4.882109e-05,4.952735e-05,4.968953e-05,5.018491e-05,5.053260e-05,5.079574e-05,5.129619e-05,5.136182e-05,5.188508e-05,5.198475e-05,5.236739e-05,5.260262e-05,5.281061e-05,5.315401e-05,5.321652e-05,5.358688e-05,5.364295e-05,5.392337e-05,5.407333e-05,5.422761e-05,5.444884e-05,5.450118e-05,5.474559e-05,5.477303e-05,5.496231e-05,5.504925e-05,5.515273e-05,5.528070e-05,5.531821e-05,5.546003e-05,5.547040e-05,5.557945e-05,5.562121e-05,5.567764e-05,5.573585e-05,5.575576e-05,5.581488e-05,5.581686e-05,5.585605e-05,5.586668e-05,5.588028e-05,5.588756e-05,5.588851e-05,5.588167e-05,5.586061e-05,5.585100e-05,5.582617e-05,5.579747e-05,5.577914e-05,5.572286e-05,5.572028e-05,5.565032e-05,5.562884e-05,5.556994e-05,5.551698e-05,5.547979e-05,5.538877e-05,5.538051e-05,5.527268e-05,5.524559e-05,5.515687e-05,5.508874e-05,5.503363e-05,5.491943e-05,5.490346e-05,5.476686e-05,5.473881e-05,5.462428e-05,5.454793e-05,5.447618e-05,5.434780e-05,5.432296e-05,5.416502e-05,5.413934e-05,5.400275e-05,5.392343e-05,5.383651e-05,5.370088e-05,5.366663e-05,5.349344e-05,5.347244e-05,5.331724e-05,5.323883e-05,5.313832e-05,5.300071e-05,5.295697e-05,5.277344e-05,5.275867e-05,5.258798e-05,5.251331e-05,5.240083e-05,5.226515e-05,5.221219e-05,5.202230e-05,5.201468e-05,5.183133e-05,5.176236e-05,5.163948e-05,5.150862e-05,5.144694e-05,5.125385e-05,5.099842e-05,5.074266e-05,5.048689e-05,5.023140e-05,4.997646e-05,4.972230e-05,4.946915e-05,4.921723e-05,4.896671e-05,4.871778e-05,4.847059e-05,4.822528e-05,4.798200e-05,4.774085e-05,4.750194e-05,4.726536e-05,4.703122e-05,4.679957e-05,4.657050e-05,4.634405e-05,4.612029e-05,4.589925e-05,4.568098e-05,4.546551e-05
0.000000e+00,8.080259e-10,2.324621e-09,1.098419e-08,3.030396e-08,4.803972e-08,1.290263e-07,1.336892e-07,2.933907e-07,3.554451e-07,5.582672e-07,7.831365e-07,9.658401e-07,1.498799e-06,1.552991e-06,2.336889e-06,2.553077e-06,3.300407e-06,3.903216e-06,4.401679e-06,5.447700e-06,5.594240e-06,6.839037e-06,7.091545e-06,8.106994e-06,8.768304e-06,9.377241e-06,1.043474e-05,1.063452e-05,1.186704e-05,1.206129e-05,1.306521e-05,1.362568e-05,1.422086e-05,1.511004e-05,1.532701e-05,1.637777e-05,1.649990e-05,1.736835e-05,1.778416e-05,1.829511e-05,1.895520e-05,1.915557e-05,1.994843e-05,2.000892e-05,2.067337e-05,2.094445e-05,2.133104e-05,2.176372e-05,2.192295e-05,2.245139e-05,2.247124e-05,2.291917e-05,2.307333e-05,2.332949e-05,2.357745e-05,2.368583e-05,2.399186e-05,2.425127e-05,2.432503e-05,2.446773e-05,2.458539e-05,2.464485e-05,2.478109e-05,2.478609e-05,2.489472e-05,2.491970e-05,2.497377e-05,2.500826e-05,2.502622e-05,2.505328e-05,2.505475e-05,2.506186e-05,2.506064e-05,2.504985e-05,2.503554e-05,2.502076e-05,2.498253e-05,2.497647e-05,2.491868e-05,2.490564e-05,2.484894e-05,2.480842e-05,2.476864e-05,2.469394e-05,2.467903e-05,2.458123e-05,2.456489e-05,2.447626e-05,2.442360e-05,2.436503e-05,2.427209e-05,2.424836e-05,2.412697e-05,2.411212e-05,2.400154e-05,2.394522e-05,2.387264e-05,2.377269e-05,2.374081e-05,2.360653e-05,2.359569e-05,2.347020e-05,2.341519e-05,2.333224e-05,2.323208e-05,2.319297e-05,2.305272e-05,2.304709e-05,2.291175e-05,2.286087e-05,2.277031e-05,2.267399e-05,2.262864e-05,2.248693e-05,2.234537e-05,2.230013e-05,2.220411e-05,2.211394e-05,2.206332e-05,2.192871e-05,2.192311e-05,2.178361e-05,2.174469e-05,2.164493e-05,2.156215e-05,2.150716e-05,2.138129e-05,2.137038e-05,2.123468e-05,2.120228e-05,2.110012e-05,2.102528e-05,2.096676e-05,2.085044e-05,2.083465e-05,2.070385e-05,2.067785e-05,2.057440e-05,2.050763e-05,2.044633e-05,2.033984e-05,2.031967e-05,2.019445e-05,2.017455e-05,2.007070e-05,2.001183e-05,1.994844e-05,1.985171e-05,1.982768e-05,1.970843e-05,1.969422e-05,1.959070e-05,1.953939e-05,1.947451e-05,1.938724e-05,1.935986e-05,1.924675e-05,1.923777e-05,1.913518e-05,1.909099e-05,1.902516e-05,1.894689e-05,1.891667e-05,1.880972e-05,1.880548e-05,1.870431e-05,1.866673e-05,1.860042e-05,1.853064e-05,1.849805e-05,1.839718e-05,1.826633e-05,1.813808e-05,1.801238e-05,1.788921e-05,1.776855e-05,1.765035e-05,1.753459e-05,1.742123e-05,1.731023e-05,1.720156e-05,1.709518e-05,1.699106e-05,1.688915e-05,1.678941e-05,1.669181e-05,1.659631e-05,1.650287e-05,1.641144e-05,1.632200e-05,1.623451e-05,1.614892e-05,1.606519e-05,1.598329e-05,1.590319e-05
0.000000e+00,8.040224e-10,2.215288e-09,9.659172e-09,2.498482e-08,3.833625e-08,9.524968e-08,9.839396e-08,2.009798e-07,2.388879e-07,3.577851e-07,4.832508e-07,5.818235e-07,8.592513e-07,8.869503e-07,1.284456e-06,1.394116e-06,1.776329e-06,2.089021e-06,2.350494e-06,2.906160e-06,2.984600e-06,3.654746e-06,3.791264e-06,4.341158e-06,4.699508e-06,5.029285e-06,5.600934e-06,5.708720e-06,6.371849e-06,6.476030e-06,7.012881e-06,7.311357e-06,7.627280e-06,8.097193e-06,8.211471e-06,8.762705e-06,8.826536e-06,9.278986e-06,9.494720e-06,9.759024e-06,1.009920e-05,1.020219e-05,1.060844e-05,1.063936e-05,1.097826e-05,1.111618e-05,1.131258e-05,1.153201e-05,1.161267e-05,1.188009e-05,1.189014e-05,1.211661e-05,1.219455e-05,1.232410e-05,1.244961e-05,1.250452e-05,1.265985e-05,1.279205e-05,1.282979e-05,1.290303e-05,1.296376e-05,1.299461e-05,1.306589e-05,1.306852e-05,1.312642e-05,1.313997e-05,1.316982e-05,1.318949e-05,1.320014e-05,1.321760e-05,1.321868e-05,1.322664e-05,1.322710e-05,1.322512e-05,1.322049e-05,1.321510e-05,1.319998e-05,1.319750e-05,1.317314e-05,1.316752e-05,1.314276e-05,1.312481e-05,1.310703e-05,1.307333e-05,1.306656e-05,1.302189e-05,1.301439e-05,1.297353e-05,1.294913e-05,1.292190e-05,1.287852e-05,1.286741e-05,1.281043e-05,1.280344e-05,1.275127e-05,1.272462e-05,1.269022e-05,1.264273e-05,1.262756e-05,1.256351e-05,1.255834e-05,1.249830e-05,1.247193e-05,1.243211e-05,1.238395e-05,1.236512e-05,1.229748e-05,1.229476e-05,1.222934e-05,1.220472e-05,1.216084e-05,1.211409e-05,1.209207e-05,1.202315e-05,1.195417e-05,1.193210e-05,1.188522e-05,1.184114e-05,1.181638e-05,1.175045e-05,1.174771e-05,1.167929e-05,1.166018e-05,1.161116e-05,1.157044e-05,1.154338e-05,1.148137e-05,1.147599e-05,1.140905e-05,1.139305e-05,1.134258e-05,1.130558e-05,1.127662e-05,1.121902e-05,1.121120e-05,1.114635e-05,1.113345e-05,1.108209e-05,1.104892e-05,1.101844e-05,1.096547e-05,1.095543e-05,1.089307e-05,1.088316e-05,1.083138e-05,1.080200e-05,1.077036e-05,1.072204e-05,1.071003e-05,1.065040e-05,1.064329e-05,1.059148e-05,1.056578e-05,1.053327e-05,1.048951e-05,1.047577e-05,1.041900e-05,1.041449e-05,1.036296e-05,1.034074e-05,1.030764e-05,1.026826e-05,1.025305e-05,1.019919e-05,1.019705e-05,1.014606e-05,1.012711e-05,1.009365e-05,1.005843e-05,1.004198e-05,9.991020e-06,9.924860e-06,9.859946e-06,9.796269e-06,9.733818e-06,9.672581e-06,9.612545e-06,9.553697e-06,9.496022e-06,9.439504e-06,9.384129e-06,9.329880e-06,9.276741e-06,9.224695e-06,9.173725e-06,9.123814e-06,9.074944e-06,9.027097e-06,8.980257e-06,8.934405e-06,8.889523e-06,8.845595e-06,8.802602e-06,8.760527e-06,8.719352e-06
0.000000e+00,2.521685e-10,7.298174e-10,3.484023e-09,9.668896e-09,1.534977e-08,4.106821e-08,4.253442e-08,9.169573e-08,1.102579e-07,1.690391e-07,2.313428e-07,2.802056e-07,4.167226e-07,4.302684e-07,6.236768e-07,6.769648e-07,8.639744e-07,1.019854e-06,1.153148e-06,1.447732e-06,1.490702e-06,1.873014e-06,1.954315e-06,2.293588e-06,2.524693e-06,2.744148e-06,3.139361e-06,3.215915e-06,3.700516e-06,3.778727e-06,4.190445e-06,4.425559e-06,4.679210e-06,5.065655e-06,5.161309e-06,5.632151e-06,5.687709e-06,6.087971e-06,6.282969e-06,6.525750e-06,6.844935e-06,6.943151e-06,7.338458e-06,7.369090e-06,7.710511e-06,7.852658e-06,8.058650e-06,8.294361e-06,8.382649e-06,8.682657e-06,8.694163e-06,8.959128e-06,9.053025e-06,9.212768e-06,9.372655e-06,9.444476e-06,9.655291e-06,9.846349e-06,9.903509e-06,1.001884e-05,1.012006e-05,1.017399e-05,1.030774e-05,1.031301e-05,1.043709e-05,1.046932e-05,1.054739e-05,1.060742e-05,1.064501e-05,1.072452e-05,1.073100e-05,1.080633e-05,1.082292e-05,1.087192e-05,1.090471e-05,1.092861e-05,1.097178e-05,1.097721e-05,1.101842e-05,1.102583e-05,1.105290e-05,1.106838e-05,1.108127e-05,1.110078e-05,1.110407e-05,1.112181e-05,1.112421e-05,1.113494e-05,1.113973e-05,1.114387e-05,1.114826e-05,1.114899e-05,1.115064e-05,1.115061e-05,1.114911e-05,1.114750e-05,1.114469e-05,1.113955e-05,1.113763e-05,1.112817e-05,1.112731e-05,1.111651e-05,1.111128e-05,1.110285e-05,1.109187e-05,1.108736e-05,1.107020e-05,1.106949e-05,1.105152e-05,1.104445e-05,1.103145e-05,1.101707e-05,1.101011e-05,1.098762e-05,1.096407e-05,1.095633e-05,1.093956e-05,1.092342e-05,1.091419e-05,1.088909e-05,1.088803e-05,1.086115e-05,1.085351e-05,1.083363e-05,1.081684e-05,1.080553e-05,1.077922e-05,1.077691e-05,1.074782e-05,1.074078e-05,1.071832e-05,1.070164e-05,1.068845e-05,1.066190e-05,1.065826e-05,1.062780e-05,1.062167e-05,1.059709e-05,1.058103e-05,1.056617e-05,1.054007e-05,1.053509e-05,1.050386e-05,1.049885e-05,1.047253e-05,1.045745e-05,1.044111e-05,1.041593e-05,1.040963e-05,1.037813e-05,1.037434e-05,1.034661e-05,1.033275e-05,1.031511e-05,1.029118e-05,1.028363e-05,1.025221e-05,1.024970e-05,1.022085e-05,1.020833e-05,1.018958e-05,1.016712e-05,1.015840e-05,1.012734e-05,1.012610e-05,1.009640e-05,1.008530e-05,1.006560e-05,1.004474e-05,1.003495e-05,1.000446e-05,9.964480e-06,9.924815e-06,9.885487e-06,9.846513e-06,9.807909e-06,9.769689e-06,9.731866e-06,9.694452e-06,9.657456e-06,9.620886e-06,9.584752e-06,9.549058e-06,9.513812e-06,9.479019e-06,9.444681e-06,9.410803e-06,9.377386e-06,9.344434e-06,9.311947e-06,9.279927e-06,9.248372e-06,9.217284e-06,9.186661e-06,9.156503e-06
0.000000e+00,3.731501e-10,1.092897e-09,5.344759e-09,1.515699e-08,2.434910e-08,6.720277e-08,6.969198e-08,1.552219e-07,1.883902e-07,2.959718e-07,4.135899e-07,5.079954e-07,7.794152e-07,8.068180e-07,1.203139e-06,1.313159e-06,1.698701e-06,2.017320e-06,2.286839e-06,2.871956e-06,2.956128e-06,3.693513e-06,3.848002e-06,4.485913e-06,4.915516e-06,5.320796e-06,6.046230e-06,6.186298e-06,7.071205e-06,7.213875e-06,7.964940e-06,8.394137e-06,8.857615e-06,9.564839e-06,9.740117e-06,1.060422e-05,1.070632e-05,1.144270e-05,1.180189e-05,1.224941e-05,1.283813e-05,1.301933e-05,1.374857e-05,1.380506e-05,1.443436e-05,1.469609e-05,1.507496e-05,1.550771e-05,1.566954e-05,1.621810e-05,1.623910e-05,1.672135e-05,1.689165e-05,1.718054e-05,1.746849e-05,1.759740e-05,1.797394e-05,1.831246e-05,1.841314e-05,1.861535e-05,1.879165e-05,1.888510e-05,1.911517e-05,1.912417e-05,1.933501e-05,1.938931e-05,1.951996e-05,1.961943e-05,1.968125e-05,1.981057e-05,1.982101e-05,1.994119e-05,1.996733e-05,2.004363e-05,2.009388e-05,2.013000e-05,2.019395e-05,2.020185e-05,2.026056e-05,2.027084e-05,2.030741e-05,2.032748e-05,2.034356e-05,2.036641e-05,2.037003e-05,2.038776e-05,2.038985e-05,2.039760e-05,2.039974e-05,2.040029e-05,2.039776e-05,2.039652e-05,2.038689e-05,2.038536e-05,2.037195e-05,2.036383e-05,2.035220e-05,2.033425e-05,2.032808e-05,2.030000e-05,2.029759e-05,2.026831e-05,2.025470e-05,2.023334e-05,2.020630e-05,2.019539e-05,2.015474e-05,2.015306e-05,2.011162e-05,2.009554e-05,2.006627e-05,2.003426e-05,2.001889e-05,1.996966e-05,1.991877e-05,1.990215e-05,1.986636e-05,1.983210e-05,1.981260e-05,1.975983e-05,1.975761e-05,1.970152e-05,1.968563e-05,1.964445e-05,1.960977e-05,1.958650e-05,1.953250e-05,1.952777e-05,1.946837e-05,1.945402e-05,1.940837e-05,1.937454e-05,1.934785e-05,1.929424e-05,1.928690e-05,1.922558e-05,1.921328e-05,1.916396e-05,1.913182e-05,1.910210e-05,1.905000e-05,1.904006e-05,1.897789e-05,1.896794e-05,1.891564e-05,1.888575e-05,1.885337e-05,1.880356e-05,1.879111e-05,1.872890e-05,1.872144e-05,1.866679e-05,1.863950e-05,1.860480e-05,1.855781e-05,1.854299e-05,1.848136e-05,1.847644e-05,1.841996e-05,1.839547e-05,1.835882e-05,1.831496e-05,1.829795e-05,1.823738e-05,1.823497e-05,1.817714e-05,1.815553e-05,1.811724e-05,1.807671e-05,1.805770e-05,1.799855e-05,1.792108e-05,1.784434e-05,1.776836e-05,1.769316e-05,1.761878e-05,1.754523e-05,1.747254e-05,1.740072e-05,1.732979e-05,1.725975e-05,1.719063e-05,1.712242e-05,1.705515e-05,1.698880e-05,1.692339e-05,1.685893e-05,1.679540e-05,1.673282e-05,1.667118e-05,1.661048e-05,1.655072e-05,1.649190e-05,1.643401e-05,1.637704e-05
0.000000e+00,9.764568e-10,2.747883e-09,1.246116e-08,3.324295e-08,5.178254e-08,1.329812e-07,1.375310e-07,2.877190e-07,3.436918e-07,5.196684e-07,7.050874e-07,8.501457e-07,1.254751e-06,1.294861e-06,1.866329e-06,2.023156e-06,2.570100e-06,3.020920e-06,3.402307e-06,4.231890e-06,4.351484e-06,5.402607e-06,5.623681e-06,6.540000e-06,7.160458e-06,7.748433e-06,8.807700e-06,9.013282e-06,1.032051e-05,1.053269e-05,1.165671e-05,1.230463e-05,1.300923e-05,1.409508e-05,1.436634e-05,1.571740e-05,1.587866e-05,1.705298e-05,1.763359e-05,1.836493e-05,1.934192e-05,1.964636e-05,2.089166e-05,2.098958e-05,2.209633e-05,2.256601e-05,2.325693e-05,2.406384e-05,2.437097e-05,2.543679e-05,2.547840e-05,2.645340e-05,2.680726e-05,2.742045e-05,2.804976e-05,2.833803e-05,2.920665e-05,3.002713e-05,3.027969e-05,3.080054e-05,3.127139e-05,3.152813e-05,3.218482e-05,3.221131e-05,3.285158e-05,3.302337e-05,3.345049e-05,3.379065e-05,3.400965e-05,3.449036e-05,3.453068e-05,3.501519e-05,3.512622e-05,3.546478e-05,3.570189e-05,3.588102e-05,3.622096e-05,3.626547e-05,3.661961e-05,3.668694e-05,3.694492e-05,3.710316e-05,3.724281e-05,3.747283e-05,3.751463e-05,3.776171e-05,3.779904e-05,3.798532e-05,3.808467e-05,3.818667e-05,3.833251e-05,3.836692e-05,3.852721e-05,3.854515e-05,3.866859e-05,3.872507e-05,3.879209e-05,3.887460e-05,3.889869e-05,3.898933e-05,3.899592e-05,3.906490e-05,3.909109e-05,3.912624e-05,3.916206e-05,3.917417e-05,3.920947e-05,3.921062e-05,3.923286e-05,3.923850e-05,3.924505e-05,3.924729e-05,3.924671e-05,3.923847e-05,3.922094e-05,3.921346e-05,3.919468e-05,3.917356e-05,3.916025e-05,3.911999e-05,3.911816e-05,3.906891e-05,3.905390e-05,3.901296e-05,3.897636e-05,3.895076e-05,3.888837e-05,3.888272e-05,3.880925e-05,3.879086e-05,3.873073e-05,3.868469e-05,3.864752e-05,3.857067e-05,3.855995e-05,3.846835e-05,3.844957e-05,3.837303e-05,3.832208e-05,3.827427e-05,3.818887e-05,3.817236e-05,3.806755e-05,3.805053e-05,3.796009e-05,3.790763e-05,3.785021e-05,3.776071e-05,3.773813e-05,3.762407e-05,3.761025e-05,3.750821e-05,3.745671e-05,3.739075e-05,3.730051e-05,3.727186e-05,3.715170e-05,3.714204e-05,3.703045e-05,3.698167e-05,3.690823e-05,3.681972e-05,3.678520e-05,3.666149e-05,3.665653e-05,3.653721e-05,3.649236e-05,3.641250e-05,3.632749e-05,3.628745e-05,3.616217e-05,3.599662e-05,3.583106e-05,3.566567e-05,3.550063e-05,3.533612e-05,3.517226e-05,3.500922e-05,3.484710e-05,3.468603e-05,3.452610e-05,3.436742e-05,3.421007e-05,3.405412e-05,3.389965e-05,3.374673e-05,3.359539e-05,3.344571e-05,3.329771e-05,3.315145e-05,3.300694e-05,3.286423e-05,3.272334e-05,3.258428e-05,3.244708e-05
0.000000e+00,1.251094e-09,3.021400e-09,1.092077e-08,2.522188e-08,3.687295e-08,8.308309e-08,8.553480e-08,1.621538e-07,1.892217e-07,2.710185e-07,3.532956e-07,4.156131e-07,5.825644e-07,5.986761e-07,8.221244e-07,8.818818e-07,1.086780e-06,1.252778e-06,1.391856e-06,1.691404e-06,1.734308e-06,2.108465e-06,2.186435e-06,2.506468e-06,2.719928e-06,2.919511e-06,3.271881e-06,3.339149e-06,3.758061e-06,3.824601e-06,4.170251e-06,4.364271e-06,4.570943e-06,4.880672e-06,4.956393e-06,5.323729e-06,5.366484e-06,5.670821e-06,5.816723e-06,5.996178e-06,6.228322e-06,6.298870e-06,6.578449e-06,6.599814e-06,6.834883e-06,6.931036e-06,7.068485e-06,7.222868e-06,7.279854e-06,7.469814e-06,7.476980e-06,7.639357e-06,7.695606e-06,7.789594e-06,7.881328e-06,7.921705e-06,8.036916e-06,8.136466e-06,8.165216e-06,8.221582e-06,8.269033e-06,8.293456e-06,8.351062e-06,8.353235e-06,8.402014e-06,8.413843e-06,8.440825e-06,8.459730e-06,8.470632e-06,8.490875e-06,8.492333e-06,8.506758e-06,8.509224e-06,8.514675e-06,8.516529e-06,8.516783e-06,8.514346e-06,8.513726e-06,8.506083e-06,8.504052e-06,8.494384e-06,8.486858e-06,8.479107e-06,8.463826e-06,8.460684e-06,8.439505e-06,8.435885e-06,8.415925e-06,8.403846e-06,8.390258e-06,8.368415e-06,8.362789e-06,8.333775e-06,8.330200e-06,8.303443e-06,8.289733e-06,8.271999e-06,8.247471e-06,8.239626e-06,8.206489e-06,8.203810e-06,8.172736e-06,8.159092e-06,8.138498e-06,8.113613e-06,8.103893e-06,8.069026e-06,8.067627e-06,8.033990e-06,8.021352e-06,7.998870e-06,7.974978e-06,7.963739e-06,7.928664e-06,7.893704e-06,7.882550e-06,7.858911e-06,7.836753e-06,7.824332e-06,7.791376e-06,7.790008e-06,7.755974e-06,7.746502e-06,7.722264e-06,7.702205e-06,7.688905e-06,7.658545e-06,7.655921e-06,7.623334e-06,7.615574e-06,7.591162e-06,7.573333e-06,7.559421e-06,7.531857e-06,7.528125e-06,7.497285e-06,7.491172e-06,7.466910e-06,7.451302e-06,7.437008e-06,7.412262e-06,7.407587e-06,7.378649e-06,7.374065e-06,7.350200e-06,7.336719e-06,7.322242e-06,7.300229e-06,7.294775e-06,7.267800e-06,7.264597e-06,7.241318e-06,7.229821e-06,7.215326e-06,7.195900e-06,7.189824e-06,7.164808e-06,7.162828e-06,7.140276e-06,7.130598e-06,7.116224e-06,7.099202e-06,7.092648e-06,7.069545e-06,7.068630e-06,7.046909e-06,7.038873e-06,7.024735e-06,7.009918e-06,7.003018e-06,6.981754e-06,6.954366e-06,6.927742e-06,6.901867e-06,6.876727e-06,6.852307e-06,6.828592e-06,6.805567e-06,6.783217e-06,6.761526e-06,6.740479e-06,6.720061e-06,6.700256e-06,6.681050e-06,6.662428e-06,6.644373e-06,6.626873e-06,6.609912e-06,6.593476e-06,6.577551e-06,6.562124e-06,6.547179e-06,6.532704e-06,6.518687e-06,6.505113e-06
0.000000e+00,2.432750e-09,6.038694e-09,2.266146e-08,5.363738e-08,7.935839e-08,1.842616e-07,1.899361e-07,3.719415e-07,4.382438e-07,6.444199e-07,8.600712e-07,1.028542e-06,1.499376e-06,1.546159e-06,2.213902e-06,2.397063e-06,3.032596e-06,3.549915e-06,3.981293e-06,4.896664e-06,5.025926e-06,6.133205e-06,6.359743e-06,7.276955e-06,7.879459e-06,8.437739e-06,9.415028e-06,9.600742e-06,1.075411e-05,1.093708e-05,1.188803e-05,1.242292e-05,1.299422e-05,1.385455e-05,1.406581e-05,1.509718e-05,1.521802e-05,1.608390e-05,1.650303e-05,1.702270e-05,1.770273e-05,1.791135e-05,1.874857e-05,1.881331e-05,1.953390e-05,1.983354e-05,2.026758e-05,2.076430e-05,2.095045e-05,2.158377e-05,2.160810e-05,2.216921e-05,2.236860e-05,2.270866e-05,2.305028e-05,2.320421e-05,2.365807e-05,2.407251e-05,2.419718e-05,2.444982e-05,2.467286e-05,2.479227e-05,2.509029e-05,2.510208e-05,2.538139e-05,2.545441e-05,2.563226e-05,2.576995e-05,2.585666e-05,2.604133e-05,2.605645e-05,2.623340e-05,2.627266e-05,2.638917e-05,2.646773e-05,2.652532e-05,2.663005e-05,2.664329e-05,2.674447e-05,2.676280e-05,2.683011e-05,2.686890e-05,2.690140e-05,2.695101e-05,2.695945e-05,2.700527e-05,2.701153e-05,2.703982e-05,2.705266e-05,2.706398e-05,2.707639e-05,2.707858e-05,2.708436e-05,2.708450e-05,2.708205e-05,2.707863e-05,2.707228e-05,2.706025e-05,2.705567e-05,2.703278e-05,2.703070e-05,2.700413e-05,2.699117e-05,2.697021e-05,2.694277e-05,2.693146e-05,2.688829e-05,2.688648e-05,2.684110e-05,2.682319e-05,2.679023e-05,2.675372e-05,2.673603e-05,2.667880e-05,2.661882e-05,2.659909e-05,2.655636e-05,2.651520e-05,2.649167e-05,2.642767e-05,2.642497e-05,2.635647e-05,2.633700e-05,2.628638e-05,2.624363e-05,2.621487e-05,2.614798e-05,2.614212e-05,2.606827e-05,2.605040e-05,2.599349e-05,2.595125e-05,2.591789e-05,2.585081e-05,2.584162e-05,2.576478e-05,2.574936e-05,2.568749e-05,2.564716e-05,2.560985e-05,2.554442e-05,2.553194e-05,2.545386e-05,2.544136e-05,2.537569e-05,2.533816e-05,2.529750e-05,2.523498e-05,2.521936e-05,2.514133e-05,2.513198e-05,2.506348e-05,2.502930e-05,2.498586e-05,2.492705e-05,2.490852e-05,2.483150e-05,2.482536e-05,2.475486e-05,2.472431e-05,2.467862e-05,2.462401e-05,2.460283e-05,2.452753e-05,2.452453e-05,2.445273e-05,2.442594e-05,2.437848e-05,2.432831e-05,2.430480e-05,2.423170e-05,2.413616e-05,2.404173e-05,2.394846e-05,2.385636e-05,2.376549e-05,2.367586e-05,2.358749e-05,2.350040e-05,2.341461e-05,2.333012e-05,2.324696e-05,2.316512e-05,2.308460e-05,2.300541e-05,2.292756e-05,2.285103e-05,2.277583e-05,2.270195e-05,2.262938e-05,2.255811e-05,2.248815e-05,2.241947e-05,2.235208e-05,2.228595e-05
0.000000e+00,3.766078e-10,1.075900e-09,5.011967e-09,1.364107e-08,2.144986e-08,5.619658e-08,5.815971e-08,1.234607e-07,1.479620e-07,2.253272e-07,3.072104e-07,3.714557e-07,5.513689e-07,5.692622e-07,8.255961e-07,8.964843e-07,1.146005e-06,1.354685e-06,1.533470e-06,1.929094e-06,1.986808e-06,2.499468e-06,2.608162e-06,3.059751e-06,3.365032e-06,3.652787e-06,4.164983e-06,4.263230e-06,4.877369e-06,4.975193e-06,5.484094e-06,5.770121e-06,6.074980e-06,6.532114e-06,6.643918e-06,7.186657e-06,7.249878e-06,7.700373e-06,7.916737e-06,8.183346e-06,8.529287e-06,8.634712e-06,9.054267e-06,9.086464e-06,9.442329e-06,9.588885e-06,9.799614e-06,1.003837e-05,1.012714e-05,1.042616e-05,1.043755e-05,1.069806e-05,1.078959e-05,1.094433e-05,1.109795e-05,1.116653e-05,1.136621e-05,1.154493e-05,1.159794e-05,1.170418e-05,1.179657e-05,1.184543e-05,1.196539e-05,1.197007e-05,1.207941e-05,1.210746e-05,1.217471e-05,1.222562e-05,1.225711e-05,1.232247e-05,1.232770e-05,1.238750e-05,1.240035e-05,1.243744e-05,1.246141e-05,1.247837e-05,1.250757e-05,1.251109e-05,1.253633e-05,1.254054e-05,1.255477e-05,1.256187e-05,1.256702e-05,1.257294e-05,1.257364e-05,1.257516e-05,1.257496e-05,1.257204e-05,1.256903e-05,1.256473e-05,1.255612e-05,1.255361e-05,1.253906e-05,1.253710e-05,1.252141e-05,1.251274e-05,1.250096e-05,1.248372e-05,1.247799e-05,1.245276e-05,1.245065e-05,1.242549e-05,1.241406e-05,1.239641e-05,1.237445e-05,1.236571e-05,1.233356e-05,1.233225e-05,1.230014e-05,1.228783e-05,1.226559e-05,1.224153e-05,1.223006e-05,1.219366e-05,1.215651e-05,1.214449e-05,1.211873e-05,1.209426e-05,1.208041e-05,1.204319e-05,1.204163e-05,1.200248e-05,1.199146e-05,1.196304e-05,1.193926e-05,1.192337e-05,1.188672e-05,1.188353e-05,1.184359e-05,1.183400e-05,1.180360e-05,1.178120e-05,1.176361e-05,1.172844e-05,1.172365e-05,1.168378e-05,1.167582e-05,1.164403e-05,1.162341e-05,1.160442e-05,1.157130e-05,1.156501e-05,1.152580e-05,1.151955e-05,1.148684e-05,1.146822e-05,1.144813e-05,1.141737e-05,1.140971e-05,1.137159e-05,1.136704e-05,1.133379e-05,1.131727e-05,1.129633e-05,1.126809e-05,1.125922e-05,1.122247e-05,1.121955e-05,1.118610e-05,1.117165e-05,1.115011e-05,1.112444e-05,1.111451e-05,1.107932e-05,1.107792e-05,1.104453e-05,1.103211e-05,1.101016e-05,1.098703e-05,1.097621e-05,1.094269e-05,1.089909e-05,1.085624e-05,1.081415e-05,1.077282e-05,1.073225e-05,1.069245e-05,1.065340e-05,1.061511e-05,1.057757e-05,1.054079e-05,1.050475e-05,1.046945e-05,1.043488e-05,1.040103e-05,1.036790e-05,1.033549e-05,1.030377e-05,1.027274e-05,1.024239e-05,1.021272e-05,1.018371e-05,1.015535e-05,1.012764e-05,1.010055e-05
0.000000e+00,1.151743e-09,2.653915e-09,9.169975e-09,2.087106e-08,3.043433e-08,6.888601e-08,7.095097e-08,1.367360e-07,1.605416e-07,2.341787e-07,3.106480e-07,3.699934e-07,5.336956e-07,5.497664e-07,7.751135e-07,8.357223e-07,1.043233e-06,1.210442e-06,1.349810e-06,1.648336e-06,1.690994e-06,2.063546e-06,2.141556e-06,2.464454e-06,2.683121e-06,2.890651e-06,3.265826e-06,3.338884e-06,3.805698e-06,3.881873e-06,4.287480e-06,4.522966e-06,4.780532e-06,5.180610e-06,5.281170e-06,5.785806e-06,5.846467e-06,6.291029e-06,6.512687e-06,6.793671e-06,7.172170e-06,7.290853e-06,7.780019e-06,7.818737e-06,8.258948e-06,8.447221e-06,8.725762e-06,9.053487e-06,9.178916e-06,9.617176e-06,9.634383e-06,1.003960e-05,1.018767e-05,1.044553e-05,1.071189e-05,1.083450e-05,1.120629e-05,1.156085e-05,1.167068e-05,1.189827e-05,1.210532e-05,1.221876e-05,1.251081e-05,1.252266e-05,1.281035e-05,1.288806e-05,1.308230e-05,1.323813e-05,1.333902e-05,1.356222e-05,1.358106e-05,1.380897e-05,1.386163e-05,1.402334e-05,1.413768e-05,1.422474e-05,1.439171e-05,1.441376e-05,1.459096e-05,1.462503e-05,1.475690e-05,1.483893e-05,1.491214e-05,1.503466e-05,1.505720e-05,1.519260e-05,1.521340e-05,1.531882e-05,1.537629e-05,1.543634e-05,1.552439e-05,1.554561e-05,1.564707e-05,1.565874e-05,1.574112e-05,1.578026e-05,1.582817e-05,1.588986e-05,1.590858e-05,1.598270e-05,1.598837e-05,1.605088e-05,1.607657e-05,1.611344e-05,1.615517e-05,1.617068e-05,1.622288e-05,1.622486e-05,1.627031e-05,1.628627e-05,1.631324e-05,1.633998e-05,1.635191e-05,1.638654e-05,1.641736e-05,1.642645e-05,1.644457e-05,1.646019e-05,1.646838e-05,1.648819e-05,1.648895e-05,1.650647e-05,1.651085e-05,1.652111e-05,1.652857e-05,1.653301e-05,1.654168e-05,1.654234e-05,1.654922e-05,1.655053e-05,1.655380e-05,1.655541e-05,1.655620e-05,1.655660e-05,1.655654e-05,1.655493e-05,1.655438e-05,1.655148e-05,1.654899e-05,1.654629e-05,1.654065e-05,1.653945e-05,1.653107e-05,1.652959e-05,1.652123e-05,1.651600e-05,1.651000e-05,1.650008e-05,1.649747e-05,1.648371e-05,1.648198e-05,1.646879e-05,1.646188e-05,1.645279e-05,1.643993e-05,1.643575e-05,1.641775e-05,1.641627e-05,1.639884e-05,1.639103e-05,1.637907e-05,1.636434e-05,1.635851e-05,1.633719e-05,1.633632e-05,1.631516e-05,1.630707e-05,1.629247e-05,1.627669e-05,1.626917e-05,1.624528e-05,1.621293e-05,1.617973e-05,1.614575e-05,1.611106e-05,1.607574e-05,1.603985e-05,1.600345e-05,1.596660e-05,1.592936e-05,1.589176e-05,1.585387e-05,1.581572e-05,1.577735e-05,1.573882e-05,1.570014e-05,1.566136e-05,1.562251e-05,1.558362e-05,1.554472e-05,1.550583e-05,1.546698e-05,1.542820e-05,1.538950e-05,1.535091e-05
0.000000e+00,3.191439e-10,9.331217e-10,4.545284e-09,1.283380e-08,2.055942e-08,5.623333e-08,5.829098e-08,1.282084e-07,1.549588e-07,2.405365e-07,3.323085e-07,4.048429e-07,6.092362e-07,6.296140e-07,9.213373e-07,1.001725e-06,1.282742e-06,1.514747e-06,1.710962e-06,2.136381e-06,2.197452e-06,2.729969e-06,2.840807e-06,3.294998e-06,3.597264e-06,3.879421e-06,4.376584e-06,4.471353e-06,5.060482e-06,5.153881e-06,5.638152e-06,5.909241e-06,6.197342e-06,6.627665e-06,6.732585e-06,7.239856e-06,7.298707e-06,7.716433e-06,7.915958e-06,8.160735e-06,8.476414e-06,8.572155e-06,8.950884e-06,8.979791e-06,9.297746e-06,9.427845e-06,9.614036e-06,9.823742e-06,9.901386e-06,1.016164e-05,1.017152e-05,1.039676e-05,1.047564e-05,1.060874e-05,1.074067e-05,1.079954e-05,1.097106e-05,1.112509e-05,1.117096e-05,1.126330e-05,1.134417e-05,1.138723e-05,1.149406e-05,1.149828e-05,1.159771e-05,1.162363e-05,1.168667e-05,1.173545e-05,1.176618e-05,1.183176e-05,1.183714e-05,1.190038e-05,1.191448e-05,1.195660e-05,1.198526e-05,1.200644e-05,1.204549e-05,1.205048e-05,1.208922e-05,1.209637e-05,1.212310e-05,1.213893e-05,1.215252e-05,1.217405e-05,1.217784e-05,1.219938e-05,1.220250e-05,1.221743e-05,1.222493e-05,1.223224e-05,1.224192e-05,1.224405e-05,1.225306e-05,1.225397e-05,1.225948e-05,1.226153e-05,1.226348e-05,1.226500e-05,1.226522e-05,1.226485e-05,1.226473e-05,1.226250e-05,1.226103e-05,1.225830e-05,1.225420e-05,1.225237e-05,1.224482e-05,1.224449e-05,1.223575e-05,1.223214e-05,1.222526e-05,1.221735e-05,1.221343e-05,1.220034e-05,1.218609e-05,1.218129e-05,1.217073e-05,1.216035e-05,1.215434e-05,1.213769e-05,1.213698e-05,1.211872e-05,1.211345e-05,1.209961e-05,1.208777e-05,1.207972e-05,1.206076e-05,1.205908e-05,1.203776e-05,1.203254e-05,1.201579e-05,1.200322e-05,1.199322e-05,1.197290e-05,1.197010e-05,1.194646e-05,1.194168e-05,1.192235e-05,1.190963e-05,1.189779e-05,1.187685e-05,1.187283e-05,1.184749e-05,1.184340e-05,1.182180e-05,1.180936e-05,1.179580e-05,1.177479e-05,1.176951e-05,1.174297e-05,1.173976e-05,1.171618e-05,1.170433e-05,1.168919e-05,1.166854e-05,1.166200e-05,1.163465e-05,1.163246e-05,1.160716e-05,1.159612e-05,1.157954e-05,1.155958e-05,1.155181e-05,1.152399e-05,1.152287e-05,1.149609e-05,1.148604e-05,1.146815e-05,1.144912e-05,1.144016e-05,1.141214e-05,1.137514e-05,1.133814e-05,1.130119e-05,1.126429e-05,1.122748e-05,1.119078e-05,1.115421e-05,1.111779e-05,1.108154e-05,1.104547e-05,1.100961e-05,1.097396e-05,1.093854e-05,1.090336e-05,1.086844e-05,1.083378e-05,1.079940e-05,1.076531e-05,1.073150e-05,1.069800e-05,1.066480e-05,1.063192e-05,1.059935e-05,1.056711e-05
0.000000e+00,5.588713e-10,1.517296e-09,6.456378e-09,1.641691e-08,2.498662e-08,6.090872e-08,6.287134e-08,1.259196e-07,1.487846e-07,2.191699e-07,2.914857e-07,3.470648e-07,4.987410e-07,5.135670e-07,7.221122e-07,7.787288e-07,9.752348e-07,1.136886e-06,1.273857e-06,1.573343e-06,1.616733e-06,2.000682e-06,2.082034e-06,2.421449e-06,2.653285e-06,2.874476e-06,3.276642e-06,3.355248e-06,3.859363e-06,3.941898e-06,4.382489e-06,4.639076e-06,4.920317e-06,5.358284e-06,5.468562e-06,6.022982e-06,6.089728e-06,6.579419e-06,6.823850e-06,7.133863e-06,7.551555e-06,7.682506e-06,8.221806e-06,8.264447e-06,8.748530e-06,8.955040e-06,9.259794e-06,9.616904e-06,9.753083e-06,1.022627e-05,1.024475e-05,1.067762e-05,1.083449e-05,1.110578e-05,1.138317e-05,1.150977e-05,1.188895e-05,1.224298e-05,1.235094e-05,1.257182e-05,1.276914e-05,1.287567e-05,1.314424e-05,1.315494e-05,1.341024e-05,1.347752e-05,1.364228e-05,1.377071e-05,1.385195e-05,1.402589e-05,1.404018e-05,1.420798e-05,1.424533e-05,1.435642e-05,1.443148e-05,1.448655e-05,1.458680e-05,1.459948e-05,1.469627e-05,1.471379e-05,1.477799e-05,1.481487e-05,1.484567e-05,1.489241e-05,1.490031e-05,1.494287e-05,1.494862e-05,1.497427e-05,1.498562e-05,1.499536e-05,1.500537e-05,1.500698e-05,1.500989e-05,1.500969e-05,1.500483e-05,1.500025e-05,1.499247e-05,1.497858e-05,1.497344e-05,1.494835e-05,1.494610e-05,1.491773e-05,1.490405e-05,1.488210e-05,1.485361e-05,1.484193e-05,1.479764e-05,1.479579e-05,1.474966e-05,1.473154e-05,1.469833e-05,1.466170e-05,1.464401e-05,1.458701e-05,1.452762e-05,1.450815e-05,1.446610e-05,1.442573e-05,1.440270e-05,1.434027e-05,1.433764e-05,1.427113e-05,1.425227e-05,1.420336e-05,1.416216e-05,1.413449e-05,1.407031e-05,1.406469e-05,1.399411e-05,1.397707e-05,1.392287e-05,1.388274e-05,1.385111e-05,1.378760e-05,1.377892e-05,1.370642e-05,1.369189e-05,1.363369e-05,1.359582e-05,1.356084e-05,1.349959e-05,1.348792e-05,1.341502e-05,1.340336e-05,1.334220e-05,1.330729e-05,1.326952e-05,1.321152e-05,1.319704e-05,1.312481e-05,1.311616e-05,1.305287e-05,1.302132e-05,1.298127e-05,1.292710e-05,1.291004e-05,1.283922e-05,1.283357e-05,1.276884e-05,1.274082e-05,1.269893e-05,1.264890e-05,1.262952e-05,1.256062e-05,1.255787e-05,1.249226e-05,1.246779e-05,1.242446e-05,1.237869e-05,1.235724e-05,1.229061e-05,1.220358e-05,1.211764e-05,1.203280e-05,1.194908e-05,1.186649e-05,1.178506e-05,1.170479e-05,1.162568e-05,1.154775e-05,1.147098e-05,1.139539e-05,1.132097e-05,1.124772e-05,1.117563e-05,1.110470e-05,1.103492e-05,1.096628e-05,1.089878e-05,1.083240e-05,1.076714e-05,1.070298e-05,1.063991e-05,1.057793e-05,1.051701e-05
0.000000e+00,9.403193e-10,2.764188e-09,1.362380e-08,3.892164e-08,6.279033e-08,1.753220e-07,1.819064e-07,4.104086e-07,4.999947e-07,7.935292e-07,1.118873e-06,1.382943e-06,2.155101e-06,2.234047e-06,3.393452e-06,3.720472e-06,4.880505e-06,5.852421e-06,6.681727e-06,8.498901e-06,8.761812e-06,1.107700e-05,1.156432e-05,1.358306e-05,1.494775e-05,1.623854e-05,1.855669e-05,1.900539e-05,2.184870e-05,2.230853e-05,2.473614e-05,2.612887e-05,2.763762e-05,2.995002e-05,3.052512e-05,3.337272e-05,3.371060e-05,3.615674e-05,3.735599e-05,3.885594e-05,4.083909e-05,4.145178e-05,4.392853e-05,4.412112e-05,4.627339e-05,4.717209e-05,4.847646e-05,4.997081e-05,5.053069e-05,5.243171e-05,5.250453e-05,5.417762e-05,5.476817e-05,5.576871e-05,5.676329e-05,5.720721e-05,5.849697e-05,5.964316e-05,5.998061e-05,6.065200e-05,6.122878e-05,6.153047e-05,6.225815e-05,6.228611e-05,6.292678e-05,6.308665e-05,6.346047e-05,6.373267e-05,6.389519e-05,6.421448e-05,6.423879e-05,6.449893e-05,6.454976e-05,6.468293e-05,6.475533e-05,6.479777e-05,6.484688e-05,6.485006e-05,6.484595e-05,6.483888e-05,6.479120e-05,6.474451e-05,6.469114e-05,6.457568e-05,6.455068e-05,6.437432e-05,6.434305e-05,6.416619e-05,6.405612e-05,6.393004e-05,6.372326e-05,6.366929e-05,6.338704e-05,6.335186e-05,6.308608e-05,6.294839e-05,6.276894e-05,6.251850e-05,6.243789e-05,6.209500e-05,6.206711e-05,6.174210e-05,6.159851e-05,6.138083e-05,6.111639e-05,6.101270e-05,6.063901e-05,6.062397e-05,6.026097e-05,6.012402e-05,5.987964e-05,5.961894e-05,5.949596e-05,5.911080e-05,5.872489e-05,5.860136e-05,5.833893e-05,5.809217e-05,5.795352e-05,5.758454e-05,5.756919e-05,5.718643e-05,5.707959e-05,5.680565e-05,5.657829e-05,5.642723e-05,5.608146e-05,5.605151e-05,5.567877e-05,5.558979e-05,5.530929e-05,5.510389e-05,5.494329e-05,5.462425e-05,5.458097e-05,5.422250e-05,5.415129e-05,5.386805e-05,5.368536e-05,5.351773e-05,5.322674e-05,5.317166e-05,5.282994e-05,5.277568e-05,5.249265e-05,5.233233e-05,5.215984e-05,5.189686e-05,5.183158e-05,5.150790e-05,5.146936e-05,5.118883e-05,5.104991e-05,5.087440e-05,5.063855e-05,5.056463e-05,5.025951e-05,5.023530e-05,4.995904e-05,4.984016e-05,4.966323e-05,4.945311e-05,4.937205e-05,4.908548e-05,4.907411e-05,4.880351e-05,4.870311e-05,4.852610e-05,4.834005e-05,4.825322e-05,4.798485e-05,4.763742e-05,4.729767e-05,4.696550e-05,4.664081e-05,4.632348e-05,4.601339e-05,4.571043e-05,4.541447e-05,4.512540e-05,4.484307e-05,4.456737e-05,4.429816e-05,4.403532e-05,4.377872e-05,4.352822e-05,4.328370e-05,4.304504e-05,4.281209e-05,4.258475e-05,4.236287e-05,4.214635e-05,4.193505e-05,4.172885e-05,4.152764e-05
0.000000e+00,7.695838e-10,1.766317e-09,6.073443e-09,1.378427e-08,2.007565e-08,4.532378e-08,4.667819e-08,8.977497e-08,1.053492e-07,1.534558e-07,2.032889e-07,2.418587e-07,3.476840e-07,3.580244e-07,5.021070e-07,5.405851e-07,6.715499e-07,7.762913e-07,8.631064e-07,1.047691e-06,1.073922e-06,1.301512e-06,1.348836e-06,1.543526e-06,1.674289e-06,1.797593e-06,2.018553e-06,2.061290e-06,2.332159e-06,2.375999e-06,2.607760e-06,2.741033e-06,2.885738e-06,3.108338e-06,3.163879e-06,3.440156e-06,3.473096e-06,3.712767e-06,3.831142e-06,3.980149e-06,4.179046e-06,4.240991e-06,4.494222e-06,4.514126e-06,4.739006e-06,4.834408e-06,4.974717e-06,5.138560e-06,5.200920e-06,5.417346e-06,5.425797e-06,5.623868e-06,5.695788e-06,5.820481e-06,5.948560e-06,6.007274e-06,6.184418e-06,6.352141e-06,6.403867e-06,6.510722e-06,6.607557e-06,6.660469e-06,6.796225e-06,6.801716e-06,6.934810e-06,6.970664e-06,7.060106e-06,7.131688e-06,7.177959e-06,7.280114e-06,7.288723e-06,7.392742e-06,7.416741e-06,7.490356e-06,7.542344e-06,7.581892e-06,7.657666e-06,7.667664e-06,7.747976e-06,7.763409e-06,7.823116e-06,7.860236e-06,7.893359e-06,7.948772e-06,7.958968e-06,8.020192e-06,8.029597e-06,8.077267e-06,8.103255e-06,8.130416e-06,8.170251e-06,8.179850e-06,8.225768e-06,8.231051e-06,8.268359e-06,8.286091e-06,8.307800e-06,8.335773e-06,8.344260e-06,8.377898e-06,8.380471e-06,8.408862e-06,8.420531e-06,8.437294e-06,8.456272e-06,8.463327e-06,8.487086e-06,8.487991e-06,8.508691e-06,8.515963e-06,8.528253e-06,8.540443e-06,8.545878e-06,8.561666e-06,8.575712e-06,8.579853e-06,8.588103e-06,8.595205e-06,8.598925e-06,8.607912e-06,8.608257e-06,8.616175e-06,8.618149e-06,8.622750e-06,8.626079e-06,8.628050e-06,8.631854e-06,8.632138e-06,8.635075e-06,8.635615e-06,8.636919e-06,8.637495e-06,8.637724e-06,8.637615e-06,8.637543e-06,8.636423e-06,8.636091e-06,8.634412e-06,8.633029e-06,8.631554e-06,8.628529e-06,8.627891e-06,8.623463e-06,8.622686e-06,8.618308e-06,8.615586e-06,8.612462e-06,8.607312e-06,8.605960e-06,8.598835e-06,8.597940e-06,8.591118e-06,8.587542e-06,8.582838e-06,8.576187e-06,8.574025e-06,8.564705e-06,8.563938e-06,8.554904e-06,8.550854e-06,8.544647e-06,8.536992e-06,8.533957e-06,8.522857e-06,8.522405e-06,8.511369e-06,8.507142e-06,8.499513e-06,8.491251e-06,8.487309e-06,8.474775e-06,8.457757e-06,8.440236e-06,8.422249e-06,8.403831e-06,8.385015e-06,8.365834e-06,8.346315e-06,8.326489e-06,8.306380e-06,8.286015e-06,8.265417e-06,8.244608e-06,8.223611e-06,8.202444e-06,8.181128e-06,8.159681e-06,8.138119e-06,8.116460e-06,8.094718e-06,8.072908e-06,8.051044e-06,8.029140e-06,8.007207e-06,7.985258e-06
0.000000e+00,2.199433e-08,6.568208e-08,3.345425e-07,9.850005e-07,1.615668e-06,4.709551e-06,4.894987e-06,1.152466e-05,1.420300e-05,2.319876e-05,3.347127e-05,4.199132e-05,6.764847e-05,7.032704e-05,1.107313e-04,1.224756e-04,1.653242e-04,2.026086e-04,2.353824e-04,3.101405e-04,3.212787e-04,4.226885e-04,4.447689e-04,5.388262e-04,6.046893e-04,6.686155e-04,7.872695e-04,8.107951e-04,9.639854e-04,9.894213e-04,1.126733e-03,1.207809e-03,1.297546e-03,1.438992e-03,1.474919e-03,1.657368e-03,1.679533e-03,1.843444e-03,1.926106e-03,2.031760e-03,2.175571e-03,2.221009e-03,2.409973e-03,2.425043e-03,2.597537e-03,2.671942e-03,2.782696e-03,2.914014e-03,2.964554e-03,3.142329e-03,3.149345e-03,3.315346e-03,3.376355e-03,3.483039e-03,3.593785e-03,3.644938e-03,3.800667e-03,3.949938e-03,3.996304e-03,4.092538e-03,4.180233e-03,4.228325e-03,4.352197e-03,4.357220e-03,4.479197e-03,4.512113e-03,4.594279e-03,4.660045e-03,4.702532e-03,4.796177e-03,4.804054e-03,4.898974e-03,4.920789e-03,4.987447e-03,5.034239e-03,5.069645e-03,5.136939e-03,5.145758e-03,5.215988e-03,5.229346e-03,5.280545e-03,5.311946e-03,5.339649e-03,5.385244e-03,5.393521e-03,5.442384e-03,5.449752e-03,5.486463e-03,5.505988e-03,5.525982e-03,5.554462e-03,5.561161e-03,5.592217e-03,5.595677e-03,5.619365e-03,5.630126e-03,5.642812e-03,5.658282e-03,5.662761e-03,5.679409e-03,5.680604e-03,5.692947e-03,5.697533e-03,5.703559e-03,5.709487e-03,5.711421e-03,5.716706e-03,5.716866e-03,5.719577e-03,5.720049e-03,5.720190e-03,5.719395e-03,5.718697e-03,5.715242e-03,5.709961e-03,5.707907e-03,5.702985e-03,5.697689e-03,5.694440e-03,5.684869e-03,5.684443e-03,5.673107e-03,5.669708e-03,5.660540e-03,5.652451e-03,5.646843e-03,5.633326e-03,5.632112e-03,5.616438e-03,5.612545e-03,5.599906e-03,5.590305e-03,5.582599e-03,5.566788e-03,5.564593e-03,5.545961e-03,5.542165e-03,5.526770e-03,5.516591e-03,5.507085e-03,5.490212e-03,5.486966e-03,5.466470e-03,5.463160e-03,5.445651e-03,5.435557e-03,5.424558e-03,5.407518e-03,5.403238e-03,5.381735e-03,5.379144e-03,5.360090e-03,5.350531e-03,5.338341e-03,5.321764e-03,5.316524e-03,5.294672e-03,5.292923e-03,5.272816e-03,5.264079e-03,5.250985e-03,5.235297e-03,5.229205e-03,5.207501e-03,5.206635e-03,5.185897e-03,5.178147e-03,5.164412e-03,5.149881e-03,5.143067e-03,5.121878e-03,5.094177e-03,5.066812e-03,5.039813e-03,5.013205e-03,4.987012e-03,4.961253e-03,4.935946e-03,4.911104e-03,4.886739e-03,4.862861e-03,4.839477e-03,4.816593e-03,4.794214e-03,4.772341e-03,4.750975e-03,4.730118e-03,4.709766e-03,4.689918e-03,4.670570e-03,4.651719e-03,4.633359e-03,4.615485e-03,4.598090e-03,4.581169e-03
0.000000e+00,1.221227e-08,2.890946e-08,1.035738e-07,2.423362e-07,3.590556e-07,8.531784e-07,8.807437e-07,1.807518e-06,2.164135e-06,3.328251e-06,4.617885e-06,5.661563e-06,8.654613e-06,8.953314e-06,1.314811e-05,1.426720e-05,1.804145e-05,2.101087e-05,2.343676e-05,2.849352e-05,2.920174e-05,3.525210e-05,3.649093e-05,4.152841e-05,4.486510e-05,4.798227e-05,5.350847e-05,5.456967e-05,6.124842e-05,6.232274e-05,6.797751e-05,7.121375e-05,7.471769e-05,8.009276e-05,8.143180e-05,8.808544e-05,8.887828e-05,9.464739e-05,9.749845e-05,1.010904e-04,1.058927e-04,1.073907e-04,1.135284e-04,1.140119e-04,1.194873e-04,1.218178e-04,1.252542e-04,1.292817e-04,1.308190e-04,1.361745e-04,1.363843e-04,1.413158e-04,1.431136e-04,1.462399e-04,1.494636e-04,1.509457e-04,1.554334e-04,1.597047e-04,1.610261e-04,1.637620e-04,1.662479e-04,1.676087e-04,1.711071e-04,1.712488e-04,1.746867e-04,1.756138e-04,1.779275e-04,1.797795e-04,1.809764e-04,1.836164e-04,1.838386e-04,1.865200e-04,1.871372e-04,1.890261e-04,1.903551e-04,1.913627e-04,1.932833e-04,1.935356e-04,1.955504e-04,1.959349e-04,1.974130e-04,1.983232e-04,1.991289e-04,2.004609e-04,2.007037e-04,2.021428e-04,2.023608e-04,2.034517e-04,2.040352e-04,2.046355e-04,2.054961e-04,2.056995e-04,2.066486e-04,2.067550e-04,2.074877e-04,2.078233e-04,2.082216e-04,2.087118e-04,2.088549e-04,2.093921e-04,2.094310e-04,2.098375e-04,2.099909e-04,2.101954e-04,2.104011e-04,2.104698e-04,2.106648e-04,2.106710e-04,2.107841e-04,2.108093e-04,2.108315e-04,2.108245e-04,2.108106e-04,2.107248e-04,2.105774e-04,2.105178e-04,2.103718e-04,2.102109e-04,2.101108e-04,2.098112e-04,2.097977e-04,2.094352e-04,2.093252e-04,2.090261e-04,2.087593e-04,2.085730e-04,2.081196e-04,2.080786e-04,2.075453e-04,2.074118e-04,2.069755e-04,2.066412e-04,2.063713e-04,2.058131e-04,2.057351e-04,2.050689e-04,2.049322e-04,2.043747e-04,2.040033e-04,2.036544e-04,2.030306e-04,2.029099e-04,2.021429e-04,2.020182e-04,2.013551e-04,2.009700e-04,2.005481e-04,1.998897e-04,1.997235e-04,1.988827e-04,1.987808e-04,1.980272e-04,1.976464e-04,1.971582e-04,1.964897e-04,1.962772e-04,1.953852e-04,1.953134e-04,1.944835e-04,1.941203e-04,1.935731e-04,1.929129e-04,1.926552e-04,1.917307e-04,1.916936e-04,1.908006e-04,1.904646e-04,1.898658e-04,1.892279e-04,1.889272e-04,1.879856e-04,1.867394e-04,1.854909e-04,1.842418e-04,1.829936e-04,1.817475e-04,1.805048e-04,1.792668e-04,1.780344e-04,1.768086e-04,1.755904e-04,1.743807e-04,1.731800e-04,1.719893e-04,1.708090e-04,1.696398e-04,1.684822e-04,1.673366e-04,1.662035e-04,1.650833e-04,1.639763e-04,1.628827e-04,1.618029e-04,1.607370e-04,1.596852e-04
0.000000e+00,3.143123e-09,9.045788e-09,4.288182e-08,1.190526e-07,1.896743e-07,5.190059e-07,5.382703e-07,1.214538e-06,1.484862e-06,2.392139e-06,3.432020e-06,4.296877e-06,6.888566e-06,7.156286e-06,1.108473e-05,1.218279e-05,1.601860e-05,1.915585e-05,2.177944e-05,2.737547e-05,2.816961e-05,3.502171e-05,3.643560e-05,4.220668e-05,4.604075e-05,4.962583e-05,5.598102e-05,5.720061e-05,6.486495e-05,6.609558e-05,7.256074e-05,7.625033e-05,8.023564e-05,8.632848e-05,8.784222e-05,9.533788e-05,9.622807e-05,1.026850e-04,1.058621e-04,1.098510e-04,1.151589e-04,1.168084e-04,1.235350e-04,1.240626e-04,1.300130e-04,1.325315e-04,1.362292e-04,1.405375e-04,1.421745e-04,1.478429e-04,1.480638e-04,1.532318e-04,1.551033e-04,1.583410e-04,1.616564e-04,1.631725e-04,1.677300e-04,1.720186e-04,1.733352e-04,1.760447e-04,1.784867e-04,1.798152e-04,1.832017e-04,1.833379e-04,1.866211e-04,1.874986e-04,1.896732e-04,1.913972e-04,1.925030e-04,1.949175e-04,1.951191e-04,1.975304e-04,1.980796e-04,1.997455e-04,2.009035e-04,2.017730e-04,2.034088e-04,2.036214e-04,2.052989e-04,2.056147e-04,2.068137e-04,2.075396e-04,2.081734e-04,2.092013e-04,2.093857e-04,2.104579e-04,2.106169e-04,2.113972e-04,2.118029e-04,2.122104e-04,2.127746e-04,2.129041e-04,2.134847e-04,2.135470e-04,2.139582e-04,2.141342e-04,2.143306e-04,2.145495e-04,2.146075e-04,2.147943e-04,2.148056e-04,2.148962e-04,2.149143e-04,2.149181e-04,2.148870e-04,2.148648e-04,2.147408e-04,2.147344e-04,2.145504e-04,2.144664e-04,2.142978e-04,2.140925e-04,2.139870e-04,2.136216e-04,2.132054e-04,2.130620e-04,2.127417e-04,2.124216e-04,2.122339e-04,2.117076e-04,2.116849e-04,2.110978e-04,2.109270e-04,2.104755e-04,2.100862e-04,2.098205e-04,2.091912e-04,2.091354e-04,2.084226e-04,2.082477e-04,2.076845e-04,2.072609e-04,2.069232e-04,2.062358e-04,2.061408e-04,2.053392e-04,2.051768e-04,2.045204e-04,2.040883e-04,2.036859e-04,2.029742e-04,2.028376e-04,2.019770e-04,2.018383e-04,2.011056e-04,2.006839e-04,2.002247e-04,1.995142e-04,1.993358e-04,1.984400e-04,1.983321e-04,1.975386e-04,1.971405e-04,1.966327e-04,1.959418e-04,1.957232e-04,1.948113e-04,1.947382e-04,1.938978e-04,1.935321e-04,1.929835e-04,1.923253e-04,1.920694e-04,1.911562e-04,1.911197e-04,1.902446e-04,1.899169e-04,1.893352e-04,1.887185e-04,1.884288e-04,1.875258e-04,1.863401e-04,1.851626e-04,1.839944e-04,1.828363e-04,1.816892e-04,1.805540e-04,1.794312e-04,1.783216e-04,1.772256e-04,1.761437e-04,1.750764e-04,1.740240e-04,1.729867e-04,1.719650e-04,1.709590e-04,1.699688e-04,1.689946e-04,1.680365e-04,1.670945e-04,1.661688e-04,1.652593e-04,1.643660e-04,1.634888e-04,1.626278e-04
0.000000e+00,3.581567e-10,1.044380e-09,5.063102e-09,1.425485e-08,2.281872e-08,6.252306e-08,6.482431e-08,1.438909e-07,1.746137e-07,2.746912e-07,3.849595e-07,4.741120e-07,7.331212e-07,7.594451e-07,1.141878e-06,1.248192e-06,1.619415e-06,1.923373e-06,2.177819e-06,2.720567e-06,2.797506e-06,3.459181e-06,3.595038e-06,4.146247e-06,4.508953e-06,4.845173e-06,5.433388e-06,5.545043e-06,6.236951e-06,6.346407e-06,6.913517e-06,7.230961e-06,7.568550e-06,8.073563e-06,8.196874e-06,8.794243e-06,8.863678e-06,9.357304e-06,9.593511e-06,9.883574e-06,1.025790e-05,1.037142e-05,1.081999e-05,1.085417e-05,1.122918e-05,1.138193e-05,1.159951e-05,1.184268e-05,1.193206e-05,1.222834e-05,1.223946e-05,1.249019e-05,1.257642e-05,1.271969e-05,1.285842e-05,1.291909e-05,1.309067e-05,1.323676e-05,1.327850e-05,1.335962e-05,1.342706e-05,1.346142e-05,1.354125e-05,1.354423e-05,1.360998e-05,1.362558e-05,1.366047e-05,1.368412e-05,1.369733e-05,1.372050e-05,1.372206e-05,1.373601e-05,1.373789e-05,1.374040e-05,1.373908e-05,1.373630e-05,1.372646e-05,1.372470e-05,1.370646e-05,1.370208e-05,1.368234e-05,1.366771e-05,1.365303e-05,1.362483e-05,1.361912e-05,1.358116e-05,1.357474e-05,1.353960e-05,1.351851e-05,1.349488e-05,1.345706e-05,1.344735e-05,1.339735e-05,1.339120e-05,1.334517e-05,1.332159e-05,1.329108e-05,1.324884e-05,1.323531e-05,1.317807e-05,1.317344e-05,1.311956e-05,1.309583e-05,1.305993e-05,1.301639e-05,1.299934e-05,1.293794e-05,1.293547e-05,1.287585e-05,1.285335e-05,1.281319e-05,1.277030e-05,1.275006e-05,1.268655e-05,1.262276e-05,1.260230e-05,1.255876e-05,1.251773e-05,1.249463e-05,1.243301e-05,1.243044e-05,1.236625e-05,1.234828e-05,1.230211e-05,1.226367e-05,1.223808e-05,1.217930e-05,1.217420e-05,1.211052e-05,1.209527e-05,1.204709e-05,1.201168e-05,1.198393e-05,1.192860e-05,1.192108e-05,1.185857e-05,1.184611e-05,1.179644e-05,1.176428e-05,1.173470e-05,1.168317e-05,1.167339e-05,1.161252e-05,1.160282e-05,1.155212e-05,1.152329e-05,1.149219e-05,1.144462e-05,1.143277e-05,1.137386e-05,1.136683e-05,1.131548e-05,1.128997e-05,1.125764e-05,1.121405e-05,1.120036e-05,1.114363e-05,1.113911e-05,1.108747e-05,1.106516e-05,1.103188e-05,1.099222e-05,1.097688e-05,1.092247e-05,1.092030e-05,1.086865e-05,1.084942e-05,1.081543e-05,1.077958e-05,1.076280e-05,1.071078e-05,1.064304e-05,1.057635e-05,1.051072e-05,1.044614e-05,1.038262e-05,1.032014e-05,1.025871e-05,1.019832e-05,1.013896e-05,1.008063e-05,1.002331e-05,9.967000e-06,9.911688e-06,9.857362e-06,9.804014e-06,9.751631e-06,9.700203e-06,9.649717e-06,9.600162e-06,9.551524e-06,9.503792e-06,9.456952e-06,9.410992e-06,9.365898e-06
0.000000e+00,4.590873e-09,1.051736e-08,3.620157e-08,8.262347e-08,1.209423e-07,2.786561e-07,2.872892e-07,5.703741e-07,6.762822e-07,1.012787e-06,1.371203e-06,1.651491e-06,2.416424e-06,2.490260e-06,3.497383e-06,3.759709e-06,4.634458e-06,5.316641e-06,5.872077e-06,7.027276e-06,7.188882e-06,8.567679e-06,8.849502e-06,9.993015e-06,1.074768e-05,1.145017e-05,1.268840e-05,1.292499e-05,1.440399e-05,1.464018e-05,1.587473e-05,1.657439e-05,1.732597e-05,1.846631e-05,1.874795e-05,2.013247e-05,2.029576e-05,2.147285e-05,2.204723e-05,2.276386e-05,2.370959e-05,2.400164e-05,2.518358e-05,2.527567e-05,2.630808e-05,2.674161e-05,2.737445e-05,2.810625e-05,2.838274e-05,2.933360e-05,2.937046e-05,3.022813e-05,3.053665e-05,3.106781e-05,3.160834e-05,3.185437e-05,3.258974e-05,3.327596e-05,3.348551e-05,3.391516e-05,3.430057e-05,3.450950e-05,3.503987e-05,3.506114e-05,3.557222e-05,3.570834e-05,3.604483e-05,3.631078e-05,3.648101e-05,3.685181e-05,3.688273e-05,3.725189e-05,3.733584e-05,3.759031e-05,3.776705e-05,3.789974e-05,3.814937e-05,3.818184e-05,3.843820e-05,3.848651e-05,3.867032e-05,3.878193e-05,3.887965e-05,3.903885e-05,3.906753e-05,3.923526e-05,3.926030e-05,3.938404e-05,3.944908e-05,3.951505e-05,3.960778e-05,3.962936e-05,3.972801e-05,3.973884e-05,3.981196e-05,3.984448e-05,3.988214e-05,3.992680e-05,3.993941e-05,3.998460e-05,3.998771e-05,4.001846e-05,4.002900e-05,4.004174e-05,4.005233e-05,4.005511e-05,4.005923e-05,4.005921e-05,4.005470e-05,4.005107e-05,4.004210e-05,4.002920e-05,4.002197e-05,3.999482e-05,3.996114e-05,3.994905e-05,3.992137e-05,3.989292e-05,3.987594e-05,3.982739e-05,3.982527e-05,3.976971e-05,3.975333e-05,3.970964e-05,3.967157e-05,3.964539e-05,3.958287e-05,3.957728e-05,3.950561e-05,3.948791e-05,3.943065e-05,3.938734e-05,3.935267e-05,3.928176e-05,3.927193e-05,3.918865e-05,3.917171e-05,3.910306e-05,3.905771e-05,3.901537e-05,3.894023e-05,3.892577e-05,3.883445e-05,3.881969e-05,3.874158e-05,3.869650e-05,3.864733e-05,3.857103e-05,3.855184e-05,3.845526e-05,3.844361e-05,3.835774e-05,3.831456e-05,3.825939e-05,3.818418e-05,3.816035e-05,3.806071e-05,3.805272e-05,3.796059e-05,3.792043e-05,3.786009e-05,3.778754e-05,3.775930e-05,3.765831e-05,3.765426e-05,3.755720e-05,3.752078e-05,3.745605e-05,3.738728e-05,3.735493e-05,3.725391e-05,3.712084e-05,3.698818e-05,3.685607e-05,3.672462e-05,3.659393e-05,3.646410e-05,3.633522e-05,3.620737e-05,3.608060e-05,3.595500e-05,3.583061e-05,3.570749e-05,3.558569e-05,3.546524e-05,3.534618e-05,3.522855e-05,3.511237e-05,3.499766e-05,3.488446e-05,3.477277e-05,3.466261e-05,3.455399e-05,3.444692e-05,3.434140e-05
0.000000e+00,5.580172e-09,1.280333e-08,4.411075e-08,1.004207e-07,1.465375e-07,3.326390e-07,3.426584e-07,6.628133e-07,7.790143e-07,1.139163e-06,1.513837e-06,1.804887e-06,2.608941e-06,2.687992e-06,3.798765e-06,4.098036e-06,5.122374e-06,5.945305e-06,6.628103e-06,8.077755e-06,8.283271e-06,1.005902e-05,1.042639e-05,1.193028e-05,1.293352e-05,1.387449e-05,1.554873e-05,1.587083e-05,1.790001e-05,1.822652e-05,1.994428e-05,2.092610e-05,2.198758e-05,2.361194e-05,2.401575e-05,2.601651e-05,2.625425e-05,2.797952e-05,2.882903e-05,2.989628e-05,3.131785e-05,3.175999e-05,3.356531e-05,3.370709e-05,3.530836e-05,3.598749e-05,3.698640e-05,3.815331e-05,3.859767e-05,4.014127e-05,4.020160e-05,4.161698e-05,4.213165e-05,4.302510e-05,4.394441e-05,4.436643e-05,4.564208e-05,4.685344e-05,4.722776e-05,4.800212e-05,4.870518e-05,4.908986e-05,5.007849e-05,5.011853e-05,5.109005e-05,5.135211e-05,5.200642e-05,5.253059e-05,5.286961e-05,5.361852e-05,5.368165e-05,5.444451e-05,5.462050e-05,5.516016e-05,5.554104e-05,5.583055e-05,5.638456e-05,5.645757e-05,5.704307e-05,5.715535e-05,5.758887e-05,5.785757e-05,5.809671e-05,5.849523e-05,5.856832e-05,5.900533e-05,5.907215e-05,5.940935e-05,5.959201e-05,5.978192e-05,6.005834e-05,6.012453e-05,6.043863e-05,6.047447e-05,6.072560e-05,6.084361e-05,6.098676e-05,6.116878e-05,6.122340e-05,6.143676e-05,6.145286e-05,6.162801e-05,6.169857e-05,6.179829e-05,6.190852e-05,6.194869e-05,6.208025e-05,6.208514e-05,6.219398e-05,6.223074e-05,6.229083e-05,6.234752e-05,6.237172e-05,6.243753e-05,6.248910e-05,6.250272e-05,6.252722e-05,6.254493e-05,6.255268e-05,6.256588e-05,6.256620e-05,6.256849e-05,6.256721e-05,6.256020e-05,6.255043e-05,6.254199e-05,6.251699e-05,6.251446e-05,6.247818e-05,6.246824e-05,6.243372e-05,6.240545e-05,6.238161e-05,6.232981e-05,6.232233e-05,6.225639e-05,6.224244e-05,6.218422e-05,6.214438e-05,6.210626e-05,6.203661e-05,6.202293e-05,6.193463e-05,6.192006e-05,6.184171e-05,6.179558e-05,6.174454e-05,6.166397e-05,6.164346e-05,6.153878e-05,6.152599e-05,6.143081e-05,6.138233e-05,6.131983e-05,6.123365e-05,6.120613e-05,6.108996e-05,6.108057e-05,6.097156e-05,6.092364e-05,6.085118e-05,6.076339e-05,6.072902e-05,6.060530e-05,6.060032e-05,6.048022e-05,6.043489e-05,6.035395e-05,6.026751e-05,6.022669e-05,6.009859e-05,5.992849e-05,5.975754e-05,5.958606e-05,5.941434e-05,5.924264e-05,5.907121e-05,5.890027e-05,5.873003e-05,5.856068e-05,5.839239e-05,5.822533e-05,5.805962e-05,5.789541e-05,5.773282e-05,5.757194e-05,5.741288e-05,5.725571e-05,5.710052e-05,5.694738e-05,5.679634e-05,5.664745e-05,5.650075e-05,5.635629e-05,5.621410e-05
0.000000e+00,3.592736e-09,8.216840e-09,2.824445e-08,6.432305e-08,9.394152e-08,2.141062e-07,2.206038e-07,4.296442e-07,5.061713e-07,7.454926e-07,9.979004e-07,1.196488e-06,1.757816e-06,1.814109e-06,2.628846e-06,2.856374e-06,3.661356e-06,4.335797e-06,4.911873e-06,6.174511e-06,6.357004e-06,7.958640e-06,8.294150e-06,9.676749e-06,1.060446e-05,1.147685e-05,1.303202e-05,1.333148e-05,1.521903e-05,1.552288e-05,1.712212e-05,1.803681e-05,1.902638e-05,2.054239e-05,2.091963e-05,2.279144e-05,2.301417e-05,2.463282e-05,2.543139e-05,2.643617e-05,2.777729e-05,2.819508e-05,2.990431e-05,3.003877e-05,3.155967e-05,3.220599e-05,3.315796e-05,3.427203e-05,3.469682e-05,3.617469e-05,3.623252e-05,3.759066e-05,3.808519e-05,3.894444e-05,3.982956e-05,4.023620e-05,4.146653e-05,4.263633e-05,4.299808e-05,4.374681e-05,4.442701e-05,4.479935e-05,4.575673e-05,4.579551e-05,4.673699e-05,4.699103e-05,4.762552e-05,4.813400e-05,4.846295e-05,4.918984e-05,4.925112e-05,4.999189e-05,5.016283e-05,5.068713e-05,5.105726e-05,5.133868e-05,5.187734e-05,5.194835e-05,5.251792e-05,5.262718e-05,5.304914e-05,5.331078e-05,5.354370e-05,5.393201e-05,5.400326e-05,5.442940e-05,5.449458e-05,5.482367e-05,5.500204e-05,5.518756e-05,5.545777e-05,5.552252e-05,5.582992e-05,5.586502e-05,5.611111e-05,5.622685e-05,5.636735e-05,5.654618e-05,5.659989e-05,5.680990e-05,5.682576e-05,5.699852e-05,5.706822e-05,5.716683e-05,5.727603e-05,5.731587e-05,5.744665e-05,5.745151e-05,5.756010e-05,5.759688e-05,5.765715e-05,5.771422e-05,5.773866e-05,5.780548e-05,5.785839e-05,5.787251e-05,5.789816e-05,5.791705e-05,5.792551e-05,5.794074e-05,5.794114e-05,5.794572e-05,5.794511e-05,5.793987e-05,5.793161e-05,5.792420e-05,5.790160e-05,5.789928e-05,5.786567e-05,5.785636e-05,5.782388e-05,5.779709e-05,5.777441e-05,5.772491e-05,5.771775e-05,5.765433e-05,5.764088e-05,5.758461e-05,5.754599e-05,5.750897e-05,5.744116e-05,5.742782e-05,5.734153e-05,5.732727e-05,5.725045e-05,5.720513e-05,5.715491e-05,5.707550e-05,5.705525e-05,5.695176e-05,5.693910e-05,5.684473e-05,5.679659e-05,5.673444e-05,5.664860e-05,5.662115e-05,5.650511e-05,5.649572e-05,5.638656e-05,5.633848e-05,5.626571e-05,5.617740e-05,5.614279e-05,5.601798e-05,5.601295e-05,5.589150e-05,5.584558e-05,5.576350e-05,5.567570e-05,5.563418e-05,5.550369e-05,5.532991e-05,5.515470e-05,5.497836e-05,5.480119e-05,5.462345e-05,5.444538e-05,5.426723e-05,5.408919e-05,5.391147e-05,5.373424e-05,5.355769e-05,5.338195e-05,5.320717e-05,5.303348e-05,5.286101e-05,5.268985e-05,5.252011e-05,5.235187e-05,5.218523e-05,5.202025e-05,5.185700e-05,5.169555e-05,5.153593e-05,5.137821e-05
0.000000e+00,5.645851e-10,1.613899e-09,7.523534e-09,2.047532e-08,3.218454e-08,8.413743e-08,8.706539e-08,1.840401e-07,2.202261e-07,3.338338e-07,4.530912e-07,5.460231e-07,8.036973e-07,8.291399e-07,1.190633e-06,1.289758e-06,1.636470e-06,1.924438e-06,2.170183e-06,2.712353e-06,2.791380e-06,3.494331e-06,3.643824e-06,4.267750e-06,4.692777e-06,5.096292e-06,5.822447e-06,5.962986e-06,6.851367e-06,6.994507e-06,7.746713e-06,8.175180e-06,8.636455e-06,9.337112e-06,9.510123e-06,1.035914e-05,1.045902e-05,1.117659e-05,1.152481e-05,1.195699e-05,1.252269e-05,1.269614e-05,1.339098e-05,1.344458e-05,1.403945e-05,1.428557e-05,1.464042e-05,1.504346e-05,1.519351e-05,1.569905e-05,1.571829e-05,1.615791e-05,1.631192e-05,1.657143e-05,1.682757e-05,1.694130e-05,1.726948e-05,1.755814e-05,1.764254e-05,1.780957e-05,1.795203e-05,1.802612e-05,1.820339e-05,1.821016e-05,1.836405e-05,1.840205e-05,1.849008e-05,1.855325e-05,1.859047e-05,1.866203e-05,1.866736e-05,1.872277e-05,1.873308e-05,1.875860e-05,1.877080e-05,1.877667e-05,1.877919e-05,1.877863e-05,1.876604e-05,1.876191e-05,1.874035e-05,1.872226e-05,1.870289e-05,1.866322e-05,1.865488e-05,1.859745e-05,1.858746e-05,1.853163e-05,1.849734e-05,1.845837e-05,1.839498e-05,1.837853e-05,1.829289e-05,1.828226e-05,1.820217e-05,1.816082e-05,1.810703e-05,1.803214e-05,1.800807e-05,1.790581e-05,1.789751e-05,1.780076e-05,1.775806e-05,1.769335e-05,1.761479e-05,1.758399e-05,1.747305e-05,1.746858e-05,1.736084e-05,1.732020e-05,1.724768e-05,1.717031e-05,1.713382e-05,1.701952e-05,1.690499e-05,1.686833e-05,1.679043e-05,1.671718e-05,1.667602e-05,1.656647e-05,1.656191e-05,1.644825e-05,1.641652e-05,1.633517e-05,1.626764e-05,1.622278e-05,1.612007e-05,1.611118e-05,1.600046e-05,1.597403e-05,1.589071e-05,1.582970e-05,1.578199e-05,1.568723e-05,1.567438e-05,1.556791e-05,1.554676e-05,1.546264e-05,1.540839e-05,1.535861e-05,1.527222e-05,1.525586e-05,1.515442e-05,1.513831e-05,1.505430e-05,1.500673e-05,1.495554e-05,1.487752e-05,1.485815e-05,1.476214e-05,1.475071e-05,1.466752e-05,1.462633e-05,1.457430e-05,1.450440e-05,1.448249e-05,1.439208e-05,1.438491e-05,1.430307e-05,1.426786e-05,1.421547e-05,1.415326e-05,1.412926e-05,1.404445e-05,1.404108e-05,1.396102e-05,1.393132e-05,1.387896e-05,1.382395e-05,1.379828e-05,1.371894e-05,1.361627e-05,1.351592e-05,1.341784e-05,1.332200e-05,1.322837e-05,1.313692e-05,1.304759e-05,1.296037e-05,1.287520e-05,1.279204e-05,1.271087e-05,1.263163e-05,1.255428e-05,1.247879e-05,1.240512e-05,1.233323e-05,1.226307e-05,1.219460e-05,1.212780e-05,1.206261e-05,1.199901e-05,1.193696e-05,1.187641e-05,1.181733e-05
0.000000e+00,1.309866e-09,3.608952e-09,1.582896e-08,4.145846e-08,6.424501e-08,1.655056e-07,1.712792e-07,3.687853e-07,4.458976e-07,7.003164e-07,9.863152e-07,1.220927e-06,1.910709e-06,1.980997e-06,2.995850e-06,3.274893e-06,4.238349e-06,5.017205e-06,5.664879e-06,7.042316e-06,7.237831e-06,8.930654e-06,9.281884e-06,1.072492e-05,1.169327e-05,1.260658e-05,1.424585e-05,1.456355e-05,1.658428e-05,1.691274e-05,1.865716e-05,1.966720e-05,2.077034e-05,2.248181e-05,2.291178e-05,2.506950e-05,2.532897e-05,2.723183e-05,2.818181e-05,2.938759e-05,3.101510e-05,3.152632e-05,3.363841e-05,3.380596e-05,3.571525e-05,3.653437e-05,3.774923e-05,3.918345e-05,3.973381e-05,4.166348e-05,4.173946e-05,4.353369e-05,4.419169e-05,4.534084e-05,4.653224e-05,4.708217e-05,4.875568e-05,5.036005e-05,5.085871e-05,5.189456e-05,5.283987e-05,5.335900e-05,5.469917e-05,5.475362e-05,5.607903e-05,5.643785e-05,5.733613e-05,5.805809e-05,5.852612e-05,5.956281e-05,5.965036e-05,6.071042e-05,6.095546e-05,6.170795e-05,6.223992e-05,6.264474e-05,6.342032e-05,6.352262e-05,6.434348e-05,6.450097e-05,6.510923e-05,6.548628e-05,6.582180e-05,6.638068e-05,6.648313e-05,6.709512e-05,6.718859e-05,6.765967e-05,6.791435e-05,6.817865e-05,6.856226e-05,6.865390e-05,6.908721e-05,6.913647e-05,6.948034e-05,6.964104e-05,6.983502e-05,7.007988e-05,7.015290e-05,7.043562e-05,7.045677e-05,7.068475e-05,7.077534e-05,7.090181e-05,7.103908e-05,7.108829e-05,7.124562e-05,7.125133e-05,7.137519e-05,7.141529e-05,7.147833e-05,7.153402e-05,7.155632e-05,7.161043e-05,7.164184e-05,7.164729e-05,7.165171e-05,7.164724e-05,7.164116e-05,7.161281e-05,7.161125e-05,7.156302e-05,7.154637e-05,7.149746e-05,7.145019e-05,7.141551e-05,7.132643e-05,7.131809e-05,7.120607e-05,7.117711e-05,7.108031e-05,7.100417e-05,7.094160e-05,7.080944e-05,7.079072e-05,7.062840e-05,7.059463e-05,7.045537e-05,7.036139e-05,7.027231e-05,7.011125e-05,7.007985e-05,6.987863e-05,6.984566e-05,6.966924e-05,6.956600e-05,6.945226e-05,6.927357e-05,6.922822e-05,6.899765e-05,6.896956e-05,6.876104e-05,6.865515e-05,6.851888e-05,6.833139e-05,6.827160e-05,6.801965e-05,6.799931e-05,6.776344e-05,6.765985e-05,6.750335e-05,6.731391e-05,6.723977e-05,6.697305e-05,6.696232e-05,6.670353e-05,6.660588e-05,6.643152e-05,6.624530e-05,6.615735e-05,6.588129e-05,6.551449e-05,6.514548e-05,6.477484e-05,6.440309e-05,6.403070e-05,6.365814e-05,6.328581e-05,6.291412e-05,6.254341e-05,6.217403e-05,6.180628e-05,6.144044e-05,6.107678e-05,6.071553e-05,6.035691e-05,6.000113e-05,5.964836e-05,5.929878e-05,5.895252e-05,5.860974e-05,5.827054e-05,5.793504e-05,5.760334e-05,5.727551e-05
0.000000e+00,7.361555e-10,2.114590e-09,9.963230e-09,2.740212e-08,4.333966e-08,1.153064e-07,1.194108e-07,2.576000e-07,3.101364e-07,4.779764e-07,6.583622e-07,8.015812e-07,1.209130e-06,1.250102e-06,1.843036e-06,2.008348e-06,2.591759e-06,3.079204e-06,3.495294e-06,4.409906e-06,4.542700e-06,5.718707e-06,5.967941e-06,7.007545e-06,7.717323e-06,8.394233e-06,9.624266e-06,9.864571e-06,1.140481e-05,1.165683e-05,1.300142e-05,1.378389e-05,1.464107e-05,1.597498e-05,1.631069e-05,1.799772e-05,1.820076e-05,1.969022e-05,2.043378e-05,2.137716e-05,2.264928e-05,2.304848e-05,2.469525e-05,2.482569e-05,2.630969e-05,2.694489e-05,2.788519e-05,2.899230e-05,2.941625e-05,3.089846e-05,3.095668e-05,3.232839e-05,3.282984e-05,3.370348e-05,3.460631e-05,3.502200e-05,3.628287e-05,3.748564e-05,3.785825e-05,3.863034e-05,3.933267e-05,3.971742e-05,4.070756e-05,4.074769e-05,4.172223e-05,4.198528e-05,4.264232e-05,4.316885e-05,4.350944e-05,4.426177e-05,4.432518e-05,4.509122e-05,4.526786e-05,4.580930e-05,4.619114e-05,4.648120e-05,4.703570e-05,4.710872e-05,4.769364e-05,4.780567e-05,4.823775e-05,4.850514e-05,4.874280e-05,4.913811e-05,4.921051e-05,4.964255e-05,4.970848e-05,5.004058e-05,5.022001e-05,5.040616e-05,5.067631e-05,5.074085e-05,5.104613e-05,5.108085e-05,5.132343e-05,5.143693e-05,5.157413e-05,5.174769e-05,5.179956e-05,5.200099e-05,5.201611e-05,5.217966e-05,5.224501e-05,5.233672e-05,5.243707e-05,5.247331e-05,5.259050e-05,5.259480e-05,5.268932e-05,5.272059e-05,5.277076e-05,5.281669e-05,5.283575e-05,5.288520e-05,5.291996e-05,5.292811e-05,5.294085e-05,5.294730e-05,5.294865e-05,5.294452e-05,5.294411e-05,5.292794e-05,5.292142e-05,5.290082e-05,5.287955e-05,5.286339e-05,5.282037e-05,5.281626e-05,5.276003e-05,5.274524e-05,5.269525e-05,5.265544e-05,5.262245e-05,5.255216e-05,5.254214e-05,5.245479e-05,5.243652e-05,5.236088e-05,5.230959e-05,5.226082e-05,5.217233e-05,5.215503e-05,5.204392e-05,5.202567e-05,5.192784e-05,5.187047e-05,5.180716e-05,5.170753e-05,5.168222e-05,5.155333e-05,5.153761e-05,5.142080e-05,5.136141e-05,5.128492e-05,5.117957e-05,5.114596e-05,5.100418e-05,5.099272e-05,5.085983e-05,5.080142e-05,5.071314e-05,5.060620e-05,5.056434e-05,5.041363e-05,5.040757e-05,5.026123e-05,5.020598e-05,5.010730e-05,5.000186e-05,4.995204e-05,4.979561e-05,4.958760e-05,4.937819e-05,4.916769e-05,4.895639e-05,4.874459e-05,4.853252e-05,4.832044e-05,4.810855e-05,4.789707e-05,4.768618e-05,4.747605e-05,4.726685e-05,4.705871e-05,4.685178e-05,4.664617e-05,4.644200e-05,4.623938e-05,4.603838e-05,4.583910e-05,4.564162e-05,4.544601e-05,4.525232e-05,4.506062e-05,4.487094e-05
0.000000e+00,2.985906e-09,6.911450e-09,2.401891e-08,5.498776e-08,8.053681e-08,1.854696e-07,1.912041e-07,3.788898e-07,4.490083e-07,6.718668e-07,9.099389e-07,1.096945e-06,1.611466e-06,1.661427e-06,2.346642e-06,2.525970e-06,3.125453e-06,3.594016e-06,3.975963e-06,4.771309e-06,4.882671e-06,5.833862e-06,6.028543e-06,6.819538e-06,7.342599e-06,7.830336e-06,8.692140e-06,8.857132e-06,9.891005e-06,1.005650e-05,1.092335e-05,1.141593e-05,1.194608e-05,1.275235e-05,1.295181e-05,1.393401e-05,1.405001e-05,1.488705e-05,1.529592e-05,1.580630e-05,1.648009e-05,1.668817e-05,1.752997e-05,1.759552e-05,1.832985e-05,1.863780e-05,1.908673e-05,1.960481e-05,1.980021e-05,2.047040e-05,2.049631e-05,2.109792e-05,2.131357e-05,2.168377e-05,2.205894e-05,2.222912e-05,2.273538e-05,2.320418e-05,2.334655e-05,2.363716e-05,2.389629e-05,2.403610e-05,2.438868e-05,2.440274e-05,2.473884e-05,2.482771e-05,2.504610e-05,2.521731e-05,2.532619e-05,2.556127e-05,2.558073e-05,2.581127e-05,2.586320e-05,2.601930e-05,2.612648e-05,2.620621e-05,2.635429e-05,2.637334e-05,2.652196e-05,2.654957e-05,2.665326e-05,2.671507e-05,2.676837e-05,2.685331e-05,2.686833e-05,2.695414e-05,2.696662e-05,2.702673e-05,2.705713e-05,2.708695e-05,2.712679e-05,2.713564e-05,2.717356e-05,2.717741e-05,2.720140e-05,2.721064e-05,2.721986e-05,2.722799e-05,2.722955e-05,2.723105e-05,2.723084e-05,2.722492e-05,2.722045e-05,2.721167e-05,2.719798e-05,2.719177e-05,2.716568e-05,2.716451e-05,2.713382e-05,2.712101e-05,2.709657e-05,2.706836e-05,2.705432e-05,2.700740e-05,2.695614e-05,2.693886e-05,2.690084e-05,2.686346e-05,2.684178e-05,2.678181e-05,2.677924e-05,2.671347e-05,2.669451e-05,2.664469e-05,2.660208e-05,2.657314e-05,2.650503e-05,2.649901e-05,2.642251e-05,2.640381e-05,2.634381e-05,2.629884e-05,2.626309e-05,2.619051e-05,2.618051e-05,2.609622e-05,2.607916e-05,2.601036e-05,2.596514e-05,2.592308e-05,2.584874e-05,2.583449e-05,2.574471e-05,2.573025e-05,2.565387e-05,2.560992e-05,2.556206e-05,2.548799e-05,2.546939e-05,2.537594e-05,2.536468e-05,2.528182e-05,2.524021e-05,2.518709e-05,2.511475e-05,2.509184e-05,2.499615e-05,2.498848e-05,2.490008e-05,2.486156e-05,2.480370e-05,2.473416e-05,2.470708e-05,2.461026e-05,2.460639e-05,2.451332e-05,2.447839e-05,2.441629e-05,2.435029e-05,2.431923e-05,2.422218e-05,2.409418e-05,2.396637e-05,2.383885e-05,2.371168e-05,2.358495e-05,2.345873e-05,2.333308e-05,2.320805e-05,2.308370e-05,2.296008e-05,2.283723e-05,2.271520e-05,2.259401e-05,2.247372e-05,2.235434e-05,2.223591e-05,2.211845e-05,2.200199e-05,2.188654e-05,2.177213e-05,2.165877e-05,2.154648e-05,2.143526e-05,2.132514e-05
0.000000e+00,2.032210e-09,5.730473e-09,2.618223e-08,7.072027e-08,1.112495e-07,2.967542e-07,3.075152e-07,6.830369e-07,8.325152e-07,1.332544e-06,1.901459e-06,2.369766e-06,3.740101e-06,3.878746e-06,5.858626e-06,6.396725e-06,8.239389e-06,9.716028e-06,1.093752e-05,1.352063e-05,1.388591e-05,1.703651e-05,1.768763e-05,2.035392e-05,2.213521e-05,2.380942e-05,2.679985e-05,2.737722e-05,3.103270e-05,3.162410e-05,3.475180e-05,3.655264e-05,3.851104e-05,4.153210e-05,4.228782e-05,4.606091e-05,4.651249e-05,4.981075e-05,5.144869e-05,5.351969e-05,5.630152e-05,5.717224e-05,6.075508e-05,6.103835e-05,6.425699e-05,6.563294e-05,6.766865e-05,7.006495e-05,7.098268e-05,7.419330e-05,7.431951e-05,7.729625e-05,7.838634e-05,8.028857e-05,8.225921e-05,8.316849e-05,8.593518e-05,8.858860e-05,8.941385e-05,9.112934e-05,9.269679e-05,9.355856e-05,9.578719e-05,9.587787e-05,9.808919e-05,9.868931e-05,1.001947e-04,1.014083e-04,1.021969e-04,1.039499e-04,1.040984e-04,1.059017e-04,1.063202e-04,1.076097e-04,1.085256e-04,1.092253e-04,1.105727e-04,1.107512e-04,1.121903e-04,1.124680e-04,1.135455e-04,1.142180e-04,1.148196e-04,1.158292e-04,1.160154e-04,1.171356e-04,1.173080e-04,1.181829e-04,1.186606e-04,1.191601e-04,1.198930e-04,1.200696e-04,1.209141e-04,1.210112e-04,1.216960e-04,1.220208e-04,1.224177e-04,1.229273e-04,1.230815e-04,1.236898e-04,1.237362e-04,1.242448e-04,1.244524e-04,1.247487e-04,1.250809e-04,1.252034e-04,1.256111e-04,1.256265e-04,1.259737e-04,1.260936e-04,1.262931e-04,1.264866e-04,1.265712e-04,1.268096e-04,1.270102e-04,1.270667e-04,1.271747e-04,1.272617e-04,1.273045e-04,1.273980e-04,1.274013e-04,1.274665e-04,1.274793e-04,1.275017e-04,1.275089e-04,1.275081e-04,1.274898e-04,1.274871e-04,1.274401e-04,1.274250e-04,1.273682e-04,1.273175e-04,1.272727e-04,1.271699e-04,1.271546e-04,1.270152e-04,1.269849e-04,1.268556e-04,1.267648e-04,1.266766e-04,1.265121e-04,1.264793e-04,1.262647e-04,1.262288e-04,1.260337e-04,1.259173e-04,1.257872e-04,1.255793e-04,1.255259e-04,1.252508e-04,1.252169e-04,1.249625e-04,1.248318e-04,1.246620e-04,1.244257e-04,1.243497e-04,1.240266e-04,1.240003e-04,1.236931e-04,1.235570e-04,1.233500e-04,1.230974e-04,1.229979e-04,1.226373e-04,1.226227e-04,1.222688e-04,1.221344e-04,1.218930e-04,1.216335e-04,1.215103e-04,1.211213e-04,1.205989e-04,1.200673e-04,1.195274e-04,1.189803e-04,1.184267e-04,1.178675e-04,1.173034e-04,1.167352e-04,1.161636e-04,1.155892e-04,1.150126e-04,1.144343e-04,1.138550e-04,1.132750e-04,1.126950e-04,1.121152e-04,1.115362e-04,1.109582e-04,1.103818e-04,1.098071e-04,1.092345e-04,1.086644e-04,1.080969e-04,1.075323e-04
0.000000e+00,1.379069e-09,3.280942e-09,1.175648e-08,2.727750e-08,4.009950e-08,9.233513e-08,9.516328e-08,1.861327e-07,2.193965e-07,3.232141e-07,4.323360e-07,5.179156e-07,7.585294e-07,7.825562e-07,1.128216e-06,1.224050e-06,1.560658e-06,1.839797e-06,2.076255e-06,2.588882e-06,2.662407e-06,3.302741e-06,3.435919e-06,3.982009e-06,4.346395e-06,4.687843e-06,5.294099e-06,5.410518e-06,6.142197e-06,6.259649e-06,6.876321e-06,7.227881e-06,7.607238e-06,8.186325e-06,8.330013e-06,9.040336e-06,9.124555e-06,9.734491e-06,1.003397e-05,1.040933e-05,1.090768e-05,1.106227e-05,1.169123e-05,1.174046e-05,1.229464e-05,1.252858e-05,1.287135e-05,1.326963e-05,1.342064e-05,1.394211e-05,1.396238e-05,1.443568e-05,1.460656e-05,1.490153e-05,1.520267e-05,1.534005e-05,1.575173e-05,1.613726e-05,1.625523e-05,1.649738e-05,1.671491e-05,1.683292e-05,1.713273e-05,1.714476e-05,1.743380e-05,1.751078e-05,1.770099e-05,1.785120e-05,1.794727e-05,1.815619e-05,1.817358e-05,1.838088e-05,1.842791e-05,1.857014e-05,1.866860e-05,1.874230e-05,1.888031e-05,1.889819e-05,1.903864e-05,1.906495e-05,1.916448e-05,1.922441e-05,1.927649e-05,1.936044e-05,1.937541e-05,1.946196e-05,1.947471e-05,1.953683e-05,1.956881e-05,1.960067e-05,1.964423e-05,1.965411e-05,1.969776e-05,1.970237e-05,1.973218e-05,1.974454e-05,1.975791e-05,1.977197e-05,1.977547e-05,1.978534e-05,1.978581e-05,1.978801e-05,1.978715e-05,1.978390e-05,1.977699e-05,1.977345e-05,1.975705e-05,1.975628e-05,1.973509e-05,1.972589e-05,1.970791e-05,1.968664e-05,1.967588e-05,1.963930e-05,1.959848e-05,1.958457e-05,1.955372e-05,1.952313e-05,1.950529e-05,1.945559e-05,1.945346e-05,1.939846e-05,1.938253e-05,1.934054e-05,1.930447e-05,1.927990e-05,1.922191e-05,1.921677e-05,1.915134e-05,1.913532e-05,1.908379e-05,1.904511e-05,1.901431e-05,1.895169e-05,1.894305e-05,1.887018e-05,1.885542e-05,1.879584e-05,1.875665e-05,1.872018e-05,1.865569e-05,1.864332e-05,1.856540e-05,1.855284e-05,1.848652e-05,1.844836e-05,1.840680e-05,1.834250e-05,1.832635e-05,1.824527e-05,1.823550e-05,1.816363e-05,1.812757e-05,1.808154e-05,1.801890e-05,1.799908e-05,1.791632e-05,1.790969e-05,1.783333e-05,1.780009e-05,1.775019e-05,1.769026e-05,1.766695e-05,1.758368e-05,1.758035e-05,1.750044e-05,1.747048e-05,1.741727e-05,1.736078e-05,1.733422e-05,1.725135e-05,1.714230e-05,1.703371e-05,1.692568e-05,1.681827e-05,1.671156e-05,1.660561e-05,1.650047e-05,1.639621e-05,1.629286e-05,1.619046e-05,1.608906e-05,1.598869e-05,1.588937e-05,1.579113e-05,1.569399e-05,1.559798e-05,1.550311e-05,1.540939e-05,1.531683e-05,1.522545e-05,1.513524e-05,1.504622e-05,1.495839e-05,1.487175e-05
0.000000e+00,9.029771e-08,2.670761e-07,1.332783e-06,3.848444e-06,6.242502e-06,1.764547e-05,1.831608e-05,4.167574e-05,5.085140e-05,8.088887e-05,1.140690e-04,1.408998e-04,2.189780e-04,2.269442e-04,3.442000e-04,3.774998e-04,4.970309e-04,5.992712e-04,6.882315e-04,8.890993e-04,9.188546e-04,1.188558e-03,1.247087e-03,1.496055e-03,1.670278e-03,1.839448e-03,2.153954e-03,2.216421e-03,2.624340e-03,2.692288e-03,3.060302e-03,3.278614e-03,3.521177e-03,3.905580e-03,4.003632e-03,4.504177e-03,4.565288e-03,5.019209e-03,5.249470e-03,5.545067e-03,5.949706e-03,6.078092e-03,6.614687e-03,6.657663e-03,7.151375e-03,7.365330e-03,7.684855e-03,8.065233e-03,8.212042e-03,8.730105e-03,8.750601e-03,9.236496e-03,9.415498e-03,9.728972e-03,1.005491e-02,1.020560e-02,1.066475e-02,1.110511e-02,1.124188e-02,1.152564e-02,1.178403e-02,1.192561e-02,1.228977e-02,1.230452e-02,1.266209e-02,1.275837e-02,1.299827e-02,1.318976e-02,1.331319e-02,1.358436e-02,1.360711e-02,1.388046e-02,1.394306e-02,1.413376e-02,1.426708e-02,1.436762e-02,1.455788e-02,1.458273e-02,1.477981e-02,1.481713e-02,1.495965e-02,1.504661e-02,1.512304e-02,1.524817e-02,1.527079e-02,1.540373e-02,1.542367e-02,1.552264e-02,1.557498e-02,1.562835e-02,1.570391e-02,1.572161e-02,1.580318e-02,1.581222e-02,1.587380e-02,1.590158e-02,1.593417e-02,1.597360e-02,1.598495e-02,1.602678e-02,1.602976e-02,1.606028e-02,1.607148e-02,1.608602e-02,1.610006e-02,1.610455e-02,1.611639e-02,1.611673e-02,1.612200e-02,1.612259e-02,1.612187e-02,1.611870e-02,1.611640e-02,1.610601e-02,1.609106e-02,1.608538e-02,1.607192e-02,1.605762e-02,1.604890e-02,1.602346e-02,1.602233e-02,1.599247e-02,1.598357e-02,1.595961e-02,1.593856e-02,1.592399e-02,1.588899e-02,1.588585e-02,1.584539e-02,1.583536e-02,1.580283e-02,1.577815e-02,1.575835e-02,1.571776e-02,1.571213e-02,1.566432e-02,1.565459e-02,1.561509e-02,1.558897e-02,1.556457e-02,1.552124e-02,1.551290e-02,1.546019e-02,1.545167e-02,1.540657e-02,1.538053e-02,1.535213e-02,1.530806e-02,1.529698e-02,1.524121e-02,1.523448e-02,1.518490e-02,1.515997e-02,1.512814e-02,1.508474e-02,1.507099e-02,1.501353e-02,1.500892e-02,1.495582e-02,1.493268e-02,1.489793e-02,1.485616e-02,1.483990e-02,1.478178e-02,1.477946e-02,1.472364e-02,1.470271e-02,1.466550e-02,1.462600e-02,1.460742e-02,1.454943e-02,1.447307e-02,1.439702e-02,1.432132e-02,1.424606e-02,1.417127e-02,1.409701e-02,1.402332e-02,1.395026e-02,1.387784e-02,1.380610e-02,1.373508e-02,1.366480e-02,1.359528e-02,1.352653e-02,1.345858e-02,1.339144e-02,1.332513e-02,1.325965e-02,1.319501e-02,1.313122e-02,1.306828e-02,1.300621e-02,1.294499e-02,1.288464e-02
0.000000e+00,3.488713e-09,7.971214e-09,2.729595e-08,6.185616e-08,9.004181e-08,2.030515e-07,2.091086e-07,4.015313e-07,4.709191e-07,6.848216e-07,9.059972e-07,1.077228e-06,1.549716e-06,1.596238e-06,2.253824e-06,2.432599e-06,3.050438e-06,3.553355e-06,3.974752e-06,4.880500e-06,5.010027e-06,6.139672e-06,6.375595e-06,7.348919e-06,8.004734e-06,8.624474e-06,9.738043e-06,9.953861e-06,1.132501e-05,1.154748e-05,1.272613e-05,1.340592e-05,1.414572e-05,1.528727e-05,1.557276e-05,1.699684e-05,1.716707e-05,1.840837e-05,1.902319e-05,1.979864e-05,2.083625e-05,2.115996e-05,2.248571e-05,2.259006e-05,2.377033e-05,2.427162e-05,2.500929e-05,2.587104e-05,2.619904e-05,2.733693e-05,2.738134e-05,2.842113e-05,2.879807e-05,2.945054e-05,3.011897e-05,3.042467e-05,3.134360e-05,3.220782e-05,3.247296e-05,3.301824e-05,3.350919e-05,3.377602e-05,3.445529e-05,3.448259e-05,3.513957e-05,3.531486e-05,3.574867e-05,3.609192e-05,3.631175e-05,3.679074e-05,3.683068e-05,3.730739e-05,3.741574e-05,3.774381e-05,3.797133e-05,3.814186e-05,3.846189e-05,3.850341e-05,3.883033e-05,3.889171e-05,3.912441e-05,3.926493e-05,3.938739e-05,3.958552e-05,3.962098e-05,3.982680e-05,3.985725e-05,4.000640e-05,4.008374e-05,4.016129e-05,4.026837e-05,4.029290e-05,4.040260e-05,4.041436e-05,4.049170e-05,4.052470e-05,4.056144e-05,4.060222e-05,4.061300e-05,4.064752e-05,4.064957e-05,4.066605e-05,4.066921e-05,4.066961e-05,4.066345e-05,4.065916e-05,4.063562e-05,4.063442e-05,4.059985e-05,4.058413e-05,4.055266e-05,4.051444e-05,4.049483e-05,4.042708e-05,4.035012e-05,4.032365e-05,4.026459e-05,4.020564e-05,4.017111e-05,4.007444e-05,4.007027e-05,3.996261e-05,3.993132e-05,3.984867e-05,3.977748e-05,3.972892e-05,3.961402e-05,3.960383e-05,3.947383e-05,3.944195e-05,3.933935e-05,3.926222e-05,3.920076e-05,3.907570e-05,3.905843e-05,3.891272e-05,3.888320e-05,3.876393e-05,3.868545e-05,3.861238e-05,3.848316e-05,3.845836e-05,3.830213e-05,3.827695e-05,3.814395e-05,3.806740e-05,3.798406e-05,3.785507e-05,3.782268e-05,3.766003e-05,3.764043e-05,3.749630e-05,3.742396e-05,3.733167e-05,3.720607e-05,3.716633e-05,3.700044e-05,3.698715e-05,3.683415e-05,3.676755e-05,3.666759e-05,3.654760e-05,3.650092e-05,3.633425e-05,3.632759e-05,3.616771e-05,3.610780e-05,3.600139e-05,3.588848e-05,3.583541e-05,3.566986e-05,3.545214e-05,3.523551e-05,3.502014e-05,3.480619e-05,3.459381e-05,3.438310e-05,3.417420e-05,3.396720e-05,3.376219e-05,3.355925e-05,3.335846e-05,3.315988e-05,3.296356e-05,3.276955e-05,3.257790e-05,3.238863e-05,3.220177e-05,3.201735e-05,3.183539e-05,3.165590e-05,3.147889e-05,3.130436e-05,3.113232e-05,3.096276e-05
0.000000e+00,1.286267e-09,3.226194e-09,1.229752e-08,2.940473e-08,4.369758e-08,1.022681e-07,1.054403e-07,2.070076e-07,2.438504e-07,3.576974e-07,4.755360e-07,5.667245e-07,8.179400e-07,8.426433e-07,1.191523e-06,1.286384e-06,1.614858e-06,1.883481e-06,2.109740e-06,2.600369e-06,2.671046e-06,3.293088e-06,3.424278e-06,3.970076e-06,4.341861e-06,4.696067e-06,5.339254e-06,5.464879e-06,6.270083e-06,6.401853e-06,7.105080e-06,7.514508e-06,7.963227e-06,8.662005e-06,8.837976e-06,9.723015e-06,9.829624e-06,1.061238e-05,1.100364e-05,1.150057e-05,1.217171e-05,1.238259e-05,1.325403e-05,1.332317e-05,1.411101e-05,1.444899e-05,1.495021e-05,1.554184e-05,1.576885e-05,1.656467e-05,1.659600e-05,1.733585e-05,1.760717e-05,1.808103e-05,1.857237e-05,1.879920e-05,1.948968e-05,2.015209e-05,2.035811e-05,2.078629e-05,2.117740e-05,2.139235e-05,2.194792e-05,2.197052e-05,2.252119e-05,2.267052e-05,2.304487e-05,2.334637e-05,2.354216e-05,2.397694e-05,2.401373e-05,2.446032e-05,2.456387e-05,2.488270e-05,2.510895e-05,2.528166e-05,2.561403e-05,2.565803e-05,2.601262e-05,2.608100e-05,2.634628e-05,2.651178e-05,2.665982e-05,2.690824e-05,2.695406e-05,2.722981e-05,2.727227e-05,2.748786e-05,2.760567e-05,2.772899e-05,2.791020e-05,2.795394e-05,2.816345e-05,2.818758e-05,2.835823e-05,2.843944e-05,2.853897e-05,2.866735e-05,2.870633e-05,2.886097e-05,2.887281e-05,2.900350e-05,2.905725e-05,2.913451e-05,2.922204e-05,2.925459e-05,2.936428e-05,2.936846e-05,2.946413e-05,2.949776e-05,2.955462e-05,2.961108e-05,2.963627e-05,2.970953e-05,2.977485e-05,2.979415e-05,2.983267e-05,2.986593e-05,2.988339e-05,2.992578e-05,2.992742e-05,2.996511e-05,2.997458e-05,2.999684e-05,3.001316e-05,3.002295e-05,3.004228e-05,3.004376e-05,3.005959e-05,3.006268e-05,3.007073e-05,3.007503e-05,3.007748e-05,3.007999e-05,3.008009e-05,3.007884e-05,3.007814e-05,3.007396e-05,3.007007e-05,3.006569e-05,3.005629e-05,3.005425e-05,3.003986e-05,3.003730e-05,3.002271e-05,3.001356e-05,3.000301e-05,2.998552e-05,2.998092e-05,2.995663e-05,2.995357e-05,2.993029e-05,2.991810e-05,2.990207e-05,2.987946e-05,2.987212e-05,2.984056e-05,2.983797e-05,2.980754e-05,2.979395e-05,2.977318e-05,2.974768e-05,2.973760e-05,2.970092e-05,2.969943e-05,2.966323e-05,2.964944e-05,2.962465e-05,2.959795e-05,2.958527e-05,2.954517e-05,2.949130e-05,2.943652e-05,2.938100e-05,2.932489e-05,2.926835e-05,2.921150e-05,2.915447e-05,2.909737e-05,2.904030e-05,2.898336e-05,2.892664e-05,2.887021e-05,2.881414e-05,2.875851e-05,2.870337e-05,2.864878e-05,2.859477e-05,2.854140e-05,2.848871e-05,2.843672e-05,2.838546e-05,2.833497e-05,2.828527e-05,2.823636e-05
0.000000e+00,1.021039e-09,2.328109e-09,7.957469e-09,1.805303e-08,2.633101e-08,6.001157e-08,6.184014e-08,1.211554e-07,1.430847e-07,2.120458e-07,2.845351e-07,3.407021e-07,4.927497e-07,5.073911e-07,7.077176e-07,7.602595e-07,9.370424e-07,1.076812e-06,1.191936e-06,1.435307e-06,1.469782e-06,1.768235e-06,1.830191e-06,2.084903e-06,2.255921e-06,2.417207e-06,2.706391e-06,2.762358e-06,3.117390e-06,3.174907e-06,3.479226e-06,3.654413e-06,3.844768e-06,4.137830e-06,4.210987e-06,4.574998e-06,4.618401e-06,4.934126e-06,5.089963e-06,5.285957e-06,5.547154e-06,5.628373e-06,5.959567e-06,5.985531e-06,6.278049e-06,6.401608e-06,6.582640e-06,6.792835e-06,6.872453e-06,7.146871e-06,7.157522e-06,7.405522e-06,7.494740e-06,7.648246e-06,7.804207e-06,7.875068e-06,8.086168e-06,8.281854e-06,8.341282e-06,8.462536e-06,8.570522e-06,8.628704e-06,8.775082e-06,8.780909e-06,8.919742e-06,8.956304e-06,9.045824e-06,9.115616e-06,9.159789e-06,9.254486e-06,9.262278e-06,9.353926e-06,9.374379e-06,9.435362e-06,9.476733e-06,9.507196e-06,9.562939e-06,9.570022e-06,9.624410e-06,9.634324e-06,9.670909e-06,9.692144e-06,9.710040e-06,9.737582e-06,9.742302e-06,9.768167e-06,9.771742e-06,9.788079e-06,9.795648e-06,9.802461e-06,9.810251e-06,9.811708e-06,9.816194e-06,9.816429e-06,9.816269e-06,9.814990e-06,9.812262e-06,9.806677e-06,9.804482e-06,9.793216e-06,9.792172e-06,9.778735e-06,9.772100e-06,9.761292e-06,9.747031e-06,9.741122e-06,9.718446e-06,9.717490e-06,9.693470e-06,9.683953e-06,9.666386e-06,9.646857e-06,9.637373e-06,9.606599e-06,9.574221e-06,9.563544e-06,9.540382e-06,9.518023e-06,9.505220e-06,9.470337e-06,9.468861e-06,9.431423e-06,9.420762e-06,9.393015e-06,9.369548e-06,9.353740e-06,9.316924e-06,9.313694e-06,9.272965e-06,9.263098e-06,9.231636e-06,9.208259e-06,9.189784e-06,9.152579e-06,9.147481e-06,9.104792e-06,9.096214e-06,9.061782e-06,9.039308e-06,9.018506e-06,8.981990e-06,8.975020e-06,8.931371e-06,8.924376e-06,8.887608e-06,8.866574e-06,8.843773e-06,8.808680e-06,8.799906e-06,8.756043e-06,8.750782e-06,8.712220e-06,8.692958e-06,8.668467e-06,8.635281e-06,8.624815e-06,8.581290e-06,8.577814e-06,8.537918e-06,8.520617e-06,8.494722e-06,8.463742e-06,8.451724e-06,8.408942e-06,8.407236e-06,8.366396e-06,8.351141e-06,8.324102e-06,8.295494e-06,8.282076e-06,8.240330e-06,8.185678e-06,8.131566e-06,8.078015e-06,8.025047e-06,7.972679e-06,7.920927e-06,7.869804e-06,7.819320e-06,7.769486e-06,7.720309e-06,7.671795e-06,7.623948e-06,7.576771e-06,7.530268e-06,7.484438e-06,7.439283e-06,7.394800e-06,7.350989e-06,7.307846e-06,7.265369e-06,7.223555e-06,7.182398e-06,7.141894e-06,7.102038e-06
0.000000e+00,1.292001e-10,3.754002e-10,1.806055e-09,5.045807e-09,8.038948e-09,2.170205e-08,2.248502e-08,4.890986e-08,5.895881e-08,9.098765e-08,1.252335e-07,1.522809e-07,2.286205e-07,2.362511e-07,3.460952e-07,3.766006e-07,4.841871e-07,5.742133e-07,6.512519e-07,8.212161e-07,8.459510e-07,1.065287e-06,1.111778e-06,1.305416e-06,1.437162e-06,1.562321e-06,1.788277e-06,1.832174e-06,2.111453e-06,2.156794e-06,2.396951e-06,2.535329e-06,2.685738e-06,2.917321e-06,2.975125e-06,3.262644e-06,3.296912e-06,3.546045e-06,3.668906e-06,3.823302e-06,4.028800e-06,4.092628e-06,4.352484e-06,4.372824e-06,4.601594e-06,4.697991e-06,4.838938e-06,5.002103e-06,5.063756e-06,5.275530e-06,5.283725e-06,5.473972e-06,5.542124e-06,5.658995e-06,5.777188e-06,5.830695e-06,5.989321e-06,6.135246e-06,6.179336e-06,6.268947e-06,6.348350e-06,6.390971e-06,6.497687e-06,6.501921e-06,6.602434e-06,6.628796e-06,6.693166e-06,6.743186e-06,6.774778e-06,6.842365e-06,6.847919e-06,6.913225e-06,6.927801e-06,6.971306e-06,7.000894e-06,7.022744e-06,7.062953e-06,7.068090e-06,7.107859e-06,7.115187e-06,7.142532e-06,7.158697e-06,7.172555e-06,7.194482e-06,7.198339e-06,7.220264e-06,7.223437e-06,7.238676e-06,7.246359e-06,7.253890e-06,7.263952e-06,7.266193e-06,7.275846e-06,7.276838e-06,7.283086e-06,7.285564e-06,7.288129e-06,7.290613e-06,7.291170e-06,7.292385e-06,7.292408e-06,7.291934e-06,7.291321e-06,7.289963e-06,7.287676e-06,7.286602e-06,7.281969e-06,7.281759e-06,7.276173e-06,7.273822e-06,7.269314e-06,7.264088e-06,7.261480e-06,7.252755e-06,7.243214e-06,7.240000e-06,7.232925e-06,7.225976e-06,7.221950e-06,7.210823e-06,7.210347e-06,7.198170e-06,7.194665e-06,7.185468e-06,7.177613e-06,7.172285e-06,7.159769e-06,7.158664e-06,7.144643e-06,7.141223e-06,7.130259e-06,7.122057e-06,7.115544e-06,7.102345e-06,7.100529e-06,7.085243e-06,7.082156e-06,7.069714e-06,7.061551e-06,7.053966e-06,7.040586e-06,7.038023e-06,7.021907e-06,7.019314e-06,7.005639e-06,6.997782e-06,6.989237e-06,6.976032e-06,6.972720e-06,6.956106e-06,6.954106e-06,6.939409e-06,6.932040e-06,6.922645e-06,6.909868e-06,6.905827e-06,6.888970e-06,6.887620e-06,6.872086e-06,6.865327e-06,6.855186e-06,6.843014e-06,6.838281e-06,6.821382e-06,6.820706e-06,6.804498e-06,6.798425e-06,6.787638e-06,6.776192e-06,6.770812e-06,6.754026e-06,6.731945e-06,6.709966e-06,6.688102e-06,6.666367e-06,6.644775e-06,6.623337e-06,6.602063e-06,6.580963e-06,6.560046e-06,6.539319e-06,6.518790e-06,6.498465e-06,6.478351e-06,6.458452e-06,6.438774e-06,6.419319e-06,6.400093e-06,6.381098e-06,6.362337e-06,6.343812e-06,6.325525e-06,6.307478e-06,6.289672e-06,6.272108e-06
0.000000e+00,6.704360e-10,1.976489e-09,9.799188e-09,2.814098e-08,4.552169e-08,1.279058e-07,1.327397e-07,3.008942e-07,3.669285e-07,5.833786e-07,8.232199e-07,1.017814e-06,1.587189e-06,1.645507e-06,2.507078e-06,2.752420e-06,3.633338e-06,4.385397e-06,5.037629e-06,6.500590e-06,6.716030e-06,8.652987e-06,9.069572e-06,1.082703e-05,1.204339e-05,1.321444e-05,1.536701e-05,1.579097e-05,1.853258e-05,1.898496e-05,2.141543e-05,2.284243e-05,2.441590e-05,2.688511e-05,2.751041e-05,3.067545e-05,3.105889e-05,3.388768e-05,3.531005e-05,3.712405e-05,3.958599e-05,4.036210e-05,4.358018e-05,4.383614e-05,4.675776e-05,4.801311e-05,4.987568e-05,5.207372e-05,5.291639e-05,5.586417e-05,5.597995e-05,5.870523e-05,5.969956e-05,6.142780e-05,6.320639e-05,6.402210e-05,6.648038e-05,6.879684e-05,6.950745e-05,7.096748e-05,7.227907e-05,7.299007e-05,7.479177e-05,7.486386e-05,7.658943e-05,7.704624e-05,7.816860e-05,7.904700e-05,7.960428e-05,8.080160e-05,8.090024e-05,8.206098e-05,8.231999e-05,8.309162e-05,8.361400e-05,8.399771e-05,8.469672e-05,8.478515e-05,8.546002e-05,8.558203e-05,8.602854e-05,8.628422e-05,8.649697e-05,8.681769e-05,8.687158e-05,8.715852e-05,8.719670e-05,8.736383e-05,8.743511e-05,8.749337e-05,8.754625e-05,8.755279e-05,8.754755e-05,8.754283e-05,8.748285e-05,8.743683e-05,8.736364e-05,8.723948e-05,8.719461e-05,8.698020e-05,8.696121e-05,8.672458e-05,8.661168e-05,8.643167e-05,8.619975e-05,8.610514e-05,8.574844e-05,8.573359e-05,8.536477e-05,8.522062e-05,8.495710e-05,8.466760e-05,8.452820e-05,8.408063e-05,8.361677e-05,8.346525e-05,8.313879e-05,8.282642e-05,8.264872e-05,8.216861e-05,8.214843e-05,8.163961e-05,8.149583e-05,8.112383e-05,8.081163e-05,8.060254e-05,8.011920e-05,8.007704e-05,7.954854e-05,7.942138e-05,7.901813e-05,7.872065e-05,7.848682e-05,7.801923e-05,7.795550e-05,7.742501e-05,7.731908e-05,7.689608e-05,7.662188e-05,7.636939e-05,7.592915e-05,7.584555e-05,7.532510e-05,7.524218e-05,7.480853e-05,7.456209e-05,7.429628e-05,7.388985e-05,7.378874e-05,7.328625e-05,7.322630e-05,7.278911e-05,7.257215e-05,7.229761e-05,7.192798e-05,7.181197e-05,7.133239e-05,7.129429e-05,7.085904e-05,7.067149e-05,7.039209e-05,7.005990e-05,6.993163e-05,6.947779e-05,6.945977e-05,6.903063e-05,6.887131e-05,6.859023e-05,6.829463e-05,6.815662e-05,6.772984e-05,6.717698e-05,6.663605e-05,6.610703e-05,6.558985e-05,6.508445e-05,6.459071e-05,6.410851e-05,6.363771e-05,6.317815e-05,6.272968e-05,6.229211e-05,6.186526e-05,6.144893e-05,6.104294e-05,6.064707e-05,6.026113e-05,5.988491e-05,5.951819e-05,5.916077e-05,5.881245e-05,5.847300e-05,5.814223e-05,5.781994e-05,5.750590e-05
0.000000e+00,3.900791e-10,1.139906e-09,5.568464e-09,1.586530e-08,2.562799e-08,7.261837e-08,7.541995e-08,1.761085e-07,2.173136e-07,3.582673e-07,5.232843e-07,6.622890e-07,1.083213e-06,1.126845e-06,1.766527e-06,1.944800e-06,2.565320e-06,3.070475e-06,3.491521e-06,4.385938e-06,4.512495e-06,5.600865e-06,5.824654e-06,6.735289e-06,7.337766e-06,7.899281e-06,8.890241e-06,9.079758e-06,1.026590e-05,1.045557e-05,1.144840e-05,1.201227e-05,1.261907e-05,1.354216e-05,1.377062e-05,1.489664e-05,1.502977e-05,1.599154e-05,1.646219e-05,1.705060e-05,1.782914e-05,1.807000e-05,1.904672e-05,1.912294e-05,1.997857e-05,2.033840e-05,2.086411e-05,2.147257e-05,2.170258e-05,2.249379e-05,2.252445e-05,2.323806e-05,2.349464e-05,2.393614e-05,2.438498e-05,2.458910e-05,2.519831e-05,2.576529e-05,2.593808e-05,2.629174e-05,2.660822e-05,2.677944e-05,2.721286e-05,2.723021e-05,2.764591e-05,2.775627e-05,2.802838e-05,2.824267e-05,2.837944e-05,2.867620e-05,2.870086e-05,2.899435e-05,2.906081e-05,2.926156e-05,2.940032e-05,2.950408e-05,2.969828e-05,2.972343e-05,2.992102e-05,2.995805e-05,3.009824e-05,3.018276e-05,3.025635e-05,3.037531e-05,3.039659e-05,3.052010e-05,3.053838e-05,3.062795e-05,3.067445e-05,3.072116e-05,3.078583e-05,3.080068e-05,3.086741e-05,3.087460e-05,3.092219e-05,3.094271e-05,3.096581e-05,3.099195e-05,3.099900e-05,3.102246e-05,3.102394e-05,3.103684e-05,3.104019e-05,3.104275e-05,3.104207e-05,3.104074e-05,3.103137e-05,3.103085e-05,3.101513e-05,3.100769e-05,3.099249e-05,3.097366e-05,3.096388e-05,3.092973e-05,3.089042e-05,3.087680e-05,3.084630e-05,3.081570e-05,3.079772e-05,3.074719e-05,3.074501e-05,3.068845e-05,3.067196e-05,3.062833e-05,3.059065e-05,3.056491e-05,3.050386e-05,3.049844e-05,3.042915e-05,3.041213e-05,3.035726e-05,3.031594e-05,3.028298e-05,3.021578e-05,3.020649e-05,3.012798e-05,3.011205e-05,3.004761e-05,3.000514e-05,2.996555e-05,2.989543e-05,2.988195e-05,2.979695e-05,2.978323e-05,2.971068e-05,2.966885e-05,2.962326e-05,2.955258e-05,2.953481e-05,2.944545e-05,2.943467e-05,2.935528e-05,2.931537e-05,2.926439e-05,2.919489e-05,2.917287e-05,2.908082e-05,2.907344e-05,2.898832e-05,2.895121e-05,2.889543e-05,2.882836e-05,2.880224e-05,2.870881e-05,2.870507e-05,2.861521e-05,2.858148e-05,2.852149e-05,2.845773e-05,2.842771e-05,2.833393e-05,2.821022e-05,2.808669e-05,2.796344e-05,2.784057e-05,2.771816e-05,2.759629e-05,2.747502e-05,2.735442e-05,2.723455e-05,2.711547e-05,2.699722e-05,2.687986e-05,2.676341e-05,2.664793e-05,2.653343e-05,2.641996e-05,2.630755e-05,2.619621e-05,2.608597e-05,2.597684e-05,2.586886e-05,2.576202e-05,2.565635e-05,2.555185e-05
0.000000e+00,3.471648e-10,9.890815e-10,4.583723e-09,1.242351e-08,1.949474e-08,5.083620e-08,5.260321e-08,1.112687e-07,1.332473e-07,2.026062e-07,2.760160e-07,3.336480e-07,4.953130e-07,5.114164e-07,7.425939e-07,8.066616e-07,1.032435e-06,1.221284e-06,1.382864e-06,1.738967e-06,1.790703e-06,2.247645e-06,2.343944e-06,2.742270e-06,3.010359e-06,3.262604e-06,3.711571e-06,3.797807e-06,4.338792e-06,4.425372e-06,4.878187e-06,5.134743e-06,5.410060e-06,5.826909e-06,5.929649e-06,6.433140e-06,6.492327e-06,6.917523e-06,7.123979e-06,7.380483e-06,7.716939e-06,7.820322e-06,8.235894e-06,8.268069e-06,8.626543e-06,8.775759e-06,8.992036e-06,9.239676e-06,9.332505e-06,9.648380e-06,9.660512e-06,9.940333e-06,1.003974e-05,1.020923e-05,1.037941e-05,1.045606e-05,1.068192e-05,1.088796e-05,1.094990e-05,1.107537e-05,1.118608e-05,1.124533e-05,1.139315e-05,1.139900e-05,1.153753e-05,1.157375e-05,1.166200e-05,1.173037e-05,1.177346e-05,1.186537e-05,1.187290e-05,1.196125e-05,1.198090e-05,1.203938e-05,1.207897e-05,1.210810e-05,1.216140e-05,1.216817e-05,1.222029e-05,1.222982e-05,1.226510e-05,1.228571e-05,1.230320e-05,1.233043e-05,1.233514e-05,1.236143e-05,1.236515e-05,1.238253e-05,1.239094e-05,1.239887e-05,1.240877e-05,1.241083e-05,1.241879e-05,1.241949e-05,1.242306e-05,1.242385e-05,1.242396e-05,1.242255e-05,1.242175e-05,1.241671e-05,1.241619e-05,1.240905e-05,1.240531e-05,1.239901e-05,1.239040e-05,1.238676e-05,1.237251e-05,1.237190e-05,1.235642e-05,1.235020e-05,1.233864e-05,1.232565e-05,1.231931e-05,1.229857e-05,1.227654e-05,1.226924e-05,1.225334e-05,1.223792e-05,1.222906e-05,1.220484e-05,1.220381e-05,1.217767e-05,1.217020e-05,1.215073e-05,1.213421e-05,1.212306e-05,1.209702e-05,1.209473e-05,1.206582e-05,1.205880e-05,1.203639e-05,1.201970e-05,1.200648e-05,1.197982e-05,1.197616e-05,1.194548e-05,1.193931e-05,1.191448e-05,1.189825e-05,1.188320e-05,1.185675e-05,1.185169e-05,1.181998e-05,1.181489e-05,1.178811e-05,1.177277e-05,1.175611e-05,1.173044e-05,1.172401e-05,1.169185e-05,1.168798e-05,1.165963e-05,1.164545e-05,1.162740e-05,1.160291e-05,1.159518e-05,1.156298e-05,1.156041e-05,1.153083e-05,1.151799e-05,1.149875e-05,1.147570e-05,1.146675e-05,1.143485e-05,1.143357e-05,1.140306e-05,1.139165e-05,1.137141e-05,1.134996e-05,1.133990e-05,1.130854e-05,1.126741e-05,1.122660e-05,1.118612e-05,1.114601e-05,1.110627e-05,1.106692e-05,1.102798e-05,1.098946e-05,1.095137e-05,1.091373e-05,1.087654e-05,1.083980e-05,1.080353e-05,1.076774e-05,1.073242e-05,1.069758e-05,1.066322e-05,1.062936e-05,1.059597e-05,1.056308e-05,1.053068e-05,1.049876e-05,1.046734e-05,1.043640e-05
0.000000e+00,1.179347e-09,3.276614e-09,1.453675e-08,3.820680e-08,5.914636e-08,1.504283e-07,1.555441e-07,3.253958e-07,3.893291e-07,5.929073e-07,8.116739e-07,9.857202e-07,1.482696e-06,1.532739e-06,2.255888e-06,2.456552e-06,3.159070e-06,3.738118e-06,4.226385e-06,5.280890e-06,5.431976e-06,6.750005e-06,7.025098e-06,8.158528e-06,8.920576e-06,9.639380e-06,1.092773e-05,1.117696e-05,1.275723e-05,1.301315e-05,1.436714e-05,1.514678e-05,1.599439e-05,1.730093e-05,1.762749e-05,1.925575e-05,1.945034e-05,2.086945e-05,2.157259e-05,2.245992e-05,2.364844e-05,2.401959e-05,2.554199e-05,2.566201e-05,2.702177e-05,2.760073e-05,2.845458e-05,2.945520e-05,2.983706e-05,3.116674e-05,3.121881e-05,3.244191e-05,3.288741e-05,3.366154e-05,3.445891e-05,3.482518e-05,3.593288e-05,3.698511e-05,3.731023e-05,3.798266e-05,3.859287e-05,3.892658e-05,3.978349e-05,3.981816e-05,4.065882e-05,4.088529e-05,4.145012e-05,4.190189e-05,4.219370e-05,4.283708e-05,4.289123e-05,4.354445e-05,4.369483e-05,4.415510e-05,4.447910e-05,4.472488e-05,4.519386e-05,4.525553e-05,4.574871e-05,4.584300e-05,4.620609e-05,4.643032e-05,4.662929e-05,4.695949e-05,4.701986e-05,4.737932e-05,4.743405e-05,4.770916e-05,4.785737e-05,4.801078e-05,4.823269e-05,4.828556e-05,4.853482e-05,4.856307e-05,4.875982e-05,4.885145e-05,4.896178e-05,4.910058e-05,4.914187e-05,4.930120e-05,4.931308e-05,4.944085e-05,4.949143e-05,4.956184e-05,4.963796e-05,4.966516e-05,4.975174e-05,4.975487e-05,4.982247e-05,4.984423e-05,4.987822e-05,4.990798e-05,4.991980e-05,4.994798e-05,4.996352e-05,4.996593e-05,4.996711e-05,4.996347e-05,4.995945e-05,4.994210e-05,4.994117e-05,4.991289e-05,4.990326e-05,4.987519e-05,4.984829e-05,4.982864e-05,4.977844e-05,4.977375e-05,4.971105e-05,4.969489e-05,4.964100e-05,4.959874e-05,4.956407e-05,4.949103e-05,4.948069e-05,4.939128e-05,4.937271e-05,4.929624e-05,4.924471e-05,4.919593e-05,4.910787e-05,4.909072e-05,4.898093e-05,4.896297e-05,4.886691e-05,4.881076e-05,4.874894e-05,4.865193e-05,4.862733e-05,4.850235e-05,4.848713e-05,4.837425e-05,4.831697e-05,4.824330e-05,4.814201e-05,4.810972e-05,4.797375e-05,4.796277e-05,4.783558e-05,4.777975e-05,4.769544e-05,4.759341e-05,4.755350e-05,4.740995e-05,4.740418e-05,4.726496e-05,4.721245e-05,4.711870e-05,4.701859e-05,4.697132e-05,4.682296e-05,4.662587e-05,4.642763e-05,4.622850e-05,4.602876e-05,4.582864e-05,4.562836e-05,4.542812e-05,4.522813e-05,4.502855e-05,4.482956e-05,4.463129e-05,4.443389e-05,4.423749e-05,4.404221e-05,4.384815e-05,4.365541e-05,4.346408e-05,4.327425e-05,4.308599e-05,4.289937e-05,4.271445e-05,4.253128e-05,4.234991e-05,4.217040e-05
0.000000e+00,5.641721e-09,1.291568e-08,4.446184e-08,1.013204e-07,1.479752e-07,3.367989e-07,3.469848e-07,6.732859e-07,7.920787e-07,1.161451e-06,1.547791e-06,1.849573e-06,2.692464e-06,2.776159e-06,3.969991e-06,4.297588e-06,5.438116e-06,6.375173e-06,7.165875e-06,8.881501e-06,9.128576e-06,1.130101e-05,1.175862e-05,1.366036e-05,1.495411e-05,1.618572e-05,1.842068e-05,1.885710e-05,2.165471e-05,2.211272e-05,2.455867e-05,2.598449e-05,2.754904e-05,2.999024e-05,3.060603e-05,3.371025e-05,3.408504e-05,3.684309e-05,3.822602e-05,3.998693e-05,4.237351e-05,4.312544e-05,4.624368e-05,4.649185e-05,4.932825e-05,5.054995e-05,5.236732e-05,5.452145e-05,5.535061e-05,5.826932e-05,5.838462e-05,6.111611e-05,6.212215e-05,6.388496e-05,6.572077e-05,6.657108e-05,6.917075e-05,7.168125e-05,7.246544e-05,7.410068e-05,7.560078e-05,7.642793e-05,7.857491e-05,7.866252e-05,8.080451e-05,8.138774e-05,8.285445e-05,8.404060e-05,8.481327e-05,8.653599e-05,8.668224e-05,8.846287e-05,8.887727e-05,9.015692e-05,9.106848e-05,9.176631e-05,9.311417e-05,9.329309e-05,9.473943e-05,9.501924e-05,9.610756e-05,9.678884e-05,9.739978e-05,9.842828e-05,9.861841e-05,9.976579e-05,9.994292e-05,1.008443e-04,1.013382e-04,1.018562e-04,1.026194e-04,1.028039e-04,1.036896e-04,1.037919e-04,1.045157e-04,1.048609e-04,1.052843e-04,1.058314e-04,1.059977e-04,1.066580e-04,1.067085e-04,1.072672e-04,1.074970e-04,1.078274e-04,1.082016e-04,1.083407e-04,1.088090e-04,1.088268e-04,1.092341e-04,1.093769e-04,1.096179e-04,1.098562e-04,1.099621e-04,1.102686e-04,1.105390e-04,1.106182e-04,1.107749e-04,1.109085e-04,1.109779e-04,1.111433e-04,1.111496e-04,1.112913e-04,1.113258e-04,1.114045e-04,1.114594e-04,1.114907e-04,1.115472e-04,1.115511e-04,1.115870e-04,1.115921e-04,1.115996e-04,1.115970e-04,1.115902e-04,1.115646e-04,1.115599e-04,1.115098e-04,1.114975e-04,1.114410e-04,1.113982e-04,1.113545e-04,1.112688e-04,1.112512e-04,1.111322e-04,1.111118e-04,1.109984e-04,1.109291e-04,1.108505e-04,1.107227e-04,1.106895e-04,1.105162e-04,1.104946e-04,1.103314e-04,1.102466e-04,1.101357e-04,1.099802e-04,1.099300e-04,1.097148e-04,1.096972e-04,1.094909e-04,1.093990e-04,1.092589e-04,1.090871e-04,1.090193e-04,1.087729e-04,1.087629e-04,1.085200e-04,1.084275e-04,1.082612e-04,1.080822e-04,1.079971e-04,1.077281e-04,1.073663e-04,1.069977e-04,1.066234e-04,1.062442e-04,1.058609e-04,1.054743e-04,1.050851e-04,1.046940e-04,1.043017e-04,1.039086e-04,1.035154e-04,1.031226e-04,1.027306e-04,1.023399e-04,1.019509e-04,1.015639e-04,1.011794e-04,1.007975e-04,1.004187e-04,1.000432e-04,9.967118e-05,9.930292e-05,9.893862e-05,9.857845e-05
0.000000e+00,3.096020e-09,8.288252e-09,3.459679e-08,8.724013e-08,1.325775e-07,3.247266e-07,3.353393e-07,6.828286e-07,8.118779e-07,1.217885e-06,1.645546e-06,1.978601e-06,2.892259e-06,2.981305e-06,4.218989e-06,4.549357e-06,5.676907e-06,6.584299e-06,7.341144e-06,8.965876e-06,9.198499e-06,1.123466e-05,1.166193e-05,1.343308e-05,1.463417e-05,1.577476e-05,1.783704e-05,1.823852e-05,2.080163e-05,2.121938e-05,2.344055e-05,2.472719e-05,2.613163e-05,2.830657e-05,2.885189e-05,3.157954e-05,3.190638e-05,3.429443e-05,3.548018e-05,3.697842e-05,3.898773e-05,3.961562e-05,4.219240e-05,4.239557e-05,4.469732e-05,4.567703e-05,4.712113e-05,4.881190e-05,4.945657e-05,5.169815e-05,5.178581e-05,5.384204e-05,5.458941e-05,5.588578e-05,5.721764e-05,5.782813e-05,5.966888e-05,6.140866e-05,6.194427e-05,6.304879e-05,6.404703e-05,6.459116e-05,6.598200e-05,6.603808e-05,6.739221e-05,6.775513e-05,6.865646e-05,6.937314e-05,6.983391e-05,7.084326e-05,7.092777e-05,7.194131e-05,7.217297e-05,7.287782e-05,7.336985e-05,7.374060e-05,7.444145e-05,7.453291e-05,7.525797e-05,7.539519e-05,7.591893e-05,7.623831e-05,7.651885e-05,7.697781e-05,7.706073e-05,7.754745e-05,7.762039e-05,7.798180e-05,7.817249e-05,7.836649e-05,7.864023e-05,7.870411e-05,7.899715e-05,7.902944e-05,7.924801e-05,7.934562e-05,7.945897e-05,7.959399e-05,7.963225e-05,7.976993e-05,7.977947e-05,7.987403e-05,7.990670e-05,7.994647e-05,7.998005e-05,7.998907e-05,8.000359e-05,8.000361e-05,7.999169e-05,7.998125e-05,7.995496e-05,7.991657e-05,7.989491e-05,7.981297e-05,7.971052e-05,7.967362e-05,7.958886e-05,7.950149e-05,7.944923e-05,7.929936e-05,7.929279e-05,7.912068e-05,7.906983e-05,7.893395e-05,7.881531e-05,7.873360e-05,7.853809e-05,7.852061e-05,7.829586e-05,7.824027e-05,7.806022e-05,7.792381e-05,7.781451e-05,7.759057e-05,7.755950e-05,7.729592e-05,7.724224e-05,7.702447e-05,7.688043e-05,7.674581e-05,7.650661e-05,7.646055e-05,7.616928e-05,7.612215e-05,7.587256e-05,7.572835e-05,7.557092e-05,7.532640e-05,7.526485e-05,7.495483e-05,7.491738e-05,7.464129e-05,7.450233e-05,7.432466e-05,7.408220e-05,7.400534e-05,7.368369e-05,7.365787e-05,7.336007e-05,7.323014e-05,7.303481e-05,7.279978e-05,7.270822e-05,7.238060e-05,7.236747e-05,7.205222e-05,7.193387e-05,7.172334e-05,7.149955e-05,7.139421e-05,7.106506e-05,7.063092e-05,7.019757e-05,6.976544e-05,6.933492e-05,6.890637e-05,6.848010e-05,6.805641e-05,6.763557e-05,6.721783e-05,6.680340e-05,6.639249e-05,6.598527e-05,6.558190e-05,6.518253e-05,6.478727e-05,6.439626e-05,6.400957e-05,6.362730e-05,6.324952e-05,6.287629e-05,6.250767e-05,6.214369e-05,6.178439e-05,6.142979e-05
0.000000e+00,2.362018e-09,5.548221e-09,1.951912e-08,4.487277e-08,6.583911e-08,1.526298e-07,1.574080e-07,3.157306e-07,3.756809e-07,5.676482e-07,7.724398e-07,9.314247e-07,1.356601e-06,1.396929e-06,1.935865e-06,2.073268e-06,2.524455e-06,2.870247e-06,3.148756e-06,3.721591e-06,3.801204e-06,4.477202e-06,4.614905e-06,5.173134e-06,5.541714e-06,5.885396e-06,6.493403e-06,6.609988e-06,7.342443e-06,7.460044e-06,8.077871e-06,8.430424e-06,8.811118e-06,9.392628e-06,9.536951e-06,1.025022e-05,1.033473e-05,1.094605e-05,1.124554e-05,1.162005e-05,1.211528e-05,1.226834e-05,1.288761e-05,1.293582e-05,1.347524e-05,1.370096e-05,1.402922e-05,1.440646e-05,1.454819e-05,1.503138e-05,1.504996e-05,1.547855e-05,1.563075e-05,1.588996e-05,1.614959e-05,1.626624e-05,1.660846e-05,1.691781e-05,1.701007e-05,1.719567e-05,1.735774e-05,1.744370e-05,1.765528e-05,1.766356e-05,1.785701e-05,1.790669e-05,1.802582e-05,1.811601e-05,1.817173e-05,1.828720e-05,1.829644e-05,1.840159e-05,1.842410e-05,1.848877e-05,1.853029e-05,1.855944e-05,1.860908e-05,1.861500e-05,1.865674e-05,1.866355e-05,1.868590e-05,1.869645e-05,1.870357e-05,1.871031e-05,1.871081e-05,1.870855e-05,1.870737e-05,1.869766e-05,1.868961e-05,1.867895e-05,1.865882e-05,1.865312e-05,1.862085e-05,1.861657e-05,1.858273e-05,1.856424e-05,1.853930e-05,1.850306e-05,1.849107e-05,1.843849e-05,1.843411e-05,1.838196e-05,1.835833e-05,1.832186e-05,1.827657e-05,1.825853e-05,1.819227e-05,1.818956e-05,1.812337e-05,1.809797e-05,1.805209e-05,1.800237e-05,1.797866e-05,1.790329e-05,1.782619e-05,1.780118e-05,1.774753e-05,1.769644e-05,1.766747e-05,1.758946e-05,1.758618e-05,1.750380e-05,1.748055e-05,1.742044e-05,1.737001e-05,1.733623e-05,1.725811e-05,1.725129e-05,1.716571e-05,1.714509e-05,1.707959e-05,1.703115e-05,1.699301e-05,1.691651e-05,1.690606e-05,1.681882e-05,1.680134e-05,1.673135e-05,1.668579e-05,1.664371e-05,1.657002e-05,1.655598e-05,1.646821e-05,1.645416e-05,1.638044e-05,1.633833e-05,1.629274e-05,1.622265e-05,1.620514e-05,1.611768e-05,1.610720e-05,1.603042e-05,1.599209e-05,1.594338e-05,1.587740e-05,1.585659e-05,1.577010e-05,1.576320e-05,1.568393e-05,1.564956e-05,1.559811e-05,1.553655e-05,1.551267e-05,1.542762e-05,1.542423e-05,1.534300e-05,1.531264e-05,1.525881e-05,1.520183e-05,1.517509e-05,1.509185e-05,1.498274e-05,1.487452e-05,1.476724e-05,1.466091e-05,1.455556e-05,1.445122e-05,1.434790e-05,1.424562e-05,1.414439e-05,1.404423e-05,1.394515e-05,1.384716e-05,1.375025e-05,1.365444e-05,1.355974e-05,1.346614e-05,1.337364e-05,1.328225e-05,1.319196e-05,1.310277e-05,1.301469e-05,1.292770e-05,1.284180e-05,1.275699e-05
0.000000e+00,8.849746e-10,2.342869e-09,9.606517e-09,2.391247e-08,3.609920e-08,8.684996e-08,8.961753e-08,1.785632e-07,2.108774e-07,3.106096e-07,4.134880e-07,4.928240e-07,7.104081e-07,7.317557e-07,1.033459e-06,1.115832e-06,1.403409e-06,1.642165e-06,1.846238e-06,2.298863e-06,2.365225e-06,2.961556e-06,3.090012e-06,3.633565e-06,4.011441e-06,4.376448e-06,5.049824e-06,5.182725e-06,6.043306e-06,6.185396e-06,6.948588e-06,7.396233e-06,7.889212e-06,8.661233e-06,8.856396e-06,9.842043e-06,9.961202e-06,1.083872e-05,1.127897e-05,1.183960e-05,1.259922e-05,1.283844e-05,1.382958e-05,1.390838e-05,1.480787e-05,1.519455e-05,1.576874e-05,1.644749e-05,1.670814e-05,1.762258e-05,1.765860e-05,1.850908e-05,1.882089e-05,1.936516e-05,1.992888e-05,2.018882e-05,2.097851e-05,2.173309e-05,2.196700e-05,2.245179e-05,2.289271e-05,2.313417e-05,2.375498e-05,2.378011e-05,2.438974e-05,2.455396e-05,2.496339e-05,2.529053e-05,2.550161e-05,2.596607e-05,2.600509e-05,2.647468e-05,2.658244e-05,2.691131e-05,2.714179e-05,2.731598e-05,2.764653e-05,2.768980e-05,2.803387e-05,2.809922e-05,2.834936e-05,2.850251e-05,2.863744e-05,2.885911e-05,2.889929e-05,2.913608e-05,2.917172e-05,2.934897e-05,2.944301e-05,2.953912e-05,2.967561e-05,2.970764e-05,2.985563e-05,2.987206e-05,2.998416e-05,3.003482e-05,3.009427e-05,3.016624e-05,3.018695e-05,3.026317e-05,3.026858e-05,3.032385e-05,3.034398e-05,3.036990e-05,3.039448e-05,3.040217e-05,3.042148e-05,3.042199e-05,3.042862e-05,3.042835e-05,3.042433e-05,3.041526e-05,3.040934e-05,3.038432e-05,3.034994e-05,3.033706e-05,3.030681e-05,3.027488e-05,3.025552e-05,3.019912e-05,3.019663e-05,3.013067e-05,3.011101e-05,3.005816e-05,3.001170e-05,2.997957e-05,2.990229e-05,2.989535e-05,2.980595e-05,2.978376e-05,2.971176e-05,2.965706e-05,2.961317e-05,2.952307e-05,2.951055e-05,2.940425e-05,2.938258e-05,2.929459e-05,2.923635e-05,2.918189e-05,2.908507e-05,2.906643e-05,2.894848e-05,2.892940e-05,2.882832e-05,2.876993e-05,2.870618e-05,2.860721e-05,2.858230e-05,2.845689e-05,2.844175e-05,2.833016e-05,2.827403e-05,2.820230e-05,2.810448e-05,2.807348e-05,2.794389e-05,2.793349e-05,2.781368e-05,2.776145e-05,2.768299e-05,2.758869e-05,2.755198e-05,2.742076e-05,2.741551e-05,2.728947e-05,2.724221e-05,2.715822e-05,2.706904e-05,2.702711e-05,2.689625e-05,2.672404e-05,2.655263e-05,2.638217e-05,2.621285e-05,2.604480e-05,2.587816e-05,2.571305e-05,2.554957e-05,2.538781e-05,2.522787e-05,2.506980e-05,2.491369e-05,2.475958e-05,2.460753e-05,2.445756e-05,2.430973e-05,2.416405e-05,2.402055e-05,2.387924e-05,2.374014e-05,2.360326e-05,2.346860e-05,2.333615e-05,2.320592e-05
0.000000e+00,2.170984e-09,4.961481e-09,1.702212e-08,3.867513e-08,5.639299e-08,1.278254e-07,1.316692e-07,2.544410e-07,2.989949e-07,4.371660e-07,5.812381e-07,6.935675e-07,1.007030e-06,1.038176e-06,1.483953e-06,1.606946e-06,2.037669e-06,2.394111e-06,2.696135e-06,3.353164e-06,3.447804e-06,4.278086e-06,4.452334e-06,5.173254e-06,5.660412e-06,6.121565e-06,6.951820e-06,7.112960e-06,8.138509e-06,8.305210e-06,9.189994e-06,9.701632e-06,1.025968e-05,1.112359e-05,1.134023e-05,1.242474e-05,1.255483e-05,1.350672e-05,1.398043e-05,1.458021e-05,1.538705e-05,1.563983e-05,1.668077e-05,1.676311e-05,1.769886e-05,1.809888e-05,1.869055e-05,1.938654e-05,1.965289e-05,2.058349e-05,2.062003e-05,2.148051e-05,2.179493e-05,2.234256e-05,2.290830e-05,2.316873e-05,2.395845e-05,2.471153e-05,2.494477e-05,2.542801e-05,2.586750e-05,2.610823e-05,2.672757e-05,2.675267e-05,2.736202e-05,2.752646e-05,2.793708e-05,2.826603e-05,2.847875e-05,2.894844e-05,2.898802e-05,2.946591e-05,2.957606e-05,2.991351e-05,3.015135e-05,3.033193e-05,3.067687e-05,3.072226e-05,3.108563e-05,3.115517e-05,3.142315e-05,3.158881e-05,3.173591e-05,3.198028e-05,3.202499e-05,3.229144e-05,3.233204e-05,3.253629e-05,3.264644e-05,3.276054e-05,3.292576e-05,3.296516e-05,3.315108e-05,3.317218e-05,3.331922e-05,3.338779e-05,3.347044e-05,3.357457e-05,3.360559e-05,3.372548e-05,3.373443e-05,3.383088e-05,3.386915e-05,3.392255e-05,3.398044e-05,3.400119e-05,3.406749e-05,3.406990e-05,3.412212e-05,3.413904e-05,3.416569e-05,3.418931e-05,3.419881e-05,3.422205e-05,3.423596e-05,3.423853e-05,3.424107e-05,3.423996e-05,3.423788e-05,3.422745e-05,3.422686e-05,3.420848e-05,3.420207e-05,3.418315e-05,3.416480e-05,3.415131e-05,3.411659e-05,3.411333e-05,3.406961e-05,3.405830e-05,3.402050e-05,3.399076e-05,3.396633e-05,3.391474e-05,3.390744e-05,3.384413e-05,3.383096e-05,3.377669e-05,3.374009e-05,3.370542e-05,3.364277e-05,3.363057e-05,3.355239e-05,3.353959e-05,3.347113e-05,3.343109e-05,3.338701e-05,3.331781e-05,3.330026e-05,3.321107e-05,3.320022e-05,3.311965e-05,3.307876e-05,3.302618e-05,3.295388e-05,3.293083e-05,3.283378e-05,3.282595e-05,3.273518e-05,3.269534e-05,3.263518e-05,3.256240e-05,3.253393e-05,3.243155e-05,3.242744e-05,3.232819e-05,3.229076e-05,3.222396e-05,3.215264e-05,3.211897e-05,3.201333e-05,3.187307e-05,3.173208e-05,3.159057e-05,3.144873e-05,3.130673e-05,3.116474e-05,3.102291e-05,3.088137e-05,3.074026e-05,3.059970e-05,3.045978e-05,3.032062e-05,3.018231e-05,3.004492e-05,2.990854e-05,2.977323e-05,2.963906e-05,2.950608e-05,2.937435e-05,2.924391e-05,2.911481e-05,2.898708e-05,2.886076e-05,2.873587e-05
0.000000e+00,4.536976e-10,1.305067e-09,6.151154e-09,1.687844e-08,2.663728e-08,7.031358e-08,7.278925e-08,1.554811e-07,1.866633e-07,2.856635e-07,3.913443e-07,4.749038e-07,7.116929e-07,7.354435e-07,1.078485e-06,1.173919e-06,1.509693e-06,1.788270e-06,2.023887e-06,2.531784e-06,2.604148e-06,3.226957e-06,3.354504e-06,3.868892e-06,4.203666e-06,4.510748e-06,5.039560e-06,5.138665e-06,5.743500e-06,5.837717e-06,6.319617e-06,6.584922e-06,6.863730e-06,7.274743e-06,7.374053e-06,7.849733e-06,7.904470e-06,8.290528e-06,8.473463e-06,8.696634e-06,8.982403e-06,9.068604e-06,9.407304e-06,9.432996e-06,9.713878e-06,9.827816e-06,9.989716e-06,1.017018e-05,1.023641e-05,1.045572e-05,1.046395e-05,1.064949e-05,1.071335e-05,1.081961e-05,1.092278e-05,1.096802e-05,1.109657e-05,1.120710e-05,1.123895e-05,1.130133e-05,1.135383e-05,1.138087e-05,1.144482e-05,1.144724e-05,1.150182e-05,1.151516e-05,1.154586e-05,1.156771e-05,1.158051e-05,1.160498e-05,1.160679e-05,1.162562e-05,1.162912e-05,1.163779e-05,1.164197e-05,1.164402e-05,1.164511e-05,1.164496e-05,1.164116e-05,1.163987e-05,1.163311e-05,1.162739e-05,1.162125e-05,1.160862e-05,1.160596e-05,1.158758e-05,1.158437e-05,1.156641e-05,1.155534e-05,1.154273e-05,1.152214e-05,1.151677e-05,1.148875e-05,1.148526e-05,1.145887e-05,1.144517e-05,1.142728e-05,1.140224e-05,1.139416e-05,1.135964e-05,1.135682e-05,1.132386e-05,1.130922e-05,1.128693e-05,1.125969e-05,1.124896e-05,1.121005e-05,1.120848e-05,1.117029e-05,1.115579e-05,1.112977e-05,1.110182e-05,1.108857e-05,1.104675e-05,1.100439e-05,1.099073e-05,1.096155e-05,1.093390e-05,1.091828e-05,1.087640e-05,1.087465e-05,1.083069e-05,1.081833e-05,1.078647e-05,1.075982e-05,1.074202e-05,1.070095e-05,1.069738e-05,1.065259e-05,1.064183e-05,1.060770e-05,1.058252e-05,1.056273e-05,1.052312e-05,1.051772e-05,1.047269e-05,1.046368e-05,1.042767e-05,1.040428e-05,1.038269e-05,1.034496e-05,1.033778e-05,1.029295e-05,1.028579e-05,1.024823e-05,1.022681e-05,1.020364e-05,1.016808e-05,1.015920e-05,1.011492e-05,1.010962e-05,1.007082e-05,1.005148e-05,1.002692e-05,9.993695e-06,9.983228e-06,9.939759e-06,9.936292e-06,9.896526e-06,9.879301e-06,9.853540e-06,9.822749e-06,9.810812e-06,9.768352e-06,9.766659e-06,9.726168e-06,9.711052e-06,9.684270e-06,9.655947e-06,9.642665e-06,9.601361e-06,9.547309e-06,9.493806e-06,9.440863e-06,9.388491e-06,9.336700e-06,9.285497e-06,9.234889e-06,9.184882e-06,9.135480e-06,9.086688e-06,9.038509e-06,8.990944e-06,8.943996e-06,8.897663e-06,8.851948e-06,8.806848e-06,8.762364e-06,8.718493e-06,8.675233e-06,8.632581e-06,8.590535e-06,8.549092e-06,8.508247e-06,8.467997e-06
0.000000e+00,9.593098e-09,2.845180e-08,1.427837e-07,4.143713e-07,6.739711e-07,1.918096e-06,1.991528e-06,4.560345e-06,5.573519e-06,8.900269e-06,1.258597e-05,1.557013e-05,2.424939e-05,2.513341e-05,3.809250e-05,4.175367e-05,5.483482e-05,6.596722e-05,7.562835e-05,9.741464e-05,1.006429e-04,1.299699e-04,1.363560e-04,1.636333e-04,1.828417e-04,2.015950e-04,2.367352e-04,2.437578e-04,2.899669e-04,2.977225e-04,3.400125e-04,3.653225e-04,3.936341e-04,4.389011e-04,4.505245e-04,5.103373e-04,5.176934e-04,5.726931e-04,6.008321e-04,6.371887e-04,6.873788e-04,7.034047e-04,7.709147e-04,7.763587e-04,8.392932e-04,8.667940e-04,9.081234e-04,9.577347e-04,9.770039e-04,1.045555e-03,1.048285e-03,1.113423e-03,1.137625e-03,1.180284e-03,1.225025e-03,1.245848e-03,1.309856e-03,1.372087e-03,1.391594e-03,1.432352e-03,1.469818e-03,1.490498e-03,1.544210e-03,1.546402e-03,1.599972e-03,1.614544e-03,1.651143e-03,1.680677e-03,1.699875e-03,1.742541e-03,1.746152e-03,1.789977e-03,1.800132e-03,1.831369e-03,1.853500e-03,1.870365e-03,1.902738e-03,1.907013e-03,1.941370e-03,1.947973e-03,1.973505e-03,1.989360e-03,2.003489e-03,2.027073e-03,2.031403e-03,2.057329e-03,2.061298e-03,2.081350e-03,2.092229e-03,2.103553e-03,2.120065e-03,2.124025e-03,2.142851e-03,2.145004e-03,2.160118e-03,2.167243e-03,2.175908e-03,2.186971e-03,2.190302e-03,2.203378e-03,2.204369e-03,2.215210e-03,2.219611e-03,2.225870e-03,2.232859e-03,2.235428e-03,2.243950e-03,2.244270e-03,2.251496e-03,2.253986e-03,2.258127e-03,2.262142e-03,2.263899e-03,2.268866e-03,2.273076e-03,2.274272e-03,2.276579e-03,2.278470e-03,2.279419e-03,2.281560e-03,2.281637e-03,2.283274e-03,2.283634e-03,2.284367e-03,2.284776e-03,2.284950e-03,2.285066e-03,2.285057e-03,2.284719e-03,2.284575e-03,2.283964e-03,2.283370e-03,2.282821e-03,2.281513e-03,2.281314e-03,2.279468e-03,2.279060e-03,2.277305e-03,2.276062e-03,2.274846e-03,2.272567e-03,2.272112e-03,2.269120e-03,2.268619e-03,2.265890e-03,2.264259e-03,2.262436e-03,2.259523e-03,2.258775e-03,2.254921e-03,2.254447e-03,2.250888e-03,2.249060e-03,2.246689e-03,2.243394e-03,2.242335e-03,2.237839e-03,2.237473e-03,2.233210e-03,2.231324e-03,2.228460e-03,2.224970e-03,2.223597e-03,2.218631e-03,2.218430e-03,2.213569e-03,2.211725e-03,2.208421e-03,2.204874e-03,2.203193e-03,2.197892e-03,2.190795e-03,2.183598e-03,2.176314e-03,2.168955e-03,2.161533e-03,2.154058e-03,2.146541e-03,2.138989e-03,2.131413e-03,2.123819e-03,2.116215e-03,2.108607e-03,2.101003e-03,2.093408e-03,2.085827e-03,2.078265e-03,2.070727e-03,2.063217e-03,2.055740e-03,2.048298e-03,2.040896e-03,2.033537e-03,2.026222e-03,2.018956e-03
0.000000e+00,1.480176e-09,3.382333e-09,1.159496e-08,2.632204e-08,3.836478e-08,8.689814e-08,8.950980e-08,1.729694e-07,2.032831e-07,2.973888e-07,3.956542e-07,4.723504e-07,6.866252e-07,7.079281e-07,1.012908e-06,1.097042e-06,1.391479e-06,1.634715e-06,1.840358e-06,2.285673e-06,2.349539e-06,2.906253e-06,3.022204e-06,3.498423e-06,3.816931e-06,4.115952e-06,4.648237e-06,4.750650e-06,5.395769e-06,5.499561e-06,6.045595e-06,6.357711e-06,6.695199e-06,7.211816e-06,7.340285e-06,7.977119e-06,8.052827e-06,8.602496e-06,8.873317e-06,9.213710e-06,9.667374e-06,9.808534e-06,1.038519e-05,1.043049e-05,1.094231e-05,1.115946e-05,1.147891e-05,1.185217e-05,1.199433e-05,1.248816e-05,1.250746e-05,1.296029e-05,1.312496e-05,1.341079e-05,1.370489e-05,1.383989e-05,1.424798e-05,1.463553e-05,1.475530e-05,1.500312e-05,1.522818e-05,1.535136e-05,1.566810e-05,1.568093e-05,1.599254e-05,1.607667e-05,1.628690e-05,1.645553e-05,1.656471e-05,1.680631e-05,1.682670e-05,1.707357e-05,1.713064e-05,1.730599e-05,1.743010e-05,1.752465e-05,1.770621e-05,1.773020e-05,1.792326e-05,1.796043e-05,1.810444e-05,1.819415e-05,1.827432e-05,1.840869e-05,1.843345e-05,1.858238e-05,1.860529e-05,1.872161e-05,1.878514e-05,1.885163e-05,1.894933e-05,1.897291e-05,1.908588e-05,1.909890e-05,1.919098e-05,1.923483e-05,1.928860e-05,1.935803e-05,1.937913e-05,1.946292e-05,1.946934e-05,1.954032e-05,1.956956e-05,1.961166e-05,1.965945e-05,1.967725e-05,1.973739e-05,1.973968e-05,1.979235e-05,1.981092e-05,1.984240e-05,1.987377e-05,1.988780e-05,1.992879e-05,1.996559e-05,1.997652e-05,1.999842e-05,2.001744e-05,2.002748e-05,2.005202e-05,2.005298e-05,2.007509e-05,2.008070e-05,2.009399e-05,2.010386e-05,2.010985e-05,2.012189e-05,2.012283e-05,2.013307e-05,2.013514e-05,2.014073e-05,2.014394e-05,2.014593e-05,2.014859e-05,2.014881e-05,2.014949e-05,2.014937e-05,2.014809e-05,2.014657e-05,2.014471e-05,2.014042e-05,2.013946e-05,2.013245e-05,2.013117e-05,2.012376e-05,2.011903e-05,2.011349e-05,2.010420e-05,2.010173e-05,2.008856e-05,2.008689e-05,2.007405e-05,2.006726e-05,2.005828e-05,2.004550e-05,2.004133e-05,2.002325e-05,2.002175e-05,2.000411e-05,1.999618e-05,1.998398e-05,1.996890e-05,1.996291e-05,1.994096e-05,1.994007e-05,1.991818e-05,1.990979e-05,1.989463e-05,1.987819e-05,1.987034e-05,1.984537e-05,1.981143e-05,1.977647e-05,1.974058e-05,1.970384e-05,1.966633e-05,1.962812e-05,1.958929e-05,1.954990e-05,1.951001e-05,1.946968e-05,1.942897e-05,1.938792e-05,1.934658e-05,1.930500e-05,1.926322e-05,1.922129e-05,1.917923e-05,1.913708e-05,1.909489e-05,1.905267e-05,1.901045e-05,1.896827e-05,1.892616e-05,1.888412e-05
0.000000e+00,6.005695e-10,1.697784e-09,7.759840e-09,2.081578e-08,3.250430e-08,8.386442e-08,8.674627e-08,1.819422e-07,2.174267e-07,3.289484e-07,4.463718e-07,5.381913e-07,7.943301e-07,8.197427e-07,1.182897e-06,1.283064e-06,1.634767e-06,1.927791e-06,2.177975e-06,2.728884e-06,2.808982e-06,3.518812e-06,3.669213e-06,4.295595e-06,4.721831e-06,5.126882e-06,5.858597e-06,6.000835e-06,6.906541e-06,7.053717e-06,7.833945e-06,8.284051e-06,8.773757e-06,9.528746e-06,9.717390e-06,1.065696e-05,1.076909e-05,1.158534e-05,1.198861e-05,1.249616e-05,1.317322e-05,1.338392e-05,1.424391e-05,1.431139e-05,1.507230e-05,1.539410e-05,1.586603e-05,1.641474e-05,1.662280e-05,1.734100e-05,1.736891e-05,1.801962e-05,1.825413e-05,1.865820e-05,1.906956e-05,1.925676e-05,1.981568e-05,2.033567e-05,2.049400e-05,2.081770e-05,2.110681e-05,2.126295e-05,2.165700e-05,2.167273e-05,2.204850e-05,2.214782e-05,2.239175e-05,2.258275e-05,2.270406e-05,2.296540e-05,2.298699e-05,2.324213e-05,2.329940e-05,2.347102e-05,2.358831e-05,2.367520e-05,2.383562e-05,2.385615e-05,2.401531e-05,2.404464e-05,2.415405e-05,2.421856e-05,2.427369e-05,2.436037e-05,2.437552e-05,2.446072e-05,2.447289e-05,2.453044e-05,2.455873e-05,2.458577e-05,2.462036e-05,2.462773e-05,2.465729e-05,2.466004e-05,2.467535e-05,2.467989e-05,2.468279e-05,2.468184e-05,2.468041e-05,2.466896e-05,2.466768e-05,2.464917e-05,2.463906e-05,2.462169e-05,2.459750e-05,2.458716e-05,2.454616e-05,2.454439e-05,2.449924e-05,2.448100e-05,2.444691e-05,2.440849e-05,2.438966e-05,2.432793e-05,2.426214e-05,2.424029e-05,2.419268e-05,2.414647e-05,2.411992e-05,2.404728e-05,2.404420e-05,2.396584e-05,2.394346e-05,2.388512e-05,2.383568e-05,2.380233e-05,2.372455e-05,2.371772e-05,2.363153e-05,2.361064e-05,2.354398e-05,2.349444e-05,2.345528e-05,2.337642e-05,2.336561e-05,2.327516e-05,2.325699e-05,2.318408e-05,2.313653e-05,2.309254e-05,2.301538e-05,2.300066e-05,2.290858e-05,2.289384e-05,2.281643e-05,2.277220e-05,2.272431e-05,2.265070e-05,2.263232e-05,2.254056e-05,2.252956e-05,2.244911e-05,2.240900e-05,2.235806e-05,2.228917e-05,2.226748e-05,2.217743e-05,2.217025e-05,2.208798e-05,2.205238e-05,2.199918e-05,2.193568e-05,2.191108e-05,2.182373e-05,2.182026e-05,2.173717e-05,2.170621e-05,2.165144e-05,2.159363e-05,2.156657e-05,2.148259e-05,2.137315e-05,2.126536e-05,2.115926e-05,2.105491e-05,2.095232e-05,2.085152e-05,2.075253e-05,2.065536e-05,2.056002e-05,2.046651e-05,2.037484e-05,2.028500e-05,2.019698e-05,2.011078e-05,2.002638e-05,1.994377e-05,1.986294e-05,1.978385e-05,1.970651e-05,1.963087e-05,1.955694e-05,1.948467e-05,1.941404e-05,1.934504e-05
0.000000e+00,1.115218e-09,2.952338e-09,1.207105e-08,2.993306e-08,4.510269e-08,1.082714e-07,1.117248e-07,2.236633e-07,2.648811e-07,3.941967e-07,5.309682e-07,6.386407e-07,9.416127e-07,9.717633e-07,1.399473e-06,1.515318e-06,1.910702e-06,2.225006e-06,2.482493e-06,3.017768e-06,3.092361e-06,3.723854e-06,3.851694e-06,4.365762e-06,4.700911e-06,5.010004e-06,5.548227e-06,5.650135e-06,6.280590e-06,6.380225e-06,6.896388e-06,7.185433e-06,7.493067e-06,7.954004e-06,8.066727e-06,8.614085e-06,8.677869e-06,9.132518e-06,9.350939e-06,9.620080e-06,9.969170e-06,1.007549e-05,1.049809e-05,1.053047e-05,1.088777e-05,1.103449e-05,1.124491e-05,1.148233e-05,1.157029e-05,1.186503e-05,1.187620e-05,1.213046e-05,1.221913e-05,1.236812e-05,1.251468e-05,1.257962e-05,1.276666e-05,1.293096e-05,1.297900e-05,1.307419e-05,1.315558e-05,1.319802e-05,1.330011e-05,1.330402e-05,1.339371e-05,1.341610e-05,1.346851e-05,1.350680e-05,1.352975e-05,1.357518e-05,1.357866e-05,1.361640e-05,1.362392e-05,1.364403e-05,1.365544e-05,1.366251e-05,1.367191e-05,1.367273e-05,1.367550e-05,1.367523e-05,1.367156e-05,1.366709e-05,1.366158e-05,1.364898e-05,1.364617e-05,1.362588e-05,1.362221e-05,1.360120e-05,1.358794e-05,1.357261e-05,1.354719e-05,1.354050e-05,1.350526e-05,1.350083e-05,1.346721e-05,1.344967e-05,1.342667e-05,1.339437e-05,1.338392e-05,1.333920e-05,1.333554e-05,1.329275e-05,1.327373e-05,1.324477e-05,1.320939e-05,1.319546e-05,1.314498e-05,1.314294e-05,1.309350e-05,1.307474e-05,1.304115e-05,1.300512e-05,1.298807e-05,1.293437e-05,1.288017e-05,1.286273e-05,1.282556e-05,1.279043e-05,1.277063e-05,1.271768e-05,1.271547e-05,1.266015e-05,1.264464e-05,1.260474e-05,1.257148e-05,1.254930e-05,1.249833e-05,1.249390e-05,1.243858e-05,1.242533e-05,1.238340e-05,1.235257e-05,1.232839e-05,1.228017e-05,1.227361e-05,1.221907e-05,1.220820e-05,1.216483e-05,1.213675e-05,1.211090e-05,1.206587e-05,1.205733e-05,1.200412e-05,1.199565e-05,1.195132e-05,1.192612e-05,1.189893e-05,1.185733e-05,1.184697e-05,1.179547e-05,1.178933e-05,1.174444e-05,1.172214e-05,1.169390e-05,1.165581e-05,1.164385e-05,1.159430e-05,1.159036e-05,1.154527e-05,1.152581e-05,1.149677e-05,1.146217e-05,1.144880e-05,1.140136e-05,1.139948e-05,1.135448e-05,1.133773e-05,1.130814e-05,1.127694e-05,1.126235e-05,1.121712e-05,1.115827e-05,1.110040e-05,1.104351e-05,1.098759e-05,1.093266e-05,1.087869e-05,1.082570e-05,1.077367e-05,1.072261e-05,1.067249e-05,1.062332e-05,1.057509e-05,1.052778e-05,1.048139e-05,1.043591e-05,1.039133e-05,1.034763e-05,1.030481e-05,1.026285e-05,1.022174e-05,1.018147e-05,1.014202e-05,1.010339e-05,1.006556e-05
0.000000e+00,8.620026e-10,2.453651e-09,1.136314e-08,3.081388e-08,4.838357e-08,1.264791e-07,1.308906e-07,2.776874e-07,3.328037e-07,5.069801e-07,6.915593e-07,8.365457e-07,1.243364e-06,1.283890e-06,1.865720e-06,2.027020e-06,2.595978e-06,3.073085e-06,3.482754e-06,4.393103e-06,4.526483e-06,5.721135e-06,5.977357e-06,7.056989e-06,7.803728e-06,8.522797e-06,9.845895e-06,1.010678e-05,1.179686e-05,1.207629e-05,1.358060e-05,1.446630e-05,1.544514e-05,1.698607e-05,1.737725e-05,1.936339e-05,1.960472e-05,2.138993e-05,2.229090e-05,2.344332e-05,2.501370e-05,2.551035e-05,2.757834e-05,2.774346e-05,2.963536e-05,3.045258e-05,3.167031e-05,3.311609e-05,3.367309e-05,3.563464e-05,3.571213e-05,3.754704e-05,3.822212e-05,3.940345e-05,4.063085e-05,4.119812e-05,4.292634e-05,4.458440e-05,4.509968e-05,4.616949e-05,4.714471e-05,4.767964e-05,4.905774e-05,4.911363e-05,5.047091e-05,5.083720e-05,5.175152e-05,5.248328e-05,5.295599e-05,5.399769e-05,5.408530e-05,5.514079e-05,5.538329e-05,5.612409e-05,5.664391e-05,5.703710e-05,5.778405e-05,5.788190e-05,5.866071e-05,5.880876e-05,5.937589e-05,5.972343e-05,6.002985e-05,6.053369e-05,6.062509e-05,6.116408e-05,6.124527e-05,6.164934e-05,6.186390e-05,6.208333e-05,6.239526e-05,6.246851e-05,6.280728e-05,6.284492e-05,6.310199e-05,6.321831e-05,6.335496e-05,6.352067e-05,6.356842e-05,6.374452e-05,6.375706e-05,6.388537e-05,6.393229e-05,6.399298e-05,6.405097e-05,6.406929e-05,6.411619e-05,6.411748e-05,6.413547e-05,6.413598e-05,6.412884e-05,6.411037e-05,6.409794e-05,6.404435e-05,6.396957e-05,6.394141e-05,6.387504e-05,6.380480e-05,6.376211e-05,6.363760e-05,6.363209e-05,6.348620e-05,6.344268e-05,6.332564e-05,6.322272e-05,6.315151e-05,6.298024e-05,6.296487e-05,6.276673e-05,6.271757e-05,6.255803e-05,6.243689e-05,6.233968e-05,6.214023e-05,6.211253e-05,6.187739e-05,6.182947e-05,6.163502e-05,6.150638e-05,6.138615e-05,6.117256e-05,6.113144e-05,6.087155e-05,6.082952e-05,6.060707e-05,6.047866e-05,6.033858e-05,6.012126e-05,6.006661e-05,5.979167e-05,5.975850e-05,5.951422e-05,5.939147e-05,5.923472e-05,5.902118e-05,5.895358e-05,5.867119e-05,5.864856e-05,5.838792e-05,5.827444e-05,5.810411e-05,5.789961e-05,5.782007e-05,5.753612e-05,5.752477e-05,5.725252e-05,5.715057e-05,5.696954e-05,5.677759e-05,5.668742e-05,5.640638e-05,5.603741e-05,5.567112e-05,5.530791e-05,5.494813e-05,5.459209e-05,5.424007e-05,5.389233e-05,5.354907e-05,5.321050e-05,5.287678e-05,5.254804e-05,5.222441e-05,5.190599e-05,5.159286e-05,5.128509e-05,5.098271e-05,5.068578e-05,5.039431e-05,5.010830e-05,4.982777e-05,4.955269e-05,4.928305e-05,4.901883e-05,4.875998e-05
0.000000e+00,1.018745e-09,2.605616e-09,1.016501e-08,2.456131e-08,3.662464e-08,8.610693e-08,8.878658e-08,1.745265e-07,2.056044e-07,3.015971e-07,4.009465e-07,4.778548e-07,6.899609e-07,7.108386e-07,1.005962e-06,1.086238e-06,1.363952e-06,1.590439e-06,1.780569e-06,2.190447e-06,2.249203e-06,2.763171e-06,2.870859e-06,3.316375e-06,3.617657e-06,3.903150e-06,4.417965e-06,4.518003e-06,5.155454e-06,5.259176e-06,5.810010e-06,6.128665e-06,6.476207e-06,7.013944e-06,7.148695e-06,7.822345e-06,7.903029e-06,8.492343e-06,8.784831e-06,9.154273e-06,9.649496e-06,9.804186e-06,1.043863e-05,1.048863e-05,1.105467e-05,1.129538e-05,1.164990e-05,1.206449e-05,1.222241e-05,1.277074e-05,1.279216e-05,1.329390e-05,1.347594e-05,1.379124e-05,1.411454e-05,1.426250e-05,1.470766e-05,1.512699e-05,1.525579e-05,1.552094e-05,1.576003e-05,1.589014e-05,1.622196e-05,1.623532e-05,1.655734e-05,1.664348e-05,1.685711e-05,1.702669e-05,1.713559e-05,1.737385e-05,1.739378e-05,1.763266e-05,1.768724e-05,1.785325e-05,1.796915e-05,1.805651e-05,1.822183e-05,1.824342e-05,1.841491e-05,1.844743e-05,1.857187e-05,1.864804e-05,1.871517e-05,1.882560e-05,1.884565e-05,1.896409e-05,1.898197e-05,1.907124e-05,1.911888e-05,1.916782e-05,1.923792e-05,1.925449e-05,1.933189e-05,1.934059e-05,1.940062e-05,1.942826e-05,1.946124e-05,1.950221e-05,1.951427e-05,1.956022e-05,1.956360e-05,1.959954e-05,1.961352e-05,1.963268e-05,1.965294e-05,1.966004e-05,1.968201e-05,1.968278e-05,1.969894e-05,1.970387e-05,1.971117e-05,1.971697e-05,1.971902e-05,1.972278e-05,1.972273e-05,1.972194e-05,1.971911e-05,1.971505e-05,1.971219e-05,1.970263e-05,1.970217e-05,1.968928e-05,1.968519e-05,1.967372e-05,1.966317e-05,1.965566e-05,1.963700e-05,1.963529e-05,1.961277e-05,1.960706e-05,1.958825e-05,1.957371e-05,1.956188e-05,1.953725e-05,1.953379e-05,1.950411e-05,1.949800e-05,1.947296e-05,1.945622e-05,1.944045e-05,1.941217e-05,1.940669e-05,1.937177e-05,1.936608e-05,1.933579e-05,1.931817e-05,1.929884e-05,1.926862e-05,1.926099e-05,1.922232e-05,1.921763e-05,1.918292e-05,1.916536e-05,1.914284e-05,1.911197e-05,1.910215e-05,1.906091e-05,1.905759e-05,1.901918e-05,1.900236e-05,1.897701e-05,1.894641e-05,1.893446e-05,1.889156e-05,1.888984e-05,1.884837e-05,1.883276e-05,1.880493e-05,1.877526e-05,1.876127e-05,1.871744e-05,1.865937e-05,1.860114e-05,1.854280e-05,1.848444e-05,1.842609e-05,1.836783e-05,1.830970e-05,1.825175e-05,1.819402e-05,1.813655e-05,1.807938e-05,1.802254e-05,1.796607e-05,1.790998e-05,1.785431e-05,1.779908e-05,1.774431e-05,1.769003e-05,1.763624e-05,1.758296e-05,1.753022e-05,1.747802e-05,1.742637e-05,1.737529e-05
0.000000e+00,8.754671e-10,2.575875e-09,1.271984e-08,3.639455e-08,5.875103e-08,1.641303e-07,1.702905e-07,3.834209e-07,4.665954e-07,7.375381e-07,1.035159e-06,1.274915e-06,1.969308e-06,2.039933e-06,3.075740e-06,3.368770e-06,4.416900e-06,5.308918e-06,6.081706e-06,7.815050e-06,8.070457e-06,1.036979e-05,1.086513e-05,1.295829e-05,1.441022e-05,1.581049e-05,1.839012e-05,1.889900e-05,2.219546e-05,2.274026e-05,2.567089e-05,2.739405e-05,2.929590e-05,3.228374e-05,3.304092e-05,3.687646e-05,3.734142e-05,4.077348e-05,4.250035e-05,4.470380e-05,4.769646e-05,4.864045e-05,5.255813e-05,5.287001e-05,5.643348e-05,5.796694e-05,6.024531e-05,6.293987e-05,6.397485e-05,6.760576e-05,6.774874e-05,7.112418e-05,7.236100e-05,7.451867e-05,7.675139e-05,7.778010e-05,8.090153e-05,8.387803e-05,8.479935e-05,8.670649e-05,8.843827e-05,8.938542e-05,9.181641e-05,9.191472e-05,9.429549e-05,9.493576e-05,9.652987e-05,9.780144e-05,9.862084e-05,1.004210e-04,1.005721e-04,1.023877e-04,1.028038e-04,1.040724e-04,1.049604e-04,1.056310e-04,1.069023e-04,1.070686e-04,1.083905e-04,1.086414e-04,1.096018e-04,1.101898e-04,1.107079e-04,1.115595e-04,1.117140e-04,1.126252e-04,1.127625e-04,1.134465e-04,1.138102e-04,1.141827e-04,1.147136e-04,1.148385e-04,1.154185e-04,1.154833e-04,1.159271e-04,1.161293e-04,1.163683e-04,1.166611e-04,1.167462e-04,1.170646e-04,1.170876e-04,1.173270e-04,1.174171e-04,1.175370e-04,1.176576e-04,1.176978e-04,1.178125e-04,1.178161e-04,1.178840e-04,1.178997e-04,1.179150e-04,1.179144e-04,1.179083e-04,1.178663e-04,1.177914e-04,1.177608e-04,1.176856e-04,1.176028e-04,1.175513e-04,1.173971e-04,1.173902e-04,1.172043e-04,1.171481e-04,1.169953e-04,1.168596e-04,1.167649e-04,1.165354e-04,1.165147e-04,1.162460e-04,1.161789e-04,1.159602e-04,1.157933e-04,1.156588e-04,1.153814e-04,1.153428e-04,1.150135e-04,1.149461e-04,1.146719e-04,1.144897e-04,1.143190e-04,1.140146e-04,1.139559e-04,1.135833e-04,1.135229e-04,1.132022e-04,1.130165e-04,1.128134e-04,1.124973e-04,1.124176e-04,1.120155e-04,1.119669e-04,1.116078e-04,1.114268e-04,1.111951e-04,1.108785e-04,1.107780e-04,1.103571e-04,1.103232e-04,1.099328e-04,1.097622e-04,1.095056e-04,1.091966e-04,1.090761e-04,1.086446e-04,1.086273e-04,1.082115e-04,1.080553e-04,1.077773e-04,1.074815e-04,1.073422e-04,1.069067e-04,1.063315e-04,1.057566e-04,1.051827e-04,1.046103e-04,1.040399e-04,1.034719e-04,1.029069e-04,1.023451e-04,1.017869e-04,1.012327e-04,1.006827e-04,1.001372e-04,9.959646e-05,9.906062e-05,9.852991e-05,9.800448e-05,9.748449e-05,9.697006e-05,9.646131e-05,9.595834e-05,9.546122e-05,9.497005e-05,9.448486e-05,9.400571e-05
0.000000e+00,7.605459e-10,1.779744e-09,6.232020e-09,1.422302e-08,2.072866e-08,4.663246e-08,4.801243e-08,9.143283e-08,1.069045e-07,1.540488e-07,2.020205e-07,2.386929e-07,3.382164e-07,3.479097e-07,4.836475e-07,5.202858e-07,6.465899e-07,7.492979e-07,8.353360e-07,1.019896e-06,1.046206e-06,1.274149e-06,1.321322e-06,1.513986e-06,1.641848e-06,1.761124e-06,1.971509e-06,2.011689e-06,2.262432e-06,2.302377e-06,2.510610e-06,2.628132e-06,2.753913e-06,2.943734e-06,2.990408e-06,3.218517e-06,3.245264e-06,3.436991e-06,3.529815e-06,3.644890e-06,3.795402e-06,3.841550e-06,4.026559e-06,4.040849e-06,4.199724e-06,4.265666e-06,4.361034e-06,4.469912e-06,4.510633e-06,4.648787e-06,4.654080e-06,4.775857e-06,4.818971e-06,4.892278e-06,4.965606e-06,4.998532e-06,5.095137e-06,5.182630e-06,5.208791e-06,5.261551e-06,5.307811e-06,5.332440e-06,5.393430e-06,5.395828e-06,5.452227e-06,5.466835e-06,5.502135e-06,5.529160e-06,5.546023e-06,5.581470e-06,5.584340e-06,5.617513e-06,5.624753e-06,5.645938e-06,5.659924e-06,5.669992e-06,5.687823e-06,5.690026e-06,5.706367e-06,5.709220e-06,5.719323e-06,5.724816e-06,5.729175e-06,5.735245e-06,5.736187e-06,5.740602e-06,5.741083e-06,5.742648e-06,5.742851e-06,5.742534e-06,5.741018e-06,5.740453e-06,5.736582e-06,5.736006e-06,5.731088e-06,5.728196e-06,5.724123e-06,5.717932e-06,5.715826e-06,5.706328e-06,5.705520e-06,5.695748e-06,5.691238e-06,5.684196e-06,5.675333e-06,5.671772e-06,5.658571e-06,5.658029e-06,5.644679e-06,5.639524e-06,5.630174e-06,5.619999e-06,5.615130e-06,5.599613e-06,5.583686e-06,5.578512e-06,5.567405e-06,5.556824e-06,5.550822e-06,5.534663e-06,5.533986e-06,5.516939e-06,5.512134e-06,5.499724e-06,5.489329e-06,5.482376e-06,5.466329e-06,5.464931e-06,5.447418e-06,5.443209e-06,5.429868e-06,5.420033e-06,5.412306e-06,5.396860e-06,5.394756e-06,5.377240e-06,5.373742e-06,5.359778e-06,5.350725e-06,5.342388e-06,5.327849e-06,5.325087e-06,5.307891e-06,5.305150e-06,5.290812e-06,5.282659e-06,5.273862e-06,5.260404e-06,5.257055e-06,5.240398e-06,5.238410e-06,5.223902e-06,5.216696e-06,5.207574e-06,5.195282e-06,5.191421e-06,5.175451e-06,5.174182e-06,5.159669e-06,5.153410e-06,5.144080e-06,5.132977e-06,5.128687e-06,5.113496e-06,5.112892e-06,5.098509e-06,5.093164e-06,5.083728e-06,5.073797e-06,5.069157e-06,5.054796e-06,5.036165e-06,5.017906e-06,5.000020e-06,4.982508e-06,4.965370e-06,4.948603e-06,4.932206e-06,4.916177e-06,4.900513e-06,4.885211e-06,4.870266e-06,4.855675e-06,4.841433e-06,4.827536e-06,4.813979e-06,4.800756e-06,4.787862e-06,4.775292e-06,4.763040e-06,4.751101e-06,4.739469e-06,4.728137e-06,4.717101e-06,4.706354e-06
0.000000e+00,1.295237e-09,3.598482e-09,1.593390e-08,4.171957e-08,6.439795e-08,1.621478e-07,1.675805e-07,3.457646e-07,4.118867e-07,6.196528e-07,8.390164e-07,1.011194e-06,1.494119e-06,1.542167e-06,2.228006e-06,2.416079e-06,3.069043e-06,3.602200e-06,4.048968e-06,5.006670e-06,5.143175e-06,6.327393e-06,6.573158e-06,7.581029e-06,8.254563e-06,8.886955e-06,1.001344e-05,1.023033e-05,1.159765e-05,1.181778e-05,1.297625e-05,1.363844e-05,1.435415e-05,1.544840e-05,1.572012e-05,1.706379e-05,1.722307e-05,1.837583e-05,1.894097e-05,1.964812e-05,2.058419e-05,2.087377e-05,2.204718e-05,2.213866e-05,2.316408e-05,2.359428e-05,2.422137e-05,2.494457e-05,2.521710e-05,2.615035e-05,2.618638e-05,2.702106e-05,2.731932e-05,2.782992e-05,2.834527e-05,2.857825e-05,2.926785e-05,2.990090e-05,3.009194e-05,3.047987e-05,3.082324e-05,3.100740e-05,3.146799e-05,3.148624e-05,3.191921e-05,3.203260e-05,3.230910e-05,3.252352e-05,3.265869e-05,3.294702e-05,3.297065e-05,3.324760e-05,3.330913e-05,3.349201e-05,3.361555e-05,3.370625e-05,3.387160e-05,3.389255e-05,3.405301e-05,3.408218e-05,3.418959e-05,3.425179e-05,3.430413e-05,3.438457e-05,3.439834e-05,3.447380e-05,3.448423e-05,3.453197e-05,3.455416e-05,3.457423e-05,3.459743e-05,3.460183e-05,3.461594e-05,3.461678e-05,3.461763e-05,3.461469e-05,3.460788e-05,3.459340e-05,3.458763e-05,3.455770e-05,3.455492e-05,3.451889e-05,3.450104e-05,3.447191e-05,3.443339e-05,3.441741e-05,3.435602e-05,3.435343e-05,3.428830e-05,3.426248e-05,3.421478e-05,3.416171e-05,3.413593e-05,3.405220e-05,3.396401e-05,3.393492e-05,3.387175e-05,3.381072e-05,3.377576e-05,3.368041e-05,3.367637e-05,3.357389e-05,3.354469e-05,3.346861e-05,3.340421e-05,3.336079e-05,3.325956e-05,3.325067e-05,3.313849e-05,3.311128e-05,3.302444e-05,3.295984e-05,3.290874e-05,3.280570e-05,3.279157e-05,3.267309e-05,3.264925e-05,3.255347e-05,3.249086e-05,3.243285e-05,3.233087e-05,3.231139e-05,3.218919e-05,3.216959e-05,3.206640e-05,3.200728e-05,3.194312e-05,3.184421e-05,3.181945e-05,3.169551e-05,3.168062e-05,3.157137e-05,3.151671e-05,3.144712e-05,3.135268e-05,3.132285e-05,3.119864e-05,3.118871e-05,3.107455e-05,3.102496e-05,3.095064e-05,3.086158e-05,3.082699e-05,3.070364e-05,3.069872e-05,3.058066e-05,3.053649e-05,3.045809e-05,3.037501e-05,3.033598e-05,3.021438e-05,3.005470e-05,2.989605e-05,2.973851e-05,2.958216e-05,2.942706e-05,2.927327e-05,2.912083e-05,2.896980e-05,2.882022e-05,2.867213e-05,2.852556e-05,2.838053e-05,2.823708e-05,2.809523e-05,2.795499e-05,2.781639e-05,2.767943e-05,2.754412e-05,2.741048e-05,2.727851e-05,2.714822e-05,2.701961e-05,2.689267e-05,2.676741e-05
0.000000e+00,6.181917e-09,1.830892e-08,9.160146e-08,2.650387e-07,4.303260e-07,1.218587e-06,1.264961e-06,2.879736e-06,3.513329e-06,5.583626e-06,7.862973e-06,9.700191e-06,1.501781e-05,1.555813e-05,2.347113e-05,2.570658e-05,3.369749e-05,4.049893e-05,4.639680e-05,5.965788e-05,6.161650e-05,7.930939e-05,8.313549e-05,9.935918e-05,1.106631e-04,1.216003e-04,1.418296e-04,1.458311e-04,1.718224e-04,1.761280e-04,1.993251e-04,2.129861e-04,2.280754e-04,2.517918e-04,2.578022e-04,2.882321e-04,2.919181e-04,3.190963e-04,3.327468e-04,3.501356e-04,3.736914e-04,3.811054e-04,4.117798e-04,4.142147e-04,4.419546e-04,4.538434e-04,4.714494e-04,4.921761e-04,5.001083e-04,5.278010e-04,5.288870e-04,5.544215e-04,5.637258e-04,5.798872e-04,5.965127e-04,6.041379e-04,6.271329e-04,6.488497e-04,6.555276e-04,6.692815e-04,6.816862e-04,6.884352e-04,7.056371e-04,7.063290e-04,7.229907e-04,7.274398e-04,7.384554e-04,7.471767e-04,7.527645e-04,7.649474e-04,7.659637e-04,7.781015e-04,7.808623e-04,7.892289e-04,7.950381e-04,7.993975e-04,8.075941e-04,8.086593e-04,8.170660e-04,8.186492e-04,8.246681e-04,8.283197e-04,8.315150e-04,8.367176e-04,8.376542e-04,8.431316e-04,8.439495e-04,8.479907e-04,8.501158e-04,8.522732e-04,8.553105e-04,8.560184e-04,8.592634e-04,8.596209e-04,8.620434e-04,8.631277e-04,8.643911e-04,8.659054e-04,8.663375e-04,8.679114e-04,8.680220e-04,8.691397e-04,8.695399e-04,8.700476e-04,8.705161e-04,8.706586e-04,8.709945e-04,8.710025e-04,8.710756e-04,8.710461e-04,8.709209e-04,8.706901e-04,8.705480e-04,8.699733e-04,8.692120e-04,8.689313e-04,8.682782e-04,8.675961e-04,8.671851e-04,8.659972e-04,8.659449e-04,8.645691e-04,8.641610e-04,8.630681e-04,8.621117e-04,8.614520e-04,8.598712e-04,8.597298e-04,8.579100e-04,8.574597e-04,8.560007e-04,8.548952e-04,8.540093e-04,8.521944e-04,8.519426e-04,8.498072e-04,8.493724e-04,8.476090e-04,8.464431e-04,8.453537e-04,8.434189e-04,8.430465e-04,8.406923e-04,8.403116e-04,8.382957e-04,8.371316e-04,8.358610e-04,8.338885e-04,8.333922e-04,8.308930e-04,8.305913e-04,8.283670e-04,8.272479e-04,8.258174e-04,8.238658e-04,8.232472e-04,8.206595e-04,8.204518e-04,8.180568e-04,8.170122e-04,8.154418e-04,8.135526e-04,8.128167e-04,8.101838e-04,8.100784e-04,8.075452e-04,8.065943e-04,8.049028e-04,8.031048e-04,8.022585e-04,7.996139e-04,7.961254e-04,7.926426e-04,7.891688e-04,7.857069e-04,7.822593e-04,7.788287e-04,7.754171e-04,7.720265e-04,7.686589e-04,7.653159e-04,7.619989e-04,7.587094e-04,7.554486e-04,7.522176e-04,7.490175e-04,7.458491e-04,7.427132e-04,7.396106e-04,7.365419e-04,7.335076e-04,7.305083e-04,7.275442e-04,7.246159e-04,7.217234e-04
0.000000e+00,8.460325e-09,2.515578e-08,1.268930e-07,3.699188e-07,6.031059e-07,1.726361e-06,1.792850e-06,4.125912e-06,5.048640e-06,8.084146e-06,1.145443e-05,1.418817e-05,2.216999e-05,2.298608e-05,3.502949e-05,3.846052e-05,5.081764e-05,6.143912e-05,7.071851e-05,9.178660e-05,9.491973e-05,1.234372e-04,1.296502e-04,1.561534e-04,1.747569e-04,1.928534e-04,2.265528e-04,2.332515e-04,2.770077e-04,2.842953e-04,3.237408e-04,3.471100e-04,3.730388e-04,4.140333e-04,4.244686e-04,4.775863e-04,4.840526e-04,5.319458e-04,5.561439e-04,5.871086e-04,6.293085e-04,6.426516e-04,6.981745e-04,7.026041e-04,7.533054e-04,7.751710e-04,8.077059e-04,8.462507e-04,8.610735e-04,9.131438e-04,9.151963e-04,9.636903e-04,9.814766e-04,1.012525e-03,1.044675e-03,1.059495e-03,1.104484e-03,1.147407e-03,1.160696e-03,1.188206e-03,1.213188e-03,1.226852e-03,1.261918e-03,1.263336e-03,1.297672e-03,1.306904e-03,1.329887e-03,1.348217e-03,1.360027e-03,1.385967e-03,1.388144e-03,1.414303e-03,1.420297e-03,1.438574e-03,1.451370e-03,1.461034e-03,1.479363e-03,1.481762e-03,1.500839e-03,1.504464e-03,1.518349e-03,1.526861e-03,1.534373e-03,1.546744e-03,1.548992e-03,1.562288e-03,1.564297e-03,1.574336e-03,1.579699e-03,1.585214e-03,1.593121e-03,1.594992e-03,1.603740e-03,1.604724e-03,1.611525e-03,1.614661e-03,1.618408e-03,1.623075e-03,1.624451e-03,1.629709e-03,1.630098e-03,1.634236e-03,1.635853e-03,1.638081e-03,1.640454e-03,1.641292e-03,1.643913e-03,1.644006e-03,1.645985e-03,1.646604e-03,1.647547e-03,1.648337e-03,1.648636e-03,1.649286e-03,1.649528e-03,1.649524e-03,1.649391e-03,1.649118e-03,1.648904e-03,1.648130e-03,1.648092e-03,1.646979e-03,1.646616e-03,1.645588e-03,1.644628e-03,1.643939e-03,1.642211e-03,1.642052e-03,1.639946e-03,1.639409e-03,1.637636e-03,1.636260e-03,1.635140e-03,1.632800e-03,1.632471e-03,1.629644e-03,1.629060e-03,1.626671e-03,1.625071e-03,1.623564e-03,1.620859e-03,1.620335e-03,1.616994e-03,1.616449e-03,1.613550e-03,1.611864e-03,1.610014e-03,1.607123e-03,1.606393e-03,1.602695e-03,1.602246e-03,1.598928e-03,1.597251e-03,1.595099e-03,1.592152e-03,1.591215e-03,1.587281e-03,1.586965e-03,1.583304e-03,1.581702e-03,1.579288e-03,1.576376e-03,1.575239e-03,1.571162e-03,1.570998e-03,1.567060e-03,1.565579e-03,1.562939e-03,1.560127e-03,1.558801e-03,1.554651e-03,1.549160e-03,1.543660e-03,1.538159e-03,1.532662e-03,1.527175e-03,1.521704e-03,1.516252e-03,1.510825e-03,1.505426e-03,1.500059e-03,1.494727e-03,1.489433e-03,1.484181e-03,1.478972e-03,1.473808e-03,1.468692e-03,1.463626e-03,1.458611e-03,1.453649e-03,1.448741e-03,1.443888e-03,1.439092e-03,1.434352e-03,1.429671e-03
0.000000e+00,2.110731e-09,4.892581e-09,1.706601e-08,3.913487e-08,5.729461e-08,1.310318e-07,1.350176e-07,2.630295e-07,3.097726e-07,4.555258e-07,6.085777e-07,7.285198e-07,1.065110e-06,1.098646e-06,1.578759e-06,1.710963e-06,2.172187e-06,2.551777e-06,2.872263e-06,3.567642e-06,3.667760e-06,4.547594e-06,4.732815e-06,5.502206e-06,6.025361e-06,6.523272e-06,7.426699e-06,7.603116e-06,8.734285e-06,8.919539e-06,9.909344e-06,1.048677e-05,1.112082e-05,1.211121e-05,1.236125e-05,1.362329e-05,1.377584e-05,1.489978e-05,1.546424e-05,1.618391e-05,1.716103e-05,1.746931e-05,1.875009e-05,1.885219e-05,2.002091e-05,2.052537e-05,2.127702e-05,2.216993e-05,2.251423e-05,2.372893e-05,2.377701e-05,2.491807e-05,2.533940e-05,2.607910e-05,2.685147e-05,2.720996e-05,2.830901e-05,2.937503e-05,2.970902e-05,3.040711e-05,3.104955e-05,3.140467e-05,3.232956e-05,3.236740e-05,3.329519e-05,3.354872e-05,3.418814e-05,3.470729e-05,3.504651e-05,3.580602e-05,3.587071e-05,3.666124e-05,3.684602e-05,3.741870e-05,3.782869e-05,3.814377e-05,3.875563e-05,3.883719e-05,3.949974e-05,3.962862e-05,4.013223e-05,4.044952e-05,4.073549e-05,4.122025e-05,4.131035e-05,4.185768e-05,4.194276e-05,4.237834e-05,4.261903e-05,4.287317e-05,4.325101e-05,4.334302e-05,4.378874e-05,4.384065e-05,4.421115e-05,4.438983e-05,4.461106e-05,4.490044e-05,4.498927e-05,4.534656e-05,4.537426e-05,4.568370e-05,4.581307e-05,4.600142e-05,4.621857e-05,4.630045e-05,4.658151e-05,4.659239e-05,4.684527e-05,4.693612e-05,4.709240e-05,4.725128e-05,4.732355e-05,4.753935e-05,4.774040e-05,4.780172e-05,4.792730e-05,4.803975e-05,4.810061e-05,4.825472e-05,4.826089e-05,4.840867e-05,4.844788e-05,4.854446e-05,4.862040e-05,4.866877e-05,4.877341e-05,4.878208e-05,4.888484e-05,4.890799e-05,4.897752e-05,4.902517e-05,4.906054e-05,4.912594e-05,4.913432e-05,4.919926e-05,4.921123e-05,4.925576e-05,4.928193e-05,4.930419e-05,4.933889e-05,4.934490e-05,4.937825e-05,4.938292e-05,4.940457e-05,4.941480e-05,4.942419e-05,4.943526e-05,4.943741e-05,4.944453e-05,4.944499e-05,4.944585e-05,4.944466e-05,4.944163e-05,4.943490e-05,4.943215e-05,4.941767e-05,4.941630e-05,4.939842e-05,4.938944e-05,4.937465e-05,4.935487e-05,4.934659e-05,4.931445e-05,4.931308e-05,4.927844e-05,4.926457e-05,4.923877e-05,4.920980e-05,4.919563e-05,4.914921e-05,4.908322e-05,4.901222e-05,4.893658e-05,4.885665e-05,4.877278e-05,4.868528e-05,4.859445e-05,4.850057e-05,4.840392e-05,4.830474e-05,4.820328e-05,4.809976e-05,4.799441e-05,4.788741e-05,4.777897e-05,4.766926e-05,4.755845e-05,4.744671e-05,4.733418e-05,4.722100e-05,4.710732e-05,4.699325e-05,4.687892e-05,4.676443e-05
0.000000e+00,2.081853e-09,4.758917e-09,1.630126e-08,3.694994e-08,5.380036e-08,1.214897e-07,1.251241e-07,2.409546e-07,2.829024e-07,4.127989e-07,5.479650e-07,6.531134e-07,9.447622e-07,9.735448e-07,1.380091e-06,1.490246e-06,1.868881e-06,2.174508e-06,2.428860e-06,2.970796e-06,3.047820e-06,3.715273e-06,3.853790e-06,4.422460e-06,4.803311e-06,5.161654e-06,5.802028e-06,5.925643e-06,6.707480e-06,6.833778e-06,7.500433e-06,7.883088e-06,8.298036e-06,8.935351e-06,9.094187e-06,9.883245e-06,9.977207e-06,1.066012e-05,1.099690e-05,1.142032e-05,1.198453e-05,1.216000e-05,1.287597e-05,1.293214e-05,1.356564e-05,1.383368e-05,1.422702e-05,1.468488e-05,1.485869e-05,1.545967e-05,1.548306e-05,1.602943e-05,1.622686e-05,1.656782e-05,1.691606e-05,1.707497e-05,1.755130e-05,1.799742e-05,1.813392e-05,1.841410e-05,1.866575e-05,1.880226e-05,1.914898e-05,1.916289e-05,1.949706e-05,1.958604e-05,1.980588e-05,1.997947e-05,2.009047e-05,2.033189e-05,2.035199e-05,2.059155e-05,2.064591e-05,2.081029e-05,2.092409e-05,2.100929e-05,2.116893e-05,2.118961e-05,2.135230e-05,2.138281e-05,2.149834e-05,2.156802e-05,2.162869e-05,2.172674e-05,2.174427e-05,2.184596e-05,2.186099e-05,2.193458e-05,2.197271e-05,2.201094e-05,2.206370e-05,2.207579e-05,2.212985e-05,2.213564e-05,2.217380e-05,2.219011e-05,2.220829e-05,2.222855e-05,2.223393e-05,2.225129e-05,2.225234e-05,2.226092e-05,2.226273e-05,2.226334e-05,2.226089e-05,2.225903e-05,2.224846e-05,2.224792e-05,2.223206e-05,2.222480e-05,2.221023e-05,2.219248e-05,2.218336e-05,2.215182e-05,2.211594e-05,2.210360e-05,2.207605e-05,2.204856e-05,2.203245e-05,2.198738e-05,2.198543e-05,2.193526e-05,2.192068e-05,2.188219e-05,2.184905e-05,2.182645e-05,2.177301e-05,2.176827e-05,2.170786e-05,2.169305e-05,2.164542e-05,2.160963e-05,2.158113e-05,2.152317e-05,2.151517e-05,2.144770e-05,2.143404e-05,2.137888e-05,2.134261e-05,2.130885e-05,2.124919e-05,2.123775e-05,2.116569e-05,2.115408e-05,2.109281e-05,2.105757e-05,2.101922e-05,2.095989e-05,2.094501e-05,2.087029e-05,2.086129e-05,2.079515e-05,2.076198e-05,2.071967e-05,2.066214e-05,2.064395e-05,2.056804e-05,2.056196e-05,2.049203e-05,2.046161e-05,2.041597e-05,2.036122e-05,2.033993e-05,2.026397e-05,2.026094e-05,2.018814e-05,2.016089e-05,2.011250e-05,2.006118e-05,2.003707e-05,1.996192e-05,1.986320e-05,1.976510e-05,1.966770e-05,1.957107e-05,1.947527e-05,1.938035e-05,1.928638e-05,1.919338e-05,1.910141e-05,1.901048e-05,1.892065e-05,1.883192e-05,1.874433e-05,1.865789e-05,1.857262e-05,1.848853e-05,1.840563e-05,1.832394e-05,1.824345e-05,1.816418e-05,1.808612e-05,1.800927e-05,1.793363e-05,1.785921e-05
0.000000e+00,3.359265e-09,7.676500e-09,2.633486e-08,5.983771e-08,8.725978e-08,1.979089e-07,2.038676e-07,3.944381e-07,4.637091e-07,6.788127e-07,9.032261e-07,1.077902e-06,1.561005e-06,1.608482e-06,2.274320e-06,2.453357e-06,3.066094e-06,3.559578e-06,3.970750e-06,4.851095e-06,4.976850e-06,6.074585e-06,6.304307e-06,7.254607e-06,7.897564e-06,8.507285e-06,9.608236e-06,9.822417e-06,1.118927e-05,1.141204e-05,1.259680e-05,1.328360e-05,1.403391e-05,1.519757e-05,1.548973e-05,1.695389e-05,1.712968e-05,1.841672e-05,1.905765e-05,1.986943e-05,2.096184e-05,2.130415e-05,2.271402e-05,2.282555e-05,2.409319e-05,2.463514e-05,2.543679e-05,2.637989e-05,2.674085e-05,2.800226e-05,2.805179e-05,2.921866e-05,2.964520e-05,3.038837e-05,3.115654e-05,3.151032e-05,3.258392e-05,3.360902e-05,3.392684e-05,3.458584e-05,3.518589e-05,3.551488e-05,3.636251e-05,3.639690e-05,3.723284e-05,3.745879e-05,3.802378e-05,3.847726e-05,3.877096e-05,3.942080e-05,3.947564e-05,4.013920e-05,4.029249e-05,4.076303e-05,4.109554e-05,4.134853e-05,4.183321e-05,4.189714e-05,4.241028e-05,4.250877e-05,4.288935e-05,4.312546e-05,4.333573e-05,4.368644e-05,4.375080e-05,4.413589e-05,4.419481e-05,4.449229e-05,4.465355e-05,4.482127e-05,4.506554e-05,4.512405e-05,4.540183e-05,4.543354e-05,4.565575e-05,4.576021e-05,4.588692e-05,4.604806e-05,4.609642e-05,4.628526e-05,4.629951e-05,4.645445e-05,4.651684e-05,4.660495e-05,4.670224e-05,4.673765e-05,4.685346e-05,4.685775e-05,4.695321e-05,4.698534e-05,4.703771e-05,4.708686e-05,4.710774e-05,4.716406e-05,4.720736e-05,4.721858e-05,4.723833e-05,4.725199e-05,4.725763e-05,4.726576e-05,4.726589e-05,4.726369e-05,4.726128e-05,4.725162e-05,4.723987e-05,4.723022e-05,4.720274e-05,4.720001e-05,4.716150e-05,4.715108e-05,4.711516e-05,4.708596e-05,4.706144e-05,4.700842e-05,4.700079e-05,4.693361e-05,4.691942e-05,4.686030e-05,4.681988e-05,4.678124e-05,4.671065e-05,4.669679e-05,4.660729e-05,4.659253e-05,4.651308e-05,4.646627e-05,4.641446e-05,4.633259e-05,4.631173e-05,4.620517e-05,4.619214e-05,4.609506e-05,4.604555e-05,4.598164e-05,4.589339e-05,4.586518e-05,4.574589e-05,4.573623e-05,4.562400e-05,4.557456e-05,4.549972e-05,4.540888e-05,4.537326e-05,4.524480e-05,4.523962e-05,4.511452e-05,4.506721e-05,4.498260e-05,4.489204e-05,4.484920e-05,4.471447e-05,4.453485e-05,4.435350e-05,4.417072e-05,4.398678e-05,4.380195e-05,4.361646e-05,4.343053e-05,4.324439e-05,4.305822e-05,4.287220e-05,4.268650e-05,4.250128e-05,4.231667e-05,4.213281e-05,4.194982e-05,4.176781e-05,4.158689e-05,4.140715e-05,4.122867e-05,4.105155e-05,4.087585e-05,4.070164e-05,4.052897e-05,4.035790e-05
0.000000e+00,5.618428e-09,1.296853e-08,4.500925e-08,1.029421e-07,1.505638e-07,3.438754e-07,3.543276e-07,6.903678e-07,8.132491e-07,1.196933e-06,1.600354e-06,1.916538e-06,2.801446e-06,2.889259e-06,4.135246e-06,4.474082e-06,5.640903e-06,6.584384e-06,7.370461e-06,9.048005e-06,9.286745e-06,1.135919e-05,1.179014e-05,1.356272e-05,1.475295e-05,1.587521e-05,1.788664e-05,1.827582e-05,2.074438e-05,2.114434e-05,2.326130e-05,2.448102e-05,2.580773e-05,2.785417e-05,2.836595e-05,3.091954e-05,3.122494e-05,3.345371e-05,3.455914e-05,3.595533e-05,3.782775e-05,3.841305e-05,4.081723e-05,4.100700e-05,4.315988e-05,4.407823e-05,4.543459e-05,4.702742e-05,4.763629e-05,4.976113e-05,4.984449e-05,5.180642e-05,5.252287e-05,5.377036e-05,5.505884e-05,5.565197e-05,5.745098e-05,5.916765e-05,5.969970e-05,6.080272e-05,6.180685e-05,6.235732e-05,6.377535e-05,6.383287e-05,6.523105e-05,6.560893e-05,6.655373e-05,6.731193e-05,6.780292e-05,6.888909e-05,6.898074e-05,7.008937e-05,7.034539e-05,7.113102e-05,7.168594e-05,7.210797e-05,7.291594e-05,7.302246e-05,7.387677e-05,7.404061e-05,7.467313e-05,7.506507e-05,7.541375e-05,7.599441e-05,7.610083e-05,7.673649e-05,7.683356e-05,7.732283e-05,7.758737e-05,7.786192e-05,7.826049e-05,7.835573e-05,7.880623e-05,7.885747e-05,7.921530e-05,7.938264e-05,7.958478e-05,7.984021e-05,7.991646e-05,8.021206e-05,8.023420e-05,8.047326e-05,8.056847e-05,8.070167e-05,8.084670e-05,8.089885e-05,8.106633e-05,8.107243e-05,8.120554e-05,8.124901e-05,8.131790e-05,8.137966e-05,8.140477e-05,8.146743e-05,8.150716e-05,8.151523e-05,8.152516e-05,8.152581e-05,8.152258e-05,8.150179e-05,8.150055e-05,8.146014e-05,8.144567e-05,8.140237e-05,8.135979e-05,8.132824e-05,8.124640e-05,8.123869e-05,8.113463e-05,8.110759e-05,8.101693e-05,8.094537e-05,8.088643e-05,8.076163e-05,8.074392e-05,8.059018e-05,8.055814e-05,8.042592e-05,8.033659e-05,8.025186e-05,8.009857e-05,8.006867e-05,7.987697e-05,7.984555e-05,7.967739e-05,7.957896e-05,7.947051e-05,7.930011e-05,7.925687e-05,7.903703e-05,7.901025e-05,7.881148e-05,7.871055e-05,7.858070e-05,7.840210e-05,7.834515e-05,7.810528e-05,7.808592e-05,7.786151e-05,7.776299e-05,7.761421e-05,7.743420e-05,7.736379e-05,7.711058e-05,7.710040e-05,7.685494e-05,7.676238e-05,7.659719e-05,7.642087e-05,7.633763e-05,7.607656e-05,7.573009e-05,7.538206e-05,7.503302e-05,7.468349e-05,7.433393e-05,7.398480e-05,7.363651e-05,7.328942e-05,7.294388e-05,7.260023e-05,7.225874e-05,7.191969e-05,7.158333e-05,7.124987e-05,7.091953e-05,7.059248e-05,7.026890e-05,6.994892e-05,6.963270e-05,6.932033e-05,6.901193e-05,6.870759e-05,6.840739e-05,6.811139e-05
0.000000e+00,1.543003e-09,3.528766e-09,1.212951e-08,2.764730e-08,4.041981e-08,9.259417e-08,9.543204e-08,1.876206e-07,2.217809e-07,3.298921e-07,4.457784e-07,5.381013e-07,8.033091e-07,8.301800e-07,1.222511e-06,1.332756e-06,1.723046e-06,2.048787e-06,2.325265e-06,2.924251e-06,3.009995e-06,3.753942e-06,3.907949e-06,4.536629e-06,4.953585e-06,5.342492e-06,6.028943e-06,6.160199e-06,6.981359e-06,7.112613e-06,7.799509e-06,8.189588e-06,8.609449e-06,9.248563e-06,9.406860e-06,1.018811e-05,1.028062e-05,1.095013e-05,1.127866e-05,1.169038e-05,1.223713e-05,1.240680e-05,1.309773e-05,1.315187e-05,1.376194e-05,1.401994e-05,1.439856e-05,1.483953e-05,1.500705e-05,1.558716e-05,1.560977e-05,1.613889e-05,1.633060e-05,1.666245e-05,1.700258e-05,1.715825e-05,1.762681e-05,1.806878e-05,1.820472e-05,1.848492e-05,1.873806e-05,1.887603e-05,1.922875e-05,1.924297e-05,1.958663e-05,1.967881e-05,1.990791e-05,2.009032e-05,2.020772e-05,2.046537e-05,2.048698e-05,2.074658e-05,2.080606e-05,2.098741e-05,2.111439e-05,2.121033e-05,2.139236e-05,2.141619e-05,2.160582e-05,2.164187e-05,2.178000e-05,2.186472e-05,2.193950e-05,2.206267e-05,2.208505e-05,2.221737e-05,2.223736e-05,2.233714e-05,2.239037e-05,2.244502e-05,2.252317e-05,2.254162e-05,2.262755e-05,2.263717e-05,2.270337e-05,2.273368e-05,2.276965e-05,2.281395e-05,2.282689e-05,2.287559e-05,2.287914e-05,2.291624e-05,2.293035e-05,2.294928e-05,2.296860e-05,2.297515e-05,2.299425e-05,2.299488e-05,2.300697e-05,2.301006e-05,2.301369e-05,2.301502e-05,2.301477e-05,2.301053e-05,2.300129e-05,2.299733e-05,2.298737e-05,2.297613e-05,2.296905e-05,2.294757e-05,2.294660e-05,2.292029e-05,2.291226e-05,2.289035e-05,2.287076e-05,2.285704e-05,2.282360e-05,2.282057e-05,2.278115e-05,2.277127e-05,2.273898e-05,2.271424e-05,2.269426e-05,2.265294e-05,2.264717e-05,2.259787e-05,2.258776e-05,2.254652e-05,2.251907e-05,2.249330e-05,2.244723e-05,2.243833e-05,2.238176e-05,2.237257e-05,2.232372e-05,2.229537e-05,2.226433e-05,2.221592e-05,2.220371e-05,2.214197e-05,2.213449e-05,2.207922e-05,2.205132e-05,2.201556e-05,2.196662e-05,2.195108e-05,2.188587e-05,2.188062e-05,2.182001e-05,2.179351e-05,2.175359e-05,2.170546e-05,2.168668e-05,2.161935e-05,2.161665e-05,2.155167e-05,2.152723e-05,2.148370e-05,2.143735e-05,2.141550e-05,2.134713e-05,2.125670e-05,2.116618e-05,2.107568e-05,2.098528e-05,2.089508e-05,2.080516e-05,2.071560e-05,2.062646e-05,2.053782e-05,2.044972e-05,2.036223e-05,2.027539e-05,2.018924e-05,2.010383e-05,2.001919e-05,1.993536e-05,1.985236e-05,1.977022e-05,1.968897e-05,1.960862e-05,1.952919e-05,1.945070e-05,1.937317e-05,1.929660e-05
0.000000e+00,8.478103e-10,2.429648e-09,1.142115e-08,3.146197e-08,4.989663e-08,1.346895e-07,1.396018e-07,3.095317e-07,3.762868e-07,5.961072e-07,8.403902e-07,1.037528e-06,1.599851e-06,1.655919e-06,2.450201e-06,2.665737e-06,3.408655e-06,4.012655e-06,4.519655e-06,5.616281e-06,5.774140e-06,7.164554e-06,7.458298e-06,8.683367e-06,9.521131e-06,1.032210e-05,1.178415e-05,1.207090e-05,1.391854e-05,1.422251e-05,1.585259e-05,1.680778e-05,1.785986e-05,1.950924e-05,1.992672e-05,2.203954e-05,2.229553e-05,2.418504e-05,2.513612e-05,2.635056e-05,2.800246e-05,2.852432e-05,3.069552e-05,3.086880e-05,3.285445e-05,3.371264e-05,3.499256e-05,3.651487e-05,3.710239e-05,3.917755e-05,3.925975e-05,4.121267e-05,4.193463e-05,4.320331e-05,4.452967e-05,4.514587e-05,4.703748e-05,4.887595e-05,4.945276e-05,5.065965e-05,5.177194e-05,5.238746e-05,5.399293e-05,5.405868e-05,5.567297e-05,5.611476e-05,5.723031e-05,5.813745e-05,5.873091e-05,6.006173e-05,6.017522e-05,6.156385e-05,6.188892e-05,6.289757e-05,6.362079e-05,6.417726e-05,6.525946e-05,6.540389e-05,6.657853e-05,6.680731e-05,6.770228e-05,6.826690e-05,6.877630e-05,6.964092e-05,6.980178e-05,7.077995e-05,7.093215e-05,7.171204e-05,7.214343e-05,7.259928e-05,7.327762e-05,7.344292e-05,7.424421e-05,7.433758e-05,7.500438e-05,7.532615e-05,7.572467e-05,7.624616e-05,7.640629e-05,7.705044e-05,7.710039e-05,7.765831e-05,7.789156e-05,7.823106e-05,7.862235e-05,7.876985e-05,7.927580e-05,7.929537e-05,7.975002e-05,7.991318e-05,8.019359e-05,8.047825e-05,8.060756e-05,8.099299e-05,8.135087e-05,8.145974e-05,8.168221e-05,8.188078e-05,8.198796e-05,8.225829e-05,8.226907e-05,8.252646e-05,8.259440e-05,8.276102e-05,8.289115e-05,8.297361e-05,8.315053e-05,8.316509e-05,8.333627e-05,8.337443e-05,8.348797e-05,8.356469e-05,8.362095e-05,8.372309e-05,8.373597e-05,8.383376e-05,8.385132e-05,8.391504e-05,8.395101e-05,8.398050e-05,8.402374e-05,8.403079e-05,8.406658e-05,8.407100e-05,8.408848e-05,8.409425e-05,8.409712e-05,8.409487e-05,8.409307e-05,8.407691e-05,8.407418e-05,8.404919e-05,8.403347e-05,8.401044e-05,8.397393e-05,8.396118e-05,8.390191e-05,8.389675e-05,8.383311e-05,8.380302e-05,8.375524e-05,8.369382e-05,8.366877e-05,8.357411e-05,8.357016e-05,8.347170e-05,8.343301e-05,8.336194e-05,8.328330e-05,8.324521e-05,8.312191e-05,8.294967e-05,8.276740e-05,8.257585e-05,8.237575e-05,8.216779e-05,8.195263e-05,8.173090e-05,8.150318e-05,8.127005e-05,8.103202e-05,8.078963e-05,8.054333e-05,8.029359e-05,8.004084e-05,7.978548e-05,7.952790e-05,7.926847e-05,7.900752e-05,7.874538e-05,7.848236e-05,7.821875e-05,7.795480e-05,7.769079e-05,7.742694e-05
0.000000e+00,1.429153e-09,4.243237e-09,2.134296e-08,6.207469e-08,1.010919e-07,2.887261e-07,2.998255e-07,6.892537e-07,8.433192e-07,1.350482e-06,1.914123e-06,2.371596e-06,3.707643e-06,3.844206e-06,5.856745e-06,6.428785e-06,8.482656e-06,1.023867e-05,1.176452e-05,1.519532e-05,1.570113e-05,2.024646e-05,2.122197e-05,2.532061e-05,2.813578e-05,3.082495e-05,3.570443e-05,3.665479e-05,4.270759e-05,4.369022e-05,4.888780e-05,5.187389e-05,5.510936e-05,6.006536e-05,6.129689e-05,6.738600e-05,6.810742e-05,7.332309e-05,7.587574e-05,7.906484e-05,8.327675e-05,8.457737e-05,8.983538e-05,9.024445e-05,9.482116e-05,9.673655e-05,9.952353e-05,1.027304e-04,1.039369e-04,1.080602e-04,1.082192e-04,1.118964e-04,1.132082e-04,1.154513e-04,1.177120e-04,1.187330e-04,1.217515e-04,1.245182e-04,1.253523e-04,1.270450e-04,1.285421e-04,1.293446e-04,1.313504e-04,1.314298e-04,1.333135e-04,1.338066e-04,1.350083e-04,1.359397e-04,1.365266e-04,1.377777e-04,1.378802e-04,1.390807e-04,1.393472e-04,1.401389e-04,1.406732e-04,1.410652e-04,1.417790e-04,1.418693e-04,1.425606e-04,1.426860e-04,1.431475e-04,1.434141e-04,1.436381e-04,1.439814e-04,1.440400e-04,1.443602e-04,1.444043e-04,1.446051e-04,1.446978e-04,1.447809e-04,1.448755e-04,1.448931e-04,1.449468e-04,1.449496e-04,1.449470e-04,1.449313e-04,1.448981e-04,1.448305e-04,1.448040e-04,1.446688e-04,1.446563e-04,1.444958e-04,1.444167e-04,1.442882e-04,1.441191e-04,1.440492e-04,1.437814e-04,1.437701e-04,1.434874e-04,1.433756e-04,1.431695e-04,1.429408e-04,1.428299e-04,1.424707e-04,1.420937e-04,1.419695e-04,1.417005e-04,1.414412e-04,1.412929e-04,1.408892e-04,1.408722e-04,1.404398e-04,1.403168e-04,1.399969e-04,1.397267e-04,1.395449e-04,1.391217e-04,1.390846e-04,1.386171e-04,1.385040e-04,1.381434e-04,1.378757e-04,1.376643e-04,1.372388e-04,1.371805e-04,1.366929e-04,1.365950e-04,1.362021e-04,1.359458e-04,1.357087e-04,1.352927e-04,1.352134e-04,1.347166e-04,1.346370e-04,1.342189e-04,1.339798e-04,1.337207e-04,1.333222e-04,1.332225e-04,1.327247e-04,1.326651e-04,1.322277e-04,1.320093e-04,1.317318e-04,1.313558e-04,1.312372e-04,1.307444e-04,1.307051e-04,1.302536e-04,1.300579e-04,1.297650e-04,1.294148e-04,1.292790e-04,1.287956e-04,1.287763e-04,1.283151e-04,1.281429e-04,1.278377e-04,1.275149e-04,1.273635e-04,1.268928e-04,1.262768e-04,1.256674e-04,1.250646e-04,1.244689e-04,1.238803e-04,1.232990e-04,1.227253e-04,1.221591e-04,1.216007e-04,1.210502e-04,1.205075e-04,1.199728e-04,1.194461e-04,1.189274e-04,1.184167e-04,1.179141e-04,1.174195e-04,1.169330e-04,1.164545e-04,1.159839e-04,1.155213e-04,1.150666e-04,1.146196e-04,1.141805e-04
0.000000e+00,2.280623e-10,6.652597e-10,3.224521e-09,9.062280e-09,1.447950e-08,3.932661e-08,4.075366e-08,8.898126e-08,1.073278e-07,1.657407e-07,2.280223e-07,2.770533e-07,4.145977e-07,4.282755e-07,6.237584e-07,6.775909e-07,8.659701e-07,1.021971e-06,1.154408e-06,1.443583e-06,1.485357e-06,1.852787e-06,1.930032e-06,2.249584e-06,2.465089e-06,2.668434e-06,3.032144e-06,3.102293e-06,3.544576e-06,3.615712e-06,3.989238e-06,4.201888e-06,4.430794e-06,4.778491e-06,4.864347e-06,5.285605e-06,5.335150e-06,5.690912e-06,5.863392e-06,6.077250e-06,6.356700e-06,6.442250e-06,6.784163e-06,6.810480e-06,7.101835e-06,7.221962e-06,7.394654e-06,7.590007e-06,7.662494e-06,7.905642e-06,7.914862e-06,8.124734e-06,8.197886e-06,8.320680e-06,8.441267e-06,8.494601e-06,8.647767e-06,8.781540e-06,8.820482e-06,8.897332e-06,8.962660e-06,8.996565e-06,9.077547e-06,9.080636e-06,9.150901e-06,9.168279e-06,9.208650e-06,9.237800e-06,9.255098e-06,9.288825e-06,9.291379e-06,9.318540e-06,9.323810e-06,9.337541e-06,9.344947e-06,9.349258e-06,9.354174e-06,9.354483e-06,9.353932e-06,9.353187e-06,9.348250e-06,9.343461e-06,9.338012e-06,9.326270e-06,9.323734e-06,9.305876e-06,9.302714e-06,9.284848e-06,9.273738e-06,9.261017e-06,9.240153e-06,9.234707e-06,9.206209e-06,9.202655e-06,9.175783e-06,9.161844e-06,9.143657e-06,9.118233e-06,9.110039e-06,9.075114e-06,9.072268e-06,9.039045e-06,9.024332e-06,9.001983e-06,8.974758e-06,8.964060e-06,8.925396e-06,8.923835e-06,8.886099e-06,8.871817e-06,8.846269e-06,8.818925e-06,8.805993e-06,8.765352e-06,8.724419e-06,8.711270e-06,8.683262e-06,8.656831e-06,8.641939e-06,8.602167e-06,8.600508e-06,8.559018e-06,8.547397e-06,8.517516e-06,8.492627e-06,8.476044e-06,8.437950e-06,8.434641e-06,8.393341e-06,8.383448e-06,8.352177e-06,8.329196e-06,8.311179e-06,8.275260e-06,8.270374e-06,8.229787e-06,8.221698e-06,8.189440e-06,8.168561e-06,8.149353e-06,8.115896e-06,8.109546e-06,8.070036e-06,8.063743e-06,8.030838e-06,8.012138e-06,7.991966e-06,7.961112e-06,7.953433e-06,7.915250e-06,7.910692e-06,7.877428e-06,7.860902e-06,7.839975e-06,7.811764e-06,7.802901e-06,7.766211e-06,7.763293e-06,7.729913e-06,7.715505e-06,7.694013e-06,7.668413e-06,7.658514e-06,7.623421e-06,7.622026e-06,7.588738e-06,7.576352e-06,7.554466e-06,7.531398e-06,7.520609e-06,7.487168e-06,7.443665e-06,7.400891e-06,7.358846e-06,7.317529e-06,7.276938e-06,7.237070e-06,7.197921e-06,7.159487e-06,7.121763e-06,7.084742e-06,7.048419e-06,7.012787e-06,6.977837e-06,6.943563e-06,6.909957e-06,6.877009e-06,6.844711e-06,6.813055e-06,6.782031e-06,6.751630e-06,6.721842e-06,6.692659e-06,6.664071e-06,6.636067e-06
0.000000e+00,8.012370e-09,1.842391e-08,6.347460e-08,1.442147e-07,2.101474e-07,4.751863e-07,4.894235e-07,9.434515e-07,1.107994e-06,1.617761e-06,2.148230e-06,2.560559e-06,3.700563e-06,3.812673e-06,5.387207e-06,5.811019e-06,7.260136e-06,8.422959e-06,9.387189e-06,1.143381e-05,1.172399e-05,1.423280e-05,1.475230e-05,1.688139e-05,1.830415e-05,1.964062e-05,2.202372e-05,2.248298e-05,2.538189e-05,2.584925e-05,2.831181e-05,2.972198e-05,3.124839e-05,3.358713e-05,3.416893e-05,3.705273e-05,3.739541e-05,3.988137e-05,4.110431e-05,4.263893e-05,4.467878e-05,4.531199e-05,4.788962e-05,4.809144e-05,5.036327e-05,5.132213e-05,5.272664e-05,5.435753e-05,5.497548e-05,5.710729e-05,5.719011e-05,5.912109e-05,5.981719e-05,6.101723e-05,6.224018e-05,6.279729e-05,6.446338e-05,6.601832e-05,6.649300e-05,6.746569e-05,6.833731e-05,6.880932e-05,7.000544e-05,7.005335e-05,7.120213e-05,7.150732e-05,7.226007e-05,7.285308e-05,7.323161e-05,7.405285e-05,7.412110e-05,7.493289e-05,7.511663e-05,7.567122e-05,7.605414e-05,7.634020e-05,7.687470e-05,7.694381e-05,7.748586e-05,7.758721e-05,7.797001e-05,7.820005e-05,7.839976e-05,7.872115e-05,7.877844e-05,7.910921e-05,7.915790e-05,7.939509e-05,7.951720e-05,7.963891e-05,7.980550e-05,7.984336e-05,8.001100e-05,8.002876e-05,8.014424e-05,8.019255e-05,8.024533e-05,8.030198e-05,8.031642e-05,8.035953e-05,8.036183e-05,8.037655e-05,8.037646e-05,8.036928e-05,8.034994e-05,8.033939e-05,8.028847e-05,8.028601e-05,8.021800e-05,8.018813e-05,8.012940e-05,8.005946e-05,8.002397e-05,7.990294e-05,7.976749e-05,7.972128e-05,7.961870e-05,7.951695e-05,7.945760e-05,7.929226e-05,7.928515e-05,7.910226e-05,7.904930e-05,7.890977e-05,7.879001e-05,7.870849e-05,7.851619e-05,7.849916e-05,7.828249e-05,7.822946e-05,7.805913e-05,7.793136e-05,7.782970e-05,7.762325e-05,7.759479e-05,7.735493e-05,7.730641e-05,7.711065e-05,7.698203e-05,7.686241e-05,7.665117e-05,7.661067e-05,7.635585e-05,7.631482e-05,7.609834e-05,7.597389e-05,7.583852e-05,7.562922e-05,7.557672e-05,7.531328e-05,7.528157e-05,7.504850e-05,7.493164e-05,7.478266e-05,7.458007e-05,7.451602e-05,7.424884e-05,7.422745e-05,7.398135e-05,7.387432e-05,7.371377e-05,7.352116e-05,7.344629e-05,7.317911e-05,7.316843e-05,7.291240e-05,7.281653e-05,7.264633e-05,7.246585e-05,7.238106e-05,7.211671e-05,7.176943e-05,7.142429e-05,7.108154e-05,7.074141e-05,7.040410e-05,7.006981e-05,6.973870e-05,6.941091e-05,6.908659e-05,6.876584e-05,6.844877e-05,6.813547e-05,6.782603e-05,6.752049e-05,6.721893e-05,6.692138e-05,6.662789e-05,6.633849e-05,6.605320e-05,6.577204e-05,6.549502e-05,6.522214e-05,6.495341e-05,6.468881e-05
0.000000e+00,7.792917e-09,1.786105e-08,6.161902e-08,1.410757e-07,2.069381e-07,4.799792e-07,4.950018e-07,9.911479e-07,1.178408e-06,1.779706e-06,2.432999e-06,2.955192e-06,4.436791e-06,4.584078e-06,6.652985e-06,7.205920e-06,9.073333e-06,1.054278e-05,1.174139e-05,1.422906e-05,1.457594e-05,1.752030e-05,1.811858e-05,2.053387e-05,2.211759e-05,2.358519e-05,2.615827e-05,2.664817e-05,2.970030e-05,3.018628e-05,3.272190e-05,3.415634e-05,3.569599e-05,3.803126e-05,3.860812e-05,4.144632e-05,4.178145e-05,4.420096e-05,4.538455e-05,4.686462e-05,4.882474e-05,4.943186e-05,5.189891e-05,5.209186e-05,5.426337e-05,5.518019e-05,5.652429e-05,5.808793e-05,5.868155e-05,6.073589e-05,6.081595e-05,6.268875e-05,6.336728e-05,6.454202e-05,6.574655e-05,6.629806e-05,6.795953e-05,6.952924e-05,7.001265e-05,7.101015e-05,7.191273e-05,7.240530e-05,7.366687e-05,7.371782e-05,7.495081e-05,7.528222e-05,7.610736e-05,7.676587e-05,7.719052e-05,7.812481e-05,7.820332e-05,7.914869e-05,7.936587e-05,8.002952e-05,8.049564e-05,8.084861e-05,8.152050e-05,8.160868e-05,8.231235e-05,8.244655e-05,8.296219e-05,8.327965e-05,8.356065e-05,8.402538e-05,8.411010e-05,8.461284e-05,8.468909e-05,8.507106e-05,8.527582e-05,8.548689e-05,8.579041e-05,8.586237e-05,8.619945e-05,8.623741e-05,8.650000e-05,8.662115e-05,8.676584e-05,8.694572e-05,8.699868e-05,8.720019e-05,8.721500e-05,8.737194e-05,8.743266e-05,8.751546e-05,8.760214e-05,8.763221e-05,8.772356e-05,8.772670e-05,8.779086e-05,8.780944e-05,8.783537e-05,8.785324e-05,8.785831e-05,8.786084e-05,8.784408e-05,8.783481e-05,8.780908e-05,8.777758e-05,8.775686e-05,8.769143e-05,8.768839e-05,8.760459e-05,8.757850e-05,8.750633e-05,8.744080e-05,8.739447e-05,8.728023e-05,8.726981e-05,8.713310e-05,8.709858e-05,8.698508e-05,8.689752e-05,8.682645e-05,8.667861e-05,8.665787e-05,8.647997e-05,8.644333e-05,8.629336e-05,8.619307e-05,8.609860e-05,8.592912e-05,8.589625e-05,8.568683e-05,8.565269e-05,8.547082e-05,8.536495e-05,8.524872e-05,8.506694e-05,8.502096e-05,8.478797e-05,8.475968e-05,8.455016e-05,8.444409e-05,8.430792e-05,8.412107e-05,8.406161e-05,8.381159e-05,8.379144e-05,8.355819e-05,8.345595e-05,8.330173e-05,8.311534e-05,8.304250e-05,8.278079e-05,8.277028e-05,8.251688e-05,8.242139e-05,8.225103e-05,8.206926e-05,8.198347e-05,8.171444e-05,8.135744e-05,8.099874e-05,8.063879e-05,8.027799e-05,7.991673e-05,7.955537e-05,7.919424e-05,7.883364e-05,7.847388e-05,7.811520e-05,7.775786e-05,7.740209e-05,7.704809e-05,7.669605e-05,7.634616e-05,7.599859e-05,7.565347e-05,7.531095e-05,7.497115e-05,7.463418e-05,7.430016e-05,7.396917e-05,7.364130e-05,7.331662e-05
0.000000e+00,1.186522e-09,3.466935e-09,1.687803e-08,4.768116e-08,7.644356e-08,2.098983e-07,2.176268e-07,4.820946e-07,5.841880e-07,9.139471e-07,1.272622e-06,1.559601e-06,2.383663e-06,2.466995e-06,3.680944e-06,4.021830e-06,5.232524e-06,6.252301e-06,7.127758e-06,9.063799e-06,9.345825e-06,1.184750e-05,1.237776e-05,1.458560e-05,1.608680e-05,1.751203e-05,2.008225e-05,2.058110e-05,2.375048e-05,2.426424e-05,2.698128e-05,2.854328e-05,3.023779e-05,3.283945e-05,3.348733e-05,3.670017e-05,3.708194e-05,3.984958e-05,4.120903e-05,4.291198e-05,4.516856e-05,4.586701e-05,4.869763e-05,4.891827e-05,5.138999e-05,5.242573e-05,5.393343e-05,5.566806e-05,5.632025e-05,5.854555e-05,5.863116e-05,6.060691e-05,6.130877e-05,6.250412e-05,6.370125e-05,6.423886e-05,6.581435e-05,6.723515e-05,6.765803e-05,6.850689e-05,6.924550e-05,6.963596e-05,7.059212e-05,7.062934e-05,7.149434e-05,7.171457e-05,7.223853e-05,7.263020e-05,7.286947e-05,7.335642e-05,7.339473e-05,7.382170e-05,7.391035e-05,7.415758e-05,7.430849e-05,7.440933e-05,7.456653e-05,7.458356e-05,7.468661e-05,7.469921e-05,7.472445e-05,7.472025e-05,7.470272e-05,7.464231e-05,7.462670e-05,7.450135e-05,7.447703e-05,7.433127e-05,7.423502e-05,7.412076e-05,7.392593e-05,7.387380e-05,7.359409e-05,7.355849e-05,7.328505e-05,7.314060e-05,7.294982e-05,7.267935e-05,7.259134e-05,7.221226e-05,7.218112e-05,7.181507e-05,7.165163e-05,7.140201e-05,7.109597e-05,7.097518e-05,7.053647e-05,7.051870e-05,7.008764e-05,6.992389e-05,6.963028e-05,6.931515e-05,6.916585e-05,6.869569e-05,6.822101e-05,6.806834e-05,6.774292e-05,6.743563e-05,6.726244e-05,6.679978e-05,6.678049e-05,6.629789e-05,6.616275e-05,6.581540e-05,6.552625e-05,6.533371e-05,6.489180e-05,6.485344e-05,6.437515e-05,6.426071e-05,6.389934e-05,6.363414e-05,6.342646e-05,6.301307e-05,6.295692e-05,6.249108e-05,6.239838e-05,6.202927e-05,6.179081e-05,6.157177e-05,6.119099e-05,6.111884e-05,6.067070e-05,6.059946e-05,6.022755e-05,6.001666e-05,5.978955e-05,5.944296e-05,5.935685e-05,5.892958e-05,5.887868e-05,5.850784e-05,5.832405e-05,5.809171e-05,5.777926e-05,5.768128e-05,5.727658e-05,5.724446e-05,5.687768e-05,5.671974e-05,5.648458e-05,5.620517e-05,5.609732e-05,5.571590e-05,5.570077e-05,5.534032e-05,5.520654e-05,5.497057e-05,5.472246e-05,5.460663e-05,5.424848e-05,5.378452e-05,5.333051e-05,5.288633e-05,5.245188e-05,5.202703e-05,5.161165e-05,5.120558e-05,5.080870e-05,5.042082e-05,5.004181e-05,4.967150e-05,4.930971e-05,4.895628e-05,4.861105e-05,4.827385e-05,4.794449e-05,4.762282e-05,4.730867e-05,4.700186e-05,4.670223e-05,4.640962e-05,4.612385e-05,4.584478e-05,4.557224e-05
0.000000e+00,4.780793e-09,1.110539e-08,3.899296e-08,9.040366e-08,1.335231e-07,3.158859e-07,3.260639e-07,6.689048e-07,8.010983e-07,1.232552e-06,1.707844e-06,2.088613e-06,3.157797e-06,3.262809e-06,4.716385e-06,5.099934e-06,6.388993e-06,7.402881e-06,8.233094e-06,9.972458e-06,1.021716e-05,1.231938e-05,1.275244e-05,1.452246e-05,1.570272e-05,1.681076e-05,1.878752e-05,1.916887e-05,2.158119e-05,2.197113e-05,2.403194e-05,2.521733e-05,2.650546e-05,2.849049e-05,2.898664e-05,3.146114e-05,3.175699e-05,3.391572e-05,3.498630e-05,3.633844e-05,3.815186e-05,3.871876e-05,4.104761e-05,4.123145e-05,4.331735e-05,4.420725e-05,4.552175e-05,4.706563e-05,4.765586e-05,4.971594e-05,4.979676e-05,5.169928e-05,5.239413e-05,5.360410e-05,5.485400e-05,5.542943e-05,5.717499e-05,5.884105e-05,5.935751e-05,6.042837e-05,6.140346e-05,6.193811e-05,6.331582e-05,6.337172e-05,6.473090e-05,6.509839e-05,6.601754e-05,6.675554e-05,6.723367e-05,6.829207e-05,6.838142e-05,6.946300e-05,6.971298e-05,7.048064e-05,7.102343e-05,7.143660e-05,7.222862e-05,7.233314e-05,7.317250e-05,7.333370e-05,7.395689e-05,7.434378e-05,7.468851e-05,7.526384e-05,7.536948e-05,7.600189e-05,7.609871e-05,7.658779e-05,7.685309e-05,7.712917e-05,7.753150e-05,7.762793e-05,7.808596e-05,7.813827e-05,7.850505e-05,7.867757e-05,7.888696e-05,7.915338e-05,7.923337e-05,7.954592e-05,7.956951e-05,7.982617e-05,7.992957e-05,8.007564e-05,8.023702e-05,8.029579e-05,8.048801e-05,8.049514e-05,8.065366e-05,8.070704e-05,8.079404e-05,8.087569e-05,8.091039e-05,8.100390e-05,8.107573e-05,8.109431e-05,8.112697e-05,8.114946e-05,8.115869e-05,8.117171e-05,8.117190e-05,8.116757e-05,8.116334e-05,8.114663e-05,8.112647e-05,8.110997e-05,8.106311e-05,8.105846e-05,8.099290e-05,8.097516e-05,8.091407e-05,8.086442e-05,8.082274e-05,8.073259e-05,8.071962e-05,8.060538e-05,8.058126e-05,8.048069e-05,8.041193e-05,8.034618e-05,8.022604e-05,8.020244e-05,8.005005e-05,8.002490e-05,7.988955e-05,7.980978e-05,7.972146e-05,7.958186e-05,7.954629e-05,7.936450e-05,7.934227e-05,7.917656e-05,7.909203e-05,7.898290e-05,7.883214e-05,7.878393e-05,7.858004e-05,7.856353e-05,7.837162e-05,7.828706e-05,7.815901e-05,7.800354e-05,7.794257e-05,7.772261e-05,7.771374e-05,7.749945e-05,7.741838e-05,7.727338e-05,7.711813e-05,7.704468e-05,7.681362e-05,7.650544e-05,7.619413e-05,7.588022e-05,7.556419e-05,7.524649e-05,7.492753e-05,7.460771e-05,7.428739e-05,7.396692e-05,7.364661e-05,7.332675e-05,7.300761e-05,7.268946e-05,7.237252e-05,7.205701e-05,7.174313e-05,7.143106e-05,7.112098e-05,7.081304e-05,7.050738e-05,7.020413e-05,6.990342e-05,6.960536e-05,6.931005e-05
0.000000e+00,3.102030e-09,8.051477e-09,3.211304e-08,7.875564e-08,1.182708e-07,2.827813e-07,2.917766e-07,5.831413e-07,6.902110e-07,1.024917e-06,1.376574e-06,1.651640e-06,2.418313e-06,2.494148e-06,3.566887e-06,3.857984e-06,4.860406e-06,5.672265e-06,6.350163e-06,7.801983e-06,8.009164e-06,9.812973e-06,1.018914e-05,1.173955e-05,1.278295e-05,1.376808e-05,1.553598e-05,1.587826e-05,1.805010e-05,1.840200e-05,2.026408e-05,2.133624e-05,2.250153e-05,2.429656e-05,2.474491e-05,2.697819e-05,2.724480e-05,2.918698e-05,3.014780e-05,3.135877e-05,3.297792e-05,3.348284e-05,3.555034e-05,3.571306e-05,3.755408e-05,3.833644e-05,3.948852e-05,4.083603e-05,4.134951e-05,4.313416e-05,4.320393e-05,4.484061e-05,4.543559e-05,4.646796e-05,4.752928e-05,4.801608e-05,4.948547e-05,5.087716e-05,5.130631e-05,5.219257e-05,5.299521e-05,5.343348e-05,5.455650e-05,5.460187e-05,5.569994e-05,5.599511e-05,5.673000e-05,5.731639e-05,5.769446e-05,5.852595e-05,5.859579e-05,5.943647e-05,5.962948e-05,6.021896e-05,6.063266e-05,6.094572e-05,6.154107e-05,6.161914e-05,6.224161e-05,6.236020e-05,6.281544e-05,6.309536e-05,6.334288e-05,6.375167e-05,6.382611e-05,6.426723e-05,6.433404e-05,6.466830e-05,6.484716e-05,6.503128e-05,6.529553e-05,6.535808e-05,6.565054e-05,6.568341e-05,6.591040e-05,6.601485e-05,6.613936e-05,6.629370e-05,6.633903e-05,6.651098e-05,6.652358e-05,6.665668e-05,6.670794e-05,6.677757e-05,6.685000e-05,6.687500e-05,6.695027e-05,6.695284e-05,6.700463e-05,6.701932e-05,6.703927e-05,6.705215e-05,6.705533e-05,6.705388e-05,6.703596e-05,6.702690e-05,6.700255e-05,6.697347e-05,6.695459e-05,6.689569e-05,6.689297e-05,6.681856e-05,6.679554e-05,6.673215e-05,6.667487e-05,6.663452e-05,6.653543e-05,6.652641e-05,6.640851e-05,6.637883e-05,6.628149e-05,6.620661e-05,6.614598e-05,6.602018e-05,6.600257e-05,6.585185e-05,6.582087e-05,6.569434e-05,6.560993e-05,6.553057e-05,6.538852e-05,6.536103e-05,6.518617e-05,6.515772e-05,6.500643e-05,6.491855e-05,6.482223e-05,6.467193e-05,6.463397e-05,6.444202e-05,6.441876e-05,6.424674e-05,6.415984e-05,6.404845e-05,6.389594e-05,6.384748e-05,6.364412e-05,6.362776e-05,6.343867e-05,6.335596e-05,6.323139e-05,6.308116e-05,6.302253e-05,6.281234e-05,6.280390e-05,6.260103e-05,6.252473e-05,6.238883e-05,6.224412e-05,6.217593e-05,6.196253e-05,6.168036e-05,6.139801e-05,6.111582e-05,6.083412e-05,6.055322e-05,6.027338e-05,5.999486e-05,5.971789e-05,5.944268e-05,5.916942e-05,5.889829e-05,5.862945e-05,5.836304e-05,5.809918e-05,5.783801e-05,5.757961e-05,5.732409e-05,5.707153e-05,5.682199e-05,5.657554e-05,5.633224e-05,5.609213e-05,5.585524e-05,5.562162e-05
0.000000e+00,8.041121e-10,2.131001e-09,8.739757e-09,2.173331e-08,3.278623e-08,7.876383e-08,8.127107e-08,1.619888e-07,1.914117e-07,2.826534e-07,3.775305e-07,4.512358e-07,6.555901e-07,6.757909e-07,9.630780e-07,1.041787e-06,1.315807e-06,1.540901e-06,1.730613e-06,2.140556e-06,2.199324e-06,2.712174e-06,2.819212e-06,3.259984e-06,3.555964e-06,3.834758e-06,4.333260e-06,4.429493e-06,5.037895e-06,5.136114e-06,5.654163e-06,5.951167e-06,6.272904e-06,6.766302e-06,6.889116e-06,7.498220e-06,7.570634e-06,8.096097e-06,8.354653e-06,8.679119e-06,9.110351e-06,9.244183e-06,9.788723e-06,9.831335e-06,1.031069e-05,1.051279e-05,1.080854e-05,1.115143e-05,1.128118e-05,1.172795e-05,1.174528e-05,1.214857e-05,1.229358e-05,1.254305e-05,1.279651e-05,1.291169e-05,1.325502e-05,1.357373e-05,1.367065e-05,1.386866e-05,1.404537e-05,1.414075e-05,1.438141e-05,1.439102e-05,1.462050e-05,1.468118e-05,1.483030e-05,1.494717e-05,1.502147e-05,1.518184e-05,1.519511e-05,1.535225e-05,1.538763e-05,1.549393e-05,1.556688e-05,1.562112e-05,1.572182e-05,1.573477e-05,1.583579e-05,1.585456e-05,1.592503e-05,1.596705e-05,1.600330e-05,1.606113e-05,1.607137e-05,1.612995e-05,1.613849e-05,1.617972e-05,1.620067e-05,1.622131e-05,1.624910e-05,1.625532e-05,1.628230e-05,1.628509e-05,1.630276e-05,1.630983e-05,1.631719e-05,1.632440e-05,1.632604e-05,1.632972e-05,1.632980e-05,1.632862e-05,1.632693e-05,1.632311e-05,1.631661e-05,1.631353e-05,1.630018e-05,1.629958e-05,1.628337e-05,1.627652e-05,1.626335e-05,1.624805e-05,1.624040e-05,1.621473e-05,1.618657e-05,1.617707e-05,1.615612e-05,1.613553e-05,1.612358e-05,1.609053e-05,1.608912e-05,1.605290e-05,1.604247e-05,1.601508e-05,1.599168e-05,1.597580e-05,1.593848e-05,1.593519e-05,1.589338e-05,1.588317e-05,1.585048e-05,1.582602e-05,1.580660e-05,1.576725e-05,1.576184e-05,1.571629e-05,1.570709e-05,1.567005e-05,1.564575e-05,1.562318e-05,1.558340e-05,1.557578e-05,1.552791e-05,1.552021e-05,1.547964e-05,1.545634e-05,1.543102e-05,1.539192e-05,1.538212e-05,1.533299e-05,1.532708e-05,1.528367e-05,1.526193e-05,1.523423e-05,1.519659e-05,1.518469e-05,1.513511e-05,1.513114e-05,1.508552e-05,1.506568e-05,1.503595e-05,1.500029e-05,1.498644e-05,1.493702e-05,1.493504e-05,1.488771e-05,1.487000e-05,1.483855e-05,1.480522e-05,1.478956e-05,1.474076e-05,1.467668e-05,1.461301e-05,1.454981e-05,1.448710e-05,1.442492e-05,1.436329e-05,1.430226e-05,1.424184e-05,1.418205e-05,1.412291e-05,1.406444e-05,1.400665e-05,1.394956e-05,1.389318e-05,1.383751e-05,1.378257e-05,1.372835e-05,1.367488e-05,1.362214e-05,1.357015e-05,1.351890e-05,1.346839e-05,1.341863e-05,1.336962e-05
0.000000e+00,4.497052e-10,1.323968e-09,6.546002e-09,1.874872e-08,3.027968e-08,8.464906e-08,8.782683e-08,1.976616e-07,2.404522e-07,3.795203e-07,5.317010e-07,6.538680e-07,1.005835e-06,1.041501e-06,1.562796e-06,1.709903e-06,2.235984e-06,2.684543e-06,3.074286e-06,3.953058e-06,4.083082e-06,5.259074e-06,5.513515e-06,6.591829e-06,7.341947e-06,8.066339e-06,9.401812e-06,9.665251e-06,1.137036e-05,1.165181e-05,1.316350e-05,1.405027e-05,1.502704e-05,1.655725e-05,1.694420e-05,1.889925e-05,1.913569e-05,2.087761e-05,2.175201e-05,2.286601e-05,2.437651e-05,2.485250e-05,2.682650e-05,2.698360e-05,2.877876e-05,2.955176e-05,3.070134e-05,3.206341e-05,3.258754e-05,3.443179e-05,3.450462e-05,3.622961e-05,3.686475e-05,3.797744e-05,3.913598e-05,3.967255e-05,4.131300e-05,4.289744e-05,4.339249e-05,4.442509e-05,4.537283e-05,4.589565e-05,4.725374e-05,4.730919e-05,4.866611e-05,4.903599e-05,4.996709e-05,5.072118e-05,5.121301e-05,5.231154e-05,5.240493e-05,5.354406e-05,5.380973e-05,5.463168e-05,5.521877e-05,5.566918e-05,5.654187e-05,5.665800e-05,5.759961e-05,5.778240e-05,5.849551e-05,5.894381e-05,5.934720e-05,6.002956e-05,6.015619e-05,6.092398e-05,6.104311e-05,6.165206e-05,6.198785e-05,6.234187e-05,6.286715e-05,6.299488e-05,6.361247e-05,6.368427e-05,6.419603e-05,6.444237e-05,6.474692e-05,6.514453e-05,6.526642e-05,6.575583e-05,6.579372e-05,6.621638e-05,6.639279e-05,6.664927e-05,6.694448e-05,6.705567e-05,6.743670e-05,6.745143e-05,6.779346e-05,6.791616e-05,6.812701e-05,6.834108e-05,6.843835e-05,6.872849e-05,6.899836e-05,6.908059e-05,6.924889e-05,6.939948e-05,6.948095e-05,6.968716e-05,6.969541e-05,6.989307e-05,6.994551e-05,7.007473e-05,7.017636e-05,7.024115e-05,7.038142e-05,7.039305e-05,7.053114e-05,7.056230e-05,7.065610e-05,7.072058e-05,7.076856e-05,7.085769e-05,7.086916e-05,7.095849e-05,7.097505e-05,7.103712e-05,7.107397e-05,7.110561e-05,7.115568e-05,7.116447e-05,7.121423e-05,7.122138e-05,7.125535e-05,7.127217e-05,7.128832e-05,7.130911e-05,7.131356e-05,7.133151e-05,7.133320e-05,7.134258e-05,7.134537e-05,7.134715e-05,7.134651e-05,7.134560e-05,7.133829e-05,7.133746e-05,7.132555e-05,7.131902e-05,7.130772e-05,7.129191e-05,7.128511e-05,7.125801e-05,7.125684e-05,7.122671e-05,7.121447e-05,7.119149e-05,7.116542e-05,7.115259e-05,7.111027e-05,7.104957e-05,7.098383e-05,7.091354e-05,7.083914e-05,7.076107e-05,7.067971e-05,7.059543e-05,7.050860e-05,7.041953e-05,7.032852e-05,7.023585e-05,7.014180e-05,7.004660e-05,6.995049e-05,6.985368e-05,6.975635e-05,6.965871e-05,6.956091e-05,6.946310e-05,6.936545e-05,6.926808e-05,6.917110e-05,6.907464e-05,6.897880e-05
0.000000e+00,2.629532e-09,7.232358e-09,3.152905e-08,8.183680e-08,1.259764e-07,3.169294e-07,3.275973e-07,6.813744e-07,8.146022e-07,1.239765e-06,1.698492e-06,2.064699e-06,3.114008e-06,3.219763e-06,4.743027e-06,5.162712e-06,6.617234e-06,7.797422e-06,8.779698e-06,1.086487e-05,1.115997e-05,1.370141e-05,1.422517e-05,1.636235e-05,1.778237e-05,1.911069e-05,2.146693e-05,2.191933e-05,2.476360e-05,2.522042e-05,2.762021e-05,2.898922e-05,3.046703e-05,3.272340e-05,3.328325e-05,3.604979e-05,3.637760e-05,3.874949e-05,3.991226e-05,4.136741e-05,4.329448e-05,4.389092e-05,4.630975e-05,4.649848e-05,4.861592e-05,4.950547e-05,5.080361e-05,5.230315e-05,5.286897e-05,5.480993e-05,5.488497e-05,5.662593e-05,5.724919e-05,5.831766e-05,5.939794e-05,5.988694e-05,6.133655e-05,6.267003e-05,6.307286e-05,6.389140e-05,6.461626e-05,6.500506e-05,6.597722e-05,6.601573e-05,6.692832e-05,6.716693e-05,6.774762e-05,6.819642e-05,6.847850e-05,6.907720e-05,6.912605e-05,6.969502e-05,6.982041e-05,7.019017e-05,7.043693e-05,7.061608e-05,7.093705e-05,7.097708e-05,7.127738e-05,7.133051e-05,7.152101e-05,7.162659e-05,7.171181e-05,7.183394e-05,7.185344e-05,7.194934e-05,7.196067e-05,7.200281e-05,7.201432e-05,7.201694e-05,7.200188e-05,7.199465e-05,7.193870e-05,7.192984e-05,7.185168e-05,7.180418e-05,7.173604e-05,7.163042e-05,7.159406e-05,7.142791e-05,7.141363e-05,7.123959e-05,7.115849e-05,7.103101e-05,7.086928e-05,7.080393e-05,7.056001e-05,7.054993e-05,7.030081e-05,7.020403e-05,7.002777e-05,6.983490e-05,6.974226e-05,6.944553e-05,6.913877e-05,6.903867e-05,6.882309e-05,6.861684e-05,6.849950e-05,6.818232e-05,6.816897e-05,6.783239e-05,6.773718e-05,6.749059e-05,6.728332e-05,6.714433e-05,6.682246e-05,6.679434e-05,6.644128e-05,6.635615e-05,6.608576e-05,6.588581e-05,6.572836e-05,6.541272e-05,6.536961e-05,6.501000e-05,6.493802e-05,6.464999e-05,6.446276e-05,6.428998e-05,6.398788e-05,6.393038e-05,6.357153e-05,6.351421e-05,6.321377e-05,6.304252e-05,6.285739e-05,6.257347e-05,6.250267e-05,6.214987e-05,6.210767e-05,6.179921e-05,6.164565e-05,6.145091e-05,6.118789e-05,6.110515e-05,6.076212e-05,6.073480e-05,6.042197e-05,6.028675e-05,6.008484e-05,5.984406e-05,5.975087e-05,5.942016e-05,5.940700e-05,5.909282e-05,5.897583e-05,5.876895e-05,5.855073e-05,5.844861e-05,5.813189e-05,5.771944e-05,5.731350e-05,5.691417e-05,5.652151e-05,5.613558e-05,5.575640e-05,5.538401e-05,5.501839e-05,5.465954e-05,5.430743e-05,5.396204e-05,5.362331e-05,5.329121e-05,5.296567e-05,5.264662e-05,5.233401e-05,5.202774e-05,5.172775e-05,5.143394e-05,5.114623e-05,5.086454e-05,5.058876e-05,5.031881e-05,5.005459e-05
0.000000e+00,5.160228e-10,1.518571e-09,7.509171e-09,2.155366e-08,3.489276e-08,9.868529e-08,1.024588e-07,2.357690e-07,2.891503e-07,4.677370e-07,6.711291e-07,8.395127e-07,1.343167e-06,1.395303e-06,2.167068e-06,2.385602e-06,3.159764e-06,3.805080e-06,4.352411e-06,5.539667e-06,5.710010e-06,7.194119e-06,7.502861e-06,8.768464e-06,9.611953e-06,1.040096e-05,1.179684e-05,1.206396e-05,1.373389e-05,1.400034e-05,1.539073e-05,1.617629e-05,1.701757e-05,1.828787e-05,1.860029e-05,2.012731e-05,2.030635e-05,2.158939e-05,2.221023e-05,2.297943e-05,2.398447e-05,2.429232e-05,2.552474e-05,2.561980e-05,2.667494e-05,2.711187e-05,2.774253e-05,2.846046e-05,2.872832e-05,2.963402e-05,2.966862e-05,3.046215e-05,3.074186e-05,3.121577e-05,3.168744e-05,3.189837e-05,3.251372e-05,3.306576e-05,3.322969e-05,3.355846e-05,3.384450e-05,3.399582e-05,3.436723e-05,3.438172e-05,3.471997e-05,3.480663e-05,3.501418e-05,3.517103e-05,3.526784e-05,3.546819e-05,3.548420e-05,3.566633e-05,3.570527e-05,3.581711e-05,3.588885e-05,3.593920e-05,3.602487e-05,3.603507e-05,3.610701e-05,3.611871e-05,3.615712e-05,3.617521e-05,3.618735e-05,3.619869e-05,3.619948e-05,3.619515e-05,3.619303e-05,3.617585e-05,3.616167e-05,3.614295e-05,3.610770e-05,3.609772e-05,3.604132e-05,3.603385e-05,3.597478e-05,3.594255e-05,3.589908e-05,3.583597e-05,3.581510e-05,3.572365e-05,3.571603e-05,3.562547e-05,3.558447e-05,3.552124e-05,3.544279e-05,3.541157e-05,3.529704e-05,3.529237e-05,3.517817e-05,3.513441e-05,3.505544e-05,3.496999e-05,3.492928e-05,3.480010e-05,3.466827e-05,3.462558e-05,3.453413e-05,3.444721e-05,3.439798e-05,3.426568e-05,3.426013e-05,3.412084e-05,3.408161e-05,3.398034e-05,3.389555e-05,3.383886e-05,3.370801e-05,3.369661e-05,3.355378e-05,3.351943e-05,3.341053e-05,3.333020e-05,3.326705e-05,3.314069e-05,3.312346e-05,3.297990e-05,3.295121e-05,3.283651e-05,3.276205e-05,3.269340e-05,3.257348e-05,3.255067e-05,3.240843e-05,3.238572e-05,3.226675e-05,3.219897e-05,3.212573e-05,3.201343e-05,3.198544e-05,3.184594e-05,3.182926e-05,3.170731e-05,3.164661e-05,3.156961e-05,3.146560e-05,3.143287e-05,3.129716e-05,3.128635e-05,3.116251e-05,3.110896e-05,3.102897e-05,3.093353e-05,3.089658e-05,3.076536e-05,3.076013e-05,3.063534e-05,3.058884e-05,3.050656e-05,3.041970e-05,3.037903e-05,3.025278e-05,3.008811e-05,2.992573e-05,2.976568e-05,2.960797e-05,2.945263e-05,2.929966e-05,2.914908e-05,2.900089e-05,2.885510e-05,2.871170e-05,2.857069e-05,2.843206e-05,2.829579e-05,2.816189e-05,2.803032e-05,2.790109e-05,2.777415e-05,2.764951e-05,2.752713e-05,2.740700e-05,2.728909e-05,2.717337e-05,2.705982e-05,2.694842e-05
0.000000e+00,2.826615e-09,7.283560e-09,2.875514e-08,7.016025e-08,1.052189e-07,2.518631e-07,2.599252e-07,5.238942e-07,6.222886e-07,9.343974e-07,1.268772e-06,1.534017e-06,2.284200e-06,2.358909e-06,3.416233e-06,3.701809e-06,4.676044e-06,5.452576e-06,6.091784e-06,7.432911e-06,7.621310e-06,9.232326e-06,9.562034e-06,1.090008e-05,1.178290e-05,1.260437e-05,1.405140e-05,1.432777e-05,1.605469e-05,1.633037e-05,1.777118e-05,1.858768e-05,1.946482e-05,2.079597e-05,2.112481e-05,2.274199e-05,2.293280e-05,2.430880e-05,2.498066e-05,2.581930e-05,2.692681e-05,2.726900e-05,2.865472e-05,2.876274e-05,2.997444e-05,3.048360e-05,3.122715e-05,3.208745e-05,3.241263e-05,3.353142e-05,3.357480e-05,3.458459e-05,3.494790e-05,3.557348e-05,3.621011e-05,3.649987e-05,3.736574e-05,3.817330e-05,3.841977e-05,3.892483e-05,3.937748e-05,3.962267e-05,4.024429e-05,4.026920e-05,4.086677e-05,4.102563e-05,4.141772e-05,4.172687e-05,4.192434e-05,4.235320e-05,4.238887e-05,4.281346e-05,4.290965e-05,4.320021e-05,4.340102e-05,4.355114e-05,4.383186e-05,4.386818e-05,4.415319e-05,4.420650e-05,4.440794e-05,4.452902e-05,4.463413e-05,4.480324e-05,4.483338e-05,4.500723e-05,4.503278e-05,4.515714e-05,4.522101e-05,4.528452e-05,4.537109e-05,4.539069e-05,4.547691e-05,4.548598e-05,4.554438e-05,4.556842e-05,4.559423e-05,4.562100e-05,4.562754e-05,4.564533e-05,4.564611e-05,4.564856e-05,4.564598e-05,4.563815e-05,4.562270e-05,4.561497e-05,4.557985e-05,4.557820e-05,4.553354e-05,4.551428e-05,4.547680e-05,4.543261e-05,4.541032e-05,4.533474e-05,4.525071e-05,4.522213e-05,4.515880e-05,4.509610e-05,4.505957e-05,4.495790e-05,4.495354e-05,4.484121e-05,4.480869e-05,4.472305e-05,4.464954e-05,4.459951e-05,4.448145e-05,4.447099e-05,4.433790e-05,4.430532e-05,4.420061e-05,4.412202e-05,4.405946e-05,4.393233e-05,4.391479e-05,4.376692e-05,4.373699e-05,4.361614e-05,4.353667e-05,4.346272e-05,4.333201e-05,4.330693e-05,4.314902e-05,4.312357e-05,4.298922e-05,4.291191e-05,4.282775e-05,4.269751e-05,4.266481e-05,4.250061e-05,4.248083e-05,4.233532e-05,4.226229e-05,4.216911e-05,4.204229e-05,4.200216e-05,4.183461e-05,4.182118e-05,4.166660e-05,4.159930e-05,4.149827e-05,4.137695e-05,4.132975e-05,4.116116e-05,4.115441e-05,4.099260e-05,4.093195e-05,4.082419e-05,4.070980e-05,4.065601e-05,4.048817e-05,4.026727e-05,4.004727e-05,3.982836e-05,3.961067e-05,3.939435e-05,3.917953e-05,3.896631e-05,3.875481e-05,3.854511e-05,3.833731e-05,3.813147e-05,3.792766e-05,3.772594e-05,3.752638e-05,3.732900e-05,3.713386e-05,3.694098e-05,3.675041e-05,3.656215e-05,3.637624e-05,3.619268e-05,3.601150e-05,3.583270e-05,3.565628e-05
0.000000e+00,2.764046e-09,6.628183e-09,2.402310e-08,5.622623e-08,8.305685e-08,1.939589e-07,2.000274e-07,3.981468e-07,4.718146e-07,7.047688e-07,9.523705e-07,1.146661e-06,1.684080e-06,1.736660e-06,2.467895e-06,2.662731e-06,3.325296e-06,3.855345e-06,4.295235e-06,5.233127e-06,5.366744e-06,6.530080e-06,6.772922e-06,7.775580e-06,8.452385e-06,9.093162e-06,1.024791e-05,1.047226e-05,1.190199e-05,1.213472e-05,1.337146e-05,1.408777e-05,1.487000e-05,1.608291e-05,1.638746e-05,1.791440e-05,1.809785e-05,1.944223e-05,2.011276e-05,2.096332e-05,2.211068e-05,2.247096e-05,2.395942e-05,2.407751e-05,2.542383e-05,2.600193e-05,2.686017e-05,2.787510e-05,2.826518e-05,2.963623e-05,2.969034e-05,3.097133e-05,3.144286e-05,3.226899e-05,3.312948e-05,3.352818e-05,3.474816e-05,3.592848e-05,3.629777e-05,3.706896e-05,3.777797e-05,3.816964e-05,3.918905e-05,3.923073e-05,4.025263e-05,4.053180e-05,4.123584e-05,4.180744e-05,4.218096e-05,4.301741e-05,4.308867e-05,4.395974e-05,4.416345e-05,4.479508e-05,4.524762e-05,4.559565e-05,4.627209e-05,4.636232e-05,4.709591e-05,4.723873e-05,4.779729e-05,4.814958e-05,4.846737e-05,4.900667e-05,4.910700e-05,4.971705e-05,4.981198e-05,5.029840e-05,5.056751e-05,5.085191e-05,5.127525e-05,5.137844e-05,5.187882e-05,5.193715e-05,5.235388e-05,5.255509e-05,5.280442e-05,5.313094e-05,5.323126e-05,5.363516e-05,5.366651e-05,5.401690e-05,5.416357e-05,5.437724e-05,5.462384e-05,5.471690e-05,5.503660e-05,5.504898e-05,5.533704e-05,5.544061e-05,5.561890e-05,5.580029e-05,5.588285e-05,5.612953e-05,5.635958e-05,5.642978e-05,5.657360e-05,5.670244e-05,5.677220e-05,5.694887e-05,5.695595e-05,5.712541e-05,5.717037e-05,5.728113e-05,5.736819e-05,5.742365e-05,5.754354e-05,5.755347e-05,5.767109e-05,5.769756e-05,5.777700e-05,5.783136e-05,5.787166e-05,5.794602e-05,5.795553e-05,5.802905e-05,5.804255e-05,5.809264e-05,5.812192e-05,5.814671e-05,5.818507e-05,5.819167e-05,5.822790e-05,5.823291e-05,5.825576e-05,5.826628e-05,5.827563e-05,5.828600e-05,5.828785e-05,5.829275e-05,5.829287e-05,5.829067e-05,5.828762e-05,5.828191e-05,5.827098e-05,5.826679e-05,5.824558e-05,5.824363e-05,5.821858e-05,5.820622e-05,5.818606e-05,5.815937e-05,5.814828e-05,5.810549e-05,5.810368e-05,5.805795e-05,5.803971e-05,5.800588e-05,5.796801e-05,5.794952e-05,5.788908e-05,5.780342e-05,5.771149e-05,5.761373e-05,5.751058e-05,5.740242e-05,5.728965e-05,5.717262e-05,5.705168e-05,5.692716e-05,5.679937e-05,5.666860e-05,5.653512e-05,5.639922e-05,5.626114e-05,5.612111e-05,5.597936e-05,5.583611e-05,5.569156e-05,5.554589e-05,5.539929e-05,5.525193e-05,5.510397e-05,5.495556e-05,5.480684e-05
0.000000e+00,8.872727e-10,2.624837e-09,1.310938e-08,3.790866e-08,6.156406e-08,1.748491e-07,1.815400e-07,4.163334e-07,5.093922e-07,8.168474e-07,1.160727e-06,1.441420e-06,2.267114e-06,2.351834e-06,3.601175e-06,3.955354e-06,5.219091e-06,6.287847e-06,7.207643e-06,9.249683e-06,9.548195e-06,1.221014e-05,1.277794e-05,1.515688e-05,1.678871e-05,1.834900e-05,2.119038e-05,2.174598e-05,2.530704e-05,2.588934e-05,2.899192e-05,3.079309e-05,3.276147e-05,3.581285e-05,3.657827e-05,4.040726e-05,4.086600e-05,4.421622e-05,4.587821e-05,4.797613e-05,5.078506e-05,5.166154e-05,5.525060e-05,5.553299e-05,5.872513e-05,6.007949e-05,6.207051e-05,6.439275e-05,6.527544e-05,6.833170e-05,6.845077e-05,7.123385e-05,7.224025e-05,7.397889e-05,7.575523e-05,7.656590e-05,7.899578e-05,8.127085e-05,8.196672e-05,8.339463e-05,8.467649e-05,8.537159e-05,8.713609e-05,8.720685e-05,8.890609e-05,8.935831e-05,9.047528e-05,9.135695e-05,9.192062e-05,9.314634e-05,9.324838e-05,9.446481e-05,9.474088e-05,9.557610e-05,9.615474e-05,9.658827e-05,9.740164e-05,9.750717e-05,9.833844e-05,9.849466e-05,9.908747e-05,9.944619e-05,9.975943e-05,1.002679e-04,1.003592e-04,1.008914e-04,1.009706e-04,1.013605e-04,1.015645e-04,1.017706e-04,1.020588e-04,1.021255e-04,1.024290e-04,1.024621e-04,1.026845e-04,1.027825e-04,1.028951e-04,1.030271e-04,1.030640e-04,1.031938e-04,1.032026e-04,1.032874e-04,1.033152e-04,1.033471e-04,1.033704e-04,1.033753e-04,1.033741e-04,1.033735e-04,1.033455e-04,1.033289e-04,1.032915e-04,1.032412e-04,1.032139e-04,1.031142e-04,1.029940e-04,1.029514e-04,1.028547e-04,1.027563e-04,1.026978e-04,1.025317e-04,1.025245e-04,1.023359e-04,1.022805e-04,1.021332e-04,1.020053e-04,1.019175e-04,1.017083e-04,1.016896e-04,1.014506e-04,1.013916e-04,1.012012e-04,1.010573e-04,1.009423e-04,1.007072e-04,1.006746e-04,1.003988e-04,1.003428e-04,1.001157e-04,9.996569e-05,9.982569e-05,9.957730e-05,9.952952e-05,9.922769e-05,9.917891e-05,9.892072e-05,9.877169e-05,9.860909e-05,9.835674e-05,9.829326e-05,9.797366e-05,9.793507e-05,9.765068e-05,9.750760e-05,9.732470e-05,9.707518e-05,9.699609e-05,9.666517e-05,9.663861e-05,9.633226e-05,9.619861e-05,9.599766e-05,9.575585e-05,9.566164e-05,9.532447e-05,9.531096e-05,9.498639e-05,9.486450e-05,9.464763e-05,9.441700e-05,9.430842e-05,9.396895e-05,9.352080e-05,9.307296e-05,9.262580e-05,9.217969e-05,9.173495e-05,9.129187e-05,9.085072e-05,9.041176e-05,8.997523e-05,8.954132e-05,8.911024e-05,8.868216e-05,8.825724e-05,8.783563e-05,8.741746e-05,8.700286e-05,8.659193e-05,8.618477e-05,8.578146e-05,8.538210e-05,8.498674e-05,8.459545e-05,8.420828e-05,8.382527e-05
0.000000e+00,6.100189e-10,1.796770e-09,8.891592e-09,2.549337e-08,4.120516e-08,1.155711e-07,1.199315e-07,2.715239e-07,3.310231e-07,5.259467e-07,7.416920e-07,9.164796e-07,1.426046e-06,1.478049e-06,2.241141e-06,2.456436e-06,3.221150e-06,3.863129e-06,4.411590e-06,5.614083e-06,5.788005e-06,7.316929e-06,7.637875e-06,8.962813e-06,9.853466e-06,1.069154e-05,1.218471e-05,1.247183e-05,1.427557e-05,1.456464e-05,1.607793e-05,1.693608e-05,1.785722e-05,1.925146e-05,1.959487e-05,2.127536e-05,2.147255e-05,2.288609e-05,2.357009e-05,2.441727e-05,2.552326e-05,2.586172e-05,2.721466e-05,2.731885e-05,2.847345e-05,2.895036e-05,2.963726e-05,3.041677e-05,3.070685e-05,3.168425e-05,3.172147e-05,3.257249e-05,3.287114e-05,3.337535e-05,3.387472e-05,3.409716e-05,3.474262e-05,3.531658e-05,3.548595e-05,3.582398e-05,3.611606e-05,3.626973e-05,3.664406e-05,3.665858e-05,3.699514e-05,3.708060e-05,3.728376e-05,3.743565e-05,3.752857e-05,3.771841e-05,3.773341e-05,3.790187e-05,3.793725e-05,3.803725e-05,3.809977e-05,3.814261e-05,3.821272e-05,3.822075e-05,3.827421e-05,3.828215e-05,3.830534e-05,3.831341e-05,3.831625e-05,3.831122e-05,3.830888e-05,3.828499e-05,3.827974e-05,3.824615e-05,3.822263e-05,3.819382e-05,3.814313e-05,3.812931e-05,3.805379e-05,3.804405e-05,3.796836e-05,3.792788e-05,3.787398e-05,3.779682e-05,3.777155e-05,3.766187e-05,3.765280e-05,3.754567e-05,3.749752e-05,3.742363e-05,3.733249e-05,3.729636e-05,3.716441e-05,3.715904e-05,3.702828e-05,3.697835e-05,3.688845e-05,3.679146e-05,3.674533e-05,3.659932e-05,3.645077e-05,3.640276e-05,3.630001e-05,3.620251e-05,3.614734e-05,3.599924e-05,3.599304e-05,3.583737e-05,3.579356e-05,3.568054e-05,3.558599e-05,3.552280e-05,3.537702e-05,3.536432e-05,3.520530e-05,3.516708e-05,3.504591e-05,3.495655e-05,3.488631e-05,3.474580e-05,3.472664e-05,3.456703e-05,3.453512e-05,3.440761e-05,3.432483e-05,3.424850e-05,3.411515e-05,3.408979e-05,3.393159e-05,3.390633e-05,3.377399e-05,3.369858e-05,3.361707e-05,3.349208e-05,3.346091e-05,3.330557e-05,3.328699e-05,3.315113e-05,3.308348e-05,3.299764e-05,3.288166e-05,3.284516e-05,3.269374e-05,3.268168e-05,3.254343e-05,3.248362e-05,3.239426e-05,3.228759e-05,3.224627e-05,3.209951e-05,3.209367e-05,3.195400e-05,3.190193e-05,3.180977e-05,3.171244e-05,3.166685e-05,3.152526e-05,3.134043e-05,3.115799e-05,3.097798e-05,3.080043e-05,3.062536e-05,3.045279e-05,3.028273e-05,3.011519e-05,2.995017e-05,2.978768e-05,2.962771e-05,2.947027e-05,2.931533e-05,2.916290e-05,2.901295e-05,2.886548e-05,2.872047e-05,2.857789e-05,2.843773e-05,2.829997e-05,2.816459e-05,2.803155e-05,2.790085e-05,2.777244e-05
0.000000e+00,7.002542e-09,1.750382e-08,6.685922e-08,1.619355e-07,2.435601e-07,5.988826e-07,6.190628e-07,1.312903e-06,1.586043e-06,2.493227e-06,3.516278e-06,4.352319e-06,6.768763e-06,7.010656e-06,1.040673e-05,1.131000e-05,1.433880e-05,1.669703e-05,1.860468e-05,2.252190e-05,2.306395e-05,2.762853e-05,2.854868e-05,3.224104e-05,3.464445e-05,3.686043e-05,4.072236e-05,4.145458e-05,4.599694e-05,4.671736e-05,5.046518e-05,5.257799e-05,5.484057e-05,5.826352e-05,5.910763e-05,6.325391e-05,6.374286e-05,6.726975e-05,6.899345e-05,7.114793e-05,7.400009e-05,7.488338e-05,7.847290e-05,7.875370e-05,8.191481e-05,8.325012e-05,8.520871e-05,8.748900e-05,8.835525e-05,9.135589e-05,9.147291e-05,9.421278e-05,9.520656e-05,9.692854e-05,9.869619e-05,9.950623e-05,1.019492e-04,1.042609e-04,1.049736e-04,1.064452e-04,1.077780e-04,1.085058e-04,1.103712e-04,1.104466e-04,1.122715e-04,1.127622e-04,1.139844e-04,1.149600e-04,1.155892e-04,1.169735e-04,1.170898e-04,1.184899e-04,1.188114e-04,1.197933e-04,1.204823e-04,1.210037e-04,1.219948e-04,1.221247e-04,1.231598e-04,1.233569e-04,1.241126e-04,1.245765e-04,1.249863e-04,1.256615e-04,1.257842e-04,1.265095e-04,1.266190e-04,1.271653e-04,1.274564e-04,1.277547e-04,1.281803e-04,1.282805e-04,1.287456e-04,1.287975e-04,1.291528e-04,1.293142e-04,1.295045e-04,1.297365e-04,1.298036e-04,1.300523e-04,1.300701e-04,1.302532e-04,1.303206e-04,1.304085e-04,1.304933e-04,1.305204e-04,1.305912e-04,1.305932e-04,1.306228e-04,1.306250e-04,1.306173e-04,1.305934e-04,1.305767e-04,1.305027e-04,1.303972e-04,1.303570e-04,1.302618e-04,1.301603e-04,1.300983e-04,1.299162e-04,1.299081e-04,1.296929e-04,1.296284e-04,1.294541e-04,1.293000e-04,1.291931e-04,1.289345e-04,1.289112e-04,1.286097e-04,1.285346e-04,1.282899e-04,1.281033e-04,1.279530e-04,1.276432e-04,1.276001e-04,1.272322e-04,1.271569e-04,1.268505e-04,1.266468e-04,1.264559e-04,1.261151e-04,1.260493e-04,1.256318e-04,1.255640e-04,1.252041e-04,1.249954e-04,1.247671e-04,1.244113e-04,1.243216e-04,1.238683e-04,1.238134e-04,1.234080e-04,1.232034e-04,1.229414e-04,1.225829e-04,1.224691e-04,1.219917e-04,1.219533e-04,1.215098e-04,1.213160e-04,1.210241e-04,1.206723e-04,1.205350e-04,1.200431e-04,1.200234e-04,1.195488e-04,1.193704e-04,1.190526e-04,1.187144e-04,1.185550e-04,1.180564e-04,1.173972e-04,1.167378e-04,1.160790e-04,1.154214e-04,1.147657e-04,1.141127e-04,1.134628e-04,1.128166e-04,1.121746e-04,1.115372e-04,1.109049e-04,1.102781e-04,1.096570e-04,1.090421e-04,1.084336e-04,1.078317e-04,1.072367e-04,1.066488e-04,1.060681e-04,1.054949e-04,1.049292e-04,1.043713e-04,1.038211e-04,1.032787e-04
0.000000e+00,1.779927e-09,4.760375e-09,1.975247e-08,4.935398e-08,7.453091e-08,1.789177e-07,1.845933e-07,3.664980e-07,4.324567e-07,6.359815e-07,8.461034e-07,1.008291e-06,1.452851e-06,1.496353e-06,2.105174e-06,2.268524e-06,2.824961e-06,3.267901e-06,3.631754e-06,4.390851e-06,4.496851e-06,5.394903e-06,5.576627e-06,6.305991e-06,6.779646e-06,7.214680e-06,7.967085e-06,8.108712e-06,8.978178e-06,9.114456e-06,9.815118e-06,1.020341e-05,1.061331e-05,1.122082e-05,1.136815e-05,1.207651e-05,1.215829e-05,1.273659e-05,1.301154e-05,1.334778e-05,1.377975e-05,1.391040e-05,1.442556e-05,1.446478e-05,1.489499e-05,1.507042e-05,1.532082e-05,1.560180e-05,1.570552e-05,1.605172e-05,1.606480e-05,1.636210e-05,1.646560e-05,1.663938e-05,1.681037e-05,1.688619e-05,1.710510e-05,1.729856e-05,1.735546e-05,1.746876e-05,1.756644e-05,1.761779e-05,1.774278e-05,1.774762e-05,1.786004e-05,1.788863e-05,1.795670e-05,1.800776e-05,1.803909e-05,1.810347e-05,1.810859e-05,1.816642e-05,1.817870e-05,1.821373e-05,1.823599e-05,1.825151e-05,1.827761e-05,1.828068e-05,1.830209e-05,1.830550e-05,1.831647e-05,1.832140e-05,1.832451e-05,1.832680e-05,1.832681e-05,1.832394e-05,1.832304e-05,1.831640e-05,1.831125e-05,1.830463e-05,1.829246e-05,1.828906e-05,1.827006e-05,1.826756e-05,1.824796e-05,1.823734e-05,1.822308e-05,1.820248e-05,1.819569e-05,1.816606e-05,1.816359e-05,1.813441e-05,1.812123e-05,1.810096e-05,1.807587e-05,1.806590e-05,1.802942e-05,1.802793e-05,1.799166e-05,1.797779e-05,1.795280e-05,1.792580e-05,1.791295e-05,1.787226e-05,1.783082e-05,1.781743e-05,1.778876e-05,1.776155e-05,1.774616e-05,1.770485e-05,1.770312e-05,1.765972e-05,1.764751e-05,1.761603e-05,1.758971e-05,1.757213e-05,1.753160e-05,1.752808e-05,1.748393e-05,1.747333e-05,1.743976e-05,1.741502e-05,1.739559e-05,1.735678e-05,1.735149e-05,1.730750e-05,1.729871e-05,1.726364e-05,1.724091e-05,1.721997e-05,1.718344e-05,1.717650e-05,1.713328e-05,1.712639e-05,1.709033e-05,1.706982e-05,1.704768e-05,1.701379e-05,1.700535e-05,1.696335e-05,1.695834e-05,1.692172e-05,1.690352e-05,1.688047e-05,1.684938e-05,1.683961e-05,1.679916e-05,1.679594e-05,1.675913e-05,1.674324e-05,1.671954e-05,1.669130e-05,1.668038e-05,1.664168e-05,1.664014e-05,1.660344e-05,1.658979e-05,1.656567e-05,1.654025e-05,1.652837e-05,1.649155e-05,1.644369e-05,1.639668e-05,1.635052e-05,1.630522e-05,1.626079e-05,1.621722e-05,1.617451e-05,1.613265e-05,1.609166e-05,1.605151e-05,1.601221e-05,1.597375e-05,1.593612e-05,1.589931e-05,1.586332e-05,1.582813e-05,1.579373e-05,1.576012e-05,1.572728e-05,1.569521e-05,1.566389e-05,1.563330e-05,1.560345e-05,1.557430e-05
0.000000e+00,1.543876e-09,4.508689e-09,2.193538e-08,6.197364e-08,9.939577e-08,2.735674e-07,2.836812e-07,6.315143e-07,7.666610e-07,1.206281e-06,1.689444e-06,2.079440e-06,3.213700e-06,3.329419e-06,5.030387e-06,5.511749e-06,7.227891e-06,8.676456e-06,9.919594e-06,1.266271e-05,1.306144e-05,1.658876e-05,1.733443e-05,2.043339e-05,2.253661e-05,2.453168e-05,2.812825e-05,2.882644e-05,3.326647e-05,3.398720e-05,3.780531e-05,4.000640e-05,4.240029e-05,4.609008e-05,4.701197e-05,5.160397e-05,5.215208e-05,5.614305e-05,5.811564e-05,6.059925e-05,6.391411e-05,6.494610e-05,6.916076e-05,6.949163e-05,7.322410e-05,7.480348e-05,7.712062e-05,7.981596e-05,8.083834e-05,8.436858e-05,8.450580e-05,8.770568e-05,8.885910e-05,9.084663e-05,9.287002e-05,9.379078e-05,9.653954e-05,9.909601e-05,9.987416e-05,1.014647e-04,1.028846e-04,1.036511e-04,1.055846e-04,1.056617e-04,1.075036e-04,1.079901e-04,1.091843e-04,1.101186e-04,1.107116e-04,1.119879e-04,1.120933e-04,1.133374e-04,1.136164e-04,1.144517e-04,1.150219e-04,1.154439e-04,1.162220e-04,1.163215e-04,1.170916e-04,1.172334e-04,1.177614e-04,1.180723e-04,1.183375e-04,1.187535e-04,1.188261e-04,1.192333e-04,1.192913e-04,1.195649e-04,1.196987e-04,1.198261e-04,1.199880e-04,1.200222e-04,1.201578e-04,1.201703e-04,1.202375e-04,1.202560e-04,1.202656e-04,1.202547e-04,1.202458e-04,1.201821e-04,1.201752e-04,1.200778e-04,1.200254e-04,1.199361e-04,1.198127e-04,1.197602e-04,1.195528e-04,1.195438e-04,1.193165e-04,1.192249e-04,1.190540e-04,1.188615e-04,1.187673e-04,1.184588e-04,1.181303e-04,1.180213e-04,1.177838e-04,1.175534e-04,1.174210e-04,1.170588e-04,1.170434e-04,1.166526e-04,1.165411e-04,1.162501e-04,1.160034e-04,1.158370e-04,1.154487e-04,1.154146e-04,1.149840e-04,1.148796e-04,1.145463e-04,1.142984e-04,1.141024e-04,1.137074e-04,1.136533e-04,1.131997e-04,1.131086e-04,1.127425e-04,1.125036e-04,1.122824e-04,1.118941e-04,1.118199e-04,1.113559e-04,1.112815e-04,1.108907e-04,1.106673e-04,1.104251e-04,1.100525e-04,1.099593e-04,1.094940e-04,1.094382e-04,1.090295e-04,1.088254e-04,1.085661e-04,1.082150e-04,1.081044e-04,1.076445e-04,1.076078e-04,1.071868e-04,1.070044e-04,1.067316e-04,1.064055e-04,1.062791e-04,1.058296e-04,1.058117e-04,1.053832e-04,1.052233e-04,1.049402e-04,1.046409e-04,1.045007e-04,1.040649e-04,1.034956e-04,1.029332e-04,1.023781e-04,1.018304e-04,1.012904e-04,1.007582e-04,1.002339e-04,9.971770e-05,9.920959e-05,9.870967e-05,9.821797e-05,9.773454e-05,9.725937e-05,9.679247e-05,9.633382e-05,9.588339e-05,9.544115e-05,9.500706e-05,9.458105e-05,9.416306e-05,9.375302e-05,9.335087e-05,9.295651e-05,9.256987e-05
0.000000e+00,1.861561e-09,4.253537e-09,1.456093e-08,3.296062e-08,4.792813e-08,1.075629e-07,1.107418e-07,2.108089e-07,2.464645e-07,3.550264e-07,4.652893e-07,5.494130e-07,7.769885e-07,7.991041e-07,1.108297e-06,1.191730e-06,1.480135e-06,1.716497e-06,1.916527e-06,2.354318e-06,2.417883e-06,2.982800e-06,3.103141e-06,3.607777e-06,3.954696e-06,4.287127e-06,4.894283e-06,5.013249e-06,5.777274e-06,5.902412e-06,6.569869e-06,6.957766e-06,7.381925e-06,8.039868e-06,8.204979e-06,9.031386e-06,9.130449e-06,9.854370e-06,1.021384e-05,1.066800e-05,1.127690e-05,1.146712e-05,1.224736e-05,1.230884e-05,1.300501e-05,1.330104e-05,1.373703e-05,1.424682e-05,1.444098e-05,1.511499e-05,1.514130e-05,1.575764e-05,1.598113e-05,1.636801e-05,1.676432e-05,1.694554e-05,1.749001e-05,1.800151e-05,1.815827e-05,1.848036e-05,1.876993e-05,1.892710e-05,1.932640e-05,1.934242e-05,1.972716e-05,1.982953e-05,2.008225e-05,2.028150e-05,2.040871e-05,2.068470e-05,2.070762e-05,2.098008e-05,2.104166e-05,2.122723e-05,2.135501e-05,2.145021e-05,2.162735e-05,2.165017e-05,2.182822e-05,2.186130e-05,2.198549e-05,2.205942e-05,2.212307e-05,2.222420e-05,2.224202e-05,2.234337e-05,2.235802e-05,2.242811e-05,2.246318e-05,2.249722e-05,2.254187e-05,2.255162e-05,2.259220e-05,2.259618e-05,2.261981e-05,2.262807e-05,2.263528e-05,2.263940e-05,2.263939e-05,2.263288e-05,2.263192e-05,2.261646e-05,2.260727e-05,2.259082e-05,2.256700e-05,2.255658e-05,2.251438e-05,2.251253e-05,2.246478e-05,2.244522e-05,2.240833e-05,2.236631e-05,2.234557e-05,2.227699e-05,2.220305e-05,2.217833e-05,2.212419e-05,2.207134e-05,2.204084e-05,2.195696e-05,2.195339e-05,2.186221e-05,2.183606e-05,2.176765e-05,2.170943e-05,2.167005e-05,2.157783e-05,2.156971e-05,2.146694e-05,2.144194e-05,2.136200e-05,2.130239e-05,2.125516e-05,2.115975e-05,2.114665e-05,2.103672e-05,2.101458e-05,2.092556e-05,2.086735e-05,2.081339e-05,2.071852e-05,2.070039e-05,2.058674e-05,2.056850e-05,2.047259e-05,2.041767e-05,2.035811e-05,2.026637e-05,2.024343e-05,2.012869e-05,2.011492e-05,2.001401e-05,1.996360e-05,1.989951e-05,1.981267e-05,1.978529e-05,1.967145e-05,1.966236e-05,1.955809e-05,1.951289e-05,1.944528e-05,1.936445e-05,1.933311e-05,1.922164e-05,1.921719e-05,1.911094e-05,1.907129e-05,1.900107e-05,1.892687e-05,1.889209e-05,1.878405e-05,1.864294e-05,1.850363e-05,1.836620e-05,1.823073e-05,1.809727e-05,1.796586e-05,1.783656e-05,1.770939e-05,1.758439e-05,1.746156e-05,1.734092e-05,1.722249e-05,1.710626e-05,1.699223e-05,1.688040e-05,1.677076e-05,1.666329e-05,1.655798e-05,1.645480e-05,1.635375e-05,1.625480e-05,1.615791e-05,1.606308e-05,1.597025e-05
0.000000e+00,5.402258e-10,1.541461e-09,7.182007e-09,1.961833e-08,3.095871e-08,8.233738e-08,8.528242e-08,1.856093e-07,2.243729e-07,3.504608e-07,4.894926e-07,6.021270e-07,9.307354e-07,9.642540e-07,1.454059e-06,1.591287e-06,2.074822e-06,2.476566e-06,2.817499e-06,3.560813e-06,3.668118e-06,4.613045e-06,4.812286e-06,5.640601e-06,6.204223e-06,6.740802e-06,7.714528e-06,7.904671e-06,9.123687e-06,9.323288e-06,1.038949e-05,1.101126e-05,1.169379e-05,1.275943e-05,1.302838e-05,1.438529e-05,1.454925e-05,1.575685e-05,1.636310e-05,1.713583e-05,1.818471e-05,1.851558e-05,1.989004e-05,1.999960e-05,2.125380e-05,2.179523e-05,2.260212e-05,2.356102e-05,2.393089e-05,2.523662e-05,2.528833e-05,2.651638e-05,2.697027e-05,2.776779e-05,2.860157e-05,2.898895e-05,3.017833e-05,3.133477e-05,3.169774e-05,3.245746e-05,3.315799e-05,3.354583e-05,3.455809e-05,3.459958e-05,3.561860e-05,3.589771e-05,3.660297e-05,3.717703e-05,3.755287e-05,3.839659e-05,3.846860e-05,3.935058e-05,3.955729e-05,4.019930e-05,4.066026e-05,4.101531e-05,4.170681e-05,4.179921e-05,4.255164e-05,4.269841e-05,4.327328e-05,4.363659e-05,4.396483e-05,4.452300e-05,4.462700e-05,4.526052e-05,4.535928e-05,4.586613e-05,4.614712e-05,4.644456e-05,4.688823e-05,4.699655e-05,4.752283e-05,4.758429e-05,4.802414e-05,4.823700e-05,4.850121e-05,4.884801e-05,4.895475e-05,4.938547e-05,4.941896e-05,4.979407e-05,4.995147e-05,5.018124e-05,5.044711e-05,5.054765e-05,5.089396e-05,5.090741e-05,5.122084e-05,5.133388e-05,5.152891e-05,5.172797e-05,5.181880e-05,5.209112e-05,5.234646e-05,5.242468e-05,5.258541e-05,5.273000e-05,5.280854e-05,5.300838e-05,5.301640e-05,5.320954e-05,5.326105e-05,5.338847e-05,5.348923e-05,5.355372e-05,5.369408e-05,5.370577e-05,5.384513e-05,5.387674e-05,5.397225e-05,5.403827e-05,5.408761e-05,5.417974e-05,5.419164e-05,5.428479e-05,5.430215e-05,5.436746e-05,5.440646e-05,5.444008e-05,5.449360e-05,5.450304e-05,5.455672e-05,5.456448e-05,5.460150e-05,5.461994e-05,5.463774e-05,5.466083e-05,5.466580e-05,5.468600e-05,5.468792e-05,5.469869e-05,5.470197e-05,5.470418e-05,5.470373e-05,5.470278e-05,5.469479e-05,5.469387e-05,5.468050e-05,5.467309e-05,5.466019e-05,5.464200e-05,5.463414e-05,5.460260e-05,5.460123e-05,5.456583e-05,5.455136e-05,5.452407e-05,5.449295e-05,5.447757e-05,5.442654e-05,5.435265e-05,5.427175e-05,5.418431e-05,5.409079e-05,5.399161e-05,5.388717e-05,5.377785e-05,5.366404e-05,5.354607e-05,5.342428e-05,5.329900e-05,5.317051e-05,5.303911e-05,5.290508e-05,5.276867e-05,5.263012e-05,5.248968e-05,5.234755e-05,5.220397e-05,5.205911e-05,5.191318e-05,5.176635e-05,5.161878e-05,5.147064e-05
0.000000e+00,3.317314e-09,7.541777e-09,2.560286e-08,5.765468e-08,8.369308e-08,1.878880e-07,1.934752e-07,3.716222e-07,4.362609e-07,6.370437e-07,8.470615e-07,1.011231e-06,1.470296e-06,1.515902e-06,2.165562e-06,2.343113e-06,2.956046e-06,3.450782e-06,3.860166e-06,4.718862e-06,4.839005e-06,5.856825e-06,6.062571e-06,6.887097e-06,7.421432e-06,7.911521e-06,8.758129e-06,8.917419e-06,9.895671e-06,1.004915e-05,1.083947e-05,1.127870e-05,1.174370e-05,1.243597e-05,1.260452e-05,1.341925e-05,1.351383e-05,1.418617e-05,1.450822e-05,1.490444e-05,1.541774e-05,1.557402e-05,1.619547e-05,1.624314e-05,1.676992e-05,1.698687e-05,1.729888e-05,1.765261e-05,1.778423e-05,1.822808e-05,1.824500e-05,1.863271e-05,1.876924e-05,1.900052e-05,1.923077e-05,1.933379e-05,1.963484e-05,1.990595e-05,1.998674e-05,2.014931e-05,2.029149e-05,2.036705e-05,2.055382e-05,2.056115e-05,2.073351e-05,2.077811e-05,2.088586e-05,2.096836e-05,2.101985e-05,2.112822e-05,2.113701e-05,2.123873e-05,2.126100e-05,2.132632e-05,2.136964e-05,2.140097e-05,2.145683e-05,2.146378e-05,2.151576e-05,2.152494e-05,2.155784e-05,2.157610e-05,2.159087e-05,2.161220e-05,2.161563e-05,2.163284e-05,2.163493e-05,2.164314e-05,2.164581e-05,2.164713e-05,2.164616e-05,2.164537e-05,2.163836e-05,2.163719e-05,2.162655e-05,2.161995e-05,2.161038e-05,2.159541e-05,2.159023e-05,2.156644e-05,2.156440e-05,2.153937e-05,2.152768e-05,2.150929e-05,2.148593e-05,2.147648e-05,2.144121e-05,2.143976e-05,2.140371e-05,2.138970e-05,2.136418e-05,2.133625e-05,2.132283e-05,2.127985e-05,2.123539e-05,2.122088e-05,2.118961e-05,2.115969e-05,2.114267e-05,2.109662e-05,2.109468e-05,2.104578e-05,2.103194e-05,2.099608e-05,2.096591e-05,2.094568e-05,2.089877e-05,2.089467e-05,2.084316e-05,2.083073e-05,2.079122e-05,2.076198e-05,2.073893e-05,2.069268e-05,2.068636e-05,2.063358e-05,2.062300e-05,2.058065e-05,2.055308e-05,2.052762e-05,2.048304e-05,2.047455e-05,2.042149e-05,2.041301e-05,2.036849e-05,2.034307e-05,2.031557e-05,2.027334e-05,2.026280e-05,2.021019e-05,2.020389e-05,2.015779e-05,2.013480e-05,2.010561e-05,2.006614e-05,2.005371e-05,2.000209e-05,1.999797e-05,1.995078e-05,1.993035e-05,1.989981e-05,1.986333e-05,1.984919e-05,1.979895e-05,1.979695e-05,1.974910e-05,1.973125e-05,1.969965e-05,1.966627e-05,1.965063e-05,1.960204e-05,1.953859e-05,1.947594e-05,1.941412e-05,1.935313e-05,1.929301e-05,1.923375e-05,1.917538e-05,1.911790e-05,1.906131e-05,1.900563e-05,1.895086e-05,1.889699e-05,1.884404e-05,1.879199e-05,1.874085e-05,1.869061e-05,1.864128e-05,1.859284e-05,1.854529e-05,1.849863e-05,1.845284e-05,1.840793e-05,1.836387e-05,1.832068e-05
0.000000e+00,4.374751e-09,1.143258e-08,4.605885e-08,1.136182e-07,1.709943e-07,4.098581e-07,4.228986e-07,8.433285e-07,9.967559e-07,1.472585e-06,1.966884e-06,2.350279e-06,3.410255e-06,3.514827e-06,5.000364e-06,5.407545e-06,6.829499e-06,8.005751e-06,9.004658e-06,1.119037e-05,1.150693e-05,1.430491e-05,1.489696e-05,1.736424e-05,1.904727e-05,2.065166e-05,2.356604e-05,2.413533e-05,2.778430e-05,2.838143e-05,3.156809e-05,3.342338e-05,3.545677e-05,3.862366e-05,3.942127e-05,4.343379e-05,4.391727e-05,4.746825e-05,4.924406e-05,5.150053e-05,5.455012e-05,5.550886e-05,5.947383e-05,5.978864e-05,6.337854e-05,6.492021e-05,6.720845e-05,6.991275e-05,7.095138e-05,7.459728e-05,7.474098e-05,7.813809e-05,7.938579e-05,8.156752e-05,8.383345e-05,8.488087e-05,8.807482e-05,9.114726e-05,9.210458e-05,9.409711e-05,9.592054e-05,9.692415e-05,9.952305e-05,9.962890e-05,1.022125e-04,1.029144e-04,1.046766e-04,1.060985e-04,1.070232e-04,1.090804e-04,1.092547e-04,1.113737e-04,1.118659e-04,1.133831e-04,1.144615e-04,1.152857e-04,1.168741e-04,1.170847e-04,1.187831e-04,1.191111e-04,1.203843e-04,1.211795e-04,1.218914e-04,1.230870e-04,1.233076e-04,1.246361e-04,1.248407e-04,1.258800e-04,1.264480e-04,1.270425e-04,1.279160e-04,1.281267e-04,1.291355e-04,1.292517e-04,1.300720e-04,1.304619e-04,1.309390e-04,1.315532e-04,1.317394e-04,1.324758e-04,1.325320e-04,1.331510e-04,1.334045e-04,1.337676e-04,1.341767e-04,1.343281e-04,1.348349e-04,1.348541e-04,1.352905e-04,1.354424e-04,1.356971e-04,1.359467e-04,1.360569e-04,1.363722e-04,1.366450e-04,1.367236e-04,1.368773e-04,1.370056e-04,1.370710e-04,1.372225e-04,1.372281e-04,1.373504e-04,1.373786e-04,1.374395e-04,1.374777e-04,1.374972e-04,1.375238e-04,1.375250e-04,1.375246e-04,1.375205e-04,1.374975e-04,1.374711e-04,1.374450e-04,1.373789e-04,1.373685e-04,1.372695e-04,1.372471e-04,1.371491e-04,1.370785e-04,1.370087e-04,1.368760e-04,1.368493e-04,1.366721e-04,1.366422e-04,1.364782e-04,1.363795e-04,1.362686e-04,1.360903e-04,1.360443e-04,1.358063e-04,1.357769e-04,1.355555e-04,1.354413e-04,1.352928e-04,1.350856e-04,1.350189e-04,1.347347e-04,1.347116e-04,1.344410e-04,1.343210e-04,1.341385e-04,1.339156e-04,1.338279e-04,1.335098e-04,1.334969e-04,1.331849e-04,1.330664e-04,1.328538e-04,1.326254e-04,1.325170e-04,1.321752e-04,1.317171e-04,1.312522e-04,1.307816e-04,1.303062e-04,1.298271e-04,1.293450e-04,1.288608e-04,1.283752e-04,1.278890e-04,1.274028e-04,1.269172e-04,1.264328e-04,1.259501e-04,1.254696e-04,1.249917e-04,1.245168e-04,1.240453e-04,1.235776e-04,1.231140e-04,1.226547e-04,1.222001e-04,1.217503e-04,1.213055e-04,1.208660e-04
0.000000e+00,9.281798e-10,2.642689e-09,1.223885e-08,3.317640e-08,5.207916e-08,1.360636e-07,1.408078e-07,2.988113e-07,3.582331e-07,5.464771e-07,7.468204e-07,9.048474e-07,1.351435e-06,1.396180e-06,2.043743e-06,2.224963e-06,2.869974e-06,3.417548e-06,3.892184e-06,4.958924e-06,5.116295e-06,6.531921e-06,6.835949e-06,8.112963e-06,8.988810e-06,9.823810e-06,1.133369e-05,1.162692e-05,1.348795e-05,1.378908e-05,1.537790e-05,1.628820e-05,1.727308e-05,1.878003e-05,1.915440e-05,2.100639e-05,2.122603e-05,2.281646e-05,2.359688e-05,2.457431e-05,2.587017e-05,2.627161e-05,2.790167e-05,2.802901e-05,2.945931e-05,3.006119e-05,3.094068e-05,3.195852e-05,3.234315e-05,3.366518e-05,3.371637e-05,3.490616e-05,3.533310e-05,3.606636e-05,3.680961e-05,3.714673e-05,3.814884e-05,3.907475e-05,3.935534e-05,3.992689e-05,4.043481e-05,4.070802e-05,4.139383e-05,4.142108e-05,4.206920e-05,4.223947e-05,4.265556e-05,4.297908e-05,4.318341e-05,4.362012e-05,4.365596e-05,4.407642e-05,4.416992e-05,4.444790e-05,4.463567e-05,4.477344e-05,4.502426e-05,4.505599e-05,4.529836e-05,4.534226e-05,4.550326e-05,4.559586e-05,4.567326e-05,4.579088e-05,4.581080e-05,4.591821e-05,4.593275e-05,4.599768e-05,4.602651e-05,4.605127e-05,4.607683e-05,4.608093e-05,4.608849e-05,4.608800e-05,4.607567e-05,4.606399e-05,4.604407e-05,4.600843e-05,4.599521e-05,4.593049e-05,4.592466e-05,4.585122e-05,4.581572e-05,4.575865e-05,4.568440e-05,4.565391e-05,4.553809e-05,4.553324e-05,4.541217e-05,4.536455e-05,4.527709e-05,4.518045e-05,4.513372e-05,4.498286e-05,4.482526e-05,4.477352e-05,4.466162e-05,4.455402e-05,4.449259e-05,4.432581e-05,4.431877e-05,4.414072e-05,4.409018e-05,4.395896e-05,4.384833e-05,4.377398e-05,4.360133e-05,4.358621e-05,4.339609e-05,4.335015e-05,4.320398e-05,4.309566e-05,4.301024e-05,4.283868e-05,4.281522e-05,4.261920e-05,4.257990e-05,4.242247e-05,4.231998e-05,4.222530e-05,4.205951e-05,4.202792e-05,4.183055e-05,4.179899e-05,4.163341e-05,4.153891e-05,4.143666e-05,4.127968e-05,4.124050e-05,4.104508e-05,4.102168e-05,4.085053e-05,4.076525e-05,4.065701e-05,4.051068e-05,4.046462e-05,4.027349e-05,4.025825e-05,4.008370e-05,4.000819e-05,3.989536e-05,3.976070e-05,3.970855e-05,3.952334e-05,3.951597e-05,3.933980e-05,3.927415e-05,3.915800e-05,3.903539e-05,3.897798e-05,3.879980e-05,3.856749e-05,3.833854e-05,3.811303e-05,3.789100e-05,3.767251e-05,3.745760e-05,3.724629e-05,3.703860e-05,3.683454e-05,3.663411e-05,3.643731e-05,3.624413e-05,3.605455e-05,3.586855e-05,3.568612e-05,3.550721e-05,3.533181e-05,3.515988e-05,3.499137e-05,3.482626e-05,3.466450e-05,3.450605e-05,3.435086e-05,3.419889e-05
0.000000e+00,1.652385e-09,4.880720e-09,2.428432e-08,6.991868e-08,1.132231e-07,3.185416e-07,3.305804e-07,7.482224e-07,9.115367e-07,1.443948e-06,2.028850e-06,2.499815e-06,3.862433e-06,4.000923e-06,6.031324e-06,6.605838e-06,8.662749e-06,1.041650e-05,1.193836e-05,1.535907e-05,1.586378e-05,2.041189e-05,2.139220e-05,2.553389e-05,2.840423e-05,3.116897e-05,3.625013e-05,3.725028e-05,4.370817e-05,4.477165e-05,5.047190e-05,5.380633e-05,5.747072e-05,6.319197e-05,6.463466e-05,7.189538e-05,7.277001e-05,7.918702e-05,8.238890e-05,8.644710e-05,9.190759e-05,9.361730e-05,1.006442e-04,1.011987e-04,1.074800e-04,1.101511e-04,1.140826e-04,1.186718e-04,1.204163e-04,1.264517e-04,1.266865e-04,1.321651e-04,1.341397e-04,1.375393e-04,1.409936e-04,1.425621e-04,1.472268e-04,1.515309e-04,1.528322e-04,1.554762e-04,1.578152e-04,1.590680e-04,1.621913e-04,1.623146e-04,1.652268e-04,1.659840e-04,1.678173e-04,1.692228e-04,1.700999e-04,1.719411e-04,1.720899e-04,1.738033e-04,1.741751e-04,1.752563e-04,1.759624e-04,1.764654e-04,1.773407e-04,1.774470e-04,1.782174e-04,1.783475e-04,1.787922e-04,1.790189e-04,1.791867e-04,1.793894e-04,1.794155e-04,1.794926e-04,1.794917e-04,1.794311e-04,1.793562e-04,1.792437e-04,1.790110e-04,1.789420e-04,1.785371e-04,1.784821e-04,1.780393e-04,1.777933e-04,1.774581e-04,1.769661e-04,1.768024e-04,1.760805e-04,1.760201e-04,1.752999e-04,1.749728e-04,1.744676e-04,1.738399e-04,1.735900e-04,1.726731e-04,1.726357e-04,1.717223e-04,1.713727e-04,1.707425e-04,1.700620e-04,1.697383e-04,1.687137e-04,1.676725e-04,1.673364e-04,1.666182e-04,1.659379e-04,1.655538e-04,1.645250e-04,1.644821e-04,1.634057e-04,1.631038e-04,1.623269e-04,1.616793e-04,1.612477e-04,1.602561e-04,1.601700e-04,1.590955e-04,1.588383e-04,1.580258e-04,1.574293e-04,1.569620e-04,1.560319e-04,1.559055e-04,1.548574e-04,1.546488e-04,1.538184e-04,1.532821e-04,1.527896e-04,1.519337e-04,1.517716e-04,1.507651e-04,1.506051e-04,1.497706e-04,1.492977e-04,1.487886e-04,1.480124e-04,1.478196e-04,1.468639e-04,1.467501e-04,1.459218e-04,1.455116e-04,1.449935e-04,1.442973e-04,1.440792e-04,1.431791e-04,1.431077e-04,1.422934e-04,1.419431e-04,1.414220e-04,1.408035e-04,1.405650e-04,1.397225e-04,1.396891e-04,1.388944e-04,1.385998e-04,1.380807e-04,1.375357e-04,1.372814e-04,1.364964e-04,1.354819e-04,1.344919e-04,1.335261e-04,1.325841e-04,1.316658e-04,1.307706e-04,1.298983e-04,1.290483e-04,1.282203e-04,1.274139e-04,1.266285e-04,1.258639e-04,1.251194e-04,1.243948e-04,1.236894e-04,1.230030e-04,1.223350e-04,1.216849e-04,1.210524e-04,1.204370e-04,1.198384e-04,1.192559e-04,1.186893e-04,1.181381e-04
0.000000e+00,8.711466e-09,2.015528e-08,7.024785e-08,1.613489e-07,2.366367e-07,5.453724e-07,5.621963e-07,1.109426e-06,1.312338e-06,1.954007e-06,2.639036e-06,3.180815e-06,4.705290e-06,4.856547e-06,6.992804e-06,7.570380e-06,9.552472e-06,1.115269e-05,1.248773e-05,1.535033e-05,1.575971e-05,1.933877e-05,2.008920e-05,2.320002e-05,2.531155e-05,2.731977e-05,3.096227e-05,3.167356e-05,3.623537e-05,3.698274e-05,4.097757e-05,4.330943e-05,4.587122e-05,4.987528e-05,5.088669e-05,5.599428e-05,5.661199e-05,6.116480e-05,6.345245e-05,6.637008e-05,7.033292e-05,7.158355e-05,7.678058e-05,7.719494e-05,8.193863e-05,8.398634e-05,8.703752e-05,9.066198e-05,9.205940e-05,9.698874e-05,9.718380e-05,1.018123e-04,1.035207e-04,1.065189e-04,1.096479e-04,1.110994e-04,1.155466e-04,1.198547e-04,1.212031e-04,1.240194e-04,1.266082e-04,1.280379e-04,1.317563e-04,1.319082e-04,1.356296e-04,1.366448e-04,1.392018e-04,1.412739e-04,1.426258e-04,1.456463e-04,1.459031e-04,1.490353e-04,1.497656e-04,1.520246e-04,1.536373e-04,1.548738e-04,1.572674e-04,1.575856e-04,1.601631e-04,1.606628e-04,1.626096e-04,1.638311e-04,1.649284e-04,1.667800e-04,1.671229e-04,1.691968e-04,1.695176e-04,1.711535e-04,1.720522e-04,1.729967e-04,1.743920e-04,1.747300e-04,1.763569e-04,1.765451e-04,1.778809e-04,1.785198e-04,1.793056e-04,1.803240e-04,1.806344e-04,1.818706e-04,1.819656e-04,1.830177e-04,1.834523e-04,1.840789e-04,1.847915e-04,1.850573e-04,1.859562e-04,1.859906e-04,1.867786e-04,1.870565e-04,1.875274e-04,1.879961e-04,1.882056e-04,1.888160e-04,1.893613e-04,1.895225e-04,1.898443e-04,1.901218e-04,1.902675e-04,1.906198e-04,1.906334e-04,1.909446e-04,1.910222e-04,1.912033e-04,1.913343e-04,1.914119e-04,1.915615e-04,1.915726e-04,1.916876e-04,1.917087e-04,1.917590e-04,1.917806e-04,1.917887e-04,1.917820e-04,1.917788e-04,1.917311e-04,1.917172e-04,1.916474e-04,1.915903e-04,1.915296e-04,1.914054e-04,1.913792e-04,1.911981e-04,1.911663e-04,1.909876e-04,1.908766e-04,1.907494e-04,1.905399e-04,1.904849e-04,1.901956e-04,1.901593e-04,1.898828e-04,1.897381e-04,1.895479e-04,1.892792e-04,1.891920e-04,1.888164e-04,1.887856e-04,1.884223e-04,1.882598e-04,1.880109e-04,1.877044e-04,1.875831e-04,1.871400e-04,1.871220e-04,1.866827e-04,1.865147e-04,1.862120e-04,1.858849e-04,1.857290e-04,1.852344e-04,1.845654e-04,1.838797e-04,1.831790e-04,1.824650e-04,1.817393e-04,1.810032e-04,1.802583e-04,1.795058e-04,1.787470e-04,1.779830e-04,1.772150e-04,1.764438e-04,1.756706e-04,1.748962e-04,1.741214e-04,1.733471e-04,1.725739e-04,1.718026e-04,1.710338e-04,1.702680e-04,1.695060e-04,1.687480e-04,1.679948e-04,1.672465e-04
0.000000e+00,3.065598e-09,7.099488e-09,2.478013e-08,5.700546e-08,8.369907e-08,1.936881e-07,1.997040e-07,3.964280e-07,4.698077e-07,7.029543e-07,9.530060e-07,1.151090e-06,1.707385e-06,1.762377e-06,2.533233e-06,2.739631e-06,3.441381e-06,4.000894e-06,4.463211e-06,5.441858e-06,5.580480e-06,6.779220e-06,7.027682e-06,8.047588e-06,8.730988e-06,9.374577e-06,1.052670e-05,1.074947e-05,1.216173e-05,1.239047e-05,1.360115e-05,1.429883e-05,1.505798e-05,1.622987e-05,1.652316e-05,1.798842e-05,1.816390e-05,1.944640e-05,2.008392e-05,2.089066e-05,2.197565e-05,2.231562e-05,2.371664e-05,2.382756e-05,2.508985e-05,2.563062e-05,2.643213e-05,2.737802e-05,2.774103e-05,2.901464e-05,2.906483e-05,3.025158e-05,3.068770e-05,3.145086e-05,3.224453e-05,3.261185e-05,3.373423e-05,3.481792e-05,3.515654e-05,3.586304e-05,3.651182e-05,3.686990e-05,3.780085e-05,3.783888e-05,3.877053e-05,3.902477e-05,3.966543e-05,4.018502e-05,4.052427e-05,4.128318e-05,4.134778e-05,4.213672e-05,4.232101e-05,4.289188e-05,4.330032e-05,4.361409e-05,4.422303e-05,4.430417e-05,4.496298e-05,4.509107e-05,4.559136e-05,4.590637e-05,4.619015e-05,4.667089e-05,4.676021e-05,4.730236e-05,4.738657e-05,4.781745e-05,4.805531e-05,4.830629e-05,4.867901e-05,4.876969e-05,4.920847e-05,4.925950e-05,4.962339e-05,4.979860e-05,5.001524e-05,5.029807e-05,5.038476e-05,5.073270e-05,5.075963e-05,5.105979e-05,5.118494e-05,5.136672e-05,5.157563e-05,5.165420e-05,5.192290e-05,5.193327e-05,5.217348e-05,5.225937e-05,5.240657e-05,5.255541e-05,5.262282e-05,5.282281e-05,5.300715e-05,5.306292e-05,5.317641e-05,5.327708e-05,5.333115e-05,5.346654e-05,5.347191e-05,5.359923e-05,5.363254e-05,5.371361e-05,5.377624e-05,5.381556e-05,5.389878e-05,5.390555e-05,5.398405e-05,5.400123e-05,5.405152e-05,5.408465e-05,5.410840e-05,5.415003e-05,5.415511e-05,5.419207e-05,5.419832e-05,5.421966e-05,5.423045e-05,5.423830e-05,5.424729e-05,5.424833e-05,5.425013e-05,5.424968e-05,5.424406e-05,5.423844e-05,5.423043e-05,5.421433e-05,5.420960e-05,5.418186e-05,5.417808e-05,5.414753e-05,5.413041e-05,5.410690e-05,5.407198e-05,5.406026e-05,5.400788e-05,5.400345e-05,5.395003e-05,5.392542e-05,5.388697e-05,5.383848e-05,5.381894e-05,5.374619e-05,5.374319e-05,5.366895e-05,5.364008e-05,5.358743e-05,5.352967e-05,5.350186e-05,5.341244e-05,5.328886e-05,5.315935e-05,5.302435e-05,5.288425e-05,5.273944e-05,5.259028e-05,5.243710e-05,5.228025e-05,5.212002e-05,5.195672e-05,5.179063e-05,5.162201e-05,5.145113e-05,5.127820e-05,5.110348e-05,5.092717e-05,5.074947e-05,5.057059e-05,5.039070e-05,5.020999e-05,5.002861e-05,4.984671e-05,4.966446e-05,4.948197e-05
0.000000e+00,2.369279e-09,5.654209e-09,2.041101e-08,4.774305e-08,7.054619e-08,1.650776e-07,1.702618e-07,3.400758e-07,4.034722e-07,6.047284e-07,8.197179e-07,9.890006e-07,1.459066e-06,1.505178e-06,2.148807e-06,2.321128e-06,2.910157e-06,3.385025e-06,3.781725e-06,4.635686e-06,4.758263e-06,5.835218e-06,6.062240e-06,7.007680e-06,7.653230e-06,8.269885e-06,9.394589e-06,9.615096e-06,1.103568e-05,1.126942e-05,1.252331e-05,1.325862e-05,1.406920e-05,1.534182e-05,1.566437e-05,1.729986e-05,1.749841e-05,1.896696e-05,1.970835e-05,2.065738e-05,2.195289e-05,2.236335e-05,2.407771e-05,2.421502e-05,2.579396e-05,2.647966e-05,2.750629e-05,2.873382e-05,2.920955e-05,3.089923e-05,3.096647e-05,3.257143e-05,3.316848e-05,3.422281e-05,3.533239e-05,3.585054e-05,3.745224e-05,3.902595e-05,3.952335e-05,4.057004e-05,4.154212e-05,4.208324e-05,4.350589e-05,4.356452e-05,4.501309e-05,4.541274e-05,4.642837e-05,4.726139e-05,4.780997e-05,4.905107e-05,4.915763e-05,5.047122e-05,5.078141e-05,5.175073e-05,5.245240e-05,5.299625e-05,5.406431e-05,5.420793e-05,5.538600e-05,5.561760e-05,5.653074e-05,5.711295e-05,5.764250e-05,5.855117e-05,5.872166e-05,5.976861e-05,5.993317e-05,6.078382e-05,6.125997e-05,6.176773e-05,6.253266e-05,6.272085e-05,6.364367e-05,6.375240e-05,6.453671e-05,6.492035e-05,6.540051e-05,6.603776e-05,6.623559e-05,6.704250e-05,6.710585e-05,6.782179e-05,6.812590e-05,6.857402e-05,6.909917e-05,6.929973e-05,6.999948e-05,7.002694e-05,7.067383e-05,7.091048e-05,7.132332e-05,7.175106e-05,7.194851e-05,7.254994e-05,7.312815e-05,7.330836e-05,7.368368e-05,7.402756e-05,7.421706e-05,7.470877e-05,7.472883e-05,7.521949e-05,7.535317e-05,7.568958e-05,7.596196e-05,7.613958e-05,7.653628e-05,7.657001e-05,7.698135e-05,7.707729e-05,7.737410e-05,7.758610e-05,7.774874e-05,7.806380e-05,7.810572e-05,7.844552e-05,7.851146e-05,7.876860e-05,7.893013e-05,7.907539e-05,7.932083e-05,7.936634e-05,7.964188e-05,7.968456e-05,7.990243e-05,8.002229e-05,8.014840e-05,8.033496e-05,8.038021e-05,8.059825e-05,8.062351e-05,8.080291e-05,8.088883e-05,8.099458e-05,8.113179e-05,8.117363e-05,8.134042e-05,8.135324e-05,8.149531e-05,8.155402e-05,8.163867e-05,8.173492e-05,8.177082e-05,8.189210e-05,8.189673e-05,8.200285e-05,8.204020e-05,8.210338e-05,8.216606e-05,8.219401e-05,8.227504e-05,8.236781e-05,8.244505e-05,8.250741e-05,8.255552e-05,8.258998e-05,8.261139e-05,8.262031e-05,8.261729e-05,8.260287e-05,8.257756e-05,8.254186e-05,8.249625e-05,8.244120e-05,8.237716e-05,8.230455e-05,8.222381e-05,8.213532e-05,8.203949e-05,8.193668e-05,8.182727e-05,8.171159e-05,8.158999e-05,8.146279e-05,8.133031e-05
0.000000e+00,4.456097e-09,1.037603e-08,3.641983e-08,8.397078e-08,1.233690e-07,2.855779e-07,2.944410e-07,5.833743e-07,6.904560e-07,1.026312e-06,1.376711e-06,1.646535e-06,2.374917e-06,2.445204e-06,3.415084e-06,3.672660e-06,4.550577e-06,5.257302e-06,5.847692e-06,7.119413e-06,7.302059e-06,8.907637e-06,9.246211e-06,1.065615e-05,1.161844e-05,1.253701e-05,1.420998e-05,1.453753e-05,1.664331e-05,1.698896e-05,1.883867e-05,1.991947e-05,2.110723e-05,2.296357e-05,2.343232e-05,2.579754e-05,2.608330e-05,2.818705e-05,2.924224e-05,3.058589e-05,3.240669e-05,3.298025e-05,3.535777e-05,3.554691e-05,3.770752e-05,3.863743e-05,4.001987e-05,4.165696e-05,4.228665e-05,4.450099e-05,4.458839e-05,4.665727e-05,4.741841e-05,4.875095e-05,5.013709e-05,5.077856e-05,5.273748e-05,5.462590e-05,5.521510e-05,5.644267e-05,5.756753e-05,5.818725e-05,5.979405e-05,5.985956e-05,6.145995e-05,6.189526e-05,6.298911e-05,6.387281e-05,6.444800e-05,6.572914e-05,6.583782e-05,6.715994e-05,6.746734e-05,6.841587e-05,6.909088e-05,6.960724e-05,7.060360e-05,7.073576e-05,7.180318e-05,7.200949e-05,7.281131e-05,7.331271e-05,7.376197e-05,7.451746e-05,7.465700e-05,7.549821e-05,7.562794e-05,7.628744e-05,7.664834e-05,7.702649e-05,7.758278e-05,7.771712e-05,7.836109e-05,7.843531e-05,7.896011e-05,7.920987e-05,7.951586e-05,7.991031e-05,8.002999e-05,8.050410e-05,8.054035e-05,8.093975e-05,8.110358e-05,8.133845e-05,8.160348e-05,8.170170e-05,8.203093e-05,8.204341e-05,8.232752e-05,8.242657e-05,8.259284e-05,8.275606e-05,8.282819e-05,8.303484e-05,8.321402e-05,8.326575e-05,8.336692e-05,8.345151e-05,8.349468e-05,8.359472e-05,8.359842e-05,8.367920e-05,8.369785e-05,8.373807e-05,8.376329e-05,8.377602e-05,8.379329e-05,8.379402e-05,8.379298e-05,8.379000e-05,8.377382e-05,8.375549e-05,8.373738e-05,8.369170e-05,8.368451e-05,8.361601e-05,8.360050e-05,8.353263e-05,8.348365e-05,8.343513e-05,8.334284e-05,8.332422e-05,8.320059e-05,8.317967e-05,8.306489e-05,8.299565e-05,8.291776e-05,8.279223e-05,8.275981e-05,8.259162e-05,8.257078e-05,8.241377e-05,8.233259e-05,8.222678e-05,8.207889e-05,8.203119e-05,8.182748e-05,8.181085e-05,8.161614e-05,8.152957e-05,8.139762e-05,8.123609e-05,8.117236e-05,8.094080e-05,8.093141e-05,8.070332e-05,8.061646e-05,8.046033e-05,8.029213e-05,8.021219e-05,7.995925e-05,7.961862e-05,7.927097e-05,7.891702e-05,7.855743e-05,7.819282e-05,7.782379e-05,7.745090e-05,7.707466e-05,7.669558e-05,7.631411e-05,7.593070e-05,7.554574e-05,7.515963e-05,7.477273e-05,7.438538e-05,7.399789e-05,7.361056e-05,7.322367e-05,7.283747e-05,7.245222e-05,7.206813e-05,7.168541e-05,7.130426e-05,7.092487e-05
0.000000e+00,8.831995e-10,2.634066e-09,1.337215e-08,3.921396e-08,6.414352e-08,1.851819e-07,1.923809e-07,4.464984e-07,5.476059e-07,8.818532e-07,1.255109e-06,1.559057e-06,2.450476e-06,2.541850e-06,3.892975e-06,4.278487e-06,5.668457e-06,6.865466e-06,7.913652e-06,1.030521e-05,1.066254e-05,1.393861e-05,1.465847e-05,1.775578e-05,1.995655e-05,2.211902e-05,2.620378e-05,2.702477e-05,3.246129e-05,3.337919e-05,3.840913e-05,4.143816e-05,4.484169e-05,5.031479e-05,5.172602e-05,5.902363e-05,5.992512e-05,6.669159e-05,7.017097e-05,7.468353e-05,8.094417e-05,8.295075e-05,9.144329e-05,9.213092e-05,1.001109e-04,1.036159e-04,1.089041e-04,1.152859e-04,1.177748e-04,1.266771e-04,1.270332e-04,1.355676e-04,1.387575e-04,1.444063e-04,1.503680e-04,1.531563e-04,1.617844e-04,1.702610e-04,1.729372e-04,1.785601e-04,1.837679e-04,1.866593e-04,1.942287e-04,1.945395e-04,2.021852e-04,2.042821e-04,2.095834e-04,2.138994e-04,2.167245e-04,2.230607e-04,2.236010e-04,2.302081e-04,2.317533e-04,2.365428e-04,2.399709e-04,2.426042e-04,2.477126e-04,2.483929e-04,2.539109e-04,2.549823e-04,2.591615e-04,2.617875e-04,2.641490e-04,2.681389e-04,2.688786e-04,2.733561e-04,2.740495e-04,2.775881e-04,2.795342e-04,2.815815e-04,2.846093e-04,2.853435e-04,2.888819e-04,2.892919e-04,2.922043e-04,2.935998e-04,2.953186e-04,2.975511e-04,2.982326e-04,3.009543e-04,3.011640e-04,3.034914e-04,3.044564e-04,3.058518e-04,3.074461e-04,3.080430e-04,3.100725e-04,3.101504e-04,3.119476e-04,3.125862e-04,3.136754e-04,3.147697e-04,3.152629e-04,3.167167e-04,3.180433e-04,3.184420e-04,3.192490e-04,3.199601e-04,3.203400e-04,3.212846e-04,3.213219e-04,3.222004e-04,3.224286e-04,3.229810e-04,3.234045e-04,3.236687e-04,3.242238e-04,3.242686e-04,3.247855e-04,3.248977e-04,3.252238e-04,3.254366e-04,3.255879e-04,3.258503e-04,3.258821e-04,3.261102e-04,3.261483e-04,3.262762e-04,3.263391e-04,3.263836e-04,3.264311e-04,3.264359e-04,3.264364e-04,3.264319e-04,3.263883e-04,3.263488e-04,3.262945e-04,3.261886e-04,3.261580e-04,3.259814e-04,3.259577e-04,3.257674e-04,3.256620e-04,3.255183e-04,3.253071e-04,3.252366e-04,3.249245e-04,3.248983e-04,3.245841e-04,3.244405e-04,3.242174e-04,3.239382e-04,3.238263e-04,3.234127e-04,3.233957e-04,3.229782e-04,3.228170e-04,3.225245e-04,3.222058e-04,3.220531e-04,3.215655e-04,3.208995e-04,3.202107e-04,3.195019e-04,3.187757e-04,3.180346e-04,3.172807e-04,3.165162e-04,3.157430e-04,3.149629e-04,3.141775e-04,3.133884e-04,3.125970e-04,3.118046e-04,3.110124e-04,3.102215e-04,3.094329e-04,3.086476e-04,3.078664e-04,3.070901e-04,3.063193e-04,3.055548e-04,3.047971e-04,3.040468e-04,3.033043e-04
0.000000e+00,5.919901e-09,1.348761e-08,4.617161e-08,1.054193e-07,1.546740e-07,3.610996e-07,3.725637e-07,7.562232e-07,9.028662e-07,1.375751e-06,1.885037e-06,2.283449e-06,3.357094e-06,3.459178e-06,4.818865e-06,5.162791e-06,6.280019e-06,7.121389e-06,7.788458e-06,9.128370e-06,9.311025e-06,1.082553e-05,1.112592e-05,1.231515e-05,1.307526e-05,1.376615e-05,1.494675e-05,1.516713e-05,1.650881e-05,1.671746e-05,1.778399e-05,1.837088e-05,1.898756e-05,1.989663e-05,2.011628e-05,2.116851e-05,2.128962e-05,2.214417e-05,2.254949e-05,2.304451e-05,2.367967e-05,2.387164e-05,2.462837e-05,2.468596e-05,2.531802e-05,2.557589e-05,2.594417e-05,2.635780e-05,2.651059e-05,2.702109e-05,2.704040e-05,2.747943e-05,2.763237e-05,2.788928e-05,2.814209e-05,2.825417e-05,2.857746e-05,2.886232e-05,2.894585e-05,2.911174e-05,2.925406e-05,2.932850e-05,2.950828e-05,2.951521e-05,2.967426e-05,2.971415e-05,2.980790e-05,2.987676e-05,2.991820e-05,3.000069e-05,3.000706e-05,3.007624e-05,3.009010e-05,3.012737e-05,3.014868e-05,3.016195e-05,3.017978e-05,3.018135e-05,3.018685e-05,3.018639e-05,3.017962e-05,3.017118e-05,3.016072e-05,3.013657e-05,3.013116e-05,3.009185e-05,3.008471e-05,3.004363e-05,3.001755e-05,2.998728e-05,2.993682e-05,2.992350e-05,2.985297e-05,2.984408e-05,2.977628e-05,2.974074e-05,2.969400e-05,2.962805e-05,2.960665e-05,2.951470e-05,2.950716e-05,2.941859e-05,2.937908e-05,2.931874e-05,2.924474e-05,2.921551e-05,2.910926e-05,2.910496e-05,2.900031e-05,2.896048e-05,2.888895e-05,2.881199e-05,2.877546e-05,2.866010e-05,2.854309e-05,2.850534e-05,2.842467e-05,2.834822e-05,2.830502e-05,2.818919e-05,2.818435e-05,2.806281e-05,2.802865e-05,2.794058e-05,2.786696e-05,2.781779e-05,2.770447e-05,2.769460e-05,2.757112e-05,2.754145e-05,2.744747e-05,2.737820e-05,2.732377e-05,2.721495e-05,2.720011e-05,2.707660e-05,2.705192e-05,2.695330e-05,2.688931e-05,2.683032e-05,2.672730e-05,2.670771e-05,2.658555e-05,2.656605e-05,2.646391e-05,2.640572e-05,2.634283e-05,2.624642e-05,2.622238e-05,2.610260e-05,2.608828e-05,2.598355e-05,2.593140e-05,2.586525e-05,2.577588e-05,2.574775e-05,2.563109e-05,2.562180e-05,2.551530e-05,2.546923e-05,2.540041e-05,2.531825e-05,2.528643e-05,2.517341e-05,2.516891e-05,2.506135e-05,2.502125e-05,2.495029e-05,2.487533e-05,2.484023e-05,2.473119e-05,2.458885e-05,2.444834e-05,2.430969e-05,2.417292e-05,2.403803e-05,2.390505e-05,2.377398e-05,2.364482e-05,2.351758e-05,2.339226e-05,2.326885e-05,2.314735e-05,2.302775e-05,2.291005e-05,2.279423e-05,2.268028e-05,2.256819e-05,2.245795e-05,2.234953e-05,2.224293e-05,2.213813e-05,2.203510e-05,2.193384e-05,2.183431e-05
0.000000e+00,1.605302e-09,4.345592e-09,1.839313e-08,4.660475e-08,7.084939e-08,1.727568e-07,1.783468e-07,3.595690e-07,4.261506e-07,6.341219e-07,8.524601e-07,1.023296e-06,1.501065e-06,1.548533e-06,2.225547e-06,2.411052e-06,3.053875e-06,3.575753e-06,4.009461e-06,4.922891e-06,5.050906e-06,6.134812e-06,6.353424e-06,7.226244e-06,7.788231e-06,8.300569e-06,9.177477e-06,9.341203e-06,1.033694e-05,1.049154e-05,1.128008e-05,1.171248e-05,1.216536e-05,1.282955e-05,1.298933e-05,1.375005e-05,1.383705e-05,1.444686e-05,1.473329e-05,1.508019e-05,1.551986e-05,1.565138e-05,1.616255e-05,1.620093e-05,1.661638e-05,1.678254e-05,1.701596e-05,1.727198e-05,1.736471e-05,1.766618e-05,1.767731e-05,1.792402e-05,1.800684e-05,1.814178e-05,1.826877e-05,1.832298e-05,1.847094e-05,1.858885e-05,1.862072e-05,1.867965e-05,1.872483e-05,1.874611e-05,1.878936e-05,1.879076e-05,1.881593e-05,1.881978e-05,1.882374e-05,1.882090e-05,1.881611e-05,1.879696e-05,1.879479e-05,1.876135e-05,1.875169e-05,1.871721e-05,1.868830e-05,1.866365e-05,1.860962e-05,1.860179e-05,1.853268e-05,1.851807e-05,1.845722e-05,1.841576e-05,1.837625e-05,1.830450e-05,1.829048e-05,1.820059e-05,1.818586e-05,1.810715e-05,1.806120e-05,1.801070e-05,1.793169e-05,1.791171e-05,1.781059e-05,1.779833e-05,1.770773e-05,1.766201e-05,1.760346e-05,1.752346e-05,1.749809e-05,1.739188e-05,1.738335e-05,1.728508e-05,1.724224e-05,1.717790e-05,1.710061e-05,1.707054e-05,1.696318e-05,1.695889e-05,1.685597e-05,1.681744e-05,1.674905e-05,1.667657e-05,1.664254e-05,1.653655e-05,1.643119e-05,1.639762e-05,1.632655e-05,1.625998e-05,1.622269e-05,1.612380e-05,1.611970e-05,1.601763e-05,1.598922e-05,1.591654e-05,1.585637e-05,1.581647e-05,1.572536e-05,1.571748e-05,1.561959e-05,1.559627e-05,1.552284e-05,1.546917e-05,1.542725e-05,1.534412e-05,1.533286e-05,1.523967e-05,1.522118e-05,1.514771e-05,1.510037e-05,1.505698e-05,1.498174e-05,1.496750e-05,1.487928e-05,1.486529e-05,1.479233e-05,1.475104e-05,1.470663e-05,1.463899e-05,1.462221e-05,1.453905e-05,1.452916e-05,1.445716e-05,1.442152e-05,1.437653e-05,1.431609e-05,1.429715e-05,1.421903e-05,1.421283e-05,1.414215e-05,1.411175e-05,1.406651e-05,1.401281e-05,1.399210e-05,1.391891e-05,1.391601e-05,1.384692e-05,1.382130e-05,1.377614e-05,1.372868e-05,1.370654e-05,1.363811e-05,1.354957e-05,1.346301e-05,1.337843e-05,1.329577e-05,1.321502e-05,1.313613e-05,1.305907e-05,1.298382e-05,1.291033e-05,1.283857e-05,1.276851e-05,1.270012e-05,1.263335e-05,1.256818e-05,1.250457e-05,1.244249e-05,1.238191e-05,1.232279e-05,1.226510e-05,1.220881e-05,1.215389e-05,1.210030e-05,1.204802e-05,1.199701e-05
0.000000e+00,1.447274e-09,4.264301e-09,2.112992e-08,6.069421e-08,9.822568e-08,2.766471e-07,2.871411e-07,6.536589e-07,7.982772e-07,1.274441e-06,1.804821e-06,2.236350e-06,3.499272e-06,3.628346e-06,5.523002e-06,6.057843e-06,7.962211e-06,9.571852e-06,1.095923e-05,1.405401e-05,1.450864e-05,1.859435e-05,1.947396e-05,2.319383e-05,2.577971e-05,2.827980e-05,3.290514e-05,3.382090e-05,3.978206e-05,4.077230e-05,4.612489e-05,4.929305e-05,5.280836e-05,5.837161e-05,5.978958e-05,6.702470e-05,6.790789e-05,7.446984e-05,7.780109e-05,8.208193e-05,8.795319e-05,8.981950e-05,9.764327e-05,9.827178e-05,1.055166e-04,1.086722e-04,1.134060e-04,1.190791e-04,1.212809e-04,1.291143e-04,1.294264e-04,1.368820e-04,1.396581e-04,1.445631e-04,1.497275e-04,1.521396e-04,1.595962e-04,1.669200e-04,1.692338e-04,1.741004e-04,1.786164e-04,1.811286e-04,1.877262e-04,1.879979e-04,1.947028e-04,1.965502e-04,2.012394e-04,2.050794e-04,2.076050e-04,2.133086e-04,2.137976e-04,2.198164e-04,2.212351e-04,2.256613e-04,2.288585e-04,2.313326e-04,2.361805e-04,2.368313e-04,2.421590e-04,2.432041e-04,2.473173e-04,2.499335e-04,2.523085e-04,2.563737e-04,2.571350e-04,2.617992e-04,2.625306e-04,2.663041e-04,2.684107e-04,2.706525e-04,2.740206e-04,2.748475e-04,2.788922e-04,2.793676e-04,2.827898e-04,2.844589e-04,2.865435e-04,2.893021e-04,2.901566e-04,2.936323e-04,2.939045e-04,2.969740e-04,2.982739e-04,3.001850e-04,3.024178e-04,3.032686e-04,3.062279e-04,3.063437e-04,3.090663e-04,3.100591e-04,3.117869e-04,3.135713e-04,3.143930e-04,3.168876e-04,3.192738e-04,3.200150e-04,3.215548e-04,3.229607e-04,3.237334e-04,3.257314e-04,3.258127e-04,3.277955e-04,3.283338e-04,3.296847e-04,3.307745e-04,3.314831e-04,3.330597e-04,3.331934e-04,3.348183e-04,3.351958e-04,3.363604e-04,3.371888e-04,3.378223e-04,3.390444e-04,3.392065e-04,3.405155e-04,3.407685e-04,3.417517e-04,3.423665e-04,3.429173e-04,3.438437e-04,3.440148e-04,3.450463e-04,3.452054e-04,3.460141e-04,3.464566e-04,3.469202e-04,3.476021e-04,3.477668e-04,3.485558e-04,3.486467e-04,3.492892e-04,3.495948e-04,3.499690e-04,3.504509e-04,3.505970e-04,3.511751e-04,3.512192e-04,3.517049e-04,3.519038e-04,3.521883e-04,3.525085e-04,3.526269e-04,3.530224e-04,3.530373e-04,3.533762e-04,3.534938e-04,3.536901e-04,3.538814e-04,3.539654e-04,3.542036e-04,3.544637e-04,3.546647e-04,3.548098e-04,3.549018e-04,3.549435e-04,3.549375e-04,3.548866e-04,3.547930e-04,3.546593e-04,3.544876e-04,3.542802e-04,3.540392e-04,3.537665e-04,3.534641e-04,3.531338e-04,3.527774e-04,3.523965e-04,3.519929e-04,3.515679e-04,3.511232e-04,3.506601e-04,3.501799e-04,3.496840e-04,3.491735e-04
0.000000e+00,9.699911e-10,2.217706e-09,7.573102e-09,1.707427e-08,2.476496e-08,5.518394e-08,5.679767e-08,1.073083e-07,1.251966e-07,1.793945e-07,2.341096e-07,2.756720e-07,3.874806e-07,3.983043e-07,5.489928e-07,5.894755e-07,7.289023e-07,8.426231e-07,9.384932e-07,1.147112e-06,1.177260e-06,1.443466e-06,1.499754e-06,1.734081e-06,1.893532e-06,2.045063e-06,2.318710e-06,2.371872e-06,2.709940e-06,2.764782e-06,3.054949e-06,3.221844e-06,3.402947e-06,3.681084e-06,3.750362e-06,4.093993e-06,4.134837e-06,4.431011e-06,4.576553e-06,4.758943e-06,5.000779e-06,5.075672e-06,5.379435e-06,5.403131e-06,5.668807e-06,5.780270e-06,5.942689e-06,6.129836e-06,6.200288e-06,6.441092e-06,6.450370e-06,6.664839e-06,6.741199e-06,6.871493e-06,7.002325e-06,7.061207e-06,7.234298e-06,7.391212e-06,7.438097e-06,7.532505e-06,7.615024e-06,7.658810e-06,7.766608e-06,7.770823e-06,7.869278e-06,7.894519e-06,7.954934e-06,8.000504e-06,8.028560e-06,8.086330e-06,8.090923e-06,8.142780e-06,8.153745e-06,8.184870e-06,8.204442e-06,8.217909e-06,8.240043e-06,8.242584e-06,8.259554e-06,8.262078e-06,8.269441e-06,8.271981e-06,8.272837e-06,8.271082e-06,8.270299e-06,8.262348e-06,8.260607e-06,8.249475e-06,8.241682e-06,8.232135e-06,8.215333e-06,8.210753e-06,8.185724e-06,8.182493e-06,8.157415e-06,8.144008e-06,8.126164e-06,8.100641e-06,8.092287e-06,8.056070e-06,8.053080e-06,8.017783e-06,8.001943e-06,7.977669e-06,7.947785e-06,7.935956e-06,7.892850e-06,7.891099e-06,7.848542e-06,7.832331e-06,7.803207e-06,7.771874e-06,7.757004e-06,7.710081e-06,7.662570e-06,7.647263e-06,7.614595e-06,7.583699e-06,7.566266e-06,7.519633e-06,7.517686e-06,7.468946e-06,7.455282e-06,7.420132e-06,7.390839e-06,7.371318e-06,7.326471e-06,7.322575e-06,7.273966e-06,7.262326e-06,7.225546e-06,7.198533e-06,7.177367e-06,7.135206e-06,7.129476e-06,7.081913e-06,7.072443e-06,7.034715e-06,7.010328e-06,6.987916e-06,6.948935e-06,6.941545e-06,6.895628e-06,6.888325e-06,6.850188e-06,6.828552e-06,6.805245e-06,6.769660e-06,6.760816e-06,6.716918e-06,6.711686e-06,6.673563e-06,6.654661e-06,6.630762e-06,6.598609e-06,6.588524e-06,6.546858e-06,6.543549e-06,6.505769e-06,6.489496e-06,6.465261e-06,6.436459e-06,6.425340e-06,6.386006e-06,6.384444e-06,6.347261e-06,6.333457e-06,6.309105e-06,6.283495e-06,6.271538e-06,6.234558e-06,6.186640e-06,6.139736e-06,6.093837e-06,6.048933e-06,6.005013e-06,5.962065e-06,5.920077e-06,5.879034e-06,5.838921e-06,5.799724e-06,5.761427e-06,5.724014e-06,5.687468e-06,5.651773e-06,5.616913e-06,5.582870e-06,5.549628e-06,5.517170e-06,5.485480e-06,5.454540e-06,5.424334e-06,5.394846e-06,5.366059e-06,5.337958e-06
0.000000e+00,1.333727e-09,3.961740e-09,1.994560e-08,5.805371e-08,9.457555e-08,2.702670e-07,2.806603e-07,6.452209e-07,7.893939e-07,1.263841e-06,1.791073e-06,2.219164e-06,3.471683e-06,3.599984e-06,5.499190e-06,6.042424e-06,8.007768e-06,9.708595e-06,1.120321e-05,1.462453e-05,1.513635e-05,1.982480e-05,2.085245e-05,2.525566e-05,2.836189e-05,3.139306e-05,3.705731e-05,3.818575e-05,4.557274e-05,4.680540e-05,5.348713e-05,5.745279e-05,6.185856e-05,6.883636e-05,7.061496e-05,7.968390e-05,8.078975e-05,8.899366e-05,9.314814e-05,9.847428e-05,1.057523e-04,1.080584e-04,1.176821e-04,1.184518e-04,1.272854e-04,1.311085e-04,1.368131e-04,1.435978e-04,1.462150e-04,1.554460e-04,1.558111e-04,1.644664e-04,1.676555e-04,1.732421e-04,1.790547e-04,1.817440e-04,1.899480e-04,1.978348e-04,2.002891e-04,2.053897e-04,2.100455e-04,2.126018e-04,2.191964e-04,2.194641e-04,2.259726e-04,2.277314e-04,2.321264e-04,2.356490e-04,2.379270e-04,2.429550e-04,2.433783e-04,2.484858e-04,2.496611e-04,2.532565e-04,2.557840e-04,2.576987e-04,2.613437e-04,2.618219e-04,2.656361e-04,2.663628e-04,2.691520e-04,2.708661e-04,2.723808e-04,2.748793e-04,2.753337e-04,2.780224e-04,2.784289e-04,2.804585e-04,2.815414e-04,2.826533e-04,2.842433e-04,2.846184e-04,2.863650e-04,2.865604e-04,2.879040e-04,2.885181e-04,2.892461e-04,2.901409e-04,2.904018e-04,2.913811e-04,2.914521e-04,2.921939e-04,2.924744e-04,2.928494e-04,2.932292e-04,2.933568e-04,2.937248e-04,2.937367e-04,2.939616e-04,2.940163e-04,2.940753e-04,2.940862e-04,2.940735e-04,2.939634e-04,2.937520e-04,2.936640e-04,2.934459e-04,2.932032e-04,2.930514e-04,2.925951e-04,2.925745e-04,2.920209e-04,2.918529e-04,2.913960e-04,2.909890e-04,2.907050e-04,2.900150e-04,2.899526e-04,2.891436e-04,2.889415e-04,2.882822e-04,2.877786e-04,2.873727e-04,2.865355e-04,2.864189e-04,2.854245e-04,2.852211e-04,2.843931e-04,2.838432e-04,2.833279e-04,2.824093e-04,2.822320e-04,2.811085e-04,2.809264e-04,2.799601e-04,2.794007e-04,2.787893e-04,2.778383e-04,2.775987e-04,2.763906e-04,2.762446e-04,2.751672e-04,2.746246e-04,2.739305e-04,2.729829e-04,2.726825e-04,2.714249e-04,2.713239e-04,2.701595e-04,2.696515e-04,2.688879e-04,2.679693e-04,2.676116e-04,2.663319e-04,2.662807e-04,2.650502e-04,2.645886e-04,2.637677e-04,2.628958e-04,2.624856e-04,2.612049e-04,2.595183e-04,2.578380e-04,2.561659e-04,2.545038e-04,2.528533e-04,2.512157e-04,2.495924e-04,2.479845e-04,2.463930e-04,2.448188e-04,2.432627e-04,2.417255e-04,2.402076e-04,2.387097e-04,2.372323e-04,2.357756e-04,2.343400e-04,2.329258e-04,2.315332e-04,2.301622e-04,2.288131e-04,2.274859e-04,2.261805e-04,2.248970e-04
0.000000e+00,3.582938e-09,8.646100e-09,3.148690e-08,7.363918e-08,1.085756e-07,2.512543e-07,2.589862e-07,5.077253e-07,5.986400e-07,8.820434e-07,1.179014e-06,1.410890e-06,2.054964e-06,2.118454e-06,3.011171e-06,3.251581e-06,4.073743e-06,4.733935e-06,5.282009e-06,6.448147e-06,6.613857e-06,8.050817e-06,8.349355e-06,9.576426e-06,1.039954e-05,1.117493e-05,1.256264e-05,1.283080e-05,1.452868e-05,1.480323e-05,1.625370e-05,1.708717e-05,1.799177e-05,1.938282e-05,1.972985e-05,2.145621e-05,2.166208e-05,2.316052e-05,2.390109e-05,2.483391e-05,2.608040e-05,2.646897e-05,2.805966e-05,2.818485e-05,2.960121e-05,3.020322e-05,3.108998e-05,3.212769e-05,3.252333e-05,3.389948e-05,3.395332e-05,3.521741e-05,3.567752e-05,3.647669e-05,3.729952e-05,3.767740e-05,3.882004e-05,3.990544e-05,4.024084e-05,4.093465e-05,4.156445e-05,4.190897e-05,4.279399e-05,4.282982e-05,4.369875e-05,4.393296e-05,4.451737e-05,4.498509e-05,4.528735e-05,4.595424e-05,4.601040e-05,4.668822e-05,4.684436e-05,4.732253e-05,4.765937e-05,4.791503e-05,4.840316e-05,4.846738e-05,4.898123e-05,4.907952e-05,4.945818e-05,4.969214e-05,4.989982e-05,5.024461e-05,5.030766e-05,5.068319e-05,5.074038e-05,5.102787e-05,5.118276e-05,5.134307e-05,5.157492e-05,5.163015e-05,5.189042e-05,5.191991e-05,5.212514e-05,5.222063e-05,5.233551e-05,5.247984e-05,5.252272e-05,5.268787e-05,5.270016e-05,5.283206e-05,5.288410e-05,5.295632e-05,5.303402e-05,5.306166e-05,5.314903e-05,5.315216e-05,5.321935e-05,5.324067e-05,5.327351e-05,5.330154e-05,5.331236e-05,5.333669e-05,5.334730e-05,5.334792e-05,5.334492e-05,5.333691e-05,5.333027e-05,5.330529e-05,5.330402e-05,5.326684e-05,5.325455e-05,5.321934e-05,5.318613e-05,5.316211e-05,5.310137e-05,5.309574e-05,5.302075e-05,5.300153e-05,5.293768e-05,5.288781e-05,5.284701e-05,5.276132e-05,5.274923e-05,5.264477e-05,5.262312e-05,5.253408e-05,5.247419e-05,5.241756e-05,5.231547e-05,5.229561e-05,5.216859e-05,5.214783e-05,5.203687e-05,5.197208e-05,5.190079e-05,5.178900e-05,5.176066e-05,5.161680e-05,5.159930e-05,5.146949e-05,5.140366e-05,5.131902e-05,5.120271e-05,5.116565e-05,5.100963e-05,5.099704e-05,5.085120e-05,5.078721e-05,5.069060e-05,5.057373e-05,5.052802e-05,5.036369e-05,5.035709e-05,5.019780e-05,5.013773e-05,5.003052e-05,4.991608e-05,4.986204e-05,4.969253e-05,4.946745e-05,4.924117e-05,4.901403e-05,4.878630e-05,4.855826e-05,4.833018e-05,4.810228e-05,4.787478e-05,4.764789e-05,4.742179e-05,4.719665e-05,4.697264e-05,4.674989e-05,4.652855e-05,4.630873e-05,4.609054e-05,4.587410e-05,4.565948e-05,4.544679e-05,4.523608e-05,4.502744e-05,4.482092e-05,4.461658e-05,4.441446e-05
0.000000e+00,1.633100e-09,3.825643e-09,1.347307e-08,3.095738e-08,4.529378e-08,1.029195e-07,1.060069e-07,2.037030e-07,2.386981e-07,3.456773e-07,4.548538e-07,5.384312e-07,7.655049e-07,7.876371e-07,1.098046e-06,1.182084e-06,1.473300e-06,1.712658e-06,1.915596e-06,2.360542e-06,2.425203e-06,3.000042e-06,3.122484e-06,3.635686e-06,3.988247e-06,4.325962e-06,4.942850e-06,5.063798e-06,5.841872e-06,5.969611e-06,6.652949e-06,7.051920e-06,7.490020e-06,8.173871e-06,8.346373e-06,9.215650e-06,9.320544e-06,1.009190e-05,1.047822e-05,1.096962e-05,1.163458e-05,1.184382e-05,1.271004e-05,1.277887e-05,1.356432e-05,1.390192e-05,1.440328e-05,1.499619e-05,1.522401e-05,1.602411e-05,1.605566e-05,1.680163e-05,1.707570e-05,1.755502e-05,1.805292e-05,1.828310e-05,1.898502e-05,1.966023e-05,1.987059e-05,2.030840e-05,2.070900e-05,2.092945e-05,2.150020e-05,2.152345e-05,2.209062e-05,2.224467e-05,2.263133e-05,2.294323e-05,2.314602e-05,2.359703e-05,2.363524e-05,2.409959e-05,2.420740e-05,2.453972e-05,2.477586e-05,2.495631e-05,2.530402e-05,2.535009e-05,2.572178e-05,2.579354e-05,2.607214e-05,2.624614e-05,2.640190e-05,2.666353e-05,2.671182e-05,2.700263e-05,2.704743e-05,2.727507e-05,2.739953e-05,2.752986e-05,2.772146e-05,2.776771e-05,2.798931e-05,2.801485e-05,2.819535e-05,2.828124e-05,2.838647e-05,2.852215e-05,2.856333e-05,2.872653e-05,2.873902e-05,2.887670e-05,2.893325e-05,2.901441e-05,2.910617e-05,2.914024e-05,2.925471e-05,2.925907e-05,2.935838e-05,2.939315e-05,2.945174e-05,2.950959e-05,2.953528e-05,2.960949e-05,2.967481e-05,2.969390e-05,2.973168e-05,2.976384e-05,2.978053e-05,2.982025e-05,2.982176e-05,2.985576e-05,2.986404e-05,2.988291e-05,2.989606e-05,2.990356e-05,2.991712e-05,2.991806e-05,2.992674e-05,2.992800e-05,2.992992e-05,2.992941e-05,2.992790e-05,2.992205e-05,2.992097e-05,2.990941e-05,2.990657e-05,2.989349e-05,2.988357e-05,2.987346e-05,2.985364e-05,2.984957e-05,2.982205e-05,2.981732e-05,2.979112e-05,2.977513e-05,2.975700e-05,2.972755e-05,2.971990e-05,2.968000e-05,2.967503e-05,2.963749e-05,2.961801e-05,2.959256e-05,2.955689e-05,2.954536e-05,2.949607e-05,2.949204e-05,2.944484e-05,2.942383e-05,2.939181e-05,2.935259e-05,2.933712e-05,2.928091e-05,2.927863e-05,2.922330e-05,2.920225e-05,2.916442e-05,2.912371e-05,2.910438e-05,2.904329e-05,2.896121e-05,2.887771e-05,2.879300e-05,2.870727e-05,2.862071e-05,2.853348e-05,2.844576e-05,2.835767e-05,2.826937e-05,2.818097e-05,2.809261e-05,2.800437e-05,2.791638e-05,2.782872e-05,2.774147e-05,2.765472e-05,2.756853e-05,2.748298e-05,2.739812e-05,2.731402e-05,2.723072e-05,2.714826e-05,2.706669e-05,2.698604e-05
0.000000e+00,3.548023e-10,1.045151e-09,5.171124e-09,1.481394e-08,2.392440e-08,6.686156e-08,6.937044e-08,1.560721e-07,1.898532e-07,2.996985e-07,4.200524e-07,5.168128e-07,7.963963e-07,8.247988e-07,1.241397e-06,1.359437e-06,1.783077e-06,2.145813e-06,2.461800e-06,3.175671e-06,3.281340e-06,4.235728e-06,4.441655e-06,5.310873e-06,5.911483e-06,6.487828e-06,7.539956e-06,7.745821e-06,9.064272e-06,9.279522e-06,1.042386e-05,1.108584e-05,1.180699e-05,1.291975e-05,1.319784e-05,1.458242e-05,1.474755e-05,1.594839e-05,1.654068e-05,1.728497e-05,1.827539e-05,1.858294e-05,1.983447e-05,1.993238e-05,2.103312e-05,2.149659e-05,2.217379e-05,2.295694e-05,2.325259e-05,2.426682e-05,2.430602e-05,2.521483e-05,2.553975e-05,2.609596e-05,2.665699e-05,2.691040e-05,2.765907e-05,2.834355e-05,2.854936e-05,2.896594e-05,2.933282e-05,2.952874e-05,3.001555e-05,3.003474e-05,3.048693e-05,3.060433e-05,3.088847e-05,3.110642e-05,3.124258e-05,3.152925e-05,3.155249e-05,3.182137e-05,3.188015e-05,3.205234e-05,3.216625e-05,3.224840e-05,3.239432e-05,3.241240e-05,3.254707e-05,3.257070e-05,3.265494e-05,3.270125e-05,3.273842e-05,3.279133e-05,3.279974e-05,3.284095e-05,3.284581e-05,3.286395e-05,3.286905e-05,3.287050e-05,3.286496e-05,3.286218e-05,3.284048e-05,3.283703e-05,3.280670e-05,3.278834e-05,3.276208e-05,3.272160e-05,3.270772e-05,3.264461e-05,3.263921e-05,3.257366e-05,3.254327e-05,3.249569e-05,3.243564e-05,3.241146e-05,3.232163e-05,3.231793e-05,3.222681e-05,3.219157e-05,3.212756e-05,3.205780e-05,3.202438e-05,3.191773e-05,3.180801e-05,3.177231e-05,3.169559e-05,3.162240e-05,3.158083e-05,3.146873e-05,3.146403e-05,3.134546e-05,3.131199e-05,3.122540e-05,3.115273e-05,3.110406e-05,3.099150e-05,3.098167e-05,3.085842e-05,3.082873e-05,3.073449e-05,3.066485e-05,3.061004e-05,3.050021e-05,3.048522e-05,3.036017e-05,3.033515e-05,3.023502e-05,3.016994e-05,3.010988e-05,3.000484e-05,2.998485e-05,2.986004e-05,2.984010e-05,2.973554e-05,2.967591e-05,2.961142e-05,2.951246e-05,2.948777e-05,2.936466e-05,2.934992e-05,2.924214e-05,2.918844e-05,2.912028e-05,2.902814e-05,2.899913e-05,2.887874e-05,2.886915e-05,2.875916e-05,2.871157e-05,2.864043e-05,2.855549e-05,2.852258e-05,2.840565e-05,2.840099e-05,2.828968e-05,2.824816e-05,2.817468e-05,2.809705e-05,2.806069e-05,2.794773e-05,2.780023e-05,2.765461e-05,2.751090e-05,2.736913e-05,2.722932e-05,2.709150e-05,2.695568e-05,2.682188e-05,2.669011e-05,2.656036e-05,2.643265e-05,2.630697e-05,2.618332e-05,2.606169e-05,2.594208e-05,2.582448e-05,2.570888e-05,2.559526e-05,2.548361e-05,2.537391e-05,2.526616e-05,2.516032e-05,2.505638e-05,2.495433e-05
0.000000e+00,1.058549e-09,2.473331e-09,8.669775e-09,1.984609e-08,2.898304e-08,6.559592e-08,6.755468e-08,1.295034e-07,1.517008e-07,2.196531e-07,2.891964e-07,3.425760e-07,4.881046e-07,5.023140e-07,7.014937e-07,7.552397e-07,9.402526e-07,1.090452e-06,1.216282e-06,1.487198e-06,1.526018e-06,1.865599e-06,1.936756e-06,2.231155e-06,2.430220e-06,2.618793e-06,2.958581e-06,3.024555e-06,3.444429e-06,3.512650e-06,3.874401e-06,4.083213e-06,4.310534e-06,4.661333e-06,4.749054e-06,5.186428e-06,5.238678e-06,5.619422e-06,5.807795e-06,6.045151e-06,6.362287e-06,6.461103e-06,6.865148e-06,6.896902e-06,7.255531e-06,7.407536e-06,7.630859e-06,7.891166e-06,7.990072e-06,8.332411e-06,8.345746e-06,8.657391e-06,8.770078e-06,8.964757e-06,9.163673e-06,9.254461e-06,9.526619e-06,9.781489e-06,9.859455e-06,1.001944e-05,1.016306e-05,1.024094e-05,1.043858e-05,1.044650e-05,1.063671e-05,1.068730e-05,1.081218e-05,1.091064e-05,1.097353e-05,1.111008e-05,1.112143e-05,1.125651e-05,1.128710e-05,1.137943e-05,1.144319e-05,1.149082e-05,1.157979e-05,1.159130e-05,1.168148e-05,1.169833e-05,1.176195e-05,1.180014e-05,1.183327e-05,1.188652e-05,1.189600e-05,1.195064e-05,1.195867e-05,1.199772e-05,1.201776e-05,1.203769e-05,1.206485e-05,1.207101e-05,1.209811e-05,1.210096e-05,1.211940e-05,1.212703e-05,1.213527e-05,1.214393e-05,1.214609e-05,1.215219e-05,1.215249e-05,1.215392e-05,1.215345e-05,1.215158e-05,1.214753e-05,1.214545e-05,1.213583e-05,1.213537e-05,1.212296e-05,1.211758e-05,1.210710e-05,1.209471e-05,1.208846e-05,1.206728e-05,1.204375e-05,1.203576e-05,1.201807e-05,1.200059e-05,1.199042e-05,1.196217e-05,1.196096e-05,1.192985e-05,1.192087e-05,1.189725e-05,1.187704e-05,1.186330e-05,1.183098e-05,1.182812e-05,1.179184e-05,1.178298e-05,1.175457e-05,1.173331e-05,1.171643e-05,1.168222e-05,1.167751e-05,1.163791e-05,1.162991e-05,1.159771e-05,1.157660e-05,1.155701e-05,1.152248e-05,1.151587e-05,1.147437e-05,1.146770e-05,1.143257e-05,1.141243e-05,1.139055e-05,1.135680e-05,1.134835e-05,1.130603e-05,1.130095e-05,1.126365e-05,1.124499e-05,1.122124e-05,1.118903e-05,1.117886e-05,1.113654e-05,1.113316e-05,1.109432e-05,1.107747e-05,1.105224e-05,1.102204e-05,1.101032e-05,1.096861e-05,1.096694e-05,1.092711e-05,1.091223e-05,1.088587e-05,1.085798e-05,1.084490e-05,1.080422e-05,1.075101e-05,1.069838e-05,1.064638e-05,1.059502e-05,1.054435e-05,1.049438e-05,1.044513e-05,1.039662e-05,1.034886e-05,1.030187e-05,1.025565e-05,1.021021e-05,1.016556e-05,1.012170e-05,1.007863e-05,1.003636e-05,9.994868e-06,9.954167e-06,9.914251e-06,9.875114e-06,9.836752e-06,9.799158e-06,9.762325e-06,9.726246e-06
0.000000e+00,2.433800e-09,5.574060e-09,1.912369e-08,4.337716e-08,6.318416e-08,1.429286e-07,1.472192e-07,2.844613e-07,3.343930e-07,4.896639e-07,6.519521e-07,7.783800e-07,1.127817e-06,1.162101e-06,1.640888e-06,1.768819e-06,2.203409e-06,2.549411e-06,2.834816e-06,3.436977e-06,3.522013e-06,4.254268e-06,4.405296e-06,5.022333e-06,5.433033e-06,5.817685e-06,6.500893e-06,6.632167e-06,7.457888e-06,7.590536e-06,8.287294e-06,8.684614e-06,9.113292e-06,9.767250e-06,9.929390e-06,1.072981e-05,1.082456e-05,1.150955e-05,1.184498e-05,1.226442e-05,1.281936e-05,1.299102e-05,1.368677e-05,1.374103e-05,1.434976e-05,1.460549e-05,1.497876e-05,1.541019e-05,1.557309e-05,1.613256e-05,1.615422e-05,1.665740e-05,1.683796e-05,1.714814e-05,1.746278e-05,1.760561e-05,1.803081e-05,1.842491e-05,1.854466e-05,1.878918e-05,1.900727e-05,1.912496e-05,1.942178e-05,1.943363e-05,1.971658e-05,1.979139e-05,1.997520e-05,2.011927e-05,2.021086e-05,2.040854e-05,2.042489e-05,2.061858e-05,2.066218e-05,2.079317e-05,2.088304e-05,2.094984e-05,2.107380e-05,2.108974e-05,2.121393e-05,2.123697e-05,2.132344e-05,2.137491e-05,2.141925e-05,2.148979e-05,2.150225e-05,2.157332e-05,2.158363e-05,2.163325e-05,2.165829e-05,2.168282e-05,2.171549e-05,2.172274e-05,2.175367e-05,2.175681e-05,2.177625e-05,2.178370e-05,2.179108e-05,2.179749e-05,2.179869e-05,2.179962e-05,2.179941e-05,2.179433e-05,2.179059e-05,2.178330e-05,2.177204e-05,2.176695e-05,2.174566e-05,2.174471e-05,2.171982e-05,2.170947e-05,2.168978e-05,2.166711e-05,2.165585e-05,2.161835e-05,2.157755e-05,2.156384e-05,2.153373e-05,2.150421e-05,2.148714e-05,2.144001e-05,2.143800e-05,2.138654e-05,2.137174e-05,2.133296e-05,2.129988e-05,2.127745e-05,2.122484e-05,2.122020e-05,2.116136e-05,2.114702e-05,2.110109e-05,2.106677e-05,2.103954e-05,2.098443e-05,2.097685e-05,2.091315e-05,2.090030e-05,2.084855e-05,2.081463e-05,2.078316e-05,2.072770e-05,2.071709e-05,2.065044e-05,2.063972e-05,2.058329e-05,2.055091e-05,2.051574e-05,2.046146e-05,2.044786e-05,2.037972e-05,2.037153e-05,2.031141e-05,2.028130e-05,2.024297e-05,2.019091e-05,2.017447e-05,2.010597e-05,2.010049e-05,2.003751e-05,2.001016e-05,1.996916e-05,1.992003e-05,1.990095e-05,1.983292e-05,1.983020e-05,1.976511e-05,1.974077e-05,1.969757e-05,1.965181e-05,1.963032e-05,1.956340e-05,1.947561e-05,1.938850e-05,1.930213e-05,1.921653e-05,1.913177e-05,1.904787e-05,1.896487e-05,1.888281e-05,1.880171e-05,1.872159e-05,1.864247e-05,1.856438e-05,1.848732e-05,1.841131e-05,1.833637e-05,1.826249e-05,1.818968e-05,1.811795e-05,1.804730e-05,1.797774e-05,1.790925e-05,1.784185e-05,1.777552e-05,1.771026e-05
0.000000e+00,1.148564e-09,2.623550e-09,9.008612e-09,2.055043e-08,3.008394e-08,6.940150e-08,7.155791e-08,1.425741e-07,1.693222e-07,2.551107e-07,3.480050e-07,4.217878e-07,6.276812e-07,6.478536e-07,9.268436e-07,1.000467e-06,1.248181e-06,1.443455e-06,1.603711e-06,1.940636e-06,1.988169e-06,2.397934e-06,2.482659e-06,2.830048e-06,3.062646e-06,3.281694e-06,3.674046e-06,3.749961e-06,4.231775e-06,4.309909e-06,4.723917e-06,4.962846e-06,5.223088e-06,5.625267e-06,5.725990e-06,6.229413e-06,6.289712e-06,6.730309e-06,6.949166e-06,7.225855e-06,7.597315e-06,7.713506e-06,8.191022e-06,8.228725e-06,8.656473e-06,8.838903e-06,9.108245e-06,9.424312e-06,9.545042e-06,9.965862e-06,9.982351e-06,1.036997e-05,1.051125e-05,1.075687e-05,1.100999e-05,1.112630e-05,1.147817e-05,1.181254e-05,1.191588e-05,1.212963e-05,1.232364e-05,1.242976e-05,1.270228e-05,1.271331e-05,1.298076e-05,1.305283e-05,1.323263e-05,1.337650e-05,1.346947e-05,1.367460e-05,1.369187e-05,1.390042e-05,1.394848e-05,1.409572e-05,1.419952e-05,1.427836e-05,1.442909e-05,1.444894e-05,1.460804e-05,1.463854e-05,1.475623e-05,1.482915e-05,1.489403e-05,1.500216e-05,1.502200e-05,1.514062e-05,1.515877e-05,1.525040e-05,1.530008e-05,1.535178e-05,1.542716e-05,1.544523e-05,1.553116e-05,1.554099e-05,1.560998e-05,1.564250e-05,1.568206e-05,1.573257e-05,1.574778e-05,1.580747e-05,1.581199e-05,1.586146e-05,1.588154e-05,1.591007e-05,1.594190e-05,1.595358e-05,1.599228e-05,1.599373e-05,1.602643e-05,1.603765e-05,1.605626e-05,1.607422e-05,1.608203e-05,1.610395e-05,1.612224e-05,1.612735e-05,1.613708e-05,1.614486e-05,1.614867e-05,1.615691e-05,1.615719e-05,1.616281e-05,1.616388e-05,1.616568e-05,1.616614e-05,1.616595e-05,1.616404e-05,1.616378e-05,1.615928e-05,1.615788e-05,1.615260e-05,1.614795e-05,1.614385e-05,1.613454e-05,1.613315e-05,1.612061e-05,1.611789e-05,1.610633e-05,1.609824e-05,1.609040e-05,1.607582e-05,1.607292e-05,1.605398e-05,1.605082e-05,1.603366e-05,1.602344e-05,1.601204e-05,1.599386e-05,1.598919e-05,1.596520e-05,1.596224e-05,1.594011e-05,1.592875e-05,1.591401e-05,1.589353e-05,1.588695e-05,1.585898e-05,1.585671e-05,1.583017e-05,1.581842e-05,1.580056e-05,1.577878e-05,1.577021e-05,1.573916e-05,1.573790e-05,1.570746e-05,1.569590e-05,1.567515e-05,1.565285e-05,1.564227e-05,1.560887e-05,1.556403e-05,1.551841e-05,1.547209e-05,1.542515e-05,1.537764e-05,1.532963e-05,1.528118e-05,1.523234e-05,1.518318e-05,1.513372e-05,1.508403e-05,1.503414e-05,1.498410e-05,1.493394e-05,1.488369e-05,1.483340e-05,1.478309e-05,1.473279e-05,1.468253e-05,1.463234e-05,1.458225e-05,1.453226e-05,1.448241e-05,1.443272e-05
0.000000e+00,2.996171e-09,8.564136e-09,3.998753e-08,1.092136e-07,1.721559e-07,4.547289e-07,4.707965e-07,1.010282e-06,1.214908e-06,1.867694e-06,2.568194e-06,3.123715e-06,4.701119e-06,4.859376e-06,7.141671e-06,7.775133e-06,1.000092e-05,1.185008e-05,1.342230e-05,1.686302e-05,1.736123e-05,2.176305e-05,2.269412e-05,2.657332e-05,2.921874e-05,3.174006e-05,3.631883e-05,3.721304e-05,4.294289e-05,4.388023e-05,4.888081e-05,5.179079e-05,5.497887e-05,5.994138e-05,6.119069e-05,6.747216e-05,6.822862e-05,7.378216e-05,7.655779e-05,8.008314e-05,8.484499e-05,8.634143e-05,9.252733e-05,9.301828e-05,9.861515e-05,1.010178e-04,1.045831e-04,1.087956e-04,1.104132e-04,1.160905e-04,1.163142e-04,1.216034e-04,1.235460e-04,1.269430e-04,1.304714e-04,1.321025e-04,1.370774e-04,1.418649e-04,1.433571e-04,1.464636e-04,1.493076e-04,1.508734e-04,1.549299e-04,1.550952e-04,1.591307e-04,1.602276e-04,1.629825e-04,1.652066e-04,1.666535e-04,1.698742e-04,1.701473e-04,1.734677e-04,1.742392e-04,1.766187e-04,1.783109e-04,1.796046e-04,1.820992e-04,1.824299e-04,1.850991e-04,1.856146e-04,1.876167e-04,1.888675e-04,1.899875e-04,1.918688e-04,1.922160e-04,1.943069e-04,1.946289e-04,1.962647e-04,1.971585e-04,1.980940e-04,1.994680e-04,1.997993e-04,2.013850e-04,2.015674e-04,2.028554e-04,2.034669e-04,2.042147e-04,2.051762e-04,2.054672e-04,2.066169e-04,2.067046e-04,2.076678e-04,2.080613e-04,2.086236e-04,2.092552e-04,2.094884e-04,2.102655e-04,2.102949e-04,2.109588e-04,2.111885e-04,2.115716e-04,2.119441e-04,2.121073e-04,2.125692e-04,2.129604e-04,2.130712e-04,2.132841e-04,2.134571e-04,2.135432e-04,2.137338e-04,2.137405e-04,2.138789e-04,2.139075e-04,2.139611e-04,2.139845e-04,2.139897e-04,2.139708e-04,2.139672e-04,2.138960e-04,2.138719e-04,2.137784e-04,2.136932e-04,2.136168e-04,2.134399e-04,2.134133e-04,2.131701e-04,2.131168e-04,2.128891e-04,2.127287e-04,2.125722e-04,2.122798e-04,2.122215e-04,2.118387e-04,2.117746e-04,2.114255e-04,2.112169e-04,2.109837e-04,2.106107e-04,2.105148e-04,2.100204e-04,2.099594e-04,2.095019e-04,2.092665e-04,2.089609e-04,2.085354e-04,2.083986e-04,2.078165e-04,2.077691e-04,2.072157e-04,2.069704e-04,2.065975e-04,2.061423e-04,2.059631e-04,2.053135e-04,2.052872e-04,2.046499e-04,2.044077e-04,2.039732e-04,2.035062e-04,2.032846e-04,2.025848e-04,2.016456e-04,2.006906e-04,1.997217e-04,1.987405e-04,1.977489e-04,1.967482e-04,1.957401e-04,1.947257e-04,1.937065e-04,1.926836e-04,1.916582e-04,1.906313e-04,1.896039e-04,1.885770e-04,1.875514e-04,1.865279e-04,1.855072e-04,1.844901e-04,1.834773e-04,1.824692e-04,1.814665e-04,1.804697e-04,1.794793e-04,1.784956e-04
0.000000e+00,1.459991e-09,3.506146e-09,1.268906e-08,2.956413e-08,4.351557e-08,1.003179e-07,1.033904e-07,2.020455e-07,2.380400e-07,3.501453e-07,4.676371e-07,5.595443e-07,8.166453e-07,8.421928e-07,1.206509e-06,1.306341e-06,1.652951e-06,1.936271e-06,2.174150e-06,2.686337e-06,2.759654e-06,3.399665e-06,3.533460e-06,4.085972e-06,4.458789e-06,4.811563e-06,5.446750e-06,5.570070e-06,6.355403e-06,6.483144e-06,7.161567e-06,7.554178e-06,7.982622e-06,8.646252e-06,8.812719e-06,9.646187e-06,9.746170e-06,1.047762e-05,1.084149e-05,1.130195e-05,1.192082e-05,1.211454e-05,1.291125e-05,1.297418e-05,1.368844e-05,1.399314e-05,1.444302e-05,1.497084e-05,1.517240e-05,1.587450e-05,1.590199e-05,1.654772e-05,1.678277e-05,1.719090e-05,1.761069e-05,1.780326e-05,1.838437e-05,1.893413e-05,1.910344e-05,1.945267e-05,1.976831e-05,1.994035e-05,2.038001e-05,2.039773e-05,2.082549e-05,2.094007e-05,2.122446e-05,2.145039e-05,2.159554e-05,2.191312e-05,2.193969e-05,2.225793e-05,2.233057e-05,2.255132e-05,2.270516e-05,2.282093e-05,2.303934e-05,2.306780e-05,2.329302e-05,2.333556e-05,2.349764e-05,2.359623e-05,2.368267e-05,2.382370e-05,2.384913e-05,2.399799e-05,2.402024e-05,2.413020e-05,2.418801e-05,2.424667e-05,2.432911e-05,2.434828e-05,2.443587e-05,2.444548e-05,2.451026e-05,2.453901e-05,2.457221e-05,2.461143e-05,2.462246e-05,2.466172e-05,2.466441e-05,2.469066e-05,2.469948e-05,2.470991e-05,2.471812e-05,2.472009e-05,2.472177e-05,2.472166e-05,2.471549e-05,2.471139e-05,2.470178e-05,2.468847e-05,2.468114e-05,2.465401e-05,2.462086e-05,2.460905e-05,2.458209e-05,2.455452e-05,2.453811e-05,2.449132e-05,2.448928e-05,2.443596e-05,2.442028e-05,2.437849e-05,2.434214e-05,2.431718e-05,2.425763e-05,2.425232e-05,2.418421e-05,2.416740e-05,2.411310e-05,2.407206e-05,2.403924e-05,2.397217e-05,2.396289e-05,2.388424e-05,2.386826e-05,2.380353e-05,2.376080e-05,2.372093e-05,2.365024e-05,2.363665e-05,2.355086e-05,2.353700e-05,2.346371e-05,2.342145e-05,2.337537e-05,2.330394e-05,2.328599e-05,2.319569e-05,2.318480e-05,2.310461e-05,2.306432e-05,2.301287e-05,2.294278e-05,2.292058e-05,2.282786e-05,2.282042e-05,2.273479e-05,2.269749e-05,2.264148e-05,2.257419e-05,2.254800e-05,2.245445e-05,2.245071e-05,2.236090e-05,2.232724e-05,2.226742e-05,2.220393e-05,2.217408e-05,2.208094e-05,2.195840e-05,2.183643e-05,2.171515e-05,2.159465e-05,2.147504e-05,2.135639e-05,2.123877e-05,2.112226e-05,2.100691e-05,2.089277e-05,2.077990e-05,2.066833e-05,2.055811e-05,2.044925e-05,2.034180e-05,2.023576e-05,2.013117e-05,2.002803e-05,1.992636e-05,1.982616e-05,1.972745e-05,1.963023e-05,1.953450e-05,1.944026e-05
0.000000e+00,8.542743e-10,1.947927e-09,6.647545e-09,1.501912e-08,2.182456e-08,4.895972e-08,5.040808e-08,9.614181e-08,1.125108e-07,1.626049e-07,2.138798e-07,2.532630e-07,3.608855e-07,3.714237e-07,5.200675e-07,5.605572e-07,7.015326e-07,8.180070e-07,9.170394e-07,1.134514e-06,1.166107e-06,1.446059e-06,1.505356e-06,1.751977e-06,1.919193e-06,2.077369e-06,2.360662e-06,2.415300e-06,2.759402e-06,2.814660e-06,3.104369e-06,3.268990e-06,3.446006e-06,3.714713e-06,3.781072e-06,4.107082e-06,4.145499e-06,4.422138e-06,4.556909e-06,4.724810e-06,4.945903e-06,5.014053e-06,5.289140e-06,5.310520e-06,5.549615e-06,5.649656e-06,5.795251e-06,5.962894e-06,6.026012e-06,6.242024e-06,6.250361e-06,6.443540e-06,6.512603e-06,6.630917e-06,6.750478e-06,6.804592e-06,6.965062e-06,7.112863e-06,7.157576e-06,7.248562e-06,7.329326e-06,7.372740e-06,7.481654e-06,7.485981e-06,7.588868e-06,7.615900e-06,7.681975e-06,7.733378e-06,7.765861e-06,7.835358e-06,7.841068e-06,7.908119e-06,7.923054e-06,7.967515e-06,7.997612e-06,8.019734e-06,8.060112e-06,8.065232e-06,8.104441e-06,8.111564e-06,8.137770e-06,8.152908e-06,8.165608e-06,8.185014e-06,8.188318e-06,8.206246e-06,8.208692e-06,8.219716e-06,8.224688e-06,8.229033e-06,8.233690e-06,8.234484e-06,8.236339e-06,8.236332e-06,8.234850e-06,8.233197e-06,8.230254e-06,8.224822e-06,8.222775e-06,8.212621e-06,8.211699e-06,8.199988e-06,8.194282e-06,8.185059e-06,8.172985e-06,8.168005e-06,8.148989e-06,8.148190e-06,8.128160e-06,8.120246e-06,8.105661e-06,8.089474e-06,8.081622e-06,8.056168e-06,8.029415e-06,8.020598e-06,8.001472e-06,7.983011e-06,7.972440e-06,7.943632e-06,7.942413e-06,7.911482e-06,7.902671e-06,7.879730e-06,7.860316e-06,7.847233e-06,7.816743e-06,7.814067e-06,7.780298e-06,7.772111e-06,7.745991e-06,7.726566e-06,7.711205e-06,7.680242e-06,7.675997e-06,7.640418e-06,7.633262e-06,7.604517e-06,7.585737e-06,7.568341e-06,7.537771e-06,7.531931e-06,7.495328e-06,7.489456e-06,7.458569e-06,7.440879e-06,7.421688e-06,7.392119e-06,7.384719e-06,7.347692e-06,7.343246e-06,7.310635e-06,7.294327e-06,7.273573e-06,7.245420e-06,7.236533e-06,7.199537e-06,7.196580e-06,7.162606e-06,7.147856e-06,7.125760e-06,7.099294e-06,7.089018e-06,7.052397e-06,7.050934e-06,7.015912e-06,7.002814e-06,6.979579e-06,6.954966e-06,6.943411e-06,6.907421e-06,6.860207e-06,6.813348e-06,6.766867e-06,6.720782e-06,6.675112e-06,6.629873e-06,6.585078e-06,6.540740e-06,6.496869e-06,6.453475e-06,6.410565e-06,6.368146e-06,6.326225e-06,6.284805e-06,6.243890e-06,6.203483e-06,6.163586e-06,6.124201e-06,6.085327e-06,6.046966e-06,6.009115e-06,5.971775e-06,5.934944e-06,5.898619e-06
0.000000e+00,7.848323e-09,1.793230e-08,6.138780e-08,1.390604e-07,2.023829e-07,4.561796e-07,4.697806e-07,9.018833e-07,1.057738e-06,1.538412e-06,2.035872e-06,2.421356e-06,3.486815e-06,3.591863e-06,5.078871e-06,5.483612e-06,6.882458e-06,8.019712e-06,8.970692e-06,1.100657e-05,1.129669e-05,1.381528e-05,1.433861e-05,1.648799e-05,1.792763e-05,1.928191e-05,2.170081e-05,2.216751e-05,2.511736e-05,2.559355e-05,2.810558e-05,2.954633e-05,3.110777e-05,3.350428e-05,3.410125e-05,3.706527e-05,3.741807e-05,3.998126e-05,4.124481e-05,4.283299e-05,4.494874e-05,4.560664e-05,4.829078e-05,4.850136e-05,5.087626e-05,5.188120e-05,5.335610e-05,5.507326e-05,5.572524e-05,5.798032e-05,5.806812e-05,6.011960e-05,6.086127e-05,6.214260e-05,6.345205e-05,6.404986e-05,6.584290e-05,6.752395e-05,6.803869e-05,6.909586e-05,7.004609e-05,7.056187e-05,7.187298e-05,7.192561e-05,7.319093e-05,7.352813e-05,7.436185e-05,7.502080e-05,7.544249e-05,7.636048e-05,7.643697e-05,7.734940e-05,7.755663e-05,7.818386e-05,7.861859e-05,7.894434e-05,7.955546e-05,7.963473e-05,8.025882e-05,8.037600e-05,8.082024e-05,8.108859e-05,8.132252e-05,8.170121e-05,8.176904e-05,8.216304e-05,8.222142e-05,8.250763e-05,8.265635e-05,8.280575e-05,8.301270e-05,8.306024e-05,8.327378e-05,8.329677e-05,8.344892e-05,8.351444e-05,8.358809e-05,8.367122e-05,8.369358e-05,8.376759e-05,8.377221e-05,8.381218e-05,8.382222e-05,8.382930e-05,8.382567e-05,8.382082e-05,8.378848e-05,8.378671e-05,8.373393e-05,8.370917e-05,8.365875e-05,8.359660e-05,8.356441e-05,8.345231e-05,8.332376e-05,8.327936e-05,8.318000e-05,8.308056e-05,8.302221e-05,8.285855e-05,8.285149e-05,8.266887e-05,8.261575e-05,8.247535e-05,8.235438e-05,8.227183e-05,8.207652e-05,8.205919e-05,8.183825e-05,8.178407e-05,8.160976e-05,8.147879e-05,8.137447e-05,8.116230e-05,8.113303e-05,8.088609e-05,8.083610e-05,8.063426e-05,8.050155e-05,8.037808e-05,8.015992e-05,8.011809e-05,7.985478e-05,7.981237e-05,7.958862e-05,7.945997e-05,7.932003e-05,7.910369e-05,7.904943e-05,7.877720e-05,7.874444e-05,7.850369e-05,7.838302e-05,7.822923e-05,7.802020e-05,7.795414e-05,7.767870e-05,7.765666e-05,7.740320e-05,7.729303e-05,7.712787e-05,7.692987e-05,7.685295e-05,7.657866e-05,7.656771e-05,7.630521e-05,7.620701e-05,7.603278e-05,7.584820e-05,7.576155e-05,7.549167e-05,7.513777e-05,7.478680e-05,7.443905e-05,7.409478e-05,7.375420e-05,7.341751e-05,7.308489e-05,7.275650e-05,7.243246e-05,7.211289e-05,7.179789e-05,7.148755e-05,7.118193e-05,7.088108e-05,7.058506e-05,7.029388e-05,7.000759e-05,6.972618e-05,6.944967e-05,6.917805e-05,6.891131e-05,6.864943e-05,6.839239e-05,6.814017e-05
0.000000e+00,7.327071e-10,1.972321e-09,8.293382e-09,2.096855e-08,3.186547e-08,7.768136e-08,8.019302e-08,1.613751e-07,1.910479e-07,2.831116e-07,3.787547e-07,4.529295e-07,6.579819e-07,6.782125e-07,9.657054e-07,1.044551e-06,1.320052e-06,1.548078e-06,1.741736e-06,2.165155e-06,2.226411e-06,2.766689e-06,2.880702e-06,3.354519e-06,3.676455e-06,3.982369e-06,4.535650e-06,4.643369e-06,5.331099e-06,5.443203e-06,6.039408e-06,6.384947e-06,6.762329e-06,7.347295e-06,7.494082e-06,8.229133e-06,8.317309e-06,8.962262e-06,9.282972e-06,9.688647e-06,1.023348e-05,1.040392e-05,1.110421e-05,1.115948e-05,1.178617e-05,1.205317e-05,1.244698e-05,1.290836e-05,1.308435e-05,1.369648e-05,1.372042e-05,1.428201e-05,1.448611e-05,1.484003e-05,1.520346e-05,1.536997e-05,1.587160e-05,1.634497e-05,1.649053e-05,1.679038e-05,1.706097e-05,1.720830e-05,1.758423e-05,1.759937e-05,1.796436e-05,1.806200e-05,1.830413e-05,1.849627e-05,1.861961e-05,1.888924e-05,1.891178e-05,1.918165e-05,1.924321e-05,1.943023e-05,1.956053e-05,1.965856e-05,1.984355e-05,1.986765e-05,2.005850e-05,2.009457e-05,2.023209e-05,2.031584e-05,2.038936e-05,2.050952e-05,2.053123e-05,2.065858e-05,2.067766e-05,2.077226e-05,2.082221e-05,2.087308e-05,2.094500e-05,2.096182e-05,2.103920e-05,2.104776e-05,2.110594e-05,2.113211e-05,2.116270e-05,2.119954e-05,2.121010e-05,2.124873e-05,2.125146e-05,2.127917e-05,2.128917e-05,2.130194e-05,2.131388e-05,2.131755e-05,2.132647e-05,2.132669e-05,2.132914e-05,2.132866e-05,2.132600e-05,2.132074e-05,2.131743e-05,2.130380e-05,2.128548e-05,2.127868e-05,2.126279e-05,2.124613e-05,2.123605e-05,2.120683e-05,2.120554e-05,2.117155e-05,2.116144e-05,2.113433e-05,2.111055e-05,2.109413e-05,2.105470e-05,2.105117e-05,2.100568e-05,2.099440e-05,2.095785e-05,2.093012e-05,2.090788e-05,2.086227e-05,2.085594e-05,2.080221e-05,2.079126e-05,2.074683e-05,2.071744e-05,2.068997e-05,2.064115e-05,2.063175e-05,2.057232e-05,2.056271e-05,2.051179e-05,2.048238e-05,2.045028e-05,2.040044e-05,2.038790e-05,2.032474e-05,2.031712e-05,2.026091e-05,2.023264e-05,2.019650e-05,2.014720e-05,2.013158e-05,2.006624e-05,2.006099e-05,2.000055e-05,1.997419e-05,1.993458e-05,1.988694e-05,1.986839e-05,1.980205e-05,1.979940e-05,1.973561e-05,1.971168e-05,1.966913e-05,1.962392e-05,1.960265e-05,1.953623e-05,1.944870e-05,1.936143e-05,1.927450e-05,1.918799e-05,1.910196e-05,1.901649e-05,1.893163e-05,1.884743e-05,1.876393e-05,1.868119e-05,1.859923e-05,1.851810e-05,1.843782e-05,1.835842e-05,1.827992e-05,1.820234e-05,1.812571e-05,1.805003e-05,1.797531e-05,1.790158e-05,1.782884e-05,1.775709e-05,1.768635e-05,1.761661e-05
0.000000e+00,2.584045e-09,7.692001e-09,3.890372e-08,1.137395e-07,1.857731e-07,5.347042e-07,5.554373e-07,1.286972e-06,1.578051e-06,2.540891e-06,3.617331e-06,4.494852e-06,7.073165e-06,7.337848e-06,1.126040e-05,1.238263e-05,1.643900e-05,1.994243e-05,2.301487e-05,3.002499e-05,3.107084e-05,4.061430e-05,4.269659e-05,5.157547e-05,5.779349e-05,6.382210e-05,7.497800e-05,7.718293e-05,9.146979e-05,9.382892e-05,1.064939e-04,1.139140e-04,1.220755e-04,1.348307e-04,1.380495e-04,1.542676e-04,1.562237e-04,1.705988e-04,1.777906e-04,1.869297e-04,1.992806e-04,2.031630e-04,2.192163e-04,2.204906e-04,2.350210e-04,2.412603e-04,2.505208e-04,2.614658e-04,2.656701e-04,2.804328e-04,2.810148e-04,2.947811e-04,2.998408e-04,3.086941e-04,3.178986e-04,3.221571e-04,3.351604e-04,3.476986e-04,3.516122e-04,3.597699e-04,3.672509e-04,3.713753e-04,3.820816e-04,3.825185e-04,3.932051e-04,3.961164e-04,4.034421e-04,4.093720e-04,4.132380e-04,4.218689e-04,4.226024e-04,4.315454e-04,4.336303e-04,4.400779e-04,4.446810e-04,4.482112e-04,4.550473e-04,4.559567e-04,4.633262e-04,4.647560e-04,4.703315e-04,4.738342e-04,4.769844e-04,4.823092e-04,4.832968e-04,4.892802e-04,4.902078e-04,4.949462e-04,4.975565e-04,5.003061e-04,5.043812e-04,5.053712e-04,5.101522e-04,5.107073e-04,5.146599e-04,5.165594e-04,5.189047e-04,5.219611e-04,5.228967e-04,5.266458e-04,5.269355e-04,5.301616e-04,5.315047e-04,5.334534e-04,5.356900e-04,5.365304e-04,5.394011e-04,5.395118e-04,5.420743e-04,5.429898e-04,5.445580e-04,5.461427e-04,5.468602e-04,5.489886e-04,5.509507e-04,5.515446e-04,5.527535e-04,5.538270e-04,5.544041e-04,5.558517e-04,5.559092e-04,5.572751e-04,5.576334e-04,5.585081e-04,5.591865e-04,5.596141e-04,5.605245e-04,5.605990e-04,5.614683e-04,5.616603e-04,5.622273e-04,5.626061e-04,5.628812e-04,5.633737e-04,5.634350e-04,5.638934e-04,5.639740e-04,5.642610e-04,5.644178e-04,5.645422e-04,5.647148e-04,5.647413e-04,5.648624e-04,5.648747e-04,5.649092e-04,5.649065e-04,5.648857e-04,5.648186e-04,5.647954e-04,5.646418e-04,5.646193e-04,5.644282e-04,5.643160e-04,5.641578e-04,5.639163e-04,5.638337e-04,5.634589e-04,5.634268e-04,5.630360e-04,5.628541e-04,5.625680e-04,5.622044e-04,5.620572e-04,5.615063e-04,5.614835e-04,5.609176e-04,5.606969e-04,5.602935e-04,5.598499e-04,5.596360e-04,5.589472e-04,5.579937e-04,5.569937e-04,5.559512e-04,5.548703e-04,5.537546e-04,5.526075e-04,5.514323e-04,5.502322e-04,5.490099e-04,5.477683e-04,5.465098e-04,5.452368e-04,5.439517e-04,5.426565e-04,5.413533e-04,5.400438e-04,5.387298e-04,5.374129e-04,5.360947e-04,5.347766e-04,5.334598e-04,5.321457e-04,5.308354e-04,5.295299e-04
0.000000e+00,2.596309e-09,5.888812e-09,1.988749e-08,4.453187e-08,6.440983e-08,1.429369e-07,1.471070e-07,2.782479e-07,3.250520e-07,4.682248e-07,6.149443e-07,7.278319e-07,1.036840e-06,1.067089e-06,1.491407e-06,1.605677e-06,1.996646e-06,2.310014e-06,2.568994e-06,3.114205e-06,3.190892e-06,3.846388e-06,3.980340e-06,4.522682e-06,4.879122e-06,5.209612e-06,5.788672e-06,5.898781e-06,6.582973e-06,6.691547e-06,7.255834e-06,7.573109e-06,7.911757e-06,8.420997e-06,8.545864e-06,9.154028e-06,9.225097e-06,9.732887e-06,9.977604e-06,1.027985e-05,1.067305e-05,1.079308e-05,1.127146e-05,1.130821e-05,1.171446e-05,1.188176e-05,1.212215e-05,1.239410e-05,1.249506e-05,1.283410e-05,1.284697e-05,1.314051e-05,1.324311e-05,1.341576e-05,1.358596e-05,1.366148e-05,1.387939e-05,1.407127e-05,1.412747e-05,1.423893e-05,1.433434e-05,1.438414e-05,1.450402e-05,1.450863e-05,1.461405e-05,1.464037e-05,1.470199e-05,1.474699e-05,1.477395e-05,1.482725e-05,1.483134e-05,1.487545e-05,1.488420e-05,1.490750e-05,1.492060e-05,1.492860e-05,1.493893e-05,1.493978e-05,1.494199e-05,1.494143e-05,1.493608e-05,1.493006e-05,1.492284e-05,1.490658e-05,1.490299e-05,1.487718e-05,1.487254e-05,1.484602e-05,1.482932e-05,1.481003e-05,1.477811e-05,1.476972e-05,1.472554e-05,1.471999e-05,1.467788e-05,1.465590e-05,1.462712e-05,1.458667e-05,1.457359e-05,1.451761e-05,1.451303e-05,1.445944e-05,1.443562e-05,1.439935e-05,1.435502e-05,1.433756e-05,1.427429e-05,1.427173e-05,1.420972e-05,1.418619e-05,1.414403e-05,1.409881e-05,1.407739e-05,1.400993e-05,1.394179e-05,1.391986e-05,1.387309e-05,1.382889e-05,1.380395e-05,1.373725e-05,1.373447e-05,1.366473e-05,1.364518e-05,1.359484e-05,1.355285e-05,1.352485e-05,1.346045e-05,1.345485e-05,1.338491e-05,1.336813e-05,1.331507e-05,1.327603e-05,1.324540e-05,1.318428e-05,1.317596e-05,1.310677e-05,1.309297e-05,1.303790e-05,1.300221e-05,1.296936e-05,1.291209e-05,1.290121e-05,1.283348e-05,1.282268e-05,1.276618e-05,1.273405e-05,1.269936e-05,1.264625e-05,1.263303e-05,1.256721e-05,1.255935e-05,1.250193e-05,1.247338e-05,1.243720e-05,1.238839e-05,1.237304e-05,1.230947e-05,1.230440e-05,1.224649e-05,1.222146e-05,1.218412e-05,1.213959e-05,1.212236e-05,1.206124e-05,1.205881e-05,1.200075e-05,1.197913e-05,1.194090e-05,1.190057e-05,1.188169e-05,1.182314e-05,1.174685e-05,1.167171e-05,1.159773e-05,1.152489e-05,1.145321e-05,1.138268e-05,1.131330e-05,1.124506e-05,1.117797e-05,1.111200e-05,1.104716e-05,1.098344e-05,1.092082e-05,1.085930e-05,1.079886e-05,1.073950e-05,1.068120e-05,1.062394e-05,1.056773e-05,1.051253e-05,1.045835e-05,1.040516e-05,1.035295e-05,1.030171e-05
0.000000e+00,1.444157e-09,3.650370e-09,1.402419e-08,3.361057e-08,4.996012e-08,1.168018e-07,1.204160e-07,2.359288e-07,2.777641e-07,4.069480e-07,5.406577e-07,6.442127e-07,9.302708e-07,9.584803e-07,1.358705e-06,1.468113e-06,1.848507e-06,2.160685e-06,2.423792e-06,2.992964e-06,3.074675e-06,3.789512e-06,3.939166e-06,4.557330e-06,4.974245e-06,5.368347e-06,6.076485e-06,6.213703e-06,7.085126e-06,7.226442e-06,7.974745e-06,8.406000e-06,8.875024e-06,9.598091e-06,9.778794e-06,1.067933e-05,1.078688e-05,1.157043e-05,1.195806e-05,1.244648e-05,1.309915e-05,1.330253e-05,1.413431e-05,1.419970e-05,1.493825e-05,1.525136e-05,1.571146e-05,1.624786e-05,1.645170e-05,1.715733e-05,1.718482e-05,1.782727e-05,1.805959e-05,1.846092e-05,1.887097e-05,1.905810e-05,1.961900e-05,2.014411e-05,2.030471e-05,2.063419e-05,2.092988e-05,2.109019e-05,2.149693e-05,2.151323e-05,2.190453e-05,2.200857e-05,2.226534e-05,2.246774e-05,2.259698e-05,2.287751e-05,2.290083e-05,2.317827e-05,2.324108e-05,2.343069e-05,2.356161e-05,2.365944e-05,2.384224e-05,2.386588e-05,2.405131e-05,2.408599e-05,2.421702e-05,2.429579e-05,2.436421e-05,2.447440e-05,2.449406e-05,2.460772e-05,2.462447e-05,2.470631e-05,2.474862e-05,2.479096e-05,2.484929e-05,2.486263e-05,2.492215e-05,2.492851e-05,2.497038e-05,2.498824e-05,2.500812e-05,2.503023e-05,2.503609e-05,2.505500e-05,2.505614e-05,2.506549e-05,2.506748e-05,2.506820e-05,2.506564e-05,2.506368e-05,2.505248e-05,2.505190e-05,2.503512e-05,2.502746e-05,2.501207e-05,2.499337e-05,2.498377e-05,2.495065e-05,2.491308e-05,2.490018e-05,2.487144e-05,2.484282e-05,2.482608e-05,2.477931e-05,2.477730e-05,2.472541e-05,2.471036e-05,2.467069e-05,2.463660e-05,2.461339e-05,2.455862e-05,2.455377e-05,2.449205e-05,2.447695e-05,2.442844e-05,2.439207e-05,2.436314e-05,2.430443e-05,2.429634e-05,2.422821e-05,2.421444e-05,2.415891e-05,2.412246e-05,2.408859e-05,2.402884e-05,2.401739e-05,2.394544e-05,2.393387e-05,2.387287e-05,2.383784e-05,2.379978e-05,2.374101e-05,2.372628e-05,2.365248e-05,2.364360e-05,2.357845e-05,2.354583e-05,2.350429e-05,2.344789e-05,2.343008e-05,2.335588e-05,2.334995e-05,2.328177e-05,2.325216e-05,2.320780e-05,2.315467e-05,2.313404e-05,2.306054e-05,2.305761e-05,2.298735e-05,2.296109e-05,2.291452e-05,2.286521e-05,2.284208e-05,2.277008e-05,2.267576e-05,2.258233e-05,2.248987e-05,2.239843e-05,2.230806e-05,2.221881e-05,2.213071e-05,2.204380e-05,2.195811e-05,2.187367e-05,2.179049e-05,2.170859e-05,2.162798e-05,2.154869e-05,2.147070e-05,2.139403e-05,2.131869e-05,2.124466e-05,2.117195e-05,2.110056e-05,2.103048e-05,2.096170e-05,2.089422e-05,2.082802e-05
0.000000e+00,2.457713e-09,5.975633e-09,2.198545e-08,5.173210e-08,7.646418e-08,1.776398e-07,1.831219e-07,3.590733e-07,4.231318e-07,6.218974e-07,8.289261e-07,9.900391e-07,1.438198e-06,1.482632e-06,2.117981e-06,2.293410e-06,2.910001e-06,3.424315e-06,3.863813e-06,4.833124e-06,4.974290e-06,6.229289e-06,6.496353e-06,7.614235e-06,8.380977e-06,9.114828e-06,1.045491e-05,1.071773e-05,1.241041e-05,1.268876e-05,1.418085e-05,1.505485e-05,1.601738e-05,1.752649e-05,1.790855e-05,1.984325e-05,2.007782e-05,2.181075e-05,2.268418e-05,2.380083e-05,2.532245e-05,2.580388e-05,2.781101e-05,2.797150e-05,2.981407e-05,3.061249e-05,3.180574e-05,3.322898e-05,3.377948e-05,3.572954e-05,3.580698e-05,3.765096e-05,3.833481e-05,3.953945e-05,4.080296e-05,4.139143e-05,4.320389e-05,4.497440e-05,4.553176e-05,4.670098e-05,4.778223e-05,4.838214e-05,4.995224e-05,5.001672e-05,5.160392e-05,5.203977e-05,5.314323e-05,5.404369e-05,5.463436e-05,5.596360e-05,5.607726e-05,5.747204e-05,5.779966e-05,5.881899e-05,5.955254e-05,6.011851e-05,6.122326e-05,6.137111e-05,6.257740e-05,6.281315e-05,6.373804e-05,6.432379e-05,6.485380e-05,6.575692e-05,6.592545e-05,6.695384e-05,6.711443e-05,6.793983e-05,6.839830e-05,6.888430e-05,6.961061e-05,6.978818e-05,7.065238e-05,7.075346e-05,7.147783e-05,7.182900e-05,7.226548e-05,7.283939e-05,7.301627e-05,7.373114e-05,7.378681e-05,7.441103e-05,7.467340e-05,7.505686e-05,7.550130e-05,7.566957e-05,7.625007e-05,7.627264e-05,7.679927e-05,7.698949e-05,7.731807e-05,7.765393e-05,7.780733e-05,7.826795e-05,7.870077e-05,7.883355e-05,7.910664e-05,7.935264e-05,7.948639e-05,7.982712e-05,7.984083e-05,8.017075e-05,8.025884e-05,8.047694e-05,8.064958e-05,8.076016e-05,8.100110e-05,8.102118e-05,8.126071e-05,8.131508e-05,8.147948e-05,8.159319e-05,8.167819e-05,8.183701e-05,8.185753e-05,8.201816e-05,8.204810e-05,8.216075e-05,8.222797e-05,8.228592e-05,8.237806e-05,8.239430e-05,8.248650e-05,8.249979e-05,8.256311e-05,8.259452e-05,8.262471e-05,8.266355e-05,8.267185e-05,8.270509e-05,8.270817e-05,8.272495e-05,8.272959e-05,8.273195e-05,8.272899e-05,8.272661e-05,8.270939e-05,8.270752e-05,8.268079e-05,8.266627e-05,8.264127e-05,8.260630e-05,8.259127e-05,8.253123e-05,8.252862e-05,8.246157e-05,8.243422e-05,8.238271e-05,8.232403e-05,8.229505e-05,8.219896e-05,8.205988e-05,8.190762e-05,8.174298e-05,8.156673e-05,8.137960e-05,8.118231e-05,8.097552e-05,8.075990e-05,8.053605e-05,8.030457e-05,8.006603e-05,7.982097e-05,7.956991e-05,7.931335e-05,7.905176e-05,7.878558e-05,7.851526e-05,7.824119e-05,7.796378e-05,7.768340e-05,7.740039e-05,7.711510e-05,7.682785e-05,7.653894e-05
0.000000e+00,1.648209e-09,4.628278e-09,2.090316e-08,5.557912e-08,8.642870e-08,2.210474e-07,2.285737e-07,4.763658e-07,5.684617e-07,8.573628e-07,1.160960e-06,1.398066e-06,2.058521e-06,2.123985e-06,3.058590e-06,3.316162e-06,4.220250e-06,4.973564e-06,5.617079e-06,7.035756e-06,7.242223e-06,9.073841e-06,9.462260e-06,1.108043e-05,1.218152e-05,1.322745e-05,1.511507e-05,1.548166e-05,1.781280e-05,1.819107e-05,2.019377e-05,2.134712e-05,2.260032e-05,2.452932e-05,2.501076e-05,2.740578e-05,2.769131e-05,2.976837e-05,3.079375e-05,3.208377e-05,3.380413e-05,3.433946e-05,3.652506e-05,3.669662e-05,3.863222e-05,3.945162e-05,4.065450e-05,4.205525e-05,4.258714e-05,4.442699e-05,4.449863e-05,4.617222e-05,4.677718e-05,4.782217e-05,4.888983e-05,4.937715e-05,5.083831e-05,5.220745e-05,5.262651e-05,5.348689e-05,5.425990e-05,5.467935e-05,5.574511e-05,5.578788e-05,5.681571e-05,5.708950e-05,5.776622e-05,5.830086e-05,5.864288e-05,5.938718e-05,5.944917e-05,6.018857e-05,6.035646e-05,6.086452e-05,6.121659e-05,6.148037e-05,6.197522e-05,6.203941e-05,6.254481e-05,6.263973e-05,6.299966e-05,6.321718e-05,6.340689e-05,6.371424e-05,6.376934e-05,6.408972e-05,6.413725e-05,6.437062e-05,6.449215e-05,6.461450e-05,6.478452e-05,6.482369e-05,6.500043e-05,6.501956e-05,6.514682e-05,6.520214e-05,6.526487e-05,6.533680e-05,6.535646e-05,6.542340e-05,6.542774e-05,6.546736e-05,6.547887e-05,6.548994e-05,6.549382e-05,6.549267e-05,6.547695e-05,6.547596e-05,6.544413e-05,6.542837e-05,6.539547e-05,6.535395e-05,6.533217e-05,6.525534e-05,6.516604e-05,6.513499e-05,6.506526e-05,6.499517e-05,6.495394e-05,6.483796e-05,6.483295e-05,6.470311e-05,6.466527e-05,6.456520e-05,6.447888e-05,6.441994e-05,6.428040e-05,6.426802e-05,6.411007e-05,6.407134e-05,6.394670e-05,6.385305e-05,6.377846e-05,6.362681e-05,6.360589e-05,6.342947e-05,6.339376e-05,6.324966e-05,6.315497e-05,6.306690e-05,6.291140e-05,6.288159e-05,6.269411e-05,6.266393e-05,6.250480e-05,6.241338e-05,6.231400e-05,6.216049e-05,6.212202e-05,6.192913e-05,6.190593e-05,6.173560e-05,6.165032e-05,6.154169e-05,6.139420e-05,6.134762e-05,6.115360e-05,6.113808e-05,6.095983e-05,6.088243e-05,6.076650e-05,6.062766e-05,6.057377e-05,6.038181e-05,6.037415e-05,6.019075e-05,6.012222e-05,6.000074e-05,5.987218e-05,5.981189e-05,5.962431e-05,5.937885e-05,5.913601e-05,5.889598e-05,5.865894e-05,5.842502e-05,5.819436e-05,5.796707e-05,5.774324e-05,5.752294e-05,5.730626e-05,5.709324e-05,5.688393e-05,5.667835e-05,5.647654e-05,5.627850e-05,5.608424e-05,5.589377e-05,5.570708e-05,5.552414e-05,5.534494e-05,5.516947e-05,5.499769e-05,5.482956e-05,5.466507e-05
0.000000e+00,1.652513e-09,4.098398e-09,1.542128e-08,3.665603e-08,5.436067e-08,1.267866e-07,1.307054e-07,2.560133e-07,3.013880e-07,4.413248e-07,5.857469e-07,6.972544e-07,1.003810e-06,1.033946e-06,1.460823e-06,1.577637e-06,1.986051e-06,2.325507e-06,2.615658e-06,3.258296e-06,3.352337e-06,4.194250e-06,4.374736e-06,5.134442e-06,5.658514e-06,6.161453e-06,7.080850e-06,7.261041e-06,8.418231e-06,8.607756e-06,9.618774e-06,1.020661e-05,1.084987e-05,1.184918e-05,1.210033e-05,1.336047e-05,1.351193e-05,1.462195e-05,1.517553e-05,1.587757e-05,1.682412e-05,1.712120e-05,1.834761e-05,1.844484e-05,1.955241e-05,2.002744e-05,2.073196e-05,2.156391e-05,2.188328e-05,2.300402e-05,2.304819e-05,2.409233e-05,2.447591e-05,2.514685e-05,2.584411e-05,2.616661e-05,2.715100e-05,2.809970e-05,2.839574e-05,2.901266e-05,2.957825e-05,2.989001e-05,3.069908e-05,3.073209e-05,3.153935e-05,3.175922e-05,3.231238e-05,3.276004e-05,3.305185e-05,3.370317e-05,3.375852e-05,3.443317e-05,3.459042e-05,3.507668e-05,3.542375e-05,3.568990e-05,3.620519e-05,3.627373e-05,3.682909e-05,3.693682e-05,3.735689e-05,3.762075e-05,3.785804e-05,3.825908e-05,3.833345e-05,3.878402e-05,3.885387e-05,3.921064e-05,3.940717e-05,3.961419e-05,3.992098e-05,3.999551e-05,4.035545e-05,4.039725e-05,4.069484e-05,4.083786e-05,4.101446e-05,4.124464e-05,4.131511e-05,4.159753e-05,4.161936e-05,4.186248e-05,4.196372e-05,4.211066e-05,4.227936e-05,4.234277e-05,4.255949e-05,4.256785e-05,4.276147e-05,4.283069e-05,4.294934e-05,4.306934e-05,4.312370e-05,4.328517e-05,4.343430e-05,4.347950e-05,4.357164e-05,4.365360e-05,4.369773e-05,4.380868e-05,4.381309e-05,4.391821e-05,4.394587e-05,4.401356e-05,4.406627e-05,4.409961e-05,4.417094e-05,4.417679e-05,4.424555e-05,4.426084e-05,4.430628e-05,4.433694e-05,4.435939e-05,4.440012e-05,4.440525e-05,4.444423e-05,4.445123e-05,4.447668e-05,4.449109e-05,4.450294e-05,4.452045e-05,4.452333e-05,4.453816e-05,4.454004e-05,4.454774e-05,4.455056e-05,4.455235e-05,4.455264e-05,4.455226e-05,4.454774e-05,4.454691e-05,4.453904e-05,4.453395e-05,4.452641e-05,4.451431e-05,4.451007e-05,4.449025e-05,4.448852e-05,4.446716e-05,4.445705e-05,4.444100e-05,4.442038e-05,4.441198e-05,4.438027e-05,4.437895e-05,4.434605e-05,4.433315e-05,4.430950e-05,4.428340e-05,4.427078e-05,4.423004e-05,4.417342e-05,4.411387e-05,4.405169e-05,4.398717e-05,4.392056e-05,4.385213e-05,4.378211e-05,4.371071e-05,4.363815e-05,4.356461e-05,4.349028e-05,4.341531e-05,4.333988e-05,4.326411e-05,4.318814e-05,4.311211e-05,4.303612e-05,4.296028e-05,4.288469e-05,4.280944e-05,4.273461e-05,4.266028e-05,4.258653e-05,4.251341e-05
0.000000e+00,4.199393e-09,1.167734e-08,5.184998e-08,1.362140e-07,2.106969e-07,5.336380e-07,5.516540e-07,1.145179e-06,1.366415e-06,2.063902e-06,2.803025e-06,3.384439e-06,5.018164e-06,5.180800e-06,7.500798e-06,8.136187e-06,1.033988e-05,1.213876e-05,1.364791e-05,1.689503e-05,1.735967e-05,2.141426e-05,2.226151e-05,2.575820e-05,2.811512e-05,3.034276e-05,3.434561e-05,3.512132e-05,4.004821e-05,4.084726e-05,4.507859e-05,4.751713e-05,5.016911e-05,5.425706e-05,5.527859e-05,6.036880e-05,6.097665e-05,6.540507e-05,6.759588e-05,7.035668e-05,7.404677e-05,7.519704e-05,7.990374e-05,8.027392e-05,8.445837e-05,8.623427e-05,8.884638e-05,9.189621e-05,9.305665e-05,9.708113e-05,9.723816e-05,1.009145e-04,1.022471e-04,1.045538e-04,1.069172e-04,1.079982e-04,1.112484e-04,1.143065e-04,1.152450e-04,1.171758e-04,1.189151e-04,1.198606e-04,1.222689e-04,1.223657e-04,1.246966e-04,1.253188e-04,1.268590e-04,1.280781e-04,1.288591e-04,1.305611e-04,1.307030e-04,1.323973e-04,1.327824e-04,1.339483e-04,1.347565e-04,1.353622e-04,1.364982e-04,1.366455e-04,1.378043e-04,1.380217e-04,1.388447e-04,1.393408e-04,1.397725e-04,1.404691e-04,1.405936e-04,1.413134e-04,1.414195e-04,1.419374e-04,1.422044e-04,1.424708e-04,1.428356e-04,1.429185e-04,1.432855e-04,1.433243e-04,1.435762e-04,1.436812e-04,1.437953e-04,1.439164e-04,1.439468e-04,1.440350e-04,1.440394e-04,1.440636e-04,1.440592e-04,1.440364e-04,1.439843e-04,1.439570e-04,1.438287e-04,1.438226e-04,1.436548e-04,1.435816e-04,1.434383e-04,1.432683e-04,1.431822e-04,1.428893e-04,1.425622e-04,1.424507e-04,1.422034e-04,1.419582e-04,1.418153e-04,1.414172e-04,1.414001e-04,1.409601e-04,1.408327e-04,1.404973e-04,1.402094e-04,1.400135e-04,1.395515e-04,1.395106e-04,1.389903e-04,1.388631e-04,1.384543e-04,1.381479e-04,1.379041e-04,1.374094e-04,1.373412e-04,1.367669e-04,1.366508e-04,1.361825e-04,1.358751e-04,1.355893e-04,1.350850e-04,1.349883e-04,1.343808e-04,1.342830e-04,1.337676e-04,1.334715e-04,1.331497e-04,1.326527e-04,1.325281e-04,1.319036e-04,1.318285e-04,1.312770e-04,1.310008e-04,1.306489e-04,1.301711e-04,1.300202e-04,1.293914e-04,1.293411e-04,1.287632e-04,1.285122e-04,1.281361e-04,1.276855e-04,1.275106e-04,1.268872e-04,1.268623e-04,1.262664e-04,1.260436e-04,1.256485e-04,1.252303e-04,1.250341e-04,1.244234e-04,1.236235e-04,1.228314e-04,1.220477e-04,1.212729e-04,1.205075e-04,1.197519e-04,1.190066e-04,1.182718e-04,1.175478e-04,1.168348e-04,1.161330e-04,1.154426e-04,1.147637e-04,1.140964e-04,1.134407e-04,1.127967e-04,1.121643e-04,1.115437e-04,1.109347e-04,1.103374e-04,1.097515e-04,1.091772e-04,1.086142e-04,1.080625e-04
0.000000e+00,3.906577e-09,9.180037e-09,3.236105e-08,7.428580e-08,1.086391e-07,2.470352e-07,2.544745e-07,4.917366e-07,5.777160e-07,8.441311e-07,1.121681e-06,1.337877e-06,1.939146e-06,1.998629e-06,2.841821e-06,3.071264e-06,3.862858e-06,4.504681e-06,5.040398e-06,6.185460e-06,6.348529e-06,7.764209e-06,8.058515e-06,9.268377e-06,1.008004e-05,1.084475e-05,1.221387e-05,1.247856e-05,1.415574e-05,1.442720e-05,1.586262e-05,1.668852e-05,1.758578e-05,1.896724e-05,1.931217e-05,2.102932e-05,2.123419e-05,2.272549e-05,2.346233e-05,2.438984e-05,2.562741e-05,2.601261e-05,2.758524e-05,2.770865e-05,2.910040e-05,2.968898e-05,3.055203e-05,3.155512e-05,3.193531e-05,3.324659e-05,3.329751e-05,3.448333e-05,3.490998e-05,3.564399e-05,3.638943e-05,3.672795e-05,3.773533e-05,3.866696e-05,3.894930e-05,3.952423e-05,4.003471e-05,4.030902e-05,4.099633e-05,4.102360e-05,4.167049e-05,4.183985e-05,4.225241e-05,4.257157e-05,4.277223e-05,4.319814e-05,4.323288e-05,4.363734e-05,4.372638e-05,4.398859e-05,4.416317e-05,4.428964e-05,4.451543e-05,4.454349e-05,4.475307e-05,4.478992e-05,4.492120e-05,4.499316e-05,4.505062e-05,4.513138e-05,4.514400e-05,4.520389e-05,4.521053e-05,4.523277e-05,4.523636e-05,4.523321e-05,4.521477e-05,4.520768e-05,4.515813e-05,4.515066e-05,4.508643e-05,4.504834e-05,4.499441e-05,4.491191e-05,4.488373e-05,4.475595e-05,4.474503e-05,4.461257e-05,4.455117e-05,4.445498e-05,4.433344e-05,4.428446e-05,4.410222e-05,4.409471e-05,4.390942e-05,4.383762e-05,4.370710e-05,4.356460e-05,4.349627e-05,4.327783e-05,4.305266e-05,4.297931e-05,4.282154e-05,4.267085e-05,4.258521e-05,4.235409e-05,4.234437e-05,4.209966e-05,4.203053e-05,4.185167e-05,4.170153e-05,4.160094e-05,4.136831e-05,4.134800e-05,4.109331e-05,4.103197e-05,4.083730e-05,4.069351e-05,4.058037e-05,4.035382e-05,4.032290e-05,4.006523e-05,4.001370e-05,3.980766e-05,3.967387e-05,3.955050e-05,3.933498e-05,3.929399e-05,3.903839e-05,3.899759e-05,3.878391e-05,3.866222e-05,3.853075e-05,3.832931e-05,3.827911e-05,3.802914e-05,3.799926e-05,3.778100e-05,3.767243e-05,3.753482e-05,3.734912e-05,3.729074e-05,3.704885e-05,3.702960e-05,3.680926e-05,3.671409e-05,3.657207e-05,3.640280e-05,3.633733e-05,3.610513e-05,3.609590e-05,3.587553e-05,3.579352e-05,3.564857e-05,3.549578e-05,3.542431e-05,3.520277e-05,3.491457e-05,3.463124e-05,3.435282e-05,3.407933e-05,3.381078e-05,3.354718e-05,3.328851e-05,3.303477e-05,3.278591e-05,3.254191e-05,3.230273e-05,3.206832e-05,3.183862e-05,3.161358e-05,3.139314e-05,3.117725e-05,3.096582e-05,3.075879e-05,3.055610e-05,3.035767e-05,3.016342e-05,2.997329e-05,2.978720e-05,2.960506e-05
0.000000e+00,3.940964e-09,1.014564e-08,4.002966e-08,9.760589e-08,1.462528e-07,3.482738e-07,3.593056e-07,7.161492e-07,8.471065e-07,1.256177e-06,1.686011e-06,2.022819e-06,2.968598e-06,3.062982e-06,4.421300e-06,4.798434e-06,6.126976e-06,7.235124e-06,8.179693e-06,1.024947e-05,1.054904e-05,1.318903e-05,1.374530e-05,1.605280e-05,1.761643e-05,1.909902e-05,2.177283e-05,2.229233e-05,2.560189e-05,2.614031e-05,2.899990e-05,3.065476e-05,3.246071e-05,3.525845e-05,3.596040e-05,3.947662e-05,3.989867e-05,4.298865e-05,4.452766e-05,4.647752e-05,4.910297e-05,4.992612e-05,5.331924e-05,5.358789e-05,5.664368e-05,5.795162e-05,5.988810e-05,6.216912e-05,6.304298e-05,6.610065e-05,6.622084e-05,6.905502e-05,7.009236e-05,7.190140e-05,7.377351e-05,7.463647e-05,7.725810e-05,7.976516e-05,8.054315e-05,8.215738e-05,8.362833e-05,8.443526e-05,8.651550e-05,8.659993e-05,8.865307e-05,8.920824e-05,9.059676e-05,9.171143e-05,9.243341e-05,9.403086e-05,9.416567e-05,9.579643e-05,9.617305e-05,9.732872e-05,9.814496e-05,9.876568e-05,9.995388e-05,1.001105e-04,1.013664e-04,1.016072e-04,1.025367e-04,1.031125e-04,1.036247e-04,1.044772e-04,1.046334e-04,1.055662e-04,1.057086e-04,1.064261e-04,1.068139e-04,1.072163e-04,1.078002e-04,1.079396e-04,1.085991e-04,1.086741e-04,1.091976e-04,1.094423e-04,1.097378e-04,1.101111e-04,1.102225e-04,1.106542e-04,1.106865e-04,1.110355e-04,1.111744e-04,1.113687e-04,1.115802e-04,1.116563e-04,1.119005e-04,1.119094e-04,1.121034e-04,1.121668e-04,1.122673e-04,1.123574e-04,1.123940e-04,1.124856e-04,1.125439e-04,1.125558e-04,1.125707e-04,1.125722e-04,1.125678e-04,1.125385e-04,1.125368e-04,1.124792e-04,1.124586e-04,1.123967e-04,1.123358e-04,1.122906e-04,1.121734e-04,1.121624e-04,1.120134e-04,1.119747e-04,1.118449e-04,1.117425e-04,1.116581e-04,1.114795e-04,1.114542e-04,1.112342e-04,1.111884e-04,1.109994e-04,1.108717e-04,1.107506e-04,1.105316e-04,1.104888e-04,1.102151e-04,1.101703e-04,1.099303e-04,1.097898e-04,1.096351e-04,1.093921e-04,1.093305e-04,1.090172e-04,1.089790e-04,1.086959e-04,1.085522e-04,1.083673e-04,1.081131e-04,1.080321e-04,1.076909e-04,1.076634e-04,1.073443e-04,1.072043e-04,1.069929e-04,1.067372e-04,1.066372e-04,1.062778e-04,1.062633e-04,1.059150e-04,1.057837e-04,1.055494e-04,1.052994e-04,1.051814e-04,1.048115e-04,1.043207e-04,1.038280e-04,1.033342e-04,1.028399e-04,1.023459e-04,1.018527e-04,1.013609e-04,1.008711e-04,1.003838e-04,9.989925e-05,9.941802e-05,9.894044e-05,9.846685e-05,9.799755e-05,9.753282e-05,9.707292e-05,9.661806e-05,9.616845e-05,9.572426e-05,9.528566e-05,9.485278e-05,9.442575e-05,9.400466e-05,9.358960e-05
0.000000e+00,4.938670e-09,1.128534e-08,3.864525e-08,8.759717e-08,1.275556e-07,2.881773e-07,2.968062e-07,5.720228e-07,6.717842e-07,9.809972e-07,1.303284e-06,1.554505e-06,2.255162e-06,2.324729e-06,3.318722e-06,3.592217e-06,4.546486e-06,5.331239e-06,5.992170e-06,7.416124e-06,7.619611e-06,9.387003e-06,9.753868e-06,1.125703e-05,1.225964e-05,1.319924e-05,1.486827e-05,1.518891e-05,1.720525e-05,1.752910e-05,1.923015e-05,2.020034e-05,2.124747e-05,2.284609e-05,2.324273e-05,2.520297e-05,2.543528e-05,2.711673e-05,2.794147e-05,2.897414e-05,3.034288e-05,3.076683e-05,3.248799e-05,3.262243e-05,3.413227e-05,3.476751e-05,3.569566e-05,3.676963e-05,3.717542e-05,3.856998e-05,3.862397e-05,3.987874e-05,4.032894e-05,4.110206e-05,4.188561e-05,4.224094e-05,4.329685e-05,4.427188e-05,4.456720e-05,4.516850e-05,4.570244e-05,4.598944e-05,4.670909e-05,4.673767e-05,4.741628e-05,4.759426e-05,4.802848e-05,4.836526e-05,4.857748e-05,4.902950e-05,4.906649e-05,4.949872e-05,4.959435e-05,4.987729e-05,5.006702e-05,5.020530e-05,5.045448e-05,5.048571e-05,5.072141e-05,5.076343e-05,5.091517e-05,5.100024e-05,5.106966e-05,5.117096e-05,5.118744e-05,5.127094e-05,5.128127e-05,5.132248e-05,5.133652e-05,5.134427e-05,5.134169e-05,5.133840e-05,5.130687e-05,5.130146e-05,5.125156e-05,5.122016e-05,5.117425e-05,5.110182e-05,5.107663e-05,5.096027e-05,5.095020e-05,5.082669e-05,5.076874e-05,5.067728e-05,5.056066e-05,5.051338e-05,5.033624e-05,5.032890e-05,5.014704e-05,5.007619e-05,4.994687e-05,4.980503e-05,4.973678e-05,4.951772e-05,4.929063e-05,4.921640e-05,4.905634e-05,4.890299e-05,4.881565e-05,4.857927e-05,4.856932e-05,4.831804e-05,4.824688e-05,4.806245e-05,4.790730e-05,4.780318e-05,4.756188e-05,4.754079e-05,4.727580e-05,4.721187e-05,4.700870e-05,4.685838e-05,4.673996e-05,4.650245e-05,4.647001e-05,4.619922e-05,4.614500e-05,4.592798e-05,4.578686e-05,4.565661e-05,4.542880e-05,4.538543e-05,4.511474e-05,4.507149e-05,4.484479e-05,4.471556e-05,4.457584e-05,4.436154e-05,4.430811e-05,4.404180e-05,4.400995e-05,4.377711e-05,4.366121e-05,4.351422e-05,4.331571e-05,4.325327e-05,4.299442e-05,4.297380e-05,4.273779e-05,4.263579e-05,4.248350e-05,4.230193e-05,4.223167e-05,4.198237e-05,4.197246e-05,4.173571e-05,4.164757e-05,4.149175e-05,4.132744e-05,4.125057e-05,4.101221e-05,4.070200e-05,4.039691e-05,4.009701e-05,3.980236e-05,3.951300e-05,3.922896e-05,3.895026e-05,3.867689e-05,3.840885e-05,3.814612e-05,3.788867e-05,3.763646e-05,3.738945e-05,3.714759e-05,3.691083e-05,3.667911e-05,3.645236e-05,3.623052e-05,3.601351e-05,3.580127e-05,3.559371e-05,3.539076e-05,3.519234e-05,3.499838e-05
0.000000e+00,3.693036e-09,8.449519e-09,2.904962e-08,6.611843e-08,9.649842e-08,2.192353e-07,2.258481e-07,4.373280e-07,5.141533e-07,7.524433e-07,1.000598e-06,1.193525e-06,1.727178e-06,1.779701e-06,2.519156e-06,2.718988e-06,3.405693e-06,3.961085e-06,4.424788e-06,5.418718e-06,5.560704e-06,6.798967e-06,7.057710e-06,8.126176e-06,8.847180e-06,9.529413e-06,1.075756e-05,1.099594e-05,1.251316e-05,1.275979e-05,1.406879e-05,1.482566e-05,1.565108e-05,1.692865e-05,1.724898e-05,1.885234e-05,1.904467e-05,2.045204e-05,2.115263e-05,2.204001e-05,2.323467e-05,2.360923e-05,2.515372e-05,2.527605e-05,2.666846e-05,2.726509e-05,2.814936e-05,2.919277e-05,2.959311e-05,3.099713e-05,3.105243e-05,3.235943e-05,3.283936e-05,3.367861e-05,3.455053e-05,3.495373e-05,3.618423e-05,3.736990e-05,3.773984e-05,3.851077e-05,3.921754e-05,3.960712e-05,4.061816e-05,4.065941e-05,4.166824e-05,4.194303e-05,4.263434e-05,4.319383e-05,4.355854e-05,4.437255e-05,4.444172e-05,4.528485e-05,4.548135e-05,4.608893e-05,4.652253e-05,4.685498e-05,4.749849e-05,4.758407e-05,4.827726e-05,4.841168e-05,4.893562e-05,4.926456e-05,4.956023e-05,5.005961e-05,5.015217e-05,5.071249e-05,5.079928e-05,5.124225e-05,5.148599e-05,5.174249e-05,5.212213e-05,5.221425e-05,5.265851e-05,5.271003e-05,5.307629e-05,5.325196e-05,5.346853e-05,5.375016e-05,5.383621e-05,5.418023e-05,5.420676e-05,5.450151e-05,5.462385e-05,5.480093e-05,5.500346e-05,5.507935e-05,5.533761e-05,5.534753e-05,5.557652e-05,5.565795e-05,5.579688e-05,5.593652e-05,5.599946e-05,5.618499e-05,5.635421e-05,5.640503e-05,5.650781e-05,5.659824e-05,5.664649e-05,5.676618e-05,5.677089e-05,5.688165e-05,5.691031e-05,5.697940e-05,5.703204e-05,5.706472e-05,5.713273e-05,5.713819e-05,5.720037e-05,5.721368e-05,5.725181e-05,5.727610e-05,5.729300e-05,5.732119e-05,5.732447e-05,5.734668e-05,5.735006e-05,5.736011e-05,5.736378e-05,5.736521e-05,5.736336e-05,5.736240e-05,5.735210e-05,5.734979e-05,5.733472e-05,5.732397e-05,5.731063e-05,5.728678e-05,5.728021e-05,5.724381e-05,5.723906e-05,5.720178e-05,5.718159e-05,5.715445e-05,5.711513e-05,5.710213e-05,5.704512e-05,5.704037e-05,5.698372e-05,5.695800e-05,5.691821e-05,5.686864e-05,5.684885e-05,5.677590e-05,5.677291e-05,5.669960e-05,5.667136e-05,5.662019e-05,5.656454e-05,5.653790e-05,5.645295e-05,5.633707e-05,5.621735e-05,5.609422e-05,5.596808e-05,5.583930e-05,5.570824e-05,5.557522e-05,5.544056e-05,5.530455e-05,5.516747e-05,5.502956e-05,5.489107e-05,5.475222e-05,5.461322e-05,5.447425e-05,5.433550e-05,5.419714e-05,5.405931e-05,5.392217e-05,5.378584e-05,5.365044e-05,5.351609e-05,5.338288e-05,5.325091e-05
0.000000e+00,1.161185e-08,2.754519e-08,9.847223e-08,2.285320e-07,3.362455e-07,7.778403e-07,8.018770e-07,1.581542e-06,1.869401e-06,2.773897e-06,3.726820e-06,4.469192e-06,6.503285e-06,6.701130e-06,9.440148e-06,1.016755e-05,1.263843e-05,1.461456e-05,1.625531e-05,1.975763e-05,2.025712e-05,2.461188e-05,2.552227e-05,2.928576e-05,3.183011e-05,3.424165e-05,3.859308e-05,3.943918e-05,4.483542e-05,4.571431e-05,5.038606e-05,5.309213e-05,5.604662e-05,6.062496e-05,6.177366e-05,6.752580e-05,6.821588e-05,7.326456e-05,7.577623e-05,7.895496e-05,8.322802e-05,8.456587e-05,9.007016e-05,9.050517e-05,9.544471e-05,9.755377e-05,1.006703e-04,1.043315e-04,1.057312e-04,1.106153e-04,1.108068e-04,1.153131e-04,1.169574e-04,1.198183e-04,1.227696e-04,1.241267e-04,1.282362e-04,1.321461e-04,1.333552e-04,1.358572e-04,1.381289e-04,1.393717e-04,1.425631e-04,1.426922e-04,1.458226e-04,1.466656e-04,1.487672e-04,1.504468e-04,1.515309e-04,1.539183e-04,1.541190e-04,1.565370e-04,1.570926e-04,1.587907e-04,1.599834e-04,1.608865e-04,1.626054e-04,1.628309e-04,1.646295e-04,1.649722e-04,1.662882e-04,1.670974e-04,1.678128e-04,1.689940e-04,1.692090e-04,1.704822e-04,1.706749e-04,1.716381e-04,1.721528e-04,1.726819e-04,1.734397e-04,1.736188e-04,1.744537e-04,1.745473e-04,1.751916e-04,1.754868e-04,1.758372e-04,1.762689e-04,1.763950e-04,1.768694e-04,1.769038e-04,1.772647e-04,1.774015e-04,1.775849e-04,1.777713e-04,1.778341e-04,1.780160e-04,1.780219e-04,1.781341e-04,1.781618e-04,1.781922e-04,1.781990e-04,1.781934e-04,1.781410e-04,1.780381e-04,1.779950e-04,1.778876e-04,1.777677e-04,1.776925e-04,1.774656e-04,1.774553e-04,1.771788e-04,1.770946e-04,1.768653e-04,1.766604e-04,1.765172e-04,1.761684e-04,1.761369e-04,1.757264e-04,1.756236e-04,1.752878e-04,1.750307e-04,1.748231e-04,1.743941e-04,1.743342e-04,1.738228e-04,1.737180e-04,1.732907e-04,1.730064e-04,1.727395e-04,1.722628e-04,1.721706e-04,1.715856e-04,1.714906e-04,1.709859e-04,1.706932e-04,1.703728e-04,1.698735e-04,1.697475e-04,1.691112e-04,1.690342e-04,1.684651e-04,1.681780e-04,1.678103e-04,1.673074e-04,1.671477e-04,1.664783e-04,1.664245e-04,1.658030e-04,1.655315e-04,1.651227e-04,1.646303e-04,1.644383e-04,1.637504e-04,1.637228e-04,1.630598e-04,1.628106e-04,1.623671e-04,1.618953e-04,1.616732e-04,1.609784e-04,1.600611e-04,1.591448e-04,1.582304e-04,1.573191e-04,1.564119e-04,1.555095e-04,1.546128e-04,1.537225e-04,1.528393e-04,1.519638e-04,1.510965e-04,1.502379e-04,1.493885e-04,1.485485e-04,1.477185e-04,1.468986e-04,1.460891e-04,1.452904e-04,1.445025e-04,1.437256e-04,1.429599e-04,1.422054e-04,1.414624e-04,1.407307e-04
0.000000e+00,3.911373e-09,8.943107e-09,3.069240e-08,6.982020e-08,1.019527e-07,2.327684e-07,2.398680e-07,4.698764e-07,5.548486e-07,8.229404e-07,1.108657e-06,1.334596e-06,1.971011e-06,2.034191e-06,2.924672e-06,3.164175e-06,3.979369e-06,4.628555e-06,5.163584e-06,6.290747e-06,6.449771e-06,7.818396e-06,8.100662e-06,9.254663e-06,1.002401e-05,1.074591e-05,1.203232e-05,1.228022e-05,1.384586e-05,1.409848e-05,1.543114e-05,1.619565e-05,1.702453e-05,1.829758e-05,1.861489e-05,2.019165e-05,2.037947e-05,2.174503e-05,2.241880e-05,2.326621e-05,2.439594e-05,2.474741e-05,2.618198e-05,2.629456e-05,2.756437e-05,2.810169e-05,2.889013e-05,2.980765e-05,3.015583e-05,3.135899e-05,3.140579e-05,3.249800e-05,3.289215e-05,3.357200e-05,3.426507e-05,3.458081e-05,3.552480e-05,3.640482e-05,3.667310e-05,3.722210e-05,3.771294e-05,3.797820e-05,3.864815e-05,3.867490e-05,3.931421e-05,3.948321e-05,3.989823e-05,4.022304e-05,4.042920e-05,4.087279e-05,4.090939e-05,4.134111e-05,4.143777e-05,4.172666e-05,4.192326e-05,4.206834e-05,4.233452e-05,4.236840e-05,4.262907e-05,4.267666e-05,4.285248e-05,4.295463e-05,4.304072e-05,4.317313e-05,4.319580e-05,4.331966e-05,4.333671e-05,4.341420e-05,4.344972e-05,4.348129e-05,4.351635e-05,4.352264e-05,4.353990e-05,4.354042e-05,4.353462e-05,4.352554e-05,4.350830e-05,4.347512e-05,4.346239e-05,4.339824e-05,4.339236e-05,4.331715e-05,4.328024e-05,4.322032e-05,4.314151e-05,4.310891e-05,4.298404e-05,4.297878e-05,4.284674e-05,4.279445e-05,4.269799e-05,4.259078e-05,4.253873e-05,4.236983e-05,4.219213e-05,4.213353e-05,4.200639e-05,4.188365e-05,4.181336e-05,4.162184e-05,4.161373e-05,4.140816e-05,4.134961e-05,4.119725e-05,4.106838e-05,4.098158e-05,4.077944e-05,4.076171e-05,4.053813e-05,4.048397e-05,4.031133e-05,4.018308e-05,4.008175e-05,3.987775e-05,3.984981e-05,3.961590e-05,3.956891e-05,3.938039e-05,3.925741e-05,3.914363e-05,3.894401e-05,3.890592e-05,3.866759e-05,3.862941e-05,3.842889e-05,3.831426e-05,3.819008e-05,3.799913e-05,3.795142e-05,3.771312e-05,3.768456e-05,3.747539e-05,3.737102e-05,3.723842e-05,3.705894e-05,3.700239e-05,3.676745e-05,3.674871e-05,3.653377e-05,3.644068e-05,3.630147e-05,3.613515e-05,3.607070e-05,3.584155e-05,3.583242e-05,3.561414e-05,3.553272e-05,3.538857e-05,3.523628e-05,3.516493e-05,3.494328e-05,3.465390e-05,3.436828e-05,3.408654e-05,3.380879e-05,3.353512e-05,3.326560e-05,3.300029e-05,3.273923e-05,3.248246e-05,3.223000e-05,3.198186e-05,3.173804e-05,3.149854e-05,3.126334e-05,3.103243e-05,3.080577e-05,3.058335e-05,3.036511e-05,3.015103e-05,2.994106e-05,2.973515e-05,2.953325e-05,2.933531e-05,2.914127e-05
0.000000e+00,6.461274e-09,1.539994e-08,5.516326e-08,1.276029e-07,1.871132e-07,4.269385e-07,4.398157e-07,8.490275e-07,9.965013e-07,1.450515e-06,1.918953e-06,2.280988e-06,3.278123e-06,3.376224e-06,4.763228e-06,5.140736e-06,6.447578e-06,7.513682e-06,8.408113e-06,1.033184e-05,1.060690e-05,1.300289e-05,1.350237e-05,1.555845e-05,1.693911e-05,1.823997e-05,2.056730e-05,2.101679e-05,2.386022e-05,2.431952e-05,2.674307e-05,2.813323e-05,2.963961e-05,3.195045e-05,3.252576e-05,3.537936e-05,3.571863e-05,3.818047e-05,3.939172e-05,4.091154e-05,4.293094e-05,4.355749e-05,4.610587e-05,4.630521e-05,4.854663e-05,4.949099e-05,5.087204e-05,5.247172e-05,5.307655e-05,5.515658e-05,5.523716e-05,5.711026e-05,5.778254e-05,5.893721e-05,6.010757e-05,6.063834e-05,6.221558e-05,6.367176e-05,6.411272e-05,6.501036e-05,6.580719e-05,6.623538e-05,6.730864e-05,6.735124e-05,6.836258e-05,6.862769e-05,6.927426e-05,6.977547e-05,7.009119e-05,7.076335e-05,7.081833e-05,7.146063e-05,7.160269e-05,7.202293e-05,7.230465e-05,7.250997e-05,7.287993e-05,7.292631e-05,7.327638e-05,7.333882e-05,7.356446e-05,7.369112e-05,7.379463e-05,7.394608e-05,7.397079e-05,7.409667e-05,7.411238e-05,7.417579e-05,7.419816e-05,7.421152e-05,7.421099e-05,7.420702e-05,7.416532e-05,7.415795e-05,7.408923e-05,7.404555e-05,7.398143e-05,7.387986e-05,7.384445e-05,7.368065e-05,7.366646e-05,7.349227e-05,7.341050e-05,7.328138e-05,7.311673e-05,7.304997e-05,7.279986e-05,7.278949e-05,7.253278e-05,7.243279e-05,7.225035e-05,7.205030e-05,7.195408e-05,7.164537e-05,7.132556e-05,7.122107e-05,7.099586e-05,7.078021e-05,7.065744e-05,7.032533e-05,7.031135e-05,6.995860e-05,6.985877e-05,6.960012e-05,6.938264e-05,6.923677e-05,6.889887e-05,6.886935e-05,6.849860e-05,6.840921e-05,6.812523e-05,6.791523e-05,6.774986e-05,6.741836e-05,6.737310e-05,6.699548e-05,6.691991e-05,6.661753e-05,6.642102e-05,6.623970e-05,6.592274e-05,6.586243e-05,6.548612e-05,6.542602e-05,6.511112e-05,6.493169e-05,6.473778e-05,6.444050e-05,6.436639e-05,6.399725e-05,6.395311e-05,6.363059e-05,6.347012e-05,6.326667e-05,6.299203e-05,6.290568e-05,6.254781e-05,6.251932e-05,6.219325e-05,6.205238e-05,6.184213e-05,6.159155e-05,6.149461e-05,6.115080e-05,6.113713e-05,6.081082e-05,6.068937e-05,6.047475e-05,6.024850e-05,6.014268e-05,5.981468e-05,5.938806e-05,5.896876e-05,5.855687e-05,5.815244e-05,5.775552e-05,5.736612e-05,5.698426e-05,5.660992e-05,5.624308e-05,5.588369e-05,5.553170e-05,5.518705e-05,5.484968e-05,5.451950e-05,5.419643e-05,5.388038e-05,5.357125e-05,5.326894e-05,5.297334e-05,5.268435e-05,5.240186e-05,5.212575e-05,5.185591e-05,5.159222e-05
0.000000e+00,7.356684e-10,1.777906e-09,6.429605e-09,1.484919e-08,2.170627e-08,4.888397e-08,5.032513e-08,9.532689e-08,1.112086e-07,1.591493e-07,2.072905e-07,2.436976e-07,3.409914e-07,3.503619e-07,4.799779e-07,5.145372e-07,6.327336e-07,7.281986e-07,8.080319e-07,9.797403e-07,1.004328e-06,1.218992e-06,1.263818e-06,1.448279e-06,1.571763e-06,1.687519e-06,1.892408e-06,1.931566e-06,2.175392e-06,2.214078e-06,2.414595e-06,2.526704e-06,2.645663e-06,2.822886e-06,2.865999e-06,3.073817e-06,3.097855e-06,3.267994e-06,3.348939e-06,3.447924e-06,3.575003e-06,3.613401e-06,3.764529e-06,3.776008e-06,3.901646e-06,3.952679e-06,4.025263e-06,4.106263e-06,4.136018e-06,4.234634e-06,4.238337e-06,4.321885e-06,4.350667e-06,4.398571e-06,4.445093e-06,4.465495e-06,4.523450e-06,4.573199e-06,4.587506e-06,4.615474e-06,4.638928e-06,4.650965e-06,4.679254e-06,4.680318e-06,4.704132e-06,4.709884e-06,4.722960e-06,4.732077e-06,4.737310e-06,4.746956e-06,4.747645e-06,4.754387e-06,4.755513e-06,4.757917e-06,4.758621e-06,4.758581e-06,4.757044e-06,4.756692e-06,4.752528e-06,4.751446e-06,4.746345e-06,4.742407e-06,4.738368e-06,4.730430e-06,4.728800e-06,4.717827e-06,4.715951e-06,4.705610e-06,4.699349e-06,4.692298e-06,4.680950e-06,4.678024e-06,4.662905e-06,4.661039e-06,4.647049e-06,4.639863e-06,4.630551e-06,4.617637e-06,4.613497e-06,4.595966e-06,4.594545e-06,4.578028e-06,4.570752e-06,4.559744e-06,4.546399e-06,4.541173e-06,4.522365e-06,4.521608e-06,4.503367e-06,4.496489e-06,4.484220e-06,4.471135e-06,4.464963e-06,4.445629e-06,4.426250e-06,4.420044e-06,4.406854e-06,4.394444e-06,4.387466e-06,4.368883e-06,4.368110e-06,4.348805e-06,4.343411e-06,4.329571e-06,4.318072e-06,4.310425e-06,4.292901e-06,4.291382e-06,4.272456e-06,4.267933e-06,4.253661e-06,4.243196e-06,4.235006e-06,4.218715e-06,4.216503e-06,4.198161e-06,4.194513e-06,4.179988e-06,4.170607e-06,4.161991e-06,4.147014e-06,4.144177e-06,4.126551e-06,4.123749e-06,4.109119e-06,4.100822e-06,4.091885e-06,4.078243e-06,4.074853e-06,4.058027e-06,4.056021e-06,4.041408e-06,4.034163e-06,4.025001e-06,4.012674e-06,4.008807e-06,3.992827e-06,3.991557e-06,3.977062e-06,3.970817e-06,3.961515e-06,3.950455e-06,3.946185e-06,3.931072e-06,3.930472e-06,3.916178e-06,3.910869e-06,3.901501e-06,3.891645e-06,3.887042e-06,3.872799e-06,3.854330e-06,3.836236e-06,3.818513e-06,3.801159e-06,3.784171e-06,3.767545e-06,3.751277e-06,3.735362e-06,3.719797e-06,3.704576e-06,3.689695e-06,3.675148e-06,3.660932e-06,3.647039e-06,3.633466e-06,3.620207e-06,3.607256e-06,3.594608e-06,3.582258e-06,3.570200e-06,3.558428e-06,3.546938e-06,3.535723e-06,3.524778e-06
0.000000e+00,2.853405e-09,6.538325e-09,2.245180e-08,5.092802e-08,7.414805e-08,1.671576e-07,1.721381e-07,3.300943e-07,3.869274e-07,5.617195e-07,7.418536e-07,8.809508e-07,1.263681e-06,1.301318e-06,1.833594e-06,1.978607e-06,2.481293e-06,2.891997e-06,3.236664e-06,3.976735e-06,4.082288e-06,4.997548e-06,5.187244e-06,5.963626e-06,6.480749e-06,6.964840e-06,7.823418e-06,7.988157e-06,9.022471e-06,9.188319e-06,1.005813e-05,1.055319e-05,1.108668e-05,1.189943e-05,1.210078e-05,1.309415e-05,1.321170e-05,1.406152e-05,1.447779e-05,1.499860e-05,1.568842e-05,1.590202e-05,1.676923e-05,1.683698e-05,1.759840e-05,1.791915e-05,1.838841e-05,1.893260e-05,1.913863e-05,1.984892e-05,1.987650e-05,2.051952e-05,2.075132e-05,2.115099e-05,2.155843e-05,2.174411e-05,2.229986e-05,2.281938e-05,2.297817e-05,2.330389e-05,2.359620e-05,2.375468e-05,2.415699e-05,2.417312e-05,2.456058e-05,2.466371e-05,2.491845e-05,2.511953e-05,2.524809e-05,2.552760e-05,2.555087e-05,2.582808e-05,2.589095e-05,2.608102e-05,2.621254e-05,2.631095e-05,2.649521e-05,2.651907e-05,2.670654e-05,2.674166e-05,2.687449e-05,2.695446e-05,2.702398e-05,2.713604e-05,2.715605e-05,2.727168e-05,2.728871e-05,2.737182e-05,2.741465e-05,2.745736e-05,2.751588e-05,2.752918e-05,2.758809e-05,2.759432e-05,2.763486e-05,2.765178e-05,2.767023e-05,2.768994e-05,2.769493e-05,2.770960e-05,2.771036e-05,2.771490e-05,2.771453e-05,2.771142e-05,2.770380e-05,2.769974e-05,2.768040e-05,2.767947e-05,2.765391e-05,2.764272e-05,2.762077e-05,2.759467e-05,2.758143e-05,2.753634e-05,2.748590e-05,2.746870e-05,2.743052e-05,2.739264e-05,2.737055e-05,2.730900e-05,2.730635e-05,2.723826e-05,2.721853e-05,2.716657e-05,2.712196e-05,2.709159e-05,2.701995e-05,2.701360e-05,2.693286e-05,2.691310e-05,2.684961e-05,2.680199e-05,2.676410e-05,2.668714e-05,2.667653e-05,2.658713e-05,2.656904e-05,2.649607e-05,2.644814e-05,2.640356e-05,2.632484e-05,2.630975e-05,2.621481e-05,2.619953e-05,2.611890e-05,2.607256e-05,2.602216e-05,2.594426e-05,2.592473e-05,2.582672e-05,2.581493e-05,2.572826e-05,2.568483e-05,2.562947e-05,2.555422e-05,2.553044e-05,2.543127e-05,2.542333e-05,2.533205e-05,2.529237e-05,2.523287e-05,2.516153e-05,2.513381e-05,2.503495e-05,2.503100e-05,2.493634e-05,2.490092e-05,2.483806e-05,2.477145e-05,2.474017e-05,2.464271e-05,2.451484e-05,2.438793e-05,2.426209e-05,2.413740e-05,2.401394e-05,2.389179e-05,2.377100e-05,2.365163e-05,2.353372e-05,2.341733e-05,2.330249e-05,2.318922e-05,2.307756e-05,2.296752e-05,2.285913e-05,2.275239e-05,2.264732e-05,2.254392e-05,2.244221e-05,2.234217e-05,2.224381e-05,2.214712e-05,2.205210e-05,2.195875e-05
0.000000e+00,6.393396e-10,1.844766e-09,8.763629e-09,2.425722e-08,3.848644e-08,1.031420e-07,1.068431e-07,2.320020e-07,2.798063e-07,4.331299e-07,5.986685e-07,7.304358e-07,1.105475e-06,1.143089e-06,1.683130e-06,1.831910e-06,2.350142e-06,2.775389e-06,3.133457e-06,3.907179e-06,4.018194e-06,4.989187e-06,5.192465e-06,6.032177e-06,6.598508e-06,7.133749e-06,8.094902e-06,8.281013e-06,9.461410e-06,9.652525e-06,1.066271e-05,1.124329e-05,1.187317e-05,1.284065e-05,1.308170e-05,1.427813e-05,1.442044e-05,1.545334e-05,1.596163e-05,1.659943e-05,1.744685e-05,1.770976e-05,1.877893e-05,1.886256e-05,1.980282e-05,2.019898e-05,2.077841e-05,2.144978e-05,2.170373e-05,2.257770e-05,2.261158e-05,2.340002e-05,2.368347e-05,2.417106e-05,2.466650e-05,2.489169e-05,2.556321e-05,2.618724e-05,2.637719e-05,2.676562e-05,2.711276e-05,2.730038e-05,2.777464e-05,2.779360e-05,2.824745e-05,2.836777e-05,2.866409e-05,2.889711e-05,2.904567e-05,2.936754e-05,2.939427e-05,2.971192e-05,2.978377e-05,3.000056e-05,3.015024e-05,3.026207e-05,3.047116e-05,3.049821e-05,3.071065e-05,3.075044e-05,3.090098e-05,3.099170e-05,3.107068e-05,3.119830e-05,3.122114e-05,3.135369e-05,3.137332e-05,3.146954e-05,3.151956e-05,3.156984e-05,3.163961e-05,3.165566e-05,3.172801e-05,3.173583e-05,3.178781e-05,3.181037e-05,3.183593e-05,3.186519e-05,3.187318e-05,3.190032e-05,3.190207e-05,3.191805e-05,3.192265e-05,3.192703e-05,3.192842e-05,3.192786e-05,3.192113e-05,3.192071e-05,3.190736e-05,3.190078e-05,3.188705e-05,3.186974e-05,3.186066e-05,3.182862e-05,3.179134e-05,3.177837e-05,3.174919e-05,3.171983e-05,3.170253e-05,3.165380e-05,3.165169e-05,3.159697e-05,3.158099e-05,3.153866e-05,3.150206e-05,3.147703e-05,3.141762e-05,3.141234e-05,3.134481e-05,3.132821e-05,3.127468e-05,3.123435e-05,3.120215e-05,3.113649e-05,3.112741e-05,3.105065e-05,3.103507e-05,3.097204e-05,3.093048e-05,3.089173e-05,3.082308e-05,3.080989e-05,3.072665e-05,3.071321e-05,3.064214e-05,3.060116e-05,3.055649e-05,3.048724e-05,3.046983e-05,3.038225e-05,3.037168e-05,3.029386e-05,3.025474e-05,3.020477e-05,3.013664e-05,3.011506e-05,3.002482e-05,3.001758e-05,2.993413e-05,2.989775e-05,2.984307e-05,2.977732e-05,2.975172e-05,2.966013e-05,2.965646e-05,2.956837e-05,2.953531e-05,2.947651e-05,2.941401e-05,2.938460e-05,2.929269e-05,2.917146e-05,2.905043e-05,2.892969e-05,2.880935e-05,2.868948e-05,2.857016e-05,2.845146e-05,2.833345e-05,2.821618e-05,2.809972e-05,2.798410e-05,2.786939e-05,2.775561e-05,2.764280e-05,2.753101e-05,2.742025e-05,2.731057e-05,2.720197e-05,2.709450e-05,2.698815e-05,2.688296e-05,2.677894e-05,2.667609e-05,2.657444e-05
0.000000e+00,6.592257e-09,1.542778e-08,5.434302e-08,1.251925e-07,1.836449e-07,4.220798e-07,4.350147e-07,8.528149e-07,1.006444e-06,1.488638e-06,1.999035e-06,2.400908e-06,3.530730e-06,3.643073e-06,5.237881e-06,5.671414e-06,7.163047e-06,8.367662e-06,9.370318e-06,1.150715e-05,1.181094e-05,1.444471e-05,1.499166e-05,1.723878e-05,1.874546e-05,2.016457e-05,2.270467e-05,2.319567e-05,2.630691e-05,2.681052e-05,2.947409e-05,3.100736e-05,3.267405e-05,3.524294e-05,3.588502e-05,3.908686e-05,3.946958e-05,4.226137e-05,4.364525e-05,4.539238e-05,4.773411e-05,4.846581e-05,5.146977e-05,5.170678e-05,5.439441e-05,5.554023e-05,5.723180e-05,5.921714e-05,5.997572e-05,6.262153e-05,6.272528e-05,6.516597e-05,6.605671e-05,6.760693e-05,6.920711e-05,6.994339e-05,7.217528e-05,7.430295e-05,7.496193e-05,7.632739e-05,7.756961e-05,7.825024e-05,8.000235e-05,8.007339e-05,8.179908e-05,8.226515e-05,8.342982e-05,8.436378e-05,8.496824e-05,8.630439e-05,8.641707e-05,8.777913e-05,8.809343e-05,8.905733e-05,8.973757e-05,9.025458e-05,9.124351e-05,9.137379e-05,9.241787e-05,9.261792e-05,9.338969e-05,9.386742e-05,9.429208e-05,9.499846e-05,9.512782e-05,9.589963e-05,9.601737e-05,9.661017e-05,9.693024e-05,9.726204e-05,9.774298e-05,9.785775e-05,9.839977e-05,9.846132e-05,9.889047e-05,9.909072e-05,9.933216e-05,9.963644e-05,9.972707e-05,1.000774e-04,1.001035e-04,1.003851e-04,1.004968e-04,1.006524e-04,1.008208e-04,1.008810e-04,1.010730e-04,1.010800e-04,1.012301e-04,1.012784e-04,1.013540e-04,1.014202e-04,1.014465e-04,1.015090e-04,1.015433e-04,1.015485e-04,1.015507e-04,1.015420e-04,1.015327e-04,1.014928e-04,1.014907e-04,1.014259e-04,1.014039e-04,1.013397e-04,1.012781e-04,1.012332e-04,1.011183e-04,1.011076e-04,1.009640e-04,1.009270e-04,1.008035e-04,1.007066e-04,1.006271e-04,1.004595e-04,1.004358e-04,1.002304e-04,1.001878e-04,1.000120e-04,9.989348e-05,9.978127e-05,9.957860e-05,9.953911e-05,9.928630e-05,9.924491e-05,9.902356e-05,9.889412e-05,9.875160e-05,9.852786e-05,9.847111e-05,9.818272e-05,9.814761e-05,9.788706e-05,9.775481e-05,9.758471e-05,9.735079e-05,9.727622e-05,9.696214e-05,9.693679e-05,9.664297e-05,9.651399e-05,9.631919e-05,9.608347e-05,9.599126e-05,9.565962e-05,9.564628e-05,9.532468e-05,9.520337e-05,9.498683e-05,9.475563e-05,9.464645e-05,9.430391e-05,9.384898e-05,9.339158e-05,9.293239e-05,9.247204e-05,9.201112e-05,9.155017e-05,9.108969e-05,9.063016e-05,9.017202e-05,8.971565e-05,8.926143e-05,8.880970e-05,8.836078e-05,8.791494e-05,8.747245e-05,8.703354e-05,8.659845e-05,8.616735e-05,8.574043e-05,8.531786e-05,8.489977e-05,8.448629e-05,8.407753e-05,8.367360e-05
0.000000e+00,2.035813e-09,4.656708e-09,1.597049e-08,3.622395e-08,5.274775e-08,1.189917e-07,1.225409e-07,2.351802e-07,2.757391e-07,4.005749e-07,5.293930e-07,6.290050e-07,9.039501e-07,9.310731e-07,1.316954e-06,1.422997e-06,1.794513e-06,2.103287e-06,2.366441e-06,2.944283e-06,3.028092e-06,3.768217e-06,3.924394e-06,4.572253e-06,5.010700e-06,5.425577e-06,6.170851e-06,6.315132e-06,7.229724e-06,7.377723e-06,8.159784e-06,8.609234e-06,9.097031e-06,9.847099e-06,1.003421e-05,1.096494e-05,1.107592e-05,1.188361e-05,1.228271e-05,1.278532e-05,1.345667e-05,1.366588e-05,1.452176e-05,1.458907e-05,1.535004e-05,1.567310e-05,1.614843e-05,1.670373e-05,1.691513e-05,1.764889e-05,1.767754e-05,1.834886e-05,1.859249e-05,1.901461e-05,1.944771e-05,1.964603e-05,2.024330e-05,2.080683e-05,2.098013e-05,2.133724e-05,2.165967e-05,2.183530e-05,2.228384e-05,2.230191e-05,2.273807e-05,2.285488e-05,2.314483e-05,2.337524e-05,2.352331e-05,2.384751e-05,2.387464e-05,2.419998e-05,2.427433e-05,2.450049e-05,2.465836e-05,2.477732e-05,2.500224e-05,2.503160e-05,2.526444e-05,2.530853e-05,2.547693e-05,2.557973e-05,2.567012e-05,2.581824e-05,2.584504e-05,2.600266e-05,2.602634e-05,2.614395e-05,2.620623e-05,2.626980e-05,2.635996e-05,2.638110e-05,2.647867e-05,2.648950e-05,2.656333e-05,2.659669e-05,2.663583e-05,2.668325e-05,2.669691e-05,2.674725e-05,2.675083e-05,2.678751e-05,2.680094e-05,2.681833e-05,2.683501e-05,2.684030e-05,2.685399e-05,2.685438e-05,2.685994e-05,2.686028e-05,2.685865e-05,2.685389e-05,2.685061e-05,2.683628e-05,2.681610e-05,2.680847e-05,2.679046e-05,2.677138e-05,2.675977e-05,2.672589e-05,2.672439e-05,2.668466e-05,2.667281e-05,2.664092e-05,2.661288e-05,2.659348e-05,2.654682e-05,2.654263e-05,2.648865e-05,2.647526e-05,2.643179e-05,2.639879e-05,2.637231e-05,2.631799e-05,2.631044e-05,2.624640e-05,2.623334e-05,2.618038e-05,2.614534e-05,2.611260e-05,2.605442e-05,2.604322e-05,2.597243e-05,2.596098e-05,2.590038e-05,2.586539e-05,2.582722e-05,2.576800e-05,2.575311e-05,2.567816e-05,2.566912e-05,2.560252e-05,2.556904e-05,2.552629e-05,2.546804e-05,2.544959e-05,2.537252e-05,2.536634e-05,2.529518e-05,2.526419e-05,2.521766e-05,2.516178e-05,2.514004e-05,2.506240e-05,2.505930e-05,2.498482e-05,2.495692e-05,2.490737e-05,2.485480e-05,2.483010e-05,2.475309e-05,2.465190e-05,2.455136e-05,2.445157e-05,2.435263e-05,2.425462e-05,2.415762e-05,2.406170e-05,2.396692e-05,2.387333e-05,2.378097e-05,2.368990e-05,2.360014e-05,2.351172e-05,2.342468e-05,2.333902e-05,2.325477e-05,2.317194e-05,2.309055e-05,2.301059e-05,2.293207e-05,2.285499e-05,2.277936e-05,2.270516e-05,2.263240e-05
0.000000e+00,1.225338e-09,2.906071e-09,1.037053e-08,2.397837e-08,3.516893e-08,8.031813e-08,8.274326e-08,1.597697e-07,1.874909e-07,2.726493e-07,3.601950e-07,4.276425e-07,6.126998e-07,6.308719e-07,8.879906e-07,9.582393e-07,1.203262e-06,1.405932e-06,1.578231e-06,1.956198e-06,2.011063e-06,2.497367e-06,2.600568e-06,3.031667e-06,3.326609e-06,3.608375e-06,4.121636e-06,4.222104e-06,4.867641e-06,4.973537e-06,5.539886e-06,5.870571e-06,6.233809e-06,6.801220e-06,6.944452e-06,7.666969e-06,7.754245e-06,8.396683e-06,8.718881e-06,9.129145e-06,9.685079e-06,9.860190e-06,1.058598e-05,1.064371e-05,1.130305e-05,1.158672e-05,1.200829e-05,1.250722e-05,1.269902e-05,1.337291e-05,1.339949e-05,1.402803e-05,1.425896e-05,1.466278e-05,1.508213e-05,1.527591e-05,1.586646e-05,1.643374e-05,1.661028e-05,1.697730e-05,1.731262e-05,1.749692e-05,1.797317e-05,1.799254e-05,1.846427e-05,1.859210e-05,1.891235e-05,1.916999e-05,1.933714e-05,1.970775e-05,1.973907e-05,2.011868e-05,2.020652e-05,2.047652e-05,2.066764e-05,2.081322e-05,2.109256e-05,2.112944e-05,2.142586e-05,2.148282e-05,2.170316e-05,2.184004e-05,2.196206e-05,2.216582e-05,2.220325e-05,2.242745e-05,2.246179e-05,2.263534e-05,2.272953e-05,2.282761e-05,2.297063e-05,2.300493e-05,2.316797e-05,2.318661e-05,2.331737e-05,2.337895e-05,2.345375e-05,2.354907e-05,2.357772e-05,2.368987e-05,2.369835e-05,2.379075e-05,2.382808e-05,2.388093e-05,2.393952e-05,2.396092e-05,2.403124e-05,2.403386e-05,2.409238e-05,2.411224e-05,2.414481e-05,2.417572e-05,2.418898e-05,2.422533e-05,2.425427e-05,2.426203e-05,2.427619e-05,2.428673e-05,2.429150e-05,2.430030e-05,2.430054e-05,2.430368e-05,2.430354e-05,2.430124e-05,2.429723e-05,2.429354e-05,2.428209e-05,2.428090e-05,2.426360e-05,2.425879e-05,2.424193e-05,2.422798e-05,2.421614e-05,2.419026e-05,2.418651e-05,2.415326e-05,2.414619e-05,2.411663e-05,2.409631e-05,2.407683e-05,2.404112e-05,2.403409e-05,2.398860e-05,2.398108e-05,2.394054e-05,2.391662e-05,2.389011e-05,2.384817e-05,2.383748e-05,2.378280e-05,2.377611e-05,2.372623e-05,2.370079e-05,2.366793e-05,2.362255e-05,2.360804e-05,2.354668e-05,2.354171e-05,2.348399e-05,2.345856e-05,2.342008e-05,2.337338e-05,2.335508e-05,2.328908e-05,2.328642e-05,2.322220e-05,2.319793e-05,2.315453e-05,2.310811e-05,2.308616e-05,2.301719e-05,2.292534e-05,2.283276e-05,2.273961e-05,2.264605e-05,2.255221e-05,2.245822e-05,2.236422e-05,2.227031e-05,2.217660e-05,2.208319e-05,2.199016e-05,2.189759e-05,2.180557e-05,2.171415e-05,2.162340e-05,2.153338e-05,2.144414e-05,2.135572e-05,2.126817e-05,2.118152e-05,2.109582e-05,2.101108e-05,2.092734e-05,2.084462e-05
0.000000e+00,9.566150e-09,2.195993e-08,7.595941e-08,1.740285e-07,2.551243e-07,5.885243e-07,6.067311e-07,1.200720e-06,1.421679e-06,2.122122e-06,2.871836e-06,3.465672e-06,5.138635e-06,5.304661e-06,7.646580e-06,8.278147e-06,1.043804e-05,1.217238e-05,1.361258e-05,1.668026e-05,1.711674e-05,2.091009e-05,2.170044e-05,2.495904e-05,2.715511e-05,2.923232e-05,3.297243e-05,3.369874e-05,3.832654e-05,3.907982e-05,4.308353e-05,4.540332e-05,4.793761e-05,5.186974e-05,5.285753e-05,5.781347e-05,5.840926e-05,6.277764e-05,6.495783e-05,6.772460e-05,7.145866e-05,7.263157e-05,7.747850e-05,7.786313e-05,8.224805e-05,8.413083e-05,8.692552e-05,9.022930e-05,9.149864e-05,9.595744e-05,9.613329e-05,1.002939e-04,1.018239e-04,1.045020e-04,1.072877e-04,1.085771e-04,1.125159e-04,1.163166e-04,1.175034e-04,1.199780e-04,1.222481e-04,1.234999e-04,1.267503e-04,1.268830e-04,1.301282e-04,1.310124e-04,1.332372e-04,1.350380e-04,1.362119e-04,1.388319e-04,1.390546e-04,1.417678e-04,1.424000e-04,1.443542e-04,1.457484e-04,1.468168e-04,1.488839e-04,1.491586e-04,1.513825e-04,1.518135e-04,1.534919e-04,1.545445e-04,1.554898e-04,1.570842e-04,1.573794e-04,1.591639e-04,1.594399e-04,1.608465e-04,1.616189e-04,1.624304e-04,1.636285e-04,1.639187e-04,1.653144e-04,1.654758e-04,1.666207e-04,1.671679e-04,1.678405e-04,1.687116e-04,1.689769e-04,1.700326e-04,1.701136e-04,1.710105e-04,1.713805e-04,1.719134e-04,1.725186e-04,1.727441e-04,1.735051e-04,1.735341e-04,1.741991e-04,1.744331e-04,1.748286e-04,1.752211e-04,1.753961e-04,1.759040e-04,1.763545e-04,1.764870e-04,1.767500e-04,1.769753e-04,1.770927e-04,1.773740e-04,1.773848e-04,1.776282e-04,1.776880e-04,1.778251e-04,1.779217e-04,1.779774e-04,1.780798e-04,1.780870e-04,1.781558e-04,1.781664e-04,1.781855e-04,1.781857e-04,1.781778e-04,1.781416e-04,1.781346e-04,1.780573e-04,1.780378e-04,1.779475e-04,1.778781e-04,1.778068e-04,1.776657e-04,1.776366e-04,1.774384e-04,1.774041e-04,1.772134e-04,1.770964e-04,1.769632e-04,1.767456e-04,1.766888e-04,1.763916e-04,1.763545e-04,1.760728e-04,1.759259e-04,1.757334e-04,1.754624e-04,1.753746e-04,1.749975e-04,1.749666e-04,1.746031e-04,1.744407e-04,1.741923e-04,1.738870e-04,1.737662e-04,1.733257e-04,1.733078e-04,1.728716e-04,1.727050e-04,1.724048e-04,1.720805e-04,1.719260e-04,1.714362e-04,1.707739e-04,1.700953e-04,1.694018e-04,1.686950e-04,1.679763e-04,1.672471e-04,1.665085e-04,1.657619e-04,1.650083e-04,1.642488e-04,1.634844e-04,1.627161e-04,1.619447e-04,1.611711e-04,1.603961e-04,1.596204e-04,1.588447e-04,1.580697e-04,1.572960e-04,1.565242e-04,1.557547e-04,1.549882e-04,1.542250e-04,1.534656e-04
0.000000e+00,1.902876e-09,5.390881e-09,2.470147e-08,6.629871e-08,1.035092e-07,2.667600e-07,2.759131e-07,5.783289e-07,6.912159e-07,1.047053e-06,1.423818e-06,1.720014e-06,2.552676e-06,2.635686e-06,3.824544e-06,4.151931e-06,5.292642e-06,6.227160e-06,7.010711e-06,8.685272e-06,8.922867e-06,1.096616e-05,1.138543e-05,1.308456e-05,1.420053e-05,1.523333e-05,1.703623e-05,1.737789e-05,1.949122e-05,1.982495e-05,2.155165e-05,2.251649e-05,2.354129e-05,2.507201e-05,2.544536e-05,2.725175e-05,2.746147e-05,2.895089e-05,2.966263e-05,3.053571e-05,3.166074e-05,3.200152e-05,3.334587e-05,3.344814e-05,3.456840e-05,3.502357e-05,3.567057e-05,3.639125e-05,3.665540e-05,3.752716e-05,3.755975e-05,3.829111e-05,3.854088e-05,3.895327e-05,3.934870e-05,3.952015e-05,3.999856e-05,4.039537e-05,4.050623e-05,4.071741e-05,4.088736e-05,4.097134e-05,4.115699e-05,4.116357e-05,4.130019e-05,4.132926e-05,4.138690e-05,4.141722e-05,4.142905e-05,4.143272e-05,4.143158e-05,4.139900e-05,4.138643e-05,4.133547e-05,4.128779e-05,4.124476e-05,4.114516e-05,4.113027e-05,4.099510e-05,4.096583e-05,4.084200e-05,4.075614e-05,4.067346e-05,4.052159e-05,4.049171e-05,4.029871e-05,4.026691e-05,4.009625e-05,3.999617e-05,3.988589e-05,3.971286e-05,3.966903e-05,3.944690e-05,3.941994e-05,3.922059e-05,3.911995e-05,3.899108e-05,3.881505e-05,3.875923e-05,3.852579e-05,3.850707e-05,3.829143e-05,3.819756e-05,3.805673e-05,3.788783e-05,3.782221e-05,3.758833e-05,3.757899e-05,3.735548e-05,3.727198e-05,3.712402e-05,3.696758e-05,3.689426e-05,3.666644e-05,3.644082e-05,3.636912e-05,3.621759e-05,3.607605e-05,3.599692e-05,3.578762e-05,3.577896e-05,3.556384e-05,3.550413e-05,3.535166e-05,3.522581e-05,3.514252e-05,3.495287e-05,3.493650e-05,3.473365e-05,3.468544e-05,3.453402e-05,3.442365e-05,3.433765e-05,3.416756e-05,3.414456e-05,3.395478e-05,3.391723e-05,3.376832e-05,3.367267e-05,3.358518e-05,3.343390e-05,3.340535e-05,3.322884e-05,3.320090e-05,3.305562e-05,3.297364e-05,3.288568e-05,3.275208e-05,3.271900e-05,3.255556e-05,3.253616e-05,3.239532e-05,3.232582e-05,3.223825e-05,3.212099e-05,3.208433e-05,3.193352e-05,3.192158e-05,3.178577e-05,3.172752e-05,3.164105e-05,3.153871e-05,3.149933e-05,3.136056e-05,3.135507e-05,3.122469e-05,3.117648e-05,3.109169e-05,3.100286e-05,3.096150e-05,3.083410e-05,3.067009e-05,3.051074e-05,3.035594e-05,3.020559e-05,3.005958e-05,2.991780e-05,2.978015e-05,2.964653e-05,2.951684e-05,2.939098e-05,2.926884e-05,2.915033e-05,2.903535e-05,2.892380e-05,2.881560e-05,2.871065e-05,2.860886e-05,2.851014e-05,2.841441e-05,2.832158e-05,2.823156e-05,2.814429e-05,2.805967e-05,2.797764e-05
0.000000e+00,8.495522e-09,1.947336e-08,6.691892e-08,1.520378e-07,2.216900e-07,5.031143e-07,5.182967e-07,1.005775e-06,1.183934e-06,1.740300e-06,2.325084e-06,2.782530e-06,4.052292e-06,4.177098e-06,5.919154e-06,6.383557e-06,7.955831e-06,9.201314e-06,1.022461e-05,1.237266e-05,1.267491e-05,1.526766e-05,1.580035e-05,1.797000e-05,1.940848e-05,2.075184e-05,2.312894e-05,2.358440e-05,2.643995e-05,2.689719e-05,2.929210e-05,3.065264e-05,3.211633e-05,3.434060e-05,3.489044e-05,3.759491e-05,3.791395e-05,4.021313e-05,4.133419e-05,4.273143e-05,4.457177e-05,4.513901e-05,4.742780e-05,4.760559e-05,4.959217e-05,5.042225e-05,5.162871e-05,5.301493e-05,5.353588e-05,5.531375e-05,5.538220e-05,5.696375e-05,5.752689e-05,5.848834e-05,5.945510e-05,5.989085e-05,6.117527e-05,6.234602e-05,6.269743e-05,6.340790e-05,6.403267e-05,6.436590e-05,6.519256e-05,6.522509e-05,6.599064e-05,6.618890e-05,6.666764e-05,6.703344e-05,6.726113e-05,6.773762e-05,6.777604e-05,6.821713e-05,6.831253e-05,6.858905e-05,6.876877e-05,6.889623e-05,6.911639e-05,6.914294e-05,6.933325e-05,6.936489e-05,6.947104e-05,6.952316e-05,6.955997e-05,6.959950e-05,6.960356e-05,6.960512e-05,6.960167e-05,6.956777e-05,6.953691e-05,6.949449e-05,6.941187e-05,6.938806e-05,6.925112e-05,6.923276e-05,6.908615e-05,6.900528e-05,6.889547e-05,6.873471e-05,6.868127e-05,6.844562e-05,6.842590e-05,6.819044e-05,6.808330e-05,6.791753e-05,6.771103e-05,6.762860e-05,6.732523e-05,6.731282e-05,6.700890e-05,6.689212e-05,6.668100e-05,6.645208e-05,6.634282e-05,6.599556e-05,6.564036e-05,6.552519e-05,6.527826e-05,6.504335e-05,6.491024e-05,6.455222e-05,6.453721e-05,6.416001e-05,6.405375e-05,6.377942e-05,6.354974e-05,6.339617e-05,6.304181e-05,6.301093e-05,6.262433e-05,6.253141e-05,6.223694e-05,6.201986e-05,6.184930e-05,6.150835e-05,6.146188e-05,6.107515e-05,6.099792e-05,6.068952e-05,6.048955e-05,6.030536e-05,5.998407e-05,5.992304e-05,5.954285e-05,5.948224e-05,5.916511e-05,5.898474e-05,5.879006e-05,5.849214e-05,5.841796e-05,5.804901e-05,5.800496e-05,5.768342e-05,5.752367e-05,5.732136e-05,5.704865e-05,5.696299e-05,5.660844e-05,5.658024e-05,5.625784e-05,5.611873e-05,5.591131e-05,5.566437e-05,5.556893e-05,5.523079e-05,5.521735e-05,5.489696e-05,5.477785e-05,5.456750e-05,5.434599e-05,5.424246e-05,5.392188e-05,5.350558e-05,5.309715e-05,5.269661e-05,5.230397e-05,5.191921e-05,5.154230e-05,5.117321e-05,5.081188e-05,5.045824e-05,5.011221e-05,4.977371e-05,4.944265e-05,4.911891e-05,4.880241e-05,4.849302e-05,4.819063e-05,4.789513e-05,4.760639e-05,4.732430e-05,4.704871e-05,4.677952e-05,4.651659e-05,4.625979e-05,4.600900e-05
0.000000e+00,5.580924e-10,1.625882e-09,7.867439e-09,2.210676e-08,3.534056e-08,9.635253e-08,9.987253e-08,2.198053e-07,2.659042e-07,4.142861e-07,5.749917e-07,7.031669e-07,1.069683e-06,1.106643e-06,1.643687e-06,1.794184e-06,2.328229e-06,2.777732e-06,3.163278e-06,4.013258e-06,4.136600e-06,5.222510e-06,5.450391e-06,6.388700e-06,7.016019e-06,7.602951e-06,8.639186e-06,8.836929e-06,1.006739e-05,1.026264e-05,1.127595e-05,1.184398e-05,1.244844e-05,1.335318e-05,1.357417e-05,1.464528e-05,1.476986e-05,1.565629e-05,1.608111e-05,1.660366e-05,1.727988e-05,1.748550e-05,1.830130e-05,1.836372e-05,1.905163e-05,1.933373e-05,1.973797e-05,2.019372e-05,2.036251e-05,2.092793e-05,2.094936e-05,2.143728e-05,2.160755e-05,2.189385e-05,2.217590e-05,2.230103e-05,2.266225e-05,2.298091e-05,2.307443e-05,2.326029e-05,2.341994e-05,2.350354e-05,2.370587e-05,2.371368e-05,2.389351e-05,2.393879e-05,2.404566e-05,2.412470e-05,2.417259e-05,2.426903e-05,2.427655e-05,2.435963e-05,2.437667e-05,2.442372e-05,2.445198e-05,2.447058e-05,2.449884e-05,2.450181e-05,2.451885e-05,2.452067e-05,2.452303e-05,2.452053e-05,2.451556e-05,2.450108e-05,2.449753e-05,2.446994e-05,2.446470e-05,2.443370e-05,2.441347e-05,2.438962e-05,2.434923e-05,2.433847e-05,2.428092e-05,2.427361e-05,2.421758e-05,2.418803e-05,2.414904e-05,2.409377e-05,2.407579e-05,2.399832e-05,2.399196e-05,2.391706e-05,2.388357e-05,2.383238e-05,2.376951e-05,2.374466e-05,2.365422e-05,2.365055e-05,2.356136e-05,2.352739e-05,2.346636e-05,2.340066e-05,2.336947e-05,2.327092e-05,2.317093e-05,2.313866e-05,2.306969e-05,2.300433e-05,2.296738e-05,2.286832e-05,2.286418e-05,2.276023e-05,2.273101e-05,2.265568e-05,2.259271e-05,2.255065e-05,2.245372e-05,2.244528e-05,2.233966e-05,2.231429e-05,2.223390e-05,2.217465e-05,2.212810e-05,2.203504e-05,2.202235e-05,2.191673e-05,2.189562e-05,2.181130e-05,2.175658e-05,2.170614e-05,2.161807e-05,2.160132e-05,2.149689e-05,2.148022e-05,2.139291e-05,2.134317e-05,2.128942e-05,2.120702e-05,2.118647e-05,2.108411e-05,2.107187e-05,2.098238e-05,2.093782e-05,2.088130e-05,2.080494e-05,2.078091e-05,2.068125e-05,2.067331e-05,2.058233e-05,2.054298e-05,2.048419e-05,2.041402e-05,2.038684e-05,2.029032e-05,2.028647e-05,2.019462e-05,2.016038e-05,2.009978e-05,2.003578e-05,2.000581e-05,1.991271e-05,1.979120e-05,1.967126e-05,1.955291e-05,1.943618e-05,1.932108e-05,1.920760e-05,1.909577e-05,1.898557e-05,1.887703e-05,1.877012e-05,1.866486e-05,1.856123e-05,1.845924e-05,1.835887e-05,1.826011e-05,1.816295e-05,1.806738e-05,1.797340e-05,1.788097e-05,1.779010e-05,1.770077e-05,1.761295e-05,1.752664e-05,1.744182e-05
0.000000e+00,1.232550e-09,3.025220e-09,1.120039e-08,2.631251e-08,3.879644e-08,8.927364e-08,9.198597e-08,1.780956e-07,2.090635e-07,3.041389e-07,4.018257e-07,4.770669e-07,6.834058e-07,7.036527e-07,9.894357e-07,1.067180e-06,1.336705e-06,1.557435e-06,1.743470e-06,2.146852e-06,2.204932e-06,2.715599e-06,2.823170e-06,3.270246e-06,3.574408e-06,3.863968e-06,4.389392e-06,4.491980e-06,5.149438e-06,5.257033e-06,5.831357e-06,6.165865e-06,6.532608e-06,7.104018e-06,7.247966e-06,7.972183e-06,8.059437e-06,8.700085e-06,9.020230e-06,9.426663e-06,9.975040e-06,1.014716e-05,1.085716e-05,1.091338e-05,1.155262e-05,1.182591e-05,1.222995e-05,1.270462e-05,1.288601e-05,1.351813e-05,1.354288e-05,1.412413e-05,1.433555e-05,1.470228e-05,1.507882e-05,1.525127e-05,1.577021e-05,1.625857e-05,1.640835e-05,1.671616e-05,1.699290e-05,1.714307e-05,1.752436e-05,1.753964e-05,1.790644e-05,1.800390e-05,1.824420e-05,1.843327e-05,1.855379e-05,1.881459e-05,1.883621e-05,1.909253e-05,1.915029e-05,1.932390e-05,1.944301e-05,1.953149e-05,1.969546e-05,1.971651e-05,1.988016e-05,1.991043e-05,2.002364e-05,2.009068e-05,2.014814e-05,2.023891e-05,2.025483e-05,2.034481e-05,2.035773e-05,2.041919e-05,2.044965e-05,2.047900e-05,2.051705e-05,2.052527e-05,2.055894e-05,2.056217e-05,2.058092e-05,2.058712e-05,2.059210e-05,2.059386e-05,2.059327e-05,2.058522e-05,2.058420e-05,2.056867e-05,2.055982e-05,2.054430e-05,2.052229e-05,2.051277e-05,2.047467e-05,2.047302e-05,2.043057e-05,2.041333e-05,2.038100e-05,2.034441e-05,2.032644e-05,2.026735e-05,2.020417e-05,2.018315e-05,2.013729e-05,2.009271e-05,2.006708e-05,1.999686e-05,1.999388e-05,1.991803e-05,1.989635e-05,1.983980e-05,1.979185e-05,1.975949e-05,1.968399e-05,1.967735e-05,1.959361e-05,1.957330e-05,1.950850e-05,1.946031e-05,1.942221e-05,1.934546e-05,1.933494e-05,1.924686e-05,1.922916e-05,1.915813e-05,1.911179e-05,1.906890e-05,1.899367e-05,1.897931e-05,1.888948e-05,1.887509e-05,1.879953e-05,1.875634e-05,1.870956e-05,1.863765e-05,1.861968e-05,1.852998e-05,1.851923e-05,1.844053e-05,1.840127e-05,1.835141e-05,1.828395e-05,1.826270e-05,1.817445e-05,1.816741e-05,1.808673e-05,1.805180e-05,1.799958e-05,1.793722e-05,1.791306e-05,1.782720e-05,1.782378e-05,1.774206e-05,1.771158e-05,1.765765e-05,1.760070e-05,1.757402e-05,1.749119e-05,1.738313e-05,1.727656e-05,1.717153e-05,1.706807e-05,1.696620e-05,1.686596e-05,1.676736e-05,1.667042e-05,1.657514e-05,1.648152e-05,1.638957e-05,1.629930e-05,1.621068e-05,1.612372e-05,1.603841e-05,1.595473e-05,1.587267e-05,1.579222e-05,1.571336e-05,1.563607e-05,1.556034e-05,1.548614e-05,1.541346e-05,1.534227e-05
0.000000e+00,3.814580e-09,9.411981e-09,3.510417e-08,8.289170e-08,1.225440e-07,2.840286e-07,2.927512e-07,5.717458e-07,6.729878e-07,9.864866e-07,1.312371e-06,1.565649e-06,2.268238e-06,2.337674e-06,3.322957e-06,3.591752e-06,4.522150e-06,5.279730e-06,5.913765e-06,7.272139e-06,7.465781e-06,9.147098e-06,9.496459e-06,1.093108e-05,1.189162e-05,1.279483e-05,1.440690e-05,1.471774e-05,1.668061e-05,1.699715e-05,1.866528e-05,1.962060e-05,2.065463e-05,2.223869e-05,2.263267e-05,2.458481e-05,2.481668e-05,2.649798e-05,2.732444e-05,2.836081e-05,2.973689e-05,3.016365e-05,3.189859e-05,3.203425e-05,3.355935e-05,3.420179e-05,3.514127e-05,3.622957e-05,3.664111e-05,3.805692e-05,3.811179e-05,3.938783e-05,3.984617e-05,4.063396e-05,4.143336e-05,4.179626e-05,4.287634e-05,4.387612e-05,4.417949e-05,4.479812e-05,4.534868e-05,4.564515e-05,4.639053e-05,4.642019e-05,4.712643e-05,4.731228e-05,4.776709e-05,4.812138e-05,4.834547e-05,4.882538e-05,4.886484e-05,4.932844e-05,4.943176e-05,4.973944e-05,4.994779e-05,5.010095e-05,5.038049e-05,5.041593e-05,5.068729e-05,5.073657e-05,5.091779e-05,5.102240e-05,5.111010e-05,5.124397e-05,5.126673e-05,5.139010e-05,5.140691e-05,5.148250e-05,5.151649e-05,5.154610e-05,5.157762e-05,5.158294e-05,5.159498e-05,5.159485e-05,5.158405e-05,5.157242e-05,5.155188e-05,5.151423e-05,5.150009e-05,5.143023e-05,5.142390e-05,5.134373e-05,5.130477e-05,5.124194e-05,5.115991e-05,5.112615e-05,5.099754e-05,5.099214e-05,5.085723e-05,5.080406e-05,5.070628e-05,5.059805e-05,5.054566e-05,5.037630e-05,5.019905e-05,5.014080e-05,5.001473e-05,4.989339e-05,4.982407e-05,4.963574e-05,4.962779e-05,4.942653e-05,4.936937e-05,4.922091e-05,4.909569e-05,4.901150e-05,4.881595e-05,4.879883e-05,4.858338e-05,4.853131e-05,4.836562e-05,4.824283e-05,4.814598e-05,4.795145e-05,4.792485e-05,4.770259e-05,4.765804e-05,4.747955e-05,4.736337e-05,4.725605e-05,4.706815e-05,4.703236e-05,4.680877e-05,4.677302e-05,4.658552e-05,4.647855e-05,4.636284e-05,4.618525e-05,4.614094e-05,4.592002e-05,4.589358e-05,4.570024e-05,4.560395e-05,4.548178e-05,4.531672e-05,4.526478e-05,4.504939e-05,4.503223e-05,4.483571e-05,4.475074e-05,4.462386e-05,4.447253e-05,4.441395e-05,4.420607e-05,4.419779e-05,4.400029e-05,4.392674e-05,4.379669e-05,4.365952e-05,4.359533e-05,4.339628e-05,4.313715e-05,4.288220e-05,4.263154e-05,4.238522e-05,4.214328e-05,4.190577e-05,4.167272e-05,4.144412e-05,4.121998e-05,4.100031e-05,4.078507e-05,4.057425e-05,4.036782e-05,4.016574e-05,3.996798e-05,3.977449e-05,3.958522e-05,3.940012e-05,3.921914e-05,3.904221e-05,3.886929e-05,3.870030e-05,3.853518e-05,3.837387e-05
0.000000e+00,1.226655e-08,2.812911e-08,9.706528e-08,2.218106e-07,3.246530e-07,7.454106e-07,7.683132e-07,1.512693e-06,1.788613e-06,2.661810e-06,3.597083e-06,4.340930e-06,6.465275e-06,6.679072e-06,9.759308e-06,1.060953e-05,1.356621e-05,1.597881e-05,1.799662e-05,2.230825e-05,2.292135e-05,2.822782e-05,2.932682e-05,3.382836e-05,3.683352e-05,3.965433e-05,4.468064e-05,4.564903e-05,5.176296e-05,5.274920e-05,5.795125e-05,6.093579e-05,6.417258e-05,6.914774e-05,7.038887e-05,7.656534e-05,7.730231e-05,8.267067e-05,8.532723e-05,8.867727e-05,9.316138e-05,9.456117e-05,1.003019e-04,1.007545e-04,1.058828e-04,1.080673e-04,1.112903e-04,1.150702e-04,1.165136e-04,1.215450e-04,1.217422e-04,1.263789e-04,1.280701e-04,1.310120e-04,1.340470e-04,1.354427e-04,1.396710e-04,1.436981e-04,1.449446e-04,1.475264e-04,1.498736e-04,1.511590e-04,1.544659e-04,1.545999e-04,1.578536e-04,1.587317e-04,1.609250e-04,1.626825e-04,1.638193e-04,1.663305e-04,1.665421e-04,1.690989e-04,1.696885e-04,1.714954e-04,1.727695e-04,1.737372e-04,1.755866e-04,1.758301e-04,1.777797e-04,1.781530e-04,1.795918e-04,1.804815e-04,1.812718e-04,1.825849e-04,1.828252e-04,1.842573e-04,1.844755e-04,1.855733e-04,1.861653e-04,1.867783e-04,1.876658e-04,1.878773e-04,1.888750e-04,1.889881e-04,1.897761e-04,1.901432e-04,1.905851e-04,1.911411e-04,1.913064e-04,1.919443e-04,1.919918e-04,1.925027e-04,1.927047e-04,1.929856e-04,1.932887e-04,1.933969e-04,1.937401e-04,1.937525e-04,1.940189e-04,1.941041e-04,1.942366e-04,1.943514e-04,1.943964e-04,1.945016e-04,1.945550e-04,1.945617e-04,1.945597e-04,1.945384e-04,1.945184e-04,1.944379e-04,1.944338e-04,1.943083e-04,1.942662e-04,1.941445e-04,1.940288e-04,1.939448e-04,1.937311e-04,1.937112e-04,1.934461e-04,1.933780e-04,1.931514e-04,1.929742e-04,1.928292e-04,1.925242e-04,1.924812e-04,1.921093e-04,1.920322e-04,1.917152e-04,1.915021e-04,1.913006e-04,1.909375e-04,1.908669e-04,1.904158e-04,1.903420e-04,1.899485e-04,1.897189e-04,1.894664e-04,1.890711e-04,1.889709e-04,1.884632e-04,1.884015e-04,1.879443e-04,1.877128e-04,1.874155e-04,1.870075e-04,1.868777e-04,1.863320e-04,1.862880e-04,1.857792e-04,1.855564e-04,1.852204e-04,1.848147e-04,1.846563e-04,1.840878e-04,1.840650e-04,1.835156e-04,1.833088e-04,1.829404e-04,1.825479e-04,1.823629e-04,1.817838e-04,1.810178e-04,1.802513e-04,1.794855e-04,1.787215e-04,1.779604e-04,1.772030e-04,1.764501e-04,1.757027e-04,1.749614e-04,1.742269e-04,1.734997e-04,1.727804e-04,1.720695e-04,1.713674e-04,1.706745e-04,1.699911e-04,1.693175e-04,1.686539e-04,1.680007e-04,1.673580e-04,1.667259e-04,1.661047e-04,1.654943e-04,1.648948e-04
0.000000e+00,5.548637e-09,1.270601e-08,4.383971e-08,1.004017e-07,1.472598e-07,3.409774e-07,3.516087e-07,7.014116e-07,8.329531e-07,1.254697e-06,1.713658e-06,2.082451e-06,3.144825e-06,3.252015e-06,4.791820e-06,5.214276e-06,6.673782e-06,7.855800e-06,8.840442e-06,1.093941e-05,1.123784e-05,1.382608e-05,1.436400e-05,1.657689e-05,1.806430e-05,1.946891e-05,2.199418e-05,2.248422e-05,2.560623e-05,2.611456e-05,2.881861e-05,3.038781e-05,3.210486e-05,3.477578e-05,3.544821e-05,3.883180e-05,3.923973e-05,4.223886e-05,4.374116e-05,4.565303e-05,4.824289e-05,4.905865e-05,5.244092e-05,5.271007e-05,5.578616e-05,5.711105e-05,5.908192e-05,6.141791e-05,6.231705e-05,6.548176e-05,6.560676e-05,6.856761e-05,6.965781e-05,7.156749e-05,7.355525e-05,7.447552e-05,7.728699e-05,7.999831e-05,8.084432e-05,8.260683e-05,8.422149e-05,8.511081e-05,8.741536e-05,8.750927e-05,8.980194e-05,9.042496e-05,9.198912e-05,9.325112e-05,9.407164e-05,9.589618e-05,9.605074e-05,9.792804e-05,9.836365e-05,9.970544e-05,1.006579e-04,1.013851e-04,1.027842e-04,1.029693e-04,1.044606e-04,1.047480e-04,1.058617e-04,1.065554e-04,1.071751e-04,1.082127e-04,1.084037e-04,1.095502e-04,1.097262e-04,1.106174e-04,1.111023e-04,1.116081e-04,1.123474e-04,1.125251e-04,1.133711e-04,1.134680e-04,1.141488e-04,1.144701e-04,1.148610e-04,1.153599e-04,1.155101e-04,1.160988e-04,1.161434e-04,1.166296e-04,1.168262e-04,1.171048e-04,1.174139e-04,1.175268e-04,1.178980e-04,1.179118e-04,1.182205e-04,1.183251e-04,1.184965e-04,1.186588e-04,1.187282e-04,1.189175e-04,1.190665e-04,1.191059e-04,1.191769e-04,1.192282e-04,1.192507e-04,1.192887e-04,1.192896e-04,1.192954e-04,1.192912e-04,1.192696e-04,1.192396e-04,1.192138e-04,1.191374e-04,1.191297e-04,1.190186e-04,1.189881e-04,1.188819e-04,1.187948e-04,1.187211e-04,1.185607e-04,1.185375e-04,1.183322e-04,1.182887e-04,1.181066e-04,1.179816e-04,1.178617e-04,1.176420e-04,1.175988e-04,1.173187e-04,1.172724e-04,1.170227e-04,1.168752e-04,1.167116e-04,1.164526e-04,1.163865e-04,1.160481e-04,1.160067e-04,1.156975e-04,1.155395e-04,1.153353e-04,1.150529e-04,1.149625e-04,1.145797e-04,1.145487e-04,1.141878e-04,1.140286e-04,1.137873e-04,1.134941e-04,1.133790e-04,1.129635e-04,1.129467e-04,1.125413e-04,1.123879e-04,1.121132e-04,1.118189e-04,1.116796e-04,1.112410e-04,1.106554e-04,1.100631e-04,1.094653e-04,1.088627e-04,1.082565e-04,1.076473e-04,1.070360e-04,1.064234e-04,1.058101e-04,1.051967e-04,1.045838e-04,1.039721e-04,1.033620e-04,1.027540e-04,1.021486e-04,1.015461e-04,1.009469e-04,1.003514e-04,9.975995e-05,9.917277e-05,9.859016e-05,9.801236e-05,9.743961e-05,9.687209e-05
0.000000e+00,1.516817e-09,3.473137e-09,1.196764e-08,2.732158e-08,3.996195e-08,9.149504e-08,9.429156e-08,1.847246e-07,2.180341e-07,3.227912e-07,4.340423e-07,5.219308e-07,7.706233e-07,7.954947e-07,1.151666e-06,1.249518e-06,1.589534e-06,1.867753e-06,2.101664e-06,2.606813e-06,2.679333e-06,3.315105e-06,3.448686e-06,4.002997e-06,4.379589e-06,4.737918e-06,5.388143e-06,5.515153e-06,6.330045e-06,6.463606e-06,7.177835e-06,7.595026e-06,8.053623e-06,8.771040e-06,8.952389e-06,9.869074e-06,9.980040e-06,1.079866e-05,1.121049e-05,1.173624e-05,1.245128e-05,1.267716e-05,1.361699e-05,1.369201e-05,1.455167e-05,1.492325e-05,1.547749e-05,1.613674e-05,1.639117e-05,1.728982e-05,1.732542e-05,1.817096e-05,1.848345e-05,1.903239e-05,1.960600e-05,1.987236e-05,2.068942e-05,2.148243e-05,2.173097e-05,2.225056e-05,2.272882e-05,2.299320e-05,2.368177e-05,2.370994e-05,2.440057e-05,2.458926e-05,2.506506e-05,2.545125e-05,2.570352e-05,2.626808e-05,2.631615e-05,2.690328e-05,2.704044e-05,2.746531e-05,2.776925e-05,2.800270e-05,2.845565e-05,2.851599e-05,2.900572e-05,2.910089e-05,2.947249e-05,2.970634e-05,2.991692e-05,3.027344e-05,3.033965e-05,3.074132e-05,3.080367e-05,3.112257e-05,3.129852e-05,3.148407e-05,3.175948e-05,3.182645e-05,3.215038e-05,3.218804e-05,3.245647e-05,3.258566e-05,3.274535e-05,3.295378e-05,3.301765e-05,3.327395e-05,3.329379e-05,3.351486e-05,3.360704e-05,3.374095e-05,3.389487e-05,3.395277e-05,3.415088e-05,3.415852e-05,3.433579e-05,3.439924e-05,3.450804e-05,3.461818e-05,3.466811e-05,3.481650e-05,3.495366e-05,3.499526e-05,3.508006e-05,3.515551e-05,3.519614e-05,3.529825e-05,3.530231e-05,3.539899e-05,3.542442e-05,3.548658e-05,3.553493e-05,3.556547e-05,3.563066e-05,3.563601e-05,3.569856e-05,3.571243e-05,3.575348e-05,3.578103e-05,3.580110e-05,3.583721e-05,3.584173e-05,3.587568e-05,3.588169e-05,3.590325e-05,3.591516e-05,3.592472e-05,3.593825e-05,3.594038e-05,3.595049e-05,3.595161e-05,3.595530e-05,3.595580e-05,3.595506e-05,3.595139e-05,3.595000e-05,3.594037e-05,3.593891e-05,3.592636e-05,3.591887e-05,3.590821e-05,3.589175e-05,3.588610e-05,3.586023e-05,3.585800e-05,3.583079e-05,3.581806e-05,3.579797e-05,3.577234e-05,3.576193e-05,3.572284e-05,3.572122e-05,3.568087e-05,3.566508e-05,3.563615e-05,3.560426e-05,3.558885e-05,3.553911e-05,3.546993e-05,3.539702e-05,3.532067e-05,3.524114e-05,3.515869e-05,3.507356e-05,3.498597e-05,3.489614e-05,3.480428e-05,3.471057e-05,3.461520e-05,3.451833e-05,3.442014e-05,3.432077e-05,3.422037e-05,3.411907e-05,3.401701e-05,3.391430e-05,3.381106e-05,3.370740e-05,3.360341e-05,3.349919e-05,3.339484e-05,3.329043e-05
0.000000e+00,2.772140e-10,7.714466e-10,3.420990e-09,8.947993e-09,1.379019e-08,3.445220e-08,3.559081e-08,7.240543e-08,8.581968e-08,1.271795e-07,1.696755e-07,2.022917e-07,2.909735e-07,2.996120e-07,4.205118e-07,4.531399e-07,5.657994e-07,6.578791e-07,7.355513e-07,9.044621e-07,9.288392e-07,1.143467e-06,1.188666e-06,1.375950e-06,1.502460e-06,1.621902e-06,1.835489e-06,1.876652e-06,2.135779e-06,2.177378e-06,2.395396e-06,2.519197e-06,2.652211e-06,2.853796e-06,2.903498e-06,3.147034e-06,3.175649e-06,3.381042e-06,3.480619e-06,3.604144e-06,3.765768e-06,3.815321e-06,4.013876e-06,4.029201e-06,4.199401e-06,4.269921e-06,4.371741e-06,4.487685e-06,4.530952e-06,4.677271e-06,4.682860e-06,4.811076e-06,4.856274e-06,4.932856e-06,5.009087e-06,5.043182e-06,5.142680e-06,5.232006e-06,5.258552e-06,5.311835e-06,5.358251e-06,5.382837e-06,5.443309e-06,5.445674e-06,5.500982e-06,5.515203e-06,5.549374e-06,5.575330e-06,5.591426e-06,5.624984e-06,5.627684e-06,5.658654e-06,5.665353e-06,5.684807e-06,5.697512e-06,5.706577e-06,5.722428e-06,5.724365e-06,5.738536e-06,5.740966e-06,5.749424e-06,5.753890e-06,5.757333e-06,5.761880e-06,5.762543e-06,5.765307e-06,5.765538e-06,5.765857e-06,5.765397e-06,5.764402e-06,5.761922e-06,5.761131e-06,5.756216e-06,5.755523e-06,5.749812e-06,5.746560e-06,5.742063e-06,5.735353e-06,5.733097e-06,5.723032e-06,5.722183e-06,5.711974e-06,5.707294e-06,5.700019e-06,5.690906e-06,5.687256e-06,5.673765e-06,5.673212e-06,5.659621e-06,5.654382e-06,5.644890e-06,5.634569e-06,5.629633e-06,5.613907e-06,5.597764e-06,5.592518e-06,5.581250e-06,5.570507e-06,5.564409e-06,5.547971e-06,5.547281e-06,5.529902e-06,5.524996e-06,5.512308e-06,5.501660e-06,5.494528e-06,5.478032e-06,5.476592e-06,5.458526e-06,5.454173e-06,5.440355e-06,5.430142e-06,5.422102e-06,5.405988e-06,5.403788e-06,5.385433e-06,5.381758e-06,5.367054e-06,5.357493e-06,5.348668e-06,5.333231e-06,5.330291e-06,5.311938e-06,5.309004e-06,5.293621e-06,5.284845e-06,5.275353e-06,5.260781e-06,5.257145e-06,5.239008e-06,5.236837e-06,5.220951e-06,5.213035e-06,5.202985e-06,5.189396e-06,5.185116e-06,5.167354e-06,5.165938e-06,5.149704e-06,5.142677e-06,5.132174e-06,5.119629e-06,5.114768e-06,5.097494e-06,5.096806e-06,5.080356e-06,5.074220e-06,5.063358e-06,5.051882e-06,5.046505e-06,5.029801e-06,5.007984e-06,4.986440e-06,4.965173e-06,4.944190e-06,4.923495e-06,4.903091e-06,4.882982e-06,4.863170e-06,4.843657e-06,4.824444e-06,4.805533e-06,4.786923e-06,4.768615e-06,4.750607e-06,4.732901e-06,4.715493e-06,4.698384e-06,4.681571e-06,4.665053e-06,4.648827e-06,4.632892e-06,4.617244e-06,4.601882e-06,4.586802e-06
0.000000e+00,1.133855e-09,3.266738e-09,1.546846e-08,4.272238e-08,6.775097e-08,1.820586e-07,1.886405e-07,4.140885e-07,5.016959e-07,7.879855e-07,1.105150e-06,1.362544e-06,2.111443e-06,2.187414e-06,3.281812e-06,3.581835e-06,4.610952e-06,5.429854e-06,6.097884e-06,7.468549e-06,7.656893e-06,9.217189e-06,9.524721e-06,1.072975e-05,1.148685e-05,1.216459e-05,1.329757e-05,1.350538e-05,1.474445e-05,1.493304e-05,1.587925e-05,1.638698e-05,1.691025e-05,1.766175e-05,1.783964e-05,1.867078e-05,1.876410e-05,1.940785e-05,1.970359e-05,2.005572e-05,2.049174e-05,2.061977e-05,2.110583e-05,2.114152e-05,2.151993e-05,2.166681e-05,2.186825e-05,2.208174e-05,2.215690e-05,2.239190e-05,2.240027e-05,2.257897e-05,2.263563e-05,2.272351e-05,2.280007e-05,2.283053e-05,2.290460e-05,2.294985e-05,2.295886e-05,2.296998e-05,2.297122e-05,2.296829e-05,2.294883e-05,2.294767e-05,2.291067e-05,2.289768e-05,2.285950e-05,2.282281e-05,2.279609e-05,2.272840e-05,2.272213e-05,2.263907e-05,2.261792e-05,2.254816e-05,2.249424e-05,2.245050e-05,2.235974e-05,2.234704e-05,2.223861e-05,2.221639e-05,2.212591e-05,2.206584e-05,2.200958e-05,2.190946e-05,2.189017e-05,2.176816e-05,2.174843e-05,2.164398e-05,2.158371e-05,2.151800e-05,2.141615e-05,2.139056e-05,2.126197e-05,2.124647e-05,2.113248e-05,2.107528e-05,2.100233e-05,2.090312e-05,2.087175e-05,2.074092e-05,2.073045e-05,2.061002e-05,2.055768e-05,2.047921e-05,2.038515e-05,2.034862e-05,2.021839e-05,2.021319e-05,2.008863e-05,2.004206e-05,1.995946e-05,1.987200e-05,1.983095e-05,1.970321e-05,1.957631e-05,1.953589e-05,1.945031e-05,1.937018e-05,1.932529e-05,1.920624e-05,1.920130e-05,1.907839e-05,1.904417e-05,1.895660e-05,1.888409e-05,1.883598e-05,1.872608e-05,1.871657e-05,1.859839e-05,1.857021e-05,1.848148e-05,1.841657e-05,1.836585e-05,1.826519e-05,1.825154e-05,1.813855e-05,1.811612e-05,1.802691e-05,1.796940e-05,1.791663e-05,1.782505e-05,1.780771e-05,1.770018e-05,1.768310e-05,1.759402e-05,1.754356e-05,1.748925e-05,1.740643e-05,1.738587e-05,1.728388e-05,1.727173e-05,1.718327e-05,1.713945e-05,1.708406e-05,1.700958e-05,1.698623e-05,1.688978e-05,1.688212e-05,1.679470e-05,1.675706e-05,1.670099e-05,1.663437e-05,1.660865e-05,1.651765e-05,1.651404e-05,1.642800e-05,1.639605e-05,1.633967e-05,1.628037e-05,1.625268e-05,1.616699e-05,1.605587e-05,1.594699e-05,1.584032e-05,1.573583e-05,1.563349e-05,1.553326e-05,1.543512e-05,1.533903e-05,1.524496e-05,1.515287e-05,1.506273e-05,1.497451e-05,1.488817e-05,1.480368e-05,1.472100e-05,1.464010e-05,1.456095e-05,1.448352e-05,1.440776e-05,1.433364e-05,1.426114e-05,1.419022e-05,1.412085e-05,1.405300e-05
0.000000e+00,1.296010e-09,3.570213e-09,1.558825e-08,4.041761e-08,6.210411e-08,1.547286e-07,1.598457e-07,3.262671e-07,3.873910e-07,5.774532e-07,7.751453e-07,9.284435e-07,1.351671e-06,1.393374e-06,1.985217e-06,2.147419e-06,2.714854e-06,3.186457e-06,3.589210e-06,4.478877e-06,4.608694e-06,5.765242e-06,6.011694e-06,7.042719e-06,7.747856e-06,8.419935e-06,9.637352e-06,9.874338e-06,1.138455e-05,1.163005e-05,1.293142e-05,1.368192e-05,1.449815e-05,1.575589e-05,1.607004e-05,1.763427e-05,1.782091e-05,1.917962e-05,1.985106e-05,2.069645e-05,2.182504e-05,2.217651e-05,2.361294e-05,2.372579e-05,2.500016e-05,2.554027e-05,2.633383e-05,2.725905e-05,2.761070e-05,2.882852e-05,2.887598e-05,2.998594e-05,3.038769e-05,3.108240e-05,3.179318e-05,3.211798e-05,3.309333e-05,3.400954e-05,3.429047e-05,3.486808e-05,3.538807e-05,3.567068e-05,3.639033e-05,3.641926e-05,3.711593e-05,3.730198e-05,3.776285e-05,3.812807e-05,3.836230e-05,3.887378e-05,3.891651e-05,3.942774e-05,3.954428e-05,3.989819e-05,4.014465e-05,4.033005e-05,4.067983e-05,4.072541e-05,4.108631e-05,4.115452e-05,4.141468e-05,4.157321e-05,4.171242e-05,4.194014e-05,4.198130e-05,4.222302e-05,4.225928e-05,4.243920e-05,4.253434e-05,4.263135e-05,4.276874e-05,4.280092e-05,4.294926e-05,4.296570e-05,4.307767e-05,4.312818e-05,4.318737e-05,4.325894e-05,4.327950e-05,4.335515e-05,4.336052e-05,4.341532e-05,4.343527e-05,4.346098e-05,4.348537e-05,4.349302e-05,4.351230e-05,4.351281e-05,4.351961e-05,4.351946e-05,4.351571e-05,4.350702e-05,4.350131e-05,4.347706e-05,4.344360e-05,4.343104e-05,4.340151e-05,4.337031e-05,4.335136e-05,4.329610e-05,4.329365e-05,4.322888e-05,4.320955e-05,4.315753e-05,4.311173e-05,4.308001e-05,4.300360e-05,4.299674e-05,4.290811e-05,4.288608e-05,4.281448e-05,4.275999e-05,4.271620e-05,4.262612e-05,4.261358e-05,4.250694e-05,4.248516e-05,4.239657e-05,4.233778e-05,4.228272e-05,4.218460e-05,4.216566e-05,4.204564e-05,4.202617e-05,4.192287e-05,4.186303e-05,4.179757e-05,4.169565e-05,4.166995e-05,4.154020e-05,4.152449e-05,4.140849e-05,4.134997e-05,4.127501e-05,4.117246e-05,4.113990e-05,4.100333e-05,4.099234e-05,4.086543e-05,4.080993e-05,4.072635e-05,4.062554e-05,4.058621e-05,4.044513e-05,4.043947e-05,4.030322e-05,4.025196e-05,4.016061e-05,4.006328e-05,4.001738e-05,3.987364e-05,3.968327e-05,3.949236e-05,3.930110e-05,3.910965e-05,3.891818e-05,3.872682e-05,3.853571e-05,3.834499e-05,3.815476e-05,3.796514e-05,3.777622e-05,3.758809e-05,3.740084e-05,3.721456e-05,3.702930e-05,3.684515e-05,3.666215e-05,3.648037e-05,3.629986e-05,3.612066e-05,3.594281e-05,3.576637e-05,3.559135e-05,3.541780e-05
0.000000e+00,8.512947e-10,2.451583e-09,1.158460e-08,3.186542e-08,5.035756e-08,1.333746e-07,1.380883e-07,2.957933e-07,3.553370e-07,5.444559e-07,7.462717e-07,9.056872e-07,1.356195e-06,1.401256e-06,2.048890e-06,2.227909e-06,2.853719e-06,3.368640e-06,3.801783e-06,4.731076e-06,4.863258e-06,6.002287e-06,6.236346e-06,7.185273e-06,7.808370e-06,8.384599e-06,9.388889e-06,9.578927e-06,1.075210e-05,1.093697e-05,1.189174e-05,1.242394e-05,1.298819e-05,1.382899e-05,1.403370e-05,1.502210e-05,1.513663e-05,1.594852e-05,1.633553e-05,1.680933e-05,1.741811e-05,1.760208e-05,1.832553e-05,1.838040e-05,1.897950e-05,1.922179e-05,1.956483e-05,1.994472e-05,2.008328e-05,2.053732e-05,2.055418e-05,2.093005e-05,2.105709e-05,2.126501e-05,2.146173e-05,2.154603e-05,2.177716e-05,2.196254e-05,2.201287e-05,2.210628e-05,2.217828e-05,2.221238e-05,2.228232e-05,2.228460e-05,2.232652e-05,2.233329e-05,2.234151e-05,2.233888e-05,2.233268e-05,2.230596e-05,2.230287e-05,2.225468e-05,2.224064e-05,2.219046e-05,2.214828e-05,2.211231e-05,2.203351e-05,2.202210e-05,2.192152e-05,2.190030e-05,2.181206e-05,2.175208e-05,2.169504e-05,2.159176e-05,2.157162e-05,2.144283e-05,2.142179e-05,2.130956e-05,2.124424e-05,2.117261e-05,2.106086e-05,2.103266e-05,2.089033e-05,2.087312e-05,2.074617e-05,2.068227e-05,2.060062e-05,2.048935e-05,2.045412e-05,2.030701e-05,2.029522e-05,2.015961e-05,2.010063e-05,2.001220e-05,1.990620e-05,1.986503e-05,1.971831e-05,1.971245e-05,1.957223e-05,1.951983e-05,1.942696e-05,1.932871e-05,1.928264e-05,1.913940e-05,1.899735e-05,1.895216e-05,1.885659e-05,1.876722e-05,1.871721e-05,1.858476e-05,1.857927e-05,1.844285e-05,1.840493e-05,1.830800e-05,1.822786e-05,1.817477e-05,1.805365e-05,1.804319e-05,1.791330e-05,1.788238e-05,1.778513e-05,1.771412e-05,1.765871e-05,1.754891e-05,1.753404e-05,1.741115e-05,1.738679e-05,1.729005e-05,1.722778e-05,1.717073e-05,1.707189e-05,1.705321e-05,1.693749e-05,1.691914e-05,1.682355e-05,1.676950e-05,1.671141e-05,1.662298e-05,1.660105e-05,1.649246e-05,1.647955e-05,1.638564e-05,1.633919e-05,1.628057e-05,1.620188e-05,1.617724e-05,1.607563e-05,1.606758e-05,1.597573e-05,1.593625e-05,1.587753e-05,1.580786e-05,1.578100e-05,1.568612e-05,1.568236e-05,1.559289e-05,1.555972e-05,1.550128e-05,1.543989e-05,1.541126e-05,1.532282e-05,1.520847e-05,1.509678e-05,1.498771e-05,1.488121e-05,1.477722e-05,1.467570e-05,1.457659e-05,1.447985e-05,1.438541e-05,1.429325e-05,1.420329e-05,1.411550e-05,1.402982e-05,1.394621e-05,1.386462e-05,1.378500e-05,1.370730e-05,1.363147e-05,1.355749e-05,1.348529e-05,1.341483e-05,1.334608e-05,1.327898e-05,1.321351e-05
0.000000e+00,1.058417e-09,3.124335e-09,1.556251e-08,4.503629e-08,7.329531e-08,2.108099e-07,2.190426e-07,5.149858e-07,6.356832e-07,1.045410e-06,1.518235e-06,1.910974e-06,3.075672e-06,3.194804e-06,4.923099e-06,5.401565e-06,7.066462e-06,8.426915e-06,9.566957e-06,1.201087e-05,1.235921e-05,1.538005e-05,1.600645e-05,1.857147e-05,2.028075e-05,2.188080e-05,2.471653e-05,2.526005e-05,2.866540e-05,2.920995e-05,3.205685e-05,3.366904e-05,3.539824e-05,3.801351e-05,3.865733e-05,4.180597e-05,4.217522e-05,4.482047e-05,4.609924e-05,4.768157e-05,4.974408e-05,5.037437e-05,5.288826e-05,5.308142e-05,5.521655e-05,5.609508e-05,5.735611e-05,5.877963e-05,5.930696e-05,6.107179e-05,6.113858e-05,6.265552e-05,6.318257e-05,6.406480e-05,6.492751e-05,6.530764e-05,6.639298e-05,6.733040e-05,6.760075e-05,6.812983e-05,6.857368e-05,6.880129e-05,6.933471e-05,6.935470e-05,6.979976e-05,6.990624e-05,7.014579e-05,7.030960e-05,7.040170e-05,7.056478e-05,7.057590e-05,7.067627e-05,7.069020e-05,7.071015e-05,7.070264e-05,7.068435e-05,7.061726e-05,7.060513e-05,7.047825e-05,7.044763e-05,7.030898e-05,7.020581e-05,7.010211e-05,6.990249e-05,6.986200e-05,6.959263e-05,6.954706e-05,6.929756e-05,6.914777e-05,6.898005e-05,6.871186e-05,6.864302e-05,6.828910e-05,6.824561e-05,6.792068e-05,6.775453e-05,6.753988e-05,6.724339e-05,6.714863e-05,6.674866e-05,6.671634e-05,6.634152e-05,6.617698e-05,6.592861e-05,6.562843e-05,6.551115e-05,6.509029e-05,6.507340e-05,6.466702e-05,6.451423e-05,6.424224e-05,6.395294e-05,6.381676e-05,6.339129e-05,6.296647e-05,6.283077e-05,6.254289e-05,6.227269e-05,6.212106e-05,6.171817e-05,6.170143e-05,6.128442e-05,6.116817e-05,6.087038e-05,6.062352e-05,6.045964e-05,6.008491e-05,6.005247e-05,5.964913e-05,5.955293e-05,5.924984e-05,5.902808e-05,5.885479e-05,5.851079e-05,5.846415e-05,5.807805e-05,5.800139e-05,5.769663e-05,5.750018e-05,5.731999e-05,5.700738e-05,5.694822e-05,5.658140e-05,5.652317e-05,5.621958e-05,5.604769e-05,5.586280e-05,5.558105e-05,5.551112e-05,5.516455e-05,5.512330e-05,5.482310e-05,5.467449e-05,5.448680e-05,5.423464e-05,5.415562e-05,5.382958e-05,5.380372e-05,5.350866e-05,5.338171e-05,5.319283e-05,5.296857e-05,5.288207e-05,5.257635e-05,5.256423e-05,5.227565e-05,5.216861e-05,5.197992e-05,5.178164e-05,5.168912e-05,5.140321e-05,5.103321e-05,5.067154e-05,5.031808e-05,4.997269e-05,4.963526e-05,4.930564e-05,4.898371e-05,4.866932e-05,4.836233e-05,4.806261e-05,4.777001e-05,4.748439e-05,4.720561e-05,4.693352e-05,4.666798e-05,4.640885e-05,4.615600e-05,4.590928e-05,4.566855e-05,4.543368e-05,4.520454e-05,4.498100e-05,4.476291e-05,4.455016e-05
0.000000e+00,1.214479e-09,3.353432e-09,1.469924e-08,3.822476e-08,5.882468e-08,1.471880e-07,1.520856e-07,3.122070e-07,3.714132e-07,5.568122e-07,7.516100e-07,9.038869e-07,1.328486e-06,1.370556e-06,1.968519e-06,2.131894e-06,2.698246e-06,3.160669e-06,3.548784e-06,4.384180e-06,4.503724e-06,5.546506e-06,5.764260e-06,6.662190e-06,7.266630e-06,7.837258e-06,8.860912e-06,9.059025e-06,1.031528e-05,1.051868e-05,1.159417e-05,1.221272e-05,1.288433e-05,1.391731e-05,1.417500e-05,1.545625e-05,1.560893e-05,1.671914e-05,1.726694e-05,1.795584e-05,1.887407e-05,1.915968e-05,2.032517e-05,2.041661e-05,2.144796e-05,2.188435e-05,2.252476e-05,2.327025e-05,2.355327e-05,2.453207e-05,2.457018e-05,2.546050e-05,2.578237e-05,2.633852e-05,2.690704e-05,2.716667e-05,2.794588e-05,2.867746e-05,2.890175e-05,2.936294e-05,2.977826e-05,3.000407e-05,3.057955e-05,3.060270e-05,3.116079e-05,3.131006e-05,3.168031e-05,3.197433e-05,3.216324e-05,3.257692e-05,3.261155e-05,3.302717e-05,3.312226e-05,3.341197e-05,3.361466e-05,3.376774e-05,3.405817e-05,3.409620e-05,3.439900e-05,3.445662e-05,3.467769e-05,3.481358e-05,3.493376e-05,3.513240e-05,3.516860e-05,3.538352e-05,3.541615e-05,3.557977e-05,3.566767e-05,3.575850e-05,3.588960e-05,3.592080e-05,3.606770e-05,3.608434e-05,3.620016e-05,3.625410e-05,3.631907e-05,3.640090e-05,3.642528e-05,3.651957e-05,3.652662e-05,3.660267e-05,3.663294e-05,3.667528e-05,3.672143e-05,3.673805e-05,3.679157e-05,3.679352e-05,3.683641e-05,3.685053e-05,3.687310e-05,3.689364e-05,3.690213e-05,3.692398e-05,3.693907e-05,3.694255e-05,3.694783e-05,3.695028e-05,3.695062e-05,3.694803e-05,3.694781e-05,3.693975e-05,3.693659e-05,3.692674e-05,3.691669e-05,3.690909e-05,3.688899e-05,3.688707e-05,3.686096e-05,3.685412e-05,3.683101e-05,3.681264e-05,3.679744e-05,3.676508e-05,3.676047e-05,3.672033e-05,3.671194e-05,3.667720e-05,3.665366e-05,3.663127e-05,3.659066e-05,3.658272e-05,3.653172e-05,3.652334e-05,3.647841e-05,3.645205e-05,3.642296e-05,3.637714e-05,3.636549e-05,3.630614e-05,3.629890e-05,3.624505e-05,3.621764e-05,3.618232e-05,3.613362e-05,3.611807e-05,3.605241e-05,3.604710e-05,3.598544e-05,3.595831e-05,3.591725e-05,3.586746e-05,3.584795e-05,3.577760e-05,3.577477e-05,3.570631e-05,3.568043e-05,3.563414e-05,3.558460e-05,3.556117e-05,3.548747e-05,3.538919e-05,3.528990e-05,3.518973e-05,3.508883e-05,3.498729e-05,3.488525e-05,3.478280e-05,3.468004e-05,3.457707e-05,3.447396e-05,3.437081e-05,3.426768e-05,3.416464e-05,3.406176e-05,3.395911e-05,3.385674e-05,3.375470e-05,3.365305e-05,3.355183e-05,3.345108e-05,3.335085e-05,3.325117e-05,3.315209e-05,3.305362e-05
0.000000e+00,1.408261e-09,3.366064e-09,1.208345e-08,2.795302e-08,4.097466e-08,9.332324e-08,9.612862e-08,1.850084e-07,2.169134e-07,3.147217e-07,4.149905e-07,4.920518e-07,7.026008e-07,7.232024e-07,1.013197e-06,1.091932e-06,1.364889e-06,1.588727e-06,1.777619e-06,2.187078e-06,2.245894e-06,2.759086e-06,2.865903e-06,3.303132e-06,3.593377e-06,3.863611e-06,4.337992e-06,4.428172e-06,4.987317e-06,5.075782e-06,5.534070e-06,5.790568e-06,6.063378e-06,6.471776e-06,6.571595e-06,7.056133e-06,7.112595e-06,7.515235e-06,7.708880e-06,7.947811e-06,8.258482e-06,8.353326e-06,8.731690e-06,8.760792e-06,9.083179e-06,9.216369e-06,9.408359e-06,9.626633e-06,9.708016e-06,9.983103e-06,9.993610e-06,1.023469e-05,1.031972e-05,1.046391e-05,1.060761e-05,1.067196e-05,1.086004e-05,1.102934e-05,1.107974e-05,1.118104e-05,1.126943e-05,1.131630e-05,1.143168e-05,1.143620e-05,1.154181e-05,1.156896e-05,1.163414e-05,1.168356e-05,1.171414e-05,1.177762e-05,1.178270e-05,1.184068e-05,1.185310e-05,1.188886e-05,1.191185e-05,1.192801e-05,1.195554e-05,1.195882e-05,1.198194e-05,1.198569e-05,1.199798e-05,1.200372e-05,1.200752e-05,1.201090e-05,1.201109e-05,1.200917e-05,1.200839e-05,1.200224e-05,1.199726e-05,1.199072e-05,1.197847e-05,1.197501e-05,1.195548e-05,1.195290e-05,1.193249e-05,1.192135e-05,1.190634e-05,1.188453e-05,1.187732e-05,1.184571e-05,1.184308e-05,1.181176e-05,1.179758e-05,1.177570e-05,1.174856e-05,1.173776e-05,1.169813e-05,1.169651e-05,1.165700e-05,1.164185e-05,1.161453e-05,1.158498e-05,1.157090e-05,1.152624e-05,1.148070e-05,1.146596e-05,1.143439e-05,1.140441e-05,1.138745e-05,1.134187e-05,1.133996e-05,1.129203e-05,1.127855e-05,1.124376e-05,1.121467e-05,1.119523e-05,1.115041e-05,1.114651e-05,1.109767e-05,1.108594e-05,1.104879e-05,1.102142e-05,1.099992e-05,1.095697e-05,1.095112e-05,1.090244e-05,1.089272e-05,1.085392e-05,1.082877e-05,1.080561e-05,1.076522e-05,1.075754e-05,1.070976e-05,1.070214e-05,1.066229e-05,1.063963e-05,1.061517e-05,1.057773e-05,1.056841e-05,1.052205e-05,1.051652e-05,1.047611e-05,1.045603e-05,1.043060e-05,1.039632e-05,1.038555e-05,1.034096e-05,1.033741e-05,1.029685e-05,1.027935e-05,1.025325e-05,1.022216e-05,1.021014e-05,1.016755e-05,1.016586e-05,1.012549e-05,1.011047e-05,1.008395e-05,1.005601e-05,1.004295e-05,1.000249e-05,9.949910e-06,9.898287e-06,9.847622e-06,9.797916e-06,9.749168e-06,9.701377e-06,9.654538e-06,9.608648e-06,9.563699e-06,9.519684e-06,9.476595e-06,9.434423e-06,9.393157e-06,9.352786e-06,9.313299e-06,9.274684e-06,9.236930e-06,9.200022e-06,9.163948e-06,9.128695e-06,9.094250e-06,9.060598e-06,9.027725e-06,8.995619e-06
0.000000e+00,1.946824e-09,5.206070e-09,2.171992e-08,5.482889e-08,8.341334e-08,2.051529e-07,2.119011e-07,4.340484e-07,5.171224e-07,7.808182e-07,1.063560e-06,1.288390e-06,1.931000e-06,1.995806e-06,2.935042e-06,3.196579e-06,4.114656e-06,4.873188e-06,5.513302e-06,6.895485e-06,7.093397e-06,8.818089e-06,9.177644e-06,1.065777e-05,1.165196e-05,1.258925e-05,1.426861e-05,1.459346e-05,1.665361e-05,1.698739e-05,1.875436e-05,1.977290e-05,2.088139e-05,2.259292e-05,2.302134e-05,2.516190e-05,2.541827e-05,2.729189e-05,2.822312e-05,2.940131e-05,3.098528e-05,3.148140e-05,3.352463e-05,3.368630e-05,3.552465e-05,3.631135e-05,3.747623e-05,3.884897e-05,3.937516e-05,4.121816e-05,4.129068e-05,4.300275e-05,4.363055e-05,4.472719e-05,4.586484e-05,4.639032e-05,4.799151e-05,4.953060e-05,5.001001e-05,5.100776e-05,5.192086e-05,5.242349e-05,5.372548e-05,5.377853e-05,5.507382e-05,5.542595e-05,5.631047e-05,5.702481e-05,5.748970e-05,5.852501e-05,5.861283e-05,5.968125e-05,5.992969e-05,6.069640e-05,6.124216e-05,6.165973e-05,6.246580e-05,6.257276e-05,6.343708e-05,6.360424e-05,6.425425e-05,6.466103e-05,6.502575e-05,6.563962e-05,6.575309e-05,6.643775e-05,6.654344e-05,6.708124e-05,6.737592e-05,6.768500e-05,6.814034e-05,6.825042e-05,6.877892e-05,6.883992e-05,6.927186e-05,6.947783e-05,6.973057e-05,7.005710e-05,7.015635e-05,7.055047e-05,7.058067e-05,7.091416e-05,7.105139e-05,7.124863e-05,7.147201e-05,7.155504e-05,7.183453e-05,7.184517e-05,7.208820e-05,7.217341e-05,7.231713e-05,7.245918e-05,7.252233e-05,7.270483e-05,7.286559e-05,7.291259e-05,7.300555e-05,7.308463e-05,7.312562e-05,7.322300e-05,7.322669e-05,7.330960e-05,7.332967e-05,7.337518e-05,7.340653e-05,7.342421e-05,7.345538e-05,7.345748e-05,7.347571e-05,7.347793e-05,7.347963e-05,7.347582e-05,7.346991e-05,7.345061e-05,7.344723e-05,7.341222e-05,7.340379e-05,7.336549e-05,7.333677e-05,7.330766e-05,7.325090e-05,7.323927e-05,7.316089e-05,7.314746e-05,7.307304e-05,7.302766e-05,7.297624e-05,7.289267e-05,7.287096e-05,7.275769e-05,7.274358e-05,7.263688e-05,7.258144e-05,7.250896e-05,7.240724e-05,7.237434e-05,7.223344e-05,7.222191e-05,7.208663e-05,7.202634e-05,7.193429e-05,7.182137e-05,7.177676e-05,7.161440e-05,7.160781e-05,7.144752e-05,7.138640e-05,7.127645e-05,7.115787e-05,7.110147e-05,7.092287e-05,7.068206e-05,7.043604e-05,7.018536e-05,6.993057e-05,6.967217e-05,6.941064e-05,6.914642e-05,6.887994e-05,6.861160e-05,6.834175e-05,6.807076e-05,6.779895e-05,6.752663e-05,6.725408e-05,6.698158e-05,6.670937e-05,6.643769e-05,6.616676e-05,6.589678e-05,6.562794e-05,6.536041e-05,6.509437e-05,6.482996e-05,6.456731e-05
0.000000e+00,1.329235e-09,3.741498e-09,1.721780e-08,4.762792e-08,7.654887e-08,2.219148e-07,2.309094e-07,5.695714e-07,7.116695e-07,1.184045e-06,1.687339e-06,2.068978e-06,3.052373e-06,3.143454e-06,4.337983e-06,4.637721e-06,5.613666e-06,6.355451e-06,6.949960e-06,8.165502e-06,8.333675e-06,9.753502e-06,1.004080e-05,1.119802e-05,1.195499e-05,1.265535e-05,1.388064e-05,1.411351e-05,1.556090e-05,1.579075e-05,1.698679e-05,1.766074e-05,1.838169e-05,1.946985e-05,1.973757e-05,2.104790e-05,2.120183e-05,2.230767e-05,2.284498e-05,2.351327e-05,2.439178e-05,2.466231e-05,2.575351e-05,2.583829e-05,2.678648e-05,2.718341e-05,2.776153e-05,2.842821e-05,2.867959e-05,2.954200e-05,2.957536e-05,3.035043e-05,3.062862e-05,3.110679e-05,3.159241e-05,3.181313e-05,3.247159e-05,3.308437e-05,3.327116e-05,3.365365e-05,3.399616e-05,3.418160e-05,3.465152e-05,3.467034e-05,3.512195e-05,3.524202e-05,3.553841e-05,3.577222e-05,3.592165e-05,3.624647e-05,3.627350e-05,3.659572e-05,3.666883e-05,3.688998e-05,3.704315e-05,3.715787e-05,3.737301e-05,3.740091e-05,3.762053e-05,3.766177e-05,3.781809e-05,3.791253e-05,3.799487e-05,3.812820e-05,3.815209e-05,3.829090e-05,3.831147e-05,3.841237e-05,3.846483e-05,3.851755e-05,3.859061e-05,3.860739e-05,3.868281e-05,3.869094e-05,3.874468e-05,3.876781e-05,3.879379e-05,3.882307e-05,3.883094e-05,3.885682e-05,3.885843e-05,3.887214e-05,3.887545e-05,3.887752e-05,3.887560e-05,3.887359e-05,3.886091e-05,3.886023e-05,3.884002e-05,3.883059e-05,3.881144e-05,3.878785e-05,3.877564e-05,3.873307e-05,3.868418e-05,3.866726e-05,3.862935e-05,3.859132e-05,3.856897e-05,3.850612e-05,3.850340e-05,3.843299e-05,3.841245e-05,3.835804e-05,3.831103e-05,3.827887e-05,3.820254e-05,3.819576e-05,3.810897e-05,3.808763e-05,3.801878e-05,3.796686e-05,3.792540e-05,3.784079e-05,3.782909e-05,3.773004e-05,3.770992e-05,3.762846e-05,3.757470e-05,3.752455e-05,3.743559e-05,3.741848e-05,3.731043e-05,3.729297e-05,3.720056e-05,3.714722e-05,3.708903e-05,3.699870e-05,3.697597e-05,3.686153e-05,3.684771e-05,3.674584e-05,3.669457e-05,3.662902e-05,3.653955e-05,3.651118e-05,3.639244e-05,3.638290e-05,3.627290e-05,3.622488e-05,3.615265e-05,3.606570e-05,3.603180e-05,3.591043e-05,3.590556e-05,3.578862e-05,3.574467e-05,3.566645e-05,3.558321e-05,3.554400e-05,3.542133e-05,3.525920e-05,3.509695e-05,3.493472e-05,3.477264e-05,3.461082e-05,3.444936e-05,3.428837e-05,3.412793e-05,3.396814e-05,3.380906e-05,3.365077e-05,3.349334e-05,3.333682e-05,3.318128e-05,3.302677e-05,3.287333e-05,3.272101e-05,3.256985e-05,3.241988e-05,3.227114e-05,3.212365e-05,3.197745e-05,3.183255e-05,3.168899e-05
0.000000e+00,9.578729e-09,2.197410e-08,7.574489e-08,1.727766e-07,2.525977e-07,5.781367e-07,5.958193e-07,1.168789e-06,1.380257e-06,2.044935e-06,2.745618e-06,3.291501e-06,4.784138e-06,4.928894e-06,6.921902e-06,7.447406e-06,9.220319e-06,1.062514e-05,1.178316e-05,1.423132e-05,1.457797e-05,1.757549e-05,1.819677e-05,2.074653e-05,2.245401e-05,2.406074e-05,2.693244e-05,2.748683e-05,3.099320e-05,3.155958e-05,3.454885e-05,3.626432e-05,3.812424e-05,4.098027e-05,4.169198e-05,4.522734e-05,4.564835e-05,4.870863e-05,5.021835e-05,5.211723e-05,5.464951e-05,5.543765e-05,5.865730e-05,5.891020e-05,6.176630e-05,6.297721e-05,6.475736e-05,6.683494e-05,6.762535e-05,7.036699e-05,7.047400e-05,7.298061e-05,7.389007e-05,7.546590e-05,7.708303e-05,7.782377e-05,8.005571e-05,8.216392e-05,8.281289e-05,8.415137e-05,8.536145e-05,8.602131e-05,8.770923e-05,8.777733e-05,8.942327e-05,8.986494e-05,9.096309e-05,9.183770e-05,9.240077e-05,9.363670e-05,9.374035e-05,9.498588e-05,9.527126e-05,9.614136e-05,9.675057e-05,9.721075e-05,9.808366e-05,9.819791e-05,9.910660e-05,9.927925e-05,9.994050e-05,1.003457e-04,1.007031e-04,1.012912e-04,1.013980e-04,1.020283e-04,1.021234e-04,1.025974e-04,1.028497e-04,1.031083e-04,1.034772e-04,1.035640e-04,1.039673e-04,1.040123e-04,1.043210e-04,1.044616e-04,1.046277e-04,1.048308e-04,1.048898e-04,1.051099e-04,1.051257e-04,1.052901e-04,1.053515e-04,1.054327e-04,1.055133e-04,1.055398e-04,1.056134e-04,1.056157e-04,1.056555e-04,1.056632e-04,1.056677e-04,1.056599e-04,1.056519e-04,1.056098e-04,1.055428e-04,1.055164e-04,1.054526e-04,1.053833e-04,1.053405e-04,1.052136e-04,1.052079e-04,1.050562e-04,1.050104e-04,1.048865e-04,1.047766e-04,1.047000e-04,1.045146e-04,1.044979e-04,1.042812e-04,1.042271e-04,1.040509e-04,1.039163e-04,1.038080e-04,1.035845e-04,1.035533e-04,1.032878e-04,1.032335e-04,1.030123e-04,1.028653e-04,1.027275e-04,1.024817e-04,1.024343e-04,1.021332e-04,1.020843e-04,1.018249e-04,1.016746e-04,1.015102e-04,1.012541e-04,1.011895e-04,1.008634e-04,1.008240e-04,1.005326e-04,1.003856e-04,1.001974e-04,9.994007e-05,9.985838e-05,9.951597e-05,9.948844e-05,9.917060e-05,9.903172e-05,9.882268e-05,9.857082e-05,9.847259e-05,9.812069e-05,9.810658e-05,9.776732e-05,9.763980e-05,9.741279e-05,9.717121e-05,9.705742e-05,9.670148e-05,9.623124e-05,9.576106e-05,9.529147e-05,9.482296e-05,9.435598e-05,9.389095e-05,9.342824e-05,9.296820e-05,9.251114e-05,9.205735e-05,9.160710e-05,9.116062e-05,9.071813e-05,9.027983e-05,8.984588e-05,8.941644e-05,8.899165e-05,8.857164e-05,8.815650e-05,8.774635e-05,8.734124e-05,8.694127e-05,8.654647e-05,8.615690e-05
0.000000e+00,9.837843e-10,2.865922e-09,1.387454e-08,3.902588e-08,6.243500e-08,1.706385e-07,1.768921e-07,3.904556e-07,4.727450e-07,7.381501e-07,1.026214e-06,1.256166e-06,1.912745e-06,1.978753e-06,2.930377e-06,3.194103e-06,4.119251e-06,4.886885e-06,5.539622e-06,6.970495e-06,7.178089e-06,9.017765e-06,9.408218e-06,1.103984e-05,1.215669e-05,1.322392e-05,1.516777e-05,1.554812e-05,1.798925e-05,1.838908e-05,2.052325e-05,2.176540e-05,2.312574e-05,2.524081e-05,2.577260e-05,2.844061e-05,2.876114e-05,3.110793e-05,3.227610e-05,3.375454e-05,3.574102e-05,3.636254e-05,3.891625e-05,3.911779e-05,4.140237e-05,4.237535e-05,4.380986e-05,4.548951e-05,4.612986e-05,4.835557e-05,4.844256e-05,5.048200e-05,5.122253e-05,5.250582e-05,5.382239e-05,5.442513e-05,5.623923e-05,5.794848e-05,5.847346e-05,5.955406e-05,6.052807e-05,6.105785e-05,6.240800e-05,6.246231e-05,6.377030e-05,6.411968e-05,6.498504e-05,6.567054e-05,6.610995e-05,6.706861e-05,6.714861e-05,6.810472e-05,6.832231e-05,6.898199e-05,6.944022e-05,6.978415e-05,7.043086e-05,7.051490e-05,7.117786e-05,7.130263e-05,7.177658e-05,7.206368e-05,7.231452e-05,7.272187e-05,7.279503e-05,7.322136e-05,7.328475e-05,7.359662e-05,7.375949e-05,7.392381e-05,7.415289e-05,7.420580e-05,7.444534e-05,7.447136e-05,7.464506e-05,7.472096e-05,7.480744e-05,7.490737e-05,7.493490e-05,7.502968e-05,7.503591e-05,7.509394e-05,7.511157e-05,7.512975e-05,7.513899e-05,7.513903e-05,7.512363e-05,7.512252e-05,7.508529e-05,7.506619e-05,7.502567e-05,7.497377e-05,7.494632e-05,7.484873e-05,7.473429e-05,7.469433e-05,7.460432e-05,7.451357e-05,7.446006e-05,7.430922e-05,7.430269e-05,7.413330e-05,7.408386e-05,7.395295e-05,7.383988e-05,7.376260e-05,7.357946e-05,7.356319e-05,7.335559e-05,7.330464e-05,7.314061e-05,7.301728e-05,7.291901e-05,7.271910e-05,7.269151e-05,7.245880e-05,7.241169e-05,7.222150e-05,7.209649e-05,7.198020e-05,7.177484e-05,7.173547e-05,7.148782e-05,7.144796e-05,7.123774e-05,7.111697e-05,7.098568e-05,7.078289e-05,7.073206e-05,7.047729e-05,7.044665e-05,7.022172e-05,7.010911e-05,6.996570e-05,6.977103e-05,6.970956e-05,6.945358e-05,6.943311e-05,6.919804e-05,6.909600e-05,6.894319e-05,6.876027e-05,6.868928e-05,6.843651e-05,6.842643e-05,6.818510e-05,6.809495e-05,6.793521e-05,6.776625e-05,6.768702e-05,6.744070e-05,6.711863e-05,6.680035e-05,6.648610e-05,6.617612e-05,6.587061e-05,6.556973e-05,6.527363e-05,6.498243e-05,6.469623e-05,6.441513e-05,6.413917e-05,6.386842e-05,6.360290e-05,6.334264e-05,6.308764e-05,6.283791e-05,6.259343e-05,6.235418e-05,6.212013e-05,6.189125e-05,6.166749e-05,6.144880e-05,6.123513e-05,6.102643e-05
0.000000e+00,3.102451e-09,7.096471e-09,2.435273e-08,5.531041e-08,8.063087e-08,1.827061e-07,1.882002e-07,3.638304e-07,4.276445e-07,6.257652e-07,8.324894e-07,9.935106e-07,1.439966e-06,1.483954e-06,2.102647e-06,2.269335e-06,2.839330e-06,3.296610e-06,3.675708e-06,4.480264e-06,4.594344e-06,5.580898e-06,5.785261e-06,6.623161e-06,7.183425e-06,7.709969e-06,8.649502e-06,8.830661e-06,9.974938e-06,1.015955e-05,1.113295e-05,1.169092e-05,1.229543e-05,1.322291e-05,1.345390e-05,1.460076e-05,1.473728e-05,1.572937e-05,1.621868e-05,1.683408e-05,1.765477e-05,1.791023e-05,1.895407e-05,1.903609e-05,1.996270e-05,2.035579e-05,2.093400e-05,2.160937e-05,2.186650e-05,2.275934e-05,2.279422e-05,2.361211e-05,2.390929e-05,2.442481e-05,2.495472e-05,2.519777e-05,2.593160e-05,2.662709e-05,2.684171e-05,2.728522e-05,2.768731e-05,2.790707e-05,2.847099e-05,2.849380e-05,2.904665e-05,2.919555e-05,2.956688e-05,2.986389e-05,3.005576e-05,3.047896e-05,3.051459e-05,3.094463e-05,3.104370e-05,3.134715e-05,3.156099e-05,3.172337e-05,3.203364e-05,3.207449e-05,3.240167e-05,3.246433e-05,3.270605e-05,3.285567e-05,3.298870e-05,3.321012e-05,3.325070e-05,3.349304e-05,3.353005e-05,3.371670e-05,3.381769e-05,3.392260e-05,3.407516e-05,3.411166e-05,3.428471e-05,3.430445e-05,3.444259e-05,3.450745e-05,3.458607e-05,3.468594e-05,3.471589e-05,3.483279e-05,3.484160e-05,3.493742e-05,3.497599e-05,3.503045e-05,3.509060e-05,3.511250e-05,3.518415e-05,3.518681e-05,3.524598e-05,3.526593e-05,3.529850e-05,3.532917e-05,3.534225e-05,3.537769e-05,3.540530e-05,3.541255e-05,3.542551e-05,3.543476e-05,3.543875e-05,3.544526e-05,3.544541e-05,3.544587e-05,3.544493e-05,3.544049e-05,3.543460e-05,3.542962e-05,3.541504e-05,3.541357e-05,3.539267e-05,3.538696e-05,3.536720e-05,3.535105e-05,3.533745e-05,3.530794e-05,3.530368e-05,3.526614e-05,3.525820e-05,3.522508e-05,3.520241e-05,3.518071e-05,3.514106e-05,3.513327e-05,3.508295e-05,3.507464e-05,3.502995e-05,3.500361e-05,3.497445e-05,3.492838e-05,3.491664e-05,3.485667e-05,3.484934e-05,3.479472e-05,3.476686e-05,3.473092e-05,3.468128e-05,3.466542e-05,3.459835e-05,3.459293e-05,3.452986e-05,3.450208e-05,3.446005e-05,3.440904e-05,3.438904e-05,3.431695e-05,3.431405e-05,3.424388e-05,3.421735e-05,3.416992e-05,3.411917e-05,3.409517e-05,3.401972e-05,3.391919e-05,3.381776e-05,3.371561e-05,3.361288e-05,3.350973e-05,3.340630e-05,3.330269e-05,3.319904e-05,3.309545e-05,3.299203e-05,3.288885e-05,3.278601e-05,3.268359e-05,3.258166e-05,3.248029e-05,3.237953e-05,3.227946e-05,3.218010e-05,3.208153e-05,3.198377e-05,3.188687e-05,3.179086e-05,3.169578e-05,3.160165e-05
0.000000e+00,8.339350e-09,2.012703e-08,7.329324e-08,1.713344e-07,2.525089e-07,5.831969e-07,6.010788e-07,1.174263e-06,1.382778e-06,2.029670e-06,2.703275e-06,3.227078e-06,4.679096e-06,4.822430e-06,6.851999e-06,7.404312e-06,9.312248e-06,1.086216e-05,1.215724e-05,1.492624e-05,1.532037e-05,1.873626e-05,1.944464e-05,2.234839e-05,2.428792e-05,2.610830e-05,2.934941e-05,2.997321e-05,3.390446e-05,3.453722e-05,3.786691e-05,3.977053e-05,4.182886e-05,4.497896e-05,4.576208e-05,4.964197e-05,5.010294e-05,5.344753e-05,5.509380e-05,5.716127e-05,5.991344e-05,6.076898e-05,6.425951e-05,6.453342e-05,6.762434e-05,6.893362e-05,7.085734e-05,7.310116e-05,7.395450e-05,7.691334e-05,7.702880e-05,7.973289e-05,8.071384e-05,8.241337e-05,8.415720e-05,8.495591e-05,8.736244e-05,8.963548e-05,9.033513e-05,9.177802e-05,9.308230e-05,9.379342e-05,9.561196e-05,9.568532e-05,9.745752e-05,9.793283e-05,9.911398e-05,1.000540e-04,1.006587e-04,1.019846e-04,1.020957e-04,1.034292e-04,1.037342e-04,1.046630e-04,1.053119e-04,1.058012e-04,1.067269e-04,1.068477e-04,1.078065e-04,1.079880e-04,1.086812e-04,1.091041e-04,1.094756e-04,1.100834e-04,1.101932e-04,1.108377e-04,1.109342e-04,1.114123e-04,1.116642e-04,1.119203e-04,1.122810e-04,1.123651e-04,1.127495e-04,1.127918e-04,1.130767e-04,1.132033e-04,1.133496e-04,1.135222e-04,1.135708e-04,1.137431e-04,1.137548e-04,1.138690e-04,1.139069e-04,1.139510e-04,1.139843e-04,1.139916e-04,1.139929e-04,1.139922e-04,1.139573e-04,1.139358e-04,1.138867e-04,1.138199e-04,1.137833e-04,1.136490e-04,1.134856e-04,1.134274e-04,1.132949e-04,1.131593e-04,1.130786e-04,1.128484e-04,1.128383e-04,1.125757e-04,1.124983e-04,1.122921e-04,1.121125e-04,1.119891e-04,1.116942e-04,1.116679e-04,1.113298e-04,1.112463e-04,1.109762e-04,1.107717e-04,1.106081e-04,1.102731e-04,1.102267e-04,1.098330e-04,1.097529e-04,1.094281e-04,1.092134e-04,1.090129e-04,1.086569e-04,1.085884e-04,1.081554e-04,1.080854e-04,1.077148e-04,1.075008e-04,1.072673e-04,1.069049e-04,1.068137e-04,1.063547e-04,1.062993e-04,1.058909e-04,1.056855e-04,1.054231e-04,1.050651e-04,1.049517e-04,1.044774e-04,1.044394e-04,1.040007e-04,1.038095e-04,1.035222e-04,1.031767e-04,1.030422e-04,1.025613e-04,1.025420e-04,1.020798e-04,1.019064e-04,1.015982e-04,1.012708e-04,1.011169e-04,1.006361e-04,1.000030e-04,9.937225e-05,9.874448e-05,9.812030e-05,9.750025e-05,9.688483e-05,9.627448e-05,9.566962e-05,9.507062e-05,9.447779e-05,9.389145e-05,9.331186e-05,9.273924e-05,9.217379e-05,9.161571e-05,9.106514e-05,9.052221e-05,8.998703e-05,8.945970e-05,8.894027e-05,8.842882e-05,8.792536e-05,8.742994e-05,8.694256e-05
0.000000e+00,1.586474e-09,3.647278e-09,1.261022e-08,2.883122e-08,4.220665e-08,9.699195e-08,9.997775e-08,1.972623e-07,2.334370e-07,3.482105e-07,4.712823e-07,5.688974e-07,8.440632e-07,8.713594e-07,1.255786e-06,1.359240e-06,1.712357e-06,1.995191e-06,2.229627e-06,2.727838e-06,2.798611e-06,3.412699e-06,3.540451e-06,4.066617e-06,4.420819e-06,4.755637e-06,5.358150e-06,5.475122e-06,6.220332e-06,6.341629e-06,6.986390e-06,7.360039e-06,7.768303e-06,8.401876e-06,8.561054e-06,9.359697e-06,9.455701e-06,1.015946e-05,1.051053e-05,1.095581e-05,1.155616e-05,1.174455e-05,1.252188e-05,1.258347e-05,1.328444e-05,1.358465e-05,1.402928e-05,1.455317e-05,1.475389e-05,1.545620e-05,1.548381e-05,1.613453e-05,1.637259e-05,1.678755e-05,1.721665e-05,1.741431e-05,1.801413e-05,1.858662e-05,1.876401e-05,1.913162e-05,1.946602e-05,1.964920e-05,2.012047e-05,2.013956e-05,2.060304e-05,2.072806e-05,2.104011e-05,2.128991e-05,2.145134e-05,2.180743e-05,2.183740e-05,2.219898e-05,2.228220e-05,2.253683e-05,2.271596e-05,2.285175e-05,2.311055e-05,2.314454e-05,2.341602e-05,2.346783e-05,2.366702e-05,2.378971e-05,2.389834e-05,2.407805e-05,2.411082e-05,2.430525e-05,2.433474e-05,2.448242e-05,2.456157e-05,2.464312e-05,2.476031e-05,2.478808e-05,2.491806e-05,2.493268e-05,2.503376e-05,2.508032e-05,2.513586e-05,2.520479e-05,2.522505e-05,2.530197e-05,2.530761e-05,2.536723e-05,2.539021e-05,2.542145e-05,2.545396e-05,2.546519e-05,2.549901e-05,2.550016e-05,2.552344e-05,2.553004e-05,2.553900e-05,2.554476e-05,2.554617e-05,2.554543e-05,2.553723e-05,2.553310e-05,2.552199e-05,2.550874e-05,2.550013e-05,2.547328e-05,2.547204e-05,2.543810e-05,2.542760e-05,2.539867e-05,2.537252e-05,2.535410e-05,2.530882e-05,2.530470e-05,2.525080e-05,2.523722e-05,2.519268e-05,2.515841e-05,2.513064e-05,2.507302e-05,2.506495e-05,2.499586e-05,2.498166e-05,2.492362e-05,2.488489e-05,2.484846e-05,2.478323e-05,2.477060e-05,2.469026e-05,2.467719e-05,2.460764e-05,2.456723e-05,2.452292e-05,2.445377e-05,2.443630e-05,2.434793e-05,2.433721e-05,2.425798e-05,2.421795e-05,2.416661e-05,2.409631e-05,2.407397e-05,2.398019e-05,2.397264e-05,2.388541e-05,2.384724e-05,2.378974e-05,2.372038e-05,2.369331e-05,2.359623e-05,2.359234e-05,2.349861e-05,2.346335e-05,2.340054e-05,2.333365e-05,2.330212e-05,2.320344e-05,2.307291e-05,2.294225e-05,2.281163e-05,2.268118e-05,2.255107e-05,2.242141e-05,2.229232e-05,2.216392e-05,2.203630e-05,2.190956e-05,2.178377e-05,2.165901e-05,2.153535e-05,2.141285e-05,2.129156e-05,2.117154e-05,2.105283e-05,2.093547e-05,2.081948e-05,2.070491e-05,2.059177e-05,2.048009e-05,2.036988e-05,2.026117e-05
0.000000e+00,8.510622e-10,2.472123e-09,1.189933e-08,3.332781e-08,5.323336e-08,1.454286e-07,1.507772e-07,3.352974e-07,4.074417e-07,6.441642e-07,9.076880e-07,1.122426e-06,1.751961e-06,1.816247e-06,2.751884e-06,3.011687e-06,3.914537e-06,4.646762e-06,5.253815e-06,6.528871e-06,6.707349e-06,8.218503e-06,8.523504e-06,9.742706e-06,1.052917e-05,1.124720e-05,1.247840e-05,1.270857e-05,1.411027e-05,1.432817e-05,1.544062e-05,1.605136e-05,1.669155e-05,1.763146e-05,1.785775e-05,1.893618e-05,1.905963e-05,1.992574e-05,2.033307e-05,2.082693e-05,2.145387e-05,2.164167e-05,2.237298e-05,2.242799e-05,2.302479e-05,2.326426e-05,2.360168e-05,2.397346e-05,2.410867e-05,2.455100e-05,2.456742e-05,2.493399e-05,2.505835e-05,2.526288e-05,2.545822e-05,2.554275e-05,2.577843e-05,2.597443e-05,2.602946e-05,2.613494e-05,2.622082e-05,2.626379e-05,2.636095e-05,2.636448e-05,2.644014e-05,2.645723e-05,2.649360e-05,2.651609e-05,2.652739e-05,2.654303e-05,2.654375e-05,2.654468e-05,2.654280e-05,2.653194e-05,2.651943e-05,2.650710e-05,2.647634e-05,2.647155e-05,2.642650e-05,2.641645e-05,2.637303e-05,2.634222e-05,2.631210e-05,2.625576e-05,2.624453e-05,2.617110e-05,2.615885e-05,2.609246e-05,2.605304e-05,2.600920e-05,2.593964e-05,2.592187e-05,2.583092e-05,2.581978e-05,2.573679e-05,2.569446e-05,2.563986e-05,2.556454e-05,2.554048e-05,2.543896e-05,2.543076e-05,2.533558e-05,2.529377e-05,2.523061e-05,2.515417e-05,2.512427e-05,2.501678e-05,2.501245e-05,2.490833e-05,2.486909e-05,2.479910e-05,2.472447e-05,2.468926e-05,2.457896e-05,2.446834e-05,2.443289e-05,2.435751e-05,2.428653e-05,2.424660e-05,2.414015e-05,2.413571e-05,2.402495e-05,2.399397e-05,2.391440e-05,2.384821e-05,2.380415e-05,2.370304e-05,2.369427e-05,2.358483e-05,2.355864e-05,2.347590e-05,2.341515e-05,2.336754e-05,2.327270e-05,2.325981e-05,2.315275e-05,2.313142e-05,2.304641e-05,2.299141e-05,2.294083e-05,2.285276e-05,2.283605e-05,2.273211e-05,2.271556e-05,2.262903e-05,2.257988e-05,2.252686e-05,2.244578e-05,2.242561e-05,2.232530e-05,2.231333e-05,2.222596e-05,2.218257e-05,2.212762e-05,2.205354e-05,2.203027e-05,2.193395e-05,2.192628e-05,2.183865e-05,2.180083e-05,2.174440e-05,2.167720e-05,2.165121e-05,2.155908e-05,2.155541e-05,2.146801e-05,2.143549e-05,2.137802e-05,2.131744e-05,2.128911e-05,2.120128e-05,2.108700e-05,2.097461e-05,2.086411e-05,2.075549e-05,2.064875e-05,2.054389e-05,2.044088e-05,2.033973e-05,2.024041e-05,2.014292e-05,2.004723e-05,1.995333e-05,1.986120e-05,1.977082e-05,1.968218e-05,1.959524e-05,1.951000e-05,1.942643e-05,1.934450e-05,1.926420e-05,1.918549e-05,1.910837e-05,1.903279e-05,1.895875e-05
0.000000e+00,1.801362e-09,4.355219e-09,1.581499e-08,3.673208e-08,5.388801e-08,1.226587e-07,1.263346e-07,2.423313e-07,2.837738e-07,4.102884e-07,5.393077e-07,6.381047e-07,9.069457e-07,9.331901e-07,1.302053e-06,1.402121e-06,1.749137e-06,2.034026e-06,2.274753e-06,2.797746e-06,2.873022e-06,3.531923e-06,3.669650e-06,4.236185e-06,4.615252e-06,4.970736e-06,5.601558e-06,5.722536e-06,6.480837e-06,6.602155e-06,7.236814e-06,7.596658e-06,7.983142e-06,8.569103e-06,8.713692e-06,9.423353e-06,9.506901e-06,1.010793e-05,1.040030e-05,1.076406e-05,1.124210e-05,1.138919e-05,1.198146e-05,1.202738e-05,1.253969e-05,1.275330e-05,1.306327e-05,1.341872e-05,1.355211e-05,1.400653e-05,1.402400e-05,1.442721e-05,1.457058e-05,1.481513e-05,1.506079e-05,1.517146e-05,1.549754e-05,1.579483e-05,1.588412e-05,1.606483e-05,1.622404e-05,1.630911e-05,1.652084e-05,1.652920e-05,1.672665e-05,1.677808e-05,1.690293e-05,1.699916e-05,1.705951e-05,1.718735e-05,1.719777e-05,1.731901e-05,1.734572e-05,1.742450e-05,1.747713e-05,1.751540e-05,1.758422e-05,1.759284e-05,1.765783e-05,1.766942e-05,1.771136e-05,1.773496e-05,1.775431e-05,1.778284e-05,1.778754e-05,1.781181e-05,1.781491e-05,1.782786e-05,1.783283e-05,1.783634e-05,1.783809e-05,1.783787e-05,1.783304e-05,1.783206e-05,1.782237e-05,1.781595e-05,1.780635e-05,1.779087e-05,1.778542e-05,1.776002e-05,1.775781e-05,1.773052e-05,1.771765e-05,1.769728e-05,1.767122e-05,1.766064e-05,1.762089e-05,1.761924e-05,1.757831e-05,1.756235e-05,1.753318e-05,1.750115e-05,1.748572e-05,1.743617e-05,1.738472e-05,1.736789e-05,1.733157e-05,1.729674e-05,1.727689e-05,1.722312e-05,1.722085e-05,1.716360e-05,1.714737e-05,1.710528e-05,1.706983e-05,1.704602e-05,1.699076e-05,1.698593e-05,1.692513e-05,1.691045e-05,1.686373e-05,1.682911e-05,1.680181e-05,1.674697e-05,1.673947e-05,1.667679e-05,1.666422e-05,1.661385e-05,1.658104e-05,1.655071e-05,1.649757e-05,1.648744e-05,1.642411e-05,1.641397e-05,1.636076e-05,1.633036e-05,1.629745e-05,1.624687e-05,1.623423e-05,1.617115e-05,1.616359e-05,1.610823e-05,1.608062e-05,1.604553e-05,1.599804e-05,1.598308e-05,1.592091e-05,1.591595e-05,1.585904e-05,1.583439e-05,1.579752e-05,1.575344e-05,1.573636e-05,1.567558e-05,1.567316e-05,1.561521e-05,1.559358e-05,1.555527e-05,1.551477e-05,1.549578e-05,1.543675e-05,1.535956e-05,1.528323e-05,1.520779e-05,1.513327e-05,1.505968e-05,1.498704e-05,1.491536e-05,1.484467e-05,1.477496e-05,1.470625e-05,1.463853e-05,1.457183e-05,1.450613e-05,1.444144e-05,1.437776e-05,1.431509e-05,1.425342e-05,1.419276e-05,1.413309e-05,1.407441e-05,1.401672e-05,1.396001e-05,1.390427e-05,1.384949e-05
0.000000e+00,1.261561e-09,3.501058e-09,1.551230e-08,4.077652e-08,6.316693e-08,1.612965e-07,1.668216e-07,3.517310e-07,4.220174e-07,6.478549e-07,8.928798e-07,1.088481e-06,1.643870e-06,1.699253e-06,2.485197e-06,2.698741e-06,3.434568e-06,4.031756e-06,4.531952e-06,5.610065e-06,5.764832e-06,7.123783e-06,7.409997e-06,8.600895e-06,9.413132e-06,1.018840e-05,1.160105e-05,1.187784e-05,1.365976e-05,1.395276e-05,1.552361e-05,1.644401e-05,1.745788e-05,1.904777e-05,1.945030e-05,2.148813e-05,2.173511e-05,2.355842e-05,2.447631e-05,2.564833e-05,2.724212e-05,2.774544e-05,2.983788e-05,3.000473e-05,3.191459e-05,3.273856e-05,3.396542e-05,3.542084e-05,3.598125e-05,3.795401e-05,3.803192e-05,3.987672e-05,4.055547e-05,4.174345e-05,4.297833e-05,4.354934e-05,4.529046e-05,4.696380e-05,4.748457e-05,4.856718e-05,4.955593e-05,5.009915e-05,5.150192e-05,5.155892e-05,5.294628e-05,5.332179e-05,5.426152e-05,5.501632e-05,5.550534e-05,5.658750e-05,5.667882e-05,5.778332e-05,5.803830e-05,5.882043e-05,5.937244e-05,5.979195e-05,6.059417e-05,6.069982e-05,6.154609e-05,6.170814e-05,6.233290e-05,6.271927e-05,6.306243e-05,6.363257e-05,6.373687e-05,6.435845e-05,6.445315e-05,6.492938e-05,6.518607e-05,6.545183e-05,6.583633e-05,6.592795e-05,6.635987e-05,6.640882e-05,6.674963e-05,6.690828e-05,6.709924e-05,6.733929e-05,6.741064e-05,6.768574e-05,6.770623e-05,6.792633e-05,6.801331e-05,6.813419e-05,6.826453e-05,6.831100e-05,6.845841e-05,6.846371e-05,6.857797e-05,6.861448e-05,6.867118e-05,6.872026e-05,6.873950e-05,6.878429e-05,6.880688e-05,6.880962e-05,6.880853e-05,6.879915e-05,6.879044e-05,6.875559e-05,6.875378e-05,6.869965e-05,6.868150e-05,6.862908e-05,6.857927e-05,6.854309e-05,6.845117e-05,6.844262e-05,6.832860e-05,6.829931e-05,6.820188e-05,6.812568e-05,6.806329e-05,6.793213e-05,6.791361e-05,6.775359e-05,6.772041e-05,6.758395e-05,6.749215e-05,6.740535e-05,6.724888e-05,6.721844e-05,6.702382e-05,6.699201e-05,6.682209e-05,6.672289e-05,6.661378e-05,6.644275e-05,6.639941e-05,6.617949e-05,6.615275e-05,6.595449e-05,6.585399e-05,6.572483e-05,6.554746e-05,6.549096e-05,6.525327e-05,6.523410e-05,6.501214e-05,6.491480e-05,6.476792e-05,6.459037e-05,6.452096e-05,6.427157e-05,6.426155e-05,6.402007e-05,6.392906e-05,6.376673e-05,6.359355e-05,6.351183e-05,6.325562e-05,6.291584e-05,6.257471e-05,6.223273e-05,6.189034e-05,6.154795e-05,6.120593e-05,6.086463e-05,6.052438e-05,6.018547e-05,5.984816e-05,5.951271e-05,5.917935e-05,5.884826e-05,5.851965e-05,5.819369e-05,5.787052e-05,5.755028e-05,5.723311e-05,5.691910e-05,5.660836e-05,5.630098e-05,5.599704e-05,5.569659e-05,5.539970e-05
0.000000e+00,3.844983e-10,1.128791e-09,5.556916e-09,1.589239e-08,2.567912e-08,7.226830e-08,7.501572e-08,1.715590e-07,2.099112e-07,3.365787e-07,4.771637e-07,5.904207e-07,9.144781e-07,9.469915e-07,1.413871e-06,1.542839e-06,1.995197e-06,2.371675e-06,2.693362e-06,3.405297e-06,3.509461e-06,4.443226e-06,4.643967e-06,5.492836e-06,6.083326e-06,6.654806e-06,7.713967e-06,7.923980e-06,9.293653e-06,9.521606e-06,1.075577e-05,1.148778e-05,1.230122e-05,1.359096e-05,1.392013e-05,1.560216e-05,1.580775e-05,1.733685e-05,1.811412e-05,1.911387e-05,2.048653e-05,2.092320e-05,2.275538e-05,2.290268e-05,2.460159e-05,2.534216e-05,2.645374e-05,2.778684e-05,2.830453e-05,3.014746e-05,3.022093e-05,3.197680e-05,3.263105e-05,3.378758e-05,3.500610e-05,3.557553e-05,3.733703e-05,3.906906e-05,3.961665e-05,4.076910e-05,4.183939e-05,4.243513e-05,4.400102e-05,4.406554e-05,4.565906e-05,4.609850e-05,4.721476e-05,4.812974e-05,4.873197e-05,5.009343e-05,5.021025e-05,5.164936e-05,5.198890e-05,5.304922e-05,5.381603e-05,5.440992e-05,5.557508e-05,5.573164e-05,5.701467e-05,5.726667e-05,5.825939e-05,5.889165e-05,5.946625e-05,6.045111e-05,6.063574e-05,6.176843e-05,6.194629e-05,6.286491e-05,6.337853e-05,6.392579e-05,6.474930e-05,6.495173e-05,6.594339e-05,6.606012e-05,6.690146e-05,6.731255e-05,6.782664e-05,6.850821e-05,6.871963e-05,6.958114e-05,6.964872e-05,7.041188e-05,7.073571e-05,7.121255e-05,7.177082e-05,7.198388e-05,7.272655e-05,7.275568e-05,7.344129e-05,7.369189e-05,7.412878e-05,7.458106e-05,7.478971e-05,7.542476e-05,7.603461e-05,7.622455e-05,7.661992e-05,7.698194e-05,7.718134e-05,7.769844e-05,7.771953e-05,7.823511e-05,7.837550e-05,7.872870e-05,7.901456e-05,7.920092e-05,7.961701e-05,7.965237e-05,8.008365e-05,8.018421e-05,8.049531e-05,8.071749e-05,8.088794e-05,8.121815e-05,8.126209e-05,8.161830e-05,8.168743e-05,8.195709e-05,8.212656e-05,8.227900e-05,8.253673e-05,8.258453e-05,8.287417e-05,8.291908e-05,8.314842e-05,8.327472e-05,8.340774e-05,8.360475e-05,8.365259e-05,8.388343e-05,8.391021e-05,8.410070e-05,8.419211e-05,8.430483e-05,8.445144e-05,8.449624e-05,8.467533e-05,8.468914e-05,8.484251e-05,8.490613e-05,8.499816e-05,8.510330e-05,8.514265e-05,8.527637e-05,8.528150e-05,8.539967e-05,8.544157e-05,8.551289e-05,8.558429e-05,8.561637e-05,8.571045e-05,8.582079e-05,8.591602e-05,8.599683e-05,8.606389e-05,8.611785e-05,8.615932e-05,8.618889e-05,8.620715e-05,8.621463e-05,8.621188e-05,8.619940e-05,8.617769e-05,8.614721e-05,8.610843e-05,8.606178e-05,8.600767e-05,8.594651e-05,8.587870e-05,8.580459e-05,8.572454e-05,8.563891e-05,8.554801e-05,8.545216e-05,8.535166e-05
0.000000e+00,7.679069e-09,1.759203e-08,6.061038e-08,1.381580e-07,2.017668e-07,4.588234e-07,4.726695e-07,9.149742e-07,1.075378e-06,1.572027e-06,2.088280e-06,2.489515e-06,3.602995e-06,3.713129e-06,5.280071e-06,5.709567e-06,7.206157e-06,8.438608e-06,9.480994e-06,1.175025e-05,1.207786e-05,1.496611e-05,1.557613e-05,1.811665e-05,1.984951e-05,2.150225e-05,2.450849e-05,2.509650e-05,2.887301e-05,2.949238e-05,3.280507e-05,3.473982e-05,3.686583e-05,4.018915e-05,4.102860e-05,4.526731e-05,4.577985e-05,4.955689e-05,5.145429e-05,5.387375e-05,5.715927e-05,5.819600e-05,6.250366e-05,6.284710e-05,6.677886e-05,6.847623e-05,7.100576e-05,7.401142e-05,7.517060e-05,7.926156e-05,7.942352e-05,8.326866e-05,8.468904e-05,8.718362e-05,8.978969e-05,9.099976e-05,9.471187e-05,9.831593e-05,9.944587e-05,1.018088e-04,1.039847e-04,1.051882e-04,1.083246e-04,1.084530e-04,1.116026e-04,1.124639e-04,1.146370e-04,1.164025e-04,1.175566e-04,1.201421e-04,1.203624e-04,1.230556e-04,1.236854e-04,1.256377e-04,1.270357e-04,1.281104e-04,1.301974e-04,1.304756e-04,1.327356e-04,1.331751e-04,1.348924e-04,1.359740e-04,1.369484e-04,1.385993e-04,1.389060e-04,1.407675e-04,1.410566e-04,1.425355e-04,1.433516e-04,1.442123e-04,1.454899e-04,1.458006e-04,1.473028e-04,1.474773e-04,1.487213e-04,1.493195e-04,1.500586e-04,1.510222e-04,1.513172e-04,1.524994e-04,1.525908e-04,1.536078e-04,1.540309e-04,1.546445e-04,1.553479e-04,1.556119e-04,1.565124e-04,1.565470e-04,1.573480e-04,1.576334e-04,1.581211e-04,1.586121e-04,1.588337e-04,1.594879e-04,1.600858e-04,1.602656e-04,1.606295e-04,1.609498e-04,1.611208e-04,1.615449e-04,1.615616e-04,1.619539e-04,1.620553e-04,1.622994e-04,1.624851e-04,1.626000e-04,1.628382e-04,1.628573e-04,1.630730e-04,1.631187e-04,1.632487e-04,1.633303e-04,1.633861e-04,1.634765e-04,1.634866e-04,1.635518e-04,1.635608e-04,1.635832e-04,1.635866e-04,1.635821e-04,1.635570e-04,1.635498e-04,1.634878e-04,1.634752e-04,1.633974e-04,1.633442e-04,1.632797e-04,1.631667e-04,1.631359e-04,1.629674e-04,1.629455e-04,1.627751e-04,1.626833e-04,1.625602e-04,1.623824e-04,1.623238e-04,1.620668e-04,1.620454e-04,1.617903e-04,1.616745e-04,1.614953e-04,1.612718e-04,1.611826e-04,1.608532e-04,1.608396e-04,1.605079e-04,1.603798e-04,1.601476e-04,1.598944e-04,1.597730e-04,1.593851e-04,1.588537e-04,1.583018e-04,1.577312e-04,1.571432e-04,1.565392e-04,1.559208e-04,1.552892e-04,1.546455e-04,1.539911e-04,1.533270e-04,1.526542e-04,1.519738e-04,1.512868e-04,1.505940e-04,1.498963e-04,1.491945e-04,1.484894e-04,1.477817e-04,1.470720e-04,1.463611e-04,1.456495e-04,1.449379e-04,1.442266e-04,1.435163e-04
0.000000e+00,4.356470e-09,9.988751e-09,3.444519e-08,7.864193e-08,1.150339e-07,2.635859e-07,2.716579e-07,5.333097e-07,6.299575e-07,9.344653e-07,1.257675e-06,1.511784e-06,2.218662e-06,2.288126e-06,3.257784e-06,3.516874e-06,4.398963e-06,5.105307e-06,5.691866e-06,6.943843e-06,7.122397e-06,8.679596e-06,9.005338e-06,1.035320e-05,1.126592e-05,1.213237e-05,1.369971e-05,1.400511e-05,1.595834e-05,1.627739e-05,1.797800e-05,1.896675e-05,2.004947e-05,2.173399e-05,2.215793e-05,2.428877e-05,2.454529e-05,2.642786e-05,2.736823e-05,2.856195e-05,3.017293e-05,3.067879e-05,3.276734e-05,3.293290e-05,3.481784e-05,3.562545e-05,3.682182e-05,3.823179e-05,3.877209e-05,4.066274e-05,4.073706e-05,4.248902e-05,4.312998e-05,4.424723e-05,4.540252e-05,4.593467e-05,4.754951e-05,4.909064e-05,4.956815e-05,5.055764e-05,5.145766e-05,5.195064e-05,5.321886e-05,5.327025e-05,5.451744e-05,5.485386e-05,5.569355e-05,5.636572e-05,5.680012e-05,5.775828e-05,5.783894e-05,5.881192e-05,5.903587e-05,5.972113e-05,6.020322e-05,6.056869e-05,6.126527e-05,6.135677e-05,6.208757e-05,6.222706e-05,6.276331e-05,6.309367e-05,6.338619e-05,6.387015e-05,6.395839e-05,6.448207e-05,6.456150e-05,6.495934e-05,6.517255e-05,6.539227e-05,6.570804e-05,6.578287e-05,6.613310e-05,6.617251e-05,6.644488e-05,6.657035e-05,6.672004e-05,6.690577e-05,6.696037e-05,6.716759e-05,6.718279e-05,6.734337e-05,6.740524e-05,6.748931e-05,6.757677e-05,6.760695e-05,6.769777e-05,6.770086e-05,6.776319e-05,6.778080e-05,6.780460e-05,6.781970e-05,6.782328e-05,6.782052e-05,6.779751e-05,6.778606e-05,6.775540e-05,6.771895e-05,6.769531e-05,6.762167e-05,6.761828e-05,6.752534e-05,6.749659e-05,6.741744e-05,6.734591e-05,6.729551e-05,6.717170e-05,6.716043e-05,6.701304e-05,6.697593e-05,6.685415e-05,6.676044e-05,6.668453e-05,6.652695e-05,6.650489e-05,6.631594e-05,6.627709e-05,6.611834e-05,6.601238e-05,6.591272e-05,6.573424e-05,6.569968e-05,6.547979e-05,6.544401e-05,6.525361e-05,6.514295e-05,6.502163e-05,6.483221e-05,6.478436e-05,6.454226e-05,6.451290e-05,6.429577e-05,6.418603e-05,6.404532e-05,6.385257e-05,6.379130e-05,6.353409e-05,6.351339e-05,6.327405e-05,6.316932e-05,6.301153e-05,6.282115e-05,6.274683e-05,6.248027e-05,6.246958e-05,6.221214e-05,6.211528e-05,6.194270e-05,6.175887e-05,6.167221e-05,6.140093e-05,6.104198e-05,6.068253e-05,6.032302e-05,5.996388e-05,5.960550e-05,5.924823e-05,5.889239e-05,5.853830e-05,5.818623e-05,5.783642e-05,5.748912e-05,5.714452e-05,5.680282e-05,5.646418e-05,5.612877e-05,5.579672e-05,5.546815e-05,5.514317e-05,5.482189e-05,5.450438e-05,5.419071e-05,5.388096e-05,5.357517e-05,5.327339e-05
0.000000e+00,2.696952e-09,6.877232e-09,2.683820e-08,6.517675e-08,9.758987e-08,2.327291e-07,2.401349e-07,4.810510e-07,5.700680e-07,8.499006e-07,1.146375e-06,1.380096e-06,2.041113e-06,2.107352e-06,3.062974e-06,3.328492e-06,4.262318e-06,5.038486e-06,5.698056e-06,7.138672e-06,7.346863e-06,9.181394e-06,9.568343e-06,1.117693e-05,1.227113e-05,1.331242e-05,1.520081e-05,1.556938e-05,1.793075e-05,1.831716e-05,2.038022e-05,2.158257e-05,2.290189e-05,2.496076e-05,2.548023e-05,2.810025e-05,2.841677e-05,3.074764e-05,3.191765e-05,3.340892e-05,3.543308e-05,3.607165e-05,3.872449e-05,3.893597e-05,4.135722e-05,4.240262e-05,4.396083e-05,4.581296e-05,4.652749e-05,4.905044e-05,4.915036e-05,5.152401e-05,5.240146e-05,5.394347e-05,5.555579e-05,5.630497e-05,5.860545e-05,6.084253e-05,6.154471e-05,6.301447e-05,6.436974e-05,6.512003e-05,6.707821e-05,6.715845e-05,6.912936e-05,6.966910e-05,7.103270e-05,7.214236e-05,7.286871e-05,7.449876e-05,7.463784e-05,7.634076e-05,7.673970e-05,7.797830e-05,7.886711e-05,7.955140e-05,8.088328e-05,8.106114e-05,8.250867e-05,8.279082e-05,8.389522e-05,8.459254e-05,8.522205e-05,8.629141e-05,8.649049e-05,8.770190e-05,8.789053e-05,8.885765e-05,8.939304e-05,8.995912e-05,9.080216e-05,9.100772e-05,9.200484e-05,9.212110e-05,9.295189e-05,9.335308e-05,9.385024e-05,9.450128e-05,9.470129e-05,9.550640e-05,9.556887e-05,9.626693e-05,9.655895e-05,9.698420e-05,9.747460e-05,9.765955e-05,9.829426e-05,9.831882e-05,9.888961e-05,9.909454e-05,9.944685e-05,9.980464e-05,9.996722e-05,1.004519e-04,1.009021e-04,1.010391e-04,1.013190e-04,1.015688e-04,1.017037e-04,1.020437e-04,1.020573e-04,1.023808e-04,1.024662e-04,1.026754e-04,1.028387e-04,1.029421e-04,1.031637e-04,1.031819e-04,1.033957e-04,1.034433e-04,1.035845e-04,1.036797e-04,1.037493e-04,1.038752e-04,1.038910e-04,1.040103e-04,1.040316e-04,1.041083e-04,1.041510e-04,1.041857e-04,1.042354e-04,1.042433e-04,1.042819e-04,1.042864e-04,1.043024e-04,1.043059e-04,1.043053e-04,1.042956e-04,1.042915e-04,1.042617e-04,1.042571e-04,1.042165e-04,1.041920e-04,1.041566e-04,1.041017e-04,1.040827e-04,1.039953e-04,1.039877e-04,1.038951e-04,1.038515e-04,1.037826e-04,1.036943e-04,1.036584e-04,1.035230e-04,1.035174e-04,1.033771e-04,1.033220e-04,1.032210e-04,1.031094e-04,1.030553e-04,1.028805e-04,1.026366e-04,1.023785e-04,1.021074e-04,1.018241e-04,1.015295e-04,1.012245e-04,1.009099e-04,1.005864e-04,1.002549e-04,9.991598e-05,9.957036e-05,9.921867e-05,9.886151e-05,9.849947e-05,9.813308e-05,9.776289e-05,9.738937e-05,9.701301e-05,9.663424e-05,9.625349e-05,9.587117e-05,9.548764e-05,9.510326e-05,9.471839e-05
0.000000e+00,1.645790e-09,4.673421e-09,2.154543e-08,5.823174e-08,9.130907e-08,2.383238e-07,2.466391e-07,5.245675e-07,6.296409e-07,9.645735e-07,1.324333e-06,1.610224e-06,2.425158e-06,2.507136e-06,3.691156e-06,4.019689e-06,5.170585e-06,6.120649e-06,6.923186e-06,8.661864e-06,8.911646e-06,1.109832e-05,1.155647e-05,1.345057e-05,1.472975e-05,1.594041e-05,1.811972e-05,1.854264e-05,2.123339e-05,2.167056e-05,2.398931e-05,2.532854e-05,2.678743e-05,2.904120e-05,2.960530e-05,3.242136e-05,3.275819e-05,3.521532e-05,3.643278e-05,3.796851e-05,4.002328e-05,4.066418e-05,4.328772e-05,4.349410e-05,4.582671e-05,4.681628e-05,4.827096e-05,4.996755e-05,5.061240e-05,5.284494e-05,5.293191e-05,5.496437e-05,5.569913e-05,5.696814e-05,5.826403e-05,5.885516e-05,6.062558e-05,6.228065e-05,6.278623e-05,6.382245e-05,6.475104e-05,6.525380e-05,6.652710e-05,6.657806e-05,6.779901e-05,6.812292e-05,6.892074e-05,6.954793e-05,6.994754e-05,7.081213e-05,7.088381e-05,7.173402e-05,7.192576e-05,7.250262e-05,7.289904e-05,7.319403e-05,7.374207e-05,7.381259e-05,7.436250e-05,7.446461e-05,7.484786e-05,7.507604e-05,7.527259e-05,7.558525e-05,7.564043e-05,7.595500e-05,7.600062e-05,7.621973e-05,7.633005e-05,7.643787e-05,7.658093e-05,7.661253e-05,7.674664e-05,7.676014e-05,7.684296e-05,7.687406e-05,7.690413e-05,7.692862e-05,7.693260e-05,7.693071e-05,7.692931e-05,7.690064e-05,7.688119e-05,7.684446e-05,7.678894e-05,7.676411e-05,7.666140e-05,7.665686e-05,7.653805e-05,7.648890e-05,7.639566e-05,7.628872e-05,7.623572e-05,7.605966e-05,7.586879e-05,7.580479e-05,7.566436e-05,7.552693e-05,7.544751e-05,7.522867e-05,7.521934e-05,7.498087e-05,7.491238e-05,7.473304e-05,7.458023e-05,7.447675e-05,7.423421e-05,7.421283e-05,7.394206e-05,7.387613e-05,7.366516e-05,7.350767e-05,7.338281e-05,7.313034e-05,7.309565e-05,7.280426e-05,7.274553e-05,7.250922e-05,7.235452e-05,7.221102e-05,7.195845e-05,7.191015e-05,7.160706e-05,7.155839e-05,7.130217e-05,7.115530e-05,7.099587e-05,7.075005e-05,7.068851e-05,7.038044e-05,7.034344e-05,7.007198e-05,6.993620e-05,6.976340e-05,6.952898e-05,6.945499e-05,6.914700e-05,6.912238e-05,6.883965e-05,6.871694e-05,6.853317e-05,6.831315e-05,6.822775e-05,6.792357e-05,6.791143e-05,6.762082e-05,6.751220e-05,6.731963e-05,6.711580e-05,6.702017e-05,6.672256e-05,6.633275e-05,6.594664e-05,6.556444e-05,6.518636e-05,6.481257e-05,6.444322e-05,6.407845e-05,6.371836e-05,6.336307e-05,6.301264e-05,6.266714e-05,6.232663e-05,6.199115e-05,6.166073e-05,6.133540e-05,6.101515e-05,6.070000e-05,6.038995e-05,6.008498e-05,5.978507e-05,5.949020e-05,5.920035e-05,5.891549e-05,5.863556e-05
0.000000e+00,1.473841e-09,3.362711e-09,1.148703e-08,2.597131e-08,3.775113e-08,8.473723e-08,8.724546e-08,1.664462e-07,1.947921e-07,2.815309e-07,3.703003e-07,4.384664e-07,6.245663e-07,6.427642e-07,8.984983e-07,9.677150e-07,1.206528e-06,1.400749e-06,1.563453e-06,1.913007e-06,1.962964e-06,2.398122e-06,2.488854e-06,2.862501e-06,3.113580e-06,3.350295e-06,3.774195e-06,3.856129e-06,4.374940e-06,4.458829e-06,4.901931e-06,5.156461e-06,5.432610e-06,5.857011e-06,5.962834e-06,6.488873e-06,6.551556e-06,7.007439e-06,7.232497e-06,7.515712e-06,7.893650e-06,8.011338e-06,8.492414e-06,8.530224e-06,8.957461e-06,9.138734e-06,9.405383e-06,9.716850e-06,9.835429e-06,1.024714e-05,1.026323e-05,1.064033e-05,1.077733e-05,1.101499e-05,1.125926e-05,1.137131e-05,1.170962e-05,1.203034e-05,1.212934e-05,1.233399e-05,1.251963e-05,1.262114e-05,1.288185e-05,1.289241e-05,1.314842e-05,1.321746e-05,1.338984e-05,1.352795e-05,1.361731e-05,1.381482e-05,1.383148e-05,1.403299e-05,1.407954e-05,1.422247e-05,1.432355e-05,1.440052e-05,1.454820e-05,1.456771e-05,1.472463e-05,1.475483e-05,1.487180e-05,1.494465e-05,1.500974e-05,1.511883e-05,1.513893e-05,1.525985e-05,1.527846e-05,1.537293e-05,1.542455e-05,1.547859e-05,1.555805e-05,1.557724e-05,1.566924e-05,1.567985e-05,1.575496e-05,1.579077e-05,1.583473e-05,1.589157e-05,1.590886e-05,1.597767e-05,1.598296e-05,1.604144e-05,1.606559e-05,1.610043e-05,1.614009e-05,1.615490e-05,1.620509e-05,1.620701e-05,1.625123e-05,1.626689e-05,1.629353e-05,1.632020e-05,1.633219e-05,1.636741e-05,1.639937e-05,1.640893e-05,1.642823e-05,1.644516e-05,1.645417e-05,1.647645e-05,1.647733e-05,1.649786e-05,1.650315e-05,1.651589e-05,1.652557e-05,1.653156e-05,1.654400e-05,1.654500e-05,1.655630e-05,1.655871e-05,1.656560e-05,1.656996e-05,1.657298e-05,1.657798e-05,1.657856e-05,1.658242e-05,1.658300e-05,1.658466e-05,1.658521e-05,1.658535e-05,1.658481e-05,1.658459e-05,1.658244e-05,1.658197e-05,1.657898e-05,1.657688e-05,1.657428e-05,1.656967e-05,1.656841e-05,1.656142e-05,1.656051e-05,1.655337e-05,1.654951e-05,1.654433e-05,1.653683e-05,1.653435e-05,1.652347e-05,1.652256e-05,1.651175e-05,1.650683e-05,1.649923e-05,1.648975e-05,1.648596e-05,1.647198e-05,1.647140e-05,1.645732e-05,1.645189e-05,1.644204e-05,1.643130e-05,1.642616e-05,1.640972e-05,1.638721e-05,1.636387e-05,1.633974e-05,1.631490e-05,1.628941e-05,1.626332e-05,1.623669e-05,1.620957e-05,1.618201e-05,1.615404e-05,1.612573e-05,1.609709e-05,1.606818e-05,1.603902e-05,1.600965e-05,1.598011e-05,1.595041e-05,1.592060e-05,1.589069e-05,1.586071e-05,1.583069e-05,1.580064e-05,1.577059e-05,1.574056e-05
0.000000e+00,1.429510e-09,3.453600e-09,1.250242e-08,2.893448e-08,4.235910e-08,9.587344e-08,9.872361e-08,1.882929e-07,2.201536e-07,3.170759e-07,4.154869e-07,4.906024e-07,6.941089e-07,7.139124e-07,9.912037e-07,1.066118e-06,1.324986e-06,1.536543e-06,1.714702e-06,2.100032e-06,2.155306e-06,2.636986e-06,2.737141e-06,3.146869e-06,3.418718e-06,3.671752e-06,4.115758e-06,4.200129e-06,4.722890e-06,4.805523e-06,5.233149e-06,5.472075e-06,5.725792e-06,6.104667e-06,6.197072e-06,6.644307e-06,6.696265e-06,7.065667e-06,7.242555e-06,7.460025e-06,7.741330e-06,7.826846e-06,8.166087e-06,8.192043e-06,8.478117e-06,8.595458e-06,8.763639e-06,8.953330e-06,9.023610e-06,9.259172e-06,9.268104e-06,9.471608e-06,9.542687e-06,9.662292e-06,9.780251e-06,9.832635e-06,9.984058e-06,1.011797e-05,1.015735e-05,1.023573e-05,1.030323e-05,1.033866e-05,1.042467e-05,1.042799e-05,1.050491e-05,1.052437e-05,1.057051e-05,1.060486e-05,1.062581e-05,1.066841e-05,1.067176e-05,1.070922e-05,1.071704e-05,1.073900e-05,1.075259e-05,1.076181e-05,1.077667e-05,1.077834e-05,1.078917e-05,1.079070e-05,1.079487e-05,1.079597e-05,1.079593e-05,1.079358e-05,1.079281e-05,1.078592e-05,1.078450e-05,1.077564e-05,1.076960e-05,1.076230e-05,1.074963e-05,1.074620e-05,1.072763e-05,1.072525e-05,1.070685e-05,1.069706e-05,1.068407e-05,1.066556e-05,1.065951e-05,1.063335e-05,1.063120e-05,1.060578e-05,1.059438e-05,1.057694e-05,1.055547e-05,1.054697e-05,1.051601e-05,1.051475e-05,1.048417e-05,1.047252e-05,1.045157e-05,1.042902e-05,1.041830e-05,1.038445e-05,1.035011e-05,1.033903e-05,1.031535e-05,1.029291e-05,1.028023e-05,1.024625e-05,1.024483e-05,1.020920e-05,1.019919e-05,1.017339e-05,1.015185e-05,1.013746e-05,1.010433e-05,1.010145e-05,1.006539e-05,1.005674e-05,1.002933e-05,1.000915e-05,9.993310e-06,9.961661e-06,9.957350e-06,9.921485e-06,9.914326e-06,9.885741e-06,9.867210e-06,9.850143e-06,9.820370e-06,9.814714e-06,9.779475e-06,9.773855e-06,9.744444e-06,9.727709e-06,9.709640e-06,9.681971e-06,9.675078e-06,9.640774e-06,9.636675e-06,9.606740e-06,9.591854e-06,9.572989e-06,9.547533e-06,9.539530e-06,9.506376e-06,9.503737e-06,9.473533e-06,9.460485e-06,9.441010e-06,9.417796e-06,9.408815e-06,9.376954e-06,9.375686e-06,9.345432e-06,9.334168e-06,9.314254e-06,9.293252e-06,9.283425e-06,9.252949e-06,9.213266e-06,9.174209e-06,9.135782e-06,9.097989e-06,9.060831e-06,9.024310e-06,8.988426e-06,8.953177e-06,8.918562e-06,8.884578e-06,8.851222e-06,8.818491e-06,8.786380e-06,8.754883e-06,8.723996e-06,8.693712e-06,8.664026e-06,8.634931e-06,8.606420e-06,8.578487e-06,8.551123e-06,8.524322e-06,8.498076e-06,8.472377e-06
0.000000e+00,3.040099e-09,7.436989e-09,2.744825e-08,6.450184e-08,9.523317e-08,2.208478e-07,2.276619e-07,4.474576e-07,5.281220e-07,7.808333e-07,1.047704e-06,1.257470e-06,1.845645e-06,1.903997e-06,2.729406e-06,2.952757e-06,3.717739e-06,4.331705e-06,4.840327e-06,5.917785e-06,6.070315e-06,7.386952e-06,7.659209e-06,8.774200e-06,9.518951e-06,1.021860e-05,1.146705e-05,1.170784e-05,1.323000e-05,1.347580e-05,1.477326e-05,1.551809e-05,1.632597e-05,1.756726e-05,1.787673e-05,1.941465e-05,1.959784e-05,2.092953e-05,2.158635e-05,2.241207e-05,2.351204e-05,2.385400e-05,2.524818e-05,2.535746e-05,2.658863e-05,2.710866e-05,2.787056e-05,2.875521e-05,2.909030e-05,3.024524e-05,3.029006e-05,3.133375e-05,3.170918e-05,3.235506e-05,3.301115e-05,3.330919e-05,3.419679e-05,3.501906e-05,3.526865e-05,3.577764e-05,3.623062e-05,3.647453e-05,3.708760e-05,3.711199e-05,3.769247e-05,3.784515e-05,3.821858e-05,3.850926e-05,3.869299e-05,3.908612e-05,3.911841e-05,3.949754e-05,3.958194e-05,3.983305e-05,4.000287e-05,4.012757e-05,4.035485e-05,4.038362e-05,4.060367e-05,4.064356e-05,4.079006e-05,4.087443e-05,4.094504e-05,4.105253e-05,4.107077e-05,4.116927e-05,4.118264e-05,4.124248e-05,4.126916e-05,4.129219e-05,4.131620e-05,4.132012e-05,4.132786e-05,4.132751e-05,4.131693e-05,4.130657e-05,4.128873e-05,4.125656e-05,4.124458e-05,4.118573e-05,4.118042e-05,4.111332e-05,4.108080e-05,4.102844e-05,4.096016e-05,4.093208e-05,4.082520e-05,4.082072e-05,4.070867e-05,4.066451e-05,4.058330e-05,4.049339e-05,4.044986e-05,4.030905e-05,4.016154e-05,4.011302e-05,4.000794e-05,3.990671e-05,3.984883e-05,3.969139e-05,3.968474e-05,3.951617e-05,3.946822e-05,3.934357e-05,3.923826e-05,3.916738e-05,3.900246e-05,3.898801e-05,3.880581e-05,3.876170e-05,3.862115e-05,3.851678e-05,3.843433e-05,3.826840e-05,3.824567e-05,3.805544e-05,3.801723e-05,3.786390e-05,3.776386e-05,3.767129e-05,3.750883e-05,3.747783e-05,3.728374e-05,3.725264e-05,3.708920e-05,3.699572e-05,3.689440e-05,3.673848e-05,3.669950e-05,3.650465e-05,3.648128e-05,3.631000e-05,3.622445e-05,3.611568e-05,3.596829e-05,3.592181e-05,3.572850e-05,3.571307e-05,3.553587e-05,3.545903e-05,3.534400e-05,3.520638e-05,3.515299e-05,3.496292e-05,3.495534e-05,3.477386e-05,3.470606e-05,3.458588e-05,3.445871e-05,3.439905e-05,3.421343e-05,3.397034e-05,3.372955e-05,3.349117e-05,3.325527e-05,3.302193e-05,3.279121e-05,3.256317e-05,3.233786e-05,3.211532e-05,3.189557e-05,3.167865e-05,3.146458e-05,3.125336e-05,3.104502e-05,3.083954e-05,3.063694e-05,3.043722e-05,3.024035e-05,3.004635e-05,2.985519e-05,2.966685e-05,2.948133e-05,2.929861e-05,2.911865e-05
0.000000e+00,7.216310e-10,2.112535e-09,1.032800e-08,2.931174e-08,4.713499e-08,1.307360e-07,1.356171e-07,3.048788e-07,3.712669e-07,5.890375e-07,8.304459e-07,1.025822e-06,1.589921e-06,1.646799e-06,2.463180e-06,2.687355e-06,3.464518e-06,4.097997e-06,4.628657e-06,5.767534e-06,5.930117e-06,7.343773e-06,7.637849e-06,8.845815e-06,9.654278e-06,1.041370e-05,1.176586e-05,1.202594e-05,1.366211e-05,1.392481e-05,1.530290e-05,1.608679e-05,1.693038e-05,1.821183e-05,1.852835e-05,2.008252e-05,2.026548e-05,2.158075e-05,2.221962e-05,2.301315e-05,2.405295e-05,2.437205e-05,2.565196e-05,2.575083e-05,2.684938e-05,2.730480e-05,2.796257e-05,2.871178e-05,2.899139e-05,2.993694e-05,2.997306e-05,3.080143e-05,3.109335e-05,3.158782e-05,3.207979e-05,3.229974e-05,3.294118e-05,3.351641e-05,3.368721e-05,3.402981e-05,3.432796e-05,3.448576e-05,3.487346e-05,3.488860e-05,3.524251e-05,3.533338e-05,3.555148e-05,3.571689e-05,3.581932e-05,3.603246e-05,3.604958e-05,3.624558e-05,3.628787e-05,3.641041e-05,3.649016e-05,3.654689e-05,3.664564e-05,3.665765e-05,3.674507e-05,3.675995e-05,3.681134e-05,3.683810e-05,3.685844e-05,3.688453e-05,3.688819e-05,3.690224e-05,3.690313e-05,3.690207e-05,3.689735e-05,3.688906e-05,3.687022e-05,3.686442e-05,3.682927e-05,3.682440e-05,3.678463e-05,3.676223e-05,3.673143e-05,3.668577e-05,3.667048e-05,3.660256e-05,3.659685e-05,3.652836e-05,3.649706e-05,3.644850e-05,3.638783e-05,3.636356e-05,3.627407e-05,3.627040e-05,3.618050e-05,3.614590e-05,3.608329e-05,3.601531e-05,3.598283e-05,3.587950e-05,3.577363e-05,3.573927e-05,3.566553e-05,3.559530e-05,3.555548e-05,3.544824e-05,3.544374e-05,3.533056e-05,3.529864e-05,3.521615e-05,3.514700e-05,3.510071e-05,3.499377e-05,3.498444e-05,3.486751e-05,3.483936e-05,3.475007e-05,3.468413e-05,3.463227e-05,3.452842e-05,3.451425e-05,3.439613e-05,3.437251e-05,3.427804e-05,3.421667e-05,3.416007e-05,3.406115e-05,3.404233e-05,3.392491e-05,3.390615e-05,3.380788e-05,3.375188e-05,3.369134e-05,3.359850e-05,3.357535e-05,3.345997e-05,3.344617e-05,3.334528e-05,3.329504e-05,3.323131e-05,3.314523e-05,3.311814e-05,3.300579e-05,3.299684e-05,3.289432e-05,3.284999e-05,3.278377e-05,3.270476e-05,3.267417e-05,3.256555e-05,3.256123e-05,3.245795e-05,3.241946e-05,3.235138e-05,3.227952e-05,3.224588e-05,3.214147e-05,3.200533e-05,3.187117e-05,3.173899e-05,3.160884e-05,3.148073e-05,3.135468e-05,3.123071e-05,3.110882e-05,3.098901e-05,3.087129e-05,3.075566e-05,3.064211e-05,3.053063e-05,3.042122e-05,3.031387e-05,3.020855e-05,3.010526e-05,3.000398e-05,2.990468e-05,2.980736e-05,2.971199e-05,2.961855e-05,2.952701e-05,2.943735e-05
0.000000e+00,6.522929e-09,1.514080e-08,5.288447e-08,1.212911e-07,1.775224e-07,4.051403e-07,4.174094e-07,8.095370e-07,9.518090e-07,1.392508e-06,1.850993e-06,2.207724e-06,3.200553e-06,3.299056e-06,4.708909e-06,5.098569e-06,6.468752e-06,7.611605e-06,8.587553e-06,1.073604e-05,1.104836e-05,1.381717e-05,1.440445e-05,1.685504e-05,1.852863e-05,2.012494e-05,2.302642e-05,2.359344e-05,2.723014e-05,2.782571e-05,3.100677e-05,3.286133e-05,3.489649e-05,3.807239e-05,3.887361e-05,4.291348e-05,4.340136e-05,4.699270e-05,4.879428e-05,5.108920e-05,5.420142e-05,5.518248e-05,5.925376e-05,5.957800e-05,6.328607e-05,6.488463e-05,6.726428e-05,7.008760e-05,7.117516e-05,7.500729e-05,7.515879e-05,7.875097e-05,8.007544e-05,8.239815e-05,8.481970e-05,8.594226e-05,8.937813e-05,9.270177e-05,9.374114e-05,9.591032e-05,9.790247e-05,9.900186e-05,1.018586e-04,1.019753e-04,1.048303e-04,1.056085e-04,1.075671e-04,1.091527e-04,1.101864e-04,1.124936e-04,1.126896e-04,1.150781e-04,1.156345e-04,1.173539e-04,1.185799e-04,1.195190e-04,1.213347e-04,1.215759e-04,1.235270e-04,1.239047e-04,1.253749e-04,1.262959e-04,1.271223e-04,1.285144e-04,1.287719e-04,1.303266e-04,1.305667e-04,1.317892e-04,1.324594e-04,1.331625e-04,1.341988e-04,1.344494e-04,1.356527e-04,1.357916e-04,1.367752e-04,1.372442e-04,1.378196e-04,1.385629e-04,1.387887e-04,1.396852e-04,1.397538e-04,1.405116e-04,1.408232e-04,1.412706e-04,1.417768e-04,1.419648e-04,1.425965e-04,1.426205e-04,1.431682e-04,1.433598e-04,1.436823e-04,1.440002e-04,1.441411e-04,1.445468e-04,1.449016e-04,1.450048e-04,1.452077e-04,1.453789e-04,1.454670e-04,1.456739e-04,1.456816e-04,1.458535e-04,1.458942e-04,1.459845e-04,1.460443e-04,1.460765e-04,1.461282e-04,1.461312e-04,1.461504e-04,1.461499e-04,1.461357e-04,1.461133e-04,1.460888e-04,1.460220e-04,1.460111e-04,1.459042e-04,1.458795e-04,1.457696e-04,1.456891e-04,1.456087e-04,1.454541e-04,1.454227e-04,1.452131e-04,1.451775e-04,1.449811e-04,1.448621e-04,1.447278e-04,1.445108e-04,1.444546e-04,1.441624e-04,1.441262e-04,1.438525e-04,1.437108e-04,1.435258e-04,1.432669e-04,1.431834e-04,1.428262e-04,1.427970e-04,1.424551e-04,1.423030e-04,1.420711e-04,1.417872e-04,1.416751e-04,1.412678e-04,1.412513e-04,1.408500e-04,1.406972e-04,1.404226e-04,1.401268e-04,1.399862e-04,1.395416e-04,1.389431e-04,1.383330e-04,1.377125e-04,1.370830e-04,1.364457e-04,1.358018e-04,1.351524e-04,1.344985e-04,1.338411e-04,1.331812e-04,1.325194e-04,1.318568e-04,1.311939e-04,1.305316e-04,1.298704e-04,1.292111e-04,1.285540e-04,1.278999e-04,1.272491e-04,1.266022e-04,1.259594e-04,1.253214e-04,1.246883e-04,1.240605e-04
0.000000e+00,5.384828e-10,1.580347e-09,7.761843e-09,2.209380e-08,3.555881e-08,9.850189e-08,1.021610e-07,2.277671e-07,2.763511e-07,4.332772e-07,6.036814e-07,7.397007e-07,1.128663e-06,1.167883e-06,1.738208e-06,1.898415e-06,2.469910e-06,2.956504e-06,3.379550e-06,4.336390e-06,4.478439e-06,5.769510e-06,6.050310e-06,7.245185e-06,8.079944e-06,8.887744e-06,1.037825e-05,1.067212e-05,1.256952e-05,1.288161e-05,1.455051e-05,1.552274e-05,1.658699e-05,1.823877e-05,1.865326e-05,2.072640e-05,2.097465e-05,2.278631e-05,2.368390e-05,2.481561e-05,2.632822e-05,2.679952e-05,2.872560e-05,2.887687e-05,3.058366e-05,3.130593e-05,3.236550e-05,3.359760e-05,3.406479e-05,3.567687e-05,3.573949e-05,3.719858e-05,3.772389e-05,3.862810e-05,3.954712e-05,3.996474e-05,4.120883e-05,4.236152e-05,4.271136e-05,4.342465e-05,4.405915e-05,4.440064e-05,4.525824e-05,4.529233e-05,4.610292e-05,4.631581e-05,4.683583e-05,4.723978e-05,4.749467e-05,4.803855e-05,4.808313e-05,4.860496e-05,4.872070e-05,4.906389e-05,4.929480e-05,4.946362e-05,4.976928e-05,4.980776e-05,5.009986e-05,5.015233e-05,5.034331e-05,5.045179e-05,5.054142e-05,5.067510e-05,5.069733e-05,5.081406e-05,5.082929e-05,5.089446e-05,5.092096e-05,5.094127e-05,5.095627e-05,5.095707e-05,5.094429e-05,5.094094e-05,5.090523e-05,5.088028e-05,5.084206e-05,5.077918e-05,5.075682e-05,5.065141e-05,5.064216e-05,5.052763e-05,5.047335e-05,5.038715e-05,5.027655e-05,5.023154e-05,5.006228e-05,5.005524e-05,4.988072e-05,4.981260e-05,4.968814e-05,4.955151e-05,4.948574e-05,4.927462e-05,4.905580e-05,4.898431e-05,4.883024e-05,4.868277e-05,4.859884e-05,4.837195e-05,4.836241e-05,4.812171e-05,4.805365e-05,4.787745e-05,4.772946e-05,4.763029e-05,4.740084e-05,4.738081e-05,4.712959e-05,4.706909e-05,4.687712e-05,4.673538e-05,4.662389e-05,4.640075e-05,4.637032e-05,4.611681e-05,4.606615e-05,4.586373e-05,4.573241e-05,4.561140e-05,4.540026e-05,4.536014e-05,4.511021e-05,4.507037e-05,4.486188e-05,4.474331e-05,4.461536e-05,4.441959e-05,4.437086e-05,4.412857e-05,4.409965e-05,4.388866e-05,4.378389e-05,4.365127e-05,4.347263e-05,4.341654e-05,4.318459e-05,4.316616e-05,4.295552e-05,4.286472e-05,4.272942e-05,4.256851e-05,4.250637e-05,4.228644e-05,4.227771e-05,4.206969e-05,4.199244e-05,4.185615e-05,4.171281e-05,4.164588e-05,4.143891e-05,4.117078e-05,4.090848e-05,4.065200e-05,4.040136e-05,4.015653e-05,3.991750e-05,3.968422e-05,3.945665e-05,3.923471e-05,3.901837e-05,3.880752e-05,3.860211e-05,3.840204e-05,3.820723e-05,3.801758e-05,3.783300e-05,3.765339e-05,3.747865e-05,3.730869e-05,3.714340e-05,3.698267e-05,3.682641e-05,3.667452e-05,3.652689e-05
0.000000e+00,3.388536e-09,7.751073e-09,2.666632e-08,6.086110e-08,8.906311e-08,2.047322e-07,2.110436e-07,4.170588e-07,4.938358e-07,7.380790e-07,1.001387e-06,1.211639e-06,1.813088e-06,1.873514e-06,2.737418e-06,2.973122e-06,3.783024e-06,4.433975e-06,4.972976e-06,6.112803e-06,6.273906e-06,7.661933e-06,7.948414e-06,9.120077e-06,9.901538e-06,1.063508e-05,1.194314e-05,1.219538e-05,1.379011e-05,1.404775e-05,1.540866e-05,1.619097e-05,1.704065e-05,1.834913e-05,1.867600e-05,2.030507e-05,2.049970e-05,2.191886e-05,2.262193e-05,2.350913e-05,2.469743e-05,2.506850e-05,2.659052e-05,2.671050e-05,2.806968e-05,2.864828e-05,2.950140e-05,3.050075e-05,3.088199e-05,3.220860e-05,3.226051e-05,3.347915e-05,3.392253e-05,3.469223e-05,3.548387e-05,3.584705e-05,3.694334e-05,3.798128e-05,3.830118e-05,3.896143e-05,3.955878e-05,3.988465e-05,4.071843e-05,4.075208e-05,4.156504e-05,4.178312e-05,4.232504e-05,4.275629e-05,4.303369e-05,4.364176e-05,4.369269e-05,4.430380e-05,4.444355e-05,4.486883e-05,4.516580e-05,4.538960e-05,4.581270e-05,4.586791e-05,4.630560e-05,4.638842e-05,4.670445e-05,4.689708e-05,4.706621e-05,4.734270e-05,4.739262e-05,4.768536e-05,4.772918e-05,4.794606e-05,4.806028e-05,4.817631e-05,4.833962e-05,4.837765e-05,4.855156e-05,4.857066e-05,4.869949e-05,4.875671e-05,4.882282e-05,4.890091e-05,4.892287e-05,4.900092e-05,4.900625e-05,4.905821e-05,4.907557e-05,4.909590e-05,4.911154e-05,4.911513e-05,4.911698e-05,4.911671e-05,4.910248e-05,4.909344e-05,4.907261e-05,4.904402e-05,4.902833e-05,4.897054e-05,4.890009e-05,4.887501e-05,4.881782e-05,4.875931e-05,4.872449e-05,4.862520e-05,4.862086e-05,4.850764e-05,4.847431e-05,4.838551e-05,4.830822e-05,4.825510e-05,4.812835e-05,4.811703e-05,4.797189e-05,4.793607e-05,4.782022e-05,4.773264e-05,4.766255e-05,4.751924e-05,4.749939e-05,4.733119e-05,4.729698e-05,4.715841e-05,4.706689e-05,4.698147e-05,4.682993e-05,4.680078e-05,4.661672e-05,4.658698e-05,4.642965e-05,4.633888e-05,4.623990e-05,4.608640e-05,4.604780e-05,4.585366e-05,4.583024e-05,4.565776e-05,4.557108e-05,4.546037e-05,4.530952e-05,4.526175e-05,4.506214e-05,4.504613e-05,4.486176e-05,4.478144e-05,4.466083e-05,4.451593e-05,4.445954e-05,4.425810e-05,4.425004e-05,4.405666e-05,4.398418e-05,4.385541e-05,4.371873e-05,4.365448e-05,4.345404e-05,4.319041e-05,4.292814e-05,4.266749e-05,4.240869e-05,4.215196e-05,4.189750e-05,4.164548e-05,4.139607e-05,4.114940e-05,4.090559e-05,4.066476e-05,4.042701e-05,4.019241e-05,3.996105e-05,3.973298e-05,3.950825e-05,3.928691e-05,3.906900e-05,3.885453e-05,3.864353e-05,3.843600e-05,3.823196e-05,3.803141e-05,3.783434e-05
0.000000e+00,3.492584e-10,1.030932e-09,5.133730e-09,1.484682e-08,2.414918e-08,6.930964e-08,7.200887e-08,1.688173e-07,2.081967e-07,3.414199e-07,4.941118e-07,6.200195e-07,9.894055e-07,1.026947e-06,1.569720e-06,1.719963e-06,2.244958e-06,2.677933e-06,3.044322e-06,3.842500e-06,3.957797e-06,4.974881e-06,5.189788e-06,6.084809e-06,6.694998e-06,7.276494e-06,8.332302e-06,8.538453e-06,9.858841e-06,1.007472e-05,1.122558e-05,1.189452e-05,1.262657e-05,1.376402e-05,1.404993e-05,1.548426e-05,1.565660e-05,1.691886e-05,1.754760e-05,1.834391e-05,1.941512e-05,1.975062e-05,2.113128e-05,2.124040e-05,2.247928e-05,2.300808e-05,2.378914e-05,2.470610e-05,2.505643e-05,2.627767e-05,2.632553e-05,2.745032e-05,2.786021e-05,2.857260e-05,2.930641e-05,2.964344e-05,3.066237e-05,3.162944e-05,3.192801e-05,3.254509e-05,3.310447e-05,3.341012e-05,3.419392e-05,3.422560e-05,3.499282e-05,3.519919e-05,3.571323e-05,3.612365e-05,3.638839e-05,3.697099e-05,3.701995e-05,3.760961e-05,3.774508e-05,3.815907e-05,3.844986e-05,3.867008e-05,3.908931e-05,3.914434e-05,3.958355e-05,3.966733e-05,3.998936e-05,4.018772e-05,4.036338e-05,4.065415e-05,4.070719e-05,4.102231e-05,4.107016e-05,4.131018e-05,4.143911e-05,4.157223e-05,4.176419e-05,4.180981e-05,4.202421e-05,4.204845e-05,4.221668e-05,4.229473e-05,4.238841e-05,4.250574e-05,4.254052e-05,4.267410e-05,4.268401e-05,4.279018e-05,4.283193e-05,4.288974e-05,4.295173e-05,4.297373e-05,4.304302e-05,4.304550e-05,4.309847e-05,4.311520e-05,4.314088e-05,4.316266e-05,4.317101e-05,4.318960e-05,4.319733e-05,4.319762e-05,4.319486e-05,4.318820e-05,4.318280e-05,4.316276e-05,4.316175e-05,4.313226e-05,4.312257e-05,4.309488e-05,4.306886e-05,4.305009e-05,4.300276e-05,4.299838e-05,4.294020e-05,4.292533e-05,4.287598e-05,4.283753e-05,4.280612e-05,4.274029e-05,4.273101e-05,4.265101e-05,4.263446e-05,4.256647e-05,4.252083e-05,4.247772e-05,4.240013e-05,4.238506e-05,4.228878e-05,4.227306e-05,4.218917e-05,4.214025e-05,4.208649e-05,4.200229e-05,4.198098e-05,4.187288e-05,4.185974e-05,4.176241e-05,4.171311e-05,4.164978e-05,4.156287e-05,4.153520e-05,4.141884e-05,4.140946e-05,4.130089e-05,4.125330e-05,4.118152e-05,4.109477e-05,4.106087e-05,4.093911e-05,4.093422e-05,4.081638e-05,4.077198e-05,4.069280e-05,4.060835e-05,4.056850e-05,4.044361e-05,4.027803e-05,4.011184e-05,3.994526e-05,3.977852e-05,3.961178e-05,3.944524e-05,3.927904e-05,3.911334e-05,3.894828e-05,3.878399e-05,3.862057e-05,3.845813e-05,3.829677e-05,3.813658e-05,3.797763e-05,3.782001e-05,3.766377e-05,3.750898e-05,3.735569e-05,3.720394e-05,3.705379e-05,3.690526e-05,3.675839e-05,3.661322e-05
0.000000e+00,1.459342e-10,4.271265e-10,2.084742e-09,5.895878e-09,9.452331e-09,2.589234e-08,2.684094e-08,5.906895e-08,7.139231e-08,1.107782e-07,1.529505e-07,1.862424e-07,2.799537e-07,2.892955e-07,4.232921e-07,4.603782e-07,5.909940e-07,7.003789e-07,7.942797e-07,1.003080e-06,1.033697e-06,1.308113e-06,1.366977e-06,1.614756e-06,1.785653e-06,1.949627e-06,2.249308e-06,2.308030e-06,2.685013e-06,2.746724e-06,3.075658e-06,3.266622e-06,3.475240e-06,3.798344e-06,3.879317e-06,4.283766e-06,4.332142e-06,4.684813e-06,4.859302e-06,5.079045e-06,5.372225e-06,5.463433e-06,5.835341e-06,5.864485e-06,6.192532e-06,6.330864e-06,6.533174e-06,6.767367e-06,6.855829e-06,7.159443e-06,7.171181e-06,7.443320e-06,7.540605e-06,7.707097e-06,7.874940e-06,7.950709e-06,8.174352e-06,8.378445e-06,8.439721e-06,8.563594e-06,8.672488e-06,8.730548e-06,8.874505e-06,8.880168e-06,9.013393e-06,9.047892e-06,9.131212e-06,9.194931e-06,9.234642e-06,9.317967e-06,9.324704e-06,9.402406e-06,9.419325e-06,9.468730e-06,9.501255e-06,9.524620e-06,9.565890e-06,9.570978e-06,9.608653e-06,9.615217e-06,9.638440e-06,9.651060e-06,9.661080e-06,9.675078e-06,9.677259e-06,9.687608e-06,9.688763e-06,9.692707e-06,9.693447e-06,9.693085e-06,9.690313e-06,9.689223e-06,9.681555e-06,9.680398e-06,9.670476e-06,9.664613e-06,9.656341e-06,9.643755e-06,9.639473e-06,9.620160e-06,9.618517e-06,9.598664e-06,9.589507e-06,9.575219e-06,9.557252e-06,9.550037e-06,9.523306e-06,9.522207e-06,9.495198e-06,9.484773e-06,9.465867e-06,9.445295e-06,9.435452e-06,9.404079e-06,9.371862e-06,9.361392e-06,9.338904e-06,9.317465e-06,9.305298e-06,9.272506e-06,9.271129e-06,9.236474e-06,9.226694e-06,9.201404e-06,9.180188e-06,9.165981e-06,9.133132e-06,9.130265e-06,9.094310e-06,9.085650e-06,9.058163e-06,9.037855e-06,9.021871e-06,8.989846e-06,8.985475e-06,8.949011e-06,8.941713e-06,8.912516e-06,8.893536e-06,8.876020e-06,8.845386e-06,8.839555e-06,8.803146e-06,8.797328e-06,8.766819e-06,8.749418e-06,8.730598e-06,8.701711e-06,8.694503e-06,8.658554e-06,8.654251e-06,8.622769e-06,8.607080e-06,8.587166e-06,8.560238e-06,8.551759e-06,8.516562e-06,8.513756e-06,8.481590e-06,8.467666e-06,8.446852e-06,8.421993e-06,8.412361e-06,8.378127e-06,8.376763e-06,8.344158e-06,8.331996e-06,8.310464e-06,8.287712e-06,8.277051e-06,8.243927e-06,8.200655e-06,8.157909e-06,8.115701e-06,8.074040e-06,8.032932e-06,7.992386e-06,7.952406e-06,7.912997e-06,7.874161e-06,7.835901e-06,7.798218e-06,7.761112e-06,7.724584e-06,7.688632e-06,7.653254e-06,7.618449e-06,7.584214e-06,7.550545e-06,7.517440e-06,7.484893e-06,7.452900e-06,7.421457e-06,7.390559e-06,7.360201e-06
0.000000e+00,8.067036e-10,2.387276e-09,1.192739e-08,3.448263e-08,5.597450e-08,1.585525e-07,1.645932e-07,3.753975e-07,4.583600e-07,7.303880e-07,1.031469e-06,1.275285e-06,1.986320e-06,2.058996e-06,3.132010e-06,3.438036e-06,4.542019e-06,5.493309e-06,6.325960e-06,8.219570e-06,8.501291e-06,1.106216e-05,1.161859e-05,1.398253e-05,1.563048e-05,1.722305e-05,2.015871e-05,2.073741e-05,2.447695e-05,2.509293e-05,2.839332e-05,3.032223e-05,3.243998e-05,3.574153e-05,3.657305e-05,4.075176e-05,4.125446e-05,4.493873e-05,4.677477e-05,4.910017e-05,5.222712e-05,5.320597e-05,5.722976e-05,5.754741e-05,6.114884e-05,6.268276e-05,6.494412e-05,6.759115e-05,6.859994e-05,7.210386e-05,7.224071e-05,7.544641e-05,7.660884e-05,7.862081e-05,8.068106e-05,8.162272e-05,8.444992e-05,8.710201e-05,8.791385e-05,8.958018e-05,9.107604e-05,9.188693e-05,9.394345e-05,9.402583e-05,9.600134e-05,9.652588e-05,9.781856e-05,9.883525e-05,9.948315e-05,1.008849e-04,1.010011e-04,1.023787e-04,1.026892e-04,1.036224e-04,1.042627e-04,1.047386e-04,1.056206e-04,1.057338e-04,1.066145e-04,1.067774e-04,1.073868e-04,1.077477e-04,1.080571e-04,1.085455e-04,1.086312e-04,1.091149e-04,1.091843e-04,1.095138e-04,1.096768e-04,1.098334e-04,1.100353e-04,1.100787e-04,1.102546e-04,1.102713e-04,1.103658e-04,1.103954e-04,1.104168e-04,1.104180e-04,1.104119e-04,1.103550e-04,1.103483e-04,1.102499e-04,1.101952e-04,1.101003e-04,1.099669e-04,1.099096e-04,1.096809e-04,1.096710e-04,1.094174e-04,1.093146e-04,1.091219e-04,1.089041e-04,1.087971e-04,1.084455e-04,1.080696e-04,1.079445e-04,1.076716e-04,1.074062e-04,1.072535e-04,1.068352e-04,1.068174e-04,1.063651e-04,1.062358e-04,1.058984e-04,1.056121e-04,1.054188e-04,1.049676e-04,1.049280e-04,1.044273e-04,1.043058e-04,1.039180e-04,1.036296e-04,1.034015e-04,1.029418e-04,1.028787e-04,1.023510e-04,1.022449e-04,1.018191e-04,1.015413e-04,1.012842e-04,1.008330e-04,1.007469e-04,1.002082e-04,1.001220e-04,9.966882e-05,9.940985e-05,9.912938e-05,9.869825e-05,9.859056e-05,9.805295e-05,9.798854e-05,9.751707e-05,9.728197e-05,9.698345e-05,9.657968e-05,9.645253e-05,9.592475e-05,9.588267e-05,9.540047e-05,9.519183e-05,9.488006e-05,9.450795e-05,9.436384e-05,9.385210e-05,9.383173e-05,9.334511e-05,9.316379e-05,9.284309e-05,9.250467e-05,9.234627e-05,9.185483e-05,9.121467e-05,9.058453e-05,8.996469e-05,8.935539e-05,8.875682e-05,8.816913e-05,8.759242e-05,8.702678e-05,8.647225e-05,8.592884e-05,8.539656e-05,8.487537e-05,8.436522e-05,8.386603e-05,8.337774e-05,8.290024e-05,8.243342e-05,8.197716e-05,8.153133e-05,8.109578e-05,8.067037e-05,8.025495e-05,7.984934e-05,7.945340e-05
0.000000e+00,5.461626e-09,1.357088e-08,5.134590e-08,1.236093e-07,1.854882e-07,4.550357e-07,4.703767e-07,9.999548e-07,1.209001e-06,1.900137e-06,2.663401e-06,3.268144e-06,4.912653e-06,5.069598e-06,7.164346e-06,7.695158e-06,9.421816e-06,1.072473e-05,1.175960e-05,1.384426e-05,1.412914e-05,1.649900e-05,1.697086e-05,1.884558e-05,2.004991e-05,2.114903e-05,2.303772e-05,2.339183e-05,2.555848e-05,2.589716e-05,2.763579e-05,2.859793e-05,2.961309e-05,3.111739e-05,3.148228e-05,3.323783e-05,3.344069e-05,3.487657e-05,3.556028e-05,3.639748e-05,3.747499e-05,3.780133e-05,3.909039e-05,3.918865e-05,4.026807e-05,4.070890e-05,4.133868e-05,4.204595e-05,4.230711e-05,4.317868e-05,4.321160e-05,4.395888e-05,4.421847e-05,4.465331e-05,4.507937e-05,4.526752e-05,4.580692e-05,4.627676e-05,4.641324e-05,4.668207e-05,4.690981e-05,4.702761e-05,4.730731e-05,4.731792e-05,4.755723e-05,4.761564e-05,4.774952e-05,4.784389e-05,4.789852e-05,4.800035e-05,4.800769e-05,4.808026e-05,4.809257e-05,4.811923e-05,4.812742e-05,4.812738e-05,4.811111e-05,4.810729e-05,4.806133e-05,4.804924e-05,4.799173e-05,4.794687e-05,4.790052e-05,4.780859e-05,4.778959e-05,4.766069e-05,4.763850e-05,4.751542e-05,4.744033e-05,4.735529e-05,4.721740e-05,4.718166e-05,4.699580e-05,4.697273e-05,4.679890e-05,4.670904e-05,4.659203e-05,4.642876e-05,4.637619e-05,4.615231e-05,4.613408e-05,4.592124e-05,4.582698e-05,4.568378e-05,4.550925e-05,4.544064e-05,4.519249e-05,4.518247e-05,4.493997e-05,4.484810e-05,4.468364e-05,4.450743e-05,4.442402e-05,4.416162e-05,4.389687e-05,4.381172e-05,4.363019e-05,4.345868e-05,4.336196e-05,4.310333e-05,4.309254e-05,4.282225e-05,4.274646e-05,4.255139e-05,4.238872e-05,4.228025e-05,4.203075e-05,4.200906e-05,4.173807e-05,4.167309e-05,4.146749e-05,4.131623e-05,4.119753e-05,4.096061e-05,4.092835e-05,4.066014e-05,4.060662e-05,4.039303e-05,4.025462e-05,4.012718e-05,3.990493e-05,3.986271e-05,3.959973e-05,3.955780e-05,3.933836e-05,3.921351e-05,3.907870e-05,3.887225e-05,3.882082e-05,3.856481e-05,3.853422e-05,3.831075e-05,3.819959e-05,3.805869e-05,3.786851e-05,3.780870e-05,3.756083e-05,3.754109e-05,3.731513e-05,3.721746e-05,3.707163e-05,3.689770e-05,3.683038e-05,3.659141e-05,3.658190e-05,3.635474e-05,3.627010e-05,3.612039e-05,3.596238e-05,3.588840e-05,3.565877e-05,3.535930e-05,3.506400e-05,3.477288e-05,3.448595e-05,3.420321e-05,3.392465e-05,3.365026e-05,3.338004e-05,3.311394e-05,3.285197e-05,3.259407e-05,3.234023e-05,3.209041e-05,3.184457e-05,3.160267e-05,3.136468e-05,3.113054e-05,3.090022e-05,3.067367e-05,3.045084e-05,3.023169e-05,3.001615e-05,2.980420e-05,2.959576e-05
0.000000e+00,4.215432e-09,9.635858e-09,3.302860e-08,7.489489e-08,1.090391e-07,2.457701e-07,2.530881e-07,4.848771e-07,5.681129e-07,8.235290e-07,1.085860e-06,1.287862e-06,1.841621e-06,1.895950e-06,2.663197e-06,2.872194e-06,3.598237e-06,4.194608e-06,4.698145e-06,5.790467e-06,5.947570e-06,7.323692e-06,7.611973e-06,8.802391e-06,9.604367e-06,1.036142e-05,1.171850e-05,1.198094e-05,1.364317e-05,1.391199e-05,1.533194e-05,1.614759e-05,1.703249e-05,1.839234e-05,1.873139e-05,2.041658e-05,2.061736e-05,2.207740e-05,2.279801e-05,2.370463e-05,2.491400e-05,2.529046e-05,2.682846e-05,2.694927e-05,2.831349e-05,2.889175e-05,2.974161e-05,3.073298e-05,3.110996e-05,3.241662e-05,3.246759e-05,3.366052e-05,3.409286e-05,3.484128e-05,3.560823e-05,3.595913e-05,3.701478e-05,3.800932e-05,3.831489e-05,3.894415e-05,3.951188e-05,3.982096e-05,4.060982e-05,4.064159e-05,4.140802e-05,4.161319e-05,4.212233e-05,4.252678e-05,4.278665e-05,4.335553e-05,4.340314e-05,4.397397e-05,4.410441e-05,4.450126e-05,4.477833e-05,4.498715e-05,4.538213e-05,4.543371e-05,4.584297e-05,4.592052e-05,4.621689e-05,4.639799e-05,4.655737e-05,4.681886e-05,4.686623e-05,4.714522e-05,4.718720e-05,4.739603e-05,4.750689e-05,4.762028e-05,4.778160e-05,4.781951e-05,4.799522e-05,4.801479e-05,4.814881e-05,4.820972e-05,4.828162e-05,4.836944e-05,4.839493e-05,4.848996e-05,4.849681e-05,4.856788e-05,4.859450e-05,4.862977e-05,4.866501e-05,4.867670e-05,4.870964e-05,4.871068e-05,4.872954e-05,4.873368e-05,4.873728e-05,4.873604e-05,4.873372e-05,4.871965e-05,4.869582e-05,4.868625e-05,4.866295e-05,4.863748e-05,4.862171e-05,4.857484e-05,4.857274e-05,4.851664e-05,4.849974e-05,4.845399e-05,4.841347e-05,4.838531e-05,4.831724e-05,4.831111e-05,4.823187e-05,4.821215e-05,4.814804e-05,4.809924e-05,4.806003e-05,4.797945e-05,4.796825e-05,4.787307e-05,4.785365e-05,4.777483e-05,4.772266e-05,4.767388e-05,4.758720e-05,4.757052e-05,4.746503e-05,4.744798e-05,4.735770e-05,4.730560e-05,4.724877e-05,4.716065e-05,4.713850e-05,4.702709e-05,4.701365e-05,4.691476e-05,4.686510e-05,4.680171e-05,4.671541e-05,4.668811e-05,4.657414e-05,4.656501e-05,4.645996e-05,4.641426e-05,4.634571e-05,4.626348e-05,4.623152e-05,4.611754e-05,4.611299e-05,4.600387e-05,4.596305e-05,4.589062e-05,4.581391e-05,4.577790e-05,4.566580e-05,4.551891e-05,4.537344e-05,4.522952e-05,4.508732e-05,4.494695e-05,4.480852e-05,4.467214e-05,4.453787e-05,4.440580e-05,4.427599e-05,4.414848e-05,4.402331e-05,4.390053e-05,4.378015e-05,4.366219e-05,4.354666e-05,4.343358e-05,4.332293e-05,4.321472e-05,4.310893e-05,4.300556e-05,4.290458e-05,4.280598e-05,4.270974e-05
0.000000e+00,5.115866e-10,1.430150e-09,6.411484e-09,1.696341e-08,2.632299e-08,6.704947e-08,6.932332e-08,1.440965e-07,1.718561e-07,2.588617e-07,3.501928e-07,4.214629e-07,6.197983e-07,6.394480e-07,9.200445e-07,9.974627e-07,1.269910e-06,1.498203e-06,1.694502e-06,2.132581e-06,2.197030e-06,2.777353e-06,2.902474e-06,3.431628e-06,3.798913e-06,4.153108e-06,4.805079e-06,4.933562e-06,5.764470e-06,5.901543e-06,6.637646e-06,7.069514e-06,7.545432e-06,8.291771e-06,8.480696e-06,9.436776e-06,9.552604e-06,1.040744e-05,1.083764e-05,1.138688e-05,1.213379e-05,1.236970e-05,1.335098e-05,1.342927e-05,1.432622e-05,1.471372e-05,1.529143e-05,1.597815e-05,1.624305e-05,1.717802e-05,1.721503e-05,1.809370e-05,1.841818e-05,1.898787e-05,1.958268e-05,1.985873e-05,2.070481e-05,2.152499e-05,2.178183e-05,2.231843e-05,2.281194e-05,2.308458e-05,2.379406e-05,2.382307e-05,2.453375e-05,2.472776e-05,2.521664e-05,2.561310e-05,2.587190e-05,2.645058e-05,2.649981e-05,2.710076e-05,2.724103e-05,2.767521e-05,2.798552e-05,2.822369e-05,2.868533e-05,2.874679e-05,2.924513e-05,2.934189e-05,2.971939e-05,2.995671e-05,3.017024e-05,3.053137e-05,3.059837e-05,3.100450e-05,3.106749e-05,3.138935e-05,3.156672e-05,3.175362e-05,3.203069e-05,3.209802e-05,3.242326e-05,3.246104e-05,3.273004e-05,3.285934e-05,3.301902e-05,3.322716e-05,3.329089e-05,3.354628e-05,3.356602e-05,3.378584e-05,3.387737e-05,3.401019e-05,3.416265e-05,3.421994e-05,3.441567e-05,3.442322e-05,3.459797e-05,3.466041e-05,3.476738e-05,3.487549e-05,3.492444e-05,3.506967e-05,3.520358e-05,3.524412e-05,3.532666e-05,3.539996e-05,3.543938e-05,3.553826e-05,3.554219e-05,3.563553e-05,3.566003e-05,3.571984e-05,3.576626e-05,3.579551e-05,3.585785e-05,3.586295e-05,3.592254e-05,3.593571e-05,3.597463e-05,3.600066e-05,3.601959e-05,3.605352e-05,3.605775e-05,3.608944e-05,3.609503e-05,3.611498e-05,3.612593e-05,3.613466e-05,3.614689e-05,3.614879e-05,3.615763e-05,3.615857e-05,3.616146e-05,3.616159e-05,3.616053e-05,3.615654e-05,3.615510e-05,3.614540e-05,3.614396e-05,3.613166e-05,3.612439e-05,3.611409e-05,3.609832e-05,3.609291e-05,3.606833e-05,3.606622e-05,3.604053e-05,3.602854e-05,3.600969e-05,3.598571e-05,3.597600e-05,3.593963e-05,3.593812e-05,3.590074e-05,3.588615e-05,3.585948e-05,3.583015e-05,3.581600e-05,3.577046e-05,3.570739e-05,3.564125e-05,3.557232e-05,3.550086e-05,3.542712e-05,3.535134e-05,3.527374e-05,3.519453e-05,3.511390e-05,3.503203e-05,3.494911e-05,3.486529e-05,3.478071e-05,3.469554e-05,3.460988e-05,3.452388e-05,3.443765e-05,3.435129e-05,3.426491e-05,3.417859e-05,3.409244e-05,3.400652e-05,3.392092e-05,3.383570e-05
0.000000e+00,1.091781e-08,3.220279e-08,1.601518e-07,4.628531e-07,7.528030e-07,2.162829e-06,2.247247e-06,5.285121e-06,6.526348e-06,1.074871e-05,1.563158e-05,1.968953e-05,3.170949e-05,3.293719e-05,5.071669e-05,5.563163e-05,7.272654e-05,8.670062e-05,9.842298e-05,1.236126e-04,1.272113e-04,1.585241e-04,1.650430e-04,1.918402e-04,2.097956e-04,2.266798e-04,2.567945e-04,2.625958e-04,2.991670e-04,3.050523e-04,3.359954e-04,3.536536e-04,3.727070e-04,4.017585e-04,4.089556e-04,4.444264e-04,4.486170e-04,4.788404e-04,4.935844e-04,5.119574e-04,5.361348e-04,5.435782e-04,5.735447e-04,5.758667e-04,6.017387e-04,6.125009e-04,6.280801e-04,6.458717e-04,6.525230e-04,6.750527e-04,6.759142e-04,6.956809e-04,7.026475e-04,7.144417e-04,7.261584e-04,7.313873e-04,7.465844e-04,7.601103e-04,7.640994e-04,7.720500e-04,7.789003e-04,7.824933e-04,7.911967e-04,7.915325e-04,7.992606e-04,8.012021e-04,8.057696e-04,8.091274e-04,8.111496e-04,8.151766e-04,8.154872e-04,8.188659e-04,8.195430e-04,8.213647e-04,8.224077e-04,8.230582e-04,8.239381e-04,8.240165e-04,8.243051e-04,8.242879e-04,8.239850e-04,8.235970e-04,8.231130e-04,8.219923e-04,8.217414e-04,8.199185e-04,8.195880e-04,8.176890e-04,8.164866e-04,8.150939e-04,8.127798e-04,8.121706e-04,8.089538e-04,8.085496e-04,8.054750e-04,8.038688e-04,8.017631e-04,7.988026e-04,7.978446e-04,7.937437e-04,7.934084e-04,7.894824e-04,7.877376e-04,7.850809e-04,7.818354e-04,7.805576e-04,7.759294e-04,7.757423e-04,7.712114e-04,7.694937e-04,7.664177e-04,7.631212e-04,7.615610e-04,7.566528e-04,7.517039e-04,7.501132e-04,7.467237e-04,7.435241e-04,7.417211e-04,7.369049e-04,7.367040e-04,7.316797e-04,7.302725e-04,7.266548e-04,7.236421e-04,7.216353e-04,7.170267e-04,7.166265e-04,7.116335e-04,7.104380e-04,7.066606e-04,7.038862e-04,7.017120e-04,6.973802e-04,6.967913e-04,6.919017e-04,6.909278e-04,6.870462e-04,6.845358e-04,6.822276e-04,6.782101e-04,6.774481e-04,6.727099e-04,6.719558e-04,6.680149e-04,6.657772e-04,6.633649e-04,6.596781e-04,6.587612e-04,6.542051e-04,6.536617e-04,6.496979e-04,6.477305e-04,6.452405e-04,6.418867e-04,6.408337e-04,6.364783e-04,6.361321e-04,6.321749e-04,6.304682e-04,6.279239e-04,6.248959e-04,6.237257e-04,6.195806e-04,6.194159e-04,6.154889e-04,6.140289e-04,6.114506e-04,6.087351e-04,6.074657e-04,6.035344e-04,5.984268e-04,5.934119e-04,5.884894e-04,5.836584e-04,5.789185e-04,5.742687e-04,5.697081e-04,5.652357e-04,5.608505e-04,5.565513e-04,5.523369e-04,5.482062e-04,5.441579e-04,5.401906e-04,5.363031e-04,5.324941e-04,5.287620e-04,5.251057e-04,5.215237e-04,5.180147e-04,5.145772e-04,5.112099e-04,5.079114e-04,5.046803e-04
0.000000e+00,3.701295e-10,1.055780e-09,4.903951e-09,1.331347e-08,2.090527e-08,5.455046e-08,5.644586e-08,1.192170e-07,1.426429e-07,2.162096e-07,2.934663e-07,3.536877e-07,5.207251e-07,5.372218e-07,7.716466e-07,8.359358e-07,1.060808e-06,1.247578e-06,1.406956e-06,1.758555e-06,1.809804e-06,2.265764e-06,2.362782e-06,2.768118e-06,3.044838e-06,3.308209e-06,3.784327e-06,3.876861e-06,4.465331e-06,4.560784e-06,5.065702e-06,5.356014e-06,5.670958e-06,6.154500e-06,6.274918e-06,6.872170e-06,6.943160e-06,7.458023e-06,7.711130e-06,8.028466e-06,8.449610e-06,8.580147e-06,9.110346e-06,9.151766e-06,9.616941e-06,9.812601e-06,1.009837e-05,1.042880e-05,1.055356e-05,1.098193e-05,1.099850e-05,1.138325e-05,1.152112e-05,1.175766e-05,1.199708e-05,1.210555e-05,1.242758e-05,1.272456e-05,1.281445e-05,1.299742e-05,1.315987e-05,1.324721e-05,1.346633e-05,1.347503e-05,1.368205e-05,1.373644e-05,1.386941e-05,1.397288e-05,1.403828e-05,1.417830e-05,1.418981e-05,1.432511e-05,1.435529e-05,1.444526e-05,1.450631e-05,1.455130e-05,1.463373e-05,1.464422e-05,1.472498e-05,1.473975e-05,1.479446e-05,1.482642e-05,1.485351e-05,1.489563e-05,1.490292e-05,1.494343e-05,1.494913e-05,1.497573e-05,1.498851e-05,1.500047e-05,1.501524e-05,1.501827e-05,1.502967e-05,1.503064e-05,1.503521e-05,1.503591e-05,1.503537e-05,1.503216e-05,1.503059e-05,1.502130e-05,1.502037e-05,1.500788e-05,1.500144e-05,1.499070e-05,1.497619e-05,1.497009e-05,1.494636e-05,1.494535e-05,1.491980e-05,1.490959e-05,1.489066e-05,1.486951e-05,1.485920e-05,1.482565e-05,1.479020e-05,1.477849e-05,1.475306e-05,1.472848e-05,1.471441e-05,1.467603e-05,1.467440e-05,1.463321e-05,1.462148e-05,1.459096e-05,1.456516e-05,1.454779e-05,1.450736e-05,1.450382e-05,1.445916e-05,1.444835e-05,1.441392e-05,1.438837e-05,1.436819e-05,1.432762e-05,1.432206e-05,1.427562e-05,1.426630e-05,1.422893e-05,1.420458e-05,1.418206e-05,1.414261e-05,1.413509e-05,1.408807e-05,1.408054e-05,1.404105e-05,1.401850e-05,1.399408e-05,1.395658e-05,1.394722e-05,1.390049e-05,1.389489e-05,1.385395e-05,1.383353e-05,1.380762e-05,1.377257e-05,1.376154e-05,1.371573e-05,1.371208e-05,1.367024e-05,1.365213e-05,1.362507e-05,1.359277e-05,1.358026e-05,1.353582e-05,1.353405e-05,1.349177e-05,1.347601e-05,1.344813e-05,1.341869e-05,1.340491e-05,1.336213e-05,1.330635e-05,1.325137e-05,1.319723e-05,1.314392e-05,1.309147e-05,1.303989e-05,1.298919e-05,1.293938e-05,1.289045e-05,1.284241e-05,1.279526e-05,1.274900e-05,1.270364e-05,1.265915e-05,1.261555e-05,1.257282e-05,1.253095e-05,1.248995e-05,1.244980e-05,1.241049e-05,1.237202e-05,1.233437e-05,1.229753e-05,1.226150e-05
0.000000e+00,2.018574e-10,5.945241e-10,2.940160e-09,8.416242e-09,1.358332e-08,3.785644e-08,3.927091e-08,8.790860e-08,1.067363e-07,1.675112e-07,2.333600e-07,2.857744e-07,4.348237e-07,4.497805e-07,6.657591e-07,7.259244e-07,9.388393e-07,1.118161e-06,1.272737e-06,1.618426e-06,1.669338e-06,2.128188e-06,2.227195e-06,2.646052e-06,2.936739e-06,3.216817e-06,3.730958e-06,3.831961e-06,4.481457e-06,4.587860e-06,5.154774e-06,5.483392e-06,5.841665e-06,6.394564e-06,6.532677e-06,7.219416e-06,7.301182e-06,7.894656e-06,8.186518e-06,8.552344e-06,9.037372e-06,9.187546e-06,9.796378e-06,9.843852e-06,1.037591e-05,1.059902e-05,1.092405e-05,1.129851e-05,1.143947e-05,1.192148e-05,1.194006e-05,1.236991e-05,1.252317e-05,1.278507e-05,1.304870e-05,1.316762e-05,1.351851e-05,1.383890e-05,1.393520e-05,1.413013e-05,1.430188e-05,1.439364e-05,1.462192e-05,1.463093e-05,1.484353e-05,1.489885e-05,1.503299e-05,1.513620e-05,1.520084e-05,1.533743e-05,1.534854e-05,1.547755e-05,1.550589e-05,1.558924e-05,1.564471e-05,1.568492e-05,1.575687e-05,1.576584e-05,1.583316e-05,1.584509e-05,1.588799e-05,1.591191e-05,1.593136e-05,1.595964e-05,1.596423e-05,1.598749e-05,1.599038e-05,1.600198e-05,1.600605e-05,1.600847e-05,1.600838e-05,1.600767e-05,1.600024e-05,1.599893e-05,1.598679e-05,1.597912e-05,1.596789e-05,1.595019e-05,1.594405e-05,1.591574e-05,1.591330e-05,1.588342e-05,1.586946e-05,1.584748e-05,1.581958e-05,1.580830e-05,1.576621e-05,1.576448e-05,1.572155e-05,1.570489e-05,1.567458e-05,1.564147e-05,1.562558e-05,1.557480e-05,1.552245e-05,1.550540e-05,1.546875e-05,1.543375e-05,1.541388e-05,1.536026e-05,1.535801e-05,1.530131e-05,1.528530e-05,1.524391e-05,1.520920e-05,1.518596e-05,1.513226e-05,1.512758e-05,1.506887e-05,1.505474e-05,1.500994e-05,1.497688e-05,1.495089e-05,1.489888e-05,1.489179e-05,1.483273e-05,1.482093e-05,1.477379e-05,1.474320e-05,1.471501e-05,1.466582e-05,1.465647e-05,1.459822e-05,1.458893e-05,1.454030e-05,1.451264e-05,1.448277e-05,1.443704e-05,1.442565e-05,1.436899e-05,1.436223e-05,1.431282e-05,1.428827e-05,1.425717e-05,1.421524e-05,1.420207e-05,1.414753e-05,1.414319e-05,1.409358e-05,1.407217e-05,1.404024e-05,1.400222e-05,1.398753e-05,1.393545e-05,1.393338e-05,1.388402e-05,1.386567e-05,1.383325e-05,1.379912e-05,1.378316e-05,1.373374e-05,1.366955e-05,1.360656e-05,1.354478e-05,1.348421e-05,1.342486e-05,1.336671e-05,1.330977e-05,1.325403e-05,1.319948e-05,1.314612e-05,1.309393e-05,1.304291e-05,1.299304e-05,1.294430e-05,1.289668e-05,1.285017e-05,1.280474e-05,1.276040e-05,1.271710e-05,1.267485e-05,1.263362e-05,1.259339e-05,1.255414e-05,1.251587e-05
0.000000e+00,1.051353e-09,2.963608e-09,1.343208e-08,3.568083e-08,5.538808e-08,1.406698e-07,1.454119e-07,3.006977e-07,3.581757e-07,5.383376e-07,7.280391e-07,8.767149e-07,1.293292e-06,1.334724e-06,1.925803e-06,2.087648e-06,2.647533e-06,3.100883e-06,3.476970e-06,4.268075e-06,4.378937e-06,5.318784e-06,5.508768e-06,6.269581e-06,6.761952e-06,7.213019e-06,7.991097e-06,8.137358e-06,9.034942e-06,9.175691e-06,9.900360e-06,1.030305e-05,1.072931e-05,1.136371e-05,1.151808e-05,1.226336e-05,1.234973e-05,1.296226e-05,1.325447e-05,1.361246e-05,1.407293e-05,1.421219e-05,1.476038e-05,1.480199e-05,1.525669e-05,1.544075e-05,1.570152e-05,1.599049e-05,1.609593e-05,1.644158e-05,1.645442e-05,1.674059e-05,1.683728e-05,1.699545e-05,1.714494e-05,1.720893e-05,1.738398e-05,1.752362e-05,1.756132e-05,1.763089e-05,1.768393e-05,1.770876e-05,1.775855e-05,1.776013e-05,1.778772e-05,1.779154e-05,1.779412e-05,1.778879e-05,1.778172e-05,1.775561e-05,1.775273e-05,1.770916e-05,1.769675e-05,1.765286e-05,1.761639e-05,1.758548e-05,1.751819e-05,1.750849e-05,1.742322e-05,1.740528e-05,1.733085e-05,1.728036e-05,1.723243e-05,1.714575e-05,1.712888e-05,1.702101e-05,1.700340e-05,1.690956e-05,1.685497e-05,1.679514e-05,1.670185e-05,1.667832e-05,1.655958e-05,1.654523e-05,1.643936e-05,1.638609e-05,1.631803e-05,1.622527e-05,1.619591e-05,1.607330e-05,1.606348e-05,1.595046e-05,1.590131e-05,1.582761e-05,1.573925e-05,1.570493e-05,1.558262e-05,1.557773e-05,1.546081e-05,1.541711e-05,1.533964e-05,1.525767e-05,1.521923e-05,1.509968e-05,1.498108e-05,1.494334e-05,1.486351e-05,1.478884e-05,1.474704e-05,1.463631e-05,1.463172e-05,1.451761e-05,1.448589e-05,1.440476e-05,1.433767e-05,1.429320e-05,1.419174e-05,1.418297e-05,1.407408e-05,1.404816e-05,1.396658e-05,1.390698e-05,1.386047e-05,1.376826e-05,1.375577e-05,1.365249e-05,1.363201e-05,1.355065e-05,1.349825e-05,1.345024e-05,1.336701e-05,1.335127e-05,1.325374e-05,1.323827e-05,1.315765e-05,1.311204e-05,1.306300e-05,1.298831e-05,1.296978e-05,1.287799e-05,1.286707e-05,1.278762e-05,1.274831e-05,1.269866e-05,1.263199e-05,1.261110e-05,1.252493e-05,1.251810e-05,1.244014e-05,1.240661e-05,1.235672e-05,1.229749e-05,1.227465e-05,1.219392e-05,1.219071e-05,1.211451e-05,1.208624e-05,1.203641e-05,1.198404e-05,1.195960e-05,1.188408e-05,1.178631e-05,1.169070e-05,1.159722e-05,1.150582e-05,1.141647e-05,1.132911e-05,1.124373e-05,1.116026e-05,1.107869e-05,1.099895e-05,1.092103e-05,1.084487e-05,1.077043e-05,1.069769e-05,1.062660e-05,1.055712e-05,1.048922e-05,1.042286e-05,1.035801e-05,1.029462e-05,1.023267e-05,1.017213e-05,1.011294e-05,1.005510e-05
0.000000e+00,3.266251e-09,7.455349e-09,2.549219e-08,5.771395e-08,8.397836e-08,1.892551e-07,1.948980e-07,3.742470e-07,4.389732e-07,6.387153e-07,8.456125e-07,1.006072e-06,1.450403e-06,1.494300e-06,2.118259e-06,2.289111e-06,2.883487e-06,3.370954e-06,3.780949e-06,4.663092e-06,4.789037e-06,5.881633e-06,6.108105e-06,7.034688e-06,7.651404e-06,8.228305e-06,9.250379e-06,9.446323e-06,1.067536e-05,1.087225e-05,1.190406e-05,1.249078e-05,1.312263e-05,1.408448e-05,1.432263e-05,1.549684e-05,1.563571e-05,1.663918e-05,1.713040e-05,1.774469e-05,1.855777e-05,1.880941e-05,1.983031e-05,1.991002e-05,2.080525e-05,2.118202e-05,2.173283e-05,2.237091e-05,2.261229e-05,2.344344e-05,2.347569e-05,2.422658e-05,2.449686e-05,2.496235e-05,2.543611e-05,2.565173e-05,2.629594e-05,2.689635e-05,2.707948e-05,2.745449e-05,2.779026e-05,2.797197e-05,2.843205e-05,2.845047e-05,2.889167e-05,2.900875e-05,2.929728e-05,2.952427e-05,2.966900e-05,2.998248e-05,3.000850e-05,3.031740e-05,3.038717e-05,3.059731e-05,3.074198e-05,3.084977e-05,3.105041e-05,3.107627e-05,3.127823e-05,3.131581e-05,3.145705e-05,3.154133e-05,3.161404e-05,3.172996e-05,3.175046e-05,3.186752e-05,3.188453e-05,3.196637e-05,3.200768e-05,3.204811e-05,3.210188e-05,3.211378e-05,3.216437e-05,3.216947e-05,3.220082e-05,3.221261e-05,3.222402e-05,3.223332e-05,3.223483e-05,3.223405e-05,3.223350e-05,3.222243e-05,3.221491e-05,3.220069e-05,3.217917e-05,3.216953e-05,3.212959e-05,3.212781e-05,3.208147e-05,3.206225e-05,3.202575e-05,3.198380e-05,3.196298e-05,3.189367e-05,3.181832e-05,3.179300e-05,3.173737e-05,3.168283e-05,3.165126e-05,3.156413e-05,3.156041e-05,3.146519e-05,3.143780e-05,3.136597e-05,3.130466e-05,3.126310e-05,3.116550e-05,3.115689e-05,3.104764e-05,3.102101e-05,3.093565e-05,3.087184e-05,3.082119e-05,3.071862e-05,3.070450e-05,3.058583e-05,3.056188e-05,3.046540e-05,3.040215e-05,3.034342e-05,3.023990e-05,3.022009e-05,3.009558e-05,3.007557e-05,2.997009e-05,2.990955e-05,2.984377e-05,2.974221e-05,2.971677e-05,2.958923e-05,2.957390e-05,2.946130e-05,2.940492e-05,2.933310e-05,2.923555e-05,2.920474e-05,2.907633e-05,2.906606e-05,2.894799e-05,2.889669e-05,2.881979e-05,2.872764e-05,2.869184e-05,2.856422e-05,2.855912e-05,2.843699e-05,2.839130e-05,2.831024e-05,2.822436e-05,2.818404e-05,2.805844e-05,2.789366e-05,2.773016e-05,2.756804e-05,2.740740e-05,2.724833e-05,2.709090e-05,2.693518e-05,2.678123e-05,2.662911e-05,2.647885e-05,2.633051e-05,2.618411e-05,2.603968e-05,2.589724e-05,2.575682e-05,2.561842e-05,2.548206e-05,2.534775e-05,2.521547e-05,2.508525e-05,2.495706e-05,2.483092e-05,2.470681e-05,2.458471e-05
0.000000e+00,1.123569e-07,3.362280e-07,1.718960e-06,5.073563e-06,8.328685e-06,2.426976e-05,2.522288e-05,5.909137e-05,7.265907e-05,1.177753e-04,1.685299e-04,2.100957e-04,3.330324e-04,3.457149e-04,5.349127e-04,5.894557e-04,7.880783e-04,9.614308e-04,1.114799e-03,1.469362e-03,1.522815e-03,2.017376e-03,2.126955e-03,2.601200e-03,2.940306e-03,3.274775e-03,3.908986e-03,4.036736e-03,4.884193e-03,5.027458e-03,5.812987e-03,6.286205e-03,6.817910e-03,7.672603e-03,7.892887e-03,9.031162e-03,9.171668e-03,1.022546e-02,1.076675e-02,1.146818e-02,1.244022e-02,1.275151e-02,1.406760e-02,1.417407e-02,1.540873e-02,1.595050e-02,1.676737e-02,1.775238e-02,1.813632e-02,1.950876e-02,1.956364e-02,2.087834e-02,2.136955e-02,2.223923e-02,2.315692e-02,2.358609e-02,2.491417e-02,2.621923e-02,2.663137e-02,2.749759e-02,2.830025e-02,2.874609e-02,2.991405e-02,2.996204e-02,3.114325e-02,3.146751e-02,3.228794e-02,3.295664e-02,3.339475e-02,3.437868e-02,3.446267e-02,3.549103e-02,3.573190e-02,3.647945e-02,3.701547e-02,3.742782e-02,3.822935e-02,3.833626e-02,3.920507e-02,3.937412e-02,4.003476e-02,4.045094e-02,4.082596e-02,4.146137e-02,4.157942e-02,4.229602e-02,4.240732e-02,4.297670e-02,4.329097e-02,4.362248e-02,4.411469e-02,4.423443e-02,4.481363e-02,4.488099e-02,4.536123e-02,4.559246e-02,4.587837e-02,4.625172e-02,4.636619e-02,4.682584e-02,4.686143e-02,4.725846e-02,4.742419e-02,4.766518e-02,4.794260e-02,4.804710e-02,4.840531e-02,4.841916e-02,4.874086e-02,4.885631e-02,4.905479e-02,4.925642e-02,4.934810e-02,4.962175e-02,4.987669e-02,4.995447e-02,5.011382e-02,5.025664e-02,5.033400e-02,5.053022e-02,5.053809e-02,5.072687e-02,5.077709e-02,5.090112e-02,5.099901e-02,5.106159e-02,5.119765e-02,5.120897e-02,5.134395e-02,5.137457e-02,5.146716e-02,5.153126e-02,5.157924e-02,5.166911e-02,5.168075e-02,5.177227e-02,5.178942e-02,5.185432e-02,5.189342e-02,5.192742e-02,5.198226e-02,5.199205e-02,5.204866e-02,5.205701e-02,5.209771e-02,5.211868e-02,5.213959e-02,5.216821e-02,5.217471e-02,5.220345e-02,5.220648e-02,5.222615e-02,5.223432e-02,5.224317e-02,5.225249e-02,5.225481e-02,5.226140e-02,5.226171e-02,5.226321e-02,5.226266e-02,5.226052e-02,5.225595e-02,5.225359e-02,5.224268e-02,5.224217e-02,5.222802e-02,5.222186e-02,5.220982e-02,5.219554e-02,5.218831e-02,5.216368e-02,5.212672e-02,5.208508e-02,5.203914e-02,5.198926e-02,5.193578e-02,5.187902e-02,5.181926e-02,5.175677e-02,5.169182e-02,5.162465e-02,5.155546e-02,5.148448e-02,5.141190e-02,5.133789e-02,5.126263e-02,5.118628e-02,5.110897e-02,5.103086e-02,5.095206e-02,5.087270e-02,5.079289e-02,5.071274e-02,5.063233e-02,5.055177e-02
0.000000e+00,1.176349e-09,3.477143e-09,1.732803e-08,4.996944e-08,8.099507e-08,2.285026e-07,2.371675e-07,5.385343e-07,6.567025e-07,1.042836e-06,1.468207e-06,1.811340e-06,2.806077e-06,2.907294e-06,4.393005e-06,4.814001e-06,6.323999e-06,7.615450e-06,8.739388e-06,1.127552e-05,1.165061e-05,1.503481e-05,1.576408e-05,1.883778e-05,2.095641e-05,2.298452e-05,2.667197e-05,2.739093e-05,3.197274e-05,3.271672e-05,3.665084e-05,3.890930e-05,4.135406e-05,4.509260e-05,4.602017e-05,5.059612e-05,5.113698e-05,5.503775e-05,5.694001e-05,5.930929e-05,6.242439e-05,6.338271e-05,6.723701e-05,6.753541e-05,7.085744e-05,7.223790e-05,7.423479e-05,7.651327e-05,7.736456e-05,8.024630e-05,8.035644e-05,8.288290e-05,8.377307e-05,8.527994e-05,8.677694e-05,8.744511e-05,8.938773e-05,9.111828e-05,9.162909e-05,9.264802e-05,9.352705e-05,9.398863e-05,9.510871e-05,9.515199e-05,9.614998e-05,9.640137e-05,9.699424e-05,9.743176e-05,9.769614e-05,9.822554e-05,9.826659e-05,9.871606e-05,9.880704e-05,9.905446e-05,9.919898e-05,9.929118e-05,9.942238e-05,9.943501e-05,9.949414e-05,9.949649e-05,9.947623e-05,9.943885e-05,9.938837e-05,9.926535e-05,9.923715e-05,9.902865e-05,9.899036e-05,9.876848e-05,9.862677e-05,9.846179e-05,9.818615e-05,9.811333e-05,9.772746e-05,9.767884e-05,9.730817e-05,9.711405e-05,9.685913e-05,9.650003e-05,9.638368e-05,9.588490e-05,9.584408e-05,9.536559e-05,9.515270e-05,9.482831e-05,9.443166e-05,9.427540e-05,9.370899e-05,9.368608e-05,9.313105e-05,9.292051e-05,9.254334e-05,9.213895e-05,9.194749e-05,9.134498e-05,9.073714e-05,9.054172e-05,9.012522e-05,8.973195e-05,8.951031e-05,8.891814e-05,8.889343e-05,8.827551e-05,8.810242e-05,8.765738e-05,8.728672e-05,8.703980e-05,8.647270e-05,8.642346e-05,8.580897e-05,8.566184e-05,8.519691e-05,8.485541e-05,8.458779e-05,8.405455e-05,8.398205e-05,8.338013e-05,8.326023e-05,8.278238e-05,8.247331e-05,8.218914e-05,8.169452e-05,8.160070e-05,8.101735e-05,8.092449e-05,8.043929e-05,8.016377e-05,7.986676e-05,7.941283e-05,7.929993e-05,7.873896e-05,7.867205e-05,7.818400e-05,7.794176e-05,7.763517e-05,7.722222e-05,7.709256e-05,7.655628e-05,7.651365e-05,7.602637e-05,7.581621e-05,7.550291e-05,7.513004e-05,7.498594e-05,7.447550e-05,7.445521e-05,7.397159e-05,7.379180e-05,7.347425e-05,7.313981e-05,7.298347e-05,7.249926e-05,7.187012e-05,7.125236e-05,7.064591e-05,7.005070e-05,6.946663e-05,6.889361e-05,6.833151e-05,6.778022e-05,6.723961e-05,6.670954e-05,6.618985e-05,6.568041e-05,6.518106e-05,6.469164e-05,6.421199e-05,6.374194e-05,6.328134e-05,6.283001e-05,6.238780e-05,6.195452e-05,6.153003e-05,6.111414e-05,6.070669e-05,6.030752e-05
0.000000e+00,4.019389e-10,1.173005e-09,5.695175e-09,1.604953e-08,2.569824e-08,7.037242e-08,7.295743e-08,1.614248e-07,1.956100e-07,3.062413e-07,4.269862e-07,5.239038e-07,8.035734e-07,8.319553e-07,1.247076e-06,1.364095e-06,1.780618e-06,2.131754e-06,2.432663e-06,3.093442e-06,3.188916e-06,4.023701e-06,4.197416e-06,4.906661e-06,5.375025e-06,5.808720e-06,6.563104e-06,6.705352e-06,7.577546e-06,7.713839e-06,8.411487e-06,8.795284e-06,9.197764e-06,9.788405e-06,9.930476e-06,1.060644e-05,1.068367e-05,1.122453e-05,1.147822e-05,1.178518e-05,1.217378e-05,1.228994e-05,1.274121e-05,1.277509e-05,1.314193e-05,1.328879e-05,1.349540e-05,1.372262e-05,1.380514e-05,1.407470e-05,1.408470e-05,1.430762e-05,1.438317e-05,1.450734e-05,1.462586e-05,1.467712e-05,1.482002e-05,1.493891e-05,1.497231e-05,1.503638e-05,1.508865e-05,1.511485e-05,1.517428e-05,1.517645e-05,1.522313e-05,1.523377e-05,1.525664e-05,1.527106e-05,1.527850e-05,1.528953e-05,1.529011e-05,1.529267e-05,1.529207e-05,1.528727e-05,1.528111e-05,1.527484e-05,1.525876e-05,1.525622e-05,1.523216e-05,1.522675e-05,1.520329e-05,1.518658e-05,1.517020e-05,1.513951e-05,1.513339e-05,1.509331e-05,1.508662e-05,1.505035e-05,1.502882e-05,1.500487e-05,1.496688e-05,1.495718e-05,1.490755e-05,1.490148e-05,1.485623e-05,1.483318e-05,1.480346e-05,1.476249e-05,1.474942e-05,1.469429e-05,1.468984e-05,1.463825e-05,1.461560e-05,1.458142e-05,1.454010e-05,1.452395e-05,1.446595e-05,1.446362e-05,1.440754e-05,1.438643e-05,1.434881e-05,1.430873e-05,1.428984e-05,1.423073e-05,1.417155e-05,1.415261e-05,1.411236e-05,1.407450e-05,1.405323e-05,1.399657e-05,1.399421e-05,1.393536e-05,1.391891e-05,1.387672e-05,1.384165e-05,1.381833e-05,1.376489e-05,1.376025e-05,1.370250e-05,1.368869e-05,1.364511e-05,1.361315e-05,1.358813e-05,1.353833e-05,1.353156e-05,1.347545e-05,1.346428e-05,1.341980e-05,1.339106e-05,1.336465e-05,1.331872e-05,1.331001e-05,1.325590e-05,1.324729e-05,1.320233e-05,1.317682e-05,1.314932e-05,1.310732e-05,1.309687e-05,1.304501e-05,1.303882e-05,1.299373e-05,1.297135e-05,1.294305e-05,1.290493e-05,1.289297e-05,1.284350e-05,1.283956e-05,1.279464e-05,1.277527e-05,1.274640e-05,1.271205e-05,1.269878e-05,1.265179e-05,1.264992e-05,1.260542e-05,1.258888e-05,1.255967e-05,1.252893e-05,1.251456e-05,1.247006e-05,1.241229e-05,1.235561e-05,1.230001e-05,1.224548e-05,1.219202e-05,1.213963e-05,1.208828e-05,1.203798e-05,1.198871e-05,1.194046e-05,1.189322e-05,1.184697e-05,1.180171e-05,1.175742e-05,1.171409e-05,1.167170e-05,1.163024e-05,1.158969e-05,1.155004e-05,1.151128e-05,1.147339e-05,1.143636e-05,1.140017e-05,1.136480e-05
0.000000e+00,1.482160e-09,4.132910e-09,1.846351e-08,4.878514e-08,7.569825e-08,1.931917e-07,1.997715e-07,4.172867e-07,4.985814e-07,7.551342e-07,1.027083e-06,1.241000e-06,1.843011e-06,1.903115e-06,2.767679e-06,3.007588e-06,3.852891e-06,4.559256e-06,5.163262e-06,6.496381e-06,6.690678e-06,8.420716e-06,8.789646e-06,1.033758e-05,1.140301e-05,1.242573e-05,1.430086e-05,1.466974e-05,1.705393e-05,1.744734e-05,1.956215e-05,2.080529e-05,2.217782e-05,2.433647e-05,2.488420e-05,2.766468e-05,2.800254e-05,3.050307e-05,3.176631e-05,3.338395e-05,3.559289e-05,3.629285e-05,3.921642e-05,3.945057e-05,4.214255e-05,4.331124e-05,4.506035e-05,4.715053e-05,4.796016e-05,5.083358e-05,5.094786e-05,5.367334e-05,5.468619e-05,5.647323e-05,5.835167e-05,5.922801e-05,6.193332e-05,6.458557e-05,6.542260e-05,6.718189e-05,6.881309e-05,6.971997e-05,7.210011e-05,7.219806e-05,7.461485e-05,7.528043e-05,7.696941e-05,7.835202e-05,7.926116e-05,8.131384e-05,8.148981e-05,8.365532e-05,8.416565e-05,8.575784e-05,8.690786e-05,8.779772e-05,8.954137e-05,8.977543e-05,9.169157e-05,9.206747e-05,9.354684e-05,9.448778e-05,9.534203e-05,9.680420e-05,9.707801e-05,9.875571e-05,9.901880e-05,1.003761e-04,1.011338e-04,1.019402e-04,1.031516e-04,1.034490e-04,1.049037e-04,1.050746e-04,1.063052e-04,1.069054e-04,1.076548e-04,1.086464e-04,1.089535e-04,1.102025e-04,1.103003e-04,1.114029e-04,1.118696e-04,1.125557e-04,1.133570e-04,1.136622e-04,1.147235e-04,1.147650e-04,1.157406e-04,1.160962e-04,1.167147e-04,1.173531e-04,1.176469e-04,1.185382e-04,1.193898e-04,1.196540e-04,1.202026e-04,1.207030e-04,1.209778e-04,1.216875e-04,1.217163e-04,1.224193e-04,1.226098e-04,1.230876e-04,1.234724e-04,1.237223e-04,1.242773e-04,1.243243e-04,1.248946e-04,1.250268e-04,1.254341e-04,1.257231e-04,1.259437e-04,1.263682e-04,1.264244e-04,1.268770e-04,1.269643e-04,1.273024e-04,1.275131e-04,1.277014e-04,1.280168e-04,1.280749e-04,1.284236e-04,1.284771e-04,1.287483e-04,1.288959e-04,1.290499e-04,1.292750e-04,1.293291e-04,1.295866e-04,1.296161e-04,1.298231e-04,1.299207e-04,1.300394e-04,1.301907e-04,1.302361e-04,1.304140e-04,1.304274e-04,1.305736e-04,1.306325e-04,1.307156e-04,1.308073e-04,1.308406e-04,1.309493e-04,1.309533e-04,1.310422e-04,1.310719e-04,1.311200e-04,1.311644e-04,1.311830e-04,1.312320e-04,1.312760e-04,1.312976e-04,1.312979e-04,1.312780e-04,1.312390e-04,1.311819e-04,1.311077e-04,1.310173e-04,1.309116e-04,1.307916e-04,1.306580e-04,1.305117e-04,1.303535e-04,1.301840e-04,1.300041e-04,1.298144e-04,1.296155e-04,1.294081e-04,1.291928e-04,1.289702e-04,1.287409e-04,1.285052e-04,1.282639e-04,1.280173e-04
0.000000e+00,3.149300e-10,9.311033e-10,4.640973e-09,1.337971e-08,2.167869e-08,6.103813e-08,6.334541e-08,1.432937e-07,1.744959e-07,2.759512e-07,3.869320e-07,4.759403e-07,7.318523e-07,7.577427e-07,1.135456e-06,1.241887e-06,1.622442e-06,1.947412e-06,2.230596e-06,2.873357e-06,2.969060e-06,3.842634e-06,4.033605e-06,4.850670e-06,5.426165e-06,5.987102e-06,7.033395e-06,7.241501e-06,8.600512e-06,8.826674e-06,1.004914e-05,1.077171e-05,1.157169e-05,1.283234e-05,1.315237e-05,1.477572e-05,1.497268e-05,1.642680e-05,1.715836e-05,1.809137e-05,1.935719e-05,1.975603e-05,2.140828e-05,2.153957e-05,2.303661e-05,2.367888e-05,2.463061e-05,2.575176e-05,2.618097e-05,2.767956e-05,2.773832e-05,2.911942e-05,2.962224e-05,3.049478e-05,3.139079e-05,3.180105e-05,3.303472e-05,3.419338e-05,3.454805e-05,3.527557e-05,3.592776e-05,3.628076e-05,3.717351e-05,3.720919e-05,3.806183e-05,3.828720e-05,3.884028e-05,3.927258e-05,3.954661e-05,4.013491e-05,4.018335e-05,4.075335e-05,4.088055e-05,4.125969e-05,4.151665e-05,4.170566e-05,4.205086e-05,4.209464e-05,4.243009e-05,4.249106e-05,4.271545e-05,4.284518e-05,4.295414e-05,4.312102e-05,4.314950e-05,4.330477e-05,4.332610e-05,4.342308e-05,4.346763e-05,4.350743e-05,4.355236e-05,4.356065e-05,4.358542e-05,4.358661e-05,4.358429e-05,4.357620e-05,4.355961e-05,4.352648e-05,4.351360e-05,4.344830e-05,4.344231e-05,4.336563e-05,4.332809e-05,4.326734e-05,4.318781e-05,4.315504e-05,4.303023e-05,4.302500e-05,4.289429e-05,4.284287e-05,4.274846e-05,4.264423e-05,4.259388e-05,4.243160e-05,4.226258e-05,4.220721e-05,4.208768e-05,4.197303e-05,4.190769e-05,4.173077e-05,4.172332e-05,4.153523e-05,4.148198e-05,4.134401e-05,4.122800e-05,4.115019e-05,4.096999e-05,4.095425e-05,4.075664e-05,4.070901e-05,4.055775e-05,4.044595e-05,4.035794e-05,4.018161e-05,4.015754e-05,3.995684e-05,3.991668e-05,3.975610e-05,3.965179e-05,3.955557e-05,3.938744e-05,3.935546e-05,3.915597e-05,3.912412e-05,3.895728e-05,3.886223e-05,3.875953e-05,3.860212e-05,3.856288e-05,3.836745e-05,3.834409e-05,3.817337e-05,3.808842e-05,3.798072e-05,3.783533e-05,3.778961e-05,3.760012e-05,3.758503e-05,3.741232e-05,3.733769e-05,3.722628e-05,3.709345e-05,3.704206e-05,3.685970e-05,3.685244e-05,3.667925e-05,3.661476e-05,3.650075e-05,3.638050e-05,3.632423e-05,3.614973e-05,3.592250e-05,3.569887e-05,3.547886e-05,3.526250e-05,3.504982e-05,3.484080e-05,3.463546e-05,3.443379e-05,3.423578e-05,3.404141e-05,3.385066e-05,3.366351e-05,3.347992e-05,3.329986e-05,3.312331e-05,3.295022e-05,3.278055e-05,3.261427e-05,3.245132e-05,3.229167e-05,3.213527e-05,3.198207e-05,3.183203e-05,3.168509e-05
0.000000e+00,7.459677e-10,2.145164e-09,1.013713e-08,2.798333e-08,4.437153e-08,1.190855e-07,1.233775e-07,2.695377e-07,3.258716e-07,5.083220e-07,7.081434e-07,8.691926e-07,1.337004e-06,1.384693e-06,2.084795e-06,2.282592e-06,2.986565e-06,3.579407e-06,4.087320e-06,5.205987e-06,5.368419e-06,6.804517e-06,7.108075e-06,8.370399e-06,9.228370e-06,1.004361e-05,1.151769e-05,1.180462e-05,1.363618e-05,1.393471e-05,1.552265e-05,1.644338e-05,1.744958e-05,1.901119e-05,1.940352e-05,2.137200e-05,2.160864e-05,2.334353e-05,2.420926e-05,2.530773e-05,2.678987e-05,2.725533e-05,2.917819e-05,2.933074e-05,3.106935e-05,3.181557e-05,3.292289e-05,3.423138e-05,3.473395e-05,3.649862e-05,3.656819e-05,3.821382e-05,3.881872e-05,3.987725e-05,4.097795e-05,4.148726e-05,4.304278e-05,4.454321e-05,4.501167e-05,4.598836e-05,4.688432e-05,4.737841e-05,4.866141e-05,4.871378e-05,4.999515e-05,5.034437e-05,5.122336e-05,5.193519e-05,5.239942e-05,5.343629e-05,5.352444e-05,5.459962e-05,5.485038e-05,5.562622e-05,5.618038e-05,5.660555e-05,5.742933e-05,5.753896e-05,5.842781e-05,5.860035e-05,5.927347e-05,5.969659e-05,6.007730e-05,6.072119e-05,6.084067e-05,6.156492e-05,6.167726e-05,6.225139e-05,6.256786e-05,6.290138e-05,6.339598e-05,6.351619e-05,6.409706e-05,6.416455e-05,6.464524e-05,6.487640e-05,6.516193e-05,6.553428e-05,6.564830e-05,6.610550e-05,6.614085e-05,6.653464e-05,6.669868e-05,6.693679e-05,6.721023e-05,6.731301e-05,6.766433e-05,6.767788e-05,6.799172e-05,6.810391e-05,6.829615e-05,6.849052e-05,6.857855e-05,6.883981e-05,6.908080e-05,6.915378e-05,6.930237e-05,6.943436e-05,6.950533e-05,6.968339e-05,6.969046e-05,6.985853e-05,6.990263e-05,7.001026e-05,7.009376e-05,7.014637e-05,7.025838e-05,7.026754e-05,7.037443e-05,7.039802e-05,7.046766e-05,7.051414e-05,7.054787e-05,7.060813e-05,7.061562e-05,7.067151e-05,7.068131e-05,7.071607e-05,7.073494e-05,7.074982e-05,7.077021e-05,7.077329e-05,7.078696e-05,7.078827e-05,7.079130e-05,7.079020e-05,7.078676e-05,7.077704e-05,7.077379e-05,7.075279e-05,7.074975e-05,7.072418e-05,7.070928e-05,7.068834e-05,7.065649e-05,7.064564e-05,7.059645e-05,7.059224e-05,7.054110e-05,7.051731e-05,7.047993e-05,7.043246e-05,7.041326e-05,7.034138e-05,7.033841e-05,7.026461e-05,7.023582e-05,7.018320e-05,7.012534e-05,7.009744e-05,7.000758e-05,6.988312e-05,6.975249e-05,6.961622e-05,6.947479e-05,6.932865e-05,6.917825e-05,6.902400e-05,6.886628e-05,6.870546e-05,6.854188e-05,6.837586e-05,6.820773e-05,6.803776e-05,6.786622e-05,6.769338e-05,6.751946e-05,6.734471e-05,6.716932e-05,6.699351e-05,6.681744e-05,6.664131e-05,6.646527e-05,6.628947e-05,6.611406e-05
0.000000e+00,4.579657e-09,1.368455e-08,6.974696e-08,2.052758e-07,3.364475e-07,9.763899e-07,1.014564e-06,2.367083e-06,2.907274e-06,4.698890e-06,6.707799e-06,8.348892e-06,1.318544e-05,1.368313e-05,2.108434e-05,2.321076e-05,3.093056e-05,3.764034e-05,4.355633e-05,5.716267e-05,5.920543e-05,7.800102e-05,8.213998e-05,9.994763e-05,1.125777e-04,1.249531e-04,1.482030e-04,1.528531e-04,1.834317e-04,1.885563e-04,2.164357e-04,2.330581e-04,2.515867e-04,2.810556e-04,2.885899e-04,3.271423e-04,3.318582e-04,3.669395e-04,3.847671e-04,4.076817e-04,4.390989e-04,4.490790e-04,4.908553e-04,4.942059e-04,5.327517e-04,5.494897e-04,5.745294e-04,6.044125e-04,6.159702e-04,6.568787e-04,6.585014e-04,6.970813e-04,7.113516e-04,7.364265e-04,7.626244e-04,7.747845e-04,8.120454e-04,8.481183e-04,8.593984e-04,8.829303e-04,9.045212e-04,9.164243e-04,9.472992e-04,9.485581e-04,9.793026e-04,9.876594e-04,1.008640e-03,1.025565e-03,1.036565e-03,1.061008e-03,1.063078e-03,1.088190e-03,1.094010e-03,1.111917e-03,1.124607e-03,1.134282e-03,1.152858e-03,1.155312e-03,1.175039e-03,1.178830e-03,1.193496e-03,1.202604e-03,1.210720e-03,1.224265e-03,1.226751e-03,1.241629e-03,1.243905e-03,1.255395e-03,1.261619e-03,1.268090e-03,1.277504e-03,1.279757e-03,1.290438e-03,1.291655e-03,1.300175e-03,1.304171e-03,1.309009e-03,1.315145e-03,1.316981e-03,1.324132e-03,1.324670e-03,1.330500e-03,1.332836e-03,1.336123e-03,1.339731e-03,1.341038e-03,1.345283e-03,1.345439e-03,1.348890e-03,1.350040e-03,1.351895e-03,1.353611e-03,1.354330e-03,1.356225e-03,1.357611e-03,1.357952e-03,1.358518e-03,1.358858e-03,1.358971e-03,1.359006e-03,1.359000e-03,1.358628e-03,1.358455e-03,1.357879e-03,1.357260e-03,1.356779e-03,1.355474e-03,1.355347e-03,1.353607e-03,1.353145e-03,1.351577e-03,1.350321e-03,1.349277e-03,1.347045e-03,1.346726e-03,1.343941e-03,1.343357e-03,1.340938e-03,1.339295e-03,1.337733e-03,1.334896e-03,1.334341e-03,1.330777e-03,1.330191e-03,1.327053e-03,1.325213e-03,1.323182e-03,1.319989e-03,1.319178e-03,1.315050e-03,1.314547e-03,1.310810e-03,1.308912e-03,1.306468e-03,1.303106e-03,1.302034e-03,1.297517e-03,1.297153e-03,1.292926e-03,1.291071e-03,1.288269e-03,1.284879e-03,1.283553e-03,1.278786e-03,1.278594e-03,1.273975e-03,1.272233e-03,1.269126e-03,1.265810e-03,1.264245e-03,1.259338e-03,1.252831e-03,1.246299e-03,1.239754e-03,1.233205e-03,1.226661e-03,1.220130e-03,1.213621e-03,1.207139e-03,1.200691e-03,1.194282e-03,1.187919e-03,1.181606e-03,1.175346e-03,1.169144e-03,1.163003e-03,1.156926e-03,1.150916e-03,1.144975e-03,1.139105e-03,1.133309e-03,1.127587e-03,1.121942e-03,1.116374e-03,1.110884e-03
0.000000e+00,2.711894e-09,6.313939e-09,2.206859e-08,5.051090e-08,7.380782e-08,1.675885e-07,1.726247e-07,3.328452e-07,3.906819e-07,5.690423e-07,7.534944e-07,8.963047e-07,1.290652e-06,1.329525e-06,1.880538e-06,2.030947e-06,2.552857e-06,2.979699e-06,3.338259e-06,4.109992e-06,4.220342e-06,5.181246e-06,5.381451e-06,6.205184e-06,6.758012e-06,7.278731e-06,8.210194e-06,8.390103e-06,9.528569e-06,9.712561e-06,1.068415e-05,1.124216e-05,1.184756e-05,1.277813e-05,1.301022e-05,1.416436e-05,1.430195e-05,1.530309e-05,1.579767e-05,1.642040e-05,1.725207e-05,1.751120e-05,1.857132e-05,1.865470e-05,1.959741e-05,1.999772e-05,2.058691e-05,2.127563e-05,2.153797e-05,2.244937e-05,2.248499e-05,2.332041e-05,2.362405e-05,2.415087e-05,2.469245e-05,2.494088e-05,2.569092e-05,2.640169e-05,2.662099e-05,2.707412e-05,2.748483e-05,2.770925e-05,2.828499e-05,2.830827e-05,2.887243e-05,2.902432e-05,2.940304e-05,2.970587e-05,2.990146e-05,3.033272e-05,3.036902e-05,3.080707e-05,3.090796e-05,3.121695e-05,3.143467e-05,3.159996e-05,3.191580e-05,3.195738e-05,3.229043e-05,3.235423e-05,3.260033e-05,3.275271e-05,3.288822e-05,3.311386e-05,3.315522e-05,3.340239e-05,3.344017e-05,3.363076e-05,3.373399e-05,3.384131e-05,3.399754e-05,3.403497e-05,3.421264e-05,3.423292e-05,3.437516e-05,3.444209e-05,3.452336e-05,3.462688e-05,3.465799e-05,3.477981e-05,3.478902e-05,3.488949e-05,3.493013e-05,3.498773e-05,3.505171e-05,3.507513e-05,3.515230e-05,3.515519e-05,3.521982e-05,3.524187e-05,3.527823e-05,3.531299e-05,3.532802e-05,3.536971e-05,3.540374e-05,3.541309e-05,3.543056e-05,3.544413e-05,3.545058e-05,3.546377e-05,3.546419e-05,3.547178e-05,3.547288e-05,3.547370e-05,3.547227e-05,3.547028e-05,3.546270e-05,3.546184e-05,3.544870e-05,3.544487e-05,3.543112e-05,3.541945e-05,3.540940e-05,3.538705e-05,3.538378e-05,3.535450e-05,3.534823e-05,3.532182e-05,3.530354e-05,3.528593e-05,3.525347e-05,3.524705e-05,3.520539e-05,3.519847e-05,3.516112e-05,3.513900e-05,3.511442e-05,3.507544e-05,3.506547e-05,3.501442e-05,3.500816e-05,3.496143e-05,3.493753e-05,3.490663e-05,3.486387e-05,3.485017e-05,3.479217e-05,3.478747e-05,3.473276e-05,3.470863e-05,3.467205e-05,3.462759e-05,3.461015e-05,3.454716e-05,3.454462e-05,3.448319e-05,3.445993e-05,3.441832e-05,3.437375e-05,3.435265e-05,3.428626e-05,3.419765e-05,3.410809e-05,3.401775e-05,3.392677e-05,3.383528e-05,3.374342e-05,3.365130e-05,3.355903e-05,3.346672e-05,3.337447e-05,3.328235e-05,3.319044e-05,3.309884e-05,3.300759e-05,3.291678e-05,3.282645e-05,3.273666e-05,3.264746e-05,3.255889e-05,3.247101e-05,3.238384e-05,3.229742e-05,3.221179e-05,3.212697e-05
0.000000e+00,1.183546e-08,3.534448e-08,1.799161e-07,5.289183e-07,8.663690e-07,2.510492e-06,2.608494e-06,6.077951e-06,7.462625e-06,1.205275e-05,1.719680e-05,2.139754e-05,3.377182e-05,3.504469e-05,5.396423e-05,5.939654e-05,7.910492e-05,9.621720e-05,1.112904e-04,1.458973e-04,1.510847e-04,1.986930e-04,2.091441e-04,2.539564e-04,2.855783e-04,3.164252e-04,3.739971e-04,3.854512e-04,4.602659e-04,4.727183e-04,5.400360e-04,5.798336e-04,6.239019e-04,6.933667e-04,7.110060e-04,8.005127e-04,8.113766e-04,8.916241e-04,9.320264e-04,9.835911e-04,1.053630e-03,1.075722e-03,1.167388e-03,1.174684e-03,1.258025e-03,1.293879e-03,1.347138e-03,1.410110e-03,1.434295e-03,1.519128e-03,1.522468e-03,1.601331e-03,1.630231e-03,1.680654e-03,1.732845e-03,1.756897e-03,1.829910e-03,1.899584e-03,1.921161e-03,1.965847e-03,2.006447e-03,2.028663e-03,2.085714e-03,2.088023e-03,2.143944e-03,2.158991e-03,2.196466e-03,2.226370e-03,2.245644e-03,2.287998e-03,2.291552e-03,2.334274e-03,2.344063e-03,2.373903e-03,2.394782e-03,2.410541e-03,2.440395e-03,2.444297e-03,2.475281e-03,2.481156e-03,2.503609e-03,2.517329e-03,2.529397e-03,2.549180e-03,2.552760e-03,2.573815e-03,2.576978e-03,2.592677e-03,2.600984e-03,2.609457e-03,2.621457e-03,2.624267e-03,2.637214e-03,2.638647e-03,2.648403e-03,2.652795e-03,2.657934e-03,2.664130e-03,2.665906e-03,2.672413e-03,2.672873e-03,2.677544e-03,2.679231e-03,2.681387e-03,2.683402e-03,2.684024e-03,2.685533e-03,2.685571e-03,2.685991e-03,2.685912e-03,2.685469e-03,2.684589e-03,2.684034e-03,2.681752e-03,2.678684e-03,2.677545e-03,2.674887e-03,2.672100e-03,2.670416e-03,2.665539e-03,2.665324e-03,2.659659e-03,2.657976e-03,2.653467e-03,2.649517e-03,2.646791e-03,2.640258e-03,2.639673e-03,2.632151e-03,2.630289e-03,2.624261e-03,2.619695e-03,2.616037e-03,2.608549e-03,2.607511e-03,2.598714e-03,2.596924e-03,2.589672e-03,2.584883e-03,2.580413e-03,2.572485e-03,2.570960e-03,2.561338e-03,2.559784e-03,2.551568e-03,2.546831e-03,2.541669e-03,2.533671e-03,2.531661e-03,2.521562e-03,2.520344e-03,2.511386e-03,2.506890e-03,2.501151e-03,2.493341e-03,2.490870e-03,2.480557e-03,2.479730e-03,2.470222e-03,2.466086e-03,2.459880e-03,2.452433e-03,2.449538e-03,2.439209e-03,2.438796e-03,2.428900e-03,2.425195e-03,2.418620e-03,2.411650e-03,2.408377e-03,2.398178e-03,2.384794e-03,2.371512e-03,2.358345e-03,2.345303e-03,2.332397e-03,2.319635e-03,2.307024e-03,2.294572e-03,2.282284e-03,2.270164e-03,2.258218e-03,2.246448e-03,2.234858e-03,2.223450e-03,2.212225e-03,2.201185e-03,2.190332e-03,2.179665e-03,2.169185e-03,2.158891e-03,2.148784e-03,2.138862e-03,2.129124e-03,2.119570e-03
0.000000e+00,1.088559e-08,3.261012e-08,1.672015e-07,4.953537e-07,8.153259e-07,2.398245e-06,2.493602e-06,5.924631e-06,7.319693e-06,1.203105e-05,1.744840e-05,2.196623e-05,3.569087e-05,3.713380e-05,5.913313e-05,6.561055e-05,8.955230e-05,1.107577e-04,1.296590e-04,1.735807e-04,1.802114e-04,2.414861e-04,2.550259e-04,3.134086e-04,3.549212e-04,3.956720e-04,4.724311e-04,4.878157e-04,5.892718e-04,6.063266e-04,6.993917e-04,7.551197e-04,8.174638e-04,9.171367e-04,9.427266e-04,1.074381e-03,1.090570e-03,1.211601e-03,1.273525e-03,1.353547e-03,1.464067e-03,1.499375e-03,1.648251e-03,1.660268e-03,1.799357e-03,1.860247e-03,1.951906e-03,2.062210e-03,2.105144e-03,2.258360e-03,2.264479e-03,2.410890e-03,2.465513e-03,2.562121e-03,2.663926e-03,2.711490e-03,2.858492e-03,3.002672e-03,3.048147e-03,3.143630e-03,3.231989e-03,3.281018e-03,3.409272e-03,3.414535e-03,3.543928e-03,3.579390e-03,3.668989e-03,3.741875e-03,3.789550e-03,3.896378e-03,3.905480e-03,4.016684e-03,4.042662e-03,4.123097e-03,4.180581e-03,4.224683e-03,4.310076e-03,4.321431e-03,4.413354e-03,4.431162e-03,4.500483e-03,4.543911e-03,4.582868e-03,4.648453e-03,4.660574e-03,4.733680e-03,4.744956e-03,4.802274e-03,4.833625e-03,4.866456e-03,4.914696e-03,4.926332e-03,4.982017e-03,4.988423e-03,5.033629e-03,5.055080e-03,5.081291e-03,5.114950e-03,5.125129e-03,5.165272e-03,5.168328e-03,5.201848e-03,5.215509e-03,5.234989e-03,5.256795e-03,5.264823e-03,5.291481e-03,5.292483e-03,5.315092e-03,5.322870e-03,5.335781e-03,5.348246e-03,5.353676e-03,5.368898e-03,5.381568e-03,5.385103e-03,5.391806e-03,5.397134e-03,5.399725e-03,5.405252e-03,5.405440e-03,5.409059e-03,5.409711e-03,5.410689e-03,5.410755e-03,5.410433e-03,5.408618e-03,5.408391e-03,5.404661e-03,5.403525e-03,5.399336e-03,5.395692e-03,5.392507e-03,5.385322e-03,5.384261e-03,5.374681e-03,5.372612e-03,5.363850e-03,5.357748e-03,5.351844e-03,5.340906e-03,5.338739e-03,5.324606e-03,5.322254e-03,5.309515e-03,5.301951e-03,5.293532e-03,5.280146e-03,5.276720e-03,5.259140e-03,5.256982e-03,5.240850e-03,5.232592e-03,5.221905e-03,5.207102e-03,5.202359e-03,5.182261e-03,5.180631e-03,5.161661e-03,5.153290e-03,5.140603e-03,5.125184e-03,5.119133e-03,5.097292e-03,5.096411e-03,5.075119e-03,5.067062e-03,5.052652e-03,5.037224e-03,5.029926e-03,5.006977e-03,4.976395e-03,4.945549e-03,4.914502e-03,4.883315e-03,4.852044e-03,4.820741e-03,4.789453e-03,4.758225e-03,4.727096e-03,4.696105e-03,4.665285e-03,4.634668e-03,4.604282e-03,4.574153e-03,4.544305e-03,4.514759e-03,4.485533e-03,4.456646e-03,4.428112e-03,4.399944e-03,4.372155e-03,4.344755e-03,4.317752e-03,4.291155e-03
0.000000e+00,2.044881e-08,6.105297e-08,3.108583e-07,9.152008e-07,1.501330e-06,4.380146e-06,4.552878e-06,1.074146e-05,1.324832e-05,2.169283e-05,3.137632e-05,3.943560e-05,6.382410e-05,6.637852e-05,1.050308e-04,1.162929e-04,1.574101e-04,1.931664e-04,2.245472e-04,2.958841e-04,3.064802e-04,4.025510e-04,4.233725e-04,5.116919e-04,5.731874e-04,6.326120e-04,7.422605e-04,7.639043e-04,9.041069e-04,9.272674e-04,1.051743e-03,1.124818e-03,1.205350e-03,1.331575e-03,1.363503e-03,1.524835e-03,1.544346e-03,1.688053e-03,1.760153e-03,1.851954e-03,1.976290e-03,2.015430e-03,2.177482e-03,2.190357e-03,2.337215e-03,2.400280e-03,2.493845e-03,2.604315e-03,2.646697e-03,2.795197e-03,2.801039e-03,2.938867e-03,2.989330e-03,3.077324e-03,3.168339e-03,3.210265e-03,3.337465e-03,3.458769e-03,3.496324e-03,3.574081e-03,3.644715e-03,3.683359e-03,3.782596e-03,3.786610e-03,3.883880e-03,3.910054e-03,3.975248e-03,4.027281e-03,4.060825e-03,4.134554e-03,4.140742e-03,4.215153e-03,4.232210e-03,4.284223e-03,4.320637e-03,4.348134e-03,4.400255e-03,4.407072e-03,4.461231e-03,4.471507e-03,4.510810e-03,4.534847e-03,4.556007e-03,4.590733e-03,4.597023e-03,4.634054e-03,4.639622e-03,4.667296e-03,4.681964e-03,4.696942e-03,4.718196e-03,4.723179e-03,4.746190e-03,4.748743e-03,4.766152e-03,4.774014e-03,4.783236e-03,4.794397e-03,4.797608e-03,4.809427e-03,4.810266e-03,4.818845e-03,4.821973e-03,4.826008e-03,4.829849e-03,4.831058e-03,4.834127e-03,4.834210e-03,4.835342e-03,4.835349e-03,4.834825e-03,4.833543e-03,4.832691e-03,4.829050e-03,4.824005e-03,4.822111e-03,4.817655e-03,4.812949e-03,4.810093e-03,4.801775e-03,4.801407e-03,4.791680e-03,4.788781e-03,4.780992e-03,4.774148e-03,4.769416e-03,4.758042e-03,4.757022e-03,4.743877e-03,4.740617e-03,4.730042e-03,4.722016e-03,4.715577e-03,4.702370e-03,4.700537e-03,4.684973e-03,4.681801e-03,4.668934e-03,4.660421e-03,4.652466e-03,4.638333e-03,4.635613e-03,4.618414e-03,4.615633e-03,4.600908e-03,4.592406e-03,4.583129e-03,4.568734e-03,4.565113e-03,4.546889e-03,4.544690e-03,4.528487e-03,4.520341e-03,4.509935e-03,4.495750e-03,4.491258e-03,4.472480e-03,4.470974e-03,4.453624e-03,4.446064e-03,4.434710e-03,4.421067e-03,4.415758e-03,4.396786e-03,4.396027e-03,4.377812e-03,4.370983e-03,4.358851e-03,4.345972e-03,4.339917e-03,4.321025e-03,4.296173e-03,4.271443e-03,4.246857e-03,4.222440e-03,4.198210e-03,4.174184e-03,4.150380e-03,4.126810e-03,4.103489e-03,4.080426e-03,4.057631e-03,4.035113e-03,4.012880e-03,3.990937e-03,3.969291e-03,3.947945e-03,3.926903e-03,3.906168e-03,3.885742e-03,3.865628e-03,3.845825e-03,3.826335e-03,3.807157e-03,3.788291e-03
0.000000e+00,1.973767e-10,5.757873e-10,2.791100e-09,7.843823e-09,1.253126e-08,3.400982e-08,3.524225e-08,7.681349e-08,9.258636e-08,1.426496e-07,1.957690e-07,2.374033e-07,3.533970e-07,3.648728e-07,5.279797e-07,5.726739e-07,7.287647e-07,8.581189e-07,9.683435e-07,1.211343e-06,1.246781e-06,1.562900e-06,1.630444e-06,1.914138e-06,2.109414e-06,2.296601e-06,2.638413e-06,2.705356e-06,3.134848e-06,3.205105e-06,3.579295e-06,3.796258e-06,4.032993e-06,4.398952e-06,4.490515e-06,4.946830e-06,5.001285e-06,5.397378e-06,5.592729e-06,5.838107e-06,6.164306e-06,6.265494e-06,6.676558e-06,6.708661e-06,7.068857e-06,7.220076e-06,7.440474e-06,7.694420e-06,7.789996e-06,8.116481e-06,8.129053e-06,8.419419e-06,8.522678e-06,8.698687e-06,8.875164e-06,8.954495e-06,9.187343e-06,9.397960e-06,9.460809e-06,9.587264e-06,9.697716e-06,9.756309e-06,9.900599e-06,9.906245e-06,1.003828e-05,1.007221e-05,1.015366e-05,1.021541e-05,1.025362e-05,1.033301e-05,1.033938e-05,1.041211e-05,1.042776e-05,1.047295e-05,1.050223e-05,1.052298e-05,1.055885e-05,1.056319e-05,1.059453e-05,1.059981e-05,1.061786e-05,1.062710e-05,1.063399e-05,1.064250e-05,1.064363e-05,1.064747e-05,1.064759e-05,1.064610e-05,1.064376e-05,1.064008e-05,1.063223e-05,1.062989e-05,1.061598e-05,1.061408e-05,1.059875e-05,1.059022e-05,1.057857e-05,1.056146e-05,1.055576e-05,1.053060e-05,1.052849e-05,1.050336e-05,1.049193e-05,1.047426e-05,1.045229e-05,1.044353e-05,1.041134e-05,1.041002e-05,1.037786e-05,1.036552e-05,1.034324e-05,1.031912e-05,1.030762e-05,1.027113e-05,1.023388e-05,1.022181e-05,1.019596e-05,1.017138e-05,1.015746e-05,1.012005e-05,1.011848e-05,1.007908e-05,1.006799e-05,1.003934e-05,1.001536e-05,9.999320e-06,9.962300e-06,9.959073e-06,9.918655e-06,9.908934e-06,9.878113e-06,9.855372e-06,9.837492e-06,9.801713e-06,9.796833e-06,9.756174e-06,9.748045e-06,9.715547e-06,9.694446e-06,9.674987e-06,9.640987e-06,9.634520e-06,9.594175e-06,9.587733e-06,9.553976e-06,9.534739e-06,9.513946e-06,9.482058e-06,9.474106e-06,9.434475e-06,9.429734e-06,9.395071e-06,9.377809e-06,9.355910e-06,9.326319e-06,9.317007e-06,9.278376e-06,9.275297e-06,9.240029e-06,9.224772e-06,9.201978e-06,9.174770e-06,9.164233e-06,9.126804e-06,9.125313e-06,9.089699e-06,9.076422e-06,9.052926e-06,9.028114e-06,9.016493e-06,8.980404e-06,8.933306e-06,8.886831e-06,8.840988e-06,8.795784e-06,8.751228e-06,8.707322e-06,8.664071e-06,8.621478e-06,8.579543e-06,8.538268e-06,8.497652e-06,8.457694e-06,8.418392e-06,8.379743e-06,8.341744e-06,8.304391e-06,8.267680e-06,8.231606e-06,8.196164e-06,8.161348e-06,8.127152e-06,8.093571e-06,8.060596e-06,8.028222e-06
0.000000e+00,3.474599e-09,7.860730e-09,2.638218e-08,5.872296e-08,8.465856e-08,1.863526e-07,1.917287e-07,3.600366e-07,4.198511e-07,6.023155e-07,7.887364e-07,9.318480e-07,1.321911e-06,1.359931e-06,1.889099e-06,2.030094e-06,2.507259e-06,2.883999e-06,3.191809e-06,3.830541e-06,3.919471e-06,4.671592e-06,4.823660e-06,5.434264e-06,5.831403e-06,6.196858e-06,6.831023e-06,6.950744e-06,7.688547e-06,7.804661e-06,8.403834e-06,8.737494e-06,9.090988e-06,9.617213e-06,9.745227e-06,1.036265e-05,1.043411e-05,1.094026e-05,1.118123e-05,1.147598e-05,1.185433e-05,1.196860e-05,1.241770e-05,1.245176e-05,1.282363e-05,1.297411e-05,1.318734e-05,1.342387e-05,1.351029e-05,1.379432e-05,1.380490e-05,1.404158e-05,1.412204e-05,1.425440e-05,1.438069e-05,1.443522e-05,1.458656e-05,1.471092e-05,1.474539e-05,1.481059e-05,1.486249e-05,1.488789e-05,1.494310e-05,1.494502e-05,1.498402e-05,1.499195e-05,1.500679e-05,1.501341e-05,1.501511e-05,1.501137e-05,1.501057e-05,1.499464e-05,1.498927e-05,1.496866e-05,1.495017e-05,1.493382e-05,1.489670e-05,1.489121e-05,1.484181e-05,1.483119e-05,1.478647e-05,1.475560e-05,1.472597e-05,1.467167e-05,1.466101e-05,1.459219e-05,1.458086e-05,1.452008e-05,1.448444e-05,1.444515e-05,1.438348e-05,1.436785e-05,1.428855e-05,1.427892e-05,1.420761e-05,1.417155e-05,1.412533e-05,1.406206e-05,1.404197e-05,1.395778e-05,1.395102e-05,1.387298e-05,1.383894e-05,1.378776e-05,1.372624e-05,1.370229e-05,1.361671e-05,1.361329e-05,1.353117e-05,1.350040e-05,1.344578e-05,1.338786e-05,1.336065e-05,1.327588e-05,1.319156e-05,1.316468e-05,1.310775e-05,1.305442e-05,1.302453e-05,1.294524e-05,1.294195e-05,1.286007e-05,1.283727e-05,1.277893e-05,1.273062e-05,1.269858e-05,1.262538e-05,1.261905e-05,1.254037e-05,1.252162e-05,1.246257e-05,1.241940e-05,1.238568e-05,1.231878e-05,1.230971e-05,1.223469e-05,1.221980e-05,1.216062e-05,1.212248e-05,1.208752e-05,1.202686e-05,1.201539e-05,1.194425e-05,1.193296e-05,1.187410e-05,1.184078e-05,1.180495e-05,1.175034e-05,1.173679e-05,1.166963e-05,1.166164e-05,1.160347e-05,1.157467e-05,1.153830e-05,1.148944e-05,1.147413e-05,1.141094e-05,1.140593e-05,1.134874e-05,1.132413e-05,1.128751e-05,1.124403e-05,1.122726e-05,1.116797e-05,1.116562e-05,1.110964e-05,1.108887e-05,1.105226e-05,1.101377e-05,1.099581e-05,1.094030e-05,1.086844e-05,1.079815e-05,1.072943e-05,1.066224e-05,1.059656e-05,1.053236e-05,1.046962e-05,1.040832e-05,1.034841e-05,1.028989e-05,1.023272e-05,1.017687e-05,1.012232e-05,1.006904e-05,1.001701e-05,9.966189e-06,9.916566e-06,9.868109e-06,9.820792e-06,9.774591e-06,9.729481e-06,9.685437e-06,9.642435e-06,9.600450e-06
0.000000e+00,1.738083e-09,4.753115e-09,2.054408e-08,5.303452e-08,8.142770e-08,2.033900e-07,2.101650e-07,4.326393e-07,5.153556e-07,7.757923e-07,1.051563e-06,1.268606e-06,1.881103e-06,1.942439e-06,2.829645e-06,3.077690e-06,3.958852e-06,4.703831e-06,5.346593e-06,6.779939e-06,6.990103e-06,8.868608e-06,9.269927e-06,1.095221e-05,1.210650e-05,1.321041e-05,1.522209e-05,1.561584e-05,1.814465e-05,1.855926e-05,2.077565e-05,2.206908e-05,2.348943e-05,2.570778e-05,2.626777e-05,2.909346e-05,2.943494e-05,3.195019e-05,3.321301e-05,3.482265e-05,3.700743e-05,3.769659e-05,4.055896e-05,4.078709e-05,4.339794e-05,4.452458e-05,4.620301e-05,4.819642e-05,4.896492e-05,5.167567e-05,5.178294e-05,5.432847e-05,5.526816e-05,5.691763e-05,5.863949e-05,5.943849e-05,6.188736e-05,6.426135e-05,6.500484e-05,6.655832e-05,6.798724e-05,6.877676e-05,7.083170e-05,7.091572e-05,7.297476e-05,7.353696e-05,7.495386e-05,7.610307e-05,7.685334e-05,7.853106e-05,7.867381e-05,8.041613e-05,8.082278e-05,8.208140e-05,8.298074e-05,8.367084e-05,8.500793e-05,8.518585e-05,8.662792e-05,8.690772e-05,8.799862e-05,8.868374e-05,8.929963e-05,9.033985e-05,9.053264e-05,9.169940e-05,9.188005e-05,9.280169e-05,9.330840e-05,9.384126e-05,9.462896e-05,9.481990e-05,9.573937e-05,9.584581e-05,9.660144e-05,9.696303e-05,9.740788e-05,9.798465e-05,9.816044e-05,9.886084e-05,9.891467e-05,9.951077e-05,9.975699e-05,1.001119e-04,1.005154e-04,1.006659e-04,1.011743e-04,1.011938e-04,1.016389e-04,1.017956e-04,1.020610e-04,1.023246e-04,1.024422e-04,1.027841e-04,1.030880e-04,1.031775e-04,1.033555e-04,1.035081e-04,1.035878e-04,1.037791e-04,1.037864e-04,1.039525e-04,1.039934e-04,1.040874e-04,1.041540e-04,1.041925e-04,1.042637e-04,1.042688e-04,1.043176e-04,1.043253e-04,1.043400e-04,1.043415e-04,1.043372e-04,1.043147e-04,1.043102e-04,1.042601e-04,1.042474e-04,1.041879e-04,1.041420e-04,1.040946e-04,1.040006e-04,1.039811e-04,1.038484e-04,1.038255e-04,1.036974e-04,1.036187e-04,1.035289e-04,1.033822e-04,1.033439e-04,1.031430e-04,1.031179e-04,1.029271e-04,1.028276e-04,1.026970e-04,1.025131e-04,1.024534e-04,1.021970e-04,1.021760e-04,1.019285e-04,1.018179e-04,1.016486e-04,1.014403e-04,1.013579e-04,1.010570e-04,1.010447e-04,1.007465e-04,1.006325e-04,1.004270e-04,1.002049e-04,1.000991e-04,9.976321e-05,9.930865e-05,9.884233e-05,9.836532e-05,9.787867e-05,9.738332e-05,9.688022e-05,9.637023e-05,9.585418e-05,9.533286e-05,9.480701e-05,9.427734e-05,9.374450e-05,9.320914e-05,9.267182e-05,9.213313e-05,9.159357e-05,9.105365e-05,9.051383e-05,8.997454e-05,8.943619e-05,8.889917e-05,8.836384e-05,8.783052e-05,8.729954e-05
0.000000e+00,2.169425e-09,6.356714e-09,3.115606e-08,8.867756e-08,1.428447e-07,3.980244e-07,4.129606e-07,9.322407e-07,1.136389e-06,1.807502e-06,2.555068e-06,3.164553e-06,4.960326e-06,5.145086e-06,7.884306e-06,8.665824e-06,1.146933e-05,1.385430e-05,1.591394e-05,2.050159e-05,2.117348e-05,2.717555e-05,2.845813e-05,3.384158e-05,3.754501e-05,4.109592e-05,4.759219e-05,4.886763e-05,5.708966e-05,5.844263e-05,6.569744e-05,6.994767e-05,7.462806e-05,8.196352e-05,8.381987e-05,9.321283e-05,9.435073e-05,1.027490e-04,1.069759e-04,1.123730e-04,1.197141e-04,1.220333e-04,1.316816e-04,1.324517e-04,1.412746e-04,1.450873e-04,1.507729e-04,1.575336e-04,1.601422e-04,1.693525e-04,1.697172e-04,1.783783e-04,1.815782e-04,1.871982e-04,1.930691e-04,1.957948e-04,2.041540e-04,2.122650e-04,2.148066e-04,2.201193e-04,2.250087e-04,2.277113e-04,2.347494e-04,2.350373e-04,2.420953e-04,2.440235e-04,2.488851e-04,2.528307e-04,2.554078e-04,2.611745e-04,2.616654e-04,2.676609e-04,2.690612e-04,2.733980e-04,2.764996e-04,2.788812e-04,2.835001e-04,2.841152e-04,2.891053e-04,2.900746e-04,2.938571e-04,2.962357e-04,2.983762e-04,3.019968e-04,3.026686e-04,3.067404e-04,3.073719e-04,3.105978e-04,3.123749e-04,3.142468e-04,3.170201e-04,3.176936e-04,3.209445e-04,3.213217e-04,3.240054e-04,3.252937e-04,3.268827e-04,3.289501e-04,3.295821e-04,3.321096e-04,3.323046e-04,3.344711e-04,3.353705e-04,3.366723e-04,3.381611e-04,3.387188e-04,3.406161e-04,3.406890e-04,3.423696e-04,3.429667e-04,3.439846e-04,3.450063e-04,3.454662e-04,3.468195e-04,3.480493e-04,3.484176e-04,3.491605e-04,3.498115e-04,3.501576e-04,3.510119e-04,3.510453e-04,3.518279e-04,3.520288e-04,3.525098e-04,3.528722e-04,3.530950e-04,3.535515e-04,3.535876e-04,3.539915e-04,3.540757e-04,3.543106e-04,3.544536e-04,3.545485e-04,3.546935e-04,3.547087e-04,3.547949e-04,3.548035e-04,3.548102e-04,3.547913e-04,3.547580e-04,3.546643e-04,3.546414e-04,3.544634e-04,3.544295e-04,3.542270e-04,3.540936e-04,3.539350e-04,3.536632e-04,3.535901e-04,3.531950e-04,3.531443e-04,3.527522e-04,3.525429e-04,3.522643e-04,3.518647e-04,3.517335e-04,3.511622e-04,3.511149e-04,3.505527e-04,3.502986e-04,3.499070e-04,3.494208e-04,3.492271e-04,3.485151e-04,3.484860e-04,3.477729e-04,3.474987e-04,3.470024e-04,3.464631e-04,3.462052e-04,3.453830e-04,3.442624e-04,3.431048e-04,3.419137e-04,3.406921e-04,3.394433e-04,3.381701e-04,3.368752e-04,3.355612e-04,3.342306e-04,3.328857e-04,3.315287e-04,3.301617e-04,3.287865e-04,3.274050e-04,3.260189e-04,3.246299e-04,3.232394e-04,3.218489e-04,3.204596e-04,3.190730e-04,3.176900e-04,3.163118e-04,3.149394e-04,3.135738e-04
0.000000e+00,7.333901e-10,2.104679e-09,9.899783e-09,2.724449e-08,4.317819e-08,1.164777e-07,1.207303e-07,2.685468e-07,3.270432e-07,5.216608e-07,7.422203e-07,9.240784e-07,1.462488e-06,1.517609e-06,2.315205e-06,2.533819e-06,3.278808e-06,3.863038e-06,4.332177e-06,5.269780e-06,5.395742e-06,6.410183e-06,6.603765e-06,7.341223e-06,7.787035e-06,8.174457e-06,8.797337e-06,8.908218e-06,9.547732e-06,9.641843e-06,1.010131e-05,1.033921e-05,1.057816e-05,1.091049e-05,1.098731e-05,1.133709e-05,1.137544e-05,1.163502e-05,1.175144e-05,1.188781e-05,1.205343e-05,1.210141e-05,1.228110e-05,1.229415e-05,1.243149e-05,1.248437e-05,1.255663e-05,1.263310e-05,1.266005e-05,1.274479e-05,1.274783e-05,1.281348e-05,1.283473e-05,1.286838e-05,1.289882e-05,1.291140e-05,1.294416e-05,1.296805e-05,1.297402e-05,1.298423e-05,1.299101e-05,1.299369e-05,1.299722e-05,1.299726e-05,1.299564e-05,1.299435e-05,1.298944e-05,1.298374e-05,1.297917e-05,1.296650e-05,1.296527e-05,1.294811e-05,1.294355e-05,1.292804e-05,1.291563e-05,1.290533e-05,1.288338e-05,1.288025e-05,1.285301e-05,1.284733e-05,1.282383e-05,1.280794e-05,1.279287e-05,1.276562e-05,1.276030e-05,1.272628e-05,1.272071e-05,1.269092e-05,1.267352e-05,1.265437e-05,1.262433e-05,1.261672e-05,1.257808e-05,1.257338e-05,1.253855e-05,1.252090e-05,1.249822e-05,1.246707e-05,1.245716e-05,1.241545e-05,1.241209e-05,1.237317e-05,1.235612e-05,1.233038e-05,1.229929e-05,1.228714e-05,1.224351e-05,1.224176e-05,1.219954e-05,1.218364e-05,1.215529e-05,1.212505e-05,1.211079e-05,1.206609e-05,1.202123e-05,1.200685e-05,1.197625e-05,1.194742e-05,1.193119e-05,1.188789e-05,1.188608e-05,1.184095e-05,1.182831e-05,1.179583e-05,1.176877e-05,1.175075e-05,1.170932e-05,1.170573e-05,1.166079e-05,1.165002e-05,1.161597e-05,1.159092e-05,1.157128e-05,1.153207e-05,1.152673e-05,1.148236e-05,1.147351e-05,1.143817e-05,1.141527e-05,1.139419e-05,1.135741e-05,1.135042e-05,1.130688e-05,1.129994e-05,1.126359e-05,1.124290e-05,1.122055e-05,1.118631e-05,1.117778e-05,1.113528e-05,1.113020e-05,1.109308e-05,1.107460e-05,1.105117e-05,1.101952e-05,1.100956e-05,1.096827e-05,1.096498e-05,1.092729e-05,1.091099e-05,1.088664e-05,1.085758e-05,1.084632e-05,1.080634e-05,1.080475e-05,1.076670e-05,1.075251e-05,1.072740e-05,1.070088e-05,1.068846e-05,1.064986e-05,1.059947e-05,1.054970e-05,1.050056e-05,1.045206e-05,1.040419e-05,1.035697e-05,1.031039e-05,1.026446e-05,1.021916e-05,1.017452e-05,1.013051e-05,1.008715e-05,1.004443e-05,1.000234e-05,9.960887e-06,9.920063e-06,9.879867e-06,9.840292e-06,9.801336e-06,9.762994e-06,9.725260e-06,9.688129e-06,9.651597e-06,9.615657e-06
0.000000e+00,3.255296e-09,7.849964e-09,2.852394e-08,6.651013e-08,9.785734e-08,2.247869e-07,2.316193e-07,4.491849e-07,5.277094e-07,7.695046e-07,1.018683e-06,1.210793e-06,1.736441e-06,1.787814e-06,2.506727e-06,2.700060e-06,3.363038e-06,3.898641e-06,4.345894e-06,5.305546e-06,5.442774e-06,6.641023e-06,6.891712e-06,7.927764e-06,8.627429e-06,9.289645e-06,1.048160e-05,1.071285e-05,1.218332e-05,1.242204e-05,1.368706e-05,1.441668e-05,1.521056e-05,1.643497e-05,1.674105e-05,1.826682e-05,1.844908e-05,1.977735e-05,2.043475e-05,2.126348e-05,2.237177e-05,2.271741e-05,2.413266e-05,2.424404e-05,2.550405e-05,2.603938e-05,2.682755e-05,2.774911e-05,2.810019e-05,2.931993e-05,2.936760e-05,3.048552e-05,3.089176e-05,3.159645e-05,3.232063e-05,3.265272e-05,3.365482e-05,3.460363e-05,3.489618e-05,3.550030e-05,3.604743e-05,3.634620e-05,3.711194e-05,3.714288e-05,3.789200e-05,3.809347e-05,3.859531e-05,3.899605e-05,3.925459e-05,3.982380e-05,3.987166e-05,4.044831e-05,4.058089e-05,4.098634e-05,4.127143e-05,4.148751e-05,4.189942e-05,4.195354e-05,4.238610e-05,4.246874e-05,4.278682e-05,4.298312e-05,4.315725e-05,4.344612e-05,4.349891e-05,4.381324e-05,4.386110e-05,4.410165e-05,4.423127e-05,4.436546e-05,4.455965e-05,4.460594e-05,4.482432e-05,4.484910e-05,4.502176e-05,4.510229e-05,4.519937e-05,4.532173e-05,4.535820e-05,4.549925e-05,4.550980e-05,4.562350e-05,4.566870e-05,4.573185e-05,4.580051e-05,4.582517e-05,4.590429e-05,4.590717e-05,4.596998e-05,4.599049e-05,4.602300e-05,4.605217e-05,4.606405e-05,4.609380e-05,4.611290e-05,4.611687e-05,4.612196e-05,4.612275e-05,4.612154e-05,4.611274e-05,4.611220e-05,4.609445e-05,4.608805e-05,4.606880e-05,4.604980e-05,4.603570e-05,4.599906e-05,4.599561e-05,4.594894e-05,4.593680e-05,4.589609e-05,4.586394e-05,4.583745e-05,4.578134e-05,4.577337e-05,4.570421e-05,4.568979e-05,4.563027e-05,4.559005e-05,4.555188e-05,4.548280e-05,4.546932e-05,4.538288e-05,4.536870e-05,4.529280e-05,4.524836e-05,4.519936e-05,4.512233e-05,4.510277e-05,4.500327e-05,4.499115e-05,4.490107e-05,4.485530e-05,4.479638e-05,4.471526e-05,4.468938e-05,4.458025e-05,4.457144e-05,4.446918e-05,4.442424e-05,4.435632e-05,4.427405e-05,4.424183e-05,4.412586e-05,4.412120e-05,4.400855e-05,4.396601e-05,4.389002e-05,4.380880e-05,4.377042e-05,4.364984e-05,4.348940e-05,4.332771e-05,4.316501e-05,4.300151e-05,4.283740e-05,4.267287e-05,4.250809e-05,4.234322e-05,4.217840e-05,4.201377e-05,4.184946e-05,4.168559e-05,4.152226e-05,4.135957e-05,4.119762e-05,4.103650e-05,4.087628e-05,4.071703e-05,4.055883e-05,4.040174e-05,4.024580e-05,4.009108e-05,3.993762e-05,3.978547e-05
0.000000e+00,1.102616e-09,2.576996e-09,9.020183e-09,2.062484e-08,3.011946e-08,6.838285e-08,7.044238e-08,1.363539e-07,1.603564e-07,2.351136e-07,3.135115e-07,3.748293e-07,5.456743e-07,5.625515e-07,8.002276e-07,8.642592e-07,1.082866e-06,1.257652e-06,1.402061e-06,1.706951e-06,1.750008e-06,2.120689e-06,2.197130e-06,2.509480e-06,2.717516e-06,2.912543e-06,3.259608e-06,3.326417e-06,3.747800e-06,3.815702e-06,4.173471e-06,4.378390e-06,4.600291e-06,4.940543e-06,5.025245e-06,5.445495e-06,5.495482e-06,5.858436e-06,6.037204e-06,6.261743e-06,6.560564e-06,6.653404e-06,7.031735e-06,7.061383e-06,7.395383e-06,7.536491e-06,7.743323e-06,7.983698e-06,8.074836e-06,8.389482e-06,8.401714e-06,8.687059e-06,8.790004e-06,8.967579e-06,9.148687e-06,9.231246e-06,9.478410e-06,9.709540e-06,9.780205e-06,9.925196e-06,1.005538e-05,1.012601e-05,1.030545e-05,1.031266e-05,1.048584e-05,1.053201e-05,1.064627e-05,1.073671e-05,1.079467e-05,1.092119e-05,1.093175e-05,1.105819e-05,1.108703e-05,1.117467e-05,1.123578e-05,1.128182e-05,1.136888e-05,1.138025e-05,1.147053e-05,1.148766e-05,1.155323e-05,1.159340e-05,1.162884e-05,1.168724e-05,1.169786e-05,1.176072e-05,1.177024e-05,1.181785e-05,1.184334e-05,1.186962e-05,1.190744e-05,1.191641e-05,1.195855e-05,1.196331e-05,1.199634e-05,1.201167e-05,1.203009e-05,1.205319e-05,1.206004e-05,1.208646e-05,1.208843e-05,1.210957e-05,1.211794e-05,1.212959e-05,1.214220e-05,1.214671e-05,1.216111e-05,1.216163e-05,1.217296e-05,1.217664e-05,1.218243e-05,1.218758e-05,1.218966e-05,1.219479e-05,1.219794e-05,1.219855e-05,1.219923e-05,1.219913e-05,1.219877e-05,1.219679e-05,1.219667e-05,1.219302e-05,1.219174e-05,1.218792e-05,1.218420e-05,1.218145e-05,1.217435e-05,1.217368e-05,1.216470e-05,1.216237e-05,1.215457e-05,1.214842e-05,1.214335e-05,1.213264e-05,1.213112e-05,1.211793e-05,1.211518e-05,1.210383e-05,1.209616e-05,1.208888e-05,1.207569e-05,1.207312e-05,1.205660e-05,1.205389e-05,1.203937e-05,1.203086e-05,1.202147e-05,1.200670e-05,1.200294e-05,1.198381e-05,1.198148e-05,1.196412e-05,1.195529e-05,1.194391e-05,1.192821e-05,1.192320e-05,1.190203e-05,1.190031e-05,1.188042e-05,1.187166e-05,1.185841e-05,1.184232e-05,1.183601e-05,1.181327e-05,1.181235e-05,1.179019e-05,1.178180e-05,1.176680e-05,1.175073e-05,1.174313e-05,1.171919e-05,1.168722e-05,1.165486e-05,1.162216e-05,1.158915e-05,1.155587e-05,1.152236e-05,1.148864e-05,1.145475e-05,1.142071e-05,1.138656e-05,1.135231e-05,1.131799e-05,1.128363e-05,1.124924e-05,1.121485e-05,1.118048e-05,1.114613e-05,1.111184e-05,1.107761e-05,1.104346e-05,1.100940e-05,1.097545e-05,1.094162e-05,1.090793e-05
0.000000e+00,2.589724e-10,7.489066e-10,3.566176e-09,9.864779e-09,1.562703e-08,4.153038e-08,4.299993e-08,9.194261e-08,1.102840e-07,1.679774e-07,2.285986e-07,2.758278e-07,4.066005e-07,4.194945e-07,6.022931e-07,6.522850e-07,8.266911e-07,9.710167e-07,1.093795e-06,1.363358e-06,1.402491e-06,1.748598e-06,1.821709e-06,2.124737e-06,2.329035e-06,2.521236e-06,2.862391e-06,2.927669e-06,3.334256e-06,3.398745e-06,3.732703e-06,3.919089e-06,4.116509e-06,4.409750e-06,4.480897e-06,4.822575e-06,4.861940e-06,5.139460e-06,5.270716e-06,5.430426e-06,5.633966e-06,5.695088e-06,5.933636e-06,5.951608e-06,6.146696e-06,6.224989e-06,6.335228e-06,6.456452e-06,6.500437e-06,6.643702e-06,6.648997e-06,6.766516e-06,6.806021e-06,6.870434e-06,6.931108e-06,6.957030e-06,7.027864e-06,7.084454e-06,7.099793e-06,7.128250e-06,7.150203e-06,7.160625e-06,7.182149e-06,7.182859e-06,7.196135e-06,7.198397e-06,7.201538e-06,7.201415e-06,7.200054e-06,7.193373e-06,7.192573e-06,7.179892e-06,7.176156e-06,7.162724e-06,7.151389e-06,7.141701e-06,7.120459e-06,7.117384e-06,7.090266e-06,7.084545e-06,7.060779e-06,7.044638e-06,7.029305e-06,7.001575e-06,6.996176e-06,6.961683e-06,6.956054e-06,6.926079e-06,6.908660e-06,6.889585e-06,6.859881e-06,6.852396e-06,6.814677e-06,6.810122e-06,6.776576e-06,6.759723e-06,6.738219e-06,6.708965e-06,6.699717e-06,6.661166e-06,6.658083e-06,6.622652e-06,6.607272e-06,6.584245e-06,6.556697e-06,6.546012e-06,6.508006e-06,6.506491e-06,6.470276e-06,6.456769e-06,6.432865e-06,6.407625e-06,6.395807e-06,6.359135e-06,6.322877e-06,6.311365e-06,6.287054e-06,6.264366e-06,6.251688e-06,6.218182e-06,6.216796e-06,6.182390e-06,6.172846e-06,6.148485e-06,6.128386e-06,6.115090e-06,6.084823e-06,6.082212e-06,6.049858e-06,6.042172e-06,6.018033e-06,6.000444e-06,5.986741e-06,5.959646e-06,5.955984e-06,5.925762e-06,5.919782e-06,5.896077e-06,5.880852e-06,5.866927e-06,5.842853e-06,5.838311e-06,5.810226e-06,5.805782e-06,5.782670e-06,5.769630e-06,5.755640e-06,5.734391e-06,5.729131e-06,5.703139e-06,5.700054e-06,5.677659e-06,5.666609e-06,5.652687e-06,5.634043e-06,5.628216e-06,5.604240e-06,5.602343e-06,5.580755e-06,5.571496e-06,5.557753e-06,5.541487e-06,5.535227e-06,5.513173e-06,5.512300e-06,5.491582e-06,5.483921e-06,5.470447e-06,5.456333e-06,5.449763e-06,5.429521e-06,5.403468e-06,5.378157e-06,5.353573e-06,5.329699e-06,5.306517e-06,5.284012e-06,5.262168e-06,5.240967e-06,5.220394e-06,5.200433e-06,5.181067e-06,5.162283e-06,5.144063e-06,5.126394e-06,5.109260e-06,5.092646e-06,5.076539e-06,5.060925e-06,5.045789e-06,5.031118e-06,5.016899e-06,5.003119e-06,4.989766e-06,4.976827e-06
0.000000e+00,3.187075e-10,9.261155e-10,4.457919e-09,1.246698e-08,1.987816e-08,5.382943e-08,5.578046e-08,1.219320e-07,1.472312e-07,2.283329e-07,3.157524e-07,3.852522e-07,5.832502e-07,6.031719e-07,8.920356e-07,9.728311e-07,1.259181e-06,1.499923e-06,1.706343e-06,2.161755e-06,2.227930e-06,2.812303e-06,2.935447e-06,3.444914e-06,3.788020e-06,4.111098e-06,4.686887e-06,4.797602e-06,5.493088e-06,5.604541e-06,6.188075e-06,6.519126e-06,6.874692e-06,7.413543e-06,7.546427e-06,8.197912e-06,8.274512e-06,8.824781e-06,9.091881e-06,9.423565e-06,9.858198e-06,9.991614e-06,1.052703e-05,1.056841e-05,1.102861e-05,1.121961e-05,1.149575e-05,1.181073e-05,1.192842e-05,1.232705e-05,1.234230e-05,1.269241e-05,1.281600e-05,1.302561e-05,1.323449e-05,1.332799e-05,1.360106e-05,1.384647e-05,1.391944e-05,1.406592e-05,1.419354e-05,1.426113e-05,1.442730e-05,1.443380e-05,1.458561e-05,1.462459e-05,1.471815e-05,1.478908e-05,1.483298e-05,1.492421e-05,1.493153e-05,1.501516e-05,1.503316e-05,1.508515e-05,1.511882e-05,1.514266e-05,1.518382e-05,1.518878e-05,1.522451e-05,1.523049e-05,1.525076e-05,1.526095e-05,1.526837e-05,1.527704e-05,1.527809e-05,1.528063e-05,1.528042e-05,1.527663e-05,1.527255e-05,1.526665e-05,1.525473e-05,1.525123e-05,1.523085e-05,1.522809e-05,1.520593e-05,1.519364e-05,1.517688e-05,1.515227e-05,1.514407e-05,1.510781e-05,1.510477e-05,1.506841e-05,1.505183e-05,1.502615e-05,1.499409e-05,1.498127e-05,1.493402e-05,1.493208e-05,1.488460e-05,1.486632e-05,1.483320e-05,1.479722e-05,1.478002e-05,1.472520e-05,1.466890e-05,1.465060e-05,1.461127e-05,1.457375e-05,1.455244e-05,1.449493e-05,1.449251e-05,1.443161e-05,1.441440e-05,1.436984e-05,1.433240e-05,1.430730e-05,1.424915e-05,1.424407e-05,1.418023e-05,1.416483e-05,1.411587e-05,1.407963e-05,1.405106e-05,1.399369e-05,1.398585e-05,1.392033e-05,1.390719e-05,1.385453e-05,1.382023e-05,1.378853e-05,1.373296e-05,1.372236e-05,1.365608e-05,1.364547e-05,1.358974e-05,1.355788e-05,1.352336e-05,1.347027e-05,1.345700e-05,1.339069e-05,1.338274e-05,1.332446e-05,1.329535e-05,1.325834e-05,1.320819e-05,1.319237e-05,1.312657e-05,1.312131e-05,1.306096e-05,1.303478e-05,1.299558e-05,1.294866e-05,1.293044e-05,1.286557e-05,1.286298e-05,1.280098e-05,1.277780e-05,1.273670e-05,1.269317e-05,1.267273e-05,1.260910e-05,1.252566e-05,1.244285e-05,1.236071e-05,1.227927e-05,1.219855e-05,1.211856e-05,1.203934e-05,1.196088e-05,1.188321e-05,1.180634e-05,1.173028e-05,1.165504e-05,1.158062e-05,1.150704e-05,1.143429e-05,1.136239e-05,1.129133e-05,1.122111e-05,1.115174e-05,1.108322e-05,1.101554e-05,1.094870e-05,1.088271e-05,1.081756e-05
0.000000e+00,9.615852e-10,2.814470e-09,1.376464e-08,3.911488e-08,6.296853e-08,1.753925e-07,1.819797e-07,4.116332e-07,5.022573e-07,8.012783e-07,1.135557e-06,1.408157e-06,2.205338e-06,2.286512e-06,3.465166e-06,3.792583e-06,4.937115e-06,5.878609e-06,6.671887e-06,8.385591e-06,8.631310e-06,1.077759e-05,1.122613e-05,1.307562e-05,1.431970e-05,1.549295e-05,1.759349e-05,1.799929e-05,2.056624e-05,2.098077e-05,2.316723e-05,2.442050e-05,2.577772e-05,2.785791e-05,2.837545e-05,3.094068e-05,3.124549e-05,3.345634e-05,3.454373e-05,3.590807e-05,3.772133e-05,3.828416e-05,4.057545e-05,4.075487e-05,4.277506e-05,4.362810e-05,4.487820e-05,4.633099e-05,4.688188e-05,4.878464e-05,4.885864e-05,5.058629e-05,5.121027e-05,5.228770e-05,5.338823e-05,5.389056e-05,5.539720e-05,5.681045e-05,5.724348e-05,5.813349e-05,5.893445e-05,5.936972e-05,6.047814e-05,6.052271e-05,6.159610e-05,6.188289e-05,6.259356e-05,6.315711e-05,6.351873e-05,6.430912e-05,6.437520e-05,6.516646e-05,6.534704e-05,6.589592e-05,6.627865e-05,6.656687e-05,6.711141e-05,6.718247e-05,6.774576e-05,6.785239e-05,6.825964e-05,6.850827e-05,6.872691e-05,6.908532e-05,6.915019e-05,6.953202e-05,6.958943e-05,6.987479e-05,7.002612e-05,7.018077e-05,7.040053e-05,7.045213e-05,7.069091e-05,7.071747e-05,7.089905e-05,7.098140e-05,7.107839e-05,7.119650e-05,7.123066e-05,7.135752e-05,7.136662e-05,7.146051e-05,7.149536e-05,7.154111e-05,7.158605e-05,7.160070e-05,7.164060e-05,7.164181e-05,7.166205e-05,7.166549e-05,7.166623e-05,7.165977e-05,7.165423e-05,7.162711e-05,7.158585e-05,7.156982e-05,7.153139e-05,7.149001e-05,7.146460e-05,7.138965e-05,7.138631e-05,7.129731e-05,7.127057e-05,7.119834e-05,7.113446e-05,7.109009e-05,7.098289e-05,7.097324e-05,7.084839e-05,7.081730e-05,7.071613e-05,7.063904e-05,7.057703e-05,7.044937e-05,7.043160e-05,7.028033e-05,7.024941e-05,7.012369e-05,7.004026e-05,6.996212e-05,6.982289e-05,6.979602e-05,6.962580e-05,6.959821e-05,6.945182e-05,6.936708e-05,6.927443e-05,6.913027e-05,6.909395e-05,6.891069e-05,6.888852e-05,6.872494e-05,6.864249e-05,6.853698e-05,6.839280e-05,6.834706e-05,6.815543e-05,6.814003e-05,6.796231e-05,6.788470e-05,6.776793e-05,6.762731e-05,6.757248e-05,6.737616e-05,6.736829e-05,6.717915e-05,6.710808e-05,6.698161e-05,6.684706e-05,6.678370e-05,6.658558e-05,6.632397e-05,6.606252e-05,6.580152e-05,6.554121e-05,6.528184e-05,6.502361e-05,6.476673e-05,6.451136e-05,6.425769e-05,6.400585e-05,6.375598e-05,6.350820e-05,6.326263e-05,6.301936e-05,6.277849e-05,6.254010e-05,6.230426e-05,6.207102e-05,6.184046e-05,6.161262e-05,6.138754e-05,6.116526e-05,6.094581e-05,6.072922e-05
0.000000e+00,1.270427e-09,3.580649e-09,1.631939e-08,4.390145e-08,6.885360e-08,1.817346e-07,1.882268e-07,4.118569e-07,4.995724e-07,7.890784e-07,1.113226e-06,1.377301e-06,2.141793e-06,2.218662e-06,3.308691e-06,3.602401e-06,4.598883e-06,5.386025e-06,6.028914e-06,7.362878e-06,7.548679e-06,9.122059e-06,9.440768e-06,1.072328e-05,1.156029e-05,1.233288e-05,1.367980e-05,1.393507e-05,1.551651e-05,1.576682e-05,1.706571e-05,1.779494e-05,1.857291e-05,1.974294e-05,2.003003e-05,2.143064e-05,2.159468e-05,2.276992e-05,2.333884e-05,2.404447e-05,2.496853e-05,2.525224e-05,2.639230e-05,2.648058e-05,2.746468e-05,2.787484e-05,2.847017e-05,2.915349e-05,2.941020e-05,3.028663e-05,3.032039e-05,3.110168e-05,3.138055e-05,3.185783e-05,3.233967e-05,3.255765e-05,3.320385e-05,3.379913e-05,3.397930e-05,3.434618e-05,3.467220e-05,3.484764e-05,3.528856e-05,3.530610e-05,3.572403e-05,3.583412e-05,3.610383e-05,3.631436e-05,3.644779e-05,3.673444e-05,3.675807e-05,3.703675e-05,3.709916e-05,3.728580e-05,3.741302e-05,3.750707e-05,3.768020e-05,3.770231e-05,3.787318e-05,3.790457e-05,3.802123e-05,3.808970e-05,3.814794e-05,3.823890e-05,3.825469e-05,3.834277e-05,3.835522e-05,3.841341e-05,3.844146e-05,3.846775e-05,3.850022e-05,3.850687e-05,3.853179e-05,3.853387e-05,3.854344e-05,3.854461e-05,3.854274e-05,3.853445e-05,3.853050e-05,3.850752e-05,3.850524e-05,3.847453e-05,3.845870e-05,3.843224e-05,3.839638e-05,3.838127e-05,3.832225e-05,3.831973e-05,3.825575e-05,3.823008e-05,3.818230e-05,3.812865e-05,3.810241e-05,3.801655e-05,3.792517e-05,3.789483e-05,3.782868e-05,3.776442e-05,3.772746e-05,3.762621e-05,3.762190e-05,3.751234e-05,3.748099e-05,3.739909e-05,3.732950e-05,3.728247e-05,3.717243e-05,3.716275e-05,3.704021e-05,3.701041e-05,3.691511e-05,3.684401e-05,3.678767e-05,3.667377e-05,3.665812e-05,3.652666e-05,3.650016e-05,3.639351e-05,3.632365e-05,3.625883e-05,3.614465e-05,3.612281e-05,3.598560e-05,3.596354e-05,3.584735e-05,3.578067e-05,3.570822e-05,3.559637e-05,3.556834e-05,3.542783e-05,3.541093e-05,3.528682e-05,3.522464e-05,3.514540e-05,3.503773e-05,3.500370e-05,3.486181e-05,3.485045e-05,3.471981e-05,3.466300e-05,3.457780e-05,3.447559e-05,3.443586e-05,3.429407e-05,3.428840e-05,3.415249e-05,3.410158e-05,3.401119e-05,3.391530e-05,3.387024e-05,3.372969e-05,3.354488e-05,3.336098e-05,3.317811e-05,3.299636e-05,3.281581e-05,3.263656e-05,3.245866e-05,3.228220e-05,3.210722e-05,3.193379e-05,3.176194e-05,3.159173e-05,3.142319e-05,3.125636e-05,3.109127e-05,3.092794e-05,3.076639e-05,3.060664e-05,3.044872e-05,3.029263e-05,3.013838e-05,2.998598e-05,2.983544e-05,2.968676e-05
0.000000e+00,7.513480e-10,2.163200e-09,1.021331e-08,2.805779e-08,4.429722e-08,1.168890e-07,1.209966e-07,2.576150e-07,3.088111e-07,4.701199e-07,6.402553e-07,7.733367e-07,1.144306e-06,1.181072e-06,1.705339e-06,1.849504e-06,2.353833e-06,2.771370e-06,3.125536e-06,3.895933e-06,4.006672e-06,4.971032e-06,5.171021e-06,5.985594e-06,6.521960e-06,7.017583e-06,7.877400e-06,8.039213e-06,9.029319e-06,9.183734e-06,9.972960e-06,1.040635e-05,1.086027e-05,1.152540e-05,1.168521e-05,1.244455e-05,1.253119e-05,1.313710e-05,1.342071e-05,1.376321e-05,1.419549e-05,1.432436e-05,1.482291e-05,1.486018e-05,1.526189e-05,1.542157e-05,1.564478e-05,1.588787e-05,1.597540e-05,1.625771e-05,1.626805e-05,1.649575e-05,1.657138e-05,1.669352e-05,1.680697e-05,1.685488e-05,1.698351e-05,1.708290e-05,1.710905e-05,1.715623e-05,1.719087e-05,1.720646e-05,1.723543e-05,1.723627e-05,1.724806e-05,1.724843e-05,1.724399e-05,1.723475e-05,1.722600e-05,1.719861e-05,1.719578e-05,1.715484e-05,1.714357e-05,1.710451e-05,1.707267e-05,1.704596e-05,1.698845e-05,1.698022e-05,1.690818e-05,1.689309e-05,1.683065e-05,1.678839e-05,1.674831e-05,1.667590e-05,1.666180e-05,1.657164e-05,1.655690e-05,1.647831e-05,1.643252e-05,1.638225e-05,1.630369e-05,1.628383e-05,1.618339e-05,1.617121e-05,1.608122e-05,1.603579e-05,1.597760e-05,1.589803e-05,1.587278e-05,1.576696e-05,1.575846e-05,1.566035e-05,1.561752e-05,1.555311e-05,1.547560e-05,1.544541e-05,1.533739e-05,1.533306e-05,1.522918e-05,1.519020e-05,1.512091e-05,1.504730e-05,1.501267e-05,1.490458e-05,1.479672e-05,1.476226e-05,1.468917e-05,1.462054e-05,1.458201e-05,1.447956e-05,1.447530e-05,1.436912e-05,1.433949e-05,1.426351e-05,1.420044e-05,1.415853e-05,1.406255e-05,1.405423e-05,1.395064e-05,1.392589e-05,1.384782e-05,1.379058e-05,1.374578e-05,1.365667e-05,1.364457e-05,1.354421e-05,1.352424e-05,1.344473e-05,1.339335e-05,1.334614e-05,1.326404e-05,1.324847e-05,1.315174e-05,1.313635e-05,1.305597e-05,1.301033e-05,1.296115e-05,1.288600e-05,1.286732e-05,1.277447e-05,1.276339e-05,1.268261e-05,1.264251e-05,1.259176e-05,1.252338e-05,1.250191e-05,1.241307e-05,1.240601e-05,1.232525e-05,1.229040e-05,1.223843e-05,1.217656e-05,1.215264e-05,1.206785e-05,1.206448e-05,1.198408e-05,1.195417e-05,1.190132e-05,1.184562e-05,1.181956e-05,1.173881e-05,1.163375e-05,1.153041e-05,1.142879e-05,1.132887e-05,1.123064e-05,1.113407e-05,1.103915e-05,1.094586e-05,1.085418e-05,1.076408e-05,1.067555e-05,1.058857e-05,1.050311e-05,1.041916e-05,1.033668e-05,1.025565e-05,1.017606e-05,1.009787e-05,1.002107e-05,9.945635e-06,9.871534e-06,9.798748e-06,9.727254e-06,9.657029e-06
0.000000e+00,2.197782e-10,6.357891e-10,3.030384e-09,8.392614e-09,1.330587e-08,3.546233e-08,3.672234e-08,7.884880e-08,9.471118e-08,1.448508e-07,1.979047e-07,2.394807e-07,3.555899e-07,3.671099e-07,5.315852e-07,5.768859e-07,7.356876e-07,8.676695e-07,9.800919e-07,1.226511e-06,1.262171e-06,1.575545e-06,1.641196e-06,1.911020e-06,2.090807e-06,2.258409e-06,2.552426e-06,2.608209e-06,2.952565e-06,3.006733e-06,3.285522e-06,3.440001e-06,3.602885e-06,3.843669e-06,3.901918e-06,4.181017e-06,4.213127e-06,4.439431e-06,4.546531e-06,4.677041e-06,4.843912e-06,4.894196e-06,5.091584e-06,5.106548e-06,5.270138e-06,5.336528e-06,5.430955e-06,5.536430e-06,5.575231e-06,5.704210e-06,5.709068e-06,5.819152e-06,5.857335e-06,5.921298e-06,5.984059e-06,6.011841e-06,6.091914e-06,6.162577e-06,6.183364e-06,6.224807e-06,6.260625e-06,6.279498e-06,6.325660e-06,6.327458e-06,6.369417e-06,6.380180e-06,6.406025e-06,6.425665e-06,6.437860e-06,6.463373e-06,6.465433e-06,6.489192e-06,6.494371e-06,6.509533e-06,6.519563e-06,6.526805e-06,6.539710e-06,6.541314e-06,6.553328e-06,6.555453e-06,6.563083e-06,6.567333e-06,6.570787e-06,6.575808e-06,6.576623e-06,6.580754e-06,6.581267e-06,6.583326e-06,6.584045e-06,6.584466e-06,6.584426e-06,6.584291e-06,6.582903e-06,6.582660e-06,6.580398e-06,6.578963e-06,6.576859e-06,6.573526e-06,6.572364e-06,6.566984e-06,6.566517e-06,6.560783e-06,6.558086e-06,6.553821e-06,6.548368e-06,6.546152e-06,6.537829e-06,6.537483e-06,6.528897e-06,6.525541e-06,6.519401e-06,6.512643e-06,6.509382e-06,6.498877e-06,6.487923e-06,6.484328e-06,6.476553e-06,6.469072e-06,6.464798e-06,6.453179e-06,6.452688e-06,6.440250e-06,6.436713e-06,6.427512e-06,6.419734e-06,6.414496e-06,6.402298e-06,6.401228e-06,6.387727e-06,6.384455e-06,6.374016e-06,6.366253e-06,6.360113e-06,6.347735e-06,6.346037e-06,6.331806e-06,6.328942e-06,6.317435e-06,6.309913e-06,6.302942e-06,6.290682e-06,6.288339e-06,6.273642e-06,6.271282e-06,6.258863e-06,6.251743e-06,6.244015e-06,6.232094e-06,6.229109e-06,6.214157e-06,6.212360e-06,6.199170e-06,6.192567e-06,6.184157e-06,6.172735e-06,6.169127e-06,6.154091e-06,6.152888e-06,6.139055e-06,6.133043e-06,6.124029e-06,6.113220e-06,6.109019e-06,6.094033e-06,6.093435e-06,6.079078e-06,6.073703e-06,6.064160e-06,6.054039e-06,6.049284e-06,6.034457e-06,6.014969e-06,5.995586e-06,5.976319e-06,5.957178e-06,5.938171e-06,5.919306e-06,5.900592e-06,5.882036e-06,5.863642e-06,5.845418e-06,5.827369e-06,5.809498e-06,5.791811e-06,5.774311e-06,5.757002e-06,5.739886e-06,5.722967e-06,5.706246e-06,5.689725e-06,5.673407e-06,5.657292e-06,5.641382e-06,5.625677e-06,5.610179e-06
0.000000e+00,2.667634e-09,7.973837e-09,4.067102e-08,1.197945e-07,1.964396e-07,5.709575e-07,5.933235e-07,1.387211e-06,1.704983e-06,2.761378e-06,3.949938e-06,4.923717e-06,7.806201e-06,8.103734e-06,1.254328e-05,1.382261e-05,1.847463e-05,2.252229e-05,2.609157e-05,3.429897e-05,3.553105e-05,4.687241e-05,4.937231e-05,6.014567e-05,6.780924e-05,7.534054e-05,8.955805e-05,9.241319e-05,1.112911e-04,1.144730e-04,1.318769e-04,1.423303e-04,1.540511e-04,1.728418e-04,1.776756e-04,2.025969e-04,2.056669e-04,2.286494e-04,2.404261e-04,2.556585e-04,2.767150e-04,2.834450e-04,3.118274e-04,3.141183e-04,3.406260e-04,3.522224e-04,3.696652e-04,3.906275e-04,3.987764e-04,4.277997e-04,4.289567e-04,4.565858e-04,4.668638e-04,4.849970e-04,5.040383e-04,5.129086e-04,5.402088e-04,5.667992e-04,5.751439e-04,5.925946e-04,6.086525e-04,6.175227e-04,6.405821e-04,6.415237e-04,6.645495e-04,6.708166e-04,6.865628e-04,6.992731e-04,7.075366e-04,7.258990e-04,7.274531e-04,7.463031e-04,7.506680e-04,7.640846e-04,7.735771e-04,7.808024e-04,7.946427e-04,7.964673e-04,8.110950e-04,8.138978e-04,8.247055e-04,8.313887e-04,8.373226e-04,8.471728e-04,8.489731e-04,8.596862e-04,8.613153e-04,8.694930e-04,8.738879e-04,8.784262e-04,8.849664e-04,8.865195e-04,8.938073e-04,8.946294e-04,9.003245e-04,9.029569e-04,9.061059e-04,9.100291e-04,9.111863e-04,9.156003e-04,9.159256e-04,9.193818e-04,9.207248e-04,9.225641e-04,9.245027e-04,9.251799e-04,9.272608e-04,9.273333e-04,9.288376e-04,9.292876e-04,9.299401e-04,9.304337e-04,9.305972e-04,9.308363e-04,9.306843e-04,9.305572e-04,9.301665e-04,9.296546e-04,9.293075e-04,9.281833e-04,9.281304e-04,9.266576e-04,9.261951e-04,9.249102e-04,9.237384e-04,9.229084e-04,9.208586e-04,9.206714e-04,9.182174e-04,9.175980e-04,9.155635e-04,9.139961e-04,9.127260e-04,9.100895e-04,9.097205e-04,9.065614e-04,9.059124e-04,9.032624e-04,9.014961e-04,8.998367e-04,8.968699e-04,8.962962e-04,8.926526e-04,8.920608e-04,8.889166e-04,8.870936e-04,8.850984e-04,8.819911e-04,8.812076e-04,8.772529e-04,8.767745e-04,8.732429e-04,8.714630e-04,8.691854e-04,8.660744e-04,8.650876e-04,8.609566e-04,8.606248e-04,8.567985e-04,8.551292e-04,8.526196e-04,8.496009e-04,8.484252e-04,8.442206e-04,8.440523e-04,8.400107e-04,8.384947e-04,8.357999e-04,8.329381e-04,8.315923e-04,8.273918e-04,8.218641e-04,8.163625e-04,8.108937e-04,8.054638e-04,8.000783e-04,7.947418e-04,7.894587e-04,7.842328e-04,7.790673e-04,7.739653e-04,7.689291e-04,7.639609e-04,7.590626e-04,7.542358e-04,7.494815e-04,7.448010e-04,7.401949e-04,7.356639e-04,7.312084e-04,7.268285e-04,7.225244e-04,7.182960e-04,7.141431e-04,7.100653e-04
0.000000e+00,6.095600e-10,1.806817e-09,9.059138e-09,2.628297e-08,4.275574e-08,1.219008e-07,1.265833e-07,2.911776e-07,3.565082e-07,5.725886e-07,8.146831e-07,1.012711e-06,1.598589e-06,1.659066e-06,2.560918e-06,2.820268e-06,3.758932e-06,4.567648e-06,5.273041e-06,6.864052e-06,7.099020e-06,9.214630e-06,9.669783e-06,1.158781e-05,1.291173e-05,1.418246e-05,1.650607e-05,1.696163e-05,1.988905e-05,2.036884e-05,2.292983e-05,2.441987e-05,2.605084e-05,2.858439e-05,2.922090e-05,3.241101e-05,3.279388e-05,3.559452e-05,3.698686e-05,3.874727e-05,4.110945e-05,4.184774e-05,4.487707e-05,4.511584e-05,4.781913e-05,4.896841e-05,5.066044e-05,5.263755e-05,5.339005e-05,5.599943e-05,5.610121e-05,5.848230e-05,5.934428e-05,6.083437e-05,6.235774e-05,6.305318e-05,6.513786e-05,6.708889e-05,6.768524e-05,6.890793e-05,7.000402e-05,7.059758e-05,7.210107e-05,7.216125e-05,7.360292e-05,7.398532e-05,7.492707e-05,7.566714e-05,7.613851e-05,7.715783e-05,7.724229e-05,7.824358e-05,7.846922e-05,7.914763e-05,7.961337e-05,7.995965e-05,8.060222e-05,8.068482e-05,8.132820e-05,8.144749e-05,8.189471e-05,8.216052e-05,8.238914e-05,8.275212e-05,8.281607e-05,8.317991e-05,8.323255e-05,8.348486e-05,8.361150e-05,8.373492e-05,8.389800e-05,8.393389e-05,8.408536e-05,8.410051e-05,8.419274e-05,8.422685e-05,8.425923e-05,8.428427e-05,8.428784e-05,8.428142e-05,8.427947e-05,8.424263e-05,8.421861e-05,8.417396e-05,8.410735e-05,8.407777e-05,8.395624e-05,8.395088e-05,8.381143e-05,8.375397e-05,8.364524e-05,8.352096e-05,8.345949e-05,8.325584e-05,8.303584e-05,8.296224e-05,8.280097e-05,8.264348e-05,8.255258e-05,8.230259e-05,8.229194e-05,8.202023e-05,8.194231e-05,8.173854e-05,8.156517e-05,8.144791e-05,8.117345e-05,8.114929e-05,8.084356e-05,8.076923e-05,8.053156e-05,8.035439e-05,8.021405e-05,7.993065e-05,7.989174e-05,7.956530e-05,7.949958e-05,7.923535e-05,7.906258e-05,7.890246e-05,7.862095e-05,7.856716e-05,7.822994e-05,7.817584e-05,7.789127e-05,7.772832e-05,7.755157e-05,7.727933e-05,7.721123e-05,7.687062e-05,7.682975e-05,7.653007e-05,7.638033e-05,7.618990e-05,7.593180e-05,7.585039e-05,7.551181e-05,7.548477e-05,7.517440e-05,7.503982e-05,7.483839e-05,7.459744e-05,7.450398e-05,7.417138e-05,7.415811e-05,7.384074e-05,7.372223e-05,7.351224e-05,7.329015e-05,7.318601e-05,7.286220e-05,7.243867e-05,7.201980e-05,7.160582e-05,7.119691e-05,7.079325e-05,7.039496e-05,7.000218e-05,6.961501e-05,6.923352e-05,6.885778e-05,6.848785e-05,6.812375e-05,6.776552e-05,6.741318e-05,6.706671e-05,6.672612e-05,6.639140e-05,6.606252e-05,6.573945e-05,6.542217e-05,6.511063e-05,6.480479e-05,6.450459e-05,6.420998e-05
0.000000e+00,5.185334e-09,1.545415e-08,7.840366e-08,2.300964e-07,3.768172e-07,1.094674e-06,1.137648e-06,2.672780e-06,3.292727e-06,5.375221e-06,7.754429e-06,9.728840e-06,1.568079e-05,1.630274e-05,2.569778e-05,2.843312e-05,3.842472e-05,4.712487e-05,5.476844e-05,7.215768e-05,7.474061e-05,9.813330e-05,1.031937e-04,1.246041e-04,1.394509e-04,1.537440e-04,1.799674e-04,1.851197e-04,2.182973e-04,2.237446e-04,2.528559e-04,2.698160e-04,2.883952e-04,3.172802e-04,3.245409e-04,3.609476e-04,3.653188e-04,3.973016e-04,4.132070e-04,4.333217e-04,4.603200e-04,4.687602e-04,5.034023e-04,5.061335e-04,5.370653e-04,5.502214e-04,5.695973e-04,5.922498e-04,6.008752e-04,6.308023e-04,6.319702e-04,6.593065e-04,6.692092e-04,6.863370e-04,7.038595e-04,7.118628e-04,7.358699e-04,7.583587e-04,7.652363e-04,7.793423e-04,7.919924e-04,7.988443e-04,8.162021e-04,8.168968e-04,8.335391e-04,8.379522e-04,8.488158e-04,8.573466e-04,8.627760e-04,8.745012e-04,8.754716e-04,8.869570e-04,8.895396e-04,8.972877e-04,9.025895e-04,9.065200e-04,9.137804e-04,9.147100e-04,9.219136e-04,9.232408e-04,9.281858e-04,9.310972e-04,9.335805e-04,9.374723e-04,9.381502e-04,9.419456e-04,9.424844e-04,9.450161e-04,9.462464e-04,9.474090e-04,9.488659e-04,9.491696e-04,9.503414e-04,9.504445e-04,9.509659e-04,9.510776e-04,9.510827e-04,9.508550e-04,9.507292e-04,9.499412e-04,9.498605e-04,9.487525e-04,9.481720e-04,9.471950e-04,9.458622e-04,9.452988e-04,9.430925e-04,9.429982e-04,9.406029e-04,9.396422e-04,9.378552e-04,9.358515e-04,9.348731e-04,9.316790e-04,9.282937e-04,9.271733e-04,9.247368e-04,9.223788e-04,9.210266e-04,9.173365e-04,9.171803e-04,9.132138e-04,9.120838e-04,9.091422e-04,9.066546e-04,9.049794e-04,9.010802e-04,9.007383e-04,8.964311e-04,8.953887e-04,8.920689e-04,8.896060e-04,8.876622e-04,8.837552e-04,8.832207e-04,8.787534e-04,8.778575e-04,8.742685e-04,8.719319e-04,8.697736e-04,8.659955e-04,8.652760e-04,8.607820e-04,8.600638e-04,8.562978e-04,8.541504e-04,8.518288e-04,8.482679e-04,8.473800e-04,8.429561e-04,8.424271e-04,8.385613e-04,8.366378e-04,8.341995e-04,8.309087e-04,8.298741e-04,8.255884e-04,8.252473e-04,8.213451e-04,8.196603e-04,8.171469e-04,8.141533e-04,8.129960e-04,8.088945e-04,8.087314e-04,8.048442e-04,8.033989e-04,8.008467e-04,7.981593e-04,7.969034e-04,7.930156e-04,7.879702e-04,7.830252e-04,7.781821e-04,7.734419e-04,7.688055e-04,7.642731e-04,7.598450e-04,7.555209e-04,7.513006e-04,7.471833e-04,7.431683e-04,7.392547e-04,7.354413e-04,7.317269e-04,7.281102e-04,7.245898e-04,7.211640e-04,7.178313e-04,7.145901e-04,7.114386e-04,7.083750e-04,7.053977e-04,7.025048e-04,6.996944e-04
0.000000e+00,7.337077e-10,2.174117e-09,1.090690e-08,3.172500e-08,5.173760e-08,1.491389e-07,1.549613e-07,3.632853e-07,4.477370e-07,7.329020e-07,1.060705e-06,1.333276e-06,2.149158e-06,2.233445e-06,3.475295e-06,3.825253e-06,5.062297e-06,6.093842e-06,6.971521e-06,8.890759e-06,9.168298e-06,1.161435e-05,1.213006e-05,1.427102e-05,1.572312e-05,1.710045e-05,1.958373e-05,2.006586e-05,2.313183e-05,2.362943e-05,2.626459e-05,2.778262e-05,2.943235e-05,3.197191e-05,3.260571e-05,3.575797e-05,3.613367e-05,3.886541e-05,4.021306e-05,4.190741e-05,4.416471e-05,4.486651e-05,4.772831e-05,4.795269e-05,5.048138e-05,5.155012e-05,5.311698e-05,5.493827e-05,5.562885e-05,5.801292e-05,5.810559e-05,6.026702e-05,6.104653e-05,6.239061e-05,6.376047e-05,6.438450e-05,6.625063e-05,6.799182e-05,6.852317e-05,6.961160e-05,7.058640e-05,7.111402e-05,7.245007e-05,7.250354e-05,7.378486e-05,7.412490e-05,7.496285e-05,7.562209e-05,7.604244e-05,7.695303e-05,7.702860e-05,7.792622e-05,7.812902e-05,7.874014e-05,7.916113e-05,7.947506e-05,8.006006e-05,8.013553e-05,8.072596e-05,8.083602e-05,8.125058e-05,8.149873e-05,8.171343e-05,8.205733e-05,8.211839e-05,8.246912e-05,8.252044e-05,8.276913e-05,8.289611e-05,8.302174e-05,8.319182e-05,8.323009e-05,8.339716e-05,8.341456e-05,8.352574e-05,8.357081e-05,8.361849e-05,8.366655e-05,8.367790e-05,8.370634e-05,8.370734e-05,8.370601e-05,8.369830e-05,8.367901e-05,8.364415e-05,8.362728e-05,8.355268e-05,8.354924e-05,8.345692e-05,8.341759e-05,8.334165e-05,8.325289e-05,8.320838e-05,8.305854e-05,8.289348e-05,8.283765e-05,8.271445e-05,8.259309e-05,8.252263e-05,8.232748e-05,8.231913e-05,8.210499e-05,8.204325e-05,8.188117e-05,8.174261e-05,8.164858e-05,8.142759e-05,8.140808e-05,8.116044e-05,8.110004e-05,8.090643e-05,8.076166e-05,8.064674e-05,8.041402e-05,8.038201e-05,8.011286e-05,8.005854e-05,7.983984e-05,7.969652e-05,7.956350e-05,7.932916e-05,7.928432e-05,7.900277e-05,7.895753e-05,7.871928e-05,7.858264e-05,7.843425e-05,7.820537e-05,7.814806e-05,7.786104e-05,7.782656e-05,7.757353e-05,7.744695e-05,7.728583e-05,7.706721e-05,7.699821e-05,7.671093e-05,7.668797e-05,7.642424e-05,7.630978e-05,7.613835e-05,7.593313e-05,7.585348e-05,7.556982e-05,7.555850e-05,7.528754e-05,7.518629e-05,7.500681e-05,7.481686e-05,7.472776e-05,7.445056e-05,7.408766e-05,7.372844e-05,7.337313e-05,7.302193e-05,7.267503e-05,7.233258e-05,7.199472e-05,7.166157e-05,7.133323e-05,7.100978e-05,7.069130e-05,7.037782e-05,7.006941e-05,6.976609e-05,6.946787e-05,6.917478e-05,6.888681e-05,6.860396e-05,6.832621e-05,6.805356e-05,6.778596e-05,6.752339e-05,6.726582e-05,6.701321e-05
0.000000e+00,5.199027e-10,1.531778e-09,7.591348e-09,2.182325e-08,3.534828e-08,9.996656e-08,1.037831e-07,2.381123e-07,2.916289e-07,4.696660e-07,6.709200e-07,8.366680e-07,1.330171e-06,1.381195e-06,2.138481e-06,2.354125e-06,3.124120e-06,3.774077e-06,4.331507e-06,5.560690e-06,5.739323e-06,7.320030e-06,7.654391e-06,9.045083e-06,9.990030e-06,1.088722e-05,1.250652e-05,1.282113e-05,1.482349e-05,1.514876e-05,1.687280e-05,1.786726e-05,1.894923e-05,2.061760e-05,2.103457e-05,2.311224e-05,2.336033e-05,2.516737e-05,2.606103e-05,2.718679e-05,2.869058e-05,2.915909e-05,3.107462e-05,3.122516e-05,3.292541e-05,3.364613e-05,3.470514e-05,3.593978e-05,3.640898e-05,3.803350e-05,3.809680e-05,3.957652e-05,4.011181e-05,4.103691e-05,4.198266e-05,4.241451e-05,4.370993e-05,4.492443e-05,4.529626e-05,4.605982e-05,4.674595e-05,4.711830e-05,4.806443e-05,4.810240e-05,4.901489e-05,4.925795e-05,4.985867e-05,5.033322e-05,5.063676e-05,5.129722e-05,5.135222e-05,5.200810e-05,5.215699e-05,5.260745e-05,5.291950e-05,5.315324e-05,5.359155e-05,5.364839e-05,5.409572e-05,5.417969e-05,5.449795e-05,5.469016e-05,5.485770e-05,5.512890e-05,5.517749e-05,5.545971e-05,5.550153e-05,5.570666e-05,5.581331e-05,5.592051e-05,5.606916e-05,5.610334e-05,5.625710e-05,5.627368e-05,5.638364e-05,5.643116e-05,5.648474e-05,5.654557e-05,5.656204e-05,5.661712e-05,5.662061e-05,5.665147e-05,5.665971e-05,5.666646e-05,5.666603e-05,5.666344e-05,5.664363e-05,5.664250e-05,5.660820e-05,5.659184e-05,5.655827e-05,5.651655e-05,5.649485e-05,5.641893e-05,5.633143e-05,5.630113e-05,5.623321e-05,5.616510e-05,5.612508e-05,5.601265e-05,5.600779e-05,5.588208e-05,5.584547e-05,5.574862e-05,5.566508e-05,5.560803e-05,5.547291e-05,5.546091e-05,5.530782e-05,5.527025e-05,5.514929e-05,5.505832e-05,5.498580e-05,5.483821e-05,5.481783e-05,5.464579e-05,5.461093e-05,5.447011e-05,5.437744e-05,5.429115e-05,5.413857e-05,5.410929e-05,5.392485e-05,5.389512e-05,5.373815e-05,5.364782e-05,5.354948e-05,5.339732e-05,5.335913e-05,5.316734e-05,5.314424e-05,5.297437e-05,5.288914e-05,5.278043e-05,5.263252e-05,5.258574e-05,5.239050e-05,5.237486e-05,5.219489e-05,5.211659e-05,5.199909e-05,5.185808e-05,5.180326e-05,5.160754e-05,5.159971e-05,5.141208e-05,5.134180e-05,5.121701e-05,5.108465e-05,5.102245e-05,5.082852e-05,5.057366e-05,5.032030e-05,5.006863e-05,4.981884e-05,4.957110e-05,4.932554e-05,4.908231e-05,4.884151e-05,4.860326e-05,4.836765e-05,4.813475e-05,4.790464e-05,4.767738e-05,4.745303e-05,4.723163e-05,4.701321e-05,4.679781e-05,4.658545e-05,4.637616e-05,4.616993e-05,4.596679e-05,4.576673e-05,4.556976e-05,4.537587e-05
0.000000e+00,1.286977e-09,3.166584e-09,1.172669e-08,2.753167e-08,4.060995e-08,9.399949e-08,9.689696e-08,1.906383e-07,2.252050e-07,3.340317e-07,4.495016e-07,5.402619e-07,7.920286e-07,8.166507e-07,1.155993e-06,1.244889e-06,1.540736e-06,1.769707e-06,1.954532e-06,2.333790e-06,2.386284e-06,2.828734e-06,2.918022e-06,3.276587e-06,3.510121e-06,3.725427e-06,4.100276e-06,4.171246e-06,4.610302e-06,4.679688e-06,5.039138e-06,5.240425e-06,5.454661e-06,5.775698e-06,5.854224e-06,6.235679e-06,6.280154e-06,6.597400e-06,6.750002e-06,6.938279e-06,7.183003e-06,7.257685e-06,7.555424e-06,7.578310e-06,7.831667e-06,7.936244e-06,8.086893e-06,8.258036e-06,8.321817e-06,8.537332e-06,8.545563e-06,8.734455e-06,8.801124e-06,8.914274e-06,9.027244e-06,9.077919e-06,9.226521e-06,9.361191e-06,9.401520e-06,9.483004e-06,9.554692e-06,9.592984e-06,9.688327e-06,9.692095e-06,9.781239e-06,9.804528e-06,9.861252e-06,9.905200e-06,9.932904e-06,9.992049e-06,9.996903e-06,1.005390e-05,1.006660e-05,1.010447e-05,1.013019e-05,1.014916e-05,1.018401e-05,1.018845e-05,1.022279e-05,1.022910e-05,1.025257e-05,1.026638e-05,1.027816e-05,1.029665e-05,1.029988e-05,1.031804e-05,1.032063e-05,1.033289e-05,1.033893e-05,1.034470e-05,1.035210e-05,1.035368e-05,1.036003e-05,1.036063e-05,1.036395e-05,1.036495e-05,1.036560e-05,1.036544e-05,1.036515e-05,1.036273e-05,1.036245e-05,1.035847e-05,1.035629e-05,1.035251e-05,1.034722e-05,1.034494e-05,1.033588e-05,1.033549e-05,1.032543e-05,1.032134e-05,1.031366e-05,1.030496e-05,1.030068e-05,1.028654e-05,1.027133e-05,1.026625e-05,1.025512e-05,1.024425e-05,1.023797e-05,1.022067e-05,1.021993e-05,1.020107e-05,1.019565e-05,1.018144e-05,1.016931e-05,1.016108e-05,1.014176e-05,1.014005e-05,1.011839e-05,1.011310e-05,1.009614e-05,1.008343e-05,1.007334e-05,1.005285e-05,1.005002e-05,1.002623e-05,1.002142e-05,1.000200e-05,9.989230e-06,9.977351e-06,9.956353e-06,9.952324e-06,9.926945e-06,9.922853e-06,9.901240e-06,9.888794e-06,9.875236e-06,9.854233e-06,9.848956e-06,9.822426e-06,9.819226e-06,9.795666e-06,9.783824e-06,9.768698e-06,9.748075e-06,9.741542e-06,9.714217e-06,9.712025e-06,9.686742e-06,9.675714e-06,9.659135e-06,9.639184e-06,9.631410e-06,9.603585e-06,9.602470e-06,9.575675e-06,9.565609e-06,9.547693e-06,9.528631e-06,9.519653e-06,9.491569e-06,9.454450e-06,9.417302e-06,9.380150e-06,9.343018e-06,9.305927e-06,9.268899e-06,9.231953e-06,9.195107e-06,9.158378e-06,9.121783e-06,9.085335e-06,9.049050e-06,9.012940e-06,8.977017e-06,8.941292e-06,8.905777e-06,8.870480e-06,8.835410e-06,8.800576e-06,8.765986e-06,8.731647e-06,8.697565e-06,8.663746e-06,8.630196e-06
0.000000e+00,2.522138e-09,7.203456e-09,3.361080e-08,9.188387e-08,1.450370e-07,3.858733e-07,3.996777e-07,8.698767e-07,1.051487e-06,1.641631e-06,2.290291e-06,2.813152e-06,4.319022e-06,4.470769e-06,6.649733e-06,7.248623e-06,9.327729e-06,1.102697e-05,1.245467e-05,1.553622e-05,1.597846e-05,1.985351e-05,2.066710e-05,2.403995e-05,2.632758e-05,2.850059e-05,3.243248e-05,3.319856e-05,3.809621e-05,3.889579e-05,4.315488e-05,4.562874e-05,4.833542e-05,5.254139e-05,5.359887e-05,5.890736e-05,5.954567e-05,6.422488e-05,6.655872e-05,6.951796e-05,7.350551e-05,7.475617e-05,7.991241e-05,8.032063e-05,8.496307e-05,8.694915e-05,8.988805e-05,9.334667e-05,9.467058e-05,9.929709e-05,9.947875e-05,1.037570e-04,1.053201e-04,1.080423e-04,1.108538e-04,1.121476e-04,1.160694e-04,1.198060e-04,1.209625e-04,1.233573e-04,1.255333e-04,1.267244e-04,1.297854e-04,1.299093e-04,1.329148e-04,1.337247e-04,1.357444e-04,1.373594e-04,1.384022e-04,1.406996e-04,1.408928e-04,1.432209e-04,1.437561e-04,1.453919e-04,1.465412e-04,1.474117e-04,1.490687e-04,1.492862e-04,1.510208e-04,1.513515e-04,1.526212e-04,1.534022e-04,1.540928e-04,1.552332e-04,1.554408e-04,1.566707e-04,1.568568e-04,1.577875e-04,1.582849e-04,1.587963e-04,1.595289e-04,1.597020e-04,1.605095e-04,1.606000e-04,1.612232e-04,1.615087e-04,1.618477e-04,1.622654e-04,1.623875e-04,1.628466e-04,1.628800e-04,1.632293e-04,1.633618e-04,1.635394e-04,1.637198e-04,1.637806e-04,1.639566e-04,1.639623e-04,1.640709e-04,1.640976e-04,1.641269e-04,1.641333e-04,1.641277e-04,1.640766e-04,1.639765e-04,1.639345e-04,1.638301e-04,1.637135e-04,1.636403e-04,1.634197e-04,1.634097e-04,1.631408e-04,1.630589e-04,1.628359e-04,1.626367e-04,1.624974e-04,1.621581e-04,1.621274e-04,1.617280e-04,1.616281e-04,1.613013e-04,1.610511e-04,1.608491e-04,1.604316e-04,1.603733e-04,1.598755e-04,1.597734e-04,1.593574e-04,1.590805e-04,1.588206e-04,1.583564e-04,1.582666e-04,1.576969e-04,1.576043e-04,1.571126e-04,1.568274e-04,1.565152e-04,1.560286e-04,1.559059e-04,1.552857e-04,1.552106e-04,1.546559e-04,1.543760e-04,1.540175e-04,1.535271e-04,1.533714e-04,1.527186e-04,1.526661e-04,1.520599e-04,1.517950e-04,1.513963e-04,1.509158e-04,1.507285e-04,1.500572e-04,1.500303e-04,1.493832e-04,1.491400e-04,1.487071e-04,1.482466e-04,1.480297e-04,1.473513e-04,1.464556e-04,1.455606e-04,1.446674e-04,1.437770e-04,1.428904e-04,1.420084e-04,1.411319e-04,1.402614e-04,1.393977e-04,1.385414e-04,1.376930e-04,1.368529e-04,1.360216e-04,1.351995e-04,1.343870e-04,1.335842e-04,1.327916e-04,1.320092e-04,1.312374e-04,1.304762e-04,1.297258e-04,1.289864e-04,1.282580e-04,1.275406e-04
0.000000e+00,8.550437e-10,2.533001e-09,1.268176e-08,3.672962e-08,5.968003e-08,1.694837e-07,1.759601e-07,4.024781e-07,4.918581e-07,7.857045e-07,1.112136e-06,1.377251e-06,2.153076e-06,2.232509e-06,3.404987e-06,3.738579e-06,4.936124e-06,5.959195e-06,6.847744e-06,8.847211e-06,9.142544e-06,1.180921e-05,1.238550e-05,1.482749e-05,1.652753e-05,1.817153e-05,2.121074e-05,2.181179e-05,2.571609e-05,2.636301e-05,2.985016e-05,3.190564e-05,3.417813e-05,3.775525e-05,3.866296e-05,4.326695e-05,4.382564e-05,4.795227e-05,5.002993e-05,5.268160e-05,5.628295e-05,5.741868e-05,6.212895e-05,6.250363e-05,6.678006e-05,6.861718e-05,7.134228e-05,7.455692e-05,7.578890e-05,8.009643e-05,8.026554e-05,8.424473e-05,8.569582e-05,8.821709e-05,9.081084e-05,9.200013e-05,9.558374e-05,9.896084e-05,9.999714e-05,1.021272e-04,1.040422e-04,1.050811e-04,1.077174e-04,1.078231e-04,1.103555e-04,1.110276e-04,1.126825e-04,1.139823e-04,1.148094e-04,1.165952e-04,1.167429e-04,1.184904e-04,1.188830e-04,1.200600e-04,1.208644e-04,1.214602e-04,1.225594e-04,1.227000e-04,1.237883e-04,1.239886e-04,1.247343e-04,1.251731e-04,1.255474e-04,1.261341e-04,1.262363e-04,1.268099e-04,1.268915e-04,1.272763e-04,1.274645e-04,1.276436e-04,1.278711e-04,1.279192e-04,1.281104e-04,1.281280e-04,1.282238e-04,1.282508e-04,1.282658e-04,1.282537e-04,1.282423e-04,1.281589e-04,1.281498e-04,1.280206e-04,1.279510e-04,1.278322e-04,1.276681e-04,1.275983e-04,1.273228e-04,1.273110e-04,1.270097e-04,1.268884e-04,1.266624e-04,1.264084e-04,1.262842e-04,1.258781e-04,1.254469e-04,1.253040e-04,1.249930e-04,1.246918e-04,1.245189e-04,1.240467e-04,1.240267e-04,1.235183e-04,1.233733e-04,1.229956e-04,1.226758e-04,1.224602e-04,1.219578e-04,1.219137e-04,1.213576e-04,1.212228e-04,1.207930e-04,1.204736e-04,1.202212e-04,1.197129e-04,1.196433e-04,1.190603e-04,1.189431e-04,1.184731e-04,1.181663e-04,1.178825e-04,1.173845e-04,1.172894e-04,1.166945e-04,1.165992e-04,1.160984e-04,1.158120e-04,1.155017e-04,1.150244e-04,1.149050e-04,1.143088e-04,1.142374e-04,1.137136e-04,1.134521e-04,1.131198e-04,1.126696e-04,1.125277e-04,1.119379e-04,1.118908e-04,1.113505e-04,1.111163e-04,1.107659e-04,1.103468e-04,1.101843e-04,1.096061e-04,1.095831e-04,1.090315e-04,1.088255e-04,1.084606e-04,1.080747e-04,1.078937e-04,1.073309e-04,1.065947e-04,1.058662e-04,1.051458e-04,1.044338e-04,1.037303e-04,1.030356e-04,1.023497e-04,1.016728e-04,1.010051e-04,1.003465e-04,9.969712e-05,9.905705e-05,9.842630e-05,9.780486e-05,9.719274e-05,9.658992e-05,9.599637e-05,9.541206e-05,9.483694e-05,9.427096e-05,9.371406e-05,9.316616e-05,9.262720e-05,9.209708e-05
0.000000e+00,3.416436e-09,8.033652e-09,2.839707e-08,6.542214e-08,9.590919e-08,2.198234e-07,2.265286e-07,4.424045e-07,5.214906e-07,7.687582e-07,1.028591e-06,1.231359e-06,1.790330e-06,1.844953e-06,2.603801e-06,2.805710e-06,3.491257e-06,4.038471e-06,4.491812e-06,5.456200e-06,5.593371e-06,6.785575e-06,7.034009e-06,8.058303e-06,8.748444e-06,9.400923e-06,1.057446e-05,1.080209e-05,1.224986e-05,1.248501e-05,1.373195e-05,1.445192e-05,1.523607e-05,1.644717e-05,1.675026e-05,1.826318e-05,1.844414e-05,1.976434e-05,2.041865e-05,2.124430e-05,2.234974e-05,2.269476e-05,2.410859e-05,2.421992e-05,2.547984e-05,2.601531e-05,2.680374e-05,2.772551e-05,2.807658e-05,2.929563e-05,2.934324e-05,3.045903e-05,3.086400e-05,3.156571e-05,3.228562e-05,3.261526e-05,3.360784e-05,3.454405e-05,3.483188e-05,3.542489e-05,3.596017e-05,3.625167e-05,3.699594e-05,3.702592e-05,3.774935e-05,3.794305e-05,3.842379e-05,3.880574e-05,3.905117e-05,3.958848e-05,3.963345e-05,4.017262e-05,4.029583e-05,4.067068e-05,4.093237e-05,4.112959e-05,4.150259e-05,4.155129e-05,4.193766e-05,4.201085e-05,4.229052e-05,4.246135e-05,4.261164e-05,4.285811e-05,4.290273e-05,4.316543e-05,4.320493e-05,4.340130e-05,4.350543e-05,4.361184e-05,4.376301e-05,4.379849e-05,4.396261e-05,4.398085e-05,4.410550e-05,4.416197e-05,4.422839e-05,4.430914e-05,4.433246e-05,4.441882e-05,4.442500e-05,4.448853e-05,4.451198e-05,4.454259e-05,4.457236e-05,4.458195e-05,4.460750e-05,4.460825e-05,4.462010e-05,4.462162e-05,4.462056e-05,4.461432e-05,4.460962e-05,4.458803e-05,4.455644e-05,4.454433e-05,4.451552e-05,4.448471e-05,4.446587e-05,4.441052e-05,4.440806e-05,4.434263e-05,4.432302e-05,4.427011e-05,4.422339e-05,4.419098e-05,4.411273e-05,4.410569e-05,4.401467e-05,4.399203e-05,4.391835e-05,4.386223e-05,4.381710e-05,4.372421e-05,4.371129e-05,4.360125e-05,4.357877e-05,4.348733e-05,4.342666e-05,4.336982e-05,4.326856e-05,4.324902e-05,4.312519e-05,4.310512e-05,4.299860e-05,4.293693e-05,4.286949e-05,4.276455e-05,4.273809e-05,4.260462e-05,4.258847e-05,4.246928e-05,4.240919e-05,4.233226e-05,4.222712e-05,4.219375e-05,4.205392e-05,4.204268e-05,4.191293e-05,4.185624e-05,4.177093e-05,4.166815e-05,4.162807e-05,4.148447e-05,4.147872e-05,4.134028e-05,4.128825e-05,4.119561e-05,4.109701e-05,4.105056e-05,4.090526e-05,4.071323e-05,4.052113e-05,4.032916e-05,4.013751e-05,3.994633e-05,3.975579e-05,3.956603e-05,3.937717e-05,3.918933e-05,3.900262e-05,3.881715e-05,3.863299e-05,3.845024e-05,3.826897e-05,3.808924e-05,3.791112e-05,3.773466e-05,3.755990e-05,3.738690e-05,3.721569e-05,3.704630e-05,3.687877e-05,3.671312e-05,3.654937e-05
0.000000e+00,2.326220e-09,5.364028e-09,1.853726e-08,4.217193e-08,6.147267e-08,1.389683e-07,1.431257e-07,2.753636e-07,3.231201e-07,4.705496e-07,6.232982e-07,7.417628e-07,1.069727e-06,1.102119e-06,1.562447e-06,1.688480e-06,2.126987e-06,2.486709e-06,2.789276e-06,3.439910e-06,3.532717e-06,4.336322e-06,4.502471e-06,5.180399e-06,5.629816e-06,6.048829e-06,6.787779e-06,6.928943e-06,7.810703e-06,7.951372e-06,8.685981e-06,9.101802e-06,9.548095e-06,1.022457e-05,1.039154e-05,1.121183e-05,1.130852e-05,1.200537e-05,1.234532e-05,1.276941e-05,1.332909e-05,1.350193e-05,1.420155e-05,1.425607e-05,1.486748e-05,1.512433e-05,1.549939e-05,1.593336e-05,1.609740e-05,1.666187e-05,1.668376e-05,1.719347e-05,1.737697e-05,1.769309e-05,1.801508e-05,1.816175e-05,1.860059e-05,1.901082e-05,1.913626e-05,1.939371e-05,1.962499e-05,1.975051e-05,2.006969e-05,2.008251e-05,2.039097e-05,2.047329e-05,2.067712e-05,2.083861e-05,2.094217e-05,2.116838e-05,2.118728e-05,2.141357e-05,2.146520e-05,2.162211e-05,2.173153e-05,2.181394e-05,2.196970e-05,2.199003e-05,2.215131e-05,2.218187e-05,2.229867e-05,2.237008e-05,2.243295e-05,2.253621e-05,2.255493e-05,2.266538e-05,2.268202e-05,2.276499e-05,2.280915e-05,2.285444e-05,2.291911e-05,2.293436e-05,2.300535e-05,2.301329e-05,2.306796e-05,2.309300e-05,2.312274e-05,2.315943e-05,2.317016e-05,2.321072e-05,2.321368e-05,2.324483e-05,2.325678e-05,2.327294e-05,2.328966e-05,2.329541e-05,2.331263e-05,2.331322e-05,2.332494e-05,2.332823e-05,2.333267e-05,2.333546e-05,2.333611e-05,2.333557e-05,2.333132e-05,2.332921e-05,2.332360e-05,2.331695e-05,2.331266e-05,2.329934e-05,2.329873e-05,2.328201e-05,2.327686e-05,2.326272e-05,2.324998e-05,2.324103e-05,2.321911e-05,2.321712e-05,2.319117e-05,2.318465e-05,2.316332e-05,2.314696e-05,2.313373e-05,2.310636e-05,2.310253e-05,2.306986e-05,2.306316e-05,2.303583e-05,2.301764e-05,2.300056e-05,2.297006e-05,2.296416e-05,2.292673e-05,2.292066e-05,2.288837e-05,2.286966e-05,2.284917e-05,2.281726e-05,2.280921e-05,2.276858e-05,2.276366e-05,2.272733e-05,2.270902e-05,2.268556e-05,2.265350e-05,2.264332e-05,2.260068e-05,2.259725e-05,2.255769e-05,2.254040e-05,2.251440e-05,2.248309e-05,2.247088e-05,2.242717e-05,2.242542e-05,2.238331e-05,2.236749e-05,2.233934e-05,2.230941e-05,2.229531e-05,2.225126e-05,2.219312e-05,2.213507e-05,2.207717e-05,2.201949e-05,2.196209e-05,2.190501e-05,2.184830e-05,2.179202e-05,2.173618e-05,2.168084e-05,2.162601e-05,2.157174e-05,2.151805e-05,2.146495e-05,2.141247e-05,2.136063e-05,2.130945e-05,2.125892e-05,2.120908e-05,2.115993e-05,2.111147e-05,2.106372e-05,2.101668e-05,2.097035e-05
0.000000e+00,5.842034e-10,1.688172e-09,8.031754e-09,2.222579e-08,3.523894e-08,9.413905e-08,9.750127e-08,2.107866e-07,2.538964e-07,3.917869e-07,5.402349e-07,6.581843e-07,9.930207e-07,1.026523e-06,1.505134e-06,1.635966e-06,2.087005e-06,2.450737e-06,2.752013e-06,3.386464e-06,3.475607e-06,4.235301e-06,4.389895e-06,5.012932e-06,5.419590e-06,5.794455e-06,6.445890e-06,6.568960e-06,7.327741e-06,7.447191e-06,8.063636e-06,8.406939e-06,8.770661e-06,9.312128e-06,9.443854e-06,1.007921e-05,1.015276e-05,1.067370e-05,1.092178e-05,1.122530e-05,1.161513e-05,1.173292e-05,1.219635e-05,1.223153e-05,1.261618e-05,1.277216e-05,1.299366e-05,1.324020e-05,1.333057e-05,1.362911e-05,1.364029e-05,1.389175e-05,1.397802e-05,1.412112e-05,1.425947e-05,1.431993e-05,1.449086e-05,1.463653e-05,1.467822e-05,1.475943e-05,1.482721e-05,1.486189e-05,1.494303e-05,1.494608e-05,1.501398e-05,1.503032e-05,1.506739e-05,1.509316e-05,1.510793e-05,1.513512e-05,1.513706e-05,1.515606e-05,1.515924e-05,1.516608e-05,1.516815e-05,1.516813e-05,1.516406e-05,1.516311e-05,1.515180e-05,1.514885e-05,1.513490e-05,1.512411e-05,1.511302e-05,1.509119e-05,1.508671e-05,1.505642e-05,1.505124e-05,1.502260e-05,1.500522e-05,1.498561e-05,1.495397e-05,1.494580e-05,1.490345e-05,1.489821e-05,1.485883e-05,1.483854e-05,1.481219e-05,1.477552e-05,1.476373e-05,1.471367e-05,1.470960e-05,1.466216e-05,1.464120e-05,1.460939e-05,1.457068e-05,1.455548e-05,1.450058e-05,1.449837e-05,1.444481e-05,1.442454e-05,1.438829e-05,1.434947e-05,1.433111e-05,1.427337e-05,1.421517e-05,1.419646e-05,1.415659e-05,1.411893e-05,1.409769e-05,1.404093e-05,1.403856e-05,1.397925e-05,1.396262e-05,1.391983e-05,1.388415e-05,1.386035e-05,1.380563e-05,1.380087e-05,1.374143e-05,1.372718e-05,1.368208e-05,1.364889e-05,1.362285e-05,1.357087e-05,1.356379e-05,1.350494e-05,1.349320e-05,1.344632e-05,1.341594e-05,1.338797e-05,1.333918e-05,1.332991e-05,1.327217e-05,1.326296e-05,1.321477e-05,1.318735e-05,1.315775e-05,1.311240e-05,1.310111e-05,1.304487e-05,1.303815e-05,1.298906e-05,1.296464e-05,1.293368e-05,1.289190e-05,1.287876e-05,1.282430e-05,1.281997e-05,1.277032e-05,1.274887e-05,1.271683e-05,1.267863e-05,1.266384e-05,1.261135e-05,1.260926e-05,1.255938e-05,1.254080e-05,1.250793e-05,1.247324e-05,1.245701e-05,1.240661e-05,1.234092e-05,1.227617e-05,1.221237e-05,1.214952e-05,1.208764e-05,1.202671e-05,1.196674e-05,1.190773e-05,1.184968e-05,1.179259e-05,1.173644e-05,1.168124e-05,1.162698e-05,1.157365e-05,1.152125e-05,1.146976e-05,1.141919e-05,1.136951e-05,1.132073e-05,1.127283e-05,1.122580e-05,1.117963e-05,1.113432e-05,1.108984e-05
0.000000e+00,8.330112e-10,1.892896e-09,6.409955e-09,1.439531e-08,2.086620e-08,4.668935e-08,4.807214e-08,9.211909e-08,1.080886e-07,1.576557e-07,2.093882e-07,2.496729e-07,3.610130e-07,3.719334e-07,5.239973e-07,5.643685e-07,7.001201e-07,8.062674e-07,8.923477e-07,1.069357e-06,1.093849e-06,1.299733e-06,1.341116e-06,1.506566e-06,1.613624e-06,1.711796e-06,1.881458e-06,1.913398e-06,2.109703e-06,2.140525e-06,2.299332e-06,2.387646e-06,2.481171e-06,2.620449e-06,2.654363e-06,2.818304e-06,2.837335e-06,2.972622e-06,3.037426e-06,3.117159e-06,3.220473e-06,3.251937e-06,3.377137e-06,3.386748e-06,3.493055e-06,3.536906e-06,3.600075e-06,3.671871e-06,3.698648e-06,3.789264e-06,3.792730e-06,3.872430e-06,3.900645e-06,3.948663e-06,3.996801e-06,4.018471e-06,4.082347e-06,4.140761e-06,4.158373e-06,4.194157e-06,4.225893e-06,4.242955e-06,4.285833e-06,4.287540e-06,4.328266e-06,4.339023e-06,4.365457e-06,4.386200e-06,4.399411e-06,4.428022e-06,4.430398e-06,4.458664e-06,4.465069e-06,4.484432e-06,4.497847e-06,4.507903e-06,4.526801e-06,4.529258e-06,4.548664e-06,4.552324e-06,4.566271e-06,4.574761e-06,4.582215e-06,4.594414e-06,4.596620e-06,4.609598e-06,4.611549e-06,4.621250e-06,4.626401e-06,4.631671e-06,4.639178e-06,4.640944e-06,4.649148e-06,4.650064e-06,4.656354e-06,4.659225e-06,4.662626e-06,4.666805e-06,4.668024e-06,4.672605e-06,4.672937e-06,4.676418e-06,4.677739e-06,4.679511e-06,4.681317e-06,4.681928e-06,4.683709e-06,4.683768e-06,4.684892e-06,4.685179e-06,4.685512e-06,4.685629e-06,4.685603e-06,4.685193e-06,4.684313e-06,4.683937e-06,4.682989e-06,4.681921e-06,4.681247e-06,4.679202e-06,4.679110e-06,4.676600e-06,4.675833e-06,4.673739e-06,4.671862e-06,4.670547e-06,4.667334e-06,4.667042e-06,4.663243e-06,4.662289e-06,4.659165e-06,4.656766e-06,4.654826e-06,4.650803e-06,4.650240e-06,4.645421e-06,4.644431e-06,4.640384e-06,4.637683e-06,4.635141e-06,4.630587e-06,4.629705e-06,4.624087e-06,4.623172e-06,4.618298e-06,4.615462e-06,4.612350e-06,4.607483e-06,4.606252e-06,4.600014e-06,4.599256e-06,4.593645e-06,4.590804e-06,4.587154e-06,4.582145e-06,4.580550e-06,4.573840e-06,4.573299e-06,4.567032e-06,4.564283e-06,4.560133e-06,4.555114e-06,4.553151e-06,4.546091e-06,4.545808e-06,4.538961e-06,4.536378e-06,4.531767e-06,4.526841e-06,4.524514e-06,4.517207e-06,4.507490e-06,4.497701e-06,4.487852e-06,4.477951e-06,4.468010e-06,4.458037e-06,4.448041e-06,4.438030e-06,4.428011e-06,4.417992e-06,4.407979e-06,4.397979e-06,4.387998e-06,4.378041e-06,4.368114e-06,4.358222e-06,4.348368e-06,4.338558e-06,4.328796e-06,4.319084e-06,4.309428e-06,4.299830e-06,4.290293e-06,4.280820e-06
0.000000e+00,2.475254e-09,6.062429e-09,2.244392e-08,5.287104e-08,7.813306e-08,1.812312e-07,1.868094e-07,3.656074e-07,4.306279e-07,6.322357e-07,8.420341e-07,1.005153e-06,1.457939e-06,1.502737e-06,2.140882e-06,2.316182e-06,2.928713e-06,3.434880e-06,3.863590e-06,4.795093e-06,4.929012e-06,6.098408e-06,6.342159e-06,7.342498e-06,8.009992e-06,8.634891e-06,9.741940e-06,9.954058e-06,1.128303e-05,1.149564e-05,1.260843e-05,1.324014e-05,1.391962e-05,1.495254e-05,1.520807e-05,1.646696e-05,1.661577e-05,1.769092e-05,1.821729e-05,1.887581e-05,1.974825e-05,2.001853e-05,2.111689e-05,2.120280e-05,2.216949e-05,2.257752e-05,2.317555e-05,2.387095e-05,2.413484e-05,2.504754e-05,2.508309e-05,2.591421e-05,2.621510e-05,2.673567e-05,2.726895e-05,2.751293e-05,2.824718e-05,2.893972e-05,2.915275e-05,2.959193e-05,2.998884e-05,3.020523e-05,3.075875e-05,3.078108e-05,3.132095e-05,3.146587e-05,3.182630e-05,3.211354e-05,3.229857e-05,3.270508e-05,3.273920e-05,3.314957e-05,3.324371e-05,3.353105e-05,3.373255e-05,3.388495e-05,3.417460e-05,3.421257e-05,3.451513e-05,3.457275e-05,3.479385e-05,3.492975e-05,3.504988e-05,3.524822e-05,3.528433e-05,3.549827e-05,3.553066e-05,3.569272e-05,3.577943e-05,3.586868e-05,3.599676e-05,3.602709e-05,3.616885e-05,3.618479e-05,3.629484e-05,3.634550e-05,3.640589e-05,3.648078e-05,3.650279e-05,3.658630e-05,3.659243e-05,3.665715e-05,3.668210e-05,3.671603e-05,3.675138e-05,3.676360e-05,3.680050e-05,3.680176e-05,3.682733e-05,3.683463e-05,3.684466e-05,3.685130e-05,3.685304e-05,3.685300e-05,3.684504e-05,3.684089e-05,3.682962e-05,3.681605e-05,3.680720e-05,3.677949e-05,3.677821e-05,3.674305e-05,3.673216e-05,3.670213e-05,3.667496e-05,3.665581e-05,3.660872e-05,3.660444e-05,3.654835e-05,3.653423e-05,3.648787e-05,3.645220e-05,3.642330e-05,3.636332e-05,3.635493e-05,3.628302e-05,3.626824e-05,3.620784e-05,3.616754e-05,3.612964e-05,3.606178e-05,3.604864e-05,3.596508e-05,3.595148e-05,3.587915e-05,3.583713e-05,3.579107e-05,3.571917e-05,3.570101e-05,3.560916e-05,3.559803e-05,3.551569e-05,3.547409e-05,3.542076e-05,3.534773e-05,3.532452e-05,3.522711e-05,3.521927e-05,3.512868e-05,3.508904e-05,3.502934e-05,3.495733e-05,3.492923e-05,3.482845e-05,3.482441e-05,3.472713e-05,3.469053e-05,3.462535e-05,3.455593e-05,3.452321e-05,3.442082e-05,3.428540e-05,3.414985e-05,3.401436e-05,3.387907e-05,3.374413e-05,3.360967e-05,3.347582e-05,3.334269e-05,3.321038e-05,3.307899e-05,3.294859e-05,3.281928e-05,3.269113e-05,3.256418e-05,3.243851e-05,3.231416e-05,3.219118e-05,3.206962e-05,3.194950e-05,3.183086e-05,3.171373e-05,3.159813e-05,3.148408e-05,3.137160e-05
0.000000e+00,5.362142e-10,1.541819e-09,7.276050e-09,2.004022e-08,3.172917e-08,8.480716e-08,8.784959e-08,1.912786e-07,2.311088e-07,3.601748e-07,5.017662e-07,6.160701e-07,9.485150e-07,9.823916e-07,1.477655e-06,1.616497e-06,2.105219e-06,2.509324e-06,2.849744e-06,3.580504e-06,3.684470e-06,4.581028e-06,4.765518e-06,5.515031e-06,6.008995e-06,6.467449e-06,7.271065e-06,7.423878e-06,8.373330e-06,8.523992e-06,9.307160e-06,9.747737e-06,1.021834e-05,1.092702e-05,1.110103e-05,1.195036e-05,1.204983e-05,1.276233e-05,1.310691e-05,1.353375e-05,1.409141e-05,1.426223e-05,1.494614e-05,1.499890e-05,1.558460e-05,1.582719e-05,1.617740e-05,1.657614e-05,1.672492e-05,1.722805e-05,1.724727e-05,1.768809e-05,1.784347e-05,1.810669e-05,1.836862e-05,1.848573e-05,1.882727e-05,1.913349e-05,1.922438e-05,1.940660e-05,1.956505e-05,1.964885e-05,1.985440e-05,1.986242e-05,2.004947e-05,2.009737e-05,2.021204e-05,2.029865e-05,2.035209e-05,2.046265e-05,2.047149e-05,2.057195e-05,2.059343e-05,2.065512e-05,2.069469e-05,2.072248e-05,2.076979e-05,2.077543e-05,2.081526e-05,2.082176e-05,2.084314e-05,2.085328e-05,2.086016e-05,2.086679e-05,2.086731e-05,2.086548e-05,2.086442e-05,2.085552e-05,2.084807e-05,2.083817e-05,2.081944e-05,2.081413e-05,2.078401e-05,2.078001e-05,2.074839e-05,2.073111e-05,2.070779e-05,2.067390e-05,2.066269e-05,2.061352e-05,2.060942e-05,2.056067e-05,2.053859e-05,2.050451e-05,2.046221e-05,2.044536e-05,2.038353e-05,2.038101e-05,2.031930e-05,2.029563e-05,2.025290e-05,2.020665e-05,2.018459e-05,2.011456e-05,2.004302e-05,2.001984e-05,1.997015e-05,1.992288e-05,1.989610e-05,1.982405e-05,1.982103e-05,1.974508e-05,1.972367e-05,1.966838e-05,1.962205e-05,1.959105e-05,1.951944e-05,1.951319e-05,1.943491e-05,1.941607e-05,1.935630e-05,1.931217e-05,1.927745e-05,1.920793e-05,1.919844e-05,1.911933e-05,1.910351e-05,1.904021e-05,1.899908e-05,1.896113e-05,1.889477e-05,1.888214e-05,1.880331e-05,1.879072e-05,1.872469e-05,1.868703e-05,1.864631e-05,1.858382e-05,1.856823e-05,1.849047e-05,1.848117e-05,1.841309e-05,1.837916e-05,1.833611e-05,1.827789e-05,1.825956e-05,1.818347e-05,1.817740e-05,1.810786e-05,1.807776e-05,1.803277e-05,1.797904e-05,1.795821e-05,1.788421e-05,1.788126e-05,1.781078e-05,1.778449e-05,1.773794e-05,1.768875e-05,1.766570e-05,1.759408e-05,1.750051e-05,1.740806e-05,1.731676e-05,1.722662e-05,1.713766e-05,1.704990e-05,1.696335e-05,1.687800e-05,1.679388e-05,1.671097e-05,1.662930e-05,1.654885e-05,1.646962e-05,1.639162e-05,1.631484e-05,1.623927e-05,1.616492e-05,1.609177e-05,1.601981e-05,1.594904e-05,1.587945e-05,1.581103e-05,1.574376e-05,1.567765e-05
0.000000e+00,1.683796e-09,4.456857e-09,1.827919e-08,4.554697e-08,6.882321e-08,1.662116e-07,1.715430e-07,3.439541e-07,4.070838e-07,6.034658e-07,8.083165e-07,9.677343e-07,1.410598e-06,1.454444e-06,2.080035e-06,2.252346e-06,2.856677e-06,3.359233e-06,3.787416e-06,4.726212e-06,4.862135e-06,6.059057e-06,6.310772e-06,7.351669e-06,8.053215e-06,8.715048e-06,9.899539e-06,1.012825e-05,1.157406e-05,1.180742e-05,1.303804e-05,1.374348e-05,1.450776e-05,1.568036e-05,1.597241e-05,1.742258e-05,1.759523e-05,1.885014e-05,1.946928e-05,2.024818e-05,2.128738e-05,2.161097e-05,2.293390e-05,2.303790e-05,2.421334e-05,2.471231e-05,2.544660e-05,2.630487e-05,2.663179e-05,2.776773e-05,2.781214e-05,2.885384e-05,2.923262e-05,2.989004e-05,3.056631e-05,3.087667e-05,3.181441e-05,3.270420e-05,3.297899e-05,3.354719e-05,3.406274e-05,3.434469e-05,3.506880e-05,3.509811e-05,3.580897e-05,3.600060e-05,3.647882e-05,3.686169e-05,3.710922e-05,3.765571e-05,3.770176e-05,3.825802e-05,3.838630e-05,3.877956e-05,3.905702e-05,3.926790e-05,3.967137e-05,3.972454e-05,4.015093e-05,4.023271e-05,4.054849e-05,4.074428e-05,4.091858e-05,4.120919e-05,4.126251e-05,4.158156e-05,4.163038e-05,4.187694e-05,4.201067e-05,4.214984e-05,4.235271e-05,4.240136e-05,4.263259e-05,4.265902e-05,4.284456e-05,4.293198e-05,4.303825e-05,4.317382e-05,4.321462e-05,4.337455e-05,4.338666e-05,4.351890e-05,4.357246e-05,4.364849e-05,4.373310e-05,4.376410e-05,4.386648e-05,4.387031e-05,4.395633e-05,4.398575e-05,4.403434e-05,4.408095e-05,4.410114e-05,4.415735e-05,4.420356e-05,4.421632e-05,4.424031e-05,4.425911e-05,4.426814e-05,4.428693e-05,4.428755e-05,4.429902e-05,4.430087e-05,4.430301e-05,4.430199e-05,4.429994e-05,4.429125e-05,4.429024e-05,4.427430e-05,4.426958e-05,4.425248e-05,4.423783e-05,4.422514e-05,4.419679e-05,4.419263e-05,4.415525e-05,4.414722e-05,4.411331e-05,4.408980e-05,4.406711e-05,4.402520e-05,4.401692e-05,4.396299e-05,4.395403e-05,4.390558e-05,4.387685e-05,4.384492e-05,4.379420e-05,4.378123e-05,4.371473e-05,4.370658e-05,4.364563e-05,4.361444e-05,4.357410e-05,4.351823e-05,4.350034e-05,4.342451e-05,4.341836e-05,4.334678e-05,4.331519e-05,4.326730e-05,4.320908e-05,4.318623e-05,4.310369e-05,4.310036e-05,4.301983e-05,4.298934e-05,4.293477e-05,4.287631e-05,4.284863e-05,4.276152e-05,4.264523e-05,4.252768e-05,4.240906e-05,4.228960e-05,4.216946e-05,4.204883e-05,4.192787e-05,4.180672e-05,4.168552e-05,4.156441e-05,4.144349e-05,4.132289e-05,4.120269e-05,4.108300e-05,4.096390e-05,4.084548e-05,4.072779e-05,4.061092e-05,4.049492e-05,4.037985e-05,4.026575e-05,4.015269e-05,4.004069e-05,3.992980e-05
0.000000e+00,6.187451e-09,1.419794e-08,4.907109e-08,1.124070e-07,1.648388e-07,3.812915e-07,3.931591e-07,7.832053e-07,9.296945e-07,1.398530e-06,1.906409e-06,2.311784e-06,3.460914e-06,3.575187e-06,5.186290e-06,5.620057e-06,7.100569e-06,8.286253e-06,9.268974e-06,1.135747e-05,1.165419e-05,1.422946e-05,1.476543e-05,1.697398e-05,1.846190e-05,1.986942e-05,2.240521e-05,2.289799e-05,2.604155e-05,2.655394e-05,2.928130e-05,3.086488e-05,3.259790e-05,3.529331e-05,3.597171e-05,3.938329e-05,3.979431e-05,4.281370e-05,4.432436e-05,4.624488e-05,4.884262e-05,4.965990e-05,5.304319e-05,5.331205e-05,5.638072e-05,5.770007e-05,5.966001e-05,6.197889e-05,6.287021e-05,6.600205e-05,6.612558e-05,6.904776e-05,7.012186e-05,7.200097e-05,7.395372e-05,7.485667e-05,7.761099e-05,8.026113e-05,8.108686e-05,8.280527e-05,8.437737e-05,8.524236e-05,8.748096e-05,8.757209e-05,8.979477e-05,9.039803e-05,9.191120e-05,9.313056e-05,9.392263e-05,9.568178e-05,9.583066e-05,9.763720e-05,9.805589e-05,9.934437e-05,1.002578e-04,1.009545e-04,1.022931e-04,1.024701e-04,1.038936e-04,1.041675e-04,1.052279e-04,1.058873e-04,1.064755e-04,1.074585e-04,1.076392e-04,1.087218e-04,1.088877e-04,1.097261e-04,1.101811e-04,1.106547e-04,1.113449e-04,1.115104e-04,1.122958e-04,1.123855e-04,1.130137e-04,1.133088e-04,1.136665e-04,1.141207e-04,1.142568e-04,1.147872e-04,1.148271e-04,1.152600e-04,1.154335e-04,1.156776e-04,1.159454e-04,1.160423e-04,1.163564e-04,1.163679e-04,1.166220e-04,1.167061e-04,1.168412e-04,1.169649e-04,1.170162e-04,1.171489e-04,1.172412e-04,1.172625e-04,1.172950e-04,1.173101e-04,1.173121e-04,1.172957e-04,1.172943e-04,1.172433e-04,1.172232e-04,1.171606e-04,1.170965e-04,1.170479e-04,1.169189e-04,1.169066e-04,1.167383e-04,1.166940e-04,1.165444e-04,1.164250e-04,1.163261e-04,1.161150e-04,1.160849e-04,1.158220e-04,1.157669e-04,1.155385e-04,1.153834e-04,1.152357e-04,1.149673e-04,1.149147e-04,1.145766e-04,1.145210e-04,1.142224e-04,1.140469e-04,1.138530e-04,1.135473e-04,1.134695e-04,1.130728e-04,1.130244e-04,1.126637e-04,1.124800e-04,1.122431e-04,1.119162e-04,1.118118e-04,1.113705e-04,1.113348e-04,1.109201e-04,1.107375e-04,1.104611e-04,1.101258e-04,1.099944e-04,1.095205e-04,1.095014e-04,1.090400e-04,1.088656e-04,1.085536e-04,1.082197e-04,1.080618e-04,1.075652e-04,1.069031e-04,1.062346e-04,1.055607e-04,1.048824e-04,1.042007e-04,1.035164e-04,1.028304e-04,1.021433e-04,1.014559e-04,1.007689e-04,1.000829e-04,9.939838e-05,9.871597e-05,9.803613e-05,9.735932e-05,9.668596e-05,9.601643e-05,9.535110e-05,9.469029e-05,9.403431e-05,9.338344e-05,9.273791e-05,9.209796e-05,9.146380e-05
0.000000e+00,1.594380e-09,4.541350e-09,2.108960e-08,5.747173e-08,9.060576e-08,2.407002e-07,2.493093e-07,5.431882e-07,6.570507e-07,1.028419e-06,1.439091e-06,1.772145e-06,2.742191e-06,2.840827e-06,4.272133e-06,4.669404e-06,6.055962e-06,7.193132e-06,8.148553e-06,1.020445e-05,1.049845e-05,1.306053e-05,1.359507e-05,1.579831e-05,1.728121e-05,1.868163e-05,2.119664e-05,2.168398e-05,2.478070e-05,2.528334e-05,2.794811e-05,2.948682e-05,3.116329e-05,3.375498e-05,3.440420e-05,3.765001e-05,3.803889e-05,4.088137e-05,4.229400e-05,4.408073e-05,4.648113e-05,4.723243e-05,5.032285e-05,5.056707e-05,5.334039e-05,5.452479e-05,5.627545e-05,5.833318e-05,5.912025e-05,6.186877e-05,6.197664e-05,6.451650e-05,6.544436e-05,6.706028e-05,6.872962e-05,6.949814e-05,7.182919e-05,7.405338e-05,7.474264e-05,7.617138e-05,7.747173e-05,7.818443e-05,8.001973e-05,8.009416e-05,8.190256e-05,8.239105e-05,8.361187e-05,8.459094e-05,8.522462e-05,8.662542e-05,8.674355e-05,8.817155e-05,8.850107e-05,8.951159e-05,9.022470e-05,9.076666e-05,9.180329e-05,9.193985e-05,9.303426e-05,9.324397e-05,9.405314e-05,9.455425e-05,9.499992e-05,9.574177e-05,9.587770e-05,9.668931e-05,9.681322e-05,9.743761e-05,9.777510e-05,9.812529e-05,9.863353e-05,9.875494e-05,9.932915e-05,9.939445e-05,9.985041e-05,1.000636e-04,1.003211e-04,1.006464e-04,1.007435e-04,1.011199e-04,1.011481e-04,1.014524e-04,1.015736e-04,1.017431e-04,1.019276e-04,1.019940e-04,1.022071e-04,1.022148e-04,1.023841e-04,1.024394e-04,1.025270e-04,1.026055e-04,1.026374e-04,1.027170e-04,1.027672e-04,1.027774e-04,1.027898e-04,1.027904e-04,1.027861e-04,1.027591e-04,1.027575e-04,1.027055e-04,1.026868e-04,1.026311e-04,1.025764e-04,1.025358e-04,1.024306e-04,1.024207e-04,1.022869e-04,1.022521e-04,1.021355e-04,1.020434e-04,1.019675e-04,1.018068e-04,1.017839e-04,1.015857e-04,1.015444e-04,1.013738e-04,1.012585e-04,1.011491e-04,1.009509e-04,1.009122e-04,1.006642e-04,1.006235e-04,1.004056e-04,1.002780e-04,1.001373e-04,9.991609e-05,9.985992e-05,9.957408e-05,9.953924e-05,9.928044e-05,9.914891e-05,9.897958e-05,9.874646e-05,9.867208e-05,9.835847e-05,9.833313e-05,9.803927e-05,9.791013e-05,9.771496e-05,9.747857e-05,9.738602e-05,9.705289e-05,9.703948e-05,9.671598e-05,9.659385e-05,9.637571e-05,9.614259e-05,9.603244e-05,9.568655e-05,9.522652e-05,9.476326e-05,9.429745e-05,9.382974e-05,9.336073e-05,9.289099e-05,9.242103e-05,9.195134e-05,9.148237e-05,9.101453e-05,9.054821e-05,9.008376e-05,8.962152e-05,8.916177e-05,8.870480e-05,8.825087e-05,8.780020e-05,8.735301e-05,8.690949e-05,8.646983e-05,8.603417e-05,8.560267e-05,8.517545e-05,8.475263e-05
0.000000e+00,8.036786e-10,2.131828e-09,8.770368e-09,2.189212e-08,3.310314e-08,8.005119e-08,8.262253e-08,1.658315e-07,1.963250e-07,2.912791e-07,3.904978e-07,4.678418e-07,6.833479e-07,7.047375e-07,1.010978e-06,1.095674e-06,1.393873e-06,1.643200e-06,1.856590e-06,2.327556e-06,2.396099e-06,3.003505e-06,3.132095e-06,3.666794e-06,4.029688e-06,4.373747e-06,4.993307e-06,5.113461e-06,5.876630e-06,6.000367e-06,6.655325e-06,7.032565e-06,7.442684e-06,8.074732e-06,8.232676e-06,9.019967e-06,9.114031e-06,9.799850e-06,1.013957e-05,1.056820e-05,1.114223e-05,1.132147e-05,1.205664e-05,1.211459e-05,1.277121e-05,1.305080e-05,1.346316e-05,1.394648e-05,1.413095e-05,1.477341e-05,1.479857e-05,1.538974e-05,1.560512e-05,1.597947e-05,1.636517e-05,1.654238e-05,1.707849e-05,1.758803e-05,1.774553e-05,1.807136e-05,1.836717e-05,1.852898e-05,1.894467e-05,1.896150e-05,1.936958e-05,1.947956e-05,1.975395e-05,1.997352e-05,2.011539e-05,2.042835e-05,2.045470e-05,2.077269e-05,2.084593e-05,2.107020e-05,2.122815e-05,2.134803e-05,2.157689e-05,2.160699e-05,2.184790e-05,2.189399e-05,2.207154e-05,2.218126e-05,2.227866e-05,2.244044e-05,2.247002e-05,2.264634e-05,2.267320e-05,2.280832e-05,2.288117e-05,2.295662e-05,2.306586e-05,2.309190e-05,2.321479e-05,2.322873e-05,2.332588e-05,2.337117e-05,2.342574e-05,2.349448e-05,2.351495e-05,2.359401e-05,2.359991e-05,2.366345e-05,2.368863e-05,2.372374e-05,2.376175e-05,2.377536e-05,2.381874e-05,2.382031e-05,2.385432e-05,2.386529e-05,2.388250e-05,2.389763e-05,2.390366e-05,2.391818e-05,2.392641e-05,2.392778e-05,2.392870e-05,2.392718e-05,2.392535e-05,2.391713e-05,2.391668e-05,2.390299e-05,2.389829e-05,2.388454e-05,2.387130e-05,2.386161e-05,2.383678e-05,2.383445e-05,2.380331e-05,2.379527e-05,2.376841e-05,2.374730e-05,2.372997e-05,2.369338e-05,2.368820e-05,2.364330e-05,2.363396e-05,2.359547e-05,2.356949e-05,2.354487e-05,2.350037e-05,2.349169e-05,2.343609e-05,2.342698e-05,2.337822e-05,2.334968e-05,2.331823e-05,2.326881e-05,2.325626e-05,2.319246e-05,2.318468e-05,2.312693e-05,2.309759e-05,2.305982e-05,2.300782e-05,2.299123e-05,2.292127e-05,2.291561e-05,2.285004e-05,2.282122e-05,2.277766e-05,2.272488e-05,2.270421e-05,2.262978e-05,2.262678e-05,2.255445e-05,2.252713e-05,2.247832e-05,2.242612e-05,2.240145e-05,2.232392e-05,2.222069e-05,2.211657e-05,2.201173e-05,2.190627e-05,2.180034e-05,2.169403e-05,2.158747e-05,2.148075e-05,2.137396e-05,2.126718e-05,2.116051e-05,2.105401e-05,2.094776e-05,2.084181e-05,2.073623e-05,2.063107e-05,2.052639e-05,2.042222e-05,2.031863e-05,2.021563e-05,2.011328e-05,2.001161e-05,1.991064e-05,1.981041e-05
0.000000e+00,1.556835e-09,4.474969e-09,2.114868e-08,5.852435e-08,9.306232e-08,2.533171e-07,2.626619e-07,5.893452e-07,7.193021e-07,1.152866e-06,1.643834e-06,2.046160e-06,3.214396e-06,3.331877e-06,4.996420e-06,5.444818e-06,6.968021e-06,8.175058e-06,9.164325e-06,1.122844e-05,1.151724e-05,1.397603e-05,1.447698e-05,1.650268e-05,1.783313e-05,1.906697e-05,2.123107e-05,2.164305e-05,2.420774e-05,2.461559e-05,2.673984e-05,2.793795e-05,2.922012e-05,3.115547e-05,3.163148e-05,3.395921e-05,3.423231e-05,3.619116e-05,3.714032e-05,3.831780e-05,3.985922e-05,4.033213e-05,4.222958e-05,4.237624e-05,4.400769e-05,4.468535e-05,4.566593e-05,4.678617e-05,4.720534e-05,4.862826e-05,4.868280e-05,4.993808e-05,5.038271e-05,5.113896e-05,5.189573e-05,5.223562e-05,5.323316e-05,5.413690e-05,5.440717e-05,5.495224e-05,5.543016e-05,5.568457e-05,5.631445e-05,5.633920e-05,5.692130e-05,5.707196e-05,5.743581e-05,5.771407e-05,5.788751e-05,5.825146e-05,5.828089e-05,5.862024e-05,5.869410e-05,5.890957e-05,5.905117e-05,5.915266e-05,5.933113e-05,5.935303e-05,5.951398e-05,5.954172e-05,5.963859e-05,5.968997e-05,5.972970e-05,5.978230e-05,5.978997e-05,5.982188e-05,5.982451e-05,5.982770e-05,5.982186e-05,5.980956e-05,5.977912e-05,5.976943e-05,5.970911e-05,5.970060e-05,5.963030e-05,5.959018e-05,5.953456e-05,5.945137e-05,5.942334e-05,5.929797e-05,5.928736e-05,5.915968e-05,5.910102e-05,5.900964e-05,5.889492e-05,5.884889e-05,5.867843e-05,5.867142e-05,5.849916e-05,5.843263e-05,5.831193e-05,5.818046e-05,5.811751e-05,5.791664e-05,5.770998e-05,5.764273e-05,5.749815e-05,5.736014e-05,5.728173e-05,5.707015e-05,5.706126e-05,5.683723e-05,5.677392e-05,5.661009e-05,5.647250e-05,5.638028e-05,5.616682e-05,5.614818e-05,5.591416e-05,5.585775e-05,5.567856e-05,5.554605e-05,5.544169e-05,5.523243e-05,5.520385e-05,5.496530e-05,5.491753e-05,5.472629e-05,5.460190e-05,5.448706e-05,5.428608e-05,5.424781e-05,5.400874e-05,5.397052e-05,5.377005e-05,5.365565e-05,5.353189e-05,5.334185e-05,5.329442e-05,5.305779e-05,5.302946e-05,5.282213e-05,5.271878e-05,5.258757e-05,5.241010e-05,5.235421e-05,5.212216e-05,5.210366e-05,5.189152e-05,5.179968e-05,5.166238e-05,5.149837e-05,5.143481e-05,5.120889e-05,5.119989e-05,5.098469e-05,5.090441e-05,5.076226e-05,5.061206e-05,5.054167e-05,5.032296e-05,5.003722e-05,4.975492e-05,4.947616e-05,4.920099e-05,4.892947e-05,4.866166e-05,4.839758e-05,4.813727e-05,4.788075e-05,4.762804e-05,4.737914e-05,4.713406e-05,4.689280e-05,4.665534e-05,4.642168e-05,4.619181e-05,4.596571e-05,4.574334e-05,4.552470e-05,4.530974e-05,4.509845e-05,4.489078e-05,4.468671e-05,4.448620e-05
0.000000e+00,1.068600e-09,3.075522e-09,1.454910e-08,4.015513e-08,6.362458e-08,1.699572e-07,1.760315e-07,3.807293e-07,4.585586e-07,7.069358e-07,9.732066e-07,1.184050e-06,1.781544e-06,1.841446e-06,2.706927e-06,2.948276e-06,3.802853e-06,4.522243e-06,5.141304e-06,6.519960e-06,6.722217e-06,8.535893e-06,8.925275e-06,1.056707e-05,1.170339e-05,1.279795e-05,1.481238e-05,1.520960e-05,1.778252e-05,1.820783e-05,2.049685e-05,2.184407e-05,2.333251e-05,2.567490e-05,2.626943e-05,2.928783e-05,2.965459e-05,3.236852e-05,3.373901e-05,3.549321e-05,3.788679e-05,3.864472e-05,4.180717e-05,4.206020e-05,4.496614e-05,4.622581e-05,4.810871e-05,5.035472e-05,5.122344e-05,5.430041e-05,5.442257e-05,5.733108e-05,5.840937e-05,6.030826e-05,6.229907e-05,6.322593e-05,6.607922e-05,6.886420e-05,6.974045e-05,7.157785e-05,7.327606e-05,7.421788e-05,7.668157e-05,7.678270e-05,7.927128e-05,7.995433e-05,8.168307e-05,8.309323e-05,8.401798e-05,8.609838e-05,8.627623e-05,8.845838e-05,8.897085e-05,9.056519e-05,9.171246e-05,9.259766e-05,9.432563e-05,9.455692e-05,9.644428e-05,9.681324e-05,9.826113e-05,9.917851e-05,1.000089e-04,1.014249e-04,1.016893e-04,1.033037e-04,1.035560e-04,1.048540e-04,1.055757e-04,1.063416e-04,1.074877e-04,1.077683e-04,1.091358e-04,1.092959e-04,1.104457e-04,1.110042e-04,1.116997e-04,1.126164e-04,1.128994e-04,1.140466e-04,1.141362e-04,1.151428e-04,1.155673e-04,1.161896e-04,1.169136e-04,1.171886e-04,1.181413e-04,1.181784e-04,1.190492e-04,1.193654e-04,1.199138e-04,1.204778e-04,1.207367e-04,1.215191e-04,1.222625e-04,1.224924e-04,1.229682e-04,1.234008e-04,1.236376e-04,1.242473e-04,1.242720e-04,1.248725e-04,1.250348e-04,1.254405e-04,1.257662e-04,1.259771e-04,1.264441e-04,1.264835e-04,1.269608e-04,1.270711e-04,1.274100e-04,1.276498e-04,1.278324e-04,1.281826e-04,1.282288e-04,1.286004e-04,1.286718e-04,1.289480e-04,1.291196e-04,1.292726e-04,1.295282e-04,1.295751e-04,1.298565e-04,1.298996e-04,1.301175e-04,1.302358e-04,1.303591e-04,1.305388e-04,1.305819e-04,1.307868e-04,1.308103e-04,1.309746e-04,1.310520e-04,1.311460e-04,1.312657e-04,1.313016e-04,1.314422e-04,1.314528e-04,1.315684e-04,1.316150e-04,1.316809e-04,1.317537e-04,1.317802e-04,1.318670e-04,1.318703e-04,1.319419e-04,1.319660e-04,1.320053e-04,1.320422e-04,1.320579e-04,1.321001e-04,1.321408e-04,1.321654e-04,1.321750e-04,1.321705e-04,1.321529e-04,1.321232e-04,1.320820e-04,1.320303e-04,1.319689e-04,1.318984e-04,1.318196e-04,1.317331e-04,1.316396e-04,1.315396e-04,1.314337e-04,1.313224e-04,1.312062e-04,1.310857e-04,1.309611e-04,1.308331e-04,1.307019e-04,1.305680e-04,1.304316e-04,1.302932e-04
0.000000e+00,2.026828e-09,5.862385e-09,2.801852e-08,7.813549e-08,1.246178e-07,3.401375e-07,3.526652e-07,7.867933e-07,9.575029e-07,1.520923e-06,2.153125e-06,2.671616e-06,4.207293e-06,4.365410e-06,6.694553e-06,7.350647e-06,9.661743e-06,1.157033e-05,1.317493e-05,1.660866e-05,1.709605e-05,2.128895e-05,2.214974e-05,2.564078e-05,2.793671e-05,3.006440e-05,3.378676e-05,3.449353e-05,3.887704e-05,3.957135e-05,4.317458e-05,4.519709e-05,4.735373e-05,5.059404e-05,5.138832e-05,5.525750e-05,5.570987e-05,5.894510e-05,6.050693e-05,6.243928e-05,6.496045e-05,6.573206e-05,6.881897e-05,6.905697e-05,7.169857e-05,7.279255e-05,7.437203e-05,7.617108e-05,7.684269e-05,7.911562e-05,7.920252e-05,8.119728e-05,8.190126e-05,8.309510e-05,8.428477e-05,8.481726e-05,8.637238e-05,8.776932e-05,8.818439e-05,8.901702e-05,8.974135e-05,9.012438e-05,9.106350e-05,9.110011e-05,9.195268e-05,9.217045e-05,9.269027e-05,9.308090e-05,9.332071e-05,9.381253e-05,9.385150e-05,9.428973e-05,9.438189e-05,9.464214e-05,9.480439e-05,9.491508e-05,9.509427e-05,9.511451e-05,9.524606e-05,9.526469e-05,9.531498e-05,9.532773e-05,9.532622e-05,9.529446e-05,9.528438e-05,9.519378e-05,9.517503e-05,9.505842e-05,9.497867e-05,9.488208e-05,9.471385e-05,9.466824e-05,9.442016e-05,9.438824e-05,9.414088e-05,9.400884e-05,9.383320e-05,9.358201e-05,9.349976e-05,9.314300e-05,9.311352e-05,9.276518e-05,9.260863e-05,9.236840e-05,9.207209e-05,9.195462e-05,9.152566e-05,9.150821e-05,9.108318e-05,9.092089e-05,9.062876e-05,9.031367e-05,9.016383e-05,8.968974e-05,8.920772e-05,8.905199e-05,8.871892e-05,8.840303e-05,8.822441e-05,8.774520e-05,8.772515e-05,8.722206e-05,8.708063e-05,8.671598e-05,8.641122e-05,8.620768e-05,8.573869e-05,8.569787e-05,8.518720e-05,8.506458e-05,8.467629e-05,8.439028e-05,8.416569e-05,8.371702e-05,8.365591e-05,8.314741e-05,8.304590e-05,8.264062e-05,8.237791e-05,8.213595e-05,8.171392e-05,8.163374e-05,8.113433e-05,8.105471e-05,8.063802e-05,8.040096e-05,8.014507e-05,7.975330e-05,7.965573e-05,7.917024e-05,7.911224e-05,7.868878e-05,7.847826e-05,7.821154e-05,7.785176e-05,7.773868e-05,7.727035e-05,7.723309e-05,7.680668e-05,7.662254e-05,7.634778e-05,7.602037e-05,7.589374e-05,7.544466e-05,7.542680e-05,7.500061e-05,7.484200e-05,7.456166e-05,7.426611e-05,7.412785e-05,7.369924e-05,7.314147e-05,7.259287e-05,7.205347e-05,7.152329e-05,7.100232e-05,7.049054e-05,6.998792e-05,6.949443e-05,6.900999e-05,6.853454e-05,6.806801e-05,6.761031e-05,6.716134e-05,6.672102e-05,6.628922e-05,6.586585e-05,6.545079e-05,6.504392e-05,6.464513e-05,6.425428e-05,6.387126e-05,6.349593e-05,6.312818e-05,6.276787e-05
0.000000e+00,5.596760e-10,1.577208e-09,7.170231e-09,1.916415e-08,2.987882e-08,7.688346e-08,7.951972e-08,1.666327e-07,1.991347e-07,3.014287e-07,4.093939e-07,4.940063e-07,7.309103e-07,7.544838e-07,1.092721e-06,1.186467e-06,1.517213e-06,1.794693e-06,2.032994e-06,2.562127e-06,2.639541e-06,3.330462e-06,3.477901e-06,4.095414e-06,4.518538e-06,4.922620e-06,5.657124e-06,5.800551e-06,6.718567e-06,6.868509e-06,7.666973e-06,8.130367e-06,8.636887e-06,9.422770e-06,9.620104e-06,1.060903e-05,1.072774e-05,1.159666e-05,1.202914e-05,1.257662e-05,1.331269e-05,1.354315e-05,1.449120e-05,1.456611e-05,1.541638e-05,1.577920e-05,1.631499e-05,1.694379e-05,1.718397e-05,1.802092e-05,1.805371e-05,1.882401e-05,1.910457e-05,1.959193e-05,2.009359e-05,2.032386e-05,2.101938e-05,2.167845e-05,2.188168e-05,2.230131e-05,2.268117e-05,2.288847e-05,2.341922e-05,2.344065e-05,2.395871e-05,2.409778e-05,2.444366e-05,2.471919e-05,2.489659e-05,2.528603e-05,2.531869e-05,2.571115e-05,2.580107e-05,2.607522e-05,2.626716e-05,2.641215e-05,2.668718e-05,2.672318e-05,2.700953e-05,2.706395e-05,2.727243e-05,2.740026e-05,2.751306e-05,2.769880e-05,2.773255e-05,2.793201e-05,2.796214e-05,2.811253e-05,2.819275e-05,2.827512e-05,2.839296e-05,2.842078e-05,2.855045e-05,2.856498e-05,2.866503e-05,2.871089e-05,2.876539e-05,2.883266e-05,2.885235e-05,2.892668e-05,2.893211e-05,2.898914e-05,2.901096e-05,2.904043e-05,2.907082e-05,2.908122e-05,2.911214e-05,2.911318e-05,2.913380e-05,2.913944e-05,2.914677e-05,2.915090e-05,2.915159e-05,2.914877e-05,2.913880e-05,2.913418e-05,2.912214e-05,2.910817e-05,2.909922e-05,2.907171e-05,2.907046e-05,2.903623e-05,2.902572e-05,2.899692e-05,2.897103e-05,2.895286e-05,2.890841e-05,2.890438e-05,2.885180e-05,2.883860e-05,2.879540e-05,2.876226e-05,2.873547e-05,2.868001e-05,2.867226e-05,2.860602e-05,2.859243e-05,2.853698e-05,2.850005e-05,2.846537e-05,2.840338e-05,2.839139e-05,2.831524e-05,2.830287e-05,2.823710e-05,2.819894e-05,2.815714e-05,2.809198e-05,2.807554e-05,2.799244e-05,2.798237e-05,2.790799e-05,2.787044e-05,2.782233e-05,2.775650e-05,2.773559e-05,2.764790e-05,2.764084e-05,2.755936e-05,2.752373e-05,2.747008e-05,2.740541e-05,2.738018e-05,2.728974e-05,2.728611e-05,2.719885e-05,2.716604e-05,2.710761e-05,2.704540e-05,2.701608e-05,2.692435e-05,2.680308e-05,2.668173e-05,2.656043e-05,2.643932e-05,2.631852e-05,2.619812e-05,2.607824e-05,2.595897e-05,2.584037e-05,2.572254e-05,2.560554e-05,2.548942e-05,2.537426e-05,2.526009e-05,2.514697e-05,2.503493e-05,2.492402e-05,2.481426e-05,2.470569e-05,2.459832e-05,2.449219e-05,2.438731e-05,2.428370e-05,2.418138e-05
0.000000e+00,3.295755e-10,9.680324e-10,4.760534e-09,1.356057e-08,2.183054e-08,6.049097e-08,6.273832e-08,1.398783e-07,1.697166e-07,2.661161e-07,3.708523e-07,4.545020e-07,6.938677e-07,7.180075e-07,1.068625e-06,1.166828e-06,1.515259e-06,1.808807e-06,2.061171e-06,2.621177e-06,2.703014e-06,3.432127e-06,3.587418e-06,4.236736e-06,4.680648e-06,5.103780e-06,5.870667e-06,6.020042e-06,6.972730e-06,7.127722e-06,7.949761e-06,8.424047e-06,8.939891e-06,9.734454e-06,9.932792e-06,1.091911e-05,1.103662e-05,1.189051e-05,1.231128e-05,1.283972e-05,1.354244e-05,1.376056e-05,1.464794e-05,1.471736e-05,1.549783e-05,1.582657e-05,1.630720e-05,1.686368e-05,1.707401e-05,1.779705e-05,1.782505e-05,1.847587e-05,1.870944e-05,1.911069e-05,1.951762e-05,1.970229e-05,2.025190e-05,2.076106e-05,2.091573e-05,2.123157e-05,2.151333e-05,2.166543e-05,2.204941e-05,2.206475e-05,2.243167e-05,2.252890e-05,2.276836e-05,2.295676e-05,2.307696e-05,2.333782e-05,2.335951e-05,2.361800e-05,2.367666e-05,2.385429e-05,2.397758e-05,2.407016e-05,2.424453e-05,2.426724e-05,2.444706e-05,2.448108e-05,2.461104e-05,2.469048e-05,2.476046e-05,2.487560e-05,2.489652e-05,2.502029e-05,2.503902e-05,2.513277e-05,2.518302e-05,2.523486e-05,2.530959e-05,2.532736e-05,2.541102e-05,2.542049e-05,2.548651e-05,2.551730e-05,2.555444e-05,2.560136e-05,2.561537e-05,2.566981e-05,2.567389e-05,2.571820e-05,2.573596e-05,2.576097e-05,2.578850e-05,2.579850e-05,2.583114e-05,2.583234e-05,2.585920e-05,2.586824e-05,2.588298e-05,2.589685e-05,2.590276e-05,2.591877e-05,2.593125e-05,2.593453e-05,2.594041e-05,2.594462e-05,2.594645e-05,2.594948e-05,2.594955e-05,2.594988e-05,2.594950e-05,2.594760e-05,2.594505e-05,2.594287e-05,2.593646e-05,2.593581e-05,2.592657e-05,2.592404e-05,2.591526e-05,2.590807e-05,2.590200e-05,2.588881e-05,2.588691e-05,2.587008e-05,2.586651e-05,2.585161e-05,2.584139e-05,2.583160e-05,2.581366e-05,2.581013e-05,2.578728e-05,2.578351e-05,2.576315e-05,2.575112e-05,2.573779e-05,2.571668e-05,2.571129e-05,2.568370e-05,2.568032e-05,2.565510e-05,2.564221e-05,2.562555e-05,2.560248e-05,2.559510e-05,2.556381e-05,2.556127e-05,2.553173e-05,2.551869e-05,2.549892e-05,2.547487e-05,2.546543e-05,2.543129e-05,2.542991e-05,2.539656e-05,2.538391e-05,2.536127e-05,2.533698e-05,2.532547e-05,2.528919e-05,2.524065e-05,2.519142e-05,2.514158e-05,2.509121e-05,2.504038e-05,2.498914e-05,2.493755e-05,2.488568e-05,2.483358e-05,2.478129e-05,2.472886e-05,2.467634e-05,2.462377e-05,2.457119e-05,2.451863e-05,2.446614e-05,2.441374e-05,2.436146e-05,2.430934e-05,2.425739e-05,2.420566e-05,2.415415e-05,2.410289e-05,2.405190e-05
0.000000e+00,3.400369e-09,7.761914e-09,2.654675e-08,6.012825e-08,8.752282e-08,1.975073e-07,2.034099e-07,3.913307e-07,4.592790e-07,6.692840e-07,8.871965e-07,1.056405e-06,1.525844e-06,1.572302e-06,2.235138e-06,2.417723e-06,3.058185e-06,3.590944e-06,4.044987e-06,5.040552e-06,5.184631e-06,6.450638e-06,6.715845e-06,7.806219e-06,8.533700e-06,9.213280e-06,1.041097e-05,1.063930e-05,1.205955e-05,1.228498e-05,1.345624e-05,1.411443e-05,1.481678e-05,1.587309e-05,1.613224e-05,1.739630e-05,1.754431e-05,1.860459e-05,1.911777e-05,1.975419e-05,2.058754e-05,2.084338e-05,2.187139e-05,2.195098e-05,2.283822e-05,2.320794e-05,2.374449e-05,2.436014e-05,2.459135e-05,2.538030e-05,2.541068e-05,2.611316e-05,2.636365e-05,2.679196e-05,2.722377e-05,2.741888e-05,2.799617e-05,2.852617e-05,2.868617e-05,2.901120e-05,2.929909e-05,2.945358e-05,2.984023e-05,2.985557e-05,3.021939e-05,3.031472e-05,3.054720e-05,3.072747e-05,3.084108e-05,3.108320e-05,3.110302e-05,3.133494e-05,3.138633e-05,3.153865e-05,3.164107e-05,3.171591e-05,3.185134e-05,3.186838e-05,3.199762e-05,3.202082e-05,3.210514e-05,3.215293e-05,3.219233e-05,3.225086e-05,3.226056e-05,3.231107e-05,3.231759e-05,3.234507e-05,3.235586e-05,3.236368e-05,3.236821e-05,3.236798e-05,3.235895e-05,3.235702e-05,3.233755e-05,3.232445e-05,3.230467e-05,3.227253e-05,3.226115e-05,3.220778e-05,3.220311e-05,3.214531e-05,3.211792e-05,3.207442e-05,3.201854e-05,3.199578e-05,3.191000e-05,3.190643e-05,3.181766e-05,3.178291e-05,3.171930e-05,3.164924e-05,3.161543e-05,3.150654e-05,3.139307e-05,3.135586e-05,3.127544e-05,3.119816e-05,3.115405e-05,3.103433e-05,3.102928e-05,3.090145e-05,3.086516e-05,3.077091e-05,3.069141e-05,3.063796e-05,3.051375e-05,3.050287e-05,3.036592e-05,3.033281e-05,3.022736e-05,3.014915e-05,3.008742e-05,2.996330e-05,2.994631e-05,2.980424e-05,2.977573e-05,2.966140e-05,2.958688e-05,2.951797e-05,2.939715e-05,2.937411e-05,2.922998e-05,2.920690e-05,2.908571e-05,2.901645e-05,2.894144e-05,2.882611e-05,2.879730e-05,2.865339e-05,2.863614e-05,2.850983e-05,2.844680e-05,2.836671e-05,2.825830e-05,2.822413e-05,2.808217e-05,2.807084e-05,2.794090e-05,2.788461e-05,2.780040e-05,2.769976e-05,2.766074e-05,2.752198e-05,2.751645e-05,2.738416e-05,2.733479e-05,2.724735e-05,2.715492e-05,2.711159e-05,2.697692e-05,2.680090e-05,2.662692e-05,2.645506e-05,2.628538e-05,2.611793e-05,2.595275e-05,2.578987e-05,2.562934e-05,2.547116e-05,2.531536e-05,2.516195e-05,2.501093e-05,2.486232e-05,2.471611e-05,2.457230e-05,2.443088e-05,2.429184e-05,2.415516e-05,2.402085e-05,2.388887e-05,2.375921e-05,2.363185e-05,2.350676e-05,2.338393e-05
0.000000e+00,1.104501e-09,3.227457e-09,1.571494e-08,4.440859e-08,7.121479e-08,1.957486e-07,2.029679e-07,4.504566e-07,5.462093e-07,8.561997e-07,1.194450e-06,1.465784e-06,2.247851e-06,2.327157e-06,3.486796e-06,3.813864e-06,4.980313e-06,5.967952e-06,6.818577e-06,8.703596e-06,8.978141e-06,1.140521e-05,1.191668e-05,1.403003e-05,1.544921e-05,1.678132e-05,1.914285e-05,1.959484e-05,2.241670e-05,2.286593e-05,2.520352e-05,2.651847e-05,2.792140e-05,3.002841e-05,3.054441e-05,3.305334e-05,3.334604e-05,3.543451e-05,3.643928e-05,3.767886e-05,3.928968e-05,3.978109e-05,4.173903e-05,4.188943e-05,4.355305e-05,4.423884e-05,4.522554e-05,4.634427e-05,4.676046e-05,4.816295e-05,4.821637e-05,4.943898e-05,4.986864e-05,5.059509e-05,5.131625e-05,5.163816e-05,5.257519e-05,5.341321e-05,5.366159e-05,5.415909e-05,5.459120e-05,5.481952e-05,5.537909e-05,5.540090e-05,5.590934e-05,5.603942e-05,5.635058e-05,5.658533e-05,5.673003e-05,5.702891e-05,5.705275e-05,5.732343e-05,5.738115e-05,5.754644e-05,5.765202e-05,5.772582e-05,5.785054e-05,5.786529e-05,5.796829e-05,5.798480e-05,5.803800e-05,5.806206e-05,5.807731e-05,5.808882e-05,5.808892e-05,5.807528e-05,5.807090e-05,5.803864e-05,5.801350e-05,5.798108e-05,5.792126e-05,5.790451e-05,5.781067e-05,5.779832e-05,5.770116e-05,5.764839e-05,5.757745e-05,5.747478e-05,5.744090e-05,5.729274e-05,5.728042e-05,5.713411e-05,5.706797e-05,5.696607e-05,5.683978e-05,5.678956e-05,5.660548e-05,5.659797e-05,5.641464e-05,5.634442e-05,5.621778e-05,5.608083e-05,5.601559e-05,5.580870e-05,5.559770e-05,5.552941e-05,5.538313e-05,5.524416e-05,5.516548e-05,5.495405e-05,5.494520e-05,5.472271e-05,5.466007e-05,5.449840e-05,5.436308e-05,5.427262e-05,5.406389e-05,5.404570e-05,5.381795e-05,5.376319e-05,5.358963e-05,5.346163e-05,5.336102e-05,5.315977e-05,5.313234e-05,5.290381e-05,5.285814e-05,5.267563e-05,5.255717e-05,5.244798e-05,5.225730e-05,5.222104e-05,5.199496e-05,5.195888e-05,5.176988e-05,5.166224e-05,5.154594e-05,5.136768e-05,5.132325e-05,5.110192e-05,5.107546e-05,5.088206e-05,5.078581e-05,5.066376e-05,5.049894e-05,5.044709e-05,5.023214e-05,5.021502e-05,5.001898e-05,4.993423e-05,4.980766e-05,4.965669e-05,4.959825e-05,4.939079e-05,4.938254e-05,4.918533e-05,4.911187e-05,4.898192e-05,4.884478e-05,4.878058e-05,4.858134e-05,4.832163e-05,4.806569e-05,4.781357e-05,4.756530e-05,4.732091e-05,4.708041e-05,4.684382e-05,4.661113e-05,4.638236e-05,4.615748e-05,4.593649e-05,4.571938e-05,4.550611e-05,4.529667e-05,4.509103e-05,4.488916e-05,4.469103e-05,4.449659e-05,4.430582e-05,4.411868e-05,4.393511e-05,4.375509e-05,4.357856e-05,4.340548e-05
0.000000e+00,6.205104e-10,1.784893e-09,8.422769e-09,2.318463e-08,3.669462e-08,9.806453e-08,1.015862e-07,2.217369e-07,2.682592e-07,4.199855e-07,5.879003e-07,7.242256e-07,1.121656e-06,1.162050e-06,1.745567e-06,1.906091e-06,2.458766e-06,2.901152e-06,3.264033e-06,4.015252e-06,4.119267e-06,4.989566e-06,5.163109e-06,5.850519e-06,6.289158e-06,6.686841e-06,7.363712e-06,7.489682e-06,8.254164e-06,8.372725e-06,8.977659e-06,9.309932e-06,9.658744e-06,1.017255e-05,1.029665e-05,1.089106e-05,1.095947e-05,1.144202e-05,1.167077e-05,1.194995e-05,1.230771e-05,1.241569e-05,1.284046e-05,1.287272e-05,1.322584e-05,1.336938e-05,1.357372e-05,1.380218e-05,1.388626e-05,1.416575e-05,1.417628e-05,1.441463e-05,1.449720e-05,1.463532e-05,1.477053e-05,1.483024e-05,1.500173e-05,1.515201e-05,1.519596e-05,1.528316e-05,1.535795e-05,1.539711e-05,1.549196e-05,1.549562e-05,1.558031e-05,1.560174e-05,1.565261e-05,1.569058e-05,1.571381e-05,1.576132e-05,1.576508e-05,1.580743e-05,1.581637e-05,1.584177e-05,1.585781e-05,1.586890e-05,1.588738e-05,1.588953e-05,1.590429e-05,1.590659e-05,1.591373e-05,1.591669e-05,1.591833e-05,1.591878e-05,1.591853e-05,1.591472e-05,1.591376e-05,1.590724e-05,1.590244e-05,1.589640e-05,1.588549e-05,1.588247e-05,1.586571e-05,1.586352e-05,1.584634e-05,1.583704e-05,1.582456e-05,1.580651e-05,1.580056e-05,1.577451e-05,1.577234e-05,1.574657e-05,1.573489e-05,1.571688e-05,1.569449e-05,1.568557e-05,1.565277e-05,1.565143e-05,1.561859e-05,1.560597e-05,1.558314e-05,1.555836e-05,1.554652e-05,1.550882e-05,1.547012e-05,1.545754e-05,1.543051e-05,1.540471e-05,1.539006e-05,1.535051e-05,1.534885e-05,1.530694e-05,1.529509e-05,1.526439e-05,1.523858e-05,1.522127e-05,1.518113e-05,1.517762e-05,1.513351e-05,1.512286e-05,1.508899e-05,1.506389e-05,1.504409e-05,1.500431e-05,1.499887e-05,1.495336e-05,1.494423e-05,1.490761e-05,1.488373e-05,1.486165e-05,1.482291e-05,1.481552e-05,1.476925e-05,1.476184e-05,1.472287e-05,1.470058e-05,1.467642e-05,1.463922e-05,1.462992e-05,1.458339e-05,1.457781e-05,1.453687e-05,1.451640e-05,1.449037e-05,1.445506e-05,1.444392e-05,1.439754e-05,1.439383e-05,1.435124e-05,1.433276e-05,1.430506e-05,1.427188e-05,1.425900e-05,1.421308e-05,1.421125e-05,1.416733e-05,1.415089e-05,1.412174e-05,1.409085e-05,1.407634e-05,1.403114e-05,1.397180e-05,1.391286e-05,1.385434e-05,1.379626e-05,1.373864e-05,1.368150e-05,1.362486e-05,1.356873e-05,1.351312e-05,1.345806e-05,1.340355e-05,1.334959e-05,1.329621e-05,1.324340e-05,1.319118e-05,1.313954e-05,1.308850e-05,1.303806e-05,1.298822e-05,1.293898e-05,1.289035e-05,1.284233e-05,1.279492e-05,1.274812e-05
0.000000e+00,1.384565e-09,3.197206e-09,1.109697e-08,2.539656e-08,3.718064e-08,8.538010e-08,8.800415e-08,1.733297e-07,2.049398e-07,3.044603e-07,4.092075e-07,4.904863e-07,7.114440e-07,7.328183e-07,1.027470e-06,1.105491e-06,1.370387e-06,1.582447e-06,1.758842e-06,2.136778e-06,2.190860e-06,2.664586e-06,2.764158e-06,3.177906e-06,3.459651e-06,3.728266e-06,4.216979e-06,4.312621e-06,4.927452e-06,5.028396e-06,5.568835e-06,5.884896e-06,6.232537e-06,6.776591e-06,6.914122e-06,7.609060e-06,7.693134e-06,8.312842e-06,8.624171e-06,9.021080e-06,9.559733e-06,9.729584e-06,1.043444e-05,1.049056e-05,1.113207e-05,1.140835e-05,1.181923e-05,1.230590e-05,1.249310e-05,1.315121e-05,1.317718e-05,1.379151e-05,1.401731e-05,1.441229e-05,1.482257e-05,1.501221e-05,1.559026e-05,1.614570e-05,1.631859e-05,1.667809e-05,1.700660e-05,1.718717e-05,1.765391e-05,1.767289e-05,1.813538e-05,1.826075e-05,1.857493e-05,1.882781e-05,1.899194e-05,1.935609e-05,1.938689e-05,1.976036e-05,1.984686e-05,2.011299e-05,2.030162e-05,2.044547e-05,2.072196e-05,2.075852e-05,2.105287e-05,2.110956e-05,2.132926e-05,2.146614e-05,2.158845e-05,2.179344e-05,2.183121e-05,2.205831e-05,2.209324e-05,2.227048e-05,2.236722e-05,2.246841e-05,2.261695e-05,2.265277e-05,2.282420e-05,2.284393e-05,2.298335e-05,2.304964e-05,2.313082e-05,2.323544e-05,2.326719e-05,2.339302e-05,2.340265e-05,2.350884e-05,2.355248e-05,2.361517e-05,2.368612e-05,2.371249e-05,2.380126e-05,2.380464e-05,2.388194e-05,2.390908e-05,2.395494e-05,2.400039e-05,2.402065e-05,2.407946e-05,2.413173e-05,2.414713e-05,2.417780e-05,2.420418e-05,2.421800e-05,2.425135e-05,2.425263e-05,2.428200e-05,2.428932e-05,2.430638e-05,2.431872e-05,2.432603e-05,2.434015e-05,2.434121e-05,2.435215e-05,2.435417e-05,2.435909e-05,2.436130e-05,2.436222e-05,2.436201e-05,2.436177e-05,2.435792e-05,2.435676e-05,2.435086e-05,2.434598e-05,2.434076e-05,2.433005e-05,2.432779e-05,2.431210e-05,2.430935e-05,2.429384e-05,2.428421e-05,2.427316e-05,2.425496e-05,2.425019e-05,2.422506e-05,2.422190e-05,2.419789e-05,2.418531e-05,2.416879e-05,2.414546e-05,2.413788e-05,2.410526e-05,2.410258e-05,2.407103e-05,2.405691e-05,2.403528e-05,2.400866e-05,2.399811e-05,2.395960e-05,2.395803e-05,2.391983e-05,2.390522e-05,2.387888e-05,2.385040e-05,2.383683e-05,2.379374e-05,2.373539e-05,2.367549e-05,2.361419e-05,2.355161e-05,2.348787e-05,2.342309e-05,2.335737e-05,2.329081e-05,2.322351e-05,2.315555e-05,2.308701e-05,2.301797e-05,2.294851e-05,2.287869e-05,2.280858e-05,2.273824e-05,2.266773e-05,2.259709e-05,2.252638e-05,2.245565e-05,2.238493e-05,2.231428e-05,2.224372e-05,2.217330e-05
0.000000e+00,6.484980e-10,1.887252e-09,9.105395e-09,2.549299e-08,4.065639e-08,1.100033e-07,1.139814e-07,2.484127e-07,2.996040e-07,4.629633e-07,6.379121e-07,7.762615e-07,1.167426e-06,1.206573e-06,1.770927e-06,1.927901e-06,2.482212e-06,2.946607e-06,3.344065e-06,4.219228e-06,4.346195e-06,5.464308e-06,5.699008e-06,6.665235e-06,7.310628e-06,7.913586e-06,8.974812e-06,9.176699e-06,1.042706e-05,1.062440e-05,1.164286e-05,1.220913e-05,1.280757e-05,1.369432e-05,1.390914e-05,1.493919e-05,1.505770e-05,1.589231e-05,1.628646e-05,1.676548e-05,1.737491e-05,1.755764e-05,1.826928e-05,1.832278e-05,1.890218e-05,1.913389e-05,1.945912e-05,1.981506e-05,1.994367e-05,2.035999e-05,2.037529e-05,2.071262e-05,2.082489e-05,2.100633e-05,2.117489e-05,2.124601e-05,2.143649e-05,2.158251e-05,2.162059e-05,2.168860e-05,2.173755e-05,2.175908e-05,2.179695e-05,2.179795e-05,2.180893e-05,2.180748e-05,2.179542e-05,2.177687e-05,2.176053e-05,2.171194e-05,2.170703e-05,2.163745e-05,2.161861e-05,2.155401e-05,2.150198e-05,2.145870e-05,2.136640e-05,2.135327e-05,2.123927e-05,2.121556e-05,2.111805e-05,2.105256e-05,2.099080e-05,2.088003e-05,2.085857e-05,2.072227e-05,2.070014e-05,2.058270e-05,2.051474e-05,2.044053e-05,2.032534e-05,2.029638e-05,2.015077e-05,2.013323e-05,2.000417e-05,1.993945e-05,1.985697e-05,1.974491e-05,1.970951e-05,1.956211e-05,1.955033e-05,1.941502e-05,1.935633e-05,1.926849e-05,1.916344e-05,1.912270e-05,1.897784e-05,1.897207e-05,1.883406e-05,1.878259e-05,1.869149e-05,1.859530e-05,1.855025e-05,1.841043e-05,1.827213e-05,1.822821e-05,1.813542e-05,1.804879e-05,1.800036e-05,1.787231e-05,1.786701e-05,1.773541e-05,1.769888e-05,1.760560e-05,1.752858e-05,1.747761e-05,1.736149e-05,1.735147e-05,1.722719e-05,1.719764e-05,1.710480e-05,1.703708e-05,1.698429e-05,1.687982e-05,1.686569e-05,1.674899e-05,1.672587e-05,1.663418e-05,1.657524e-05,1.652128e-05,1.642790e-05,1.641026e-05,1.630113e-05,1.628385e-05,1.619388e-05,1.614305e-05,1.608848e-05,1.600549e-05,1.598493e-05,1.588321e-05,1.587113e-05,1.578331e-05,1.573992e-05,1.568520e-05,1.561183e-05,1.558887e-05,1.549430e-05,1.548681e-05,1.540147e-05,1.536482e-05,1.531035e-05,1.524579e-05,1.522092e-05,1.513317e-05,1.512969e-05,1.504706e-05,1.501646e-05,1.496258e-05,1.490605e-05,1.487970e-05,1.479839e-05,1.469344e-05,1.459114e-05,1.449143e-05,1.439425e-05,1.429956e-05,1.420729e-05,1.411738e-05,1.402979e-05,1.394445e-05,1.386132e-05,1.378034e-05,1.370146e-05,1.362462e-05,1.354978e-05,1.347687e-05,1.340587e-05,1.333671e-05,1.326934e-05,1.320373e-05,1.313983e-05,1.307758e-05,1.301695e-05,1.295790e-05,1.290038e-05
0.000000e+00,5.519604e-10,1.585023e-09,7.469682e-09,2.058466e-08,3.262794e-08,8.773996e-08,9.091957e-08,2.002227e-07,2.428898e-07,3.830000e-07,5.393284e-07,6.669678e-07,1.041832e-06,1.080135e-06,1.637844e-06,1.792888e-06,2.333312e-06,2.774617e-06,3.143402e-06,3.929319e-06,4.040763e-06,5.001213e-06,5.199104e-06,6.005584e-06,6.540134e-06,7.038970e-06,7.920629e-06,8.089414e-06,9.146860e-06,9.316099e-06,1.020249e-05,1.070619e-05,1.124840e-05,1.207332e-05,1.227748e-05,1.328341e-05,1.340229e-05,1.426071e-05,1.468043e-05,1.520476e-05,1.589766e-05,1.611181e-05,1.697899e-05,1.704657e-05,1.780423e-05,1.812227e-05,1.858623e-05,1.912210e-05,1.932433e-05,2.001849e-05,2.004535e-05,2.066916e-05,2.089290e-05,2.127717e-05,2.166686e-05,2.184373e-05,2.237027e-05,2.285839e-05,2.300676e-05,2.330986e-05,2.358040e-05,2.372649e-05,2.409541e-05,2.411015e-05,2.446271e-05,2.455611e-05,2.478603e-05,2.496674e-05,2.508192e-05,2.533140e-05,2.535211e-05,2.559827e-05,2.565396e-05,2.582201e-05,2.593808e-05,2.602485e-05,2.618719e-05,2.620821e-05,2.637346e-05,2.640445e-05,2.652185e-05,2.659276e-05,2.665459e-05,2.675481e-05,2.677279e-05,2.687749e-05,2.689306e-05,2.696966e-05,2.700972e-05,2.705021e-05,2.710685e-05,2.711997e-05,2.717974e-05,2.718627e-05,2.723023e-05,2.724969e-05,2.727213e-05,2.729862e-05,2.730607e-05,2.733262e-05,2.733445e-05,2.735234e-05,2.735843e-05,2.736573e-05,2.737171e-05,2.737325e-05,2.737533e-05,2.737531e-05,2.737240e-05,2.737019e-05,2.736481e-05,2.735718e-05,2.735293e-05,2.733707e-05,2.731754e-05,2.731056e-05,2.729462e-05,2.727829e-05,2.726857e-05,2.724085e-05,2.723964e-05,2.720804e-05,2.719875e-05,2.717401e-05,2.715250e-05,2.713773e-05,2.710252e-05,2.709938e-05,2.705914e-05,2.704922e-05,2.701717e-05,2.699297e-05,2.697363e-05,2.693411e-05,2.692864e-05,2.688234e-05,2.687294e-05,2.683486e-05,2.680973e-05,2.678630e-05,2.674475e-05,2.673677e-05,2.668638e-05,2.667824e-05,2.663521e-05,2.661040e-05,2.658336e-05,2.654144e-05,2.653090e-05,2.647792e-05,2.647153e-05,2.642448e-05,2.640084e-05,2.637065e-05,2.632952e-05,2.631649e-05,2.626207e-05,2.625771e-05,2.620744e-05,2.618554e-05,2.615265e-05,2.611312e-05,2.609774e-05,2.604277e-05,2.604057e-05,2.598778e-05,2.596798e-05,2.593280e-05,2.589544e-05,2.587787e-05,2.582303e-05,2.575082e-05,2.567890e-05,2.560732e-05,2.553613e-05,2.546540e-05,2.539516e-05,2.532546e-05,2.525635e-05,2.518785e-05,2.512001e-05,2.505283e-05,2.498637e-05,2.492063e-05,2.485564e-05,2.479141e-05,2.472797e-05,2.466532e-05,2.460348e-05,2.454246e-05,2.448227e-05,2.442291e-05,2.436439e-05,2.430672e-05,2.424989e-05
0.000000e+00,2.100168e-09,5.300793e-09,2.036689e-08,4.891791e-08,7.283962e-08,1.712762e-07,1.766233e-07,3.485680e-07,4.112665e-07,6.059787e-07,8.088393e-07,9.665398e-07,1.402769e-06,1.445715e-06,2.050743e-06,2.214380e-06,2.777053e-06,3.232425e-06,3.612760e-06,4.428276e-06,4.544796e-06,5.561022e-06,5.773359e-06,6.650018e-06,7.241329e-06,7.800559e-06,8.806345e-06,9.001394e-06,1.024129e-05,1.044256e-05,1.150921e-05,1.212464e-05,1.279457e-05,1.382869e-05,1.408741e-05,1.537863e-05,1.553307e-05,1.666009e-05,1.721896e-05,1.792464e-05,1.887061e-05,1.916620e-05,2.037964e-05,2.047537e-05,2.156083e-05,2.202352e-05,2.270648e-05,2.350791e-05,2.381409e-05,2.488182e-05,2.492368e-05,2.590846e-05,2.626783e-05,2.689327e-05,2.753889e-05,2.783597e-05,2.873662e-05,2.959556e-05,2.986170e-05,3.041338e-05,3.091555e-05,3.119084e-05,3.190010e-05,3.192887e-05,3.262849e-05,3.281765e-05,3.329081e-05,3.367079e-05,3.391700e-05,3.446222e-05,3.450827e-05,3.506584e-05,3.519478e-05,3.559096e-05,3.587131e-05,3.608486e-05,3.649466e-05,3.654878e-05,3.698394e-05,3.706763e-05,3.739153e-05,3.759297e-05,3.777272e-05,3.807336e-05,3.812865e-05,3.846045e-05,3.851137e-05,3.876918e-05,3.890949e-05,3.905591e-05,3.927012e-05,3.932163e-05,3.956735e-05,3.959553e-05,3.979400e-05,3.988792e-05,4.000249e-05,4.014935e-05,4.019371e-05,4.036851e-05,4.038181e-05,4.052770e-05,4.058718e-05,4.067206e-05,4.076724e-05,4.080234e-05,4.091927e-05,4.092367e-05,4.102353e-05,4.105809e-05,4.111580e-05,4.117201e-05,4.119670e-05,4.126684e-05,4.132681e-05,4.134395e-05,4.137717e-05,4.140460e-05,4.141844e-05,4.144999e-05,4.145114e-05,4.147576e-05,4.148126e-05,4.149275e-05,4.149947e-05,4.150257e-05,4.150562e-05,4.150563e-05,4.150234e-05,4.150065e-05,4.149309e-05,4.148544e-05,4.147825e-05,4.146083e-05,4.145816e-05,4.143316e-05,4.142760e-05,4.140357e-05,4.138647e-05,4.136969e-05,4.133813e-05,4.133181e-05,4.129021e-05,4.128323e-05,4.124515e-05,4.122236e-05,4.119687e-05,4.115609e-05,4.114561e-05,4.109160e-05,4.108494e-05,4.103504e-05,4.100941e-05,4.097615e-05,4.092995e-05,4.091511e-05,4.085211e-05,4.084699e-05,4.078732e-05,4.076094e-05,4.072090e-05,4.067217e-05,4.065302e-05,4.058381e-05,4.058101e-05,4.051341e-05,4.048780e-05,4.044196e-05,4.039284e-05,4.036959e-05,4.029641e-05,4.019876e-05,4.010013e-05,4.000075e-05,3.990083e-05,3.980054e-05,3.970008e-05,3.959960e-05,3.949925e-05,3.939916e-05,3.929948e-05,3.920029e-05,3.910172e-05,3.900387e-05,3.890680e-05,3.881062e-05,3.871538e-05,3.862116e-05,3.852801e-05,3.843599e-05,3.834513e-05,3.825548e-05,3.816708e-05,3.807996e-05,3.799414e-05
0.000000e+00,1.726422e-09,5.004894e-09,2.399223e-08,6.688978e-08,1.064908e-07,2.872733e-07,2.976373e-07,6.477324e-07,7.809996e-07,1.206047e-06,1.660717e-06,2.019792e-06,3.032595e-06,3.133770e-06,4.589830e-06,4.994457e-06,6.425134e-06,7.629715e-06,8.668197e-06,1.099068e-05,1.133264e-05,1.441151e-05,1.507487e-05,1.787676e-05,1.981732e-05,2.168482e-05,2.511101e-05,2.578431e-05,3.012207e-05,3.083473e-05,3.464636e-05,3.686978e-05,3.930822e-05,4.310584e-05,4.406179e-05,4.886435e-05,4.944204e-05,5.367636e-05,5.578716e-05,5.846152e-05,6.205993e-05,6.318696e-05,6.782331e-05,6.818957e-05,7.234483e-05,7.411622e-05,7.672945e-05,7.979107e-05,8.095865e-05,8.501743e-05,8.517606e-05,8.889405e-05,9.024327e-05,9.257980e-05,9.497396e-05,9.606876e-05,9.935748e-05,1.024447e-04,1.033901e-04,1.053309e-04,1.070737e-04,1.080185e-04,1.104148e-04,1.105108e-04,1.128126e-04,1.134237e-04,1.149293e-04,1.161130e-04,1.168670e-04,1.184975e-04,1.186325e-04,1.202329e-04,1.205932e-04,1.216754e-04,1.224169e-04,1.229674e-04,1.239858e-04,1.241164e-04,1.251298e-04,1.253169e-04,1.260150e-04,1.264270e-04,1.267792e-04,1.273327e-04,1.274294e-04,1.279724e-04,1.280498e-04,1.284149e-04,1.285935e-04,1.287632e-04,1.289782e-04,1.290235e-04,1.292015e-04,1.292176e-04,1.293030e-04,1.293247e-04,1.293332e-04,1.293116e-04,1.292972e-04,1.292000e-04,1.291897e-04,1.290460e-04,1.289695e-04,1.288396e-04,1.286609e-04,1.285850e-04,1.282860e-04,1.282732e-04,1.279464e-04,1.278149e-04,1.275696e-04,1.272937e-04,1.271588e-04,1.267172e-04,1.262476e-04,1.260919e-04,1.257528e-04,1.254240e-04,1.252353e-04,1.247194e-04,1.246975e-04,1.241417e-04,1.239831e-04,1.235700e-04,1.232201e-04,1.229843e-04,1.224347e-04,1.223865e-04,1.217782e-04,1.216309e-04,1.211612e-04,1.208124e-04,1.205369e-04,1.199825e-04,1.199066e-04,1.192717e-04,1.191443e-04,1.186334e-04,1.183005e-04,1.179928e-04,1.174536e-04,1.173509e-04,1.167087e-04,1.166059e-04,1.160670e-04,1.157594e-04,1.154267e-04,1.149159e-04,1.147885e-04,1.141531e-04,1.140771e-04,1.135212e-04,1.132443e-04,1.128932e-04,1.124190e-04,1.122698e-04,1.116514e-04,1.116022e-04,1.110385e-04,1.107950e-04,1.104315e-04,1.099982e-04,1.098306e-04,1.092363e-04,1.092126e-04,1.086487e-04,1.084389e-04,1.080683e-04,1.076777e-04,1.074951e-04,1.069294e-04,1.061945e-04,1.054732e-04,1.047658e-04,1.040726e-04,1.033937e-04,1.027292e-04,1.020791e-04,1.014434e-04,1.008222e-04,1.002154e-04,9.962287e-05,9.904452e-05,9.848023e-05,9.792984e-05,9.739320e-05,9.687010e-05,9.636036e-05,9.586377e-05,9.538011e-05,9.490915e-05,9.445066e-05,9.400439e-05,9.357011e-05,9.314756e-05
0.000000e+00,2.126059e-09,5.698655e-09,2.389212e-08,6.064598e-08,9.261566e-08,2.309144e-07,2.386753e-07,4.991474e-07,5.988150e-07,9.218095e-07,1.276255e-06,1.561320e-06,2.375422e-06,2.456710e-06,3.606910e-06,3.917679e-06,4.981287e-06,5.836050e-06,6.546338e-06,8.060997e-06,8.276721e-06,1.015415e-05,1.054596e-05,1.216396e-05,1.325689e-05,1.429266e-05,1.616270e-05,1.652663e-05,1.885160e-05,1.923105e-05,2.125262e-05,2.242760e-05,2.371424e-05,2.571659e-05,2.622073e-05,2.875665e-05,2.906222e-05,3.130704e-05,3.243012e-05,3.385778e-05,3.578850e-05,3.639580e-05,3.890919e-05,3.910887e-05,4.138736e-05,4.236664e-05,4.382102e-05,4.554118e-05,4.620222e-05,4.852426e-05,4.861583e-05,5.078164e-05,5.157760e-05,5.296997e-05,5.441681e-05,5.508584e-05,5.712672e-05,5.909089e-05,5.970304e-05,6.097731e-05,6.214358e-05,6.278551e-05,6.444784e-05,6.451554e-05,6.616786e-05,6.661669e-05,6.774329e-05,6.865209e-05,6.924293e-05,7.055682e-05,7.066813e-05,7.202043e-05,7.233431e-05,7.330149e-05,7.398844e-05,7.451312e-05,7.552342e-05,7.565721e-05,7.673570e-05,7.694370e-05,7.775057e-05,7.825383e-05,7.870384e-05,7.945845e-05,7.959752e-05,8.043363e-05,8.056221e-05,8.121419e-05,8.156970e-05,8.194117e-05,8.248549e-05,8.261653e-05,8.324221e-05,8.331404e-05,8.382010e-05,8.405971e-05,8.435205e-05,8.472672e-05,8.483987e-05,8.528535e-05,8.531921e-05,8.569020e-05,8.584114e-05,8.605610e-05,8.629635e-05,8.638469e-05,8.667754e-05,8.668854e-05,8.693621e-05,8.702125e-05,8.716219e-05,8.729792e-05,8.735691e-05,8.752179e-05,8.765818e-05,8.769602e-05,8.776738e-05,8.782359e-05,8.785066e-05,8.790737e-05,8.790925e-05,8.794433e-05,8.795009e-05,8.795703e-05,8.795437e-05,8.794846e-05,8.792269e-05,8.791967e-05,8.787169e-05,8.785743e-05,8.780549e-05,8.776082e-05,8.772203e-05,8.763502e-05,8.762221e-05,8.750692e-05,8.748207e-05,8.737698e-05,8.730390e-05,8.723322e-05,8.710235e-05,8.707642e-05,8.690731e-05,8.687916e-05,8.672662e-05,8.663597e-05,8.653503e-05,8.637437e-05,8.633322e-05,8.612180e-05,8.609582e-05,8.590140e-05,8.580173e-05,8.567259e-05,8.549342e-05,8.543594e-05,8.519198e-05,8.517216e-05,8.494122e-05,8.483912e-05,8.468416e-05,8.449543e-05,8.442126e-05,8.415297e-05,8.414214e-05,8.387973e-05,8.378023e-05,8.360194e-05,8.341065e-05,8.332000e-05,8.303428e-05,8.265195e-05,8.226443e-05,8.187247e-05,8.147674e-05,8.107791e-05,8.067656e-05,8.027327e-05,7.986856e-05,7.946293e-05,7.905686e-05,7.865075e-05,7.824503e-05,7.784006e-05,7.743619e-05,7.703374e-05,7.663302e-05,7.623431e-05,7.583785e-05,7.544388e-05,7.505263e-05,7.466429e-05,7.427904e-05,7.389705e-05,7.351847e-05
0.000000e+00,4.582357e-10,1.354395e-09,6.748249e-09,1.945299e-08,3.152030e-08,8.878146e-08,9.213957e-08,2.085751e-07,2.540505e-07,4.020085e-07,5.639750e-07,6.939322e-07,1.067707e-06,1.105524e-06,1.657046e-06,1.812337e-06,2.366916e-06,2.839380e-06,3.250050e-06,4.177922e-06,4.315528e-06,5.564743e-06,5.836195e-06,6.991317e-06,7.799248e-06,8.582696e-06,1.003469e-05,1.032219e-05,1.219067e-05,1.250024e-05,1.416774e-05,1.514917e-05,1.623250e-05,1.793344e-05,1.836412e-05,2.054224e-05,2.080580e-05,2.274732e-05,2.372130e-05,2.496093e-05,2.663842e-05,2.716600e-05,2.934700e-05,2.952001e-05,3.149006e-05,3.233388e-05,3.358302e-05,3.505304e-05,3.561550e-05,3.757882e-05,3.765581e-05,3.946594e-05,4.012554e-05,4.127136e-05,4.245027e-05,4.299104e-05,4.462218e-05,4.616317e-05,4.663712e-05,4.761339e-05,4.849398e-05,4.897309e-05,5.019415e-05,5.024325e-05,5.142549e-05,5.174103e-05,5.252189e-05,5.313955e-05,5.353496e-05,5.439580e-05,5.446751e-05,5.532259e-05,5.551663e-05,5.610340e-05,5.650944e-05,5.681326e-05,5.738192e-05,5.745554e-05,5.803363e-05,5.814184e-05,5.855089e-05,5.879694e-05,5.901066e-05,5.935481e-05,5.941619e-05,5.977065e-05,5.982283e-05,6.007713e-05,6.020807e-05,6.033860e-05,6.051730e-05,6.055793e-05,6.073786e-05,6.075693e-05,6.088102e-05,6.093301e-05,6.098991e-05,6.105122e-05,6.106692e-05,6.111431e-05,6.111689e-05,6.113424e-05,6.113498e-05,6.112874e-05,6.111012e-05,6.109974e-05,6.104906e-05,6.104661e-05,6.097842e-05,6.094841e-05,6.088943e-05,6.081922e-05,6.078362e-05,6.066243e-05,6.052720e-05,6.048117e-05,6.037920e-05,6.027832e-05,6.021961e-05,6.005654e-05,6.004955e-05,5.987006e-05,5.981824e-05,5.968211e-05,5.956566e-05,5.948662e-05,5.930084e-05,5.928444e-05,5.907636e-05,5.902563e-05,5.886314e-05,5.874174e-05,5.864545e-05,5.845071e-05,5.842395e-05,5.819924e-05,5.815396e-05,5.797186e-05,5.785275e-05,5.774235e-05,5.754826e-05,5.751118e-05,5.727879e-05,5.724153e-05,5.704560e-05,5.693350e-05,5.681200e-05,5.662504e-05,5.657832e-05,5.634490e-05,5.631692e-05,5.611203e-05,5.600982e-05,5.588000e-05,5.570436e-05,5.564904e-05,5.541940e-05,5.540109e-05,5.519128e-05,5.510051e-05,5.496488e-05,5.480303e-05,5.474036e-05,5.451790e-05,5.450904e-05,5.429762e-05,5.421888e-05,5.407966e-05,5.393284e-05,5.386414e-05,5.365116e-05,5.337405e-05,5.310172e-05,5.283429e-05,5.257190e-05,5.231466e-05,5.206262e-05,5.181587e-05,5.157442e-05,5.133831e-05,5.110755e-05,5.088212e-05,5.066201e-05,5.044719e-05,5.023763e-05,5.003327e-05,4.983407e-05,4.963995e-05,4.945087e-05,4.926674e-05,4.908748e-05,4.891304e-05,4.874330e-05,4.857820e-05,4.841765e-05
0.000000e+00,5.786557e-09,1.504485e-08,6.010165e-08,1.474035e-07,2.212873e-07,5.282012e-07,5.449556e-07,1.086495e-06,1.285059e-06,1.904893e-06,2.555712e-06,3.065401e-06,4.494825e-06,4.637258e-06,6.679448e-06,7.243128e-06,9.213939e-06,1.083867e-05,1.221001e-05,1.517617e-05,1.560160e-05,1.931672e-05,2.009283e-05,2.329246e-05,2.544512e-05,2.747646e-05,3.111893e-05,3.182376e-05,3.629377e-05,3.701779e-05,4.084845e-05,4.305406e-05,4.545151e-05,4.914542e-05,5.006825e-05,5.466577e-05,5.521470e-05,5.921339e-05,6.119117e-05,6.368294e-05,6.701194e-05,6.804917e-05,7.228990e-05,7.262315e-05,7.638617e-05,7.798059e-05,8.032222e-05,8.304977e-05,8.408544e-05,8.766616e-05,8.780548e-05,9.105747e-05,9.223106e-05,9.425497e-05,9.631735e-05,9.725646e-05,1.000617e-04,1.026722e-04,1.034668e-04,1.050907e-04,1.065397e-04,1.073214e-04,1.092907e-04,1.093692e-04,1.112397e-04,1.117325e-04,1.129393e-04,1.138798e-04,1.144748e-04,1.157485e-04,1.158531e-04,1.170815e-04,1.173549e-04,1.181673e-04,1.187158e-04,1.191178e-04,1.198480e-04,1.199402e-04,1.206416e-04,1.207680e-04,1.212291e-04,1.214918e-04,1.217094e-04,1.220349e-04,1.220891e-04,1.223747e-04,1.224121e-04,1.225722e-04,1.226375e-04,1.226876e-04,1.227245e-04,1.227264e-04,1.226941e-04,1.226857e-04,1.225957e-04,1.225327e-04,1.224361e-04,1.222767e-04,1.222199e-04,1.219516e-04,1.219280e-04,1.216353e-04,1.214962e-04,1.212749e-04,1.209902e-04,1.208741e-04,1.204364e-04,1.204182e-04,1.199652e-04,1.197879e-04,1.194635e-04,1.191064e-04,1.189342e-04,1.183802e-04,1.178039e-04,1.176152e-04,1.172078e-04,1.168170e-04,1.165942e-04,1.159906e-04,1.159652e-04,1.153227e-04,1.151407e-04,1.146687e-04,1.142715e-04,1.140049e-04,1.133868e-04,1.133328e-04,1.126540e-04,1.124903e-04,1.119699e-04,1.115849e-04,1.112817e-04,1.106738e-04,1.105908e-04,1.098981e-04,1.097594e-04,1.092047e-04,1.088443e-04,1.085117e-04,1.079304e-04,1.078198e-04,1.071299e-04,1.070198e-04,1.064427e-04,1.061141e-04,1.057590e-04,1.052149e-04,1.050793e-04,1.044042e-04,1.043235e-04,1.037342e-04,1.034412e-04,1.030699e-04,1.025690e-04,1.024116e-04,1.017597e-04,1.017079e-04,1.011147e-04,1.008586e-04,1.004767e-04,1.000219e-04,9.984605e-05,9.922305e-05,9.919830e-05,9.860789e-05,9.838839e-05,9.800075e-05,9.759256e-05,9.740179e-05,9.681115e-05,9.604444e-05,9.529264e-05,9.455589e-05,9.383430e-05,9.312794e-05,9.243679e-05,9.176085e-05,9.110005e-05,9.045430e-05,8.982349e-05,8.920747e-05,8.860609e-05,8.801915e-05,8.744647e-05,8.688783e-05,8.634302e-05,8.581179e-05,8.529392e-05,8.478915e-05,8.429722e-05,8.381789e-05,8.335090e-05,8.289597e-05,8.245284e-05
0.000000e+00,3.829150e-09,8.879002e-09,3.094750e-08,7.084316e-08,1.035795e-07,2.357781e-07,2.428935e-07,4.699472e-07,5.521944e-07,8.066328e-07,1.070871e-06,1.276126e-06,1.845409e-06,1.901696e-06,2.702094e-06,2.921292e-06,3.684012e-06,4.310289e-06,4.838235e-06,5.980668e-06,6.144727e-06,7.580717e-06,7.881547e-06,9.125007e-06,9.964482e-06,1.075868e-05,1.218745e-05,1.246457e-05,1.422665e-05,1.451278e-05,1.602979e-05,1.690565e-05,1.785968e-05,1.933380e-05,1.970289e-05,2.154705e-05,2.176787e-05,2.338092e-05,2.418194e-05,2.519448e-05,2.655375e-05,2.697895e-05,2.872686e-05,2.886492e-05,3.043196e-05,3.110082e-05,3.208912e-05,3.325030e-05,3.369432e-05,3.524448e-05,3.530531e-05,3.673738e-05,3.726050e-05,3.817153e-05,3.911275e-05,3.954610e-05,4.086078e-05,4.211574e-05,4.250479e-05,4.331150e-05,4.404610e-05,4.444891e-05,4.548693e-05,4.552906e-05,4.655321e-05,4.683013e-05,4.752281e-05,4.807904e-05,4.843942e-05,4.923729e-05,4.930466e-05,5.012019e-05,5.030872e-05,5.088774e-05,5.129725e-05,5.160903e-05,5.220686e-05,5.228578e-05,5.291971e-05,5.304151e-05,5.351253e-05,5.380510e-05,5.406590e-05,5.450144e-05,5.458145e-05,5.506080e-05,5.513424e-05,5.550550e-05,5.570710e-05,5.591708e-05,5.622348e-05,5.629700e-05,5.664671e-05,5.668671e-05,5.696757e-05,5.709996e-05,5.726094e-05,5.746630e-05,5.752810e-05,5.777030e-05,5.778863e-05,5.798874e-05,5.806972e-05,5.818458e-05,5.831222e-05,5.835893e-05,5.851286e-05,5.851861e-05,5.864741e-05,5.869129e-05,5.876355e-05,5.883251e-05,5.886224e-05,5.894439e-05,5.901088e-05,5.902898e-05,5.906252e-05,5.908817e-05,5.910014e-05,5.912377e-05,5.912450e-05,5.913633e-05,5.913749e-05,5.913633e-05,5.913094e-05,5.912519e-05,5.910564e-05,5.910353e-05,5.907199e-05,5.906301e-05,5.903114e-05,5.900442e-05,5.898156e-05,5.893112e-05,5.892376e-05,5.885828e-05,5.884430e-05,5.878560e-05,5.874511e-05,5.870617e-05,5.863458e-05,5.862046e-05,5.852888e-05,5.851371e-05,5.843184e-05,5.838343e-05,5.832972e-05,5.824462e-05,5.822290e-05,5.811171e-05,5.809809e-05,5.799650e-05,5.794461e-05,5.787758e-05,5.778490e-05,5.775525e-05,5.762979e-05,5.761963e-05,5.750149e-05,5.744943e-05,5.737060e-05,5.727489e-05,5.723736e-05,5.710201e-05,5.709655e-05,5.696477e-05,5.691494e-05,5.682585e-05,5.673052e-05,5.668544e-05,5.654375e-05,5.635503e-05,5.616477e-05,5.597330e-05,5.578097e-05,5.558809e-05,5.539494e-05,5.520179e-05,5.500888e-05,5.481644e-05,5.462468e-05,5.443379e-05,5.424395e-05,5.405531e-05,5.386803e-05,5.368224e-05,5.349806e-05,5.331560e-05,5.313498e-05,5.295626e-05,5.277955e-05,5.260491e-05,5.243240e-05,5.226208e-05,5.209401e-05
0.000000e+00,1.229908e-09,3.647274e-09,1.830356e-08,5.314640e-08,8.649406e-08,2.468908e-07,2.563870e-07,5.904654e-07,7.231783e-07,1.162385e-06,1.654703e-06,2.057419e-06,3.247975e-06,3.370744e-06,5.197649e-06,5.721558e-06,7.612279e-06,9.234896e-06,1.064592e-05,1.381551e-05,1.428220e-05,1.846888e-05,1.936608e-05,2.313336e-05,2.572085e-05,2.819433e-05,3.269112e-05,3.356870e-05,3.917543e-05,4.008886e-05,4.493755e-05,4.773728e-05,5.078332e-05,5.547571e-05,5.664691e-05,6.246887e-05,6.316213e-05,6.819647e-05,7.067464e-05,7.378380e-05,7.791208e-05,7.919181e-05,8.438821e-05,8.479396e-05,8.934718e-05,9.125968e-05,9.404903e-05,9.726706e-05,9.847971e-05,1.026303e-04,1.027904e-04,1.064963e-04,1.078183e-04,1.100775e-04,1.123513e-04,1.133766e-04,1.163993e-04,1.191536e-04,1.199798e-04,1.216490e-04,1.231154e-04,1.238969e-04,1.258330e-04,1.259091e-04,1.276984e-04,1.281612e-04,1.292778e-04,1.301301e-04,1.306604e-04,1.317700e-04,1.318595e-04,1.328877e-04,1.331104e-04,1.337575e-04,1.341800e-04,1.344810e-04,1.350058e-04,1.350697e-04,1.355346e-04,1.356136e-04,1.358858e-04,1.360269e-04,1.361333e-04,1.362676e-04,1.362860e-04,1.363525e-04,1.363557e-04,1.363407e-04,1.363095e-04,1.362581e-04,1.361454e-04,1.361112e-04,1.359066e-04,1.358785e-04,1.356500e-04,1.355219e-04,1.353466e-04,1.350879e-04,1.350015e-04,1.346190e-04,1.345870e-04,1.342034e-04,1.340288e-04,1.337584e-04,1.334218e-04,1.332875e-04,1.327937e-04,1.327735e-04,1.322801e-04,1.320908e-04,1.317491e-04,1.313794e-04,1.312033e-04,1.306448e-04,1.300755e-04,1.298914e-04,1.294973e-04,1.291234e-04,1.289119e-04,1.283445e-04,1.283207e-04,1.277251e-04,1.275578e-04,1.271264e-04,1.267661e-04,1.265256e-04,1.259719e-04,1.259237e-04,1.253218e-04,1.251774e-04,1.247206e-04,1.243845e-04,1.241208e-04,1.235949e-04,1.235233e-04,1.229285e-04,1.228100e-04,1.223371e-04,1.220311e-04,1.217495e-04,1.212593e-04,1.211663e-04,1.205877e-04,1.204955e-04,1.200141e-04,1.197407e-04,1.194460e-04,1.189955e-04,1.188835e-04,1.183269e-04,1.182605e-04,1.177765e-04,1.175363e-04,1.172324e-04,1.168232e-04,1.166948e-04,1.161639e-04,1.161217e-04,1.156398e-04,1.154320e-04,1.151225e-04,1.147544e-04,1.146123e-04,1.141091e-04,1.140891e-04,1.136130e-04,1.134361e-04,1.131241e-04,1.127957e-04,1.126423e-04,1.121678e-04,1.115525e-04,1.109498e-04,1.103597e-04,1.097820e-04,1.092168e-04,1.086640e-04,1.081234e-04,1.075949e-04,1.070784e-04,1.065737e-04,1.060808e-04,1.055994e-04,1.051294e-04,1.046705e-04,1.042227e-04,1.037857e-04,1.033594e-04,1.029435e-04,1.025379e-04,1.021423e-04,1.017566e-04,1.013807e-04,1.010142e-04,1.006570e-04
0.000000e+00,4.017687e-10,1.170743e-09,5.663196e-09,1.589029e-08,2.536931e-08,6.879313e-08,7.128577e-08,1.555062e-07,1.875466e-07,2.895951e-07,3.984769e-07,4.842496e-07,7.251235e-07,7.490990e-07,1.092338e-06,1.187108e-06,1.519955e-06,1.797387e-06,2.034411e-06,2.556926e-06,2.632944e-06,3.306166e-06,3.448467e-06,4.038093e-06,4.435154e-06,4.808131e-06,5.468281e-06,5.594267e-06,6.376031e-06,6.499510e-06,7.136339e-06,7.489681e-06,7.862149e-06,8.411713e-06,8.544345e-06,9.177211e-06,9.249675e-06,9.757788e-06,9.996400e-06,1.028524e-05,1.065100e-05,1.076033e-05,1.118492e-05,1.121678e-05,1.156166e-05,1.169965e-05,1.189368e-05,1.210695e-05,1.218438e-05,1.243726e-05,1.244664e-05,1.265579e-05,1.272670e-05,1.284332e-05,1.295478e-05,1.300305e-05,1.313795e-05,1.325077e-05,1.328262e-05,1.334399e-05,1.339443e-05,1.341989e-05,1.347833e-05,1.348048e-05,1.352758e-05,1.353857e-05,1.356278e-05,1.357878e-05,1.358750e-05,1.360206e-05,1.360299e-05,1.361033e-05,1.361099e-05,1.361050e-05,1.360777e-05,1.360432e-05,1.359421e-05,1.359252e-05,1.357576e-05,1.357186e-05,1.355458e-05,1.354200e-05,1.352950e-05,1.350573e-05,1.350094e-05,1.346929e-05,1.346397e-05,1.343489e-05,1.341749e-05,1.339804e-05,1.336698e-05,1.335901e-05,1.331803e-05,1.331300e-05,1.327533e-05,1.325605e-05,1.323110e-05,1.319657e-05,1.318551e-05,1.313872e-05,1.313493e-05,1.309088e-05,1.307147e-05,1.304210e-05,1.300648e-05,1.299252e-05,1.294225e-05,1.294022e-05,1.289137e-05,1.287292e-05,1.283998e-05,1.280479e-05,1.278817e-05,1.273602e-05,1.268359e-05,1.266676e-05,1.263094e-05,1.259717e-05,1.257815e-05,1.252739e-05,1.252527e-05,1.247235e-05,1.245753e-05,1.241943e-05,1.238770e-05,1.236657e-05,1.231801e-05,1.231379e-05,1.226115e-05,1.224854e-05,1.220868e-05,1.217937e-05,1.215640e-05,1.211058e-05,1.210435e-05,1.205255e-05,1.204223e-05,1.200104e-05,1.197437e-05,1.194983e-05,1.190707e-05,1.189895e-05,1.184841e-05,1.184036e-05,1.179824e-05,1.177429e-05,1.174845e-05,1.170890e-05,1.169906e-05,1.165007e-05,1.164423e-05,1.160152e-05,1.158029e-05,1.155339e-05,1.151711e-05,1.150571e-05,1.145849e-05,1.145473e-05,1.141172e-05,1.139315e-05,1.136543e-05,1.133240e-05,1.131962e-05,1.127428e-05,1.127248e-05,1.122944e-05,1.121342e-05,1.118509e-05,1.115521e-05,1.114123e-05,1.109787e-05,1.104141e-05,1.098583e-05,1.093112e-05,1.087730e-05,1.082436e-05,1.077230e-05,1.072112e-05,1.067081e-05,1.062137e-05,1.057281e-05,1.052510e-05,1.047825e-05,1.043224e-05,1.038708e-05,1.034275e-05,1.029924e-05,1.025655e-05,1.021466e-05,1.017357e-05,1.013327e-05,1.009374e-05,1.005498e-05,1.001698e-05,9.979719e-06
0.000000e+00,8.103572e-10,2.271484e-09,1.022757e-08,2.713908e-08,4.217007e-08,1.077671e-07,1.114372e-07,2.325370e-07,2.776938e-07,4.198948e-07,5.701745e-07,6.880591e-07,1.017960e-06,1.050718e-06,1.517372e-06,1.645186e-06,2.089348e-06,2.453331e-06,2.759794e-06,3.422463e-06,3.517620e-06,4.350945e-06,4.525656e-06,5.248364e-06,5.736720e-06,6.198976e-06,7.030817e-06,7.192152e-06,8.217415e-06,8.383744e-06,9.264497e-06,9.771917e-06,1.032348e-05,1.117292e-05,1.138500e-05,1.244040e-05,1.256626e-05,1.348191e-05,1.393398e-05,1.450271e-05,1.526107e-05,1.549701e-05,1.646003e-05,1.653560e-05,1.738797e-05,1.774863e-05,1.827787e-05,1.889382e-05,1.912760e-05,1.993578e-05,1.996723e-05,2.070167e-05,2.096698e-05,2.142505e-05,2.189277e-05,2.210616e-05,2.274557e-05,2.334418e-05,2.352729e-05,2.390308e-05,2.424051e-05,2.442352e-05,2.488826e-05,2.490690e-05,2.535468e-05,2.547388e-05,2.576836e-05,2.600085e-05,2.614950e-05,2.647272e-05,2.649963e-05,2.682027e-05,2.689300e-05,2.711293e-05,2.726514e-05,2.737907e-05,2.759246e-05,2.762011e-05,2.783742e-05,2.787815e-05,2.803233e-05,2.812525e-05,2.820611e-05,2.833663e-05,2.835996e-05,2.849506e-05,2.851501e-05,2.861250e-05,2.866292e-05,2.871335e-05,2.878275e-05,2.879860e-05,2.886920e-05,2.887673e-05,2.892606e-05,2.894694e-05,2.897003e-05,2.899532e-05,2.900192e-05,2.902249e-05,2.902367e-05,2.903249e-05,2.903367e-05,2.903258e-05,2.902688e-05,2.902342e-05,2.900562e-05,2.900473e-05,2.897976e-05,2.896858e-05,2.894638e-05,2.891966e-05,2.890601e-05,2.885913e-05,2.880619e-05,2.878805e-05,2.874764e-05,2.870741e-05,2.868388e-05,2.861812e-05,2.861529e-05,2.854224e-05,2.852103e-05,2.846507e-05,2.841693e-05,2.838411e-05,2.830653e-05,2.829965e-05,2.821198e-05,2.819049e-05,2.812138e-05,2.806945e-05,2.802809e-05,2.794397e-05,2.793236e-05,2.783440e-05,2.781456e-05,2.773444e-05,2.768173e-05,2.763266e-05,2.754591e-05,2.752927e-05,2.742442e-05,2.740753e-05,2.731830e-05,2.726695e-05,2.721104e-05,2.712453e-05,2.710281e-05,2.699373e-05,2.698059e-05,2.688394e-05,2.683544e-05,2.677355e-05,2.668933e-05,2.666269e-05,2.655144e-05,2.654253e-05,2.643993e-05,2.639527e-05,2.632823e-05,2.624774e-05,2.621644e-05,2.610463e-05,2.610016e-05,2.599289e-05,2.595270e-05,2.588129e-05,2.580551e-05,2.576989e-05,2.565875e-05,2.551256e-05,2.536705e-05,2.522234e-05,2.507854e-05,2.493572e-05,2.479399e-05,2.465341e-05,2.451404e-05,2.437596e-05,2.423922e-05,2.410386e-05,2.396993e-05,2.383746e-05,2.370649e-05,2.357705e-05,2.344915e-05,2.332283e-05,2.319809e-05,2.307496e-05,2.295344e-05,2.283354e-05,2.271526e-05,2.259862e-05,2.248360e-05
0.000000e+00,3.653586e-09,8.369534e-09,2.890162e-08,6.627741e-08,9.731013e-08,2.261684e-07,2.332627e-07,4.675758e-07,5.559816e-07,8.396747e-07,1.147624e-06,1.393636e-06,2.091602e-06,2.161032e-06,3.138754e-06,3.401187e-06,4.292410e-06,4.999919e-06,5.581537e-06,6.802401e-06,6.974152e-06,8.447234e-06,8.749909e-06,9.983371e-06,1.080222e-05,1.156815e-05,1.292753e-05,1.318873e-05,1.483328e-05,1.509788e-05,1.649076e-05,1.728793e-05,1.815103e-05,1.947502e-05,1.980486e-05,2.144406e-05,2.163943e-05,2.306149e-05,2.376465e-05,2.465103e-05,2.583728e-05,2.620762e-05,2.772710e-05,2.784695e-05,2.920618e-05,2.978591e-05,3.064233e-05,3.164869e-05,3.203367e-05,3.337891e-05,3.343175e-05,3.467723e-05,3.513304e-05,3.592820e-05,3.675178e-05,3.713176e-05,3.828810e-05,3.939764e-05,3.974290e-05,4.046097e-05,4.111758e-05,4.147883e-05,4.241399e-05,4.245208e-05,4.338165e-05,4.363424e-05,4.426856e-05,4.478066e-05,4.511385e-05,4.585571e-05,4.591863e-05,4.668399e-05,4.686194e-05,4.741107e-05,4.780193e-05,4.810100e-05,4.867831e-05,4.875492e-05,4.937396e-05,4.949368e-05,4.995924e-05,5.025062e-05,5.051188e-05,5.095165e-05,5.103295e-05,5.152355e-05,5.159929e-05,5.198472e-05,5.219594e-05,5.241751e-05,5.274399e-05,5.282293e-05,5.320198e-05,5.324573e-05,5.355561e-05,5.370340e-05,5.388478e-05,5.411916e-05,5.419041e-05,5.447340e-05,5.449508e-05,5.473461e-05,5.483319e-05,5.497490e-05,5.513542e-05,5.519509e-05,5.539599e-05,5.540363e-05,5.557836e-05,5.563962e-05,5.574296e-05,5.584511e-05,5.589052e-05,5.602176e-05,5.613734e-05,5.617113e-05,5.623794e-05,5.629476e-05,5.632420e-05,5.639409e-05,5.639674e-05,5.645615e-05,5.647051e-05,5.650302e-05,5.652536e-05,5.653791e-05,5.655989e-05,5.656135e-05,5.657388e-05,5.657532e-05,5.657599e-05,5.657280e-05,5.656817e-05,5.655345e-05,5.655089e-05,5.652460e-05,5.651830e-05,5.648974e-05,5.646836e-05,5.644672e-05,5.640458e-05,5.639596e-05,5.633784e-05,5.632788e-05,5.627273e-05,5.623911e-05,5.620101e-05,5.613910e-05,5.612301e-05,5.603908e-05,5.602862e-05,5.594953e-05,5.590843e-05,5.585467e-05,5.577922e-05,5.575481e-05,5.565022e-05,5.564166e-05,5.554119e-05,5.549639e-05,5.542797e-05,5.534401e-05,5.531083e-05,5.519001e-05,5.518510e-05,5.506573e-05,5.502019e-05,5.493823e-05,5.484979e-05,5.480772e-05,5.467440e-05,5.449447e-05,5.431044e-05,5.412272e-05,5.393170e-05,5.373774e-05,5.354119e-05,5.334238e-05,5.314161e-05,5.293919e-05,5.273537e-05,5.253043e-05,5.232459e-05,5.211810e-05,5.191116e-05,5.170398e-05,5.149674e-05,5.128961e-05,5.108278e-05,5.087638e-05,5.067057e-05,5.046547e-05,5.026122e-05,5.005794e-05,4.985573e-05
0.000000e+00,2.160688e-09,5.177100e-09,1.866085e-08,4.329496e-08,6.354505e-08,1.450401e-07,1.494074e-07,2.875884e-07,3.370756e-07,4.883384e-07,6.427062e-07,7.608918e-07,1.082080e-06,1.113392e-06,1.552597e-06,1.671490e-06,2.083264e-06,2.421209e-06,2.707171e-06,3.331540e-06,3.421905e-06,4.220063e-06,4.388716e-06,5.089703e-06,5.565351e-06,6.016195e-06,6.827298e-06,6.984420e-06,7.980299e-06,8.141350e-06,8.991374e-06,9.478857e-06,1.000685e-05,1.081612e-05,1.101745e-05,1.201526e-05,1.213381e-05,1.299359e-05,1.341642e-05,1.394689e-05,1.465183e-05,1.487063e-05,1.576122e-05,1.583095e-05,1.661594e-05,1.694733e-05,1.743285e-05,1.799687e-05,1.821067e-05,1.894869e-05,1.897738e-05,1.964671e-05,1.988822e-05,2.030491e-05,2.073002e-05,2.092386e-05,2.150433e-05,2.204735e-05,2.221340e-05,2.255409e-05,2.285995e-05,2.302582e-05,2.344702e-05,2.346392e-05,2.386979e-05,2.397786e-05,2.424487e-05,2.445574e-05,2.459061e-05,2.488400e-05,2.490843e-05,2.519975e-05,2.526588e-05,2.546594e-05,2.560454e-05,2.570835e-05,2.590301e-05,2.592826e-05,2.612692e-05,2.616421e-05,2.630554e-05,2.639088e-05,2.646525e-05,2.658561e-05,2.660717e-05,2.673233e-05,2.675086e-05,2.684173e-05,2.688893e-05,2.693633e-05,2.700195e-05,2.701702e-05,2.708467e-05,2.709194e-05,2.714007e-05,2.716077e-05,2.718401e-05,2.721019e-05,2.721721e-05,2.724036e-05,2.724180e-05,2.725411e-05,2.725712e-05,2.725908e-05,2.725755e-05,2.725585e-05,2.724497e-05,2.724439e-05,2.722697e-05,2.721883e-05,2.720232e-05,2.718201e-05,2.717150e-05,2.713494e-05,2.709305e-05,2.707858e-05,2.704622e-05,2.701383e-05,2.699482e-05,2.694150e-05,2.693920e-05,2.687967e-05,2.686235e-05,2.681655e-05,2.677707e-05,2.675012e-05,2.668631e-05,2.668065e-05,2.660840e-05,2.659068e-05,2.653362e-05,2.649071e-05,2.645652e-05,2.638693e-05,2.637732e-05,2.629622e-05,2.627979e-05,2.621342e-05,2.616974e-05,2.612907e-05,2.605716e-05,2.604336e-05,2.595644e-05,2.594243e-05,2.586846e-05,2.582589e-05,2.577955e-05,2.570784e-05,2.568984e-05,2.559945e-05,2.558857e-05,2.550851e-05,2.546834e-05,2.541711e-05,2.534740e-05,2.532535e-05,2.523333e-05,2.522596e-05,2.514114e-05,2.510423e-05,2.504886e-05,2.498240e-05,2.495656e-05,2.486431e-05,2.486062e-05,2.477219e-05,2.473907e-05,2.468025e-05,2.461787e-05,2.458855e-05,2.449716e-05,2.437705e-05,2.425765e-05,2.413906e-05,2.402137e-05,2.390464e-05,2.378896e-05,2.367439e-05,2.356098e-05,2.344878e-05,2.333784e-05,2.322819e-05,2.311988e-05,2.301293e-05,2.290736e-05,2.280321e-05,2.270047e-05,2.259918e-05,2.249934e-05,2.240096e-05,2.230405e-05,2.220860e-05,2.211463e-05,2.202214e-05,2.193111e-05
0.000000e+00,5.921935e-09,1.374455e-08,4.791192e-08,1.097275e-07,1.605776e-07,3.676134e-07,3.788419e-07,7.419601e-07,8.757800e-07,1.296963e-06,1.744537e-06,2.097967e-06,3.094443e-06,3.193631e-06,4.600101e-06,4.981215e-06,6.285768e-06,7.330121e-06,8.192430e-06,1.000833e-05,1.026408e-05,1.245699e-05,1.290706e-05,1.473786e-05,1.594959e-05,1.707981e-05,1.907718e-05,1.945960e-05,2.185622e-05,2.223993e-05,2.425030e-05,2.539327e-05,2.662405e-05,2.849753e-05,2.896136e-05,3.124793e-05,3.151830e-05,3.347139e-05,3.442698e-05,3.562138e-05,3.720100e-05,3.768951e-05,3.966926e-05,3.982367e-05,4.155590e-05,4.228373e-05,4.334629e-05,4.457471e-05,4.503862e-05,4.663224e-05,4.669393e-05,4.812767e-05,4.864224e-05,4.952631e-05,5.042312e-05,5.083021e-05,5.204197e-05,5.316461e-05,5.350557e-05,5.420143e-05,5.482158e-05,5.515595e-05,5.599823e-05,5.603180e-05,5.683271e-05,5.704405e-05,5.756241e-05,5.796757e-05,5.822457e-05,5.877725e-05,5.882284e-05,5.936077e-05,5.948128e-05,5.984181e-05,6.008759e-05,6.026929e-05,6.060372e-05,6.064642e-05,6.097627e-05,6.103682e-05,6.126178e-05,6.139365e-05,6.150575e-05,6.168055e-05,6.171087e-05,6.187966e-05,6.190346e-05,6.201454e-05,6.206792e-05,6.211780e-05,6.217908e-05,6.219158e-05,6.223794e-05,6.224176e-05,6.225881e-05,6.226038e-05,6.225600e-05,6.223909e-05,6.223123e-05,6.218612e-05,6.218168e-05,6.212220e-05,6.209169e-05,6.204090e-05,6.197236e-05,6.194357e-05,6.183148e-05,6.182671e-05,6.170583e-05,6.165749e-05,6.156773e-05,6.146726e-05,6.141824e-05,6.125835e-05,6.108898e-05,6.103292e-05,6.091100e-05,6.079296e-05,6.072523e-05,6.054027e-05,6.053243e-05,6.033331e-05,6.027652e-05,6.012855e-05,6.000324e-05,5.991876e-05,5.972183e-05,5.970454e-05,5.948643e-05,5.943356e-05,5.926494e-05,5.913961e-05,5.904055e-05,5.884104e-05,5.881370e-05,5.858481e-05,5.853882e-05,5.835426e-05,5.823385e-05,5.812242e-05,5.792692e-05,5.788962e-05,5.765617e-05,5.761878e-05,5.742235e-05,5.731008e-05,5.718845e-05,5.700143e-05,5.695470e-05,5.672134e-05,5.669337e-05,5.648858e-05,5.638640e-05,5.625661e-05,5.608096e-05,5.602562e-05,5.579578e-05,5.577745e-05,5.556724e-05,5.547622e-05,5.534015e-05,5.517760e-05,5.511462e-05,5.489078e-05,5.488186e-05,5.466874e-05,5.458927e-05,5.444860e-05,5.430004e-05,5.423045e-05,5.401436e-05,5.373241e-05,5.345434e-05,5.318028e-05,5.291033e-05,5.264458e-05,5.238311e-05,5.212597e-05,5.187323e-05,5.162490e-05,5.138102e-05,5.114160e-05,5.090664e-05,5.067614e-05,5.045010e-05,5.022848e-05,5.001127e-05,4.979844e-05,4.958996e-05,4.938579e-05,4.918588e-05,4.899020e-05,4.879868e-05,4.861129e-05,4.842796e-05
0.000000e+00,3.915974e-09,9.375787e-09,3.390096e-08,7.911978e-08,1.166129e-07,2.698647e-07,2.781731e-07,5.454638e-07,6.431117e-07,9.471311e-07,1.264800e-06,1.511972e-06,2.194033e-06,2.260943e-06,3.198923e-06,3.451549e-06,4.319625e-06,5.023893e-06,5.614703e-06,6.892392e-06,7.076317e-06,8.696262e-06,9.038441e-06,1.046500e-05,1.143987e-05,1.237125e-05,1.406932e-05,1.440204e-05,1.654299e-05,1.689475e-05,1.877879e-05,1.988103e-05,2.109363e-05,2.299177e-05,2.347169e-05,2.589754e-05,2.619115e-05,2.835649e-05,2.944534e-05,3.083482e-05,3.272353e-05,3.331996e-05,3.580060e-05,3.599854e-05,3.826668e-05,3.924704e-05,4.070945e-05,4.244951e-05,4.312134e-05,4.549593e-05,4.559006e-05,4.782785e-05,4.865601e-05,5.011266e-05,5.163757e-05,5.234679e-05,5.452739e-05,5.665227e-05,5.732018e-05,5.871979e-05,6.001235e-05,6.072880e-05,6.260173e-05,6.267858e-05,6.456872e-05,6.508725e-05,6.639913e-05,6.746877e-05,6.816998e-05,6.974685e-05,6.988162e-05,7.153458e-05,7.192264e-05,7.312956e-05,7.399770e-05,7.466733e-05,7.597396e-05,7.614879e-05,7.757491e-05,7.785359e-05,7.894673e-05,7.963896e-05,8.026531e-05,8.133260e-05,8.153178e-05,8.274728e-05,8.293711e-05,8.391299e-05,8.445519e-05,8.503009e-05,8.588957e-05,8.609976e-05,8.712321e-05,8.724298e-05,8.810163e-05,8.851818e-05,8.903622e-05,8.971791e-05,8.992815e-05,9.077860e-05,9.084488e-05,9.158873e-05,9.190176e-05,9.235971e-05,9.289119e-05,9.309265e-05,9.378869e-05,9.381578e-05,9.444892e-05,9.467804e-05,9.507442e-05,9.548048e-05,9.566627e-05,9.622550e-05,9.675315e-05,9.691549e-05,9.725021e-05,9.755273e-05,9.771767e-05,9.813947e-05,9.815649e-05,9.856761e-05,9.867788e-05,9.895195e-05,9.917007e-05,9.931041e-05,9.961809e-05,9.964386e-05,9.995317e-05,1.000239e-04,1.002392e-04,1.003894e-04,1.005027e-04,1.007165e-04,1.007444e-04,1.009653e-04,1.010070e-04,1.011659e-04,1.012626e-04,1.013472e-04,1.014849e-04,1.015096e-04,1.016541e-04,1.016755e-04,1.017811e-04,1.018361e-04,1.018914e-04,1.019681e-04,1.019857e-04,1.020645e-04,1.020729e-04,1.021284e-04,1.021520e-04,1.021780e-04,1.022066e-04,1.022140e-04,1.022367e-04,1.022380e-04,1.022469e-04,1.022475e-04,1.022449e-04,1.022363e-04,1.022313e-04,1.022066e-04,1.022054e-04,1.021712e-04,1.021560e-04,1.021257e-04,1.020891e-04,1.020703e-04,1.020057e-04,1.019068e-04,1.017932e-04,1.016659e-04,1.015258e-04,1.013735e-04,1.012099e-04,1.010358e-04,1.008518e-04,1.006586e-04,1.004568e-04,1.002472e-04,1.000301e-04,9.980630e-05,9.957623e-05,9.934041e-05,9.909933e-05,9.885347e-05,9.860324e-05,9.834909e-05,9.809140e-05,9.783055e-05,9.756691e-05,9.730082e-05,9.703259e-05
0.000000e+00,2.301741e-09,6.185261e-09,2.579677e-08,6.452611e-08,9.742126e-08,2.335338e-07,2.409291e-07,4.782046e-07,5.644899e-07,8.319736e-07,1.110300e-06,1.326602e-06,1.924480e-06,1.983236e-06,2.805047e-06,3.024266e-06,3.762593e-06,4.338697e-06,4.803404e-06,5.748087e-06,5.877420e-06,6.949671e-06,7.161839e-06,7.998604e-06,8.530179e-06,9.010806e-06,9.825952e-06,9.977200e-06,1.089110e-05,1.103210e-05,1.174744e-05,1.213689e-05,1.254249e-05,1.313275e-05,1.327386e-05,1.394045e-05,1.401608e-05,1.454238e-05,1.478703e-05,1.508090e-05,1.544906e-05,1.555816e-05,1.597709e-05,1.600818e-05,1.634115e-05,1.647227e-05,1.665419e-05,1.685023e-05,1.692022e-05,1.714333e-05,1.715142e-05,1.732754e-05,1.738509e-05,1.747674e-05,1.756007e-05,1.759458e-05,1.768451e-05,1.774968e-05,1.776578e-05,1.779297e-05,1.781041e-05,1.781699e-05,1.782408e-05,1.782407e-05,1.781629e-05,1.781171e-05,1.779553e-05,1.777752e-05,1.776341e-05,1.772510e-05,1.772141e-05,1.767078e-05,1.765748e-05,1.761268e-05,1.757725e-05,1.754808e-05,1.748658e-05,1.747788e-05,1.740285e-05,1.738732e-05,1.732365e-05,1.728103e-05,1.724089e-05,1.716900e-05,1.715508e-05,1.706669e-05,1.705234e-05,1.697613e-05,1.693200e-05,1.688376e-05,1.680879e-05,1.678992e-05,1.669488e-05,1.668341e-05,1.659890e-05,1.655643e-05,1.650222e-05,1.642839e-05,1.640502e-05,1.630751e-05,1.629970e-05,1.620985e-05,1.617077e-05,1.611217e-05,1.604191e-05,1.601461e-05,1.591730e-05,1.591341e-05,1.582033e-05,1.578552e-05,1.572380e-05,1.565846e-05,1.562781e-05,1.553242e-05,1.543770e-05,1.540755e-05,1.534373e-05,1.528399e-05,1.525054e-05,1.516188e-05,1.515820e-05,1.506674e-05,1.504130e-05,1.497621e-05,1.492235e-05,1.488664e-05,1.480510e-05,1.479805e-05,1.471048e-05,1.468962e-05,1.462395e-05,1.457595e-05,1.453847e-05,1.446415e-05,1.445407e-05,1.437076e-05,1.435423e-05,1.428855e-05,1.424624e-05,1.420745e-05,1.414019e-05,1.412746e-05,1.404860e-05,1.403608e-05,1.397086e-05,1.393394e-05,1.389424e-05,1.383376e-05,1.381875e-05,1.374439e-05,1.373554e-05,1.367115e-05,1.363928e-05,1.359904e-05,1.354497e-05,1.352803e-05,1.345814e-05,1.345259e-05,1.338935e-05,1.336214e-05,1.332165e-05,1.327359e-05,1.325505e-05,1.318952e-05,1.318692e-05,1.312506e-05,1.310212e-05,1.306167e-05,1.301916e-05,1.299933e-05,1.293802e-05,1.285868e-05,1.278110e-05,1.270526e-05,1.263113e-05,1.255869e-05,1.248790e-05,1.241874e-05,1.235118e-05,1.228518e-05,1.222072e-05,1.215776e-05,1.209628e-05,1.203625e-05,1.197764e-05,1.192042e-05,1.186455e-05,1.181002e-05,1.175678e-05,1.170482e-05,1.165410e-05,1.160460e-05,1.155628e-05,1.150913e-05,1.146312e-05
0.000000e+00,1.730802e-09,4.132449e-09,1.482048e-08,3.427841e-08,5.024887e-08,1.144949e-07,1.179398e-07,2.271783e-07,2.664390e-07,3.869616e-07,5.107898e-07,6.061578e-07,8.676666e-07,8.933307e-07,1.256040e-06,1.354978e-06,1.699398e-06,1.983352e-06,2.223917e-06,2.748005e-06,2.823566e-06,3.485862e-06,3.624440e-06,4.194667e-06,4.576174e-06,4.933777e-06,5.567688e-06,5.689138e-06,6.449355e-06,6.570806e-06,7.205351e-06,7.564542e-06,7.949872e-06,8.533263e-06,8.677080e-06,9.382280e-06,9.465239e-06,1.006175e-05,1.035179e-05,1.071261e-05,1.118681e-05,1.133275e-05,1.192072e-05,1.196634e-05,1.247565e-05,1.268828e-05,1.299719e-05,1.335205e-05,1.348542e-05,1.394076e-05,1.395830e-05,1.436393e-05,1.450857e-05,1.475588e-05,1.500512e-05,1.511770e-05,1.545064e-05,1.575601e-05,1.584812e-05,1.603515e-05,1.620067e-05,1.628944e-05,1.651148e-05,1.652028e-05,1.672900e-05,1.678366e-05,1.691693e-05,1.702025e-05,1.708537e-05,1.722416e-05,1.723553e-05,1.736861e-05,1.739813e-05,1.748573e-05,1.754474e-05,1.758795e-05,1.766639e-05,1.767629e-05,1.775169e-05,1.776530e-05,1.781507e-05,1.784355e-05,1.786725e-05,1.790303e-05,1.790905e-05,1.794119e-05,1.794548e-05,1.796437e-05,1.797251e-05,1.797926e-05,1.798560e-05,1.798645e-05,1.798651e-05,1.798607e-05,1.797999e-05,1.797516e-05,1.796737e-05,1.795399e-05,1.794912e-05,1.792568e-05,1.792360e-05,1.789745e-05,1.788490e-05,1.786481e-05,1.783877e-05,1.782810e-05,1.778767e-05,1.778598e-05,1.774381e-05,1.772723e-05,1.769681e-05,1.766319e-05,1.764694e-05,1.759444e-05,1.753956e-05,1.752152e-05,1.748249e-05,1.744493e-05,1.742346e-05,1.736511e-05,1.736264e-05,1.730022e-05,1.728247e-05,1.723634e-05,1.719739e-05,1.717118e-05,1.711021e-05,1.710486e-05,1.703753e-05,1.702123e-05,1.696930e-05,1.693075e-05,1.690030e-05,1.683901e-05,1.683062e-05,1.676037e-05,1.674626e-05,1.668965e-05,1.665271e-05,1.661853e-05,1.655855e-05,1.654711e-05,1.647545e-05,1.646397e-05,1.640362e-05,1.636911e-05,1.633170e-05,1.627413e-05,1.625974e-05,1.618780e-05,1.617917e-05,1.611593e-05,1.608434e-05,1.604417e-05,1.598975e-05,1.597258e-05,1.590120e-05,1.589550e-05,1.583007e-05,1.580169e-05,1.575921e-05,1.570839e-05,1.568867e-05,1.561847e-05,1.561567e-05,1.554865e-05,1.552361e-05,1.547923e-05,1.543226e-05,1.541023e-05,1.534168e-05,1.525191e-05,1.516300e-05,1.507497e-05,1.498788e-05,1.490174e-05,1.481658e-05,1.473242e-05,1.464928e-05,1.456718e-05,1.448613e-05,1.440615e-05,1.432723e-05,1.424939e-05,1.417264e-05,1.409697e-05,1.402239e-05,1.394889e-05,1.387648e-05,1.380515e-05,1.373491e-05,1.366574e-05,1.359763e-05,1.353060e-05,1.346462e-05
0.000000e+00,2.876125e-09,7.866316e-09,3.388990e-08,8.696972e-08,1.329900e-07,3.282418e-07,3.390033e-07,6.893062e-07,8.184533e-07,1.222706e-06,1.648078e-06,1.981420e-06,2.915173e-06,3.008001e-06,4.330693e-06,4.692272e-06,5.941872e-06,6.954268e-06,7.796653e-06,9.584352e-06,9.837257e-06,1.201349e-05,1.246148e-05,1.428726e-05,1.549822e-05,1.662930e-05,1.863151e-05,1.901530e-05,2.142339e-05,2.180934e-05,2.383296e-05,2.498426e-05,2.622432e-05,2.811174e-05,2.857884e-05,3.087917e-05,3.115081e-05,3.310963e-05,3.406527e-05,3.525645e-05,3.682487e-05,3.730802e-05,3.925493e-05,3.940593e-05,4.109004e-05,4.179160e-05,4.280838e-05,4.397154e-05,4.440699e-05,4.588478e-05,4.594139e-05,4.724229e-05,4.770188e-05,4.848143e-05,4.925793e-05,4.960521e-05,5.061759e-05,5.152324e-05,5.179135e-05,5.232738e-05,5.279131e-05,5.303555e-05,5.363043e-05,5.365349e-05,5.418704e-05,5.432210e-05,5.464201e-05,5.487966e-05,5.502412e-05,5.531608e-05,5.533892e-05,5.559174e-05,5.564377e-05,5.578769e-05,5.587439e-05,5.593159e-05,5.601877e-05,5.602797e-05,5.608113e-05,5.608692e-05,5.609502e-05,5.608797e-05,5.607336e-05,5.603020e-05,5.601956e-05,5.593677e-05,5.592103e-05,5.582787e-05,5.576712e-05,5.569554e-05,5.557446e-05,5.554223e-05,5.537018e-05,5.534838e-05,5.518144e-05,5.509359e-05,5.497787e-05,5.481430e-05,5.476118e-05,5.453293e-05,5.451421e-05,5.429453e-05,5.419662e-05,5.404727e-05,5.386443e-05,5.379234e-05,5.353079e-05,5.352021e-05,5.326360e-05,5.316620e-05,5.299165e-05,5.280442e-05,5.271574e-05,5.243660e-05,5.215489e-05,5.206430e-05,5.187121e-05,5.168888e-05,5.158611e-05,5.131153e-05,5.130007e-05,5.101355e-05,5.093330e-05,5.072696e-05,5.055512e-05,5.044065e-05,5.017779e-05,5.015496e-05,4.987020e-05,4.980202e-05,4.958663e-05,4.942844e-05,4.930449e-05,4.905758e-05,4.902402e-05,4.874540e-05,4.868991e-05,4.846881e-05,4.832584e-05,4.819442e-05,4.796572e-05,4.792236e-05,4.765276e-05,4.760986e-05,4.738574e-05,4.725851e-05,4.712139e-05,4.691190e-05,4.685981e-05,4.660106e-05,4.657021e-05,4.634522e-05,4.623359e-05,4.609234e-05,4.590217e-05,4.584248e-05,4.559567e-05,4.557606e-05,4.535195e-05,4.525533e-05,4.511135e-05,4.494005e-05,4.487388e-05,4.463957e-05,4.463026e-05,4.440842e-05,4.432599e-05,4.418045e-05,4.402724e-05,4.395565e-05,4.373403e-05,4.344635e-05,4.316416e-05,4.288746e-05,4.261619e-05,4.235032e-05,4.208980e-05,4.183457e-05,4.158458e-05,4.133977e-05,4.110006e-05,4.086539e-05,4.063568e-05,4.041087e-05,4.019088e-05,3.997562e-05,3.976503e-05,3.955902e-05,3.935751e-05,3.916043e-05,3.896769e-05,3.877920e-05,3.859490e-05,3.841470e-05,3.823851e-05
0.000000e+00,2.262185e-09,5.987568e-09,2.458607e-08,6.147464e-08,9.319447e-08,2.283262e-07,2.358368e-07,4.848219e-07,5.787714e-07,8.789822e-07,1.201394e-06,1.455593e-06,2.159265e-06,2.227952e-06,3.176925e-06,3.427451e-06,4.271337e-06,4.937450e-06,5.484347e-06,6.633337e-06,6.795216e-06,8.186596e-06,8.473113e-06,9.642460e-06,1.041982e-05,1.114725e-05,1.243797e-05,1.268579e-05,1.424346e-05,1.449353e-05,1.580657e-05,1.655507e-05,1.736263e-05,1.859495e-05,1.890062e-05,2.041105e-05,2.059006e-05,2.188599e-05,2.252202e-05,2.331906e-05,2.437712e-05,2.470535e-05,2.604125e-05,2.614587e-05,2.732424e-05,2.782224e-05,2.855277e-05,2.940315e-05,2.972611e-05,3.084416e-05,3.088774e-05,3.190738e-05,3.227687e-05,3.291667e-05,3.357280e-05,3.387323e-05,3.477836e-05,3.563371e-05,3.589718e-05,3.644094e-05,3.693315e-05,3.720186e-05,3.789049e-05,3.791831e-05,3.859212e-05,3.877340e-05,3.922511e-05,3.958607e-05,3.981909e-05,4.033263e-05,4.037584e-05,4.089709e-05,4.101710e-05,4.138452e-05,4.164331e-05,4.183975e-05,4.221497e-05,4.226436e-05,4.265985e-05,4.273558e-05,4.302768e-05,4.320848e-05,4.336923e-05,4.363680e-05,4.368583e-05,4.397877e-05,4.402352e-05,4.424924e-05,4.437144e-05,4.449843e-05,4.468318e-05,4.472742e-05,4.493728e-05,4.496122e-05,4.512901e-05,4.520788e-05,4.530357e-05,4.542531e-05,4.546187e-05,4.560477e-05,4.561557e-05,4.573311e-05,4.578054e-05,4.584766e-05,4.592202e-05,4.594917e-05,4.603835e-05,4.604167e-05,4.611587e-05,4.614105e-05,4.618237e-05,4.622161e-05,4.623847e-05,4.628473e-05,4.632170e-05,4.633166e-05,4.634991e-05,4.636359e-05,4.636985e-05,4.638165e-05,4.638199e-05,4.638678e-05,4.638686e-05,4.638464e-05,4.638020e-05,4.637597e-05,4.636256e-05,4.636116e-05,4.634056e-05,4.633480e-05,4.631453e-05,4.629769e-05,4.628338e-05,4.625199e-05,4.624743e-05,4.620698e-05,4.619837e-05,4.616230e-05,4.613748e-05,4.611366e-05,4.606992e-05,4.606131e-05,4.600549e-05,4.599625e-05,4.594642e-05,4.591698e-05,4.588433e-05,4.583262e-05,4.581942e-05,4.575188e-05,4.574361e-05,4.568190e-05,4.565038e-05,4.560965e-05,4.555333e-05,4.553530e-05,4.545901e-05,4.545283e-05,4.538093e-05,4.534922e-05,4.530119e-05,4.524283e-05,4.521994e-05,4.513730e-05,4.513397e-05,4.505339e-05,4.502290e-05,4.496834e-05,4.490990e-05,4.488224e-05,4.479521e-05,4.467905e-05,4.456165e-05,4.444320e-05,4.432389e-05,4.420388e-05,4.408334e-05,4.396242e-05,4.384126e-05,4.371999e-05,4.359872e-05,4.347758e-05,4.335665e-05,4.323605e-05,4.311586e-05,4.299616e-05,4.287703e-05,4.275853e-05,4.264075e-05,4.252372e-05,4.240752e-05,4.229218e-05,4.217777e-05,4.206431e-05,4.195185e-05
0.000000e+00,3.056754e-09,8.639141e-09,3.950745e-08,1.061864e-07,1.661053e-07,4.316936e-07,4.467013e-07,9.482740e-07,1.137986e-06,1.743182e-06,2.393849e-06,2.911105e-06,4.384813e-06,4.532926e-06,6.668984e-06,7.260873e-06,9.333837e-06,1.104682e-05,1.249656e-05,1.564956e-05,1.610408e-05,2.010108e-05,2.094270e-05,2.443728e-05,2.681093e-05,2.906722e-05,3.315204e-05,3.394812e-05,3.903817e-05,3.986921e-05,4.429579e-05,4.686677e-05,4.967951e-05,5.404979e-05,5.514848e-05,6.066310e-05,6.132611e-05,6.618573e-05,6.860909e-05,7.168131e-05,7.582005e-05,7.711784e-05,8.246670e-05,8.289005e-05,8.770290e-05,8.976093e-05,9.280510e-05,9.638562e-05,9.775556e-05,1.025399e-04,1.027276e-04,1.071468e-04,1.087602e-04,1.115681e-04,1.144655e-04,1.157979e-04,1.198325e-04,1.236703e-04,1.248567e-04,1.273111e-04,1.295385e-04,1.307565e-04,1.338825e-04,1.340089e-04,1.370721e-04,1.378964e-04,1.399501e-04,1.415900e-04,1.426478e-04,1.449750e-04,1.451705e-04,1.475239e-04,1.480642e-04,1.497139e-04,1.508711e-04,1.517464e-04,1.534096e-04,1.536276e-04,1.553635e-04,1.556937e-04,1.569602e-04,1.577375e-04,1.584237e-04,1.595546e-04,1.597601e-04,1.609749e-04,1.611584e-04,1.620740e-04,1.625620e-04,1.630628e-04,1.637780e-04,1.639466e-04,1.647307e-04,1.648183e-04,1.654200e-04,1.656945e-04,1.660194e-04,1.664176e-04,1.665334e-04,1.669667e-04,1.669981e-04,1.673236e-04,1.674458e-04,1.676080e-04,1.677702e-04,1.678240e-04,1.679755e-04,1.679803e-04,1.680660e-04,1.680843e-04,1.680990e-04,1.680904e-04,1.680779e-04,1.680059e-04,1.678859e-04,1.678379e-04,1.677210e-04,1.675930e-04,1.675138e-04,1.672776e-04,1.672670e-04,1.669832e-04,1.668974e-04,1.666647e-04,1.664579e-04,1.663138e-04,1.659643e-04,1.659328e-04,1.655236e-04,1.654215e-04,1.650884e-04,1.648339e-04,1.646288e-04,1.642058e-04,1.641468e-04,1.636440e-04,1.635411e-04,1.631221e-04,1.628436e-04,1.625825e-04,1.621166e-04,1.620267e-04,1.614561e-04,1.613635e-04,1.608720e-04,1.605872e-04,1.602756e-04,1.597905e-04,1.596681e-04,1.590507e-04,1.589760e-04,1.584243e-04,1.581461e-04,1.577900e-04,1.573032e-04,1.571487e-04,1.565012e-04,1.564492e-04,1.558485e-04,1.555862e-04,1.551914e-04,1.547158e-04,1.545304e-04,1.538665e-04,1.538399e-04,1.532002e-04,1.529599e-04,1.525322e-04,1.520772e-04,1.518630e-04,1.511933e-04,1.503092e-04,1.494261e-04,1.485450e-04,1.476668e-04,1.467925e-04,1.459228e-04,1.450584e-04,1.442000e-04,1.433482e-04,1.425035e-04,1.416664e-04,1.408373e-04,1.400166e-04,1.392047e-04,1.384019e-04,1.376085e-04,1.368246e-04,1.360506e-04,1.352865e-04,1.345326e-04,1.337889e-04,1.330556e-04,1.323327e-04,1.316203e-04
0.000000e+00,1.371591e-09,3.138876e-09,1.076253e-08,2.443368e-08,3.563238e-08,8.105347e-08,8.351234e-08,1.629091e-07,1.921313e-07,2.840565e-07,3.818165e-07,4.592347e-07,6.799341e-07,7.021880e-07,1.025794e-06,1.116465e-06,1.437252e-06,1.705094e-06,1.932574e-06,2.425358e-06,2.495826e-06,3.105315e-06,3.230909e-06,3.740894e-06,4.076421e-06,4.387253e-06,4.930662e-06,5.033791e-06,5.673305e-06,5.774618e-06,6.300779e-06,6.596576e-06,6.912542e-06,7.388716e-06,7.505760e-06,8.078157e-06,8.145353e-06,8.627879e-06,8.862176e-06,9.153430e-06,9.535949e-06,9.653636e-06,1.012763e-05,1.016440e-05,1.057486e-05,1.074619e-05,1.099505e-05,1.128081e-05,1.138816e-05,1.175444e-05,1.176854e-05,1.209432e-05,1.221033e-05,1.240842e-05,1.260767e-05,1.269751e-05,1.296250e-05,1.320436e-05,1.327704e-05,1.342414e-05,1.355372e-05,1.362295e-05,1.379510e-05,1.380189e-05,1.396211e-05,1.400377e-05,1.410472e-05,1.418230e-05,1.423083e-05,1.433320e-05,1.434151e-05,1.443781e-05,1.445890e-05,1.452073e-05,1.456167e-05,1.459121e-05,1.464368e-05,1.465017e-05,1.469848e-05,1.470693e-05,1.473694e-05,1.475330e-05,1.476632e-05,1.478452e-05,1.478735e-05,1.480067e-05,1.480213e-05,1.480693e-05,1.480759e-05,1.480669e-05,1.480219e-05,1.480050e-05,1.478886e-05,1.478712e-05,1.477225e-05,1.476348e-05,1.475109e-05,1.473222e-05,1.472579e-05,1.469671e-05,1.469423e-05,1.466420e-05,1.465031e-05,1.462858e-05,1.460115e-05,1.459011e-05,1.454907e-05,1.454738e-05,1.450574e-05,1.448963e-05,1.446036e-05,1.442844e-05,1.441313e-05,1.436426e-05,1.431391e-05,1.429752e-05,1.426228e-05,1.422862e-05,1.420950e-05,1.415790e-05,1.415573e-05,1.410109e-05,1.408565e-05,1.404571e-05,1.401216e-05,1.398968e-05,1.393768e-05,1.393313e-05,1.387615e-05,1.386242e-05,1.381882e-05,1.378659e-05,1.376122e-05,1.371038e-05,1.370344e-05,1.364553e-05,1.363394e-05,1.358757e-05,1.355743e-05,1.352961e-05,1.348096e-05,1.347170e-05,1.341390e-05,1.340466e-05,1.335625e-05,1.332864e-05,1.329878e-05,1.325298e-05,1.324155e-05,1.318458e-05,1.317777e-05,1.312792e-05,1.310308e-05,1.307157e-05,1.302899e-05,1.301558e-05,1.295998e-05,1.295554e-05,1.290477e-05,1.288280e-05,1.284998e-05,1.281080e-05,1.279563e-05,1.274174e-05,1.273959e-05,1.268832e-05,1.266920e-05,1.263538e-05,1.259966e-05,1.258294e-05,1.253100e-05,1.246324e-05,1.239640e-05,1.233050e-05,1.226554e-05,1.220155e-05,1.213852e-05,1.207646e-05,1.201539e-05,1.195529e-05,1.189617e-05,1.183804e-05,1.178087e-05,1.172469e-05,1.166947e-05,1.161522e-05,1.156192e-05,1.150958e-05,1.145818e-05,1.140771e-05,1.135818e-05,1.130956e-05,1.126184e-05,1.121503e-05,1.116910e-05
0.000000e+00,7.665947e-10,2.201114e-09,1.035504e-08,2.842726e-08,4.491386e-08,1.192204e-07,1.234555e-07,2.660990e-07,3.204000e-07,4.942345e-07,6.816242e-07,8.306975e-07,1.255116e-06,1.297718e-06,1.910296e-06,2.079262e-06,2.667269e-06,3.147570e-06,3.549243e-06,4.405192e-06,4.526439e-06,5.568112e-06,5.781741e-06,6.647532e-06,7.216358e-06,7.742987e-06,8.662708e-06,8.837050e-06,9.915613e-06,1.008594e-05,1.096713e-05,1.145941e-05,1.198217e-05,1.276279e-05,1.295316e-05,1.387428e-05,1.398125e-05,1.474132e-05,1.510493e-05,1.555155e-05,1.612843e-05,1.630358e-05,1.699719e-05,1.705017e-05,1.763313e-05,1.787167e-05,1.821293e-05,1.859682e-05,1.873875e-05,1.921317e-05,1.923111e-05,1.963906e-05,1.978109e-05,2.001948e-05,2.025378e-05,2.035753e-05,2.065631e-05,2.091887e-05,2.099572e-05,2.114813e-05,2.127867e-05,2.134686e-05,2.151137e-05,2.151770e-05,2.166308e-05,2.169953e-05,2.178525e-05,2.184829e-05,2.188630e-05,2.196225e-05,2.196814e-05,2.203252e-05,2.204555e-05,2.208104e-05,2.210183e-05,2.211515e-05,2.213431e-05,2.213618e-05,2.214533e-05,2.214583e-05,2.214368e-05,2.213889e-05,2.213223e-05,2.211570e-05,2.211188e-05,2.208345e-05,2.207820e-05,2.204767e-05,2.202809e-05,2.200522e-05,2.196688e-05,2.195672e-05,2.190272e-05,2.189589e-05,2.184373e-05,2.181631e-05,2.178021e-05,2.172917e-05,2.171259e-05,2.164125e-05,2.163540e-05,2.156656e-05,2.153582e-05,2.148883e-05,2.143115e-05,2.140836e-05,2.132543e-05,2.132207e-05,2.124029e-05,2.120914e-05,2.115317e-05,2.109290e-05,2.106427e-05,2.097381e-05,2.088196e-05,2.085230e-05,2.078888e-05,2.072874e-05,2.069474e-05,2.060349e-05,2.059967e-05,2.050381e-05,2.047684e-05,2.040728e-05,2.034909e-05,2.031020e-05,2.022049e-05,2.021267e-05,2.011479e-05,2.009126e-05,2.001665e-05,1.996161e-05,1.991833e-05,1.983173e-05,1.981992e-05,1.972149e-05,1.970180e-05,1.962309e-05,1.957197e-05,1.952481e-05,1.944238e-05,1.942669e-05,1.932879e-05,1.931315e-05,1.923116e-05,1.918441e-05,1.913385e-05,1.905626e-05,1.903690e-05,1.894035e-05,1.892879e-05,1.884424e-05,1.880210e-05,1.874860e-05,1.867625e-05,1.865347e-05,1.855887e-05,1.855132e-05,1.846483e-05,1.842738e-05,1.837138e-05,1.830447e-05,1.827854e-05,1.818633e-05,1.818266e-05,1.809477e-05,1.806198e-05,1.800389e-05,1.794247e-05,1.791368e-05,1.782418e-05,1.770713e-05,1.759135e-05,1.747686e-05,1.736370e-05,1.725186e-05,1.714137e-05,1.703224e-05,1.692448e-05,1.681809e-05,1.671308e-05,1.660946e-05,1.650723e-05,1.640638e-05,1.630691e-05,1.620882e-05,1.611212e-05,1.601678e-05,1.592280e-05,1.583019e-05,1.573892e-05,1.564899e-05,1.556039e-05,1.547311e-05,1.538714e-05
0.000000e+00,6.631467e-09,1.979409e-08,1.006622e-07,2.956932e-07,4.841602e-07,1.401916e-06,1.456613e-06,3.393361e-06,4.166744e-06,6.732822e-06,9.613021e-06,1.196812e-05,1.891474e-05,1.962950e-05,3.023750e-05,3.327357e-05,4.423619e-05,5.368354e-05,6.195316e-05,8.079081e-05,8.360063e-05,1.092930e-04,1.149211e-04,1.390625e-04,1.561432e-04,1.728688e-04,2.043099e-04,2.106058e-04,2.521057e-04,2.590807e-04,2.971444e-04,3.199407e-04,3.454461e-04,3.862228e-04,3.966904e-04,4.505194e-04,4.571345e-04,5.065461e-04,5.317895e-04,5.643628e-04,6.092427e-04,6.235500e-04,6.836851e-04,6.885243e-04,7.443503e-04,7.686734e-04,8.051398e-04,8.487667e-04,8.656659e-04,9.255648e-04,9.279428e-04,9.845000e-04,1.005421e-03,1.042166e-03,1.080514e-03,1.098290e-03,1.152633e-03,1.204990e-03,1.221296e-03,1.255189e-03,1.286118e-03,1.303090e-03,1.346814e-03,1.348586e-03,1.391596e-03,1.403186e-03,1.432067e-03,1.455117e-03,1.469968e-03,1.502562e-03,1.505294e-03,1.538055e-03,1.545540e-03,1.568282e-03,1.584118e-03,1.596019e-03,1.618412e-03,1.621322e-03,1.644257e-03,1.648567e-03,1.664902e-03,1.674759e-03,1.683338e-03,1.697181e-03,1.699653e-03,1.713939e-03,1.716043e-03,1.726291e-03,1.731561e-03,1.736805e-03,1.743957e-03,1.745576e-03,1.752703e-03,1.753452e-03,1.758279e-03,1.760266e-03,1.762399e-03,1.764613e-03,1.765155e-03,1.766635e-03,1.766701e-03,1.766927e-03,1.766730e-03,1.766114e-03,1.764889e-03,1.764275e-03,1.761489e-03,1.761359e-03,1.757829e-03,1.756310e-03,1.753364e-03,1.749902e-03,1.748161e-03,1.742283e-03,1.735791e-03,1.733592e-03,1.728739e-03,1.723958e-03,1.721183e-03,1.713499e-03,1.713170e-03,1.704749e-03,1.702324e-03,1.695964e-03,1.690534e-03,1.686854e-03,1.678220e-03,1.677459e-03,1.667815e-03,1.665466e-03,1.657954e-03,1.652349e-03,1.647908e-03,1.638937e-03,1.637706e-03,1.627374e-03,1.625294e-03,1.616937e-03,1.611476e-03,1.606418e-03,1.597533e-03,1.595837e-03,1.585215e-03,1.583513e-03,1.574569e-03,1.569456e-03,1.563916e-03,1.555399e-03,1.553271e-03,1.542647e-03,1.541374e-03,1.532056e-03,1.527410e-03,1.521512e-03,1.513535e-03,1.511023e-03,1.500599e-03,1.499769e-03,1.490250e-03,1.486132e-03,1.479982e-03,1.472643e-03,1.469802e-03,1.459717e-03,1.459316e-03,1.449733e-03,1.446164e-03,1.439853e-03,1.433197e-03,1.430083e-03,1.420426e-03,1.407858e-03,1.395499e-03,1.383355e-03,1.371430e-03,1.359726e-03,1.348245e-03,1.336990e-03,1.325960e-03,1.315156e-03,1.304576e-03,1.294221e-03,1.284088e-03,1.274175e-03,1.264480e-03,1.255001e-03,1.245735e-03,1.236678e-03,1.227828e-03,1.219182e-03,1.210735e-03,1.202484e-03,1.194426e-03,1.186556e-03,1.178871e-03
0.000000e+00,1.072497e-08,2.522506e-08,8.919796e-08,2.057130e-07,3.018956e-07,6.952433e-07,7.166370e-07,1.410750e-06,1.667300e-06,2.475033e-06,3.328981e-06,3.995854e-06,5.821213e-06,5.997980e-06,8.417848e-06,9.050405e-06,1.116506e-05,1.281920e-05,1.416886e-05,1.698305e-05,1.737742e-05,2.074766e-05,2.143755e-05,2.423936e-05,2.608998e-05,2.781324e-05,3.085069e-05,3.143093e-05,3.505584e-05,3.563419e-05,3.865413e-05,4.036280e-05,4.219551e-05,4.496988e-05,4.565377e-05,4.900702e-05,4.940148e-05,5.223770e-05,5.361674e-05,5.533229e-05,5.758703e-05,5.828103e-05,6.107748e-05,6.129449e-05,6.371800e-05,6.473020e-05,6.620137e-05,6.789243e-05,6.852831e-05,7.070110e-05,7.078485e-05,7.272324e-05,7.341517e-05,7.459917e-05,7.579385e-05,7.633396e-05,7.793320e-05,7.940273e-05,7.984657e-05,8.074859e-05,8.154785e-05,8.197687e-05,8.305101e-05,8.309362e-05,8.410481e-05,8.436983e-05,8.501630e-05,8.551770e-05,8.583375e-05,8.650748e-05,8.656266e-05,8.720829e-05,8.735142e-05,8.777571e-05,8.806112e-05,8.826975e-05,8.864746e-05,8.869500e-05,8.905582e-05,8.912063e-05,8.935637e-05,8.949017e-05,8.960063e-05,8.976505e-05,8.979234e-05,8.993509e-05,8.995362e-05,9.003223e-05,9.006359e-05,9.008692e-05,9.010213e-05,9.010216e-05,9.008078e-05,9.007588e-05,9.002546e-05,8.999102e-05,8.993871e-05,8.985323e-05,8.982290e-05,8.968026e-05,8.966775e-05,8.951288e-05,8.943945e-05,8.932275e-05,8.917281e-05,8.911171e-05,8.888149e-05,8.887190e-05,8.863369e-05,8.854048e-05,8.836985e-05,8.818201e-05,8.809141e-05,8.779973e-05,8.749606e-05,8.739654e-05,8.718157e-05,8.697512e-05,8.685735e-05,8.653791e-05,8.652443e-05,8.618378e-05,8.608714e-05,8.583631e-05,8.562489e-05,8.548284e-05,8.515303e-05,8.512416e-05,8.476102e-05,8.467328e-05,8.439408e-05,8.418718e-05,8.402399e-05,8.369618e-05,8.365135e-05,8.327670e-05,8.320157e-05,8.290055e-05,8.270453e-05,8.252340e-05,8.220614e-05,8.214569e-05,8.176782e-05,8.170737e-05,8.139019e-05,8.120911e-05,8.101314e-05,8.071215e-05,8.063701e-05,8.026211e-05,8.021721e-05,7.988870e-05,7.972494e-05,7.951704e-05,7.923591e-05,7.914738e-05,7.877994e-05,7.875064e-05,7.841490e-05,7.826960e-05,7.805246e-05,7.779321e-05,7.769279e-05,7.733603e-05,7.732182e-05,7.698232e-05,7.685576e-05,7.663180e-05,7.639532e-05,7.628457e-05,7.594074e-05,7.549223e-05,7.504998e-05,7.461414e-05,7.418484e-05,7.376219e-05,7.334628e-05,7.293715e-05,7.253488e-05,7.213947e-05,7.175097e-05,7.136936e-05,7.099464e-05,7.062679e-05,7.026579e-05,6.991159e-05,6.956415e-05,6.922342e-05,6.888933e-05,6.856182e-05,6.824083e-05,6.792628e-05,6.761808e-05,6.731617e-05,6.702045e-05
0.000000e+00,1.899027e-09,5.090085e-09,2.128985e-08,5.380870e-08,8.192474e-08,2.023030e-07,2.090108e-07,4.321218e-07,5.167107e-07,7.890965e-07,1.086698e-06,1.326315e-06,2.017178e-06,2.086838e-06,3.084117e-06,3.356175e-06,4.289346e-06,5.036530e-06,5.652687e-06,6.946647e-06,7.128455e-06,8.682979e-06,9.001103e-06,1.029231e-05,1.114466e-05,1.193832e-05,1.333829e-05,1.360601e-05,1.528201e-05,1.555011e-05,1.695392e-05,1.775153e-05,1.861009e-05,1.991637e-05,2.023967e-05,2.183278e-05,2.202107e-05,2.338063e-05,2.404534e-05,2.487562e-05,2.597252e-05,2.631142e-05,2.768301e-05,2.778984e-05,2.898658e-05,2.948833e-05,3.021948e-05,3.106251e-05,3.138017e-05,3.246803e-05,3.251003e-05,3.348325e-05,3.383111e-05,3.442675e-05,3.502809e-05,3.529999e-05,3.610492e-05,3.684382e-05,3.706674e-05,3.751926e-05,3.791949e-05,3.813397e-05,3.866962e-05,3.869082e-05,3.919274e-05,3.932383e-05,3.964266e-05,3.988888e-05,4.004351e-05,4.037142e-05,4.039816e-05,4.070941e-05,4.077795e-05,4.097996e-05,4.111467e-05,4.121242e-05,4.138748e-05,4.140930e-05,4.157298e-05,4.160194e-05,4.170573e-05,4.176325e-05,4.180969e-05,4.187626e-05,4.188690e-05,4.193928e-05,4.194548e-05,4.196863e-05,4.197505e-05,4.197667e-05,4.196882e-05,4.196498e-05,4.193507e-05,4.193032e-05,4.188834e-05,4.186280e-05,4.182612e-05,4.176923e-05,4.174964e-05,4.166004e-05,4.165234e-05,4.155842e-05,4.151463e-05,4.144577e-05,4.135837e-05,4.132305e-05,4.119112e-05,4.118566e-05,4.105081e-05,4.099839e-05,4.090288e-05,4.079830e-05,4.074805e-05,4.058698e-05,4.042029e-05,4.036586e-05,4.024857e-05,4.013626e-05,4.007234e-05,3.989938e-05,3.989210e-05,3.970833e-05,3.965630e-05,3.952146e-05,3.940802e-05,3.933189e-05,3.915542e-05,3.913999e-05,3.894611e-05,3.889933e-05,3.875058e-05,3.864048e-05,3.855370e-05,3.837955e-05,3.835574e-05,3.815697e-05,3.811714e-05,3.795762e-05,3.785380e-05,3.775792e-05,3.759004e-05,3.755806e-05,3.735825e-05,3.732629e-05,3.715865e-05,3.706297e-05,3.695943e-05,3.680043e-05,3.676074e-05,3.656271e-05,3.653900e-05,3.636548e-05,3.627898e-05,3.616916e-05,3.602063e-05,3.597385e-05,3.577966e-05,3.576418e-05,3.558668e-05,3.550984e-05,3.539498e-05,3.525780e-05,3.520465e-05,3.501575e-05,3.500822e-05,3.482834e-05,3.476125e-05,3.464248e-05,3.451701e-05,3.445823e-05,3.427561e-05,3.403715e-05,3.380171e-05,3.356936e-05,3.334015e-05,3.311414e-05,3.289136e-05,3.267184e-05,3.245560e-05,3.224266e-05,3.203303e-05,3.182671e-05,3.162370e-05,3.142398e-05,3.122756e-05,3.103440e-05,3.084451e-05,3.065784e-05,3.047438e-05,3.029409e-05,3.011696e-05,2.994294e-05,2.977201e-05,2.960412e-05,2.943925e-05
0.000000e+00,8.773858e-10,2.396013e-09,1.032081e-08,2.656507e-08,4.073700e-08,1.016662e-07,1.050589e-07,2.172204e-07,2.593463e-07,3.935975e-07,5.383908e-07,6.541274e-07,9.876983e-07,1.021554e-06,1.516144e-06,1.655039e-06,2.145875e-06,2.554446e-06,2.900728e-06,3.651063e-06,3.758643e-06,4.695901e-06,4.891056e-06,5.692880e-06,6.229851e-06,6.734831e-06,7.636628e-06,7.810652e-06,8.911511e-06,9.089456e-06,1.002985e-05,1.057082e-05,1.115878e-05,1.206515e-05,1.229177e-05,1.342252e-05,1.355777e-05,1.454496e-05,1.503469e-05,1.565327e-05,1.648278e-05,1.674201e-05,1.780612e-05,1.789005e-05,1.884099e-05,1.924582e-05,1.984257e-05,2.054111e-05,2.080737e-05,2.173248e-05,2.176862e-05,2.261559e-05,2.292287e-05,2.345494e-05,2.400005e-05,2.424929e-05,2.499791e-05,2.570054e-05,2.591568e-05,2.635734e-05,2.675386e-05,2.696881e-05,2.751388e-05,2.753571e-05,2.805904e-05,2.819792e-05,2.853997e-05,2.880873e-05,2.897984e-05,2.934948e-05,2.938007e-05,2.974228e-05,2.982373e-05,3.006815e-05,3.023542e-05,3.035943e-05,3.058853e-05,3.061787e-05,3.084520e-05,3.088709e-05,3.104320e-05,3.113515e-05,3.121361e-05,3.133677e-05,3.135827e-05,3.147923e-05,3.149649e-05,3.157809e-05,3.161814e-05,3.165634e-05,3.170503e-05,3.171535e-05,3.175645e-05,3.176024e-05,3.178088e-05,3.178665e-05,3.178981e-05,3.178694e-05,3.178439e-05,3.176569e-05,3.176365e-05,3.173471e-05,3.171909e-05,3.169240e-05,3.165543e-05,3.163966e-05,3.157731e-05,3.157463e-05,3.150616e-05,3.147853e-05,3.142694e-05,3.136881e-05,3.134034e-05,3.124702e-05,3.114757e-05,3.111455e-05,3.104257e-05,3.097270e-05,3.093254e-05,3.082263e-05,3.081797e-05,3.069933e-05,3.066544e-05,3.057705e-05,3.050210e-05,3.045152e-05,3.033349e-05,3.032313e-05,3.019221e-05,3.016044e-05,3.005908e-05,2.998368e-05,2.992406e-05,2.980388e-05,2.978741e-05,2.964939e-05,2.962165e-05,2.951025e-05,2.943753e-05,2.937021e-05,2.925203e-05,2.922947e-05,2.908823e-05,2.906560e-05,2.894666e-05,2.887864e-05,2.880492e-05,2.869152e-05,2.866317e-05,2.852155e-05,2.850457e-05,2.838018e-05,2.831809e-05,2.823918e-05,2.813235e-05,2.809867e-05,2.795874e-05,2.794758e-05,2.781949e-05,2.776400e-05,2.768100e-05,2.758180e-05,2.754334e-05,2.740659e-05,2.740114e-05,2.727081e-05,2.722218e-05,2.713607e-05,2.704506e-05,2.700241e-05,2.686987e-05,2.669674e-05,2.652574e-05,2.635695e-05,2.619043e-05,2.602625e-05,2.586444e-05,2.570504e-05,2.554809e-05,2.539360e-05,2.524159e-05,2.509207e-05,2.494505e-05,2.480053e-05,2.465850e-05,2.451897e-05,2.438191e-05,2.424731e-05,2.411516e-05,2.398545e-05,2.385814e-05,2.373322e-05,2.361066e-05,2.349043e-05,2.337252e-05
0.000000e+00,7.660053e-10,2.280643e-09,1.153663e-08,3.372129e-08,5.506155e-08,1.582600e-07,1.643838e-07,3.799826e-07,4.655572e-07,7.479824e-07,1.062872e-06,1.319115e-06,2.070613e-06,2.147684e-06,3.288884e-06,3.615085e-06,4.793022e-06,5.808898e-06,6.698810e-06,8.727662e-06,9.030406e-06,1.179878e-05,1.240508e-05,1.500455e-05,1.684222e-05,1.864030e-05,2.201662e-05,2.269213e-05,2.714059e-05,2.788758e-05,3.196129e-05,3.439915e-05,3.712545e-05,4.148227e-05,4.260045e-05,4.835039e-05,4.905705e-05,5.433676e-05,5.703530e-05,6.051917e-05,6.532339e-05,6.685611e-05,7.330569e-05,7.382528e-05,7.982640e-05,8.244549e-05,8.637777e-05,9.109186e-05,9.292098e-05,9.941943e-05,9.967795e-05,1.058391e-04,1.081249e-04,1.121491e-04,1.163628e-04,1.183214e-04,1.243315e-04,1.301583e-04,1.319811e-04,1.357839e-04,1.392718e-04,1.411937e-04,1.461733e-04,1.463761e-04,1.513227e-04,1.526646e-04,1.560275e-04,1.587328e-04,1.604871e-04,1.643724e-04,1.647004e-04,1.686680e-04,1.695839e-04,1.723924e-04,1.743733e-04,1.758775e-04,1.787505e-04,1.791285e-04,1.821514e-04,1.827292e-04,1.849533e-04,1.863254e-04,1.875417e-04,1.895571e-04,1.899249e-04,1.921114e-04,1.924435e-04,1.941098e-04,1.950049e-04,1.959291e-04,1.972615e-04,1.975781e-04,1.990658e-04,1.992339e-04,2.004010e-04,2.009424e-04,2.015924e-04,2.024070e-04,2.026486e-04,2.035776e-04,2.036466e-04,2.043871e-04,2.046792e-04,2.050848e-04,2.055220e-04,2.056779e-04,2.061730e-04,2.061909e-04,2.065768e-04,2.067010e-04,2.068954e-04,2.070662e-04,2.071344e-04,2.072995e-04,2.073957e-04,2.074128e-04,2.074280e-04,2.074172e-04,2.074009e-04,2.073230e-04,2.073187e-04,2.071854e-04,2.071395e-04,2.070049e-04,2.068753e-04,2.067806e-04,2.065384e-04,2.065158e-04,2.062137e-04,2.061359e-04,2.058771e-04,2.056746e-04,2.055088e-04,2.051604e-04,2.051113e-04,2.046869e-04,2.045990e-04,2.042379e-04,2.039953e-04,2.037663e-04,2.033541e-04,2.032740e-04,2.027628e-04,2.026794e-04,2.022344e-04,2.019752e-04,2.016904e-04,2.012449e-04,2.011322e-04,2.005611e-04,2.004918e-04,1.999785e-04,1.997188e-04,1.993855e-04,1.989285e-04,1.987832e-04,1.981726e-04,1.981235e-04,1.975548e-04,1.973058e-04,1.969306e-04,1.964776e-04,1.963008e-04,1.956662e-04,1.956407e-04,1.950276e-04,1.947968e-04,1.943856e-04,1.939475e-04,1.937409e-04,1.930941e-04,1.922380e-04,1.913803e-04,1.905221e-04,1.896644e-04,1.888081e-04,1.879540e-04,1.871029e-04,1.862554e-04,1.854122e-04,1.845738e-04,1.837407e-04,1.829135e-04,1.820924e-04,1.812780e-04,1.804705e-04,1.796703e-04,1.788776e-04,1.780926e-04,1.773157e-04,1.765469e-04,1.757865e-04,1.750346e-04,1.742914e-04,1.735569e-04
0.000000e+00,1.351551e-08,4.042665e-08,2.065328e-07,6.094476e-07,1.000569e-06,2.919495e-06,3.034424e-06,7.132627e-06,8.781835e-06,1.429427e-05,2.054333e-05,2.569486e-05,4.108186e-05,4.268026e-05,6.670494e-05,7.367765e-05,9.916099e-05,1.214442e-04,1.411413e-04,1.864902e-04,1.932971e-04,2.558559e-04,2.696118e-04,3.287168e-04,3.705711e-04,4.115418e-04,4.884457e-04,5.038206e-04,6.049139e-04,6.218586e-04,7.140830e-04,7.691161e-04,8.305142e-04,9.283059e-04,9.533395e-04,1.081656e-03,1.097379e-03,1.214544e-03,1.274225e-03,1.351084e-03,1.456741e-03,1.490374e-03,1.631538e-03,1.642887e-03,1.773745e-03,1.830742e-03,1.916210e-03,2.018535e-03,2.058206e-03,2.199067e-03,2.204669e-03,2.338188e-03,2.387741e-03,2.475033e-03,2.566542e-03,2.609126e-03,2.740056e-03,2.867471e-03,2.907452e-03,2.991076e-03,3.068068e-03,3.110627e-03,3.221403e-03,3.225932e-03,3.336843e-03,3.367094e-03,3.443251e-03,3.504905e-03,3.545088e-03,3.634707e-03,3.642315e-03,3.734924e-03,3.756464e-03,3.822932e-03,3.870220e-03,3.906378e-03,3.976084e-03,3.985322e-03,4.059838e-03,4.074218e-03,4.130016e-03,4.164827e-03,4.195956e-03,4.248151e-03,4.257769e-03,4.315571e-03,4.324455e-03,4.369487e-03,4.394023e-03,4.419643e-03,4.457151e-03,4.466172e-03,4.509207e-03,4.514142e-03,4.548880e-03,4.565306e-03,4.585327e-03,4.610951e-03,4.618681e-03,4.649074e-03,4.651381e-03,4.676637e-03,4.686898e-03,4.701498e-03,4.717796e-03,4.723783e-03,4.743616e-03,4.744360e-03,4.761115e-03,4.766866e-03,4.776398e-03,4.785582e-03,4.789578e-03,4.800763e-03,4.810061e-03,4.812655e-03,4.817574e-03,4.821490e-03,4.823398e-03,4.827491e-03,4.827631e-03,4.830362e-03,4.830870e-03,4.831679e-03,4.831826e-03,4.831667e-03,4.830549e-03,4.830404e-03,4.827969e-03,4.827219e-03,4.824436e-03,4.822003e-03,4.819873e-03,4.815061e-03,4.814349e-03,4.807928e-03,4.806541e-03,4.800670e-03,4.796584e-03,4.792634e-03,4.785322e-03,4.783874e-03,4.774445e-03,4.772878e-03,4.764396e-03,4.759366e-03,4.753774e-03,4.744894e-03,4.742624e-03,4.730990e-03,4.729564e-03,4.718912e-03,4.713467e-03,4.706429e-03,4.696693e-03,4.693577e-03,4.680390e-03,4.679322e-03,4.666902e-03,4.661430e-03,4.653143e-03,4.643086e-03,4.639143e-03,4.624929e-03,4.624356e-03,4.610527e-03,4.605301e-03,4.595962e-03,4.585976e-03,4.581256e-03,4.566433e-03,4.546719e-03,4.526879e-03,4.506954e-03,4.486980e-03,4.466991e-03,4.447021e-03,4.427096e-03,4.407243e-03,4.387487e-03,4.367849e-03,4.348349e-03,4.329006e-03,4.309834e-03,4.290850e-03,4.272065e-03,4.253492e-03,4.235142e-03,4.217022e-03,4.199142e-03,4.181508e-03,4.164126e-03,4.147002e-03,4.130140e-03,4.113543e-03
0.000000e+00,5.333193e-09,1.232202e-08,4.296092e-08,9.898480e-08,1.455867e-07,3.393524e-07,3.500260e-07,7.028250e-07,8.361218e-07,1.265116e-06,1.734185e-06,2.112590e-06,3.210579e-06,3.322069e-06,4.938210e-06,5.385922e-06,6.942687e-06,8.209933e-06,9.266492e-06,1.151253e-05,1.183060e-05,1.457051e-05,1.513519e-05,1.743917e-05,1.896993e-05,2.040201e-05,2.294370e-05,2.343206e-05,2.650688e-05,2.700165e-05,2.960676e-05,3.109836e-05,3.271404e-05,3.519433e-05,3.581264e-05,3.888814e-05,3.925502e-05,4.192768e-05,4.325073e-05,4.492002e-05,4.715663e-05,4.785551e-05,5.072603e-05,5.095265e-05,5.352490e-05,5.462314e-05,5.624675e-05,5.815642e-05,5.888744e-05,6.144390e-05,6.154437e-05,6.391400e-05,6.478182e-05,6.629640e-05,6.786597e-05,6.859043e-05,7.079602e-05,7.291354e-05,7.357267e-05,7.494380e-05,7.619786e-05,7.688788e-05,7.867440e-05,7.874716e-05,8.052321e-05,8.100582e-05,8.221775e-05,8.319611e-05,8.383263e-05,8.524965e-05,8.536981e-05,8.683130e-05,8.717102e-05,8.821915e-05,8.896496e-05,8.953545e-05,9.063629e-05,9.078232e-05,9.196185e-05,9.218986e-05,9.307614e-05,9.363048e-05,9.412728e-05,9.496294e-05,9.511732e-05,9.604831e-05,9.619193e-05,9.692225e-05,9.732206e-05,9.774111e-05,9.835784e-05,9.850682e-05,9.922128e-05,9.930366e-05,9.988634e-05,1.001638e-04,1.005038e-04,1.009424e-04,1.010755e-04,1.016030e-04,1.016434e-04,1.020882e-04,1.022707e-04,1.025325e-04,1.028281e-04,1.029377e-04,1.033053e-04,1.033192e-04,1.036367e-04,1.037474e-04,1.039334e-04,1.041162e-04,1.041970e-04,1.044286e-04,1.046297e-04,1.046878e-04,1.048015e-04,1.048968e-04,1.049454e-04,1.050583e-04,1.050625e-04,1.051540e-04,1.051752e-04,1.052210e-04,1.052499e-04,1.052647e-04,1.052851e-04,1.052860e-04,1.052861e-04,1.052831e-04,1.052659e-04,1.052461e-04,1.052264e-04,1.051764e-04,1.051685e-04,1.050931e-04,1.050760e-04,1.050010e-04,1.049469e-04,1.048932e-04,1.047910e-04,1.047703e-04,1.046332e-04,1.046100e-04,1.044827e-04,1.044058e-04,1.043193e-04,1.041799e-04,1.041439e-04,1.039571e-04,1.039339e-04,1.037595e-04,1.036693e-04,1.035518e-04,1.033875e-04,1.033345e-04,1.031082e-04,1.030898e-04,1.028735e-04,1.027774e-04,1.026309e-04,1.024516e-04,1.023809e-04,1.021240e-04,1.021136e-04,1.018606e-04,1.017643e-04,1.015913e-04,1.014049e-04,1.013164e-04,1.010363e-04,1.006594e-04,1.002751e-04,9.988419e-05,9.948748e-05,9.908569e-05,9.867952e-05,9.826962e-05,9.785659e-05,9.744103e-05,9.702348e-05,9.660445e-05,9.618441e-05,9.576383e-05,9.534313e-05,9.492269e-05,9.450291e-05,9.408410e-05,9.366662e-05,9.325075e-05,9.283678e-05,9.242497e-05,9.201556e-05,9.160879e-05,9.120485e-05
0.000000e+00,3.801091e-10,1.125642e-09,5.630697e-09,1.629098e-08,2.645176e-08,7.493953e-08,7.779387e-08,1.773072e-07,2.164197e-07,3.444771e-07,4.859104e-07,6.002460e-07,9.328946e-07,9.668423e-07,1.467332e-06,1.609912e-06,2.124102e-06,2.567333e-06,2.955652e-06,3.840671e-06,3.972607e-06,5.175478e-06,5.437726e-06,6.555503e-06,7.338210e-06,8.097327e-06,9.503542e-06,9.781791e-06,1.158798e-05,1.188683e-05,1.349449e-05,1.443902e-05,1.548018e-05,1.711195e-05,1.752457e-05,1.960804e-05,1.985980e-05,2.171208e-05,2.263985e-05,2.381932e-05,2.541303e-05,2.591370e-05,2.798055e-05,2.814430e-05,3.000667e-05,3.080305e-05,3.198040e-05,3.336331e-05,3.389164e-05,3.573188e-05,3.580391e-05,3.749413e-05,3.810836e-05,3.917293e-05,4.026471e-05,4.076420e-05,4.226520e-05,4.367438e-05,4.410583e-05,4.499128e-05,4.578586e-05,4.621639e-05,4.730732e-05,4.735099e-05,4.839710e-05,4.867449e-05,4.935728e-05,4.989338e-05,5.023454e-05,5.097128e-05,5.103225e-05,5.175404e-05,5.191640e-05,5.240371e-05,5.273747e-05,5.298515e-05,5.344350e-05,5.350229e-05,5.395906e-05,5.404351e-05,5.435931e-05,5.454636e-05,5.470681e-05,5.496061e-05,5.500520e-05,5.525798e-05,5.529442e-05,5.546850e-05,5.555548e-05,5.563994e-05,5.575097e-05,5.577530e-05,5.587742e-05,5.588757e-05,5.594896e-05,5.597139e-05,5.599240e-05,5.600805e-05,5.601006e-05,5.600409e-05,5.600266e-05,5.597650e-05,5.595984e-05,5.592915e-05,5.588378e-05,5.586374e-05,5.578187e-05,5.577828e-05,5.568501e-05,5.564672e-05,5.557449e-05,5.549218e-05,5.545156e-05,5.531738e-05,5.517300e-05,5.512480e-05,5.501938e-05,5.491663e-05,5.485742e-05,5.469485e-05,5.468793e-05,5.451169e-05,5.446122e-05,5.432937e-05,5.421734e-05,5.414163e-05,5.396461e-05,5.394904e-05,5.375215e-05,5.370432e-05,5.355146e-05,5.343759e-05,5.334743e-05,5.316546e-05,5.314048e-05,5.293100e-05,5.288884e-05,5.271936e-05,5.260855e-05,5.250587e-05,5.232534e-05,5.229085e-05,5.207458e-05,5.203988e-05,5.185733e-05,5.175277e-05,5.163933e-05,5.146454e-05,5.142080e-05,5.120196e-05,5.117568e-05,5.098298e-05,5.088664e-05,5.076406e-05,5.059781e-05,5.054534e-05,5.032698e-05,5.030953e-05,5.010912e-05,5.002215e-05,4.989189e-05,4.973593e-05,4.967539e-05,4.945975e-05,4.945114e-05,4.924506e-05,4.916803e-05,4.903142e-05,4.888678e-05,4.881891e-05,4.860761e-05,4.833066e-05,4.805611e-05,4.778407e-05,4.751467e-05,4.724801e-05,4.698419e-05,4.672330e-05,4.646539e-05,4.621054e-05,4.595879e-05,4.571020e-05,4.546480e-05,4.522261e-05,4.498367e-05,4.474800e-05,4.451560e-05,4.428648e-05,4.406066e-05,4.383812e-05,4.361887e-05,4.340289e-05,4.319018e-05,4.298072e-05,4.277449e-05
0.000000e+00,1.523122e-09,4.287848e-09,1.946597e-08,5.200671e-08,8.109582e-08,2.090266e-07,2.162179e-07,4.548169e-07,5.443047e-07,8.274730e-07,1.128533e-06,1.365715e-06,2.032871e-06,2.099323e-06,3.048758e-06,3.309624e-06,4.219233e-06,4.969018e-06,5.604060e-06,6.990973e-06,7.191812e-06,8.970213e-06,9.347681e-06,1.092677e-05,1.201023e-05,1.304821e-05,1.494703e-05,1.531996e-05,1.772586e-05,1.812210e-05,2.024831e-05,2.149499e-05,2.286850e-05,2.502189e-05,2.556687e-05,2.832359e-05,2.865738e-05,3.111898e-05,3.235626e-05,3.393399e-05,3.607533e-05,3.675051e-05,3.955175e-05,3.977472e-05,4.232237e-05,4.341892e-05,4.504866e-05,4.697733e-05,4.771860e-05,5.032188e-05,5.042450e-05,5.284983e-05,5.374003e-05,5.529535e-05,5.690830e-05,5.765282e-05,5.991796e-05,6.208768e-05,6.276149e-05,6.416000e-05,6.543466e-05,6.613389e-05,6.793607e-05,6.800919e-05,6.978638e-05,7.026654e-05,7.146649e-05,7.242854e-05,7.305098e-05,7.442588e-05,7.454174e-05,7.594097e-05,7.626343e-05,7.725107e-05,7.794675e-05,7.847463e-05,7.948197e-05,7.961442e-05,8.067332e-05,8.087565e-05,8.165425e-05,8.213451e-05,8.256018e-05,8.326539e-05,8.339410e-05,8.415908e-05,8.427529e-05,8.485828e-05,8.517144e-05,8.549478e-05,8.596072e-05,8.607137e-05,8.659080e-05,8.664942e-05,8.705577e-05,8.724377e-05,8.746885e-05,8.774962e-05,8.783253e-05,8.814927e-05,8.817265e-05,8.842142e-05,8.851831e-05,8.865125e-05,8.879175e-05,8.884093e-05,8.899252e-05,8.899782e-05,8.910804e-05,8.914117e-05,8.918942e-05,8.922620e-05,8.923851e-05,8.925709e-05,8.924688e-05,8.923779e-05,8.920949e-05,8.917203e-05,8.914649e-05,8.906329e-05,8.905936e-05,8.894952e-05,8.891489e-05,8.881834e-05,8.872993e-05,8.866711e-05,8.851133e-05,8.849707e-05,8.830940e-05,8.826186e-05,8.810524e-05,8.798411e-05,8.788566e-05,8.768050e-05,8.765169e-05,8.740430e-05,8.735330e-05,8.714442e-05,8.700464e-05,8.687293e-05,8.663654e-05,8.659069e-05,8.629847e-05,8.625085e-05,8.599706e-05,8.584933e-05,8.568718e-05,8.543363e-05,8.536950e-05,8.504469e-05,8.500526e-05,8.471336e-05,8.456567e-05,8.437611e-05,8.411618e-05,8.403349e-05,8.368603e-05,8.365804e-05,8.333423e-05,8.319240e-05,8.297856e-05,8.272035e-05,8.261949e-05,8.225742e-05,8.224288e-05,8.189277e-05,8.176094e-05,8.152591e-05,8.127538e-05,8.115722e-05,8.078702e-05,8.029659e-05,7.980480e-05,7.931228e-05,7.881963e-05,7.832738e-05,7.783604e-05,7.734608e-05,7.685792e-05,7.637195e-05,7.588854e-05,7.540800e-05,7.493064e-05,7.445673e-05,7.398652e-05,7.352022e-05,7.305805e-05,7.260018e-05,7.214678e-05,7.169798e-05,7.125392e-05,7.081472e-05,7.038045e-05,6.995123e-05,6.952710e-05
0.000000e+00,3.834505e-09,1.140255e-08,5.755741e-08,1.680293e-07,2.742777e-07,7.889132e-07,8.195092e-07,1.901272e-06,2.333094e-06,3.767433e-06,5.381189e-06,6.703473e-06,1.061053e-05,1.101255e-05,1.696166e-05,1.865524e-05,2.472635e-05,2.989910e-05,3.438179e-05,4.444300e-05,4.592679e-05,5.930815e-05,6.219740e-05,7.443587e-05,8.295414e-05,9.119164e-05,1.064218e-04,1.094341e-04,1.290032e-04,1.322459e-04,1.497244e-04,1.600260e-04,1.714134e-04,1.893340e-04,1.938805e-04,2.169357e-04,2.197329e-04,2.403924e-04,2.507942e-04,2.640719e-04,2.821133e-04,2.878058e-04,3.114389e-04,3.133208e-04,3.348303e-04,3.440906e-04,3.578547e-04,3.741432e-04,3.804029e-04,4.023812e-04,4.032473e-04,4.237109e-04,4.312181e-04,4.443280e-04,4.579140e-04,4.641813e-04,4.832321e-04,5.014523e-04,5.071041e-04,5.188235e-04,5.294906e-04,5.353357e-04,5.503767e-04,5.509862e-04,5.657787e-04,5.697679e-04,5.797218e-04,5.876854e-04,5.928288e-04,6.041631e-04,6.051164e-04,6.166042e-04,6.192447e-04,6.273142e-04,6.329809e-04,6.372702e-04,6.454275e-04,6.464971e-04,6.550209e-04,6.566436e-04,6.628682e-04,6.666903e-04,6.700658e-04,6.756295e-04,6.766408e-04,6.826199e-04,6.835230e-04,6.880298e-04,6.904321e-04,6.928968e-04,6.964167e-04,6.972465e-04,7.011041e-04,7.015352e-04,7.044942e-04,7.058439e-04,7.074406e-04,7.093974e-04,7.099664e-04,7.120940e-04,7.122476e-04,7.138449e-04,7.144445e-04,7.152400e-04,7.160355e-04,7.162994e-04,7.170424e-04,7.170658e-04,7.174874e-04,7.175781e-04,7.176523e-04,7.176131e-04,7.175540e-04,7.172089e-04,7.166326e-04,7.164018e-04,7.158399e-04,7.152257e-04,7.148452e-04,7.137128e-04,7.136620e-04,7.123032e-04,7.118930e-04,7.107812e-04,7.097945e-04,7.091077e-04,7.074439e-04,7.072939e-04,7.053505e-04,7.048660e-04,7.032876e-04,7.020837e-04,7.011147e-04,6.991189e-04,6.988410e-04,6.964751e-04,6.959916e-04,6.940252e-04,6.927207e-04,6.914991e-04,6.893236e-04,6.889041e-04,6.862472e-04,6.858168e-04,6.835349e-04,6.822152e-04,6.807735e-04,6.785329e-04,6.779688e-04,6.751264e-04,6.747830e-04,6.722515e-04,6.709775e-04,6.693489e-04,6.671274e-04,6.664234e-04,6.634793e-04,6.632431e-04,6.605206e-04,6.593340e-04,6.575513e-04,6.554088e-04,6.545748e-04,6.515947e-04,6.514755e-04,6.486140e-04,6.475414e-04,6.456357e-04,6.436133e-04,6.426626e-04,6.396972e-04,6.357989e-04,6.319232e-04,6.280749e-04,6.242581e-04,6.204764e-04,6.167334e-04,6.130321e-04,6.093749e-04,6.057645e-04,6.022027e-04,5.986915e-04,5.952324e-04,5.918268e-04,5.884757e-04,5.851801e-04,5.819407e-04,5.787581e-04,5.756328e-04,5.725651e-04,5.695551e-04,5.666028e-04,5.637083e-04,5.608713e-04,5.580916e-04
0.000000e+00,1.943839e-09,4.452165e-09,1.533573e-08,3.495334e-08,5.104355e-08,1.160519e-07,1.195526e-07,2.313203e-07,2.718213e-07,3.971104e-07,5.271881e-07,6.282135e-07,9.086573e-07,9.364356e-07,1.333671e-06,1.443505e-06,1.830788e-06,2.155923e-06,2.435629e-06,3.059018e-06,3.150528e-06,3.970842e-06,4.146694e-06,4.885961e-06,5.394810e-06,5.882297e-06,6.771881e-06,6.946086e-06,8.064837e-06,8.248186e-06,9.227613e-06,9.798522e-06,1.042481e-05,1.140157e-05,1.164787e-05,1.288897e-05,1.303877e-05,1.414098e-05,1.469360e-05,1.539732e-05,1.635131e-05,1.665197e-05,1.789945e-05,1.799879e-05,1.913485e-05,1.962462e-05,2.035379e-05,2.121906e-05,2.155244e-05,2.272750e-05,2.277397e-05,2.387617e-05,2.428277e-05,2.499613e-05,2.574032e-05,2.608548e-05,2.714271e-05,2.816668e-05,2.848718e-05,2.915657e-05,2.977194e-05,3.011181e-05,3.099598e-05,3.103212e-05,3.191738e-05,3.215898e-05,3.276769e-05,3.326118e-05,3.358326e-05,3.430324e-05,3.436448e-05,3.511180e-05,3.528617e-05,3.582578e-05,3.621127e-05,3.650704e-05,3.708004e-05,3.715628e-05,3.777422e-05,3.789411e-05,3.836161e-05,3.865525e-05,3.891926e-05,3.936528e-05,3.944796e-05,3.994853e-05,4.002607e-05,4.042180e-05,4.063952e-05,4.086860e-05,4.120753e-05,4.128974e-05,4.168605e-05,4.173198e-05,4.205835e-05,4.221475e-05,4.240742e-05,4.265767e-05,4.273406e-05,4.303906e-05,4.306254e-05,4.332316e-05,4.343112e-05,4.358713e-05,4.376512e-05,4.383168e-05,4.405754e-05,4.406620e-05,4.426541e-05,4.433597e-05,4.445597e-05,4.457599e-05,4.462987e-05,4.478778e-05,4.493031e-05,4.497277e-05,4.505808e-05,4.513239e-05,4.517169e-05,4.526796e-05,4.527171e-05,4.535870e-05,4.538080e-05,4.543321e-05,4.547215e-05,4.549577e-05,4.554320e-05,4.554688e-05,4.558704e-05,4.559511e-05,4.561674e-05,4.562897e-05,4.563643e-05,4.564583e-05,4.564656e-05,4.564758e-05,4.564672e-05,4.563989e-05,4.563259e-05,4.562391e-05,4.560437e-05,4.560004e-05,4.556864e-05,4.556294e-05,4.553008e-05,4.550914e-05,4.548472e-05,4.544377e-05,4.543290e-05,4.537495e-05,4.536760e-05,4.531119e-05,4.528137e-05,4.524192e-05,4.518577e-05,4.516743e-05,4.508801e-05,4.508146e-05,4.500394e-05,4.496907e-05,4.491548e-05,4.484920e-05,4.482287e-05,4.472637e-05,4.472243e-05,4.462621e-05,4.458930e-05,4.452262e-05,4.445032e-05,4.441580e-05,4.430598e-05,4.415675e-05,4.400306e-05,4.384534e-05,4.368397e-05,4.351934e-05,4.335179e-05,4.318166e-05,4.300927e-05,4.283492e-05,4.265888e-05,4.248142e-05,4.230279e-05,4.212323e-05,4.194296e-05,4.176219e-05,4.158112e-05,4.139992e-05,4.121876e-05,4.103782e-05,4.085724e-05,4.067717e-05,4.049772e-05,4.031903e-05,4.014121e-05
0.000000e+00,7.032772e-10,2.042200e-09,9.826887e-09,2.750263e-08,4.388504e-08,1.191558e-07,1.234896e-07,2.707435e-07,3.271645e-07,5.082011e-07,7.034153e-07,8.585643e-07,1.300054e-06,1.344429e-06,1.987122e-06,2.166753e-06,2.803857e-06,3.341316e-06,3.804660e-06,4.839728e-06,4.991996e-06,6.362921e-06,6.658639e-06,7.911347e-06,8.784082e-06,9.629274e-06,1.119643e-05,1.150722e-05,1.353430e-05,1.387167e-05,1.569827e-05,1.678168e-05,1.798563e-05,1.989462e-05,2.038185e-05,2.287159e-05,2.317590e-05,2.543910e-05,2.658934e-05,2.806848e-05,3.009854e-05,3.074407e-05,3.345068e-05,3.366811e-05,3.617386e-05,3.726471e-05,3.890009e-05,4.085782e-05,4.161691e-05,4.431302e-05,4.442028e-05,4.697831e-05,4.792852e-05,4.960388e-05,5.136259e-05,5.218201e-05,5.470610e-05,5.717061e-05,5.794591e-05,5.957101e-05,6.107189e-05,6.190364e-05,6.407657e-05,6.416567e-05,6.635499e-05,6.695475e-05,6.847012e-05,6.970320e-05,7.051018e-05,7.232035e-05,7.247473e-05,7.436379e-05,7.480596e-05,7.617771e-05,7.716093e-05,7.791718e-05,7.938704e-05,7.958311e-05,8.117664e-05,8.148677e-05,8.269908e-05,8.346314e-05,8.415189e-05,8.531958e-05,8.553663e-05,8.685495e-05,8.705983e-05,8.810857e-05,8.868784e-05,8.929925e-05,9.020769e-05,9.042880e-05,9.149902e-05,9.162355e-05,9.251175e-05,9.293960e-05,9.346880e-05,9.416005e-05,9.437200e-05,9.522313e-05,9.528903e-05,9.602398e-05,9.633064e-05,9.677630e-05,9.728888e-05,9.748180e-05,9.814219e-05,9.816769e-05,9.875911e-05,9.897087e-05,9.933419e-05,9.970215e-05,9.986900e-05,1.003651e-04,1.008240e-04,1.009632e-04,1.012471e-04,1.014998e-04,1.016360e-04,1.019782e-04,1.019918e-04,1.023161e-04,1.024015e-04,1.026101e-04,1.027726e-04,1.028751e-04,1.030944e-04,1.031124e-04,1.033230e-04,1.033697e-04,1.035082e-04,1.036012e-04,1.036690e-04,1.037913e-04,1.038066e-04,1.039220e-04,1.039425e-04,1.040162e-04,1.040572e-04,1.040902e-04,1.041374e-04,1.041449e-04,1.041813e-04,1.041854e-04,1.042001e-04,1.042032e-04,1.042023e-04,1.041927e-04,1.041887e-04,1.041600e-04,1.041556e-04,1.041171e-04,1.040939e-04,1.040606e-04,1.040090e-04,1.039913e-04,1.039098e-04,1.039027e-04,1.038167e-04,1.037764e-04,1.037128e-04,1.036316e-04,1.035986e-04,1.034747e-04,1.034696e-04,1.033417e-04,1.032917e-04,1.032000e-04,1.030991e-04,1.030503e-04,1.028930e-04,1.026744e-04,1.024445e-04,1.022043e-04,1.019546e-04,1.016963e-04,1.014303e-04,1.011573e-04,1.008782e-04,1.005936e-04,1.003041e-04,1.000105e-04,9.971319e-05,9.941286e-05,9.910998e-05,9.880505e-05,9.849852e-05,9.819083e-05,9.788237e-05,9.757352e-05,9.726464e-05,9.695605e-05,9.664805e-05,9.634094e-05,9.603498e-05
0.000000e+00,4.841178e-10,1.390279e-09,6.535053e-09,1.789760e-08,2.821890e-08,7.429209e-08,7.689824e-08,1.636233e-07,1.961613e-07,2.988679e-07,4.075318e-07,4.927801e-07,7.315299e-07,7.552744e-07,1.095104e-06,1.188849e-06,1.517199e-06,1.789040e-06,2.019396e-06,2.519822e-06,2.591739e-06,3.219363e-06,3.350102e-06,3.886308e-06,4.243731e-06,4.577990e-06,5.169007e-06,5.282041e-06,5.988227e-06,6.100827e-06,6.688053e-06,7.019566e-06,7.374364e-06,7.909556e-06,8.041066e-06,8.682964e-06,8.758109e-06,9.295690e-06,9.555098e-06,9.875668e-06,1.029280e-05,1.042010e-05,1.092695e-05,1.096583e-05,1.139492e-05,1.157107e-05,1.182342e-05,1.210748e-05,1.221246e-05,1.256264e-05,1.257585e-05,1.287499e-05,1.297844e-05,1.315095e-05,1.331869e-05,1.339225e-05,1.360084e-05,1.377881e-05,1.382964e-05,1.392832e-05,1.401011e-05,1.405160e-05,1.414731e-05,1.415085e-05,1.422820e-05,1.424621e-05,1.428571e-05,1.431149e-05,1.432530e-05,1.434744e-05,1.434877e-05,1.435778e-05,1.435797e-05,1.435389e-05,1.434662e-05,1.433854e-05,1.431662e-05,1.431307e-05,1.427867e-05,1.427082e-05,1.423645e-05,1.421174e-05,1.418740e-05,1.414158e-05,1.413242e-05,1.407236e-05,1.406233e-05,1.400800e-05,1.397581e-05,1.394010e-05,1.388364e-05,1.386925e-05,1.379592e-05,1.378698e-05,1.372055e-05,1.368685e-05,1.364352e-05,1.358407e-05,1.356515e-05,1.348573e-05,1.347934e-05,1.340552e-05,1.337326e-05,1.332474e-05,1.326635e-05,1.324360e-05,1.316228e-05,1.315902e-05,1.308093e-05,1.305167e-05,1.299970e-05,1.294460e-05,1.291872e-05,1.283809e-05,1.275792e-05,1.273237e-05,1.267828e-05,1.262763e-05,1.259925e-05,1.252402e-05,1.252090e-05,1.244329e-05,1.242170e-05,1.236647e-05,1.232077e-05,1.229048e-05,1.222134e-05,1.221536e-05,1.214115e-05,1.212347e-05,1.206786e-05,1.202724e-05,1.199554e-05,1.193270e-05,1.192419e-05,1.185383e-05,1.183988e-05,1.178448e-05,1.174882e-05,1.171614e-05,1.165953e-05,1.164883e-05,1.158255e-05,1.157204e-05,1.151731e-05,1.148636e-05,1.145310e-05,1.140248e-05,1.138993e-05,1.132779e-05,1.132040e-05,1.126668e-05,1.124012e-05,1.120660e-05,1.116162e-05,1.114754e-05,1.108950e-05,1.108491e-05,1.103247e-05,1.100994e-05,1.097645e-05,1.093672e-05,1.092141e-05,1.086736e-05,1.086522e-05,1.081428e-05,1.079541e-05,1.076217e-05,1.072728e-05,1.071101e-05,1.066079e-05,1.059593e-05,1.053266e-05,1.047095e-05,1.041079e-05,1.035213e-05,1.029495e-05,1.023922e-05,1.018491e-05,1.013199e-05,1.008043e-05,1.003020e-05,9.981271e-06,9.933614e-06,9.887199e-06,9.841998e-06,9.797982e-06,9.755122e-06,9.713391e-06,9.672762e-06,9.633208e-06,9.594701e-06,9.557216e-06,9.520727e-06,9.485209e-06
0.000000e+00,5.771138e-09,1.323270e-08,4.563707e-08,1.041807e-07,1.523518e-07,3.485359e-07,3.591729e-07,7.025700e-07,8.287371e-07,1.224270e-06,1.642211e-06,1.971000e-06,2.896905e-06,2.989299e-06,4.312359e-06,4.676279e-06,5.941790e-06,6.975632e-06,7.840953e-06,9.689143e-06,9.951605e-06,1.221665e-05,1.268395e-05,1.459039e-05,1.585586e-05,1.703822e-05,1.913189e-05,1.953335e-05,2.205417e-05,2.245864e-05,2.458268e-05,2.579452e-05,2.710362e-05,2.910618e-05,2.960408e-05,3.207321e-05,3.236695e-05,3.450199e-05,3.555594e-05,3.688312e-05,3.865726e-05,3.921074e-05,4.148030e-05,4.165925e-05,4.368837e-05,4.455380e-05,4.583247e-05,4.733563e-05,4.791090e-05,4.992263e-05,5.000171e-05,5.186718e-05,5.255075e-05,5.374450e-05,5.498281e-05,5.555489e-05,5.729895e-05,5.897750e-05,5.950097e-05,6.059156e-05,6.159123e-05,6.214226e-05,6.357248e-05,6.363085e-05,6.505867e-05,6.544776e-05,6.642712e-05,6.722029e-05,6.773765e-05,6.889345e-05,6.899173e-05,7.019087e-05,7.047065e-05,7.133656e-05,7.195538e-05,7.243033e-05,7.335110e-05,7.347369e-05,7.446812e-05,7.466127e-05,7.541513e-05,7.588932e-05,7.631618e-05,7.703862e-05,7.717274e-05,7.798622e-05,7.811248e-05,7.875804e-05,7.911412e-05,7.948957e-05,8.004668e-05,8.018215e-05,8.083710e-05,8.091323e-05,8.145572e-05,8.171673e-05,8.203927e-05,8.246007e-05,8.258898e-05,8.310606e-05,8.314605e-05,8.359167e-05,8.377737e-05,8.404696e-05,8.435662e-05,8.447304e-05,8.487098e-05,8.488633e-05,8.524184e-05,8.536892e-05,8.558665e-05,8.580674e-05,8.590638e-05,8.620202e-05,8.647448e-05,8.655692e-05,8.672468e-05,8.687353e-05,8.695350e-05,8.715384e-05,8.716178e-05,8.735037e-05,8.739975e-05,8.752004e-05,8.761310e-05,8.767159e-05,8.779564e-05,8.780575e-05,8.792326e-05,8.794906e-05,8.802481e-05,8.807497e-05,8.811109e-05,8.817490e-05,8.818275e-05,8.824043e-05,8.825034e-05,8.828473e-05,8.830268e-05,8.831626e-05,8.833328e-05,8.833557e-05,8.834324e-05,8.834342e-05,8.833978e-05,8.833432e-05,8.832572e-05,8.830716e-05,8.830154e-05,8.826774e-05,8.826306e-05,8.822477e-05,8.820307e-05,8.817307e-05,8.812821e-05,8.811308e-05,8.804522e-05,8.803946e-05,8.796987e-05,8.793772e-05,8.788743e-05,8.782389e-05,8.779826e-05,8.770273e-05,8.769878e-05,8.760117e-05,8.756320e-05,8.749392e-05,8.741790e-05,8.738130e-05,8.726360e-05,8.710098e-05,8.693069e-05,8.675333e-05,8.656951e-05,8.637976e-05,8.618462e-05,8.598458e-05,8.578012e-05,8.557168e-05,8.535968e-05,8.514452e-05,8.492658e-05,8.470622e-05,8.448378e-05,8.425957e-05,8.403390e-05,8.380705e-05,8.357929e-05,8.335086e-05,8.312200e-05,8.289295e-05,8.266389e-05,8.243505e-05,8.220658e-05
0.000000e+00,2.131919e-10,5.954140e-10,2.663589e-09,7.031942e-09,1.089753e-08,2.765140e-08,2.858420e-08,5.913757e-08,7.042799e-08,1.056569e-07,1.424056e-07,1.709330e-07,2.496973e-07,2.574539e-07,3.673689e-07,3.974291e-07,5.023588e-07,5.893086e-07,6.634102e-07,8.268077e-07,8.506412e-07,1.063363e-06,1.108863e-06,1.300316e-06,1.432579e-06,1.559875e-06,1.794007e-06,1.840162e-06,2.139092e-06,2.188502e-06,2.454399e-06,2.610859e-06,2.783671e-06,3.055455e-06,3.124393e-06,3.474001e-06,3.516429e-06,3.829931e-06,3.987894e-06,4.189677e-06,4.464149e-06,4.550831e-06,4.911129e-06,4.939852e-06,5.268482e-06,5.410167e-06,5.620994e-06,5.870852e-06,5.966981e-06,6.304975e-06,6.318310e-06,6.633722e-06,6.749600e-06,6.952179e-06,7.162415e-06,7.259504e-06,7.555037e-06,7.838293e-06,7.926283e-06,8.108936e-06,8.275434e-06,8.366772e-06,8.602171e-06,8.611721e-06,8.843812e-06,8.906507e-06,9.063160e-06,9.188727e-06,9.269952e-06,9.449326e-06,9.464439e-06,9.646921e-06,9.688968e-06,9.817737e-06,9.908434e-06,9.977255e-06,1.010860e-05,1.012587e-05,1.026398e-05,1.029038e-05,1.039201e-05,1.045474e-05,1.051037e-05,1.060264e-05,1.061950e-05,1.071980e-05,1.073506e-05,1.081170e-05,1.085295e-05,1.089560e-05,1.095722e-05,1.097189e-05,1.104097e-05,1.104879e-05,1.110320e-05,1.112851e-05,1.115895e-05,1.119720e-05,1.120857e-05,1.125240e-05,1.125566e-05,1.129075e-05,1.130462e-05,1.132393e-05,1.134480e-05,1.135225e-05,1.137599e-05,1.137685e-05,1.139541e-05,1.140140e-05,1.141078e-05,1.141903e-05,1.142233e-05,1.143031e-05,1.143493e-05,1.143573e-05,1.143640e-05,1.143579e-05,1.143493e-05,1.143093e-05,1.143071e-05,1.142392e-05,1.142158e-05,1.141473e-05,1.140813e-05,1.140330e-05,1.139093e-05,1.138978e-05,1.137432e-05,1.137034e-05,1.135707e-05,1.134667e-05,1.133814e-05,1.132021e-05,1.131767e-05,1.129577e-05,1.129123e-05,1.127255e-05,1.125999e-05,1.124812e-05,1.122673e-05,1.122257e-05,1.119600e-05,1.119165e-05,1.116849e-05,1.115498e-05,1.114013e-05,1.111688e-05,1.111100e-05,1.108117e-05,1.107754e-05,1.105071e-05,1.103712e-05,1.101968e-05,1.099576e-05,1.098815e-05,1.095618e-05,1.095361e-05,1.092382e-05,1.091078e-05,1.089112e-05,1.086740e-05,1.085813e-05,1.082490e-05,1.082357e-05,1.079147e-05,1.077939e-05,1.075788e-05,1.073496e-05,1.072416e-05,1.069035e-05,1.064565e-05,1.060092e-05,1.055624e-05,1.051165e-05,1.046721e-05,1.042297e-05,1.037899e-05,1.033528e-05,1.029191e-05,1.024889e-05,1.020625e-05,1.016403e-05,1.012225e-05,1.008093e-05,1.004009e-05,9.999745e-06,9.959909e-06,9.920597e-06,9.881818e-06,9.843583e-06,9.805899e-06,9.768773e-06,9.732209e-06,9.696213e-06
0.000000e+00,1.383233e-09,3.807321e-09,1.662198e-08,4.323276e-08,6.666909e-08,1.690742e-07,1.748451e-07,3.691501e-07,4.437190e-07,6.860284e-07,9.530414e-07,1.168594e-06,1.787273e-06,1.849214e-06,2.725579e-06,2.961604e-06,3.764001e-06,4.400984e-06,4.924135e-06,6.020043e-06,6.173943e-06,7.491170e-06,7.761250e-06,8.860153e-06,9.588373e-06,1.026876e-05,1.147486e-05,1.170643e-05,1.316311e-05,1.339728e-05,1.462888e-05,1.533278e-05,1.609385e-05,1.725864e-05,1.754819e-05,1.898238e-05,1.915270e-05,2.038741e-05,2.099421e-05,2.175494e-05,2.276456e-05,2.307751e-05,2.434865e-05,2.444795e-05,2.556302e-05,2.603188e-05,2.671637e-05,2.750714e-05,2.780547e-05,2.882815e-05,2.886765e-05,2.978316e-05,3.011030e-05,3.067011e-05,3.123455e-05,3.148941e-05,3.224207e-05,3.292950e-05,3.313602e-05,3.355370e-05,3.392107e-05,3.411699e-05,3.460279e-05,3.462190e-05,3.507121e-05,3.518744e-05,3.546780e-05,3.568167e-05,3.581460e-05,3.609220e-05,3.611454e-05,3.637053e-05,3.642575e-05,3.658544e-05,3.668889e-05,3.676207e-05,3.688796e-05,3.690309e-05,3.701109e-05,3.702895e-05,3.708854e-05,3.711751e-05,3.713776e-05,3.715891e-05,3.716096e-05,3.716023e-05,3.715802e-05,3.713751e-05,3.711933e-05,3.709463e-05,3.704697e-05,3.703331e-05,3.695514e-05,3.694470e-05,3.686160e-05,3.681594e-05,3.675408e-05,3.666381e-05,3.663386e-05,3.650213e-05,3.649112e-05,3.635998e-05,3.630044e-05,3.620844e-05,3.609405e-05,3.604846e-05,3.588090e-05,3.587405e-05,3.570657e-05,3.564230e-05,3.552622e-05,3.540048e-05,3.534052e-05,3.515012e-05,3.495560e-05,3.489258e-05,3.475750e-05,3.462907e-05,3.455631e-05,3.436070e-05,3.435250e-05,3.414647e-05,3.408844e-05,3.393863e-05,3.381319e-05,3.372931e-05,3.353573e-05,3.351886e-05,3.330758e-05,3.325678e-05,3.309573e-05,3.297695e-05,3.288358e-05,3.269682e-05,3.267136e-05,3.245927e-05,3.241689e-05,3.224752e-05,3.213761e-05,3.203629e-05,3.185937e-05,3.182573e-05,3.161601e-05,3.158253e-05,3.140724e-05,3.130741e-05,3.119956e-05,3.103428e-05,3.099309e-05,3.078791e-05,3.076338e-05,3.058413e-05,3.049494e-05,3.038184e-05,3.022913e-05,3.018109e-05,2.998197e-05,2.996611e-05,2.978454e-05,2.970605e-05,2.958884e-05,2.944904e-05,2.939493e-05,2.920285e-05,2.919520e-05,2.901263e-05,2.894462e-05,2.882431e-05,2.869736e-05,2.863793e-05,2.845349e-05,2.821306e-05,2.797610e-05,2.774264e-05,2.751270e-05,2.728629e-05,2.706342e-05,2.684408e-05,2.662826e-05,2.641596e-05,2.620715e-05,2.600182e-05,2.579993e-05,2.560146e-05,2.540638e-05,2.521466e-05,2.502625e-05,2.484112e-05,2.465923e-05,2.448053e-05,2.430500e-05,2.413257e-05,2.396321e-05,2.379688e-05,2.363352e-05
0.000000e+00,1.525193e-09,3.609561e-09,1.280832e-08,2.945397e-08,4.307574e-08,9.773342e-08,1.006612e-07,1.935011e-07,2.268973e-07,3.296113e-07,4.355235e-07,5.173860e-07,7.431491e-07,7.653983e-07,1.081119e-06,1.167497e-06,1.468173e-06,1.715248e-06,1.923521e-06,2.373217e-06,2.437595e-06,2.997743e-06,3.114189e-06,3.591646e-06,3.910240e-06,4.208763e-06,4.738652e-06,4.840365e-06,5.479114e-06,5.581542e-06,6.118673e-06,6.424287e-06,6.753467e-06,7.254526e-06,7.378548e-06,7.989550e-06,8.061737e-06,8.582677e-06,8.837138e-06,9.154703e-06,9.573681e-06,9.702981e-06,1.022541e-05,1.026604e-05,1.072042e-05,1.091050e-05,1.118696e-05,1.150488e-05,1.162441e-05,1.203255e-05,1.204827e-05,1.241152e-05,1.254088e-05,1.276173e-05,1.298379e-05,1.308387e-05,1.337878e-05,1.364749e-05,1.372812e-05,1.389112e-05,1.403442e-05,1.411085e-05,1.430048e-05,1.430795e-05,1.448366e-05,1.452919e-05,1.463924e-05,1.472346e-05,1.477596e-05,1.488611e-05,1.489502e-05,1.499759e-05,1.501989e-05,1.508483e-05,1.512738e-05,1.515780e-05,1.521105e-05,1.521755e-05,1.526505e-05,1.527316e-05,1.530121e-05,1.531583e-05,1.532692e-05,1.534102e-05,1.534298e-05,1.535015e-05,1.535052e-05,1.534915e-05,1.534596e-05,1.534063e-05,1.532884e-05,1.532523e-05,1.530351e-05,1.530051e-05,1.527602e-05,1.526221e-05,1.524324e-05,1.521507e-05,1.520563e-05,1.516364e-05,1.516010e-05,1.511765e-05,1.509822e-05,1.506803e-05,1.503025e-05,1.501512e-05,1.495924e-05,1.495695e-05,1.490068e-05,1.487900e-05,1.483972e-05,1.479701e-05,1.477659e-05,1.471154e-05,1.464477e-05,1.462308e-05,1.457649e-05,1.453208e-05,1.450688e-05,1.443896e-05,1.443611e-05,1.436433e-05,1.434407e-05,1.429169e-05,1.424775e-05,1.421833e-05,1.415030e-05,1.414436e-05,1.406990e-05,1.405197e-05,1.399507e-05,1.395303e-05,1.391995e-05,1.385367e-05,1.384463e-05,1.376920e-05,1.375410e-05,1.369373e-05,1.365449e-05,1.361830e-05,1.355500e-05,1.354296e-05,1.346778e-05,1.345577e-05,1.339282e-05,1.335693e-05,1.331812e-05,1.325858e-05,1.324373e-05,1.316970e-05,1.316084e-05,1.309605e-05,1.306378e-05,1.302283e-05,1.296749e-05,1.295007e-05,1.287780e-05,1.287204e-05,1.280604e-05,1.277748e-05,1.273482e-05,1.268389e-05,1.266416e-05,1.259408e-05,1.259129e-05,1.252460e-05,1.249974e-05,1.245573e-05,1.240926e-05,1.238750e-05,1.231990e-05,1.223168e-05,1.214461e-05,1.205872e-05,1.197402e-05,1.189053e-05,1.180824e-05,1.172717e-05,1.164733e-05,1.156870e-05,1.149130e-05,1.141511e-05,1.134014e-05,1.126638e-05,1.119383e-05,1.112247e-05,1.105229e-05,1.098329e-05,1.091546e-05,1.084879e-05,1.078325e-05,1.071885e-05,1.065557e-05,1.059338e-05,1.053229e-05
0.000000e+00,2.986079e-09,7.937035e-09,3.279368e-08,8.220563e-08,1.246218e-07,3.037042e-07,3.135713e-07,6.356851e-07,7.549867e-07,1.130369e-06,1.528380e-06,1.842347e-06,2.731875e-06,2.821188e-06,4.114856e-06,4.476317e-06,5.755486e-06,6.828072e-06,7.745681e-06,9.766046e-06,1.005951e-05,1.265677e-05,1.320654e-05,1.549625e-05,1.705613e-05,1.854131e-05,2.123480e-05,2.176036e-05,2.512554e-05,2.567581e-05,2.861148e-05,3.032058e-05,3.219435e-05,3.511514e-05,3.585143e-05,3.956098e-05,4.000865e-05,4.330224e-05,4.495334e-05,4.705560e-05,4.990490e-05,5.080271e-05,5.452668e-05,5.482313e-05,5.821214e-05,5.967240e-05,6.184533e-05,6.442200e-05,6.541414e-05,6.890808e-05,6.904614e-05,7.231819e-05,7.352383e-05,7.563702e-05,7.783854e-05,7.885851e-05,8.197783e-05,8.499134e-05,8.593285e-05,8.789639e-05,8.969787e-05,9.069125e-05,9.326977e-05,9.337498e-05,9.594734e-05,9.664767e-05,9.840866e-05,9.983248e-05,1.007598e-04,1.028266e-04,1.030020e-04,1.051368e-04,1.056334e-04,1.071662e-04,1.082574e-04,1.090923e-04,1.107036e-04,1.109174e-04,1.126440e-04,1.129777e-04,1.142745e-04,1.150854e-04,1.158118e-04,1.170329e-04,1.172584e-04,1.186172e-04,1.188266e-04,1.198908e-04,1.204727e-04,1.210820e-04,1.219775e-04,1.221936e-04,1.232282e-04,1.233473e-04,1.241886e-04,1.245884e-04,1.250775e-04,1.257067e-04,1.258973e-04,1.266507e-04,1.267082e-04,1.273403e-04,1.275987e-04,1.279683e-04,1.283838e-04,1.285373e-04,1.290495e-04,1.290689e-04,1.295073e-04,1.296592e-04,1.299128e-04,1.301599e-04,1.302683e-04,1.305757e-04,1.308372e-04,1.309115e-04,1.310547e-04,1.311717e-04,1.312301e-04,1.313607e-04,1.313653e-04,1.314621e-04,1.314825e-04,1.315221e-04,1.315412e-04,1.315472e-04,1.315407e-04,1.315388e-04,1.314986e-04,1.314844e-04,1.314281e-04,1.313760e-04,1.313288e-04,1.312186e-04,1.312020e-04,1.310492e-04,1.310156e-04,1.308716e-04,1.307699e-04,1.306705e-04,1.304843e-04,1.304471e-04,1.302027e-04,1.301617e-04,1.299383e-04,1.298046e-04,1.296550e-04,1.294155e-04,1.293539e-04,1.290360e-04,1.289968e-04,1.287023e-04,1.285507e-04,1.283537e-04,1.280793e-04,1.279910e-04,1.276152e-04,1.275846e-04,1.272271e-04,1.270686e-04,1.268275e-04,1.265330e-04,1.264171e-04,1.259967e-04,1.259796e-04,1.255669e-04,1.254100e-04,1.251285e-04,1.248258e-04,1.246821e-04,1.242283e-04,1.236189e-04,1.229990e-04,1.223697e-04,1.217323e-04,1.210877e-04,1.204371e-04,1.197813e-04,1.191213e-04,1.184580e-04,1.177920e-04,1.171243e-04,1.164554e-04,1.157861e-04,1.151168e-04,1.144484e-04,1.137811e-04,1.131156e-04,1.124524e-04,1.117917e-04,1.111341e-04,1.104800e-04,1.098296e-04,1.091832e-04,1.085413e-04
0.000000e+00,2.008545e-07,5.945486e-07,2.971130e-06,8.586664e-06,1.393188e-05,3.936942e-05,4.086374e-05,9.277739e-05,1.130918e-04,1.792852e-04,2.518710e-04,3.101796e-04,4.781073e-04,4.951105e-04,7.432077e-04,8.130732e-04,1.062449e-03,1.274597e-03,1.458675e-03,1.873256e-03,1.934573e-03,2.489233e-03,2.609300e-03,3.118509e-03,3.473109e-03,3.815821e-03,4.448185e-03,4.572984e-03,5.380866e-03,5.514196e-03,6.229874e-03,6.649155e-03,7.110312e-03,7.830881e-03,8.012657e-03,8.927774e-03,9.038032e-03,9.847088e-03,1.025086e-02,1.076271e-02,1.145173e-02,1.166756e-02,1.255536e-02,1.262548e-02,1.342075e-02,1.375958e-02,1.425920e-02,1.484412e-02,1.506706e-02,1.584146e-02,1.587171e-02,1.658027e-02,1.683723e-02,1.728203e-02,1.773761e-02,1.794588e-02,1.857147e-02,1.915890e-02,1.933888e-02,1.970863e-02,2.004103e-02,2.022145e-02,2.067996e-02,2.069837e-02,2.114060e-02,2.125839e-02,2.154950e-02,2.177944e-02,2.192652e-02,2.224654e-02,2.227319e-02,2.259106e-02,2.266324e-02,2.288170e-02,2.303315e-02,2.314667e-02,2.335982e-02,2.338750e-02,2.360567e-02,2.364672e-02,2.380264e-02,2.389714e-02,2.397978e-02,2.411424e-02,2.413843e-02,2.427985e-02,2.430096e-02,2.440524e-02,2.446006e-02,2.451572e-02,2.459411e-02,2.461238e-02,2.469621e-02,2.470545e-02,2.476816e-02,2.479628e-02,2.482911e-02,2.486859e-02,2.487989e-02,2.492128e-02,2.492420e-02,2.495399e-02,2.496480e-02,2.497870e-02,2.499189e-02,2.499604e-02,2.500658e-02,2.500687e-02,2.501088e-02,2.501100e-02,2.500944e-02,2.500542e-02,2.500273e-02,2.499118e-02,2.497520e-02,2.496921e-02,2.495516e-02,2.494037e-02,2.493142e-02,2.490545e-02,2.490430e-02,2.487410e-02,2.486514e-02,2.484111e-02,2.482008e-02,2.480558e-02,2.477085e-02,2.476774e-02,2.472784e-02,2.471798e-02,2.468607e-02,2.466193e-02,2.464262e-02,2.460315e-02,2.459768e-02,2.455141e-02,2.454201e-02,2.450396e-02,2.447888e-02,2.445549e-02,2.441406e-02,2.440611e-02,2.435595e-02,2.434786e-02,2.430513e-02,2.428054e-02,2.425376e-02,2.421232e-02,2.420192e-02,2.414971e-02,2.414343e-02,2.409722e-02,2.407406e-02,2.404452e-02,2.400437e-02,2.399169e-02,2.393878e-02,2.393455e-02,2.388586e-02,2.386471e-02,2.383300e-02,2.379499e-02,2.378023e-02,2.372762e-02,2.372552e-02,2.367520e-02,2.365638e-02,2.362301e-02,2.358768e-02,2.357110e-02,2.351949e-02,2.345190e-02,2.338497e-02,2.331875e-02,2.325329e-02,2.318865e-02,2.312486e-02,2.306196e-02,2.299998e-02,2.293894e-02,2.287886e-02,2.281977e-02,2.276168e-02,2.270459e-02,2.264852e-02,2.259347e-02,2.253946e-02,2.248647e-02,2.243451e-02,2.238359e-02,2.233368e-02,2.228480e-02,2.223694e-02,2.219008e-02,2.214422e-02
0.000000e+00,1.574832e-09,4.573980e-09,2.202483e-08,6.172912e-08,9.862976e-08,2.694414e-07,2.793392e-07,6.196730e-07,7.520930e-07,1.184084e-06,1.660873e-06,2.046651e-06,3.167224e-06,3.281052e-06,4.935128e-06,5.395941e-06,7.013761e-06,8.353666e-06,9.489359e-06,1.196440e-05,1.232175e-05,1.547018e-05,1.613442e-05,1.889698e-05,2.077729e-05,2.256731e-05,2.581416e-05,2.644780e-05,3.050544e-05,3.116889e-05,3.470697e-05,3.676497e-05,3.901884e-05,4.252523e-05,4.340752e-05,4.784002e-05,4.837334e-05,5.228455e-05,5.423613e-05,5.671105e-05,6.004595e-05,6.109176e-05,6.540161e-05,6.574265e-05,6.961838e-05,7.127464e-05,7.372294e-05,7.659961e-05,7.769924e-05,8.153419e-05,8.168450e-05,8.521757e-05,8.650493e-05,8.874174e-05,9.104448e-05,9.210148e-05,9.529365e-05,9.831698e-05,9.924880e-05,1.011718e-04,1.029111e-04,1.038596e-04,1.062855e-04,1.063834e-04,1.087465e-04,1.093800e-04,1.109535e-04,1.122048e-04,1.130092e-04,1.147714e-04,1.149189e-04,1.166882e-04,1.170925e-04,1.183227e-04,1.191814e-04,1.198285e-04,1.210516e-04,1.212112e-04,1.224769e-04,1.227165e-04,1.236311e-04,1.241892e-04,1.246796e-04,1.254827e-04,1.256279e-04,1.264812e-04,1.266093e-04,1.272447e-04,1.275808e-04,1.279234e-04,1.284084e-04,1.285220e-04,1.290451e-04,1.291030e-04,1.294970e-04,1.296744e-04,1.298820e-04,1.301322e-04,1.302040e-04,1.304667e-04,1.304853e-04,1.306739e-04,1.307420e-04,1.308289e-04,1.309100e-04,1.309349e-04,1.309950e-04,1.309965e-04,1.310123e-04,1.310085e-04,1.309893e-04,1.309521e-04,1.309288e-04,1.308332e-04,1.307049e-04,1.306573e-04,1.305461e-04,1.304294e-04,1.303589e-04,1.301543e-04,1.301453e-04,1.299071e-04,1.298362e-04,1.296461e-04,1.294793e-04,1.293640e-04,1.290872e-04,1.290624e-04,1.287427e-04,1.286635e-04,1.284064e-04,1.282113e-04,1.280547e-04,1.277336e-04,1.276890e-04,1.273104e-04,1.272333e-04,1.269200e-04,1.267127e-04,1.265189e-04,1.261744e-04,1.261080e-04,1.256883e-04,1.256204e-04,1.252606e-04,1.250527e-04,1.248258e-04,1.244733e-04,1.243846e-04,1.239378e-04,1.238839e-04,1.234861e-04,1.232859e-04,1.230300e-04,1.226809e-04,1.225702e-04,1.221073e-04,1.220702e-04,1.216418e-04,1.214550e-04,1.211742e-04,1.208364e-04,1.207049e-04,1.202345e-04,1.202156e-04,1.197632e-04,1.195935e-04,1.192916e-04,1.189709e-04,1.188199e-04,1.183486e-04,1.177274e-04,1.171079e-04,1.164908e-04,1.158766e-04,1.152659e-04,1.146590e-04,1.140565e-04,1.134587e-04,1.128658e-04,1.122784e-04,1.116965e-04,1.111205e-04,1.105505e-04,1.099869e-04,1.094297e-04,1.088790e-04,1.083351e-04,1.077980e-04,1.072679e-04,1.067447e-04,1.062286e-04,1.057196e-04,1.052177e-04,1.047230e-04
0.000000e+00,2.653266e-07,7.893487e-07,3.986324e-06,1.163370e-05,1.897912e-05,5.441959e-05,5.651961e-05,1.303134e-04,1.595439e-04,2.558354e-04,3.629243e-04,4.498788e-04,7.039278e-04,7.298981e-04,1.112502e-03,1.221187e-03,1.611232e-03,1.944792e-03,2.235086e-03,2.891204e-03,2.988507e-03,3.872091e-03,4.064253e-03,4.883293e-03,5.457924e-03,6.016926e-03,7.058398e-03,7.265534e-03,8.619697e-03,8.845439e-03,1.006833e-02,1.079362e-02,1.159901e-02,1.287362e-02,1.319830e-02,1.485214e-02,1.505358e-02,1.654618e-02,1.730059e-02,1.826611e-02,1.958200e-02,1.999803e-02,2.172864e-02,2.186666e-02,2.344555e-02,2.412588e-02,2.513736e-02,2.633417e-02,2.679390e-02,2.840620e-02,2.846966e-02,2.996656e-02,3.051430e-02,3.146857e-02,3.245390e-02,3.290703e-02,3.427792e-02,3.557829e-02,3.597918e-02,3.680620e-02,3.755349e-02,3.796056e-02,3.899928e-02,3.904109e-02,4.004819e-02,4.031715e-02,4.098287e-02,4.150951e-02,4.184660e-02,4.258019e-02,4.264127e-02,4.336911e-02,4.353411e-02,4.403257e-02,4.437697e-02,4.463431e-02,4.511500e-02,4.517712e-02,4.566387e-02,4.575474e-02,4.609746e-02,4.630289e-02,4.648082e-02,4.676612e-02,4.681682e-02,4.710832e-02,4.715102e-02,4.735809e-02,4.746395e-02,4.756881e-02,4.771104e-02,4.774310e-02,4.788343e-02,4.789810e-02,4.799219e-02,4.803064e-02,4.807166e-02,4.811380e-02,4.812399e-02,4.815123e-02,4.815239e-02,4.815531e-02,4.815088e-02,4.813806e-02,4.811339e-02,4.810118e-02,4.804629e-02,4.804374e-02,4.797488e-02,4.794541e-02,4.788838e-02,4.782161e-02,4.778810e-02,4.767527e-02,4.755104e-02,4.750906e-02,4.741648e-02,4.732540e-02,4.727258e-02,4.712652e-02,4.712028e-02,4.696042e-02,4.691442e-02,4.679381e-02,4.669091e-02,4.662118e-02,4.645764e-02,4.644323e-02,4.626058e-02,4.621611e-02,4.607383e-02,4.596766e-02,4.588352e-02,4.571350e-02,4.569015e-02,4.549419e-02,4.545473e-02,4.529607e-02,4.519232e-02,4.509618e-02,4.492718e-02,4.489489e-02,4.469254e-02,4.466009e-02,4.448943e-02,4.439176e-02,4.428586e-02,4.412284e-02,4.408208e-02,4.387834e-02,4.385391e-02,4.367486e-02,4.358546e-02,4.347183e-02,4.331795e-02,4.326945e-02,4.306788e-02,4.305180e-02,4.286729e-02,4.278736e-02,4.266781e-02,4.252494e-02,4.246957e-02,4.227269e-02,4.226484e-02,4.207727e-02,4.200729e-02,4.188341e-02,4.175252e-02,4.169120e-02,4.150072e-02,4.125204e-02,4.100663e-02,4.076460e-02,4.052607e-02,4.029112e-02,4.005981e-02,3.983220e-02,3.960834e-02,3.938826e-02,3.917197e-02,3.895951e-02,3.875086e-02,3.854603e-02,3.834500e-02,3.814777e-02,3.795431e-02,3.776460e-02,3.757861e-02,3.739630e-02,3.721764e-02,3.704260e-02,3.687112e-02,3.670316e-02,3.653869e-02
0.000000e+00,2.160288e-09,4.941015e-09,1.697424e-08,3.860315e-08,5.631252e-08,1.277426e-07,1.315865e-07,2.543070e-07,2.988026e-07,4.366153e-07,5.800032e-07,6.915833e-07,1.002148e-06,1.032959e-06,1.473818e-06,1.595607e-06,2.023571e-06,2.380031e-06,2.683882e-06,3.350034e-06,3.446462e-06,4.295486e-06,4.474050e-06,5.212725e-06,5.710959e-06,6.181357e-06,7.024271e-06,7.187195e-06,8.218475e-06,8.385157e-06,9.265284e-06,9.770718e-06,1.031908e-05,1.116210e-05,1.137240e-05,1.241868e-05,1.254348e-05,1.345217e-05,1.390154e-05,1.446789e-05,1.522532e-05,1.546161e-05,1.642978e-05,1.650604e-05,1.736952e-05,1.773692e-05,1.827854e-05,1.891300e-05,1.915508e-05,1.999789e-05,2.003089e-05,2.080614e-05,2.108854e-05,2.157935e-05,2.208502e-05,2.231735e-05,2.302027e-05,2.368840e-05,2.389493e-05,2.432225e-05,2.471022e-05,2.492246e-05,2.546771e-05,2.548978e-05,2.602504e-05,2.616929e-05,2.652915e-05,2.681705e-05,2.700305e-05,2.741320e-05,2.744772e-05,2.786417e-05,2.796003e-05,2.825341e-05,2.845987e-05,2.861644e-05,2.891502e-05,2.895426e-05,2.926789e-05,2.932779e-05,2.955828e-05,2.970043e-05,2.982641e-05,3.003512e-05,3.007321e-05,3.029960e-05,3.033399e-05,3.050648e-05,3.059911e-05,3.069472e-05,3.083245e-05,3.086515e-05,3.101860e-05,3.103591e-05,3.115586e-05,3.121132e-05,3.127768e-05,3.136040e-05,3.138481e-05,3.147797e-05,3.148483e-05,3.155782e-05,3.158619e-05,3.162505e-05,3.166598e-05,3.168027e-05,3.172412e-05,3.172564e-05,3.175716e-05,3.176653e-05,3.177998e-05,3.178993e-05,3.179311e-05,3.179707e-05,3.179237e-05,3.178911e-05,3.177948e-05,3.176715e-05,3.175886e-05,3.173221e-05,3.173096e-05,3.169619e-05,3.168528e-05,3.165497e-05,3.162729e-05,3.160766e-05,3.155910e-05,3.155466e-05,3.149630e-05,3.148154e-05,3.143293e-05,3.139537e-05,3.136487e-05,3.130134e-05,3.129243e-05,3.121590e-05,3.120013e-05,3.113556e-05,3.109237e-05,3.105169e-05,3.097868e-05,3.096453e-05,3.087433e-05,3.085963e-05,3.078133e-05,3.073575e-05,3.068574e-05,3.060755e-05,3.058777e-05,3.048764e-05,3.047548e-05,3.038552e-05,3.034000e-05,3.028159e-05,3.020151e-05,3.017604e-05,3.006902e-05,3.006040e-05,2.996070e-05,2.991703e-05,2.985121e-05,2.977174e-05,2.974070e-05,2.962931e-05,2.962483e-05,2.951715e-05,2.947661e-05,2.940435e-05,2.932734e-05,2.929102e-05,2.917727e-05,2.902664e-05,2.887568e-05,2.872458e-05,2.857352e-05,2.842269e-05,2.827225e-05,2.812234e-05,2.797309e-05,2.782464e-05,2.767710e-05,2.753057e-05,2.738516e-05,2.724093e-05,2.709799e-05,2.695639e-05,2.681621e-05,2.667750e-05,2.654031e-05,2.640469e-05,2.627069e-05,2.613832e-05,2.600764e-05,2.587866e-05,2.575140e-05
0.000000e+00,1.786152e-09,4.077127e-09,1.393163e-08,3.152508e-08,4.586977e-08,1.034901e-07,1.065855e-07,2.053802e-07,2.412329e-07,3.524864e-07,4.685427e-07,5.589501e-07,8.097792e-07,8.345104e-07,1.182696e-06,1.276556e-06,1.597224e-06,1.853648e-06,2.065326e-06,2.511068e-06,2.573842e-06,3.111942e-06,3.222325e-06,3.671028e-06,3.967643e-06,4.243986e-06,4.731450e-06,4.824637e-06,5.407460e-06,5.500575e-06,5.987493e-06,6.263598e-06,6.560315e-06,7.010767e-06,7.122065e-06,7.669457e-06,7.734044e-06,8.199779e-06,8.427139e-06,8.710876e-06,9.085427e-06,9.201112e-06,9.669326e-06,9.705807e-06,1.011478e-05,1.028649e-05,1.053710e-05,1.082679e-05,1.093621e-05,1.131230e-05,1.132687e-05,1.166574e-05,1.178753e-05,1.199708e-05,1.221010e-05,1.230698e-05,1.259618e-05,1.286551e-05,1.294763e-05,1.311578e-05,1.326637e-05,1.334789e-05,1.355441e-05,1.356268e-05,1.376103e-05,1.381374e-05,1.394379e-05,1.404630e-05,1.411177e-05,1.425396e-05,1.426579e-05,1.440661e-05,1.443853e-05,1.453499e-05,1.460170e-05,1.465162e-05,1.474508e-05,1.475718e-05,1.485233e-05,1.487016e-05,1.493767e-05,1.497836e-05,1.501378e-05,1.507099e-05,1.508122e-05,1.514051e-05,1.514927e-05,1.519214e-05,1.521433e-05,1.523657e-05,1.526723e-05,1.527424e-05,1.530557e-05,1.530893e-05,1.533096e-05,1.534034e-05,1.535077e-05,1.536230e-05,1.536534e-05,1.537501e-05,1.537558e-05,1.538008e-05,1.538089e-05,1.538086e-05,1.537890e-05,1.537760e-05,1.537057e-05,1.537022e-05,1.536002e-05,1.535540e-05,1.534617e-05,1.533498e-05,1.532924e-05,1.530944e-05,1.528695e-05,1.527922e-05,1.526196e-05,1.524473e-05,1.523463e-05,1.520636e-05,1.520514e-05,1.517362e-05,1.516445e-05,1.514023e-05,1.511934e-05,1.510509e-05,1.507133e-05,1.506833e-05,1.503008e-05,1.502069e-05,1.499044e-05,1.496768e-05,1.494953e-05,1.491255e-05,1.490744e-05,1.486426e-05,1.485550e-05,1.482009e-05,1.479675e-05,1.477501e-05,1.473649e-05,1.472909e-05,1.468242e-05,1.467489e-05,1.463506e-05,1.461211e-05,1.458709e-05,1.454830e-05,1.453855e-05,1.448952e-05,1.448360e-05,1.444004e-05,1.441815e-05,1.439018e-05,1.435205e-05,1.433997e-05,1.428947e-05,1.428542e-05,1.423872e-05,1.421835e-05,1.418776e-05,1.415096e-05,1.413663e-05,1.408536e-05,1.408331e-05,1.403400e-05,1.401550e-05,1.398258e-05,1.394759e-05,1.393112e-05,1.387965e-05,1.381176e-05,1.374395e-05,1.367630e-05,1.360885e-05,1.354165e-05,1.347473e-05,1.340814e-05,1.334192e-05,1.327609e-05,1.321068e-05,1.314573e-05,1.308126e-05,1.301728e-05,1.295382e-05,1.289091e-05,1.282855e-05,1.276676e-05,1.270555e-05,1.264494e-05,1.258493e-05,1.252554e-05,1.246678e-05,1.240864e-05,1.235115e-05
0.000000e+00,2.309316e-09,5.287980e-09,1.821780e-08,4.161566e-08,6.092408e-08,1.401617e-07,1.444862e-07,2.856359e-07,3.382162e-07,5.053316e-07,6.851832e-07,8.285805e-07,1.238304e-06,1.279477e-06,1.869785e-06,2.031589e-06,2.590232e-06,3.041765e-06,3.416814e-06,4.211568e-06,4.323940e-06,5.290968e-06,5.490128e-06,6.302437e-06,6.841915e-06,7.346444e-06,8.241378e-06,8.413236e-06,9.494365e-06,9.668161e-06,1.058227e-05,1.110483e-05,1.167009e-05,1.253611e-05,1.275165e-05,1.382144e-05,1.394879e-05,1.487466e-05,1.533174e-05,1.590717e-05,1.667590e-05,1.691555e-05,1.789699e-05,1.797427e-05,1.884927e-05,1.922163e-05,1.977074e-05,2.041444e-05,2.066022e-05,2.151695e-05,2.155053e-05,2.234053e-05,2.262888e-05,2.313088e-05,2.364940e-05,2.388815e-05,2.461271e-05,2.530509e-05,2.551996e-05,2.596596e-05,2.637274e-05,2.659609e-05,2.717289e-05,2.719633e-05,2.776757e-05,2.792245e-05,2.831073e-05,2.862354e-05,2.882676e-05,2.927836e-05,2.931660e-05,2.978123e-05,2.988910e-05,3.022160e-05,3.045795e-05,3.063863e-05,3.098706e-05,3.103326e-05,3.140639e-05,3.147851e-05,3.175889e-05,3.193434e-05,3.209164e-05,3.235648e-05,3.240545e-05,3.270114e-05,3.274682e-05,3.297948e-05,3.310715e-05,3.324123e-05,3.343917e-05,3.348711e-05,3.371782e-05,3.374451e-05,3.393403e-05,3.402473e-05,3.413639e-05,3.428130e-05,3.432552e-05,3.450201e-05,3.451561e-05,3.466646e-05,3.472898e-05,3.481939e-05,3.492267e-05,3.496134e-05,3.509282e-05,3.509787e-05,3.521431e-05,3.525569e-05,3.532628e-05,3.539721e-05,3.542917e-05,3.552341e-05,3.560940e-05,3.563524e-05,3.568754e-05,3.573360e-05,3.575820e-05,3.581933e-05,3.582174e-05,3.587851e-05,3.589323e-05,3.592882e-05,3.595605e-05,3.597300e-05,3.600848e-05,3.601134e-05,3.604414e-05,3.605121e-05,3.607165e-05,3.608486e-05,3.609416e-05,3.611002e-05,3.611190e-05,3.612513e-05,3.612725e-05,3.613406e-05,3.613708e-05,3.613891e-05,3.614000e-05,3.613991e-05,3.613724e-05,3.613648e-05,3.613109e-05,3.612696e-05,3.612166e-05,3.611186e-05,3.610911e-05,3.609362e-05,3.609157e-05,3.607534e-05,3.606645e-05,3.605442e-05,3.603685e-05,3.603101e-05,3.600525e-05,3.600309e-05,3.597728e-05,3.596549e-05,3.594721e-05,3.592434e-05,3.591517e-05,3.588129e-05,3.587989e-05,3.584565e-05,3.583242e-05,3.580839e-05,3.578216e-05,3.576958e-05,3.572934e-05,3.567417e-05,3.561686e-05,3.555759e-05,3.549654e-05,3.543388e-05,3.536976e-05,3.530434e-05,3.523774e-05,3.517011e-05,3.510157e-05,3.503222e-05,3.496219e-05,3.489156e-05,3.482044e-05,3.474891e-05,3.467707e-05,3.460498e-05,3.453272e-05,3.446036e-05,3.438797e-05,3.431560e-05,3.424332e-05,3.417116e-05,3.409920e-05
0.000000e+00,1.523461e-09,3.570279e-09,1.262376e-08,2.923987e-08,4.306382e-08,1.003866e-07,1.035351e-07,2.070357e-07,2.458646e-07,3.699218e-07,5.042410e-07,6.118093e-07,9.212562e-07,9.525214e-07,1.403925e-06,1.528552e-06,1.960849e-06,2.311615e-06,2.603307e-06,3.221272e-06,3.308575e-06,4.058803e-06,4.213071e-06,4.841502e-06,5.258269e-06,5.647701e-06,6.337887e-06,6.470362e-06,7.303472e-06,7.437370e-06,8.141605e-06,8.544209e-06,8.979758e-06,9.647185e-06,9.813323e-06,1.063811e-05,1.073631e-05,1.145038e-05,1.180295e-05,1.224686e-05,1.283991e-05,1.302479e-05,1.378186e-05,1.384147e-05,1.451622e-05,1.480328e-05,1.522646e-05,1.572229e-05,1.591153e-05,1.657069e-05,1.659651e-05,1.720354e-05,1.742488e-05,1.780991e-05,1.820712e-05,1.838983e-05,1.894354e-05,1.947138e-05,1.963490e-05,1.997384e-05,2.028234e-05,2.045147e-05,2.088724e-05,2.090492e-05,2.133488e-05,2.145115e-05,2.174206e-05,2.197575e-05,2.212721e-05,2.246273e-05,2.249107e-05,2.283440e-05,2.291383e-05,2.315795e-05,2.333078e-05,2.346247e-05,2.371530e-05,2.374871e-05,2.401737e-05,2.406905e-05,2.426917e-05,2.439367e-05,2.450480e-05,2.469072e-05,2.472492e-05,2.493020e-05,2.496171e-05,2.512126e-05,2.520810e-05,2.529872e-05,2.543128e-05,2.546315e-05,2.561513e-05,2.563256e-05,2.575521e-05,2.581322e-05,2.588392e-05,2.597445e-05,2.600177e-05,2.610924e-05,2.611740e-05,2.620681e-05,2.624316e-05,2.629492e-05,2.635275e-05,2.637401e-05,2.644451e-05,2.644715e-05,2.650680e-05,2.652729e-05,2.656127e-05,2.659403e-05,2.660829e-05,2.664822e-05,2.668138e-05,2.669062e-05,2.670811e-05,2.672199e-05,2.672872e-05,2.674302e-05,2.674350e-05,2.675274e-05,2.675437e-05,2.675670e-05,2.675667e-05,2.675567e-05,2.675050e-05,2.674987e-05,2.673955e-05,2.673643e-05,2.672495e-05,2.671498e-05,2.670627e-05,2.668664e-05,2.668374e-05,2.665754e-05,2.665188e-05,2.662788e-05,2.661114e-05,2.659493e-05,2.656485e-05,2.655888e-05,2.651988e-05,2.651338e-05,2.647811e-05,2.645712e-05,2.643371e-05,2.639640e-05,2.638683e-05,2.633761e-05,2.633156e-05,2.628619e-05,2.626290e-05,2.623270e-05,2.619073e-05,2.617725e-05,2.611996e-05,2.611531e-05,2.606096e-05,2.603689e-05,2.600033e-05,2.595574e-05,2.593819e-05,2.587464e-05,2.587207e-05,2.580976e-05,2.578610e-05,2.574365e-05,2.569804e-05,2.567640e-05,2.560807e-05,2.551638e-05,2.542314e-05,2.532850e-05,2.523263e-05,2.513564e-05,2.503770e-05,2.493890e-05,2.483938e-05,2.473925e-05,2.463860e-05,2.453754e-05,2.443615e-05,2.433452e-05,2.423274e-05,2.413088e-05,2.402900e-05,2.392718e-05,2.382547e-05,2.372395e-05,2.362264e-05,2.352162e-05,2.342093e-05,2.332061e-05,2.322070e-05
0.000000e+00,6.967605e-10,1.631435e-09,5.735945e-09,1.316632e-08,1.926291e-08,4.387668e-08,4.520154e-08,8.750757e-08,1.028530e-07,1.504171e-07,1.999829e-07,2.386187e-07,3.464842e-07,3.572118e-07,5.111592e-07,5.538063e-07,7.038618e-07,8.288450e-07,9.352148e-07,1.167495e-06,1.200998e-06,1.494677e-06,1.556170e-06,1.809748e-06,1.980206e-06,2.140836e-06,2.428200e-06,2.483702e-06,2.834921e-06,2.891691e-06,3.191578e-06,3.363933e-06,3.551074e-06,3.839112e-06,3.911032e-06,4.269247e-06,4.312018e-06,4.623688e-06,4.777961e-06,4.972499e-06,5.232800e-06,5.314018e-06,5.646783e-06,5.672987e-06,5.969544e-06,6.095606e-06,6.281258e-06,6.498375e-06,6.581089e-06,6.868398e-06,6.879623e-06,7.142729e-06,7.238250e-06,7.403788e-06,7.573648e-06,7.651430e-06,7.885638e-06,8.106508e-06,8.174398e-06,8.314228e-06,8.440386e-06,8.509061e-06,8.684283e-06,8.691337e-06,8.861436e-06,8.906937e-06,9.019771e-06,9.109308e-06,9.166784e-06,9.292433e-06,9.302936e-06,9.428697e-06,9.457387e-06,9.544543e-06,9.605261e-06,9.650945e-06,9.737142e-06,9.748375e-06,9.837295e-06,9.854098e-06,9.918156e-06,9.957163e-06,9.991392e-06,1.004732e-05,1.005742e-05,1.011665e-05,1.012552e-05,1.016946e-05,1.019263e-05,1.021622e-05,1.024951e-05,1.025729e-05,1.029300e-05,1.029694e-05,1.032368e-05,1.033567e-05,1.034963e-05,1.036637e-05,1.037114e-05,1.038848e-05,1.038969e-05,1.040191e-05,1.040624e-05,1.041167e-05,1.041656e-05,1.041800e-05,1.042111e-05,1.042117e-05,1.042122e-05,1.042056e-05,1.041851e-05,1.041515e-05,1.041317e-05,1.040537e-05,1.039528e-05,1.039159e-05,1.038305e-05,1.037417e-05,1.036883e-05,1.035343e-05,1.035275e-05,1.033494e-05,1.032966e-05,1.031553e-05,1.030316e-05,1.029462e-05,1.027416e-05,1.027233e-05,1.024876e-05,1.024292e-05,1.022400e-05,1.020965e-05,1.019815e-05,1.017456e-05,1.017128e-05,1.014349e-05,1.013782e-05,1.011483e-05,1.009962e-05,1.008540e-05,1.006011e-05,1.005524e-05,1.002443e-05,1.001944e-05,9.993021e-06,9.977750e-06,9.961073e-06,9.935161e-06,9.928638e-06,9.895763e-06,9.891791e-06,9.862497e-06,9.847748e-06,9.828883e-06,9.803129e-06,9.794962e-06,9.760773e-06,9.758027e-06,9.726352e-06,9.712526e-06,9.691733e-06,9.666704e-06,9.656950e-06,9.622032e-06,9.620633e-06,9.587007e-06,9.574378e-06,9.551903e-06,9.528000e-06,9.516745e-06,9.481556e-06,9.435097e-06,9.388670e-06,9.342319e-06,9.296085e-06,9.250003e-06,9.204108e-06,9.158430e-06,9.112998e-06,9.067838e-06,9.022972e-06,8.978423e-06,8.934210e-06,8.890350e-06,8.846860e-06,8.803753e-06,8.761042e-06,8.718740e-06,8.676856e-06,8.635399e-06,8.594378e-06,8.553799e-06,8.513668e-06,8.473991e-06,8.434772e-06
0.000000e+00,2.708435e-09,6.212339e-09,2.144870e-08,4.896118e-08,7.154252e-08,1.627625e-07,1.676716e-07,3.241338e-07,3.806864e-07,5.551213e-07,7.354196e-07,8.749009e-07,1.259657e-06,1.297573e-06,1.835877e-06,1.983407e-06,2.499104e-06,2.926948e-06,3.291777e-06,4.096918e-06,4.214464e-06,5.265534e-06,5.490928e-06,6.442271e-06,7.102718e-06,7.741209e-06,8.923664e-06,9.158091e-06,1.068779e-05,1.094262e-05,1.232426e-05,1.314570e-05,1.406060e-05,1.551643e-05,1.588911e-05,1.780143e-05,1.803612e-05,1.978871e-05,2.068450e-05,2.184178e-05,2.344037e-05,2.395130e-05,2.610793e-05,2.628222e-05,2.830250e-05,2.918894e-05,3.052610e-05,3.214026e-05,3.277021e-05,3.502677e-05,3.511719e-05,3.728827e-05,3.810225e-05,3.954773e-05,4.107972e-05,4.179878e-05,4.403564e-05,4.625313e-05,4.695786e-05,4.844662e-05,4.983596e-05,5.061204e-05,5.266113e-05,5.274584e-05,5.484493e-05,5.542609e-05,5.690670e-05,5.812490e-05,5.892891e-05,6.075283e-05,6.090973e-05,6.284764e-05,6.330621e-05,6.474142e-05,6.578232e-05,6.659016e-05,6.817921e-05,6.839314e-05,7.014988e-05,7.049565e-05,7.186009e-05,7.273096e-05,7.352364e-05,7.488496e-05,7.514054e-05,7.671092e-05,7.695789e-05,7.823505e-05,7.895030e-05,7.971327e-05,8.086306e-05,8.114599e-05,8.253371e-05,8.269724e-05,8.387699e-05,8.445411e-05,8.517643e-05,8.613509e-05,8.643269e-05,8.764643e-05,8.774172e-05,8.881838e-05,8.927563e-05,8.994928e-05,9.073852e-05,9.103987e-05,9.209093e-05,9.213216e-05,9.310324e-05,9.345834e-05,9.407759e-05,9.471888e-05,9.501478e-05,9.591561e-05,9.678088e-05,9.705039e-05,9.761139e-05,9.812505e-05,9.840794e-05,9.914142e-05,9.917133e-05,9.990233e-05,1.001013e-04,1.006017e-04,1.010065e-04,1.012703e-04,1.018589e-04,1.019089e-04,1.025181e-04,1.026601e-04,1.030988e-04,1.034119e-04,1.036518e-04,1.041159e-04,1.041776e-04,1.046771e-04,1.047739e-04,1.051509e-04,1.053874e-04,1.055999e-04,1.059582e-04,1.060245e-04,1.064256e-04,1.064876e-04,1.068037e-04,1.069773e-04,1.071596e-04,1.074287e-04,1.074938e-04,1.078071e-04,1.078433e-04,1.080999e-04,1.082225e-04,1.083730e-04,1.085676e-04,1.086268e-04,1.088621e-04,1.088801e-04,1.090792e-04,1.091612e-04,1.092789e-04,1.094122e-04,1.094616e-04,1.096279e-04,1.096342e-04,1.097783e-04,1.098286e-04,1.099133e-04,1.099965e-04,1.100333e-04,1.101390e-04,1.102572e-04,1.103521e-04,1.104248e-04,1.104762e-04,1.105074e-04,1.105193e-04,1.105127e-04,1.104886e-04,1.104477e-04,1.103909e-04,1.103190e-04,1.102327e-04,1.101328e-04,1.100200e-04,1.098949e-04,1.097582e-04,1.096105e-04,1.094525e-04,1.092848e-04,1.091078e-04,1.089222e-04,1.087284e-04,1.085270e-04,1.083185e-04
0.000000e+00,2.331019e-07,6.977327e-07,3.569456e-06,1.054394e-05,1.731866e-05,5.056802e-05,5.255922e-05,1.235073e-04,1.520217e-04,2.471649e-04,3.547241e-04,4.431761e-04,7.064426e-04,7.337287e-04,1.143179e-03,1.261963e-03,1.696873e-03,2.079009e-03,2.418702e-03,3.208365e-03,3.327813e-03,4.436039e-03,4.682052e-03,5.747256e-03,6.508523e-03,7.258390e-03,8.676191e-03,8.961008e-03,1.084279e-02,1.115953e-02,1.288869e-02,1.392409e-02,1.508175e-02,1.692998e-02,1.740382e-02,1.983598e-02,2.013432e-02,2.235903e-02,2.349303e-02,2.495384e-02,2.696231e-02,2.760163e-02,3.028428e-02,3.049987e-02,3.298451e-02,3.406585e-02,3.568609e-02,3.762354e-02,3.837393e-02,4.103424e-02,4.113990e-02,4.365451e-02,4.458581e-02,4.622357e-02,4.793621e-02,4.873159e-02,5.117005e-02,5.353168e-02,5.427015e-02,5.581039e-02,5.722293e-02,5.800124e-02,6.001815e-02,6.010031e-02,6.210465e-02,6.264859e-02,6.401218e-02,6.510967e-02,6.582162e-02,6.739916e-02,6.753239e-02,6.914454e-02,6.951684e-02,7.065869e-02,7.146419e-02,7.207592e-02,7.324411e-02,7.339775e-02,7.462603e-02,7.486065e-02,7.576295e-02,7.631883e-02,7.681091e-02,7.762437e-02,7.777254e-02,7.865063e-02,7.878356e-02,7.944808e-02,7.980309e-02,8.016790e-02,8.068992e-02,8.081316e-02,8.138696e-02,8.145117e-02,8.189244e-02,8.209401e-02,8.233272e-02,8.262562e-02,8.271088e-02,8.303000e-02,8.305307e-02,8.329309e-02,8.338331e-02,8.350312e-02,8.362311e-02,8.366298e-02,8.377548e-02,8.377904e-02,8.384338e-02,8.385742e-02,8.386934e-02,8.386434e-02,8.385592e-02,8.380561e-02,8.372080e-02,8.368675e-02,8.360380e-02,8.351304e-02,8.345681e-02,8.328946e-02,8.328195e-02,8.308126e-02,8.302070e-02,8.285666e-02,8.271121e-02,8.261001e-02,8.236514e-02,8.234308e-02,8.205752e-02,8.198640e-02,8.175495e-02,8.157864e-02,8.143687e-02,8.114527e-02,8.110472e-02,8.075986e-02,8.068948e-02,8.040359e-02,8.021422e-02,8.003711e-02,7.972223e-02,7.966158e-02,7.927808e-02,7.921605e-02,7.888763e-02,7.869803e-02,7.849120e-02,7.817034e-02,7.808967e-02,7.768392e-02,7.763498e-02,7.727472e-02,7.709377e-02,7.686282e-02,7.654840e-02,7.644892e-02,7.603366e-02,7.600040e-02,7.561767e-02,7.545119e-02,7.520149e-02,7.490203e-02,7.478566e-02,7.437066e-02,7.435409e-02,7.395695e-02,7.380841e-02,7.354495e-02,7.326595e-02,7.313503e-02,7.272756e-02,7.219400e-02,7.166595e-02,7.114402e-02,7.062875e-02,7.012059e-02,6.961997e-02,6.912723e-02,6.864268e-02,6.816656e-02,6.769910e-02,6.724046e-02,6.679078e-02,6.635015e-02,6.591866e-02,6.549634e-02,6.508321e-02,6.467927e-02,6.428450e-02,6.389885e-02,6.352226e-02,6.315466e-02,6.279597e-02,6.244608e-02,6.210490e-02
0.000000e+00,8.849006e-10,2.433910e-09,1.054263e-08,2.702576e-08,4.122122e-08,1.005630e-07,1.037972e-07,2.074431e-07,2.449790e-07,3.606234e-07,4.798079e-07,5.717120e-07,8.233324e-07,8.479290e-07,1.191323e-06,1.283089e-06,1.594027e-06,1.839382e-06,2.039321e-06,2.451519e-06,2.508541e-06,2.986510e-06,3.082154e-06,3.462664e-06,3.707095e-06,3.929916e-06,4.311875e-06,4.383328e-06,4.819203e-06,4.887114e-06,5.234646e-06,5.426110e-06,5.627381e-06,5.924070e-06,5.995726e-06,6.338576e-06,6.377974e-06,6.655393e-06,6.786526e-06,6.946173e-06,7.150023e-06,7.211381e-06,7.451881e-06,7.470087e-06,7.668842e-06,7.749342e-06,7.863656e-06,7.991067e-06,8.037857e-06,8.193048e-06,8.198883e-06,8.330845e-06,8.376501e-06,8.452832e-06,8.527529e-06,8.560524e-06,8.655344e-06,8.738611e-06,8.763015e-06,8.811523e-06,8.853260e-06,8.875169e-06,8.928463e-06,8.930530e-06,8.978481e-06,8.990687e-06,9.019795e-06,9.041687e-06,9.055159e-06,9.082961e-06,9.085179e-06,9.110391e-06,9.115779e-06,9.131263e-06,9.141213e-06,9.148211e-06,9.160173e-06,9.161603e-06,9.171765e-06,9.173435e-06,9.178981e-06,9.181655e-06,9.183506e-06,9.185389e-06,9.185560e-06,9.185345e-06,9.185112e-06,9.183042e-06,9.181245e-06,9.178817e-06,9.174154e-06,9.172819e-06,9.165181e-06,9.164161e-06,9.156025e-06,9.151544e-06,9.145463e-06,9.136558e-06,9.133597e-06,9.120525e-06,9.119430e-06,9.106335e-06,9.100364e-06,9.091106e-06,9.079542e-06,9.074916e-06,9.057833e-06,9.057132e-06,9.039925e-06,9.033288e-06,9.021252e-06,9.008147e-06,9.001872e-06,8.981839e-06,8.961204e-06,8.954481e-06,8.940013e-06,8.926180e-06,8.918312e-06,8.897037e-06,8.896142e-06,8.873543e-06,8.867144e-06,8.850553e-06,8.836585e-06,8.827206e-06,8.805440e-06,8.803535e-06,8.779573e-06,8.773782e-06,8.755348e-06,8.741678e-06,8.730889e-06,8.709192e-06,8.706222e-06,8.681371e-06,8.676381e-06,8.656360e-06,8.643299e-06,8.631212e-06,8.609997e-06,8.605948e-06,8.580587e-06,8.576521e-06,8.555148e-06,8.542915e-06,8.529649e-06,8.509218e-06,8.504106e-06,8.478537e-06,8.475467e-06,8.452955e-06,8.441698e-06,8.427374e-06,8.407943e-06,8.401809e-06,8.376271e-06,8.374230e-06,8.350774e-06,8.340588e-06,8.325327e-06,8.307042e-06,8.299941e-06,8.274627e-06,8.273616e-06,8.249394e-06,8.240331e-06,8.224250e-06,8.207208e-06,8.199205e-06,8.174266e-06,8.141520e-06,8.108988e-06,8.076683e-06,8.044619e-06,8.012809e-06,7.981262e-06,7.949989e-06,7.919000e-06,7.888302e-06,7.857904e-06,7.827812e-06,7.798031e-06,7.768568e-06,7.739426e-06,7.710611e-06,7.682126e-06,7.653973e-06,7.626155e-06,7.598674e-06,7.571533e-06,7.544732e-06,7.518272e-06,7.492154e-06,7.466377e-06
0.000000e+00,6.411945e-08,1.922423e-07,9.869176e-07,2.924879e-06,4.813039e-06,1.412241e-05,1.468149e-05,3.467506e-05,4.274098e-05,6.974267e-05,1.003933e-04,1.256763e-04,2.012420e-04,2.090963e-04,3.273469e-04,3.617676e-04,4.881433e-04,5.995592e-04,6.988458e-04,9.304110e-04,9.655234e-04,1.292271e-03,1.365038e-03,1.681070e-03,1.907878e-03,2.132062e-03,2.558032e-03,2.643935e-03,3.214272e-03,3.310745e-03,3.839826e-03,4.158586e-03,4.516719e-03,5.092285e-03,5.240599e-03,6.006778e-03,6.101330e-03,6.810340e-03,7.174455e-03,7.646247e-03,8.300047e-03,8.509427e-03,9.394855e-03,9.466502e-03,1.029762e-02,1.066252e-02,1.121300e-02,1.187734e-02,1.213647e-02,1.306379e-02,1.310091e-02,1.399098e-02,1.432403e-02,1.491439e-02,1.553842e-02,1.583066e-02,1.673674e-02,1.762992e-02,1.791260e-02,1.850776e-02,1.906054e-02,1.936814e-02,2.017595e-02,2.020920e-02,2.102935e-02,2.125505e-02,2.182724e-02,2.229482e-02,2.260176e-02,2.329290e-02,2.335201e-02,2.407726e-02,2.424754e-02,2.477698e-02,2.515753e-02,2.545080e-02,2.602214e-02,2.609848e-02,2.671991e-02,2.684105e-02,2.731511e-02,2.761428e-02,2.788419e-02,2.834217e-02,2.842735e-02,2.894486e-02,2.902531e-02,2.943709e-02,2.966449e-02,2.990443e-02,3.026070e-02,3.034735e-02,3.076636e-02,3.081505e-02,3.116198e-02,3.132879e-02,3.153479e-02,3.180323e-02,3.188538e-02,3.221436e-02,3.223976e-02,3.252236e-02,3.263983e-02,3.281002e-02,3.300489e-02,3.307797e-02,3.332688e-02,3.333645e-02,3.355738e-02,3.363597e-02,3.377012e-02,3.390497e-02,3.396574e-02,3.414489e-02,3.430819e-02,3.435720e-02,3.445626e-02,3.454331e-02,3.458971e-02,3.470463e-02,3.470914e-02,3.481515e-02,3.484250e-02,3.490829e-02,3.495824e-02,3.498914e-02,3.505314e-02,3.505825e-02,3.511614e-02,3.512842e-02,3.516334e-02,3.518529e-02,3.520035e-02,3.522488e-02,3.522766e-02,3.524575e-02,3.524830e-02,3.525507e-02,3.525660e-02,3.525607e-02,3.525081e-02,3.524919e-02,3.523484e-02,3.523188e-02,3.521342e-02,3.520074e-02,3.518532e-02,3.515828e-02,3.515091e-02,3.511056e-02,3.510534e-02,3.506461e-02,3.504271e-02,3.501340e-02,3.497116e-02,3.495724e-02,3.489646e-02,3.489140e-02,3.483133e-02,3.480413e-02,3.476215e-02,3.470999e-02,3.468919e-02,3.461272e-02,3.460959e-02,3.453298e-02,3.450352e-02,3.445021e-02,3.439232e-02,3.436465e-02,3.427651e-02,3.415659e-02,3.403300e-02,3.390618e-02,3.377653e-02,3.364444e-02,3.351027e-02,3.337435e-02,3.323699e-02,3.309849e-02,3.295912e-02,3.281913e-02,3.267876e-02,3.253824e-02,3.239777e-02,3.225753e-02,3.211771e-02,3.197846e-02,3.183994e-02,3.170229e-02,3.156562e-02,3.143006e-02,3.129571e-02,3.116267e-02,3.103102e-02
0.000000e+00,1.208064e-09,2.750356e-09,9.355245e-09,2.107630e-08,3.058133e-08,6.838034e-08,7.039536e-08,1.339925e-07,1.567645e-07,2.265649e-07,2.982564e-07,3.535222e-07,5.054708e-07,5.204174e-07,7.321776e-07,7.900417e-07,9.914055e-07,1.156981e-06,1.296777e-06,1.599827e-06,1.643389e-06,2.024845e-06,2.104763e-06,2.435003e-06,2.657840e-06,2.868580e-06,3.247577e-06,3.321080e-06,3.788528e-06,3.864459e-06,4.267263e-06,4.500038e-06,4.753803e-06,5.146392e-06,5.244786e-06,5.736961e-06,5.795952e-06,6.227209e-06,6.441541e-06,6.712578e-06,7.076493e-06,7.190316e-06,7.657923e-06,7.694826e-06,8.113176e-06,8.291372e-06,8.554130e-06,8.861830e-06,8.979145e-06,9.386891e-06,9.402826e-06,9.776332e-06,9.911897e-06,1.014672e-05,1.038744e-05,1.049756e-05,1.082861e-05,1.113983e-05,1.123525e-05,1.143138e-05,1.160778e-05,1.170357e-05,1.194706e-05,1.195684e-05,1.219174e-05,1.225431e-05,1.240891e-05,1.253099e-05,1.260904e-05,1.277875e-05,1.279287e-05,1.296115e-05,1.299931e-05,1.311468e-05,1.319452e-05,1.325429e-05,1.336625e-05,1.338076e-05,1.349484e-05,1.351623e-05,1.359728e-05,1.364620e-05,1.368882e-05,1.375779e-05,1.377015e-05,1.384192e-05,1.385256e-05,1.390476e-05,1.393194e-05,1.395929e-05,1.399730e-05,1.400605e-05,1.404559e-05,1.404987e-05,1.407840e-05,1.409082e-05,1.410494e-05,1.412120e-05,1.412566e-05,1.414096e-05,1.414197e-05,1.415123e-05,1.415401e-05,1.415682e-05,1.415813e-05,1.415805e-05,1.415525e-05,1.415505e-05,1.414868e-05,1.414545e-05,1.413863e-05,1.412993e-05,1.412534e-05,1.410904e-05,1.408994e-05,1.408327e-05,1.406824e-05,1.405308e-05,1.404413e-05,1.401888e-05,1.401778e-05,1.398936e-05,1.398105e-05,1.395900e-05,1.393992e-05,1.392686e-05,1.389582e-05,1.389306e-05,1.385772e-05,1.384902e-05,1.382096e-05,1.379979e-05,1.378288e-05,1.374836e-05,1.374358e-05,1.370315e-05,1.369494e-05,1.366169e-05,1.363974e-05,1.361927e-05,1.358295e-05,1.357596e-05,1.353185e-05,1.352472e-05,1.348699e-05,1.346521e-05,1.344145e-05,1.340456e-05,1.339528e-05,1.334856e-05,1.334291e-05,1.330131e-05,1.328037e-05,1.325360e-05,1.321706e-05,1.320548e-05,1.315697e-05,1.315308e-05,1.310814e-05,1.308852e-05,1.305901e-05,1.302347e-05,1.300962e-05,1.296000e-05,1.295802e-05,1.291020e-05,1.289223e-05,1.286023e-05,1.282618e-05,1.281014e-05,1.275993e-05,1.269355e-05,1.262708e-05,1.256058e-05,1.249410e-05,1.242768e-05,1.236136e-05,1.229518e-05,1.222918e-05,1.216338e-05,1.209783e-05,1.203254e-05,1.196754e-05,1.190286e-05,1.183853e-05,1.177455e-05,1.171095e-05,1.164775e-05,1.158496e-05,1.152260e-05,1.146068e-05,1.139921e-05,1.133820e-05,1.127767e-05,1.121763e-05
0.000000e+00,2.765100e-09,6.516024e-09,2.306734e-08,5.308346e-08,7.769383e-08,1.766397e-07,1.819437e-07,3.500610e-07,4.104441e-07,5.956725e-07,7.857706e-07,9.320291e-07,1.332272e-06,1.371470e-06,1.923198e-06,2.072804e-06,2.590165e-06,3.012850e-06,3.368788e-06,4.140787e-06,4.252044e-06,5.232085e-06,5.439012e-06,6.300974e-06,6.889209e-06,7.450528e-06,8.472173e-06,8.672088e-06,9.956418e-06,1.016709e-05,1.129375e-05,1.195152e-05,1.267392e-05,1.380193e-05,1.408656e-05,1.552133e-05,1.569450e-05,1.696811e-05,1.760597e-05,1.841720e-05,1.951442e-05,1.985949e-05,2.128659e-05,2.139987e-05,2.269092e-05,2.324474e-05,2.406576e-05,2.503407e-05,2.540526e-05,2.670451e-05,2.675558e-05,2.795941e-05,2.839967e-05,2.916671e-05,2.995917e-05,3.032390e-05,3.142918e-05,3.248136e-05,3.280673e-05,3.347982e-05,3.409055e-05,3.442441e-05,3.528079e-05,3.531540e-05,3.615343e-05,3.637870e-05,3.693941e-05,3.738648e-05,3.767450e-05,3.830700e-05,3.836006e-05,3.899760e-05,3.914364e-05,3.958874e-05,3.990014e-05,4.013519e-05,4.058049e-05,4.063870e-05,4.110109e-05,4.118879e-05,4.152414e-05,4.172919e-05,4.190967e-05,4.220582e-05,4.225946e-05,4.257527e-05,4.262276e-05,4.285882e-05,4.298396e-05,4.311179e-05,4.329325e-05,4.333581e-05,4.353246e-05,4.355429e-05,4.370325e-05,4.377059e-05,4.384966e-05,4.394549e-05,4.397309e-05,4.407489e-05,4.408214e-05,4.415636e-05,4.418353e-05,4.421873e-05,4.425247e-05,4.426317e-05,4.429082e-05,4.429159e-05,4.430273e-05,4.430337e-05,4.429993e-05,4.429012e-05,4.428339e-05,4.425402e-05,4.421270e-05,4.419708e-05,4.416024e-05,4.412119e-05,4.409744e-05,4.402811e-05,4.402504e-05,4.394374e-05,4.391947e-05,4.385420e-05,4.379678e-05,4.375705e-05,4.366146e-05,4.365289e-05,4.354227e-05,4.351482e-05,4.342573e-05,4.335806e-05,4.330376e-05,4.319232e-05,4.317685e-05,4.304542e-05,4.301863e-05,4.290991e-05,4.283796e-05,4.277070e-05,4.265118e-05,4.262817e-05,4.248267e-05,4.245913e-05,4.233452e-05,4.226256e-05,4.218404e-05,4.206217e-05,4.203152e-05,4.187722e-05,4.185860e-05,4.172141e-05,4.165244e-05,4.156433e-05,4.144424e-05,4.140620e-05,4.124723e-05,4.123448e-05,4.108762e-05,4.102364e-05,4.092756e-05,4.081212e-05,4.076721e-05,4.060674e-05,4.060032e-05,4.044630e-05,4.038858e-05,4.028603e-05,4.017721e-05,4.012606e-05,3.996651e-05,3.975675e-05,3.954816e-05,3.934096e-05,3.913534e-05,3.893148e-05,3.872954e-05,3.852965e-05,3.833193e-05,3.813651e-05,3.794348e-05,3.775292e-05,3.756490e-05,3.737949e-05,3.719675e-05,3.701671e-05,3.683942e-05,3.666490e-05,3.649318e-05,3.632427e-05,3.615819e-05,3.599493e-05,3.583450e-05,3.567690e-05,3.552211e-05
0.000000e+00,3.905602e-10,1.137758e-09,5.510729e-09,1.552474e-08,2.487607e-08,6.848775e-08,7.102731e-08,1.589380e-07,1.933959e-07,3.065762e-07,4.326782e-07,5.355644e-07,8.389049e-07,8.701050e-07,1.331309e-06,1.462142e-06,1.927345e-06,2.316959e-06,2.648294e-06,3.368173e-06,3.471473e-06,4.370488e-06,4.557191e-06,5.321139e-06,5.829076e-06,6.303439e-06,7.141318e-06,7.301519e-06,8.302789e-06,8.462580e-06,9.297051e-06,9.769264e-06,1.027582e-05,1.104281e-05,1.123190e-05,1.215911e-05,1.226818e-05,1.305219e-05,1.343318e-05,1.390676e-05,1.452825e-05,1.471926e-05,1.548698e-05,1.554640e-05,1.620801e-05,1.648307e-05,1.688122e-05,1.733605e-05,1.750617e-05,1.808307e-05,1.810515e-05,1.861263e-05,1.879191e-05,1.909606e-05,1.939922e-05,1.953491e-05,1.993105e-05,2.028652e-05,2.039205e-05,2.060355e-05,2.078733e-05,2.088443e-05,2.112222e-05,2.113148e-05,2.134701e-05,2.140202e-05,2.153330e-05,2.163195e-05,2.169254e-05,2.181699e-05,2.182687e-05,2.193828e-05,2.196182e-05,2.202869e-05,2.207082e-05,2.209988e-05,2.214797e-05,2.215353e-05,2.219119e-05,2.219693e-05,2.221429e-05,2.222099e-05,2.222415e-05,2.222311e-05,2.222200e-05,2.220897e-05,2.220595e-05,2.218609e-05,2.217189e-05,2.215430e-05,2.212303e-05,2.211446e-05,2.206736e-05,2.206126e-05,2.201373e-05,2.198823e-05,2.195422e-05,2.190543e-05,2.188943e-05,2.181991e-05,2.181416e-05,2.174616e-05,2.171558e-05,2.166864e-05,2.161073e-05,2.158776e-05,2.150391e-05,2.150050e-05,2.141742e-05,2.138571e-05,2.132863e-05,2.126707e-05,2.123780e-05,2.114522e-05,2.105112e-05,2.102072e-05,2.095572e-05,2.089407e-05,2.085922e-05,2.076572e-05,2.076181e-05,2.066366e-05,2.063607e-05,2.056492e-05,2.050546e-05,2.046574e-05,2.037421e-05,2.036624e-05,2.026655e-05,2.024261e-05,2.016677e-05,2.011089e-05,2.006700e-05,1.997929e-05,1.996734e-05,1.986786e-05,1.984800e-05,1.976865e-05,1.971719e-05,1.966978e-05,1.958703e-05,1.957130e-05,1.947329e-05,1.945765e-05,1.937578e-05,1.932918e-05,1.927884e-05,1.920172e-05,1.918250e-05,1.908681e-05,1.907537e-05,1.899180e-05,1.895023e-05,1.889752e-05,1.882636e-05,1.880398e-05,1.871121e-05,1.870382e-05,1.861925e-05,1.858269e-05,1.852810e-05,1.846300e-05,1.843780e-05,1.834836e-05,1.834480e-05,1.825979e-05,1.822813e-05,1.817212e-05,1.811301e-05,1.808534e-05,1.799948e-05,1.788755e-05,1.777724e-05,1.766857e-05,1.756154e-05,1.745616e-05,1.735243e-05,1.725036e-05,1.714994e-05,1.705116e-05,1.695403e-05,1.685853e-05,1.676466e-05,1.667240e-05,1.658175e-05,1.649268e-05,1.640519e-05,1.631926e-05,1.623488e-05,1.615202e-05,1.607067e-05,1.599081e-05,1.591242e-05,1.583549e-05,1.576000e-05
0.000000e+00,5.232435e-09,1.219230e-08,4.267849e-08,9.777814e-08,1.429211e-07,3.244840e-07,3.342228e-07,6.432837e-07,7.544611e-07,1.096017e-06,1.447285e-06,1.718009e-06,2.460808e-06,2.533706e-06,3.562619e-06,3.842510e-06,4.813049e-06,5.608537e-06,6.279789e-06,7.738735e-06,7.949248e-06,9.805453e-06,1.019769e-05,1.183236e-05,1.294849e-05,1.401387e-05,1.595367e-05,1.633335e-05,1.877335e-05,1.917372e-05,2.131563e-05,2.256674e-05,2.394138e-05,2.608925e-05,2.663152e-05,2.936711e-05,2.969755e-05,3.212970e-05,3.334921e-05,3.490167e-05,3.700443e-05,3.766650e-05,4.040900e-05,4.062701e-05,4.311544e-05,4.418515e-05,4.577366e-05,4.765171e-05,4.837306e-05,5.090460e-05,5.100434e-05,5.336073e-05,5.422526e-05,5.573534e-05,5.730099e-05,5.802359e-05,6.022187e-05,6.232761e-05,6.298162e-05,6.433922e-05,6.557685e-05,6.625591e-05,6.800659e-05,6.807764e-05,6.980497e-05,7.027185e-05,7.143898e-05,7.237520e-05,7.298117e-05,7.432049e-05,7.443341e-05,7.579784e-05,7.611250e-05,7.707685e-05,7.775672e-05,7.827297e-05,7.925912e-05,7.938889e-05,8.042736e-05,8.062601e-05,8.139120e-05,8.186386e-05,8.228327e-05,8.297923e-05,8.310642e-05,8.386350e-05,8.397868e-05,8.455730e-05,8.486868e-05,8.519062e-05,8.565555e-05,8.576617e-05,8.628661e-05,8.634549e-05,8.675454e-05,8.694445e-05,8.717249e-05,8.745821e-05,8.754290e-05,8.786814e-05,8.789228e-05,8.815053e-05,8.825198e-05,8.839226e-05,8.854234e-05,8.859548e-05,8.876225e-05,8.876819e-05,8.889455e-05,8.893410e-05,8.899428e-05,8.904442e-05,8.906326e-05,8.910326e-05,8.911594e-05,8.911450e-05,8.910293e-05,8.908183e-05,8.906576e-05,8.900871e-05,8.900590e-05,8.892476e-05,8.889841e-05,8.882369e-05,8.875402e-05,8.870397e-05,8.857842e-05,8.856684e-05,8.841345e-05,8.837434e-05,8.824492e-05,8.814433e-05,8.806232e-05,8.789080e-05,8.786666e-05,8.765889e-05,8.761597e-05,8.743994e-05,8.732196e-05,8.721068e-05,8.701074e-05,8.697193e-05,8.672448e-05,8.668413e-05,8.646908e-05,8.634387e-05,8.620643e-05,8.599155e-05,8.593721e-05,8.566205e-05,8.562866e-05,8.538156e-05,8.525660e-05,8.509630e-05,8.487665e-05,8.480682e-05,8.451363e-05,8.449003e-05,8.421721e-05,8.409784e-05,8.391802e-05,8.370113e-05,8.361649e-05,8.331302e-05,8.330084e-05,8.300800e-05,8.289788e-05,8.270178e-05,8.249305e-05,8.239472e-05,8.208712e-05,8.168078e-05,8.127467e-05,8.086938e-05,8.046546e-05,8.006338e-05,7.966361e-05,7.926656e-05,7.887259e-05,7.848205e-05,7.809523e-05,7.771242e-05,7.733386e-05,7.695977e-05,7.659033e-05,7.622573e-05,7.586611e-05,7.551160e-05,7.516231e-05,7.481833e-05,7.447975e-05,7.414662e-05,7.381900e-05,7.349692e-05,7.318041e-05
0.000000e+00,5.357729e-10,1.361816e-09,5.281099e-09,1.274860e-08,1.902024e-08,4.487288e-08,4.627801e-08,9.145808e-08,1.079250e-07,1.590352e-07,2.122715e-07,2.536912e-07,3.687840e-07,3.801791e-07,5.425601e-07,5.871622e-07,7.429559e-07,8.717514e-07,9.810752e-07,1.220408e-06,1.255116e-06,1.562882e-06,1.628293e-06,1.902256e-06,2.090554e-06,2.271230e-06,2.602572e-06,2.667790e-06,3.089820e-06,3.159558e-06,3.535046e-06,3.756282e-06,4.001024e-06,4.387006e-06,4.485155e-06,4.984715e-06,5.045567e-06,5.496906e-06,5.725543e-06,6.018902e-06,6.420451e-06,6.547903e-06,7.081181e-06,7.123948e-06,7.616112e-06,7.829988e-06,8.150226e-06,8.532992e-06,8.681238e-06,9.207059e-06,9.227957e-06,9.725807e-06,9.910497e-06,1.023582e-05,1.057689e-05,1.073564e-05,1.122405e-05,1.170000e-05,1.184954e-05,1.216267e-05,1.245148e-05,1.261137e-05,1.302854e-05,1.304562e-05,1.346507e-05,1.357983e-05,1.386949e-05,1.410488e-05,1.425877e-05,1.460354e-05,1.463292e-05,1.499202e-05,1.507598e-05,1.533622e-05,1.552255e-05,1.566575e-05,1.594381e-05,1.598088e-05,1.628192e-05,1.634047e-05,1.656922e-05,1.671331e-05,1.684315e-05,1.706321e-05,1.710411e-05,1.735250e-05,1.739111e-05,1.758874e-05,1.769794e-05,1.781324e-05,1.798467e-05,1.802642e-05,1.822870e-05,1.825226e-05,1.842049e-05,1.850166e-05,1.860220e-05,1.873380e-05,1.877423e-05,1.893696e-05,1.894959e-05,1.909079e-05,1.914990e-05,1.923606e-05,1.933557e-05,1.937315e-05,1.950239e-05,1.950741e-05,1.962413e-05,1.966618e-05,1.973868e-05,1.981262e-05,1.984635e-05,1.994743e-05,2.004223e-05,2.007128e-05,2.013100e-05,2.018478e-05,2.021402e-05,2.028853e-05,2.029153e-05,2.036378e-05,2.038310e-05,2.043101e-05,2.046902e-05,2.049343e-05,2.054679e-05,2.055125e-05,2.060469e-05,2.061688e-05,2.065393e-05,2.067974e-05,2.069916e-05,2.073579e-05,2.074056e-05,2.077831e-05,2.078543e-05,2.081255e-05,2.082903e-05,2.084346e-05,2.086695e-05,2.087118e-05,2.089585e-05,2.089952e-05,2.091760e-05,2.092705e-05,2.093658e-05,2.094984e-05,2.095290e-05,2.096668e-05,2.096817e-05,2.097804e-05,2.098230e-05,2.098709e-05,2.099248e-05,2.099393e-05,2.099865e-05,2.099894e-05,2.100137e-05,2.100191e-05,2.100216e-05,2.100159e-05,2.100112e-05,2.099833e-05,2.099818e-05,2.099387e-05,2.099187e-05,2.098782e-05,2.098283e-05,2.098024e-05,2.097122e-05,2.095720e-05,2.094092e-05,2.092252e-05,2.090214e-05,2.087988e-05,2.085588e-05,2.083025e-05,2.080309e-05,2.077449e-05,2.074456e-05,2.071339e-05,2.068105e-05,2.064764e-05,2.061322e-05,2.057786e-05,2.054164e-05,2.050463e-05,2.046687e-05,2.042843e-05,2.038937e-05,2.034973e-05,2.030957e-05,2.026893e-05,2.022786e-05
0.000000e+00,1.955219e-09,4.466791e-09,1.530192e-08,3.468607e-08,5.048824e-08,1.137027e-07,1.170828e-07,2.239696e-07,2.622674e-07,3.795019e-07,4.994680e-07,5.915509e-07,8.427996e-07,8.673667e-07,1.213143e-06,1.307072e-06,1.633162e-06,1.901383e-06,2.128529e-06,2.624326e-06,2.696014e-06,3.327989e-06,3.461222e-06,4.013923e-06,4.388158e-06,4.742493e-06,5.379616e-06,5.503051e-06,6.286177e-06,6.413007e-06,7.083663e-06,7.469426e-06,7.888378e-06,8.533156e-06,8.694116e-06,9.495497e-06,9.591143e-06,1.028790e-05,1.063268e-05,1.106742e-05,1.164920e-05,1.183079e-05,1.257537e-05,1.263406e-05,1.329907e-05,1.358234e-05,1.400031e-05,1.449061e-05,1.467791e-05,1.533109e-05,1.535670e-05,1.595938e-05,1.617942e-05,1.656257e-05,1.695840e-05,1.714068e-05,1.769392e-05,1.822262e-05,1.838669e-05,1.872724e-05,1.903781e-05,1.920832e-05,1.964859e-05,1.966648e-05,2.010236e-05,2.022051e-05,2.051666e-05,2.075518e-05,2.091009e-05,2.125423e-05,2.128336e-05,2.163721e-05,2.171932e-05,2.197235e-05,2.215212e-05,2.228949e-05,2.255423e-05,2.258932e-05,2.287255e-05,2.292726e-05,2.313982e-05,2.327272e-05,2.339180e-05,2.359211e-05,2.362912e-05,2.385239e-05,2.388685e-05,2.406220e-05,2.415829e-05,2.425912e-05,2.440774e-05,2.444370e-05,2.461647e-05,2.463643e-05,2.477794e-05,2.484554e-05,2.492860e-05,2.503617e-05,2.506893e-05,2.519938e-05,2.520940e-05,2.532038e-05,2.536623e-05,2.543235e-05,2.550761e-05,2.553569e-05,2.563079e-05,2.563443e-05,2.571801e-05,2.574754e-05,2.579770e-05,2.584776e-05,2.587020e-05,2.593584e-05,2.599492e-05,2.601250e-05,2.604775e-05,2.607841e-05,2.609461e-05,2.613422e-05,2.613576e-05,2.617147e-05,2.618053e-05,2.620199e-05,2.621791e-05,2.622756e-05,2.624690e-05,2.624840e-05,2.626473e-05,2.626800e-05,2.627677e-05,2.628171e-05,2.628471e-05,2.628846e-05,2.628874e-05,2.628905e-05,2.628868e-05,2.628582e-05,2.628279e-05,2.627920e-05,2.627115e-05,2.626937e-05,2.625647e-05,2.625413e-05,2.624065e-05,2.623206e-05,2.622206e-05,2.620528e-05,2.620082e-05,2.617708e-05,2.617406e-05,2.615094e-05,2.613871e-05,2.612253e-05,2.609949e-05,2.609197e-05,2.605935e-05,2.605666e-05,2.602479e-05,2.601044e-05,2.598838e-05,2.596108e-05,2.595023e-05,2.591041e-05,2.590879e-05,2.586902e-05,2.585376e-05,2.582615e-05,2.579618e-05,2.578186e-05,2.573625e-05,2.567412e-05,2.560996e-05,2.554392e-05,2.547615e-05,2.540678e-05,2.533593e-05,2.526374e-05,2.519031e-05,2.511576e-05,2.504018e-05,2.496367e-05,2.488633e-05,2.480825e-05,2.472949e-05,2.465015e-05,2.457029e-05,2.448999e-05,2.440931e-05,2.432830e-05,2.424704e-05,2.416557e-05,2.408395e-05,2.400223e-05,2.392045e-05
0.000000e+00,1.744910e-09,4.862798e-09,2.165773e-08,5.698432e-08,8.819390e-08,2.236716e-07,2.312383e-07,4.811997e-07,5.747516e-07,8.711349e-07,1.187499e-06,1.437782e-06,2.145513e-06,2.216179e-06,3.224470e-06,3.500038e-06,4.451707e-06,5.222801e-06,5.865257e-06,7.233325e-06,7.427490e-06,9.105336e-06,9.452308e-06,1.087176e-05,1.181766e-05,1.270411e-05,1.427952e-05,1.458234e-05,1.648781e-05,1.679402e-05,1.840282e-05,1.932043e-05,2.031051e-05,2.182070e-05,2.219502e-05,2.404173e-05,2.426015e-05,2.583747e-05,2.660844e-05,2.757080e-05,2.884034e-05,2.923201e-05,3.081326e-05,3.093611e-05,3.230857e-05,3.288164e-05,3.371376e-05,3.466815e-05,3.502620e-05,3.624473e-05,3.629151e-05,3.736947e-05,3.775162e-05,3.840165e-05,3.905174e-05,3.934343e-05,4.019752e-05,4.096726e-05,4.119636e-05,4.165639e-05,4.205698e-05,4.226895e-05,4.278891e-05,4.280919e-05,4.328143e-05,4.340206e-05,4.368999e-05,4.390633e-05,4.403912e-05,4.431144e-05,4.433301e-05,4.457569e-05,4.462674e-05,4.477101e-05,4.486110e-05,4.492269e-05,4.502284e-05,4.503421e-05,4.510888e-05,4.511967e-05,4.514981e-05,4.515873e-05,4.515990e-05,4.514655e-05,4.514188e-05,4.509827e-05,4.508907e-05,4.503141e-05,4.499170e-05,4.494348e-05,4.485933e-05,4.483651e-05,4.471234e-05,4.469637e-05,4.457272e-05,4.450681e-05,4.441923e-05,4.429420e-05,4.425332e-05,4.407635e-05,4.406176e-05,4.388956e-05,4.381234e-05,4.369406e-05,4.354852e-05,4.349092e-05,4.328109e-05,4.327257e-05,4.306544e-05,4.298654e-05,4.284478e-05,4.269225e-05,4.261985e-05,4.239133e-05,4.215983e-05,4.208521e-05,4.192591e-05,4.177518e-05,4.169009e-05,4.146236e-05,4.145285e-05,4.121462e-05,4.114778e-05,4.097577e-05,4.083233e-05,4.073668e-05,4.051679e-05,4.049767e-05,4.025904e-05,4.020185e-05,4.002104e-05,3.988814e-05,3.978394e-05,3.957619e-05,3.954794e-05,3.931324e-05,3.926647e-05,3.908003e-05,3.895940e-05,3.884847e-05,3.865534e-05,3.861870e-05,3.839085e-05,3.835458e-05,3.816505e-05,3.805742e-05,3.794139e-05,3.776406e-05,3.771996e-05,3.750085e-05,3.747472e-05,3.728413e-05,3.718955e-05,3.706986e-05,3.690869e-05,3.685809e-05,3.664887e-05,3.663225e-05,3.644224e-05,3.636032e-05,3.623823e-05,3.609298e-05,3.603687e-05,3.583818e-05,3.583028e-05,3.564216e-05,3.557226e-05,3.544885e-05,3.531893e-05,3.525823e-05,3.507031e-05,3.482641e-05,3.458720e-05,3.435267e-05,3.412279e-05,3.389754e-05,3.367686e-05,3.346072e-05,3.324907e-05,3.304186e-05,3.283902e-05,3.264050e-05,3.244623e-05,3.225616e-05,3.207021e-05,3.188832e-05,3.171042e-05,3.153644e-05,3.136630e-05,3.119995e-05,3.103730e-05,3.087829e-05,3.072285e-05,3.057090e-05,3.042237e-05
0.000000e+00,1.243582e-09,3.635798e-09,1.775569e-08,5.045958e-08,8.129452e-08,2.276008e-07,2.362241e-07,5.401854e-07,6.617947e-07,1.068893e-06,1.533064e-06,1.917411e-06,3.063942e-06,3.182191e-06,4.920770e-06,5.409193e-06,7.128435e-06,8.552005e-06,9.755394e-06,1.236161e-05,1.273571e-05,1.600493e-05,1.668829e-05,1.950619e-05,2.140198e-05,2.319040e-05,2.639495e-05,2.701460e-05,3.094013e-05,3.157521e-05,3.493152e-05,3.686100e-05,3.895576e-05,4.217807e-05,4.298211e-05,4.698217e-05,4.745916e-05,5.093011e-05,5.264464e-05,5.480283e-05,5.768321e-05,5.858006e-05,6.224451e-05,6.253235e-05,6.578198e-05,6.715879e-05,6.918116e-05,7.153797e-05,7.243338e-05,7.553248e-05,7.565320e-05,7.847452e-05,7.949475e-05,8.125745e-05,8.305872e-05,8.388092e-05,8.634597e-05,8.865481e-05,8.936113e-05,9.081060e-05,9.211178e-05,9.281728e-05,9.460750e-05,9.467926e-05,9.640141e-05,9.685925e-05,9.798890e-05,9.887899e-05,9.944712e-05,1.006792e-04,1.007816e-04,1.019978e-04,1.022727e-04,1.031013e-04,1.036721e-04,1.040976e-04,1.048899e-04,1.049920e-04,1.057898e-04,1.059382e-04,1.064961e-04,1.068288e-04,1.071158e-04,1.075730e-04,1.076538e-04,1.081146e-04,1.081815e-04,1.085027e-04,1.086644e-04,1.088223e-04,1.090314e-04,1.090775e-04,1.092721e-04,1.092916e-04,1.094100e-04,1.094536e-04,1.094946e-04,1.095254e-04,1.095293e-04,1.095174e-04,1.095145e-04,1.094618e-04,1.094281e-04,1.093656e-04,1.092727e-04,1.092314e-04,1.090619e-04,1.090545e-04,1.088596e-04,1.087792e-04,1.086268e-04,1.084522e-04,1.083657e-04,1.080786e-04,1.077672e-04,1.076628e-04,1.074337e-04,1.072093e-04,1.070796e-04,1.067221e-04,1.067068e-04,1.063169e-04,1.062048e-04,1.059112e-04,1.056609e-04,1.054913e-04,1.050936e-04,1.050585e-04,1.046140e-04,1.045057e-04,1.041591e-04,1.039001e-04,1.036947e-04,1.032793e-04,1.032221e-04,1.027422e-04,1.026455e-04,1.022559e-04,1.020008e-04,1.017641e-04,1.013474e-04,1.012676e-04,1.007672e-04,1.006868e-04,1.002636e-04,1.000209e-04,9.975743e-05,9.935111e-05,9.924938e-05,9.874001e-05,9.867883e-05,9.822988e-05,9.800532e-05,9.771951e-05,9.733176e-05,9.720937e-05,9.669991e-05,9.665920e-05,9.619155e-05,9.598859e-05,9.568466e-05,9.532082e-05,9.517962e-05,9.467674e-05,9.465668e-05,9.417635e-05,9.399687e-05,9.367872e-05,9.334204e-05,9.318411e-05,9.269277e-05,9.204958e-05,9.141293e-05,9.078322e-05,9.016083e-05,8.954606e-05,8.893920e-05,8.834047e-05,8.775010e-05,8.716825e-05,8.659506e-05,8.603065e-05,8.547512e-05,8.492852e-05,8.439092e-05,8.386234e-05,8.334279e-05,8.283227e-05,8.233076e-05,8.183823e-05,8.135464e-05,8.087993e-05,8.041405e-05,7.995691e-05,7.950845e-05
0.000000e+00,5.212675e-10,1.529075e-09,7.505681e-09,2.136825e-08,3.440687e-08,9.557287e-08,9.913975e-08,2.223002e-07,2.703030e-07,4.266745e-07,5.986526e-07,7.374589e-07,1.141206e-06,1.182430e-06,1.790688e-06,1.964009e-06,2.588100e-06,3.123580e-06,3.589914e-06,4.640826e-06,4.795984e-06,6.192741e-06,6.493181e-06,7.759032e-06,8.632660e-06,9.471215e-06,1.100512e-05,1.130600e-05,1.324154e-05,1.355920e-05,1.525758e-05,1.624830e-05,1.733530e-05,1.903000e-05,1.945707e-05,2.160632e-05,2.186532e-05,2.376747e-05,2.471835e-05,2.592596e-05,2.755630e-05,2.806832e-05,3.018225e-05,3.034980e-05,3.225673e-05,3.307325e-05,3.428202e-05,3.570503e-05,3.624976e-05,3.815290e-05,3.822760e-05,3.998574e-05,4.062745e-05,4.174377e-05,4.289476e-05,4.342367e-05,4.502314e-05,4.654089e-05,4.700921e-05,4.797643e-05,4.885211e-05,4.933000e-05,5.055312e-05,5.060248e-05,5.179526e-05,5.211520e-05,5.291016e-05,5.354260e-05,5.394932e-05,5.484054e-05,5.491517e-05,5.581030e-05,5.601491e-05,5.663747e-05,5.707205e-05,5.739951e-05,5.801852e-05,5.809931e-05,5.873977e-05,5.886099e-05,5.932375e-05,5.960604e-05,5.985408e-05,6.026012e-05,6.033352e-05,6.076475e-05,6.082945e-05,6.115038e-05,6.132002e-05,6.149292e-05,6.173755e-05,6.179478e-05,6.205828e-05,6.208743e-05,6.228563e-05,6.237476e-05,6.247895e-05,6.260435e-05,6.264024e-05,6.277143e-05,6.278068e-05,6.287432e-05,6.290795e-05,6.295065e-05,6.299009e-05,6.300206e-05,6.303009e-05,6.303075e-05,6.303621e-05,6.303332e-05,6.302181e-05,6.300097e-05,6.298821e-05,6.293663e-05,6.286826e-05,6.284302e-05,6.278420e-05,6.272265e-05,6.268549e-05,6.257787e-05,6.257313e-05,6.244803e-05,6.241084e-05,6.231108e-05,6.222357e-05,6.216311e-05,6.201791e-05,6.200490e-05,6.183717e-05,6.179558e-05,6.166064e-05,6.155818e-05,6.147595e-05,6.130716e-05,6.128371e-05,6.108452e-05,6.104389e-05,6.087891e-05,6.076964e-05,6.066742e-05,6.048556e-05,6.045051e-05,6.022865e-05,6.019272e-05,6.000227e-05,5.989213e-05,5.977179e-05,5.958470e-05,5.953758e-05,5.930000e-05,5.927128e-05,5.905940e-05,5.895266e-05,5.881610e-05,5.862956e-05,5.857039e-05,5.832256e-05,5.830265e-05,5.807289e-05,5.797256e-05,5.782161e-05,5.763984e-05,5.756897e-05,5.731519e-05,5.730502e-05,5.706048e-05,5.696860e-05,5.680504e-05,5.663101e-05,5.654904e-05,5.629268e-05,5.595397e-05,5.561525e-05,5.527682e-05,5.493900e-05,5.460204e-05,5.426620e-05,5.393171e-05,5.359877e-05,5.326757e-05,5.293829e-05,5.261110e-05,5.228612e-05,5.196350e-05,5.164335e-05,5.132578e-05,5.101088e-05,5.069875e-05,5.038945e-05,5.008307e-05,4.977965e-05,4.947925e-05,4.918192e-05,4.888770e-05,4.859662e-05
0.000000e+00,3.845251e-10,1.128123e-09,5.537661e-09,1.576080e-08,2.537077e-08,7.039581e-08,7.301894e-08,1.634542e-07,1.986362e-07,3.130139e-07,4.384279e-07,5.393790e-07,8.317525e-07,8.615085e-07,1.298906e-06,1.423100e-06,1.869410e-06,2.251897e-06,2.585020e-06,3.336132e-06,3.447034e-06,4.443866e-06,4.657602e-06,5.553518e-06,6.166136e-06,6.748716e-06,7.798348e-06,8.001590e-06,9.286506e-06,9.493529e-06,1.058124e-05,1.120061e-05,1.186720e-05,1.287930e-05,1.312913e-05,1.435475e-05,1.449890e-05,1.553432e-05,1.603673e-05,1.666030e-05,1.747665e-05,1.772702e-05,1.873049e-05,1.880795e-05,1.966812e-05,2.002440e-05,2.053857e-05,2.112348e-05,2.134152e-05,2.207755e-05,2.210561e-05,2.274796e-05,2.297359e-05,2.335463e-05,2.373196e-05,2.389993e-05,2.438655e-05,2.481744e-05,2.494405e-05,2.519569e-05,2.541162e-05,2.552450e-05,2.579663e-05,2.580709e-05,2.604666e-05,2.610646e-05,2.624634e-05,2.634826e-05,2.640915e-05,2.652890e-05,2.653803e-05,2.663574e-05,2.665485e-05,2.670493e-05,2.673215e-05,2.674808e-05,2.676637e-05,2.676752e-05,2.676543e-05,2.676261e-05,2.674383e-05,2.672552e-05,2.670461e-05,2.665933e-05,2.664951e-05,2.658015e-05,2.656783e-05,2.649800e-05,2.645443e-05,2.640443e-05,2.632220e-05,2.630070e-05,2.618796e-05,2.617388e-05,2.606727e-05,2.601190e-05,2.593959e-05,2.583842e-05,2.580580e-05,2.566672e-05,2.565538e-05,2.552307e-05,2.546449e-05,2.537554e-05,2.526725e-05,2.522472e-05,2.507119e-05,2.506500e-05,2.491544e-05,2.485892e-05,2.475794e-05,2.465005e-05,2.459910e-05,2.443931e-05,2.427890e-05,2.422749e-05,2.411818e-05,2.401529e-05,2.395744e-05,2.380334e-05,2.379693e-05,2.363687e-05,2.359216e-05,2.347747e-05,2.338222e-05,2.331891e-05,2.317393e-05,2.316137e-05,2.300498e-05,2.296763e-05,2.284987e-05,2.276362e-05,2.269617e-05,2.256216e-05,2.254398e-05,2.239338e-05,2.236346e-05,2.224446e-05,2.216771e-05,2.209729e-05,2.197506e-05,2.195192e-05,2.180841e-05,2.178563e-05,2.166680e-05,2.159952e-05,2.152713e-05,2.141681e-05,2.138943e-05,2.125371e-05,2.123756e-05,2.112001e-05,2.106182e-05,2.098834e-05,2.088962e-05,2.085869e-05,2.073109e-05,2.072097e-05,2.060554e-05,2.055588e-05,2.048202e-05,2.039435e-05,2.036054e-05,2.024109e-05,2.023636e-05,2.012366e-05,2.008188e-05,2.000825e-05,1.993090e-05,1.989482e-05,1.978338e-05,1.963929e-05,1.949857e-05,1.936118e-05,1.922709e-05,1.909622e-05,1.896854e-05,1.884397e-05,1.872248e-05,1.860399e-05,1.848846e-05,1.837581e-05,1.826600e-05,1.815896e-05,1.805463e-05,1.795295e-05,1.785386e-05,1.775730e-05,1.766321e-05,1.757155e-05,1.748224e-05,1.739523e-05,1.731046e-05,1.722789e-05,1.714746e-05
0.000000e+00,4.587500e-10,1.313950e-09,6.152068e-09,1.681484e-08,2.649611e-08,6.973403e-08,7.218119e-08,1.536664e-07,1.842470e-07,2.807217e-07,3.826107e-07,4.623668e-07,6.848460e-07,7.069071e-07,1.021905e-06,1.108748e-06,1.413973e-06,1.669209e-06,1.888298e-06,2.376155e-06,2.447820e-06,3.092139e-06,3.230846e-06,3.816536e-06,4.221948e-06,4.611716e-06,5.324959e-06,5.464723e-06,6.360687e-06,6.507016e-06,7.284649e-06,7.733985e-06,8.222828e-06,8.975464e-06,9.163200e-06,1.009561e-05,1.020655e-05,1.101166e-05,1.140771e-05,1.190446e-05,1.256397e-05,1.276845e-05,1.359921e-05,1.366413e-05,1.439334e-05,1.470014e-05,1.514831e-05,1.566661e-05,1.586234e-05,1.653437e-05,1.656037e-05,1.716390e-05,1.738011e-05,1.775094e-05,1.812607e-05,1.829593e-05,1.879967e-05,1.926324e-05,1.940330e-05,1.968794e-05,1.994003e-05,2.007525e-05,2.041338e-05,2.042678e-05,2.074421e-05,2.082721e-05,2.102927e-05,2.118550e-05,2.128372e-05,2.149230e-05,2.150932e-05,2.170780e-05,2.175159e-05,2.188085e-05,2.196726e-05,2.203011e-05,2.214305e-05,2.215717e-05,2.226356e-05,2.228249e-05,2.235073e-05,2.238892e-05,2.242005e-05,2.246547e-05,2.247286e-05,2.251039e-05,2.251506e-05,2.253381e-05,2.254037e-05,2.254423e-05,2.254390e-05,2.254268e-05,2.253014e-05,2.252794e-05,2.250752e-05,2.249459e-05,2.247566e-05,2.244578e-05,2.243538e-05,2.238741e-05,2.238326e-05,2.233244e-05,2.230864e-05,2.227112e-05,2.222338e-05,2.220406e-05,2.213181e-05,2.212881e-05,2.205488e-05,2.202614e-05,2.197377e-05,2.191646e-05,2.188893e-05,2.180076e-05,2.170966e-05,2.167994e-05,2.161597e-05,2.155482e-05,2.152004e-05,2.142612e-05,2.142217e-05,2.132264e-05,2.129451e-05,2.122171e-05,2.116058e-05,2.111963e-05,2.102488e-05,2.101661e-05,2.091286e-05,2.088788e-05,2.080858e-05,2.075001e-05,2.070393e-05,2.061167e-05,2.059908e-05,2.049417e-05,2.047319e-05,2.038934e-05,2.033490e-05,2.028471e-05,2.019705e-05,2.018039e-05,2.007649e-05,2.005991e-05,1.997310e-05,1.992368e-05,1.987031e-05,1.978856e-05,1.976820e-05,1.966683e-05,1.965472e-05,1.956628e-05,1.952230e-05,1.946659e-05,1.939144e-05,1.936782e-05,1.927002e-05,1.926224e-05,1.917322e-05,1.913480e-05,1.907748e-05,1.900920e-05,1.898280e-05,1.888924e-05,1.888552e-05,1.879680e-05,1.876380e-05,1.870552e-05,1.864411e-05,1.861540e-05,1.852647e-05,1.841092e-05,1.829748e-05,1.818616e-05,1.807697e-05,1.796993e-05,1.786502e-05,1.776224e-05,1.766159e-05,1.756305e-05,1.746660e-05,1.737222e-05,1.727991e-05,1.718962e-05,1.710134e-05,1.701504e-05,1.693070e-05,1.684828e-05,1.676776e-05,1.668910e-05,1.661227e-05,1.653724e-05,1.646399e-05,1.639246e-05,1.632264e-05
0.000000e+00,2.014203e-09,4.694917e-09,1.640358e-08,3.755120e-08,5.492933e-08,1.256820e-07,1.295221e-07,2.539719e-07,2.999710e-07,4.451750e-07,6.000570e-07,7.226874e-07,1.069548e-06,1.104140e-06,1.595022e-06,1.727881e-06,2.180610e-06,2.539395e-06,2.832364e-06,3.437903e-06,3.521855e-06,4.227711e-06,4.369470e-06,4.935365e-06,5.300608e-06,5.634813e-06,6.210655e-06,6.318813e-06,6.981823e-06,7.085650e-06,7.619470e-06,7.915490e-06,8.228311e-06,8.692834e-06,8.805692e-06,9.349700e-06,9.412673e-06,9.859109e-06,1.007211e-05,1.033331e-05,1.067010e-05,1.077225e-05,1.117634e-05,1.120718e-05,1.154638e-05,1.168510e-05,1.188346e-05,1.210649e-05,1.218891e-05,1.246428e-05,1.247469e-05,1.271119e-05,1.279344e-05,1.293135e-05,1.306665e-05,1.312648e-05,1.329829e-05,1.344844e-05,1.349219e-05,1.357856e-05,1.365204e-05,1.369019e-05,1.378132e-05,1.378479e-05,1.386377e-05,1.388325e-05,1.392840e-05,1.396081e-05,1.397992e-05,1.401671e-05,1.401946e-05,1.404807e-05,1.405342e-05,1.406672e-05,1.407315e-05,1.407631e-05,1.407792e-05,1.407768e-05,1.407159e-05,1.406954e-05,1.405874e-05,1.404960e-05,1.403978e-05,1.401957e-05,1.401531e-05,1.398587e-05,1.398073e-05,1.395196e-05,1.393423e-05,1.391404e-05,1.388110e-05,1.387253e-05,1.382782e-05,1.382226e-05,1.378026e-05,1.375851e-05,1.373017e-05,1.369059e-05,1.367785e-05,1.362356e-05,1.361914e-05,1.356757e-05,1.354474e-05,1.351008e-05,1.346789e-05,1.345132e-05,1.339146e-05,1.338905e-05,1.333069e-05,1.330862e-05,1.326917e-05,1.322697e-05,1.320702e-05,1.314440e-05,1.308142e-05,1.306121e-05,1.301819e-05,1.297764e-05,1.295481e-05,1.289391e-05,1.289137e-05,1.282796e-05,1.281022e-05,1.276465e-05,1.272675e-05,1.270152e-05,1.264364e-05,1.263861e-05,1.257600e-05,1.256103e-05,1.251374e-05,1.247903e-05,1.245186e-05,1.239776e-05,1.239041e-05,1.232944e-05,1.231730e-05,1.226897e-05,1.223773e-05,1.220903e-05,1.215912e-05,1.214966e-05,1.209087e-05,1.208152e-05,1.203269e-05,1.200499e-05,1.197514e-05,1.192956e-05,1.191824e-05,1.186199e-05,1.185528e-05,1.180642e-05,1.178218e-05,1.175152e-05,1.171027e-05,1.169733e-05,1.164383e-05,1.163958e-05,1.159103e-05,1.157012e-05,1.153895e-05,1.150190e-05,1.148758e-05,1.143693e-05,1.143492e-05,1.138700e-05,1.136921e-05,1.133779e-05,1.130474e-05,1.128930e-05,1.124153e-05,1.117956e-05,1.111884e-05,1.105936e-05,1.100110e-05,1.094406e-05,1.088822e-05,1.083358e-05,1.078011e-05,1.072780e-05,1.067664e-05,1.062662e-05,1.057771e-05,1.052990e-05,1.048317e-05,1.043750e-05,1.039288e-05,1.034929e-05,1.030670e-05,1.026511e-05,1.022449e-05,1.018482e-05,1.014610e-05,1.010828e-05,1.007137e-05
0.000000e+00,1.037669e-09,3.043545e-09,1.494146e-08,4.256386e-08,6.857600e-08,1.909504e-07,1.981024e-07,4.459115e-07,5.428797e-07,8.598748e-07,1.209934e-06,1.493159e-06,2.318195e-06,2.402416e-06,3.641452e-06,3.992693e-06,5.248653e-06,6.314351e-06,7.233260e-06,9.273913e-06,9.571827e-06,1.221779e-05,1.277897e-05,1.511501e-05,1.670208e-05,1.820739e-05,2.091798e-05,2.144346e-05,2.477777e-05,2.531766e-05,2.817089e-05,2.981031e-05,3.158887e-05,3.432152e-05,3.500273e-05,3.838794e-05,3.879123e-05,4.172402e-05,4.317187e-05,4.499412e-05,4.742680e-05,4.818466e-05,5.128501e-05,5.152888e-05,5.428708e-05,5.545900e-05,5.718501e-05,5.920476e-05,5.997486e-05,6.265428e-05,6.275914e-05,6.522225e-05,6.611943e-05,6.767887e-05,6.928621e-05,7.002507e-05,7.226251e-05,7.439337e-05,7.505315e-05,7.642023e-05,7.766416e-05,7.834596e-05,8.010241e-05,8.017368e-05,8.190661e-05,8.237530e-05,8.354810e-05,8.449049e-05,8.510150e-05,8.645576e-05,8.657022e-05,8.795762e-05,8.827886e-05,8.926702e-05,8.996744e-05,9.050169e-05,9.152891e-05,9.166481e-05,9.275947e-05,9.297045e-05,9.378867e-05,9.429895e-05,9.475532e-05,9.552105e-05,9.566226e-05,9.651220e-05,9.664308e-05,9.730776e-05,9.767106e-05,9.805147e-05,9.861074e-05,9.874575e-05,9.939294e-05,9.946754e-05,9.999527e-05,1.002466e-04,1.005549e-04,1.009529e-04,1.010739e-04,1.015542e-04,1.015910e-04,1.019978e-04,1.021653e-04,1.024063e-04,1.026799e-04,1.027817e-04,1.031255e-04,1.031386e-04,1.034392e-04,1.035452e-04,1.037245e-04,1.039030e-04,1.039828e-04,1.042154e-04,1.044238e-04,1.044855e-04,1.046090e-04,1.047160e-04,1.047724e-04,1.049097e-04,1.049151e-04,1.050381e-04,1.050692e-04,1.051426e-04,1.051968e-04,1.052296e-04,1.052949e-04,1.052999e-04,1.053545e-04,1.053654e-04,1.053943e-04,1.054104e-04,1.054201e-04,1.054318e-04,1.054327e-04,1.054327e-04,1.054313e-04,1.054210e-04,1.054106e-04,1.053983e-04,1.053711e-04,1.053651e-04,1.053221e-04,1.053144e-04,1.052699e-04,1.052417e-04,1.052090e-04,1.051544e-04,1.051400e-04,1.050634e-04,1.050537e-04,1.049797e-04,1.049407e-04,1.048892e-04,1.048163e-04,1.047926e-04,1.046901e-04,1.046817e-04,1.045822e-04,1.045376e-04,1.044693e-04,1.043851e-04,1.043517e-04,1.042297e-04,1.042248e-04,1.041038e-04,1.040575e-04,1.039741e-04,1.038840e-04,1.038410e-04,1.037048e-04,1.035207e-04,1.033321e-04,1.031396e-04,1.029438e-04,1.027450e-04,1.025437e-04,1.023404e-04,1.021354e-04,1.019290e-04,1.017216e-04,1.015135e-04,1.013049e-04,1.010962e-04,1.008876e-04,1.006793e-04,1.004715e-04,1.002644e-04,1.000582e-04,9.985300e-05,9.964904e-05,9.944642e-05,9.924528e-05,9.904572e-05,9.884786e-05
0.000000e+00,7.937242e-08,2.378174e-07,1.220905e-06,3.626845e-06,5.983395e-06,1.776676e-05,1.848251e-05,4.460507e-05,5.540566e-05,9.249257e-05,1.360436e-04,1.728853e-04,2.862717e-04,2.982430e-04,4.799986e-04,5.329714e-04,7.259925e-04,8.934095e-04,1.040169e-03,1.373963e-03,1.423624e-03,1.875626e-03,1.974100e-03,2.394261e-03,2.689397e-03,2.976773e-03,3.512963e-03,3.619743e-03,4.319204e-03,4.436069e-03,5.070719e-03,5.448534e-03,5.869470e-03,6.539051e-03,6.710341e-03,7.588017e-03,7.695554e-03,8.497077e-03,8.905604e-03,9.432089e-03,1.015675e-02,1.038770e-02,1.135869e-02,1.143689e-02,1.234010e-02,1.273452e-02,1.332722e-02,1.403901e-02,1.431566e-02,1.530137e-02,1.534069e-02,1.628066e-02,1.663098e-02,1.725020e-02,1.790240e-02,1.820704e-02,1.914854e-02,2.007243e-02,2.036403e-02,2.097674e-02,2.154444e-02,2.185980e-02,2.268627e-02,2.272024e-02,2.355691e-02,2.378679e-02,2.436892e-02,2.484400e-02,2.515559e-02,2.585650e-02,2.591641e-02,2.665106e-02,2.682346e-02,2.735936e-02,2.774448e-02,2.804127e-02,2.861958e-02,2.869686e-02,2.932630e-02,2.944907e-02,2.992985e-02,3.023357e-02,3.050785e-02,3.097390e-02,3.106069e-02,3.158883e-02,3.167107e-02,3.209276e-02,3.232621e-02,3.257302e-02,3.294057e-02,3.303018e-02,3.346481e-02,3.351548e-02,3.387752e-02,3.405233e-02,3.426894e-02,3.455256e-02,3.463969e-02,3.499039e-02,3.501760e-02,3.532169e-02,3.544891e-02,3.563420e-02,3.584794e-02,3.592857e-02,3.620541e-02,3.621613e-02,3.646534e-02,3.655489e-02,3.670896e-02,3.686561e-02,3.693687e-02,3.714965e-02,3.734787e-02,3.740832e-02,3.753210e-02,3.764292e-02,3.770288e-02,3.785467e-02,3.786075e-02,3.800621e-02,3.804479e-02,3.813978e-02,3.821442e-02,3.826195e-02,3.836468e-02,3.837319e-02,3.847396e-02,3.849664e-02,3.856471e-02,3.861132e-02,3.864588e-02,3.870971e-02,3.871788e-02,3.878111e-02,3.879274e-02,3.883598e-02,3.886133e-02,3.888285e-02,3.891632e-02,3.892210e-02,3.895407e-02,3.895854e-02,3.897912e-02,3.898877e-02,3.899755e-02,3.900776e-02,3.900970e-02,3.901586e-02,3.901621e-02,3.901633e-02,3.901481e-02,3.901140e-02,3.900420e-02,3.900132e-02,3.898638e-02,3.898498e-02,3.896680e-02,3.895773e-02,3.894285e-02,3.892302e-02,3.891474e-02,3.888271e-02,3.888135e-02,3.884696e-02,3.883323e-02,3.880771e-02,3.877912e-02,3.876516e-02,3.871948e-02,3.865472e-02,3.858523e-02,3.851141e-02,3.843361e-02,3.835216e-02,3.826738e-02,3.817957e-02,3.808903e-02,3.799601e-02,3.790077e-02,3.780355e-02,3.770457e-02,3.760404e-02,3.750217e-02,3.739914e-02,3.729513e-02,3.719029e-02,3.708479e-02,3.697877e-02,3.687237e-02,3.676571e-02,3.665892e-02,3.655210e-02,3.644537e-02
0.000000e+00,4.745707e-08,1.421019e-07,7.284077e-07,2.160090e-06,3.559642e-06,1.053252e-05,1.095502e-05,2.631739e-05,3.264300e-05,5.427825e-05,7.955160e-05,1.008417e-04,1.659585e-04,1.728033e-04,2.761899e-04,3.061701e-04,4.150029e-04,5.090147e-04,5.912180e-04,7.776809e-04,8.053775e-04,1.057097e-03,1.111868e-03,1.345362e-03,1.509224e-03,1.668682e-03,1.965992e-03,2.025171e-03,2.412598e-03,2.477292e-03,2.828434e-03,3.037318e-03,3.269897e-03,3.639519e-03,3.734004e-03,4.217631e-03,4.276826e-03,4.717576e-03,4.941890e-03,5.230617e-03,5.627324e-03,5.753568e-03,6.283333e-03,6.325919e-03,6.816945e-03,7.030834e-03,7.351603e-03,7.735731e-03,7.884697e-03,8.413831e-03,8.434882e-03,8.936828e-03,9.123223e-03,9.451741e-03,9.796376e-03,9.956848e-03,1.045065e-02,1.093187e-02,1.108302e-02,1.139941e-02,1.169105e-02,1.185240e-02,1.227290e-02,1.229011e-02,1.271200e-02,1.282723e-02,1.311765e-02,1.335313e-02,1.350679e-02,1.385010e-02,1.387928e-02,1.423506e-02,1.431797e-02,1.457418e-02,1.475685e-02,1.489675e-02,1.516709e-02,1.520299e-02,1.549312e-02,1.554925e-02,1.576747e-02,1.590401e-02,1.602638e-02,1.623220e-02,1.627022e-02,1.649940e-02,1.653474e-02,1.671435e-02,1.681261e-02,1.691553e-02,1.706685e-02,1.710338e-02,1.727837e-02,1.729852e-02,1.744097e-02,1.750871e-02,1.759165e-02,1.769849e-02,1.773088e-02,1.785914e-02,1.786894e-02,1.797687e-02,1.802112e-02,1.808454e-02,1.815607e-02,1.818258e-02,1.827143e-02,1.827480e-02,1.835152e-02,1.837829e-02,1.842326e-02,1.846748e-02,1.848706e-02,1.854330e-02,1.859235e-02,1.860659e-02,1.863459e-02,1.865821e-02,1.867037e-02,1.869895e-02,1.870002e-02,1.872388e-02,1.872956e-02,1.874225e-02,1.875077e-02,1.875544e-02,1.876325e-02,1.876374e-02,1.876742e-02,1.876765e-02,1.876676e-02,1.876458e-02,1.876200e-02,1.875462e-02,1.875339e-02,1.874117e-02,1.873831e-02,1.872555e-02,1.871616e-02,1.870676e-02,1.868866e-02,1.868499e-02,1.866043e-02,1.865625e-02,1.863327e-02,1.861937e-02,1.860369e-02,1.857840e-02,1.857186e-02,1.853792e-02,1.853372e-02,1.850205e-02,1.848568e-02,1.846437e-02,1.843461e-02,1.842502e-02,1.838415e-02,1.838081e-02,1.834186e-02,1.832457e-02,1.829828e-02,1.826616e-02,1.825351e-02,1.820768e-02,1.820582e-02,1.816086e-02,1.814379e-02,1.811316e-02,1.808027e-02,1.806467e-02,1.801548e-02,1.794960e-02,1.788279e-02,1.781523e-02,1.774706e-02,1.767842e-02,1.760944e-02,1.754023e-02,1.747090e-02,1.740156e-02,1.733230e-02,1.726320e-02,1.719434e-02,1.712579e-02,1.705762e-02,1.698989e-02,1.692265e-02,1.685595e-02,1.678984e-02,1.672435e-02,1.665953e-02,1.659540e-02,1.653200e-02,1.646935e-02,1.640748e-02
0.000000e+00,2.552003e-09,6.009046e-09,2.130525e-08,4.920246e-08,7.220447e-08,1.656805e-07,1.707328e-07,3.328611e-07,3.919794e-07,5.759815e-07,7.685208e-07,9.187789e-07,1.336466e-06,1.377710e-06,1.960607e-06,2.118860e-06,2.665442e-06,3.111096e-06,3.485957e-06,4.298799e-06,4.416010e-06,5.450369e-06,5.669330e-06,6.584153e-06,7.211327e-06,7.812212e-06,8.912418e-06,9.128746e-06,1.052713e-05,1.075798e-05,1.199989e-05,1.273084e-05,1.353880e-05,1.481163e-05,1.513502e-05,1.677925e-05,1.697934e-05,1.846197e-05,1.921208e-05,2.017359e-05,2.148792e-05,2.190466e-05,2.364603e-05,2.378552e-05,2.538900e-05,2.608478e-05,2.712539e-05,2.836727e-05,2.884768e-05,3.054901e-05,3.061653e-05,3.222325e-05,3.281829e-05,3.386502e-05,3.496047e-05,3.546965e-05,3.703317e-05,3.855228e-05,3.902856e-05,4.002431e-05,4.094071e-05,4.144716e-05,4.276537e-05,4.281926e-05,4.413952e-05,4.449979e-05,4.540725e-05,4.614254e-05,4.662216e-05,4.769325e-05,4.778428e-05,4.889390e-05,4.915245e-05,4.995156e-05,5.052144e-05,5.095803e-05,5.180207e-05,5.191419e-05,5.282112e-05,5.299669e-05,5.367996e-05,5.410797e-05,5.449198e-05,5.513884e-05,5.525848e-05,5.598084e-05,5.609242e-05,5.666047e-05,5.697192e-05,5.729877e-05,5.778061e-05,5.789717e-05,5.845710e-05,5.852178e-05,5.897998e-05,5.919868e-05,5.946722e-05,5.981454e-05,5.992020e-05,6.034028e-05,6.037251e-05,6.072880e-05,6.087566e-05,6.108705e-05,6.132696e-05,6.141630e-05,6.171780e-05,6.172930e-05,6.199273e-05,6.208543e-05,6.224227e-05,6.239802e-05,6.246753e-05,6.266962e-05,6.284957e-05,6.290265e-05,6.300842e-05,6.309945e-05,6.314713e-05,6.326223e-05,6.326665e-05,6.336791e-05,6.339310e-05,6.345176e-05,6.349407e-05,6.351906e-05,6.356705e-05,6.357061e-05,6.360721e-05,6.361385e-05,6.362958e-05,6.363618e-05,6.363847e-05,6.363567e-05,6.363455e-05,6.361848e-05,6.361387e-05,6.359091e-05,6.357223e-05,6.355245e-05,6.351214e-05,6.350367e-05,6.344514e-05,6.343491e-05,6.337739e-05,6.334175e-05,6.330095e-05,6.323385e-05,6.321629e-05,6.312389e-05,6.311231e-05,6.302421e-05,6.297815e-05,6.291767e-05,6.283237e-05,6.280469e-05,6.268566e-05,6.267589e-05,6.256096e-05,6.250957e-05,6.243095e-05,6.233425e-05,6.229597e-05,6.215636e-05,6.215069e-05,6.201243e-05,6.195962e-05,6.186448e-05,6.176172e-05,6.171279e-05,6.155765e-05,6.134801e-05,6.113336e-05,6.091425e-05,6.069117e-05,6.046460e-05,6.023497e-05,6.000272e-05,5.976821e-05,5.953182e-05,5.929389e-05,5.905474e-05,5.881465e-05,5.857393e-05,5.833281e-05,5.809155e-05,5.785037e-05,5.760947e-05,5.736907e-05,5.712933e-05,5.689042e-05,5.665251e-05,5.641573e-05,5.618022e-05,5.594611e-05
0.000000e+00,1.908619e-09,4.735446e-09,1.775767e-08,4.201760e-08,6.216733e-08,1.444581e-07,1.489153e-07,2.922339e-07,3.446175e-07,5.080981e-07,6.799951e-07,8.148720e-07,1.194114e-06,1.231953e-06,1.774303e-06,1.923685e-06,2.443811e-06,2.869367e-06,3.225931e-06,3.988460e-06,4.096842e-06,5.032964e-06,5.226247e-06,6.015209e-06,6.539216e-06,7.028978e-06,7.896475e-06,8.062834e-06,9.107288e-06,9.274816e-06,1.015402e-05,1.065500e-05,1.119543e-05,1.201999e-05,1.222449e-05,1.323467e-05,1.335434e-05,1.422001e-05,1.464429e-05,1.517516e-05,1.587796e-05,1.609541e-05,1.697681e-05,1.704555e-05,1.781617e-05,1.813955e-05,1.861094e-05,1.915454e-05,1.935935e-05,2.006029e-05,2.008733e-05,2.071326e-05,2.093659e-05,2.131833e-05,2.170267e-05,2.187604e-05,2.238733e-05,2.285351e-05,2.299340e-05,2.327613e-05,2.352456e-05,2.365697e-05,2.398504e-05,2.399794e-05,2.430107e-05,2.437944e-05,2.456842e-05,2.471253e-05,2.480210e-05,2.498913e-05,2.500418e-05,2.517672e-05,2.521396e-05,2.532173e-05,2.539163e-05,2.544114e-05,2.552651e-05,2.553680e-05,2.561048e-05,2.562273e-05,2.566388e-05,2.568416e-05,2.569857e-05,2.571436e-05,2.571607e-05,2.571777e-05,2.571666e-05,2.570499e-05,2.569407e-05,2.567896e-05,2.564936e-05,2.564082e-05,2.559164e-05,2.558505e-05,2.553241e-05,2.550341e-05,2.546405e-05,2.540650e-05,2.538739e-05,2.530324e-05,2.529620e-05,2.521230e-05,2.517418e-05,2.511526e-05,2.504196e-05,2.501273e-05,2.490528e-05,2.490089e-05,2.479344e-05,2.475220e-05,2.467770e-05,2.459698e-05,2.455849e-05,2.443623e-05,2.431130e-05,2.427082e-05,2.418405e-05,2.410154e-05,2.405479e-05,2.392910e-05,2.392383e-05,2.379143e-05,2.375413e-05,2.365784e-05,2.357722e-05,2.352330e-05,2.339885e-05,2.338800e-05,2.325215e-05,2.321949e-05,2.311593e-05,2.303953e-05,2.297948e-05,2.285936e-05,2.284298e-05,2.270654e-05,2.267927e-05,2.257030e-05,2.249957e-05,2.243437e-05,2.232050e-05,2.229885e-05,2.216385e-05,2.214230e-05,2.202944e-05,2.196517e-05,2.189572e-05,2.178928e-05,2.176274e-05,2.163059e-05,2.161479e-05,2.149931e-05,2.144184e-05,2.136896e-05,2.127055e-05,2.123959e-05,2.111125e-05,2.110102e-05,2.098396e-05,2.093336e-05,2.085778e-05,2.076763e-05,2.073273e-05,2.060884e-05,2.060391e-05,2.048613e-05,2.044225e-05,2.036462e-05,2.028270e-05,2.024434e-05,2.012530e-05,1.997009e-05,1.981709e-05,1.966632e-05,1.951780e-05,1.937153e-05,1.922752e-05,1.908577e-05,1.894628e-05,1.880904e-05,1.867404e-05,1.854127e-05,1.841072e-05,1.828236e-05,1.815619e-05,1.803218e-05,1.791031e-05,1.779055e-05,1.767289e-05,1.755730e-05,1.744375e-05,1.733222e-05,1.722268e-05,1.711509e-05,1.700944e-05
0.000000e+00,5.025881e-09,1.159783e-08,4.027330e-08,9.216393e-08,1.348186e-07,3.077015e-07,3.170325e-07,6.159459e-07,7.247166e-07,1.062615e-06,1.415511e-06,1.690875e-06,2.459772e-06,2.536191e-06,3.630392e-06,3.932476e-06,4.991399e-06,5.869252e-06,6.614383e-06,8.239835e-06,8.474488e-06,1.053867e-05,1.097312e-05,1.277497e-05,1.399645e-05,1.515548e-05,1.724872e-05,1.765594e-05,2.025468e-05,2.067825e-05,2.293179e-05,2.423914e-05,2.566870e-05,2.788961e-05,2.844809e-05,3.125387e-05,3.159162e-05,3.407126e-05,3.531108e-05,3.688687e-05,3.901813e-05,3.968874e-05,4.246637e-05,4.268725e-05,4.521062e-05,4.629720e-05,4.791375e-05,4.983080e-05,5.056917e-05,5.317147e-05,5.327439e-05,5.571625e-05,5.661758e-05,5.820000e-05,5.985267e-05,6.062000e-05,6.297426e-05,6.526137e-05,6.597890e-05,6.748041e-05,6.886465e-05,6.963093e-05,7.163085e-05,7.171280e-05,7.372627e-05,7.427784e-05,7.567180e-05,7.680678e-05,7.755006e-05,7.921937e-05,7.936190e-05,8.110828e-05,8.151779e-05,8.279029e-05,8.370455e-05,8.440913e-05,8.578244e-05,8.596605e-05,8.746234e-05,8.775445e-05,8.889937e-05,8.962365e-05,9.027849e-05,9.139323e-05,9.160111e-05,9.286866e-05,9.306645e-05,9.408255e-05,9.464657e-05,9.524420e-05,9.613685e-05,9.635502e-05,9.741643e-05,9.754054e-05,9.842982e-05,9.886086e-05,9.939658e-05,1.001010e-04,1.003181e-04,1.011956e-04,1.012640e-04,1.020306e-04,1.023530e-04,1.028243e-04,1.033709e-04,1.035780e-04,1.042929e-04,1.043207e-04,1.049703e-04,1.052052e-04,1.056114e-04,1.060272e-04,1.062174e-04,1.067894e-04,1.073285e-04,1.074943e-04,1.078360e-04,1.081446e-04,1.083127e-04,1.087426e-04,1.087599e-04,1.091785e-04,1.092907e-04,1.095695e-04,1.097912e-04,1.099339e-04,1.102464e-04,1.102726e-04,1.105866e-04,1.106584e-04,1.108768e-04,1.110292e-04,1.111440e-04,1.113608e-04,1.113891e-04,1.116129e-04,1.116552e-04,1.118162e-04,1.119141e-04,1.119998e-04,1.121394e-04,1.121645e-04,1.123110e-04,1.123327e-04,1.124399e-04,1.124958e-04,1.125521e-04,1.126301e-04,1.126481e-04,1.127286e-04,1.127372e-04,1.127942e-04,1.128186e-04,1.128457e-04,1.128756e-04,1.128834e-04,1.129081e-04,1.129095e-04,1.129203e-04,1.129217e-04,1.129204e-04,1.129134e-04,1.129092e-04,1.128869e-04,1.128858e-04,1.128542e-04,1.128399e-04,1.128114e-04,1.127769e-04,1.127592e-04,1.126978e-04,1.126036e-04,1.124951e-04,1.123734e-04,1.122393e-04,1.120936e-04,1.119371e-04,1.117705e-04,1.115946e-04,1.114100e-04,1.112174e-04,1.110174e-04,1.108106e-04,1.105975e-04,1.103787e-04,1.101548e-04,1.099261e-04,1.096931e-04,1.094563e-04,1.092161e-04,1.089728e-04,1.087270e-04,1.084788e-04,1.082286e-04,1.079768e-04
0.000000e+00,1.047393e-09,2.744493e-09,1.108687e-08,2.735658e-08,4.115170e-08,9.835761e-08,1.014709e-07,2.013689e-07,2.376148e-07,3.494006e-07,4.646354e-07,5.534668e-07,7.969872e-07,8.208719e-07,1.158272e-06,1.250328e-06,1.571422e-06,1.837557e-06,2.064608e-06,2.566395e-06,2.639721e-06,3.295308e-06,3.435693e-06,4.026282e-06,4.433622e-06,4.824711e-06,5.540676e-06,5.681220e-06,6.586156e-06,6.734810e-06,7.530197e-06,7.994622e-06,8.504543e-06,9.300264e-06,9.500923e-06,1.051157e-05,1.063346e-05,1.152922e-05,1.197744e-05,1.254710e-05,1.331699e-05,1.355898e-05,1.455922e-05,1.463858e-05,1.554276e-05,1.593048e-05,1.650514e-05,1.718278e-05,1.744253e-05,1.835169e-05,1.838743e-05,1.922995e-05,1.953814e-05,2.007520e-05,2.063026e-05,2.088580e-05,2.166060e-05,2.239885e-05,2.262730e-05,2.310016e-05,2.352956e-05,2.376445e-05,2.436752e-05,2.439192e-05,2.498298e-05,2.514204e-05,2.553825e-05,2.585455e-05,2.605851e-05,2.650699e-05,2.654465e-05,2.699768e-05,2.710160e-05,2.741867e-05,2.764085e-05,2.780875e-05,2.812738e-05,2.816909e-05,2.850089e-05,2.856393e-05,2.880534e-05,2.895325e-05,2.908365e-05,2.929810e-05,2.933700e-05,2.956659e-05,2.960119e-05,2.977355e-05,2.986520e-05,2.995903e-05,3.009268e-05,3.012412e-05,3.026989e-05,3.028614e-05,3.039737e-05,3.044792e-05,3.050754e-05,3.058029e-05,3.060137e-05,3.067976e-05,3.068540e-05,3.074361e-05,3.076527e-05,3.079376e-05,3.082185e-05,3.083103e-05,3.085617e-05,3.085694e-05,3.086994e-05,3.087225e-05,3.087304e-05,3.086939e-05,3.086613e-05,3.084987e-05,3.082486e-05,3.081511e-05,3.079169e-05,3.076642e-05,3.075089e-05,3.070505e-05,3.070300e-05,3.064852e-05,3.063214e-05,3.058791e-05,3.054879e-05,3.052162e-05,3.045599e-05,3.045009e-05,3.037370e-05,3.035469e-05,3.029285e-05,3.024575e-05,3.020789e-05,3.012999e-05,3.011916e-05,3.002699e-05,3.000816e-05,2.993167e-05,2.988097e-05,2.983351e-05,2.974905e-05,2.973277e-05,2.962970e-05,2.961301e-05,2.952455e-05,2.947341e-05,2.941755e-05,2.933077e-05,2.930892e-05,2.919885e-05,2.918555e-05,2.908754e-05,2.903821e-05,2.897516e-05,2.888914e-05,2.886188e-05,2.874787e-05,2.873872e-05,2.863327e-05,2.858730e-05,2.851822e-05,2.843518e-05,2.840285e-05,2.828728e-05,2.828266e-05,2.817164e-05,2.813001e-05,2.805602e-05,2.797746e-05,2.794052e-05,2.782524e-05,2.767356e-05,2.752259e-05,2.737250e-05,2.722345e-05,2.707558e-05,2.692900e-05,2.678382e-05,2.664015e-05,2.649807e-05,2.635767e-05,2.621901e-05,2.608214e-05,2.594713e-05,2.581402e-05,2.568285e-05,2.555364e-05,2.542642e-05,2.530122e-05,2.517805e-05,2.505691e-05,2.493783e-05,2.482080e-05,2.470581e-05,2.459288e-05
0.000000e+00,3.373653e-10,9.878062e-10,4.827982e-09,1.368315e-08,2.197261e-08,6.055738e-08,6.279584e-08,1.395419e-07,1.692219e-07,2.652107e-07,3.697462e-07,4.534222e-07,6.934590e-07,7.176846e-07,1.068728e-06,1.166514e-06,1.510534e-06,1.796335e-06,2.039007e-06,2.568133e-06,2.644461e-06,3.314822e-06,3.455579e-06,4.037605e-06,4.430138e-06,4.800746e-06,5.464613e-06,5.592846e-06,6.403204e-06,6.533877e-06,7.221826e-06,7.614958e-06,8.039476e-06,8.687210e-06,8.847737e-06,9.639097e-06,9.732604e-06,1.040703e-05,1.073604e-05,1.114603e-05,1.168556e-05,1.185167e-05,1.252052e-05,1.257236e-05,1.315016e-05,1.339067e-05,1.373909e-05,1.413751e-05,1.428664e-05,1.479283e-05,1.481222e-05,1.525830e-05,1.541610e-05,1.568415e-05,1.595187e-05,1.607190e-05,1.642332e-05,1.674038e-05,1.683493e-05,1.702521e-05,1.719158e-05,1.727996e-05,1.749820e-05,1.750676e-05,1.770774e-05,1.775967e-05,1.788495e-05,1.798070e-05,1.804038e-05,1.816573e-05,1.817588e-05,1.829324e-05,1.831888e-05,1.839407e-05,1.844389e-05,1.847990e-05,1.854413e-05,1.855212e-05,1.861202e-05,1.862263e-05,1.866078e-05,1.868209e-05,1.869948e-05,1.872492e-05,1.872908e-05,1.875048e-05,1.875320e-05,1.876447e-05,1.876877e-05,1.877178e-05,1.877326e-05,1.877307e-05,1.876892e-05,1.876809e-05,1.875989e-05,1.875449e-05,1.874645e-05,1.873356e-05,1.872904e-05,1.870807e-05,1.870625e-05,1.868388e-05,1.867338e-05,1.865681e-05,1.863570e-05,1.862715e-05,1.859517e-05,1.859385e-05,1.856112e-05,1.854839e-05,1.852520e-05,1.849982e-05,1.848763e-05,1.844859e-05,1.840825e-05,1.839509e-05,1.836675e-05,1.833966e-05,1.832425e-05,1.828261e-05,1.828086e-05,1.823671e-05,1.822422e-05,1.819190e-05,1.816475e-05,1.814654e-05,1.810439e-05,1.810071e-05,1.805450e-05,1.804336e-05,1.800798e-05,1.798182e-05,1.796123e-05,1.791994e-05,1.791430e-05,1.786727e-05,1.785786e-05,1.782019e-05,1.779570e-05,1.777310e-05,1.773358e-05,1.772606e-05,1.767911e-05,1.767160e-05,1.763228e-05,1.760986e-05,1.758562e-05,1.754843e-05,1.753916e-05,1.749293e-05,1.748740e-05,1.744695e-05,1.742682e-05,1.740127e-05,1.736675e-05,1.735589e-05,1.731085e-05,1.730726e-05,1.726615e-05,1.724838e-05,1.722183e-05,1.719016e-05,1.717789e-05,1.713436e-05,1.713263e-05,1.709125e-05,1.707583e-05,1.704856e-05,1.701979e-05,1.700632e-05,1.696453e-05,1.691007e-05,1.685642e-05,1.680362e-05,1.675166e-05,1.670056e-05,1.665032e-05,1.660095e-05,1.655246e-05,1.650485e-05,1.645812e-05,1.641226e-05,1.636728e-05,1.632318e-05,1.627994e-05,1.623757e-05,1.619605e-05,1.615539e-05,1.611557e-05,1.607659e-05,1.603844e-05,1.600110e-05,1.596457e-05,1.592884e-05,1.589390e-05
0.000000e+00,1.728792e-09,4.332165e-09,1.647664e-08,3.931193e-08,5.835020e-08,1.361501e-07,1.403568e-07,2.748271e-07,3.235338e-07,4.739208e-07,6.294971e-07,7.498857e-07,1.081673e-06,1.114311e-06,1.575316e-06,1.700622e-06,2.134057e-06,2.487754e-06,2.785032e-06,3.427560e-06,3.519885e-06,4.330105e-06,4.500474e-06,5.207581e-06,5.687806e-06,6.144345e-06,6.971116e-06,7.132283e-06,8.163024e-06,8.331342e-06,9.227976e-06,9.748752e-06,1.031845e-05,1.120341e-05,1.142583e-05,1.254175e-05,1.267585e-05,1.365827e-05,1.414779e-05,1.476798e-05,1.560265e-05,1.586416e-05,1.694081e-05,1.702594e-05,1.799269e-05,1.840549e-05,1.901537e-05,1.973150e-05,2.000514e-05,2.095900e-05,2.099638e-05,2.187466e-05,2.219460e-05,2.275042e-05,2.332254e-05,2.358513e-05,2.437813e-05,2.512919e-05,2.536068e-05,2.583842e-05,2.627057e-05,2.650626e-05,2.710906e-05,2.713337e-05,2.772065e-05,2.787808e-05,2.826913e-05,2.858008e-05,2.877998e-05,2.921783e-05,2.925448e-05,2.969395e-05,2.979436e-05,3.009976e-05,3.031284e-05,3.047333e-05,3.077651e-05,3.081605e-05,3.112936e-05,3.118861e-05,3.141463e-05,3.155236e-05,3.167326e-05,3.187088e-05,3.190657e-05,3.211587e-05,3.214721e-05,3.230242e-05,3.238425e-05,3.246746e-05,3.258479e-05,3.261216e-05,3.273767e-05,3.275149e-05,3.284507e-05,3.288686e-05,3.293541e-05,3.299329e-05,3.300970e-05,3.306890e-05,3.307301e-05,3.311391e-05,3.312814e-05,3.314562e-05,3.316067e-05,3.316485e-05,3.317239e-05,3.317246e-05,3.316901e-05,3.316525e-05,3.315541e-05,3.314067e-05,3.313227e-05,3.310025e-05,3.305994e-05,3.304539e-05,3.301193e-05,3.297742e-05,3.295678e-05,3.289758e-05,3.289499e-05,3.282706e-05,3.280701e-05,3.275347e-05,3.270677e-05,3.267464e-05,3.259786e-05,3.259100e-05,3.250294e-05,3.248119e-05,3.241083e-05,3.235761e-05,3.231502e-05,3.222791e-05,3.221584e-05,3.211360e-05,3.209281e-05,3.200860e-05,3.195301e-05,3.190112e-05,3.180911e-05,3.179142e-05,3.167973e-05,3.166169e-05,3.156630e-05,3.151129e-05,3.145133e-05,3.135840e-05,3.133504e-05,3.121762e-05,3.120346e-05,3.109924e-05,3.104689e-05,3.098007e-05,3.088908e-05,3.086028e-05,3.074000e-05,3.073036e-05,3.061939e-05,3.057107e-05,3.049856e-05,3.041150e-05,3.037764e-05,3.025675e-05,3.025191e-05,3.013598e-05,3.009255e-05,3.001544e-05,2.993365e-05,2.989522e-05,2.977540e-05,2.961799e-05,2.946158e-05,2.930633e-05,2.915238e-05,2.899984e-05,2.884882e-05,2.869942e-05,2.855173e-05,2.840582e-05,2.826175e-05,2.811960e-05,2.797940e-05,2.784119e-05,2.770502e-05,2.757092e-05,2.743890e-05,2.730898e-05,2.718118e-05,2.705551e-05,2.693197e-05,2.681057e-05,2.669130e-05,2.657416e-05,2.645913e-05
0.000000e+00,1.653678e-09,4.925458e-09,2.494295e-08,7.301603e-08,1.193514e-07,3.443723e-07,3.577679e-07,8.319255e-07,1.021349e-06,1.650658e-06,2.358498e-06,2.938141e-06,4.648553e-06,4.824365e-06,7.423844e-06,8.163731e-06,1.081897e-05,1.308772e-05,1.506034e-05,1.951412e-05,2.017428e-05,2.616876e-05,2.747293e-05,3.303643e-05,3.694620e-05,4.075610e-05,4.787439e-05,4.929357e-05,5.860258e-05,6.015994e-05,6.862583e-05,7.367137e-05,7.929644e-05,8.824906e-05,9.053973e-05,1.022751e-04,1.037125e-04,1.144183e-04,1.198683e-04,1.268831e-04,1.365184e-04,1.395834e-04,1.524354e-04,1.534677e-04,1.653584e-04,1.705302e-04,1.782764e-04,1.875346e-04,1.911192e-04,2.038229e-04,2.043273e-04,2.163303e-04,2.207750e-04,2.285911e-04,2.367652e-04,2.405620e-04,2.522065e-04,2.634944e-04,2.670272e-04,2.744019e-04,2.811743e-04,2.849105e-04,2.946112e-04,2.950070e-04,3.046828e-04,3.073160e-04,3.139334e-04,3.192791e-04,3.227578e-04,3.305017e-04,3.311582e-04,3.391394e-04,3.409932e-04,3.467084e-04,3.507703e-04,3.538741e-04,3.598546e-04,3.606469e-04,3.670384e-04,3.682720e-04,3.730608e-04,3.760510e-04,3.787274e-04,3.832223e-04,3.840517e-04,3.890474e-04,3.898171e-04,3.937284e-04,3.958676e-04,3.981087e-04,4.014056e-04,4.022020e-04,4.060219e-04,4.064625e-04,4.095816e-04,4.110688e-04,4.128941e-04,4.152540e-04,4.159720e-04,4.188273e-04,4.190465e-04,4.214719e-04,4.224733e-04,4.239170e-04,4.255599e-04,4.261733e-04,4.282512e-04,4.283308e-04,4.301606e-04,4.308086e-04,4.319110e-04,4.330149e-04,4.335112e-04,4.349699e-04,4.362952e-04,4.366923e-04,4.374947e-04,4.381998e-04,4.385758e-04,4.395087e-04,4.395455e-04,4.404102e-04,4.406344e-04,4.411762e-04,4.415909e-04,4.418494e-04,4.423916e-04,4.424354e-04,4.429395e-04,4.430488e-04,4.433665e-04,4.435738e-04,4.437212e-04,4.439771e-04,4.440081e-04,4.442314e-04,4.442688e-04,4.443950e-04,4.444577e-04,4.445027e-04,4.445525e-04,4.445580e-04,4.445642e-04,4.445609e-04,4.445246e-04,4.444902e-04,4.444421e-04,4.443471e-04,4.443195e-04,4.441594e-04,4.441378e-04,4.439645e-04,4.438682e-04,4.437370e-04,4.435437e-04,4.434791e-04,4.431931e-04,4.431690e-04,4.428808e-04,4.427490e-04,4.425442e-04,4.422878e-04,4.421851e-04,4.418051e-04,4.417894e-04,4.414058e-04,4.412576e-04,4.409886e-04,4.406956e-04,4.405552e-04,4.401066e-04,4.394937e-04,4.388594e-04,4.382062e-04,4.375366e-04,4.368526e-04,4.361563e-04,4.354494e-04,4.347338e-04,4.340109e-04,4.332823e-04,4.325492e-04,4.318130e-04,4.310748e-04,4.303356e-04,4.295964e-04,4.288582e-04,4.281217e-04,4.273878e-04,4.266570e-04,4.259302e-04,4.252077e-04,4.244903e-04,4.237783e-04,4.230723e-04
0.000000e+00,4.192958e-09,9.581284e-09,3.287813e-08,7.476178e-08,1.090981e-07,2.481661e-07,2.556790e-07,4.972191e-07,5.856068e-07,8.619440e-07,1.153006e-06,1.381305e-06,2.019538e-06,2.082739e-06,2.976259e-06,3.218377e-06,4.050987e-06,4.724554e-06,5.286963e-06,6.493008e-06,6.665410e-06,8.171037e-06,8.486260e-06,9.790880e-06,1.067432e-05,1.151287e-05,1.302946e-05,1.332493e-05,1.521451e-05,1.552317e-05,1.716855e-05,1.812543e-05,1.917354e-05,2.080500e-05,2.121576e-05,2.328156e-05,2.353040e-05,2.535764e-05,2.627108e-05,2.743131e-05,2.899834e-05,2.949068e-05,3.152488e-05,3.168622e-05,3.352411e-05,3.431204e-05,3.547976e-05,3.685664e-05,3.738442e-05,3.923180e-05,3.930443e-05,4.101678e-05,4.164328e-05,4.273533e-05,4.386442e-05,4.438442e-05,4.596187e-05,4.746635e-05,4.793224e-05,4.889719e-05,4.977424e-05,5.025434e-05,5.148831e-05,5.153827e-05,5.274986e-05,5.307631e-05,5.389039e-05,5.454123e-05,5.496140e-05,5.588686e-05,5.596468e-05,5.690219e-05,5.711764e-05,5.777605e-05,5.823842e-05,5.858845e-05,5.925432e-05,5.934165e-05,6.003796e-05,6.017060e-05,6.067969e-05,6.099258e-05,6.126914e-05,6.172556e-05,6.180860e-05,6.230032e-05,6.237472e-05,6.274651e-05,6.294514e-05,6.314931e-05,6.344173e-05,6.351083e-05,6.383309e-05,6.386922e-05,6.411807e-05,6.423214e-05,6.436766e-05,6.453480e-05,6.458369e-05,6.476792e-05,6.478134e-05,6.492206e-05,6.497565e-05,6.504771e-05,6.512143e-05,6.514645e-05,6.521976e-05,6.522219e-05,6.526907e-05,6.528121e-05,6.529574e-05,6.530161e-05,6.530108e-05,6.528633e-05,6.525267e-05,6.523810e-05,6.520125e-05,6.515952e-05,6.513314e-05,6.505300e-05,6.504937e-05,6.495091e-05,6.492084e-05,6.483870e-05,6.476515e-05,6.471363e-05,6.458793e-05,6.457654e-05,6.442824e-05,6.439106e-05,6.426947e-05,6.417627e-05,6.410098e-05,6.394520e-05,6.392344e-05,6.373752e-05,6.369938e-05,6.354382e-05,6.344023e-05,6.334294e-05,6.316907e-05,6.313545e-05,6.292185e-05,6.288715e-05,6.270267e-05,6.259562e-05,6.247837e-05,6.229555e-05,6.224940e-05,6.201620e-05,6.198795e-05,6.177916e-05,6.167374e-05,6.153866e-05,6.135380e-05,6.129508e-05,6.104874e-05,6.102893e-05,6.079998e-05,6.069987e-05,6.054910e-05,6.036731e-05,6.029638e-05,6.004211e-05,6.003191e-05,5.978652e-05,5.969424e-05,5.952988e-05,5.935487e-05,5.927241e-05,5.901431e-05,5.867302e-05,5.833144e-05,5.798997e-05,5.764898e-05,5.730880e-05,5.696976e-05,5.663213e-05,5.629617e-05,5.596213e-05,5.563023e-05,5.530065e-05,5.497359e-05,5.464920e-05,5.432764e-05,5.400903e-05,5.369349e-05,5.338113e-05,5.307204e-05,5.276630e-05,5.246400e-05,5.216518e-05,5.186990e-05,5.157822e-05,5.129016e-05
0.000000e+00,6.738987e-10,1.975903e-09,9.683772e-09,2.750418e-08,4.420910e-08,1.220147e-07,1.265271e-07,2.809251e-07,3.404361e-07,5.320463e-07,7.392474e-07,9.040976e-07,1.373274e-06,1.420416e-06,2.102805e-06,2.293464e-06,2.969901e-06,3.541134e-06,4.034073e-06,5.135829e-06,5.297821e-06,6.752114e-06,7.064307e-06,8.378008e-06,9.283043e-06,1.015022e-05,1.173137e-05,1.204058e-05,1.402047e-05,1.434368e-05,1.606212e-05,1.705631e-05,1.813940e-05,1.981053e-05,2.022809e-05,2.230610e-05,2.255378e-05,2.435360e-05,2.524024e-05,2.635306e-05,2.783112e-05,2.828934e-05,3.014965e-05,3.029487e-05,3.192359e-05,3.260708e-05,3.360300e-05,3.475019e-05,3.518187e-05,3.665619e-05,3.671295e-05,3.802373e-05,3.848974e-05,3.928385e-05,4.007970e-05,4.043729e-05,4.148595e-05,4.243267e-05,4.271467e-05,4.328108e-05,4.377437e-05,4.403535e-05,4.467519e-05,4.470012e-05,4.528027e-05,4.542824e-05,4.578088e-05,4.604518e-05,4.620705e-05,4.653778e-05,4.656390e-05,4.685644e-05,4.691763e-05,4.708956e-05,4.719592e-05,4.726797e-05,4.738328e-05,4.739615e-05,4.747839e-05,4.748968e-05,4.751872e-05,4.752440e-05,4.752094e-05,4.749596e-05,4.748861e-05,4.742502e-05,4.741216e-05,4.733326e-05,4.728006e-05,4.721619e-05,4.710608e-05,4.707643e-05,4.691642e-05,4.689597e-05,4.673841e-05,4.665491e-05,4.654444e-05,4.638751e-05,4.633640e-05,4.611602e-05,4.609790e-05,4.588487e-05,4.578973e-05,4.564441e-05,4.546625e-05,4.539594e-05,4.514067e-05,4.513034e-05,4.487969e-05,4.478453e-05,4.461398e-05,4.443107e-05,4.434446e-05,4.407193e-05,4.379714e-05,4.370885e-05,4.352077e-05,4.334333e-05,4.324341e-05,4.297672e-05,4.296561e-05,4.268787e-05,4.261018e-05,4.241064e-05,4.224470e-05,4.213430e-05,4.188118e-05,4.185923e-05,4.158573e-05,4.152036e-05,4.131410e-05,4.116290e-05,4.104460e-05,4.080937e-05,4.077744e-05,4.051283e-05,4.046024e-05,4.025095e-05,4.011591e-05,3.999195e-05,3.977672e-05,3.973597e-05,3.948312e-05,3.944296e-05,3.923350e-05,3.911486e-05,3.898720e-05,3.879260e-05,3.874429e-05,3.850483e-05,3.847633e-05,3.826887e-05,3.816616e-05,3.803644e-05,3.786218e-05,3.780758e-05,3.758230e-05,3.756444e-05,3.736063e-05,3.727296e-05,3.714255e-05,3.698777e-05,3.692808e-05,3.671721e-05,3.670885e-05,3.650992e-05,3.643617e-05,3.630620e-05,3.616971e-05,3.610604e-05,3.590940e-05,3.565519e-05,3.540700e-05,3.516477e-05,3.492840e-05,3.469781e-05,3.447290e-05,3.425358e-05,3.403974e-05,3.383129e-05,3.362810e-05,3.343009e-05,3.323713e-05,3.304913e-05,3.286598e-05,3.268755e-05,3.251376e-05,3.234449e-05,3.217963e-05,3.201908e-05,3.186274e-05,3.171050e-05,3.156226e-05,3.141791e-05,3.127737e-05
0.000000e+00,5.079324e-07,1.519326e-06,7.762906e-06,2.291256e-05,3.762446e-05,1.098713e-04,1.142015e-04,2.688152e-04,3.311371e-04,5.398129e-04,7.769566e-04,9.728246e-04,1.559159e-03,1.620134e-03,2.536638e-03,2.802375e-03,3.771655e-03,4.616541e-03,5.361470e-03,7.071325e-03,7.327506e-03,9.678614e-03,1.019512e-02,1.241407e-02,1.398597e-02,1.552582e-02,1.842044e-02,1.899992e-02,2.281753e-02,2.345873e-02,2.695554e-02,2.904788e-02,3.138729e-02,3.512433e-02,3.608311e-02,4.101105e-02,4.161641e-02,4.613745e-02,4.844704e-02,5.142771e-02,5.553639e-02,5.684688e-02,6.236032e-02,6.280444e-02,6.793422e-02,7.017339e-02,7.353613e-02,7.756951e-02,7.913530e-02,8.470303e-02,8.492470e-02,9.021286e-02,9.217753e-02,9.564079e-02,9.927391e-02,1.009653e-01,1.061674e-01,1.112306e-01,1.128191e-01,1.161406e-01,1.191972e-01,1.208858e-01,1.252770e-01,1.254563e-01,1.298447e-01,1.310400e-01,1.340451e-01,1.364734e-01,1.380535e-01,1.415695e-01,1.418674e-01,1.454857e-01,1.463250e-01,1.489085e-01,1.507402e-01,1.521369e-01,1.548188e-01,1.551731e-01,1.580200e-01,1.585670e-01,1.606812e-01,1.619931e-01,1.631610e-01,1.651072e-01,1.654640e-01,1.675953e-01,1.679207e-01,1.695602e-01,1.704459e-01,1.713644e-01,1.726960e-01,1.730137e-01,1.745139e-01,1.746842e-01,1.758711e-01,1.764245e-01,1.770912e-01,1.779305e-01,1.781802e-01,1.791439e-01,1.792158e-01,1.799884e-01,1.802940e-01,1.807192e-01,1.811783e-01,1.813422e-01,1.818626e-01,1.818814e-01,1.822861e-01,1.824157e-01,1.826176e-01,1.827932e-01,1.828624e-01,1.830252e-01,1.831109e-01,1.831227e-01,1.831239e-01,1.830961e-01,1.830686e-01,1.829551e-01,1.829492e-01,1.827697e-01,1.827092e-01,1.825341e-01,1.823672e-01,1.822459e-01,1.819374e-01,1.819087e-01,1.815259e-01,1.814276e-01,1.811006e-01,1.808451e-01,1.806360e-01,1.801969e-01,1.801349e-01,1.796001e-01,1.794893e-01,1.790342e-01,1.787285e-01,1.784397e-01,1.779199e-01,1.778190e-01,1.771742e-01,1.770690e-01,1.765076e-01,1.761805e-01,1.758212e-01,1.752590e-01,1.751167e-01,1.743961e-01,1.743086e-01,1.736610e-01,1.733334e-01,1.729130e-01,1.723368e-01,1.721536e-01,1.713842e-01,1.713223e-01,1.706062e-01,1.702929e-01,1.698208e-01,1.692514e-01,1.690292e-01,1.682325e-01,1.682005e-01,1.674317e-01,1.671426e-01,1.666279e-01,1.660800e-01,1.658218e-01,1.650145e-01,1.639481e-01,1.628825e-01,1.618192e-01,1.607597e-01,1.597051e-01,1.586568e-01,1.576156e-01,1.565827e-01,1.555587e-01,1.545445e-01,1.535407e-01,1.525480e-01,1.515669e-01,1.505978e-01,1.496411e-01,1.486972e-01,1.477664e-01,1.468489e-01,1.459450e-01,1.450547e-01,1.441783e-01,1.433158e-01,1.424673e-01,1.416328e-01
0.000000e+00,1.418048e-09,3.387161e-09,1.216195e-08,2.816881e-08,4.133081e-08,9.446097e-08,9.731742e-08,1.882684e-07,2.211255e-07,3.225175e-07,4.274704e-07,5.087946e-07,7.336194e-07,7.557991e-07,1.070381e-06,1.156271e-06,1.454121e-06,1.697255e-06,1.900995e-06,2.337473e-06,2.399627e-06,2.937831e-06,3.049260e-06,3.505116e-06,3.808693e-06,4.092923e-06,4.597282e-06,4.694106e-06,5.302475e-06,5.400105e-06,5.912532e-06,6.204498e-06,6.519372e-06,6.999586e-06,7.118645e-06,7.706566e-06,7.776195e-06,8.279917e-06,8.526870e-06,8.836039e-06,9.245848e-06,9.372816e-06,9.888634e-06,9.928956e-06,1.038234e-05,1.057345e-05,1.085319e-05,1.117782e-05,1.130080e-05,1.172508e-05,1.174157e-05,1.212620e-05,1.226500e-05,1.250452e-05,1.274901e-05,1.286056e-05,1.319498e-05,1.350852e-05,1.360457e-05,1.380197e-05,1.397963e-05,1.407619e-05,1.432214e-05,1.433203e-05,1.457038e-05,1.463410e-05,1.479209e-05,1.491750e-05,1.499804e-05,1.517430e-05,1.518905e-05,1.536594e-05,1.540638e-05,1.552949e-05,1.561554e-05,1.568046e-05,1.580348e-05,1.581957e-05,1.594751e-05,1.597182e-05,1.606493e-05,1.612205e-05,1.617246e-05,1.625557e-05,1.627069e-05,1.636016e-05,1.637370e-05,1.644141e-05,1.647763e-05,1.651493e-05,1.656850e-05,1.658119e-05,1.664064e-05,1.664734e-05,1.669369e-05,1.671511e-05,1.674074e-05,1.677271e-05,1.678216e-05,1.681828e-05,1.682096e-05,1.684945e-05,1.686060e-05,1.687597e-05,1.689235e-05,1.689813e-05,1.691621e-05,1.691685e-05,1.693046e-05,1.693470e-05,1.694112e-05,1.694643e-05,1.694842e-05,1.695258e-05,1.695379e-05,1.695359e-05,1.695225e-05,1.694991e-05,1.694814e-05,1.694193e-05,1.694162e-05,1.693286e-05,1.693002e-05,1.692199e-05,1.691453e-05,1.690917e-05,1.689576e-05,1.689452e-05,1.687818e-05,1.687401e-05,1.686025e-05,1.684955e-05,1.684084e-05,1.682263e-05,1.682007e-05,1.679803e-05,1.679347e-05,1.677480e-05,1.676229e-05,1.675049e-05,1.672929e-05,1.672517e-05,1.669892e-05,1.669464e-05,1.667181e-05,1.665852e-05,1.664392e-05,1.662107e-05,1.661530e-05,1.658601e-05,1.658246e-05,1.655613e-05,1.654280e-05,1.652569e-05,1.650222e-05,1.649476e-05,1.646337e-05,1.646084e-05,1.643159e-05,1.641877e-05,1.639944e-05,1.637609e-05,1.636697e-05,1.633423e-05,1.633291e-05,1.630123e-05,1.628930e-05,1.626803e-05,1.624535e-05,1.623466e-05,1.620113e-05,1.615670e-05,1.611212e-05,1.606746e-05,1.602276e-05,1.597808e-05,1.593345e-05,1.588893e-05,1.584454e-05,1.580033e-05,1.575632e-05,1.571255e-05,1.566905e-05,1.562583e-05,1.558293e-05,1.554036e-05,1.549814e-05,1.545630e-05,1.541483e-05,1.537377e-05,1.533313e-05,1.529290e-05,1.525311e-05,1.521377e-05,1.517488e-05
0.000000e+00,3.128414e-09,7.250417e-09,2.522894e-08,5.764715e-08,8.419580e-08,1.911028e-07,1.968462e-07,3.797136e-07,4.457951e-07,6.498017e-07,8.610846e-07,1.024833e-06,1.477313e-06,1.521913e-06,2.153226e-06,2.325153e-06,2.920267e-06,3.405628e-06,3.812827e-06,4.689101e-06,4.814486e-06,5.908246e-06,6.136663e-06,7.078691e-06,7.712990e-06,8.311996e-06,9.387221e-06,9.595440e-06,1.091706e-05,1.113130e-05,1.226552e-05,1.291915e-05,1.363014e-05,1.472677e-05,1.500098e-05,1.636894e-05,1.653250e-05,1.772584e-05,1.831749e-05,1.906451e-05,2.006586e-05,2.037876e-05,2.166339e-05,2.176475e-05,2.291416e-05,2.340420e-05,2.412766e-05,2.497681e-05,2.530127e-05,2.643308e-05,2.647746e-05,2.752178e-05,2.790300e-05,2.856660e-05,2.925184e-05,2.956722e-05,3.052370e-05,3.143639e-05,3.171929e-05,3.230589e-05,3.284009e-05,3.313304e-05,3.388814e-05,3.391879e-05,3.466424e-05,3.486590e-05,3.537056e-05,3.577608e-05,3.603898e-05,3.662155e-05,3.667077e-05,3.726723e-05,3.740527e-05,3.782966e-05,3.813024e-05,3.835935e-05,3.879943e-05,3.885760e-05,3.932567e-05,3.941578e-05,3.976481e-05,3.998214e-05,4.017624e-05,4.050129e-05,4.056113e-05,4.092065e-05,4.097589e-05,4.125590e-05,4.140851e-05,4.156796e-05,4.180161e-05,4.185787e-05,4.212665e-05,4.215753e-05,4.237525e-05,4.247849e-05,4.260462e-05,4.276662e-05,4.281564e-05,4.300919e-05,4.302394e-05,4.318607e-05,4.325234e-05,4.334710e-05,4.345364e-05,4.349302e-05,4.362457e-05,4.362954e-05,4.374245e-05,4.378167e-05,4.384732e-05,4.391153e-05,4.393983e-05,4.402059e-05,4.409018e-05,4.411019e-05,4.414917e-05,4.418161e-05,4.419810e-05,4.423607e-05,4.423747e-05,4.426777e-05,4.427470e-05,4.428949e-05,4.429858e-05,4.430305e-05,4.430870e-05,4.430890e-05,4.430743e-05,4.430604e-05,4.429905e-05,4.429147e-05,4.428411e-05,4.426584e-05,4.426299e-05,4.423601e-05,4.422994e-05,4.420350e-05,4.418452e-05,4.416578e-05,4.413027e-05,4.412313e-05,4.407584e-05,4.406786e-05,4.402418e-05,4.399790e-05,4.396840e-05,4.392098e-05,4.390875e-05,4.384546e-05,4.383764e-05,4.377876e-05,4.374839e-05,4.370886e-05,4.365371e-05,4.363595e-05,4.356024e-05,4.355407e-05,4.348191e-05,4.344988e-05,4.340113e-05,4.334154e-05,4.331807e-05,4.323288e-05,4.322944e-05,4.314573e-05,4.311391e-05,4.305676e-05,4.299529e-05,4.296610e-05,4.287389e-05,4.275000e-05,4.262389e-05,4.249582e-05,4.236603e-05,4.223474e-05,4.210215e-05,4.196848e-05,4.183390e-05,4.169857e-05,4.156268e-05,4.142636e-05,4.128975e-05,4.115299e-05,4.101619e-05,4.087948e-05,4.074296e-05,4.060673e-05,4.047088e-05,4.033550e-05,4.020066e-05,4.006644e-05,3.993291e-05,3.980014e-05,3.966817e-05
0.000000e+00,7.432245e-10,1.829448e-09,6.791927e-09,1.597130e-08,2.355630e-08,5.425078e-08,5.590156e-08,1.084058e-07,1.273371e-07,1.856269e-07,2.457782e-07,2.922796e-07,4.204909e-07,4.331205e-07,6.121117e-07,6.609802e-07,8.306071e-07,9.693550e-07,1.085862e-06,1.336248e-06,1.371992e-06,1.682449e-06,1.746936e-06,2.011508e-06,2.188373e-06,2.354457e-06,2.650340e-06,2.707314e-06,3.066555e-06,3.124407e-06,3.428959e-06,3.603151e-06,3.791541e-06,4.079879e-06,4.151551e-06,4.506486e-06,4.548628e-06,4.854117e-06,5.004250e-06,5.192507e-06,5.442490e-06,5.520027e-06,5.835349e-06,5.860015e-06,6.137442e-06,6.254397e-06,6.425552e-06,6.624044e-06,6.699180e-06,6.958054e-06,6.968100e-06,7.202097e-06,7.286336e-06,7.431404e-06,7.579027e-06,7.646204e-06,7.846842e-06,8.033748e-06,8.090738e-06,8.207420e-06,8.311876e-06,8.368404e-06,8.511546e-06,8.517276e-06,8.654628e-06,8.691105e-06,8.781063e-06,8.851932e-06,8.897178e-06,8.995396e-06,9.003562e-06,9.100789e-06,9.122823e-06,9.189415e-06,9.235488e-06,9.269973e-06,9.334597e-06,9.342974e-06,9.408903e-06,9.421281e-06,9.468220e-06,9.496597e-06,9.521359e-06,9.561522e-06,9.568730e-06,9.610717e-06,9.616960e-06,9.647683e-06,9.663743e-06,9.679966e-06,9.702635e-06,9.707884e-06,9.731733e-06,9.734335e-06,9.751792e-06,9.759484e-06,9.768318e-06,9.778665e-06,9.781554e-06,9.791726e-06,9.792413e-06,9.799043e-06,9.801215e-06,9.803703e-06,9.805515e-06,9.805888e-06,9.805770e-06,9.805719e-06,9.803508e-06,9.802197e-06,9.799250e-06,9.795287e-06,9.793136e-06,9.785296e-06,9.775851e-06,9.772508e-06,9.764914e-06,9.757180e-06,9.752590e-06,9.739547e-06,9.738979e-06,9.724173e-06,9.719825e-06,9.708258e-06,9.698211e-06,9.691316e-06,9.674888e-06,9.673423e-06,9.654650e-06,9.650022e-06,9.635064e-06,9.623764e-06,9.614728e-06,9.596257e-06,9.593699e-06,9.572033e-06,9.567628e-06,9.549782e-06,9.537997e-06,9.526995e-06,9.507472e-06,9.503716e-06,9.479989e-06,9.476154e-06,9.455854e-06,9.444136e-06,9.431349e-06,9.411503e-06,9.406510e-06,9.381369e-06,9.378334e-06,9.355960e-06,9.344702e-06,9.330310e-06,9.310673e-06,9.304449e-06,9.278403e-06,9.276312e-06,9.252196e-06,9.241673e-06,9.225852e-06,9.206811e-06,9.199393e-06,9.172839e-06,9.171775e-06,9.146211e-06,9.136610e-06,9.119526e-06,9.101357e-06,9.092802e-06,9.066055e-06,9.030741e-06,8.995446e-06,8.960202e-06,8.925036e-06,8.889975e-06,8.855043e-06,8.820261e-06,8.785650e-06,8.751229e-06,8.717015e-06,8.683024e-06,8.649269e-06,8.615765e-06,8.582524e-06,8.549556e-06,8.516872e-06,8.484480e-06,8.452389e-06,8.420606e-06,8.389137e-06,8.357990e-06,8.327168e-06,8.296677e-06,8.266521e-06
0.000000e+00,1.876622e-09,5.214120e-09,2.313719e-08,6.083331e-08,9.420187e-08,2.398849e-07,2.480599e-07,5.200895e-07,6.227839e-07,9.508676e-07,1.305292e-06,1.588720e-06,2.406080e-06,2.489117e-06,3.706235e-06,4.049961e-06,5.273605e-06,6.303501e-06,7.184056e-06,9.111973e-06,9.390169e-06,1.182589e-05,1.233482e-05,1.442776e-05,1.582869e-05,1.714393e-05,1.948414e-05,1.993418e-05,2.276713e-05,2.322260e-05,2.561741e-05,2.698533e-05,2.846376e-05,3.072568e-05,3.128796e-05,3.407421e-05,3.440534e-05,3.680886e-05,3.799269e-05,3.948026e-05,4.146214e-05,4.207863e-05,4.459597e-05,4.479366e-05,4.702597e-05,4.797238e-05,4.936381e-05,5.098803e-05,5.160609e-05,5.375062e-05,5.383434e-05,5.579627e-05,5.650844e-05,5.774285e-05,5.901020e-05,5.959093e-05,6.134169e-05,6.299687e-05,6.350667e-05,6.455856e-05,6.551012e-05,6.602925e-05,6.735798e-05,6.741162e-05,6.870855e-05,6.905678e-05,6.992302e-05,7.061341e-05,7.105813e-05,7.203499e-05,7.211697e-05,7.310266e-05,7.332868e-05,7.401829e-05,7.450159e-05,7.486693e-05,7.556071e-05,7.565159e-05,7.637520e-05,7.651285e-05,7.704065e-05,7.736461e-05,7.765070e-05,7.812230e-05,7.820804e-05,7.871527e-05,7.879194e-05,7.917489e-05,7.937931e-05,7.958932e-05,7.988990e-05,7.996090e-05,8.029185e-05,8.032894e-05,8.058431e-05,8.070134e-05,8.084034e-05,8.101178e-05,8.106191e-05,8.125090e-05,8.126467e-05,8.140911e-05,8.146417e-05,8.153827e-05,8.161420e-05,8.164002e-05,8.171593e-05,8.171846e-05,8.176751e-05,8.178040e-05,8.179618e-05,8.180329e-05,8.180331e-05,8.179019e-05,8.175807e-05,8.174397e-05,8.170812e-05,8.166733e-05,8.164148e-05,8.156277e-05,8.155920e-05,8.146230e-05,8.143268e-05,8.135175e-05,8.127925e-05,8.122847e-05,8.110455e-05,8.109332e-05,8.094716e-05,8.091052e-05,8.079074e-05,8.069896e-05,8.062484e-05,8.047155e-05,8.045015e-05,8.026735e-05,8.022987e-05,8.007707e-05,7.997538e-05,7.987993e-05,7.970945e-05,7.967650e-05,7.946732e-05,7.943335e-05,7.925290e-05,7.914826e-05,7.903373e-05,7.885529e-05,7.881027e-05,7.858297e-05,7.855545e-05,7.835222e-05,7.824971e-05,7.811843e-05,7.793894e-05,7.788196e-05,7.764315e-05,7.762396e-05,7.740234e-05,7.730553e-05,7.715983e-05,7.698435e-05,7.691593e-05,7.667089e-05,7.666107e-05,7.642499e-05,7.633630e-05,7.617846e-05,7.601058e-05,7.593153e-05,7.568443e-05,7.535832e-05,7.503268e-05,7.470791e-05,7.438437e-05,7.406239e-05,7.374229e-05,7.342433e-05,7.310877e-05,7.279585e-05,7.248576e-05,7.217870e-05,7.187483e-05,7.157430e-05,7.127725e-05,7.098379e-05,7.069403e-05,7.040806e-05,7.012597e-05,6.984781e-05,6.957365e-05,6.930353e-05,6.903749e-05,6.877557e-05,6.851778e-05
0.000000e+00,5.171201e-10,1.455767e-09,6.595056e-09,1.754781e-08,2.727976e-08,6.960207e-08,7.196211e-08,1.493991e-07,1.780798e-07,2.678253e-07,3.618984e-07,4.352618e-07,6.392088e-07,6.593842e-07,9.460561e-07,1.024434e-06,1.296523e-06,1.519101e-06,1.706106e-06,2.108791e-06,2.166399e-06,2.668367e-06,2.773025e-06,3.203869e-06,3.493191e-06,3.765801e-06,4.253565e-06,4.347778e-06,4.943819e-06,5.040104e-06,5.548185e-06,5.839605e-06,6.155347e-06,6.639539e-06,6.760037e-06,7.357330e-06,7.428289e-06,7.942733e-06,8.195499e-06,8.512269e-06,8.932385e-06,9.062528e-06,9.590695e-06,9.631924e-06,1.009456e-05,1.028892e-05,1.057249e-05,1.089991e-05,1.102339e-05,1.144669e-05,1.146304e-05,1.184222e-05,1.197784e-05,1.221019e-05,1.244493e-05,1.255114e-05,1.286582e-05,1.315521e-05,1.324265e-05,1.342041e-05,1.357800e-05,1.366263e-05,1.387471e-05,1.388313e-05,1.408319e-05,1.413573e-05,1.426412e-05,1.436402e-05,1.442718e-05,1.456248e-05,1.457361e-05,1.470460e-05,1.473386e-05,1.482128e-05,1.488077e-05,1.492473e-05,1.500562e-05,1.501596e-05,1.509591e-05,1.511062e-05,1.516545e-05,1.519778e-05,1.522541e-05,1.526892e-05,1.527654e-05,1.531953e-05,1.532570e-05,1.535502e-05,1.536957e-05,1.538361e-05,1.540187e-05,1.540583e-05,1.542218e-05,1.542377e-05,1.543312e-05,1.543632e-05,1.543906e-05,1.544047e-05,1.544039e-05,1.543747e-05,1.543706e-05,1.543061e-05,1.542683e-05,1.542011e-05,1.541046e-05,1.540625e-05,1.538929e-05,1.538855e-05,1.536944e-05,1.536163e-05,1.534693e-05,1.533020e-05,1.532195e-05,1.529468e-05,1.526531e-05,1.525548e-05,1.523397e-05,1.521295e-05,1.520082e-05,1.516742e-05,1.516599e-05,1.512961e-05,1.511917e-05,1.509180e-05,1.506847e-05,1.505266e-05,1.501557e-05,1.501230e-05,1.497080e-05,1.496069e-05,1.492827e-05,1.490403e-05,1.488478e-05,1.484578e-05,1.484041e-05,1.479523e-05,1.478611e-05,1.474932e-05,1.472517e-05,1.470273e-05,1.466313e-05,1.465554e-05,1.460779e-05,1.460010e-05,1.455953e-05,1.453621e-05,1.451083e-05,1.447158e-05,1.446172e-05,1.441226e-05,1.440630e-05,1.436248e-05,1.434049e-05,1.431243e-05,1.427423e-05,1.426214e-05,1.421164e-05,1.420760e-05,1.416098e-05,1.414068e-05,1.411019e-05,1.407355e-05,1.405928e-05,1.400830e-05,1.400626e-05,1.395727e-05,1.393889e-05,1.390622e-05,1.387150e-05,1.385516e-05,1.380412e-05,1.373682e-05,1.366965e-05,1.360263e-05,1.353582e-05,1.346925e-05,1.340296e-05,1.333697e-05,1.327132e-05,1.320603e-05,1.314112e-05,1.307663e-05,1.301257e-05,1.294895e-05,1.288581e-05,1.282315e-05,1.276099e-05,1.269934e-05,1.263821e-05,1.257762e-05,1.251758e-05,1.245809e-05,1.239916e-05,1.234080e-05,1.228301e-05
0.000000e+00,6.054190e-09,1.409837e-08,4.944977e-08,1.139471e-07,1.674014e-07,3.880424e-07,4.001324e-07,7.968752e-07,9.455025e-07,1.419140e-06,1.927255e-06,2.328058e-06,3.439529e-06,3.548205e-06,5.053628e-06,5.452412e-06,6.800432e-06,7.870051e-06,8.752211e-06,1.061814e-05,1.088247e-05,1.317018e-05,1.364492e-05,1.559620e-05,1.690604e-05,1.814131e-05,2.035659e-05,2.078546e-05,2.350784e-05,2.394925e-05,2.628708e-05,2.763504e-05,2.910187e-05,3.136528e-05,3.193140e-05,3.475593e-05,3.509365e-05,3.755716e-05,3.877798e-05,4.031849e-05,4.238131e-05,4.302525e-05,4.566486e-05,4.587281e-05,4.822685e-05,4.922793e-05,5.070263e-05,5.242797e-05,5.308548e-05,5.537036e-05,5.545966e-05,5.755376e-05,5.831449e-05,5.963350e-05,6.098794e-05,6.160854e-05,6.347897e-05,6.524554e-05,6.578909e-05,6.690956e-05,6.792165e-05,6.847307e-05,6.988170e-05,6.993847e-05,7.130854e-05,7.167549e-05,7.258634e-05,7.331006e-05,7.377508e-05,7.479291e-05,7.487807e-05,7.589873e-05,7.613181e-05,7.684047e-05,7.733466e-05,7.770674e-05,7.840932e-05,7.850093e-05,7.922639e-05,7.936352e-05,7.988638e-05,8.020478e-05,8.048412e-05,8.094039e-05,8.102272e-05,8.150519e-05,8.157737e-05,8.193445e-05,8.212242e-05,8.231330e-05,8.258191e-05,8.264445e-05,8.293051e-05,8.296193e-05,8.317396e-05,8.326821e-05,8.337721e-05,8.350619e-05,8.354253e-05,8.367212e-05,8.368101e-05,8.376807e-05,8.379748e-05,8.383238e-05,8.386016e-05,8.386695e-05,8.387360e-05,8.387331e-05,8.385406e-05,8.384093e-05,8.380998e-05,8.376678e-05,8.374291e-05,8.365437e-05,8.354576e-05,8.350698e-05,8.341842e-05,8.332770e-05,8.327365e-05,8.311938e-05,8.311265e-05,8.293657e-05,8.288472e-05,8.274652e-05,8.262621e-05,8.254352e-05,8.234618e-05,8.232856e-05,8.210257e-05,8.204679e-05,8.186643e-05,8.173007e-05,8.162098e-05,8.139790e-05,8.136700e-05,8.110524e-05,8.105202e-05,8.083641e-05,8.069405e-05,8.056118e-05,8.032549e-05,8.028017e-05,7.999398e-05,7.994774e-05,7.970317e-05,7.956210e-05,7.940827e-05,7.916975e-05,7.910979e-05,7.880818e-05,7.877180e-05,7.850390e-05,7.836928e-05,7.819736e-05,7.796312e-05,7.788896e-05,7.757905e-05,7.755421e-05,7.726800e-05,7.714333e-05,7.695612e-05,7.673123e-05,7.664372e-05,7.633109e-05,7.631858e-05,7.601849e-05,7.590601e-05,7.570617e-05,7.549408e-05,7.539438e-05,7.508332e-05,7.467421e-05,7.426716e-05,7.386259e-05,7.346085e-05,7.306225e-05,7.266711e-05,7.227566e-05,7.188817e-05,7.150482e-05,7.112582e-05,7.075132e-05,7.038148e-05,7.001641e-05,6.965622e-05,6.930102e-05,6.895087e-05,6.860584e-05,6.826599e-05,6.793135e-05,6.760195e-05,6.727781e-05,6.695895e-05,6.664536e-05,6.633704e-05
0.000000e+00,3.877617e-10,1.129201e-09,5.464279e-09,1.537162e-08,2.460085e-08,6.738389e-08,6.986288e-08,1.549373e-07,1.879270e-07,2.950673e-07,4.125147e-07,5.070225e-07,7.797637e-07,8.073742e-07,1.208032e-06,1.319687e-06,1.712497e-06,2.039062e-06,2.316794e-06,2.924850e-06,3.012929e-06,3.791535e-06,3.956307e-06,4.643022e-06,5.111434e-06,5.557868e-06,6.368363e-06,6.526587e-06,7.539668e-06,7.705241e-06,8.587587e-06,9.100182e-06,9.660900e-06,1.053163e-05,1.075039e-05,1.184722e-05,1.197893e-05,1.294311e-05,1.342302e-05,1.403047e-05,1.484696e-05,1.510252e-05,1.615331e-05,1.623630e-05,1.717779e-05,1.757925e-05,1.817178e-05,1.886664e-05,1.913190e-05,2.005559e-05,2.009175e-05,2.094096e-05,2.125007e-05,2.178681e-05,2.233904e-05,2.259245e-05,2.335768e-05,2.408269e-05,2.430628e-05,2.476802e-05,2.518615e-05,2.541444e-05,2.599930e-05,2.602293e-05,2.659465e-05,2.674830e-05,2.713084e-05,2.743607e-05,2.763286e-05,2.806572e-05,2.810209e-05,2.853994e-05,2.864051e-05,2.894784e-05,2.916370e-05,2.932720e-05,2.963854e-05,2.967941e-05,3.000585e-05,3.006816e-05,3.030783e-05,3.045562e-05,3.058663e-05,3.080382e-05,3.084350e-05,3.107961e-05,3.111554e-05,3.129612e-05,3.139340e-05,3.149411e-05,3.163987e-05,3.167462e-05,3.183864e-05,3.185726e-05,3.198710e-05,3.204773e-05,3.212091e-05,3.221333e-05,3.224092e-05,3.234792e-05,3.235594e-05,3.244268e-05,3.247732e-05,3.252592e-05,3.257911e-05,3.259833e-05,3.266055e-05,3.266284e-05,3.271320e-05,3.272992e-05,3.275685e-05,3.278168e-05,3.279206e-05,3.281933e-05,3.283916e-05,3.284401e-05,3.285200e-05,3.285676e-05,3.285830e-05,3.285857e-05,3.285847e-05,3.285289e-05,3.285035e-05,3.284193e-05,3.283292e-05,3.282594e-05,3.280707e-05,3.280525e-05,3.278017e-05,3.277352e-05,3.275098e-05,3.273295e-05,3.271797e-05,3.268596e-05,3.268139e-05,3.264149e-05,3.263314e-05,3.259851e-05,3.257501e-05,3.255266e-05,3.251208e-05,3.250415e-05,3.245317e-05,3.244480e-05,3.239991e-05,3.237359e-05,3.234455e-05,3.229885e-05,3.228724e-05,3.222815e-05,3.222095e-05,3.216742e-05,3.214022e-05,3.210519e-05,3.205697e-05,3.204159e-05,3.197674e-05,3.197151e-05,3.191077e-05,3.188408e-05,3.184377e-05,3.179496e-05,3.177586e-05,3.170713e-05,3.170436e-05,3.163767e-05,3.161250e-05,3.156757e-05,3.151959e-05,3.149692e-05,3.142579e-05,3.133129e-05,3.123624e-05,3.114079e-05,3.104506e-05,3.094919e-05,3.085328e-05,3.075745e-05,3.066179e-05,3.056639e-05,3.047134e-05,3.037670e-05,3.028255e-05,3.018896e-05,3.009598e-05,3.000366e-05,2.991206e-05,2.982121e-05,2.973116e-05,2.964195e-05,2.955361e-05,2.946616e-05,2.937964e-05,2.929406e-05,2.920946e-05
0.000000e+00,3.924823e-10,1.043774e-09,4.299495e-09,1.070997e-08,1.616223e-08,3.881172e-08,4.004537e-08,7.968887e-08,9.410815e-08,1.387311e-07,1.850037e-07,2.208762e-07,3.201241e-07,3.299280e-07,4.696037e-07,5.080514e-07,6.429982e-07,7.554806e-07,8.515806e-07,1.063167e-06,1.093887e-06,1.364756e-06,1.421678e-06,1.656150e-06,1.812835e-06,1.959268e-06,2.217267e-06,2.266417e-06,2.571720e-06,2.620098e-06,2.870990e-06,3.011602e-06,3.161310e-06,3.385737e-06,3.440653e-06,3.707617e-06,3.738772e-06,3.961258e-06,4.068476e-06,4.200982e-06,4.373663e-06,4.426477e-06,4.637667e-06,4.653946e-06,4.834668e-06,4.909553e-06,5.017756e-06,5.141187e-06,5.187335e-06,5.343906e-06,5.349906e-06,5.488043e-06,5.537007e-06,5.620369e-06,5.703938e-06,5.741539e-06,5.852218e-06,5.953074e-06,5.983380e-06,6.044761e-06,6.098924e-06,6.127916e-06,6.200286e-06,6.203151e-06,6.271047e-06,6.288818e-06,6.332154e-06,6.365777e-06,6.386990e-06,6.432316e-06,6.436038e-06,6.479745e-06,6.489488e-06,6.518531e-06,6.538246e-06,6.552779e-06,6.579448e-06,6.582847e-06,6.609060e-06,6.613867e-06,6.631721e-06,6.642194e-06,6.651107e-06,6.665048e-06,6.667473e-06,6.681053e-06,6.682982e-06,6.692061e-06,6.696490e-06,6.700695e-06,6.706015e-06,6.707136e-06,6.711549e-06,6.711949e-06,6.714087e-06,6.714646e-06,6.714891e-06,6.714421e-06,6.714089e-06,6.711801e-06,6.711558e-06,6.708136e-06,6.706308e-06,6.703195e-06,6.698900e-06,6.697071e-06,6.689850e-06,6.689540e-06,6.681612e-06,6.678412e-06,6.672431e-06,6.665684e-06,6.662374e-06,6.651506e-06,6.639884e-06,6.636015e-06,6.627563e-06,6.619335e-06,6.614595e-06,6.601580e-06,6.601027e-06,6.586903e-06,6.582854e-06,6.572265e-06,6.563251e-06,6.557151e-06,6.542858e-06,6.541598e-06,6.525640e-06,6.521753e-06,6.509307e-06,6.500009e-06,6.492631e-06,6.477693e-06,6.475638e-06,6.458355e-06,6.454866e-06,6.440807e-06,6.431584e-06,6.423016e-06,6.407902e-06,6.405006e-06,6.386796e-06,6.383865e-06,6.368406e-06,6.359520e-06,6.349853e-06,6.334906e-06,6.331156e-06,6.312331e-06,6.310064e-06,6.293392e-06,6.285027e-06,6.274355e-06,6.259829e-06,6.255233e-06,6.236039e-06,6.234501e-06,6.216785e-06,6.209070e-06,6.197484e-06,6.183563e-06,6.178145e-06,6.158780e-06,6.158005e-06,6.139398e-06,6.132418e-06,6.120008e-06,6.106823e-06,6.100620e-06,6.081241e-06,6.055689e-06,6.030184e-06,6.004742e-06,5.979377e-06,5.954104e-06,5.928934e-06,5.903880e-06,5.878952e-06,5.854161e-06,5.829515e-06,5.805023e-06,5.780693e-06,5.756533e-06,5.732548e-06,5.708746e-06,5.685131e-06,5.661709e-06,5.638485e-06,5.615462e-06,5.592645e-06,5.570037e-06,5.547641e-06,5.525460e-06,5.503496e-06
0.000000e+00,7.947846e-10,2.239747e-09,1.017420e-08,2.715310e-08,4.229040e-08,1.084721e-07,1.121756e-07,2.342305e-07,2.796479e-07,4.223104e-07,5.725510e-07,6.901105e-07,1.018379e-06,1.050957e-06,1.515740e-06,1.643419e-06,2.088654e-06,2.455117e-06,2.764488e-06,3.434832e-06,3.531159e-06,4.374478e-06,4.551130e-06,5.280961e-06,5.773204e-06,6.238421e-06,7.073870e-06,7.235659e-06,8.262072e-06,8.428319e-06,9.307453e-06,9.813068e-06,1.036196e-05,1.120582e-05,1.141622e-05,1.246145e-05,1.258588e-05,1.348962e-05,1.393473e-05,1.449356e-05,1.523648e-05,1.546704e-05,1.640484e-05,1.647819e-05,1.730272e-05,1.764992e-05,1.815739e-05,1.874463e-05,1.896647e-05,1.972841e-05,1.975790e-05,2.044239e-05,2.068763e-05,2.110822e-05,2.153365e-05,2.172626e-05,2.229733e-05,2.282261e-05,2.298126e-05,2.330357e-05,2.358889e-05,2.374188e-05,2.412426e-05,2.413940e-05,2.449808e-05,2.459182e-05,2.481991e-05,2.499616e-05,2.510692e-05,2.534198e-05,2.536116e-05,2.558461e-05,2.563387e-05,2.577922e-05,2.587632e-05,2.594689e-05,2.607360e-05,2.608944e-05,2.620861e-05,2.622978e-05,2.630605e-05,2.634867e-05,2.638335e-05,2.643381e-05,2.644200e-05,2.648340e-05,2.648851e-05,2.650887e-05,2.651581e-05,2.651967e-05,2.651852e-05,2.651695e-05,2.650180e-05,2.649919e-05,2.647523e-05,2.646018e-05,2.643821e-05,2.640361e-05,2.639160e-05,2.633624e-05,2.633145e-05,2.627289e-05,2.624548e-05,2.620227e-05,2.614730e-05,2.612505e-05,2.604183e-05,2.603838e-05,2.595319e-05,2.592005e-05,2.585966e-05,2.579352e-05,2.576174e-05,2.565988e-05,2.555450e-05,2.552011e-05,2.544601e-05,2.537511e-05,2.533476e-05,2.522568e-05,2.522109e-05,2.510532e-05,2.507257e-05,2.498773e-05,2.491641e-05,2.486859e-05,2.475782e-05,2.474814e-05,2.462662e-05,2.459732e-05,2.450423e-05,2.443539e-05,2.438118e-05,2.427248e-05,2.425763e-05,2.413376e-05,2.410896e-05,2.400972e-05,2.394520e-05,2.388565e-05,2.378150e-05,2.376168e-05,2.363792e-05,2.361815e-05,2.351449e-05,2.345539e-05,2.339149e-05,2.329345e-05,2.326900e-05,2.314712e-05,2.313253e-05,2.302591e-05,2.297281e-05,2.290545e-05,2.281444e-05,2.278580e-05,2.266703e-05,2.265756e-05,2.254917e-05,2.250230e-05,2.243229e-05,2.234875e-05,2.231641e-05,2.220159e-05,2.219701e-05,2.208784e-05,2.204717e-05,2.197522e-05,2.189928e-05,2.186373e-05,2.175341e-05,2.160961e-05,2.146791e-05,2.132835e-05,2.119096e-05,2.105575e-05,2.092274e-05,2.079193e-05,2.066334e-05,2.053696e-05,2.041278e-05,2.029080e-05,2.017101e-05,2.005340e-05,1.993794e-05,1.982463e-05,1.971344e-05,1.960435e-05,1.949734e-05,1.939238e-05,1.928945e-05,1.918852e-05,1.908957e-05,1.899256e-05,1.889747e-05
0.000000e+00,5.697964e-10,1.629499e-09,7.619869e-09,2.086803e-08,3.297422e-08,8.803857e-08,9.120460e-08,1.995903e-07,2.416745e-07,3.786543e-07,5.282750e-07,6.472281e-07,9.794385e-07,1.012091e-06,1.468049e-06,1.590066e-06,2.006517e-06,2.341264e-06,2.620073e-06,3.217353e-06,3.302742e-06,4.049081e-06,4.205497e-06,4.853359e-06,5.292372e-06,5.709121e-06,6.462432e-06,6.609070e-06,7.545170e-06,7.697734e-06,8.508863e-06,8.978655e-06,9.491351e-06,1.028498e-05,1.048388e-05,1.147801e-05,1.159703e-05,1.246583e-05,1.289659e-05,1.344015e-05,1.416767e-05,1.439463e-05,1.532380e-05,1.539690e-05,1.622314e-05,1.657368e-05,1.708903e-05,1.769017e-05,1.791870e-05,1.871020e-05,1.874105e-05,1.946226e-05,1.972321e-05,2.017425e-05,2.063544e-05,2.084606e-05,2.147804e-05,2.207088e-05,2.225247e-05,2.262557e-05,2.296110e-05,2.314331e-05,2.360687e-05,2.362549e-05,2.407358e-05,2.419315e-05,2.448914e-05,2.472352e-05,2.487375e-05,2.520165e-05,2.522903e-05,2.555655e-05,2.563120e-05,2.585788e-05,2.601574e-05,2.613452e-05,2.635871e-05,2.638794e-05,2.661955e-05,2.666337e-05,2.683067e-05,2.693279e-05,2.702259e-05,2.716984e-05,2.719651e-05,2.735356e-05,2.737719e-05,2.749482e-05,2.755731e-05,2.762130e-05,2.771248e-05,2.773395e-05,2.783366e-05,2.784480e-05,2.792126e-05,2.795618e-05,2.799755e-05,2.804840e-05,2.806324e-05,2.811902e-05,2.812308e-05,2.816554e-05,2.818169e-05,2.820339e-05,2.822559e-05,2.823314e-05,2.825530e-05,2.825603e-05,2.827037e-05,2.827414e-05,2.827880e-05,2.828097e-05,2.828103e-05,2.827745e-05,2.826845e-05,2.826448e-05,2.825437e-05,2.824284e-05,2.823554e-05,2.821328e-05,2.821227e-05,2.818485e-05,2.817646e-05,2.815355e-05,2.813302e-05,2.811863e-05,2.808351e-05,2.808033e-05,2.803886e-05,2.802847e-05,2.799445e-05,2.796837e-05,2.794729e-05,2.790366e-05,2.789757e-05,2.784546e-05,2.783476e-05,2.779112e-05,2.776204e-05,2.773472e-05,2.768585e-05,2.767639e-05,2.761629e-05,2.760651e-05,2.755453e-05,2.752433e-05,2.749124e-05,2.743958e-05,2.742654e-05,2.736053e-05,2.735252e-05,2.729332e-05,2.726339e-05,2.722500e-05,2.717240e-05,2.715568e-05,2.708543e-05,2.707977e-05,2.701433e-05,2.698568e-05,2.694247e-05,2.689030e-05,2.686992e-05,2.679675e-05,2.679381e-05,2.672302e-05,2.669636e-05,2.664880e-05,2.659808e-05,2.657415e-05,2.649912e-05,2.639958e-05,2.629960e-05,2.619927e-05,2.609869e-05,2.599795e-05,2.589715e-05,2.579635e-05,2.569564e-05,2.559509e-05,2.549475e-05,2.539469e-05,2.529496e-05,2.519562e-05,2.509671e-05,2.499828e-05,2.490037e-05,2.480301e-05,2.470624e-05,2.461010e-05,2.451460e-05,2.441979e-05,2.432569e-05,2.423231e-05,2.413969e-05
0.000000e+00,1.036746e-08,2.372067e-08,8.160530e-08,1.862575e-07,2.726181e-07,6.275295e-07,6.469304e-07,1.282028e-06,1.519418e-06,2.275331e-06,3.087481e-06,3.730461e-06,5.526918e-06,5.703479e-06,8.156586e-06,8.806639e-06,1.099735e-05,1.272436e-05,1.413944e-05,1.710270e-05,1.751913e-05,2.108871e-05,2.182184e-05,2.480854e-05,2.679018e-05,2.864251e-05,3.192594e-05,3.255606e-05,3.651576e-05,3.715144e-05,4.048968e-05,4.239333e-05,4.444789e-05,4.758466e-05,4.836302e-05,5.221063e-05,5.266677e-05,5.596955e-05,5.759065e-05,5.962190e-05,6.231732e-05,6.315308e-05,6.655159e-05,6.681746e-05,6.980874e-05,7.107057e-05,7.291843e-05,7.506383e-05,7.587677e-05,7.868179e-05,7.879080e-05,8.133316e-05,8.225019e-05,8.383186e-05,8.544478e-05,8.617995e-05,8.838033e-05,9.043661e-05,9.106486e-05,9.235298e-05,9.350816e-05,9.413406e-05,9.572107e-05,9.578465e-05,9.730974e-05,9.771497e-05,9.871443e-05,9.950159e-05,1.000038e-04,1.010927e-04,1.011831e-04,1.022572e-04,1.024999e-04,1.032312e-04,1.037347e-04,1.041099e-04,1.048080e-04,1.048980e-04,1.056001e-04,1.057307e-04,1.062208e-04,1.065127e-04,1.067642e-04,1.071641e-04,1.072346e-04,1.076358e-04,1.076939e-04,1.079718e-04,1.081110e-04,1.082463e-04,1.084239e-04,1.084627e-04,1.086244e-04,1.086403e-04,1.087346e-04,1.087676e-04,1.087965e-04,1.088129e-04,1.088129e-04,1.087867e-04,1.087828e-04,1.087205e-04,1.086835e-04,1.086170e-04,1.085206e-04,1.084784e-04,1.083072e-04,1.082997e-04,1.081055e-04,1.080258e-04,1.078754e-04,1.077037e-04,1.076189e-04,1.073379e-04,1.070341e-04,1.069324e-04,1.067093e-04,1.064911e-04,1.063650e-04,1.060176e-04,1.060028e-04,1.056242e-04,1.055154e-04,1.052304e-04,1.049874e-04,1.048228e-04,1.044366e-04,1.044026e-04,1.039709e-04,1.038657e-04,1.035289e-04,1.032772e-04,1.030775e-04,1.026734e-04,1.026178e-04,1.021507e-04,1.020564e-04,1.016769e-04,1.014283e-04,1.011974e-04,1.007908e-04,1.007129e-04,1.002242e-04,1.001456e-04,9.973182e-05,9.949440e-05,9.923650e-05,9.883852e-05,9.873882e-05,9.823935e-05,9.817932e-05,9.773861e-05,9.751801e-05,9.723709e-05,9.685570e-05,9.673526e-05,9.623355e-05,9.619343e-05,9.573237e-05,9.553213e-05,9.523209e-05,9.487264e-05,9.473306e-05,9.423562e-05,9.421576e-05,9.374007e-05,9.356219e-05,9.324669e-05,9.291257e-05,9.275575e-05,9.226748e-05,9.162746e-05,9.099297e-05,9.036443e-05,8.974224e-05,8.912671e-05,8.851816e-05,8.791684e-05,8.732297e-05,8.673677e-05,8.615839e-05,8.558798e-05,8.502566e-05,8.447152e-05,8.392564e-05,8.338807e-05,8.285885e-05,8.233802e-05,8.182556e-05,8.132149e-05,8.082578e-05,8.033840e-05,7.985932e-05,7.938848e-05,7.892584e-05
0.000000e+00,2.846572e-10,8.267119e-10,3.978118e-09,1.113085e-08,1.775735e-08,4.818128e-08,4.993218e-08,1.093998e-07,1.321781e-07,2.052574e-07,2.840399e-07,3.466134e-07,5.241883e-07,5.419774e-07,7.979442e-07,8.688770e-07,1.118377e-06,1.326663e-06,1.504949e-06,1.900167e-06,1.958044e-06,2.477260e-06,2.588956e-06,3.061535e-06,3.390518e-06,3.709121e-06,4.300224e-06,4.417533e-06,5.183526e-06,5.311172e-06,6.003114e-06,6.414206e-06,6.871628e-06,7.598148e-06,7.783808e-06,8.733917e-06,8.850193e-06,9.715875e-06,1.015641e-05,1.072339e-05,1.150227e-05,1.175009e-05,1.278966e-05,1.287320e-05,1.383596e-05,1.425504e-05,1.488311e-05,1.563446e-05,1.592557e-05,1.695825e-05,1.699928e-05,1.797648e-05,1.833869e-05,1.897611e-05,1.964335e-05,1.995349e-05,2.090545e-05,2.182935e-05,2.211870e-05,2.272299e-05,2.327823e-05,2.358464e-05,2.438047e-05,2.441295e-05,2.520698e-05,2.542307e-05,2.596611e-05,2.640469e-05,2.669003e-05,2.732488e-05,2.737868e-05,2.803226e-05,2.818394e-05,2.865114e-05,2.898275e-05,2.923586e-05,2.972272e-05,2.978713e-05,3.030572e-05,3.040559e-05,3.079253e-05,3.103343e-05,3.124852e-05,3.160847e-05,3.167470e-05,3.207211e-05,3.213310e-05,3.244183e-05,3.260977e-05,3.278492e-05,3.304097e-05,3.310249e-05,3.339560e-05,3.342918e-05,3.366533e-05,3.377687e-05,3.391271e-05,3.408642e-05,3.413879e-05,3.434455e-05,3.436016e-05,3.453098e-05,3.460034e-05,3.469901e-05,3.480912e-05,3.484956e-05,3.498351e-05,3.498854e-05,3.510172e-05,3.514057e-05,3.520498e-05,3.526707e-05,3.529409e-05,3.536980e-05,3.543281e-05,3.545041e-05,3.548383e-05,3.551049e-05,3.552351e-05,3.555151e-05,3.555247e-05,3.557132e-05,3.557486e-05,3.558062e-05,3.558184e-05,3.558092e-05,3.557369e-05,3.557273e-05,3.555656e-05,3.555154e-05,3.553287e-05,3.551649e-05,3.550211e-05,3.546953e-05,3.546470e-05,3.542105e-05,3.541161e-05,3.537155e-05,3.534361e-05,3.531655e-05,3.526637e-05,3.525641e-05,3.519146e-05,3.518064e-05,3.512201e-05,3.508717e-05,3.504836e-05,3.498660e-05,3.497079e-05,3.488957e-05,3.487959e-05,3.480495e-05,3.476671e-05,3.471718e-05,3.464851e-05,3.462648e-05,3.453308e-05,3.452550e-05,3.443718e-05,3.439816e-05,3.433897e-05,3.426694e-05,3.423864e-05,3.413637e-05,3.413224e-05,3.403232e-05,3.399446e-05,3.392665e-05,3.385395e-05,3.381951e-05,3.371104e-05,3.356606e-05,3.341929e-05,3.327099e-05,3.312143e-05,3.297083e-05,3.281941e-05,3.266736e-05,3.251488e-05,3.236214e-05,3.220930e-05,3.205651e-05,3.190389e-05,3.175159e-05,3.159971e-05,3.144837e-05,3.129766e-05,3.114768e-05,3.099850e-05,3.085021e-05,3.070288e-05,3.055657e-05,3.041134e-05,3.026724e-05,3.012432e-05
0.000000e+00,2.929201e-09,7.180535e-09,2.665065e-08,6.301032e-08,9.337422e-08,2.188533e-07,2.257117e-07,4.491153e-07,5.319825e-07,7.937259e-07,1.072171e-06,1.291340e-06,1.901912e-06,1.961985e-06,2.801887e-06,3.026643e-06,3.792305e-06,4.405371e-06,4.914068e-06,5.997704e-06,6.151953e-06,7.493461e-06,7.773179e-06,8.927055e-06,9.705079e-06,1.044112e-05,1.176630e-05,1.202357e-05,1.366182e-05,1.392825e-05,1.534297e-05,1.616137e-05,1.705416e-05,1.843629e-05,1.878284e-05,2.051707e-05,2.072502e-05,2.224576e-05,2.300199e-05,2.395884e-05,2.524479e-05,2.564737e-05,2.730359e-05,2.743449e-05,2.892094e-05,2.955575e-05,3.049399e-05,3.159667e-05,3.201838e-05,3.349072e-05,3.354849e-05,3.490853e-05,3.540524e-05,3.627008e-05,3.716324e-05,3.757433e-05,3.882083e-05,4.000964e-05,4.037794e-05,4.114122e-05,4.183575e-05,4.221635e-05,4.319630e-05,4.323604e-05,4.420148e-05,4.446225e-05,4.511398e-05,4.563670e-05,4.597505e-05,4.672319e-05,4.678630e-05,4.754939e-05,4.772555e-05,4.826603e-05,4.864769e-05,4.893793e-05,4.949360e-05,4.956686e-05,5.015456e-05,5.026730e-05,5.070281e-05,5.097296e-05,5.121356e-05,5.161490e-05,5.168856e-05,5.212929e-05,5.219673e-05,5.253732e-05,5.272200e-05,5.291414e-05,5.319408e-05,5.326117e-05,5.357979e-05,5.361618e-05,5.387134e-05,5.399139e-05,5.413713e-05,5.432265e-05,5.437837e-05,5.459626e-05,5.461271e-05,5.479192e-05,5.486422e-05,5.496647e-05,5.507967e-05,5.512096e-05,5.525639e-05,5.526142e-05,5.537373e-05,5.541172e-05,5.547390e-05,5.553267e-05,5.555780e-05,5.562626e-05,5.568009e-05,5.569435e-05,5.572006e-05,5.573872e-05,5.574693e-05,5.576103e-05,5.576138e-05,5.576411e-05,5.576286e-05,5.575575e-05,5.574567e-05,5.573692e-05,5.571085e-05,5.570820e-05,5.567016e-05,5.565970e-05,5.562333e-05,5.559345e-05,5.556822e-05,5.551326e-05,5.550531e-05,5.543508e-05,5.542019e-05,5.535796e-05,5.531528e-05,5.527437e-05,5.519946e-05,5.518472e-05,5.508939e-05,5.507363e-05,5.498874e-05,5.493864e-05,5.488312e-05,5.479527e-05,5.477286e-05,5.465828e-05,5.464425e-05,5.453967e-05,5.448628e-05,5.441731e-05,5.432199e-05,5.429149e-05,5.416246e-05,5.415201e-05,5.403046e-05,5.397689e-05,5.389573e-05,5.379716e-05,5.375849e-05,5.361895e-05,5.361333e-05,5.347732e-05,5.342585e-05,5.333377e-05,5.323516e-05,5.318850e-05,5.304167e-05,5.284576e-05,5.264777e-05,5.244805e-05,5.224689e-05,5.204459e-05,5.184141e-05,5.163760e-05,5.143340e-05,5.122902e-05,5.102466e-05,5.082051e-05,5.061673e-05,5.041350e-05,5.021096e-05,5.000924e-05,4.980848e-05,4.960878e-05,4.941026e-05,4.921301e-05,4.901713e-05,4.882270e-05,4.862980e-05,4.843848e-05,4.824883e-05
0.000000e+00,1.512461e-09,3.473552e-09,1.180707e-08,2.635640e-08,3.799320e-08,8.334676e-08,8.573317e-08,1.599528e-07,1.861248e-07,2.654102e-07,3.457160e-07,4.070208e-07,5.735016e-07,5.897393e-07,8.176094e-07,8.792298e-07,1.091619e-06,1.263767e-06,1.407161e-06,1.710966e-06,1.753767e-06,2.118379e-06,2.192380e-06,2.489294e-06,2.681679e-06,2.857908e-06,3.161532e-06,3.218524e-06,3.567495e-06,3.622080e-06,3.902459e-06,4.057778e-06,4.221825e-06,4.465340e-06,4.524500e-06,4.809737e-06,4.842769e-06,5.077078e-06,5.188978e-06,5.326321e-06,5.503654e-06,5.557500e-06,5.770869e-06,5.787182e-06,5.966878e-06,6.040553e-06,6.146139e-06,6.265255e-06,6.309403e-06,6.457518e-06,6.463140e-06,6.591399e-06,6.636296e-06,6.712003e-06,6.786923e-06,6.820297e-06,6.917239e-06,7.003762e-06,7.029395e-06,7.080756e-06,7.125423e-06,7.149065e-06,7.207200e-06,7.209474e-06,7.262712e-06,7.276427e-06,7.309448e-06,7.334625e-06,7.350292e-06,7.383139e-06,7.385795e-06,7.416459e-06,7.423149e-06,7.442731e-06,7.455678e-06,7.465015e-06,7.481614e-06,7.483672e-06,7.499023e-06,7.501723e-06,7.511356e-06,7.516663e-06,7.520929e-06,7.527009e-06,7.527976e-06,7.532704e-06,7.533259e-06,7.535301e-06,7.535839e-06,7.535932e-06,7.535122e-06,7.534746e-06,7.531881e-06,7.531430e-06,7.527460e-06,7.525051e-06,7.521595e-06,7.516235e-06,7.514389e-06,7.505933e-06,7.505206e-06,7.496315e-06,7.492159e-06,7.485612e-06,7.477275e-06,7.473897e-06,7.461237e-06,7.460711e-06,7.447694e-06,7.442614e-06,7.433326e-06,7.423112e-06,7.418187e-06,7.402326e-06,7.385791e-06,7.380365e-06,7.368627e-06,7.357331e-06,7.350874e-06,7.333315e-06,7.332572e-06,7.313758e-06,7.308403e-06,7.294465e-06,7.282674e-06,7.274727e-06,7.256202e-06,7.254575e-06,7.234038e-06,7.229054e-06,7.213143e-06,7.201295e-06,7.191916e-06,7.172983e-06,7.170384e-06,7.148568e-06,7.144173e-06,7.126492e-06,7.114916e-06,7.104176e-06,7.085261e-06,7.081642e-06,7.058907e-06,7.055253e-06,7.035991e-06,7.024932e-06,7.012910e-06,6.994339e-06,6.989682e-06,6.966321e-06,6.963510e-06,6.942843e-06,6.932479e-06,6.919262e-06,6.901279e-06,6.895591e-06,6.871843e-06,6.869940e-06,6.848030e-06,6.838490e-06,6.824165e-06,6.806955e-06,6.800258e-06,6.776319e-06,6.775361e-06,6.752359e-06,6.743730e-06,6.728387e-06,6.712084e-06,6.704413e-06,6.680444e-06,6.648829e-06,6.617256e-06,6.585743e-06,6.554304e-06,6.522955e-06,6.491708e-06,6.460578e-06,6.429575e-06,6.398711e-06,6.367996e-06,6.337440e-06,6.307051e-06,6.276838e-06,6.246809e-06,6.216970e-06,6.187328e-06,6.157890e-06,6.128660e-06,6.099644e-06,6.070847e-06,6.042273e-06,6.013925e-06,5.985807e-06,5.957923e-06
0.000000e+00,2.864487e-09,6.513368e-09,2.210707e-08,4.976999e-08,7.224352e-08,1.622464e-07,1.670769e-07,3.213619e-07,3.774510e-07,5.517990e-07,7.336446e-07,8.746640e-07,1.259030e-06,1.296204e-06,1.804315e-06,1.936724e-06,2.377301e-06,2.719200e-06,2.996166e-06,3.567628e-06,3.647055e-06,4.319352e-06,4.455570e-06,5.004052e-06,5.362271e-06,5.693020e-06,6.269563e-06,6.378780e-06,7.054561e-06,7.161349e-06,7.714406e-06,8.023958e-06,8.353290e-06,8.846554e-06,8.967168e-06,9.552974e-06,9.621274e-06,1.010857e-05,1.034310e-05,1.063265e-05,1.100951e-05,1.112466e-05,1.158461e-05,1.162004e-05,1.201305e-05,1.217579e-05,1.241088e-05,1.267902e-05,1.277928e-05,1.311964e-05,1.313269e-05,1.343345e-05,1.354022e-05,1.372227e-05,1.390520e-05,1.398768e-05,1.423124e-05,1.445447e-05,1.452184e-05,1.465882e-05,1.478033e-05,1.484567e-05,1.500980e-05,1.501633e-05,1.517201e-05,1.521307e-05,1.531385e-05,1.539275e-05,1.544290e-05,1.555116e-05,1.556012e-05,1.566643e-05,1.569041e-05,1.576264e-05,1.581239e-05,1.584951e-05,1.591879e-05,1.592775e-05,1.599798e-05,1.601111e-05,1.606079e-05,1.609071e-05,1.611673e-05,1.615878e-05,1.616630e-05,1.620994e-05,1.621640e-05,1.624807e-05,1.626454e-05,1.628109e-05,1.630405e-05,1.630933e-05,1.633314e-05,1.633571e-05,1.635281e-05,1.636022e-05,1.636861e-05,1.637820e-05,1.638081e-05,1.638965e-05,1.639022e-05,1.639534e-05,1.639679e-05,1.639809e-05,1.639836e-05,1.639809e-05,1.639552e-05,1.639537e-05,1.639054e-05,1.638819e-05,1.638330e-05,1.637717e-05,1.637396e-05,1.636263e-05,1.634945e-05,1.634486e-05,1.633453e-05,1.632413e-05,1.631799e-05,1.630068e-05,1.629993e-05,1.628043e-05,1.627473e-05,1.625961e-05,1.624651e-05,1.623753e-05,1.621619e-05,1.621429e-05,1.618995e-05,1.618396e-05,1.616460e-05,1.614998e-05,1.613829e-05,1.611439e-05,1.611108e-05,1.608306e-05,1.607736e-05,1.605425e-05,1.603899e-05,1.602474e-05,1.599942e-05,1.599455e-05,1.596375e-05,1.595877e-05,1.593238e-05,1.591713e-05,1.590048e-05,1.587460e-05,1.586809e-05,1.583525e-05,1.583129e-05,1.580201e-05,1.578726e-05,1.576839e-05,1.574261e-05,1.573443e-05,1.570017e-05,1.569741e-05,1.566562e-05,1.565173e-05,1.563082e-05,1.560563e-05,1.559581e-05,1.556060e-05,1.555918e-05,1.552521e-05,1.551244e-05,1.548968e-05,1.546545e-05,1.545403e-05,1.541827e-05,1.537094e-05,1.532352e-05,1.527604e-05,1.522853e-05,1.518104e-05,1.513361e-05,1.508625e-05,1.503900e-05,1.499189e-05,1.494495e-05,1.489819e-05,1.485165e-05,1.480534e-05,1.475927e-05,1.471348e-05,1.466797e-05,1.462276e-05,1.457787e-05,1.453331e-05,1.448909e-05,1.444522e-05,1.440171e-05,1.435857e-05,1.431582e-05
0.000000e+00,5.262858e-10,1.504879e-09,7.022612e-09,1.913852e-08,3.011093e-08,7.894023e-08,8.169781e-08,1.732809e-07,2.075588e-07,3.154614e-07,4.291131e-07,5.179016e-07,7.649254e-07,7.893746e-07,1.137699e-06,1.233491e-06,1.569381e-06,1.849292e-06,2.088811e-06,2.619385e-06,2.696975e-06,3.390117e-06,3.538237e-06,4.159237e-06,4.584917e-06,4.991075e-06,5.727018e-06,5.870208e-06,6.781112e-06,6.928827e-06,7.709518e-06,8.157643e-06,8.642987e-06,9.386270e-06,9.570988e-06,1.048475e-05,1.059308e-05,1.137705e-05,1.176131e-05,1.224204e-05,1.287827e-05,1.307507e-05,1.387257e-05,1.393475e-05,1.463192e-05,1.492455e-05,1.535132e-05,1.584396e-05,1.602975e-05,1.666678e-05,1.669140e-05,1.726256e-05,1.746703e-05,1.781764e-05,1.817232e-05,1.833297e-05,1.880977e-05,1.924946e-05,1.938258e-05,1.965363e-05,1.989444e-05,2.002398e-05,2.034931e-05,2.036224e-05,2.067020e-05,2.075124e-05,2.094963e-05,2.110431e-05,2.120226e-05,2.141248e-05,2.142980e-05,2.163390e-05,2.167957e-05,2.181612e-05,2.190917e-05,2.197797e-05,2.210468e-05,2.212088e-05,2.224620e-05,2.226927e-05,2.235521e-05,2.240584e-05,2.244909e-05,2.251709e-05,2.252898e-05,2.259592e-05,2.260549e-05,2.265088e-05,2.267328e-05,2.269479e-05,2.272253e-05,2.272849e-05,2.275277e-05,2.275509e-05,2.276838e-05,2.277267e-05,2.277599e-05,2.277681e-05,2.277624e-05,2.276971e-05,2.276892e-05,2.275697e-05,2.275024e-05,2.273851e-05,2.272194e-05,2.271480e-05,2.268628e-05,2.268505e-05,2.265336e-05,2.264051e-05,2.261642e-05,2.258918e-05,2.257580e-05,2.253182e-05,2.248479e-05,2.246914e-05,2.243498e-05,2.240176e-05,2.238265e-05,2.233027e-05,2.232805e-05,2.227139e-05,2.225518e-05,2.221288e-05,2.217697e-05,2.215271e-05,2.209605e-05,2.209107e-05,2.202811e-05,2.201282e-05,2.196399e-05,2.192763e-05,2.189885e-05,2.184079e-05,2.183283e-05,2.176604e-05,2.175261e-05,2.169861e-05,2.166333e-05,2.163064e-05,2.157319e-05,2.156222e-05,2.149345e-05,2.148242e-05,2.142441e-05,2.139120e-05,2.135518e-05,2.129971e-05,2.128583e-05,2.121644e-05,2.120811e-05,2.114706e-05,2.111655e-05,2.107775e-05,2.102516e-05,2.100857e-05,2.093956e-05,2.093405e-05,2.087078e-05,2.084334e-05,2.080226e-05,2.075312e-05,2.073405e-05,2.066618e-05,2.066347e-05,2.059868e-05,2.057447e-05,2.053158e-05,2.048620e-05,2.046492e-05,2.039872e-05,2.031208e-05,2.022633e-05,2.014151e-05,2.005767e-05,1.997484e-05,1.989305e-05,1.981232e-05,1.973268e-05,1.965415e-05,1.957673e-05,1.950045e-05,1.942532e-05,1.935133e-05,1.927850e-05,1.920684e-05,1.913633e-05,1.906699e-05,1.899881e-05,1.893179e-05,1.886592e-05,1.880120e-05,1.873763e-05,1.867519e-05,1.861388e-05
0.000000e+00,1.306519e-09,3.441672e-09,1.400890e-08,3.475022e-08,5.242927e-08,1.265375e-07,1.306066e-07,2.631161e-07,3.121113e-07,4.661932e-07,6.295379e-07,7.584061e-07,1.123693e-06,1.160394e-06,1.693013e-06,1.842318e-06,2.373075e-06,2.821240e-06,3.206698e-06,4.059270e-06,4.183214e-06,5.275280e-06,5.504418e-06,6.446805e-06,7.075521e-06,7.662712e-06,8.697303e-06,8.894507e-06,1.012108e-05,1.031578e-05,1.132736e-05,1.189588e-05,1.250258e-05,1.341508e-05,1.363895e-05,1.473073e-05,1.485853e-05,1.577373e-05,1.621640e-05,1.676498e-05,1.748246e-05,1.770249e-05,1.858508e-05,1.865330e-05,1.941235e-05,1.972779e-05,2.018450e-05,2.070670e-05,2.090225e-05,2.156680e-05,2.159230e-05,2.217967e-05,2.238799e-05,2.274267e-05,2.309805e-05,2.325782e-05,2.372730e-05,2.415335e-05,2.428090e-05,2.453830e-05,2.476415e-05,2.488444e-05,2.518238e-05,2.519409e-05,2.546949e-05,2.554076e-05,2.571282e-05,2.584431e-05,2.592620e-05,2.609779e-05,2.611165e-05,2.627108e-05,2.630568e-05,2.640635e-05,2.647219e-05,2.651917e-05,2.660119e-05,2.661119e-05,2.668394e-05,2.669631e-05,2.673887e-05,2.676085e-05,2.677734e-05,2.679785e-05,2.680060e-05,2.680985e-05,2.681010e-05,2.680618e-05,2.680014e-05,2.679064e-05,2.677030e-05,2.676418e-05,2.672769e-05,2.672268e-05,2.668201e-05,2.665920e-05,2.662792e-05,2.658162e-05,2.656612e-05,2.649729e-05,2.649150e-05,2.642206e-05,2.639030e-05,2.634099e-05,2.627931e-05,2.625463e-05,2.616346e-05,2.615973e-05,2.606797e-05,2.603261e-05,2.596856e-05,2.589894e-05,2.586564e-05,2.575958e-05,2.565073e-05,2.561535e-05,2.553938e-05,2.546696e-05,2.542585e-05,2.531506e-05,2.531040e-05,2.519329e-05,2.516023e-05,2.507475e-05,2.500303e-05,2.495499e-05,2.484392e-05,2.483422e-05,2.471263e-05,2.468334e-05,2.459038e-05,2.452169e-05,2.446763e-05,2.435933e-05,2.434454e-05,2.422123e-05,2.419656e-05,2.409784e-05,2.403368e-05,2.397447e-05,2.387094e-05,2.385124e-05,2.372824e-05,2.370859e-05,2.360556e-05,2.354682e-05,2.348330e-05,2.338583e-05,2.336152e-05,2.324029e-05,2.322578e-05,2.311968e-05,2.306683e-05,2.299975e-05,2.290910e-05,2.288056e-05,2.276215e-05,2.275271e-05,2.264456e-05,2.259777e-05,2.252785e-05,2.244437e-05,2.241204e-05,2.229717e-05,2.229260e-05,2.218328e-05,2.214252e-05,2.207038e-05,2.199419e-05,2.195850e-05,2.184767e-05,2.170301e-05,2.156023e-05,2.141938e-05,2.128049e-05,2.114356e-05,2.100862e-05,2.087569e-05,2.074476e-05,2.061584e-05,2.048893e-05,2.036404e-05,2.024116e-05,2.012027e-05,2.000138e-05,1.988446e-05,1.976951e-05,1.965652e-05,1.954546e-05,1.943631e-05,1.932907e-05,1.922371e-05,1.912021e-05,1.901856e-05,1.891871e-05
0.000000e+00,3.126262e-09,7.159809e-09,2.460638e-08,5.592928e-08,8.155571e-08,1.848694e-07,1.904297e-07,3.681346e-07,4.326867e-07,6.330693e-07,8.421226e-07,1.004930e-06,1.456215e-06,1.500681e-06,2.127229e-06,2.296718e-06,2.880070e-06,3.353427e-06,3.750088e-06,4.605862e-06,4.728807e-06,5.809289e-06,6.037051e-06,6.985373e-06,7.632683e-06,8.250875e-06,9.378111e-06,9.599085e-06,1.102254e-05,1.125673e-05,1.251296e-05,1.324954e-05,1.406136e-05,1.533539e-05,1.565814e-05,1.729333e-05,1.749165e-05,1.895676e-05,1.969499e-05,2.063827e-05,2.192221e-05,2.232796e-05,2.401629e-05,2.415102e-05,2.569427e-05,2.636068e-05,2.735359e-05,2.853247e-05,2.898669e-05,3.058684e-05,3.065007e-05,3.214811e-05,3.269964e-05,3.366542e-05,3.466988e-05,3.513453e-05,3.655197e-05,3.791506e-05,3.833942e-05,3.922177e-05,4.002782e-05,4.047072e-05,4.161461e-05,4.166110e-05,4.279260e-05,4.309887e-05,4.386534e-05,4.448098e-05,4.487983e-05,4.576243e-05,4.583691e-05,4.673767e-05,4.694562e-05,4.758344e-05,4.803359e-05,4.837570e-05,4.902992e-05,4.911608e-05,4.980633e-05,4.993853e-05,5.044826e-05,5.076358e-05,5.104372e-05,5.150937e-05,5.159459e-05,5.210276e-05,5.218024e-05,5.257013e-05,5.278051e-05,5.299854e-05,5.331447e-05,5.338984e-05,5.374582e-05,5.378625e-05,5.406821e-05,5.419986e-05,5.435870e-05,5.455915e-05,5.461892e-05,5.485045e-05,5.486778e-05,5.505481e-05,5.512927e-05,5.523344e-05,5.534692e-05,5.538776e-05,5.551909e-05,5.552388e-05,5.562871e-05,5.566309e-05,5.571783e-05,5.576733e-05,5.578763e-05,5.583921e-05,5.587362e-05,5.588117e-05,5.589187e-05,5.589550e-05,5.589490e-05,5.588434e-05,5.588363e-05,5.585891e-05,5.584969e-05,5.582157e-05,5.579342e-05,5.577237e-05,5.571727e-05,5.571205e-05,5.564131e-05,5.562285e-05,5.556080e-05,5.551169e-05,5.547116e-05,5.538519e-05,5.537298e-05,5.526682e-05,5.524467e-05,5.515320e-05,5.509135e-05,5.503264e-05,5.492636e-05,5.490562e-05,5.477258e-05,5.475076e-05,5.463395e-05,5.456555e-05,5.449014e-05,5.437162e-05,5.434153e-05,5.418849e-05,5.416984e-05,5.403135e-05,5.396100e-05,5.387045e-05,5.374583e-05,5.370608e-05,5.353854e-05,5.352501e-05,5.336810e-05,5.329918e-05,5.319503e-05,5.306893e-05,5.301957e-05,5.284195e-05,5.283481e-05,5.266239e-05,5.259732e-05,5.248110e-05,5.235694e-05,5.229828e-05,5.211410e-05,5.186922e-05,5.162266e-05,5.137478e-05,5.112590e-05,5.087632e-05,5.062632e-05,5.037616e-05,5.012606e-05,4.987626e-05,4.962695e-05,4.937831e-05,4.913053e-05,4.888376e-05,4.863814e-05,4.839381e-05,4.815088e-05,4.790948e-05,4.766971e-05,4.743165e-05,4.719539e-05,4.696102e-05,4.672859e-05,4.649818e-05,4.626984e-05
0.000000e+00,9.242041e-10,2.742061e-09,1.376846e-08,3.996477e-08,6.499843e-08,1.848263e-07,1.918908e-07,4.384407e-07,5.353805e-07,8.525653e-07,1.202211e-06,1.484198e-06,2.300646e-06,2.383611e-06,3.598665e-06,3.941971e-06,5.169624e-06,6.215397e-06,7.123052e-06,9.166944e-06,9.469191e-06,1.220377e-05,1.279610e-05,1.531131e-05,1.706696e-05,1.876788e-05,2.191897e-05,2.254297e-05,2.660090e-05,2.727380e-05,3.090193e-05,3.304034e-05,3.540342e-05,3.911908e-05,4.006089e-05,4.482918e-05,4.540668e-05,4.966348e-05,5.180023e-05,5.452039e-05,5.820130e-05,5.935869e-05,6.414018e-05,6.451918e-05,6.883015e-05,7.067348e-05,7.339782e-05,7.659568e-05,7.781654e-05,8.206386e-05,8.222992e-05,8.612149e-05,8.753293e-05,8.997513e-05,9.247355e-05,9.361422e-05,9.703169e-05,1.002236e-04,1.011971e-04,1.031886e-04,1.049677e-04,1.059281e-04,1.083488e-04,1.084453e-04,1.107452e-04,1.113510e-04,1.128340e-04,1.139891e-04,1.147194e-04,1.162814e-04,1.164096e-04,1.179136e-04,1.182479e-04,1.192407e-04,1.199102e-04,1.204006e-04,1.212906e-04,1.214029e-04,1.222573e-04,1.224113e-04,1.229733e-04,1.232941e-04,1.235603e-04,1.239602e-04,1.240272e-04,1.243828e-04,1.244299e-04,1.246354e-04,1.247224e-04,1.247930e-04,1.248558e-04,1.248632e-04,1.248531e-04,1.248468e-04,1.247695e-04,1.247111e-04,1.246187e-04,1.244628e-04,1.244067e-04,1.241390e-04,1.241153e-04,1.238209e-04,1.236806e-04,1.234572e-04,1.231696e-04,1.230523e-04,1.226105e-04,1.225922e-04,1.221357e-04,1.219574e-04,1.216315e-04,1.212734e-04,1.211011e-04,1.205476e-04,1.199739e-04,1.197864e-04,1.193825e-04,1.189959e-04,1.187759e-04,1.181813e-04,1.181563e-04,1.175256e-04,1.173473e-04,1.168859e-04,1.164983e-04,1.162386e-04,1.156380e-04,1.155856e-04,1.149280e-04,1.147697e-04,1.142673e-04,1.138964e-04,1.136047e-04,1.130208e-04,1.129412e-04,1.122779e-04,1.121453e-04,1.116155e-04,1.112718e-04,1.109551e-04,1.104022e-04,1.102972e-04,1.096425e-04,1.095381e-04,1.089918e-04,1.086810e-04,1.083454e-04,1.078319e-04,1.077040e-04,1.070679e-04,1.069919e-04,1.064375e-04,1.061621e-04,1.058132e-04,1.053431e-04,1.051954e-04,1.045842e-04,1.045356e-04,1.039799e-04,1.037401e-04,1.033827e-04,1.029573e-04,1.027928e-04,1.022104e-04,1.021873e-04,1.016356e-04,1.014306e-04,1.010685e-04,1.006873e-04,1.005092e-04,9.995770e-05,9.924187e-05,9.853990e-05,9.785184e-05,9.717768e-05,9.651741e-05,9.587095e-05,9.523823e-05,9.461914e-05,9.401356e-05,9.342134e-05,9.284232e-05,9.227634e-05,9.172321e-05,9.118274e-05,9.065473e-05,9.013898e-05,8.963527e-05,8.914340e-05,8.866314e-05,8.819427e-05,8.773658e-05,8.728983e-05,8.685380e-05,8.642827e-05
0.000000e+00,2.667956e-09,6.553310e-09,2.432047e-08,5.729870e-08,8.463900e-08,1.958654e-07,2.018687e-07,3.936318e-07,4.630929e-07,6.777366e-07,9.001480e-07,1.072527e-06,1.548792e-06,1.595730e-06,2.259972e-06,2.440753e-06,3.065709e-06,3.574086e-06,3.999458e-06,4.911045e-06,5.041061e-06,6.170978e-06,6.406033e-06,7.372352e-06,8.020340e-06,8.630386e-06,9.720938e-06,9.931463e-06,1.126267e-05,1.147763e-05,1.261168e-05,1.326208e-05,1.396685e-05,1.504810e-05,1.531733e-05,1.665327e-05,1.681218e-05,1.796592e-05,1.853412e-05,1.924771e-05,2.019725e-05,2.049224e-05,2.169431e-05,2.178852e-05,2.284982e-05,2.329826e-05,2.395567e-05,2.471988e-05,2.500970e-05,2.601054e-05,2.604946e-05,2.695755e-05,2.728526e-05,2.785064e-05,2.842735e-05,2.869025e-05,2.947718e-05,3.021258e-05,3.043725e-05,3.089784e-05,3.131082e-05,3.153455e-05,3.210170e-05,3.212442e-05,3.266925e-05,3.281399e-05,3.317094e-05,3.345202e-05,3.363136e-05,3.402016e-05,3.405245e-05,3.443608e-05,3.452278e-05,3.478412e-05,3.496417e-05,3.509842e-05,3.534849e-05,3.538074e-05,3.563283e-05,3.567976e-05,3.585635e-05,3.596183e-05,3.605292e-05,3.619834e-05,3.622408e-05,3.637133e-05,3.639277e-05,3.649609e-05,3.654838e-05,3.659971e-05,3.666826e-05,3.668349e-05,3.674867e-05,3.675529e-05,3.679642e-05,3.681220e-05,3.682786e-05,3.684151e-05,3.684406e-05,3.684603e-05,3.684560e-05,3.683472e-05,3.682668e-05,3.681103e-05,3.678680e-05,3.677584e-05,3.672994e-05,3.672789e-05,3.667412e-05,3.665173e-05,3.660909e-05,3.655997e-05,3.653555e-05,3.645414e-05,3.636548e-05,3.633567e-05,3.627014e-05,3.620588e-05,3.616868e-05,3.606599e-05,3.606160e-05,3.594940e-05,3.591713e-05,3.583252e-05,3.576033e-05,3.571140e-05,3.559658e-05,3.558645e-05,3.545804e-05,3.542674e-05,3.532653e-05,3.525165e-05,3.519225e-05,3.507206e-05,3.505553e-05,3.491666e-05,3.488866e-05,3.477592e-05,3.470208e-05,3.463357e-05,3.451293e-05,3.448985e-05,3.434499e-05,3.432172e-05,3.419921e-05,3.412896e-05,3.405270e-05,3.393510e-05,3.390566e-05,3.375825e-05,3.374054e-05,3.361064e-05,3.354567e-05,3.346298e-05,3.335082e-05,3.331542e-05,3.316808e-05,3.315630e-05,3.302108e-05,3.296240e-05,3.287454e-05,3.276938e-05,3.272857e-05,3.258326e-05,3.257746e-05,3.243870e-05,3.238686e-05,3.229497e-05,3.219775e-05,3.215216e-05,3.201032e-05,3.182470e-05,3.164104e-05,3.145945e-05,3.128003e-05,3.110288e-05,3.092808e-05,3.075568e-05,3.058576e-05,3.041836e-05,3.025353e-05,3.009128e-05,2.993165e-05,2.977466e-05,2.962033e-05,2.946865e-05,2.931962e-05,2.917326e-05,2.902955e-05,2.888848e-05,2.875003e-05,2.861420e-05,2.848096e-05,2.835028e-05,2.822215e-05
0.000000e+00,5.082473e-10,1.482616e-09,7.190264e-09,2.023179e-08,3.235772e-08,8.822307e-08,9.144285e-08,2.008930e-07,2.428324e-07,3.773766e-07,5.224200e-07,6.376850e-07,9.657740e-07,9.987669e-07,1.477235e-06,1.611225e-06,2.087471e-06,2.490220e-06,2.837673e-06,3.611673e-06,3.724970e-06,4.733233e-06,4.947189e-06,5.835981e-06,6.436489e-06,7.002253e-06,8.008800e-06,8.201819e-06,9.408126e-06,9.600233e-06,1.059932e-05,1.116049e-05,1.175815e-05,1.265292e-05,1.287141e-05,1.392930e-05,1.405217e-05,1.492480e-05,1.534178e-05,1.585322e-05,1.651217e-05,1.671176e-05,1.749921e-05,1.755913e-05,1.821568e-05,1.848262e-05,1.886233e-05,1.928581e-05,1.944121e-05,1.995504e-05,1.997428e-05,2.040703e-05,2.055529e-05,2.080077e-05,2.103718e-05,2.114007e-05,2.142886e-05,2.167109e-05,2.173941e-05,2.187064e-05,2.197772e-05,2.203131e-05,2.215232e-05,2.215670e-05,2.225025e-05,2.227119e-05,2.231519e-05,2.234167e-05,2.235450e-05,2.237042e-05,2.237095e-05,2.236710e-05,2.236341e-05,2.234524e-05,2.232594e-05,2.230751e-05,2.226269e-05,2.225580e-05,2.219185e-05,2.217773e-05,2.211720e-05,2.207461e-05,2.203323e-05,2.195643e-05,2.194121e-05,2.184224e-05,2.182583e-05,2.173732e-05,2.168510e-05,2.162732e-05,2.153621e-05,2.151305e-05,2.139520e-05,2.138085e-05,2.127439e-05,2.122045e-05,2.115119e-05,2.105625e-05,2.102607e-05,2.089949e-05,2.088931e-05,2.077182e-05,2.072052e-05,2.064341e-05,2.055066e-05,2.051456e-05,2.038555e-05,2.038038e-05,2.025661e-05,2.021025e-05,2.012795e-05,2.004073e-05,1.999977e-05,1.987223e-05,1.974547e-05,1.970509e-05,1.961962e-05,1.953961e-05,1.949480e-05,1.937604e-05,1.937111e-05,1.924863e-05,1.921457e-05,1.912744e-05,1.905538e-05,1.900761e-05,1.889861e-05,1.888919e-05,1.877223e-05,1.874438e-05,1.865677e-05,1.859279e-05,1.854286e-05,1.844391e-05,1.843051e-05,1.831976e-05,1.829780e-05,1.821061e-05,1.815450e-05,1.810310e-05,1.801405e-05,1.799722e-05,1.789299e-05,1.787647e-05,1.779042e-05,1.774177e-05,1.768949e-05,1.760994e-05,1.759022e-05,1.749260e-05,1.748099e-05,1.739661e-05,1.735490e-05,1.730227e-05,1.723165e-05,1.720955e-05,1.711845e-05,1.711123e-05,1.702895e-05,1.699360e-05,1.694104e-05,1.687873e-05,1.685472e-05,1.676995e-05,1.676659e-05,1.668673e-05,1.665714e-05,1.660504e-05,1.655035e-05,1.652486e-05,1.644617e-05,1.634456e-05,1.624547e-05,1.614887e-05,1.605470e-05,1.596291e-05,1.587347e-05,1.578632e-05,1.570141e-05,1.561870e-05,1.553815e-05,1.545969e-05,1.538329e-05,1.530889e-05,1.523646e-05,1.516594e-05,1.509730e-05,1.503047e-05,1.496543e-05,1.490213e-05,1.484052e-05,1.478056e-05,1.472222e-05,1.466544e-05,1.461019e-05
0.000000e+00,1.833394e-09,5.236219e-09,2.440878e-08,6.656342e-08,1.048319e-07,2.761719e-07,2.858957e-07,6.114379e-07,7.344897e-07,1.125729e-06,1.543697e-06,1.874078e-06,2.809071e-06,2.902758e-06,4.255914e-06,4.633086e-06,5.967422e-06,7.088409e-06,8.050669e-06,1.018343e-05,1.049498e-05,1.327196e-05,1.386412e-05,1.634514e-05,1.804759e-05,1.967647e-05,2.264722e-05,2.322902e-05,2.696737e-05,2.758045e-05,3.085741e-05,3.276877e-05,3.486611e-05,3.813698e-05,3.896150e-05,4.311291e-05,4.361344e-05,4.729125e-05,4.913117e-05,5.146935e-05,5.462913e-05,5.562230e-05,5.972761e-05,6.005336e-05,6.376538e-05,6.535762e-05,6.771834e-05,7.050361e-05,7.157179e-05,7.531350e-05,7.546070e-05,7.893357e-05,8.020546e-05,8.242423e-05,8.472090e-05,8.577963e-05,8.899564e-05,9.206966e-05,9.302310e-05,9.500035e-05,9.680064e-05,9.778752e-05,1.003288e-04,1.004319e-04,1.029350e-04,1.036108e-04,1.052990e-04,1.066517e-04,1.075266e-04,1.094581e-04,1.096209e-04,1.115853e-04,1.120378e-04,1.134235e-04,1.143992e-04,1.151394e-04,1.165514e-04,1.167370e-04,1.182203e-04,1.185037e-04,1.195936e-04,1.202655e-04,1.208609e-04,1.218465e-04,1.220263e-04,1.230940e-04,1.232560e-04,1.240679e-04,1.245033e-04,1.249521e-04,1.255975e-04,1.257504e-04,1.264667e-04,1.265473e-04,1.271046e-04,1.273614e-04,1.276677e-04,1.280479e-04,1.281596e-04,1.285837e-04,1.286148e-04,1.289432e-04,1.290696e-04,1.292414e-04,1.294198e-04,1.294813e-04,1.296659e-04,1.296722e-04,1.297982e-04,1.298335e-04,1.298808e-04,1.299100e-04,1.299164e-04,1.299077e-04,1.298570e-04,1.298323e-04,1.297668e-04,1.296894e-04,1.296393e-04,1.294839e-04,1.294768e-04,1.292812e-04,1.292209e-04,1.290547e-04,1.289048e-04,1.287992e-04,1.285400e-04,1.285165e-04,1.282083e-04,1.281308e-04,1.278764e-04,1.276808e-04,1.275224e-04,1.271938e-04,1.271478e-04,1.267542e-04,1.266733e-04,1.263428e-04,1.261223e-04,1.259151e-04,1.255441e-04,1.254723e-04,1.250156e-04,1.249414e-04,1.245463e-04,1.243169e-04,1.240654e-04,1.236731e-04,1.235740e-04,1.230731e-04,1.230124e-04,1.225636e-04,1.223369e-04,1.220464e-04,1.216487e-04,1.215224e-04,1.209924e-04,1.209498e-04,1.204572e-04,1.202418e-04,1.199175e-04,1.195265e-04,1.193740e-04,1.188273e-04,1.188054e-04,1.182782e-04,1.180800e-04,1.177271e-04,1.173515e-04,1.171746e-04,1.166212e-04,1.158903e-04,1.151598e-04,1.144306e-04,1.137037e-04,1.129799e-04,1.122600e-04,1.115445e-04,1.108343e-04,1.101297e-04,1.094314e-04,1.087398e-04,1.080554e-04,1.073785e-04,1.067094e-04,1.060485e-04,1.053960e-04,1.047522e-04,1.041172e-04,1.034913e-04,1.028745e-04,1.022669e-04,1.016688e-04,1.010801e-04,1.005009e-04
0.000000e+00,3.872459e-10,1.136873e-09,5.589737e-09,1.594065e-08,2.569623e-08,7.166482e-08,7.435497e-08,1.678299e-07,2.045545e-07,3.252201e-07,4.595472e-07,5.689917e-07,8.908133e-07,9.238471e-07,1.411197e-06,1.549300e-06,2.040986e-06,2.454687e-06,2.808657e-06,3.586549e-06,3.699293e-06,4.693530e-06,4.903045e-06,5.771506e-06,6.358916e-06,6.914667e-06,7.912996e-06,8.106269e-06,9.331286e-06,9.529466e-06,1.057616e-05,1.117709e-05,1.182856e-05,1.282828e-05,1.307721e-05,1.431183e-05,1.445859e-05,1.552314e-05,1.604656e-05,1.670285e-05,1.757383e-05,1.784376e-05,1.893974e-05,1.902532e-05,1.998578e-05,2.038930e-05,2.097796e-05,2.165733e-05,2.191342e-05,2.279032e-05,2.282416e-05,2.360771e-05,2.388735e-05,2.436546e-05,2.484695e-05,2.506418e-05,2.570505e-05,2.628977e-05,2.646535e-05,2.682043e-05,2.713277e-05,2.729942e-05,2.771305e-05,2.772934e-05,2.811295e-05,2.821244e-05,2.845304e-05,2.863739e-05,2.875246e-05,2.899443e-05,2.901402e-05,2.924047e-05,2.928989e-05,2.943446e-05,2.952988e-05,2.959855e-05,2.972014e-05,2.973516e-05,2.984658e-05,2.986603e-05,2.993497e-05,2.997250e-05,3.000233e-05,3.004405e-05,3.005055e-05,3.008135e-05,3.008478e-05,3.009636e-05,3.009838e-05,3.009704e-05,3.008819e-05,3.008475e-05,3.006076e-05,3.005715e-05,3.002619e-05,3.000791e-05,2.998210e-05,2.994281e-05,2.992944e-05,2.986908e-05,2.986394e-05,2.980181e-05,2.977313e-05,2.972836e-05,2.967203e-05,2.964940e-05,2.956552e-05,2.956207e-05,2.947727e-05,2.944453e-05,2.938515e-05,2.932053e-05,2.928962e-05,2.919108e-05,2.908993e-05,2.905707e-05,2.898650e-05,2.891926e-05,2.888111e-05,2.877835e-05,2.877404e-05,2.866556e-05,2.863497e-05,2.855591e-05,2.848964e-05,2.844529e-05,2.834286e-05,2.833392e-05,2.822198e-05,2.819504e-05,2.810962e-05,2.804658e-05,2.799701e-05,2.789780e-05,2.788427e-05,2.777155e-05,2.774902e-05,2.765896e-05,2.760049e-05,2.754659e-05,2.745245e-05,2.743455e-05,2.732293e-05,2.730511e-05,2.721180e-05,2.715866e-05,2.710125e-05,2.701326e-05,2.699133e-05,2.688211e-05,2.686905e-05,2.677364e-05,2.672616e-05,2.666597e-05,2.658472e-05,2.655916e-05,2.645324e-05,2.644480e-05,2.634824e-05,2.630651e-05,2.624421e-05,2.616992e-05,2.614117e-05,2.603914e-05,2.603508e-05,2.593816e-05,2.590207e-05,2.583825e-05,2.577092e-05,2.573941e-05,2.564167e-05,2.551437e-05,2.538903e-05,2.526567e-05,2.514432e-05,2.502498e-05,2.490766e-05,2.479237e-05,2.467911e-05,2.456787e-05,2.445864e-05,2.435142e-05,2.424621e-05,2.414297e-05,2.404171e-05,2.394241e-05,2.384504e-05,2.374958e-05,2.365603e-05,2.356435e-05,2.347452e-05,2.338653e-05,2.330034e-05,2.321593e-05,2.313328e-05
0.000000e+00,2.150993e-09,5.496826e-09,2.145731e-08,5.195132e-08,7.757556e-08,1.831055e-07,1.888343e-07,3.725831e-07,4.393313e-07,6.457563e-07,8.596268e-07,1.025291e-06,1.482862e-06,1.527988e-06,2.168988e-06,2.344685e-06,2.958255e-06,3.465767e-06,3.896708e-06,4.839405e-06,4.975901e-06,6.181787e-06,6.436791e-06,7.498746e-06,8.222371e-06,8.911534e-06,1.016168e-05,1.040561e-05,1.196698e-05,1.222212e-05,1.358199e-05,1.437231e-05,1.523728e-05,1.658177e-05,1.691986e-05,1.861721e-05,1.882132e-05,2.031751e-05,2.106369e-05,2.200970e-05,2.328409e-05,2.368368e-05,2.533041e-05,2.546072e-05,2.694191e-05,2.757508e-05,2.851135e-05,2.961202e-05,3.003296e-05,3.150203e-05,3.155964e-05,3.291484e-05,3.340912e-05,3.426858e-05,3.515432e-05,3.556123e-05,3.679153e-05,3.795883e-05,3.831903e-05,3.906304e-05,3.973679e-05,4.010455e-05,4.104611e-05,4.108411e-05,4.200283e-05,4.224934e-05,4.286205e-05,4.334968e-05,4.366335e-05,4.435087e-05,4.440845e-05,4.509920e-05,4.525710e-05,4.573750e-05,4.607279e-05,4.632536e-05,4.680254e-05,4.686478e-05,4.735779e-05,4.745100e-05,4.780641e-05,4.802282e-05,4.821265e-05,4.852257e-05,4.857847e-05,4.890582e-05,4.895475e-05,4.919657e-05,4.932368e-05,4.945258e-05,4.963357e-05,4.967562e-05,4.986743e-05,4.988842e-05,5.002966e-05,5.009209e-05,5.016393e-05,5.024823e-05,5.027179e-05,5.035473e-05,5.036033e-05,5.041417e-05,5.043168e-05,5.045149e-05,5.046540e-05,5.046800e-05,5.046495e-05,5.046444e-05,5.044355e-05,5.043157e-05,5.040493e-05,5.036940e-05,5.035020e-05,5.028039e-05,5.019651e-05,5.016685e-05,5.009949e-05,5.003093e-05,4.999025e-05,4.987466e-05,4.986963e-05,4.973845e-05,4.969994e-05,4.959749e-05,4.950853e-05,4.944748e-05,4.930209e-05,4.928913e-05,4.912309e-05,4.908216e-05,4.894999e-05,4.885019e-05,4.877042e-05,4.860751e-05,4.858496e-05,4.839413e-05,4.835537e-05,4.819844e-05,4.809492e-05,4.799837e-05,4.782726e-05,4.779437e-05,4.758686e-05,4.755336e-05,4.737625e-05,4.727416e-05,4.716291e-05,4.699052e-05,4.694721e-05,4.672948e-05,4.670323e-05,4.651003e-05,4.641302e-05,4.628918e-05,4.612056e-05,4.606719e-05,4.584433e-05,4.582647e-05,4.562085e-05,4.553134e-05,4.539699e-05,4.523568e-05,4.517295e-05,4.494894e-05,4.493998e-05,4.472515e-05,4.464468e-05,4.450177e-05,4.435018e-05,4.427895e-05,4.405685e-05,4.376503e-05,4.347502e-05,4.318710e-05,4.290151e-05,4.261848e-05,4.233821e-05,4.206088e-05,4.178665e-05,4.151566e-05,4.124804e-05,4.098389e-05,4.072330e-05,4.046636e-05,4.021313e-05,3.996367e-05,3.971802e-05,3.947622e-05,3.923830e-05,3.900426e-05,3.877413e-05,3.854790e-05,3.832557e-05,3.810714e-05,3.789258e-05
0.000000e+00,3.322150e-09,7.765041e-09,2.729648e-08,6.270414e-08,9.175937e-08,2.087587e-07,2.150362e-07,4.141275e-07,4.856427e-07,7.048710e-07,9.294903e-07,1.102006e-06,1.572922e-06,1.618974e-06,2.267085e-06,2.443079e-06,3.053682e-06,3.555408e-06,3.980007e-06,4.906822e-06,5.040964e-06,6.227327e-06,6.478697e-06,7.528116e-06,8.245901e-06,8.931694e-06,1.018134e-05,1.042602e-05,1.199870e-05,1.225675e-05,1.363706e-05,1.444307e-05,1.532838e-05,1.671111e-05,1.706010e-05,1.882004e-05,1.903257e-05,2.059666e-05,2.138086e-05,2.237923e-05,2.373188e-05,2.415792e-05,2.592392e-05,2.606442e-05,2.766946e-05,2.836039e-05,2.938777e-05,3.060483e-05,3.107310e-05,3.272065e-05,3.278571e-05,3.432647e-05,3.489372e-05,3.588740e-05,3.692191e-05,3.740098e-05,3.886541e-05,4.027940e-05,4.072107e-05,4.164213e-05,4.248718e-05,4.295321e-05,4.416319e-05,4.421258e-05,4.542046e-05,4.574949e-05,4.657731e-05,4.724719e-05,4.768379e-05,4.865798e-05,4.874074e-05,4.974909e-05,4.998397e-05,5.070989e-05,5.122760e-05,5.162429e-05,5.239151e-05,5.249346e-05,5.331864e-05,5.347851e-05,5.410111e-05,5.449153e-05,5.484213e-05,5.543350e-05,5.554300e-05,5.620502e-05,5.630742e-05,5.682947e-05,5.711623e-05,5.741763e-05,5.786288e-05,5.797077e-05,5.849013e-05,5.855024e-05,5.897693e-05,5.918112e-05,5.943238e-05,5.975828e-05,5.985766e-05,6.025391e-05,6.028439e-05,6.062225e-05,6.076203e-05,6.096379e-05,6.119369e-05,6.127958e-05,6.157066e-05,6.158180e-05,6.183804e-05,6.192868e-05,6.208269e-05,6.223657e-05,6.230557e-05,6.250760e-05,6.268966e-05,6.274384e-05,6.285262e-05,6.294727e-05,6.299731e-05,6.311978e-05,6.312454e-05,6.323510e-05,6.326317e-05,6.332973e-05,6.337916e-05,6.340916e-05,6.346942e-05,6.347410e-05,6.352522e-05,6.353551e-05,6.356319e-05,6.357893e-05,6.358862e-05,6.360112e-05,6.360213e-05,6.360431e-05,6.360344e-05,6.359572e-05,6.358717e-05,6.357690e-05,6.355357e-05,6.354837e-05,6.351064e-05,6.350379e-05,6.346420e-05,6.343894e-05,6.340950e-05,6.336010e-05,6.334700e-05,6.327712e-05,6.326826e-05,6.320028e-05,6.316436e-05,6.311687e-05,6.304932e-05,6.302728e-05,6.293187e-05,6.292399e-05,6.283099e-05,6.278918e-05,6.272497e-05,6.264565e-05,6.261415e-05,6.249883e-05,6.249413e-05,6.237930e-05,6.233530e-05,6.225585e-05,6.216981e-05,6.212875e-05,6.199827e-05,6.182126e-05,6.163933e-05,6.145298e-05,6.126271e-05,6.106896e-05,6.087217e-05,6.067274e-05,6.047104e-05,6.026744e-05,6.006227e-05,5.985584e-05,5.964845e-05,5.944037e-05,5.923185e-05,5.902314e-05,5.881446e-05,5.860602e-05,5.839802e-05,5.819064e-05,5.798404e-05,5.777838e-05,5.757381e-05,5.737046e-05,5.716846e-05
0.000000e+00,1.436888e-09,3.285137e-09,1.128204e-08,2.566153e-08,3.744381e-08,8.506257e-08,8.762969e-08,1.698405e-07,1.997647e-07,2.927711e-07,3.898512e-07,4.653799e-07,6.738111e-07,6.942501e-07,9.801430e-07,1.056834e-06,1.318979e-06,1.529911e-06,1.705607e-06,2.081718e-06,2.135440e-06,2.604331e-06,2.702438e-06,3.108173e-06,3.382571e-06,3.642683e-06,4.112081e-06,4.203356e-06,4.785528e-06,4.880356e-06,5.384484e-06,5.676575e-06,5.995580e-06,6.490194e-06,6.614359e-06,7.236646e-06,7.311372e-06,7.858627e-06,8.131306e-06,8.476884e-06,8.942407e-06,9.088417e-06,9.690651e-06,9.738360e-06,1.028142e-05,1.051410e-05,1.085894e-05,1.126573e-05,1.142177e-05,1.196881e-05,1.199035e-05,1.249922e-05,1.268597e-05,1.301239e-05,1.335131e-05,1.350797e-05,1.398572e-05,1.444560e-05,1.458900e-05,1.488768e-05,1.516134e-05,1.531212e-05,1.570321e-05,1.571916e-05,1.610912e-05,1.621529e-05,1.648235e-05,1.669843e-05,1.683927e-05,1.715358e-05,1.718029e-05,1.750587e-05,1.758177e-05,1.781648e-05,1.798405e-05,1.811258e-05,1.836152e-05,1.839465e-05,1.866316e-05,1.871528e-05,1.891860e-05,1.904641e-05,1.916142e-05,1.935599e-05,1.939210e-05,1.961107e-05,1.964505e-05,1.981879e-05,1.991463e-05,2.001569e-05,2.016570e-05,2.020219e-05,2.037869e-05,2.039922e-05,2.054560e-05,2.061610e-05,2.070330e-05,2.081723e-05,2.085218e-05,2.099257e-05,2.100345e-05,2.112485e-05,2.117557e-05,2.124935e-05,2.133435e-05,2.136639e-05,2.147628e-05,2.148053e-05,2.157934e-05,2.161482e-05,2.167585e-05,2.173789e-05,2.176610e-05,2.185036e-05,2.192889e-05,2.195285e-05,2.200193e-05,2.204592e-05,2.206975e-05,2.213013e-05,2.213255e-05,2.219058e-05,2.220600e-05,2.224404e-05,2.227401e-05,2.229314e-05,2.233463e-05,2.233807e-05,2.237904e-05,2.238830e-05,2.241622e-05,2.243545e-05,2.244979e-05,2.247647e-05,2.247991e-05,2.250675e-05,2.251174e-05,2.253046e-05,2.254161e-05,2.255120e-05,2.256642e-05,2.256910e-05,2.258430e-05,2.258649e-05,2.259693e-05,2.260212e-05,2.260712e-05,2.261360e-05,2.261499e-05,2.262066e-05,2.262119e-05,2.262423e-05,2.262516e-05,2.262581e-05,2.262574e-05,2.262551e-05,2.262341e-05,2.262317e-05,2.261962e-05,2.261765e-05,2.261423e-05,2.260940e-05,2.260732e-05,2.259896e-05,2.259860e-05,2.258925e-05,2.258544e-05,2.257825e-05,2.257008e-05,2.256604e-05,2.255269e-05,2.253343e-05,2.251243e-05,2.248983e-05,2.246576e-05,2.244034e-05,2.241369e-05,2.238592e-05,2.235711e-05,2.232738e-05,2.229680e-05,2.226547e-05,2.223346e-05,2.220085e-05,2.216771e-05,2.213410e-05,2.210008e-05,2.206573e-05,2.203108e-05,2.199619e-05,2.196111e-05,2.192588e-05,2.189055e-05,2.185515e-05,2.181972e-05
0.000000e+00,2.826000e-09,6.459012e-09,2.214661e-08,5.024665e-08,7.317838e-08,1.650872e-07,1.700088e-07,3.259768e-07,3.820144e-07,5.540389e-07,7.308180e-07,8.670144e-07,1.240827e-06,1.277548e-06,1.797523e-06,1.939749e-06,2.436552e-06,2.848483e-06,3.199434e-06,3.971320e-06,4.083524e-06,5.078181e-06,5.289013e-06,6.167267e-06,6.764950e-06,7.332878e-06,8.358597e-06,8.557953e-06,9.827223e-06,1.003349e-05,1.112724e-05,1.175862e-05,1.244610e-05,1.350759e-05,1.377320e-05,1.509906e-05,1.525767e-05,1.641524e-05,1.698935e-05,1.771431e-05,1.868614e-05,1.898979e-05,2.023615e-05,2.033446e-05,2.144875e-05,2.192347e-05,2.262382e-05,2.344490e-05,2.375834e-05,2.485005e-05,2.489280e-05,2.589731e-05,2.626322e-05,2.689905e-05,2.755392e-05,2.785470e-05,2.876410e-05,2.962746e-05,2.989409e-05,3.044529e-05,3.094513e-05,3.121832e-05,3.191915e-05,3.194749e-05,3.263390e-05,3.281859e-05,3.327875e-05,3.364626e-05,3.388335e-05,3.440520e-05,3.444906e-05,3.497726e-05,3.509861e-05,3.546939e-05,3.572976e-05,3.592687e-05,3.630192e-05,3.635112e-05,3.674356e-05,3.681835e-05,3.710557e-05,3.728225e-05,3.743852e-05,3.769670e-05,3.774373e-05,3.802250e-05,3.806473e-05,3.827608e-05,3.838921e-05,3.850570e-05,3.867292e-05,3.871252e-05,3.889769e-05,3.891850e-05,3.906229e-05,3.912848e-05,3.920739e-05,3.930523e-05,3.933398e-05,3.944305e-05,3.945105e-05,3.953553e-05,3.956807e-05,3.961230e-05,3.965834e-05,3.967423e-05,3.972213e-05,3.972376e-05,3.975678e-05,3.976616e-05,3.977894e-05,3.978724e-05,3.978932e-05,3.978860e-05,3.977744e-05,3.977176e-05,3.975645e-05,3.973814e-05,3.972623e-05,3.968906e-05,3.968735e-05,3.964034e-05,3.962580e-05,3.958573e-05,3.954951e-05,3.952399e-05,3.946130e-05,3.945559e-05,3.938098e-05,3.936220e-05,3.930058e-05,3.925318e-05,3.921479e-05,3.913514e-05,3.912399e-05,3.902855e-05,3.900893e-05,3.892880e-05,3.887533e-05,3.882507e-05,3.873509e-05,3.871768e-05,3.860691e-05,3.858890e-05,3.849306e-05,3.843739e-05,3.837637e-05,3.828116e-05,3.825711e-05,3.813552e-05,3.812078e-05,3.801180e-05,3.795676e-05,3.788620e-05,3.778959e-05,3.775889e-05,3.763008e-05,3.761971e-05,3.749994e-05,3.744755e-05,3.736865e-05,3.727350e-05,3.723637e-05,3.710324e-05,3.709790e-05,3.696943e-05,3.692111e-05,3.683505e-05,3.674342e-05,3.670024e-05,3.656512e-05,3.638648e-05,3.620774e-05,3.602912e-05,3.585084e-05,3.567307e-05,3.549601e-05,3.531980e-05,3.514460e-05,3.497053e-05,3.479773e-05,3.462629e-05,3.445633e-05,3.428793e-05,3.412117e-05,3.395613e-05,3.379287e-05,3.363145e-05,3.347192e-05,3.331433e-05,3.315872e-05,3.300511e-05,3.285354e-05,3.270403e-05,3.255660e-05
0.000000e+00,2.724793e-09,6.229610e-09,2.138436e-08,4.858260e-08,7.081379e-08,1.601431e-07,1.649352e-07,3.171614e-07,3.720055e-07,5.407871e-07,7.148148e-07,8.492450e-07,1.219583e-06,1.256062e-06,1.774274e-06,1.916525e-06,2.414973e-06,2.830014e-06,3.184801e-06,3.968694e-06,4.083022e-06,5.100062e-06,5.316342e-06,6.219229e-06,6.834984e-06,7.420689e-06,8.479274e-06,8.685061e-06,9.995139e-06,1.020798e-05,1.133620e-05,1.198716e-05,1.269570e-05,1.378928e-05,1.406285e-05,1.542833e-05,1.559168e-05,1.678402e-05,1.737558e-05,1.812292e-05,1.912552e-05,1.943902e-05,2.072725e-05,2.082897e-05,2.198337e-05,2.247604e-05,2.320397e-05,2.405925e-05,2.438633e-05,2.552837e-05,2.557319e-05,2.662860e-05,2.701424e-05,2.768602e-05,2.838031e-05,2.870006e-05,2.967051e-05,3.059749e-05,3.088499e-05,3.148134e-05,3.202464e-05,3.232266e-05,3.309099e-05,3.312218e-05,3.388078e-05,3.408599e-05,3.459946e-05,3.501194e-05,3.527928e-05,3.587137e-05,3.592137e-05,3.652691e-05,3.666694e-05,3.709710e-05,3.740141e-05,3.763314e-05,3.807757e-05,3.813625e-05,3.860765e-05,3.869823e-05,3.904855e-05,3.926616e-05,3.946013e-05,3.978406e-05,3.984357e-05,4.020000e-05,4.025460e-05,4.053056e-05,4.068035e-05,4.083633e-05,4.106382e-05,4.111838e-05,4.137775e-05,4.140739e-05,4.161544e-05,4.171340e-05,4.183242e-05,4.198406e-05,4.202964e-05,4.220801e-05,4.222149e-05,4.236841e-05,4.242773e-05,4.251169e-05,4.260471e-05,4.263867e-05,4.275014e-05,4.275429e-05,4.284687e-05,4.287822e-05,4.292957e-05,4.297817e-05,4.299897e-05,4.305574e-05,4.310052e-05,4.311243e-05,4.313396e-05,4.314968e-05,4.315664e-05,4.316883e-05,4.316914e-05,4.317203e-05,4.317118e-05,4.316582e-05,4.315794e-05,4.315103e-05,4.313026e-05,4.312814e-05,4.309763e-05,4.308922e-05,4.305994e-05,4.303585e-05,4.301549e-05,4.297112e-05,4.296470e-05,4.290796e-05,4.289593e-05,4.284564e-05,4.281115e-05,4.277811e-05,4.271760e-05,4.270570e-05,4.262873e-05,4.261602e-05,4.254753e-05,4.250714e-05,4.246239e-05,4.239163e-05,4.237359e-05,4.228141e-05,4.227013e-05,4.218610e-05,4.214324e-05,4.208791e-05,4.201150e-05,4.198707e-05,4.188380e-05,4.187544e-05,4.177833e-05,4.173556e-05,4.167084e-05,4.159231e-05,4.156154e-05,4.145060e-05,4.144613e-05,4.133820e-05,4.129741e-05,4.122450e-05,4.114653e-05,4.110967e-05,4.099384e-05,4.083967e-05,4.068432e-05,4.052808e-05,4.037121e-05,4.021395e-05,4.005653e-05,3.989917e-05,3.974205e-05,3.958536e-05,3.942926e-05,3.927391e-05,3.911944e-05,3.896599e-05,3.881367e-05,3.866258e-05,3.851284e-05,3.836453e-05,3.821772e-05,3.807249e-05,3.792891e-05,3.778704e-05,3.764692e-05,3.750860e-05,3.737212e-05
0.000000e+00,2.471879e-10,7.202528e-10,3.487931e-09,9.812669e-09,1.570066e-08,4.293708e-08,4.451235e-08,9.839818e-08,1.192104e-07,1.865293e-07,2.599220e-07,3.187302e-07,4.874782e-07,5.044947e-07,7.504013e-07,8.186653e-07,1.058272e-06,1.257125e-06,1.426205e-06,1.796830e-06,1.850606e-06,2.327413e-06,2.428700e-06,2.852484e-06,3.143198e-06,3.421590e-06,3.930437e-06,4.030301e-06,4.673890e-06,4.779767e-06,5.347297e-06,5.679559e-06,6.045160e-06,6.617304e-06,6.761884e-06,7.491757e-06,7.579953e-06,8.229063e-06,8.554387e-06,8.968219e-06,9.527915e-06,9.703881e-06,1.043106e-05,1.048872e-05,1.114518e-05,1.142624e-05,1.184217e-05,1.233139e-05,1.251849e-05,1.317113e-05,1.319671e-05,1.379763e-05,1.401639e-05,1.439607e-05,1.478622e-05,1.496500e-05,1.550346e-05,1.601089e-05,1.616668e-05,1.648711e-05,1.677556e-05,1.693225e-05,1.733072e-05,1.734672e-05,1.773115e-05,1.783352e-05,1.808637e-05,1.828587e-05,1.841334e-05,1.869012e-05,1.871313e-05,1.898689e-05,1.904885e-05,1.923583e-05,1.936486e-05,1.946120e-05,1.964100e-05,1.966422e-05,1.984615e-05,1.988012e-05,2.000821e-05,2.008502e-05,2.015159e-05,2.025844e-05,2.027744e-05,2.038689e-05,2.040295e-05,2.048100e-05,2.052102e-05,2.056079e-05,2.061497e-05,2.062724e-05,2.068126e-05,2.068695e-05,2.072372e-05,2.073896e-05,2.075545e-05,2.077285e-05,2.077720e-05,2.078972e-05,2.079034e-05,2.079366e-05,2.079298e-05,2.078967e-05,2.078222e-05,2.077834e-05,2.076022e-05,2.075937e-05,2.073584e-05,2.072562e-05,2.070567e-05,2.068209e-05,2.067017e-05,2.062976e-05,2.058482e-05,2.056954e-05,2.053572e-05,2.050227e-05,2.048280e-05,2.042870e-05,2.042638e-05,2.036675e-05,2.034952e-05,2.030419e-05,2.026535e-05,2.023895e-05,2.017677e-05,2.017127e-05,2.010137e-05,2.008428e-05,2.002945e-05,1.998837e-05,1.995572e-05,1.988947e-05,1.988034e-05,1.980349e-05,1.978796e-05,1.972532e-05,1.968420e-05,1.964597e-05,1.957852e-05,1.956559e-05,1.948429e-05,1.947121e-05,1.940220e-05,1.936255e-05,1.931942e-05,1.925277e-05,1.923606e-05,1.915221e-05,1.914212e-05,1.906795e-05,1.903078e-05,1.898338e-05,1.891895e-05,1.889857e-05,1.881359e-05,1.880679e-05,1.872851e-05,1.869446e-05,1.864339e-05,1.858211e-05,1.855829e-05,1.847325e-05,1.846985e-05,1.838834e-05,1.835781e-05,1.830360e-05,1.824610e-05,1.821907e-05,1.813480e-05,1.802401e-05,1.791380e-05,1.780425e-05,1.769543e-05,1.758738e-05,1.748017e-05,1.737384e-05,1.726844e-05,1.716399e-05,1.706054e-05,1.695812e-05,1.685674e-05,1.675644e-05,1.665724e-05,1.655914e-05,1.646217e-05,1.636634e-05,1.627166e-05,1.617813e-05,1.608577e-05,1.599457e-05,1.590454e-05,1.581569e-05,1.572800e-05
0.000000e+00,3.015789e-09,7.108446e-09,2.523138e-08,5.831003e-08,8.560380e-08,1.966821e-07,2.026927e-07,3.958956e-07,4.664853e-07,6.866271e-07,9.177404e-07,1.098772e-06,1.606332e-06,1.656866e-06,2.379672e-06,2.578455e-06,3.270663e-06,3.838211e-06,4.315389e-06,5.343184e-06,5.490234e-06,6.771961e-06,7.039351e-06,8.141080e-06,8.882095e-06,9.581427e-06,1.083607e-05,1.107899e-05,1.262104e-05,1.287109e-05,1.419573e-05,1.495989e-05,1.579195e-05,1.707744e-05,1.739934e-05,1.900836e-05,1.920113e-05,2.061037e-05,2.131102e-05,2.219770e-05,2.339010e-05,2.376366e-05,2.530252e-05,2.542431e-05,2.680950e-05,2.740246e-05,2.828068e-05,2.931599e-05,2.971295e-05,3.110394e-05,3.115869e-05,3.245185e-05,3.292630e-05,3.375545e-05,3.461618e-05,3.501398e-05,3.622711e-05,3.739480e-05,3.775890e-05,3.851731e-05,3.921221e-05,3.959511e-05,4.058835e-05,4.062886e-05,4.161938e-05,4.188910e-05,4.256757e-05,4.311658e-05,4.347443e-05,4.427316e-05,4.434103e-05,4.516849e-05,4.536139e-05,4.595796e-05,4.638389e-05,4.671057e-05,4.734331e-05,4.742749e-05,4.810987e-05,4.824230e-05,4.875886e-05,4.908353e-05,4.937561e-05,4.986958e-05,4.996124e-05,5.051683e-05,5.060301e-05,5.104347e-05,5.128628e-05,5.154220e-05,5.192178e-05,5.201405e-05,5.246002e-05,5.251184e-05,5.288108e-05,5.305871e-05,5.327819e-05,5.356453e-05,5.365225e-05,5.400416e-05,5.403138e-05,5.433478e-05,5.446125e-05,5.464493e-05,5.485603e-05,5.493544e-05,5.520707e-05,5.521756e-05,5.546059e-05,5.554756e-05,5.569671e-05,5.584770e-05,5.591614e-05,5.611956e-05,5.630763e-05,5.636467e-05,5.648096e-05,5.658445e-05,5.664018e-05,5.678029e-05,5.678587e-05,5.691858e-05,5.695349e-05,5.703887e-05,5.710530e-05,5.714726e-05,5.723690e-05,5.724426e-05,5.733034e-05,5.734942e-05,5.740597e-05,5.744393e-05,5.747161e-05,5.752145e-05,5.752769e-05,5.757462e-05,5.758294e-05,5.761280e-05,5.762933e-05,5.764262e-05,5.766148e-05,5.766445e-05,5.767865e-05,5.768023e-05,5.768555e-05,5.768637e-05,5.768549e-05,5.768064e-05,5.767878e-05,5.766573e-05,5.766375e-05,5.764663e-05,5.763638e-05,5.762176e-05,5.759917e-05,5.759139e-05,5.755579e-05,5.755272e-05,5.751519e-05,5.749761e-05,5.746984e-05,5.743438e-05,5.741998e-05,5.736581e-05,5.736356e-05,5.730756e-05,5.728563e-05,5.724543e-05,5.720106e-05,5.717961e-05,5.711030e-05,5.701375e-05,5.691183e-05,5.680490e-05,5.669333e-05,5.657745e-05,5.645758e-05,5.633403e-05,5.620708e-05,5.607701e-05,5.594408e-05,5.580852e-05,5.567059e-05,5.553048e-05,5.538842e-05,5.524459e-05,5.509919e-05,5.495239e-05,5.480435e-05,5.465524e-05,5.450521e-05,5.435439e-05,5.420292e-05,5.405093e-05,5.389852e-05
0.000000e+00,2.438602e-09,5.622862e-09,1.948045e-08,4.446589e-08,6.494253e-08,1.475274e-07,1.519692e-07,2.935789e-07,3.448226e-07,5.031924e-07,6.674203e-07,7.948153e-07,1.147240e-06,1.182002e-06,1.674461e-06,1.808702e-06,2.274000e-06,2.654591e-06,2.974996e-06,3.669003e-06,3.768890e-06,4.647279e-06,4.832410e-06,5.602463e-06,6.127050e-06,6.627035e-06,7.535807e-06,7.713476e-06,8.853958e-06,9.040908e-06,1.004032e-05,1.062361e-05,1.126416e-05,1.226451e-05,1.251700e-05,1.379044e-05,1.394425e-05,1.507636e-05,1.564410e-05,1.636702e-05,1.734665e-05,1.765523e-05,1.893441e-05,1.903617e-05,2.019864e-05,2.069896e-05,2.144271e-05,2.232340e-05,2.266211e-05,2.385300e-05,2.390000e-05,2.501220e-05,2.542123e-05,2.613712e-05,2.688143e-05,2.722573e-05,2.827651e-05,2.928836e-05,2.960381e-05,3.026057e-05,3.086180e-05,3.119278e-05,3.204996e-05,3.208488e-05,3.293705e-05,3.316855e-05,3.374965e-05,3.421843e-05,3.452321e-05,3.520098e-05,3.525840e-05,3.595600e-05,3.611793e-05,3.661689e-05,3.697129e-05,3.724199e-05,3.776325e-05,3.783229e-05,3.838881e-05,3.849615e-05,3.891260e-05,3.917240e-05,3.940473e-05,3.979443e-05,3.986626e-05,4.029825e-05,4.036470e-05,4.070176e-05,4.088564e-05,4.107784e-05,4.135965e-05,4.142752e-05,4.175180e-05,4.178905e-05,4.205167e-05,4.217614e-05,4.232811e-05,4.252311e-05,4.258205e-05,4.281442e-05,4.283211e-05,4.302611e-05,4.310519e-05,4.321799e-05,4.334434e-05,4.339089e-05,4.354563e-05,4.355146e-05,4.368301e-05,4.372836e-05,4.380378e-05,4.387680e-05,4.390868e-05,4.399843e-05,4.407370e-05,4.409485e-05,4.413518e-05,4.416757e-05,4.418348e-05,4.421804e-05,4.421924e-05,4.424304e-05,4.424764e-05,4.425545e-05,4.425766e-05,4.425703e-05,4.424937e-05,4.424830e-05,4.422978e-05,4.422393e-05,4.420194e-05,4.418246e-05,4.416527e-05,4.412604e-05,4.412021e-05,4.406720e-05,4.405568e-05,4.400665e-05,4.397231e-05,4.393896e-05,4.387687e-05,4.386452e-05,4.378369e-05,4.377019e-05,4.369683e-05,4.365310e-05,4.360428e-05,4.352636e-05,4.350636e-05,4.340339e-05,4.339070e-05,4.329565e-05,4.324681e-05,4.318344e-05,4.309533e-05,4.306702e-05,4.294667e-05,4.293688e-05,4.282263e-05,4.277204e-05,4.269514e-05,4.260135e-05,4.256444e-05,4.243073e-05,4.242533e-05,4.229424e-05,4.224446e-05,4.215516e-05,4.205920e-05,4.201368e-05,4.186999e-05,4.167722e-05,4.148129e-05,4.128255e-05,4.108134e-05,4.087797e-05,4.067276e-05,4.046597e-05,4.025787e-05,4.004870e-05,3.983871e-05,3.962810e-05,3.941708e-05,3.920584e-05,3.899455e-05,3.878338e-05,3.857248e-05,3.836201e-05,3.815208e-05,3.794284e-05,3.773438e-05,3.752683e-05,3.732027e-05,3.711481e-05,3.691052e-05
0.000000e+00,1.598811e-09,4.226624e-09,1.734382e-08,4.341239e-08,6.588906e-08,1.622227e-07,1.676028e-07,3.474052e-07,4.159643e-07,6.376817e-07,8.803344e-07,1.074868e-06,1.625833e-06,1.680405e-06,2.443725e-06,2.647342e-06,3.337281e-06,3.885274e-06,4.337074e-06,5.291602e-06,5.426680e-06,6.594250e-06,6.836225e-06,7.829754e-06,8.495865e-06,9.123541e-06,1.024818e-05,1.046579e-05,1.184641e-05,1.207019e-05,1.325525e-05,1.393856e-05,1.468229e-05,1.583052e-05,1.611788e-05,1.755302e-05,1.772481e-05,1.897947e-05,1.960242e-05,2.038985e-05,2.144702e-05,2.177775e-05,2.313769e-05,2.324513e-05,2.446510e-05,2.498610e-05,2.575628e-05,2.666185e-05,2.700834e-05,2.821909e-05,2.826663e-05,2.938694e-05,2.979666e-05,3.051089e-05,3.124979e-05,3.159037e-05,3.262525e-05,3.361567e-05,3.392329e-05,3.456209e-05,3.514500e-05,3.546517e-05,3.629211e-05,3.632573e-05,3.714474e-05,3.736677e-05,3.792329e-05,3.837146e-05,3.866251e-05,3.930890e-05,3.936361e-05,4.002784e-05,4.018190e-05,4.065645e-05,4.099339e-05,4.125072e-05,4.174628e-05,4.181192e-05,4.234130e-05,4.244346e-05,4.284010e-05,4.308780e-05,4.330955e-05,4.368208e-05,4.375084e-05,4.416514e-05,4.422899e-05,4.455357e-05,4.473117e-05,4.491726e-05,4.519111e-05,4.525727e-05,4.557463e-05,4.561124e-05,4.587035e-05,4.599387e-05,4.614541e-05,4.634121e-05,4.640074e-05,4.663723e-05,4.665536e-05,4.685577e-05,4.693834e-05,4.705718e-05,4.719205e-05,4.724228e-05,4.741184e-05,4.741831e-05,4.756660e-05,4.761883e-05,4.770728e-05,4.779524e-05,4.783456e-05,4.794910e-05,4.805154e-05,4.808186e-05,4.814247e-05,4.819490e-05,4.822249e-05,4.828955e-05,4.829214e-05,4.835196e-05,4.836702e-05,4.840246e-05,4.842849e-05,4.844413e-05,4.847506e-05,4.847743e-05,4.850281e-05,4.850777e-05,4.852070e-05,4.852761e-05,4.853152e-05,4.853548e-05,4.853563e-05,4.853344e-05,4.853227e-05,4.852528e-05,4.851879e-05,4.851150e-05,4.849583e-05,4.849243e-05,4.846838e-05,4.846409e-05,4.843964e-05,4.842427e-05,4.840650e-05,4.837700e-05,4.836923e-05,4.832809e-05,4.832290e-05,4.828332e-05,4.826253e-05,4.823515e-05,4.819642e-05,4.818382e-05,4.812954e-05,4.812507e-05,4.807250e-05,4.804896e-05,4.801291e-05,4.796852e-05,4.795094e-05,4.788678e-05,4.788417e-05,4.782058e-05,4.779629e-05,4.775252e-05,4.770524e-05,4.768273e-05,4.761137e-05,4.751500e-05,4.741641e-05,4.731589e-05,4.721370e-05,4.711008e-05,4.700525e-05,4.689944e-05,4.679282e-05,4.668559e-05,4.657792e-05,4.646997e-05,4.636187e-05,4.625377e-05,4.614580e-05,4.603807e-05,4.593068e-05,4.582375e-05,4.571736e-05,4.561159e-05,4.550653e-05,4.540225e-05,4.529880e-05,4.519625e-05,4.509466e-05
0.000000e+00,5.501983e-10,1.595804e-09,7.656060e-09,2.136185e-08,3.402922e-08,9.204574e-08,9.538156e-08,2.087237e-07,2.522121e-07,3.921927e-07,5.440375e-07,6.654183e-07,1.013850e-06,1.049077e-06,1.561541e-06,1.705021e-06,2.212145e-06,2.635654e-06,2.996274e-06,3.783972e-06,3.897624e-06,4.894576e-06,5.103486e-06,5.965281e-06,6.544529e-06,7.089965e-06,8.063720e-06,8.251369e-06,9.434440e-06,9.624832e-06,1.062587e-05,1.119719e-05,1.181377e-05,1.275430e-05,1.298742e-05,1.413726e-05,1.427323e-05,1.525486e-05,1.573446e-05,1.633293e-05,1.712205e-05,1.736540e-05,1.834739e-05,1.842365e-05,1.927519e-05,1.963053e-05,2.014624e-05,2.073734e-05,2.095898e-05,2.171281e-05,2.174174e-05,2.240794e-05,2.264396e-05,2.304524e-05,2.344631e-05,2.362619e-05,2.415273e-05,2.462716e-05,2.476838e-05,2.505202e-05,2.529918e-05,2.543004e-05,2.575145e-05,2.576400e-05,2.605669e-05,2.613163e-05,2.631093e-05,2.644616e-05,2.652946e-05,2.670126e-05,2.671495e-05,2.686995e-05,2.690288e-05,2.699689e-05,2.705659e-05,2.709808e-05,2.716754e-05,2.717567e-05,2.723168e-05,2.724047e-05,2.726801e-05,2.727971e-05,2.728640e-05,2.728918e-05,2.728848e-05,2.727574e-05,2.727242e-05,2.724956e-05,2.723260e-05,2.721121e-05,2.717256e-05,2.716186e-05,2.710257e-05,2.709483e-05,2.703433e-05,2.700170e-05,2.695803e-05,2.689516e-05,2.687450e-05,2.678448e-05,2.677702e-05,2.668867e-05,2.664887e-05,2.658770e-05,2.651213e-05,2.648214e-05,2.637251e-05,2.636805e-05,2.625931e-05,2.621776e-05,2.614296e-05,2.606225e-05,2.602387e-05,2.590241e-05,2.577891e-05,2.573901e-05,2.565369e-05,2.557276e-05,2.552701e-05,2.540428e-05,2.539915e-05,2.527033e-05,2.523412e-05,2.514078e-05,2.506277e-05,2.501068e-05,2.489066e-05,2.488021e-05,2.474955e-05,2.471818e-05,2.461884e-05,2.454568e-05,2.448822e-05,2.437345e-05,2.435782e-05,2.422774e-05,2.420178e-05,2.409810e-05,2.403089e-05,2.396899e-05,2.386101e-05,2.384050e-05,2.371270e-05,2.369232e-05,2.358567e-05,2.352498e-05,2.345947e-05,2.335915e-05,2.333416e-05,2.320980e-05,2.319494e-05,2.308643e-05,2.303247e-05,2.296409e-05,2.287183e-05,2.284283e-05,2.272268e-05,2.271312e-05,2.260367e-05,2.255639e-05,2.248583e-05,2.240172e-05,2.236918e-05,2.225374e-05,2.224915e-05,2.213954e-05,2.209873e-05,2.202658e-05,2.195049e-05,2.191488e-05,2.180446e-05,2.166066e-05,2.151911e-05,2.137982e-05,2.124280e-05,2.110804e-05,2.097555e-05,2.084532e-05,2.071734e-05,2.059160e-05,2.046809e-05,2.034679e-05,2.022769e-05,2.011076e-05,1.999598e-05,1.988332e-05,1.977278e-05,1.966432e-05,1.955791e-05,1.945353e-05,1.935115e-05,1.925074e-05,1.915228e-05,1.905573e-05,1.896107e-05
0.000000e+00,3.801778e-09,8.781194e-09,3.052077e-08,6.990458e-08,1.023284e-07,2.342695e-07,2.414157e-07,4.716831e-07,5.560905e-07,8.200778e-07,1.097838e-06,1.315222e-06,1.919805e-06,1.979409e-06,2.817768e-06,3.043851e-06,3.819241e-06,4.445180e-06,4.967433e-06,6.087062e-06,6.247112e-06,7.644923e-06,7.937559e-06,9.148399e-06,9.967859e-06,1.074514e-05,1.214920e-05,1.242245e-05,1.416733e-05,1.445191e-05,1.596666e-05,1.684585e-05,1.780746e-05,1.930150e-05,1.967717e-05,2.156395e-05,2.179098e-05,2.345678e-05,2.428893e-05,2.534567e-05,2.677307e-05,2.722171e-05,2.907708e-05,2.922441e-05,3.090506e-05,3.162727e-05,3.269995e-05,3.396910e-05,3.445703e-05,3.617247e-05,3.624018e-05,3.784321e-05,3.843326e-05,3.946689e-05,4.054321e-05,4.104178e-05,4.256667e-05,4.404078e-05,4.450169e-05,4.546373e-05,4.634753e-05,4.683546e-05,4.810431e-05,4.815617e-05,4.942628e-05,4.977293e-05,5.064642e-05,5.135482e-05,5.181734e-05,5.285185e-05,5.293990e-05,5.401507e-05,5.426617e-05,5.504387e-05,5.560015e-05,5.602740e-05,5.685634e-05,5.696677e-05,5.786316e-05,5.803738e-05,5.871773e-05,5.914598e-05,5.953167e-05,6.018486e-05,6.030618e-05,6.104244e-05,6.115678e-05,6.174164e-05,6.206444e-05,6.240495e-05,6.291054e-05,6.303353e-05,6.362853e-05,6.369772e-05,6.419106e-05,6.442858e-05,6.472224e-05,6.510563e-05,6.522314e-05,6.569484e-05,6.573135e-05,6.613837e-05,6.630812e-05,6.655474e-05,6.683826e-05,6.694494e-05,6.730994e-05,6.732403e-05,6.765069e-05,6.776759e-05,6.796809e-05,6.817104e-05,6.826304e-05,6.853640e-05,6.878902e-05,6.886561e-05,6.902171e-05,6.916054e-05,6.923527e-05,6.942300e-05,6.943047e-05,6.960805e-05,6.965471e-05,6.976873e-05,6.985733e-05,6.991322e-05,7.003244e-05,7.004220e-05,7.015632e-05,7.018157e-05,7.025622e-05,7.030617e-05,7.034250e-05,7.040765e-05,7.041577e-05,7.047660e-05,7.048733e-05,7.052555e-05,7.054648e-05,7.056315e-05,7.058634e-05,7.058991e-05,7.060634e-05,7.060805e-05,7.061292e-05,7.061272e-05,7.061012e-05,7.060143e-05,7.059838e-05,7.057814e-05,7.057516e-05,7.054982e-05,7.053489e-05,7.051380e-05,7.048154e-05,7.047050e-05,7.042027e-05,7.041596e-05,7.036347e-05,7.033899e-05,7.030046e-05,7.025142e-05,7.023156e-05,7.015709e-05,7.015400e-05,7.007737e-05,7.004745e-05,6.999269e-05,6.993242e-05,6.990334e-05,6.980958e-05,6.967953e-05,6.954284e-05,6.940007e-05,6.925174e-05,6.909833e-05,6.894031e-05,6.877813e-05,6.861220e-05,6.844292e-05,6.827065e-05,6.809576e-05,6.791856e-05,6.773938e-05,6.755850e-05,6.737621e-05,6.719277e-05,6.700843e-05,6.682340e-05,6.663792e-05,6.645218e-05,6.626638e-05,6.608070e-05,6.589529e-05,6.571033e-05
0.000000e+00,4.975650e-10,1.454908e-09,7.095106e-09,2.007684e-08,3.221488e-08,8.860189e-08,9.186821e-08,2.035484e-07,2.465805e-07,3.851646e-07,5.351285e-07,6.545311e-07,9.947625e-07,1.028976e-06,1.524497e-06,1.662966e-06,2.153929e-06,2.567898e-06,2.924564e-06,3.720153e-06,3.837006e-06,4.886090e-06,5.111554e-06,6.062741e-06,6.721289e-06,7.355551e-06,8.521959e-06,8.751744e-06,1.023773e-05,1.048288e-05,1.179944e-05,1.257177e-05,1.342261e-05,1.475587e-05,1.509308e-05,1.679700e-05,1.700308e-05,1.852114e-05,1.928293e-05,2.025308e-05,2.156750e-05,2.198139e-05,2.369576e-05,2.383203e-05,2.538705e-05,2.605529e-05,2.704735e-05,2.821975e-05,2.866992e-05,3.024920e-05,3.031140e-05,3.178067e-05,3.231959e-05,3.326081e-05,3.423662e-05,3.468700e-05,3.605738e-05,3.737079e-05,3.777894e-05,3.862666e-05,3.940018e-05,3.982493e-05,4.092139e-05,4.096594e-05,4.205038e-05,4.234401e-05,4.307923e-05,4.367035e-05,4.405369e-05,4.490332e-05,4.497512e-05,4.584504e-05,4.604633e-05,4.666505e-05,4.710308e-05,4.743682e-05,4.807744e-05,4.816207e-05,4.884253e-05,4.897340e-05,4.947995e-05,4.979498e-05,5.007607e-05,5.054615e-05,5.063260e-05,5.115125e-05,5.123083e-05,5.163367e-05,5.185284e-05,5.208147e-05,5.241586e-05,5.249624e-05,5.287951e-05,5.292345e-05,5.323275e-05,5.337903e-05,5.355739e-05,5.378585e-05,5.385482e-05,5.412638e-05,5.414703e-05,5.437334e-05,5.446552e-05,5.459695e-05,5.474415e-05,5.479838e-05,5.497877e-05,5.498557e-05,5.513923e-05,5.519231e-05,5.528078e-05,5.536675e-05,5.540444e-05,5.551116e-05,5.560186e-05,5.562765e-05,5.567743e-05,5.571824e-05,5.573870e-05,5.578480e-05,5.578646e-05,5.582149e-05,5.582912e-05,5.584453e-05,5.585288e-05,5.585625e-05,5.585763e-05,5.585734e-05,5.584843e-05,5.584487e-05,5.583011e-05,5.581597e-05,5.580297e-05,5.577223e-05,5.576756e-05,5.572440e-05,5.571489e-05,5.567399e-05,5.564507e-05,5.561680e-05,5.556385e-05,5.555328e-05,5.548386e-05,5.547224e-05,5.540896e-05,5.537117e-05,5.532895e-05,5.526152e-05,5.524421e-05,5.515508e-05,5.514411e-05,5.506191e-05,5.501971e-05,5.496500e-05,5.488903e-05,5.486465e-05,5.476116e-05,5.475275e-05,5.465478e-05,5.461148e-05,5.454578e-05,5.446581e-05,5.443439e-05,5.432085e-05,5.431627e-05,5.420538e-05,5.416337e-05,5.408818e-05,5.400759e-05,5.396944e-05,5.384935e-05,5.368905e-05,5.352708e-05,5.336379e-05,5.319949e-05,5.303448e-05,5.286905e-05,5.270344e-05,5.253789e-05,5.237261e-05,5.220782e-05,5.204368e-05,5.188037e-05,5.171803e-05,5.155682e-05,5.139685e-05,5.123825e-05,5.108112e-05,5.092555e-05,5.077163e-05,5.061943e-05,5.046903e-05,5.032048e-05,5.017384e-05,5.002916e-05
0.000000e+00,2.868070e-09,6.671082e-09,2.332093e-08,5.343508e-08,7.813618e-08,1.777359e-07,1.830892e-07,3.534765e-07,4.149855e-07,6.045521e-07,8.002929e-07,9.515761e-07,1.367927e-06,1.408853e-06,1.986728e-06,2.143778e-06,2.686771e-06,3.129029e-06,3.499636e-06,4.295594e-06,4.409292e-06,5.398872e-06,5.605011e-06,6.453207e-06,7.022535e-06,7.558850e-06,8.518261e-06,8.703563e-06,9.875993e-06,1.006544e-05,1.106558e-05,1.163979e-05,1.226261e-05,1.321966e-05,1.345830e-05,1.464484e-05,1.478628e-05,1.581547e-05,1.632398e-05,1.696443e-05,1.782020e-05,1.808698e-05,1.917924e-05,1.926522e-05,2.023820e-05,2.065193e-05,2.126157e-05,2.197540e-05,2.224768e-05,2.319545e-05,2.323256e-05,2.410425e-05,2.442181e-05,2.497379e-05,2.554266e-05,2.580412e-05,2.659555e-05,2.734860e-05,2.758158e-05,2.806394e-05,2.850234e-05,2.874238e-05,2.935978e-05,2.938480e-05,2.999219e-05,3.015612e-05,3.056557e-05,3.089370e-05,3.110599e-05,3.157501e-05,3.161455e-05,3.209235e-05,3.220257e-05,3.254048e-05,3.277889e-05,3.296004e-05,3.330647e-05,3.335210e-05,3.371772e-05,3.378777e-05,3.405797e-05,3.422520e-05,3.437385e-05,3.462111e-05,3.466639e-05,3.493656e-05,3.497778e-05,3.518531e-05,3.529738e-05,3.541358e-05,3.558205e-05,3.562226e-05,3.581223e-05,3.583380e-05,3.598433e-05,3.605461e-05,3.613939e-05,3.624632e-05,3.627820e-05,3.640152e-05,3.641073e-05,3.651009e-05,3.654955e-05,3.660462e-05,3.666438e-05,3.668581e-05,3.675431e-05,3.675679e-05,3.681075e-05,3.682824e-05,3.685576e-05,3.688013e-05,3.688991e-05,3.691379e-05,3.692792e-05,3.693047e-05,3.693283e-05,3.693137e-05,3.692903e-05,3.691763e-05,3.691699e-05,3.689718e-05,3.689030e-05,3.687003e-05,3.685040e-05,3.683597e-05,3.679889e-05,3.679541e-05,3.674873e-05,3.673666e-05,3.669631e-05,3.666457e-05,3.663849e-05,3.658343e-05,3.657563e-05,3.650804e-05,3.649398e-05,3.643603e-05,3.639694e-05,3.635990e-05,3.629298e-05,3.627994e-05,3.619642e-05,3.618274e-05,3.610958e-05,3.606680e-05,3.601968e-05,3.594572e-05,3.592696e-05,3.583163e-05,3.582003e-05,3.573391e-05,3.569021e-05,3.563400e-05,3.555672e-05,3.553209e-05,3.542838e-05,3.542000e-05,3.532302e-05,3.528045e-05,3.521619e-05,3.513845e-05,3.510805e-05,3.499874e-05,3.499434e-05,3.488841e-05,3.484846e-05,3.477719e-05,3.470112e-05,3.466521e-05,3.455259e-05,3.440315e-05,3.425305e-05,3.410251e-05,3.395175e-05,3.380096e-05,3.365033e-05,3.350004e-05,3.335023e-05,3.320105e-05,3.305263e-05,3.290511e-05,3.275857e-05,3.261314e-05,3.246890e-05,3.232594e-05,3.218434e-05,3.204415e-05,3.190546e-05,3.176831e-05,3.163275e-05,3.149883e-05,3.136658e-05,3.123604e-05,3.110724e-05
0.000000e+00,1.292288e-06,3.853132e-06,1.955352e-05,5.734053e-05,9.381217e-05,2.712214e-04,2.817911e-04,6.561427e-04,8.057411e-04,1.302754e-03,1.861923e-03,2.320239e-03,3.678004e-03,3.818212e-03,5.909230e-03,6.510759e-03,8.690598e-03,1.057477e-02,1.222498e-02,1.597676e-02,1.653478e-02,2.160939e-02,2.271344e-02,2.741513e-02,3.070711e-02,3.390252e-02,3.983468e-02,4.101104e-02,4.867212e-02,4.994426e-02,5.681135e-02,6.086513e-02,6.535043e-02,7.241561e-02,7.420899e-02,8.330626e-02,8.441018e-02,9.256275e-02,9.666613e-02,1.019017e-01,1.090095e-01,1.112504e-01,1.205412e-01,1.212800e-01,1.297122e-01,1.333345e-01,1.387082e-01,1.450493e-01,1.474804e-01,1.559869e-01,1.563211e-01,1.641927e-01,1.670674e-01,1.720691e-01,1.772252e-01,1.795936e-01,1.867496e-01,1.935253e-01,1.956120e-01,1.999139e-01,2.037981e-01,2.059128e-01,2.113058e-01,2.115227e-01,2.167478e-01,2.181427e-01,2.215947e-01,2.243249e-01,2.260722e-01,2.298745e-01,2.301911e-01,2.339634e-01,2.348186e-01,2.374022e-01,2.391874e-01,2.405215e-01,2.430137e-01,2.433359e-01,2.458601e-01,2.463314e-01,2.481091e-01,2.491748e-01,2.500978e-01,2.515782e-01,2.518412e-01,2.533536e-01,2.535752e-01,2.546494e-01,2.551984e-01,2.557422e-01,2.564793e-01,2.566454e-01,2.573718e-01,2.574477e-01,2.579336e-01,2.581317e-01,2.583426e-01,2.585581e-01,2.586099e-01,2.587461e-01,2.587517e-01,2.587613e-01,2.587356e-01,2.586648e-01,2.585313e-01,2.584658e-01,2.581725e-01,2.581589e-01,2.577929e-01,2.576365e-01,2.573344e-01,2.569811e-01,2.568040e-01,2.562082e-01,2.555530e-01,2.553317e-01,2.548442e-01,2.543648e-01,2.540870e-01,2.533191e-01,2.532863e-01,2.524469e-01,2.522054e-01,2.515728e-01,2.510334e-01,2.506681e-01,2.498120e-01,2.497365e-01,2.487814e-01,2.485490e-01,2.478058e-01,2.472517e-01,2.468129e-01,2.459267e-01,2.458051e-01,2.447851e-01,2.445798e-01,2.437552e-01,2.432164e-01,2.427174e-01,2.418410e-01,2.416737e-01,2.406260e-01,2.404581e-01,2.395758e-01,2.390713e-01,2.385248e-01,2.376842e-01,2.374742e-01,2.364254e-01,2.362997e-01,2.353796e-01,2.349207e-01,2.343378e-01,2.335493e-01,2.333010e-01,2.322701e-01,2.321879e-01,2.312459e-01,2.308382e-01,2.302291e-01,2.295020e-01,2.292204e-01,2.282204e-01,2.281806e-01,2.272296e-01,2.268753e-01,2.262485e-01,2.255871e-01,2.252776e-01,2.243171e-01,2.230661e-01,2.218346e-01,2.206232e-01,2.194325e-01,2.182628e-01,2.171143e-01,2.159873e-01,2.148819e-01,2.137983e-01,2.127364e-01,2.116962e-01,2.106776e-01,2.096807e-01,2.087051e-01,2.077509e-01,2.068177e-01,2.059054e-01,2.050137e-01,2.041424e-01,2.032912e-01,2.024599e-01,2.016481e-01,2.008556e-01,2.000819e-01
0.000000e+00,2.971772e-09,7.628764e-09,2.995912e-08,7.278914e-08,1.088618e-07,2.579377e-07,2.660510e-07,5.273022e-07,6.226731e-07,9.191081e-07,1.228434e-06,1.469380e-06,2.139217e-06,2.205490e-06,3.146494e-06,3.403350e-06,4.293262e-06,5.019742e-06,5.629860e-06,6.946028e-06,7.134832e-06,8.788306e-06,9.135252e-06,1.057276e-05,1.154699e-05,1.247180e-05,1.414362e-05,1.446911e-05,1.654810e-05,1.688719e-05,1.869180e-05,1.973876e-05,2.088318e-05,2.265929e-05,2.310542e-05,2.534228e-05,2.561095e-05,2.757845e-05,2.855845e-05,2.979976e-05,3.147008e-05,3.199341e-05,3.414806e-05,3.431845e-05,3.625392e-05,3.708069e-05,3.830267e-05,3.973852e-05,4.028748e-05,4.220289e-05,4.227800e-05,4.404469e-05,4.468910e-05,4.580983e-05,4.696524e-05,4.749624e-05,4.910277e-05,5.062902e-05,5.110049e-05,5.207523e-05,5.295915e-05,5.344219e-05,5.468104e-05,5.473111e-05,5.594358e-05,5.626962e-05,5.708146e-05,5.772925e-05,5.814685e-05,5.906491e-05,5.914199e-05,6.006927e-05,6.028199e-05,6.093114e-05,6.138614e-05,6.173009e-05,6.238314e-05,6.246866e-05,6.314937e-05,6.327878e-05,6.377471e-05,6.407882e-05,6.434714e-05,6.478889e-05,6.486911e-05,6.534297e-05,6.541448e-05,6.577103e-05,6.596089e-05,6.615554e-05,6.643324e-05,6.649866e-05,6.680248e-05,6.683640e-05,6.706903e-05,6.717501e-05,6.730026e-05,6.745353e-05,6.749804e-05,6.766418e-05,6.767616e-05,6.780040e-05,6.784688e-05,6.790836e-05,6.796949e-05,6.798965e-05,6.804578e-05,6.804752e-05,6.807821e-05,6.808436e-05,6.808834e-05,6.808315e-05,6.807747e-05,6.804689e-05,6.799780e-05,6.797837e-05,6.793135e-05,6.788022e-05,6.784863e-05,6.775490e-05,6.775070e-05,6.763855e-05,6.760473e-05,6.751312e-05,6.743187e-05,6.737532e-05,6.723835e-05,6.722600e-05,6.706598e-05,6.702607e-05,6.689603e-05,6.679680e-05,6.671689e-05,6.655219e-05,6.652924e-05,6.633377e-05,6.629379e-05,6.613108e-05,6.602303e-05,6.592178e-05,6.574127e-05,6.570643e-05,6.548557e-05,6.544975e-05,6.525969e-05,6.514963e-05,6.502929e-05,6.484201e-05,6.479480e-05,6.455667e-05,6.452787e-05,6.431530e-05,6.420816e-05,6.407106e-05,6.388375e-05,6.382432e-05,6.357542e-05,6.355542e-05,6.332468e-05,6.322394e-05,6.307240e-05,6.288998e-05,6.281888e-05,6.256437e-05,6.255417e-05,6.230913e-05,6.221712e-05,6.205341e-05,6.187935e-05,6.179741e-05,6.154136e-05,6.120361e-05,6.086652e-05,6.053048e-05,6.019584e-05,5.986292e-05,5.953202e-05,5.920339e-05,5.887729e-05,5.855394e-05,5.823352e-05,5.791622e-05,5.760219e-05,5.729159e-05,5.698452e-05,5.668111e-05,5.638145e-05,5.608562e-05,5.579370e-05,5.550574e-05,5.522179e-05,5.494191e-05,5.466611e-05,5.439443e-05,5.412687e-05
0.000000e+00,1.630320e-09,4.631083e-09,2.137454e-08,5.789023e-08,9.093814e-08,2.392152e-07,2.476682e-07,5.339263e-07,6.438054e-07,9.980667e-07,1.380864e-06,1.683071e-06,2.519800e-06,2.601537e-06,3.734349e-06,4.034871e-06,5.052497e-06,5.861593e-06,6.529554e-06,7.942661e-06,8.142722e-06,9.870770e-06,1.022831e-05,1.169249e-05,1.266962e-05,1.358621e-05,1.521653e-05,1.553001e-05,1.750239e-05,1.781923e-05,1.948290e-05,2.043086e-05,2.145281e-05,2.300986e-05,2.339550e-05,2.529678e-05,2.552156e-05,2.714492e-05,2.793881e-05,2.893068e-05,3.024178e-05,3.064710e-05,3.228929e-05,3.241735e-05,3.385416e-05,3.445807e-05,3.534016e-05,3.636104e-05,3.674700e-05,3.807541e-05,3.812694e-05,3.932693e-05,3.975904e-05,4.050367e-05,4.126245e-05,4.160822e-05,4.264344e-05,4.361238e-05,4.390897e-05,4.451823e-05,4.506633e-05,4.536416e-05,4.612285e-05,4.615337e-05,4.688897e-05,4.708574e-05,4.757398e-05,4.796193e-05,4.821133e-05,4.875801e-05,4.880382e-05,4.935411e-05,4.948019e-05,4.986474e-05,5.013427e-05,5.033811e-05,5.072564e-05,5.077647e-05,5.118198e-05,5.125932e-05,5.155663e-05,5.173989e-05,5.190233e-05,5.217162e-05,5.222083e-05,5.251381e-05,5.255842e-05,5.278282e-05,5.290387e-05,5.302933e-05,5.321127e-05,5.325472e-05,5.346026e-05,5.348365e-05,5.364716e-05,5.372378e-05,5.381655e-05,5.393423e-05,5.396949e-05,5.410696e-05,5.411732e-05,5.422990e-05,5.427520e-05,5.433918e-05,5.440986e-05,5.443561e-05,5.451997e-05,5.452310e-05,5.459297e-05,5.461660e-05,5.465528e-05,5.469188e-05,5.470755e-05,5.475037e-05,5.478431e-05,5.479337e-05,5.480988e-05,5.482208e-05,5.482758e-05,5.483761e-05,5.483789e-05,5.484124e-05,5.484098e-05,5.483804e-05,5.483315e-05,5.482869e-05,5.481497e-05,5.481356e-05,5.479299e-05,5.478728e-05,5.476731e-05,5.475081e-05,5.473683e-05,5.470627e-05,5.470184e-05,5.466263e-05,5.465430e-05,5.461944e-05,5.459550e-05,5.457254e-05,5.453043e-05,5.452214e-05,5.446848e-05,5.445961e-05,5.441176e-05,5.438351e-05,5.435219e-05,5.430259e-05,5.428994e-05,5.422520e-05,5.421727e-05,5.415813e-05,5.412793e-05,5.408890e-05,5.403493e-05,5.401766e-05,5.394455e-05,5.393862e-05,5.386970e-05,5.383931e-05,5.379326e-05,5.373730e-05,5.371534e-05,5.363605e-05,5.363285e-05,5.355552e-05,5.352624e-05,5.347384e-05,5.341769e-05,5.339111e-05,5.330744e-05,5.319569e-05,5.308264e-05,5.296847e-05,5.285336e-05,5.273746e-05,5.262093e-05,5.250390e-05,5.238651e-05,5.226888e-05,5.215112e-05,5.203335e-05,5.191565e-05,5.179813e-05,5.168087e-05,5.156395e-05,5.144744e-05,5.133143e-05,5.121596e-05,5.110111e-05,5.098693e-05,5.087347e-05,5.076078e-05,5.064890e-05,5.053788e-05
0.000000e+00,4.343455e-10,1.278358e-09,6.312535e-09,1.804511e-08,2.910251e-08,8.096667e-08,8.398648e-08,1.877489e-07,2.278958e-07,3.574844e-07,4.979502e-07,6.098326e-07,9.284191e-07,9.604235e-07,1.423106e-06,1.552105e-06,2.008492e-06,2.392165e-06,2.721929e-06,3.454820e-06,3.562140e-06,4.521582e-06,4.726764e-06,5.588042e-06,6.179955e-06,6.746418e-06,7.778338e-06,7.980074e-06,9.271771e-06,9.482674e-06,1.060430e-05,1.125348e-05,1.196094e-05,1.305289e-05,1.332579e-05,1.468411e-05,1.484602e-05,1.602250e-05,1.660196e-05,1.732908e-05,1.829446e-05,1.859363e-05,1.980761e-05,1.990233e-05,2.096415e-05,2.140946e-05,2.205802e-05,2.280465e-05,2.308549e-05,2.404422e-05,2.408112e-05,2.493313e-05,2.523601e-05,2.575220e-05,2.626970e-05,2.650232e-05,2.718516e-05,2.780296e-05,2.798735e-05,2.835840e-05,2.868255e-05,2.885453e-05,2.927805e-05,2.929462e-05,2.968206e-05,2.978158e-05,3.002033e-05,3.020113e-05,3.031288e-05,3.054457e-05,3.056311e-05,3.077431e-05,3.081955e-05,3.094967e-05,3.103333e-05,3.109219e-05,3.119272e-05,3.120474e-05,3.129001e-05,3.130402e-05,3.135052e-05,3.137298e-05,3.138860e-05,3.140485e-05,3.140643e-05,3.140600e-05,3.140436e-05,3.138916e-05,3.137576e-05,3.135761e-05,3.132282e-05,3.131289e-05,3.125642e-05,3.124892e-05,3.118950e-05,3.115705e-05,3.111331e-05,3.104987e-05,3.102892e-05,3.093731e-05,3.092969e-05,3.083936e-05,3.079859e-05,3.073589e-05,3.065837e-05,3.062761e-05,3.051520e-05,3.051063e-05,3.039925e-05,3.035675e-05,3.028030e-05,3.019796e-05,3.015885e-05,3.003534e-05,2.991017e-05,2.986983e-05,2.978370e-05,2.970223e-05,2.965626e-05,2.953329e-05,2.952815e-05,2.939964e-05,2.936361e-05,2.927095e-05,2.919376e-05,2.914232e-05,2.902419e-05,2.901393e-05,2.888597e-05,2.885533e-05,2.875857e-05,2.868754e-05,2.863190e-05,2.852113e-05,2.850608e-05,2.838121e-05,2.835636e-05,2.825740e-05,2.819347e-05,2.813474e-05,2.803266e-05,2.801331e-05,2.789318e-05,2.787409e-05,2.777441e-05,2.771790e-05,2.765705e-05,2.756421e-05,2.754115e-05,2.742675e-05,2.741313e-05,2.731389e-05,2.726473e-05,2.720260e-05,2.711907e-05,2.709289e-05,2.698479e-05,2.697621e-05,2.687832e-05,2.683619e-05,2.677348e-05,2.669902e-05,2.667029e-05,2.656876e-05,2.656473e-05,2.646888e-05,2.643333e-05,2.637066e-05,2.630481e-05,2.627409e-05,2.617917e-05,2.605639e-05,2.593646e-05,2.581936e-05,2.570506e-05,2.559352e-05,2.548472e-05,2.537861e-05,2.527517e-05,2.517434e-05,2.507609e-05,2.498038e-05,2.488715e-05,2.479637e-05,2.470799e-05,2.462196e-05,2.453823e-05,2.445675e-05,2.437749e-05,2.430039e-05,2.422540e-05,2.415248e-05,2.408158e-05,2.401264e-05,2.394564e-05
0.000000e+00,4.593552e-10,1.351444e-09,6.670113e-09,1.906709e-08,3.075733e-08,8.569476e-08,8.889894e-08,1.993510e-07,2.422656e-07,3.814377e-07,5.333571e-07,6.551096e-07,1.005091e-06,1.040494e-06,1.556433e-06,1.701421e-06,2.217152e-06,2.652986e-06,3.028546e-06,3.864764e-06,3.987303e-06,5.083142e-06,5.317543e-06,6.301739e-06,6.978561e-06,7.626822e-06,8.809729e-06,9.041356e-06,1.052815e-05,1.077160e-05,1.207020e-05,1.282511e-05,1.365092e-05,1.493261e-05,1.525438e-05,1.686554e-05,1.705872e-05,1.847041e-05,1.917122e-05,2.005623e-05,2.124168e-05,2.161166e-05,2.312682e-05,2.324603e-05,2.459333e-05,2.516473e-05,2.600434e-05,2.698281e-05,2.735443e-05,2.863957e-05,2.868959e-05,2.985698e-05,3.027832e-05,3.100501e-05,3.174567e-05,3.208300e-05,3.309115e-05,3.403037e-05,3.431659e-05,3.490215e-05,3.542559e-05,3.570847e-05,3.642310e-05,3.645164e-05,3.713427e-05,3.731493e-05,3.775913e-05,3.810751e-05,3.832910e-05,3.880752e-05,3.884712e-05,3.931615e-05,3.942175e-05,3.973909e-05,3.995687e-05,4.011880e-05,4.041938e-05,4.045805e-05,4.075949e-05,4.081547e-05,4.102569e-05,4.115099e-05,4.125906e-05,4.143141e-05,4.146190e-05,4.163640e-05,4.166183e-05,4.178459e-05,4.184695e-05,4.190840e-05,4.199111e-05,4.200964e-05,4.208997e-05,4.209828e-05,4.215098e-05,4.217208e-05,4.219413e-05,4.221583e-05,4.222079e-05,4.223223e-05,4.223252e-05,4.222963e-05,4.222491e-05,4.221409e-05,4.219546e-05,4.218663e-05,4.214820e-05,4.214645e-05,4.209969e-05,4.207991e-05,4.204190e-05,4.199771e-05,4.197561e-05,4.190151e-05,4.182026e-05,4.179285e-05,4.173246e-05,4.167311e-05,4.163869e-05,4.154354e-05,4.153947e-05,4.143528e-05,4.140528e-05,4.132658e-05,4.125937e-05,4.121379e-05,4.110675e-05,4.109730e-05,4.097748e-05,4.094826e-05,4.085465e-05,4.078468e-05,4.072915e-05,4.061671e-05,4.060125e-05,4.047123e-05,4.044500e-05,4.033935e-05,4.027011e-05,4.020584e-05,4.009259e-05,4.007092e-05,3.993480e-05,3.991292e-05,3.979766e-05,3.973152e-05,3.965968e-05,3.954880e-05,3.952102e-05,3.938185e-05,3.936512e-05,3.924230e-05,3.918081e-05,3.910251e-05,3.899617e-05,3.896259e-05,3.882266e-05,3.881147e-05,3.868284e-05,3.862696e-05,3.854322e-05,3.844286e-05,3.840389e-05,3.826493e-05,3.825938e-05,3.812643e-05,3.807670e-05,3.798847e-05,3.789499e-05,3.785110e-05,3.771439e-05,3.753506e-05,3.735710e-05,3.718062e-05,3.700574e-05,3.683254e-05,3.666109e-05,3.649146e-05,3.632373e-05,3.615794e-05,3.599414e-05,3.583237e-05,3.567267e-05,3.551506e-05,3.535958e-05,3.520625e-05,3.505507e-05,3.490607e-05,3.475924e-05,3.461460e-05,3.447215e-05,3.433189e-05,3.419382e-05,3.405792e-05,3.392420e-05
0.000000e+00,1.372044e-09,3.748651e-09,1.616074e-08,4.160115e-08,6.376924e-08,1.586321e-07,1.638906e-07,3.362526e-07,4.002512e-07,6.016699e-07,8.149375e-07,9.827838e-07,1.455777e-06,1.503024e-06,2.181363e-06,2.368678e-06,3.023161e-06,3.561931e-06,4.016079e-06,4.996787e-06,5.137300e-06,6.363170e-06,6.619048e-06,7.673345e-06,8.382167e-06,9.050682e-06,1.024848e-05,1.048011e-05,1.194775e-05,1.218523e-05,1.344049e-05,1.416225e-05,1.494593e-05,1.615159e-05,1.645245e-05,1.794935e-05,1.812786e-05,1.942696e-05,2.006877e-05,2.087678e-05,2.195553e-05,2.229151e-05,2.366504e-05,2.377299e-05,2.499241e-05,2.550953e-05,2.626975e-05,2.715682e-05,2.749420e-05,2.866376e-05,2.870938e-05,2.977724e-05,3.016423e-05,3.083406e-05,3.152032e-05,3.183424e-05,3.277824e-05,3.366692e-05,3.393980e-05,3.450144e-05,3.500773e-05,3.528318e-05,3.598545e-05,3.601371e-05,3.669474e-05,3.687681e-05,3.732807e-05,3.768593e-05,3.791553e-05,3.841710e-05,3.845900e-05,3.896039e-05,3.907467e-05,3.942157e-05,3.966296e-05,3.984440e-05,4.018621e-05,4.023070e-05,4.058224e-05,4.064853e-05,4.090075e-05,4.105388e-05,4.118791e-05,4.140608e-05,4.144533e-05,4.167459e-05,4.170875e-05,4.187717e-05,4.196536e-05,4.205452e-05,4.217915e-05,4.220801e-05,4.233897e-05,4.235324e-05,4.244868e-05,4.249053e-05,4.253833e-05,4.259377e-05,4.260909e-05,4.266207e-05,4.266557e-05,4.269830e-05,4.270834e-05,4.271880e-05,4.272435e-05,4.272452e-05,4.271636e-05,4.271576e-05,4.269520e-05,4.268455e-05,4.266185e-05,4.263260e-05,4.261708e-05,4.256166e-05,4.249627e-05,4.247335e-05,4.242158e-05,4.236920e-05,4.233824e-05,4.225064e-05,4.224684e-05,4.214794e-05,4.211898e-05,4.204210e-05,4.197547e-05,4.192982e-05,4.182125e-05,4.181158e-05,4.168786e-05,4.165739e-05,4.155907e-05,4.148489e-05,4.142563e-05,4.130467e-05,4.128793e-05,4.114634e-05,4.111758e-05,4.100120e-05,4.092443e-05,4.085284e-05,4.072596e-05,4.070157e-05,4.054769e-05,4.052285e-05,4.039147e-05,4.031573e-05,4.023317e-05,4.010519e-05,4.007303e-05,3.991129e-05,3.989178e-05,3.974816e-05,3.967600e-05,3.958386e-05,3.945832e-05,3.941857e-05,3.925247e-05,3.923915e-05,3.908574e-05,3.901890e-05,3.891853e-05,3.879793e-05,3.875100e-05,3.858329e-05,3.857658e-05,3.841553e-05,3.835515e-05,3.824785e-05,3.813393e-05,3.808036e-05,3.791317e-05,3.769311e-05,3.747397e-05,3.725595e-05,3.703921e-05,3.682394e-05,3.661027e-05,3.639834e-05,3.618827e-05,3.598017e-05,3.577413e-05,3.557024e-05,3.536858e-05,3.516921e-05,3.497220e-05,3.477759e-05,3.458543e-05,3.439575e-05,3.420859e-05,3.402397e-05,3.384191e-05,3.366242e-05,3.348553e-05,3.331122e-05,3.313951e-05
0.000000e+00,9.107873e-10,2.682357e-09,1.327139e-08,3.804315e-08,6.148075e-08,1.723481e-07,1.788457e-07,4.045615e-07,4.930573e-07,7.824800e-07,1.101491e-06,1.358445e-06,2.097309e-06,2.171773e-06,3.245599e-06,3.543064e-06,4.586219e-06,5.451866e-06,6.188367e-06,7.804861e-06,8.039632e-06,1.012269e-05,1.056531e-05,1.241629e-05,1.368410e-05,1.489576e-05,1.710209e-05,1.753358e-05,2.029994e-05,2.075241e-05,2.316361e-05,2.456339e-05,2.609278e-05,2.846209e-05,2.905598e-05,3.202293e-05,3.237784e-05,3.496529e-05,3.624539e-05,3.785726e-05,4.000727e-05,4.067598e-05,4.340186e-05,4.361541e-05,4.601859e-05,4.703171e-05,4.851320e-05,5.022805e-05,5.087584e-05,5.309964e-05,5.318563e-05,5.518034e-05,5.589394e-05,5.711607e-05,5.834954e-05,5.890694e-05,6.055479e-05,6.206283e-05,6.251655e-05,6.343538e-05,6.424508e-05,6.467763e-05,6.575297e-05,6.579537e-05,6.679481e-05,6.705433e-05,6.768244e-05,6.816409e-05,6.846486e-05,6.909743e-05,6.914866e-05,6.974037e-05,6.986938e-05,7.024634e-05,7.049455e-05,7.067274e-05,7.098685e-05,7.102548e-05,7.131018e-05,7.135943e-05,7.153219e-05,7.162455e-05,7.169656e-05,7.179357e-05,7.180804e-05,7.187106e-05,7.187693e-05,7.188979e-05,7.188420e-05,7.186811e-05,7.182409e-05,7.180960e-05,7.171763e-05,7.170450e-05,7.159529e-05,7.153259e-05,7.144545e-05,7.131482e-05,7.127077e-05,7.107368e-05,7.105702e-05,7.085647e-05,7.076442e-05,7.062120e-05,7.044172e-05,7.036981e-05,7.010405e-05,7.009315e-05,6.982556e-05,6.972247e-05,6.953582e-05,6.933308e-05,6.923621e-05,6.892800e-05,6.861235e-05,6.850994e-05,6.829031e-05,6.808131e-05,6.796287e-05,6.764426e-05,6.763091e-05,6.729526e-05,6.720072e-05,6.695667e-05,6.675240e-05,6.661583e-05,6.630080e-05,6.627336e-05,6.592984e-05,6.584730e-05,6.558579e-05,6.539307e-05,6.524169e-05,6.493920e-05,6.489799e-05,6.455507e-05,6.448662e-05,6.421331e-05,6.403615e-05,6.387301e-05,6.358853e-05,6.353450e-05,6.319803e-05,6.314440e-05,6.286384e-05,6.270431e-05,6.253217e-05,6.226877e-05,6.220320e-05,6.187711e-05,6.183818e-05,6.155406e-05,6.141292e-05,6.123419e-05,6.099330e-05,6.091764e-05,6.060450e-05,6.057960e-05,6.029487e-05,6.017202e-05,5.998884e-05,5.977078e-05,5.968649e-05,5.938787e-05,5.937601e-05,5.909304e-05,5.898784e-05,5.880204e-05,5.860637e-05,5.851491e-05,5.823167e-05,5.786379e-05,5.750277e-05,5.714861e-05,5.680132e-05,5.646087e-05,5.612724e-05,5.580039e-05,5.548027e-05,5.516683e-05,5.485999e-05,5.455969e-05,5.426585e-05,5.397839e-05,5.369722e-05,5.342225e-05,5.315339e-05,5.289054e-05,5.263360e-05,5.238247e-05,5.213706e-05,5.189725e-05,5.166295e-05,5.143405e-05,5.121044e-05
0.000000e+00,3.417613e-09,8.002392e-09,2.840207e-08,6.646114e-08,9.875210e-08,2.384716e-07,2.464014e-07,5.190797e-07,6.258956e-07,9.735422e-07,1.346264e-06,1.634541e-06,2.403032e-06,2.476053e-06,3.460789e-06,3.715361e-06,4.563364e-06,5.226291e-06,5.768355e-06,6.904844e-06,7.064960e-06,8.443769e-06,8.728567e-06,9.895256e-06,1.067541e-05,1.140926e-05,1.272142e-05,1.297494e-05,1.458103e-05,1.484099e-05,1.621613e-05,1.700798e-05,1.786905e-05,1.919704e-05,1.952914e-05,2.118645e-05,2.138470e-05,2.283197e-05,2.355016e-05,2.445769e-05,2.567567e-05,2.605665e-05,2.762294e-05,2.774667e-05,2.915165e-05,2.975169e-05,3.063880e-05,3.168204e-05,3.208127e-05,3.347669e-05,3.353150e-05,3.482334e-05,3.529596e-05,3.612008e-05,3.697301e-05,3.736627e-05,3.856168e-05,3.970641e-05,4.006207e-05,4.080085e-05,4.147519e-05,4.184564e-05,4.280268e-05,4.284159e-05,4.378964e-05,4.404666e-05,4.469087e-05,4.520960e-05,4.554642e-05,4.629423e-05,4.635751e-05,4.712542e-05,4.730344e-05,4.785143e-05,4.824019e-05,4.853686e-05,4.910752e-05,4.918304e-05,4.979127e-05,4.990848e-05,5.036289e-05,5.064608e-05,5.089918e-05,5.132330e-05,5.140143e-05,5.187090e-05,5.194306e-05,5.230883e-05,5.250820e-05,5.271644e-05,5.302149e-05,5.309491e-05,5.344540e-05,5.348563e-05,5.376903e-05,5.390320e-05,5.406690e-05,5.427671e-05,5.434008e-05,5.458959e-05,5.460856e-05,5.481645e-05,5.490107e-05,5.502163e-05,5.515646e-05,5.520606e-05,5.537067e-05,5.537685e-05,5.551632e-05,5.556429e-05,5.564388e-05,5.572071e-05,5.575417e-05,5.584798e-05,5.592607e-05,5.594787e-05,5.598920e-05,5.602207e-05,5.603806e-05,5.607219e-05,5.607335e-05,5.609574e-05,5.609978e-05,5.610585e-05,5.610628e-05,5.610430e-05,5.609308e-05,5.609168e-05,5.606856e-05,5.606151e-05,5.603548e-05,5.601280e-05,5.599297e-05,5.594816e-05,5.594154e-05,5.588166e-05,5.586871e-05,5.581380e-05,5.577551e-05,5.573841e-05,5.566958e-05,5.565592e-05,5.556673e-05,5.555187e-05,5.547125e-05,5.542329e-05,5.536984e-05,5.528470e-05,5.526287e-05,5.515070e-05,5.513690e-05,5.503364e-05,5.498067e-05,5.491201e-05,5.481672e-05,5.478613e-05,5.465629e-05,5.464573e-05,5.452275e-05,5.446836e-05,5.438580e-05,5.428521e-05,5.424567e-05,5.410263e-05,5.409685e-05,5.395690e-05,5.390382e-05,5.380870e-05,5.370663e-05,5.365825e-05,5.350574e-05,5.330162e-05,5.309469e-05,5.288533e-05,5.267392e-05,5.246081e-05,5.224632e-05,5.203077e-05,5.181442e-05,5.159756e-05,5.138043e-05,5.116326e-05,5.094627e-05,5.072966e-05,5.051362e-05,5.029832e-05,5.008393e-05,4.987059e-05,4.965844e-05,4.944760e-05,4.923821e-05,4.903035e-05,4.882414e-05,4.861966e-05,4.841700e-05
0.000000e+00,3.375634e-09,7.769260e-09,2.708578e-08,6.297195e-08,9.346687e-08,2.264730e-07,2.340734e-07,4.980711e-07,6.025491e-07,9.448447e-07,1.313237e-06,1.597793e-06,2.350871e-06,2.421904e-06,3.370159e-06,3.612402e-06,4.411246e-06,5.027655e-06,5.526838e-06,6.560576e-06,6.704916e-06,7.935807e-06,8.187516e-06,9.210328e-06,9.887219e-06,1.051909e-05,1.163784e-05,1.185241e-05,1.320044e-05,1.341683e-05,1.455343e-05,1.520185e-05,1.590202e-05,1.697186e-05,1.723752e-05,1.855203e-05,1.870802e-05,1.983861e-05,2.039429e-05,2.109130e-05,2.201762e-05,2.230519e-05,2.347639e-05,2.356815e-05,2.460191e-05,2.503882e-05,2.567958e-05,2.642505e-05,2.670798e-05,2.768635e-05,2.772444e-05,2.861449e-05,2.893633e-05,2.949251e-05,3.006123e-05,3.032102e-05,3.110090e-05,3.183327e-05,3.205781e-05,3.251945e-05,3.293502e-05,3.316088e-05,3.373597e-05,3.375909e-05,3.431568e-05,3.446429e-05,3.483229e-05,3.512375e-05,3.531057e-05,3.571817e-05,3.575219e-05,3.615878e-05,3.625133e-05,3.653197e-05,3.672695e-05,3.687334e-05,3.714866e-05,3.718444e-05,3.746678e-05,3.751993e-05,3.772181e-05,3.784410e-05,3.795094e-05,3.812438e-05,3.815552e-05,3.833686e-05,3.836380e-05,3.849622e-05,3.856526e-05,3.863480e-05,3.873148e-05,3.875375e-05,3.885419e-05,3.886505e-05,3.893716e-05,3.896839e-05,3.900367e-05,3.904381e-05,3.905469e-05,3.909114e-05,3.909345e-05,3.911389e-05,3.911935e-05,3.912378e-05,3.912338e-05,3.912160e-05,3.910811e-05,3.910735e-05,3.908403e-05,3.907290e-05,3.905005e-05,3.902161e-05,3.900680e-05,3.895492e-05,3.889499e-05,3.887420e-05,3.882756e-05,3.878071e-05,3.875316e-05,3.867565e-05,3.867229e-05,3.858544e-05,3.856011e-05,3.849304e-05,3.843512e-05,3.839553e-05,3.830165e-05,3.829330e-05,3.818675e-05,3.816057e-05,3.807623e-05,3.801273e-05,3.796208e-05,3.785889e-05,3.784463e-05,3.772418e-05,3.769975e-05,3.760102e-05,3.753600e-05,3.747542e-05,3.736823e-05,3.734765e-05,3.721794e-05,3.719702e-05,3.708652e-05,3.702289e-05,3.695361e-05,3.684634e-05,3.681940e-05,3.668410e-05,3.666780e-05,3.654789e-05,3.648770e-05,3.641092e-05,3.630642e-05,3.627336e-05,3.613536e-05,3.612430e-05,3.599706e-05,3.594168e-05,3.585859e-05,3.575885e-05,3.572007e-05,3.558162e-05,3.557609e-05,3.544335e-05,3.539363e-05,3.530535e-05,3.521172e-05,3.516773e-05,3.503056e-05,3.485035e-05,3.467125e-05,3.449342e-05,3.431701e-05,3.414214e-05,3.396893e-05,3.379748e-05,3.362789e-05,3.346023e-05,3.329459e-05,3.313102e-05,3.296957e-05,3.281031e-05,3.265326e-05,3.249846e-05,3.234595e-05,3.219573e-05,3.204784e-05,3.190228e-05,3.175906e-05,3.161819e-05,3.147967e-05,3.134349e-05,3.120966e-05
0.000000e+00,1.830378e-09,5.149103e-09,2.334916e-08,6.234211e-08,9.719510e-08,2.505518e-07,2.591775e-07,5.457179e-07,6.533630e-07,9.946298e-07,1.358618e-06,1.646369e-06,2.462042e-06,2.543905e-06,3.728571e-06,4.059312e-06,5.229673e-06,6.211616e-06,7.052455e-06,8.906550e-06,9.176152e-06,1.156450e-05,1.207042e-05,1.417800e-05,1.561370e-05,1.698014e-05,1.945603e-05,1.993869e-05,2.302473e-05,2.352852e-05,2.621159e-05,2.776965e-05,2.947409e-05,3.212237e-05,3.278822e-05,3.613119e-05,3.653325e-05,3.948152e-05,4.095280e-05,4.281928e-05,4.533633e-05,4.612630e-05,4.938626e-05,4.964458e-05,5.258482e-05,5.384421e-05,5.570960e-05,5.790783e-05,5.875017e-05,6.169795e-05,6.181383e-05,6.454609e-05,6.554596e-05,6.728930e-05,6.909275e-05,6.992376e-05,7.244689e-05,7.485717e-05,7.560451e-05,7.715405e-05,7.856464e-05,7.933780e-05,8.132867e-05,8.140940e-05,8.337034e-05,8.389983e-05,8.522260e-05,8.628277e-05,8.696855e-05,8.848321e-05,8.861085e-05,9.015236e-05,9.050766e-05,9.159613e-05,9.236313e-05,9.294534e-05,9.405702e-05,9.420325e-05,9.537318e-05,9.559690e-05,9.645844e-05,9.699041e-05,9.746233e-05,9.824510e-05,9.838811e-05,9.923903e-05,9.936844e-05,1.000183e-04,1.003678e-04,1.007289e-04,1.012502e-04,1.013741e-04,1.019567e-04,1.020225e-04,1.024796e-04,1.026915e-04,1.029457e-04,1.032635e-04,1.033576e-04,1.037179e-04,1.037446e-04,1.040292e-04,1.041406e-04,1.042940e-04,1.044571e-04,1.045146e-04,1.046932e-04,1.046996e-04,1.048322e-04,1.048729e-04,1.049335e-04,1.049820e-04,1.049993e-04,1.050314e-04,1.050318e-04,1.050255e-04,1.050022e-04,1.049683e-04,1.049443e-04,1.048637e-04,1.048598e-04,1.047503e-04,1.047154e-04,1.046173e-04,1.045268e-04,1.044622e-04,1.043012e-04,1.042864e-04,1.040912e-04,1.040416e-04,1.038779e-04,1.037510e-04,1.036477e-04,1.034320e-04,1.034017e-04,1.031411e-04,1.030873e-04,1.028668e-04,1.027192e-04,1.025800e-04,1.023300e-04,1.022815e-04,1.019722e-04,1.019217e-04,1.016530e-04,1.014965e-04,1.013247e-04,1.010560e-04,1.009881e-04,1.006439e-04,1.006022e-04,1.002929e-04,1.001365e-04,9.993573e-05,9.966051e-05,9.957297e-05,9.920526e-05,9.917564e-05,9.883316e-05,9.868322e-05,9.845722e-05,9.818445e-05,9.807795e-05,9.769584e-05,9.768050e-05,9.731133e-05,9.717241e-05,9.692488e-05,9.666118e-05,9.653688e-05,9.614772e-05,9.563287e-05,9.511743e-05,9.460211e-05,9.408758e-05,9.357445e-05,9.306331e-05,9.255465e-05,9.204896e-05,9.154667e-05,9.104818e-05,9.055385e-05,9.006400e-05,8.957893e-05,8.909889e-05,8.862414e-05,8.815487e-05,8.769128e-05,8.723353e-05,8.678177e-05,8.633611e-05,8.589667e-05,8.546353e-05,8.503677e-05,8.461645e-05
0.000000e+00,6.677155e-10,1.875768e-09,8.467281e-09,2.247309e-08,3.489800e-08,8.884820e-08,9.185445e-08,1.904315e-07,2.269195e-07,3.410332e-07,4.605544e-07,5.537029e-07,8.125057e-07,8.381093e-07,1.202491e-06,1.302432e-06,1.650873e-06,1.937690e-06,2.179715e-06,2.702807e-06,2.777729e-06,3.429744e-06,3.565282e-06,4.120840e-06,4.491297e-06,4.838160e-06,5.453075e-06,5.570976e-06,6.310202e-06,6.428531e-06,7.047935e-06,7.399438e-06,7.777209e-06,8.350396e-06,8.491902e-06,9.186715e-06,9.268536e-06,9.857191e-06,1.014353e-05,1.049972e-05,1.096762e-05,1.111153e-05,1.169063e-05,1.173550e-05,1.223578e-05,1.244418e-05,1.274638e-05,1.309258e-05,1.322239e-05,1.366428e-05,1.368125e-05,1.407286e-05,1.421200e-05,1.444926e-05,1.468752e-05,1.479485e-05,1.511113e-05,1.539971e-05,1.548647e-05,1.566225e-05,1.581739e-05,1.590043e-05,1.610769e-05,1.611589e-05,1.631026e-05,1.636111e-05,1.648507e-05,1.658119e-05,1.664181e-05,1.677126e-05,1.678188e-05,1.690659e-05,1.693438e-05,1.701718e-05,1.707337e-05,1.711478e-05,1.719077e-05,1.720046e-05,1.727519e-05,1.728890e-05,1.733987e-05,1.736982e-05,1.739535e-05,1.743539e-05,1.744238e-05,1.748166e-05,1.748727e-05,1.751383e-05,1.752693e-05,1.753949e-05,1.755569e-05,1.755917e-05,1.757336e-05,1.757472e-05,1.758252e-05,1.758507e-05,1.758706e-05,1.758765e-05,1.758736e-05,1.758376e-05,1.758331e-05,1.757659e-05,1.757278e-05,1.756613e-05,1.755672e-05,1.755266e-05,1.753642e-05,1.753572e-05,1.751764e-05,1.751030e-05,1.749654e-05,1.748095e-05,1.747329e-05,1.744809e-05,1.742110e-05,1.741210e-05,1.739246e-05,1.737333e-05,1.736232e-05,1.733210e-05,1.733081e-05,1.729805e-05,1.728867e-05,1.726416e-05,1.724332e-05,1.722923e-05,1.719627e-05,1.719337e-05,1.715666e-05,1.714773e-05,1.711919e-05,1.709790e-05,1.708104e-05,1.704696e-05,1.704228e-05,1.700297e-05,1.699505e-05,1.696319e-05,1.694234e-05,1.692299e-05,1.688894e-05,1.688243e-05,1.684156e-05,1.683499e-05,1.680042e-05,1.678060e-05,1.675907e-05,1.672586e-05,1.671754e-05,1.667588e-05,1.667087e-05,1.663412e-05,1.661573e-05,1.659230e-05,1.656050e-05,1.655045e-05,1.650860e-05,1.650525e-05,1.646678e-05,1.645006e-05,1.642501e-05,1.639499e-05,1.638333e-05,1.634175e-05,1.634009e-05,1.630029e-05,1.628541e-05,1.625899e-05,1.623099e-05,1.621784e-05,1.617689e-05,1.612313e-05,1.606976e-05,1.601680e-05,1.596429e-05,1.591225e-05,1.586071e-05,1.580968e-05,1.575919e-05,1.570925e-05,1.565988e-05,1.561109e-05,1.556289e-05,1.551530e-05,1.546832e-05,1.542197e-05,1.537624e-05,1.533114e-05,1.528668e-05,1.524286e-05,1.519968e-05,1.515715e-05,1.511526e-05,1.507402e-05,1.503342e-05
0.000000e+00,1.586902e-09,3.745759e-09,1.324493e-08,3.039654e-08,4.441980e-08,1.006722e-07,1.036859e-07,1.993053e-07,2.337231e-07,3.395993e-07,4.487021e-07,5.329017e-07,7.641065e-07,7.867904e-07,1.106184e-06,1.192660e-06,1.490254e-06,1.730565e-06,1.930056e-06,2.351153e-06,2.410377e-06,2.915058e-06,3.017684e-06,3.430836e-06,3.700076e-06,3.947979e-06,4.378239e-06,4.459466e-06,4.960128e-06,5.038954e-06,5.446078e-06,5.673220e-06,5.914402e-06,6.274925e-06,6.362983e-06,6.790368e-06,6.840183e-06,7.195681e-06,7.366909e-06,7.578528e-06,7.854457e-06,7.938913e-06,8.277163e-06,8.303282e-06,8.593848e-06,8.714648e-06,8.889723e-06,9.090360e-06,9.165672e-06,9.422661e-06,9.432561e-06,9.661702e-06,9.743560e-06,9.883822e-06,1.002572e-05,1.009005e-05,1.028138e-05,1.045878e-05,1.051276e-05,1.062317e-05,1.072195e-05,1.077542e-05,1.091094e-05,1.091637e-05,1.104678e-05,1.108151e-05,1.116739e-05,1.123533e-05,1.127887e-05,1.137392e-05,1.138186e-05,1.147693e-05,1.149864e-05,1.156465e-05,1.161075e-05,1.164552e-05,1.171139e-05,1.172000e-05,1.178854e-05,1.180157e-05,1.185152e-05,1.188220e-05,1.190932e-05,1.195411e-05,1.196228e-05,1.201071e-05,1.201806e-05,1.205491e-05,1.207471e-05,1.209516e-05,1.212467e-05,1.213169e-05,1.216476e-05,1.216850e-05,1.219457e-05,1.220671e-05,1.222133e-05,1.223974e-05,1.224522e-05,1.226642e-05,1.226800e-05,1.228509e-05,1.229189e-05,1.230139e-05,1.231173e-05,1.231545e-05,1.232741e-05,1.232785e-05,1.233739e-05,1.234052e-05,1.234550e-05,1.235001e-05,1.235186e-05,1.235657e-05,1.235971e-05,1.236040e-05,1.236139e-05,1.236173e-05,1.236168e-05,1.236072e-05,1.236066e-05,1.235840e-05,1.235756e-05,1.235499e-05,1.235240e-05,1.235047e-05,1.234540e-05,1.234492e-05,1.233839e-05,1.233668e-05,1.233094e-05,1.232638e-05,1.232261e-05,1.231461e-05,1.231347e-05,1.230355e-05,1.230148e-05,1.229290e-05,1.228709e-05,1.228157e-05,1.227154e-05,1.226958e-05,1.225699e-05,1.225492e-05,1.224382e-05,1.223731e-05,1.223011e-05,1.221878e-05,1.221590e-05,1.220121e-05,1.219941e-05,1.218607e-05,1.217927e-05,1.217051e-05,1.215842e-05,1.215456e-05,1.213824e-05,1.213692e-05,1.212157e-05,1.211482e-05,1.210459e-05,1.209218e-05,1.208731e-05,1.206975e-05,1.206904e-05,1.205193e-05,1.204546e-05,1.203388e-05,1.202147e-05,1.201560e-05,1.199712e-05,1.197245e-05,1.194749e-05,1.192227e-05,1.189683e-05,1.187120e-05,1.184540e-05,1.181947e-05,1.179342e-05,1.176728e-05,1.174108e-05,1.171484e-05,1.168857e-05,1.166229e-05,1.163603e-05,1.160979e-05,1.158359e-05,1.155746e-05,1.153139e-05,1.150541e-05,1.147953e-05,1.145375e-05,1.142809e-05,1.140256e-05,1.137717e-05
0.000000e+00,2.107038e-10,6.179248e-10,3.028905e-09,8.601861e-09,1.382442e-08,3.813718e-08,3.954682e-08,8.777371e-08,1.063640e-07,1.662476e-07,2.310734e-07,2.827129e-07,4.300369e-07,4.448704e-07,6.602375e-07,7.206278e-07,9.356229e-07,1.118013e-06,1.275940e-06,1.630289e-06,1.682505e-06,2.151766e-06,2.252487e-06,2.675525e-06,2.965742e-06,3.242511e-06,3.743093e-06,3.840299e-06,4.456778e-06,4.556396e-06,5.080966e-06,5.380463e-06,5.703349e-06,6.194523e-06,6.315915e-06,6.912065e-06,6.982235e-06,7.486466e-06,7.731190e-06,8.034906e-06,8.432345e-06,8.554168e-06,9.041912e-06,9.079518e-06,9.496565e-06,9.668941e-06,9.917238e-06,1.019890e-05,1.030364e-05,1.065598e-05,1.066938e-05,1.097493e-05,1.108176e-05,1.126148e-05,1.143849e-05,1.151694e-05,1.174282e-05,1.194077e-05,1.199851e-05,1.211258e-05,1.220966e-05,1.226006e-05,1.238045e-05,1.238504e-05,1.248934e-05,1.251508e-05,1.257471e-05,1.261756e-05,1.264285e-05,1.269171e-05,1.269537e-05,1.273377e-05,1.274105e-05,1.275947e-05,1.276881e-05,1.277377e-05,1.277789e-05,1.277788e-05,1.277290e-05,1.277090e-05,1.275982e-05,1.275013e-05,1.273956e-05,1.271759e-05,1.271294e-05,1.268069e-05,1.267505e-05,1.264349e-05,1.262405e-05,1.260192e-05,1.256589e-05,1.255653e-05,1.250778e-05,1.250173e-05,1.245611e-05,1.243255e-05,1.240190e-05,1.235921e-05,1.234549e-05,1.228717e-05,1.228243e-05,1.222723e-05,1.220285e-05,1.216589e-05,1.212100e-05,1.210339e-05,1.203990e-05,1.203735e-05,1.197561e-05,1.195230e-05,1.191067e-05,1.186621e-05,1.184522e-05,1.177937e-05,1.171326e-05,1.169206e-05,1.164696e-05,1.160449e-05,1.158059e-05,1.151686e-05,1.151421e-05,1.144790e-05,1.142936e-05,1.138173e-05,1.134213e-05,1.131577e-05,1.125530e-05,1.125005e-05,1.118463e-05,1.116899e-05,1.111957e-05,1.108330e-05,1.105489e-05,1.099831e-05,1.099063e-05,1.092682e-05,1.091412e-05,1.086350e-05,1.083078e-05,1.080070e-05,1.074835e-05,1.073842e-05,1.067671e-05,1.066688e-05,1.061556e-05,1.058642e-05,1.055501e-05,1.050700e-05,1.049506e-05,1.043574e-05,1.042866e-05,1.037704e-05,1.035142e-05,1.031898e-05,1.027530e-05,1.026158e-05,1.020483e-05,1.020031e-05,1.014874e-05,1.012649e-05,1.009331e-05,1.005382e-05,1.003856e-05,9.984483e-06,9.982334e-06,9.931080e-06,9.912021e-06,9.878355e-06,9.842888e-06,9.826307e-06,9.774936e-06,9.708163e-06,9.642564e-06,9.578136e-06,9.514872e-06,9.452764e-06,9.391803e-06,9.331979e-06,9.273281e-06,9.215698e-06,9.159217e-06,9.103825e-06,9.049509e-06,8.996254e-06,8.944047e-06,8.892871e-06,8.842713e-06,8.793556e-06,8.745385e-06,8.698185e-06,8.651939e-06,8.606631e-06,8.562247e-06,8.518769e-06,8.476181e-06
0.000000e+00,6.037190e-09,1.383890e-08,4.762091e-08,1.083161e-07,1.579779e-07,3.580182e-07,3.687722e-07,7.115891e-07,8.356484e-07,1.219080e-06,1.616665e-06,1.925029e-06,2.778102e-06,2.862286e-06,4.056970e-06,4.383539e-06,5.518275e-06,6.447757e-06,7.228899e-06,8.907693e-06,9.147148e-06,1.122175e-05,1.165113e-05,1.340550e-05,1.457107e-05,1.565992e-05,1.758565e-05,1.795437e-05,2.026395e-05,2.063345e-05,2.256796e-05,2.366669e-05,2.484903e-05,2.664750e-05,2.709260e-05,2.928664e-05,2.954611e-05,3.142140e-05,3.233987e-05,3.348922e-05,3.501237e-05,3.548431e-05,3.740247e-05,3.755251e-05,3.924096e-05,3.995365e-05,4.099816e-05,4.221263e-05,4.267345e-05,4.426704e-05,4.432909e-05,4.577975e-05,4.630477e-05,4.721291e-05,4.814288e-05,4.856825e-05,4.984781e-05,5.105385e-05,5.142465e-05,5.218879e-05,5.287900e-05,5.325515e-05,5.421675e-05,5.425554e-05,5.519260e-05,5.544399e-05,5.606895e-05,5.656667e-05,5.688713e-05,5.759069e-05,5.764971e-05,5.835918e-05,5.852182e-05,5.901798e-05,5.936566e-05,5.962848e-05,6.012757e-05,6.019295e-05,6.071362e-05,6.081269e-05,6.119263e-05,6.142594e-05,6.163205e-05,6.197204e-05,6.203389e-05,6.240005e-05,6.245545e-05,6.273238e-05,6.288041e-05,6.303265e-05,6.325092e-05,6.330255e-05,6.354370e-05,6.357079e-05,6.375767e-05,6.384359e-05,6.394593e-05,6.407270e-05,6.410992e-05,6.425098e-05,6.426132e-05,6.437042e-05,6.441242e-05,6.446948e-05,6.452884e-05,6.454933e-05,6.461111e-05,6.461322e-05,6.465589e-05,6.466805e-05,6.468470e-05,6.469566e-05,6.469850e-05,6.469824e-05,6.468479e-05,6.467784e-05,6.465899e-05,6.463637e-05,6.462164e-05,6.457563e-05,6.457351e-05,6.451531e-05,6.449731e-05,6.444774e-05,6.440296e-05,6.437143e-05,6.429406e-05,6.428702e-05,6.419509e-05,6.417198e-05,6.409620e-05,6.403798e-05,6.399087e-05,6.389326e-05,6.387961e-05,6.376289e-05,6.373893e-05,6.364116e-05,6.357602e-05,6.351484e-05,6.340549e-05,6.338434e-05,6.325004e-05,6.322823e-05,6.311230e-05,6.304507e-05,6.297146e-05,6.285678e-05,6.282784e-05,6.268175e-05,6.266407e-05,6.253347e-05,6.246761e-05,6.238327e-05,6.226800e-05,6.223142e-05,6.207814e-05,6.206582e-05,6.192366e-05,6.186159e-05,6.176821e-05,6.165579e-05,6.161197e-05,6.145514e-05,6.144886e-05,6.129790e-05,6.124122e-05,6.114041e-05,6.103325e-05,6.098282e-05,6.082529e-05,6.061766e-05,6.041065e-05,6.020452e-05,5.999953e-05,5.979589e-05,5.959380e-05,5.939344e-05,5.919499e-05,5.899858e-05,5.880435e-05,5.861242e-05,5.842288e-05,5.823584e-05,5.805138e-05,5.786955e-05,5.769044e-05,5.751407e-05,5.734051e-05,5.716979e-05,5.700192e-05,5.683694e-05,5.667486e-05,5.651569e-05,5.635944e-05
0.000000e+00,5.890293e-09,1.758257e-08,8.942567e-08,2.627086e-07,4.301617e-07,1.245436e-06,1.294014e-06,3.013129e-06,3.699064e-06,5.972894e-06,8.521864e-06,1.060441e-05,1.674582e-05,1.737814e-05,2.678806e-05,2.949290e-05,3.931137e-05,4.783826e-05,5.534847e-05,7.259435e-05,7.518100e-05,9.896979e-05,1.042091e-04,1.267750e-04,1.428173e-04,1.585773e-04,1.883202e-04,1.942924e-04,2.337812e-04,2.404377e-04,2.768562e-04,2.987400e-04,3.232876e-04,3.626716e-04,3.728093e-04,4.251243e-04,4.315747e-04,4.799117e-04,5.047148e-04,5.368335e-04,5.813073e-04,5.955411e-04,6.556821e-04,6.605448e-04,7.169060e-04,7.416217e-04,7.788703e-04,8.237571e-04,8.412448e-04,9.037159e-04,9.062125e-04,9.659893e-04,9.883062e-04,1.027793e-03,1.069423e-03,1.088878e-03,1.149020e-03,1.208018e-03,1.226627e-03,1.265698e-03,1.301850e-03,1.321907e-03,1.374364e-03,1.376516e-03,1.429418e-03,1.443911e-03,1.480523e-03,1.510294e-03,1.529763e-03,1.573371e-03,1.577086e-03,1.622454e-03,1.633049e-03,1.665845e-03,1.689276e-03,1.707248e-03,1.742038e-03,1.746663e-03,1.784100e-03,1.791352e-03,1.819577e-03,1.837259e-03,1.853121e-03,1.879825e-03,1.884761e-03,1.914535e-03,1.919129e-03,1.942485e-03,1.955265e-03,1.968653e-03,1.988338e-03,1.993089e-03,2.015841e-03,2.018461e-03,2.036961e-03,2.045750e-03,2.056501e-03,2.070328e-03,2.074515e-03,2.091056e-03,2.092318e-03,2.106179e-03,2.111842e-03,2.119936e-03,2.129026e-03,2.132381e-03,2.143568e-03,2.143990e-03,2.153547e-03,2.156854e-03,2.162370e-03,2.167736e-03,2.170088e-03,2.176749e-03,2.182402e-03,2.184005e-03,2.187092e-03,2.189610e-03,2.190866e-03,2.193668e-03,2.193768e-03,2.195840e-03,2.196277e-03,2.197124e-03,2.197533e-03,2.197661e-03,2.197527e-03,2.197488e-03,2.196645e-03,2.196347e-03,2.195166e-03,2.194074e-03,2.193088e-03,2.190789e-03,2.190442e-03,2.187263e-03,2.186566e-03,2.183581e-03,2.181478e-03,2.179427e-03,2.175592e-03,2.174828e-03,2.169813e-03,2.168973e-03,2.164407e-03,2.161682e-03,2.158638e-03,2.153776e-03,2.152528e-03,2.146102e-03,2.145311e-03,2.139381e-03,2.136337e-03,2.132388e-03,2.126902e-03,2.125141e-03,2.117662e-03,2.117054e-03,2.109968e-03,2.106834e-03,2.102078e-03,2.096284e-03,2.094007e-03,2.085774e-03,2.085441e-03,2.077392e-03,2.074341e-03,2.068877e-03,2.063017e-03,2.060242e-03,2.051501e-03,2.039822e-03,2.028007e-03,2.016082e-03,2.004071e-03,1.991995e-03,1.979875e-03,1.967731e-03,1.955580e-03,1.943439e-03,1.931322e-03,1.919244e-03,1.907218e-03,1.895255e-03,1.883366e-03,1.871561e-03,1.859849e-03,1.848239e-03,1.836737e-03,1.825351e-03,1.814086e-03,1.802948e-03,1.791942e-03,1.781072e-03,1.770341e-03
0.000000e+00,8.185364e-09,1.879029e-08,6.493232e-08,1.485269e-07,2.174895e-07,4.997062e-07,5.150631e-07,1.013413e-06,1.197645e-06,1.778683e-06,2.397918e-06,2.888675e-06,4.287472e-06,4.428423e-06,6.474843e-06,7.047066e-06,9.068145e-06,1.075356e-05,1.218579e-05,1.530089e-05,1.574862e-05,1.965679e-05,2.047162e-05,2.382046e-05,2.606243e-05,2.816920e-05,3.192546e-05,3.264924e-05,3.721806e-05,3.795487e-05,4.184016e-05,4.406844e-05,4.648448e-05,5.019713e-05,5.112317e-05,5.573097e-05,5.628072e-05,6.028507e-05,6.226651e-05,6.476506e-05,6.810916e-05,6.915301e-05,7.343346e-05,7.377084e-05,7.759338e-05,7.922113e-05,8.162208e-05,8.443664e-05,8.551107e-05,8.925390e-05,8.940051e-05,9.284594e-05,9.410151e-05,9.628407e-05,9.853321e-05,9.956668e-05,1.026934e-04,1.056649e-04,1.065832e-04,1.084825e-04,1.102061e-04,1.111485e-04,1.135678e-04,1.136656e-04,1.160371e-04,1.166755e-04,1.182666e-04,1.195377e-04,1.203579e-04,1.221634e-04,1.223151e-04,1.241426e-04,1.245623e-04,1.258445e-04,1.267444e-04,1.274254e-04,1.287199e-04,1.288896e-04,1.302415e-04,1.304988e-04,1.314855e-04,1.320911e-04,1.326257e-04,1.335064e-04,1.336663e-04,1.346116e-04,1.347542e-04,1.354654e-04,1.358440e-04,1.362318e-04,1.367845e-04,1.369146e-04,1.375173e-04,1.375845e-04,1.380438e-04,1.382522e-04,1.384974e-04,1.387955e-04,1.388816e-04,1.391995e-04,1.392222e-04,1.394545e-04,1.395395e-04,1.396495e-04,1.397544e-04,1.397874e-04,1.398712e-04,1.398735e-04,1.399036e-04,1.399032e-04,1.398872e-04,1.398495e-04,1.398245e-04,1.397180e-04,1.395701e-04,1.395144e-04,1.393829e-04,1.392436e-04,1.391587e-04,1.389106e-04,1.388996e-04,1.386075e-04,1.385200e-04,1.382843e-04,1.380763e-04,1.379320e-04,1.375835e-04,1.375522e-04,1.371466e-04,1.370456e-04,1.367169e-04,1.364663e-04,1.362646e-04,1.358490e-04,1.357911e-04,1.352980e-04,1.351971e-04,1.347865e-04,1.345137e-04,1.342579e-04,1.338017e-04,1.337136e-04,1.331545e-04,1.330638e-04,1.325820e-04,1.323027e-04,1.319970e-04,1.315207e-04,1.314006e-04,1.307937e-04,1.307202e-04,1.301773e-04,1.299033e-04,1.295523e-04,1.290721e-04,1.289195e-04,1.282798e-04,1.282283e-04,1.276338e-04,1.273738e-04,1.269823e-04,1.265103e-04,1.263261e-04,1.256657e-04,1.256392e-04,1.250017e-04,1.247620e-04,1.243349e-04,1.238801e-04,1.236657e-04,1.229947e-04,1.221069e-04,1.212180e-04,1.203288e-04,1.194403e-04,1.185534e-04,1.176689e-04,1.167875e-04,1.159099e-04,1.150368e-04,1.141687e-04,1.133061e-04,1.124496e-04,1.115996e-04,1.107564e-04,1.099205e-04,1.090922e-04,1.082718e-04,1.074595e-04,1.066556e-04,1.058603e-04,1.050737e-04,1.042961e-04,1.035276e-04,1.027683e-04
0.000000e+00,1.537395e-09,3.631784e-09,1.291771e-08,2.985703e-08,4.380964e-08,1.003144e-07,1.033587e-07,2.004982e-07,2.356563e-07,3.442519e-07,4.567379e-07,5.439264e-07,7.852054e-07,8.090454e-07,1.148773e-06,1.242295e-06,1.570465e-06,1.843843e-06,2.077295e-06,2.591400e-06,2.666131e-06,3.327847e-06,3.467878e-06,4.050261e-06,4.445809e-06,4.821197e-06,5.498397e-06,5.629945e-06,6.467406e-06,6.603528e-06,7.325774e-06,7.743179e-06,8.198212e-06,8.902184e-06,9.078638e-06,9.961610e-06,1.006750e-05,1.084227e-05,1.122791e-05,1.171634e-05,1.237389e-05,1.258006e-05,1.343023e-05,1.349757e-05,1.426413e-05,1.459262e-05,1.507952e-05,1.565411e-05,1.587459e-05,1.664794e-05,1.667840e-05,1.739848e-05,1.766293e-05,1.812543e-05,1.860602e-05,1.882829e-05,1.950677e-05,2.016078e-05,2.036489e-05,2.079036e-05,2.118057e-05,2.139572e-05,2.195435e-05,2.197715e-05,2.253504e-05,2.268709e-05,2.306983e-05,2.337983e-05,2.358204e-05,2.403379e-05,2.407221e-05,2.454091e-05,2.465027e-05,2.498875e-05,2.523064e-05,2.541632e-05,2.577631e-05,2.582425e-05,2.621315e-05,2.628870e-05,2.658364e-05,2.676922e-05,2.693633e-05,2.721929e-05,2.727183e-05,2.759074e-05,2.764026e-05,2.789362e-05,2.803349e-05,2.818107e-05,2.840029e-05,2.845363e-05,2.871186e-05,2.874191e-05,2.895628e-05,2.905959e-05,2.918742e-05,2.935451e-05,2.940577e-05,2.961182e-05,2.962779e-05,2.980605e-05,2.988053e-05,2.998891e-05,3.011378e-05,3.016084e-05,3.032229e-05,3.032853e-05,3.047365e-05,3.052575e-05,3.061534e-05,3.070636e-05,3.074774e-05,3.087122e-05,3.098615e-05,3.102117e-05,3.109287e-05,3.115702e-05,3.119173e-05,3.127952e-05,3.128304e-05,3.136712e-05,3.138940e-05,3.144427e-05,3.148735e-05,3.151478e-05,3.157403e-05,3.157893e-05,3.163700e-05,3.165005e-05,3.168923e-05,3.171603e-05,3.173588e-05,3.177252e-05,3.177720e-05,3.181341e-05,3.182006e-05,3.184473e-05,3.185916e-05,3.187139e-05,3.189032e-05,3.189358e-05,3.191151e-05,3.191399e-05,3.192536e-05,3.193062e-05,3.193533e-05,3.194061e-05,3.194158e-05,3.194428e-05,3.194438e-05,3.194361e-05,3.194228e-05,3.193971e-05,3.193469e-05,3.193275e-05,3.192285e-05,3.192194e-05,3.191017e-05,3.190435e-05,3.189483e-05,3.188222e-05,3.187697e-05,3.185671e-05,3.185585e-05,3.183417e-05,3.182551e-05,3.180945e-05,3.179147e-05,3.178268e-05,3.175396e-05,3.171322e-05,3.166948e-05,3.162295e-05,3.157382e-05,3.152228e-05,3.146852e-05,3.141270e-05,3.135499e-05,3.129553e-05,3.123447e-05,3.117194e-05,3.110809e-05,3.104302e-05,3.097685e-05,3.090970e-05,3.084166e-05,3.077284e-05,3.070332e-05,3.063320e-05,3.056256e-05,3.049147e-05,3.042001e-05,3.034825e-05,3.027625e-05
0.000000e+00,3.660090e-09,9.037116e-09,3.380717e-08,8.013318e-08,1.187518e-07,2.772291e-07,2.858353e-07,5.631029e-07,6.645629e-07,9.811584e-07,1.313663e-06,1.574155e-06,2.304450e-06,2.377137e-06,3.415860e-06,3.701181e-06,4.694091e-06,5.508535e-06,6.194526e-06,7.678955e-06,7.892315e-06,9.764560e-06,1.015820e-05,1.179209e-05,1.290217e-05,1.395816e-05,1.587312e-05,1.624692e-05,1.864257e-05,1.903471e-05,2.112888e-05,2.234963e-05,2.368918e-05,2.577929e-05,2.630650e-05,2.896382e-05,2.928459e-05,3.164439e-05,3.282701e-05,3.433204e-05,3.636991e-05,3.701143e-05,3.966830e-05,3.987948e-05,4.228962e-05,4.332553e-05,4.486371e-05,4.668199e-05,4.738029e-05,4.983051e-05,4.992703e-05,5.220689e-05,5.304310e-05,5.450332e-05,5.601668e-05,5.671491e-05,5.883796e-05,6.086977e-05,6.150037e-05,6.280859e-05,6.400018e-05,6.465351e-05,6.633612e-05,6.640435e-05,6.806156e-05,6.850892e-05,6.962609e-05,7.052091e-05,7.109938e-05,7.237574e-05,7.248320e-05,7.377965e-05,7.407805e-05,7.499105e-05,7.563321e-05,7.611991e-05,7.704713e-05,7.716887e-05,7.814070e-05,7.832606e-05,7.903821e-05,7.947649e-05,7.986425e-05,8.050500e-05,8.062170e-05,8.131340e-05,8.141815e-05,8.194216e-05,8.222244e-05,8.251079e-05,8.292424e-05,8.302202e-05,8.347853e-05,8.352976e-05,8.388293e-05,8.404502e-05,8.423777e-05,8.447581e-05,8.454550e-05,8.480851e-05,8.482769e-05,8.502911e-05,8.510598e-05,8.520953e-05,8.531577e-05,8.535192e-05,8.545836e-05,8.546189e-05,8.553082e-05,8.554896e-05,8.557122e-05,8.558133e-05,8.558141e-05,8.556312e-05,8.551806e-05,8.549825e-05,8.544783e-05,8.539040e-05,8.535398e-05,8.524304e-05,8.523799e-05,8.510126e-05,8.505944e-05,8.494514e-05,8.484270e-05,8.477091e-05,8.459569e-05,8.457981e-05,8.437299e-05,8.432114e-05,8.415158e-05,8.402161e-05,8.391662e-05,8.369947e-05,8.366914e-05,8.341008e-05,8.335696e-05,8.314037e-05,8.299619e-05,8.286086e-05,8.261911e-05,8.257238e-05,8.227571e-05,8.222754e-05,8.197160e-05,8.182318e-05,8.166074e-05,8.140764e-05,8.134380e-05,8.102141e-05,8.098239e-05,8.069418e-05,8.054880e-05,8.036265e-05,8.010816e-05,8.002738e-05,7.968886e-05,7.966166e-05,7.934758e-05,7.921039e-05,7.900397e-05,7.875538e-05,7.865847e-05,7.831148e-05,7.829757e-05,7.796336e-05,7.783784e-05,7.761449e-05,7.737699e-05,7.726518e-05,7.691576e-05,7.645483e-05,7.599484e-05,7.553636e-05,7.507991e-05,7.462597e-05,7.417499e-05,7.372735e-05,7.328342e-05,7.284353e-05,7.240796e-05,7.197698e-05,7.155082e-05,7.112970e-05,7.071378e-05,7.030325e-05,6.989822e-05,6.949883e-05,6.910518e-05,6.871735e-05,6.833540e-05,6.795940e-05,6.758938e-05,6.722537e-05,6.686739e-05
0.000000e+00,1.227860e-09,3.123038e-09,1.214501e-08,2.948053e-08,4.419226e-08,1.063095e-07,1.097528e-07,2.239960e-07,2.672611e-07,4.066057e-07,5.590674e-07,6.821812e-07,1.040772e-06,1.077348e-06,1.612241e-06,1.762096e-06,2.288432e-06,2.721604e-06,3.084707e-06,3.858188e-06,3.967589e-06,4.905247e-06,5.097087e-06,5.873571e-06,6.383431e-06,6.855826e-06,7.683120e-06,7.840448e-06,8.819163e-06,8.974773e-06,9.785781e-06,1.024401e-05,1.073552e-05,1.148060e-05,1.166461e-05,1.257014e-05,1.267711e-05,1.344985e-05,1.382829e-05,1.430207e-05,1.493065e-05,1.512565e-05,1.591988e-05,1.598214e-05,1.668440e-05,1.698187e-05,1.741916e-05,1.792987e-05,1.812437e-05,1.880041e-05,1.882686e-05,1.944785e-05,1.967405e-05,2.006734e-05,2.047301e-05,2.065964e-05,2.122555e-05,2.176594e-05,2.193362e-05,2.228169e-05,2.259923e-05,2.277367e-05,2.322444e-05,2.324277e-05,2.368989e-05,2.381126e-05,2.411588e-05,2.436169e-05,2.452159e-05,2.487766e-05,2.490787e-05,2.527550e-05,2.536105e-05,2.562528e-05,2.581363e-05,2.595795e-05,2.623714e-05,2.627425e-05,2.657489e-05,2.663319e-05,2.686052e-05,2.700334e-05,2.713181e-05,2.734907e-05,2.738938e-05,2.763383e-05,2.767176e-05,2.786572e-05,2.797273e-05,2.808561e-05,2.825324e-05,2.829403e-05,2.849148e-05,2.851446e-05,2.867843e-05,2.875749e-05,2.885536e-05,2.898339e-05,2.902271e-05,2.918088e-05,2.919315e-05,2.933029e-05,2.938769e-05,2.947133e-05,2.956790e-05,2.960436e-05,2.972973e-05,2.973459e-05,2.984778e-05,2.988855e-05,2.995883e-05,3.003050e-05,3.006319e-05,3.016114e-05,3.025298e-05,3.028112e-05,3.033897e-05,3.039105e-05,3.041936e-05,3.049150e-05,3.049440e-05,3.056432e-05,3.058301e-05,3.062935e-05,3.066610e-05,3.068969e-05,3.074125e-05,3.074555e-05,3.079714e-05,3.080890e-05,3.084462e-05,3.086949e-05,3.088818e-05,3.092341e-05,3.092800e-05,3.096422e-05,3.097105e-05,3.099702e-05,3.101277e-05,3.102653e-05,3.104889e-05,3.105290e-05,3.107627e-05,3.107974e-05,3.109676e-05,3.110562e-05,3.111451e-05,3.112680e-05,3.112962e-05,3.114221e-05,3.114356e-05,3.115240e-05,3.115615e-05,3.116028e-05,3.116480e-05,3.116597e-05,3.116954e-05,3.116974e-05,3.117110e-05,3.117118e-05,3.117073e-05,3.116932e-05,3.116852e-05,3.116455e-05,3.116435e-05,3.115889e-05,3.115646e-05,3.115163e-05,3.114580e-05,3.114282e-05,3.113254e-05,3.111684e-05,3.109883e-05,3.107865e-05,3.105643e-05,3.103230e-05,3.100636e-05,3.097873e-05,3.094951e-05,3.091880e-05,3.088669e-05,3.085328e-05,3.081864e-05,3.078286e-05,3.074602e-05,3.070818e-05,3.066941e-05,3.062978e-05,3.058935e-05,3.054818e-05,3.050633e-05,3.046384e-05,3.042078e-05,3.037719e-05,3.033310e-05
0.000000e+00,3.495066e-09,7.949252e-09,2.694646e-08,6.044396e-08,8.744985e-08,1.937035e-07,1.993214e-07,3.744944e-07,4.362761e-07,6.228249e-07,8.103243e-07,9.522625e-07,1.332182e-06,1.368817e-06,1.876206e-06,2.011645e-06,2.475047e-06,2.849174e-06,3.161627e-06,3.831353e-06,3.926920e-06,4.757023e-06,4.929374e-06,5.635297e-06,6.105399e-06,6.544891e-06,7.321769e-06,7.470318e-06,8.397987e-06,8.545816e-06,9.316220e-06,9.750649e-06,1.021511e-05,1.091471e-05,1.108642e-05,1.192342e-05,1.202129e-05,1.272086e-05,1.305814e-05,1.347483e-05,1.401709e-05,1.418266e-05,1.484275e-05,1.489347e-05,1.545447e-05,1.568563e-05,1.601799e-05,1.639432e-05,1.653414e-05,1.700428e-05,1.702215e-05,1.743016e-05,1.757302e-05,1.781381e-05,1.805172e-05,1.815749e-05,1.846354e-05,1.873437e-05,1.881400e-05,1.897239e-05,1.910859e-05,1.917996e-05,1.935270e-05,1.935936e-05,1.951281e-05,1.955142e-05,1.964240e-05,1.970953e-05,1.975011e-05,1.983146e-05,1.983778e-05,1.990715e-05,1.992126e-05,1.995984e-05,1.998262e-05,1.999733e-05,2.001886e-05,2.002101e-05,2.003215e-05,2.003297e-05,2.003191e-05,2.002765e-05,2.002137e-05,2.000528e-05,2.000152e-05,1.997326e-05,1.996801e-05,1.993741e-05,1.991774e-05,1.989474e-05,1.985615e-05,1.984593e-05,1.979162e-05,1.978476e-05,1.973238e-05,1.970489e-05,1.966875e-05,1.961774e-05,1.960119e-05,1.953017e-05,1.952435e-05,1.945607e-05,1.942566e-05,1.937927e-05,1.932249e-05,1.930010e-05,1.921887e-05,1.921559e-05,1.913587e-05,1.910560e-05,1.905133e-05,1.899310e-05,1.896551e-05,1.887862e-05,1.879084e-05,1.876260e-05,1.870236e-05,1.864545e-05,1.861335e-05,1.852753e-05,1.852395e-05,1.843430e-05,1.840917e-05,1.834452e-05,1.829063e-05,1.825472e-05,1.817219e-05,1.816502e-05,1.807550e-05,1.805405e-05,1.798624e-05,1.793641e-05,1.789734e-05,1.781945e-05,1.780886e-05,1.772086e-05,1.770332e-05,1.763341e-05,1.758816e-05,1.754655e-05,1.747408e-05,1.746033e-05,1.737480e-05,1.736118e-05,1.729000e-05,1.724956e-05,1.720596e-05,1.713929e-05,1.712271e-05,1.704028e-05,1.703044e-05,1.695869e-05,1.692307e-05,1.687797e-05,1.681721e-05,1.679814e-05,1.671920e-05,1.671293e-05,1.664119e-05,1.661024e-05,1.656410e-05,1.650918e-05,1.648796e-05,1.641276e-05,1.640977e-05,1.633851e-05,1.631202e-05,1.626523e-05,1.621594e-05,1.619290e-05,1.612155e-05,1.602884e-05,1.593782e-05,1.584849e-05,1.576083e-05,1.567484e-05,1.559051e-05,1.550783e-05,1.542679e-05,1.534736e-05,1.526954e-05,1.519330e-05,1.511863e-05,1.504550e-05,1.497390e-05,1.490380e-05,1.483519e-05,1.476804e-05,1.470232e-05,1.463802e-05,1.457510e-05,1.451356e-05,1.445336e-05,1.439448e-05,1.433689e-05
0.000000e+00,6.722005e-10,1.838018e-09,7.928406e-09,2.039165e-08,3.122251e-08,7.724389e-08,7.977957e-08,1.620342e-07,1.921691e-07,2.856874e-07,3.827160e-07,4.578093e-07,6.645533e-07,6.848836e-07,9.727383e-07,1.051440e-06,1.326305e-06,1.554406e-06,1.749134e-06,2.179704e-06,2.242634e-06,2.805200e-06,2.925610e-06,3.431676e-06,3.780020e-06,4.113696e-06,4.721981e-06,4.840927e-06,5.602533e-06,5.726880e-06,6.388239e-06,6.771183e-06,7.188808e-06,7.834478e-06,7.996129e-06,8.803136e-06,8.899654e-06,9.603684e-06,9.952483e-06,1.039246e-05,1.098124e-05,1.116492e-05,1.191721e-05,1.197642e-05,1.264614e-05,1.293058e-05,1.334914e-05,1.383808e-05,1.402418e-05,1.466975e-05,1.469494e-05,1.528481e-05,1.549863e-05,1.586872e-05,1.624782e-05,1.642118e-05,1.694220e-05,1.743204e-05,1.758228e-05,1.789118e-05,1.816921e-05,1.832026e-05,1.870463e-05,1.872007e-05,1.909148e-05,1.919051e-05,1.943545e-05,1.962909e-05,1.975302e-05,2.002275e-05,2.004522e-05,2.031315e-05,2.037396e-05,2.055788e-05,2.068520e-05,2.078049e-05,2.095895e-05,2.098206e-05,2.116364e-05,2.119765e-05,2.132625e-05,2.140365e-05,2.147090e-05,2.157923e-05,2.159855e-05,2.171014e-05,2.172657e-05,2.180657e-05,2.184774e-05,2.188872e-05,2.194471e-05,2.195741e-05,2.201344e-05,2.201935e-05,2.205757e-05,2.207341e-05,2.209054e-05,2.210855e-05,2.211302e-05,2.212570e-05,2.212631e-05,2.212918e-05,2.212814e-05,2.212408e-05,2.211541e-05,2.211096e-05,2.209036e-05,2.208938e-05,2.206278e-05,2.205124e-05,2.202872e-05,2.200210e-05,2.198864e-05,2.194297e-05,2.189212e-05,2.187481e-05,2.183648e-05,2.179852e-05,2.177642e-05,2.171492e-05,2.171228e-05,2.164440e-05,2.162477e-05,2.157309e-05,2.152878e-05,2.149864e-05,2.142761e-05,2.142132e-05,2.134140e-05,2.132186e-05,2.125912e-05,2.121210e-05,2.117471e-05,2.109884e-05,2.108839e-05,2.100037e-05,2.098257e-05,2.091083e-05,2.086373e-05,2.081995e-05,2.074272e-05,2.072792e-05,2.063488e-05,2.061991e-05,2.054099e-05,2.049566e-05,2.044638e-05,2.037027e-05,2.035119e-05,2.025554e-05,2.024404e-05,2.015955e-05,2.011723e-05,2.006332e-05,1.999008e-05,1.996695e-05,1.987054e-05,1.986283e-05,1.977418e-05,1.973566e-05,1.967794e-05,1.960877e-05,1.958190e-05,1.948614e-05,1.948232e-05,1.939072e-05,1.935646e-05,1.929569e-05,1.923133e-05,1.920112e-05,1.910706e-05,1.898375e-05,1.886151e-05,1.874043e-05,1.862059e-05,1.850205e-05,1.838488e-05,1.826914e-05,1.815487e-05,1.804211e-05,1.793091e-05,1.782128e-05,1.771325e-05,1.760685e-05,1.750208e-05,1.739896e-05,1.729750e-05,1.719771e-05,1.709957e-05,1.700310e-05,1.690829e-05,1.681513e-05,1.672361e-05,1.663373e-05,1.654548e-05
0.000000e+00,2.875991e-09,7.822246e-09,3.345438e-08,8.561624e-08,1.308863e-07,3.238719e-07,3.345527e-07,6.844831e-07,8.144764e-07,1.224199e-06,1.659176e-06,2.002319e-06,2.972333e-06,3.069414e-06,4.465050e-06,4.850638e-06,6.196690e-06,7.301755e-06,8.230018e-06,1.022136e-05,1.050499e-05,1.295960e-05,1.346729e-05,1.554174e-05,1.692077e-05,1.821004e-05,2.049334e-05,2.093103e-05,2.367642e-05,2.411625e-05,2.642148e-05,2.773245e-05,2.914426e-05,3.129326e-05,3.182526e-05,3.444743e-05,3.475742e-05,3.699616e-05,3.809110e-05,3.945925e-05,4.126786e-05,4.182697e-05,4.409177e-05,4.426832e-05,4.624810e-05,4.707941e-05,4.829239e-05,4.969374e-05,5.022266e-05,5.203837e-05,5.210862e-05,5.374017e-05,5.432522e-05,5.532966e-05,5.634753e-05,5.680919e-05,5.818184e-05,5.945120e-05,5.983620e-05,6.062113e-05,6.131959e-05,6.169575e-05,6.264167e-05,6.267932e-05,6.357616e-05,6.381232e-05,6.439057e-05,6.484144e-05,6.512684e-05,6.573880e-05,6.578916e-05,6.638164e-05,6.651388e-05,6.690823e-05,6.717577e-05,6.737275e-05,6.773311e-05,6.777888e-05,6.813015e-05,6.819412e-05,6.842991e-05,6.856649e-05,6.868136e-05,6.885748e-05,6.888756e-05,6.905139e-05,6.907385e-05,6.917560e-05,6.922192e-05,6.926279e-05,6.930755e-05,6.931542e-05,6.933581e-05,6.933620e-05,6.932616e-05,6.931294e-05,6.928854e-05,6.924245e-05,6.922491e-05,6.913710e-05,6.912908e-05,6.902685e-05,6.897684e-05,6.889580e-05,6.878944e-05,6.874549e-05,6.857737e-05,6.857029e-05,6.839279e-05,6.832257e-05,6.819305e-05,6.804918e-05,6.797934e-05,6.775280e-05,6.751448e-05,6.743590e-05,6.726540e-05,6.710077e-05,6.700648e-05,6.674949e-05,6.673861e-05,6.646261e-05,6.638399e-05,6.617926e-05,6.600603e-05,6.588928e-05,6.561724e-05,6.559336e-05,6.529213e-05,6.521911e-05,6.498618e-05,6.481301e-05,6.467609e-05,6.440020e-05,6.436238e-05,6.404553e-05,6.398182e-05,6.372600e-05,6.355893e-05,6.340422e-05,6.313249e-05,6.308060e-05,6.275551e-05,6.270338e-05,6.242929e-05,6.227241e-05,6.210228e-05,6.184030e-05,6.177477e-05,6.144706e-05,6.140773e-05,6.111940e-05,6.097531e-05,6.079203e-05,6.054358e-05,6.046520e-05,6.013911e-05,6.011306e-05,5.981396e-05,5.968420e-05,5.948992e-05,5.925741e-05,5.916718e-05,5.884588e-05,5.883306e-05,5.852617e-05,5.841149e-05,5.820819e-05,5.799301e-05,5.789205e-05,5.757788e-05,5.716634e-05,5.675862e-05,5.635489e-05,5.595534e-05,5.556011e-05,5.516932e-05,5.478310e-05,5.440153e-05,5.402470e-05,5.365267e-05,5.328550e-05,5.292323e-05,5.256590e-05,5.221353e-05,5.186613e-05,5.152371e-05,5.118627e-05,5.085380e-05,5.052629e-05,5.020373e-05,4.988608e-05,4.957331e-05,4.926541e-05,4.896232e-05
0.000000e+00,1.542617e-09,3.505764e-09,1.188497e-08,2.671920e-08,3.874556e-08,8.670355e-08,8.926873e-08,1.707893e-07,2.002594e-07,2.915324e-07,3.867097e-07,4.610013e-07,6.687727e-07,6.894435e-07,9.851379e-07,1.066455e-06,1.349169e-06,1.579771e-06,1.772285e-06,2.181276e-06,2.239079e-06,2.734841e-06,2.836437e-06,3.248605e-06,3.520272e-06,3.772833e-06,4.217341e-06,4.302210e-06,4.832662e-06,4.917398e-06,5.360751e-06,5.612473e-06,5.883369e-06,6.295564e-06,6.397607e-06,6.900730e-06,6.960234e-06,7.390193e-06,7.600626e-06,7.863690e-06,8.211611e-06,8.319193e-06,8.754986e-06,8.788954e-06,9.169685e-06,9.329414e-06,9.562249e-06,9.830780e-06,9.931972e-06,1.027846e-05,1.029184e-05,1.060163e-05,1.071228e-05,1.090163e-05,1.109258e-05,1.117885e-05,1.143388e-05,1.166745e-05,1.173779e-05,1.188041e-05,1.200632e-05,1.207371e-05,1.224171e-05,1.224835e-05,1.240537e-05,1.244632e-05,1.254582e-05,1.262257e-05,1.267075e-05,1.277287e-05,1.278120e-05,1.287817e-05,1.289954e-05,1.296263e-05,1.300481e-05,1.303551e-05,1.309077e-05,1.309770e-05,1.315001e-05,1.315936e-05,1.319324e-05,1.321237e-05,1.322811e-05,1.325143e-05,1.325529e-05,1.327543e-05,1.327803e-05,1.328909e-05,1.329352e-05,1.329683e-05,1.329909e-05,1.329914e-05,1.329648e-05,1.329584e-05,1.328926e-05,1.328474e-05,1.327788e-05,1.326665e-05,1.326267e-05,1.324398e-05,1.324234e-05,1.322209e-05,1.321249e-05,1.319726e-05,1.317771e-05,1.316975e-05,1.313979e-05,1.313854e-05,1.310758e-05,1.309547e-05,1.307332e-05,1.304895e-05,1.303720e-05,1.299938e-05,1.296003e-05,1.294713e-05,1.291928e-05,1.289254e-05,1.287728e-05,1.283589e-05,1.283414e-05,1.278996e-05,1.277742e-05,1.274485e-05,1.271737e-05,1.269888e-05,1.265592e-05,1.265216e-05,1.260474e-05,1.259327e-05,1.255671e-05,1.252956e-05,1.250811e-05,1.246493e-05,1.245901e-05,1.240947e-05,1.239951e-05,1.235954e-05,1.233345e-05,1.230930e-05,1.226687e-05,1.225877e-05,1.220802e-05,1.219988e-05,1.215706e-05,1.213255e-05,1.210595e-05,1.206496e-05,1.205471e-05,1.200338e-05,1.199722e-05,1.195200e-05,1.192939e-05,1.190061e-05,1.186156e-05,1.184924e-05,1.179790e-05,1.179379e-05,1.174662e-05,1.172614e-05,1.169543e-05,1.165864e-05,1.164435e-05,1.159340e-05,1.159136e-05,1.154259e-05,1.152434e-05,1.149195e-05,1.145762e-05,1.144150e-05,1.139124e-05,1.132524e-05,1.125963e-05,1.119446e-05,1.112974e-05,1.106551e-05,1.100177e-05,1.093855e-05,1.087587e-05,1.081375e-05,1.075219e-05,1.069122e-05,1.063083e-05,1.057104e-05,1.051187e-05,1.045331e-05,1.039537e-05,1.033805e-05,1.028137e-05,1.022533e-05,1.016992e-05,1.011516e-05,1.006103e-05,1.000755e-05,9.954705e-06
0.000000e+00,4.872545e-09,1.115884e-08,3.833605e-08,8.705542e-08,1.268359e-07,2.864451e-07,2.949995e-07,5.664799e-07,6.641941e-07,9.646775e-07,1.274182e-06,1.513045e-06,2.169955e-06,2.234558e-06,3.149726e-06,3.399945e-06,4.272472e-06,4.993143e-06,5.604431e-06,6.938483e-06,7.131125e-06,8.824355e-06,9.179985e-06,1.064985e-05,1.164014e-05,1.257421e-05,1.424546e-05,1.456807e-05,1.660641e-05,1.693520e-05,1.866781e-05,1.965994e-05,2.073375e-05,2.237884e-05,2.278808e-05,2.481679e-05,2.505792e-05,2.680778e-05,2.766917e-05,2.875083e-05,3.019017e-05,3.063740e-05,3.246063e-05,3.260358e-05,3.421512e-05,3.489672e-05,3.589683e-05,3.706097e-05,3.750293e-05,3.903166e-05,3.909118e-05,4.048213e-05,4.098510e-05,4.185424e-05,4.274276e-05,4.314852e-05,4.436601e-05,4.550819e-05,4.585807e-05,4.657686e-05,4.722316e-05,4.757405e-05,4.846620e-05,4.850202e-05,4.936314e-05,4.959260e-05,5.015986e-05,5.060803e-05,5.089471e-05,5.151831e-05,5.157023e-05,5.218895e-05,5.232927e-05,5.275340e-05,5.304671e-05,5.326605e-05,5.367628e-05,5.372935e-05,5.414567e-05,5.422350e-05,5.451733e-05,5.469369e-05,5.484658e-05,5.509197e-05,5.513560e-05,5.538649e-05,5.542323e-05,5.560128e-05,5.569214e-05,5.578194e-05,5.590314e-05,5.593032e-05,5.604825e-05,5.606044e-05,5.613745e-05,5.616803e-05,5.619959e-05,5.622968e-05,5.623624e-05,5.624893e-05,5.624895e-05,5.623911e-05,5.622919e-05,5.620817e-05,5.617356e-05,5.615743e-05,5.608816e-05,5.608502e-05,5.600155e-05,5.596635e-05,5.589875e-05,5.582016e-05,5.578086e-05,5.564891e-05,5.550390e-05,5.545489e-05,5.534675e-05,5.524023e-05,5.517837e-05,5.500694e-05,5.499960e-05,5.481123e-05,5.475688e-05,5.461405e-05,5.449180e-05,5.440876e-05,5.421332e-05,5.419605e-05,5.397657e-05,5.392296e-05,5.375094e-05,5.362212e-05,5.351974e-05,5.331210e-05,5.328350e-05,5.304277e-05,5.299412e-05,5.279801e-05,5.266931e-05,5.254970e-05,5.233870e-05,5.229828e-05,5.204415e-05,5.200326e-05,5.178770e-05,5.166389e-05,5.152930e-05,5.132140e-05,5.126928e-05,5.100798e-05,5.097655e-05,5.074570e-05,5.063005e-05,5.048271e-05,5.028254e-05,5.021930e-05,4.995570e-05,4.993461e-05,4.969215e-05,4.958679e-05,4.942887e-05,4.923959e-05,4.916607e-05,4.890393e-05,4.889346e-05,4.864264e-05,4.854881e-05,4.838236e-05,4.820602e-05,4.812324e-05,4.786543e-05,4.752734e-05,4.719204e-05,4.685978e-05,4.653077e-05,4.620523e-05,4.588332e-05,4.556521e-05,4.525103e-05,4.494090e-05,4.463492e-05,4.433319e-05,4.403578e-05,4.374274e-05,4.345413e-05,4.316998e-05,4.289033e-05,4.261518e-05,4.234455e-05,4.207844e-05,4.181684e-05,4.155974e-05,4.130712e-05,4.105897e-05,4.081524e-05
0.000000e+00,6.827935e-10,2.010103e-09,9.940693e-09,2.849625e-08,4.606210e-08,1.292950e-07,1.341802e-07,3.043491e-07,3.713156e-07,5.913886e-07,8.361555e-07,1.035310e-06,1.619699e-06,1.679617e-06,2.563887e-06,2.814994e-06,3.712937e-06,4.474800e-06,5.132226e-06,6.597272e-06,6.812054e-06,8.734224e-06,9.145841e-06,1.087680e-05,1.207035e-05,1.321654e-05,1.531700e-05,1.572981e-05,1.839291e-05,1.883133e-05,2.118214e-05,2.255883e-05,2.407388e-05,2.644534e-05,2.704473e-05,3.007174e-05,3.043769e-05,3.313274e-05,3.448485e-05,3.620660e-05,3.853910e-05,3.927352e-05,4.231527e-05,4.255702e-05,4.531537e-05,4.650041e-05,4.825920e-05,5.033670e-05,5.113405e-05,5.392916e-05,5.403917e-05,5.663559e-05,5.758677e-05,5.924618e-05,6.096376e-05,6.175542e-05,6.415934e-05,6.645525e-05,6.716684e-05,6.864161e-05,6.998314e-05,7.071796e-05,7.260810e-05,7.268468e-05,7.454291e-05,7.504401e-05,7.629444e-05,7.729507e-05,7.794154e-05,7.936691e-05,7.948686e-05,8.093338e-05,8.126620e-05,8.228432e-05,8.300034e-05,8.354303e-05,8.457718e-05,8.471300e-05,8.579777e-05,8.600481e-05,8.680089e-05,8.729143e-05,8.772592e-05,8.844515e-05,8.857636e-05,8.935566e-05,8.947398e-05,9.006722e-05,9.038567e-05,9.071432e-05,9.118775e-05,9.130017e-05,9.182787e-05,9.188743e-05,9.230041e-05,9.249159e-05,9.272066e-05,9.300679e-05,9.309140e-05,9.341528e-05,9.343925e-05,9.369487e-05,9.379485e-05,9.393260e-05,9.407917e-05,9.413081e-05,9.429173e-05,9.429743e-05,9.441750e-05,9.445456e-05,9.451013e-05,9.455518e-05,9.457157e-05,9.460366e-05,9.460815e-05,9.460404e-05,9.458673e-05,9.456015e-05,9.454098e-05,9.447556e-05,9.447240e-05,9.438244e-05,9.435361e-05,9.427246e-05,9.419740e-05,9.414375e-05,9.400986e-05,9.399755e-05,9.383501e-05,9.379370e-05,9.365726e-05,9.355146e-05,9.346533e-05,9.328551e-05,9.326023e-05,9.304289e-05,9.299804e-05,9.281422e-05,9.269111e-05,9.257506e-05,9.236664e-05,9.232621e-05,9.206843e-05,9.202640e-05,9.180244e-05,9.167205e-05,9.152893e-05,9.130513e-05,9.124853e-05,9.096186e-05,9.092706e-05,9.066948e-05,9.053918e-05,9.037196e-05,9.014272e-05,9.006980e-05,8.976349e-05,8.973882e-05,8.945348e-05,8.932854e-05,8.914022e-05,8.891288e-05,8.882410e-05,8.850552e-05,8.849273e-05,8.818483e-05,8.806894e-05,8.786239e-05,8.764229e-05,8.753851e-05,8.721351e-05,8.678325e-05,8.635213e-05,8.592072e-05,8.548954e-05,8.505906e-05,8.462973e-05,8.420195e-05,8.377609e-05,8.335249e-05,8.293146e-05,8.251328e-05,8.209820e-05,8.168646e-05,8.127827e-05,8.087381e-05,8.047326e-05,8.007676e-05,7.968446e-05,7.929647e-05,7.891290e-05,7.853384e-05,7.815938e-05,7.778957e-05,7.742448e-05
0.000000e+00,2.349931e-09,5.519691e-09,1.954847e-08,4.525411e-08,6.658754e-08,1.545842e-07,1.593982e-07,3.167929e-07,3.754948e-07,5.621765e-07,7.632864e-07,9.238878e-07,1.385068e-06,1.431665e-06,2.106233e-06,2.293371e-06,2.946511e-06,3.481371e-06,3.929461e-06,4.887840e-06,5.024139e-06,6.203405e-06,6.447505e-06,7.446834e-06,8.113587e-06,8.739248e-06,9.853933e-06,1.006870e-05,1.142509e-05,1.164400e-05,1.279935e-05,1.346284e-05,1.418305e-05,1.529151e-05,1.556833e-05,1.694785e-05,1.711268e-05,1.831485e-05,1.891076e-05,1.966320e-05,2.067211e-05,2.098747e-05,2.228292e-05,2.238519e-05,2.354554e-05,2.404062e-05,2.477198e-05,2.563109e-05,2.595956e-05,2.710622e-05,2.715121e-05,2.821041e-05,2.859731e-05,2.927111e-05,2.996722e-05,3.028771e-05,3.125998e-05,3.218800e-05,3.247567e-05,3.307211e-05,3.361516e-05,3.391290e-05,3.467997e-05,3.471109e-05,3.546760e-05,3.567208e-05,3.618342e-05,3.659383e-05,3.685963e-05,3.744777e-05,3.749741e-05,3.809793e-05,3.823665e-05,3.866243e-05,3.896327e-05,3.919214e-05,3.963051e-05,3.968832e-05,4.015221e-05,4.024122e-05,4.058503e-05,4.079822e-05,4.098799e-05,4.130428e-05,4.136229e-05,4.170909e-05,4.176211e-05,4.202954e-05,4.217432e-05,4.232474e-05,4.254345e-05,4.259578e-05,4.284369e-05,4.287194e-05,4.306950e-05,4.316211e-05,4.327419e-05,4.341621e-05,4.345870e-05,4.362396e-05,4.363638e-05,4.377084e-05,4.382465e-05,4.390021e-05,4.398297e-05,4.401288e-05,4.410964e-05,4.411319e-05,4.419125e-05,4.421707e-05,4.425845e-05,4.429627e-05,4.431194e-05,4.435239e-05,4.438046e-05,4.438693e-05,4.439677e-05,4.440131e-05,4.440191e-05,4.439687e-05,4.439645e-05,4.438096e-05,4.437489e-05,4.435595e-05,4.433659e-05,4.432193e-05,4.428309e-05,4.427938e-05,4.422877e-05,4.421548e-05,4.417054e-05,4.413477e-05,4.410512e-05,4.404193e-05,4.403291e-05,4.395431e-05,4.393785e-05,4.386968e-05,4.382341e-05,4.377938e-05,4.369939e-05,4.368375e-05,4.358311e-05,4.356657e-05,4.347779e-05,4.342565e-05,4.336807e-05,4.327732e-05,4.325423e-05,4.313656e-05,4.312220e-05,4.301531e-05,4.296089e-05,4.289072e-05,4.279395e-05,4.276303e-05,4.263248e-05,4.262191e-05,4.249926e-05,4.244527e-05,4.236359e-05,4.226450e-05,4.222566e-05,4.208566e-05,4.208002e-05,4.194377e-05,4.189226e-05,4.180015e-05,4.170159e-05,4.165497e-05,4.150838e-05,4.131297e-05,4.111567e-05,4.091678e-05,4.071658e-05,4.051532e-05,4.031326e-05,4.011061e-05,3.990760e-05,3.970441e-05,3.950123e-05,3.929824e-05,3.909558e-05,3.889342e-05,3.869188e-05,3.849109e-05,3.829118e-05,3.809225e-05,3.789440e-05,3.769772e-05,3.750230e-05,3.730822e-05,3.711556e-05,3.692436e-05,3.673471e-05
0.000000e+00,1.139459e-09,3.129114e-09,1.360057e-08,3.523843e-08,5.422651e-08,1.367388e-07,1.413716e-07,2.966053e-07,3.558775e-07,5.477947e-07,7.588701e-07,9.296188e-07,1.424744e-06,1.474843e-06,2.194013e-06,2.390519e-06,3.064162e-06,3.602035e-06,4.043913e-06,4.965509e-06,5.094226e-06,6.186443e-06,6.408080e-06,7.301131e-06,7.885021e-06,8.424822e-06,9.368231e-06,9.547416e-06,1.066064e-05,1.083740e-05,1.175733e-05,1.227595e-05,1.283104e-05,1.366960e-05,1.387605e-05,1.488730e-05,1.500616e-05,1.586050e-05,1.627573e-05,1.679216e-05,1.747073e-05,1.767955e-05,1.852080e-05,1.858607e-05,1.931485e-05,1.961913e-05,2.006128e-05,2.056930e-05,2.076028e-05,2.141258e-05,2.143772e-05,2.201933e-05,2.222689e-05,2.258200e-05,2.294031e-05,2.310232e-05,2.358225e-05,2.402385e-05,2.415738e-05,2.442910e-05,2.467037e-05,2.480015e-05,2.512611e-05,2.513908e-05,2.544794e-05,2.552930e-05,2.572873e-05,2.588455e-05,2.598339e-05,2.619612e-05,2.621369e-05,2.642137e-05,2.646802e-05,2.660803e-05,2.670396e-05,2.677520e-05,2.690732e-05,2.692430e-05,2.705665e-05,2.708122e-05,2.717348e-05,2.722848e-05,2.727593e-05,2.735164e-05,2.736505e-05,2.744182e-05,2.745302e-05,2.750715e-05,2.753469e-05,2.756186e-05,2.759851e-05,2.760673e-05,2.764248e-05,2.764618e-05,2.766975e-05,2.767922e-05,2.768915e-05,2.769898e-05,2.770125e-05,2.770656e-05,2.770671e-05,2.770557e-05,2.770351e-05,2.769871e-05,2.769038e-05,2.768641e-05,2.766903e-05,2.766823e-05,2.764693e-05,2.763789e-05,2.762045e-05,2.760008e-05,2.758987e-05,2.755550e-05,2.751759e-05,2.750475e-05,2.747639e-05,2.744839e-05,2.743212e-05,2.738694e-05,2.738500e-05,2.733523e-05,2.732085e-05,2.728300e-05,2.725055e-05,2.722848e-05,2.717644e-05,2.717184e-05,2.711322e-05,2.709887e-05,2.705277e-05,2.701817e-05,2.699063e-05,2.693465e-05,2.692692e-05,2.686177e-05,2.684857e-05,2.679528e-05,2.676021e-05,2.672755e-05,2.666979e-05,2.665870e-05,2.658881e-05,2.657754e-05,2.651797e-05,2.648365e-05,2.644626e-05,2.638833e-05,2.637377e-05,2.630056e-05,2.629173e-05,2.622672e-05,2.619404e-05,2.615229e-05,2.609538e-05,2.607736e-05,2.600197e-05,2.599592e-05,2.592618e-05,2.589577e-05,2.585005e-05,2.579505e-05,2.577363e-05,2.569695e-05,2.569388e-05,2.562008e-05,2.559237e-05,2.554305e-05,2.549060e-05,2.546591e-05,2.538868e-05,2.528668e-05,2.518469e-05,2.508277e-05,2.498100e-05,2.487944e-05,2.477815e-05,2.467718e-05,2.457659e-05,2.447642e-05,2.437671e-05,2.427752e-05,2.417886e-05,2.408079e-05,2.398334e-05,2.388652e-05,2.379038e-05,2.369493e-05,2.360020e-05,2.350622e-05,2.341299e-05,2.332054e-05,2.322889e-05,2.313805e-05,2.304803e-05
0.000000e+00,8.205767e-10,2.398478e-09,1.168905e-08,3.308372e-08,5.312498e-08,1.468711e-07,1.523370e-07,3.417059e-07,4.159770e-07,6.600421e-07,9.321768e-07,1.154348e-06,1.809591e-06,1.876964e-06,2.871388e-06,3.152906e-06,4.152319e-06,4.988523e-06,5.699969e-06,7.249442e-06,7.472390e-06,9.421013e-06,9.827765e-06,1.150030e-05,1.261998e-05,1.367139e-05,1.554256e-05,1.590241e-05,1.816727e-05,1.853128e-05,2.044414e-05,2.153571e-05,2.271424e-05,2.451415e-05,2.496084e-05,2.716868e-05,2.743034e-05,2.932371e-05,3.025181e-05,3.141297e-05,3.294954e-05,3.342470e-05,3.534836e-05,3.549816e-05,3.717484e-05,3.787647e-05,3.889660e-05,4.006807e-05,4.050778e-05,4.200417e-05,4.206159e-05,4.338315e-05,4.385060e-05,4.464369e-05,4.543334e-05,4.578617e-05,4.681228e-05,4.772480e-05,4.799341e-05,4.852747e-05,4.898559e-05,4.922481e-05,4.979989e-05,4.982192e-05,5.032435e-05,5.044887e-05,5.073799e-05,5.094604e-05,5.106880e-05,5.130512e-05,5.132275e-05,5.150579e-05,5.153983e-05,5.162378e-05,5.166355e-05,5.168236e-05,5.168905e-05,5.168692e-05,5.164259e-05,5.162829e-05,5.155421e-05,5.149236e-05,5.142631e-05,5.129140e-05,5.126307e-05,5.106839e-05,5.103457e-05,5.084586e-05,5.073013e-05,5.059876e-05,5.038542e-05,5.033009e-05,5.004258e-05,5.000694e-05,4.973871e-05,4.960040e-05,4.942071e-05,4.917084e-05,4.909061e-05,4.875024e-05,4.872262e-05,4.840124e-05,4.825956e-05,4.804508e-05,4.778497e-05,4.768309e-05,4.731645e-05,4.730170e-05,4.694621e-05,4.681223e-05,4.657332e-05,4.631868e-05,4.619862e-05,4.582288e-05,4.544675e-05,4.532641e-05,4.507083e-05,4.483060e-05,4.469565e-05,4.433662e-05,4.432169e-05,4.394935e-05,4.384544e-05,4.357901e-05,4.335789e-05,4.321098e-05,4.287470e-05,4.284557e-05,4.248302e-05,4.239645e-05,4.212354e-05,4.192366e-05,4.176735e-05,4.145674e-05,4.141460e-05,4.106545e-05,4.099606e-05,4.072001e-05,4.054189e-05,4.037840e-05,4.009448e-05,4.004071e-05,3.970702e-05,3.965400e-05,3.937738e-05,3.922062e-05,3.905186e-05,3.879443e-05,3.873049e-05,3.841330e-05,3.837552e-05,3.810032e-05,3.796394e-05,3.779155e-05,3.755972e-05,3.748702e-05,3.718671e-05,3.716287e-05,3.689062e-05,3.677337e-05,3.659875e-05,3.639120e-05,3.631107e-05,3.602757e-05,3.601632e-05,3.574823e-05,3.564868e-05,3.547301e-05,3.528821e-05,3.520189e-05,3.493483e-05,3.458848e-05,3.424907e-05,3.391649e-05,3.359065e-05,3.327146e-05,3.295880e-05,3.265258e-05,3.235267e-05,3.205897e-05,3.177136e-05,3.148973e-05,3.121396e-05,3.094394e-05,3.067956e-05,3.042070e-05,3.016725e-05,2.991908e-05,2.967610e-05,2.943819e-05,2.920523e-05,2.897713e-05,2.875376e-05,2.853504e-05,2.832084e-05
0.000000e+00,2.539681e-09,7.583733e-09,3.859698e-08,1.134388e-07,1.857753e-07,5.378715e-07,5.588425e-07,1.300187e-06,1.595526e-06,2.572639e-06,3.664580e-06,4.554189e-06,7.165963e-06,7.434005e-06,1.140888e-05,1.254802e-05,1.667872e-05,2.026884e-05,2.343901e-05,3.076355e-05,3.186842e-05,4.211249e-05,4.438861e-05,5.426895e-05,6.136260e-05,6.838109e-05,8.174171e-05,8.444033e-05,1.023941e-04,1.054371e-04,1.221550e-04,1.322493e-04,1.436084e-04,1.618996e-04,1.666194e-04,1.910375e-04,1.940546e-04,2.167010e-04,2.283441e-04,2.434408e-04,2.643761e-04,2.710833e-04,2.994537e-04,3.017496e-04,3.283786e-04,3.400656e-04,3.576884e-04,3.789375e-04,3.872193e-04,4.168156e-04,4.179987e-04,4.463304e-04,4.569093e-04,4.756276e-04,4.953610e-04,5.045820e-04,5.330803e-04,5.610211e-04,5.698294e-04,5.883148e-04,6.054067e-04,6.148835e-04,6.396458e-04,6.406610e-04,6.655916e-04,6.724140e-04,6.896299e-04,7.036093e-04,7.127401e-04,7.331583e-04,7.348951e-04,7.560761e-04,7.610131e-04,7.762713e-04,7.871478e-04,7.954756e-04,8.115563e-04,8.136898e-04,8.309199e-04,8.342486e-04,8.471761e-04,8.552491e-04,8.624728e-04,8.745932e-04,8.768275e-04,8.902605e-04,8.923258e-04,9.027946e-04,9.084988e-04,9.144543e-04,9.231698e-04,9.252655e-04,9.352554e-04,9.364004e-04,9.444522e-04,9.482548e-04,9.528843e-04,9.587992e-04,9.605809e-04,9.675708e-04,9.681004e-04,9.738833e-04,9.762251e-04,9.795473e-04,9.832398e-04,9.845912e-04,9.890434e-04,9.892095e-04,9.929314e-04,9.941982e-04,9.962823e-04,9.982677e-04,9.991226e-04,1.001478e-03,1.003374e-03,1.003887e-03,1.004834e-03,1.005550e-03,1.005881e-03,1.006521e-03,1.006540e-03,1.006831e-03,1.006849e-03,1.006775e-03,1.006584e-03,1.006393e-03,1.005771e-03,1.005705e-03,1.004729e-03,1.004454e-03,1.003483e-03,1.002674e-03,1.001984e-03,1.000470e-03,1.000250e-03,9.982944e-04,9.978783e-04,9.961339e-04,9.949341e-04,9.937825e-04,9.916698e-04,9.912539e-04,9.885612e-04,9.881160e-04,9.857169e-04,9.843012e-04,9.827328e-04,9.802526e-04,9.796203e-04,9.763901e-04,9.759951e-04,9.730525e-04,9.715524e-04,9.696171e-04,9.669464e-04,9.660930e-04,9.624892e-04,9.621977e-04,9.588137e-04,9.573252e-04,9.550745e-04,9.523469e-04,9.512788e-04,9.474339e-04,9.472791e-04,9.435461e-04,9.421373e-04,9.396219e-04,9.369356e-04,9.356671e-04,9.316872e-04,9.264042e-04,9.210978e-04,9.157784e-04,9.104555e-04,9.051378e-04,8.998334e-04,8.945494e-04,8.892927e-04,8.840692e-04,8.788846e-04,8.737438e-04,8.686513e-04,8.636111e-04,8.586270e-04,8.537021e-04,8.488393e-04,8.440411e-04,8.393096e-04,8.346469e-04,8.300544e-04,8.255337e-04,8.210857e-04,8.167116e-04,8.124118e-04
0.000000e+00,5.169068e-09,1.199183e-08,4.195073e-08,9.656066e-08,1.417270e-07,3.268625e-07,3.369412e-07,6.639861e-07,7.848446e-07,1.165621e-06,1.569991e-06,1.888489e-06,2.780323e-06,2.868576e-06,4.113655e-06,4.450411e-06,5.608351e-06,6.546657e-06,7.332146e-06,9.024659e-06,9.267588e-06,1.140010e-05,1.184905e-05,1.371603e-05,1.498818e-05,1.620135e-05,1.840891e-05,1.884096e-05,2.161869e-05,2.207481e-05,2.451742e-05,2.594663e-05,2.751955e-05,2.998378e-05,3.060734e-05,3.376337e-05,3.414588e-05,3.697088e-05,3.839437e-05,4.021404e-05,4.269360e-05,4.347817e-05,4.674988e-05,4.701157e-05,5.001712e-05,5.132033e-05,5.326921e-05,5.559599e-05,5.649673e-05,5.969152e-05,5.981853e-05,6.284659e-05,6.397152e-05,6.595602e-05,6.804178e-05,6.901482e-05,7.201889e-05,7.496486e-05,7.589485e-05,7.785006e-05,7.966368e-05,8.067235e-05,8.332107e-05,8.343013e-05,8.612221e-05,8.686410e-05,8.874779e-05,9.029101e-05,9.130639e-05,9.360094e-05,9.379777e-05,9.622195e-05,9.679377e-05,9.857911e-05,9.986998e-05,1.008696e-04,1.028305e-04,1.030940e-04,1.052528e-04,1.056768e-04,1.073469e-04,1.084104e-04,1.093769e-04,1.110333e-04,1.113438e-04,1.132485e-04,1.135475e-04,1.150920e-04,1.159554e-04,1.168753e-04,1.182592e-04,1.185994e-04,1.202654e-04,1.204615e-04,1.218745e-04,1.225648e-04,1.234277e-04,1.245715e-04,1.249262e-04,1.263711e-04,1.264844e-04,1.277635e-04,1.283060e-04,1.291046e-04,1.300390e-04,1.303954e-04,1.316372e-04,1.316859e-04,1.328311e-04,1.332494e-04,1.339782e-04,1.347320e-04,1.350795e-04,1.361363e-04,1.371495e-04,1.374647e-04,1.381203e-04,1.387199e-04,1.390498e-04,1.399041e-04,1.399389e-04,1.407887e-04,1.410198e-04,1.416004e-04,1.420694e-04,1.423747e-04,1.430551e-04,1.431129e-04,1.438157e-04,1.439793e-04,1.444843e-04,1.448440e-04,1.451194e-04,1.456515e-04,1.457222e-04,1.462934e-04,1.464039e-04,1.468340e-04,1.471032e-04,1.473448e-04,1.477515e-04,1.478267e-04,1.482805e-04,1.483506e-04,1.487071e-04,1.489024e-04,1.491073e-04,1.494089e-04,1.494818e-04,1.498315e-04,1.498718e-04,1.501570e-04,1.502928e-04,1.504592e-04,1.506736e-04,1.507387e-04,1.509963e-04,1.510159e-04,1.512326e-04,1.513213e-04,1.514483e-04,1.515913e-04,1.516441e-04,1.518206e-04,1.518273e-04,1.519785e-04,1.520309e-04,1.521184e-04,1.522035e-04,1.522408e-04,1.523463e-04,1.524608e-04,1.525481e-04,1.526096e-04,1.526464e-04,1.526596e-04,1.526504e-04,1.526198e-04,1.525689e-04,1.524986e-04,1.524100e-04,1.523039e-04,1.521812e-04,1.520429e-04,1.518896e-04,1.517223e-04,1.515417e-04,1.513486e-04,1.511436e-04,1.509274e-04,1.507008e-04,1.504643e-04,1.502185e-04,1.499641e-04,1.497015e-04
0.000000e+00,6.719290e-09,1.539848e-08,5.312280e-08,1.214088e-07,1.777056e-07,4.078591e-07,4.203755e-07,8.263998e-07,9.765092e-07,1.450291e-06,1.956078e-06,2.357589e-06,3.504134e-06,3.619728e-06,5.294819e-06,5.761240e-06,7.398876e-06,8.752945e-06,9.896813e-06,1.237171e-05,1.272671e-05,1.582772e-05,1.647592e-05,1.915074e-05,2.095344e-05,2.265759e-05,2.572260e-05,2.631729e-05,3.010298e-05,3.071872e-05,3.399009e-05,3.588504e-05,3.795530e-05,4.116869e-05,4.197631e-05,4.603170e-05,4.651968e-05,5.010122e-05,5.189132e-05,5.416575e-05,5.724048e-05,5.820756e-05,6.221073e-05,6.252887e-05,6.616083e-05,6.772313e-05,7.004527e-05,7.279520e-05,7.385310e-05,7.757502e-05,7.772199e-05,8.120328e-05,8.248527e-05,8.473158e-05,8.707112e-05,8.815490e-05,9.146942e-05,9.467236e-05,9.567341e-05,9.776188e-05,9.967914e-05,1.007369e-04,1.034850e-04,1.035972e-04,1.063428e-04,1.070911e-04,1.089746e-04,1.104994e-04,1.114936e-04,1.137129e-04,1.139015e-04,1.161999e-04,1.167355e-04,1.183910e-04,1.195719e-04,1.204769e-04,1.222273e-04,1.224599e-04,1.243426e-04,1.247073e-04,1.261275e-04,1.270179e-04,1.278172e-04,1.291650e-04,1.294144e-04,1.309218e-04,1.311548e-04,1.323420e-04,1.329935e-04,1.336777e-04,1.346873e-04,1.349317e-04,1.361064e-04,1.362422e-04,1.372047e-04,1.376643e-04,1.382290e-04,1.389595e-04,1.391819e-04,1.400658e-04,1.401336e-04,1.408833e-04,1.411923e-04,1.416368e-04,1.421409e-04,1.423285e-04,1.429609e-04,1.429850e-04,1.435361e-04,1.437296e-04,1.440563e-04,1.443797e-04,1.445237e-04,1.449403e-04,1.453082e-04,1.454159e-04,1.456293e-04,1.458112e-04,1.459056e-04,1.461303e-04,1.461388e-04,1.463309e-04,1.463776e-04,1.464836e-04,1.465569e-04,1.465985e-04,1.466723e-04,1.466773e-04,1.467216e-04,1.467273e-04,1.467330e-04,1.467255e-04,1.467129e-04,1.466704e-04,1.466628e-04,1.465841e-04,1.465651e-04,1.464782e-04,1.464128e-04,1.463463e-04,1.462164e-04,1.461897e-04,1.460097e-04,1.459788e-04,1.458075e-04,1.457028e-04,1.455840e-04,1.453908e-04,1.453406e-04,1.450782e-04,1.450455e-04,1.447978e-04,1.446690e-04,1.445005e-04,1.442638e-04,1.441872e-04,1.438587e-04,1.438318e-04,1.435161e-04,1.433753e-04,1.431601e-04,1.428960e-04,1.427915e-04,1.424112e-04,1.423958e-04,1.420199e-04,1.418765e-04,1.416183e-04,1.413397e-04,1.412071e-04,1.407870e-04,1.402199e-04,1.396398e-04,1.390480e-04,1.384459e-04,1.378345e-04,1.372151e-04,1.365888e-04,1.359564e-04,1.353190e-04,1.346775e-04,1.340327e-04,1.333854e-04,1.327364e-04,1.320863e-04,1.314359e-04,1.307857e-04,1.301363e-04,1.294882e-04,1.288421e-04,1.281982e-04,1.275572e-04,1.269193e-04,1.262849e-04,1.256545e-04
0.000000e+00,3.298994e-09,8.247810e-09,3.143861e-08,7.565740e-08,1.131267e-07,2.716417e-07,2.804512e-07,5.740532e-07,6.857180e-07,1.045133e-06,1.433653e-06,1.740545e-06,2.589940e-06,2.672859e-06,3.821660e-06,4.126610e-06,5.161393e-06,5.987813e-06,6.673375e-06,8.135803e-06,8.344338e-06,1.016312e-05,1.054364e-05,1.211853e-05,1.318537e-05,1.419843e-05,1.603196e-05,1.638938e-05,1.867683e-05,1.905075e-05,2.104542e-05,2.220654e-05,2.347939e-05,2.546308e-05,2.596304e-05,2.848110e-05,2.878488e-05,3.101907e-05,3.213858e-05,3.356348e-05,3.549393e-05,3.610204e-05,3.862375e-05,3.882445e-05,4.111892e-05,4.210764e-05,4.357918e-05,4.532489e-05,4.599739e-05,4.836757e-05,4.846130e-05,5.068487e-05,5.150537e-05,5.294539e-05,5.444854e-05,5.514611e-05,5.728471e-05,5.935948e-05,6.000972e-05,6.136922e-05,6.262100e-05,6.331326e-05,6.511751e-05,6.519137e-05,6.700371e-05,6.749942e-05,6.875068e-05,6.976775e-05,7.043294e-05,7.192423e-05,7.205138e-05,7.360707e-05,7.397124e-05,7.510135e-05,7.591194e-05,7.653583e-05,7.774974e-05,7.791181e-05,7.923062e-05,7.948765e-05,8.049372e-05,8.112897e-05,8.170249e-05,8.267696e-05,8.285841e-05,8.396295e-05,8.413500e-05,8.501756e-05,8.550646e-05,8.602369e-05,8.679466e-05,8.698279e-05,8.789628e-05,8.800290e-05,8.876557e-05,8.913443e-05,8.959208e-05,9.019244e-05,9.037715e-05,9.112215e-05,9.118006e-05,9.182839e-05,9.210032e-05,9.249715e-05,9.295617e-05,9.312970e-05,9.372728e-05,9.375048e-05,9.429110e-05,9.448603e-05,9.482232e-05,9.516552e-05,9.532209e-05,9.579154e-05,9.623175e-05,9.636661e-05,9.664377e-05,9.689315e-05,9.702864e-05,9.737350e-05,9.738736e-05,9.772089e-05,9.780990e-05,9.803018e-05,9.820450e-05,9.831615e-05,9.855940e-05,9.857968e-05,9.882163e-05,9.887658e-05,9.904284e-05,9.915796e-05,9.924412e-05,9.940538e-05,9.942625e-05,9.958999e-05,9.962060e-05,9.973608e-05,9.980531e-05,9.986523e-05,9.996112e-05,9.997812e-05,1.000754e-04,1.000896e-04,1.001578e-04,1.001922e-04,1.002258e-04,1.002704e-04,1.002802e-04,1.003214e-04,1.003255e-04,1.003500e-04,1.003587e-04,1.003666e-04,1.003715e-04,1.003717e-04,1.003658e-04,1.003649e-04,1.003494e-04,1.003400e-04,1.003230e-04,1.002980e-04,1.002870e-04,1.002419e-04,1.002399e-04,1.001881e-04,1.001667e-04,1.001260e-04,1.000792e-04,1.000559e-04,9.997842e-05,9.986520e-05,9.974033e-05,9.960460e-05,9.945873e-05,9.930343e-05,9.913937e-05,9.896718e-05,9.878747e-05,9.860080e-05,9.840773e-05,9.820878e-05,9.800443e-05,9.779516e-05,9.758140e-05,9.736359e-05,9.714211e-05,9.691736e-05,9.668968e-05,9.645942e-05,9.622689e-05,9.599242e-05,9.575627e-05,9.551873e-05,9.528005e-05
0.000000e+00,5.956747e-07,1.778414e-06,9.047996e-06,2.658676e-05,4.353792e-05,1.260775e-04,1.309957e-04,3.050374e-04,3.744710e-04,6.045734e-04,8.623483e-04,1.072764e-03,1.691760e-03,1.755327e-03,2.696464e-03,2.965118e-03,3.932895e-03,4.764300e-03,5.490263e-03,7.138266e-03,7.383447e-03,9.618244e-03,1.010615e-02,1.219272e-02,1.366302e-02,1.509807e-02,1.778346e-02,1.831930e-02,2.183588e-02,2.242431e-02,2.562248e-02,2.752748e-02,2.964982e-02,3.302341e-02,3.388562e-02,3.829557e-02,3.883479e-02,4.284428e-02,4.488049e-02,4.749618e-02,5.107908e-02,5.221631e-02,5.697105e-02,5.735196e-02,6.172866e-02,6.362582e-02,6.645968e-02,6.983438e-02,7.113728e-02,7.573743e-02,7.591951e-02,8.023896e-02,8.183176e-02,8.462360e-02,8.753041e-02,8.887593e-02,9.298320e-02,9.693523e-02,9.816575e-02,1.007242e-01,1.030608e-01,1.043444e-01,1.076576e-01,1.077921e-01,1.110654e-01,1.119506e-01,1.141637e-01,1.159390e-01,1.170878e-01,1.196258e-01,1.198396e-01,1.224220e-01,1.230170e-01,1.248387e-01,1.261212e-01,1.270939e-01,1.289488e-01,1.291926e-01,1.311399e-01,1.315116e-01,1.329413e-01,1.338224e-01,1.346027e-01,1.358943e-01,1.361299e-01,1.375288e-01,1.377411e-01,1.388053e-01,1.393764e-01,1.399655e-01,1.408137e-01,1.410150e-01,1.419597e-01,1.420663e-01,1.428052e-01,1.431471e-01,1.435568e-01,1.440686e-01,1.442199e-01,1.447995e-01,1.448424e-01,1.453006e-01,1.454801e-01,1.457278e-01,1.459922e-01,1.460856e-01,1.463784e-01,1.463888e-01,1.466102e-01,1.466795e-01,1.467850e-01,1.468732e-01,1.469065e-01,1.469781e-01,1.470032e-01,1.470020e-01,1.469851e-01,1.469522e-01,1.469266e-01,1.468352e-01,1.468307e-01,1.467000e-01,1.466575e-01,1.465369e-01,1.464246e-01,1.463440e-01,1.461420e-01,1.461234e-01,1.458772e-01,1.458145e-01,1.456074e-01,1.454467e-01,1.453159e-01,1.450428e-01,1.450044e-01,1.446746e-01,1.446066e-01,1.443280e-01,1.441416e-01,1.439661e-01,1.436512e-01,1.435902e-01,1.432016e-01,1.431384e-01,1.428015e-01,1.426058e-01,1.423911e-01,1.420560e-01,1.419713e-01,1.415432e-01,1.414913e-01,1.411077e-01,1.409139e-01,1.406656e-01,1.403258e-01,1.402178e-01,1.397650e-01,1.397286e-01,1.393079e-01,1.391240e-01,1.388472e-01,1.385136e-01,1.383834e-01,1.379173e-01,1.378986e-01,1.374492e-01,1.372804e-01,1.369798e-01,1.366600e-01,1.365095e-01,1.360386e-01,1.354170e-01,1.347962e-01,1.341769e-01,1.335597e-01,1.329455e-01,1.323347e-01,1.317278e-01,1.311254e-01,1.305279e-01,1.299357e-01,1.293491e-01,1.287683e-01,1.281938e-01,1.276257e-01,1.270643e-01,1.265097e-01,1.259621e-01,1.254216e-01,1.248883e-01,1.243624e-01,1.238440e-01,1.233330e-01,1.228295e-01,1.223336e-01
0.000000e+00,1.473587e-09,4.060887e-09,1.780407e-08,4.653401e-08,7.195402e-08,1.835111e-07,1.898055e-07,4.013511e-07,4.821846e-07,7.432645e-07,1.028619e-06,1.257876e-06,1.915429e-06,1.981490e-06,2.926375e-06,3.184961e-06,4.079672e-06,4.808318e-06,5.419388e-06,6.736729e-06,6.925742e-06,8.583120e-06,8.931545e-06,1.037844e-05,1.136245e-05,1.229943e-05,1.400108e-05,1.433363e-05,1.646806e-05,1.681797e-05,1.868918e-05,1.978206e-05,2.098316e-05,2.286148e-05,2.333614e-05,2.573457e-05,2.602481e-05,2.816551e-05,2.924227e-05,3.061684e-05,3.248657e-05,3.307738e-05,3.553702e-05,3.573347e-05,3.798674e-05,3.896205e-05,4.041863e-05,4.215464e-05,4.282579e-05,4.520239e-05,4.529674e-05,4.754349e-05,4.837676e-05,4.984487e-05,5.138534e-05,5.210309e-05,5.431536e-05,5.647949e-05,5.716156e-05,5.859381e-05,5.992022e-05,6.065702e-05,6.258879e-05,6.266824e-05,6.462685e-05,6.516579e-05,6.653255e-05,6.765052e-05,6.838523e-05,7.004293e-05,7.018496e-05,7.193201e-05,7.234350e-05,7.362675e-05,7.455313e-05,7.526967e-05,7.667305e-05,7.686137e-05,7.840250e-05,7.870472e-05,7.989380e-05,8.064983e-05,8.133604e-05,8.251021e-05,8.273005e-05,8.407668e-05,8.428781e-05,8.537683e-05,8.598466e-05,8.663141e-05,8.760288e-05,8.784134e-05,8.900755e-05,8.914461e-05,9.013100e-05,9.061202e-05,9.121264e-05,9.200730e-05,9.225341e-05,9.325428e-05,9.333265e-05,9.421618e-05,9.459024e-05,9.514006e-05,9.578225e-05,9.602687e-05,9.687754e-05,9.691083e-05,9.769298e-05,9.797810e-05,9.847412e-05,9.898615e-05,9.922184e-05,9.993705e-05,1.006206e-04,1.008328e-04,1.012734e-04,1.016755e-04,1.018963e-04,1.024669e-04,1.024901e-04,1.030556e-04,1.032090e-04,1.035937e-04,1.039037e-04,1.041051e-04,1.045527e-04,1.045906e-04,1.050511e-04,1.051579e-04,1.054871e-04,1.057209e-04,1.058996e-04,1.062435e-04,1.062891e-04,1.066564e-04,1.067272e-04,1.070022e-04,1.071737e-04,1.073271e-04,1.075844e-04,1.076319e-04,1.079171e-04,1.079609e-04,1.081833e-04,1.083046e-04,1.084313e-04,1.086169e-04,1.086616e-04,1.088748e-04,1.088992e-04,1.090714e-04,1.091528e-04,1.092520e-04,1.093789e-04,1.094171e-04,1.095674e-04,1.095788e-04,1.097032e-04,1.097536e-04,1.098252e-04,1.099046e-04,1.099337e-04,1.100293e-04,1.100328e-04,1.101124e-04,1.101393e-04,1.101835e-04,1.102252e-04,1.102430e-04,1.102914e-04,1.103388e-04,1.103685e-04,1.103813e-04,1.103780e-04,1.103596e-04,1.103268e-04,1.102803e-04,1.102209e-04,1.101493e-04,1.100663e-04,1.099723e-04,1.098682e-04,1.097544e-04,1.096316e-04,1.095004e-04,1.093612e-04,1.092145e-04,1.090609e-04,1.089008e-04,1.087348e-04,1.085631e-04,1.083862e-04,1.082046e-04,1.080186e-04
0.000000e+00,1.122023e-09,3.314319e-09,1.649864e-08,4.755121e-08,7.706807e-08,2.175596e-07,2.258223e-07,5.139681e-07,6.273707e-07,9.995801e-07,1.412436e-06,1.747476e-06,2.727110e-06,2.827350e-06,4.305430e-06,4.725368e-06,6.230370e-06,7.512933e-06,8.624597e-06,1.111937e-05,1.148717e-05,1.480173e-05,1.551676e-05,1.854309e-05,2.064738e-05,2.268107e-05,2.643915e-05,2.718232e-05,3.201107e-05,3.281157e-05,3.712951e-05,3.967768e-05,4.249800e-05,4.694529e-05,4.807550e-05,5.382000e-05,5.451855e-05,5.968912e-05,6.230014e-05,6.564076e-05,7.019383e-05,7.163378e-05,7.762865e-05,7.810719e-05,8.358803e-05,8.595398e-05,8.947726e-05,9.365622e-05,9.526477e-05,1.009223e-04,1.011455e-04,1.064250e-04,1.083638e-04,1.117516e-04,1.152640e-04,1.168845e-04,1.218092e-04,1.265146e-04,1.279726e-04,1.309925e-04,1.337364e-04,1.352375e-04,1.390909e-04,1.392467e-04,1.430192e-04,1.440332e-04,1.465561e-04,1.485663e-04,1.498603e-04,1.526981e-04,1.529358e-04,1.557881e-04,1.564400e-04,1.584232e-04,1.598066e-04,1.608482e-04,1.628145e-04,1.630707e-04,1.650986e-04,1.654815e-04,1.669400e-04,1.678267e-04,1.686034e-04,1.698692e-04,1.700972e-04,1.714297e-04,1.716285e-04,1.726094e-04,1.731237e-04,1.736443e-04,1.743734e-04,1.745425e-04,1.753116e-04,1.753956e-04,1.759594e-04,1.762078e-04,1.764929e-04,1.768262e-04,1.769191e-04,1.772448e-04,1.772667e-04,1.774763e-04,1.775439e-04,1.776197e-04,1.776717e-04,1.776808e-04,1.776652e-04,1.776631e-04,1.775781e-04,1.775303e-04,1.774245e-04,1.772845e-04,1.772091e-04,1.769363e-04,1.766104e-04,1.764955e-04,1.762353e-04,1.759711e-04,1.758147e-04,1.753716e-04,1.753524e-04,1.748514e-04,1.747047e-04,1.743151e-04,1.739775e-04,1.737463e-04,1.731968e-04,1.731479e-04,1.725223e-04,1.723685e-04,1.718722e-04,1.714983e-04,1.711998e-04,1.705913e-04,1.705072e-04,1.697965e-04,1.696524e-04,1.690696e-04,1.686858e-04,1.683282e-04,1.676956e-04,1.675741e-04,1.668088e-04,1.666854e-04,1.660337e-04,1.656586e-04,1.652503e-04,1.646183e-04,1.644597e-04,1.636632e-04,1.635673e-04,1.628620e-04,1.625082e-04,1.620569e-04,1.614432e-04,1.612491e-04,1.604394e-04,1.603746e-04,1.596287e-04,1.593042e-04,1.588176e-04,1.582340e-04,1.580071e-04,1.571976e-04,1.571653e-04,1.563900e-04,1.560997e-04,1.555846e-04,1.550386e-04,1.547822e-04,1.539831e-04,1.529342e-04,1.518929e-04,1.508601e-04,1.498365e-04,1.488228e-04,1.478197e-04,1.468276e-04,1.458470e-04,1.448783e-04,1.439219e-04,1.429781e-04,1.420470e-04,1.411290e-04,1.402241e-04,1.393326e-04,1.384545e-04,1.375899e-04,1.367388e-04,1.359012e-04,1.350772e-04,1.342668e-04,1.334697e-04,1.326862e-04,1.319159e-04
0.000000e+00,2.008153e-07,6.014397e-07,3.080061e-06,9.104392e-06,1.495727e-05,4.366555e-05,4.538346e-05,1.064773e-04,1.309658e-04,2.124100e-04,3.040124e-04,3.789890e-04,6.003864e-04,6.231887e-04,9.622917e-04,1.059637e-03,1.412428e-03,1.718177e-03,1.987128e-03,2.604182e-03,2.696722e-03,3.548411e-03,3.736228e-03,4.546503e-03,5.124002e-03,5.692590e-03,6.769025e-03,6.985686e-03,8.422358e-03,8.665199e-03,9.996911e-03,1.079947e-02,1.170161e-02,1.315273e-02,1.352694e-02,1.546194e-02,1.570094e-02,1.749449e-02,1.841640e-02,1.961165e-02,2.126904e-02,2.180002e-02,2.404597e-02,2.422773e-02,2.633597e-02,2.726131e-02,2.865675e-02,3.033957e-02,3.099554e-02,3.334023e-02,3.343397e-02,3.567946e-02,3.651819e-02,3.800273e-02,3.956851e-02,4.030046e-02,4.256398e-02,4.478556e-02,4.548648e-02,4.695842e-02,4.832071e-02,4.907664e-02,5.105406e-02,5.113520e-02,5.312987e-02,5.367644e-02,5.505719e-02,5.618008e-02,5.691440e-02,5.855931e-02,5.869941e-02,6.041070e-02,6.081032e-02,6.204729e-02,6.293095e-02,6.360870e-02,6.492049e-02,6.509486e-02,6.650610e-02,6.677940e-02,6.784305e-02,6.850922e-02,6.910668e-02,7.011233e-02,7.029817e-02,7.141893e-02,7.159179e-02,7.247055e-02,7.295128e-02,7.345477e-02,7.419486e-02,7.437345e-02,7.522855e-02,7.532698e-02,7.602210e-02,7.635231e-02,7.675621e-02,7.727567e-02,7.743299e-02,7.805460e-02,7.810201e-02,7.862320e-02,7.883629e-02,7.914096e-02,7.948347e-02,7.961002e-02,8.003251e-02,8.004847e-02,8.041052e-02,8.053611e-02,8.074611e-02,8.095112e-02,8.104131e-02,8.129809e-02,8.151837e-02,8.158146e-02,8.170403e-02,8.180552e-02,8.185688e-02,8.197439e-02,8.197869e-02,8.207116e-02,8.209202e-02,8.213595e-02,8.216219e-02,8.217463e-02,8.218847e-02,8.218873e-02,8.217973e-02,8.217430e-02,8.214905e-02,8.212290e-02,8.209803e-02,8.203734e-02,8.202797e-02,8.194012e-02,8.192052e-02,8.183567e-02,8.177517e-02,8.171575e-02,8.160387e-02,8.158146e-02,8.143382e-02,8.140903e-02,8.127382e-02,8.119291e-02,8.110240e-02,8.095765e-02,8.092045e-02,8.072883e-02,8.070522e-02,8.052833e-02,8.043750e-02,8.031973e-02,8.015622e-02,8.010374e-02,7.988107e-02,7.986299e-02,7.965235e-02,7.955932e-02,7.941822e-02,7.924661e-02,7.917924e-02,7.893597e-02,7.892616e-02,7.868894e-02,7.859917e-02,7.843862e-02,7.826677e-02,7.818549e-02,7.792997e-02,7.758974e-02,7.724694e-02,7.690239e-02,7.655682e-02,7.621092e-02,7.586530e-02,7.552054e-02,7.517716e-02,7.483561e-02,7.449634e-02,7.415973e-02,7.382612e-02,7.349583e-02,7.316914e-02,7.284629e-02,7.252752e-02,7.221300e-02,7.190291e-02,7.159740e-02,7.129659e-02,7.100060e-02,7.070950e-02,7.042338e-02,7.014229e-02
0.000000e+00,7.956004e-10,2.350914e-09,1.170615e-08,3.372385e-08,5.462401e-08,1.537072e-07,1.595147e-07,3.607392e-07,4.392751e-07,6.946498e-07,9.739992e-07,1.198014e-06,1.841767e-06,1.906857e-06,2.855365e-06,3.122201e-06,4.074511e-06,4.885373e-06,5.590180e-06,7.184005e-06,7.420652e-06,9.573620e-06,1.004267e-05,1.204341e-05,1.344670e-05,1.480958e-05,1.733751e-05,1.783792e-05,2.108385e-05,2.162006e-05,2.449703e-05,2.617955e-05,2.802581e-05,3.089858e-05,3.162055e-05,3.523578e-05,3.566901e-05,3.883123e-05,4.039785e-05,4.237231e-05,4.500912e-05,4.583000e-05,4.918059e-05,4.944341e-05,5.240524e-05,5.365647e-05,5.548954e-05,5.761727e-05,5.842295e-05,6.119836e-05,6.130602e-05,6.381157e-05,6.471223e-05,6.626089e-05,6.783293e-05,6.854669e-05,7.067106e-05,7.263745e-05,7.323405e-05,7.445041e-05,7.553264e-05,7.611530e-05,7.757983e-05,7.763809e-05,7.902517e-05,7.939013e-05,8.028318e-05,8.097886e-05,8.141891e-05,8.236163e-05,8.243916e-05,8.335068e-05,8.355400e-05,8.416009e-05,8.457117e-05,8.487384e-05,8.542775e-05,8.549815e-05,8.603900e-05,8.613766e-05,8.650212e-05,8.671405e-05,8.689297e-05,8.716923e-05,8.721673e-05,8.747828e-05,8.751467e-05,8.768226e-05,8.776100e-05,8.783301e-05,8.791804e-05,8.793462e-05,8.799094e-05,8.799482e-05,8.800555e-05,8.799965e-05,8.798183e-05,8.794011e-05,8.792292e-05,8.783175e-05,8.782314e-05,8.771106e-05,8.765509e-05,8.756340e-05,8.744173e-05,8.739116e-05,8.719654e-05,8.718832e-05,8.698160e-05,8.689962e-05,8.674826e-05,8.657999e-05,8.649830e-05,8.623337e-05,8.595500e-05,8.586332e-05,8.566462e-05,8.547308e-05,8.536354e-05,8.506559e-05,8.505300e-05,8.473413e-05,8.464350e-05,8.440798e-05,8.420920e-05,8.407552e-05,8.376486e-05,8.373766e-05,8.339522e-05,8.331244e-05,8.304898e-05,8.285369e-05,8.269965e-05,8.239020e-05,8.234788e-05,8.199429e-05,8.192340e-05,8.163943e-05,8.145457e-05,8.128381e-05,8.098486e-05,8.092792e-05,8.057218e-05,8.051530e-05,8.021700e-05,8.004682e-05,7.986274e-05,7.958023e-05,7.950975e-05,7.915833e-05,7.911628e-05,7.880876e-05,7.865560e-05,7.846130e-05,7.819878e-05,7.811618e-05,7.777361e-05,7.774633e-05,7.743380e-05,7.729869e-05,7.709691e-05,7.685625e-05,7.676310e-05,7.643252e-05,7.641936e-05,7.610528e-05,7.598832e-05,7.578151e-05,7.556337e-05,7.546130e-05,7.514475e-05,7.473262e-05,7.432714e-05,7.392843e-05,7.353660e-05,7.315170e-05,7.277381e-05,7.240295e-05,7.203913e-05,7.168238e-05,7.133267e-05,7.098998e-05,7.065427e-05,7.032551e-05,7.000365e-05,6.968861e-05,6.938034e-05,6.907876e-05,6.878379e-05,6.849536e-05,6.821336e-05,6.793772e-05,6.766833e-05,6.740511e-05,6.714795e-05
0.000000e+00,8.218367e-09,1.878580e-08,6.468850e-08,1.482360e-07,2.177345e-07,5.080812e-07,5.241498e-07,1.058888e-06,1.262064e-06,1.914434e-06,2.613838e-06,3.159654e-06,4.632805e-06,4.773627e-06,6.675989e-06,7.167432e-06,8.800117e-06,1.007061e-05,1.110522e-05,1.326140e-05,1.356375e-05,1.615245e-05,1.668381e-05,1.884847e-05,2.028501e-05,2.162822e-05,2.401020e-05,2.446749e-05,2.734210e-05,2.780373e-05,3.022865e-05,3.161193e-05,3.310523e-05,3.538583e-05,3.595189e-05,3.875100e-05,3.908296e-05,4.148746e-05,4.266832e-05,4.414866e-05,4.611448e-05,4.672441e-05,4.920680e-05,4.940117e-05,5.158995e-05,5.251446e-05,5.386980e-05,5.544586e-05,5.604383e-05,5.811086e-05,5.819131e-05,6.007077e-05,6.075025e-05,6.192438e-05,6.312487e-05,6.367321e-05,6.531936e-05,6.686536e-05,6.733939e-05,6.831408e-05,6.919163e-05,6.966861e-05,7.088339e-05,7.093223e-05,7.210831e-05,7.242240e-05,7.320029e-05,7.381653e-05,7.421159e-05,7.507371e-05,7.514567e-05,7.600591e-05,7.620175e-05,7.679564e-05,7.720831e-05,7.751813e-05,7.810083e-05,7.817656e-05,7.877400e-05,7.888643e-05,7.931344e-05,7.957200e-05,7.979779e-05,8.016412e-05,8.022984e-05,8.061230e-05,8.066907e-05,8.094776e-05,8.109283e-05,8.123872e-05,8.144105e-05,8.148756e-05,8.169659e-05,8.171910e-05,8.186799e-05,8.193204e-05,8.200389e-05,8.208467e-05,8.210630e-05,8.217715e-05,8.218152e-05,8.221830e-05,8.222684e-05,8.223149e-05,8.222460e-05,8.221837e-05,8.218054e-05,8.217854e-05,8.211953e-05,8.209217e-05,8.203678e-05,8.196881e-05,8.193368e-05,8.181156e-05,8.167165e-05,8.162332e-05,8.151515e-05,8.140680e-05,8.134318e-05,8.116453e-05,8.115681e-05,8.095707e-05,8.089887e-05,8.074490e-05,8.061203e-05,8.052124e-05,8.030605e-05,8.028693e-05,8.004282e-05,7.998286e-05,7.978968e-05,7.964425e-05,7.952825e-05,7.929188e-05,7.925922e-05,7.898327e-05,7.892731e-05,7.870103e-05,7.855197e-05,7.841307e-05,7.816720e-05,7.811998e-05,7.782227e-05,7.777424e-05,7.752046e-05,7.737426e-05,7.721500e-05,7.696833e-05,7.690636e-05,7.659496e-05,7.655742e-05,7.628119e-05,7.614247e-05,7.596542e-05,7.572433e-05,7.564802e-05,7.532931e-05,7.530377e-05,7.500961e-05,7.488152e-05,7.468921e-05,7.445824e-05,7.436839e-05,7.404740e-05,7.403457e-05,7.372651e-05,7.361105e-05,7.340592e-05,7.318821e-05,7.308586e-05,7.276653e-05,7.234644e-05,7.192835e-05,7.151261e-05,7.109956e-05,7.068950e-05,7.028269e-05,6.987939e-05,6.947982e-05,6.908418e-05,6.869264e-05,6.830536e-05,6.792248e-05,6.754412e-05,6.717039e-05,6.680138e-05,6.643718e-05,6.607784e-05,6.572341e-05,6.537395e-05,6.502949e-05,6.469004e-05,6.435563e-05,6.402626e-05,6.370194e-05
0.000000e+00,3.002212e-10,8.724992e-10,4.203633e-09,1.178093e-08,1.882084e-08,5.140455e-08,5.329318e-08,1.183231e-07,1.436862e-07,2.267210e-07,3.189725e-07,3.941577e-07,6.158025e-07,6.386087e-07,9.758912e-07,1.071564e-06,1.411293e-06,1.694853e-06,1.935018e-06,2.453008e-06,2.526867e-06,3.164281e-06,3.295415e-06,3.827484e-06,4.177273e-06,4.501132e-06,5.066764e-06,5.174009e-06,5.838065e-06,5.943082e-06,6.487454e-06,6.792620e-06,7.117781e-06,7.605983e-06,7.725607e-06,8.308153e-06,8.376248e-06,8.863159e-06,9.098156e-06,9.388821e-06,9.767845e-06,9.883777e-06,1.034710e-05,1.038278e-05,1.077830e-05,1.094175e-05,1.117729e-05,1.144479e-05,1.154440e-05,1.188028e-05,1.189308e-05,1.218591e-05,1.228875e-05,1.246248e-05,1.263467e-05,1.271141e-05,1.293423e-05,1.313257e-05,1.319114e-05,1.330810e-05,1.340924e-05,1.346249e-05,1.359236e-05,1.359740e-05,1.371442e-05,1.374419e-05,1.381508e-05,1.386823e-05,1.390083e-05,1.396771e-05,1.397302e-05,1.403292e-05,1.404559e-05,1.408168e-05,1.410452e-05,1.412037e-05,1.414688e-05,1.414998e-05,1.417138e-05,1.417475e-05,1.418538e-05,1.418998e-05,1.419270e-05,1.419417e-05,1.419400e-05,1.418987e-05,1.418874e-05,1.418084e-05,1.417490e-05,1.416737e-05,1.415370e-05,1.414990e-05,1.412881e-05,1.412605e-05,1.410443e-05,1.409275e-05,1.407709e-05,1.405449e-05,1.404705e-05,1.401456e-05,1.401187e-05,1.397986e-05,1.396541e-05,1.394315e-05,1.391558e-05,1.390462e-05,1.386443e-05,1.386279e-05,1.382274e-05,1.380740e-05,1.377970e-05,1.374971e-05,1.373542e-05,1.369003e-05,1.364364e-05,1.362860e-05,1.359634e-05,1.356564e-05,1.354824e-05,1.350137e-05,1.349941e-05,1.344993e-05,1.343597e-05,1.339988e-05,1.336960e-05,1.334933e-05,1.330243e-05,1.329833e-05,1.324695e-05,1.323457e-05,1.319525e-05,1.316617e-05,1.314327e-05,1.309734e-05,1.309106e-05,1.303867e-05,1.302817e-05,1.298614e-05,1.295878e-05,1.293350e-05,1.288924e-05,1.288080e-05,1.282807e-05,1.281963e-05,1.277534e-05,1.275004e-05,1.272264e-05,1.268052e-05,1.267000e-05,1.261744e-05,1.261114e-05,1.256499e-05,1.254196e-05,1.251268e-05,1.247302e-05,1.246052e-05,1.240854e-05,1.240439e-05,1.235675e-05,1.233609e-05,1.230517e-05,1.226817e-05,1.225381e-05,1.220271e-05,1.220067e-05,1.215186e-05,1.213362e-05,1.210128e-05,1.206705e-05,1.205098e-05,1.200099e-05,1.193546e-05,1.187049e-05,1.180609e-05,1.174229e-05,1.167910e-05,1.161654e-05,1.155462e-05,1.149335e-05,1.143274e-05,1.137281e-05,1.131355e-05,1.125497e-05,1.119709e-05,1.113990e-05,1.108340e-05,1.102761e-05,1.097252e-05,1.091813e-05,1.086444e-05,1.081146e-05,1.075917e-05,1.070759e-05,1.065670e-05,1.060651e-05
0.000000e+00,8.183083e-09,1.868452e-08,6.421258e-08,1.469870e-07,2.158625e-07,5.043541e-07,5.203607e-07,1.054975e-06,1.258621e-06,1.910562e-06,2.600723e-06,3.131121e-06,4.532290e-06,4.664467e-06,6.431848e-06,6.884545e-06,8.381661e-06,9.541471e-06,1.048350e-05,1.244117e-05,1.271515e-05,1.505609e-05,1.553554e-05,1.748510e-05,1.877564e-05,1.997993e-05,2.210962e-05,2.251758e-05,2.507518e-05,2.548477e-05,2.763078e-05,2.885069e-05,3.016397e-05,3.216200e-05,3.265643e-05,3.509223e-05,3.538005e-05,3.745792e-05,3.847373e-05,3.974262e-05,4.141949e-05,4.193780e-05,4.403717e-05,4.420084e-05,4.603643e-05,4.680747e-05,4.793299e-05,4.923425e-05,4.972575e-05,5.141481e-05,5.148023e-05,5.300130e-05,5.354767e-05,5.448712e-05,5.544125e-05,5.587482e-05,5.716738e-05,5.836816e-05,5.873360e-05,5.948071e-05,6.014816e-05,6.050875e-05,6.141969e-05,6.145608e-05,6.232650e-05,6.255695e-05,6.312379e-05,6.356861e-05,6.385167e-05,6.446316e-05,6.451379e-05,6.511368e-05,6.524878e-05,6.565477e-05,6.593332e-05,6.614033e-05,6.652422e-05,6.657354e-05,6.695741e-05,6.702853e-05,6.729486e-05,6.745290e-05,6.758864e-05,6.780359e-05,6.784138e-05,6.805559e-05,6.808645e-05,6.823364e-05,6.830694e-05,6.837780e-05,6.847016e-05,6.849019e-05,6.857285e-05,6.858087e-05,6.862770e-05,6.864349e-05,6.865655e-05,6.866215e-05,6.866112e-05,6.864303e-05,6.864065e-05,6.860381e-05,6.858254e-05,6.854492e-05,6.849110e-05,6.846772e-05,6.837349e-05,6.836939e-05,6.826346e-05,6.822021e-05,6.813878e-05,6.804618e-05,6.800052e-05,6.784971e-05,6.768730e-05,6.763303e-05,6.751419e-05,6.739819e-05,6.733124e-05,6.714710e-05,6.713925e-05,6.693897e-05,6.688150e-05,6.673111e-05,6.660303e-05,6.651632e-05,6.631316e-05,6.629525e-05,6.606848e-05,6.601327e-05,6.583657e-05,6.570464e-05,6.560002e-05,6.538843e-05,6.535934e-05,6.511499e-05,6.506571e-05,6.486738e-05,6.473748e-05,6.461694e-05,6.440464e-05,6.436403e-05,6.410901e-05,6.406804e-05,6.385222e-05,6.372843e-05,6.359398e-05,6.338652e-05,6.333456e-05,6.307425e-05,6.304297e-05,6.281331e-05,6.269836e-05,6.255197e-05,6.235322e-05,6.229046e-05,6.202898e-05,6.200807e-05,6.176773e-05,6.166334e-05,6.150690e-05,6.131946e-05,6.124666e-05,6.098716e-05,6.097679e-05,6.072854e-05,6.063568e-05,6.047095e-05,6.029644e-05,6.021452e-05,5.995935e-05,5.962467e-05,5.929261e-05,5.896339e-05,5.863720e-05,5.831420e-05,5.799453e-05,5.767832e-05,5.736570e-05,5.705676e-05,5.675158e-05,5.645024e-05,5.615281e-05,5.585934e-05,5.556986e-05,5.528442e-05,5.500305e-05,5.472575e-05,5.445255e-05,5.418345e-05,5.391845e-05,5.365754e-05,5.340072e-05,5.314797e-05,5.289928e-05
0.000000e+00,1.203348e-09,3.224261e-09,1.346581e-08,3.392709e-08,5.150827e-08,1.256254e-07,1.297015e-07,2.623041e-07,3.111972e-07,4.643276e-07,6.255886e-07,7.520445e-07,1.106824e-06,1.142160e-06,1.647899e-06,1.787096e-06,2.272049e-06,2.669639e-06,3.003626e-06,3.721218e-06,3.823630e-06,4.713002e-06,4.897747e-06,5.655887e-06,6.162966e-06,6.639381e-06,7.488796e-06,7.652457e-06,8.685191e-06,8.851629e-06,9.728388e-06,1.023030e-05,1.077348e-05,1.160557e-05,1.181254e-05,1.283839e-05,1.296030e-05,1.384465e-05,1.427973e-05,1.482577e-05,1.555173e-05,1.577712e-05,1.669489e-05,1.676677e-05,1.757613e-05,1.791788e-05,1.841863e-05,1.900037e-05,1.922088e-05,1.998196e-05,2.001154e-05,2.070149e-05,2.095036e-05,2.137955e-05,2.181713e-05,2.201654e-05,2.261318e-05,2.317045e-05,2.334064e-05,2.368949e-05,2.400219e-05,2.417158e-05,2.460091e-05,2.461811e-05,2.503053e-05,2.514010e-05,2.541034e-05,2.562321e-05,2.575906e-05,2.605372e-05,2.607819e-05,2.636923e-05,2.643505e-05,2.663362e-05,2.677058e-05,2.687280e-05,2.706353e-05,2.708816e-05,2.728103e-05,2.731702e-05,2.745270e-05,2.753400e-05,2.760441e-05,2.771728e-05,2.773733e-05,2.785261e-05,2.786949e-05,2.795131e-05,2.799310e-05,2.803446e-05,2.809045e-05,2.810304e-05,2.815798e-05,2.816369e-05,2.820014e-05,2.821487e-05,2.823037e-05,2.824585e-05,2.824946e-05,2.825814e-05,2.825841e-05,2.825712e-05,2.825415e-05,2.824708e-05,2.823461e-05,2.822864e-05,2.820239e-05,2.820118e-05,2.816889e-05,2.815516e-05,2.812868e-05,2.809776e-05,2.808226e-05,2.803008e-05,2.797261e-05,2.795316e-05,2.791024e-05,2.786795e-05,2.784339e-05,2.777532e-05,2.777240e-05,2.769765e-05,2.767608e-05,2.761944e-05,2.757099e-05,2.753809e-05,2.746072e-05,2.745388e-05,2.736709e-05,2.734591e-05,2.727798e-05,2.722715e-05,2.718678e-05,2.710497e-05,2.709371e-05,2.699899e-05,2.697986e-05,2.690281e-05,2.685228e-05,2.680536e-05,2.672264e-05,2.670681e-05,2.660732e-05,2.659133e-05,2.650706e-05,2.645869e-05,2.640615e-05,2.632504e-05,2.630473e-05,2.620292e-05,2.619068e-05,2.610085e-05,2.605588e-05,2.599861e-05,2.592086e-05,2.589631e-05,2.579405e-05,2.578587e-05,2.569190e-05,2.565110e-05,2.558996e-05,2.551673e-05,2.548829e-05,2.538697e-05,2.538292e-05,2.528606e-05,2.524984e-05,2.518562e-05,2.511762e-05,2.508570e-05,2.498637e-05,2.485621e-05,2.472724e-05,2.459954e-05,2.447320e-05,2.434828e-05,2.422484e-05,2.410294e-05,2.398263e-05,2.386394e-05,2.374690e-05,2.363156e-05,2.351792e-05,2.340601e-05,2.329584e-05,2.318742e-05,2.308077e-05,2.297588e-05,2.287276e-05,2.277140e-05,2.267180e-05,2.257396e-05,2.247786e-05,2.238350e-05,2.229086e-05
0.000000e+00,1.661714e-10,4.739326e-10,2.199529e-09,5.963988e-09,9.357303e-09,2.436266e-08,2.520691e-08,5.313639e-08,6.355272e-08,9.627077e-08,1.306698e-07,1.575274e-07,2.322752e-07,2.396793e-07,3.453487e-07,3.744776e-07,4.768678e-07,5.624888e-07,6.359523e-07,7.992387e-07,8.231698e-07,1.037317e-06,1.083121e-06,1.275030e-06,1.406246e-06,1.530992e-06,1.755413e-06,1.798782e-06,2.071933e-06,2.115738e-06,2.344743e-06,2.474184e-06,2.612645e-06,2.821105e-06,2.872228e-06,3.121079e-06,3.150136e-06,3.357577e-06,3.457444e-06,3.580709e-06,3.740994e-06,3.789918e-06,3.984989e-06,3.999984e-06,4.165970e-06,4.234468e-06,4.333110e-06,4.445100e-06,4.486809e-06,4.627580e-06,4.632951e-06,4.756023e-06,4.799369e-06,4.872792e-06,4.945877e-06,4.978576e-06,5.074081e-06,5.160013e-06,5.185605e-06,5.237070e-06,5.282041e-06,5.305926e-06,5.364915e-06,5.367230e-06,5.421598e-06,5.435658e-06,5.469609e-06,5.495592e-06,5.511807e-06,5.545929e-06,5.548696e-06,5.580743e-06,5.587762e-06,5.608378e-06,5.622075e-06,5.631996e-06,5.649744e-06,5.651958e-06,5.668593e-06,5.671548e-06,5.682202e-06,5.688174e-06,5.693057e-06,5.700228e-06,5.701405e-06,5.707474e-06,5.708247e-06,5.711465e-06,5.712698e-06,5.713564e-06,5.713995e-06,5.713940e-06,5.712744e-06,5.712501e-06,5.710114e-06,5.708536e-06,5.706176e-06,5.702380e-06,5.701045e-06,5.694823e-06,5.694281e-06,5.687606e-06,5.684460e-06,5.679480e-06,5.673111e-06,5.670523e-06,5.660808e-06,5.660405e-06,5.650401e-06,5.646496e-06,5.639361e-06,5.631522e-06,5.627745e-06,5.615603e-06,5.602983e-06,5.598851e-06,5.589928e-06,5.581363e-06,5.576478e-06,5.563229e-06,5.562670e-06,5.548538e-06,5.544528e-06,5.534115e-06,5.525333e-06,5.519428e-06,5.505709e-06,5.504507e-06,5.489375e-06,5.485715e-06,5.474058e-06,5.465407e-06,5.458576e-06,5.444833e-06,5.442951e-06,5.427202e-06,5.424038e-06,5.411346e-06,5.403064e-06,5.395400e-06,5.381948e-06,5.379381e-06,5.363302e-06,5.360724e-06,5.347177e-06,5.339424e-06,5.331019e-06,5.318077e-06,5.314840e-06,5.298652e-06,5.296709e-06,5.282465e-06,5.275345e-06,5.266288e-06,5.254006e-06,5.250131e-06,5.234003e-06,5.232714e-06,5.217912e-06,5.211487e-06,5.201865e-06,5.190343e-06,5.185869e-06,5.169932e-06,5.169296e-06,5.154059e-06,5.148362e-06,5.138256e-06,5.127553e-06,5.122528e-06,5.106881e-06,5.086358e-06,5.065994e-06,5.045797e-06,5.025775e-06,5.005937e-06,4.986290e-06,4.966838e-06,4.947588e-06,4.928544e-06,4.909710e-06,4.891092e-06,4.872691e-06,4.854510e-06,4.836553e-06,4.818821e-06,4.801315e-06,4.784038e-06,4.766990e-06,4.750173e-06,4.733585e-06,4.717229e-06,4.701103e-06,4.685208e-06,4.669543e-06
0.000000e+00,4.071624e-09,9.314764e-09,3.190845e-08,7.225032e-08,1.050984e-07,2.364324e-07,2.434574e-07,4.660253e-07,5.460350e-07,7.920082e-07,1.045457e-06,1.241176e-06,1.779617e-06,1.832538e-06,2.579505e-06,2.782336e-06,3.482651e-06,4.051736e-06,4.527648e-06,5.546792e-06,5.692047e-06,6.953003e-06,7.214953e-06,8.290305e-06,9.009932e-06,9.686289e-06,1.089259e-05,1.112504e-05,1.259182e-05,1.282817e-05,1.407283e-05,1.478495e-05,1.555521e-05,1.673410e-05,1.702712e-05,1.847788e-05,1.865010e-05,1.989811e-05,2.051121e-05,2.127974e-05,2.229979e-05,2.261606e-05,2.390169e-05,2.400222e-05,2.513249e-05,2.560876e-05,2.630549e-05,2.711312e-05,2.741873e-05,2.847120e-05,2.851202e-05,2.946262e-05,2.980464e-05,3.039339e-05,3.099214e-05,3.126446e-05,3.207719e-05,3.283328e-05,3.306359e-05,3.353470e-05,3.395590e-05,3.418358e-05,3.475918e-05,3.478219e-05,3.533286e-05,3.547878e-05,3.583795e-05,3.612012e-05,3.629984e-05,3.668862e-05,3.672085e-05,3.710328e-05,3.718957e-05,3.744935e-05,3.762807e-05,3.776120e-05,3.800899e-05,3.804093e-05,3.829050e-05,3.833696e-05,3.851181e-05,3.861633e-05,3.870667e-05,3.885116e-05,3.887678e-05,3.902378e-05,3.904525e-05,3.914919e-05,3.920215e-05,3.925447e-05,3.932512e-05,3.934098e-05,3.941002e-05,3.941719e-05,3.946280e-05,3.948117e-05,3.950047e-05,3.951965e-05,3.952409e-05,3.953468e-05,3.953499e-05,3.953317e-05,3.952938e-05,3.952046e-05,3.950483e-05,3.949737e-05,3.946468e-05,3.946318e-05,3.942313e-05,3.940613e-05,3.937340e-05,3.933524e-05,3.931613e-05,3.925193e-05,3.918135e-05,3.915751e-05,3.910493e-05,3.905318e-05,3.902315e-05,3.894004e-05,3.893648e-05,3.884536e-05,3.881910e-05,3.875018e-05,3.869128e-05,3.865132e-05,3.855743e-05,3.854914e-05,3.844396e-05,3.841831e-05,3.833610e-05,3.827464e-05,3.822585e-05,3.812706e-05,3.811347e-05,3.799921e-05,3.797616e-05,3.788332e-05,3.782248e-05,3.776601e-05,3.766653e-05,3.764749e-05,3.752794e-05,3.750873e-05,3.740756e-05,3.734952e-05,3.728649e-05,3.718926e-05,3.716490e-05,3.704294e-05,3.702828e-05,3.692073e-05,3.686691e-05,3.679840e-05,3.670542e-05,3.667607e-05,3.655385e-05,3.654408e-05,3.643183e-05,3.638310e-05,3.631011e-05,3.622270e-05,3.618877e-05,3.606790e-05,3.606307e-05,3.594756e-05,3.590439e-05,3.582784e-05,3.574680e-05,3.570878e-05,3.559045e-05,3.543546e-05,3.528194e-05,3.512999e-05,3.497969e-05,3.483113e-05,3.468438e-05,3.453949e-05,3.439651e-05,3.425550e-05,3.411647e-05,3.397948e-05,3.384454e-05,3.371168e-05,3.358090e-05,3.345223e-05,3.332566e-05,3.320121e-05,3.307887e-05,3.295865e-05,3.284052e-05,3.272450e-05,3.261057e-05,3.249871e-05,3.238891e-05
0.000000e+00,4.151243e-09,9.533219e-09,3.293349e-08,7.533058e-08,1.103552e-07,2.544277e-07,2.623050e-07,5.197245e-07,6.154386e-07,9.163805e-07,1.230537e-06,1.471740e-06,2.116452e-06,2.178064e-06,3.016537e-06,3.235591e-06,3.971410e-06,4.552337e-06,5.030385e-06,6.039383e-06,6.182100e-06,7.414672e-06,7.669776e-06,8.715259e-06,9.413950e-06,1.007026e-05,1.124032e-05,1.146574e-05,1.288793e-05,1.311707e-05,1.432369e-05,1.501407e-05,1.576090e-05,1.690436e-05,1.718869e-05,1.859756e-05,1.876495e-05,1.997943e-05,2.057714e-05,2.132768e-05,2.232658e-05,2.263704e-05,2.390345e-05,2.400281e-05,2.512389e-05,2.559871e-05,2.629631e-05,2.710997e-05,2.741943e-05,2.849259e-05,2.853448e-05,2.951572e-05,2.987185e-05,3.048915e-05,3.112302e-05,3.141354e-05,3.228984e-05,3.311920e-05,3.337489e-05,3.390290e-05,3.438115e-05,3.464235e-05,3.531194e-05,3.533901e-05,3.599440e-05,3.617072e-05,3.661006e-05,3.696104e-05,3.718755e-05,3.768643e-05,3.772839e-05,3.823411e-05,3.835042e-05,3.870619e-05,3.895642e-05,3.914611e-05,3.950776e-05,3.955529e-05,3.993511e-05,4.000767e-05,4.028691e-05,4.045921e-05,4.061200e-05,4.086534e-05,4.091162e-05,4.118700e-05,4.122889e-05,4.143929e-05,4.155252e-05,4.166961e-05,4.183878e-05,4.187905e-05,4.206863e-05,4.209010e-05,4.223935e-05,4.230874e-05,4.239217e-05,4.249689e-05,4.252798e-05,4.264767e-05,4.265657e-05,4.275206e-05,4.278972e-05,4.284197e-05,4.289815e-05,4.291814e-05,4.298132e-05,4.298359e-05,4.303220e-05,4.304763e-05,4.307144e-05,4.309180e-05,4.309968e-05,4.311752e-05,4.312556e-05,4.312615e-05,4.312433e-05,4.311893e-05,4.311437e-05,4.309706e-05,4.309618e-05,4.307023e-05,4.306164e-05,4.303699e-05,4.301372e-05,4.299688e-05,4.295427e-05,4.295032e-05,4.289771e-05,4.288422e-05,4.283941e-05,4.280442e-05,4.277580e-05,4.271569e-05,4.270720e-05,4.263395e-05,4.261877e-05,4.255634e-05,4.251437e-05,4.247468e-05,4.240315e-05,4.238924e-05,4.230028e-05,4.228574e-05,4.220806e-05,4.216270e-05,4.211281e-05,4.203460e-05,4.201478e-05,4.191416e-05,4.190192e-05,4.181116e-05,4.176514e-05,4.170599e-05,4.162471e-05,4.159882e-05,4.148983e-05,4.148104e-05,4.137919e-05,4.133451e-05,4.126706e-05,4.118548e-05,4.115358e-05,4.103890e-05,4.103429e-05,4.092316e-05,4.088125e-05,4.080647e-05,4.072665e-05,4.068897e-05,4.057076e-05,4.041384e-05,4.025611e-05,4.009780e-05,3.993910e-05,3.978022e-05,3.962131e-05,3.946254e-05,3.930407e-05,3.914602e-05,3.898853e-05,3.883171e-05,3.867568e-05,3.852052e-05,3.836634e-05,3.821322e-05,3.806123e-05,3.791044e-05,3.776092e-05,3.761272e-05,3.746590e-05,3.732051e-05,3.717658e-05,3.703415e-05,3.689327e-05
0.000000e+00,4.759216e-10,1.401966e-09,6.940285e-09,1.990395e-08,3.217242e-08,9.019324e-08,9.359213e-08,2.115143e-07,2.576706e-07,4.084237e-07,5.745948e-07,7.088309e-07,1.099367e-06,1.139238e-06,1.727671e-06,1.895558e-06,2.502138e-06,3.026596e-06,3.487389e-06,4.542179e-06,4.699934e-06,6.142865e-06,6.458241e-06,7.803358e-06,8.744346e-06,9.654711e-06,1.133162e-05,1.166159e-05,1.378568e-05,1.413389e-05,1.598983e-05,1.706621e-05,1.824038e-05,2.005444e-05,2.050811e-05,2.276835e-05,2.303806e-05,2.500062e-05,2.596953e-05,2.718824e-05,2.881265e-05,2.931786e-05,3.137898e-05,3.154066e-05,3.336357e-05,3.413459e-05,3.526572e-05,3.658186e-05,3.708134e-05,3.880790e-05,3.887509e-05,4.044415e-05,4.101103e-05,4.198992e-05,4.298972e-05,4.344597e-05,4.481376e-05,4.609534e-05,4.648763e-05,4.729320e-05,4.801718e-05,4.841015e-05,4.940916e-05,4.944927e-05,5.041381e-05,5.067097e-05,5.130711e-05,5.181029e-05,5.213254e-05,5.283493e-05,5.289352e-05,5.359340e-05,5.375264e-05,5.423549e-05,5.457102e-05,5.482302e-05,5.529742e-05,5.535914e-05,5.584686e-05,5.593886e-05,5.628910e-05,5.650201e-05,5.668862e-05,5.699315e-05,5.704807e-05,5.736997e-05,5.741815e-05,5.765671e-05,5.778253e-05,5.791056e-05,5.809142e-05,5.813369e-05,5.832812e-05,5.834961e-05,5.849576e-05,5.856152e-05,5.863844e-05,5.873124e-05,5.875787e-05,5.885565e-05,5.886258e-05,5.893330e-05,5.895904e-05,5.899224e-05,5.902386e-05,5.903383e-05,5.905931e-05,5.906001e-05,5.906987e-05,5.907024e-05,5.906663e-05,5.905708e-05,5.905063e-05,5.902284e-05,5.898419e-05,5.896968e-05,5.893554e-05,5.889953e-05,5.887770e-05,5.881422e-05,5.881142e-05,5.873741e-05,5.871539e-05,5.865633e-05,5.860455e-05,5.856881e-05,5.848309e-05,5.847542e-05,5.837672e-05,5.835229e-05,5.827320e-05,5.821331e-05,5.816535e-05,5.806721e-05,5.805361e-05,5.793840e-05,5.791497e-05,5.782010e-05,5.775748e-05,5.769907e-05,5.759555e-05,5.757565e-05,5.745016e-05,5.742991e-05,5.732290e-05,5.726126e-05,5.719412e-05,5.709019e-05,5.706410e-05,5.693306e-05,5.691728e-05,5.680122e-05,5.674302e-05,5.666880e-05,5.656788e-05,5.653598e-05,5.640293e-05,5.639228e-05,5.626983e-05,5.621660e-05,5.613682e-05,5.604118e-05,5.600404e-05,5.587162e-05,5.586634e-05,5.573969e-05,5.569233e-05,5.560835e-05,5.551942e-05,5.547770e-05,5.534784e-05,5.517776e-05,5.500939e-05,5.484287e-05,5.467833e-05,5.451592e-05,5.435572e-05,5.419784e-05,5.404235e-05,5.388932e-05,5.373881e-05,5.359086e-05,5.344551e-05,5.330279e-05,5.316272e-05,5.302532e-05,5.289060e-05,5.275856e-05,5.262919e-05,5.250249e-05,5.237845e-05,5.225706e-05,5.213829e-05,5.202213e-05,5.190855e-05
0.000000e+00,9.139898e-10,2.209026e-09,8.006892e-09,1.855543e-08,2.718581e-08,6.166127e-08,6.350000e-08,1.213847e-07,1.420163e-07,2.048958e-07,2.689093e-07,3.178765e-07,4.509494e-07,4.639257e-07,6.458919e-07,6.950720e-07,8.647170e-07,1.002730e-06,1.118389e-06,1.366894e-06,1.402398e-06,1.711345e-06,1.775668e-06,2.040136e-06,2.217436e-06,2.384278e-06,2.682284e-06,2.739772e-06,3.102942e-06,3.161528e-06,3.470329e-06,3.647204e-06,3.838656e-06,4.131912e-06,4.204834e-06,4.565994e-06,4.608869e-06,4.919524e-06,5.072052e-06,5.263109e-06,5.516341e-06,5.594751e-06,5.912789e-06,5.937602e-06,6.215898e-06,6.332727e-06,6.503081e-06,6.699595e-06,6.773652e-06,7.027209e-06,7.036994e-06,7.263603e-06,7.344512e-06,7.482910e-06,7.622406e-06,7.685393e-06,7.871473e-06,8.041694e-06,8.092918e-06,8.196697e-06,8.288238e-06,8.337192e-06,8.459123e-06,8.463939e-06,8.577724e-06,8.607370e-06,8.679346e-06,8.734813e-06,8.769601e-06,8.843271e-06,8.849274e-06,8.919125e-06,8.934511e-06,8.979891e-06,9.010214e-06,9.032273e-06,9.071964e-06,9.076938e-06,9.114515e-06,9.121233e-06,9.145595e-06,9.159373e-06,9.170728e-06,9.187622e-06,9.190429e-06,9.205174e-06,9.207103e-06,9.215405e-06,9.218834e-06,9.221532e-06,9.223732e-06,9.223930e-06,9.222945e-06,9.222615e-06,9.218894e-06,9.216216e-06,9.212067e-06,9.205188e-06,9.202733e-06,9.191134e-06,9.190116e-06,9.177496e-06,9.171515e-06,9.162021e-06,9.149847e-06,9.144896e-06,9.126292e-06,9.125520e-06,9.106365e-06,9.098896e-06,9.085258e-06,9.070297e-06,9.063099e-06,9.040009e-06,9.016096e-06,9.008286e-06,8.991458e-06,8.975352e-06,8.966186e-06,8.941405e-06,8.940363e-06,8.914063e-06,8.906623e-06,8.887357e-06,8.871164e-06,8.860307e-06,8.835169e-06,8.832973e-06,8.805407e-06,8.798762e-06,8.777658e-06,8.762055e-06,8.749771e-06,8.725147e-06,8.721785e-06,8.693739e-06,8.688126e-06,8.665667e-06,8.651070e-06,8.637601e-06,8.614050e-06,8.609568e-06,8.581596e-06,8.577128e-06,8.553709e-06,8.540359e-06,8.525928e-06,8.503794e-06,8.498274e-06,8.470765e-06,8.467475e-06,8.443418e-06,8.431441e-06,8.416249e-06,8.395727e-06,8.389270e-06,8.362496e-06,8.360363e-06,8.335937e-06,8.325376e-06,8.309604e-06,8.290790e-06,8.283507e-06,8.257654e-06,8.256625e-06,8.232053e-06,8.222899e-06,8.206710e-06,8.189628e-06,8.181632e-06,8.156824e-06,8.124498e-06,8.092661e-06,8.061319e-06,8.030479e-06,8.000146e-06,7.970324e-06,7.941014e-06,7.912219e-06,7.883939e-06,7.856174e-06,7.828922e-06,7.802183e-06,7.775952e-06,7.750229e-06,7.725008e-06,7.700287e-06,7.676061e-06,7.652325e-06,7.629074e-06,7.606302e-06,7.584005e-06,7.562176e-06,7.540810e-06,7.519899e-06
0.000000e+00,7.052443e-10,2.051585e-09,9.904380e-09,2.779713e-08,4.442666e-08,1.212373e-07,1.256776e-07,2.775847e-07,3.362901e-07,5.263844e-07,7.340934e-07,9.010117e-07,1.383799e-06,1.432898e-06,2.153774e-06,2.358058e-06,3.089868e-06,3.713155e-06,4.252318e-06,5.453244e-06,5.628706e-06,7.183690e-06,7.511972e-06,8.869254e-06,9.780883e-06,1.063638e-05,1.215213e-05,1.244212e-05,1.425190e-05,1.453996e-05,1.603910e-05,1.688285e-05,1.778371e-05,1.913864e-05,1.947093e-05,2.109004e-05,2.127937e-05,2.263349e-05,2.328727e-05,2.409627e-05,2.515214e-05,2.547542e-05,2.676963e-05,2.686949e-05,2.797895e-05,2.843913e-05,2.910449e-05,2.986409e-05,3.014824e-05,3.111279e-05,3.114976e-05,3.200124e-05,3.230311e-05,3.281704e-05,3.333212e-05,3.356380e-05,3.424531e-05,3.486534e-05,3.505138e-05,3.542766e-05,3.575897e-05,3.593597e-05,3.637645e-05,3.639384e-05,3.680471e-05,3.691178e-05,3.717187e-05,3.737249e-05,3.749844e-05,3.776558e-05,3.778737e-05,3.804144e-05,3.809753e-05,3.826327e-05,3.837433e-05,3.845530e-05,3.860146e-05,3.861982e-05,3.875896e-05,3.878392e-05,3.887472e-05,3.892629e-05,3.896894e-05,3.903270e-05,3.904334e-05,3.909953e-05,3.910693e-05,3.913898e-05,3.915238e-05,3.916307e-05,3.917215e-05,3.917308e-05,3.917019e-05,3.916903e-05,3.915549e-05,3.914554e-05,3.912999e-05,3.910398e-05,3.909464e-05,3.905031e-05,3.904640e-05,3.899779e-05,3.897466e-05,3.893784e-05,3.889045e-05,3.887113e-05,3.879831e-05,3.879528e-05,3.871997e-05,3.869052e-05,3.863665e-05,3.857741e-05,3.854886e-05,3.845705e-05,3.836168e-05,3.833047e-05,3.826312e-05,3.819856e-05,3.816176e-05,3.806214e-05,3.805794e-05,3.795196e-05,3.792194e-05,3.784413e-05,3.777865e-05,3.773470e-05,3.763284e-05,3.762394e-05,3.751206e-05,3.748507e-05,3.739929e-05,3.733582e-05,3.728582e-05,3.718553e-05,3.717183e-05,3.705748e-05,3.703458e-05,3.694294e-05,3.688334e-05,3.682833e-05,3.673212e-05,3.671380e-05,3.659946e-05,3.658119e-05,3.648542e-05,3.643082e-05,3.637179e-05,3.628123e-05,3.625865e-05,3.614609e-05,3.613262e-05,3.603419e-05,3.598518e-05,3.592301e-05,3.583905e-05,3.581264e-05,3.570311e-05,3.569439e-05,3.559449e-05,3.555131e-05,3.548683e-05,3.540992e-05,3.538016e-05,3.527453e-05,3.527033e-05,3.516998e-05,3.513261e-05,3.506653e-05,3.499683e-05,3.496421e-05,3.486305e-05,3.473133e-05,3.460171e-05,3.447422e-05,3.434889e-05,3.422575e-05,3.410480e-05,3.398606e-05,3.386954e-05,3.375524e-05,3.364315e-05,3.353327e-05,3.342559e-05,3.332010e-05,3.321678e-05,3.311562e-05,3.301660e-05,3.291969e-05,3.282487e-05,3.273212e-05,3.264142e-05,3.255274e-05,3.246605e-05,3.238132e-05,3.229852e-05
0.000000e+00,7.302968e-09,1.683773e-08,5.883980e-08,1.367374e-07,2.026148e-07,4.860858e-07,5.021080e-07,1.050220e-06,1.264207e-06,1.962530e-06,2.718979e-06,3.310528e-06,4.910277e-06,5.063644e-06,7.147538e-06,7.689970e-06,9.504729e-06,1.093026e-05,1.209958e-05,1.456046e-05,1.490809e-05,1.791043e-05,1.853247e-05,2.108722e-05,2.280139e-05,2.441812e-05,2.731940e-05,2.788154e-05,3.145509e-05,3.203555e-05,3.511604e-05,3.689773e-05,3.884198e-05,4.185504e-05,4.261143e-05,4.640425e-05,4.686006e-05,5.020197e-05,5.187018e-05,5.398800e-05,5.684845e-05,5.774765e-05,6.146819e-05,6.176381e-05,6.513870e-05,6.659078e-05,6.874996e-05,7.130903e-05,7.229433e-05,7.576563e-05,7.590289e-05,7.915895e-05,8.036067e-05,8.247034e-05,8.467367e-05,8.569670e-05,8.883576e-05,9.188595e-05,9.284306e-05,9.484627e-05,9.669347e-05,9.771624e-05,1.003864e-04,1.004958e-04,1.031853e-04,1.039223e-04,1.057853e-04,1.073027e-04,1.082967e-04,1.105298e-04,1.107206e-04,1.130584e-04,1.136069e-04,1.153118e-04,1.165373e-04,1.174821e-04,1.193243e-04,1.195707e-04,1.215793e-04,1.219715e-04,1.235094e-04,1.244826e-04,1.253627e-04,1.268614e-04,1.271409e-04,1.288457e-04,1.291118e-04,1.304789e-04,1.312378e-04,1.320420e-04,1.332433e-04,1.335369e-04,1.349653e-04,1.351323e-04,1.363289e-04,1.369088e-04,1.376294e-04,1.385767e-04,1.388686e-04,1.400480e-04,1.401398e-04,1.411694e-04,1.416021e-04,1.422344e-04,1.429672e-04,1.432447e-04,1.442017e-04,1.442389e-04,1.451072e-04,1.454208e-04,1.459626e-04,1.465164e-04,1.467694e-04,1.475292e-04,1.482434e-04,1.484625e-04,1.489134e-04,1.493197e-04,1.495407e-04,1.501040e-04,1.501267e-04,1.506726e-04,1.508185e-04,1.511798e-04,1.514661e-04,1.516496e-04,1.520499e-04,1.520833e-04,1.524820e-04,1.525726e-04,1.528470e-04,1.530371e-04,1.531794e-04,1.534460e-04,1.534805e-04,1.537512e-04,1.538018e-04,1.539928e-04,1.541072e-04,1.542061e-04,1.543644e-04,1.543924e-04,1.545526e-04,1.545758e-04,1.546876e-04,1.547437e-04,1.547984e-04,1.548702e-04,1.548859e-04,1.549511e-04,1.549575e-04,1.549948e-04,1.550074e-04,1.550178e-04,1.550220e-04,1.550210e-04,1.550052e-04,1.550032e-04,1.549712e-04,1.549526e-04,1.549197e-04,1.548721e-04,1.548514e-04,1.547671e-04,1.547634e-04,1.546674e-04,1.546279e-04,1.545530e-04,1.544672e-04,1.544247e-04,1.542829e-04,1.540762e-04,1.538487e-04,1.536014e-04,1.533358e-04,1.530530e-04,1.527541e-04,1.524402e-04,1.521124e-04,1.517717e-04,1.514189e-04,1.510552e-04,1.506812e-04,1.502978e-04,1.499059e-04,1.495061e-04,1.490993e-04,1.486860e-04,1.482670e-04,1.478429e-04,1.474142e-04,1.469816e-04,1.465455e-04,1.461065e-04,1.456651e-04
0.000000e+00,7.368649e-10,1.933482e-09,7.823041e-09,1.933387e-08,2.912633e-08,7.013656e-08,7.238883e-08,1.458514e-07,1.730803e-07,2.588630e-07,3.497027e-07,4.209034e-07,6.179611e-07,6.372532e-07,9.053716e-07,9.766496e-07,1.218141e-06,1.410142e-06,1.568609e-06,1.903794e-06,1.951253e-06,2.361462e-06,2.446432e-06,2.794933e-06,3.028105e-06,3.247356e-06,3.638814e-06,3.714321e-06,4.191359e-06,4.268322e-06,4.674041e-06,4.906471e-06,5.158100e-06,5.543641e-06,5.639540e-06,6.114731e-06,6.171177e-06,6.580470e-06,6.781679e-06,7.034022e-06,7.369162e-06,7.473125e-06,7.895988e-06,7.929071e-06,8.301254e-06,8.458209e-06,8.687974e-06,8.954581e-06,9.055552e-06,9.403707e-06,9.417228e-06,9.732417e-06,9.846023e-06,1.004187e-05,1.024148e-05,1.033243e-05,1.060460e-05,1.085899e-05,1.093674e-05,1.109626e-05,1.123947e-05,1.131715e-05,1.151449e-05,1.152241e-05,1.171281e-05,1.176356e-05,1.188912e-05,1.198847e-05,1.205212e-05,1.219094e-05,1.220253e-05,1.234108e-05,1.237265e-05,1.246847e-05,1.253519e-05,1.258537e-05,1.268007e-05,1.269242e-05,1.279020e-05,1.280870e-05,1.287931e-05,1.292239e-05,1.296027e-05,1.302235e-05,1.303359e-05,1.309976e-05,1.310972e-05,1.315923e-05,1.318551e-05,1.321241e-05,1.325069e-05,1.325970e-05,1.330148e-05,1.330614e-05,1.333809e-05,1.335265e-05,1.336987e-05,1.339097e-05,1.339711e-05,1.342010e-05,1.342176e-05,1.343911e-05,1.344566e-05,1.345440e-05,1.346323e-05,1.346619e-05,1.347471e-05,1.347499e-05,1.348016e-05,1.348141e-05,1.348274e-05,1.348295e-05,1.348263e-05,1.348000e-05,1.347501e-05,1.347294e-05,1.346780e-05,1.346210e-05,1.345853e-05,1.344780e-05,1.344731e-05,1.343429e-05,1.343033e-05,1.341956e-05,1.340995e-05,1.340324e-05,1.338692e-05,1.338544e-05,1.336625e-05,1.336145e-05,1.334577e-05,1.333376e-05,1.332407e-05,1.330404e-05,1.330125e-05,1.327737e-05,1.327247e-05,1.325251e-05,1.323921e-05,1.322673e-05,1.320442e-05,1.320011e-05,1.317270e-05,1.316824e-05,1.314456e-05,1.313080e-05,1.311574e-05,1.309223e-05,1.308629e-05,1.305627e-05,1.305263e-05,1.302571e-05,1.301211e-05,1.299467e-05,1.297077e-05,1.296318e-05,1.293127e-05,1.292870e-05,1.289900e-05,1.288599e-05,1.286638e-05,1.284271e-05,1.283346e-05,1.280027e-05,1.279894e-05,1.276683e-05,1.275474e-05,1.273318e-05,1.271018e-05,1.269933e-05,1.266532e-05,1.262021e-05,1.257491e-05,1.252945e-05,1.248390e-05,1.243828e-05,1.239263e-05,1.234700e-05,1.230142e-05,1.225591e-05,1.221050e-05,1.216523e-05,1.212012e-05,1.207519e-05,1.203046e-05,1.198595e-05,1.194169e-05,1.189768e-05,1.185395e-05,1.181050e-05,1.176736e-05,1.172453e-05,1.168203e-05,1.163987e-05,1.159805e-05
0.000000e+00,2.956097e-10,8.788730e-10,4.432381e-09,1.291810e-08,2.105736e-08,6.022797e-08,6.254478e-08,1.437184e-07,1.757583e-07,2.809126e-07,3.972371e-07,4.912788e-07,7.644117e-07,7.922284e-07,1.200870e-06,1.316787e-06,1.733235e-06,2.090671e-06,2.403097e-06,3.114401e-06,3.220498e-06,4.190562e-06,4.402974e-06,5.313217e-06,5.955903e-06,6.583774e-06,7.759308e-06,7.993870e-06,9.532403e-06,9.789636e-06,1.118629e-05,1.201693e-05,1.294110e-05,1.440735e-05,1.478154e-05,1.669190e-05,1.692510e-05,1.865645e-05,1.953402e-05,2.065974e-05,2.219898e-05,2.268691e-05,2.472388e-05,2.488686e-05,2.675760e-05,2.756746e-05,2.877612e-05,3.021396e-05,3.076870e-05,3.272582e-05,3.280325e-05,3.463924e-05,3.531598e-05,3.650192e-05,3.773652e-05,3.830799e-05,4.005267e-05,4.173222e-05,4.225544e-05,4.334381e-05,4.433860e-05,4.488544e-05,4.629841e-05,4.635585e-05,4.775446e-05,4.813318e-05,4.908122e-05,4.984295e-05,5.033657e-05,5.142916e-05,5.152138e-05,5.263683e-05,5.289438e-05,5.368441e-05,5.424204e-05,5.466583e-05,5.547622e-05,5.558295e-05,5.643779e-05,5.660147e-05,5.723248e-05,5.762267e-05,5.796920e-05,5.854487e-05,5.865017e-05,5.927765e-05,5.937324e-05,5.985389e-05,6.011294e-05,6.038113e-05,6.076912e-05,6.086157e-05,6.129739e-05,6.134679e-05,6.169071e-05,6.185085e-05,6.204362e-05,6.228605e-05,6.235813e-05,6.263621e-05,6.265694e-05,6.287974e-05,6.296789e-05,6.309055e-05,6.322308e-05,6.327042e-05,6.342104e-05,6.342648e-05,6.354404e-05,6.358187e-05,6.364099e-05,6.369280e-05,6.371339e-05,6.376267e-05,6.379022e-05,6.379466e-05,6.379734e-05,6.379176e-05,6.378529e-05,6.375680e-05,6.375526e-05,6.370841e-05,6.369243e-05,6.364582e-05,6.360114e-05,6.356852e-05,6.348527e-05,6.347751e-05,6.337371e-05,6.334700e-05,6.325802e-05,6.318836e-05,6.313129e-05,6.301128e-05,6.299433e-05,6.284789e-05,6.281753e-05,6.269270e-05,6.260877e-05,6.252945e-05,6.238657e-05,6.235879e-05,6.218134e-05,6.215235e-05,6.199767e-05,6.190747e-05,6.180835e-05,6.165318e-05,6.161390e-05,6.141481e-05,6.139063e-05,6.121154e-05,6.112090e-05,6.100455e-05,6.084499e-05,6.079424e-05,6.058101e-05,6.056383e-05,6.036522e-05,6.027827e-05,6.014724e-05,5.998911e-05,5.992738e-05,5.970596e-05,5.969707e-05,5.948326e-05,5.940283e-05,5.925957e-05,5.910702e-05,5.903513e-05,5.881019e-05,5.851288e-05,5.821557e-05,5.791871e-05,5.762269e-05,5.732788e-05,5.703462e-05,5.674321e-05,5.645394e-05,5.616705e-05,5.588276e-05,5.560128e-05,5.532279e-05,5.504746e-05,5.477541e-05,5.450679e-05,5.424170e-05,5.398023e-05,5.372247e-05,5.346849e-05,5.321834e-05,5.297207e-05,5.272972e-05,5.249132e-05,5.225688e-05
0.000000e+00,6.546078e-09,1.502336e-08,5.186452e-08,1.183789e-07,1.730153e-07,3.944859e-07,4.064455e-07,7.900878e-07,9.299667e-07,1.365450e-06,1.821607e-06,2.178246e-06,3.175005e-06,3.273983e-06,4.684660e-06,5.071177e-06,6.414287e-06,7.514751e-06,8.441353e-06,1.044655e-05,1.073482e-05,1.326508e-05,1.379722e-05,1.600620e-05,1.750705e-05,1.893464e-05,2.152280e-05,2.202786e-05,2.526343e-05,2.579282e-05,2.861878e-05,3.026526e-05,3.207132e-05,3.488829e-05,3.559870e-05,3.917920e-05,3.961144e-05,4.279212e-05,4.438701e-05,4.641803e-05,4.917135e-05,5.003906e-05,5.363905e-05,5.392570e-05,5.720355e-05,5.861653e-05,6.071995e-05,6.321581e-05,6.417738e-05,6.756655e-05,6.770058e-05,7.087973e-05,7.205262e-05,7.411063e-05,7.625802e-05,7.725421e-05,8.030658e-05,8.326486e-05,8.419129e-05,8.612704e-05,8.790781e-05,8.889189e-05,9.145402e-05,9.155881e-05,9.412777e-05,9.482957e-05,9.659920e-05,9.803557e-05,9.897392e-05,1.010743e-04,1.012531e-04,1.034382e-04,1.039488e-04,1.055308e-04,1.066630e-04,1.075329e-04,1.092213e-04,1.094463e-04,1.112730e-04,1.116282e-04,1.130154e-04,1.138888e-04,1.146755e-04,1.160081e-04,1.162556e-04,1.177580e-04,1.179913e-04,1.191850e-04,1.198438e-04,1.205388e-04,1.215707e-04,1.218217e-04,1.230360e-04,1.231772e-04,1.241839e-04,1.246685e-04,1.252676e-04,1.260497e-04,1.262894e-04,1.272512e-04,1.273256e-04,1.281553e-04,1.285012e-04,1.290036e-04,1.295810e-04,1.297982e-04,1.305411e-04,1.305698e-04,1.312341e-04,1.314718e-04,1.318792e-04,1.322914e-04,1.324782e-04,1.330328e-04,1.335448e-04,1.337000e-04,1.340159e-04,1.342967e-04,1.344477e-04,1.348267e-04,1.348418e-04,1.351997e-04,1.352937e-04,1.355230e-04,1.357010e-04,1.358131e-04,1.360519e-04,1.360714e-04,1.362993e-04,1.363496e-04,1.364980e-04,1.365971e-04,1.366690e-04,1.367974e-04,1.368134e-04,1.369324e-04,1.369532e-04,1.370272e-04,1.370673e-04,1.370989e-04,1.371420e-04,1.371485e-04,1.371772e-04,1.371799e-04,1.371860e-04,1.371834e-04,1.371757e-04,1.371545e-04,1.371475e-04,1.371021e-04,1.370955e-04,1.370404e-04,1.370083e-04,1.369633e-04,1.368950e-04,1.368717e-04,1.367662e-04,1.367572e-04,1.366476e-04,1.365967e-04,1.365167e-04,1.364152e-04,1.363742e-04,1.362207e-04,1.362144e-04,1.360569e-04,1.359955e-04,1.358834e-04,1.357602e-04,1.357008e-04,1.355097e-04,1.352453e-04,1.349682e-04,1.346795e-04,1.343804e-04,1.340719e-04,1.337549e-04,1.334303e-04,1.330991e-04,1.327620e-04,1.324198e-04,1.320733e-04,1.317230e-04,1.313697e-04,1.310140e-04,1.306563e-04,1.302974e-04,1.299375e-04,1.295773e-04,1.292171e-04,1.288574e-04,1.284984e-04,1.281407e-04,1.277845e-04,1.274300e-04
0.000000e+00,1.086136e-09,3.061627e-09,1.393474e-08,3.730512e-08,5.822594e-08,1.503174e-07,1.554940e-07,3.270293e-07,3.912154e-07,5.936938e-07,8.079656e-07,9.761862e-07,1.448103e-06,1.495115e-06,2.170172e-06,2.357348e-06,3.017621e-06,3.571284e-06,4.046618e-06,5.102526e-06,5.257185e-06,6.641882e-06,6.938744e-06,8.189255e-06,9.053928e-06,9.886442e-06,1.141819e-05,1.172022e-05,1.367722e-05,1.400086e-05,1.574379e-05,1.677059e-05,1.790601e-05,1.969511e-05,2.014968e-05,2.246048e-05,2.274162e-05,2.482423e-05,2.587745e-05,2.722701e-05,2.907100e-05,2.965548e-05,3.209700e-05,3.229253e-05,3.453979e-05,3.551480e-05,3.697304e-05,3.871355e-05,3.938699e-05,4.177294e-05,4.186768e-05,4.412323e-05,4.495931e-05,4.643127e-05,4.797368e-05,4.869140e-05,5.089893e-05,5.304998e-05,5.372587e-05,5.514148e-05,5.644764e-05,5.717101e-05,5.905940e-05,5.913679e-05,6.103758e-05,6.155804e-05,6.287263e-05,6.394193e-05,6.464157e-05,6.621061e-05,6.634441e-05,6.798145e-05,6.836460e-05,6.955325e-05,7.040524e-05,7.106058e-05,7.233446e-05,7.250440e-05,7.388579e-05,7.415468e-05,7.520597e-05,7.586871e-05,7.646626e-05,7.747962e-05,7.766803e-05,7.881273e-05,7.899068e-05,7.990183e-05,8.040530e-05,8.093686e-05,8.172697e-05,8.191933e-05,8.285078e-05,8.295920e-05,8.373276e-05,8.410556e-05,8.456680e-05,8.516955e-05,8.535442e-05,8.609713e-05,8.615465e-05,8.679642e-05,8.706431e-05,8.745376e-05,8.790188e-05,8.807059e-05,8.864833e-05,8.867064e-05,8.918836e-05,8.937380e-05,8.969205e-05,9.001447e-05,9.016071e-05,9.059566e-05,9.099815e-05,9.112030e-05,9.136942e-05,9.159121e-05,9.171068e-05,9.201112e-05,9.202308e-05,9.230776e-05,9.238266e-05,9.256584e-05,9.270836e-05,9.279838e-05,9.299066e-05,9.300642e-05,9.319098e-05,9.323189e-05,9.335304e-05,9.343432e-05,9.349355e-05,9.360009e-05,9.361342e-05,9.371355e-05,9.373128e-05,9.379480e-05,9.382987e-05,9.385801e-05,9.389775e-05,9.390398e-05,9.393350e-05,9.393674e-05,9.394731e-05,9.394858e-05,9.394616e-05,9.393493e-05,9.393074e-05,9.390173e-05,9.389737e-05,9.385980e-05,9.383742e-05,9.380557e-05,9.375651e-05,9.373966e-05,9.366265e-05,9.365603e-05,9.357512e-05,9.353729e-05,9.347762e-05,9.340153e-05,9.337066e-05,9.325476e-05,9.324995e-05,9.313041e-05,9.308367e-05,9.299809e-05,9.290378e-05,9.285823e-05,9.271129e-05,9.250719e-05,9.229238e-05,9.206775e-05,9.183414e-05,9.159232e-05,9.134304e-05,9.108701e-05,9.082491e-05,9.055736e-05,9.028496e-05,9.000827e-05,8.972784e-05,8.944417e-05,8.915773e-05,8.886897e-05,8.857830e-05,8.828614e-05,8.799285e-05,8.769877e-05,8.740425e-05,8.710958e-05,8.681506e-05,8.652096e-05,8.622752e-05
0.000000e+00,5.410845e-09,1.369967e-08,5.285256e-08,1.274799e-07,1.904739e-07,4.546921e-07,4.692848e-07,9.519720e-07,1.134372e-06,1.721239e-06,2.361901e-06,2.876838e-06,4.352173e-06,4.499930e-06,6.592828e-06,7.156874e-06,9.073167e-06,1.059120e-05,1.183483e-05,1.442887e-05,1.479182e-05,1.788365e-05,1.851421e-05,2.106737e-05,2.274798e-05,2.430985e-05,2.705842e-05,2.758317e-05,3.086217e-05,3.138575e-05,3.412347e-05,3.567614e-05,3.734522e-05,3.988045e-05,4.050714e-05,4.359096e-05,4.395499e-05,4.658068e-05,4.786272e-05,4.946260e-05,5.157378e-05,5.222552e-05,5.486068e-05,5.506577e-05,5.736167e-05,5.832348e-05,5.972426e-05,6.133828e-05,6.194618e-05,6.402693e-05,6.410723e-05,6.596751e-05,6.663225e-05,6.777037e-05,6.891917e-05,6.943855e-05,7.097604e-05,7.238758e-05,7.281349e-05,7.367827e-05,7.444342e-05,7.485359e-05,7.587857e-05,7.591916e-05,7.688070e-05,7.713208e-05,7.774395e-05,7.821707e-05,7.851456e-05,7.914645e-05,7.919805e-05,7.979983e-05,7.993268e-05,8.032510e-05,8.058769e-05,8.077883e-05,8.112275e-05,8.116582e-05,8.149060e-05,8.154848e-05,8.175751e-05,8.187479e-05,8.197062e-05,8.211088e-05,8.213379e-05,8.225067e-05,8.226531e-05,8.232469e-05,8.234594e-05,8.235906e-05,8.236004e-05,8.235680e-05,8.232074e-05,8.231427e-05,8.225355e-05,8.221476e-05,8.215769e-05,8.206710e-05,8.203548e-05,8.188910e-05,8.187641e-05,8.172057e-05,8.164739e-05,8.153178e-05,8.138430e-05,8.132449e-05,8.110035e-05,8.109106e-05,8.086088e-05,8.077120e-05,8.060752e-05,8.042798e-05,8.034159e-05,8.006434e-05,7.977690e-05,7.968295e-05,7.948037e-05,7.928627e-05,7.917573e-05,7.887650e-05,7.886390e-05,7.854577e-05,7.845567e-05,7.822211e-05,7.802558e-05,7.789369e-05,7.758791e-05,7.756118e-05,7.722523e-05,7.714416e-05,7.688644e-05,7.669567e-05,7.654535e-05,7.624369e-05,7.620247e-05,7.585829e-05,7.578933e-05,7.551322e-05,7.533358e-05,7.516770e-05,7.487737e-05,7.482208e-05,7.447671e-05,7.442149e-05,7.413191e-05,7.396670e-05,7.378798e-05,7.351364e-05,7.344518e-05,7.310377e-05,7.306291e-05,7.276398e-05,7.261504e-05,7.242601e-05,7.217049e-05,7.209006e-05,7.175630e-05,7.172970e-05,7.142489e-05,7.129302e-05,7.109598e-05,7.086079e-05,7.076971e-05,7.044619e-05,7.043330e-05,7.012553e-05,7.001081e-05,6.980783e-05,6.959353e-05,6.949318e-05,6.918165e-05,6.877535e-05,6.837475e-05,6.797998e-05,6.759113e-05,6.720827e-05,6.683148e-05,6.646078e-05,6.609622e-05,6.573781e-05,6.538556e-05,6.503947e-05,6.469951e-05,6.436567e-05,6.403793e-05,6.371623e-05,6.340054e-05,6.309081e-05,6.278699e-05,6.248902e-05,6.219684e-05,6.191038e-05,6.162958e-05,6.135435e-05,6.108464e-05
0.000000e+00,2.876988e-09,6.577272e-09,2.245000e-08,5.063265e-08,7.349563e-08,1.645521e-07,1.694139e-07,3.233429e-07,3.786996e-07,5.491713e-07,7.254284e-07,8.620083e-07,1.239834e-06,1.277122e-06,1.805732e-06,1.949821e-06,2.448000e-06,2.852476e-06,3.189676e-06,3.906395e-06,4.007815e-06,4.879402e-06,5.058390e-06,5.785554e-06,6.265414e-06,6.711629e-06,7.496413e-06,7.646076e-06,8.579369e-06,8.728027e-06,9.503330e-06,9.941378e-06,1.041079e-05,1.112062e-05,1.129546e-05,1.215186e-05,1.225250e-05,1.297535e-05,1.332625e-05,1.376213e-05,1.433367e-05,1.450922e-05,1.521447e-05,1.526904e-05,1.587646e-05,1.612895e-05,1.649446e-05,1.691211e-05,1.706837e-05,1.759862e-05,1.761893e-05,1.808608e-05,1.825132e-05,1.853199e-05,1.881222e-05,1.893783e-05,1.930535e-05,1.963641e-05,1.973497e-05,1.993297e-05,2.010560e-05,2.019706e-05,2.042191e-05,2.043070e-05,2.063590e-05,2.068853e-05,2.081462e-05,2.090994e-05,2.096876e-05,2.109044e-05,2.110016e-05,2.121054e-05,2.123410e-05,2.130158e-05,2.134471e-05,2.137485e-05,2.142576e-05,2.143178e-05,2.147373e-05,2.148044e-05,2.150198e-05,2.151165e-05,2.151771e-05,2.152204e-05,2.152201e-05,2.151588e-05,2.151400e-05,2.150028e-05,2.148967e-05,2.147604e-05,2.145097e-05,2.144396e-05,2.140478e-05,2.139963e-05,2.135916e-05,2.133721e-05,2.130773e-05,2.126510e-05,2.125105e-05,2.118964e-05,2.118454e-05,2.112399e-05,2.109665e-05,2.105454e-05,2.100241e-05,2.098169e-05,2.090581e-05,2.090271e-05,2.082724e-05,2.079836e-05,2.074630e-05,2.069005e-05,2.066327e-05,2.057842e-05,2.049199e-05,2.046404e-05,2.040420e-05,2.034740e-05,2.031526e-05,2.022896e-05,2.022535e-05,2.013465e-05,2.010913e-05,2.004331e-05,1.998826e-05,1.995148e-05,1.986668e-05,1.985929e-05,1.976687e-05,1.974466e-05,1.967432e-05,1.962248e-05,1.958176e-05,1.950035e-05,1.948926e-05,1.939693e-05,1.937849e-05,1.930483e-05,1.925706e-05,1.921305e-05,1.913624e-05,1.912164e-05,1.903067e-05,1.901616e-05,1.894019e-05,1.889695e-05,1.885026e-05,1.877873e-05,1.876091e-05,1.867219e-05,1.866159e-05,1.858414e-05,1.854562e-05,1.849680e-05,1.843090e-05,1.841018e-05,1.832433e-05,1.831749e-05,1.823926e-05,1.820546e-05,1.815500e-05,1.809484e-05,1.807156e-05,1.798897e-05,1.798569e-05,1.790724e-05,1.787803e-05,1.782638e-05,1.777190e-05,1.774641e-05,1.766733e-05,1.756433e-05,1.746292e-05,1.736312e-05,1.726492e-05,1.716833e-05,1.707336e-05,1.698000e-05,1.688826e-05,1.679812e-05,1.670957e-05,1.662262e-05,1.653724e-05,1.645342e-05,1.637116e-05,1.629044e-05,1.621123e-05,1.613353e-05,1.605732e-05,1.598257e-05,1.590928e-05,1.583741e-05,1.576696e-05,1.569790e-05,1.563020e-05
0.000000e+00,1.751242e-09,3.995281e-09,1.364716e-08,3.085137e-08,4.483811e-08,1.005694e-07,1.035417e-07,1.972462e-07,2.307126e-07,3.328977e-07,4.371484e-07,5.169990e-07,7.342570e-07,7.554548e-07,1.052865e-06,1.133307e-06,1.411160e-06,1.637861e-06,1.828481e-06,2.240494e-06,2.299660e-06,2.817909e-06,2.926583e-06,3.376163e-06,3.679980e-06,3.967572e-06,4.485153e-06,4.585551e-06,5.223745e-06,5.327318e-06,5.876017e-06,6.192371e-06,6.536493e-06,7.067045e-06,7.199633e-06,7.860303e-06,7.939190e-06,8.513841e-06,8.798053e-06,9.156110e-06,9.634466e-06,9.783516e-06,1.039302e-05,1.044093e-05,1.098213e-05,1.121160e-05,1.154886e-05,1.194218e-05,1.209170e-05,1.260958e-05,1.262977e-05,1.310182e-05,1.327266e-05,1.356805e-05,1.387018e-05,1.400820e-05,1.442244e-05,1.481114e-05,1.493021e-05,1.517482e-05,1.539474e-05,1.551414e-05,1.581766e-05,1.582985e-05,1.612277e-05,1.620082e-05,1.639379e-05,1.654626e-05,1.664381e-05,1.685608e-05,1.687376e-05,1.708458e-05,1.713243e-05,1.727719e-05,1.737745e-05,1.745253e-05,1.759324e-05,1.761148e-05,1.775493e-05,1.778183e-05,1.788373e-05,1.794520e-05,1.799871e-05,1.808518e-05,1.810065e-05,1.819031e-05,1.820357e-05,1.826843e-05,1.830203e-05,1.833569e-05,1.838214e-05,1.839277e-05,1.844028e-05,1.844537e-05,1.847884e-05,1.849312e-05,1.850901e-05,1.852666e-05,1.853133e-05,1.854631e-05,1.854721e-05,1.855445e-05,1.855589e-05,1.855619e-05,1.855374e-05,1.855198e-05,1.854223e-05,1.854173e-05,1.852733e-05,1.852077e-05,1.850763e-05,1.849169e-05,1.848350e-05,1.845525e-05,1.842320e-05,1.841219e-05,1.838763e-05,1.836315e-05,1.834882e-05,1.830875e-05,1.830703e-05,1.826249e-05,1.824956e-05,1.821544e-05,1.818609e-05,1.816609e-05,1.811883e-05,1.811464e-05,1.806129e-05,1.804822e-05,1.800621e-05,1.797467e-05,1.794957e-05,1.789856e-05,1.789152e-05,1.783222e-05,1.782023e-05,1.777181e-05,1.774000e-05,1.771041e-05,1.765816e-05,1.764814e-05,1.758512e-05,1.757498e-05,1.752146e-05,1.749071e-05,1.745726e-05,1.740557e-05,1.739261e-05,1.732760e-05,1.731977e-05,1.726230e-05,1.723350e-05,1.719681e-05,1.714694e-05,1.713118e-05,1.706548e-05,1.706023e-05,1.699979e-05,1.697352e-05,1.693415e-05,1.688695e-05,1.686861e-05,1.680324e-05,1.680063e-05,1.673807e-05,1.671466e-05,1.667314e-05,1.662916e-05,1.660851e-05,1.654420e-05,1.645986e-05,1.637622e-05,1.629334e-05,1.621128e-05,1.613008e-05,1.604979e-05,1.597046e-05,1.589212e-05,1.581479e-05,1.573850e-05,1.566328e-05,1.558914e-05,1.551610e-05,1.544417e-05,1.537336e-05,1.530368e-05,1.523513e-05,1.516772e-05,1.510144e-05,1.503629e-05,1.497228e-05,1.490939e-05,1.484762e-05,1.478698e-05
0.000000e+00,2.996304e-09,6.855614e-09,2.355979e-08,5.360247e-08,7.822366e-08,1.777855e-07,1.831556e-07,3.552819e-07,4.180034e-07,6.131188e-07,8.169144e-07,9.754479e-07,1.412480e-06,1.455297e-06,2.053907e-06,2.214498e-06,2.763895e-06,3.206697e-06,3.576118e-06,4.368860e-06,4.482310e-06,5.474828e-06,5.683018e-06,6.545949e-06,7.131288e-06,7.687441e-06,8.694209e-06,8.890438e-06,1.014552e-05,1.035051e-05,1.144290e-05,1.207777e-05,1.277270e-05,1.385330e-05,1.412514e-05,1.549077e-05,1.565510e-05,1.686071e-05,1.746270e-05,1.822673e-05,1.925770e-05,1.958142e-05,2.091817e-05,2.102416e-05,2.223126e-05,2.274875e-05,2.351580e-05,2.442064e-05,2.476765e-05,2.598347e-05,2.603131e-05,2.716064e-05,2.757456e-05,2.829719e-05,2.904609e-05,2.939168e-05,3.044319e-05,3.145119e-05,3.176452e-05,3.241552e-05,3.300982e-05,3.333631e-05,3.417967e-05,3.421395e-05,3.504906e-05,3.527537e-05,3.584240e-05,3.629872e-05,3.659486e-05,3.725189e-05,3.730746e-05,3.798127e-05,3.813734e-05,3.861744e-05,3.895770e-05,3.921717e-05,3.971573e-05,3.978165e-05,4.031212e-05,4.041425e-05,4.080982e-05,4.105607e-05,4.127595e-05,4.164402e-05,4.171176e-05,4.211842e-05,4.218086e-05,4.249713e-05,4.266932e-05,4.284904e-05,4.311204e-05,4.317528e-05,4.347696e-05,4.351156e-05,4.375514e-05,4.387036e-05,4.401086e-05,4.419081e-05,4.424514e-05,4.445895e-05,4.447520e-05,4.465324e-05,4.472570e-05,4.482893e-05,4.494440e-05,4.498689e-05,4.512797e-05,4.513327e-05,4.525300e-05,4.529423e-05,4.536276e-05,4.542907e-05,4.545801e-05,4.553949e-05,4.560789e-05,4.562713e-05,4.566390e-05,4.569353e-05,4.570814e-05,4.574014e-05,4.574126e-05,4.576384e-05,4.576835e-05,4.577645e-05,4.577947e-05,4.577965e-05,4.577473e-05,4.577396e-05,4.575987e-05,4.575529e-05,4.573787e-05,4.572227e-05,4.570843e-05,4.567671e-05,4.567198e-05,4.562893e-05,4.561957e-05,4.557970e-05,4.555179e-05,4.552468e-05,4.547424e-05,4.546421e-05,4.539866e-05,4.538773e-05,4.532837e-05,4.529303e-05,4.525364e-05,4.519088e-05,4.517479e-05,4.509211e-05,4.508195e-05,4.500587e-05,4.496687e-05,4.491634e-05,4.484625e-05,4.482377e-05,4.472839e-05,4.472065e-05,4.463044e-05,4.459059e-05,4.453014e-05,4.445657e-05,4.442768e-05,4.432327e-05,4.431905e-05,4.421709e-05,4.417847e-05,4.410932e-05,4.403521e-05,4.400013e-05,4.388967e-05,4.374219e-05,4.359310e-05,4.344271e-05,4.329130e-05,4.313913e-05,4.298645e-05,4.283348e-05,4.268044e-05,4.252753e-05,4.237492e-05,4.222278e-05,4.207126e-05,4.192051e-05,4.177065e-05,4.162180e-05,4.147408e-05,4.132758e-05,4.118238e-05,4.103858e-05,4.089625e-05,4.075545e-05,4.061624e-05,4.047868e-05,4.034281e-05
0.000000e+00,3.265900e-09,7.464112e-09,2.559609e-08,5.810128e-08,8.465818e-08,1.913988e-07,1.971287e-07,3.794817e-07,4.453613e-07,6.487514e-07,8.594202e-07,1.022687e-06,1.473486e-06,1.517868e-06,2.144589e-06,2.314737e-06,2.902226e-06,3.380336e-06,3.781304e-06,4.645463e-06,4.769380e-06,5.854416e-06,6.082068e-06,7.025287e-06,7.664521e-06,8.271342e-06,9.368389e-06,9.581995e-06,1.094655e-05,1.116916e-05,1.235423e-05,1.304206e-05,1.379427e-05,1.496252e-05,1.525615e-05,1.672976e-05,1.690693e-05,1.820560e-05,1.885337e-05,1.967485e-05,2.078215e-05,2.112956e-05,2.256265e-05,2.267617e-05,2.396796e-05,2.452110e-05,2.534023e-05,2.630531e-05,2.667507e-05,2.796892e-05,2.801978e-05,2.921895e-05,2.965781e-05,3.042306e-05,3.121483e-05,3.157973e-05,3.268795e-05,3.374718e-05,3.407577e-05,3.475734e-05,3.537819e-05,3.571866e-05,3.659602e-05,3.663162e-05,3.749698e-05,3.773088e-05,3.831569e-05,3.878495e-05,3.908881e-05,3.976085e-05,3.981754e-05,4.050318e-05,4.066148e-05,4.114710e-05,4.148998e-05,4.175068e-05,4.224961e-05,4.231537e-05,4.284261e-05,4.294369e-05,4.333385e-05,4.357554e-05,4.379052e-05,4.414846e-05,4.421406e-05,4.460587e-05,4.466571e-05,4.496733e-05,4.513045e-05,4.529979e-05,4.554575e-05,4.560455e-05,4.588291e-05,4.591459e-05,4.613609e-05,4.623984e-05,4.636532e-05,4.652422e-05,4.657174e-05,4.675649e-05,4.677037e-05,4.692065e-05,4.698079e-05,4.706527e-05,4.715786e-05,4.719135e-05,4.729987e-05,4.730386e-05,4.739176e-05,4.742094e-05,4.746790e-05,4.751113e-05,4.752917e-05,4.757637e-05,4.761031e-05,4.761850e-05,4.763174e-05,4.763922e-05,4.764138e-05,4.764018e-05,4.763992e-05,4.762803e-05,4.762292e-05,4.760633e-05,4.758886e-05,4.757544e-05,4.753939e-05,4.753593e-05,4.748835e-05,4.747578e-05,4.743322e-05,4.739924e-05,4.737105e-05,4.731089e-05,4.730231e-05,4.722747e-05,4.721180e-05,4.714695e-05,4.710297e-05,4.706116e-05,4.698531e-05,4.697050e-05,4.687534e-05,4.685972e-05,4.677603e-05,4.672700e-05,4.667292e-05,4.658791e-05,4.656632e-05,4.645654e-05,4.644317e-05,4.634387e-05,4.629344e-05,4.622857e-05,4.613935e-05,4.611091e-05,4.599113e-05,4.598147e-05,4.586947e-05,4.582033e-05,4.574615e-05,4.565644e-05,4.562137e-05,4.549533e-05,4.549026e-05,4.536821e-05,4.532222e-05,4.524020e-05,4.515273e-05,4.511146e-05,4.498214e-05,4.481081e-05,4.463904e-05,4.446713e-05,4.429535e-05,4.412394e-05,4.395313e-05,4.378312e-05,4.361410e-05,4.344626e-05,4.327973e-05,4.311467e-05,4.295120e-05,4.278945e-05,4.262950e-05,4.247147e-05,4.231542e-05,4.216143e-05,4.200957e-05,4.185989e-05,4.171244e-05,4.156726e-05,4.142438e-05,4.128383e-05,4.114563e-05
0.000000e+00,5.136871e-08,1.522942e-07,7.635477e-07,2.213332e-06,3.597133e-06,1.020953e-05,1.059895e-05,2.417169e-05,2.950092e-05,4.691778e-05,6.609036e-05,8.153832e-05,1.262236e-04,1.307628e-04,1.972663e-04,2.160793e-04,2.835057e-04,3.411824e-04,3.914491e-04,5.053909e-04,5.223291e-04,6.765867e-04,7.102329e-04,8.539863e-04,9.551458e-04,1.053772e-03,1.238059e-03,1.274792e-03,1.515587e-03,1.555838e-03,1.774446e-03,1.904559e-03,2.049455e-03,2.279701e-03,2.338540e-03,2.639509e-03,2.676317e-03,2.950099e-03,3.089214e-03,3.268013e-03,3.513122e-03,3.590972e-03,3.916752e-03,3.942872e-03,4.243220e-03,4.373545e-03,4.568367e-03,4.800605e-03,4.890334e-03,5.207434e-03,5.219995e-03,5.518157e-03,5.628198e-03,5.821188e-03,6.022271e-03,6.115398e-03,6.399852e-03,6.673797e-03,6.759141e-03,6.936651e-03,7.098852e-03,7.187983e-03,7.418160e-03,7.427512e-03,7.655089e-03,7.716662e-03,7.870679e-03,7.994301e-03,8.074345e-03,8.251318e-03,8.266241e-03,8.446592e-03,8.488189e-03,8.615683e-03,8.705576e-03,8.773843e-03,8.904275e-03,8.921442e-03,9.058876e-03,9.085180e-03,9.186562e-03,9.249247e-03,9.304927e-03,9.397468e-03,9.414405e-03,9.515433e-03,9.530843e-03,9.608443e-03,9.650364e-03,9.693858e-03,9.757003e-03,9.772096e-03,9.843559e-03,9.851698e-03,9.908638e-03,9.935347e-03,9.967706e-03,1.000880e-02,1.002112e-02,1.006923e-02,1.007286e-02,1.011236e-02,1.012829e-02,1.015082e-02,1.017578e-02,1.018489e-02,1.021487e-02,1.021599e-02,1.024101e-02,1.024953e-02,1.026356e-02,1.027696e-02,1.028275e-02,1.029880e-02,1.031191e-02,1.031552e-02,1.032229e-02,1.032757e-02,1.033010e-02,1.033535e-02,1.033552e-02,1.033871e-02,1.033923e-02,1.033982e-02,1.033955e-02,1.033899e-02,1.033662e-02,1.033635e-02,1.033201e-02,1.033073e-02,1.032611e-02,1.032215e-02,1.031873e-02,1.031111e-02,1.030999e-02,1.029998e-02,1.029784e-02,1.028879e-02,1.028253e-02,1.027650e-02,1.026538e-02,1.026318e-02,1.024892e-02,1.024655e-02,1.023378e-02,1.022622e-02,1.021782e-02,1.020451e-02,1.020110e-02,1.018369e-02,1.018156e-02,1.016563e-02,1.015750e-02,1.014698e-02,1.013244e-02,1.012778e-02,1.010807e-02,1.010648e-02,1.008791e-02,1.007972e-02,1.006731e-02,1.005225e-02,1.004634e-02,1.002501e-02,1.002415e-02,1.000336e-02,9.995490e-03,9.981418e-03,9.966350e-03,9.959220e-03,9.936789e-03,9.906868e-03,9.876642e-03,9.846161e-03,9.815474e-03,9.784624e-03,9.753651e-03,9.722592e-03,9.691483e-03,9.660356e-03,9.629239e-03,9.598162e-03,9.567148e-03,9.536221e-03,9.505404e-03,9.474716e-03,9.444176e-03,9.413801e-03,9.383605e-03,9.353605e-03,9.323812e-03,9.294239e-03,9.264896e-03,9.235795e-03,9.206944e-03
0.000000e+00,3.977099e-09,1.076218e-08,4.576259e-08,1.169527e-07,1.788376e-07,4.436256e-07,4.583159e-07,9.407649e-07,1.120321e-06,1.686594e-06,2.287689e-06,2.761619e-06,4.100747e-06,4.234817e-06,6.167632e-06,6.704583e-06,8.594925e-06,1.017020e-05,1.151282e-05,1.446022e-05,1.488794e-05,1.867647e-05,1.947997e-05,2.283589e-05,2.513242e-05,2.732761e-05,3.133124e-05,3.211586e-05,3.716627e-05,3.799640e-05,4.244500e-05,4.505004e-05,4.791859e-05,5.241565e-05,5.355418e-05,5.931991e-05,6.001908e-05,6.518538e-05,6.779034e-05,7.112202e-05,7.566512e-05,7.710341e-05,8.310549e-05,8.358588e-05,8.910660e-05,9.150240e-05,9.508755e-05,9.937176e-05,1.010314e-04,1.069234e-04,1.071579e-04,1.127510e-04,1.148311e-04,1.185035e-04,1.223676e-04,1.241718e-04,1.297483e-04,1.352268e-04,1.369584e-04,1.406024e-04,1.439867e-04,1.458708e-04,1.508249e-04,1.510291e-04,1.560747e-04,1.574670e-04,1.610059e-04,1.639092e-04,1.658215e-04,1.701491e-04,1.705207e-04,1.751033e-04,1.761858e-04,1.795693e-04,1.820194e-04,1.839189e-04,1.876508e-04,1.881528e-04,1.922718e-04,1.930819e-04,1.962768e-04,1.983147e-04,2.001689e-04,2.033520e-04,2.039495e-04,2.076199e-04,2.081970e-04,2.111816e-04,2.128530e-04,2.146361e-04,2.173237e-04,2.179851e-04,2.212303e-04,2.216128e-04,2.243733e-04,2.257244e-04,2.274161e-04,2.296625e-04,2.303602e-04,2.332077e-04,2.334314e-04,2.359603e-04,2.370352e-04,2.386199e-04,2.404783e-04,2.411884e-04,2.436676e-04,2.437649e-04,2.460594e-04,2.468994e-04,2.483656e-04,2.498859e-04,2.505882e-04,2.527289e-04,2.547897e-04,2.554326e-04,2.567724e-04,2.580011e-04,2.586787e-04,2.604387e-04,2.605105e-04,2.622696e-04,2.627493e-04,2.639577e-04,2.649372e-04,2.655766e-04,2.670062e-04,2.671279e-04,2.686134e-04,2.689604e-04,2.700349e-04,2.708035e-04,2.713938e-04,2.725393e-04,2.726919e-04,2.739307e-04,2.741715e-04,2.751119e-04,2.757038e-04,2.762369e-04,2.771397e-04,2.773073e-04,2.783247e-04,2.784826e-04,2.792904e-04,2.797361e-04,2.802060e-04,2.809033e-04,2.810728e-04,2.818923e-04,2.819875e-04,2.826657e-04,2.829918e-04,2.833945e-04,2.839194e-04,2.840800e-04,2.847234e-04,2.847731e-04,2.853260e-04,2.855559e-04,2.858891e-04,2.862707e-04,2.864138e-04,2.869014e-04,2.869201e-04,2.873529e-04,2.875069e-04,2.877696e-04,2.880336e-04,2.881525e-04,2.885027e-04,2.889167e-04,2.892780e-04,2.895888e-04,2.898514e-04,2.900678e-04,2.902403e-04,2.903709e-04,2.904614e-04,2.905137e-04,2.905298e-04,2.905113e-04,2.904600e-04,2.903775e-04,2.902654e-04,2.901252e-04,2.899585e-04,2.897666e-04,2.895509e-04,2.893127e-04,2.890534e-04,2.887742e-04,2.884762e-04,2.881606e-04,2.878284e-04
0.000000e+00,3.835410e-10,1.131621e-09,5.626747e-09,1.623501e-08,2.635969e-08,7.513366e-08,7.803171e-08,1.810052e-07,2.224879e-07,3.620525e-07,5.223250e-07,6.560823e-07,1.062695e-06,1.105398e-06,1.752119e-06,1.940248e-06,2.623498e-06,3.211239e-06,3.721077e-06,4.857251e-06,5.023239e-06,6.495730e-06,6.807349e-06,8.101009e-06,8.976285e-06,9.803554e-06,1.128576e-05,1.157197e-05,1.337937e-05,1.367060e-05,1.520304e-05,1.607845e-05,1.702389e-05,1.846768e-05,1.882590e-05,2.059572e-05,2.080538e-05,2.232226e-05,2.306583e-05,2.399648e-05,2.522939e-05,2.561117e-05,2.716075e-05,2.728177e-05,2.864110e-05,2.921319e-05,3.004943e-05,3.101784e-05,3.138405e-05,3.264429e-05,3.269316e-05,3.383033e-05,3.423928e-05,3.494303e-05,3.565849e-05,3.598384e-05,3.695467e-05,3.785779e-05,3.813290e-05,3.869573e-05,3.919906e-05,3.947121e-05,4.015952e-05,4.018705e-05,4.084615e-05,4.102092e-05,4.145142e-05,4.178995e-05,4.200575e-05,4.247320e-05,4.251200e-05,4.297292e-05,4.307710e-05,4.339121e-05,4.360779e-05,4.376944e-05,4.407111e-05,4.411009e-05,4.441552e-05,4.447258e-05,4.468798e-05,4.481734e-05,4.492960e-05,4.511020e-05,4.514239e-05,4.532827e-05,4.535563e-05,4.548902e-05,4.555776e-05,4.562634e-05,4.572039e-05,4.574181e-05,4.583693e-05,4.584704e-05,4.591310e-05,4.594096e-05,4.597164e-05,4.600509e-05,4.601377e-05,4.604066e-05,4.604218e-05,4.605338e-05,4.605473e-05,4.605295e-05,4.604503e-05,4.604031e-05,4.601636e-05,4.601517e-05,4.598191e-05,4.596710e-05,4.593776e-05,4.590257e-05,4.588463e-05,4.582319e-05,4.575409e-05,4.573045e-05,4.567791e-05,4.562571e-05,4.559522e-05,4.551020e-05,4.550654e-05,4.541235e-05,4.538505e-05,4.531311e-05,4.525132e-05,4.520924e-05,4.510994e-05,4.510115e-05,4.498920e-05,4.496180e-05,4.487375e-05,4.480769e-05,4.475512e-05,4.464834e-05,4.463361e-05,4.450952e-05,4.448442e-05,4.438311e-05,4.431654e-05,4.425463e-05,4.414527e-05,4.412431e-05,4.399237e-05,4.397112e-05,4.385902e-05,4.379456e-05,4.372445e-05,4.361603e-05,4.358883e-05,4.345233e-05,4.343590e-05,4.331512e-05,4.325455e-05,4.317733e-05,4.307231e-05,4.303910e-05,4.290057e-05,4.288947e-05,4.276184e-05,4.270632e-05,4.262303e-05,4.252310e-05,4.248425e-05,4.234559e-05,4.234005e-05,4.220714e-05,4.215736e-05,4.206898e-05,4.197524e-05,4.193120e-05,4.179386e-05,4.161338e-05,4.143394e-05,4.125566e-05,4.107867e-05,4.090308e-05,4.072898e-05,4.055645e-05,4.038558e-05,4.021644e-05,4.004908e-05,3.988356e-05,3.971993e-05,3.955823e-05,3.939850e-05,3.924076e-05,3.908505e-05,3.893139e-05,3.877979e-05,3.863028e-05,3.848285e-05,3.833753e-05,3.819431e-05,3.805320e-05,3.791420e-05
0.000000e+00,8.168398e-10,2.127502e-09,8.458150e-09,2.052670e-08,3.059030e-08,7.141829e-08,7.361189e-08,1.431284e-07,1.680738e-07,2.445349e-07,3.229799e-07,3.833676e-07,5.490412e-07,5.653156e-07,7.957656e-07,8.587868e-07,1.078724e-06,1.260624e-06,1.415034e-06,1.751779e-06,1.800299e-06,2.223858e-06,2.311856e-06,2.670336e-06,2.906055e-06,3.123361e-06,3.498721e-06,3.569097e-06,3.997780e-06,4.064345e-06,4.403490e-06,4.589094e-06,4.783177e-06,5.067359e-06,5.135666e-06,5.460911e-06,5.498134e-06,5.759529e-06,5.882732e-06,6.032515e-06,6.223584e-06,6.281084e-06,6.506578e-06,6.523662e-06,6.710408e-06,6.786198e-06,6.894024e-06,7.014528e-06,7.058881e-06,7.206420e-06,7.211982e-06,7.338049e-06,7.381804e-06,7.455126e-06,7.527090e-06,7.558946e-06,7.650722e-06,7.731575e-06,7.755314e-06,7.802552e-06,7.843247e-06,7.864624e-06,7.916655e-06,7.918673e-06,7.965492e-06,7.977405e-06,8.005799e-06,8.027133e-06,8.040248e-06,8.067268e-06,8.069420e-06,8.093830e-06,8.099033e-06,8.113943e-06,8.123484e-06,8.130169e-06,8.141527e-06,8.142878e-06,8.152396e-06,8.153943e-06,8.159019e-06,8.161407e-06,8.163008e-06,8.164486e-06,8.164585e-06,8.163953e-06,8.163660e-06,8.161296e-06,8.159351e-06,8.156779e-06,8.151923e-06,8.150546e-06,8.142731e-06,8.141693e-06,8.133454e-06,8.128938e-06,8.122825e-06,8.113904e-06,8.110943e-06,8.097899e-06,8.096808e-06,8.083776e-06,8.077842e-06,8.068650e-06,8.057179e-06,8.052593e-06,8.035669e-06,8.034975e-06,8.017940e-06,8.011372e-06,7.999462e-06,7.986496e-06,7.980287e-06,7.960463e-06,7.940036e-06,7.933380e-06,7.919050e-06,7.905344e-06,7.897544e-06,7.876444e-06,7.875556e-06,7.853122e-06,7.846765e-06,7.830275e-06,7.816381e-06,7.807046e-06,7.785364e-06,7.783465e-06,7.759560e-06,7.753778e-06,7.735359e-06,7.721685e-06,7.710884e-06,7.689141e-06,7.686162e-06,7.661213e-06,7.656198e-06,7.636060e-06,7.622906e-06,7.610723e-06,7.589310e-06,7.585220e-06,7.559570e-06,7.555453e-06,7.533790e-06,7.521375e-06,7.507897e-06,7.487111e-06,7.481906e-06,7.455832e-06,7.452698e-06,7.429689e-06,7.418167e-06,7.403490e-06,7.383549e-06,7.377248e-06,7.350975e-06,7.348872e-06,7.324683e-06,7.314163e-06,7.298381e-06,7.279445e-06,7.272082e-06,7.245793e-06,7.244742e-06,7.219525e-06,7.210076e-06,7.193287e-06,7.175466e-06,7.167086e-06,7.140932e-06,7.106490e-06,7.072158e-06,7.037950e-06,7.003881e-06,6.969963e-06,6.936210e-06,6.902632e-06,6.869240e-06,6.836044e-06,6.803052e-06,6.770274e-06,6.737717e-06,6.705388e-06,6.673293e-06,6.641439e-06,6.609832e-06,6.578475e-06,6.547374e-06,6.516533e-06,6.485955e-06,6.455644e-06,6.425603e-06,6.395834e-06,6.366339e-06
0.000000e+00,1.284611e-09,2.951937e-09,1.015289e-08,2.301802e-08,3.349103e-08,7.533202e-08,7.756871e-08,1.483755e-07,1.738069e-07,2.519277e-07,3.323173e-07,3.943017e-07,5.641741e-07,5.808034e-07,8.139354e-07,8.767173e-07,1.092016e-06,1.265744e-06,1.410561e-06,1.720350e-06,1.764541e-06,2.149326e-06,2.229603e-06,2.560677e-06,2.783722e-06,2.994513e-06,3.373331e-06,3.446757e-06,3.913289e-06,3.988983e-06,4.389965e-06,4.621167e-06,4.872690e-06,5.260551e-06,5.357495e-06,5.840626e-06,5.898322e-06,6.318617e-06,6.526486e-06,6.788342e-06,7.138100e-06,7.247055e-06,7.692410e-06,7.727401e-06,8.122468e-06,8.289848e-06,8.535680e-06,8.822088e-06,8.930870e-06,9.307203e-06,9.321856e-06,9.664154e-06,9.787854e-06,1.000147e-05,1.021960e-05,1.031912e-05,1.061728e-05,1.089630e-05,1.098162e-05,1.115664e-05,1.131371e-05,1.139887e-05,1.161497e-05,1.162363e-05,1.183164e-05,1.188698e-05,1.202362e-05,1.213144e-05,1.220035e-05,1.235013e-05,1.236259e-05,1.251110e-05,1.254479e-05,1.264666e-05,1.271718e-05,1.276998e-05,1.286897e-05,1.288181e-05,1.298282e-05,1.300178e-05,1.307369e-05,1.311714e-05,1.315504e-05,1.321647e-05,1.322749e-05,1.329160e-05,1.330113e-05,1.334793e-05,1.337235e-05,1.339698e-05,1.343131e-05,1.343924e-05,1.347516e-05,1.347906e-05,1.350517e-05,1.351660e-05,1.352967e-05,1.354484e-05,1.354904e-05,1.356363e-05,1.356460e-05,1.357378e-05,1.357666e-05,1.357979e-05,1.358172e-05,1.358195e-05,1.358054e-05,1.358041e-05,1.357581e-05,1.357334e-05,1.356799e-05,1.356103e-05,1.355731e-05,1.354398e-05,1.352819e-05,1.352265e-05,1.351013e-05,1.349745e-05,1.348996e-05,1.346876e-05,1.346784e-05,1.344392e-05,1.343692e-05,1.341834e-05,1.340226e-05,1.339124e-05,1.336506e-05,1.336273e-05,1.333292e-05,1.332559e-05,1.330193e-05,1.328410e-05,1.326986e-05,1.324081e-05,1.323679e-05,1.320282e-05,1.319593e-05,1.316803e-05,1.314964e-05,1.313250e-05,1.310213e-05,1.309629e-05,1.305948e-05,1.305354e-05,1.302213e-05,1.300402e-05,1.298429e-05,1.295372e-05,1.294603e-05,1.290740e-05,1.290274e-05,1.286845e-05,1.285121e-05,1.282921e-05,1.279923e-05,1.278974e-05,1.275008e-05,1.274690e-05,1.271025e-05,1.269429e-05,1.267031e-05,1.264149e-05,1.263028e-05,1.259019e-05,1.258858e-05,1.255007e-05,1.253562e-05,1.250995e-05,1.248268e-05,1.246985e-05,1.242980e-05,1.237705e-05,1.232447e-05,1.227211e-05,1.221999e-05,1.216817e-05,1.211667e-05,1.206553e-05,1.201476e-05,1.196440e-05,1.191447e-05,1.186498e-05,1.181597e-05,1.176743e-05,1.171939e-05,1.167186e-05,1.162486e-05,1.157838e-05,1.153245e-05,1.148706e-05,1.144223e-05,1.139795e-05,1.135424e-05,1.131110e-05,1.126853e-05
0.000000e+00,8.553423e-09,1.954546e-08,6.703788e-08,1.525917e-07,2.230356e-07,5.119220e-07,5.277008e-07,1.044301e-06,1.237593e-06,1.854249e-06,2.518903e-06,3.046584e-06,4.526529e-06,4.672346e-06,6.702788e-06,7.241845e-06,9.060270e-06,1.049511e-05,1.167153e-05,1.413758e-05,1.448449e-05,1.746337e-05,1.807660e-05,2.058125e-05,2.224972e-05,2.381496e-05,2.660460e-05,2.714237e-05,3.054108e-05,3.108996e-05,3.398813e-05,3.565303e-05,3.746012e-05,4.023981e-05,4.093347e-05,4.438508e-05,4.479674e-05,4.779273e-05,4.927275e-05,5.113562e-05,5.362107e-05,5.439462e-05,5.755265e-05,5.780048e-05,6.059511e-05,6.177695e-05,6.350991e-05,6.552393e-05,6.628725e-05,6.891960e-05,6.902180e-05,7.140169e-05,7.225777e-05,7.373027e-05,7.522520e-05,7.590388e-05,7.792266e-05,7.978816e-05,8.035316e-05,8.150310e-05,8.252332e-05,8.307120e-05,8.444273e-05,8.449710e-05,8.578579e-05,8.612274e-05,8.694261e-05,8.757589e-05,8.797354e-05,8.881602e-05,8.888464e-05,8.968206e-05,8.985722e-05,9.037205e-05,9.071382e-05,9.096077e-05,9.139989e-05,9.145428e-05,9.185848e-05,9.192912e-05,9.217913e-05,9.231471e-05,9.242180e-05,9.256929e-05,9.259182e-05,9.269427e-05,9.270472e-05,9.273400e-05,9.273216e-05,9.271562e-05,9.266202e-05,9.264349e-05,9.252174e-05,9.250398e-05,9.235425e-05,9.226702e-05,9.214470e-05,9.195945e-05,9.189655e-05,9.161301e-05,9.158890e-05,9.129714e-05,9.116237e-05,9.095175e-05,9.068629e-05,9.057950e-05,9.018287e-05,9.016653e-05,8.976418e-05,8.960847e-05,8.932559e-05,8.901702e-05,8.886911e-05,8.839662e-05,8.790986e-05,8.775135e-05,8.741045e-05,8.708489e-05,8.689989e-05,8.640059e-05,8.637961e-05,8.585088e-05,8.570149e-05,8.531492e-05,8.499034e-05,8.477285e-05,8.426964e-05,8.422570e-05,8.367443e-05,8.354162e-05,8.311993e-05,8.280831e-05,8.256302e-05,8.207154e-05,8.200445e-05,8.144492e-05,8.133296e-05,8.088508e-05,8.059404e-05,8.032552e-05,7.985611e-05,7.976678e-05,7.920937e-05,7.912034e-05,7.865374e-05,7.838780e-05,7.810032e-05,7.765943e-05,7.754949e-05,7.700159e-05,7.693606e-05,7.645696e-05,7.621843e-05,7.591588e-05,7.550720e-05,7.537862e-05,7.484541e-05,7.480293e-05,7.431647e-05,7.410613e-05,7.379199e-05,7.341723e-05,7.327215e-05,7.275711e-05,7.273661e-05,7.224699e-05,7.206458e-05,7.174193e-05,7.140143e-05,7.124203e-05,7.074737e-05,7.010260e-05,6.946726e-05,6.884148e-05,6.822533e-05,6.761888e-05,6.702218e-05,6.643522e-05,6.585802e-05,6.529054e-05,6.473274e-05,6.418459e-05,6.364600e-05,6.311691e-05,6.259723e-05,6.208687e-05,6.158572e-05,6.109367e-05,6.061062e-05,6.013644e-05,5.967101e-05,5.921420e-05,5.876588e-05,5.832592e-05,5.789419e-05
0.000000e+00,9.517310e-10,2.800576e-09,1.384357e-08,3.970954e-08,6.425100e-08,1.813379e-07,1.882510e-07,4.317167e-07,5.288540e-07,8.527609e-07,1.220447e-06,1.524598e-06,2.438085e-06,2.533245e-06,3.961292e-06,4.372933e-06,5.856808e-06,7.121129e-06,8.209680e-06,1.060970e-05,1.095741e-05,1.400988e-05,1.464851e-05,1.727219e-05,1.902218e-05,2.065746e-05,2.354168e-05,2.409185e-05,2.751508e-05,2.805840e-05,3.087912e-05,3.246143e-05,3.414632e-05,3.667060e-05,3.728766e-05,4.028125e-05,4.062974e-05,4.311120e-05,4.430157e-05,4.576664e-05,4.766386e-05,4.824097e-05,5.053124e-05,5.070649e-05,5.263754e-05,5.342906e-05,5.456248e-05,5.583869e-05,5.631074e-05,5.788872e-05,5.794840e-05,5.930408e-05,5.977543e-05,6.056537e-05,6.133969e-05,6.168174e-05,6.266268e-05,6.351777e-05,6.376635e-05,6.425641e-05,6.467234e-05,6.488791e-05,6.540165e-05,6.542121e-05,6.586482e-05,6.597406e-05,6.622678e-05,6.640792e-05,6.651463e-05,6.672001e-05,6.673536e-05,6.689544e-05,6.692551e-05,6.700085e-05,6.703806e-05,6.705707e-05,6.706983e-05,6.706909e-05,6.704147e-05,6.703156e-05,6.697834e-05,6.693273e-05,6.688344e-05,6.678166e-05,6.676016e-05,6.661159e-05,6.658566e-05,6.644049e-05,6.635110e-05,6.624936e-05,6.608355e-05,6.604045e-05,6.581579e-05,6.578787e-05,6.557722e-05,6.546827e-05,6.532639e-05,6.512847e-05,6.506477e-05,6.479373e-05,6.477167e-05,6.451446e-05,6.440070e-05,6.422807e-05,6.401801e-05,6.393554e-05,6.363777e-05,6.362576e-05,6.333556e-05,6.322582e-05,6.302964e-05,6.281985e-05,6.272069e-05,6.240930e-05,6.209602e-05,6.199546e-05,6.178135e-05,6.157943e-05,6.146573e-05,6.116222e-05,6.114957e-05,6.083325e-05,6.074469e-05,6.051710e-05,6.032762e-05,6.020143e-05,5.991169e-05,5.988653e-05,5.957264e-05,5.949748e-05,5.925999e-05,5.908553e-05,5.894880e-05,5.867631e-05,5.863926e-05,5.833153e-05,5.827022e-05,5.802579e-05,5.786763e-05,5.772216e-05,5.746885e-05,5.742079e-05,5.712177e-05,5.707416e-05,5.682523e-05,5.668380e-05,5.653126e-05,5.629798e-05,5.623993e-05,5.595132e-05,5.591688e-05,5.566551e-05,5.554066e-05,5.538256e-05,5.516945e-05,5.510250e-05,5.482540e-05,5.480336e-05,5.455129e-05,5.444249e-05,5.428020e-05,5.408691e-05,5.401217e-05,5.374721e-05,5.373668e-05,5.348536e-05,5.339185e-05,5.322661e-05,5.305245e-05,5.297100e-05,5.271851e-05,5.239004e-05,5.206703e-05,5.174949e-05,5.143741e-05,5.113076e-05,5.082951e-05,5.053364e-05,5.024310e-05,4.995786e-05,4.967787e-05,4.940308e-05,4.913344e-05,4.886888e-05,4.860937e-05,4.835483e-05,4.810519e-05,4.786041e-05,4.762041e-05,4.738513e-05,4.715449e-05,4.692843e-05,4.670689e-05,4.648978e-05,4.627705e-05
0.000000e+00,1.130421e-09,3.312696e-09,1.624547e-08,4.628431e-08,7.461565e-08,2.085501e-07,2.164106e-07,4.908487e-07,5.992501e-07,9.569421e-07,1.356462e-06,1.681854e-06,2.631859e-06,2.728553e-06,4.135375e-06,4.527886e-06,5.908875e-06,7.057138e-06,8.034158e-06,1.017615e-05,1.048686e-05,1.323945e-05,1.382344e-05,1.626325e-05,1.793306e-05,1.952878e-05,2.243648e-05,2.300573e-05,2.666304e-05,2.726286e-05,3.046942e-05,3.234030e-05,3.439386e-05,3.759817e-05,3.840630e-05,4.247826e-05,4.296962e-05,4.658332e-05,4.839375e-05,5.069746e-05,5.381702e-05,5.479929e-05,5.887009e-05,5.919391e-05,6.289376e-05,6.448691e-05,6.685672e-05,6.966604e-05,7.074768e-05,7.455745e-05,7.470804e-05,7.827868e-05,7.959550e-05,8.190565e-05,8.431587e-05,8.543400e-05,8.886060e-05,9.218333e-05,9.322444e-05,9.540092e-05,9.740470e-05,9.851279e-05,1.014007e-04,1.015189e-04,1.044198e-04,1.052134e-04,1.072164e-04,1.088447e-04,1.099097e-04,1.122977e-04,1.125013e-04,1.149928e-04,1.155760e-04,1.173859e-04,1.186838e-04,1.196826e-04,1.216255e-04,1.218849e-04,1.239949e-04,1.244060e-04,1.260147e-04,1.270301e-04,1.279466e-04,1.295030e-04,1.297927e-04,1.315552e-04,1.318296e-04,1.332364e-04,1.340152e-04,1.348385e-04,1.360647e-04,1.363637e-04,1.378141e-04,1.379833e-04,1.391920e-04,1.397759e-04,1.404995e-04,1.414474e-04,1.417387e-04,1.429117e-04,1.430027e-04,1.440204e-04,1.444464e-04,1.450670e-04,1.457832e-04,1.460534e-04,1.469815e-04,1.470175e-04,1.478533e-04,1.481536e-04,1.486704e-04,1.491959e-04,1.494349e-04,1.501484e-04,1.508127e-04,1.510151e-04,1.514294e-04,1.517999e-04,1.520002e-04,1.525064e-04,1.525267e-04,1.530104e-04,1.531384e-04,1.534529e-04,1.536992e-04,1.538556e-04,1.541922e-04,1.542200e-04,1.545474e-04,1.546207e-04,1.548393e-04,1.549877e-04,1.550969e-04,1.552963e-04,1.553216e-04,1.555145e-04,1.555494e-04,1.556769e-04,1.557496e-04,1.558099e-04,1.558998e-04,1.559147e-04,1.559924e-04,1.560024e-04,1.560441e-04,1.560599e-04,1.560707e-04,1.560747e-04,1.560734e-04,1.560530e-04,1.560490e-04,1.560105e-04,1.559851e-04,1.559469e-04,1.558849e-04,1.558629e-04,1.557596e-04,1.557505e-04,1.556376e-04,1.555838e-04,1.554978e-04,1.553866e-04,1.553410e-04,1.551679e-04,1.551607e-04,1.549793e-04,1.549077e-04,1.547758e-04,1.546293e-04,1.545581e-04,1.543270e-04,1.540022e-04,1.536563e-04,1.532908e-04,1.529068e-04,1.525057e-04,1.520884e-04,1.516563e-04,1.512102e-04,1.507513e-04,1.502805e-04,1.497987e-04,1.493068e-04,1.488057e-04,1.482960e-04,1.477787e-04,1.472543e-04,1.467236e-04,1.461873e-04,1.456459e-04,1.451000e-04,1.445502e-04,1.439971e-04,1.434410e-04,1.428826e-04
0.000000e+00,1.453216e-09,4.146959e-09,1.929346e-08,5.251065e-08,8.260772e-08,2.169998e-07,2.246147e-07,4.791361e-07,5.752027e-07,8.803694e-07,1.206073e-06,1.463308e-06,2.189512e-06,2.262061e-06,3.302737e-06,3.589863e-06,4.593573e-06,5.422157e-06,6.123515e-06,7.650316e-06,7.870616e-06,9.810162e-06,1.021902e-05,1.191800e-05,1.307284e-05,1.417085e-05,1.615854e-05,1.654579e-05,1.901985e-05,1.942336e-05,2.156999e-05,2.281436e-05,2.417339e-05,2.627949e-05,2.680783e-05,2.945216e-05,2.976919e-05,3.208672e-05,3.323817e-05,3.469367e-05,3.664666e-05,3.725717e-05,3.976357e-05,3.996126e-05,4.220138e-05,4.315513e-05,4.456122e-05,4.620781e-05,4.683571e-05,4.901933e-05,4.910472e-05,5.110817e-05,5.183645e-05,5.309983e-05,5.439799e-05,5.499311e-05,5.678792e-05,5.848504e-05,5.900771e-05,6.008597e-05,6.106103e-05,6.159280e-05,6.295318e-05,6.300806e-05,6.433463e-05,6.469059e-05,6.557562e-05,6.628050e-05,6.673432e-05,6.773056e-05,6.781412e-05,6.881846e-05,6.904865e-05,6.975077e-05,7.024268e-05,7.061448e-05,7.132044e-05,7.141292e-05,7.214938e-05,7.228952e-05,7.282706e-05,7.315725e-05,7.344903e-05,7.393062e-05,7.401828e-05,7.453766e-05,7.461632e-05,7.500991e-05,7.522062e-05,7.543765e-05,7.574948e-05,7.582338e-05,7.616950e-05,7.620848e-05,7.647826e-05,7.660284e-05,7.675183e-05,7.693747e-05,7.699226e-05,7.720149e-05,7.721694e-05,7.738137e-05,7.744550e-05,7.753365e-05,7.762713e-05,7.765999e-05,7.776194e-05,7.776554e-05,7.784101e-05,7.786415e-05,7.789860e-05,7.792616e-05,7.793603e-05,7.795456e-05,7.795538e-05,7.795209e-05,7.793962e-05,7.792132e-05,7.790833e-05,7.786463e-05,7.786253e-05,7.780316e-05,7.778422e-05,7.773111e-05,7.768216e-05,7.764724e-05,7.756033e-05,7.755235e-05,7.744718e-05,7.742050e-05,7.733246e-05,7.726430e-05,7.720886e-05,7.709325e-05,7.707702e-05,7.693753e-05,7.690876e-05,7.679096e-05,7.671213e-05,7.663786e-05,7.650457e-05,7.647873e-05,7.631403e-05,7.628720e-05,7.614424e-05,7.606105e-05,7.596977e-05,7.582709e-05,7.579102e-05,7.560838e-05,7.558621e-05,7.542219e-05,7.533923e-05,7.523280e-05,7.508692e-05,7.504053e-05,7.484567e-05,7.482998e-05,7.464851e-05,7.456907e-05,7.444932e-05,7.430478e-05,7.424835e-05,7.404583e-05,7.403770e-05,7.384198e-05,7.376832e-05,7.363703e-05,7.349713e-05,7.343117e-05,7.322457e-05,7.295106e-05,7.267696e-05,7.240262e-05,7.212837e-05,7.185449e-05,7.158126e-05,7.130893e-05,7.103773e-05,7.076786e-05,7.049952e-05,7.023289e-05,6.996812e-05,6.970537e-05,6.944475e-05,6.918641e-05,6.893044e-05,6.867693e-05,6.842599e-05,6.817768e-05,6.793208e-05,6.768925e-05,6.744924e-05,6.721210e-05,6.697787e-05
0.000000e+00,1.378744e-09,4.066894e-09,2.019133e-08,5.807786e-08,9.404588e-08,2.651136e-07,2.751751e-07,6.264184e-07,7.649013e-07,1.220439e-06,1.727166e-06,2.138975e-06,3.341554e-06,3.464211e-06,5.258389e-06,5.762643e-06,7.550292e-06,9.052414e-06,1.034125e-05,1.319900e-05,1.361700e-05,1.735513e-05,1.815589e-05,2.152810e-05,2.385953e-05,2.610418e-05,3.023352e-05,3.104756e-05,3.631856e-05,3.718949e-05,4.187408e-05,4.462842e-05,4.766829e-05,5.244356e-05,5.365359e-05,5.978165e-05,6.052432e-05,6.600456e-05,6.876064e-05,7.227584e-05,7.704708e-05,7.855132e-05,8.478995e-05,8.528630e-05,9.095428e-05,9.339159e-05,9.701092e-05,1.012885e-04,1.029307e-04,1.086886e-04,1.089152e-04,1.142639e-04,1.162229e-04,1.196398e-04,1.231747e-04,1.248032e-04,1.297446e-04,1.344572e-04,1.359162e-04,1.389371e-04,1.416815e-04,1.431830e-04,1.470392e-04,1.471952e-04,1.509761e-04,1.519937e-04,1.545291e-04,1.565536e-04,1.578592e-04,1.607308e-04,1.609720e-04,1.638739e-04,1.645398e-04,1.665720e-04,1.679967e-04,1.690736e-04,1.711185e-04,1.713864e-04,1.735179e-04,1.739232e-04,1.754762e-04,1.764286e-04,1.772689e-04,1.786525e-04,1.789038e-04,1.803885e-04,1.806126e-04,1.817304e-04,1.823260e-04,1.829368e-04,1.838090e-04,1.840147e-04,1.849708e-04,1.850776e-04,1.858117e-04,1.861468e-04,1.865437e-04,1.870309e-04,1.871729e-04,1.877050e-04,1.877436e-04,1.881457e-04,1.882975e-04,1.885002e-04,1.887049e-04,1.887735e-04,1.889706e-04,1.889770e-04,1.890961e-04,1.891245e-04,1.891542e-04,1.891574e-04,1.891492e-04,1.890851e-04,1.889655e-04,1.889162e-04,1.887942e-04,1.886589e-04,1.885744e-04,1.883209e-04,1.883095e-04,1.880024e-04,1.879092e-04,1.876560e-04,1.874305e-04,1.872731e-04,1.868909e-04,1.868563e-04,1.864081e-04,1.862961e-04,1.859307e-04,1.856515e-04,1.854264e-04,1.849620e-04,1.848972e-04,1.843452e-04,1.842322e-04,1.837722e-04,1.834665e-04,1.831798e-04,1.826686e-04,1.825699e-04,1.819440e-04,1.818424e-04,1.813035e-04,1.809912e-04,1.806498e-04,1.801182e-04,1.799843e-04,1.793081e-04,1.792263e-04,1.786226e-04,1.783182e-04,1.779287e-04,1.773964e-04,1.772275e-04,1.765199e-04,1.764631e-04,1.758070e-04,1.755205e-04,1.750895e-04,1.745706e-04,1.743683e-04,1.736442e-04,1.736151e-04,1.729177e-04,1.726558e-04,1.721897e-04,1.716941e-04,1.714608e-04,1.707315e-04,1.697692e-04,1.688084e-04,1.678502e-04,1.668956e-04,1.659455e-04,1.650006e-04,1.640618e-04,1.631297e-04,1.622049e-04,1.612880e-04,1.603794e-04,1.594797e-04,1.585891e-04,1.577081e-04,1.568369e-04,1.559759e-04,1.551252e-04,1.542851e-04,1.534557e-04,1.526372e-04,1.518297e-04,1.510333e-04,1.502480e-04,1.494740e-04
0.000000e+00,6.325645e-09,1.633097e-08,6.477851e-08,1.589575e-07,2.393111e-07,5.801778e-07,5.991089e-07,1.227233e-06,1.464512e-06,2.222964e-06,3.036597e-06,3.676550e-06,5.437025e-06,5.607824e-06,7.946071e-06,8.556542e-06,1.059250e-05,1.217838e-05,1.346731e-05,1.613924e-05,1.651195e-05,1.967996e-05,2.032476e-05,2.293118e-05,2.464256e-05,2.622950e-05,2.901269e-05,2.954254e-05,3.284178e-05,3.336669e-05,3.610282e-05,3.764845e-05,3.930542e-05,4.181437e-05,4.243332e-05,4.547389e-05,4.583242e-05,4.841778e-05,4.968068e-05,5.125838e-05,5.334536e-05,5.399127e-05,5.661396e-05,5.681898e-05,5.912543e-05,6.009888e-05,6.152584e-05,6.318593e-05,6.381625e-05,6.599842e-05,6.608349e-05,6.807463e-05,6.879663e-05,7.004752e-05,7.133155e-05,7.192001e-05,7.369520e-05,7.537635e-05,7.589500e-05,7.696677e-05,7.793856e-05,7.846978e-05,7.983350e-05,7.988869e-05,8.122679e-05,8.158742e-05,8.248731e-05,8.320772e-05,8.367345e-05,8.470165e-05,8.478828e-05,8.583485e-05,8.607619e-05,8.681608e-05,8.733810e-05,8.773483e-05,8.849384e-05,8.859386e-05,8.939583e-05,8.954961e-05,9.014333e-05,9.051132e-05,9.083883e-05,9.138462e-05,9.148473e-05,9.208333e-05,9.217486e-05,9.263685e-05,9.288715e-05,9.314741e-05,9.352632e-05,9.361707e-05,9.404778e-05,9.409694e-05,9.444142e-05,9.460335e-05,9.479981e-05,9.504966e-05,9.512466e-05,9.541763e-05,9.543974e-05,9.568032e-05,9.577726e-05,9.591424e-05,9.606566e-05,9.612084e-05,9.630151e-05,9.630821e-05,9.645758e-05,9.650799e-05,9.659032e-05,9.666788e-05,9.670095e-05,9.679062e-05,9.686045e-05,9.687877e-05,9.691149e-05,9.693476e-05,9.694475e-05,9.696086e-05,9.696120e-05,9.696177e-05,9.695920e-05,9.694732e-05,9.693180e-05,9.691871e-05,9.688055e-05,9.687672e-05,9.682213e-05,9.680723e-05,9.675566e-05,9.671351e-05,9.667801e-05,9.660096e-05,9.658984e-05,9.649179e-05,9.647104e-05,9.638445e-05,9.632515e-05,9.626839e-05,9.616458e-05,9.614418e-05,9.601232e-05,9.599054e-05,9.587331e-05,9.580419e-05,9.572763e-05,9.560658e-05,9.557572e-05,9.541802e-05,9.539873e-05,9.525494e-05,9.518158e-05,9.508686e-05,9.495600e-05,9.491415e-05,9.473717e-05,9.472283e-05,9.455625e-05,9.448285e-05,9.437170e-05,9.423676e-05,9.418384e-05,9.399296e-05,9.398526e-05,9.379931e-05,9.372898e-05,9.360317e-05,9.346850e-05,9.340479e-05,9.320440e-05,9.293717e-05,9.266732e-05,9.239528e-05,9.212149e-05,9.184634e-05,9.157018e-05,9.129338e-05,9.101623e-05,9.073904e-05,9.046209e-05,9.018562e-05,8.990988e-05,8.963508e-05,8.936143e-05,8.908912e-05,8.881831e-05,8.854917e-05,8.828185e-05,8.801647e-05,8.775318e-05,8.749207e-05,8.723325e-05,8.697682e-05,8.672285e-05
0.000000e+00,4.227425e-09,9.681537e-09,3.333213e-08,7.605765e-08,1.112670e-07,2.554844e-07,2.633468e-07,5.197429e-07,6.151995e-07,9.185183e-07,1.244673e-06,1.504189e-06,2.240492e-06,2.313929e-06,3.354455e-06,3.635945e-06,4.598681e-06,5.369835e-06,6.007838e-06,7.357595e-06,7.548527e-06,9.195705e-06,9.536160e-06,1.093018e-05,1.186124e-05,1.273599e-05,1.429740e-05,1.459868e-05,1.650450e-05,1.681253e-05,1.844004e-05,1.937582e-05,2.039229e-05,2.195764e-05,2.234866e-05,2.429728e-05,2.453006e-05,2.622711e-05,2.706767e-05,2.812815e-05,2.954816e-05,2.999149e-05,3.180942e-05,3.195269e-05,3.357537e-05,3.426596e-05,3.528400e-05,3.647630e-05,3.693108e-05,3.851337e-05,3.857528e-05,4.002859e-05,4.055734e-05,4.147526e-05,4.241945e-05,4.285265e-05,4.416063e-05,4.539960e-05,4.578163e-05,4.657042e-05,4.728451e-05,4.767428e-05,4.867238e-05,4.871268e-05,4.968734e-05,4.994908e-05,5.060016e-05,5.111901e-05,5.145317e-05,5.218693e-05,5.224848e-05,5.298826e-05,5.315779e-05,5.367470e-05,5.403664e-05,5.431002e-05,5.482856e-05,5.489641e-05,5.543604e-05,5.553854e-05,5.593104e-05,5.617149e-05,5.638349e-05,5.673216e-05,5.679543e-05,5.716884e-05,5.722514e-05,5.750563e-05,5.765482e-05,5.780764e-05,5.802542e-05,5.807666e-05,5.831442e-05,5.834093e-05,5.852255e-05,5.860515e-05,5.870264e-05,5.882170e-05,5.885622e-05,5.898474e-05,5.899398e-05,5.908959e-05,5.912521e-05,5.917211e-05,5.921841e-05,5.923356e-05,5.927517e-05,5.927644e-05,5.929809e-05,5.930199e-05,5.930344e-05,5.929757e-05,5.929226e-05,5.926556e-05,5.922429e-05,5.920816e-05,5.916938e-05,5.912747e-05,5.910168e-05,5.902543e-05,5.902202e-05,5.893119e-05,5.890385e-05,5.882992e-05,5.876445e-05,5.871894e-05,5.860882e-05,5.859890e-05,5.847045e-05,5.843844e-05,5.833420e-05,5.825470e-05,5.819072e-05,5.805890e-05,5.804055e-05,5.788421e-05,5.785225e-05,5.772220e-05,5.763586e-05,5.755497e-05,5.741079e-05,5.738297e-05,5.720661e-05,5.717802e-05,5.702629e-05,5.693844e-05,5.684238e-05,5.669291e-05,5.665524e-05,5.646519e-05,5.644221e-05,5.627255e-05,5.618705e-05,5.607763e-05,5.592813e-05,5.588070e-05,5.568202e-05,5.566606e-05,5.548185e-05,5.540142e-05,5.528043e-05,5.513475e-05,5.507797e-05,5.487468e-05,5.486654e-05,5.467077e-05,5.459725e-05,5.446642e-05,5.432730e-05,5.426180e-05,5.405708e-05,5.378695e-05,5.351724e-05,5.324825e-05,5.298026e-05,5.271352e-05,5.244826e-05,5.218470e-05,5.192302e-05,5.166340e-05,5.140600e-05,5.115096e-05,5.089842e-05,5.064847e-05,5.040123e-05,5.015679e-05,4.991522e-05,4.967660e-05,4.944098e-05,4.920843e-05,4.897898e-05,4.875267e-05,4.852953e-05,4.830958e-05,4.809285e-05
0.000000e+00,1.658632e-09,4.653816e-09,2.099685e-08,5.582457e-08,8.684380e-08,2.227042e-07,2.303253e-07,4.827694e-07,5.773382e-07,8.764538e-07,1.194364e-06,1.444713e-06,2.147625e-06,2.217480e-06,3.210857e-06,3.482032e-06,4.420968e-06,5.187073e-06,5.830477e-06,7.219000e-06,7.418255e-06,9.163769e-06,9.530069e-06,1.104744e-05,1.207513e-05,1.304991e-05,1.480940e-05,1.515149e-05,1.733214e-05,1.768703e-05,1.957171e-05,2.066180e-05,2.185040e-05,2.368869e-05,2.414918e-05,2.645030e-05,2.672581e-05,2.873758e-05,2.973582e-05,3.099661e-05,3.268684e-05,3.321493e-05,3.538201e-05,3.555290e-05,3.748925e-05,3.831380e-05,3.952982e-05,4.095477e-05,4.149852e-05,4.339164e-05,4.346576e-05,4.520676e-05,4.584082e-05,4.694254e-05,4.807732e-05,4.859859e-05,5.017529e-05,5.167364e-05,5.213680e-05,5.309516e-05,5.396546e-05,5.444172e-05,5.566595e-05,5.571554e-05,5.691899e-05,5.724370e-05,5.805464e-05,5.870458e-05,5.912513e-05,6.005473e-05,6.013313e-05,6.108135e-05,6.130032e-05,6.197245e-05,6.244750e-05,6.280906e-05,6.350227e-05,6.359378e-05,6.432909e-05,6.447044e-05,6.501743e-05,6.535758e-05,6.566114e-05,6.616900e-05,6.626246e-05,6.682355e-05,6.690973e-05,6.734648e-05,6.758452e-05,6.783324e-05,6.819786e-05,6.828570e-05,6.870566e-05,6.875396e-05,6.909484e-05,6.925675e-05,6.945487e-05,6.970994e-05,6.978728e-05,7.009356e-05,7.011697e-05,7.037509e-05,7.048108e-05,7.063322e-05,7.080527e-05,7.086918e-05,7.108418e-05,7.109236e-05,7.127935e-05,7.134497e-05,7.145577e-05,7.156554e-05,7.161444e-05,7.175634e-05,7.188238e-05,7.191951e-05,7.199343e-05,7.205702e-05,7.209031e-05,7.217071e-05,7.217380e-05,7.224464e-05,7.226230e-05,7.230352e-05,7.233339e-05,7.235112e-05,7.238548e-05,7.238806e-05,7.241494e-05,7.241995e-05,7.243232e-05,7.243811e-05,7.244075e-05,7.244116e-05,7.244073e-05,7.243274e-05,7.243022e-05,7.241724e-05,7.240636e-05,7.239467e-05,7.237055e-05,7.236544e-05,7.232994e-05,7.232370e-05,7.228854e-05,7.226668e-05,7.224160e-05,7.220027e-05,7.218944e-05,7.213239e-05,7.212523e-05,7.207074e-05,7.204224e-05,7.200479e-05,7.195196e-05,7.193481e-05,7.186105e-05,7.185499e-05,7.178376e-05,7.175190e-05,7.170317e-05,7.164322e-05,7.161950e-05,7.153296e-05,7.152945e-05,7.144376e-05,7.141103e-05,7.135208e-05,7.128842e-05,7.125811e-05,7.116200e-05,7.103217e-05,7.089926e-05,7.076362e-05,7.062555e-05,7.048535e-05,7.034327e-05,7.019957e-05,7.005449e-05,6.990825e-05,6.976105e-05,6.961309e-05,6.946454e-05,6.931557e-05,6.916635e-05,6.901701e-05,6.886769e-05,6.871852e-05,6.856962e-05,6.842110e-05,6.827305e-05,6.812558e-05,6.797878e-05,6.783272e-05,6.768748e-05
0.000000e+00,3.434742e-07,1.020237e-06,5.135422e-06,1.494166e-05,2.433447e-05,6.946516e-05,7.213251e-05,1.655548e-04,2.024343e-04,3.235697e-04,4.578115e-04,5.665454e-04,8.833707e-04,9.157136e-04,1.391939e-03,1.527238e-03,2.013135e-03,2.429078e-03,2.791240e-03,3.609658e-03,3.730952e-03,4.830601e-03,5.069222e-03,6.083727e-03,6.792826e-03,7.480417e-03,8.755528e-03,9.008213e-03,1.065274e-02,1.092565e-02,1.239818e-02,1.326693e-02,1.422772e-02,1.574019e-02,1.612392e-02,1.806914e-02,1.830503e-02,2.004593e-02,2.092133e-02,2.203735e-02,2.355068e-02,2.402731e-02,2.600083e-02,2.615758e-02,2.794424e-02,2.871038e-02,2.984532e-02,3.118184e-02,3.169340e-02,3.347935e-02,3.354939e-02,3.519563e-02,3.579522e-02,3.683619e-02,3.790610e-02,3.839640e-02,3.987298e-02,4.126382e-02,4.169059e-02,4.256790e-02,4.335692e-02,4.378517e-02,4.487279e-02,4.491640e-02,4.596304e-02,4.624121e-02,4.692715e-02,4.746703e-02,4.781123e-02,4.855638e-02,4.861817e-02,4.935113e-02,4.951639e-02,5.001345e-02,5.035480e-02,5.060863e-02,5.107968e-02,5.114024e-02,5.161184e-02,5.169928e-02,5.202702e-02,5.222178e-02,5.238927e-02,5.265517e-02,5.270202e-02,5.296860e-02,5.300718e-02,5.319220e-02,5.328518e-02,5.337592e-02,5.349614e-02,5.352266e-02,5.363524e-02,5.364658e-02,5.371628e-02,5.374259e-02,5.376828e-02,5.378983e-02,5.379360e-02,5.379444e-02,5.379351e-02,5.377287e-02,5.375841e-02,5.373084e-02,5.368892e-02,5.367014e-02,5.359247e-02,5.358903e-02,5.349939e-02,5.346239e-02,5.339236e-02,5.331231e-02,5.327274e-02,5.314177e-02,5.300063e-02,5.295349e-02,5.285039e-02,5.274992e-02,5.269204e-02,5.253325e-02,5.252650e-02,5.235463e-02,5.230547e-02,5.217720e-02,5.206838e-02,5.199494e-02,5.182356e-02,5.180851e-02,5.161852e-02,5.157246e-02,5.142554e-02,5.131636e-02,5.123009e-02,5.105642e-02,5.103263e-02,5.083361e-02,5.079366e-02,5.063343e-02,5.052900e-02,5.043245e-02,5.026325e-02,5.023101e-02,5.002941e-02,4.999716e-02,4.982794e-02,4.973135e-02,4.962685e-02,4.946641e-02,4.942638e-02,4.922673e-02,4.920284e-02,4.902811e-02,4.894109e-02,4.883068e-02,4.868154e-02,4.863461e-02,4.844004e-02,4.842454e-02,4.824709e-02,4.817039e-02,4.805588e-02,4.791935e-02,4.786652e-02,4.767911e-02,4.767165e-02,4.749371e-02,4.742748e-02,4.731042e-02,4.718701e-02,4.712928e-02,4.695036e-02,4.671767e-02,4.648902e-02,4.626449e-02,4.604413e-02,4.582799e-02,4.561611e-02,4.540849e-02,4.520515e-02,4.500608e-02,4.481128e-02,4.462071e-02,4.443435e-02,4.425218e-02,4.407416e-02,4.390023e-02,4.373036e-02,4.356449e-02,4.340258e-02,4.324456e-02,4.309037e-02,4.293996e-02,4.279326e-02,4.265021e-02,4.251074e-02
0.000000e+00,3.584689e-09,8.667666e-09,3.161571e-08,7.421558e-08,1.098894e-07,2.597563e-07,2.680787e-07,5.467123e-07,6.535236e-07,1.000634e-06,1.380719e-06,1.683214e-06,2.519913e-06,2.600936e-06,3.699893e-06,3.982987e-06,4.914841e-06,5.628150e-06,6.200491e-06,7.368441e-06,7.529594e-06,8.884705e-06,9.157661e-06,1.025281e-05,1.096562e-05,1.162275e-05,1.276731e-05,1.298416e-05,1.432725e-05,1.453983e-05,1.564290e-05,1.626220e-05,1.692283e-05,1.791616e-05,1.815981e-05,1.934780e-05,1.948682e-05,2.048199e-05,2.096305e-05,2.155887e-05,2.233747e-05,2.257607e-05,2.353234e-05,2.360619e-05,2.442737e-05,2.476832e-05,2.526167e-05,2.582540e-05,2.603641e-05,2.675329e-05,2.678079e-05,2.741439e-05,2.763919e-05,2.802213e-05,2.840625e-05,2.857914e-05,2.908820e-05,2.955203e-05,2.969134e-05,2.997330e-05,3.022185e-05,3.035475e-05,3.068592e-05,3.069901e-05,3.100859e-05,3.108939e-05,3.128590e-05,3.143776e-05,3.153324e-05,3.173617e-05,3.175275e-05,3.194645e-05,3.198931e-05,3.211623e-05,3.220153e-05,3.226387e-05,3.237679e-05,3.239102e-05,3.249920e-05,3.251869e-05,3.258983e-05,3.263046e-05,3.266423e-05,3.271508e-05,3.272362e-05,3.276912e-05,3.277519e-05,3.280179e-05,3.281319e-05,3.282258e-05,3.283127e-05,3.283240e-05,3.283206e-05,3.283138e-05,3.282235e-05,3.281528e-05,3.280395e-05,3.278458e-05,3.277754e-05,3.274372e-05,3.274071e-05,3.270306e-05,3.268499e-05,3.265607e-05,3.261859e-05,3.260324e-05,3.254502e-05,3.254259e-05,3.248183e-05,3.245794e-05,3.241406e-05,3.236554e-05,3.234207e-05,3.226619e-05,3.218674e-05,3.216061e-05,3.210400e-05,3.204946e-05,3.201826e-05,3.193335e-05,3.192976e-05,3.183873e-05,3.181282e-05,3.174540e-05,3.168839e-05,3.164998e-05,3.156051e-05,3.155266e-05,3.145360e-05,3.142960e-05,3.135300e-05,3.129604e-05,3.125099e-05,3.116019e-05,3.114774e-05,3.104337e-05,3.102237e-05,3.093802e-05,3.088288e-05,3.083180e-05,3.074199e-05,3.072483e-05,3.061722e-05,3.059995e-05,3.050906e-05,3.045698e-05,3.040046e-05,3.031331e-05,3.029149e-05,3.018224e-05,3.016912e-05,3.007279e-05,3.002459e-05,2.996322e-05,2.987989e-05,2.985357e-05,2.974393e-05,2.973516e-05,2.963436e-05,2.959056e-05,2.952490e-05,2.944619e-05,2.941561e-05,2.930654e-05,2.930219e-05,2.919774e-05,2.915865e-05,2.908926e-05,2.901568e-05,2.898112e-05,2.887337e-05,2.873180e-05,2.859105e-05,2.845119e-05,2.831228e-05,2.817438e-05,2.803754e-05,2.790181e-05,2.776723e-05,2.763385e-05,2.750169e-05,2.737080e-05,2.724120e-05,2.711290e-05,2.698595e-05,2.686035e-05,2.673612e-05,2.661328e-05,2.649184e-05,2.637181e-05,2.625319e-05,2.613601e-05,2.602025e-05,2.590592e-05,2.579302e-05
0.000000e+00,1.715504e-09,4.186841e-09,1.537513e-08,3.596214e-08,5.295954e-08,1.220071e-07,1.257382e-07,2.455438e-07,2.892986e-07,4.257714e-07,5.689308e-07,6.807212e-07,9.902167e-07,1.020577e-06,1.443173e-06,1.555401e-06,1.933665e-06,2.231150e-06,2.473973e-06,2.978764e-06,3.049248e-06,3.648395e-06,3.770297e-06,4.262746e-06,4.585757e-06,4.884998e-06,5.409032e-06,5.508665e-06,6.127886e-06,6.226189e-06,6.737408e-06,7.025156e-06,7.332631e-06,7.795871e-06,7.909659e-06,8.465325e-06,8.530446e-06,8.997189e-06,9.223195e-06,9.503504e-06,9.870508e-06,9.983154e-06,1.043558e-05,1.047060e-05,1.086071e-05,1.102318e-05,1.125886e-05,1.152916e-05,1.163065e-05,1.197695e-05,1.199029e-05,1.229880e-05,1.240890e-05,1.259735e-05,1.278768e-05,1.287383e-05,1.312948e-05,1.336559e-05,1.343721e-05,1.358338e-05,1.371371e-05,1.378406e-05,1.396170e-05,1.396880e-05,1.413869e-05,1.418375e-05,1.429479e-05,1.438223e-05,1.443807e-05,1.455935e-05,1.456944e-05,1.468977e-05,1.471709e-05,1.479985e-05,1.485729e-05,1.490041e-05,1.498157e-05,1.499213e-05,1.507565e-05,1.509141e-05,1.515152e-05,1.518814e-05,1.522030e-05,1.527296e-05,1.528248e-05,1.533850e-05,1.534692e-05,1.538880e-05,1.541101e-05,1.543374e-05,1.546609e-05,1.547370e-05,1.550900e-05,1.551294e-05,1.553994e-05,1.555226e-05,1.556682e-05,1.558468e-05,1.558988e-05,1.560938e-05,1.561079e-05,1.562553e-05,1.563110e-05,1.563854e-05,1.564608e-05,1.564861e-05,1.565592e-05,1.565616e-05,1.566064e-05,1.566173e-05,1.566292e-05,1.566315e-05,1.566291e-05,1.566075e-05,1.565656e-05,1.565481e-05,1.565046e-05,1.564562e-05,1.564258e-05,1.563342e-05,1.563300e-05,1.562184e-05,1.561844e-05,1.560918e-05,1.560091e-05,1.559512e-05,1.558100e-05,1.557973e-05,1.556309e-05,1.555892e-05,1.554528e-05,1.553482e-05,1.552637e-05,1.550886e-05,1.550642e-05,1.548549e-05,1.548119e-05,1.546365e-05,1.545195e-05,1.544094e-05,1.542125e-05,1.541743e-05,1.539316e-05,1.538921e-05,1.536819e-05,1.535596e-05,1.534254e-05,1.532158e-05,1.531628e-05,1.528943e-05,1.528617e-05,1.526204e-05,1.524983e-05,1.523415e-05,1.521264e-05,1.520579e-05,1.517699e-05,1.517467e-05,1.514779e-05,1.513601e-05,1.511822e-05,1.509671e-05,1.508830e-05,1.505806e-05,1.505685e-05,1.502754e-05,1.501648e-05,1.499674e-05,1.497567e-05,1.496571e-05,1.493446e-05,1.489291e-05,1.485106e-05,1.480897e-05,1.476666e-05,1.472419e-05,1.468159e-05,1.463889e-05,1.459613e-05,1.455334e-05,1.451054e-05,1.446777e-05,1.442505e-05,1.438240e-05,1.433985e-05,1.429742e-05,1.425513e-05,1.421299e-05,1.417103e-05,1.412927e-05,1.408770e-05,1.404636e-05,1.400525e-05,1.396439e-05,1.392379e-05
0.000000e+00,5.503328e-09,1.284218e-08,4.509206e-08,1.036455e-07,1.518128e-07,3.469656e-07,3.574914e-07,6.941947e-07,8.164694e-07,1.195379e-06,1.589311e-06,1.895098e-06,2.738968e-06,2.821882e-06,3.986941e-06,4.301135e-06,5.379031e-06,6.249001e-06,6.974265e-06,8.525878e-06,8.747223e-06,1.067446e-05,1.107647e-05,1.273405e-05,1.385028e-05,1.490475e-05,1.679869e-05,1.716564e-05,1.949625e-05,1.987429e-05,2.187688e-05,2.303184e-05,2.428896e-05,2.622973e-05,2.671540e-05,2.914076e-05,2.943106e-05,3.155142e-05,3.260435e-05,3.393558e-05,3.572360e-05,3.628323e-05,3.858602e-05,3.876809e-05,4.083715e-05,4.172188e-05,4.303118e-05,4.457307e-05,4.516382e-05,4.723188e-05,4.731322e-05,4.923304e-05,4.993676e-05,5.116574e-05,5.244038e-05,5.302905e-05,5.482258e-05,5.654637e-05,5.708331e-05,5.820082e-05,5.922358e-05,5.978661e-05,6.124526e-05,6.130470e-05,6.275620e-05,6.315086e-05,6.414238e-05,6.494331e-05,6.546464e-05,6.662592e-05,6.672444e-05,6.792334e-05,6.820219e-05,6.906293e-05,6.967581e-05,7.014486e-05,7.105056e-05,7.117077e-05,7.214233e-05,7.233027e-05,7.306121e-05,7.351876e-05,7.392908e-05,7.461988e-05,7.474759e-05,7.551838e-05,7.563739e-05,7.624308e-05,7.657503e-05,7.692328e-05,7.743646e-05,7.756056e-05,7.815645e-05,7.822525e-05,7.871248e-05,7.894489e-05,7.923014e-05,7.959878e-05,7.971086e-05,8.015608e-05,8.019020e-05,8.056717e-05,8.072236e-05,8.094549e-05,8.119832e-05,8.129235e-05,8.160903e-05,8.162108e-05,8.189677e-05,8.199351e-05,8.215679e-05,8.231836e-05,8.239025e-05,8.259831e-05,8.278206e-05,8.283590e-05,8.294258e-05,8.303360e-05,8.308090e-05,8.319374e-05,8.319803e-05,8.329495e-05,8.331859e-05,8.337259e-05,8.341031e-05,8.343187e-05,8.347094e-05,8.347366e-05,8.349881e-05,8.350247e-05,8.350815e-05,8.350677e-05,8.350246e-05,8.348563e-05,8.348251e-05,8.344903e-05,8.344077e-05,8.340273e-05,8.337382e-05,8.334430e-05,8.328633e-05,8.327440e-05,8.319365e-05,8.317976e-05,8.310266e-05,8.305553e-05,8.300203e-05,8.291496e-05,8.289232e-05,8.277406e-05,8.275932e-05,8.264779e-05,8.258982e-05,8.251399e-05,8.240758e-05,8.237316e-05,8.222574e-05,8.221368e-05,8.207219e-05,8.200914e-05,8.191292e-05,8.179494e-05,8.174835e-05,8.157885e-05,8.157197e-05,8.140481e-05,8.134111e-05,8.122658e-05,8.110317e-05,8.104450e-05,8.085890e-05,8.060905e-05,8.035428e-05,8.009524e-05,7.983253e-05,7.956672e-05,7.929834e-05,7.902789e-05,7.875584e-05,7.848261e-05,7.820863e-05,7.793427e-05,7.765989e-05,7.738582e-05,7.711236e-05,7.683981e-05,7.656842e-05,7.629845e-05,7.603012e-05,7.576364e-05,7.549920e-05,7.523697e-05,7.497713e-05,7.471981e-05,7.446515e-05
0.000000e+00,1.350283e-09,3.918721e-09,1.882748e-08,5.263529e-08,8.397684e-08,2.285922e-07,2.369588e-07,5.243607e-07,6.361448e-07,1.000747e-06,1.402277e-06,1.725468e-06,2.649156e-06,2.741470e-06,4.049740e-06,4.403706e-06,5.614861e-06,6.585567e-06,7.388667e-06,9.085523e-06,9.325108e-06,1.138437e-05,1.180788e-05,1.353223e-05,1.467391e-05,1.573826e-05,1.761584e-05,1.797459e-05,2.021521e-05,2.057246e-05,2.243588e-05,2.348810e-05,2.461439e-05,2.631349e-05,2.673100e-05,2.876871e-05,2.900724e-05,3.071360e-05,3.153706e-05,3.255490e-05,3.388016e-05,3.428491e-05,3.589890e-05,3.602292e-05,3.739472e-05,3.795994e-05,3.877257e-05,3.969268e-05,4.003452e-05,4.118419e-05,4.122790e-05,4.222634e-05,4.257625e-05,4.316657e-05,4.375083e-05,4.401103e-05,4.476613e-05,4.543839e-05,4.563708e-05,4.603425e-05,4.637841e-05,4.655997e-05,4.700420e-05,4.702150e-05,4.742449e-05,4.752756e-05,4.777419e-05,4.796048e-05,4.807548e-05,4.831377e-05,4.833285e-05,4.855039e-05,4.859710e-05,4.873186e-05,4.881900e-05,4.888064e-05,4.898697e-05,4.899980e-05,4.909212e-05,4.910759e-05,4.916010e-05,4.918659e-05,4.920599e-05,4.922896e-05,4.923182e-05,4.923942e-05,4.923906e-05,4.923044e-05,4.922068e-05,4.920635e-05,4.917712e-05,4.916851e-05,4.911812e-05,4.911129e-05,4.905629e-05,4.902571e-05,4.898400e-05,4.892262e-05,4.890216e-05,4.881159e-05,4.880399e-05,4.871305e-05,4.867155e-05,4.860721e-05,4.852685e-05,4.849472e-05,4.837614e-05,4.837128e-05,4.825200e-05,4.820605e-05,4.812280e-05,4.803228e-05,4.798898e-05,4.785095e-05,4.770911e-05,4.766297e-05,4.756380e-05,4.746914e-05,4.741536e-05,4.727020e-05,4.726410e-05,4.711031e-05,4.706682e-05,4.695424e-05,4.685961e-05,4.679615e-05,4.664912e-05,4.663627e-05,4.647482e-05,4.643586e-05,4.631199e-05,4.622028e-05,4.614799e-05,4.600282e-05,4.598297e-05,4.581712e-05,4.578386e-05,4.565059e-05,4.556377e-05,4.548351e-05,4.534285e-05,4.531604e-05,4.514828e-05,4.512143e-05,4.498038e-05,4.489976e-05,4.481243e-05,4.467811e-05,4.464454e-05,4.447682e-05,4.445671e-05,4.430935e-05,4.423576e-05,4.414222e-05,4.401547e-05,4.397551e-05,4.380929e-05,4.379602e-05,4.364365e-05,4.357756e-05,4.347864e-05,4.336025e-05,4.331432e-05,4.315076e-05,4.314423e-05,4.298801e-05,4.292963e-05,4.282612e-05,4.271654e-05,4.266513e-05,4.250509e-05,4.229536e-05,4.208744e-05,4.188141e-05,4.167734e-05,4.147528e-05,4.127530e-05,4.107744e-05,4.088174e-05,4.068826e-05,4.049701e-05,4.030803e-05,4.012134e-05,3.993696e-05,3.975491e-05,3.957520e-05,3.939784e-05,3.922284e-05,3.905020e-05,3.887992e-05,3.871200e-05,3.854644e-05,3.838323e-05,3.822237e-05,3.806384e-05
0.000000e+00,2.713745e-09,8.054309e-09,4.047342e-08,1.175730e-07,1.913140e-07,5.448382e-07,5.657033e-07,1.295148e-06,1.582540e-06,2.524863e-06,3.566797e-06,4.409339e-06,6.859404e-06,7.109247e-06,1.078726e-05,1.183318e-05,1.559919e-05,1.883993e-05,2.167679e-05,2.814062e-05,2.910451e-05,3.790114e-05,3.982152e-05,4.801780e-05,5.376732e-05,5.935055e-05,6.970743e-05,7.175842e-05,8.507937e-05,8.728405e-05,9.914189e-05,1.061044e-04,1.137729e-04,1.257729e-04,1.288030e-04,1.440699e-04,1.459105e-04,1.594214e-04,1.661661e-04,1.747167e-04,1.862245e-04,1.898281e-04,2.046418e-04,2.058109e-04,2.190583e-04,2.246942e-04,2.329927e-04,2.426868e-04,2.463744e-04,2.591465e-04,2.596440e-04,2.712650e-04,2.754612e-04,2.826981e-04,2.900701e-04,2.934250e-04,3.034348e-04,3.127251e-04,3.155467e-04,3.213012e-04,3.264202e-04,3.291748e-04,3.360882e-04,3.363628e-04,3.428865e-04,3.445973e-04,3.487705e-04,3.520051e-04,3.540420e-04,3.583759e-04,3.587302e-04,3.628652e-04,3.637787e-04,3.664779e-04,3.682845e-04,3.695994e-04,3.719646e-04,3.722607e-04,3.744920e-04,3.748893e-04,3.763231e-04,3.771266e-04,3.777825e-04,3.787415e-04,3.788980e-04,3.796958e-04,3.797957e-04,3.802012e-04,3.803469e-04,3.804378e-04,3.804489e-04,3.804283e-04,3.801938e-04,3.801515e-04,3.797541e-04,3.795005e-04,3.791279e-04,3.785379e-04,3.783324e-04,3.773838e-04,3.773018e-04,3.762972e-04,3.758271e-04,3.750866e-04,3.741453e-04,3.737647e-04,3.723436e-04,3.722848e-04,3.708343e-04,3.702713e-04,3.692469e-04,3.681278e-04,3.675910e-04,3.658751e-04,3.641071e-04,3.635315e-04,3.622943e-04,3.611137e-04,3.604435e-04,3.586365e-04,3.585607e-04,3.566516e-04,3.561130e-04,3.547213e-04,3.535549e-04,3.527745e-04,3.509726e-04,3.508155e-04,3.488482e-04,3.483752e-04,3.468762e-04,3.457709e-04,3.449026e-04,3.431669e-04,3.429304e-04,3.409623e-04,3.405694e-04,3.390008e-04,3.379840e-04,3.370479e-04,3.354156e-04,3.351056e-04,3.331758e-04,3.328682e-04,3.312600e-04,3.303458e-04,3.293596e-04,3.278513e-04,3.274759e-04,3.256102e-04,3.253875e-04,3.237633e-04,3.229569e-04,3.219362e-04,3.205613e-04,3.201296e-04,3.183443e-04,3.182024e-04,3.165808e-04,3.158816e-04,3.148396e-04,3.136001e-04,3.131212e-04,3.114259e-04,3.113586e-04,3.097541e-04,3.091580e-04,3.081059e-04,3.069987e-04,3.064815e-04,3.048811e-04,3.028055e-04,3.007719e-04,2.987803e-04,2.968307e-04,2.949228e-04,2.930563e-04,2.912310e-04,2.894464e-04,2.877021e-04,2.859976e-04,2.843323e-04,2.827058e-04,2.811174e-04,2.795666e-04,2.780526e-04,2.765749e-04,2.751328e-04,2.737256e-04,2.723527e-04,2.710134e-04,2.697069e-04,2.684328e-04,2.671901e-04,2.659784e-04
0.000000e+00,4.200587e-10,1.233136e-09,6.059670e-09,1.725519e-08,2.777568e-08,7.695459e-08,7.981310e-08,1.778847e-07,2.157865e-07,3.380718e-07,4.706125e-07,5.762202e-07,8.773009e-07,9.075858e-07,1.346528e-06,1.469366e-06,1.906081e-06,2.276326e-06,2.597243e-06,3.320674e-06,3.427872e-06,4.401222e-06,4.612892e-06,5.514508e-06,6.145810e-06,6.758172e-06,7.892231e-06,8.116470e-06,9.569286e-06,9.809034e-06,1.109440e-05,1.184555e-05,1.266950e-05,1.395135e-05,1.427352e-05,1.588741e-05,1.608093e-05,1.749445e-05,1.819559e-05,1.908026e-05,2.026375e-05,2.063273e-05,2.214183e-05,2.226042e-05,2.359943e-05,2.416657e-05,2.499916e-05,2.596833e-05,2.633614e-05,2.760689e-05,2.765630e-05,2.880909e-05,2.922483e-05,2.994148e-05,3.067141e-05,3.100368e-05,3.199604e-05,3.291953e-05,3.320073e-05,3.377564e-05,3.428904e-05,3.456624e-05,3.526562e-05,3.529352e-05,3.595990e-05,3.613592e-05,3.656795e-05,3.690589e-05,3.712035e-05,3.758177e-05,3.761985e-05,3.806919e-05,3.816988e-05,3.847112e-05,3.867649e-05,3.882832e-05,3.910776e-05,3.914343e-05,3.941903e-05,3.946962e-05,3.965758e-05,3.976779e-05,3.986148e-05,4.000764e-05,4.003300e-05,4.017432e-05,4.019426e-05,4.028751e-05,4.033244e-05,4.037455e-05,4.042661e-05,4.043731e-05,4.047754e-05,4.048093e-05,4.049692e-05,4.049924e-05,4.049701e-05,4.048510e-05,4.047930e-05,4.044519e-05,4.044179e-05,4.039598e-05,4.037234e-05,4.033290e-05,4.027954e-05,4.025709e-05,4.016964e-05,4.016591e-05,4.007155e-05,4.003381e-05,3.996375e-05,3.988537e-05,3.984714e-05,3.972253e-05,3.959070e-05,3.954711e-05,3.945236e-05,3.936072e-05,3.930818e-05,3.916486e-05,3.915879e-05,3.900476e-05,3.896088e-05,3.884664e-05,3.875002e-05,3.868494e-05,3.853340e-05,3.852011e-05,3.835260e-05,3.831204e-05,3.818281e-05,3.808688e-05,3.801113e-05,3.785874e-05,3.783788e-05,3.766342e-05,3.762840e-05,3.748802e-05,3.739653e-05,3.731196e-05,3.716376e-05,3.713551e-05,3.695890e-05,3.693064e-05,3.678235e-05,3.669768e-05,3.660605e-05,3.646532e-05,3.643019e-05,3.625494e-05,3.623396e-05,3.608046e-05,3.600397e-05,3.590690e-05,3.577567e-05,3.573437e-05,3.556300e-05,3.554935e-05,3.539290e-05,3.532524e-05,3.522417e-05,3.510358e-05,3.505690e-05,3.489116e-05,3.488456e-05,3.472703e-05,3.466835e-05,3.456458e-05,3.445509e-05,3.440386e-05,3.424492e-05,3.403793e-05,3.383422e-05,3.363385e-05,3.343690e-05,3.324341e-05,3.305341e-05,3.286692e-05,3.268397e-05,3.250456e-05,3.232869e-05,3.215636e-05,3.198753e-05,3.182221e-05,3.166036e-05,3.150196e-05,3.134697e-05,3.119536e-05,3.104708e-05,3.090211e-05,3.076038e-05,3.062186e-05,3.048649e-05,3.035424e-05,3.022504e-05
0.000000e+00,5.517879e-10,1.608429e-09,7.795554e-09,2.194876e-08,3.513479e-08,9.620389e-08,9.973871e-08,2.207788e-07,2.675793e-07,4.191184e-07,5.846146e-07,7.174933e-07,1.100754e-06,1.139604e-06,1.705829e-06,1.864582e-06,2.426286e-06,2.896383e-06,3.297771e-06,4.179530e-06,4.307440e-06,5.438344e-06,5.677521e-06,6.672967e-06,7.350371e-06,7.994597e-06,9.160501e-06,9.387544e-06,1.083695e-05,1.107314e-05,1.232862e-05,1.305559e-05,1.384888e-05,1.507687e-05,1.538466e-05,1.692357e-05,1.710789e-05,1.845405e-05,1.912204e-05,1.996556e-05,2.109577e-05,2.144865e-05,2.289509e-05,2.300901e-05,2.429791e-05,2.484550e-05,2.565139e-05,2.659276e-05,2.695101e-05,2.819340e-05,2.824187e-05,2.937624e-05,2.978719e-05,3.049814e-05,3.122590e-05,3.155853e-05,3.255756e-05,3.349597e-05,3.378364e-05,3.437497e-05,3.490707e-05,3.519615e-05,3.593185e-05,3.596141e-05,3.667286e-05,3.686274e-05,3.733277e-05,3.770495e-05,3.794349e-05,3.846398e-05,3.850743e-05,3.902701e-05,3.914537e-05,3.950462e-05,3.975463e-05,3.994260e-05,4.029706e-05,4.034324e-05,4.070872e-05,4.077779e-05,4.104117e-05,4.120166e-05,4.134259e-05,4.157322e-05,4.161491e-05,4.185994e-05,4.189673e-05,4.207942e-05,4.217616e-05,4.227495e-05,4.241517e-05,4.244807e-05,4.260023e-05,4.261715e-05,4.273278e-05,4.278521e-05,4.284697e-05,4.292223e-05,4.294401e-05,4.302501e-05,4.303083e-05,4.309102e-05,4.311344e-05,4.314300e-05,4.317227e-05,4.318188e-05,4.320852e-05,4.320934e-05,4.322370e-05,4.322652e-05,4.322820e-05,4.322550e-05,4.322270e-05,4.320786e-05,4.318431e-05,4.317503e-05,4.315262e-05,4.312831e-05,4.311332e-05,4.306892e-05,4.306693e-05,4.301392e-05,4.299795e-05,4.295473e-05,4.291643e-05,4.288979e-05,4.282529e-05,4.281947e-05,4.274416e-05,4.272538e-05,4.266420e-05,4.261751e-05,4.257990e-05,4.250239e-05,4.249159e-05,4.239953e-05,4.238070e-05,4.230401e-05,4.225306e-05,4.220528e-05,4.212003e-05,4.210357e-05,4.199911e-05,4.198216e-05,4.189212e-05,4.183992e-05,4.178278e-05,4.169376e-05,4.167130e-05,4.155784e-05,4.154410e-05,4.144258e-05,4.139133e-05,4.132567e-05,4.123580e-05,4.120725e-05,4.108748e-05,4.107785e-05,4.096649e-05,4.091777e-05,4.084439e-05,4.075586e-05,4.072131e-05,4.059736e-05,4.059238e-05,4.047264e-05,4.042757e-05,4.034726e-05,4.026167e-05,4.022130e-05,4.009487e-05,3.992737e-05,3.975937e-05,3.959102e-05,3.942248e-05,3.925390e-05,3.908541e-05,3.891713e-05,3.874919e-05,3.858169e-05,3.841473e-05,3.824840e-05,3.808278e-05,3.791797e-05,3.775402e-05,3.759100e-05,3.742899e-05,3.726802e-05,3.710817e-05,3.694947e-05,3.679197e-05,3.663571e-05,3.648072e-05,3.632705e-05,3.617471e-05
0.000000e+00,4.333976e-09,9.923442e-09,3.410760e-08,7.754005e-08,1.130738e-07,2.562477e-07,2.639481e-07,5.097246e-07,5.988442e-07,8.750080e-07,1.162578e-06,1.386412e-06,2.008131e-06,2.069587e-06,2.940639e-06,3.177851e-06,3.997986e-06,4.665790e-06,5.225633e-06,6.430651e-06,6.603231e-06,8.111839e-06,8.427779e-06,9.734724e-06,1.061865e-05,1.145650e-05,1.296837e-05,1.326234e-05,1.513752e-05,1.544300e-05,1.706736e-05,1.800882e-05,1.903733e-05,2.063265e-05,2.103324e-05,2.304152e-05,2.328272e-05,2.504935e-05,2.592958e-05,2.704495e-05,2.854682e-05,2.901765e-05,3.095798e-05,3.111155e-05,3.285770e-05,3.360462e-05,3.470983e-05,3.601057e-05,3.650853e-05,3.824909e-05,3.831745e-05,3.992782e-05,4.051646e-05,4.154193e-05,4.260160e-05,4.308949e-05,4.456929e-05,4.598080e-05,4.641805e-05,4.732405e-05,4.814810e-05,4.859948e-05,4.976080e-05,4.980786e-05,5.095025e-05,5.125847e-05,5.202796e-05,5.264416e-05,5.304249e-05,5.392151e-05,5.399553e-05,5.488891e-05,5.509466e-05,5.572456e-05,5.616804e-05,5.650446e-05,5.714627e-05,5.723065e-05,5.790520e-05,5.803409e-05,5.853021e-05,5.883640e-05,5.910799e-05,5.955854e-05,5.964087e-05,6.013081e-05,6.020534e-05,6.057970e-05,6.078117e-05,6.098948e-05,6.129036e-05,6.136196e-05,6.169891e-05,6.173704e-05,6.200208e-05,6.212521e-05,6.227315e-05,6.245868e-05,6.251373e-05,6.272537e-05,6.274110e-05,6.290958e-05,6.297591e-05,6.306781e-05,6.316644e-05,6.320146e-05,6.331187e-05,6.331582e-05,6.340032e-05,6.342702e-05,6.346804e-05,6.350287e-05,6.351623e-05,6.354600e-05,6.355845e-05,6.355894e-05,6.355461e-05,6.354406e-05,6.353547e-05,6.350359e-05,6.350198e-05,6.345505e-05,6.343962e-05,6.339555e-05,6.335415e-05,6.332429e-05,6.324902e-05,6.324206e-05,6.314961e-05,6.312598e-05,6.304765e-05,6.298666e-05,6.293687e-05,6.283260e-05,6.281791e-05,6.269139e-05,6.266522e-05,6.255788e-05,6.248588e-05,6.241795e-05,6.229583e-05,6.227212e-05,6.212090e-05,6.209624e-05,6.196476e-05,6.188819e-05,6.180414e-05,6.167272e-05,6.163948e-05,6.147118e-05,6.145076e-05,6.129963e-05,6.122321e-05,6.112518e-05,6.099087e-05,6.094817e-05,6.076894e-05,6.075452e-05,6.058779e-05,6.051485e-05,6.040500e-05,6.027253e-05,6.022085e-05,6.003559e-05,6.002816e-05,5.984946e-05,5.978229e-05,5.966270e-05,5.953545e-05,5.947552e-05,5.928811e-05,5.904070e-05,5.879363e-05,5.854727e-05,5.830194e-05,5.805797e-05,5.781563e-05,5.757517e-05,5.733683e-05,5.710081e-05,5.686730e-05,5.663647e-05,5.640846e-05,5.618342e-05,5.596145e-05,5.574266e-05,5.552713e-05,5.531495e-05,5.510617e-05,5.490085e-05,5.469903e-05,5.450075e-05,5.430602e-05,5.411488e-05,5.392733e-05
0.000000e+00,1.575992e-08,4.656015e-08,2.317787e-07,6.677060e-07,1.081635e-06,3.046230e-06,3.161499e-06,7.163536e-06,8.729581e-06,1.383658e-05,1.944667e-05,2.396157e-05,3.700403e-05,3.832765e-05,5.769210e-05,6.315934e-05,8.270591e-05,9.935437e-05,1.137988e-04,1.462677e-04,1.510576e-04,1.941707e-04,2.034428e-04,2.424817e-04,2.693709e-04,2.951117e-04,3.419461e-04,3.510859e-04,4.094250e-04,4.189157e-04,4.692012e-04,4.981522e-04,5.295680e-04,5.777781e-04,5.897736e-04,6.491657e-04,6.562108e-04,7.071912e-04,7.321681e-04,7.633920e-04,8.046547e-04,8.174000e-04,8.689298e-04,8.729383e-04,9.177705e-04,9.365195e-04,9.637781e-04,9.950989e-04,1.006867e-03,1.047000e-03,1.048543e-03,1.084183e-03,1.096853e-03,1.118456e-03,1.140132e-03,1.149886e-03,1.178562e-03,1.204590e-03,1.212379e-03,1.228087e-03,1.241853e-03,1.249176e-03,1.267277e-03,1.267987e-03,1.284651e-03,1.288950e-03,1.299299e-03,1.307174e-03,1.312059e-03,1.322240e-03,1.323058e-03,1.332417e-03,1.334432e-03,1.340253e-03,1.344018e-03,1.346677e-03,1.351247e-03,1.351796e-03,1.355709e-03,1.356355e-03,1.358511e-03,1.359559e-03,1.360292e-03,1.361059e-03,1.361133e-03,1.361115e-03,1.361037e-03,1.360308e-03,1.359661e-03,1.358782e-03,1.357085e-03,1.356598e-03,1.353817e-03,1.353446e-03,1.350493e-03,1.348871e-03,1.346676e-03,1.343474e-03,1.342413e-03,1.337747e-03,1.337358e-03,1.332720e-03,1.330617e-03,1.327368e-03,1.323334e-03,1.321726e-03,1.315826e-03,1.315585e-03,1.309696e-03,1.307439e-03,1.303365e-03,1.298957e-03,1.296856e-03,1.290194e-03,1.283400e-03,1.281201e-03,1.276492e-03,1.272021e-03,1.269490e-03,1.262694e-03,1.262410e-03,1.255266e-03,1.253257e-03,1.248074e-03,1.243741e-03,1.240846e-03,1.234175e-03,1.233594e-03,1.226328e-03,1.224584e-03,1.219059e-03,1.214991e-03,1.211796e-03,1.205416e-03,1.204547e-03,1.197320e-03,1.195878e-03,1.190122e-03,1.186392e-03,1.182958e-03,1.176972e-03,1.175835e-03,1.168758e-03,1.167630e-03,1.161732e-03,1.158378e-03,1.154760e-03,1.149225e-03,1.147847e-03,1.140996e-03,1.140178e-03,1.134210e-03,1.131246e-03,1.127493e-03,1.122434e-03,1.120846e-03,1.114271e-03,1.113748e-03,1.107771e-03,1.105192e-03,1.101347e-03,1.096769e-03,1.095000e-03,1.088732e-03,1.088483e-03,1.082544e-03,1.080336e-03,1.076436e-03,1.072330e-03,1.070410e-03,1.064466e-03,1.056745e-03,1.049168e-03,1.041734e-03,1.034445e-03,1.027299e-03,1.020295e-03,1.013434e-03,1.006713e-03,1.000131e-03,9.936882e-04,9.873814e-04,9.812095e-04,9.751706e-04,9.692630e-04,9.634848e-04,9.578337e-04,9.523080e-04,9.469054e-04,9.416237e-04,9.364610e-04,9.314149e-04,9.264833e-04,9.216640e-04,9.169547e-04
0.000000e+00,2.587632e-09,5.909931e-09,2.023374e-08,4.584885e-08,6.673182e-08,1.503501e-07,1.548261e-07,2.966814e-07,3.476713e-07,5.043277e-07,6.655236e-07,7.898300e-07,1.131076e-06,1.164565e-06,1.636730e-06,1.764890e-06,2.207911e-06,2.569152e-06,2.872540e-06,3.527285e-06,3.621234e-06,4.444046e-06,4.616667e-06,5.331593e-06,5.815734e-06,6.274973e-06,7.104199e-06,7.265494e-06,8.294507e-06,8.462144e-06,9.353391e-06,9.869760e-06,1.043364e-05,1.130767e-05,1.152701e-05,1.262562e-05,1.275745e-05,1.372214e-05,1.420218e-05,1.480984e-05,1.562687e-05,1.588270e-05,1.693545e-05,1.701866e-05,1.796354e-05,1.836699e-05,1.896316e-05,1.966350e-05,1.993122e-05,2.086527e-05,2.090190e-05,2.176346e-05,2.207776e-05,2.262447e-05,2.318826e-05,2.344743e-05,2.423190e-05,2.497778e-05,2.520834e-05,2.568529e-05,2.611814e-05,2.635485e-05,2.696254e-05,2.698713e-05,2.758292e-05,2.774333e-05,2.814316e-05,2.846267e-05,2.866889e-05,2.912302e-05,2.916120e-05,2.962126e-05,2.972701e-05,3.005026e-05,3.027737e-05,3.044939e-05,3.077689e-05,3.081988e-05,3.116292e-05,3.122834e-05,3.147972e-05,3.163446e-05,3.177143e-05,3.199792e-05,3.203921e-05,3.228417e-05,3.232133e-05,3.250742e-05,3.260717e-05,3.271000e-05,3.285787e-05,3.289294e-05,3.305721e-05,3.307572e-05,3.320378e-05,3.326290e-05,3.333355e-05,3.342149e-05,3.344741e-05,3.354619e-05,3.355347e-05,3.363071e-05,3.366070e-05,3.370174e-05,3.374494e-05,3.376002e-05,3.380625e-05,3.380786e-05,3.384112e-05,3.385102e-05,3.386528e-05,3.387590e-05,3.387933e-05,3.388387e-05,3.387947e-05,3.387625e-05,3.386664e-05,3.385426e-05,3.384592e-05,3.381904e-05,3.381777e-05,3.378267e-05,3.377166e-05,3.374106e-05,3.371313e-05,3.369334e-05,3.364440e-05,3.363993e-05,3.358119e-05,3.356635e-05,3.351750e-05,3.347979e-05,3.344918e-05,3.338550e-05,3.337657e-05,3.329998e-05,3.328421e-05,3.321969e-05,3.317657e-05,3.313598e-05,3.306322e-05,3.304912e-05,3.295936e-05,3.294474e-05,3.286693e-05,3.282168e-05,3.277205e-05,3.269454e-05,3.267495e-05,3.257582e-05,3.256379e-05,3.247484e-05,3.242988e-05,3.237221e-05,3.229321e-05,3.226809e-05,3.216265e-05,3.215416e-05,3.205603e-05,3.201308e-05,3.194838e-05,3.187031e-05,3.183983e-05,3.173053e-05,3.172614e-05,3.162057e-05,3.158085e-05,3.151009e-05,3.143471e-05,3.139919e-05,3.128796e-05,3.114081e-05,3.099348e-05,3.084615e-05,3.069900e-05,3.055218e-05,3.040584e-05,3.026013e-05,3.011515e-05,2.997103e-05,2.982787e-05,2.968576e-05,2.954479e-05,2.940504e-05,2.926656e-05,2.912944e-05,2.899371e-05,2.885944e-05,2.872666e-05,2.859542e-05,2.846575e-05,2.833768e-05,2.821124e-05,2.808644e-05,2.796330e-05
0.000000e+00,1.580988e-09,3.973013e-09,1.518354e-08,3.636266e-08,5.407565e-08,1.267544e-07,1.306937e-07,2.569461e-07,3.027920e-07,4.446041e-07,5.916282e-07,7.056007e-07,1.020838e-06,1.051963e-06,1.494798e-06,1.616404e-06,2.041774e-06,2.394339e-06,2.694137e-06,3.351040e-06,3.446260e-06,4.288474e-06,4.466787e-06,5.210146e-06,5.717412e-06,6.201102e-06,7.080056e-06,7.251804e-06,8.353125e-06,8.533437e-06,9.496176e-06,1.005709e-05,1.067223e-05,1.163108e-05,1.187274e-05,1.308943e-05,1.323614e-05,1.431440e-05,1.485407e-05,1.554023e-05,1.646820e-05,1.676008e-05,1.796774e-05,1.806365e-05,1.915769e-05,1.962760e-05,2.032510e-05,2.114934e-05,2.146585e-05,2.257647e-05,2.262023e-05,2.365414e-05,2.403358e-05,2.469660e-05,2.538447e-05,2.570215e-05,2.666955e-05,2.759801e-05,2.788680e-05,2.848707e-05,2.903532e-05,2.933661e-05,3.011512e-05,3.014678e-05,3.091794e-05,3.112696e-05,3.165067e-05,3.207215e-05,3.234567e-05,3.295246e-05,3.300378e-05,3.362592e-05,3.376999e-05,3.421310e-05,3.452704e-05,3.476638e-05,3.522609e-05,3.528685e-05,3.577565e-05,3.586971e-05,3.623391e-05,3.646051e-05,3.666277e-05,3.700111e-05,3.706336e-05,3.743680e-05,3.749411e-05,3.778421e-05,3.794203e-05,3.810667e-05,3.834739e-05,3.840525e-05,3.868098e-05,3.871259e-05,3.893489e-05,3.903994e-05,3.916793e-05,3.933169e-05,3.938108e-05,3.957523e-05,3.958997e-05,3.975130e-05,3.981685e-05,3.991012e-05,4.001427e-05,4.005254e-05,4.017934e-05,4.018410e-05,4.029130e-05,4.032812e-05,4.038916e-05,4.044801e-05,4.047362e-05,4.054536e-05,4.060505e-05,4.062170e-05,4.065330e-05,4.067846e-05,4.069072e-05,4.071699e-05,4.071789e-05,4.073535e-05,4.073858e-05,4.074365e-05,4.074443e-05,4.074327e-05,4.073570e-05,4.073472e-05,4.071845e-05,4.071345e-05,4.069491e-05,4.067871e-05,4.066452e-05,4.063243e-05,4.062768e-05,4.058479e-05,4.057551e-05,4.053620e-05,4.050881e-05,4.048228e-05,4.043311e-05,4.042336e-05,4.035977e-05,4.034918e-05,4.029180e-05,4.025771e-05,4.021975e-05,4.015936e-05,4.014390e-05,4.006452e-05,4.005477e-05,3.998185e-05,3.994450e-05,3.989614e-05,3.982911e-05,3.980762e-05,3.971651e-05,3.970911e-05,3.962300e-05,3.958498e-05,3.952731e-05,3.945716e-05,3.942961e-05,3.933009e-05,3.932608e-05,3.922892e-05,3.919213e-05,3.912626e-05,3.905567e-05,3.902225e-05,3.891705e-05,3.877659e-05,3.863459e-05,3.849132e-05,3.834704e-05,3.820199e-05,3.805639e-05,3.791046e-05,3.776439e-05,3.761835e-05,3.747250e-05,3.732701e-05,3.718201e-05,3.703764e-05,3.689400e-05,3.675122e-05,3.660938e-05,3.646859e-05,3.632893e-05,3.619047e-05,3.605329e-05,3.591744e-05,3.578298e-05,3.564996e-05,3.551844e-05
0.000000e+00,2.065313e-09,6.162521e-09,3.131321e-08,9.189280e-08,1.503635e-07,4.343793e-07,4.512739e-07,1.047530e-06,1.284659e-06,2.067986e-06,2.941614e-06,3.652220e-06,5.733369e-06,5.946555e-06,9.099796e-06,1.000071e-05,1.325729e-05,1.607448e-05,1.855175e-05,2.423734e-05,2.509033e-05,3.294066e-05,3.467071e-05,4.212201e-05,4.741451e-05,5.260565e-05,6.236889e-05,6.432274e-05,7.717488e-05,7.932885e-05,9.104375e-05,9.802394e-05,1.057989e-04,1.181494e-04,1.213036e-04,1.374195e-04,1.393879e-04,1.540099e-04,1.614258e-04,1.709428e-04,1.839632e-04,1.880925e-04,2.053418e-04,2.067228e-04,2.225828e-04,2.294545e-04,2.397174e-04,2.519391e-04,2.566583e-04,2.733284e-04,2.739886e-04,2.896610e-04,2.954468e-04,3.055991e-04,3.161871e-04,3.210952e-04,3.361106e-04,3.506143e-04,3.551434e-04,3.645829e-04,3.732338e-04,3.779993e-04,3.903490e-04,3.908522e-04,4.031355e-04,4.064725e-04,4.148476e-04,4.216013e-04,4.259904e-04,4.357435e-04,4.365693e-04,4.465923e-04,4.489162e-04,4.560698e-04,4.611434e-04,4.650140e-04,4.724545e-04,4.734384e-04,4.813581e-04,4.828828e-04,4.887885e-04,4.924645e-04,4.957462e-04,5.012376e-04,5.022479e-04,5.083106e-04,5.092410e-04,5.139515e-04,5.165143e-04,5.191877e-04,5.230967e-04,5.240362e-04,5.285137e-04,5.290269e-04,5.326368e-04,5.343429e-04,5.364216e-04,5.390814e-04,5.398837e-04,5.430386e-04,5.432782e-04,5.459010e-04,5.469673e-04,5.484854e-04,5.501817e-04,5.508055e-04,5.528749e-04,5.529526e-04,5.547063e-04,5.553098e-04,5.563122e-04,5.572815e-04,5.577045e-04,5.588945e-04,5.598933e-04,5.601742e-04,5.607113e-04,5.611445e-04,5.613584e-04,5.618278e-04,5.618443e-04,5.621781e-04,5.622455e-04,5.623684e-04,5.624173e-04,5.624237e-04,5.623621e-04,5.623518e-04,5.621603e-04,5.620973e-04,5.618564e-04,5.616396e-04,5.614468e-04,5.610043e-04,5.609382e-04,5.603368e-04,5.602059e-04,5.596484e-04,5.592579e-04,5.588786e-04,5.581730e-04,5.580328e-04,5.571160e-04,5.569630e-04,5.561330e-04,5.556390e-04,5.550884e-04,5.542112e-04,5.539865e-04,5.528314e-04,5.526894e-04,5.516271e-04,5.510825e-04,5.503771e-04,5.493989e-04,5.490851e-04,5.477544e-04,5.476464e-04,5.463881e-04,5.458322e-04,5.449891e-04,5.439633e-04,5.435604e-04,5.421046e-04,5.420458e-04,5.406242e-04,5.400857e-04,5.391216e-04,5.380884e-04,5.375992e-04,5.360590e-04,5.340022e-04,5.319224e-04,5.298237e-04,5.277098e-04,5.255842e-04,5.234502e-04,5.213107e-04,5.191686e-04,5.170263e-04,5.148863e-04,5.127507e-04,5.106215e-04,5.085006e-04,5.063896e-04,5.042902e-04,5.022036e-04,5.001312e-04,4.980743e-04,4.960338e-04,4.940108e-04,4.920061e-04,4.900205e-04,4.880548e-04,4.861095e-04
0.000000e+00,2.308031e-09,5.604454e-09,2.052421e-08,4.806683e-08,7.087644e-08,1.638809e-07,1.689157e-07,3.307303e-07,3.898267e-07,5.739659e-07,7.668020e-07,9.172458e-07,1.334317e-06,1.375363e-06,1.951815e-06,2.107023e-06,2.638577e-06,3.066837e-06,3.423617e-06,4.187063e-06,4.296058e-06,5.246864e-06,5.445715e-06,6.268008e-06,6.824214e-06,7.351679e-06,8.304403e-06,8.489823e-06,9.673982e-06,9.867131e-06,1.089530e-05,1.149206e-05,1.214466e-05,1.315814e-05,1.341284e-05,1.469074e-05,1.484431e-05,1.596952e-05,1.653031e-05,1.724087e-05,1.819735e-05,1.849706e-05,1.973110e-05,1.982868e-05,2.093679e-05,2.140989e-05,2.210875e-05,2.292910e-05,2.324245e-05,2.433419e-05,2.437694e-05,2.538104e-05,2.574647e-05,2.638081e-05,2.703296e-05,2.733197e-05,2.823362e-05,2.908536e-05,2.934737e-05,2.988726e-05,3.037454e-05,3.063981e-05,3.131657e-05,3.134381e-05,3.200032e-05,3.217580e-05,3.261064e-05,3.295527e-05,3.317625e-05,3.365847e-05,3.369872e-05,3.417976e-05,3.428924e-05,3.462111e-05,3.485160e-05,3.502456e-05,3.534966e-05,3.539189e-05,3.572491e-05,3.578755e-05,3.602538e-05,3.616934e-05,3.629504e-05,3.649899e-05,3.653559e-05,3.674866e-05,3.678031e-05,3.693586e-05,3.701697e-05,3.709870e-05,3.721244e-05,3.723867e-05,3.735716e-05,3.737000e-05,3.745552e-05,3.749276e-05,3.753503e-05,3.758361e-05,3.759691e-05,3.764231e-05,3.764526e-05,3.767233e-05,3.768027e-05,3.768801e-05,3.769097e-05,3.769033e-05,3.768022e-05,3.767957e-05,3.765856e-05,3.764809e-05,3.762617e-05,3.759842e-05,3.758383e-05,3.753229e-05,3.747223e-05,3.745131e-05,3.740430e-05,3.735698e-05,3.732911e-05,3.725065e-05,3.724725e-05,3.715926e-05,3.713359e-05,3.706564e-05,3.700696e-05,3.696687e-05,3.687184e-05,3.686340e-05,3.675565e-05,3.672920e-05,3.664403e-05,3.657996e-05,3.652889e-05,3.642493e-05,3.641058e-05,3.628944e-05,3.626489e-05,3.616576e-05,3.610054e-05,3.603983e-05,3.593251e-05,3.591192e-05,3.578228e-05,3.576140e-05,3.565115e-05,3.558774e-05,3.551873e-05,3.541202e-05,3.538525e-05,3.525088e-05,3.523470e-05,3.511580e-05,3.505619e-05,3.498019e-05,3.487686e-05,3.484419e-05,3.470796e-05,3.469705e-05,3.457161e-05,3.451708e-05,3.443529e-05,3.433722e-05,3.429911e-05,3.416317e-05,3.415774e-05,3.402758e-05,3.397887e-05,3.389242e-05,3.380081e-05,3.375779e-05,3.362377e-05,3.344790e-05,3.327337e-05,3.310031e-05,3.292885e-05,3.275909e-05,3.259114e-05,3.242508e-05,3.226098e-05,3.209892e-05,3.193895e-05,3.178112e-05,3.162546e-05,3.147203e-05,3.132083e-05,3.117190e-05,3.102526e-05,3.088091e-05,3.073887e-05,3.059914e-05,3.046171e-05,3.032660e-05,3.019378e-05,3.006326e-05,2.993501e-05
0.000000e+00,3.279289e-09,7.499859e-09,2.578148e-08,5.871992e-08,8.576440e-08,1.955184e-07,2.014545e-07,3.925059e-07,4.624789e-07,6.813449e-07,9.120392e-07,1.093198e-06,1.601567e-06,1.652115e-06,2.371432e-06,2.567770e-06,3.246428e-06,3.798004e-06,4.259325e-06,5.248437e-06,5.389653e-06,6.619483e-06,6.876026e-06,7.933794e-06,8.646221e-06,9.319469e-06,1.052971e-05,1.076439e-05,1.225695e-05,1.249942e-05,1.378588e-05,1.452947e-05,1.534028e-05,1.659512e-05,1.690973e-05,1.848443e-05,1.867331e-05,2.005534e-05,2.074319e-05,2.161426e-05,2.278651e-05,2.315392e-05,2.466798e-05,2.478783e-05,2.615101e-05,2.673449e-05,2.759848e-05,2.861652e-05,2.900668e-05,3.037269e-05,3.042642e-05,3.169426e-05,3.215881e-05,3.296973e-05,3.381013e-05,3.419798e-05,3.537836e-05,3.651061e-05,3.686276e-05,3.759476e-05,3.826353e-05,3.863117e-05,3.958171e-05,3.962038e-05,4.056313e-05,4.081889e-05,4.146031e-05,4.197715e-05,4.231292e-05,4.305889e-05,4.312205e-05,4.388887e-05,4.406674e-05,4.461458e-05,4.500348e-05,4.530042e-05,4.587198e-05,4.594765e-05,4.655756e-05,4.667517e-05,4.713140e-05,4.741597e-05,4.767046e-05,4.809730e-05,4.817598e-05,4.864921e-05,4.872202e-05,4.909137e-05,4.929293e-05,4.950366e-05,4.981278e-05,4.988725e-05,5.024329e-05,5.028422e-05,5.057289e-05,5.070982e-05,5.087715e-05,5.109208e-05,5.115712e-05,5.141382e-05,5.143339e-05,5.164827e-05,5.173604e-05,5.186143e-05,5.200224e-05,5.205422e-05,5.222757e-05,5.223411e-05,5.238235e-05,5.243368e-05,5.251940e-05,5.260288e-05,5.263954e-05,5.274356e-05,5.283224e-05,5.285749e-05,5.290629e-05,5.294634e-05,5.296643e-05,5.301171e-05,5.301334e-05,5.304767e-05,5.305512e-05,5.307007e-05,5.307803e-05,5.308113e-05,5.308181e-05,5.308145e-05,5.307158e-05,5.306776e-05,5.305206e-05,5.303712e-05,5.302342e-05,5.299106e-05,5.298615e-05,5.294073e-05,5.293071e-05,5.288762e-05,5.285711e-05,5.282725e-05,5.277125e-05,5.276006e-05,5.268644e-05,5.267409e-05,5.260679e-05,5.256652e-05,5.252147e-05,5.244937e-05,5.243084e-05,5.233524e-05,5.232344e-05,5.223499e-05,5.218949e-05,5.213042e-05,5.204823e-05,5.202181e-05,5.190945e-05,5.190031e-05,5.179362e-05,5.174637e-05,5.167457e-05,5.158700e-05,5.155255e-05,5.142780e-05,5.142276e-05,5.130055e-05,5.125417e-05,5.117101e-05,5.108173e-05,5.103940e-05,5.090589e-05,5.072709e-05,5.054575e-05,5.036223e-05,5.017689e-05,4.999008e-05,4.980210e-05,4.961324e-05,4.942378e-05,4.923397e-05,4.904404e-05,4.885422e-05,4.866470e-05,4.847569e-05,4.828734e-05,4.809984e-05,4.791332e-05,4.772792e-05,4.754377e-05,4.736099e-05,4.717969e-05,4.699996e-05,4.682189e-05,4.664556e-05,4.647104e-05
0.000000e+00,3.167484e-08,9.413178e-08,4.743652e-07,1.381957e-06,2.252588e-06,6.447968e-06,6.696451e-06,1.542906e-05,1.889034e-05,3.030675e-05,4.303282e-05,5.339080e-05,8.378519e-05,8.690352e-05,1.330785e-04,1.462698e-04,1.938283e-04,2.346972e-04,2.703492e-04,3.509939e-04,3.629442e-04,4.711330e-04,4.945581e-04,5.938786e-04,6.630057e-04,7.297850e-04,8.529387e-04,8.772356e-04,1.034483e-03,1.060430e-03,1.199707e-03,1.281308e-03,1.371068e-03,1.511345e-03,1.546737e-03,1.724939e-03,1.746411e-03,1.903974e-03,1.982599e-03,2.082252e-03,2.216330e-03,2.258307e-03,2.430821e-03,2.444433e-03,2.598626e-03,2.664199e-03,2.760716e-03,2.873402e-03,2.916246e-03,3.064530e-03,3.070303e-03,3.205031e-03,3.253627e-03,3.337355e-03,3.422525e-03,3.461237e-03,3.576529e-03,3.683189e-03,3.715503e-03,3.781266e-03,3.839585e-03,3.870884e-03,3.949133e-03,3.952231e-03,4.025550e-03,4.044679e-03,4.091125e-03,4.126884e-03,4.149274e-03,4.196505e-03,4.200337e-03,4.244674e-03,4.254355e-03,4.282653e-03,4.301282e-03,4.314645e-03,4.338142e-03,4.341023e-03,4.362155e-03,4.365784e-03,4.378402e-03,4.385036e-03,4.390113e-03,4.396695e-03,4.397629e-03,4.401275e-03,4.401520e-03,4.401362e-03,4.400227e-03,4.398187e-03,4.393487e-03,4.392031e-03,4.383159e-03,4.381924e-03,4.371822e-03,4.366114e-03,4.358255e-03,4.346589e-03,4.342678e-03,4.325296e-03,4.323833e-03,4.306300e-03,4.298291e-03,4.285870e-03,4.270365e-03,4.264170e-03,4.241354e-03,4.240420e-03,4.217564e-03,4.208786e-03,4.192929e-03,4.175758e-03,4.167572e-03,4.141603e-03,4.115124e-03,4.106559e-03,4.088229e-03,4.070837e-03,4.061003e-03,4.034628e-03,4.033525e-03,4.005865e-03,3.998097e-03,3.978090e-03,3.961394e-03,3.950257e-03,3.924648e-03,3.922422e-03,3.894633e-03,3.887975e-03,3.866933e-03,3.851475e-03,3.839363e-03,3.815236e-03,3.811957e-03,3.784748e-03,3.779332e-03,3.757764e-03,3.743830e-03,3.731031e-03,3.708786e-03,3.704571e-03,3.678404e-03,3.674246e-03,3.652548e-03,3.640251e-03,3.627017e-03,3.606835e-03,3.601824e-03,3.576982e-03,3.574025e-03,3.552499e-03,3.541842e-03,3.528383e-03,3.510305e-03,3.504641e-03,3.481279e-03,3.479426e-03,3.458300e-03,3.449216e-03,3.435707e-03,3.419680e-03,3.413502e-03,3.391686e-03,3.390822e-03,3.370260e-03,3.362642e-03,3.349223e-03,3.335140e-03,3.328574e-03,3.308311e-03,3.282152e-03,3.256656e-03,3.231814e-03,3.207619e-03,3.184061e-03,3.161130e-03,3.138814e-03,3.117102e-03,3.095982e-03,3.075442e-03,3.055469e-03,3.036050e-03,3.017172e-03,2.998823e-03,2.980990e-03,2.963660e-03,2.946820e-03,2.930457e-03,2.914558e-03,2.899112e-03,2.884106e-03,2.869527e-03,2.855364e-03,2.841606e-03
0.000000e+00,8.633843e-10,2.412984e-09,1.079208e-08,2.844721e-08,4.403440e-08,1.113867e-07,1.151312e-07,2.377472e-07,2.831054e-07,4.250232e-07,5.738689e-07,6.900487e-07,1.013675e-06,1.045755e-06,1.503450e-06,1.629330e-06,2.069281e-06,2.432566e-06,2.739790e-06,3.405183e-06,3.500569e-06,4.330356e-06,4.502607e-06,5.206997e-06,5.674790e-06,6.111126e-06,6.880254e-06,7.027044e-06,7.942183e-06,8.087824e-06,8.846326e-06,9.273869e-06,9.731014e-06,1.041997e-05,1.058919e-05,1.141501e-05,1.151170e-05,1.220378e-05,1.253813e-05,1.295187e-05,1.349155e-05,1.365665e-05,1.431646e-05,1.436728e-05,1.493049e-05,1.516325e-05,1.549867e-05,1.587967e-05,1.602157e-05,1.650029e-05,1.651854e-05,1.693634e-05,1.708322e-05,1.733155e-05,1.757800e-05,1.768796e-05,1.800777e-05,1.829322e-05,1.837769e-05,1.854662e-05,1.869301e-05,1.877022e-05,1.895887e-05,1.896621e-05,1.913671e-05,1.918017e-05,1.928376e-05,1.936152e-05,1.940924e-05,1.950718e-05,1.951495e-05,1.960256e-05,1.962107e-05,1.967362e-05,1.970672e-05,1.972955e-05,1.976732e-05,1.977169e-05,1.980125e-05,1.980575e-05,1.981933e-05,1.982455e-05,1.982697e-05,1.982600e-05,1.982510e-05,1.981457e-05,1.981213e-05,1.979616e-05,1.978474e-05,1.977059e-05,1.974541e-05,1.973850e-05,1.970049e-05,1.969556e-05,1.965711e-05,1.963644e-05,1.960884e-05,1.956917e-05,1.955615e-05,1.949944e-05,1.949474e-05,1.943910e-05,1.941402e-05,1.937546e-05,1.932779e-05,1.930886e-05,1.923956e-05,1.923674e-05,1.916785e-05,1.914149e-05,1.909397e-05,1.904261e-05,1.901815e-05,1.894059e-05,1.886148e-05,1.883587e-05,1.878100e-05,1.872885e-05,1.869931e-05,1.861989e-05,1.861656e-05,1.853289e-05,1.850931e-05,1.844843e-05,1.839742e-05,1.836329e-05,1.828447e-05,1.827759e-05,1.819143e-05,1.817069e-05,1.810490e-05,1.805631e-05,1.801808e-05,1.794152e-05,1.793107e-05,1.784393e-05,1.782649e-05,1.775673e-05,1.771139e-05,1.766954e-05,1.759635e-05,1.758241e-05,1.749541e-05,1.748150e-05,1.740858e-05,1.736697e-05,1.732197e-05,1.725287e-05,1.723562e-05,1.714958e-05,1.713928e-05,1.706388e-05,1.702629e-05,1.697856e-05,1.691399e-05,1.689365e-05,1.680918e-05,1.680244e-05,1.672518e-05,1.669171e-05,1.664167e-05,1.658186e-05,1.655868e-05,1.647622e-05,1.647294e-05,1.639433e-05,1.636498e-05,1.631301e-05,1.625805e-05,1.623228e-05,1.615216e-05,1.604735e-05,1.594366e-05,1.584110e-05,1.573970e-05,1.563948e-05,1.554044e-05,1.544261e-05,1.534599e-05,1.525060e-05,1.515643e-05,1.506350e-05,1.497180e-05,1.488134e-05,1.479211e-05,1.470412e-05,1.461736e-05,1.453183e-05,1.444752e-05,1.436442e-05,1.428254e-05,1.420186e-05,1.412237e-05,1.404406e-05,1.396693e-05
0.000000e+00,5.005293e-09,1.473695e-08,7.283963e-08,2.084367e-07,3.363715e-07,9.374968e-07,9.725365e-07,2.178201e-06,2.645348e-06,4.154933e-06,5.793389e-06,7.099655e-06,1.082414e-05,1.119868e-05,1.662261e-05,1.813852e-05,2.351888e-05,2.806748e-05,3.199911e-05,4.082024e-05,4.212217e-05,5.388164e-05,5.642464e-05,6.720597e-05,7.471344e-05,8.197087e-05,9.536971e-05,9.801548e-05,1.151567e-04,1.179881e-04,1.331994e-04,1.421216e-04,1.519443e-04,1.673123e-04,1.711929e-04,1.907518e-04,1.931108e-04,2.104364e-04,2.190924e-04,2.300737e-04,2.448680e-04,2.495046e-04,2.685862e-04,2.700938e-04,2.871924e-04,2.944769e-04,3.052150e-04,3.177784e-04,3.225636e-04,3.391654e-04,3.398131e-04,3.549642e-04,3.604470e-04,3.699195e-04,3.795933e-04,3.840049e-04,3.972067e-04,4.095222e-04,4.132769e-04,4.209583e-04,4.278224e-04,4.315298e-04,4.408848e-04,4.412581e-04,4.501699e-04,4.525230e-04,4.582960e-04,4.628084e-04,4.656700e-04,4.718206e-04,4.723277e-04,4.783062e-04,4.796441e-04,4.836430e-04,4.863655e-04,4.883759e-04,4.920709e-04,4.925421e-04,4.961782e-04,4.968449e-04,4.993196e-04,5.007691e-04,5.020006e-04,5.039208e-04,5.042539e-04,5.061110e-04,5.063734e-04,5.076015e-04,5.081950e-04,5.087534e-04,5.094491e-04,5.095934e-04,5.101462e-04,5.101944e-04,5.104353e-04,5.104847e-04,5.104826e-04,5.103694e-04,5.103084e-04,5.099319e-04,5.098936e-04,5.093708e-04,5.090983e-04,5.086414e-04,5.080208e-04,5.077592e-04,5.067383e-04,5.066948e-04,5.055920e-04,5.051509e-04,5.043323e-04,5.034167e-04,5.029705e-04,5.015172e-04,4.999819e-04,4.994747e-04,4.983735e-04,4.973097e-04,4.967004e-04,4.950402e-04,4.949700e-04,4.931894e-04,4.926827e-04,4.913650e-04,4.902518e-04,4.895028e-04,4.877609e-04,4.876083e-04,4.856865e-04,4.852217e-04,4.837421e-04,4.826449e-04,4.817793e-04,4.800400e-04,4.798021e-04,4.778141e-04,4.774155e-04,4.758186e-04,4.747790e-04,4.738187e-04,4.721373e-04,4.718171e-04,4.698164e-04,4.694965e-04,4.678189e-04,4.668619e-04,4.658268e-04,4.642383e-04,4.638420e-04,4.618664e-04,4.616300e-04,4.599014e-04,4.590406e-04,4.579487e-04,4.564736e-04,4.560095e-04,4.540850e-04,4.539317e-04,4.521764e-04,4.514176e-04,4.502846e-04,4.489334e-04,4.484105e-04,4.465549e-04,4.464811e-04,4.447186e-04,4.440623e-04,4.429020e-04,4.416784e-04,4.411059e-04,4.393306e-04,4.370200e-04,4.347473e-04,4.325133e-04,4.303183e-04,4.281630e-04,4.260474e-04,4.239717e-04,4.219361e-04,4.199405e-04,4.179849e-04,4.160690e-04,4.141927e-04,4.123556e-04,4.105575e-04,4.087980e-04,4.070768e-04,4.053933e-04,4.037471e-04,4.021377e-04,4.005646e-04,3.990274e-04,3.975253e-04,3.960580e-04,3.946247e-04
0.000000e+00,5.299467e-09,1.250233e-08,4.431071e-08,1.020280e-07,1.493688e-07,3.398350e-07,3.500505e-07,6.740969e-07,7.905898e-07,1.148206e-06,1.515553e-06,1.798370e-06,2.573285e-06,2.649280e-06,3.722064e-06,4.014236e-06,5.029527e-06,5.864191e-06,6.569512e-06,8.100673e-06,8.320894e-06,1.024755e-05,1.065026e-05,1.230806e-05,1.341931e-05,1.446354e-05,1.632285e-05,1.668046e-05,1.893039e-05,1.929177e-05,2.118910e-05,2.227015e-05,2.343570e-05,2.521208e-05,2.565219e-05,2.782312e-05,2.807993e-05,2.993552e-05,3.084359e-05,3.197868e-05,3.347985e-05,3.394406e-05,3.582509e-05,3.597177e-05,3.761699e-05,3.830803e-05,3.931656e-05,4.048201e-05,4.092198e-05,4.243260e-05,4.249106e-05,4.384876e-05,4.433566e-05,4.517161e-05,4.601874e-05,4.640294e-05,4.754504e-05,4.860062e-05,4.892062e-05,4.957267e-05,5.015240e-05,5.046437e-05,5.124789e-05,5.127904e-05,5.202010e-05,5.221488e-05,5.269098e-05,5.306124e-05,5.329509e-05,5.379481e-05,5.383581e-05,5.431647e-05,5.442326e-05,5.474033e-05,5.495405e-05,5.511053e-05,5.539437e-05,5.543015e-05,5.570213e-05,5.575106e-05,5.592932e-05,5.603066e-05,5.611444e-05,5.623937e-05,5.626013e-05,5.636888e-05,5.638301e-05,5.644308e-05,5.646710e-05,5.648502e-05,5.649680e-05,5.649687e-05,5.648070e-05,5.647698e-05,5.643850e-05,5.641216e-05,5.637212e-05,5.630660e-05,5.628334e-05,5.617381e-05,5.616420e-05,5.604513e-05,5.598863e-05,5.589878e-05,5.578328e-05,5.573619e-05,5.555869e-05,5.555130e-05,5.536755e-05,5.529563e-05,5.516396e-05,5.501898e-05,5.494904e-05,5.472384e-05,5.448936e-05,5.441253e-05,5.424654e-05,5.408717e-05,5.399626e-05,5.374973e-05,5.373934e-05,5.347655e-05,5.340202e-05,5.320863e-05,5.304570e-05,5.293625e-05,5.268228e-05,5.266006e-05,5.238064e-05,5.231316e-05,5.209856e-05,5.193962e-05,5.181432e-05,5.156281e-05,5.152843e-05,5.124133e-05,5.118380e-05,5.095343e-05,5.080354e-05,5.066513e-05,5.042292e-05,5.037680e-05,5.008876e-05,5.004272e-05,4.980133e-05,4.966367e-05,4.951480e-05,4.928640e-05,4.922943e-05,4.894546e-05,4.891149e-05,4.866313e-05,4.853947e-05,4.838263e-05,4.817080e-05,4.810416e-05,4.782789e-05,4.780589e-05,4.755397e-05,4.744510e-05,4.728255e-05,4.708875e-05,4.701376e-05,4.674771e-05,4.673713e-05,4.648451e-05,4.639047e-05,4.622425e-05,4.604899e-05,4.596700e-05,4.571286e-05,4.538223e-05,4.505723e-05,4.473795e-05,4.442447e-05,4.411685e-05,4.381513e-05,4.351934e-05,4.322947e-05,4.294553e-05,4.266750e-05,4.239535e-05,4.212904e-05,4.186853e-05,4.161377e-05,4.136470e-05,4.112124e-05,4.088333e-05,4.065089e-05,4.042384e-05,4.020209e-05,3.998556e-05,3.977416e-05,3.956780e-05,3.936638e-05
0.000000e+00,7.344109e-09,1.681110e-08,5.781486e-08,1.315567e-07,1.919384e-07,4.353466e-07,4.484364e-07,8.657806e-07,1.016823e-06,1.483729e-06,1.968184e-06,2.344343e-06,3.388338e-06,3.491727e-06,4.969276e-06,5.377301e-06,6.812870e-06,8.012758e-06,9.039906e-06,1.130872e-05,1.163918e-05,1.457069e-05,1.519195e-05,1.777732e-05,1.953348e-05,2.119934e-05,2.420066e-05,2.478290e-05,2.848220e-05,2.908217e-05,3.225868e-05,3.408897e-05,3.607945e-05,3.914868e-05,3.991601e-05,4.374345e-05,4.420106e-05,4.753993e-05,4.919556e-05,5.128639e-05,5.409004e-05,5.496639e-05,5.856595e-05,5.885007e-05,6.207336e-05,6.344832e-05,6.547908e-05,6.786391e-05,6.877554e-05,7.195693e-05,7.208173e-05,7.501903e-05,7.609160e-05,7.795902e-05,7.988760e-05,8.077529e-05,8.346728e-05,8.603530e-05,8.683105e-05,8.848042e-05,8.998154e-05,9.080429e-05,9.292314e-05,9.300907e-05,9.509733e-05,9.566155e-05,9.707193e-05,9.820343e-05,9.893599e-05,1.005561e-04,1.006928e-04,1.023458e-04,1.027274e-04,1.038984e-04,1.047254e-04,1.053543e-04,1.065582e-04,1.067169e-04,1.079898e-04,1.082340e-04,1.091766e-04,1.097609e-04,1.102808e-04,1.111469e-04,1.113058e-04,1.122548e-04,1.123999e-04,1.131313e-04,1.135272e-04,1.139385e-04,1.145363e-04,1.146794e-04,1.153570e-04,1.154343e-04,1.159745e-04,1.162278e-04,1.165344e-04,1.169233e-04,1.170398e-04,1.174931e-04,1.175272e-04,1.178970e-04,1.180453e-04,1.182540e-04,1.184833e-04,1.185664e-04,1.188365e-04,1.188465e-04,1.190666e-04,1.191401e-04,1.192589e-04,1.193690e-04,1.194152e-04,1.195377e-04,1.196281e-04,1.196506e-04,1.196884e-04,1.197119e-04,1.197202e-04,1.197255e-04,1.197252e-04,1.197049e-04,1.196950e-04,1.196610e-04,1.196239e-04,1.195949e-04,1.195156e-04,1.195080e-04,1.194015e-04,1.193732e-04,1.192768e-04,1.191995e-04,1.191351e-04,1.189973e-04,1.189776e-04,1.188053e-04,1.187692e-04,1.186194e-04,1.185176e-04,1.184207e-04,1.182448e-04,1.182104e-04,1.179892e-04,1.179529e-04,1.177581e-04,1.176439e-04,1.175179e-04,1.173198e-04,1.172694e-04,1.170133e-04,1.169821e-04,1.167504e-04,1.166327e-04,1.164812e-04,1.162729e-04,1.162065e-04,1.159269e-04,1.159043e-04,1.156429e-04,1.155281e-04,1.153550e-04,1.151457e-04,1.150638e-04,1.147698e-04,1.147580e-04,1.144735e-04,1.143663e-04,1.141752e-04,1.139714e-04,1.138753e-04,1.135744e-04,1.131759e-04,1.127770e-04,1.123781e-04,1.119800e-04,1.115834e-04,1.111887e-04,1.107965e-04,1.104072e-04,1.100213e-04,1.096391e-04,1.092610e-04,1.088873e-04,1.085182e-04,1.081540e-04,1.077950e-04,1.074413e-04,1.070931e-04,1.067505e-04,1.064136e-04,1.060827e-04,1.057576e-04,1.054386e-04,1.051257e-04,1.048188e-04
0.000000e+00,4.033324e-09,1.201702e-08,6.087909e-08,1.781909e-07,2.911706e-07,8.383707e-07,8.708684e-07,2.015857e-06,2.470540e-06,3.971137e-06,5.643379e-06,7.003119e-06,1.098485e-05,1.139272e-05,1.742532e-05,1.914838e-05,2.537131e-05,3.074318e-05,3.545440e-05,4.621240e-05,4.781922e-05,6.251827e-05,6.573680e-05,7.952178e-05,8.924544e-05,9.873669e-05,1.164854e-04,1.200239e-04,1.432108e-04,1.470841e-04,1.681008e-04,1.805907e-04,1.944803e-04,2.165058e-04,2.221250e-04,2.508056e-04,2.543059e-04,2.802927e-04,2.934643e-04,3.103614e-04,3.334692e-04,3.407956e-04,3.713906e-04,3.738393e-04,4.019563e-04,4.141348e-04,4.323186e-04,4.539648e-04,4.623208e-04,4.918238e-04,4.929917e-04,5.207064e-04,5.309319e-04,5.488651e-04,5.675542e-04,5.762125e-04,6.026774e-04,6.282027e-04,6.361650e-04,6.527449e-04,6.679209e-04,6.762722e-04,6.978840e-04,6.987636e-04,7.202073e-04,7.260231e-04,7.405998e-04,7.523321e-04,7.599449e-04,7.768252e-04,7.782519e-04,7.955355e-04,7.995333e-04,8.118146e-04,8.205003e-04,8.271115e-04,8.397801e-04,8.414512e-04,8.548609e-04,8.574338e-04,8.673696e-04,8.735280e-04,8.790074e-04,8.881327e-04,8.898052e-04,8.997944e-04,9.013198e-04,9.090067e-04,9.131620e-04,9.174738e-04,9.237320e-04,9.252271e-04,9.322975e-04,9.331016e-04,9.387158e-04,9.413409e-04,9.445117e-04,9.485183e-04,9.497145e-04,9.543526e-04,9.547001e-04,9.584538e-04,9.599499e-04,9.620448e-04,9.643289e-04,9.651514e-04,9.677989e-04,9.678956e-04,9.700112e-04,9.707057e-04,9.718117e-04,9.728122e-04,9.732226e-04,9.742655e-04,9.749608e-04,9.751132e-04,9.753285e-04,9.754005e-04,9.753873e-04,9.751700e-04,9.751553e-04,9.746500e-04,9.744617e-04,9.738877e-04,9.733136e-04,9.728843e-04,9.717612e-04,9.716549e-04,9.702138e-04,9.698380e-04,9.685747e-04,9.675753e-04,9.667508e-04,9.650026e-04,9.647543e-04,9.625973e-04,9.621476e-04,9.602909e-04,9.590361e-04,9.578458e-04,9.556923e-04,9.552723e-04,9.525800e-04,9.521388e-04,9.497781e-04,9.483969e-04,9.468753e-04,9.444861e-04,9.438800e-04,9.407998e-04,9.404249e-04,9.376424e-04,9.362305e-04,9.344147e-04,9.319188e-04,9.311234e-04,9.277749e-04,9.275048e-04,9.243752e-04,9.230022e-04,9.209298e-04,9.184239e-04,9.174442e-04,9.139234e-04,9.137819e-04,9.103721e-04,9.090871e-04,9.067950e-04,9.043499e-04,9.031962e-04,8.995797e-04,8.947854e-04,8.899749e-04,8.851557e-04,8.803349e-04,8.755185e-04,8.707126e-04,8.659224e-04,8.611529e-04,8.564084e-04,8.516930e-04,8.470105e-04,8.423643e-04,8.377572e-04,8.331922e-04,8.286716e-04,8.241977e-04,8.197723e-04,8.153973e-04,8.110742e-04,8.068043e-04,8.025887e-04,7.984286e-04,7.943246e-04,7.902775e-04
0.000000e+00,5.007891e-09,1.210026e-08,4.410200e-08,1.031381e-07,1.520557e-07,3.518725e-07,3.627061e-07,7.117265e-07,8.395855e-07,1.239377e-06,1.660664e-06,1.991649e-06,2.923213e-06,3.016179e-06,4.348026e-06,4.714554e-06,5.989944e-06,7.033387e-06,7.908463e-06,9.785001e-06,1.005248e-05,1.237245e-05,1.285379e-05,1.482724e-05,1.614568e-05,1.738340e-05,1.958811e-05,2.001264e-05,2.268988e-05,2.312114e-05,2.539220e-05,2.669193e-05,2.809836e-05,3.025277e-05,3.078867e-05,3.344516e-05,3.376088e-05,3.605166e-05,3.717895e-05,3.859395e-05,4.047557e-05,4.105984e-05,4.343917e-05,4.362552e-05,4.572374e-05,4.660956e-05,4.790723e-05,4.941414e-05,4.998509e-05,5.195439e-05,5.203088e-05,5.381359e-05,5.445581e-05,5.556214e-05,5.668821e-05,5.720063e-05,5.873055e-05,6.015403e-05,6.058750e-05,6.147380e-05,6.226547e-05,6.269301e-05,6.377203e-05,6.381510e-05,6.484377e-05,6.511558e-05,6.578289e-05,6.630502e-05,6.663641e-05,6.734947e-05,6.740831e-05,6.810258e-05,6.825809e-05,6.872315e-05,6.903992e-05,6.927389e-05,6.970379e-05,6.975859e-05,7.018093e-05,7.025823e-05,7.054446e-05,7.071140e-05,7.085262e-05,7.107111e-05,7.110871e-05,7.131591e-05,7.134473e-05,7.147725e-05,7.153925e-05,7.159562e-05,7.166126e-05,7.167382e-05,7.171446e-05,7.171693e-05,7.172005e-05,7.171203e-05,7.169299e-05,7.165197e-05,7.163552e-05,7.154981e-05,7.154179e-05,7.143788e-05,7.138620e-05,7.130165e-05,7.118955e-05,7.114295e-05,7.096350e-05,7.095591e-05,7.076492e-05,7.068905e-05,7.054875e-05,7.039245e-05,7.031644e-05,7.006935e-05,6.980876e-05,6.972273e-05,6.953590e-05,6.935535e-05,6.925190e-05,6.896977e-05,6.895782e-05,6.865469e-05,6.856832e-05,6.834344e-05,6.815317e-05,6.802497e-05,6.772631e-05,6.770010e-05,6.736963e-05,6.728956e-05,6.703428e-05,6.684461e-05,6.669474e-05,6.639299e-05,6.635165e-05,6.600561e-05,6.593610e-05,6.565718e-05,6.547523e-05,6.530689e-05,6.501156e-05,6.495522e-05,6.460263e-05,6.454615e-05,6.424953e-05,6.407999e-05,6.389633e-05,6.361394e-05,6.354339e-05,6.319105e-05,6.314882e-05,6.283961e-05,6.268535e-05,6.248938e-05,6.222418e-05,6.214062e-05,6.179358e-05,6.176590e-05,6.144849e-05,6.131104e-05,6.110555e-05,6.086007e-05,6.076495e-05,6.042688e-05,6.041342e-05,6.009150e-05,5.997145e-05,5.975895e-05,5.953449e-05,5.942936e-05,5.910285e-05,5.867676e-05,5.825645e-05,5.784210e-05,5.743388e-05,5.703191e-05,5.663631e-05,5.624716e-05,5.586453e-05,5.548847e-05,5.511901e-05,5.475617e-05,5.439995e-05,5.405034e-05,5.370732e-05,5.337086e-05,5.304093e-05,5.271746e-05,5.240042e-05,5.208974e-05,5.178535e-05,5.148717e-05,5.119514e-05,5.090917e-05,5.062918e-05
0.000000e+00,4.997976e-10,1.429302e-09,6.668351e-09,1.818341e-08,2.864377e-08,7.574835e-08,7.843913e-08,1.698327e-07,2.050583e-07,3.192842e-07,4.440125e-07,5.434195e-07,8.210663e-07,8.482159e-07,1.220443e-06,1.317162e-06,1.635986e-06,1.878958e-06,2.072310e-06,2.460438e-06,2.513194e-06,2.948119e-06,3.033751e-06,3.370366e-06,3.583377e-06,3.775457e-06,4.100150e-06,4.160252e-06,4.522522e-06,4.578285e-06,4.860784e-06,5.014365e-06,5.174248e-06,5.407043e-06,5.462764e-06,5.726761e-06,5.756832e-06,5.967153e-06,6.065767e-06,6.185222e-06,6.336966e-06,6.382507e-06,6.560695e-06,6.574177e-06,6.721522e-06,6.781379e-06,6.866706e-06,6.962476e-06,6.997885e-06,7.116587e-06,7.121096e-06,7.224204e-06,7.260477e-06,7.321985e-06,7.383427e-06,7.411036e-06,7.492327e-06,7.566703e-06,7.589165e-06,7.634893e-06,7.675584e-06,7.697528e-06,7.752936e-06,7.755151e-06,7.808228e-06,7.822331e-06,7.857164e-06,7.884685e-06,7.902308e-06,7.940754e-06,7.943965e-06,7.982400e-06,7.991171e-06,8.017846e-06,8.036468e-06,8.050509e-06,8.077098e-06,8.080574e-06,8.108206e-06,8.113453e-06,8.133551e-06,8.145873e-06,8.156746e-06,8.174657e-06,8.177912e-06,8.197161e-06,8.200071e-06,8.214598e-06,8.222352e-06,8.230317e-06,8.241715e-06,8.244407e-06,8.256951e-06,8.258356e-06,8.268026e-06,8.272452e-06,8.277703e-06,8.284165e-06,8.286051e-06,8.293134e-06,8.293647e-06,8.299011e-06,8.301036e-06,8.303738e-06,8.306461e-06,8.307371e-06,8.309958e-06,8.310041e-06,8.311549e-06,8.311887e-06,8.312189e-06,8.312103e-06,8.311921e-06,8.310786e-06,8.308824e-06,8.308028e-06,8.306072e-06,8.303913e-06,8.302566e-06,8.298523e-06,8.298340e-06,8.293427e-06,8.291932e-06,8.287856e-06,8.284211e-06,8.281659e-06,8.275428e-06,8.274863e-06,8.267496e-06,8.265645e-06,8.259583e-06,8.254923e-06,8.251150e-06,8.243318e-06,8.242221e-06,8.232817e-06,8.230882e-06,8.222962e-06,8.217666e-06,8.212677e-06,8.203719e-06,8.201981e-06,8.190894e-06,8.189085e-06,8.179435e-06,8.173808e-06,8.167621e-06,8.157927e-06,8.155471e-06,8.142999e-06,8.141482e-06,8.130223e-06,8.124509e-06,8.117158e-06,8.107044e-06,8.103818e-06,8.090217e-06,8.089118e-06,8.076370e-06,8.070764e-06,8.062288e-06,8.052012e-06,8.047985e-06,8.033473e-06,8.032889e-06,8.018764e-06,8.013423e-06,8.003869e-06,7.993639e-06,7.988798e-06,7.973563e-06,7.953216e-06,7.932623e-06,7.911802e-06,7.890775e-06,7.869561e-06,7.848178e-06,7.826643e-06,7.804973e-06,7.783183e-06,7.761288e-06,7.739303e-06,7.717242e-06,7.695116e-06,7.672939e-06,7.650722e-06,7.628476e-06,7.606213e-06,7.583941e-06,7.561671e-06,7.539411e-06,7.517171e-06,7.494958e-06,7.472781e-06,7.450646e-06
0.000000e+00,2.582482e-09,5.950334e-09,2.059060e-08,4.702046e-08,6.875607e-08,1.573510e-07,1.621622e-07,3.181661e-07,3.758704e-07,5.582647e-07,7.534136e-07,9.085066e-07,1.350616e-06,1.395014e-06,2.031738e-06,2.206380e-06,2.809725e-06,3.297712e-06,3.703179e-06,4.562631e-06,4.684169e-06,5.730208e-06,5.945668e-06,6.824564e-06,7.408371e-06,7.954448e-06,8.923301e-06,9.109385e-06,1.028021e-05,1.046845e-05,1.145854e-05,1.202449e-05,1.263656e-05,1.357385e-05,1.380700e-05,1.496314e-05,1.510062e-05,1.609892e-05,1.659080e-05,1.720896e-05,1.803249e-05,1.828862e-05,1.933402e-05,1.941607e-05,2.034207e-05,2.073429e-05,2.131043e-05,2.198211e-05,2.223740e-05,2.312176e-05,2.315624e-05,2.396294e-05,2.425516e-05,2.476081e-05,2.527875e-05,2.551565e-05,2.622807e-05,2.689896e-05,2.710505e-05,2.752941e-05,2.791225e-05,2.812067e-05,2.865269e-05,2.867412e-05,2.919122e-05,2.932970e-05,2.967349e-05,2.994678e-05,3.012247e-05,3.050746e-05,3.053971e-05,3.092675e-05,3.101531e-05,3.128509e-05,3.147379e-05,3.161623e-05,3.188627e-05,3.192160e-05,3.220259e-05,3.225598e-05,3.246054e-05,3.258599e-05,3.269673e-05,3.287921e-05,3.291238e-05,3.310868e-05,3.313836e-05,3.328673e-05,3.336602e-05,3.344759e-05,3.356459e-05,3.359228e-05,3.372174e-05,3.373629e-05,3.383687e-05,3.388322e-05,3.393854e-05,3.400729e-05,3.402754e-05,3.410464e-05,3.411032e-05,3.417056e-05,3.419395e-05,3.422598e-05,3.425974e-05,3.427154e-05,3.430784e-05,3.430911e-05,3.433546e-05,3.434338e-05,3.435493e-05,3.436377e-05,3.436675e-05,3.437142e-05,3.436937e-05,3.436737e-05,3.436103e-05,3.435258e-05,3.434681e-05,3.432796e-05,3.432707e-05,3.430218e-05,3.429433e-05,3.427247e-05,3.425246e-05,3.423825e-05,3.420305e-05,3.419983e-05,3.415748e-05,3.414677e-05,3.411148e-05,3.408421e-05,3.406206e-05,3.401594e-05,3.400947e-05,3.395393e-05,3.394249e-05,3.389564e-05,3.386432e-05,3.383482e-05,3.378189e-05,3.377163e-05,3.370626e-05,3.369561e-05,3.363888e-05,3.360587e-05,3.356964e-05,3.351300e-05,3.349868e-05,3.342616e-05,3.341736e-05,3.335220e-05,3.331923e-05,3.327692e-05,3.321891e-05,3.320045e-05,3.312289e-05,3.311665e-05,3.304436e-05,3.301269e-05,3.296494e-05,3.290726e-05,3.288473e-05,3.280382e-05,3.280057e-05,3.272230e-05,3.269281e-05,3.264023e-05,3.258416e-05,3.255771e-05,3.247479e-05,3.236484e-05,3.225447e-05,3.214380e-05,3.203296e-05,3.192205e-05,3.181119e-05,3.170047e-05,3.158998e-05,3.147980e-05,3.137001e-05,3.126068e-05,3.115188e-05,3.104366e-05,3.093608e-05,3.082919e-05,3.072303e-05,3.061765e-05,3.051309e-05,3.040939e-05,3.030657e-05,3.020466e-05,3.010369e-05,3.000369e-05,2.990468e-05
0.000000e+00,3.857870e-09,9.311565e-09,3.396621e-08,7.968796e-08,1.177945e-07,2.753140e-07,2.839337e-07,5.654274e-07,6.701528e-07,1.001536e-06,1.354025e-06,1.630694e-06,2.395659e-06,2.470453e-06,3.509423e-06,3.785889e-06,4.725064e-06,5.475521e-06,6.097898e-06,7.424079e-06,7.612964e-06,9.257423e-06,9.600739e-06,1.101863e-05,1.197617e-05,1.288315e-05,1.451863e-05,1.483651e-05,1.686332e-05,1.719336e-05,1.894759e-05,1.996372e-05,2.107321e-05,2.279280e-05,2.322432e-05,2.538575e-05,2.564513e-05,2.754334e-05,2.848808e-05,2.968416e-05,3.129282e-05,3.179668e-05,3.387084e-05,3.403485e-05,3.589803e-05,3.669411e-05,3.787112e-05,3.925498e-05,3.978438e-05,4.163331e-05,4.170588e-05,4.341455e-05,4.403874e-05,4.512574e-05,4.624860e-05,4.676550e-05,4.833308e-05,4.982823e-05,5.029145e-05,5.125144e-05,5.212492e-05,5.260356e-05,5.383581e-05,5.388578e-05,5.509960e-05,5.542744e-05,5.624673e-05,5.690377e-05,5.732904e-05,5.826919e-05,5.834848e-05,5.930710e-05,5.952835e-05,6.020702e-05,6.068613e-05,6.105038e-05,6.174744e-05,6.183931e-05,6.257593e-05,6.271717e-05,6.326236e-05,6.360015e-05,6.390065e-05,6.440110e-05,6.449284e-05,6.504090e-05,6.512462e-05,6.554675e-05,6.577512e-05,6.601228e-05,6.635687e-05,6.643928e-05,6.682951e-05,6.687394e-05,6.718466e-05,6.733024e-05,6.750636e-05,6.772946e-05,6.779620e-05,6.805567e-05,6.807516e-05,6.828623e-05,6.837068e-05,6.848929e-05,6.861921e-05,6.866618e-05,6.881820e-05,6.882378e-05,6.894657e-05,6.898723e-05,6.905249e-05,6.911227e-05,6.913709e-05,6.920146e-05,6.924663e-05,6.925720e-05,6.927361e-05,6.928177e-05,6.928335e-05,6.927732e-05,6.927675e-05,6.925470e-05,6.924587e-05,6.921802e-05,6.918933e-05,6.916751e-05,6.910949e-05,6.910394e-05,6.902802e-05,6.900804e-05,6.894046e-05,6.888659e-05,6.884192e-05,6.874661e-05,6.873302e-05,6.861438e-05,6.858953e-05,6.848657e-05,6.841667e-05,6.835014e-05,6.822927e-05,6.820562e-05,6.805350e-05,6.802849e-05,6.789427e-05,6.781545e-05,6.772838e-05,6.759116e-05,6.755626e-05,6.737833e-05,6.735661e-05,6.719498e-05,6.711269e-05,6.700659e-05,6.686026e-05,6.681351e-05,6.661609e-05,6.660012e-05,6.641465e-05,6.633302e-05,6.620950e-05,6.605966e-05,6.600093e-05,6.578923e-05,6.578070e-05,6.557466e-05,6.549676e-05,6.535747e-05,6.520841e-05,6.513791e-05,6.491620e-05,6.462064e-05,6.432219e-05,6.402129e-05,6.371837e-05,6.341380e-05,6.310796e-05,6.280116e-05,6.249374e-05,6.218597e-05,6.187814e-05,6.157049e-05,6.126326e-05,6.095667e-05,6.065092e-05,6.034621e-05,6.004270e-05,5.974055e-05,5.943992e-05,5.914094e-05,5.884374e-05,5.854844e-05,5.825514e-05,5.796394e-05,5.767492e-05
0.000000e+00,1.625755e-09,3.726673e-09,1.283055e-08,2.919444e-08,4.258013e-08,9.640480e-08,9.929313e-08,1.910548e-07,2.241113e-07,3.258017e-07,4.305599e-07,5.114004e-07,7.336649e-07,7.555199e-07,1.065155e-06,1.149862e-06,1.445626e-06,1.690604e-06,1.899065e-06,2.356613e-06,2.423011e-06,3.010355e-06,3.134574e-06,3.651075e-06,4.001781e-06,4.334509e-06,4.934361e-06,5.050808e-06,5.791384e-06,5.911619e-06,6.548827e-06,6.916468e-06,7.316700e-06,7.934704e-06,8.089378e-06,8.861931e-06,8.954419e-06,9.630065e-06,9.965667e-06,1.039007e-05,1.096027e-05,1.113879e-05,1.187357e-05,1.193168e-05,1.259224e-05,1.287479e-05,1.329304e-05,1.378577e-05,1.397461e-05,1.463591e-05,1.466193e-05,1.527620e-05,1.550146e-05,1.589498e-05,1.630331e-05,1.649196e-05,1.706704e-05,1.762026e-05,1.779270e-05,1.815177e-05,1.848066e-05,1.866183e-05,1.913162e-05,1.915077e-05,1.961899e-05,1.974643e-05,2.006692e-05,2.032614e-05,2.049504e-05,2.087186e-05,2.090387e-05,2.129391e-05,2.138478e-05,2.166570e-05,2.186614e-05,2.201979e-05,2.231718e-05,2.235673e-05,2.267705e-05,2.273916e-05,2.298129e-05,2.313333e-05,2.327001e-05,2.350091e-05,2.354372e-05,2.380295e-05,2.384311e-05,2.404820e-05,2.416111e-05,2.427998e-05,2.445603e-05,2.449878e-05,2.470507e-05,2.472901e-05,2.489932e-05,2.498109e-05,2.508198e-05,2.521332e-05,2.525349e-05,2.541428e-05,2.542669e-05,2.556477e-05,2.562217e-05,2.570535e-05,2.580065e-05,2.583641e-05,2.595835e-05,2.596304e-05,2.607150e-05,2.611016e-05,2.617625e-05,2.624284e-05,2.627292e-05,2.636184e-05,2.644334e-05,2.646790e-05,2.651772e-05,2.656173e-05,2.658529e-05,2.664401e-05,2.664633e-05,2.670111e-05,2.671537e-05,2.674992e-05,2.677643e-05,2.679299e-05,2.682778e-05,2.683059e-05,2.686296e-05,2.686997e-05,2.689031e-05,2.690353e-05,2.691289e-05,2.692897e-05,2.693089e-05,2.694454e-05,2.694676e-05,2.695402e-05,2.695738e-05,2.695954e-05,2.696124e-05,2.696127e-05,2.695938e-05,2.695876e-05,2.695406e-05,2.695034e-05,2.694547e-05,2.693634e-05,2.693376e-05,2.691909e-05,2.691713e-05,2.690159e-05,2.689304e-05,2.688142e-05,2.686439e-05,2.685871e-05,2.683358e-05,2.683147e-05,2.680617e-05,2.679459e-05,2.677658e-05,2.675400e-05,2.674494e-05,2.671136e-05,2.670998e-05,2.667594e-05,2.666276e-05,2.663879e-05,2.661258e-05,2.659999e-05,2.655965e-05,2.650419e-05,2.644639e-05,2.638645e-05,2.632453e-05,2.626080e-05,2.619543e-05,2.612855e-05,2.606032e-05,2.599087e-05,2.592032e-05,2.584880e-05,2.577641e-05,2.570327e-05,2.562946e-05,2.555510e-05,2.548026e-05,2.540503e-05,2.532949e-05,2.525372e-05,2.517778e-05,2.510174e-05,2.502567e-05,2.494961e-05,2.487363e-05
0.000000e+00,1.204414e-09,3.429112e-09,1.588279e-08,4.306042e-08,6.759672e-08,1.765369e-07,1.826856e-07,3.870280e-07,4.636276e-07,7.052724e-07,9.606345e-07,1.160681e-06,1.719323e-06,1.774751e-06,2.566176e-06,2.784198e-06,3.548958e-06,4.185751e-06,4.729682e-06,5.929660e-06,6.104452e-06,7.656744e-06,7.986165e-06,9.357958e-06,1.028943e-05,1.117144e-05,1.275308e-05,1.305839e-05,1.498281e-05,1.529208e-05,1.691421e-05,1.783634e-05,1.882803e-05,2.033339e-05,2.070510e-05,2.253072e-05,2.274578e-05,2.429383e-05,2.504759e-05,2.598624e-05,2.722157e-05,2.760219e-05,2.913780e-05,2.925710e-05,3.059083e-05,3.114866e-05,3.196030e-05,3.289459e-05,3.324630e-05,3.444975e-05,3.449619e-05,3.557224e-05,3.595690e-05,3.661583e-05,3.728166e-05,3.758300e-05,3.847646e-05,3.929912e-05,3.954791e-05,4.005401e-05,4.050299e-05,4.074420e-05,4.134881e-05,4.137281e-05,4.194289e-05,4.209244e-05,4.245748e-05,4.274084e-05,4.291956e-05,4.330076e-05,4.333199e-05,4.369758e-05,4.377866e-05,4.401903e-05,4.418073e-05,4.429893e-05,4.451286e-05,4.453978e-05,4.474398e-05,4.478062e-05,4.491380e-05,4.498926e-05,4.505144e-05,4.514370e-05,4.515896e-05,4.523835e-05,4.524857e-05,4.529150e-05,4.530821e-05,4.532018e-05,4.532667e-05,4.532611e-05,4.531088e-05,4.530771e-05,4.527602e-05,4.525484e-05,4.522298e-05,4.517135e-05,4.515312e-05,4.506772e-05,4.506025e-05,4.496801e-05,4.492438e-05,4.485513e-05,4.476633e-05,4.473018e-05,4.459417e-05,4.458852e-05,4.444807e-05,4.439317e-05,4.429277e-05,4.418235e-05,4.412913e-05,4.395795e-05,4.377997e-05,4.372170e-05,4.359592e-05,4.347523e-05,4.340644e-05,4.322001e-05,4.321215e-05,4.301365e-05,4.295739e-05,4.281148e-05,4.268862e-05,4.260613e-05,4.241483e-05,4.239810e-05,4.218781e-05,4.213705e-05,4.197569e-05,4.185625e-05,4.176213e-05,4.157328e-05,4.154747e-05,4.133206e-05,4.128892e-05,4.111621e-05,4.100389e-05,4.090021e-05,4.071884e-05,4.068432e-05,4.046879e-05,4.043436e-05,4.025385e-05,4.015095e-05,4.003972e-05,3.986911e-05,3.982657e-05,3.961460e-05,3.958925e-05,3.940397e-05,3.931176e-05,3.919483e-05,3.903696e-05,3.898731e-05,3.878154e-05,3.876516e-05,3.857764e-05,3.849662e-05,3.837570e-05,3.823157e-05,3.817582e-05,3.797808e-05,3.797022e-05,3.778256e-05,3.771273e-05,3.758933e-05,3.745926e-05,3.739843e-05,3.720993e-05,3.696485e-05,3.672410e-05,3.648774e-05,3.625584e-05,3.602843e-05,3.580553e-05,3.558716e-05,3.537332e-05,3.516400e-05,3.495918e-05,3.475884e-05,3.456294e-05,3.437146e-05,3.418434e-05,3.400154e-05,3.382301e-05,3.364868e-05,3.347850e-05,3.331241e-05,3.315034e-05,3.299223e-05,3.283800e-05,3.268758e-05,3.254091e-05
0.000000e+00,3.945938e-09,1.027981e-08,4.129555e-08,1.020500e-07,1.540481e-07,3.751142e-07,3.874036e-07,7.959233e-07,9.508293e-07,1.449720e-06,1.994103e-06,2.431035e-06,3.679618e-06,3.804485e-06,5.574567e-06,6.053333e-06,7.690845e-06,9.003793e-06,1.009184e-05,1.240151e-05,1.272924e-05,1.556852e-05,1.615820e-05,1.858328e-05,2.021267e-05,2.175069e-05,2.451327e-05,2.504886e-05,2.845564e-05,2.900929e-05,3.194827e-05,3.364842e-05,3.550354e-05,3.837718e-05,3.909813e-05,4.270911e-05,4.314248e-05,4.631448e-05,4.789367e-05,4.989351e-05,5.258409e-05,5.342703e-05,5.689781e-05,5.717229e-05,6.029062e-05,6.162289e-05,6.359231e-05,6.590684e-05,6.679186e-05,6.988020e-05,7.000131e-05,7.285020e-05,7.388934e-05,7.569644e-05,7.755917e-05,7.841507e-05,8.100368e-05,8.346115e-05,8.421981e-05,8.578745e-05,8.720780e-05,8.798342e-05,8.997039e-05,9.005064e-05,9.199120e-05,9.251219e-05,9.380763e-05,9.483912e-05,9.550288e-05,9.695834e-05,9.708028e-05,9.854349e-05,9.887809e-05,9.989636e-05,1.006072e-04,1.011428e-04,1.021549e-04,1.022869e-04,1.033327e-04,1.035304e-04,1.042843e-04,1.047434e-04,1.051461e-04,1.058039e-04,1.059226e-04,1.066182e-04,1.067223e-04,1.072366e-04,1.075071e-04,1.077814e-04,1.081668e-04,1.082564e-04,1.086649e-04,1.087096e-04,1.090102e-04,1.091430e-04,1.092957e-04,1.094746e-04,1.095245e-04,1.096996e-04,1.097114e-04,1.098239e-04,1.098601e-04,1.099003e-04,1.099270e-04,1.099312e-04,1.099195e-04,1.099182e-04,1.098674e-04,1.098393e-04,1.097775e-04,1.096958e-04,1.096519e-04,1.094928e-04,1.093022e-04,1.092349e-04,1.090822e-04,1.089268e-04,1.088346e-04,1.085726e-04,1.085612e-04,1.082638e-04,1.081764e-04,1.079439e-04,1.077419e-04,1.076032e-04,1.072725e-04,1.072430e-04,1.068649e-04,1.067716e-04,1.064701e-04,1.062422e-04,1.060599e-04,1.056872e-04,1.056356e-04,1.051983e-04,1.051093e-04,1.047490e-04,1.045110e-04,1.042889e-04,1.038947e-04,1.038188e-04,1.033398e-04,1.032624e-04,1.028528e-04,1.026163e-04,1.023584e-04,1.019583e-04,1.018577e-04,1.013512e-04,1.012901e-04,1.008397e-04,1.006133e-04,1.003239e-04,9.992941e-05,9.980443e-05,9.928184e-05,9.923992e-05,9.875673e-05,9.854609e-05,9.822961e-05,9.784913e-05,9.770099e-05,9.717134e-05,9.715014e-05,9.664111e-05,9.645016e-05,9.611070e-05,9.575012e-05,9.558051e-05,9.505091e-05,9.435330e-05,9.365805e-05,9.296583e-05,9.227723e-05,9.159283e-05,9.091312e-05,9.023858e-05,8.956961e-05,8.890659e-05,8.824985e-05,8.759971e-05,8.695642e-05,8.632022e-05,8.569132e-05,8.506989e-05,8.445610e-05,8.385008e-05,8.325194e-05,8.266176e-05,8.207963e-05,8.150560e-05,8.093971e-05,8.038199e-05,7.983244e-05
0.000000e+00,2.363663e-10,5.394885e-10,1.838581e-09,4.142700e-09,6.009423e-09,1.341789e-08,1.381219e-08,2.622562e-08,3.065610e-08,4.419021e-08,5.801980e-08,6.863320e-08,9.762003e-08,1.004578e-07,1.404779e-07,1.513746e-07,1.892769e-07,2.205146e-07,2.469887e-07,3.047348e-07,3.130703e-07,3.862374e-07,4.015674e-07,4.646915e-07,5.069364e-07,5.465204e-07,6.166091e-07,6.300211e-07,7.138295e-07,7.271940e-07,7.969071e-07,8.362886e-07,8.784780e-07,9.422575e-07,9.579663e-07,1.034947e-06,1.044000e-06,1.109111e-06,1.140793e-06,1.180246e-06,1.232197e-06,1.248216e-06,1.312950e-06,1.317989e-06,1.374433e-06,1.398120e-06,1.432691e-06,1.472675e-06,1.487789e-06,1.539818e-06,1.541837e-06,1.588892e-06,1.605860e-06,1.635139e-06,1.665042e-06,1.678697e-06,1.719707e-06,1.758316e-06,1.770188e-06,1.794668e-06,1.816813e-06,1.828903e-06,1.859903e-06,1.861157e-06,1.891560e-06,1.899759e-06,1.920237e-06,1.936663e-06,1.947303e-06,1.970876e-06,1.972868e-06,1.997033e-06,2.002635e-06,2.019893e-06,2.032157e-06,2.041535e-06,2.059638e-06,2.062041e-06,2.081486e-06,2.085254e-06,2.099939e-06,2.109164e-06,2.117465e-06,2.131512e-06,2.134121e-06,2.149962e-06,2.152424e-06,2.165038e-06,2.172016e-06,2.179394e-06,2.190389e-06,2.193073e-06,2.206114e-06,2.207637e-06,2.218551e-06,2.223842e-06,2.230420e-06,2.239078e-06,2.241749e-06,2.252568e-06,2.253413e-06,2.262903e-06,2.266906e-06,2.272777e-06,2.279614e-06,2.282213e-06,2.291232e-06,2.291584e-06,2.299854e-06,2.302864e-06,2.308096e-06,2.313493e-06,2.315976e-06,2.323510e-06,2.330712e-06,2.332949e-06,2.337596e-06,2.341841e-06,2.344175e-06,2.350217e-06,2.350463e-06,2.356469e-06,2.358102e-06,2.362205e-06,2.365522e-06,2.367682e-06,2.372500e-06,2.372910e-06,2.377896e-06,2.379058e-06,2.382651e-06,2.385215e-06,2.387182e-06,2.390991e-06,2.391498e-06,2.395605e-06,2.396403e-06,2.399512e-06,2.401467e-06,2.403225e-06,2.406198e-06,2.406750e-06,2.410094e-06,2.410613e-06,2.413263e-06,2.414723e-06,2.416262e-06,2.418542e-06,2.419097e-06,2.421773e-06,2.422083e-06,2.424295e-06,2.425357e-06,2.426668e-06,2.428375e-06,2.428897e-06,2.430985e-06,2.431147e-06,2.432939e-06,2.433683e-06,2.434761e-06,2.435993e-06,2.436455e-06,2.438026e-06,2.438086e-06,2.439477e-06,2.439971e-06,2.440812e-06,2.441655e-06,2.442034e-06,2.443146e-06,2.444453e-06,2.445582e-06,2.446540e-06,2.447333e-06,2.447969e-06,2.448452e-06,2.448790e-06,2.448986e-06,2.449048e-06,2.448980e-06,2.448787e-06,2.448474e-06,2.448045e-06,2.447505e-06,2.446858e-06,2.446108e-06,2.445260e-06,2.444317e-06,2.443283e-06,2.442161e-06,2.440955e-06,2.439669e-06,2.438304e-06,2.436866e-06
0.000000e+00,2.412356e-09,5.625865e-09,1.971036e-08,4.518781e-08,6.608263e-08,1.503297e-07,1.548583e-07,2.990908e-07,3.512152e-07,5.121004e-07,6.786401e-07,8.076411e-07,1.163727e-06,1.198790e-06,1.694202e-06,1.828777e-06,2.293363e-06,2.670997e-06,2.987158e-06,3.666426e-06,3.763577e-06,4.611490e-06,4.788772e-06,5.521084e-06,6.015410e-06,6.483237e-06,7.325527e-06,7.489014e-06,8.529473e-06,8.698567e-06,9.595686e-06,1.011403e-05,1.067887e-05,1.155194e-05,1.177057e-05,1.286280e-05,1.299355e-05,1.394824e-05,1.442194e-05,1.502026e-05,1.582243e-05,1.607307e-05,1.710165e-05,1.718276e-05,1.810184e-05,1.849317e-05,1.907021e-05,1.974620e-05,2.000407e-05,2.090141e-05,2.093652e-05,2.176077e-05,2.206065e-05,2.258123e-05,2.311667e-05,2.336233e-05,2.410395e-05,2.480632e-05,2.502287e-05,2.546994e-05,2.587462e-05,2.609548e-05,2.666098e-05,2.668382e-05,2.723594e-05,2.738420e-05,2.775296e-05,2.804680e-05,2.823602e-05,2.865151e-05,2.868636e-05,2.910521e-05,2.920118e-05,2.949382e-05,2.969872e-05,2.985348e-05,3.014701e-05,3.018542e-05,3.049089e-05,3.054892e-05,3.077111e-05,3.090724e-05,3.102727e-05,3.122469e-05,3.126052e-05,3.147199e-05,3.150387e-05,3.166277e-05,3.174730e-05,3.183391e-05,3.195736e-05,3.198642e-05,3.212129e-05,3.213634e-05,3.223946e-05,3.228639e-05,3.234181e-05,3.240956e-05,3.242922e-05,3.250252e-05,3.250780e-05,3.256250e-05,3.258294e-05,3.260992e-05,3.263668e-05,3.264549e-05,3.266992e-05,3.267067e-05,3.268386e-05,3.268643e-05,3.268793e-05,3.268538e-05,3.268275e-05,3.266888e-05,3.264687e-05,3.263819e-05,3.261723e-05,3.259449e-05,3.258046e-05,3.253888e-05,3.253702e-05,3.248737e-05,3.247241e-05,3.243191e-05,3.239603e-05,3.237107e-05,3.231066e-05,3.230521e-05,3.223471e-05,3.221713e-05,3.215990e-05,3.211624e-05,3.208110e-05,3.200872e-05,3.199864e-05,3.191280e-05,3.189525e-05,3.182386e-05,3.177648e-05,3.173209e-05,3.165299e-05,3.163772e-05,3.154100e-05,3.152533e-05,3.144216e-05,3.139401e-05,3.134139e-05,3.125952e-05,3.123889e-05,3.113487e-05,3.112229e-05,3.102949e-05,3.098273e-05,3.092292e-05,3.084123e-05,3.081532e-05,3.070683e-05,3.069812e-05,3.059761e-05,3.055374e-05,3.048777e-05,3.040838e-05,3.037745e-05,3.026675e-05,3.026232e-05,3.015580e-05,3.011581e-05,3.004469e-05,2.996910e-05,2.993352e-05,2.982239e-05,2.967587e-05,2.952975e-05,2.938417e-05,2.923929e-05,2.909524e-05,2.895216e-05,2.881016e-05,2.866934e-05,2.852980e-05,2.839161e-05,2.825485e-05,2.811960e-05,2.798591e-05,2.785382e-05,2.772340e-05,2.759467e-05,2.746768e-05,2.734244e-05,2.721899e-05,2.709735e-05,2.697753e-05,2.685954e-05,2.674339e-05,2.662909e-05
0.000000e+00,6.791572e-10,1.931222e-09,8.925443e-09,2.415881e-08,3.789455e-08,9.877531e-08,1.022076e-07,2.161004e-07,2.587190e-07,3.929473e-07,5.345004e-07,6.452277e-07,9.539542e-07,9.845626e-07,1.421576e-06,1.542045e-06,1.965280e-06,2.318787e-06,2.621737e-06,3.294017e-06,3.392462e-06,4.273826e-06,4.462749e-06,5.258141e-06,5.807417e-06,6.335463e-06,7.304364e-06,7.494946e-06,8.725512e-06,8.928256e-06,1.001605e-05,1.065355e-05,1.135547e-05,1.245483e-05,1.273280e-05,1.413724e-05,1.430709e-05,1.555828e-05,1.618621e-05,1.698593e-05,1.806952e-05,1.841074e-05,1.982403e-05,1.993635e-05,2.121790e-05,2.176842e-05,2.258535e-05,2.355009e-05,2.392027e-05,2.521740e-05,2.526844e-05,2.647242e-05,2.691320e-05,2.768178e-05,2.847664e-05,2.884275e-05,2.995329e-05,3.101199e-05,3.133967e-05,3.201802e-05,3.263407e-05,3.297105e-05,3.383618e-05,3.387117e-05,3.471883e-05,3.494687e-05,3.551480e-05,3.596798e-05,3.626008e-05,3.690202e-05,3.695590e-05,3.760362e-05,3.775208e-05,3.820475e-05,3.852162e-05,3.876088e-05,3.921437e-05,3.927367e-05,3.974483e-05,3.983422e-05,4.017608e-05,4.038512e-05,4.056914e-05,4.087106e-05,4.092573e-05,4.124756e-05,4.129594e-05,4.153629e-05,4.166361e-05,4.179356e-05,4.197779e-05,4.202096e-05,4.222004e-05,4.224210e-05,4.239230e-05,4.245998e-05,4.253921e-05,4.263475e-05,4.266215e-05,4.276247e-05,4.276956e-05,4.284148e-05,4.286740e-05,4.290042e-05,4.293109e-05,4.294047e-05,4.296279e-05,4.296333e-05,4.296846e-05,4.296663e-05,4.295852e-05,4.294336e-05,4.293398e-05,4.289577e-05,4.284481e-05,4.282595e-05,4.278195e-05,4.273585e-05,4.270801e-05,4.262733e-05,4.262377e-05,4.252998e-05,4.250210e-05,4.242733e-05,4.236176e-05,4.231648e-05,4.220782e-05,4.219808e-05,4.207272e-05,4.204167e-05,4.194097e-05,4.186460e-05,4.180337e-05,4.167784e-05,4.166042e-05,4.151260e-05,4.148250e-05,4.136038e-05,4.127962e-05,4.120418e-05,4.107019e-05,4.104440e-05,4.088142e-05,4.085508e-05,4.071562e-05,4.063513e-05,4.054732e-05,4.041111e-05,4.037686e-05,4.020452e-05,4.018372e-05,4.003059e-05,3.995363e-05,3.985534e-05,3.972142e-05,3.967902e-05,3.950186e-05,3.948766e-05,3.932409e-05,3.925285e-05,3.914590e-05,3.901746e-05,3.896750e-05,3.878906e-05,3.878192e-05,3.861074e-05,3.854661e-05,3.843272e-05,3.831190e-05,3.825512e-05,3.807810e-05,3.784551e-05,3.761440e-05,3.738501e-05,3.715756e-05,3.693223e-05,3.670922e-05,3.648866e-05,3.627071e-05,3.605547e-05,3.584306e-05,3.563357e-05,3.542708e-05,3.522365e-05,3.502334e-05,3.482621e-05,3.463227e-05,3.444157e-05,3.425411e-05,3.406993e-05,3.388901e-05,3.371137e-05,3.353699e-05,3.336587e-05,3.319799e-05
0.000000e+00,6.966935e-10,2.007920e-09,9.522590e-09,2.634237e-08,4.179914e-08,1.122295e-07,1.162717e-07,2.536242e-07,3.064123e-07,4.768665e-07,6.627969e-07,8.122105e-07,1.244938e-06,1.289001e-06,1.936622e-06,2.120176e-06,2.776615e-06,3.333403e-06,3.812932e-06,4.874373e-06,5.028818e-06,6.393571e-06,6.681313e-06,7.872504e-06,8.675834e-06,9.433551e-06,1.078835e-05,1.104967e-05,1.269877e-05,1.296443e-05,1.436279e-05,1.516232e-05,1.602674e-05,1.734928e-05,1.767797e-05,1.930574e-05,1.949904e-05,2.090090e-05,2.159041e-05,2.245578e-05,2.360659e-05,2.396402e-05,2.542054e-05,2.553471e-05,2.682143e-05,2.736553e-05,2.816380e-05,2.909297e-05,2.944574e-05,3.066620e-05,3.071373e-05,3.182484e-05,3.222686e-05,3.292199e-05,3.363334e-05,3.395848e-05,3.493545e-05,3.585443e-05,3.613654e-05,3.671719e-05,3.724075e-05,3.752568e-05,3.825271e-05,3.828198e-05,3.898827e-05,3.917736e-05,3.964674e-05,4.001978e-05,4.025958e-05,4.078498e-05,4.082899e-05,4.135710e-05,4.147794e-05,4.184602e-05,4.210346e-05,4.229779e-05,4.266618e-05,4.271438e-05,4.309768e-05,4.317050e-05,4.344950e-05,4.362059e-05,4.377158e-05,4.402037e-05,4.406559e-05,4.433310e-05,4.437355e-05,4.457562e-05,4.468357e-05,4.479456e-05,4.495366e-05,4.499129e-05,4.516708e-05,4.518683e-05,4.532315e-05,4.538588e-05,4.546066e-05,4.555341e-05,4.558068e-05,4.568425e-05,4.569185e-05,4.577233e-05,4.580344e-05,4.584586e-05,4.589027e-05,4.590568e-05,4.595264e-05,4.595426e-05,4.598749e-05,4.599721e-05,4.601096e-05,4.602079e-05,4.602376e-05,4.602653e-05,4.601989e-05,4.601587e-05,4.600441e-05,4.599013e-05,4.598066e-05,4.595054e-05,4.594913e-05,4.591033e-05,4.589823e-05,4.586472e-05,4.583426e-05,4.581273e-05,4.575962e-05,4.575477e-05,4.569123e-05,4.567520e-05,4.562249e-05,4.558185e-05,4.554888e-05,4.548035e-05,4.547074e-05,4.538838e-05,4.537142e-05,4.530208e-05,4.525574e-05,4.521213e-05,4.513393e-05,4.511878e-05,4.502229e-05,4.500657e-05,4.492288e-05,4.487420e-05,4.482078e-05,4.473730e-05,4.471620e-05,4.460933e-05,4.459636e-05,4.450036e-05,4.445179e-05,4.438946e-05,4.430400e-05,4.427681e-05,4.416256e-05,4.415335e-05,4.404686e-05,4.400020e-05,4.392984e-05,4.384486e-05,4.381165e-05,4.369241e-05,4.368762e-05,4.357224e-05,4.352877e-05,4.345125e-05,4.336856e-05,4.332955e-05,4.320723e-05,4.304500e-05,4.288207e-05,4.271864e-05,4.255487e-05,4.239094e-05,4.222700e-05,4.206319e-05,4.189963e-05,4.173645e-05,4.157376e-05,4.141167e-05,4.125026e-05,4.108964e-05,4.092987e-05,4.077103e-05,4.061320e-05,4.045643e-05,4.030078e-05,4.014631e-05,3.999307e-05,3.984110e-05,3.969043e-05,3.954111e-05,3.939317e-05
0.000000e+00,4.170927e-10,1.162065e-09,5.174693e-09,1.361308e-08,2.106259e-08,5.329870e-08,5.509339e-08,1.139867e-07,1.358260e-07,2.043064e-07,2.763352e-07,3.326874e-07,4.902708e-07,5.059453e-07,7.309145e-07,7.933213e-07,1.013829e-06,1.199336e-06,1.359088e-06,1.715271e-06,1.767534e-06,2.235037e-06,2.334900e-06,2.752567e-06,3.037489e-06,3.308034e-06,3.794648e-06,3.888771e-06,4.483343e-06,4.579097e-06,5.082278e-06,5.369036e-06,5.678036e-06,6.148347e-06,6.264721e-06,6.837726e-06,6.905387e-06,7.393458e-06,7.631766e-06,7.929136e-06,8.321520e-06,8.442651e-06,8.932461e-06,8.970587e-06,9.397512e-06,9.576446e-06,9.837174e-06,1.013785e-05,1.025118e-05,1.063956e-05,1.065456e-05,1.100260e-05,1.112718e-05,1.134081e-05,1.155694e-05,1.165485e-05,1.194553e-05,1.221373e-05,1.229496e-05,1.246041e-05,1.260747e-05,1.268659e-05,1.288538e-05,1.289329e-05,1.308154e-05,1.313108e-05,1.325237e-05,1.334692e-05,1.340678e-05,1.353520e-05,1.354578e-05,1.367029e-05,1.369812e-05,1.378124e-05,1.383778e-05,1.387951e-05,1.395615e-05,1.396592e-05,1.404128e-05,1.405509e-05,1.410633e-05,1.413632e-05,1.416178e-05,1.420144e-05,1.420831e-05,1.424653e-05,1.425192e-05,1.427705e-05,1.428913e-05,1.430043e-05,1.431433e-05,1.431717e-05,1.432778e-05,1.432867e-05,1.433271e-05,1.433319e-05,1.433239e-05,1.432888e-05,1.432721e-05,1.431756e-05,1.431661e-05,1.430379e-05,1.429719e-05,1.428621e-05,1.427137e-05,1.426514e-05,1.424085e-05,1.423982e-05,1.421362e-05,1.420315e-05,1.418370e-05,1.416192e-05,1.415130e-05,1.411666e-05,1.407997e-05,1.406782e-05,1.404141e-05,1.401584e-05,1.400116e-05,1.396109e-05,1.395939e-05,1.391625e-05,1.390394e-05,1.387187e-05,1.384471e-05,1.382639e-05,1.378369e-05,1.377994e-05,1.373262e-05,1.372114e-05,1.368454e-05,1.365732e-05,1.363580e-05,1.359244e-05,1.358649e-05,1.353670e-05,1.352670e-05,1.348651e-05,1.346028e-05,1.343599e-05,1.339335e-05,1.338521e-05,1.333424e-05,1.332607e-05,1.328313e-05,1.325856e-05,1.323193e-05,1.319095e-05,1.318071e-05,1.312950e-05,1.312335e-05,1.307835e-05,1.305587e-05,1.302730e-05,1.298859e-05,1.297639e-05,1.292565e-05,1.292160e-05,1.287512e-05,1.285497e-05,1.282482e-05,1.278876e-05,1.277478e-05,1.272503e-05,1.272305e-05,1.267559e-05,1.265787e-05,1.262648e-05,1.259328e-05,1.257772e-05,1.252932e-05,1.246603e-05,1.240345e-05,1.234159e-05,1.228049e-05,1.222016e-05,1.216064e-05,1.210192e-05,1.204403e-05,1.198698e-05,1.193078e-05,1.187542e-05,1.182093e-05,1.176730e-05,1.171453e-05,1.166262e-05,1.161158e-05,1.156141e-05,1.151209e-05,1.146362e-05,1.141601e-05,1.136924e-05,1.132330e-05,1.127821e-05,1.123393e-05
0.000000e+00,2.976370e-09,7.924793e-09,3.280010e-08,8.223031e-08,1.246133e-07,3.030855e-07,3.128994e-07,6.323641e-07,7.502974e-07,1.120247e-06,1.510830e-06,1.817777e-06,2.681218e-06,2.767331e-06,3.999746e-06,4.338537e-06,5.516799e-06,6.481206e-06,7.291347e-06,9.036265e-06,9.286082e-06,1.146722e-05,1.192326e-05,1.380674e-05,1.507773e-05,1.628033e-05,1.844509e-05,1.886524e-05,2.153916e-05,2.197377e-05,2.427990e-05,2.561270e-05,2.706543e-05,2.931163e-05,2.987426e-05,3.268581e-05,3.302245e-05,3.548083e-05,3.670079e-05,3.824167e-05,4.030727e-05,4.095255e-05,4.359966e-05,4.380831e-05,4.617126e-05,4.717651e-05,4.865762e-05,5.039053e-05,5.105087e-05,5.334494e-05,5.343457e-05,5.553539e-05,5.629798e-05,5.761926e-05,5.897449e-05,5.959484e-05,6.146156e-05,6.321978e-05,6.375966e-05,6.487065e-05,6.587168e-05,6.641597e-05,6.780235e-05,6.785809e-05,6.919972e-05,6.955779e-05,7.044396e-05,7.114511e-05,7.159408e-05,7.257207e-05,7.265358e-05,7.362601e-05,7.384685e-05,7.451504e-05,7.497783e-05,7.532434e-05,7.597348e-05,7.605757e-05,7.671836e-05,7.684213e-05,7.731022e-05,7.759191e-05,7.783664e-05,7.823072e-05,7.830099e-05,7.870655e-05,7.876620e-05,7.905651e-05,7.920565e-05,7.935393e-05,7.955603e-05,7.960176e-05,7.980285e-05,7.982397e-05,7.995992e-05,8.001576e-05,8.007558e-05,8.013733e-05,8.015234e-05,8.019258e-05,8.019429e-05,8.019860e-05,8.019191e-05,8.017256e-05,8.013513e-05,8.011654e-05,8.003253e-05,8.002862e-05,7.992241e-05,7.987671e-05,7.978795e-05,7.968350e-05,7.963087e-05,7.945277e-05,7.925520e-05,7.918810e-05,7.903959e-05,7.889279e-05,7.880734e-05,7.856993e-05,7.855975e-05,7.829804e-05,7.822240e-05,7.802340e-05,7.785287e-05,7.773692e-05,7.746381e-05,7.743966e-05,7.713259e-05,7.705754e-05,7.681666e-05,7.663619e-05,7.649273e-05,7.620173e-05,7.616165e-05,7.582419e-05,7.575599e-05,7.548108e-05,7.530067e-05,7.513302e-05,7.483731e-05,7.478067e-05,7.442463e-05,7.436736e-05,7.406547e-05,7.389213e-05,7.370375e-05,7.341286e-05,7.333996e-05,7.297458e-05,7.293065e-05,7.260806e-05,7.244653e-05,7.224081e-05,7.196145e-05,7.187321e-05,7.150564e-05,7.147625e-05,7.113843e-05,7.099172e-05,7.077189e-05,7.050857e-05,7.040632e-05,7.004200e-05,7.002745e-05,6.967916e-05,6.954895e-05,6.931805e-05,6.907360e-05,6.895889e-05,6.860188e-05,6.813421e-05,6.767098e-05,6.721255e-05,6.675920e-05,6.631122e-05,6.586883e-05,6.543225e-05,6.500165e-05,6.457718e-05,6.415898e-05,6.374715e-05,6.334177e-05,6.294291e-05,6.255063e-05,6.216495e-05,6.178590e-05,6.141349e-05,6.104771e-05,6.068855e-05,6.033598e-05,5.998997e-05,5.965048e-05,5.931745e-05,5.899084e-05
0.000000e+00,1.597259e-09,3.953204e-09,1.477131e-08,3.484267e-08,5.144697e-08,1.186869e-07,1.223038e-07,2.373189e-07,2.787727e-07,4.063381e-07,5.378595e-07,6.394536e-07,9.192069e-07,9.467364e-07,1.336375e-06,1.442590e-06,1.810756e-06,2.111385e-06,2.363538e-06,2.904831e-06,2.982057e-06,3.652532e-06,3.791763e-06,4.362920e-06,4.744698e-06,5.103176e-06,5.741711e-06,5.864642e-06,6.639512e-06,6.764244e-06,7.420543e-06,7.795619e-06,8.200961e-06,8.820610e-06,8.974477e-06,9.735352e-06,9.825558e-06,1.047848e-05,1.079867e-05,1.119943e-05,1.173018e-05,1.189445e-05,1.256054e-05,1.261250e-05,1.319537e-05,1.344015e-05,1.379727e-05,1.420964e-05,1.436519e-05,1.489861e-05,1.491923e-05,1.539746e-05,1.556865e-05,1.586209e-05,1.615882e-05,1.629316e-05,1.669160e-05,1.705855e-05,1.716952e-05,1.739528e-05,1.759557e-05,1.770318e-05,1.797300e-05,1.798371e-05,1.823836e-05,1.830523e-05,1.846864e-05,1.859572e-05,1.867603e-05,1.884785e-05,1.886197e-05,1.902788e-05,1.906487e-05,1.917510e-05,1.924987e-05,1.930494e-05,1.940578e-05,1.941861e-05,1.951728e-05,1.953531e-05,1.960204e-05,1.964097e-05,1.967393e-05,1.972507e-05,1.973390e-05,1.978287e-05,1.978974e-05,1.982166e-05,1.983690e-05,1.985107e-05,1.986833e-05,1.987182e-05,1.988459e-05,1.988561e-05,1.989000e-05,1.989020e-05,1.988864e-05,1.988341e-05,1.988105e-05,1.986773e-05,1.986643e-05,1.984914e-05,1.984033e-05,1.982572e-05,1.980609e-05,1.979786e-05,1.976593e-05,1.976458e-05,1.973028e-05,1.971660e-05,1.969122e-05,1.966286e-05,1.964904e-05,1.960401e-05,1.955640e-05,1.954065e-05,1.950642e-05,1.947330e-05,1.945430e-05,1.940244e-05,1.940025e-05,1.934443e-05,1.932852e-05,1.928704e-05,1.925191e-05,1.922823e-05,1.917299e-05,1.916814e-05,1.910692e-05,1.909208e-05,1.904470e-05,1.900946e-05,1.898159e-05,1.892542e-05,1.891771e-05,1.885317e-05,1.884019e-05,1.878805e-05,1.875399e-05,1.872244e-05,1.866702e-05,1.865644e-05,1.859011e-05,1.857947e-05,1.852353e-05,1.849150e-05,1.845676e-05,1.840326e-05,1.838988e-05,1.832292e-05,1.831489e-05,1.825596e-05,1.822651e-05,1.818904e-05,1.813823e-05,1.812220e-05,1.805549e-05,1.805016e-05,1.798895e-05,1.796239e-05,1.792262e-05,1.787500e-05,1.785652e-05,1.779070e-05,1.778808e-05,1.772518e-05,1.770168e-05,1.765999e-05,1.761587e-05,1.759516e-05,1.753070e-05,1.744623e-05,1.736251e-05,1.727956e-05,1.719743e-05,1.711616e-05,1.703576e-05,1.695626e-05,1.687769e-05,1.680007e-05,1.672340e-05,1.664771e-05,1.657301e-05,1.649931e-05,1.642660e-05,1.635491e-05,1.628423e-05,1.621457e-05,1.614592e-05,1.607829e-05,1.601168e-05,1.594609e-05,1.588150e-05,1.581793e-05,1.575536e-05
0.000000e+00,2.545897e-09,6.005906e-09,2.130535e-08,4.917135e-08,7.213590e-08,1.655473e-07,1.706036e-07,3.334269e-07,3.930936e-07,5.798614e-07,7.770656e-07,9.322982e-07,1.370587e-06,1.414435e-06,2.044564e-06,2.218544e-06,2.825287e-06,3.322626e-06,3.739899e-06,4.634023e-06,4.761315e-06,5.863078e-06,6.091100e-06,7.023847e-06,7.645137e-06,8.227120e-06,9.261017e-06,9.459730e-06,1.071060e-05,1.091176e-05,1.196997e-05,1.257489e-05,1.322908e-05,1.423079e-05,1.447995e-05,1.571542e-05,1.586233e-05,1.692912e-05,1.745479e-05,1.811550e-05,1.899594e-05,1.926984e-05,2.038825e-05,2.047607e-05,2.146763e-05,2.188790e-05,2.250562e-05,2.322637e-05,2.350054e-05,2.445131e-05,2.448842e-05,2.535740e-05,2.567263e-05,2.621873e-05,2.677900e-05,2.703558e-05,2.780860e-05,2.853864e-05,2.876335e-05,2.922680e-05,2.964580e-05,2.987430e-05,3.045892e-05,3.048251e-05,3.105286e-05,3.120598e-05,3.158686e-05,3.189043e-05,3.208601e-05,3.251578e-05,3.255186e-05,3.298590e-05,3.308550e-05,3.338964e-05,3.360304e-05,3.376454e-05,3.407173e-05,3.411203e-05,3.443348e-05,3.449476e-05,3.473023e-05,3.487521e-05,3.500357e-05,3.521598e-05,3.525473e-05,3.548488e-05,3.551983e-05,3.569516e-05,3.578936e-05,3.588665e-05,3.602700e-05,3.606037e-05,3.621731e-05,3.623505e-05,3.635838e-05,3.641566e-05,3.648449e-05,3.657083e-05,3.659646e-05,3.669509e-05,3.670243e-05,3.678115e-05,3.681221e-05,3.685535e-05,3.690181e-05,3.691837e-05,3.697085e-05,3.697274e-05,3.701341e-05,3.702641e-05,3.704662e-05,3.706415e-05,3.707104e-05,3.708718e-05,3.709553e-05,3.709663e-05,3.709656e-05,3.709358e-05,3.709071e-05,3.707901e-05,3.707840e-05,3.706002e-05,3.705383e-05,3.703594e-05,3.701891e-05,3.700652e-05,3.697503e-05,3.697210e-05,3.693299e-05,3.692293e-05,3.688948e-05,3.686331e-05,3.684188e-05,3.679680e-05,3.679043e-05,3.673541e-05,3.672399e-05,3.667704e-05,3.664544e-05,3.661555e-05,3.656166e-05,3.655117e-05,3.648410e-05,3.647313e-05,3.641452e-05,3.638029e-05,3.634263e-05,3.628356e-05,3.626859e-05,3.619257e-05,3.618332e-05,3.611472e-05,3.607992e-05,3.603519e-05,3.597371e-05,3.595412e-05,3.587165e-05,3.586499e-05,3.578788e-05,3.575405e-05,3.570296e-05,3.564115e-05,3.561698e-05,3.553004e-05,3.552655e-05,3.544226e-05,3.541047e-05,3.535373e-05,3.529314e-05,3.526453e-05,3.517475e-05,3.505548e-05,3.493551e-05,3.481500e-05,3.469410e-05,3.457294e-05,3.445166e-05,3.433037e-05,3.420918e-05,3.408819e-05,3.396750e-05,3.384720e-05,3.372736e-05,3.360807e-05,3.348938e-05,3.337137e-05,3.325408e-05,3.313758e-05,3.302191e-05,3.290712e-05,3.279325e-05,3.268033e-05,3.256840e-05,3.245749e-05,3.234763e-05
0.000000e+00,2.010300e-09,5.931044e-09,2.946395e-08,8.483811e-08,1.375054e-07,3.892013e-07,4.040639e-07,9.266390e-07,1.134498e-06,1.824436e-06,2.601022e-06,3.237476e-06,5.112810e-06,5.304923e-06,8.118618e-06,8.908152e-06,1.169330e-05,1.401094e-05,1.597989e-05,2.027519e-05,2.089507e-05,2.634307e-05,2.748801e-05,3.222677e-05,3.542715e-05,3.845231e-05,4.388053e-05,4.493047e-05,5.157698e-05,5.265067e-05,5.831262e-05,6.155547e-05,6.506349e-05,7.042914e-05,7.176143e-05,7.834459e-05,7.912417e-05,8.475800e-05,8.751356e-05,9.095398e-05,9.549259e-05,9.689248e-05,1.025410e-04,1.029796e-04,1.078746e-04,1.099157e-04,1.128756e-04,1.162639e-04,1.175329e-04,1.218417e-04,1.220068e-04,1.258021e-04,1.271434e-04,1.294190e-04,1.316866e-04,1.327012e-04,1.356601e-04,1.383096e-04,1.390946e-04,1.406652e-04,1.420262e-04,1.427435e-04,1.444937e-04,1.445616e-04,1.461373e-04,1.465374e-04,1.474878e-04,1.481972e-04,1.486303e-04,1.495119e-04,1.495813e-04,1.503565e-04,1.505181e-04,1.509711e-04,1.512503e-04,1.514390e-04,1.517399e-04,1.517734e-04,1.519867e-04,1.520158e-04,1.520901e-04,1.521040e-04,1.520942e-04,1.520279e-04,1.520086e-04,1.518420e-04,1.518084e-04,1.516025e-04,1.514638e-04,1.512974e-04,1.510106e-04,1.509334e-04,1.505166e-04,1.504633e-04,1.500524e-04,1.498345e-04,1.495459e-04,1.491355e-04,1.490016e-04,1.484237e-04,1.483761e-04,1.478157e-04,1.475650e-04,1.471812e-04,1.467097e-04,1.465233e-04,1.458445e-04,1.458170e-04,1.451476e-04,1.448928e-04,1.444349e-04,1.439422e-04,1.437083e-04,1.429698e-04,1.422212e-04,1.419798e-04,1.414640e-04,1.409756e-04,1.406997e-04,1.399605e-04,1.399296e-04,1.391549e-04,1.389373e-04,1.383767e-04,1.379085e-04,1.375959e-04,1.368763e-04,1.368136e-04,1.360306e-04,1.358427e-04,1.352476e-04,1.348094e-04,1.344654e-04,1.337782e-04,1.336846e-04,1.329057e-04,1.327502e-04,1.321294e-04,1.317270e-04,1.313562e-04,1.307094e-04,1.305865e-04,1.298207e-04,1.296985e-04,1.290592e-04,1.286953e-04,1.283023e-04,1.277004e-04,1.275505e-04,1.268039e-04,1.267146e-04,1.260628e-04,1.257385e-04,1.253275e-04,1.247726e-04,1.245982e-04,1.238750e-04,1.238175e-04,1.231583e-04,1.228734e-04,1.224480e-04,1.219408e-04,1.217444e-04,1.210476e-04,1.210199e-04,1.203577e-04,1.201111e-04,1.196748e-04,1.192145e-04,1.189990e-04,1.183303e-04,1.174587e-04,1.165997e-04,1.157536e-04,1.149202e-04,1.140997e-04,1.132921e-04,1.124973e-04,1.117154e-04,1.109463e-04,1.101899e-04,1.094461e-04,1.087150e-04,1.079963e-04,1.072900e-04,1.065960e-04,1.059141e-04,1.052443e-04,1.045864e-04,1.039402e-04,1.033056e-04,1.026824e-04,1.020706e-04,1.014699e-04,1.008802e-04
0.000000e+00,1.515068e-10,4.280047e-10,1.954729e-09,5.243473e-09,8.189587e-09,2.115406e-08,2.188230e-08,4.597328e-08,5.496700e-08,8.326555e-08,1.130986e-07,1.364437e-07,2.016173e-07,2.080869e-07,3.006355e-07,3.262085e-07,4.162723e-07,4.917727e-07,5.566835e-07,7.014229e-07,7.226953e-07,9.138891e-07,9.550118e-07,1.128426e-06,1.248235e-06,1.363266e-06,1.573512e-06,1.614696e-06,1.878890e-06,1.922101e-06,2.152269e-06,2.285804e-06,2.431654e-06,2.657617e-06,2.714283e-06,2.997774e-06,3.031750e-06,3.280076e-06,3.403450e-06,3.559431e-06,3.768837e-06,3.834338e-06,4.103535e-06,4.124791e-06,4.365974e-06,4.468861e-06,4.620804e-06,4.799187e-06,4.867354e-06,5.105114e-06,5.114436e-06,5.333716e-06,5.413721e-06,5.552918e-06,5.696534e-06,5.762586e-06,5.962680e-06,6.153235e-06,6.212213e-06,6.334351e-06,6.445381e-06,6.506181e-06,6.662583e-06,6.668920e-06,6.822795e-06,6.864325e-06,6.968058e-06,7.051194e-06,7.104979e-06,7.223823e-06,7.233843e-06,7.354940e-06,7.382880e-06,7.468566e-06,7.529044e-06,7.575018e-06,7.662997e-06,7.674592e-06,7.767582e-06,7.785415e-06,7.854273e-06,7.896958e-06,7.934949e-06,7.998270e-06,8.009884e-06,8.079345e-06,8.089969e-06,8.143591e-06,8.172650e-06,8.202872e-06,8.246885e-06,8.257430e-06,8.307497e-06,8.313214e-06,8.353297e-06,8.372154e-06,8.395047e-06,8.424194e-06,8.432952e-06,8.467210e-06,8.469799e-06,8.498012e-06,8.509406e-06,8.525539e-06,8.543428e-06,8.549965e-06,8.571456e-06,8.572256e-06,8.590171e-06,8.596258e-06,8.606261e-06,8.615778e-06,8.619873e-06,8.631143e-06,8.640204e-06,8.642658e-06,8.647182e-06,8.650610e-06,8.652196e-06,8.655267e-06,8.655360e-06,8.656783e-06,8.656884e-06,8.656569e-06,8.655696e-06,8.654817e-06,8.651926e-06,8.651619e-06,8.647067e-06,8.645782e-06,8.641243e-06,8.637458e-06,8.634230e-06,8.627136e-06,8.626104e-06,8.616938e-06,8.614986e-06,8.606802e-06,8.601169e-06,8.595761e-06,8.585833e-06,8.583877e-06,8.571212e-06,8.569116e-06,8.557820e-06,8.551149e-06,8.543755e-06,8.532053e-06,8.529069e-06,8.513809e-06,8.511941e-06,8.498021e-06,8.490918e-06,8.481748e-06,8.469083e-06,8.465033e-06,8.447912e-06,8.446526e-06,8.430424e-06,8.423334e-06,8.412603e-06,8.399585e-06,8.394483e-06,8.376094e-06,8.375353e-06,8.357466e-06,8.350707e-06,8.338627e-06,8.325710e-06,8.319604e-06,8.300422e-06,8.274897e-06,8.249185e-06,8.223335e-06,8.197389e-06,8.171387e-06,8.145367e-06,8.119363e-06,8.093407e-06,8.067527e-06,8.041750e-06,8.016101e-06,7.990602e-06,7.965273e-06,7.940133e-06,7.915199e-06,7.890487e-06,7.866011e-06,7.841782e-06,7.817813e-06,7.794113e-06,7.770692e-06,7.747557e-06,7.724715e-06,7.702172e-06
0.000000e+00,5.701451e-10,1.676052e-09,8.258272e-09,2.357094e-08,3.799164e-08,1.056478e-07,1.095903e-07,2.453941e-07,2.981347e-07,4.691751e-07,6.559551e-07,8.057155e-07,1.236379e-06,1.279940e-06,1.913887e-06,2.091590e-06,2.721568e-06,3.251240e-06,3.705775e-06,4.712518e-06,4.859523e-06,6.169653e-06,6.449040e-06,7.619828e-06,8.423389e-06,9.192251e-06,1.059407e-05,1.086847e-05,1.262975e-05,1.291819e-05,1.445726e-05,1.535248e-05,1.633227e-05,1.785408e-05,1.823636e-05,2.015168e-05,2.038145e-05,2.206123e-05,2.289547e-05,2.394913e-05,2.536048e-05,2.580088e-05,2.760352e-05,2.774526e-05,2.934582e-05,3.002367e-05,3.101834e-05,3.217498e-05,3.261343e-05,3.412520e-05,3.418388e-05,3.554946e-05,3.604021e-05,3.688354e-05,3.773853e-05,3.812621e-05,3.927746e-05,4.033834e-05,4.065903e-05,4.131081e-05,4.188801e-05,4.219755e-05,4.297117e-05,4.300181e-05,4.372724e-05,4.391677e-05,4.437783e-05,4.473399e-05,4.495774e-05,4.543249e-05,4.547123e-05,4.592257e-05,4.602212e-05,4.631600e-05,4.651256e-05,4.665564e-05,4.691320e-05,4.694548e-05,4.718934e-05,4.723292e-05,4.739088e-05,4.748009e-05,4.755351e-05,4.766242e-05,4.768047e-05,4.777478e-05,4.778703e-05,4.783926e-05,4.786039e-05,4.787652e-05,4.788835e-05,4.788897e-05,4.787884e-05,4.787621e-05,4.784819e-05,4.782869e-05,4.779890e-05,4.775004e-05,4.773269e-05,4.765117e-05,4.764403e-05,4.755577e-05,4.751403e-05,4.744783e-05,4.736304e-05,4.732857e-05,4.719910e-05,4.719372e-05,4.706043e-05,4.700844e-05,4.691349e-05,4.680928e-05,4.675913e-05,4.659813e-05,4.643121e-05,4.637665e-05,4.625900e-05,4.614630e-05,4.608212e-05,4.590841e-05,4.590109e-05,4.571643e-05,4.566414e-05,4.552859e-05,4.541454e-05,4.533799e-05,4.516054e-05,4.514503e-05,4.495004e-05,4.490298e-05,4.475336e-05,4.464260e-05,4.455530e-05,4.438007e-05,4.435612e-05,4.415608e-05,4.411599e-05,4.395541e-05,4.385089e-05,4.375434e-05,4.358526e-05,4.355305e-05,4.335173e-05,4.331953e-05,4.315055e-05,4.305407e-05,4.294966e-05,4.278925e-05,4.274920e-05,4.254932e-05,4.252537e-05,4.235012e-05,4.226272e-05,4.215172e-05,4.200153e-05,4.195422e-05,4.175772e-05,4.174204e-05,4.156230e-05,4.148445e-05,4.136804e-05,4.122894e-05,4.117502e-05,4.098330e-05,4.097566e-05,4.079294e-05,4.072475e-05,4.060400e-05,4.047635e-05,4.041652e-05,4.023056e-05,3.998748e-05,3.974720e-05,3.950978e-05,3.927530e-05,3.904380e-05,3.881533e-05,3.858993e-05,3.836763e-05,3.814845e-05,3.793241e-05,3.771953e-05,3.750980e-05,3.730323e-05,3.709982e-05,3.689957e-05,3.670246e-05,3.650848e-05,3.631761e-05,3.612984e-05,3.594515e-05,3.576351e-05,3.558490e-05,3.540930e-05,3.523666e-05
0.000000e+00,1.741634e-09,4.045921e-09,1.412305e-08,3.247818e-08,4.773171e-08,1.114166e-07,1.149431e-07,2.326974e-07,2.777111e-07,4.235613e-07,5.824519e-07,7.082520e-07,1.053412e-06,1.086655e-06,1.535699e-06,1.651069e-06,2.030844e-06,2.322090e-06,2.556395e-06,3.036810e-06,3.103374e-06,3.666093e-06,3.780127e-06,4.240146e-06,4.541802e-06,4.821530e-06,5.312657e-06,5.406279e-06,5.990412e-06,6.083553e-06,6.570016e-06,6.845514e-06,7.141370e-06,7.590203e-06,7.701055e-06,8.246053e-06,8.310339e-06,8.773803e-06,8.999997e-06,9.282234e-06,9.654730e-06,9.769765e-06,1.023529e-05,1.027155e-05,1.067812e-05,1.084882e-05,1.109797e-05,1.138604e-05,1.149487e-05,1.186913e-05,1.188364e-05,1.222129e-05,1.234279e-05,1.255205e-05,1.276516e-05,1.286223e-05,1.315276e-05,1.342461e-05,1.350782e-05,1.367877e-05,1.383263e-05,1.391627e-05,1.412950e-05,1.413809e-05,1.434520e-05,1.440069e-05,1.453855e-05,1.464833e-05,1.471903e-05,1.487443e-05,1.488749e-05,1.504473e-05,1.508088e-05,1.519151e-05,1.526940e-05,1.532853e-05,1.544156e-05,1.545645e-05,1.557589e-05,1.559881e-05,1.568740e-05,1.574244e-05,1.579152e-05,1.587363e-05,1.588874e-05,1.597949e-05,1.599344e-05,1.606421e-05,1.610284e-05,1.614327e-05,1.620269e-05,1.621703e-05,1.628582e-05,1.629375e-05,1.634993e-05,1.637674e-05,1.640966e-05,1.645228e-05,1.646526e-05,1.651697e-05,1.652095e-05,1.656502e-05,1.658326e-05,1.660960e-05,1.663968e-05,1.665093e-05,1.668916e-05,1.669063e-05,1.672448e-05,1.673651e-05,1.675703e-05,1.677766e-05,1.678696e-05,1.681441e-05,1.683950e-05,1.684705e-05,1.686235e-05,1.687585e-05,1.688308e-05,1.690107e-05,1.690178e-05,1.691855e-05,1.692292e-05,1.693350e-05,1.694162e-05,1.694669e-05,1.695737e-05,1.695823e-05,1.696818e-05,1.697034e-05,1.697662e-05,1.698071e-05,1.698361e-05,1.698863e-05,1.698923e-05,1.699353e-05,1.699424e-05,1.699658e-05,1.699769e-05,1.699843e-05,1.699910e-05,1.699914e-05,1.699875e-05,1.699859e-05,1.699731e-05,1.699626e-05,1.699488e-05,1.699224e-05,1.699149e-05,1.698718e-05,1.698661e-05,1.698201e-05,1.697946e-05,1.697600e-05,1.697089e-05,1.696919e-05,1.696162e-05,1.696098e-05,1.695332e-05,1.694980e-05,1.694432e-05,1.693743e-05,1.693466e-05,1.692437e-05,1.692394e-05,1.691347e-05,1.690940e-05,1.690198e-05,1.689386e-05,1.688995e-05,1.687739e-05,1.686004e-05,1.684186e-05,1.682292e-05,1.680325e-05,1.678290e-05,1.676191e-05,1.674034e-05,1.671821e-05,1.669556e-05,1.667243e-05,1.664886e-05,1.662487e-05,1.660050e-05,1.657578e-05,1.655074e-05,1.652539e-05,1.649978e-05,1.647392e-05,1.644784e-05,1.642155e-05,1.639509e-05,1.636847e-05,1.634170e-05,1.631482e-05
0.000000e+00,5.851443e-09,1.339666e-08,4.607736e-08,1.049120e-07,1.531777e-07,3.487724e-07,3.593409e-07,6.990769e-07,8.233455e-07,1.211578e-06,1.619969e-06,1.939903e-06,2.832560e-06,2.920822e-06,4.166186e-06,4.502857e-06,5.658053e-06,6.589654e-06,7.365498e-06,9.023024e-06,9.259270e-06,1.131500e-05,1.174369e-05,1.351158e-05,1.470290e-05,1.582931e-05,1.785569e-05,1.824887e-05,2.075094e-05,2.115765e-05,2.331630e-05,2.456459e-05,2.592608e-05,2.803366e-05,2.856214e-05,3.120742e-05,3.152471e-05,3.384620e-05,3.500149e-05,3.646430e-05,3.843247e-05,3.904921e-05,4.159013e-05,4.179122e-05,4.407793e-05,4.505644e-05,4.650508e-05,4.821163e-05,4.886554e-05,5.115464e-05,5.124466e-05,5.336892e-05,5.414725e-05,5.550599e-05,5.691430e-05,5.756436e-05,5.954332e-05,6.144282e-05,6.203395e-05,6.326337e-05,6.438753e-05,6.500595e-05,6.660666e-05,6.667184e-05,6.826267e-05,6.869489e-05,6.978024e-05,7.065645e-05,7.122655e-05,7.249603e-05,7.260371e-05,7.391391e-05,7.421864e-05,7.515938e-05,7.582942e-05,7.634240e-05,7.733361e-05,7.746524e-05,7.853018e-05,7.873641e-05,7.953942e-05,8.004295e-05,8.049517e-05,8.125823e-05,8.139956e-05,8.225469e-05,8.238708e-05,8.306260e-05,8.343421e-05,8.382526e-05,8.440411e-05,8.454460e-05,8.522248e-05,8.530112e-05,8.586067e-05,8.612936e-05,8.646092e-05,8.689275e-05,8.702488e-05,8.755415e-05,8.759504e-05,8.805029e-05,8.823980e-05,8.851477e-05,8.883040e-05,8.894902e-05,8.935440e-05,8.937003e-05,8.973222e-05,8.986174e-05,9.008375e-05,9.030839e-05,9.041019e-05,9.071270e-05,9.099238e-05,9.107724e-05,9.125031e-05,9.140443e-05,9.148749e-05,9.169656e-05,9.170489e-05,9.190346e-05,9.195581e-05,9.208409e-05,9.218420e-05,9.224762e-05,9.238368e-05,9.239488e-05,9.252664e-05,9.255605e-05,9.264367e-05,9.270303e-05,9.274666e-05,9.282624e-05,9.283632e-05,9.291329e-05,9.292721e-05,9.297819e-05,9.300737e-05,9.303163e-05,9.306808e-05,9.307418e-05,9.310639e-05,9.311062e-05,9.312878e-05,9.313619e-05,9.314186e-05,9.314593e-05,9.314609e-05,9.314193e-05,9.314089e-05,9.312984e-05,9.312211e-05,9.311021e-05,9.309051e-05,9.308346e-05,9.304996e-05,9.304699e-05,9.301007e-05,9.299241e-05,9.296415e-05,9.292754e-05,9.291254e-05,9.285554e-05,9.285315e-05,9.279346e-05,9.276993e-05,9.272660e-05,9.267854e-05,9.265522e-05,9.257961e-05,9.247373e-05,9.236145e-05,9.224329e-05,9.211975e-05,9.199128e-05,9.185831e-05,9.172127e-05,9.158052e-05,9.143644e-05,9.128936e-05,9.113960e-05,9.098746e-05,9.083324e-05,9.067718e-05,9.051955e-05,9.036057e-05,9.020046e-05,9.003944e-05,8.987769e-05,8.971540e-05,8.955273e-05,8.938985e-05,8.922691e-05,8.906404e-05
0.000000e+00,8.731923e-09,1.995414e-08,6.849420e-08,1.560169e-07,2.280892e-07,5.232616e-07,5.393578e-07,1.064521e-06,1.260061e-06,1.880381e-06,2.543244e-06,3.065631e-06,4.516316e-06,4.658380e-06,6.628238e-06,7.149997e-06,8.910965e-06,1.030380e-05,1.144893e-05,1.385964e-05,1.419988e-05,1.713170e-05,1.773732e-05,2.021701e-05,2.187339e-05,2.342982e-05,2.620812e-05,2.674415e-05,3.013369e-05,3.068122e-05,3.357195e-05,3.523193e-05,3.703285e-05,3.980092e-05,4.049124e-05,4.392349e-05,4.433254e-05,4.730776e-05,4.877658e-05,5.062474e-05,5.309014e-05,5.385752e-05,5.699185e-05,5.723797e-05,6.001601e-05,6.119266e-05,6.292069e-05,6.493406e-05,6.569889e-05,6.834568e-05,6.844877e-05,7.085801e-05,7.172920e-05,7.323439e-05,7.477260e-05,7.547477e-05,7.758023e-05,7.955283e-05,8.015644e-05,8.139539e-05,8.250795e-05,8.311135e-05,8.464320e-05,8.470463e-05,8.617948e-05,8.657183e-05,8.754042e-05,8.830423e-05,8.879208e-05,8.985119e-05,8.993923e-05,9.098662e-05,9.122368e-05,9.193900e-05,9.243258e-05,9.280105e-05,9.348857e-05,9.357735e-05,9.427238e-05,9.440202e-05,9.489049e-05,9.518291e-05,9.543588e-05,9.584077e-05,9.591259e-05,9.632452e-05,9.638466e-05,9.667539e-05,9.682318e-05,9.696878e-05,9.716441e-05,9.720811e-05,9.739663e-05,9.741598e-05,9.753744e-05,9.758505e-05,9.763350e-05,9.767831e-05,9.768762e-05,9.770246e-05,9.770203e-05,9.768056e-05,9.766205e-05,9.762432e-05,9.756384e-05,9.753601e-05,9.741779e-05,9.741247e-05,9.727171e-05,9.721267e-05,9.709969e-05,9.696884e-05,9.690357e-05,9.668506e-05,9.644582e-05,9.636513e-05,9.618737e-05,9.601256e-05,9.591118e-05,9.563062e-05,9.561862e-05,9.531099e-05,9.522232e-05,9.498951e-05,9.479046e-05,9.465534e-05,9.433764e-05,9.430957e-05,9.395322e-05,9.386623e-05,9.358726e-05,9.337847e-05,9.321260e-05,9.287639e-05,9.283010e-05,9.244055e-05,9.236187e-05,9.204472e-05,9.183664e-05,9.164332e-05,9.130233e-05,9.123701e-05,9.082644e-05,9.076039e-05,9.041217e-05,9.021218e-05,8.999477e-05,8.965896e-05,8.957478e-05,8.915267e-05,8.910189e-05,8.872890e-05,8.854202e-05,8.830390e-05,8.798032e-05,8.787806e-05,8.745177e-05,8.741765e-05,8.702536e-05,8.685484e-05,8.659916e-05,8.629261e-05,8.617349e-05,8.574862e-05,8.573164e-05,8.532481e-05,8.517255e-05,8.490232e-05,8.461589e-05,8.448137e-05,8.406219e-05,8.351188e-05,8.296539e-05,8.242310e-05,8.188534e-05,8.135240e-05,8.082457e-05,8.030207e-05,7.978512e-05,7.927391e-05,7.876860e-05,7.826932e-05,7.777620e-05,7.728934e-05,7.680882e-05,7.633472e-05,7.586709e-05,7.540596e-05,7.495137e-05,7.450334e-05,7.406187e-05,7.362696e-05,7.319861e-05,7.277679e-05,7.236148e-05
0.000000e+00,1.041934e-09,2.984612e-09,1.398451e-08,3.827991e-08,6.039647e-08,1.597800e-07,1.654332e-07,3.552958e-07,4.273320e-07,6.572350e-07,9.041495e-07,1.100141e-06,1.657568e-06,1.713562e-06,2.521990e-06,2.746527e-06,3.535185e-06,4.189395e-06,4.744543e-06,5.955304e-06,6.130128e-06,7.669475e-06,7.993924e-06,9.341810e-06,1.025776e-05,1.112861e-05,1.270547e-05,1.301280e-05,1.497788e-05,1.529870e-05,1.700740e-05,1.799959e-05,1.908478e-05,2.076996e-05,2.119339e-05,2.331680e-05,2.357184e-05,2.543906e-05,2.636855e-05,2.754502e-05,2.912595e-05,2.962061e-05,3.165304e-05,3.181342e-05,3.363098e-05,3.440466e-05,3.554465e-05,3.687802e-05,3.738583e-05,3.914788e-05,3.921664e-05,4.082565e-05,4.140825e-05,4.241538e-05,4.344480e-05,4.391461e-05,4.532202e-05,4.663732e-05,4.703884e-05,4.786109e-05,4.859684e-05,4.899463e-05,4.999973e-05,5.003987e-05,5.099924e-05,5.125286e-05,5.187556e-05,5.236276e-05,5.267193e-05,5.333684e-05,5.339169e-05,5.403830e-05,5.418300e-05,5.461534e-05,5.490942e-05,5.512638e-05,5.552435e-05,5.557501e-05,5.596477e-05,5.603597e-05,5.629914e-05,5.645224e-05,5.658148e-05,5.678085e-05,5.681508e-05,5.700308e-05,5.702913e-05,5.714851e-05,5.720405e-05,5.725426e-05,5.731214e-05,5.732308e-05,5.735761e-05,5.735957e-05,5.736035e-05,5.735209e-05,5.733365e-05,5.729505e-05,5.727974e-05,5.720073e-05,5.719338e-05,5.709858e-05,5.705165e-05,5.697514e-05,5.687407e-05,5.683216e-05,5.667129e-05,5.666451e-05,5.649407e-05,5.642655e-05,5.630194e-05,5.616347e-05,5.609625e-05,5.587826e-05,5.564915e-05,5.557366e-05,5.541001e-05,5.525218e-05,5.516187e-05,5.491610e-05,5.490571e-05,5.464240e-05,5.456751e-05,5.437279e-05,5.420833e-05,5.409766e-05,5.384026e-05,5.381771e-05,5.353362e-05,5.346489e-05,5.324602e-05,5.308364e-05,5.295548e-05,5.269780e-05,5.266254e-05,5.236770e-05,5.230855e-05,5.207142e-05,5.191693e-05,5.177413e-05,5.152391e-05,5.147622e-05,5.117806e-05,5.113035e-05,5.087998e-05,5.073702e-05,5.058229e-05,5.034462e-05,5.028528e-05,4.998921e-05,4.995376e-05,4.969432e-05,4.956500e-05,4.940083e-05,4.917884e-05,4.910894e-05,4.881884e-05,4.879572e-05,4.853070e-05,4.841602e-05,4.824466e-05,4.804010e-05,4.796087e-05,4.767945e-05,4.766825e-05,4.740052e-05,4.730073e-05,4.712417e-05,4.693777e-05,4.685049e-05,4.657958e-05,4.622631e-05,4.587811e-05,4.553509e-05,4.519736e-05,4.486498e-05,4.453802e-05,4.421651e-05,4.390048e-05,4.358995e-05,4.328492e-05,4.298539e-05,4.269132e-05,4.240271e-05,4.211950e-05,4.184167e-05,4.156917e-05,4.130194e-05,4.103993e-05,4.078308e-05,4.053132e-05,4.028458e-05,4.004280e-05,3.980590e-05,3.957381e-05
0.000000e+00,5.849815e-09,1.342829e-08,4.637129e-08,1.058928e-07,1.548376e-07,3.537772e-07,3.645455e-07,7.113673e-07,8.384819e-07,1.236362e-06,1.656271e-06,1.986448e-06,2.915024e-06,3.007500e-06,4.325576e-06,4.685956e-06,5.934006e-06,6.952002e-06,7.806778e-06,9.652449e-06,9.917585e-06,1.224591e-05,1.273621e-05,1.477550e-05,1.616558e-05,1.749179e-05,1.990711e-05,2.038019e-05,2.342517e-05,2.392580e-05,2.661001e-05,2.818320e-05,2.991682e-05,3.263744e-05,3.332675e-05,3.682041e-05,3.724434e-05,4.037819e-05,4.195891e-05,4.398070e-05,4.673687e-05,4.760905e-05,5.124524e-05,5.153596e-05,5.487239e-05,5.631719e-05,5.847496e-05,6.104558e-05,6.203878e-05,6.555116e-05,6.569042e-05,6.900092e-05,7.022558e-05,7.237834e-05,7.462938e-05,7.567513e-05,7.888434e-05,8.200028e-05,8.297691e-05,8.501841e-05,8.689704e-05,8.793525e-05,9.063772e-05,9.074822e-05,9.345563e-05,9.419463e-05,9.605648e-05,9.756567e-05,9.855043e-05,1.007506e-04,1.009377e-04,1.032190e-04,1.037508e-04,1.053954e-04,1.065689e-04,1.074683e-04,1.092082e-04,1.094395e-04,1.113108e-04,1.116733e-04,1.130845e-04,1.139690e-04,1.147628e-04,1.161007e-04,1.163482e-04,1.178430e-04,1.180740e-04,1.192499e-04,1.198947e-04,1.205714e-04,1.215690e-04,1.218102e-04,1.229689e-04,1.231027e-04,1.240501e-04,1.245020e-04,1.250565e-04,1.257728e-04,1.259905e-04,1.268548e-04,1.269210e-04,1.276519e-04,1.279524e-04,1.283842e-04,1.288727e-04,1.290542e-04,1.296642e-04,1.296874e-04,1.302167e-04,1.304019e-04,1.307138e-04,1.310213e-04,1.311577e-04,1.315507e-04,1.318948e-04,1.319950e-04,1.321921e-04,1.323588e-04,1.324446e-04,1.326466e-04,1.326542e-04,1.328227e-04,1.328628e-04,1.329520e-04,1.330115e-04,1.330439e-04,1.330968e-04,1.331000e-04,1.331220e-04,1.331224e-04,1.331115e-04,1.330920e-04,1.330700e-04,1.330091e-04,1.329991e-04,1.329001e-04,1.328771e-04,1.327745e-04,1.326991e-04,1.326236e-04,1.324782e-04,1.324487e-04,1.322510e-04,1.322174e-04,1.320318e-04,1.319193e-04,1.317922e-04,1.315866e-04,1.315334e-04,1.312563e-04,1.312219e-04,1.309621e-04,1.308275e-04,1.306518e-04,1.304057e-04,1.303262e-04,1.299863e-04,1.299586e-04,1.296331e-04,1.294883e-04,1.292673e-04,1.289967e-04,1.288898e-04,1.285014e-04,1.284856e-04,1.281028e-04,1.279569e-04,1.276947e-04,1.274121e-04,1.272778e-04,1.268529e-04,1.262806e-04,1.256967e-04,1.251025e-04,1.244992e-04,1.238880e-04,1.232700e-04,1.226463e-04,1.220178e-04,1.213854e-04,1.207500e-04,1.201124e-04,1.194734e-04,1.188336e-04,1.181938e-04,1.175545e-04,1.169163e-04,1.162798e-04,1.156454e-04,1.150136e-04,1.143850e-04,1.137597e-04,1.131383e-04,1.125211e-04,1.119083e-04
0.000000e+00,3.620141e-09,8.314160e-09,2.876945e-08,6.589770e-08,9.656993e-08,2.223664e-07,2.292226e-07,4.522554e-07,5.349578e-07,7.965752e-07,1.076439e-06,1.298683e-06,1.931417e-06,1.994916e-06,2.905812e-06,3.155981e-06,4.022620e-06,4.727399e-06,5.316405e-06,6.577219e-06,6.757003e-06,8.320959e-06,8.646929e-06,9.990631e-06,1.089579e-05,1.175162e-05,1.329192e-05,1.359097e-05,1.549621e-05,1.580635e-05,1.745510e-05,1.841086e-05,1.945554e-05,2.107789e-05,2.148577e-05,2.353451e-05,2.378109e-05,2.559118e-05,2.649607e-05,2.764601e-05,2.920098e-05,2.969017e-05,3.171577e-05,3.187681e-05,3.371595e-05,3.450753e-05,3.568475e-05,3.708002e-05,3.761718e-05,3.950904e-05,3.958383e-05,4.135696e-05,4.201090e-05,4.315820e-05,4.435529e-05,4.491067e-05,4.661281e-05,4.826352e-05,4.878075e-05,4.986208e-05,5.085761e-05,5.140813e-05,5.284287e-05,5.290160e-05,5.434263e-05,5.473676e-05,5.573158e-05,5.654016e-05,5.706897e-05,5.825439e-05,5.835545e-05,5.959179e-05,5.988115e-05,6.077884e-05,6.142241e-05,6.191753e-05,6.288036e-05,6.300885e-05,6.405381e-05,6.425733e-05,6.505348e-05,6.555576e-05,6.600893e-05,6.677815e-05,6.692127e-05,6.779160e-05,6.792703e-05,6.862104e-05,6.900497e-05,6.941069e-05,7.001450e-05,7.016166e-05,7.087505e-05,7.095819e-05,7.155196e-05,7.183852e-05,7.219346e-05,7.265798e-05,7.280062e-05,7.337449e-05,7.341899e-05,7.391609e-05,7.412393e-05,7.442645e-05,7.477512e-05,7.490655e-05,7.535739e-05,7.537483e-05,7.577991e-05,7.592527e-05,7.617505e-05,7.642858e-05,7.654374e-05,7.688686e-05,7.720530e-05,7.730213e-05,7.749991e-05,7.767634e-05,7.777152e-05,7.801139e-05,7.802095e-05,7.824900e-05,7.830912e-05,7.845643e-05,7.857131e-05,7.864400e-05,7.879965e-05,7.881244e-05,7.896246e-05,7.899581e-05,7.909477e-05,7.916137e-05,7.921002e-05,7.929786e-05,7.930888e-05,7.939198e-05,7.940677e-05,7.945994e-05,7.948950e-05,7.951337e-05,7.954743e-05,7.955283e-05,7.957890e-05,7.958187e-05,7.959213e-05,7.959407e-05,7.959304e-05,7.958525e-05,7.958216e-05,7.955997e-05,7.955657e-05,7.952697e-05,7.950915e-05,7.948363e-05,7.944404e-05,7.943038e-05,7.936769e-05,7.936228e-05,7.929596e-05,7.926484e-05,7.921562e-05,7.915266e-05,7.912706e-05,7.903066e-05,7.902664e-05,7.892680e-05,7.888765e-05,7.881583e-05,7.873649e-05,7.869811e-05,7.857397e-05,7.840082e-05,7.821777e-05,7.802550e-05,7.782466e-05,7.761588e-05,7.739976e-05,7.717686e-05,7.694771e-05,7.671284e-05,7.647274e-05,7.622786e-05,7.597867e-05,7.572556e-05,7.546896e-05,7.520923e-05,7.494674e-05,7.468183e-05,7.441483e-05,7.414605e-05,7.387577e-05,7.360428e-05,7.333183e-05,7.305868e-05,7.278505e-05
0.000000e+00,1.801584e-09,4.890291e-09,2.090146e-08,5.368008e-08,8.236869e-08,2.071109e-07,2.141259e-07,4.498973e-07,5.402254e-07,8.334808e-07,1.156948e-06,1.419114e-06,2.181577e-06,2.258936e-06,3.375304e-06,3.682675e-06,4.745924e-06,5.606941e-06,6.323141e-06,7.844320e-06,8.059830e-06,9.919372e-06,1.030351e-05,1.187462e-05,1.292201e-05,1.390448e-05,1.565420e-05,1.599123e-05,1.811895e-05,1.846219e-05,2.027285e-05,2.131189e-05,2.243897e-05,2.417185e-05,2.460423e-05,2.675653e-05,2.701340e-05,2.888486e-05,2.981116e-05,3.097942e-05,3.254340e-05,3.303168e-05,3.503434e-05,3.519222e-05,3.698137e-05,3.774348e-05,3.886791e-05,4.018661e-05,4.069020e-05,4.244545e-05,4.251423e-05,4.413172e-05,4.472165e-05,4.574785e-05,4.680648e-05,4.729334e-05,4.876820e-05,5.017293e-05,5.060776e-05,5.150840e-05,5.232729e-05,5.277579e-05,5.392975e-05,5.397652e-05,5.511220e-05,5.541877e-05,5.618458e-05,5.679840e-05,5.719553e-05,5.807301e-05,5.814698e-05,5.904092e-05,5.924713e-05,5.987936e-05,6.032539e-05,6.066430e-05,6.131241e-05,6.139778e-05,6.208177e-05,6.221281e-05,6.271826e-05,6.303110e-05,6.330917e-05,6.377170e-05,6.385640e-05,6.436179e-05,6.443889e-05,6.482715e-05,6.503682e-05,6.525424e-05,6.556949e-05,6.564475e-05,6.600033e-05,6.604073e-05,6.632258e-05,6.645421e-05,6.661305e-05,6.681346e-05,6.687321e-05,6.710452e-05,6.712182e-05,6.730836e-05,6.738250e-05,6.748606e-05,6.759854e-05,6.763891e-05,6.776814e-05,6.777284e-05,6.787495e-05,6.790813e-05,6.796047e-05,6.800704e-05,6.802581e-05,6.807202e-05,6.810011e-05,6.810543e-05,6.811105e-05,6.810948e-05,6.810577e-05,6.808626e-05,6.808515e-05,6.805006e-05,6.803775e-05,6.800131e-05,6.796583e-05,6.793968e-05,6.787225e-05,6.786592e-05,6.778074e-05,6.775868e-05,6.768484e-05,6.762669e-05,6.757886e-05,6.747776e-05,6.746343e-05,6.733915e-05,6.731328e-05,6.720659e-05,6.713456e-05,6.706629e-05,6.694284e-05,6.691877e-05,6.676453e-05,6.673926e-05,6.660404e-05,6.652492e-05,6.643776e-05,6.630085e-05,6.626611e-05,6.608950e-05,6.606799e-05,6.590832e-05,6.582725e-05,6.572295e-05,6.557947e-05,6.553373e-05,6.534101e-05,6.532545e-05,6.514510e-05,6.506591e-05,6.494631e-05,6.480156e-05,6.474493e-05,6.454123e-05,6.453304e-05,6.433547e-05,6.426095e-05,6.412791e-05,6.398585e-05,6.391877e-05,6.370828e-05,6.342872e-05,6.314763e-05,6.286544e-05,6.258254e-05,6.229929e-05,6.201604e-05,6.173311e-05,6.145077e-05,6.116932e-05,6.088899e-05,6.061001e-05,6.033260e-05,6.005694e-05,5.978322e-05,5.951160e-05,5.924222e-05,5.897523e-05,5.871073e-05,5.844885e-05,5.818968e-05,5.793330e-05,5.767981e-05,5.742926e-05,5.718173e-05
0.000000e+00,4.592908e-08,1.363666e-07,6.879257e-07,2.016116e-06,3.305889e-06,9.716440e-06,1.010556e-05,2.436519e-05,3.029823e-05,5.077324e-05,7.480587e-05,9.494480e-05,1.550729e-04,1.612429e-04,2.510921e-04,2.760924e-04,3.636136e-04,4.358259e-04,4.968720e-04,6.294962e-04,6.486027e-04,8.165002e-04,8.518196e-04,9.982995e-04,1.097591e-03,1.191782e-03,1.361740e-03,1.394768e-03,1.605112e-03,1.639308e-03,1.820715e-03,1.925473e-03,2.039547e-03,2.215633e-03,2.259673e-03,2.479280e-03,2.505517e-03,2.696705e-03,2.791290e-03,2.910458e-03,3.069643e-03,3.119232e-03,3.321913e-03,3.337835e-03,3.517580e-03,3.593713e-03,3.705499e-03,3.835682e-03,3.885111e-03,4.056023e-03,4.062675e-03,4.217990e-03,4.274082e-03,4.370895e-03,4.469687e-03,4.514732e-03,4.649593e-03,4.775648e-03,4.814161e-03,4.893123e-03,4.963931e-03,5.002294e-03,5.099573e-03,5.103470e-03,5.196986e-03,5.221845e-03,5.283191e-03,5.331555e-03,5.362448e-03,5.429550e-03,5.435131e-03,5.501610e-03,5.516681e-03,5.562243e-03,5.593777e-03,5.617385e-03,5.661635e-03,5.667373e-03,5.712533e-03,5.721012e-03,5.753172e-03,5.772616e-03,5.789584e-03,5.817105e-03,5.822045e-03,5.850818e-03,5.855096e-03,5.876148e-03,5.887152e-03,5.898267e-03,5.913795e-03,5.917390e-03,5.933719e-03,5.935500e-03,5.947445e-03,5.952706e-03,5.958744e-03,5.965810e-03,5.967781e-03,5.974710e-03,5.975178e-03,5.979674e-03,5.981140e-03,5.982807e-03,5.983999e-03,5.984233e-03,5.984068e-03,5.984030e-03,5.982419e-03,5.981482e-03,5.979388e-03,5.976586e-03,5.975069e-03,5.969548e-03,5.962907e-03,5.960559e-03,5.955223e-03,5.949791e-03,5.946567e-03,5.937403e-03,5.937004e-03,5.926597e-03,5.923540e-03,5.915404e-03,5.908334e-03,5.903480e-03,5.891908e-03,5.890875e-03,5.877638e-03,5.874372e-03,5.863812e-03,5.855829e-03,5.849440e-03,5.836373e-03,5.834562e-03,5.819214e-03,5.816091e-03,5.803431e-03,5.795062e-03,5.787245e-03,5.773361e-03,5.770689e-03,5.753790e-03,5.751056e-03,5.736575e-03,5.728208e-03,5.719072e-03,5.704877e-03,5.701303e-03,5.683293e-03,5.681116e-03,5.665061e-03,5.656975e-03,5.646630e-03,5.632500e-03,5.628018e-03,5.609242e-03,5.607734e-03,5.590322e-03,5.582716e-03,5.571272e-03,5.557484e-03,5.552108e-03,5.532844e-03,5.532072e-03,5.513495e-03,5.506511e-03,5.494073e-03,5.480831e-03,5.474591e-03,5.455060e-03,5.429222e-03,5.403342e-03,5.377442e-03,5.351542e-03,5.325661e-03,5.299817e-03,5.274026e-03,5.248303e-03,5.222663e-03,5.197118e-03,5.171680e-03,5.146361e-03,5.121171e-03,5.096120e-03,5.071216e-03,5.046467e-03,5.021882e-03,4.997465e-03,4.973225e-03,4.949166e-03,4.925294e-03,4.901614e-03,4.878129e-03,4.854844e-03
0.000000e+00,2.954256e-09,7.234028e-09,2.680676e-08,6.328195e-08,9.367442e-08,2.186561e-07,2.254600e-07,4.456989e-07,5.267711e-07,7.810021e-07,1.048889e-06,1.258223e-06,1.836133e-06,1.892685e-06,2.680759e-06,2.891413e-06,3.610394e-06,4.188734e-06,4.670925e-06,5.705813e-06,5.853999e-06,7.151897e-06,7.424542e-06,8.556311e-06,9.325621e-06,1.005781e-05,1.138634e-05,1.164574e-05,1.330839e-05,1.358053e-05,1.503331e-05,1.587961e-05,1.680762e-05,1.825398e-05,1.861846e-05,2.045323e-05,2.067443e-05,2.229993e-05,2.311334e-05,2.414736e-05,2.554556e-05,2.598529e-05,2.780454e-05,2.794903e-05,2.959707e-05,3.030501e-05,3.135593e-05,3.259815e-05,3.307528e-05,3.475030e-05,3.481632e-05,3.637710e-05,3.695034e-05,3.795269e-05,3.899368e-05,3.947485e-05,4.094204e-05,4.235332e-05,4.279304e-05,4.370826e-05,4.454585e-05,4.500688e-05,4.620090e-05,4.624954e-05,4.743693e-05,4.775962e-05,4.856998e-05,4.922418e-05,4.964981e-05,5.059735e-05,5.067770e-05,5.165506e-05,5.188227e-05,5.258337e-05,5.308238e-05,5.346419e-05,5.420130e-05,5.429912e-05,5.508977e-05,5.524272e-05,5.583776e-05,5.621040e-05,5.654472e-05,5.710804e-05,5.721226e-05,5.784196e-05,5.793930e-05,5.843537e-05,5.870777e-05,5.899402e-05,5.941691e-05,5.951940e-05,6.001293e-05,6.007008e-05,6.047603e-05,6.067051e-05,6.091005e-05,6.122127e-05,6.131631e-05,6.169607e-05,6.172534e-05,6.205054e-05,6.218552e-05,6.238092e-05,6.260451e-05,6.268833e-05,6.297386e-05,6.298484e-05,6.323856e-05,6.332894e-05,6.348343e-05,6.363911e-05,6.370943e-05,6.391750e-05,6.410851e-05,6.416617e-05,6.428331e-05,6.438706e-05,6.444273e-05,6.458200e-05,6.458753e-05,6.471846e-05,6.475273e-05,6.483623e-05,6.490086e-05,6.494153e-05,6.502794e-05,6.503500e-05,6.511727e-05,6.513542e-05,6.518894e-05,6.522465e-05,6.525057e-05,6.529693e-05,6.530270e-05,6.534585e-05,6.535345e-05,6.538052e-05,6.539535e-05,6.540718e-05,6.542371e-05,6.542627e-05,6.543824e-05,6.543952e-05,6.544348e-05,6.544373e-05,6.544239e-05,6.543722e-05,6.543535e-05,6.542270e-05,6.542082e-05,6.540478e-05,6.539532e-05,6.538193e-05,6.536144e-05,6.535444e-05,6.532260e-05,6.531988e-05,6.528670e-05,6.527127e-05,6.524701e-05,6.521621e-05,6.520376e-05,6.515721e-05,6.515528e-05,6.510758e-05,6.508901e-05,6.505509e-05,6.501787e-05,6.499995e-05,6.494235e-05,6.486288e-05,6.477985e-05,6.469364e-05,6.460462e-05,6.451310e-05,6.441940e-05,6.432381e-05,6.422659e-05,6.412799e-05,6.402824e-05,6.392756e-05,6.382615e-05,6.372419e-05,6.362186e-05,6.351932e-05,6.341672e-05,6.331418e-05,6.321184e-05,6.310982e-05,6.300822e-05,6.290713e-05,6.280666e-05,6.270688e-05,6.260786e-05
0.000000e+00,2.417234e-10,7.094086e-10,3.483704e-09,9.915644e-09,1.596057e-08,4.426926e-08,4.591803e-08,1.027512e-07,1.248624e-07,1.967808e-07,2.757209e-07,3.393263e-07,5.236911e-07,5.424495e-07,8.172409e-07,8.947269e-07,1.170192e-06,1.401907e-06,1.600255e-06,2.036360e-06,2.099568e-06,2.656549e-06,2.773757e-06,3.258647e-06,3.585541e-06,3.893857e-06,4.445017e-06,4.551286e-06,5.221257e-06,5.329029e-06,5.895205e-06,6.217855e-06,6.565560e-06,7.094745e-06,7.225649e-06,7.869637e-06,7.945587e-06,8.492500e-06,8.758750e-06,9.090012e-06,9.525025e-06,9.658739e-06,1.019602e-05,1.023758e-05,1.069993e-05,1.089186e-05,1.116926e-05,1.148542e-05,1.160343e-05,1.200242e-05,1.201765e-05,1.236671e-05,1.248953e-05,1.269721e-05,1.290326e-05,1.299514e-05,1.326198e-05,1.349940e-05,1.356945e-05,1.370919e-05,1.382981e-05,1.389321e-05,1.404736e-05,1.405333e-05,1.419141e-05,1.422638e-05,1.430927e-05,1.437100e-05,1.440864e-05,1.448515e-05,1.449117e-05,1.455841e-05,1.457244e-05,1.461182e-05,1.463619e-05,1.465274e-05,1.467938e-05,1.468239e-05,1.470190e-05,1.470468e-05,1.471231e-05,1.471444e-05,1.471455e-05,1.471073e-05,1.470946e-05,1.469780e-05,1.469537e-05,1.468026e-05,1.466994e-05,1.465746e-05,1.463581e-05,1.462996e-05,1.459824e-05,1.459418e-05,1.456277e-05,1.454607e-05,1.452393e-05,1.449239e-05,1.448210e-05,1.443759e-05,1.443392e-05,1.439069e-05,1.437133e-05,1.434168e-05,1.430521e-05,1.429078e-05,1.423820e-05,1.423607e-05,1.418415e-05,1.416437e-05,1.412880e-05,1.409050e-05,1.407231e-05,1.401482e-05,1.395646e-05,1.393762e-05,1.389735e-05,1.385919e-05,1.383761e-05,1.377976e-05,1.377734e-05,1.371662e-05,1.369955e-05,1.365554e-05,1.361876e-05,1.359419e-05,1.353755e-05,1.353262e-05,1.347091e-05,1.345609e-05,1.340912e-05,1.337450e-05,1.334730e-05,1.329292e-05,1.328551e-05,1.322379e-05,1.321146e-05,1.316219e-05,1.313021e-05,1.310074e-05,1.304928e-05,1.303949e-05,1.297847e-05,1.296873e-05,1.291771e-05,1.288865e-05,1.285725e-05,1.280910e-05,1.279710e-05,1.273730e-05,1.273015e-05,1.267786e-05,1.265183e-05,1.261881e-05,1.257421e-05,1.256017e-05,1.250195e-05,1.249732e-05,1.244418e-05,1.242120e-05,1.238686e-05,1.234588e-05,1.233001e-05,1.227364e-05,1.227140e-05,1.221777e-05,1.219777e-05,1.216239e-05,1.212503e-05,1.210753e-05,1.205319e-05,1.198227e-05,1.191227e-05,1.184322e-05,1.177513e-05,1.170799e-05,1.164182e-05,1.157662e-05,1.151239e-05,1.144913e-05,1.138684e-05,1.132553e-05,1.126518e-05,1.120580e-05,1.114737e-05,1.108991e-05,1.103339e-05,1.097781e-05,1.092316e-05,1.086944e-05,1.081664e-05,1.076475e-05,1.071375e-05,1.066365e-05,1.061442e-05
0.000000e+00,2.641047e-10,7.661433e-10,3.674608e-09,1.023917e-08,1.628941e-08,4.379866e-08,4.537070e-08,9.819866e-08,1.181812e-07,1.815081e-07,2.486373e-07,3.012530e-07,4.479878e-07,4.625218e-07,6.694810e-07,7.263204e-07,9.252265e-07,1.090449e-06,1.231423e-06,1.542417e-06,1.587758e-06,1.991553e-06,2.077613e-06,2.437970e-06,2.684898e-06,2.920722e-06,3.349239e-06,3.432865e-06,3.967352e-06,4.054483e-06,4.517352e-06,4.784947e-06,5.076400e-06,5.526095e-06,5.638482e-06,6.198083e-06,6.264827e-06,6.750241e-06,6.989681e-06,7.290573e-06,7.690974e-06,7.815309e-06,8.321293e-06,8.360881e-06,8.805983e-06,8.993440e-06,9.267426e-06,9.584463e-06,9.704221e-06,1.011548e-05,1.013139e-05,1.050075e-05,1.063306e-05,1.085998e-05,1.108952e-05,1.119347e-05,1.150175e-05,1.178562e-05,1.187145e-05,1.204600e-05,1.220081e-05,1.228396e-05,1.249238e-05,1.250065e-05,1.269727e-05,1.274889e-05,1.287502e-05,1.297313e-05,1.303513e-05,1.316788e-05,1.317880e-05,1.330717e-05,1.333583e-05,1.342138e-05,1.347955e-05,1.352248e-05,1.360142e-05,1.361149e-05,1.368936e-05,1.370367e-05,1.375697e-05,1.378836e-05,1.381516e-05,1.385733e-05,1.386470e-05,1.390631e-05,1.391228e-05,1.394064e-05,1.395472e-05,1.396831e-05,1.398602e-05,1.398987e-05,1.400585e-05,1.400742e-05,1.401671e-05,1.401999e-05,1.402290e-05,1.402472e-05,1.402481e-05,1.402281e-05,1.402249e-05,1.401724e-05,1.401408e-05,1.400840e-05,1.400017e-05,1.399657e-05,1.398202e-05,1.398139e-05,1.396498e-05,1.395828e-05,1.394568e-05,1.393135e-05,1.392430e-05,1.390104e-05,1.387606e-05,1.386774e-05,1.384953e-05,1.383180e-05,1.382158e-05,1.379354e-05,1.379235e-05,1.376195e-05,1.375325e-05,1.373051e-05,1.371118e-05,1.369812e-05,1.366758e-05,1.366489e-05,1.363090e-05,1.362263e-05,1.359623e-05,1.357655e-05,1.356096e-05,1.352948e-05,1.352516e-05,1.348890e-05,1.348160e-05,1.345224e-05,1.343304e-05,1.341524e-05,1.338393e-05,1.337795e-05,1.334041e-05,1.333438e-05,1.330267e-05,1.328450e-05,1.326479e-05,1.323439e-05,1.322678e-05,1.318870e-05,1.318413e-05,1.315058e-05,1.313380e-05,1.311244e-05,1.308347e-05,1.307432e-05,1.303625e-05,1.303320e-05,1.299824e-05,1.298307e-05,1.296034e-05,1.293312e-05,1.292255e-05,1.288490e-05,1.288339e-05,1.284740e-05,1.283394e-05,1.281008e-05,1.278481e-05,1.277295e-05,1.273603e-05,1.268763e-05,1.263965e-05,1.259211e-05,1.254504e-05,1.249845e-05,1.245237e-05,1.240682e-05,1.236180e-05,1.231733e-05,1.227343e-05,1.223010e-05,1.218736e-05,1.214520e-05,1.210363e-05,1.206267e-05,1.202231e-05,1.198255e-05,1.194341e-05,1.190487e-05,1.186694e-05,1.182962e-05,1.179290e-05,1.175679e-05,1.172129e-05
0.000000e+00,3.304374e-09,9.851639e-09,4.996821e-08,1.463750e-07,2.392597e-07,6.891385e-07,7.158495e-07,1.656130e-06,2.029035e-06,3.257705e-06,4.623285e-06,5.730899e-06,8.960085e-06,9.289660e-06,1.413674e-05,1.551153e-05,2.044069e-05,2.465222e-05,2.831544e-05,3.658905e-05,3.781532e-05,4.894149e-05,5.135875e-05,6.165039e-05,6.885890e-05,7.586087e-05,8.887643e-05,9.146022e-05,1.083099e-04,1.111116e-04,1.262516e-04,1.352013e-04,1.451129e-04,1.607427e-04,1.647130e-04,1.848687e-04,1.873160e-04,2.053987e-04,2.145052e-04,2.261285e-04,2.419148e-04,2.468931e-04,2.675401e-04,2.691826e-04,2.879314e-04,2.959883e-04,3.079442e-04,3.220582e-04,3.274713e-04,3.464217e-04,3.471666e-04,3.647192e-04,3.711343e-04,3.823026e-04,3.938264e-04,3.991239e-04,4.151477e-04,4.303499e-04,4.350384e-04,4.447160e-04,4.534688e-04,4.582407e-04,4.704347e-04,4.709261e-04,4.827807e-04,4.859529e-04,4.938186e-04,5.000569e-04,5.040584e-04,5.127930e-04,5.135222e-04,5.222351e-04,5.242175e-04,5.302246e-04,5.343935e-04,5.375197e-04,5.433887e-04,5.441503e-04,5.501474e-04,5.512735e-04,5.555420e-04,5.581194e-04,5.603652e-04,5.639976e-04,5.646478e-04,5.684202e-04,5.689784e-04,5.717121e-04,5.731300e-04,5.745523e-04,5.765182e-04,5.769690e-04,5.789889e-04,5.792059e-04,5.806382e-04,5.812529e-04,5.819416e-04,5.827156e-04,5.829230e-04,5.836048e-04,5.836471e-04,5.840088e-04,5.840972e-04,5.841552e-04,5.841121e-04,5.840635e-04,5.837518e-04,5.837350e-04,5.832374e-04,5.830058e-04,5.825367e-04,5.819615e-04,5.816647e-04,5.806360e-04,5.794640e-04,5.790608e-04,5.781614e-04,5.772647e-04,5.767400e-04,5.752739e-04,5.752108e-04,5.735843e-04,5.731127e-04,5.718700e-04,5.708031e-04,5.700771e-04,5.683653e-04,5.682139e-04,5.662883e-04,5.658177e-04,5.643075e-04,5.631768e-04,5.622784e-04,5.604578e-04,5.602073e-04,5.580999e-04,5.576746e-04,5.559618e-04,5.548396e-04,5.537980e-04,5.519639e-04,5.516131e-04,5.494115e-04,5.490579e-04,5.471970e-04,5.461307e-04,5.449735e-04,5.431905e-04,5.427443e-04,5.405126e-04,5.402447e-04,5.382811e-04,5.373001e-04,5.360527e-04,5.343626e-04,5.338297e-04,5.316143e-04,5.314375e-04,5.294086e-04,5.285295e-04,5.272145e-04,5.256429e-04,5.250337e-04,5.228677e-04,5.227814e-04,5.207179e-04,5.199483e-04,5.185857e-04,5.171464e-04,5.164722e-04,5.143784e-04,5.116463e-04,5.089521e-04,5.062975e-04,5.036837e-04,5.011119e-04,4.985831e-04,4.960981e-04,4.936574e-04,4.912616e-04,4.889108e-04,4.866054e-04,4.843453e-04,4.821306e-04,4.799611e-04,4.778367e-04,4.757571e-04,4.737219e-04,4.717309e-04,4.697835e-04,4.678793e-04,4.660178e-04,4.641985e-04,4.624207e-04,4.606839e-04
0.000000e+00,4.059837e-10,1.198660e-09,5.959257e-09,1.714740e-08,2.776023e-08,7.806466e-08,8.101412e-08,1.833562e-07,2.233908e-07,3.539625e-07,4.974651e-07,6.129962e-07,9.465577e-07,9.803587e-07,1.472519e-06,1.610429e-06,2.098940e-06,2.509349e-06,2.861525e-06,3.642361e-06,3.756535e-06,4.776560e-06,4.994730e-06,5.911695e-06,6.543616e-06,7.150183e-06,8.260756e-06,8.478815e-06,9.883274e-06,1.011402e-05,1.134849e-05,1.206884e-05,1.285903e-05,1.408972e-05,1.439947e-05,1.595483e-05,1.614179e-05,1.751086e-05,1.819229e-05,1.905438e-05,2.021169e-05,2.057345e-05,2.205758e-05,2.217452e-05,2.349778e-05,2.405984e-05,2.488658e-05,2.585128e-05,2.621801e-05,2.748750e-05,2.753694e-05,2.869181e-05,2.910898e-05,2.982888e-05,3.056311e-05,3.089768e-05,3.189810e-05,3.283079e-05,3.311513e-05,3.369701e-05,3.421733e-05,3.449857e-05,3.520923e-05,3.523762e-05,3.591665e-05,3.609638e-05,3.653833e-05,3.688498e-05,3.710548e-05,3.758157e-05,3.762098e-05,3.808774e-05,3.819283e-05,3.850866e-05,3.872540e-05,3.888656e-05,3.918573e-05,3.922421e-05,3.952427e-05,3.958000e-05,3.978929e-05,3.991407e-05,4.002171e-05,4.019343e-05,4.022383e-05,4.039784e-05,4.042321e-05,4.054579e-05,4.060813e-05,4.066962e-05,4.075254e-05,4.077114e-05,4.085204e-05,4.086044e-05,4.091390e-05,4.093547e-05,4.095820e-05,4.098097e-05,4.098631e-05,4.099950e-05,4.099994e-05,4.099896e-05,4.099515e-05,4.098579e-05,4.096907e-05,4.096102e-05,4.092559e-05,4.092396e-05,4.088038e-05,4.086188e-05,4.082622e-05,4.078466e-05,4.076385e-05,4.069398e-05,4.061726e-05,4.059136e-05,4.053429e-05,4.047817e-05,4.044563e-05,4.035565e-05,4.035181e-05,4.025329e-05,4.022493e-05,4.015053e-05,4.008702e-05,4.004395e-05,3.994284e-05,3.993392e-05,3.982080e-05,3.979323e-05,3.970493e-05,3.963895e-05,3.958661e-05,3.948068e-05,3.946612e-05,3.934373e-05,3.931905e-05,3.921969e-05,3.915461e-05,3.909422e-05,3.898788e-05,3.896754e-05,3.883984e-05,3.881933e-05,3.871131e-05,3.864937e-05,3.858211e-05,3.847838e-05,3.845240e-05,3.832233e-05,3.830671e-05,3.819204e-05,3.813467e-05,3.806165e-05,3.796255e-05,3.793127e-05,3.780102e-05,3.779061e-05,3.767100e-05,3.761907e-05,3.754130e-05,3.744816e-05,3.741200e-05,3.728318e-05,3.727804e-05,3.715493e-05,3.710891e-05,3.702730e-05,3.694090e-05,3.690036e-05,3.677416e-05,3.660882e-05,3.644498e-05,3.628274e-05,3.612220e-05,3.596342e-05,3.580649e-05,3.565145e-05,3.549836e-05,3.534727e-05,3.519822e-05,3.505123e-05,3.490634e-05,3.476356e-05,3.462292e-05,3.448443e-05,3.434810e-05,3.421392e-05,3.408192e-05,3.395207e-05,3.382439e-05,3.369887e-05,3.357549e-05,3.345425e-05,3.333513e-05
0.000000e+00,2.076468e-09,6.168303e-09,3.104865e-08,9.031471e-08,1.470499e-07,4.192331e-07,4.352991e-07,9.966527e-07,1.217564e-06,1.940603e-06,2.737483e-06,3.379715e-06,5.235380e-06,5.423551e-06,8.168842e-06,8.940601e-06,1.168548e-05,1.400556e-05,1.600641e-05,2.047212e-05,2.112814e-05,2.701734e-05,2.828265e-05,3.361765e-05,3.730689e-05,4.085523e-05,4.736410e-05,4.864334e-05,5.688654e-05,5.824102e-05,6.548459e-05,6.970787e-05,7.433607e-05,8.153284e-05,8.334166e-05,9.240679e-05,9.349437e-05,1.014439e-04,1.053905e-04,1.103737e-04,1.170453e-04,1.191265e-04,1.276426e-04,1.283121e-04,1.358720e-04,1.390741e-04,1.437744e-04,1.492439e-04,1.513188e-04,1.584822e-04,1.587606e-04,1.652494e-04,1.675866e-04,1.716114e-04,1.757045e-04,1.775654e-04,1.831130e-04,1.882600e-04,1.898239e-04,1.930156e-04,1.958590e-04,1.973913e-04,2.012473e-04,2.014008e-04,2.050593e-04,2.060230e-04,2.083829e-04,2.102233e-04,2.113885e-04,2.138873e-04,2.140930e-04,2.165139e-04,2.170545e-04,2.186680e-04,2.197641e-04,2.205721e-04,2.220540e-04,2.222426e-04,2.236952e-04,2.239609e-04,2.249449e-04,2.255195e-04,2.260064e-04,2.267625e-04,2.268932e-04,2.276185e-04,2.277204e-04,2.281947e-04,2.284216e-04,2.286332e-04,2.288923e-04,2.289450e-04,2.291405e-04,2.291565e-04,2.292290e-04,2.292364e-04,2.292196e-04,2.291522e-04,2.291207e-04,2.289399e-04,2.289221e-04,2.286846e-04,2.285631e-04,2.283613e-04,2.280901e-04,2.279765e-04,2.275358e-04,2.275171e-04,2.270446e-04,2.268564e-04,2.265079e-04,2.261193e-04,2.259302e-04,2.253159e-04,2.246688e-04,2.244554e-04,2.239925e-04,2.235460e-04,2.232905e-04,2.225952e-04,2.225658e-04,2.218212e-04,2.216095e-04,2.210594e-04,2.205951e-04,2.202828e-04,2.195572e-04,2.194937e-04,2.186940e-04,2.185008e-04,2.178858e-04,2.174300e-04,2.170706e-04,2.163489e-04,2.162502e-04,2.154260e-04,2.152608e-04,2.145993e-04,2.141689e-04,2.137714e-04,2.130759e-04,2.129434e-04,2.121164e-04,2.119842e-04,2.112912e-04,2.108961e-04,2.104689e-04,2.098135e-04,2.096501e-04,2.088356e-04,2.087382e-04,2.080261e-04,2.076716e-04,2.072221e-04,2.066151e-04,2.064242e-04,2.056328e-04,2.055698e-04,2.048485e-04,2.045368e-04,2.040716e-04,2.035170e-04,2.033024e-04,2.025414e-04,2.025111e-04,2.017887e-04,2.015199e-04,2.010447e-04,2.005438e-04,2.003095e-04,1.995833e-04,1.986389e-04,1.977108e-04,1.967993e-04,1.959047e-04,1.950270e-04,1.941663e-04,1.933228e-04,1.924963e-04,1.916869e-04,1.908945e-04,1.901191e-04,1.893605e-04,1.886186e-04,1.878932e-04,1.871842e-04,1.864914e-04,1.858146e-04,1.851536e-04,1.845082e-04,1.838780e-04,1.832630e-04,1.826629e-04,1.820773e-04,1.815062e-04
0.000000e+00,1.025594e-09,3.055170e-09,1.546999e-08,4.524986e-08,7.390521e-08,2.124520e-07,2.206697e-07,5.096215e-07,6.240948e-07,1.000984e-06,1.419540e-06,1.758866e-06,2.747547e-06,2.848407e-06,4.330814e-06,4.750984e-06,6.256872e-06,7.543461e-06,8.663094e-06,1.119578e-05,1.157178e-05,1.499243e-05,1.573801e-05,1.892298e-05,2.116455e-05,2.335067e-05,2.743782e-05,2.825285e-05,3.359800e-05,3.449181e-05,3.934686e-05,4.223651e-05,4.545381e-05,5.056344e-05,5.186844e-05,5.853709e-05,5.935178e-05,6.540449e-05,6.847478e-05,7.241516e-05,7.780562e-05,7.951483e-05,8.665146e-05,8.722250e-05,9.377626e-05,9.661267e-05,1.008443e-04,1.058753e-04,1.078152e-04,1.146529e-04,1.149232e-04,1.213265e-04,1.236836e-04,1.278096e-04,1.320979e-04,1.340803e-04,1.401214e-04,1.459196e-04,1.477220e-04,1.514652e-04,1.548790e-04,1.567522e-04,1.615814e-04,1.617773e-04,1.665398e-04,1.678265e-04,1.710414e-04,1.736184e-04,1.752854e-04,1.789668e-04,1.792770e-04,1.830223e-04,1.838853e-04,1.865287e-04,1.883909e-04,1.898042e-04,1.925026e-04,1.928576e-04,1.956977e-04,1.962409e-04,1.983338e-04,1.996272e-04,2.007754e-04,2.026829e-04,2.030318e-04,2.051123e-04,2.054295e-04,2.070260e-04,2.078879e-04,2.087818e-04,2.100786e-04,2.103884e-04,2.118540e-04,2.120208e-04,2.131869e-04,2.137332e-04,2.143946e-04,2.152333e-04,2.154845e-04,2.164637e-04,2.165374e-04,2.173388e-04,2.176611e-04,2.181161e-04,2.186186e-04,2.188016e-04,2.194009e-04,2.194232e-04,2.199195e-04,2.200874e-04,2.203623e-04,2.206225e-04,2.207340e-04,2.210392e-04,2.212820e-04,2.213472e-04,2.214663e-04,2.215553e-04,2.215959e-04,2.216720e-04,2.216742e-04,2.217045e-04,2.217048e-04,2.216899e-04,2.216607e-04,2.216332e-04,2.215461e-04,2.215370e-04,2.214041e-04,2.213669e-04,2.212366e-04,2.211286e-04,2.210369e-04,2.208362e-04,2.208071e-04,2.205490e-04,2.204942e-04,2.202646e-04,2.201068e-04,2.199555e-04,2.196781e-04,2.196235e-04,2.192700e-04,2.192116e-04,2.188965e-04,2.187106e-04,2.185044e-04,2.181781e-04,2.180949e-04,2.176691e-04,2.176170e-04,2.172284e-04,2.170299e-04,2.167736e-04,2.164193e-04,2.163059e-04,2.158261e-04,2.157872e-04,2.153352e-04,2.151359e-04,2.148340e-04,2.144672e-04,2.143233e-04,2.138039e-04,2.137830e-04,2.132765e-04,2.130848e-04,2.127417e-04,2.123741e-04,2.122002e-04,2.116525e-04,2.109213e-04,2.101815e-04,2.094345e-04,2.086813e-04,2.079228e-04,2.071600e-04,2.063938e-04,2.056249e-04,2.048541e-04,2.040821e-04,2.033095e-04,2.025369e-04,2.017650e-04,2.009941e-04,2.002249e-04,1.994577e-04,1.986930e-04,1.979312e-04,1.971726e-04,1.964176e-04,1.956664e-04,1.949195e-04,1.941769e-04,1.934391e-04
0.000000e+00,2.310406e-09,6.369819e-09,2.793578e-08,7.307071e-08,1.131111e-07,2.904256e-07,3.005140e-07,6.447128e-07,7.786529e-07,1.218180e-06,1.705737e-06,2.098730e-06,3.212986e-06,3.323204e-06,4.859869e-06,5.268015e-06,6.644764e-06,7.730952e-06,8.621374e-06,1.048729e-05,1.074968e-05,1.300109e-05,1.346408e-05,1.535268e-05,1.660815e-05,1.778362e-05,1.987208e-05,2.027362e-05,2.280246e-05,2.320934e-05,2.535020e-05,2.657412e-05,2.789751e-05,2.992273e-05,3.042613e-05,3.291931e-05,3.321537e-05,3.536208e-05,3.641753e-05,3.774151e-05,3.950075e-05,4.004673e-05,4.226892e-05,4.244289e-05,4.440125e-05,4.522782e-05,4.643865e-05,4.784483e-05,4.837773e-05,5.021660e-05,5.028805e-05,5.195463e-05,5.255569e-05,5.359222e-05,5.464902e-05,5.513065e-05,5.657197e-05,5.791855e-05,5.832991e-05,5.917329e-05,5.992960e-05,6.033939e-05,6.137861e-05,6.142025e-05,6.241945e-05,6.268508e-05,6.334062e-05,6.385739e-05,6.418741e-05,6.490388e-05,6.496344e-05,6.567227e-05,6.583279e-05,6.631741e-05,6.665213e-05,6.690223e-05,6.736961e-05,6.743004e-05,6.790398e-05,6.799258e-05,6.832711e-05,6.852802e-05,6.870233e-05,6.898253e-05,6.903243e-05,6.932007e-05,6.936233e-05,6.956779e-05,6.967322e-05,6.977798e-05,6.992066e-05,6.995294e-05,7.009484e-05,7.010974e-05,7.020573e-05,7.024521e-05,7.028757e-05,7.033148e-05,7.034221e-05,7.037138e-05,7.037267e-05,7.037675e-05,7.037258e-05,7.035987e-05,7.033478e-05,7.032222e-05,7.026520e-05,7.026253e-05,7.019012e-05,7.015891e-05,7.009822e-05,7.002672e-05,6.999068e-05,6.986860e-05,6.973302e-05,6.968695e-05,6.958494e-05,6.948403e-05,6.942527e-05,6.926190e-05,6.925489e-05,6.907463e-05,6.902249e-05,6.888526e-05,6.876756e-05,6.868750e-05,6.849876e-05,6.848206e-05,6.826957e-05,6.821760e-05,6.805066e-05,6.792547e-05,6.782588e-05,6.762366e-05,6.759579e-05,6.736089e-05,6.731337e-05,6.712165e-05,6.699569e-05,6.687854e-05,6.667163e-05,6.663197e-05,6.638233e-05,6.634213e-05,6.613001e-05,6.600804e-05,6.587534e-05,6.567015e-05,6.561867e-05,6.536030e-05,6.532919e-05,6.510051e-05,6.498583e-05,6.483959e-05,6.464068e-05,6.457778e-05,6.431533e-05,6.429431e-05,6.405245e-05,6.394723e-05,6.378937e-05,6.359992e-05,6.352627e-05,6.326333e-05,6.325282e-05,6.300073e-05,6.290631e-05,6.273863e-05,6.256077e-05,6.247718e-05,6.221652e-05,6.187387e-05,6.153309e-05,6.119443e-05,6.085811e-05,6.052435e-05,6.019333e-05,5.986520e-05,5.954013e-05,5.921824e-05,5.889966e-05,5.858448e-05,5.827280e-05,5.796470e-05,5.766025e-05,5.735950e-05,5.706252e-05,5.676933e-05,5.647998e-05,5.619449e-05,5.591288e-05,5.563517e-05,5.536137e-05,5.509146e-05,5.482547e-05
0.000000e+00,3.048187e-10,8.926367e-10,4.365429e-09,1.238365e-08,1.989923e-08,5.497036e-08,5.700872e-08,1.270894e-07,1.542799e-07,2.425006e-07,3.390218e-07,4.166037e-07,6.408465e-07,6.636308e-07,9.974891e-07,1.091835e-06,1.428748e-06,1.714501e-06,1.961062e-06,2.509823e-06,2.590120e-06,3.305831e-06,3.458266e-06,4.095436e-06,4.530840e-06,4.945760e-06,5.697773e-06,5.844290e-06,6.779508e-06,6.931830e-06,7.740873e-06,8.208741e-06,8.718691e-06,9.506739e-06,9.703989e-06,1.068845e-05,1.080616e-05,1.166439e-05,1.208927e-05,1.262480e-05,1.334041e-05,1.356336e-05,1.447452e-05,1.454608e-05,1.535349e-05,1.569515e-05,1.619630e-05,1.677893e-05,1.699979e-05,1.776157e-05,1.779114e-05,1.847998e-05,1.872779e-05,1.915407e-05,1.958692e-05,1.978347e-05,2.036840e-05,2.090948e-05,2.107353e-05,2.140777e-05,2.170482e-05,2.186460e-05,2.226563e-05,2.228156e-05,2.266042e-05,2.275993e-05,2.300307e-05,2.319209e-05,2.331147e-05,2.356667e-05,2.358762e-05,2.383352e-05,2.388826e-05,2.405115e-05,2.416138e-05,2.424241e-05,2.439040e-05,2.440917e-05,2.455321e-05,2.457944e-05,2.467620e-05,2.473238e-05,2.477976e-05,2.485282e-05,2.486538e-05,2.493447e-05,2.494408e-05,2.498835e-05,2.500917e-05,2.502823e-05,2.505083e-05,2.505526e-05,2.507048e-05,2.507156e-05,2.507486e-05,2.507358e-05,2.506929e-05,2.505892e-05,2.505460e-05,2.503155e-05,2.502937e-05,2.500085e-05,2.498656e-05,2.496312e-05,2.493194e-05,2.491897e-05,2.486893e-05,2.486681e-05,2.481351e-05,2.479233e-05,2.475317e-05,2.470955e-05,2.468834e-05,2.461940e-05,2.454671e-05,2.452271e-05,2.447060e-05,2.442024e-05,2.439138e-05,2.431267e-05,2.430933e-05,2.422472e-05,2.420060e-05,2.413778e-05,2.408459e-05,2.404873e-05,2.396512e-05,2.395778e-05,2.386512e-05,2.384265e-05,2.377094e-05,2.371758e-05,2.367538e-05,2.359028e-05,2.357861e-05,2.348077e-05,2.346109e-05,2.338199e-05,2.333029e-05,2.328238e-05,2.319816e-05,2.318207e-05,2.308116e-05,2.306497e-05,2.297975e-05,2.293092e-05,2.287793e-05,2.279623e-05,2.277578e-05,2.267340e-05,2.266110e-05,2.257084e-05,2.252568e-05,2.246818e-05,2.239014e-05,2.236549e-05,2.226283e-05,2.225462e-05,2.216024e-05,2.211925e-05,2.205780e-05,2.198415e-05,2.195554e-05,2.185351e-05,2.184943e-05,2.175175e-05,2.171519e-05,2.165031e-05,2.158153e-05,2.154922e-05,2.144851e-05,2.131623e-05,2.118475e-05,2.105412e-05,2.092442e-05,2.079568e-05,2.066796e-05,2.054129e-05,2.041572e-05,2.029128e-05,2.016800e-05,2.004590e-05,1.992501e-05,1.980535e-05,1.968694e-05,1.956979e-05,1.945392e-05,1.933933e-05,1.922604e-05,1.911406e-05,1.900338e-05,1.889402e-05,1.878596e-05,1.867923e-05,1.857381e-05
0.000000e+00,3.489465e-09,1.040471e-08,5.279642e-08,1.547717e-07,2.531310e-07,7.307675e-07,7.591852e-07,1.763222e-06,2.163251e-06,3.488025e-06,4.971690e-06,6.183212e-06,9.753544e-06,1.012094e-05,1.558183e-05,1.714859e-05,2.282080e-05,2.772416e-05,3.202332e-05,4.182247e-05,4.328334e-05,5.661174e-05,5.952192e-05,7.195626e-05,8.070103e-05,8.921862e-05,1.051049e-04,1.082661e-04,1.289395e-04,1.323864e-04,1.510585e-04,1.621320e-04,1.744269e-04,1.938819e-04,1.988371e-04,2.240748e-04,2.271487e-04,2.499237e-04,2.614354e-04,2.761693e-04,2.962528e-04,3.026034e-04,3.290273e-04,3.311351e-04,3.552548e-04,3.656518e-04,3.811144e-04,3.994176e-04,4.064508e-04,4.311263e-04,4.320978e-04,4.550210e-04,4.634118e-04,4.780331e-04,4.931334e-04,5.000782e-04,5.210887e-04,5.410131e-04,5.471531e-04,5.598144e-04,5.712465e-04,5.774692e-04,5.933284e-04,5.939660e-04,6.093043e-04,6.133924e-04,6.234929e-04,6.314609e-04,6.365487e-04,6.475798e-04,6.484954e-04,6.593628e-04,6.618140e-04,6.691850e-04,6.742429e-04,6.780000e-04,6.849566e-04,6.858489e-04,6.927743e-04,6.940525e-04,6.988207e-04,7.016324e-04,7.040331e-04,7.078003e-04,7.084570e-04,7.121376e-04,7.126606e-04,7.151198e-04,7.163160e-04,7.174473e-04,7.188669e-04,7.191632e-04,7.203090e-04,7.204101e-04,7.209250e-04,7.210383e-04,7.210499e-04,7.208392e-04,7.207208e-04,7.199730e-04,7.198961e-04,7.188403e-04,7.182867e-04,7.173548e-04,7.160838e-04,7.155467e-04,7.134448e-04,7.133550e-04,7.110759e-04,7.101627e-04,7.084655e-04,7.065646e-04,7.056373e-04,7.026138e-04,6.994157e-04,6.983587e-04,6.960626e-04,6.938437e-04,6.925727e-04,6.891093e-04,6.889628e-04,6.852485e-04,6.841919e-04,6.814446e-04,6.791248e-04,6.775644e-04,6.739380e-04,6.736204e-04,6.696241e-04,6.686584e-04,6.655862e-04,6.633105e-04,6.615164e-04,6.579157e-04,6.574237e-04,6.533162e-04,6.524937e-04,6.492017e-04,6.470616e-04,6.450868e-04,6.416348e-04,6.409780e-04,6.368810e-04,6.362269e-04,6.328009e-04,6.308499e-04,6.287425e-04,6.255143e-04,6.247100e-04,6.207074e-04,6.202292e-04,6.167379e-04,6.150027e-04,6.128048e-04,6.098416e-04,6.089108e-04,6.050582e-04,6.047519e-04,6.012494e-04,5.997385e-04,5.974861e-04,5.948057e-04,5.937700e-04,5.901026e-04,5.899569e-04,5.864851e-04,5.851952e-04,5.829184e-04,5.805226e-04,5.794035e-04,5.759411e-04,5.714519e-04,5.670560e-04,5.627539e-04,5.585458e-04,5.544316e-04,5.504112e-04,5.464838e-04,5.426488e-04,5.389053e-04,5.352523e-04,5.316887e-04,5.282130e-04,5.248240e-04,5.215203e-04,5.183003e-04,5.151625e-04,5.121053e-04,5.091271e-04,5.062261e-04,5.034008e-04,5.006495e-04,4.979705e-04,4.953622e-04,4.928227e-04
0.000000e+00,1.582099e-09,4.704158e-09,2.372787e-08,6.916208e-08,1.127455e-07,3.225373e-07,3.349481e-07,7.699525e-07,9.417494e-07,1.505996e-06,2.130962e-06,2.636844e-06,4.109501e-06,4.259773e-06,6.473877e-06,7.104222e-06,9.377425e-06,1.133940e-05,1.306256e-05,1.701382e-05,1.760642e-05,2.306102e-05,2.426361e-05,2.944687e-05,3.313310e-05,3.675323e-05,4.357557e-05,4.494321e-05,5.396029e-05,5.547522e-05,6.373403e-05,6.867100e-05,7.418453e-05,8.297447e-05,8.522567e-05,9.676741e-05,9.818170e-05,1.087178e-04,1.140816e-04,1.209844e-04,1.304623e-04,1.334760e-04,1.461033e-04,1.471168e-04,1.587807e-04,1.638473e-04,1.714269e-04,1.804700e-04,1.839659e-04,1.963275e-04,1.968174e-04,2.084482e-04,2.127416e-04,2.202712e-04,2.281152e-04,2.317468e-04,2.428323e-04,2.534918e-04,2.568080e-04,2.636964e-04,2.699778e-04,2.734233e-04,2.822963e-04,2.826560e-04,2.913831e-04,2.937351e-04,2.995985e-04,3.042813e-04,3.073006e-04,3.139351e-04,3.144917e-04,3.211777e-04,3.227081e-04,3.273675e-04,3.306212e-04,3.330725e-04,3.377026e-04,3.383063e-04,3.430841e-04,3.439864e-04,3.474225e-04,3.495108e-04,3.513393e-04,3.543170e-04,3.548528e-04,3.579817e-04,3.584479e-04,3.607450e-04,3.619472e-04,3.631620e-04,3.648588e-04,3.652514e-04,3.670319e-04,3.672257e-04,3.685219e-04,3.690900e-04,3.697391e-04,3.704924e-04,3.707008e-04,3.714237e-04,3.714717e-04,3.719238e-04,3.720649e-04,3.722165e-04,3.723071e-04,3.723165e-04,3.722377e-04,3.722310e-04,3.719934e-04,3.718674e-04,3.715963e-04,3.712450e-04,3.710582e-04,3.703905e-04,3.696037e-04,3.693284e-04,3.687079e-04,3.680816e-04,3.677123e-04,3.666711e-04,3.666260e-04,3.654570e-04,3.651160e-04,3.642133e-04,3.634341e-04,3.629019e-04,3.616416e-04,3.615298e-04,3.601031e-04,3.597533e-04,3.586279e-04,3.577826e-04,3.571096e-04,3.557418e-04,3.555532e-04,3.539637e-04,3.536422e-04,3.523453e-04,3.514938e-04,3.507023e-04,3.493059e-04,3.490384e-04,3.473571e-04,3.470867e-04,3.456617e-04,3.448439e-04,3.439554e-04,3.425842e-04,3.422407e-04,3.405204e-04,3.403137e-04,3.387969e-04,3.380380e-04,3.370722e-04,3.357621e-04,3.353486e-04,3.336277e-04,3.334902e-04,3.319114e-04,3.312265e-04,3.302012e-04,3.289745e-04,3.284985e-04,3.268047e-04,3.267372e-04,3.251210e-04,3.245175e-04,3.234484e-04,3.223179e-04,3.217879e-04,3.201405e-04,3.179873e-04,3.158598e-04,3.137596e-04,3.116878e-04,3.096456e-04,3.076338e-04,3.056531e-04,3.037042e-04,3.017875e-04,2.999033e-04,2.980520e-04,2.962338e-04,2.944486e-04,2.926966e-04,2.909776e-04,2.892916e-04,2.876384e-04,2.860178e-04,2.844296e-04,2.828734e-04,2.813490e-04,2.798560e-04,2.783940e-04,2.769626e-04
0.000000e+00,2.222372e-09,5.279491e-09,1.885289e-08,4.356076e-08,6.385225e-08,1.455670e-07,1.499514e-07,2.890640e-07,3.390869e-07,4.926912e-07,6.505398e-07,7.720974e-07,1.105020e-06,1.137631e-06,1.596288e-06,1.720442e-06,2.148720e-06,2.497235e-06,2.789707e-06,3.420991e-06,3.511637e-06,4.306785e-06,4.473940e-06,5.167659e-06,5.638796e-06,6.086721e-06,6.897984e-06,7.056144e-06,8.067760e-06,8.232973e-06,9.113139e-06,9.624405e-06,1.018374e-05,1.105269e-05,1.127111e-05,1.236704e-05,1.249875e-05,1.346379e-05,1.394474e-05,1.455416e-05,1.537456e-05,1.563166e-05,1.669051e-05,1.677425e-05,1.772570e-05,1.813219e-05,1.873302e-05,1.943904e-05,1.970898e-05,2.065081e-05,2.068774e-05,2.155640e-05,2.187324e-05,2.242423e-05,2.299226e-05,2.325331e-05,2.404310e-05,2.479346e-05,2.502528e-05,2.550461e-05,2.593937e-05,2.617701e-05,2.678674e-05,2.681139e-05,2.740863e-05,2.756934e-05,2.796977e-05,2.828959e-05,2.849594e-05,2.895018e-05,2.898837e-05,2.944832e-05,2.955403e-05,2.987712e-05,3.010412e-05,3.027606e-05,3.060348e-05,3.064647e-05,3.098966e-05,3.105514e-05,3.130691e-05,3.146205e-05,3.159948e-05,3.182706e-05,3.186859e-05,3.211543e-05,3.215294e-05,3.234116e-05,3.244233e-05,3.254686e-05,3.269773e-05,3.273361e-05,3.290243e-05,3.292152e-05,3.305427e-05,3.311595e-05,3.319008e-05,3.328311e-05,3.331073e-05,3.341709e-05,3.342500e-05,3.350994e-05,3.354348e-05,3.359006e-05,3.364028e-05,3.365818e-05,3.371499e-05,3.371703e-05,3.376113e-05,3.377526e-05,3.379725e-05,3.381639e-05,3.382393e-05,3.384173e-05,3.385118e-05,3.385253e-05,3.385279e-05,3.384993e-05,3.384704e-05,3.383501e-05,3.383437e-05,3.381522e-05,3.380876e-05,3.379000e-05,3.377211e-05,3.375908e-05,3.372593e-05,3.372284e-05,3.368161e-05,3.367101e-05,3.363573e-05,3.360811e-05,3.358549e-05,3.353793e-05,3.353121e-05,3.347314e-05,3.346110e-05,3.341156e-05,3.337822e-05,3.334670e-05,3.328987e-05,3.327882e-05,3.320811e-05,3.319656e-05,3.313481e-05,3.309876e-05,3.305910e-05,3.299693e-05,3.298117e-05,3.290121e-05,3.289148e-05,3.281937e-05,3.278281e-05,3.273582e-05,3.267126e-05,3.265070e-05,3.256416e-05,3.255718e-05,3.247634e-05,3.244088e-05,3.238735e-05,3.232263e-05,3.229732e-05,3.220637e-05,3.220271e-05,3.211459e-05,3.208137e-05,3.202209e-05,3.195883e-05,3.192897e-05,3.183531e-05,3.171101e-05,3.158610e-05,3.146076e-05,3.133515e-05,3.120940e-05,3.108366e-05,3.095804e-05,3.083266e-05,3.070763e-05,3.058304e-05,3.045898e-05,3.033554e-05,3.021278e-05,3.009079e-05,2.996961e-05,2.984931e-05,2.972994e-05,2.961155e-05,2.949419e-05,2.937788e-05,2.926267e-05,2.914859e-05,2.903566e-05,2.892392e-05
0.000000e+00,2.290605e-08,6.836692e-08,3.477670e-07,1.022489e-06,1.675647e-06,4.870388e-06,5.061465e-06,1.186861e-05,1.460600e-05,2.374279e-05,3.404867e-05,4.247594e-05,6.714920e-05,6.966589e-05,1.064785e-04,1.168372e-04,1.536755e-04,1.848174e-04,2.116964e-04,2.718390e-04,2.806977e-04,3.605687e-04,3.778193e-04,4.509429e-04,5.018970e-04,5.512176e-04,6.425118e-04,6.605823e-04,7.780560e-04,7.975316e-04,9.025299e-04,9.644157e-04,1.032812e-03,1.140390e-03,1.167668e-03,1.305866e-03,1.322617e-03,1.446203e-03,1.508332e-03,1.587538e-03,1.694962e-03,1.728808e-03,1.869047e-03,1.880195e-03,2.007391e-03,2.062025e-03,2.143084e-03,2.238772e-03,2.275475e-03,2.404019e-03,2.409074e-03,2.528268e-03,2.571875e-03,2.647867e-03,2.726396e-03,2.762543e-03,2.872101e-03,2.976412e-03,3.008670e-03,3.075405e-03,3.135959e-03,3.169061e-03,3.253971e-03,3.257404e-03,3.340495e-03,3.362832e-03,3.418427e-03,3.462758e-03,3.491317e-03,3.554041e-03,3.559303e-03,3.622536e-03,3.637023e-03,3.681182e-03,3.712085e-03,3.735416e-03,3.779633e-03,3.785416e-03,3.831366e-03,3.840086e-03,3.873451e-03,3.893868e-03,3.911854e-03,3.941401e-03,3.946758e-03,3.978342e-03,3.983100e-03,4.006783e-03,4.019369e-03,4.032252e-03,4.050598e-03,4.054913e-03,4.074928e-03,4.077160e-03,4.092452e-03,4.099411e-03,4.107632e-03,4.117689e-03,4.120610e-03,4.131524e-03,4.132311e-03,4.140501e-03,4.143578e-03,4.147666e-03,4.151769e-03,4.153136e-03,4.157022e-03,4.157146e-03,4.159431e-03,4.159955e-03,4.160461e-03,4.160423e-03,4.160209e-03,4.158762e-03,4.156206e-03,4.155167e-03,4.152620e-03,4.149820e-03,4.148080e-03,4.142889e-03,4.142656e-03,4.136414e-03,4.134529e-03,4.129418e-03,4.124883e-03,4.121727e-03,4.114084e-03,4.113395e-03,4.104474e-03,4.102252e-03,4.095015e-03,4.089499e-03,4.085062e-03,4.075929e-03,4.074658e-03,4.063844e-03,4.061635e-03,4.052658e-03,4.046706e-03,4.041135e-03,4.031220e-03,4.029309e-03,4.017210e-03,4.015251e-03,4.004868e-03,3.998866e-03,3.992311e-03,3.982126e-03,3.979563e-03,3.966648e-03,3.965089e-03,3.953590e-03,3.947805e-03,3.940409e-03,3.930321e-03,3.927124e-03,3.913754e-03,3.912682e-03,3.900316e-03,3.894925e-03,3.886826e-03,3.877089e-03,3.873298e-03,3.859746e-03,3.859204e-03,3.846184e-03,3.841302e-03,3.832623e-03,3.823409e-03,3.819075e-03,3.805550e-03,3.787748e-03,3.770023e-03,3.752394e-03,3.734877e-03,3.717488e-03,3.700239e-03,3.683144e-03,3.666214e-03,3.649457e-03,3.632882e-03,3.616498e-03,3.600311e-03,3.584326e-03,3.568550e-03,3.552985e-03,3.537637e-03,3.522507e-03,3.507599e-03,3.492914e-03,3.478455e-03,3.464222e-03,3.450215e-03,3.436436e-03,3.422883e-03
0.000000e+00,2.324413e-08,6.934516e-08,3.524343e-07,1.035473e-06,1.696341e-06,4.927174e-06,5.120374e-06,1.200330e-05,1.477168e-05,2.401483e-05,3.444481e-05,4.297490e-05,6.794386e-05,7.048973e-05,1.076991e-04,1.181586e-04,1.553163e-04,1.866829e-04,2.137249e-04,2.741377e-04,2.830259e-04,3.630568e-04,3.803184e-04,4.534040e-04,5.042559e-04,5.534225e-04,6.442972e-04,6.622650e-04,7.789190e-04,7.982340e-04,9.022499e-04,9.634662e-04,1.031046e-03,1.137179e-03,1.164059e-03,1.300050e-03,1.316511e-03,1.437814e-03,1.498696e-03,1.576215e-03,1.681174e-03,1.714200e-03,1.850818e-03,1.861662e-03,1.985224e-03,2.038200e-03,2.116686e-03,2.209161e-03,2.244580e-03,2.368389e-03,2.373250e-03,2.487694e-03,2.529477e-03,2.602173e-03,2.677134e-03,2.711583e-03,2.815759e-03,2.914603e-03,2.945098e-03,3.008072e-03,3.065074e-03,3.096175e-03,3.175752e-03,3.178962e-03,3.256518e-03,3.277311e-03,3.328957e-03,3.370020e-03,3.396415e-03,3.454211e-03,3.459048e-03,3.517023e-03,3.530264e-03,3.570521e-03,3.598592e-03,3.619726e-03,3.659625e-03,3.664827e-03,3.706017e-03,3.713803e-03,3.743486e-03,3.761563e-03,3.777424e-03,3.803339e-03,3.808016e-03,3.835445e-03,3.839552e-03,3.859888e-03,3.870610e-03,3.881516e-03,3.896903e-03,3.900495e-03,3.916984e-03,3.918802e-03,3.931135e-03,3.936659e-03,3.943095e-03,3.950804e-03,3.953002e-03,3.960989e-03,3.961549e-03,3.967182e-03,3.969184e-03,3.971700e-03,3.973980e-03,3.974657e-03,3.976158e-03,3.976190e-03,3.976307e-03,3.976047e-03,3.975197e-03,3.973770e-03,3.972919e-03,3.969558e-03,3.965193e-03,3.963597e-03,3.959900e-03,3.956058e-03,3.953749e-03,3.947099e-03,3.946807e-03,3.939135e-03,3.936864e-03,3.930792e-03,3.925487e-03,3.921833e-03,3.913090e-03,3.912309e-03,3.902268e-03,3.899786e-03,3.891756e-03,3.885679e-03,3.880814e-03,3.870862e-03,3.869482e-03,3.857798e-03,3.855422e-03,3.845796e-03,3.839440e-03,3.833508e-03,3.822988e-03,3.820965e-03,3.808195e-03,3.806133e-03,3.795225e-03,3.788935e-03,3.782079e-03,3.771451e-03,3.768780e-03,3.755351e-03,3.753731e-03,3.741811e-03,3.735823e-03,3.728178e-03,3.717767e-03,3.714472e-03,3.700708e-03,3.699604e-03,3.686901e-03,3.681369e-03,3.673065e-03,3.663093e-03,3.659214e-03,3.645361e-03,3.644807e-03,3.631516e-03,3.626536e-03,3.617691e-03,3.608306e-03,3.603895e-03,3.590137e-03,3.572050e-03,3.554063e-03,3.536192e-03,3.518452e-03,3.500856e-03,3.483416e-03,3.466142e-03,3.449043e-03,3.432129e-03,3.415406e-03,3.398881e-03,3.382560e-03,3.366447e-03,3.350547e-03,3.334863e-03,3.319397e-03,3.304154e-03,3.289133e-03,3.274338e-03,3.259768e-03,3.245425e-03,3.231308e-03,3.217418e-03,3.203754e-03
0.000000e+00,2.837575e-09,7.062013e-09,2.662546e-08,6.323127e-08,9.368537e-08,2.179480e-07,2.246641e-07,4.394125e-07,5.172643e-07,7.579564e-07,1.007482e-06,1.200912e-06,1.735070e-06,1.787663e-06,2.530230e-06,2.731746e-06,3.427063e-06,3.992317e-06,4.465994e-06,5.486051e-06,5.632266e-06,6.912392e-06,7.180991e-06,8.294137e-06,9.048865e-06,9.765616e-06,1.106213e-05,1.131468e-05,1.292872e-05,1.319213e-05,1.459468e-05,1.540889e-05,1.629932e-05,1.768201e-05,1.802945e-05,1.977228e-05,1.998169e-05,2.151563e-05,2.227991e-05,2.324817e-05,2.455131e-05,2.495962e-05,2.664083e-05,2.677378e-05,2.828385e-05,2.892881e-05,2.988194e-05,3.100157e-05,3.142954e-05,3.292222e-05,3.298074e-05,3.435661e-05,3.485822e-05,3.573026e-05,3.662881e-05,3.704159e-05,3.828977e-05,3.947458e-05,3.984039e-05,4.059639e-05,4.128163e-05,4.165598e-05,4.261575e-05,4.265454e-05,4.359352e-05,4.384599e-05,4.447464e-05,4.497631e-05,4.529976e-05,4.601114e-05,4.607090e-05,4.679013e-05,4.695526e-05,4.745959e-05,4.781356e-05,4.808145e-05,4.859102e-05,4.865786e-05,4.919096e-05,4.929257e-05,4.968285e-05,4.992302e-05,5.013557e-05,5.048706e-05,5.055113e-05,5.093145e-05,5.098916e-05,5.127840e-05,5.143361e-05,5.159377e-05,5.182449e-05,5.187928e-05,5.213658e-05,5.216563e-05,5.236723e-05,5.246067e-05,5.257274e-05,5.271301e-05,5.275455e-05,5.291401e-05,5.292584e-05,5.305242e-05,5.310216e-05,5.317100e-05,5.324476e-05,5.327092e-05,5.335329e-05,5.335624e-05,5.341916e-05,5.343903e-05,5.346952e-05,5.349539e-05,5.350531e-05,5.352743e-05,5.353671e-05,5.353710e-05,5.353396e-05,5.352623e-05,5.351992e-05,5.349650e-05,5.349532e-05,5.346083e-05,5.344949e-05,5.341709e-05,5.338665e-05,5.336470e-05,5.330935e-05,5.330423e-05,5.323622e-05,5.321883e-05,5.316118e-05,5.311626e-05,5.307959e-05,5.300274e-05,5.299191e-05,5.289856e-05,5.287925e-05,5.279996e-05,5.274674e-05,5.269648e-05,5.260606e-05,5.258850e-05,5.247634e-05,5.245803e-05,5.236034e-05,5.230339e-05,5.224080e-05,5.214282e-05,5.211802e-05,5.199225e-05,5.197697e-05,5.186376e-05,5.180643e-05,5.173279e-05,5.163174e-05,5.159958e-05,5.146433e-05,5.145343e-05,5.132725e-05,5.127195e-05,5.118854e-05,5.108776e-05,5.104838e-05,5.090693e-05,5.090125e-05,5.076436e-05,5.071279e-05,5.062082e-05,5.052274e-05,5.047647e-05,5.033142e-05,5.013912e-05,4.994612e-05,4.975267e-05,4.955901e-05,4.936535e-05,4.917189e-05,4.897882e-05,4.878630e-05,4.859449e-05,4.840354e-05,4.821356e-05,4.802469e-05,4.783704e-05,4.765070e-05,4.746576e-05,4.728231e-05,4.710042e-05,4.692017e-05,4.674161e-05,4.656480e-05,4.638978e-05,4.621661e-05,4.604532e-05,4.587594e-05
0.000000e+00,3.370110e-09,8.244943e-09,3.052623e-08,7.208061e-08,1.067622e-07,2.500033e-07,2.578300e-07,5.126657e-07,6.071554e-07,9.056952e-07,1.224061e-06,1.475840e-06,2.185858e-06,2.256486e-06,3.256881e-06,3.527800e-06,4.456136e-06,5.201773e-06,5.819937e-06,7.130949e-06,7.316701e-06,8.921508e-06,9.253614e-06,1.061434e-05,1.152360e-05,1.237789e-05,1.390221e-05,1.419619e-05,1.605404e-05,1.635399e-05,1.793692e-05,1.884551e-05,1.983103e-05,2.134572e-05,2.172350e-05,2.360259e-05,2.382667e-05,2.545780e-05,2.626412e-05,2.727996e-05,2.863785e-05,2.906127e-05,3.079530e-05,3.093181e-05,3.247683e-05,3.313381e-05,3.410184e-05,3.523512e-05,3.566731e-05,3.717118e-05,3.723003e-05,3.861217e-05,3.911542e-05,3.998976e-05,4.089020e-05,4.130378e-05,4.255465e-05,4.374318e-05,4.411052e-05,4.487047e-05,4.556041e-05,4.593786e-05,4.690763e-05,4.694689e-05,4.789922e-05,4.815595e-05,4.879660e-05,4.930941e-05,4.964086e-05,5.037225e-05,5.043385e-05,5.117747e-05,5.134880e-05,5.187358e-05,5.224336e-05,5.252406e-05,5.306021e-05,5.313076e-05,5.369549e-05,5.380355e-05,5.422001e-05,5.447745e-05,5.470606e-05,5.508585e-05,5.515532e-05,5.556943e-05,5.563254e-05,5.594998e-05,5.612117e-05,5.629849e-05,5.655522e-05,5.661644e-05,5.690527e-05,5.693804e-05,5.716634e-05,5.727277e-05,5.740100e-05,5.756245e-05,5.761050e-05,5.779608e-05,5.780993e-05,5.795891e-05,5.801792e-05,5.810012e-05,5.818901e-05,5.822080e-05,5.832198e-05,5.832563e-05,5.840466e-05,5.843008e-05,5.846980e-05,5.850454e-05,5.851831e-05,5.855106e-05,5.856890e-05,5.857158e-05,5.857261e-05,5.856794e-05,5.856298e-05,5.854185e-05,5.854072e-05,5.850655e-05,5.849493e-05,5.846112e-05,5.842873e-05,5.840508e-05,5.834468e-05,5.833904e-05,5.826358e-05,5.824413e-05,5.817926e-05,5.812836e-05,5.808660e-05,5.799857e-05,5.798611e-05,5.787828e-05,5.785587e-05,5.776356e-05,5.770134e-05,5.764240e-05,5.753595e-05,5.751522e-05,5.738240e-05,5.736065e-05,5.724433e-05,5.717631e-05,5.710138e-05,5.698374e-05,5.695389e-05,5.680219e-05,5.678372e-05,5.664659e-05,5.657696e-05,5.648738e-05,5.636415e-05,5.632485e-05,5.615928e-05,5.614591e-05,5.599091e-05,5.592283e-05,5.581999e-05,5.569548e-05,5.564675e-05,5.547142e-05,5.546436e-05,5.529419e-05,5.522997e-05,5.511528e-05,5.499275e-05,5.493486e-05,5.475312e-05,5.451149e-05,5.426821e-05,5.402364e-05,5.377809e-05,5.353186e-05,5.328523e-05,5.303845e-05,5.279177e-05,5.254539e-05,5.229954e-05,5.205440e-05,5.181014e-05,5.156693e-05,5.132492e-05,5.108424e-05,5.084503e-05,5.060740e-05,5.037146e-05,5.013731e-05,4.990503e-05,4.967471e-05,4.944642e-05,4.922023e-05,4.899620e-05
0.000000e+00,4.331257e-09,1.023756e-08,3.630122e-08,8.352301e-08,1.222309e-07,2.781242e-07,2.865003e-07,5.533894e-07,6.499831e-07,9.489028e-07,1.259829e-06,1.501852e-06,2.175701e-06,2.242531e-06,3.196136e-06,3.458106e-06,4.370765e-06,5.119779e-06,5.749714e-06,7.104923e-06,7.298441e-06,8.978676e-06,9.327439e-06,1.075691e-05,1.171108e-05,1.260597e-05,1.419757e-05,1.450366e-05,1.643116e-05,1.674119e-05,1.837184e-05,1.930356e-05,2.031060e-05,2.185089e-05,2.223361e-05,2.412820e-05,2.435309e-05,2.598292e-05,2.678369e-05,2.778758e-05,2.912016e-05,2.953336e-05,3.121275e-05,3.134403e-05,3.281955e-05,3.344085e-05,3.434905e-05,3.540040e-05,3.579772e-05,3.716325e-05,3.721612e-05,3.844439e-05,3.888486e-05,3.964084e-05,4.040630e-05,4.075315e-05,4.178255e-05,4.273087e-05,4.301757e-05,4.360040e-05,4.411678e-05,4.439383e-05,4.508664e-05,4.511409e-05,4.576435e-05,4.593432e-05,4.634789e-05,4.666738e-05,4.686807e-05,4.729358e-05,4.732827e-05,4.773187e-05,4.782068e-05,4.808217e-05,4.825627e-05,4.838242e-05,4.860774e-05,4.863577e-05,4.884525e-05,4.888214e-05,4.901379e-05,4.908618e-05,4.914417e-05,4.922616e-05,4.923907e-05,4.930099e-05,4.930800e-05,4.933234e-05,4.933720e-05,4.933539e-05,4.931888e-05,4.931226e-05,4.926498e-05,4.925777e-05,4.919543e-05,4.915823e-05,4.910538e-05,4.902428e-05,4.899652e-05,4.887039e-05,4.885960e-05,4.872846e-05,4.866757e-05,4.857209e-05,4.845129e-05,4.840256e-05,4.822107e-05,4.821357e-05,4.802871e-05,4.795701e-05,4.782654e-05,4.768395e-05,4.761552e-05,4.739654e-05,4.717045e-05,4.709673e-05,4.693803e-05,4.678629e-05,4.669999e-05,4.646683e-05,4.645702e-05,4.620974e-05,4.613981e-05,4.595873e-05,4.580656e-05,4.570454e-05,4.546829e-05,4.544765e-05,4.518854e-05,4.512607e-05,4.492763e-05,4.478089e-05,4.466532e-05,4.443363e-05,4.440199e-05,4.413797e-05,4.408511e-05,4.387356e-05,4.373602e-05,4.360908e-05,4.338703e-05,4.334477e-05,4.308089e-05,4.303872e-05,4.281766e-05,4.269160e-05,4.255529e-05,4.234614e-05,4.229397e-05,4.203388e-05,4.200276e-05,4.177517e-05,4.166182e-05,4.151800e-05,4.132365e-05,4.126249e-05,4.100876e-05,4.098855e-05,4.075694e-05,4.065676e-05,4.050710e-05,4.032851e-05,4.025936e-05,4.001377e-05,4.000400e-05,3.977043e-05,3.968338e-05,3.952938e-05,3.936682e-05,3.929070e-05,3.905442e-05,3.874630e-05,3.844253e-05,3.814320e-05,3.784834e-05,3.755801e-05,3.727223e-05,3.699103e-05,3.671440e-05,3.644235e-05,3.617488e-05,3.591196e-05,3.565358e-05,3.539970e-05,3.515030e-05,3.490534e-05,3.466478e-05,3.442856e-05,3.419666e-05,3.396901e-05,3.374555e-05,3.352625e-05,3.331104e-05,3.309985e-05,3.289264e-05
0.000000e+00,5.302162e-09,1.301025e-08,4.836560e-08,1.144105e-07,1.694957e-07,3.959682e-07,4.082848e-07,8.057941e-07,9.514880e-07,1.406395e-06,1.883959e-06,2.257519e-06,3.300265e-06,3.403609e-06,4.870372e-06,5.269858e-06,6.648612e-06,7.766748e-06,8.700096e-06,1.069530e-05,1.097948e-05,1.344700e-05,1.396007e-05,1.606946e-05,1.748464e-05,1.881788e-05,2.120443e-05,2.166573e-05,2.458825e-05,2.506120e-05,2.756226e-05,2.900174e-05,3.056643e-05,3.297839e-05,3.358138e-05,3.658989e-05,3.694975e-05,3.957693e-05,4.088103e-05,4.252962e-05,4.474395e-05,4.543713e-05,4.829051e-05,4.851621e-05,5.108245e-05,5.218069e-05,5.380721e-05,5.572487e-05,5.646030e-05,5.903827e-05,5.913979e-05,6.153867e-05,6.241949e-05,6.395983e-05,6.556040e-05,6.630071e-05,6.856084e-05,7.074018e-05,7.142055e-05,7.283909e-05,7.414048e-05,7.485823e-05,7.672238e-05,7.679848e-05,7.866094e-05,7.916865e-05,8.044685e-05,8.148221e-05,8.215758e-05,8.366633e-05,8.379462e-05,8.535953e-05,8.572456e-05,8.685394e-05,8.766062e-05,8.827950e-05,8.947840e-05,8.963792e-05,9.093092e-05,9.118183e-05,9.216025e-05,9.277492e-05,9.332765e-05,9.426168e-05,9.443486e-05,9.548363e-05,9.564612e-05,9.647568e-05,9.693222e-05,9.741273e-05,9.812392e-05,9.829649e-05,9.912863e-05,9.922510e-05,9.991080e-05,1.002396e-04,1.006446e-04,1.011710e-04,1.013318e-04,1.019737e-04,1.020232e-04,1.025721e-04,1.027995e-04,1.031283e-04,1.035036e-04,1.036440e-04,1.041205e-04,1.041388e-04,1.045593e-04,1.047083e-04,1.049617e-04,1.052153e-04,1.053291e-04,1.056629e-04,1.059643e-04,1.060541e-04,1.062345e-04,1.063917e-04,1.064749e-04,1.066786e-04,1.066865e-04,1.068706e-04,1.069173e-04,1.070282e-04,1.071105e-04,1.071605e-04,1.072607e-04,1.072685e-04,1.073532e-04,1.073702e-04,1.074157e-04,1.074414e-04,1.074570e-04,1.074764e-04,1.074778e-04,1.074793e-04,1.074773e-04,1.074622e-04,1.074462e-04,1.074274e-04,1.073851e-04,1.073757e-04,1.073080e-04,1.072957e-04,1.072249e-04,1.071799e-04,1.071273e-04,1.070393e-04,1.070159e-04,1.068914e-04,1.068756e-04,1.067545e-04,1.066904e-04,1.066057e-04,1.064851e-04,1.064458e-04,1.062753e-04,1.062612e-04,1.060948e-04,1.060200e-04,1.059050e-04,1.057628e-04,1.057063e-04,1.054992e-04,1.054908e-04,1.052844e-04,1.052052e-04,1.050621e-04,1.049071e-04,1.048330e-04,1.045975e-04,1.042775e-04,1.039481e-04,1.036101e-04,1.032643e-04,1.029116e-04,1.025529e-04,1.021887e-04,1.018198e-04,1.014468e-04,1.010704e-04,1.006912e-04,1.003096e-04,9.992623e-05,9.954155e-05,9.915602e-05,9.877007e-05,9.838409e-05,9.799848e-05,9.761357e-05,9.722971e-05,9.684720e-05,9.646633e-05,9.608737e-05,9.571056e-05
0.000000e+00,7.618467e-10,2.131482e-09,9.561716e-09,2.528785e-08,3.921920e-08,9.968448e-08,1.030543e-07,2.136159e-07,2.545654e-07,3.826821e-07,5.168980e-07,6.214878e-07,9.119135e-07,9.406286e-07,1.349017e-06,1.461001e-06,1.851991e-06,2.175439e-06,2.450367e-06,3.053838e-06,3.141547e-06,3.921274e-06,4.087422e-06,4.784656e-06,5.264936e-06,5.726405e-06,6.573848e-06,6.740775e-06,7.821446e-06,8.000052e-06,8.961481e-06,9.527592e-06,1.015335e-05,1.113878e-05,1.138902e-05,1.266009e-05,1.281459e-05,1.395795e-05,1.453526e-05,1.527394e-05,1.628096e-05,1.659953e-05,1.792643e-05,1.803241e-05,1.924681e-05,1.977147e-05,2.055332e-05,2.148161e-05,2.183923e-05,2.309854e-05,2.314829e-05,2.432586e-05,2.475895e-05,2.551655e-05,2.630328e-05,2.666672e-05,2.777320e-05,2.883352e-05,2.916275e-05,2.984581e-05,3.046785e-05,3.080878e-05,3.168615e-05,3.172171e-05,3.258431e-05,3.281683e-05,3.339673e-05,3.386030e-05,3.415949e-05,3.481805e-05,3.487339e-05,3.553949e-05,3.569238e-05,3.615908e-05,3.648626e-05,3.673359e-05,3.720312e-05,3.726460e-05,3.775378e-05,3.784675e-05,3.820286e-05,3.842112e-05,3.861361e-05,3.893033e-05,3.898782e-05,3.932729e-05,3.937849e-05,3.963378e-05,3.976970e-05,3.990905e-05,4.010792e-05,4.015479e-05,4.037268e-05,4.039703e-05,4.056431e-05,4.064071e-05,4.073124e-05,4.084250e-05,4.087495e-05,4.099687e-05,4.100572e-05,4.109836e-05,4.113353e-05,4.118072e-05,4.122886e-05,4.124517e-05,4.129290e-05,4.129448e-05,4.132502e-05,4.133296e-05,4.134256e-05,4.134667e-05,4.134652e-05,4.133784e-05,4.131741e-05,4.130852e-05,4.128605e-05,4.126061e-05,4.124454e-05,4.119584e-05,4.119363e-05,4.113401e-05,4.111584e-05,4.106632e-05,4.102209e-05,4.099117e-05,4.091596e-05,4.090915e-05,4.082079e-05,4.079870e-05,4.072660e-05,4.067148e-05,4.062704e-05,4.053535e-05,4.052256e-05,4.041359e-05,4.039129e-05,4.030050e-05,4.024019e-05,4.018367e-05,4.008289e-05,4.006343e-05,3.994012e-05,3.992012e-05,3.981402e-05,3.975259e-05,3.968542e-05,3.958092e-05,3.955458e-05,3.942176e-05,3.940569e-05,3.928717e-05,3.922745e-05,3.915104e-05,3.904667e-05,3.901356e-05,3.887494e-05,3.886380e-05,3.873534e-05,3.867926e-05,3.859492e-05,3.849341e-05,3.845385e-05,3.831226e-05,3.830659e-05,3.817030e-05,3.811913e-05,3.802808e-05,3.793129e-05,3.788573e-05,3.774335e-05,3.755554e-05,3.736808e-05,3.718117e-05,3.699497e-05,3.680967e-05,3.662540e-05,3.644229e-05,3.626047e-05,3.608005e-05,3.590113e-05,3.572378e-05,3.554810e-05,3.537415e-05,3.520200e-05,3.503169e-05,3.486328e-05,3.469680e-05,3.453231e-05,3.436981e-05,3.420935e-05,3.405095e-05,3.389461e-05,3.374036e-05,3.358820e-05
0.000000e+00,2.569994e-09,5.860860e-09,2.009028e-08,4.590152e-08,6.736190e-08,1.573169e-07,1.623143e-07,3.297308e-07,3.937922e-07,6.002813e-07,8.217862e-07,9.941222e-07,1.455381e-06,1.499123e-06,2.083026e-06,2.231607e-06,2.718235e-06,3.089467e-06,3.387056e-06,3.994179e-06,4.077950e-06,4.782254e-06,4.924059e-06,5.492545e-06,5.861982e-06,6.202013e-06,6.792694e-06,6.904343e-06,7.593793e-06,7.702561e-06,8.265300e-06,8.579963e-06,8.914591e-06,9.415695e-06,9.538235e-06,1.013363e-05,1.020309e-05,1.069897e-05,1.093790e-05,1.123317e-05,1.161802e-05,1.173575e-05,1.220675e-05,1.224308e-05,1.264668e-05,1.281411e-05,1.305631e-05,1.333307e-05,1.343670e-05,1.378903e-05,1.380256e-05,1.411464e-05,1.422558e-05,1.441490e-05,1.460534e-05,1.469126e-05,1.494511e-05,1.517787e-05,1.524812e-05,1.539087e-05,1.551743e-05,1.558542e-05,1.575598e-05,1.576276e-05,1.592405e-05,1.596649e-05,1.607040e-05,1.615147e-05,1.620285e-05,1.631326e-05,1.632236e-05,1.642986e-05,1.645397e-05,1.652619e-05,1.657554e-05,1.661213e-05,1.667975e-05,1.668842e-05,1.675574e-05,1.676818e-05,1.681473e-05,1.684230e-05,1.686597e-05,1.690343e-05,1.691001e-05,1.694737e-05,1.695275e-05,1.697850e-05,1.699136e-05,1.700385e-05,1.702024e-05,1.702382e-05,1.703879e-05,1.704027e-05,1.704911e-05,1.705226e-05,1.705510e-05,1.705695e-05,1.705708e-05,1.705531e-05,1.705501e-05,1.705006e-05,1.704705e-05,1.704158e-05,1.703360e-05,1.703009e-05,1.701581e-05,1.701519e-05,1.699893e-05,1.699226e-05,1.697964e-05,1.696523e-05,1.695811e-05,1.693449e-05,1.690895e-05,1.690039e-05,1.688162e-05,1.686324e-05,1.685262e-05,1.682335e-05,1.682210e-05,1.679015e-05,1.678097e-05,1.675689e-05,1.673635e-05,1.672243e-05,1.668973e-05,1.668684e-05,1.665023e-05,1.664130e-05,1.661268e-05,1.659127e-05,1.657426e-05,1.653980e-05,1.653505e-05,1.649513e-05,1.648706e-05,1.645454e-05,1.643320e-05,1.641336e-05,1.637836e-05,1.637165e-05,1.632945e-05,1.632266e-05,1.628682e-05,1.626622e-05,1.624381e-05,1.620916e-05,1.620046e-05,1.615682e-05,1.615157e-05,1.611293e-05,1.609354e-05,1.606881e-05,1.603517e-05,1.602452e-05,1.598008e-05,1.597652e-05,1.593553e-05,1.591768e-05,1.589089e-05,1.585872e-05,1.584620e-05,1.580148e-05,1.579969e-05,1.575675e-05,1.574065e-05,1.571204e-05,1.568166e-05,1.566738e-05,1.562277e-05,1.556403e-05,1.550547e-05,1.544714e-05,1.538907e-05,1.533129e-05,1.527384e-05,1.521675e-05,1.516004e-05,1.510373e-05,1.504785e-05,1.499242e-05,1.493745e-05,1.488296e-05,1.482897e-05,1.477548e-05,1.472252e-05,1.467010e-05,1.461821e-05,1.456688e-05,1.451611e-05,1.446590e-05,1.441626e-05,1.436720e-05,1.431873e-05
0.000000e+00,1.969228e-09,4.814146e-09,1.779031e-08,4.191047e-08,6.197715e-08,1.443433e-07,1.488222e-07,2.935819e-07,3.467716e-07,5.132948e-07,6.885405e-07,8.255522e-07,1.204946e-06,1.242157e-06,1.760457e-06,1.898424e-06,2.365491e-06,2.735802e-06,3.040419e-06,3.681096e-06,3.771379e-06,4.547026e-06,4.706619e-06,5.357300e-06,5.789172e-06,6.192747e-06,6.907357e-06,7.044339e-06,7.903552e-06,8.041197e-06,8.762512e-06,9.172612e-06,9.614144e-06,1.028599e-05,1.045227e-05,1.127167e-05,1.136852e-05,1.206804e-05,1.241023e-05,1.283797e-05,1.340382e-05,1.357888e-05,1.428889e-05,1.434431e-05,1.496676e-05,1.522874e-05,1.561179e-05,1.605570e-05,1.622369e-05,1.680255e-05,1.682502e-05,1.734873e-05,1.753747e-05,1.786283e-05,1.819448e-05,1.834562e-05,1.879798e-05,1.922090e-05,1.935018e-05,1.961542e-05,1.985351e-05,1.998263e-05,2.031049e-05,2.032364e-05,2.063956e-05,2.072368e-05,2.093151e-05,2.109562e-05,2.120057e-05,2.142882e-05,2.144783e-05,2.167433e-05,2.172572e-05,2.188110e-05,2.198865e-05,2.206914e-05,2.221988e-05,2.223941e-05,2.239283e-05,2.242157e-05,2.253029e-05,2.259575e-05,2.265265e-05,2.274437e-05,2.276074e-05,2.285535e-05,2.286928e-05,2.293722e-05,2.297221e-05,2.300709e-05,2.305481e-05,2.306564e-05,2.311354e-05,2.311860e-05,2.315141e-05,2.316505e-05,2.317984e-05,2.319551e-05,2.319943e-05,2.321070e-05,2.321126e-05,2.321417e-05,2.321349e-05,2.321034e-05,2.320333e-05,2.319968e-05,2.318263e-05,2.318182e-05,2.315961e-05,2.314995e-05,2.313103e-05,2.310861e-05,2.309726e-05,2.305867e-05,2.301560e-05,2.300092e-05,2.296837e-05,2.293610e-05,2.291729e-05,2.286490e-05,2.286265e-05,2.280473e-05,2.278796e-05,2.274379e-05,2.270587e-05,2.268007e-05,2.261919e-05,2.261380e-05,2.254522e-05,2.252844e-05,2.247452e-05,2.243408e-05,2.240190e-05,2.233656e-05,2.232755e-05,2.225165e-05,2.223629e-05,2.217435e-05,2.213365e-05,2.209581e-05,2.202899e-05,2.201618e-05,2.193560e-05,2.192263e-05,2.185420e-05,2.181487e-05,2.177210e-05,2.170599e-05,2.168941e-05,2.160624e-05,2.159623e-05,2.152269e-05,2.148584e-05,2.143886e-05,2.137502e-05,2.135484e-05,2.127071e-05,2.126398e-05,2.118655e-05,2.115289e-05,2.110242e-05,2.104192e-05,2.101841e-05,2.093457e-05,2.093122e-05,2.085096e-05,2.082093e-05,2.076764e-05,2.071117e-05,2.068465e-05,2.060206e-05,2.049369e-05,2.038618e-05,2.027958e-05,2.017400e-05,2.006948e-05,1.996609e-05,1.986389e-05,1.976293e-05,1.966323e-05,1.956485e-05,1.946781e-05,1.937214e-05,1.927785e-05,1.918498e-05,1.909353e-05,1.900351e-05,1.891493e-05,1.882780e-05,1.874213e-05,1.865790e-05,1.857512e-05,1.849380e-05,1.841391e-05,1.833545e-05
0.000000e+00,5.305111e-10,1.215804e-09,4.185668e-09,9.522570e-09,1.388525e-08,3.139040e-08,3.232787e-08,6.200373e-08,7.264235e-08,1.051985e-07,1.384756e-07,1.639833e-07,2.334109e-07,2.401865e-07,3.353451e-07,3.611435e-07,4.506390e-07,5.242963e-07,5.868127e-07,7.241153e-07,7.440986e-07,9.221526e-07,9.601824e-07,1.120020e-06,1.230246e-06,1.336142e-06,1.530273e-06,1.568424e-06,1.814353e-06,1.854786e-06,2.071179e-06,2.197500e-06,2.336102e-06,2.552069e-06,2.606454e-06,2.879818e-06,2.912721e-06,3.154095e-06,3.274597e-06,3.427508e-06,3.633811e-06,3.698590e-06,3.966139e-06,3.987361e-06,4.229192e-06,4.332977e-06,4.486981e-06,4.668987e-06,4.738907e-06,4.984511e-06,4.994199e-06,5.223456e-06,5.307798e-06,5.455504e-06,5.609275e-06,5.680500e-06,5.898357e-06,6.109048e-06,6.174958e-06,6.312590e-06,6.439129e-06,6.509038e-06,6.691033e-06,6.698478e-06,6.881018e-06,6.930910e-06,7.056787e-06,7.159056e-06,7.225926e-06,7.375810e-06,7.388588e-06,7.544934e-06,7.581535e-06,7.695128e-06,7.776613e-06,7.839340e-06,7.961433e-06,7.977739e-06,8.110498e-06,8.136387e-06,8.237785e-06,8.301868e-06,8.359770e-06,8.458263e-06,8.476620e-06,8.588500e-06,8.605950e-06,8.695569e-06,8.745300e-06,8.797986e-06,8.876675e-06,8.895906e-06,8.989480e-06,9.000423e-06,9.078853e-06,9.116884e-06,9.164170e-06,9.226383e-06,9.245569e-06,9.323185e-06,9.329235e-06,9.397150e-06,9.425742e-06,9.467591e-06,9.516195e-06,9.534631e-06,9.598389e-06,9.600873e-06,9.658982e-06,9.680043e-06,9.716522e-06,9.753960e-06,9.771116e-06,9.822871e-06,9.871887e-06,9.887009e-06,9.918262e-06,9.946600e-06,9.962091e-06,1.000186e-05,1.000347e-05,1.004247e-05,1.005298e-05,1.007920e-05,1.010018e-05,1.011373e-05,1.014363e-05,1.014614e-05,1.017651e-05,1.018351e-05,1.020492e-05,1.021999e-05,1.023142e-05,1.025324e-05,1.025610e-05,1.027902e-05,1.028340e-05,1.030025e-05,1.031064e-05,1.031984e-05,1.033508e-05,1.033786e-05,1.035436e-05,1.035686e-05,1.036940e-05,1.037612e-05,1.038303e-05,1.039296e-05,1.039532e-05,1.040629e-05,1.040752e-05,1.041601e-05,1.041990e-05,1.042452e-05,1.043021e-05,1.043187e-05,1.043809e-05,1.043854e-05,1.044324e-05,1.044500e-05,1.044735e-05,1.044968e-05,1.045045e-05,1.045260e-05,1.045266e-05,1.045381e-05,1.045403e-05,1.045414e-05,1.045387e-05,1.045361e-05,1.045225e-05,1.044925e-05,1.044494e-05,1.043938e-05,1.043263e-05,1.042477e-05,1.041583e-05,1.040588e-05,1.039498e-05,1.038317e-05,1.037049e-05,1.035700e-05,1.034274e-05,1.032775e-05,1.031207e-05,1.029573e-05,1.027878e-05,1.026125e-05,1.024317e-05,1.022457e-05,1.020549e-05,1.018595e-05,1.016599e-05,1.014562e-05,1.012487e-05
0.000000e+00,7.259097e-10,2.139869e-09,1.060212e-08,3.040464e-08,4.912661e-08,1.373964e-07,1.425538e-07,3.206492e-07,3.899481e-07,6.148632e-07,8.605069e-07,1.057384e-06,1.623223e-06,1.680461e-06,2.515257e-06,2.750297e-06,3.589210e-06,4.302621e-06,4.921056e-06,6.309691e-06,6.514351e-06,8.353344e-06,8.747942e-06,1.040478e-05,1.154101e-05,1.262436e-05,1.458344e-05,1.496384e-05,1.737606e-05,1.776581e-05,1.981784e-05,2.098904e-05,2.225123e-05,2.416995e-05,2.464385e-05,2.696887e-05,2.724225e-05,2.920464e-05,3.015560e-05,3.133431e-05,3.287408e-05,3.334540e-05,3.522925e-05,3.537428e-05,3.698061e-05,3.764346e-05,3.859717e-05,3.967759e-05,4.007902e-05,4.142833e-05,4.147959e-05,4.264884e-05,4.305764e-05,4.374558e-05,4.442365e-05,4.472446e-05,4.559204e-05,4.635528e-05,4.657864e-05,4.702133e-05,4.739991e-05,4.759736e-05,4.807224e-05,4.809045e-05,4.850747e-05,4.861150e-05,4.885499e-05,4.903276e-05,4.913926e-05,4.935000e-05,4.936618e-05,4.954122e-05,4.957609e-05,4.966950e-05,4.972268e-05,4.975571e-05,4.980023e-05,4.980419e-05,4.981889e-05,4.981810e-05,4.980342e-05,4.978456e-05,4.976107e-05,4.970691e-05,4.969481e-05,4.960735e-05,4.959156e-05,4.950113e-05,4.944413e-05,4.937833e-05,4.926951e-05,4.924096e-05,4.909078e-05,4.907197e-05,4.892941e-05,4.885524e-05,4.875830e-05,4.862254e-05,4.857874e-05,4.839190e-05,4.837667e-05,4.819883e-05,4.812007e-05,4.800048e-05,4.785487e-05,4.779769e-05,4.759122e-05,4.758289e-05,4.738175e-05,4.730574e-05,4.716991e-05,4.702479e-05,4.695625e-05,4.674126e-05,4.652538e-05,4.645618e-05,4.630903e-05,4.617048e-05,4.609255e-05,4.588492e-05,4.587628e-05,4.566051e-05,4.560022e-05,4.544549e-05,4.531695e-05,4.523148e-05,4.503564e-05,4.501866e-05,4.480724e-05,4.475673e-05,4.459739e-05,4.448061e-05,4.438924e-05,4.420760e-05,4.418294e-05,4.397861e-05,4.393798e-05,4.377634e-05,4.367201e-05,4.357624e-05,4.340989e-05,4.337838e-05,4.318285e-05,4.315178e-05,4.298969e-05,4.289784e-05,4.279897e-05,4.264817e-05,4.261072e-05,4.242500e-05,4.240288e-05,4.224183e-05,4.216205e-05,4.206123e-05,4.192572e-05,4.188324e-05,4.170786e-05,4.169394e-05,4.153510e-05,4.146674e-05,4.136498e-05,4.124413e-05,4.119750e-05,4.103265e-05,4.102611e-05,4.087044e-05,4.081269e-05,4.071085e-05,4.060383e-05,4.055389e-05,4.039953e-05,4.019974e-05,4.000443e-05,3.981357e-05,3.962710e-05,3.944496e-05,3.926712e-05,3.909350e-05,3.892405e-05,3.875871e-05,3.859740e-05,3.844007e-05,3.828664e-05,3.813705e-05,3.799123e-05,3.784910e-05,3.771059e-05,3.757563e-05,3.744416e-05,3.731609e-05,3.719136e-05,3.706990e-05,3.695164e-05,3.683650e-05,3.672441e-05
0.000000e+00,1.060779e-09,3.090167e-09,1.496203e-08,4.210444e-08,6.739259e-08,1.846161e-07,1.914079e-07,4.244332e-07,5.147651e-07,8.079842e-07,1.128964e-06,1.386676e-06,2.125896e-06,2.200289e-06,3.270577e-06,3.566095e-06,4.598729e-06,5.451383e-06,6.174083e-06,7.753059e-06,7.981709e-06,1.000538e-05,1.043455e-05,1.222792e-05,1.345615e-05,1.463080e-05,1.677381e-05,1.719375e-05,1.989464e-05,2.033801e-05,2.270972e-05,2.409424e-05,2.561408e-05,2.798472e-05,2.858223e-05,3.158876e-05,3.195094e-05,3.460898e-05,3.593613e-05,3.761950e-05,3.988760e-05,4.059866e-05,4.352694e-05,4.375847e-05,4.638711e-05,4.750873e-05,4.916445e-05,5.110583e-05,5.184664e-05,5.442381e-05,5.452460e-05,5.688834e-05,5.774687e-05,5.923471e-05,6.076083e-05,6.145929e-05,6.356012e-05,6.553671e-05,6.614306e-05,6.738976e-05,6.851165e-05,6.912102e-05,7.067087e-05,7.073310e-05,7.222923e-05,7.262787e-05,7.361318e-05,7.439141e-05,7.488909e-05,7.597129e-05,7.606137e-05,7.713460e-05,7.737795e-05,7.811344e-05,7.862211e-05,7.900259e-05,7.971454e-05,7.980669e-05,8.053035e-05,8.066583e-05,8.117804e-05,8.148627e-05,8.175412e-05,8.218576e-05,8.226278e-05,8.270808e-05,8.277371e-05,8.309388e-05,8.325903e-05,8.342389e-05,8.365011e-05,8.370164e-05,8.393047e-05,8.395479e-05,8.411356e-05,8.418041e-05,8.425392e-05,8.433377e-05,8.435439e-05,8.441768e-05,8.442121e-05,8.444631e-05,8.444859e-05,8.444267e-05,8.442134e-05,8.440902e-05,8.434747e-05,8.434446e-05,8.426003e-05,8.422258e-05,8.414857e-05,8.405995e-05,8.401484e-05,8.386051e-05,8.368714e-05,8.362788e-05,8.349617e-05,8.336536e-05,8.328899e-05,8.307603e-05,8.306688e-05,8.283104e-05,8.276270e-05,8.258260e-05,8.242794e-05,8.232264e-05,8.207414e-05,8.205214e-05,8.177203e-05,8.170347e-05,8.148319e-05,8.131794e-05,8.118644e-05,8.091937e-05,8.088255e-05,8.057223e-05,8.050946e-05,8.025616e-05,8.008974e-05,7.993497e-05,7.966164e-05,7.960924e-05,7.927953e-05,7.922644e-05,7.894636e-05,7.878534e-05,7.861020e-05,7.833943e-05,7.827151e-05,7.793072e-05,7.788970e-05,7.758821e-05,7.743706e-05,7.724436e-05,7.698235e-05,7.689951e-05,7.655398e-05,7.652632e-05,7.620807e-05,7.606966e-05,7.586206e-05,7.561301e-05,7.551620e-05,7.517075e-05,7.515694e-05,7.482592e-05,7.470198e-05,7.448193e-05,7.424859e-05,7.413897e-05,7.379722e-05,7.334825e-05,7.290203e-05,7.245888e-05,7.201910e-05,7.158293e-05,7.115061e-05,7.072235e-05,7.029832e-05,6.987869e-05,6.946359e-05,6.905316e-05,6.864750e-05,6.824671e-05,6.785086e-05,6.746002e-05,6.707425e-05,6.669359e-05,6.631806e-05,6.594770e-05,6.558252e-05,6.522253e-05,6.486773e-05,6.451811e-05,6.417366e-05
0.000000e+00,5.035949e-08,1.504158e-07,7.659720e-07,2.252712e-06,3.690836e-06,1.070264e-05,1.112080e-05,2.593568e-05,3.185346e-05,5.148530e-05,7.349844e-05,9.146803e-05,1.442404e-04,1.496481e-04,2.294168e-04,2.520947e-04,3.335409e-04,4.033122e-04,4.641657e-04,6.023014e-04,6.228670e-04,8.106693e-04,8.517730e-04,1.028042e-03,1.152754e-03,1.274895e-03,1.504580e-03,1.550587e-03,1.853947e-03,1.904948e-03,2.183319e-03,2.350060e-03,2.536618e-03,2.834851e-03,2.911398e-03,3.304933e-03,3.353280e-03,3.714296e-03,3.898648e-03,4.136441e-03,4.463919e-03,4.568279e-03,5.006746e-03,5.042020e-03,5.448868e-03,5.626099e-03,5.891807e-03,6.209727e-03,6.332902e-03,6.769702e-03,6.787052e-03,7.199984e-03,7.352902e-03,7.621768e-03,7.902831e-03,8.033318e-03,8.433144e-03,8.819991e-03,8.940867e-03,9.192828e-03,9.423706e-03,9.550838e-03,9.879999e-03,9.893398e-03,1.022007e-02,1.030865e-02,1.053058e-02,1.070906e-02,1.082478e-02,1.108105e-02,1.110269e-02,1.136440e-02,1.142482e-02,1.161012e-02,1.174084e-02,1.184013e-02,1.202984e-02,1.205480e-02,1.225453e-02,1.229272e-02,1.243977e-02,1.253054e-02,1.261103e-02,1.274444e-02,1.276880e-02,1.291363e-02,1.293564e-02,1.304607e-02,1.310540e-02,1.316666e-02,1.325498e-02,1.327596e-02,1.337452e-02,1.338565e-02,1.346287e-02,1.349866e-02,1.354156e-02,1.359523e-02,1.361111e-02,1.367202e-02,1.367653e-02,1.372478e-02,1.374371e-02,1.376987e-02,1.379784e-02,1.380774e-02,1.383883e-02,1.383994e-02,1.386357e-02,1.387100e-02,1.388236e-02,1.389193e-02,1.389558e-02,1.390359e-02,1.390675e-02,1.390679e-02,1.390538e-02,1.390227e-02,1.389979e-02,1.389074e-02,1.389029e-02,1.387715e-02,1.387286e-02,1.386064e-02,1.384922e-02,1.384101e-02,1.382040e-02,1.381849e-02,1.379331e-02,1.378690e-02,1.376568e-02,1.374920e-02,1.373578e-02,1.370775e-02,1.370381e-02,1.366995e-02,1.366296e-02,1.363435e-02,1.361520e-02,1.359716e-02,1.356481e-02,1.355854e-02,1.351862e-02,1.351212e-02,1.347751e-02,1.345740e-02,1.343535e-02,1.340094e-02,1.339224e-02,1.334829e-02,1.334296e-02,1.330359e-02,1.328371e-02,1.325823e-02,1.322337e-02,1.321230e-02,1.316588e-02,1.316214e-02,1.311903e-02,1.310019e-02,1.307184e-02,1.303768e-02,1.302436e-02,1.297665e-02,1.297474e-02,1.292878e-02,1.291151e-02,1.288079e-02,1.284811e-02,1.283272e-02,1.278463e-02,1.272119e-02,1.265786e-02,1.259472e-02,1.253186e-02,1.246933e-02,1.240720e-02,1.234551e-02,1.228432e-02,1.222366e-02,1.216357e-02,1.210410e-02,1.204526e-02,1.198708e-02,1.192959e-02,1.187281e-02,1.181675e-02,1.176143e-02,1.170686e-02,1.165305e-02,1.160001e-02,1.154775e-02,1.149627e-02,1.144556e-02,1.139565e-02
0.000000e+00,2.789792e-08,8.345253e-08,4.263715e-07,1.258026e-06,2.065073e-06,6.020797e-06,6.257521e-06,1.468571e-05,1.807077e-05,2.936090e-05,4.211979e-05,5.261044e-05,8.382905e-05,8.706407e-05,1.355775e-04,1.496345e-04,2.009975e-04,2.459539e-04,2.857586e-04,3.776930e-04,3.915293e-04,5.191277e-04,5.472860e-04,6.686532e-04,7.549428e-04,8.396647e-04,9.993138e-04,1.031323e-03,1.242486e-03,1.277993e-03,1.471779e-03,1.587827e-03,1.717641e-03,1.925120e-03,1.978370e-03,2.252163e-03,2.285808e-03,2.537152e-03,2.665606e-03,2.831440e-03,3.060153e-03,3.133135e-03,3.440377e-03,3.465142e-03,3.751371e-03,3.876432e-03,4.064403e-03,4.290138e-03,4.377860e-03,4.690243e-03,4.702696e-03,5.000177e-03,5.110910e-03,5.306416e-03,5.511974e-03,5.607846e-03,5.903481e-03,6.192464e-03,6.283411e-03,6.474064e-03,6.650124e-03,6.747664e-03,7.002326e-03,7.012761e-03,7.268949e-03,7.339041e-03,7.515916e-03,7.659572e-03,7.753432e-03,7.963466e-03,7.981343e-03,8.199562e-03,8.250489e-03,8.408065e-03,8.520591e-03,8.606881e-03,8.773885e-03,8.796086e-03,8.975797e-03,9.010614e-03,9.146170e-03,9.231135e-03,9.307393e-03,9.435910e-03,9.459687e-03,9.603294e-03,9.625481e-03,9.738465e-03,9.800429e-03,9.865466e-03,9.961368e-03,9.984570e-03,1.009606e-02,1.010893e-02,1.020020e-02,1.024378e-02,1.029729e-02,1.036654e-02,1.038761e-02,1.047144e-02,1.047787e-02,1.054905e-02,1.057841e-02,1.062071e-02,1.066878e-02,1.068670e-02,1.074727e-02,1.074958e-02,1.080267e-02,1.082140e-02,1.085317e-02,1.088482e-02,1.089899e-02,1.094037e-02,1.097753e-02,1.098857e-02,1.101070e-02,1.102992e-02,1.104008e-02,1.106490e-02,1.106587e-02,1.108827e-02,1.109396e-02,1.110746e-02,1.111751e-02,1.112362e-02,1.113597e-02,1.113693e-02,1.114754e-02,1.114971e-02,1.115562e-02,1.115909e-02,1.116131e-02,1.116446e-02,1.116475e-02,1.116609e-02,1.116612e-02,1.116545e-02,1.116438e-02,1.116295e-02,1.115951e-02,1.115872e-02,1.115286e-02,1.115178e-02,1.114549e-02,1.114144e-02,1.113670e-02,1.112871e-02,1.112658e-02,1.111524e-02,1.111381e-02,1.110276e-02,1.109693e-02,1.108922e-02,1.107827e-02,1.107470e-02,1.105928e-02,1.105801e-02,1.104302e-02,1.103629e-02,1.102598e-02,1.101328e-02,1.100825e-02,1.098986e-02,1.098911e-02,1.097089e-02,1.096392e-02,1.095138e-02,1.093783e-02,1.093138e-02,1.091094e-02,1.088337e-02,1.085521e-02,1.082656e-02,1.079748e-02,1.076807e-02,1.073839e-02,1.070851e-02,1.067848e-02,1.064837e-02,1.061823e-02,1.058809e-02,1.055801e-02,1.052802e-02,1.049817e-02,1.046847e-02,1.043897e-02,1.040969e-02,1.038065e-02,1.035188e-02,1.032340e-02,1.029522e-02,1.026736e-02,1.023984e-02,1.021267e-02
0.000000e+00,3.984429e-09,9.117774e-09,3.137858e-08,7.163169e-08,1.048445e-07,2.412327e-07,2.486823e-07,4.920458e-07,5.826407e-07,8.686396e-07,1.169610e-06,1.402245e-06,2.028329e-06,2.088368e-06,2.907279e-06,3.121619e-06,3.842516e-06,4.412648e-06,4.882518e-06,5.876608e-06,6.017499e-06,7.237527e-06,7.490805e-06,8.531811e-06,9.230343e-06,9.888694e-06,1.106791e-05,1.129594e-05,1.274116e-05,1.297511e-05,1.421224e-05,1.492414e-05,1.569769e-05,1.688922e-05,1.718688e-05,1.867032e-05,1.884754e-05,2.013965e-05,2.077980e-05,2.158772e-05,2.267032e-05,2.300857e-05,2.439730e-05,2.450689e-05,2.575007e-05,2.628041e-05,2.706388e-05,2.798445e-05,2.833656e-05,2.956658e-05,2.961488e-05,3.075301e-05,3.116935e-05,3.189537e-05,3.264697e-05,3.299361e-05,3.404795e-05,3.505892e-05,3.537337e-05,3.602720e-05,3.662490e-05,3.695368e-05,3.780468e-05,3.783933e-05,3.868523e-05,3.891512e-05,3.949252e-05,3.995885e-05,4.026238e-05,4.093862e-05,4.099601e-05,4.169464e-05,4.185724e-05,4.235949e-05,4.271751e-05,4.299178e-05,4.352221e-05,4.359271e-05,4.416345e-05,4.427409e-05,4.470519e-05,4.497580e-05,4.521904e-05,4.562994e-05,4.570611e-05,4.616749e-05,4.623900e-05,4.660422e-05,4.680540e-05,4.701732e-05,4.733143e-05,4.740775e-05,4.777649e-05,4.781932e-05,4.812443e-05,4.827117e-05,4.845248e-05,4.868901e-05,4.876147e-05,4.905225e-05,4.907474e-05,4.932559e-05,4.943021e-05,4.958226e-05,4.975715e-05,4.982299e-05,5.004849e-05,5.005721e-05,5.025945e-05,5.033195e-05,5.045650e-05,5.058287e-05,5.064027e-05,5.081137e-05,5.097038e-05,5.101880e-05,5.111784e-05,5.120640e-05,5.125429e-05,5.137539e-05,5.138023e-05,5.149616e-05,5.152689e-05,5.160254e-05,5.166197e-05,5.169981e-05,5.178164e-05,5.178842e-05,5.186877e-05,5.188687e-05,5.194126e-05,5.197856e-05,5.200626e-05,5.205756e-05,5.206414e-05,5.211524e-05,5.212467e-05,5.215989e-05,5.218067e-05,5.219842e-05,5.222627e-05,5.223112e-05,5.225829e-05,5.226214e-05,5.228021e-05,5.228894e-05,5.229713e-05,5.230726e-05,5.230933e-05,5.231704e-05,5.231767e-05,5.232049e-05,5.232072e-05,5.231991e-05,5.231690e-05,5.231551e-05,5.230750e-05,5.230671e-05,5.229607e-05,5.229058e-05,5.228140e-05,5.226895e-05,5.226369e-05,5.224309e-05,5.224221e-05,5.221977e-05,5.221074e-05,5.219389e-05,5.217491e-05,5.216560e-05,5.213504e-05,5.209144e-05,5.204442e-05,5.199426e-05,5.194122e-05,5.188555e-05,5.182748e-05,5.176723e-05,5.170500e-05,5.164100e-05,5.157540e-05,5.150837e-05,5.144008e-05,5.137068e-05,5.130030e-05,5.122909e-05,5.115716e-05,5.108463e-05,5.101162e-05,5.093822e-05,5.086454e-05,5.079065e-05,5.071665e-05,5.064261e-05,5.056861e-05
0.000000e+00,4.830965e-10,1.198945e-09,4.516381e-09,1.074880e-08,1.595543e-08,3.735196e-08,3.851415e-08,7.591297e-08,8.956502e-08,1.320003e-07,1.762312e-07,2.105902e-07,3.053253e-07,3.146216e-07,4.451181e-07,4.803207e-07,6.014055e-07,6.997043e-07,7.821588e-07,9.603177e-07,9.859377e-07,1.211219e-06,1.258711e-06,1.456316e-06,1.590979e-06,1.719340e-06,1.952618e-06,1.998212e-06,2.290707e-06,2.338618e-06,2.594523e-06,2.743695e-06,2.907346e-06,3.162569e-06,3.226918e-06,3.551085e-06,3.590197e-06,3.877843e-06,4.021960e-06,4.205366e-06,4.453782e-06,4.532020e-06,4.856374e-06,4.882184e-06,5.177192e-06,5.304288e-06,5.493428e-06,5.717786e-06,5.804212e-06,6.108835e-06,6.120884e-06,6.406731e-06,6.512239e-06,6.697461e-06,6.890891e-06,6.980694e-06,7.256195e-06,7.523812e-06,7.607768e-06,7.783456e-06,7.945428e-06,8.035097e-06,8.269158e-06,8.278752e-06,8.514476e-06,8.579069e-06,8.742357e-06,8.875367e-06,8.962506e-06,9.158325e-06,9.175052e-06,9.380141e-06,9.428270e-06,9.577931e-06,9.685566e-06,9.768588e-06,9.930603e-06,9.952285e-06,1.012920e-05,1.016378e-05,1.029951e-05,1.038552e-05,1.046340e-05,1.059624e-05,1.062105e-05,1.077264e-05,1.079634e-05,1.091835e-05,1.098625e-05,1.105836e-05,1.116637e-05,1.119283e-05,1.132195e-05,1.133709e-05,1.144588e-05,1.149881e-05,1.156479e-05,1.165190e-05,1.167883e-05,1.178817e-05,1.179672e-05,1.189296e-05,1.193364e-05,1.199335e-05,1.206299e-05,1.208949e-05,1.218151e-05,1.218511e-05,1.226955e-05,1.230030e-05,1.235376e-05,1.240889e-05,1.243426e-05,1.251117e-05,1.258462e-05,1.260742e-05,1.265473e-05,1.269790e-05,1.272162e-05,1.278289e-05,1.278539e-05,1.284615e-05,1.286264e-05,1.290401e-05,1.293738e-05,1.295907e-05,1.300734e-05,1.301143e-05,1.306118e-05,1.307275e-05,1.310842e-05,1.313381e-05,1.315323e-05,1.319073e-05,1.319571e-05,1.323592e-05,1.324370e-05,1.327396e-05,1.329291e-05,1.330991e-05,1.333853e-05,1.334383e-05,1.337580e-05,1.338073e-05,1.340588e-05,1.341968e-05,1.343416e-05,1.345552e-05,1.346069e-05,1.348554e-05,1.348841e-05,1.350876e-05,1.351848e-05,1.353042e-05,1.354588e-05,1.355058e-05,1.356929e-05,1.357072e-05,1.358659e-05,1.359314e-05,1.360256e-05,1.361324e-05,1.361722e-05,1.363064e-05,1.363115e-05,1.364285e-05,1.364697e-05,1.365391e-05,1.366079e-05,1.366386e-05,1.367273e-05,1.368287e-05,1.369130e-05,1.369811e-05,1.370337e-05,1.370717e-05,1.370958e-05,1.371068e-05,1.371052e-05,1.370917e-05,1.370670e-05,1.370316e-05,1.369861e-05,1.369311e-05,1.368670e-05,1.367943e-05,1.367136e-05,1.366252e-05,1.365297e-05,1.364273e-05,1.363185e-05,1.362037e-05,1.360832e-05,1.359574e-05,1.358265e-05
0.000000e+00,2.685689e-09,7.989824e-09,4.037945e-08,1.180784e-07,1.929826e-07,5.576954e-07,5.794658e-07,1.354570e-06,1.666629e-06,2.712764e-06,3.905938e-06,4.895568e-06,7.879858e-06,8.191908e-06,1.291142e-05,1.428728e-05,1.931777e-05,2.370207e-05,2.755570e-05,3.632588e-05,3.762877e-05,4.942957e-05,5.198251e-05,6.278443e-05,7.027553e-05,7.748797e-05,9.072328e-05,9.332430e-05,1.100785e-04,1.128303e-04,1.275425e-04,1.361187e-04,1.455180e-04,1.601406e-04,1.638181e-04,1.822685e-04,1.844849e-04,2.007085e-04,2.087804e-04,2.189914e-04,2.326997e-04,2.369854e-04,2.545740e-04,2.559604e-04,2.716557e-04,2.783267e-04,2.881444e-04,2.996084e-04,3.039687e-04,3.190717e-04,3.196601e-04,3.334096e-04,3.383776e-04,3.469511e-04,3.556938e-04,3.596763e-04,3.715753e-04,3.826472e-04,3.860165e-04,3.928987e-04,3.990348e-04,4.023428e-04,4.106668e-04,4.109981e-04,4.188878e-04,4.209632e-04,4.260385e-04,4.299863e-04,4.324796e-04,4.378056e-04,4.382425e-04,4.433598e-04,4.444957e-04,4.478652e-04,4.501336e-04,4.517925e-04,4.547972e-04,4.551755e-04,4.580474e-04,4.585634e-04,4.604409e-04,4.615071e-04,4.623879e-04,4.637007e-04,4.639189e-04,4.650638e-04,4.652130e-04,4.658506e-04,4.661092e-04,4.663066e-04,4.664503e-04,4.664572e-04,4.663270e-04,4.662936e-04,4.659388e-04,4.656918e-04,4.653142e-04,4.646941e-04,4.644737e-04,4.634363e-04,4.633453e-04,4.622198e-04,4.616869e-04,4.608411e-04,4.597567e-04,4.593156e-04,4.576578e-04,4.575890e-04,4.558814e-04,4.552153e-04,4.539988e-04,4.526639e-04,4.520217e-04,4.499608e-04,4.478263e-04,4.471292e-04,4.456273e-04,4.441901e-04,4.433724e-04,4.411624e-04,4.410695e-04,4.387259e-04,4.380634e-04,4.363484e-04,4.349081e-04,4.339430e-04,4.317104e-04,4.315155e-04,4.290711e-04,4.284825e-04,4.266146e-04,4.252353e-04,4.241504e-04,4.219787e-04,4.216825e-04,4.192146e-04,4.187213e-04,4.167500e-04,4.154708e-04,4.142919e-04,4.122341e-04,4.118430e-04,4.094058e-04,4.090171e-04,4.069827e-04,4.058252e-04,4.045757e-04,4.026630e-04,4.021867e-04,3.998175e-04,3.995346e-04,3.974695e-04,3.964434e-04,3.951441e-04,3.933926e-04,3.928425e-04,3.905658e-04,3.903848e-04,3.883149e-04,3.874220e-04,3.860907e-04,3.845063e-04,3.838940e-04,3.817252e-04,3.816391e-04,3.795851e-04,3.788217e-04,3.774740e-04,3.760552e-04,3.753923e-04,3.733403e-04,3.706775e-04,3.680674e-04,3.655101e-04,3.630057e-04,3.605541e-04,3.581553e-04,3.558088e-04,3.535145e-04,3.512718e-04,3.490802e-04,3.469392e-04,3.448481e-04,3.428064e-04,3.408132e-04,3.388678e-04,3.369695e-04,3.351174e-04,3.333109e-04,3.315489e-04,3.298307e-04,3.281554e-04,3.265222e-04,3.249302e-04,3.233785e-04
0.000000e+00,5.052874e-10,1.354027e-09,5.642540e-09,1.416538e-08,2.145861e-08,5.205863e-08,5.373776e-08,1.083154e-07,1.284481e-07,1.916217e-07,2.583835e-07,3.109026e-07,4.589068e-07,4.736925e-07,6.859417e-07,7.445090e-07,9.486872e-07,1.115747e-06,1.255391e-06,1.551656e-06,1.593393e-06,1.948730e-06,2.020805e-06,2.309914e-06,2.497236e-06,2.668864e-06,2.964707e-06,3.020264e-06,3.360652e-06,3.413928e-06,3.687748e-06,3.839564e-06,4.000032e-06,4.238522e-06,4.296525e-06,4.576652e-06,4.609152e-06,4.840165e-06,4.950847e-06,5.087094e-06,5.263817e-06,5.317692e-06,5.532397e-06,5.548903e-06,5.731793e-06,5.807417e-06,5.916569e-06,6.040981e-06,6.087487e-06,6.245344e-06,6.251398e-06,6.390964e-06,6.440552e-06,6.525177e-06,6.610338e-06,6.648789e-06,6.762581e-06,6.867296e-06,6.899004e-06,6.963634e-06,7.021198e-06,7.052249e-06,7.130616e-06,7.133747e-06,7.208690e-06,7.228571e-06,7.277596e-06,7.316239e-06,7.340936e-06,7.394666e-06,7.399143e-06,7.452613e-06,7.464781e-06,7.501704e-06,7.527406e-06,7.546745e-06,7.583267e-06,7.588033e-06,7.625840e-06,7.633005e-06,7.660412e-06,7.677187e-06,7.691976e-06,7.716314e-06,7.720735e-06,7.746877e-06,7.750829e-06,7.770574e-06,7.781126e-06,7.791982e-06,7.807556e-06,7.811243e-06,7.828491e-06,7.830432e-06,7.843846e-06,7.850032e-06,7.857420e-06,7.866609e-06,7.869316e-06,7.879628e-06,7.880387e-06,7.888445e-06,7.891572e-06,7.895849e-06,7.900347e-06,7.901915e-06,7.906715e-06,7.906882e-06,7.910315e-06,7.911328e-06,7.912775e-06,7.913827e-06,7.914154e-06,7.914505e-06,7.913881e-06,7.913483e-06,7.912328e-06,7.910867e-06,7.909891e-06,7.906760e-06,7.906613e-06,7.902534e-06,7.901253e-06,7.897691e-06,7.894434e-06,7.892121e-06,7.886384e-06,7.885858e-06,7.878933e-06,7.877176e-06,7.871378e-06,7.866882e-06,7.863221e-06,7.855567e-06,7.854490e-06,7.845212e-06,7.843293e-06,7.835412e-06,7.830117e-06,7.825113e-06,7.816095e-06,7.814340e-06,7.803113e-06,7.801276e-06,7.791454e-06,7.785710e-06,7.779383e-06,7.769442e-06,7.766919e-06,7.754080e-06,7.752515e-06,7.740884e-06,7.734970e-06,7.727349e-06,7.716845e-06,7.713490e-06,7.699322e-06,7.698176e-06,7.684862e-06,7.678999e-06,7.670123e-06,7.659346e-06,7.655119e-06,7.639863e-06,7.639248e-06,7.624369e-06,7.618735e-06,7.608648e-06,7.597835e-06,7.592713e-06,7.576574e-06,7.554978e-06,7.533071e-06,7.510876e-06,7.488415e-06,7.465709e-06,7.442777e-06,7.419639e-06,7.396313e-06,7.372815e-06,7.349163e-06,7.325371e-06,7.301454e-06,7.277428e-06,7.253305e-06,7.229098e-06,7.204819e-06,7.180481e-06,7.156095e-06,7.131670e-06,7.107218e-06,7.082748e-06,7.058269e-06,7.033790e-06,7.009320e-06
0.000000e+00,6.859641e-10,1.776684e-09,7.066314e-09,1.734313e-08,2.610607e-08,6.330969e-08,6.537943e-08,1.343990e-07,1.606832e-07,2.456625e-07,3.387259e-07,4.134630e-07,6.258674e-07,6.469365e-07,9.404713e-07,1.017991e-06,1.276706e-06,1.477116e-06,1.638725e-06,1.969438e-06,2.015096e-06,2.398640e-06,2.475754e-06,2.784459e-06,2.984699e-06,3.168763e-06,3.488052e-06,3.548348e-06,3.920408e-06,3.979070e-06,4.282497e-06,4.452135e-06,4.632542e-06,4.902759e-06,4.968856e-06,5.290142e-06,5.327639e-06,5.595479e-06,5.724615e-06,5.884292e-06,6.092564e-06,6.156313e-06,6.411536e-06,6.431234e-06,6.650176e-06,6.741070e-06,6.872616e-06,7.023025e-06,7.079367e-06,7.271034e-06,7.278396e-06,7.448293e-06,7.508715e-06,7.611857e-06,7.715630e-06,7.762457e-06,7.900831e-06,8.027709e-06,8.065998e-06,8.143799e-06,8.212754e-06,8.249789e-06,8.342647e-06,8.346336e-06,8.434063e-06,8.457127e-06,8.513562e-06,8.557549e-06,8.585398e-06,8.645177e-06,8.650103e-06,8.708173e-06,8.721174e-06,8.760065e-06,8.786586e-06,8.806207e-06,8.842377e-06,8.847003e-06,8.882829e-06,8.889429e-06,8.914034e-06,8.928543e-06,8.940942e-06,8.960446e-06,8.963855e-06,8.983054e-06,8.985799e-06,8.998800e-06,9.005204e-06,9.011337e-06,9.019208e-06,9.020891e-06,9.027671e-06,9.028307e-06,9.031873e-06,9.032952e-06,9.033679e-06,9.033554e-06,9.033259e-06,9.030770e-06,9.030486e-06,9.026359e-06,9.024088e-06,9.020164e-06,9.014669e-06,9.012311e-06,9.002919e-06,9.002513e-06,8.992100e-06,8.987876e-06,8.979957e-06,8.970993e-06,8.966586e-06,8.952078e-06,8.936517e-06,8.931328e-06,8.919981e-06,8.908922e-06,8.902545e-06,8.885024e-06,8.884278e-06,8.865244e-06,8.859785e-06,8.845503e-06,8.833343e-06,8.825112e-06,8.805824e-06,8.804124e-06,8.782589e-06,8.777345e-06,8.760554e-06,8.748011e-06,8.738061e-06,8.717923e-06,8.715153e-06,8.691868e-06,8.687169e-06,8.668243e-06,8.655834e-06,8.644310e-06,8.623993e-06,8.620103e-06,8.595651e-06,8.591718e-06,8.570983e-06,8.559073e-06,8.546125e-06,8.526118e-06,8.521102e-06,8.495937e-06,8.492909e-06,8.470653e-06,8.459496e-06,8.445271e-06,8.425927e-06,8.419810e-06,8.394288e-06,8.392244e-06,8.368723e-06,8.358488e-06,8.343131e-06,8.324697e-06,8.317527e-06,8.291927e-06,8.290903e-06,8.266343e-06,8.257139e-06,8.240788e-06,8.223433e-06,8.215274e-06,8.189813e-06,8.156303e-06,8.122926e-06,8.089702e-06,8.056651e-06,8.023791e-06,7.991137e-06,7.958704e-06,7.926507e-06,7.894557e-06,7.862866e-06,7.831443e-06,7.800299e-06,7.769441e-06,7.738878e-06,7.708616e-06,7.678660e-06,7.649017e-06,7.619692e-06,7.590687e-06,7.562008e-06,7.533656e-06,7.505636e-06,7.477947e-06,7.450594e-06
0.000000e+00,1.572398e-09,4.231370e-09,1.778892e-08,4.501936e-08,6.850042e-08,1.680963e-07,1.735994e-07,3.539761e-07,4.211172e-07,6.334246e-07,8.599685e-07,1.039408e-06,1.548822e-06,1.599889e-06,2.332925e-06,2.534564e-06,3.233794e-06,3.801938e-06,4.275191e-06,5.279605e-06,5.421607e-06,6.641383e-06,6.891861e-06,7.909898e-06,8.582323e-06,9.208176e-06,1.031044e-05,1.052089e-05,1.183499e-05,1.204459e-05,1.313898e-05,1.375825e-05,1.442262e-05,1.542878e-05,1.567689e-05,1.689392e-05,1.703714e-05,1.806709e-05,1.856795e-05,1.919098e-05,2.000954e-05,2.026138e-05,2.127519e-05,2.135379e-05,2.223039e-05,2.259578e-05,2.312586e-05,2.373342e-05,2.396131e-05,2.473712e-05,2.476692e-05,2.545426e-05,2.569833e-05,2.611416e-05,2.653109e-05,2.671859e-05,2.726961e-05,2.776944e-05,2.791896e-05,2.822046e-05,2.848464e-05,2.862514e-05,2.897236e-05,2.898598e-05,2.930546e-05,2.938783e-05,2.958601e-05,2.973665e-05,2.983002e-05,3.002425e-05,3.003983e-05,3.021765e-05,3.025581e-05,3.036562e-05,3.043621e-05,3.048579e-05,3.057008e-05,3.058009e-05,3.065037e-05,3.066170e-05,3.069838e-05,3.071509e-05,3.072575e-05,3.073393e-05,3.073404e-05,3.072469e-05,3.072166e-05,3.069910e-05,3.068142e-05,3.065853e-05,3.061611e-05,3.060420e-05,3.053723e-05,3.052839e-05,3.045868e-05,3.042070e-05,3.036954e-05,3.029527e-05,3.027073e-05,3.016311e-05,3.015414e-05,3.004749e-05,2.999917e-05,2.992461e-05,2.983205e-05,2.979519e-05,2.965986e-05,2.965433e-05,2.951924e-05,2.946743e-05,2.937388e-05,2.927261e-05,2.922433e-05,2.907105e-05,2.891451e-05,2.886380e-05,2.875513e-05,2.865182e-05,2.859330e-05,2.843598e-05,2.842938e-05,2.826371e-05,2.821706e-05,2.809661e-05,2.799577e-05,2.792835e-05,2.777276e-05,2.775920e-05,2.758942e-05,2.754860e-05,2.741923e-05,2.732382e-05,2.724883e-05,2.709888e-05,2.707844e-05,2.690821e-05,2.687420e-05,2.673832e-05,2.665016e-05,2.656892e-05,2.642710e-05,2.640014e-05,2.623212e-05,2.620531e-05,2.606496e-05,2.598506e-05,2.589877e-05,2.576659e-05,2.573366e-05,2.556970e-05,2.555011e-05,2.540699e-05,2.533580e-05,2.524557e-05,2.512382e-05,2.508554e-05,2.492693e-05,2.491431e-05,2.476981e-05,2.470739e-05,2.461422e-05,2.450316e-05,2.446020e-05,2.430778e-05,2.430172e-05,2.415701e-05,2.410313e-05,2.400790e-05,2.390747e-05,2.386048e-05,2.371477e-05,2.352507e-05,2.333841e-05,2.315481e-05,2.297427e-05,2.279681e-05,2.262242e-05,2.245110e-05,2.228284e-05,2.211761e-05,2.195541e-05,2.179620e-05,2.163997e-05,2.148667e-05,2.133629e-05,2.118878e-05,2.104411e-05,2.090224e-05,2.076314e-05,2.062675e-05,2.049305e-05,2.036199e-05,2.023352e-05,2.010761e-05,1.998421e-05
0.000000e+00,8.859420e-08,2.649535e-07,1.352845e-06,3.988545e-06,6.543811e-06,1.904447e-05,1.979151e-05,4.632858e-05,5.695805e-05,9.230707e-05,1.320735e-04,1.646240e-04,2.606285e-04,2.704979e-04,4.166421e-04,4.583508e-04,6.085778e-04,7.376825e-04,8.505137e-04,1.107201e-03,1.145468e-03,1.495359e-03,1.572023e-03,1.901035e-03,2.134005e-03,2.362288e-03,2.791813e-03,2.877879e-03,3.445589e-03,3.541063e-03,4.062300e-03,4.374605e-03,4.724102e-03,5.282959e-03,5.426428e-03,6.164193e-03,6.254850e-03,6.931948e-03,7.277805e-03,7.724024e-03,8.338731e-03,8.534674e-03,9.358192e-03,9.424462e-03,1.018903e-02,1.052222e-02,1.102189e-02,1.161998e-02,1.185177e-02,1.267407e-02,1.270675e-02,1.348458e-02,1.377274e-02,1.427952e-02,1.480947e-02,1.505556e-02,1.580980e-02,1.653979e-02,1.676791e-02,1.724346e-02,1.767922e-02,1.791916e-02,1.854030e-02,1.856559e-02,1.918179e-02,1.934882e-02,1.976712e-02,2.010334e-02,2.032120e-02,2.080323e-02,2.084389e-02,2.133529e-02,2.144859e-02,2.179566e-02,2.204008e-02,2.222546e-02,2.257884e-02,2.262526e-02,2.299577e-02,2.306643e-02,2.333780e-02,2.350468e-02,2.365221e-02,2.389568e-02,2.393997e-02,2.420206e-02,2.424168e-02,2.443950e-02,2.454502e-02,2.465335e-02,2.480815e-02,2.484466e-02,2.501452e-02,2.503351e-02,2.516398e-02,2.522355e-02,2.529410e-02,2.538069e-02,2.540591e-02,2.550044e-02,2.550728e-02,2.557868e-02,2.560563e-02,2.564159e-02,2.567794e-02,2.569013e-02,2.572519e-02,2.572632e-02,2.574764e-02,2.575280e-02,2.575834e-02,2.575930e-02,2.575808e-02,2.574763e-02,2.572774e-02,2.571950e-02,2.569911e-02,2.567651e-02,2.566241e-02,2.562017e-02,2.561826e-02,2.556728e-02,2.555186e-02,2.551004e-02,2.547291e-02,2.544707e-02,2.538452e-02,2.537888e-02,2.530596e-02,2.528780e-02,2.522875e-02,2.518381e-02,2.514769e-02,2.507349e-02,2.506317e-02,2.497558e-02,2.495772e-02,2.488525e-02,2.483731e-02,2.479252e-02,2.471301e-02,2.469771e-02,2.460109e-02,2.458548e-02,2.450294e-02,2.445535e-02,2.440350e-02,2.432319e-02,2.430302e-02,2.420170e-02,2.418949e-02,2.409974e-02,2.405473e-02,2.399735e-02,2.391933e-02,2.389467e-02,2.379189e-02,2.378366e-02,2.368913e-02,2.364807e-02,2.358654e-02,2.351286e-02,2.348425e-02,2.338237e-02,2.337830e-02,2.328099e-02,2.324464e-02,2.318023e-02,2.311210e-02,2.308016e-02,2.298087e-02,2.285111e-02,2.272297e-02,2.259659e-02,2.247208e-02,2.234952e-02,2.222900e-02,2.211059e-02,2.199435e-02,2.188031e-02,2.176851e-02,2.165898e-02,2.155174e-02,2.144679e-02,2.134414e-02,2.124379e-02,2.114573e-02,2.104994e-02,2.095643e-02,2.086515e-02,2.077610e-02,2.068924e-02,2.060455e-02,2.052200e-02,2.044155e-02
0.000000e+00,3.895432e-09,1.160796e-08,5.884487e-08,1.724451e-07,2.820694e-07,8.156272e-07,8.474404e-07,1.976341e-06,2.428671e-06,3.936173e-06,5.640059e-06,7.041904e-06,1.121470e-05,1.164675e-05,1.809870e-05,1.995449e-05,2.666708e-05,3.244869e-05,3.749597e-05,4.891932e-05,5.061291e-05,6.596170e-05,6.929019e-05,8.343061e-05,9.330392e-05,1.028703e-04,1.205944e-04,1.241046e-04,1.469369e-04,1.507244e-04,1.711557e-04,1.832083e-04,1.965392e-04,2.175316e-04,2.228596e-04,2.498882e-04,2.531684e-04,2.773987e-04,2.895994e-04,3.051726e-04,3.263281e-04,3.330014e-04,3.606906e-04,3.628942e-04,3.880615e-04,3.988840e-04,4.149529e-04,4.339370e-04,4.412222e-04,4.667457e-04,4.677496e-04,4.914185e-04,5.000753e-04,5.151540e-04,5.307226e-04,5.378827e-04,5.595518e-04,5.801230e-04,5.864695e-04,5.995718e-04,6.114237e-04,6.178856e-04,6.343974e-04,6.350627e-04,6.511105e-04,6.554034e-04,6.660441e-04,6.744784e-04,6.798856e-04,6.916787e-04,6.926623e-04,7.044061e-04,7.070748e-04,7.151523e-04,7.207484e-04,7.249388e-04,7.327887e-04,7.338055e-04,7.417937e-04,7.432896e-04,7.489452e-04,7.523473e-04,7.553022e-04,7.600587e-04,7.609066e-04,7.657999e-04,7.665196e-04,7.700229e-04,7.718236e-04,7.736154e-04,7.760615e-04,7.766161e-04,7.790623e-04,7.793203e-04,7.809900e-04,7.816829e-04,7.824338e-04,7.832279e-04,7.834268e-04,7.840006e-04,7.840293e-04,7.841852e-04,7.841566e-04,7.840093e-04,7.836745e-04,7.834998e-04,7.826823e-04,7.826436e-04,7.815812e-04,7.811198e-04,7.802193e-04,7.791552e-04,7.786180e-04,7.767976e-04,7.747771e-04,7.740912e-04,7.725743e-04,7.710767e-04,7.702061e-04,7.677914e-04,7.676880e-04,7.650348e-04,7.642696e-04,7.622601e-04,7.605424e-04,7.593768e-04,7.566384e-04,7.563967e-04,7.533312e-04,7.525839e-04,7.501904e-04,7.484024e-04,7.469841e-04,7.441156e-04,7.437214e-04,7.404105e-04,7.397432e-04,7.370592e-04,7.353029e-04,7.336747e-04,7.308110e-04,7.302637e-04,7.268324e-04,7.262818e-04,7.233864e-04,7.217288e-04,7.199312e-04,7.171636e-04,7.164715e-04,7.130119e-04,7.125969e-04,7.095565e-04,7.080384e-04,7.061091e-04,7.034966e-04,7.026732e-04,6.992521e-04,6.989791e-04,6.958486e-04,6.944928e-04,6.924655e-04,6.900437e-04,6.891053e-04,6.857701e-04,6.856372e-04,6.824619e-04,6.812780e-04,6.791827e-04,6.769703e-04,6.759341e-04,6.727175e-04,6.685230e-04,6.643893e-04,6.603188e-04,6.563133e-04,6.523745e-04,6.485036e-04,6.447017e-04,6.409696e-04,6.373077e-04,6.337164e-04,6.301960e-04,6.267463e-04,6.233674e-04,6.200589e-04,6.168203e-04,6.136514e-04,6.105513e-04,6.075196e-04,6.045553e-04,6.016578e-04,5.988262e-04,5.960595e-04,5.933568e-04,5.907170e-04
0.000000e+00,1.578087e-09,4.689040e-09,2.362000e-08,6.877505e-08,1.120613e-07,3.203472e-07,3.326701e-07,7.649690e-07,9.359493e-07,1.498662e-06,2.124026e-06,2.631784e-06,4.116763e-06,4.268773e-06,6.514534e-06,7.154793e-06,9.460429e-06,1.144019e-05,1.316730e-05,1.707818e-05,1.765849e-05,2.292513e-05,2.406901e-05,2.893528e-05,3.233905e-05,3.564126e-05,4.176928e-05,4.298431e-05,5.089755e-05,5.221178e-05,5.930803e-05,6.349907e-05,6.813834e-05,7.545103e-05,7.730828e-05,8.673637e-05,8.788122e-05,9.634144e-05,1.006032e-04,1.060442e-04,1.134366e-04,1.157685e-04,1.254427e-04,1.262124e-04,1.350006e-04,1.387776e-04,1.443824e-04,1.509979e-04,1.535347e-04,1.624114e-04,1.627602e-04,1.709736e-04,1.739726e-04,1.791893e-04,1.845648e-04,1.870332e-04,1.944864e-04,2.015360e-04,2.037053e-04,2.081743e-04,2.122054e-04,2.143984e-04,2.199848e-04,2.202094e-04,2.256122e-04,2.270529e-04,2.306147e-04,2.334281e-04,2.352271e-04,2.391366e-04,2.394618e-04,2.433327e-04,2.442093e-04,2.468550e-04,2.486811e-04,2.500445e-04,2.525889e-04,2.529175e-04,2.554908e-04,2.559710e-04,2.577810e-04,2.588655e-04,2.598046e-04,2.613104e-04,2.615780e-04,2.631167e-04,2.633422e-04,2.644362e-04,2.649961e-04,2.655512e-04,2.663054e-04,2.664757e-04,2.672231e-04,2.673015e-04,2.678062e-04,2.680138e-04,2.682370e-04,2.684696e-04,2.685269e-04,2.686866e-04,2.686941e-04,2.687262e-04,2.687105e-04,2.686550e-04,2.685401e-04,2.684818e-04,2.682148e-04,2.682023e-04,2.678618e-04,2.677150e-04,2.674298e-04,2.670944e-04,2.669255e-04,2.663551e-04,2.657242e-04,2.655105e-04,2.650383e-04,2.645726e-04,2.643021e-04,2.635525e-04,2.635204e-04,2.626973e-04,2.624600e-04,2.618368e-04,2.613041e-04,2.609426e-04,2.600929e-04,2.600179e-04,2.590659e-04,2.588337e-04,2.580896e-04,2.575332e-04,2.570916e-04,2.561973e-04,2.560743e-04,2.550401e-04,2.548314e-04,2.539911e-04,2.534405e-04,2.529293e-04,2.520288e-04,2.518565e-04,2.507744e-04,2.506005e-04,2.496846e-04,2.491591e-04,2.485884e-04,2.477079e-04,2.474873e-04,2.463825e-04,2.462498e-04,2.452752e-04,2.447874e-04,2.441664e-04,2.433232e-04,2.430570e-04,2.419481e-04,2.418594e-04,2.408404e-04,2.403978e-04,2.397347e-04,2.389403e-04,2.386318e-04,2.375323e-04,2.374884e-04,2.364368e-04,2.360436e-04,2.353460e-04,2.346071e-04,2.342602e-04,2.331801e-04,2.317636e-04,2.303586e-04,2.289659e-04,2.275862e-04,2.262201e-04,2.248683e-04,2.235312e-04,2.222093e-04,2.209029e-04,2.196124e-04,2.183381e-04,2.170802e-04,2.158388e-04,2.146142e-04,2.134064e-04,2.122156e-04,2.110418e-04,2.098850e-04,2.087453e-04,2.076226e-04,2.065168e-04,2.054281e-04,2.043561e-04,2.033010e-04
0.000000e+00,4.407596e-09,1.314153e-08,6.668934e-08,1.955847e-07,3.200228e-07,9.257520e-07,9.618620e-07,2.242322e-06,2.754828e-06,4.460690e-06,6.385414e-06,7.967134e-06,1.267348e-05,1.316114e-05,2.046825e-05,2.258157e-05,3.027795e-05,3.697335e-05,4.286547e-05,5.634098e-05,5.835322e-05,7.672625e-05,8.073832e-05,9.786962e-05,1.099008e-04,1.216021e-04,1.433751e-04,1.476994e-04,1.759088e-04,1.806004e-04,2.059588e-04,2.209538e-04,2.375663e-04,2.637793e-04,2.704420e-04,3.042954e-04,3.084099e-04,3.388400e-04,3.541863e-04,3.737968e-04,4.004752e-04,4.088993e-04,4.438963e-04,4.466844e-04,4.785546e-04,4.922748e-04,5.126618e-04,5.367699e-04,5.460273e-04,5.784835e-04,5.797607e-04,6.098858e-04,6.209085e-04,6.401126e-04,6.599437e-04,6.690644e-04,6.966627e-04,7.228489e-04,7.309232e-04,7.475827e-04,7.626385e-04,7.708404e-04,7.917707e-04,7.926132e-04,8.129049e-04,8.183230e-04,8.317307e-04,8.423323e-04,8.491150e-04,8.638630e-04,8.650901e-04,8.796953e-04,8.830016e-04,8.929755e-04,8.998519e-04,9.049799e-04,9.145300e-04,9.157609e-04,9.253732e-04,9.271604e-04,9.338734e-04,9.378731e-04,9.413190e-04,9.468012e-04,9.477686e-04,9.532815e-04,9.540805e-04,9.579152e-04,9.598436e-04,9.617258e-04,9.642184e-04,9.647678e-04,9.670935e-04,9.673269e-04,9.687533e-04,9.692851e-04,9.697952e-04,9.702023e-04,9.702654e-04,9.702073e-04,9.701811e-04,9.696625e-04,9.693172e-04,9.686701e-04,9.676993e-04,9.672672e-04,9.654885e-04,9.654100e-04,9.633670e-04,9.625253e-04,9.609333e-04,9.591149e-04,9.582164e-04,9.552431e-04,9.520389e-04,9.509686e-04,9.486270e-04,9.463448e-04,9.450296e-04,9.414205e-04,9.412670e-04,9.373582e-04,9.362400e-04,9.333209e-04,9.308436e-04,9.291713e-04,9.252675e-04,9.249246e-04,9.205948e-04,9.195447e-04,9.161949e-04,9.137048e-04,9.117368e-04,9.077743e-04,9.072315e-04,9.026894e-04,9.017773e-04,8.981196e-04,8.957352e-04,8.935308e-04,8.896673e-04,8.889309e-04,8.843271e-04,8.835906e-04,8.797261e-04,8.775204e-04,8.751340e-04,8.714703e-04,8.705562e-04,8.659977e-04,8.654522e-04,8.614633e-04,8.594768e-04,8.569570e-04,8.535533e-04,8.524826e-04,8.480434e-04,8.476899e-04,8.436427e-04,8.418938e-04,8.392831e-04,8.361710e-04,8.349670e-04,8.306968e-04,8.305270e-04,8.264743e-04,8.249662e-04,8.223012e-04,8.194925e-04,8.181791e-04,8.141092e-04,8.088189e-04,8.036237e-04,7.985254e-04,7.935252e-04,7.886241e-04,7.838227e-04,7.791212e-04,7.745197e-04,7.700180e-04,7.656157e-04,7.613121e-04,7.571067e-04,7.529984e-04,7.489862e-04,7.450691e-04,7.412457e-04,7.375147e-04,7.338748e-04,7.303246e-04,7.268624e-04,7.234868e-04,7.201962e-04,7.169890e-04,7.138635e-04
0.000000e+00,4.529250e-08,1.350204e-07,6.862692e-07,2.022208e-06,3.323356e-06,9.797549e-06,1.019028e-05,2.454563e-05,3.050226e-05,5.105329e-05,7.531085e-05,9.585404e-05,1.586567e-04,1.652266e-04,2.632390e-04,2.911983e-04,3.909998e-04,4.752514e-04,5.476013e-04,7.077633e-04,7.311340e-04,9.392580e-04,9.836140e-04,1.169457e-03,1.297024e-03,1.419133e-03,1.641981e-03,1.685645e-03,1.966318e-03,2.012360e-03,2.258463e-03,2.401978e-03,2.559395e-03,2.804687e-03,2.866468e-03,3.177104e-03,3.214501e-03,3.488831e-03,3.625730e-03,3.799317e-03,4.033120e-03,4.106402e-03,4.408116e-03,4.431967e-03,4.702703e-03,4.818191e-03,4.988629e-03,5.188386e-03,5.264580e-03,5.529468e-03,5.539821e-03,5.782419e-03,5.870424e-03,6.022763e-03,6.178744e-03,6.250021e-03,6.463888e-03,6.664214e-03,6.725453e-03,6.850988e-03,6.963459e-03,7.024321e-03,7.178265e-03,7.184418e-03,7.331575e-03,7.370508e-03,7.466157e-03,7.541042e-03,7.588583e-03,7.690880e-03,7.699320e-03,7.798864e-03,7.821147e-03,7.887736e-03,7.933042e-03,7.966470e-03,8.027798e-03,8.035605e-03,8.095682e-03,8.106657e-03,8.147235e-03,8.170850e-03,8.190792e-03,8.221575e-03,8.226864e-03,8.255952e-03,8.259991e-03,8.278535e-03,8.287201e-03,8.295075e-03,8.304253e-03,8.306012e-03,8.311769e-03,8.312131e-03,8.312744e-03,8.311757e-03,8.309318e-03,8.303991e-03,8.301847e-03,8.290670e-03,8.289626e-03,8.276103e-03,8.269395e-03,8.258444e-03,8.243972e-03,8.237972e-03,8.214946e-03,8.213976e-03,8.189612e-03,8.179971e-03,8.162196e-03,8.142472e-03,8.132909e-03,8.101948e-03,8.069495e-03,8.058823e-03,8.035719e-03,8.013482e-03,8.000778e-03,7.966273e-03,7.964817e-03,7.927970e-03,7.917511e-03,7.890361e-03,7.867477e-03,7.852104e-03,7.816427e-03,7.813306e-03,7.774063e-03,7.764589e-03,7.734466e-03,7.712167e-03,7.694595e-03,7.659344e-03,7.654528e-03,7.614333e-03,7.606284e-03,7.574073e-03,7.553133e-03,7.533808e-03,7.500019e-03,7.493589e-03,7.453466e-03,7.447058e-03,7.413481e-03,7.394351e-03,7.373677e-03,7.341987e-03,7.334089e-03,7.294749e-03,7.290047e-03,7.255689e-03,7.238598e-03,7.216935e-03,7.187701e-03,7.178510e-03,7.140438e-03,7.137408e-03,7.102737e-03,7.087765e-03,7.065425e-03,7.038809e-03,7.028517e-03,6.992026e-03,6.990575e-03,6.955964e-03,6.943089e-03,6.920343e-03,6.896375e-03,6.885169e-03,6.850452e-03,6.805333e-03,6.761032e-03,6.717555e-03,6.674911e-03,6.633100e-03,6.592126e-03,6.551986e-03,6.512678e-03,6.474199e-03,6.436543e-03,6.399704e-03,6.363673e-03,6.328442e-03,6.294003e-03,6.260344e-03,6.227456e-03,6.195326e-03,6.163944e-03,6.133297e-03,6.103373e-03,6.074159e-03,6.045642e-03,6.017810e-03,5.990649e-03
0.000000e+00,6.301640e-10,1.748243e-09,7.739165e-09,2.030724e-08,3.140447e-08,7.955400e-08,8.224133e-08,1.707859e-07,2.037808e-07,3.077155e-07,4.176948e-07,5.041204e-07,7.470185e-07,7.712402e-07,1.118894e-06,1.215080e-06,1.553010e-06,1.834468e-06,2.074740e-06,2.604779e-06,2.682079e-06,3.371828e-06,3.519364e-06,4.140515e-06,4.570228e-06,4.984490e-06,5.748714e-06,5.899774e-06,6.881894e-06,7.044907e-06,7.925818e-06,8.447236e-06,9.025967e-06,9.942502e-06,1.017627e-05,1.137028e-05,1.151618e-05,1.260130e-05,1.315291e-05,1.386251e-05,1.483703e-05,1.514710e-05,1.644844e-05,1.655307e-05,1.776006e-05,1.828621e-05,1.907585e-05,2.002256e-05,2.039008e-05,2.169747e-05,2.174955e-05,2.299325e-05,2.345604e-05,2.427310e-05,2.513233e-05,2.553320e-05,2.677020e-05,2.798125e-05,2.836289e-05,2.916389e-05,2.990493e-05,3.031611e-05,3.139208e-05,3.143625e-05,3.252300e-05,3.282117e-05,3.357536e-05,3.418996e-05,3.459262e-05,3.549707e-05,3.557429e-05,3.652011e-05,3.674177e-05,3.743003e-05,3.792392e-05,3.830412e-05,3.904389e-05,3.914264e-05,3.994593e-05,4.010240e-05,4.071445e-05,4.110052e-05,4.144875e-05,4.203956e-05,4.214944e-05,4.281718e-05,4.292102e-05,4.345271e-05,4.374654e-05,4.405678e-05,4.451790e-05,4.463016e-05,4.517366e-05,4.523691e-05,4.568811e-05,4.590548e-05,4.617433e-05,4.652550e-05,4.663316e-05,4.706543e-05,4.709889e-05,4.747197e-05,4.762756e-05,4.785360e-05,4.811342e-05,4.821115e-05,4.854543e-05,4.855833e-05,4.885723e-05,4.896412e-05,4.914733e-05,4.933260e-05,4.941651e-05,4.966551e-05,4.989509e-05,4.996457e-05,5.010596e-05,5.023142e-05,5.029882e-05,5.046768e-05,5.047438e-05,5.063329e-05,5.067489e-05,5.077622e-05,5.085457e-05,5.090380e-05,5.100815e-05,5.101665e-05,5.111537e-05,5.113703e-05,5.120056e-05,5.124256e-05,5.127277e-05,5.132602e-05,5.133256e-05,5.138047e-05,5.138867e-05,5.141701e-05,5.143169e-05,5.144269e-05,5.145623e-05,5.145800e-05,5.146340e-05,5.146337e-05,5.145935e-05,5.145418e-05,5.144629e-05,5.142965e-05,5.142465e-05,5.139485e-05,5.139074e-05,5.135727e-05,5.133838e-05,5.131231e-05,5.127343e-05,5.126034e-05,5.120172e-05,5.119675e-05,5.113678e-05,5.110912e-05,5.106587e-05,5.101130e-05,5.098931e-05,5.090741e-05,5.090403e-05,5.082046e-05,5.078798e-05,5.072876e-05,5.066383e-05,5.063258e-05,5.053219e-05,5.039367e-05,5.024881e-05,5.009817e-05,4.994225e-05,4.978153e-05,4.961646e-05,4.944749e-05,4.927503e-05,4.909945e-05,4.892114e-05,4.874042e-05,4.855764e-05,4.837310e-05,4.818709e-05,4.799988e-05,4.781173e-05,4.762289e-05,4.743359e-05,4.724402e-05,4.705441e-05,4.686492e-05,4.667575e-05,4.648705e-05,4.629897e-05
0.000000e+00,1.205543e-08,3.604402e-08,1.840125e-07,5.428101e-07,8.911505e-07,2.602004e-06,2.704580e-06,6.370360e-06,7.849780e-06,1.281035e-05,1.845860e-05,2.313044e-05,3.713575e-05,3.859294e-05,6.048346e-05,6.682084e-05,8.988066e-05,1.099013e-04,1.274902e-04,1.676481e-04,1.736404e-04,2.283637e-04,2.403241e-04,2.914774e-04,3.275042e-04,3.626396e-04,4.282974e-04,4.413837e-04,5.271427e-04,5.414728e-04,6.192677e-04,6.655415e-04,7.170455e-04,7.988276e-04,8.197153e-04,9.264861e-04,9.395360e-04,1.036554e-03,1.085821e-03,1.149116e-03,1.235847e-03,1.263388e-03,1.378614e-03,1.387852e-03,1.494080e-03,1.540182e-03,1.609118e-03,1.691335e-03,1.723117e-03,1.835522e-03,1.839978e-03,1.945842e-03,1.984961e-03,2.053643e-03,2.125317e-03,2.158554e-03,2.260261e-03,2.358506e-03,2.389177e-03,2.453080e-03,2.511607e-03,2.543826e-03,2.627230e-03,2.630625e-03,2.713401e-03,2.735851e-03,2.792111e-03,2.837380e-03,2.866745e-03,2.931820e-03,2.937317e-03,3.003868e-03,3.019249e-03,3.066458e-03,3.099806e-03,3.125163e-03,3.173682e-03,3.180074e-03,3.231293e-03,3.241103e-03,3.278931e-03,3.302326e-03,3.323106e-03,3.357629e-03,3.363944e-03,3.401571e-03,3.407302e-03,3.436117e-03,3.451644e-03,3.467714e-03,3.490955e-03,3.496491e-03,3.522580e-03,3.525536e-03,3.546109e-03,3.555683e-03,3.567205e-03,3.581686e-03,3.585991e-03,3.602589e-03,3.603826e-03,3.617116e-03,3.622372e-03,3.629685e-03,3.637585e-03,3.640407e-03,3.649388e-03,3.649712e-03,3.656729e-03,3.658989e-03,3.662529e-03,3.665640e-03,3.666880e-03,3.669874e-03,3.671595e-03,3.671890e-03,3.672125e-03,3.671875e-03,3.671542e-03,3.670004e-03,3.669920e-03,3.667329e-03,3.666439e-03,3.663836e-03,3.661333e-03,3.659504e-03,3.654829e-03,3.654393e-03,3.648560e-03,3.647059e-03,3.642059e-03,3.638146e-03,3.634941e-03,3.628204e-03,3.627253e-03,3.619040e-03,3.617338e-03,3.610346e-03,3.605648e-03,3.601211e-03,3.593224e-03,3.591672e-03,3.581766e-03,3.580149e-03,3.571525e-03,3.566501e-03,3.560982e-03,3.552351e-03,3.550167e-03,3.539107e-03,3.537765e-03,3.527828e-03,3.522803e-03,3.516356e-03,3.507522e-03,3.504713e-03,3.492921e-03,3.491972e-03,3.481001e-03,3.476201e-03,3.468970e-03,3.460251e-03,3.456848e-03,3.444651e-03,3.444162e-03,3.432394e-03,3.427970e-03,3.420092e-03,3.411708e-03,3.407759e-03,3.395407e-03,3.379093e-03,3.362793e-03,3.346528e-03,3.330320e-03,3.314188e-03,3.298148e-03,3.282215e-03,3.266404e-03,3.250728e-03,3.235196e-03,3.219820e-03,3.204607e-03,3.189567e-03,3.174705e-03,3.160027e-03,3.145540e-03,3.131247e-03,3.117152e-03,3.103258e-03,3.089569e-03,3.076086e-03,3.062810e-03,3.049743e-03,3.036887e-03
0.000000e+00,1.611413e-08,4.818575e-08,2.461578e-07,7.269834e-07,1.194663e-06,3.501686e-06,3.640480e-06,8.630638e-06,1.065949e-05,1.751621e-05,2.541034e-05,3.199775e-05,5.197714e-05,5.407100e-05,8.572696e-05,9.493688e-05,1.285270e-04,1.577376e-04,1.834132e-04,2.420475e-04,2.507977e-04,3.307246e-04,3.482006e-04,4.229903e-04,4.757241e-04,5.272135e-04,6.236242e-04,6.428732e-04,7.693297e-04,7.905164e-04,9.058399e-04,9.746943e-04,1.051571e-03,1.174185e-03,1.205613e-03,1.367000e-03,1.386813e-03,1.534724e-03,1.610264e-03,1.707752e-03,1.842163e-03,1.885048e-03,2.065587e-03,2.080140e-03,2.248371e-03,2.321897e-03,2.432443e-03,2.565261e-03,2.616896e-03,2.800882e-03,2.808220e-03,2.983620e-03,3.048961e-03,3.164397e-03,3.285875e-03,3.342572e-03,3.517577e-03,3.688912e-03,3.742892e-03,3.856145e-03,3.960848e-03,4.018907e-03,4.170669e-03,4.176893e-03,4.329850e-03,4.371749e-03,4.477581e-03,4.563645e-03,4.619933e-03,4.746052e-03,4.756797e-03,4.888104e-03,4.918786e-03,5.013818e-03,5.081770e-03,5.133931e-03,5.235015e-03,5.248466e-03,5.357466e-03,5.378607e-03,5.460995e-03,5.512694e-03,5.559133e-03,5.637473e-03,5.651976e-03,5.739632e-03,5.753183e-03,5.822217e-03,5.860094e-03,5.899858e-03,5.958498e-03,5.972685e-03,6.040836e-03,6.048707e-03,6.104452e-03,6.131042e-03,6.163675e-03,6.205835e-03,6.218650e-03,6.269523e-03,6.273420e-03,6.316439e-03,6.334130e-03,6.359544e-03,6.388299e-03,6.398980e-03,6.434890e-03,6.436255e-03,6.467414e-03,6.478320e-03,6.496689e-03,6.514810e-03,6.522852e-03,6.546033e-03,6.566362e-03,6.572286e-03,6.583966e-03,6.593859e-03,6.598967e-03,6.611030e-03,6.611484e-03,6.621634e-03,6.624068e-03,6.629530e-03,6.633231e-03,6.635280e-03,6.638767e-03,6.638991e-03,6.640765e-03,6.640913e-03,6.640701e-03,6.639898e-03,6.638894e-03,6.635936e-03,6.635437e-03,6.630419e-03,6.629236e-03,6.623926e-03,6.619994e-03,6.616041e-03,6.608399e-03,6.606842e-03,6.596407e-03,6.594628e-03,6.584810e-03,6.578851e-03,6.572120e-03,6.561229e-03,6.558407e-03,6.543736e-03,6.541914e-03,6.528168e-03,6.521050e-03,6.511765e-03,6.498774e-03,6.494583e-03,6.476678e-03,6.475216e-03,6.458102e-03,6.450496e-03,6.438907e-03,6.424730e-03,6.419140e-03,6.398848e-03,6.398026e-03,6.378074e-03,6.370486e-03,6.356861e-03,6.342206e-03,6.335249e-03,6.313277e-03,6.283783e-03,6.253803e-03,6.223413e-03,6.192682e-03,6.161675e-03,6.130452e-03,6.099072e-03,6.067586e-03,6.036044e-03,6.004492e-03,5.972973e-03,5.941524e-03,5.910184e-03,5.878985e-03,5.847958e-03,5.817131e-03,5.786532e-03,5.756182e-03,5.726105e-03,5.696320e-03,5.666844e-03,5.637693e-03,5.608883e-03,5.580425e-03
0.000000e+00,2.200536e-09,6.006613e-09,2.584161e-08,6.637889e-08,1.016135e-07,2.516971e-07,2.599878e-07,5.302834e-07,6.299811e-07,9.416493e-07,1.268527e-06,1.523830e-06,2.236281e-06,2.307038e-06,3.320331e-06,3.600618e-06,4.587818e-06,5.414126e-06,6.122379e-06,7.689845e-06,7.918472e-06,9.948617e-06,1.037897e-05,1.216790e-05,1.337944e-05,1.452449e-05,1.657402e-05,1.696931e-05,1.946082e-05,1.986146e-05,2.196566e-05,2.316472e-05,2.445735e-05,2.642687e-05,2.691473e-05,2.932082e-05,2.960543e-05,3.166193e-05,3.266852e-05,3.392712e-05,3.559256e-05,3.610785e-05,3.819765e-05,3.836075e-05,4.019189e-05,4.096211e-05,4.208759e-05,4.339053e-05,4.388315e-05,4.557814e-05,4.564385e-05,4.717310e-05,4.772305e-05,4.866946e-05,4.963170e-05,5.006929e-05,5.137518e-05,5.259014e-05,5.296025e-05,5.371746e-05,5.439456e-05,5.476064e-05,5.568631e-05,5.572332e-05,5.660919e-05,5.684397e-05,5.742197e-05,5.787610e-05,5.816537e-05,5.879115e-05,5.884302e-05,5.945850e-05,5.959735e-05,6.001524e-05,6.030261e-05,6.051659e-05,6.091453e-05,6.096578e-05,6.136589e-05,6.144029e-05,6.171989e-05,6.188670e-05,6.203062e-05,6.226017e-05,6.230077e-05,6.253291e-05,6.256669e-05,6.272947e-05,6.281187e-05,6.289277e-05,6.300094e-05,6.302500e-05,6.312824e-05,6.313878e-05,6.320445e-05,6.322990e-05,6.325548e-05,6.327851e-05,6.328309e-05,6.328894e-05,6.328851e-05,6.327457e-05,6.326350e-05,6.324147e-05,6.320681e-05,6.319101e-05,6.312451e-05,6.312153e-05,6.304319e-05,6.301051e-05,6.294820e-05,6.287636e-05,6.284064e-05,6.272152e-05,6.259181e-05,6.254821e-05,6.245241e-05,6.235849e-05,6.230415e-05,6.215425e-05,6.214785e-05,6.198424e-05,6.193722e-05,6.181403e-05,6.170900e-05,6.163786e-05,6.147107e-05,6.145636e-05,6.127010e-05,6.122475e-05,6.107961e-05,6.097128e-05,6.088540e-05,6.071180e-05,6.068795e-05,6.048768e-05,6.044732e-05,6.028501e-05,6.017881e-05,6.008034e-05,5.990711e-05,5.987400e-05,5.966635e-05,5.963302e-05,5.945769e-05,5.935725e-05,5.924830e-05,5.908046e-05,5.903847e-05,5.882843e-05,5.880323e-05,5.861843e-05,5.852610e-05,5.840868e-05,5.824955e-05,5.819937e-05,5.799070e-05,5.797404e-05,5.778283e-05,5.769994e-05,5.757592e-05,5.742762e-05,5.737012e-05,5.716556e-05,5.715740e-05,5.696236e-05,5.688957e-05,5.676064e-05,5.662437e-05,5.656051e-05,5.636204e-05,5.610278e-05,5.584676e-05,5.559414e-05,5.534505e-05,5.509961e-05,5.485791e-05,5.462004e-05,5.438607e-05,5.415605e-05,5.393002e-05,5.370802e-05,5.349007e-05,5.327618e-05,5.306635e-05,5.286059e-05,5.265889e-05,5.246123e-05,5.226759e-05,5.207794e-05,5.189225e-05,5.171050e-05,5.153263e-05,5.135862e-05,5.118841e-05
0.000000e+00,1.001323e-08,2.983242e-08,1.511965e-07,4.431110e-07,7.249270e-07,2.098354e-06,2.180335e-06,5.095546e-06,6.266694e-06,1.018104e-05,1.462355e-05,1.829100e-05,2.926122e-05,3.040094e-05,4.748650e-05,5.241991e-05,7.031906e-05,8.579127e-05,9.933208e-05,1.300715e-04,1.346382e-04,1.761178e-04,1.851327e-04,2.235005e-04,2.503530e-04,2.764179e-04,3.248291e-04,3.344352e-04,3.970692e-04,4.074848e-04,4.638017e-04,4.971304e-04,5.340897e-04,5.925051e-04,6.073748e-04,6.830935e-04,6.923166e-04,7.606862e-04,7.952792e-04,8.396066e-04,9.001500e-04,9.193296e-04,9.993579e-04,1.005759e-03,1.079228e-03,1.111035e-03,1.158514e-03,1.215020e-03,1.236831e-03,1.313836e-03,1.316884e-03,1.389227e-03,1.415922e-03,1.462746e-03,1.511557e-03,1.534174e-03,1.603330e-03,1.670069e-03,1.690896e-03,1.734279e-03,1.774006e-03,1.795876e-03,1.852500e-03,1.854805e-03,1.911034e-03,1.926292e-03,1.964551e-03,1.995361e-03,2.015361e-03,2.059736e-03,2.063488e-03,2.108965e-03,2.119490e-03,2.151838e-03,2.174730e-03,2.192163e-03,2.225590e-03,2.230001e-03,2.265420e-03,2.272220e-03,2.298494e-03,2.314790e-03,2.329298e-03,2.353476e-03,2.357909e-03,2.384409e-03,2.388459e-03,2.408878e-03,2.419925e-03,2.431396e-03,2.448061e-03,2.452045e-03,2.470903e-03,2.473050e-03,2.488050e-03,2.495072e-03,2.503563e-03,2.514306e-03,2.517517e-03,2.529986e-03,2.530921e-03,2.541042e-03,2.545085e-03,2.550755e-03,2.556954e-03,2.559192e-03,2.566419e-03,2.566684e-03,2.572498e-03,2.574418e-03,2.577492e-03,2.580297e-03,2.581457e-03,2.584452e-03,2.586529e-03,2.587009e-03,2.587742e-03,2.588088e-03,2.588140e-03,2.587800e-03,2.587771e-03,2.586681e-03,2.586253e-03,2.584914e-03,2.583547e-03,2.582512e-03,2.579776e-03,2.579515e-03,2.575961e-03,2.575030e-03,2.571887e-03,2.569392e-03,2.567328e-03,2.562942e-03,2.562318e-03,2.556886e-03,2.555753e-03,2.551066e-03,2.547894e-03,2.544883e-03,2.539431e-03,2.538367e-03,2.531544e-03,2.530425e-03,2.524437e-03,2.520932e-03,2.517071e-03,2.511006e-03,2.509468e-03,2.501648e-03,2.500696e-03,2.493633e-03,2.490049e-03,2.485441e-03,2.479107e-03,2.477090e-03,2.468597e-03,2.467912e-03,2.459978e-03,2.456499e-03,2.451249e-03,2.444904e-03,2.442425e-03,2.433518e-03,2.433160e-03,2.424541e-03,2.421295e-03,2.415508e-03,2.409338e-03,2.406428e-03,2.397314e-03,2.385247e-03,2.373158e-03,2.361067e-03,2.348994e-03,2.336954e-03,2.324963e-03,2.313035e-03,2.301183e-03,2.289419e-03,2.277753e-03,2.266195e-03,2.254754e-03,2.243436e-03,2.232250e-03,2.221201e-03,2.210295e-03,2.199535e-03,2.188928e-03,2.178475e-03,2.168180e-03,2.158045e-03,2.148073e-03,2.138266e-03,2.128623e-03
0.000000e+00,1.352526e-09,4.017571e-09,2.027974e-08,5.943238e-08,9.741980e-08,2.856867e-07,2.970870e-07,7.132327e-07,8.857586e-07,1.481034e-06,2.185045e-06,2.783626e-06,4.632995e-06,4.828269e-06,7.775834e-06,8.625844e-06,1.167814e-05,1.426412e-05,1.648341e-05,2.137160e-05,2.208081e-05,2.833853e-05,2.965759e-05,3.512490e-05,3.882157e-05,4.231730e-05,4.859116e-05,4.980475e-05,5.748777e-05,5.872912e-05,6.527727e-05,6.903025e-05,7.309329e-05,7.931672e-05,8.086407e-05,8.852542e-05,8.943465e-05,9.602044e-05,9.925249e-05,1.032994e-04,1.086603e-04,1.103195e-04,1.170450e-04,1.175694e-04,1.234469e-04,1.259118e-04,1.295026e-04,1.336390e-04,1.351958e-04,1.405160e-04,1.407209e-04,1.454577e-04,1.471438e-04,1.500203e-04,1.529081e-04,1.542074e-04,1.580260e-04,1.614859e-04,1.625193e-04,1.645996e-04,1.664171e-04,1.673813e-04,1.697538e-04,1.698465e-04,1.720120e-04,1.725669e-04,1.738949e-04,1.748962e-04,1.755127e-04,1.767819e-04,1.768828e-04,1.780226e-04,1.782638e-04,1.789490e-04,1.793806e-04,1.796782e-04,1.801694e-04,1.802260e-04,1.806073e-04,1.806649e-04,1.808363e-04,1.808997e-04,1.809264e-04,1.809039e-04,1.808901e-04,1.807391e-04,1.807051e-04,1.804845e-04,1.803284e-04,1.801362e-04,1.797965e-04,1.797037e-04,1.791956e-04,1.791299e-04,1.786199e-04,1.783471e-04,1.779839e-04,1.774644e-04,1.772944e-04,1.765574e-04,1.764965e-04,1.757785e-04,1.754564e-04,1.749630e-04,1.743557e-04,1.741154e-04,1.732401e-04,1.732045e-04,1.723408e-04,1.720119e-04,1.714212e-04,1.707858e-04,1.704843e-04,1.695331e-04,1.685703e-04,1.682601e-04,1.675981e-04,1.669720e-04,1.666188e-04,1.656738e-04,1.656343e-04,1.646464e-04,1.643694e-04,1.636567e-04,1.630625e-04,1.626665e-04,1.617564e-04,1.616773e-04,1.606902e-04,1.604538e-04,1.597063e-04,1.591570e-04,1.587264e-04,1.578682e-04,1.577515e-04,1.567823e-04,1.565892e-04,1.558195e-04,1.553217e-04,1.548638e-04,1.540668e-04,1.539157e-04,1.529756e-04,1.528259e-04,1.520440e-04,1.516000e-04,1.511213e-04,1.503898e-04,1.502079e-04,1.493040e-04,1.491962e-04,1.484099e-04,1.480197e-04,1.475259e-04,1.468608e-04,1.466520e-04,1.457886e-04,1.457200e-04,1.449357e-04,1.445975e-04,1.440935e-04,1.434937e-04,1.432619e-04,1.424413e-04,1.424087e-04,1.416315e-04,1.413426e-04,1.408326e-04,1.402956e-04,1.400446e-04,1.392676e-04,1.382588e-04,1.372690e-04,1.362981e-04,1.353461e-04,1.344129e-04,1.334982e-04,1.326020e-04,1.317241e-04,1.308642e-04,1.300221e-04,1.291977e-04,1.283906e-04,1.276007e-04,1.268277e-04,1.260714e-04,1.253314e-04,1.246075e-04,1.238995e-04,1.232070e-04,1.225298e-04,1.218677e-04,1.212203e-04,1.205874e-04,1.199687e-04
0.000000e+00,2.083221e-09,6.208380e-09,3.148733e-08,9.235175e-08,1.511624e-07,4.382325e-07,4.553866e-07,1.066319e-06,1.312147e-06,2.134771e-06,3.069199e-06,3.840377e-06,6.140467e-06,6.378586e-06,9.924720e-06,1.094040e-05,1.459793e-05,1.773060e-05,2.045511e-05,2.659703e-05,2.750557e-05,3.572643e-05,3.750738e-05,4.507237e-05,5.035677e-05,5.548102e-05,6.499011e-05,6.687612e-05,7.916970e-05,8.121365e-05,9.226420e-05,9.880345e-05,1.060547e-04,1.175144e-04,1.204312e-04,1.352813e-04,1.370898e-04,1.504923e-04,1.572709e-04,1.659538e-04,1.778065e-04,1.815595e-04,1.972089e-04,1.984599e-04,2.128086e-04,2.190153e-04,2.282735e-04,2.392815e-04,2.435271e-04,2.585018e-04,2.590942e-04,2.731391e-04,2.783161e-04,2.873891e-04,2.968365e-04,3.012106e-04,3.145699e-04,3.274408e-04,3.314531e-04,3.398039e-04,3.474433e-04,3.516456e-04,3.625152e-04,3.629574e-04,3.737359e-04,3.766583e-04,3.839814e-04,3.898744e-04,3.936979e-04,4.021755e-04,4.028920e-04,4.115731e-04,4.135814e-04,4.197523e-04,4.241182e-04,4.274426e-04,4.338166e-04,4.346579e-04,4.414133e-04,4.427106e-04,4.477246e-04,4.508362e-04,4.536078e-04,4.582311e-04,4.590797e-04,4.641566e-04,4.649334e-04,4.688553e-04,4.709811e-04,4.731921e-04,4.764119e-04,4.771832e-04,4.808447e-04,4.812627e-04,4.841921e-04,4.855693e-04,4.872404e-04,4.893662e-04,4.900045e-04,4.924985e-04,4.926868e-04,4.947363e-04,4.955626e-04,4.967311e-04,4.980240e-04,4.984956e-04,5.000422e-04,5.000997e-04,5.013826e-04,5.018168e-04,5.025280e-04,5.032010e-04,5.034893e-04,5.042766e-04,5.049000e-04,5.050664e-04,5.053688e-04,5.055918e-04,5.056918e-04,5.058728e-04,5.058778e-04,5.059347e-04,5.059285e-04,5.058703e-04,5.057765e-04,5.056920e-04,5.054334e-04,5.054068e-04,5.050213e-04,5.049146e-04,5.045419e-04,5.042346e-04,5.039745e-04,5.034070e-04,5.033249e-04,5.025984e-04,5.024444e-04,5.018002e-04,5.013585e-04,5.009352e-04,5.001603e-04,5.000080e-04,4.990229e-04,4.988602e-04,4.979841e-04,4.974675e-04,4.968955e-04,4.959913e-04,4.957609e-04,4.945838e-04,4.944398e-04,4.933675e-04,4.928207e-04,4.921152e-04,4.911412e-04,4.908298e-04,4.895143e-04,4.894079e-04,4.881713e-04,4.876270e-04,4.868033e-04,4.858043e-04,4.854128e-04,4.840020e-04,4.839451e-04,4.825729e-04,4.820545e-04,4.811278e-04,4.801369e-04,4.796684e-04,4.781966e-04,4.762377e-04,4.742638e-04,4.722782e-04,4.702841e-04,4.682843e-04,4.662817e-04,4.642786e-04,4.622773e-04,4.602799e-04,4.582883e-04,4.563044e-04,4.543296e-04,4.523656e-04,4.504136e-04,4.484749e-04,4.465506e-04,4.446418e-04,4.427494e-04,4.408742e-04,4.390170e-04,4.371784e-04,4.353591e-04,4.335596e-04,4.317803e-04
0.000000e+00,3.888557e-10,1.147586e-09,5.703278e-09,1.641801e-08,2.659549e-08,7.501355e-08,7.786103e-08,1.772027e-07,2.163302e-07,3.448935e-07,4.877399e-07,6.038320e-07,9.439578e-07,9.788059e-07,1.493316e-06,1.639678e-06,2.164815e-06,2.613136e-06,3.002402e-06,3.878665e-06,4.008193e-06,5.179875e-06,5.433724e-06,6.512620e-06,7.267242e-06,8.000092e-06,9.363736e-06,9.634862e-06,1.140852e-05,1.170458e-05,1.331167e-05,1.426817e-05,1.533395e-05,1.702999e-05,1.746407e-05,1.968989e-05,1.996282e-05,2.199861e-05,2.303729e-05,2.437692e-05,2.622262e-05,2.681124e-05,2.928794e-05,2.948750e-05,3.179359e-05,3.280101e-05,3.431512e-05,3.613341e-05,3.684004e-05,3.935659e-05,3.945692e-05,4.185383e-05,4.274616e-05,4.432177e-05,4.597859e-05,4.675140e-05,4.913473e-05,5.146480e-05,5.219817e-05,5.373565e-05,5.515559e-05,5.594231e-05,5.799649e-05,5.808067e-05,6.014744e-05,6.071295e-05,6.214009e-05,6.329931e-05,6.405679e-05,6.575205e-05,6.589636e-05,6.765821e-05,6.806947e-05,6.934223e-05,7.025138e-05,7.094874e-05,7.229892e-05,7.247847e-05,7.393245e-05,7.421428e-05,7.531204e-05,7.600055e-05,7.661885e-05,7.766167e-05,7.785472e-05,7.902160e-05,7.920202e-05,8.012145e-05,8.062619e-05,8.115636e-05,8.193896e-05,8.212845e-05,8.303984e-05,8.314523e-05,8.389268e-05,8.424992e-05,8.468908e-05,8.525792e-05,8.543118e-05,8.612107e-05,8.617407e-05,8.676082e-05,8.700313e-05,8.735245e-05,8.774976e-05,8.789796e-05,8.839928e-05,8.841844e-05,8.885831e-05,8.901355e-05,8.927686e-05,8.953927e-05,8.965672e-05,8.999961e-05,9.030720e-05,9.039843e-05,9.058109e-05,9.073942e-05,9.082285e-05,9.102609e-05,9.103396e-05,9.121588e-05,9.126178e-05,9.136999e-05,9.144966e-05,9.149763e-05,9.159277e-05,9.160007e-05,9.167856e-05,9.169397e-05,9.173428e-05,9.175597e-05,9.176837e-05,9.178134e-05,9.178191e-05,9.177596e-05,9.177252e-05,9.175152e-05,9.173182e-05,9.170954e-05,9.166141e-05,9.165096e-05,9.157664e-05,9.156335e-05,9.148744e-05,9.143958e-05,9.138417e-05,9.129194e-05,9.126760e-05,9.113846e-05,9.112216e-05,9.099748e-05,9.093186e-05,9.084532e-05,9.072260e-05,9.068263e-05,9.051004e-05,9.049582e-05,9.032813e-05,9.025289e-05,9.013748e-05,8.999509e-05,8.993861e-05,8.973206e-05,8.972364e-05,8.951831e-05,8.943968e-05,8.929783e-05,8.914429e-05,8.907107e-05,8.883846e-05,8.852316e-05,8.819928e-05,8.786765e-05,8.752906e-05,8.718426e-05,8.683393e-05,8.647874e-05,8.611928e-05,8.575614e-05,8.538986e-05,8.502093e-05,8.464983e-05,8.427699e-05,8.390284e-05,8.352776e-05,8.315211e-05,8.277622e-05,8.240040e-05,8.202496e-05,8.165015e-05,8.127624e-05,8.090347e-05,8.053204e-05,8.016216e-05
0.000000e+00,3.682359e-09,1.100948e-08,5.618629e-08,1.656020e-07,2.716699e-07,7.906786e-07,8.217034e-07,1.924515e-06,2.366645e-06,3.838635e-06,5.497923e-06,6.859261e-06,1.089591e-05,1.131301e-05,1.754157e-05,1.933716e-05,2.586422e-05,3.153619e-05,3.652955e-05,4.797530e-05,4.968880e-05,6.540084e-05,6.884937e-05,8.365088e-05,9.412206e-05,1.043674e-04,1.235915e-04,1.274343e-04,1.526991e-04,1.569336e-04,1.799799e-04,1.937313e-04,2.090716e-04,2.334993e-04,2.397511e-04,2.717839e-04,2.757074e-04,3.049293e-04,3.198034e-04,3.389458e-04,3.652344e-04,3.735957e-04,4.086495e-04,4.114646e-04,4.438891e-04,4.579907e-04,4.791103e-04,5.043520e-04,5.141251e-04,5.487625e-04,5.501379e-04,5.828695e-04,5.949916e-04,6.163110e-04,6.386105e-04,6.489696e-04,6.807452e-04,7.115537e-04,7.211965e-04,7.413264e-04,7.598116e-04,7.700086e-04,7.964788e-04,7.975587e-04,8.239464e-04,8.311238e-04,8.491522e-04,8.637037e-04,8.731657e-04,8.942031e-04,8.959847e-04,9.176142e-04,9.226294e-04,9.380653e-04,9.490090e-04,9.573542e-04,9.733836e-04,9.755018e-04,9.925327e-04,9.958072e-04,1.008474e-03,1.016343e-03,1.023356e-03,1.035062e-03,1.037211e-03,1.050072e-03,1.052040e-03,1.061973e-03,1.067355e-03,1.072950e-03,1.081089e-03,1.083037e-03,1.092272e-03,1.093324e-03,1.100688e-03,1.104141e-03,1.108321e-03,1.113621e-03,1.115207e-03,1.121379e-03,1.121843e-03,1.126871e-03,1.128885e-03,1.131716e-03,1.134821e-03,1.135945e-03,1.139589e-03,1.139723e-03,1.142679e-03,1.143662e-03,1.145244e-03,1.146702e-03,1.147311e-03,1.148908e-03,1.150061e-03,1.150340e-03,1.150795e-03,1.151055e-03,1.151133e-03,1.151108e-03,1.151100e-03,1.150716e-03,1.150549e-03,1.150004e-03,1.149427e-03,1.148983e-03,1.147788e-03,1.147673e-03,1.146092e-03,1.145674e-03,1.144257e-03,1.143126e-03,1.142186e-03,1.140181e-03,1.139895e-03,1.137398e-03,1.136875e-03,1.134710e-03,1.133242e-03,1.131845e-03,1.129311e-03,1.128816e-03,1.125636e-03,1.125113e-03,1.122315e-03,1.120674e-03,1.118865e-03,1.116020e-03,1.115298e-03,1.111622e-03,1.111174e-03,1.107847e-03,1.106157e-03,1.103983e-03,1.100991e-03,1.100037e-03,1.096019e-03,1.095694e-03,1.091934e-03,1.090284e-03,1.087792e-03,1.084777e-03,1.083598e-03,1.079358e-03,1.079188e-03,1.075080e-03,1.073531e-03,1.070768e-03,1.067819e-03,1.066428e-03,1.062064e-03,1.056278e-03,1.050469e-03,1.044648e-03,1.038823e-03,1.033002e-03,1.027193e-03,1.021401e-03,1.015634e-03,1.009896e-03,1.004193e-03,9.985288e-04,9.929082e-04,9.873346e-04,9.818115e-04,9.763420e-04,9.709286e-04,9.655738e-04,9.602798e-04,9.550483e-04,9.498811e-04,9.447795e-04,9.397448e-04,9.347779e-04,9.298798e-04
0.000000e+00,2.675279e-09,7.343554e-09,3.195167e-08,8.297698e-08,1.278786e-07,3.235724e-07,3.345710e-07,7.028547e-07,8.431740e-07,1.296051e-06,1.791813e-06,2.191523e-06,3.347172e-06,3.464019e-06,5.145608e-06,5.607786e-06,7.207178e-06,8.505898e-06,9.590412e-06,1.191113e-05,1.224210e-05,1.512336e-05,1.572455e-05,1.820585e-05,1.988054e-05,2.146659e-05,2.432791e-05,2.488447e-05,2.843842e-05,2.901824e-05,3.210671e-05,3.390154e-05,3.586690e-05,3.892579e-05,3.969602e-05,4.357104e-05,4.403805e-05,4.746930e-05,4.918623e-05,5.136897e-05,5.432090e-05,5.524940e-05,5.909144e-05,5.939661e-05,6.287764e-05,6.437296e-05,6.659258e-05,6.921560e-05,7.022284e-05,7.375691e-05,7.389613e-05,7.718514e-05,7.839183e-05,8.049972e-05,8.268553e-05,8.369452e-05,8.676491e-05,8.970768e-05,9.062208e-05,9.252092e-05,9.425287e-05,9.520353e-05,9.765582e-05,9.775539e-05,1.001773e-04,1.008323e-04,1.024707e-04,1.037858e-04,1.046374e-04,1.065211e-04,1.066800e-04,1.086013e-04,1.090447e-04,1.104043e-04,1.113635e-04,1.120922e-04,1.134853e-04,1.136687e-04,1.151373e-04,1.154184e-04,1.165017e-04,1.171712e-04,1.177655e-04,1.187522e-04,1.189326e-04,1.200066e-04,1.201700e-04,1.209912e-04,1.214331e-04,1.218900e-04,1.225498e-04,1.227067e-04,1.234447e-04,1.235281e-04,1.241074e-04,1.243760e-04,1.246982e-04,1.251012e-04,1.252204e-04,1.256771e-04,1.257109e-04,1.260713e-04,1.262122e-04,1.264061e-04,1.266120e-04,1.266843e-04,1.269087e-04,1.269166e-04,1.270819e-04,1.271323e-04,1.272066e-04,1.272650e-04,1.272852e-04,1.273202e-04,1.273138e-04,1.273033e-04,1.272682e-04,1.272195e-04,1.271856e-04,1.270734e-04,1.270680e-04,1.269175e-04,1.268696e-04,1.267357e-04,1.266125e-04,1.265247e-04,1.263061e-04,1.262861e-04,1.260215e-04,1.259543e-04,1.257325e-04,1.255607e-04,1.254208e-04,1.251287e-04,1.250876e-04,1.247344e-04,1.246615e-04,1.243626e-04,1.241623e-04,1.239734e-04,1.236338e-04,1.235679e-04,1.231474e-04,1.230788e-04,1.227130e-04,1.224998e-04,1.222657e-04,1.218992e-04,1.218065e-04,1.213363e-04,1.212792e-04,1.208562e-04,1.206419e-04,1.203668e-04,1.199893e-04,1.198692e-04,1.193640e-04,1.193233e-04,1.188519e-04,1.186454e-04,1.183338e-04,1.179574e-04,1.178103e-04,1.172819e-04,1.172607e-04,1.167494e-04,1.165568e-04,1.162133e-04,1.158469e-04,1.156741e-04,1.151323e-04,1.144142e-04,1.136935e-04,1.129712e-04,1.122483e-04,1.115256e-04,1.108038e-04,1.100838e-04,1.093661e-04,1.086513e-04,1.079401e-04,1.072330e-04,1.065303e-04,1.058326e-04,1.051403e-04,1.044537e-04,1.037730e-04,1.030987e-04,1.024310e-04,1.017701e-04,1.011162e-04,1.004695e-04,9.983012e-05,9.919829e-05,9.857408e-05
0.000000e+00,1.098975e-07,3.282498e-07,1.671953e-06,4.920080e-06,8.065371e-06,2.344282e-05,2.436193e-05,5.705831e-05,7.018656e-05,1.139909e-04,1.635367e-04,2.042919e-04,3.253903e-04,3.379029e-04,5.240908e-04,5.774304e-04,7.697949e-04,9.350549e-04,1.079230e-03,1.405888e-03,1.454405e-03,1.895662e-03,1.991776e-03,2.401998e-03,2.690334e-03,2.971237e-03,3.495663e-03,3.600132e-03,4.284470e-03,4.398781e-03,5.019177e-03,5.388050e-03,5.798458e-03,6.449714e-03,6.615949e-03,7.464882e-03,7.568535e-03,8.338258e-03,8.728466e-03,9.229013e-03,9.913309e-03,1.013017e-02,1.103497e-02,1.110732e-02,1.193701e-02,1.229569e-02,1.283029e-02,1.346493e-02,1.370933e-02,1.456919e-02,1.460312e-02,1.540552e-02,1.570008e-02,1.621451e-02,1.674737e-02,1.699299e-02,1.773830e-02,1.844834e-02,1.866783e-02,1.912151e-02,1.953245e-02,1.975668e-02,2.033003e-02,2.035314e-02,2.091055e-02,2.105962e-02,2.142893e-02,2.172133e-02,2.190856e-02,2.231606e-02,2.234999e-02,2.275397e-02,2.284545e-02,2.312143e-02,2.331165e-02,2.345345e-02,2.371728e-02,2.375125e-02,2.401614e-02,2.406530e-02,2.424954e-02,2.435894e-02,2.445290e-02,2.460159e-02,2.462770e-02,2.477544e-02,2.479667e-02,2.489762e-02,2.494761e-02,2.499570e-02,2.505781e-02,2.507116e-02,2.512541e-02,2.513056e-02,2.515984e-02,2.516906e-02,2.517580e-02,2.517638e-02,2.517459e-02,2.515747e-02,2.515545e-02,2.512562e-02,2.510902e-02,2.508021e-02,2.503972e-02,2.502231e-02,2.495298e-02,2.494998e-02,2.487320e-02,2.484210e-02,2.478390e-02,2.471819e-02,2.468597e-02,2.458023e-02,2.446747e-02,2.443002e-02,2.434842e-02,2.426925e-02,2.422377e-02,2.409944e-02,2.409417e-02,2.396022e-02,2.392201e-02,2.382247e-02,2.373822e-02,2.368146e-02,2.354925e-02,2.353766e-02,2.339153e-02,2.335616e-02,2.324348e-02,2.315988e-02,2.309391e-02,2.296130e-02,2.294316e-02,2.279157e-02,2.276118e-02,2.263945e-02,2.256022e-02,2.248706e-02,2.235904e-02,2.233466e-02,2.218250e-02,2.215819e-02,2.203077e-02,2.195815e-02,2.187968e-02,2.175938e-02,2.172939e-02,2.158008e-02,2.156223e-02,2.143188e-02,2.136706e-02,2.128492e-02,2.117414e-02,2.113932e-02,2.099519e-02,2.098373e-02,2.085262e-02,2.079604e-02,2.071168e-02,2.061126e-02,2.057245e-02,2.043499e-02,2.042953e-02,2.029936e-02,2.025099e-02,2.016561e-02,2.007574e-02,2.003376e-02,1.990386e-02,1.973541e-02,1.957045e-02,1.940899e-02,1.925106e-02,1.909666e-02,1.894579e-02,1.879842e-02,1.865455e-02,1.851414e-02,1.837714e-02,1.824353e-02,1.811325e-02,1.798625e-02,1.786248e-02,1.774188e-02,1.762440e-02,1.750997e-02,1.739852e-02,1.729000e-02,1.718435e-02,1.708148e-02,1.698135e-02,1.688389e-02,1.678903e-02
0.000000e+00,5.368394e-09,1.236837e-08,4.284882e-08,9.801366e-08,1.434706e-07,3.292710e-07,3.393778e-07,6.674286e-07,7.886864e-07,1.169847e-06,1.570782e-06,1.882130e-06,2.729960e-06,2.812050e-06,3.943683e-06,4.243080e-06,5.257950e-06,6.068040e-06,6.740005e-06,8.173295e-06,8.377635e-06,1.015888e-05,1.053123e-05,1.207066e-05,1.311159e-05,1.409835e-05,1.587938e-05,1.622576e-05,1.843552e-05,1.879552e-05,2.070956e-05,2.181858e-05,2.302965e-05,2.490679e-05,2.537784e-05,2.773699e-05,2.802004e-05,3.009105e-05,3.112140e-05,3.242538e-05,3.417815e-05,3.472687e-05,3.698400e-05,3.716235e-05,3.918699e-05,4.005114e-05,4.132766e-05,4.282657e-05,4.339937e-05,4.539686e-05,4.547516e-05,4.731618e-05,4.798742e-05,4.915450e-05,5.035731e-05,5.090998e-05,5.258166e-05,5.416932e-05,5.465968e-05,5.567341e-05,5.659255e-05,5.709477e-05,5.838257e-05,5.843462e-05,5.969465e-05,6.003341e-05,6.087676e-05,6.154950e-05,6.198306e-05,6.293586e-05,6.301583e-05,6.397745e-05,6.419792e-05,6.487036e-05,6.534131e-05,6.569706e-05,6.637178e-05,6.646007e-05,6.716190e-05,6.729515e-05,6.780507e-05,6.811715e-05,6.839204e-05,6.884344e-05,6.892524e-05,6.940706e-05,6.947954e-05,6.983982e-05,7.003079e-05,7.022580e-05,7.050238e-05,7.056720e-05,7.086616e-05,7.089928e-05,7.112475e-05,7.122627e-05,7.134500e-05,7.148792e-05,7.152882e-05,7.167810e-05,7.168860e-05,7.179462e-05,7.183246e-05,7.188014e-05,7.192344e-05,7.193630e-05,7.196473e-05,7.196531e-05,7.196694e-05,7.196161e-05,7.194443e-05,7.191572e-05,7.189860e-05,7.183082e-05,7.174238e-05,7.170992e-05,7.163452e-05,7.155585e-05,7.150844e-05,7.137130e-05,7.136526e-05,7.120609e-05,7.115879e-05,7.103194e-05,7.092069e-05,7.084383e-05,7.065923e-05,7.064268e-05,7.042940e-05,7.037650e-05,7.020484e-05,7.007448e-05,6.996984e-05,6.975501e-05,6.972516e-05,6.947155e-05,6.941982e-05,6.920971e-05,6.907053e-05,6.894031e-05,6.870865e-05,6.866400e-05,6.838137e-05,6.833560e-05,6.809300e-05,6.795271e-05,6.779944e-05,6.756120e-05,6.750121e-05,6.719879e-05,6.716224e-05,6.689265e-05,6.675688e-05,6.658323e-05,6.634614e-05,6.627095e-05,6.595620e-05,6.593093e-05,6.563936e-05,6.551211e-05,6.532077e-05,6.509050e-05,6.500078e-05,6.467969e-05,6.466682e-05,6.435779e-05,6.424177e-05,6.403538e-05,6.381597e-05,6.371270e-05,6.339002e-05,6.296444e-05,6.253975e-05,6.211638e-05,6.169477e-05,6.127529e-05,6.085829e-05,6.044409e-05,6.003299e-05,5.962523e-05,5.922107e-05,5.882070e-05,5.842433e-05,5.803212e-05,5.764422e-05,5.726077e-05,5.688188e-05,5.650766e-05,5.613819e-05,5.577354e-05,5.541378e-05,5.505895e-05,5.470909e-05,5.436423e-05,5.402439e-05
0.000000e+00,1.770463e-08,4.242309e-08,1.541264e-07,3.628718e-07,5.385946e-07,1.280409e-06,1.321665e-06,2.701919e-06,3.230303e-06,4.950056e-06,6.855831e-06,8.406609e-06,1.294137e-05,1.340312e-05,2.008954e-05,2.193576e-05,2.833042e-05,3.351262e-05,3.782325e-05,4.697549e-05,4.827164e-05,5.945147e-05,6.176029e-05,7.120303e-05,7.749932e-05,8.340760e-05,9.393893e-05,9.596923e-05,1.088041e-04,1.108779e-04,1.218353e-04,1.281386e-04,1.349904e-04,1.455575e-04,1.482010e-04,1.614033e-04,1.629842e-04,1.745384e-04,1.802826e-04,1.875529e-04,1.973336e-04,2.003990e-04,2.130352e-04,2.140359e-04,2.254256e-04,2.303060e-04,2.375400e-04,2.460773e-04,2.493536e-04,2.608462e-04,2.612990e-04,2.720023e-04,2.759338e-04,2.828102e-04,2.899562e-04,2.932614e-04,3.033506e-04,3.130749e-04,3.161094e-04,3.224336e-04,3.282316e-04,3.314276e-04,3.397212e-04,3.400596e-04,3.483334e-04,3.505864e-04,3.562537e-04,3.608387e-04,3.638264e-04,3.704916e-04,3.710577e-04,3.779545e-04,3.795608e-04,3.845240e-04,3.880629e-04,3.907740e-04,3.960157e-04,3.967121e-04,4.023464e-04,4.034375e-04,4.076850e-04,4.103469e-04,4.127360e-04,4.167626e-04,4.175076e-04,4.220080e-04,4.227034e-04,4.262451e-04,4.281879e-04,4.302272e-04,4.332345e-04,4.339621e-04,4.374578e-04,4.378615e-04,4.407219e-04,4.420868e-04,4.437622e-04,4.459278e-04,4.465862e-04,4.492012e-04,4.494015e-04,4.516144e-04,4.525248e-04,4.538330e-04,4.553137e-04,4.558638e-04,4.577138e-04,4.577841e-04,4.593894e-04,4.599512e-04,4.608972e-04,4.618299e-04,4.622435e-04,4.634345e-04,4.644761e-04,4.647788e-04,4.653742e-04,4.658763e-04,4.661344e-04,4.667398e-04,4.667625e-04,4.672636e-04,4.673819e-04,4.676431e-04,4.678145e-04,4.679060e-04,4.680491e-04,4.680572e-04,4.681017e-04,4.680970e-04,4.680439e-04,4.679687e-04,4.678885e-04,4.676745e-04,4.676398e-04,4.673021e-04,4.672242e-04,4.668794e-04,4.666274e-04,4.663758e-04,4.658930e-04,4.657951e-04,4.651410e-04,4.650298e-04,4.644171e-04,4.640459e-04,4.636270e-04,4.629494e-04,4.627740e-04,4.618613e-04,4.617479e-04,4.608921e-04,4.604486e-04,4.598696e-04,4.590585e-04,4.587965e-04,4.576757e-04,4.575841e-04,4.565100e-04,4.560318e-04,4.553021e-04,4.544076e-04,4.540544e-04,4.527694e-04,4.527173e-04,4.514495e-04,4.509662e-04,4.500970e-04,4.491597e-04,4.487140e-04,4.473027e-04,4.453999e-04,4.434557e-04,4.414743e-04,4.394600e-04,4.374163e-04,4.353470e-04,4.332555e-04,4.311451e-04,4.290187e-04,4.268794e-04,4.247298e-04,4.225725e-04,4.204099e-04,4.182444e-04,4.160781e-04,4.139130e-04,4.117511e-04,4.095940e-04,4.074435e-04,4.053012e-04,4.031684e-04,4.010466e-04,3.989369e-04,3.968407e-04
0.000000e+00,2.056618e-09,6.108927e-09,3.077696e-08,8.974861e-08,1.464632e-07,4.217125e-07,4.381126e-07,1.020833e-06,1.254985e-06,2.038403e-06,2.928252e-06,3.662049e-06,5.842144e-06,6.066880e-06,9.390721e-06,1.033541e-05,1.371590e-05,1.659096e-05,1.908078e-05,2.467136e-05,2.549673e-05,3.295916e-05,3.457603e-05,4.145272e-05,4.626917e-05,5.095319e-05,5.968800e-05,6.142779e-05,7.283488e-05,7.474328e-05,8.512369e-05,9.131827e-05,9.823437e-05,1.092688e-04,1.120983e-04,1.266389e-04,1.284253e-04,1.417726e-04,1.485966e-04,1.574105e-04,1.695753e-04,1.734595e-04,1.898242e-04,1.911441e-04,2.064087e-04,2.130828e-04,2.231181e-04,2.351742e-04,2.398600e-04,2.565459e-04,2.572109e-04,2.730922e-04,2.789996e-04,2.894215e-04,3.003649e-04,3.054628e-04,3.211523e-04,3.364337e-04,3.412294e-04,3.512581e-04,3.604866e-04,3.655843e-04,3.788367e-04,3.793778e-04,3.926112e-04,3.962132e-04,4.052636e-04,4.125697e-04,4.173200e-04,4.278773e-04,4.287709e-04,4.396121e-04,4.421232e-04,4.498436e-04,4.553083e-04,4.594694e-04,4.674450e-04,4.684971e-04,4.769369e-04,4.785555e-04,4.848019e-04,4.886694e-04,4.921070e-04,4.978226e-04,4.988687e-04,5.051049e-04,5.060552e-04,5.108346e-04,5.134106e-04,5.160773e-04,5.199343e-04,5.208531e-04,5.251824e-04,5.256729e-04,5.290856e-04,5.306733e-04,5.325830e-04,5.349820e-04,5.356946e-04,5.384402e-04,5.386446e-04,5.408391e-04,5.417058e-04,5.429101e-04,5.442086e-04,5.446717e-04,5.461414e-04,5.461943e-04,5.473363e-04,5.477024e-04,5.482728e-04,5.487701e-04,5.489667e-04,5.494330e-04,5.496862e-04,5.497245e-04,5.497401e-04,5.496760e-04,5.496077e-04,5.493169e-04,5.493015e-04,5.488333e-04,5.486747e-04,5.482145e-04,5.477753e-04,5.474556e-04,5.466424e-04,5.465667e-04,5.455575e-04,5.452984e-04,5.444369e-04,5.437640e-04,5.432136e-04,5.420583e-04,5.418954e-04,5.404901e-04,5.401993e-04,5.390049e-04,5.382032e-04,5.374464e-04,5.360854e-04,5.358211e-04,5.341350e-04,5.338600e-04,5.323937e-04,5.315398e-04,5.306024e-04,5.291368e-04,5.287662e-04,5.268898e-04,5.266622e-04,5.249776e-04,5.241259e-04,5.230336e-04,5.215373e-04,5.210617e-04,5.190656e-04,5.189050e-04,5.170487e-04,5.162369e-04,5.150142e-04,5.135401e-04,5.129650e-04,5.109039e-04,5.108212e-04,5.088335e-04,5.080863e-04,5.067562e-04,5.053409e-04,5.046744e-04,5.025901e-04,4.998384e-04,4.970900e-04,4.943486e-04,4.916179e-04,4.889008e-04,4.862002e-04,4.835186e-04,4.808583e-04,4.782214e-04,4.756096e-04,4.730247e-04,4.704680e-04,4.679409e-04,4.654444e-04,4.629796e-04,4.605471e-04,4.581479e-04,4.557823e-04,4.534510e-04,4.511544e-04,4.488927e-04,4.466662e-04,4.444751e-04,4.423193e-04
0.000000e+00,1.484459e-07,4.441467e-07,2.271116e-06,6.710513e-06,1.102765e-05,3.228555e-05,3.356207e-05,7.926409e-05,9.773809e-05,1.597442e-04,2.304067e-04,2.888844e-04,4.644397e-04,4.827389e-04,7.589373e-04,8.394732e-04,1.135163e-03,1.395391e-03,1.626609e-03,2.162512e-03,2.243307e-03,2.988846e-03,3.153300e-03,3.860936e-03,4.362361e-03,4.852942e-03,5.772032e-03,5.955403e-03,7.157176e-03,7.357878e-03,8.446203e-03,9.092274e-03,9.810019e-03,1.094650e-02,1.123610e-02,1.271212e-02,1.289203e-02,1.422616e-02,1.490142e-02,1.576684e-02,1.694897e-02,1.732347e-02,1.888610e-02,1.901109e-02,2.044561e-02,2.106666e-02,2.199374e-02,2.309715e-02,2.352308e-02,2.502708e-02,2.508663e-02,2.650001e-02,2.702170e-02,2.793697e-02,2.889139e-02,2.933377e-02,3.068697e-02,3.199374e-02,3.240173e-02,3.325189e-02,3.403079e-02,3.445973e-02,3.557083e-02,3.561608e-02,3.672018e-02,3.701991e-02,3.777165e-02,3.837725e-02,3.877046e-02,3.964306e-02,3.971685e-02,4.061134e-02,4.081836e-02,4.145463e-02,4.190484e-02,4.224762e-02,4.290469e-02,4.299138e-02,4.368707e-02,4.382056e-02,4.433598e-02,4.465538e-02,4.493947e-02,4.541234e-02,4.549896e-02,4.601592e-02,4.609478e-02,4.649184e-02,4.670615e-02,4.692824e-02,4.724993e-02,4.732665e-02,4.768859e-02,4.772964e-02,4.801557e-02,4.814875e-02,4.830909e-02,4.851070e-02,4.857063e-02,4.880163e-02,4.881884e-02,4.900352e-02,4.907643e-02,4.917768e-02,4.928666e-02,4.932545e-02,4.944816e-02,4.945256e-02,4.954706e-02,4.957708e-02,4.962339e-02,4.966301e-02,4.967834e-02,4.971306e-02,4.972864e-02,4.972976e-02,4.972616e-02,4.971557e-02,4.970664e-02,4.967278e-02,4.967106e-02,4.962036e-02,4.960357e-02,4.955544e-02,4.951003e-02,4.947717e-02,4.939408e-02,4.938638e-02,4.928385e-02,4.925758e-02,4.917034e-02,4.910225e-02,4.904657e-02,4.892971e-02,4.891323e-02,4.877097e-02,4.874150e-02,4.862041e-02,4.853905e-02,4.846216e-02,4.832369e-02,4.829677e-02,4.812478e-02,4.809669e-02,4.794671e-02,4.785922e-02,4.776303e-02,4.761237e-02,4.757422e-02,4.738070e-02,4.735718e-02,4.718289e-02,4.709459e-02,4.698118e-02,4.682551e-02,4.677595e-02,4.656755e-02,4.655075e-02,4.635631e-02,4.627109e-02,4.614255e-02,4.598725e-02,4.592656e-02,4.570864e-02,4.569988e-02,4.548904e-02,4.540962e-02,4.526801e-02,4.511703e-02,4.504581e-02,4.482264e-02,4.452693e-02,4.423037e-02,4.393337e-02,4.363632e-02,4.333956e-02,4.304342e-02,4.274820e-02,4.245418e-02,4.216160e-02,4.187069e-02,4.158166e-02,4.129470e-02,4.100997e-02,4.072763e-02,4.044782e-02,4.017066e-02,3.989626e-02,3.962473e-02,3.935615e-02,3.909059e-02,3.882812e-02,3.856879e-02,3.831266e-02,3.805977e-02
0.000000e+00,1.941126e-09,5.777128e-09,2.920475e-08,8.533457e-08,1.393267e-07,4.005488e-07,4.160575e-07,9.626111e-07,1.179810e-06,1.897486e-06,2.698823e-06,3.351556e-06,5.267982e-06,5.464659e-06,8.379507e-06,9.213692e-06,1.223048e-05,1.483803e-05,1.712605e-05,2.234887e-05,2.312818e-05,3.023789e-05,3.178845e-05,3.839581e-05,4.301836e-05,4.749603e-05,5.577063e-05,5.740424e-05,6.797326e-05,6.971561e-05,7.905386e-05,8.451155e-05,9.050165e-05,9.983286e-05,1.021812e-04,1.139682e-04,1.153844e-04,1.257511e-04,1.309084e-04,1.374313e-04,1.461864e-04,1.489233e-04,1.601544e-04,1.610397e-04,1.710641e-04,1.753265e-04,1.816030e-04,1.889392e-04,1.917322e-04,2.014221e-04,2.018002e-04,2.106514e-04,2.138582e-04,2.194059e-04,2.250835e-04,2.276778e-04,2.354648e-04,2.427688e-04,2.450049e-04,2.495956e-04,2.537184e-04,2.559542e-04,2.616282e-04,2.618557e-04,2.673133e-04,2.687639e-04,2.723418e-04,2.751594e-04,2.769569e-04,2.808517e-04,2.811750e-04,2.850131e-04,2.858796e-04,2.884884e-04,2.902825e-04,2.916181e-04,2.941000e-04,2.944194e-04,2.969092e-04,2.973712e-04,2.991040e-04,3.001341e-04,3.010200e-04,3.024255e-04,3.026729e-04,3.040779e-04,3.042807e-04,3.052496e-04,3.057333e-04,3.062021e-04,3.068154e-04,3.069490e-04,3.075030e-04,3.075571e-04,3.078767e-04,3.079870e-04,3.080817e-04,3.081317e-04,3.081293e-04,3.080302e-04,3.080162e-04,3.077944e-04,3.076641e-04,3.074317e-04,3.070970e-04,3.069511e-04,3.063612e-04,3.063355e-04,3.056702e-04,3.053982e-04,3.048858e-04,3.043028e-04,3.040153e-04,3.030655e-04,3.020430e-04,3.017015e-04,3.009539e-04,3.002245e-04,2.998038e-04,2.986475e-04,2.985983e-04,2.973424e-04,2.969823e-04,2.960409e-04,2.952400e-04,2.946983e-04,2.934304e-04,2.933188e-04,2.919065e-04,2.915630e-04,2.904649e-04,2.896462e-04,2.889977e-04,2.876879e-04,2.875080e-04,2.859990e-04,2.856951e-04,2.844734e-04,2.836745e-04,2.829341e-04,2.816321e-04,2.813833e-04,2.798236e-04,2.795733e-04,2.782570e-04,2.775032e-04,2.766855e-04,2.754262e-04,2.751112e-04,2.735356e-04,2.733466e-04,2.719606e-04,2.712680e-04,2.703874e-04,2.691940e-04,2.688176e-04,2.672525e-04,2.671275e-04,2.656932e-04,2.650714e-04,2.641409e-04,2.630282e-04,2.625966e-04,2.610612e-04,2.610000e-04,2.595356e-04,2.589889e-04,2.580205e-04,2.569967e-04,2.565168e-04,2.550250e-04,2.530751e-04,2.511484e-04,2.492458e-04,2.473684e-04,2.455169e-04,2.436919e-04,2.418942e-04,2.401240e-04,2.383819e-04,2.366680e-04,2.349827e-04,2.333260e-04,2.316980e-04,2.300988e-04,2.285283e-04,2.269864e-04,2.254730e-04,2.239880e-04,2.225311e-04,2.211022e-04,2.197009e-04,2.183270e-04,2.169802e-04,2.156601e-04
0.000000e+00,9.434016e-09,2.252359e-08,8.100116e-08,1.882038e-07,2.767759e-07,6.375147e-07,6.570418e-07,1.285145e-06,1.514909e-06,2.232770e-06,2.989010e-06,3.583502e-06,5.261157e-06,5.429091e-06,7.848729e-06,8.519672e-06,1.087235e-05,1.281741e-05,1.446164e-05,1.802340e-05,1.853473e-05,2.300402e-05,2.393858e-05,2.779487e-05,3.039275e-05,3.284712e-05,3.725644e-05,3.811106e-05,4.354321e-05,4.442527e-05,4.910361e-05,5.180694e-05,5.475424e-05,5.931505e-05,6.045847e-05,6.618086e-05,6.686715e-05,7.188751e-05,7.438510e-05,7.754631e-05,8.179651e-05,8.312737e-05,8.860333e-05,8.903611e-05,9.394965e-05,9.604695e-05,9.914478e-05,1.027812e-04,1.041703e-04,1.090107e-04,1.092002e-04,1.136535e-04,1.152746e-04,1.180890e-04,1.209831e-04,1.223102e-04,1.263124e-04,1.300931e-04,1.312560e-04,1.336518e-04,1.358132e-04,1.369894e-04,1.399880e-04,1.401086e-04,1.430131e-04,1.437885e-04,1.457076e-04,1.472259e-04,1.481978e-04,1.503137e-04,1.504900e-04,1.525909e-04,1.530674e-04,1.545077e-04,1.555034e-04,1.562478e-04,1.576390e-04,1.578188e-04,1.592285e-04,1.594918e-04,1.604845e-04,1.610795e-04,1.615945e-04,1.624196e-04,1.625660e-04,1.634065e-04,1.635293e-04,1.641231e-04,1.644252e-04,1.647231e-04,1.651236e-04,1.652131e-04,1.655999e-04,1.656396e-04,1.658897e-04,1.659882e-04,1.660888e-04,1.661831e-04,1.662031e-04,1.662381e-04,1.662376e-04,1.661992e-04,1.661642e-04,1.660917e-04,1.659745e-04,1.659203e-04,1.656898e-04,1.656795e-04,1.654047e-04,1.652894e-04,1.650690e-04,1.648139e-04,1.646868e-04,1.642619e-04,1.637978e-04,1.636416e-04,1.632980e-04,1.629609e-04,1.627657e-04,1.622268e-04,1.622037e-04,1.616151e-04,1.614459e-04,1.610025e-04,1.606244e-04,1.603683e-04,1.597679e-04,1.597150e-04,1.590448e-04,1.588816e-04,1.583597e-04,1.579703e-04,1.576618e-04,1.570384e-04,1.569528e-04,1.562346e-04,1.560899e-04,1.555086e-04,1.551285e-04,1.547764e-04,1.541576e-04,1.540394e-04,1.532989e-04,1.531802e-04,1.525561e-04,1.521991e-04,1.518122e-04,1.512169e-04,1.510681e-04,1.503249e-04,1.502358e-04,1.495835e-04,1.492580e-04,1.488446e-04,1.482853e-04,1.481091e-04,1.473777e-04,1.473193e-04,1.466509e-04,1.463617e-04,1.459295e-04,1.454136e-04,1.452139e-04,1.445046e-04,1.444764e-04,1.438021e-04,1.435510e-04,1.431069e-04,1.426384e-04,1.424192e-04,1.417394e-04,1.408546e-04,1.399847e-04,1.391302e-04,1.382915e-04,1.374688e-04,1.366626e-04,1.358730e-04,1.351001e-04,1.343441e-04,1.336050e-04,1.328827e-04,1.321774e-04,1.314888e-04,1.308169e-04,1.301615e-04,1.295226e-04,1.288999e-04,1.282932e-04,1.277023e-04,1.271271e-04,1.265671e-04,1.260222e-04,1.254922e-04,1.249767e-04
0.000000e+00,2.078731e-10,6.047630e-10,2.915772e-09,8.157114e-09,1.300210e-08,3.511289e-08,3.637917e-08,7.904612e-08,9.523341e-08,1.466808e-07,2.014446e-07,2.445228e-07,3.653339e-07,3.773515e-07,5.493839e-07,5.968996e-07,7.639179e-07,9.033298e-07,1.022592e-06,1.286006e-06,1.324384e-06,1.664874e-06,1.736990e-06,2.036443e-06,2.238778e-06,2.429454e-06,2.768741e-06,2.833796e-06,3.240120e-06,3.304764e-06,3.640527e-06,3.828730e-06,4.028791e-06,4.327501e-06,4.400286e-06,4.751783e-06,4.792510e-06,5.081209e-06,5.218841e-06,5.387421e-06,5.604343e-06,5.670010e-06,5.929131e-06,5.948862e-06,6.165371e-06,6.253653e-06,6.379632e-06,6.520917e-06,6.573042e-06,6.746877e-06,6.753442e-06,6.902500e-06,6.954336e-06,7.041312e-06,7.126814e-06,7.164707e-06,7.274049e-06,7.370641e-06,7.399062e-06,7.455718e-06,7.504658e-06,7.530428e-06,7.593382e-06,7.595832e-06,7.652900e-06,7.667508e-06,7.702514e-06,7.729039e-06,7.745469e-06,7.779719e-06,7.782476e-06,7.814173e-06,7.821054e-06,7.841125e-06,7.854336e-06,7.863836e-06,7.880667e-06,7.882750e-06,7.898261e-06,7.900986e-06,7.910717e-06,7.916090e-06,7.920425e-06,7.926656e-06,7.927657e-06,7.932653e-06,7.933260e-06,7.935628e-06,7.936394e-06,7.936770e-06,7.936478e-06,7.936248e-06,7.934213e-06,7.933874e-06,7.930799e-06,7.928893e-06,7.926129e-06,7.921806e-06,7.920310e-06,7.913442e-06,7.912850e-06,7.905615e-06,7.902233e-06,7.896908e-06,7.890138e-06,7.887398e-06,7.877152e-06,7.876727e-06,7.866232e-06,7.862147e-06,7.854695e-06,7.846526e-06,7.842596e-06,7.829983e-06,7.816900e-06,7.812622e-06,7.803391e-06,7.794540e-06,7.789495e-06,7.775824e-06,7.775248e-06,7.760684e-06,7.756554e-06,7.745835e-06,7.736802e-06,7.730731e-06,7.716634e-06,7.715400e-06,7.699867e-06,7.696112e-06,7.684158e-06,7.675291e-06,7.668294e-06,7.654223e-06,7.652297e-06,7.636187e-06,7.632953e-06,7.619983e-06,7.611526e-06,7.603703e-06,7.589981e-06,7.587363e-06,7.570979e-06,7.568355e-06,7.554566e-06,7.546681e-06,7.538137e-06,7.524991e-06,7.521705e-06,7.505281e-06,7.503312e-06,7.488878e-06,7.481670e-06,7.472506e-06,7.460090e-06,7.456175e-06,7.439894e-06,7.438594e-06,7.423671e-06,7.417201e-06,7.407516e-06,7.395930e-06,7.391435e-06,7.375435e-06,7.374797e-06,7.359524e-06,7.353818e-06,7.343707e-06,7.333008e-06,7.327990e-06,7.312378e-06,7.291940e-06,7.271705e-06,7.251681e-06,7.231877e-06,7.212301e-06,7.192960e-06,7.173858e-06,7.155002e-06,7.136396e-06,7.118043e-06,7.099947e-06,7.082111e-06,7.064537e-06,7.047227e-06,7.030182e-06,7.013403e-06,6.996891e-06,6.980645e-06,6.964667e-06,6.948954e-06,6.933508e-06,6.918326e-06,6.903407e-06,6.888751e-06
0.000000e+00,5.449865e-10,1.562991e-09,7.326122e-09,2.002175e-08,3.154523e-08,8.309849e-08,8.602401e-08,1.841525e-07,2.213915e-07,3.404836e-07,4.688339e-07,5.709028e-07,8.603333e-07,8.892145e-07,1.299092e-06,1.410111e-06,1.789273e-06,2.091157e-06,2.338780e-06,2.853873e-06,2.925622e-06,3.531798e-06,3.654125e-06,4.144251e-06,4.462073e-06,4.753900e-06,5.259072e-06,5.354299e-06,5.940561e-06,6.032775e-06,6.508684e-06,6.773912e-06,7.055227e-06,7.474912e-06,7.577219e-06,8.072163e-06,8.129639e-06,8.538096e-06,8.733539e-06,8.973640e-06,9.283831e-06,9.378021e-06,9.751056e-06,9.779551e-06,1.009310e-05,1.022141e-05,1.040497e-05,1.061151e-05,1.068789e-05,1.094335e-05,1.095302e-05,1.117306e-05,1.124979e-05,1.137883e-05,1.150604e-05,1.156254e-05,1.172606e-05,1.187118e-05,1.191402e-05,1.199965e-05,1.207387e-05,1.211307e-05,1.220919e-05,1.221294e-05,1.230063e-05,1.232317e-05,1.237738e-05,1.241865e-05,1.244431e-05,1.249806e-05,1.250240e-05,1.255256e-05,1.256350e-05,1.259556e-05,1.261678e-05,1.263210e-05,1.265941e-05,1.266280e-05,1.268821e-05,1.269269e-05,1.270879e-05,1.271773e-05,1.272497e-05,1.273543e-05,1.273712e-05,1.274558e-05,1.274661e-05,1.275064e-05,1.275195e-05,1.275257e-05,1.275202e-05,1.275161e-05,1.274797e-05,1.274736e-05,1.274184e-05,1.273840e-05,1.273340e-05,1.272555e-05,1.272282e-05,1.271023e-05,1.270914e-05,1.269578e-05,1.268950e-05,1.267958e-05,1.266691e-05,1.266176e-05,1.264242e-05,1.264162e-05,1.262166e-05,1.261386e-05,1.259958e-05,1.258385e-05,1.257626e-05,1.255177e-05,1.252621e-05,1.251782e-05,1.249964e-05,1.248214e-05,1.247213e-05,1.244489e-05,1.244374e-05,1.241453e-05,1.240621e-05,1.238456e-05,1.236623e-05,1.235388e-05,1.232508e-05,1.232255e-05,1.229061e-05,1.228285e-05,1.225810e-05,1.223967e-05,1.222508e-05,1.219562e-05,1.219157e-05,1.215763e-05,1.215079e-05,1.212329e-05,1.210528e-05,1.208857e-05,1.205915e-05,1.205352e-05,1.201817e-05,1.201249e-05,1.198254e-05,1.196535e-05,1.194667e-05,1.191782e-05,1.191058e-05,1.187430e-05,1.186994e-05,1.183785e-05,1.182177e-05,1.180126e-05,1.177336e-05,1.176454e-05,1.172772e-05,1.172477e-05,1.169082e-05,1.167605e-05,1.165386e-05,1.162722e-05,1.161686e-05,1.157982e-05,1.157834e-05,1.154278e-05,1.152944e-05,1.150573e-05,1.148056e-05,1.146871e-05,1.143172e-05,1.138297e-05,1.133433e-05,1.128582e-05,1.123748e-05,1.118931e-05,1.114136e-05,1.109363e-05,1.104615e-05,1.099892e-05,1.095198e-05,1.090533e-05,1.085899e-05,1.081296e-05,1.076727e-05,1.072192e-05,1.067693e-05,1.063229e-05,1.058803e-05,1.054414e-05,1.050064e-05,1.045752e-05,1.041481e-05,1.037249e-05,1.033058e-05
0.000000e+00,4.390096e-09,1.274330e-08,6.131601e-08,1.718663e-07,2.747357e-07,7.528352e-07,7.806377e-07,1.742727e-06,2.119918e-06,3.358272e-06,4.731499e-06,5.840990e-06,9.024567e-06,9.343733e-06,1.389358e-05,1.513517e-05,1.942629e-05,2.291933e-05,2.584887e-05,3.216412e-05,3.306997e-05,4.100520e-05,4.267081e-05,4.957361e-05,5.425245e-05,5.869363e-05,6.671890e-05,6.828059e-05,7.824635e-05,7.986998e-05,8.850030e-05,9.349784e-05,9.895159e-05,1.073949e-04,1.095113e-04,1.200949e-04,1.213628e-04,1.306240e-04,1.352209e-04,1.410277e-04,1.488121e-04,1.512439e-04,1.612195e-04,1.620058e-04,1.709105e-04,1.746990e-04,1.802816e-04,1.868153e-04,1.893058e-04,1.979635e-04,1.983020e-04,2.062418e-04,2.091275e-04,2.141334e-04,2.192775e-04,2.216361e-04,2.287517e-04,2.354853e-04,2.375605e-04,2.418447e-04,2.457228e-04,2.478397e-04,2.532628e-04,2.534819e-04,2.587837e-04,2.602090e-04,2.637584e-04,2.665919e-04,2.684197e-04,2.724434e-04,2.727816e-04,2.768581e-04,2.777955e-04,2.806628e-04,2.826798e-04,2.842094e-04,2.871274e-04,2.875111e-04,2.905805e-04,2.911676e-04,2.934301e-04,2.948290e-04,2.960717e-04,2.981381e-04,2.985165e-04,3.007755e-04,3.011203e-04,3.028588e-04,3.037993e-04,3.047763e-04,3.061972e-04,3.065373e-04,3.081506e-04,3.083346e-04,3.096245e-04,3.102309e-04,3.109670e-04,3.119039e-04,3.121855e-04,3.132871e-04,3.133703e-04,3.142784e-04,3.146455e-04,3.151659e-04,3.157439e-04,3.159554e-04,3.166526e-04,3.166786e-04,3.172627e-04,3.174621e-04,3.177909e-04,3.181057e-04,3.182418e-04,3.186199e-04,3.189295e-04,3.190147e-04,3.191744e-04,3.192991e-04,3.193586e-04,3.194814e-04,3.194855e-04,3.195584e-04,3.195696e-04,3.195806e-04,3.195708e-04,3.195551e-04,3.194918e-04,3.194846e-04,3.193719e-04,3.193389e-04,3.192195e-04,3.191177e-04,3.190297e-04,3.188337e-04,3.188049e-04,3.185472e-04,3.184919e-04,3.182585e-04,3.180968e-04,3.179409e-04,3.176530e-04,3.175960e-04,3.172257e-04,3.171642e-04,3.168316e-04,3.166344e-04,3.164151e-04,3.160669e-04,3.159778e-04,3.155210e-04,3.154649e-04,3.150460e-04,3.148316e-04,3.145541e-04,3.141697e-04,3.140465e-04,3.135242e-04,3.134818e-04,3.129883e-04,3.127704e-04,3.124398e-04,3.120377e-04,3.118797e-04,3.113089e-04,3.112858e-04,3.107281e-04,3.105168e-04,3.101383e-04,3.097325e-04,3.095402e-04,3.089345e-04,3.081246e-04,3.073042e-04,3.064746e-04,3.056373e-04,3.047934e-04,3.039440e-04,3.030903e-04,3.022332e-04,3.013736e-04,3.005124e-04,2.996505e-04,2.987885e-04,2.979271e-04,2.970670e-04,2.962089e-04,2.953532e-04,2.945006e-04,2.936514e-04,2.928062e-04,2.919653e-04,2.911291e-04,2.902981e-04,2.894725e-04,2.886526e-04
0.000000e+00,4.146330e-09,9.707070e-09,3.403747e-08,7.784278e-08,1.136269e-07,2.571381e-07,2.648283e-07,5.090347e-07,5.970701e-07,8.684722e-07,1.149237e-06,1.366763e-06,1.967968e-06,2.027248e-06,2.866562e-06,3.095021e-06,3.884111e-06,4.524312e-06,5.058132e-06,6.194601e-06,6.355744e-06,7.745348e-06,8.031941e-06,9.201210e-06,9.977452e-06,1.070272e-05,1.198656e-05,1.223259e-05,1.377552e-05,1.402265e-05,1.531755e-05,1.605360e-05,1.684584e-05,1.805067e-05,1.834868e-05,1.981556e-05,1.998872e-05,2.123732e-05,2.184654e-05,2.260619e-05,2.360722e-05,2.391585e-05,2.516143e-05,2.525819e-05,2.633937e-05,2.679107e-05,2.744742e-05,2.820123e-05,2.848439e-05,2.945010e-05,2.948725e-05,3.034524e-05,3.065046e-05,3.117116e-05,3.169418e-05,3.192972e-05,3.262329e-05,3.325453e-05,3.344384e-05,3.382634e-05,3.416249e-05,3.434173e-05,3.478634e-05,3.480384e-05,3.521580e-05,3.532259e-05,3.558071e-05,3.577835e-05,3.590162e-05,3.616055e-05,3.618150e-05,3.642320e-05,3.647584e-05,3.662948e-05,3.673049e-05,3.680292e-05,3.693031e-05,3.694594e-05,3.706086e-05,3.708067e-05,3.714985e-05,3.718655e-05,3.721494e-05,3.725254e-05,3.725803e-05,3.728091e-05,3.728280e-05,3.728520e-05,3.728112e-05,3.727246e-05,3.725097e-05,3.724411e-05,3.720148e-05,3.719546e-05,3.714578e-05,3.711744e-05,3.707817e-05,3.701947e-05,3.699970e-05,3.691133e-05,3.690386e-05,3.681398e-05,3.677271e-05,3.670847e-05,3.662790e-05,3.659559e-05,3.647605e-05,3.647113e-05,3.635050e-05,3.630395e-05,3.621955e-05,3.612772e-05,3.608378e-05,3.594370e-05,3.579979e-05,3.575300e-05,3.565250e-05,3.555665e-05,3.550224e-05,3.535555e-05,3.534940e-05,3.519431e-05,3.515053e-05,3.503731e-05,3.494231e-05,3.487869e-05,3.473157e-05,3.471873e-05,3.455769e-05,3.451891e-05,3.439580e-05,3.430485e-05,3.423328e-05,3.408990e-05,3.407033e-05,3.390713e-05,3.387447e-05,3.374385e-05,3.365897e-05,3.358065e-05,3.344373e-05,3.341768e-05,3.325506e-05,3.322908e-05,3.309292e-05,3.301530e-05,3.293138e-05,3.280264e-05,3.277053e-05,3.261046e-05,3.259131e-05,3.245128e-05,3.238153e-05,3.229304e-05,3.217347e-05,3.213583e-05,3.197971e-05,3.196727e-05,3.182475e-05,3.176309e-05,3.167098e-05,3.156105e-05,3.151848e-05,3.136726e-05,3.136124e-05,3.121739e-05,3.116377e-05,3.106889e-05,3.096871e-05,3.092180e-05,3.077614e-05,3.058610e-05,3.039866e-05,3.021385e-05,3.003170e-05,2.985223e-05,2.967548e-05,2.950145e-05,2.933015e-05,2.916159e-05,2.899575e-05,2.883265e-05,2.867226e-05,2.851458e-05,2.835959e-05,2.820728e-05,2.805763e-05,2.791061e-05,2.776620e-05,2.762438e-05,2.748511e-05,2.734838e-05,2.721414e-05,2.708238e-05,2.695306e-05
0.000000e+00,1.111722e-09,2.882256e-09,1.148720e-08,2.816945e-08,4.229608e-08,1.009439e-07,1.041410e-07,2.070589e-07,2.445565e-07,3.606929e-07,4.811276e-07,5.744146e-07,8.318223e-07,8.571792e-07,1.216707e-06,1.315048e-06,1.658011e-06,1.941555e-06,2.182617e-06,2.712355e-06,2.789445e-06,3.476125e-06,3.622787e-06,4.239625e-06,4.665830e-06,5.076331e-06,5.832637e-06,5.981977e-06,6.951612e-06,7.112326e-06,7.979634e-06,8.492030e-06,9.059875e-06,9.957242e-06,1.018574e-05,1.135033e-05,1.149235e-05,1.254664e-05,1.308125e-05,1.376765e-05,1.470793e-05,1.500653e-05,1.625667e-05,1.635698e-05,1.751186e-05,1.801403e-05,1.876628e-05,1.966599e-05,2.001462e-05,2.125207e-05,2.130128e-05,2.247433e-05,2.290987e-05,2.367761e-05,2.448331e-05,2.485864e-05,2.601462e-05,2.714318e-05,2.749821e-05,2.824240e-05,2.892975e-05,2.931069e-05,3.030603e-05,3.034684e-05,3.134993e-05,3.162478e-05,3.231931e-05,3.288457e-05,3.325455e-05,3.408465e-05,3.415546e-05,3.502199e-05,3.522485e-05,3.585428e-05,3.630549e-05,3.665257e-05,3.732724e-05,3.741723e-05,3.814873e-05,3.829109e-05,3.884758e-05,3.919828e-05,3.951439e-05,4.005021e-05,4.014980e-05,4.075450e-05,4.084845e-05,4.132921e-05,4.159463e-05,4.187467e-05,4.229049e-05,4.239164e-05,4.288091e-05,4.293779e-05,4.334323e-05,4.353833e-05,4.377941e-05,4.409390e-05,4.419022e-05,4.457643e-05,4.460629e-05,4.493882e-05,4.507728e-05,4.527815e-05,4.550862e-05,4.559518e-05,4.589065e-05,4.590203e-05,4.616528e-05,4.625919e-05,4.641981e-05,4.658176e-05,4.665493e-05,4.687133e-05,4.706969e-05,4.712946e-05,4.725066e-05,4.735766e-05,4.741489e-05,4.755739e-05,4.756301e-05,4.769563e-05,4.773007e-05,4.781334e-05,4.787706e-05,4.791673e-05,4.799969e-05,4.800637e-05,4.808279e-05,4.809922e-05,4.814653e-05,4.817688e-05,4.819811e-05,4.823385e-05,4.823804e-05,4.826680e-05,4.827126e-05,4.828487e-05,4.829019e-05,4.829270e-05,4.829169e-05,4.829073e-05,4.827941e-05,4.827676e-05,4.825914e-05,4.824635e-05,4.823033e-05,4.820140e-05,4.819337e-05,4.814864e-05,4.814277e-05,4.809651e-05,4.807131e-05,4.803731e-05,4.798782e-05,4.797141e-05,4.789912e-05,4.789307e-05,4.782077e-05,4.778780e-05,4.773666e-05,4.767271e-05,4.764709e-05,4.755235e-05,4.754845e-05,4.745270e-05,4.741568e-05,4.734843e-05,4.727500e-05,4.723977e-05,4.712699e-05,4.697220e-05,4.681115e-05,4.664435e-05,4.647226e-05,4.629534e-05,4.611401e-05,4.592868e-05,4.573975e-05,4.554756e-05,4.535247e-05,4.515481e-05,4.495489e-05,4.475299e-05,4.454940e-05,4.434438e-05,4.413817e-05,4.393102e-05,4.372313e-05,4.351472e-05,4.330598e-05,4.309710e-05,4.288824e-05,4.267957e-05,4.247124e-05
0.000000e+00,3.724400e-10,1.096007e-09,5.418354e-09,1.553955e-08,2.513470e-08,7.078113e-08,7.346908e-08,1.676383e-07,2.049530e-07,3.284053e-07,4.668389e-07,5.800422e-07,9.131863e-07,9.473239e-07,1.448519e-06,1.589718e-06,2.090300e-06,2.510135e-06,2.869325e-06,3.661396e-06,3.776698e-06,4.801237e-06,5.019160e-06,5.931009e-06,6.556042e-06,7.153836e-06,8.243909e-06,8.457389e-06,9.829199e-06,1.005418e-05,1.125670e-05,1.195800e-05,1.272738e-05,1.392672e-05,1.422892e-05,1.574944e-05,1.593264e-05,1.727768e-05,1.794982e-05,1.880318e-05,1.995482e-05,2.031641e-05,2.180889e-05,2.192717e-05,2.327322e-05,2.384962e-05,2.470307e-05,2.570821e-05,2.609316e-05,2.743917e-05,2.749204e-05,2.873775e-05,2.919312e-05,2.998640e-05,3.080604e-05,3.118336e-05,3.232754e-05,3.341841e-05,3.375621e-05,3.445592e-05,3.509206e-05,3.544040e-05,3.633623e-05,3.637253e-05,3.725324e-05,3.749077e-05,3.808368e-05,3.855835e-05,3.886515e-05,3.954208e-05,3.959908e-05,4.028699e-05,4.044541e-05,4.093045e-05,4.127197e-05,4.153108e-05,4.202549e-05,4.209050e-05,4.261035e-05,4.270972e-05,4.309226e-05,4.332838e-05,4.353782e-05,4.388516e-05,4.394861e-05,4.432619e-05,4.438362e-05,4.467204e-05,4.482722e-05,4.498765e-05,4.521931e-05,4.527442e-05,4.553374e-05,4.556308e-05,4.576693e-05,4.586159e-05,4.597528e-05,4.611778e-05,4.616003e-05,4.632235e-05,4.633440e-05,4.646340e-05,4.651411e-05,4.658428e-05,4.665941e-05,4.668604e-05,4.676968e-05,4.677267e-05,4.683619e-05,4.685612e-05,4.688649e-05,4.691188e-05,4.692146e-05,4.694195e-05,4.694879e-05,4.694822e-05,4.694274e-05,4.693245e-05,4.692455e-05,4.689632e-05,4.689492e-05,4.685454e-05,4.684139e-05,4.680404e-05,4.676914e-05,4.674404e-05,4.668096e-05,4.667514e-05,4.659788e-05,4.657815e-05,4.651280e-05,4.646194e-05,4.642042e-05,4.633345e-05,4.632120e-05,4.621562e-05,4.619378e-05,4.610411e-05,4.604392e-05,4.598709e-05,4.588482e-05,4.586495e-05,4.573807e-05,4.571735e-05,4.560680e-05,4.554234e-05,4.547150e-05,4.536056e-05,4.533248e-05,4.519004e-05,4.517273e-05,4.504448e-05,4.497952e-05,4.489608e-05,4.478156e-05,4.474510e-05,4.459178e-05,4.457942e-05,4.443636e-05,4.437366e-05,4.427907e-05,4.416477e-05,4.412011e-05,4.395968e-05,4.395324e-05,4.379798e-05,4.373949e-05,4.363519e-05,4.352395e-05,4.347147e-05,4.330698e-05,4.308893e-05,4.287014e-05,4.265090e-05,4.243149e-05,4.221217e-05,4.199317e-05,4.177472e-05,4.155702e-05,4.134024e-05,4.112457e-05,4.091016e-05,4.069714e-05,4.048566e-05,4.027582e-05,4.006774e-05,3.986151e-05,3.965721e-05,3.945494e-05,3.925475e-05,3.905671e-05,3.886088e-05,3.866730e-05,3.847601e-05,3.828706e-05
