0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,8.863595e-11,3.369898e-10,2.411268e-09,8.739237e-09,1.566927e-08,5.443418e-08,5.690823e-08,1.508208e-07,1.906535e-07,3.285366e-07,4.904420e-07,6.267513e-07,1.043272e-06,1.087122e-06,1.754804e-06,1.950934e-06,2.674091e-06,3.312674e-06,3.880615e-06,5.195948e-06,5.393946e-06,7.215129e-06,7.615225e-06,9.329267e-06,1.053605e-05,1.171029e-05,1.389278e-05,1.432550e-05,1.713902e-05,1.760514e-05,2.011411e-05,2.158884e-05,2.321448e-05,2.576144e-05,2.640520e-05,2.965321e-05,3.004533e-05,3.292770e-05,3.436948e-05,3.620037e-05,3.867051e-05,3.944560e-05,4.264059e-05,4.289340e-05,4.576545e-05,4.699186e-05,4.880319e-05,5.092834e-05,5.173962e-05,5.456329e-05,5.467375e-05,5.726526e-05,5.820685e-05,5.983898e-05,6.151351e-05,6.228002e-05,6.458586e-05,6.675562e-05,6.742125e-05,6.878982e-05,7.002132e-05,7.069018e-05,7.239113e-05,7.245942e-05,7.410103e-05,7.453835e-05,7.561908e-05,7.647247e-05,7.701810e-05,7.820425e-05,7.830296e-05,7.947872e-05,7.974525e-05,8.055060e-05,8.110742e-05,8.152383e-05,8.230284e-05,8.240366e-05,8.319526e-05,8.334345e-05,8.390371e-05,8.424088e-05,8.453393e-05,8.500637e-05,8.509071e-05,8.557865e-05,8.565063e-05,8.600217e-05,8.618381e-05,8.636547e-05,8.661545e-05,8.667256e-05,8.692729e-05,8.695451e-05,8.713327e-05,8.720936e-05,8.729395e-05,8.738778e-05,8.741259e-05,8.749224e-05,8.749701e-05,8.753580e-05,8.754373e-05,8.754599e-05,8.753411e-05,8.752538e-05,8.747637e-05,8.747385e-05,8.740123e-05,8.736820e-05,8.730209e-05,8.722198e-05,8.718093e-05,8.703963e-05,8.687994e-05,8.682522e-05,8.670349e-05,8.658248e-05,8.651181e-05,8.631480e-05,8.630633e-05,8.608839e-05,8.602531e-05,8.585924e-05,8.571686e-05,8.562004e-05,8.539204e-05,8.537188e-05,8.511577e-05,8.505323e-05,8.485266e-05,8.470259e-05,8.458343e-05,8.434208e-05,8.430888e-05,8.402979e-05,8.397349e-05,8.374685e-05,8.359843e-05,8.346073e-05,8.321837e-05,8.317203e-05,8.288132e-05,8.283465e-05,8.258911e-05,8.244846e-05,8.229589e-05,8.206090e-05,8.200212e-05,8.170819e-05,8.167292e-05,8.141449e-05,8.128543e-05,8.112137e-05,8.089919e-05,8.082916e-05,8.053814e-05,8.051492e-05,8.024859e-05,8.013324e-05,7.996076e-05,7.975471e-05,7.967487e-05,7.939114e-05,7.937984e-05,7.910974e-05,7.900905e-05,7.883086e-05,7.864273e-05,7.855464e-05,7.828123e-05,7.792483e-05,7.757379e-05,7.722832e-05,7.688860e-05,7.655479e-05,7.622700e-05,7.590534e-05,7.558987e-05,7.528067e-05,7.497776e-05,7.468116e-05,7.439088e-05,7.410691e-05,7.382922e-05,7.355779e-05,7.329258e-05,7.303352e-05,7.278057e-05,7.253366e-05,7.229271e-05,7.205765e-05,7.182840e-05,7.160486e-05,7.138697e-05
0.000000e+00,3.052948e-09,7.121168e-09,2.497992e-08,5.738772e-08,8.405437e-08,1.922913e-07,1.981402e-07,3.859466e-07,4.545110e-07,6.682991e-07,8.928143e-07,1.068803e-06,1.563101e-06,1.612399e-06,2.319538e-06,2.514728e-06,3.197008e-06,3.759409e-06,4.234249e-06,5.262583e-06,5.410278e-06,6.702881e-06,6.973634e-06,8.092795e-06,8.848568e-06,9.563938e-06,1.085228e-05,1.110244e-05,1.269573e-05,1.295495e-05,1.433201e-05,1.512937e-05,1.600000e-05,1.734990e-05,1.768884e-05,1.938821e-05,1.959237e-05,2.108838e-05,2.183436e-05,2.278033e-05,2.405564e-05,2.445586e-05,2.610759e-05,2.623850e-05,2.772905e-05,2.836788e-05,2.931467e-05,3.043146e-05,3.085977e-05,3.236054e-05,3.241961e-05,3.381394e-05,3.432507e-05,3.521749e-05,3.614253e-05,3.656947e-05,3.786874e-05,3.911461e-05,3.950196e-05,4.030684e-05,4.104176e-05,4.144556e-05,4.248881e-05,4.253122e-05,4.356449e-05,4.384453e-05,4.454624e-05,4.511100e-05,4.547754e-05,4.629080e-05,4.635959e-05,4.719366e-05,4.738686e-05,4.798115e-05,4.840231e-05,4.872346e-05,4.934049e-05,4.942206e-05,5.007843e-05,5.020476e-05,5.069405e-05,5.099857e-05,5.127042e-05,5.172530e-05,5.180900e-05,5.231125e-05,5.238834e-05,5.277861e-05,5.299096e-05,5.321247e-05,5.353638e-05,5.361422e-05,5.398519e-05,5.402770e-05,5.432668e-05,5.446792e-05,5.463996e-05,5.485994e-05,5.492626e-05,5.518677e-05,5.520653e-05,5.542264e-05,5.551034e-05,5.563498e-05,5.577390e-05,5.582487e-05,5.599335e-05,5.599966e-05,5.614141e-05,5.618990e-05,5.627001e-05,5.634683e-05,5.638010e-05,5.647254e-05,5.654821e-05,5.656902e-05,5.660793e-05,5.663815e-05,5.665249e-05,5.668172e-05,5.668265e-05,5.669915e-05,5.670141e-05,5.670268e-05,5.669885e-05,5.669391e-05,5.667554e-05,5.667350e-05,5.664205e-05,5.663293e-05,5.660017e-05,5.657237e-05,5.654842e-05,5.649514e-05,5.648734e-05,5.641746e-05,5.640247e-05,5.633927e-05,5.629548e-05,5.625325e-05,5.617528e-05,5.615986e-05,5.605953e-05,5.604286e-05,5.595268e-05,5.589920e-05,5.583972e-05,5.574520e-05,5.572102e-05,5.559695e-05,5.558172e-05,5.546786e-05,5.540955e-05,5.533407e-05,5.522946e-05,5.519592e-05,5.505369e-05,5.504215e-05,5.490769e-05,5.484829e-05,5.475818e-05,5.464852e-05,5.460544e-05,5.444971e-05,5.444342e-05,5.429123e-05,5.423355e-05,5.413024e-05,5.401943e-05,5.396694e-05,5.380155e-05,5.358037e-05,5.335631e-05,5.312979e-05,5.290117e-05,5.267081e-05,5.243903e-05,5.220616e-05,5.197247e-05,5.173823e-05,5.150370e-05,5.126910e-05,5.103465e-05,5.080056e-05,5.056702e-05,5.033419e-05,5.010223e-05,4.987131e-05,4.964155e-05,4.941308e-05,4.918602e-05,4.896048e-05,4.873655e-05,4.851433e-05,4.829391e-05
0.000000e+00,1.229646e-08,2.822271e-08,9.753628e-08,2.232555e-07,3.271421e-07,7.541314e-07,7.774553e-07,1.539336e-06,1.823318e-06,2.725780e-06,3.695369e-06,4.465818e-06,6.646153e-06,6.863191e-06,9.932622e-06,1.076179e-05,1.359680e-05,1.586888e-05,1.775069e-05,2.174021e-05,2.230559e-05,2.719434e-05,2.820731e-05,3.236365e-05,3.514704e-05,3.776720e-05,4.245554e-05,4.336177e-05,4.910557e-05,5.003568e-05,5.495789e-05,5.779398e-05,6.087957e-05,6.564172e-05,6.683334e-05,7.278454e-05,7.349698e-05,7.870157e-05,8.128683e-05,8.455607e-05,8.894815e-05,9.032306e-05,9.598132e-05,9.642872e-05,1.015129e-04,1.036867e-04,1.069031e-04,1.106897e-04,1.121401e-04,1.172146e-04,1.174141e-04,1.221197e-04,1.238431e-04,1.268506e-04,1.299664e-04,1.314040e-04,1.357783e-04,1.399731e-04,1.412776e-04,1.439890e-04,1.464659e-04,1.478273e-04,1.513472e-04,1.514904e-04,1.549809e-04,1.559277e-04,1.583019e-04,1.602147e-04,1.614571e-04,1.642167e-04,1.644503e-04,1.672854e-04,1.679428e-04,1.699667e-04,1.714026e-04,1.724985e-04,1.746062e-04,1.748850e-04,1.771308e-04,1.775635e-04,1.792402e-04,1.802846e-04,1.812176e-04,1.827798e-04,1.830674e-04,1.847939e-04,1.850590e-04,1.864014e-04,1.871320e-04,1.878942e-04,1.890085e-04,1.892762e-04,1.905517e-04,1.906978e-04,1.917246e-04,1.922091e-04,1.927987e-04,1.935514e-04,1.937779e-04,1.946660e-04,1.947332e-04,1.954664e-04,1.957628e-04,1.961828e-04,1.966484e-04,1.968185e-04,1.973769e-04,1.973977e-04,1.978613e-04,1.980181e-04,1.982747e-04,1.985169e-04,1.986202e-04,1.989008e-04,1.991194e-04,1.991767e-04,1.992786e-04,1.993507e-04,1.993813e-04,1.994290e-04,1.994299e-04,1.994270e-04,1.994173e-04,1.993751e-04,1.993213e-04,1.992764e-04,1.991463e-04,1.991332e-04,1.989478e-04,1.988972e-04,1.987222e-04,1.985790e-04,1.984584e-04,1.981963e-04,1.981584e-04,1.978242e-04,1.977534e-04,1.974574e-04,1.972545e-04,1.970600e-04,1.967036e-04,1.966335e-04,1.961795e-04,1.961045e-04,1.956997e-04,1.954607e-04,1.951956e-04,1.947757e-04,1.946685e-04,1.941199e-04,1.940527e-04,1.935512e-04,1.932948e-04,1.929635e-04,1.925049e-04,1.923581e-04,1.917362e-04,1.916858e-04,1.910990e-04,1.908400e-04,1.904474e-04,1.899701e-04,1.897827e-04,1.891056e-04,1.890783e-04,1.884173e-04,1.881669e-04,1.877186e-04,1.872380e-04,1.870103e-04,1.862934e-04,1.853352e-04,1.843650e-04,1.833845e-04,1.823953e-04,1.813987e-04,1.803962e-04,1.793890e-04,1.783784e-04,1.773655e-04,1.763514e-04,1.753370e-04,1.743232e-04,1.733110e-04,1.723012e-04,1.712944e-04,1.702914e-04,1.692928e-04,1.682993e-04,1.673114e-04,1.663296e-04,1.653544e-04,1.643861e-04,1.634253e-04,1.624723e-04
0.000000e+00,1.424326e-10,5.238197e-10,3.508294e-09,1.201529e-08,2.091793e-08,6.775096e-08,7.064273e-08,1.764321e-07,2.198715e-07,3.669247e-07,5.358701e-07,6.763879e-07,1.100864e-06,1.145285e-06,1.818011e-06,2.014522e-06,2.734683e-06,3.363962e-06,3.917464e-06,5.173895e-06,5.359741e-06,7.027190e-06,7.383367e-06,8.869048e-06,9.877549e-06,1.083091e-05,1.253519e-05,1.286332e-05,1.492528e-05,1.525567e-05,1.698456e-05,1.796458e-05,1.901652e-05,2.060975e-05,2.100256e-05,2.292878e-05,2.315539e-05,2.478490e-05,2.557739e-05,2.656352e-05,2.786023e-05,2.825954e-05,2.986978e-05,2.999483e-05,3.139262e-05,3.197718e-05,3.282774e-05,3.380709e-05,3.417588e-05,3.543862e-05,3.548738e-05,3.661816e-05,3.702293e-05,3.771721e-05,3.842016e-05,3.873887e-05,3.968642e-05,4.056335e-05,4.082962e-05,4.137318e-05,4.185791e-05,4.211948e-05,4.277942e-05,4.280577e-05,4.343548e-05,4.360212e-05,4.401197e-05,4.433364e-05,4.453842e-05,4.498123e-05,4.501793e-05,4.545343e-05,4.555172e-05,4.584770e-05,4.605148e-05,4.620339e-05,4.648644e-05,4.652297e-05,4.680879e-05,4.686210e-05,4.706308e-05,4.718353e-05,4.728789e-05,4.745539e-05,4.748519e-05,4.765679e-05,4.768198e-05,4.780443e-05,4.786725e-05,4.792969e-05,4.801481e-05,4.803410e-05,4.811904e-05,4.812799e-05,4.818586e-05,4.820983e-05,4.823577e-05,4.826311e-05,4.826994e-05,4.828944e-05,4.829040e-05,4.829529e-05,4.829402e-05,4.828843e-05,4.827613e-05,4.826976e-05,4.824009e-05,4.823868e-05,4.820020e-05,4.818348e-05,4.815082e-05,4.811217e-05,4.809263e-05,4.802627e-05,4.795233e-05,4.792715e-05,4.787136e-05,4.781610e-05,4.778389e-05,4.769426e-05,4.769041e-05,4.759138e-05,4.756271e-05,4.748722e-05,4.742244e-05,4.737834e-05,4.727433e-05,4.726513e-05,4.714792e-05,4.711923e-05,4.702705e-05,4.695788e-05,4.690284e-05,4.679099e-05,4.677557e-05,4.664552e-05,4.661920e-05,4.651295e-05,4.644309e-05,4.637809e-05,4.626321e-05,4.624117e-05,4.610241e-05,4.608005e-05,4.596200e-05,4.589407e-05,4.582013e-05,4.570570e-05,4.567697e-05,4.553270e-05,4.551532e-05,4.538746e-05,4.532329e-05,4.524140e-05,4.512993e-05,4.509466e-05,4.494736e-05,4.493555e-05,4.479962e-05,4.474043e-05,4.465156e-05,4.454482e-05,4.450328e-05,4.435489e-05,4.434895e-05,4.420647e-05,4.415305e-05,4.405811e-05,4.395730e-05,4.390989e-05,4.376190e-05,4.356700e-05,4.337277e-05,4.317934e-05,4.298684e-05,4.279540e-05,4.260511e-05,4.241607e-05,4.222838e-05,4.204212e-05,4.185735e-05,4.167416e-05,4.149259e-05,4.131270e-05,4.113455e-05,4.095817e-05,4.078361e-05,4.061089e-05,4.044005e-05,4.027111e-05,4.010410e-05,3.993904e-05,3.977594e-05,3.961482e-05,3.945568e-05
0.000000e+00,1.325799e-10,5.165444e-10,3.887011e-09,1.474182e-08,2.709092e-08,1.001755e-07,1.049903e-07,2.953371e-07,3.792454e-07,6.790753e-07,1.044332e-06,1.359805e-06,2.355565e-06,2.462615e-06,4.132157e-06,4.634752e-06,6.528888e-06,8.251612e-06,9.821665e-06,1.359208e-05,1.417571e-05,1.973814e-05,2.100653e-05,2.662541e-05,3.075800e-05,3.491593e-05,4.299353e-05,4.464795e-05,5.582128e-05,5.774088e-05,6.840109e-05,7.492101e-05,8.232277e-05,9.436695e-05,9.749702e-05,1.138149e-04,1.158441e-04,1.311525e-04,1.390698e-04,1.493756e-04,1.637310e-04,1.683436e-04,1.879129e-04,1.895002e-04,2.079407e-04,2.160486e-04,2.282869e-04,2.430575e-04,2.488170e-04,2.694038e-04,2.702267e-04,2.899285e-04,2.972809e-04,3.102822e-04,3.239740e-04,3.303658e-04,3.500914e-04,3.693812e-04,3.754507e-04,3.881682e-04,3.999013e-04,4.063954e-04,4.233230e-04,4.240157e-04,4.409906e-04,4.456237e-04,4.572904e-04,4.667367e-04,4.728928e-04,4.866181e-04,4.877828e-04,5.019514e-04,5.052440e-04,5.153950e-04,5.226072e-04,5.281153e-04,5.387151e-04,5.401178e-04,5.514119e-04,5.535868e-04,5.620100e-04,5.672507e-04,5.719269e-04,5.797432e-04,5.811798e-04,5.897873e-04,5.911060e-04,5.977696e-04,6.013852e-04,6.051479e-04,6.106302e-04,6.119438e-04,6.181799e-04,6.188917e-04,6.238786e-04,6.262216e-04,6.290627e-04,6.326723e-04,6.337547e-04,6.379771e-04,6.382952e-04,6.417520e-04,6.431415e-04,6.451011e-04,6.472607e-04,6.480456e-04,6.506063e-04,6.507010e-04,6.528032e-04,6.535088e-04,6.546559e-04,6.557288e-04,6.561833e-04,6.574036e-04,6.583343e-04,6.585737e-04,6.589923e-04,6.592779e-04,6.593939e-04,6.595526e-04,6.595546e-04,6.594894e-04,6.594325e-04,6.592123e-04,6.589502e-04,6.587372e-04,6.581363e-04,6.580769e-04,6.572439e-04,6.570197e-04,6.562501e-04,6.556275e-04,6.551066e-04,6.539851e-04,6.538243e-04,6.524132e-04,6.521164e-04,6.508830e-04,6.500433e-04,6.492430e-04,6.477868e-04,6.475018e-04,6.456677e-04,6.453662e-04,6.437485e-04,6.427993e-04,6.417517e-04,6.401030e-04,6.396842e-04,6.375527e-04,6.372929e-04,6.353634e-04,6.343833e-04,6.331223e-04,6.313878e-04,6.308349e-04,6.285065e-04,6.283186e-04,6.261421e-04,6.251873e-04,6.237463e-04,6.220044e-04,6.213236e-04,6.188781e-04,6.187798e-04,6.164136e-04,6.155225e-04,6.139339e-04,6.122407e-04,6.114424e-04,6.089422e-04,6.056338e-04,6.023221e-04,5.990128e-04,5.957113e-04,5.924226e-04,5.891510e-04,5.859005e-04,5.826748e-04,5.794772e-04,5.763106e-04,5.731776e-04,5.700806e-04,5.670215e-04,5.640024e-04,5.610247e-04,5.580898e-04,5.551990e-04,5.523532e-04,5.495533e-04,5.467999e-04,5.440937e-04,5.414351e-04,5.388242e-04,5.362614e-04
0.000000e+00,1.361953e-10,4.995462e-10,3.327681e-09,1.133713e-08,1.967363e-08,6.305542e-08,6.571290e-08,1.615912e-07,2.002974e-07,3.289154e-07,4.727258e-07,5.896019e-07,9.305748e-07,9.653765e-07,1.477444e-06,1.622880e-06,2.145736e-06,2.594731e-06,2.987207e-06,3.880281e-06,4.013388e-06,5.228532e-06,5.494079e-06,6.629563e-06,7.428799e-06,8.207640e-06,9.660886e-06,9.950145e-06,1.184228e-05,1.215785e-05,1.386809e-05,1.488310e-05,1.601099e-05,1.779824e-05,1.825404e-05,2.058021e-05,2.086413e-05,2.297253e-05,2.404180e-05,2.541433e-05,2.729321e-05,2.788943e-05,3.038243e-05,3.058220e-05,3.287882e-05,3.387529e-05,3.536520e-05,3.714229e-05,3.782936e-05,4.026038e-05,4.035679e-05,4.264863e-05,4.349630e-05,4.498581e-05,4.654226e-05,4.726485e-05,4.947990e-05,5.162623e-05,5.229791e-05,5.370012e-05,5.498807e-05,5.569879e-05,5.754493e-05,5.762029e-05,5.946342e-05,5.996535e-05,6.122758e-05,6.224814e-05,6.291275e-05,6.439372e-05,6.451938e-05,6.604830e-05,6.640380e-05,6.750067e-05,6.828109e-05,6.887793e-05,7.002910e-05,7.018174e-05,7.141391e-05,7.165191e-05,7.257640e-05,7.315404e-05,7.367127e-05,7.454026e-05,7.470064e-05,7.566670e-05,7.581554e-05,7.657163e-05,7.698494e-05,7.741765e-05,7.805353e-05,7.820696e-05,7.894173e-05,7.902634e-05,7.962412e-05,7.990833e-05,8.025626e-05,8.070437e-05,8.084023e-05,8.137807e-05,8.141916e-05,8.187176e-05,8.205730e-05,8.232323e-05,8.262320e-05,8.273436e-05,8.310697e-05,8.312110e-05,8.344284e-05,8.355509e-05,8.374368e-05,8.392908e-05,8.401113e-05,8.424679e-05,8.445220e-05,8.451179e-05,8.462885e-05,8.472748e-05,8.477817e-05,8.489708e-05,8.490154e-05,8.500027e-05,8.502368e-05,8.507565e-05,8.511017e-05,8.512889e-05,8.515934e-05,8.516118e-05,8.517364e-05,8.517380e-05,8.516735e-05,8.515603e-05,8.514336e-05,8.510838e-05,8.510265e-05,8.504619e-05,8.503308e-05,8.497488e-05,8.493222e-05,8.488960e-05,8.480779e-05,8.479119e-05,8.468045e-05,8.466164e-05,8.455815e-05,8.449555e-05,8.442501e-05,8.431118e-05,8.428175e-05,8.412902e-05,8.411008e-05,8.396746e-05,8.389374e-05,8.379769e-05,8.366354e-05,8.362029e-05,8.343581e-05,8.342077e-05,8.324479e-05,8.316665e-05,8.304771e-05,8.290235e-05,8.284508e-05,8.263733e-05,8.262893e-05,8.242492e-05,8.234739e-05,8.220825e-05,8.205869e-05,8.198773e-05,8.176371e-05,8.146328e-05,8.115817e-05,8.084910e-05,8.053674e-05,8.022173e-05,7.990465e-05,7.958604e-05,7.926641e-05,7.894622e-05,7.862592e-05,7.830590e-05,7.798654e-05,7.766818e-05,7.735115e-05,7.703572e-05,7.672217e-05,7.641075e-05,7.610168e-05,7.579517e-05,7.549139e-05,7.519053e-05,7.489273e-05,7.459813e-05,7.430686e-05
0.000000e+00,4.997817e-09,1.146721e-08,3.957718e-08,9.039058e-08,1.322244e-07,3.028368e-07,3.120993e-07,6.118865e-07,7.224383e-07,1.070590e-06,1.441197e-06,1.734763e-06,2.570647e-06,2.654756e-06,3.871190e-06,4.209289e-06,5.395035e-06,6.374306e-06,7.200887e-06,8.987050e-06,9.242975e-06,1.147483e-05,1.194041e-05,1.385782e-05,1.514631e-05,1.636138e-05,1.853919e-05,1.896057e-05,2.163397e-05,2.206729e-05,2.436227e-05,2.568604e-05,2.712750e-05,2.935489e-05,2.991277e-05,3.270216e-05,3.303644e-05,3.548076e-05,3.669635e-05,3.823488e-05,4.030395e-05,4.095210e-05,4.362132e-05,4.383249e-05,4.623289e-05,4.725947e-05,4.877850e-05,5.056657e-05,5.125124e-05,5.364544e-05,5.373951e-05,5.595666e-05,5.676770e-05,5.818153e-05,5.964388e-05,6.031769e-05,6.236363e-05,6.431860e-05,6.492495e-05,6.618252e-05,6.732784e-05,6.795585e-05,6.957387e-05,6.963951e-05,7.123483e-05,7.166590e-05,7.274343e-05,7.360775e-05,7.416722e-05,7.540398e-05,7.550827e-05,7.676883e-05,7.705965e-05,7.795127e-05,7.858021e-05,7.905801e-05,7.997131e-05,8.009155e-05,8.105441e-05,8.123872e-05,8.194912e-05,8.238828e-05,8.277820e-05,8.342575e-05,8.354416e-05,8.424946e-05,8.435685e-05,8.489655e-05,8.518717e-05,8.548780e-05,8.592217e-05,8.602555e-05,8.651208e-05,8.656713e-05,8.694962e-05,8.712717e-05,8.734032e-05,8.760723e-05,8.768629e-05,8.798955e-05,8.801203e-05,8.825209e-05,8.834612e-05,8.847580e-05,8.861386e-05,8.866252e-05,8.881406e-05,8.881941e-05,8.893211e-05,8.896673e-05,8.901834e-05,8.905961e-05,8.907434e-05,8.910166e-05,8.910178e-05,8.909630e-05,8.907611e-05,8.904679e-05,8.902604e-05,8.895623e-05,8.895287e-05,8.885788e-05,8.882753e-05,8.874227e-05,8.866350e-05,8.860721e-05,8.846674e-05,8.845382e-05,8.828318e-05,8.823977e-05,8.809630e-05,8.798493e-05,8.789417e-05,8.770444e-05,8.767774e-05,8.744791e-05,8.740041e-05,8.720554e-05,8.707483e-05,8.695146e-05,8.672955e-05,8.668645e-05,8.641128e-05,8.636635e-05,8.612666e-05,8.598689e-05,8.583328e-05,8.559272e-05,8.553180e-05,8.522286e-05,8.518531e-05,8.490704e-05,8.476605e-05,8.458492e-05,8.433623e-05,8.425704e-05,8.392392e-05,8.389706e-05,8.358606e-05,8.344970e-05,8.324393e-05,8.299520e-05,8.289797e-05,8.254861e-05,8.253457e-05,8.219625e-05,8.206875e-05,8.184128e-05,8.159860e-05,8.148407e-05,8.112495e-05,8.064857e-05,8.017015e-05,7.969037e-05,7.920984e-05,7.872913e-05,7.824878e-05,7.776927e-05,7.729106e-05,7.681457e-05,7.634020e-05,7.586829e-05,7.539917e-05,7.493316e-05,7.447052e-05,7.401150e-05,7.355634e-05,7.310524e-05,7.265839e-05,7.221596e-05,7.177810e-05,7.134495e-05,7.091663e-05,7.049324e-05,7.007487e-05
0.000000e+00,5.259803e-11,2.031406e-10,1.502184e-09,5.614234e-09,1.024170e-08,3.727556e-08,3.904641e-08,1.087949e-07,1.395208e-07,2.496852e-07,3.849820e-07,5.028682e-07,8.805581e-07,9.215948e-07,1.568971e-06,1.765677e-06,2.509661e-06,3.185660e-06,3.798414e-06,5.250126e-06,5.472012e-06,7.547283e-06,8.010732e-06,1.002337e-05,1.146492e-05,1.288565e-05,1.557066e-05,1.610956e-05,1.966391e-05,2.026094e-05,2.351327e-05,2.545469e-05,2.761977e-05,3.106388e-05,3.194436e-05,3.644774e-05,3.699831e-05,4.109112e-05,4.316878e-05,4.583674e-05,4.948944e-05,5.064839e-05,5.549182e-05,5.587969e-05,6.033506e-05,6.226562e-05,6.514869e-05,6.858107e-05,6.990602e-05,7.458326e-05,7.476838e-05,7.915952e-05,8.077870e-05,8.361683e-05,8.657205e-05,8.794011e-05,9.211695e-05,9.613756e-05,9.738988e-05,9.999450e-05,1.023745e-04,1.036825e-04,1.070608e-04,1.071981e-04,1.105395e-04,1.114439e-04,1.137066e-04,1.155236e-04,1.167004e-04,1.193035e-04,1.195230e-04,1.221776e-04,1.227901e-04,1.246680e-04,1.259927e-04,1.269991e-04,1.289226e-04,1.291758e-04,1.312037e-04,1.315919e-04,1.330885e-04,1.340139e-04,1.348359e-04,1.362020e-04,1.364520e-04,1.379425e-04,1.381697e-04,1.393133e-04,1.399305e-04,1.405703e-04,1.414976e-04,1.417189e-04,1.427648e-04,1.428836e-04,1.437131e-04,1.441008e-04,1.445691e-04,1.451610e-04,1.453378e-04,1.460238e-04,1.460753e-04,1.466318e-04,1.468542e-04,1.471662e-04,1.475077e-04,1.476311e-04,1.480305e-04,1.480452e-04,1.483683e-04,1.484755e-04,1.486481e-04,1.488069e-04,1.488732e-04,1.490471e-04,1.491728e-04,1.492033e-04,1.492532e-04,1.492823e-04,1.492912e-04,1.492903e-04,1.492895e-04,1.492504e-04,1.492331e-04,1.491765e-04,1.491163e-04,1.490699e-04,1.489449e-04,1.489329e-04,1.487674e-04,1.487236e-04,1.485753e-04,1.484568e-04,1.483585e-04,1.481485e-04,1.481186e-04,1.478572e-04,1.478025e-04,1.475760e-04,1.474223e-04,1.472762e-04,1.470112e-04,1.469594e-04,1.466267e-04,1.465721e-04,1.462794e-04,1.461079e-04,1.459187e-04,1.456211e-04,1.455455e-04,1.451610e-04,1.451141e-04,1.447660e-04,1.445892e-04,1.443616e-04,1.440484e-04,1.439485e-04,1.435276e-04,1.434936e-04,1.430996e-04,1.429266e-04,1.426653e-04,1.423490e-04,1.422253e-04,1.417802e-04,1.417623e-04,1.413308e-04,1.411680e-04,1.408774e-04,1.405672e-04,1.404208e-04,1.399613e-04,1.393512e-04,1.387380e-04,1.381227e-04,1.375061e-04,1.368891e-04,1.362722e-04,1.356562e-04,1.350418e-04,1.344295e-04,1.338197e-04,1.332131e-04,1.326099e-04,1.320107e-04,1.314158e-04,1.308254e-04,1.302400e-04,1.296597e-04,1.290848e-04,1.285155e-04,1.279521e-04,1.273947e-04,1.268434e-04,1.262984e-04,1.257598e-04
0.000000e+00,6.865625e-11,2.597237e-10,1.839279e-09,6.604109e-09,1.178090e-08,4.039989e-08,4.221418e-08,1.105004e-07,1.392293e-07,2.380194e-07,3.531266e-07,4.494982e-07,7.416349e-07,7.722034e-07,1.233451e-06,1.367448e-06,1.855877e-06,2.280388e-06,2.653265e-06,3.503109e-06,3.629658e-06,4.781143e-06,5.031697e-06,6.098355e-06,6.844666e-06,7.568565e-06,8.911038e-06,9.177039e-06,1.090781e-05,1.119497e-05,1.274410e-05,1.365790e-05,1.466851e-05,1.625956e-05,1.666329e-05,1.871045e-05,1.895878e-05,2.079211e-05,2.171441e-05,2.289068e-05,2.448646e-05,2.498923e-05,2.707175e-05,2.723720e-05,2.912338e-05,2.993232e-05,3.113068e-05,3.254172e-05,3.308172e-05,3.496626e-05,3.504013e-05,3.677571e-05,3.740736e-05,3.850320e-05,3.962832e-05,4.014346e-05,4.169276e-05,4.314877e-05,4.359480e-05,4.451046e-05,4.533243e-05,4.577789e-05,4.690690e-05,4.695210e-05,4.803492e-05,4.832207e-05,4.902888e-05,4.958384e-05,4.993701e-05,5.069964e-05,5.076275e-05,5.150985e-05,5.167789e-05,5.218225e-05,5.252766e-05,5.278398e-05,5.325830e-05,5.331914e-05,5.379180e-05,5.387919e-05,5.420596e-05,5.439951e-05,5.456553e-05,5.482814e-05,5.487427e-05,5.513582e-05,5.517351e-05,5.535361e-05,5.544358e-05,5.553093e-05,5.564573e-05,5.567087e-05,5.577635e-05,5.578682e-05,5.585010e-05,5.587316e-05,5.589467e-05,5.591050e-05,5.591244e-05,5.590565e-05,5.590411e-05,5.587635e-05,5.585876e-05,5.582646e-05,5.577879e-05,5.575776e-05,5.567188e-05,5.566811e-05,5.557036e-05,5.553025e-05,5.545458e-05,5.536838e-05,5.532585e-05,5.518537e-05,5.503424e-05,5.498380e-05,5.487348e-05,5.476597e-05,5.470403e-05,5.453398e-05,5.452675e-05,5.434246e-05,5.428970e-05,5.415188e-05,5.403479e-05,5.395569e-05,5.377078e-05,5.375452e-05,5.354896e-05,5.349903e-05,5.333952e-05,5.322074e-05,5.312672e-05,5.293702e-05,5.291099e-05,5.269276e-05,5.264885e-05,5.247242e-05,5.235712e-05,5.225032e-05,5.206263e-05,5.202679e-05,5.180213e-05,5.176610e-05,5.157663e-05,5.146817e-05,5.135055e-05,5.116943e-05,5.112412e-05,5.089757e-05,5.087039e-05,5.067110e-05,5.057152e-05,5.044488e-05,5.027325e-05,5.021911e-05,4.999393e-05,4.997594e-05,4.976949e-05,4.967995e-05,4.954593e-05,4.938557e-05,4.932336e-05,4.910192e-05,4.909308e-05,4.888169e-05,4.880272e-05,4.866277e-05,4.851470e-05,4.844526e-05,4.822922e-05,4.794645e-05,4.766654e-05,4.738961e-05,4.711579e-05,4.684519e-05,4.657787e-05,4.631393e-05,4.605342e-05,4.579640e-05,4.554292e-05,4.529299e-05,4.504667e-05,4.480395e-05,4.456487e-05,4.432942e-05,4.409760e-05,4.386942e-05,4.364487e-05,4.342393e-05,4.320659e-05,4.299282e-05,4.278262e-05,4.257595e-05,4.237278e-05
0.000000e+00,1.134067e-10,4.418709e-10,3.328190e-09,1.265081e-08,2.329497e-08,8.688056e-08,9.109924e-08,2.601577e-07,3.358827e-07,6.112610e-07,9.548819e-07,1.257259e-06,2.234640e-06,2.341180e-06,4.021110e-06,4.530209e-06,6.448624e-06,8.184016e-06,9.753306e-06,1.346803e-05,1.403629e-05,1.936940e-05,2.056639e-05,2.579678e-05,2.957860e-05,3.333706e-05,4.052831e-05,4.198578e-05,5.171753e-05,5.337241e-05,6.248819e-05,6.800989e-05,7.423712e-05,8.429074e-05,8.688948e-05,1.003587e-04,1.020255e-04,1.145491e-04,1.209951e-04,1.293582e-04,1.409616e-04,1.446797e-04,1.604055e-04,1.616778e-04,1.764282e-04,1.828968e-04,1.926430e-04,2.043799e-04,2.089492e-04,2.252520e-04,2.259028e-04,2.414630e-04,2.472607e-04,2.575015e-04,2.682716e-04,2.732945e-04,2.887773e-04,3.038932e-04,3.086447e-04,3.185937e-04,3.277647e-04,3.328377e-04,3.460514e-04,3.465918e-04,3.598291e-04,3.634400e-04,3.725291e-04,3.798848e-04,3.846769e-04,3.953570e-04,3.962630e-04,4.072823e-04,4.098423e-04,4.177336e-04,4.233392e-04,4.276196e-04,4.358560e-04,4.369458e-04,4.457203e-04,4.474099e-04,4.539535e-04,4.580247e-04,4.616574e-04,4.677296e-04,4.688456e-04,4.755329e-04,4.765575e-04,4.817350e-04,4.845444e-04,4.874681e-04,4.917282e-04,4.927491e-04,4.975950e-04,4.981481e-04,5.020230e-04,5.038434e-04,5.060505e-04,5.088539e-04,5.096944e-04,5.129718e-04,5.132186e-04,5.158993e-04,5.169760e-04,5.184933e-04,5.201635e-04,5.207698e-04,5.227444e-04,5.228173e-04,5.244321e-04,5.249724e-04,5.258478e-04,5.266622e-04,5.270055e-04,5.279189e-04,5.286014e-04,5.287730e-04,5.290655e-04,5.292536e-04,5.293235e-04,5.293882e-04,5.293872e-04,5.292678e-04,5.292030e-04,5.289760e-04,5.287225e-04,5.285222e-04,5.279700e-04,5.279162e-04,5.271674e-04,5.269674e-04,5.262848e-04,5.257354e-04,5.252771e-04,5.242932e-04,5.241523e-04,5.229183e-04,5.226590e-04,5.215825e-04,5.208500e-04,5.201519e-04,5.188819e-04,5.186333e-04,5.170330e-04,5.167698e-04,5.153571e-04,5.145275e-04,5.136114e-04,5.121682e-04,5.118013e-04,5.099321e-04,5.097040e-04,5.080086e-04,5.071463e-04,5.060355e-04,5.045055e-04,5.040172e-04,5.019580e-04,5.017916e-04,4.998617e-04,4.990137e-04,4.977322e-04,4.961803e-04,4.955729e-04,4.933873e-04,4.932994e-04,4.911784e-04,4.903781e-04,4.889494e-04,4.874235e-04,4.867029e-04,4.844417e-04,4.814386e-04,4.784195e-04,4.753895e-04,4.723532e-04,4.693147e-04,4.662779e-04,4.632465e-04,4.602237e-04,4.572124e-04,4.542156e-04,4.512355e-04,4.482746e-04,4.453348e-04,4.424182e-04,4.395262e-04,4.366606e-04,4.338225e-04,4.310133e-04,4.282340e-04,4.254856e-04,4.227689e-04,4.200846e-04,4.174334e-04,4.148158e-04
0.000000e+00,2.675658e-10,9.874571e-10,6.664427e-09,2.300147e-08,4.023059e-08,1.321032e-07,1.378271e-07,3.500905e-07,4.385714e-07,7.425026e-07,1.098454e-06,1.398897e-06,2.323991e-06,2.421947e-06,3.920321e-06,4.360955e-06,5.977200e-06,7.385424e-06,8.618635e-06,1.139943e-05,1.180895e-05,1.547196e-05,1.625334e-05,1.951720e-05,2.174247e-05,2.385756e-05,2.767542e-05,2.841684e-05,3.313095e-05,3.389587e-05,3.794632e-05,4.028010e-05,4.281763e-05,4.672861e-05,4.770594e-05,5.257740e-05,5.315941e-05,5.740257e-05,5.950425e-05,6.215584e-05,6.570657e-05,6.681520e-05,7.136212e-05,7.172054e-05,7.578129e-05,7.751034e-05,8.006043e-05,8.304929e-05,8.419007e-05,8.816320e-05,8.831879e-05,9.197507e-05,9.330727e-05,9.562291e-05,9.800914e-05,9.910565e-05,1.024236e-04,1.055782e-04,1.065535e-04,1.085718e-04,1.104046e-04,1.114075e-04,1.139848e-04,1.140891e-04,1.166207e-04,1.173032e-04,1.190066e-04,1.203702e-04,1.212516e-04,1.231966e-04,1.233604e-04,1.253380e-04,1.257936e-04,1.271891e-04,1.281723e-04,1.289187e-04,1.303440e-04,1.305316e-04,1.320325e-04,1.323197e-04,1.334261e-04,1.341100e-04,1.347170e-04,1.357253e-04,1.359097e-04,1.370083e-04,1.371756e-04,1.380171e-04,1.384706e-04,1.389401e-04,1.396194e-04,1.397813e-04,1.405443e-04,1.406308e-04,1.412330e-04,1.415133e-04,1.418506e-04,1.422747e-04,1.424008e-04,1.428865e-04,1.429227e-04,1.433111e-04,1.434645e-04,1.436775e-04,1.439068e-04,1.439885e-04,1.442469e-04,1.442562e-04,1.444554e-04,1.445188e-04,1.446165e-04,1.447002e-04,1.447326e-04,1.448061e-04,1.448391e-04,1.448415e-04,1.448338e-04,1.448113e-04,1.447922e-04,1.447201e-04,1.447164e-04,1.446081e-04,1.445722e-04,1.444691e-04,1.443717e-04,1.443012e-04,1.441225e-04,1.441059e-04,1.438849e-04,1.438282e-04,1.436396e-04,1.434921e-04,1.433714e-04,1.431175e-04,1.430816e-04,1.427717e-04,1.427074e-04,1.424427e-04,1.422646e-04,1.420960e-04,1.417918e-04,1.417325e-04,1.413535e-04,1.412914e-04,1.409598e-04,1.407659e-04,1.405525e-04,1.402175e-04,1.401325e-04,1.397007e-04,1.396481e-04,1.392579e-04,1.390598e-04,1.388049e-04,1.384543e-04,1.383425e-04,1.378715e-04,1.378335e-04,1.373925e-04,1.371988e-04,1.369061e-04,1.365517e-04,1.364131e-04,1.359139e-04,1.358938e-04,1.354092e-04,1.352263e-04,1.348995e-04,1.345503e-04,1.343854e-04,1.338672e-04,1.331779e-04,1.324835e-04,1.317848e-04,1.310828e-04,1.303784e-04,1.296721e-04,1.289648e-04,1.282572e-04,1.275497e-04,1.268431e-04,1.261378e-04,1.254343e-04,1.247331e-04,1.240346e-04,1.233392e-04,1.226473e-04,1.219591e-04,1.212750e-04,1.205953e-04,1.199202e-04,1.192499e-04,1.185848e-04,1.179249e-04,1.172705e-04
0.000000e+00,9.739344e-11,3.534426e-10,2.304979e-09,7.710352e-09,1.325178e-08,4.148949e-08,4.319884e-08,1.040188e-07,1.282496e-07,2.079576e-07,2.960773e-07,3.671588e-07,5.727191e-07,5.935857e-07,8.989775e-07,9.852826e-07,1.294468e-06,1.558934e-06,1.789487e-06,2.312174e-06,2.389844e-06,3.095680e-06,3.249054e-06,3.900643e-06,4.354652e-06,4.792985e-06,5.599254e-06,5.757859e-06,6.779572e-06,6.947299e-06,7.843091e-06,8.364356e-06,8.934737e-06,9.820072e-06,1.004233e-05,1.115514e-05,1.128857e-05,1.226371e-05,1.274797e-05,1.335975e-05,1.417987e-05,1.443602e-05,1.548630e-05,1.556903e-05,1.650530e-05,1.690314e-05,1.748867e-05,1.817265e-05,1.843294e-05,1.933544e-05,1.937064e-05,2.019428e-05,2.049252e-05,2.100825e-05,2.153580e-05,2.177675e-05,2.249970e-05,2.317746e-05,2.338491e-05,2.381079e-05,2.419328e-05,2.440075e-05,2.492752e-05,2.494864e-05,2.545594e-05,2.559093e-05,2.592428e-05,2.618729e-05,2.635536e-05,2.672056e-05,2.675094e-05,2.711282e-05,2.719486e-05,2.744278e-05,2.761428e-05,2.774260e-05,2.798288e-05,2.801400e-05,2.825865e-05,2.830451e-05,2.847817e-05,2.858290e-05,2.867411e-05,2.882155e-05,2.884794e-05,2.900109e-05,2.902376e-05,2.913487e-05,2.919259e-05,2.925057e-05,2.933090e-05,2.934936e-05,2.943237e-05,2.944132e-05,2.950066e-05,2.952630e-05,2.955522e-05,2.958809e-05,2.959699e-05,2.962684e-05,2.962874e-05,2.964560e-05,2.965016e-05,2.965402e-05,2.965409e-05,2.965283e-05,2.964270e-05,2.964211e-05,2.962426e-05,2.961570e-05,2.959810e-05,2.957618e-05,2.956476e-05,2.952478e-05,2.947861e-05,2.946261e-05,2.942673e-05,2.939071e-05,2.936954e-05,2.931002e-05,2.930744e-05,2.924080e-05,2.922138e-05,2.916997e-05,2.912559e-05,2.909527e-05,2.902338e-05,2.901699e-05,2.893543e-05,2.891540e-05,2.885085e-05,2.880225e-05,2.876349e-05,2.868450e-05,2.867359e-05,2.858136e-05,2.856265e-05,2.848701e-05,2.843718e-05,2.839074e-05,2.830851e-05,2.829271e-05,2.819310e-05,2.817703e-05,2.809206e-05,2.804310e-05,2.798975e-05,2.790707e-05,2.788630e-05,2.778183e-05,2.776923e-05,2.767648e-05,2.762987e-05,2.757036e-05,2.748925e-05,2.746356e-05,2.735621e-05,2.734760e-05,2.724838e-05,2.720513e-05,2.714017e-05,2.706206e-05,2.703165e-05,2.692292e-05,2.691857e-05,2.681403e-05,2.677481e-05,2.670507e-05,2.663096e-05,2.659609e-05,2.648715e-05,2.634352e-05,2.620018e-05,2.605725e-05,2.591483e-05,2.577301e-05,2.563187e-05,2.549150e-05,2.535196e-05,2.521332e-05,2.507564e-05,2.493897e-05,2.480336e-05,2.466885e-05,2.453549e-05,2.440331e-05,2.427233e-05,2.414260e-05,2.401412e-05,2.388694e-05,2.376106e-05,2.363650e-05,2.351328e-05,2.339141e-05,2.327089e-05
0.000000e+00,1.690061e-09,6.622498e-09,5.043299e-08,1.933690e-07,3.574846e-07,1.342355e-06,1.407747e-06,4.019690e-06,5.182382e-06,9.371459e-06,1.452416e-05,1.900489e-05,3.327165e-05,3.481397e-05,5.901635e-05,6.634538e-05,9.409564e-05,1.194747e-04,1.426973e-04,1.987657e-04,2.074790e-04,2.909477e-04,3.100854e-04,3.953225e-04,4.584862e-04,5.224401e-04,6.478318e-04,6.736999e-04,8.500387e-04,8.806182e-04,1.051928e-03,1.157932e-03,1.279386e-03,1.479502e-03,1.532006e-03,1.808985e-03,1.843808e-03,2.109171e-03,2.248240e-03,2.431110e-03,2.689287e-03,2.773091e-03,3.133205e-03,3.162736e-03,3.509391e-03,3.663884e-03,3.899489e-03,4.187732e-03,4.301284e-03,4.712548e-03,4.729165e-03,5.131079e-03,5.283112e-03,5.554728e-03,5.844677e-03,5.981433e-03,6.409235e-03,6.836296e-03,6.972516e-03,7.260908e-03,7.530647e-03,7.681508e-03,8.080188e-03,8.096674e-03,8.505130e-03,8.618138e-03,8.905747e-03,9.141935e-03,9.297532e-03,9.649437e-03,9.679630e-03,1.005132e-02,1.013890e-02,1.041198e-02,1.060896e-02,1.076114e-02,1.105857e-02,1.109841e-02,1.142348e-02,1.148702e-02,1.173617e-02,1.189383e-02,1.203635e-02,1.227879e-02,1.232396e-02,1.259902e-02,1.264187e-02,1.286159e-02,1.298322e-02,1.311179e-02,1.330315e-02,1.334978e-02,1.357576e-02,1.360208e-02,1.378994e-02,1.388050e-02,1.399258e-02,1.413903e-02,1.418395e-02,1.436435e-02,1.437832e-02,1.453409e-02,1.459906e-02,1.469347e-02,1.480199e-02,1.484282e-02,1.498246e-02,1.498785e-02,1.511275e-02,1.515742e-02,1.523399e-02,1.531145e-02,1.534653e-02,1.545070e-02,1.554682e-02,1.557593e-02,1.563521e-02,1.568787e-02,1.571619e-02,1.578725e-02,1.579008e-02,1.585716e-02,1.587477e-02,1.591775e-02,1.595110e-02,1.597212e-02,1.601689e-02,1.602055e-02,1.606332e-02,1.607278e-02,1.610070e-02,1.611937e-02,1.613293e-02,1.615723e-02,1.616026e-02,1.618294e-02,1.618693e-02,1.620118e-02,1.620899e-02,1.621521e-02,1.622390e-02,1.622524e-02,1.623148e-02,1.623214e-02,1.623412e-02,1.623417e-02,1.623336e-02,1.623041e-02,1.622936e-02,1.622232e-02,1.622127e-02,1.621238e-02,1.620714e-02,1.619972e-02,1.618837e-02,1.618449e-02,1.616683e-02,1.616531e-02,1.614688e-02,1.613829e-02,1.612478e-02,1.610761e-02,1.610065e-02,1.607463e-02,1.607355e-02,1.604681e-02,1.603638e-02,1.601733e-02,1.599637e-02,1.598627e-02,1.595375e-02,1.590875e-02,1.586157e-02,1.581242e-02,1.576148e-02,1.570893e-02,1.565492e-02,1.559963e-02,1.554318e-02,1.548572e-02,1.542737e-02,1.536824e-02,1.530845e-02,1.524811e-02,1.518730e-02,1.512611e-02,1.506464e-02,1.500296e-02,1.494113e-02,1.487924e-02,1.481733e-02,1.475547e-02,1.469372e-02,1.463212e-02,1.457072e-02
0.000000e+00,4.176858e-09,9.640174e-09,3.331004e-08,7.565943e-08,1.101320e-07,2.475987e-07,2.549324e-07,4.861944e-07,5.688137e-07,8.211632e-07,1.078751e-06,1.276149e-06,1.813671e-06,1.866150e-06,2.603043e-06,2.802521e-06,3.491887e-06,4.054449e-06,4.527263e-06,5.547476e-06,5.693703e-06,6.970505e-06,7.237215e-06,8.336394e-06,9.075216e-06,9.771558e-06,1.101734e-05,1.125789e-05,1.277868e-05,1.302415e-05,1.431843e-05,1.505997e-05,1.586275e-05,1.709259e-05,1.739845e-05,1.891361e-05,1.909354e-05,2.039773e-05,2.103851e-05,2.184173e-05,2.290764e-05,2.323806e-05,2.458058e-05,2.468550e-05,2.586450e-05,2.636084e-05,2.708634e-05,2.792628e-05,2.824378e-05,2.933554e-05,2.937783e-05,3.036118e-05,3.071427e-05,3.132106e-05,3.193669e-05,3.221615e-05,3.304791e-05,3.381821e-05,3.405208e-05,3.452923e-05,3.495427e-05,3.518336e-05,3.576016e-05,3.578314e-05,3.633120e-05,3.647575e-05,3.683022e-05,3.710721e-05,3.728289e-05,3.766069e-05,3.769186e-05,3.805974e-05,3.814221e-05,3.838907e-05,3.855756e-05,3.868227e-05,3.891226e-05,3.894169e-05,3.916957e-05,3.921156e-05,3.936807e-05,3.946035e-05,3.953920e-05,3.966321e-05,3.968489e-05,3.980695e-05,3.982440e-05,3.990710e-05,3.994786e-05,3.998694e-05,4.003722e-05,4.004799e-05,4.009168e-05,4.009582e-05,4.011932e-05,4.012672e-05,4.013217e-05,4.013276e-05,4.013139e-05,4.011807e-05,4.011650e-05,4.009324e-05,4.008029e-05,4.005783e-05,4.002629e-05,4.001274e-05,3.995879e-05,3.995646e-05,3.989676e-05,3.987259e-05,3.982737e-05,3.977631e-05,3.975127e-05,3.966910e-05,3.958143e-05,3.955230e-05,3.948880e-05,3.942715e-05,3.939172e-05,3.929476e-05,3.929064e-05,3.918601e-05,3.915613e-05,3.907823e-05,3.901220e-05,3.896766e-05,3.886378e-05,3.885466e-05,3.873955e-05,3.871164e-05,3.862262e-05,3.855645e-05,3.850415e-05,3.839883e-05,3.838440e-05,3.826361e-05,3.823935e-05,3.814199e-05,3.807850e-05,3.801976e-05,3.791674e-05,3.789709e-05,3.777416e-05,3.775448e-05,3.765113e-05,3.759209e-05,3.752815e-05,3.742990e-05,3.740536e-05,3.728287e-05,3.726820e-05,3.716081e-05,3.710727e-05,3.703928e-05,3.694733e-05,3.691838e-05,3.679819e-05,3.678861e-05,3.667880e-05,3.663128e-05,3.656027e-05,3.647551e-05,3.644269e-05,3.632610e-05,3.632146e-05,3.621057e-05,3.616925e-05,3.609614e-05,3.601898e-05,3.598286e-05,3.587076e-05,3.572468e-05,3.558080e-05,3.543919e-05,3.529988e-05,3.516294e-05,3.502838e-05,3.489624e-05,3.476653e-05,3.463927e-05,3.451445e-05,3.439208e-05,3.427217e-05,3.415469e-05,3.403964e-05,3.392701e-05,3.381677e-05,3.370892e-05,3.360341e-05,3.350024e-05,3.339936e-05,3.330077e-05,3.320441e-05,3.311027e-05,3.301831e-05
0.000000e+00,1.306411e-09,3.076601e-09,1.087888e-08,2.502314e-08,3.662430e-08,8.334694e-08,8.585579e-08,1.656334e-07,1.944141e-07,2.831328e-07,3.748614e-07,4.458903e-07,6.421177e-07,6.614677e-07,9.358092e-07,1.010713e-06,1.270838e-06,1.484161e-06,1.664085e-06,2.054640e-06,2.110930e-06,2.606626e-06,2.711244e-06,3.146912e-06,3.444181e-06,3.727888e-06,4.244576e-06,4.345756e-06,4.996630e-06,5.103564e-06,5.676441e-06,6.011782e-06,6.380916e-06,6.959265e-06,7.105600e-06,7.845921e-06,7.935591e-06,8.597244e-06,8.930122e-06,9.354964e-06,9.932338e-06,1.011459e-05,1.087180e-05,1.093215e-05,1.162253e-05,1.192015e-05,1.236301e-05,1.288787e-05,1.308981e-05,1.379985e-05,1.382786e-05,1.449044e-05,1.473384e-05,1.515928e-05,1.560067e-05,1.580444e-05,1.642433e-05,1.701776e-05,1.720191e-05,1.758384e-05,1.793150e-05,1.812199e-05,1.861200e-05,1.863185e-05,1.911329e-05,1.924301e-05,1.956642e-05,1.982482e-05,1.999152e-05,2.035822e-05,2.038902e-05,2.075950e-05,2.084446e-05,2.110363e-05,2.128513e-05,2.142221e-05,2.168207e-05,2.171606e-05,2.198609e-05,2.203732e-05,2.223323e-05,2.235301e-05,2.245844e-05,2.263139e-05,2.266271e-05,2.284709e-05,2.287482e-05,2.301262e-05,2.308565e-05,2.316022e-05,2.326600e-05,2.329080e-05,2.340527e-05,2.341797e-05,2.350453e-05,2.354360e-05,2.358940e-05,2.364480e-05,2.366072e-05,2.371928e-05,2.372344e-05,2.376585e-05,2.378128e-05,2.380114e-05,2.381997e-05,2.382586e-05,2.384068e-05,2.384107e-05,2.384621e-05,2.384605e-05,2.384308e-05,2.383629e-05,2.383185e-05,2.381307e-05,2.378726e-05,2.377760e-05,2.375491e-05,2.373099e-05,2.371649e-05,2.367429e-05,2.367243e-05,2.362314e-05,2.360846e-05,2.356903e-05,2.353440e-05,2.351045e-05,2.345292e-05,2.344776e-05,2.338129e-05,2.336481e-05,2.331135e-05,2.327077e-05,2.323823e-05,2.317147e-05,2.316220e-05,2.308353e-05,2.306750e-05,2.300246e-05,2.295944e-05,2.291922e-05,2.284778e-05,2.283403e-05,2.274708e-05,2.273302e-05,2.265856e-05,2.261558e-05,2.256867e-05,2.249587e-05,2.247755e-05,2.238538e-05,2.237425e-05,2.229229e-05,2.225108e-05,2.219843e-05,2.212665e-05,2.210392e-05,2.200888e-05,2.200126e-05,2.191343e-05,2.187516e-05,2.181768e-05,2.174860e-05,2.172171e-05,2.162563e-05,2.162178e-05,2.152952e-05,2.149492e-05,2.143345e-05,2.136819e-05,2.133751e-05,2.124176e-05,2.111578e-05,2.099037e-05,2.086568e-05,2.074180e-05,2.061884e-05,2.049688e-05,2.037601e-05,2.025630e-05,2.013781e-05,2.002061e-05,1.990473e-05,1.979022e-05,1.967712e-05,1.956546e-05,1.945527e-05,1.934658e-05,1.923939e-05,1.913373e-05,1.902961e-05,1.892703e-05,1.882600e-05,1.872653e-05,1.862862e-05,1.853225e-05
0.000000e+00,6.876541e-10,2.307318e-09,1.305998e-08,3.929691e-08,6.429187e-08,1.821467e-07,1.890340e-07,4.282653e-07,5.224573e-07,8.335715e-07,1.183149e-06,1.470283e-06,2.323038e-06,2.411023e-06,3.710344e-06,4.077293e-06,5.372669e-06,6.445747e-06,7.350593e-06,9.297611e-06,9.575416e-06,1.198429e-05,1.248366e-05,1.452890e-05,1.589340e-05,1.717316e-05,1.945060e-05,1.988891e-05,2.265250e-05,2.309769e-05,2.544296e-05,2.678624e-05,2.824113e-05,3.047335e-05,3.102942e-05,3.379179e-05,3.412083e-05,3.651388e-05,3.769553e-05,3.918310e-05,4.116965e-05,4.178867e-05,4.432163e-05,4.452091e-05,4.677474e-05,4.773231e-05,4.914237e-05,5.079176e-05,5.142039e-05,5.360592e-05,5.369139e-05,5.569729e-05,5.642697e-05,5.769377e-05,5.899718e-05,5.959542e-05,6.140302e-05,6.311790e-05,6.364735e-05,6.474181e-05,6.573435e-05,6.627690e-05,6.766928e-05,6.772560e-05,6.909048e-05,6.945799e-05,7.037426e-05,7.110678e-05,7.157978e-05,7.262220e-05,7.270990e-05,7.376752e-05,7.401088e-05,7.475551e-05,7.527943e-05,7.567672e-05,7.643438e-05,7.653397e-05,7.733002e-05,7.748212e-05,7.806756e-05,7.842884e-05,7.874923e-05,7.928052e-05,7.937757e-05,7.995506e-05,8.004289e-05,8.048408e-05,8.072147e-05,8.096694e-05,8.132150e-05,8.140588e-05,8.180304e-05,8.184799e-05,8.216048e-05,8.230568e-05,8.248018e-05,8.269909e-05,8.276405e-05,8.301392e-05,8.303250e-05,8.323155e-05,8.330995e-05,8.341861e-05,8.353528e-05,8.357672e-05,8.370741e-05,8.371209e-05,8.381216e-05,8.384380e-05,8.389239e-05,8.393362e-05,8.394943e-05,8.398459e-05,8.399909e-05,8.399956e-05,8.399411e-05,8.398122e-05,8.397078e-05,8.393210e-05,8.393015e-05,8.387327e-05,8.385456e-05,8.380110e-05,8.375085e-05,8.371458e-05,8.362306e-05,8.361458e-05,8.350196e-05,8.347315e-05,8.337752e-05,8.330296e-05,8.324203e-05,8.311424e-05,8.309622e-05,8.294078e-05,8.290860e-05,8.277638e-05,8.268755e-05,8.260364e-05,8.245253e-05,8.242316e-05,8.223551e-05,8.220486e-05,8.204124e-05,8.194578e-05,8.184085e-05,8.167646e-05,8.163483e-05,8.142366e-05,8.139799e-05,8.120776e-05,8.111138e-05,8.098757e-05,8.081758e-05,8.076346e-05,8.053583e-05,8.051748e-05,8.030502e-05,8.021189e-05,8.007138e-05,7.990158e-05,7.983522e-05,7.959686e-05,7.958728e-05,7.935657e-05,7.926964e-05,7.911462e-05,7.894929e-05,7.887128e-05,7.862679e-05,7.830269e-05,7.797748e-05,7.765161e-05,7.732552e-05,7.699959e-05,7.667419e-05,7.634965e-05,7.602628e-05,7.570436e-05,7.538416e-05,7.506591e-05,7.474983e-05,7.443612e-05,7.412496e-05,7.381652e-05,7.351095e-05,7.320838e-05,7.290893e-05,7.261272e-05,7.231983e-05,7.203036e-05,7.174437e-05,7.146195e-05,7.118313e-05
0.000000e+00,1.719216e-10,6.392594e-10,4.375969e-09,1.526803e-08,2.683653e-08,8.887860e-08,9.274832e-08,2.357695e-07,2.949787e-07,4.962822e-07,7.281587e-07,9.210195e-07,1.502228e-06,1.562897e-06,2.478259e-06,2.744599e-06,3.718029e-06,4.567004e-06,5.314077e-06,7.017040e-06,7.270272e-06,9.564930e-06,1.006133e-05,1.216047e-05,1.361456e-05,1.501304e-05,1.757555e-05,1.807861e-05,2.131582e-05,2.184712e-05,2.468674e-05,2.634201e-05,2.815680e-05,3.098289e-05,3.169439e-05,3.527065e-05,3.570113e-05,3.885935e-05,4.043612e-05,4.243681e-05,4.513510e-05,4.598197e-05,4.947637e-05,4.975323e-05,5.290414e-05,5.425352e-05,5.625193e-05,5.860655e-05,5.950875e-05,6.266586e-05,6.278997e-05,6.571653e-05,6.678771e-05,6.865582e-05,7.058916e-05,7.148040e-05,7.418828e-05,7.677864e-05,7.758274e-05,7.925164e-05,8.077317e-05,8.160822e-05,8.376250e-05,8.384999e-05,8.597909e-05,8.655539e-05,8.799805e-05,8.915774e-05,8.990973e-05,9.157636e-05,9.171719e-05,9.342371e-05,9.381862e-05,9.503262e-05,9.589226e-05,9.654736e-05,9.780517e-05,9.797138e-05,9.930812e-05,9.956530e-05,1.005610e-04,1.011805e-04,1.017334e-04,1.026585e-04,1.028286e-04,1.038499e-04,1.040067e-04,1.048003e-04,1.052323e-04,1.056830e-04,1.063424e-04,1.065009e-04,1.072570e-04,1.073437e-04,1.079541e-04,1.082428e-04,1.085948e-04,1.090457e-04,1.091819e-04,1.097178e-04,1.097585e-04,1.102050e-04,1.103867e-04,1.106457e-04,1.109356e-04,1.110423e-04,1.113969e-04,1.114103e-04,1.117116e-04,1.118155e-04,1.119883e-04,1.121557e-04,1.122289e-04,1.124353e-04,1.126092e-04,1.126583e-04,1.127524e-04,1.128286e-04,1.128663e-04,1.129497e-04,1.129526e-04,1.130127e-04,1.130250e-04,1.130481e-04,1.130579e-04,1.130600e-04,1.130513e-04,1.130497e-04,1.130186e-04,1.130082e-04,1.129678e-04,1.129311e-04,1.128983e-04,1.128227e-04,1.128114e-04,1.127079e-04,1.126853e-04,1.125889e-04,1.125212e-04,1.124553e-04,1.123325e-04,1.123081e-04,1.121480e-04,1.121212e-04,1.119758e-04,1.118891e-04,1.117924e-04,1.116381e-04,1.115985e-04,1.113948e-04,1.113697e-04,1.111819e-04,1.110855e-04,1.109605e-04,1.107870e-04,1.107312e-04,1.104946e-04,1.104754e-04,1.102513e-04,1.101522e-04,1.100017e-04,1.098184e-04,1.097463e-04,1.094857e-04,1.094752e-04,1.092203e-04,1.091237e-04,1.089505e-04,1.087647e-04,1.086767e-04,1.083993e-04,1.080283e-04,1.076525e-04,1.072726e-04,1.068893e-04,1.065033e-04,1.061152e-04,1.057255e-04,1.053347e-04,1.049435e-04,1.045521e-04,1.041610e-04,1.037706e-04,1.033813e-04,1.029934e-04,1.026071e-04,1.022229e-04,1.018409e-04,1.014614e-04,1.010846e-04,1.007106e-04,1.003398e-04,9.997222e-05,9.960804e-05,9.924739e-05
0.000000e+00,4.685266e-09,1.080167e-08,3.740979e-08,8.548199e-08,1.250343e-07,2.862947e-07,2.950512e-07,5.787399e-07,6.835096e-07,1.013972e-06,1.366452e-06,1.646011e-06,2.442581e-06,2.522709e-06,3.678601e-06,3.998316e-06,5.111594e-06,6.019838e-06,6.777792e-06,8.388062e-06,8.615757e-06,1.057111e-05,1.097249e-05,1.260348e-05,1.368075e-05,1.468371e-05,1.645177e-05,1.678969e-05,1.890353e-05,1.924143e-05,2.101000e-05,2.201450e-05,2.309575e-05,2.474147e-05,2.514902e-05,2.715952e-05,2.739747e-05,2.911843e-05,2.996204e-05,3.101831e-05,3.241899e-05,3.285313e-05,3.461815e-05,3.475622e-05,3.630982e-05,3.696537e-05,3.792571e-05,3.904135e-05,3.946432e-05,4.092503e-05,4.098183e-05,4.230789e-05,4.278679e-05,4.361360e-05,4.445798e-05,4.484330e-05,4.599856e-05,4.708125e-05,4.741273e-05,4.809349e-05,4.870539e-05,4.903755e-05,4.988195e-05,4.991585e-05,5.073089e-05,5.094810e-05,5.148519e-05,5.190968e-05,5.218131e-05,5.277254e-05,5.282179e-05,5.340915e-05,5.354248e-05,5.394585e-05,5.422518e-05,5.443432e-05,5.482616e-05,5.487693e-05,5.527597e-05,5.535074e-05,5.563366e-05,5.580403e-05,5.595215e-05,5.619091e-05,5.623352e-05,5.647976e-05,5.651602e-05,5.669278e-05,5.678378e-05,5.687443e-05,5.699834e-05,5.702647e-05,5.715058e-05,5.716367e-05,5.724838e-05,5.728347e-05,5.732141e-05,5.736126e-05,5.737114e-05,5.739899e-05,5.740031e-05,5.740629e-05,5.740374e-05,5.739431e-05,5.737443e-05,5.736427e-05,5.731733e-05,5.731512e-05,5.725459e-05,5.722834e-05,5.717709e-05,5.711648e-05,5.708584e-05,5.698177e-05,5.686579e-05,5.682630e-05,5.673874e-05,5.665200e-05,5.660144e-05,5.646069e-05,5.645465e-05,5.629910e-05,5.625407e-05,5.613547e-05,5.603369e-05,5.596442e-05,5.580103e-05,5.578656e-05,5.560249e-05,5.555744e-05,5.541274e-05,5.530420e-05,5.521785e-05,5.504247e-05,5.501830e-05,5.481456e-05,5.477335e-05,5.460707e-05,5.449784e-05,5.439626e-05,5.421688e-05,5.418249e-05,5.396616e-05,5.393133e-05,5.374759e-05,5.364199e-05,5.352713e-05,5.334960e-05,5.330508e-05,5.308172e-05,5.305485e-05,5.285734e-05,5.275835e-05,5.263218e-05,5.246068e-05,5.240648e-05,5.218047e-05,5.216238e-05,5.195436e-05,5.186393e-05,5.172834e-05,5.156578e-05,5.150261e-05,5.127733e-05,5.126833e-05,5.105265e-05,5.097195e-05,5.082875e-05,5.067699e-05,5.060574e-05,5.038376e-05,5.009253e-05,4.980356e-05,4.951707e-05,4.923328e-05,4.895237e-05,4.867449e-05,4.839981e-05,4.812844e-05,4.786049e-05,4.759608e-05,4.733528e-05,4.707817e-05,4.682480e-05,4.657523e-05,4.632949e-05,4.608763e-05,4.584966e-05,4.561560e-05,4.538545e-05,4.515922e-05,4.493691e-05,4.471850e-05,4.450398e-05,4.429334e-05
0.000000e+00,2.138440e-09,4.905603e-09,1.688142e-08,3.836515e-08,5.591523e-08,1.263943e-07,1.301746e-07,2.503084e-07,2.936286e-07,4.271204e-07,5.650623e-07,6.718246e-07,9.667265e-07,9.958233e-07,1.409494e-06,1.522989e-06,1.919544e-06,2.247547e-06,2.525809e-06,3.132730e-06,3.220325e-06,3.990077e-06,4.151798e-06,4.820928e-06,5.272739e-06,5.699898e-06,6.467123e-06,6.615710e-06,7.558548e-06,7.711316e-06,8.519702e-06,8.985223e-06,9.491306e-06,1.027129e-05,1.046621e-05,1.143795e-05,1.155406e-05,1.240069e-05,1.282009e-05,1.334928e-05,1.405797e-05,1.427924e-05,1.518677e-05,1.525831e-05,1.606869e-05,1.641369e-05,1.692245e-05,1.751858e-05,1.774605e-05,1.853801e-05,1.856901e-05,1.929730e-05,1.956252e-05,2.002332e-05,2.049785e-05,2.071578e-05,2.137469e-05,2.200031e-05,2.219355e-05,2.259311e-05,2.295556e-05,2.315372e-05,2.366232e-05,2.368289e-05,2.418149e-05,2.431574e-05,2.465045e-05,2.491802e-05,2.509077e-05,2.547146e-05,2.550348e-05,2.588962e-05,2.597846e-05,2.625024e-05,2.644143e-05,2.658639e-05,2.686277e-05,2.689910e-05,2.718940e-05,2.724486e-05,2.745830e-05,2.758999e-05,2.770676e-05,2.790038e-05,2.793574e-05,2.814616e-05,2.817817e-05,2.833891e-05,2.842541e-05,2.851485e-05,2.864405e-05,2.867481e-05,2.881958e-05,2.883596e-05,2.894993e-05,2.900290e-05,2.906659e-05,2.914653e-05,2.917027e-05,2.926164e-05,2.926843e-05,2.934134e-05,2.937010e-05,2.941000e-05,2.945292e-05,2.946820e-05,2.951650e-05,2.951823e-05,2.955544e-05,2.956727e-05,2.958554e-05,2.960120e-05,2.960727e-05,2.962112e-05,2.962752e-05,2.962806e-05,2.962689e-05,2.962299e-05,2.961965e-05,2.960682e-05,2.960616e-05,2.958681e-05,2.958039e-05,2.956193e-05,2.954450e-05,2.953187e-05,2.949989e-05,2.949692e-05,2.945740e-05,2.944727e-05,2.941359e-05,2.938729e-05,2.936577e-05,2.932056e-05,2.931417e-05,2.925907e-05,2.924764e-05,2.920068e-05,2.916909e-05,2.913922e-05,2.908539e-05,2.907492e-05,2.900796e-05,2.899701e-05,2.893854e-05,2.890440e-05,2.886684e-05,2.880795e-05,2.879302e-05,2.871726e-05,2.870805e-05,2.863970e-05,2.860505e-05,2.856050e-05,2.849929e-05,2.847978e-05,2.839769e-05,2.839107e-05,2.831435e-05,2.828068e-05,2.822986e-05,2.816840e-05,2.814436e-05,2.805794e-05,2.805447e-05,2.797070e-05,2.793912e-05,2.788275e-05,2.782257e-05,2.779416e-05,2.770503e-05,2.758668e-05,2.746769e-05,2.734823e-05,2.722845e-05,2.710849e-05,2.698848e-05,2.686853e-05,2.674875e-05,2.662926e-05,2.651014e-05,2.639149e-05,2.627337e-05,2.615587e-05,2.603906e-05,2.592299e-05,2.580772e-05,2.569331e-05,2.557980e-05,2.546723e-05,2.535565e-05,2.524509e-05,2.513559e-05,2.502716e-05,2.491983e-05
0.000000e+00,3.833534e-09,8.849388e-09,3.062525e-08,6.972901e-08,1.016743e-07,2.299492e-07,2.368296e-07,4.555564e-07,5.344730e-07,7.777638e-07,1.029101e-06,1.223289e-06,1.755746e-06,1.807818e-06,2.535464e-06,2.730510e-06,3.396246e-06,3.930020e-06,4.372768e-06,5.313551e-06,5.447072e-06,6.602700e-06,6.842224e-06,7.824336e-06,8.480760e-06,9.097220e-06,1.019547e-05,1.040690e-05,1.173931e-05,1.195370e-05,1.308097e-05,1.372452e-05,1.441929e-05,1.547977e-05,1.574277e-05,1.704125e-05,1.719495e-05,1.830597e-05,1.884983e-05,1.952965e-05,2.042853e-05,2.070641e-05,2.183175e-05,2.191945e-05,2.290239e-05,2.331480e-05,2.391614e-05,2.461010e-05,2.487179e-05,2.576894e-05,2.580361e-05,2.660789e-05,2.689582e-05,2.738950e-05,2.788888e-05,2.811506e-05,2.878619e-05,2.940478e-05,2.959196e-05,2.997290e-05,3.031102e-05,3.049274e-05,3.094847e-05,3.096656e-05,3.139666e-05,3.150957e-05,3.178533e-05,3.199958e-05,3.213482e-05,3.242368e-05,3.244738e-05,3.272515e-05,3.278687e-05,3.297022e-05,3.309394e-05,3.318463e-05,3.334946e-05,3.337029e-05,3.352905e-05,3.355773e-05,3.366268e-05,3.372279e-05,3.377285e-05,3.384843e-05,3.386115e-05,3.392909e-05,3.393817e-05,3.397810e-05,3.399530e-05,3.400952e-05,3.402285e-05,3.402463e-05,3.402462e-05,3.402366e-05,3.401062e-05,3.400031e-05,3.398370e-05,3.395522e-05,3.394486e-05,3.389503e-05,3.389060e-05,3.383510e-05,3.380849e-05,3.376590e-05,3.371077e-05,3.368820e-05,3.360273e-05,3.359916e-05,3.351018e-05,3.347525e-05,3.341118e-05,3.334049e-05,3.330634e-05,3.319621e-05,3.308131e-05,3.304362e-05,3.296214e-05,3.288383e-05,3.283915e-05,3.271788e-05,3.271276e-05,3.258339e-05,3.254668e-05,3.245139e-05,3.237108e-05,3.231712e-05,3.219186e-05,3.218090e-05,3.204302e-05,3.200971e-05,3.190376e-05,3.182528e-05,3.176339e-05,3.163913e-05,3.162215e-05,3.148025e-05,3.145181e-05,3.133791e-05,3.126378e-05,3.119531e-05,3.107547e-05,3.105264e-05,3.091006e-05,3.088727e-05,3.076772e-05,3.069952e-05,3.062576e-05,3.051255e-05,3.048431e-05,3.034348e-05,3.032663e-05,3.020339e-05,3.014201e-05,3.006413e-05,2.995891e-05,2.992580e-05,2.978848e-05,2.977754e-05,2.965224e-05,2.959807e-05,2.951716e-05,2.942064e-05,2.938329e-05,2.925069e-05,2.924541e-05,2.911941e-05,2.907248e-05,2.898950e-05,2.890196e-05,2.886099e-05,2.873393e-05,2.856847e-05,2.840564e-05,2.824549e-05,2.808805e-05,2.793337e-05,2.778146e-05,2.763233e-05,2.748601e-05,2.734248e-05,2.720175e-05,2.706380e-05,2.692863e-05,2.679622e-05,2.666654e-05,2.653958e-05,2.641530e-05,2.629369e-05,2.617470e-05,2.605830e-05,2.594447e-05,2.583316e-05,2.572433e-05,2.561795e-05,2.551398e-05
0.000000e+00,6.071506e-09,1.399836e-08,4.846163e-08,1.105100e-07,1.613007e-07,3.657577e-07,3.767396e-07,7.262724e-07,8.525171e-07,1.242060e-06,1.645278e-06,1.957763e-06,2.822417e-06,2.907827e-06,4.123326e-06,4.457048e-06,5.623215e-06,6.587593e-06,7.405575e-06,9.190206e-06,9.447964e-06,1.171726e-05,1.219529e-05,1.417918e-05,1.552496e-05,1.680240e-05,1.910999e-05,1.955892e-05,2.242320e-05,2.288988e-05,2.537144e-05,2.680976e-05,2.838112e-05,3.081871e-05,3.143088e-05,3.450057e-05,3.486936e-05,3.757140e-05,3.891842e-05,4.062610e-05,4.292719e-05,4.364902e-05,4.662627e-05,4.686210e-05,4.954570e-05,5.069490e-05,5.239693e-05,5.440262e-05,5.517123e-05,5.786151e-05,5.796729e-05,6.046213e-05,6.137553e-05,6.296879e-05,6.461803e-05,6.537840e-05,6.768894e-05,6.989932e-05,7.058541e-05,7.200921e-05,7.330697e-05,7.401901e-05,7.585511e-05,7.592965e-05,7.774254e-05,7.823287e-05,7.945948e-05,8.044445e-05,8.108257e-05,8.249493e-05,8.261414e-05,8.405675e-05,8.439003e-05,8.541304e-05,8.613589e-05,8.668578e-05,8.773892e-05,8.787779e-05,8.899194e-05,8.920568e-05,9.003109e-05,9.054276e-05,9.099810e-05,9.175671e-05,9.189580e-05,9.272700e-05,9.285400e-05,9.349443e-05,9.384095e-05,9.420080e-05,9.472370e-05,9.484873e-05,9.544079e-05,9.550820e-05,9.597946e-05,9.620019e-05,9.646717e-05,9.680518e-05,9.690625e-05,9.729899e-05,9.732847e-05,9.764757e-05,9.777511e-05,9.795411e-05,9.814994e-05,9.822066e-05,9.844918e-05,9.845756e-05,9.864158e-05,9.870235e-05,9.879968e-05,9.888849e-05,9.892523e-05,9.901992e-05,9.908537e-05,9.910040e-05,9.912314e-05,9.913348e-05,9.913472e-05,9.912252e-05,9.912154e-05,9.908497e-05,9.907072e-05,9.902633e-05,9.898107e-05,9.894687e-05,9.885642e-05,9.884780e-05,9.873028e-05,9.869945e-05,9.859541e-05,9.851269e-05,9.844424e-05,9.829852e-05,9.827777e-05,9.809698e-05,9.805919e-05,9.790279e-05,9.779680e-05,9.769607e-05,9.751335e-05,9.747766e-05,9.724836e-05,9.721071e-05,9.700893e-05,9.689063e-05,9.676011e-05,9.655475e-05,9.650258e-05,9.623701e-05,9.620463e-05,9.596403e-05,9.584172e-05,9.568423e-05,9.546738e-05,9.539819e-05,9.510644e-05,9.508287e-05,9.480951e-05,9.468939e-05,9.450788e-05,9.428806e-05,9.420202e-05,9.389238e-05,9.387992e-05,9.357937e-05,9.346594e-05,9.326339e-05,9.304703e-05,9.294483e-05,9.262403e-05,9.219774e-05,9.176888e-05,9.133815e-05,9.090617e-05,9.047353e-05,9.004078e-05,8.960843e-05,8.917693e-05,8.874673e-05,8.831821e-05,8.789175e-05,8.746768e-05,8.704631e-05,8.662792e-05,8.621277e-05,8.580109e-05,8.539309e-05,8.498897e-05,8.458890e-05,8.419303e-05,8.380151e-05,8.341446e-05,8.303199e-05,8.265419e-05
0.000000e+00,1.585202e-09,4.547565e-09,2.028340e-08,5.260901e-08,8.081991e-08,2.025516e-07,2.093558e-07,4.357696e-07,5.214331e-07,7.959755e-07,1.093556e-06,1.331711e-06,2.015653e-06,2.084687e-06,3.081488e-06,3.357006e-06,4.314338e-06,5.092556e-06,5.740047e-06,7.110392e-06,7.303655e-06,8.959241e-06,9.298315e-06,1.067401e-05,1.158107e-05,1.242462e-05,1.390982e-05,1.419344e-05,1.596631e-05,1.624953e-05,1.773151e-05,1.857314e-05,1.947926e-05,2.085940e-05,2.120146e-05,2.289148e-05,2.309186e-05,2.454405e-05,2.525821e-05,2.615503e-05,2.734962e-05,2.772132e-05,2.924067e-05,2.936014e-05,3.071153e-05,3.128607e-05,3.213294e-05,3.312545e-05,3.350442e-05,3.482587e-05,3.487769e-05,3.609749e-05,3.654316e-05,3.731974e-05,3.812297e-05,3.849322e-05,3.961874e-05,4.069718e-05,4.103249e-05,4.172952e-05,4.236652e-05,4.271683e-05,4.362329e-05,4.366020e-05,4.456076e-05,4.480541e-05,4.541967e-05,4.591551e-05,4.623809e-05,4.695629e-05,4.701720e-05,4.775816e-05,4.793044e-05,4.846214e-05,4.884065e-05,4.913029e-05,4.968950e-05,4.976371e-05,5.036355e-05,5.047960e-05,5.093100e-05,5.121363e-05,5.146713e-05,5.189405e-05,5.197300e-05,5.244968e-05,5.252331e-05,5.289820e-05,5.310379e-05,5.331957e-05,5.363778e-05,5.371477e-05,5.408476e-05,5.412751e-05,5.443048e-05,5.457514e-05,5.475283e-05,5.498275e-05,5.505272e-05,5.533100e-05,5.535236e-05,5.558852e-05,5.568589e-05,5.582608e-05,5.598522e-05,5.604449e-05,5.624450e-05,5.625213e-05,5.642686e-05,5.648833e-05,5.659229e-05,5.669548e-05,5.674150e-05,5.687516e-05,5.699393e-05,5.702889e-05,5.709843e-05,5.715812e-05,5.718929e-05,5.726423e-05,5.726710e-05,5.733243e-05,5.734856e-05,5.738583e-05,5.741237e-05,5.742785e-05,5.745689e-05,5.745899e-05,5.747976e-05,5.748325e-05,5.749064e-05,5.749258e-05,5.749209e-05,5.748592e-05,5.748456e-05,5.746849e-05,5.746429e-05,5.744429e-05,5.742862e-05,5.741236e-05,5.737985e-05,5.737309e-05,5.732685e-05,5.731883e-05,5.727400e-05,5.724639e-05,5.721489e-05,5.716332e-05,5.714985e-05,5.707920e-05,5.707036e-05,5.700324e-05,5.696822e-05,5.692228e-05,5.685757e-05,5.683659e-05,5.674646e-05,5.673907e-05,5.665214e-05,5.661330e-05,5.655389e-05,5.648085e-05,5.645195e-05,5.634655e-05,5.634226e-05,5.623792e-05,5.619806e-05,5.612627e-05,5.604873e-05,5.601180e-05,5.589473e-05,5.573650e-05,5.557446e-05,5.540900e-05,5.524049e-05,5.506928e-05,5.489571e-05,5.472007e-05,5.454267e-05,5.436379e-05,5.418368e-05,5.400259e-05,5.382074e-05,5.363836e-05,5.345565e-05,5.327279e-05,5.308997e-05,5.290735e-05,5.272510e-05,5.254334e-05,5.236223e-05,5.218188e-05,5.200241e-05,5.182394e-05,5.164657e-05
0.000000e+00,4.265622e-09,9.796514e-09,3.372785e-08,7.660801e-08,1.115930e-07,2.517751e-07,2.592819e-07,4.973222e-07,5.829470e-07,8.462279e-07,1.117523e-06,1.327052e-06,1.904179e-06,1.961007e-06,2.767048e-06,2.987619e-06,3.756508e-06,4.390442e-06,4.926849e-06,6.092628e-06,6.260434e-06,7.730614e-06,8.038536e-06,9.309310e-06,1.016452e-05,1.097105e-05,1.241485e-05,1.269375e-05,1.445814e-05,1.474314e-05,1.624713e-05,1.711001e-05,1.804534e-05,1.948119e-05,1.983892e-05,2.161542e-05,2.182692e-05,2.336383e-05,2.412171e-05,2.507457e-05,2.634444e-05,2.673944e-05,2.835163e-05,2.847816e-05,2.990564e-05,3.050996e-05,3.139721e-05,3.243066e-05,3.282318e-05,3.418142e-05,3.423432e-05,3.547069e-05,3.591783e-05,3.669051e-05,3.748038e-05,3.784105e-05,3.892303e-05,3.993763e-05,4.024831e-05,4.088637e-05,4.145983e-05,4.177107e-05,4.256203e-05,4.259377e-05,4.335666e-05,4.355985e-05,4.406202e-05,4.445862e-05,4.471224e-05,4.526380e-05,4.530971e-05,4.585684e-05,4.598092e-05,4.635602e-05,4.661550e-05,4.680961e-05,4.717290e-05,4.721993e-05,4.758923e-05,4.765836e-05,4.791970e-05,4.807690e-05,4.821346e-05,4.843335e-05,4.847256e-05,4.869897e-05,4.873229e-05,4.889457e-05,4.897805e-05,4.906118e-05,4.917475e-05,4.920052e-05,4.931426e-05,4.932626e-05,4.940396e-05,4.943620e-05,4.947113e-05,4.950800e-05,4.951720e-05,4.954354e-05,4.954484e-05,4.955144e-05,4.954971e-05,4.954211e-05,4.952539e-05,4.951673e-05,4.947641e-05,4.947450e-05,4.942218e-05,4.939945e-05,4.935504e-05,4.930249e-05,4.927592e-05,4.918572e-05,4.908526e-05,4.905108e-05,4.897535e-05,4.890039e-05,4.885673e-05,4.873531e-05,4.873010e-05,4.859614e-05,4.855741e-05,4.845547e-05,4.836810e-05,4.830869e-05,4.816872e-05,4.815635e-05,4.799897e-05,4.796051e-05,4.783706e-05,4.774458e-05,4.767107e-05,4.752199e-05,4.750146e-05,4.732862e-05,4.729369e-05,4.715294e-05,4.706059e-05,4.697479e-05,4.682348e-05,4.679450e-05,4.661241e-05,4.658312e-05,4.642879e-05,4.634020e-05,4.624394e-05,4.609535e-05,4.605812e-05,4.587157e-05,4.584914e-05,4.568451e-05,4.560211e-05,4.549717e-05,4.535473e-05,4.530974e-05,4.512241e-05,4.510744e-05,4.493535e-05,4.486064e-05,4.474872e-05,4.461469e-05,4.456266e-05,4.437733e-05,4.436993e-05,4.419284e-05,4.412665e-05,4.400931e-05,4.388511e-05,4.382685e-05,4.364557e-05,4.340823e-05,4.317328e-05,4.294091e-05,4.271125e-05,4.248445e-05,4.226062e-05,4.203986e-05,4.182226e-05,4.160789e-05,4.139682e-05,4.118909e-05,4.098475e-05,4.078383e-05,4.058636e-05,4.039234e-05,4.020178e-05,4.001469e-05,3.983107e-05,3.965090e-05,3.947417e-05,3.930085e-05,3.913094e-05,3.896439e-05,3.880119e-05
0.000000e+00,4.083151e-10,1.489376e-09,9.807604e-09,3.310992e-08,5.723924e-08,1.828902e-07,1.906238e-07,4.740513e-07,5.911001e-07,9.908077e-07,1.455536e-06,1.844867e-06,3.021411e-06,3.143645e-06,4.947272e-06,5.453010e-06,7.213596e-06,8.634539e-06,9.801006e-06,1.219880e-05,1.252755e-05,1.523013e-05,1.575665e-05,1.779267e-05,1.904577e-05,2.014765e-05,2.194284e-05,2.226529e-05,2.414059e-05,2.441864e-05,2.578290e-05,2.649317e-05,2.720879e-05,2.820675e-05,2.843777e-05,2.948994e-05,2.960525e-05,3.038481e-05,3.073349e-05,3.114071e-05,3.163271e-05,3.177455e-05,3.230171e-05,3.233970e-05,3.273600e-05,3.288652e-05,3.308975e-05,3.330077e-05,3.337389e-05,3.359802e-05,3.360586e-05,3.377048e-05,3.382134e-05,3.389849e-05,3.396335e-05,3.398825e-05,3.404506e-05,3.407344e-05,3.407717e-05,3.407726e-05,3.406834e-05,3.405978e-05,3.402556e-05,3.402380e-05,3.397170e-05,3.395450e-05,3.390551e-05,3.385977e-05,3.382697e-05,3.374512e-05,3.373760e-05,3.363868e-05,3.361365e-05,3.353135e-05,3.346794e-05,3.341659e-05,3.331015e-05,3.329527e-05,3.316817e-05,3.314212e-05,3.303596e-05,3.296540e-05,3.289925e-05,3.278134e-05,3.275859e-05,3.261446e-05,3.259111e-05,3.246732e-05,3.239574e-05,3.231756e-05,3.219611e-05,3.216554e-05,3.201161e-05,3.199302e-05,3.185607e-05,3.178719e-05,3.169919e-05,3.157922e-05,3.154122e-05,3.138242e-05,3.136968e-05,3.122298e-05,3.115907e-05,3.106310e-05,3.094783e-05,3.090298e-05,3.074277e-05,3.073636e-05,3.058262e-05,3.052501e-05,3.042269e-05,3.031412e-05,3.026309e-05,3.010396e-05,2.994540e-05,2.989480e-05,2.978751e-05,2.968686e-05,2.963038e-05,2.948034e-05,2.947411e-05,2.931877e-05,2.927545e-05,2.916443e-05,2.907233e-05,2.901115e-05,2.887114e-05,2.885901e-05,2.870804e-05,2.867199e-05,2.855831e-05,2.847502e-05,2.840986e-05,2.828031e-05,2.826272e-05,2.811694e-05,2.808795e-05,2.797255e-05,2.789803e-05,2.782958e-05,2.771060e-05,2.768805e-05,2.754799e-05,2.752571e-05,2.740941e-05,2.734343e-05,2.727234e-05,2.716378e-05,2.713680e-05,2.700278e-05,2.698680e-05,2.687031e-05,2.681252e-05,2.673940e-05,2.664094e-05,2.661004e-05,2.648225e-05,2.647209e-05,2.635602e-05,2.630597e-05,2.623137e-05,2.614259e-05,2.610829e-05,2.598678e-05,2.598195e-05,2.586683e-05,2.582404e-05,2.574845e-05,2.566885e-05,2.563163e-05,2.551637e-05,2.536659e-05,2.521949e-05,2.507505e-05,2.493325e-05,2.479407e-05,2.465748e-05,2.452346e-05,2.439197e-05,2.426300e-05,2.413650e-05,2.401245e-05,2.389082e-05,2.377157e-05,2.365467e-05,2.354009e-05,2.342779e-05,2.331774e-05,2.320990e-05,2.310425e-05,2.300073e-05,2.289933e-05,2.279999e-05,2.270270e-05,2.260741e-05
0.000000e+00,2.239322e-10,8.366991e-10,5.781037e-09,2.031983e-08,3.584168e-08,1.195223e-07,1.247516e-07,3.180105e-07,3.978589e-07,6.681855e-07,9.771488e-07,1.232166e-06,1.991080e-06,2.069569e-06,3.241478e-06,3.579287e-06,4.808354e-06,5.879447e-06,6.825825e-06,9.009101e-06,9.337616e-06,1.236690e-05,1.303503e-05,1.590993e-05,1.794603e-05,1.993579e-05,2.365278e-05,2.439214e-05,2.921393e-05,3.001468e-05,3.433145e-05,3.687263e-05,3.967615e-05,4.407220e-05,4.518392e-05,5.079660e-05,5.147465e-05,5.646245e-05,5.896033e-05,6.213599e-05,6.642845e-05,6.777762e-05,7.335327e-05,7.379557e-05,7.883388e-05,8.099391e-05,8.419508e-05,8.796975e-05,8.941674e-05,9.448259e-05,9.468180e-05,9.937988e-05,1.010997e-04,1.040989e-04,1.072024e-04,1.086328e-04,1.129769e-04,1.171288e-04,1.184167e-04,1.210877e-04,1.235204e-04,1.248543e-04,1.282911e-04,1.284305e-04,1.318191e-04,1.327348e-04,1.350238e-04,1.368601e-04,1.380489e-04,1.406775e-04,1.408992e-04,1.435796e-04,1.441983e-04,1.460958e-04,1.474350e-04,1.484530e-04,1.504005e-04,1.506570e-04,1.527135e-04,1.531076e-04,1.546281e-04,1.555695e-04,1.564064e-04,1.577990e-04,1.580541e-04,1.595765e-04,1.598088e-04,1.609791e-04,1.616113e-04,1.622670e-04,1.632183e-04,1.634455e-04,1.645193e-04,1.646414e-04,1.654935e-04,1.658917e-04,1.663725e-04,1.669797e-04,1.671609e-04,1.678632e-04,1.679158e-04,1.684834e-04,1.687094e-04,1.690256e-04,1.693700e-04,1.694938e-04,1.698917e-04,1.699062e-04,1.702228e-04,1.703264e-04,1.704907e-04,1.706385e-04,1.706987e-04,1.708500e-04,1.709476e-04,1.709680e-04,1.709945e-04,1.709992e-04,1.709935e-04,1.709500e-04,1.709474e-04,1.708585e-04,1.708264e-04,1.707296e-04,1.706339e-04,1.705628e-04,1.703780e-04,1.703605e-04,1.701249e-04,1.700636e-04,1.698579e-04,1.696955e-04,1.695616e-04,1.692781e-04,1.692379e-04,1.688884e-04,1.688156e-04,1.685150e-04,1.683120e-04,1.681193e-04,1.677708e-04,1.677029e-04,1.672671e-04,1.671957e-04,1.668135e-04,1.665898e-04,1.663433e-04,1.659562e-04,1.658579e-04,1.653585e-04,1.652977e-04,1.648462e-04,1.646170e-04,1.643221e-04,1.639166e-04,1.637873e-04,1.632428e-04,1.631988e-04,1.626895e-04,1.624659e-04,1.621283e-04,1.617198e-04,1.615601e-04,1.609856e-04,1.609625e-04,1.604057e-04,1.601957e-04,1.598210e-04,1.594210e-04,1.592322e-04,1.586401e-04,1.578543e-04,1.570649e-04,1.562732e-04,1.554803e-04,1.546873e-04,1.538951e-04,1.531046e-04,1.523167e-04,1.515321e-04,1.507515e-04,1.499756e-04,1.492049e-04,1.484400e-04,1.476813e-04,1.469293e-04,1.461845e-04,1.454471e-04,1.447174e-04,1.439959e-04,1.432826e-04,1.425779e-04,1.418820e-04,1.411950e-04,1.405171e-04
0.000000e+00,6.716308e-09,1.583674e-08,5.620262e-08,1.298223e-07,1.905193e-07,4.370946e-07,4.504161e-07,8.773868e-07,1.032772e-06,1.515206e-06,2.018286e-06,2.410138e-06,3.500912e-06,3.609076e-06,5.154980e-06,5.581495e-06,7.079301e-06,8.327130e-06,9.392104e-06,1.173368e-05,1.207347e-05,1.507260e-05,1.570447e-05,1.831846e-05,2.007875e-05,2.173635e-05,2.469167e-05,2.526030e-05,2.883743e-05,2.941184e-05,3.242700e-05,3.414494e-05,3.599774e-05,3.882424e-05,3.952532e-05,4.299064e-05,4.340154e-05,4.637859e-05,4.784161e-05,4.967730e-05,5.211888e-05,5.287756e-05,5.597244e-05,5.621531e-05,5.895688e-05,6.011892e-05,6.182746e-05,6.382257e-05,6.458211e-05,6.721987e-05,6.732295e-05,6.974075e-05,7.061977e-05,7.214548e-05,7.371503e-05,7.443543e-05,7.661245e-05,7.867877e-05,7.931702e-05,8.063691e-05,8.183462e-05,8.248963e-05,8.417176e-05,8.423984e-05,8.589057e-05,8.633537e-05,8.744492e-05,8.833257e-05,8.890603e-05,9.017063e-05,9.027708e-05,9.156121e-05,9.185682e-05,9.276157e-05,9.339834e-05,9.388127e-05,9.480231e-05,9.492336e-05,9.589086e-05,9.607567e-05,9.678671e-05,9.722521e-05,9.761381e-05,9.825750e-05,9.837497e-05,9.907293e-05,9.917892e-05,9.971037e-05,9.999561e-05,1.002899e-04,1.007135e-04,1.008140e-04,1.012852e-04,1.013383e-04,1.017058e-04,1.018755e-04,1.020781e-04,1.023302e-04,1.024044e-04,1.026868e-04,1.027076e-04,1.029274e-04,1.030123e-04,1.031281e-04,1.032491e-04,1.032910e-04,1.034178e-04,1.034222e-04,1.035105e-04,1.035358e-04,1.035706e-04,1.035939e-04,1.036000e-04,1.036001e-04,1.035726e-04,1.035582e-04,1.035189e-04,1.034715e-04,1.034405e-04,1.033432e-04,1.033387e-04,1.032149e-04,1.031764e-04,1.030703e-04,1.029740e-04,1.029060e-04,1.027387e-04,1.027234e-04,1.025235e-04,1.024731e-04,1.023074e-04,1.021797e-04,1.020761e-04,1.018607e-04,1.018305e-04,1.015717e-04,1.015184e-04,1.013005e-04,1.011549e-04,1.010178e-04,1.007720e-04,1.007244e-04,1.004210e-04,1.003716e-04,1.001086e-04,9.995551e-05,9.978762e-05,9.952525e-05,9.945892e-05,9.912312e-05,9.908237e-05,9.878083e-05,9.862832e-05,9.843264e-05,9.816443e-05,9.807913e-05,9.772083e-05,9.769198e-05,9.735825e-05,9.721213e-05,9.699188e-05,9.672601e-05,9.662219e-05,9.624961e-05,9.623465e-05,9.587456e-05,9.573902e-05,9.549744e-05,9.524002e-05,9.511863e-05,9.473849e-05,9.423522e-05,9.373095e-05,9.322635e-05,9.272205e-05,9.221864e-05,9.171666e-05,9.121661e-05,9.071896e-05,9.022412e-05,8.973249e-05,8.924443e-05,8.876026e-05,8.828029e-05,8.780478e-05,8.733398e-05,8.686812e-05,8.640739e-05,8.595197e-05,8.550202e-05,8.505769e-05,8.461909e-05,8.418633e-05,8.375950e-05,8.333869e-05
0.000000e+00,1.236470e-09,2.875423e-09,1.003144e-08,2.291706e-08,3.344324e-08,7.557019e-08,7.782159e-08,1.488923e-07,1.742926e-07,2.518264e-07,3.308346e-07,3.912626e-07,5.552482e-07,5.712156e-07,7.947415e-07,8.550758e-07,1.063273e-06,1.233084e-06,1.375935e-06,1.685116e-06,1.729572e-06,2.119587e-06,2.201507e-06,2.540852e-06,2.770533e-06,2.988173e-06,3.380315e-06,3.456437e-06,3.940662e-06,4.019294e-06,4.436039e-06,4.676428e-06,4.937997e-06,5.341420e-06,5.442265e-06,5.944937e-06,6.004979e-06,6.442512e-06,6.659026e-06,6.931929e-06,7.296801e-06,7.410567e-06,7.876244e-06,7.912883e-06,8.327192e-06,8.503125e-06,8.762027e-06,9.064539e-06,9.179716e-06,9.579535e-06,9.595148e-06,9.961028e-06,1.009383e-05,1.032398e-05,1.056017e-05,1.066835e-05,1.099429e-05,1.130204e-05,1.139673e-05,1.159197e-05,1.176838e-05,1.186454e-05,1.211035e-05,1.212026e-05,1.235968e-05,1.242388e-05,1.258340e-05,1.271034e-05,1.279202e-05,1.297115e-05,1.298617e-05,1.316647e-05,1.320776e-05,1.333356e-05,1.342158e-05,1.348804e-05,1.361403e-05,1.363052e-05,1.376159e-05,1.378649e-05,1.388183e-05,1.394026e-05,1.399180e-05,1.407664e-05,1.409204e-05,1.418306e-05,1.419681e-05,1.426537e-05,1.430192e-05,1.433943e-05,1.439306e-05,1.440571e-05,1.446465e-05,1.447125e-05,1.451667e-05,1.453747e-05,1.456217e-05,1.459262e-05,1.460152e-05,1.463509e-05,1.463754e-05,1.466324e-05,1.467305e-05,1.468628e-05,1.469988e-05,1.470453e-05,1.471829e-05,1.471875e-05,1.472783e-05,1.473029e-05,1.473344e-05,1.473513e-05,1.473536e-05,1.473384e-05,1.472909e-05,1.472693e-05,1.472135e-05,1.471492e-05,1.471082e-05,1.469826e-05,1.469768e-05,1.468213e-05,1.467737e-05,1.466434e-05,1.465266e-05,1.464447e-05,1.462449e-05,1.462268e-05,1.459912e-05,1.459321e-05,1.457392e-05,1.455915e-05,1.454722e-05,1.452258e-05,1.451914e-05,1.448980e-05,1.448379e-05,1.445931e-05,1.444304e-05,1.442777e-05,1.440054e-05,1.439529e-05,1.436195e-05,1.435654e-05,1.432783e-05,1.431121e-05,1.429304e-05,1.426476e-05,1.425763e-05,1.422169e-05,1.421734e-05,1.418528e-05,1.416913e-05,1.414847e-05,1.412025e-05,1.411131e-05,1.407386e-05,1.407086e-05,1.403619e-05,1.402106e-05,1.399832e-05,1.397098e-05,1.396033e-05,1.392223e-05,1.392071e-05,1.388409e-05,1.387035e-05,1.384593e-05,1.382000e-05,1.380780e-05,1.376972e-05,1.371959e-05,1.366967e-05,1.362003e-05,1.357072e-05,1.352179e-05,1.347329e-05,1.342524e-05,1.337769e-05,1.333068e-05,1.328422e-05,1.323834e-05,1.319307e-05,1.314843e-05,1.310442e-05,1.306107e-05,1.301839e-05,1.297638e-05,1.293506e-05,1.289443e-05,1.285449e-05,1.281525e-05,1.277672e-05,1.273888e-05,1.270174e-05
0.000000e+00,1.935737e-10,7.586806e-10,5.780314e-09,2.217321e-08,4.100425e-08,1.541211e-07,1.616366e-07,4.621951e-07,5.961760e-07,1.079666e-06,1.675759e-06,2.195163e-06,3.854194e-06,4.033950e-06,6.862295e-06,7.720955e-06,1.097765e-05,1.396032e-05,1.669070e-05,2.328054e-05,2.430390e-05,3.409331e-05,3.633397e-05,4.629597e-05,5.366034e-05,6.110254e-05,7.565646e-05,7.865324e-05,9.903624e-05,1.025635e-04,1.222878e-04,1.344650e-04,1.483935e-04,1.712928e-04,1.772912e-04,2.088743e-04,2.128382e-04,2.429964e-04,2.587689e-04,2.794761e-04,3.086489e-04,3.181030e-04,3.586428e-04,3.619612e-04,4.008439e-04,4.181307e-04,4.444427e-04,4.765477e-04,4.891690e-04,5.347513e-04,5.365885e-04,5.809212e-04,5.976355e-04,6.274173e-04,6.590925e-04,6.739888e-04,7.203979e-04,7.664223e-04,7.810349e-04,8.118568e-04,8.405379e-04,8.565139e-04,8.984969e-04,9.002253e-04,9.428414e-04,9.545594e-04,9.842315e-04,1.008430e-03,1.024283e-03,1.059868e-03,1.062903e-03,1.100012e-03,1.108686e-03,1.135550e-03,1.154747e-03,1.169470e-03,1.197955e-03,1.201740e-03,1.232339e-03,1.238258e-03,1.261260e-03,1.275636e-03,1.288504e-03,1.310101e-03,1.314082e-03,1.338014e-03,1.341692e-03,1.360325e-03,1.370468e-03,1.381049e-03,1.396509e-03,1.400222e-03,1.417886e-03,1.419907e-03,1.434088e-03,1.440765e-03,1.448875e-03,1.459197e-03,1.462297e-03,1.474407e-03,1.475320e-03,1.485258e-03,1.489257e-03,1.494903e-03,1.501132e-03,1.503397e-03,1.510794e-03,1.511068e-03,1.517148e-03,1.519190e-03,1.522510e-03,1.525617e-03,1.526934e-03,1.530469e-03,1.533166e-03,1.533860e-03,1.535073e-03,1.535900e-03,1.536236e-03,1.536695e-03,1.536701e-03,1.536512e-03,1.536347e-03,1.535710e-03,1.534951e-03,1.534335e-03,1.532599e-03,1.532427e-03,1.530023e-03,1.529376e-03,1.527156e-03,1.525362e-03,1.523862e-03,1.520635e-03,1.520173e-03,1.516118e-03,1.515265e-03,1.511726e-03,1.509319e-03,1.507026e-03,1.502858e-03,1.502043e-03,1.496801e-03,1.495940e-03,1.491325e-03,1.488619e-03,1.485635e-03,1.480944e-03,1.479754e-03,1.473699e-03,1.472961e-03,1.467489e-03,1.464713e-03,1.461143e-03,1.456237e-03,1.454675e-03,1.448101e-03,1.447571e-03,1.441436e-03,1.438747e-03,1.434692e-03,1.429796e-03,1.427883e-03,1.421020e-03,1.420744e-03,1.414113e-03,1.411618e-03,1.407174e-03,1.402441e-03,1.400211e-03,1.393233e-03,1.384014e-03,1.374801e-03,1.365610e-03,1.356455e-03,1.347349e-03,1.338303e-03,1.329327e-03,1.320431e-03,1.311623e-03,1.302910e-03,1.294298e-03,1.285794e-03,1.277400e-03,1.269123e-03,1.260965e-03,1.252930e-03,1.245019e-03,1.237235e-03,1.229579e-03,1.222053e-03,1.214657e-03,1.207392e-03,1.200259e-03,1.193256e-03
0.000000e+00,1.236316e-10,4.465941e-10,2.887707e-09,9.596841e-09,1.644383e-08,5.117158e-08,5.326969e-08,1.278580e-07,1.575818e-07,2.555153e-07,3.641440e-07,4.520707e-07,7.078570e-07,7.339434e-07,1.118065e-06,1.227354e-06,1.621203e-06,1.960649e-06,2.258240e-06,2.937762e-06,3.039233e-06,3.965897e-06,4.168119e-06,5.029356e-06,5.630513e-06,6.210923e-06,7.276589e-06,7.485718e-06,8.827126e-06,9.046224e-06,1.021019e-05,1.088236e-05,1.161328e-05,1.273802e-05,1.301850e-05,1.441137e-05,1.457711e-05,1.578028e-05,1.637254e-05,1.711595e-05,1.810422e-05,1.841099e-05,1.965959e-05,1.975733e-05,2.085728e-05,2.132131e-05,2.200072e-05,2.278907e-05,2.308759e-05,2.411641e-05,2.415634e-05,2.508643e-05,2.542121e-05,2.599755e-05,2.658367e-05,2.685020e-05,2.764525e-05,2.838392e-05,2.860863e-05,2.906773e-05,2.947737e-05,2.969841e-05,3.025564e-05,3.027786e-05,3.080810e-05,3.094804e-05,3.129123e-05,3.155938e-05,3.172938e-05,3.209460e-05,3.212470e-05,3.247933e-05,3.255862e-05,3.279539e-05,3.295631e-05,3.307495e-05,3.329238e-05,3.332004e-05,3.353262e-05,3.357140e-05,3.371460e-05,3.379774e-05,3.386780e-05,3.397554e-05,3.399398e-05,3.409483e-05,3.410873e-05,3.417197e-05,3.420103e-05,3.422693e-05,3.425592e-05,3.426119e-05,3.427613e-05,3.427669e-05,3.427309e-05,3.426638e-05,3.425332e-05,3.422786e-05,3.421803e-05,3.416835e-05,3.416379e-05,3.410535e-05,3.407665e-05,3.403004e-05,3.396874e-05,3.394338e-05,3.384629e-05,3.384220e-05,3.373960e-05,3.369900e-05,3.362413e-05,3.354099e-05,3.350064e-05,3.336985e-05,3.323242e-05,3.318714e-05,3.308899e-05,3.299432e-05,3.294015e-05,3.279269e-05,3.278646e-05,3.262845e-05,3.258350e-05,3.246660e-05,3.236785e-05,3.230138e-05,3.214678e-05,3.213323e-05,3.196253e-05,3.192122e-05,3.178967e-05,3.169206e-05,3.161500e-05,3.146006e-05,3.143885e-05,3.126153e-05,3.122595e-05,3.108332e-05,3.099039e-05,3.090450e-05,3.075398e-05,3.072529e-05,3.054594e-05,3.051725e-05,3.036666e-05,3.028069e-05,3.018765e-05,3.004475e-05,3.000908e-05,2.983113e-05,2.980982e-05,2.965394e-05,2.957627e-05,2.947768e-05,2.934440e-05,2.930245e-05,2.912839e-05,2.911452e-05,2.895561e-05,2.888688e-05,2.878420e-05,2.866169e-05,2.861426e-05,2.844587e-05,2.843917e-05,2.827911e-05,2.821948e-05,2.811403e-05,2.800278e-05,2.795071e-05,2.778920e-05,2.757885e-05,2.737182e-05,2.716819e-05,2.696803e-05,2.677139e-05,2.657830e-05,2.638880e-05,2.620290e-05,2.602061e-05,2.584193e-05,2.566686e-05,2.549537e-05,2.532746e-05,2.516309e-05,2.500223e-05,2.484486e-05,2.469093e-05,2.454041e-05,2.439324e-05,2.424939e-05,2.410880e-05,2.397142e-05,2.383720e-05,2.370609e-05
0.000000e+00,1.385129e-10,5.417524e-10,4.109325e-09,1.569711e-08,2.895872e-08,1.081370e-07,1.133787e-07,3.219020e-07,4.143593e-07,7.463142e-07,1.152901e-06,1.505366e-06,2.622953e-06,2.743441e-06,4.628277e-06,5.197347e-06,7.347141e-06,9.308317e-06,1.110001e-05,1.541816e-05,1.608846e-05,2.250099e-05,2.396915e-05,3.049825e-05,3.532525e-05,4.020190e-05,4.972926e-05,5.168881e-05,6.498969e-05,6.728586e-05,8.009113e-05,8.796502e-05,9.693942e-05,1.116170e-04,1.154456e-04,1.354908e-04,1.379931e-04,1.569322e-04,1.667676e-04,1.796082e-04,1.975605e-04,2.033441e-04,2.279568e-04,2.299581e-04,2.532595e-04,2.635320e-04,2.790658e-04,2.978555e-04,3.051932e-04,3.314657e-04,3.325172e-04,3.577168e-04,3.671317e-04,3.837912e-04,4.013474e-04,4.095460e-04,4.348516e-04,4.595928e-04,4.673738e-04,4.836683e-04,4.986865e-04,5.069910e-04,5.286043e-04,5.294875e-04,5.510975e-04,5.569826e-04,5.717731e-04,5.837145e-04,5.914782e-04,6.087275e-04,6.101872e-04,6.278843e-04,6.319801e-04,6.445626e-04,6.534574e-04,6.602229e-04,6.731680e-04,6.748730e-04,6.885267e-04,6.911395e-04,7.012030e-04,7.074159e-04,7.129250e-04,7.220536e-04,7.237196e-04,7.336168e-04,7.351192e-04,7.426487e-04,7.466865e-04,7.508491e-04,7.568345e-04,7.582533e-04,7.648974e-04,7.656453e-04,7.708176e-04,7.732027e-04,7.760508e-04,7.795908e-04,7.806332e-04,7.846007e-04,7.848927e-04,7.879889e-04,7.891897e-04,7.908322e-04,7.925608e-04,7.931641e-04,7.950174e-04,7.950820e-04,7.964234e-04,7.968259e-04,7.974123e-04,7.978614e-04,7.980132e-04,7.982538e-04,7.981606e-04,7.980644e-04,7.977587e-04,7.973506e-04,7.970720e-04,7.961660e-04,7.961233e-04,7.949338e-04,7.945604e-04,7.935239e-04,7.925801e-04,7.919125e-04,7.902677e-04,7.901178e-04,7.881564e-04,7.876627e-04,7.860444e-04,7.848013e-04,7.837964e-04,7.817169e-04,7.814265e-04,7.789476e-04,7.784398e-04,7.763718e-04,7.749979e-04,7.737104e-04,7.714165e-04,7.709740e-04,7.681724e-04,7.677187e-04,7.653147e-04,7.639256e-04,7.624094e-04,7.600561e-04,7.594642e-04,7.564866e-04,7.561274e-04,7.534832e-04,7.521551e-04,7.504602e-04,7.481532e-04,7.474235e-04,7.443782e-04,7.441343e-04,7.413292e-04,7.401097e-04,7.382812e-04,7.360894e-04,7.352381e-04,7.322037e-04,7.320826e-04,7.291816e-04,7.280972e-04,7.261748e-04,7.241405e-04,7.231863e-04,7.202187e-04,7.163373e-04,7.125014e-04,7.087151e-04,7.049820e-04,7.013055e-04,6.976881e-04,6.941321e-04,6.906394e-04,6.872116e-04,6.838499e-04,6.805552e-04,6.773283e-04,6.741695e-04,6.710792e-04,6.680575e-04,6.651041e-04,6.622190e-04,6.594016e-04,6.566516e-04,6.539682e-04,6.513509e-04,6.487989e-04,6.463112e-04,6.438871e-04
0.000000e+00,9.479746e-09,2.189196e-08,7.601903e-08,1.739081e-07,2.543784e-07,5.809790e-07,5.986336e-07,1.165853e-06,1.373052e-06,2.019148e-06,2.697096e-06,3.227626e-06,4.710825e-06,4.858039e-06,6.951493e-06,7.522697e-06,9.495174e-06,1.109346e-05,1.242487e-05,1.525844e-05,1.566039e-05,1.913172e-05,1.984918e-05,2.278331e-05,2.473807e-05,2.656991e-05,2.982636e-05,3.045257e-05,3.439657e-05,3.503116e-05,3.837051e-05,4.028022e-05,4.234614e-05,4.551090e-05,4.629838e-05,5.020538e-05,5.067026e-05,5.404847e-05,5.571506e-05,5.781205e-05,6.061127e-05,6.148340e-05,6.505240e-05,6.533325e-05,6.851126e-05,6.986262e-05,7.185423e-05,7.418709e-05,7.507730e-05,7.817793e-05,7.829939e-05,8.115484e-05,8.219617e-05,8.400776e-05,8.587718e-05,8.673726e-05,8.934456e-05,9.183146e-05,9.260218e-05,9.420015e-05,9.565524e-05,9.645317e-05,9.850984e-05,9.859332e-05,1.006236e-04,1.011728e-04,1.025470e-04,1.036511e-04,1.043668e-04,1.059524e-04,1.060864e-04,1.077088e-04,1.080842e-04,1.092376e-04,1.100540e-04,1.106759e-04,1.118694e-04,1.120271e-04,1.132943e-04,1.135379e-04,1.144807e-04,1.150668e-04,1.155895e-04,1.164632e-04,1.166237e-04,1.175864e-04,1.177340e-04,1.184804e-04,1.188859e-04,1.193085e-04,1.199255e-04,1.200736e-04,1.207784e-04,1.208590e-04,1.214255e-04,1.216926e-04,1.220174e-04,1.224318e-04,1.225565e-04,1.230454e-04,1.230824e-04,1.234862e-04,1.236496e-04,1.238813e-04,1.241386e-04,1.242327e-04,1.245426e-04,1.245542e-04,1.248130e-04,1.249010e-04,1.250458e-04,1.251835e-04,1.252428e-04,1.254060e-04,1.255370e-04,1.255724e-04,1.256374e-04,1.256865e-04,1.257090e-04,1.257520e-04,1.257532e-04,1.257716e-04,1.257723e-04,1.257655e-04,1.257507e-04,1.257364e-04,1.256903e-04,1.256855e-04,1.256141e-04,1.255941e-04,1.255235e-04,1.254647e-04,1.254147e-04,1.253048e-04,1.252889e-04,1.251472e-04,1.251170e-04,1.249905e-04,1.249035e-04,1.248199e-04,1.246665e-04,1.246363e-04,1.244406e-04,1.244082e-04,1.242336e-04,1.241304e-04,1.240161e-04,1.238351e-04,1.237890e-04,1.235529e-04,1.235240e-04,1.233086e-04,1.231987e-04,1.230568e-04,1.228607e-04,1.227980e-04,1.225329e-04,1.225115e-04,1.222622e-04,1.221524e-04,1.219863e-04,1.217847e-04,1.217057e-04,1.214210e-04,1.214096e-04,1.211327e-04,1.210281e-04,1.208412e-04,1.206413e-04,1.205469e-04,1.202502e-04,1.198557e-04,1.194586e-04,1.190596e-04,1.186596e-04,1.182591e-04,1.178587e-04,1.174592e-04,1.170609e-04,1.166644e-04,1.162701e-04,1.158784e-04,1.154897e-04,1.151043e-04,1.147227e-04,1.143449e-04,1.139713e-04,1.136021e-04,1.132376e-04,1.128779e-04,1.125231e-04,1.121735e-04,1.118290e-04,1.114900e-04,1.111563e-04
0.000000e+00,8.027050e-11,2.876032e-10,1.830509e-09,6.003801e-09,1.021776e-08,3.128444e-08,3.254677e-08,7.698884e-08,9.453083e-08,1.518841e-07,2.149145e-07,2.655923e-07,4.117027e-07,4.265104e-07,6.428568e-07,7.038652e-07,9.217746e-07,1.107096e-06,1.267629e-06,1.627438e-06,1.680387e-06,2.155459e-06,2.257306e-06,2.685139e-06,2.979181e-06,3.260446e-06,3.772394e-06,3.872421e-06,4.512712e-06,4.617268e-06,5.173693e-06,5.496245e-06,5.848402e-06,6.393758e-06,6.530475e-06,7.214084e-06,7.295963e-06,7.893936e-06,8.190637e-06,8.565283e-06,9.067220e-06,9.223938e-06,9.866292e-06,9.916882e-06,1.048932e-05,1.073254e-05,1.109055e-05,1.150884e-05,1.166806e-05,1.222044e-05,1.224200e-05,1.274672e-05,1.292966e-05,1.324630e-05,1.357063e-05,1.371894e-05,1.416472e-05,1.458394e-05,1.471256e-05,1.497710e-05,1.521535e-05,1.534487e-05,1.567478e-05,1.568805e-05,1.600751e-05,1.609283e-05,1.630420e-05,1.647170e-05,1.657912e-05,1.681370e-05,1.683329e-05,1.706774e-05,1.712119e-05,1.728349e-05,1.739651e-05,1.748153e-05,1.764194e-05,1.766285e-05,1.782838e-05,1.785968e-05,1.797906e-05,1.805183e-05,1.811575e-05,1.822039e-05,1.823931e-05,1.835051e-05,1.836721e-05,1.845014e-05,1.849407e-05,1.853892e-05,1.860258e-05,1.861752e-05,1.868660e-05,1.869428e-05,1.874678e-05,1.877058e-05,1.879862e-05,1.883279e-05,1.884268e-05,1.887947e-05,1.888212e-05,1.890948e-05,1.891968e-05,1.893314e-05,1.894650e-05,1.895091e-05,1.896316e-05,1.896354e-05,1.897029e-05,1.897167e-05,1.897265e-05,1.897169e-05,1.897056e-05,1.896435e-05,1.895430e-05,1.895031e-05,1.894068e-05,1.893022e-05,1.892377e-05,1.890465e-05,1.890380e-05,1.888099e-05,1.887412e-05,1.885556e-05,1.883913e-05,1.882771e-05,1.880011e-05,1.879763e-05,1.876549e-05,1.875749e-05,1.873146e-05,1.871164e-05,1.869570e-05,1.866290e-05,1.865834e-05,1.861953e-05,1.861160e-05,1.857939e-05,1.855803e-05,1.853804e-05,1.850245e-05,1.849559e-05,1.845216e-05,1.844513e-05,1.840784e-05,1.838627e-05,1.836272e-05,1.832610e-05,1.831688e-05,1.827042e-05,1.826480e-05,1.822340e-05,1.820256e-05,1.817590e-05,1.813952e-05,1.812799e-05,1.807972e-05,1.807585e-05,1.803117e-05,1.801168e-05,1.798237e-05,1.794712e-05,1.793339e-05,1.788427e-05,1.788231e-05,1.783506e-05,1.781733e-05,1.778580e-05,1.775229e-05,1.773653e-05,1.768728e-05,1.762237e-05,1.755765e-05,1.749316e-05,1.742899e-05,1.736517e-05,1.730177e-05,1.723882e-05,1.717638e-05,1.711447e-05,1.705313e-05,1.699239e-05,1.693227e-05,1.687281e-05,1.681402e-05,1.675592e-05,1.669853e-05,1.664186e-05,1.658592e-05,1.653073e-05,1.647629e-05,1.642261e-05,1.636970e-05,1.631755e-05,1.626619e-05
0.000000e+00,5.320793e-11,2.036189e-10,1.475742e-09,5.406452e-09,9.747189e-09,3.429708e-08,3.587288e-08,9.605859e-08,1.217170e-07,2.108159e-07,3.157059e-07,4.040919e-07,6.741088e-07,7.025122e-07,1.134239e-06,1.260778e-06,1.726343e-06,2.136312e-06,2.500143e-06,3.340196e-06,3.466348e-06,4.622861e-06,4.875961e-06,5.955879e-06,6.711573e-06,7.442857e-06,8.790507e-06,9.055794e-06,1.076405e-05,1.104413e-05,1.253648e-05,1.340111e-05,1.434289e-05,1.579343e-05,1.615505e-05,1.794733e-05,1.815996e-05,1.969706e-05,2.044833e-05,2.138477e-05,2.261586e-05,2.299426e-05,2.451254e-05,2.462975e-05,2.592976e-05,2.646670e-05,2.723898e-05,2.811227e-05,2.843597e-05,2.951887e-05,2.955981e-05,3.048795e-05,3.080930e-05,3.134524e-05,3.186607e-05,3.209423e-05,3.273956e-05,3.328675e-05,3.344211e-05,3.374192e-05,3.398793e-05,3.411158e-05,3.439222e-05,3.440242e-05,3.462117e-05,3.467040e-05,3.477443e-05,3.483763e-05,3.486860e-05,3.490832e-05,3.490980e-05,3.490379e-05,3.489593e-05,3.485595e-05,3.481277e-05,3.477127e-05,3.466993e-05,3.465434e-05,3.450932e-05,3.447729e-05,3.434002e-05,3.424354e-05,3.414986e-05,3.397625e-05,3.394190e-05,3.371889e-05,3.368198e-05,3.348328e-05,3.336635e-05,3.323723e-05,3.303418e-05,3.298267e-05,3.272128e-05,3.268953e-05,3.245455e-05,3.233585e-05,3.218380e-05,3.197604e-05,3.191016e-05,3.163464e-05,3.161255e-05,3.135811e-05,3.124739e-05,3.108133e-05,3.088226e-05,3.080495e-05,3.052955e-05,3.051857e-05,3.025564e-05,3.015747e-05,2.998362e-05,2.979993e-05,2.971388e-05,2.944672e-05,2.918242e-05,2.909849e-05,2.892120e-05,2.875573e-05,2.866325e-05,2.841885e-05,2.840874e-05,2.815780e-05,2.808819e-05,2.791053e-05,2.776398e-05,2.766703e-05,2.744640e-05,2.742737e-05,2.719159e-05,2.713559e-05,2.695975e-05,2.683164e-05,2.673185e-05,2.653459e-05,2.650792e-05,2.628797e-05,2.624445e-05,2.607198e-05,2.596123e-05,2.585995e-05,2.568488e-05,2.565185e-05,2.544767e-05,2.541536e-05,2.524737e-05,2.515259e-05,2.505092e-05,2.489650e-05,2.485828e-05,2.466941e-05,2.464699e-05,2.448426e-05,2.440396e-05,2.430279e-05,2.416730e-05,2.412495e-05,2.395068e-05,2.393689e-05,2.377993e-05,2.371261e-05,2.361265e-05,2.349433e-05,2.344878e-05,2.328827e-05,2.328192e-05,2.313106e-05,2.307526e-05,2.297709e-05,2.287421e-05,2.282630e-05,2.267864e-05,2.248841e-05,2.230340e-05,2.212347e-05,2.194849e-05,2.177832e-05,2.161285e-05,2.145193e-05,2.129546e-05,2.114330e-05,2.099533e-05,2.085145e-05,2.071152e-05,2.057544e-05,2.044309e-05,2.031437e-05,2.018917e-05,2.006740e-05,1.994894e-05,1.983370e-05,1.972159e-05,1.961250e-05,1.950636e-05,1.940308e-05,1.930256e-05
0.000000e+00,3.073403e-10,7.012889e-10,2.394522e-09,5.408247e-09,7.854660e-09,1.757331e-08,1.809039e-08,3.433185e-08,4.010547e-08,5.765221e-08,7.543434e-08,8.898009e-08,1.255572e-07,1.291076e-07,1.786915e-07,1.920589e-07,2.382433e-07,2.760807e-07,3.081011e-07,3.781979e-07,3.883785e-07,4.788981e-07,4.981919e-07,5.791467e-07,6.348556e-07,6.882937e-07,7.860832e-07,8.052801e-07,9.289292e-07,9.492506e-07,1.058034e-06,1.121592e-06,1.191407e-06,1.300407e-06,1.327903e-06,1.466427e-06,1.483137e-06,1.605947e-06,1.667399e-06,1.745494e-06,1.851015e-06,1.884175e-06,2.021173e-06,2.032038e-06,2.155758e-06,2.208769e-06,2.287286e-06,2.379777e-06,2.415200e-06,2.539033e-06,2.543895e-06,2.658401e-06,2.700220e-06,2.773003e-06,2.848091e-06,2.882612e-06,2.987070e-06,3.086283e-06,3.116916e-06,3.180211e-06,3.237552e-06,3.268860e-06,3.349044e-06,3.352282e-06,3.430561e-06,3.451572e-06,3.503810e-06,3.545402e-06,3.572167e-06,3.630868e-06,3.635787e-06,3.694840e-06,3.708353e-06,3.749504e-06,3.778269e-06,3.799967e-06,3.841049e-06,3.846418e-06,3.889048e-06,3.897133e-06,3.928049e-06,3.946958e-06,3.963609e-06,3.990955e-06,3.995912e-06,4.025140e-06,4.029543e-06,4.051467e-06,4.063123e-06,4.075061e-06,4.092079e-06,4.096085e-06,4.114694e-06,4.116772e-06,4.131036e-06,4.137545e-06,4.145253e-06,4.154719e-06,4.157479e-06,4.167841e-06,4.168593e-06,4.176461e-06,4.179446e-06,4.183452e-06,4.187538e-06,4.188922e-06,4.192974e-06,4.193108e-06,4.195703e-06,4.196379e-06,4.197199e-06,4.197557e-06,4.197549e-06,4.196831e-06,4.195121e-06,4.194376e-06,4.192490e-06,4.190353e-06,4.189003e-06,4.184910e-06,4.184724e-06,4.179711e-06,4.178183e-06,4.174018e-06,4.170298e-06,4.167698e-06,4.161370e-06,4.160798e-06,4.153363e-06,4.151504e-06,4.145437e-06,4.140798e-06,4.137058e-06,4.129341e-06,4.128265e-06,4.119091e-06,4.117214e-06,4.109571e-06,4.104493e-06,4.099734e-06,4.091248e-06,4.089610e-06,4.079224e-06,4.077540e-06,4.068604e-06,4.063429e-06,4.057772e-06,4.048968e-06,4.046750e-06,4.035559e-06,4.034206e-06,4.024219e-06,4.019187e-06,4.012748e-06,4.003953e-06,4.001163e-06,3.989480e-06,3.988541e-06,3.977713e-06,3.972987e-06,3.965878e-06,3.957321e-06,3.953986e-06,3.942051e-06,3.941573e-06,3.930083e-06,3.925769e-06,3.918093e-06,3.909933e-06,3.906092e-06,3.894088e-06,3.878255e-06,3.862450e-06,3.846693e-06,3.830997e-06,3.815377e-06,3.799845e-06,3.784413e-06,3.769092e-06,3.753892e-06,3.738820e-06,3.723884e-06,3.709091e-06,3.694448e-06,3.679959e-06,3.665630e-06,3.651465e-06,3.637467e-06,3.623641e-06,3.609987e-06,3.596510e-06,3.583211e-06,3.570092e-06,3.557153e-06,3.544397e-06
0.000000e+00,2.128896e-10,7.736897e-10,5.063274e-09,1.700791e-08,2.931575e-08,9.272200e-08,9.659194e-08,2.362775e-07,2.929177e-07,4.828193e-07,6.986301e-07,8.767825e-07,1.409339e-06,1.464628e-06,2.291716e-06,2.529596e-06,3.387033e-06,4.119162e-06,4.751839e-06,6.158167e-06,6.363521e-06,8.188232e-06,8.575632e-06,1.019132e-05,1.129303e-05,1.234206e-05,1.424357e-05,1.461434e-05,1.698560e-05,1.737281e-05,1.943550e-05,2.063374e-05,2.194493e-05,2.398294e-05,2.449546e-05,2.706913e-05,2.737870e-05,2.964854e-05,3.078096e-05,3.221700e-05,3.415204e-05,3.475887e-05,3.725974e-05,3.745764e-05,3.970665e-05,4.066769e-05,4.208818e-05,4.375686e-05,4.439458e-05,4.661777e-05,4.670487e-05,4.875132e-05,4.949646e-05,5.079032e-05,5.212103e-05,5.273134e-05,5.457225e-05,5.631208e-05,5.684747e-05,5.795090e-05,5.894712e-05,5.948962e-05,6.087416e-05,6.092991e-05,6.227402e-05,6.263350e-05,6.352469e-05,6.423151e-05,6.468500e-05,6.567560e-05,6.575835e-05,6.674829e-05,6.697387e-05,6.765852e-05,6.813483e-05,6.849280e-05,6.916713e-05,6.925490e-05,6.994855e-05,7.007939e-05,7.057742e-05,7.088003e-05,7.114510e-05,7.157722e-05,7.165508e-05,7.211072e-05,7.217879e-05,7.251525e-05,7.269219e-05,7.287178e-05,7.312444e-05,7.318327e-05,7.345253e-05,7.348213e-05,7.368224e-05,7.377144e-05,7.387494e-05,7.399813e-05,7.403304e-05,7.415882e-05,7.416755e-05,7.425443e-05,7.428469e-05,7.432190e-05,7.435412e-05,7.436313e-05,7.437993e-05,7.438012e-05,7.437398e-05,7.436658e-05,7.434688e-05,7.431714e-05,7.430013e-05,7.423512e-05,7.415319e-05,7.412360e-05,7.405556e-05,7.398539e-05,7.394341e-05,7.382309e-05,7.381783e-05,7.367983e-05,7.363910e-05,7.353038e-05,7.343559e-05,7.337039e-05,7.321460e-05,7.320069e-05,7.302208e-05,7.297797e-05,7.283530e-05,7.272739e-05,7.264105e-05,7.246445e-05,7.243998e-05,7.223270e-05,7.219055e-05,7.201979e-05,7.190703e-05,7.180179e-05,7.161509e-05,7.157919e-05,7.135247e-05,7.131585e-05,7.112208e-05,7.101031e-05,7.088842e-05,7.069941e-05,7.065189e-05,7.041285e-05,7.038401e-05,7.017163e-05,7.006489e-05,6.992856e-05,6.974277e-05,6.968393e-05,6.943803e-05,6.941831e-05,6.919110e-05,6.909211e-05,6.894341e-05,6.876472e-05,6.869517e-05,6.844659e-05,6.843664e-05,6.819788e-05,6.810835e-05,6.794923e-05,6.778026e-05,6.770079e-05,6.745275e-05,6.712617e-05,6.680085e-05,6.647707e-05,6.615510e-05,6.583518e-05,6.551752e-05,6.520232e-05,6.488975e-05,6.457998e-05,6.427314e-05,6.396937e-05,6.366876e-05,6.337143e-05,6.307746e-05,6.278694e-05,6.249991e-05,6.221645e-05,6.193660e-05,6.166040e-05,6.138788e-05,6.111908e-05,6.085400e-05,6.059267e-05,6.033509e-05
0.000000e+00,1.505947e-09,3.488555e-09,1.214009e-08,2.774579e-08,4.052171e-08,9.186060e-08,9.461260e-08,1.818516e-07,2.131867e-07,3.092916e-07,4.078787e-07,4.837014e-07,6.912155e-07,7.115552e-07,9.987499e-07,1.077057e-06,1.349851e-06,1.575292e-06,1.766948e-06,2.187738e-06,2.248881e-06,2.791656e-06,2.907035e-06,3.389684e-06,3.720465e-06,4.036840e-06,4.613914e-06,4.726972e-06,5.454023e-06,5.573378e-06,6.212036e-06,6.585157e-06,6.995156e-06,7.635872e-06,7.797652e-06,8.613971e-06,8.712603e-06,9.438800e-06,9.803116e-06,1.026713e-05,1.089612e-05,1.109430e-05,1.191608e-05,1.198147e-05,1.272863e-05,1.305030e-05,1.352858e-05,1.409507e-05,1.431299e-05,1.507935e-05,1.510960e-05,1.582557e-05,1.608894e-05,1.654994e-05,1.702932e-05,1.725110e-05,1.792801e-05,1.857993e-05,1.878318e-05,1.920636e-05,1.959377e-05,1.980703e-05,2.035935e-05,2.038185e-05,2.093091e-05,2.108005e-05,2.145441e-05,2.175639e-05,2.195270e-05,2.238923e-05,2.242621e-05,2.287542e-05,2.297969e-05,2.330093e-05,2.352907e-05,2.370332e-05,2.403884e-05,2.408326e-05,2.444143e-05,2.451051e-05,2.477851e-05,2.494570e-05,2.509522e-05,2.534603e-05,2.539226e-05,2.567035e-05,2.571314e-05,2.593020e-05,2.604865e-05,2.617250e-05,2.635417e-05,2.639795e-05,2.660722e-05,2.663128e-05,2.680099e-05,2.688150e-05,2.697989e-05,2.710632e-05,2.714458e-05,2.729566e-05,2.730717e-05,2.743373e-05,2.748545e-05,2.755938e-05,2.764247e-05,2.767316e-05,2.777564e-05,2.777951e-05,2.786732e-05,2.789779e-05,2.794873e-05,2.799847e-05,2.802036e-05,2.808267e-05,2.813614e-05,2.815145e-05,2.818119e-05,2.820581e-05,2.821825e-05,2.824670e-05,2.824774e-05,2.827003e-05,2.827504e-05,2.828552e-05,2.829169e-05,2.829456e-05,2.829747e-05,2.829749e-05,2.829466e-05,2.829315e-05,2.828637e-05,2.827947e-05,2.827295e-05,2.825712e-05,2.825468e-05,2.823184e-05,2.822674e-05,2.820470e-05,2.818897e-05,2.817352e-05,2.814439e-05,2.813855e-05,2.810003e-05,2.809355e-05,2.805817e-05,2.803696e-05,2.801320e-05,2.797512e-05,2.796532e-05,2.791473e-05,2.790848e-05,2.786161e-05,2.783749e-05,2.780615e-05,2.776254e-05,2.774852e-05,2.768888e-05,2.768402e-05,2.762738e-05,2.760230e-05,2.756418e-05,2.751770e-05,2.749942e-05,2.743322e-05,2.743055e-05,2.736573e-05,2.734113e-05,2.729705e-05,2.724974e-05,2.722731e-05,2.715662e-05,2.706202e-05,2.696617e-05,2.686928e-05,2.677155e-05,2.667316e-05,2.657428e-05,2.647507e-05,2.637568e-05,2.627625e-05,2.617690e-05,2.607775e-05,2.597891e-05,2.588048e-05,2.578255e-05,2.568521e-05,2.558853e-05,2.549259e-05,2.539744e-05,2.530315e-05,2.520978e-05,2.511736e-05,2.502595e-05,2.493559e-05,2.484630e-05
0.000000e+00,4.627016e-11,1.755771e-10,1.251404e-09,4.519947e-09,8.089379e-09,2.797597e-08,2.924236e-08,7.718443e-08,9.746862e-08,1.675491e-07,2.496602e-07,3.186808e-07,5.290430e-07,5.511391e-07,8.862130e-07,9.840985e-07,1.342756e-06,1.656623e-06,1.933768e-06,2.569787e-06,2.664954e-06,3.535447e-06,3.725820e-06,4.539462e-06,5.111392e-06,5.667895e-06,6.703737e-06,6.909488e-06,8.251596e-06,8.474765e-06,9.680654e-06,1.039334e-05,1.118250e-05,1.242663e-05,1.274262e-05,1.434642e-05,1.454113e-05,1.597946e-05,1.670362e-05,1.762769e-05,1.888223e-05,1.927770e-05,2.091696e-05,2.104728e-05,2.253395e-05,2.317215e-05,2.411834e-05,2.523377e-05,2.566106e-05,2.715434e-05,2.721295e-05,2.859174e-05,2.909449e-05,2.996809e-05,3.086707e-05,3.127943e-05,3.252293e-05,3.369678e-05,3.405753e-05,3.480009e-05,3.546910e-05,3.583274e-05,3.675813e-05,3.679530e-05,3.768888e-05,3.792693e-05,3.851508e-05,3.897926e-05,3.927585e-05,3.991991e-05,3.997345e-05,4.061034e-05,4.075445e-05,4.118915e-05,4.148892e-05,4.171258e-05,4.212960e-05,4.218341e-05,4.260440e-05,4.268286e-05,4.297831e-05,4.315504e-05,4.330785e-05,4.355231e-05,4.359566e-05,4.384433e-05,4.388064e-05,4.405631e-05,4.414574e-05,4.423401e-05,4.435300e-05,4.437968e-05,4.449551e-05,4.450750e-05,4.458356e-05,4.461401e-05,4.464579e-05,4.467697e-05,4.468406e-05,4.470011e-05,4.470049e-05,4.469561e-05,4.468840e-05,4.467209e-05,4.464422e-05,4.463104e-05,4.457381e-05,4.457121e-05,4.450171e-05,4.447235e-05,4.441594e-05,4.435039e-05,4.431764e-05,4.420786e-05,4.408761e-05,4.404706e-05,4.395780e-05,4.387011e-05,4.381930e-05,4.367893e-05,4.367293e-05,4.351945e-05,4.347529e-05,4.335955e-05,4.326080e-05,4.319389e-05,4.303694e-05,4.302310e-05,4.284773e-05,4.280502e-05,4.266832e-05,4.256628e-05,4.248538e-05,4.232182e-05,4.229935e-05,4.211066e-05,4.207264e-05,4.191972e-05,4.181967e-05,4.172690e-05,4.156372e-05,4.153253e-05,4.133693e-05,4.130554e-05,4.114040e-05,4.104582e-05,4.094322e-05,4.078517e-05,4.074563e-05,4.054787e-05,4.052414e-05,4.035015e-05,4.026322e-05,4.015268e-05,4.000287e-05,3.995563e-05,3.975918e-05,3.974349e-05,3.956348e-05,3.948544e-05,3.936867e-05,3.922904e-05,3.917489e-05,3.898225e-05,3.897457e-05,3.879087e-05,3.872230e-05,3.860085e-05,3.847245e-05,3.841227e-05,3.822521e-05,3.798077e-05,3.773927e-05,3.750084e-05,3.726561e-05,3.703366e-05,3.680508e-05,3.657993e-05,3.635828e-05,3.614016e-05,3.592561e-05,3.571465e-05,3.550730e-05,3.530356e-05,3.510343e-05,3.490691e-05,3.471399e-05,3.452465e-05,3.433886e-05,3.415660e-05,3.397785e-05,3.380256e-05,3.363071e-05,3.346226e-05,3.329717e-05
0.000000e+00,1.813494e-09,4.459198e-09,1.654529e-08,3.900432e-08,5.766036e-08,1.338695e-07,1.379957e-07,2.703877e-07,3.185974e-07,4.683145e-07,6.245203e-07,7.462754e-07,1.085638e-06,1.119319e-06,1.600669e-06,1.733266e-06,2.197102e-06,2.580516e-06,2.905223e-06,3.611422e-06,3.713148e-06,4.605867e-06,4.793296e-06,5.569089e-06,6.093617e-06,6.590329e-06,7.484944e-06,7.658611e-06,8.763987e-06,8.943663e-06,9.897193e-06,1.044843e-05,1.104949e-05,1.197950e-05,1.221262e-05,1.337888e-05,1.351870e-05,1.454115e-05,1.504960e-05,1.569298e-05,1.655781e-05,1.682860e-05,1.794299e-05,1.803110e-05,1.903185e-05,1.945941e-05,2.009155e-05,2.083481e-05,2.111916e-05,2.211235e-05,2.215133e-05,2.306933e-05,2.340473e-05,2.398884e-05,2.459226e-05,2.487003e-05,2.571245e-05,2.651597e-05,2.676489e-05,2.728071e-05,2.774996e-05,2.800705e-05,2.866872e-05,2.869554e-05,2.934689e-05,2.952273e-05,2.996193e-05,3.031391e-05,3.054158e-05,3.104446e-05,3.108683e-05,3.159874e-05,3.171676e-05,3.207839e-05,3.233331e-05,3.252688e-05,3.289667e-05,3.294533e-05,3.333487e-05,3.340941e-05,3.369662e-05,3.387411e-05,3.403168e-05,3.429331e-05,3.434115e-05,3.462609e-05,3.466948e-05,3.488757e-05,3.500504e-05,3.512659e-05,3.530231e-05,3.534415e-05,3.554122e-05,3.556354e-05,3.571875e-05,3.579090e-05,3.587763e-05,3.598647e-05,3.601876e-05,3.614299e-05,3.615222e-05,3.625113e-05,3.629007e-05,3.634399e-05,3.640180e-05,3.642232e-05,3.648685e-05,3.648916e-05,3.653831e-05,3.655377e-05,3.657737e-05,3.659718e-05,3.660468e-05,3.662088e-05,3.662656e-05,3.662625e-05,3.662230e-05,3.661462e-05,3.660867e-05,3.658725e-05,3.658618e-05,3.655536e-05,3.654530e-05,3.651668e-05,3.648990e-05,3.647062e-05,3.642211e-05,3.641762e-05,3.635811e-05,3.634291e-05,3.629250e-05,3.625323e-05,3.622117e-05,3.615397e-05,3.614450e-05,3.606284e-05,3.604594e-05,3.597654e-05,3.592994e-05,3.588592e-05,3.580668e-05,3.579128e-05,3.569293e-05,3.567687e-05,3.559114e-05,3.554113e-05,3.548617e-05,3.540009e-05,3.537829e-05,3.526773e-05,3.525430e-05,3.515473e-05,3.510429e-05,3.503950e-05,3.495057e-05,3.492226e-05,3.480319e-05,3.479360e-05,3.468250e-05,3.463380e-05,3.456034e-05,3.447159e-05,3.443691e-05,3.431235e-05,3.430734e-05,3.418681e-05,3.414141e-05,3.406045e-05,3.397412e-05,3.393340e-05,3.380578e-05,3.363667e-05,3.346705e-05,3.329716e-05,3.312724e-05,3.295749e-05,3.278810e-05,3.261925e-05,3.245111e-05,3.228382e-05,3.211752e-05,3.195233e-05,3.178838e-05,3.162577e-05,3.146459e-05,3.130493e-05,3.114686e-05,3.099045e-05,3.083578e-05,3.068288e-05,3.053182e-05,3.038263e-05,3.023535e-05,3.009002e-05,2.994666e-05
0.000000e+00,2.086456e-10,7.386697e-10,4.591813e-09,1.476260e-08,2.486647e-08,7.430743e-08,7.723520e-08,1.790292e-07,2.187635e-07,3.477303e-07,4.884733e-07,6.012012e-07,9.249200e-07,9.576384e-07,1.433449e-06,1.566660e-06,2.037564e-06,2.430650e-06,2.764833e-06,3.491226e-06,3.595474e-06,4.501937e-06,4.689847e-06,5.456708e-06,5.964316e-06,6.436393e-06,7.264865e-06,7.422413e-06,8.400194e-06,8.555066e-06,9.358145e-06,9.808105e-06,1.028693e-05,1.100387e-05,1.117906e-05,1.202861e-05,1.212747e-05,1.283114e-05,1.316852e-05,1.358356e-05,1.412072e-05,1.428403e-05,1.493180e-05,1.498134e-05,1.552706e-05,1.575067e-05,1.607082e-05,1.643131e-05,1.656468e-05,1.701073e-05,1.702762e-05,1.741140e-05,1.754504e-05,1.776934e-05,1.798973e-05,1.808729e-05,1.836804e-05,1.861436e-05,1.868635e-05,1.882893e-05,1.895080e-05,1.901434e-05,1.916717e-05,1.917303e-05,1.930731e-05,1.934083e-05,1.941934e-05,1.947671e-05,1.951111e-05,1.957924e-05,1.958447e-05,1.964111e-05,1.965240e-05,1.968259e-05,1.969972e-05,1.971031e-05,1.972435e-05,1.972556e-05,1.972953e-05,1.972906e-05,1.972328e-05,1.971631e-05,1.970777e-05,1.968824e-05,1.968389e-05,1.965244e-05,1.964675e-05,1.961415e-05,1.959353e-05,1.956968e-05,1.953006e-05,1.951963e-05,1.946455e-05,1.945763e-05,1.940494e-05,1.937739e-05,1.934124e-05,1.929037e-05,1.927389e-05,1.920324e-05,1.919746e-05,1.912965e-05,1.909946e-05,1.905343e-05,1.899709e-05,1.897487e-05,1.889423e-05,1.889096e-05,1.881175e-05,1.878166e-05,1.872766e-05,1.866966e-05,1.864216e-05,1.855543e-05,1.846764e-05,1.843936e-05,1.837896e-05,1.832180e-05,1.828953e-05,1.820308e-05,1.819947e-05,1.810892e-05,1.808349e-05,1.801798e-05,1.796328e-05,1.792677e-05,1.784268e-05,1.783537e-05,1.774387e-05,1.772191e-05,1.765236e-05,1.760114e-05,1.756092e-05,1.748055e-05,1.746960e-05,1.737848e-05,1.736029e-05,1.728762e-05,1.724048e-05,1.719706e-05,1.712126e-05,1.710686e-05,1.701706e-05,1.700274e-05,1.692771e-05,1.688500e-05,1.683885e-05,1.676813e-05,1.675051e-05,1.666272e-05,1.665222e-05,1.657552e-05,1.653734e-05,1.648892e-05,1.642354e-05,1.640297e-05,1.631767e-05,1.631087e-05,1.623305e-05,1.619940e-05,1.614913e-05,1.608915e-05,1.606592e-05,1.598345e-05,1.598017e-05,1.590172e-05,1.587248e-05,1.582074e-05,1.576612e-05,1.574053e-05,1.566110e-05,1.555745e-05,1.545518e-05,1.535430e-05,1.525483e-05,1.515677e-05,1.506012e-05,1.496489e-05,1.487107e-05,1.477867e-05,1.468768e-05,1.459810e-05,1.450992e-05,1.442313e-05,1.433773e-05,1.425371e-05,1.417104e-05,1.408973e-05,1.400976e-05,1.393112e-05,1.385379e-05,1.377776e-05,1.370302e-05,1.362954e-05,1.355732e-05
0.000000e+00,6.769632e-09,1.583843e-08,5.570062e-08,1.281745e-07,1.879743e-07,4.325274e-07,4.458308e-07,8.777800e-07,1.037703e-06,1.543280e-06,2.084192e-06,2.514246e-06,3.744206e-06,3.868298e-06,5.666423e-06,6.166586e-06,7.917924e-06,9.356919e-06,1.056337e-05,1.313680e-05,1.350126e-05,1.662990e-05,1.727099e-05,1.986851e-05,2.157581e-05,2.315828e-05,2.592962e-05,2.645648e-05,2.973087e-05,3.025079e-05,3.295606e-05,3.448044e-05,3.611131e-05,3.857349e-05,3.917942e-05,4.214623e-05,4.249486e-05,4.500012e-05,4.621763e-05,4.773203e-05,4.972244e-05,5.033514e-05,5.280459e-05,5.299627e-05,5.513742e-05,5.603196e-05,5.733234e-05,5.882729e-05,5.938945e-05,6.131012e-05,6.138413e-05,6.309668e-05,6.370760e-05,6.475231e-05,6.580528e-05,6.628083e-05,6.768653e-05,6.897410e-05,6.936198e-05,7.014849e-05,7.084304e-05,7.121478e-05,7.214149e-05,7.217811e-05,7.304361e-05,7.326912e-05,7.381641e-05,7.423767e-05,7.450151e-05,7.505858e-05,7.510383e-05,7.562814e-05,7.574288e-05,7.607903e-05,7.630113e-05,7.646097e-05,7.674343e-05,7.677822e-05,7.703487e-05,7.707928e-05,7.723484e-05,7.731766e-05,7.738185e-05,7.746702e-05,7.747946e-05,7.753105e-05,7.753525e-05,7.753982e-05,7.752972e-05,7.750882e-05,7.745733e-05,7.744093e-05,7.733889e-05,7.732447e-05,7.720526e-05,7.713709e-05,7.704248e-05,7.690069e-05,7.685285e-05,7.663855e-05,7.662040e-05,7.640161e-05,7.630094e-05,7.614397e-05,7.594666e-05,7.586742e-05,7.557368e-05,7.556160e-05,7.526434e-05,7.514946e-05,7.494092e-05,7.471366e-05,7.460481e-05,7.425735e-05,7.389977e-05,7.378340e-05,7.353323e-05,7.329445e-05,7.315883e-05,7.279294e-05,7.277757e-05,7.239041e-05,7.228107e-05,7.199824e-05,7.176087e-05,7.160188e-05,7.123419e-05,7.120210e-05,7.079962e-05,7.070270e-05,7.039512e-05,7.016794e-05,6.998920e-05,6.963129e-05,6.958245e-05,6.917541e-05,6.909400e-05,6.876855e-05,6.855722e-05,6.836236e-05,6.802196e-05,6.795723e-05,6.755358e-05,6.748915e-05,6.715175e-05,6.695962e-05,6.675207e-05,6.643409e-05,6.635486e-05,6.596037e-05,6.591323e-05,6.556888e-05,6.539763e-05,6.518060e-05,6.488779e-05,6.479575e-05,6.441452e-05,6.438418e-05,6.403707e-05,6.388718e-05,6.366356e-05,6.339715e-05,6.329413e-05,6.292889e-05,6.291437e-05,6.256797e-05,6.243911e-05,6.221144e-05,6.197156e-05,6.185940e-05,6.151190e-05,6.106028e-05,6.061681e-05,6.018155e-05,5.975459e-05,5.933594e-05,5.892562e-05,5.852363e-05,5.812995e-05,5.774454e-05,5.736735e-05,5.699832e-05,5.663738e-05,5.628443e-05,5.593940e-05,5.560218e-05,5.527267e-05,5.495076e-05,5.463633e-05,5.432927e-05,5.402945e-05,5.373674e-05,5.345103e-05,5.317218e-05,5.290005e-05
0.000000e+00,2.166056e-09,7.199444e-09,4.010608e-08,1.193358e-07,1.942361e-07,5.441156e-07,5.644528e-07,1.266260e-06,1.540685e-06,2.441674e-06,3.446636e-06,4.267971e-06,6.695279e-06,6.945228e-06,1.063925e-05,1.168569e-05,1.539794e-05,1.849708e-05,2.112752e-05,2.683803e-05,2.765810e-05,3.481916e-05,3.631419e-05,4.247175e-05,4.660866e-05,5.050827e-05,5.749234e-05,5.884278e-05,6.740250e-05,6.878855e-05,7.612279e-05,8.034805e-05,8.494465e-05,9.203875e-05,9.381398e-05,1.026815e-04,1.037433e-04,1.115025e-04,1.153587e-04,1.202376e-04,1.267975e-04,1.288525e-04,1.373179e-04,1.379880e-04,1.456096e-04,1.488730e-04,1.537075e-04,1.594089e-04,1.615957e-04,1.692619e-04,1.695638e-04,1.766969e-04,1.793155e-04,1.838942e-04,1.886505e-04,1.908498e-04,1.975615e-04,2.040289e-04,2.060469e-04,2.102527e-04,2.141089e-04,2.162349e-04,2.217531e-04,2.219783e-04,2.274866e-04,2.289874e-04,2.327639e-04,2.358213e-04,2.378148e-04,2.422658e-04,2.426441e-04,2.472572e-04,2.483328e-04,2.516594e-04,2.540346e-04,2.558563e-04,2.593841e-04,2.598533e-04,2.636563e-04,2.643941e-04,2.672709e-04,2.690779e-04,2.707027e-04,2.734482e-04,2.739573e-04,2.770404e-04,2.775181e-04,2.799574e-04,2.813001e-04,2.827137e-04,2.848067e-04,2.853147e-04,2.877657e-04,2.880500e-04,2.900718e-04,2.910418e-04,2.922379e-04,2.937937e-04,2.942691e-04,2.961702e-04,2.963168e-04,2.979457e-04,2.986219e-04,2.996005e-04,3.007195e-04,3.011388e-04,3.025650e-04,3.026198e-04,3.038835e-04,3.043325e-04,3.050982e-04,3.058670e-04,3.062132e-04,3.072324e-04,3.081596e-04,3.084375e-04,3.089984e-04,3.094905e-04,3.097523e-04,3.103995e-04,3.104249e-04,3.110194e-04,3.111723e-04,3.115391e-04,3.118163e-04,3.119872e-04,3.123386e-04,3.123665e-04,3.126802e-04,3.127460e-04,3.129310e-04,3.130450e-04,3.131217e-04,3.132419e-04,3.132549e-04,3.133332e-04,3.133425e-04,3.133591e-04,3.133526e-04,3.133349e-04,3.132777e-04,3.132631e-04,3.131457e-04,3.131229e-04,3.129851e-04,3.128932e-04,3.127832e-04,3.125933e-04,3.125420e-04,3.122636e-04,3.122277e-04,3.119497e-04,3.118008e-04,3.116022e-04,3.113166e-04,3.112228e-04,3.108131e-04,3.107791e-04,3.103748e-04,3.101919e-04,3.099095e-04,3.095585e-04,3.094186e-04,3.089035e-04,3.088824e-04,3.083656e-04,3.081667e-04,3.078064e-04,3.074145e-04,3.072269e-04,3.066286e-04,3.058117e-04,3.049666e-04,3.040956e-04,3.032010e-04,3.022852e-04,3.013501e-04,3.003977e-04,2.994301e-04,2.984488e-04,2.974556e-04,2.964520e-04,2.954397e-04,2.944199e-04,2.933940e-04,2.923633e-04,2.913289e-04,2.902920e-04,2.892536e-04,2.882146e-04,2.871761e-04,2.861388e-04,2.851037e-04,2.840713e-04,2.830425e-04
0.000000e+00,2.711901e-09,6.710687e-09,2.501485e-08,5.897976e-08,8.713194e-08,2.017021e-07,2.078898e-07,4.058767e-07,4.777765e-07,7.006607e-07,9.328053e-07,1.113601e-06,1.617258e-06,1.667236e-06,2.381362e-06,2.577984e-06,3.264950e-06,3.831226e-06,4.309202e-06,5.342294e-06,5.490289e-06,6.779296e-06,7.047630e-06,8.149642e-06,8.886844e-06,9.579157e-06,1.081213e-05,1.104944e-05,1.254478e-05,1.278541e-05,1.405127e-05,1.477464e-05,1.555643e-05,1.675196e-05,1.704894e-05,1.851863e-05,1.869302e-05,1.995648e-05,2.057698e-05,2.135466e-05,2.238662e-05,2.270654e-05,2.400670e-05,2.410834e-05,2.525083e-05,2.573205e-05,2.643575e-05,2.725094e-05,2.755923e-05,2.861995e-05,2.866106e-05,2.961738e-05,2.996098e-05,3.055168e-05,3.115130e-05,3.142358e-05,3.223426e-05,3.298531e-05,3.321335e-05,3.367861e-05,3.409297e-05,3.431625e-05,3.487814e-05,3.490052e-05,3.543377e-05,3.557427e-05,3.591845e-05,3.618697e-05,3.635702e-05,3.672190e-05,3.675195e-05,3.710565e-05,3.718467e-05,3.742052e-05,3.758075e-05,3.769887e-05,3.791540e-05,3.794295e-05,3.815492e-05,3.819365e-05,3.833685e-05,3.842025e-05,3.849073e-05,3.859970e-05,3.861845e-05,3.872180e-05,3.873618e-05,3.880248e-05,3.883363e-05,3.886211e-05,3.889569e-05,3.890222e-05,3.892424e-05,3.892574e-05,3.892954e-05,3.892690e-05,3.891938e-05,3.890207e-05,3.889497e-05,3.885744e-05,3.885390e-05,3.880784e-05,3.878484e-05,3.874716e-05,3.869715e-05,3.867635e-05,3.859627e-05,3.859288e-05,3.850773e-05,3.847393e-05,3.841150e-05,3.834204e-05,3.830829e-05,3.819877e-05,3.808356e-05,3.804559e-05,3.796325e-05,3.788382e-05,3.783836e-05,3.771465e-05,3.770942e-05,3.757688e-05,3.753919e-05,3.744119e-05,3.735843e-05,3.730275e-05,3.717329e-05,3.716195e-05,3.701912e-05,3.698458e-05,3.687462e-05,3.679307e-05,3.672872e-05,3.659941e-05,3.658173e-05,3.643389e-05,3.640424e-05,3.628545e-05,3.620810e-05,3.613663e-05,3.601148e-05,3.598764e-05,3.583867e-05,3.581485e-05,3.568989e-05,3.561859e-05,3.554147e-05,3.542308e-05,3.539355e-05,3.524627e-05,3.522865e-05,3.509976e-05,3.503556e-05,3.495412e-05,3.484409e-05,3.480947e-05,3.466590e-05,3.465447e-05,3.452350e-05,3.446688e-05,3.438234e-05,3.428151e-05,3.424249e-05,3.410402e-05,3.409851e-05,3.396699e-05,3.391802e-05,3.383144e-05,3.374014e-05,3.369743e-05,3.356499e-05,3.339263e-05,3.322315e-05,3.305660e-05,3.289301e-05,3.273244e-05,3.257489e-05,3.242039e-05,3.226894e-05,3.212056e-05,3.197522e-05,3.183293e-05,3.169366e-05,3.155740e-05,3.142413e-05,3.129381e-05,3.116641e-05,3.104191e-05,3.092027e-05,3.080144e-05,3.068540e-05,3.057209e-05,3.046148e-05,3.035351e-05,3.024816e-05
0.000000e+00,1.197811e-09,3.771526e-09,1.923961e-08,5.406835e-08,8.594185e-08,2.311993e-07,2.395816e-07,5.296656e-07,6.441467e-07,1.024907e-06,1.456771e-06,1.812998e-06,2.864645e-06,2.971833e-06,4.510989e-06,4.929944e-06,6.358079e-06,7.490486e-06,8.417184e-06,1.034520e-05,1.061438e-05,1.290203e-05,1.336747e-05,1.524879e-05,1.648460e-05,1.763151e-05,1.964654e-05,2.003080e-05,2.242920e-05,2.281176e-05,2.481055e-05,2.594315e-05,2.716006e-05,2.900774e-05,2.946440e-05,3.171189e-05,3.197727e-05,3.389258e-05,3.482881e-05,3.599848e-05,3.754500e-05,3.802329e-05,3.996248e-05,4.011382e-05,4.181317e-05,4.252823e-05,4.357351e-05,4.478451e-05,4.524268e-05,4.682094e-05,4.688220e-05,4.830954e-05,4.882380e-05,4.971020e-05,5.061353e-05,5.102514e-05,5.225698e-05,5.340859e-05,5.376065e-05,5.448300e-05,5.513156e-05,5.548337e-05,5.637703e-05,5.641289e-05,5.727478e-05,5.750443e-05,5.807222e-05,5.852105e-05,5.880834e-05,5.943403e-05,5.948619e-05,6.010874e-05,6.025024e-05,6.067886e-05,6.097627e-05,6.119933e-05,6.161839e-05,6.167281e-05,6.210184e-05,6.218253e-05,6.248887e-05,6.267430e-05,6.283623e-05,6.309898e-05,6.314613e-05,6.342071e-05,6.346150e-05,6.366197e-05,6.376651e-05,6.387183e-05,6.401834e-05,6.405212e-05,6.420455e-05,6.422105e-05,6.433078e-05,6.437842e-05,6.443236e-05,6.449398e-05,6.451076e-05,6.456738e-05,6.457100e-05,6.460354e-05,6.461257e-05,6.462051e-05,6.462151e-05,6.461947e-05,6.460154e-05,6.460048e-05,6.456778e-05,6.455195e-05,6.451922e-05,6.447822e-05,6.445679e-05,6.438139e-05,6.429390e-05,6.426347e-05,6.419509e-05,6.412628e-05,6.408575e-05,6.397153e-05,6.396659e-05,6.383828e-05,6.380081e-05,6.370148e-05,6.361558e-05,6.355680e-05,6.341721e-05,6.340479e-05,6.324602e-05,6.320697e-05,6.308100e-05,6.298603e-05,6.291019e-05,6.275548e-05,6.273408e-05,6.255308e-05,6.251633e-05,6.236760e-05,6.226952e-05,6.217804e-05,6.201591e-05,6.198474e-05,6.178807e-05,6.175631e-05,6.158833e-05,6.149147e-05,6.138585e-05,6.122207e-05,6.118089e-05,6.097374e-05,6.094875e-05,6.076466e-05,6.067211e-05,6.055388e-05,6.039269e-05,6.034163e-05,6.012812e-05,6.011100e-05,5.991357e-05,5.982750e-05,5.969816e-05,5.954263e-05,5.948207e-05,5.926546e-05,5.925679e-05,5.904850e-05,5.897034e-05,5.883134e-05,5.868363e-05,5.861412e-05,5.839697e-05,5.811064e-05,5.782491e-05,5.754003e-05,5.725622e-05,5.697368e-05,5.669261e-05,5.641317e-05,5.613553e-05,5.585982e-05,5.558618e-05,5.531472e-05,5.504555e-05,5.477878e-05,5.451447e-05,5.425272e-05,5.399359e-05,5.373714e-05,5.348343e-05,5.323251e-05,5.298442e-05,5.273920e-05,5.249686e-05,5.225745e-05,5.202098e-05
0.000000e+00,1.014663e-10,3.855918e-10,2.757322e-09,9.993949e-09,1.792564e-08,6.242884e-08,6.527654e-08,1.739532e-07,2.203587e-07,3.822343e-07,5.744715e-07,7.378944e-07,1.244748e-06,1.298681e-06,2.130799e-06,2.378549e-06,3.302100e-06,4.128055e-06,4.868754e-06,6.599175e-06,6.860917e-06,9.275992e-06,9.807362e-06,1.208198e-05,1.367879e-05,1.522673e-05,1.808451e-05,1.864775e-05,2.228004e-05,2.287657e-05,2.606110e-05,2.791181e-05,2.993372e-05,3.306339e-05,3.384712e-05,3.775722e-05,3.822435e-05,4.162637e-05,4.330747e-05,4.542293e-05,4.824346e-05,4.912070e-05,5.269840e-05,5.297890e-05,5.613919e-05,5.747416e-05,5.943018e-05,6.170151e-05,6.256194e-05,6.552815e-05,6.564329e-05,6.832514e-05,6.929030e-05,7.095152e-05,7.264023e-05,7.340786e-05,7.569632e-05,7.782039e-05,7.846609e-05,7.978458e-05,8.096019e-05,8.159421e-05,8.319152e-05,8.325518e-05,8.477384e-05,8.517445e-05,8.615676e-05,8.692416e-05,8.741068e-05,8.845616e-05,8.854236e-05,8.955852e-05,8.978595e-05,9.046577e-05,9.092866e-05,9.127053e-05,9.189892e-05,9.197906e-05,9.259737e-05,9.271071e-05,9.313122e-05,9.337729e-05,9.358613e-05,9.391110e-05,9.396735e-05,9.427987e-05,9.432381e-05,9.452839e-05,9.462627e-05,9.471739e-05,9.482857e-05,9.485108e-05,9.493344e-05,9.494005e-05,9.496819e-05,9.496932e-05,9.495886e-05,9.492432e-05,9.490874e-05,9.482094e-05,9.481238e-05,9.469836e-05,9.464021e-05,9.454373e-05,9.441398e-05,9.435959e-05,9.414834e-05,9.413935e-05,9.391220e-05,9.382151e-05,9.365328e-05,9.346520e-05,9.337353e-05,9.307477e-05,9.275871e-05,9.265418e-05,9.242695e-05,9.220708e-05,9.208098e-05,9.173676e-05,9.172218e-05,9.135185e-05,9.124626e-05,9.097121e-05,9.073834e-05,9.058137e-05,9.021551e-05,9.018340e-05,8.977826e-05,8.968007e-05,8.936688e-05,8.913409e-05,8.895009e-05,8.857949e-05,8.852870e-05,8.810343e-05,8.801797e-05,8.767497e-05,8.745112e-05,8.724395e-05,8.688035e-05,8.681097e-05,8.637656e-05,8.630696e-05,8.594125e-05,8.573211e-05,8.550549e-05,8.515686e-05,8.506972e-05,8.463436e-05,8.458216e-05,8.419976e-05,8.400887e-05,8.376628e-05,8.343778e-05,8.333423e-05,8.290391e-05,8.286957e-05,8.247559e-05,8.230487e-05,8.204951e-05,8.174425e-05,8.162590e-05,8.120497e-05,8.118819e-05,8.078692e-05,8.063715e-05,8.037191e-05,8.009152e-05,7.996010e-05,7.955165e-05,7.901784e-05,7.849035e-05,7.796943e-05,7.745527e-05,7.694804e-05,7.644788e-05,7.595492e-05,7.546924e-05,7.499094e-05,7.452005e-05,7.405663e-05,7.360071e-05,7.315228e-05,7.271135e-05,7.227791e-05,7.185194e-05,7.143339e-05,7.102223e-05,7.061842e-05,7.022189e-05,6.983258e-05,6.945044e-05,6.907537e-05,6.870732e-05
0.000000e+00,2.593365e-10,9.138491e-10,5.644928e-09,1.811723e-08,3.054043e-08,9.198598e-08,9.565904e-08,2.255907e-07,2.773992e-07,4.492123e-07,6.419655e-07,7.992500e-07,1.258379e-06,1.305036e-06,1.981196e-06,2.168881e-06,2.826033e-06,3.369201e-06,3.829566e-06,4.834946e-06,4.980488e-06,6.268514e-06,6.541729e-06,7.684106e-06,8.467444e-06,9.217591e-06,1.058919e-05,1.085849e-05,1.259523e-05,1.288118e-05,1.441525e-05,1.531453e-05,1.630516e-05,1.785815e-05,1.825117e-05,2.023940e-05,2.048017e-05,2.225625e-05,2.314936e-05,2.428875e-05,2.583641e-05,2.632476e-05,2.835316e-05,2.851480e-05,3.036399e-05,3.116139e-05,3.234845e-05,3.375665e-05,3.429900e-05,3.620928e-05,3.628478e-05,3.807402e-05,3.873333e-05,3.988897e-05,4.109297e-05,4.165082e-05,4.335709e-05,4.500601e-05,4.552135e-05,4.659645e-05,4.758336e-05,4.812785e-05,4.954235e-05,4.960010e-05,5.101342e-05,5.139866e-05,5.236833e-05,5.315357e-05,5.366565e-05,5.480916e-05,5.490637e-05,5.609166e-05,5.636803e-05,5.722286e-05,5.783322e-05,5.830135e-05,5.920799e-05,5.932860e-05,6.030611e-05,6.049577e-05,6.123541e-05,6.170012e-05,6.211808e-05,6.282462e-05,6.295567e-05,6.374973e-05,6.387284e-05,6.450178e-05,6.484829e-05,6.521333e-05,6.575442e-05,6.588588e-05,6.652087e-05,6.659461e-05,6.711973e-05,6.737213e-05,6.768383e-05,6.809015e-05,6.821454e-05,6.871315e-05,6.875170e-05,6.918095e-05,6.935972e-05,6.961916e-05,6.991702e-05,7.002897e-05,7.041155e-05,7.042630e-05,7.076800e-05,7.089013e-05,7.109940e-05,7.131099e-05,7.140681e-05,7.169121e-05,7.195358e-05,7.203304e-05,7.219485e-05,7.233861e-05,7.241593e-05,7.260997e-05,7.261767e-05,7.280092e-05,7.284903e-05,7.296648e-05,7.305764e-05,7.311511e-05,7.323755e-05,7.324756e-05,7.336456e-05,7.339041e-05,7.346677e-05,7.351781e-05,7.355488e-05,7.362124e-05,7.362950e-05,7.369126e-05,7.370212e-05,7.374074e-05,7.376180e-05,7.377850e-05,7.380156e-05,7.380508e-05,7.382101e-05,7.382260e-05,7.382678e-05,7.382608e-05,7.382287e-05,7.381309e-05,7.380975e-05,7.378785e-05,7.378466e-05,7.375761e-05,7.374176e-05,7.371942e-05,7.368532e-05,7.367367e-05,7.362075e-05,7.361622e-05,7.356101e-05,7.353529e-05,7.349480e-05,7.344331e-05,7.342245e-05,7.334428e-05,7.334103e-05,7.326059e-05,7.322916e-05,7.317167e-05,7.310836e-05,7.307780e-05,7.297926e-05,7.284245e-05,7.269851e-05,7.254797e-05,7.239133e-05,7.222907e-05,7.206164e-05,7.188946e-05,7.171295e-05,7.153248e-05,7.134842e-05,7.116110e-05,7.097084e-05,7.077796e-05,7.058272e-05,7.038542e-05,7.018629e-05,6.998559e-05,6.978354e-05,6.958035e-05,6.937622e-05,6.917135e-05,6.896591e-05,6.876007e-05,6.855400e-05
0.000000e+00,1.669167e-10,6.149302e-10,4.129713e-09,1.415877e-08,2.464587e-08,7.954011e-08,8.291352e-08,2.050796e-07,2.545844e-07,4.196399e-07,6.050264e-07,7.562484e-07,1.199826e-06,1.245275e-06,1.916714e-06,2.108056e-06,2.796530e-06,3.386645e-06,3.900250e-06,5.057144e-06,5.227911e-06,6.764636e-06,7.094996e-06,8.485656e-06,9.443800e-06,1.036183e-05,1.203593e-05,1.236341e-05,1.446181e-05,1.480472e-05,1.663019e-05,1.768846e-05,1.884355e-05,2.063094e-05,2.107864e-05,2.331392e-05,2.358121e-05,2.552968e-05,2.649378e-05,2.770814e-05,2.932907e-05,2.983357e-05,3.189239e-05,3.205386e-05,3.387322e-05,3.464159e-05,3.576689e-05,3.707230e-05,3.756630e-05,3.926635e-05,3.933223e-05,4.086375e-05,4.141332e-05,4.235684e-05,4.331236e-05,4.374534e-05,4.503019e-05,4.621334e-05,4.657090e-05,4.729753e-05,4.794100e-05,4.828612e-05,4.914880e-05,4.918296e-05,4.999224e-05,5.020375e-05,5.071837e-05,5.111602e-05,5.136587e-05,5.189607e-05,5.193933e-05,5.244328e-05,5.255439e-05,5.288221e-05,5.310123e-05,5.326046e-05,5.354648e-05,5.358225e-05,5.385160e-05,5.389952e-05,5.407237e-05,5.416919e-05,5.424822e-05,5.436374e-05,5.438259e-05,5.447876e-05,5.449080e-05,5.453977e-05,5.455742e-05,5.456850e-05,5.457006e-05,5.456765e-05,5.453971e-05,5.453465e-05,5.448703e-05,5.445658e-05,5.441179e-05,5.434076e-05,5.431600e-05,5.420155e-05,5.419164e-05,5.407019e-05,5.401327e-05,5.392352e-05,5.380928e-05,5.376304e-05,5.359015e-05,5.358299e-05,5.340612e-05,5.333738e-05,5.321214e-05,5.307511e-05,5.300931e-05,5.279863e-05,5.258104e-05,5.251009e-05,5.235740e-05,5.221146e-05,5.212850e-05,5.190450e-05,5.189508e-05,5.165782e-05,5.159078e-05,5.141732e-05,5.127171e-05,5.117417e-05,5.094857e-05,5.092888e-05,5.068194e-05,5.062248e-05,5.043379e-05,5.029445e-05,5.018484e-05,4.996540e-05,4.993546e-05,4.968600e-05,4.963612e-05,4.943676e-05,4.930734e-05,4.918802e-05,4.897967e-05,4.894006e-05,4.869311e-05,4.865370e-05,4.844737e-05,4.832991e-05,4.820305e-05,4.800874e-05,4.796033e-05,4.771937e-05,4.769058e-05,4.748031e-05,4.737576e-05,4.724328e-05,4.706458e-05,4.700841e-05,4.677579e-05,4.675728e-05,4.654552e-05,4.645409e-05,4.631768e-05,4.615518e-05,4.609235e-05,4.586958e-05,4.586073e-05,4.564945e-05,4.557085e-05,4.543199e-05,4.528566e-05,4.521724e-05,4.500524e-05,4.472966e-05,4.445898e-05,4.419321e-05,4.393240e-05,4.367654e-05,4.342564e-05,4.317968e-05,4.293864e-05,4.270250e-05,4.247122e-05,4.224476e-05,4.202308e-05,4.180611e-05,4.159382e-05,4.138614e-05,4.118300e-05,4.098435e-05,4.079012e-05,4.060023e-05,4.041463e-05,4.023322e-05,4.005596e-05,3.988275e-05,3.971353e-05
0.000000e+00,5.953369e-09,1.480152e-08,5.545695e-08,1.310733e-07,1.938150e-07,4.494032e-07,4.632133e-07,9.051698e-07,1.065643e-06,1.562746e-06,2.079650e-06,2.481468e-06,3.597186e-06,3.707628e-06,5.282159e-06,5.715090e-06,7.228725e-06,8.479807e-06,9.538923e-06,1.183600e-05,1.216558e-05,1.503389e-05,1.562933e-05,1.806307e-05,1.967771e-05,2.118225e-05,2.383041e-05,2.433526e-05,2.747913e-05,2.797899e-05,3.058095e-05,3.204717e-05,3.361520e-05,3.598042e-05,3.656197e-05,3.940579e-05,3.973954e-05,4.213486e-05,4.329697e-05,4.474052e-05,4.663451e-05,4.721677e-05,4.955991e-05,4.974155e-05,5.176818e-05,5.261364e-05,5.384144e-05,5.525122e-05,5.578090e-05,5.758882e-05,5.765845e-05,5.926834e-05,5.984224e-05,6.082321e-05,6.181149e-05,6.225771e-05,6.357642e-05,6.478418e-05,6.514804e-05,6.588594e-05,6.653774e-05,6.688670e-05,6.775706e-05,6.779147e-05,6.860521e-05,6.881741e-05,6.933278e-05,6.972994e-05,6.997892e-05,7.050543e-05,7.054825e-05,7.104523e-05,7.115422e-05,7.147415e-05,7.168617e-05,7.183915e-05,7.211061e-05,7.214417e-05,7.239302e-05,7.243637e-05,7.258930e-05,7.267175e-05,7.273647e-05,7.282455e-05,7.283781e-05,7.289644e-05,7.290206e-05,7.291533e-05,7.291111e-05,7.289728e-05,7.285805e-05,7.284497e-05,7.276091e-05,7.274881e-05,7.264750e-05,7.258889e-05,7.250699e-05,7.238340e-05,7.234152e-05,7.215308e-05,7.213708e-05,7.194360e-05,7.185431e-05,7.171484e-05,7.153915e-05,7.146850e-05,7.120616e-05,7.119535e-05,7.092931e-05,7.082637e-05,7.063936e-05,7.043537e-05,7.033761e-05,7.002531e-05,6.970361e-05,6.959886e-05,6.937359e-05,6.915849e-05,6.903628e-05,6.870648e-05,6.869262e-05,6.834350e-05,6.824489e-05,6.798976e-05,6.777561e-05,6.763216e-05,6.730038e-05,6.727142e-05,6.690822e-05,6.682076e-05,6.654319e-05,6.633819e-05,6.617691e-05,6.585396e-05,6.580990e-05,6.544269e-05,6.536926e-05,6.507572e-05,6.488514e-05,6.470942e-05,6.440255e-05,6.434420e-05,6.398042e-05,6.392237e-05,6.361840e-05,6.344536e-05,6.325847e-05,6.297220e-05,6.290089e-05,6.254593e-05,6.250353e-05,6.219383e-05,6.203986e-05,6.184479e-05,6.158169e-05,6.149901e-05,6.115667e-05,6.112944e-05,6.081793e-05,6.068347e-05,6.048291e-05,6.024409e-05,6.015176e-05,5.982458e-05,5.981157e-05,5.950146e-05,5.938615e-05,5.918250e-05,5.896802e-05,5.886777e-05,5.855733e-05,5.815420e-05,5.775873e-05,5.737099e-05,5.699102e-05,5.661885e-05,5.625449e-05,5.589791e-05,5.554910e-05,5.520800e-05,5.487457e-05,5.454874e-05,5.423043e-05,5.391956e-05,5.361603e-05,5.331975e-05,5.303061e-05,5.274850e-05,5.247330e-05,5.220490e-05,5.194317e-05,5.168799e-05,5.143924e-05,5.119679e-05,5.096051e-05
0.000000e+00,1.195550e-10,4.692620e-10,3.588710e-09,1.383034e-08,2.565842e-08,9.752662e-08,1.023395e-07,2.975551e-07,3.859839e-07,7.106864e-07,1.120839e-06,1.485453e-06,2.684933e-06,2.817521e-06,4.952239e-06,5.614360e-06,8.164713e-06,1.053756e-05,1.272919e-05,1.806164e-05,1.889297e-05,2.686140e-05,2.868636e-05,3.679190e-05,4.276919e-05,4.879329e-05,6.052160e-05,6.292771e-05,7.921375e-05,8.201828e-05,9.763005e-05,1.072110e-04,1.181192e-04,1.359438e-04,1.405917e-04,1.649300e-04,1.679695e-04,1.909929e-04,2.029660e-04,2.186194e-04,2.405534e-04,2.476334e-04,2.778475e-04,2.803107e-04,3.090670e-04,3.217919e-04,3.410936e-04,3.645411e-04,3.737290e-04,4.067779e-04,4.081057e-04,4.400504e-04,4.520480e-04,4.733650e-04,4.959548e-04,5.065497e-04,5.394441e-04,5.719001e-04,5.821710e-04,6.037828e-04,6.238304e-04,6.349711e-04,6.641587e-04,6.653576e-04,6.948484e-04,7.029341e-04,7.233632e-04,7.399751e-04,7.508347e-04,7.751393e-04,7.772076e-04,8.024385e-04,8.083202e-04,8.264948e-04,8.394445e-04,8.493540e-04,8.684690e-04,8.710027e-04,8.914360e-04,8.953768e-04,9.106562e-04,9.201742e-04,9.286728e-04,9.428874e-04,9.455007e-04,9.611604e-04,9.635591e-04,9.756763e-04,9.822460e-04,9.890770e-04,9.990158e-04,1.001394e-03,1.012662e-03,1.013945e-03,1.022916e-03,1.027116e-03,1.032194e-03,1.038617e-03,1.040536e-03,1.047980e-03,1.048538e-03,1.054567e-03,1.056971e-03,1.060337e-03,1.064008e-03,1.065330e-03,1.069585e-03,1.069740e-03,1.073141e-03,1.074258e-03,1.076038e-03,1.077649e-03,1.078311e-03,1.079997e-03,1.081133e-03,1.081385e-03,1.081751e-03,1.081891e-03,1.081885e-03,1.081588e-03,1.081567e-03,1.080827e-03,1.080548e-03,1.079694e-03,1.078838e-03,1.078197e-03,1.076519e-03,1.076360e-03,1.074211e-03,1.073651e-03,1.071773e-03,1.070290e-03,1.069069e-03,1.066486e-03,1.066120e-03,1.062948e-03,1.062288e-03,1.059571e-03,1.057740e-03,1.056008e-03,1.052884e-03,1.052276e-03,1.048391e-03,1.047756e-03,1.044369e-03,1.042393e-03,1.040223e-03,1.036827e-03,1.035968e-03,1.031616e-03,1.031088e-03,1.027179e-03,1.025203e-03,1.022668e-03,1.019196e-03,1.018093e-03,1.013463e-03,1.013091e-03,1.008789e-03,1.006908e-03,1.004078e-03,1.000667e-03,9.993375e-04,9.945755e-04,9.943847e-04,9.897985e-04,9.880763e-04,9.850127e-04,9.817563e-04,9.802239e-04,9.754374e-04,9.691312e-04,9.628479e-04,9.565969e-04,9.503864e-04,9.442240e-04,9.381160e-04,9.320684e-04,9.260863e-04,9.201741e-04,9.143358e-04,9.085747e-04,9.028938e-04,8.972955e-04,8.917819e-04,8.863547e-04,8.810153e-04,8.757647e-04,8.706038e-04,8.655330e-04,8.605528e-04,8.556632e-04,8.508641e-04,8.461555e-04,8.415368e-04
0.000000e+00,7.889864e-11,2.950861e-10,2.043288e-09,7.198976e-09,1.271795e-08,4.264002e-08,4.451772e-08,1.144346e-07,1.435893e-07,2.433134e-07,3.590365e-07,4.558181e-07,7.496626e-07,7.804907e-07,1.248263e-06,1.385129e-06,1.887484e-06,2.327748e-06,2.716429e-06,3.605736e-06,3.738288e-06,4.941966e-06,5.202808e-06,6.306792e-06,7.071909e-06,7.807644e-06,9.154529e-06,9.418657e-06,1.111522e-05,1.139308e-05,1.287481e-05,1.373576e-05,1.467713e-05,1.613751e-05,1.650405e-05,1.833940e-05,1.855951e-05,2.016883e-05,2.096858e-05,2.197970e-05,2.333675e-05,2.376105e-05,2.550345e-05,2.564092e-05,2.719903e-05,2.786265e-05,2.884132e-05,2.998786e-05,3.042523e-05,3.194688e-05,3.200641e-05,3.340352e-05,3.391163e-05,3.479338e-05,3.569986e-05,3.611556e-05,3.736986e-05,3.855668e-05,3.892235e-05,3.967694e-05,4.035957e-05,4.073196e-05,4.168493e-05,4.172339e-05,4.265312e-05,4.290267e-05,4.352323e-05,4.401759e-05,4.433591e-05,4.503481e-05,4.509344e-05,4.579813e-05,4.595966e-05,4.645234e-05,4.679750e-05,4.705837e-05,4.755365e-05,4.761852e-05,4.813505e-05,4.823331e-05,4.861014e-05,4.884153e-05,4.904593e-05,4.938314e-05,4.944449e-05,4.980779e-05,4.986278e-05,5.013776e-05,5.028484e-05,5.043622e-05,5.065348e-05,5.070492e-05,5.094555e-05,5.097262e-05,5.115971e-05,5.124595e-05,5.134893e-05,5.147695e-05,5.151466e-05,5.165829e-05,5.166886e-05,5.178113e-05,5.182473e-05,5.188444e-05,5.194739e-05,5.196940e-05,5.203715e-05,5.203951e-05,5.208875e-05,5.210357e-05,5.212522e-05,5.214187e-05,5.214752e-05,5.215656e-05,5.215321e-05,5.214966e-05,5.213828e-05,5.212301e-05,5.211255e-05,5.207836e-05,5.207675e-05,5.203156e-05,5.201732e-05,5.197765e-05,5.194137e-05,5.191563e-05,5.185191e-05,5.184609e-05,5.176957e-05,5.175023e-05,5.168661e-05,5.163752e-05,5.159769e-05,5.151488e-05,5.150328e-05,5.140382e-05,5.138336e-05,5.129972e-05,5.124388e-05,5.119137e-05,5.109734e-05,5.107914e-05,5.096338e-05,5.094456e-05,5.084442e-05,5.078628e-05,5.072257e-05,5.062320e-05,5.059811e-05,5.047132e-05,5.045596e-05,5.034245e-05,5.028516e-05,5.021176e-05,5.011134e-05,5.007946e-05,4.994576e-05,4.993502e-05,4.981088e-05,4.975664e-05,4.967500e-05,4.957665e-05,4.953830e-05,4.940094e-05,4.939544e-05,4.926309e-05,4.921336e-05,4.912488e-05,4.903076e-05,4.898645e-05,4.884793e-05,4.866516e-05,4.848270e-05,4.830078e-05,4.811962e-05,4.793941e-05,4.776032e-05,4.758252e-05,4.740615e-05,4.723135e-05,4.705821e-05,4.688687e-05,4.671739e-05,4.654988e-05,4.638440e-05,4.622102e-05,4.605980e-05,4.590078e-05,4.574401e-05,4.558951e-05,4.543733e-05,4.528748e-05,4.513998e-05,4.499485e-05,4.485210e-05
0.000000e+00,1.941718e-10,6.409634e-10,3.519588e-09,1.032479e-08,1.666038e-08,4.544314e-08,4.708286e-08,1.019524e-07,1.226404e-07,1.881795e-07,2.578211e-07,3.126260e-07,4.667287e-07,4.820964e-07,7.027039e-07,7.637558e-07,9.781781e-07,1.156335e-06,1.307740e-06,1.638102e-06,1.685756e-06,2.103913e-06,2.191597e-06,2.553693e-06,2.797518e-06,3.027520e-06,3.439293e-06,3.518832e-06,4.021833e-06,4.103043e-06,4.531296e-06,4.776717e-06,5.042457e-06,5.449696e-06,5.551006e-06,6.053103e-06,6.112757e-06,6.545399e-06,6.758154e-06,7.025053e-06,7.379676e-06,7.489724e-06,7.937558e-06,7.972613e-06,8.367154e-06,8.533650e-06,8.777519e-06,9.060711e-06,9.168028e-06,9.538364e-06,9.552756e-06,9.888476e-06,1.000959e-05,1.021854e-05,1.043171e-05,1.052891e-05,1.082007e-05,1.109262e-05,1.117602e-05,1.134725e-05,1.150113e-05,1.158466e-05,1.179710e-05,1.180564e-05,1.201095e-05,1.206573e-05,1.220138e-05,1.230882e-05,1.237771e-05,1.252814e-05,1.254070e-05,1.269111e-05,1.272541e-05,1.282964e-05,1.290229e-05,1.295700e-05,1.306036e-05,1.307385e-05,1.318082e-05,1.320108e-05,1.327852e-05,1.332586e-05,1.336753e-05,1.343598e-05,1.344839e-05,1.352161e-05,1.353265e-05,1.358767e-05,1.361698e-05,1.364705e-05,1.369002e-05,1.370017e-05,1.374743e-05,1.375272e-05,1.378921e-05,1.380596e-05,1.382589e-05,1.385055e-05,1.385779e-05,1.388523e-05,1.388724e-05,1.390851e-05,1.391672e-05,1.392791e-05,1.393962e-05,1.394369e-05,1.395609e-05,1.395652e-05,1.396536e-05,1.396797e-05,1.397170e-05,1.397444e-05,1.397531e-05,1.397640e-05,1.397513e-05,1.397425e-05,1.397167e-05,1.396839e-05,1.396619e-05,1.395916e-05,1.395883e-05,1.394972e-05,1.394688e-05,1.393900e-05,1.393185e-05,1.392679e-05,1.391434e-05,1.391320e-05,1.389834e-05,1.389460e-05,1.388231e-05,1.387286e-05,1.386521e-05,1.384933e-05,1.384711e-05,1.382812e-05,1.382422e-05,1.380829e-05,1.379768e-05,1.378771e-05,1.376989e-05,1.376645e-05,1.374456e-05,1.374101e-05,1.372211e-05,1.371115e-05,1.369916e-05,1.368047e-05,1.367575e-05,1.365194e-05,1.364906e-05,1.362777e-05,1.361704e-05,1.360330e-05,1.358451e-05,1.357854e-05,1.355356e-05,1.355155e-05,1.352838e-05,1.351826e-05,1.350303e-05,1.348470e-05,1.347755e-05,1.345197e-05,1.345094e-05,1.342631e-05,1.341706e-05,1.340060e-05,1.338310e-05,1.337486e-05,1.334912e-05,1.331518e-05,1.328131e-05,1.324755e-05,1.321395e-05,1.318053e-05,1.314733e-05,1.311437e-05,1.308169e-05,1.304929e-05,1.301721e-05,1.298546e-05,1.295406e-05,1.292302e-05,1.289235e-05,1.286207e-05,1.283219e-05,1.280271e-05,1.277365e-05,1.274500e-05,1.271678e-05,1.268898e-05,1.266162e-05,1.263468e-05,1.260819e-05
0.000000e+00,9.702619e-11,3.555555e-10,2.361778e-09,8.017215e-09,1.387943e-08,4.416387e-08,4.601028e-08,1.121910e-07,1.387261e-07,2.263807e-07,3.236845e-07,4.023519e-07,6.302600e-07,6.534068e-07,9.917539e-07,1.087078e-06,1.426685e-06,1.714121e-06,1.961977e-06,2.513889e-06,2.594730e-06,3.316717e-06,3.470871e-06,4.116828e-06,4.559762e-06,4.983009e-06,5.752886e-06,5.903283e-06,6.866077e-06,7.023320e-06,7.860243e-06,8.345410e-06,8.875014e-06,9.694674e-06,9.900006e-06,1.092529e-05,1.104789e-05,1.194149e-05,1.238348e-05,1.293995e-05,1.368208e-05,1.391287e-05,1.485340e-05,1.492706e-05,1.575573e-05,1.610486e-05,1.661511e-05,1.720516e-05,1.742786e-05,1.819135e-05,1.822084e-05,1.890387e-05,1.914773e-05,1.956463e-05,1.998431e-05,2.017355e-05,2.073127e-05,2.123894e-05,2.139108e-05,2.169817e-05,2.196756e-05,2.211093e-05,2.246551e-05,2.247943e-05,2.280605e-05,2.289034e-05,2.309330e-05,2.324781e-05,2.334372e-05,2.354377e-05,2.355986e-05,2.374424e-05,2.378404e-05,2.389929e-05,2.397419e-05,2.402736e-05,2.411953e-05,2.413070e-05,2.421142e-05,2.422503e-05,2.427153e-05,2.429527e-05,2.431290e-05,2.433444e-05,2.433726e-05,2.434623e-05,2.434634e-05,2.434131e-05,2.433442e-05,2.432386e-05,2.430174e-05,2.429515e-05,2.425634e-05,2.425105e-05,2.420847e-05,2.418480e-05,2.415253e-05,2.410515e-05,2.408939e-05,2.401985e-05,2.401403e-05,2.394464e-05,2.391311e-05,2.386442e-05,2.380390e-05,2.377980e-05,2.369131e-05,2.368770e-05,2.359947e-05,2.356567e-05,2.350471e-05,2.343882e-05,2.340745e-05,2.330805e-05,2.320686e-05,2.317415e-05,2.310417e-05,2.303779e-05,2.300026e-05,2.289959e-05,2.289538e-05,2.278975e-05,2.276007e-05,2.268359e-05,2.261971e-05,2.257708e-05,2.247891e-05,2.247038e-05,2.236364e-05,2.233804e-05,2.225702e-05,2.219740e-05,2.215062e-05,2.205727e-05,2.204457e-05,2.193896e-05,2.191790e-05,2.183388e-05,2.177949e-05,2.172943e-05,2.164222e-05,2.162567e-05,2.152267e-05,2.150627e-05,2.142050e-05,2.137176e-05,2.131920e-05,2.123882e-05,2.121882e-05,2.111941e-05,2.110754e-05,2.102100e-05,2.097803e-05,2.092363e-05,2.085034e-05,2.082732e-05,2.073211e-05,2.072454e-05,2.063802e-05,2.060069e-05,2.054505e-05,2.047883e-05,2.045324e-05,2.036259e-05,2.035899e-05,2.027312e-05,2.024120e-05,2.018483e-05,2.012547e-05,2.009773e-05,2.001183e-05,1.990027e-05,1.979081e-05,1.968344e-05,1.957816e-05,1.947495e-05,1.937382e-05,1.927473e-05,1.917769e-05,1.908266e-05,1.898962e-05,1.889857e-05,1.880946e-05,1.872228e-05,1.863701e-05,1.855360e-05,1.847205e-05,1.839231e-05,1.831436e-05,1.823817e-05,1.816370e-05,1.809094e-05,1.801985e-05,1.795039e-05,1.788254e-05
0.000000e+00,3.083863e-11,1.167788e-10,8.281622e-10,2.974509e-09,5.304435e-09,1.813836e-08,1.894936e-08,4.927159e-08,6.192047e-08,1.049871e-07,1.544253e-07,1.952825e-07,3.167208e-07,3.292524e-07,5.154730e-07,5.688157e-07,7.615726e-07,9.278935e-07,1.073624e-06,1.405817e-06,1.455358e-06,1.907513e-06,2.006235e-06,2.427676e-06,2.723408e-06,3.010659e-06,3.543623e-06,3.649171e-06,4.334537e-06,4.447918e-06,5.057317e-06,5.414690e-06,5.807798e-06,6.421644e-06,6.576347e-06,7.353687e-06,7.447138e-06,8.131095e-06,8.471081e-06,8.900554e-06,9.475567e-06,9.654869e-06,1.038775e-05,1.044528e-05,1.109383e-05,1.136775e-05,1.176875e-05,1.223341e-05,1.240905e-05,1.301220e-05,1.303553e-05,1.357654e-05,1.377001e-05,1.410116e-05,1.443507e-05,1.458584e-05,1.503094e-05,1.543732e-05,1.555938e-05,1.580624e-05,1.602340e-05,1.613926e-05,1.642685e-05,1.643817e-05,1.670493e-05,1.677414e-05,1.694157e-05,1.706996e-05,1.715017e-05,1.731910e-05,1.733280e-05,1.749149e-05,1.752624e-05,1.762821e-05,1.769588e-05,1.774484e-05,1.783225e-05,1.784314e-05,1.792479e-05,1.793926e-05,1.799133e-05,1.802045e-05,1.804421e-05,1.807903e-05,1.808474e-05,1.811412e-05,1.811786e-05,1.813347e-05,1.813948e-05,1.814377e-05,1.814613e-05,1.814595e-05,1.814083e-05,1.813976e-05,1.812914e-05,1.812209e-05,1.811156e-05,1.809462e-05,1.808868e-05,1.806106e-05,1.805866e-05,1.802919e-05,1.801535e-05,1.799350e-05,1.796567e-05,1.795440e-05,1.791224e-05,1.791049e-05,1.786735e-05,1.785057e-05,1.782001e-05,1.778657e-05,1.777050e-05,1.771906e-05,1.766590e-05,1.764856e-05,1.761122e-05,1.757551e-05,1.755520e-05,1.750031e-05,1.749800e-05,1.743977e-05,1.742331e-05,1.738066e-05,1.734481e-05,1.732077e-05,1.726510e-05,1.726024e-05,1.719916e-05,1.718443e-05,1.713762e-05,1.710300e-05,1.707573e-05,1.702103e-05,1.701355e-05,1.695117e-05,1.693868e-05,1.688865e-05,1.685611e-05,1.682606e-05,1.677347e-05,1.676346e-05,1.670089e-05,1.669089e-05,1.663841e-05,1.660847e-05,1.657608e-05,1.652633e-05,1.651392e-05,1.645198e-05,1.644456e-05,1.639029e-05,1.636324e-05,1.632889e-05,1.628244e-05,1.626782e-05,1.620709e-05,1.620224e-05,1.614673e-05,1.612270e-05,1.608678e-05,1.604387e-05,1.602724e-05,1.596814e-05,1.596579e-05,1.590951e-05,1.588852e-05,1.585135e-05,1.581208e-05,1.579368e-05,1.573652e-05,1.566187e-05,1.558814e-05,1.551537e-05,1.544357e-05,1.537276e-05,1.530295e-05,1.523415e-05,1.516637e-05,1.509962e-05,1.503391e-05,1.496923e-05,1.490560e-05,1.484300e-05,1.478144e-05,1.472091e-05,1.466141e-05,1.460294e-05,1.454550e-05,1.448906e-05,1.443364e-05,1.437921e-05,1.432578e-05,1.427332e-05,1.422184e-05
0.000000e+00,1.620136e-10,5.953300e-10,3.974536e-09,1.354397e-08,2.348964e-08,7.501032e-08,7.815502e-08,1.909196e-07,2.361197e-07,3.852546e-07,5.503980e-07,6.835642e-07,1.067612e-06,1.106480e-06,1.672350e-06,1.831195e-06,2.396226e-06,2.874534e-06,3.287797e-06,4.212256e-06,4.348186e-06,5.566826e-06,5.827712e-06,6.920616e-06,7.667329e-06,8.376663e-06,9.651326e-06,9.897438e-06,1.144591e-05,1.169395e-05,1.298906e-05,1.371962e-05,1.449955e-05,1.566986e-05,1.595598e-05,1.734239e-05,1.750347e-05,1.864745e-05,1.919387e-05,1.986374e-05,2.072604e-05,2.098701e-05,2.201554e-05,2.209373e-05,2.294966e-05,2.329725e-05,2.379129e-05,2.434173e-05,2.454360e-05,2.521067e-05,2.523565e-05,2.579723e-05,2.598967e-05,2.630842e-05,2.661570e-05,2.674958e-05,2.712616e-05,2.744352e-05,2.753342e-05,2.770687e-05,2.784940e-05,2.792123e-05,2.808530e-05,2.809131e-05,2.822156e-05,2.825146e-05,2.831609e-05,2.835726e-05,2.837870e-05,2.841110e-05,2.841287e-05,2.842177e-05,2.842048e-05,2.840830e-05,2.839196e-05,2.837505e-05,2.833131e-05,2.832439e-05,2.825842e-05,2.824357e-05,2.817907e-05,2.813308e-05,2.808802e-05,2.800363e-05,2.798681e-05,2.787681e-05,2.785847e-05,2.775922e-05,2.770041e-05,2.763515e-05,2.753187e-05,2.750555e-05,2.737130e-05,2.735492e-05,2.723317e-05,2.717135e-05,2.709185e-05,2.698268e-05,2.694794e-05,2.680200e-05,2.679025e-05,2.665451e-05,2.659518e-05,2.650590e-05,2.639843e-05,2.635657e-05,2.620685e-05,2.620085e-05,2.605704e-05,2.600315e-05,2.590743e-05,2.580592e-05,2.575824e-05,2.560970e-05,2.546200e-05,2.541494e-05,2.531529e-05,2.522200e-05,2.516974e-05,2.503122e-05,2.502547e-05,2.488260e-05,2.484286e-05,2.474122e-05,2.465715e-05,2.460143e-05,2.447428e-05,2.446329e-05,2.432688e-05,2.429441e-05,2.419226e-05,2.411767e-05,2.405946e-05,2.394415e-05,2.392854e-05,2.379952e-05,2.377395e-05,2.367243e-05,2.360712e-05,2.354729e-05,2.344370e-05,2.342413e-05,2.330294e-05,2.328373e-05,2.318374e-05,2.312723e-05,2.306653e-05,2.297420e-05,2.295132e-05,2.283809e-05,2.282464e-05,2.272685e-05,2.267853e-05,2.261759e-05,2.253586e-05,2.251029e-05,2.240494e-05,2.239660e-05,2.230154e-05,2.226071e-05,2.220005e-05,2.212817e-05,2.210047e-05,2.200279e-05,2.199892e-05,2.190696e-05,2.187292e-05,2.181299e-05,2.175013e-05,2.172084e-05,2.163050e-05,2.151397e-05,2.140048e-05,2.128999e-05,2.118244e-05,2.107776e-05,2.097589e-05,2.087679e-05,2.078039e-05,2.068662e-05,2.059544e-05,2.050677e-05,2.042057e-05,2.033678e-05,2.025533e-05,2.017616e-05,2.009923e-05,2.002448e-05,1.995185e-05,1.988129e-05,1.981274e-05,1.974615e-05,1.968147e-05,1.961865e-05,1.955764e-05
0.000000e+00,5.716703e-09,1.304890e-08,4.467440e-08,1.015034e-07,1.481847e-07,3.387432e-07,3.491145e-07,6.868214e-07,8.123190e-07,1.209671e-06,1.632510e-06,1.963834e-06,2.872210e-06,2.960179e-06,4.163501e-06,4.477738e-06,5.527409e-06,6.347778e-06,7.016849e-06,8.411685e-06,8.607179e-06,1.027883e-05,1.062134e-05,1.201402e-05,1.293564e-05,1.379532e-05,1.531455e-05,1.560538e-05,1.742710e-05,1.771855e-05,1.924405e-05,2.010993e-05,2.104086e-05,2.245440e-05,2.280361e-05,2.452007e-05,2.472242e-05,2.617987e-05,2.688997e-05,2.777451e-05,2.893871e-05,2.929736e-05,3.074344e-05,3.085570e-05,3.210937e-05,3.263282e-05,3.339317e-05,3.426615e-05,3.459402e-05,3.571215e-05,3.575517e-05,3.674860e-05,3.710203e-05,3.770507e-05,3.831091e-05,3.858380e-05,3.938742e-05,4.011884e-05,4.033815e-05,4.078117e-05,4.117029e-05,4.137763e-05,4.189133e-05,4.191152e-05,4.238613e-05,4.250885e-05,4.280474e-05,4.303036e-05,4.317056e-05,4.346320e-05,4.348674e-05,4.375630e-05,4.381439e-05,4.398216e-05,4.409060e-05,4.416712e-05,4.429818e-05,4.431386e-05,4.442494e-05,4.444309e-05,4.450279e-05,4.453091e-05,4.454972e-05,4.456685e-05,4.456791e-05,4.455945e-05,4.455576e-05,4.452629e-05,4.450214e-05,4.447027e-05,4.441018e-05,4.439314e-05,4.429653e-05,4.428371e-05,4.418200e-05,4.412629e-05,4.405098e-05,4.394122e-05,4.390484e-05,4.374486e-05,4.373151e-05,4.357225e-05,4.349992e-05,4.338812e-05,4.324901e-05,4.319353e-05,4.298947e-05,4.298112e-05,4.277686e-05,4.269839e-05,4.255656e-05,4.240278e-05,4.232938e-05,4.209607e-05,4.185734e-05,4.177991e-05,4.161384e-05,4.145578e-05,4.136618e-05,4.112505e-05,4.111494e-05,4.086063e-05,4.078895e-05,4.060377e-05,4.044861e-05,4.034479e-05,4.010504e-05,4.008414e-05,3.982219e-05,3.975918e-05,3.955933e-05,3.941185e-05,3.929588e-05,3.906382e-05,3.903217e-05,3.876848e-05,3.871576e-05,3.850507e-05,3.836830e-05,3.824220e-05,3.802198e-05,3.798010e-05,3.771897e-05,3.767729e-05,3.745899e-05,3.733467e-05,3.720036e-05,3.699453e-05,3.694323e-05,3.668774e-05,3.665720e-05,3.643403e-05,3.632299e-05,3.618222e-05,3.599219e-05,3.593242e-05,3.568473e-05,3.566501e-05,3.543924e-05,3.534167e-05,3.519602e-05,3.502235e-05,3.495515e-05,3.471669e-05,3.470721e-05,3.448070e-05,3.439636e-05,3.424722e-05,3.408992e-05,3.401630e-05,3.378798e-05,3.349060e-05,3.319785e-05,3.290977e-05,3.262638e-05,3.234769e-05,3.207373e-05,3.180447e-05,3.153991e-05,3.128003e-05,3.102479e-05,3.077418e-05,3.052814e-05,3.028664e-05,3.004962e-05,2.981704e-05,2.958884e-05,2.936495e-05,2.914534e-05,2.892992e-05,2.871863e-05,2.851142e-05,2.830821e-05,2.810893e-05,2.791353e-05
0.000000e+00,6.651663e-09,1.519482e-08,5.208271e-08,1.183788e-07,1.727895e-07,3.941665e-07,4.061773e-07,7.950605e-07,9.385001e-07,1.389013e-06,1.862867e-06,2.230844e-06,3.230444e-06,3.326865e-06,4.645977e-06,4.991419e-06,6.150504e-06,7.062611e-06,7.810616e-06,9.381249e-06,9.602517e-06,1.150473e-05,1.189655e-05,1.349608e-05,1.455970e-05,1.555511e-05,1.732120e-05,1.766024e-05,1.979030e-05,2.013206e-05,2.192510e-05,2.294593e-05,2.404596e-05,2.572127e-05,2.613612e-05,2.818099e-05,2.842272e-05,3.016820e-05,3.102161e-05,3.208762e-05,3.349608e-05,3.393131e-05,3.569327e-05,3.583055e-05,3.736928e-05,3.801498e-05,3.895669e-05,4.004396e-05,4.045415e-05,4.186142e-05,4.191584e-05,4.317918e-05,4.363191e-05,4.440883e-05,4.519565e-05,4.555234e-05,4.661212e-05,4.759092e-05,4.788751e-05,4.849170e-05,4.902869e-05,4.931759e-05,5.004300e-05,5.007184e-05,5.075770e-05,5.093793e-05,5.137844e-05,5.172096e-05,5.193727e-05,5.239946e-05,5.243738e-05,5.288186e-05,5.298059e-05,5.327373e-05,5.347129e-05,5.361591e-05,5.387816e-05,5.391121e-05,5.416237e-05,5.420753e-05,5.437197e-05,5.446538e-05,5.454252e-05,5.465735e-05,5.467640e-05,5.477590e-05,5.478878e-05,5.484319e-05,5.486466e-05,5.488034e-05,5.488969e-05,5.488933e-05,5.487202e-05,5.486826e-05,5.483019e-05,5.480446e-05,5.476554e-05,5.470213e-05,5.467967e-05,5.457408e-05,5.456483e-05,5.445022e-05,5.439587e-05,5.430944e-05,5.419834e-05,5.415304e-05,5.398221e-05,5.397509e-05,5.379811e-05,5.372880e-05,5.360182e-05,5.346191e-05,5.339436e-05,5.317669e-05,5.294972e-05,5.287526e-05,5.271430e-05,5.255956e-05,5.247122e-05,5.223138e-05,5.222126e-05,5.196511e-05,5.189238e-05,5.170345e-05,5.154407e-05,5.143690e-05,5.118785e-05,5.116604e-05,5.089143e-05,5.082503e-05,5.061359e-05,5.045677e-05,5.033299e-05,5.008415e-05,5.005010e-05,4.976532e-05,4.970818e-05,4.947907e-05,4.932975e-05,4.919169e-05,4.894969e-05,4.890355e-05,4.861496e-05,4.856876e-05,4.832622e-05,4.818765e-05,4.803760e-05,4.780697e-05,4.774936e-05,4.746175e-05,4.742729e-05,4.717498e-05,4.704913e-05,4.688926e-05,4.667294e-05,4.660478e-05,4.632172e-05,4.629914e-05,4.604022e-05,4.592810e-05,4.576045e-05,4.556016e-05,4.548253e-05,4.520660e-05,4.519561e-05,4.493276e-05,4.483471e-05,4.466112e-05,4.447771e-05,4.439177e-05,4.412480e-05,4.377616e-05,4.343195e-05,4.309230e-05,4.275732e-05,4.242710e-05,4.210172e-05,4.178125e-05,4.146573e-05,4.115519e-05,4.084965e-05,4.054914e-05,4.025364e-05,3.996315e-05,3.967766e-05,3.939714e-05,3.912157e-05,3.885091e-05,3.858512e-05,3.832416e-05,3.806797e-05,3.781651e-05,3.756972e-05,3.732754e-05,3.708990e-05
0.000000e+00,1.018282e-09,3.367887e-09,1.857994e-08,5.481966e-08,8.882443e-08,2.460037e-07,2.550820e-07,5.660304e-07,6.867306e-07,1.080835e-06,1.517859e-06,1.873843e-06,2.923286e-06,3.031290e-06,4.629340e-06,5.082950e-06,6.694966e-06,8.042101e-06,9.184414e-06,1.165372e-05,1.200661e-05,1.506379e-05,1.569590e-05,1.827472e-05,1.998419e-05,2.157829e-05,2.439124e-05,2.492896e-05,2.829151e-05,2.882863e-05,3.163731e-05,3.323012e-05,3.494224e-05,3.754275e-05,3.818560e-05,4.134959e-05,4.172319e-05,4.441917e-05,4.573655e-05,4.738180e-05,4.955564e-05,5.022749e-05,5.294859e-05,5.316072e-05,5.553962e-05,5.653877e-05,5.799710e-05,5.968275e-05,6.031928e-05,6.250596e-05,6.259062e-05,6.455819e-05,6.526447e-05,6.647812e-05,6.770959e-05,6.826872e-05,6.993364e-05,7.147702e-05,7.194597e-05,7.290339e-05,7.375704e-05,7.421749e-05,7.537798e-05,7.542425e-05,7.652866e-05,7.682023e-05,7.753569e-05,7.809523e-05,7.845030e-05,7.921429e-05,7.927734e-05,8.002157e-05,8.018837e-05,8.068758e-05,8.102805e-05,8.127983e-05,8.174340e-05,8.180261e-05,8.226002e-05,8.234401e-05,8.265601e-05,8.283891e-05,8.299434e-05,8.323661e-05,8.327860e-05,8.351220e-05,8.354509e-05,8.369838e-05,8.377182e-05,8.384023e-05,8.392375e-05,8.394066e-05,8.400244e-05,8.400738e-05,8.402818e-05,8.402874e-05,8.402037e-05,8.399343e-05,8.398133e-05,8.391329e-05,8.390666e-05,8.381833e-05,8.377325e-05,8.369841e-05,8.359766e-05,8.355539e-05,8.339102e-05,8.338403e-05,8.320695e-05,8.313617e-05,8.300473e-05,8.285760e-05,8.278582e-05,8.255160e-05,8.230335e-05,8.222115e-05,8.204230e-05,8.186903e-05,8.176958e-05,8.149779e-05,8.148627e-05,8.119338e-05,8.110978e-05,8.089184e-05,8.070714e-05,8.058255e-05,8.029188e-05,8.026634e-05,7.994399e-05,7.986580e-05,7.961623e-05,7.943058e-05,7.928374e-05,7.898775e-05,7.894717e-05,7.860710e-05,7.853872e-05,7.826411e-05,7.808477e-05,7.791871e-05,7.762707e-05,7.757139e-05,7.722261e-05,7.716670e-05,7.687280e-05,7.670463e-05,7.652234e-05,7.624176e-05,7.617161e-05,7.582095e-05,7.577889e-05,7.547068e-05,7.531676e-05,7.512109e-05,7.485603e-05,7.477246e-05,7.442505e-05,7.439732e-05,7.407909e-05,7.394115e-05,7.373479e-05,7.348804e-05,7.339235e-05,7.305197e-05,7.303840e-05,7.271381e-05,7.259265e-05,7.237803e-05,7.215113e-05,7.204476e-05,7.171415e-05,7.128200e-05,7.085492e-05,7.043313e-05,7.001680e-05,6.960611e-05,6.920118e-05,6.880213e-05,6.840906e-05,6.802204e-05,6.764115e-05,6.726641e-05,6.689788e-05,6.653555e-05,6.617945e-05,6.582958e-05,6.548591e-05,6.514843e-05,6.481711e-05,6.449191e-05,6.417280e-05,6.385973e-05,6.355263e-05,6.325146e-05,6.295616e-05
0.000000e+00,5.312998e-09,1.398129e-08,5.577336e-08,1.357087e-07,2.027604e-07,4.778748e-07,4.927710e-07,9.690554e-07,1.141473e-06,1.673063e-06,2.221472e-06,2.644697e-06,3.806568e-06,3.920588e-06,5.529322e-06,5.966756e-06,7.482519e-06,8.721899e-06,9.763263e-06,1.200158e-05,1.232075e-05,1.508142e-05,1.565112e-05,1.796969e-05,1.950021e-05,2.092161e-05,2.341343e-05,2.388711e-05,2.682736e-05,2.729331e-05,2.971173e-05,3.106902e-05,3.251585e-05,3.468827e-05,3.522045e-05,3.781064e-05,3.811321e-05,4.027541e-05,4.131811e-05,4.260720e-05,4.428748e-05,4.480139e-05,4.685591e-05,4.701422e-05,4.877079e-05,4.949799e-05,5.054780e-05,5.174358e-05,5.219004e-05,5.370166e-05,5.375947e-05,5.508755e-05,5.555673e-05,5.635316e-05,5.714800e-05,5.750425e-05,5.854678e-05,5.948676e-05,5.976688e-05,6.033017e-05,6.082197e-05,6.108285e-05,6.172541e-05,6.175056e-05,6.233886e-05,6.249009e-05,6.285309e-05,6.312819e-05,6.329833e-05,6.365117e-05,6.367941e-05,6.400092e-05,6.406971e-05,6.426722e-05,6.439376e-05,6.448238e-05,6.463249e-05,6.465026e-05,6.477447e-05,6.479437e-05,6.485840e-05,6.488719e-05,6.490524e-05,6.491810e-05,6.491795e-05,6.489933e-05,6.489362e-05,6.485197e-05,6.481975e-05,6.477830e-05,6.470195e-05,6.468059e-05,6.456093e-05,6.454519e-05,6.442131e-05,6.435402e-05,6.426355e-05,6.413257e-05,6.408935e-05,6.390031e-05,6.388459e-05,6.369789e-05,6.361349e-05,6.348347e-05,6.332237e-05,6.325831e-05,6.302360e-05,6.301403e-05,6.278043e-05,6.269101e-05,6.252981e-05,6.235562e-05,6.227269e-05,6.200993e-05,6.174235e-05,6.165582e-05,6.147068e-05,6.129499e-05,6.119562e-05,6.092896e-05,6.091780e-05,6.063781e-05,6.055910e-05,6.035619e-05,6.018665e-05,6.007344e-05,5.981270e-05,5.979002e-05,5.950634e-05,5.943826e-05,5.922279e-05,5.906420e-05,5.893974e-05,5.869131e-05,5.865750e-05,5.837637e-05,5.832030e-05,5.809662e-05,5.795178e-05,5.781850e-05,5.758630e-05,5.754223e-05,5.726802e-05,5.722434e-05,5.699604e-05,5.686634e-05,5.672648e-05,5.651266e-05,5.645947e-05,5.619515e-05,5.616362e-05,5.593364e-05,5.581950e-05,5.567505e-05,5.548053e-05,5.541947e-05,5.516698e-05,5.514691e-05,5.491765e-05,5.481882e-05,5.467155e-05,5.449639e-05,5.442873e-05,5.418924e-05,5.417973e-05,5.395310e-05,5.386892e-05,5.372035e-05,5.356403e-05,5.349101e-05,5.326511e-05,5.297218e-05,5.268525e-05,5.240432e-05,5.212937e-05,5.186039e-05,5.159732e-05,5.134013e-05,5.108875e-05,5.084314e-05,5.060323e-05,5.036893e-05,5.014018e-05,4.991690e-05,4.969899e-05,4.948638e-05,4.927898e-05,4.907668e-05,4.887941e-05,4.868707e-05,4.849955e-05,4.831678e-05,4.813864e-05,4.796505e-05,4.779591e-05
0.000000e+00,4.250953e-09,9.730691e-09,3.342351e-08,7.598262e-08,1.108432e-07,2.518469e-07,2.594573e-07,5.038289e-07,5.931251e-07,8.720128e-07,1.165703e-06,1.396498e-06,2.047469e-06,2.112617e-06,3.051704e-06,3.312408e-06,4.228036e-06,4.986381e-06,5.627677e-06,7.014097e-06,7.212521e-06,8.936525e-06,9.294246e-06,1.075845e-05,1.173337e-05,1.264559e-05,1.426245e-05,1.457256e-05,1.651908e-05,1.683117e-05,1.846827e-05,1.940049e-05,2.040558e-05,2.193824e-05,2.231824e-05,2.419499e-05,2.441731e-05,2.602598e-05,2.681487e-05,2.780270e-05,2.911230e-05,2.951805e-05,3.116619e-05,3.129500e-05,3.274257e-05,3.335224e-05,3.424381e-05,3.527684e-05,3.566761e-05,3.701263e-05,3.706479e-05,3.827841e-05,3.871472e-05,3.946519e-05,4.022750e-05,4.057385e-05,4.160581e-05,4.256291e-05,4.285372e-05,4.344731e-05,4.397628e-05,4.426143e-05,4.497927e-05,4.500786e-05,4.568935e-05,4.586891e-05,4.630870e-05,4.665167e-05,4.686877e-05,4.733413e-05,4.737241e-05,4.782248e-05,4.792284e-05,4.822177e-05,4.842422e-05,4.857302e-05,4.884450e-05,4.887890e-05,4.914200e-05,4.918971e-05,4.936482e-05,4.946557e-05,4.954977e-05,4.967756e-05,4.969917e-05,4.981522e-05,4.983084e-05,4.990005e-05,4.993028e-05,4.995569e-05,4.998048e-05,4.998406e-05,4.998699e-05,4.998572e-05,4.996624e-05,4.995003e-05,4.992345e-05,4.987715e-05,4.986019e-05,4.977795e-05,4.977059e-05,4.967814e-05,4.963360e-05,4.956209e-05,4.946919e-05,4.943106e-05,4.928624e-05,4.928018e-05,4.912875e-05,4.906916e-05,4.895964e-05,4.883853e-05,4.877992e-05,4.859053e-05,4.839234e-05,4.832720e-05,4.818619e-05,4.805044e-05,4.797287e-05,4.776200e-05,4.775310e-05,4.752757e-05,4.746349e-05,4.729694e-05,4.715637e-05,4.706181e-05,4.684201e-05,4.682275e-05,4.658029e-05,4.652165e-05,4.633493e-05,4.619644e-05,4.608714e-05,4.586741e-05,4.583735e-05,4.558596e-05,4.553552e-05,4.533335e-05,4.520164e-05,4.507989e-05,4.486655e-05,4.482589e-05,4.457166e-05,4.453098e-05,4.431749e-05,4.419558e-05,4.406363e-05,4.386094e-05,4.381034e-05,4.355783e-05,4.352760e-05,4.330632e-05,4.319602e-05,4.305600e-05,4.286665e-05,4.280704e-05,4.255960e-05,4.253988e-05,4.231384e-05,4.221604e-05,4.206989e-05,4.189544e-05,4.182788e-05,4.158792e-05,4.157837e-05,4.135011e-05,4.126505e-05,4.111455e-05,4.095569e-05,4.088131e-05,4.065048e-05,4.034958e-05,4.005311e-05,3.976120e-05,3.947393e-05,3.919138e-05,3.891361e-05,3.864067e-05,3.837258e-05,3.810937e-05,3.785104e-05,3.759759e-05,3.734901e-05,3.710529e-05,3.686639e-05,3.663228e-05,3.640292e-05,3.617827e-05,3.595829e-05,3.574291e-05,3.553208e-05,3.532574e-05,3.512383e-05,3.492628e-05,3.473303e-05
0.000000e+00,7.419171e-11,2.668910e-10,1.711753e-09,5.649164e-09,9.643679e-09,2.972587e-08,3.093261e-08,7.352018e-08,9.035816e-08,1.454296e-07,2.059112e-07,2.544686e-07,3.939399e-07,4.080225e-07,6.124783e-07,6.696697e-07,8.723172e-07,1.042906e-06,1.189686e-06,1.516758e-06,1.564793e-06,1.996575e-06,2.089577e-06,2.483141e-06,2.756991e-06,3.021962e-06,3.512676e-06,3.609900e-06,4.243220e-06,4.348482e-06,4.917611e-06,5.254508e-06,5.628250e-06,6.219349e-06,6.369896e-06,7.137009e-06,7.230504e-06,7.923879e-06,8.274878e-06,8.724758e-06,9.339308e-06,9.533989e-06,1.034612e-05,1.041106e-05,1.115599e-05,1.147822e-05,1.195882e-05,1.253004e-05,1.275027e-05,1.352646e-05,1.355714e-05,1.428401e-05,1.455160e-05,1.502004e-05,1.550700e-05,1.573214e-05,1.641837e-05,1.707723e-05,1.728209e-05,1.770761e-05,1.809576e-05,1.830879e-05,1.885804e-05,1.888033e-05,1.942211e-05,1.956848e-05,1.993423e-05,2.022740e-05,2.041703e-05,2.083572e-05,2.087100e-05,2.129676e-05,2.139483e-05,2.169509e-05,2.190647e-05,2.206681e-05,2.237265e-05,2.241285e-05,2.273416e-05,2.279554e-05,2.303174e-05,2.317744e-05,2.330659e-05,2.352065e-05,2.355974e-05,2.379219e-05,2.382753e-05,2.400494e-05,2.410036e-05,2.419899e-05,2.434139e-05,2.437527e-05,2.453475e-05,2.455279e-05,2.467830e-05,2.473665e-05,2.480681e-05,2.489493e-05,2.492111e-05,2.502201e-05,2.502953e-05,2.511028e-05,2.514222e-05,2.518665e-05,2.523467e-05,2.525183e-05,2.530647e-05,2.530845e-05,2.535122e-05,2.536503e-05,2.538668e-05,2.540578e-05,2.541342e-05,2.543199e-05,2.544290e-05,2.544485e-05,2.544663e-05,2.544547e-05,2.544365e-05,2.543488e-05,2.543439e-05,2.541927e-05,2.541404e-05,2.539867e-05,2.538384e-05,2.537296e-05,2.534510e-05,2.534250e-05,2.530760e-05,2.529860e-05,2.526858e-05,2.524503e-05,2.522572e-05,2.518506e-05,2.517932e-05,2.512961e-05,2.511930e-05,2.507686e-05,2.504830e-05,2.502129e-05,2.497259e-05,2.496311e-05,2.490254e-05,2.489264e-05,2.483977e-05,2.480892e-05,2.477498e-05,2.472181e-05,2.470835e-05,2.464002e-05,2.463172e-05,2.457016e-05,2.453898e-05,2.449892e-05,2.444392e-05,2.442641e-05,2.435279e-05,2.434685e-05,2.427815e-05,2.424804e-05,2.420262e-05,2.414774e-05,2.412630e-05,2.404929e-05,2.404620e-05,2.397169e-05,2.394362e-05,2.389358e-05,2.384022e-05,2.381505e-05,2.373617e-05,2.363165e-05,2.352681e-05,2.342179e-05,2.331673e-05,2.321175e-05,2.310696e-05,2.300246e-05,2.289835e-05,2.279472e-05,2.269163e-05,2.258916e-05,2.248738e-05,2.238634e-05,2.228610e-05,2.218670e-05,2.208819e-05,2.199062e-05,2.189400e-05,2.179838e-05,2.170378e-05,2.161022e-05,2.151773e-05,2.142633e-05,2.133603e-05
0.000000e+00,5.855771e-09,1.341077e-08,4.617049e-08,1.054102e-07,1.543107e-07,3.554566e-07,3.664608e-07,7.271055e-07,8.620650e-07,1.291960e-06,1.753262e-06,2.117404e-06,3.127438e-06,3.226085e-06,4.586710e-06,4.944698e-06,6.145603e-06,7.087879e-06,7.857904e-06,9.466028e-06,9.691640e-06,1.162254e-05,1.201853e-05,1.362986e-05,1.469742e-05,1.569427e-05,1.745886e-05,1.779716e-05,1.992062e-05,2.026113e-05,2.204769e-05,2.306531e-05,2.416271e-05,2.583652e-05,2.625158e-05,2.830200e-05,2.854495e-05,3.030352e-05,3.116641e-05,3.224749e-05,3.368210e-05,3.412700e-05,3.593682e-05,3.607847e-05,3.767314e-05,3.834649e-05,3.933344e-05,4.048095e-05,4.091630e-05,4.242121e-05,4.247979e-05,4.384844e-05,4.434338e-05,4.519887e-05,4.607398e-05,4.647387e-05,4.767518e-05,4.880485e-05,4.915157e-05,4.986511e-05,5.050837e-05,5.085838e-05,5.175121e-05,5.178715e-05,5.265398e-05,5.288594e-05,5.346142e-05,5.391845e-05,5.421203e-05,5.485458e-05,5.490834e-05,5.555284e-05,5.570008e-05,5.614794e-05,5.646052e-05,5.669603e-05,5.714126e-05,5.719938e-05,5.766022e-05,5.774747e-05,5.808068e-05,5.828405e-05,5.846283e-05,5.875568e-05,5.880864e-05,5.912003e-05,5.916678e-05,5.939880e-05,5.952154e-05,5.964670e-05,5.982393e-05,5.986541e-05,6.005651e-05,6.007766e-05,6.022154e-05,6.028626e-05,6.036194e-05,6.045302e-05,6.047909e-05,6.057433e-05,6.058104e-05,6.064891e-05,6.067323e-05,6.070404e-05,6.073232e-05,6.074084e-05,6.076041e-05,6.076085e-05,6.076378e-05,6.076122e-05,6.075194e-05,6.073567e-05,6.072582e-05,6.068629e-05,6.063422e-05,6.061504e-05,6.057039e-05,6.052373e-05,6.049557e-05,6.041408e-05,6.041048e-05,6.031581e-05,6.028767e-05,6.021219e-05,6.014599e-05,6.010026e-05,5.999043e-05,5.998059e-05,5.985373e-05,5.982227e-05,5.972021e-05,5.964272e-05,5.958054e-05,5.945290e-05,5.943517e-05,5.928455e-05,5.925384e-05,5.912911e-05,5.904651e-05,5.896925e-05,5.883183e-05,5.880534e-05,5.863775e-05,5.861061e-05,5.846680e-05,5.838365e-05,5.829283e-05,5.815167e-05,5.811613e-05,5.793698e-05,5.791533e-05,5.775567e-05,5.767527e-05,5.757244e-05,5.743205e-05,5.738753e-05,5.720117e-05,5.718621e-05,5.701358e-05,5.693824e-05,5.682495e-05,5.668861e-05,5.663549e-05,5.644535e-05,5.643774e-05,5.625473e-05,5.618601e-05,5.606377e-05,5.593380e-05,5.587262e-05,5.568142e-05,5.542920e-05,5.517741e-05,5.492631e-05,5.467614e-05,5.442711e-05,5.417943e-05,5.393329e-05,5.368883e-05,5.344623e-05,5.320560e-05,5.296709e-05,5.273079e-05,5.249682e-05,5.226526e-05,5.203618e-05,5.180968e-05,5.158579e-05,5.136459e-05,5.114611e-05,5.093040e-05,5.071750e-05,5.050743e-05,5.030021e-05,5.009587e-05
0.000000e+00,7.969113e-10,2.493304e-09,1.256656e-08,3.488113e-08,5.498039e-08,1.435007e-07,1.484732e-07,3.132041e-07,3.749054e-07,5.700806e-07,7.777630e-07,9.417078e-07,1.405506e-06,1.451972e-06,2.122136e-06,2.308321e-06,2.963411e-06,3.508594e-06,3.972615e-06,4.989038e-06,5.136288e-06,6.437929e-06,6.713413e-06,7.861973e-06,8.646170e-06,9.394478e-06,1.075616e-05,1.102256e-05,1.273375e-05,1.301442e-05,1.451562e-05,1.539236e-05,1.635566e-05,1.786112e-05,1.824129e-05,2.016002e-05,2.039191e-05,2.209965e-05,2.295666e-05,2.404844e-05,2.552880e-05,2.599531e-05,2.792995e-05,2.808391e-05,2.984297e-05,3.060020e-05,3.172594e-05,3.305886e-05,3.357143e-05,3.537303e-05,3.544410e-05,3.712529e-05,3.774313e-05,3.882371e-05,3.994602e-05,4.046469e-05,4.204541e-05,4.356380e-05,4.403627e-05,4.501843e-05,4.591552e-05,4.640846e-05,4.768181e-05,4.773357e-05,4.899383e-05,4.933515e-05,5.018974e-05,5.087670e-05,5.132206e-05,5.230853e-05,5.239184e-05,5.340033e-05,5.363340e-05,5.434895e-05,5.485461e-05,5.523927e-05,5.597584e-05,5.607295e-05,5.685175e-05,5.700108e-05,5.757745e-05,5.793444e-05,5.825189e-05,5.878014e-05,5.887689e-05,5.945431e-05,5.954240e-05,5.998598e-05,6.022548e-05,6.047374e-05,6.083353e-05,6.091938e-05,6.132466e-05,6.137066e-05,6.169132e-05,6.184086e-05,6.202106e-05,6.224798e-05,6.231553e-05,6.257633e-05,6.259579e-05,6.280503e-05,6.288786e-05,6.300315e-05,6.312767e-05,6.317214e-05,6.331343e-05,6.331853e-05,6.342840e-05,6.346360e-05,6.351836e-05,6.356590e-05,6.358459e-05,6.362832e-05,6.365074e-05,6.365360e-05,6.365299e-05,6.364435e-05,6.363616e-05,6.360303e-05,6.360130e-05,6.354943e-05,6.353199e-05,6.348151e-05,6.343344e-05,6.339847e-05,6.330949e-05,6.330121e-05,6.319057e-05,6.316212e-05,6.306739e-05,6.299321e-05,6.293243e-05,6.280452e-05,6.278645e-05,6.263016e-05,6.259773e-05,6.246425e-05,6.237439e-05,6.228937e-05,6.213600e-05,6.210615e-05,6.191518e-05,6.188394e-05,6.171703e-05,6.161952e-05,6.151224e-05,6.134397e-05,6.130132e-05,6.108478e-05,6.105844e-05,6.086308e-05,6.076401e-05,6.063667e-05,6.046170e-05,6.040596e-05,6.017137e-05,6.015245e-05,5.993328e-05,5.983714e-05,5.969205e-05,5.951661e-05,5.944802e-05,5.920154e-05,5.919163e-05,5.895291e-05,5.886293e-05,5.870242e-05,5.853117e-05,5.845035e-05,5.819698e-05,5.786094e-05,5.752359e-05,5.718545e-05,5.684696e-05,5.650856e-05,5.617066e-05,5.583361e-05,5.549775e-05,5.516340e-05,5.483084e-05,5.450034e-05,5.417212e-05,5.384642e-05,5.352342e-05,5.320331e-05,5.288624e-05,5.257237e-05,5.226182e-05,5.195472e-05,5.165116e-05,5.135122e-05,5.105501e-05,5.076257e-05,5.047397e-05
0.000000e+00,3.020899e-11,1.180128e-10,8.928920e-10,3.402514e-09,6.268418e-09,2.331759e-08,2.444380e-08,6.909930e-08,8.883132e-08,1.594390e-07,2.455361e-07,3.199052e-07,5.544557e-07,5.796470e-07,9.718412e-07,1.089665e-06,1.532879e-06,1.935133e-06,2.301324e-06,3.180391e-06,3.316536e-06,4.616981e-06,4.914517e-06,6.238510e-06,7.219343e-06,8.212908e-06,1.016378e-05,1.056685e-05,1.332126e-05,1.380020e-05,1.649094e-05,1.816265e-05,2.008447e-05,2.326623e-05,2.410418e-05,2.854634e-05,2.910739e-05,3.340138e-05,3.566469e-05,3.865419e-05,4.290010e-05,4.428456e-05,5.026767e-05,5.076071e-05,5.657454e-05,5.918077e-05,6.317270e-05,6.808398e-05,7.002678e-05,7.709915e-05,7.738604e-05,8.435057e-05,8.699719e-05,9.174083e-05,9.682482e-05,9.922938e-05,1.067759e-04,1.143409e-04,1.167593e-04,1.218861e-04,1.266877e-04,1.293749e-04,1.364791e-04,1.367729e-04,1.440478e-04,1.460587e-04,1.511702e-04,1.553591e-04,1.581131e-04,1.643215e-04,1.648527e-04,1.713678e-04,1.728960e-04,1.776404e-04,1.810412e-04,1.836550e-04,1.887245e-04,1.893991e-04,1.948630e-04,1.959214e-04,2.000392e-04,2.026154e-04,2.049228e-04,2.087969e-04,2.095111e-04,2.138034e-04,2.144627e-04,2.178006e-04,2.196153e-04,2.215057e-04,2.242622e-04,2.249228e-04,2.280575e-04,2.284150e-04,2.309164e-04,2.320889e-04,2.335071e-04,2.353018e-04,2.358380e-04,2.379181e-04,2.380739e-04,2.397569e-04,2.404272e-04,2.413645e-04,2.423845e-04,2.427510e-04,2.439268e-04,2.439696e-04,2.449023e-04,2.452064e-04,2.456879e-04,2.461191e-04,2.462941e-04,2.467311e-04,2.470088e-04,2.470657e-04,2.471372e-04,2.471454e-04,2.471258e-04,2.469919e-04,2.469838e-04,2.467202e-04,2.466258e-04,2.463436e-04,2.460669e-04,2.458623e-04,2.453338e-04,2.452842e-04,2.446168e-04,2.444441e-04,2.438673e-04,2.434144e-04,2.430427e-04,2.422599e-04,2.421493e-04,2.411933e-04,2.409952e-04,2.401806e-04,2.396334e-04,2.391166e-04,2.381871e-04,2.380065e-04,2.368552e-04,2.366674e-04,2.356671e-04,2.350850e-04,2.344465e-04,2.334494e-04,2.331975e-04,2.319238e-04,2.317694e-04,2.306288e-04,2.300531e-04,2.293158e-04,2.283078e-04,2.279878e-04,2.266477e-04,2.265400e-04,2.252979e-04,2.247559e-04,2.239410e-04,2.229609e-04,2.225792e-04,2.212145e-04,2.211599e-04,2.198488e-04,2.193572e-04,2.184839e-04,2.175570e-04,2.171213e-04,2.157627e-04,2.139774e-04,2.122040e-04,2.104449e-04,2.087023e-04,2.069782e-04,2.052742e-04,2.035917e-04,2.019320e-04,2.002961e-04,1.986849e-04,1.970992e-04,1.955395e-04,1.940063e-04,1.925000e-04,1.910209e-04,1.895691e-04,1.881447e-04,1.867477e-04,1.853781e-04,1.840357e-04,1.827205e-04,1.814323e-04,1.801707e-04,1.789356e-04
0.000000e+00,1.293963e-08,2.999503e-08,1.047430e-07,2.406814e-07,3.529174e-07,8.117867e-07,8.367247e-07,1.644211e-06,1.941916e-06,2.877944e-06,3.869293e-06,4.648453e-06,6.823666e-06,7.038466e-06,1.006242e-05,1.087865e-05,1.368155e-05,1.594971e-05,1.784695e-05,2.193175e-05,2.251778e-05,2.766005e-05,2.874227e-05,3.324175e-05,3.630689e-05,3.922936e-05,4.454591e-05,4.558619e-05,5.227201e-05,5.336942e-05,5.924354e-05,6.267806e-05,6.645529e-05,7.236634e-05,7.386065e-05,8.141300e-05,8.232698e-05,8.906676e-05,9.245519e-05,9.677826e-05,1.026523e-04,1.045065e-04,1.122137e-04,1.128283e-04,1.198655e-04,1.229038e-04,1.274313e-04,1.328102e-04,1.348842e-04,1.422007e-04,1.424902e-04,1.493612e-04,1.518975e-04,1.563493e-04,1.609957e-04,1.631514e-04,1.697569e-04,1.761574e-04,1.781613e-04,1.823470e-04,1.861956e-04,1.883214e-04,1.938515e-04,1.940775e-04,1.996141e-04,2.011250e-04,2.049309e-04,2.080158e-04,2.100287e-04,2.145267e-04,2.149092e-04,2.195750e-04,2.206632e-04,2.240294e-04,2.264333e-04,2.282771e-04,2.318473e-04,2.323222e-04,2.361688e-04,2.369147e-04,2.398217e-04,2.416463e-04,2.432857e-04,2.460529e-04,2.465655e-04,2.496663e-04,2.501462e-04,2.525931e-04,2.539377e-04,2.553511e-04,2.574393e-04,2.579452e-04,2.603806e-04,2.606624e-04,2.626623e-04,2.636188e-04,2.647952e-04,2.663198e-04,2.667844e-04,2.686347e-04,2.687769e-04,2.703510e-04,2.710010e-04,2.719379e-04,2.730029e-04,2.734000e-04,2.747420e-04,2.747932e-04,2.759681e-04,2.763820e-04,2.770828e-04,2.777793e-04,2.780903e-04,2.789947e-04,2.798001e-04,2.800376e-04,2.805104e-04,2.809168e-04,2.811293e-04,2.816411e-04,2.816607e-04,2.821081e-04,2.822188e-04,2.824751e-04,2.826580e-04,2.827650e-04,2.829665e-04,2.829811e-04,2.831268e-04,2.831516e-04,2.832050e-04,2.832205e-04,2.832189e-04,2.831801e-04,2.831712e-04,2.830650e-04,2.830369e-04,2.829028e-04,2.827973e-04,2.826874e-04,2.824672e-04,2.824213e-04,2.821070e-04,2.820524e-04,2.817469e-04,2.815585e-04,2.813433e-04,2.809906e-04,2.808984e-04,2.804145e-04,2.803539e-04,2.798935e-04,2.796530e-04,2.793374e-04,2.788926e-04,2.787483e-04,2.781280e-04,2.780771e-04,2.774782e-04,2.772105e-04,2.768008e-04,2.762968e-04,2.760973e-04,2.753694e-04,2.753398e-04,2.746186e-04,2.743430e-04,2.738464e-04,2.733098e-04,2.730542e-04,2.722435e-04,2.711470e-04,2.700234e-04,2.688752e-04,2.677052e-04,2.665157e-04,2.653092e-04,2.640877e-04,2.628534e-04,2.616082e-04,2.603540e-04,2.590924e-04,2.578252e-04,2.565538e-04,2.552798e-04,2.540044e-04,2.527289e-04,2.514546e-04,2.501825e-04,2.489137e-04,2.476491e-04,2.463897e-04,2.451362e-04,2.438895e-04,2.426503e-04
0.000000e+00,1.007493e-09,2.489204e-09,9.281753e-09,2.191746e-08,3.240515e-08,7.508908e-08,7.739190e-08,1.508077e-07,1.773149e-07,2.588953e-07,3.429021e-07,4.076743e-07,5.855055e-07,6.029748e-07,8.503368e-07,9.180165e-07,1.154659e-06,1.351365e-06,1.519486e-06,1.891616e-06,1.946030e-06,2.432504e-06,2.536629e-06,2.974383e-06,3.276042e-06,3.565510e-06,4.095244e-06,4.199229e-06,4.869033e-06,4.979134e-06,5.568784e-06,5.913596e-06,6.292715e-06,6.885591e-06,7.035367e-06,7.791569e-06,7.882988e-06,8.556422e-06,8.894500e-06,9.325318e-06,9.909727e-06,1.009396e-05,1.085840e-05,1.091926e-05,1.161503e-05,1.191476e-05,1.236065e-05,1.288907e-05,1.309242e-05,1.380790e-05,1.383615e-05,1.450501e-05,1.475112e-05,1.518201e-05,1.563015e-05,1.583749e-05,1.647035e-05,1.707977e-05,1.726973e-05,1.766517e-05,1.802705e-05,1.822619e-05,1.874168e-05,1.876266e-05,1.927459e-05,1.941355e-05,1.976212e-05,2.004303e-05,2.022551e-05,2.063082e-05,2.066513e-05,2.108143e-05,2.117793e-05,2.147494e-05,2.168556e-05,2.184622e-05,2.215506e-05,2.219590e-05,2.252462e-05,2.258791e-05,2.283305e-05,2.298564e-05,2.312187e-05,2.334985e-05,2.339179e-05,2.364350e-05,2.368213e-05,2.387768e-05,2.398408e-05,2.409505e-05,2.425728e-05,2.429626e-05,2.448201e-05,2.450329e-05,2.465294e-05,2.472362e-05,2.480969e-05,2.491974e-05,2.495291e-05,2.508319e-05,2.509307e-05,2.520114e-05,2.524499e-05,2.530732e-05,2.537681e-05,2.540231e-05,2.548663e-05,2.548979e-05,2.556081e-05,2.558513e-05,2.562536e-05,2.566399e-05,2.568075e-05,2.572746e-05,2.576593e-05,2.577657e-05,2.579660e-05,2.581233e-05,2.581989e-05,2.583567e-05,2.583619e-05,2.584589e-05,2.584747e-05,2.584935e-05,2.584858e-05,2.584693e-05,2.583980e-05,2.583897e-05,2.582579e-05,2.582188e-05,2.580769e-05,2.579552e-05,2.578498e-05,2.576141e-05,2.575794e-05,2.572684e-05,2.572016e-05,2.569194e-05,2.567238e-05,2.565349e-05,2.561862e-05,2.561172e-05,2.556687e-05,2.555942e-05,2.551913e-05,2.549526e-05,2.546873e-05,2.542661e-05,2.541585e-05,2.536068e-05,2.535391e-05,2.530340e-05,2.527757e-05,2.524418e-05,2.519797e-05,2.518317e-05,2.512054e-05,2.511547e-05,2.505643e-05,2.503040e-05,2.499097e-05,2.494308e-05,2.492430e-05,2.485654e-05,2.485381e-05,2.478781e-05,2.476285e-05,2.471822e-05,2.467046e-05,2.464787e-05,2.457688e-05,2.448233e-05,2.438701e-05,2.429112e-05,2.419484e-05,2.409832e-05,2.400172e-05,2.390518e-05,2.380883e-05,2.371278e-05,2.361716e-05,2.352205e-05,2.342755e-05,2.333374e-05,2.324070e-05,2.314850e-05,2.305720e-05,2.296686e-05,2.287753e-05,2.278925e-05,2.270207e-05,2.261602e-05,2.253114e-05,2.244744e-05,2.236496e-05
0.000000e+00,3.190570e-10,9.303548e-10,4.230586e-09,1.104023e-08,1.695705e-08,4.203776e-08,4.341728e-08,8.807590e-08,1.044022e-07,1.549787e-07,2.073348e-07,2.477836e-07,3.588716e-07,3.697759e-07,5.238542e-07,5.658899e-07,7.124582e-07,8.338667e-07,9.374021e-07,1.166164e-06,1.199597e-06,1.498756e-06,1.562905e-06,1.833283e-06,2.020353e-06,2.200487e-06,2.531732e-06,2.596992e-06,3.019112e-06,3.088776e-06,3.463072e-06,3.682824e-06,3.925114e-06,4.305282e-06,4.401545e-06,4.888774e-06,4.947801e-06,5.383339e-06,5.602416e-06,5.881946e-06,6.261679e-06,6.381502e-06,6.879146e-06,6.918795e-06,7.372270e-06,7.567721e-06,7.858537e-06,8.203237e-06,8.335889e-06,8.802546e-06,8.820967e-06,9.256997e-06,9.417363e-06,9.697993e-06,9.989662e-06,1.012453e-05,1.053581e-05,1.093128e-05,1.105441e-05,1.131052e-05,1.154460e-05,1.167329e-05,1.200598e-05,1.201951e-05,1.234920e-05,1.243857e-05,1.266248e-05,1.284266e-05,1.295957e-05,1.321884e-05,1.324076e-05,1.350638e-05,1.356785e-05,1.375682e-05,1.389060e-05,1.399251e-05,1.418808e-05,1.421391e-05,1.442147e-05,1.446137e-05,1.461570e-05,1.471159e-05,1.479708e-05,1.493986e-05,1.496609e-05,1.512325e-05,1.514733e-05,1.526904e-05,1.533512e-05,1.540393e-05,1.550432e-05,1.552841e-05,1.564294e-05,1.565603e-05,1.574797e-05,1.579128e-05,1.584394e-05,1.591108e-05,1.593127e-05,1.601039e-05,1.601638e-05,1.608169e-05,1.610810e-05,1.614555e-05,1.618714e-05,1.620235e-05,1.625244e-05,1.625431e-05,1.629616e-05,1.631041e-05,1.633386e-05,1.635620e-05,1.636583e-05,1.639239e-05,1.641382e-05,1.641964e-05,1.643041e-05,1.643860e-05,1.644241e-05,1.644987e-05,1.645009e-05,1.645369e-05,1.645400e-05,1.645343e-05,1.645152e-05,1.644955e-05,1.644295e-05,1.644224e-05,1.643173e-05,1.642874e-05,1.641818e-05,1.640935e-05,1.640180e-05,1.638518e-05,1.638276e-05,1.636121e-05,1.635662e-05,1.633733e-05,1.632404e-05,1.631126e-05,1.628778e-05,1.628315e-05,1.625314e-05,1.624817e-05,1.622134e-05,1.620549e-05,1.618790e-05,1.616004e-05,1.615293e-05,1.611653e-05,1.611207e-05,1.607882e-05,1.606184e-05,1.603990e-05,1.600957e-05,1.599986e-05,1.595880e-05,1.595547e-05,1.591680e-05,1.589975e-05,1.587394e-05,1.584260e-05,1.583031e-05,1.578597e-05,1.578418e-05,1.574100e-05,1.572467e-05,1.569546e-05,1.566421e-05,1.564942e-05,1.560294e-05,1.554100e-05,1.547850e-05,1.541556e-05,1.535229e-05,1.528878e-05,1.522512e-05,1.516140e-05,1.509769e-05,1.503407e-05,1.497060e-05,1.490734e-05,1.484434e-05,1.478167e-05,1.471935e-05,1.465745e-05,1.459600e-05,1.453502e-05,1.447457e-05,1.441466e-05,1.435532e-05,1.429657e-05,1.423844e-05,1.418095e-05,1.412412e-05
0.000000e+00,5.249247e-10,2.061840e-09,1.578478e-08,6.084469e-08,1.128450e-07,4.277552e-07,4.487844e-07,1.296514e-06,1.677635e-06,3.064821e-06,4.794985e-06,6.316807e-06,1.124632e-05,1.178569e-05,2.037574e-05,2.301543e-05,3.312775e-05,4.249853e-05,5.114671e-05,7.222576e-05,7.552048e-05,1.072570e-04,1.145685e-04,1.472456e-04,1.715556e-04,1.962357e-04,2.447869e-04,2.548268e-04,3.234638e-04,3.353996e-04,4.024368e-04,4.440612e-04,4.918832e-04,5.709793e-04,5.917930e-04,7.020155e-04,7.159231e-04,8.222686e-04,8.782581e-04,9.521503e-04,1.056990e-03,1.091151e-03,1.238668e-03,1.250818e-03,1.394021e-03,1.458192e-03,1.556466e-03,1.677375e-03,1.725212e-03,1.899434e-03,1.906505e-03,2.078289e-03,2.143648e-03,2.260930e-03,2.386857e-03,2.446513e-03,2.634214e-03,2.823230e-03,2.883867e-03,3.012796e-03,3.134068e-03,3.202182e-03,3.383188e-03,3.390704e-03,3.577726e-03,3.629741e-03,3.762658e-03,3.872390e-03,3.944966e-03,4.109952e-03,4.124163e-03,4.299816e-03,4.341402e-03,4.471541e-03,4.565865e-03,4.639003e-03,4.782614e-03,4.801914e-03,4.960029e-03,4.991058e-03,5.113147e-03,5.190738e-03,5.261105e-03,5.381308e-03,5.403777e-03,5.541071e-03,5.562534e-03,5.672927e-03,5.734275e-03,5.799311e-03,5.896474e-03,5.920217e-03,6.035661e-03,6.049149e-03,6.145680e-03,6.192383e-03,6.250328e-03,6.326312e-03,6.349677e-03,6.443813e-03,6.451121e-03,6.532832e-03,6.567031e-03,6.616843e-03,6.674295e-03,6.695962e-03,6.770313e-03,6.773189e-03,6.840025e-03,6.864012e-03,6.905234e-03,6.947073e-03,6.966076e-03,7.022694e-03,7.075227e-03,7.091199e-03,7.123821e-03,7.152920e-03,7.168618e-03,7.208183e-03,7.209760e-03,7.247391e-03,7.257317e-03,7.281648e-03,7.300642e-03,7.312672e-03,7.338474e-03,7.340598e-03,7.365559e-03,7.371123e-03,7.387686e-03,7.398887e-03,7.407107e-03,7.422057e-03,7.423945e-03,7.438323e-03,7.440914e-03,7.450358e-03,7.455728e-03,7.460164e-03,7.466759e-03,7.467852e-03,7.473529e-03,7.474257e-03,7.477298e-03,7.478460e-03,7.479260e-03,7.479594e-03,7.479512e-03,7.478145e-03,7.477876e-03,7.475249e-03,7.473513e-03,7.470911e-03,7.466701e-03,7.465214e-03,7.458235e-03,7.457624e-03,7.450052e-03,7.446459e-03,7.440739e-03,7.433371e-03,7.430363e-03,7.418994e-03,7.418520e-03,7.406695e-03,7.402051e-03,7.393527e-03,7.384106e-03,7.379549e-03,7.364817e-03,7.344306e-03,7.322691e-03,7.300082e-03,7.276580e-03,7.252283e-03,7.227279e-03,7.201655e-03,7.175488e-03,7.148852e-03,7.121817e-03,7.094446e-03,7.066798e-03,7.038931e-03,7.010894e-03,6.982736e-03,6.954503e-03,6.926233e-03,6.897967e-03,6.869739e-03,6.841581e-03,6.813523e-03,6.785593e-03,6.757816e-03,6.730215e-03
0.000000e+00,2.242886e-09,5.200191e-09,1.813100e-08,4.168768e-08,6.125826e-08,1.428446e-07,1.473551e-07,2.971494e-07,3.537080e-07,5.322481e-07,7.169488e-07,8.566487e-07,1.221714e-06,1.256082e-06,1.717661e-06,1.836823e-06,2.234310e-06,2.546013e-06,2.801625e-06,3.339637e-06,3.415646e-06,4.071923e-06,4.207804e-06,4.765237e-06,5.138441e-06,5.489611e-06,6.117277e-06,6.238452e-06,7.004814e-06,7.128586e-06,7.781652e-06,8.156220e-06,8.562074e-06,9.184584e-06,9.339546e-06,1.010806e-05,1.019942e-05,1.086226e-05,1.118835e-05,1.159751e-05,1.214119e-05,1.230990e-05,1.299631e-05,1.305002e-05,1.365428e-05,1.390910e-05,1.428206e-05,1.471468e-05,1.487846e-05,1.544283e-05,1.546474e-05,1.597497e-05,1.615867e-05,1.647504e-05,1.679702e-05,1.694354e-05,1.738119e-05,1.778891e-05,1.791323e-05,1.816777e-05,1.839563e-05,1.851893e-05,1.883114e-05,1.884363e-05,1.914314e-05,1.922267e-05,1.941875e-05,1.957317e-05,1.967173e-05,1.988557e-05,1.990334e-05,2.011483e-05,2.016272e-05,2.030737e-05,2.040734e-05,2.048211e-05,2.062204e-05,2.064016e-05,2.078256e-05,2.080925e-05,2.091030e-05,2.097125e-05,2.102433e-05,2.111017e-05,2.112554e-05,2.121476e-05,2.122798e-05,2.129279e-05,2.132649e-05,2.136037e-05,2.140737e-05,2.141819e-05,2.146691e-05,2.147217e-05,2.150714e-05,2.152231e-05,2.153947e-05,2.155907e-05,2.156441e-05,2.158249e-05,2.158365e-05,2.159417e-05,2.159715e-05,2.159989e-05,2.160055e-05,2.160006e-05,2.159508e-05,2.159477e-05,2.158529e-05,2.158066e-05,2.157104e-05,2.155897e-05,2.155265e-05,2.153042e-05,2.150461e-05,2.149563e-05,2.147548e-05,2.145522e-05,2.144329e-05,2.140971e-05,2.140825e-05,2.137059e-05,2.135960e-05,2.133050e-05,2.130535e-05,2.128816e-05,2.124738e-05,2.124375e-05,2.119744e-05,2.118606e-05,2.114938e-05,2.112176e-05,2.109972e-05,2.105479e-05,2.104858e-05,2.099610e-05,2.098546e-05,2.094240e-05,2.091403e-05,2.088759e-05,2.084076e-05,2.083176e-05,2.077503e-05,2.076588e-05,2.071749e-05,2.068960e-05,2.065922e-05,2.061213e-05,2.060029e-05,2.054080e-05,2.053363e-05,2.048081e-05,2.045427e-05,2.042039e-05,2.037422e-05,2.035960e-05,2.029850e-05,2.029360e-05,2.023715e-05,2.021256e-05,2.017561e-05,2.013120e-05,2.011391e-05,2.005211e-05,2.004963e-05,1.999025e-05,1.996797e-05,1.992837e-05,1.988630e-05,1.986651e-05,1.980470e-05,1.972326e-05,1.964205e-05,1.956113e-05,1.948056e-05,1.940041e-05,1.932071e-05,1.924153e-05,1.916289e-05,1.908484e-05,1.900741e-05,1.893064e-05,1.885455e-05,1.877918e-05,1.870453e-05,1.863064e-05,1.855752e-05,1.848519e-05,1.841366e-05,1.834294e-05,1.827306e-05,1.820401e-05,1.813580e-05,1.806845e-05,1.800195e-05
0.000000e+00,3.787078e-10,1.488822e-09,1.142099e-08,4.412032e-08,8.194136e-08,3.119873e-07,3.273937e-07,9.514893e-07,1.233579e-06,2.266130e-06,3.564027e-06,4.712965e-06,8.470687e-06,8.884627e-06,1.553282e-05,1.759311e-05,2.554140e-05,3.296721e-05,3.985829e-05,5.676057e-05,5.941260e-05,8.504839e-05,9.097107e-05,1.174847e-04,1.372361e-04,1.572968e-04,1.967549e-04,2.049106e-04,2.606045e-04,2.702764e-04,3.245154e-04,3.581173e-04,3.966473e-04,4.601955e-04,4.768807e-04,5.649845e-04,5.760711e-04,6.606275e-04,7.049937e-04,7.633909e-04,8.459521e-04,8.727815e-04,9.882450e-04,9.977267e-04,1.109179e-03,1.158942e-03,1.234945e-03,1.328117e-03,1.364881e-03,1.498313e-03,1.503714e-03,1.634567e-03,1.684180e-03,1.772973e-03,1.867984e-03,1.912878e-03,2.053651e-03,2.194689e-03,2.239784e-03,2.335423e-03,2.425084e-03,2.475318e-03,2.608367e-03,2.613878e-03,2.750649e-03,2.788567e-03,2.885217e-03,2.964743e-03,3.017209e-03,3.136081e-03,3.146293e-03,3.272180e-03,3.301888e-03,3.394615e-03,3.461590e-03,3.513384e-03,3.614725e-03,3.628307e-03,3.739238e-03,3.760934e-03,3.846060e-03,3.899954e-03,3.948688e-03,4.031609e-03,4.047061e-03,4.141145e-03,4.155799e-03,4.230925e-03,4.272493e-03,4.316410e-03,4.381720e-03,4.397623e-03,4.474605e-03,4.483561e-03,4.547412e-03,4.578141e-03,4.616110e-03,4.665621e-03,4.680778e-03,4.741504e-03,4.746194e-03,4.798380e-03,4.820076e-03,4.851510e-03,4.887503e-03,4.901000e-03,4.946960e-03,4.948726e-03,4.989503e-03,5.004005e-03,5.028747e-03,5.053608e-03,5.064808e-03,5.097805e-03,5.127856e-03,5.136870e-03,5.155079e-03,5.171071e-03,5.179591e-03,5.200678e-03,5.201506e-03,5.220939e-03,5.225951e-03,5.238002e-03,5.247147e-03,5.252803e-03,5.264515e-03,5.265450e-03,5.276047e-03,5.278296e-03,5.284694e-03,5.288722e-03,5.291490e-03,5.296016e-03,5.296531e-03,5.299908e-03,5.300392e-03,5.301711e-03,5.302054e-03,5.302024e-03,5.301197e-03,5.300931e-03,5.298511e-03,5.298006e-03,5.294840e-03,5.292656e-03,5.289992e-03,5.285313e-03,5.284037e-03,5.277042e-03,5.276136e-03,5.269071e-03,5.265271e-03,5.260187e-03,5.252860e-03,5.250447e-03,5.239909e-03,5.239033e-03,5.228625e-03,5.223914e-03,5.216647e-03,5.207620e-03,5.204022e-03,5.190799e-03,5.190258e-03,5.177020e-03,5.171932e-03,5.162728e-03,5.152736e-03,5.147962e-03,5.132760e-03,5.112086e-03,5.090793e-03,5.068953e-03,5.046633e-03,5.023896e-03,5.000800e-03,4.977400e-03,4.953745e-03,4.929883e-03,4.905855e-03,4.881703e-03,4.857463e-03,4.833170e-03,4.808854e-03,4.784545e-03,4.760270e-03,4.736052e-03,4.711914e-03,4.687877e-03,4.663959e-03,4.640179e-03,4.616551e-03,4.593089e-03,4.569808e-03
0.000000e+00,7.418029e-09,1.700460e-08,5.854353e-08,1.332990e-07,1.945843e-07,4.425214e-07,4.558986e-07,8.848644e-07,1.041279e-06,1.528523e-06,2.039595e-06,2.439890e-06,3.564107e-06,3.676336e-06,5.292640e-06,5.741893e-06,7.326503e-06,8.650359e-06,9.779497e-06,1.225053e-05,1.260724e-05,1.573180e-05,1.638465e-05,1.906717e-05,2.085920e-05,2.253792e-05,2.551402e-05,2.608456e-05,2.966153e-05,3.023419e-05,3.323359e-05,3.493801e-05,3.677278e-05,3.956506e-05,4.025640e-05,4.366584e-05,4.406924e-05,4.698588e-05,4.841509e-05,5.020415e-05,5.257586e-05,5.331086e-05,5.629851e-05,5.653220e-05,5.916162e-05,6.027111e-05,6.189649e-05,6.378492e-05,6.450096e-05,6.697421e-05,6.707041e-05,6.931651e-05,7.012789e-05,7.152906e-05,7.296047e-05,7.361384e-05,7.557343e-05,7.741088e-05,7.797362e-05,7.912962e-05,8.016901e-05,8.073335e-05,8.216834e-05,8.222596e-05,8.361148e-05,8.398080e-05,8.489401e-05,8.561581e-05,8.607768e-05,8.708288e-05,8.716660e-05,8.816489e-05,8.839144e-05,8.907657e-05,8.955076e-05,8.990561e-05,9.056990e-05,9.065590e-05,9.133122e-05,9.145761e-05,9.193524e-05,9.222235e-05,9.247154e-05,9.287224e-05,9.294358e-05,9.335470e-05,9.341504e-05,9.370812e-05,9.385818e-05,9.400695e-05,9.420872e-05,9.425418e-05,9.445268e-05,9.447336e-05,9.460523e-05,9.465847e-05,9.471446e-05,9.477008e-05,9.478293e-05,9.481306e-05,9.481388e-05,9.480719e-05,9.479526e-05,9.476754e-05,9.471928e-05,9.469625e-05,9.459534e-05,9.459072e-05,9.446678e-05,9.441408e-05,9.431240e-05,9.419358e-05,9.413398e-05,9.393319e-05,9.371165e-05,9.363663e-05,9.347088e-05,9.330738e-05,9.321234e-05,9.294869e-05,9.293740e-05,9.264737e-05,9.256363e-05,9.234351e-05,9.215504e-05,9.202699e-05,9.172558e-05,9.169893e-05,9.136041e-05,9.127772e-05,9.101241e-05,9.081376e-05,9.065591e-05,9.033586e-05,9.029179e-05,8.992092e-05,8.984600e-05,8.954409e-05,8.934604e-05,8.916207e-05,8.883768e-05,8.877557e-05,8.838527e-05,8.832252e-05,8.799182e-05,8.780201e-05,8.759580e-05,8.727751e-05,8.719778e-05,8.679829e-05,8.675027e-05,8.639783e-05,8.622144e-05,8.599686e-05,8.569206e-05,8.559583e-05,8.519513e-05,8.516310e-05,8.479516e-05,8.463545e-05,8.439627e-05,8.410992e-05,8.399879e-05,8.360303e-05,8.358724e-05,8.320928e-05,8.306807e-05,8.281780e-05,8.255303e-05,8.242885e-05,8.204265e-05,8.153743e-05,8.103782e-05,8.054419e-05,8.005690e-05,7.957626e-05,7.910254e-05,7.863597e-05,7.817674e-05,7.772504e-05,7.728101e-05,7.684475e-05,7.641637e-05,7.599592e-05,7.558347e-05,7.517905e-05,7.478266e-05,7.439431e-05,7.401397e-05,7.364163e-05,7.327724e-05,7.292075e-05,7.257210e-05,7.223121e-05,7.189802e-05
0.000000e+00,4.637346e-09,1.096547e-08,3.909929e-08,9.081687e-08,1.338266e-07,3.118525e-07,3.216172e-07,6.420465e-07,7.620271e-07,1.144519e-06,1.556577e-06,1.884154e-06,2.808128e-06,2.899665e-06,4.182121e-06,4.524397e-06,5.681604e-06,6.595640e-06,7.344669e-06,8.911661e-06,9.131628e-06,1.101425e-05,1.140025e-05,1.297051e-05,1.401050e-05,1.498145e-05,1.670022e-05,1.702980e-05,1.909960e-05,1.943176e-05,2.117617e-05,2.217139e-05,2.324629e-05,2.488983e-05,2.529827e-05,2.732200e-05,2.756253e-05,2.930896e-05,3.016972e-05,3.125215e-05,3.269616e-05,3.314589e-05,3.498580e-05,3.513056e-05,3.676854e-05,3.746506e-05,3.849171e-05,3.969458e-05,4.015372e-05,4.175361e-05,4.181631e-05,4.329099e-05,4.382915e-05,4.476592e-05,4.573339e-05,4.617880e-05,4.753032e-05,4.882141e-05,4.922198e-05,5.005319e-05,5.081097e-05,5.122689e-05,5.230028e-05,5.234389e-05,5.340559e-05,5.369316e-05,5.441350e-05,5.499307e-05,5.536916e-05,5.620356e-05,5.627413e-05,5.713001e-05,5.732829e-05,5.793837e-05,5.837088e-05,5.870077e-05,5.933489e-05,5.941876e-05,6.009388e-05,6.022390e-05,6.072767e-05,6.104140e-05,6.132161e-05,6.179081e-05,6.187718e-05,6.239581e-05,6.247546e-05,6.287891e-05,6.309859e-05,6.332787e-05,6.366334e-05,6.374401e-05,6.412866e-05,6.417276e-05,6.448307e-05,6.462976e-05,6.480851e-05,6.503719e-05,6.510615e-05,6.537719e-05,6.539776e-05,6.562274e-05,6.571408e-05,6.584391e-05,6.598866e-05,6.604177e-05,6.621734e-05,6.622391e-05,6.637162e-05,6.642213e-05,6.650557e-05,6.658553e-05,6.662014e-05,6.671621e-05,6.679466e-05,6.681617e-05,6.685632e-05,6.688735e-05,6.690201e-05,6.693156e-05,6.693250e-05,6.694855e-05,6.695056e-05,6.695088e-05,6.694599e-05,6.694019e-05,6.691944e-05,6.691716e-05,6.688242e-05,6.687241e-05,6.683659e-05,6.680632e-05,6.678029e-05,6.672252e-05,6.671407e-05,6.663850e-05,6.662231e-05,6.655410e-05,6.650690e-05,6.646139e-05,6.637744e-05,6.636084e-05,6.625294e-05,6.623502e-05,6.613812e-05,6.608068e-05,6.601683e-05,6.591541e-05,6.588947e-05,6.575644e-05,6.574012e-05,6.561813e-05,6.555569e-05,6.547488e-05,6.536294e-05,6.532706e-05,6.517500e-05,6.516266e-05,6.501901e-05,6.495558e-05,6.485939e-05,6.474239e-05,6.469645e-05,6.453045e-05,6.452375e-05,6.436167e-05,6.430027e-05,6.419035e-05,6.407253e-05,6.401674e-05,6.384107e-05,6.360640e-05,6.336900e-05,6.312932e-05,6.288778e-05,6.264478e-05,6.240068e-05,6.215582e-05,6.191054e-05,6.166512e-05,6.141984e-05,6.117498e-05,6.093076e-05,6.068742e-05,6.044515e-05,6.020415e-05,5.996460e-05,5.972666e-05,5.949048e-05,5.925620e-05,5.902394e-05,5.879382e-05,5.856594e-05,5.834040e-05,5.811728e-05
0.000000e+00,2.187264e-09,4.995264e-09,1.706046e-08,3.854276e-08,5.600728e-08,1.257535e-07,1.294834e-07,2.477547e-07,2.903471e-07,4.216282e-07,5.574944e-07,6.628435e-07,9.545375e-07,9.833459e-07,1.392235e-06,1.503888e-06,1.890861e-06,2.206446e-06,2.470743e-06,3.036786e-06,3.117396e-06,3.815741e-06,3.960422e-06,4.552734e-06,4.947593e-06,5.317605e-06,5.974979e-06,6.101298e-06,6.895908e-06,7.023575e-06,7.694335e-06,8.077012e-06,8.490103e-06,9.120812e-06,9.277302e-06,1.005060e-05,1.014222e-05,1.080524e-05,1.113030e-05,1.153714e-05,1.207600e-05,1.224280e-05,1.291943e-05,1.297223e-05,1.356480e-05,1.381382e-05,1.417732e-05,1.459737e-05,1.475592e-05,1.530004e-05,1.532108e-05,1.580958e-05,1.598459e-05,1.628476e-05,1.658850e-05,1.672608e-05,1.713438e-05,1.751064e-05,1.762447e-05,1.785605e-05,1.806150e-05,1.817187e-05,1.844850e-05,1.845948e-05,1.872026e-05,1.878867e-05,1.895565e-05,1.908530e-05,1.916709e-05,1.934167e-05,1.935598e-05,1.952372e-05,1.956098e-05,1.967165e-05,1.974632e-05,1.980107e-05,1.990064e-05,1.991322e-05,2.000931e-05,2.002669e-05,2.009045e-05,2.012709e-05,2.015772e-05,2.020425e-05,2.021214e-05,2.025466e-05,2.026042e-05,2.028617e-05,2.029764e-05,2.030753e-05,2.031784e-05,2.031952e-05,2.032289e-05,2.032274e-05,2.031831e-05,2.031394e-05,2.030643e-05,2.029290e-05,2.028786e-05,2.026316e-05,2.026094e-05,2.023284e-05,2.021926e-05,2.019740e-05,2.016896e-05,2.015728e-05,2.011290e-05,2.011104e-05,2.006466e-05,2.004641e-05,2.001291e-05,1.997589e-05,1.995799e-05,1.990021e-05,1.983986e-05,1.982005e-05,1.977722e-05,1.973603e-05,1.971252e-05,1.964870e-05,1.964600e-05,1.957788e-05,1.955855e-05,1.950835e-05,1.946604e-05,1.943760e-05,1.937157e-05,1.936580e-05,1.929309e-05,1.927553e-05,1.921964e-05,1.917823e-05,1.914557e-05,1.907998e-05,1.907101e-05,1.899608e-05,1.898106e-05,1.892088e-05,1.888170e-05,1.884550e-05,1.878212e-05,1.877005e-05,1.869460e-05,1.868253e-05,1.861923e-05,1.858310e-05,1.854401e-05,1.848398e-05,1.846900e-05,1.839428e-05,1.838533e-05,1.831988e-05,1.828726e-05,1.824586e-05,1.818989e-05,1.817227e-05,1.809916e-05,1.809333e-05,1.802655e-05,1.799765e-05,1.795448e-05,1.790294e-05,1.788298e-05,1.781209e-05,1.780927e-05,1.774183e-05,1.771670e-05,1.767223e-05,1.762528e-05,1.760329e-05,1.753505e-05,1.744606e-05,1.735834e-05,1.727192e-05,1.718682e-05,1.710305e-05,1.702064e-05,1.693960e-05,1.685993e-05,1.678163e-05,1.670472e-05,1.662918e-05,1.655502e-05,1.648223e-05,1.641081e-05,1.634075e-05,1.627203e-05,1.620465e-05,1.613860e-05,1.607386e-05,1.601041e-05,1.594825e-05,1.588736e-05,1.582772e-05,1.576932e-05
0.000000e+00,5.106440e-09,1.185426e-08,4.155548e-08,9.607293e-08,1.415597e-07,3.317440e-07,3.422641e-07,6.920911e-07,8.251518e-07,1.255651e-06,1.728556e-06,2.110269e-06,3.210648e-06,3.321396e-06,4.900790e-06,5.329786e-06,6.797066e-06,7.969332e-06,8.935704e-06,1.096757e-05,1.125353e-05,1.370527e-05,1.420868e-05,1.625854e-05,1.761790e-05,1.888841e-05,2.114139e-05,2.157406e-05,2.429715e-05,2.473518e-05,2.704104e-05,2.836100e-05,2.979061e-05,3.198515e-05,3.253223e-05,3.525379e-05,3.557851e-05,3.794468e-05,3.911655e-05,4.059578e-05,4.257931e-05,4.319954e-05,4.574974e-05,4.595128e-05,4.824137e-05,4.922071e-05,5.067053e-05,5.237917e-05,5.303429e-05,5.533062e-05,5.542105e-05,5.755812e-05,5.834297e-05,5.971586e-05,6.114310e-05,6.180352e-05,6.382115e-05,6.576920e-05,6.637798e-05,6.764834e-05,6.881525e-05,6.945950e-05,7.113523e-05,7.120373e-05,7.288224e-05,7.334063e-05,7.449637e-05,7.543451e-05,7.604750e-05,7.742015e-05,7.753709e-05,7.896665e-05,7.930097e-05,8.033769e-05,8.108050e-05,8.165178e-05,8.276229e-05,8.291046e-05,8.411529e-05,8.434993e-05,8.526783e-05,8.584699e-05,8.636961e-05,8.725699e-05,8.742215e-05,8.842696e-05,8.858340e-05,8.938553e-05,8.982964e-05,9.029931e-05,9.099906e-05,9.116974e-05,9.199823e-05,9.209490e-05,9.278615e-05,9.312033e-05,9.353486e-05,9.407846e-05,9.424566e-05,9.491986e-05,9.497225e-05,9.555871e-05,9.580462e-05,9.616343e-05,9.657837e-05,9.673522e-05,9.727525e-05,9.729621e-05,9.778465e-05,9.796075e-05,9.826452e-05,9.857452e-05,9.871594e-05,9.913994e-05,9.953755e-05,9.965937e-05,9.990974e-05,1.001350e-04,1.002575e-04,1.005691e-04,1.005817e-04,1.008832e-04,1.009637e-04,1.011630e-04,1.013208e-04,1.014219e-04,1.016423e-04,1.016607e-04,1.018802e-04,1.019301e-04,1.020812e-04,1.021859e-04,1.022643e-04,1.024114e-04,1.024304e-04,1.025801e-04,1.026082e-04,1.027142e-04,1.027779e-04,1.028332e-04,1.029219e-04,1.029377e-04,1.030285e-04,1.030418e-04,1.031060e-04,1.031387e-04,1.031709e-04,1.032141e-04,1.032237e-04,1.032650e-04,1.032692e-04,1.032952e-04,1.033051e-04,1.033148e-04,1.033230e-04,1.033244e-04,1.033244e-04,1.033240e-04,1.033152e-04,1.033090e-04,1.032972e-04,1.032791e-04,1.032710e-04,1.032368e-04,1.032353e-04,1.031951e-04,1.031783e-04,1.031462e-04,1.031090e-04,1.030905e-04,1.030284e-04,1.029370e-04,1.028357e-04,1.027252e-04,1.026061e-04,1.024790e-04,1.023446e-04,1.022035e-04,1.020560e-04,1.019029e-04,1.017445e-04,1.015813e-04,1.014138e-04,1.012424e-04,1.010674e-04,1.008893e-04,1.007084e-04,1.005250e-04,1.003394e-04,1.001520e-04,9.996303e-05,9.977273e-05,9.958136e-05,9.938917e-05,9.919637e-05
0.000000e+00,4.382243e-09,1.101036e-08,4.184504e-08,9.988713e-08,1.484605e-07,3.489816e-07,3.599176e-07,7.143440e-07,8.449299e-07,1.254883e-06,1.688695e-06,2.030370e-06,2.994523e-06,3.090894e-06,4.474043e-06,4.855489e-06,6.185388e-06,7.276201e-06,8.192660e-06,1.016210e-05,1.044321e-05,1.288483e-05,1.339211e-05,1.547426e-05,1.686741e-05,1.817685e-05,2.051336e-05,2.096391e-05,2.381067e-05,2.427019e-05,2.669502e-05,2.808690e-05,2.959694e-05,3.191894e-05,3.249838e-05,3.538312e-05,3.572747e-05,3.823687e-05,3.947943e-05,4.104720e-05,4.314746e-05,4.380357e-05,4.649715e-05,4.670969e-05,4.912055e-05,5.014895e-05,5.166810e-05,5.345281e-05,5.413534e-05,5.651899e-05,5.661257e-05,5.881684e-05,5.962277e-05,6.102750e-05,6.248055e-05,6.315026e-05,6.518506e-05,6.713235e-05,6.773713e-05,6.899298e-05,7.013885e-05,7.076815e-05,7.239325e-05,7.245930e-05,7.406810e-05,7.450406e-05,7.559640e-05,7.647554e-05,7.704613e-05,7.831227e-05,7.841937e-05,7.971822e-05,8.001911e-05,8.094484e-05,8.160102e-05,8.210143e-05,8.306305e-05,8.319019e-05,8.421331e-05,8.441025e-05,8.517298e-05,8.564765e-05,8.607137e-05,8.678023e-05,8.691062e-05,8.769285e-05,8.781285e-05,8.842013e-05,8.875030e-05,8.909449e-05,8.959722e-05,8.971793e-05,9.029241e-05,9.035815e-05,9.081982e-05,9.103745e-05,9.130202e-05,9.163937e-05,9.174082e-05,9.213798e-05,9.216801e-05,9.249522e-05,9.262730e-05,9.281418e-05,9.302106e-05,9.309650e-05,9.334374e-05,9.335292e-05,9.355740e-05,9.362639e-05,9.373897e-05,9.384483e-05,9.388987e-05,9.401146e-05,9.410509e-05,9.412936e-05,9.417204e-05,9.420146e-05,9.421355e-05,9.423059e-05,9.423083e-05,9.422503e-05,9.421942e-05,9.419727e-05,9.417052e-05,9.414863e-05,9.408633e-05,9.408015e-05,9.399283e-05,9.396917e-05,9.388763e-05,9.382126e-05,9.376548e-05,9.364469e-05,9.362728e-05,9.347389e-05,9.344147e-05,9.330614e-05,9.321349e-05,9.312481e-05,9.296257e-05,9.293068e-05,9.272448e-05,9.269042e-05,9.250692e-05,9.239865e-05,9.227867e-05,9.208881e-05,9.204038e-05,9.179269e-05,9.176236e-05,9.153618e-05,9.142067e-05,9.127143e-05,9.106506e-05,9.099900e-05,9.071941e-05,9.069675e-05,9.043317e-05,9.031692e-05,9.014076e-05,8.992667e-05,8.984265e-05,8.953927e-05,8.952703e-05,8.923106e-05,8.911900e-05,8.891842e-05,8.870349e-05,8.860174e-05,8.828138e-05,8.785349e-05,8.742060e-05,8.698343e-05,8.654266e-05,8.609893e-05,8.565286e-05,8.520499e-05,8.475586e-05,8.430597e-05,8.385577e-05,8.340569e-05,8.295615e-05,8.250751e-05,8.206012e-05,8.161432e-05,8.117039e-05,8.072862e-05,8.028926e-05,7.985256e-05,7.941874e-05,7.898799e-05,7.856050e-05,7.813644e-05,7.771597e-05
0.000000e+00,2.163402e-09,4.953947e-09,1.701129e-08,3.863022e-08,5.630188e-08,1.274695e-07,1.312972e-07,2.535419e-07,2.979111e-07,4.355524e-07,5.791103e-07,6.910174e-07,1.002791e-06,1.033700e-06,1.473905e-06,1.594475e-06,2.013093e-06,2.355016e-06,2.641540e-06,3.255251e-06,3.342628e-06,4.099117e-06,4.255716e-06,4.896291e-06,5.322839e-06,5.722196e-06,6.430904e-06,6.566976e-06,7.422215e-06,7.559519e-06,8.280543e-06,8.691692e-06,9.135437e-06,9.812992e-06,9.981147e-06,1.081264e-05,1.091125e-05,1.162561e-05,1.197650e-05,1.241647e-05,1.300091e-05,1.318230e-05,1.392081e-05,1.397866e-05,1.463031e-05,1.490571e-05,1.530962e-05,1.577961e-05,1.595801e-05,1.657516e-05,1.659919e-05,1.716105e-05,1.736436e-05,1.771596e-05,1.807585e-05,1.824039e-05,1.873500e-05,1.920059e-05,1.934360e-05,1.963809e-05,1.990378e-05,2.004845e-05,2.041782e-05,2.043270e-05,2.079190e-05,2.088814e-05,2.112712e-05,2.131718e-05,2.143942e-05,2.170739e-05,2.172985e-05,2.199945e-05,2.206117e-05,2.224925e-05,2.238085e-05,2.248022e-05,2.266866e-05,2.269332e-05,2.288948e-05,2.292676e-05,2.306958e-05,2.315717e-05,2.323448e-05,2.336183e-05,2.338498e-05,2.352188e-05,2.354257e-05,2.364592e-05,2.370110e-05,2.375781e-05,2.383904e-05,2.385824e-05,2.394784e-05,2.395789e-05,2.402723e-05,2.405909e-05,2.409701e-05,2.414395e-05,2.415772e-05,2.420989e-05,2.421371e-05,2.425403e-05,2.426954e-05,2.429060e-05,2.431251e-05,2.432007e-05,2.434286e-05,2.434364e-05,2.435937e-05,2.436385e-05,2.436999e-05,2.437404e-05,2.437509e-05,2.437500e-05,2.437007e-05,2.436751e-05,2.436058e-05,2.435226e-05,2.434685e-05,2.432992e-05,2.432914e-05,2.430772e-05,2.430109e-05,2.428284e-05,2.426634e-05,2.425473e-05,2.422621e-05,2.422361e-05,2.418970e-05,2.418117e-05,2.415319e-05,2.413169e-05,2.411428e-05,2.407818e-05,2.407313e-05,2.402992e-05,2.402105e-05,2.398481e-05,2.396065e-05,2.393795e-05,2.389733e-05,2.388947e-05,2.383951e-05,2.383139e-05,2.378820e-05,2.376313e-05,2.373567e-05,2.369282e-05,2.368201e-05,2.362734e-05,2.362071e-05,2.357175e-05,2.354703e-05,2.351535e-05,2.347200e-05,2.345822e-05,2.340045e-05,2.339580e-05,2.334211e-05,2.331864e-05,2.328329e-05,2.324067e-05,2.322404e-05,2.316445e-05,2.316206e-05,2.310456e-05,2.308294e-05,2.304445e-05,2.300346e-05,2.298416e-05,2.292374e-05,2.284389e-05,2.276402e-05,2.268422e-05,2.260458e-05,2.252518e-05,2.244611e-05,2.236741e-05,2.228917e-05,2.221144e-05,2.213426e-05,2.205769e-05,2.198176e-05,2.190653e-05,2.183202e-05,2.175826e-05,2.168528e-05,2.161311e-05,2.154177e-05,2.147128e-05,2.140166e-05,2.133292e-05,2.126507e-05,2.119813e-05,2.113210e-05
0.000000e+00,6.562037e-11,2.474410e-10,1.740750e-09,6.213409e-09,1.104852e-08,3.758399e-08,3.925921e-08,1.019810e-07,1.282344e-07,2.181202e-07,3.222785e-07,4.090997e-07,6.704167e-07,6.976055e-07,1.104465e-06,1.221513e-06,1.644116e-06,2.006662e-06,2.321808e-06,3.029765e-06,3.134057e-06,4.070935e-06,4.272086e-06,5.118482e-06,5.701621e-06,6.260511e-06,7.280223e-06,7.479769e-06,8.758662e-06,8.967648e-06,1.007974e-05,1.072384e-05,1.142608e-05,1.251049e-05,1.278158e-05,1.413131e-05,1.429223e-05,1.546171e-05,1.603781e-05,1.676080e-05,1.772081e-05,1.801834e-05,1.922587e-05,1.932010e-05,2.037670e-05,2.081998e-05,2.146584e-05,2.220986e-05,2.248990e-05,2.344691e-05,2.348378e-05,2.433615e-05,2.463973e-05,2.515799e-05,2.567893e-05,2.591364e-05,2.660506e-05,2.723471e-05,2.742361e-05,2.780547e-05,2.814129e-05,2.832046e-05,2.876543e-05,2.878296e-05,2.919631e-05,2.930370e-05,2.956385e-05,2.976376e-05,2.988888e-05,3.015310e-05,3.017458e-05,3.042401e-05,3.047881e-05,3.064009e-05,3.074756e-05,3.082557e-05,3.096551e-05,3.098300e-05,3.111480e-05,3.113828e-05,3.122317e-05,3.127097e-05,3.131020e-05,3.136819e-05,3.137777e-05,3.142764e-05,3.143408e-05,3.146141e-05,3.147234e-05,3.148055e-05,3.148625e-05,3.148642e-05,3.148024e-05,3.147874e-05,3.146314e-05,3.145243e-05,3.143615e-05,3.140962e-05,3.140022e-05,3.135621e-05,3.135236e-05,3.130489e-05,3.128249e-05,3.124699e-05,3.120160e-05,3.118316e-05,3.111400e-05,3.111113e-05,3.104005e-05,3.101236e-05,3.096182e-05,3.090642e-05,3.087977e-05,3.079431e-05,3.070583e-05,3.067693e-05,3.061468e-05,3.055509e-05,3.052118e-05,3.042949e-05,3.042563e-05,3.032831e-05,3.030077e-05,3.022945e-05,3.016950e-05,3.012930e-05,3.003619e-05,3.002805e-05,2.992591e-05,2.990128e-05,2.982304e-05,2.976519e-05,2.971962e-05,2.962827e-05,2.961580e-05,2.951170e-05,2.949086e-05,2.940747e-05,2.935325e-05,2.930321e-05,2.921569e-05,2.919903e-05,2.909504e-05,2.907842e-05,2.899132e-05,2.894165e-05,2.888795e-05,2.880557e-05,2.878502e-05,2.868258e-05,2.867033e-05,2.858072e-05,2.853609e-05,2.847947e-05,2.840298e-05,2.837891e-05,2.827907e-05,2.827112e-05,2.818000e-05,2.814060e-05,2.808175e-05,2.801153e-05,2.798434e-05,2.788782e-05,2.788398e-05,2.779221e-05,2.775802e-05,2.769754e-05,2.763371e-05,2.760383e-05,2.751111e-05,2.739026e-05,2.727119e-05,2.715394e-05,2.703854e-05,2.692500e-05,2.681334e-05,2.670357e-05,2.659570e-05,2.648974e-05,2.638568e-05,2.628352e-05,2.618326e-05,2.608488e-05,2.598839e-05,2.589376e-05,2.580099e-05,2.571006e-05,2.562095e-05,2.553364e-05,2.544812e-05,2.536437e-05,2.528235e-05,2.520206e-05,2.512347e-05
0.000000e+00,5.338332e-11,1.964748e-10,1.317263e-09,4.510635e-09,7.846604e-09,2.527856e-08,2.634845e-08,6.499992e-08,8.061201e-08,1.324587e-07,1.903209e-07,2.372381e-07,3.734958e-07,3.873499e-07,5.900778e-07,6.472884e-07,8.517383e-07,1.025931e-06,1.177292e-06,1.519092e-06,1.569765e-06,2.029709e-06,2.129658e-06,2.555093e-06,2.852827e-06,3.141714e-06,3.677653e-06,3.783864e-06,4.474939e-06,4.589583e-06,5.207878e-06,5.572437e-06,5.975448e-06,6.609583e-06,6.770430e-06,7.585767e-06,7.684650e-06,8.414685e-06,8.782048e-06,9.250791e-06,9.887379e-06,1.008817e-05,1.092143e-05,1.098776e-05,1.174577e-05,1.207205e-05,1.255699e-05,1.313089e-05,1.335148e-05,1.412621e-05,1.415675e-05,1.487871e-05,1.514378e-05,1.560702e-05,1.608766e-05,1.630962e-05,1.698543e-05,1.763372e-05,1.783528e-05,1.825407e-05,1.863635e-05,1.884633e-05,1.938855e-05,1.941058e-05,1.994709e-05,2.009240e-05,2.045627e-05,2.074888e-05,2.093867e-05,2.135935e-05,2.139490e-05,2.182570e-05,2.192539e-05,2.223182e-05,2.244877e-05,2.261408e-05,2.293138e-05,2.297329e-05,2.331032e-05,2.337514e-05,2.362601e-05,2.378203e-05,2.392123e-05,2.415400e-05,2.419680e-05,2.445358e-05,2.449298e-05,2.469238e-05,2.480085e-05,2.491400e-05,2.507945e-05,2.511922e-05,2.530880e-05,2.533053e-05,2.548348e-05,2.555580e-05,2.564396e-05,2.575687e-05,2.579095e-05,2.592509e-05,2.593529e-05,2.604703e-05,2.609253e-05,2.615739e-05,2.623000e-05,2.625674e-05,2.634567e-05,2.634902e-05,2.642471e-05,2.645085e-05,2.649438e-05,2.653667e-05,2.655519e-05,2.660761e-05,2.665210e-05,2.666473e-05,2.668909e-05,2.670902e-05,2.671900e-05,2.674143e-05,2.674223e-05,2.675917e-05,2.676283e-05,2.677017e-05,2.677406e-05,2.677558e-05,2.677591e-05,2.677574e-05,2.677095e-05,2.676910e-05,2.676152e-05,2.675433e-05,2.674774e-05,2.673223e-05,2.672988e-05,2.670819e-05,2.670342e-05,2.668293e-05,2.666846e-05,2.665433e-05,2.662789e-05,2.662261e-05,2.658799e-05,2.658219e-05,2.655066e-05,2.653185e-05,2.651083e-05,2.647728e-05,2.646867e-05,2.642435e-05,2.641890e-05,2.637805e-05,2.635708e-05,2.632991e-05,2.629219e-05,2.628009e-05,2.622872e-05,2.622455e-05,2.617594e-05,2.615446e-05,2.612187e-05,2.608222e-05,2.606664e-05,2.601036e-05,2.600809e-05,2.595314e-05,2.593232e-05,2.589507e-05,2.585515e-05,2.583625e-05,2.577677e-05,2.569741e-05,2.561723e-05,2.553641e-05,2.545512e-05,2.537349e-05,2.529166e-05,2.520975e-05,2.512789e-05,2.504618e-05,2.496471e-05,2.488358e-05,2.480286e-05,2.472264e-05,2.464297e-05,2.456393e-05,2.448557e-05,2.440794e-05,2.433108e-05,2.425504e-05,2.417986e-05,2.410557e-05,2.403219e-05,2.395976e-05,2.388829e-05
0.000000e+00,2.098151e-11,7.898308e-11,5.538420e-10,1.971211e-09,3.499412e-09,1.184579e-08,1.237094e-08,3.191785e-08,4.004173e-08,6.763865e-08,9.925569e-08,1.253623e-07,2.029319e-07,2.109379e-07,3.300131e-07,3.641712e-07,4.878480e-07,5.949336e-07,6.890975e-07,9.051287e-07,9.375299e-07,1.235748e-06,1.301502e-06,1.585039e-06,1.786901e-06,1.985399e-06,2.360358e-06,2.435681e-06,2.933782e-06,3.017733e-06,3.476818e-06,3.752425e-06,4.061276e-06,4.555982e-06,4.683141e-06,5.338009e-06,5.418591e-06,6.021195e-06,6.329519e-06,6.727837e-06,7.277531e-06,7.452992e-06,8.191741e-06,8.251283e-06,8.939270e-06,9.239697e-06,9.690956e-06,1.023228e-05,1.044243e-05,1.118962e-05,1.121937e-05,1.192883e-05,1.219233e-05,1.265671e-05,1.314368e-05,1.337031e-05,1.406708e-05,1.474484e-05,1.495740e-05,1.540179e-05,1.581062e-05,1.603646e-05,1.662374e-05,1.664773e-05,1.723476e-05,1.739470e-05,1.779697e-05,1.812225e-05,1.833405e-05,1.880584e-05,1.884586e-05,1.933247e-05,1.944552e-05,1.979408e-05,2.004180e-05,2.023106e-05,2.059557e-05,2.064384e-05,2.103299e-05,2.110804e-05,2.139912e-05,2.158062e-05,2.174289e-05,2.201491e-05,2.206503e-05,2.236628e-05,2.241259e-05,2.264740e-05,2.277543e-05,2.290919e-05,2.310521e-05,2.315241e-05,2.337785e-05,2.340375e-05,2.358629e-05,2.367281e-05,2.377847e-05,2.391413e-05,2.395516e-05,2.411708e-05,2.412942e-05,2.426494e-05,2.432031e-05,2.439944e-05,2.448837e-05,2.452123e-05,2.463097e-05,2.463512e-05,2.472928e-05,2.476199e-05,2.481675e-05,2.487034e-05,2.489397e-05,2.496147e-05,2.501980e-05,2.503661e-05,2.506946e-05,2.509692e-05,2.511093e-05,2.514347e-05,2.514468e-05,2.517115e-05,2.517731e-05,2.519075e-05,2.519939e-05,2.520390e-05,2.521063e-05,2.521098e-05,2.521235e-05,2.521187e-05,2.520836e-05,2.520390e-05,2.519934e-05,2.518749e-05,2.518560e-05,2.516745e-05,2.516332e-05,2.514518e-05,2.513205e-05,2.511904e-05,2.509429e-05,2.508930e-05,2.505621e-05,2.505062e-05,2.501999e-05,2.500156e-05,2.498086e-05,2.494761e-05,2.493904e-05,2.489472e-05,2.488924e-05,2.484809e-05,2.482688e-05,2.479932e-05,2.476093e-05,2.474859e-05,2.469605e-05,2.469177e-05,2.464186e-05,2.461975e-05,2.458616e-05,2.454519e-05,2.452908e-05,2.447075e-05,2.446839e-05,2.441130e-05,2.438964e-05,2.435083e-05,2.430919e-05,2.428946e-05,2.422729e-05,2.414415e-05,2.406000e-05,2.397501e-05,2.388936e-05,2.380323e-05,2.371676e-05,2.363009e-05,2.354336e-05,2.345667e-05,2.337014e-05,2.328386e-05,2.319794e-05,2.311244e-05,2.302746e-05,2.294306e-05,2.285929e-05,2.277623e-05,2.269392e-05,2.261241e-05,2.253174e-05,2.245195e-05,2.237307e-05,2.229513e-05,2.221817e-05
0.000000e+00,1.479759e-09,3.379033e-09,1.156028e-08,2.617057e-08,3.806714e-08,8.559947e-08,8.813970e-08,1.684608e-07,1.972526e-07,2.854835e-07,3.759734e-07,4.456008e-07,6.364424e-07,6.551754e-07,9.202834e-07,9.927707e-07,1.245959e-06,1.455916e-06,1.634819e-06,2.028340e-06,2.085539e-06,2.592345e-06,2.699680e-06,3.146282e-06,3.449614e-06,3.737307e-06,4.255405e-06,4.355861e-06,4.993484e-06,5.096768e-06,5.642829e-06,5.956768e-06,6.297499e-06,6.821267e-06,6.951869e-06,7.600964e-06,7.678286e-06,8.240387e-06,8.517658e-06,8.866288e-06,9.330864e-06,9.475342e-06,1.006473e-05,1.011096e-05,1.063212e-05,1.085249e-05,1.117566e-05,1.155142e-05,1.169391e-05,1.218588e-05,1.220500e-05,1.265089e-05,1.281162e-05,1.308862e-05,1.337067e-05,1.349903e-05,1.388232e-05,1.423887e-05,1.434742e-05,1.456927e-05,1.476733e-05,1.487423e-05,1.514380e-05,1.515455e-05,1.541115e-05,1.547887e-05,1.564496e-05,1.577474e-05,1.585700e-05,1.603372e-05,1.604829e-05,1.621984e-05,1.625820e-05,1.637270e-05,1.645052e-05,1.650789e-05,1.661302e-05,1.662640e-05,1.672921e-05,1.674797e-05,1.681727e-05,1.685754e-05,1.689151e-05,1.694383e-05,1.695280e-05,1.700199e-05,1.700880e-05,1.703991e-05,1.705433e-05,1.706731e-05,1.708217e-05,1.708495e-05,1.709352e-05,1.709397e-05,1.709369e-05,1.709126e-05,1.708609e-05,1.707548e-05,1.707131e-05,1.704993e-05,1.704795e-05,1.702247e-05,1.700990e-05,1.698944e-05,1.696247e-05,1.695130e-05,1.690851e-05,1.690670e-05,1.686147e-05,1.684357e-05,1.681058e-05,1.677397e-05,1.675621e-05,1.669870e-05,1.663838e-05,1.661853e-05,1.657554e-05,1.653413e-05,1.651046e-05,1.644614e-05,1.644342e-05,1.637465e-05,1.635512e-05,1.630439e-05,1.626160e-05,1.623284e-05,1.616606e-05,1.616022e-05,1.608669e-05,1.606893e-05,1.601243e-05,1.597059e-05,1.593761e-05,1.587141e-05,1.586236e-05,1.578683e-05,1.577170e-05,1.571114e-05,1.567175e-05,1.563540e-05,1.557183e-05,1.555974e-05,1.548423e-05,1.547217e-05,1.540898e-05,1.537297e-05,1.533407e-05,1.527443e-05,1.525957e-05,1.518555e-05,1.517670e-05,1.511208e-05,1.507994e-05,1.503921e-05,1.498427e-05,1.496700e-05,1.489550e-05,1.488981e-05,1.482474e-05,1.479665e-05,1.475477e-05,1.470489e-05,1.468561e-05,1.461730e-05,1.461459e-05,1.454987e-05,1.452581e-05,1.448334e-05,1.443862e-05,1.441772e-05,1.435304e-05,1.426912e-05,1.418688e-05,1.410634e-05,1.402752e-05,1.395043e-05,1.387506e-05,1.380143e-05,1.372951e-05,1.365931e-05,1.359081e-05,1.352399e-05,1.345885e-05,1.339535e-05,1.333348e-05,1.327322e-05,1.321454e-05,1.315742e-05,1.310183e-05,1.304773e-05,1.299511e-05,1.294394e-05,1.289418e-05,1.284580e-05,1.279878e-05
0.000000e+00,2.486367e-09,5.759260e-09,2.000108e-08,4.559745e-08,6.650204e-08,1.502970e-07,1.547839e-07,2.969926e-07,3.481056e-07,5.051250e-07,6.667057e-07,7.913629e-07,1.134243e-06,1.167978e-06,1.646306e-06,1.777234e-06,2.234169e-06,2.611827e-06,2.932170e-06,3.630850e-06,3.731675e-06,4.617211e-06,4.803087e-06,5.571233e-06,6.088895e-06,6.577456e-06,7.452693e-06,7.621843e-06,8.692367e-06,8.865358e-06,9.778545e-06,1.030270e-05,1.087107e-05,1.174403e-05,1.196160e-05,1.304267e-05,1.317144e-05,1.410767e-05,1.456964e-05,1.515078e-05,1.592585e-05,1.616707e-05,1.715239e-05,1.722977e-05,1.810335e-05,1.847350e-05,1.901733e-05,1.965137e-05,1.989236e-05,2.072709e-05,2.075963e-05,2.152070e-05,2.179626e-05,2.227285e-05,2.276064e-05,2.298358e-05,2.365330e-05,2.428265e-05,2.447566e-05,2.487254e-05,2.522984e-05,2.542402e-05,2.591842e-05,2.593829e-05,2.641665e-05,2.654433e-05,2.686045e-05,2.711072e-05,2.727110e-05,2.762084e-05,2.765002e-05,2.799865e-05,2.807796e-05,2.831838e-05,2.848534e-05,2.861064e-05,2.884617e-05,2.887678e-05,2.911815e-05,2.916356e-05,2.933605e-05,2.944049e-05,2.953172e-05,2.967980e-05,2.970638e-05,2.986119e-05,2.988420e-05,2.999727e-05,3.005624e-05,3.011567e-05,3.019835e-05,3.021741e-05,3.030347e-05,3.031278e-05,3.037476e-05,3.040169e-05,3.043218e-05,3.046706e-05,3.047656e-05,3.050870e-05,3.051076e-05,3.052934e-05,3.053454e-05,3.053921e-05,3.054003e-05,3.053899e-05,3.052931e-05,3.052873e-05,3.051078e-05,3.050206e-05,3.048399e-05,3.046134e-05,3.044949e-05,3.040777e-05,3.035935e-05,3.034252e-05,3.030468e-05,3.026661e-05,3.024419e-05,3.018105e-05,3.017831e-05,3.010742e-05,3.008672e-05,3.003189e-05,2.998449e-05,2.995207e-05,2.987512e-05,2.986828e-05,2.978085e-05,2.975936e-05,2.969006e-05,2.963786e-05,2.959619e-05,2.951125e-05,2.949950e-05,2.940024e-05,2.938010e-05,2.929864e-05,2.924496e-05,2.919492e-05,2.910630e-05,2.908928e-05,2.898192e-05,2.896459e-05,2.887302e-05,2.882025e-05,2.876275e-05,2.867366e-05,2.865128e-05,2.853876e-05,2.852519e-05,2.842533e-05,2.837516e-05,2.831112e-05,2.822389e-05,2.819627e-05,2.808089e-05,2.807164e-05,2.796509e-05,2.791868e-05,2.784898e-05,2.776525e-05,2.773266e-05,2.761622e-05,2.761156e-05,2.749975e-05,2.745782e-05,2.738332e-05,2.730421e-05,2.726701e-05,2.715090e-05,2.699804e-05,2.684578e-05,2.669424e-05,2.654353e-05,2.639377e-05,2.624506e-05,2.609747e-05,2.595109e-05,2.580599e-05,2.566224e-05,2.551988e-05,2.537898e-05,2.523957e-05,2.510169e-05,2.496539e-05,2.483068e-05,2.469760e-05,2.456616e-05,2.443639e-05,2.430829e-05,2.418188e-05,2.405718e-05,2.393417e-05,2.381287e-05
0.000000e+00,8.002364e-09,1.872515e-08,6.584707e-08,1.513487e-07,2.216718e-07,5.067826e-07,5.221732e-07,1.015214e-06,1.194567e-06,1.751139e-06,2.330889e-06,2.781836e-06,4.033389e-06,4.157162e-06,5.919141e-06,6.402987e-06,8.095085e-06,9.497769e-06,1.069123e-05,1.330886e-05,1.368842e-05,1.704104e-05,1.774848e-05,2.068004e-05,2.265764e-05,2.452045e-05,2.783605e-05,2.847223e-05,3.245168e-05,3.308609e-05,3.638962e-05,3.824922e-05,4.023421e-05,4.321809e-05,4.394955e-05,4.751228e-05,4.792880e-05,5.090816e-05,5.234729e-05,5.412932e-05,5.645831e-05,5.717233e-05,6.003688e-05,6.025838e-05,6.272490e-05,6.375142e-05,6.523989e-05,6.694609e-05,6.758646e-05,6.977005e-05,6.985409e-05,7.179660e-05,7.248893e-05,7.367242e-05,7.486518e-05,7.540399e-05,7.699786e-05,7.846059e-05,7.890202e-05,7.979863e-05,8.059249e-05,8.101834e-05,8.208366e-05,8.212589e-05,8.312726e-05,8.338940e-05,8.402823e-05,8.452295e-05,8.483438e-05,8.549689e-05,8.555105e-05,8.618335e-05,8.632310e-05,8.673618e-05,8.701281e-05,8.721422e-05,8.757657e-05,8.762192e-05,8.796354e-05,8.802429e-05,8.824310e-05,8.836523e-05,8.846445e-05,8.860808e-05,8.863124e-05,8.874694e-05,8.876093e-05,8.881483e-05,8.883136e-05,8.883803e-05,8.882641e-05,8.881950e-05,8.876203e-05,8.875264e-05,8.866826e-05,8.861616e-05,8.854072e-05,8.842266e-05,8.838177e-05,8.819364e-05,8.817739e-05,8.797846e-05,8.788527e-05,8.773824e-05,8.755083e-05,8.747486e-05,8.719010e-05,8.717829e-05,8.688565e-05,8.677153e-05,8.656309e-05,8.633419e-05,8.622394e-05,8.586958e-05,8.550137e-05,8.538082e-05,8.512054e-05,8.487073e-05,8.472827e-05,8.434197e-05,8.432568e-05,8.391381e-05,8.379696e-05,8.349363e-05,8.323793e-05,8.306607e-05,8.266695e-05,8.263200e-05,8.219222e-05,8.208591e-05,8.174750e-05,8.149657e-05,8.129855e-05,8.090051e-05,8.084605e-05,8.039061e-05,8.029922e-05,7.993283e-05,7.969404e-05,7.947325e-05,7.908619e-05,7.901239e-05,7.855073e-05,7.847682e-05,7.808871e-05,7.786694e-05,7.762675e-05,7.725749e-05,7.716524e-05,7.670455e-05,7.664933e-05,7.624500e-05,7.604324e-05,7.578691e-05,7.543992e-05,7.533057e-05,7.487625e-05,7.483999e-05,7.442419e-05,7.424405e-05,7.397462e-05,7.365260e-05,7.352777e-05,7.308381e-05,7.306611e-05,7.264293e-05,7.248500e-05,7.220529e-05,7.190963e-05,7.177104e-05,7.134033e-05,7.077739e-05,7.022106e-05,6.967157e-05,6.912911e-05,6.859384e-05,6.806590e-05,6.754540e-05,6.703243e-05,6.652707e-05,6.602938e-05,6.553938e-05,6.505711e-05,6.458257e-05,6.411576e-05,6.365667e-05,6.320527e-05,6.276152e-05,6.232538e-05,6.189681e-05,6.147573e-05,6.106210e-05,6.065583e-05,6.025686e-05,5.986511e-05
0.000000e+00,2.905528e-09,7.179002e-09,2.675358e-08,6.314681e-08,9.336110e-08,2.165730e-07,2.232342e-07,4.364528e-07,5.138542e-07,7.534355e-07,1.002171e-06,1.195233e-06,1.730108e-06,1.782976e-06,2.536059e-06,2.743151e-06,3.468657e-06,4.071381e-06,4.584764e-06,5.710640e-06,5.873710e-06,7.309942e-06,7.611882e-06,8.858877e-06,9.696948e-06,1.048507e-05,1.188799e-05,1.215762e-05,1.385172e-05,1.412341e-05,1.554793e-05,1.635827e-05,1.723104e-05,1.855987e-05,1.888894e-05,2.051201e-05,2.070406e-05,2.209259e-05,2.277298e-05,2.362467e-05,2.475376e-05,2.510368e-05,2.652624e-05,2.663753e-05,2.789006e-05,2.841879e-05,2.919371e-05,3.009468e-05,3.043653e-05,3.161849e-05,3.166451e-05,3.274007e-05,3.312922e-05,3.380215e-05,3.449099e-05,3.480595e-05,3.575292e-05,3.664471e-05,3.691871e-05,3.748309e-05,3.799249e-05,3.826994e-05,3.897862e-05,3.900719e-05,3.969677e-05,3.988158e-05,4.034066e-05,4.070587e-05,4.094079e-05,4.145593e-05,4.149910e-05,4.201745e-05,4.213612e-05,4.249770e-05,4.275066e-05,4.294163e-05,4.330363e-05,4.335098e-05,4.372744e-05,4.379892e-05,4.407261e-05,4.424026e-05,4.438807e-05,4.463120e-05,4.467532e-05,4.493581e-05,4.497509e-05,4.517091e-05,4.527514e-05,4.538196e-05,4.553435e-05,4.557024e-05,4.573695e-05,4.575556e-05,4.588327e-05,4.594147e-05,4.601030e-05,4.609460e-05,4.611911e-05,4.621072e-05,4.621733e-05,4.628608e-05,4.631189e-05,4.634613e-05,4.638038e-05,4.639174e-05,4.642376e-05,4.642477e-05,4.644297e-05,4.644691e-05,4.645015e-05,4.644853e-05,4.644601e-05,4.643125e-05,4.640652e-05,4.639660e-05,4.637244e-05,4.634599e-05,4.632960e-05,4.628076e-05,4.627857e-05,4.621988e-05,4.620215e-05,4.615404e-05,4.611131e-05,4.608154e-05,4.600934e-05,4.600283e-05,4.591834e-05,4.589725e-05,4.582849e-05,4.577598e-05,4.573367e-05,4.564641e-05,4.563425e-05,4.553058e-05,4.550937e-05,4.542300e-05,4.536562e-05,4.531182e-05,4.521587e-05,4.519734e-05,4.507985e-05,4.506079e-05,4.495961e-05,4.490099e-05,4.483687e-05,4.473705e-05,4.471189e-05,4.458488e-05,4.456951e-05,4.445605e-05,4.439885e-05,4.432562e-05,4.422554e-05,4.419378e-05,4.406070e-05,4.405001e-05,4.392656e-05,4.387264e-05,4.379151e-05,4.369381e-05,4.365572e-05,4.351931e-05,4.351385e-05,4.338244e-05,4.333307e-05,4.324522e-05,4.315178e-05,4.310778e-05,4.297022e-05,4.278866e-05,4.260731e-05,4.242638e-05,4.224607e-05,4.206654e-05,4.188797e-05,4.171050e-05,4.153425e-05,4.135936e-05,4.118593e-05,4.101407e-05,4.084385e-05,4.067538e-05,4.050870e-05,4.034390e-05,4.018103e-05,4.002013e-05,3.986126e-05,3.970445e-05,3.954974e-05,3.939714e-05,3.924669e-05,3.909841e-05,3.895230e-05
0.000000e+00,4.589243e-09,1.093109e-08,3.924958e-08,9.124403e-08,1.342731e-07,3.099155e-07,3.194345e-07,6.258168e-07,7.378774e-07,1.087431e-06,1.453999e-06,1.740332e-06,2.536097e-06,2.614600e-06,3.721605e-06,4.021284e-06,5.053496e-06,5.892043e-06,6.595419e-06,8.114866e-06,8.333347e-06,1.025483e-05,1.066009e-05,1.234766e-05,1.349933e-05,1.459868e-05,1.660118e-05,1.699333e-05,1.951555e-05,1.992979e-05,2.214797e-05,2.344534e-05,2.487234e-05,2.710547e-05,2.766995e-05,3.052209e-05,3.086714e-05,3.341060e-05,3.468855e-05,3.631810e-05,3.853040e-05,3.922825e-05,4.212603e-05,4.235690e-05,4.499785e-05,4.613655e-05,4.783161e-05,4.984234e-05,5.061670e-05,5.334403e-05,5.345181e-05,5.600590e-05,5.694688e-05,5.859592e-05,6.031337e-05,6.110879e-05,6.353992e-05,6.588621e-05,6.661875e-05,6.814557e-05,6.954527e-05,7.031662e-05,7.231710e-05,7.239867e-05,7.439157e-05,7.493365e-05,7.629567e-05,7.739580e-05,7.811172e-05,7.970568e-05,7.984084e-05,8.148437e-05,8.186625e-05,8.304390e-05,8.388121e-05,8.452122e-05,8.575476e-05,8.591822e-05,8.723693e-05,8.749147e-05,8.847946e-05,8.909618e-05,8.964796e-05,9.057389e-05,9.074463e-05,9.177169e-05,9.192971e-05,9.273139e-05,9.316877e-05,9.362595e-05,9.429619e-05,9.445759e-05,9.522851e-05,9.531704e-05,9.594087e-05,9.623631e-05,9.659682e-05,9.705891e-05,9.719846e-05,9.774785e-05,9.778961e-05,9.824702e-05,9.843307e-05,9.869794e-05,9.899381e-05,9.910254e-05,9.946270e-05,9.947621e-05,9.978026e-05,9.988449e-05,1.000570e-04,1.002227e-04,1.002946e-04,1.004949e-04,1.006594e-04,1.007047e-04,1.007897e-04,1.008559e-04,1.008874e-04,1.009518e-04,1.009539e-04,1.009907e-04,1.009959e-04,1.009992e-04,1.009913e-04,1.009808e-04,1.009411e-04,1.009367e-04,1.008682e-04,1.008482e-04,1.007765e-04,1.007155e-04,1.006628e-04,1.005455e-04,1.005283e-04,1.003740e-04,1.003409e-04,1.002010e-04,1.001039e-04,1.000103e-04,9.983707e-05,9.980279e-05,9.957954e-05,9.954242e-05,9.934141e-05,9.922208e-05,9.908926e-05,9.887802e-05,9.882394e-05,9.854625e-05,9.851214e-05,9.825697e-05,9.812620e-05,9.795682e-05,9.772189e-05,9.764653e-05,9.732679e-05,9.730082e-05,9.699823e-05,9.686449e-05,9.666150e-05,9.641434e-05,9.631720e-05,9.596590e-05,9.595171e-05,9.560816e-05,9.547790e-05,9.524451e-05,9.499410e-05,9.487544e-05,9.450145e-05,9.400103e-05,9.349384e-05,9.298083e-05,9.246291e-05,9.194090e-05,9.141559e-05,9.088773e-05,9.035801e-05,8.982707e-05,8.929551e-05,8.876391e-05,8.823279e-05,8.770265e-05,8.717393e-05,8.664706e-05,8.612244e-05,8.560042e-05,8.508136e-05,8.456554e-05,8.405327e-05,8.354481e-05,8.304038e-05,8.254022e-05,8.204452e-05
0.000000e+00,1.058705e-09,2.442941e-09,8.464237e-09,1.930465e-08,2.817430e-08,6.382930e-08,6.574202e-08,1.264861e-07,1.483624e-07,2.156566e-07,2.849921e-07,3.385070e-07,4.856115e-07,5.000656e-07,7.042876e-07,7.598852e-07,9.526889e-07,1.110599e-06,1.243651e-06,1.531857e-06,1.573307e-06,1.936998e-06,2.013410e-06,2.330097e-06,2.544661e-06,2.748203e-06,3.115647e-06,3.187098e-06,3.642701e-06,3.716881e-06,4.111056e-06,4.339273e-06,4.588362e-06,4.974223e-06,5.071017e-06,5.555671e-06,5.613815e-06,6.039268e-06,6.251001e-06,6.519080e-06,6.879721e-06,6.992713e-06,7.458106e-06,7.494927e-06,7.913531e-06,8.092584e-06,8.357577e-06,8.669602e-06,8.789119e-06,9.207288e-06,9.223727e-06,9.611454e-06,9.753436e-06,1.000118e-05,1.025781e-05,1.037621e-05,1.073643e-05,1.108185e-05,1.118927e-05,1.141257e-05,1.161661e-05,1.172880e-05,1.201897e-05,1.203078e-05,1.231883e-05,1.239703e-05,1.259328e-05,1.275158e-05,1.285452e-05,1.308351e-05,1.310292e-05,1.333892e-05,1.339375e-05,1.356291e-05,1.368326e-05,1.377532e-05,1.395299e-05,1.397656e-05,1.416705e-05,1.420390e-05,1.434721e-05,1.443693e-05,1.451742e-05,1.465301e-05,1.467809e-05,1.482960e-05,1.485301e-05,1.497231e-05,1.503780e-05,1.510660e-05,1.520821e-05,1.523282e-05,1.535130e-05,1.536501e-05,1.546237e-05,1.550897e-05,1.556634e-05,1.564081e-05,1.566353e-05,1.575422e-05,1.576120e-05,1.583870e-05,1.587081e-05,1.591724e-05,1.597026e-05,1.599010e-05,1.605753e-05,1.606012e-05,1.611977e-05,1.614096e-05,1.617706e-05,1.621330e-05,1.622961e-05,1.627764e-05,1.632135e-05,1.633446e-05,1.636094e-05,1.638420e-05,1.639660e-05,1.642729e-05,1.642850e-05,1.645681e-05,1.646412e-05,1.648171e-05,1.649508e-05,1.650335e-05,1.652051e-05,1.652188e-05,1.653745e-05,1.654076e-05,1.655019e-05,1.655614e-05,1.656024e-05,1.656696e-05,1.656772e-05,1.657276e-05,1.657349e-05,1.657548e-05,1.657601e-05,1.657598e-05,1.657477e-05,1.657438e-05,1.657077e-05,1.657001e-05,1.656525e-05,1.656196e-05,1.655793e-05,1.655082e-05,1.654887e-05,1.653819e-05,1.653680e-05,1.652594e-05,1.652008e-05,1.651222e-05,1.650085e-05,1.649710e-05,1.648065e-05,1.647928e-05,1.646294e-05,1.645552e-05,1.644404e-05,1.642973e-05,1.642401e-05,1.640291e-05,1.640204e-05,1.638080e-05,1.637260e-05,1.635773e-05,1.634153e-05,1.633376e-05,1.630894e-05,1.627495e-05,1.623967e-05,1.620320e-05,1.616564e-05,1.612706e-05,1.608756e-05,1.604722e-05,1.600611e-05,1.596431e-05,1.592187e-05,1.587887e-05,1.583537e-05,1.579141e-05,1.574706e-05,1.570236e-05,1.565736e-05,1.561211e-05,1.556665e-05,1.552101e-05,1.547524e-05,1.542937e-05,1.538343e-05,1.533746e-05,1.529148e-05
0.000000e+00,1.584320e-09,3.929312e-09,1.474733e-08,3.507298e-08,5.211982e-08,1.230668e-07,1.269646e-07,2.548856e-07,3.027488e-07,4.550640e-07,6.184092e-07,7.474916e-07,1.107774e-06,1.143230e-06,1.639053e-06,1.771874e-06,2.225313e-06,2.589817e-06,2.893424e-06,3.544046e-06,3.637108e-06,4.451390e-06,4.622311e-06,5.331617e-06,5.813786e-06,6.272879e-06,7.106755e-06,7.269751e-06,8.316242e-06,8.487858e-06,9.405861e-06,9.942189e-06,1.053173e-05,1.145377e-05,1.168676e-05,1.286383e-05,1.300622e-05,1.405590e-05,1.458342e-05,1.525623e-05,1.617003e-05,1.645839e-05,1.765648e-05,1.775199e-05,1.884517e-05,1.931692e-05,2.001966e-05,2.085410e-05,2.117572e-05,2.230974e-05,2.235459e-05,2.341862e-05,2.381116e-05,2.449982e-05,2.521814e-05,2.555125e-05,2.657130e-05,2.755873e-05,2.786766e-05,2.851265e-05,2.910531e-05,2.943251e-05,3.028325e-05,3.031800e-05,3.116906e-05,3.140120e-05,3.198581e-05,3.245951e-05,3.276855e-05,3.345900e-05,3.351771e-05,3.423383e-05,3.440086e-05,3.491755e-05,3.528655e-05,3.556958e-05,3.611775e-05,3.619068e-05,3.678166e-05,3.689631e-05,3.734335e-05,3.762415e-05,3.787662e-05,3.830325e-05,3.838235e-05,3.886141e-05,3.893564e-05,3.931468e-05,3.952334e-05,3.974303e-05,4.006837e-05,4.014735e-05,4.052848e-05,4.057269e-05,4.088726e-05,4.103826e-05,4.122452e-05,4.146695e-05,4.154107e-05,4.183771e-05,4.186060e-05,4.211520e-05,4.222100e-05,4.237428e-05,4.254985e-05,4.261571e-05,4.284017e-05,4.284880e-05,4.304836e-05,4.311945e-05,4.324094e-05,4.336332e-05,4.341857e-05,4.358186e-05,4.373142e-05,4.377647e-05,4.386783e-05,4.394850e-05,4.399166e-05,4.409921e-05,4.410345e-05,4.420373e-05,4.422982e-05,4.429301e-05,4.434149e-05,4.437176e-05,4.443534e-05,4.444048e-05,4.449960e-05,4.451241e-05,4.454957e-05,4.457371e-05,4.459080e-05,4.462019e-05,4.462371e-05,4.464868e-05,4.465276e-05,4.466609e-05,4.467228e-05,4.467631e-05,4.467957e-05,4.467966e-05,4.467650e-05,4.467542e-05,4.466715e-05,4.466054e-05,4.465190e-05,4.463566e-05,4.463106e-05,4.460491e-05,4.460143e-05,4.457373e-05,4.455848e-05,4.453777e-05,4.450741e-05,4.449729e-05,4.445254e-05,4.444878e-05,4.440374e-05,4.438313e-05,4.435111e-05,4.431097e-05,4.429488e-05,4.423524e-05,4.423278e-05,4.417239e-05,4.414901e-05,4.410652e-05,4.406009e-05,4.403781e-05,4.396643e-05,4.386841e-05,4.376639e-05,4.366073e-05,4.355173e-05,4.343971e-05,4.332495e-05,4.320773e-05,4.308831e-05,4.296692e-05,4.284379e-05,4.271914e-05,4.259317e-05,4.246607e-05,4.233801e-05,4.220917e-05,4.207970e-05,4.194975e-05,4.181946e-05,4.168896e-05,4.155837e-05,4.142781e-05,4.129738e-05,4.116718e-05,4.103731e-05
0.000000e+00,2.106907e-09,4.833387e-09,1.668773e-08,3.810700e-08,5.571136e-08,1.271171e-07,1.309743e-07,2.547352e-07,2.998682e-07,4.404140e-07,5.877415e-07,7.030735e-07,1.026671e-06,1.058944e-06,1.522703e-06,1.651168e-06,2.102523e-06,2.477759e-06,2.797052e-06,3.496628e-06,3.598022e-06,4.495088e-06,4.685160e-06,5.478582e-06,6.021297e-06,6.540014e-06,7.486237e-06,7.671735e-06,8.866507e-06,9.063045e-06,1.011721e-05,1.073531e-05,1.141669e-05,1.248657e-05,1.275777e-05,1.413327e-05,1.430031e-05,1.553610e-05,1.616021e-05,1.695933e-05,1.805054e-05,1.839634e-05,1.984083e-05,1.995653e-05,2.128694e-05,2.186461e-05,2.272928e-05,2.376265e-05,2.416294e-05,2.558354e-05,2.564003e-05,2.698717e-05,2.748766e-05,2.837045e-05,2.929793e-05,2.973042e-05,3.106459e-05,3.237082e-05,3.278263e-05,3.364739e-05,3.444817e-05,3.489290e-05,3.605833e-05,3.610624e-05,3.728655e-05,3.761104e-05,3.843324e-05,3.910494e-05,3.954590e-05,4.053928e-05,4.062429e-05,4.166835e-05,4.191382e-05,4.267814e-05,4.322871e-05,4.365382e-05,4.448443e-05,4.459568e-05,4.550406e-05,4.568175e-05,4.637939e-05,4.682165e-05,4.722214e-05,4.790526e-05,4.803283e-05,4.881203e-05,4.893382e-05,4.956033e-05,4.990871e-05,5.027834e-05,5.083136e-05,5.096670e-05,5.162606e-05,5.170326e-05,5.225708e-05,5.252593e-05,5.286044e-05,5.330090e-05,5.343680e-05,5.398684e-05,5.402973e-05,5.451124e-05,5.471397e-05,5.501066e-05,5.535517e-05,5.548579e-05,5.593728e-05,5.595485e-05,5.636578e-05,5.651454e-05,5.677196e-05,5.703573e-05,5.715645e-05,5.751988e-05,5.786289e-05,5.796844e-05,5.818608e-05,5.838280e-05,5.849006e-05,5.876436e-05,5.877542e-05,5.904274e-05,5.911444e-05,5.929259e-05,5.943435e-05,5.952554e-05,5.972538e-05,5.974212e-05,5.994287e-05,5.998876e-05,6.012832e-05,6.022569e-05,6.029899e-05,6.043733e-05,6.045536e-05,6.059793e-05,6.062483e-05,6.072718e-05,6.078928e-05,6.084357e-05,6.093174e-05,6.094756e-05,6.103958e-05,6.105323e-05,6.112008e-05,6.115475e-05,6.118947e-05,6.123726e-05,6.124816e-05,6.129655e-05,6.130168e-05,6.133502e-05,6.134891e-05,6.136396e-05,6.137981e-05,6.138374e-05,6.139471e-05,6.139521e-05,6.139721e-05,6.139592e-05,6.139159e-05,6.138270e-05,6.137817e-05,6.135728e-05,6.135629e-05,6.132921e-05,6.131741e-05,6.129428e-05,6.126675e-05,6.125277e-05,6.120497e-05,6.113270e-05,6.105054e-05,6.095909e-05,6.085891e-05,6.075053e-05,6.063447e-05,6.051123e-05,6.038127e-05,6.024506e-05,6.010301e-05,5.995557e-05,5.980310e-05,5.964601e-05,5.948465e-05,5.931936e-05,5.915049e-05,5.897833e-05,5.880320e-05,5.862538e-05,5.844515e-05,5.826276e-05,5.807847e-05,5.789250e-05,5.770509e-05
0.000000e+00,1.436756e-09,4.431687e-09,2.185991e-08,5.987136e-08,9.383193e-08,2.420319e-07,2.503123e-07,5.228211e-07,6.241289e-07,9.423019e-07,1.277475e-06,1.539871e-06,2.273292e-06,2.346139e-06,3.386908e-06,3.673420e-06,4.675527e-06,5.504981e-06,6.209401e-06,7.751722e-06,7.975344e-06,9.956707e-06,1.037734e-05,1.213651e-05,1.334276e-05,1.449759e-05,1.660793e-05,1.702206e-05,1.969093e-05,2.013002e-05,2.248414e-05,2.386292e-05,2.538078e-05,2.775824e-05,2.835954e-05,3.139915e-05,3.176699e-05,3.447882e-05,3.584140e-05,3.757867e-05,3.993652e-05,4.068004e-05,4.376577e-05,4.401148e-05,4.682033e-05,4.803028e-05,4.982993e-05,5.196219e-05,5.278256e-05,5.566794e-05,5.578183e-05,5.847744e-05,5.946888e-05,6.120401e-05,6.300779e-05,6.384205e-05,6.638724e-05,6.883642e-05,6.959950e-05,7.118744e-05,7.263999e-05,7.343910e-05,7.550679e-05,7.559094e-05,7.764319e-05,7.820006e-05,7.959660e-05,8.072171e-05,8.145243e-05,8.307500e-05,8.321230e-05,8.487816e-05,8.526422e-05,8.645220e-05,8.729444e-05,8.793682e-05,8.917131e-05,8.933454e-05,9.064803e-05,9.090087e-05,9.188003e-05,9.248939e-05,9.303332e-05,9.394330e-05,9.411069e-05,9.511495e-05,9.526903e-05,9.604888e-05,9.647300e-05,9.691525e-05,9.756154e-05,9.771679e-05,9.845618e-05,9.854086e-05,9.913605e-05,9.941701e-05,9.975898e-05,1.001959e-04,1.003275e-04,1.008439e-04,1.008831e-04,1.013108e-04,1.014842e-04,1.017303e-04,1.020043e-04,1.021048e-04,1.024363e-04,1.024487e-04,1.027269e-04,1.028219e-04,1.029787e-04,1.031288e-04,1.031937e-04,1.033736e-04,1.035204e-04,1.035606e-04,1.036356e-04,1.036937e-04,1.037211e-04,1.037767e-04,1.037784e-04,1.038091e-04,1.038132e-04,1.038147e-04,1.038065e-04,1.037965e-04,1.037600e-04,1.037560e-04,1.036944e-04,1.036767e-04,1.036131e-04,1.035594e-04,1.035132e-04,1.034108e-04,1.033958e-04,1.032622e-04,1.032336e-04,1.031133e-04,1.030301e-04,1.029501e-04,1.028027e-04,1.027736e-04,1.025847e-04,1.025534e-04,1.023843e-04,1.022843e-04,1.021733e-04,1.019973e-04,1.019524e-04,1.017224e-04,1.016942e-04,1.014840e-04,1.013766e-04,1.012379e-04,1.010462e-04,1.009849e-04,1.007254e-04,1.007043e-04,1.004601e-04,1.003524e-04,1.001895e-04,9.999177e-05,9.991426e-05,9.963481e-05,9.962356e-05,9.935166e-05,9.924890e-05,9.906525e-05,9.886885e-05,9.877602e-05,9.848439e-05,9.809641e-05,9.770576e-05,9.731321e-05,9.691950e-05,9.652528e-05,9.613118e-05,9.573777e-05,9.534556e-05,9.495505e-05,9.456668e-05,9.418085e-05,9.379792e-05,9.341825e-05,9.304213e-05,9.266984e-05,9.230162e-05,9.193771e-05,9.157831e-05,9.122358e-05,9.087369e-05,9.052877e-05,9.018894e-05,8.985431e-05,8.952496e-05
0.000000e+00,6.783828e-10,1.906826e-09,8.263855e-09,2.102847e-08,3.199466e-08,7.811716e-08,8.064826e-08,1.626818e-07,1.927837e-07,2.865910e-07,3.846794e-07,4.611545e-07,6.740106e-07,6.950973e-07,9.954721e-07,1.077893e-06,1.365394e-06,1.602635e-06,1.803762e-06,2.243551e-06,2.307292e-06,2.872280e-06,2.992334e-06,3.495130e-06,3.840693e-06,4.172251e-06,4.780211e-06,4.899855e-06,5.673820e-06,5.801662e-06,6.489644e-06,6.894691e-06,7.342458e-06,8.047876e-06,8.227092e-06,9.138164e-06,9.249008e-06,1.007018e-05,1.048548e-05,1.101765e-05,1.174472e-05,1.197516e-05,1.293751e-05,1.301456e-05,1.389976e-05,1.428359e-05,1.485729e-05,1.554139e-05,1.580585e-05,1.674162e-05,1.677873e-05,1.766117e-05,1.798765e-05,1.856153e-05,1.916148e-05,1.944013e-05,2.029480e-05,2.112378e-05,2.138338e-05,2.192563e-05,2.242407e-05,2.269928e-05,2.341472e-05,2.344394e-05,2.415908e-05,2.435398e-05,2.484442e-05,2.524128e-05,2.549988e-05,2.607662e-05,2.612558e-05,2.672178e-05,2.686051e-05,2.728885e-05,2.759388e-05,2.782732e-05,2.827796e-05,2.833775e-05,2.882082e-05,2.891421e-05,2.927725e-05,2.950431e-05,2.970780e-05,3.005004e-05,3.011326e-05,3.049445e-05,3.055325e-05,3.085221e-05,3.101585e-05,3.118735e-05,3.143976e-05,3.150073e-05,3.179317e-05,3.182690e-05,3.206549e-05,3.217915e-05,3.231851e-05,3.249837e-05,3.255301e-05,3.276977e-05,3.278636e-05,3.296955e-05,3.304487e-05,3.315308e-05,3.327557e-05,3.332108e-05,3.347425e-05,3.348008e-05,3.361326e-05,3.365996e-05,3.373875e-05,3.381668e-05,3.385134e-05,3.395165e-05,3.404025e-05,3.406622e-05,3.411771e-05,3.416168e-05,3.418455e-05,3.423922e-05,3.424131e-05,3.428846e-05,3.430001e-05,3.432650e-05,3.434513e-05,3.435587e-05,3.437562e-05,3.437702e-05,3.439036e-05,3.439245e-05,3.439630e-05,3.439654e-05,3.439523e-05,3.438877e-05,3.438750e-05,3.437349e-05,3.436996e-05,3.435351e-05,3.434088e-05,3.432790e-05,3.430227e-05,3.429697e-05,3.426101e-05,3.425481e-05,3.422031e-05,3.419917e-05,3.417513e-05,3.413594e-05,3.412574e-05,3.407237e-05,3.406571e-05,3.401527e-05,3.398902e-05,3.395466e-05,3.390638e-05,3.389076e-05,3.382376e-05,3.381828e-05,3.375388e-05,3.372516e-05,3.368128e-05,3.362744e-05,3.360616e-05,3.352868e-05,3.352554e-05,3.344901e-05,3.341982e-05,3.336729e-05,3.331063e-05,3.328368e-05,3.319832e-05,3.308318e-05,3.296550e-05,3.284557e-05,3.272364e-05,3.259995e-05,3.247472e-05,3.234817e-05,3.222049e-05,3.209186e-05,3.196246e-05,3.183246e-05,3.170199e-05,3.157120e-05,3.144023e-05,3.130919e-05,3.117820e-05,3.104736e-05,3.091677e-05,3.078653e-05,3.065672e-05,3.052742e-05,3.039870e-05,3.027063e-05,3.014326e-05
0.000000e+00,1.417225e-10,5.538204e-10,4.196946e-09,1.604254e-08,2.963165e-08,1.114035e-07,1.168513e-07,3.364018e-07,4.352792e-07,7.965346e-07,1.249686e-06,1.649784e-06,2.947702e-06,3.089472e-06,5.330067e-06,6.010798e-06,8.582956e-06,1.091941e-05,1.304028e-05,1.809118e-05,1.886758e-05,2.620143e-05,2.785894e-05,3.514919e-05,4.046708e-05,4.578949e-05,5.607306e-05,5.817279e-05,7.232199e-05,7.474985e-05,8.823322e-05,9.648870e-05,1.058767e-04,1.212030e-04,1.251982e-04,1.461203e-04,1.487341e-04,1.685453e-04,1.788590e-04,1.923569e-04,2.113006e-04,2.174236e-04,2.436015e-04,2.457392e-04,2.707374e-04,2.818245e-04,2.986723e-04,3.191891e-04,3.272440e-04,3.562902e-04,3.574596e-04,3.856510e-04,3.962678e-04,4.151713e-04,4.352602e-04,4.447027e-04,4.741049e-04,5.032472e-04,5.124980e-04,5.320094e-04,5.501668e-04,5.602822e-04,5.868726e-04,5.879677e-04,6.149792e-04,6.224112e-04,6.412417e-04,6.566124e-04,6.666907e-04,6.893392e-04,6.912727e-04,7.149438e-04,7.204853e-04,7.376697e-04,7.499733e-04,7.594245e-04,7.777513e-04,7.801906e-04,7.999573e-04,8.037903e-04,8.187207e-04,8.280815e-04,8.364825e-04,8.506333e-04,8.532496e-04,8.690333e-04,8.714684e-04,8.838490e-04,8.906220e-04,8.977152e-04,9.081387e-04,9.106532e-04,9.226867e-04,9.240712e-04,9.338414e-04,9.384779e-04,9.441441e-04,9.514219e-04,9.536233e-04,9.623078e-04,9.629691e-04,9.702272e-04,9.731875e-04,9.774115e-04,9.821458e-04,9.838906e-04,9.896945e-04,9.899131e-04,9.948529e-04,9.965575e-04,9.993950e-04,1.002146e-03,1.003350e-03,1.006745e-03,1.009609e-03,1.010418e-03,1.011969e-03,1.013226e-03,1.013850e-03,1.015229e-03,1.015278e-03,1.016277e-03,1.016483e-03,1.016872e-03,1.017043e-03,1.017084e-03,1.016961e-03,1.016937e-03,1.016451e-03,1.016286e-03,1.015646e-03,1.015063e-03,1.014542e-03,1.013338e-03,1.013158e-03,1.011511e-03,1.011152e-03,1.009620e-03,1.008544e-03,1.007498e-03,1.005551e-03,1.005164e-03,1.002631e-03,1.002208e-03,9.999127e-04,9.985466e-04,9.970237e-04,9.945979e-04,9.939764e-04,9.907829e-04,9.903905e-04,9.874549e-04,9.859508e-04,9.840032e-04,9.813038e-04,9.804384e-04,9.767702e-04,9.764726e-04,9.730081e-04,9.714790e-04,9.691609e-04,9.663430e-04,9.652370e-04,9.612444e-04,9.610833e-04,9.571905e-04,9.557174e-04,9.530824e-04,9.502614e-04,9.489269e-04,9.447302e-04,9.391376e-04,9.334965e-04,9.278186e-04,9.221149e-04,9.163954e-04,9.106692e-04,9.049450e-04,8.992305e-04,8.935327e-04,8.878581e-04,8.822128e-04,8.766020e-04,8.710306e-04,8.655032e-04,8.600235e-04,8.545953e-04,8.492217e-04,8.439056e-04,8.386495e-04,8.334556e-04,8.283259e-04,8.232620e-04,8.182655e-04,8.133375e-04
0.000000e+00,8.781810e-10,2.489460e-09,1.090075e-08,2.787616e-08,4.248984e-08,1.040716e-07,1.074547e-07,2.172492e-07,2.576006e-07,3.835385e-07,5.155162e-07,6.186276e-07,9.068369e-07,9.355077e-07,1.347094e-06,1.461246e-06,1.864047e-06,2.201675e-06,2.491059e-06,3.130424e-06,3.223498e-06,4.047788e-06,4.222095e-06,4.945824e-06,5.435900e-06,5.899653e-06,6.732551e-06,6.893757e-06,7.915331e-06,8.080596e-06,8.953744e-06,9.455471e-06,9.999996e-06,1.083738e-05,1.104631e-05,1.208588e-05,1.220989e-05,1.311280e-05,1.355927e-05,1.412189e-05,1.487417e-05,1.510879e-05,1.606979e-05,1.614546e-05,1.700188e-05,1.736607e-05,1.790269e-05,1.853085e-05,1.877038e-05,1.960365e-05,1.963625e-05,2.040166e-05,2.068021e-05,2.116394e-05,2.166182e-05,2.189039e-05,2.258117e-05,2.323669e-05,2.343910e-05,2.385754e-05,2.423703e-05,2.444447e-05,2.497682e-05,2.499836e-05,2.552015e-05,2.566064e-05,2.601089e-05,2.629086e-05,2.647163e-05,2.686997e-05,2.690348e-05,2.730754e-05,2.740051e-05,2.768493e-05,2.788504e-05,2.803677e-05,2.832611e-05,2.836414e-05,2.866812e-05,2.872620e-05,2.894977e-05,2.908773e-05,2.921010e-05,2.941303e-05,2.945011e-05,2.967077e-05,2.970434e-05,2.987301e-05,2.996380e-05,3.005771e-05,3.019344e-05,3.022576e-05,3.037796e-05,3.039520e-05,3.051513e-05,3.057092e-05,3.063803e-05,3.072234e-05,3.074739e-05,3.084391e-05,3.085110e-05,3.092826e-05,3.095874e-05,3.100109e-05,3.104673e-05,3.106300e-05,3.111459e-05,3.111644e-05,3.115641e-05,3.116917e-05,3.118899e-05,3.120613e-05,3.121284e-05,3.122846e-05,3.123630e-05,3.123724e-05,3.123680e-05,3.123347e-05,3.123039e-05,3.121809e-05,3.121746e-05,3.119839e-05,3.119200e-05,3.117356e-05,3.115603e-05,3.114329e-05,3.111094e-05,3.110793e-05,3.106779e-05,3.105747e-05,3.102315e-05,3.099631e-05,3.097432e-05,3.092808e-05,3.092155e-05,3.086510e-05,3.085339e-05,3.080521e-05,3.077279e-05,3.074212e-05,3.068682e-05,3.067605e-05,3.060720e-05,3.059594e-05,3.053578e-05,3.050063e-05,3.046196e-05,3.040131e-05,3.038594e-05,3.030787e-05,3.029838e-05,3.022793e-05,3.019220e-05,3.014626e-05,3.008313e-05,3.006301e-05,2.997832e-05,2.997148e-05,2.989231e-05,2.985757e-05,2.980512e-05,2.974167e-05,2.971685e-05,2.962762e-05,2.962404e-05,2.953754e-05,2.950492e-05,2.944671e-05,2.938455e-05,2.935521e-05,2.926314e-05,2.914088e-05,2.901796e-05,2.889454e-05,2.877078e-05,2.864683e-05,2.852283e-05,2.839889e-05,2.827514e-05,2.815169e-05,2.802862e-05,2.790604e-05,2.778403e-05,2.766267e-05,2.754202e-05,2.742215e-05,2.730313e-05,2.718500e-05,2.706782e-05,2.695163e-05,2.683647e-05,2.672238e-05,2.660939e-05,2.649753e-05,2.638683e-05
0.000000e+00,2.973176e-09,8.947530e-09,4.259608e-08,1.143756e-07,1.779373e-07,4.541404e-07,4.695779e-07,9.801988e-07,1.171601e-06,1.778712e-06,2.427356e-06,2.940472e-06,4.389014e-06,4.533393e-06,6.590018e-06,7.151976e-06,9.098639e-06,1.068863e-05,1.202595e-05,1.492103e-05,1.533771e-05,1.900358e-05,1.977674e-05,2.299506e-05,2.518972e-05,2.728302e-05,3.109137e-05,3.183639e-05,3.662193e-05,3.740684e-05,4.160459e-05,4.405571e-05,4.674829e-05,5.095483e-05,5.201679e-05,5.737450e-05,5.802179e-05,6.278736e-05,6.517816e-05,6.822339e-05,7.235203e-05,7.365311e-05,7.904983e-05,7.947941e-05,8.438986e-05,8.650528e-05,8.965256e-05,9.338375e-05,9.482019e-05,9.987781e-05,1.000776e-04,1.048131e-04,1.065579e-04,1.096162e-04,1.128026e-04,1.142792e-04,1.187962e-04,1.231632e-04,1.245285e-04,1.273774e-04,1.299935e-04,1.314372e-04,1.351891e-04,1.353423e-04,1.390932e-04,1.401160e-04,1.426912e-04,1.447773e-04,1.461380e-04,1.491777e-04,1.494362e-04,1.525885e-04,1.533237e-04,1.555981e-04,1.572225e-04,1.584685e-04,1.608819e-04,1.612030e-04,1.638056e-04,1.643106e-04,1.662800e-04,1.675174e-04,1.686302e-04,1.705112e-04,1.708601e-04,1.729735e-04,1.733011e-04,1.749745e-04,1.758962e-04,1.768670e-04,1.783054e-04,1.786548e-04,1.803417e-04,1.805375e-04,1.819314e-04,1.826011e-04,1.834277e-04,1.845046e-04,1.848341e-04,1.861541e-04,1.862561e-04,1.873911e-04,1.878635e-04,1.885486e-04,1.893344e-04,1.896296e-04,1.906374e-04,1.906763e-04,1.915751e-04,1.918960e-04,1.924455e-04,1.930006e-04,1.932517e-04,1.939963e-04,1.946821e-04,1.948896e-04,1.953117e-04,1.956863e-04,1.958876e-04,1.963923e-04,1.964123e-04,1.968881e-04,1.970128e-04,1.973172e-04,1.975533e-04,1.977020e-04,1.980185e-04,1.980444e-04,1.983466e-04,1.984133e-04,1.986104e-04,1.987422e-04,1.988379e-04,1.990094e-04,1.990307e-04,1.991907e-04,1.992190e-04,1.993196e-04,1.993748e-04,1.994189e-04,1.994807e-04,1.994903e-04,1.995352e-04,1.995400e-04,1.995550e-04,1.995560e-04,1.995511e-04,1.995319e-04,1.995249e-04,1.994777e-04,1.994706e-04,1.994106e-04,1.993750e-04,1.993247e-04,1.992477e-04,1.992214e-04,1.991015e-04,1.990912e-04,1.989661e-04,1.989079e-04,1.988163e-04,1.987000e-04,1.986529e-04,1.984769e-04,1.984696e-04,1.982890e-04,1.982187e-04,1.980902e-04,1.979492e-04,1.978813e-04,1.976628e-04,1.973613e-04,1.970461e-04,1.967188e-04,1.963806e-04,1.960330e-04,1.956770e-04,1.953139e-04,1.949447e-04,1.945704e-04,1.941919e-04,1.938100e-04,1.934257e-04,1.930395e-04,1.926523e-04,1.922647e-04,1.918772e-04,1.914904e-04,1.911048e-04,1.907209e-04,1.903392e-04,1.899599e-04,1.895836e-04,1.892105e-04,1.888409e-04
0.000000e+00,1.756928e-09,4.653651e-09,1.878144e-08,4.614424e-08,6.930102e-08,1.655139e-07,1.707660e-07,3.403911e-07,4.024873e-07,5.958635e-07,7.980824e-07,9.558662e-07,1.396065e-06,1.439782e-06,2.065356e-06,2.238036e-06,2.843888e-06,3.347475e-06,3.776413e-06,4.718520e-06,4.855365e-06,6.069584e-06,6.327649e-06,7.407730e-06,8.148995e-06,8.859196e-06,1.015860e-05,1.041388e-05,1.206175e-05,1.233338e-05,1.379259e-05,1.464980e-05,1.559592e-05,1.708354e-05,1.746097e-05,1.937686e-05,1.960967e-05,2.133275e-05,2.220326e-05,2.331800e-05,2.484010e-05,2.532236e-05,2.733608e-05,2.749731e-05,2.935008e-05,3.015386e-05,3.135600e-05,3.279100e-05,3.334630e-05,3.531407e-05,3.539223e-05,3.725337e-05,3.794351e-05,3.915896e-05,4.043323e-05,4.102643e-05,4.285205e-05,4.463274e-05,4.519266e-05,4.636604e-05,4.744957e-05,4.805002e-05,4.961889e-05,4.968323e-05,5.126467e-05,5.169810e-05,5.279369e-05,5.368579e-05,5.426997e-05,5.558155e-05,5.569350e-05,5.706447e-05,5.738573e-05,5.838330e-05,5.909927e-05,5.965056e-05,6.072366e-05,6.086697e-05,6.203337e-05,6.226073e-05,6.315070e-05,6.371265e-05,6.421996e-05,6.508177e-05,6.524222e-05,6.621859e-05,6.637062e-05,6.715021e-05,6.758184e-05,6.803825e-05,6.871810e-05,6.888390e-05,6.968834e-05,6.978216e-05,7.045275e-05,7.077673e-05,7.117834e-05,7.170453e-05,7.186626e-05,7.251770e-05,7.256827e-05,7.313379e-05,7.337058e-05,7.371567e-05,7.411407e-05,7.426446e-05,7.478125e-05,7.480127e-05,7.526711e-05,7.543465e-05,7.572308e-05,7.601660e-05,7.615020e-05,7.654946e-05,7.692184e-05,7.703548e-05,7.726829e-05,7.747684e-05,7.758974e-05,7.787565e-05,7.788709e-05,7.816122e-05,7.823393e-05,7.841297e-05,7.855363e-05,7.864319e-05,7.883665e-05,7.885267e-05,7.904219e-05,7.908479e-05,7.921252e-05,7.929979e-05,7.936439e-05,7.948332e-05,7.949850e-05,7.961557e-05,7.963699e-05,7.971624e-05,7.976233e-05,7.980117e-05,7.986082e-05,7.987100e-05,7.992632e-05,7.993387e-05,7.996773e-05,7.998283e-05,7.999579e-05,8.000900e-05,8.001106e-05,8.001406e-05,8.001362e-05,8.000532e-05,7.999788e-05,7.998533e-05,7.996291e-05,7.995457e-05,7.991351e-05,7.990979e-05,7.986259e-05,7.983957e-05,7.980226e-05,7.975322e-05,7.973292e-05,7.965499e-05,7.965170e-05,7.956885e-05,7.953591e-05,7.947489e-05,7.940671e-05,7.937346e-05,7.926492e-05,7.911132e-05,7.894667e-05,7.877167e-05,7.858700e-05,7.839331e-05,7.819122e-05,7.798132e-05,7.776416e-05,7.754027e-05,7.731016e-05,7.707431e-05,7.683319e-05,7.658721e-05,7.633681e-05,7.608237e-05,7.582426e-05,7.556284e-05,7.529844e-05,7.503139e-05,7.476199e-05,7.449052e-05,7.421726e-05,7.394246e-05,7.366638e-05
0.000000e+00,1.187059e-10,4.548190e-10,3.307813e-09,1.217400e-08,2.201901e-08,7.834713e-08,8.199219e-08,2.231760e-07,2.843463e-07,5.004475e-07,7.610747e-07,9.851325e-07,1.689898e-06,1.765525e-06,2.940526e-06,3.291938e-06,4.602571e-06,5.772512e-06,6.818996e-06,9.255938e-06,9.623985e-06,1.302144e-05,1.377068e-05,1.699248e-05,1.927320e-05,2.150298e-05,2.567698e-05,2.650934e-05,3.196240e-05,3.287288e-05,3.780986e-05,4.074092e-05,4.399778e-05,4.915661e-05,5.047163e-05,5.717702e-05,5.799467e-05,6.406037e-05,6.713192e-05,7.106956e-05,7.644984e-05,7.815458e-05,8.526805e-05,8.583701e-05,9.236580e-05,9.519127e-05,9.940721e-05,1.044214e-04,1.063556e-04,1.131783e-04,1.134482e-04,1.198469e-04,1.222051e-04,1.263371e-04,1.306379e-04,1.326284e-04,1.387044e-04,1.445521e-04,1.463734e-04,1.501617e-04,1.536237e-04,1.555265e-04,1.604425e-04,1.606423e-04,1.655074e-04,1.668246e-04,1.701218e-04,1.727709e-04,1.744874e-04,1.782869e-04,1.786076e-04,1.824868e-04,1.833825e-04,1.861304e-04,1.880702e-04,1.895447e-04,1.923650e-04,1.927365e-04,1.957131e-04,1.962832e-04,1.984819e-04,1.998422e-04,2.010509e-04,2.030601e-04,2.034278e-04,2.056207e-04,2.059550e-04,2.076373e-04,2.085450e-04,2.094856e-04,2.108481e-04,2.111731e-04,2.127075e-04,2.128817e-04,2.140960e-04,2.146626e-04,2.153459e-04,2.162073e-04,2.164640e-04,2.174571e-04,2.175313e-04,2.183316e-04,2.186496e-04,2.190938e-04,2.195764e-04,2.197496e-04,2.203049e-04,2.203251e-04,2.207651e-04,2.209085e-04,2.211355e-04,2.213387e-04,2.214213e-04,2.216272e-04,2.217579e-04,2.217845e-04,2.218178e-04,2.218209e-04,2.218111e-04,2.217459e-04,2.217419e-04,2.216141e-04,2.215683e-04,2.214312e-04,2.212965e-04,2.211967e-04,2.209383e-04,2.209140e-04,2.205862e-04,2.205012e-04,2.202164e-04,2.199919e-04,2.198072e-04,2.194169e-04,2.193616e-04,2.188820e-04,2.187822e-04,2.183709e-04,2.180935e-04,2.178306e-04,2.173558e-04,2.172633e-04,2.166711e-04,2.165741e-04,2.160559e-04,2.157531e-04,2.154197e-04,2.148967e-04,2.147642e-04,2.140911e-04,2.140092e-04,2.134019e-04,2.130940e-04,2.126982e-04,2.121546e-04,2.119815e-04,2.112530e-04,2.111942e-04,2.105140e-04,2.102157e-04,2.097657e-04,2.092218e-04,2.090093e-04,2.082458e-04,2.082151e-04,2.074762e-04,2.071979e-04,2.067016e-04,2.061723e-04,2.059227e-04,2.051404e-04,2.041039e-04,2.030647e-04,2.020242e-04,2.009840e-04,1.999453e-04,1.989093e-04,1.978772e-04,1.968500e-04,1.958286e-04,1.948139e-04,1.938066e-04,1.928074e-04,1.918170e-04,1.908359e-04,1.898647e-04,1.889038e-04,1.879536e-04,1.870144e-04,1.860867e-04,1.851705e-04,1.842663e-04,1.833742e-04,1.824944e-04,1.816269e-04
0.000000e+00,1.189345e-09,2.759692e-09,9.515225e-09,2.145355e-08,3.108116e-08,6.903562e-08,7.104768e-08,1.341708e-07,1.566358e-07,2.251712e-07,2.951384e-07,3.488117e-07,4.952662e-07,5.095870e-07,7.109747e-07,7.655590e-07,9.542553e-07,1.108106e-06,1.237088e-06,1.513231e-06,1.552446e-06,1.888950e-06,1.957606e-06,2.233167e-06,2.410989e-06,2.572736e-06,2.847556e-06,2.898471e-06,3.204704e-06,3.251670e-06,3.488591e-06,3.616592e-06,3.749192e-06,3.941032e-06,3.986731e-06,4.202093e-06,4.226503e-06,4.396525e-06,4.475810e-06,4.571458e-06,4.692286e-06,4.728389e-06,4.868822e-06,4.879389e-06,4.994227e-06,5.040497e-06,5.106004e-06,5.178791e-06,5.205475e-06,5.293867e-06,5.297188e-06,5.372309e-06,5.398314e-06,5.441832e-06,5.484492e-06,5.503368e-06,5.557755e-06,5.605745e-06,5.619862e-06,5.648008e-06,5.672329e-06,5.685139e-06,5.716444e-06,5.717663e-06,5.746046e-06,5.753308e-06,5.770699e-06,5.783854e-06,5.791986e-06,5.808872e-06,5.810226e-06,5.825704e-06,5.829036e-06,5.838670e-06,5.844918e-06,5.849347e-06,5.857005e-06,5.857930e-06,5.864597e-06,5.865715e-06,5.869504e-06,5.871407e-06,5.872790e-06,5.874392e-06,5.874583e-06,5.874995e-06,5.874940e-06,5.874128e-06,5.873286e-06,5.872077e-06,5.869639e-06,5.868924e-06,5.864747e-06,5.864181e-06,5.859618e-06,5.857075e-06,5.853599e-06,5.848467e-06,5.846751e-06,5.839128e-06,5.838486e-06,5.830782e-06,5.827251e-06,5.821759e-06,5.814869e-06,5.812104e-06,5.801856e-06,5.801435e-06,5.791055e-06,5.787038e-06,5.779736e-06,5.771760e-06,5.767932e-06,5.755675e-06,5.742993e-06,5.738850e-06,5.729916e-06,5.721351e-06,5.716469e-06,5.703234e-06,5.702676e-06,5.688562e-06,5.684555e-06,5.674147e-06,5.665363e-06,5.659453e-06,5.645706e-06,5.644500e-06,5.629306e-06,5.625626e-06,5.613889e-06,5.605165e-06,5.598266e-06,5.584360e-06,5.582453e-06,5.566465e-06,5.563247e-06,5.550316e-06,5.541860e-06,5.534020e-06,5.520228e-06,5.517590e-06,5.501039e-06,5.498381e-06,5.484379e-06,5.476346e-06,5.467620e-06,5.454149e-06,5.450773e-06,5.433849e-06,5.431813e-06,5.416857e-06,5.409361e-06,5.399806e-06,5.386814e-06,5.382706e-06,5.365565e-06,5.364192e-06,5.348390e-06,5.341512e-06,5.331189e-06,5.318792e-06,5.313970e-06,5.296739e-06,5.296049e-06,5.279503e-06,5.273298e-06,5.262268e-06,5.250552e-06,5.245040e-06,5.227826e-06,5.205131e-06,5.182480e-06,5.159884e-06,5.137353e-06,5.114896e-06,5.092523e-06,5.070241e-06,5.048060e-06,5.025985e-06,5.004025e-06,4.982185e-06,4.960471e-06,4.938889e-06,4.917444e-06,4.896140e-06,4.874983e-06,4.853975e-06,4.833121e-06,4.812424e-06,4.791887e-06,4.771514e-06,4.751305e-06,4.731265e-06,4.711395e-06
0.000000e+00,1.705373e-10,5.956931e-10,3.616619e-09,1.143245e-08,1.911159e-08,5.627774e-08,5.846816e-08,1.343921e-07,1.639813e-07,2.600112e-07,3.647836e-07,4.485652e-07,6.873900e-07,7.113218e-07,1.054105e-06,1.148337e-06,1.476490e-06,1.746294e-06,1.974245e-06,2.470123e-06,2.541696e-06,3.172639e-06,3.305870e-06,3.860409e-06,4.238128e-06,4.597769e-06,5.249780e-06,5.376915e-06,6.189617e-06,6.322201e-06,7.027446e-06,7.436064e-06,7.882041e-06,8.572372e-06,8.745366e-06,9.609925e-06,9.713425e-06,1.046893e-05,1.084355e-05,1.131638e-05,1.194952e-05,1.214714e-05,1.295694e-05,1.302071e-05,1.374234e-05,1.404904e-05,1.450065e-05,1.502874e-05,1.522991e-05,1.592876e-05,1.595606e-05,1.659636e-05,1.682897e-05,1.723235e-05,1.764676e-05,1.783673e-05,1.840979e-05,1.895208e-05,1.911923e-05,1.946433e-05,1.977680e-05,1.994741e-05,2.038462e-05,2.040229e-05,2.083002e-05,2.094507e-05,2.123169e-05,2.146064e-05,2.160841e-05,2.193392e-05,2.196130e-05,2.229147e-05,2.236746e-05,2.260002e-05,2.276377e-05,2.288802e-05,2.312529e-05,2.315651e-05,2.340649e-05,2.345435e-05,2.363892e-05,2.375317e-05,2.385475e-05,2.402386e-05,2.405486e-05,2.424009e-05,2.426841e-05,2.441127e-05,2.448867e-05,2.456916e-05,2.468640e-05,2.471450e-05,2.484798e-05,2.486323e-05,2.497026e-05,2.502068e-05,2.508198e-05,2.516019e-05,2.518373e-05,2.527607e-05,2.528307e-05,2.535954e-05,2.539056e-05,2.543464e-05,2.548380e-05,2.550185e-05,2.556162e-05,2.556387e-05,2.561439e-05,2.563175e-05,2.566055e-05,2.568837e-05,2.570050e-05,2.573458e-05,2.576315e-05,2.577118e-05,2.578653e-05,2.579891e-05,2.580502e-05,2.581845e-05,2.581892e-05,2.582850e-05,2.583044e-05,2.583402e-05,2.583548e-05,2.583572e-05,2.583411e-05,2.583383e-05,2.582858e-05,2.582684e-05,2.582016e-05,2.581415e-05,2.580879e-05,2.579648e-05,2.579464e-05,2.577789e-05,2.577424e-05,2.575870e-05,2.574781e-05,2.573723e-05,2.571754e-05,2.571363e-05,2.568804e-05,2.568378e-05,2.566060e-05,2.564681e-05,2.563143e-05,2.560692e-05,2.560064e-05,2.556836e-05,2.556439e-05,2.553468e-05,2.551945e-05,2.549972e-05,2.547234e-05,2.546356e-05,2.542629e-05,2.542327e-05,2.538801e-05,2.537243e-05,2.534879e-05,2.532002e-05,2.530871e-05,2.526785e-05,2.526620e-05,2.522626e-05,2.521113e-05,2.518402e-05,2.515496e-05,2.514119e-05,2.509783e-05,2.503987e-05,2.498120e-05,2.492192e-05,2.486215e-05,2.480197e-05,2.474148e-05,2.468076e-05,2.461989e-05,2.455894e-05,2.449797e-05,2.443704e-05,2.437622e-05,2.431555e-05,2.425509e-05,2.419487e-05,2.413495e-05,2.407535e-05,2.401612e-05,2.395728e-05,2.389887e-05,2.384092e-05,2.378344e-05,2.372646e-05,2.367000e-05
0.000000e+00,1.110033e-09,3.618698e-09,1.951090e-08,5.683081e-08,9.173622e-08,2.544375e-07,2.639352e-07,5.964179e-07,7.288722e-07,1.169964e-06,1.663569e-06,2.060375e-06,3.169511e-06,3.277874e-06,4.770163e-06,5.162546e-06,6.481220e-06,7.521003e-06,8.375553e-06,1.017776e-05,1.043272e-05,1.263845e-05,1.309626e-05,1.497934e-05,1.624520e-05,1.744062e-05,1.958881e-05,2.000537e-05,2.265463e-05,2.308501e-05,2.536795e-05,2.668684e-05,2.812397e-05,3.034507e-05,3.090119e-05,3.367859e-05,3.401093e-05,3.643625e-05,3.763858e-05,3.915582e-05,4.118700e-05,4.182082e-05,4.441690e-05,4.462123e-05,4.693190e-05,4.791290e-05,4.935587e-05,5.104029e-05,5.168099e-05,5.390146e-05,5.398804e-05,5.601331e-05,5.674649e-05,5.801418e-05,5.931086e-05,5.990315e-05,6.168052e-05,6.334759e-05,6.385809e-05,6.490650e-05,6.584870e-05,6.636003e-05,6.765937e-05,6.771151e-05,6.896461e-05,6.929838e-05,7.012326e-05,7.077484e-05,7.119160e-05,7.209830e-05,7.217381e-05,7.307413e-05,7.327848e-05,7.389675e-05,7.432502e-05,7.464581e-05,7.524733e-05,7.532533e-05,7.593923e-05,7.605447e-05,7.649127e-05,7.675509e-05,7.698506e-05,7.735735e-05,7.742404e-05,7.781152e-05,7.786895e-05,7.815063e-05,7.829709e-05,7.844432e-05,7.864846e-05,7.869540e-05,7.890652e-05,7.892929e-05,7.908020e-05,7.914537e-05,7.921880e-05,7.930203e-05,7.932453e-05,7.939949e-05,7.940422e-05,7.944566e-05,7.945648e-05,7.946488e-05,7.946302e-05,7.945890e-05,7.942936e-05,7.942771e-05,7.937780e-05,7.935413e-05,7.930566e-05,7.924555e-05,7.921430e-05,7.910501e-05,7.897897e-05,7.893529e-05,7.883732e-05,7.873896e-05,7.868112e-05,7.851840e-05,7.851136e-05,7.832897e-05,7.827577e-05,7.813485e-05,7.801308e-05,7.792981e-05,7.773220e-05,7.771463e-05,7.749004e-05,7.743482e-05,7.725674e-05,7.712252e-05,7.701536e-05,7.679676e-05,7.676652e-05,7.651079e-05,7.645887e-05,7.624871e-05,7.611009e-05,7.598079e-05,7.575157e-05,7.570750e-05,7.542930e-05,7.538436e-05,7.514661e-05,7.500944e-05,7.485983e-05,7.462771e-05,7.456933e-05,7.427548e-05,7.424001e-05,7.397860e-05,7.384710e-05,7.367902e-05,7.344970e-05,7.337701e-05,7.307288e-05,7.304847e-05,7.276688e-05,7.264401e-05,7.245926e-05,7.223690e-05,7.215025e-05,7.184007e-05,7.182764e-05,7.152894e-05,7.141674e-05,7.121705e-05,7.100462e-05,7.090458e-05,7.059172e-05,7.017840e-05,6.976502e-05,6.935191e-05,6.893937e-05,6.852768e-05,6.811709e-05,6.770784e-05,6.730016e-05,6.689423e-05,6.649025e-05,6.608839e-05,6.568881e-05,6.529163e-05,6.489701e-05,6.450505e-05,6.411587e-05,6.372956e-05,6.334622e-05,6.296592e-05,6.258874e-05,6.221475e-05,6.184400e-05,6.147654e-05,6.111242e-05
0.000000e+00,3.538828e-09,8.259762e-09,2.911324e-08,6.740537e-08,9.929719e-08,2.319033e-07,2.392047e-07,4.802969e-07,5.712390e-07,8.628410e-07,1.178079e-06,1.428031e-06,2.125164e-06,2.193586e-06,3.146175e-06,3.400161e-06,4.264614e-06,4.957551e-06,5.533999e-06,6.768583e-06,6.945184e-06,8.491541e-06,8.816489e-06,1.016678e-05,1.108656e-05,1.196388e-05,1.356161e-05,1.387458e-05,1.588939e-05,1.622072e-05,1.799768e-05,1.903952e-05,2.018798e-05,2.199118e-05,2.244824e-05,2.476619e-05,2.504763e-05,2.712956e-05,2.818075e-05,2.952643e-05,3.136340e-05,3.194537e-05,3.437565e-05,3.457026e-05,3.680733e-05,3.777833e-05,3.923132e-05,4.096721e-05,4.163945e-05,4.402451e-05,4.411934e-05,4.638018e-05,4.721994e-05,4.870097e-05,5.025677e-05,5.098221e-05,5.321994e-05,5.541090e-05,5.610169e-05,5.755250e-05,5.889624e-05,5.964263e-05,6.159904e-05,6.167948e-05,6.366184e-05,6.420701e-05,6.558885e-05,6.671823e-05,6.745993e-05,6.913167e-05,6.927478e-05,7.103338e-05,7.144708e-05,7.273587e-05,7.366486e-05,7.438255e-05,7.578580e-05,7.597385e-05,7.751035e-05,7.781113e-05,7.899273e-05,7.974242e-05,8.042174e-05,8.158146e-05,8.179820e-05,8.312301e-05,8.333024e-05,8.439708e-05,8.499090e-05,8.562139e-05,8.656568e-05,8.679693e-05,8.792473e-05,8.805690e-05,8.900580e-05,8.946695e-05,9.004121e-05,9.079821e-05,9.103199e-05,9.197920e-05,9.205313e-05,9.288391e-05,9.323412e-05,9.374716e-05,9.434361e-05,9.457000e-05,9.535347e-05,9.538400e-05,9.609860e-05,9.635766e-05,9.680642e-05,9.726694e-05,9.747794e-05,9.811415e-05,9.871604e-05,9.890155e-05,9.928457e-05,9.963137e-05,9.982071e-05,1.003058e-04,1.003254e-04,1.007995e-04,1.009269e-04,1.012440e-04,1.014969e-04,1.016598e-04,1.020177e-04,1.020477e-04,1.024086e-04,1.024913e-04,1.027433e-04,1.029196e-04,1.030526e-04,1.033045e-04,1.033374e-04,1.035984e-04,1.036478e-04,1.038364e-04,1.039513e-04,1.040522e-04,1.042167e-04,1.042464e-04,1.044198e-04,1.044457e-04,1.045731e-04,1.046397e-04,1.047070e-04,1.048005e-04,1.048221e-04,1.049191e-04,1.049295e-04,1.049986e-04,1.050282e-04,1.050612e-04,1.050979e-04,1.051076e-04,1.051382e-04,1.051400e-04,1.051538e-04,1.051559e-04,1.051548e-04,1.051468e-04,1.051418e-04,1.051153e-04,1.051139e-04,1.050757e-04,1.050584e-04,1.050237e-04,1.049815e-04,1.049597e-04,1.048842e-04,1.047675e-04,1.046326e-04,1.044803e-04,1.043117e-04,1.041276e-04,1.039288e-04,1.037163e-04,1.034908e-04,1.032531e-04,1.030039e-04,1.027440e-04,1.024740e-04,1.021945e-04,1.019063e-04,1.016099e-04,1.013058e-04,1.009947e-04,1.006770e-04,1.003533e-04,1.000240e-04,9.968960e-05,9.935055e-05,9.900727e-05,9.866016e-05
0.000000e+00,4.540829e-11,1.684410e-10,1.146215e-09,3.972240e-09,6.951692e-09,2.271097e-08,2.368472e-08,5.914939e-08,7.359030e-08,1.218851e-07,1.762756e-07,2.206959e-07,3.510517e-07,3.644044e-07,5.614299e-07,6.174727e-07,8.186855e-07,9.906071e-07,1.139852e-06,1.474845e-06,1.524166e-06,1.966688e-06,2.061527e-06,2.459673e-06,2.732984e-06,2.994077e-06,3.468191e-06,3.560624e-06,4.150391e-06,4.246342e-06,4.755043e-06,5.048284e-06,5.366903e-06,5.856843e-06,5.978954e-06,6.584844e-06,6.656860e-06,7.178900e-06,7.435229e-06,7.756151e-06,8.180980e-06,8.312347e-06,8.843973e-06,8.885354e-06,9.348248e-06,9.541811e-06,9.823096e-06,1.014595e-05,1.026711e-05,1.067949e-05,1.069533e-05,1.106000e-05,1.118920e-05,1.140883e-05,1.162826e-05,1.172662e-05,1.201430e-05,1.227306e-05,1.234998e-05,1.250430e-05,1.263853e-05,1.270950e-05,1.288347e-05,1.289025e-05,1.304817e-05,1.308852e-05,1.318488e-05,1.325739e-05,1.330197e-05,1.339371e-05,1.340100e-05,1.348345e-05,1.350093e-05,1.355075e-05,1.358232e-05,1.360423e-05,1.364085e-05,1.364513e-05,1.367463e-05,1.367925e-05,1.369379e-05,1.370001e-05,1.370363e-05,1.370536e-05,1.370506e-05,1.369891e-05,1.369727e-05,1.368595e-05,1.367752e-05,1.366689e-05,1.364768e-05,1.364237e-05,1.361296e-05,1.360913e-05,1.357920e-05,1.356309e-05,1.354156e-05,1.351064e-05,1.350049e-05,1.345636e-05,1.345271e-05,1.340955e-05,1.339014e-05,1.336037e-05,1.332366e-05,1.330911e-05,1.325606e-05,1.325390e-05,1.320143e-05,1.318143e-05,1.314546e-05,1.310674e-05,1.308835e-05,1.303026e-05,1.297136e-05,1.295237e-05,1.291181e-05,1.287341e-05,1.285173e-05,1.279368e-05,1.279125e-05,1.273048e-05,1.271342e-05,1.266951e-05,1.263287e-05,1.260843e-05,1.255223e-05,1.254734e-05,1.248630e-05,1.247167e-05,1.242539e-05,1.239135e-05,1.236466e-05,1.231141e-05,1.230416e-05,1.224396e-05,1.223196e-05,1.218409e-05,1.215311e-05,1.212460e-05,1.207495e-05,1.206553e-05,1.200690e-05,1.199756e-05,1.194874e-05,1.192101e-05,1.189109e-05,1.184535e-05,1.183397e-05,1.177740e-05,1.177065e-05,1.172140e-05,1.169694e-05,1.166598e-05,1.162426e-05,1.161116e-05,1.155696e-05,1.155265e-05,1.150338e-05,1.148212e-05,1.145043e-05,1.141271e-05,1.139813e-05,1.134648e-05,1.134443e-05,1.129548e-05,1.127728e-05,1.124514e-05,1.121129e-05,1.119547e-05,1.114646e-05,1.108279e-05,1.102029e-05,1.095894e-05,1.089876e-05,1.083974e-05,1.078186e-05,1.072513e-05,1.066953e-05,1.061505e-05,1.056169e-05,1.050943e-05,1.045825e-05,1.040815e-05,1.035910e-05,1.031111e-05,1.026414e-05,1.021819e-05,1.017323e-05,1.012927e-05,1.008626e-05,1.004421e-05,1.000310e-05,9.962901e-06,9.923605e-06
0.000000e+00,7.045535e-11,2.730466e-10,2.034432e-09,7.661700e-09,1.404124e-08,5.180469e-08,5.429905e-08,1.538172e-07,1.982544e-07,3.596748e-07,5.612877e-07,7.392604e-07,1.320245e-06,1.384196e-06,2.410025e-06,2.727216e-06,3.945681e-06,5.074180e-06,6.111066e-06,8.606902e-06,8.992131e-06,1.262625e-05,1.344318e-05,1.700150e-05,1.955330e-05,2.206508e-05,2.679110e-05,2.773509e-05,3.391184e-05,3.493997e-05,4.048726e-05,4.375286e-05,4.735198e-05,5.298081e-05,5.440030e-05,6.153353e-05,6.239086e-05,6.866200e-05,7.177615e-05,7.570621e-05,8.096069e-05,8.259729e-05,8.927689e-05,8.980062e-05,9.569696e-05,9.818340e-05,1.018191e-04,1.060256e-04,1.076137e-04,1.130595e-04,1.132699e-04,1.181425e-04,1.198818e-04,1.228548e-04,1.258463e-04,1.271945e-04,1.311641e-04,1.347701e-04,1.358487e-04,1.380222e-04,1.399234e-04,1.409326e-04,1.434183e-04,1.435156e-04,1.457866e-04,1.463688e-04,1.477623e-04,1.488131e-04,1.494598e-04,1.507908e-04,1.508966e-04,1.520901e-04,1.523422e-04,1.530575e-04,1.535069e-04,1.538159e-04,1.543232e-04,1.543814e-04,1.547698e-04,1.548275e-04,1.549960e-04,1.550542e-04,1.550741e-04,1.550351e-04,1.550175e-04,1.548385e-04,1.547994e-04,1.545490e-04,1.543739e-04,1.541596e-04,1.537830e-04,1.536805e-04,1.531209e-04,1.530487e-04,1.524893e-04,1.521907e-04,1.517938e-04,1.512268e-04,1.510414e-04,1.502388e-04,1.501726e-04,1.493922e-04,1.490424e-04,1.485069e-04,1.478486e-04,1.475882e-04,1.466406e-04,1.466022e-04,1.456683e-04,1.453130e-04,1.446751e-04,1.439896e-04,1.436645e-04,1.426396e-04,1.416033e-04,1.412697e-04,1.405582e-04,1.398857e-04,1.395065e-04,1.384927e-04,1.384504e-04,1.373918e-04,1.370952e-04,1.363325e-04,1.356971e-04,1.352738e-04,1.343018e-04,1.342174e-04,1.331643e-04,1.329122e-04,1.321157e-04,1.315308e-04,1.310726e-04,1.301599e-04,1.300359e-04,1.290064e-04,1.288014e-04,1.279848e-04,1.274569e-04,1.269717e-04,1.261277e-04,1.259677e-04,1.249733e-04,1.248151e-04,1.239888e-04,1.235200e-04,1.230148e-04,1.222432e-04,1.220514e-04,1.210990e-04,1.209854e-04,1.201578e-04,1.197473e-04,1.192280e-04,1.185291e-04,1.183098e-04,1.174032e-04,1.173312e-04,1.165085e-04,1.161539e-04,1.156257e-04,1.149974e-04,1.147548e-04,1.138959e-04,1.138618e-04,1.130490e-04,1.127470e-04,1.122141e-04,1.116532e-04,1.113911e-04,1.105801e-04,1.095279e-04,1.084962e-04,1.074850e-04,1.064940e-04,1.055232e-04,1.045721e-04,1.036406e-04,1.027284e-04,1.018353e-04,1.009609e-04,1.001050e-04,9.926722e-05,9.844731e-05,9.764494e-05,9.685980e-05,9.609157e-05,9.533993e-05,9.460457e-05,9.388517e-05,9.318141e-05,9.249298e-05,9.181956e-05,9.116084e-05,9.051651e-05
0.000000e+00,6.158680e-10,1.420575e-09,4.925710e-09,1.125215e-08,1.644065e-08,3.738519e-08,3.851225e-08,7.446504e-08,8.748291e-08,1.277390e-07,1.695303e-07,2.019932e-07,2.921164e-07,3.010396e-07,4.283380e-07,4.633674e-07,5.859506e-07,6.874931e-07,7.737545e-07,9.625593e-07,9.899168e-07,1.232031e-06,1.283362e-06,1.497798e-06,1.644651e-06,1.785149e-06,2.041787e-06,2.092150e-06,2.416899e-06,2.470377e-06,2.757455e-06,2.925952e-06,3.111817e-06,3.403862e-06,3.477923e-06,3.853676e-06,3.899315e-06,4.236977e-06,4.407484e-06,4.625753e-06,4.923648e-06,5.018000e-06,5.411806e-06,5.443324e-06,5.805381e-06,5.962370e-06,6.197070e-06,6.477069e-06,6.585372e-06,6.968943e-06,6.984170e-06,7.346600e-06,7.480907e-06,7.717319e-06,7.964994e-06,8.080228e-06,8.434600e-06,8.779840e-06,8.888309e-06,9.115482e-06,9.325085e-06,9.441167e-06,9.744219e-06,9.756639e-06,1.006173e-05,1.014528e-05,1.035635e-05,1.052809e-05,1.064048e-05,1.089264e-05,1.091415e-05,1.117745e-05,1.123911e-05,1.143051e-05,1.156780e-05,1.167347e-05,1.187909e-05,1.190654e-05,1.212992e-05,1.217345e-05,1.234384e-05,1.245142e-05,1.254854e-05,1.271355e-05,1.274428e-05,1.293130e-05,1.296043e-05,1.310987e-05,1.319267e-05,1.328027e-05,1.341087e-05,1.344274e-05,1.359756e-05,1.361563e-05,1.374498e-05,1.380756e-05,1.388526e-05,1.398725e-05,1.401865e-05,1.414541e-05,1.415527e-05,1.426577e-05,1.431217e-05,1.437997e-05,1.445851e-05,1.448824e-05,1.459081e-05,1.459479e-05,1.468788e-05,1.472153e-05,1.477968e-05,1.483920e-05,1.486641e-05,1.494826e-05,1.502543e-05,1.504916e-05,1.509810e-05,1.514232e-05,1.516644e-05,1.522815e-05,1.523064e-05,1.529085e-05,1.530702e-05,1.534724e-05,1.537930e-05,1.539996e-05,1.544535e-05,1.544916e-05,1.549498e-05,1.550549e-05,1.553756e-05,1.556004e-05,1.557704e-05,1.560931e-05,1.561354e-05,1.564718e-05,1.565358e-05,1.567809e-05,1.569312e-05,1.570638e-05,1.572819e-05,1.573215e-05,1.575551e-05,1.575903e-05,1.577657e-05,1.578589e-05,1.579542e-05,1.580897e-05,1.581216e-05,1.582687e-05,1.582850e-05,1.583964e-05,1.584467e-05,1.585056e-05,1.585767e-05,1.585970e-05,1.586715e-05,1.586768e-05,1.587298e-05,1.587487e-05,1.587725e-05,1.587940e-05,1.588004e-05,1.588141e-05,1.588143e-05,1.588142e-05,1.588111e-05,1.588015e-05,1.587857e-05,1.587763e-05,1.587394e-05,1.586735e-05,1.585892e-05,1.584876e-05,1.583698e-05,1.582367e-05,1.580894e-05,1.579287e-05,1.577555e-05,1.575707e-05,1.573749e-05,1.571690e-05,1.569537e-05,1.567296e-05,1.564973e-05,1.562574e-05,1.560106e-05,1.557573e-05,1.554980e-05,1.552333e-05,1.549636e-05,1.546893e-05,1.544109e-05,1.541287e-05,1.538431e-05
0.000000e+00,1.269037e-08,2.919035e-08,1.011037e-07,2.314581e-07,3.389485e-07,7.780580e-07,8.019158e-07,1.574323e-06,1.859041e-06,2.753843e-06,3.700399e-06,4.443092e-06,6.508040e-06,6.711161e-06,9.554552e-06,1.031703e-05,1.292077e-05,1.501294e-05,1.675396e-05,2.047743e-05,2.100903e-05,2.564795e-05,2.661864e-05,3.063478e-05,3.335336e-05,3.593305e-05,4.059677e-05,4.150512e-05,4.731251e-05,4.826094e-05,5.331665e-05,5.625739e-05,5.947981e-05,6.450050e-05,6.576590e-05,7.214116e-05,7.291067e-05,7.857452e-05,8.141627e-05,8.503792e-05,8.995468e-05,9.150632e-05,9.795771e-05,9.847249e-05,1.043729e-04,1.069251e-04,1.107354e-04,1.152758e-04,1.170312e-04,1.232483e-04,1.234952e-04,1.293766e-04,1.315595e-04,1.354080e-04,1.394505e-04,1.413356e-04,1.471538e-04,1.528580e-04,1.546587e-04,1.584447e-04,1.619573e-04,1.639113e-04,1.690440e-04,1.692554e-04,1.744758e-04,1.759152e-04,1.795714e-04,1.825685e-04,1.845415e-04,1.890032e-04,1.893862e-04,1.941053e-04,1.952193e-04,1.986995e-04,2.012178e-04,2.031692e-04,2.070003e-04,2.075153e-04,2.117389e-04,2.125690e-04,2.158411e-04,2.179267e-04,2.198233e-04,2.230765e-04,2.236867e-04,2.274330e-04,2.280217e-04,2.310638e-04,2.327660e-04,2.345807e-04,2.373135e-04,2.379855e-04,2.412800e-04,2.416680e-04,2.444660e-04,2.458340e-04,2.475454e-04,2.498157e-04,2.505202e-04,2.533921e-04,2.536175e-04,2.561633e-04,2.572440e-04,2.588357e-04,2.606997e-04,2.614112e-04,2.638918e-04,2.639891e-04,2.662796e-04,2.671168e-04,2.685764e-04,2.700874e-04,2.707843e-04,2.729053e-04,2.749413e-04,2.755752e-04,2.768943e-04,2.781015e-04,2.787661e-04,2.804886e-04,2.805588e-04,2.822742e-04,2.827409e-04,2.839142e-04,2.848627e-04,2.854806e-04,2.868583e-04,2.869753e-04,2.884002e-04,2.887319e-04,2.897569e-04,2.904876e-04,2.910473e-04,2.921294e-04,2.922732e-04,2.934361e-04,2.936613e-04,2.945379e-04,2.950872e-04,2.955802e-04,2.964109e-04,2.965646e-04,2.974927e-04,2.976361e-04,2.983661e-04,2.987664e-04,2.991864e-04,2.998054e-04,2.999551e-04,3.006736e-04,3.007565e-04,3.013435e-04,3.016232e-04,3.019662e-04,3.024087e-04,3.025431e-04,3.030755e-04,3.031163e-04,3.035649e-04,3.037489e-04,3.040126e-04,3.043098e-04,3.044198e-04,3.047878e-04,3.048018e-04,3.051179e-04,3.052277e-04,3.054114e-04,3.055905e-04,3.056692e-04,3.058928e-04,3.061372e-04,3.063262e-04,3.064625e-04,3.065482e-04,3.065858e-04,3.065775e-04,3.065254e-04,3.064317e-04,3.062985e-04,3.061276e-04,3.059209e-04,3.056804e-04,3.054077e-04,3.051047e-04,3.047728e-04,3.044139e-04,3.040292e-04,3.036205e-04,3.031890e-04,3.027361e-04,3.022632e-04,3.017716e-04,3.012624e-04,3.007369e-04
0.000000e+00,4.406231e-10,1.029187e-09,3.610733e-09,8.281591e-09,1.211202e-08,2.755063e-08,2.838027e-08,5.479221e-08,6.433308e-08,9.377247e-08,1.242346e-07,1.478198e-07,2.128331e-07,2.192251e-07,3.093294e-07,3.337532e-07,4.180495e-07,4.867151e-07,5.444191e-07,6.693370e-07,6.873239e-07,8.457359e-07,8.791922e-07,1.018663e-06,1.113978e-06,1.205059e-06,1.371201e-06,1.403772e-06,1.613526e-06,1.648020e-06,1.832927e-06,1.941232e-06,2.060487e-06,2.247369e-06,2.294656e-06,2.533861e-06,2.562829e-06,2.776535e-06,2.884017e-06,3.021159e-06,3.207481e-06,3.266282e-06,3.510553e-06,3.530020e-06,3.752732e-06,3.848765e-06,3.991707e-06,4.161227e-06,4.226495e-06,4.456250e-06,4.465325e-06,4.680258e-06,4.759377e-06,4.897932e-06,5.042088e-06,5.108802e-06,5.312511e-06,5.508801e-06,5.570017e-06,5.697503e-06,5.814245e-06,5.878526e-06,6.045063e-06,6.051848e-06,6.217503e-06,6.262523e-06,6.375576e-06,6.466830e-06,6.526191e-06,6.658303e-06,6.669504e-06,6.805699e-06,6.837348e-06,6.934978e-06,7.004434e-06,7.057559e-06,7.160070e-06,7.173670e-06,7.283545e-06,7.304793e-06,7.387423e-06,7.439149e-06,7.485543e-06,7.563688e-06,7.578143e-06,7.665457e-06,7.678953e-06,7.747717e-06,7.785472e-06,7.825146e-06,7.883759e-06,7.897964e-06,7.966383e-06,7.974307e-06,8.030607e-06,8.057588e-06,8.090835e-06,8.134051e-06,8.147254e-06,8.200047e-06,8.204119e-06,8.249388e-06,8.268195e-06,8.295443e-06,8.326658e-06,8.338372e-06,8.378326e-06,8.379864e-06,8.415450e-06,8.428148e-06,8.449882e-06,8.471825e-06,8.481753e-06,8.511188e-06,8.538306e-06,8.546513e-06,8.563220e-06,8.578059e-06,8.586039e-06,8.606067e-06,8.606863e-06,8.625791e-06,8.630764e-06,8.642915e-06,8.652360e-06,8.658323e-06,8.671054e-06,8.672098e-06,8.684320e-06,8.687031e-06,8.695065e-06,8.700464e-06,8.704404e-06,8.711514e-06,8.712406e-06,8.719135e-06,8.720334e-06,8.724654e-06,8.727065e-06,8.729020e-06,8.731840e-06,8.732292e-06,8.734520e-06,8.734783e-06,8.735757e-06,8.736012e-06,8.736050e-06,8.735636e-06,8.735445e-06,8.733987e-06,8.733756e-06,8.731716e-06,8.730470e-06,8.728674e-06,8.725868e-06,8.724896e-06,8.720421e-06,8.720033e-06,8.715281e-06,8.713047e-06,8.709511e-06,8.704983e-06,8.703141e-06,8.696201e-06,8.695912e-06,8.688720e-06,8.685899e-06,8.680725e-06,8.675009e-06,8.672243e-06,8.663297e-06,8.650821e-06,8.637631e-06,8.623777e-06,8.609305e-06,8.594258e-06,8.578678e-06,8.562602e-06,8.546068e-06,8.529110e-06,8.511761e-06,8.494051e-06,8.476009e-06,8.457664e-06,8.439041e-06,8.420164e-06,8.401058e-06,8.381744e-06,8.362242e-06,8.342574e-06,8.322757e-06,8.302809e-06,8.282748e-06,8.262588e-06,8.242345e-06
0.000000e+00,5.765743e-10,1.966206e-09,1.143226e-08,3.498122e-08,5.758210e-08,1.640344e-07,1.702203e-07,3.817104e-07,4.631557e-07,7.255451e-07,1.010065e-06,1.237159e-06,1.885869e-06,1.951110e-06,2.891692e-06,3.152261e-06,4.065821e-06,4.823495e-06,5.467933e-06,6.883169e-06,7.088967e-06,8.920719e-06,9.311718e-06,1.095601e-05,1.209243e-05,1.318759e-05,1.520774e-05,1.560709e-05,1.820438e-05,1.863567e-05,2.096738e-05,2.234842e-05,2.388200e-05,2.631221e-05,2.693231e-05,3.010080e-05,3.048808e-05,3.336870e-05,3.483302e-05,3.671634e-05,3.930148e-05,4.012356e-05,4.357008e-05,4.384690e-05,4.703587e-05,4.842318e-05,5.050143e-05,5.298600e-05,5.394815e-05,5.735850e-05,5.749393e-05,6.071624e-05,6.190925e-05,6.400656e-05,6.619862e-05,6.721617e-05,7.033339e-05,7.334810e-05,7.428973e-05,7.625178e-05,7.804858e-05,7.903743e-05,8.159544e-05,8.169950e-05,8.423379e-05,8.492007e-05,8.663741e-05,8.801607e-05,8.890857e-05,9.088044e-05,9.104658e-05,9.305162e-05,9.351314e-05,9.492472e-05,9.591665e-05,9.666762e-05,9.809552e-05,9.828267e-05,9.977272e-05,1.000560e-04,1.011411e-04,1.018057e-04,1.023913e-04,1.033531e-04,1.035274e-04,1.045534e-04,1.047077e-04,1.054737e-04,1.058791e-04,1.062924e-04,1.068774e-04,1.070142e-04,1.076433e-04,1.077128e-04,1.081843e-04,1.083956e-04,1.086415e-04,1.089356e-04,1.090192e-04,1.093217e-04,1.093428e-04,1.095530e-04,1.096265e-04,1.097173e-04,1.097961e-04,1.098183e-04,1.098598e-04,1.098603e-04,1.098456e-04,1.098275e-04,1.097790e-04,1.097056e-04,1.096635e-04,1.095022e-04,1.092983e-04,1.092245e-04,1.090546e-04,1.088791e-04,1.087740e-04,1.084724e-04,1.084592e-04,1.081127e-04,1.080103e-04,1.077369e-04,1.074983e-04,1.073341e-04,1.069416e-04,1.069065e-04,1.064562e-04,1.063450e-04,1.059851e-04,1.057129e-04,1.054951e-04,1.050496e-04,1.049879e-04,1.044652e-04,1.043589e-04,1.039284e-04,1.036443e-04,1.033792e-04,1.029092e-04,1.028188e-04,1.022486e-04,1.021565e-04,1.016698e-04,1.013892e-04,1.010835e-04,1.006098e-04,1.004908e-04,9.989278e-05,9.982070e-05,9.929031e-05,9.902405e-05,9.868430e-05,9.822188e-05,9.807559e-05,9.746494e-05,9.741602e-05,9.685308e-05,9.660815e-05,9.624069e-05,9.579979e-05,9.562839e-05,9.501677e-05,9.499233e-05,9.440637e-05,9.418703e-05,9.379770e-05,9.338504e-05,9.319123e-05,9.258738e-05,9.179499e-05,9.100870e-05,9.022926e-05,8.945733e-05,8.869350e-05,8.793829e-05,8.719216e-05,8.645551e-05,8.572868e-05,8.501195e-05,8.430559e-05,8.360979e-05,8.292472e-05,8.225051e-05,8.158726e-05,8.093504e-05,8.029388e-05,7.966382e-05,7.904484e-05,7.843692e-05,7.784001e-05,7.725406e-05,7.667899e-05,7.611471e-05
0.000000e+00,2.237748e-09,6.191890e-09,2.627282e-08,6.604200e-08,9.996773e-08,2.416186e-07,2.493625e-07,4.994676e-07,5.909516e-07,8.754424e-07,1.172255e-06,1.403386e-06,2.046581e-06,2.110372e-06,3.023383e-06,3.275976e-06,4.166795e-06,4.914744e-06,5.558222e-06,6.992463e-06,7.202989e-06,9.088854e-06,9.492487e-06,1.118414e-05,1.234127e-05,1.344203e-05,1.542561e-05,1.580967e-05,1.823719e-05,1.862823e-05,2.068283e-05,2.185328e-05,2.311402e-05,2.503189e-05,2.550627e-05,2.784135e-05,2.811703e-05,3.010577e-05,3.107708e-05,3.228964e-05,3.389100e-05,3.438576e-05,3.638913e-05,3.654528e-05,3.829645e-05,3.903203e-05,4.010588e-05,4.134764e-05,4.181675e-05,4.342935e-05,4.349183e-05,4.494480e-05,4.546689e-05,4.636483e-05,4.727709e-05,4.769172e-05,4.892811e-05,5.007697e-05,5.042664e-05,5.114149e-05,5.178005e-05,5.212500e-05,5.299612e-05,5.303091e-05,5.386268e-05,5.408277e-05,5.462380e-05,5.504798e-05,5.531769e-05,5.589962e-05,5.594775e-05,5.651729e-05,5.664533e-05,5.702954e-05,5.729254e-05,5.748762e-05,5.784835e-05,5.789458e-05,5.825332e-05,5.831953e-05,5.856664e-05,5.871252e-05,5.883725e-05,5.903342e-05,5.906769e-05,5.926045e-05,5.928795e-05,5.941786e-05,5.948153e-05,5.954217e-05,5.961920e-05,5.963549e-05,5.969985e-05,5.970573e-05,5.973719e-05,5.974552e-05,5.974931e-05,5.974274e-05,5.973796e-05,5.970478e-05,5.970123e-05,5.965132e-05,5.962459e-05,5.957905e-05,5.951615e-05,5.948936e-05,5.938358e-05,5.937903e-05,5.926293e-05,5.921609e-05,5.912861e-05,5.903002e-05,5.898171e-05,5.882328e-05,5.865431e-05,5.859816e-05,5.847572e-05,5.835679e-05,5.828839e-05,5.810110e-05,5.809315e-05,5.789076e-05,5.783291e-05,5.768195e-05,5.755387e-05,5.746741e-05,5.726552e-05,5.724778e-05,5.702366e-05,5.696927e-05,5.679561e-05,5.666639e-05,5.656417e-05,5.635809e-05,5.632983e-05,5.609305e-05,5.604544e-05,5.585427e-05,5.572945e-05,5.561390e-05,5.541102e-05,5.537230e-05,5.512984e-05,5.509099e-05,5.488684e-05,5.477010e-05,5.464361e-05,5.444905e-05,5.440043e-05,5.415757e-05,5.412846e-05,5.391527e-05,5.380889e-05,5.367375e-05,5.349086e-05,5.343324e-05,5.319391e-05,5.317482e-05,5.295596e-05,5.286119e-05,5.271953e-05,5.255034e-05,5.248479e-05,5.225188e-05,5.224260e-05,5.202091e-05,5.193826e-05,5.179200e-05,5.163758e-05,5.156527e-05,5.134080e-05,5.104811e-05,5.075968e-05,5.047566e-05,5.019619e-05,4.992137e-05,4.965128e-05,4.938599e-05,4.912557e-05,4.887005e-05,4.861945e-05,4.837380e-05,4.813310e-05,4.789733e-05,4.766650e-05,4.744057e-05,4.721952e-05,4.700331e-05,4.679190e-05,4.658524e-05,4.638327e-05,4.618595e-05,4.599322e-05,4.580500e-05,4.562124e-05
0.000000e+00,5.995037e-10,1.514742e-09,5.773894e-09,1.374573e-08,2.036796e-08,4.727719e-08,4.872645e-08,9.480344e-08,1.113866e-07,1.622826e-07,2.145114e-07,2.546828e-07,3.646413e-07,3.754219e-07,5.277773e-07,5.693817e-07,7.146207e-07,8.350730e-07,9.377993e-07,1.164312e-06,1.197321e-06,1.491025e-06,1.553557e-06,1.815210e-06,1.994432e-06,2.165666e-06,2.477385e-06,2.538352e-06,2.929577e-06,2.993665e-06,3.335958e-06,3.535465e-06,3.754315e-06,4.095570e-06,4.181597e-06,4.614855e-06,4.667111e-06,5.051230e-06,5.243509e-06,5.487973e-06,5.818531e-06,5.922471e-06,6.352275e-06,6.386388e-06,6.775125e-06,6.941851e-06,7.188973e-06,7.480339e-06,7.592000e-06,7.982627e-06,7.997974e-06,8.359511e-06,8.491606e-06,8.721551e-06,8.958802e-06,9.067869e-06,9.397809e-06,9.710913e-06,9.807502e-06,1.000691e-05,1.018731e-05,1.028569e-05,1.053716e-05,1.054730e-05,1.079190e-05,1.085737e-05,1.101976e-05,1.114860e-05,1.123126e-05,1.141177e-05,1.142684e-05,1.160700e-05,1.164801e-05,1.177230e-05,1.185859e-05,1.192331e-05,1.204487e-05,1.206066e-05,1.218496e-05,1.220831e-05,1.229684e-05,1.235033e-05,1.239696e-05,1.247241e-05,1.248592e-05,1.256436e-05,1.257597e-05,1.263287e-05,1.266241e-05,1.269205e-05,1.273306e-05,1.274247e-05,1.278468e-05,1.278921e-05,1.281920e-05,1.283209e-05,1.284655e-05,1.286284e-05,1.286722e-05,1.288166e-05,1.288255e-05,1.289030e-05,1.289223e-05,1.289357e-05,1.289283e-05,1.289187e-05,1.288555e-05,1.288521e-05,1.287498e-05,1.287020e-05,1.286048e-05,1.284854e-05,1.284237e-05,1.282093e-05,1.279644e-05,1.278801e-05,1.276917e-05,1.275036e-05,1.273934e-05,1.270852e-05,1.270719e-05,1.267293e-05,1.266298e-05,1.263675e-05,1.261421e-05,1.259885e-05,1.256260e-05,1.255939e-05,1.251854e-05,1.250854e-05,1.247644e-05,1.245238e-05,1.243324e-05,1.239441e-05,1.238906e-05,1.234404e-05,1.233494e-05,1.229827e-05,1.227422e-05,1.225188e-05,1.221248e-05,1.220494e-05,1.215757e-05,1.214995e-05,1.210983e-05,1.208681e-05,1.206181e-05,1.202324e-05,1.201358e-05,1.196521e-05,1.195940e-05,1.191676e-05,1.189543e-05,1.186829e-05,1.183147e-05,1.181985e-05,1.177148e-05,1.176762e-05,1.172324e-05,1.170399e-05,1.167517e-05,1.164068e-05,1.162730e-05,1.157967e-05,1.157778e-05,1.153232e-05,1.151534e-05,1.148526e-05,1.145345e-05,1.143853e-05,1.139215e-05,1.133151e-05,1.127157e-05,1.121236e-05,1.115392e-05,1.109629e-05,1.103948e-05,1.098352e-05,1.092843e-05,1.087422e-05,1.082090e-05,1.076849e-05,1.071698e-05,1.066638e-05,1.061670e-05,1.056793e-05,1.052008e-05,1.047313e-05,1.042709e-05,1.038196e-05,1.033772e-05,1.029436e-05,1.025189e-05,1.021029e-05,1.016954e-05
0.000000e+00,3.186202e-09,7.311591e-09,2.528068e-08,5.789953e-08,8.485792e-08,1.955375e-07,2.015745e-07,3.981398e-07,4.710842e-07,7.018723e-07,9.486354e-07,1.144411e-06,1.700757e-06,1.756512e-06,2.555072e-06,2.774011e-06,3.530994e-06,4.144480e-06,4.655388e-06,5.742640e-06,5.896916e-06,7.230636e-06,7.506717e-06,8.637877e-06,9.393695e-06,1.010387e-05,1.137143e-05,1.161598e-05,1.316284e-05,1.341284e-05,1.473392e-05,1.549377e-05,1.631954e-05,1.759253e-05,1.791085e-05,1.949987e-05,1.969006e-05,2.107958e-05,2.177009e-05,2.264385e-05,2.381914e-05,2.418748e-05,2.570609e-05,2.582639e-05,2.719608e-05,2.778339e-05,2.865453e-05,2.968378e-05,3.007914e-05,3.146813e-05,3.152293e-05,3.282018e-05,3.329768e-05,3.413434e-05,3.500601e-05,3.541001e-05,3.664682e-05,3.784466e-05,3.821974e-05,3.900359e-05,3.972497e-05,4.012382e-05,4.116314e-05,4.120569e-05,4.224963e-05,4.253521e-05,4.325617e-05,4.384238e-05,4.422590e-05,4.508607e-05,4.515944e-05,4.605749e-05,4.626782e-05,4.692075e-05,4.738926e-05,4.774996e-05,4.845211e-05,4.854589e-05,4.930929e-05,4.945814e-05,5.004096e-05,5.040914e-05,5.074167e-05,5.130692e-05,5.141221e-05,5.205337e-05,5.215328e-05,5.266593e-05,5.295003e-05,5.325068e-05,5.369896e-05,5.380837e-05,5.433979e-05,5.440183e-05,5.484567e-05,5.506037e-05,5.532678e-05,5.567629e-05,5.578383e-05,5.621756e-05,5.625128e-05,5.662868e-05,5.678695e-05,5.701788e-05,5.728492e-05,5.738585e-05,5.773326e-05,5.774674e-05,5.806077e-05,5.817393e-05,5.836902e-05,5.856795e-05,5.865864e-05,5.893025e-05,5.918445e-05,5.926221e-05,5.942182e-05,5.956518e-05,5.964295e-05,5.984046e-05,5.984838e-05,6.003867e-05,6.008931e-05,6.021435e-05,6.031297e-05,6.037594e-05,6.051259e-05,6.052394e-05,6.065884e-05,6.068932e-05,6.078113e-05,6.084427e-05,6.089125e-05,6.097847e-05,6.098968e-05,6.107685e-05,6.109297e-05,6.115318e-05,6.118873e-05,6.121909e-05,6.126671e-05,6.127499e-05,6.132127e-05,6.132780e-05,6.135830e-05,6.137290e-05,6.138646e-05,6.140283e-05,6.140610e-05,6.141757e-05,6.141841e-05,6.142121e-05,6.142041e-05,6.141734e-05,6.140957e-05,6.140628e-05,6.138834e-05,6.138662e-05,6.136382e-05,6.135223e-05,6.133299e-05,6.130706e-05,6.129615e-05,6.125356e-05,6.125174e-05,6.120548e-05,6.118688e-05,6.115216e-05,6.111304e-05,6.109386e-05,6.103079e-05,6.094066e-05,6.084314e-05,6.073873e-05,6.062788e-05,6.051103e-05,6.038862e-05,6.026103e-05,6.012866e-05,5.999187e-05,5.985101e-05,5.970641e-05,5.955840e-05,5.940727e-05,5.925330e-05,5.909679e-05,5.893797e-05,5.877711e-05,5.861444e-05,5.845018e-05,5.828453e-05,5.811772e-05,5.794992e-05,5.778131e-05,5.761206e-05
0.000000e+00,1.310241e-09,3.095868e-09,1.099304e-08,2.535138e-08,3.714905e-08,8.476415e-08,8.732401e-08,1.688108e-07,1.982326e-07,2.889520e-07,3.827486e-07,4.553769e-07,6.562344e-07,6.760806e-07,9.591757e-07,1.037256e-06,1.312008e-06,1.542006e-06,1.739336e-06,2.177026e-06,2.241000e-06,2.810893e-06,2.932186e-06,3.438660e-06,3.784129e-06,4.112810e-06,4.707222e-06,4.822859e-06,5.559955e-06,5.679888e-06,6.316684e-06,6.684988e-06,7.086680e-06,7.708420e-06,7.864303e-06,8.644450e-06,8.738012e-06,9.422455e-06,9.762983e-06,1.019405e-05,1.077376e-05,1.095534e-05,1.170286e-05,1.176197e-05,1.243352e-05,1.272046e-05,1.314467e-05,1.364332e-05,1.383403e-05,1.449977e-05,1.452588e-05,1.514038e-05,1.536463e-05,1.575476e-05,1.615712e-05,1.634209e-05,1.690188e-05,1.743388e-05,1.759825e-05,1.793809e-05,1.824627e-05,1.841468e-05,1.884657e-05,1.886403e-05,1.928662e-05,1.940024e-05,1.968308e-05,1.990870e-05,2.005411e-05,2.037366e-05,2.040048e-05,2.072304e-05,2.079701e-05,2.102266e-05,2.118076e-05,2.130024e-05,2.152700e-05,2.155668e-05,2.179292e-05,2.183782e-05,2.200986e-05,2.211534e-05,2.220841e-05,2.236162e-05,2.238945e-05,2.255386e-05,2.257867e-05,2.270248e-05,2.276846e-05,2.283615e-05,2.293285e-05,2.295566e-05,2.306179e-05,2.307366e-05,2.315527e-05,2.319257e-05,2.323681e-05,2.329122e-05,2.330710e-05,2.336680e-05,2.337114e-05,2.341652e-05,2.343376e-05,2.345687e-05,2.348044e-05,2.348841e-05,2.351169e-05,2.351246e-05,2.352721e-05,2.353100e-05,2.353548e-05,2.353719e-05,2.353695e-05,2.353207e-05,2.352125e-05,2.351660e-05,2.350490e-05,2.349171e-05,2.348339e-05,2.345822e-05,2.345708e-05,2.342631e-05,2.341694e-05,2.339139e-05,2.336858e-05,2.335264e-05,2.331384e-05,2.331033e-05,2.326473e-05,2.325333e-05,2.321611e-05,2.318765e-05,2.316470e-05,2.311734e-05,2.311074e-05,2.305443e-05,2.304290e-05,2.299598e-05,2.296481e-05,2.293559e-05,2.288349e-05,2.287343e-05,2.280967e-05,2.279933e-05,2.274448e-05,2.271272e-05,2.267800e-05,2.262399e-05,2.261038e-05,2.254175e-05,2.253346e-05,2.247224e-05,2.244141e-05,2.240197e-05,2.234811e-05,2.233103e-05,2.225956e-05,2.225382e-05,2.218762e-05,2.215875e-05,2.211533e-05,2.206311e-05,2.204277e-05,2.197001e-05,2.196710e-05,2.189714e-05,2.187089e-05,2.182421e-05,2.177463e-05,2.175131e-05,2.167848e-05,2.158258e-05,2.148703e-05,2.139195e-05,2.129745e-05,2.120360e-05,2.111051e-05,2.101823e-05,2.092683e-05,2.083639e-05,2.074694e-05,2.065853e-05,2.057121e-05,2.048502e-05,2.039998e-05,2.031612e-05,2.023346e-05,2.015203e-05,2.007184e-05,1.999290e-05,1.991523e-05,1.983882e-05,1.976369e-05,1.968984e-05,1.961727e-05
0.000000e+00,3.084785e-10,1.093031e-09,6.807201e-09,2.192253e-08,3.696057e-08,1.106806e-07,1.150501e-07,2.670599e-07,3.264057e-07,5.189434e-07,7.288395e-07,8.967773e-07,1.378443e-06,1.427106e-06,2.135841e-06,2.335019e-06,3.043998e-06,3.643583e-06,4.160052e-06,5.306050e-06,5.473193e-06,6.953798e-06,7.266529e-06,8.561375e-06,9.433416e-06,1.025392e-05,1.171362e-05,1.199382e-05,1.374979e-05,1.403048e-05,1.549663e-05,1.632575e-05,1.721407e-05,1.855580e-05,1.888582e-05,2.049875e-05,2.068782e-05,2.204241e-05,2.269752e-05,2.350874e-05,2.456772e-05,2.489182e-05,2.618771e-05,2.628754e-05,2.739418e-05,2.785153e-05,2.851054e-05,2.925883e-05,2.953743e-05,3.047658e-05,3.051236e-05,3.133063e-05,3.161788e-05,3.210289e-05,3.258325e-05,3.279719e-05,3.341769e-05,3.396878e-05,3.413119e-05,3.445493e-05,3.473406e-05,3.488063e-05,3.523651e-05,3.525027e-05,3.556814e-05,3.564842e-05,3.583832e-05,3.597918e-05,3.606473e-05,3.623752e-05,3.625104e-05,3.640070e-05,3.643153e-05,3.651696e-05,3.656859e-05,3.660279e-05,3.665537e-05,3.666098e-05,3.669410e-05,3.669792e-05,3.670449e-05,3.670163e-05,3.669432e-05,3.667135e-05,3.666558e-05,3.662009e-05,3.661137e-05,3.655952e-05,3.652554e-05,3.648538e-05,3.641724e-05,3.639907e-05,3.630184e-05,3.628950e-05,3.619486e-05,3.614497e-05,3.607918e-05,3.598604e-05,3.595576e-05,3.582547e-05,3.581478e-05,3.568912e-05,3.563305e-05,3.554743e-05,3.544248e-05,3.540107e-05,3.525063e-05,3.524453e-05,3.509667e-05,3.504049e-05,3.493970e-05,3.483147e-05,3.478017e-05,3.461849e-05,3.445506e-05,3.440245e-05,3.429021e-05,3.418411e-05,3.412426e-05,3.396419e-05,3.395751e-05,3.379021e-05,3.374330e-05,3.362261e-05,3.352199e-05,3.345492e-05,3.330074e-05,3.328734e-05,3.312005e-05,3.307997e-05,3.295323e-05,3.286006e-05,3.278701e-05,3.264135e-05,3.262154e-05,3.245693e-05,3.242412e-05,3.229330e-05,3.220863e-05,3.213075e-05,3.199511e-05,3.196937e-05,3.180925e-05,3.178375e-05,3.165045e-05,3.157472e-05,3.149305e-05,3.136817e-05,3.133710e-05,3.118266e-05,3.116423e-05,3.102977e-05,3.096300e-05,3.087847e-05,3.076458e-05,3.072881e-05,3.058082e-05,3.056905e-05,3.043451e-05,3.037647e-05,3.028992e-05,3.018689e-05,3.014707e-05,3.000596e-05,3.000036e-05,2.986663e-05,2.981690e-05,2.972906e-05,2.963654e-05,2.959329e-05,2.945930e-05,2.928518e-05,2.911419e-05,2.894632e-05,2.878156e-05,2.861991e-05,2.846134e-05,2.830583e-05,2.815336e-05,2.800390e-05,2.785742e-05,2.771389e-05,2.757327e-05,2.743554e-05,2.730064e-05,2.716855e-05,2.703923e-05,2.691263e-05,2.678871e-05,2.666743e-05,2.654876e-05,2.643263e-05,2.631902e-05,2.620789e-05,2.609918e-05
0.000000e+00,4.234318e-11,1.648135e-10,1.237671e-09,4.684963e-09,8.600389e-09,3.171604e-08,3.323682e-08,9.325788e-08,1.196760e-07,2.139677e-07,3.286997e-07,4.277248e-07,7.400711e-07,7.736378e-07,1.296943e-06,1.454409e-06,2.047504e-06,2.586300e-06,3.076683e-06,4.251147e-06,4.432500e-06,6.154409e-06,6.545348e-06,8.269487e-06,9.529616e-06,1.079083e-05,1.322267e-05,1.371786e-05,1.703768e-05,1.760388e-05,2.072715e-05,2.262044e-05,2.475491e-05,2.819566e-05,2.908348e-05,3.367116e-05,3.423701e-05,3.847368e-05,4.064318e-05,4.344571e-05,4.731003e-05,4.854213e-05,5.371903e-05,5.413539e-05,5.893457e-05,6.102275e-05,6.414966e-05,6.788396e-05,6.932841e-05,7.443843e-05,7.464098e-05,7.945104e-05,8.122681e-05,8.434129e-05,8.758578e-05,8.908794e-05,9.367336e-05,9.808330e-05,9.945553e-05,1.023067e-04,1.049079e-04,1.063354e-04,1.100148e-04,1.101640e-04,1.137893e-04,1.147677e-04,1.172102e-04,1.191649e-04,1.204276e-04,1.232097e-04,1.234436e-04,1.262620e-04,1.269095e-04,1.288874e-04,1.302754e-04,1.313254e-04,1.333207e-04,1.335821e-04,1.356645e-04,1.360606e-04,1.375795e-04,1.385116e-04,1.393346e-04,1.406908e-04,1.409373e-04,1.423951e-04,1.426155e-04,1.437157e-04,1.443031e-04,1.449066e-04,1.457707e-04,1.459749e-04,1.469279e-04,1.470348e-04,1.477724e-04,1.481114e-04,1.485152e-04,1.490156e-04,1.491627e-04,1.497209e-04,1.497619e-04,1.501959e-04,1.503638e-04,1.505931e-04,1.508340e-04,1.509180e-04,1.511754e-04,1.511844e-04,1.513702e-04,1.514259e-04,1.515069e-04,1.515688e-04,1.515897e-04,1.516225e-04,1.516092e-04,1.515958e-04,1.515533e-04,1.514966e-04,1.514579e-04,1.513323e-04,1.513263e-04,1.511614e-04,1.511096e-04,1.509658e-04,1.508347e-04,1.507420e-04,1.505134e-04,1.504925e-04,1.502195e-04,1.501507e-04,1.499250e-04,1.497514e-04,1.496109e-04,1.493198e-04,1.492791e-04,1.489312e-04,1.488598e-04,1.485688e-04,1.483751e-04,1.481933e-04,1.478689e-04,1.478062e-04,1.474086e-04,1.473441e-04,1.470017e-04,1.468035e-04,1.465867e-04,1.462495e-04,1.461645e-04,1.457361e-04,1.456843e-04,1.453024e-04,1.451101e-04,1.448642e-04,1.445286e-04,1.444222e-04,1.439772e-04,1.439415e-04,1.435298e-04,1.433503e-04,1.430806e-04,1.427564e-04,1.426302e-04,1.421791e-04,1.421610e-04,1.417278e-04,1.415654e-04,1.412767e-04,1.409704e-04,1.408263e-04,1.403770e-04,1.397860e-04,1.391982e-04,1.386143e-04,1.380348e-04,1.374603e-04,1.368912e-04,1.363280e-04,1.357711e-04,1.352207e-04,1.346772e-04,1.341408e-04,1.336118e-04,1.330903e-04,1.325765e-04,1.320705e-04,1.315724e-04,1.310823e-04,1.306004e-04,1.301265e-04,1.296608e-04,1.292033e-04,1.287540e-04,1.283128e-04,1.278798e-04
0.000000e+00,4.464425e-09,1.021052e-08,3.498228e-08,7.926783e-08,1.153781e-07,2.601878e-07,2.679524e-07,5.148704e-07,6.040468e-07,8.794519e-07,1.165016e-06,1.386629e-06,2.000273e-06,2.060842e-06,2.918979e-06,3.152701e-06,3.960654e-06,4.617512e-06,5.166653e-06,6.341500e-06,6.508806e-06,7.959720e-06,8.260829e-06,9.496051e-06,1.032203e-05,1.109802e-05,1.248158e-05,1.274817e-05,1.443057e-05,1.470174e-05,1.613036e-05,1.694833e-05,1.783370e-05,1.919028e-05,1.952778e-05,2.120098e-05,2.139985e-05,2.284297e-05,2.355321e-05,2.444481e-05,2.563063e-05,2.599891e-05,2.749913e-05,2.761666e-05,2.894059e-05,2.949988e-05,3.031970e-05,3.127261e-05,3.163397e-05,3.288189e-05,3.293041e-05,3.406284e-05,3.447158e-05,3.517692e-05,3.589665e-05,3.622486e-05,3.720787e-05,3.812758e-05,3.840883e-05,3.898592e-05,3.950404e-05,3.978505e-05,4.049865e-05,4.052727e-05,4.121502e-05,4.139817e-05,4.185078e-05,4.220832e-05,4.243705e-05,4.293486e-05,4.297633e-05,4.347110e-05,4.358349e-05,4.392375e-05,4.415972e-05,4.433664e-05,4.466888e-05,4.471202e-05,4.505209e-05,4.511606e-05,4.535894e-05,4.550605e-05,4.563458e-05,4.584338e-05,4.588090e-05,4.609972e-05,4.613230e-05,4.629276e-05,4.637674e-05,4.646163e-05,4.658038e-05,4.660789e-05,4.673300e-05,4.674665e-05,4.683832e-05,4.687873e-05,4.692516e-05,4.697956e-05,4.699475e-05,4.704823e-05,4.705185e-05,4.708669e-05,4.709810e-05,4.711116e-05,4.712065e-05,4.712259e-05,4.712190e-05,4.712163e-05,4.710992e-05,4.710300e-05,4.708747e-05,4.706660e-05,4.705529e-05,4.701409e-05,4.696453e-05,4.694700e-05,4.690723e-05,4.686677e-05,4.684278e-05,4.677470e-05,4.677174e-05,4.669460e-05,4.667198e-05,4.661187e-05,4.655973e-05,4.652398e-05,4.643895e-05,4.643138e-05,4.633446e-05,4.631060e-05,4.623359e-05,4.617551e-05,4.612913e-05,4.603449e-05,4.602140e-05,4.591073e-05,4.588826e-05,4.579738e-05,4.573749e-05,4.568165e-05,4.558278e-05,4.556379e-05,4.544403e-05,4.542471e-05,4.532260e-05,4.526378e-05,4.519970e-05,4.510047e-05,4.507554e-05,4.495030e-05,4.493521e-05,4.482416e-05,4.476841e-05,4.469726e-05,4.460042e-05,4.456978e-05,4.444183e-05,4.443158e-05,4.431357e-05,4.426220e-05,4.418510e-05,4.409255e-05,4.405655e-05,4.392803e-05,4.392289e-05,4.379962e-05,4.375345e-05,4.367144e-05,4.358444e-05,4.354355e-05,4.341606e-05,4.324847e-05,4.308185e-05,4.291634e-05,4.275206e-05,4.258914e-05,4.242767e-05,4.226776e-05,4.210949e-05,4.195294e-05,4.179816e-05,4.164523e-05,4.149418e-05,4.134508e-05,4.119796e-05,4.105284e-05,4.090976e-05,4.076875e-05,4.062981e-05,4.049297e-05,4.035823e-05,4.022561e-05,4.009510e-05,3.996670e-05,3.984042e-05
0.000000e+00,3.305922e-11,1.253145e-10,8.910704e-10,3.211588e-09,5.741561e-09,1.981371e-08,2.070939e-08,5.463620e-08,6.901262e-08,1.188180e-07,1.774639e-07,2.270100e-07,3.794525e-07,3.955926e-07,6.434309e-07,7.169436e-07,9.905642e-07,1.235227e-06,1.454877e-06,1.969269e-06,2.047218e-06,2.767456e-06,2.926001e-06,3.603877e-06,4.078133e-06,4.535883e-06,5.374124e-06,5.538102e-06,6.584204e-06,6.753969e-06,7.649611e-06,8.161457e-06,8.712990e-06,9.550325e-06,9.756813e-06,1.076733e-05,1.088583e-05,1.173419e-05,1.214377e-05,1.264998e-05,1.330867e-05,1.350969e-05,1.431028e-05,1.437172e-05,1.505026e-05,1.532919e-05,1.572939e-05,1.618105e-05,1.634838e-05,1.690873e-05,1.692995e-05,1.741251e-05,1.758049e-05,1.786222e-05,1.813857e-05,1.826068e-05,1.861091e-05,1.891607e-05,1.900472e-05,1.917933e-05,1.932731e-05,1.940389e-05,1.958594e-05,1.959285e-05,1.974923e-05,1.978758e-05,1.987593e-05,1.993884e-05,1.997567e-05,2.004582e-05,2.005101e-05,2.010436e-05,2.011414e-05,2.013792e-05,2.014885e-05,2.015375e-05,2.015448e-05,2.015369e-05,2.013947e-05,2.013507e-05,2.011263e-05,2.009416e-05,2.007457e-05,2.003485e-05,2.002655e-05,1.996971e-05,1.995986e-05,1.990507e-05,1.987155e-05,1.983356e-05,1.977195e-05,1.975599e-05,1.967311e-05,1.966283e-05,1.958556e-05,1.954572e-05,1.949395e-05,1.942193e-05,1.939879e-05,1.930057e-05,1.929259e-05,1.919970e-05,1.915869e-05,1.909656e-05,1.902108e-05,1.899149e-05,1.888480e-05,1.888050e-05,1.877675e-05,1.873758e-05,1.866761e-05,1.859287e-05,1.855758e-05,1.844687e-05,1.833565e-05,1.829998e-05,1.822409e-05,1.815258e-05,1.811234e-05,1.800500e-05,1.800053e-05,1.788877e-05,1.785750e-05,1.777718e-05,1.771034e-05,1.766585e-05,1.756374e-05,1.755487e-05,1.744433e-05,1.741788e-05,1.733430e-05,1.727293e-05,1.722484e-05,1.712903e-05,1.711601e-05,1.700787e-05,1.698633e-05,1.690046e-05,1.684492e-05,1.679383e-05,1.670490e-05,1.668803e-05,1.658308e-05,1.656637e-05,1.647901e-05,1.642939e-05,1.637586e-05,1.629402e-05,1.627366e-05,1.617242e-05,1.616033e-05,1.607216e-05,1.602836e-05,1.597290e-05,1.589815e-05,1.587466e-05,1.577746e-05,1.576972e-05,1.568129e-05,1.564312e-05,1.558617e-05,1.551835e-05,1.549212e-05,1.539913e-05,1.539543e-05,1.530720e-05,1.527438e-05,1.521636e-05,1.515520e-05,1.512659e-05,1.503789e-05,1.492247e-05,1.480891e-05,1.469723e-05,1.458741e-05,1.447945e-05,1.437332e-05,1.426903e-05,1.416655e-05,1.406586e-05,1.396696e-05,1.386982e-05,1.377442e-05,1.368074e-05,1.358877e-05,1.349847e-05,1.340984e-05,1.332283e-05,1.323744e-05,1.315364e-05,1.307140e-05,1.299071e-05,1.291153e-05,1.283384e-05,1.275762e-05
0.000000e+00,8.967827e-11,3.272976e-10,2.156350e-09,7.267166e-09,1.253209e-08,3.948420e-08,4.111852e-08,9.928727e-08,1.224405e-07,1.984316e-07,2.820868e-07,3.492831e-07,5.422107e-07,5.616831e-07,8.444912e-07,9.237247e-07,1.205379e-06,1.443900e-06,1.650310e-06,2.114060e-06,2.182559e-06,2.801301e-06,2.934980e-06,3.500231e-06,3.891525e-06,4.267142e-06,4.951597e-06,5.085126e-06,5.935051e-06,6.072726e-06,6.798189e-06,7.212234e-06,7.658051e-06,8.334442e-06,8.501195e-06,9.317302e-06,9.413033e-06,1.009882e-05,1.043030e-05,1.084048e-05,1.137532e-05,1.153886e-05,1.219197e-05,1.224223e-05,1.279895e-05,1.302881e-05,1.335986e-05,1.373557e-05,1.387543e-05,1.434696e-05,1.436493e-05,1.477616e-05,1.492068e-05,1.516502e-05,1.540753e-05,1.551576e-05,1.583072e-05,1.611228e-05,1.619572e-05,1.636284e-05,1.650803e-05,1.658477e-05,1.677300e-05,1.678034e-05,1.695174e-05,1.699569e-05,1.710104e-05,1.718082e-05,1.723018e-05,1.733274e-05,1.734097e-05,1.743509e-05,1.745538e-05,1.751410e-05,1.755227e-05,1.757939e-05,1.762655e-05,1.763228e-05,1.767395e-05,1.768103e-05,1.770547e-05,1.771818e-05,1.772783e-05,1.774019e-05,1.774192e-05,1.774855e-05,1.774896e-05,1.774843e-05,1.774618e-05,1.774223e-05,1.773330e-05,1.773056e-05,1.771393e-05,1.771163e-05,1.769285e-05,1.768228e-05,1.766776e-05,1.764624e-05,1.763904e-05,1.760707e-05,1.760438e-05,1.757217e-05,1.755745e-05,1.753464e-05,1.750614e-05,1.749474e-05,1.745274e-05,1.745102e-05,1.740884e-05,1.739261e-05,1.736325e-05,1.733138e-05,1.731615e-05,1.726772e-05,1.721810e-05,1.720199e-05,1.716743e-05,1.713452e-05,1.711586e-05,1.706560e-05,1.706349e-05,1.701044e-05,1.699547e-05,1.695680e-05,1.692438e-05,1.690268e-05,1.685252e-05,1.684814e-05,1.679329e-05,1.678008e-05,1.673817e-05,1.670722e-05,1.668287e-05,1.663410e-05,1.662744e-05,1.657195e-05,1.656085e-05,1.651644e-05,1.648759e-05,1.646097e-05,1.641443e-05,1.640557e-05,1.635030e-05,1.634147e-05,1.629519e-05,1.626880e-05,1.624027e-05,1.619650e-05,1.618558e-05,1.613115e-05,1.612464e-05,1.607700e-05,1.605328e-05,1.602317e-05,1.598248e-05,1.596967e-05,1.591653e-05,1.591229e-05,1.586376e-05,1.584277e-05,1.581140e-05,1.577395e-05,1.575944e-05,1.570792e-05,1.570587e-05,1.565683e-05,1.563856e-05,1.560621e-05,1.557205e-05,1.555604e-05,1.550636e-05,1.544152e-05,1.537755e-05,1.531446e-05,1.525227e-05,1.519098e-05,1.513061e-05,1.507117e-05,1.501265e-05,1.495506e-05,1.489842e-05,1.484270e-05,1.478793e-05,1.473409e-05,1.468117e-05,1.462919e-05,1.457813e-05,1.452799e-05,1.447876e-05,1.443043e-05,1.438300e-05,1.433646e-05,1.429080e-05,1.424602e-05,1.420209e-05
0.000000e+00,1.448418e-09,3.286312e-09,1.109858e-08,2.488903e-08,3.606948e-08,8.086611e-08,8.327501e-08,1.606015e-07,1.889124e-07,2.775543e-07,3.708762e-07,4.437100e-07,6.434797e-07,6.628530e-07,9.274058e-07,9.960437e-07,1.222707e-06,1.396328e-06,1.535323e-06,1.817249e-06,1.855916e-06,2.178326e-06,2.242624e-06,2.498219e-06,2.662424e-06,2.812221e-06,3.069354e-06,3.117511e-06,3.411673e-06,3.457565e-06,3.692672e-06,3.822376e-06,3.958858e-06,4.160294e-06,4.208991e-06,4.442240e-06,4.469071e-06,4.658165e-06,4.747651e-06,4.856683e-06,4.996043e-06,5.038019e-06,5.202650e-06,5.215118e-06,5.351241e-06,5.406361e-06,5.484592e-06,5.571686e-06,5.603630e-06,5.709343e-06,5.713308e-06,5.802726e-06,5.833516e-06,5.884766e-06,5.934566e-06,5.956425e-06,6.018639e-06,6.072274e-06,6.087752e-06,6.118093e-06,6.143635e-06,6.156785e-06,6.187828e-06,6.189000e-06,6.215346e-06,6.221747e-06,6.236377e-06,6.246679e-06,6.252676e-06,6.264032e-06,6.264865e-06,6.273332e-06,6.274853e-06,6.278447e-06,6.279964e-06,6.280523e-06,6.280069e-06,6.279852e-06,6.276687e-06,6.275776e-06,6.271263e-06,6.267622e-06,6.263795e-06,6.256080e-06,6.254471e-06,6.243462e-06,6.241554e-06,6.230921e-06,6.224399e-06,6.216989e-06,6.204927e-06,6.201792e-06,6.185446e-06,6.183412e-06,6.168056e-06,6.160098e-06,6.149717e-06,6.135199e-06,6.130517e-06,6.110535e-06,6.108905e-06,6.089846e-06,6.081387e-06,6.068516e-06,6.052798e-06,6.046609e-06,6.024180e-06,6.023272e-06,6.001282e-06,5.992934e-06,5.977966e-06,5.961894e-06,5.954274e-06,5.930251e-06,5.905933e-06,5.898095e-06,5.881358e-06,5.865510e-06,5.856558e-06,5.832568e-06,5.831565e-06,5.806408e-06,5.799339e-06,5.781114e-06,5.765883e-06,5.755709e-06,5.732257e-06,5.730214e-06,5.704654e-06,5.698512e-06,5.679048e-06,5.664695e-06,5.653415e-06,5.630849e-06,5.627772e-06,5.602138e-06,5.597013e-06,5.576526e-06,5.563222e-06,5.550952e-06,5.529509e-06,5.525430e-06,5.499971e-06,5.495904e-06,5.474587e-06,5.462433e-06,5.449290e-06,5.429122e-06,5.424090e-06,5.398996e-06,5.395993e-06,5.374018e-06,5.363066e-06,5.349163e-06,5.330360e-06,5.324439e-06,5.299853e-06,5.297892e-06,5.275412e-06,5.265678e-06,5.251122e-06,5.233730e-06,5.226989e-06,5.203018e-06,5.202062e-06,5.179213e-06,5.170685e-06,5.155579e-06,5.139608e-06,5.132120e-06,5.108840e-06,5.078390e-06,5.048264e-06,5.018469e-06,4.989009e-06,4.959889e-06,4.931112e-06,4.902683e-06,4.874604e-06,4.846876e-06,4.819501e-06,4.792481e-06,4.765815e-06,4.739504e-06,4.713547e-06,4.687945e-06,4.662697e-06,4.637800e-06,4.613254e-06,4.589057e-06,4.565207e-06,4.541702e-06,4.518540e-06,4.495718e-06,4.473233e-06
0.000000e+00,2.040834e-10,7.455546e-10,4.929934e-09,1.670567e-08,2.892319e-08,9.239625e-08,9.628631e-08,2.371652e-07,2.943953e-07,4.862080e-07,7.037114e-07,8.827923e-07,1.416297e-06,1.471609e-06,2.300930e-06,2.540947e-06,3.415380e-06,4.175890e-06,4.844355e-06,6.367759e-06,6.594402e-06,8.651476e-06,9.097541e-06,1.098939e-05,1.230606e-05,1.357788e-05,1.592409e-05,1.638728e-05,1.939015e-05,1.988686e-05,2.256130e-05,2.413625e-05,2.587713e-05,2.861871e-05,2.931497e-05,3.285273e-05,3.328293e-05,3.646865e-05,3.807891e-05,4.014143e-05,4.295794e-05,4.385027e-05,4.757523e-05,4.787334e-05,5.129733e-05,5.278137e-05,5.499890e-05,5.764210e-05,5.866363e-05,6.227678e-05,6.242004e-05,6.582521e-05,6.708454e-05,6.929741e-05,7.160984e-05,7.268347e-05,7.597508e-05,7.916540e-05,8.016397e-05,8.224895e-05,8.416440e-05,8.522153e-05,8.796794e-05,8.808007e-05,9.082252e-05,9.156943e-05,9.344774e-05,9.496642e-05,9.595537e-05,9.815879e-05,9.834572e-05,1.006197e-04,1.011483e-04,1.027787e-04,1.039382e-04,1.048245e-04,1.065329e-04,1.067593e-04,1.085855e-04,1.089380e-04,1.103058e-04,1.111593e-04,1.119228e-04,1.132036e-04,1.134397e-04,1.148595e-04,1.150778e-04,1.161852e-04,1.167890e-04,1.174199e-04,1.183444e-04,1.185669e-04,1.196294e-04,1.197513e-04,1.206103e-04,1.210169e-04,1.215129e-04,1.221484e-04,1.223402e-04,1.230953e-04,1.231526e-04,1.237810e-04,1.240365e-04,1.244003e-04,1.248066e-04,1.249560e-04,1.254508e-04,1.254694e-04,1.258875e-04,1.260310e-04,1.262687e-04,1.264974e-04,1.265968e-04,1.268744e-04,1.271038e-04,1.271674e-04,1.272874e-04,1.273818e-04,1.274273e-04,1.275226e-04,1.275257e-04,1.275848e-04,1.275945e-04,1.276064e-04,1.276023e-04,1.275926e-04,1.275502e-04,1.275452e-04,1.274660e-04,1.274425e-04,1.273568e-04,1.272831e-04,1.272192e-04,1.270759e-04,1.270548e-04,1.268651e-04,1.268243e-04,1.266517e-04,1.265318e-04,1.264159e-04,1.262016e-04,1.261591e-04,1.258827e-04,1.258367e-04,1.255878e-04,1.254401e-04,1.252757e-04,1.250144e-04,1.249475e-04,1.246044e-04,1.245623e-04,1.242473e-04,1.240861e-04,1.238774e-04,1.235882e-04,1.234955e-04,1.231026e-04,1.230707e-04,1.226995e-04,1.225356e-04,1.222872e-04,1.219850e-04,1.218663e-04,1.214378e-04,1.214205e-04,1.210022e-04,1.208438e-04,1.205604e-04,1.202566e-04,1.201129e-04,1.196604e-04,1.190564e-04,1.184461e-04,1.178306e-04,1.172111e-04,1.165886e-04,1.159642e-04,1.153387e-04,1.147130e-04,1.140879e-04,1.134642e-04,1.128424e-04,1.122233e-04,1.116074e-04,1.109952e-04,1.103872e-04,1.097840e-04,1.091858e-04,1.085931e-04,1.080061e-04,1.074253e-04,1.068508e-04,1.062830e-04,1.057219e-04,1.051679e-04
0.000000e+00,2.373024e-09,5.442109e-09,1.876579e-08,4.281595e-08,6.258662e-08,1.429658e-07,1.473185e-07,2.876242e-07,3.391008e-07,5.003792e-07,6.708369e-07,8.051068e-07,1.184719e-06,1.222753e-06,1.771133e-06,1.923298e-06,2.457166e-06,2.898749e-06,3.272009e-06,4.079724e-06,4.195523e-06,5.205267e-06,5.415786e-06,6.281871e-06,6.862868e-06,7.409893e-06,8.388018e-06,8.576914e-06,9.772499e-06,9.965817e-06,1.098748e-05,1.157511e-05,1.221360e-05,1.319741e-05,1.344331e-05,1.466975e-05,1.481640e-05,1.588675e-05,1.641780e-05,1.708882e-05,1.798945e-05,1.827119e-05,1.942976e-05,1.952131e-05,2.056112e-05,2.100540e-05,2.166248e-05,2.243563e-05,2.273164e-05,2.376693e-05,2.380762e-05,2.476714e-05,2.511846e-05,2.573147e-05,2.636647e-05,2.665947e-05,2.755099e-05,2.840615e-05,2.867216e-05,2.922525e-05,2.973077e-05,3.000877e-05,3.072806e-05,3.075734e-05,3.147167e-05,3.166566e-05,3.215258e-05,3.254544e-05,3.280093e-05,3.336945e-05,3.341764e-05,3.400366e-05,3.413984e-05,3.455995e-05,3.485884e-05,3.508747e-05,3.552868e-05,3.558722e-05,3.606015e-05,3.615160e-05,3.650722e-05,3.672980e-05,3.692939e-05,3.726545e-05,3.732758e-05,3.770271e-05,3.776065e-05,3.805566e-05,3.821745e-05,3.838729e-05,3.863783e-05,3.869847e-05,3.898999e-05,3.902369e-05,3.926267e-05,3.937687e-05,3.951726e-05,3.969911e-05,3.975451e-05,3.997515e-05,3.999211e-05,4.017988e-05,4.025746e-05,4.036935e-05,4.049670e-05,4.054423e-05,4.070514e-05,4.071129e-05,4.085268e-05,4.090263e-05,4.098743e-05,4.107204e-05,4.110995e-05,4.122079e-05,4.132046e-05,4.135008e-05,4.140946e-05,4.146105e-05,4.148827e-05,4.155477e-05,4.155736e-05,4.161715e-05,4.163229e-05,4.166809e-05,4.169457e-05,4.171058e-05,4.174254e-05,4.174501e-05,4.177176e-05,4.177708e-05,4.179120e-05,4.179902e-05,4.180367e-05,4.180915e-05,4.180951e-05,4.180904e-05,4.180822e-05,4.180257e-05,4.179693e-05,4.179038e-05,4.177595e-05,4.177278e-05,4.175002e-05,4.174591e-05,4.172236e-05,4.170743e-05,4.169007e-05,4.166106e-05,4.165338e-05,4.161251e-05,4.160734e-05,4.156769e-05,4.154678e-05,4.151914e-05,4.147986e-05,4.146704e-05,4.141160e-05,4.140703e-05,4.135301e-05,4.132873e-05,4.129143e-05,4.124535e-05,4.122705e-05,4.116002e-05,4.115729e-05,4.109050e-05,4.106490e-05,4.101865e-05,4.096852e-05,4.094459e-05,4.086848e-05,4.076509e-05,4.065863e-05,4.054936e-05,4.043756e-05,4.032345e-05,4.020727e-05,4.008924e-05,3.996954e-05,3.984838e-05,3.972594e-05,3.960237e-05,3.947785e-05,3.935252e-05,3.922652e-05,3.909999e-05,3.897304e-05,3.884580e-05,3.871838e-05,3.859087e-05,3.846338e-05,3.833599e-05,3.820879e-05,3.808186e-05,3.795528e-05
0.000000e+00,1.922645e-09,4.397366e-09,1.507498e-08,3.418537e-08,4.978037e-08,1.123800e-07,1.157383e-07,2.225766e-07,2.611718e-07,3.803679e-07,5.039507e-07,5.998569e-07,8.655820e-07,8.918366e-07,1.264796e-06,1.366788e-06,1.721000e-06,2.010861e-06,2.254372e-06,2.778305e-06,2.853187e-06,3.504654e-06,3.640232e-06,4.197399e-06,4.570690e-06,4.921813e-06,5.548717e-06,5.669627e-06,6.433476e-06,6.556723e-06,7.206636e-06,7.579223e-06,7.982916e-06,8.602350e-06,8.756634e-06,9.522644e-06,9.613823e-06,1.027637e-05,1.060306e-05,1.101381e-05,1.156129e-05,1.173160e-05,1.242695e-05,1.248153e-05,1.309760e-05,1.335855e-05,1.374188e-05,1.418873e-05,1.435857e-05,1.494686e-05,1.496979e-05,1.550633e-05,1.570065e-05,1.603687e-05,1.638120e-05,1.653866e-05,1.701208e-05,1.745770e-05,1.759454e-05,1.787624e-05,1.813026e-05,1.826850e-05,1.862120e-05,1.863540e-05,1.897790e-05,1.906956e-05,1.929698e-05,1.947761e-05,1.959366e-05,1.984772e-05,1.986898e-05,2.012396e-05,2.018223e-05,2.035958e-05,2.048345e-05,2.057684e-05,2.075360e-05,2.077670e-05,2.096006e-05,2.099484e-05,2.112784e-05,2.120921e-05,2.128089e-05,2.139868e-05,2.142004e-05,2.154607e-05,2.156507e-05,2.165974e-05,2.171013e-05,2.176177e-05,2.183547e-05,2.185284e-05,2.193361e-05,2.194264e-05,2.200468e-05,2.203304e-05,2.206666e-05,2.210801e-05,2.212008e-05,2.216549e-05,2.216879e-05,2.220337e-05,2.221652e-05,2.223420e-05,2.225229e-05,2.225843e-05,2.227648e-05,2.227708e-05,2.228875e-05,2.229182e-05,2.229560e-05,2.229736e-05,2.229741e-05,2.229450e-05,2.228720e-05,2.228398e-05,2.227580e-05,2.226648e-05,2.226058e-05,2.224262e-05,2.224181e-05,2.221974e-05,2.221300e-05,2.219461e-05,2.217816e-05,2.216664e-05,2.213859e-05,2.213605e-05,2.210303e-05,2.209476e-05,2.206776e-05,2.204710e-05,2.203043e-05,2.199600e-05,2.199120e-05,2.195022e-05,2.194183e-05,2.190765e-05,2.188493e-05,2.186363e-05,2.182561e-05,2.181827e-05,2.177171e-05,2.176416e-05,2.172407e-05,2.170084e-05,2.167544e-05,2.163591e-05,2.162594e-05,2.157566e-05,2.156957e-05,2.152468e-05,2.150205e-05,2.147310e-05,2.143354e-05,2.142099e-05,2.136844e-05,2.136421e-05,2.131550e-05,2.129423e-05,2.126224e-05,2.122374e-05,2.120874e-05,2.115504e-05,2.115289e-05,2.110120e-05,2.108179e-05,2.104727e-05,2.101057e-05,2.099330e-05,2.093933e-05,2.086817e-05,2.079718e-05,2.072643e-05,2.065601e-05,2.058598e-05,2.051639e-05,2.044732e-05,2.037880e-05,2.031089e-05,2.024362e-05,2.017703e-05,2.011115e-05,2.004602e-05,1.998165e-05,1.991807e-05,1.985531e-05,1.979337e-05,1.973228e-05,1.967204e-05,1.961267e-05,1.955417e-05,1.949655e-05,1.943982e-05,1.938398e-05
0.000000e+00,3.391360e-09,7.773063e-09,2.685682e-08,6.162421e-08,9.052491e-08,2.108889e-07,2.175315e-07,4.374988e-07,5.205256e-07,7.850196e-07,1.065312e-06,1.282318e-06,1.864993e-06,1.920673e-06,2.675485e-06,2.871514e-06,3.526010e-06,4.038470e-06,4.457514e-06,5.334762e-06,5.458114e-06,6.516707e-06,6.734410e-06,7.622191e-06,8.211870e-06,8.763425e-06,9.741691e-06,9.929495e-06,1.111001e-05,1.129958e-05,1.229541e-05,1.286358e-05,1.347713e-05,1.441482e-05,1.464773e-05,1.580094e-05,1.593790e-05,1.693154e-05,1.742073e-05,1.803535e-05,1.885428e-05,1.910910e-05,2.015038e-05,2.023223e-05,2.115744e-05,2.155039e-05,2.212908e-05,2.280633e-05,2.306461e-05,2.396372e-05,2.399893e-05,2.482645e-05,2.512816e-05,2.565298e-05,2.619454e-05,2.644372e-05,2.719927e-05,2.792030e-05,2.814387e-05,2.860761e-05,2.903019e-05,2.926207e-05,2.986025e-05,2.988455e-05,3.047597e-05,3.063613e-05,3.103727e-05,3.135999e-05,3.156941e-05,3.203405e-05,3.207335e-05,3.255005e-05,3.266050e-05,3.300044e-05,3.324152e-05,3.342546e-05,3.377924e-05,3.382605e-05,3.420309e-05,3.427575e-05,3.455748e-05,3.473310e-05,3.489009e-05,3.515325e-05,3.520175e-05,3.549329e-05,3.553813e-05,3.576552e-05,3.588956e-05,3.601922e-05,3.620933e-05,3.625513e-05,3.647400e-05,3.649915e-05,3.667653e-05,3.676064e-05,3.686341e-05,3.699538e-05,3.703531e-05,3.719287e-05,3.720487e-05,3.733671e-05,3.739054e-05,3.746744e-05,3.755376e-05,3.758562e-05,3.769183e-05,3.769584e-05,3.778660e-05,3.781802e-05,3.787045e-05,3.792149e-05,3.794388e-05,3.800737e-05,3.806139e-05,3.807675e-05,3.810638e-05,3.813063e-05,3.814277e-05,3.817000e-05,3.817097e-05,3.819139e-05,3.819576e-05,3.820440e-05,3.820880e-05,3.821036e-05,3.820994e-05,3.820964e-05,3.820257e-05,3.819996e-05,3.818947e-05,3.817962e-05,3.817065e-05,3.814960e-05,3.814642e-05,3.811706e-05,3.811060e-05,3.808284e-05,3.806322e-05,3.804404e-05,3.800808e-05,3.800089e-05,3.795365e-05,3.794573e-05,3.790255e-05,3.787672e-05,3.784781e-05,3.780154e-05,3.778964e-05,3.772824e-05,3.772067e-05,3.766382e-05,3.763456e-05,3.759656e-05,3.754365e-05,3.752663e-05,3.745421e-05,3.744832e-05,3.737947e-05,3.734896e-05,3.730256e-05,3.724592e-05,3.722362e-05,3.714281e-05,3.713954e-05,3.706026e-05,3.703014e-05,3.697610e-05,3.691802e-05,3.689046e-05,3.680345e-05,3.668670e-05,3.656802e-05,3.644765e-05,3.632579e-05,3.620267e-05,3.607846e-05,3.595336e-05,3.582753e-05,3.570113e-05,3.557432e-05,3.544723e-05,3.531999e-05,3.519273e-05,3.506555e-05,3.493857e-05,3.481188e-05,3.468558e-05,3.455975e-05,3.443447e-05,3.430981e-05,3.418585e-05,3.406264e-05,3.394024e-05,3.381872e-05
0.000000e+00,3.187992e-11,1.233165e-10,9.142091e-10,3.420725e-09,6.240413e-09,2.265564e-08,2.372734e-08,6.562193e-08,8.390208e-08,1.487067e-07,2.269742e-07,2.941887e-07,5.047657e-07,5.272841e-07,8.757022e-07,9.795587e-07,1.366562e-06,1.712509e-06,2.022952e-06,2.751077e-06,2.861761e-06,3.893067e-06,4.122851e-06,5.120476e-06,5.835729e-06,6.541861e-06,7.880687e-06,8.150157e-06,9.934142e-06,1.023494e-05,1.187913e-05,1.286488e-05,1.396765e-05,1.572867e-05,1.618006e-05,1.849518e-05,1.877885e-05,2.089086e-05,2.196470e-05,2.334463e-05,2.523457e-05,2.583414e-05,2.833772e-05,2.853799e-05,3.083479e-05,3.182744e-05,3.330618e-05,3.505982e-05,3.573445e-05,3.810405e-05,3.819741e-05,4.040144e-05,4.120856e-05,4.261517e-05,4.406784e-05,4.473584e-05,4.675601e-05,4.867015e-05,4.925962e-05,5.047447e-05,5.157051e-05,5.216674e-05,5.368514e-05,5.374616e-05,5.521311e-05,5.560388e-05,5.656905e-05,5.733027e-05,5.781632e-05,5.887044e-05,5.895796e-05,5.999760e-05,6.023238e-05,6.093929e-05,6.142548e-05,6.178741e-05,6.246001e-05,6.254657e-05,6.322149e-05,6.334678e-05,6.381694e-05,6.409674e-05,6.433766e-05,6.472073e-05,6.478831e-05,6.517347e-05,6.522932e-05,6.549756e-05,6.563269e-05,6.576485e-05,6.594051e-05,6.597939e-05,6.614508e-05,6.616186e-05,6.626558e-05,6.630519e-05,6.634436e-05,6.637835e-05,6.638469e-05,6.638962e-05,6.638857e-05,6.636202e-05,6.634248e-05,6.630457e-05,6.624612e-05,6.621975e-05,6.610989e-05,6.610501e-05,6.597714e-05,6.592414e-05,6.582350e-05,6.570805e-05,6.565083e-05,6.546084e-05,6.525511e-05,6.518619e-05,6.503511e-05,6.488746e-05,6.480221e-05,6.456765e-05,6.455766e-05,6.430261e-05,6.422946e-05,6.403813e-05,6.387534e-05,6.376522e-05,6.350748e-05,6.348479e-05,6.319767e-05,6.312785e-05,6.290464e-05,6.273823e-05,6.260642e-05,6.234022e-05,6.230367e-05,6.199701e-05,6.193526e-05,6.168699e-05,6.152463e-05,6.137413e-05,6.110950e-05,6.105892e-05,6.074180e-05,6.069091e-05,6.042317e-05,6.026981e-05,6.010341e-05,5.984703e-05,5.978288e-05,5.946189e-05,5.942335e-05,5.914074e-05,5.899945e-05,5.881970e-05,5.857594e-05,5.849903e-05,5.817895e-05,5.815338e-05,5.785969e-05,5.773225e-05,5.754143e-05,5.731301e-05,5.722436e-05,5.690865e-05,5.689605e-05,5.659444e-05,5.648172e-05,5.628188e-05,5.607035e-05,5.597109e-05,5.566220e-05,5.525753e-05,5.485657e-05,5.445951e-05,5.406652e-05,5.367775e-05,5.329334e-05,5.291339e-05,5.253801e-05,5.216727e-05,5.180124e-05,5.143998e-05,5.108353e-05,5.073192e-05,5.038518e-05,5.004333e-05,4.970636e-05,4.937429e-05,4.904711e-05,4.872480e-05,4.840734e-05,4.809472e-05,4.778691e-05,4.748387e-05,4.718557e-05
0.000000e+00,7.326316e-10,1.979479e-09,8.168453e-09,2.026692e-08,3.053588e-08,7.324197e-08,7.557240e-08,1.507158e-07,1.781579e-07,2.633854e-07,3.521578e-07,4.211990e-07,6.129760e-07,6.319684e-07,9.031539e-07,9.779230e-07,1.240402e-06,1.458980e-06,1.645478e-06,2.055676e-06,2.115266e-06,2.643093e-06,2.754928e-06,3.221056e-06,3.538853e-06,3.841538e-06,4.390533e-06,4.497638e-06,5.183091e-06,5.295094e-06,5.892077e-06,6.239125e-06,6.619099e-06,7.210179e-06,7.358927e-06,8.106600e-06,8.196623e-06,8.857452e-06,9.187706e-06,9.607156e-06,1.017371e-05,1.035176e-05,1.108770e-05,1.114611e-05,1.181186e-05,1.209760e-05,1.252151e-05,1.302216e-05,1.321435e-05,1.388848e-05,1.391503e-05,1.454235e-05,1.477254e-05,1.517476e-05,1.559206e-05,1.578480e-05,1.637185e-05,1.693553e-05,1.711094e-05,1.747566e-05,1.780898e-05,1.799224e-05,1.846613e-05,1.848541e-05,1.895546e-05,1.908298e-05,1.940276e-05,1.966041e-05,1.982777e-05,2.019956e-05,2.023103e-05,2.061310e-05,2.070171e-05,2.097460e-05,2.116829e-05,2.131617e-05,2.160079e-05,2.163847e-05,2.194216e-05,2.200073e-05,2.222793e-05,2.236966e-05,2.249643e-05,2.270911e-05,2.274833e-05,2.298429e-05,2.302061e-05,2.320495e-05,2.330563e-05,2.341095e-05,2.356560e-05,2.360290e-05,2.378139e-05,2.380194e-05,2.394702e-05,2.401596e-05,2.410033e-05,2.420896e-05,2.424189e-05,2.437221e-05,2.438217e-05,2.449181e-05,2.453676e-05,2.460117e-05,2.467385e-05,2.470078e-05,2.479108e-05,2.479450e-05,2.487251e-05,2.489973e-05,2.494549e-05,2.499050e-05,2.501043e-05,2.506771e-05,2.511771e-05,2.513223e-05,2.516078e-05,2.518487e-05,2.519727e-05,2.522641e-05,2.522750e-05,2.525179e-05,2.525757e-05,2.527044e-05,2.527904e-05,2.528373e-05,2.529147e-05,2.529194e-05,2.529534e-05,2.529547e-05,2.529418e-05,2.529163e-05,2.528870e-05,2.528049e-05,2.527913e-05,2.526569e-05,2.526256e-05,2.524860e-05,2.523833e-05,2.522805e-05,2.520826e-05,2.520424e-05,2.517735e-05,2.517277e-05,2.514756e-05,2.513228e-05,2.511503e-05,2.508715e-05,2.507994e-05,2.504242e-05,2.503776e-05,2.500263e-05,2.498444e-05,2.496071e-05,2.492750e-05,2.491678e-05,2.487099e-05,2.486725e-05,2.482344e-05,2.480396e-05,2.477426e-05,2.473790e-05,2.472355e-05,2.467143e-05,2.466932e-05,2.461798e-05,2.459844e-05,2.456332e-05,2.452549e-05,2.450752e-05,2.445068e-05,2.437419e-05,2.429620e-05,2.421689e-05,2.413641e-05,2.405491e-05,2.397253e-05,2.388940e-05,2.380565e-05,2.372138e-05,2.363671e-05,2.355173e-05,2.346653e-05,2.338121e-05,2.329585e-05,2.321051e-05,2.312527e-05,2.304020e-05,2.295536e-05,2.287080e-05,2.278657e-05,2.270273e-05,2.261932e-05,2.253637e-05,2.245394e-05
0.000000e+00,1.013692e-09,2.383804e-09,8.427559e-09,1.940727e-08,2.843022e-08,6.487682e-08,6.683767e-08,1.293259e-07,1.519182e-07,2.216643e-07,2.938804e-07,3.498420e-07,5.045609e-07,5.198269e-07,7.365290e-07,7.958022e-07,1.002034e-06,1.171531e-06,1.314633e-06,1.625223e-06,1.669944e-06,2.062788e-06,2.145418e-06,2.488223e-06,2.720813e-06,2.941723e-06,3.341249e-06,3.419054e-06,3.916147e-06,3.997249e-06,4.429032e-06,4.679683e-06,4.953834e-06,5.379733e-06,5.486808e-06,6.024386e-06,6.089044e-06,6.563236e-06,6.799932e-06,7.100290e-06,7.505529e-06,7.632772e-06,8.158232e-06,8.199900e-06,8.674551e-06,8.878103e-06,9.179922e-06,9.536160e-06,9.672851e-06,1.015213e-05,1.017101e-05,1.061682e-05,1.078040e-05,1.106622e-05,1.136282e-05,1.149983e-05,1.191734e-05,1.231859e-05,1.244356e-05,1.270358e-05,1.294147e-05,1.307239e-05,1.341141e-05,1.342522e-05,1.376232e-05,1.385394e-05,1.408403e-05,1.426982e-05,1.439071e-05,1.465994e-05,1.468277e-05,1.496064e-05,1.502526e-05,1.522476e-05,1.536683e-05,1.547559e-05,1.568570e-05,1.571360e-05,1.593925e-05,1.598294e-05,1.615301e-05,1.625962e-05,1.635534e-05,1.651679e-05,1.654668e-05,1.672748e-05,1.675546e-05,1.689817e-05,1.697663e-05,1.705917e-05,1.718126e-05,1.721088e-05,1.735370e-05,1.737025e-05,1.748800e-05,1.754450e-05,1.761417e-05,1.770482e-05,1.773254e-05,1.784347e-05,1.785203e-05,1.794728e-05,1.798688e-05,1.804428e-05,1.811009e-05,1.813479e-05,1.821909e-05,1.822234e-05,1.829746e-05,1.832427e-05,1.837017e-05,1.841651e-05,1.843748e-05,1.849963e-05,1.855685e-05,1.857417e-05,1.860939e-05,1.864065e-05,1.865744e-05,1.869955e-05,1.870123e-05,1.874094e-05,1.875135e-05,1.877676e-05,1.879647e-05,1.880888e-05,1.883532e-05,1.883748e-05,1.886271e-05,1.886829e-05,1.888474e-05,1.889574e-05,1.890372e-05,1.891801e-05,1.891979e-05,1.893310e-05,1.893544e-05,1.894377e-05,1.894832e-05,1.895194e-05,1.895695e-05,1.895772e-05,1.896123e-05,1.896159e-05,1.896259e-05,1.896250e-05,1.896189e-05,1.895993e-05,1.895925e-05,1.895475e-05,1.895409e-05,1.894850e-05,1.894521e-05,1.894057e-05,1.893348e-05,1.893106e-05,1.892005e-05,1.891911e-05,1.890761e-05,1.890225e-05,1.889382e-05,1.888310e-05,1.887875e-05,1.886247e-05,1.886180e-05,1.884505e-05,1.883851e-05,1.882654e-05,1.881336e-05,1.880700e-05,1.878650e-05,1.875805e-05,1.872812e-05,1.869683e-05,1.866429e-05,1.863060e-05,1.859585e-05,1.856012e-05,1.852351e-05,1.848609e-05,1.844794e-05,1.840912e-05,1.836970e-05,1.832976e-05,1.828933e-05,1.824848e-05,1.820727e-05,1.816574e-05,1.812394e-05,1.808190e-05,1.803968e-05,1.799732e-05,1.795484e-05,1.791228e-05,1.786968e-05
0.000000e+00,1.728332e-09,3.964310e-09,1.366725e-08,3.114742e-08,4.547816e-08,1.033640e-07,1.064816e-07,2.061034e-07,2.422576e-07,3.543142e-07,4.709661e-07,5.617116e-07,8.135090e-07,8.383831e-07,1.190948e-06,1.287054e-06,1.620089e-06,1.892476e-06,2.121856e-06,2.619132e-06,2.690764e-06,3.321451e-06,3.454555e-06,4.008875e-06,4.387113e-06,4.748068e-06,5.405255e-06,5.533905e-06,6.361002e-06,6.496793e-06,7.223720e-06,7.648770e-06,8.116231e-06,8.847721e-06,9.032628e-06,9.967045e-06,1.008011e-05,1.091378e-05,1.133282e-05,1.186737e-05,1.259355e-05,1.282274e-05,1.377520e-05,1.385114e-05,1.472050e-05,1.509575e-05,1.565487e-05,1.631899e-05,1.657503e-05,1.747813e-05,1.751387e-05,1.836181e-05,1.867478e-05,1.922408e-05,1.979737e-05,2.006336e-05,2.087840e-05,2.166826e-05,2.191558e-05,2.243227e-05,2.290747e-05,2.317001e-05,2.385329e-05,2.388123e-05,2.456588e-05,2.475283e-05,2.522406e-05,2.560633e-05,2.585596e-05,2.641439e-05,2.646192e-05,2.704232e-05,2.717786e-05,2.759762e-05,2.789782e-05,2.812835e-05,2.857551e-05,2.863506e-05,2.911835e-05,2.921225e-05,2.957882e-05,2.980946e-05,3.001711e-05,3.036859e-05,3.043385e-05,3.082969e-05,3.089113e-05,3.120527e-05,3.137855e-05,3.156124e-05,3.183232e-05,3.189824e-05,3.221688e-05,3.225392e-05,3.251780e-05,3.264475e-05,3.280161e-05,3.300622e-05,3.306889e-05,3.332024e-05,3.333968e-05,3.355624e-05,3.364646e-05,3.377743e-05,3.392782e-05,3.398436e-05,3.417756e-05,3.418501e-05,3.435754e-05,3.441920e-05,3.452481e-05,3.463154e-05,3.467985e-05,3.482313e-05,3.495510e-05,3.499502e-05,3.507622e-05,3.514823e-05,3.518690e-05,3.528373e-05,3.528757e-05,3.537862e-05,3.540244e-05,3.546044e-05,3.550526e-05,3.553340e-05,3.559302e-05,3.559788e-05,3.565421e-05,3.566655e-05,3.570274e-05,3.572663e-05,3.574379e-05,3.577398e-05,3.577768e-05,3.580471e-05,3.580932e-05,3.582518e-05,3.583332e-05,3.583936e-05,3.584662e-05,3.584754e-05,3.584997e-05,3.584984e-05,3.584690e-05,3.584355e-05,3.583859e-05,3.582832e-05,3.582527e-05,3.580716e-05,3.580468e-05,3.578449e-05,3.577312e-05,3.575745e-05,3.573412e-05,3.572627e-05,3.569113e-05,3.568815e-05,3.565221e-05,3.563563e-05,3.560971e-05,3.557698e-05,3.556379e-05,3.551462e-05,3.551259e-05,3.546237e-05,3.544283e-05,3.540718e-05,3.536806e-05,3.534922e-05,3.528861e-05,3.520480e-05,3.511694e-05,3.502531e-05,3.493018e-05,3.483183e-05,3.473048e-05,3.462638e-05,3.451975e-05,3.441079e-05,3.429972e-05,3.418670e-05,3.407193e-05,3.395558e-05,3.383780e-05,3.371874e-05,3.359856e-05,3.347737e-05,3.335532e-05,3.323252e-05,3.310909e-05,3.298514e-05,3.286077e-05,3.273607e-05,3.261114e-05
0.000000e+00,2.151107e-09,4.945538e-09,1.703381e-08,3.866898e-08,5.629937e-08,1.267864e-07,1.305548e-07,2.497713e-07,2.925347e-07,4.236733e-07,5.582828e-07,6.618904e-07,9.455503e-07,9.733333e-07,1.364095e-06,1.469878e-06,1.834717e-06,2.131348e-06,2.379931e-06,2.914838e-06,2.991423e-06,3.660419e-06,3.800377e-06,4.378594e-06,4.768845e-06,5.138043e-06,5.802258e-06,5.931091e-06,6.750184e-06,6.883157e-06,7.587892e-06,7.994470e-06,8.436988e-06,9.119812e-06,9.290570e-06,1.014217e-05,1.024394e-05,1.098585e-05,1.135317e-05,1.181631e-05,1.243573e-05,1.262890e-05,1.341965e-05,1.348186e-05,1.418528e-05,1.448389e-05,1.492317e-05,1.543611e-05,1.563129e-05,1.630818e-05,1.633459e-05,1.695286e-05,1.717695e-05,1.756482e-05,1.796217e-05,1.814390e-05,1.869028e-05,1.920439e-05,1.936218e-05,1.968686e-05,1.997942e-05,2.013853e-05,2.054402e-05,2.056033e-05,2.095331e-05,2.105833e-05,2.131858e-05,2.152492e-05,2.165729e-05,2.194646e-05,2.197063e-05,2.225977e-05,2.232570e-05,2.252591e-05,2.266533e-05,2.277020e-05,2.296802e-05,2.299379e-05,2.319779e-05,2.323633e-05,2.338327e-05,2.347275e-05,2.355127e-05,2.367962e-05,2.370279e-05,2.383879e-05,2.385917e-05,2.396016e-05,2.401349e-05,2.406779e-05,2.414456e-05,2.416251e-05,2.424509e-05,2.425422e-05,2.431629e-05,2.434420e-05,2.437681e-05,2.441609e-05,2.442733e-05,2.446848e-05,2.447139e-05,2.450086e-05,2.451149e-05,2.452504e-05,2.453766e-05,2.454154e-05,2.455088e-05,2.455112e-05,2.455354e-05,2.455295e-05,2.454996e-05,2.454418e-05,2.454056e-05,2.452575e-05,2.450590e-05,2.449854e-05,2.448137e-05,2.446336e-05,2.445248e-05,2.442096e-05,2.441957e-05,2.438291e-05,2.437201e-05,2.434279e-05,2.431717e-05,2.429947e-05,2.425701e-05,2.425320e-05,2.420421e-05,2.419207e-05,2.415272e-05,2.412287e-05,2.409893e-05,2.404985e-05,2.404304e-05,2.398523e-05,2.397345e-05,2.392567e-05,2.389406e-05,2.386452e-05,2.381203e-05,2.380193e-05,2.373804e-05,2.372771e-05,2.367299e-05,2.364139e-05,2.360691e-05,2.355337e-05,2.353990e-05,2.347208e-05,2.346389e-05,2.340355e-05,2.337320e-05,2.333442e-05,2.328152e-05,2.326476e-05,2.319468e-05,2.318905e-05,2.312424e-05,2.309598e-05,2.305352e-05,2.300247e-05,2.298260e-05,2.291154e-05,2.290869e-05,2.284039e-05,2.281477e-05,2.276923e-05,2.272085e-05,2.269809e-05,2.262704e-05,2.253347e-05,2.244021e-05,2.234738e-05,2.225504e-05,2.216329e-05,2.207217e-05,2.198176e-05,2.189212e-05,2.180329e-05,2.171531e-05,2.162824e-05,2.154209e-05,2.145692e-05,2.137274e-05,2.128958e-05,2.120745e-05,2.112639e-05,2.104640e-05,2.096750e-05,2.088970e-05,2.081300e-05,2.073742e-05,2.066296e-05,2.058961e-05
0.000000e+00,1.402390e-09,3.545033e-09,1.356853e-08,3.247759e-08,4.828553e-08,1.131438e-07,1.166594e-07,2.293165e-07,2.702095e-07,3.966012e-07,5.274289e-07,6.286751e-07,9.079214e-07,9.354354e-07,1.326171e-06,1.433373e-06,1.808888e-06,2.121636e-06,2.389262e-06,2.982486e-06,3.069308e-06,3.846109e-06,4.012436e-06,4.711324e-06,5.192037e-06,5.652111e-06,6.489672e-06,6.653274e-06,7.699570e-06,7.870218e-06,8.777235e-06,9.302128e-06,9.874516e-06,1.075982e-05,1.098161e-05,1.209037e-05,1.222321e-05,1.319406e-05,1.367659e-05,1.428704e-05,1.510765e-05,1.536465e-05,1.642305e-05,1.650679e-05,1.745909e-05,1.786667e-05,1.847027e-05,1.918181e-05,1.945463e-05,2.041068e-05,2.044831e-05,2.133730e-05,2.166354e-05,2.223377e-05,2.282591e-05,2.309964e-05,2.393469e-05,2.473893e-05,2.498980e-05,2.551253e-05,2.599169e-05,2.625579e-05,2.694118e-05,2.696914e-05,2.765309e-05,2.783940e-05,2.830820e-05,2.868770e-05,2.893512e-05,2.948756e-05,2.953452e-05,3.010709e-05,3.024060e-05,3.065357e-05,3.094848e-05,3.117469e-05,3.161289e-05,3.167119e-05,3.214382e-05,3.223555e-05,3.259333e-05,3.281817e-05,3.302044e-05,3.336246e-05,3.342590e-05,3.381043e-05,3.387006e-05,3.417474e-05,3.434263e-05,3.451952e-05,3.478175e-05,3.484547e-05,3.515324e-05,3.518899e-05,3.544350e-05,3.556583e-05,3.571689e-05,3.591375e-05,3.597402e-05,3.621550e-05,3.623416e-05,3.644193e-05,3.652841e-05,3.665387e-05,3.679781e-05,3.685189e-05,3.703652e-05,3.704364e-05,3.720830e-05,3.726709e-05,3.736772e-05,3.746933e-05,3.751529e-05,3.765149e-05,3.777676e-05,3.781462e-05,3.789158e-05,3.795976e-05,3.799636e-05,3.808790e-05,3.809152e-05,3.817748e-05,3.819996e-05,3.825463e-05,3.829684e-05,3.832334e-05,3.837941e-05,3.838398e-05,3.843690e-05,3.844849e-05,3.848244e-05,3.850485e-05,3.852094e-05,3.854924e-05,3.855270e-05,3.857805e-05,3.858237e-05,3.859726e-05,3.860492e-05,3.861063e-05,3.861754e-05,3.861842e-05,3.862091e-05,3.862084e-05,3.861835e-05,3.861540e-05,3.861098e-05,3.860179e-05,3.859904e-05,3.858276e-05,3.858052e-05,3.856235e-05,3.855212e-05,3.853803e-05,3.851705e-05,3.850999e-05,3.847844e-05,3.847577e-05,3.844355e-05,3.842870e-05,3.840551e-05,3.837627e-05,3.836450e-05,3.832067e-05,3.831886e-05,3.827419e-05,3.825684e-05,3.822521e-05,3.819056e-05,3.817388e-05,3.812034e-05,3.804651e-05,3.796936e-05,3.788917e-05,3.780621e-05,3.772074e-05,3.763298e-05,3.754317e-05,3.745151e-05,3.735822e-05,3.726347e-05,3.716745e-05,3.707032e-05,3.697225e-05,3.687338e-05,3.677386e-05,3.667381e-05,3.657337e-05,3.647264e-05,3.637173e-05,3.627076e-05,3.616981e-05,3.606898e-05,3.596835e-05,3.586800e-05
0.000000e+00,4.446998e-09,1.019148e-08,3.507814e-08,7.980762e-08,1.163999e-07,2.636016e-07,2.715039e-07,5.227335e-07,6.133163e-07,8.921919e-07,1.179727e-06,1.401682e-06,2.011448e-06,2.071312e-06,2.915757e-06,3.145150e-06,3.938825e-06,4.586664e-06,5.130942e-06,6.304902e-06,6.473173e-06,7.943722e-06,8.251359e-06,9.521683e-06,1.037824e-05,1.118788e-05,1.264271e-05,1.292464e-05,1.471554e-05,1.500607e-05,1.654525e-05,1.743310e-05,1.839964e-05,1.989220e-05,2.026581e-05,2.213222e-05,2.235571e-05,2.398873e-05,2.480015e-05,2.582657e-05,2.720623e-05,2.763832e-05,2.941782e-05,2.955863e-05,3.116004e-05,3.184556e-05,3.286099e-05,3.405836e-05,3.451760e-05,3.612755e-05,3.619095e-05,3.768921e-05,3.823937e-05,3.920153e-05,4.020139e-05,4.066389e-05,4.207610e-05,4.343827e-05,4.386364e-05,4.475075e-05,4.556493e-05,4.601413e-05,4.718147e-05,4.722915e-05,4.839667e-05,4.871520e-05,4.951767e-05,5.016837e-05,5.059320e-05,5.154346e-05,5.162434e-05,5.261226e-05,5.284306e-05,5.355811e-05,5.406986e-05,5.446309e-05,5.522660e-05,5.532838e-05,5.615518e-05,5.631602e-05,5.694467e-05,5.734086e-05,5.769804e-05,5.830380e-05,5.841644e-05,5.910103e-05,5.920750e-05,5.975292e-05,6.005455e-05,6.037323e-05,6.084746e-05,6.096303e-05,6.152339e-05,6.158870e-05,6.205533e-05,6.228065e-05,6.255987e-05,6.292560e-05,6.303798e-05,6.349063e-05,6.352577e-05,6.391873e-05,6.408330e-05,6.432320e-05,6.460027e-05,6.470490e-05,6.506469e-05,6.507864e-05,6.540340e-05,6.552033e-05,6.572183e-05,6.592716e-05,6.602074e-05,6.630089e-05,6.656300e-05,6.664319e-05,6.680779e-05,6.695567e-05,6.703592e-05,6.723987e-05,6.724806e-05,6.744483e-05,6.749726e-05,6.762687e-05,6.772925e-05,6.779474e-05,6.793719e-05,6.794904e-05,6.809031e-05,6.812234e-05,6.821909e-05,6.828594e-05,6.833589e-05,6.842916e-05,6.844121e-05,6.853553e-05,6.855311e-05,6.861931e-05,6.865886e-05,6.869299e-05,6.874740e-05,6.875702e-05,6.881179e-05,6.881972e-05,6.885772e-05,6.887673e-05,6.889518e-05,6.891931e-05,6.892455e-05,6.894619e-05,6.894828e-05,6.896043e-05,6.896445e-05,6.896762e-05,6.896856e-05,6.896807e-05,6.896209e-05,6.896134e-05,6.894997e-05,6.894347e-05,6.893200e-05,6.891560e-05,6.890846e-05,6.887961e-05,6.887835e-05,6.884570e-05,6.883230e-05,6.880697e-05,6.877801e-05,6.876367e-05,6.871602e-05,6.864683e-05,6.857092e-05,6.848874e-05,6.840073e-05,6.830729e-05,6.820882e-05,6.810568e-05,6.799823e-05,6.788679e-05,6.777169e-05,6.765322e-05,6.753166e-05,6.740728e-05,6.728035e-05,6.715109e-05,6.701974e-05,6.688652e-05,6.675162e-05,6.661525e-05,6.647759e-05,6.633881e-05,6.619907e-05,6.605853e-05,6.591733e-05
0.000000e+00,5.190191e-10,1.617163e-09,8.099564e-09,2.238860e-08,3.521813e-08,9.142319e-08,9.456783e-08,1.980626e-07,2.365006e-07,3.569887e-07,4.834933e-07,5.822400e-07,8.572373e-07,8.845010e-07,1.274257e-06,1.381942e-06,1.761411e-06,2.079953e-06,2.354217e-06,2.967254e-06,3.057534e-06,3.871228e-06,4.046826e-06,4.790028e-06,5.306474e-06,5.805038e-06,6.724325e-06,6.905753e-06,8.081422e-06,8.275783e-06,9.321623e-06,9.936893e-06,1.061637e-05,1.168497e-05,1.195605e-05,1.333136e-05,1.349837e-05,1.473333e-05,1.535639e-05,1.615327e-05,1.723934e-05,1.758290e-05,1.901439e-05,1.912876e-05,2.044040e-05,2.100773e-05,2.185418e-05,2.286106e-05,2.324959e-05,2.462115e-05,2.467545e-05,2.596401e-05,2.643959e-05,2.727398e-05,2.814413e-05,2.854749e-05,2.978158e-05,3.097385e-05,3.134623e-05,3.212243e-05,3.283393e-05,3.322592e-05,3.424195e-05,3.428335e-05,3.529414e-05,3.556877e-05,3.625805e-05,3.681390e-05,3.717512e-05,3.797772e-05,3.804566e-05,3.887020e-05,3.906132e-05,3.964944e-05,4.006635e-05,4.038425e-05,4.099491e-05,4.107561e-05,4.172461e-05,4.184942e-05,4.233241e-05,4.263259e-05,4.290024e-05,4.334726e-05,4.342937e-05,4.392111e-05,4.399640e-05,4.437677e-05,4.458306e-05,4.479768e-05,4.511028e-05,4.518517e-05,4.554056e-05,4.558112e-05,4.586516e-05,4.599856e-05,4.616025e-05,4.636557e-05,4.642711e-05,4.666696e-05,4.668501e-05,4.688101e-05,4.695968e-05,4.707046e-05,4.719227e-05,4.723645e-05,4.738009e-05,4.738538e-05,4.750246e-05,4.754152e-05,4.760462e-05,4.766306e-05,4.768758e-05,4.775231e-05,4.779976e-05,4.781144e-05,4.783084e-05,4.784254e-05,4.784642e-05,4.784759e-05,4.784735e-05,4.783445e-05,4.782847e-05,4.780849e-05,4.778696e-05,4.777022e-05,4.772476e-05,4.772037e-05,4.765961e-05,4.764348e-05,4.758861e-05,4.754462e-05,4.750801e-05,4.742962e-05,4.741841e-05,4.732039e-05,4.729983e-05,4.721452e-05,4.715653e-05,4.710130e-05,4.700091e-05,4.698127e-05,4.685489e-05,4.683411e-05,4.672264e-05,4.665720e-05,4.658495e-05,4.647117e-05,4.644224e-05,4.629493e-05,4.627696e-05,4.614337e-05,4.607545e-05,4.598796e-05,4.586746e-05,4.582901e-05,4.566688e-05,4.565378e-05,4.550187e-05,4.543512e-05,4.533427e-05,4.521216e-05,4.516438e-05,4.499245e-05,4.498553e-05,4.481875e-05,4.475582e-05,4.464351e-05,4.452358e-05,4.446696e-05,4.428932e-05,4.405351e-05,4.381660e-05,4.357898e-05,4.334105e-05,4.310315e-05,4.286560e-05,4.262871e-05,4.239274e-05,4.215795e-05,4.192457e-05,4.169281e-05,4.146286e-05,4.123490e-05,4.100907e-05,4.078554e-05,4.056442e-05,4.034582e-05,4.012986e-05,3.991662e-05,3.970619e-05,3.949862e-05,3.929399e-05,3.909234e-05,3.889371e-05
0.000000e+00,1.940741e-09,4.482875e-09,1.554490e-08,3.545744e-08,5.174458e-08,1.171693e-07,1.206770e-07,2.319741e-07,2.720123e-07,3.950465e-07,5.216440e-07,6.192724e-07,8.875444e-07,9.139165e-07,1.287437e-06,1.389569e-06,1.745854e-06,2.040438e-06,2.290680e-06,2.838735e-06,2.918174e-06,3.620878e-06,3.769671e-06,4.389956e-06,4.813175e-06,5.216630e-06,5.949471e-06,6.092614e-06,7.010067e-06,7.160201e-06,7.961456e-06,8.428022e-06,8.939470e-06,9.736275e-06,9.937013e-06,1.094724e-05,1.106900e-05,1.196361e-05,1.241116e-05,1.297999e-05,1.374894e-05,1.399070e-05,1.499058e-05,1.506996e-05,1.597500e-05,1.636352e-05,1.693992e-05,1.762060e-05,1.788185e-05,1.879785e-05,1.883392e-05,1.968554e-05,1.999779e-05,2.054300e-05,2.110804e-05,2.136877e-05,2.216180e-05,2.292142e-05,2.315737e-05,2.364724e-05,2.409399e-05,2.433920e-05,2.497174e-05,2.499743e-05,2.562227e-05,2.579132e-05,2.621425e-05,2.655393e-05,2.677402e-05,2.726119e-05,2.730232e-05,2.779999e-05,2.791498e-05,2.826796e-05,2.851740e-05,2.870717e-05,2.907066e-05,2.911860e-05,2.950327e-05,2.957709e-05,2.986220e-05,3.003900e-05,3.019639e-05,3.045875e-05,3.050687e-05,3.079464e-05,3.083864e-05,3.106066e-05,3.118092e-05,3.130592e-05,3.148780e-05,3.153135e-05,3.173786e-05,3.176141e-05,3.192634e-05,3.200378e-05,3.209765e-05,3.221687e-05,3.225262e-05,3.239205e-05,3.240256e-05,3.251672e-05,3.256262e-05,3.262737e-05,3.269875e-05,3.272471e-05,3.280942e-05,3.281256e-05,3.288218e-05,3.290556e-05,3.294360e-05,3.297920e-05,3.299429e-05,3.303483e-05,3.306578e-05,3.307375e-05,3.308766e-05,3.309714e-05,3.310098e-05,3.310617e-05,3.310623e-05,3.310385e-05,3.310189e-05,3.309431e-05,3.308531e-05,3.307801e-05,3.305739e-05,3.305535e-05,3.302672e-05,3.301900e-05,3.299249e-05,3.297100e-05,3.295300e-05,3.291415e-05,3.290857e-05,3.285954e-05,3.284920e-05,3.280619e-05,3.277684e-05,3.274881e-05,3.269770e-05,3.268767e-05,3.262304e-05,3.261239e-05,3.255516e-05,3.252148e-05,3.248425e-05,3.242550e-05,3.241055e-05,3.233426e-05,3.232494e-05,3.225559e-05,3.222027e-05,3.217472e-05,3.211191e-05,3.209184e-05,3.200711e-05,3.200026e-05,3.192071e-05,3.188571e-05,3.183278e-05,3.176861e-05,3.174347e-05,3.165292e-05,3.164927e-05,3.156125e-05,3.152801e-05,3.146861e-05,3.140511e-05,3.137509e-05,3.128082e-05,3.115541e-05,3.102909e-05,3.090208e-05,3.077457e-05,3.064674e-05,3.051877e-05,3.039080e-05,3.026298e-05,3.013545e-05,3.000832e-05,2.988170e-05,2.975571e-05,2.963042e-05,2.950595e-05,2.938235e-05,2.925970e-05,2.913807e-05,2.901753e-05,2.889811e-05,2.877987e-05,2.866286e-05,2.854711e-05,2.843267e-05,2.831955e-05
0.000000e+00,1.212352e-10,4.517663e-10,3.106032e-09,1.087967e-08,1.916463e-08,6.384348e-08,6.663994e-08,1.705347e-07,2.137976e-07,3.617634e-07,5.336367e-07,6.775947e-07,1.115926e-06,1.162010e-06,1.862752e-06,2.068111e-06,2.822194e-06,3.482904e-06,4.065857e-06,5.398724e-06,5.597346e-06,7.402069e-06,7.793685e-06,9.454791e-06,1.061053e-05,1.172623e-05,1.378174e-05,1.418702e-05,1.680940e-05,1.724222e-05,1.956753e-05,2.093250e-05,2.243725e-05,2.479796e-05,2.539568e-05,2.842088e-05,2.878738e-05,3.149179e-05,3.285223e-05,3.458819e-05,3.694663e-05,3.769085e-05,4.078168e-05,4.102793e-05,4.384391e-05,4.505732e-05,4.686225e-05,4.900053e-05,4.982303e-05,5.271425e-05,5.282830e-05,5.552564e-05,5.651649e-05,5.824858e-05,6.004603e-05,6.087608e-05,6.340274e-05,6.582455e-05,6.657690e-05,6.813879e-05,6.956269e-05,7.034390e-05,7.235761e-05,7.243932e-05,7.442537e-05,7.496199e-05,7.630310e-05,7.737841e-05,7.807416e-05,7.961119e-05,7.974073e-05,8.130535e-05,8.166601e-05,8.277092e-05,8.354953e-05,8.414056e-05,8.526909e-05,8.541754e-05,8.660530e-05,8.683245e-05,8.770730e-05,8.824762e-05,8.872706e-05,8.952267e-05,8.966808e-05,9.053385e-05,9.066562e-05,9.132780e-05,9.168437e-05,9.205327e-05,9.258656e-05,9.271356e-05,9.331185e-05,9.337963e-05,9.385123e-05,9.407068e-05,9.433470e-05,9.466652e-05,9.476514e-05,9.514532e-05,9.517364e-05,9.547790e-05,9.559818e-05,9.576545e-05,9.594597e-05,9.601041e-05,9.621513e-05,9.622251e-05,9.638185e-05,9.643298e-05,9.651271e-05,9.658226e-05,9.660976e-05,9.667495e-05,9.671012e-05,9.671533e-05,9.671706e-05,9.670747e-05,9.669745e-05,9.665514e-05,9.665290e-05,9.658492e-05,9.656189e-05,9.649497e-05,9.643103e-05,9.638443e-05,9.626568e-05,9.625461e-05,9.610676e-05,9.606872e-05,9.594205e-05,9.584287e-05,9.576161e-05,9.559065e-05,9.556650e-05,9.535774e-05,9.531443e-05,9.513628e-05,9.501641e-05,9.490304e-05,9.469863e-05,9.465886e-05,9.440459e-05,9.436302e-05,9.414097e-05,9.401134e-05,9.386876e-05,9.364526e-05,9.358864e-05,9.330127e-05,9.326633e-05,9.300727e-05,9.287596e-05,9.270724e-05,9.247551e-05,9.240172e-05,9.209125e-05,9.206621e-05,9.177633e-05,9.164922e-05,9.145742e-05,9.122559e-05,9.113497e-05,9.080940e-05,9.079632e-05,9.048111e-05,9.036233e-05,9.015047e-05,8.992448e-05,8.981784e-05,8.948355e-05,8.904027e-05,8.859532e-05,8.814931e-05,8.770284e-05,8.725642e-05,8.681054e-05,8.636566e-05,8.592218e-05,8.548049e-05,8.504094e-05,8.460384e-05,8.416948e-05,8.373813e-05,8.331002e-05,8.288538e-05,8.246441e-05,8.204727e-05,8.163414e-05,8.122515e-05,8.082044e-05,8.042011e-05,8.002426e-05,7.963299e-05,7.924636e-05
0.000000e+00,1.494229e-10,5.464007e-10,3.617488e-09,1.226070e-08,2.122183e-08,6.766624e-08,7.050717e-08,1.730448e-07,2.145337e-07,3.530217e-07,5.091535e-07,6.370614e-07,1.014845e-06,1.053730e-06,1.630096e-06,1.794531e-06,2.384796e-06,2.887743e-06,3.322786e-06,4.293968e-06,4.436418e-06,5.710605e-06,5.983159e-06,7.127627e-06,7.915022e-06,8.669804e-06,1.004966e-05,1.032037e-05,1.206338e-05,1.234980e-05,1.388337e-05,1.477982e-05,1.576506e-05,1.730456e-05,1.769317e-05,1.965248e-05,1.988897e-05,2.162795e-05,2.249849e-05,2.360496e-05,2.509987e-05,2.556950e-05,2.750847e-05,2.766212e-05,2.940987e-05,3.015745e-05,3.126293e-05,3.256187e-05,3.305825e-05,3.478784e-05,3.485556e-05,3.644513e-05,3.702300e-05,3.802489e-05,3.905281e-05,3.952324e-05,4.093751e-05,4.226612e-05,4.267307e-05,4.350849e-05,4.425845e-05,4.466491e-05,4.569514e-05,4.573639e-05,4.672458e-05,4.698663e-05,4.763163e-05,4.813797e-05,4.846011e-05,4.915538e-05,4.921289e-05,4.989310e-05,5.004591e-05,5.050399e-05,5.081708e-05,5.104896e-05,5.147671e-05,5.153142e-05,5.195480e-05,5.203269e-05,5.232251e-05,5.249283e-05,5.263788e-05,5.286473e-05,5.290417e-05,5.312453e-05,5.315573e-05,5.330201e-05,5.337283e-05,5.343952e-05,5.352264e-05,5.353986e-05,5.360569e-05,5.361139e-05,5.363952e-05,5.364489e-05,5.364375e-05,5.362855e-05,5.362063e-05,5.357230e-05,5.356740e-05,5.350077e-05,5.346608e-05,5.340791e-05,5.332886e-05,5.329551e-05,5.316522e-05,5.315966e-05,5.301859e-05,5.296209e-05,5.285708e-05,5.273944e-05,5.268203e-05,5.249473e-05,5.229634e-05,5.223070e-05,5.208798e-05,5.194986e-05,5.187066e-05,5.165450e-05,5.164534e-05,5.141291e-05,5.134667e-05,5.117420e-05,5.102827e-05,5.092996e-05,5.070100e-05,5.068091e-05,5.042771e-05,5.036640e-05,5.017098e-05,5.002587e-05,4.991127e-05,4.968068e-05,4.964911e-05,4.938499e-05,4.933197e-05,4.911935e-05,4.898076e-05,4.885261e-05,4.862797e-05,4.858515e-05,4.831732e-05,4.827445e-05,4.804944e-05,4.792094e-05,4.778182e-05,4.756809e-05,4.751473e-05,4.724842e-05,4.721652e-05,4.698311e-05,4.686675e-05,4.671903e-05,4.651926e-05,4.645636e-05,4.619527e-05,4.617446e-05,4.593593e-05,4.583272e-05,4.567849e-05,4.549437e-05,4.542307e-05,4.516978e-05,4.515970e-05,4.491875e-05,4.482895e-05,4.467006e-05,4.450233e-05,4.442380e-05,4.418004e-05,4.386223e-05,4.354904e-05,4.324056e-05,4.293690e-05,4.263812e-05,4.234428e-05,4.205542e-05,4.177156e-05,4.149272e-05,4.121889e-05,4.095008e-05,4.068626e-05,4.042742e-05,4.017351e-05,3.992451e-05,3.968038e-05,3.944105e-05,3.920649e-05,3.897664e-05,3.875143e-05,3.853081e-05,3.831471e-05,3.810306e-05,3.789580e-05
0.000000e+00,3.363159e-09,7.700167e-09,2.646078e-08,6.012886e-08,8.764738e-08,1.982572e-07,2.041934e-07,3.929562e-07,4.610632e-07,6.710063e-07,8.879918e-07,1.055917e-06,1.519456e-06,1.565153e-06,2.213599e-06,2.391008e-06,3.008777e-06,3.517070e-06,3.946372e-06,4.877259e-06,5.011071e-06,6.182457e-06,6.427723e-06,7.440326e-06,8.122535e-06,8.766707e-06,9.922252e-06,1.014587e-05,1.156381e-05,1.179341e-05,1.300782e-05,1.370675e-05,1.446629e-05,1.563635e-05,1.592866e-05,1.738540e-05,1.755942e-05,1.882804e-05,1.945640e-05,2.024921e-05,2.131100e-05,2.164257e-05,2.300283e-05,2.311009e-05,2.432568e-05,2.484354e-05,2.560767e-05,2.650390e-05,2.684617e-05,2.803926e-05,2.808601e-05,2.918563e-05,2.958673e-05,3.028453e-05,3.100449e-05,3.133564e-05,3.233899e-05,3.329493e-05,3.359091e-05,3.420407e-05,3.476173e-05,3.506722e-05,3.585349e-05,3.588536e-05,3.665956e-05,3.686863e-05,3.739102e-05,3.780990e-05,3.808100e-05,3.868024e-05,3.873077e-05,3.934169e-05,3.948267e-05,3.991508e-05,4.022030e-05,4.045231e-05,4.089624e-05,4.095473e-05,4.142368e-05,4.151357e-05,4.186047e-05,4.207531e-05,4.226638e-05,4.258440e-05,4.264267e-05,4.299057e-05,4.304369e-05,4.331130e-05,4.345594e-05,4.360602e-05,4.382383e-05,4.387586e-05,4.412193e-05,4.414991e-05,4.434530e-05,4.443665e-05,4.454699e-05,4.468639e-05,4.472800e-05,4.488929e-05,4.490137e-05,4.503181e-05,4.508376e-05,4.515643e-05,4.523557e-05,4.526403e-05,4.535544e-05,4.535877e-05,4.543145e-05,4.545519e-05,4.549283e-05,4.552659e-05,4.554032e-05,4.557464e-05,4.559646e-05,4.560091e-05,4.560644e-05,4.560691e-05,4.560521e-05,4.559403e-05,4.559336e-05,4.557148e-05,4.556364e-05,4.554012e-05,4.551698e-05,4.549981e-05,4.545525e-05,4.545105e-05,4.539434e-05,4.537959e-05,4.533013e-05,4.529106e-05,4.525887e-05,4.519067e-05,4.518099e-05,4.509689e-05,4.507936e-05,4.500697e-05,4.495803e-05,4.491159e-05,4.482751e-05,4.481110e-05,4.470586e-05,4.468860e-05,4.459617e-05,4.454204e-05,4.448235e-05,4.438852e-05,4.436470e-05,4.424349e-05,4.422872e-05,4.411899e-05,4.406324e-05,4.399146e-05,4.389266e-05,4.386114e-05,4.372826e-05,4.371753e-05,4.359305e-05,4.353835e-05,4.345570e-05,4.335561e-05,4.331643e-05,4.317542e-05,4.316975e-05,4.303285e-05,4.298118e-05,4.288890e-05,4.279030e-05,4.274372e-05,4.259747e-05,4.240304e-05,4.220732e-05,4.201060e-05,4.181317e-05,4.161528e-05,4.141717e-05,4.121906e-05,4.102116e-05,4.082366e-05,4.062673e-05,4.043054e-05,4.023524e-05,4.004096e-05,3.984783e-05,3.965598e-05,3.946550e-05,3.927650e-05,3.908907e-05,3.890328e-05,3.871921e-05,3.853692e-05,3.835648e-05,3.817794e-05,3.800135e-05
0.000000e+00,5.662034e-10,1.911715e-09,1.091704e-08,3.294479e-08,5.386253e-08,1.510545e-07,1.566579e-07,3.464575e-07,4.188511e-07,6.502201e-07,8.987306e-07,1.095905e-06,1.657111e-06,1.713608e-06,2.535467e-06,2.766653e-06,3.592555e-06,4.296290e-06,4.907340e-06,6.281747e-06,6.484492e-06,8.307591e-06,8.699106e-06,1.034518e-05,1.147730e-05,1.256061e-05,1.453337e-05,1.491900e-05,1.738987e-05,1.779384e-05,1.994698e-05,2.119819e-05,2.256740e-05,2.469540e-05,2.523050e-05,2.791722e-05,2.824035e-05,3.060972e-05,3.179190e-05,3.329126e-05,3.531218e-05,3.594611e-05,3.855973e-05,3.876662e-05,4.111876e-05,4.212436e-05,4.361123e-05,4.535860e-05,4.602656e-05,4.835563e-05,4.844689e-05,5.059081e-05,5.137125e-05,5.272588e-05,5.411805e-05,5.475604e-05,5.667778e-05,5.848884e-05,5.904479e-05,6.018809e-05,6.121685e-05,6.177543e-05,6.319471e-05,6.325164e-05,6.461814e-05,6.498137e-05,6.587700e-05,6.658175e-05,6.703091e-05,6.800252e-05,6.808302e-05,6.903675e-05,6.925141e-05,6.989584e-05,7.033706e-05,7.066425e-05,7.126865e-05,7.134602e-05,7.194528e-05,7.205560e-05,7.246620e-05,7.270750e-05,7.291294e-05,7.323390e-05,7.328963e-05,7.360031e-05,7.364416e-05,7.384893e-05,7.394736e-05,7.403934e-05,7.415226e-05,7.417526e-05,7.426028e-05,7.426723e-05,7.429785e-05,7.430020e-05,7.429126e-05,7.425868e-05,7.424369e-05,7.415813e-05,7.414973e-05,7.403745e-05,7.397996e-05,7.388437e-05,7.375554e-05,7.370146e-05,7.349116e-05,7.348221e-05,7.325578e-05,7.316532e-05,7.299748e-05,7.280979e-05,7.271831e-05,7.242019e-05,7.210494e-05,7.200072e-05,7.177425e-05,7.155524e-05,7.142971e-05,7.108732e-05,7.107282e-05,7.070497e-05,7.060019e-05,7.032747e-05,7.009685e-05,6.994154e-05,6.958001e-05,6.954831e-05,6.914885e-05,6.905216e-05,6.874413e-05,6.851554e-05,6.833509e-05,6.797222e-05,6.792256e-05,6.750735e-05,6.742406e-05,6.709019e-05,6.687272e-05,6.667175e-05,6.631974e-05,6.625267e-05,6.583352e-05,6.576649e-05,6.541484e-05,6.521419e-05,6.499712e-05,6.466394e-05,6.458082e-05,6.416634e-05,6.411674e-05,6.375407e-05,6.357346e-05,6.334435e-05,6.303487e-05,6.293750e-05,6.253381e-05,6.250166e-05,6.213355e-05,6.197445e-05,6.173693e-05,6.145375e-05,6.134418e-05,6.095548e-05,6.094002e-05,6.057101e-05,6.043366e-05,6.019091e-05,5.993501e-05,5.981532e-05,5.944435e-05,5.896191e-05,5.848789e-05,5.802245e-05,5.756569e-05,5.711771e-05,5.667856e-05,5.624828e-05,5.582686e-05,5.541430e-05,5.501055e-05,5.461558e-05,5.422931e-05,5.385166e-05,5.348255e-05,5.312187e-05,5.276952e-05,5.242538e-05,5.208932e-05,5.176122e-05,5.144094e-05,5.112835e-05,5.082330e-05,5.052565e-05,5.023525e-05
0.000000e+00,4.706590e-10,1.627997e-09,9.714125e-09,3.032431e-08,5.040619e-08,1.467994e-07,1.524602e-07,3.482755e-07,4.245494e-07,6.725044e-07,9.443995e-07,1.163380e-06,1.798799e-06,1.863592e-06,2.818951e-06,3.091197e-06,4.072730e-06,4.917191e-06,5.654530e-06,7.321211e-06,7.567625e-06,9.784507e-06,1.026020e-05,1.225563e-05,1.362217e-05,1.492423e-05,1.727959e-05,1.773751e-05,2.065118e-05,2.112419e-05,2.362951e-05,2.507338e-05,2.664361e-05,2.906456e-05,2.966974e-05,3.268799e-05,3.304881e-05,3.568142e-05,3.698687e-05,3.863560e-05,4.084689e-05,4.153824e-05,4.437903e-05,4.460336e-05,4.714942e-05,4.823626e-05,4.984249e-05,5.173051e-05,5.245279e-05,5.497613e-05,5.507521e-05,5.740952e-05,5.826311e-05,5.975098e-05,6.129004e-05,6.199936e-05,6.415430e-05,6.621604e-05,6.685622e-05,6.818533e-05,6.939769e-05,7.006335e-05,7.178181e-05,7.185165e-05,7.355201e-05,7.401263e-05,7.516649e-05,7.609484e-05,7.669723e-05,7.803353e-05,7.814653e-05,7.951674e-05,7.983409e-05,8.081029e-05,8.150210e-05,8.202964e-05,8.304325e-05,8.317726e-05,8.425560e-05,8.446317e-05,8.526711e-05,8.576748e-05,8.621420e-05,8.696172e-05,8.709926e-05,8.792465e-05,8.805133e-05,8.869266e-05,8.904160e-05,8.940556e-05,8.993767e-05,9.006553e-05,9.067473e-05,9.074452e-05,9.123525e-05,9.146697e-05,9.174911e-05,9.210966e-05,9.221829e-05,9.264471e-05,9.267703e-05,9.303021e-05,9.317336e-05,9.337660e-05,9.360277e-05,9.368563e-05,9.395896e-05,9.396917e-05,9.419823e-05,9.427633e-05,9.440500e-05,9.452782e-05,9.458080e-05,9.472709e-05,9.484527e-05,9.487738e-05,9.493671e-05,9.498180e-05,9.500272e-05,9.504333e-05,9.504456e-05,9.506344e-05,9.506478e-05,9.506054e-05,9.504881e-05,9.503698e-05,9.499798e-05,9.499383e-05,9.493215e-05,9.491470e-05,9.485292e-05,9.480125e-05,9.475711e-05,9.465981e-05,9.464564e-05,9.451938e-05,9.449243e-05,9.437919e-05,9.430106e-05,9.422589e-05,9.408754e-05,9.406024e-05,9.388301e-05,9.385362e-05,9.369489e-05,9.360094e-05,9.349659e-05,9.333105e-05,9.328875e-05,9.307201e-05,9.304544e-05,9.284697e-05,9.274547e-05,9.261420e-05,9.243247e-05,9.237426e-05,9.212767e-05,9.210767e-05,9.187493e-05,9.177222e-05,9.161652e-05,9.142722e-05,9.135291e-05,9.108452e-05,9.107370e-05,9.081179e-05,9.071262e-05,9.053511e-05,9.034490e-05,9.025485e-05,8.997138e-05,8.959287e-05,8.921012e-05,8.882384e-05,8.843467e-05,8.804324e-05,8.765011e-05,8.725584e-05,8.686092e-05,8.646581e-05,8.607095e-05,8.567675e-05,8.528358e-05,8.489179e-05,8.450169e-05,8.411360e-05,8.372777e-05,8.334447e-05,8.296392e-05,8.258635e-05,8.221193e-05,8.184087e-05,8.147330e-05,8.110938e-05,8.074925e-05
0.000000e+00,9.996758e-11,3.902104e-10,2.952047e-09,1.127844e-08,2.083790e-08,7.857215e-08,8.243034e-08,2.388936e-07,3.098809e-07,5.714290e-07,9.036514e-07,1.200363e-06,2.181976e-06,2.290779e-06,4.043345e-06,4.585890e-06,6.665607e-06,8.583406e-06,1.033917e-05,1.455061e-05,1.519985e-05,2.133260e-05,2.271587e-05,2.877507e-05,3.316325e-05,3.752454e-05,4.585888e-05,4.754538e-05,5.877581e-05,6.067968e-05,7.113373e-05,7.743784e-05,8.452156e-05,9.590043e-05,9.883034e-05,1.139432e-04,1.158051e-04,1.297385e-04,1.368727e-04,1.460922e-04,1.588183e-04,1.628805e-04,1.799817e-04,1.813598e-04,1.972781e-04,2.042260e-04,2.146575e-04,2.271624e-04,2.320143e-04,2.492507e-04,2.499364e-04,2.662773e-04,2.723397e-04,2.830134e-04,2.941912e-04,2.993875e-04,3.153370e-04,3.308082e-04,3.356505e-04,3.457562e-04,3.550310e-04,3.601442e-04,3.734025e-04,3.739429e-04,3.871303e-04,3.907110e-04,3.996910e-04,4.069224e-04,4.116154e-04,4.220202e-04,4.228993e-04,4.335431e-04,4.360028e-04,4.435515e-04,4.488815e-04,4.529325e-04,4.606777e-04,4.616974e-04,4.698598e-04,4.714213e-04,4.774356e-04,4.811489e-04,4.844423e-04,4.899018e-04,4.908987e-04,4.968247e-04,4.977250e-04,5.022409e-04,5.046657e-04,5.071683e-04,5.107726e-04,5.116282e-04,5.156421e-04,5.160947e-04,5.192310e-04,5.206809e-04,5.224160e-04,5.245793e-04,5.252179e-04,5.276567e-04,5.278367e-04,5.297523e-04,5.304987e-04,5.315238e-04,5.326090e-04,5.329896e-04,5.341677e-04,5.342091e-04,5.350753e-04,5.353390e-04,5.357288e-04,5.360362e-04,5.361441e-04,5.363364e-04,5.363199e-04,5.362729e-04,5.361086e-04,5.358771e-04,5.357155e-04,5.351786e-04,5.351530e-04,5.344329e-04,5.342046e-04,5.335665e-04,5.329808e-04,5.325643e-04,5.315311e-04,5.314364e-04,5.301923e-04,5.298774e-04,5.288409e-04,5.280404e-04,5.273907e-04,5.260392e-04,5.258497e-04,5.242255e-04,5.238913e-04,5.225251e-04,5.216130e-04,5.207552e-04,5.192193e-04,5.189220e-04,5.170316e-04,5.167242e-04,5.150894e-04,5.141404e-04,5.131007e-04,5.114796e-04,5.110704e-04,5.090031e-04,5.087527e-04,5.069030e-04,5.059697e-04,5.047743e-04,5.031397e-04,5.026207e-04,5.004459e-04,5.002710e-04,4.982530e-04,4.973715e-04,4.960452e-04,4.944480e-04,4.938254e-04,4.915964e-04,4.915071e-04,4.893607e-04,4.885546e-04,4.871205e-04,4.855959e-04,4.848783e-04,4.826359e-04,4.796790e-04,4.767293e-04,4.737905e-04,4.708658e-04,4.679584e-04,4.650708e-04,4.622055e-04,4.593648e-04,4.565505e-04,4.537644e-04,4.510081e-04,4.482829e-04,4.455900e-04,4.429304e-04,4.403050e-04,4.377146e-04,4.351599e-04,4.326413e-04,4.301594e-04,4.277144e-04,4.253067e-04,4.229364e-04,4.206036e-04,4.183083e-04
0.000000e+00,1.398792e-10,5.189798e-10,3.535094e-09,1.227327e-08,2.151069e-08,7.068344e-08,7.373668e-08,1.859212e-07,2.320964e-07,3.883496e-07,5.673771e-07,7.157592e-07,1.161119e-06,1.207494e-06,1.905392e-06,2.107924e-06,2.846337e-06,3.488026e-06,4.050842e-06,5.326906e-06,5.515804e-06,7.216921e-06,7.582351e-06,9.117284e-06,1.017063e-05,1.117603e-05,1.299894e-05,1.335390e-05,1.561574e-05,1.598333e-05,1.793095e-05,1.905326e-05,2.027294e-05,2.215009e-05,2.261845e-05,2.494680e-05,2.522415e-05,2.723954e-05,2.823273e-05,2.948013e-05,3.113900e-05,3.165389e-05,3.374800e-05,3.391175e-05,3.575150e-05,3.652543e-05,3.765533e-05,3.896029e-05,3.945235e-05,4.113725e-05,4.120225e-05,4.270648e-05,4.324267e-05,4.415813e-05,4.507780e-05,4.549174e-05,4.670821e-05,4.780958e-05,4.813819e-05,4.879891e-05,4.937500e-05,4.967997e-05,5.042802e-05,5.045718e-05,5.113539e-05,5.130825e-05,5.171982e-05,5.202770e-05,5.221585e-05,5.259881e-05,5.262893e-05,5.296449e-05,5.303409e-05,5.322790e-05,5.334588e-05,5.342444e-05,5.354612e-05,5.355920e-05,5.363705e-05,5.364621e-05,5.366269e-05,5.365688e-05,5.364057e-05,5.358814e-05,5.357487e-05,5.346951e-05,5.344922e-05,5.332818e-05,5.324859e-05,5.315432e-05,5.299396e-05,5.295112e-05,5.272157e-05,5.269239e-05,5.246842e-05,5.235021e-05,5.219419e-05,5.197315e-05,5.190126e-05,5.159177e-05,5.156636e-05,5.126772e-05,5.113444e-05,5.093094e-05,5.068151e-05,5.058309e-05,5.022572e-05,5.021125e-05,4.986023e-05,4.972692e-05,4.948790e-05,4.923141e-05,4.910990e-05,4.872731e-05,4.834110e-05,4.821689e-05,4.795215e-05,4.770216e-05,4.756127e-05,4.718489e-05,4.716920e-05,4.677659e-05,4.666664e-05,4.638404e-05,4.614878e-05,4.599211e-05,4.563249e-05,4.560128e-05,4.521199e-05,4.511883e-05,4.482463e-05,4.460869e-05,4.443957e-05,4.410287e-05,4.405713e-05,4.367757e-05,4.360203e-05,4.330117e-05,4.310677e-05,4.292815e-05,4.261756e-05,4.255869e-05,4.219299e-05,4.213483e-05,4.183118e-05,4.165894e-05,4.147341e-05,4.119017e-05,4.111978e-05,4.077039e-05,4.072875e-05,4.042533e-05,4.027488e-05,4.008465e-05,3.982870e-05,3.974841e-05,3.941666e-05,3.939031e-05,3.908942e-05,3.895980e-05,3.876673e-05,3.853720e-05,3.844858e-05,3.813499e-05,3.812254e-05,3.782595e-05,3.771581e-05,3.752146e-05,3.731700e-05,3.722151e-05,3.692606e-05,3.654294e-05,3.616757e-05,3.579988e-05,3.543976e-05,3.508713e-05,3.474188e-05,3.440389e-05,3.407306e-05,3.374927e-05,3.343238e-05,3.312228e-05,3.281883e-05,3.252190e-05,3.223137e-05,3.194711e-05,3.166898e-05,3.139685e-05,3.113060e-05,3.087008e-05,3.061518e-05,3.036577e-05,3.012172e-05,2.988290e-05,2.964920e-05
0.000000e+00,7.466292e-10,2.514370e-09,1.430764e-08,4.312169e-08,7.050301e-08,1.981656e-07,2.055481e-07,4.569032e-07,5.533684e-07,8.634904e-07,1.199145e-06,1.466967e-06,2.234522e-06,2.312118e-06,3.444825e-06,3.764224e-06,4.905650e-06,5.876938e-06,6.718247e-06,8.600990e-06,8.877452e-06,1.134749e-05,1.187413e-05,1.407368e-05,1.557307e-05,1.699799e-05,1.956936e-05,2.006862e-05,2.324237e-05,2.375728e-05,2.648364e-05,2.805444e-05,2.976239e-05,3.239492e-05,3.305281e-05,3.633229e-05,3.672413e-05,3.958105e-05,4.099624e-05,4.278184e-05,4.517314e-05,4.591983e-05,4.898247e-05,4.922390e-05,5.195941e-05,5.312425e-05,5.484229e-05,5.685603e-05,5.762465e-05,6.030165e-05,6.040648e-05,6.286977e-05,6.376719e-05,6.532689e-05,6.693378e-05,6.767200e-05,6.990494e-05,7.202639e-05,7.268190e-05,7.403765e-05,7.526785e-05,7.594052e-05,7.766730e-05,7.773716e-05,7.943011e-05,7.988593e-05,8.102214e-05,8.193013e-05,8.251619e-05,8.380682e-05,8.391533e-05,8.522274e-05,8.552322e-05,8.644162e-05,8.708674e-05,8.757522e-05,8.850481e-05,8.862677e-05,8.959946e-05,8.978482e-05,9.049649e-05,9.093408e-05,9.132097e-05,9.195971e-05,9.207597e-05,9.276449e-05,9.286868e-05,9.338947e-05,9.366773e-05,9.395375e-05,9.436334e-05,9.446011e-05,9.491125e-05,9.496180e-05,9.530977e-05,9.546911e-05,9.565821e-05,9.589104e-05,9.595901e-05,9.621454e-05,9.623309e-05,9.642707e-05,9.650053e-05,9.659880e-05,9.669838e-05,9.673185e-05,9.682827e-05,9.683139e-05,9.689002e-05,9.690412e-05,9.691898e-05,9.692088e-05,9.691697e-05,9.688574e-05,9.682695e-05,9.680258e-05,9.674222e-05,9.667508e-05,9.663307e-05,9.650670e-05,9.650099e-05,9.634739e-05,9.630071e-05,9.617361e-05,9.606021e-05,9.598096e-05,9.578812e-05,9.577067e-05,9.554392e-05,9.548718e-05,9.530185e-05,9.515999e-05,9.504552e-05,9.480899e-05,9.477598e-05,9.449420e-05,9.443646e-05,9.420112e-05,9.404455e-05,9.389763e-05,9.363529e-05,9.358459e-05,9.326280e-05,9.321056e-05,9.293304e-05,9.277214e-05,9.259604e-05,9.232169e-05,9.225249e-05,9.190305e-05,9.186075e-05,9.154836e-05,9.139079e-05,9.118901e-05,9.091314e-05,9.082557e-05,9.045858e-05,9.042908e-05,9.008853e-05,8.993977e-05,8.971592e-05,8.944631e-05,8.934120e-05,8.896480e-05,8.894971e-05,8.858712e-05,8.845092e-05,8.820855e-05,8.795079e-05,8.782944e-05,8.745015e-05,8.694974e-05,8.645024e-05,8.595229e-05,8.545647e-05,8.496331e-05,8.447330e-05,8.398688e-05,8.350447e-05,8.302643e-05,8.255309e-05,8.208475e-05,8.162169e-05,8.116414e-05,8.071232e-05,8.026642e-05,7.982659e-05,7.939299e-05,7.896573e-05,7.854493e-05,7.813065e-05,7.772298e-05,7.732197e-05,7.692766e-05,7.654008e-05
0.000000e+00,6.637975e-11,2.604501e-10,1.989353e-09,7.651528e-09,1.417314e-08,5.354133e-08,5.616526e-08,1.616435e-07,2.089279e-07,3.805574e-07,5.938519e-07,7.809212e-07,1.384209e-06,1.450007e-06,2.493347e-06,2.812469e-06,4.029859e-06,5.152190e-06,6.184248e-06,8.689303e-06,9.079860e-06,1.283357e-05,1.369691e-05,1.755256e-05,2.042011e-05,2.333227e-05,2.906757e-05,3.025501e-05,3.838896e-05,3.980657e-05,4.778747e-05,5.275967e-05,5.848850e-05,6.800267e-05,7.051438e-05,8.387178e-05,8.556389e-05,9.855197e-05,1.054247e-04,1.145313e-04,1.275219e-04,1.317722e-04,1.502240e-04,1.517507e-04,1.698244e-04,1.779702e-04,1.905006e-04,2.060084e-04,2.121715e-04,2.347485e-04,2.356691e-04,2.581378e-04,2.667380e-04,2.822417e-04,2.989896e-04,3.069602e-04,3.321927e-04,3.578387e-04,3.661166e-04,3.837997e-04,4.005357e-04,4.099799e-04,4.352332e-04,4.362868e-04,4.626327e-04,4.700051e-04,4.889344e-04,5.046616e-04,5.151141e-04,5.390296e-04,5.410997e-04,5.668249e-04,5.729534e-04,5.922293e-04,6.062949e-04,6.172581e-04,6.389341e-04,6.418627e-04,6.659999e-04,6.707678e-04,6.896319e-04,7.017098e-04,7.127261e-04,7.316893e-04,7.352549e-04,7.571953e-04,7.606499e-04,7.785285e-04,7.885483e-04,7.992398e-04,8.153534e-04,8.193180e-04,8.387555e-04,8.410446e-04,8.575475e-04,8.656110e-04,8.756923e-04,8.890497e-04,8.931904e-04,9.100446e-04,9.113652e-04,9.262596e-04,9.325680e-04,9.418420e-04,9.526740e-04,9.567997e-04,9.711420e-04,9.717031e-04,9.848795e-04,9.896791e-04,9.980234e-04,1.006628e-03,1.010586e-03,1.022580e-03,1.034019e-03,1.037564e-03,1.044916e-03,1.051613e-03,1.055286e-03,1.064759e-03,1.065143e-03,1.074502e-03,1.077035e-03,1.083376e-03,1.088474e-03,1.091780e-03,1.099110e-03,1.099730e-03,1.107238e-03,1.108976e-03,1.114320e-03,1.118104e-03,1.120989e-03,1.126527e-03,1.127258e-03,1.133143e-03,1.134275e-03,1.138655e-03,1.141379e-03,1.143808e-03,1.147869e-03,1.148615e-03,1.153088e-03,1.153774e-03,1.157239e-03,1.159121e-03,1.161081e-03,1.163938e-03,1.164623e-03,1.167878e-03,1.168250e-03,1.170857e-03,1.172083e-03,1.173570e-03,1.175460e-03,1.176027e-03,1.178238e-03,1.178404e-03,1.180212e-03,1.180938e-03,1.181960e-03,1.183083e-03,1.183490e-03,1.184810e-03,1.184858e-03,1.185929e-03,1.186284e-03,1.186855e-03,1.187379e-03,1.187597e-03,1.188160e-03,1.188645e-03,1.188850e-03,1.188789e-03,1.188478e-03,1.187930e-03,1.187159e-03,1.186178e-03,1.184998e-03,1.183632e-03,1.182089e-03,1.180381e-03,1.178517e-03,1.176507e-03,1.174360e-03,1.172083e-03,1.169686e-03,1.167177e-03,1.164561e-03,1.161847e-03,1.159040e-03,1.156148e-03,1.153176e-03,1.150130e-03,1.147016e-03
0.000000e+00,1.042906e-09,2.905375e-09,1.244278e-08,3.145588e-08,4.773793e-08,1.160666e-07,1.198143e-07,2.413687e-07,2.860477e-07,4.256034e-07,5.720198e-07,6.864476e-07,1.005402e-06,1.036979e-06,1.484511e-06,1.606221e-06,2.025938e-06,2.366241e-06,2.650486e-06,3.259244e-06,3.346107e-06,4.102263e-06,4.259933e-06,4.909748e-06,5.347066e-06,5.759984e-06,6.501108e-06,6.644620e-06,7.555425e-06,7.703041e-06,8.484357e-06,8.934406e-06,9.423716e-06,1.017784e-05,1.036629e-05,1.130547e-05,1.141766e-05,1.223539e-05,1.264026e-05,1.315089e-05,1.383432e-05,1.404762e-05,1.492195e-05,1.499084e-05,1.577098e-05,1.610297e-05,1.659241e-05,1.716580e-05,1.738458e-05,1.814628e-05,1.817610e-05,1.887678e-05,1.913205e-05,1.957572e-05,2.003292e-05,2.024303e-05,2.087890e-05,2.148374e-05,2.167083e-05,2.205812e-05,2.241005e-05,2.260273e-05,2.309828e-05,2.311836e-05,2.360589e-05,2.373748e-05,2.406623e-05,2.432977e-05,2.450033e-05,2.487737e-05,2.490917e-05,2.529373e-05,2.538251e-05,2.565498e-05,2.584746e-05,2.599389e-05,2.627442e-05,2.631143e-05,2.660853e-05,2.666557e-05,2.688610e-05,2.702301e-05,2.714503e-05,2.734875e-05,2.738618e-05,2.761038e-05,2.764474e-05,2.781845e-05,2.791282e-05,2.801116e-05,2.815477e-05,2.818925e-05,2.835345e-05,2.837225e-05,2.850444e-05,2.856686e-05,2.864289e-05,2.874011e-05,2.876943e-05,2.888467e-05,2.889342e-05,2.898920e-05,2.902814e-05,2.908357e-05,2.914552e-05,2.916831e-05,2.924393e-05,2.924678e-05,2.931093e-05,2.933302e-05,2.936975e-05,2.940531e-05,2.942085e-05,2.946465e-05,2.950155e-05,2.951197e-05,2.953194e-05,2.954814e-05,2.955619e-05,2.957400e-05,2.957463e-05,2.958761e-05,2.959031e-05,2.959544e-05,2.959780e-05,2.959843e-05,2.959714e-05,2.959686e-05,2.959100e-05,2.958898e-05,2.958112e-05,2.957392e-05,2.956745e-05,2.955250e-05,2.955025e-05,2.952973e-05,2.952525e-05,2.950610e-05,2.949266e-05,2.947957e-05,2.945518e-05,2.945033e-05,2.941856e-05,2.941326e-05,2.938444e-05,2.936727e-05,2.934812e-05,2.931760e-05,2.930978e-05,2.926954e-05,2.926460e-05,2.922757e-05,2.920858e-05,2.918398e-05,2.914986e-05,2.913891e-05,2.909248e-05,2.908871e-05,2.904480e-05,2.902540e-05,2.899598e-05,2.896018e-05,2.894612e-05,2.889533e-05,2.889328e-05,2.884368e-05,2.882490e-05,2.879127e-05,2.875524e-05,2.873819e-05,2.868450e-05,2.861284e-05,2.854042e-05,2.846739e-05,2.839388e-05,2.832003e-05,2.824595e-05,2.817175e-05,2.809752e-05,2.802337e-05,2.794938e-05,2.787562e-05,2.780218e-05,2.772911e-05,2.765647e-05,2.758433e-05,2.751273e-05,2.744172e-05,2.737135e-05,2.730164e-05,2.723264e-05,2.716438e-05,2.709688e-05,2.703017e-05,2.696427e-05
0.000000e+00,8.687481e-11,3.399241e-10,2.580736e-09,9.866806e-09,1.821195e-08,6.809999e-08,7.140505e-08,2.030183e-07,2.614302e-07,4.713188e-07,7.286303e-07,9.518259e-07,1.660012e-06,1.736391e-06,2.931581e-06,3.292504e-06,4.656024e-06,5.899834e-06,7.036029e-06,9.773939e-06,1.019890e-05,1.426455e-05,1.519553e-05,1.933719e-05,2.240126e-05,2.549917e-05,3.155947e-05,3.280737e-05,4.129208e-05,4.275944e-05,5.095748e-05,5.601120e-05,6.178338e-05,7.125190e-05,7.372746e-05,8.672809e-05,8.835561e-05,1.007072e-04,1.071449e-04,1.155736e-04,1.274033e-04,1.312257e-04,1.475546e-04,1.488868e-04,1.644471e-04,1.713360e-04,1.817878e-04,1.944863e-04,1.994621e-04,2.173574e-04,2.180762e-04,2.353652e-04,2.418556e-04,2.533826e-04,2.655904e-04,2.713131e-04,2.890675e-04,3.065645e-04,3.120969e-04,3.237307e-04,3.345132e-04,3.405013e-04,3.561760e-04,3.568194e-04,3.726363e-04,3.769694e-04,3.879107e-04,3.968007e-04,4.026090e-04,4.155991e-04,4.167040e-04,4.301751e-04,4.333136e-04,4.430076e-04,4.499111e-04,4.551919e-04,4.653741e-04,4.667233e-04,4.776016e-04,4.796990e-04,4.878299e-04,4.928939e-04,4.974151e-04,5.049766e-04,5.063667e-04,5.146968e-04,5.159728e-04,5.224194e-04,5.259151e-04,5.295504e-04,5.348408e-04,5.361071e-04,5.421078e-04,5.427914e-04,5.475717e-04,5.498109e-04,5.525188e-04,5.559454e-04,5.569694e-04,5.609439e-04,5.612419e-04,5.644630e-04,5.657478e-04,5.675474e-04,5.695105e-04,5.702176e-04,5.724937e-04,5.725768e-04,5.743956e-04,5.749924e-04,5.759428e-04,5.768020e-04,5.771543e-04,5.780486e-04,5.786436e-04,5.787736e-04,5.789567e-04,5.790169e-04,5.790047e-04,5.788164e-04,5.788038e-04,5.783696e-04,5.782082e-04,5.777169e-04,5.772265e-04,5.768603e-04,5.759037e-04,5.758133e-04,5.745891e-04,5.742703e-04,5.732002e-04,5.723549e-04,5.716585e-04,5.701846e-04,5.699755e-04,5.681619e-04,5.677844e-04,5.662281e-04,5.651782e-04,5.641837e-04,5.623878e-04,5.620381e-04,5.597999e-04,5.594338e-04,5.574776e-04,5.563353e-04,5.550789e-04,5.531100e-04,5.526113e-04,5.500818e-04,5.497744e-04,5.474969e-04,5.463436e-04,5.448629e-04,5.428318e-04,5.421856e-04,5.394706e-04,5.392520e-04,5.367231e-04,5.356161e-04,5.339479e-04,5.319352e-04,5.311496e-04,5.283324e-04,5.282194e-04,5.255005e-04,5.244781e-04,5.226574e-04,5.207197e-04,5.198069e-04,5.169520e-04,5.131822e-04,5.094167e-04,5.056614e-04,5.019216e-04,4.982022e-04,4.945075e-04,4.908414e-04,4.872074e-04,4.836086e-04,4.800479e-04,4.765277e-04,4.730500e-04,4.696169e-04,4.662299e-04,4.628904e-04,4.595997e-04,4.563586e-04,4.531681e-04,4.500287e-04,4.469409e-04,4.439051e-04,4.409215e-04,4.379903e-04,4.351113e-04
0.000000e+00,1.164373e-11,4.483583e-11,3.294315e-10,1.223745e-09,2.224795e-09,8.025026e-09,8.403182e-09,2.320416e-08,2.968435e-08,5.278642e-08,8.093151e-08,1.052673e-07,1.820393e-07,1.902690e-07,3.172967e-07,3.549210e-07,4.937246e-07,6.157927e-07,7.237236e-07,9.712884e-07,1.008283e-06,1.345772e-06,1.419334e-06,1.732604e-06,1.951651e-06,2.163817e-06,2.556052e-06,2.633534e-06,3.135313e-06,3.218126e-06,3.662423e-06,3.922433e-06,4.208060e-06,4.653409e-06,4.765540e-06,5.328452e-06,5.396076e-06,5.890793e-06,6.136607e-06,6.447076e-06,6.862766e-06,6.992410e-06,7.522555e-06,7.564199e-06,8.033947e-06,8.232584e-06,8.523701e-06,8.861650e-06,8.989589e-06,9.430004e-06,9.447075e-06,9.843910e-06,9.986310e-06,1.023078e-05,1.047834e-05,1.059052e-05,1.092343e-05,1.123011e-05,1.132285e-05,1.151142e-05,1.167860e-05,1.176837e-05,1.199324e-05,1.200216e-05,1.221405e-05,1.226964e-05,1.240536e-05,1.251082e-05,1.257742e-05,1.271987e-05,1.273158e-05,1.286913e-05,1.289981e-05,1.299133e-05,1.305351e-05,1.309939e-05,1.318370e-05,1.319446e-05,1.327760e-05,1.329289e-05,1.334982e-05,1.338338e-05,1.341206e-05,1.345724e-05,1.346516e-05,1.350992e-05,1.351636e-05,1.354707e-05,1.356240e-05,1.357727e-05,1.359685e-05,1.360114e-05,1.361921e-05,1.362102e-05,1.363200e-05,1.363608e-05,1.363997e-05,1.364305e-05,1.364352e-05,1.364304e-05,1.364284e-05,1.363888e-05,1.363625e-05,1.363133e-05,1.362397e-05,1.362070e-05,1.360723e-05,1.360664e-05,1.359117e-05,1.358479e-05,1.357273e-05,1.355893e-05,1.355210e-05,1.352947e-05,1.350501e-05,1.349682e-05,1.347886e-05,1.346130e-05,1.345116e-05,1.342324e-05,1.342205e-05,1.339164e-05,1.338291e-05,1.336005e-05,1.334057e-05,1.332737e-05,1.329643e-05,1.329370e-05,1.325912e-05,1.325070e-05,1.322373e-05,1.320358e-05,1.318759e-05,1.315522e-05,1.315077e-05,1.311334e-05,1.310579e-05,1.307537e-05,1.305543e-05,1.303691e-05,1.300426e-05,1.299801e-05,1.295873e-05,1.295241e-05,1.291911e-05,1.289999e-05,1.287920e-05,1.284709e-05,1.283904e-05,1.279866e-05,1.279380e-05,1.275811e-05,1.274022e-05,1.271741e-05,1.268641e-05,1.267661e-05,1.263573e-05,1.263246e-05,1.259480e-05,1.257842e-05,1.255385e-05,1.252436e-05,1.251290e-05,1.247197e-05,1.247034e-05,1.243110e-05,1.241640e-05,1.239029e-05,1.236259e-05,1.234958e-05,1.230897e-05,1.225556e-05,1.220240e-05,1.214954e-05,1.209699e-05,1.204480e-05,1.199298e-05,1.194156e-05,1.189055e-05,1.183999e-05,1.178989e-05,1.174026e-05,1.169112e-05,1.164249e-05,1.159436e-05,1.154677e-05,1.149970e-05,1.145317e-05,1.140720e-05,1.136177e-05,1.131691e-05,1.127260e-05,1.122887e-05,1.118570e-05,1.114310e-05
0.000000e+00,2.198847e-09,5.079570e-09,1.762734e-08,4.031745e-08,5.899899e-08,1.352822e-07,1.394299e-07,2.741106e-07,3.239923e-07,4.817411e-07,6.504507e-07,7.843390e-07,1.164455e-06,1.202478e-06,1.744623e-06,1.892348e-06,2.399975e-06,2.807980e-06,3.145601e-06,3.857954e-06,3.958383e-06,4.820135e-06,4.997106e-06,5.717318e-06,6.194299e-06,6.639473e-06,7.427044e-06,7.577987e-06,8.525382e-06,8.677333e-06,9.474968e-06,9.929750e-06,1.042071e-05,1.117086e-05,1.135718e-05,1.227959e-05,1.238913e-05,1.318377e-05,1.357491e-05,1.406622e-05,1.472054e-05,1.492404e-05,1.575492e-05,1.582017e-05,1.655711e-05,1.686965e-05,1.732936e-05,1.786637e-05,1.807085e-05,1.878103e-05,1.880878e-05,1.945978e-05,1.969645e-05,2.010722e-05,2.052975e-05,2.072367e-05,2.130966e-05,2.186585e-05,2.203765e-05,2.239297e-05,2.271545e-05,2.289185e-05,2.334506e-05,2.336341e-05,2.380855e-05,2.392859e-05,2.422825e-05,2.446826e-05,2.462346e-05,2.496626e-05,2.499516e-05,2.534429e-05,2.542483e-05,2.567180e-05,2.584611e-05,2.597862e-05,2.623223e-05,2.626566e-05,2.653378e-05,2.658522e-05,2.678386e-05,2.690703e-05,2.701670e-05,2.719956e-05,2.723311e-05,2.743386e-05,2.746457e-05,2.761968e-05,2.770378e-05,2.779128e-05,2.791880e-05,2.794936e-05,2.809456e-05,2.811114e-05,2.822750e-05,2.828227e-05,2.834879e-05,2.843354e-05,2.845901e-05,2.855870e-05,2.856624e-05,2.864839e-05,2.868158e-05,2.872858e-05,2.878070e-05,2.879974e-05,2.886235e-05,2.886468e-05,2.891683e-05,2.893454e-05,2.896361e-05,2.899122e-05,2.900307e-05,2.903561e-05,2.906158e-05,2.906856e-05,2.908133e-05,2.909085e-05,2.909518e-05,2.910324e-05,2.910346e-05,2.910646e-05,2.910640e-05,2.910447e-05,2.910099e-05,2.909776e-05,2.908764e-05,2.908658e-05,2.907119e-05,2.906690e-05,2.905182e-05,2.903932e-05,2.902870e-05,2.900541e-05,2.900203e-05,2.897202e-05,2.896564e-05,2.893887e-05,2.892045e-05,2.890276e-05,2.887027e-05,2.886387e-05,2.882235e-05,2.881548e-05,2.877838e-05,2.875645e-05,2.873211e-05,2.869352e-05,2.868367e-05,2.863321e-05,2.862702e-05,2.858085e-05,2.855725e-05,2.852673e-05,2.848449e-05,2.847096e-05,2.841365e-05,2.840900e-05,2.835491e-05,2.833104e-05,2.829485e-05,2.825084e-05,2.823356e-05,2.817113e-05,2.816861e-05,2.810766e-05,2.808457e-05,2.804322e-05,2.799889e-05,2.797790e-05,2.791177e-05,2.782337e-05,2.773385e-05,2.764335e-05,2.755201e-05,2.745996e-05,2.736732e-05,2.727421e-05,2.718072e-05,2.708696e-05,2.699302e-05,2.689899e-05,2.680494e-05,2.671095e-05,2.661709e-05,2.652342e-05,2.643001e-05,2.633691e-05,2.624417e-05,2.615184e-05,2.605996e-05,2.596859e-05,2.587774e-05,2.578747e-05,2.569780e-05
0.000000e+00,1.847261e-11,6.972611e-11,4.916186e-10,1.758402e-09,3.130086e-09,1.067118e-08,1.114755e-08,2.897679e-08,3.642989e-08,6.188659e-08,9.126452e-08,1.156652e-07,1.888062e-07,1.964041e-07,3.103487e-07,3.433326e-07,4.637319e-07,5.690833e-07,6.624609e-07,8.788652e-07,9.115440e-07,1.214331e-06,1.281471e-06,1.571901e-06,1.779140e-06,1.982942e-06,2.367134e-06,2.444104e-06,2.950602e-06,3.035479e-06,3.496805e-06,3.771325e-06,4.076697e-06,4.560769e-06,4.684184e-06,5.313290e-06,5.389960e-06,5.958270e-06,6.245675e-06,6.613680e-06,7.115620e-06,7.274428e-06,7.935807e-06,7.988613e-06,8.593522e-06,8.854701e-06,9.243705e-06,9.705233e-06,9.882932e-06,1.050822e-05,1.053291e-05,1.111703e-05,1.133174e-05,1.170723e-05,1.209705e-05,1.227711e-05,1.282531e-05,1.335085e-05,1.351411e-05,1.385302e-05,1.416194e-05,1.433140e-05,1.476811e-05,1.478583e-05,1.521633e-05,1.533261e-05,1.562311e-05,1.585593e-05,1.600652e-05,1.633902e-05,1.636704e-05,1.670523e-05,1.678314e-05,1.702174e-05,1.718977e-05,1.731727e-05,1.756057e-05,1.759256e-05,1.784838e-05,1.789727e-05,1.808551e-05,1.820169e-05,1.830474e-05,1.847564e-05,1.850686e-05,1.869266e-05,1.872093e-05,1.886290e-05,1.893931e-05,1.901834e-05,1.913252e-05,1.915970e-05,1.928770e-05,1.930220e-05,1.940303e-05,1.944993e-05,1.950634e-05,1.957723e-05,1.959829e-05,1.967947e-05,1.968552e-05,1.975048e-05,1.977616e-05,1.981188e-05,1.985044e-05,1.986420e-05,1.990797e-05,1.990954e-05,1.994366e-05,1.995462e-05,1.997174e-05,1.998672e-05,1.999266e-05,2.000685e-05,2.001469e-05,2.001592e-05,2.001657e-05,2.001482e-05,2.001287e-05,2.000436e-05,2.000391e-05,1.999003e-05,1.998530e-05,1.997153e-05,1.995834e-05,1.994872e-05,1.992415e-05,1.992186e-05,1.989123e-05,1.988335e-05,1.985708e-05,1.983650e-05,1.981963e-05,1.978414e-05,1.977913e-05,1.973577e-05,1.972678e-05,1.968977e-05,1.966487e-05,1.964131e-05,1.959884e-05,1.959057e-05,1.953773e-05,1.952910e-05,1.948295e-05,1.945601e-05,1.942638e-05,1.937993e-05,1.936816e-05,1.930843e-05,1.930117e-05,1.924733e-05,1.922003e-05,1.918496e-05,1.913680e-05,1.912146e-05,1.905692e-05,1.905172e-05,1.899146e-05,1.896503e-05,1.892516e-05,1.887697e-05,1.885813e-05,1.879044e-05,1.878772e-05,1.872217e-05,1.869748e-05,1.865342e-05,1.860642e-05,1.858424e-05,1.851471e-05,1.842250e-05,1.832992e-05,1.823710e-05,1.814417e-05,1.805123e-05,1.795837e-05,1.786569e-05,1.777329e-05,1.768122e-05,1.758957e-05,1.749840e-05,1.740776e-05,1.731772e-05,1.722832e-05,1.713961e-05,1.705163e-05,1.696441e-05,1.687798e-05,1.679239e-05,1.670764e-05,1.662377e-05,1.654080e-05,1.645874e-05,1.637762e-05
0.000000e+00,1.086218e-10,3.902840e-10,2.497257e-09,8.224396e-09,1.402395e-08,4.309798e-08,4.484186e-08,1.062268e-07,1.304257e-07,2.093445e-07,2.956721e-07,3.647606e-07,5.624016e-07,5.823107e-07,8.710461e-07,9.518570e-07,1.239021e-06,1.482200e-06,1.692693e-06,2.165920e-06,2.235867e-06,2.868558e-06,3.005538e-06,3.586551e-06,3.991142e-06,4.382065e-06,5.102914e-06,5.245087e-06,6.164679e-06,6.316324e-06,7.129856e-06,7.606206e-06,8.130040e-06,8.948652e-06,9.155234e-06,1.019609e-05,1.032163e-05,1.124396e-05,1.170517e-05,1.229089e-05,1.308146e-05,1.332967e-05,1.435389e-05,1.443502e-05,1.535790e-05,1.575274e-05,1.633688e-05,1.702394e-05,1.728678e-05,1.820433e-05,1.824032e-05,1.908695e-05,1.939576e-05,1.993274e-05,2.048614e-05,2.074038e-05,2.150907e-05,2.223848e-05,2.246360e-05,2.292868e-05,2.334999e-05,2.358005e-05,2.416946e-05,2.419326e-05,2.476922e-05,2.492395e-05,2.530898e-05,2.561595e-05,2.581374e-05,2.624833e-05,2.628481e-05,2.672355e-05,2.682420e-05,2.713138e-05,2.734679e-05,2.750972e-05,2.781940e-05,2.786000e-05,2.818366e-05,2.824532e-05,2.848208e-05,2.862774e-05,2.875662e-05,2.896976e-05,2.900862e-05,2.923935e-05,2.927437e-05,2.945003e-05,2.954438e-05,2.964185e-05,2.978248e-05,2.981593e-05,2.997335e-05,2.999117e-05,3.011513e-05,3.017281e-05,3.024224e-05,3.032960e-05,3.035560e-05,3.045609e-05,3.046360e-05,3.054453e-05,3.057671e-05,3.062170e-05,3.067069e-05,3.068833e-05,3.074512e-05,3.074720e-05,3.079272e-05,3.080773e-05,3.083175e-05,3.085370e-05,3.086279e-05,3.088639e-05,3.090305e-05,3.090700e-05,3.091326e-05,3.091662e-05,3.091747e-05,3.091627e-05,3.091612e-05,3.090959e-05,3.090689e-05,3.089827e-05,3.088933e-05,3.088251e-05,3.086438e-05,3.086265e-05,3.083898e-05,3.083277e-05,3.081181e-05,3.079517e-05,3.078141e-05,3.075219e-05,3.074804e-05,3.071194e-05,3.070441e-05,3.067333e-05,3.065233e-05,3.063242e-05,3.059644e-05,3.058943e-05,3.054453e-05,3.053718e-05,3.049789e-05,3.047494e-05,3.044969e-05,3.041011e-05,3.040008e-05,3.034920e-05,3.034301e-05,3.029718e-05,3.027396e-05,3.024415e-05,3.020325e-05,3.019024e-05,3.013554e-05,3.013114e-05,3.008017e-05,3.005786e-05,3.002423e-05,2.998364e-05,2.996779e-05,2.991095e-05,2.990867e-05,2.985379e-05,2.983315e-05,2.979638e-05,2.975723e-05,2.973878e-05,2.968107e-05,2.960482e-05,2.952860e-05,2.945252e-05,2.937669e-05,2.930121e-05,2.922616e-05,2.915162e-05,2.907766e-05,2.900435e-05,2.893174e-05,2.885988e-05,2.878882e-05,2.871859e-05,2.864924e-05,2.858080e-05,2.851329e-05,2.844673e-05,2.838115e-05,2.831656e-05,2.825298e-05,2.819041e-05,2.812887e-05,2.806837e-05,2.800890e-05
0.000000e+00,1.725771e-10,6.767823e-10,5.169555e-09,1.992288e-08,3.698410e-08,1.411684e-07,1.481743e-07,4.347324e-07,5.658016e-07,1.051814e-06,1.672470e-06,2.227266e-06,4.052933e-06,4.253967e-06,7.454893e-06,8.433433e-06,1.214565e-05,1.553128e-05,1.861189e-05,2.596708e-05,2.709943e-05,3.781098e-05,4.023493e-05,5.090551e-05,5.869650e-05,6.649858e-05,8.158211e-05,8.466297e-05,1.054296e-04,1.089936e-04,1.287888e-04,1.409093e-04,1.546922e-04,1.771909e-04,1.830549e-04,2.137590e-04,2.175941e-04,2.466565e-04,2.617824e-04,2.815740e-04,3.093432e-04,3.183169e-04,3.566742e-04,3.598059e-04,3.964227e-04,4.126602e-04,4.373321e-04,4.673746e-04,4.791689e-04,5.217006e-04,5.234131e-04,5.646991e-04,5.802500e-04,6.079436e-04,6.373824e-04,6.512234e-04,6.943398e-04,7.371077e-04,7.506916e-04,7.793567e-04,8.060514e-04,8.209317e-04,8.600805e-04,8.616937e-04,9.015194e-04,9.124877e-04,9.403010e-04,9.630297e-04,9.779460e-04,1.011508e-03,1.014377e-03,1.049529e-03,1.057769e-03,1.083351e-03,1.101696e-03,1.115805e-03,1.143210e-03,1.146863e-03,1.176506e-03,1.182265e-03,1.204728e-03,1.218840e-03,1.231526e-03,1.252943e-03,1.256910e-03,1.280891e-03,1.284600e-03,1.303491e-03,1.313855e-03,1.324732e-03,1.340767e-03,1.344645e-03,1.363260e-03,1.365408e-03,1.380612e-03,1.387857e-03,1.396739e-03,1.408201e-03,1.411680e-03,1.425476e-03,1.426531e-03,1.438167e-03,1.442944e-03,1.449796e-03,1.457536e-03,1.460406e-03,1.470039e-03,1.470405e-03,1.478737e-03,1.481647e-03,1.486542e-03,1.491360e-03,1.493495e-03,1.499637e-03,1.505008e-03,1.506570e-03,1.509646e-03,1.512247e-03,1.513589e-03,1.516755e-03,1.516874e-03,1.519536e-03,1.520175e-03,1.521610e-03,1.522585e-03,1.523128e-03,1.524061e-03,1.524122e-03,1.524623e-03,1.524673e-03,1.524660e-03,1.524489e-03,1.524261e-03,1.523572e-03,1.523454e-03,1.522264e-03,1.521982e-03,1.520715e-03,1.519776e-03,1.518831e-03,1.517006e-03,1.516635e-03,1.514147e-03,1.513723e-03,1.511388e-03,1.509974e-03,1.508378e-03,1.505800e-03,1.505134e-03,1.501673e-03,1.501244e-03,1.498013e-03,1.496344e-03,1.494169e-03,1.491134e-03,1.490156e-03,1.485987e-03,1.485648e-03,1.481677e-03,1.479916e-03,1.477237e-03,1.473966e-03,1.472679e-03,1.468015e-03,1.467826e-03,1.463255e-03,1.461519e-03,1.458408e-03,1.455069e-03,1.453485e-03,1.448495e-03,1.441818e-03,1.435054e-03,1.428222e-03,1.421335e-03,1.414409e-03,1.407455e-03,1.400485e-03,1.393510e-03,1.386541e-03,1.379586e-03,1.372653e-03,1.365750e-03,1.358884e-03,1.352061e-03,1.345287e-03,1.338566e-03,1.331903e-03,1.325303e-03,1.318769e-03,1.312304e-03,1.305911e-03,1.299593e-03,1.293352e-03,1.287190e-03
0.000000e+00,1.157827e-10,4.359110e-10,3.059982e-09,1.091865e-08,1.942833e-08,6.644241e-08,6.942775e-08,1.825307e-07,2.305780e-07,3.978451e-07,5.963631e-07,7.651369e-07,1.287478e-06,1.342843e-06,2.187487e-06,2.434735e-06,3.337257e-06,4.119425e-06,4.802625e-06,6.342241e-06,6.569237e-06,8.606855e-06,9.043647e-06,1.087788e-05,1.213796e-05,1.334295e-05,1.553558e-05,1.596390e-05,1.870493e-05,1.915239e-05,2.153291e-05,2.291217e-05,2.441735e-05,2.674669e-05,2.733030e-05,3.024635e-05,3.059537e-05,3.314259e-05,3.440534e-05,3.599874e-05,3.813162e-05,3.879712e-05,4.152272e-05,4.173723e-05,4.416307e-05,4.519302e-05,4.670819e-05,4.847733e-05,4.915043e-05,5.148425e-05,5.157529e-05,5.370599e-05,5.447795e-05,5.581366e-05,5.718137e-05,5.780668e-05,5.968565e-05,6.145217e-05,6.199407e-05,6.310858e-05,6.411225e-05,6.465786e-05,6.604756e-05,6.610344e-05,6.744908e-05,6.780848e-05,6.869875e-05,6.940420e-05,6.985658e-05,7.084426e-05,7.092675e-05,7.191344e-05,7.213828e-05,7.282080e-05,7.329579e-05,7.365289e-05,7.432604e-05,7.441370e-05,7.510705e-05,7.523796e-05,7.573668e-05,7.604008e-05,7.630613e-05,7.674049e-05,7.681884e-05,7.727807e-05,7.734680e-05,7.768694e-05,7.786618e-05,7.804841e-05,7.830536e-05,7.836530e-05,7.864029e-05,7.867059e-05,7.887591e-05,7.896773e-05,7.907456e-05,7.920223e-05,7.923853e-05,7.936996e-05,7.937913e-05,7.947089e-05,7.950316e-05,7.954324e-05,7.957865e-05,7.958882e-05,7.960935e-05,7.960967e-05,7.960644e-05,7.959995e-05,7.958162e-05,7.955297e-05,7.953634e-05,7.947194e-05,7.938971e-05,7.935984e-05,7.929087e-05,7.921941e-05,7.917653e-05,7.905321e-05,7.904779e-05,7.890566e-05,7.886359e-05,7.875107e-05,7.865272e-05,7.858494e-05,7.842263e-05,7.840811e-05,7.822138e-05,7.817517e-05,7.802550e-05,7.791207e-05,7.782117e-05,7.763491e-05,7.760906e-05,7.738981e-05,7.734516e-05,7.716400e-05,7.704418e-05,7.693220e-05,7.673323e-05,7.669492e-05,7.645265e-05,7.641346e-05,7.620588e-05,7.608595e-05,7.595502e-05,7.575168e-05,7.570050e-05,7.544270e-05,7.541156e-05,7.518199e-05,7.506645e-05,7.491871e-05,7.471710e-05,7.465319e-05,7.438573e-05,7.436425e-05,7.411660e-05,7.400855e-05,7.384610e-05,7.365062e-05,7.357446e-05,7.330192e-05,7.329100e-05,7.302871e-05,7.293023e-05,7.275503e-05,7.256877e-05,7.248109e-05,7.220706e-05,7.184551e-05,7.148449e-05,7.112432e-05,7.076534e-05,7.040781e-05,7.005201e-05,6.969816e-05,6.934649e-05,6.899719e-05,6.865044e-05,6.830641e-05,6.796524e-05,6.762707e-05,6.729201e-05,6.696017e-05,6.663165e-05,6.630653e-05,6.598489e-05,6.566678e-05,6.535228e-05,6.504142e-05,6.473425e-05,6.443080e-05,6.413110e-05
0.000000e+00,5.755612e-09,1.321334e-08,4.575508e-08,1.050210e-07,1.541700e-07,3.573854e-07,3.685316e-07,7.344121e-07,8.713713e-07,1.306753e-06,1.771453e-06,2.136247e-06,3.142320e-06,3.240459e-06,4.600783e-06,4.962175e-06,6.189254e-06,7.169765e-06,7.983230e-06,9.717906e-06,9.965134e-06,1.211929e-05,1.256941e-05,1.442985e-05,1.568761e-05,1.688000e-05,1.903294e-05,1.945185e-05,2.212683e-05,2.256313e-05,2.488611e-05,2.623506e-05,2.771120e-05,3.000669e-05,3.058435e-05,3.348894e-05,3.383886e-05,3.640972e-05,3.769641e-05,3.933299e-05,4.154879e-05,4.224658e-05,4.513991e-05,4.537022e-05,4.800384e-05,4.913940e-05,5.083063e-05,5.283926e-05,5.361384e-05,5.634821e-05,5.645651e-05,5.902938e-05,5.998084e-05,6.165371e-05,6.340439e-05,6.421851e-05,6.672164e-05,6.916151e-05,6.992871e-05,7.153699e-05,7.302316e-05,7.384736e-05,7.600366e-05,7.609219e-05,7.827133e-05,7.886972e-05,8.038488e-05,8.162164e-05,8.243313e-05,8.426022e-05,8.441652e-05,8.633563e-05,8.678673e-05,8.819116e-05,8.920278e-05,8.998390e-05,9.151025e-05,9.171471e-05,9.338452e-05,9.371125e-05,9.499434e-05,9.580807e-05,9.654519e-05,9.780311e-05,9.803814e-05,9.947429e-05,9.969888e-05,1.008548e-04,1.014980e-04,1.021807e-04,1.032030e-04,1.034533e-04,1.046737e-04,1.048167e-04,1.058430e-04,1.063417e-04,1.069625e-04,1.077807e-04,1.080333e-04,1.090566e-04,1.091364e-04,1.100335e-04,1.104116e-04,1.109653e-04,1.116088e-04,1.118530e-04,1.126978e-04,1.127307e-04,1.135008e-04,1.137799e-04,1.142632e-04,1.147589e-04,1.149860e-04,1.156704e-04,1.163173e-04,1.165167e-04,1.169280e-04,1.173002e-04,1.175033e-04,1.180234e-04,1.180444e-04,1.185522e-04,1.186886e-04,1.190278e-04,1.192980e-04,1.194720e-04,1.198539e-04,1.198859e-04,1.202704e-04,1.203584e-04,1.206264e-04,1.208136e-04,1.209547e-04,1.212216e-04,1.212564e-04,1.215321e-04,1.215843e-04,1.217829e-04,1.219036e-04,1.220094e-04,1.221816e-04,1.222125e-04,1.223931e-04,1.224199e-04,1.225517e-04,1.226203e-04,1.226893e-04,1.227846e-04,1.228065e-04,1.229040e-04,1.229144e-04,1.229825e-04,1.230113e-04,1.230428e-04,1.230768e-04,1.230855e-04,1.231112e-04,1.231125e-04,1.231205e-04,1.231198e-04,1.231141e-04,1.231001e-04,1.230925e-04,1.230564e-04,1.230547e-04,1.230063e-04,1.229850e-04,1.229428e-04,1.228921e-04,1.228663e-04,1.227774e-04,1.226420e-04,1.224870e-04,1.223135e-04,1.221225e-04,1.219151e-04,1.216922e-04,1.214547e-04,1.212035e-04,1.209395e-04,1.206635e-04,1.203763e-04,1.200786e-04,1.197712e-04,1.194548e-04,1.191300e-04,1.187974e-04,1.184578e-04,1.181116e-04,1.177594e-04,1.174018e-04,1.170393e-04,1.166723e-04,1.163014e-04,1.159269e-04
0.000000e+00,2.707167e-09,6.227353e-09,2.156747e-08,4.938315e-08,7.233867e-08,1.663512e-07,1.714710e-07,3.379286e-07,3.996282e-07,5.946550e-07,8.025617e-07,9.665828e-07,1.425100e-06,1.470318e-06,2.104014e-06,2.274010e-06,2.854415e-06,3.320661e-06,3.708634e-06,4.538680e-06,4.657246e-06,5.692981e-06,5.910000e-06,6.809213e-06,7.419212e-06,7.999085e-06,9.050053e-06,9.255142e-06,1.056926e-05,1.078434e-05,1.193278e-05,1.260217e-05,1.333665e-05,1.448266e-05,1.477173e-05,1.622895e-05,1.640489e-05,1.769957e-05,1.834873e-05,1.917530e-05,2.029553e-05,2.064847e-05,2.211213e-05,2.222862e-05,2.356003e-05,2.413353e-05,2.498672e-05,2.599812e-05,2.638748e-05,2.775835e-05,2.781252e-05,2.909603e-05,2.956894e-05,3.039785e-05,3.126151e-05,3.166171e-05,3.288602e-05,3.406966e-05,3.443970e-05,3.521186e-05,3.592093e-05,3.631223e-05,3.732909e-05,3.737062e-05,3.838715e-05,3.866432e-05,3.936215e-05,3.992741e-05,4.029610e-05,4.111960e-05,4.118961e-05,4.204343e-05,4.224253e-05,4.285837e-05,4.329809e-05,4.363532e-05,4.428836e-05,4.437522e-05,4.507905e-05,4.521558e-05,4.574781e-05,4.608205e-05,4.638253e-05,4.689013e-05,4.698423e-05,4.755394e-05,4.764220e-05,4.809271e-05,4.834062e-05,4.860154e-05,4.898774e-05,4.908145e-05,4.953343e-05,4.958584e-05,4.995846e-05,5.013718e-05,5.035749e-05,5.064395e-05,5.073147e-05,5.108131e-05,5.110828e-05,5.140791e-05,5.153223e-05,5.171213e-05,5.191780e-05,5.199484e-05,5.225685e-05,5.226691e-05,5.249897e-05,5.258142e-05,5.272198e-05,5.286309e-05,5.292663e-05,5.311366e-05,5.328378e-05,5.333476e-05,5.343767e-05,5.352796e-05,5.357601e-05,5.369478e-05,5.369944e-05,5.380857e-05,5.383665e-05,5.390402e-05,5.395496e-05,5.398636e-05,5.405102e-05,5.405616e-05,5.411396e-05,5.412611e-05,5.416029e-05,5.418141e-05,5.419564e-05,5.421807e-05,5.422052e-05,5.423538e-05,5.423719e-05,5.424069e-05,5.423982e-05,5.423688e-05,5.422694e-05,5.422437e-05,5.420357e-05,5.419949e-05,5.417486e-05,5.415839e-05,5.413864e-05,5.410449e-05,5.409525e-05,5.404506e-05,5.403859e-05,5.398838e-05,5.396148e-05,5.392556e-05,5.387389e-05,5.385690e-05,5.378269e-05,5.377652e-05,5.370323e-05,5.367004e-05,5.361880e-05,5.355507e-05,5.352965e-05,5.343605e-05,5.343222e-05,5.333824e-05,5.330204e-05,5.323646e-05,5.316509e-05,5.313093e-05,5.302187e-05,5.287287e-05,5.271854e-05,5.255932e-05,5.239563e-05,5.222785e-05,5.205634e-05,5.188147e-05,5.170356e-05,5.152292e-05,5.133984e-05,5.115461e-05,5.096749e-05,5.077873e-05,5.058856e-05,5.039719e-05,5.020485e-05,5.001172e-05,4.981799e-05,4.962384e-05,4.942942e-05,4.923489e-05,4.904040e-05,4.884607e-05,4.865204e-05
0.000000e+00,1.488160e-09,3.414184e-09,1.180432e-08,2.703831e-08,3.963131e-08,9.135528e-08,9.417764e-08,1.861426e-07,2.203037e-07,3.284770e-07,4.441850e-07,5.359012e-07,7.953449e-07,8.212121e-07,1.188742e-06,1.288652e-06,1.632286e-06,1.909761e-06,2.140798e-06,2.633751e-06,2.703919e-06,3.313421e-06,3.440283e-06,3.962657e-06,4.314024e-06,4.645847e-06,5.242037e-06,5.357630e-06,6.092870e-06,6.212352e-06,6.846617e-06,7.213590e-06,7.614138e-06,8.235068e-06,8.390978e-06,9.173014e-06,9.267026e-06,9.956502e-06,1.030082e-05,1.073810e-05,1.132902e-05,1.151486e-05,1.228424e-05,1.234541e-05,1.304409e-05,1.334494e-05,1.379258e-05,1.432360e-05,1.452820e-05,1.524973e-05,1.527828e-05,1.595617e-05,1.620664e-05,1.664674e-05,1.710696e-05,1.732086e-05,1.797808e-05,1.861810e-05,1.881924e-05,1.924072e-05,1.963002e-05,1.984584e-05,2.041026e-05,2.043343e-05,2.100353e-05,2.116004e-05,2.155624e-05,2.187957e-05,2.209170e-05,2.256924e-05,2.261009e-05,2.311161e-05,2.322949e-05,2.359650e-05,2.386087e-05,2.406501e-05,2.446396e-05,2.451740e-05,2.495397e-05,2.503941e-05,2.537500e-05,2.558789e-05,2.578080e-05,2.611012e-05,2.617167e-05,2.654794e-05,2.660680e-05,2.690991e-05,2.707867e-05,2.725791e-05,2.752647e-05,2.759226e-05,2.791328e-05,2.795092e-05,2.822128e-05,2.835277e-05,2.851660e-05,2.873274e-05,2.879954e-05,2.907042e-05,2.909157e-05,2.932955e-05,2.942998e-05,2.957724e-05,2.974866e-05,2.981379e-05,3.003951e-05,3.004832e-05,3.025470e-05,3.032964e-05,3.045963e-05,3.059329e-05,3.065461e-05,3.083992e-05,3.101582e-05,3.107017e-05,3.118260e-05,3.128468e-05,3.134053e-05,3.148405e-05,3.148986e-05,3.163085e-05,3.166887e-05,3.176376e-05,3.183973e-05,3.188884e-05,3.199719e-05,3.200631e-05,3.211643e-05,3.214179e-05,3.221942e-05,3.227407e-05,3.231551e-05,3.239453e-05,3.240492e-05,3.248786e-05,3.250369e-05,3.256454e-05,3.260202e-05,3.263518e-05,3.268999e-05,3.269997e-05,3.275911e-05,3.276806e-05,3.281278e-05,3.283666e-05,3.286118e-05,3.289622e-05,3.290448e-05,3.294287e-05,3.294715e-05,3.297651e-05,3.298985e-05,3.300557e-05,3.302469e-05,3.303021e-05,3.305060e-05,3.305205e-05,3.306688e-05,3.307228e-05,3.307921e-05,3.308572e-05,3.308773e-05,3.309259e-05,3.309271e-05,3.309393e-05,3.309357e-05,3.309187e-05,3.308860e-05,3.308655e-05,3.307809e-05,3.306234e-05,3.304162e-05,3.301618e-05,3.298629e-05,3.295219e-05,3.291410e-05,3.287226e-05,3.282688e-05,3.277818e-05,3.272634e-05,3.267155e-05,3.261401e-05,3.255389e-05,3.249135e-05,3.242656e-05,3.235967e-05,3.229083e-05,3.222018e-05,3.214786e-05,3.207399e-05,3.199870e-05,3.192211e-05,3.184433e-05,3.176548e-05
0.000000e+00,1.655079e-10,6.068907e-10,4.035515e-09,1.371105e-08,2.375043e-08,7.574933e-08,7.892673e-08,1.933453e-07,2.395106e-07,3.931739e-07,5.658004e-07,7.068888e-07,1.122878e-06,1.165696e-06,1.802293e-06,1.984918e-06,2.645124e-06,3.213135e-06,3.707584e-06,4.816020e-06,4.978562e-06,6.422756e-06,6.728126e-06,7.990572e-06,8.837263e-06,9.630014e-06,1.102840e-05,1.129483e-05,1.294788e-05,1.320929e-05,1.456122e-05,1.531533e-05,1.611460e-05,1.730434e-05,1.759368e-05,1.898848e-05,1.914984e-05,2.029226e-05,2.083591e-05,2.150073e-05,2.235392e-05,2.261155e-05,2.362403e-05,2.370080e-05,2.453887e-05,2.487786e-05,2.535798e-05,2.589007e-05,2.608429e-05,2.672161e-05,2.674532e-05,2.727443e-05,2.745371e-05,2.774774e-05,2.802687e-05,2.814684e-05,2.847726e-05,2.874455e-05,2.881766e-05,2.895422e-05,2.906065e-05,2.911162e-05,2.921832e-05,2.922188e-05,2.928988e-05,2.930197e-05,2.932017e-05,2.932201e-05,2.931698e-05,2.928786e-05,2.928423e-05,2.922550e-05,2.920790e-05,2.914402e-05,2.908956e-05,2.904273e-05,2.893933e-05,2.892429e-05,2.879106e-05,2.876283e-05,2.864517e-05,2.856494e-05,2.848850e-05,2.834980e-05,2.832273e-05,2.814934e-05,2.812098e-05,2.796965e-05,2.788150e-05,2.778481e-05,2.763393e-05,2.759585e-05,2.740366e-05,2.738042e-05,2.720905e-05,2.712282e-05,2.701269e-05,2.686267e-05,2.681520e-05,2.661712e-05,2.660126e-05,2.641890e-05,2.633967e-05,2.622097e-05,2.607883e-05,2.602367e-05,2.582732e-05,2.581949e-05,2.563219e-05,2.556229e-05,2.543852e-05,2.530776e-05,2.524651e-05,2.505634e-05,2.486816e-05,2.480839e-05,2.468211e-05,2.456420e-05,2.449829e-05,2.432402e-05,2.431681e-05,2.413773e-05,2.408803e-05,2.396114e-05,2.385639e-05,2.378708e-05,2.362921e-05,2.361559e-05,2.344672e-05,2.340658e-05,2.328049e-05,2.318856e-05,2.311692e-05,2.297518e-05,2.295601e-05,2.279779e-05,2.276647e-05,2.264224e-05,2.256242e-05,2.248937e-05,2.236303e-05,2.233917e-05,2.219163e-05,2.216827e-05,2.204673e-05,2.197811e-05,2.190445e-05,2.179250e-05,2.176478e-05,2.162769e-05,2.161141e-05,2.149315e-05,2.143476e-05,2.136115e-05,2.126250e-05,2.123165e-05,2.110462e-05,2.109456e-05,2.098003e-05,2.093088e-05,2.085786e-05,2.077137e-05,2.073806e-05,2.062061e-05,2.061596e-05,2.050546e-05,2.046457e-05,2.039259e-05,2.031713e-05,2.028197e-05,2.017355e-05,2.003375e-05,1.989765e-05,1.976517e-05,1.963622e-05,1.951073e-05,1.938860e-05,1.926977e-05,1.915415e-05,1.904167e-05,1.893223e-05,1.882577e-05,1.872222e-05,1.862149e-05,1.852351e-05,1.842821e-05,1.833552e-05,1.824537e-05,1.815770e-05,1.807242e-05,1.798949e-05,1.790884e-05,1.783040e-05,1.775411e-05,1.767992e-05
0.000000e+00,6.475306e-11,2.525399e-10,1.905692e-09,7.254528e-09,1.336758e-08,4.991622e-08,5.234152e-08,1.494907e-07,1.929682e-07,3.508723e-07,5.475131e-07,7.202492e-07,1.277083e-06,1.337667e-06,2.290998e-06,2.579392e-06,3.665165e-06,4.647031e-06,5.535327e-06,7.641499e-06,7.964239e-06,1.100173e-05,1.168575e-05,1.468491e-05,1.686402e-05,1.903846e-05,2.322308e-05,2.407499e-05,2.979538e-05,3.077356e-05,3.618914e-05,3.949149e-05,4.323506e-05,4.932066e-05,5.090189e-05,5.914942e-05,6.017594e-05,6.792956e-05,7.194769e-05,7.718771e-05,8.450701e-05,8.686417e-05,9.689558e-05,9.771147e-05,1.072164e-04,1.114109e-04,1.177602e-04,1.254527e-04,1.284610e-04,1.392544e-04,1.396872e-04,1.500786e-04,1.539715e-04,1.608749e-04,1.681725e-04,1.715888e-04,1.821698e-04,1.925726e-04,1.958570e-04,2.027564e-04,2.091424e-04,2.126854e-04,2.219490e-04,2.223289e-04,2.316606e-04,2.342145e-04,2.406588e-04,2.458904e-04,2.493064e-04,2.569408e-04,2.575898e-04,2.654994e-04,2.673413e-04,2.730289e-04,2.770780e-04,2.801750e-04,2.861457e-04,2.869369e-04,2.933166e-04,2.945469e-04,2.993177e-04,3.022906e-04,3.049460e-04,3.093909e-04,3.102087e-04,3.151141e-04,3.158664e-04,3.196718e-04,3.217389e-04,3.238921e-04,3.270328e-04,3.277860e-04,3.313651e-04,3.317741e-04,3.346414e-04,3.359901e-04,3.376268e-04,3.397088e-04,3.403337e-04,3.427744e-04,3.429585e-04,3.449610e-04,3.457673e-04,3.469057e-04,3.481627e-04,3.486203e-04,3.501165e-04,3.501720e-04,3.514057e-04,3.518213e-04,3.524990e-04,3.531360e-04,3.534070e-04,3.541402e-04,3.547086e-04,3.548572e-04,3.551217e-04,3.553090e-04,3.553889e-04,3.555163e-04,3.555190e-04,3.555205e-04,3.554990e-04,3.554015e-04,3.552755e-04,3.551697e-04,3.548632e-04,3.548325e-04,3.543969e-04,3.542784e-04,3.538695e-04,3.535364e-04,3.532566e-04,3.526514e-04,3.525643e-04,3.517982e-04,3.516366e-04,3.509637e-04,3.505044e-04,3.500659e-04,3.492663e-04,3.491095e-04,3.480992e-04,3.479328e-04,3.470391e-04,3.465139e-04,3.459335e-04,3.450186e-04,3.447860e-04,3.436002e-04,3.434555e-04,3.423796e-04,3.418323e-04,3.411273e-04,3.401562e-04,3.398463e-04,3.385394e-04,3.384338e-04,3.372094e-04,3.366714e-04,3.358585e-04,3.348744e-04,3.344893e-04,3.331040e-04,3.330482e-04,3.317044e-04,3.311975e-04,3.302926e-04,3.293266e-04,3.288705e-04,3.274396e-04,3.255402e-04,3.236317e-04,3.217173e-04,3.197998e-04,3.178817e-04,3.159655e-04,3.140532e-04,3.121469e-04,3.102483e-04,3.083590e-04,3.064805e-04,3.046142e-04,3.027611e-04,3.009225e-04,2.990993e-04,2.972922e-04,2.955022e-04,2.937299e-04,2.919758e-04,2.902405e-04,2.885245e-04,2.868282e-04,2.851519e-04,2.834958e-04
0.000000e+00,9.904813e-09,2.413816e-08,8.880190e-08,2.096207e-07,3.112737e-07,7.411774e-07,7.651476e-07,1.571279e-06,1.881843e-06,2.898321e-06,4.031975e-06,4.958280e-06,7.679969e-06,7.957891e-06,1.198654e-05,1.309643e-05,1.690915e-05,1.994187e-05,2.241252e-05,2.747517e-05,2.817084e-05,3.394718e-05,3.509061e-05,3.959716e-05,4.245639e-05,4.503904e-05,4.941559e-05,5.022753e-05,5.513780e-05,5.589663e-05,5.975681e-05,6.186860e-05,6.407890e-05,6.732225e-05,6.810348e-05,7.183379e-05,7.226192e-05,7.527598e-05,7.670141e-05,7.843866e-05,8.066185e-05,8.133246e-05,8.396929e-05,8.416951e-05,8.636205e-05,8.725383e-05,8.852425e-05,8.994598e-05,9.046963e-05,9.221196e-05,9.227762e-05,9.376479e-05,9.427997e-05,9.514132e-05,9.598316e-05,9.635425e-05,9.741575e-05,9.833733e-05,9.860449e-05,9.912989e-05,9.957417e-05,9.980365e-05,1.003476e-04,1.003682e-04,1.008324e-04,1.009456e-04,1.012047e-04,1.013872e-04,1.014927e-04,1.016895e-04,1.017037e-04,1.018442e-04,1.018681e-04,1.019203e-04,1.019370e-04,1.019378e-04,1.019089e-04,1.019019e-04,1.018173e-04,1.017950e-04,1.016886e-04,1.016056e-04,1.015198e-04,1.013498e-04,1.013147e-04,1.010767e-04,1.010358e-04,1.008092e-04,1.006711e-04,1.005149e-04,1.002621e-04,1.001966e-04,9.985682e-05,9.981471e-05,9.949782e-05,9.933432e-05,9.912170e-05,9.882560e-05,9.873041e-05,9.832571e-05,9.829280e-05,9.790924e-05,9.773970e-05,9.748250e-05,9.716967e-05,9.704687e-05,9.660361e-05,9.658574e-05,9.615389e-05,9.599061e-05,9.569876e-05,9.538669e-05,9.523922e-05,9.477614e-05,9.431036e-05,9.416087e-05,9.384264e-05,9.354259e-05,9.337365e-05,9.292283e-05,9.290404e-05,9.243439e-05,9.230295e-05,9.196522e-05,9.168415e-05,9.149701e-05,9.106748e-05,9.103020e-05,9.056520e-05,9.045390e-05,9.010236e-05,8.984424e-05,8.964202e-05,8.923922e-05,8.918447e-05,8.873001e-05,8.863950e-05,8.827886e-05,8.804565e-05,8.783126e-05,8.745816e-05,8.738740e-05,8.694747e-05,8.687745e-05,8.651162e-05,8.630390e-05,8.608000e-05,8.573784e-05,8.565274e-05,8.522995e-05,8.517952e-05,8.481173e-05,8.462918e-05,8.439816e-05,8.408701e-05,8.398933e-05,8.358529e-05,8.355318e-05,8.318610e-05,8.302780e-05,8.279181e-05,8.251097e-05,8.240245e-05,8.201805e-05,8.200277e-05,8.163862e-05,8.150325e-05,8.126419e-05,8.101244e-05,8.089477e-05,8.053035e-05,8.005697e-05,7.959230e-05,7.913629e-05,7.868891e-05,7.825010e-05,7.781980e-05,7.739793e-05,7.698443e-05,7.657920e-05,7.618215e-05,7.579319e-05,7.541223e-05,7.503914e-05,7.467384e-05,7.431621e-05,7.396614e-05,7.362351e-05,7.328821e-05,7.296012e-05,7.263913e-05,7.232511e-05,7.201796e-05,7.171755e-05,7.142376e-05
0.000000e+00,4.352849e-09,9.956051e-09,3.416143e-08,7.760412e-08,1.131681e-07,2.569103e-07,2.646651e-07,5.135628e-07,6.044740e-07,8.882946e-07,1.186939e-06,1.421352e-06,2.080183e-06,2.145854e-06,3.084883e-06,3.342665e-06,4.237195e-06,4.965925e-06,5.574732e-06,6.872705e-06,7.056855e-06,8.645033e-06,8.972521e-06,1.030807e-05,1.119405e-05,1.202136e-05,1.348463e-05,1.376490e-05,1.552171e-05,1.580301e-05,1.727689e-05,1.811487e-05,1.901725e-05,2.039095e-05,2.073109e-05,2.240820e-05,2.260656e-05,2.403986e-05,2.474146e-05,2.561879e-05,2.677985e-05,2.713912e-05,2.859635e-05,2.871010e-05,2.998718e-05,3.052439e-05,3.130941e-05,3.221824e-05,3.256185e-05,3.374414e-05,3.378997e-05,3.485661e-05,3.524018e-05,3.590021e-05,3.657120e-05,3.687632e-05,3.778673e-05,3.863349e-05,3.889137e-05,3.941886e-05,3.989039e-05,4.014525e-05,4.078942e-05,4.081517e-05,4.143115e-05,4.159431e-05,4.199576e-05,4.231092e-05,4.251154e-05,4.294508e-05,4.298099e-05,4.340658e-05,4.350246e-05,4.379069e-05,4.398854e-05,4.413563e-05,4.440855e-05,4.444363e-05,4.471683e-05,4.476747e-05,4.495728e-05,4.507003e-05,4.516695e-05,4.532066e-05,4.534771e-05,4.550136e-05,4.552354e-05,4.562958e-05,4.568257e-05,4.573399e-05,4.580141e-05,4.581612e-05,4.587743e-05,4.588345e-05,4.591929e-05,4.593189e-05,4.594300e-05,4.594965e-05,4.594980e-05,4.594085e-05,4.593949e-05,4.591724e-05,4.590393e-05,4.588003e-05,4.584535e-05,4.583018e-05,4.576862e-05,4.576592e-05,4.569622e-05,4.566767e-05,4.561382e-05,4.555245e-05,4.552217e-05,4.542200e-05,4.531402e-05,4.527792e-05,4.519885e-05,4.512166e-05,4.507711e-05,4.495459e-05,4.494937e-05,4.481617e-05,4.477796e-05,4.467801e-05,4.459293e-05,4.453536e-05,4.440055e-05,4.438867e-05,4.423836e-05,4.420179e-05,4.408482e-05,4.399756e-05,4.392841e-05,4.378867e-05,4.376948e-05,4.360835e-05,4.357589e-05,4.344532e-05,4.335990e-05,4.328069e-05,4.314134e-05,4.311470e-05,4.294761e-05,4.292078e-05,4.277964e-05,4.269877e-05,4.261102e-05,4.247579e-05,4.244194e-05,4.227260e-05,4.225226e-05,4.210315e-05,4.202861e-05,4.193378e-05,4.180520e-05,4.176463e-05,4.159583e-05,4.158235e-05,4.142752e-05,4.136036e-05,4.125983e-05,4.113952e-05,4.109285e-05,4.092670e-05,4.092007e-05,4.076147e-05,4.070222e-05,4.059724e-05,4.048619e-05,4.043411e-05,4.027213e-05,4.006022e-05,3.985060e-05,3.964338e-05,3.943869e-05,3.923661e-05,3.903722e-05,3.884061e-05,3.864683e-05,3.845593e-05,3.826795e-05,3.808293e-05,3.790089e-05,3.772186e-05,3.754584e-05,3.737284e-05,3.720286e-05,3.703591e-05,3.687196e-05,3.671102e-05,3.655307e-05,3.639808e-05,3.624603e-05,3.609691e-05,3.595068e-05
0.000000e+00,1.782923e-10,6.011977e-10,3.428920e-09,1.035179e-08,1.693780e-08,4.767644e-08,4.945476e-08,1.100115e-07,1.332521e-07,2.079613e-07,2.888222e-07,3.533583e-07,5.385235e-07,5.572685e-07,8.317260e-07,9.094688e-07,1.188959e-06,1.429230e-06,1.639455e-06,2.117780e-06,2.188973e-06,2.835920e-06,2.976309e-06,3.571211e-06,3.983962e-06,4.380988e-06,5.107689e-06,5.250147e-06,6.164748e-06,6.314477e-06,7.112910e-06,7.576985e-06,8.084766e-06,8.873724e-06,9.072068e-06,1.006779e-05,1.018754e-05,1.106584e-05,1.150433e-05,1.206089e-05,1.281219e-05,1.304822e-05,1.402371e-05,1.410113e-05,1.498378e-05,1.536279e-05,1.592536e-05,1.659037e-05,1.684585e-05,1.774314e-05,1.777853e-05,1.861552e-05,1.892321e-05,1.946167e-05,2.002156e-05,2.028062e-05,2.107172e-05,2.183455e-05,2.207266e-05,2.256898e-05,2.302412e-05,2.327504e-05,2.392636e-05,2.395294e-05,2.460303e-05,2.478014e-05,2.522579e-05,2.558655e-05,2.582176e-05,2.634695e-05,2.639159e-05,2.693595e-05,2.706288e-05,2.745557e-05,2.773604e-05,2.795122e-05,2.836819e-05,2.842369e-05,2.887375e-05,2.896114e-05,2.930218e-05,2.951667e-05,2.970975e-05,3.003657e-05,3.009725e-05,3.046543e-05,3.052259e-05,3.081503e-05,3.097646e-05,3.114679e-05,3.139982e-05,3.146140e-05,3.175955e-05,3.179426e-05,3.204190e-05,3.216130e-05,3.230911e-05,3.250243e-05,3.256179e-05,3.280054e-05,3.281906e-05,3.302596e-05,3.311252e-05,3.323860e-05,3.338409e-05,3.343900e-05,3.362767e-05,3.363499e-05,3.380513e-05,3.386636e-05,3.397185e-05,3.407931e-05,3.412828e-05,3.427488e-05,3.441207e-05,3.445405e-05,3.454026e-05,3.461775e-05,3.465983e-05,3.476687e-05,3.477117e-05,3.487463e-05,3.490223e-05,3.497056e-05,3.502464e-05,3.505929e-05,3.513484e-05,3.514114e-05,3.521641e-05,3.523353e-05,3.528540e-05,3.532139e-05,3.534838e-05,3.539905e-05,3.540562e-05,3.545739e-05,3.546710e-05,3.550391e-05,3.552611e-05,3.554543e-05,3.557661e-05,3.558218e-05,3.561437e-05,3.561911e-05,3.564221e-05,3.565408e-05,3.566589e-05,3.568198e-05,3.568561e-05,3.570155e-05,3.570322e-05,3.571389e-05,3.571821e-05,3.572278e-05,3.572734e-05,3.572839e-05,3.573088e-05,3.573095e-05,3.573039e-05,3.572939e-05,3.572706e-05,3.572298e-05,3.572102e-05,3.571241e-05,3.571202e-05,3.570136e-05,3.569680e-05,3.568797e-05,3.567759e-05,3.567236e-05,3.565464e-05,3.562820e-05,3.559850e-05,3.556575e-05,3.553015e-05,3.549191e-05,3.545119e-05,3.540818e-05,3.536304e-05,3.531593e-05,3.526698e-05,3.521634e-05,3.516413e-05,3.511049e-05,3.505553e-05,3.499936e-05,3.494208e-05,3.488379e-05,3.482459e-05,3.476457e-05,3.470380e-05,3.464237e-05,3.458036e-05,3.451782e-05,3.445484e-05
0.000000e+00,1.692050e-11,6.414106e-11,4.562256e-10,1.644805e-09,2.940640e-09,1.013943e-08,1.059698e-08,2.786544e-08,3.514571e-08,6.020326e-08,8.940496e-08,1.138433e-07,1.878899e-07,1.956405e-07,3.129621e-07,3.472583e-07,4.735134e-07,5.851761e-07,6.849379e-07,9.185255e-07,9.540518e-07,1.285802e-06,1.359914e-06,1.682360e-06,1.913991e-06,2.142796e-06,2.576299e-06,2.663430e-06,3.238576e-06,3.335209e-06,3.861362e-06,4.175058e-06,4.524406e-06,5.078844e-06,5.220304e-06,5.941920e-06,6.029918e-06,6.682544e-06,7.012824e-06,7.435980e-06,8.013658e-06,8.196569e-06,8.959200e-06,9.020158e-06,9.719300e-06,1.002171e-05,1.047282e-05,1.100928e-05,1.121623e-05,1.194649e-05,1.197539e-05,1.266102e-05,1.291398e-05,1.335768e-05,1.382031e-05,1.403475e-05,1.469089e-05,1.532508e-05,1.552327e-05,1.593663e-05,1.631593e-05,1.652511e-05,1.706815e-05,1.709031e-05,1.763224e-05,1.777983e-05,1.815107e-05,1.845140e-05,1.864710e-05,1.908368e-05,1.912076e-05,1.957256e-05,1.967780e-05,2.000308e-05,2.023511e-05,2.041296e-05,2.075713e-05,2.080289e-05,2.117355e-05,2.124543e-05,2.152566e-05,2.170167e-05,2.185994e-05,2.212749e-05,2.217712e-05,2.247789e-05,2.252454e-05,2.276297e-05,2.289443e-05,2.303303e-05,2.323872e-05,2.328874e-05,2.353075e-05,2.355889e-05,2.375966e-05,2.385639e-05,2.397608e-05,2.413256e-05,2.418059e-05,2.437373e-05,2.438870e-05,2.455603e-05,2.462602e-05,2.472799e-05,2.484568e-05,2.489010e-05,2.504282e-05,2.504874e-05,2.518658e-05,2.523623e-05,2.532181e-05,2.540909e-05,2.544889e-05,2.556822e-05,2.568014e-05,2.571445e-05,2.578501e-05,2.584858e-05,2.588315e-05,2.597132e-05,2.597487e-05,2.606047e-05,2.608338e-05,2.614023e-05,2.618539e-05,2.621441e-05,2.627795e-05,2.628327e-05,2.634706e-05,2.636164e-05,2.640600e-05,2.643697e-05,2.646031e-05,2.650444e-05,2.651020e-05,2.655588e-05,2.656453e-05,2.659753e-05,2.661765e-05,2.663532e-05,2.666422e-05,2.666944e-05,2.670004e-05,2.670462e-05,2.672729e-05,2.673921e-05,2.675132e-05,2.676833e-05,2.677229e-05,2.679032e-05,2.679229e-05,2.680555e-05,2.681140e-05,2.681810e-05,2.682592e-05,2.682808e-05,2.683562e-05,2.683612e-05,2.684081e-05,2.684225e-05,2.684375e-05,2.684454e-05,2.684456e-05,2.684331e-05,2.684322e-05,2.684010e-05,2.683848e-05,2.683501e-05,2.683052e-05,2.682813e-05,2.681953e-05,2.680568e-05,2.678914e-05,2.677005e-05,2.674856e-05,2.672482e-05,2.669896e-05,2.667109e-05,2.664134e-05,2.660981e-05,2.657662e-05,2.654185e-05,2.650562e-05,2.646800e-05,2.642908e-05,2.638895e-05,2.634767e-05,2.630533e-05,2.626200e-05,2.621773e-05,2.617260e-05,2.612666e-05,2.607998e-05,2.603259e-05,2.598457e-05
0.000000e+00,1.871092e-09,5.181480e-09,2.219255e-08,5.675501e-08,8.706511e-08,2.210829e-07,2.287399e-07,4.930970e-07,5.975252e-07,9.450007e-07,1.336337e-06,1.654249e-06,2.559168e-06,2.648689e-06,3.895256e-06,4.226160e-06,5.343936e-06,6.229321e-06,6.958480e-06,8.498404e-06,8.716373e-06,1.060221e-05,1.099360e-05,1.260330e-05,1.368540e-05,1.470754e-05,1.654585e-05,1.690266e-05,1.917612e-05,1.954630e-05,2.151528e-05,2.265774e-05,2.390769e-05,2.585190e-05,2.634140e-05,2.880515e-05,2.910232e-05,3.128862e-05,3.238515e-05,3.378246e-05,3.567953e-05,3.627830e-05,3.876878e-05,3.896759e-05,4.124751e-05,4.223445e-05,4.370898e-05,4.546789e-05,4.614850e-05,4.856208e-05,4.865803e-05,5.094638e-05,5.179701e-05,5.329861e-05,5.487862e-05,5.561648e-05,5.789807e-05,6.014186e-05,6.085167e-05,6.234659e-05,6.373667e-05,6.451130e-05,6.655106e-05,6.663522e-05,6.871779e-05,6.929344e-05,7.075860e-05,7.196292e-05,7.275737e-05,7.455898e-05,7.471395e-05,7.662828e-05,7.708143e-05,7.850038e-05,7.953036e-05,8.033038e-05,8.190609e-05,8.211845e-05,8.386481e-05,8.420910e-05,8.556974e-05,8.644005e-05,8.723358e-05,8.859971e-05,8.885669e-05,9.043945e-05,9.068898e-05,9.198232e-05,9.270884e-05,9.348572e-05,9.466035e-05,9.495014e-05,9.637609e-05,9.654464e-05,9.776405e-05,9.836287e-05,9.911458e-05,1.001163e-04,1.004282e-04,1.017055e-04,1.018061e-04,1.029469e-04,1.034336e-04,1.041532e-04,1.050002e-04,1.053248e-04,1.064623e-04,1.065071e-04,1.075663e-04,1.079556e-04,1.086374e-04,1.093472e-04,1.096762e-04,1.106832e-04,1.116591e-04,1.119649e-04,1.126044e-04,1.131936e-04,1.135197e-04,1.143707e-04,1.144056e-04,1.152627e-04,1.154976e-04,1.160915e-04,1.165755e-04,1.168927e-04,1.176057e-04,1.176667e-04,1.184141e-04,1.185896e-04,1.191356e-04,1.195285e-04,1.198316e-04,1.204235e-04,1.205027e-04,1.211495e-04,1.212759e-04,1.217724e-04,1.220870e-04,1.223720e-04,1.228580e-04,1.229488e-04,1.235033e-04,1.235900e-04,1.240361e-04,1.242843e-04,1.245476e-04,1.249419e-04,1.250384e-04,1.255088e-04,1.255640e-04,1.259595e-04,1.261516e-04,1.263908e-04,1.267060e-04,1.268033e-04,1.271973e-04,1.272281e-04,1.275734e-04,1.277189e-04,1.279320e-04,1.281795e-04,1.282734e-04,1.285983e-04,1.286109e-04,1.289068e-04,1.290140e-04,1.291996e-04,1.293898e-04,1.294769e-04,1.297392e-04,1.300632e-04,1.303625e-04,1.306380e-04,1.308906e-04,1.311212e-04,1.313304e-04,1.315191e-04,1.316880e-04,1.318378e-04,1.319694e-04,1.320833e-04,1.321802e-04,1.322609e-04,1.323259e-04,1.323758e-04,1.324113e-04,1.324330e-04,1.324413e-04,1.324370e-04,1.324204e-04,1.323922e-04,1.323528e-04,1.323027e-04,1.322424e-04
0.000000e+00,9.275231e-11,3.318387e-10,2.105623e-09,6.887305e-09,1.170445e-08,3.571431e-08,3.715072e-08,8.764958e-08,1.075629e-07,1.726598e-07,2.442425e-07,3.018578e-07,4.683723e-07,4.852847e-07,7.332254e-07,8.034375e-07,1.055296e-06,1.270772e-06,1.458296e-06,1.880925e-06,1.943318e-06,2.504075e-06,2.624291e-06,3.128093e-06,3.472490e-06,3.799959e-06,4.390061e-06,4.504372e-06,5.227869e-06,5.344623e-06,5.959305e-06,6.310490e-06,6.689640e-06,7.268144e-06,7.411548e-06,8.119062e-06,8.202754e-06,8.807297e-06,9.102960e-06,9.472284e-06,9.960148e-06,1.011085e-05,1.072056e-05,1.076803e-05,1.129960e-05,1.152234e-05,1.184678e-05,1.222062e-05,1.236143e-05,1.284333e-05,1.286193e-05,1.329268e-05,1.344657e-05,1.371000e-05,1.397587e-05,1.409608e-05,1.445190e-05,1.477864e-05,1.487726e-05,1.507756e-05,1.525490e-05,1.535002e-05,1.558796e-05,1.559740e-05,1.582110e-05,1.587969e-05,1.602253e-05,1.613327e-05,1.620306e-05,1.635184e-05,1.636403e-05,1.650672e-05,1.653839e-05,1.663238e-05,1.669574e-05,1.674217e-05,1.682656e-05,1.683723e-05,1.691859e-05,1.693331e-05,1.698727e-05,1.701828e-05,1.704419e-05,1.708356e-05,1.709023e-05,1.712620e-05,1.713107e-05,1.715288e-05,1.716259e-05,1.717097e-05,1.717972e-05,1.718115e-05,1.718403e-05,1.718391e-05,1.718018e-05,1.717650e-05,1.717015e-05,1.715869e-05,1.715442e-05,1.713347e-05,1.713158e-05,1.710771e-05,1.709615e-05,1.707755e-05,1.705332e-05,1.704336e-05,1.700547e-05,1.700388e-05,1.696421e-05,1.694859e-05,1.691988e-05,1.688812e-05,1.687274e-05,1.682306e-05,1.677106e-05,1.675396e-05,1.671696e-05,1.668134e-05,1.666098e-05,1.660563e-05,1.660329e-05,1.654407e-05,1.652724e-05,1.648349e-05,1.644655e-05,1.642170e-05,1.636389e-05,1.635883e-05,1.629501e-05,1.627957e-05,1.623038e-05,1.619387e-05,1.616503e-05,1.610703e-05,1.609908e-05,1.603262e-05,1.601928e-05,1.596574e-05,1.593082e-05,1.589852e-05,1.584186e-05,1.583105e-05,1.576338e-05,1.575254e-05,1.569560e-05,1.566304e-05,1.562775e-05,1.557348e-05,1.555991e-05,1.549212e-05,1.548399e-05,1.542443e-05,1.539469e-05,1.535688e-05,1.530568e-05,1.528953e-05,1.522240e-05,1.521705e-05,1.515554e-05,1.512888e-05,1.508898e-05,1.504125e-05,1.502274e-05,1.495686e-05,1.495424e-05,1.489137e-05,1.486788e-05,1.482627e-05,1.478226e-05,1.476161e-05,1.469740e-05,1.461335e-05,1.453016e-05,1.444785e-05,1.436646e-05,1.428601e-05,1.420652e-05,1.412802e-05,1.405051e-05,1.397401e-05,1.389854e-05,1.382410e-05,1.375070e-05,1.367835e-05,1.360704e-05,1.353678e-05,1.346757e-05,1.339941e-05,1.333229e-05,1.326622e-05,1.320118e-05,1.313718e-05,1.307421e-05,1.301225e-05,1.295131e-05
0.000000e+00,2.398720e-09,5.552486e-09,1.929051e-08,4.406480e-08,6.438131e-08,1.465719e-07,1.510066e-07,2.932899e-07,3.452200e-07,5.071280e-07,6.769160e-07,8.095173e-07,1.177337e-06,1.213530e-06,1.721415e-06,1.858035e-06,2.325719e-06,2.702514e-06,3.016568e-06,3.689426e-06,3.785607e-06,4.626143e-06,4.802306e-06,5.532285e-06,6.027492e-06,6.498238e-06,7.351406e-06,7.517895e-06,8.584680e-06,8.759274e-06,9.691535e-06,1.023488e-05,1.083100e-05,1.176087e-05,1.199535e-05,1.317676e-05,1.331931e-05,1.436748e-05,1.489238e-05,1.555995e-05,1.646298e-05,1.674702e-05,1.792199e-05,1.801528e-05,1.907873e-05,1.953507e-05,2.021174e-05,2.101008e-05,2.131619e-05,2.238794e-05,2.243008e-05,2.342352e-05,2.378691e-05,2.442011e-05,2.507437e-05,2.537551e-05,2.628809e-05,2.715676e-05,2.742535e-05,2.798088e-05,2.848482e-05,2.876023e-05,2.946641e-05,2.949494e-05,3.018547e-05,3.037099e-05,3.083251e-05,3.120023e-05,3.143698e-05,3.195643e-05,3.199998e-05,3.252272e-05,3.264234e-05,3.300656e-05,3.326103e-05,3.345288e-05,3.381578e-05,3.386316e-05,3.423888e-05,3.431002e-05,3.458157e-05,3.474720e-05,3.489270e-05,3.513077e-05,3.517378e-05,3.542627e-05,3.546411e-05,3.565159e-05,3.575052e-05,3.585116e-05,3.599317e-05,3.602631e-05,3.617837e-05,3.619513e-05,3.630860e-05,3.635929e-05,3.641820e-05,3.648843e-05,3.650835e-05,3.658017e-05,3.658515e-05,3.663471e-05,3.665192e-05,3.667300e-05,3.669105e-05,3.669600e-05,3.670465e-05,3.670471e-05,3.669982e-05,3.669494e-05,3.668233e-05,3.666363e-05,3.665300e-05,3.661257e-05,3.656175e-05,3.654340e-05,3.650122e-05,3.645768e-05,3.643162e-05,3.635684e-05,3.635356e-05,3.626761e-05,3.624221e-05,3.617432e-05,3.611503e-05,3.607420e-05,3.597647e-05,3.596773e-05,3.585538e-05,3.582759e-05,3.573758e-05,3.566939e-05,3.561475e-05,3.550279e-05,3.548726e-05,3.535548e-05,3.532864e-05,3.521977e-05,3.514775e-05,3.508044e-05,3.496083e-05,3.493780e-05,3.479215e-05,3.476859e-05,3.464376e-05,3.457164e-05,3.449289e-05,3.437056e-05,3.433977e-05,3.418464e-05,3.416590e-05,3.402772e-05,3.395816e-05,3.386921e-05,3.374780e-05,3.370930e-05,3.354818e-05,3.353524e-05,3.338600e-05,3.332087e-05,3.322294e-05,3.310507e-05,3.305914e-05,3.289474e-05,3.288815e-05,3.272988e-05,3.267044e-05,3.256468e-05,3.245222e-05,3.239927e-05,3.223374e-05,3.201524e-05,3.179695e-05,3.157907e-05,3.136179e-05,3.114527e-05,3.092967e-05,3.071512e-05,3.050177e-05,3.028973e-05,3.007910e-05,2.986997e-05,2.966245e-05,2.945660e-05,2.925249e-05,2.905020e-05,2.884976e-05,2.865125e-05,2.845468e-05,2.826012e-05,2.806758e-05,2.787710e-05,2.768870e-05,2.750240e-05,2.731821e-05
0.000000e+00,3.059073e-10,1.200608e-09,9.176449e-09,3.532148e-08,6.546024e-08,2.477178e-07,2.598803e-07,7.498743e-07,9.700838e-07,1.771576e-06,2.771497e-06,3.651326e-06,6.502744e-06,6.814807e-06,1.178337e-05,1.330896e-05,1.914457e-05,2.453790e-05,2.950246e-05,4.155295e-05,4.343041e-05,6.143954e-05,6.557062e-05,8.396180e-05,9.757503e-05,1.113421e-04,1.382850e-04,1.438354e-04,1.816070e-04,1.881466e-04,2.247340e-04,2.473381e-04,2.732088e-04,3.157825e-04,3.269434e-04,3.857750e-04,3.931670e-04,4.494728e-04,4.789684e-04,5.177458e-04,5.724837e-04,5.902509e-04,6.666019e-04,6.728638e-04,7.463788e-04,7.791496e-04,8.291363e-04,8.903091e-04,9.144137e-04,1.001742e-03,1.005271e-03,1.090652e-03,1.122958e-03,1.180682e-03,1.242312e-03,1.271383e-03,1.362322e-03,1.453091e-03,1.482038e-03,1.543306e-03,1.600586e-03,1.632609e-03,1.717180e-03,1.720675e-03,1.807207e-03,1.831124e-03,1.891939e-03,1.941815e-03,1.974636e-03,2.048745e-03,2.055095e-03,2.133139e-03,2.151494e-03,2.208622e-03,2.249728e-03,2.281423e-03,2.343192e-03,2.351445e-03,2.418617e-03,2.431704e-03,2.482887e-03,2.515149e-03,2.544224e-03,2.593469e-03,2.602613e-03,2.658058e-03,2.666657e-03,2.710575e-03,2.734751e-03,2.760192e-03,2.797826e-03,2.806951e-03,2.850901e-03,2.855989e-03,2.892101e-03,2.909374e-03,2.930614e-03,2.958132e-03,2.966514e-03,2.999874e-03,3.002435e-03,3.030774e-03,3.042464e-03,3.059297e-03,3.078408e-03,3.085526e-03,3.109547e-03,3.110464e-03,3.131447e-03,3.138828e-03,3.151311e-03,3.163701e-03,3.169227e-03,3.185278e-03,3.199550e-03,3.203754e-03,3.212124e-03,3.219319e-03,3.223084e-03,3.232158e-03,3.232507e-03,3.240470e-03,3.242449e-03,3.247050e-03,3.250364e-03,3.252318e-03,3.256067e-03,3.256345e-03,3.259199e-03,3.259716e-03,3.260945e-03,3.261462e-03,3.261646e-03,3.261447e-03,3.261363e-03,3.260154e-03,3.259806e-03,3.258075e-03,3.256667e-03,3.255178e-03,3.252150e-03,3.251514e-03,3.247133e-03,3.246368e-03,3.242080e-03,3.239429e-03,3.236399e-03,3.231431e-03,3.230133e-03,3.223321e-03,3.222469e-03,3.216002e-03,3.212630e-03,3.208212e-03,3.201997e-03,3.199984e-03,3.191352e-03,3.190645e-03,3.182346e-03,3.178645e-03,3.172995e-03,3.166065e-03,3.163328e-03,3.153369e-03,3.152965e-03,3.143145e-03,3.139404e-03,3.132679e-03,3.125434e-03,3.121992e-03,3.111105e-03,3.096463e-03,3.081550e-03,3.066406e-03,3.051066e-03,3.035565e-03,3.019934e-03,3.004201e-03,2.988392e-03,2.972532e-03,2.956644e-03,2.940747e-03,2.924860e-03,2.909002e-03,2.893187e-03,2.877430e-03,2.861745e-03,2.846143e-03,2.830636e-03,2.815234e-03,2.799944e-03,2.784776e-03,2.769737e-03,2.754834e-03,2.740071e-03
0.000000e+00,9.066063e-10,2.775517e-09,1.352998e-08,3.678857e-08,5.749547e-08,1.477849e-07,1.528363e-07,3.198899e-07,3.824543e-07,5.806406e-07,7.919834e-07,9.589522e-07,1.429772e-06,1.476670e-06,2.143747e-06,2.325482e-06,2.952003e-06,3.459366e-06,3.882631e-06,4.787600e-06,4.916575e-06,6.037910e-06,6.271440e-06,7.232991e-06,7.879349e-06,8.489123e-06,9.582337e-06,9.793845e-06,1.113472e-05,1.135179e-05,1.249945e-05,1.315947e-05,1.387612e-05,1.497844e-05,1.525345e-05,1.662107e-05,1.678408e-05,1.796967e-05,1.855489e-05,1.929111e-05,2.027295e-05,2.057849e-05,2.182611e-05,2.192406e-05,2.302944e-05,2.349757e-05,2.418503e-05,2.498605e-05,2.529038e-05,2.634385e-05,2.638490e-05,2.734457e-05,2.769184e-05,2.829225e-05,2.890650e-05,2.918716e-05,3.002996e-05,3.082167e-05,3.106443e-05,3.156358e-05,3.201294e-05,3.225717e-05,3.287906e-05,3.290406e-05,3.350599e-05,3.366672e-05,3.406476e-05,3.438005e-05,3.458218e-05,3.502329e-05,3.506012e-05,3.550038e-05,3.560065e-05,3.590480e-05,3.611627e-05,3.627512e-05,3.657418e-05,3.661309e-05,3.692037e-05,3.697828e-05,3.719858e-05,3.733229e-05,3.744930e-05,3.763974e-05,3.767401e-05,3.787416e-05,3.790400e-05,3.805114e-05,3.812824e-05,3.820625e-05,3.831544e-05,3.834075e-05,3.845585e-05,3.846841e-05,3.855269e-05,3.858980e-05,3.863236e-05,3.868206e-05,3.869588e-05,3.874425e-05,3.874750e-05,3.877840e-05,3.878828e-05,3.879922e-05,3.880642e-05,3.880753e-05,3.880415e-05,3.880378e-05,3.878982e-05,3.878213e-05,3.876527e-05,3.874308e-05,3.873116e-05,3.868815e-05,3.863683e-05,3.861875e-05,3.857779e-05,3.853619e-05,3.851155e-05,3.844169e-05,3.843865e-05,3.835957e-05,3.833638e-05,3.827475e-05,3.822129e-05,3.818464e-05,3.809742e-05,3.808965e-05,3.799016e-05,3.796565e-05,3.788653e-05,3.782683e-05,3.777912e-05,3.768172e-05,3.766824e-05,3.755420e-05,3.753104e-05,3.743730e-05,3.737546e-05,3.731779e-05,3.721559e-05,3.719595e-05,3.707200e-05,3.705199e-05,3.694618e-05,3.688519e-05,3.681871e-05,3.671567e-05,3.668978e-05,3.655958e-05,3.654388e-05,3.642829e-05,3.637022e-05,3.629608e-05,3.619508e-05,3.616311e-05,3.602952e-05,3.601881e-05,3.589545e-05,3.584172e-05,3.576104e-05,3.566412e-05,3.562640e-05,3.549165e-05,3.548626e-05,3.535690e-05,3.530841e-05,3.522224e-05,3.513078e-05,3.508777e-05,3.495358e-05,3.477701e-05,3.460124e-05,3.442642e-05,3.425270e-05,3.408020e-05,3.390905e-05,3.373936e-05,3.357121e-05,3.340469e-05,3.323988e-05,3.307685e-05,3.291566e-05,3.275635e-05,3.259898e-05,3.244359e-05,3.229021e-05,3.213886e-05,3.198957e-05,3.184237e-05,3.169726e-05,3.155426e-05,3.141337e-05,3.127460e-05,3.113796e-05
0.000000e+00,5.469038e-11,2.125185e-10,1.590026e-09,5.996291e-09,1.098300e-08,4.023611e-08,4.215291e-08,1.173211e-07,1.501773e-07,2.666208e-07,4.069361e-07,5.270717e-07,9.013790e-07,9.412489e-07,1.555805e-06,1.738543e-06,2.419845e-06,3.031221e-06,3.582973e-06,4.891770e-06,5.092701e-06,6.991132e-06,7.420573e-06,9.311402e-06,1.069225e-05,1.207482e-05,1.474480e-05,1.528938e-05,1.894979e-05,1.957582e-05,2.303846e-05,2.514520e-05,2.752715e-05,3.138150e-05,3.237887e-05,3.754991e-05,3.818962e-05,4.299165e-05,4.545853e-05,4.865243e-05,5.306845e-05,5.447913e-05,6.041857e-05,6.089703e-05,6.641882e-05,6.882472e-05,7.243018e-05,7.673894e-05,7.840606e-05,8.430361e-05,8.453732e-05,9.008419e-05,9.212985e-05,9.571368e-05,9.944020e-05,1.011626e-04,1.064062e-04,1.114241e-04,1.129795e-04,1.162006e-04,1.191252e-04,1.207238e-04,1.248204e-04,1.249858e-04,1.289820e-04,1.300531e-04,1.327110e-04,1.348205e-04,1.361740e-04,1.391280e-04,1.393745e-04,1.423181e-04,1.429871e-04,1.450119e-04,1.464144e-04,1.474642e-04,1.494301e-04,1.496847e-04,1.516833e-04,1.520574e-04,1.534710e-04,1.543208e-04,1.550587e-04,1.562460e-04,1.564576e-04,1.576791e-04,1.578588e-04,1.587341e-04,1.591846e-04,1.596335e-04,1.602482e-04,1.603880e-04,1.610076e-04,1.610734e-04,1.615023e-04,1.616828e-04,1.618814e-04,1.620977e-04,1.621538e-04,1.623278e-04,1.623377e-04,1.624114e-04,1.624212e-04,1.624121e-04,1.623651e-04,1.623368e-04,1.621920e-04,1.621849e-04,1.619838e-04,1.618945e-04,1.617179e-04,1.615068e-04,1.613995e-04,1.610334e-04,1.606242e-04,1.604848e-04,1.601759e-04,1.598704e-04,1.596925e-04,1.591987e-04,1.591775e-04,1.586341e-04,1.584773e-04,1.580653e-04,1.577130e-04,1.574739e-04,1.569121e-04,1.568625e-04,1.562333e-04,1.560799e-04,1.555885e-04,1.552214e-04,1.549302e-04,1.543410e-04,1.542600e-04,1.535796e-04,1.534425e-04,1.528907e-04,1.525295e-04,1.521945e-04,1.516051e-04,1.514924e-04,1.507856e-04,1.506721e-04,1.500751e-04,1.497330e-04,1.493619e-04,1.487900e-04,1.486469e-04,1.479310e-04,1.478451e-04,1.472150e-04,1.469001e-04,1.464995e-04,1.459564e-04,1.457851e-04,1.450725e-04,1.450156e-04,1.443623e-04,1.440789e-04,1.436548e-04,1.431474e-04,1.429506e-04,1.422500e-04,1.422220e-04,1.415534e-04,1.413037e-04,1.408613e-04,1.403933e-04,1.401738e-04,1.394913e-04,1.385984e-04,1.377152e-04,1.368420e-04,1.359793e-04,1.351274e-04,1.342866e-04,1.334572e-04,1.326394e-04,1.318332e-04,1.310390e-04,1.302567e-04,1.294865e-04,1.287283e-04,1.279823e-04,1.272484e-04,1.265267e-04,1.258170e-04,1.251194e-04,1.244337e-04,1.237600e-04,1.230981e-04,1.224479e-04,1.218094e-04,1.211824e-04
0.000000e+00,3.016893e-09,7.099432e-09,2.511660e-08,5.790295e-08,8.491411e-08,1.947329e-07,2.006746e-07,3.917998e-07,4.617204e-07,6.801075e-07,9.098397e-07,1.090017e-06,1.595487e-06,1.645791e-06,2.363708e-06,2.560421e-06,3.242386e-06,3.797809e-06,4.262171e-06,5.254431e-06,5.395535e-06,6.616681e-06,6.869509e-06,7.904532e-06,8.594802e-06,9.242057e-06,1.039341e-05,1.061490e-05,1.201043e-05,1.223504e-05,1.341718e-05,1.409329e-05,1.482468e-05,1.594479e-05,1.622341e-05,1.760482e-05,1.776905e-05,1.896135e-05,1.954864e-05,2.028652e-05,2.126927e-05,2.157485e-05,2.282188e-05,2.291974e-05,2.402408e-05,2.449178e-05,2.517880e-05,2.597971e-05,2.628416e-05,2.733897e-05,2.738010e-05,2.834264e-05,2.869141e-05,2.929508e-05,2.991363e-05,3.019661e-05,3.104792e-05,3.184997e-05,3.209640e-05,3.260391e-05,3.306181e-05,3.331110e-05,3.394738e-05,3.397301e-05,3.459119e-05,3.475666e-05,3.516726e-05,3.549337e-05,3.570287e-05,3.616131e-05,3.619967e-05,3.665933e-05,3.676430e-05,3.708349e-05,3.730612e-05,3.747378e-05,3.779048e-05,3.783179e-05,3.815907e-05,3.822097e-05,3.845712e-05,3.860104e-05,3.872740e-05,3.893401e-05,3.897132e-05,3.919024e-05,3.922304e-05,3.938547e-05,3.947114e-05,3.955826e-05,3.968116e-05,3.970983e-05,3.984133e-05,3.985581e-05,3.995386e-05,3.999765e-05,4.004850e-05,4.010907e-05,4.012624e-05,4.018806e-05,4.019234e-05,4.023487e-05,4.024960e-05,4.026757e-05,4.028283e-05,4.028697e-05,4.029389e-05,4.029392e-05,4.028909e-05,4.028463e-05,4.027329e-05,4.025661e-05,4.024717e-05,4.021140e-05,4.016659e-05,4.015044e-05,4.011334e-05,4.007509e-05,4.005221e-05,3.998661e-05,3.998373e-05,3.990842e-05,3.988617e-05,3.982674e-05,3.977487e-05,3.973916e-05,3.965374e-05,3.964611e-05,3.954799e-05,3.952374e-05,3.944521e-05,3.938574e-05,3.933812e-05,3.924059e-05,3.922707e-05,3.911239e-05,3.908905e-05,3.899440e-05,3.893184e-05,3.887339e-05,3.876962e-05,3.874964e-05,3.862341e-05,3.860300e-05,3.849496e-05,3.843258e-05,3.836451e-05,3.825886e-05,3.823229e-05,3.809851e-05,3.808236e-05,3.796336e-05,3.790351e-05,3.782704e-05,3.772276e-05,3.768972e-05,3.755156e-05,3.754048e-05,3.741272e-05,3.735703e-05,3.727335e-05,3.717275e-05,3.713358e-05,3.699355e-05,3.698795e-05,3.685337e-05,3.680290e-05,3.671317e-05,3.661786e-05,3.657303e-05,3.643308e-05,3.624877e-05,3.606513e-05,3.588234e-05,3.570057e-05,3.551997e-05,3.534068e-05,3.516283e-05,3.498652e-05,3.481186e-05,3.463895e-05,3.446785e-05,3.429865e-05,3.413141e-05,3.396618e-05,3.380301e-05,3.364196e-05,3.348304e-05,3.332630e-05,3.317175e-05,3.301943e-05,3.286934e-05,3.272150e-05,3.257592e-05,3.243259e-05
0.000000e+00,1.297676e-09,3.062708e-09,1.084873e-08,2.497101e-08,3.656244e-08,8.334864e-08,8.586607e-08,1.662063e-07,1.953262e-07,2.855141e-07,3.793624e-07,4.523884e-07,6.553464e-07,6.754329e-07,9.609253e-07,1.038949e-06,1.309409e-06,1.529989e-06,1.714767e-06,2.110914e-06,2.167400e-06,2.657804e-06,2.759683e-06,3.177942e-06,3.457908e-06,3.721137e-06,4.190989e-06,4.281603e-06,4.854090e-06,4.946472e-06,5.433697e-06,5.713069e-06,6.015800e-06,6.480356e-06,6.596064e-06,7.170484e-06,7.238845e-06,7.735431e-06,7.980165e-06,8.287699e-06,8.697221e-06,8.824517e-06,9.343575e-06,9.384274e-06,9.843024e-06,1.003698e-05,1.032142e-05,1.065224e-05,1.077774e-05,1.121130e-05,1.122816e-05,1.162174e-05,1.176383e-05,1.200901e-05,1.225918e-05,1.237325e-05,1.271484e-05,1.303428e-05,1.313193e-05,1.333223e-05,1.351198e-05,1.360942e-05,1.385675e-05,1.386667e-05,1.410482e-05,1.416820e-05,1.432476e-05,1.444835e-05,1.452739e-05,1.469930e-05,1.471361e-05,1.488432e-05,1.492307e-05,1.504037e-05,1.512167e-05,1.518261e-05,1.529702e-05,1.531187e-05,1.542892e-05,1.545093e-05,1.553452e-05,1.558514e-05,1.562938e-05,1.570126e-05,1.571418e-05,1.578957e-05,1.580080e-05,1.585616e-05,1.588516e-05,1.591452e-05,1.595565e-05,1.596520e-05,1.600870e-05,1.601346e-05,1.604551e-05,1.605970e-05,1.607608e-05,1.609540e-05,1.610083e-05,1.612017e-05,1.612149e-05,1.613445e-05,1.613883e-05,1.614404e-05,1.614821e-05,1.614925e-05,1.615040e-05,1.615036e-05,1.614777e-05,1.614595e-05,1.614163e-05,1.613558e-05,1.613223e-05,1.611982e-05,1.610459e-05,1.609916e-05,1.608678e-05,1.607410e-05,1.606655e-05,1.604505e-05,1.604411e-05,1.601962e-05,1.601241e-05,1.599323e-05,1.597654e-05,1.596509e-05,1.593778e-05,1.593535e-05,1.590413e-05,1.589643e-05,1.587155e-05,1.585276e-05,1.583773e-05,1.580704e-05,1.580279e-05,1.576680e-05,1.575949e-05,1.572988e-05,1.571034e-05,1.569211e-05,1.565978e-05,1.565357e-05,1.561433e-05,1.560800e-05,1.557448e-05,1.555515e-05,1.553408e-05,1.550140e-05,1.549319e-05,1.545187e-05,1.544688e-05,1.541018e-05,1.539173e-05,1.536817e-05,1.533606e-05,1.532589e-05,1.528338e-05,1.527997e-05,1.524070e-05,1.522358e-05,1.519787e-05,1.516697e-05,1.515494e-05,1.511195e-05,1.511022e-05,1.506891e-05,1.505342e-05,1.502588e-05,1.499663e-05,1.498287e-05,1.493992e-05,1.488334e-05,1.482695e-05,1.477080e-05,1.471494e-05,1.465940e-05,1.460422e-05,1.454945e-05,1.449509e-05,1.444120e-05,1.438778e-05,1.433487e-05,1.428249e-05,1.423064e-05,1.417935e-05,1.412863e-05,1.407850e-05,1.402897e-05,1.398004e-05,1.393172e-05,1.388402e-05,1.383696e-05,1.379052e-05,1.374471e-05,1.369955e-05
0.000000e+00,1.096312e-09,2.598933e-09,9.271210e-09,2.144123e-08,3.145460e-08,7.187754e-08,7.404927e-08,1.430172e-07,1.678256e-07,2.439677e-07,3.221157e-07,3.822258e-07,5.467163e-07,5.628360e-07,7.903850e-07,8.524130e-07,1.068465e-06,1.247003e-06,1.398802e-06,1.732262e-06,1.780748e-06,2.211780e-06,2.303584e-06,2.688497e-06,2.953231e-06,3.207234e-06,3.672699e-06,3.764231e-06,4.355603e-06,4.453145e-06,4.977309e-06,5.285276e-06,5.625156e-06,6.159364e-06,6.294839e-06,6.982006e-06,7.065435e-06,7.682336e-06,7.993559e-06,8.391609e-06,8.934139e-06,9.105778e-06,9.821026e-06,9.878185e-06,1.053381e-05,1.081750e-05,1.124090e-05,1.174483e-05,1.193939e-05,1.262669e-05,1.265392e-05,1.330058e-05,1.353951e-05,1.395912e-05,1.439734e-05,1.460071e-05,1.522403e-05,1.582800e-05,1.601704e-05,1.641181e-05,1.677458e-05,1.697485e-05,1.749546e-05,1.751672e-05,1.803717e-05,1.817904e-05,1.853610e-05,1.882513e-05,1.901353e-05,1.943391e-05,1.946962e-05,1.990458e-05,2.000586e-05,2.031873e-05,2.054169e-05,2.071242e-05,2.104228e-05,2.108608e-05,2.144017e-05,2.150868e-05,2.177517e-05,2.194200e-05,2.209161e-05,2.234346e-05,2.239001e-05,2.267093e-05,2.271429e-05,2.293491e-05,2.305577e-05,2.318252e-05,2.336919e-05,2.341430e-05,2.363082e-05,2.365581e-05,2.383263e-05,2.391690e-05,2.402026e-05,2.415370e-05,2.419425e-05,2.435512e-05,2.436744e-05,2.450339e-05,2.455928e-05,2.463956e-05,2.473038e-05,2.476412e-05,2.487754e-05,2.488185e-05,2.498029e-05,2.501476e-05,2.507283e-05,2.513014e-05,2.515558e-05,2.522898e-05,2.529344e-05,2.531224e-05,2.534935e-05,2.538083e-05,2.539710e-05,2.543562e-05,2.543707e-05,2.546961e-05,2.547744e-05,2.549508e-05,2.550710e-05,2.551380e-05,2.552534e-05,2.552610e-05,2.553230e-05,2.553291e-05,2.553269e-05,2.553048e-05,2.552756e-05,2.551871e-05,2.551720e-05,2.550188e-05,2.549824e-05,2.548184e-05,2.546964e-05,2.545734e-05,2.543349e-05,2.542862e-05,2.539590e-05,2.539031e-05,2.535942e-05,2.534063e-05,2.531937e-05,2.528491e-05,2.527597e-05,2.522941e-05,2.522361e-05,2.517987e-05,2.515717e-05,2.512753e-05,2.508599e-05,2.507257e-05,2.501516e-05,2.501046e-05,2.495544e-05,2.493094e-05,2.489357e-05,2.484778e-05,2.482970e-05,2.476397e-05,2.476130e-05,2.469650e-05,2.467181e-05,2.462743e-05,2.457960e-05,2.455687e-05,2.448495e-05,2.438810e-05,2.428930e-05,2.418878e-05,2.408676e-05,2.398343e-05,2.387898e-05,2.377359e-05,2.366743e-05,2.356065e-05,2.345339e-05,2.334580e-05,2.323800e-05,2.313011e-05,2.302224e-05,2.291449e-05,2.280695e-05,2.269973e-05,2.259289e-05,2.248653e-05,2.238069e-05,2.227547e-05,2.217090e-05,2.206705e-05,2.196398e-05
0.000000e+00,1.818002e-09,4.773689e-09,1.896290e-08,4.602470e-08,6.872839e-08,1.623896e-07,1.674921e-07,3.326521e-07,3.934413e-07,5.841063e-07,7.852866e-07,9.428639e-07,1.379605e-06,1.422404e-06,2.015779e-06,2.172457e-06,2.697484e-06,3.107164e-06,3.439584e-06,4.125330e-06,4.220540e-06,5.024798e-06,5.187352e-06,5.840405e-06,6.265654e-06,6.657437e-06,7.338519e-06,7.467291e-06,8.262466e-06,8.387888e-06,9.036545e-06,9.399009e-06,9.784223e-06,1.036051e-05,1.050132e-05,1.118474e-05,1.126438e-05,1.183242e-05,1.210574e-05,1.244318e-05,1.288239e-05,1.301662e-05,1.355300e-05,1.359433e-05,1.405308e-05,1.424319e-05,1.451801e-05,1.483177e-05,1.494919e-05,1.534824e-05,1.536356e-05,1.571690e-05,1.584252e-05,1.605694e-05,1.627273e-05,1.637015e-05,1.665829e-05,1.692306e-05,1.700313e-05,1.716611e-05,1.731098e-05,1.738899e-05,1.758533e-05,1.759316e-05,1.777999e-05,1.782938e-05,1.795078e-05,1.804604e-05,1.810669e-05,1.823796e-05,1.824885e-05,1.837826e-05,1.840752e-05,1.849586e-05,1.855688e-05,1.860252e-05,1.868796e-05,1.869903e-05,1.878614e-05,1.880250e-05,1.886452e-05,1.890204e-05,1.893479e-05,1.898798e-05,1.899753e-05,1.905326e-05,1.906156e-05,1.910247e-05,1.912391e-05,1.914561e-05,1.917603e-05,1.918310e-05,1.921531e-05,1.921884e-05,1.924261e-05,1.925314e-05,1.926531e-05,1.927968e-05,1.928373e-05,1.929814e-05,1.929913e-05,1.930881e-05,1.931209e-05,1.931598e-05,1.931910e-05,1.931987e-05,1.932070e-05,1.932067e-05,1.931866e-05,1.931725e-05,1.931393e-05,1.930926e-05,1.930668e-05,1.929708e-05,1.928527e-05,1.928105e-05,1.927139e-05,1.926149e-05,1.925558e-05,1.923869e-05,1.923795e-05,1.921862e-05,1.921292e-05,1.919771e-05,1.918444e-05,1.917531e-05,1.915346e-05,1.915151e-05,1.912642e-05,1.912021e-05,1.910011e-05,1.908487e-05,1.907266e-05,1.904763e-05,1.904416e-05,1.901467e-05,1.900866e-05,1.898426e-05,1.896811e-05,1.895300e-05,1.892613e-05,1.892095e-05,1.888816e-05,1.888284e-05,1.885468e-05,1.883839e-05,1.882058e-05,1.879288e-05,1.878590e-05,1.875069e-05,1.874643e-05,1.871499e-05,1.869913e-05,1.867884e-05,1.865109e-05,1.864228e-05,1.860535e-05,1.860238e-05,1.856809e-05,1.855310e-05,1.853053e-05,1.850331e-05,1.849270e-05,1.845463e-05,1.845311e-05,1.841636e-05,1.840254e-05,1.837791e-05,1.835167e-05,1.833930e-05,1.830057e-05,1.824929e-05,1.819787e-05,1.814638e-05,1.809485e-05,1.804333e-05,1.799185e-05,1.794046e-05,1.788918e-05,1.783806e-05,1.778711e-05,1.773637e-05,1.768587e-05,1.763562e-05,1.758565e-05,1.753599e-05,1.748665e-05,1.743764e-05,1.738899e-05,1.734071e-05,1.729281e-05,1.724531e-05,1.719822e-05,1.715155e-05,1.710531e-05
0.000000e+00,5.906363e-11,2.239709e-10,1.593816e-09,5.747033e-09,1.027467e-08,3.541739e-08,3.701496e-08,9.727890e-08,1.226729e-07,2.100390e-07,3.118094e-07,3.969560e-07,6.548471e-07,6.818321e-07,1.089946e-06,1.209067e-06,1.646454e-06,2.031304e-06,2.373156e-06,3.165055e-06,3.284379e-06,4.384153e-06,4.626338e-06,5.666115e-06,6.400116e-06,7.115587e-06,8.447926e-06,8.712380e-06,1.043335e-05,1.071861e-05,1.225428e-05,1.315674e-05,1.415112e-05,1.570765e-05,1.610072e-05,1.808129e-05,1.832006e-05,2.007261e-05,2.094738e-05,2.205622e-05,2.354830e-05,2.401548e-05,2.593565e-05,2.608717e-05,2.780390e-05,2.853415e-05,2.960932e-05,3.086517e-05,3.134287e-05,3.299730e-05,3.306175e-05,3.456707e-05,3.511066e-05,3.604822e-05,3.700342e-05,3.743819e-05,3.873574e-05,3.994075e-05,4.030692e-05,4.105406e-05,4.171917e-05,4.207729e-05,4.297697e-05,4.301273e-05,4.386321e-05,4.408655e-05,4.463195e-05,4.505542e-05,4.532248e-05,4.589189e-05,4.593853e-05,4.648395e-05,4.660478e-05,4.696269e-05,4.720311e-05,4.737864e-05,4.769584e-05,4.773570e-05,4.803766e-05,4.809177e-05,4.828821e-05,4.839937e-05,4.849091e-05,4.862672e-05,4.864920e-05,4.876633e-05,4.878146e-05,4.884541e-05,4.887073e-05,4.888940e-05,4.890119e-05,4.890107e-05,4.888304e-05,4.887900e-05,4.883779e-05,4.880985e-05,4.876762e-05,4.869897e-05,4.867470e-05,4.856106e-05,4.855113e-05,4.842858e-05,4.837071e-05,4.827902e-05,4.816169e-05,4.811402e-05,4.793511e-05,4.792768e-05,4.774370e-05,4.767199e-05,4.754110e-05,4.739757e-05,4.732854e-05,4.710714e-05,4.687795e-05,4.680312e-05,4.664193e-05,4.648771e-05,4.639997e-05,4.616288e-05,4.615291e-05,4.590150e-05,4.583043e-05,4.564645e-05,4.549194e-05,4.538839e-05,4.514884e-05,4.512793e-05,4.486561e-05,4.480244e-05,4.460194e-05,4.445386e-05,4.433737e-05,4.410415e-05,4.407233e-05,4.380721e-05,4.375420e-05,4.354235e-05,4.340484e-05,4.327809e-05,4.305678e-05,4.301471e-05,4.275248e-05,4.271065e-05,4.249166e-05,4.236702e-05,4.223245e-05,4.202638e-05,4.197505e-05,4.171965e-05,4.168915e-05,4.146641e-05,4.135571e-05,4.121548e-05,4.102638e-05,4.096697e-05,4.072101e-05,4.070145e-05,4.047770e-05,4.038114e-05,4.023713e-05,4.006566e-05,3.999938e-05,3.976451e-05,3.975518e-05,3.953259e-05,3.944983e-05,3.930366e-05,3.914972e-05,3.907776e-05,3.885493e-05,3.856554e-05,3.828158e-05,3.800308e-05,3.773006e-05,3.746251e-05,3.720041e-05,3.694376e-05,3.669250e-05,3.644659e-05,3.620600e-05,3.597065e-05,3.574048e-05,3.551544e-05,3.529545e-05,3.508042e-05,3.487029e-05,3.466498e-05,3.446439e-05,3.426845e-05,3.407707e-05,3.389017e-05,3.370766e-05,3.352944e-05,3.335544e-05
0.000000e+00,4.727103e-09,1.097530e-08,3.822703e-08,8.742694e-08,1.278343e-07,2.919756e-07,3.008645e-07,5.877739e-07,6.932802e-07,1.024726e-06,1.376248e-06,1.653698e-06,2.438244e-06,2.516697e-06,3.639960e-06,3.948078e-06,5.013293e-06,5.874115e-06,6.587090e-06,8.085558e-06,8.295640e-06,1.008097e-05,1.044323e-05,1.190026e-05,1.284932e-05,1.372335e-05,1.524164e-05,1.552855e-05,1.729951e-05,1.757879e-05,1.902353e-05,1.983135e-05,2.069058e-05,2.197788e-05,2.229283e-05,2.382431e-05,2.400312e-05,2.528076e-05,2.589705e-05,2.665938e-05,2.765413e-05,2.795869e-05,2.917834e-05,2.927248e-05,3.031889e-05,3.075323e-05,3.138166e-05,3.209978e-05,3.236861e-05,3.328214e-05,3.331719e-05,3.412494e-05,3.441160e-05,3.489998e-05,3.538990e-05,3.561040e-05,3.625934e-05,3.684999e-05,3.702721e-05,3.738553e-05,3.770081e-05,3.786909e-05,3.828720e-05,3.830368e-05,3.869225e-05,3.879320e-05,3.903765e-05,3.922531e-05,3.934260e-05,3.958967e-05,3.960971e-05,3.984144e-05,3.989205e-05,4.004011e-05,4.013776e-05,4.020794e-05,4.033178e-05,4.034702e-05,4.045932e-05,4.047874e-05,4.054672e-05,4.058291e-05,4.061096e-05,4.064822e-05,4.065368e-05,4.067644e-05,4.067832e-05,4.068069e-05,4.067656e-05,4.066780e-05,4.064601e-05,4.063905e-05,4.059565e-05,4.058951e-05,4.053871e-05,4.050965e-05,4.046931e-05,4.040883e-05,4.038841e-05,4.029697e-05,4.028922e-05,4.019582e-05,4.015284e-05,4.008580e-05,4.000152e-05,3.996766e-05,3.984211e-05,3.983694e-05,3.970981e-05,3.966065e-05,3.957137e-05,3.947404e-05,3.942739e-05,3.927841e-05,3.912491e-05,3.907492e-05,3.896739e-05,3.886467e-05,3.880628e-05,3.864861e-05,3.864198e-05,3.847489e-05,3.842765e-05,3.830536e-05,3.820260e-05,3.813371e-05,3.797421e-05,3.796027e-05,3.778532e-05,3.774314e-05,3.760913e-05,3.751001e-05,3.743194e-05,3.727538e-05,3.725399e-05,3.707550e-05,3.703975e-05,3.689666e-05,3.680359e-05,3.671766e-05,3.656731e-05,3.653867e-05,3.635986e-05,3.633128e-05,3.618137e-05,3.609585e-05,3.600334e-05,3.586132e-05,3.582588e-05,3.564913e-05,3.562798e-05,3.547319e-05,3.539605e-05,3.529815e-05,3.516578e-05,3.512411e-05,3.495115e-05,3.493736e-05,3.477934e-05,3.471096e-05,3.460876e-05,3.448673e-05,3.443947e-05,3.427152e-05,3.426483e-05,3.410498e-05,3.404537e-05,3.393988e-05,3.382846e-05,3.377627e-05,3.361419e-05,3.340265e-05,3.319389e-05,3.298799e-05,3.278498e-05,3.258491e-05,3.238781e-05,3.219371e-05,3.200261e-05,3.181454e-05,3.162950e-05,3.144748e-05,3.126849e-05,3.109251e-05,3.091954e-05,3.074955e-05,3.058254e-05,3.041847e-05,3.025733e-05,3.009909e-05,2.994372e-05,2.979120e-05,2.964148e-05,2.949454e-05,2.935035e-05
0.000000e+00,3.085636e-10,1.070301e-09,6.414995e-09,2.007347e-08,3.338582e-08,9.710651e-08,1.008367e-07,2.289876e-07,2.784479e-07,4.375784e-07,6.094027e-07,7.459616e-07,1.134230e-06,1.173221e-06,1.737153e-06,1.894463e-06,2.450976e-06,2.918288e-06,3.319211e-06,4.207284e-06,4.336987e-06,5.493517e-06,5.740348e-06,6.775916e-06,7.488151e-06,8.171086e-06,9.420694e-06,9.666062e-06,1.124779e-05,1.150803e-05,1.290297e-05,1.371956e-05,1.461800e-05,1.602390e-05,1.637916e-05,1.817282e-05,1.838960e-05,1.998570e-05,2.078616e-05,2.180513e-05,2.318496e-05,2.361928e-05,2.541730e-05,2.556015e-05,2.718948e-05,2.788915e-05,2.892725e-05,3.015297e-05,3.062327e-05,3.227134e-05,3.233619e-05,3.386641e-05,3.442686e-05,3.540446e-05,3.641617e-05,3.688244e-05,3.829815e-05,3.965016e-05,4.006922e-05,4.093773e-05,4.172785e-05,4.216067e-05,4.327417e-05,4.331928e-05,4.441428e-05,4.470962e-05,4.544671e-05,4.603668e-05,4.641790e-05,4.725862e-05,4.732938e-05,4.818284e-05,4.837925e-05,4.898013e-05,4.940278e-05,4.972315e-05,5.033369e-05,5.041388e-05,5.105434e-05,5.117657e-05,5.164653e-05,5.193607e-05,5.219249e-05,5.261682e-05,5.269421e-05,5.315367e-05,5.322339e-05,5.357280e-05,5.376022e-05,5.395350e-05,5.423162e-05,5.429760e-05,5.460690e-05,5.464176e-05,5.488313e-05,5.499463e-05,5.512796e-05,5.529403e-05,5.534301e-05,5.552983e-05,5.554361e-05,5.568993e-05,5.574681e-05,5.582474e-05,5.590692e-05,5.593564e-05,5.602396e-05,5.602704e-05,5.609096e-05,5.611010e-05,5.613786e-05,5.615886e-05,5.616581e-05,5.617592e-05,5.616926e-05,5.616375e-05,5.614683e-05,5.612465e-05,5.610960e-05,5.606078e-05,5.605848e-05,5.599434e-05,5.597417e-05,5.591803e-05,5.586674e-05,5.583034e-05,5.574026e-05,5.573202e-05,5.562379e-05,5.559642e-05,5.550634e-05,5.543678e-05,5.538031e-05,5.526279e-05,5.524631e-05,5.510494e-05,5.507583e-05,5.495676e-05,5.487718e-05,5.480228e-05,5.466802e-05,5.464201e-05,5.447642e-05,5.444946e-05,5.430597e-05,5.422255e-05,5.413107e-05,5.398823e-05,5.395214e-05,5.376955e-05,5.374741e-05,5.358366e-05,5.350092e-05,5.339483e-05,5.324954e-05,5.320336e-05,5.300957e-05,5.299398e-05,5.281375e-05,5.273491e-05,5.261616e-05,5.247295e-05,5.241706e-05,5.221670e-05,5.220867e-05,5.201531e-05,5.194259e-05,5.181309e-05,5.167521e-05,5.161025e-05,5.140698e-05,5.113831e-05,5.086958e-05,5.060115e-05,5.033333e-05,5.006644e-05,4.980072e-05,4.953644e-05,4.927382e-05,4.901305e-05,4.875434e-05,4.849784e-05,4.824371e-05,4.799208e-05,4.774308e-05,4.749681e-05,4.725338e-05,4.701285e-05,4.677532e-05,4.654084e-05,4.630946e-05,4.608124e-05,4.585620e-05,4.563439e-05,4.541582e-05
0.000000e+00,5.205446e-10,1.746891e-09,9.871121e-09,2.956551e-08,4.817341e-08,1.341766e-07,1.391223e-07,3.062644e-07,3.698935e-07,5.729722e-07,7.906872e-07,9.631125e-07,1.451965e-06,1.500990e-06,2.209121e-06,2.406333e-06,3.102385e-06,3.684104e-06,4.180426e-06,5.268163e-06,5.425493e-06,6.809091e-06,7.099731e-06,8.300959e-06,9.110343e-06,9.873956e-06,1.124094e-05,1.150494e-05,1.317404e-05,1.344344e-05,1.486376e-05,1.567751e-05,1.655851e-05,1.790852e-05,1.824437e-05,1.990906e-05,2.010688e-05,2.154195e-05,2.224798e-05,2.313406e-05,2.431219e-05,2.467801e-05,2.616796e-05,2.628468e-05,2.759948e-05,2.815498e-05,2.896943e-05,2.991650e-05,3.027580e-05,3.151754e-05,3.156586e-05,3.269440e-05,3.310225e-05,3.380679e-05,3.452685e-05,3.485566e-05,3.584240e-05,3.676870e-05,3.705267e-05,3.763652e-05,3.816220e-05,3.844797e-05,3.917599e-05,3.920527e-05,3.991072e-05,4.009927e-05,4.056664e-05,4.093738e-05,4.117535e-05,4.169565e-05,4.173915e-05,4.226027e-05,4.237924e-05,4.274090e-05,4.299315e-05,4.318314e-05,4.354219e-05,4.358904e-05,4.396056e-05,4.403090e-05,4.429956e-05,4.446360e-05,4.460786e-05,4.484434e-05,4.488714e-05,4.513905e-05,4.517692e-05,4.536514e-05,4.546493e-05,4.556689e-05,4.571171e-05,4.574570e-05,4.590290e-05,4.592037e-05,4.603976e-05,4.609384e-05,4.615746e-05,4.623481e-05,4.625715e-05,4.633990e-05,4.634582e-05,4.640672e-05,4.642921e-05,4.645858e-05,4.648716e-05,4.649638e-05,4.652098e-05,4.652170e-05,4.653320e-05,4.653472e-05,4.653380e-05,4.652795e-05,4.652352e-05,4.650303e-05,4.647299e-05,4.646146e-05,4.643401e-05,4.640464e-05,4.638667e-05,4.633386e-05,4.633151e-05,4.626906e-05,4.625033e-05,4.619980e-05,4.615516e-05,4.612419e-05,4.604940e-05,4.604267e-05,4.595565e-05,4.593399e-05,4.586352e-05,4.580983e-05,4.576664e-05,4.567775e-05,4.566537e-05,4.556003e-05,4.553851e-05,4.545094e-05,4.539282e-05,4.533837e-05,4.524134e-05,4.522261e-05,4.510393e-05,4.508468e-05,4.498255e-05,4.492341e-05,4.485873e-05,4.475805e-05,4.473267e-05,4.460458e-05,4.458909e-05,4.447467e-05,4.441697e-05,4.434310e-05,4.424212e-05,4.421007e-05,4.407573e-05,4.406493e-05,4.394023e-05,4.388574e-05,4.380373e-05,4.370490e-05,4.366636e-05,4.352825e-05,4.352271e-05,4.338953e-05,4.333946e-05,4.325031e-05,4.315541e-05,4.311069e-05,4.297079e-05,4.278584e-05,4.260077e-05,4.241576e-05,4.223099e-05,4.204663e-05,4.186282e-05,4.167970e-05,4.149741e-05,4.131604e-05,4.113573e-05,4.095655e-05,4.077860e-05,4.060197e-05,4.042672e-05,4.025292e-05,4.008064e-05,3.990992e-05,3.974083e-05,3.957339e-05,3.940766e-05,3.924367e-05,3.908145e-05,3.892102e-05,3.876241e-05
0.000000e+00,1.165325e-11,4.412554e-11,3.130283e-10,1.125356e-09,2.008502e-09,6.891400e-09,7.200844e-09,1.883181e-08,2.371507e-08,4.046226e-08,5.989553e-08,7.610937e-08,1.250421e-07,1.301503e-07,2.072002e-07,2.296280e-07,3.117775e-07,3.838175e-07,4.476287e-07,5.948256e-07,6.169327e-07,8.198443e-07,8.643325e-07,1.054587e-06,1.188198e-06,1.317916e-06,1.558186e-06,1.605685e-06,1.913326e-06,1.964081e-06,2.236193e-06,2.395245e-06,2.569779e-06,2.841498e-06,2.909833e-06,3.252421e-06,3.293527e-06,3.593950e-06,3.743040e-06,3.931181e-06,4.182816e-06,4.261232e-06,4.581579e-06,4.606720e-06,4.890054e-06,5.009704e-06,5.184849e-06,5.387794e-06,5.464498e-06,5.727875e-06,5.738059e-06,5.974172e-06,6.058552e-06,6.202883e-06,6.348232e-06,6.413775e-06,6.606859e-06,6.782365e-06,6.834877e-06,6.940703e-06,7.033284e-06,7.082436e-06,7.203512e-06,7.208248e-06,7.318915e-06,7.347301e-06,7.415278e-06,7.466596e-06,7.498220e-06,7.563452e-06,7.568647e-06,7.627465e-06,7.639954e-06,7.675572e-06,7.698161e-06,7.713844e-06,7.740056e-06,7.743122e-06,7.764210e-06,7.767513e-06,7.777870e-06,7.782276e-06,7.784815e-06,7.785949e-06,7.785712e-06,7.781178e-06,7.779987e-06,7.771781e-06,7.765698e-06,7.758043e-06,7.744249e-06,7.740441e-06,7.719410e-06,7.716675e-06,7.695344e-06,7.683888e-06,7.668602e-06,7.646687e-06,7.639506e-06,7.608346e-06,7.605773e-06,7.575387e-06,7.561753e-06,7.540863e-06,7.515158e-06,7.504988e-06,7.467950e-06,7.466446e-06,7.429920e-06,7.416017e-06,7.391053e-06,7.364214e-06,7.351484e-06,7.311337e-06,7.270723e-06,7.257644e-06,7.229740e-06,7.203359e-06,7.188478e-06,7.148676e-06,7.147015e-06,7.105423e-06,7.093763e-06,7.063767e-06,7.038766e-06,7.022103e-06,6.983811e-06,6.980484e-06,6.938956e-06,6.929007e-06,6.897560e-06,6.874450e-06,6.856334e-06,6.820223e-06,6.815312e-06,6.774524e-06,6.766396e-06,6.733996e-06,6.713032e-06,6.693753e-06,6.660184e-06,6.653816e-06,6.614205e-06,6.607899e-06,6.574937e-06,6.556215e-06,6.536028e-06,6.505168e-06,6.497490e-06,6.459337e-06,6.454785e-06,6.421578e-06,6.405092e-06,6.384223e-06,6.356108e-06,6.347280e-06,6.310755e-06,6.307851e-06,6.274654e-06,6.260334e-06,6.238983e-06,6.213568e-06,6.203745e-06,6.168944e-06,6.167561e-06,6.134581e-06,6.122318e-06,6.100659e-06,6.077845e-06,6.067179e-06,6.034142e-06,5.991211e-06,5.949051e-06,5.907660e-06,5.867033e-06,5.827168e-06,5.788057e-06,5.749696e-06,5.712078e-06,5.675194e-06,5.639037e-06,5.603598e-06,5.568869e-06,5.534839e-06,5.501499e-06,5.468840e-06,5.436851e-06,5.405521e-06,5.374840e-06,5.344798e-06,5.315383e-06,5.286585e-06,5.258394e-06,5.230797e-06,5.203784e-06
0.000000e+00,1.526755e-09,4.324840e-09,1.892674e-08,4.840170e-08,7.378201e-08,1.807517e-07,1.866281e-07,3.772644e-07,4.472776e-07,6.655765e-07,8.939388e-07,1.072012e-06,1.567676e-06,1.616780e-06,2.316265e-06,2.508164e-06,3.176954e-06,3.727402e-06,4.192423e-06,5.202091e-06,5.347482e-06,6.624474e-06,6.892994e-06,8.006501e-06,8.761416e-06,9.477862e-06,1.077192e-05,1.102365e-05,1.262938e-05,1.289091e-05,1.428090e-05,1.508582e-05,1.596441e-05,1.732535e-05,1.766670e-05,1.937533e-05,1.958023e-05,2.107880e-05,2.182398e-05,2.276674e-05,2.403349e-05,2.442996e-05,2.606054e-05,2.618937e-05,2.765178e-05,2.827599e-05,2.919816e-05,3.028128e-05,3.069530e-05,3.213980e-05,3.219645e-05,3.352921e-05,3.401556e-05,3.486185e-05,3.573510e-05,3.613676e-05,3.735355e-05,3.851234e-05,3.887098e-05,3.961366e-05,4.028872e-05,4.065835e-05,4.160903e-05,4.164754e-05,4.258256e-05,4.283485e-05,4.346488e-05,4.396964e-05,4.429610e-05,4.501713e-05,4.507790e-05,4.581200e-05,4.598128e-05,4.650016e-05,4.686612e-05,4.714414e-05,4.767568e-05,4.774569e-05,4.830655e-05,4.841399e-05,4.882844e-05,4.908497e-05,4.931302e-05,4.969244e-05,4.976193e-05,5.017675e-05,5.024006e-05,5.055902e-05,5.073140e-05,5.091024e-05,5.116982e-05,5.123184e-05,5.152521e-05,5.155858e-05,5.179169e-05,5.190075e-05,5.203256e-05,5.219926e-05,5.224906e-05,5.244237e-05,5.245686e-05,5.261363e-05,5.267620e-05,5.276393e-05,5.285975e-05,5.289431e-05,5.300578e-05,5.300986e-05,5.309930e-05,5.312874e-05,5.317577e-05,5.321848e-05,5.323607e-05,5.328105e-05,5.331149e-05,5.331829e-05,5.332817e-05,5.333196e-05,5.333181e-05,5.332369e-05,5.332311e-05,5.330274e-05,5.329503e-05,5.327133e-05,5.324744e-05,5.322949e-05,5.318227e-05,5.317778e-05,5.311678e-05,5.310081e-05,5.304699e-05,5.300426e-05,5.296893e-05,5.289376e-05,5.288306e-05,5.278985e-05,5.277037e-05,5.268973e-05,5.263508e-05,5.258312e-05,5.248883e-05,5.247040e-05,5.235196e-05,5.233250e-05,5.222815e-05,5.216692e-05,5.209931e-05,5.199285e-05,5.196578e-05,5.182785e-05,5.181102e-05,5.168582e-05,5.162210e-05,5.153998e-05,5.142675e-05,5.139059e-05,5.123790e-05,5.122555e-05,5.108216e-05,5.101906e-05,5.092360e-05,5.080781e-05,5.076243e-05,5.059887e-05,5.059228e-05,5.043312e-05,5.037294e-05,5.026535e-05,5.015022e-05,5.009576e-05,4.992452e-05,4.969621e-05,4.946565e-05,4.923316e-05,4.899907e-05,4.876364e-05,4.852715e-05,4.828986e-05,4.805199e-05,4.781376e-05,4.757538e-05,4.733704e-05,4.709891e-05,4.686116e-05,4.662393e-05,4.638738e-05,4.615162e-05,4.591679e-05,4.568300e-05,4.545035e-05,4.521894e-05,4.498885e-05,4.476017e-05,4.453297e-05,4.430733e-05
0.000000e+00,1.606056e-09,3.749072e-09,1.309501e-08,2.986011e-08,4.351002e-08,9.788769e-08,1.007858e-07,1.920353e-07,2.245770e-07,3.238244e-07,4.249580e-07,5.023787e-07,7.130350e-07,7.336001e-07,1.022612e-06,1.100981e-06,1.372435e-06,1.594738e-06,1.782101e-06,2.187769e-06,2.246045e-06,2.755975e-06,2.862710e-06,3.303293e-06,3.600063e-06,3.880249e-06,4.382766e-06,4.479997e-06,5.096359e-06,5.196131e-06,5.723606e-06,6.026960e-06,6.356361e-06,6.863127e-06,6.989577e-06,7.618576e-06,7.693565e-06,8.239085e-06,8.508420e-06,8.847290e-06,9.299229e-06,9.439861e-06,1.001398e-05,1.005904e-05,1.056732e-05,1.078242e-05,1.109808e-05,1.146545e-05,1.160488e-05,1.208680e-05,1.210555e-05,1.254329e-05,1.270135e-05,1.297414e-05,1.325251e-05,1.337944e-05,1.375951e-05,1.411490e-05,1.422351e-05,1.444628e-05,1.464615e-05,1.475449e-05,1.502941e-05,1.504043e-05,1.530508e-05,1.537550e-05,1.554945e-05,1.568678e-05,1.577460e-05,1.596564e-05,1.598156e-05,1.617136e-05,1.621447e-05,1.634503e-05,1.643560e-05,1.650354e-05,1.663126e-05,1.664786e-05,1.677890e-05,1.680359e-05,1.689754e-05,1.695460e-05,1.700459e-05,1.708616e-05,1.710087e-05,1.718709e-05,1.720000e-05,1.726397e-05,1.729774e-05,1.733216e-05,1.738087e-05,1.739227e-05,1.744489e-05,1.745073e-05,1.749055e-05,1.750857e-05,1.752976e-05,1.755554e-05,1.756299e-05,1.759067e-05,1.759266e-05,1.761321e-05,1.762088e-05,1.763100e-05,1.764105e-05,1.764437e-05,1.765367e-05,1.765396e-05,1.765919e-05,1.766031e-05,1.766123e-05,1.766075e-05,1.766003e-05,1.765586e-05,1.764894e-05,1.764617e-05,1.763947e-05,1.763217e-05,1.762766e-05,1.761429e-05,1.761369e-05,1.759773e-05,1.759293e-05,1.757994e-05,1.756845e-05,1.756047e-05,1.754119e-05,1.753946e-05,1.751703e-05,1.751145e-05,1.749330e-05,1.747949e-05,1.746839e-05,1.744557e-05,1.744239e-05,1.741542e-05,1.740991e-05,1.738754e-05,1.737273e-05,1.735887e-05,1.733421e-05,1.732946e-05,1.729939e-05,1.729452e-05,1.726874e-05,1.725383e-05,1.723756e-05,1.721228e-05,1.720592e-05,1.717387e-05,1.717000e-05,1.714146e-05,1.712711e-05,1.710875e-05,1.708372e-05,1.707578e-05,1.704259e-05,1.703993e-05,1.700922e-05,1.699584e-05,1.697572e-05,1.695152e-05,1.694210e-05,1.690842e-05,1.690707e-05,1.687469e-05,1.686254e-05,1.684094e-05,1.681800e-05,1.680721e-05,1.677352e-05,1.672914e-05,1.668491e-05,1.664089e-05,1.659710e-05,1.655359e-05,1.651039e-05,1.646753e-05,1.642503e-05,1.638293e-05,1.634125e-05,1.630000e-05,1.625920e-05,1.621887e-05,1.617903e-05,1.613968e-05,1.610084e-05,1.606251e-05,1.602471e-05,1.598744e-05,1.595071e-05,1.591451e-05,1.587886e-05,1.584376e-05,1.580921e-05
0.000000e+00,2.418668e-10,8.347040e-10,4.955823e-09,1.539005e-08,2.549762e-08,7.346776e-08,7.626134e-08,1.715860e-07,2.081020e-07,3.247578e-07,4.494887e-07,5.478175e-07,8.240459e-07,8.515439e-07,1.245366e-06,1.354195e-06,1.737061e-06,2.057331e-06,2.332126e-06,2.943142e-06,3.032766e-06,3.836805e-06,4.009481e-06,4.737162e-06,5.239780e-06,5.722516e-06,6.605752e-06,6.778951e-06,7.891734e-06,8.074041e-06,9.046589e-06,9.611935e-06,1.023030e-05,1.118996e-05,1.143090e-05,1.263771e-05,1.278248e-05,1.384127e-05,1.436763e-05,1.503329e-05,1.592706e-05,1.620660e-05,1.735511e-05,1.744577e-05,1.847375e-05,1.891188e-05,1.955837e-05,2.031637e-05,2.060571e-05,2.161331e-05,2.165276e-05,2.257939e-05,2.291677e-05,2.350277e-05,2.410595e-05,2.438283e-05,2.521937e-05,2.601257e-05,2.625730e-05,2.676289e-05,2.722094e-05,2.747109e-05,2.811218e-05,2.813808e-05,2.876496e-05,2.893345e-05,2.935290e-05,2.968751e-05,2.990320e-05,3.037738e-05,3.041720e-05,3.089626e-05,3.100619e-05,3.134177e-05,3.157713e-05,3.175515e-05,3.209342e-05,3.213776e-05,3.249099e-05,3.255822e-05,3.281617e-05,3.297463e-05,3.311464e-05,3.334563e-05,3.338765e-05,3.363646e-05,3.367410e-05,3.386226e-05,3.396282e-05,3.406623e-05,3.421444e-05,3.424949e-05,3.441310e-05,3.443147e-05,3.455812e-05,3.461630e-05,3.468554e-05,3.477119e-05,3.479631e-05,3.489134e-05,3.489829e-05,3.497152e-05,3.499961e-05,3.503767e-05,3.507707e-05,3.509060e-05,3.513107e-05,3.513244e-05,3.515982e-05,3.516743e-05,3.517753e-05,3.518360e-05,3.518486e-05,3.518246e-05,3.517091e-05,3.516538e-05,3.515080e-05,3.513368e-05,3.512266e-05,3.508858e-05,3.508701e-05,3.504436e-05,3.503122e-05,3.499515e-05,3.496267e-05,3.493985e-05,3.488394e-05,3.487886e-05,3.481259e-05,3.479594e-05,3.474142e-05,3.469957e-05,3.466572e-05,3.459561e-05,3.458581e-05,3.450204e-05,3.448484e-05,3.441469e-05,3.436796e-05,3.432407e-05,3.424562e-05,3.423045e-05,3.413409e-05,3.411843e-05,3.403523e-05,3.398697e-05,3.393412e-05,3.385174e-05,3.383096e-05,3.372597e-05,3.371326e-05,3.361934e-05,3.357196e-05,3.351127e-05,3.342827e-05,3.340192e-05,3.329146e-05,3.328258e-05,3.318004e-05,3.313524e-05,3.306782e-05,3.298660e-05,3.295493e-05,3.284150e-05,3.283695e-05,3.272766e-05,3.268659e-05,3.261351e-05,3.253577e-05,3.249917e-05,3.238473e-05,3.223370e-05,3.208288e-05,3.193245e-05,3.178259e-05,3.163345e-05,3.148517e-05,3.133788e-05,3.119171e-05,3.104674e-05,3.090309e-05,3.076083e-05,3.062005e-05,3.048082e-05,3.034318e-05,3.020721e-05,3.007294e-05,2.994042e-05,2.980968e-05,2.968076e-05,2.955367e-05,2.942845e-05,2.930510e-05,2.918363e-05,2.906407e-05
0.000000e+00,8.653394e-11,3.375293e-10,2.546426e-09,9.683373e-09,1.782454e-08,6.624958e-08,6.945043e-08,1.967011e-07,2.531482e-07,4.562026e-07,7.058884e-07,9.232128e-07,1.616888e-06,1.692020e-06,2.872995e-06,3.230898e-06,4.584693e-06,5.818942e-06,6.943983e-06,9.641568e-06,1.005842e-05,1.402206e-05,1.492390e-05,1.891370e-05,2.184569e-05,2.479651e-05,3.053940e-05,3.171821e-05,3.971135e-05,4.109108e-05,4.879379e-05,5.354184e-05,5.896902e-05,6.788949e-05,7.022666e-05,8.254291e-05,8.409040e-05,9.588126e-05,1.020618e-04,1.101932e-04,1.216852e-04,1.254193e-04,1.414902e-04,1.428101e-04,1.583281e-04,1.652592e-04,1.758480e-04,1.888339e-04,1.939592e-04,2.125672e-04,2.133204e-04,2.315745e-04,2.384961e-04,2.508831e-04,2.641350e-04,2.703950e-04,2.900140e-04,3.096469e-04,3.159176e-04,3.292043e-04,3.416421e-04,3.486015e-04,3.669989e-04,3.677597e-04,3.866057e-04,3.918174e-04,4.050730e-04,4.159464e-04,4.231017e-04,4.392550e-04,4.406387e-04,4.576376e-04,4.616327e-04,4.740588e-04,4.829897e-04,4.898691e-04,5.032552e-04,5.050415e-04,5.195548e-04,5.223770e-04,5.333935e-04,5.403194e-04,5.465471e-04,5.570622e-04,5.590097e-04,5.707797e-04,5.725987e-04,5.818594e-04,5.869340e-04,5.922545e-04,6.000835e-04,6.019738e-04,6.110285e-04,6.120711e-04,6.194324e-04,6.229278e-04,6.272008e-04,6.326904e-04,6.343510e-04,6.409014e-04,6.414001e-04,6.468715e-04,6.491016e-04,6.522816e-04,6.558418e-04,6.571525e-04,6.615054e-04,6.616690e-04,6.653618e-04,6.666327e-04,6.687432e-04,6.707822e-04,6.716711e-04,6.741666e-04,6.762509e-04,6.768344e-04,6.779444e-04,6.788326e-04,6.792674e-04,6.802072e-04,6.802396e-04,6.808800e-04,6.810024e-04,6.812073e-04,6.812608e-04,6.812394e-04,6.810232e-04,6.809937e-04,6.804869e-04,6.803282e-04,6.797351e-04,6.792129e-04,6.787538e-04,6.777122e-04,6.775578e-04,6.761612e-04,6.758590e-04,6.745777e-04,6.736846e-04,6.728201e-04,6.712183e-04,6.709008e-04,6.688316e-04,6.684874e-04,6.666237e-04,6.655178e-04,6.642878e-04,6.623336e-04,6.618339e-04,6.592716e-04,6.589573e-04,6.566101e-04,6.554098e-04,6.538579e-04,6.517107e-04,6.510233e-04,6.481139e-04,6.478781e-04,6.451370e-04,6.439289e-04,6.420996e-04,6.398789e-04,6.390082e-04,6.358688e-04,6.357424e-04,6.326874e-04,6.315328e-04,6.294693e-04,6.272626e-04,6.262196e-04,6.229432e-04,6.185851e-04,6.141980e-04,6.097907e-04,6.053716e-04,6.009479e-04,5.965266e-04,5.921139e-04,5.877154e-04,5.833364e-04,5.789815e-04,5.746550e-04,5.703606e-04,5.661018e-04,5.618817e-04,5.577030e-04,5.535682e-04,5.494794e-04,5.454385e-04,5.414471e-04,5.375067e-04,5.336185e-04,5.297835e-04,5.260025e-04,5.222762e-04
0.000000e+00,2.302030e-10,8.067042e-10,4.931070e-09,1.568768e-08,2.632099e-08,7.829255e-08,8.137517e-08,1.891862e-07,2.316286e-07,3.707686e-07,5.249158e-07,6.500164e-07,1.016873e-06,1.054558e-06,1.614881e-06,1.775866e-06,2.359549e-06,2.864442e-06,3.306437e-06,4.307554e-06,4.455737e-06,5.791253e-06,6.078576e-06,7.288200e-06,8.121722e-06,8.920669e-06,1.037959e-05,1.066545e-05,1.250281e-05,1.280422e-05,1.441590e-05,1.535666e-05,1.638986e-05,1.800375e-05,1.841118e-05,2.046727e-05,2.071576e-05,2.254624e-05,2.346533e-05,2.463692e-05,2.622719e-05,2.672883e-05,2.881230e-05,2.897835e-05,3.087849e-05,3.169832e-05,3.291946e-05,3.436935e-05,3.492817e-05,3.689851e-05,3.697644e-05,3.882526e-05,3.950735e-05,4.070406e-05,4.195240e-05,4.253134e-05,4.430426e-05,4.602067e-05,4.655772e-05,4.767900e-05,4.870934e-05,4.927819e-05,5.075725e-05,5.081767e-05,5.229726e-05,5.270082e-05,5.371709e-05,5.454048e-05,5.507762e-05,5.627749e-05,5.637950e-05,5.762363e-05,5.791374e-05,5.881103e-05,5.945163e-05,5.994287e-05,6.089393e-05,6.102041e-05,6.204499e-05,6.224367e-05,6.301800e-05,6.350407e-05,6.394091e-05,6.467849e-05,6.481517e-05,6.564228e-05,6.577034e-05,6.642373e-05,6.678304e-05,6.716101e-05,6.772002e-05,6.785559e-05,6.850894e-05,6.858464e-05,6.912251e-05,6.938024e-05,6.969771e-05,7.011006e-05,7.023594e-05,7.073856e-05,7.077727e-05,7.120691e-05,7.138494e-05,7.164228e-05,7.193606e-05,7.204596e-05,7.241918e-05,7.243349e-05,7.276313e-05,7.288001e-05,7.307898e-05,7.327830e-05,7.336788e-05,7.363092e-05,7.386917e-05,7.394034e-05,7.408365e-05,7.420892e-05,7.427539e-05,7.443894e-05,7.444533e-05,7.459442e-05,7.463255e-05,7.472357e-05,7.479185e-05,7.483364e-05,7.491880e-05,7.492550e-05,7.499994e-05,7.501530e-05,7.505777e-05,7.508317e-05,7.509973e-05,7.512413e-05,7.512658e-05,7.513900e-05,7.513982e-05,7.513769e-05,7.513180e-05,7.512330e-05,7.510158e-05,7.509647e-05,7.505780e-05,7.505056e-05,7.500789e-05,7.498010e-05,7.494729e-05,7.489149e-05,7.487655e-05,7.479620e-05,7.478594e-05,7.470674e-05,7.466461e-05,7.460864e-05,7.452861e-05,7.450239e-05,7.438842e-05,7.437898e-05,7.426716e-05,7.421671e-05,7.413904e-05,7.404275e-05,7.400443e-05,7.386373e-05,7.385798e-05,7.371730e-05,7.366325e-05,7.356549e-05,7.345936e-05,7.340864e-05,7.324707e-05,7.302709e-05,7.280010e-05,7.256675e-05,7.232764e-05,7.208334e-05,7.183439e-05,7.158130e-05,7.132456e-05,7.106462e-05,7.080190e-05,7.053680e-05,7.026971e-05,7.000099e-05,6.973096e-05,6.945994e-05,6.918823e-05,6.891610e-05,6.864382e-05,6.837163e-05,6.809974e-05,6.782839e-05,6.755775e-05,6.728802e-05,6.701938e-05
0.000000e+00,7.283852e-10,2.148179e-09,9.913143e-09,2.607058e-08,4.016959e-08,1.003074e-07,1.036307e-07,2.120707e-07,2.521314e-07,3.776655e-07,5.098723e-07,6.135248e-07,9.042730e-07,9.332335e-07,1.348071e-06,1.462440e-06,1.861936e-06,2.190958e-06,2.468523e-06,3.068627e-06,3.154679e-06,3.905952e-06,4.062851e-06,4.709468e-06,5.144241e-06,5.554261e-06,6.288732e-06,6.430726e-06,7.330096e-06,7.475565e-06,8.244150e-06,8.685811e-06,9.165108e-06,9.901900e-06,1.008564e-05,1.099892e-05,1.110772e-05,1.189874e-05,1.228894e-05,1.277955e-05,1.343326e-05,1.363653e-05,1.446559e-05,1.453060e-05,1.526338e-05,1.557313e-05,1.602727e-05,1.655515e-05,1.675529e-05,1.744611e-05,1.747296e-05,1.809897e-05,1.832465e-05,1.871357e-05,1.910963e-05,1.928993e-05,1.982851e-05,2.033002e-05,2.048282e-05,2.079542e-05,2.107484e-05,2.122584e-05,2.160732e-05,2.162256e-05,2.198693e-05,2.208335e-05,2.232038e-05,2.250621e-05,2.262437e-05,2.287928e-05,2.290037e-05,2.314986e-05,2.320595e-05,2.337428e-05,2.348955e-05,2.357507e-05,2.373330e-05,2.375359e-05,2.391120e-05,2.394033e-05,2.404918e-05,2.411358e-05,2.416875e-05,2.425584e-05,2.427111e-05,2.435737e-05,2.436976e-05,2.442861e-05,2.445777e-05,2.448584e-05,2.452217e-05,2.453001e-05,2.456204e-05,2.456511e-05,2.458278e-05,2.458854e-05,2.459305e-05,2.459431e-05,2.459359e-05,2.458514e-05,2.458409e-05,2.456835e-05,2.455944e-05,2.454386e-05,2.452180e-05,2.451227e-05,2.447414e-05,2.447248e-05,2.442997e-05,2.441270e-05,2.438028e-05,2.434356e-05,2.432551e-05,2.426609e-05,2.420242e-05,2.418121e-05,2.413489e-05,2.408980e-05,2.406384e-05,2.399263e-05,2.398961e-05,2.391249e-05,2.389042e-05,2.383279e-05,2.378383e-05,2.375076e-05,2.367346e-05,2.366666e-05,2.358072e-05,2.355985e-05,2.349317e-05,2.344350e-05,2.340419e-05,2.332488e-05,2.331399e-05,2.322274e-05,2.320438e-05,2.313061e-05,2.308240e-05,2.303775e-05,2.295928e-05,2.294429e-05,2.285039e-05,2.283533e-05,2.275614e-05,2.271082e-05,2.266169e-05,2.258603e-05,2.256712e-05,2.247253e-05,2.246118e-05,2.237802e-05,2.233649e-05,2.228368e-05,2.221214e-05,2.218958e-05,2.209578e-05,2.208830e-05,2.200237e-05,2.196512e-05,2.190940e-05,2.184276e-05,2.181692e-05,2.172499e-05,2.172132e-05,2.163365e-05,2.160093e-05,2.154296e-05,2.148167e-05,2.145294e-05,2.136364e-05,2.124691e-05,2.113155e-05,2.101762e-05,2.090517e-05,2.079424e-05,2.068488e-05,2.057711e-05,2.047095e-05,2.036644e-05,2.026358e-05,2.016239e-05,2.006288e-05,1.996504e-05,1.986889e-05,1.977442e-05,1.968164e-05,1.959052e-05,1.950107e-05,1.941327e-05,1.932711e-05,1.924259e-05,1.915968e-05,1.907837e-05,1.899864e-05
0.000000e+00,2.225872e-09,5.121153e-09,1.770641e-08,4.041176e-08,5.905235e-08,1.345991e-07,1.386796e-07,2.697037e-07,3.175473e-07,4.667426e-07,6.233498e-07,7.459397e-07,1.088568e-06,1.122546e-06,1.604760e-06,1.736016e-06,2.188712e-06,2.555662e-06,2.862015e-06,3.517555e-06,3.611029e-06,4.424150e-06,4.593595e-06,5.291740e-06,5.761560e-06,6.205279e-06,7.002292e-06,7.156755e-06,8.138385e-06,8.297732e-06,9.142555e-06,9.630385e-06,1.016189e-05,1.098353e-05,1.118935e-05,1.221838e-05,1.234168e-05,1.324298e-05,1.369097e-05,1.425773e-05,1.501942e-05,1.525791e-05,1.623946e-05,1.631707e-05,1.719896e-05,1.757594e-05,1.813361e-05,1.878989e-05,1.904117e-05,1.991994e-05,1.995447e-05,2.076864e-05,2.106664e-05,2.158642e-05,2.212456e-05,2.237274e-05,2.312739e-05,2.385038e-05,2.407508e-05,2.454192e-05,2.496818e-05,2.520240e-05,2.580770e-05,2.583232e-05,2.643231e-05,2.659504e-05,2.700307e-05,2.733182e-05,2.754537e-05,2.801983e-05,2.806000e-05,2.854781e-05,2.866099e-05,2.900965e-05,2.925726e-05,2.944639e-05,2.981064e-05,2.985889e-05,3.024804e-05,3.032313e-05,3.061467e-05,3.079670e-05,3.095964e-05,3.123328e-05,3.128377e-05,3.158789e-05,3.163475e-05,3.187278e-05,3.200293e-05,3.213923e-05,3.233961e-05,3.238798e-05,3.261976e-05,3.264647e-05,3.283529e-05,3.292515e-05,3.303525e-05,3.317721e-05,3.322030e-05,3.339109e-05,3.340416e-05,3.354824e-05,3.360741e-05,3.369234e-05,3.378834e-05,3.382397e-05,3.394370e-05,3.394824e-05,3.405204e-05,3.408836e-05,3.414952e-05,3.420986e-05,3.423664e-05,3.431386e-05,3.438166e-05,3.440144e-05,3.444047e-05,3.447358e-05,3.449070e-05,3.453125e-05,3.453278e-05,3.456709e-05,3.457535e-05,3.459400e-05,3.460675e-05,3.461387e-05,3.462624e-05,3.462706e-05,3.463388e-05,3.463461e-05,3.463466e-05,3.463257e-05,3.462970e-05,3.462082e-05,3.461930e-05,3.460372e-05,3.460001e-05,3.458325e-05,3.457076e-05,3.455814e-05,3.453363e-05,3.452862e-05,3.449495e-05,3.448919e-05,3.445734e-05,3.443795e-05,3.441601e-05,3.438041e-05,3.437117e-05,3.432301e-05,3.431701e-05,3.427172e-05,3.424821e-05,3.421749e-05,3.417441e-05,3.416048e-05,3.410087e-05,3.409600e-05,3.403882e-05,3.401334e-05,3.397446e-05,3.392679e-05,3.390796e-05,3.383944e-05,3.383666e-05,3.376905e-05,3.374327e-05,3.369690e-05,3.364690e-05,3.362312e-05,3.354782e-05,3.344629e-05,3.334255e-05,3.323683e-05,3.312934e-05,3.302029e-05,3.290985e-05,3.279821e-05,3.268553e-05,3.257197e-05,3.245767e-05,3.234278e-05,3.222743e-05,3.211172e-05,3.199579e-05,3.187972e-05,3.176362e-05,3.164759e-05,3.153171e-05,3.141606e-05,3.130071e-05,3.118574e-05,3.107121e-05,3.095718e-05,3.084371e-05
0.000000e+00,5.511511e-11,2.128865e-10,1.573255e-09,5.867672e-09,1.068305e-08,3.854602e-08,4.035772e-08,1.106997e-07,1.411564e-07,2.482469e-07,3.761081e-07,4.848762e-07,8.210009e-07,8.566164e-07,1.402473e-06,1.563894e-06,2.163140e-06,2.698164e-06,3.179269e-06,4.315174e-06,4.488988e-06,6.124876e-06,6.493501e-06,8.111230e-06,9.287822e-06,1.046242e-05,1.272266e-05,1.318256e-05,1.626610e-05,1.679236e-05,1.969899e-05,2.146489e-05,2.346004e-05,2.668716e-05,2.752223e-05,3.185398e-05,3.239028e-05,3.642036e-05,3.849436e-05,4.118410e-05,4.491279e-05,4.610657e-05,5.114866e-05,5.155602e-05,5.627156e-05,5.833484e-05,6.143749e-05,6.516319e-05,6.661023e-05,7.175570e-05,7.196049e-05,7.684229e-05,7.865341e-05,8.184122e-05,8.517714e-05,8.672672e-05,9.147613e-05,9.606994e-05,9.750434e-05,1.004918e-04,1.032252e-04,1.047282e-04,1.086111e-04,1.087688e-04,1.126057e-04,1.136427e-04,1.162335e-04,1.183085e-04,1.196491e-04,1.226032e-04,1.228515e-04,1.258412e-04,1.265273e-04,1.286206e-04,1.300864e-04,1.311930e-04,1.332894e-04,1.335633e-04,1.357369e-04,1.361486e-04,1.377202e-04,1.386786e-04,1.395201e-04,1.408957e-04,1.411440e-04,1.425994e-04,1.428172e-04,1.438943e-04,1.444612e-04,1.450366e-04,1.458458e-04,1.460342e-04,1.468950e-04,1.469894e-04,1.476268e-04,1.479098e-04,1.482372e-04,1.486245e-04,1.487336e-04,1.491233e-04,1.491501e-04,1.494132e-04,1.495027e-04,1.496100e-04,1.496976e-04,1.497200e-04,1.497494e-04,1.497490e-04,1.497041e-04,1.496705e-04,1.495895e-04,1.494747e-04,1.494109e-04,1.491734e-04,1.488817e-04,1.487776e-04,1.485401e-04,1.482973e-04,1.481530e-04,1.477421e-04,1.477242e-04,1.472574e-04,1.471204e-04,1.467563e-04,1.464404e-04,1.462240e-04,1.457094e-04,1.456636e-04,1.450779e-04,1.449339e-04,1.444697e-04,1.441203e-04,1.438415e-04,1.432740e-04,1.431956e-04,1.425342e-04,1.424003e-04,1.418593e-04,1.415037e-04,1.411729e-04,1.405886e-04,1.404766e-04,1.397721e-04,1.396588e-04,1.390610e-04,1.387177e-04,1.383446e-04,1.377686e-04,1.376243e-04,1.369012e-04,1.368143e-04,1.361765e-04,1.358573e-04,1.354511e-04,1.349001e-04,1.347261e-04,1.340024e-04,1.339445e-04,1.332806e-04,1.329926e-04,1.325616e-04,1.320459e-04,1.318460e-04,1.311344e-04,1.311060e-04,1.304274e-04,1.301741e-04,1.297256e-04,1.292514e-04,1.290293e-04,1.283390e-04,1.274376e-04,1.265481e-04,1.256711e-04,1.248072e-04,1.239569e-04,1.231206e-04,1.222986e-04,1.214912e-04,1.206985e-04,1.199208e-04,1.191581e-04,1.184105e-04,1.176780e-04,1.169605e-04,1.162582e-04,1.155707e-04,1.148982e-04,1.142404e-04,1.135972e-04,1.129684e-04,1.123540e-04,1.117536e-04,1.111670e-04,1.105942e-04
0.000000e+00,1.517905e-09,4.119563e-09,1.711262e-08,4.270289e-08,6.457867e-08,1.569311e-07,1.620323e-07,3.297835e-07,3.925611e-07,5.922104e-07,8.065106e-07,9.764073e-07,1.454217e-06,1.501503e-06,2.165444e-06,2.343639e-06,2.951285e-06,3.438086e-06,3.842064e-06,4.702742e-06,4.825274e-06,5.891254e-06,6.113614e-06,7.031300e-06,7.650498e-06,8.236639e-06,9.292855e-06,9.498056e-06,1.080589e-05,1.101879e-05,1.215020e-05,1.280550e-05,1.352103e-05,1.463025e-05,1.490867e-05,1.630384e-05,1.647135e-05,1.769794e-05,1.830896e-05,1.908314e-05,2.012563e-05,2.045248e-05,2.179989e-05,2.190658e-05,2.312020e-05,2.363974e-05,2.440910e-05,2.531567e-05,2.566310e-05,2.687945e-05,2.692729e-05,2.805602e-05,2.846955e-05,2.919132e-05,2.993923e-05,3.028435e-05,3.133456e-05,3.234176e-05,3.265499e-05,3.330607e-05,3.390089e-05,3.422788e-05,3.507340e-05,3.510780e-05,3.594658e-05,3.617419e-05,3.674513e-05,3.720536e-05,3.750444e-05,3.816929e-05,3.822561e-05,3.890976e-05,3.906857e-05,3.955806e-05,3.990591e-05,4.017172e-05,4.068404e-05,4.075194e-05,4.129992e-05,4.140576e-05,4.181687e-05,4.207382e-05,4.230397e-05,4.269093e-05,4.276240e-05,4.319328e-05,4.325975e-05,4.359776e-05,4.378285e-05,4.397692e-05,4.426273e-05,4.433182e-05,4.466350e-05,4.470178e-05,4.497295e-05,4.510232e-05,4.526116e-05,4.546656e-05,4.552905e-05,4.577753e-05,4.579659e-05,4.600747e-05,4.609445e-05,4.621973e-05,4.636205e-05,4.641510e-05,4.659438e-05,4.660123e-05,4.675832e-05,4.681372e-05,4.690763e-05,4.700116e-05,4.704301e-05,4.716514e-05,4.727465e-05,4.730713e-05,4.737216e-05,4.742854e-05,4.745825e-05,4.753070e-05,4.753350e-05,4.759846e-05,4.761487e-05,4.765363e-05,4.768224e-05,4.769952e-05,4.773395e-05,4.773660e-05,4.776534e-05,4.777105e-05,4.778618e-05,4.779455e-05,4.779952e-05,4.780539e-05,4.780578e-05,4.780534e-05,4.780448e-05,4.779856e-05,4.779265e-05,4.778580e-05,4.777070e-05,4.776739e-05,4.774365e-05,4.773938e-05,4.771489e-05,4.769939e-05,4.768141e-05,4.765140e-05,4.764348e-05,4.760137e-05,4.759604e-05,4.755533e-05,4.753390e-05,4.750562e-05,4.746552e-05,4.745246e-05,4.739607e-05,4.739143e-05,4.733667e-05,4.731212e-05,4.727446e-05,4.722804e-05,4.720964e-05,4.714237e-05,4.713964e-05,4.707285e-05,4.704731e-05,4.700124e-05,4.695143e-05,4.692769e-05,4.685237e-05,4.675045e-05,4.664600e-05,4.653929e-05,4.643062e-05,4.632024e-05,4.620838e-05,4.609527e-05,4.598113e-05,4.586615e-05,4.575051e-05,4.563438e-05,4.551792e-05,4.540128e-05,4.528460e-05,4.516801e-05,4.505161e-05,4.493554e-05,4.481988e-05,4.470473e-05,4.459017e-05,4.447630e-05,4.436318e-05,4.425087e-05,4.413945e-05
0.000000e+00,1.622843e-10,5.848972e-10,3.766198e-09,1.247674e-08,2.134743e-08,6.625499e-08,6.896666e-08,1.654236e-07,2.039231e-07,3.311124e-07,4.728618e-07,5.881162e-07,9.257488e-07,9.603477e-07,1.471851e-06,1.617657e-06,2.141748e-06,2.589662e-06,2.978203e-06,3.848794e-06,3.976801e-06,5.124296e-06,5.370191e-06,6.403754e-06,7.115479e-06,7.797986e-06,9.046036e-06,9.290910e-06,1.086767e-05,1.112678e-05,1.251427e-05,1.332549e-05,1.421727e-05,1.561143e-05,1.596352e-05,1.774012e-05,1.795475e-05,1.953452e-05,2.032655e-05,2.133461e-05,2.269938e-05,2.312889e-05,2.490666e-05,2.504787e-05,2.665812e-05,2.734933e-05,2.837447e-05,2.958413e-05,3.004799e-05,3.167204e-05,3.173589e-05,3.324108e-05,3.379158e-05,3.475063e-05,3.574131e-05,3.619718e-05,3.757817e-05,3.889184e-05,3.929781e-05,4.013720e-05,4.089820e-05,4.131391e-05,4.237918e-05,4.242221e-05,4.346278e-05,4.374215e-05,4.443676e-05,4.498977e-05,4.534558e-05,4.612563e-05,4.619097e-05,4.697484e-05,4.715404e-05,4.769928e-05,4.807983e-05,4.836650e-05,4.890813e-05,4.897878e-05,4.953844e-05,4.964426e-05,5.004782e-05,5.029361e-05,5.050928e-05,5.086157e-05,5.092513e-05,5.129767e-05,5.135341e-05,5.162913e-05,5.177429e-05,5.192171e-05,5.212919e-05,5.217751e-05,5.239859e-05,5.242288e-05,5.258694e-05,5.265993e-05,5.274446e-05,5.284468e-05,5.287297e-05,5.297424e-05,5.298121e-05,5.304993e-05,5.307341e-05,5.310166e-05,5.312493e-05,5.313095e-05,5.313925e-05,5.313917e-05,5.312796e-05,5.311935e-05,5.309839e-05,5.306848e-05,5.305179e-05,5.298934e-05,5.291218e-05,5.288456e-05,5.282137e-05,5.275656e-05,5.271792e-05,5.260761e-05,5.260279e-05,5.247688e-05,5.243981e-05,5.234104e-05,5.225511e-05,5.219608e-05,5.205533e-05,5.204277e-05,5.188182e-05,5.184213e-05,5.171391e-05,5.161708e-05,5.153968e-05,5.138160e-05,5.135972e-05,5.117462e-05,5.113702e-05,5.098489e-05,5.088457e-05,5.079104e-05,5.062537e-05,5.059354e-05,5.039283e-05,5.036045e-05,5.018933e-05,5.009077e-05,4.998343e-05,4.981722e-05,4.977548e-05,4.956584e-05,4.954058e-05,4.935482e-05,4.926161e-05,4.914272e-05,4.898098e-05,4.892982e-05,4.871639e-05,4.869930e-05,4.850265e-05,4.841713e-05,4.828886e-05,4.813500e-05,4.807520e-05,4.786188e-05,4.785336e-05,4.764909e-05,4.757265e-05,4.743699e-05,4.729324e-05,4.722574e-05,4.701548e-05,4.673969e-05,4.646615e-05,4.619511e-05,4.592679e-05,4.566138e-05,4.539908e-05,4.514003e-05,4.488437e-05,4.463222e-05,4.438368e-05,4.413883e-05,4.389774e-05,4.366048e-05,4.342709e-05,4.319760e-05,4.297205e-05,4.275045e-05,4.253281e-05,4.231912e-05,4.210939e-05,4.190361e-05,4.170174e-05,4.150379e-05,4.130970e-05
0.000000e+00,1.828589e-09,5.110683e-09,2.207689e-08,5.647693e-08,8.646960e-08,2.172275e-07,2.246174e-07,4.754951e-07,5.725818e-07,8.879219e-07,1.229081e-06,1.496469e-06,2.224614e-06,2.294903e-06,3.260099e-06,3.514654e-06,4.376782e-06,5.065390e-06,5.637615e-06,6.862946e-06,7.038274e-06,8.574469e-06,8.897509e-06,1.024059e-05,1.115593e-05,1.202921e-05,1.361954e-05,1.393099e-05,1.593489e-05,1.626418e-05,1.802850e-05,1.906138e-05,2.019840e-05,2.197987e-05,2.243062e-05,2.471101e-05,2.498723e-05,2.702564e-05,2.805143e-05,2.936105e-05,3.114200e-05,3.170453e-05,3.404432e-05,3.423102e-05,3.636972e-05,3.729367e-05,3.867115e-05,4.030857e-05,4.094019e-05,4.316955e-05,4.325781e-05,4.535305e-05,4.612687e-05,4.748555e-05,4.890433e-05,4.956284e-05,5.158160e-05,5.353929e-05,5.415253e-05,5.543406e-05,5.661309e-05,5.726465e-05,5.896098e-05,5.903036e-05,6.073091e-05,6.119540e-05,6.236642e-05,6.331667e-05,6.393732e-05,6.532610e-05,6.544433e-05,6.688836e-05,6.722567e-05,6.827052e-05,6.901797e-05,6.959207e-05,7.070598e-05,7.085437e-05,7.205886e-05,7.229296e-05,7.320707e-05,7.378241e-05,7.430054e-05,7.517793e-05,7.534088e-05,7.632969e-05,7.648323e-05,7.726858e-05,7.770199e-05,7.815916e-05,7.883791e-05,7.900303e-05,7.980176e-05,7.989465e-05,8.055692e-05,8.087578e-05,8.127003e-05,8.178480e-05,8.194260e-05,8.257610e-05,8.262513e-05,8.317196e-05,8.340008e-05,8.373158e-05,8.411284e-05,8.425633e-05,8.474754e-05,8.476651e-05,8.520650e-05,8.536407e-05,8.563446e-05,8.590839e-05,8.603264e-05,8.640221e-05,8.674433e-05,8.684819e-05,8.706009e-05,8.724884e-05,8.735057e-05,8.760661e-05,8.761680e-05,8.785979e-05,8.792379e-05,8.808050e-05,8.820262e-05,8.827986e-05,8.844520e-05,8.845878e-05,8.861814e-05,8.865356e-05,8.875876e-05,8.882963e-05,8.888147e-05,8.897525e-05,8.898704e-05,8.907623e-05,8.909216e-05,8.914976e-05,8.918205e-05,8.920834e-05,8.924649e-05,8.925264e-05,8.928331e-05,8.928700e-05,8.930098e-05,8.930502e-05,8.930624e-05,8.930192e-05,8.929969e-05,8.928187e-05,8.927900e-05,8.925332e-05,8.923750e-05,8.921457e-05,8.917860e-05,8.916611e-05,8.910841e-05,8.910341e-05,8.904194e-05,8.901299e-05,8.896713e-05,8.890835e-05,8.888442e-05,8.879421e-05,8.879046e-05,8.869690e-05,8.866020e-05,8.859286e-05,8.851845e-05,8.848245e-05,8.836602e-05,8.820368e-05,8.803217e-05,8.785218e-05,8.766437e-05,8.746936e-05,8.726775e-05,8.706008e-05,8.684689e-05,8.662868e-05,8.640592e-05,8.617906e-05,8.594852e-05,8.571469e-05,8.547797e-05,8.523869e-05,8.499720e-05,8.475381e-05,8.450882e-05,8.426251e-05,8.401514e-05,8.376697e-05,8.351823e-05,8.326913e-05,8.301989e-05
0.000000e+00,5.513766e-09,1.298004e-08,4.601471e-08,1.066232e-07,1.570905e-07,3.673859e-07,3.789948e-07,7.642759e-07,9.105889e-07,1.383539e-06,1.902458e-06,2.320638e-06,3.520007e-06,3.640038e-06,5.334718e-06,5.789201e-06,7.325132e-06,8.532963e-06,9.516932e-06,1.155485e-05,1.183856e-05,1.424303e-05,1.473092e-05,1.669903e-05,1.798870e-05,1.918361e-05,2.127885e-05,2.167786e-05,2.416481e-05,2.456097e-05,2.662855e-05,2.779846e-05,2.905407e-05,3.095753e-05,3.142738e-05,3.373574e-05,3.400783e-05,3.596787e-05,3.692331e-05,3.811415e-05,3.968302e-05,4.016674e-05,4.211947e-05,4.227123e-05,4.396788e-05,4.467736e-05,4.570915e-05,4.689568e-05,4.734187e-05,4.886594e-05,4.892465e-05,5.028235e-05,5.076625e-05,5.159306e-05,5.242540e-05,5.280092e-05,5.390915e-05,5.492138e-05,5.522569e-05,5.584174e-05,5.638452e-05,5.667451e-05,5.739571e-05,5.742415e-05,5.809513e-05,5.826952e-05,5.869192e-05,5.901623e-05,5.921895e-05,5.964590e-05,5.968051e-05,6.008080e-05,6.016820e-05,6.042382e-05,6.059233e-05,6.071341e-05,6.092700e-05,6.095327e-05,6.114689e-05,6.118036e-05,6.129758e-05,6.136002e-05,6.140847e-05,6.147302e-05,6.148250e-05,6.152245e-05,6.152585e-05,6.153091e-05,6.152452e-05,6.151035e-05,6.147452e-05,6.146302e-05,6.139109e-05,6.138090e-05,6.129654e-05,6.124826e-05,6.118125e-05,6.108083e-05,6.104695e-05,6.089528e-05,6.088244e-05,6.072774e-05,6.065660e-05,6.054574e-05,6.040649e-05,6.035060e-05,6.014354e-05,6.013503e-05,5.992570e-05,5.984485e-05,5.969814e-05,5.953835e-05,5.946184e-05,5.921771e-05,5.896660e-05,5.888490e-05,5.870930e-05,5.854172e-05,5.844654e-05,5.818980e-05,5.817901e-05,5.790733e-05,5.783059e-05,5.763208e-05,5.746545e-05,5.735381e-05,5.709557e-05,5.707302e-05,5.679018e-05,5.672204e-05,5.650571e-05,5.634584e-05,5.622001e-05,5.596787e-05,5.593345e-05,5.564637e-05,5.558892e-05,5.535909e-05,5.520972e-05,5.507189e-05,5.483090e-05,5.478504e-05,5.449879e-05,5.445307e-05,5.421337e-05,5.407673e-05,5.392899e-05,5.370235e-05,5.364582e-05,5.336406e-05,5.333035e-05,5.308386e-05,5.296111e-05,5.280537e-05,5.259494e-05,5.252872e-05,5.225403e-05,5.223214e-05,5.198142e-05,5.187297e-05,5.171098e-05,5.151766e-05,5.144280e-05,5.117698e-05,5.116640e-05,5.091358e-05,5.081936e-05,5.065266e-05,5.047669e-05,5.039429e-05,5.013852e-05,4.980495e-05,4.947608e-05,4.915197e-05,4.883269e-05,4.851828e-05,4.820878e-05,4.790420e-05,4.760455e-05,4.730985e-05,4.702008e-05,4.673524e-05,4.645530e-05,4.618024e-05,4.591003e-05,4.564464e-05,4.538402e-05,4.512813e-05,4.487693e-05,4.463037e-05,4.438840e-05,4.415096e-05,4.391799e-05,4.368944e-05,4.346524e-05
0.000000e+00,1.415201e-10,5.558213e-10,4.253958e-09,1.639062e-08,3.038921e-08,1.150617e-07,1.207111e-07,3.481005e-07,4.501492e-07,8.208695e-07,1.282018e-06,1.686751e-06,2.993631e-06,3.136327e-06,5.403807e-06,6.099267e-06,8.760714e-06,1.122553e-05,1.350062e-05,1.905142e-05,1.991998e-05,2.830180e-05,3.023693e-05,3.890454e-05,4.537246e-05,5.195538e-05,6.495155e-05,6.764636e-05,8.613224e-05,8.935767e-05,1.075293e-04,1.188582e-04,1.319150e-04,1.536025e-04,1.593278e-04,1.897680e-04,1.936229e-04,2.231989e-04,2.388386e-04,2.595484e-04,2.890623e-04,2.987111e-04,3.405513e-04,3.440095e-04,3.849058e-04,4.033105e-04,4.315877e-04,4.665241e-04,4.803897e-04,5.310882e-04,5.331523e-04,5.834475e-04,6.026565e-04,6.372229e-04,6.744720e-04,6.921653e-04,7.480238e-04,8.045496e-04,8.227387e-04,8.614987e-04,8.980584e-04,9.186342e-04,9.734486e-04,9.757288e-04,1.032567e-03,1.048407e-03,1.088944e-03,1.122471e-03,1.144673e-03,1.195219e-03,1.199578e-03,1.253499e-03,1.266278e-03,1.306294e-03,1.335318e-03,1.357833e-03,1.402059e-03,1.408004e-03,1.456709e-03,1.466267e-03,1.503864e-03,1.527749e-03,1.549400e-03,1.586356e-03,1.593259e-03,1.635398e-03,1.641978e-03,1.675784e-03,1.694540e-03,1.714395e-03,1.743996e-03,1.751218e-03,1.786250e-03,1.790334e-03,1.819497e-03,1.833562e-03,1.850970e-03,1.873714e-03,1.880688e-03,1.908676e-03,1.910841e-03,1.934962e-03,1.945008e-03,1.959582e-03,1.976297e-03,1.982573e-03,2.003974e-03,2.004798e-03,2.023831e-03,2.030609e-03,2.042187e-03,2.053837e-03,2.059092e-03,2.074592e-03,2.088737e-03,2.092985e-03,2.101577e-03,2.109134e-03,2.113163e-03,2.123151e-03,2.123544e-03,2.132771e-03,2.135154e-03,2.140892e-03,2.145254e-03,2.147956e-03,2.153564e-03,2.154012e-03,2.159107e-03,2.160192e-03,2.163287e-03,2.165244e-03,2.166596e-03,2.168824e-03,2.169079e-03,2.170779e-03,2.171028e-03,2.171736e-03,2.171953e-03,2.171990e-03,2.171689e-03,2.171580e-03,2.170544e-03,2.170323e-03,2.168917e-03,2.167937e-03,2.166735e-03,2.164611e-03,2.164029e-03,2.160833e-03,2.160418e-03,2.157177e-03,2.155430e-03,2.153090e-03,2.149712e-03,2.148600e-03,2.143734e-03,2.143329e-03,2.138518e-03,2.136339e-03,2.132976e-03,2.128797e-03,2.127131e-03,2.121006e-03,2.120756e-03,2.114623e-03,2.112265e-03,2.108000e-03,2.103370e-03,2.101158e-03,2.094113e-03,2.084536e-03,2.074675e-03,2.064564e-03,2.054237e-03,2.043724e-03,2.033053e-03,2.022249e-03,2.011337e-03,2.000340e-03,1.989277e-03,1.978168e-03,1.967030e-03,1.955880e-03,1.944733e-03,1.933602e-03,1.922500e-03,1.911438e-03,1.900427e-03,1.889476e-03,1.878594e-03,1.867789e-03,1.857068e-03,1.846437e-03,1.835903e-03
0.000000e+00,3.679032e-09,8.549882e-09,2.999773e-08,6.932094e-08,1.020607e-07,2.381639e-07,2.456553e-07,4.926932e-07,5.856875e-07,8.834312e-07,1.205788e-06,1.462941e-06,2.192213e-06,2.264811e-06,3.290193e-06,3.566735e-06,4.511260e-06,5.267675e-06,5.894163e-06,7.223307e-06,7.411834e-06,9.044364e-06,9.383230e-06,1.077609e-05,1.171119e-05,1.259327e-05,1.417620e-05,1.448287e-05,1.643204e-05,1.674858e-05,1.842805e-05,1.939910e-05,2.045843e-05,2.209941e-05,2.251120e-05,2.457503e-05,2.482293e-05,2.663948e-05,2.754557e-05,2.869510e-05,3.024623e-05,3.073344e-05,3.274713e-05,3.290697e-05,3.472987e-05,3.551307e-05,3.667632e-05,3.805280e-05,3.858210e-05,4.044363e-05,4.051713e-05,4.225811e-05,4.289937e-05,4.402338e-05,4.519483e-05,4.573787e-05,4.740048e-05,4.901056e-05,4.951464e-05,5.056781e-05,5.153669e-05,5.207219e-05,5.346686e-05,5.352392e-05,5.492344e-05,5.530602e-05,5.627132e-05,5.705557e-05,5.756830e-05,5.871727e-05,5.881520e-05,6.001292e-05,6.029317e-05,6.116246e-05,6.178553e-05,6.226483e-05,6.319677e-05,6.332112e-05,6.433241e-05,6.452937e-05,6.529983e-05,6.578591e-05,6.622448e-05,6.696898e-05,6.710752e-05,6.795006e-05,6.808119e-05,6.875324e-05,6.912512e-05,6.951819e-05,7.010335e-05,7.024600e-05,7.093777e-05,7.101841e-05,7.159459e-05,7.187280e-05,7.221753e-05,7.266895e-05,7.280763e-05,7.336592e-05,7.340924e-05,7.389341e-05,7.409601e-05,7.439109e-05,7.473151e-05,7.485993e-05,7.530088e-05,7.531795e-05,7.571485e-05,7.585745e-05,7.610276e-05,7.635210e-05,7.646548e-05,7.680388e-05,7.711880e-05,7.721474e-05,7.741104e-05,7.758655e-05,7.768141e-05,7.792110e-05,7.793068e-05,7.815960e-05,7.822015e-05,7.836890e-05,7.848536e-05,7.855930e-05,7.871836e-05,7.873148e-05,7.888612e-05,7.892069e-05,7.902386e-05,7.909386e-05,7.914535e-05,7.923930e-05,7.925120e-05,7.934200e-05,7.935840e-05,7.941832e-05,7.945248e-05,7.948074e-05,7.952282e-05,7.952979e-05,7.956600e-05,7.957063e-05,7.958987e-05,7.959710e-05,7.960191e-05,7.960335e-05,7.960260e-05,7.959238e-05,7.959045e-05,7.957173e-05,7.955944e-05,7.954106e-05,7.951131e-05,7.950079e-05,7.945134e-05,7.944700e-05,7.939310e-05,7.936743e-05,7.932645e-05,7.927346e-05,7.925176e-05,7.916937e-05,7.916592e-05,7.907965e-05,7.904561e-05,7.898291e-05,7.891328e-05,7.887948e-05,7.876967e-05,7.861546e-05,7.845131e-05,7.827787e-05,7.809573e-05,7.790546e-05,7.770763e-05,7.750276e-05,7.729134e-05,7.707386e-05,7.685076e-05,7.662249e-05,7.638945e-05,7.615204e-05,7.591064e-05,7.566559e-05,7.541725e-05,7.516592e-05,7.491192e-05,7.465554e-05,7.439705e-05,7.413672e-05,7.387480e-05,7.361153e-05,7.334712e-05
0.000000e+00,4.217360e-10,1.654339e-09,1.263543e-08,4.863625e-08,9.016935e-08,3.420771e-07,3.589286e-07,1.041243e-06,1.349725e-06,2.480079e-06,3.903582e-06,5.165660e-06,9.299032e-06,9.754378e-06,1.704952e-05,1.929980e-05,2.792057e-05,3.588346e-05,4.319617e-05,6.084927e-05,6.358592e-05,8.964401e-05,9.557298e-05,1.217601e-04,1.409369e-04,1.601638e-04,1.973447e-04,2.049352e-04,2.560176e-04,2.647660e-04,3.132317e-04,3.427921e-04,3.762913e-04,4.306964e-04,4.448185e-04,5.183597e-04,5.274978e-04,5.964021e-04,6.320244e-04,6.783888e-04,7.429768e-04,7.637338e-04,8.518360e-04,8.589852e-04,9.420913e-04,9.786623e-04,1.033904e-03,1.100647e-03,1.126695e-03,1.219912e-03,1.223642e-03,1.313033e-03,1.346438e-03,1.405572e-03,1.467937e-03,1.497083e-03,1.587162e-03,1.675447e-03,1.703266e-03,1.761618e-03,1.815528e-03,1.845397e-03,1.923356e-03,1.926549e-03,2.004875e-03,2.026277e-03,2.080214e-03,2.123930e-03,2.152440e-03,2.216057e-03,2.221459e-03,2.287205e-03,2.302493e-03,2.349641e-03,2.383152e-03,2.408750e-03,2.458020e-03,2.464540e-03,2.517036e-03,2.527144e-03,2.566281e-03,2.590621e-03,2.612329e-03,2.648590e-03,2.655250e-03,2.695121e-03,2.701224e-03,2.732030e-03,2.748721e-03,2.766069e-03,2.791301e-03,2.797338e-03,2.825939e-03,2.829197e-03,2.851978e-03,2.862651e-03,2.875562e-03,2.891911e-03,2.896800e-03,2.915799e-03,2.917225e-03,2.932667e-03,2.938842e-03,2.947511e-03,2.957004e-03,2.960435e-03,2.971543e-03,2.971951e-03,2.980933e-03,2.983912e-03,2.988704e-03,2.993111e-03,2.994949e-03,2.999760e-03,3.003224e-03,3.004062e-03,3.005425e-03,3.006209e-03,3.006446e-03,3.006386e-03,3.006362e-03,3.005249e-03,3.004762e-03,3.003177e-03,3.001502e-03,3.000214e-03,2.996755e-03,2.996423e-03,2.991865e-03,2.990663e-03,2.986598e-03,2.983359e-03,2.980677e-03,2.974966e-03,2.974153e-03,2.967075e-03,2.965597e-03,2.959489e-03,2.955358e-03,2.951438e-03,2.944347e-03,2.942964e-03,2.934106e-03,2.932655e-03,2.924898e-03,2.920364e-03,2.915376e-03,2.907553e-03,2.905571e-03,2.895513e-03,2.894290e-03,2.885230e-03,2.880642e-03,2.874749e-03,2.866666e-03,2.864095e-03,2.853289e-03,2.852419e-03,2.842355e-03,2.837949e-03,2.831311e-03,2.823303e-03,2.820177e-03,2.808970e-03,2.808521e-03,2.797707e-03,2.793641e-03,2.786402e-03,2.778698e-03,2.775069e-03,2.763722e-03,2.748743e-03,2.733785e-03,2.718872e-03,2.704025e-03,2.689262e-03,2.674600e-03,2.660054e-03,2.645637e-03,2.631363e-03,2.617240e-03,2.603278e-03,2.589486e-03,2.575870e-03,2.562437e-03,2.549192e-03,2.536140e-03,2.523283e-03,2.510625e-03,2.498169e-03,2.485916e-03,2.473868e-03,2.462026e-03,2.450389e-03,2.438959e-03
0.000000e+00,3.934019e-11,1.472208e-10,1.020392e-09,3.597008e-09,6.355485e-09,2.130382e-08,2.224135e-08,5.710612e-08,7.161999e-08,1.211601e-07,1.784285e-07,2.261065e-07,3.692880e-07,3.841514e-07,6.056665e-07,6.690914e-07,8.972205e-07,1.092244e-06,1.261597e-06,1.642658e-06,1.698961e-06,2.207970e-06,2.318186e-06,2.786416e-06,3.113735e-06,3.431476e-06,4.022334e-06,4.139746e-06,4.907192e-06,5.035170e-06,5.729113e-06,6.141432e-06,6.600141e-06,7.328319e-06,7.514295e-06,8.465076e-06,8.581307e-06,9.445591e-06,9.884604e-06,1.044870e-05,1.122174e-05,1.146720e-05,1.249394e-05,1.257623e-05,1.352201e-05,1.393213e-05,1.454487e-05,1.527465e-05,1.555642e-05,1.655112e-05,1.659048e-05,1.752403e-05,1.786809e-05,1.847085e-05,1.909790e-05,1.938794e-05,2.027227e-05,2.112146e-05,2.138547e-05,2.193370e-05,2.243353e-05,2.270772e-05,2.341408e-05,2.344273e-05,2.413838e-05,2.432611e-05,2.479471e-05,2.516977e-05,2.541208e-05,2.594618e-05,2.599111e-05,2.653267e-05,2.665718e-05,2.703780e-05,2.730521e-05,2.750770e-05,2.789308e-05,2.794365e-05,2.834703e-05,2.842392e-05,2.871925e-05,2.890097e-05,2.906176e-05,2.932757e-05,2.937601e-05,2.966345e-05,2.970705e-05,2.992550e-05,3.004268e-05,3.016355e-05,3.033761e-05,3.037894e-05,3.057298e-05,3.059489e-05,3.074692e-05,3.081740e-05,3.090197e-05,3.100787e-05,3.103926e-05,3.115988e-05,3.116884e-05,3.126487e-05,3.130271e-05,3.135521e-05,3.141170e-05,3.143182e-05,3.149557e-05,3.149787e-05,3.154730e-05,3.156313e-05,3.158777e-05,3.160924e-05,3.161772e-05,3.163782e-05,3.164872e-05,3.165037e-05,3.165103e-05,3.164827e-05,3.164532e-05,3.163278e-05,3.163211e-05,3.161190e-05,3.160506e-05,3.158517e-05,3.156618e-05,3.155235e-05,3.151713e-05,3.151385e-05,3.147006e-05,3.145880e-05,3.142134e-05,3.139203e-05,3.136803e-05,3.131757e-05,3.131045e-05,3.124889e-05,3.123613e-05,3.118365e-05,3.114835e-05,3.111498e-05,3.105482e-05,3.104312e-05,3.096832e-05,3.095609e-05,3.089078e-05,3.085266e-05,3.081072e-05,3.074499e-05,3.072833e-05,3.064379e-05,3.063351e-05,3.055726e-05,3.051861e-05,3.046892e-05,3.040065e-05,3.037891e-05,3.028737e-05,3.027998e-05,3.019443e-05,3.015690e-05,3.010023e-05,3.003169e-05,3.000489e-05,2.990850e-05,2.990462e-05,2.981118e-05,2.977594e-05,2.971303e-05,2.964586e-05,2.961415e-05,2.951461e-05,2.938236e-05,2.924931e-05,2.911561e-05,2.898143e-05,2.884689e-05,2.871214e-05,2.857729e-05,2.844246e-05,2.830776e-05,2.817327e-05,2.803908e-05,2.790529e-05,2.777197e-05,2.763918e-05,2.750700e-05,2.737548e-05,2.724468e-05,2.711464e-05,2.698542e-05,2.685706e-05,2.672959e-05,2.660305e-05,2.647748e-05,2.635291e-05
0.000000e+00,1.461436e-10,5.448962e-10,3.750744e-09,1.315131e-08,2.317801e-08,7.729514e-08,8.068339e-08,2.065493e-07,2.589274e-07,4.377865e-07,6.447491e-07,8.172011e-07,1.335645e-06,1.389497e-06,2.192436e-06,2.422391e-06,3.249396e-06,3.956019e-06,4.569203e-06,5.947038e-06,6.150363e-06,7.985197e-06,8.381651e-06,1.006231e-05,1.123357e-05,1.236762e-05,1.446852e-05,1.488476e-05,1.759511e-05,1.804535e-05,2.047807e-05,2.191671e-05,2.351135e-05,2.603045e-05,2.667147e-05,2.993433e-05,3.033163e-05,3.327582e-05,3.476487e-05,3.667235e-05,3.927662e-05,4.010140e-05,4.354190e-05,4.381704e-05,4.697447e-05,4.834132e-05,5.038172e-05,5.281052e-05,5.374823e-05,5.706064e-05,5.719184e-05,6.030755e-05,6.145852e-05,6.347947e-05,6.558949e-05,6.656860e-05,6.956876e-05,7.247520e-05,7.338485e-05,7.528437e-05,7.703005e-05,7.799388e-05,8.049985e-05,8.060223e-05,8.310875e-05,8.379231e-05,8.551343e-05,8.690757e-05,8.781683e-05,8.984738e-05,9.001998e-05,9.212428e-05,9.261479e-05,9.413145e-05,9.521376e-05,9.604345e-05,9.764897e-05,9.786241e-05,9.959065e-05,9.992562e-05,1.012306e-04,1.020492e-04,1.027846e-04,1.040255e-04,1.042553e-04,1.056453e-04,1.058604e-04,1.069570e-04,1.075597e-04,1.081932e-04,1.091293e-04,1.093562e-04,1.104486e-04,1.105751e-04,1.114730e-04,1.119027e-04,1.124317e-04,1.131179e-04,1.133271e-04,1.141617e-04,1.142259e-04,1.149376e-04,1.152321e-04,1.156572e-04,1.161417e-04,1.163227e-04,1.169361e-04,1.169595e-04,1.174995e-04,1.176904e-04,1.180149e-04,1.183390e-04,1.184844e-04,1.189097e-04,1.192927e-04,1.194067e-04,1.196353e-04,1.198341e-04,1.199391e-04,1.201958e-04,1.202057e-04,1.204369e-04,1.204955e-04,1.206341e-04,1.207368e-04,1.207989e-04,1.209231e-04,1.209327e-04,1.210369e-04,1.210577e-04,1.211129e-04,1.211436e-04,1.211620e-04,1.211839e-04,1.211854e-04,1.211843e-04,1.211812e-04,1.211599e-04,1.211384e-04,1.211134e-04,1.210580e-04,1.210458e-04,1.209581e-04,1.209423e-04,1.208514e-04,1.207937e-04,1.207267e-04,1.206145e-04,1.205847e-04,1.204266e-04,1.204066e-04,1.202530e-04,1.201720e-04,1.200649e-04,1.199127e-04,1.198630e-04,1.196481e-04,1.196304e-04,1.194209e-04,1.193267e-04,1.191821e-04,1.190034e-04,1.189324e-04,1.186724e-04,1.186618e-04,1.184028e-04,1.183035e-04,1.181241e-04,1.179298e-04,1.178370e-04,1.175419e-04,1.171411e-04,1.167286e-04,1.163054e-04,1.158725e-04,1.154309e-04,1.149815e-04,1.145252e-04,1.140628e-04,1.135950e-04,1.131226e-04,1.126462e-04,1.121665e-04,1.116840e-04,1.111994e-04,1.107132e-04,1.102258e-04,1.097377e-04,1.092494e-04,1.087612e-04,1.082735e-04,1.077868e-04,1.073013e-04,1.068173e-04,1.063351e-04
0.000000e+00,1.289735e-10,5.029663e-10,3.792555e-09,1.441198e-08,2.651485e-08,9.835293e-08,1.030939e-07,2.910093e-07,3.740668e-07,6.716188e-07,1.035335e-06,1.350343e-06,2.348854e-06,2.456534e-06,4.143102e-06,4.653256e-06,6.585016e-06,8.353688e-06,9.974751e-06,1.390102e-05,1.451279e-05,2.039387e-05,2.174712e-05,2.779280e-05,3.228942e-05,3.685391e-05,4.583009e-05,4.768548e-05,6.035856e-05,6.255998e-05,7.490844e-05,8.256094e-05,9.133770e-05,1.058172e-04,1.096197e-04,1.297022e-04,1.322298e-04,1.515111e-04,1.616306e-04,1.749534e-04,1.937955e-04,1.999204e-04,2.262907e-04,2.284570e-04,2.539329e-04,2.653150e-04,2.827081e-04,3.040471e-04,3.124723e-04,3.430790e-04,3.443187e-04,3.743806e-04,3.857912e-04,4.062313e-04,4.281302e-04,4.384879e-04,4.710116e-04,5.036695e-04,5.141276e-04,5.363356e-04,5.571909e-04,5.688910e-04,5.999378e-04,6.012256e-04,6.332377e-04,6.421304e-04,6.648343e-04,6.835578e-04,6.959319e-04,7.240362e-04,7.264553e-04,7.563385e-04,7.634086e-04,7.855237e-04,8.015437e-04,8.139613e-04,8.383344e-04,8.416093e-04,8.684330e-04,8.736962e-04,8.944043e-04,9.075651e-04,9.195015e-04,9.398957e-04,9.437085e-04,9.670143e-04,9.706592e-04,9.894129e-04,9.998412e-04,1.010902e-03,1.027440e-03,1.031484e-03,1.051164e-03,1.053465e-03,1.069949e-03,1.077934e-03,1.087851e-03,1.100873e-03,1.104882e-03,1.121058e-03,1.122315e-03,1.136394e-03,1.142297e-03,1.150908e-03,1.160860e-03,1.164619e-03,1.177547e-03,1.178048e-03,1.189713e-03,1.193910e-03,1.201136e-03,1.208492e-03,1.211840e-03,1.221844e-03,1.231172e-03,1.234017e-03,1.239844e-03,1.245061e-03,1.247883e-03,1.255024e-03,1.255310e-03,1.262146e-03,1.263958e-03,1.268414e-03,1.271909e-03,1.274132e-03,1.278927e-03,1.279323e-03,1.284006e-03,1.285056e-03,1.288200e-03,1.290343e-03,1.291926e-03,1.294832e-03,1.295202e-03,1.298046e-03,1.298565e-03,1.300477e-03,1.301583e-03,1.302512e-03,1.303927e-03,1.304167e-03,1.305460e-03,1.305634e-03,1.306406e-03,1.306742e-03,1.307021e-03,1.307285e-03,1.307321e-03,1.307318e-03,1.307299e-03,1.307029e-03,1.306814e-03,1.306466e-03,1.305864e-03,1.305643e-03,1.304573e-03,1.304477e-03,1.303268e-03,1.302682e-03,1.301739e-03,1.300507e-03,1.299999e-03,1.298059e-03,1.297977e-03,1.295928e-03,1.295117e-03,1.293619e-03,1.291951e-03,1.291140e-03,1.288501e-03,1.284788e-03,1.280834e-03,1.276656e-03,1.272275e-03,1.267706e-03,1.262966e-03,1.258071e-03,1.253037e-03,1.247875e-03,1.242601e-03,1.237226e-03,1.231763e-03,1.226221e-03,1.220613e-03,1.214947e-03,1.209232e-03,1.203479e-03,1.197694e-03,1.191886e-03,1.186062e-03,1.180228e-03,1.174391e-03,1.168557e-03,1.162731e-03
0.000000e+00,5.953168e-11,2.222819e-10,1.533427e-09,5.380894e-09,9.481282e-09,3.151294e-08,3.288655e-08,8.345699e-08,1.042583e-07,1.743515e-07,2.539239e-07,3.192222e-07,5.117673e-07,5.315411e-07,8.239708e-07,9.073421e-07,1.207440e-06,1.465062e-06,1.689877e-06,2.199504e-06,2.275204e-06,2.963206e-06,3.112850e-06,3.750147e-06,4.196421e-06,4.629645e-06,5.433942e-06,5.593430e-06,6.631929e-06,6.804334e-06,7.734701e-06,8.283657e-06,8.890795e-06,9.846567e-06,1.008906e-05,1.131843e-05,1.146753e-05,1.256819e-05,1.312190e-05,1.382818e-05,1.478679e-05,1.508899e-05,1.634208e-05,1.644176e-05,1.757985e-05,1.806916e-05,1.879571e-05,1.965436e-05,1.998403e-05,2.114016e-05,2.118568e-05,2.226033e-05,2.265419e-05,2.334159e-05,2.405348e-05,2.438175e-05,2.537928e-05,2.633322e-05,2.662918e-05,2.724309e-05,2.780225e-05,2.810886e-05,2.889878e-05,2.893082e-05,2.970955e-05,2.991996e-05,3.044588e-05,3.086772e-05,3.114079e-05,3.174451e-05,3.179543e-05,3.241104e-05,3.255312e-05,3.298894e-05,3.329660e-05,3.353050e-05,3.397813e-05,3.403713e-05,3.451024e-05,3.460097e-05,3.495126e-05,3.516837e-05,3.536159e-05,3.568356e-05,3.574261e-05,3.609570e-05,3.614969e-05,3.642217e-05,3.656981e-05,3.672334e-05,3.694689e-05,3.700045e-05,3.725472e-05,3.728375e-05,3.748733e-05,3.758310e-05,3.769940e-05,3.784751e-05,3.789203e-05,3.806625e-05,3.807943e-05,3.822309e-05,3.828117e-05,3.836349e-05,3.845492e-05,3.848838e-05,3.859863e-05,3.860275e-05,3.869510e-05,3.872661e-05,3.877858e-05,3.882832e-05,3.884984e-05,3.890960e-05,3.895858e-05,3.897208e-05,3.899742e-05,3.901726e-05,3.902677e-05,3.904657e-05,3.904722e-05,3.905935e-05,3.906132e-05,3.906369e-05,3.906277e-05,3.906076e-05,3.905207e-05,3.905106e-05,3.903504e-05,3.903030e-05,3.901315e-05,3.899848e-05,3.898580e-05,3.895754e-05,3.895340e-05,3.891632e-05,3.890837e-05,3.887490e-05,3.885177e-05,3.882950e-05,3.878851e-05,3.878043e-05,3.872798e-05,3.871929e-05,3.867244e-05,3.864477e-05,3.861409e-05,3.856555e-05,3.855317e-05,3.848993e-05,3.848219e-05,3.842458e-05,3.839522e-05,3.835735e-05,3.830512e-05,3.828843e-05,3.821802e-05,3.821233e-05,3.814629e-05,3.811726e-05,3.807340e-05,3.802030e-05,3.799952e-05,3.792479e-05,3.792179e-05,3.784936e-05,3.782205e-05,3.777334e-05,3.772138e-05,3.769687e-05,3.762006e-05,3.751832e-05,3.741640e-05,3.731450e-05,3.721282e-05,3.711151e-05,3.701075e-05,3.691067e-05,3.681140e-05,3.671305e-05,3.661572e-05,3.651952e-05,3.642451e-05,3.633077e-05,3.623837e-05,3.614735e-05,3.605777e-05,3.596967e-05,3.588309e-05,3.579804e-05,3.571456e-05,3.563266e-05,3.555235e-05,3.547365e-05,3.539656e-05
0.000000e+00,1.017005e-10,3.976859e-10,3.015998e-09,1.152396e-08,2.126834e-08,7.958500e-08,8.345292e-08,2.379177e-07,3.067269e-07,5.551230e-07,8.618161e-07,1.129554e-06,1.987915e-06,2.081195e-06,3.554910e-06,4.004219e-06,5.714151e-06,7.285761e-06,8.727071e-06,1.220883e-05,1.274939e-05,1.791095e-05,1.908912e-05,2.430869e-05,2.814603e-05,3.200467e-05,3.949417e-05,4.102713e-05,5.137306e-05,5.314952e-05,6.301140e-05,6.904138e-05,7.588653e-05,8.702629e-05,8.992190e-05,1.050236e-04,1.069025e-04,1.210840e-04,1.284241e-04,1.379850e-04,1.513153e-04,1.556017e-04,1.738051e-04,1.752829e-04,1.924652e-04,2.000281e-04,2.114531e-04,2.252569e-04,2.306437e-04,2.499171e-04,2.506881e-04,2.691601e-04,2.760597e-04,2.882676e-04,3.011336e-04,3.071430e-04,3.256990e-04,3.438576e-04,3.495731e-04,3.615506e-04,3.726021e-04,3.787189e-04,3.946605e-04,3.953127e-04,4.112905e-04,4.156492e-04,4.266193e-04,4.354942e-04,4.412737e-04,4.541439e-04,4.552350e-04,4.684911e-04,4.715668e-04,4.810357e-04,4.877492e-04,4.928675e-04,5.026925e-04,5.039899e-04,5.144101e-04,5.164107e-04,5.241387e-04,5.289287e-04,5.331895e-04,5.402800e-04,5.415784e-04,5.493238e-04,5.505046e-04,5.564452e-04,5.596480e-04,5.629638e-04,5.677595e-04,5.689016e-04,5.742815e-04,5.748907e-04,5.791266e-04,5.810951e-04,5.834604e-04,5.864266e-04,5.873064e-04,5.906881e-04,5.909393e-04,5.936287e-04,5.946865e-04,5.961509e-04,5.977206e-04,5.982773e-04,6.000297e-04,6.000924e-04,6.014295e-04,6.018510e-04,6.024971e-04,6.030437e-04,6.032527e-04,6.037155e-04,6.039041e-04,6.039094e-04,6.038362e-04,6.036661e-04,6.035289e-04,6.030239e-04,6.029986e-04,6.022609e-04,6.020192e-04,6.013306e-04,6.006859e-04,6.002218e-04,5.990558e-04,5.989481e-04,5.975221e-04,5.971586e-04,5.959561e-04,5.950222e-04,5.942614e-04,5.926723e-04,5.924489e-04,5.905290e-04,5.901330e-04,5.885113e-04,5.874265e-04,5.864049e-04,5.845734e-04,5.842185e-04,5.819602e-04,5.815927e-04,5.796375e-04,5.785020e-04,5.772578e-04,5.753174e-04,5.748277e-04,5.723534e-04,5.720538e-04,5.698410e-04,5.687249e-04,5.672960e-04,5.653431e-04,5.647235e-04,5.621284e-04,5.619200e-04,5.595152e-04,5.584659e-04,5.568882e-04,5.549904e-04,5.542512e-04,5.516080e-04,5.515022e-04,5.489618e-04,5.480091e-04,5.463159e-04,5.445184e-04,5.436732e-04,5.410364e-04,5.375691e-04,5.341216e-04,5.306987e-04,5.273046e-04,5.239430e-04,5.206173e-04,5.173303e-04,5.140847e-04,5.108828e-04,5.077263e-04,5.046171e-04,5.015566e-04,4.985459e-04,4.955860e-04,4.926777e-04,4.898216e-04,4.870181e-04,4.842676e-04,4.815701e-04,4.789257e-04,4.763344e-04,4.737959e-04,4.713100e-04,4.688765e-04
0.000000e+00,9.331951e-10,3.039779e-09,1.633213e-08,4.724931e-08,7.582575e-08,2.052414e-07,2.126217e-07,4.612025e-07,5.559099e-07,8.598174e-07,1.189059e-06,1.452331e-06,2.208099e-06,2.284408e-06,3.388149e-06,3.694151e-06,4.762172e-06,5.637306e-06,6.371041e-06,7.942097e-06,8.165686e-06,1.010087e-05,1.050142e-05,1.214014e-05,1.323174e-05,1.425413e-05,1.606928e-05,1.641788e-05,1.860907e-05,1.896081e-05,2.080714e-05,2.185901e-05,2.299308e-05,2.472136e-05,2.514952e-05,2.726088e-05,2.751054e-05,2.931356e-05,3.019511e-05,3.129606e-05,3.274995e-05,3.319897e-05,3.501494e-05,3.515629e-05,3.673857e-05,3.740130e-05,3.836621e-05,3.947744e-05,3.989576e-05,4.132655e-05,4.138173e-05,4.265902e-05,4.311487e-05,4.389451e-05,4.468034e-05,4.503521e-05,4.608388e-05,4.704374e-05,4.733271e-05,4.791835e-05,4.843510e-05,4.871150e-05,4.939993e-05,4.942712e-05,5.006921e-05,5.023637e-05,5.064180e-05,5.095364e-05,5.114884e-05,5.156077e-05,5.159422e-05,5.198173e-05,5.206653e-05,5.231503e-05,5.247931e-05,5.259764e-05,5.280708e-05,5.283293e-05,5.302413e-05,5.305735e-05,5.317430e-05,5.323715e-05,5.328636e-05,5.335304e-05,5.336305e-05,5.340699e-05,5.341114e-05,5.342062e-05,5.341709e-05,5.340628e-05,5.337613e-05,5.336614e-05,5.330224e-05,5.329307e-05,5.321651e-05,5.317235e-05,5.311077e-05,5.301805e-05,5.298669e-05,5.284586e-05,5.283391e-05,5.268977e-05,5.262337e-05,5.251980e-05,5.238956e-05,5.233725e-05,5.214333e-05,5.213535e-05,5.193916e-05,5.186336e-05,5.172581e-05,5.157598e-05,5.150425e-05,5.127539e-05,5.104010e-05,5.096357e-05,5.079915e-05,5.064232e-05,5.055329e-05,5.031328e-05,5.030320e-05,5.004952e-05,4.997792e-05,4.979283e-05,4.963760e-05,4.953368e-05,4.929352e-05,4.927257e-05,4.900998e-05,4.894678e-05,4.874633e-05,4.859837e-05,4.848202e-05,4.824918e-05,4.821742e-05,4.795288e-05,4.790000e-05,4.768869e-05,4.755156e-05,4.742516e-05,4.720449e-05,4.716254e-05,4.690107e-05,4.685936e-05,4.664098e-05,4.651668e-05,4.638246e-05,4.617690e-05,4.612570e-05,4.587086e-05,4.584042e-05,4.561810e-05,4.550758e-05,4.536755e-05,4.517869e-05,4.511933e-05,4.487356e-05,4.485401e-05,4.463033e-05,4.453377e-05,4.438972e-05,4.421816e-05,4.415183e-05,4.391671e-05,4.390736e-05,4.368442e-05,4.360150e-05,4.345501e-05,4.330069e-05,4.322854e-05,4.300502e-05,4.271457e-05,4.242939e-05,4.214951e-05,4.187496e-05,4.160574e-05,4.134185e-05,4.108327e-05,4.082998e-05,4.058196e-05,4.033915e-05,4.010151e-05,3.986898e-05,3.964152e-05,3.941905e-05,3.920152e-05,3.898884e-05,3.878096e-05,3.857778e-05,3.837924e-05,3.818526e-05,3.799575e-05,3.781064e-05,3.762984e-05,3.745327e-05
0.000000e+00,3.385800e-09,8.795248e-09,3.466376e-08,8.407924e-08,1.256102e-07,2.969532e-07,3.062725e-07,6.063203e-07,7.158741e-07,1.056507e-06,1.411990e-06,1.688688e-06,2.455077e-06,2.530569e-06,3.594441e-06,3.882344e-06,4.873724e-06,5.678634e-06,6.353347e-06,7.809142e-06,8.018251e-06,9.854648e-06,1.024131e-05,1.184883e-05,1.294334e-05,1.398613e-05,1.588038e-05,1.625053e-05,1.862470e-05,1.901353e-05,2.109026e-05,2.230064e-05,2.362827e-05,2.569800e-05,2.621964e-05,2.884567e-05,2.916226e-05,3.148839e-05,3.265208e-05,3.413092e-05,3.612948e-05,3.675770e-05,3.935471e-05,3.956080e-05,4.190951e-05,4.291715e-05,4.441133e-05,4.617462e-05,4.685099e-05,4.922085e-05,4.931410e-05,5.151473e-05,5.232096e-05,5.372780e-05,5.518463e-05,5.585642e-05,5.789802e-05,5.985100e-05,6.045708e-05,6.171455e-05,6.286023e-05,6.348859e-05,6.510793e-05,6.517363e-05,6.677067e-05,6.720226e-05,6.828114e-05,6.914657e-05,6.970677e-05,7.094516e-05,7.104959e-05,7.231181e-05,7.260301e-05,7.349581e-05,7.412561e-05,7.460408e-05,7.551875e-05,7.563919e-05,7.660375e-05,7.678842e-05,7.750040e-05,7.794070e-05,7.833178e-05,7.898162e-05,7.910051e-05,7.980920e-05,7.991718e-05,8.046038e-05,8.075326e-05,8.105657e-05,8.149557e-05,8.160021e-05,8.209368e-05,8.214964e-05,8.253932e-05,8.272082e-05,8.293936e-05,8.321424e-05,8.329599e-05,8.361132e-05,8.363483e-05,8.388740e-05,8.398728e-05,8.412618e-05,8.427607e-05,8.432955e-05,8.449935e-05,8.450547e-05,8.463733e-05,8.467954e-05,8.474517e-05,8.480211e-05,8.482449e-05,8.487684e-05,8.490372e-05,8.490717e-05,8.490654e-05,8.489637e-05,8.488669e-05,8.484750e-05,8.484546e-05,8.478410e-05,8.476348e-05,8.470383e-05,8.464705e-05,8.460577e-05,8.450079e-05,8.449102e-05,8.436063e-05,8.432712e-05,8.421560e-05,8.412834e-05,8.405687e-05,8.390658e-05,8.388535e-05,8.370191e-05,8.366386e-05,8.350737e-05,8.340208e-05,8.330251e-05,8.312302e-05,8.308809e-05,8.286482e-05,8.282832e-05,8.263337e-05,8.251956e-05,8.239438e-05,8.219819e-05,8.214848e-05,8.189623e-05,8.186556e-05,8.163820e-05,8.152297e-05,8.137491e-05,8.117159e-05,8.110685e-05,8.083450e-05,8.081254e-05,8.055831e-05,8.044685e-05,8.027870e-05,8.007549e-05,7.999607e-05,7.971080e-05,7.969934e-05,7.942326e-05,7.931926e-05,7.913379e-05,7.893600e-05,7.884270e-05,7.855030e-05,7.816282e-05,7.777417e-05,7.738493e-05,7.699562e-05,7.660674e-05,7.621873e-05,7.583200e-05,7.544694e-05,7.506388e-05,7.468316e-05,7.430505e-05,7.392983e-05,7.355773e-05,7.318897e-05,7.282375e-05,7.246224e-05,7.210460e-05,7.175097e-05,7.140147e-05,7.105622e-05,7.071530e-05,7.037881e-05,7.004680e-05,6.971934e-05
0.000000e+00,3.777282e-09,8.653970e-09,2.970580e-08,6.735540e-08,9.804041e-08,2.208514e-07,2.274239e-07,4.357444e-07,5.106571e-07,7.410112e-07,9.784650e-07,1.161950e-06,1.667764e-06,1.717598e-06,2.424526e-06,2.617880e-06,3.290926e-06,3.844290e-06,4.311306e-06,5.322878e-06,5.468180e-06,6.739280e-06,7.005278e-06,8.103181e-06,8.842719e-06,9.541006e-06,1.079371e-05,1.103615e-05,1.257358e-05,1.282255e-05,1.413935e-05,1.489710e-05,1.572035e-05,1.698781e-05,1.730426e-05,1.887962e-05,1.906758e-05,2.043589e-05,2.111212e-05,2.196359e-05,2.310033e-05,2.345434e-05,2.490092e-05,2.501455e-05,2.629729e-05,2.684064e-05,2.763852e-05,2.856788e-05,2.892078e-05,3.014124e-05,3.018874e-05,3.129799e-05,3.169859e-05,3.238994e-05,3.309523e-05,3.341670e-05,3.437847e-05,3.527601e-05,3.554984e-05,3.611050e-05,3.661217e-05,3.688345e-05,3.756927e-05,3.759668e-05,3.825221e-05,3.842571e-05,3.885221e-05,3.918651e-05,3.939898e-05,3.985701e-05,3.989487e-05,4.034227e-05,4.044270e-05,4.074359e-05,4.094910e-05,4.110123e-05,4.138169e-05,4.141754e-05,4.169481e-05,4.174578e-05,4.193527e-05,4.204648e-05,4.214109e-05,4.228873e-05,4.231435e-05,4.245708e-05,4.247721e-05,4.257119e-05,4.261634e-05,4.265852e-05,4.271029e-05,4.272083e-05,4.275979e-05,4.276297e-05,4.277699e-05,4.277806e-05,4.277394e-05,4.275897e-05,4.275208e-05,4.271276e-05,4.270890e-05,4.265727e-05,4.263082e-05,4.258681e-05,4.252746e-05,4.250254e-05,4.240552e-05,4.240139e-05,4.229679e-05,4.225496e-05,4.217729e-05,4.209034e-05,4.204792e-05,4.190955e-05,4.176295e-05,4.171443e-05,4.160890e-05,4.150670e-05,4.144807e-05,4.128793e-05,4.128114e-05,4.110873e-05,4.105955e-05,4.093141e-05,4.082288e-05,4.074972e-05,4.057915e-05,4.056417e-05,4.037525e-05,4.032945e-05,4.018338e-05,4.007481e-05,3.998899e-05,3.981615e-05,3.979247e-05,3.959417e-05,3.955432e-05,3.939442e-05,3.929009e-05,3.919355e-05,3.902417e-05,3.899185e-05,3.878958e-05,3.875718e-05,3.858699e-05,3.848970e-05,3.838432e-05,3.822227e-05,3.818178e-05,3.797958e-05,3.795535e-05,3.777790e-05,3.768937e-05,3.757691e-05,3.742471e-05,3.737676e-05,3.717760e-05,3.716172e-05,3.697957e-05,3.690070e-05,3.678278e-05,3.664193e-05,3.658735e-05,3.639338e-05,3.638565e-05,3.620095e-05,3.613208e-05,3.601017e-05,3.588140e-05,3.582109e-05,3.563379e-05,3.538939e-05,3.514831e-05,3.491068e-05,3.467657e-05,3.444607e-05,3.421922e-05,3.399608e-05,3.377669e-05,3.356107e-05,3.334924e-05,3.314120e-05,3.293696e-05,3.273651e-05,3.253983e-05,3.234690e-05,3.215771e-05,3.197222e-05,3.179040e-05,3.161222e-05,3.143762e-05,3.126658e-05,3.109905e-05,3.093498e-05,3.077432e-05
0.000000e+00,1.801528e-10,6.340526e-10,3.902511e-09,1.246088e-08,2.092482e-08,6.211498e-08,6.454624e-08,1.486741e-07,1.813189e-07,2.865737e-07,4.002681e-07,4.905035e-07,7.460591e-07,7.716340e-07,1.139955e-06,1.242314e-06,1.604033e-06,1.908324e-06,2.170532e-06,2.757062e-06,2.843492e-06,3.623385e-06,3.791929e-06,4.506184e-06,5.003102e-06,5.482843e-06,6.365865e-06,6.539674e-06,7.659757e-06,7.843626e-06,8.824929e-06,9.395010e-06,1.001763e-05,1.098094e-05,1.122210e-05,1.242491e-05,1.256859e-05,1.361497e-05,1.413218e-05,1.478333e-05,1.565231e-05,1.592284e-05,1.702795e-05,1.711473e-05,1.809439e-05,1.850940e-05,1.911903e-05,1.982962e-05,2.009967e-05,2.103491e-05,2.107137e-05,2.192403e-05,2.223277e-05,2.276685e-05,2.331365e-05,2.356366e-05,2.431511e-05,2.502215e-05,2.523921e-05,2.568595e-05,2.608871e-05,2.630786e-05,2.686685e-05,2.688935e-05,2.743197e-05,2.757715e-05,2.793733e-05,2.822333e-05,2.840705e-05,2.880914e-05,2.884278e-05,2.924614e-05,2.933831e-05,2.961871e-05,2.981449e-05,2.996207e-05,3.024125e-05,3.027772e-05,3.056714e-05,3.062201e-05,3.083177e-05,3.096003e-05,3.107296e-05,3.125841e-05,3.129202e-05,3.149022e-05,3.152007e-05,3.166874e-05,3.174779e-05,3.182875e-05,3.194415e-05,3.197132e-05,3.209750e-05,3.211158e-05,3.220826e-05,3.225236e-05,3.230455e-05,3.236860e-05,3.238726e-05,3.245722e-05,3.246229e-05,3.251524e-05,3.253528e-05,3.256207e-05,3.258927e-05,3.259843e-05,3.262499e-05,3.262586e-05,3.264240e-05,3.264654e-05,3.265125e-05,3.265267e-05,3.265212e-05,3.264555e-05,3.263204e-05,3.262634e-05,3.261209e-05,3.259614e-05,3.258614e-05,3.255599e-05,3.255462e-05,3.251795e-05,3.250681e-05,3.247649e-05,3.244948e-05,3.243062e-05,3.238480e-05,3.238066e-05,3.232695e-05,3.231353e-05,3.226977e-05,3.223635e-05,3.220943e-05,3.215391e-05,3.214617e-05,3.208026e-05,3.206678e-05,3.201194e-05,3.197553e-05,3.194142e-05,3.188064e-05,3.186892e-05,3.179463e-05,3.178259e-05,3.171874e-05,3.168179e-05,3.164142e-05,3.157865e-05,3.156284e-05,3.148315e-05,3.147352e-05,3.140249e-05,3.136673e-05,3.132101e-05,3.125861e-05,3.123882e-05,3.115606e-05,3.114941e-05,3.107282e-05,3.103941e-05,3.098921e-05,3.092884e-05,3.090533e-05,3.082128e-05,3.081791e-05,3.073713e-05,3.070683e-05,3.065298e-05,3.059578e-05,3.056888e-05,3.048492e-05,3.037440e-05,3.026435e-05,3.015491e-05,3.004619e-05,2.993829e-05,2.983129e-05,2.972529e-05,2.962035e-05,2.951655e-05,2.941394e-05,2.931257e-05,2.921250e-05,2.911375e-05,2.901637e-05,2.892039e-05,2.882582e-05,2.873270e-05,2.864103e-05,2.855083e-05,2.846212e-05,2.837489e-05,2.828916e-05,2.820492e-05,2.812218e-05
0.000000e+00,1.591114e-11,6.188684e-11,4.640967e-10,1.754801e-09,3.219649e-09,1.186052e-08,1.242883e-08,3.485593e-08,4.472877e-08,7.998457e-08,1.229267e-07,1.600307e-07,2.773086e-07,2.899335e-07,4.872579e-07,5.468084e-07,7.717547e-07,9.769125e-07,1.164230e-06,1.614882e-06,1.684704e-06,2.350454e-06,2.502276e-06,3.174624e-06,3.668789e-06,4.165648e-06,5.129945e-06,5.327304e-06,6.659126e-06,6.887777e-06,8.156961e-06,8.932863e-06,9.813554e-06,1.124662e-05,1.161910e-05,1.356176e-05,1.380347e-05,1.562808e-05,1.657270e-05,1.780343e-05,1.952014e-05,2.007238e-05,2.241903e-05,2.260964e-05,2.482732e-05,2.580431e-05,2.728129e-05,2.906769e-05,2.976540e-05,3.226464e-05,3.236472e-05,3.476482e-05,3.566253e-05,3.725265e-05,3.893102e-05,3.971587e-05,4.214335e-05,4.452510e-05,4.527613e-05,4.685234e-05,4.830960e-05,4.911745e-05,5.122751e-05,5.131398e-05,5.343658e-05,5.401705e-05,5.548096e-05,5.666862e-05,5.744380e-05,5.917554e-05,5.932272e-05,6.111615e-05,6.153374e-05,6.282326e-05,6.374146e-05,6.444390e-05,6.579887e-05,6.597851e-05,6.742802e-05,6.770783e-05,6.879381e-05,6.947150e-05,7.007762e-05,7.109415e-05,7.128149e-05,7.240770e-05,7.258086e-05,7.345875e-05,7.393732e-05,7.443726e-05,7.516967e-05,7.534596e-05,7.618764e-05,7.628427e-05,7.696514e-05,7.728764e-05,7.768129e-05,7.818629e-05,7.833893e-05,7.894085e-05,7.898667e-05,7.948978e-05,7.969513e-05,7.998842e-05,8.031777e-05,8.043939e-05,8.084520e-05,8.086052e-05,8.120830e-05,8.132902e-05,8.153105e-05,8.172864e-05,8.181572e-05,8.206447e-05,8.227937e-05,8.234132e-05,8.246241e-05,8.256372e-05,8.261548e-05,8.273590e-05,8.274038e-05,8.283881e-05,8.286185e-05,8.291240e-05,8.294527e-05,8.296268e-05,8.298961e-05,8.299112e-05,8.299909e-05,8.299811e-05,8.298791e-05,8.297374e-05,8.295881e-05,8.291930e-05,8.291295e-05,8.285145e-05,8.283737e-05,8.277535e-05,8.273033e-05,8.268562e-05,8.260040e-05,8.258320e-05,8.246896e-05,8.244964e-05,8.234373e-05,8.227994e-05,8.220829e-05,8.209308e-05,8.206337e-05,8.190967e-05,8.189067e-05,8.174784e-05,8.167422e-05,8.157849e-05,8.144512e-05,8.140221e-05,8.121954e-05,8.120466e-05,8.103099e-05,8.095403e-05,8.083705e-05,8.069433e-05,8.063818e-05,8.043480e-05,8.042657e-05,8.022732e-05,8.015170e-05,8.001613e-05,7.987057e-05,7.980157e-05,7.958400e-05,7.929272e-05,7.899741e-05,7.869871e-05,7.839719e-05,7.809340e-05,7.778784e-05,7.748095e-05,7.717316e-05,7.686485e-05,7.655640e-05,7.624813e-05,7.594033e-05,7.563330e-05,7.532729e-05,7.502253e-05,7.471924e-05,7.441761e-05,7.411783e-05,7.382006e-05,7.352445e-05,7.323114e-05,7.294025e-05,7.265189e-05,7.236616e-05
0.000000e+00,1.068764e-10,4.199792e-10,3.217121e-09,1.240070e-08,2.299157e-08,8.696101e-08,9.122335e-08,2.622310e-07,3.386585e-07,6.148704e-07,9.557246e-07,1.252715e-06,2.200265e-06,2.302809e-06,3.913267e-06,4.401263e-06,6.249895e-06,7.941990e-06,9.491902e-06,1.324255e-05,1.382672e-05,1.944386e-05,2.073758e-05,2.652790e-05,3.084910e-05,3.525071e-05,4.395592e-05,4.576381e-05,5.819153e-05,6.036429e-05,7.262620e-05,8.028598e-05,8.912545e-05,1.038276e-04,1.077117e-04,1.283732e-04,1.309903e-04,1.510666e-04,1.616778e-04,1.757198e-04,1.957080e-04,2.022357e-04,2.304962e-04,2.328285e-04,2.603662e-04,2.727319e-04,2.916971e-04,3.150715e-04,3.243310e-04,3.581038e-04,3.594760e-04,3.928484e-04,4.055622e-04,4.283977e-04,4.529463e-04,4.645864e-04,5.012536e-04,5.382444e-04,5.501254e-04,5.754109e-04,5.992249e-04,6.126136e-04,6.482409e-04,6.497219e-04,6.866148e-04,6.968908e-04,7.231811e-04,7.449216e-04,7.593195e-04,7.921102e-04,7.949386e-04,8.299564e-04,8.382630e-04,8.643007e-04,8.832153e-04,8.979080e-04,9.268290e-04,9.307235e-04,9.627005e-04,9.689917e-04,9.937998e-04,1.009614e-03,1.023990e-03,1.048627e-03,1.053244e-03,1.081545e-03,1.085983e-03,1.108877e-03,1.121649e-03,1.135232e-03,1.155609e-03,1.160605e-03,1.184998e-03,1.187859e-03,1.208412e-03,1.218406e-03,1.230856e-03,1.247269e-03,1.252338e-03,1.272871e-03,1.274473e-03,1.292470e-03,1.300052e-03,1.311151e-03,1.324043e-03,1.328932e-03,1.345832e-03,1.346490e-03,1.361873e-03,1.367441e-03,1.377075e-03,1.386945e-03,1.391461e-03,1.405054e-03,1.417876e-03,1.421821e-03,1.429953e-03,1.437301e-03,1.441306e-03,1.451548e-03,1.451961e-03,1.461940e-03,1.464617e-03,1.471268e-03,1.476562e-03,1.479967e-03,1.487436e-03,1.488062e-03,1.495574e-03,1.497293e-03,1.502527e-03,1.506184e-03,1.508941e-03,1.514159e-03,1.514840e-03,1.520243e-03,1.521267e-03,1.525172e-03,1.527555e-03,1.529647e-03,1.533069e-03,1.533687e-03,1.537312e-03,1.537854e-03,1.540539e-03,1.541952e-03,1.543387e-03,1.545404e-03,1.545873e-03,1.548014e-03,1.548249e-03,1.549827e-03,1.550525e-03,1.551327e-03,1.552267e-03,1.552529e-03,1.553449e-03,1.553510e-03,1.554099e-03,1.554288e-03,1.554495e-03,1.554630e-03,1.554649e-03,1.554575e-03,1.554567e-03,1.554283e-03,1.554127e-03,1.553787e-03,1.553338e-03,1.553096e-03,1.552223e-03,1.550808e-03,1.549116e-03,1.547168e-03,1.544984e-03,1.542585e-03,1.539988e-03,1.537211e-03,1.534269e-03,1.531179e-03,1.527954e-03,1.524609e-03,1.521156e-03,1.517607e-03,1.513974e-03,1.510267e-03,1.506495e-03,1.502669e-03,1.498797e-03,1.494887e-03,1.490946e-03,1.486982e-03,1.483002e-03,1.479011e-03,1.475015e-03
0.000000e+00,1.562960e-09,4.210182e-09,1.726896e-08,4.262408e-08,6.404813e-08,1.526610e-07,1.574820e-07,3.125235e-07,3.690244e-07,5.443380e-07,7.268655e-07,8.688432e-07,1.263451e-06,1.302549e-06,1.861035e-06,2.015029e-06,2.555269e-06,3.004226e-06,3.386147e-06,4.220494e-06,4.340878e-06,5.395651e-06,5.616175e-06,6.522983e-06,7.129365e-06,7.697792e-06,8.706188e-06,8.899570e-06,1.011206e-05,1.030615e-05,1.132229e-05,1.189920e-05,1.251966e-05,1.346235e-05,1.369540e-05,1.484222e-05,1.497760e-05,1.595412e-05,1.643100e-05,1.702623e-05,1.781204e-05,1.805474e-05,1.903682e-05,1.911331e-05,1.997052e-05,2.033017e-05,2.085468e-05,2.146030e-05,2.168882e-05,2.247304e-05,2.250338e-05,2.320795e-05,2.346063e-05,2.389454e-05,2.433448e-05,2.453412e-05,2.512824e-05,2.567863e-05,2.584582e-05,2.618714e-05,2.649150e-05,2.665570e-05,2.706975e-05,2.708627e-05,2.748083e-05,2.758511e-05,2.784132e-05,2.804206e-05,2.816966e-05,2.844493e-05,2.846771e-05,2.873726e-05,2.879791e-05,2.898005e-05,2.910494e-05,2.919772e-05,2.936975e-05,2.939185e-05,2.956393e-05,2.959583e-05,2.971538e-05,2.978643e-05,2.984753e-05,2.994456e-05,2.996166e-05,3.005895e-05,3.007303e-05,3.014052e-05,3.017440e-05,3.020742e-05,3.025105e-05,3.026065e-05,3.030113e-05,3.030517e-05,3.032974e-05,3.033878e-05,3.034729e-05,3.035371e-05,3.035455e-05,3.035223e-05,3.035166e-05,3.034102e-05,3.033418e-05,3.032153e-05,3.030271e-05,3.029436e-05,3.026007e-05,3.025855e-05,3.021916e-05,3.020291e-05,3.017213e-05,3.013688e-05,3.011942e-05,3.006147e-05,2.999866e-05,2.997761e-05,2.993139e-05,2.988614e-05,2.985998e-05,2.978785e-05,2.978477e-05,2.970607e-05,2.968344e-05,2.962415e-05,2.957358e-05,2.953930e-05,2.945886e-05,2.945177e-05,2.936178e-05,2.933984e-05,2.926956e-05,2.921702e-05,2.917532e-05,2.909087e-05,2.907925e-05,2.898153e-05,2.896181e-05,2.888234e-05,2.883023e-05,2.878183e-05,2.869649e-05,2.868015e-05,2.857745e-05,2.856093e-05,2.847385e-05,2.842384e-05,2.836948e-05,2.828550e-05,2.826445e-05,2.815887e-05,2.814617e-05,2.805285e-05,2.800608e-05,2.794647e-05,2.786544e-05,2.783983e-05,2.773301e-05,2.772446e-05,2.762609e-05,2.758331e-05,2.751914e-05,2.744215e-05,2.741222e-05,2.730541e-05,2.730114e-05,2.719876e-05,2.716042e-05,2.709233e-05,2.702011e-05,2.698617e-05,2.688033e-05,2.674119e-05,2.660277e-05,2.646517e-05,2.632847e-05,2.619273e-05,2.605804e-05,2.592443e-05,2.579197e-05,2.566071e-05,2.553069e-05,2.540194e-05,2.527450e-05,2.514840e-05,2.502367e-05,2.490032e-05,2.477839e-05,2.465788e-05,2.453881e-05,2.442119e-05,2.430503e-05,2.419034e-05,2.407712e-05,2.396538e-05,2.385511e-05
0.000000e+00,1.811476e-10,6.743585e-10,4.624574e-09,1.614657e-08,2.837780e-08,9.377121e-08,9.783814e-08,2.472319e-07,3.085931e-07,5.153277e-07,7.502680e-07,9.434137e-07,1.515289e-06,1.574235e-06,2.450828e-06,2.702389e-06,3.613472e-06,4.401749e-06,5.093427e-06,6.670704e-06,6.905772e-06,9.046476e-06,9.512469e-06,1.149543e-05,1.288088e-05,1.422229e-05,1.670181e-05,1.719170e-05,2.036666e-05,2.089126e-05,2.371028e-05,2.536449e-05,2.718647e-05,3.003935e-05,3.076029e-05,3.439821e-05,3.483754e-05,3.806832e-05,3.968556e-05,4.174063e-05,4.451591e-05,4.538742e-05,4.898349e-05,4.926829e-05,5.250638e-05,5.389057e-05,5.593653e-05,5.833936e-05,5.925730e-05,6.245494e-05,6.258012e-05,6.551849e-05,6.658685e-05,6.843957e-05,7.034140e-05,7.121222e-05,7.383262e-05,7.629884e-05,7.705539e-05,7.861061e-05,8.000956e-05,8.076905e-05,8.269902e-05,8.277646e-05,8.463608e-05,8.513082e-05,8.635193e-05,8.731433e-05,8.792863e-05,8.926063e-05,8.937123e-05,9.068512e-05,9.098192e-05,9.187589e-05,9.249106e-05,9.294924e-05,9.380125e-05,9.391095e-05,9.476674e-05,9.492569e-05,9.552229e-05,9.587742e-05,9.618318e-05,9.666916e-05,9.675485e-05,9.724256e-05,9.731314e-05,9.765141e-05,9.782111e-05,9.798633e-05,9.820421e-05,9.825203e-05,9.845302e-05,9.847300e-05,9.859362e-05,9.863742e-05,9.867794e-05,9.870680e-05,9.870989e-05,9.869320e-05,9.868987e-05,9.863138e-05,9.859478e-05,9.852779e-05,9.842912e-05,9.838559e-05,9.820776e-05,9.819994e-05,9.799712e-05,9.791378e-05,9.775634e-05,9.757668e-05,9.748792e-05,9.719423e-05,9.687748e-05,9.677160e-05,9.653977e-05,9.631355e-05,9.618306e-05,9.582445e-05,9.580919e-05,9.541989e-05,9.530834e-05,9.501678e-05,9.476892e-05,9.460137e-05,9.420956e-05,9.417509e-05,9.373927e-05,9.363339e-05,9.329514e-05,9.304323e-05,9.284386e-05,9.244169e-05,9.238652e-05,9.192412e-05,9.183112e-05,9.145760e-05,9.121368e-05,9.098784e-05,9.059133e-05,9.051564e-05,9.004177e-05,8.996584e-05,8.956690e-05,8.933881e-05,8.909171e-05,8.871171e-05,8.861677e-05,8.814265e-05,8.808583e-05,8.766985e-05,8.746236e-05,8.719884e-05,8.684234e-05,8.673005e-05,8.626389e-05,8.622672e-05,8.580070e-05,8.561634e-05,8.534083e-05,8.501195e-05,8.488458e-05,8.443221e-05,8.441420e-05,8.398398e-05,8.382367e-05,8.354011e-05,8.324087e-05,8.310080e-05,8.266623e-05,8.210013e-05,8.154290e-05,8.099480e-05,8.045605e-05,7.992684e-05,7.940731e-05,7.889756e-05,7.839768e-05,7.790769e-05,7.742764e-05,7.695751e-05,7.649728e-05,7.604690e-05,7.560632e-05,7.517547e-05,7.475425e-05,7.434257e-05,7.394031e-05,7.354736e-05,7.316359e-05,7.278886e-05,7.242304e-05,7.206598e-05,7.171752e-05
0.000000e+00,4.605662e-10,1.608431e-09,9.747366e-09,3.072023e-08,5.125037e-08,1.500165e-07,1.558160e-07,3.560330e-07,4.338016e-07,6.858846e-07,9.612677e-07,1.182410e-06,1.821052e-06,1.885900e-06,2.834424e-06,3.101540e-06,4.049664e-06,4.844178e-06,5.520704e-06,6.991209e-06,7.201996e-06,9.029198e-06,9.406358e-06,1.093835e-05,1.194540e-05,1.287653e-05,1.449748e-05,1.480380e-05,1.669108e-05,1.698783e-05,1.851713e-05,1.936710e-05,2.026621e-05,2.160206e-05,2.192659e-05,2.348961e-05,2.367031e-05,2.494921e-05,2.555763e-05,2.630163e-05,2.725661e-05,2.754507e-05,2.867955e-05,2.876564e-05,2.970661e-05,3.008795e-05,3.062909e-05,3.123071e-05,3.145095e-05,3.217693e-05,3.220405e-05,3.281225e-05,3.301984e-05,3.336253e-05,3.369113e-05,3.383362e-05,3.423142e-05,3.456181e-05,3.465424e-05,3.483051e-05,3.497266e-05,3.504302e-05,3.519901e-05,3.520456e-05,3.532006e-05,3.534478e-05,3.539412e-05,3.542047e-05,3.543103e-05,3.543558e-05,3.543474e-05,3.540888e-05,3.539865e-05,3.535678e-05,3.531728e-05,3.528147e-05,3.519820e-05,3.518572e-05,3.507202e-05,3.504733e-05,3.494263e-05,3.486984e-05,3.479961e-05,3.467028e-05,3.464479e-05,3.447983e-05,3.445260e-05,3.430623e-05,3.422022e-05,3.412531e-05,3.397613e-05,3.393829e-05,3.374622e-05,3.372288e-05,3.355007e-05,3.346270e-05,3.335070e-05,3.319750e-05,3.314888e-05,3.294528e-05,3.292893e-05,3.274051e-05,3.265840e-05,3.253512e-05,3.238712e-05,3.232958e-05,3.212432e-05,3.211613e-05,3.191973e-05,3.184630e-05,3.171612e-05,3.157839e-05,3.151380e-05,3.131303e-05,3.111402e-05,3.105075e-05,3.091700e-05,3.079201e-05,3.072211e-05,3.053718e-05,3.052952e-05,3.033936e-05,3.028656e-05,3.015173e-05,3.004040e-05,2.996672e-05,2.979891e-05,2.978443e-05,2.960490e-05,2.956224e-05,2.942821e-05,2.933051e-05,2.925438e-05,2.910381e-05,2.908345e-05,2.891546e-05,2.888221e-05,2.875040e-05,2.866573e-05,2.858829e-05,2.845440e-05,2.842913e-05,2.827293e-05,2.824821e-05,2.811966e-05,2.804713e-05,2.796932e-05,2.785115e-05,2.782189e-05,2.767736e-05,2.766021e-05,2.753569e-05,2.747425e-05,2.739686e-05,2.729323e-05,2.726084e-05,2.712761e-05,2.711707e-05,2.699712e-05,2.694569e-05,2.686935e-05,2.677901e-05,2.674425e-05,2.662180e-05,2.661696e-05,2.650195e-05,2.645943e-05,2.638466e-05,2.630635e-05,2.626990e-05,2.615762e-05,2.601315e-05,2.587284e-05,2.573659e-05,2.560432e-05,2.547592e-05,2.535130e-05,2.523037e-05,2.511303e-05,2.499919e-05,2.488875e-05,2.478164e-05,2.467775e-05,2.457700e-05,2.447930e-05,2.438457e-05,2.429272e-05,2.420368e-05,2.411736e-05,2.403368e-05,2.395257e-05,2.387396e-05,2.379776e-05,2.372392e-05,2.365235e-05
0.000000e+00,4.068420e-11,1.597819e-10,1.222677e-09,4.709457e-09,8.729176e-09,3.301217e-08,3.463081e-08,9.965680e-08,1.287722e-07,2.342539e-07,3.649252e-07,4.791835e-07,8.458227e-07,8.856662e-07,1.514635e-06,1.706173e-06,2.434334e-06,3.102995e-06,3.716220e-06,5.199676e-06,5.430422e-06,7.641968e-06,8.149159e-06,1.040814e-05,1.208202e-05,1.377673e-05,1.709943e-05,1.778492e-05,2.245871e-05,2.326941e-05,2.781267e-05,3.062557e-05,3.385014e-05,3.916759e-05,4.056368e-05,4.793580e-05,4.886353e-05,5.593991e-05,5.965328e-05,6.454145e-05,7.145299e-05,7.369913e-05,8.336616e-05,8.416002e-05,9.349156e-05,9.765806e-05,1.040214e-04,1.118221e-04,1.148999e-04,1.260707e-04,1.265228e-04,1.374772e-04,1.416307e-04,1.490644e-04,1.570193e-04,1.607784e-04,1.725680e-04,1.843844e-04,1.881637e-04,1.961819e-04,2.037026e-04,2.079180e-04,2.190908e-04,2.195538e-04,2.310537e-04,2.342448e-04,2.423855e-04,2.490918e-04,2.535206e-04,2.635692e-04,2.644336e-04,2.751023e-04,2.776243e-04,2.855078e-04,2.912138e-04,2.956339e-04,3.043029e-04,3.054670e-04,3.149963e-04,3.168649e-04,3.242132e-04,3.288803e-04,3.331112e-04,3.403357e-04,3.416858e-04,3.499343e-04,3.512237e-04,3.578556e-04,3.615417e-04,3.654501e-04,3.712914e-04,3.727193e-04,3.796660e-04,3.804781e-04,3.862939e-04,3.891103e-04,3.926075e-04,3.971990e-04,3.986123e-04,4.043141e-04,4.047573e-04,4.097195e-04,4.118002e-04,4.148353e-04,4.183436e-04,4.196690e-04,4.242281e-04,4.244048e-04,4.285203e-04,4.300017e-04,4.325537e-04,4.351527e-04,4.363363e-04,4.398763e-04,4.431818e-04,4.441914e-04,4.462609e-04,4.481165e-04,4.491218e-04,4.516703e-04,4.517724e-04,4.542205e-04,4.548708e-04,4.564741e-04,4.577360e-04,4.585407e-04,4.602832e-04,4.604278e-04,4.621427e-04,4.625294e-04,4.636926e-04,4.644910e-04,4.650844e-04,4.661838e-04,4.663249e-04,4.674207e-04,4.676230e-04,4.683781e-04,4.688233e-04,4.692033e-04,4.697988e-04,4.699024e-04,4.704810e-04,4.705628e-04,4.709449e-04,4.711283e-04,4.712993e-04,4.715076e-04,4.715495e-04,4.717005e-04,4.717122e-04,4.717572e-04,4.717535e-04,4.717242e-04,4.716418e-04,4.716059e-04,4.714067e-04,4.713874e-04,4.711307e-04,4.709997e-04,4.707818e-04,4.704877e-04,4.703639e-04,4.698806e-04,4.698600e-04,4.693355e-04,4.691247e-04,4.687318e-04,4.682896e-04,4.680729e-04,4.673617e-04,4.663481e-04,4.652551e-04,4.640889e-04,4.628552e-04,4.615594e-04,4.602067e-04,4.588019e-04,4.573495e-04,4.558537e-04,4.543187e-04,4.527482e-04,4.511457e-04,4.495146e-04,4.478581e-04,4.461790e-04,4.444802e-04,4.427642e-04,4.410335e-04,4.392904e-04,4.375369e-04,4.357752e-04,4.340071e-04,4.322343e-04,4.304585e-04
0.000000e+00,3.688988e-09,8.532720e-09,2.975345e-08,6.855879e-08,1.008884e-07,2.361311e-07,2.436243e-07,4.938491e-07,5.895416e-07,9.002353e-07,1.240945e-06,1.513306e-06,2.276743e-06,2.351677e-06,3.389454e-06,3.663732e-06,4.587921e-06,5.318037e-06,5.918348e-06,7.184048e-06,7.363034e-06,8.910759e-06,9.231914e-06,1.055322e-05,1.144227e-05,1.228298e-05,1.379785e-05,1.409237e-05,1.597307e-05,1.628000e-05,1.791590e-05,1.886763e-05,1.991092e-05,2.153743e-05,2.194757e-05,2.401490e-05,2.426451e-05,2.610180e-05,2.702339e-05,2.819725e-05,2.978890e-05,3.029054e-05,3.237146e-05,3.253711e-05,3.443046e-05,3.524593e-05,3.645877e-05,3.789567e-05,3.844847e-05,4.039258e-05,4.046931e-05,4.228503e-05,4.295265e-05,4.412069e-05,4.533431e-05,4.589533e-05,4.760556e-05,4.924879e-05,4.976016e-05,5.082319e-05,5.179409e-05,5.232755e-05,5.370528e-05,5.376127e-05,5.512428e-05,5.549329e-05,5.641694e-05,5.715907e-05,5.764002e-05,5.870473e-05,5.879461e-05,5.988207e-05,6.013325e-05,6.090399e-05,6.144829e-05,6.186214e-05,6.265406e-05,6.275841e-05,6.359481e-05,6.375509e-05,6.437342e-05,6.475617e-05,6.509637e-05,6.566222e-05,6.576582e-05,6.638392e-05,6.647819e-05,6.695282e-05,6.720904e-05,6.747465e-05,6.785963e-05,6.795150e-05,6.838544e-05,6.843472e-05,6.877845e-05,6.893892e-05,6.913250e-05,6.937667e-05,6.944946e-05,6.973117e-05,6.975224e-05,6.997941e-05,7.006971e-05,7.019587e-05,7.033297e-05,7.038220e-05,7.053998e-05,7.054572e-05,7.067073e-05,7.071146e-05,7.077590e-05,7.083351e-05,7.085688e-05,7.091500e-05,7.095153e-05,7.095887e-05,7.096771e-05,7.096791e-05,7.096468e-05,7.094473e-05,7.094355e-05,7.090540e-05,7.089180e-05,7.085122e-05,7.081142e-05,7.078198e-05,7.070576e-05,7.069859e-05,7.060193e-05,7.057685e-05,7.049282e-05,7.042658e-05,7.037206e-05,7.025675e-05,7.024040e-05,7.009855e-05,7.006902e-05,6.994720e-05,6.986495e-05,6.978698e-05,6.964600e-05,6.961852e-05,6.944238e-05,6.941353e-05,6.925914e-05,6.916881e-05,6.906931e-05,6.891304e-05,6.887339e-05,6.867186e-05,6.864732e-05,6.846515e-05,6.837268e-05,6.825371e-05,6.809009e-05,6.803793e-05,6.781820e-05,6.780046e-05,6.759487e-05,6.750461e-05,6.736829e-05,6.720332e-05,6.713879e-05,6.690667e-05,6.689733e-05,6.667222e-05,6.658730e-05,6.643573e-05,6.627387e-05,6.619744e-05,6.595761e-05,6.563907e-05,6.531874e-05,6.499709e-05,6.467456e-05,6.435153e-05,6.402839e-05,6.370546e-05,6.338307e-05,6.306150e-05,6.274103e-05,6.242189e-05,6.210431e-05,6.178850e-05,6.147465e-05,6.116293e-05,6.085349e-05,6.054649e-05,6.024204e-05,5.994028e-05,5.964129e-05,5.934518e-05,5.905204e-05,5.876193e-05,5.847493e-05
0.000000e+00,4.347804e-11,1.654297e-10,1.186178e-09,4.310895e-09,7.744573e-09,2.709721e-08,2.833915e-08,7.594743e-08,9.637442e-08,1.679446e-07,2.533388e-07,3.260665e-07,5.509348e-07,5.747220e-07,9.364280e-07,1.042001e-06,1.427078e-06,1.761337e-06,2.054336e-06,2.719874e-06,2.818724e-06,3.715538e-06,3.910114e-06,4.736526e-06,5.313054e-06,5.871051e-06,6.902850e-06,7.106839e-06,8.430469e-06,8.649461e-06,9.827744e-06,1.052031e-05,1.128403e-05,1.248163e-05,1.278458e-05,1.431486e-05,1.449981e-05,1.586085e-05,1.654262e-05,1.740933e-05,1.858032e-05,1.894814e-05,2.046626e-05,2.058652e-05,2.195404e-05,2.253874e-05,2.340314e-05,2.441859e-05,2.480661e-05,2.615884e-05,2.621180e-05,2.745543e-05,2.790793e-05,2.869316e-05,2.950003e-05,2.986982e-05,3.098413e-05,3.203559e-05,3.235879e-05,3.302434e-05,3.362452e-05,3.395106e-05,3.478341e-05,3.481689e-05,3.562330e-05,3.583868e-05,3.637203e-05,3.679440e-05,3.706507e-05,3.765536e-05,3.770460e-05,3.829289e-05,3.842672e-05,3.883228e-05,3.911385e-05,3.932511e-05,3.972214e-05,3.977371e-05,4.018039e-05,4.025690e-05,4.054740e-05,4.072329e-05,4.087693e-05,4.112632e-05,4.117110e-05,4.143196e-05,4.147074e-05,4.166146e-05,4.176105e-05,4.186150e-05,4.200153e-05,4.203387e-05,4.218029e-05,4.219619e-05,4.230239e-05,4.234882e-05,4.240173e-05,4.246292e-05,4.247979e-05,4.253797e-05,4.254180e-05,4.257759e-05,4.258853e-05,4.259992e-05,4.260596e-05,4.260615e-05,4.259739e-05,4.259674e-05,4.257472e-05,4.256334e-05,4.253912e-05,4.250802e-05,4.249156e-05,4.243291e-05,4.236401e-05,4.233993e-05,4.228567e-05,4.223091e-05,4.219862e-05,4.210750e-05,4.210356e-05,4.200115e-05,4.197124e-05,4.189201e-05,4.182354e-05,4.177673e-05,4.166570e-05,4.165584e-05,4.152987e-05,4.149893e-05,4.139929e-05,4.132433e-05,4.126456e-05,4.114290e-05,4.112610e-05,4.098431e-05,4.095559e-05,4.083957e-05,4.076325e-05,4.069221e-05,4.056666e-05,4.054257e-05,4.039096e-05,4.036654e-05,4.023765e-05,4.016354e-05,4.008292e-05,3.995827e-05,3.992701e-05,3.977015e-05,3.975128e-05,3.961257e-05,3.954306e-05,3.945447e-05,3.933407e-05,3.929603e-05,3.913742e-05,3.912473e-05,3.897882e-05,3.891542e-05,3.882037e-05,3.870647e-05,3.866222e-05,3.850449e-05,3.849819e-05,3.834731e-05,3.829087e-05,3.819078e-05,3.808477e-05,3.803501e-05,3.788009e-05,3.767706e-05,3.747584e-05,3.727662e-05,3.707952e-05,3.688467e-05,3.669220e-05,3.650219e-05,3.631474e-05,3.612991e-05,3.594776e-05,3.576835e-05,3.559173e-05,3.541792e-05,3.524695e-05,3.507885e-05,3.491363e-05,3.475128e-05,3.459183e-05,3.443525e-05,3.428155e-05,3.413072e-05,3.398273e-05,3.383758e-05,3.369523e-05
0.000000e+00,1.523216e-10,5.438015e-10,3.439268e-09,1.123080e-08,1.907887e-08,5.826870e-08,6.061799e-08,1.435588e-07,1.764445e-07,2.845933e-07,4.045204e-07,5.016727e-07,7.844619e-07,8.132739e-07,1.235024e-06,1.353729e-06,1.774977e-06,2.128956e-06,2.432277e-06,3.102413e-06,3.200088e-06,4.069194e-06,4.254324e-06,5.030021e-06,5.562783e-06,6.073201e-06,7.006331e-06,7.189459e-06,8.369396e-06,8.563455e-06,9.603364e-06,1.021196e-05,1.088148e-05,1.192903e-05,1.219374e-05,1.353022e-05,1.369176e-05,1.488126e-05,1.547794e-05,1.623765e-05,1.726678e-05,1.759081e-05,1.893289e-05,1.903957e-05,2.025687e-05,2.077999e-05,2.155660e-05,2.247439e-05,2.282680e-05,2.406306e-05,2.411175e-05,2.526178e-05,2.568356e-05,2.642012e-05,2.718360e-05,2.753593e-05,2.860769e-05,2.963441e-05,2.995336e-05,3.061559e-05,3.121959e-05,3.155114e-05,3.240655e-05,3.244129e-05,3.328652e-05,3.351523e-05,3.408757e-05,3.454738e-05,3.484539e-05,3.550533e-05,3.556105e-05,3.623574e-05,3.639171e-05,3.687073e-05,3.720948e-05,3.746736e-05,3.796173e-05,3.802698e-05,3.855098e-05,3.865162e-05,3.904074e-05,3.928235e-05,3.949766e-05,3.985710e-05,3.992311e-05,4.031844e-05,4.037898e-05,4.068496e-05,4.085104e-05,4.102397e-05,4.127620e-05,4.133671e-05,4.162441e-05,4.165731e-05,4.188824e-05,4.199706e-05,4.212934e-05,4.229805e-05,4.234881e-05,4.254770e-05,4.256275e-05,4.272702e-05,4.279349e-05,4.288775e-05,4.299250e-05,4.303083e-05,4.315716e-05,4.316187e-05,4.326759e-05,4.330361e-05,4.336295e-05,4.341959e-05,4.344403e-05,4.351158e-05,4.356632e-05,4.358125e-05,4.360894e-05,4.363017e-05,4.364011e-05,4.365982e-05,4.366043e-05,4.367053e-05,4.367160e-05,4.367096e-05,4.366681e-05,4.366228e-05,4.364668e-05,4.364500e-05,4.361962e-05,4.361237e-05,4.358661e-05,4.356496e-05,4.354643e-05,4.350547e-05,4.349950e-05,4.344623e-05,4.343485e-05,4.338701e-05,4.335398e-05,4.332221e-05,4.326372e-05,4.325218e-05,4.317727e-05,4.316485e-05,4.309778e-05,4.305810e-05,4.301403e-05,4.294415e-05,4.292630e-05,4.283487e-05,4.282366e-05,4.273999e-05,4.269722e-05,4.264193e-05,4.256541e-05,4.254090e-05,4.243715e-05,4.242874e-05,4.233087e-05,4.228770e-05,4.222228e-05,4.214277e-05,4.211157e-05,4.199891e-05,4.199437e-05,4.188449e-05,4.184289e-05,4.176846e-05,4.168872e-05,4.165098e-05,4.153221e-05,4.137367e-05,4.121342e-05,4.105173e-05,4.088888e-05,4.072509e-05,4.056061e-05,4.039565e-05,4.023039e-05,4.006503e-05,3.989973e-05,3.973465e-05,3.956993e-05,3.940572e-05,3.924212e-05,3.907926e-05,3.891724e-05,3.875616e-05,3.859611e-05,3.843716e-05,3.827940e-05,3.812288e-05,3.796768e-05,3.781385e-05,3.766143e-05
0.000000e+00,4.038422e-09,9.658993e-09,3.475761e-08,8.072755e-08,1.186796e-07,2.730498e-07,2.813977e-07,5.494747e-07,6.473212e-07,9.522155e-07,1.271956e-06,1.522158e-06,2.222132e-06,2.291673e-06,3.282490e-06,3.553583e-06,4.492624e-06,5.256977e-06,5.896012e-06,7.262303e-06,7.456734e-06,9.141273e-06,9.490505e-06,1.092193e-05,1.187811e-05,1.277578e-05,1.437501e-05,1.468299e-05,1.662570e-05,1.693871e-05,1.858745e-05,1.953134e-05,2.055304e-05,2.211888e-05,2.250856e-05,2.444145e-05,2.467134e-05,2.634065e-05,2.716311e-05,2.819661e-05,2.957322e-05,3.000129e-05,3.174809e-05,3.188517e-05,3.343188e-05,3.408685e-05,3.504879e-05,3.616999e-05,3.659610e-05,3.807211e-05,3.812965e-05,3.947599e-05,3.996369e-05,4.080765e-05,4.167217e-05,4.206762e-05,4.325693e-05,4.437702e-05,4.472111e-05,4.542964e-05,4.606881e-05,4.641677e-05,4.730481e-05,4.734057e-05,4.820333e-05,4.843429e-05,4.900742e-05,4.946270e-05,4.975522e-05,5.039557e-05,5.044916e-05,5.109164e-05,5.123844e-05,5.168503e-05,5.199676e-05,5.223166e-05,5.267581e-05,5.273380e-05,5.319365e-05,5.328074e-05,5.361336e-05,5.381644e-05,5.399500e-05,5.428761e-05,5.434055e-05,5.465193e-05,5.469871e-05,5.493098e-05,5.505395e-05,5.517945e-05,5.535734e-05,5.539902e-05,5.559131e-05,5.561263e-05,5.575786e-05,5.582336e-05,5.590012e-05,5.599287e-05,5.601951e-05,5.611733e-05,5.612427e-05,5.619488e-05,5.622048e-05,5.625334e-05,5.628426e-05,5.629386e-05,5.631754e-05,5.631816e-05,5.632542e-05,5.632457e-05,5.631846e-05,5.630574e-05,5.629761e-05,5.626375e-05,5.621773e-05,5.620056e-05,5.616033e-05,5.611798e-05,5.609232e-05,5.601771e-05,5.601441e-05,5.592727e-05,5.590131e-05,5.583156e-05,5.577027e-05,5.572788e-05,5.562595e-05,5.561681e-05,5.549888e-05,5.546962e-05,5.537463e-05,5.530247e-05,5.524453e-05,5.512558e-05,5.510905e-05,5.496863e-05,5.493999e-05,5.482368e-05,5.474664e-05,5.467458e-05,5.454641e-05,5.452171e-05,5.436541e-05,5.434011e-05,5.420602e-05,5.412851e-05,5.404384e-05,5.391229e-05,5.387917e-05,5.371228e-05,5.369211e-05,5.354343e-05,5.346858e-05,5.337287e-05,5.324224e-05,5.320083e-05,5.302752e-05,5.301361e-05,5.285316e-05,5.278316e-05,5.267793e-05,5.255133e-05,5.250201e-05,5.232558e-05,5.231852e-05,5.214880e-05,5.208510e-05,5.197181e-05,5.185142e-05,5.179477e-05,5.161779e-05,5.138449e-05,5.115180e-05,5.091995e-05,5.068916e-05,5.045965e-05,5.023158e-05,5.000513e-05,4.978046e-05,4.955769e-05,4.933695e-05,4.911836e-05,4.890201e-05,4.868799e-05,4.847639e-05,4.826726e-05,4.806068e-05,4.785670e-05,4.765536e-05,4.745669e-05,4.726074e-05,4.706753e-05,4.687708e-05,4.668941e-05,4.650452e-05
0.000000e+00,1.696539e-09,4.986720e-09,2.290005e-08,6.010515e-08,9.261275e-08,2.323067e-07,2.400839e-07,4.974152e-07,5.942091e-07,9.029850e-07,1.235427e-06,1.499481e-06,2.243700e-06,2.317425e-06,3.351212e-06,3.627459e-06,4.562140e-06,5.300511e-06,5.905123e-06,7.167146e-06,7.343892e-06,8.851284e-06,9.159033e-06,1.040569e-05,1.122630e-05,1.198847e-05,1.332750e-05,1.358268e-05,1.517269e-05,1.542574e-05,1.674427e-05,1.748828e-05,1.828469e-05,1.948716e-05,1.978298e-05,2.122999e-05,2.139981e-05,2.261842e-05,2.320930e-05,2.394279e-05,2.490406e-05,2.519928e-05,2.638557e-05,2.647740e-05,2.750063e-05,2.792670e-05,2.854455e-05,2.925262e-05,2.951827e-05,3.042342e-05,3.045823e-05,3.126217e-05,3.154836e-05,3.203713e-05,3.252908e-05,3.275110e-05,3.340709e-05,3.400820e-05,3.418947e-05,3.455753e-05,3.488335e-05,3.505816e-05,3.549572e-05,3.551308e-05,3.592522e-05,3.603333e-05,3.629737e-05,3.650259e-05,3.663221e-05,3.690949e-05,3.693227e-05,3.719995e-05,3.725962e-05,3.743749e-05,3.755814e-05,3.764701e-05,3.780980e-05,3.783050e-05,3.798983e-05,3.801895e-05,3.812673e-05,3.818959e-05,3.824281e-05,3.832535e-05,3.833960e-05,3.841849e-05,3.842954e-05,3.848081e-05,3.850519e-05,3.852776e-05,3.855503e-05,3.856049e-05,3.858005e-05,3.858156e-05,3.858742e-05,3.858704e-05,3.858353e-05,3.857355e-05,3.856921e-05,3.854527e-05,3.854296e-05,3.851243e-05,3.849696e-05,3.847139e-05,3.843711e-05,3.842277e-05,3.836719e-05,3.836483e-05,3.830518e-05,3.828138e-05,3.823726e-05,3.818794e-05,3.816391e-05,3.808558e-05,3.800269e-05,3.797526e-05,3.791562e-05,3.785787e-05,3.782473e-05,3.773421e-05,3.773037e-05,3.763284e-05,3.760501e-05,3.753244e-05,3.747094e-05,3.742945e-05,3.733262e-05,3.732412e-05,3.721668e-05,3.719061e-05,3.710737e-05,3.704541e-05,3.699638e-05,3.689749e-05,3.688392e-05,3.677017e-05,3.674728e-05,3.665529e-05,3.659516e-05,3.653945e-05,3.644150e-05,3.642278e-05,3.630544e-05,3.628661e-05,3.618754e-05,3.613079e-05,3.606922e-05,3.597432e-05,3.595057e-05,3.583171e-05,3.581744e-05,3.571274e-05,3.566038e-05,3.559374e-05,3.550334e-05,3.547481e-05,3.535601e-05,3.534652e-05,3.523743e-05,3.519008e-05,3.511914e-05,3.503418e-05,3.500120e-05,3.488367e-05,3.487897e-05,3.476660e-05,3.472458e-05,3.465005e-05,3.457112e-05,3.453407e-05,3.441869e-05,3.426741e-05,3.411735e-05,3.396859e-05,3.382120e-05,3.367526e-05,3.353080e-05,3.338789e-05,3.324658e-05,3.310689e-05,3.296886e-05,3.283253e-05,3.269791e-05,3.256504e-05,3.243392e-05,3.230458e-05,3.217702e-05,3.205126e-05,3.192729e-05,3.180513e-05,3.168477e-05,3.156622e-05,3.144947e-05,3.133452e-05,3.122135e-05
0.000000e+00,6.366375e-11,2.475762e-10,1.860578e-09,7.079236e-09,1.306410e-08,4.934003e-08,5.177468e-08,1.515213e-07,1.973026e-07,3.675889e-07,5.850367e-07,7.784803e-07,1.405608e-06,1.473739e-06,2.536386e-06,2.853896e-06,4.033230e-06,5.080037e-06,6.013166e-06,8.181443e-06,8.508910e-06,1.153944e-05,1.221055e-05,1.511210e-05,1.718362e-05,1.922425e-05,2.308719e-05,2.386439e-05,2.901321e-05,2.988256e-05,3.464446e-05,3.750956e-05,4.072589e-05,4.589024e-05,4.722020e-05,5.408613e-05,5.493294e-05,6.127949e-05,6.453647e-05,6.875425e-05,7.459447e-05,7.646360e-05,8.436094e-05,8.499947e-05,9.240070e-05,9.564660e-05,1.005391e-04,1.064364e-04,1.087347e-04,1.169488e-04,1.172772e-04,1.251458e-04,1.280863e-04,1.332936e-04,1.387909e-04,1.413630e-04,1.493285e-04,1.571676e-04,1.596462e-04,1.648611e-04,1.697008e-04,1.723926e-04,1.794577e-04,1.797484e-04,1.869173e-04,1.888898e-04,1.938904e-04,1.979774e-04,2.006609e-04,2.067065e-04,2.072238e-04,2.135754e-04,2.150682e-04,2.197139e-04,2.230580e-04,2.256385e-04,2.306753e-04,2.313493e-04,2.368476e-04,2.379219e-04,2.421354e-04,2.448026e-04,2.472152e-04,2.513238e-04,2.520902e-04,2.567641e-04,2.574935e-04,2.612407e-04,2.633207e-04,2.655245e-04,2.688156e-04,2.696199e-04,2.735316e-04,2.739888e-04,2.772644e-04,2.788515e-04,2.808233e-04,2.834148e-04,2.842133e-04,2.874393e-04,2.876904e-04,2.905063e-04,2.916898e-04,2.934195e-04,2.954244e-04,2.961836e-04,2.988037e-04,2.989055e-04,3.012845e-04,3.021444e-04,3.036309e-04,3.051520e-04,3.058474e-04,3.079388e-04,3.099096e-04,3.105154e-04,3.117640e-04,3.128918e-04,3.135064e-04,3.150778e-04,3.151411e-04,3.166721e-04,3.170828e-04,3.181034e-04,3.189159e-04,3.194389e-04,3.205861e-04,3.206822e-04,3.218372e-04,3.221016e-04,3.229073e-04,3.234708e-04,3.238960e-04,3.247014e-04,3.248066e-04,3.256425e-04,3.258009e-04,3.264066e-04,3.267766e-04,3.271021e-04,3.276354e-04,3.277319e-04,3.282988e-04,3.283839e-04,3.288056e-04,3.290284e-04,3.292550e-04,3.295749e-04,3.296495e-04,3.299916e-04,3.300293e-04,3.302837e-04,3.303970e-04,3.305281e-04,3.306834e-04,3.307271e-04,3.308827e-04,3.308934e-04,3.309972e-04,3.310318e-04,3.310724e-04,3.311033e-04,3.311103e-04,3.311127e-04,3.311121e-04,3.310815e-04,3.310624e-04,3.310184e-04,3.309581e-04,3.309250e-04,3.308029e-04,3.306005e-04,3.303541e-04,3.300670e-04,3.297423e-04,3.293827e-04,3.289911e-04,3.285700e-04,3.281218e-04,3.276490e-04,3.271537e-04,3.266379e-04,3.261036e-04,3.255528e-04,3.249870e-04,3.244080e-04,3.238174e-04,3.232165e-04,3.226068e-04,3.219895e-04,3.213659e-04,3.207371e-04,3.201042e-04,3.194682e-04,3.188300e-04
0.000000e+00,3.448251e-09,8.175580e-09,2.919611e-08,6.770799e-08,9.958229e-08,2.300886e-07,2.371849e-07,4.670346e-07,5.518019e-07,8.184013e-07,1.100886e-06,1.322985e-06,1.943057e-06,2.004258e-06,2.864145e-06,3.095483e-06,3.886675e-06,4.522953e-06,5.052375e-06,6.183722e-06,6.345107e-06,7.751886e-06,8.045905e-06,9.261208e-06,1.008286e-05,1.086183e-05,1.226846e-05,1.254218e-05,1.429026e-05,1.457541e-05,1.609366e-05,1.697526e-05,1.793985e-05,1.943925e-05,1.981640e-05,2.171127e-05,2.193933e-05,2.361306e-05,2.444930e-05,2.551124e-05,2.694548e-05,2.739619e-05,2.925937e-05,2.940725e-05,3.109330e-05,3.181721e-05,3.289156e-05,3.416117e-05,3.464879e-05,3.636056e-05,3.642804e-05,3.802337e-05,3.860945e-05,3.963450e-05,4.069950e-05,4.119196e-05,4.269439e-05,4.414097e-05,4.459202e-05,4.553137e-05,4.639174e-05,4.686563e-05,4.809405e-05,4.814412e-05,4.936752e-05,4.970031e-05,5.053668e-05,5.121257e-05,5.165266e-05,5.263341e-05,5.271665e-05,5.372994e-05,5.396574e-05,5.469392e-05,5.521274e-05,5.561002e-05,5.637774e-05,5.647971e-05,5.730447e-05,5.746417e-05,5.808582e-05,5.847547e-05,5.882526e-05,5.941508e-05,5.952426e-05,6.018431e-05,6.028639e-05,6.080684e-05,6.109275e-05,6.139328e-05,6.183738e-05,6.194502e-05,6.246341e-05,6.252344e-05,6.294976e-05,6.315395e-05,6.340537e-05,6.373184e-05,6.383148e-05,6.422929e-05,6.425992e-05,6.459997e-05,6.474090e-05,6.494465e-05,6.517734e-05,6.526443e-05,6.556035e-05,6.557171e-05,6.583344e-05,6.592636e-05,6.608468e-05,6.624353e-05,6.631502e-05,6.652536e-05,6.671658e-05,6.677388e-05,6.688954e-05,6.699101e-05,6.704503e-05,6.717860e-05,6.718385e-05,6.730674e-05,6.733839e-05,6.741443e-05,6.747203e-05,6.750761e-05,6.758110e-05,6.758695e-05,6.765309e-05,6.766707e-05,6.770665e-05,6.773137e-05,6.774822e-05,6.777533e-05,6.777836e-05,6.779762e-05,6.780021e-05,6.780652e-05,6.780722e-05,6.780556e-05,6.779750e-05,6.779523e-05,6.777599e-05,6.777211e-05,6.774827e-05,6.773208e-05,6.771250e-05,6.767837e-05,6.766910e-05,6.761844e-05,6.761189e-05,6.756091e-05,6.753351e-05,6.749686e-05,6.744403e-05,6.742664e-05,6.735057e-05,6.734424e-05,6.726897e-05,6.723485e-05,6.718214e-05,6.711655e-05,6.709037e-05,6.699395e-05,6.699000e-05,6.689313e-05,6.685581e-05,6.678817e-05,6.671456e-05,6.667931e-05,6.656679e-05,6.641303e-05,6.625377e-05,6.608946e-05,6.592054e-05,6.574742e-05,6.557049e-05,6.539011e-05,6.520663e-05,6.502038e-05,6.483165e-05,6.464074e-05,6.444791e-05,6.425343e-05,6.405754e-05,6.386045e-05,6.366239e-05,6.346356e-05,6.326414e-05,6.306431e-05,6.286424e-05,6.266408e-05,6.246397e-05,6.226407e-05,6.206448e-05
0.000000e+00,6.980700e-11,2.734449e-10,2.081706e-09,7.984812e-09,1.477082e-08,5.565437e-08,5.837754e-08,1.678751e-07,2.170175e-07,3.957914e-07,6.188754e-07,8.153383e-07,1.453635e-06,1.523655e-06,2.643066e-06,2.988469e-06,4.316263e-06,5.551297e-06,6.693386e-06,9.480045e-06,9.915499e-06,1.410136e-05,1.506260e-05,1.934028e-05,2.250112e-05,2.569007e-05,3.190321e-05,3.317806e-05,4.180367e-05,4.328797e-05,5.154164e-05,5.659802e-05,6.234541e-05,7.171301e-05,7.415054e-05,8.687792e-05,8.846298e-05,1.004369e-04,1.066409e-04,1.147281e-04,1.260146e-04,1.296463e-04,1.450828e-04,1.463369e-04,1.609278e-04,1.673557e-04,1.770723e-04,1.888219e-04,1.934100e-04,2.098387e-04,2.104963e-04,2.262616e-04,2.321548e-04,2.425884e-04,2.535929e-04,2.587358e-04,2.746282e-04,2.901978e-04,2.951019e-04,3.053850e-04,3.148798e-04,3.201379e-04,3.338514e-04,3.344128e-04,3.481730e-04,3.519295e-04,3.613892e-04,3.690481e-04,3.740387e-04,3.851614e-04,3.861049e-04,3.975770e-04,4.002412e-04,4.084491e-04,4.142749e-04,4.187202e-04,4.272637e-04,4.283930e-04,4.374741e-04,4.392201e-04,4.459730e-04,4.501664e-04,4.539020e-04,4.601324e-04,4.612755e-04,4.681097e-04,4.691543e-04,4.744224e-04,4.772727e-04,4.802323e-04,4.845315e-04,4.855592e-04,4.904233e-04,4.909769e-04,4.948454e-04,4.966565e-04,4.988462e-04,5.016179e-04,5.024466e-04,5.056672e-04,5.059090e-04,5.085283e-04,5.095765e-04,5.110498e-04,5.126661e-04,5.132513e-04,5.151517e-04,5.152217e-04,5.167693e-04,5.172858e-04,5.181217e-04,5.188986e-04,5.192259e-04,5.200983e-04,5.207542e-04,5.209209e-04,5.212087e-04,5.214003e-04,5.214757e-04,5.215683e-04,5.215688e-04,5.215007e-04,5.214544e-04,5.212833e-04,5.210860e-04,5.209281e-04,5.204888e-04,5.204458e-04,5.198464e-04,5.196862e-04,5.191395e-04,5.187001e-04,5.183341e-04,5.175504e-04,5.174385e-04,5.164605e-04,5.162557e-04,5.154076e-04,5.148328e-04,5.142866e-04,5.132972e-04,5.131041e-04,5.118660e-04,5.116631e-04,5.105779e-04,5.099434e-04,5.092451e-04,5.081500e-04,5.078725e-04,5.064647e-04,5.062936e-04,5.050258e-04,5.043839e-04,5.035598e-04,5.024298e-04,5.020704e-04,5.005610e-04,5.004395e-04,4.990347e-04,4.984201e-04,4.974945e-04,4.963784e-04,4.959431e-04,4.943829e-04,4.943204e-04,4.928164e-04,4.922513e-04,4.912457e-04,4.901762e-04,4.896727e-04,4.880993e-04,4.860246e-04,4.839558e-04,4.818959e-04,4.798478e-04,4.778139e-04,4.757967e-04,4.737980e-04,4.718197e-04,4.698633e-04,4.679302e-04,4.660215e-04,4.641384e-04,4.622816e-04,4.604520e-04,4.586502e-04,4.568767e-04,4.551320e-04,4.534163e-04,4.517300e-04,4.500732e-04,4.484460e-04,4.468485e-04,4.452808e-04,4.437427e-04
0.000000e+00,3.322649e-10,1.195161e-09,7.668742e-09,2.534545e-08,4.332735e-08,1.343865e-07,1.398908e-07,3.362988e-07,4.150406e-07,6.765003e-07,9.698900e-07,1.209536e-06,1.913429e-06,1.985482e-06,3.042511e-06,3.340045e-06,4.393500e-06,5.274701e-06,6.026477e-06,7.676450e-06,7.915715e-06,1.003176e-05,1.047963e-05,1.234596e-05,1.361862e-05,1.483124e-05,1.703194e-05,1.746144e-05,2.021059e-05,2.065976e-05,2.305261e-05,2.444211e-05,2.596144e-05,2.831934e-05,2.891142e-05,3.187780e-05,3.223375e-05,3.483727e-05,3.613164e-05,3.776837e-05,3.996512e-05,4.065188e-05,4.347097e-05,4.369327e-05,4.621132e-05,4.728269e-05,4.886109e-05,5.070742e-05,5.141079e-05,5.385316e-05,5.394854e-05,5.618302e-05,5.699353e-05,5.839700e-05,5.983534e-05,6.049330e-05,6.247141e-05,6.433201e-05,6.490282e-05,6.607667e-05,6.713344e-05,6.770770e-05,6.916931e-05,6.922804e-05,7.064104e-05,7.101792e-05,7.195023e-05,7.268744e-05,7.315930e-05,7.418661e-05,7.427220e-05,7.529314e-05,7.552496e-05,7.622647e-05,7.671247e-05,7.707646e-05,7.775877e-05,7.784722e-05,7.854284e-05,7.867329e-05,7.916722e-05,7.946501e-05,7.972414e-05,8.014252e-05,8.021728e-05,8.065018e-05,8.071409e-05,8.102623e-05,8.118750e-05,8.134868e-05,8.157014e-05,8.162063e-05,8.184510e-05,8.186898e-05,8.202496e-05,8.209068e-05,8.216294e-05,8.224139e-05,8.226162e-05,8.232346e-05,8.232689e-05,8.235080e-05,8.235259e-05,8.234589e-05,8.232356e-05,8.231082e-05,8.224759e-05,8.224451e-05,8.215811e-05,8.211981e-05,8.204416e-05,8.195356e-05,8.190744e-05,8.174956e-05,8.157206e-05,8.151135e-05,8.137637e-05,8.124221e-05,8.116385e-05,8.094520e-05,8.093579e-05,8.069341e-05,8.062313e-05,8.043784e-05,8.027863e-05,8.017017e-05,7.991411e-05,7.989142e-05,7.960255e-05,7.953182e-05,7.930447e-05,7.913383e-05,7.899802e-05,7.872206e-05,7.868401e-05,7.836320e-05,7.829828e-05,7.803630e-05,7.786412e-05,7.770397e-05,7.742108e-05,7.736684e-05,7.702552e-05,7.697055e-05,7.668054e-05,7.651380e-05,7.633243e-05,7.605202e-05,7.598168e-05,7.562874e-05,7.558626e-05,7.527405e-05,7.511754e-05,7.491801e-05,7.464675e-05,7.456099e-05,7.420335e-05,7.417472e-05,7.384540e-05,7.370221e-05,7.348747e-05,7.322993e-05,7.312983e-05,7.277276e-05,7.275849e-05,7.241649e-05,7.228848e-05,7.206127e-05,7.182042e-05,7.170730e-05,7.135478e-05,7.089199e-05,7.043245e-05,6.997650e-05,6.952446e-05,6.907660e-05,6.863319e-05,6.819443e-05,6.776052e-05,6.733164e-05,6.690795e-05,6.648955e-05,6.607658e-05,6.566911e-05,6.526724e-05,6.487101e-05,6.448048e-05,6.409569e-05,6.371666e-05,6.334340e-05,6.297593e-05,6.261424e-05,6.225831e-05,6.190813e-05,6.156367e-05
0.000000e+00,1.369500e-09,4.015285e-09,1.841258e-08,4.835688e-08,7.454037e-08,1.868768e-07,1.931144e-07,3.981723e-07,4.746129e-07,7.162087e-07,9.734425e-07,1.176586e-06,1.749591e-06,1.806708e-06,2.620959e-06,2.843662e-06,3.615651e-06,4.246581e-06,4.777380e-06,5.926735e-06,6.092184e-06,7.548203e-06,7.855422e-06,9.134982e-06,1.000841e-05,1.084230e-05,1.236176e-05,1.265940e-05,1.457466e-05,1.488939e-05,1.657554e-05,1.756248e-05,1.864870e-05,2.034998e-05,2.078030e-05,2.295622e-05,2.321964e-05,2.516240e-05,2.613916e-05,2.738517e-05,2.907751e-05,2.961148e-05,3.182909e-05,3.200578e-05,3.402676e-05,3.489793e-05,3.619432e-05,3.773122e-05,3.832277e-05,4.040426e-05,4.048644e-05,4.243211e-05,4.314789e-05,4.440074e-05,4.570325e-05,4.630566e-05,4.814339e-05,4.991124e-05,5.046184e-05,5.160722e-05,5.265441e-05,5.323024e-05,5.471916e-05,5.477973e-05,5.625570e-05,5.665585e-05,5.765860e-05,5.846560e-05,5.898927e-05,6.015070e-05,6.024888e-05,6.143887e-05,6.171428e-05,6.256086e-05,6.316013e-05,6.361665e-05,6.449252e-05,6.460818e-05,6.553747e-05,6.571604e-05,6.640662e-05,6.683551e-05,6.721775e-05,6.785583e-05,6.797301e-05,6.867456e-05,6.878197e-05,6.932454e-05,6.961883e-05,6.992506e-05,7.037128e-05,7.047822e-05,7.098606e-05,7.104405e-05,7.145058e-05,7.164174e-05,7.187372e-05,7.216881e-05,7.225739e-05,7.260343e-05,7.262954e-05,7.291362e-05,7.302804e-05,7.318968e-05,7.336824e-05,7.343327e-05,7.364600e-05,7.365389e-05,7.382942e-05,7.388856e-05,7.398500e-05,7.407564e-05,7.411419e-05,7.421836e-05,7.429881e-05,7.431976e-05,7.435683e-05,7.438274e-05,7.439361e-05,7.441003e-05,7.441033e-05,7.440808e-05,7.440421e-05,7.438795e-05,7.436771e-05,7.435094e-05,7.430283e-05,7.429803e-05,7.423015e-05,7.421173e-05,7.414819e-05,7.409646e-05,7.405300e-05,7.395893e-05,7.394539e-05,7.382613e-05,7.380094e-05,7.369596e-05,7.362420e-05,7.355559e-05,7.343028e-05,7.340568e-05,7.324689e-05,7.322070e-05,7.307981e-05,7.299684e-05,7.290502e-05,7.276002e-05,7.272309e-05,7.253454e-05,7.251149e-05,7.233986e-05,7.225238e-05,7.213953e-05,7.198379e-05,7.193401e-05,7.172373e-05,7.170671e-05,7.150909e-05,7.142211e-05,7.129049e-05,7.113085e-05,7.106829e-05,7.084284e-05,7.083376e-05,7.061449e-05,7.053162e-05,7.038353e-05,7.022515e-05,7.015027e-05,6.991500e-05,6.960180e-05,6.928614e-05,6.896855e-05,6.864954e-05,6.832955e-05,6.800904e-05,6.768839e-05,6.736797e-05,6.704812e-05,6.672917e-05,6.641139e-05,6.609505e-05,6.578041e-05,6.546767e-05,6.515706e-05,6.484875e-05,6.454292e-05,6.423972e-05,6.393929e-05,6.364176e-05,6.334724e-05,6.305583e-05,6.276763e-05,6.248271e-05
0.000000e+00,3.654450e-09,8.448197e-09,2.932675e-08,6.712043e-08,9.830443e-08,2.264020e-07,2.334021e-07,4.622799e-07,5.475519e-07,8.167471e-07,1.099541e-06,1.317342e-06,1.897914e-06,1.953073e-06,2.695491e-06,2.886740e-06,3.520972e-06,4.013226e-06,4.413096e-06,5.242939e-06,5.358866e-06,6.346374e-06,6.547859e-06,7.364016e-06,7.901324e-06,8.400475e-06,9.277735e-06,9.444975e-06,1.048760e-05,1.065364e-05,1.151954e-05,1.200881e-05,1.253324e-05,1.332682e-05,1.352244e-05,1.448217e-05,1.459516e-05,1.540862e-05,1.580498e-05,1.629906e-05,1.695058e-05,1.715169e-05,1.796545e-05,1.802885e-05,1.873993e-05,1.903873e-05,1.947523e-05,1.998066e-05,2.017186e-05,2.083059e-05,2.085617e-05,2.145247e-05,2.166755e-05,2.203867e-05,2.241755e-05,2.259047e-05,2.310923e-05,2.359633e-05,2.374575e-05,2.405319e-05,2.433034e-05,2.448118e-05,2.486617e-05,2.488168e-05,2.525602e-05,2.535633e-05,2.560552e-05,2.580381e-05,2.593142e-05,2.621144e-05,2.623492e-05,2.651719e-05,2.658189e-05,2.677932e-05,2.691773e-05,2.702240e-05,2.722133e-05,2.724741e-05,2.745532e-05,2.749493e-05,2.764704e-05,2.774064e-05,2.782345e-05,2.796041e-05,2.798537e-05,2.813358e-05,2.815607e-05,2.826882e-05,2.832934e-05,2.839180e-05,2.848180e-05,2.850318e-05,2.860360e-05,2.861494e-05,2.869365e-05,2.873013e-05,2.877390e-05,2.882867e-05,2.884489e-05,2.890712e-05,2.891173e-05,2.896108e-05,2.898045e-05,2.900722e-05,2.903585e-05,2.904598e-05,2.907776e-05,2.907889e-05,2.910294e-05,2.911047e-05,2.912190e-05,2.913142e-05,2.913499e-05,2.914252e-05,2.914481e-05,2.914449e-05,2.914216e-05,2.913799e-05,2.913484e-05,2.912367e-05,2.912312e-05,2.910725e-05,2.910210e-05,2.908747e-05,2.907381e-05,2.906400e-05,2.903933e-05,2.903705e-05,2.900684e-05,2.899912e-05,2.897354e-05,2.895362e-05,2.893735e-05,2.890324e-05,2.889843e-05,2.885695e-05,2.884836e-05,2.881307e-05,2.878935e-05,2.876693e-05,2.872653e-05,2.871868e-05,2.866844e-05,2.866022e-05,2.861634e-05,2.859071e-05,2.856251e-05,2.851827e-05,2.850706e-05,2.845009e-05,2.844316e-05,2.839171e-05,2.836560e-05,2.833202e-05,2.828584e-05,2.827111e-05,2.820907e-05,2.820406e-05,2.814599e-05,2.812048e-05,2.808194e-05,2.803526e-05,2.801699e-05,2.795123e-05,2.794859e-05,2.788473e-05,2.786061e-05,2.781754e-05,2.777149e-05,2.774972e-05,2.768135e-05,2.759033e-05,2.749856e-05,2.740614e-05,2.731319e-05,2.721981e-05,2.712608e-05,2.703210e-05,2.693795e-05,2.684371e-05,2.674944e-05,2.665522e-05,2.656111e-05,2.646717e-05,2.637345e-05,2.628001e-05,2.618689e-05,2.609413e-05,2.600179e-05,2.590989e-05,2.581847e-05,2.572757e-05,2.563721e-05,2.554743e-05,2.545825e-05
0.000000e+00,2.317555e-09,5.305007e-09,1.823467e-08,4.146337e-08,6.046889e-08,1.370052e-07,1.411186e-07,2.721925e-07,3.196065e-07,4.661336e-07,6.181204e-07,7.360848e-07,1.062977e-06,1.095283e-06,1.554653e-06,1.680511e-06,2.118963e-06,2.479909e-06,2.785060e-06,3.448745e-06,3.544471e-06,4.387256e-06,4.564971e-06,5.303962e-06,5.806961e-06,6.285918e-06,7.155192e-06,7.324940e-06,8.413036e-06,8.591153e-06,9.542241e-06,1.009652e-05,1.070459e-05,1.165301e-05,1.189217e-05,1.309722e-05,1.324264e-05,1.431225e-05,1.484818e-05,1.553017e-05,1.645365e-05,1.674439e-05,1.794884e-05,1.804461e-05,1.913812e-05,1.960850e-05,2.030747e-05,2.113467e-05,2.145269e-05,2.257026e-05,2.261434e-05,2.365730e-05,2.404068e-05,2.471144e-05,2.540851e-05,2.573086e-05,2.671420e-05,2.766051e-05,2.795541e-05,2.856923e-05,2.913094e-05,2.944008e-05,3.024051e-05,3.027311e-05,3.106854e-05,3.128458e-05,3.182681e-05,3.226418e-05,3.254852e-05,3.318082e-05,3.323439e-05,3.388524e-05,3.403634e-05,3.450199e-05,3.483283e-05,3.508559e-05,3.557255e-05,3.563706e-05,3.615743e-05,3.625786e-05,3.664775e-05,3.689119e-05,3.710908e-05,3.747498e-05,3.754250e-05,3.794904e-05,3.801166e-05,3.832975e-05,3.850361e-05,3.868565e-05,3.895318e-05,3.901774e-05,3.932701e-05,3.936263e-05,3.961440e-05,3.973416e-05,3.988085e-05,4.006990e-05,4.012725e-05,4.035449e-05,4.037187e-05,4.056340e-05,4.064201e-05,4.075480e-05,4.088221e-05,4.092947e-05,4.108818e-05,4.109421e-05,4.123166e-05,4.127972e-05,4.136062e-05,4.144035e-05,4.147572e-05,4.157762e-05,4.166695e-05,4.169298e-05,4.174430e-05,4.178780e-05,4.181027e-05,4.186338e-05,4.186539e-05,4.191020e-05,4.192097e-05,4.194521e-05,4.196172e-05,4.197091e-05,4.198673e-05,4.198777e-05,4.199623e-05,4.199706e-05,4.199673e-05,4.199368e-05,4.198967e-05,4.197753e-05,4.197545e-05,4.195446e-05,4.194948e-05,4.192704e-05,4.191036e-05,4.189354e-05,4.186095e-05,4.185430e-05,4.180963e-05,4.180200e-05,4.175984e-05,4.173420e-05,4.170520e-05,4.165820e-05,4.164601e-05,4.158251e-05,4.157462e-05,4.151497e-05,4.148404e-05,4.144363e-05,4.138701e-05,4.136871e-05,4.129045e-05,4.128405e-05,4.120903e-05,4.117563e-05,4.112468e-05,4.106223e-05,4.103757e-05,4.094790e-05,4.094426e-05,4.085584e-05,4.082214e-05,4.076155e-05,4.069624e-05,4.066519e-05,4.056692e-05,4.043452e-05,4.029934e-05,4.016170e-05,4.002185e-05,3.988008e-05,3.973661e-05,3.959169e-05,3.944552e-05,3.929831e-05,3.915025e-05,3.900150e-05,3.885225e-05,3.870264e-05,3.855281e-05,3.840291e-05,3.825305e-05,3.810336e-05,3.795395e-05,3.780491e-05,3.765634e-05,3.750833e-05,3.736096e-05,3.721431e-05,3.706845e-05
0.000000e+00,2.363005e-10,8.318309e-10,5.120492e-09,1.634907e-08,2.745326e-08,8.151351e-08,8.470620e-08,1.953531e-07,2.383889e-07,3.775655e-07,5.286358e-07,6.490731e-07,9.926029e-07,1.027168e-06,1.528157e-06,1.668291e-06,2.165687e-06,2.585628e-06,2.947625e-06,3.754155e-06,3.872328e-06,4.926737e-06,5.151322e-06,6.088412e-06,6.725982e-06,7.330481e-06,8.416482e-06,8.626449e-06,9.952929e-06,1.016664e-05,1.129045e-05,1.193160e-05,1.262318e-05,1.367724e-05,1.393835e-05,1.522571e-05,1.537792e-05,1.647711e-05,1.701462e-05,1.768615e-05,1.857367e-05,1.884800e-05,1.995917e-05,2.004579e-05,2.101733e-05,2.142543e-05,2.202117e-05,2.271000e-05,2.297021e-05,2.386465e-05,2.389931e-05,2.470529e-05,2.499497e-05,2.549333e-05,2.599993e-05,2.623032e-05,2.691806e-05,2.755853e-05,2.775384e-05,2.815381e-05,2.851205e-05,2.870601e-05,2.919762e-05,2.921731e-05,2.968984e-05,2.981549e-05,3.012570e-05,3.037047e-05,3.052694e-05,3.086721e-05,3.089554e-05,3.123341e-05,3.131013e-05,3.154236e-05,3.170340e-05,3.182414e-05,3.205094e-05,3.208040e-05,3.231270e-05,3.235641e-05,3.252252e-05,3.262322e-05,3.271128e-05,3.285452e-05,3.288028e-05,3.303078e-05,3.305323e-05,3.316396e-05,3.322205e-05,3.328090e-05,3.336348e-05,3.338266e-05,3.347021e-05,3.347980e-05,3.354446e-05,3.357315e-05,3.360628e-05,3.364545e-05,3.365648e-05,3.369581e-05,3.369851e-05,3.372499e-05,3.373397e-05,3.374468e-05,3.375335e-05,3.375552e-05,3.375810e-05,3.375804e-05,3.375297e-05,3.374933e-05,3.374064e-05,3.372840e-05,3.372161e-05,3.369634e-05,3.366525e-05,3.365414e-05,3.362875e-05,3.360273e-05,3.358722e-05,3.354295e-05,3.354101e-05,3.349047e-05,3.347558e-05,3.343590e-05,3.340134e-05,3.337759e-05,3.332090e-05,3.331584e-05,3.325089e-05,3.323486e-05,3.318300e-05,3.314378e-05,3.311239e-05,3.304818e-05,3.303928e-05,3.296388e-05,3.294854e-05,3.288637e-05,3.284530e-05,3.280694e-05,3.273886e-05,3.272576e-05,3.264299e-05,3.262960e-05,3.255877e-05,3.251787e-05,3.247324e-05,3.240398e-05,3.238655e-05,3.229881e-05,3.228822e-05,3.221015e-05,3.217087e-05,3.212067e-05,3.205218e-05,3.203048e-05,3.193967e-05,3.193238e-05,3.184834e-05,3.181168e-05,3.175658e-05,3.169028e-05,3.166446e-05,3.157206e-05,3.156836e-05,3.147946e-05,3.144609e-05,3.138672e-05,3.132361e-05,3.129391e-05,3.120108e-05,3.107862e-05,3.095636e-05,3.083440e-05,3.071284e-05,3.059178e-05,3.047131e-05,3.035150e-05,3.023242e-05,3.011415e-05,2.999673e-05,2.988023e-05,2.976469e-05,2.965016e-05,2.953668e-05,2.942429e-05,2.931301e-05,2.920289e-05,2.909393e-05,2.898618e-05,2.887964e-05,2.877434e-05,2.867029e-05,2.856750e-05,2.846598e-05
0.000000e+00,1.064332e-10,3.927365e-10,2.644588e-09,9.082029e-09,1.581819e-08,5.107332e-08,5.323863e-08,1.315295e-07,1.631853e-07,2.684575e-07,3.862363e-07,4.819766e-07,7.611868e-07,7.896599e-07,1.207324e-06,1.325298e-06,1.745885e-06,2.101688e-06,2.408115e-06,3.088821e-06,3.188330e-06,4.074901e-06,4.263720e-06,5.053235e-06,5.593080e-06,6.107795e-06,7.041190e-06,7.223090e-06,8.384016e-06,8.573015e-06,9.575956e-06,1.015495e-05,1.078485e-05,1.175515e-05,1.199732e-05,1.320081e-05,1.334407e-05,1.438384e-05,1.489520e-05,1.553613e-05,1.638577e-05,1.664877e-05,1.771431e-05,1.779733e-05,1.872682e-05,1.911591e-05,1.968179e-05,2.033197e-05,2.057615e-05,2.140808e-05,2.144004e-05,2.217689e-05,2.243825e-05,2.288290e-05,2.332765e-05,2.352722e-05,2.411166e-05,2.463853e-05,2.479540e-05,2.511051e-05,2.538515e-05,2.553059e-05,2.588791e-05,2.590186e-05,2.622756e-05,2.631102e-05,2.651087e-05,2.666184e-05,2.675498e-05,2.694756e-05,2.696293e-05,2.713770e-05,2.717502e-05,2.728207e-05,2.735064e-05,2.739871e-05,2.748037e-05,2.749008e-05,2.755850e-05,2.756962e-05,2.760610e-05,2.762330e-05,2.763488e-05,2.764583e-05,2.764664e-05,2.764305e-05,2.764116e-05,2.762565e-05,2.761281e-05,2.759583e-05,2.756389e-05,2.755487e-05,2.750391e-05,2.749717e-05,2.744401e-05,2.741508e-05,2.737614e-05,2.731975e-05,2.730115e-05,2.721984e-05,2.721308e-05,2.713291e-05,2.709672e-05,2.704103e-05,2.697214e-05,2.694478e-05,2.684470e-05,2.684062e-05,2.674126e-05,2.670329e-05,2.663491e-05,2.656114e-05,2.652605e-05,2.641505e-05,2.630222e-05,2.626579e-05,2.618788e-05,2.611404e-05,2.607230e-05,2.596039e-05,2.595571e-05,2.583836e-05,2.580539e-05,2.572044e-05,2.564949e-05,2.560214e-05,2.549311e-05,2.548363e-05,2.536506e-05,2.533661e-05,2.524658e-05,2.518031e-05,2.512831e-05,2.502450e-05,2.501037e-05,2.489286e-05,2.486942e-05,2.477588e-05,2.471529e-05,2.465952e-05,2.456231e-05,2.454386e-05,2.442896e-05,2.441065e-05,2.431489e-05,2.426046e-05,2.420172e-05,2.411185e-05,2.408948e-05,2.397824e-05,2.396496e-05,2.386802e-05,2.381986e-05,2.375887e-05,2.367666e-05,2.365083e-05,2.354391e-05,2.353541e-05,2.343816e-05,2.339619e-05,2.333358e-05,2.325903e-05,2.323021e-05,2.312805e-05,2.312399e-05,2.302712e-05,2.299109e-05,2.292744e-05,2.286037e-05,2.282901e-05,2.273184e-05,2.260552e-05,2.248141e-05,2.235952e-05,2.223986e-05,2.212241e-05,2.200717e-05,2.189414e-05,2.178328e-05,2.167460e-05,2.156807e-05,2.146368e-05,2.136140e-05,2.126120e-05,2.116307e-05,2.106698e-05,2.097289e-05,2.088079e-05,2.079065e-05,2.070243e-05,2.061611e-05,2.053165e-05,2.044903e-05,2.036822e-05,2.028918e-05
0.000000e+00,1.044978e-10,3.810125e-10,2.504526e-09,8.420965e-09,1.450225e-08,4.552877e-08,4.740644e-08,1.140864e-07,1.405746e-07,2.274093e-07,3.229270e-07,3.996519e-07,6.201226e-07,6.423950e-07,9.662092e-07,1.056981e-06,1.379258e-06,1.650935e-06,1.884443e-06,2.401391e-06,2.476690e-06,3.143079e-06,3.283738e-06,3.865953e-06,4.257934e-06,4.626651e-06,5.282236e-06,5.408005e-06,6.195359e-06,6.321052e-06,6.976647e-06,7.346556e-06,7.742066e-06,8.337600e-06,8.483700e-06,9.195217e-06,9.278326e-06,9.871656e-06,1.015717e-05,1.050928e-05,1.096627e-05,1.110547e-05,1.165862e-05,1.170099e-05,1.216802e-05,1.235953e-05,1.263377e-05,1.294248e-05,1.305662e-05,1.343790e-05,1.345231e-05,1.377935e-05,1.389292e-05,1.408305e-05,1.426916e-05,1.435128e-05,1.458644e-05,1.479098e-05,1.485037e-05,1.496736e-05,1.506656e-05,1.511794e-05,1.524038e-05,1.524504e-05,1.535081e-05,1.537689e-05,1.543731e-05,1.548075e-05,1.550643e-05,1.555617e-05,1.555991e-05,1.559938e-05,1.560693e-05,1.562628e-05,1.563637e-05,1.564196e-05,1.564744e-05,1.564763e-05,1.564437e-05,1.564273e-05,1.563315e-05,1.562446e-05,1.561485e-05,1.559458e-05,1.559025e-05,1.556005e-05,1.555475e-05,1.552489e-05,1.550642e-05,1.548533e-05,1.545086e-05,1.544187e-05,1.539496e-05,1.538912e-05,1.534500e-05,1.532215e-05,1.529236e-05,1.525076e-05,1.523736e-05,1.518029e-05,1.517565e-05,1.512143e-05,1.509743e-05,1.506100e-05,1.501665e-05,1.499923e-05,1.493630e-05,1.493376e-05,1.487240e-05,1.484918e-05,1.480768e-05,1.476327e-05,1.474228e-05,1.467635e-05,1.460999e-05,1.458869e-05,1.454332e-05,1.450054e-05,1.447644e-05,1.441211e-05,1.440943e-05,1.434238e-05,1.432361e-05,1.427536e-05,1.423520e-05,1.420845e-05,1.414703e-05,1.414170e-05,1.407517e-05,1.405924e-05,1.400892e-05,1.397195e-05,1.394298e-05,1.388526e-05,1.387741e-05,1.381224e-05,1.379926e-05,1.374751e-05,1.371404e-05,1.368325e-05,1.362966e-05,1.361949e-05,1.355626e-05,1.354620e-05,1.349358e-05,1.346370e-05,1.343147e-05,1.338221e-05,1.336996e-05,1.330905e-05,1.330178e-05,1.324877e-05,1.322245e-05,1.318913e-05,1.314423e-05,1.313013e-05,1.307180e-05,1.306716e-05,1.301414e-05,1.299126e-05,1.295715e-05,1.291655e-05,1.290085e-05,1.284525e-05,1.284304e-05,1.279033e-05,1.277073e-05,1.273611e-05,1.269964e-05,1.268259e-05,1.262978e-05,1.256114e-05,1.249372e-05,1.242752e-05,1.236255e-05,1.229879e-05,1.223623e-05,1.217487e-05,1.211470e-05,1.205571e-05,1.199789e-05,1.194122e-05,1.188569e-05,1.183129e-05,1.177801e-05,1.172582e-05,1.167472e-05,1.162469e-05,1.157571e-05,1.152776e-05,1.148084e-05,1.143492e-05,1.138999e-05,1.134603e-05,1.130303e-05
0.000000e+00,5.415864e-09,1.241962e-08,4.289889e-08,9.811086e-08,1.436220e-07,3.293590e-07,3.394411e-07,6.652945e-07,7.851608e-07,1.161379e-06,1.559590e-06,1.873278e-06,2.757736e-06,2.846016e-06,4.109134e-06,4.456187e-06,5.663349e-06,6.652831e-06,7.485890e-06,9.287970e-06,9.546955e-06,1.181954e-05,1.229739e-05,1.428099e-05,1.562894e-05,1.691150e-05,1.923827e-05,1.969262e-05,2.260632e-05,2.308361e-05,2.563458e-05,2.712356e-05,2.875944e-05,3.131690e-05,3.196310e-05,3.522824e-05,3.562339e-05,3.853826e-05,4.000482e-05,4.187751e-05,4.442590e-05,4.523146e-05,4.858686e-05,4.885499e-05,5.193176e-05,5.326435e-05,5.525552e-05,5.763026e-05,5.854883e-05,6.180358e-05,6.193286e-05,6.501283e-05,6.615587e-05,6.817073e-05,7.028621e-05,7.127235e-05,7.431365e-05,7.729135e-05,7.823034e-05,8.020285e-05,8.203051e-05,8.304613e-05,8.571008e-05,8.581967e-05,8.852242e-05,8.926640e-05,9.115367e-05,9.269794e-05,9.371307e-05,9.600416e-05,9.620051e-05,9.861615e-05,9.918526e-05,1.009603e-04,1.022420e-04,1.032335e-04,1.051758e-04,1.054364e-04,1.075698e-04,1.079882e-04,1.096345e-04,1.106813e-04,1.116315e-04,1.132574e-04,1.135618e-04,1.154265e-04,1.157188e-04,1.172267e-04,1.180683e-04,1.189636e-04,1.203084e-04,1.206384e-04,1.222523e-04,1.224420e-04,1.238066e-04,1.244718e-04,1.253024e-04,1.264009e-04,1.267411e-04,1.281238e-04,1.282321e-04,1.294520e-04,1.299682e-04,1.307267e-04,1.316122e-04,1.319493e-04,1.331211e-04,1.331669e-04,1.342432e-04,1.346353e-04,1.353169e-04,1.360200e-04,1.363435e-04,1.373240e-04,1.382598e-04,1.385499e-04,1.391519e-04,1.397005e-04,1.400016e-04,1.407784e-04,1.408099e-04,1.415781e-04,1.417862e-04,1.423072e-04,1.427264e-04,1.429983e-04,1.436015e-04,1.436525e-04,1.442708e-04,1.444140e-04,1.448543e-04,1.451663e-04,1.454040e-04,1.458605e-04,1.459209e-04,1.464058e-04,1.464991e-04,1.468599e-04,1.470842e-04,1.472841e-04,1.476179e-04,1.476792e-04,1.480461e-04,1.481023e-04,1.483858e-04,1.485394e-04,1.486991e-04,1.489312e-04,1.489867e-04,1.492497e-04,1.492796e-04,1.494887e-04,1.495864e-04,1.497045e-04,1.498535e-04,1.498979e-04,1.500696e-04,1.500824e-04,1.502204e-04,1.502750e-04,1.503510e-04,1.504329e-04,1.504620e-04,1.505542e-04,1.505575e-04,1.506282e-04,1.506505e-04,1.506847e-04,1.507134e-04,1.507242e-04,1.507474e-04,1.507540e-04,1.507346e-04,1.506903e-04,1.506225e-04,1.505323e-04,1.504209e-04,1.502893e-04,1.501387e-04,1.499700e-04,1.497843e-04,1.495825e-04,1.493655e-04,1.491342e-04,1.488894e-04,1.486320e-04,1.483628e-04,1.480824e-04,1.477916e-04,1.474911e-04,1.471816e-04,1.468637e-04,1.465380e-04,1.462050e-04,1.458655e-04
0.000000e+00,4.109195e-09,1.009275e-08,3.739050e-08,8.815172e-08,1.304283e-07,3.045941e-07,3.140979e-07,6.232873e-07,7.379074e-07,1.100237e-06,1.486826e-06,1.792282e-06,2.648470e-06,2.733016e-06,3.916252e-06,4.232365e-06,5.304745e-06,6.157195e-06,6.859985e-06,8.343520e-06,8.553244e-06,1.036303e-05,1.073734e-05,1.227113e-05,1.329644e-05,1.426025e-05,1.598112e-05,1.631316e-05,1.841237e-05,1.875137e-05,2.054043e-05,2.156710e-05,2.268025e-05,2.438960e-05,2.481555e-05,2.693120e-05,2.718310e-05,2.901352e-05,2.991601e-05,3.105044e-05,3.256172e-05,3.303163e-05,3.494849e-05,3.509884e-05,3.679411e-05,3.751117e-05,3.856317e-05,3.978725e-05,4.025178e-05,4.185739e-05,4.191986e-05,4.337855e-05,4.390539e-05,4.481482e-05,4.574315e-05,4.616657e-05,4.743484e-05,4.862127e-05,4.898396e-05,4.972788e-05,5.039533e-05,5.075708e-05,5.167474e-05,5.171152e-05,5.259401e-05,5.282861e-05,5.340750e-05,5.386372e-05,5.415500e-05,5.478703e-05,5.483955e-05,5.546419e-05,5.560552e-05,5.603191e-05,5.632607e-05,5.654565e-05,5.695538e-05,5.700829e-05,5.742263e-05,5.749994e-05,5.779136e-05,5.796594e-05,5.811708e-05,5.835929e-05,5.840230e-05,5.864942e-05,5.868558e-05,5.886073e-05,5.895009e-05,5.903843e-05,5.915779e-05,5.918460e-05,5.930124e-05,5.931334e-05,5.939024e-05,5.942111e-05,5.945340e-05,5.948517e-05,5.949242e-05,5.950893e-05,5.950932e-05,5.950445e-05,5.949712e-05,5.948045e-05,5.945184e-05,5.943828e-05,5.937926e-05,5.937657e-05,5.930460e-05,5.927413e-05,5.921547e-05,5.914716e-05,5.911297e-05,5.899811e-05,5.887188e-05,5.882923e-05,5.873519e-05,5.864262e-05,5.858891e-05,5.844021e-05,5.843385e-05,5.827077e-05,5.822378e-05,5.810041e-05,5.799497e-05,5.792342e-05,5.775530e-05,5.774046e-05,5.755212e-05,5.750618e-05,5.735896e-05,5.724888e-05,5.716151e-05,5.698459e-05,5.696026e-05,5.675568e-05,5.671440e-05,5.654820e-05,5.643930e-05,5.633823e-05,5.616021e-05,5.612615e-05,5.591231e-05,5.587796e-05,5.569706e-05,5.559332e-05,5.548069e-05,5.530699e-05,5.526350e-05,5.504576e-05,5.501961e-05,5.482773e-05,5.473176e-05,5.460963e-05,5.444397e-05,5.439169e-05,5.417410e-05,5.415671e-05,5.395706e-05,5.387044e-05,5.374074e-05,5.358553e-05,5.352530e-05,5.331089e-05,5.330234e-05,5.309765e-05,5.302120e-05,5.288571e-05,5.274239e-05,5.267518e-05,5.246616e-05,5.219276e-05,5.192237e-05,5.165519e-05,5.139136e-05,5.113103e-05,5.087432e-05,5.062132e-05,5.037214e-05,5.012682e-05,4.988545e-05,4.964805e-05,4.941468e-05,4.918535e-05,4.896009e-05,4.873890e-05,4.852178e-05,4.830873e-05,4.809973e-05,4.789477e-05,4.769383e-05,4.749687e-05,4.730387e-05,4.711478e-05,4.692958e-05
0.000000e+00,3.173918e-09,7.439448e-09,2.624995e-08,6.049702e-08,8.871770e-08,2.033430e-07,2.095364e-07,4.081629e-07,4.805250e-07,7.055145e-07,9.406429e-07,1.124056e-06,1.634615e-06,1.685145e-06,2.402037e-06,2.597434e-06,3.273296e-06,3.823789e-06,4.285277e-06,5.278258e-06,5.420412e-06,6.662217e-06,6.922068e-06,7.996112e-06,8.721683e-06,9.408795e-06,1.064709e-05,1.088765e-05,1.242046e-05,1.266992e-05,1.399538e-05,1.476294e-05,1.560105e-05,1.690050e-05,1.722676e-05,1.886252e-05,1.905905e-05,2.049928e-05,2.121764e-05,2.212891e-05,2.335824e-05,2.374428e-05,2.533922e-05,2.546577e-05,2.690850e-05,2.752803e-05,2.844777e-05,2.953542e-05,2.995345e-05,3.142269e-05,3.148066e-05,3.285327e-05,3.335849e-05,3.424355e-05,3.516528e-05,3.559232e-05,3.689881e-05,3.816259e-05,3.855795e-05,3.938352e-05,4.014247e-05,4.056172e-05,4.165287e-05,4.169749e-05,4.279132e-05,4.309015e-05,4.384381e-05,4.445575e-05,4.485567e-05,4.575140e-05,4.582772e-05,4.676080e-05,4.697905e-05,4.765585e-05,4.814081e-05,4.851381e-05,4.923891e-05,4.933566e-05,5.012241e-05,5.027563e-05,5.087506e-05,5.125329e-05,5.159462e-05,5.217422e-05,5.228210e-05,5.293851e-05,5.304072e-05,5.356485e-05,5.385509e-05,5.416209e-05,5.461959e-05,5.473121e-05,5.527316e-05,5.533642e-05,5.578888e-05,5.600773e-05,5.627929e-05,5.663562e-05,5.674528e-05,5.718773e-05,5.722213e-05,5.760749e-05,5.776924e-05,5.800541e-05,5.827884e-05,5.838230e-05,5.873894e-05,5.875279e-05,5.907611e-05,5.919287e-05,5.939456e-05,5.960078e-05,5.969501e-05,5.997817e-05,6.024472e-05,6.032662e-05,6.049533e-05,6.064766e-05,6.073065e-05,6.094273e-05,6.095129e-05,6.115785e-05,6.121325e-05,6.135093e-05,6.146054e-05,6.153108e-05,6.168588e-05,6.169886e-05,6.185478e-05,6.189050e-05,6.199936e-05,6.207556e-05,6.213310e-05,6.224219e-05,6.225646e-05,6.236991e-05,6.239145e-05,6.247389e-05,6.252436e-05,6.256882e-05,6.264188e-05,6.265512e-05,6.273319e-05,6.274494e-05,6.280340e-05,6.283442e-05,6.286613e-05,6.291116e-05,6.292172e-05,6.297053e-05,6.297595e-05,6.301288e-05,6.302955e-05,6.304909e-05,6.307268e-05,6.307945e-05,6.310427e-05,6.310603e-05,6.312383e-05,6.313024e-05,6.313839e-05,6.314593e-05,6.314822e-05,6.315356e-05,6.315368e-05,6.315466e-05,6.315406e-05,6.315174e-05,6.314758e-05,6.314503e-05,6.313474e-05,6.311601e-05,6.309184e-05,6.306265e-05,6.302884e-05,6.299078e-05,6.294883e-05,6.290333e-05,6.285458e-05,6.280290e-05,6.274855e-05,6.269181e-05,6.263292e-05,6.257211e-05,6.250961e-05,6.244562e-05,6.238034e-05,6.231394e-05,6.224660e-05,6.217847e-05,6.210971e-05,6.204044e-05,6.197081e-05,6.190092e-05,6.183090e-05
0.000000e+00,3.615804e-09,8.287471e-09,2.858820e-08,6.533004e-08,9.562659e-08,2.196183e-07,2.263689e-07,4.458085e-07,5.271371e-07,7.842023e-07,1.058317e-06,1.274741e-06,1.881302e-06,1.941269e-06,2.784111e-06,3.010764e-06,3.785116e-06,4.406757e-06,4.923198e-06,6.024368e-06,6.181183e-06,7.545439e-06,7.829982e-06,9.004070e-06,9.796062e-06,1.054564e-05,1.189620e-05,1.215858e-05,1.383097e-05,1.410326e-05,1.555068e-05,1.638938e-05,1.730560e-05,1.872689e-05,1.908384e-05,2.087398e-05,2.108908e-05,2.266540e-05,2.345147e-05,2.444831e-05,2.579221e-05,2.621396e-05,2.795458e-05,2.809254e-05,2.966347e-05,3.033683e-05,3.133496e-05,3.251263e-05,3.296440e-05,3.454799e-05,3.461034e-05,3.608277e-05,3.662290e-05,3.756651e-05,3.854545e-05,3.899760e-05,4.037499e-05,4.169813e-05,4.211003e-05,4.296684e-05,4.375032e-05,4.418131e-05,4.529658e-05,4.534198e-05,4.644956e-05,4.675028e-05,4.750491e-05,4.811347e-05,4.850906e-05,4.938864e-05,4.946316e-05,5.036843e-05,5.057857e-05,5.122618e-05,5.168627e-05,5.203776e-05,5.271485e-05,5.280455e-05,5.352796e-05,5.366756e-05,5.420939e-05,5.454761e-05,5.485026e-05,5.535827e-05,5.545197e-05,5.601591e-05,5.610273e-05,5.654346e-05,5.678416e-05,5.703597e-05,5.740564e-05,5.749476e-05,5.792113e-05,5.797018e-05,5.831636e-05,5.848071e-05,5.868167e-05,5.894005e-05,5.901828e-05,5.932737e-05,5.935094e-05,5.961006e-05,5.971600e-05,5.986748e-05,6.003778e-05,6.010071e-05,6.031077e-05,6.031871e-05,6.049869e-05,6.056111e-05,6.066544e-05,6.076722e-05,6.081196e-05,6.093918e-05,6.104797e-05,6.107904e-05,6.113920e-05,6.118874e-05,6.121367e-05,6.127015e-05,6.127219e-05,6.131553e-05,6.132504e-05,6.134441e-05,6.135510e-05,6.135956e-05,6.136195e-05,6.136165e-05,6.135135e-05,6.134711e-05,6.132929e-05,6.131203e-05,6.129609e-05,6.125811e-05,6.125232e-05,6.119855e-05,6.118665e-05,6.113533e-05,6.109890e-05,6.106318e-05,6.099603e-05,6.098259e-05,6.089405e-05,6.087917e-05,6.079801e-05,6.074938e-05,6.069492e-05,6.060766e-05,6.058521e-05,6.046927e-05,6.045496e-05,6.034751e-05,6.029218e-05,6.022028e-05,6.012016e-05,6.008796e-05,5.995087e-05,5.993971e-05,5.980936e-05,5.975158e-05,5.966373e-05,5.955649e-05,5.951428e-05,5.936130e-05,5.935511e-05,5.920506e-05,5.914807e-05,5.904584e-05,5.893598e-05,5.888386e-05,5.871938e-05,5.849882e-05,5.827479e-05,5.804775e-05,5.781815e-05,5.758640e-05,5.735287e-05,5.711793e-05,5.688193e-05,5.664517e-05,5.640794e-05,5.617053e-05,5.593320e-05,5.569617e-05,5.545967e-05,5.522391e-05,5.498908e-05,5.475535e-05,5.452289e-05,5.429186e-05,5.406238e-05,5.383459e-05,5.360860e-05,5.338452e-05,5.316245e-05
0.000000e+00,1.737612e-10,6.196781e-10,3.910813e-09,1.274799e-08,2.163716e-08,6.595537e-08,6.861005e-08,1.622742e-07,1.993968e-07,3.214764e-07,4.569234e-07,5.667811e-07,8.879715e-07,9.208687e-07,1.407924e-06,1.547231e-06,2.050676e-06,2.484841e-06,2.864411e-06,3.723330e-06,3.850388e-06,4.993908e-06,5.239345e-06,6.269002e-06,6.974111e-06,7.645803e-06,8.860167e-06,9.096107e-06,1.059577e-05,1.083891e-05,1.212485e-05,1.286434e-05,1.366695e-05,1.490066e-05,1.520827e-05,1.673703e-05,1.691913e-05,1.824297e-05,1.889602e-05,1.971720e-05,2.081164e-05,2.115204e-05,2.254094e-05,2.264990e-05,2.387852e-05,2.439819e-05,2.516047e-05,2.604714e-05,2.638349e-05,2.754519e-05,2.759036e-05,2.864409e-05,2.902416e-05,2.967946e-05,3.034717e-05,3.065125e-05,3.155997e-05,3.240664e-05,3.266469e-05,3.319266e-05,3.366467e-05,3.391975e-05,3.456413e-05,3.458987e-05,3.520517e-05,3.536794e-05,3.576792e-05,3.608132e-05,3.628046e-05,3.670973e-05,3.674521e-05,3.716456e-05,3.725871e-05,3.754089e-05,3.773372e-05,3.787655e-05,3.814011e-05,3.817383e-05,3.843496e-05,3.848304e-05,3.866208e-05,3.876744e-05,3.885727e-05,3.899800e-05,3.902250e-05,3.915967e-05,3.917914e-05,3.927058e-05,3.931500e-05,3.935695e-05,3.940948e-05,3.942041e-05,3.946251e-05,3.946620e-05,3.948472e-05,3.948854e-05,3.948840e-05,3.947963e-05,3.947488e-05,3.944538e-05,3.944236e-05,3.940106e-05,3.937943e-05,3.934302e-05,3.929331e-05,3.927228e-05,3.918983e-05,3.918630e-05,3.909656e-05,3.906050e-05,3.899333e-05,3.891786e-05,3.888095e-05,3.876017e-05,3.863170e-05,3.858907e-05,3.849620e-05,3.840608e-05,3.835430e-05,3.821259e-05,3.820658e-05,3.805359e-05,3.800987e-05,3.789583e-05,3.779909e-05,3.773379e-05,3.758133e-05,3.756792e-05,3.739864e-05,3.735755e-05,3.722634e-05,3.712867e-05,3.705138e-05,3.689549e-05,3.687411e-05,3.669485e-05,3.665879e-05,3.651390e-05,3.641923e-05,3.633153e-05,3.617744e-05,3.614801e-05,3.596358e-05,3.593400e-05,3.577846e-05,3.568942e-05,3.559287e-05,3.544418e-05,3.540699e-05,3.522101e-05,3.519869e-05,3.503510e-05,3.495336e-05,3.484941e-05,3.470852e-05,3.466409e-05,3.447927e-05,3.446451e-05,3.429507e-05,3.422160e-05,3.411162e-05,3.398005e-05,3.392901e-05,3.374735e-05,3.374010e-05,3.356672e-05,3.350196e-05,3.338720e-05,3.326581e-05,3.320887e-05,3.303181e-05,3.280011e-05,3.257085e-05,3.234413e-05,3.212007e-05,3.189873e-05,3.168020e-05,3.146454e-05,3.125180e-05,3.104203e-05,3.083527e-05,3.063153e-05,3.043084e-05,3.023322e-05,3.003867e-05,2.984719e-05,2.965878e-05,2.947344e-05,2.929116e-05,2.911192e-05,2.893570e-05,2.876248e-05,2.859225e-05,2.842497e-05,2.826061e-05
0.000000e+00,8.917952e-12,3.444621e-11,2.545672e-10,9.495797e-10,1.729168e-09,6.245203e-09,6.539130e-09,1.797574e-08,2.294132e-08,4.046063e-08,6.148844e-08,7.946167e-08,1.354278e-07,1.413906e-07,2.333569e-07,2.607089e-07,3.625647e-07,4.536283e-07,5.354018e-07,7.274409e-07,7.566617e-07,1.029206e-06,1.089986e-06,1.354007e-06,1.543384e-06,1.730371e-06,2.084877e-06,2.156218e-06,2.628343e-06,2.707915e-06,3.142652e-06,3.403120e-06,3.694361e-06,4.159114e-06,4.278180e-06,4.888476e-06,4.963215e-06,5.519421e-06,5.802062e-06,6.165138e-06,6.662187e-06,6.819827e-06,7.477882e-06,7.530510e-06,8.133992e-06,8.394773e-06,8.783227e-06,9.243882e-06,9.421102e-06,1.004362e-05,1.006815e-05,1.064732e-05,1.085946e-05,1.122925e-05,1.161127e-05,1.178700e-05,1.231866e-05,1.282283e-05,1.297819e-05,1.329853e-05,1.358777e-05,1.374521e-05,1.414652e-05,1.416266e-05,1.455101e-05,1.465458e-05,1.491065e-05,1.511290e-05,1.524220e-05,1.552310e-05,1.554646e-05,1.582440e-05,1.588730e-05,1.607707e-05,1.620797e-05,1.630564e-05,1.648780e-05,1.651131e-05,1.669533e-05,1.672964e-05,1.685893e-05,1.693634e-05,1.700335e-05,1.711075e-05,1.712983e-05,1.723955e-05,1.725563e-05,1.733367e-05,1.737364e-05,1.741330e-05,1.746727e-05,1.747948e-05,1.753323e-05,1.753889e-05,1.757549e-05,1.759068e-05,1.760716e-05,1.762466e-05,1.762907e-05,1.764201e-05,1.764268e-05,1.764672e-05,1.764646e-05,1.764388e-05,1.763752e-05,1.763412e-05,1.761804e-05,1.761727e-05,1.759617e-05,1.758698e-05,1.756902e-05,1.754778e-05,1.753706e-05,1.750072e-05,1.746041e-05,1.744672e-05,1.741647e-05,1.738662e-05,1.736926e-05,1.732115e-05,1.731909e-05,1.726625e-05,1.725101e-05,1.721099e-05,1.717678e-05,1.715357e-05,1.709902e-05,1.709420e-05,1.703311e-05,1.701821e-05,1.697047e-05,1.693479e-05,1.690647e-05,1.684915e-05,1.684126e-05,1.677501e-05,1.676164e-05,1.670783e-05,1.667259e-05,1.663987e-05,1.658227e-05,1.657125e-05,1.650206e-05,1.649095e-05,1.643242e-05,1.639885e-05,1.636240e-05,1.630619e-05,1.629211e-05,1.622162e-05,1.621315e-05,1.615100e-05,1.611990e-05,1.608031e-05,1.602659e-05,1.600963e-05,1.593901e-05,1.593336e-05,1.586850e-05,1.584034e-05,1.579815e-05,1.574762e-05,1.572800e-05,1.565810e-05,1.565531e-05,1.558849e-05,1.556351e-05,1.551920e-05,1.547229e-05,1.545027e-05,1.538171e-05,1.529186e-05,1.520277e-05,1.511451e-05,1.502712e-05,1.494064e-05,1.485510e-05,1.477054e-05,1.468698e-05,1.460444e-05,1.452294e-05,1.444251e-05,1.436315e-05,1.428487e-05,1.420769e-05,1.413161e-05,1.405663e-05,1.398276e-05,1.391000e-05,1.383835e-05,1.376780e-05,1.369836e-05,1.363002e-05,1.356278e-05,1.349662e-05
0.000000e+00,1.676908e-09,3.853310e-09,1.329994e-08,3.029180e-08,4.419024e-08,1.000268e-07,1.030204e-07,1.979693e-07,2.320998e-07,3.368496e-07,4.443659e-07,5.270411e-07,7.527900e-07,7.748464e-07,1.084137e-06,1.167648e-06,1.455554e-06,1.690100e-06,1.887379e-06,2.315111e-06,2.376767e-06,2.920269e-06,3.035120e-06,3.513874e-06,3.840848e-06,4.152994e-06,4.721296e-06,4.832508e-06,5.546869e-06,5.664013e-06,6.290253e-06,6.655646e-06,7.056734e-06,7.682593e-06,7.840434e-06,8.635671e-06,8.731616e-06,9.437080e-06,9.790360e-06,1.023970e-05,1.084770e-05,1.103902e-05,1.183103e-05,1.189397e-05,1.261224e-05,1.292101e-05,1.337964e-05,1.392218e-05,1.413071e-05,1.486335e-05,1.489225e-05,1.557588e-05,1.582720e-05,1.626698e-05,1.672416e-05,1.693565e-05,1.758119e-05,1.820314e-05,1.839714e-05,1.880125e-05,1.917149e-05,1.937544e-05,1.990424e-05,1.992580e-05,2.045251e-05,2.059579e-05,2.095587e-05,2.124685e-05,2.143628e-05,2.185837e-05,2.189418e-05,2.233007e-05,2.243147e-05,2.274449e-05,2.296740e-05,2.313802e-05,2.346750e-05,2.351123e-05,2.386475e-05,2.393314e-05,2.419919e-05,2.436576e-05,2.451516e-05,2.476676e-05,2.481328e-05,2.509418e-05,2.513757e-05,2.535847e-05,2.547960e-05,2.560673e-05,2.579422e-05,2.583958e-05,2.605759e-05,2.608278e-05,2.626132e-05,2.634659e-05,2.645135e-05,2.658693e-05,2.662820e-05,2.679242e-05,2.680503e-05,2.694451e-05,2.700206e-05,2.708498e-05,2.717919e-05,2.721430e-05,2.733296e-05,2.733749e-05,2.744141e-05,2.747804e-05,2.754009e-05,2.760183e-05,2.762942e-05,2.770983e-05,2.778172e-05,2.780298e-05,2.784546e-05,2.788215e-05,2.790143e-05,2.794818e-05,2.794999e-05,2.799148e-05,2.800188e-05,2.802625e-05,2.804402e-05,2.805461e-05,2.807532e-05,2.807688e-05,2.809335e-05,2.809647e-05,2.810431e-05,2.810814e-05,2.811003e-05,2.811095e-05,2.811078e-05,2.810683e-05,2.810549e-05,2.809840e-05,2.809233e-05,2.808574e-05,2.807201e-05,2.806909e-05,2.804864e-05,2.804503e-05,2.802461e-05,2.801187e-05,2.799721e-05,2.797299e-05,2.796663e-05,2.793304e-05,2.792882e-05,2.789663e-05,2.787976e-05,2.785756e-05,2.782620e-05,2.781601e-05,2.777211e-05,2.776851e-05,2.772603e-05,2.770702e-05,2.767791e-05,2.764207e-05,2.762787e-05,2.757606e-05,2.757395e-05,2.752260e-05,2.750297e-05,2.746760e-05,2.742938e-05,2.741118e-05,2.735345e-05,2.727541e-05,2.719550e-05,2.711393e-05,2.703089e-05,2.694658e-05,2.686117e-05,2.677483e-05,2.668772e-05,2.659997e-05,2.651173e-05,2.642312e-05,2.633427e-05,2.624527e-05,2.615624e-05,2.606728e-05,2.597846e-05,2.588988e-05,2.580161e-05,2.571373e-05,2.562629e-05,2.553936e-05,2.545300e-05,2.536726e-05,2.528219e-05
0.000000e+00,4.947064e-11,1.808695e-10,1.197614e-09,4.062795e-09,7.038814e-09,2.253994e-08,2.349193e-08,5.810430e-08,7.223045e-08,1.197464e-07,1.736693e-07,2.178398e-07,3.467649e-07,3.598469e-07,5.490884e-07,6.015587e-07,7.853263e-07,9.374062e-07,1.066469e-06,1.348761e-06,1.389659e-06,1.751613e-06,1.828338e-06,2.148624e-06,2.367554e-06,2.576506e-06,2.956384e-06,3.030595e-06,3.505844e-06,3.583497e-06,3.996974e-06,4.236788e-06,4.498652e-06,4.904088e-06,5.005681e-06,5.513156e-06,5.573865e-06,6.016598e-06,6.235794e-06,6.512042e-06,6.881115e-06,6.996084e-06,7.465902e-06,7.502802e-06,7.919239e-06,8.095557e-06,8.354373e-06,8.655685e-06,8.770064e-06,9.165502e-06,9.180891e-06,9.540246e-06,9.670054e-06,9.894164e-06,1.012299e-05,1.022738e-05,1.054022e-05,1.083318e-05,1.092282e-05,1.110685e-05,1.127219e-05,1.136193e-05,1.159001e-05,1.159916e-05,1.181935e-05,1.187806e-05,1.202329e-05,1.213819e-05,1.221179e-05,1.237227e-05,1.238566e-05,1.254567e-05,1.258210e-05,1.269261e-05,1.276946e-05,1.282721e-05,1.293601e-05,1.295017e-05,1.306218e-05,1.308333e-05,1.316390e-05,1.321292e-05,1.325592e-05,1.332617e-05,1.333885e-05,1.341323e-05,1.342438e-05,1.347959e-05,1.350874e-05,1.353842e-05,1.358038e-05,1.359019e-05,1.363534e-05,1.364033e-05,1.367427e-05,1.368954e-05,1.370739e-05,1.372889e-05,1.373505e-05,1.375761e-05,1.375920e-05,1.377537e-05,1.378121e-05,1.378866e-05,1.379561e-05,1.379775e-05,1.380291e-05,1.380304e-05,1.380440e-05,1.380408e-05,1.380245e-05,1.379928e-05,1.379729e-05,1.378913e-05,1.377816e-05,1.377409e-05,1.376457e-05,1.375458e-05,1.374854e-05,1.373099e-05,1.373022e-05,1.370978e-05,1.370369e-05,1.368735e-05,1.367300e-05,1.366308e-05,1.363923e-05,1.363709e-05,1.360951e-05,1.360266e-05,1.358044e-05,1.356356e-05,1.355000e-05,1.352216e-05,1.351829e-05,1.348539e-05,1.347868e-05,1.345141e-05,1.343334e-05,1.341642e-05,1.338632e-05,1.338051e-05,1.334375e-05,1.333779e-05,1.330621e-05,1.328793e-05,1.326795e-05,1.323688e-05,1.322905e-05,1.318955e-05,1.318477e-05,1.314952e-05,1.313175e-05,1.310900e-05,1.307792e-05,1.306806e-05,1.302672e-05,1.302340e-05,1.298505e-05,1.296829e-05,1.294307e-05,1.291268e-05,1.290083e-05,1.285837e-05,1.285667e-05,1.281572e-05,1.280033e-05,1.277292e-05,1.274373e-05,1.272998e-05,1.268696e-05,1.263006e-05,1.257310e-05,1.251614e-05,1.245923e-05,1.240240e-05,1.234572e-05,1.228921e-05,1.223291e-05,1.217686e-05,1.212108e-05,1.206561e-05,1.201048e-05,1.195570e-05,1.190130e-05,1.184730e-05,1.179372e-05,1.174057e-05,1.168787e-05,1.163563e-05,1.158387e-05,1.153260e-05,1.148182e-05,1.143155e-05,1.138179e-05
0.000000e+00,6.892178e-10,2.149289e-09,1.078865e-08,2.989388e-08,4.709190e-08,1.227305e-07,1.269731e-07,2.670243e-07,3.192025e-07,4.831658e-07,6.558124e-07,7.908355e-07,1.167657e-06,1.205061e-06,1.740184e-06,1.888068e-06,2.408864e-06,2.845253e-06,3.220161e-06,4.054987e-06,4.177556e-06,5.278635e-06,5.515558e-06,6.516773e-06,7.211909e-06,7.883225e-06,9.123194e-06,9.368387e-06,1.096218e-05,1.122658e-05,1.265414e-05,1.349798e-05,1.443340e-05,1.591215e-05,1.628876e-05,1.820881e-05,1.844301e-05,2.018209e-05,2.106428e-05,2.219732e-05,2.375017e-05,2.424352e-05,2.631023e-05,2.647616e-05,2.838760e-05,2.921945e-05,3.046647e-05,3.195946e-05,3.253848e-05,3.459610e-05,3.467801e-05,3.663261e-05,3.735943e-05,3.864211e-05,3.999051e-05,4.061949e-05,4.256037e-05,4.446105e-05,4.506027e-05,4.631849e-05,4.748339e-05,4.813021e-05,4.982460e-05,4.989423e-05,5.160906e-05,5.208023e-05,5.327359e-05,5.424784e-05,5.488708e-05,5.632604e-05,5.644910e-05,5.795948e-05,5.831429e-05,5.941829e-05,6.021279e-05,6.082580e-05,6.202230e-05,6.218243e-05,6.348875e-05,6.374404e-05,6.474545e-05,6.537958e-05,6.595331e-05,6.693079e-05,6.711318e-05,6.822599e-05,6.839973e-05,6.929271e-05,6.978866e-05,7.031436e-05,7.109994e-05,7.129199e-05,7.222667e-05,7.233599e-05,7.311947e-05,7.349932e-05,7.397149e-05,7.459243e-05,7.478383e-05,7.555757e-05,7.561784e-05,7.629383e-05,7.657807e-05,7.699367e-05,7.747562e-05,7.765818e-05,7.828842e-05,7.831294e-05,7.888545e-05,7.909245e-05,7.945030e-05,7.981653e-05,7.998398e-05,8.048750e-05,8.096185e-05,8.110764e-05,8.140798e-05,8.167914e-05,8.182685e-05,8.220416e-05,8.221937e-05,8.258645e-05,8.268479e-05,8.292897e-05,8.312306e-05,8.324781e-05,8.352093e-05,8.354379e-05,8.381774e-05,8.388030e-05,8.407047e-05,8.420301e-05,8.430275e-05,8.449084e-05,8.451534e-05,8.470898e-05,8.474550e-05,8.488440e-05,8.496865e-05,8.504229e-05,8.516188e-05,8.518334e-05,8.530820e-05,8.532672e-05,8.541752e-05,8.546466e-05,8.551193e-05,8.557712e-05,8.559202e-05,8.565839e-05,8.566546e-05,8.571160e-05,8.573099e-05,8.575222e-05,8.577499e-05,8.578077e-05,8.579777e-05,8.579865e-05,8.580374e-05,8.580314e-05,8.579915e-05,8.578958e-05,8.578448e-05,8.576019e-05,8.575903e-05,8.572672e-05,8.571251e-05,8.568450e-05,8.565100e-05,8.563394e-05,8.557544e-05,8.548671e-05,8.538569e-05,8.527318e-05,8.514996e-05,8.501679e-05,8.487437e-05,8.472337e-05,8.456446e-05,8.439823e-05,8.422528e-05,8.404617e-05,8.386143e-05,8.367156e-05,8.347703e-05,8.327832e-05,8.307585e-05,8.287002e-05,8.266124e-05,8.244986e-05,8.223624e-05,8.202071e-05,8.180358e-05,8.158514e-05,8.136567e-05
0.000000e+00,3.899178e-09,9.376883e-09,3.397487e-08,7.925086e-08,1.167501e-07,2.699722e-07,2.782830e-07,5.461898e-07,6.443884e-07,9.514618e-07,1.274764e-06,1.528247e-06,2.236777e-06,2.306941e-06,3.298189e-06,3.566259e-06,4.484973e-06,5.223798e-06,5.837354e-06,7.142599e-06,7.328024e-06,8.935411e-06,9.269274e-06,1.064151e-05,1.156220e-05,1.242985e-05,1.398391e-05,1.428445e-05,1.618953e-05,1.649799e-05,1.812966e-05,1.906897e-05,2.008995e-05,2.166325e-05,2.205639e-05,2.401610e-05,2.425025e-05,2.595747e-05,2.680318e-05,2.787029e-05,2.929948e-05,2.974577e-05,3.157653e-05,3.172087e-05,3.335652e-05,3.405318e-05,3.508092e-05,3.628593e-05,3.674600e-05,3.834906e-05,3.841186e-05,3.988822e-05,4.042644e-05,4.136236e-05,4.232737e-05,4.277100e-05,4.411415e-05,4.539228e-05,4.578768e-05,4.660622e-05,4.734995e-05,4.775706e-05,4.880375e-05,4.884614e-05,4.987497e-05,5.015246e-05,5.084516e-05,5.139986e-05,5.175848e-05,5.255003e-05,5.261671e-05,5.342170e-05,5.360719e-05,5.417534e-05,5.457564e-05,5.487949e-05,5.545969e-05,5.553603e-05,5.614682e-05,5.626366e-05,5.671371e-05,5.699175e-05,5.723851e-05,5.764809e-05,5.772297e-05,5.816884e-05,5.823671e-05,5.857780e-05,5.876148e-05,5.895150e-05,5.922615e-05,5.929154e-05,5.959947e-05,5.963433e-05,5.987679e-05,5.998949e-05,6.012495e-05,6.029492e-05,6.034536e-05,6.053938e-05,6.055380e-05,6.070831e-05,6.076914e-05,6.085341e-05,6.094382e-05,6.097591e-05,6.107696e-05,6.108057e-05,6.115770e-05,6.118200e-05,6.121920e-05,6.125057e-05,6.126251e-05,6.128861e-05,6.129847e-05,6.129834e-05,6.129300e-05,6.128186e-05,6.127308e-05,6.124114e-05,6.123954e-05,6.119321e-05,6.117804e-05,6.113484e-05,6.109435e-05,6.106518e-05,6.099172e-05,6.098493e-05,6.089476e-05,6.087172e-05,6.079533e-05,6.073582e-05,6.068724e-05,6.058543e-05,6.057108e-05,6.044741e-05,6.042183e-05,6.031677e-05,6.024626e-05,6.017967e-05,6.005986e-05,6.003659e-05,5.988799e-05,5.986373e-05,5.973432e-05,5.965887e-05,5.957598e-05,5.944623e-05,5.941339e-05,5.924692e-05,5.922670e-05,5.907693e-05,5.900110e-05,5.890376e-05,5.877022e-05,5.872773e-05,5.854916e-05,5.853477e-05,5.836833e-05,5.829543e-05,5.818552e-05,5.805283e-05,5.800100e-05,5.781501e-05,5.780754e-05,5.762778e-05,5.756013e-05,5.743955e-05,5.731108e-05,5.725051e-05,5.706087e-05,5.680993e-05,5.655866e-05,5.630744e-05,5.605660e-05,5.580647e-05,5.555732e-05,5.530943e-05,5.506304e-05,5.481836e-05,5.457562e-05,5.433498e-05,5.409661e-05,5.386067e-05,5.362729e-05,5.339659e-05,5.316868e-05,5.294366e-05,5.272160e-05,5.250259e-05,5.228668e-05,5.207394e-05,5.186440e-05,5.165811e-05,5.145508e-05
0.000000e+00,2.064193e-09,4.763161e-09,1.646153e-08,3.743623e-08,5.456075e-08,1.233496e-07,1.270426e-07,2.447177e-07,2.873286e-07,4.193015e-07,5.567639e-07,6.639103e-07,9.631218e-07,9.928878e-07,1.420259e-06,1.538737e-06,1.956022e-06,2.304180e-06,2.600927e-06,3.249910e-06,3.343556e-06,4.163439e-06,4.334651e-06,5.037767e-06,5.507075e-06,5.946376e-06,6.724279e-06,6.873267e-06,7.806169e-06,7.955325e-06,8.735582e-06,9.178182e-06,9.653940e-06,1.037647e-05,1.055505e-05,1.143373e-05,1.153746e-05,1.228568e-05,1.265112e-05,1.310731e-05,1.370967e-05,1.389572e-05,1.464865e-05,1.470730e-05,1.536443e-05,1.564008e-05,1.604196e-05,1.650574e-05,1.668064e-05,1.728032e-05,1.730350e-05,1.784125e-05,1.803380e-05,1.836402e-05,1.869813e-05,1.884949e-05,1.929877e-05,1.971313e-05,1.983857e-05,2.009397e-05,2.032080e-05,2.044278e-05,2.074897e-05,2.076113e-05,2.105061e-05,2.112670e-05,2.131279e-05,2.145765e-05,2.154925e-05,2.174542e-05,2.176155e-05,2.195118e-05,2.199348e-05,2.211959e-05,2.220515e-05,2.226817e-05,2.238358e-05,2.239826e-05,2.251112e-05,2.253173e-05,2.260795e-05,2.265234e-05,2.268988e-05,2.274797e-05,2.275797e-05,2.281324e-05,2.282095e-05,2.285661e-05,2.287347e-05,2.288897e-05,2.290749e-05,2.291115e-05,2.292391e-05,2.292485e-05,2.292797e-05,2.292718e-05,2.292401e-05,2.291601e-05,2.291263e-05,2.289444e-05,2.289270e-05,2.286996e-05,2.285852e-05,2.283970e-05,2.281459e-05,2.280412e-05,2.276367e-05,2.276196e-05,2.271875e-05,2.270156e-05,2.266974e-05,2.263425e-05,2.261698e-05,2.256080e-05,2.250150e-05,2.248192e-05,2.243937e-05,2.239824e-05,2.237466e-05,2.231035e-05,2.230762e-05,2.223848e-05,2.221877e-05,2.216744e-05,2.212399e-05,2.209470e-05,2.202643e-05,2.202044e-05,2.194483e-05,2.192651e-05,2.186804e-05,2.182456e-05,2.179019e-05,2.172093e-05,2.171143e-05,2.163190e-05,2.161590e-05,2.155169e-05,2.150975e-05,2.147092e-05,2.140273e-05,2.138970e-05,2.130812e-05,2.129504e-05,2.122627e-05,2.118690e-05,2.114422e-05,2.107849e-05,2.106205e-05,2.097984e-05,2.096998e-05,2.089765e-05,2.086151e-05,2.081554e-05,2.075322e-05,2.073356e-05,2.065177e-05,2.064524e-05,2.057022e-05,2.053768e-05,2.048895e-05,2.043063e-05,2.040800e-05,2.032741e-05,2.032420e-05,2.024722e-05,2.021846e-05,2.016746e-05,2.011348e-05,2.008816e-05,2.000934e-05,1.990609e-05,1.980379e-05,1.970248e-05,1.960221e-05,1.950301e-05,1.940491e-05,1.930795e-05,1.921215e-05,1.911753e-05,1.902411e-05,1.893190e-05,1.884092e-05,1.875117e-05,1.866266e-05,1.857541e-05,1.848940e-05,1.840465e-05,1.832116e-05,1.823892e-05,1.815793e-05,1.807819e-05,1.799969e-05,1.792243e-05,1.784641e-05
0.000000e+00,1.393525e-09,3.570210e-09,1.372479e-08,3.258755e-08,4.811635e-08,1.102300e-07,1.135382e-07,2.172123e-07,2.539192e-07,3.649644e-07,4.767524e-07,5.614410e-07,7.882736e-07,8.101548e-07,1.113337e-06,1.194314e-06,1.471596e-06,1.695814e-06,1.883403e-06,2.286774e-06,2.344489e-06,2.847336e-06,2.952018e-06,3.381147e-06,3.666625e-06,3.932687e-06,4.399449e-06,4.488002e-06,5.034338e-06,5.120193e-06,5.561436e-06,5.805335e-06,6.061899e-06,6.439765e-06,6.530885e-06,6.965591e-06,7.015378e-06,7.364739e-06,7.529023e-06,7.728155e-06,7.980813e-06,8.056460e-06,8.350837e-06,8.372967e-06,8.612866e-06,8.709026e-06,8.844386e-06,8.993308e-06,9.047397e-06,9.223978e-06,9.230522e-06,9.376229e-06,9.425482e-06,9.506212e-06,9.582903e-06,9.615922e-06,9.707261e-06,9.782028e-06,9.802730e-06,9.841896e-06,9.873113e-06,9.888415e-06,9.921838e-06,9.923009e-06,9.946983e-06,9.951956e-06,9.961518e-06,9.966159e-06,9.967687e-06,9.966806e-06,9.966456e-06,9.958695e-06,9.955950e-06,9.945187e-06,9.935375e-06,9.926630e-06,9.906621e-06,9.903649e-06,9.876799e-06,9.871009e-06,9.846576e-06,9.829676e-06,9.813424e-06,9.783602e-06,9.777737e-06,9.739867e-06,9.733627e-06,9.700128e-06,9.680471e-06,9.658796e-06,9.624752e-06,9.616120e-06,9.572322e-06,9.567000e-06,9.527598e-06,9.507672e-06,9.482124e-06,9.447159e-06,9.436057e-06,9.389536e-06,9.385798e-06,9.342685e-06,9.323878e-06,9.295616e-06,9.261648e-06,9.248428e-06,9.201210e-06,9.199322e-06,9.154039e-06,9.137084e-06,9.106988e-06,9.075093e-06,9.060117e-06,9.013484e-06,8.967138e-06,8.952375e-06,8.921123e-06,8.891866e-06,8.875479e-06,8.832041e-06,8.830239e-06,8.785436e-06,8.772973e-06,8.741095e-06,8.714723e-06,8.697241e-06,8.657342e-06,8.653894e-06,8.611072e-06,8.600874e-06,8.568790e-06,8.545354e-06,8.527063e-06,8.490810e-06,8.485901e-06,8.445313e-06,8.437265e-06,8.405308e-06,8.384738e-06,8.365892e-06,8.333241e-06,8.327069e-06,8.288844e-06,8.282783e-06,8.251218e-06,8.233371e-06,8.214193e-06,8.185006e-06,8.177769e-06,8.141947e-06,8.137689e-06,8.106725e-06,8.091416e-06,8.072100e-06,8.046184e-06,8.038072e-06,8.004635e-06,8.001986e-06,7.971788e-06,7.958813e-06,7.939525e-06,7.916656e-06,7.907843e-06,7.876736e-06,7.875503e-06,7.846199e-06,7.835344e-06,7.816226e-06,7.796163e-06,7.786811e-06,7.757948e-06,7.720685e-06,7.684357e-06,7.648949e-06,7.614445e-06,7.580830e-06,7.548085e-06,7.516195e-06,7.485142e-06,7.454909e-06,7.425480e-06,7.396837e-06,7.368962e-06,7.341840e-06,7.315453e-06,7.289784e-06,7.264817e-06,7.240535e-06,7.216921e-06,7.193961e-06,7.171638e-06,7.149935e-06,7.128839e-06,7.108333e-06,7.088404e-06
0.000000e+00,2.587043e-09,5.967921e-09,2.077441e-08,4.779658e-08,7.021995e-08,1.629440e-07,1.680297e-07,3.350449e-07,3.976597e-07,5.974419e-07,8.124672e-07,9.828415e-07,1.459959e-06,1.507021e-06,2.167024e-06,2.344419e-06,2.951973e-06,3.442586e-06,3.852771e-06,4.736541e-06,4.863484e-06,5.979935e-06,6.215587e-06,7.198372e-06,7.870925e-06,8.514674e-06,9.692444e-06,9.923946e-06,1.142037e-05,1.166745e-05,1.299724e-05,1.378052e-05,1.464702e-05,1.601390e-05,1.636159e-05,1.813235e-05,1.834820e-05,1.995051e-05,2.076324e-05,2.180722e-05,2.323873e-05,2.369377e-05,2.560173e-05,2.575505e-05,2.752309e-05,2.829369e-05,2.945034e-05,3.083767e-05,3.137652e-05,3.329528e-05,3.337180e-05,3.520092e-05,3.588273e-05,3.708832e-05,3.835901e-05,3.895298e-05,4.079099e-05,4.259898e-05,4.317071e-05,4.437407e-05,4.549173e-05,4.611385e-05,4.774898e-05,4.781634e-05,4.947992e-05,4.993857e-05,5.110333e-05,5.205768e-05,5.268560e-05,5.410433e-05,5.422601e-05,5.572410e-05,5.607730e-05,5.717958e-05,5.797599e-05,5.859235e-05,5.980031e-05,5.996247e-05,6.129011e-05,6.155057e-05,6.257557e-05,6.322745e-05,6.381921e-05,6.483190e-05,6.502151e-05,6.618300e-05,6.636509e-05,6.730426e-05,6.782836e-05,6.838592e-05,6.922317e-05,6.942864e-05,7.043311e-05,7.055112e-05,7.140008e-05,7.181384e-05,7.233026e-05,7.301307e-05,7.322442e-05,7.408333e-05,7.415054e-05,7.490776e-05,7.522805e-05,7.569848e-05,7.624737e-05,7.645628e-05,7.718194e-05,7.721031e-05,7.787624e-05,7.811865e-05,7.853994e-05,7.897417e-05,7.917381e-05,7.977863e-05,8.035513e-05,8.053375e-05,8.090407e-05,8.124126e-05,8.142618e-05,8.190283e-05,8.192218e-05,8.239280e-05,8.252012e-05,8.283873e-05,8.309473e-05,8.326067e-05,8.362825e-05,8.365930e-05,8.403529e-05,8.412223e-05,8.438930e-05,8.457818e-05,8.472197e-05,8.499757e-05,8.503393e-05,8.532580e-05,8.538182e-05,8.559820e-05,8.573234e-05,8.585171e-05,8.605049e-05,8.608692e-05,8.630439e-05,8.633758e-05,8.650468e-05,8.659488e-05,8.668835e-05,8.682366e-05,8.685591e-05,8.700789e-05,8.702510e-05,8.714480e-05,8.720039e-05,8.726713e-05,8.735065e-05,8.737536e-05,8.746998e-05,8.747697e-05,8.755143e-05,8.758043e-05,8.762017e-05,8.766204e-05,8.767664e-05,8.772125e-05,8.772280e-05,8.775444e-05,8.776367e-05,8.777660e-05,8.778557e-05,8.778812e-05,8.778940e-05,8.777603e-05,8.774628e-05,8.770096e-05,8.764086e-05,8.756671e-05,8.747923e-05,8.737913e-05,8.726706e-05,8.714368e-05,8.700959e-05,8.686540e-05,8.671168e-05,8.654898e-05,8.637783e-05,8.619874e-05,8.601219e-05,8.581865e-05,8.561858e-05,8.541241e-05,8.520055e-05,8.498339e-05,8.476132e-05,8.453471e-05,8.430389e-05
0.000000e+00,2.737531e-10,9.347407e-10,5.450514e-09,1.673248e-08,2.760549e-08,7.928621e-08,8.231088e-08,1.869918e-07,2.279217e-07,3.619188e-07,5.106456e-07,6.317573e-07,9.888666e-07,1.025667e-06,1.572890e-06,1.729501e-06,2.291981e-06,2.769729e-06,3.180430e-06,4.085048e-06,4.216110e-06,5.368654e-06,5.610574e-06,6.609410e-06,7.281561e-06,7.915246e-06,9.049217e-06,9.268249e-06,1.065427e-05,1.087829e-05,1.206155e-05,1.274156e-05,1.347989e-05,1.461633e-05,1.490012e-05,1.631393e-05,1.648279e-05,1.771382e-05,1.832358e-05,1.909301e-05,2.012367e-05,2.044557e-05,2.176635e-05,2.187050e-05,2.305095e-05,2.355384e-05,2.429582e-05,2.516588e-05,2.549808e-05,2.665556e-05,2.670091e-05,2.776673e-05,2.815521e-05,2.883060e-05,2.952673e-05,2.984666e-05,3.081484e-05,3.173540e-05,3.202001e-05,3.260889e-05,3.314357e-05,3.343609e-05,3.418756e-05,3.421798e-05,3.495569e-05,3.515450e-05,3.565047e-05,3.604728e-05,3.630364e-05,3.686901e-05,3.691660e-05,3.749075e-05,3.762294e-05,3.802755e-05,3.831239e-05,3.852845e-05,3.894069e-05,3.899489e-05,3.942830e-05,3.951114e-05,3.983008e-05,4.002697e-05,4.020162e-05,4.049131e-05,4.054424e-05,4.085927e-05,4.090720e-05,4.114797e-05,4.127756e-05,4.141158e-05,4.160519e-05,4.165127e-05,4.186821e-05,4.189276e-05,4.206348e-05,4.214282e-05,4.223817e-05,4.235779e-05,4.239328e-05,4.252981e-05,4.253996e-05,4.264870e-05,4.269151e-05,4.275084e-05,4.281451e-05,4.283712e-05,4.290835e-05,4.291089e-05,4.296533e-05,4.298250e-05,4.300883e-05,4.303107e-05,4.303956e-05,4.305824e-05,4.306551e-05,4.306553e-05,4.306202e-05,4.305441e-05,4.304836e-05,4.302624e-05,4.302513e-05,4.299287e-05,4.298229e-05,4.295210e-05,4.292377e-05,4.290333e-05,4.285181e-05,4.284704e-05,4.278369e-05,4.276748e-05,4.271370e-05,4.267177e-05,4.263750e-05,4.256561e-05,4.255547e-05,4.246801e-05,4.244989e-05,4.237545e-05,4.232542e-05,4.227814e-05,4.219298e-05,4.217642e-05,4.207057e-05,4.205328e-05,4.196091e-05,4.190699e-05,4.184770e-05,4.175476e-05,4.173122e-05,4.161171e-05,4.159717e-05,4.148941e-05,4.143478e-05,4.136455e-05,4.126809e-05,4.123736e-05,4.110802e-05,4.109759e-05,4.097675e-05,4.092373e-05,4.084371e-05,4.074694e-05,4.070910e-05,4.057307e-05,4.056760e-05,4.043578e-05,4.038607e-05,4.029738e-05,4.020271e-05,4.015801e-05,4.001782e-05,3.983170e-05,3.964462e-05,3.945684e-05,3.926860e-05,3.908012e-05,3.889159e-05,3.870322e-05,3.851516e-05,3.832759e-05,3.814065e-05,3.795449e-05,3.776922e-05,3.758496e-05,3.740183e-05,3.721991e-05,3.703930e-05,3.686008e-05,3.668232e-05,3.650609e-05,3.633146e-05,3.615847e-05,3.598718e-05,3.581763e-05,3.564986e-05
0.000000e+00,9.613695e-09,2.200670e-08,7.582763e-08,1.733683e-07,2.540036e-07,5.861467e-07,6.043266e-07,1.200152e-06,1.423083e-06,2.133482e-06,2.897823e-06,3.504181e-06,5.207170e-06,5.375392e-06,7.730072e-06,8.359511e-06,1.049686e-05,1.219838e-05,1.360288e-05,1.657261e-05,1.699297e-05,2.062607e-05,2.137881e-05,2.446839e-05,2.653872e-05,2.848880e-05,3.198106e-05,3.265651e-05,3.694030e-05,3.763437e-05,4.130853e-05,4.342599e-05,4.572964e-05,4.928384e-05,5.017280e-05,5.460856e-05,5.513903e-05,5.900944e-05,6.092823e-05,6.335037e-05,6.659551e-05,6.760898e-05,7.176574e-05,7.209337e-05,7.580406e-05,7.738304e-05,7.971015e-05,8.243434e-05,8.347293e-05,8.708380e-05,8.722498e-05,9.053643e-05,9.173976e-05,9.382653e-05,9.596960e-05,9.695156e-05,9.991052e-05,1.027037e-04,1.035627e-04,1.053326e-04,1.069298e-04,1.077994e-04,1.100179e-04,1.101072e-04,1.122597e-04,1.128351e-04,1.142609e-04,1.153909e-04,1.161154e-04,1.176960e-04,1.178279e-04,1.194033e-04,1.197615e-04,1.208466e-04,1.215991e-04,1.221629e-04,1.232203e-04,1.233574e-04,1.244352e-04,1.246372e-04,1.254013e-04,1.258612e-04,1.262607e-04,1.269038e-04,1.270184e-04,1.276791e-04,1.277761e-04,1.282475e-04,1.284889e-04,1.287282e-04,1.290526e-04,1.291256e-04,1.294441e-04,1.294772e-04,1.296877e-04,1.297722e-04,1.298604e-04,1.299468e-04,1.299663e-04,1.300089e-04,1.300097e-04,1.299919e-04,1.299692e-04,1.299188e-04,1.298332e-04,1.297928e-04,1.296172e-04,1.296092e-04,1.293949e-04,1.293041e-04,1.291291e-04,1.289247e-04,1.288223e-04,1.284774e-04,1.280969e-04,1.279680e-04,1.276832e-04,1.274021e-04,1.272387e-04,1.267850e-04,1.267656e-04,1.262661e-04,1.261217e-04,1.257421e-04,1.254169e-04,1.251957e-04,1.246747e-04,1.246286e-04,1.240427e-04,1.238994e-04,1.234395e-04,1.230947e-04,1.228206e-04,1.222643e-04,1.221876e-04,1.215419e-04,1.214113e-04,1.208847e-04,1.205390e-04,1.202175e-04,1.196501e-04,1.195414e-04,1.188575e-04,1.187475e-04,1.181670e-04,1.178334e-04,1.174708e-04,1.169104e-04,1.167699e-04,1.160652e-04,1.159804e-04,1.153576e-04,1.150456e-04,1.146479e-04,1.141076e-04,1.139368e-04,1.132251e-04,1.131682e-04,1.125134e-04,1.122289e-04,1.118023e-04,1.112911e-04,1.110925e-04,1.103844e-04,1.103561e-04,1.096786e-04,1.094252e-04,1.089756e-04,1.084994e-04,1.082758e-04,1.075796e-04,1.066668e-04,1.057618e-04,1.048652e-04,1.039779e-04,1.031002e-04,1.022328e-04,1.013761e-04,1.005305e-04,9.969630e-05,9.887387e-05,9.806343e-05,9.726519e-05,9.647932e-05,9.570597e-05,9.494523e-05,9.419718e-05,9.346186e-05,9.273930e-05,9.202948e-05,9.133239e-05,9.064798e-05,8.997617e-05,8.931691e-05,8.867008e-05
0.000000e+00,6.167624e-11,2.296905e-10,1.575938e-09,5.504641e-09,9.678088e-09,3.204891e-08,3.344359e-08,8.496196e-08,1.062849e-07,1.788079e-07,2.624466e-07,3.321060e-07,5.423797e-07,5.643398e-07,8.950100e-07,9.907792e-07,1.338130e-06,1.637074e-06,1.896848e-06,2.477665e-06,2.562737e-06,3.319456e-06,3.479989e-06,4.147419e-06,4.599602e-06,5.027204e-06,5.793395e-06,5.941307e-06,6.874645e-06,7.024880e-06,7.814437e-06,8.264586e-06,8.749852e-06,9.488771e-06,9.671640e-06,1.057186e-05,1.067810e-05,1.144371e-05,1.181682e-05,1.228143e-05,1.289230e-05,1.308025e-05,1.383641e-05,1.389496e-05,1.454706e-05,1.481813e-05,1.521031e-05,1.565787e-05,1.582510e-05,1.639113e-05,1.641276e-05,1.690883e-05,1.708354e-05,1.737917e-05,1.767269e-05,1.780363e-05,1.818408e-05,1.852266e-05,1.862255e-05,1.882173e-05,1.899353e-05,1.908374e-05,1.930274e-05,1.931121e-05,1.950664e-05,1.955596e-05,1.967251e-05,1.975885e-05,1.981122e-05,1.991684e-05,1.992508e-05,2.001627e-05,2.003501e-05,2.008683e-05,2.011805e-05,2.013867e-05,2.017022e-05,2.017356e-05,2.019315e-05,2.019536e-05,2.019893e-05,2.019694e-05,2.019228e-05,2.017801e-05,2.017445e-05,2.014659e-05,2.014127e-05,2.010972e-05,2.008910e-05,2.006479e-05,2.002362e-05,2.001265e-05,1.995407e-05,1.994665e-05,1.988975e-05,1.985979e-05,1.982031e-05,1.976447e-05,1.974632e-05,1.966830e-05,1.966190e-05,1.958671e-05,1.955317e-05,1.950197e-05,1.943923e-05,1.941447e-05,1.932453e-05,1.932089e-05,1.923248e-05,1.919888e-05,1.913861e-05,1.907385e-05,1.904315e-05,1.894636e-05,1.884844e-05,1.881689e-05,1.874958e-05,1.868590e-05,1.864996e-05,1.855376e-05,1.854974e-05,1.844907e-05,1.842081e-05,1.834807e-05,1.828737e-05,1.824687e-05,1.815369e-05,1.814559e-05,1.804432e-05,1.802003e-05,1.794315e-05,1.788657e-05,1.784217e-05,1.775353e-05,1.774146e-05,1.764109e-05,1.762106e-05,1.754111e-05,1.748931e-05,1.744160e-05,1.735841e-05,1.734260e-05,1.724417e-05,1.722848e-05,1.714634e-05,1.709962e-05,1.704917e-05,1.697192e-05,1.695268e-05,1.685691e-05,1.684547e-05,1.676189e-05,1.672033e-05,1.666765e-05,1.659656e-05,1.657420e-05,1.648159e-05,1.647421e-05,1.638981e-05,1.635334e-05,1.629890e-05,1.623398e-05,1.620886e-05,1.611971e-05,1.611616e-05,1.603146e-05,1.599991e-05,1.594412e-05,1.588526e-05,1.585771e-05,1.577222e-05,1.566081e-05,1.555103e-05,1.544291e-05,1.533642e-05,1.523159e-05,1.512841e-05,1.502688e-05,1.492699e-05,1.482873e-05,1.473209e-05,1.463707e-05,1.454365e-05,1.445182e-05,1.436157e-05,1.427287e-05,1.418572e-05,1.410009e-05,1.401597e-05,1.393335e-05,1.385220e-05,1.377250e-05,1.369423e-05,1.361738e-05,1.354192e-05
0.000000e+00,1.969913e-09,6.680173e-09,3.854597e-08,1.177397e-07,1.940838e-07,5.598754e-07,5.814578e-07,1.340277e-06,1.642882e-06,2.653839e-06,3.806855e-06,4.765296e-06,7.664701e-06,7.968097e-06,1.253501e-05,1.385255e-05,1.858977e-05,2.260115e-05,2.603282e-05,3.353020e-05,3.460962e-05,4.403661e-05,4.600205e-05,5.407659e-05,5.947878e-05,6.455254e-05,7.359320e-05,7.533452e-05,8.632314e-05,8.809490e-05,9.743748e-05,1.027963e-04,1.086080e-04,1.175434e-04,1.197733e-04,1.308778e-04,1.322039e-04,1.418723e-04,1.466634e-04,1.527126e-04,1.608243e-04,1.633603e-04,1.737824e-04,1.746056e-04,1.839511e-04,1.879424e-04,1.938436e-04,2.007849e-04,2.034418e-04,2.127318e-04,2.130968e-04,2.217033e-04,2.248537e-04,2.303495e-04,2.360409e-04,2.386663e-04,2.466520e-04,2.543071e-04,2.566871e-04,2.616334e-04,2.661513e-04,2.686345e-04,2.750537e-04,2.753149e-04,2.816799e-04,2.834064e-04,2.877358e-04,2.912237e-04,2.934893e-04,2.985215e-04,2.989475e-04,3.041179e-04,3.053168e-04,3.090082e-04,3.116273e-04,3.136262e-04,3.174712e-04,3.179799e-04,3.220773e-04,3.228667e-04,3.259263e-04,3.278323e-04,3.295349e-04,3.323861e-04,3.329109e-04,3.360622e-04,3.365461e-04,3.389965e-04,3.403300e-04,3.417212e-04,3.437552e-04,3.442439e-04,3.465719e-04,3.468385e-04,3.487121e-04,3.495962e-04,3.506718e-04,3.520445e-04,3.524576e-04,3.540763e-04,3.541987e-04,3.555343e-04,3.560739e-04,3.568379e-04,3.576844e-04,3.579934e-04,3.590066e-04,3.590443e-04,3.598835e-04,3.601669e-04,3.606297e-04,3.610652e-04,3.612506e-04,3.617517e-04,3.621380e-04,3.622382e-04,3.624146e-04,3.625363e-04,3.625863e-04,3.626569e-04,3.626579e-04,3.626338e-04,3.626106e-04,3.625186e-04,3.624074e-04,3.623163e-04,3.620570e-04,3.620312e-04,3.616673e-04,3.615686e-04,3.612283e-04,3.609510e-04,3.607179e-04,3.602127e-04,3.601399e-04,3.594975e-04,3.593616e-04,3.587942e-04,3.584055e-04,3.580332e-04,3.573516e-04,3.572175e-04,3.563502e-04,3.562068e-04,3.554340e-04,3.549778e-04,3.544719e-04,3.536709e-04,3.534664e-04,3.524202e-04,3.522920e-04,3.513356e-04,3.508469e-04,3.502151e-04,3.493409e-04,3.490609e-04,3.478753e-04,3.477791e-04,3.466603e-04,3.461665e-04,3.454179e-04,3.445076e-04,3.441502e-04,3.428590e-04,3.428069e-04,3.415460e-04,3.410684e-04,3.402130e-04,3.392960e-04,3.388616e-04,3.374935e-04,3.356643e-04,3.338118e-04,3.319391e-04,3.300491e-04,3.281446e-04,3.262282e-04,3.243024e-04,3.223694e-04,3.204315e-04,3.184907e-04,3.165488e-04,3.146077e-04,3.126691e-04,3.107345e-04,3.088053e-04,3.068830e-04,3.049688e-04,3.030638e-04,3.011692e-04,2.992860e-04,2.974151e-04,2.955574e-04,2.937136e-04,2.918845e-04
0.000000e+00,4.681536e-11,1.792555e-10,1.300979e-09,4.773356e-09,8.613505e-09,3.038248e-08,3.178166e-08,8.531184e-08,1.081681e-07,1.876258e-07,2.812645e-07,3.602063e-07,6.013625e-07,6.267191e-07,1.011646e-06,1.124272e-06,1.537962e-06,1.901693e-06,2.224456e-06,2.971442e-06,3.083997e-06,4.123159e-06,4.352710e-06,5.342761e-06,6.047081e-06,6.738730e-06,8.041812e-06,8.302961e-06,1.002406e-05,1.031309e-05,1.188795e-05,1.282863e-05,1.387838e-05,1.554984e-05,1.597743e-05,1.816594e-05,1.843363e-05,2.042396e-05,2.143427e-05,2.273117e-05,2.450511e-05,2.506737e-05,2.741281e-05,2.760027e-05,2.974861e-05,3.067622e-05,3.205707e-05,3.369303e-05,3.432191e-05,3.652852e-05,3.661538e-05,3.866404e-05,3.941326e-05,4.071750e-05,4.206225e-05,4.267977e-05,4.454357e-05,4.630340e-05,4.684391e-05,4.795540e-05,4.895495e-05,4.949723e-05,5.087283e-05,5.092793e-05,5.224771e-05,5.259753e-05,5.345788e-05,5.413224e-05,5.456061e-05,5.548272e-05,5.555881e-05,5.645601e-05,5.665674e-05,5.725619e-05,5.766353e-05,5.796370e-05,5.851326e-05,5.858309e-05,5.911909e-05,5.921671e-05,5.957649e-05,5.978487e-05,5.996009e-05,6.022875e-05,6.027463e-05,6.052476e-05,6.055910e-05,6.071500e-05,6.078633e-05,6.084972e-05,6.092034e-05,6.093311e-05,6.096915e-05,6.097047e-05,6.096163e-05,6.094546e-05,6.091415e-05,6.085342e-05,6.083008e-05,6.071260e-05,6.070185e-05,6.056468e-05,6.049763e-05,6.038912e-05,6.024705e-05,6.018850e-05,5.996523e-05,5.995586e-05,5.972156e-05,5.962925e-05,5.945957e-05,5.927193e-05,5.918117e-05,5.888816e-05,5.858218e-05,5.848178e-05,5.826474e-05,5.805622e-05,5.793725e-05,5.761459e-05,5.760099e-05,5.725714e-05,5.715966e-05,5.690680e-05,5.669390e-05,5.655097e-05,5.621954e-05,5.619056e-05,5.582642e-05,5.573856e-05,5.545932e-05,5.525271e-05,5.508996e-05,5.476357e-05,5.471898e-05,5.434699e-05,5.427252e-05,5.397451e-05,5.378080e-05,5.360205e-05,5.328951e-05,5.323003e-05,5.285888e-05,5.279960e-05,5.248896e-05,5.231194e-05,5.212061e-05,5.182726e-05,5.175413e-05,5.138979e-05,5.134622e-05,5.102783e-05,5.086939e-05,5.066849e-05,5.039726e-05,5.031196e-05,4.995841e-05,4.993026e-05,4.960802e-05,4.946877e-05,4.926091e-05,4.901309e-05,4.891721e-05,4.857703e-05,4.856350e-05,4.824047e-05,4.812021e-05,4.790761e-05,4.768341e-05,4.757852e-05,4.725325e-05,4.682985e-05,4.641330e-05,4.600366e-05,4.560098e-05,4.520529e-05,4.481658e-05,4.443486e-05,4.406009e-05,4.369224e-05,4.333127e-05,4.297712e-05,4.262973e-05,4.228902e-05,4.195493e-05,4.162736e-05,4.130623e-05,4.099145e-05,4.068292e-05,4.038055e-05,4.008423e-05,3.979387e-05,3.950936e-05,3.923059e-05,3.895747e-05
0.000000e+00,2.622687e-09,6.083677e-09,2.118795e-08,4.849197e-08,7.093784e-08,1.622062e-07,1.671507e-07,3.267470e-07,3.854196e-07,5.696543e-07,7.649388e-07,9.190366e-07,1.354907e-06,1.398522e-06,2.024079e-06,2.196159e-06,2.793371e-06,3.279257e-06,3.684371e-06,4.544984e-06,4.666721e-06,5.712874e-06,5.927784e-06,6.801561e-06,7.379027e-06,7.916807e-06,8.864931e-06,9.046120e-06,1.017916e-05,1.036018e-05,1.130700e-05,1.184416e-05,1.242174e-05,1.329937e-05,1.351638e-05,1.458480e-05,1.471099e-05,1.562172e-05,1.606683e-05,1.662277e-05,1.735735e-05,1.758438e-05,1.850384e-05,1.857551e-05,1.937918e-05,1.971665e-05,2.020910e-05,2.077814e-05,2.099297e-05,2.173064e-05,2.175919e-05,2.242242e-05,2.266034e-05,2.306897e-05,2.348330e-05,2.367130e-05,2.423061e-05,2.474832e-05,2.490545e-05,2.522596e-05,2.551137e-05,2.566516e-05,2.605220e-05,2.606761e-05,2.643504e-05,2.653188e-05,2.676917e-05,2.695438e-05,2.707172e-05,2.732363e-05,2.734438e-05,2.758880e-05,2.764344e-05,2.780657e-05,2.791746e-05,2.799923e-05,2.814918e-05,2.816827e-05,2.831510e-05,2.834193e-05,2.844111e-05,2.849882e-05,2.854757e-05,2.862280e-05,2.863573e-05,2.870676e-05,2.871662e-05,2.876179e-05,2.878283e-05,2.880187e-05,2.882384e-05,2.882799e-05,2.884111e-05,2.884186e-05,2.884213e-05,2.883896e-05,2.883188e-05,2.881706e-05,2.881117e-05,2.878075e-05,2.877792e-05,2.874133e-05,2.872319e-05,2.869357e-05,2.865438e-05,2.863811e-05,2.857553e-05,2.857289e-05,2.850640e-05,2.848000e-05,2.843123e-05,2.837692e-05,2.835052e-05,2.826473e-05,2.817430e-05,2.814445e-05,2.807963e-05,2.801700e-05,2.798111e-05,2.788324e-05,2.787909e-05,2.777392e-05,2.774395e-05,2.766590e-05,2.759985e-05,2.755534e-05,2.745161e-05,2.744250e-05,2.732766e-05,2.729982e-05,2.721104e-05,2.714505e-05,2.709289e-05,2.698781e-05,2.697341e-05,2.685280e-05,2.682856e-05,2.673124e-05,2.666772e-05,2.660892e-05,2.650569e-05,2.648599e-05,2.636259e-05,2.634282e-05,2.623888e-05,2.617943e-05,2.611498e-05,2.601581e-05,2.599102e-05,2.586710e-05,2.585224e-05,2.574334e-05,2.568896e-05,2.561982e-05,2.552617e-05,2.549665e-05,2.537390e-05,2.536410e-05,2.525165e-05,2.520290e-05,2.512997e-05,2.504275e-05,2.500893e-05,2.488859e-05,2.488379e-05,2.476900e-05,2.472615e-05,2.465023e-05,2.456994e-05,2.453230e-05,2.441528e-05,2.426224e-05,2.411091e-05,2.396137e-05,2.381367e-05,2.366787e-05,2.352400e-05,2.338212e-05,2.324226e-05,2.310443e-05,2.296866e-05,2.283496e-05,2.270336e-05,2.257384e-05,2.244642e-05,2.232110e-05,2.219788e-05,2.207674e-05,2.195768e-05,2.184068e-05,2.172574e-05,2.161284e-05,2.150197e-05,2.139310e-05,2.128621e-05
0.000000e+00,1.101082e-10,4.326767e-10,3.315806e-09,1.279585e-08,2.374931e-08,9.024220e-08,9.468958e-08,2.744640e-07,3.555324e-07,6.515538e-07,1.022422e-06,1.349849e-06,2.416546e-06,2.533738e-06,4.409943e-06,4.989605e-06,7.220482e-06,9.299154e-06,1.122483e-05,1.593928e-05,1.667819e-05,2.381411e-05,2.546157e-05,3.283412e-05,3.832525e-05,4.390268e-05,5.487645e-05,5.714544e-05,7.264937e-05,7.534364e-05,9.046375e-05,9.984056e-05,1.106019e-04,1.283728e-04,1.330433e-04,1.577359e-04,1.608467e-04,1.845992e-04,1.970802e-04,2.135270e-04,2.368147e-04,2.443910e-04,2.770442e-04,2.797290e-04,3.113241e-04,3.254529e-04,3.470567e-04,3.735814e-04,3.840594e-04,4.221446e-04,4.236878e-04,4.611226e-04,4.753367e-04,5.008040e-04,5.280941e-04,5.410028e-04,5.815378e-04,6.222345e-04,6.352643e-04,6.629270e-04,6.888952e-04,7.034587e-04,7.420818e-04,7.436831e-04,7.834649e-04,7.945072e-04,8.226797e-04,8.458891e-04,8.612148e-04,8.959793e-04,8.989687e-04,9.358512e-04,9.445643e-04,9.717829e-04,9.914634e-04,1.006695e-03,1.036528e-03,1.040529e-03,1.073236e-03,1.079638e-03,1.104775e-03,1.120703e-03,1.135115e-03,1.159655e-03,1.164231e-03,1.192107e-03,1.196451e-03,1.218733e-03,1.231067e-03,1.244104e-03,1.263498e-03,1.268221e-03,1.291091e-03,1.293752e-03,1.312724e-03,1.321854e-03,1.333134e-03,1.347839e-03,1.352339e-03,1.370360e-03,1.371751e-03,1.387219e-03,1.393643e-03,1.402943e-03,1.413576e-03,1.417558e-03,1.431093e-03,1.431613e-03,1.443579e-03,1.447823e-03,1.455046e-03,1.462278e-03,1.465527e-03,1.475053e-03,1.483658e-03,1.486223e-03,1.491375e-03,1.495863e-03,1.498236e-03,1.504048e-03,1.504275e-03,1.509523e-03,1.510856e-03,1.514014e-03,1.516359e-03,1.517780e-03,1.520631e-03,1.520852e-03,1.523260e-03,1.523743e-03,1.525035e-03,1.525764e-03,1.526208e-03,1.526763e-03,1.526805e-03,1.526857e-03,1.526804e-03,1.526389e-03,1.525950e-03,1.525430e-03,1.524263e-03,1.524005e-03,1.522138e-03,1.521800e-03,1.519854e-03,1.518617e-03,1.517177e-03,1.514767e-03,1.514129e-03,1.510733e-03,1.510302e-03,1.507008e-03,1.505270e-03,1.502976e-03,1.499717e-03,1.498655e-03,1.494066e-03,1.493687e-03,1.489225e-03,1.487222e-03,1.484149e-03,1.480360e-03,1.478857e-03,1.473362e-03,1.473139e-03,1.467682e-03,1.465594e-03,1.461829e-03,1.457758e-03,1.455818e-03,1.449663e-03,1.441337e-03,1.432809e-03,1.424104e-03,1.415246e-03,1.406259e-03,1.397163e-03,1.387978e-03,1.378723e-03,1.369415e-03,1.360070e-03,1.350702e-03,1.341327e-03,1.331955e-03,1.322600e-03,1.313272e-03,1.303981e-03,1.294737e-03,1.285547e-03,1.276419e-03,1.267361e-03,1.258378e-03,1.249478e-03,1.240663e-03,1.231941e-03
0.000000e+00,1.979159e-09,4.539100e-09,1.563009e-08,3.560500e-08,5.200742e-08,1.186773e-07,1.222892e-07,2.388539e-07,2.816566e-07,4.154905e-07,5.555071e-07,6.638944e-07,9.575476e-07,9.858397e-07,1.372676e-06,1.473955e-06,1.813822e-06,2.081345e-06,2.300785e-06,2.761652e-06,2.826583e-06,3.384747e-06,3.499702e-06,3.968889e-06,4.280796e-06,4.572658e-06,5.090459e-06,5.189871e-06,5.814684e-06,5.914994e-06,6.441755e-06,6.742135e-06,7.066349e-06,7.561486e-06,7.684400e-06,8.292517e-06,8.364687e-06,8.887960e-06,9.145368e-06,9.468588e-06,9.898950e-06,1.003279e-05,1.057943e-05,1.062238e-05,1.110774e-05,1.131383e-05,1.161730e-05,1.197245e-05,1.210792e-05,1.257965e-05,1.259812e-05,1.303267e-05,1.319125e-05,1.346733e-05,1.375260e-05,1.388402e-05,1.428323e-05,1.466549e-05,1.478432e-05,1.503135e-05,1.525717e-05,1.538140e-05,1.570310e-05,1.571620e-05,1.603636e-05,1.612346e-05,1.634244e-05,1.651957e-05,1.663502e-05,1.689274e-05,1.691464e-05,1.718186e-05,1.724420e-05,1.743719e-05,1.757517e-05,1.768114e-05,1.788679e-05,1.791420e-05,1.813684e-05,1.818015e-05,1.834950e-05,1.845629e-05,1.855262e-05,1.871618e-05,1.874662e-05,1.893189e-05,1.896075e-05,1.910881e-05,1.919087e-05,1.927774e-05,1.940736e-05,1.943903e-05,1.959300e-05,1.961100e-05,1.973998e-05,1.980251e-05,1.988026e-05,1.998258e-05,2.001414e-05,2.014188e-05,2.015184e-05,2.026375e-05,2.031091e-05,2.037999e-05,2.046034e-05,2.049085e-05,2.059654e-05,2.060066e-05,2.069729e-05,2.073239e-05,2.079331e-05,2.085599e-05,2.088478e-05,2.097190e-05,2.105484e-05,2.108053e-05,2.113378e-05,2.118227e-05,2.120887e-05,2.127749e-05,2.128028e-05,2.134815e-05,2.136654e-05,2.141263e-05,2.144974e-05,2.147384e-05,2.152739e-05,2.153193e-05,2.158700e-05,2.159979e-05,2.163919e-05,2.166719e-05,2.168860e-05,2.172987e-05,2.173534e-05,2.177951e-05,2.178805e-05,2.182122e-05,2.184197e-05,2.186056e-05,2.189184e-05,2.189761e-05,2.193248e-05,2.193786e-05,2.196523e-05,2.198022e-05,2.199595e-05,2.201911e-05,2.202471e-05,2.205159e-05,2.205469e-05,2.207666e-05,2.208714e-05,2.209999e-05,2.211659e-05,2.212164e-05,2.214167e-05,2.214320e-05,2.216014e-05,2.216711e-05,2.217711e-05,2.218844e-05,2.219264e-05,2.220678e-05,2.220732e-05,2.221957e-05,2.222386e-05,2.223108e-05,2.223818e-05,2.224133e-05,2.225039e-05,2.226058e-05,2.226886e-05,2.227531e-05,2.228002e-05,2.228307e-05,2.228454e-05,2.228451e-05,2.228305e-05,2.228023e-05,2.227612e-05,2.227077e-05,2.226425e-05,2.225661e-05,2.224791e-05,2.223820e-05,2.222753e-05,2.221595e-05,2.220350e-05,2.219023e-05,2.217619e-05,2.216140e-05,2.214592e-05,2.212977e-05,2.211299e-05
0.000000e+00,2.562490e-09,6.367271e-09,2.387232e-08,5.653565e-08,8.373177e-08,1.953040e-07,2.013662e-07,3.970295e-07,4.688078e-07,6.932002e-07,9.288022e-07,1.112531e-06,1.618760e-06,1.668224e-06,2.355511e-06,2.538425e-06,3.159623e-06,3.655604e-06,4.066553e-06,4.940760e-06,5.065090e-06,6.145328e-06,6.370320e-06,7.297423e-06,7.921507e-06,8.511058e-06,9.570151e-06,9.775394e-06,1.107926e-05,1.129080e-05,1.241145e-05,1.305773e-05,1.376102e-05,1.484619e-05,1.511759e-05,1.647157e-05,1.663345e-05,1.781428e-05,1.839950e-05,1.913809e-05,2.012747e-05,2.043645e-05,2.170384e-05,2.180375e-05,2.293579e-05,2.341782e-05,2.412874e-05,2.496197e-05,2.528000e-05,2.638764e-05,2.643102e-05,2.745038e-05,2.782182e-05,2.846751e-05,2.913297e-05,2.943880e-05,3.036440e-05,3.124481e-05,3.151711e-05,3.208077e-05,3.259289e-05,3.287322e-05,3.359407e-05,3.362328e-05,3.433215e-05,3.452343e-05,3.500114e-05,3.538397e-05,3.563163e-05,3.617885e-05,3.622499e-05,3.678264e-05,3.691132e-05,3.730599e-05,3.758461e-05,3.779645e-05,3.820194e-05,3.825540e-05,3.868419e-05,3.876644e-05,3.908415e-05,3.928116e-05,3.945657e-05,3.974904e-05,3.980270e-05,4.012376e-05,4.017288e-05,4.042091e-05,4.055538e-05,4.069527e-05,4.089909e-05,4.094794e-05,4.117996e-05,4.120646e-05,4.139232e-05,4.147978e-05,4.158599e-05,4.172125e-05,4.176189e-05,4.192090e-05,4.193291e-05,4.206386e-05,4.211673e-05,4.219158e-05,4.227454e-05,4.230484e-05,4.240436e-05,4.240807e-05,4.249086e-05,4.251894e-05,4.256501e-05,4.260870e-05,4.262744e-05,4.267878e-05,4.271960e-05,4.273053e-05,4.275047e-05,4.276524e-05,4.277191e-05,4.278410e-05,4.278443e-05,4.278852e-05,4.278822e-05,4.278464e-05,4.277866e-05,4.277322e-05,4.275642e-05,4.275468e-05,4.272943e-05,4.272242e-05,4.269784e-05,4.267752e-05,4.266028e-05,4.262255e-05,4.261709e-05,4.256859e-05,4.255828e-05,4.251510e-05,4.248541e-05,4.245692e-05,4.240463e-05,4.239433e-05,4.232760e-05,4.231655e-05,4.225698e-05,4.222178e-05,4.218273e-05,4.212087e-05,4.210507e-05,4.202423e-05,4.201433e-05,4.194041e-05,4.190265e-05,4.185383e-05,4.178628e-05,4.176466e-05,4.167309e-05,4.166566e-05,4.157929e-05,4.154118e-05,4.148343e-05,4.141322e-05,4.138566e-05,4.128613e-05,4.128212e-05,4.118499e-05,4.114821e-05,4.108237e-05,4.101180e-05,4.097839e-05,4.087318e-05,4.073260e-05,4.059034e-05,4.044661e-05,4.030164e-05,4.015563e-05,4.000878e-05,3.986126e-05,3.971325e-05,3.956488e-05,3.941632e-05,3.926769e-05,3.911911e-05,3.897072e-05,3.882261e-05,3.867489e-05,3.852766e-05,3.838099e-05,3.823497e-05,3.808967e-05,3.794517e-05,3.780152e-05,3.765879e-05,3.751703e-05,3.737629e-05
0.000000e+00,1.010517e-10,3.828776e-10,2.720813e-09,9.803491e-09,1.752507e-08,6.047802e-08,6.321218e-08,1.667916e-07,2.106880e-07,3.627649e-07,5.417952e-07,6.929540e-07,1.156845e-06,1.205804e-06,1.951906e-06,2.170771e-06,2.974304e-06,3.678074e-06,4.299045e-06,5.720270e-06,5.932339e-06,7.863863e-06,8.284208e-06,1.007224e-05,1.132100e-05,1.252990e-05,1.476476e-05,1.520642e-05,1.807038e-05,1.854390e-05,2.109038e-05,2.258629e-05,2.423544e-05,2.682112e-05,2.747522e-05,3.078014e-05,3.117974e-05,3.412166e-05,3.559643e-05,3.747247e-05,4.000941e-05,4.080684e-05,4.410088e-05,4.436199e-05,4.733282e-05,4.860378e-05,5.048325e-05,5.269149e-05,5.353526e-05,5.647451e-05,5.658956e-05,5.928927e-05,6.027026e-05,6.197032e-05,6.371350e-05,6.451086e-05,6.690630e-05,6.915407e-05,6.984200e-05,7.125341e-05,7.251940e-05,7.320512e-05,7.494186e-05,7.501135e-05,7.667536e-05,7.711635e-05,7.820132e-05,7.905263e-05,7.959409e-05,8.076245e-05,8.085908e-05,8.200208e-05,8.225892e-05,8.302913e-05,8.355592e-05,8.394638e-05,8.466766e-05,8.476003e-05,8.547625e-05,8.560833e-05,8.610107e-05,8.639183e-05,8.664041e-05,8.703156e-05,8.709995e-05,8.748517e-05,8.754026e-05,8.780129e-05,8.792996e-05,8.805329e-05,8.821189e-05,8.824587e-05,8.838350e-05,8.839652e-05,8.847036e-05,8.849351e-05,8.851038e-05,8.851177e-05,8.850727e-05,8.846447e-05,8.845943e-05,8.838520e-05,8.834396e-05,8.827246e-05,8.817215e-05,8.812906e-05,8.795761e-05,8.795020e-05,8.776052e-05,8.768373e-05,8.754005e-05,8.737784e-05,8.729828e-05,8.703716e-05,8.675849e-05,8.666588e-05,8.646393e-05,8.626780e-05,8.615503e-05,8.584633e-05,8.583323e-05,8.549985e-05,8.540459e-05,8.515611e-05,8.494538e-05,8.480317e-05,8.447123e-05,8.444206e-05,8.407378e-05,8.398443e-05,8.369922e-05,8.348704e-05,8.331922e-05,8.298094e-05,8.293456e-05,8.254594e-05,8.246780e-05,8.215402e-05,8.194913e-05,8.175943e-05,8.142631e-05,8.136272e-05,8.096442e-05,8.090057e-05,8.056500e-05,8.037302e-05,8.016492e-05,7.984466e-05,7.976459e-05,7.936437e-05,7.931637e-05,7.896463e-05,7.878898e-05,7.856569e-05,7.826320e-05,7.816783e-05,7.777133e-05,7.773968e-05,7.737645e-05,7.721900e-05,7.698340e-05,7.670167e-05,7.659241e-05,7.620367e-05,7.618817e-05,7.581734e-05,7.567889e-05,7.543360e-05,7.517420e-05,7.505259e-05,7.467443e-05,7.417987e-05,7.369074e-05,7.320727e-05,7.272965e-05,7.225804e-05,7.179256e-05,7.133334e-05,7.088046e-05,7.043401e-05,6.999404e-05,6.956059e-05,6.913371e-05,6.871339e-05,6.829966e-05,6.789251e-05,6.749192e-05,6.709788e-05,6.671035e-05,6.632931e-05,6.595470e-05,6.558648e-05,6.522460e-05,6.486900e-05,6.451962e-05
0.000000e+00,2.186039e-10,8.107052e-10,5.519520e-09,1.916623e-08,3.360498e-08,1.106680e-07,1.154633e-07,2.923481e-07,3.654960e-07,6.142164e-07,9.010105e-07,1.139842e-06,1.860671e-06,1.935953e-06,3.070246e-06,3.399193e-06,4.594685e-06,5.627009e-06,6.526732e-06,8.546835e-06,8.843633e-06,1.149284e-05,1.205681e-05,1.440808e-05,1.600660e-05,1.752200e-05,2.024589e-05,2.077294e-05,2.410713e-05,2.464516e-05,2.747869e-05,2.909861e-05,3.084857e-05,3.352077e-05,3.418356e-05,3.745550e-05,3.784272e-05,4.064068e-05,4.200947e-05,4.371947e-05,4.597835e-05,4.667607e-05,4.949821e-05,4.971789e-05,5.217692e-05,5.320680e-05,5.470617e-05,5.643271e-05,5.708261e-05,5.930518e-05,5.939089e-05,6.137480e-05,6.208285e-05,6.329392e-05,6.451481e-05,6.506627e-05,6.669657e-05,6.819032e-05,6.864044e-05,6.955351e-05,7.036037e-05,7.079251e-05,7.187117e-05,7.191384e-05,7.292410e-05,7.318796e-05,7.382983e-05,7.432577e-05,7.463745e-05,7.529917e-05,7.535319e-05,7.598307e-05,7.612211e-05,7.653285e-05,7.680780e-05,7.700804e-05,7.736865e-05,7.741385e-05,7.775522e-05,7.781618e-05,7.803681e-05,7.816107e-05,7.826298e-05,7.841317e-05,7.843787e-05,7.856531e-05,7.858154e-05,7.864892e-05,7.867448e-05,7.869207e-05,7.869960e-05,7.869793e-05,7.866941e-05,7.866381e-05,7.860927e-05,7.857345e-05,7.852006e-05,7.843428e-05,7.840415e-05,7.826376e-05,7.825153e-05,7.810096e-05,7.802999e-05,7.791765e-05,7.777399e-05,7.771563e-05,7.749655e-05,7.748746e-05,7.726196e-05,7.717398e-05,7.701328e-05,7.683682e-05,7.675185e-05,7.647891e-05,7.619560e-05,7.610293e-05,7.590300e-05,7.571132e-05,7.560210e-05,7.530627e-05,7.529381e-05,7.497899e-05,7.488978e-05,7.465844e-05,7.446366e-05,7.433289e-05,7.402956e-05,7.400303e-05,7.366949e-05,7.358895e-05,7.333285e-05,7.314319e-05,7.299367e-05,7.269348e-05,7.265244e-05,7.230963e-05,7.224092e-05,7.196568e-05,7.178651e-05,7.162099e-05,7.133115e-05,7.127592e-05,7.093083e-05,7.087563e-05,7.058601e-05,7.042069e-05,7.024178e-05,6.996698e-05,6.989839e-05,6.955609e-05,6.951510e-05,6.921512e-05,6.906556e-05,6.887568e-05,6.861885e-05,6.853796e-05,6.820215e-05,6.817537e-05,6.786840e-05,6.773551e-05,6.753687e-05,6.729961e-05,6.720768e-05,6.688097e-05,6.686795e-05,6.655684e-05,6.644080e-05,6.623539e-05,6.601839e-05,6.591672e-05,6.560092e-05,6.518855e-05,6.478145e-05,6.437973e-05,6.398351e-05,6.359288e-05,6.320790e-05,6.282863e-05,6.245513e-05,6.208741e-05,6.172550e-05,6.136940e-05,6.101913e-05,6.067466e-05,6.033598e-05,6.000306e-05,5.967589e-05,5.935441e-05,5.903860e-05,5.872840e-05,5.842376e-05,5.812464e-05,5.783097e-05,5.754269e-05,5.725975e-05
0.000000e+00,3.240119e-09,7.454772e-09,2.576630e-08,5.875984e-08,8.580454e-08,1.950299e-07,2.009126e-07,3.889253e-07,4.571632e-07,6.684930e-07,8.876931e-07,1.057144e-06,1.519971e-06,1.565033e-06,2.191769e-06,2.359290e-06,2.931970e-06,3.393923e-06,3.779988e-06,4.611088e-06,4.730342e-06,5.776966e-06,5.997234e-06,6.912695e-06,7.535746e-06,8.129127e-06,9.206354e-06,9.416734e-06,1.076512e-05,1.098577e-05,1.216333e-05,1.284889e-05,1.360021e-05,1.477013e-05,1.506472e-05,1.654620e-05,1.672464e-05,1.803463e-05,1.868933e-05,1.952077e-05,2.064353e-05,2.099627e-05,2.245376e-05,2.256939e-05,2.388685e-05,2.445201e-05,2.529010e-05,2.627939e-05,2.665898e-05,2.798982e-05,2.804222e-05,2.927973e-05,2.973364e-05,3.052651e-05,3.134884e-05,3.172856e-05,3.288481e-05,3.399467e-05,3.433999e-05,3.505793e-05,3.571399e-05,3.607469e-05,3.700739e-05,3.704533e-05,3.797047e-05,3.822146e-05,3.885089e-05,3.935805e-05,3.968751e-05,4.041940e-05,4.048136e-05,4.123357e-05,4.140804e-05,4.194532e-05,4.232669e-05,4.261784e-05,4.317821e-05,4.325239e-05,4.385023e-05,4.396551e-05,4.441264e-05,4.469152e-05,4.494089e-05,4.535915e-05,4.543624e-05,4.589993e-05,4.597127e-05,4.633319e-05,4.653069e-05,4.673721e-05,4.704017e-05,4.711317e-05,4.746221e-05,4.750234e-05,4.778545e-05,4.791978e-05,4.808397e-05,4.829496e-05,4.835882e-05,4.861102e-05,4.863024e-05,4.884155e-05,4.892792e-05,4.905138e-05,4.919016e-05,4.924143e-05,4.941257e-05,4.941904e-05,4.956569e-05,4.961656e-05,4.970160e-05,4.978460e-05,4.982110e-05,4.992496e-05,5.001393e-05,5.003937e-05,5.008871e-05,5.012945e-05,5.015000e-05,5.019674e-05,5.019844e-05,5.023468e-05,5.024273e-05,5.025932e-05,5.026878e-05,5.027295e-05,5.027624e-05,5.027612e-05,5.026938e-05,5.026634e-05,5.025324e-05,5.024028e-05,5.022819e-05,5.019916e-05,5.019472e-05,5.015327e-05,5.014406e-05,5.010428e-05,5.007597e-05,5.004817e-05,4.999583e-05,4.998534e-05,4.991617e-05,4.990454e-05,4.984103e-05,4.980295e-05,4.976027e-05,4.969184e-05,4.967423e-05,4.958322e-05,4.957198e-05,4.948755e-05,4.944406e-05,4.938752e-05,4.930875e-05,4.928341e-05,4.917548e-05,4.916669e-05,4.906400e-05,4.901846e-05,4.894920e-05,4.886463e-05,4.883133e-05,4.871059e-05,4.870571e-05,4.858722e-05,4.854220e-05,4.846140e-05,4.837456e-05,4.833334e-05,4.820322e-05,4.802860e-05,4.785109e-05,4.767103e-05,4.748877e-05,4.730462e-05,4.711888e-05,4.693183e-05,4.674372e-05,4.655481e-05,4.636531e-05,4.617544e-05,4.598539e-05,4.579536e-05,4.560550e-05,4.541599e-05,4.522696e-05,4.503855e-05,4.485090e-05,4.466413e-05,4.447832e-05,4.429360e-05,4.411006e-05,4.392777e-05,4.374682e-05
0.000000e+00,1.839378e-08,4.227486e-08,1.490048e-07,3.556045e-07,5.389508e-07,1.402738e-06,1.454604e-06,3.362267e-06,4.156336e-06,6.838797e-06,9.790242e-06,1.207617e-05,1.803106e-05,1.858184e-05,2.571705e-05,2.747345e-05,3.307973e-05,3.722138e-05,4.046638e-05,4.690296e-05,4.777338e-05,5.494063e-05,5.635345e-05,6.192628e-05,6.547574e-05,6.869687e-05,7.419664e-05,7.522345e-05,8.148170e-05,8.245671e-05,8.745154e-05,9.020991e-05,9.311748e-05,9.742393e-05,9.846864e-05,1.034992e-04,1.040811e-04,1.082072e-04,1.101770e-04,1.125947e-04,1.157178e-04,1.166667e-04,1.204306e-04,1.207187e-04,1.238959e-04,1.252008e-04,1.270734e-04,1.291898e-04,1.299752e-04,1.326137e-04,1.327140e-04,1.350019e-04,1.358029e-04,1.371529e-04,1.384866e-04,1.390794e-04,1.407944e-04,1.423102e-04,1.427552e-04,1.436388e-04,1.443963e-04,1.447919e-04,1.457440e-04,1.457805e-04,1.466152e-04,1.468227e-04,1.473061e-04,1.476557e-04,1.478629e-04,1.482645e-04,1.482946e-04,1.486098e-04,1.486691e-04,1.488168e-04,1.488882e-04,1.489230e-04,1.489391e-04,1.489359e-04,1.488623e-04,1.488377e-04,1.487085e-04,1.485988e-04,1.484806e-04,1.482360e-04,1.481842e-04,1.478249e-04,1.477618e-04,1.474074e-04,1.471878e-04,1.469366e-04,1.465245e-04,1.464168e-04,1.458523e-04,1.457817e-04,1.452467e-04,1.449682e-04,1.446038e-04,1.440924e-04,1.439270e-04,1.432194e-04,1.431616e-04,1.424841e-04,1.421828e-04,1.417237e-04,1.411621e-04,1.409408e-04,1.401379e-04,1.401054e-04,1.393173e-04,1.390179e-04,1.384810e-04,1.379044e-04,1.376310e-04,1.367691e-04,1.358971e-04,1.356162e-04,1.350165e-04,1.344491e-04,1.341288e-04,1.332711e-04,1.332353e-04,1.323374e-04,1.320853e-04,1.314361e-04,1.308943e-04,1.305327e-04,1.297005e-04,1.296281e-04,1.287233e-04,1.285062e-04,1.278191e-04,1.273133e-04,1.269163e-04,1.261236e-04,1.260157e-04,1.251179e-04,1.249388e-04,1.242237e-04,1.237602e-04,1.233334e-04,1.225892e-04,1.224478e-04,1.215673e-04,1.214269e-04,1.206923e-04,1.202743e-04,1.198232e-04,1.191324e-04,1.189603e-04,1.181042e-04,1.180019e-04,1.172549e-04,1.168835e-04,1.164129e-04,1.157779e-04,1.155783e-04,1.147513e-04,1.146855e-04,1.139323e-04,1.136069e-04,1.131212e-04,1.125424e-04,1.123184e-04,1.115239e-04,1.114923e-04,1.107378e-04,1.104569e-04,1.099603e-04,1.094365e-04,1.091914e-04,1.084311e-04,1.074410e-04,1.064662e-04,1.055067e-04,1.045627e-04,1.036340e-04,1.027207e-04,1.018227e-04,1.009399e-04,1.000723e-04,9.921970e-05,9.838200e-05,9.755907e-05,9.675075e-05,9.595689e-05,9.517732e-05,9.441187e-05,9.366034e-05,9.292255e-05,9.219832e-05,9.148743e-05,9.078969e-05,9.010489e-05,8.943284e-05,8.877331e-05
0.000000e+00,4.382964e-09,1.003770e-08,3.454358e-08,7.870806e-08,1.149817e-07,2.623447e-07,2.703228e-07,5.275204e-07,6.219001e-07,9.174399e-07,1.228761e-06,1.472392e-06,2.148219e-06,2.214634e-06,3.143925e-06,3.393015e-06,4.243085e-06,4.925289e-06,5.492261e-06,6.702318e-06,6.874782e-06,8.376623e-06,8.690160e-06,9.984763e-06,1.085868e-05,1.168611e-05,1.317733e-05,1.346705e-05,1.531345e-05,1.561398e-05,1.721083e-05,1.813542e-05,1.914472e-05,2.070859e-05,2.110097e-05,2.306611e-05,2.330191e-05,2.502752e-05,2.588635e-05,2.697370e-05,2.843623e-05,2.889436e-05,3.078051e-05,3.092967e-05,3.262441e-05,3.334866e-05,3.441961e-05,3.567898e-05,3.616082e-05,3.784385e-05,3.790991e-05,3.946549e-05,4.003379e-05,4.102344e-05,4.204565e-05,4.251615e-05,4.394274e-05,4.530293e-05,4.572418e-05,4.659688e-05,4.739051e-05,4.782519e-05,4.894345e-05,4.898877e-05,5.008881e-05,5.038562e-05,5.112671e-05,5.172027e-05,5.210404e-05,5.295115e-05,5.302250e-05,5.388386e-05,5.408230e-05,5.468999e-05,5.511799e-05,5.544276e-05,5.606260e-05,5.614411e-05,5.679594e-05,5.692053e-05,5.740017e-05,5.769619e-05,5.795869e-05,5.839390e-05,5.847338e-05,5.894608e-05,5.901793e-05,5.937857e-05,5.957241e-05,5.977263e-05,6.006136e-05,6.012997e-05,6.045225e-05,6.048864e-05,6.074109e-05,6.085799e-05,6.099806e-05,6.117298e-05,6.122468e-05,6.142241e-05,6.143703e-05,6.159268e-05,6.165341e-05,6.173686e-05,6.182524e-05,6.185625e-05,6.195213e-05,6.195550e-05,6.202573e-05,6.204700e-05,6.207822e-05,6.210242e-05,6.211072e-05,6.212432e-05,6.212007e-05,6.211510e-05,6.209895e-05,6.207704e-05,6.206194e-05,6.201230e-05,6.200994e-05,6.194384e-05,6.192292e-05,6.186448e-05,6.181083e-05,6.177266e-05,6.167784e-05,6.166915e-05,6.155469e-05,6.152567e-05,6.142998e-05,6.135592e-05,6.129570e-05,6.117012e-05,6.115249e-05,6.100095e-05,6.096970e-05,6.084168e-05,6.075598e-05,6.067523e-05,6.053025e-05,6.050213e-05,6.032289e-05,6.029367e-05,6.013798e-05,6.004736e-05,5.994788e-05,5.979235e-05,5.975302e-05,5.955380e-05,5.952962e-05,5.935063e-05,5.926008e-05,5.914388e-05,5.898457e-05,5.893390e-05,5.872105e-05,5.870390e-05,5.850562e-05,5.841881e-05,5.828794e-05,5.812997e-05,5.806829e-05,5.784693e-05,5.783805e-05,5.762414e-05,5.754363e-05,5.740016e-05,5.724728e-05,5.717521e-05,5.694951e-05,5.665080e-05,5.635160e-05,5.605231e-05,5.575332e-05,5.545498e-05,5.515760e-05,5.486150e-05,5.456693e-05,5.427414e-05,5.398338e-05,5.369484e-05,5.340871e-05,5.312516e-05,5.284436e-05,5.256643e-05,5.229150e-05,5.201969e-05,5.175109e-05,5.148579e-05,5.122386e-05,5.096536e-05,5.071037e-05,5.045891e-05,5.021104e-05
0.000000e+00,4.242234e-09,9.695986e-09,3.328040e-08,7.575143e-08,1.106586e-07,2.529152e-07,2.606391e-07,5.108141e-07,6.031444e-07,8.939394e-07,1.203073e-06,1.447272e-06,2.137245e-06,2.206121e-06,3.188095e-06,3.455871e-06,4.376243e-06,5.114853e-06,5.724202e-06,7.001757e-06,7.180836e-06,8.705816e-06,9.016330e-06,1.027049e-05,1.109267e-05,1.185400e-05,1.318675e-05,1.344013e-05,1.501553e-05,1.526582e-05,1.656891e-05,1.730385e-05,1.809072e-05,1.928002e-05,1.957297e-05,2.100914e-05,2.117812e-05,2.239411e-05,2.298624e-05,2.372402e-05,2.469621e-05,2.499615e-05,2.620876e-05,2.630317e-05,2.736098e-05,2.780489e-05,2.845261e-05,2.920127e-05,2.948405e-05,3.045616e-05,3.049383e-05,3.137015e-05,3.168524e-05,3.222751e-05,3.277903e-05,3.302994e-05,3.377927e-05,3.447744e-05,3.469037e-05,3.512643e-05,3.551691e-05,3.572827e-05,3.626354e-05,3.628497e-05,3.679855e-05,3.693490e-05,3.727099e-05,3.753551e-05,3.770422e-05,3.806980e-05,3.810014e-05,3.846059e-05,3.854202e-05,3.878735e-05,3.895627e-05,3.908215e-05,3.931644e-05,3.934663e-05,3.958242e-05,3.962626e-05,3.979103e-05,3.988925e-05,3.997393e-05,4.010874e-05,4.013254e-05,4.026819e-05,4.028785e-05,4.038218e-05,4.042956e-05,4.047574e-05,4.053667e-05,4.055005e-05,4.060622e-05,4.061179e-05,4.064533e-05,4.065740e-05,4.066839e-05,4.067579e-05,4.067638e-05,4.067023e-05,4.066915e-05,4.065080e-05,4.063950e-05,4.061893e-05,4.058874e-05,4.057543e-05,4.052105e-05,4.051866e-05,4.045650e-05,4.043090e-05,4.038246e-05,4.032703e-05,4.029958e-05,4.020848e-05,4.010974e-05,4.007662e-05,4.000390e-05,3.993268e-05,3.989149e-05,3.977786e-05,3.977301e-05,3.964892e-05,3.961323e-05,3.951966e-05,3.943981e-05,3.938567e-05,3.925855e-05,3.924733e-05,3.910502e-05,3.907032e-05,3.895910e-05,3.887593e-05,3.880990e-05,3.867614e-05,3.865774e-05,3.850291e-05,3.847165e-05,3.834571e-05,3.826311e-05,3.818639e-05,3.805111e-05,3.802521e-05,3.786240e-05,3.783622e-05,3.769820e-05,3.761894e-05,3.753280e-05,3.739975e-05,3.736640e-05,3.719920e-05,3.717909e-05,3.703137e-05,3.695736e-05,3.686307e-05,3.673494e-05,3.669445e-05,3.652566e-05,3.651216e-05,3.635684e-05,3.628933e-05,3.618812e-05,3.606676e-05,3.601960e-05,3.585141e-05,3.584469e-05,3.568364e-05,3.562337e-05,3.551640e-05,3.540302e-05,3.534977e-05,3.518384e-05,3.496602e-05,3.474972e-05,3.453509e-05,3.432226e-05,3.411136e-05,3.390249e-05,3.369576e-05,3.349125e-05,3.328904e-05,3.308919e-05,3.289177e-05,3.269681e-05,3.250438e-05,3.231450e-05,3.212720e-05,3.194251e-05,3.176044e-05,3.158102e-05,3.140424e-05,3.123012e-05,3.105866e-05,3.088984e-05,3.072368e-05,3.056015e-05
0.000000e+00,3.651334e-09,8.339708e-09,2.855076e-08,6.473312e-08,9.429218e-08,2.133348e-07,2.197399e-07,4.245106e-07,4.989442e-07,7.301907e-07,9.717397e-07,1.160072e-06,1.683224e-06,1.734858e-06,2.463074e-06,2.659879e-06,3.334254e-06,3.876012e-06,4.325010e-06,5.275800e-06,5.410274e-06,6.568644e-06,6.807487e-06,7.782499e-06,8.430563e-06,9.036788e-06,1.011176e-05,1.031806e-05,1.161397e-05,1.182191e-05,1.291319e-05,1.353490e-05,1.420535e-05,1.522772e-05,1.548117e-05,1.673255e-05,1.688073e-05,1.795257e-05,1.847794e-05,1.913553e-05,2.000695e-05,2.027687e-05,2.137312e-05,2.145879e-05,2.242178e-05,2.282752e-05,2.342120e-05,2.410977e-05,2.437051e-05,2.526949e-05,2.530440e-05,2.611849e-05,2.641202e-05,2.691818e-05,2.743429e-05,2.766955e-05,2.837394e-05,2.903284e-05,2.923434e-05,2.964787e-05,3.001927e-05,3.022078e-05,3.073280e-05,3.075335e-05,3.124738e-05,3.137904e-05,3.170466e-05,3.196213e-05,3.212698e-05,3.248614e-05,3.251609e-05,3.287370e-05,3.295502e-05,3.320146e-05,3.337257e-05,3.350097e-05,3.374239e-05,3.377377e-05,3.402132e-05,3.406793e-05,3.424506e-05,3.435243e-05,3.444631e-05,3.459893e-05,3.462636e-05,3.478645e-05,3.481028e-05,3.492772e-05,3.498918e-05,3.505129e-05,3.513810e-05,3.515820e-05,3.524945e-05,3.525940e-05,3.532598e-05,3.535522e-05,3.538868e-05,3.542761e-05,3.543840e-05,3.547593e-05,3.547843e-05,3.550203e-05,3.550943e-05,3.551742e-05,3.552224e-05,3.552276e-05,3.551871e-05,3.551836e-05,3.550586e-05,3.549919e-05,3.548479e-05,3.546603e-05,3.545603e-05,3.542008e-05,3.537744e-05,3.536246e-05,3.532856e-05,3.529419e-05,3.527386e-05,3.521624e-05,3.521374e-05,3.514859e-05,3.512950e-05,3.507878e-05,3.503478e-05,3.500463e-05,3.493286e-05,3.492647e-05,3.484460e-05,3.482443e-05,3.475931e-05,3.471015e-05,3.467086e-05,3.459062e-05,3.457951e-05,3.448551e-05,3.446641e-05,3.438906e-05,3.433802e-05,3.429040e-05,3.420595e-05,3.418972e-05,3.408720e-05,3.407064e-05,3.398303e-05,3.393249e-05,3.387737e-05,3.379188e-05,3.377039e-05,3.366223e-05,3.364918e-05,3.355303e-05,3.350469e-05,3.344293e-05,3.335872e-05,3.333204e-05,3.322050e-05,3.321155e-05,3.310840e-05,3.306343e-05,3.299585e-05,3.291459e-05,3.288295e-05,3.276979e-05,3.276526e-05,3.265646e-05,3.261564e-05,3.254304e-05,3.246590e-05,3.242960e-05,3.231622e-05,3.216675e-05,3.201764e-05,3.186902e-05,3.172101e-05,3.157372e-05,3.142725e-05,3.128169e-05,3.113713e-05,3.099364e-05,3.085129e-05,3.071015e-05,3.057027e-05,3.043170e-05,3.029449e-05,3.015867e-05,3.002429e-05,2.989138e-05,2.975996e-05,2.963006e-05,2.950170e-05,2.937490e-05,2.924966e-05,2.912601e-05,2.900396e-05
0.000000e+00,1.412506e-09,3.401268e-09,1.225627e-08,2.831112e-08,4.142829e-08,9.377803e-08,9.656923e-08,1.844402e-07,2.157659e-07,3.112683e-07,4.085367e-07,4.829650e-07,6.852696e-07,7.049960e-07,9.814959e-07,1.056168e-06,1.313506e-06,1.522583e-06,1.697624e-06,2.073260e-06,2.126883e-06,2.593083e-06,2.690056e-06,3.088433e-06,3.355198e-06,3.605986e-06,4.053316e-06,4.139513e-06,4.683291e-06,4.770885e-06,5.231974e-06,5.495600e-06,5.780552e-06,6.216198e-06,6.324371e-06,6.859181e-06,6.922567e-06,7.381185e-06,7.605942e-06,7.887088e-06,8.259083e-06,8.374122e-06,8.840055e-06,8.876364e-06,9.283185e-06,9.453760e-06,9.702283e-06,9.988717e-06,1.009660e-05,1.046582e-05,1.048006e-05,1.080991e-05,1.092768e-05,1.112919e-05,1.133240e-05,1.142422e-05,1.169575e-05,1.194468e-05,1.201974e-05,1.217205e-05,1.230674e-05,1.237893e-05,1.255933e-05,1.256647e-05,1.273583e-05,1.278015e-05,1.288815e-05,1.297185e-05,1.302459e-05,1.313702e-05,1.314623e-05,1.325415e-05,1.327812e-05,1.334935e-05,1.339747e-05,1.343280e-05,1.349722e-05,1.350539e-05,1.356798e-05,1.357936e-05,1.362135e-05,1.364570e-05,1.366623e-05,1.369788e-05,1.370332e-05,1.373323e-05,1.373739e-05,1.375656e-05,1.376557e-05,1.377383e-05,1.378363e-05,1.378555e-05,1.379217e-05,1.379264e-05,1.379410e-05,1.379356e-05,1.379173e-05,1.378727e-05,1.378541e-05,1.377547e-05,1.377452e-05,1.376220e-05,1.375602e-05,1.374588e-05,1.373238e-05,1.372676e-05,1.370507e-05,1.370416e-05,1.368103e-05,1.367183e-05,1.365482e-05,1.363586e-05,1.362664e-05,1.359664e-05,1.356499e-05,1.355453e-05,1.353182e-05,1.350985e-05,1.349726e-05,1.346290e-05,1.346144e-05,1.342448e-05,1.341393e-05,1.338646e-05,1.336319e-05,1.334750e-05,1.331089e-05,1.330768e-05,1.326708e-05,1.325723e-05,1.322578e-05,1.320238e-05,1.318386e-05,1.314651e-05,1.314139e-05,1.309842e-05,1.308977e-05,1.305501e-05,1.303229e-05,1.301122e-05,1.297418e-05,1.296711e-05,1.292271e-05,1.291558e-05,1.287807e-05,1.285657e-05,1.283324e-05,1.279726e-05,1.278825e-05,1.274314e-05,1.273772e-05,1.269795e-05,1.267804e-05,1.265270e-05,1.261829e-05,1.260743e-05,1.256216e-05,1.255854e-05,1.251693e-05,1.249884e-05,1.247174e-05,1.243926e-05,1.242664e-05,1.238164e-05,1.237984e-05,1.233676e-05,1.232063e-05,1.229201e-05,1.226167e-05,1.224742e-05,1.220301e-05,1.214467e-05,1.208670e-05,1.202911e-05,1.197194e-05,1.191522e-05,1.185896e-05,1.180318e-05,1.174791e-05,1.169316e-05,1.163894e-05,1.158527e-05,1.153216e-05,1.147962e-05,1.142765e-05,1.137628e-05,1.132549e-05,1.127531e-05,1.122573e-05,1.117676e-05,1.112839e-05,1.108064e-05,1.103350e-05,1.098698e-05,1.094107e-05
0.000000e+00,4.208868e-09,9.676257e-09,3.349724e-08,7.680311e-08,1.126984e-07,2.613066e-07,2.694719e-07,5.384934e-07,6.397190e-07,9.636672e-07,1.313702e-06,1.591959e-06,2.373843e-06,2.450990e-06,3.526270e-06,3.811746e-06,4.773254e-06,5.529231e-06,6.146642e-06,7.432445e-06,7.612319e-06,9.145663e-06,9.458715e-06,1.072768e-05,1.156421e-05,1.234249e-05,1.371396e-05,1.397606e-05,1.561583e-05,1.587800e-05,1.725053e-05,1.803042e-05,1.887025e-05,2.014944e-05,2.046643e-05,2.203189e-05,2.221739e-05,2.356073e-05,2.422056e-05,2.504825e-05,2.614888e-05,2.649085e-05,2.788587e-05,2.799536e-05,2.923149e-05,2.975563e-05,3.052656e-05,3.142738e-05,3.177052e-05,3.296327e-05,3.300992e-05,3.410509e-05,3.450378e-05,3.519656e-05,3.591041e-05,3.623849e-05,3.723189e-05,3.817788e-05,3.847079e-05,3.907770e-05,3.962996e-05,3.993265e-05,4.071245e-05,4.074409e-05,4.151338e-05,4.172143e-05,4.224194e-05,4.266010e-05,4.293115e-05,4.353167e-05,4.358241e-05,4.419710e-05,4.433933e-05,4.477657e-05,4.508620e-05,4.532217e-05,4.577531e-05,4.583520e-05,4.631693e-05,4.640963e-05,4.676862e-05,4.699203e-05,4.719147e-05,4.752525e-05,4.758667e-05,4.795536e-05,4.801196e-05,4.829865e-05,4.845472e-05,4.861760e-05,4.885595e-05,4.891327e-05,4.918665e-05,4.921801e-05,4.943872e-05,4.954312e-05,4.967040e-05,4.983341e-05,4.988261e-05,5.007622e-05,5.009093e-05,5.025205e-05,5.031759e-05,5.041092e-05,5.051524e-05,5.055361e-05,5.068086e-05,5.068564e-05,5.079340e-05,5.083044e-05,5.089191e-05,5.095122e-05,5.097706e-05,5.104949e-05,5.110981e-05,5.112665e-05,5.115861e-05,5.118405e-05,5.119645e-05,5.122298e-05,5.122389e-05,5.124143e-05,5.124464e-05,5.124958e-05,5.125016e-05,5.124882e-05,5.124064e-05,5.123960e-05,5.122237e-05,5.121709e-05,5.119755e-05,5.118049e-05,5.116554e-05,5.113174e-05,5.112673e-05,5.108149e-05,5.107171e-05,5.103018e-05,5.100121e-05,5.097313e-05,5.092101e-05,5.091066e-05,5.084310e-05,5.083184e-05,5.077074e-05,5.073439e-05,5.069387e-05,5.062930e-05,5.061274e-05,5.052764e-05,5.051717e-05,5.043880e-05,5.039859e-05,5.034647e-05,5.027410e-05,5.025087e-05,5.015222e-05,5.014420e-05,5.005073e-05,5.000938e-05,4.994659e-05,4.987008e-05,4.984000e-05,4.973114e-05,4.972674e-05,4.962017e-05,4.957974e-05,4.950727e-05,4.942948e-05,4.939260e-05,4.927630e-05,4.912053e-05,4.896248e-05,4.880246e-05,4.864072e-05,4.847754e-05,4.831314e-05,4.814777e-05,4.798162e-05,4.781490e-05,4.764780e-05,4.748048e-05,4.731311e-05,4.714584e-05,4.697880e-05,4.681214e-05,4.664597e-05,4.648041e-05,4.631555e-05,4.615151e-05,4.598836e-05,4.582619e-05,4.566508e-05,4.550511e-05,4.534632e-05
0.000000e+00,3.283573e-09,9.113669e-09,3.902285e-08,9.938408e-08,1.519218e-07,3.807751e-07,3.937083e-07,8.333405e-07,1.004152e-06,1.565241e-06,2.189586e-06,2.694327e-06,4.128492e-06,4.270318e-06,6.242380e-06,6.764358e-06,8.520865e-06,9.904061e-06,1.103762e-05,1.341533e-05,1.375015e-05,1.662973e-05,1.722360e-05,1.965295e-05,2.127443e-05,2.279762e-05,2.551658e-05,2.604127e-05,2.936090e-05,2.989754e-05,3.273335e-05,3.436417e-05,3.613585e-05,3.886478e-05,3.954658e-05,4.294521e-05,4.335133e-05,4.631322e-05,4.778113e-05,4.963417e-05,5.211776e-05,5.289379e-05,5.607997e-05,5.633138e-05,5.918272e-05,6.039861e-05,6.219403e-05,6.430194e-05,6.510759e-05,6.791870e-05,6.802897e-05,7.062410e-05,7.157173e-05,7.322170e-05,7.492591e-05,7.571043e-05,7.809010e-05,8.036122e-05,8.106523e-05,8.252491e-05,8.385400e-05,8.458273e-05,8.646045e-05,8.653664e-05,8.838890e-05,8.888964e-05,9.014197e-05,9.114730e-05,9.179851e-05,9.323966e-05,9.336130e-05,9.483321e-05,9.517327e-05,9.621714e-05,9.695481e-05,9.751602e-05,9.859100e-05,9.873278e-05,9.987033e-05,1.000886e-04,1.009316e-04,1.014542e-04,1.019194e-04,1.026945e-04,1.028366e-04,1.036859e-04,1.038157e-04,1.044700e-04,1.048240e-04,1.051916e-04,1.057255e-04,1.058532e-04,1.064573e-04,1.065260e-04,1.070063e-04,1.072311e-04,1.075027e-04,1.078461e-04,1.079486e-04,1.083464e-04,1.083762e-04,1.086981e-04,1.088263e-04,1.090058e-04,1.092013e-04,1.092716e-04,1.094973e-04,1.095056e-04,1.096849e-04,1.097435e-04,1.098362e-04,1.099191e-04,1.099528e-04,1.100365e-04,1.100889e-04,1.100993e-04,1.101115e-04,1.101110e-04,1.101058e-04,1.100751e-04,1.100733e-04,1.100154e-04,1.099948e-04,1.099334e-04,1.098731e-04,1.098285e-04,1.097129e-04,1.097020e-04,1.095551e-04,1.095169e-04,1.093888e-04,1.092877e-04,1.092044e-04,1.090279e-04,1.090028e-04,1.087850e-04,1.087396e-04,1.085520e-04,1.084252e-04,1.083047e-04,1.080866e-04,1.080440e-04,1.077707e-04,1.077259e-04,1.074857e-04,1.073449e-04,1.071896e-04,1.069453e-04,1.068832e-04,1.065673e-04,1.065288e-04,1.062425e-04,1.060970e-04,1.059095e-04,1.056512e-04,1.055688e-04,1.052211e-04,1.051930e-04,1.048669e-04,1.047235e-04,1.045068e-04,1.042441e-04,1.041412e-04,1.037706e-04,1.037557e-04,1.033956e-04,1.032596e-04,1.030166e-04,1.027567e-04,1.026339e-04,1.022480e-04,1.017344e-04,1.012166e-04,1.006955e-04,1.001719e-04,9.964626e-05,9.911936e-05,9.859177e-05,9.806403e-05,9.753667e-05,9.701014e-05,9.648491e-05,9.596137e-05,9.543992e-05,9.492089e-05,9.440462e-05,9.389141e-05,9.338153e-05,9.287524e-05,9.237276e-05,9.187431e-05,9.138008e-05,9.089025e-05,9.040497e-05,8.992438e-05
0.000000e+00,3.298367e-10,1.154473e-09,7.045410e-09,2.241454e-08,3.763923e-08,1.126229e-07,1.171011e-07,2.758146e-07,3.393491e-07,5.512226e-07,7.909322e-07,9.878535e-07,1.567090e-06,1.626169e-06,2.482744e-06,2.719959e-06,3.546397e-06,4.223592e-06,4.793035e-06,6.022327e-06,6.198712e-06,7.743600e-06,8.067788e-06,9.411112e-06,1.032163e-05,1.118608e-05,1.274914e-05,1.305352e-05,1.499807e-05,1.531531e-05,1.700404e-05,1.798408e-05,1.905564e-05,2.071931e-05,2.113734e-05,2.323428e-05,2.348626e-05,2.533259e-05,2.625297e-05,2.741961e-05,2.899121e-05,2.948408e-05,3.151615e-05,3.167706e-05,3.350746e-05,3.429095e-05,3.545102e-05,3.681759e-05,3.734116e-05,3.917343e-05,3.924547e-05,4.094443e-05,4.156649e-05,4.265171e-05,4.377541e-05,4.429365e-05,4.586931e-05,4.737837e-05,4.784721e-05,4.882096e-05,4.970959e-05,5.019765e-05,5.145810e-05,5.150933e-05,5.275715e-05,5.309527e-05,5.394245e-05,5.462426e-05,5.506677e-05,5.604867e-05,5.613173e-05,5.713905e-05,5.737243e-05,5.809054e-05,5.859966e-05,5.898801e-05,5.973456e-05,5.983331e-05,6.062829e-05,6.078141e-05,6.137480e-05,6.174444e-05,6.207468e-05,6.262785e-05,6.272972e-05,6.334171e-05,6.343575e-05,6.391238e-05,6.417213e-05,6.444345e-05,6.484090e-05,6.493656e-05,6.539335e-05,6.544580e-05,6.581538e-05,6.599046e-05,6.620419e-05,6.647838e-05,6.656125e-05,6.688801e-05,6.691288e-05,6.718584e-05,6.729717e-05,6.745609e-05,6.763432e-05,6.770005e-05,6.791898e-05,6.792724e-05,6.811409e-05,6.817871e-05,6.828652e-05,6.839140e-05,6.843740e-05,6.856782e-05,6.867879e-05,6.871036e-05,6.877133e-05,6.882132e-05,6.884638e-05,6.890283e-05,6.890487e-05,6.894767e-05,6.895696e-05,6.897564e-05,6.898564e-05,6.898958e-05,6.899070e-05,6.899028e-05,6.897849e-05,6.897387e-05,6.895490e-05,6.893681e-05,6.892022e-05,6.888104e-05,6.887510e-05,6.882016e-05,6.880805e-05,6.875600e-05,6.871919e-05,6.868321e-05,6.861578e-05,6.860232e-05,6.851386e-05,6.849903e-05,6.841833e-05,6.837010e-05,6.831621e-05,6.823007e-05,6.820795e-05,6.809400e-05,6.807996e-05,6.797476e-05,6.792072e-05,6.785063e-05,6.775325e-05,6.772199e-05,6.758919e-05,6.757840e-05,6.745259e-05,6.739695e-05,6.731250e-05,6.720965e-05,6.716924e-05,6.702309e-05,6.701719e-05,6.687434e-05,6.682021e-05,6.672326e-05,6.661932e-05,6.657009e-05,6.641509e-05,6.620804e-05,6.599866e-05,6.578742e-05,6.557474e-05,6.536101e-05,6.514661e-05,6.493187e-05,6.471711e-05,6.450263e-05,6.428868e-05,6.407553e-05,6.386339e-05,6.365248e-05,6.344299e-05,6.323510e-05,6.302896e-05,6.282472e-05,6.262252e-05,6.242247e-05,6.222468e-05,6.202924e-05,6.183625e-05,6.164578e-05,6.145789e-05
0.000000e+00,1.298732e-09,2.982797e-09,1.027554e-08,2.336398e-08,3.406054e-08,7.706522e-08,7.937427e-08,1.528901e-07,1.794665e-07,2.615832e-07,3.467760e-07,4.129333e-07,5.965523e-07,6.147301e-07,8.740091e-07,9.453326e-07,1.194689e-06,1.400658e-06,1.574886e-06,1.952563e-06,2.006771e-06,2.479698e-06,2.578280e-06,2.983433e-06,3.254645e-06,3.509431e-06,3.963351e-06,4.050739e-06,4.601574e-06,4.690250e-06,5.156963e-06,5.423866e-06,5.712541e-06,6.154526e-06,6.264443e-06,6.809271e-06,6.874030e-06,7.344074e-06,7.575549e-06,7.866340e-06,8.253575e-06,8.373978e-06,8.865306e-06,8.903866e-06,9.339014e-06,9.523338e-06,9.794139e-06,1.010994e-05,1.023002e-05,1.064627e-05,1.066251e-05,1.104272e-05,1.118059e-05,1.141940e-05,1.166435e-05,1.177652e-05,1.211438e-05,1.243342e-05,1.253162e-05,1.273415e-05,1.291726e-05,1.301712e-05,1.327263e-05,1.328294e-05,1.353226e-05,1.359920e-05,1.376573e-05,1.389847e-05,1.398400e-05,1.417197e-05,1.418775e-05,1.437763e-05,1.442121e-05,1.455428e-05,1.464767e-05,1.471835e-05,1.485280e-05,1.487043e-05,1.501114e-05,1.503797e-05,1.514104e-05,1.520450e-05,1.526069e-05,1.535367e-05,1.537063e-05,1.547136e-05,1.548666e-05,1.556338e-05,1.560459e-05,1.564716e-05,1.570854e-05,1.572313e-05,1.579174e-05,1.579950e-05,1.585339e-05,1.587841e-05,1.590846e-05,1.594614e-05,1.595732e-05,1.600034e-05,1.600353e-05,1.603783e-05,1.605135e-05,1.607011e-05,1.609031e-05,1.609750e-05,1.612026e-05,1.612108e-05,1.613869e-05,1.614430e-05,1.615302e-05,1.616056e-05,1.616351e-05,1.617039e-05,1.617388e-05,1.617432e-05,1.617419e-05,1.617281e-05,1.617151e-05,1.616630e-05,1.616603e-05,1.615793e-05,1.615522e-05,1.614738e-05,1.613994e-05,1.613453e-05,1.612082e-05,1.611954e-05,1.610255e-05,1.609819e-05,1.608370e-05,1.607237e-05,1.606310e-05,1.604364e-05,1.604089e-05,1.601718e-05,1.601227e-05,1.599208e-05,1.597851e-05,1.596568e-05,1.594259e-05,1.593809e-05,1.590940e-05,1.590472e-05,1.587970e-05,1.586511e-05,1.584906e-05,1.582393e-05,1.581757e-05,1.578530e-05,1.578138e-05,1.575231e-05,1.573759e-05,1.571868e-05,1.569273e-05,1.568446e-05,1.564972e-05,1.564692e-05,1.561451e-05,1.560030e-05,1.557888e-05,1.555299e-05,1.554288e-05,1.550655e-05,1.550509e-05,1.546995e-05,1.545671e-05,1.543311e-05,1.540794e-05,1.539607e-05,1.535887e-05,1.530958e-05,1.526014e-05,1.521062e-05,1.516109e-05,1.511160e-05,1.506220e-05,1.501296e-05,1.496390e-05,1.491508e-05,1.486653e-05,1.481828e-05,1.477038e-05,1.472284e-05,1.467569e-05,1.462896e-05,1.458267e-05,1.453684e-05,1.449149e-05,1.444663e-05,1.440227e-05,1.435843e-05,1.431512e-05,1.427235e-05,1.423012e-05
0.000000e+00,7.739519e-09,2.084701e-08,8.678339e-08,2.209504e-07,3.403895e-07,8.904593e-07,9.228841e-07,2.091299e-06,2.571181e-06,4.192182e-06,5.994838e-06,7.412144e-06,1.121475e-05,1.157569e-05,1.641609e-05,1.765834e-05,2.177121e-05,2.496310e-05,2.756067e-05,3.297877e-05,3.373967e-05,4.027426e-05,4.162096e-05,4.713115e-05,5.081215e-05,5.427389e-05,6.046547e-05,6.166240e-05,6.925353e-05,7.048390e-05,7.700197e-05,8.076371e-05,8.486235e-05,9.120179e-05,9.279092e-05,1.007460e-04,1.017005e-04,1.086891e-04,1.121711e-04,1.165854e-04,1.225361e-04,1.244040e-04,1.321180e-04,1.327299e-04,1.397043e-04,1.426987e-04,1.471436e-04,1.523998e-04,1.544199e-04,1.615203e-04,1.618005e-04,1.684345e-04,1.708765e-04,1.751547e-04,1.796107e-04,1.816752e-04,1.879920e-04,1.941025e-04,1.960140e-04,2.000055e-04,2.036745e-04,2.057010e-04,2.109740e-04,2.111896e-04,2.164728e-04,2.179156e-04,2.215527e-04,2.245042e-04,2.264319e-04,2.307461e-04,2.311135e-04,2.356006e-04,2.366490e-04,2.398969e-04,2.422210e-04,2.440063e-04,2.474710e-04,2.479326e-04,2.516799e-04,2.524083e-04,2.552525e-04,2.570426e-04,2.586546e-04,2.613837e-04,2.618905e-04,2.649644e-04,2.654415e-04,2.678808e-04,2.692260e-04,2.706439e-04,2.727469e-04,2.732580e-04,2.757274e-04,2.760142e-04,2.780563e-04,2.790376e-04,2.802489e-04,2.818267e-04,2.823094e-04,2.842417e-04,2.843909e-04,2.860500e-04,2.867394e-04,2.877381e-04,2.888813e-04,2.893099e-04,2.907694e-04,2.908254e-04,2.921200e-04,2.925804e-04,2.933657e-04,2.941545e-04,2.945098e-04,2.955560e-04,2.965076e-04,2.967928e-04,2.973681e-04,2.978725e-04,2.981406e-04,2.988025e-04,2.988285e-04,2.994347e-04,2.995902e-04,2.999623e-04,3.002424e-04,3.004144e-04,3.007659e-04,3.007937e-04,3.011031e-04,3.011672e-04,3.013453e-04,3.014526e-04,3.015230e-04,3.016280e-04,3.016387e-04,3.016950e-04,3.016994e-04,3.016944e-04,3.016723e-04,3.016391e-04,3.015521e-04,3.015315e-04,3.013738e-04,3.013441e-04,3.011682e-04,3.010531e-04,3.009168e-04,3.006841e-04,3.006217e-04,3.002847e-04,3.002416e-04,2.999079e-04,2.997299e-04,2.994931e-04,2.991535e-04,2.990420e-04,2.985564e-04,2.985162e-04,2.980381e-04,2.978220e-04,2.974886e-04,2.970745e-04,2.969095e-04,2.963023e-04,2.962775e-04,2.956686e-04,2.954342e-04,2.950097e-04,2.945480e-04,2.943270e-04,2.936218e-04,2.926588e-04,2.916617e-04,2.906333e-04,2.895761e-04,2.884925e-04,2.873850e-04,2.862557e-04,2.851067e-04,2.839402e-04,2.827579e-04,2.815618e-04,2.803535e-04,2.791347e-04,2.779070e-04,2.766717e-04,2.754304e-04,2.741843e-04,2.729347e-04,2.716827e-04,2.704296e-04,2.691762e-04,2.679237e-04,2.666730e-04,2.654249e-04
0.000000e+00,2.941184e-10,1.153164e-09,8.793562e-09,3.376580e-08,6.248284e-08,2.353492e-07,2.468507e-07,7.079226e-07,9.140102e-07,1.659862e-06,2.583207e-06,3.390614e-06,5.984444e-06,6.266712e-06,1.073589e-05,1.210235e-05,1.732218e-05,2.215025e-05,2.660592e-05,3.748342e-05,3.918666e-05,5.563884e-05,5.944028e-05,7.647377e-05,8.918446e-05,1.021148e-04,1.276070e-04,1.328852e-04,1.690047e-04,1.752895e-04,2.105918e-04,2.325058e-04,2.576691e-04,2.992425e-04,3.101710e-04,3.679516e-04,3.752304e-04,4.307941e-04,4.599785e-04,4.984195e-04,5.528116e-04,5.704967e-04,6.466509e-04,6.529073e-04,7.264738e-04,7.593338e-04,8.095321e-04,8.710852e-04,8.953757e-04,9.835464e-04,9.871151e-04,1.073584e-03,1.106367e-03,1.165034e-03,1.227800e-03,1.257453e-03,1.350413e-03,1.443506e-03,1.473260e-03,1.536345e-03,1.595463e-03,1.628573e-03,1.716225e-03,1.719854e-03,1.809886e-03,1.834833e-03,1.898393e-03,1.950660e-03,1.985126e-03,2.063168e-03,2.069869e-03,2.152430e-03,2.171902e-03,2.232646e-03,2.276490e-03,2.310378e-03,2.376636e-03,2.385512e-03,2.457957e-03,2.472116e-03,2.527642e-03,2.562770e-03,2.594517e-03,2.648495e-03,2.658548e-03,2.719720e-03,2.729241e-03,2.778030e-03,2.805005e-03,2.833489e-03,2.875819e-03,2.886121e-03,2.935958e-03,2.941753e-03,2.983042e-03,3.002899e-03,3.027422e-03,3.059377e-03,3.069155e-03,3.108300e-03,3.111322e-03,3.144925e-03,3.158884e-03,3.179098e-03,3.202226e-03,3.210892e-03,3.240382e-03,3.241515e-03,3.267643e-03,3.276926e-03,3.292753e-03,3.308638e-03,3.315788e-03,3.336828e-03,3.355949e-03,3.361675e-03,3.373229e-03,3.383356e-03,3.388742e-03,3.402044e-03,3.402565e-03,3.414771e-03,3.417908e-03,3.425431e-03,3.431115e-03,3.434616e-03,3.441823e-03,3.442396e-03,3.448836e-03,3.450189e-03,3.454002e-03,3.456362e-03,3.457956e-03,3.460483e-03,3.460761e-03,3.462475e-03,3.462691e-03,3.463154e-03,3.463117e-03,3.462854e-03,3.461884e-03,3.461628e-03,3.459527e-03,3.459113e-03,3.456600e-03,3.454916e-03,3.452894e-03,3.449399e-03,3.448455e-03,3.443326e-03,3.442666e-03,3.437548e-03,3.434811e-03,3.431162e-03,3.425925e-03,3.424205e-03,3.416715e-03,3.416093e-03,3.408725e-03,3.405397e-03,3.400270e-03,3.393912e-03,3.391381e-03,3.382089e-03,3.381710e-03,3.372423e-03,3.368857e-03,3.362410e-03,3.355416e-03,3.352076e-03,3.341447e-03,3.327005e-03,3.312142e-03,3.296906e-03,3.281343e-03,3.265494e-03,3.249400e-03,3.233097e-03,3.216619e-03,3.199999e-03,3.183265e-03,3.166446e-03,3.149567e-03,3.132652e-03,3.115723e-03,3.098800e-03,3.081901e-03,3.065044e-03,3.048245e-03,3.031519e-03,3.014878e-03,2.998335e-03,2.981902e-03,2.965588e-03,2.949402e-03
0.000000e+00,1.380536e-10,5.080548e-10,3.406578e-09,1.167342e-08,2.032318e-08,6.574142e-08,6.854056e-08,1.705157e-07,2.121589e-07,3.522257e-07,5.115701e-07,6.429200e-07,1.033506e-06,1.073848e-06,1.672624e-06,1.843363e-06,2.454728e-06,2.973362e-06,3.420264e-06,4.412934e-06,4.558037e-06,5.851470e-06,6.127249e-06,7.282503e-06,8.075039e-06,8.833168e-06,1.021530e-05,1.048586e-05,1.222317e-05,1.250783e-05,1.402769e-05,1.491261e-05,1.588202e-05,1.738980e-05,1.776899e-05,1.967190e-05,1.990056e-05,2.157486e-05,2.240831e-05,2.346306e-05,2.487993e-05,2.532311e-05,2.714314e-05,2.728669e-05,2.891293e-05,2.960481e-05,3.062395e-05,3.181556e-05,3.226931e-05,3.384366e-05,3.390510e-05,3.534310e-05,3.586403e-05,3.676503e-05,3.768687e-05,3.810797e-05,3.937144e-05,4.055577e-05,4.091820e-05,4.166201e-05,4.232974e-05,4.269176e-05,4.361022e-05,4.364703e-05,4.453021e-05,4.476493e-05,4.534391e-05,4.579994e-05,4.609093e-05,4.672181e-05,4.677419e-05,4.739664e-05,4.753732e-05,4.796128e-05,4.825333e-05,4.847108e-05,4.887665e-05,4.892895e-05,4.933778e-05,4.941391e-05,4.970034e-05,4.987148e-05,5.001932e-05,5.025547e-05,5.029730e-05,5.053679e-05,5.057169e-05,5.074015e-05,5.082560e-05,5.090966e-05,5.102236e-05,5.104749e-05,5.115569e-05,5.116677e-05,5.123621e-05,5.126335e-05,5.129090e-05,5.131628e-05,5.132153e-05,5.132973e-05,5.132947e-05,5.131709e-05,5.130653e-05,5.128508e-05,5.125083e-05,5.123510e-05,5.116846e-05,5.116547e-05,5.108640e-05,5.105331e-05,5.099009e-05,5.091702e-05,5.088062e-05,5.075904e-05,5.062630e-05,5.058163e-05,5.048334e-05,5.038686e-05,5.033099e-05,5.017667e-05,5.017008e-05,5.000135e-05,4.995280e-05,4.982551e-05,4.971688e-05,4.964324e-05,4.947039e-05,4.945515e-05,4.926183e-05,4.921471e-05,4.906382e-05,4.895109e-05,4.886165e-05,4.868067e-05,4.865578e-05,4.844667e-05,4.840450e-05,4.823474e-05,4.812356e-05,4.802039e-05,4.783872e-05,4.780396e-05,4.758582e-05,4.755078e-05,4.736628e-05,4.726049e-05,4.714564e-05,4.696851e-05,4.692416e-05,4.670213e-05,4.667545e-05,4.647976e-05,4.638187e-05,4.625729e-05,4.608827e-05,4.603492e-05,4.581285e-05,4.579510e-05,4.559125e-05,4.550278e-05,4.537029e-05,4.521168e-05,4.515012e-05,4.493089e-05,4.492214e-05,4.471272e-05,4.463447e-05,4.449574e-05,4.434892e-05,4.428005e-05,4.406576e-05,4.378519e-05,4.350740e-05,4.323258e-05,4.296086e-05,4.269238e-05,4.242726e-05,4.216559e-05,4.190745e-05,4.165292e-05,4.140205e-05,4.115490e-05,4.091150e-05,4.067188e-05,4.043605e-05,4.020403e-05,3.997583e-05,3.975144e-05,3.953085e-05,3.931406e-05,3.910104e-05,3.889178e-05,3.868624e-05,3.848441e-05,3.828624e-05
0.000000e+00,8.129179e-11,3.067705e-10,2.163618e-09,7.751326e-09,1.382053e-08,4.747273e-08,4.961301e-08,1.307707e-07,1.652446e-07,2.850983e-07,4.269305e-07,5.471462e-07,9.173506e-07,9.564526e-07,1.550830e-06,1.724319e-06,2.356998e-06,2.905617e-06,3.385742e-06,4.472660e-06,4.633603e-06,6.087460e-06,6.401378e-06,7.728782e-06,8.649402e-06,9.536470e-06,1.116736e-05,1.148846e-05,1.356254e-05,1.390425e-05,1.573677e-05,1.680968e-05,1.798980e-05,1.983513e-05,2.030110e-05,2.265119e-05,2.293494e-05,2.502194e-05,2.606726e-05,2.739670e-05,2.919495e-05,2.976054e-05,3.210027e-05,3.228606e-05,3.440450e-05,3.531403e-05,3.666357e-05,3.825761e-05,3.886952e-05,4.101591e-05,4.110045e-05,4.309772e-05,4.383060e-05,4.511117e-05,4.643986e-05,4.705358e-05,4.892321e-05,5.071912e-05,5.127817e-05,5.244102e-05,5.350431e-05,5.408919e-05,5.560273e-05,5.566434e-05,5.716754e-05,5.757573e-05,5.860015e-05,5.942647e-05,5.996372e-05,6.115873e-05,6.125999e-05,6.249081e-05,6.277669e-05,6.365812e-05,6.428480e-05,6.476389e-05,6.568766e-05,6.581014e-05,6.679890e-05,6.698993e-05,6.773219e-05,6.819624e-05,6.861201e-05,6.931119e-05,6.944035e-05,7.021913e-05,7.033927e-05,7.095028e-05,7.128486e-05,7.163565e-05,7.215221e-05,7.227706e-05,7.287626e-05,7.294541e-05,7.343498e-05,7.366842e-05,7.395487e-05,7.432501e-05,7.443754e-05,7.488456e-05,7.491882e-05,7.529742e-05,7.545333e-05,7.567758e-05,7.593185e-05,7.602646e-05,7.634539e-05,7.635754e-05,7.663568e-05,7.673342e-05,7.689860e-05,7.706236e-05,7.713534e-05,7.734708e-05,7.753494e-05,7.759019e-05,7.769999e-05,7.779413e-05,7.784327e-05,7.796126e-05,7.796577e-05,7.806845e-05,7.809378e-05,7.815224e-05,7.819380e-05,7.821800e-05,7.826331e-05,7.826658e-05,7.829881e-05,7.830420e-05,7.831546e-05,7.831825e-05,7.831727e-05,7.830716e-05,7.830496e-05,7.827923e-05,7.827253e-05,7.824073e-05,7.821588e-05,7.819010e-05,7.813863e-05,7.812793e-05,7.805482e-05,7.804215e-05,7.797132e-05,7.792771e-05,7.787796e-05,7.779652e-05,7.777526e-05,7.766370e-05,7.764974e-05,7.754376e-05,7.748844e-05,7.741588e-05,7.731365e-05,7.728050e-05,7.713802e-05,7.712633e-05,7.698885e-05,7.692739e-05,7.683336e-05,7.671769e-05,7.667191e-05,7.650485e-05,7.649806e-05,7.633251e-05,7.626924e-05,7.615522e-05,7.603198e-05,7.597326e-05,7.578694e-05,7.553479e-05,7.527612e-05,7.501150e-05,7.474149e-05,7.446659e-05,7.418728e-05,7.390402e-05,7.361723e-05,7.332731e-05,7.303465e-05,7.273960e-05,7.244249e-05,7.214365e-05,7.184336e-05,7.154191e-05,7.123956e-05,7.093656e-05,7.063314e-05,7.032951e-05,7.002589e-05,6.972245e-05,6.941939e-05,6.911687e-05,6.881505e-05
0.000000e+00,9.833507e-11,3.658080e-10,2.502458e-09,8.709184e-09,1.527460e-08,5.016779e-08,5.233008e-08,1.314159e-07,1.637749e-07,2.725459e-07,3.959672e-07,4.974233e-07,7.981172e-07,8.291356e-07,1.290271e-06,1.422310e-06,1.898001e-06,2.305210e-06,2.658537e-06,3.449479e-06,3.565609e-06,4.603649e-06,4.825242e-06,5.752668e-06,6.387165e-06,6.992187e-06,8.089509e-06,8.303422e-06,9.670014e-06,9.892838e-06,1.107788e-05,1.176465e-05,1.251470e-05,1.367747e-05,1.396931e-05,1.543132e-05,1.560678e-05,1.689075e-05,1.752959e-05,1.833795e-05,1.942386e-05,1.976354e-05,2.115850e-05,2.126851e-05,2.251432e-05,2.304390e-05,2.382314e-05,2.473241e-05,2.507794e-05,2.627256e-05,2.631902e-05,2.740190e-05,2.779165e-05,2.846186e-05,2.914144e-05,2.944946e-05,3.036275e-05,3.120076e-05,3.145300e-05,3.196348e-05,3.241246e-05,3.265174e-05,3.324386e-05,3.326710e-05,3.381174e-05,3.395191e-05,3.428829e-05,3.454280e-05,3.469984e-05,3.502396e-05,3.504977e-05,3.534168e-05,3.540352e-05,3.557930e-05,3.569006e-05,3.576642e-05,3.589232e-05,3.590683e-05,3.600424e-05,3.601888e-05,3.606224e-05,3.607799e-05,3.608431e-05,3.607750e-05,3.607375e-05,3.603370e-05,3.602475e-05,3.596707e-05,3.592646e-05,3.587661e-05,3.578879e-05,3.576486e-05,3.563415e-05,3.561730e-05,3.548665e-05,3.541695e-05,3.532433e-05,3.519216e-05,3.514897e-05,3.496221e-05,3.494682e-05,3.476553e-05,3.468438e-05,3.456026e-05,3.440783e-05,3.434761e-05,3.412868e-05,3.411980e-05,3.390442e-05,3.382256e-05,3.367573e-05,3.351809e-05,3.344338e-05,3.320808e-05,3.297045e-05,3.289401e-05,3.273106e-05,3.257715e-05,3.249040e-05,3.225860e-05,3.224893e-05,3.200704e-05,3.193929e-05,3.176510e-05,3.162003e-05,3.152341e-05,3.130152e-05,3.128225e-05,3.104189e-05,3.098435e-05,3.080255e-05,3.066903e-05,3.056441e-05,3.035600e-05,3.032767e-05,3.009247e-05,3.004563e-05,2.985896e-05,2.973824e-05,2.962725e-05,2.943410e-05,2.939747e-05,2.916969e-05,2.913344e-05,2.894401e-05,2.883645e-05,2.872049e-05,2.854329e-05,2.849921e-05,2.828021e-05,2.825409e-05,2.806355e-05,2.796897e-05,2.784926e-05,2.768801e-05,2.763737e-05,2.742792e-05,2.741127e-05,2.722092e-05,2.713881e-05,2.701640e-05,2.687068e-05,2.681436e-05,2.661481e-05,2.660688e-05,2.641776e-05,2.634744e-05,2.622322e-05,2.609235e-05,2.603117e-05,2.584162e-05,2.559523e-05,2.535315e-05,2.511537e-05,2.488184e-05,2.465253e-05,2.442740e-05,2.420641e-05,2.398950e-05,2.377663e-05,2.356774e-05,2.336278e-05,2.316169e-05,2.296441e-05,2.277087e-05,2.258103e-05,2.239482e-05,2.221218e-05,2.203304e-05,2.185734e-05,2.168503e-05,2.151603e-05,2.135028e-05,2.118773e-05,2.102831e-05
0.000000e+00,1.320850e-09,3.055289e-09,1.060376e-08,2.417716e-08,3.526318e-08,7.965408e-08,8.202792e-08,1.570490e-07,1.839022e-07,2.660098e-07,3.498998e-07,4.142193e-07,5.895128e-07,6.066440e-07,8.477872e-07,9.133414e-07,1.141271e-06,1.329315e-06,1.489078e-06,1.839841e-06,1.890826e-06,2.343748e-06,2.440105e-06,2.843454e-06,3.120102e-06,3.384827e-06,3.867908e-06,3.962574e-06,4.571421e-06,4.671373e-06,5.206152e-06,5.518502e-06,5.861616e-06,6.397503e-06,6.532740e-06,7.214568e-06,7.296878e-06,7.902312e-06,8.205609e-06,8.591410e-06,9.113384e-06,9.277581e-06,9.956874e-06,1.001081e-05,1.062570e-05,1.088957e-05,1.128086e-05,1.174252e-05,1.191954e-05,1.253936e-05,1.256373e-05,1.313830e-05,1.334849e-05,1.371474e-05,1.409320e-05,1.426739e-05,1.479530e-05,1.529781e-05,1.545318e-05,1.577452e-05,1.606600e-05,1.622528e-05,1.663363e-05,1.665013e-05,1.704928e-05,1.715649e-05,1.742311e-05,1.763545e-05,1.777211e-05,1.807176e-05,1.809686e-05,1.839805e-05,1.846691e-05,1.867641e-05,1.882262e-05,1.893274e-05,1.914072e-05,1.916784e-05,1.938257e-05,1.942315e-05,1.957779e-05,1.967188e-05,1.975436e-05,1.988890e-05,1.991314e-05,2.005498e-05,2.007616e-05,2.018073e-05,2.023562e-05,2.029121e-05,2.036914e-05,2.038723e-05,2.046956e-05,2.047856e-05,2.053897e-05,2.056561e-05,2.059619e-05,2.063196e-05,2.064193e-05,2.067687e-05,2.067922e-05,2.070166e-05,2.070888e-05,2.071694e-05,2.072238e-05,2.072330e-05,2.072132e-05,2.072108e-05,2.071155e-05,2.070622e-05,2.069451e-05,2.067902e-05,2.067070e-05,2.064059e-05,2.060464e-05,2.059198e-05,2.056328e-05,2.053416e-05,2.051691e-05,2.046805e-05,2.046592e-05,2.041068e-05,2.039450e-05,2.035153e-05,2.031430e-05,2.028880e-05,2.022819e-05,2.022280e-05,2.015383e-05,2.013686e-05,2.008215e-05,2.004093e-05,2.000804e-05,1.994100e-05,1.993174e-05,1.985348e-05,1.983761e-05,1.977348e-05,1.973126e-05,1.969195e-05,1.962241e-05,1.960907e-05,1.952504e-05,1.951150e-05,1.944002e-05,1.939890e-05,1.935417e-05,1.928499e-05,1.926764e-05,1.918057e-05,1.917009e-05,1.909310e-05,1.905451e-05,1.900534e-05,1.893853e-05,1.891741e-05,1.882942e-05,1.882238e-05,1.874147e-05,1.870632e-05,1.865365e-05,1.859054e-05,1.856604e-05,1.847873e-05,1.847524e-05,1.839179e-05,1.836059e-05,1.830528e-05,1.824674e-05,1.821927e-05,1.813383e-05,1.802198e-05,1.791131e-05,1.780192e-05,1.769389e-05,1.758729e-05,1.748220e-05,1.737868e-05,1.727677e-05,1.717651e-05,1.707793e-05,1.698108e-05,1.688596e-05,1.679260e-05,1.670100e-05,1.661118e-05,1.652314e-05,1.643687e-05,1.635238e-05,1.626965e-05,1.618868e-05,1.610945e-05,1.603195e-05,1.595616e-05,1.588206e-05
0.000000e+00,3.719701e-10,1.166738e-09,5.900174e-09,1.639562e-08,2.584067e-08,6.726872e-08,6.958692e-08,1.458380e-07,1.741291e-07,2.627021e-07,3.555235e-07,4.278581e-07,6.287646e-07,6.486401e-07,9.319085e-07,1.009872e-06,1.283467e-06,1.511628e-06,1.706862e-06,2.138917e-06,2.202027e-06,2.765004e-06,2.885181e-06,3.389161e-06,3.735366e-06,4.066842e-06,4.671836e-06,4.790375e-06,5.552385e-06,5.677400e-06,6.345791e-06,6.735758e-06,7.163742e-06,7.831305e-06,7.999597e-06,8.846946e-06,8.949106e-06,9.699675e-06,1.007508e-05,1.055203e-05,1.119629e-05,1.139870e-05,1.223485e-05,1.230115e-05,1.305615e-05,1.337966e-05,1.385886e-05,1.442346e-05,1.463974e-05,1.539610e-05,1.542581e-05,1.612576e-05,1.638156e-05,1.682702e-05,1.728698e-05,1.749860e-05,1.813962e-05,1.874956e-05,1.893813e-05,1.932819e-05,1.968209e-05,1.987555e-05,2.037182e-05,2.039189e-05,2.087764e-05,2.100825e-05,2.133341e-05,2.159277e-05,2.175991e-05,2.212715e-05,2.215796e-05,2.252845e-05,2.261338e-05,2.287233e-05,2.305364e-05,2.319058e-05,2.345024e-05,2.348421e-05,2.375424e-05,2.380550e-05,2.400170e-05,2.412179e-05,2.422760e-05,2.440144e-05,2.443296e-05,2.461875e-05,2.464673e-05,2.478597e-05,2.485990e-05,2.493553e-05,2.504310e-05,2.506837e-05,2.518537e-05,2.519839e-05,2.528739e-05,2.532773e-05,2.537523e-05,2.543300e-05,2.544970e-05,2.551155e-05,2.551597e-05,2.556152e-05,2.557833e-05,2.560030e-05,2.562167e-05,2.562856e-05,2.564693e-05,2.564747e-05,2.565604e-05,2.565715e-05,2.565644e-05,2.565204e-05,2.564871e-05,2.563336e-05,2.561090e-05,2.560228e-05,2.558179e-05,2.555990e-05,2.554651e-05,2.550721e-05,2.550546e-05,2.545907e-05,2.544517e-05,2.540772e-05,2.537467e-05,2.535177e-05,2.529653e-05,2.529157e-05,2.522746e-05,2.521152e-05,2.515974e-05,2.512035e-05,2.508871e-05,2.502368e-05,2.501465e-05,2.493781e-05,2.492214e-05,2.485847e-05,2.481629e-05,2.477683e-05,2.470666e-05,2.469314e-05,2.460759e-05,2.459375e-05,2.452039e-05,2.447800e-05,2.443173e-05,2.435985e-05,2.434177e-05,2.425068e-05,2.423968e-05,2.415862e-05,2.411784e-05,2.406574e-05,2.399468e-05,2.397216e-05,2.387803e-05,2.387048e-05,2.378346e-05,2.374553e-05,2.368856e-05,2.362010e-05,2.359345e-05,2.349821e-05,2.349440e-05,2.340295e-05,2.336867e-05,2.330775e-05,2.324309e-05,2.321269e-05,2.311785e-05,2.299311e-05,2.286901e-05,2.274570e-05,2.262330e-05,2.250191e-05,2.238164e-05,2.226257e-05,2.214479e-05,2.202836e-05,2.191334e-05,2.179980e-05,2.168777e-05,2.157730e-05,2.146843e-05,2.136118e-05,2.125558e-05,2.115164e-05,2.104939e-05,2.094883e-05,2.084997e-05,2.075282e-05,2.065737e-05,2.056363e-05,2.047159e-05
0.000000e+00,6.113311e-11,2.313031e-10,1.638769e-09,5.887063e-09,1.050467e-08,3.604516e-08,3.766460e-08,9.861227e-08,1.242447e-07,2.123265e-07,3.148366e-07,4.005792e-07,6.603080e-07,6.874908e-07,1.098607e-06,1.218552e-06,1.658423e-06,2.044474e-06,2.386501e-06,3.175735e-06,3.294333e-06,4.384666e-06,4.624333e-06,5.652892e-06,6.379555e-06,7.089162e-06,8.415914e-06,8.680294e-06,1.041114e-05,1.069996e-05,1.226544e-05,1.319442e-05,1.422634e-05,1.586030e-05,1.627670e-05,1.839929e-05,1.865804e-05,2.057698e-05,2.154827e-05,2.279295e-05,2.449261e-05,2.503086e-05,2.727509e-05,2.745445e-05,2.951086e-05,3.039969e-05,3.172445e-05,3.329743e-05,3.390335e-05,3.603631e-05,3.612053e-05,3.811350e-05,3.884596e-05,4.012643e-05,4.145485e-05,4.206802e-05,4.393249e-05,4.571537e-05,4.626808e-05,4.741332e-05,4.845438e-05,4.902413e-05,5.048733e-05,5.054652e-05,5.198009e-05,5.236561e-05,5.332521e-05,5.409022e-05,5.458288e-05,5.566401e-05,5.575463e-05,5.684248e-05,5.709133e-05,5.784878e-05,5.837766e-05,5.877617e-05,5.952929e-05,5.962754e-05,6.040590e-05,6.055309e-05,6.111439e-05,6.145624e-05,6.175619e-05,6.224613e-05,6.233453e-05,6.285261e-05,6.293012e-05,6.331360e-05,6.351551e-05,6.372061e-05,6.400941e-05,6.407669e-05,6.438481e-05,6.441869e-05,6.464780e-05,6.474994e-05,6.486844e-05,6.500943e-05,6.504937e-05,6.519312e-05,6.520309e-05,6.530214e-05,6.533654e-05,6.537872e-05,6.541503e-05,6.542508e-05,6.544332e-05,6.544349e-05,6.543540e-05,6.542652e-05,6.540322e-05,6.536839e-05,6.534856e-05,6.527309e-05,6.517841e-05,6.514430e-05,6.506602e-05,6.498544e-05,6.493732e-05,6.479967e-05,6.479365e-05,6.463626e-05,6.458990e-05,6.446633e-05,6.435881e-05,6.428495e-05,6.410888e-05,6.409318e-05,6.389197e-05,6.384238e-05,6.368225e-05,6.356141e-05,6.346487e-05,6.326788e-05,6.324063e-05,6.301029e-05,6.296355e-05,6.277454e-05,6.265003e-05,6.253403e-05,6.232879e-05,6.228939e-05,6.204119e-05,6.200118e-05,6.178995e-05,6.166842e-05,6.153617e-05,6.133164e-05,6.128033e-05,6.102284e-05,6.099185e-05,6.076412e-05,6.064999e-05,6.050453e-05,6.030687e-05,6.024442e-05,5.998411e-05,5.996328e-05,5.972389e-05,5.961989e-05,5.946405e-05,5.927733e-05,5.920483e-05,5.894647e-05,5.893616e-05,5.868919e-05,5.859688e-05,5.843319e-05,5.825993e-05,5.817864e-05,5.792572e-05,5.759462e-05,5.726692e-05,5.694293e-05,5.662288e-05,5.630698e-05,5.599542e-05,5.568837e-05,5.538596e-05,5.508830e-05,5.479549e-05,5.450761e-05,5.422470e-05,5.394684e-05,5.367402e-05,5.340629e-05,5.314365e-05,5.288609e-05,5.263360e-05,5.238616e-05,5.214375e-05,5.190632e-05,5.167384e-05,5.144626e-05,5.122354e-05
0.000000e+00,2.047365e-09,4.770325e-09,1.670780e-08,3.834716e-08,5.614402e-08,1.283595e-07,1.322619e-07,2.575954e-07,3.033642e-07,4.460488e-07,5.956416e-07,7.124939e-07,1.037195e-06,1.069212e-06,1.519915e-06,1.641557e-06,2.058859e-06,2.395669e-06,2.676555e-06,3.278204e-06,3.364148e-06,4.114151e-06,4.271043e-06,4.919840e-06,5.358630e-06,5.774647e-06,6.525722e-06,6.671836e-06,7.604420e-06,7.756440e-06,8.565206e-06,9.034265e-06,9.546926e-06,1.034254e-05,1.054240e-05,1.154469e-05,1.166511e-05,1.254728e-05,1.298691e-05,1.354405e-05,1.429433e-05,1.452955e-05,1.549893e-05,1.557566e-05,1.644803e-05,1.682117e-05,1.737329e-05,1.802307e-05,1.827182e-05,1.914129e-05,1.917543e-05,1.997992e-05,2.027402e-05,2.078644e-05,2.131606e-05,2.155996e-05,2.230001e-05,2.300641e-05,2.322536e-05,2.367927e-05,2.409245e-05,2.431893e-05,2.490224e-05,2.492590e-05,2.550085e-05,2.565620e-05,2.604457e-05,2.635617e-05,2.655793e-05,2.700421e-05,2.704187e-05,2.749738e-05,2.760259e-05,2.792549e-05,2.815364e-05,2.832722e-05,2.865976e-05,2.870363e-05,2.905575e-05,2.912334e-05,2.938460e-05,2.954675e-05,2.969121e-05,2.993228e-05,2.997655e-05,3.024160e-05,3.028219e-05,3.048729e-05,3.059861e-05,3.071453e-05,3.088364e-05,3.092421e-05,3.111716e-05,3.113923e-05,3.129421e-05,3.136728e-05,3.145614e-05,3.156956e-05,3.160370e-05,3.173762e-05,3.174777e-05,3.185859e-05,3.190350e-05,3.196728e-05,3.203828e-05,3.206431e-05,3.215030e-05,3.215351e-05,3.222582e-05,3.225055e-05,3.229143e-05,3.233065e-05,3.234766e-05,3.239501e-05,3.243396e-05,3.244472e-05,3.246497e-05,3.248085e-05,3.248848e-05,3.250438e-05,3.250491e-05,3.251465e-05,3.251623e-05,3.251807e-05,3.251725e-05,3.251555e-05,3.250827e-05,3.250742e-05,3.249401e-05,3.249005e-05,3.247564e-05,3.246328e-05,3.245258e-05,3.242865e-05,3.242513e-05,3.239356e-05,3.238677e-05,3.235812e-05,3.233824e-05,3.231904e-05,3.228358e-05,3.227657e-05,3.223091e-05,3.222333e-05,3.218228e-05,3.215794e-05,3.213088e-05,3.208789e-05,3.207689e-05,3.202049e-05,3.201357e-05,3.196185e-05,3.193538e-05,3.190113e-05,3.185369e-05,3.183849e-05,3.177406e-05,3.176883e-05,3.170799e-05,3.168114e-05,3.164041e-05,3.159089e-05,3.157145e-05,3.150121e-05,3.149838e-05,3.142982e-05,3.140386e-05,3.135738e-05,3.130757e-05,3.128398e-05,3.120974e-05,3.111057e-05,3.101027e-05,3.090901e-05,3.080698e-05,3.070431e-05,3.060116e-05,3.049768e-05,3.039397e-05,3.029017e-05,3.018638e-05,3.008270e-05,2.997922e-05,2.987604e-05,2.977323e-05,2.967087e-05,2.956902e-05,2.946775e-05,2.936711e-05,2.926716e-05,2.916795e-05,2.906952e-05,2.897191e-05,2.887516e-05,2.877930e-05
0.000000e+00,2.563493e-09,6.758680e-09,2.711884e-08,6.653006e-08,1.000019e-07,2.408872e-07,2.486704e-07,5.053323e-07,6.017760e-07,9.096942e-07,1.241578e-06,1.505149e-06,2.245627e-06,2.318698e-06,3.337581e-06,3.608324e-06,4.521720e-06,5.242222e-06,5.832638e-06,7.068816e-06,7.242503e-06,8.730843e-06,9.036401e-06,1.028068e-05,1.110569e-05,1.187641e-05,1.324136e-05,1.350311e-05,1.514638e-05,1.540991e-05,1.679255e-05,1.758000e-05,1.842902e-05,1.972351e-05,2.004441e-05,2.162878e-05,2.181640e-05,2.317372e-05,2.383917e-05,2.467232e-05,2.577681e-05,2.611905e-05,2.750973e-05,2.761847e-05,2.884139e-05,2.935706e-05,3.011208e-05,3.098860e-05,3.132075e-05,3.246711e-05,3.251167e-05,3.355147e-05,3.392682e-05,3.457467e-05,3.523611e-05,3.553791e-05,3.644271e-05,3.729083e-05,3.755057e-05,3.808418e-05,3.856411e-05,3.882479e-05,3.948811e-05,3.951477e-05,4.015624e-05,4.032746e-05,4.075136e-05,4.108707e-05,4.130225e-05,4.177181e-05,4.181101e-05,4.227970e-05,4.238644e-05,4.271031e-05,4.293556e-05,4.310480e-05,4.342356e-05,4.346504e-05,4.379285e-05,4.385467e-05,4.408997e-05,4.423290e-05,4.435807e-05,4.456202e-05,4.459875e-05,4.481357e-05,4.484563e-05,4.500397e-05,4.508711e-05,4.517137e-05,4.528962e-05,4.531709e-05,4.544241e-05,4.545614e-05,4.554855e-05,4.558947e-05,4.563665e-05,4.569222e-05,4.570781e-05,4.576308e-05,4.576684e-05,4.580343e-05,4.581562e-05,4.582982e-05,4.584068e-05,4.584314e-05,4.584422e-05,4.584402e-05,4.583386e-05,4.582749e-05,4.581284e-05,4.579282e-05,4.578187e-05,4.574162e-05,4.569274e-05,4.567538e-05,4.563585e-05,4.559550e-05,4.557152e-05,4.550327e-05,4.550029e-05,4.542269e-05,4.539988e-05,4.533919e-05,4.528646e-05,4.525027e-05,4.516404e-05,4.515635e-05,4.505784e-05,4.503356e-05,4.495514e-05,4.489593e-05,4.484861e-05,4.475196e-05,4.473859e-05,4.462541e-05,4.460242e-05,4.450937e-05,4.444800e-05,4.439077e-05,4.428936e-05,4.426987e-05,4.414694e-05,4.412709e-05,4.402220e-05,4.396176e-05,4.389589e-05,4.379386e-05,4.376823e-05,4.363941e-05,4.362388e-05,4.350961e-05,4.345224e-05,4.337902e-05,4.327934e-05,4.324780e-05,4.311610e-05,4.310555e-05,4.298408e-05,4.293121e-05,4.285186e-05,4.275661e-05,4.271957e-05,4.258734e-05,4.258205e-05,4.245526e-05,4.240778e-05,4.232346e-05,4.223403e-05,4.219202e-05,4.206103e-05,4.188896e-05,4.171799e-05,4.154830e-05,4.138002e-05,4.121329e-05,4.104822e-05,4.088491e-05,4.072347e-05,4.056396e-05,4.040647e-05,4.025105e-05,4.009777e-05,3.994667e-05,3.979779e-05,3.965116e-05,3.950680e-05,3.936475e-05,3.922502e-05,3.908762e-05,3.895256e-05,3.881984e-05,3.868946e-05,3.856142e-05,3.843571e-05
0.000000e+00,1.003035e-10,3.931304e-10,2.995362e-09,1.149084e-08,2.125050e-08,7.988377e-08,8.377973e-08,2.396060e-07,3.090786e-07,5.598139e-07,8.690008e-07,1.138458e-06,1.999519e-06,2.092860e-06,3.563260e-06,4.010473e-06,5.711088e-06,7.275625e-06,8.714172e-06,1.221111e-05,1.275721e-05,1.801811e-05,1.923077e-05,2.465410e-05,2.869157e-05,3.279140e-05,4.085378e-05,4.251984e-05,5.389137e-05,5.586481e-05,6.692123e-05,7.376027e-05,8.159053e-05,9.447396e-05,9.784965e-05,1.156220e-04,1.178519e-04,1.348081e-04,1.436678e-04,1.552892e-04,1.716392e-04,1.769317e-04,1.995906e-04,2.014427e-04,2.231132e-04,2.327291e-04,2.473426e-04,2.651365e-04,2.721205e-04,2.972900e-04,2.983027e-04,3.226981e-04,3.318750e-04,3.481980e-04,3.655187e-04,3.736500e-04,3.989236e-04,4.238982e-04,4.318086e-04,4.484637e-04,4.639247e-04,4.725210e-04,4.950562e-04,4.959823e-04,5.187708e-04,5.250218e-04,5.408209e-04,5.536730e-04,5.620773e-04,5.808933e-04,5.824949e-04,6.020382e-04,6.065954e-04,6.206806e-04,6.307196e-04,6.384036e-04,6.532304e-04,6.551962e-04,6.710545e-04,6.741140e-04,6.859802e-04,6.933754e-04,6.999810e-04,7.110355e-04,7.130688e-04,7.252600e-04,7.271287e-04,7.365744e-04,7.417005e-04,7.470347e-04,7.548049e-04,7.566661e-04,7.654959e-04,7.665029e-04,7.735526e-04,7.768604e-04,7.808664e-04,7.859467e-04,7.874678e-04,7.933881e-04,7.938332e-04,7.986588e-04,8.005922e-04,8.033113e-04,8.062959e-04,8.073769e-04,8.108865e-04,8.110157e-04,8.138704e-04,8.148216e-04,8.163582e-04,8.177814e-04,8.183790e-04,8.199606e-04,8.211304e-04,8.214221e-04,8.219145e-04,8.222255e-04,8.223380e-04,8.224278e-04,8.224251e-04,8.221991e-04,8.220827e-04,8.216819e-04,8.212406e-04,8.208946e-04,8.199490e-04,8.198573e-04,8.185889e-04,8.182522e-04,8.171076e-04,8.161914e-04,8.154303e-04,8.138051e-04,8.135732e-04,8.115516e-04,8.111288e-04,8.093798e-04,8.081956e-04,8.070713e-04,8.050359e-04,8.046389e-04,8.020945e-04,8.016778e-04,7.994493e-04,7.981470e-04,7.967140e-04,7.944673e-04,7.938982e-04,7.910112e-04,7.906603e-04,7.880615e-04,7.867460e-04,7.850573e-04,7.827423e-04,7.820060e-04,7.789146e-04,7.786658e-04,7.757896e-04,7.745316e-04,7.726370e-04,7.703532e-04,7.694624e-04,7.662711e-04,7.661432e-04,7.630679e-04,7.619126e-04,7.598571e-04,7.576717e-04,7.566431e-04,7.534295e-04,7.491943e-04,7.449735e-04,7.407736e-04,7.366005e-04,7.324596e-04,7.283555e-04,7.242922e-04,7.202735e-04,7.163025e-04,7.123819e-04,7.085142e-04,7.047014e-04,7.009453e-04,6.972474e-04,6.936088e-04,6.900306e-04,6.865134e-04,6.830579e-04,6.796644e-04,6.763333e-04,6.730645e-04,6.698581e-04,6.667139e-04,6.636317e-04
0.000000e+00,2.371743e-10,9.306287e-10,7.110469e-09,2.736720e-08,5.072357e-08,1.921090e-07,2.015522e-07,5.826818e-07,7.543330e-07,1.380457e-06,2.163440e-06,2.852980e-06,5.083608e-06,5.326964e-06,9.173137e-06,1.034286e-05,1.477169e-05,1.880880e-05,2.248543e-05,3.128547e-05,3.264335e-05,4.553063e-05,4.845720e-05,6.138187e-05,7.085777e-05,8.037662e-05,9.885216e-05,1.026364e-04,1.282239e-04,1.326278e-04,1.571434e-04,1.721952e-04,1.893434e-04,2.173977e-04,2.247208e-04,2.631260e-04,2.679295e-04,3.043693e-04,3.233589e-04,3.482274e-04,3.831557e-04,3.944510e-04,4.427714e-04,4.467192e-04,4.929073e-04,5.134057e-04,5.445711e-04,5.825531e-04,5.974744e-04,6.513325e-04,6.535027e-04,7.058691e-04,7.256170e-04,7.608193e-04,7.982929e-04,8.159320e-04,8.709724e-04,9.257232e-04,9.431492e-04,9.799850e-04,1.014372e-03,1.033577e-03,1.084246e-03,1.086339e-03,1.138126e-03,1.152434e-03,1.188813e-03,1.218651e-03,1.238292e-03,1.282666e-03,1.286471e-03,1.333273e-03,1.344293e-03,1.378635e-03,1.403391e-03,1.422510e-03,1.459858e-03,1.464858e-03,1.505656e-03,1.513627e-03,1.544885e-03,1.564662e-03,1.582539e-03,1.612952e-03,1.618620e-03,1.653133e-03,1.658511e-03,1.686095e-03,1.701371e-03,1.717524e-03,1.741579e-03,1.747444e-03,1.775883e-03,1.779198e-03,1.802874e-03,1.814299e-03,1.828449e-03,1.846962e-03,1.852645e-03,1.875502e-03,1.877274e-03,1.897057e-03,1.905325e-03,1.917353e-03,1.931209e-03,1.936430e-03,1.954331e-03,1.955023e-03,1.971096e-03,1.976862e-03,1.986768e-03,1.996822e-03,2.001389e-03,2.015000e-03,2.027640e-03,2.031487e-03,2.039351e-03,2.046376e-03,2.050171e-03,2.059755e-03,2.060138e-03,2.069289e-03,2.071710e-03,2.077661e-03,2.082325e-03,2.085289e-03,2.091679e-03,2.092207e-03,2.098449e-03,2.099850e-03,2.104046e-03,2.106910e-03,2.109029e-03,2.112930e-03,2.113428e-03,2.117272e-03,2.117977e-03,2.120588e-03,2.122113e-03,2.123404e-03,2.125400e-03,2.125743e-03,2.127632e-03,2.127894e-03,2.129094e-03,2.129650e-03,2.130150e-03,2.130719e-03,2.130824e-03,2.131135e-03,2.131149e-03,2.131103e-03,2.130985e-03,2.130748e-03,2.130272e-03,2.130087e-03,2.129137e-03,2.129049e-03,2.127916e-03,2.127355e-03,2.126439e-03,2.125226e-03,2.124721e-03,2.122777e-03,2.122695e-03,2.120620e-03,2.119794e-03,2.118263e-03,2.116553e-03,2.115720e-03,2.113001e-03,2.109162e-03,2.105063e-03,2.100726e-03,2.096172e-03,2.091423e-03,2.086496e-03,2.081411e-03,2.076183e-03,2.070828e-03,2.065360e-03,2.059794e-03,2.054142e-03,2.048415e-03,2.042625e-03,2.036782e-03,2.030896e-03,2.024975e-03,2.019029e-03,2.013064e-03,2.007088e-03,2.001107e-03,1.995129e-03,1.989158e-03,1.983200e-03
0.000000e+00,1.825696e-09,4.824406e-09,1.937607e-08,4.739993e-08,7.102378e-08,1.686870e-07,1.740025e-07,3.451405e-07,4.075912e-07,6.015355e-07,8.034793e-07,9.603307e-07,1.393460e-06,1.436037e-06,2.034488e-06,2.195825e-06,2.748388e-06,3.192593e-06,3.561253e-06,4.343924e-06,4.454853e-06,5.412702e-06,5.610672e-06,6.420219e-06,6.959312e-06,7.464135e-06,8.360121e-06,8.532138e-06,9.612808e-06,9.786178e-06,1.069571e-05,1.121350e-05,1.177149e-05,1.262149e-05,1.283203e-05,1.387041e-05,1.399325e-05,1.488097e-05,1.531559e-05,1.585916e-05,1.657875e-05,1.680150e-05,1.770546e-05,1.777606e-05,1.856932e-05,1.890339e-05,1.939205e-05,1.995868e-05,2.017321e-05,2.091281e-05,2.094154e-05,2.161127e-05,2.185276e-05,2.226927e-05,2.269407e-05,2.288775e-05,2.346781e-05,2.401068e-05,2.417676e-05,2.451768e-05,2.482396e-05,2.499016e-05,2.541259e-05,2.542955e-05,2.583725e-05,2.594593e-05,2.621470e-05,2.642722e-05,2.656328e-05,2.685968e-05,2.688438e-05,2.717935e-05,2.724640e-05,2.744948e-05,2.759039e-05,2.769606e-05,2.789454e-05,2.792031e-05,2.812341e-05,2.816159e-05,2.830650e-05,2.839417e-05,2.847069e-05,2.859476e-05,2.861701e-05,2.874648e-05,2.876570e-05,2.886006e-05,2.890920e-05,2.895866e-05,2.902736e-05,2.904317e-05,2.911443e-05,2.912212e-05,2.917322e-05,2.919534e-05,2.922032e-05,2.924874e-05,2.925645e-05,2.928229e-05,2.928393e-05,2.929850e-05,2.930243e-05,2.930570e-05,2.930564e-05,2.930449e-05,2.929542e-05,2.929490e-05,2.927902e-05,2.927143e-05,2.925581e-05,2.923637e-05,2.922625e-05,2.919080e-05,2.914990e-05,2.913572e-05,2.910393e-05,2.907204e-05,2.905330e-05,2.900063e-05,2.899836e-05,2.893945e-05,2.892229e-05,2.887690e-05,2.883775e-05,2.881102e-05,2.874771e-05,2.874209e-05,2.867039e-05,2.865279e-05,2.859617e-05,2.855360e-05,2.851968e-05,2.845066e-05,2.844114e-05,2.836077e-05,2.834450e-05,2.827877e-05,2.823556e-05,2.819534e-05,2.812428e-05,2.811065e-05,2.802486e-05,2.801105e-05,2.793815e-05,2.789623e-05,2.785064e-05,2.778017e-05,2.776249e-05,2.767383e-05,2.766316e-05,2.758477e-05,2.754549e-05,2.749543e-05,2.742741e-05,2.740592e-05,2.731633e-05,2.730916e-05,2.722676e-05,2.719096e-05,2.713730e-05,2.707299e-05,2.704802e-05,2.695900e-05,2.695545e-05,2.687032e-05,2.683848e-05,2.678203e-05,2.672224e-05,2.669419e-05,2.660686e-05,2.649246e-05,2.637915e-05,2.626701e-05,2.615614e-05,2.604661e-05,2.593849e-05,2.583184e-05,2.572670e-05,2.562313e-05,2.552115e-05,2.542080e-05,2.532211e-05,2.522509e-05,2.512977e-05,2.503615e-05,2.494424e-05,2.485405e-05,2.476557e-05,2.467881e-05,2.459376e-05,2.451042e-05,2.442877e-05,2.434880e-05,2.427050e-05
0.000000e+00,1.063438e-10,4.007668e-10,2.837053e-09,1.032051e-08,1.867944e-08,6.853143e-08,7.187768e-08,2.109800e-07,2.759410e-07,5.197666e-07,8.284297e-07,1.096047e-06,1.909283e-06,1.992792e-06,3.192217e-06,3.518395e-06,4.629209e-06,5.507912e-06,6.224208e-06,7.700357e-06,7.904428e-06,9.612475e-06,9.953535e-06,1.130710e-05,1.217330e-05,1.296037e-05,1.430357e-05,1.455399e-05,1.607600e-05,1.631231e-05,1.751845e-05,1.818090e-05,1.887589e-05,1.989805e-05,2.014454e-05,2.132197e-05,2.145706e-05,2.240696e-05,2.285501e-05,2.339947e-05,2.409262e-05,2.430069e-05,2.511288e-05,2.517411e-05,2.583935e-05,2.610683e-05,2.648422e-05,2.690069e-05,2.705231e-05,2.754888e-05,2.756734e-05,2.797947e-05,2.811941e-05,2.834969e-05,2.856981e-05,2.866511e-05,2.893108e-05,2.915271e-05,2.921506e-05,2.933475e-05,2.943251e-05,2.948156e-05,2.959306e-05,2.959713e-05,2.968505e-05,2.970515e-05,2.974851e-05,2.977604e-05,2.979036e-05,2.981194e-05,2.981311e-05,2.981897e-05,2.981808e-05,2.980987e-05,2.979888e-05,2.978750e-05,2.975803e-05,2.975336e-05,2.970872e-05,2.969864e-05,2.965473e-05,2.962329e-05,2.959238e-05,2.953418e-05,2.952254e-05,2.944599e-05,2.943316e-05,2.936341e-05,2.932181e-05,2.927540e-05,2.920146e-05,2.918251e-05,2.908523e-05,2.907328e-05,2.898399e-05,2.893829e-05,2.887918e-05,2.879737e-05,2.877117e-05,2.866028e-05,2.865129e-05,2.854680e-05,2.850075e-05,2.843101e-05,2.834635e-05,2.831316e-05,2.819347e-05,2.818865e-05,2.807216e-05,2.802813e-05,2.794943e-05,2.786525e-05,2.782545e-05,2.770040e-05,2.757442e-05,2.753394e-05,2.744768e-05,2.736621e-05,2.732029e-05,2.719752e-05,2.719239e-05,2.706410e-05,2.702812e-05,2.693551e-05,2.685827e-05,2.680675e-05,2.668821e-05,2.667790e-05,2.654904e-05,2.651813e-05,2.642027e-05,2.634822e-05,2.629166e-05,2.617866e-05,2.616327e-05,2.603519e-05,2.600961e-05,2.590746e-05,2.584121e-05,2.578016e-05,2.567358e-05,2.565332e-05,2.552701e-05,2.550685e-05,2.540127e-05,2.534113e-05,2.527615e-05,2.517652e-05,2.515168e-05,2.502790e-05,2.501309e-05,2.490485e-05,2.485095e-05,2.478256e-05,2.469014e-05,2.466106e-05,2.454037e-05,2.453075e-05,2.442053e-05,2.437283e-05,2.430155e-05,2.421643e-05,2.418346e-05,2.406628e-05,2.406161e-05,2.395001e-05,2.390839e-05,2.383469e-05,2.375682e-05,2.372033e-05,2.360693e-05,2.345875e-05,2.331229e-05,2.316759e-05,2.302466e-05,2.288351e-05,2.274414e-05,2.260658e-05,2.247083e-05,2.233688e-05,2.220474e-05,2.207441e-05,2.194589e-05,2.181917e-05,2.169424e-05,2.157111e-05,2.144975e-05,2.133017e-05,2.121234e-05,2.109627e-05,2.098193e-05,2.086931e-05,2.075840e-05,2.064918e-05,2.054164e-05
0.000000e+00,1.760864e-10,6.932695e-10,5.336923e-09,2.069952e-08,3.854443e-08,1.480214e-07,1.553953e-07,4.570477e-07,5.948598e-07,1.104760e-06,1.754198e-06,2.334075e-06,4.244273e-06,4.455054e-06,7.827332e-06,8.864601e-06,1.282590e-05,1.647253e-05,1.981620e-05,2.788722e-05,2.913982e-05,4.110590e-05,4.384078e-05,5.598538e-05,6.495163e-05,7.400644e-05,9.170654e-05,9.535112e-05,1.201529e-04,1.244482e-04,1.484952e-04,1.633689e-04,1.804118e-04,2.085100e-04,2.158876e-04,2.548614e-04,2.597688e-04,2.972291e-04,3.169107e-04,3.428482e-04,3.795859e-04,3.915424e-04,4.431071e-04,4.473495e-04,4.973142e-04,5.196824e-04,5.539183e-04,5.960127e-04,6.126609e-04,6.732758e-04,6.757355e-04,7.354931e-04,7.582315e-04,7.990431e-04,8.428825e-04,8.636600e-04,9.290846e-04,9.950663e-04,1.016259e-03,1.061366e-03,1.103859e-03,1.127757e-03,1.191379e-03,1.194025e-03,1.259972e-03,1.278354e-03,1.325414e-03,1.364366e-03,1.390182e-03,1.449040e-03,1.454121e-03,1.517093e-03,1.532048e-03,1.578974e-03,1.613108e-03,1.639652e-03,1.691977e-03,1.699031e-03,1.757026e-03,1.768452e-03,1.813566e-03,1.842371e-03,1.868589e-03,1.913600e-03,1.922047e-03,1.973898e-03,1.982043e-03,2.024112e-03,2.047626e-03,2.072666e-03,2.110305e-03,2.119547e-03,2.164746e-03,2.170057e-03,2.208262e-03,2.226877e-03,2.250100e-03,2.280780e-03,2.290269e-03,2.328785e-03,2.331795e-03,2.365665e-03,2.379964e-03,2.400932e-03,2.425340e-03,2.434612e-03,2.466731e-03,2.467984e-03,2.497321e-03,2.507965e-03,2.526414e-03,2.545360e-03,2.554044e-03,2.580247e-03,2.605059e-03,2.612712e-03,2.628518e-03,2.642839e-03,2.650662e-03,2.670718e-03,2.671529e-03,2.691158e-03,2.696437e-03,2.709587e-03,2.720085e-03,2.726856e-03,2.741752e-03,2.743003e-03,2.758067e-03,2.761525e-03,2.772084e-03,2.779491e-03,2.785093e-03,2.795736e-03,2.797131e-03,2.808233e-03,2.810344e-03,2.818435e-03,2.823396e-03,2.827772e-03,2.834971e-03,2.836277e-03,2.843984e-03,2.845146e-03,2.850926e-03,2.853995e-03,2.857133e-03,2.861591e-03,2.862637e-03,2.867468e-03,2.868004e-03,2.871654e-03,2.873299e-03,2.875223e-03,2.877540e-03,2.878203e-03,2.880621e-03,2.880791e-03,2.882501e-03,2.883109e-03,2.883869e-03,2.884550e-03,2.884749e-03,2.885162e-03,2.885170e-03,2.885133e-03,2.885018e-03,2.884682e-03,2.884145e-03,2.883830e-03,2.882596e-03,2.880418e-03,2.877651e-03,2.874336e-03,2.870512e-03,2.866214e-03,2.861478e-03,2.856336e-03,2.850818e-03,2.844955e-03,2.838773e-03,2.832299e-03,2.825558e-03,2.818574e-03,2.811368e-03,2.803961e-03,2.796373e-03,2.788622e-03,2.780726e-03,2.772702e-03,2.764565e-03,2.756330e-03,2.748009e-03,2.739617e-03,2.731165e-03
0.000000e+00,1.041480e-10,4.037208e-10,3.011992e-09,1.137254e-08,2.088791e-08,7.777730e-08,8.156304e-08,2.347324e-07,3.042190e-07,5.606454e-07,8.866233e-07,1.176958e-06,2.124648e-06,2.228207e-06,3.854420e-06,4.343117e-06,6.163392e-06,7.780976e-06,9.221315e-06,1.255463e-05,1.305593e-05,1.766398e-05,1.867640e-05,2.301876e-05,2.608427e-05,2.907618e-05,3.466613e-05,3.577940e-05,4.306220e-05,4.427642e-05,5.085143e-05,5.474740e-05,5.906914e-05,6.589741e-05,6.763427e-05,7.646429e-05,7.753777e-05,8.547676e-05,8.947911e-05,9.459079e-05,1.015372e-04,1.037284e-04,1.128157e-04,1.135384e-04,1.217841e-04,1.253239e-04,1.305710e-04,1.367536e-04,1.391205e-04,1.473839e-04,1.477079e-04,1.553197e-04,1.580895e-04,1.628936e-04,1.678231e-04,1.700785e-04,1.768541e-04,1.832060e-04,1.851477e-04,1.891262e-04,1.926868e-04,1.946113e-04,1.994689e-04,1.996627e-04,2.042859e-04,2.055047e-04,2.084894e-04,2.108148e-04,2.122849e-04,2.154281e-04,2.156861e-04,2.187085e-04,2.193794e-04,2.213692e-04,2.227078e-04,2.236859e-04,2.254549e-04,2.256773e-04,2.273620e-04,2.276638e-04,2.287588e-04,2.293775e-04,2.298863e-04,2.306387e-04,2.307628e-04,2.314063e-04,2.314888e-04,2.318339e-04,2.319673e-04,2.320621e-04,2.321119e-04,2.321069e-04,2.319831e-04,2.319576e-04,2.317052e-04,2.315375e-04,2.312864e-04,2.308818e-04,2.307396e-04,2.300764e-04,2.300187e-04,2.293080e-04,2.289736e-04,2.284448e-04,2.277700e-04,2.274964e-04,2.264716e-04,2.264291e-04,2.253787e-04,2.249701e-04,2.242253e-04,2.234102e-04,2.230186e-04,2.217650e-04,2.204704e-04,2.200484e-04,2.191404e-04,2.182730e-04,2.177800e-04,2.164498e-04,2.163939e-04,2.149862e-04,2.145888e-04,2.135609e-04,2.126988e-04,2.121215e-04,2.107876e-04,2.106712e-04,2.092130e-04,2.088621e-04,2.077494e-04,2.069285e-04,2.062831e-04,2.049921e-04,2.048161e-04,2.033505e-04,2.030577e-04,2.018881e-04,2.011295e-04,2.004306e-04,1.992111e-04,1.989794e-04,1.975358e-04,1.973056e-04,1.961011e-04,1.954159e-04,1.946763e-04,1.935444e-04,1.932625e-04,1.918605e-04,1.916930e-04,1.904709e-04,1.898637e-04,1.890946e-04,1.880579e-04,1.877322e-04,1.863840e-04,1.862768e-04,1.850507e-04,1.845216e-04,1.837325e-04,1.827931e-04,1.824299e-04,1.811432e-04,1.810920e-04,1.798725e-04,1.794190e-04,1.786180e-04,1.777744e-04,1.773800e-04,1.761586e-04,1.745718e-04,1.730141e-04,1.714857e-04,1.699864e-04,1.685162e-04,1.670750e-04,1.656625e-04,1.642785e-04,1.629229e-04,1.615952e-04,1.602951e-04,1.590223e-04,1.577764e-04,1.565571e-04,1.553638e-04,1.541962e-04,1.530539e-04,1.519364e-04,1.508433e-04,1.497741e-04,1.487283e-04,1.477055e-04,1.467053e-04,1.457272e-04
0.000000e+00,1.550557e-09,3.545165e-09,1.212685e-08,2.742266e-08,3.986302e-08,8.954359e-08,9.219956e-08,1.763347e-07,2.065872e-07,2.996585e-07,3.956905e-07,4.699475e-07,6.746247e-07,6.947661e-07,9.792676e-07,1.056528e-06,1.323048e-06,1.539186e-06,1.719554e-06,2.104521e-06,2.159243e-06,2.632777e-06,2.730817e-06,3.132136e-06,3.399698e-06,3.650468e-06,4.096080e-06,4.181714e-06,4.720335e-06,4.806850e-06,5.261184e-06,5.520167e-06,5.799488e-06,6.225339e-06,6.330865e-06,6.851374e-06,6.912935e-06,7.357556e-06,7.574958e-06,7.846457e-06,8.204947e-06,8.315641e-06,8.763178e-06,8.798000e-06,9.187624e-06,9.350698e-06,9.587979e-06,9.860970e-06,9.963650e-06,1.031440e-05,1.032791e-05,1.064030e-05,1.075159e-05,1.094167e-05,1.113285e-05,1.121904e-05,1.147310e-05,1.170469e-05,1.177419e-05,1.191471e-05,1.203825e-05,1.210415e-05,1.226760e-05,1.227404e-05,1.242542e-05,1.246464e-05,1.255936e-05,1.263177e-05,1.267688e-05,1.277139e-05,1.277902e-05,1.286678e-05,1.288580e-05,1.294111e-05,1.297722e-05,1.300295e-05,1.304774e-05,1.305319e-05,1.309266e-05,1.309933e-05,1.312216e-05,1.313381e-05,1.314244e-05,1.315288e-05,1.315422e-05,1.315817e-05,1.315812e-05,1.315492e-05,1.315098e-05,1.314505e-05,1.313277e-05,1.312912e-05,1.310764e-05,1.310471e-05,1.308109e-05,1.306792e-05,1.304992e-05,1.302340e-05,1.301455e-05,1.297538e-05,1.297209e-05,1.293276e-05,1.291482e-05,1.288703e-05,1.285236e-05,1.283851e-05,1.278748e-05,1.278539e-05,1.273423e-05,1.271455e-05,1.267898e-05,1.264041e-05,1.262199e-05,1.256347e-05,1.250361e-05,1.248420e-05,1.244260e-05,1.240302e-05,1.238060e-05,1.232031e-05,1.231778e-05,1.225428e-05,1.223640e-05,1.219024e-05,1.215160e-05,1.212578e-05,1.206619e-05,1.206100e-05,1.199602e-05,1.198041e-05,1.193094e-05,1.189447e-05,1.186583e-05,1.180858e-05,1.180079e-05,1.173588e-05,1.172292e-05,1.167117e-05,1.163762e-05,1.160673e-05,1.155284e-05,1.154261e-05,1.147886e-05,1.146869e-05,1.141553e-05,1.138529e-05,1.135266e-05,1.130272e-05,1.129029e-05,1.122845e-05,1.122107e-05,1.116718e-05,1.114041e-05,1.110650e-05,1.106079e-05,1.104644e-05,1.098701e-05,1.098229e-05,1.092825e-05,1.090493e-05,1.087015e-05,1.082875e-05,1.081275e-05,1.075605e-05,1.075380e-05,1.070006e-05,1.068008e-05,1.064480e-05,1.060763e-05,1.059026e-05,1.053646e-05,1.046657e-05,1.039798e-05,1.033069e-05,1.026470e-05,1.020000e-05,1.013660e-05,1.007449e-05,1.001365e-05,9.954074e-06,9.895755e-06,9.838676e-06,9.782824e-06,9.728182e-06,9.674733e-06,9.622462e-06,9.571350e-06,9.521378e-06,9.472527e-06,9.424780e-06,9.378116e-06,9.332515e-06,9.287958e-06,9.244425e-06,9.201896e-06
0.000000e+00,4.444640e-09,1.173477e-08,4.721520e-08,1.160815e-07,1.746537e-07,4.214389e-07,4.350754e-07,8.846113e-07,1.053448e-06,1.592532e-06,2.174792e-06,2.639337e-06,3.962369e-06,4.094718e-06,5.976976e-06,6.488130e-06,8.240851e-06,9.648224e-06,1.081391e-05,1.328151e-05,1.363057e-05,1.663994e-05,1.726129e-05,1.980208e-05,2.149543e-05,2.308329e-05,2.590930e-05,2.645329e-05,2.988392e-05,3.043666e-05,3.334882e-05,3.501687e-05,3.682346e-05,3.959501e-05,4.028538e-05,4.371442e-05,4.412283e-05,4.709290e-05,4.855940e-05,5.040560e-05,5.287131e-05,5.363974e-05,5.678491e-05,5.703242e-05,5.983284e-05,6.102330e-05,6.277716e-05,6.483027e-05,6.561326e-05,6.833798e-05,6.844462e-05,7.094944e-05,7.186166e-05,7.344683e-05,7.507991e-05,7.583023e-05,7.810045e-05,8.025889e-05,8.092628e-05,8.230743e-05,8.356185e-05,8.424833e-05,8.601267e-05,8.608412e-05,8.781757e-05,8.828499e-05,8.945160e-05,9.038556e-05,9.098926e-05,9.232145e-05,9.243364e-05,9.378791e-05,9.409988e-05,9.505524e-05,9.572815e-05,9.623879e-05,9.721351e-05,9.734170e-05,9.836708e-05,9.856313e-05,9.931800e-05,9.978405e-05,1.001975e-04,1.008831e-04,1.010084e-04,1.017537e-04,1.018670e-04,1.024362e-04,1.027422e-04,1.030585e-04,1.035149e-04,1.036234e-04,1.041335e-04,1.041911e-04,1.045912e-04,1.047766e-04,1.049989e-04,1.052769e-04,1.053591e-04,1.056739e-04,1.056972e-04,1.059456e-04,1.060427e-04,1.061763e-04,1.063181e-04,1.063680e-04,1.065227e-04,1.065282e-04,1.066423e-04,1.066771e-04,1.067286e-04,1.067692e-04,1.067834e-04,1.068083e-04,1.068050e-04,1.067982e-04,1.067750e-04,1.067426e-04,1.067199e-04,1.066447e-04,1.066411e-04,1.065399e-04,1.065077e-04,1.064177e-04,1.063348e-04,1.062757e-04,1.061287e-04,1.061152e-04,1.059373e-04,1.058922e-04,1.057432e-04,1.056278e-04,1.055338e-04,1.053378e-04,1.053103e-04,1.050735e-04,1.050247e-04,1.048245e-04,1.046904e-04,1.045641e-04,1.043371e-04,1.042931e-04,1.040123e-04,1.039666e-04,1.037227e-04,1.035806e-04,1.034247e-04,1.031809e-04,1.031192e-04,1.028069e-04,1.027690e-04,1.024883e-04,1.023463e-04,1.021641e-04,1.019143e-04,1.018349e-04,1.015011e-04,1.014742e-04,1.011633e-04,1.010272e-04,1.008221e-04,1.005744e-04,1.004778e-04,1.001309e-04,1.001169e-04,9.978180e-05,9.965568e-05,9.943096e-05,9.919156e-05,9.907871e-05,9.872543e-05,9.825806e-05,9.779018e-05,9.732245e-05,9.685550e-05,9.638990e-05,9.592617e-05,9.546480e-05,9.500623e-05,9.455086e-05,9.409907e-05,9.365119e-05,9.320754e-05,9.276839e-05,9.233399e-05,9.190456e-05,9.148031e-05,9.106143e-05,9.064805e-05,9.024033e-05,8.983838e-05,8.944230e-05,8.905218e-05,8.866810e-05,8.829010e-05
0.000000e+00,7.513282e-09,1.823405e-08,6.665897e-08,1.560307e-07,2.301045e-07,5.328663e-07,5.492902e-07,1.078913e-06,1.273172e-06,1.881387e-06,2.523622e-06,3.029200e-06,4.457753e-06,4.600839e-06,6.663229e-06,7.235207e-06,9.240094e-06,1.089501e-05,1.229051e-05,1.529668e-05,1.572592e-05,1.944798e-05,2.021902e-05,2.337212e-05,2.546981e-05,2.743179e-05,3.090816e-05,3.157480e-05,3.575871e-05,3.642946e-05,3.994762e-05,4.195077e-05,4.411039e-05,4.740330e-05,4.821969e-05,5.225160e-05,5.272922e-05,5.618547e-05,5.788069e-05,6.000379e-05,6.281945e-05,6.369214e-05,6.723901e-05,6.751637e-05,7.063562e-05,7.195070e-05,7.387566e-05,7.610922e-05,7.695514e-05,7.987204e-05,7.998532e-05,8.262602e-05,8.357774e-05,8.521817e-05,8.688951e-05,8.765077e-05,8.992708e-05,9.205109e-05,9.269935e-05,9.402740e-05,9.521704e-05,9.586104e-05,9.749205e-05,9.755734e-05,9.912182e-05,9.953703e-05,1.005602e-04,1.013650e-04,1.018780e-04,1.029889e-04,1.030811e-04,1.041749e-04,1.044218e-04,1.051650e-04,1.056762e-04,1.060568e-04,1.067643e-04,1.068554e-04,1.075660e-04,1.076980e-04,1.081933e-04,1.084883e-04,1.087422e-04,1.091458e-04,1.092170e-04,1.096222e-04,1.096808e-04,1.099617e-04,1.101026e-04,1.102397e-04,1.104202e-04,1.104598e-04,1.106256e-04,1.106420e-04,1.107406e-04,1.107759e-04,1.108079e-04,1.108292e-04,1.108308e-04,1.108120e-04,1.108088e-04,1.107544e-04,1.107211e-04,1.106606e-04,1.105721e-04,1.105332e-04,1.103744e-04,1.103674e-04,1.101866e-04,1.101122e-04,1.099717e-04,1.098113e-04,1.097320e-04,1.094691e-04,1.091850e-04,1.090899e-04,1.088814e-04,1.086775e-04,1.085597e-04,1.082354e-04,1.082215e-04,1.078683e-04,1.077669e-04,1.075014e-04,1.072752e-04,1.071220e-04,1.067630e-04,1.067313e-04,1.063305e-04,1.062329e-04,1.059206e-04,1.056874e-04,1.055025e-04,1.051287e-04,1.050773e-04,1.046458e-04,1.045588e-04,1.042087e-04,1.039796e-04,1.037670e-04,1.033928e-04,1.033212e-04,1.028722e-04,1.028001e-04,1.024204e-04,1.022028e-04,1.019665e-04,1.016023e-04,1.015111e-04,1.010547e-04,1.009999e-04,1.005978e-04,1.003966e-04,1.001407e-04,9.979355e-05,9.968399e-05,9.922800e-05,9.919156e-05,9.877310e-05,9.859152e-05,9.831962e-05,9.799419e-05,9.786790e-05,9.741820e-05,9.740026e-05,9.697081e-05,9.681036e-05,9.652597e-05,9.622506e-05,9.608392e-05,9.564486e-05,9.507021e-05,9.450153e-05,9.393916e-05,9.338343e-05,9.283462e-05,9.229296e-05,9.175867e-05,9.123192e-05,9.071288e-05,9.020166e-05,8.969836e-05,8.920308e-05,8.871587e-05,8.823676e-05,8.776580e-05,8.730298e-05,8.684832e-05,8.640178e-05,8.596335e-05,8.553299e-05,8.511065e-05,8.469628e-05,8.428982e-05,8.389119e-05
0.000000e+00,1.943785e-09,5.040782e-09,1.987153e-08,4.833512e-08,7.238051e-08,1.726021e-07,1.780959e-07,3.570445e-07,4.232990e-07,6.320830e-07,8.540903e-07,1.029637e-06,1.528213e-06,1.578316e-06,2.303149e-06,2.505010e-06,3.215595e-06,3.806115e-06,4.307262e-06,5.398138e-06,5.555262e-06,6.933122e-06,7.222132e-06,8.417343e-06,9.224628e-06,9.988655e-06,1.136411e-05,1.163110e-05,1.333088e-05,1.360732e-05,1.507559e-05,1.592563e-05,1.685380e-05,1.829329e-05,1.865484e-05,2.046882e-05,2.068693e-05,2.228664e-05,2.308553e-05,2.410002e-05,2.547062e-05,2.590154e-05,2.768464e-05,2.782632e-05,2.944367e-05,3.013941e-05,3.117374e-05,3.239916e-05,3.287081e-05,3.453150e-05,3.459713e-05,3.615302e-05,3.672676e-05,3.773329e-05,3.878345e-05,3.927066e-05,4.076398e-05,4.221248e-05,4.266645e-05,4.361571e-05,4.448993e-05,4.497350e-05,4.623429e-05,4.628592e-05,4.755322e-05,4.790004e-05,4.877584e-05,4.948820e-05,4.995435e-05,5.100019e-05,5.108942e-05,5.218180e-05,5.243771e-05,5.323232e-05,5.380265e-05,5.424187e-05,5.509711e-05,5.521136e-05,5.614176e-05,5.632323e-05,5.703404e-05,5.748328e-05,5.788917e-05,5.857952e-05,5.870817e-05,5.949203e-05,5.961425e-05,6.024174e-05,6.058976e-05,6.095829e-05,6.150832e-05,6.164267e-05,6.229584e-05,6.237217e-05,6.291876e-05,6.318351e-05,6.351238e-05,6.394450e-05,6.407762e-05,6.461539e-05,6.465725e-05,6.512658e-05,6.532381e-05,6.561206e-05,6.594617e-05,6.607269e-05,6.650930e-05,6.652627e-05,6.692270e-05,6.706600e-05,6.731369e-05,6.756716e-05,6.768305e-05,6.803152e-05,6.835984e-05,6.846077e-05,6.866873e-05,6.885655e-05,6.895889e-05,6.922044e-05,6.923098e-05,6.948567e-05,6.955395e-05,6.972359e-05,6.985855e-05,6.994537e-05,7.013566e-05,7.015160e-05,7.034287e-05,7.038661e-05,7.051974e-05,7.061271e-05,7.068277e-05,7.081521e-05,7.083249e-05,7.096941e-05,7.099530e-05,7.109403e-05,7.115414e-05,7.120685e-05,7.129282e-05,7.130831e-05,7.139889e-05,7.141240e-05,7.147901e-05,7.151388e-05,7.154911e-05,7.159825e-05,7.160960e-05,7.166086e-05,7.166642e-05,7.170330e-05,7.171927e-05,7.173728e-05,7.175766e-05,7.176315e-05,7.178128e-05,7.178240e-05,7.179199e-05,7.179426e-05,7.179560e-05,7.179399e-05,7.179244e-05,7.178280e-05,7.178228e-05,7.176698e-05,7.175982e-05,7.174525e-05,7.172725e-05,7.171790e-05,7.168518e-05,7.163420e-05,7.157487e-05,7.150773e-05,7.143328e-05,7.135201e-05,7.126438e-05,7.117083e-05,7.107177e-05,7.096761e-05,7.085873e-05,7.074549e-05,7.062822e-05,7.050726e-05,7.038291e-05,7.025547e-05,7.012521e-05,6.999241e-05,6.985732e-05,6.972016e-05,6.958118e-05,6.944058e-05,6.929856e-05,6.915532e-05,6.901104e-05
0.000000e+00,1.228760e-09,2.907996e-09,1.033640e-08,2.382441e-08,3.488543e-08,7.932795e-08,8.170838e-08,1.570350e-07,1.840278e-07,2.666198e-07,3.510660e-07,4.158394e-07,5.924207e-07,6.096771e-07,8.523997e-07,9.182779e-07,1.146741e-06,1.334339e-06,1.493003e-06,1.839053e-06,1.889112e-06,2.331644e-06,2.425382e-06,2.816718e-06,3.084440e-06,3.340317e-06,3.806886e-06,3.898297e-06,4.486344e-06,4.582924e-06,5.099961e-06,5.402220e-06,5.734504e-06,6.254033e-06,6.385252e-06,7.047492e-06,7.127512e-06,7.716605e-06,8.012040e-06,8.388152e-06,8.897569e-06,9.057947e-06,9.722120e-06,9.774902e-06,1.037715e-05,1.063589e-05,1.101991e-05,1.147355e-05,1.164767e-05,1.225809e-05,1.228212e-05,1.284924e-05,1.305702e-05,1.341953e-05,1.379478e-05,1.396775e-05,1.449300e-05,1.499467e-05,1.515016e-05,1.547240e-05,1.576551e-05,1.592606e-05,1.633898e-05,1.635570e-05,1.676158e-05,1.687101e-05,1.714405e-05,1.736250e-05,1.750361e-05,1.781466e-05,1.784083e-05,1.815638e-05,1.822896e-05,1.845096e-05,1.860704e-05,1.872532e-05,1.895066e-05,1.898026e-05,1.921656e-05,1.926165e-05,1.943503e-05,1.954186e-05,1.963649e-05,1.979315e-05,1.982173e-05,1.999154e-05,2.001733e-05,2.014670e-05,2.021620e-05,2.028797e-05,2.039147e-05,2.041607e-05,2.053170e-05,2.054478e-05,2.063557e-05,2.067771e-05,2.072832e-05,2.079176e-05,2.081058e-05,2.088297e-05,2.088835e-05,2.094606e-05,2.096881e-05,2.100040e-05,2.103440e-05,2.104651e-05,2.108491e-05,2.108629e-05,2.111606e-05,2.112560e-05,2.114043e-05,2.115334e-05,2.115844e-05,2.117050e-05,2.117701e-05,2.117797e-05,2.117831e-05,2.117659e-05,2.117478e-05,2.116713e-05,2.116673e-05,2.115447e-05,2.115032e-05,2.113830e-05,2.112684e-05,2.111850e-05,2.109730e-05,2.109533e-05,2.106904e-05,2.106229e-05,2.103986e-05,2.102235e-05,2.100802e-05,2.097796e-05,2.097372e-05,2.093716e-05,2.092959e-05,2.089852e-05,2.087767e-05,2.085798e-05,2.082258e-05,2.081571e-05,2.077185e-05,2.076470e-05,2.072656e-05,2.070435e-05,2.067997e-05,2.064185e-05,2.063221e-05,2.058340e-05,2.057748e-05,2.053366e-05,2.051150e-05,2.048308e-05,2.044416e-05,2.043179e-05,2.037986e-05,2.037568e-05,2.032738e-05,2.030626e-05,2.027445e-05,2.023609e-05,2.022113e-05,2.016750e-05,2.016535e-05,2.011363e-05,2.009419e-05,2.005958e-05,2.002276e-05,2.000542e-05,1.995119e-05,1.987960e-05,1.980810e-05,1.973680e-05,1.966579e-05,1.959514e-05,1.952494e-05,1.945524e-05,1.938613e-05,1.931764e-05,1.924983e-05,1.918274e-05,1.911642e-05,1.905089e-05,1.898619e-05,1.892235e-05,1.885938e-05,1.879732e-05,1.873617e-05,1.867594e-05,1.861666e-05,1.855833e-05,1.850096e-05,1.844455e-05,1.838910e-05
0.000000e+00,2.825764e-10,1.017575e-09,6.540949e-09,2.163551e-08,3.698621e-08,1.145281e-07,1.192038e-07,2.851926e-07,3.512997e-07,5.692414e-07,8.114596e-07,1.007978e-06,1.581987e-06,1.640695e-06,2.506965e-06,2.753497e-06,3.638906e-06,4.395243e-06,5.051355e-06,6.522268e-06,6.738672e-06,8.680341e-06,9.096850e-06,1.084925e-05,1.205754e-05,1.321739e-05,1.534115e-05,1.575826e-05,1.844708e-05,1.888944e-05,2.126038e-05,2.264827e-05,2.417537e-05,2.656550e-05,2.716962e-05,3.022103e-05,3.059000e-05,3.330787e-05,3.467184e-05,3.640907e-05,3.876317e-05,3.950452e-05,4.257529e-05,4.281935e-05,4.560394e-05,4.680002e-05,4.857470e-05,5.066987e-05,5.147358e-05,5.428847e-05,5.439917e-05,5.700914e-05,5.796385e-05,5.962718e-05,6.134536e-05,6.213592e-05,6.453030e-05,6.680676e-05,6.750993e-05,6.896311e-05,7.027965e-05,7.099837e-05,7.283832e-05,7.291258e-05,7.470668e-05,7.518772e-05,7.638240e-05,7.733197e-05,7.794210e-05,7.927702e-05,7.938865e-05,8.072533e-05,8.103018e-05,8.195574e-05,8.259979e-05,8.308375e-05,8.399486e-05,8.411335e-05,8.504869e-05,8.522482e-05,8.589394e-05,8.629925e-05,8.665326e-05,8.722775e-05,8.733084e-05,8.793076e-05,8.801982e-05,8.845708e-05,8.868473e-05,8.891372e-05,8.923144e-05,8.930452e-05,8.963317e-05,8.966861e-05,8.990327e-05,9.000446e-05,9.011828e-05,9.024688e-05,9.028151e-05,9.039615e-05,9.040331e-05,9.046524e-05,9.048078e-05,9.049169e-05,9.048589e-05,9.047827e-05,9.042765e-05,9.042488e-05,9.034232e-05,9.030357e-05,9.022469e-05,9.012741e-05,9.007702e-05,8.990149e-05,8.970011e-05,8.963054e-05,8.947485e-05,8.931899e-05,8.922752e-05,8.897094e-05,8.895987e-05,8.867352e-05,8.859021e-05,8.837003e-05,8.818032e-05,8.805086e-05,8.774455e-05,8.771738e-05,8.737089e-05,8.728594e-05,8.701262e-05,8.680728e-05,8.664372e-05,8.631116e-05,8.626528e-05,8.587830e-05,8.579997e-05,8.548376e-05,8.527591e-05,8.508255e-05,8.474099e-05,8.467551e-05,8.426344e-05,8.419709e-05,8.384707e-05,8.364590e-05,8.342711e-05,8.308900e-05,8.300421e-05,8.257897e-05,8.252781e-05,8.215195e-05,8.196365e-05,8.172370e-05,8.139771e-05,8.129471e-05,8.086543e-05,8.083109e-05,8.043630e-05,8.026477e-05,8.000771e-05,7.969967e-05,7.958004e-05,7.915362e-05,7.913659e-05,7.872878e-05,7.857628e-05,7.830581e-05,7.801940e-05,7.788499e-05,7.746656e-05,7.691828e-05,7.637505e-05,7.583730e-05,7.530541e-05,7.477971e-05,7.426049e-05,7.374800e-05,7.324247e-05,7.274407e-05,7.225297e-05,7.176930e-05,7.129316e-05,7.082463e-05,7.036378e-05,6.991064e-05,6.946525e-05,6.902760e-05,6.859770e-05,6.817553e-05,6.776106e-05,6.735424e-05,6.695503e-05,6.656337e-05,6.617920e-05
0.000000e+00,3.839284e-09,9.465611e-09,3.523076e-08,8.317377e-08,1.230058e-07,2.855470e-07,2.943362e-07,5.756112e-07,6.776643e-07,9.932909e-07,1.320433e-06,1.573796e-06,2.271436e-06,2.339923e-06,3.302928e-06,3.563207e-06,4.459564e-06,5.187987e-06,5.799252e-06,7.120359e-06,7.310362e-06,8.981222e-06,9.333488e-06,1.079935e-05,1.179843e-05,1.275086e-05,1.448201e-05,1.482040e-05,1.699135e-05,1.734696e-05,1.924630e-05,2.035329e-05,2.156748e-05,2.346028e-05,2.393731e-05,2.633878e-05,2.662831e-05,2.875585e-05,2.982043e-05,3.117368e-05,3.300342e-05,3.357884e-05,3.595937e-05,3.614842e-05,3.830484e-05,3.923116e-05,4.060632e-05,4.223189e-05,4.285632e-05,4.504866e-05,4.513508e-05,4.717839e-05,4.792900e-05,4.924168e-05,5.060526e-05,5.123565e-05,5.315829e-05,5.500832e-05,5.558488e-05,5.678510e-05,5.788372e-05,5.848851e-05,6.005508e-05,6.011890e-05,6.167700e-05,6.210044e-05,6.316384e-05,6.402226e-05,6.458069e-05,6.582366e-05,6.592904e-05,6.721051e-05,6.750830e-05,6.842685e-05,6.908023e-05,6.957989e-05,7.054371e-05,7.067153e-05,7.170370e-05,7.190317e-05,7.267837e-05,7.316313e-05,7.359750e-05,7.432809e-05,7.446306e-05,7.527699e-05,7.540256e-05,7.604122e-05,7.639096e-05,7.675765e-05,7.729762e-05,7.742813e-05,7.805450e-05,7.812678e-05,7.863853e-05,7.888255e-05,7.918198e-05,7.956890e-05,7.968653e-05,8.015383e-05,8.018966e-05,8.058549e-05,8.074852e-05,8.098305e-05,8.124903e-05,8.134803e-05,8.168187e-05,8.169459e-05,8.198599e-05,8.208846e-05,8.226175e-05,8.243374e-05,8.251046e-05,8.273340e-05,8.293179e-05,8.299028e-05,8.310681e-05,8.320708e-05,8.325960e-05,8.338637e-05,8.339124e-05,8.350281e-05,8.353059e-05,8.359531e-05,8.364206e-05,8.366971e-05,8.372299e-05,8.372696e-05,8.376795e-05,8.377546e-05,8.379355e-05,8.380147e-05,8.380458e-05,8.380289e-05,8.380186e-05,8.378613e-05,8.378149e-05,8.375814e-05,8.373897e-05,8.371858e-05,8.367691e-05,8.366813e-05,8.360743e-05,8.359681e-05,8.353710e-05,8.350010e-05,8.345773e-05,8.338811e-05,8.336989e-05,8.327412e-05,8.326212e-05,8.317092e-05,8.312330e-05,8.306081e-05,8.297278e-05,8.294424e-05,8.282168e-05,8.281163e-05,8.269354e-05,8.264082e-05,8.256025e-05,8.246130e-05,8.242219e-05,8.227973e-05,8.227395e-05,8.213324e-05,8.207958e-05,8.198305e-05,8.187897e-05,8.182948e-05,8.167285e-05,8.146189e-05,8.124673e-05,8.102797e-05,8.080616e-05,8.058182e-05,8.035543e-05,8.012744e-05,7.989828e-05,7.966834e-05,7.943797e-05,7.920751e-05,7.897728e-05,7.874756e-05,7.851862e-05,7.829070e-05,7.806403e-05,7.783882e-05,7.761525e-05,7.739351e-05,7.717374e-05,7.695609e-05,7.674070e-05,7.652768e-05,7.631713e-05
0.000000e+00,1.444061e-10,5.340656e-10,3.616495e-09,1.249962e-08,2.186132e-08,7.153255e-08,7.461248e-08,1.876973e-07,2.342452e-07,3.919153e-07,5.729410e-07,7.232828e-07,1.175761e-06,1.222946e-06,1.933097e-06,2.138897e-06,2.887002e-06,3.534008e-06,4.099375e-06,5.376420e-06,5.565159e-06,7.265614e-06,7.631705e-06,9.175693e-06,1.024302e-05,1.126909e-05,1.315073e-05,1.352060e-05,1.590672e-05,1.629950e-05,1.840539e-05,1.963852e-05,2.099558e-05,2.311993e-05,2.365693e-05,2.636957e-05,2.669761e-05,2.911411e-05,3.032694e-05,3.187175e-05,3.396524e-05,3.462455e-05,3.735556e-05,3.757262e-05,4.004911e-05,4.111279e-05,4.269092e-05,4.455377e-05,4.526826e-05,4.777005e-05,4.786842e-05,5.018687e-05,5.103457e-05,5.251091e-05,5.403504e-05,5.473597e-05,5.685727e-05,5.887144e-05,5.949296e-05,6.077631e-05,6.193755e-05,6.257085e-05,6.418971e-05,6.425496e-05,6.582942e-05,6.625081e-05,6.729570e-05,6.812438e-05,6.865587e-05,6.981571e-05,6.991250e-05,7.106853e-05,7.133137e-05,7.212724e-05,7.267890e-05,7.309212e-05,7.386650e-05,7.396683e-05,7.475516e-05,7.490280e-05,7.546093e-05,7.579659e-05,7.608801e-05,7.655675e-05,7.664023e-05,7.712142e-05,7.719206e-05,7.753530e-05,7.771114e-05,7.788555e-05,7.812233e-05,7.817573e-05,7.840931e-05,7.843370e-05,7.858964e-05,7.865296e-05,7.871996e-05,7.878746e-05,7.880336e-05,7.884284e-05,7.884419e-05,7.884126e-05,7.882975e-05,7.880136e-05,7.875037e-05,7.872575e-05,7.861692e-05,7.861191e-05,7.847724e-05,7.841984e-05,7.830897e-05,7.817932e-05,7.811425e-05,7.789512e-05,7.765350e-05,7.757173e-05,7.739122e-05,7.721331e-05,7.711000e-05,7.682373e-05,7.681148e-05,7.649720e-05,7.640657e-05,7.616861e-05,7.596517e-05,7.582709e-05,7.550258e-05,7.547393e-05,7.511035e-05,7.502167e-05,7.473749e-05,7.452504e-05,7.435643e-05,7.401511e-05,7.396817e-05,7.357367e-05,7.349410e-05,7.317382e-05,7.296405e-05,7.276944e-05,7.242683e-05,7.236131e-05,7.195017e-05,7.188415e-05,7.153669e-05,7.133758e-05,7.112150e-05,7.078852e-05,7.070520e-05,7.028834e-05,7.023830e-05,6.987142e-05,6.968808e-05,6.945492e-05,6.913893e-05,6.903927e-05,6.862490e-05,6.859181e-05,6.821216e-05,6.804760e-05,6.780141e-05,6.750708e-05,6.739297e-05,6.698712e-05,6.697095e-05,6.658414e-05,6.643982e-05,6.618427e-05,6.591426e-05,6.578774e-05,6.539475e-05,6.488172e-05,6.437556e-05,6.387658e-05,6.338507e-05,6.290126e-05,6.242534e-05,6.195749e-05,6.149783e-05,6.104646e-05,6.060346e-05,6.016887e-05,5.974271e-05,5.932501e-05,5.891573e-05,5.851486e-05,5.812235e-05,5.773814e-05,5.736217e-05,5.699436e-05,5.663461e-05,5.628284e-05,5.593893e-05,5.560277e-05,5.527426e-05
0.000000e+00,8.283250e-09,1.887229e-08,6.429956e-08,1.452020e-07,2.110757e-07,4.753921e-07,4.895869e-07,9.428169e-07,1.107457e-06,1.619151e-06,2.154503e-06,2.572881e-06,3.741523e-06,3.857483e-06,5.506211e-06,5.955821e-06,7.505672e-06,8.755561e-06,9.790280e-06,1.196537e-05,1.227042e-05,1.486381e-05,1.539017e-05,1.750708e-05,1.888534e-05,2.015374e-05,2.235394e-05,2.276912e-05,2.532639e-05,2.572867e-05,2.780420e-05,2.896018e-05,3.018548e-05,3.201180e-05,3.245670e-05,3.460751e-05,3.485714e-05,3.663052e-05,3.747885e-05,3.852098e-05,3.986754e-05,4.027652e-05,4.189685e-05,4.202067e-05,4.338344e-05,4.394123e-05,4.473918e-05,4.563652e-05,4.596811e-05,4.707519e-05,4.711702e-05,4.806611e-05,4.839556e-05,4.894693e-05,4.948622e-05,4.972398e-05,5.040371e-05,5.099259e-05,5.116288e-05,5.149695e-05,5.177827e-05,5.192300e-05,5.226387e-05,5.227670e-05,5.256376e-05,5.263294e-05,5.278961e-05,5.289790e-05,5.295940e-05,5.307026e-05,5.307797e-05,5.314986e-05,5.316064e-05,5.317929e-05,5.317873e-05,5.317024e-05,5.313336e-05,5.312637e-05,5.305110e-05,5.303256e-05,5.294757e-05,5.288356e-05,5.281872e-05,5.269288e-05,5.266723e-05,5.249558e-05,5.246640e-05,5.230605e-05,5.220936e-05,5.210076e-05,5.192646e-05,5.188161e-05,5.165038e-05,5.162190e-05,5.140869e-05,5.129942e-05,5.115802e-05,5.096234e-05,5.089972e-05,5.063503e-05,5.061362e-05,5.036509e-05,5.025587e-05,5.009090e-05,4.989140e-05,4.981342e-05,4.953349e-05,4.952225e-05,4.925188e-05,4.915022e-05,4.896928e-05,4.877689e-05,4.868634e-05,4.840362e-05,4.812164e-05,4.803164e-05,4.784086e-05,4.766198e-05,4.756168e-05,4.729554e-05,4.728450e-05,4.700962e-05,4.693311e-05,4.673736e-05,4.657536e-05,4.646796e-05,4.622285e-05,4.620166e-05,4.593866e-05,4.587605e-05,4.567913e-05,4.553538e-05,4.542323e-05,4.520115e-05,4.517109e-05,4.492282e-05,4.487363e-05,4.467850e-05,4.455304e-05,4.443821e-05,4.423954e-05,4.420203e-05,4.396998e-05,4.393324e-05,4.374211e-05,4.363422e-05,4.351844e-05,4.334254e-05,4.329899e-05,4.308376e-05,4.305822e-05,4.287274e-05,4.278123e-05,4.266594e-05,4.251156e-05,4.246332e-05,4.226486e-05,4.224916e-05,4.207054e-05,4.199396e-05,4.188032e-05,4.174587e-05,4.169415e-05,4.151201e-05,4.150481e-05,4.133384e-05,4.127066e-05,4.115960e-05,4.104332e-05,4.098922e-05,4.082267e-05,4.060857e-05,4.040089e-05,4.019951e-05,4.000427e-05,3.981505e-05,3.963169e-05,3.945406e-05,3.928200e-05,3.911538e-05,3.895406e-05,3.879788e-05,3.864672e-05,3.850042e-05,3.835886e-05,3.822190e-05,3.808940e-05,3.796124e-05,3.783728e-05,3.771740e-05,3.760148e-05,3.748940e-05,3.738103e-05,3.727627e-05,3.717500e-05
0.000000e+00,1.047017e-09,3.406495e-09,1.832067e-08,5.325187e-08,8.580712e-08,2.358833e-07,2.445576e-07,5.428494e-07,6.592608e-07,1.041068e-06,1.465360e-06,1.809612e-06,2.805629e-06,2.906094e-06,4.346786e-06,4.741984e-06,6.112390e-06,7.232386e-06,8.174752e-06,1.021675e-05,1.051095e-05,1.310397e-05,1.365213e-05,1.593962e-05,1.750544e-05,1.900391e-05,2.174357e-05,2.228169e-05,2.575600e-05,2.632891e-05,2.940824e-05,3.121867e-05,3.321837e-05,3.636606e-05,3.716539e-05,4.122792e-05,4.172217e-05,4.538468e-05,4.723813e-05,4.961492e-05,5.286683e-05,5.389886e-05,5.821788e-05,5.856439e-05,6.255481e-05,6.429102e-05,6.689393e-05,7.001146e-05,7.122112e-05,7.552386e-05,7.569530e-05,7.979111e-05,8.131674e-05,8.401325e-05,8.685427e-05,8.818201e-05,9.229035e-05,9.633229e-05,9.761085e-05,1.003029e-04,1.028046e-04,1.041979e-04,1.078631e-04,1.080142e-04,1.117489e-04,1.127797e-04,1.154001e-04,1.175500e-04,1.189661e-04,1.221706e-04,1.224458e-04,1.258385e-04,1.266398e-04,1.291438e-04,1.309565e-04,1.323615e-04,1.351207e-04,1.354917e-04,1.385347e-04,1.391329e-04,1.414911e-04,1.429944e-04,1.443615e-04,1.467067e-04,1.471466e-04,1.498474e-04,1.502718e-04,1.524648e-04,1.536919e-04,1.549999e-04,1.569695e-04,1.574539e-04,1.598278e-04,1.601074e-04,1.621231e-04,1.631084e-04,1.643409e-04,1.659754e-04,1.664825e-04,1.685494e-04,1.687115e-04,1.705428e-04,1.713199e-04,1.724642e-04,1.738037e-04,1.743149e-04,1.760964e-04,1.761662e-04,1.778100e-04,1.784106e-04,1.794572e-04,1.805401e-04,1.810394e-04,1.825580e-04,1.840144e-04,1.844675e-04,1.854100e-04,1.862719e-04,1.867461e-04,1.879742e-04,1.880243e-04,1.892457e-04,1.895777e-04,1.904118e-04,1.910854e-04,1.915239e-04,1.925005e-04,1.925833e-04,1.935914e-04,1.938259e-04,1.945494e-04,1.950645e-04,1.954587e-04,1.962194e-04,1.963203e-04,1.971357e-04,1.972933e-04,1.979060e-04,1.982892e-04,1.986324e-04,1.992096e-04,1.993162e-04,1.999583e-04,2.000573e-04,2.005601e-04,2.008350e-04,2.011226e-04,2.015451e-04,2.016469e-04,2.021342e-04,2.021902e-04,2.025854e-04,2.027727e-04,2.030015e-04,2.032951e-04,2.033838e-04,2.037330e-04,2.037595e-04,2.040502e-04,2.041684e-04,2.043364e-04,2.045238e-04,2.045925e-04,2.048194e-04,2.048279e-04,2.050181e-04,2.050828e-04,2.051893e-04,2.052906e-04,2.053340e-04,2.054531e-04,2.055722e-04,2.056499e-04,2.056879e-04,2.056879e-04,2.056516e-04,2.055807e-04,2.054767e-04,2.053412e-04,2.051757e-04,2.049815e-04,2.047600e-04,2.045127e-04,2.042407e-04,2.039454e-04,2.036279e-04,2.032894e-04,2.029311e-04,2.025539e-04,2.021591e-04,2.017475e-04,2.013201e-04,2.008780e-04,2.004219e-04,1.999527e-04
0.000000e+00,9.231378e-11,3.601544e-10,2.721458e-09,1.038478e-08,1.917320e-08,7.216431e-08,7.570261e-08,2.190622e-07,2.840414e-07,5.229662e-07,8.245927e-07,1.091502e-06,1.955091e-06,2.048995e-06,3.519332e-06,3.960993e-06,5.610854e-06,7.086835e-06,8.410731e-06,1.151297e-05,1.198431e-05,1.637607e-05,1.735513e-05,2.161090e-05,2.466903e-05,2.769523e-05,3.345506e-05,3.461816e-05,4.235270e-05,4.366295e-05,5.085716e-05,5.519715e-05,6.007679e-05,6.792343e-05,6.994565e-05,8.038877e-05,8.167670e-05,9.132432e-05,9.626983e-05,1.026660e-04,1.115026e-04,1.143250e-04,1.262125e-04,1.271707e-04,1.382412e-04,1.430732e-04,1.503270e-04,1.590195e-04,1.623907e-04,1.743585e-04,1.748343e-04,1.861632e-04,1.903611e-04,1.977444e-04,2.054646e-04,2.090491e-04,2.200315e-04,2.306529e-04,2.339702e-04,2.408817e-04,2.472102e-04,2.506926e-04,2.597002e-04,2.600665e-04,2.689900e-04,2.714065e-04,2.774544e-04,2.823109e-04,2.854559e-04,2.924084e-04,2.929945e-04,3.000737e-04,3.017050e-04,3.066998e-04,3.102158e-04,3.128818e-04,3.179633e-04,3.186307e-04,3.239592e-04,3.249756e-04,3.288810e-04,3.312846e-04,3.334113e-04,3.369255e-04,3.375656e-04,3.413601e-04,3.419349e-04,3.448111e-04,3.463504e-04,3.479352e-04,3.502100e-04,3.507487e-04,3.532678e-04,3.535511e-04,3.555085e-04,3.564102e-04,3.574862e-04,3.588227e-04,3.592160e-04,3.607125e-04,3.608226e-04,3.619897e-04,3.624422e-04,3.630611e-04,3.637122e-04,3.639395e-04,3.646372e-04,3.646615e-04,3.651659e-04,3.653170e-04,3.655368e-04,3.657042e-04,3.657604e-04,3.658466e-04,3.658049e-04,3.657660e-04,3.656442e-04,3.654829e-04,3.653730e-04,3.650158e-04,3.649990e-04,3.645298e-04,3.643823e-04,3.639724e-04,3.635983e-04,3.633333e-04,3.626785e-04,3.626187e-04,3.618344e-04,3.616364e-04,3.609858e-04,3.604844e-04,3.600781e-04,3.592341e-04,3.591159e-04,3.581038e-04,3.578958e-04,3.570460e-04,3.564791e-04,3.559463e-04,3.549929e-04,3.548084e-04,3.536359e-04,3.534452e-04,3.524318e-04,3.518435e-04,3.511992e-04,3.501944e-04,3.499408e-04,3.486595e-04,3.485043e-04,3.473575e-04,3.467787e-04,3.460372e-04,3.450228e-04,3.447007e-04,3.433501e-04,3.432415e-04,3.419872e-04,3.414390e-04,3.406138e-04,3.396193e-04,3.392315e-04,3.378418e-04,3.377861e-04,3.364463e-04,3.359427e-04,3.350462e-04,3.340921e-04,3.336427e-04,3.322371e-04,3.303802e-04,3.285237e-04,3.266698e-04,3.248203e-04,3.229770e-04,3.211415e-04,3.193152e-04,3.174995e-04,3.156954e-04,3.139042e-04,3.121267e-04,3.103639e-04,3.086164e-04,3.068851e-04,3.051705e-04,3.034731e-04,3.017935e-04,3.001321e-04,2.984893e-04,2.968653e-04,2.952605e-04,2.936750e-04,2.921091e-04,2.905630e-04
0.000000e+00,2.474775e-11,9.585986e-11,7.126823e-10,2.673096e-09,4.882186e-09,1.776185e-08,1.860296e-08,5.144900e-08,6.574965e-08,1.162672e-07,1.769100e-07,2.286911e-07,3.894533e-07,4.065368e-07,6.691394e-07,7.470058e-07,1.036617e-06,1.295710e-06,1.528989e-06,2.080622e-06,2.165127e-06,2.961704e-06,3.141532e-06,3.932356e-06,4.509386e-06,5.087164e-06,6.204226e-06,6.432407e-06,7.970508e-06,8.234463e-06,9.700113e-06,1.059702e-05,1.161627e-05,1.327805e-05,1.371069e-05,1.597208e-05,1.625403e-05,1.838653e-05,1.949330e-05,2.093794e-05,2.295768e-05,2.360847e-05,2.637908e-05,2.660446e-05,2.922991e-05,3.038818e-05,3.214078e-05,3.426250e-05,3.509162e-05,3.806280e-05,3.818181e-05,4.103550e-05,4.210259e-05,4.399194e-05,4.598454e-05,4.691559e-05,4.979136e-05,5.260567e-05,5.349126e-05,5.534652e-05,5.705724e-05,5.800351e-05,6.046711e-05,6.056781e-05,6.303213e-05,6.370340e-05,6.539063e-05,6.675303e-05,6.763884e-05,6.960702e-05,6.977357e-05,7.179277e-05,7.226005e-05,7.369545e-05,7.471000e-05,7.548156e-05,7.695751e-05,7.715188e-05,7.870788e-05,7.900553e-05,8.015166e-05,8.085893e-05,8.148584e-05,8.252407e-05,8.271347e-05,8.383793e-05,8.400851e-05,8.486289e-05,8.532066e-05,8.579222e-05,8.646952e-05,8.662993e-05,8.738014e-05,8.746448e-05,8.804701e-05,8.831510e-05,8.863470e-05,8.903096e-05,8.914738e-05,8.958914e-05,8.962153e-05,8.996399e-05,9.009609e-05,9.027588e-05,9.046360e-05,9.052863e-05,9.072592e-05,9.073271e-05,9.087133e-05,9.091165e-05,9.096830e-05,9.100824e-05,9.102010e-05,9.102988e-05,9.100063e-05,9.098350e-05,9.093522e-05,9.087563e-05,9.083634e-05,9.071232e-05,9.070657e-05,9.054832e-05,9.049923e-05,9.036390e-05,9.024158e-05,9.015546e-05,8.994423e-05,8.992504e-05,8.967454e-05,8.961164e-05,8.940578e-05,8.924793e-05,8.912043e-05,8.885687e-05,8.882008e-05,8.850620e-05,8.844193e-05,8.818019e-05,8.800629e-05,8.784332e-05,8.755285e-05,8.749681e-05,8.714178e-05,8.708425e-05,8.677927e-05,8.660291e-05,8.641027e-05,8.611100e-05,8.603568e-05,8.565634e-05,8.561053e-05,8.527302e-05,8.510330e-05,8.488647e-05,8.459094e-05,8.449734e-05,8.410627e-05,8.407491e-05,8.371381e-05,8.355657e-05,8.332052e-05,8.303709e-05,8.292686e-05,8.253330e-05,8.251757e-05,8.214026e-05,8.199896e-05,8.174811e-05,8.148213e-05,8.135720e-05,8.096786e-05,8.045682e-05,7.994964e-05,7.944684e-05,7.894892e-05,7.845628e-05,7.796929e-05,7.748827e-05,7.701350e-05,7.654520e-05,7.608357e-05,7.562878e-05,7.518097e-05,7.474025e-05,7.430669e-05,7.388036e-05,7.346132e-05,7.304957e-05,7.264514e-05,7.224802e-05,7.185820e-05,7.147564e-05,7.110030e-05,7.073215e-05,7.037111e-05
0.000000e+00,1.339078e-11,5.120811e-11,3.705700e-10,1.355571e-09,2.441759e-09,8.569196e-09,8.961845e-09,2.391858e-08,3.027588e-08,5.228354e-08,7.808031e-08,9.974086e-08,1.655703e-07,1.724703e-07,2.769657e-07,3.075047e-07,4.198004e-07,5.188869e-07,6.071945e-07,8.130710e-07,8.442683e-07,1.134079e-06,1.198442e-06,1.476817e-06,1.675102e-06,1.869552e-06,2.233995e-06,2.306603e-06,2.780300e-06,2.858913e-06,3.281856e-06,3.529815e-06,3.802150e-06,4.225904e-06,4.332324e-06,4.864186e-06,4.927767e-06,5.390452e-06,5.618586e-06,5.904863e-06,6.284645e-06,6.402213e-06,6.878322e-06,6.915390e-06,7.329973e-06,7.503234e-06,7.754826e-06,8.043226e-06,8.151325e-06,8.518600e-06,8.532678e-06,8.856369e-06,8.970770e-06,9.164842e-06,9.358172e-06,9.444637e-06,9.696693e-06,9.922198e-06,9.988971e-06,1.012252e-05,1.023820e-05,1.029916e-05,1.044790e-05,1.045368e-05,1.058768e-05,1.062174e-05,1.070275e-05,1.076336e-05,1.080046e-05,1.087633e-05,1.088233e-05,1.094980e-05,1.096400e-05,1.100423e-05,1.102949e-05,1.104690e-05,1.107567e-05,1.107900e-05,1.110162e-05,1.110509e-05,1.111577e-05,1.112008e-05,1.112236e-05,1.112267e-05,1.112223e-05,1.111613e-05,1.111465e-05,1.110475e-05,1.109759e-05,1.108869e-05,1.107284e-05,1.106849e-05,1.104466e-05,1.104158e-05,1.101763e-05,1.100483e-05,1.098780e-05,1.096346e-05,1.095550e-05,1.092106e-05,1.091822e-05,1.088475e-05,1.086976e-05,1.084682e-05,1.081863e-05,1.080749e-05,1.076695e-05,1.076531e-05,1.072539e-05,1.071021e-05,1.068296e-05,1.065368e-05,1.063980e-05,1.059604e-05,1.055179e-05,1.053755e-05,1.050715e-05,1.047843e-05,1.046222e-05,1.041888e-05,1.041708e-05,1.037179e-05,1.035909e-05,1.032643e-05,1.029921e-05,1.028106e-05,1.023936e-05,1.023574e-05,1.019050e-05,1.017967e-05,1.014541e-05,1.012023e-05,1.010049e-05,1.006113e-05,1.005578e-05,1.001132e-05,1.000246e-05,9.967139e-06,9.944283e-06,9.923260e-06,9.886655e-06,9.879710e-06,9.836510e-06,9.829632e-06,9.793680e-06,9.773259e-06,9.751239e-06,9.717575e-06,9.709201e-06,9.667581e-06,9.662616e-06,9.626393e-06,9.608409e-06,9.585646e-06,9.554980e-06,9.545351e-06,9.505517e-06,9.502351e-06,9.466152e-06,9.450538e-06,9.427261e-06,9.399557e-06,9.388851e-06,9.350926e-06,9.349419e-06,9.313489e-06,9.300132e-06,9.276545e-06,9.251705e-06,9.240095e-06,9.204141e-06,9.157442e-06,9.111610e-06,9.066644e-06,9.022542e-06,8.979300e-06,8.936913e-06,8.895377e-06,8.854685e-06,8.814830e-06,8.775803e-06,8.737595e-06,8.700199e-06,8.663603e-06,8.627798e-06,8.592773e-06,8.558517e-06,8.525018e-06,8.492266e-06,8.460249e-06,8.428955e-06,8.398371e-06,8.368486e-06,8.339288e-06,8.310765e-06
0.000000e+00,2.575748e-10,8.908561e-10,5.311146e-09,1.656039e-08,2.751018e-08,8.005214e-08,8.313954e-08,1.902341e-07,2.321414e-07,3.692174e-07,5.210134e-07,6.443245e-07,1.006449e-06,1.043652e-06,1.594782e-06,1.751880e-06,2.314153e-06,2.789501e-06,3.196535e-06,4.087546e-06,4.215966e-06,5.337261e-06,5.570700e-06,6.527013e-06,7.163516e-06,7.758279e-06,8.809542e-06,9.010656e-06,1.026864e-05,1.046959e-05,1.152001e-05,1.211531e-05,1.275471e-05,1.372470e-05,1.396421e-05,1.514120e-05,1.527995e-05,1.627945e-05,1.676663e-05,1.737377e-05,1.817347e-05,1.841998e-05,1.941490e-05,1.949220e-05,2.035624e-05,2.071743e-05,2.124259e-05,2.184633e-05,2.207333e-05,2.284854e-05,2.287840e-05,2.356890e-05,2.381501e-05,2.423556e-05,2.465898e-05,2.485005e-05,2.541425e-05,2.593024e-05,2.608555e-05,2.640027e-05,2.667801e-05,2.682660e-05,2.719698e-05,2.721162e-05,2.755767e-05,2.764790e-05,2.786710e-05,2.803616e-05,2.814224e-05,2.836699e-05,2.838531e-05,2.859846e-05,2.864539e-05,2.878374e-05,2.887607e-05,2.894313e-05,2.906344e-05,2.907847e-05,2.919151e-05,2.921159e-05,2.928392e-05,2.932433e-05,2.935723e-05,2.940513e-05,2.941291e-05,2.945232e-05,2.945720e-05,2.947671e-05,2.948344e-05,2.948729e-05,2.948654e-05,2.948515e-05,2.947132e-05,2.946892e-05,2.944676e-05,2.943279e-05,2.941236e-05,2.938015e-05,2.936895e-05,2.931728e-05,2.931282e-05,2.925808e-05,2.923244e-05,2.919201e-05,2.914053e-05,2.911968e-05,2.904165e-05,2.903842e-05,2.895847e-05,2.892735e-05,2.887060e-05,2.880842e-05,2.877852e-05,2.868264e-05,2.858336e-05,2.855092e-05,2.848102e-05,2.841408e-05,2.837598e-05,2.827287e-05,2.826853e-05,2.815897e-05,2.812795e-05,2.804756e-05,2.797994e-05,2.793456e-05,2.782938e-05,2.782018e-05,2.770465e-05,2.767677e-05,2.758815e-05,2.752255e-05,2.747086e-05,2.736714e-05,2.735297e-05,2.723461e-05,2.721090e-05,2.711594e-05,2.705415e-05,2.699709e-05,2.689719e-05,2.687817e-05,2.675931e-05,2.674030e-05,2.664060e-05,2.658370e-05,2.652214e-05,2.642762e-05,2.640403e-05,2.628633e-05,2.627224e-05,2.616914e-05,2.611775e-05,2.605251e-05,2.596429e-05,2.593652e-05,2.582121e-05,2.581201e-05,2.570664e-05,2.566103e-05,2.559286e-05,2.551145e-05,2.547991e-05,2.536784e-05,2.536338e-05,2.525668e-05,2.521689e-05,2.514646e-05,2.507206e-05,2.503721e-05,2.492896e-05,2.478764e-05,2.464815e-05,2.451054e-05,2.437482e-05,2.424105e-05,2.410923e-05,2.397939e-05,2.385153e-05,2.372568e-05,2.360183e-05,2.347998e-05,2.336014e-05,2.324230e-05,2.312646e-05,2.301260e-05,2.290072e-05,2.279080e-05,2.268284e-05,2.257681e-05,2.247269e-05,2.237048e-05,2.227014e-05,2.217166e-05,2.207502e-05
0.000000e+00,4.132155e-11,1.527375e-10,1.031668e-09,3.551268e-09,6.192359e-09,2.004839e-08,2.090065e-08,5.178273e-08,6.430171e-08,1.060534e-07,1.529758e-07,1.912821e-07,3.038785e-07,3.154394e-07,4.869255e-07,5.360716e-07,7.141306e-07,8.684289e-07,1.004037e-06,1.313745e-06,1.359909e-06,1.779264e-06,1.870101e-06,2.253677e-06,2.518045e-06,2.770564e-06,3.227225e-06,3.315791e-06,3.875855e-06,3.966033e-06,4.439130e-06,4.707819e-06,4.996297e-06,5.432780e-06,5.540232e-06,6.065663e-06,6.127277e-06,6.568775e-06,6.782341e-06,7.046855e-06,7.392277e-06,7.498031e-06,7.921079e-06,7.953683e-06,8.315291e-06,8.464827e-06,8.680389e-06,8.925266e-06,9.016457e-06,9.323897e-06,9.335608e-06,9.603384e-06,9.697323e-06,9.855820e-06,1.001258e-05,1.008230e-05,1.028407e-05,1.046248e-05,1.051487e-05,1.061896e-05,1.070827e-05,1.075497e-05,1.086767e-05,1.087200e-05,1.097152e-05,1.099643e-05,1.105493e-05,1.109783e-05,1.112362e-05,1.117495e-05,1.117891e-05,1.122202e-05,1.123068e-05,1.125412e-05,1.126769e-05,1.127628e-05,1.128836e-05,1.128950e-05,1.129470e-05,1.129485e-05,1.129271e-05,1.128908e-05,1.128428e-05,1.127274e-05,1.127012e-05,1.125084e-05,1.124732e-05,1.122701e-05,1.121411e-05,1.119914e-05,1.117425e-05,1.116769e-05,1.113306e-05,1.112871e-05,1.109561e-05,1.107834e-05,1.105569e-05,1.102386e-05,1.101357e-05,1.096952e-05,1.096592e-05,1.092377e-05,1.090505e-05,1.087654e-05,1.084173e-05,1.082802e-05,1.077838e-05,1.077638e-05,1.072777e-05,1.070935e-05,1.067634e-05,1.064095e-05,1.062419e-05,1.057146e-05,1.051824e-05,1.050112e-05,1.046463e-05,1.043015e-05,1.041070e-05,1.035871e-05,1.035654e-05,1.030222e-05,1.028699e-05,1.024780e-05,1.021512e-05,1.019333e-05,1.014322e-05,1.013887e-05,1.008447e-05,1.007143e-05,1.003017e-05,9.999825e-06,9.976017e-06,9.928507e-06,9.922041e-06,9.868278e-06,9.857553e-06,9.814758e-06,9.787033e-06,9.761509e-06,9.717009e-06,9.708558e-06,9.655927e-06,9.647537e-06,9.603637e-06,9.578665e-06,9.551708e-06,9.510437e-06,9.500158e-06,9.449003e-06,9.442892e-06,9.398257e-06,9.376062e-06,9.347934e-06,9.309978e-06,9.298044e-06,9.248599e-06,9.244663e-06,9.199609e-06,9.180141e-06,9.151080e-06,9.116430e-06,9.103022e-06,9.055440e-06,9.053547e-06,9.008340e-06,8.991503e-06,8.961728e-06,8.930312e-06,8.915606e-06,8.869980e-06,8.810515e-06,8.751922e-06,8.694204e-06,8.637363e-06,8.581400e-06,8.526313e-06,8.472102e-06,8.418762e-06,8.366290e-06,8.314682e-06,8.263932e-06,8.214033e-06,8.164979e-06,8.116762e-06,8.069375e-06,8.022809e-06,7.977055e-06,7.932105e-06,7.887949e-06,7.844577e-06,7.801980e-06,7.760147e-06,7.719068e-06,7.678732e-06
0.000000e+00,2.115053e-09,4.837925e-09,1.658886e-08,3.763620e-08,5.482955e-08,1.240145e-07,1.277337e-07,2.464399e-07,2.894954e-07,4.229772e-07,5.620714e-07,6.704129e-07,9.718414e-07,1.001690e-06,1.426038e-06,1.542005e-06,1.943759e-06,2.270942e-06,2.544527e-06,3.129089e-06,3.212189e-06,3.930725e-06,4.079310e-06,4.686758e-06,5.091043e-06,5.469473e-06,6.140946e-06,6.269863e-06,7.080116e-06,7.210197e-06,7.893286e-06,8.282791e-06,8.703152e-06,9.344920e-06,9.504174e-06,1.029151e-05,1.038487e-05,1.106102e-05,1.139304e-05,1.180924e-05,1.236191e-05,1.253339e-05,1.323129e-05,1.328593e-05,1.390137e-05,1.416135e-05,1.454256e-05,1.498596e-05,1.515424e-05,1.573619e-05,1.575885e-05,1.628848e-05,1.648010e-05,1.681147e-05,1.715064e-05,1.730571e-05,1.777193e-05,1.821096e-05,1.834586e-05,1.862374e-05,1.887460e-05,1.901127e-05,1.936047e-05,1.937455e-05,1.971465e-05,1.980586e-05,2.003261e-05,2.021319e-05,2.032947e-05,2.058483e-05,2.060625e-05,2.086396e-05,2.092307e-05,2.110354e-05,2.123015e-05,2.132595e-05,2.150816e-05,2.153207e-05,2.172276e-05,2.175911e-05,2.189884e-05,2.198489e-05,2.206110e-05,2.218726e-05,2.221028e-05,2.234709e-05,2.236788e-05,2.247222e-05,2.252831e-05,2.258628e-05,2.266999e-05,2.268990e-05,2.278365e-05,2.279427e-05,2.286808e-05,2.290240e-05,2.294369e-05,2.299556e-05,2.301097e-05,2.307040e-05,2.307483e-05,2.312240e-05,2.314122e-05,2.316739e-05,2.319566e-05,2.320576e-05,2.323788e-05,2.323904e-05,2.326410e-05,2.327216e-05,2.328475e-05,2.329577e-05,2.330014e-05,2.331057e-05,2.331632e-05,2.331721e-05,2.331765e-05,2.331630e-05,2.331482e-05,2.330840e-05,2.330805e-05,2.329759e-05,2.329402e-05,2.328363e-05,2.327366e-05,2.326638e-05,2.324776e-05,2.324602e-05,2.322275e-05,2.321675e-05,2.319673e-05,2.318102e-05,2.316812e-05,2.314092e-05,2.313707e-05,2.310374e-05,2.309681e-05,2.306825e-05,2.304899e-05,2.303075e-05,2.299777e-05,2.299134e-05,2.295016e-05,2.294341e-05,2.290730e-05,2.288617e-05,2.286289e-05,2.282630e-05,2.281701e-05,2.276976e-05,2.276401e-05,2.272124e-05,2.269951e-05,2.267153e-05,2.263300e-05,2.262070e-05,2.256885e-05,2.256466e-05,2.251603e-05,2.249466e-05,2.246233e-05,2.242315e-05,2.240781e-05,2.235252e-05,2.235030e-05,2.229654e-05,2.227622e-05,2.223991e-05,2.220107e-05,2.218270e-05,2.212495e-05,2.204798e-05,2.197027e-05,2.189191e-05,2.181300e-05,2.173363e-05,2.165388e-05,2.157383e-05,2.149354e-05,2.141308e-05,2.133252e-05,2.125192e-05,2.117132e-05,2.109078e-05,2.101036e-05,2.093008e-05,2.085001e-05,2.077016e-05,2.069059e-05,2.061132e-05,2.053239e-05,2.045383e-05,2.037566e-05,2.029790e-05,2.022060e-05
0.000000e+00,2.145709e-09,4.902906e-09,1.677502e-08,3.796996e-08,5.523256e-08,1.243146e-07,1.280127e-07,2.453058e-07,2.875249e-07,4.174557e-07,5.515022e-07,6.551074e-07,9.405251e-07,9.686125e-07,1.365966e-06,1.474209e-06,1.849203e-06,2.155263e-06,2.411933e-06,2.962857e-06,3.041444e-06,3.723446e-06,3.864978e-06,4.445089e-06,4.832341e-06,5.195529e-06,5.841337e-06,5.965496e-06,6.746796e-06,6.872350e-06,7.532008e-06,7.908288e-06,8.314365e-06,8.934051e-06,9.087732e-06,9.846628e-06,9.936489e-06,1.058627e-05,1.090454e-05,1.130258e-05,1.182929e-05,1.199221e-05,1.265251e-05,1.270401e-05,1.328149e-05,1.352397e-05,1.387773e-05,1.428626e-05,1.444039e-05,1.496907e-05,1.498951e-05,1.546384e-05,1.563371e-05,1.592504e-05,1.621981e-05,1.635334e-05,1.674960e-05,1.711487e-05,1.722539e-05,1.745031e-05,1.764991e-05,1.775718e-05,1.802612e-05,1.803680e-05,1.829051e-05,1.835709e-05,1.851967e-05,1.864594e-05,1.872562e-05,1.889574e-05,1.890969e-05,1.907318e-05,1.910950e-05,1.921734e-05,1.929008e-05,1.934338e-05,1.944023e-05,1.945246e-05,1.954569e-05,1.956252e-05,1.962412e-05,1.965940e-05,1.968877e-05,1.973312e-05,1.974059e-05,1.978047e-05,1.978580e-05,1.980927e-05,1.981939e-05,1.982778e-05,1.983569e-05,1.983676e-05,1.983693e-05,1.983639e-05,1.982895e-05,1.982301e-05,1.981343e-05,1.979698e-05,1.979098e-05,1.976215e-05,1.975958e-05,1.972743e-05,1.971201e-05,1.968733e-05,1.965537e-05,1.964229e-05,1.959273e-05,1.959066e-05,1.953905e-05,1.951878e-05,1.948161e-05,1.944059e-05,1.942076e-05,1.935683e-05,1.929011e-05,1.926821e-05,1.922088e-05,1.917538e-05,1.914940e-05,1.907889e-05,1.907592e-05,1.900066e-05,1.897930e-05,1.892384e-05,1.887707e-05,1.884564e-05,1.877265e-05,1.876626e-05,1.868586e-05,1.866644e-05,1.860461e-05,1.855878e-05,1.852264e-05,1.845003e-05,1.844010e-05,1.835710e-05,1.834046e-05,1.827378e-05,1.823035e-05,1.819023e-05,1.811995e-05,1.810656e-05,1.802286e-05,1.800947e-05,1.793921e-05,1.789911e-05,1.785571e-05,1.778905e-05,1.777241e-05,1.768939e-05,1.767945e-05,1.760671e-05,1.757046e-05,1.752443e-05,1.746219e-05,1.744260e-05,1.736126e-05,1.735478e-05,1.728047e-05,1.724831e-05,1.720025e-05,1.714288e-05,1.712066e-05,1.704171e-05,1.703857e-05,1.696345e-05,1.693544e-05,1.688589e-05,1.683357e-05,1.680907e-05,1.673300e-05,1.663377e-05,1.653593e-05,1.643952e-05,1.634455e-05,1.625104e-05,1.615903e-05,1.606851e-05,1.597951e-05,1.589202e-05,1.580605e-05,1.572160e-05,1.563866e-05,1.555724e-05,1.547732e-05,1.539890e-05,1.532196e-05,1.524650e-05,1.517249e-05,1.509994e-05,1.502881e-05,1.495910e-05,1.489078e-05,1.482385e-05,1.475827e-05
0.000000e+00,1.182975e-09,2.706525e-09,9.271007e-09,2.098051e-08,3.050007e-08,6.840636e-08,7.042660e-08,1.340338e-07,1.567114e-07,2.258257e-07,2.961460e-07,3.498879e-07,4.956816e-07,5.098808e-07,7.089015e-07,7.627423e-07,9.491224e-07,1.101963e-06,1.231183e-06,1.512882e-06,1.553600e-06,1.912730e-06,1.988528e-06,2.303476e-06,2.517292e-06,2.720213e-06,3.086296e-06,3.157402e-06,3.609837e-06,3.683313e-06,4.072676e-06,4.297205e-06,4.541437e-06,4.917918e-06,5.011983e-06,5.480539e-06,5.536466e-06,5.943701e-06,6.144993e-06,6.398458e-06,6.736834e-06,6.842204e-06,7.272734e-06,7.306549e-06,7.688242e-06,7.849907e-06,8.087300e-06,8.363819e-06,8.468831e-06,8.832078e-06,8.846220e-06,9.176562e-06,9.295934e-06,9.502062e-06,9.712546e-06,9.808569e-06,1.009625e-05,1.036543e-05,1.044773e-05,1.061655e-05,1.076803e-05,1.085014e-05,1.105845e-05,1.106680e-05,1.126719e-05,1.132048e-05,1.145201e-05,1.155571e-05,1.162195e-05,1.176579e-05,1.177775e-05,1.192013e-05,1.195238e-05,1.204980e-05,1.211712e-05,1.216745e-05,1.226160e-05,1.227378e-05,1.236944e-05,1.238734e-05,1.245506e-05,1.249582e-05,1.253125e-05,1.258840e-05,1.259861e-05,1.265768e-05,1.266640e-05,1.270899e-05,1.273102e-05,1.275305e-05,1.278339e-05,1.279033e-05,1.282128e-05,1.282459e-05,1.284632e-05,1.285558e-05,1.286586e-05,1.287726e-05,1.288027e-05,1.288992e-05,1.289049e-05,1.289512e-05,1.289603e-05,1.289620e-05,1.289459e-05,1.289345e-05,1.288716e-05,1.288684e-05,1.287757e-05,1.287336e-05,1.286494e-05,1.285473e-05,1.284950e-05,1.283145e-05,1.281101e-05,1.280400e-05,1.278836e-05,1.277279e-05,1.276368e-05,1.273823e-05,1.273713e-05,1.270887e-05,1.270067e-05,1.267905e-05,1.266046e-05,1.264780e-05,1.261790e-05,1.261525e-05,1.258153e-05,1.257327e-05,1.254673e-05,1.252682e-05,1.251097e-05,1.247879e-05,1.247435e-05,1.243695e-05,1.242939e-05,1.239887e-05,1.237882e-05,1.236018e-05,1.232726e-05,1.232095e-05,1.228127e-05,1.227488e-05,1.224119e-05,1.222182e-05,1.220077e-05,1.216823e-05,1.216007e-05,1.211915e-05,1.211423e-05,1.207805e-05,1.205993e-05,1.203683e-05,1.200543e-05,1.199551e-05,1.195416e-05,1.195085e-05,1.191279e-05,1.189625e-05,1.187145e-05,1.184172e-05,1.183017e-05,1.178898e-05,1.178733e-05,1.174790e-05,1.173315e-05,1.170697e-05,1.167923e-05,1.166620e-05,1.162563e-05,1.157239e-05,1.151957e-05,1.146719e-05,1.141529e-05,1.136390e-05,1.131306e-05,1.126277e-05,1.121308e-05,1.116399e-05,1.111552e-05,1.106768e-05,1.102050e-05,1.097397e-05,1.092810e-05,1.088291e-05,1.083840e-05,1.079456e-05,1.075141e-05,1.070895e-05,1.066717e-05,1.062608e-05,1.058567e-05,1.054595e-05,1.050690e-05
0.000000e+00,1.085201e-08,2.509864e-08,8.721366e-08,1.993188e-07,2.912301e-07,6.620645e-07,6.820136e-07,1.318140e-06,1.548351e-06,2.259725e-06,2.997112e-06,3.568893e-06,5.150529e-06,5.306623e-06,7.522900e-06,8.129269e-06,1.023920e-05,1.197224e-05,1.343316e-05,1.659064e-05,1.704327e-05,2.099170e-05,2.181528e-05,2.520417e-05,2.747738e-05,2.961679e-05,3.343821e-05,3.417539e-05,3.883316e-05,3.958478e-05,4.354882e-05,4.582194e-05,4.828563e-05,5.206829e-05,5.301103e-05,5.769640e-05,5.825474e-05,6.231698e-05,6.432395e-05,6.685171e-05,7.022976e-05,7.128304e-05,7.559667e-05,7.593632e-05,7.978126e-05,8.141693e-05,8.382808e-05,8.665281e-05,8.773073e-05,9.148474e-05,9.163177e-05,9.508738e-05,9.634698e-05,9.853731e-05,1.007959e-04,1.018344e-04,1.049794e-04,1.079739e-04,1.089007e-04,1.108201e-04,1.125651e-04,1.135208e-04,1.159794e-04,1.160790e-04,1.184981e-04,1.191511e-04,1.207819e-04,1.220887e-04,1.229340e-04,1.248010e-04,1.249584e-04,1.268591e-04,1.272973e-04,1.286402e-04,1.295869e-04,1.303057e-04,1.316790e-04,1.318597e-04,1.333062e-04,1.335830e-04,1.346491e-04,1.353078e-04,1.358924e-04,1.368625e-04,1.370398e-04,1.380951e-04,1.382557e-04,1.390621e-04,1.394959e-04,1.399443e-04,1.405914e-04,1.407453e-04,1.414684e-04,1.415501e-04,1.421171e-04,1.423797e-04,1.426945e-04,1.430877e-04,1.432039e-04,1.436482e-04,1.436810e-04,1.440305e-04,1.441667e-04,1.443536e-04,1.445511e-04,1.446202e-04,1.448332e-04,1.448406e-04,1.449950e-04,1.450412e-04,1.451082e-04,1.451586e-04,1.451751e-04,1.451982e-04,1.451797e-04,1.451654e-04,1.451217e-04,1.450649e-04,1.450264e-04,1.449016e-04,1.448957e-04,1.447316e-04,1.446799e-04,1.445359e-04,1.444041e-04,1.443105e-04,1.440782e-04,1.440569e-04,1.437770e-04,1.437061e-04,1.434723e-04,1.432913e-04,1.431442e-04,1.428374e-04,1.427943e-04,1.424239e-04,1.423475e-04,1.420344e-04,1.418248e-04,1.416271e-04,1.412721e-04,1.412032e-04,1.407638e-04,1.406921e-04,1.403101e-04,1.400875e-04,1.398432e-04,1.394608e-04,1.393640e-04,1.388736e-04,1.388140e-04,1.383729e-04,1.381496e-04,1.378628e-04,1.374693e-04,1.373441e-04,1.368177e-04,1.367753e-04,1.362843e-04,1.360692e-04,1.357447e-04,1.353527e-04,1.351995e-04,1.346495e-04,1.346274e-04,1.340952e-04,1.338948e-04,1.335373e-04,1.331562e-04,1.329764e-04,1.324129e-04,1.316662e-04,1.309171e-04,1.301667e-04,1.294159e-04,1.286656e-04,1.279167e-04,1.271700e-04,1.264261e-04,1.256857e-04,1.249495e-04,1.242178e-04,1.234914e-04,1.227706e-04,1.220559e-04,1.213477e-04,1.206462e-04,1.199519e-04,1.192649e-04,1.185857e-04,1.179143e-04,1.172510e-04,1.165959e-04,1.159493e-04,1.153112e-04
0.000000e+00,2.352673e-11,9.093550e-11,6.730492e-10,2.514463e-09,4.583116e-09,1.660046e-08,1.738407e-08,4.796783e-08,6.129268e-08,1.084766e-07,1.654032e-07,2.142744e-07,3.675056e-07,3.839145e-07,6.387142e-07,7.150512e-07,1.001205e-06,1.259189e-06,1.492284e-06,2.043886e-06,2.128241e-06,2.919000e-06,3.096129e-06,3.867855e-06,4.423069e-06,4.972167e-06,6.014567e-06,6.224452e-06,7.613503e-06,7.847542e-06,9.125384e-06,9.890121e-06,1.074426e-05,1.210497e-05,1.245308e-05,1.423412e-05,1.445184e-05,1.606943e-05,1.688957e-05,1.794126e-05,1.937763e-05,1.983235e-05,2.172622e-05,2.187739e-05,2.360746e-05,2.435318e-05,2.546182e-05,2.677306e-05,2.727647e-05,2.904004e-05,2.910938e-05,3.074268e-05,3.133907e-05,3.237611e-05,3.344379e-05,3.393356e-05,3.540975e-05,3.680083e-05,3.722754e-05,3.810420e-05,3.889164e-05,3.931848e-05,4.040006e-05,4.044334e-05,4.147942e-05,4.175378e-05,4.242812e-05,4.295626e-05,4.329156e-05,4.401289e-05,4.407239e-05,4.477368e-05,4.493054e-05,4.539889e-05,4.571713e-05,4.595168e-05,4.638127e-05,4.643588e-05,4.685543e-05,4.693193e-05,4.721428e-05,4.737820e-05,4.751637e-05,4.772908e-05,4.776555e-05,4.796561e-05,4.799330e-05,4.812016e-05,4.817922e-05,4.823271e-05,4.829476e-05,4.830659e-05,4.834495e-05,4.834731e-05,4.835078e-05,4.834376e-05,4.832687e-05,4.829044e-05,4.827586e-05,4.820019e-05,4.819314e-05,4.810215e-05,4.805715e-05,4.798386e-05,4.788726e-05,4.784729e-05,4.769423e-05,4.768779e-05,4.752638e-05,4.746263e-05,4.734527e-05,4.721527e-05,4.715232e-05,4.694883e-05,4.673600e-05,4.666611e-05,4.651493e-05,4.636959e-05,4.628662e-05,4.606148e-05,4.605199e-05,4.581188e-05,4.574377e-05,4.556706e-05,4.541820e-05,4.531823e-05,4.508631e-05,4.506603e-05,4.481105e-05,4.474950e-05,4.455382e-05,4.440897e-05,4.429483e-05,4.406581e-05,4.403451e-05,4.377329e-05,4.372096e-05,4.351151e-05,4.337528e-05,4.324952e-05,4.302951e-05,4.298763e-05,4.272610e-05,4.268431e-05,4.246520e-05,4.234026e-05,4.220515e-05,4.199786e-05,4.194616e-05,4.168841e-05,4.165758e-05,4.143209e-05,4.131979e-05,4.117732e-05,4.098484e-05,4.092427e-05,4.067305e-05,4.065303e-05,4.042377e-05,4.032462e-05,4.017653e-05,3.999984e-05,3.993143e-05,3.968854e-05,3.967887e-05,3.944793e-05,3.936188e-05,3.920967e-05,3.904902e-05,3.897381e-05,3.874041e-05,3.843613e-05,3.813626e-05,3.784088e-05,3.755003e-05,3.726375e-05,3.698205e-05,3.670495e-05,3.643247e-05,3.616458e-05,3.590128e-05,3.564256e-05,3.538838e-05,3.513871e-05,3.489353e-05,3.465279e-05,3.441644e-05,3.418445e-05,3.395676e-05,3.373332e-05,3.351408e-05,3.329898e-05,3.308797e-05,3.288098e-05,3.267795e-05
0.000000e+00,4.991399e-12,1.935205e-11,1.441513e-10,5.416054e-10,9.901164e-10,3.610589e-09,3.781921e-09,1.048261e-08,1.340408e-08,2.373616e-08,3.615544e-08,4.676948e-08,7.975978e-08,8.326809e-08,1.372432e-07,1.532626e-07,2.128999e-07,2.663313e-07,3.145100e-07,4.287468e-07,4.462891e-07,6.122741e-07,6.499110e-07,8.161978e-07,9.383502e-07,1.061370e-06,1.301245e-06,1.350574e-06,1.685989e-06,1.744056e-06,2.069146e-06,2.270297e-06,2.500900e-06,2.881436e-06,2.981430e-06,3.510247e-06,3.576902e-06,4.086221e-06,4.354163e-06,4.707617e-06,5.208861e-06,5.372136e-06,6.076967e-06,6.135000e-06,6.818851e-06,7.125174e-06,7.594143e-06,8.170828e-06,8.398885e-06,9.228874e-06,9.262538e-06,1.007974e-05,1.039030e-05,1.094701e-05,1.154383e-05,1.182619e-05,1.271282e-05,1.360252e-05,1.388718e-05,1.449108e-05,1.505729e-05,1.537448e-05,1.621415e-05,1.624891e-05,1.711086e-05,1.734952e-05,1.795707e-05,1.845602e-05,1.878462e-05,1.952722e-05,1.959088e-05,2.037354e-05,2.055764e-05,2.113061e-05,2.154275e-05,2.186041e-05,2.247898e-05,2.256157e-05,2.323298e-05,2.336362e-05,2.387384e-05,2.419480e-05,2.448355e-05,2.497141e-05,2.506180e-05,2.560846e-05,2.569299e-05,2.612359e-05,2.635973e-05,2.660745e-05,2.697227e-05,2.706042e-05,2.748305e-05,2.753175e-05,2.787597e-05,2.803963e-05,2.823993e-05,2.849768e-05,2.857576e-05,2.888434e-05,2.890788e-05,2.916663e-05,2.927240e-05,2.942361e-05,2.959352e-05,2.965628e-05,2.986569e-05,2.987359e-05,3.005286e-05,3.011500e-05,3.021885e-05,3.032014e-05,3.036468e-05,3.049138e-05,3.059995e-05,3.063103e-05,3.069139e-05,3.074135e-05,3.076664e-05,3.082452e-05,3.082664e-05,3.087229e-05,3.088262e-05,3.090446e-05,3.091764e-05,3.092399e-05,3.093148e-05,3.093168e-05,3.092830e-05,3.092592e-05,3.091458e-05,3.090265e-05,3.089124e-05,3.086326e-05,3.085893e-05,3.081829e-05,3.080922e-05,3.076992e-05,3.074191e-05,3.071439e-05,3.066261e-05,3.065224e-05,3.058398e-05,3.057253e-05,3.051009e-05,3.047276e-05,3.043103e-05,3.036434e-05,3.034721e-05,3.025905e-05,3.024820e-05,3.016692e-05,3.012522e-05,3.007117e-05,2.999619e-05,2.997214e-05,2.987014e-05,2.986186e-05,2.976546e-05,2.972290e-05,2.965838e-05,2.957994e-05,2.954915e-05,2.943802e-05,2.943353e-05,2.932520e-05,2.928421e-05,2.921090e-05,2.913244e-05,2.909533e-05,2.897866e-05,2.882327e-05,2.866662e-05,2.850905e-05,2.835084e-05,2.819229e-05,2.803362e-05,2.787506e-05,2.771682e-05,2.755908e-05,2.740200e-05,2.724573e-05,2.709041e-05,2.693615e-05,2.678305e-05,2.663123e-05,2.648075e-05,2.633171e-05,2.618415e-05,2.603815e-05,2.589376e-05,2.575101e-05,2.560995e-05,2.547060e-05,2.533301e-05
0.000000e+00,1.742611e-09,4.783558e-09,2.015376e-08,5.061248e-08,7.665951e-08,1.859498e-07,1.919452e-07,3.864314e-07,4.579105e-07,6.810806e-07,9.150591e-07,1.097864e-06,1.608007e-06,1.658625e-06,2.380424e-06,2.578567e-06,3.269398e-06,3.838757e-06,4.320836e-06,5.372999e-06,5.525280e-06,6.872885e-06,7.158754e-06,8.354239e-06,9.174277e-06,9.959879e-06,1.139736e-05,1.167979e-05,1.350318e-05,1.380377e-05,1.541855e-05,1.636705e-05,1.741379e-05,1.905916e-05,1.947651e-05,2.159425e-05,2.185149e-05,2.375478e-05,2.471592e-05,2.594633e-05,2.762576e-05,2.815774e-05,3.037863e-05,3.055642e-05,3.259950e-05,3.348589e-05,3.481178e-05,3.639496e-05,3.700780e-05,3.918087e-05,3.926723e-05,4.132513e-05,4.208903e-05,4.343558e-05,4.484919e-05,4.550799e-05,4.753885e-05,4.952529e-05,5.015117e-05,5.146498e-05,5.268102e-05,5.335616e-05,5.512477e-05,5.519745e-05,5.698792e-05,5.748004e-05,5.872691e-05,5.974546e-05,6.041411e-05,6.192051e-05,6.204943e-05,6.363298e-05,6.400537e-05,6.516509e-05,6.600076e-05,6.664619e-05,6.790783e-05,6.807687e-05,6.945780e-05,6.972808e-05,7.078974e-05,7.146327e-05,7.207354e-05,7.311537e-05,7.331008e-05,7.450030e-05,7.468650e-05,7.564517e-05,7.617889e-05,7.674569e-05,7.759485e-05,7.780287e-05,7.881775e-05,7.893675e-05,7.979137e-05,8.020696e-05,8.072478e-05,8.140790e-05,8.161900e-05,8.247509e-05,8.254196e-05,8.329408e-05,8.361152e-05,8.407699e-05,8.461892e-05,8.482484e-05,8.553864e-05,8.556650e-05,8.621937e-05,8.645652e-05,8.686800e-05,8.729124e-05,8.748551e-05,8.807282e-05,8.863088e-05,8.880343e-05,8.916058e-05,8.948512e-05,8.966282e-05,9.011995e-05,9.013847e-05,9.058839e-05,9.070987e-05,9.101340e-05,9.125680e-05,9.141434e-05,9.176261e-05,9.179198e-05,9.214712e-05,9.222909e-05,9.248052e-05,9.265799e-05,9.279290e-05,9.305100e-05,9.308501e-05,9.335754e-05,9.340975e-05,9.361117e-05,9.373582e-05,9.384658e-05,9.403072e-05,9.406442e-05,9.426532e-05,9.429594e-05,9.444990e-05,9.453287e-05,9.461875e-05,9.474290e-05,9.477246e-05,9.491159e-05,9.492733e-05,9.503670e-05,9.508744e-05,9.514831e-05,9.522443e-05,9.524694e-05,9.533311e-05,9.533948e-05,9.540729e-05,9.543371e-05,9.546996e-05,9.550822e-05,9.552158e-05,9.556260e-05,9.556403e-05,9.559345e-05,9.560214e-05,9.561454e-05,9.562352e-05,9.562629e-05,9.562908e-05,9.561970e-05,9.559623e-05,9.555947e-05,9.551021e-05,9.544918e-05,9.537710e-05,9.529463e-05,9.520245e-05,9.510115e-05,9.499135e-05,9.487360e-05,9.474845e-05,9.461642e-05,9.447800e-05,9.433366e-05,9.418385e-05,9.402900e-05,9.386952e-05,9.370579e-05,9.353818e-05,9.336706e-05,9.319274e-05,9.301556e-05,9.283581e-05
0.000000e+00,1.014040e-09,3.186455e-09,1.617926e-08,4.514479e-08,7.132730e-08,1.870318e-07,1.935403e-07,4.092263e-07,4.899540e-07,7.448175e-07,1.014994e-06,1.227478e-06,1.825065e-06,1.884682e-06,2.740900e-06,2.977970e-06,3.811308e-06,4.505521e-06,5.097888e-06,6.402607e-06,6.592565e-06,8.283137e-06,8.643619e-06,1.015665e-05,1.119885e-05,1.220006e-05,1.403798e-05,1.439989e-05,1.674182e-05,1.712870e-05,1.921054e-05,2.043582e-05,2.178982e-05,2.392152e-05,2.446277e-05,2.721212e-05,2.754635e-05,3.002058e-05,3.127065e-05,3.287122e-05,3.505585e-05,3.574772e-05,3.863467e-05,3.886564e-05,4.151774e-05,4.266690e-05,4.438381e-05,4.643019e-05,4.722111e-05,5.001918e-05,5.013015e-05,5.276890e-05,5.374542e-05,5.546242e-05,5.725845e-05,5.809306e-05,6.065536e-05,6.314487e-05,6.392554e-05,6.555807e-05,6.706122e-05,6.789231e-05,7.005712e-05,7.014569e-05,7.231697e-05,7.291010e-05,7.440546e-05,7.561873e-05,7.641100e-05,7.818305e-05,7.833384e-05,8.017458e-05,8.060424e-05,8.193414e-05,8.288446e-05,8.361368e-05,8.502657e-05,8.521457e-05,8.673832e-05,8.703396e-05,8.818661e-05,8.891047e-05,8.956119e-05,9.066023e-05,9.086391e-05,9.209669e-05,9.228758e-05,9.326147e-05,9.379698e-05,9.436021e-05,9.519299e-05,9.539490e-05,9.636755e-05,9.648019e-05,9.728013e-05,9.766314e-05,9.813462e-05,9.874638e-05,9.893297e-05,9.967711e-05,9.973436e-05,1.003689e-04,1.006315e-04,1.010103e-04,1.014419e-04,1.016031e-04,1.021491e-04,1.021700e-04,1.026501e-04,1.028197e-04,1.031077e-04,1.033949e-04,1.035236e-04,1.038995e-04,1.042370e-04,1.043372e-04,1.045377e-04,1.047114e-04,1.048029e-04,1.050257e-04,1.050343e-04,1.052332e-04,1.052832e-04,1.054009e-04,1.054872e-04,1.055389e-04,1.056407e-04,1.056485e-04,1.057308e-04,1.057467e-04,1.057872e-04,1.058078e-04,1.058187e-04,1.058268e-04,1.058266e-04,1.058118e-04,1.058063e-04,1.057756e-04,1.057487e-04,1.057190e-04,1.056563e-04,1.056428e-04,1.055482e-04,1.055314e-04,1.054359e-04,1.053760e-04,1.053069e-04,1.051923e-04,1.051622e-04,1.050024e-04,1.049822e-04,1.048284e-04,1.047475e-04,1.046410e-04,1.044900e-04,1.044409e-04,1.042288e-04,1.042114e-04,1.040055e-04,1.039131e-04,1.037715e-04,1.035968e-04,1.035276e-04,1.032743e-04,1.032639e-04,1.030122e-04,1.029158e-04,1.027419e-04,1.025536e-04,1.024639e-04,1.021787e-04,1.017923e-04,1.013953e-04,1.009889e-04,1.005740e-04,1.001516e-04,9.972252e-05,9.928759e-05,9.884760e-05,9.840329e-05,9.795535e-05,9.750442e-05,9.705113e-05,9.659604e-05,9.613969e-05,9.568260e-05,9.522523e-05,9.476803e-05,9.431141e-05,9.385577e-05,9.340145e-05,9.294880e-05,9.249812e-05,9.204971e-05,9.160385e-05
0.000000e+00,2.350113e-10,8.132622e-10,4.849550e-09,1.510447e-08,2.506070e-08,7.250831e-08,7.528056e-08,1.704703e-07,2.072441e-07,3.258921e-07,4.547268e-07,5.577142e-07,8.535237e-07,8.834768e-07,1.321744e-06,1.445702e-06,1.890253e-06,2.270693e-06,2.601964e-06,3.349193e-06,3.459560e-06,4.451279e-06,4.663669e-06,5.551794e-06,6.156271e-06,6.728383e-06,7.751410e-06,7.948273e-06,9.183439e-06,9.380945e-06,1.041215e-05,1.099477e-05,1.161846e-05,1.255959e-05,1.279095e-05,1.392148e-05,1.405403e-05,1.500432e-05,1.546459e-05,1.603549e-05,1.678295e-05,1.701234e-05,1.793329e-05,1.800452e-05,1.879766e-05,1.912756e-05,1.960551e-05,2.015252e-05,2.035751e-05,2.105487e-05,2.108164e-05,2.169919e-05,2.191852e-05,2.229241e-05,2.266773e-05,2.283674e-05,2.333451e-05,2.378821e-05,2.392449e-05,2.420034e-05,2.444346e-05,2.457343e-05,2.489719e-05,2.490998e-05,2.521242e-05,2.529132e-05,2.548311e-05,2.563122e-05,2.572429e-05,2.592196e-05,2.593811e-05,2.612660e-05,2.616828e-05,2.629167e-05,2.637455e-05,2.643510e-05,2.654476e-05,2.655857e-05,2.666363e-05,2.668256e-05,2.675173e-05,2.679128e-05,2.682420e-05,2.687390e-05,2.688228e-05,2.692712e-05,2.693314e-05,2.695978e-05,2.697142e-05,2.698123e-05,2.699092e-05,2.699236e-05,2.699402e-05,2.699362e-05,2.698696e-05,2.698127e-05,2.697188e-05,2.695546e-05,2.694943e-05,2.692021e-05,2.691760e-05,2.688477e-05,2.686897e-05,2.684361e-05,2.681071e-05,2.679721e-05,2.674599e-05,2.674385e-05,2.669035e-05,2.666931e-05,2.663066e-05,2.658794e-05,2.656727e-05,2.650047e-05,2.643057e-05,2.640760e-05,2.635784e-05,2.630992e-05,2.628252e-05,2.620800e-05,2.620485e-05,2.612503e-05,2.610233e-05,2.604328e-05,2.599337e-05,2.595977e-05,2.588154e-05,2.587468e-05,2.578817e-05,2.576721e-05,2.570038e-05,2.565071e-05,2.561145e-05,2.553237e-05,2.552153e-05,2.543071e-05,2.541245e-05,2.533912e-05,2.529123e-05,2.524687e-05,2.516892e-05,2.515404e-05,2.506073e-05,2.504576e-05,2.496703e-05,2.492194e-05,2.487301e-05,2.479763e-05,2.477876e-05,2.468433e-05,2.467299e-05,2.458980e-05,2.454819e-05,2.449522e-05,2.442335e-05,2.440066e-05,2.430616e-05,2.429860e-05,2.421177e-05,2.417406e-05,2.411755e-05,2.404983e-05,2.402353e-05,2.392975e-05,2.392601e-05,2.383626e-05,2.380268e-05,2.374309e-05,2.367994e-05,2.365028e-05,2.355784e-05,2.343646e-05,2.331586e-05,2.319609e-05,2.307721e-05,2.295926e-05,2.284228e-05,2.272631e-05,2.261138e-05,2.249753e-05,2.238477e-05,2.227314e-05,2.216266e-05,2.205335e-05,2.194521e-05,2.183827e-05,2.173254e-05,2.162802e-05,2.152473e-05,2.142267e-05,2.132185e-05,2.122228e-05,2.112394e-05,2.102685e-05,2.093100e-05
0.000000e+00,3.190692e-11,1.218096e-10,8.783905e-10,3.202775e-09,5.758504e-09,2.010760e-08,2.102440e-08,5.579409e-08,7.050281e-08,1.211817e-07,1.802005e-07,2.294880e-07,3.780277e-07,3.935000e-07,6.258934e-07,6.931944e-07,9.385891e-07,1.152697e-06,1.341832e-06,1.777489e-06,1.842938e-06,2.445140e-06,2.577672e-06,3.147087e-06,3.549803e-06,3.943161e-06,4.678052e-06,4.824298e-06,5.778959e-06,5.937666e-06,6.794028e-06,7.298638e-06,7.855555e-06,8.728675e-06,8.949332e-06,1.006135e-05,1.019537e-05,1.117813e-05,1.166773e-05,1.228703e-05,1.311732e-05,1.337641e-05,1.443586e-05,1.451904e-05,1.545624e-05,1.585166e-05,1.642979e-05,1.709814e-05,1.735018e-05,1.821245e-05,1.824567e-05,1.901297e-05,1.928555e-05,1.974938e-05,2.021287e-05,2.042049e-05,2.102614e-05,2.156707e-05,2.172672e-05,2.204478e-05,2.231831e-05,2.246143e-05,2.280644e-05,2.281968e-05,2.312256e-05,2.319789e-05,2.337338e-05,2.350033e-05,2.357562e-05,2.372184e-05,2.373285e-05,2.384863e-05,2.387065e-05,2.392652e-05,2.395486e-05,2.396993e-05,2.398225e-05,2.398218e-05,2.396641e-05,2.396016e-05,2.392558e-05,2.389537e-05,2.386246e-05,2.379411e-05,2.377964e-05,2.367947e-05,2.366199e-05,2.356415e-05,2.350401e-05,2.343567e-05,2.332462e-05,2.329582e-05,2.314625e-05,2.312772e-05,2.298843e-05,2.291672e-05,2.282368e-05,2.269458e-05,2.265320e-05,2.247803e-05,2.246385e-05,2.229913e-05,2.222671e-05,2.211732e-05,2.198503e-05,2.193334e-05,2.174785e-05,2.174040e-05,2.156142e-05,2.149418e-05,2.137457e-05,2.124749e-05,2.118773e-05,2.100129e-05,2.081560e-05,2.075639e-05,2.063096e-05,2.051345e-05,2.044761e-05,2.027302e-05,2.026578e-05,2.008567e-05,2.003557e-05,1.990743e-05,1.980145e-05,1.973122e-05,1.957099e-05,1.955714e-05,1.938531e-05,1.934441e-05,1.921579e-05,1.912190e-05,1.904867e-05,1.890362e-05,1.888399e-05,1.872181e-05,1.868967e-05,1.856215e-05,1.848014e-05,1.840505e-05,1.827506e-05,1.825051e-05,1.809855e-05,1.807448e-05,1.794918e-05,1.787839e-05,1.780238e-05,1.768680e-05,1.765816e-05,1.751649e-05,1.749967e-05,1.737738e-05,1.731697e-05,1.724079e-05,1.713866e-05,1.710670e-05,1.697510e-05,1.696468e-05,1.684596e-05,1.679498e-05,1.671924e-05,1.662949e-05,1.659492e-05,1.647297e-05,1.646814e-05,1.635335e-05,1.631085e-05,1.623603e-05,1.615755e-05,1.612098e-05,1.600816e-05,1.586259e-05,1.572076e-05,1.558260e-05,1.544801e-05,1.531690e-05,1.518921e-05,1.506483e-05,1.494369e-05,1.482570e-05,1.471079e-05,1.459887e-05,1.448986e-05,1.438369e-05,1.428027e-05,1.417954e-05,1.408142e-05,1.398583e-05,1.389270e-05,1.380197e-05,1.371357e-05,1.362743e-05,1.354348e-05,1.346168e-05,1.338194e-05
0.000000e+00,8.571301e-11,3.206227e-10,2.220568e-09,7.822658e-09,1.381609e-08,4.624318e-08,4.827434e-08,1.236110e-07,1.548662e-07,2.611329e-07,3.833240e-07,4.846907e-07,7.885734e-07,8.201590e-07,1.293994e-06,1.431037e-06,1.929583e-06,2.362362e-06,2.742397e-06,3.608444e-06,3.737384e-06,4.910007e-06,5.164952e-06,6.249169e-06,7.006510e-06,7.740024e-06,9.097389e-06,9.365884e-06,1.110929e-05,1.139796e-05,1.295256e-05,1.386764e-05,1.487813e-05,1.646622e-05,1.686873e-05,1.890767e-05,1.915482e-05,2.097900e-05,2.189675e-05,2.306776e-05,2.465833e-05,2.516014e-05,2.724363e-05,2.740959e-05,2.930711e-05,3.012467e-05,3.134085e-05,3.278200e-05,3.333653e-05,3.528719e-05,3.536419e-05,3.718712e-05,3.785777e-05,3.903178e-05,4.025275e-05,4.081767e-05,4.254225e-05,4.420375e-05,4.472192e-05,4.580113e-05,4.678956e-05,4.733392e-05,4.874467e-05,4.880217e-05,5.020631e-05,5.058809e-05,5.154715e-05,5.232170e-05,5.282575e-05,5.394816e-05,5.404336e-05,5.520143e-05,5.547068e-05,5.630152e-05,5.689286e-05,5.734528e-05,5.821857e-05,5.833444e-05,5.927074e-05,5.945181e-05,6.015596e-05,6.059668e-05,6.099188e-05,6.165726e-05,6.178028e-05,6.252292e-05,6.263761e-05,6.322153e-05,6.354173e-05,6.387782e-05,6.437351e-05,6.449346e-05,6.507008e-05,6.513673e-05,6.560927e-05,6.583505e-05,6.611257e-05,6.647201e-05,6.658149e-05,6.701749e-05,6.705099e-05,6.742197e-05,6.757524e-05,6.779630e-05,6.804789e-05,6.814180e-05,6.845974e-05,6.847190e-05,6.875135e-05,6.885011e-05,6.901782e-05,6.918524e-05,6.926028e-05,6.947984e-05,6.967756e-05,6.973639e-05,6.985446e-05,6.995719e-05,7.001151e-05,7.014448e-05,7.014965e-05,7.026980e-05,7.030033e-05,7.037281e-05,7.042675e-05,7.045953e-05,7.052561e-05,7.053076e-05,7.058725e-05,7.059871e-05,7.062976e-05,7.064773e-05,7.065899e-05,7.067427e-05,7.067562e-05,7.068029e-05,7.067985e-05,7.067363e-05,7.066589e-05,7.065624e-05,7.063376e-05,7.062869e-05,7.059153e-05,7.058472e-05,7.054527e-05,7.051999e-05,7.049043e-05,7.044069e-05,7.042747e-05,7.035687e-05,7.034791e-05,7.027907e-05,7.024266e-05,7.019447e-05,7.012589e-05,7.010349e-05,7.000651e-05,6.999850e-05,6.990390e-05,6.986135e-05,6.979600e-05,6.971523e-05,6.968316e-05,6.956569e-05,6.956090e-05,6.944391e-05,6.939907e-05,6.931810e-05,6.923040e-05,6.918855e-05,6.905551e-05,6.887501e-05,6.868944e-05,6.849933e-05,6.830516e-05,6.810740e-05,6.790647e-05,6.770278e-05,6.749671e-05,6.728862e-05,6.707883e-05,6.686766e-05,6.665540e-05,6.644232e-05,6.622868e-05,6.601472e-05,6.580065e-05,6.558668e-05,6.537300e-05,6.515980e-05,6.494724e-05,6.473547e-05,6.452463e-05,6.431487e-05,6.410630e-05
0.000000e+00,1.365769e-10,4.688462e-10,2.755213e-09,8.488151e-09,1.401261e-08,4.015174e-08,4.167473e-08,9.393621e-08,1.141459e-07,1.794587e-07,2.503634e-07,3.067634e-07,4.655145e-07,4.812302e-07,7.021926e-07,7.616084e-07,9.644482e-07,1.126967e-06,1.261653e-06,1.547466e-06,1.587989e-06,1.938257e-06,2.010749e-06,2.307544e-06,2.505476e-06,2.690991e-06,3.020486e-06,3.083758e-06,3.481105e-06,3.544800e-06,3.878526e-06,4.068085e-06,4.271892e-06,4.581196e-06,4.657555e-06,5.032424e-06,5.076558e-06,5.393993e-06,5.548355e-06,5.740339e-06,5.992516e-06,6.070087e-06,6.382355e-06,6.406566e-06,6.676692e-06,6.789375e-06,6.953006e-06,7.140896e-06,7.211500e-06,7.452603e-06,7.461893e-06,7.676917e-06,7.753697e-06,7.885165e-06,8.018002e-06,8.078146e-06,8.256710e-06,8.421719e-06,8.471800e-06,8.574035e-06,8.665247e-06,8.714502e-06,8.838958e-06,8.843934e-06,8.963106e-06,8.994737e-06,9.072753e-06,9.134258e-06,9.173564e-06,9.259061e-06,9.266183e-06,9.351210e-06,9.370549e-06,9.429199e-06,9.469992e-06,9.500664e-06,9.558534e-06,9.566079e-06,9.625881e-06,9.637203e-06,9.680469e-06,9.706919e-06,9.730215e-06,9.768508e-06,9.775457e-06,9.816509e-06,9.822708e-06,9.853657e-06,9.870180e-06,9.887166e-06,9.911517e-06,9.917279e-06,9.944221e-06,9.947251e-06,9.968199e-06,9.977861e-06,9.989405e-06,1.000378e-05,1.000801e-05,1.002419e-05,1.002538e-05,1.003809e-05,1.004304e-05,1.004984e-05,1.005705e-05,1.005958e-05,1.006744e-05,1.006772e-05,1.007352e-05,1.007529e-05,1.007793e-05,1.008002e-05,1.008076e-05,1.008212e-05,1.008208e-05,1.008178e-05,1.008072e-05,1.007920e-05,1.007813e-05,1.007453e-05,1.007436e-05,1.006950e-05,1.006795e-05,1.006359e-05,1.005958e-05,1.005671e-05,1.004956e-05,1.004890e-05,1.004022e-05,1.003801e-05,1.003071e-05,1.002505e-05,1.002043e-05,1.001078e-05,1.000942e-05,9.997719e-06,9.995300e-06,9.985369e-06,9.978703e-06,9.972408e-06,9.961073e-06,9.958870e-06,9.944790e-06,9.942489e-06,9.930200e-06,9.923026e-06,9.915132e-06,9.902752e-06,9.899613e-06,9.883673e-06,9.881733e-06,9.867337e-06,9.860031e-06,9.850631e-06,9.837702e-06,9.833579e-06,9.816203e-06,9.814800e-06,9.798526e-06,9.791376e-06,9.780568e-06,9.767476e-06,9.762350e-06,9.743890e-06,9.743147e-06,9.725206e-06,9.718428e-06,9.706316e-06,9.693361e-06,9.687236e-06,9.667982e-06,9.642325e-06,9.616425e-06,9.590311e-06,9.564014e-06,9.537560e-06,9.510976e-06,9.484285e-06,9.457512e-06,9.430677e-06,9.403801e-06,9.376903e-06,9.350001e-06,9.323112e-06,9.296253e-06,9.269438e-06,9.242681e-06,9.215996e-06,9.189395e-06,9.162891e-06,9.136492e-06,9.110211e-06,9.084057e-06,9.058038e-06,9.032164e-06
0.000000e+00,7.338137e-10,1.909302e-09,7.522830e-09,1.822337e-08,2.721058e-08,6.435380e-08,6.637900e-08,1.319233e-07,1.560209e-07,2.314705e-07,3.109626e-07,3.733177e-07,5.481738e-07,5.655737e-07,8.142056e-07,8.825114e-07,1.120059e-06,1.314124e-06,1.476345e-06,1.820869e-06,1.869454e-06,2.283548e-06,2.367621e-06,2.705025e-06,2.923714e-06,3.124085e-06,3.469391e-06,3.534216e-06,3.931179e-06,3.993272e-06,4.312223e-06,4.488924e-06,4.675588e-06,4.952823e-06,5.020217e-06,5.345575e-06,5.383313e-06,5.651529e-06,5.780038e-06,5.938258e-06,6.143565e-06,6.206180e-06,6.455890e-06,6.475101e-06,6.688110e-06,6.776280e-06,6.903647e-06,7.048985e-06,7.103359e-06,7.288127e-06,7.295220e-06,7.458834e-06,7.517015e-06,7.616351e-06,7.716362e-06,7.761525e-06,7.895167e-06,8.018056e-06,8.055231e-06,8.130927e-06,8.198228e-06,8.234472e-06,8.325708e-06,8.329344e-06,8.416152e-06,8.439092e-06,8.495465e-06,8.539678e-06,8.567814e-06,8.628651e-06,8.633694e-06,8.693564e-06,8.707086e-06,8.747850e-06,8.775960e-06,8.796948e-06,8.836155e-06,8.841226e-06,8.881024e-06,8.888474e-06,8.916659e-06,8.933641e-06,8.948423e-06,8.972313e-06,8.976588e-06,9.001406e-06,9.005082e-06,9.023110e-06,9.032487e-06,9.041919e-06,9.055016e-06,9.058032e-06,9.071637e-06,9.073110e-06,9.082908e-06,9.087169e-06,9.092005e-06,9.097557e-06,9.099077e-06,9.104263e-06,9.104601e-06,9.107694e-06,9.108601e-06,9.109488e-06,9.109831e-06,9.109759e-06,9.108611e-06,9.108537e-06,9.106142e-06,9.104947e-06,9.102441e-06,9.099265e-06,9.097595e-06,9.091681e-06,9.084774e-06,9.082366e-06,9.076943e-06,9.071477e-06,9.068253e-06,9.059158e-06,9.058764e-06,9.048533e-06,9.045543e-06,9.037613e-06,9.030751e-06,9.026053e-06,9.014894e-06,9.013901e-06,9.001200e-06,8.998075e-06,8.987991e-06,8.980387e-06,8.974313e-06,8.961916e-06,8.960201e-06,8.945690e-06,8.942743e-06,8.930812e-06,8.922940e-06,8.915597e-06,8.902576e-06,8.900073e-06,8.884267e-06,8.881714e-06,8.868204e-06,8.860410e-06,8.851908e-06,8.838719e-06,8.835402e-06,8.818705e-06,8.816690e-06,8.801838e-06,8.794368e-06,8.784820e-06,8.771797e-06,8.767669e-06,8.750400e-06,8.749014e-06,8.733031e-06,8.726058e-06,8.715575e-06,8.702961e-06,8.698046e-06,8.680459e-06,8.679754e-06,8.662825e-06,8.656467e-06,8.645156e-06,8.633127e-06,8.627463e-06,8.609757e-06,8.586382e-06,8.563023e-06,8.539699e-06,8.516429e-06,8.493230e-06,8.470118e-06,8.447106e-06,8.424209e-06,8.401439e-06,8.378807e-06,8.356324e-06,8.334000e-06,8.311844e-06,8.289863e-06,8.268065e-06,8.246457e-06,8.225045e-06,8.203835e-06,8.182832e-06,8.162040e-06,8.141464e-06,8.121106e-06,8.100972e-06,8.081062e-06
0.000000e+00,2.319581e-10,7.863441e-10,4.521182e-09,1.371483e-08,2.248566e-08,6.358968e-08,6.597508e-08,1.476828e-07,1.792889e-07,2.817786e-07,3.940303e-07,4.843411e-07,7.446300e-07,7.709173e-07,1.149730e-06,1.254143e-06,1.616530e-06,1.911595e-06,2.158136e-06,2.684787e-06,2.759698e-06,3.408687e-06,3.543274e-06,4.095284e-06,4.464474e-06,4.811482e-06,5.430769e-06,5.550199e-06,6.304744e-06,6.426503e-06,7.068612e-06,7.436714e-06,7.835475e-06,8.447026e-06,8.599255e-06,9.354251e-06,9.444007e-06,1.009526e-05,1.041567e-05,1.081769e-05,1.135184e-05,1.151758e-05,1.219170e-05,1.224444e-05,1.283750e-05,1.308744e-05,1.345307e-05,1.387681e-05,1.403712e-05,1.458896e-05,1.461036e-05,1.510839e-05,1.528748e-05,1.559562e-05,1.590881e-05,1.605120e-05,1.647594e-05,1.687094e-05,1.699125e-05,1.723739e-05,1.745753e-05,1.757658e-05,1.787780e-05,1.788985e-05,1.817862e-05,1.825528e-05,1.844430e-05,1.859320e-05,1.868828e-05,1.889476e-05,1.891194e-05,1.911661e-05,1.916304e-05,1.930354e-05,1.940092e-05,1.947393e-05,1.961110e-05,1.962893e-05,1.976960e-05,1.979611e-05,1.989696e-05,1.995825e-05,2.001196e-05,2.009963e-05,2.011545e-05,2.020828e-05,2.022219e-05,2.029119e-05,2.032767e-05,2.036489e-05,2.041767e-05,2.043005e-05,2.048726e-05,2.049362e-05,2.053709e-05,2.055681e-05,2.058005e-05,2.060841e-05,2.061663e-05,2.064727e-05,2.064948e-05,2.067239e-05,2.068097e-05,2.069236e-05,2.070375e-05,2.070753e-05,2.071824e-05,2.071858e-05,2.072478e-05,2.072617e-05,2.072744e-05,2.072717e-05,2.072648e-05,2.072214e-05,2.071465e-05,2.071162e-05,2.070421e-05,2.069608e-05,2.069103e-05,2.067596e-05,2.067528e-05,2.065714e-05,2.065165e-05,2.063676e-05,2.062353e-05,2.061430e-05,2.059191e-05,2.058989e-05,2.056366e-05,2.055711e-05,2.053573e-05,2.051940e-05,2.050623e-05,2.047904e-05,2.047525e-05,2.044289e-05,2.043627e-05,2.040926e-05,2.039130e-05,2.037445e-05,2.034434e-05,2.033852e-05,2.030157e-05,2.029557e-05,2.026367e-05,2.024516e-05,2.022489e-05,2.019328e-05,2.018530e-05,2.014495e-05,2.014006e-05,2.010392e-05,2.008566e-05,2.006224e-05,2.003018e-05,2.001999e-05,1.997721e-05,1.997376e-05,1.993394e-05,1.991650e-05,1.989023e-05,1.985851e-05,1.984612e-05,1.980166e-05,1.979987e-05,1.975688e-05,1.974069e-05,1.971182e-05,1.968104e-05,1.966651e-05,1.962099e-05,1.956062e-05,1.950001e-05,1.943920e-05,1.937826e-05,1.931725e-05,1.925621e-05,1.919519e-05,1.913424e-05,1.907340e-05,1.901270e-05,1.895219e-05,1.889189e-05,1.883184e-05,1.877207e-05,1.871260e-05,1.865345e-05,1.859466e-05,1.853625e-05,1.847822e-05,1.842061e-05,1.836342e-05,1.830668e-05,1.825039e-05,1.819458e-05
0.000000e+00,5.870800e-10,1.897571e-09,1.007263e-08,2.890633e-08,4.620919e-08,1.237837e-07,1.281740e-07,2.741450e-07,3.288384e-07,5.012234e-07,6.831934e-07,8.256633e-07,1.223500e-06,1.262991e-06,1.827700e-06,1.983622e-06,2.532053e-06,2.990653e-06,3.383865e-06,4.256662e-06,4.384473e-06,5.528788e-06,5.774116e-06,6.807412e-06,7.521625e-06,8.208936e-06,9.472319e-06,9.721215e-06,1.133179e-05,1.159776e-05,1.302797e-05,1.386877e-05,1.479686e-05,1.625559e-05,1.662546e-05,1.850081e-05,1.872838e-05,2.041018e-05,2.125790e-05,2.234130e-05,2.381630e-05,2.428251e-05,2.622291e-05,2.637780e-05,2.815249e-05,2.891924e-05,3.006222e-05,3.142038e-05,3.194406e-05,3.379099e-05,3.386405e-05,3.559697e-05,3.623609e-05,3.735692e-05,3.852522e-05,3.906665e-05,4.072278e-05,4.232270e-05,4.282247e-05,4.386447e-05,4.482003e-05,4.534673e-05,4.671297e-05,4.676868e-05,4.812994e-05,4.850022e-05,4.943056e-05,5.018196e-05,5.067090e-05,5.175932e-05,5.185160e-05,5.297357e-05,5.323422e-05,5.403788e-05,5.460916e-05,5.504576e-05,5.588709e-05,5.599857e-05,5.689778e-05,5.707132e-05,5.774491e-05,5.816536e-05,5.854155e-05,5.917289e-05,5.928932e-05,5.998987e-05,6.009769e-05,6.064485e-05,6.094353e-05,6.125591e-05,6.171423e-05,6.182469e-05,6.235282e-05,6.241354e-05,6.284191e-05,6.304515e-05,6.329353e-05,6.361266e-05,6.370923e-05,6.409053e-05,6.411959e-05,6.443889e-05,6.456934e-05,6.475576e-05,6.496520e-05,6.504255e-05,6.530060e-05,6.531034e-05,6.553125e-05,6.560782e-05,6.573577e-05,6.586055e-05,6.591540e-05,6.607134e-05,6.620475e-05,6.624286e-05,6.631674e-05,6.637767e-05,6.640839e-05,6.647821e-05,6.648075e-05,6.653481e-05,6.654681e-05,6.657155e-05,6.658566e-05,6.659188e-05,6.659686e-05,6.659670e-05,6.658687e-05,6.658242e-05,6.656321e-05,6.654422e-05,6.652652e-05,6.648405e-05,6.647755e-05,6.641704e-05,6.640361e-05,6.634567e-05,6.630450e-05,6.626413e-05,6.618824e-05,6.617305e-05,6.607304e-05,6.605625e-05,6.596470e-05,6.590990e-05,6.584858e-05,6.575045e-05,6.572522e-05,6.559514e-05,6.557910e-05,6.545883e-05,6.539700e-05,6.531675e-05,6.520518e-05,6.516935e-05,6.501705e-05,6.500467e-05,6.486027e-05,6.479639e-05,6.469939e-05,6.458122e-05,6.453478e-05,6.436678e-05,6.436000e-05,6.419574e-05,6.413348e-05,6.402197e-05,6.390241e-05,6.384578e-05,6.366744e-05,6.342921e-05,6.318832e-05,6.294530e-05,6.270067e-05,6.245490e-05,6.220844e-05,6.196168e-05,6.171501e-05,6.146878e-05,6.122331e-05,6.097889e-05,6.073580e-05,6.049429e-05,6.025458e-05,6.001689e-05,5.978140e-05,5.954829e-05,5.931771e-05,5.908979e-05,5.886467e-05,5.864246e-05,5.842325e-05,5.820713e-05,5.799418e-05
0.000000e+00,1.594541e-10,5.753979e-10,3.714495e-09,1.233505e-08,2.113383e-08,6.583507e-08,6.854018e-08,1.650289e-07,2.036437e-07,3.314543e-07,4.741374e-07,5.902267e-07,9.303171e-07,9.651602e-07,1.480297e-06,1.627252e-06,2.156507e-06,2.610498e-06,3.005591e-06,3.894033e-06,4.024875e-06,5.197094e-06,5.447654e-06,6.495965e-06,7.211903e-06,7.892944e-06,9.122743e-06,9.361544e-06,1.087889e-05,1.112485e-05,1.242564e-05,1.317362e-05,1.398542e-05,1.523313e-05,1.554420e-05,1.708989e-05,1.727399e-05,1.861213e-05,1.927215e-05,2.010209e-05,2.120832e-05,2.155245e-05,2.295725e-05,2.306751e-05,2.431178e-05,2.483870e-05,2.561255e-05,2.651438e-05,2.685707e-05,2.804377e-05,2.809002e-05,2.917187e-05,2.956360e-05,3.024123e-05,3.093504e-05,3.125226e-05,3.220582e-05,3.310308e-05,3.337855e-05,3.394551e-05,3.445664e-05,3.473476e-05,3.544408e-05,3.547263e-05,3.616102e-05,3.634516e-05,3.680187e-05,3.716439e-05,3.739718e-05,3.790633e-05,3.794891e-05,3.845905e-05,3.857551e-05,3.892952e-05,3.917637e-05,3.936223e-05,3.971324e-05,3.975902e-05,4.012169e-05,4.019029e-05,4.045198e-05,4.061149e-05,4.075155e-05,4.098064e-05,4.102202e-05,4.126494e-05,4.130135e-05,4.148178e-05,4.157702e-05,4.167396e-05,4.181087e-05,4.184285e-05,4.198973e-05,4.200594e-05,4.211585e-05,4.216507e-05,4.222239e-05,4.229095e-05,4.231047e-05,4.238115e-05,4.238609e-05,4.243547e-05,4.245284e-05,4.247439e-05,4.249340e-05,4.249884e-05,4.250968e-05,4.250984e-05,4.250775e-05,4.250409e-05,4.249385e-05,4.247794e-05,4.246872e-05,4.243308e-05,4.238759e-05,4.237107e-05,4.233291e-05,4.229337e-05,4.226964e-05,4.220136e-05,4.219836e-05,4.211961e-05,4.209629e-05,4.203391e-05,4.197936e-05,4.194175e-05,4.185166e-05,4.184360e-05,4.173989e-05,4.171422e-05,4.163104e-05,4.156799e-05,4.151744e-05,4.141385e-05,4.139947e-05,4.127748e-05,4.125263e-05,4.115181e-05,4.108510e-05,4.102275e-05,4.091196e-05,4.089062e-05,4.075570e-05,4.073387e-05,4.061824e-05,4.055144e-05,4.047851e-05,4.036524e-05,4.033673e-05,4.019313e-05,4.017579e-05,4.004792e-05,3.998357e-05,3.990131e-05,3.978905e-05,3.975347e-05,3.960458e-05,3.959263e-05,3.945481e-05,3.939470e-05,3.930432e-05,3.919560e-05,3.915325e-05,3.900174e-05,3.899568e-05,3.884993e-05,3.879522e-05,3.869792e-05,3.859451e-05,3.854585e-05,3.839381e-05,3.819334e-05,3.799333e-05,3.779396e-05,3.759543e-05,3.739790e-05,3.720152e-05,3.700642e-05,3.681273e-05,3.662057e-05,3.643004e-05,3.624122e-05,3.605420e-05,3.586906e-05,3.568587e-05,3.550467e-05,3.532553e-05,3.514848e-05,3.497357e-05,3.480083e-05,3.463030e-05,3.446198e-05,3.429591e-05,3.413210e-05,3.397055e-05
0.000000e+00,1.845788e-10,7.017282e-10,5.021727e-09,1.820900e-08,3.266296e-08,1.136926e-07,1.188730e-07,3.161582e-07,4.001711e-07,6.922874e-07,1.037493e-06,1.329643e-06,2.228592e-06,2.323625e-06,3.774912e-06,4.201715e-06,5.773108e-06,7.155482e-06,8.380143e-06,1.120073e-05,1.162372e-05,1.550088e-05,1.635039e-05,1.998589e-05,2.254518e-05,2.503788e-05,2.968316e-05,3.060663e-05,3.663628e-05,3.763988e-05,4.306770e-05,4.627963e-05,4.983993e-05,5.546167e-05,5.689131e-05,6.416029e-05,6.504429e-05,7.158630e-05,7.488828e-05,7.911062e-05,8.486023e-05,8.667716e-05,9.423324e-05,9.483579e-05,1.017302e-04,1.047023e-04,1.091238e-04,1.143609e-04,1.163747e-04,1.234485e-04,1.237273e-04,1.303158e-04,1.327326e-04,1.369522e-04,1.413227e-04,1.433377e-04,1.494571e-04,1.552987e-04,1.571081e-04,1.608550e-04,1.642590e-04,1.661213e-04,1.709025e-04,1.710959e-04,1.757797e-04,1.770393e-04,1.801754e-04,1.826764e-04,1.842876e-04,1.878257e-04,1.881224e-04,1.916869e-04,1.925030e-04,1.949891e-04,1.967270e-04,1.980378e-04,2.005184e-04,2.008423e-04,2.034122e-04,2.038989e-04,2.057572e-04,2.068911e-04,2.078873e-04,2.095177e-04,2.098123e-04,2.115421e-04,2.118013e-04,2.130862e-04,2.137643e-04,2.144543e-04,2.154282e-04,2.156556e-04,2.166990e-04,2.168140e-04,2.175932e-04,2.179417e-04,2.183468e-04,2.188305e-04,2.189679e-04,2.194642e-04,2.194987e-04,2.198432e-04,2.199636e-04,2.201122e-04,2.202416e-04,2.202780e-04,2.203471e-04,2.203480e-04,2.203260e-04,2.202974e-04,2.202204e-04,2.201033e-04,2.200362e-04,2.197787e-04,2.194530e-04,2.193353e-04,2.190642e-04,2.187843e-04,2.186167e-04,2.181361e-04,2.181151e-04,2.175634e-04,2.174005e-04,2.169657e-04,2.165865e-04,2.163256e-04,2.157023e-04,2.156467e-04,2.149323e-04,2.147559e-04,2.141856e-04,2.137545e-04,2.134096e-04,2.127046e-04,2.126070e-04,2.117805e-04,2.116126e-04,2.109327e-04,2.104841e-04,2.100657e-04,2.093244e-04,2.091820e-04,2.082834e-04,2.081384e-04,2.073721e-04,2.069306e-04,2.064497e-04,2.057051e-04,2.055181e-04,2.045788e-04,2.044656e-04,2.036333e-04,2.032157e-04,2.026831e-04,2.019586e-04,2.017294e-04,2.007735e-04,2.006970e-04,1.998166e-04,1.994338e-04,1.988596e-04,1.981712e-04,1.979037e-04,1.969496e-04,1.969115e-04,1.959984e-04,1.956568e-04,1.950507e-04,1.944087e-04,1.941073e-04,1.931689e-04,1.919389e-04,1.907200e-04,1.895133e-04,1.883199e-04,1.871408e-04,1.859766e-04,1.848282e-04,1.836962e-04,1.825810e-04,1.814832e-04,1.804030e-04,1.793409e-04,1.782970e-04,1.772716e-04,1.762647e-04,1.752765e-04,1.743070e-04,1.733563e-04,1.724242e-04,1.715108e-04,1.706159e-04,1.697395e-04,1.688813e-04,1.680413e-04
0.000000e+00,4.325904e-09,1.051337e-08,3.861773e-08,9.104679e-08,1.349988e-07,3.188603e-07,3.290154e-07,6.652958e-07,7.924621e-07,1.200982e-06,1.644071e-06,1.996780e-06,2.987024e-06,3.084593e-06,4.443426e-06,4.804511e-06,6.024840e-06,6.991013e-06,7.785668e-06,9.459081e-06,9.695309e-06,1.173149e-05,1.215226e-05,1.387585e-05,1.502800e-05,1.611135e-05,1.804731e-05,1.842118e-05,2.078840e-05,2.117135e-05,2.319619e-05,2.436148e-05,2.562808e-05,2.758031e-05,2.806829e-05,3.050205e-05,3.079302e-05,3.291586e-05,3.396845e-05,3.529764e-05,3.707984e-05,3.763686e-05,3.992449e-05,4.010504e-05,4.215292e-05,4.302628e-05,4.431593e-05,4.583005e-05,4.640873e-05,4.842781e-05,4.850700e-05,5.037059e-05,5.105097e-05,5.223540e-05,5.345848e-05,5.402140e-05,5.572838e-05,5.735667e-05,5.786123e-05,5.890708e-05,5.985899e-05,6.038077e-05,6.172468e-05,6.177919e-05,6.310409e-05,6.346212e-05,6.435719e-05,6.507528e-05,6.554019e-05,6.656860e-05,6.665539e-05,6.770518e-05,6.794763e-05,6.869165e-05,6.921725e-05,6.961707e-05,7.038271e-05,7.048366e-05,7.129354e-05,7.144891e-05,7.204891e-05,7.242087e-05,7.275189e-05,7.330344e-05,7.340456e-05,7.400895e-05,7.410130e-05,7.456705e-05,7.481908e-05,7.508084e-05,7.546125e-05,7.555222e-05,7.598302e-05,7.603207e-05,7.637501e-05,7.653564e-05,7.672992e-05,7.697586e-05,7.704939e-05,7.733505e-05,7.735649e-05,7.758845e-05,7.768111e-05,7.781109e-05,7.795317e-05,7.800443e-05,7.816986e-05,7.817592e-05,7.830873e-05,7.835247e-05,7.842231e-05,7.848574e-05,7.851185e-05,7.857853e-05,7.862351e-05,7.863350e-05,7.864788e-05,7.865316e-05,7.865271e-05,7.863989e-05,7.863900e-05,7.860773e-05,7.859595e-05,7.855982e-05,7.852347e-05,7.849618e-05,7.842446e-05,7.841765e-05,7.832506e-05,7.830083e-05,7.821919e-05,7.815439e-05,7.810080e-05,7.798683e-05,7.797060e-05,7.782929e-05,7.779975e-05,7.767753e-05,7.759469e-05,7.751594e-05,7.737305e-05,7.734513e-05,7.716568e-05,7.713620e-05,7.697813e-05,7.688539e-05,7.678302e-05,7.662181e-05,7.658084e-05,7.637207e-05,7.634660e-05,7.615718e-05,7.606080e-05,7.593660e-05,7.576541e-05,7.571075e-05,7.548002e-05,7.546137e-05,7.524480e-05,7.514954e-05,7.500545e-05,7.483075e-05,7.476231e-05,7.451572e-05,7.450578e-05,7.426597e-05,7.417535e-05,7.401338e-05,7.384014e-05,7.375823e-05,7.350078e-05,7.315787e-05,7.281197e-05,7.246360e-05,7.211325e-05,7.176136e-05,7.140838e-05,7.105468e-05,7.070065e-05,7.034662e-05,6.999291e-05,6.963983e-05,6.928764e-05,6.893661e-05,6.858696e-05,6.823892e-05,6.789269e-05,6.754845e-05,6.720638e-05,6.686663e-05,6.652934e-05,6.619465e-05,6.586268e-05,6.553354e-05,6.520732e-05
0.000000e+00,2.739831e-11,1.070569e-10,8.104043e-10,3.089747e-09,5.693923e-09,2.119875e-08,2.222345e-08,6.288480e-08,8.086596e-08,1.452571e-07,2.238520e-07,2.917947e-07,5.063282e-07,5.293887e-07,8.887865e-07,9.968755e-07,1.403851e-06,1.773631e-06,2.110516e-06,2.919886e-06,3.045292e-06,4.243423e-06,4.517555e-06,5.737083e-06,6.639982e-06,7.553972e-06,9.346439e-06,9.716395e-06,1.224075e-05,1.267900e-05,1.513729e-05,1.666127e-05,1.841012e-05,2.129822e-05,2.205732e-05,2.607114e-05,2.657687e-05,3.043841e-05,3.246746e-05,3.514091e-05,3.892518e-05,4.015591e-05,4.545673e-05,4.589226e-05,5.101336e-05,5.330039e-05,5.679312e-05,6.107331e-05,6.276134e-05,6.888201e-05,6.912949e-05,7.511844e-05,7.738480e-05,8.143386e-05,8.575493e-05,8.779201e-05,9.415760e-05,1.004968e-04,1.025145e-04,1.067776e-04,1.107527e-04,1.129701e-04,1.188062e-04,1.190467e-04,1.249825e-04,1.266161e-04,1.307550e-04,1.341318e-04,1.363446e-04,1.413107e-04,1.417341e-04,1.469094e-04,1.481182e-04,1.518585e-04,1.545277e-04,1.565722e-04,1.605198e-04,1.610433e-04,1.652672e-04,1.660820e-04,1.692409e-04,1.712080e-04,1.729635e-04,1.758969e-04,1.764357e-04,1.796597e-04,1.801527e-04,1.826390e-04,1.839835e-04,1.853783e-04,1.874007e-04,1.878833e-04,1.901604e-04,1.904187e-04,1.922170e-04,1.930540e-04,1.940608e-04,1.953249e-04,1.957001e-04,1.971434e-04,1.972507e-04,1.983996e-04,1.988517e-04,1.994777e-04,2.001486e-04,2.003866e-04,2.011355e-04,2.011623e-04,2.017334e-04,2.019133e-04,2.021890e-04,2.024221e-04,2.025112e-04,2.027084e-04,2.027888e-04,2.027912e-04,2.027605e-04,2.026890e-04,2.026313e-04,2.024192e-04,2.024086e-04,2.020995e-04,2.019984e-04,2.017109e-04,2.014423e-04,2.012493e-04,2.007654e-04,2.007209e-04,2.001316e-04,1.999817e-04,1.994869e-04,1.991038e-04,1.987923e-04,1.981436e-04,1.980526e-04,1.972726e-04,1.971121e-04,1.964566e-04,1.960194e-04,1.956087e-04,1.948748e-04,1.947329e-04,1.938328e-04,1.936868e-04,1.929117e-04,1.924631e-04,1.919728e-04,1.912108e-04,1.910190e-04,1.900529e-04,1.899363e-04,1.890773e-04,1.886455e-04,1.880942e-04,1.873435e-04,1.871059e-04,1.861144e-04,1.860350e-04,1.851215e-04,1.847243e-04,1.841288e-04,1.834151e-04,1.831380e-04,1.821502e-04,1.821108e-04,1.811670e-04,1.808143e-04,1.801893e-04,1.795283e-04,1.792183e-04,1.782549e-04,1.769963e-04,1.757542e-04,1.745301e-04,1.733251e-04,1.721405e-04,1.709771e-04,1.698356e-04,1.687166e-04,1.676207e-04,1.665480e-04,1.654989e-04,1.644734e-04,1.634718e-04,1.624938e-04,1.615395e-04,1.606088e-04,1.597013e-04,1.588170e-04,1.579555e-04,1.571164e-04,1.562996e-04,1.555047e-04,1.547311e-04,1.539787e-04
0.000000e+00,4.228698e-09,1.025756e-08,3.796768e-08,9.136041e-08,1.378194e-07,3.474621e-07,3.596917e-07,7.930605e-07,9.665676e-07,1.531923e-06,2.128717e-06,2.581557e-06,3.757075e-06,3.866804e-06,5.321940e-06,5.691948e-06,6.910358e-06,7.850119e-06,8.611540e-06,1.019031e-05,1.041100e-05,1.229558e-05,1.268152e-05,1.425159e-05,1.529211e-05,1.626440e-05,1.798787e-05,1.831870e-05,2.039902e-05,2.073326e-05,2.249017e-05,2.349351e-05,2.457780e-05,2.623646e-05,2.664872e-05,2.869120e-05,2.893389e-05,3.069506e-05,3.156225e-05,3.265172e-05,3.410280e-05,3.455410e-05,3.639661e-05,3.654129e-05,3.817505e-05,3.886777e-05,3.988638e-05,4.107582e-05,4.152859e-05,4.310054e-05,4.316195e-05,4.460182e-05,4.512500e-05,4.603262e-05,4.696563e-05,4.739361e-05,4.868588e-05,4.991082e-05,5.028886e-05,5.107012e-05,5.177837e-05,5.216542e-05,5.315849e-05,5.319865e-05,5.417179e-05,5.443378e-05,5.508689e-05,5.560896e-05,5.594604e-05,5.668881e-05,5.675130e-05,5.750475e-05,5.767809e-05,5.820843e-05,5.858152e-05,5.886438e-05,5.940372e-05,5.947459e-05,6.004100e-05,6.014919e-05,6.056548e-05,6.082226e-05,6.104988e-05,6.142710e-05,6.149598e-05,6.190550e-05,6.196774e-05,6.228012e-05,6.244801e-05,6.262144e-05,6.287157e-05,6.293102e-05,6.321036e-05,6.324192e-05,6.346090e-05,6.356238e-05,6.368403e-05,6.383611e-05,6.388109e-05,6.405336e-05,6.406611e-05,6.420207e-05,6.425523e-05,6.432841e-05,6.440615e-05,6.443350e-05,6.451845e-05,6.452144e-05,6.458429e-05,6.460350e-05,6.463201e-05,6.465461e-05,6.466259e-05,6.467692e-05,6.467590e-05,6.467247e-05,6.466035e-05,6.464316e-05,6.463109e-05,6.459080e-05,6.458887e-05,6.453444e-05,6.451710e-05,6.446848e-05,6.442365e-05,6.439167e-05,6.431197e-05,6.430465e-05,6.420803e-05,6.418348e-05,6.410239e-05,6.403950e-05,6.398828e-05,6.388129e-05,6.386625e-05,6.373678e-05,6.371004e-05,6.360037e-05,6.352684e-05,6.345747e-05,6.333274e-05,6.330852e-05,6.315394e-05,6.312871e-05,6.299412e-05,6.291567e-05,6.282946e-05,6.269447e-05,6.266029e-05,6.248698e-05,6.246592e-05,6.230985e-05,6.223078e-05,6.212920e-05,6.198974e-05,6.194534e-05,6.175854e-05,6.174347e-05,6.156907e-05,6.149259e-05,6.137719e-05,6.123768e-05,6.118314e-05,6.098714e-05,6.097926e-05,6.078942e-05,6.071786e-05,6.059018e-05,6.045393e-05,6.038962e-05,6.018793e-05,5.992024e-05,5.965127e-05,5.938136e-05,5.911084e-05,5.884003e-05,5.856920e-05,5.829862e-05,5.802853e-05,5.775917e-05,5.749074e-05,5.722344e-05,5.695744e-05,5.669291e-05,5.643001e-05,5.616886e-05,5.590960e-05,5.565235e-05,5.539720e-05,5.514426e-05,5.489362e-05,5.464534e-05,5.439951e-05,5.415619e-05,5.391543e-05
0.000000e+00,8.603473e-10,2.027833e-09,7.193124e-09,1.660811e-08,2.436548e-08,5.584037e-08,5.753938e-08,1.119480e-07,1.317372e-07,1.931886e-07,2.573299e-07,3.073397e-07,4.465978e-07,4.603922e-07,6.565906e-07,7.102826e-07,8.970011e-07,1.050464e-06,1.180213e-06,1.463125e-06,1.504064e-06,1.866560e-06,1.943542e-06,2.265983e-06,2.487744e-06,2.700725e-06,3.091987e-06,3.169118e-06,3.669323e-06,3.752174e-06,4.199271e-06,4.463539e-06,4.756642e-06,5.220574e-06,5.338882e-06,5.943233e-06,6.017103e-06,6.566771e-06,6.846425e-06,7.206454e-06,7.701505e-06,7.859183e-06,8.521852e-06,8.575203e-06,9.191399e-06,9.460472e-06,9.864846e-06,1.035054e-05,1.053935e-05,1.121222e-05,1.123906e-05,1.188096e-05,1.212024e-05,1.254327e-05,1.298890e-05,1.319708e-05,1.384052e-05,1.447198e-05,1.467128e-05,1.509004e-05,1.547800e-05,1.569349e-05,1.625815e-05,1.628136e-05,1.685280e-05,1.700977e-05,1.740717e-05,1.773138e-05,1.794397e-05,1.842202e-05,1.846287e-05,1.896367e-05,1.908116e-05,1.944628e-05,1.970859e-05,1.991070e-05,2.030442e-05,2.035703e-05,2.078547e-05,2.086903e-05,2.119624e-05,2.140297e-05,2.158966e-05,2.190697e-05,2.196607e-05,2.232584e-05,2.238188e-05,2.266939e-05,2.282866e-05,2.299717e-05,2.324836e-05,2.330966e-05,2.360733e-05,2.364208e-05,2.389066e-05,2.401089e-05,2.416009e-05,2.435584e-05,2.441607e-05,2.465907e-05,2.467796e-05,2.488956e-05,2.497834e-05,2.510797e-05,2.525800e-05,2.531475e-05,2.551032e-05,2.551791e-05,2.569510e-05,2.575906e-05,2.586951e-05,2.598239e-05,2.603395e-05,2.618880e-05,2.633444e-05,2.637916e-05,2.647124e-05,2.655430e-05,2.659953e-05,2.671501e-05,2.671967e-05,2.683196e-05,2.686204e-05,2.693673e-05,2.699611e-05,2.703429e-05,2.711791e-05,2.712491e-05,2.720889e-05,2.722809e-05,2.728650e-05,2.732728e-05,2.735800e-05,2.741605e-05,2.742363e-05,2.748363e-05,2.749498e-05,2.753824e-05,2.756459e-05,2.758768e-05,2.762537e-05,2.763217e-05,2.767189e-05,2.767782e-05,2.770707e-05,2.772239e-05,2.773787e-05,2.775949e-05,2.776448e-05,2.778709e-05,2.778954e-05,2.780584e-05,2.781291e-05,2.782091e-05,2.782999e-05,2.783244e-05,2.784059e-05,2.784110e-05,2.784550e-05,2.784659e-05,2.784730e-05,2.784675e-05,2.784612e-05,2.784210e-05,2.784188e-05,2.783534e-05,2.783226e-05,2.782597e-05,2.781816e-05,2.781409e-05,2.779982e-05,2.777748e-05,2.775137e-05,2.772170e-05,2.768868e-05,2.765249e-05,2.761331e-05,2.757133e-05,2.752670e-05,2.747958e-05,2.743012e-05,2.737846e-05,2.732474e-05,2.726907e-05,2.721158e-05,2.715239e-05,2.709160e-05,2.702932e-05,2.696565e-05,2.690068e-05,2.683450e-05,2.676719e-05,2.669884e-05,2.662952e-05,2.655930e-05
0.000000e+00,5.716035e-09,2.226984e-08,1.675714e-07,6.354458e-07,1.167604e-06,4.314841e-06,4.522063e-06,1.270469e-05,1.630642e-05,2.915388e-05,4.476310e-05,5.821259e-05,1.004993e-04,1.050322e-04,1.754543e-04,1.965680e-04,2.758633e-04,3.476891e-04,4.129768e-04,5.693603e-04,5.935384e-04,8.239255e-04,8.764939e-04,1.109761e-03,1.281875e-03,1.455619e-03,1.795013e-03,1.864850e-03,2.339526e-03,2.421619e-03,2.880444e-03,3.163534e-03,3.487181e-03,4.018946e-03,4.158175e-03,4.890824e-03,4.982726e-03,5.681598e-03,6.046862e-03,6.526161e-03,7.200937e-03,7.419495e-03,8.356032e-03,8.432645e-03,9.329790e-03,9.728317e-03,1.033450e-02,1.107345e-02,1.136373e-02,1.241101e-02,1.245319e-02,1.346994e-02,1.385280e-02,1.453427e-02,1.525803e-02,1.559801e-02,1.665547e-02,1.770135e-02,1.803277e-02,1.873075e-02,1.937885e-02,1.973923e-02,2.068397e-02,2.072279e-02,2.167793e-02,2.193984e-02,2.260159e-02,2.313958e-02,2.349119e-02,2.427770e-02,2.434460e-02,2.516009e-02,2.535002e-02,2.593636e-02,2.635357e-02,2.667246e-02,2.728652e-02,2.736779e-02,2.802207e-02,2.814800e-02,2.863530e-02,2.893803e-02,2.920773e-02,2.965737e-02,2.973982e-02,3.023225e-02,3.030742e-02,3.068586e-02,3.089008e-02,3.110162e-02,3.140771e-02,3.148062e-02,3.182407e-02,3.186295e-02,3.213323e-02,3.225873e-02,3.240942e-02,3.259813e-02,3.265403e-02,3.286845e-02,3.288434e-02,3.305409e-02,3.312061e-02,3.321238e-02,3.331021e-02,3.334474e-02,3.345256e-02,3.345638e-02,3.353721e-02,3.356228e-02,3.360006e-02,3.363102e-02,3.364243e-02,3.366559e-02,3.367079e-02,3.366885e-02,3.365922e-02,3.364356e-02,3.363206e-02,3.359233e-02,3.359040e-02,3.353530e-02,3.351761e-02,3.346780e-02,3.342175e-02,3.338886e-02,3.330692e-02,3.329939e-02,3.320029e-02,3.317517e-02,3.309238e-02,3.302840e-02,3.297645e-02,3.286839e-02,3.285324e-02,3.272346e-02,3.269678e-02,3.258777e-02,3.251508e-02,3.244679e-02,3.232471e-02,3.230111e-02,3.215127e-02,3.212695e-02,3.199780e-02,3.192298e-02,3.184116e-02,3.171388e-02,3.168182e-02,3.152019e-02,3.150066e-02,3.135666e-02,3.128420e-02,3.119159e-02,3.106532e-02,3.102533e-02,3.085818e-02,3.084478e-02,3.069044e-02,3.062324e-02,3.052237e-02,3.040130e-02,3.035423e-02,3.018623e-02,3.017952e-02,3.001859e-02,2.995837e-02,2.985151e-02,2.973830e-02,2.968515e-02,2.951969e-02,2.930288e-02,2.908819e-02,2.887587e-02,2.866616e-02,2.845927e-02,2.825535e-02,2.805457e-02,2.785704e-02,2.766288e-02,2.747215e-02,2.728494e-02,2.710129e-02,2.692124e-02,2.674481e-02,2.657201e-02,2.640286e-02,2.623734e-02,2.607543e-02,2.591713e-02,2.576239e-02,2.561119e-02,2.546348e-02,2.531923e-02,2.517839e-02
0.000000e+00,9.712898e-11,3.561002e-10,2.369951e-09,8.067786e-09,1.399470e-08,4.481935e-08,4.670729e-08,1.148361e-07,1.423562e-07,2.338974e-07,3.364422e-07,4.199360e-07,6.642979e-07,6.893016e-07,1.058406e-06,1.163607e-06,1.542880e-06,1.869574e-06,2.155600e-06,2.806843e-06,2.903851e-06,3.787252e-06,3.979570e-06,4.797964e-06,5.369630e-06,5.922883e-06,6.944598e-06,7.146286e-06,8.451843e-06,8.667285e-06,9.823706e-06,1.050134e-05,1.124697e-05,1.241325e-05,1.270779e-05,1.419337e-05,1.437274e-05,1.569194e-05,1.635262e-05,1.719275e-05,1.832884e-05,1.868608e-05,2.016326e-05,2.028050e-05,2.161668e-05,2.218990e-05,2.303981e-05,2.404256e-05,2.442711e-05,2.577403e-05,2.582701e-05,2.707694e-05,2.753465e-05,2.833303e-05,2.915937e-05,2.954028e-05,3.069729e-05,3.180329e-05,3.214637e-05,3.285797e-05,3.350609e-05,3.386148e-05,3.477714e-05,3.481429e-05,3.571718e-05,3.596117e-05,3.657115e-05,3.706055e-05,3.737740e-05,3.807815e-05,3.813727e-05,3.885218e-05,3.901723e-05,3.952365e-05,3.988127e-05,4.015324e-05,4.067389e-05,4.074253e-05,4.129314e-05,4.139876e-05,4.180665e-05,4.205954e-05,4.228465e-05,4.265988e-05,4.272871e-05,4.314034e-05,4.320329e-05,4.352105e-05,4.369323e-05,4.387228e-05,4.413299e-05,4.419544e-05,4.449190e-05,4.452575e-05,4.476298e-05,4.487454e-05,4.500994e-05,4.518226e-05,4.523401e-05,4.543637e-05,4.545165e-05,4.561813e-05,4.568531e-05,4.578039e-05,4.588572e-05,4.592417e-05,4.605048e-05,4.605519e-05,4.616026e-05,4.619591e-05,4.625442e-05,4.630997e-05,4.633382e-05,4.639930e-05,4.645164e-05,4.646574e-05,4.649160e-05,4.651101e-05,4.651990e-05,4.653673e-05,4.653722e-05,4.654422e-05,4.654442e-05,4.654152e-05,4.653550e-05,4.652972e-05,4.651130e-05,4.650937e-05,4.648101e-05,4.647307e-05,4.644516e-05,4.642199e-05,4.640229e-05,4.635914e-05,4.635288e-05,4.629736e-05,4.628555e-05,4.623614e-05,4.620219e-05,4.616962e-05,4.610993e-05,4.609819e-05,4.602218e-05,4.600962e-05,4.594196e-05,4.590204e-05,4.585782e-05,4.578791e-05,4.577009e-05,4.567904e-05,4.566790e-05,4.558495e-05,4.554266e-05,4.548809e-05,4.541276e-05,4.538869e-05,4.528699e-05,4.527876e-05,4.518321e-05,4.514116e-05,4.507755e-05,4.500043e-05,4.497022e-05,4.486139e-05,4.485701e-05,4.475126e-05,4.471132e-05,4.463997e-05,4.456372e-05,4.452769e-05,4.441457e-05,4.426419e-05,4.411288e-05,4.396092e-05,4.380856e-05,4.365604e-05,4.350357e-05,4.335136e-05,4.319959e-05,4.304843e-05,4.289803e-05,4.274853e-05,4.260006e-05,4.245274e-05,4.230667e-05,4.216196e-05,4.201867e-05,4.187690e-05,4.173672e-05,4.159817e-05,4.146133e-05,4.132623e-05,4.119293e-05,4.106145e-05,4.093182e-05
0.000000e+00,3.839995e-11,1.499459e-10,1.133494e-09,4.315994e-09,7.948043e-09,2.953654e-08,3.096197e-08,8.745512e-08,1.124085e-07,2.016818e-07,3.105270e-07,4.045474e-07,7.011200e-07,7.329768e-07,1.228992e-06,1.377997e-06,1.938268e-06,2.446181e-06,2.907858e-06,4.012650e-06,4.183259e-06,5.805597e-06,6.174879e-06,7.809553e-06,9.011710e-06,1.022211e-05,1.257831e-05,1.306191e-05,1.633905e-05,1.690421e-05,2.005518e-05,2.199325e-05,2.420381e-05,2.782484e-05,2.877078e-05,3.373498e-05,3.435614e-05,3.906913e-05,4.152514e-05,4.474068e-05,4.925419e-05,5.071282e-05,5.694545e-05,5.745406e-05,6.339625e-05,6.602791e-05,7.002160e-05,7.487524e-05,7.677754e-05,8.362061e-05,8.389554e-05,9.050855e-05,9.299133e-05,9.740092e-05,1.020707e-04,1.042597e-04,1.110495e-04,1.177380e-04,1.198522e-04,1.242963e-04,1.284131e-04,1.306984e-04,1.366768e-04,1.369221e-04,1.429481e-04,1.445977e-04,1.487605e-04,1.521399e-04,1.543464e-04,1.592767e-04,1.596957e-04,1.648010e-04,1.659893e-04,1.696572e-04,1.722668e-04,1.742616e-04,1.781045e-04,1.786134e-04,1.827135e-04,1.835034e-04,1.865643e-04,1.884694e-04,1.901696e-04,1.930119e-04,1.935343e-04,1.966643e-04,1.971438e-04,1.995662e-04,2.008802e-04,2.022472e-04,2.042382e-04,2.047151e-04,2.069778e-04,2.072360e-04,2.090438e-04,2.098927e-04,2.109215e-04,2.122279e-04,2.126195e-04,2.141463e-04,2.142614e-04,2.155105e-04,2.160124e-04,2.167203e-04,2.175004e-04,2.177839e-04,2.187095e-04,2.187437e-04,2.195047e-04,2.197606e-04,2.201772e-04,2.205681e-04,2.207342e-04,2.211827e-04,2.215295e-04,2.216200e-04,2.217809e-04,2.218947e-04,2.219433e-04,2.220208e-04,2.220224e-04,2.220238e-04,2.220111e-04,2.219529e-04,2.218778e-04,2.218148e-04,2.216323e-04,2.216141e-04,2.213554e-04,2.212851e-04,2.210430e-04,2.208461e-04,2.206809e-04,2.203243e-04,2.202730e-04,2.198229e-04,2.197280e-04,2.193338e-04,2.190652e-04,2.188091e-04,2.183429e-04,2.182516e-04,2.176643e-04,2.175678e-04,2.170498e-04,2.167459e-04,2.164105e-04,2.158828e-04,2.157488e-04,2.150669e-04,2.149838e-04,2.143667e-04,2.140534e-04,2.136503e-04,2.130960e-04,2.129194e-04,2.121756e-04,2.121156e-04,2.114207e-04,2.111158e-04,2.106559e-04,2.101000e-04,2.098827e-04,2.091024e-04,2.090710e-04,2.083161e-04,2.080318e-04,2.075250e-04,2.069849e-04,2.067301e-04,2.059324e-04,2.048766e-04,2.038193e-04,2.027622e-04,2.017069e-04,2.006549e-04,1.996073e-04,1.985654e-04,1.975302e-04,1.965027e-04,1.954836e-04,1.944737e-04,1.934737e-04,1.924842e-04,1.915057e-04,1.905386e-04,1.895833e-04,1.886402e-04,1.877097e-04,1.867918e-04,1.858869e-04,1.849951e-04,1.841165e-04,1.832513e-04,1.823996e-04
0.000000e+00,1.949499e-09,4.648830e-09,1.669843e-08,3.883601e-08,5.719336e-08,1.326192e-07,1.367316e-07,2.704914e-07,3.200810e-07,4.769592e-07,6.449012e-07,7.784657e-07,1.160540e-06,1.199087e-06,1.757372e-06,1.912546e-06,2.455592e-06,2.901846e-06,3.276473e-06,4.078777e-06,4.192892e-06,5.179126e-06,5.382885e-06,6.215133e-06,6.768431e-06,7.286034e-06,8.204136e-06,8.380412e-06,9.488943e-06,9.667070e-06,1.060355e-05,1.113857e-05,1.171698e-05,1.260237e-05,1.282256e-05,1.391426e-05,1.404406e-05,1.498658e-05,1.545099e-05,1.603468e-05,1.681243e-05,1.705437e-05,1.804207e-05,1.811962e-05,1.899488e-05,1.936570e-05,1.991051e-05,2.054577e-05,2.078727e-05,2.162400e-05,2.165662e-05,2.242003e-05,2.269657e-05,2.317509e-05,2.366518e-05,2.388931e-05,2.456315e-05,2.519733e-05,2.539203e-05,2.579275e-05,2.615398e-05,2.635051e-05,2.685165e-05,2.687182e-05,2.735799e-05,2.748801e-05,2.781041e-05,2.806623e-05,2.823046e-05,2.858957e-05,2.861960e-05,2.897923e-05,2.906132e-05,2.931080e-05,2.948474e-05,2.961569e-05,2.986302e-05,2.989528e-05,3.015090e-05,3.019926e-05,3.038383e-05,3.049641e-05,3.059533e-05,3.075730e-05,3.078659e-05,3.095875e-05,3.098460e-05,3.111293e-05,3.118086e-05,3.125017e-05,3.134845e-05,3.137148e-05,3.147780e-05,3.148960e-05,3.157006e-05,3.160642e-05,3.164910e-05,3.170085e-05,3.171576e-05,3.177080e-05,3.177472e-05,3.181495e-05,3.182973e-05,3.184893e-05,3.186745e-05,3.187337e-05,3.188892e-05,3.188937e-05,3.189615e-05,3.189683e-05,3.189563e-05,3.189111e-05,3.188787e-05,3.187337e-05,3.185261e-05,3.184472e-05,3.182603e-05,3.180615e-05,3.179403e-05,3.175859e-05,3.175702e-05,3.171536e-05,3.170291e-05,3.166940e-05,3.163991e-05,3.161948e-05,3.157032e-05,3.156590e-05,3.150896e-05,3.149482e-05,3.144892e-05,3.141405e-05,3.138606e-05,3.132859e-05,3.132060e-05,3.125279e-05,3.123896e-05,3.118283e-05,3.114568e-05,3.111093e-05,3.104918e-05,3.103729e-05,3.096207e-05,3.094990e-05,3.088544e-05,3.084821e-05,3.080758e-05,3.074449e-05,3.072861e-05,3.064869e-05,3.063904e-05,3.056794e-05,3.053219e-05,3.048649e-05,3.042419e-05,3.040445e-05,3.032193e-05,3.031531e-05,3.023903e-05,3.020578e-05,3.015584e-05,3.009581e-05,3.007245e-05,2.998895e-05,2.998560e-05,2.990540e-05,2.987533e-05,2.982190e-05,2.976516e-05,2.973849e-05,2.965524e-05,2.954571e-05,2.943669e-05,2.932828e-05,2.922061e-05,2.911375e-05,2.900778e-05,2.890280e-05,2.879885e-05,2.869600e-05,2.859431e-05,2.849381e-05,2.839456e-05,2.829658e-05,2.819992e-05,2.810459e-05,2.801062e-05,2.791803e-05,2.782683e-05,2.773704e-05,2.764867e-05,2.756172e-05,2.747619e-05,2.739210e-05,2.730944e-05
0.000000e+00,3.734008e-09,8.520281e-09,2.903809e-08,6.545340e-08,9.497666e-08,2.123114e-07,2.185634e-07,4.157418e-07,4.862781e-07,7.022598e-07,9.237225e-07,1.094180e-06,1.561694e-06,1.607600e-06,2.256810e-06,2.433945e-06,3.049965e-06,3.556155e-06,3.983083e-06,4.905260e-06,5.037234e-06,6.183419e-06,6.420970e-06,7.391241e-06,8.034736e-06,8.634454e-06,9.690656e-06,9.892132e-06,1.114775e-05,1.134753e-05,1.238797e-05,1.297451e-05,1.360181e-05,1.454766e-05,1.478009e-05,1.591518e-05,1.604818e-05,1.700085e-05,1.746159e-05,1.803221e-05,1.877741e-05,1.900557e-05,1.991837e-05,1.998873e-05,2.076916e-05,2.109196e-05,2.155739e-05,2.208631e-05,2.228334e-05,2.294800e-05,2.297333e-05,2.355290e-05,2.375642e-05,2.410007e-05,2.444036e-05,2.459187e-05,2.503092e-05,2.542000e-05,2.553443e-05,2.576202e-05,2.595756e-05,2.605990e-05,2.630706e-05,2.631657e-05,2.653491e-05,2.658956e-05,2.671772e-05,2.681148e-05,2.686771e-05,2.697894e-05,2.698747e-05,2.707946e-05,2.709767e-05,2.714601e-05,2.717298e-05,2.718930e-05,2.720979e-05,2.721138e-05,2.721418e-05,2.721259e-05,2.719948e-05,2.718547e-05,2.716893e-05,2.713215e-05,2.712407e-05,2.706631e-05,2.705596e-05,2.699696e-05,2.695992e-05,2.691724e-05,2.684674e-05,2.682825e-05,2.673101e-05,2.671883e-05,2.662646e-05,2.657837e-05,2.651547e-05,2.642729e-05,2.639881e-05,2.627721e-05,2.626729e-05,2.615134e-05,2.609992e-05,2.602178e-05,2.592653e-05,2.588910e-05,2.575379e-05,2.574833e-05,2.561632e-05,2.556638e-05,2.547709e-05,2.538161e-05,2.533650e-05,2.519488e-05,2.505255e-05,2.500690e-05,2.490980e-05,2.481833e-05,2.476687e-05,2.462973e-05,2.462402e-05,2.448144e-05,2.444159e-05,2.433933e-05,2.425436e-05,2.419785e-05,2.406840e-05,2.405717e-05,2.391743e-05,2.388404e-05,2.377874e-05,2.370158e-05,2.364122e-05,2.352125e-05,2.350497e-05,2.337007e-05,2.334326e-05,2.323661e-05,2.316780e-05,2.310464e-05,2.299500e-05,2.297424e-05,2.284544e-05,2.282499e-05,2.271830e-05,2.265787e-05,2.259285e-05,2.249374e-05,2.246913e-05,2.234716e-05,2.233264e-05,2.222696e-05,2.217464e-05,2.210855e-05,2.201977e-05,2.199194e-05,2.187715e-05,2.186804e-05,2.176417e-05,2.171948e-05,2.165300e-05,2.157409e-05,2.154366e-05,2.143613e-05,2.143186e-05,2.133040e-05,2.129279e-05,2.122648e-05,2.115684e-05,2.112435e-05,2.102400e-05,2.089425e-05,2.076754e-05,2.064383e-05,2.052310e-05,2.040529e-05,2.029036e-05,2.017827e-05,2.006896e-05,1.996239e-05,1.985850e-05,1.975724e-05,1.965857e-05,1.956242e-05,1.946874e-05,1.937749e-05,1.928861e-05,1.920205e-05,1.911775e-05,1.903567e-05,1.895575e-05,1.887793e-05,1.880218e-05,1.872844e-05,1.865666e-05
0.000000e+00,3.250787e-09,7.430027e-09,2.545692e-08,5.770656e-08,8.400680e-08,1.893875e-07,1.950315e-07,3.740641e-07,4.384880e-07,6.366229e-07,8.407808e-07,9.983841e-07,1.431675e-06,1.474245e-06,2.075207e-06,2.238534e-06,2.803366e-06,3.263608e-06,3.649385e-06,4.477927e-06,4.596251e-06,5.625362e-06,5.839522e-06,6.719766e-06,7.309665e-06,7.864635e-06,8.855655e-06,9.046803e-06,1.025433e-05,1.044914e-05,1.147628e-05,1.206497e-05,1.270268e-05,1.368093e-05,1.392454e-05,1.513388e-05,1.527782e-05,1.632380e-05,1.683966e-05,1.748842e-05,1.835360e-05,1.862290e-05,1.972337e-05,1.980984e-05,2.078681e-05,2.120131e-05,2.181104e-05,2.252330e-05,2.279450e-05,2.373626e-05,2.377305e-05,2.463589e-05,2.494943e-05,2.549337e-05,2.605255e-05,2.630904e-05,2.708350e-05,2.781758e-05,2.804411e-05,2.851226e-05,2.893669e-05,2.916867e-05,2.976394e-05,2.978801e-05,3.037158e-05,3.052874e-05,3.092066e-05,3.123413e-05,3.143662e-05,3.188317e-05,3.192077e-05,3.237444e-05,3.247893e-05,3.279896e-05,3.302443e-05,3.319560e-05,3.352258e-05,3.356562e-05,3.391025e-05,3.397624e-05,3.423068e-05,3.438811e-05,3.452804e-05,3.476082e-05,3.480345e-05,3.505798e-05,3.509683e-05,3.529264e-05,3.539852e-05,3.550843e-05,3.566811e-05,3.570630e-05,3.588714e-05,3.590773e-05,3.605182e-05,3.611937e-05,3.620117e-05,3.630492e-05,3.633600e-05,3.645704e-05,3.646615e-05,3.656504e-05,3.660474e-05,3.666067e-05,3.672225e-05,3.674460e-05,3.681746e-05,3.682016e-05,3.687985e-05,3.689986e-05,3.693234e-05,3.696265e-05,3.697546e-05,3.700975e-05,3.703569e-05,3.704231e-05,3.705376e-05,3.706139e-05,3.706439e-05,3.706801e-05,3.706803e-05,3.706507e-05,3.706311e-05,3.705590e-05,3.704756e-05,3.704088e-05,3.702220e-05,3.702037e-05,3.699469e-05,3.698779e-05,3.696416e-05,3.694506e-05,3.692909e-05,3.689469e-05,3.688975e-05,3.684642e-05,3.683730e-05,3.679935e-05,3.677348e-05,3.674879e-05,3.670379e-05,3.669497e-05,3.663812e-05,3.662875e-05,3.657843e-05,3.654884e-05,3.651612e-05,3.646450e-05,3.645136e-05,3.638435e-05,3.637616e-05,3.631524e-05,3.628421e-05,3.624420e-05,3.618902e-05,3.617139e-05,3.609694e-05,3.609092e-05,3.602101e-05,3.599024e-05,3.594371e-05,3.588728e-05,3.586517e-05,3.578552e-05,3.578231e-05,3.570485e-05,3.567558e-05,3.562328e-05,3.556735e-05,3.554091e-05,3.545783e-05,3.534724e-05,3.523576e-05,3.512358e-05,3.501086e-05,3.489776e-05,3.478443e-05,3.467100e-05,3.455759e-05,3.444431e-05,3.433128e-05,3.421859e-05,3.410634e-05,3.399460e-05,3.388345e-05,3.377297e-05,3.366322e-05,3.355425e-05,3.344613e-05,3.333890e-05,3.323261e-05,3.312730e-05,3.302300e-05,3.291976e-05,3.281759e-05
0.000000e+00,3.416027e-09,1.330290e-08,1.000125e-07,3.789941e-07,6.961485e-07,2.570671e-06,2.694058e-06,7.564825e-06,9.708326e-06,1.735347e-05,2.664177e-05,3.464530e-05,5.981410e-05,6.251256e-05,1.044518e-04,1.170327e-04,1.643153e-04,2.071984e-04,2.462311e-04,3.399709e-04,3.544981e-04,4.934396e-04,5.252795e-04,6.672027e-04,7.725839e-04,8.795221e-04,1.089953e-03,1.133491e-03,1.431386e-03,1.483229e-03,1.774568e-03,1.955542e-03,2.163468e-03,2.507221e-03,2.597622e-03,3.075749e-03,3.135991e-03,3.595845e-03,3.837328e-03,4.155289e-03,4.604867e-03,4.750942e-03,5.379258e-03,5.430820e-03,6.036373e-03,6.306373e-03,6.718202e-03,7.222053e-03,7.420520e-03,8.139041e-03,8.168059e-03,8.869490e-03,9.134558e-03,9.607660e-03,1.011194e-02,1.034947e-02,1.109101e-02,1.182858e-02,1.206320e-02,1.255872e-02,1.302062e-02,1.327823e-02,1.395625e-02,1.398419e-02,1.467397e-02,1.486387e-02,1.534521e-02,1.573820e-02,1.599588e-02,1.657479e-02,1.662419e-02,1.722868e-02,1.737007e-02,1.780810e-02,1.812126e-02,1.836149e-02,1.882634e-02,1.888810e-02,1.938743e-02,1.948398e-02,1.985914e-02,2.009347e-02,2.030311e-02,2.065462e-02,2.071937e-02,2.110809e-02,2.116775e-02,2.146960e-02,2.163358e-02,2.180433e-02,2.205317e-02,2.211279e-02,2.239561e-02,2.242786e-02,2.265348e-02,2.275923e-02,2.288715e-02,2.304904e-02,2.309741e-02,2.328510e-02,2.329917e-02,2.345110e-02,2.351162e-02,2.359628e-02,2.368842e-02,2.372154e-02,2.382780e-02,2.383167e-02,2.391595e-02,2.394343e-02,2.398691e-02,2.402579e-02,2.404156e-02,2.408078e-02,2.410543e-02,2.411039e-02,2.411636e-02,2.411654e-02,2.411439e-02,2.410110e-02,2.410032e-02,2.407491e-02,2.406586e-02,2.403891e-02,2.401253e-02,2.399305e-02,2.394273e-02,2.393801e-02,2.387446e-02,2.385801e-02,2.380303e-02,2.375982e-02,2.372433e-02,2.364953e-02,2.363895e-02,2.354743e-02,2.352843e-02,2.345029e-02,2.339773e-02,2.334804e-02,2.325855e-02,2.324115e-02,2.313007e-02,2.311194e-02,2.301522e-02,2.295887e-02,2.289700e-02,2.280025e-02,2.277579e-02,2.265194e-02,2.263692e-02,2.252579e-02,2.246963e-02,2.239764e-02,2.229910e-02,2.226780e-02,2.213654e-02,2.212598e-02,2.200411e-02,2.195087e-02,2.187076e-02,2.177431e-02,2.173672e-02,2.160218e-02,2.159679e-02,2.146735e-02,2.141877e-02,2.133240e-02,2.124066e-02,2.119751e-02,2.106282e-02,2.088560e-02,2.070929e-02,2.053416e-02,2.036045e-02,2.018837e-02,2.001811e-02,1.984984e-02,1.968369e-02,1.951980e-02,1.935828e-02,1.919920e-02,1.904266e-02,1.888871e-02,1.873741e-02,1.858878e-02,1.844288e-02,1.829970e-02,1.815927e-02,1.802160e-02,1.788667e-02,1.775449e-02,1.762503e-02,1.749829e-02,1.737423e-02
0.000000e+00,3.031174e-10,9.370185e-10,4.631240e-09,1.268197e-08,1.986302e-08,5.109981e-08,5.284128e-08,1.100013e-07,1.311948e-07,1.976313e-07,2.674868e-07,3.221234e-07,4.747617e-07,4.899228e-07,7.066066e-07,7.662764e-07,9.749221e-07,1.147388e-06,1.293566e-06,1.612378e-06,1.658445e-06,2.064769e-06,2.150606e-06,2.508066e-06,2.751821e-06,2.984230e-06,3.406713e-06,3.489304e-06,4.019294e-06,4.106132e-06,4.570098e-06,4.840642e-06,5.137499e-06,5.600498e-06,5.717223e-06,6.305009e-06,6.375885e-06,6.896693e-06,7.157234e-06,7.488290e-06,7.935538e-06,8.076067e-06,8.656593e-06,8.702627e-06,9.226787e-06,9.451352e-06,9.783941e-06,1.017570e-05,1.032573e-05,1.085020e-05,1.087080e-05,1.135579e-05,1.153293e-05,1.184126e-05,1.215941e-05,1.230571e-05,1.274852e-05,1.316935e-05,1.329934e-05,1.356806e-05,1.381165e-05,1.394473e-05,1.428581e-05,1.429959e-05,1.463301e-05,1.472260e-05,1.494550e-05,1.512317e-05,1.523762e-05,1.548893e-05,1.551001e-05,1.576339e-05,1.582145e-05,1.599848e-05,1.612242e-05,1.621603e-05,1.639359e-05,1.641682e-05,1.660162e-05,1.663673e-05,1.677119e-05,1.685361e-05,1.692630e-05,1.704594e-05,1.706767e-05,1.719603e-05,1.721540e-05,1.731207e-05,1.736360e-05,1.741649e-05,1.749207e-05,1.750991e-05,1.759296e-05,1.760226e-05,1.766625e-05,1.769555e-05,1.773033e-05,1.777321e-05,1.778575e-05,1.783303e-05,1.783648e-05,1.787266e-05,1.788647e-05,1.790509e-05,1.792425e-05,1.793078e-05,1.795015e-05,1.795079e-05,1.796358e-05,1.796703e-05,1.797145e-05,1.797381e-05,1.797411e-05,1.797191e-05,1.796516e-05,1.796208e-05,1.795414e-05,1.794499e-05,1.793916e-05,1.792128e-05,1.792047e-05,1.789832e-05,1.789153e-05,1.787295e-05,1.785627e-05,1.784458e-05,1.781601e-05,1.781342e-05,1.777968e-05,1.777122e-05,1.774353e-05,1.772231e-05,1.770516e-05,1.766968e-05,1.766473e-05,1.762239e-05,1.761371e-05,1.757830e-05,1.755473e-05,1.753259e-05,1.749304e-05,1.748540e-05,1.743684e-05,1.742895e-05,1.738704e-05,1.736272e-05,1.733610e-05,1.729459e-05,1.728412e-05,1.723121e-05,1.722480e-05,1.717745e-05,1.715355e-05,1.712293e-05,1.708104e-05,1.706774e-05,1.701194e-05,1.700745e-05,1.695561e-05,1.693295e-05,1.689882e-05,1.685768e-05,1.684163e-05,1.678410e-05,1.678179e-05,1.672628e-05,1.670541e-05,1.666823e-05,1.662865e-05,1.661000e-05,1.655164e-05,1.647447e-05,1.639723e-05,1.632002e-05,1.624290e-05,1.616596e-05,1.608925e-05,1.601285e-05,1.593681e-05,1.586117e-05,1.578598e-05,1.571130e-05,1.563715e-05,1.556356e-05,1.549058e-05,1.541824e-05,1.534654e-05,1.527553e-05,1.520522e-05,1.513563e-05,1.506677e-05,1.499866e-05,1.493131e-05,1.486474e-05,1.479895e-05
0.000000e+00,5.869394e-11,2.214629e-10,1.561162e-09,5.588393e-09,9.957714e-09,3.412269e-08,3.565673e-08,9.364354e-08,1.181874e-07,2.032124e-07,3.033412e-07,3.878677e-07,6.465102e-07,6.736986e-07,1.084552e-06,1.203783e-06,1.636905e-06,2.011226e-06,2.338485e-06,3.080023e-06,3.190032e-06,4.187724e-06,4.404256e-06,5.324986e-06,5.968818e-06,6.593516e-06,7.753560e-06,7.983750e-06,9.485054e-06,9.734807e-06,1.108582e-05,1.188588e-05,1.277358e-05,1.417760e-05,1.453519e-05,1.635706e-05,1.657908e-05,1.822542e-05,1.905871e-05,2.012665e-05,2.158538e-05,2.204748e-05,2.397532e-05,2.412949e-05,2.589842e-05,2.666389e-05,2.780605e-05,2.916450e-05,2.968856e-05,3.153750e-05,3.161065e-05,3.334558e-05,3.398528e-05,3.510670e-05,3.627483e-05,3.681584e-05,3.846905e-05,4.006330e-05,4.056063e-05,4.159642e-05,4.254487e-05,4.306702e-05,4.441928e-05,4.447436e-05,4.581826e-05,4.618321e-05,4.709901e-05,4.783742e-05,4.831730e-05,4.938384e-05,4.947415e-05,5.057083e-05,5.082524e-05,5.160883e-05,5.216508e-05,5.258978e-05,5.340725e-05,5.351547e-05,5.438775e-05,5.455597e-05,5.520853e-05,5.561562e-05,5.597973e-05,5.659064e-05,5.670329e-05,5.738114e-05,5.748549e-05,5.801521e-05,5.830456e-05,5.860736e-05,5.905215e-05,5.915946e-05,5.967328e-05,5.973246e-05,6.015059e-05,6.034948e-05,6.059307e-05,6.090708e-05,6.100237e-05,6.138004e-05,6.140894e-05,6.172763e-05,6.185857e-05,6.204660e-05,6.225932e-05,6.233834e-05,6.260423e-05,6.261434e-05,6.284553e-05,6.292663e-05,6.306351e-05,6.319901e-05,6.325934e-05,6.343416e-05,6.358905e-05,6.363458e-05,6.372506e-05,6.380265e-05,6.384316e-05,6.394059e-05,6.394432e-05,6.402943e-05,6.405050e-05,6.409935e-05,6.413435e-05,6.415490e-05,6.419399e-05,6.419686e-05,6.422599e-05,6.423115e-05,6.424299e-05,6.424747e-05,6.424854e-05,6.424447e-05,6.424329e-05,6.422785e-05,6.422360e-05,6.420281e-05,6.418618e-05,6.416873e-05,6.413349e-05,6.412613e-05,6.407552e-05,6.406671e-05,6.401738e-05,6.398694e-05,6.395218e-05,6.389522e-05,6.388034e-05,6.380228e-05,6.379252e-05,6.371840e-05,6.367975e-05,6.362907e-05,6.355775e-05,6.353464e-05,6.343546e-05,6.342733e-05,6.333185e-05,6.328924e-05,6.322412e-05,6.314415e-05,6.311254e-05,6.299742e-05,6.299274e-05,6.287900e-05,6.283561e-05,6.275753e-05,6.267332e-05,6.263326e-05,6.250642e-05,6.233539e-05,6.216071e-05,6.198281e-05,6.180209e-05,6.161893e-05,6.143369e-05,6.124669e-05,6.105823e-05,6.086861e-05,6.067810e-05,6.048692e-05,6.029533e-05,6.010353e-05,5.991172e-05,5.972008e-05,5.952880e-05,5.933801e-05,5.914788e-05,5.895853e-05,5.877010e-05,5.858269e-05,5.839642e-05,5.821138e-05,5.802766e-05
0.000000e+00,1.385342e-10,5.305601e-10,3.853214e-09,1.415008e-08,2.554899e-08,9.029191e-08,9.445850e-08,2.541820e-07,3.225273e-07,5.606217e-07,8.419979e-07,1.079754e-06,1.808649e-06,1.885497e-06,3.056601e-06,3.400795e-06,4.670685e-06,5.793987e-06,6.795536e-06,9.128307e-06,9.481396e-06,1.275750e-05,1.348466e-05,1.663269e-05,1.888224e-05,2.109817e-05,2.528867e-05,2.613066e-05,3.169541e-05,3.263234e-05,3.774857e-05,4.081286e-05,4.423930e-05,4.970937e-05,5.111150e-05,5.830543e-05,5.918740e-05,6.575923e-05,6.910509e-05,7.341029e-05,7.931882e-05,8.119661e-05,8.905797e-05,8.968838e-05,9.693698e-05,1.000814e-04,1.047799e-04,1.103767e-04,1.125375e-04,1.201652e-04,1.204670e-04,1.276235e-04,1.302603e-04,1.348784e-04,1.396805e-04,1.419008e-04,1.486669e-04,1.551574e-04,1.571736e-04,1.613576e-04,1.651683e-04,1.672569e-04,1.726306e-04,1.728483e-04,1.781281e-04,1.795505e-04,1.830955e-04,1.859266e-04,1.877522e-04,1.917649e-04,1.921017e-04,1.961496e-04,1.970770e-04,1.999028e-04,2.018788e-04,2.033692e-04,2.061897e-04,2.065579e-04,2.094785e-04,2.100314e-04,2.121412e-04,2.134272e-04,2.145563e-04,2.164015e-04,2.167345e-04,2.186867e-04,2.189787e-04,2.204234e-04,2.211837e-04,2.219554e-04,2.230407e-04,2.232932e-04,2.244469e-04,2.245735e-04,2.254267e-04,2.258051e-04,2.262421e-04,2.267578e-04,2.269028e-04,2.274176e-04,2.274528e-04,2.277955e-04,2.279102e-04,2.280449e-04,2.281493e-04,2.281737e-04,2.281898e-04,2.281883e-04,2.281006e-04,2.280441e-04,2.279132e-04,2.277330e-04,2.276342e-04,2.272700e-04,2.268269e-04,2.266694e-04,2.263106e-04,2.259442e-04,2.257265e-04,2.251070e-04,2.250800e-04,2.243759e-04,2.241692e-04,2.236191e-04,2.231414e-04,2.228138e-04,2.220337e-04,2.219643e-04,2.210745e-04,2.208554e-04,2.201482e-04,2.196149e-04,2.191890e-04,2.183202e-04,2.182001e-04,2.171846e-04,2.169786e-04,2.161456e-04,2.155969e-04,2.150858e-04,2.141813e-04,2.140077e-04,2.129139e-04,2.127376e-04,2.118066e-04,2.112710e-04,2.106880e-04,2.097863e-04,2.095601e-04,2.084248e-04,2.082881e-04,2.072838e-04,2.067803e-04,2.061387e-04,2.052667e-04,2.049912e-04,2.038426e-04,2.037507e-04,2.026942e-04,2.022352e-04,2.015474e-04,2.007232e-04,2.004032e-04,1.992626e-04,1.992171e-04,1.981268e-04,1.977192e-04,1.969965e-04,1.962315e-04,1.958726e-04,1.947559e-04,1.932941e-04,1.918474e-04,1.904173e-04,1.890047e-04,1.876108e-04,1.862364e-04,1.848822e-04,1.835489e-04,1.822370e-04,1.809470e-04,1.796792e-04,1.784338e-04,1.772112e-04,1.760114e-04,1.748345e-04,1.736805e-04,1.725495e-04,1.714413e-04,1.703559e-04,1.692931e-04,1.682527e-04,1.672346e-04,1.662384e-04,1.652641e-04
0.000000e+00,2.298380e-10,8.669238e-10,6.121018e-09,2.202917e-08,3.945315e-08,1.382513e-07,1.446449e-07,3.950116e-07,5.054004e-07,9.038679e-07,1.397590e-06,1.828865e-06,3.195432e-06,3.341542e-06,5.569929e-06,6.218787e-06,8.568387e-06,1.058265e-05,1.232877e-05,1.623325e-05,1.680655e-05,2.194229e-05,2.304291e-05,2.767399e-05,3.087009e-05,3.394213e-05,3.958087e-05,4.069071e-05,4.786645e-05,4.905075e-05,5.541775e-05,5.916085e-05,6.329388e-05,6.979496e-05,7.144473e-05,7.982090e-05,8.083887e-05,8.837419e-05,9.218171e-05,9.705818e-05,1.037182e-04,1.058289e-04,1.146451e-04,1.153512e-04,1.234690e-04,1.269930e-04,1.322665e-04,1.385670e-04,1.410070e-04,1.496636e-04,1.500078e-04,1.582132e-04,1.612609e-04,1.666358e-04,1.722820e-04,1.749148e-04,1.830364e-04,1.909893e-04,1.934971e-04,1.987647e-04,2.036445e-04,2.063556e-04,2.134645e-04,2.137568e-04,2.209648e-04,2.229480e-04,2.279770e-04,2.320898e-04,2.347922e-04,2.408880e-04,2.414102e-04,2.478312e-04,2.493430e-04,2.540564e-04,2.574575e-04,2.600874e-04,2.652356e-04,2.659262e-04,2.715753e-04,2.726826e-04,2.770375e-04,2.798049e-04,2.823156e-04,2.866095e-04,2.874130e-04,2.923330e-04,2.931040e-04,2.970790e-04,2.992963e-04,3.016546e-04,3.051949e-04,3.060635e-04,3.103092e-04,3.108080e-04,3.143957e-04,3.161442e-04,3.183265e-04,3.212121e-04,3.221054e-04,3.257362e-04,3.260204e-04,3.292226e-04,3.305775e-04,3.325682e-04,3.348920e-04,3.357768e-04,3.388520e-04,3.389723e-04,3.417973e-04,3.428265e-04,3.446163e-04,3.464628e-04,3.473125e-04,3.498893e-04,3.523501e-04,3.531136e-04,3.546982e-04,3.561434e-04,3.569369e-04,3.589862e-04,3.590695e-04,3.610990e-04,3.616492e-04,3.630285e-04,3.641395e-04,3.648611e-04,3.664640e-04,3.665997e-04,3.682473e-04,3.686294e-04,3.698065e-04,3.706422e-04,3.712803e-04,3.725087e-04,3.726713e-04,3.739822e-04,3.742350e-04,3.752155e-04,3.758270e-04,3.763738e-04,3.772906e-04,3.774596e-04,3.784751e-04,3.786312e-04,3.794228e-04,3.798543e-04,3.803050e-04,3.809650e-04,3.811238e-04,3.818815e-04,3.819684e-04,3.825801e-04,3.828693e-04,3.832216e-04,3.836724e-04,3.838082e-04,3.843417e-04,3.843822e-04,3.848241e-04,3.850031e-04,3.852570e-04,3.855393e-04,3.856425e-04,3.859821e-04,3.859948e-04,3.862776e-04,3.863735e-04,3.865307e-04,3.866793e-04,3.867428e-04,3.869157e-04,3.870862e-04,3.871941e-04,3.872427e-04,3.872351e-04,3.871742e-04,3.870629e-04,3.869039e-04,3.867000e-04,3.864535e-04,3.861670e-04,3.858428e-04,3.854830e-04,3.850899e-04,3.846655e-04,3.842117e-04,3.837305e-04,3.832236e-04,3.826928e-04,3.821397e-04,3.815660e-04,3.809730e-04,3.803622e-04,3.797351e-04,3.790929e-04
0.000000e+00,2.448537e-09,6.194277e-09,2.366681e-08,5.647568e-08,8.380912e-08,1.954829e-07,2.015226e-07,3.947604e-07,4.648494e-07,6.815972e-07,9.063622e-07,1.080670e-06,1.562967e-06,1.610581e-06,2.287001e-06,2.472174e-06,3.116605e-06,3.645691e-06,4.091267e-06,5.052260e-06,5.189759e-06,6.386218e-06,6.635101e-06,7.656810e-06,8.340023e-06,8.981494e-06,1.012363e-05,1.034342e-05,1.172798e-05,1.195072e-05,1.312222e-05,1.379144e-05,1.451455e-05,1.562006e-05,1.589465e-05,1.725343e-05,1.741466e-05,1.858305e-05,1.915710e-05,1.987691e-05,2.083295e-05,2.112959e-05,2.233679e-05,2.243130e-05,2.349524e-05,2.394441e-05,2.460259e-05,2.536735e-05,2.565730e-05,2.665856e-05,2.669749e-05,2.760615e-05,2.793421e-05,2.850043e-05,2.907842e-05,2.934206e-05,3.013197e-05,3.087150e-05,3.109774e-05,3.156210e-05,3.197915e-05,3.220539e-05,3.278006e-05,3.280311e-05,3.335705e-05,3.350456e-05,3.386905e-05,3.415688e-05,3.434094e-05,3.474123e-05,3.477455e-05,3.517172e-05,3.526182e-05,3.553424e-05,3.572276e-05,3.586385e-05,3.612804e-05,3.616225e-05,3.643111e-05,3.648148e-05,3.667202e-05,3.678676e-05,3.688651e-05,3.704736e-05,3.707608e-05,3.724213e-05,3.726661e-05,3.738603e-05,3.744763e-05,3.750909e-05,3.759337e-05,3.761256e-05,3.769761e-05,3.770663e-05,3.776539e-05,3.779002e-05,3.781697e-05,3.784597e-05,3.785338e-05,3.787561e-05,3.787680e-05,3.788457e-05,3.788464e-05,3.788116e-05,3.787150e-05,3.786620e-05,3.784049e-05,3.783925e-05,3.780480e-05,3.778964e-05,3.775982e-05,3.772428e-05,3.770623e-05,3.764468e-05,3.757577e-05,3.755226e-05,3.750007e-05,3.744831e-05,3.741812e-05,3.733404e-05,3.733043e-05,3.723748e-05,3.721058e-05,3.713973e-05,3.707895e-05,3.703760e-05,3.694013e-05,3.693151e-05,3.682182e-05,3.679500e-05,3.670890e-05,3.664438e-05,3.659308e-05,3.648902e-05,3.647469e-05,3.635401e-05,3.632963e-05,3.623134e-05,3.616684e-05,3.610692e-05,3.600126e-05,3.598102e-05,3.585386e-05,3.583341e-05,3.572565e-05,3.566380e-05,3.559660e-05,3.549288e-05,3.546690e-05,3.533673e-05,3.532108e-05,3.520624e-05,3.514877e-05,3.507561e-05,3.497631e-05,3.494496e-05,3.481443e-05,3.480400e-05,3.468416e-05,3.463214e-05,3.455424e-05,3.446099e-05,3.442480e-05,3.429593e-05,3.429079e-05,3.416772e-05,3.412174e-05,3.404025e-05,3.395405e-05,3.391362e-05,3.378788e-05,3.362338e-05,3.346071e-05,3.329997e-05,3.314128e-05,3.298472e-05,3.283039e-05,3.267835e-05,3.252865e-05,3.238136e-05,3.223651e-05,3.209414e-05,3.195426e-05,3.181691e-05,3.168210e-05,3.154982e-05,3.142009e-05,3.129290e-05,3.116825e-05,3.104612e-05,3.092651e-05,3.080939e-05,3.069474e-05,3.058254e-05,3.047277e-05
0.000000e+00,2.048737e-11,7.818170e-11,5.632835e-10,2.052140e-09,3.688030e-09,1.286374e-08,1.344970e-08,3.566112e-08,4.505411e-08,7.741628e-08,1.151143e-07,1.466115e-07,2.416416e-07,2.515499e-07,4.005843e-07,4.438120e-07,6.016274e-07,7.395006e-07,8.613691e-07,1.142170e-06,1.184353e-06,1.572360e-06,1.657719e-06,2.024353e-06,2.283609e-06,2.536874e-06,3.010331e-06,3.104623e-06,3.721028e-06,3.823683e-06,4.378716e-06,4.706786e-06,5.069879e-06,5.641555e-06,5.786546e-06,6.520786e-06,6.609706e-06,7.264869e-06,7.593464e-06,8.011401e-06,8.576107e-06,8.753432e-06,9.484556e-06,9.542397e-06,1.019899e-05,1.047892e-05,1.089162e-05,1.137433e-05,1.155807e-05,1.219468e-05,1.221948e-05,1.279855e-05,1.300749e-05,1.336749e-05,1.373361e-05,1.389998e-05,1.439515e-05,1.485271e-05,1.499120e-05,1.527284e-05,1.552237e-05,1.565619e-05,1.599053e-05,1.600377e-05,1.631685e-05,1.639854e-05,1.659698e-05,1.674993e-05,1.684583e-05,1.704872e-05,1.706523e-05,1.725704e-05,1.729918e-05,1.742316e-05,1.750568e-05,1.756549e-05,1.767253e-05,1.768587e-05,1.778611e-05,1.780389e-05,1.786792e-05,1.790373e-05,1.793294e-05,1.797571e-05,1.798270e-05,1.801865e-05,1.802321e-05,1.804212e-05,1.804932e-05,1.805435e-05,1.805680e-05,1.805647e-05,1.804952e-05,1.804813e-05,1.803446e-05,1.802549e-05,1.801215e-05,1.799083e-05,1.798337e-05,1.794883e-05,1.794584e-05,1.790919e-05,1.789203e-05,1.786500e-05,1.783068e-05,1.781681e-05,1.776507e-05,1.776294e-05,1.771022e-05,1.768978e-05,1.765262e-05,1.761207e-05,1.759263e-05,1.753056e-05,1.746667e-05,1.744588e-05,1.740122e-05,1.735861e-05,1.733443e-05,1.726925e-05,1.726651e-05,1.719764e-05,1.717821e-05,1.712798e-05,1.708587e-05,1.705769e-05,1.699257e-05,1.698689e-05,1.691572e-05,1.689859e-05,1.684427e-05,1.680419e-05,1.677266e-05,1.670958e-05,1.670097e-05,1.662929e-05,1.661497e-05,1.655770e-05,1.652052e-05,1.648625e-05,1.642640e-05,1.641502e-05,1.634406e-05,1.633273e-05,1.627341e-05,1.623963e-05,1.620314e-05,1.614722e-05,1.613328e-05,1.606387e-05,1.605557e-05,1.599494e-05,1.596478e-05,1.592653e-05,1.587490e-05,1.585867e-05,1.579138e-05,1.578602e-05,1.572468e-05,1.569817e-05,1.565860e-05,1.561142e-05,1.559316e-05,1.552836e-05,1.552579e-05,1.546424e-05,1.544132e-05,1.540080e-05,1.535805e-05,1.533805e-05,1.527600e-05,1.519518e-05,1.511563e-05,1.503734e-05,1.496033e-05,1.488461e-05,1.481018e-05,1.473705e-05,1.466520e-05,1.459465e-05,1.452539e-05,1.445740e-05,1.439069e-05,1.432525e-05,1.426106e-05,1.419811e-05,1.413640e-05,1.407591e-05,1.401662e-05,1.395853e-05,1.390162e-05,1.384588e-05,1.379128e-05,1.373781e-05,1.368546e-05
0.000000e+00,5.169654e-11,1.890266e-10,1.251630e-09,4.244996e-09,7.352720e-09,2.352191e-08,2.451411e-08,6.054364e-08,7.523312e-08,1.246723e-07,1.810539e-07,2.276526e-07,3.666843e-07,3.810666e-07,5.944503e-07,6.551589e-07,8.716506e-07,1.054028e-06,1.210184e-06,1.553801e-06,1.603671e-06,2.044550e-06,2.137763e-06,2.525582e-06,2.789405e-06,3.040280e-06,3.494355e-06,3.582800e-06,4.147702e-06,4.239811e-06,4.729746e-06,5.013708e-06,5.323808e-06,5.804335e-06,5.924872e-06,6.528085e-06,6.600393e-06,7.128843e-06,7.391285e-06,7.722879e-06,8.167464e-06,8.306341e-06,8.875848e-06,8.920716e-06,9.428525e-06,9.644338e-06,9.962014e-06,1.033319e-05,1.047446e-05,1.096450e-05,1.098362e-05,1.143119e-05,1.159337e-05,1.187400e-05,1.216136e-05,1.229274e-05,1.268750e-05,1.305862e-05,1.317246e-05,1.340663e-05,1.361756e-05,1.373224e-05,1.402448e-05,1.403624e-05,1.431952e-05,1.439525e-05,1.458301e-05,1.473201e-05,1.482769e-05,1.503703e-05,1.505454e-05,1.526454e-05,1.531253e-05,1.545864e-05,1.556074e-05,1.563778e-05,1.578377e-05,1.580287e-05,1.595476e-05,1.598363e-05,1.609428e-05,1.616221e-05,1.622222e-05,1.632128e-05,1.633931e-05,1.644625e-05,1.646247e-05,1.654370e-05,1.658728e-05,1.663226e-05,1.669711e-05,1.671252e-05,1.678501e-05,1.679321e-05,1.685024e-05,1.687676e-05,1.690867e-05,1.694880e-05,1.696074e-05,1.700685e-05,1.701030e-05,1.704740e-05,1.706214e-05,1.708273e-05,1.710512e-05,1.711317e-05,1.713903e-05,1.713998e-05,1.716061e-05,1.716737e-05,1.717815e-05,1.718792e-05,1.719193e-05,1.720217e-05,1.720908e-05,1.721063e-05,1.721288e-05,1.721376e-05,1.721375e-05,1.721200e-05,1.721187e-05,1.720741e-05,1.720572e-05,1.720053e-05,1.719530e-05,1.719137e-05,1.718105e-05,1.718007e-05,1.716675e-05,1.716327e-05,1.715155e-05,1.714226e-05,1.713458e-05,1.711825e-05,1.711593e-05,1.709572e-05,1.709150e-05,1.707404e-05,1.706222e-05,1.705098e-05,1.703060e-05,1.702662e-05,1.700104e-05,1.699684e-05,1.697433e-05,1.696112e-05,1.694654e-05,1.692359e-05,1.691775e-05,1.688803e-05,1.688440e-05,1.685742e-05,1.684369e-05,1.682600e-05,1.680160e-05,1.679381e-05,1.676090e-05,1.675824e-05,1.672733e-05,1.671373e-05,1.669314e-05,1.666817e-05,1.665838e-05,1.662308e-05,1.662166e-05,1.658729e-05,1.657429e-05,1.655104e-05,1.652614e-05,1.651437e-05,1.647731e-05,1.642786e-05,1.637786e-05,1.632738e-05,1.627649e-05,1.622523e-05,1.617367e-05,1.612185e-05,1.606983e-05,1.601765e-05,1.596534e-05,1.591296e-05,1.586053e-05,1.580810e-05,1.575569e-05,1.570333e-05,1.565107e-05,1.559891e-05,1.554689e-05,1.549503e-05,1.544336e-05,1.539189e-05,1.534064e-05,1.528963e-05,1.523888e-05
0.000000e+00,1.103844e-09,2.515251e-09,8.551283e-09,1.926325e-08,2.797017e-08,6.289489e-08,6.477209e-08,1.248874e-07,1.468232e-07,2.153464e-07,2.875588e-07,3.443074e-07,5.038332e-07,5.197145e-07,7.456624e-07,8.071571e-07,1.018100e-06,1.186713e-06,1.325161e-06,1.612801e-06,1.652785e-06,1.989392e-06,2.057027e-06,2.326920e-06,2.500945e-06,2.660022e-06,2.933724e-06,2.985076e-06,3.299497e-06,3.348681e-06,3.601349e-06,3.741324e-06,3.889147e-06,4.108498e-06,4.161762e-06,4.418377e-06,4.448069e-06,4.658483e-06,4.758825e-06,4.881823e-06,5.040330e-06,5.088381e-06,5.278362e-06,5.292855e-06,5.452152e-06,5.517251e-06,5.610288e-06,5.714819e-06,5.753428e-06,5.882313e-06,5.887183e-06,5.997744e-06,6.036166e-06,6.100557e-06,6.163692e-06,6.191594e-06,6.271692e-06,6.341677e-06,6.362069e-06,6.402354e-06,6.436659e-06,6.454490e-06,6.497174e-06,6.498805e-06,6.535976e-06,6.545191e-06,6.566637e-06,6.582156e-06,6.591377e-06,6.609375e-06,6.610737e-06,6.625215e-06,6.628015e-06,6.635269e-06,6.639124e-06,6.641317e-06,6.643631e-06,6.643742e-06,6.642893e-06,6.642358e-06,6.639085e-06,6.636033e-06,6.632608e-06,6.625296e-06,6.623723e-06,6.612668e-06,6.610713e-06,6.599660e-06,6.592781e-06,6.584896e-06,6.571941e-06,6.568554e-06,6.550796e-06,6.548577e-06,6.531770e-06,6.523032e-06,6.511610e-06,6.495605e-06,6.490437e-06,6.468364e-06,6.466562e-06,6.445491e-06,6.436138e-06,6.421910e-06,6.404542e-06,6.397707e-06,6.372957e-06,6.371957e-06,6.347732e-06,6.338547e-06,6.322095e-06,6.304456e-06,6.296105e-06,6.269815e-06,6.243276e-06,6.234738e-06,6.216532e-06,6.199328e-06,6.189625e-06,6.163676e-06,6.162592e-06,6.135469e-06,6.127863e-06,6.108288e-06,6.091964e-06,6.081078e-06,6.056042e-06,6.053866e-06,6.026676e-06,6.020156e-06,5.999532e-06,5.984359e-06,5.972454e-06,5.948695e-06,5.945461e-06,5.918572e-06,5.913208e-06,5.891802e-06,5.877933e-06,5.865166e-06,5.842905e-06,5.838677e-06,5.812348e-06,5.808151e-06,5.786191e-06,5.773699e-06,5.760215e-06,5.739571e-06,5.734430e-06,5.708844e-06,5.705788e-06,5.683466e-06,5.672367e-06,5.658302e-06,5.639325e-06,5.633359e-06,5.608643e-06,5.606675e-06,5.584158e-06,5.574430e-06,5.559909e-06,5.542598e-06,5.535900e-06,5.512136e-06,5.511190e-06,5.488618e-06,5.480213e-06,5.465350e-06,5.449672e-06,5.442334e-06,5.419573e-06,5.389919e-06,5.360713e-06,5.331958e-06,5.303655e-06,5.275804e-06,5.248405e-06,5.221458e-06,5.194961e-06,5.168912e-06,5.143310e-06,5.118151e-06,5.093432e-06,5.069150e-06,5.045302e-06,5.021884e-06,4.998891e-06,4.976319e-06,4.954164e-06,4.932420e-06,4.911083e-06,4.890147e-06,4.869608e-06,4.849461e-06,4.829699e-06
0.000000e+00,8.892198e-10,2.313727e-09,9.134706e-09,2.216208e-08,3.309643e-08,7.801602e-08,8.044960e-08,1.582505e-07,1.863922e-07,2.730322e-07,3.622005e-07,4.308788e-07,6.190023e-07,6.374455e-07,8.978641e-07,9.688797e-07,1.216427e-06,1.421357e-06,1.595958e-06,1.980870e-06,2.036993e-06,2.537318e-06,2.644125e-06,3.092345e-06,3.400627e-06,3.696119e-06,4.236275e-06,4.342234e-06,5.024322e-06,5.136379e-06,5.736219e-06,6.086768e-06,6.471996e-06,7.073979e-06,7.225963e-06,7.992683e-06,8.085299e-06,8.767010e-06,9.108869e-06,9.544124e-06,1.013384e-05,1.031957e-05,1.108931e-05,1.115053e-05,1.184969e-05,1.215049e-05,1.259752e-05,1.312661e-05,1.333002e-05,1.404483e-05,1.407303e-05,1.473999e-05,1.498511e-05,1.541389e-05,1.585935e-05,1.606528e-05,1.669321e-05,1.729700e-05,1.748503e-05,1.787621e-05,1.823391e-05,1.843064e-05,1.893952e-05,1.896023e-05,1.946510e-05,1.960206e-05,1.994549e-05,2.022213e-05,2.040177e-05,2.080063e-05,2.083438e-05,2.124383e-05,2.133871e-05,2.163070e-05,2.183772e-05,2.199562e-05,2.229910e-05,2.233923e-05,2.266223e-05,2.272441e-05,2.296529e-05,2.311524e-05,2.324913e-05,2.347322e-05,2.351446e-05,2.376197e-05,2.379997e-05,2.399238e-05,2.409711e-05,2.420638e-05,2.436622e-05,2.440465e-05,2.458785e-05,2.460886e-05,2.475665e-05,2.482652e-05,2.491168e-05,2.502067e-05,2.505355e-05,2.518288e-05,2.519270e-05,2.530023e-05,2.534395e-05,2.540619e-05,2.547572e-05,2.550129e-05,2.558606e-05,2.558925e-05,2.566103e-05,2.568570e-05,2.572666e-05,2.576621e-05,2.578345e-05,2.583184e-05,2.587227e-05,2.588359e-05,2.590516e-05,2.592245e-05,2.593093e-05,2.594931e-05,2.594995e-05,2.596260e-05,2.596505e-05,2.596923e-05,2.597047e-05,2.597019e-05,2.596635e-05,2.596581e-05,2.595640e-05,2.595343e-05,2.594226e-05,2.593238e-05,2.592367e-05,2.590386e-05,2.590091e-05,2.587425e-05,2.586847e-05,2.584393e-05,2.582680e-05,2.581020e-05,2.577938e-05,2.577327e-05,2.573337e-05,2.572673e-05,2.569072e-05,2.566932e-05,2.564549e-05,2.560759e-05,2.559789e-05,2.554809e-05,2.554197e-05,2.549627e-05,2.547286e-05,2.544258e-05,2.540062e-05,2.538718e-05,2.533022e-05,2.532560e-05,2.527184e-05,2.524812e-05,2.521217e-05,2.516848e-05,2.515134e-05,2.508946e-05,2.508697e-05,2.502665e-05,2.500384e-05,2.496302e-05,2.491934e-05,2.489868e-05,2.483370e-05,2.474713e-05,2.465983e-05,2.457198e-05,2.448375e-05,2.439530e-05,2.430676e-05,2.421828e-05,2.412998e-05,2.404197e-05,2.395435e-05,2.386722e-05,2.378067e-05,2.369477e-05,2.360961e-05,2.352524e-05,2.344172e-05,2.335910e-05,2.327745e-05,2.319679e-05,2.311716e-05,2.303861e-05,2.296115e-05,2.288482e-05,2.280963e-05
0.000000e+00,5.080902e-11,1.947063e-10,1.416105e-09,5.209542e-09,9.418089e-09,3.344042e-08,3.499211e-08,9.488587e-08,1.207282e-07,2.115993e-07,3.204569e-07,4.135047e-07,7.036716e-07,7.346235e-07,1.212232e-06,1.354141e-06,1.880831e-06,2.348378e-06,2.764976e-06,3.730191e-06,3.875417e-06,5.209573e-06,5.502245e-06,6.754348e-06,7.634324e-06,8.489411e-06,1.007587e-05,1.038998e-05,1.242889e-05,1.276608e-05,1.457808e-05,1.564062e-05,1.680958e-05,1.863576e-05,1.909624e-05,2.141229e-05,2.169103e-05,2.373368e-05,2.475105e-05,2.603845e-05,2.776675e-05,2.830690e-05,3.052175e-05,3.069616e-05,3.266822e-05,3.350482e-05,3.473400e-05,3.616574e-05,3.670919e-05,3.858619e-05,3.865915e-05,4.035953e-05,4.097182e-05,4.202566e-05,4.309638e-05,4.358274e-05,4.503044e-05,4.636971e-05,4.677567e-05,4.760253e-05,4.833696e-05,4.873176e-05,4.972164e-05,4.976094e-05,5.069410e-05,5.093877e-05,5.153566e-05,5.199855e-05,5.229027e-05,5.291184e-05,5.296273e-05,5.355787e-05,5.368974e-05,5.408053e-05,5.434332e-05,5.453542e-05,5.488335e-05,5.492718e-05,5.526024e-05,5.532019e-05,5.553887e-05,5.566361e-05,5.576715e-05,5.592281e-05,5.594892e-05,5.608784e-05,5.610633e-05,5.618735e-05,5.622206e-05,5.625065e-05,5.627726e-05,5.628076e-05,5.628049e-05,5.627854e-05,5.625245e-05,5.623195e-05,5.619908e-05,5.614298e-05,5.612264e-05,5.602523e-05,5.601660e-05,5.590879e-05,5.585730e-05,5.577512e-05,5.566914e-05,5.562587e-05,5.546259e-05,5.545579e-05,5.528669e-05,5.522053e-05,5.509948e-05,5.496634e-05,5.490217e-05,5.469586e-05,5.448159e-05,5.441150e-05,5.426030e-05,5.411539e-05,5.403286e-05,5.380947e-05,5.380007e-05,5.356266e-05,5.349546e-05,5.332132e-05,5.317489e-05,5.307667e-05,5.284916e-05,5.282928e-05,5.257968e-05,5.251950e-05,5.232834e-05,5.218701e-05,5.207572e-05,5.185267e-05,5.182221e-05,5.156820e-05,5.151736e-05,5.131401e-05,5.118187e-05,5.105997e-05,5.084689e-05,5.080635e-05,5.055342e-05,5.051303e-05,5.030142e-05,5.018085e-05,5.005055e-05,4.985082e-05,4.980103e-05,4.955302e-05,4.952336e-05,4.930668e-05,4.919887e-05,4.906218e-05,4.887765e-05,4.881963e-05,4.857915e-05,4.856001e-05,4.834086e-05,4.824618e-05,4.810485e-05,4.793638e-05,4.787120e-05,4.763999e-05,4.763079e-05,4.741129e-05,4.732958e-05,4.718515e-05,4.703286e-05,4.696162e-05,4.674076e-05,4.645335e-05,4.617072e-05,4.589291e-05,4.561997e-05,4.535191e-05,4.508875e-05,4.483050e-05,4.457715e-05,4.432868e-05,4.408507e-05,4.384630e-05,4.361232e-05,4.338310e-05,4.315858e-05,4.293873e-05,4.272349e-05,4.251279e-05,4.230659e-05,4.210482e-05,4.190741e-05,4.171430e-05,4.152543e-05,4.134072e-05,4.116010e-05
0.000000e+00,2.116957e-10,7.421438e-10,4.532731e-09,1.438319e-08,2.408094e-08,7.107750e-08,7.384788e-08,1.698270e-07,2.072026e-07,3.284425e-07,4.608257e-07,5.670028e-07,8.729607e-07,9.039871e-07,1.357831e-06,1.485889e-06,1.942574e-06,2.328835e-06,2.660879e-06,3.393768e-06,3.500137e-06,4.436564e-06,4.633124e-06,5.443356e-06,5.986527e-06,6.496453e-06,7.402443e-06,7.576349e-06,8.667572e-06,8.842351e-06,9.757626e-06,1.027731e-05,1.083609e-05,1.168452e-05,1.189410e-05,1.292405e-05,1.304544e-05,1.391953e-05,1.434521e-05,1.487524e-05,1.557238e-05,1.578701e-05,1.665169e-05,1.671876e-05,1.746717e-05,1.777927e-05,1.823219e-05,1.875150e-05,1.894634e-05,1.960986e-05,1.963536e-05,2.022358e-05,2.043257e-05,2.078881e-05,2.114629e-05,2.130719e-05,2.178066e-05,2.221132e-05,2.234046e-05,2.260143e-05,2.283086e-05,2.295326e-05,2.325718e-05,2.326915e-05,2.355138e-05,2.362468e-05,2.380220e-05,2.393852e-05,2.402378e-05,2.420359e-05,2.421820e-05,2.438744e-05,2.442452e-05,2.453339e-05,2.460562e-05,2.465783e-05,2.475087e-05,2.476243e-05,2.484874e-05,2.486394e-05,2.491823e-05,2.494817e-05,2.497225e-05,2.500661e-05,2.501208e-05,2.503888e-05,2.504203e-05,2.505374e-05,2.505692e-05,2.505765e-05,2.505352e-05,2.505154e-05,2.503625e-05,2.503384e-05,2.501257e-05,2.499968e-05,2.498124e-05,2.495275e-05,2.494297e-05,2.489838e-05,2.489456e-05,2.484804e-05,2.482641e-05,2.479248e-05,2.474953e-05,2.473221e-05,2.466767e-05,2.466501e-05,2.459928e-05,2.457379e-05,2.452742e-05,2.447675e-05,2.445243e-05,2.437465e-05,2.429438e-05,2.426821e-05,2.421189e-05,2.415806e-05,2.412746e-05,2.404478e-05,2.404130e-05,2.395365e-05,2.392886e-05,2.386470e-05,2.381078e-05,2.377464e-05,2.369095e-05,2.368364e-05,2.359186e-05,2.356974e-05,2.349946e-05,2.344749e-05,2.340656e-05,2.332450e-05,2.331329e-05,2.321977e-05,2.320105e-05,2.312611e-05,2.307738e-05,2.303239e-05,2.295370e-05,2.293872e-05,2.284518e-05,2.283023e-05,2.275183e-05,2.270712e-05,2.265876e-05,2.258455e-05,2.256603e-05,2.247370e-05,2.246265e-05,2.238183e-05,2.234156e-05,2.229045e-05,2.222138e-05,2.219963e-05,2.210940e-05,2.210221e-05,2.201981e-05,2.198415e-05,2.193088e-05,2.186728e-05,2.184265e-05,2.175514e-05,2.175166e-05,2.166839e-05,2.163735e-05,2.158242e-05,2.152442e-05,2.149725e-05,2.141289e-05,2.130283e-05,2.119425e-05,2.108719e-05,2.098167e-05,2.087772e-05,2.077534e-05,2.067455e-05,2.057535e-05,2.047776e-05,2.038178e-05,2.028740e-05,2.019462e-05,2.010345e-05,2.001386e-05,1.992586e-05,1.983943e-05,1.975457e-05,1.967126e-05,1.958949e-05,1.950924e-05,1.943050e-05,1.935326e-05,1.927749e-05,1.920318e-05
0.000000e+00,2.726634e-09,6.585486e-09,2.397899e-08,5.613728e-08,8.289208e-08,1.933022e-07,1.993400e-07,3.965160e-07,4.699298e-07,7.027042e-07,9.514286e-07,1.147617e-06,1.693882e-06,1.747503e-06,2.493183e-06,2.691316e-06,3.361721e-06,3.893684e-06,4.332070e-06,5.257677e-06,5.388585e-06,6.519056e-06,6.753064e-06,7.712670e-06,8.354810e-06,8.958892e-06,1.003857e-05,1.024704e-05,1.156627e-05,1.177950e-05,1.290572e-05,1.355271e-05,1.425480e-05,1.533421e-05,1.560344e-05,1.694231e-05,1.710191e-05,1.826299e-05,1.883637e-05,1.955806e-05,2.052125e-05,2.082119e-05,2.204713e-05,2.214346e-05,2.323163e-05,2.369307e-05,2.437143e-05,2.516303e-05,2.546414e-05,2.650813e-05,2.654887e-05,2.750248e-05,2.784821e-05,2.844683e-05,2.906047e-05,2.934130e-05,3.018643e-05,3.098306e-05,3.122791e-05,3.173231e-05,3.218755e-05,3.243547e-05,3.306849e-05,3.309399e-05,3.370943e-05,3.387426e-05,3.428341e-05,3.460857e-05,3.481757e-05,3.527528e-05,3.531360e-05,3.577318e-05,3.587824e-05,3.619795e-05,3.642124e-05,3.658956e-05,3.690800e-05,3.694959e-05,3.727959e-05,3.734212e-05,3.758107e-05,3.772705e-05,3.785548e-05,3.806608e-05,3.810421e-05,3.832861e-05,3.836234e-05,3.852996e-05,3.861878e-05,3.870949e-05,3.883820e-05,3.886839e-05,3.900777e-05,3.902324e-05,3.912872e-05,3.917636e-05,3.923226e-05,3.929990e-05,3.931936e-05,3.939095e-05,3.939604e-05,3.944792e-05,3.946680e-05,3.949111e-05,3.951412e-05,3.952131e-05,3.953930e-05,3.953977e-05,3.954577e-05,3.954542e-05,3.954144e-05,3.953264e-05,3.952693e-05,3.950288e-05,3.946987e-05,3.945750e-05,3.942844e-05,3.939776e-05,3.937914e-05,3.932485e-05,3.932245e-05,3.925886e-05,3.923987e-05,3.918880e-05,3.914385e-05,3.911272e-05,3.903774e-05,3.903100e-05,3.894404e-05,3.892242e-05,3.885219e-05,3.879874e-05,3.875579e-05,3.866747e-05,3.865518e-05,3.855066e-05,3.852931e-05,3.844252e-05,3.838494e-05,3.833103e-05,3.823499e-05,3.821646e-05,3.809905e-05,3.808002e-05,3.797904e-05,3.792058e-05,3.785665e-05,3.775717e-05,3.773209e-05,3.760555e-05,3.759024e-05,3.747722e-05,3.742024e-05,3.734728e-05,3.724755e-05,3.721590e-05,3.708323e-05,3.707256e-05,3.694942e-05,3.689561e-05,3.681462e-05,3.671702e-05,3.667895e-05,3.654255e-05,3.653708e-05,3.640553e-05,3.635607e-05,3.626800e-05,3.617425e-05,3.613008e-05,3.599185e-05,3.580909e-05,3.562617e-05,3.544328e-05,3.526058e-05,3.507825e-05,3.489641e-05,3.471522e-05,3.453479e-05,3.435524e-05,3.417667e-05,3.399917e-05,3.382284e-05,3.364776e-05,3.347399e-05,3.330160e-05,3.313065e-05,3.296120e-05,3.279329e-05,3.262696e-05,3.246227e-05,3.229923e-05,3.213788e-05,3.197825e-05,3.182035e-05
0.000000e+00,2.365352e-10,7.734494e-10,4.181971e-09,1.214347e-08,1.950919e-08,5.276362e-08,5.465234e-08,1.176814e-07,1.413884e-07,2.163693e-07,2.959111e-07,3.584523e-07,5.342752e-07,5.518203e-07,8.044129e-07,8.746842e-07,1.123434e-06,1.333029e-06,1.513608e-06,1.916182e-06,1.975242e-06,2.503935e-06,2.617102e-06,3.092392e-06,3.419349e-06,3.732645e-06,4.305018e-06,4.417253e-06,5.139558e-06,5.258214e-06,5.893507e-06,6.264969e-06,6.673435e-06,7.312424e-06,7.473907e-06,8.289666e-06,8.388341e-06,9.115620e-06,9.481001e-06,9.946880e-06,1.057933e-05,1.077881e-05,1.160709e-05,1.167307e-05,1.242773e-05,1.275303e-05,1.323715e-05,1.381117e-05,1.403215e-05,1.480998e-05,1.484070e-05,1.556829e-05,1.583612e-05,1.630513e-05,1.679311e-05,1.701894e-05,1.770852e-05,1.837298e-05,1.858020e-05,1.901174e-05,1.940690e-05,1.962448e-05,2.018815e-05,2.021111e-05,2.077172e-05,2.092406e-05,2.130659e-05,2.161532e-05,2.181612e-05,2.226296e-05,2.230084e-05,2.276135e-05,2.286835e-05,2.319835e-05,2.343307e-05,2.361256e-05,2.395885e-05,2.400478e-05,2.437579e-05,2.444752e-05,2.472642e-05,2.490097e-05,2.505749e-05,2.532107e-05,2.536982e-05,2.566421e-05,2.570970e-05,2.594147e-05,2.606869e-05,2.620237e-05,2.639983e-05,2.644768e-05,2.667813e-05,2.670481e-05,2.689443e-05,2.698530e-05,2.709727e-05,2.724284e-05,2.728732e-05,2.746520e-05,2.747892e-05,2.763151e-05,2.769493e-05,2.778685e-05,2.789221e-05,2.793176e-05,2.806678e-05,2.807198e-05,2.819240e-05,2.823542e-05,2.830910e-05,2.838361e-05,2.841735e-05,2.851758e-05,2.861019e-05,2.863828e-05,2.869558e-05,2.874662e-05,2.877413e-05,2.884342e-05,2.884618e-05,2.891207e-05,2.892946e-05,2.897213e-05,2.900548e-05,2.902664e-05,2.907215e-05,2.907590e-05,2.912019e-05,2.913011e-05,2.915975e-05,2.917994e-05,2.919484e-05,2.922221e-05,2.922569e-05,2.925252e-05,2.925742e-05,2.927554e-05,2.928607e-05,2.929494e-05,2.930859e-05,2.931092e-05,2.932366e-05,2.932541e-05,2.933333e-05,2.933692e-05,2.934008e-05,2.934349e-05,2.934408e-05,2.934547e-05,2.934546e-05,2.934438e-05,2.934316e-05,2.934096e-05,2.933687e-05,2.933532e-05,2.932759e-05,2.932688e-05,2.931788e-05,2.931346e-05,2.930629e-05,2.929685e-05,2.929294e-05,2.927791e-05,2.927727e-05,2.926130e-05,2.925496e-05,2.924321e-05,2.923009e-05,2.922370e-05,2.920288e-05,2.917348e-05,2.914208e-05,2.910882e-05,2.907386e-05,2.903732e-05,2.899935e-05,2.896005e-05,2.891954e-05,2.887794e-05,2.883534e-05,2.879183e-05,2.874751e-05,2.870245e-05,2.865674e-05,2.861045e-05,2.856365e-05,2.851641e-05,2.846878e-05,2.842082e-05,2.837259e-05,2.832413e-05,2.827551e-05,2.822675e-05,2.817791e-05
0.000000e+00,2.468986e-09,5.685480e-09,1.965151e-08,4.474974e-08,6.525465e-08,1.474465e-07,1.518455e-07,2.910380e-07,3.409298e-07,4.936593e-07,6.499265e-07,7.698568e-07,1.097095e-06,1.129101e-06,1.580043e-06,1.702778e-06,2.130183e-06,2.483841e-06,2.785308e-06,3.451317e-06,3.548662e-06,4.419921e-06,4.606781e-06,5.394224e-06,5.938529e-06,6.461819e-06,7.420624e-06,7.608826e-06,8.819000e-06,9.017373e-06,1.007579e-05,1.069101e-05,1.136377e-05,1.240740e-05,1.266932e-05,1.398072e-05,1.413798e-05,1.528794e-05,1.585955e-05,1.658247e-05,1.755335e-05,1.785710e-05,1.910573e-05,1.920434e-05,2.032326e-05,2.080060e-05,2.150551e-05,2.233295e-05,2.264909e-05,2.375138e-05,2.379458e-05,2.481036e-05,2.518071e-05,2.582464e-05,2.648834e-05,2.679331e-05,2.771591e-05,2.859235e-05,2.886310e-05,2.942288e-05,2.993054e-05,3.020799e-05,3.091965e-05,3.094842e-05,3.164508e-05,3.183244e-05,3.229900e-05,3.267133e-05,3.291137e-05,3.343910e-05,3.348341e-05,3.401645e-05,3.413873e-05,3.451183e-05,3.477331e-05,3.497093e-05,3.534603e-05,3.539513e-05,3.578583e-05,3.586007e-05,3.614440e-05,3.631861e-05,3.647221e-05,3.672478e-05,3.677060e-05,3.704088e-05,3.708161e-05,3.728435e-05,3.739206e-05,3.750226e-05,3.765900e-05,3.769582e-05,3.786622e-05,3.788516e-05,3.801460e-05,3.807319e-05,3.814206e-05,3.822561e-05,3.824969e-05,3.833849e-05,3.834482e-05,3.840948e-05,3.843310e-05,3.846360e-05,3.849264e-05,3.850177e-05,3.852487e-05,3.852550e-05,3.853375e-05,3.853362e-05,3.852922e-05,3.851888e-05,3.851206e-05,3.848300e-05,3.844277e-05,3.842765e-05,3.839205e-05,3.835438e-05,3.833148e-05,3.826466e-05,3.826170e-05,3.818329e-05,3.815987e-05,3.809682e-05,3.804130e-05,3.800284e-05,3.791019e-05,3.790187e-05,3.779438e-05,3.776767e-05,3.768087e-05,3.761483e-05,3.756176e-05,3.745266e-05,3.743749e-05,3.730846e-05,3.728212e-05,3.717505e-05,3.710408e-05,3.703764e-05,3.691937e-05,3.689657e-05,3.675216e-05,3.672877e-05,3.660473e-05,3.653299e-05,3.645459e-05,3.633270e-05,3.630200e-05,3.614724e-05,3.612853e-05,3.599056e-05,3.592107e-05,3.583219e-05,3.571085e-05,3.567237e-05,3.551131e-05,3.549837e-05,3.534920e-05,3.528411e-05,3.518624e-05,3.506849e-05,3.502261e-05,3.485848e-05,3.485191e-05,3.469401e-05,3.463475e-05,3.452935e-05,3.441734e-05,3.436463e-05,3.420000e-05,3.398301e-05,3.376666e-05,3.355117e-05,3.333677e-05,3.312367e-05,3.291204e-05,3.270206e-05,3.249388e-05,3.228764e-05,3.208346e-05,3.188145e-05,3.168172e-05,3.148434e-05,3.128940e-05,3.109697e-05,3.090709e-05,3.071983e-05,3.053523e-05,3.035331e-05,3.017410e-05,2.999764e-05,2.982392e-05,2.965297e-05,2.948480e-05
0.000000e+00,2.586227e-11,9.954860e-11,7.310894e-10,2.715827e-09,4.938511e-09,1.783848e-08,1.868066e-08,5.173167e-08,6.624779e-08,1.181619e-07,1.816240e-07,2.365727e-07,4.097416e-07,4.282659e-07,7.130763e-07,7.970829e-07,1.106109e-06,1.377280e-06,1.617006e-06,2.168067e-06,2.250653e-06,3.008185e-06,3.174445e-06,3.887823e-06,4.392207e-06,4.885454e-06,5.810264e-06,5.995015e-06,7.208746e-06,7.412011e-06,8.517402e-06,9.176227e-06,9.910456e-06,1.107791e-05,1.137632e-05,1.290263e-05,1.308924e-05,1.447648e-05,1.518065e-05,1.608476e-05,1.732207e-05,1.771447e-05,1.935292e-05,1.948401e-05,2.098808e-05,2.163867e-05,2.260869e-05,2.376074e-05,2.420452e-05,2.576639e-05,2.582804e-05,2.728631e-05,2.782187e-05,2.875750e-05,2.972716e-05,3.017434e-05,3.153238e-05,3.282824e-05,3.322937e-05,3.405955e-05,3.481300e-05,3.522485e-05,3.628081e-05,3.632347e-05,3.735547e-05,3.763257e-05,3.832150e-05,3.886991e-05,3.922271e-05,3.999592e-05,4.006068e-05,4.083730e-05,4.101480e-05,4.155475e-05,4.193154e-05,4.221536e-05,4.275165e-05,4.282161e-05,4.337607e-05,4.348097e-05,4.388131e-05,4.412546e-05,4.433996e-05,4.469109e-05,4.475457e-05,4.512767e-05,4.518368e-05,4.546173e-05,4.560890e-05,4.575910e-05,4.597214e-05,4.602209e-05,4.625288e-05,4.627851e-05,4.645355e-05,4.653283e-05,4.662610e-05,4.673957e-05,4.677238e-05,4.689419e-05,4.690293e-05,4.699320e-05,4.702677e-05,4.707097e-05,4.711466e-05,4.712900e-05,4.716867e-05,4.716989e-05,4.719128e-05,4.719548e-05,4.719806e-05,4.719420e-05,4.719014e-05,4.716859e-05,4.713441e-05,4.712096e-05,4.708853e-05,4.705344e-05,4.703183e-05,4.696797e-05,4.696512e-05,4.688915e-05,4.686632e-05,4.680464e-05,4.675011e-05,4.671225e-05,4.662081e-05,4.661259e-05,4.650624e-05,4.647979e-05,4.639375e-05,4.632825e-05,4.627561e-05,4.616735e-05,4.615229e-05,4.602424e-05,4.599809e-05,4.589186e-05,4.582144e-05,4.575553e-05,4.563823e-05,4.561562e-05,4.547246e-05,4.544928e-05,4.532636e-05,4.525528e-05,4.517762e-05,4.505691e-05,4.502651e-05,4.487328e-05,4.485476e-05,4.471817e-05,4.464939e-05,4.456141e-05,4.444130e-05,4.440321e-05,4.424376e-05,4.423096e-05,4.408324e-05,4.401878e-05,4.392184e-05,4.380516e-05,4.375969e-05,4.359697e-05,4.359045e-05,4.343381e-05,4.337498e-05,4.327033e-05,4.315905e-05,4.310667e-05,4.294293e-05,4.272687e-05,4.251109e-05,4.229582e-05,4.208123e-05,4.186750e-05,4.165480e-05,4.144326e-05,4.123302e-05,4.102420e-05,4.081690e-05,4.061123e-05,4.040727e-05,4.020511e-05,4.000481e-05,3.980644e-05,3.961006e-05,3.941572e-05,3.922346e-05,3.903332e-05,3.884533e-05,3.865954e-05,3.847595e-05,3.829459e-05,3.811548e-05
0.000000e+00,4.668876e-09,1.157700e-08,4.341709e-08,1.032117e-07,1.533687e-07,3.622784e-07,3.737620e-07,7.507177e-07,8.917580e-07,1.340934e-06,1.825067e-06,2.211446e-06,3.318662e-06,3.430323e-06,5.042635e-06,5.488615e-06,7.040672e-06,8.305854e-06,9.361089e-06,1.160135e-05,1.191795e-05,1.463471e-05,1.519188e-05,1.745386e-05,1.894592e-05,2.033354e-05,2.277592e-05,2.324214e-05,2.615436e-05,2.661919e-05,2.904902e-05,3.042678e-05,3.190795e-05,3.415880e-05,3.471554e-05,3.745849e-05,3.778276e-05,4.012571e-05,4.127289e-05,4.270818e-05,4.460978e-05,4.519887e-05,4.759247e-05,4.777965e-05,4.988530e-05,5.077367e-05,5.207510e-05,5.358735e-05,5.416086e-05,5.614260e-05,5.621972e-05,5.802119e-05,5.867246e-05,5.979792e-05,6.094891e-05,6.147479e-05,6.305426e-05,6.453899e-05,6.499457e-05,6.593195e-05,6.677673e-05,6.723628e-05,6.840800e-05,6.845515e-05,6.959181e-05,6.989578e-05,7.064949e-05,7.124755e-05,7.163146e-05,7.247077e-05,7.254093e-05,7.338105e-05,7.357270e-05,7.415490e-05,7.456044e-05,7.486549e-05,7.544080e-05,7.551574e-05,7.610849e-05,7.622038e-05,7.664647e-05,7.690547e-05,7.713235e-05,7.750208e-05,7.756866e-05,7.795788e-05,7.801594e-05,7.830235e-05,7.845248e-05,7.860435e-05,7.881683e-05,7.886605e-05,7.908954e-05,7.911389e-05,7.927682e-05,7.934825e-05,7.942981e-05,7.952428e-05,7.955034e-05,7.964016e-05,7.964607e-05,7.970095e-05,7.971750e-05,7.973432e-05,7.974222e-05,7.974178e-05,7.972482e-05,7.972365e-05,7.968481e-05,7.966502e-05,7.962309e-05,7.956936e-05,7.954092e-05,7.943953e-05,7.932006e-05,7.927819e-05,7.918361e-05,7.908786e-05,7.903124e-05,7.887089e-05,7.886393e-05,7.868263e-05,7.862949e-05,7.848826e-05,7.836572e-05,7.828167e-05,7.808151e-05,7.806367e-05,7.783506e-05,7.777869e-05,7.759656e-05,7.745894e-05,7.734888e-05,7.712386e-05,7.709269e-05,7.682863e-05,7.677492e-05,7.655729e-05,7.641351e-05,7.627926e-05,7.604093e-05,7.599507e-05,7.570524e-05,7.565837e-05,7.541026e-05,7.526698e-05,7.511060e-05,7.486779e-05,7.480669e-05,7.449896e-05,7.446180e-05,7.418780e-05,7.404990e-05,7.387358e-05,7.363296e-05,7.355667e-05,7.323739e-05,7.321175e-05,7.291606e-05,7.278703e-05,7.259299e-05,7.235946e-05,7.226846e-05,7.194275e-05,7.192970e-05,7.161609e-05,7.149831e-05,7.128874e-05,7.106586e-05,7.096092e-05,7.063284e-05,7.019972e-05,6.976694e-05,6.933490e-05,6.890397e-05,6.847448e-05,6.804675e-05,6.762106e-05,6.719768e-05,6.677686e-05,6.635880e-05,6.594372e-05,6.553179e-05,6.512318e-05,6.471805e-05,6.431652e-05,6.391872e-05,6.352475e-05,6.313472e-05,6.274870e-05,6.236678e-05,6.198901e-05,6.161546e-05,6.124616e-05,6.088117e-05
0.000000e+00,2.016623e-11,7.775640e-11,5.724843e-10,2.127869e-09,3.866991e-09,1.389013e-08,1.454050e-08,3.973660e-08,5.062774e-08,8.889362e-08,1.345739e-07,1.734491e-07,2.937010e-07,3.064499e-07,5.017643e-07,5.594207e-07,7.726413e-07,9.615738e-07,1.130107e-06,1.522587e-06,1.581971e-06,2.132600e-06,2.254731e-06,2.783140e-06,3.160450e-06,3.531912e-06,4.233858e-06,4.374818e-06,5.305718e-06,5.462324e-06,6.316768e-06,6.827875e-06,7.398735e-06,8.308465e-06,8.541303e-06,9.733373e-06,9.879201e-06,1.096336e-05,1.151354e-05,1.221951e-05,1.318449e-05,1.349016e-05,1.476399e-05,1.486571e-05,1.603030e-05,1.653247e-05,1.727917e-05,1.816246e-05,1.850160e-05,1.968968e-05,1.973639e-05,2.083659e-05,2.123827e-05,2.193665e-05,2.265558e-05,2.298535e-05,2.397924e-05,2.491592e-05,2.520332e-05,2.579396e-05,2.632481e-05,2.661274e-05,2.734318e-05,2.737245e-05,2.807387e-05,2.825999e-05,2.871836e-05,2.907845e-05,2.930771e-05,2.980304e-05,2.984405e-05,3.032980e-05,3.043913e-05,3.076752e-05,3.099267e-05,3.115992e-05,3.146992e-05,3.150975e-05,3.181978e-05,3.187725e-05,3.209274e-05,3.222093e-05,3.233131e-05,3.250701e-05,3.253806e-05,3.271546e-05,3.274128e-05,3.286586e-05,3.292911e-05,3.299147e-05,3.307551e-05,3.309437e-05,3.317651e-05,3.318506e-05,3.323970e-05,3.326193e-05,3.328560e-05,3.330989e-05,3.331578e-05,3.333164e-05,3.333233e-05,3.333450e-05,3.333228e-05,3.332556e-05,3.331243e-05,3.330590e-05,3.327654e-05,3.327517e-05,3.323838e-05,3.322265e-05,3.319225e-05,3.315673e-05,3.313892e-05,3.307907e-05,3.301335e-05,3.299116e-05,3.294231e-05,3.289430e-05,3.286648e-05,3.278962e-05,3.278634e-05,3.270232e-05,3.267816e-05,3.261483e-05,3.256081e-05,3.252422e-05,3.243839e-05,3.243082e-05,3.233494e-05,3.231159e-05,3.223685e-05,3.218106e-05,3.213682e-05,3.204736e-05,3.203507e-05,3.193182e-05,3.191101e-05,3.182728e-05,3.177246e-05,3.172161e-05,3.163211e-05,3.161499e-05,3.150758e-05,3.149033e-05,3.139952e-05,3.134746e-05,3.129094e-05,3.120378e-05,3.118196e-05,3.107270e-05,3.105958e-05,3.096326e-05,3.091508e-05,3.085374e-05,3.077050e-05,3.074423e-05,3.063481e-05,3.062606e-05,3.052556e-05,3.048192e-05,3.041655e-05,3.033825e-05,3.030785e-05,3.019953e-05,3.019520e-05,3.009163e-05,3.005290e-05,2.998421e-05,2.991146e-05,2.987732e-05,2.977100e-05,2.963162e-05,2.949340e-05,2.935642e-05,2.922076e-05,2.908647e-05,2.895361e-05,2.882224e-05,2.869239e-05,2.856411e-05,2.843743e-05,2.831238e-05,2.818898e-05,2.806725e-05,2.794721e-05,2.782888e-05,2.771227e-05,2.759737e-05,2.748420e-05,2.737277e-05,2.726306e-05,2.715508e-05,2.704883e-05,2.694430e-05,2.684148e-05
0.000000e+00,1.735239e-09,5.750623e-09,3.181341e-08,9.392284e-08,1.520896e-07,4.188781e-07,4.341764e-07,9.509154e-07,1.147873e-06,1.778325e-06,2.457732e-06,2.998406e-06,4.542825e-06,4.698572e-06,6.963154e-06,7.598205e-06,9.851623e-06,1.174601e-05,1.336764e-05,1.692968e-05,1.744512e-05,2.197204e-05,2.292070e-05,2.682993e-05,2.945229e-05,3.191736e-05,3.630868e-05,3.715369e-05,4.247444e-05,4.332991e-05,4.782616e-05,5.039227e-05,5.316294e-05,5.739452e-05,5.844474e-05,6.363670e-05,6.425222e-05,6.870878e-05,7.089580e-05,7.363558e-05,7.726980e-05,7.839625e-05,8.297421e-05,8.333215e-05,8.735681e-05,8.905302e-05,9.153503e-05,9.441338e-05,9.550299e-05,9.925760e-05,9.940333e-05,1.027981e-04,1.040204e-04,1.061256e-04,1.082681e-04,1.092430e-04,1.121543e-04,1.148644e-04,1.156902e-04,1.173794e-04,1.188895e-04,1.197057e-04,1.217677e-04,1.218501e-04,1.238197e-04,1.243409e-04,1.256219e-04,1.266258e-04,1.272639e-04,1.286393e-04,1.287530e-04,1.300965e-04,1.303981e-04,1.313014e-04,1.319183e-04,1.323747e-04,1.332157e-04,1.333232e-04,1.341533e-04,1.343057e-04,1.348715e-04,1.352027e-04,1.354838e-04,1.359208e-04,1.359963e-04,1.364145e-04,1.364730e-04,1.367439e-04,1.368720e-04,1.369897e-04,1.371296e-04,1.371570e-04,1.372504e-04,1.372568e-04,1.372745e-04,1.372644e-04,1.372338e-04,1.371620e-04,1.371323e-04,1.369741e-04,1.369591e-04,1.367627e-04,1.366642e-04,1.365020e-04,1.362855e-04,1.361951e-04,1.358455e-04,1.358306e-04,1.354561e-04,1.353067e-04,1.350298e-04,1.347203e-04,1.345695e-04,1.340776e-04,1.335568e-04,1.333844e-04,1.330094e-04,1.326460e-04,1.324375e-04,1.318674e-04,1.318432e-04,1.312287e-04,1.310532e-04,1.305956e-04,1.302077e-04,1.299459e-04,1.293348e-04,1.292811e-04,1.286028e-04,1.284382e-04,1.279126e-04,1.275213e-04,1.272117e-04,1.265873e-04,1.265016e-04,1.257835e-04,1.256390e-04,1.250584e-04,1.246791e-04,1.243276e-04,1.237100e-04,1.235920e-04,1.228526e-04,1.227340e-04,1.221103e-04,1.217532e-04,1.213659e-04,1.207694e-04,1.206202e-04,1.198740e-04,1.197845e-04,1.191279e-04,1.187999e-04,1.183826e-04,1.178171e-04,1.176387e-04,1.168968e-04,1.168375e-04,1.161572e-04,1.158622e-04,1.154207e-04,1.148924e-04,1.146874e-04,1.139580e-04,1.139289e-04,1.132328e-04,1.129727e-04,1.125120e-04,1.120246e-04,1.117961e-04,1.110853e-04,1.101554e-04,1.092354e-04,1.083259e-04,1.074274e-04,1.065400e-04,1.056643e-04,1.048004e-04,1.039487e-04,1.031092e-04,1.022822e-04,1.014678e-04,1.006660e-04,9.987692e-05,9.910061e-05,9.833705e-05,9.758623e-05,9.684814e-05,9.612270e-05,9.540986e-05,9.470954e-05,9.402164e-05,9.334605e-05,9.268266e-05,9.203134e-05
0.000000e+00,3.008973e-09,7.298480e-09,2.665084e-08,6.226920e-08,9.169070e-08,2.109878e-07,2.174157e-07,4.223973e-07,4.965193e-07,7.252536e-07,9.618869e-07,1.145114e-06,1.651219e-06,1.701135e-06,2.409854e-06,2.603876e-06,3.279918e-06,3.836768e-06,4.307669e-06,5.331371e-06,5.478886e-06,6.775000e-06,7.047571e-06,8.177698e-06,8.943629e-06,9.670323e-06,1.098245e-05,1.123765e-05,1.286534e-05,1.313044e-05,1.453961e-05,1.535588e-05,1.624712e-05,1.762837e-05,1.797496e-05,1.971083e-05,1.991911e-05,2.144315e-05,2.220147e-05,2.316125e-05,2.445148e-05,2.485541e-05,2.651699e-05,2.664828e-05,2.813851e-05,2.877443e-05,2.971357e-05,3.081584e-05,3.123689e-05,3.270421e-05,3.276169e-05,3.411227e-05,3.460417e-05,3.545866e-05,3.633813e-05,3.674177e-05,3.796071e-05,3.911515e-05,3.947097e-05,4.020532e-05,4.086958e-05,4.123186e-05,4.215841e-05,4.219578e-05,4.309840e-05,4.334035e-05,4.394124e-05,4.441897e-05,4.472604e-05,4.539840e-05,4.545467e-05,4.612909e-05,4.628311e-05,4.675133e-05,4.707775e-05,4.732343e-05,4.778708e-05,4.784750e-05,4.832559e-05,4.841588e-05,4.875979e-05,4.896889e-05,4.915211e-05,4.945075e-05,4.950454e-05,4.981904e-05,4.986596e-05,5.009749e-05,5.021888e-05,5.034173e-05,5.051369e-05,5.055354e-05,5.073463e-05,5.075437e-05,5.088665e-05,5.094474e-05,5.101120e-05,5.108842e-05,5.110979e-05,5.118391e-05,5.118882e-05,5.123494e-05,5.124919e-05,5.126423e-05,5.127259e-05,5.127307e-05,5.126269e-05,5.126189e-05,5.123425e-05,5.121980e-05,5.118887e-05,5.114888e-05,5.112761e-05,5.105150e-05,5.096150e-05,5.092991e-05,5.085852e-05,5.078621e-05,5.074345e-05,5.062236e-05,5.061710e-05,5.048028e-05,5.044020e-05,5.033373e-05,5.024143e-05,5.017816e-05,5.002766e-05,5.001426e-05,4.984265e-05,4.980039e-05,4.966395e-05,4.956099e-05,4.947873e-05,4.931078e-05,4.928753e-05,4.909088e-05,4.905094e-05,4.888926e-05,4.878261e-05,4.868313e-05,4.850682e-05,4.847293e-05,4.825907e-05,4.822454e-05,4.804194e-05,4.793666e-05,4.782191e-05,4.764402e-05,4.759932e-05,4.737450e-05,4.734739e-05,4.714776e-05,4.704746e-05,4.691939e-05,4.674491e-05,4.668967e-05,4.645884e-05,4.644034e-05,4.622716e-05,4.613430e-05,4.599485e-05,4.582731e-05,4.576211e-05,4.552917e-05,4.551985e-05,4.529619e-05,4.521234e-05,4.506335e-05,4.490520e-05,4.483083e-05,4.459877e-05,4.429341e-05,4.398940e-05,4.368704e-05,4.338657e-05,4.308821e-05,4.279219e-05,4.249867e-05,4.220784e-05,4.191984e-05,4.163479e-05,4.135283e-05,4.107406e-05,4.079855e-05,4.052640e-05,4.025768e-05,3.999243e-05,3.973070e-05,3.947254e-05,3.921798e-05,3.896703e-05,3.871972e-05,3.847605e-05,3.823602e-05,3.799964e-05
0.000000e+00,4.006853e-09,9.405930e-09,3.319983e-08,7.641228e-08,1.119223e-07,2.553588e-07,2.630755e-07,5.089507e-07,5.978198e-07,8.720647e-07,1.155861e-06,1.375700e-06,1.983548e-06,2.043561e-06,2.897441e-06,3.131924e-06,3.951997e-06,4.631376e-06,5.208671e-06,6.471652e-06,6.654446e-06,8.267399e-06,8.607922e-06,1.002352e-05,1.098572e-05,1.190031e-05,1.355517e-05,1.387749e-05,1.593659e-05,1.627249e-05,1.806046e-05,1.909812e-05,2.023289e-05,2.199548e-05,2.243857e-05,2.466308e-05,2.493064e-05,2.689295e-05,2.787256e-05,2.911579e-05,3.079349e-05,3.132036e-05,3.349661e-05,3.366922e-05,3.563573e-05,3.647924e-05,3.773013e-05,3.920674e-05,3.977336e-05,4.176006e-05,4.183829e-05,4.368592e-05,4.436366e-05,4.554755e-05,4.677542e-05,4.734237e-05,4.906857e-05,5.072498e-05,5.124018e-05,5.231099e-05,5.328901e-05,5.382646e-05,5.521523e-05,5.527170e-05,5.664730e-05,5.702011e-05,5.795419e-05,5.870580e-05,5.919349e-05,6.027510e-05,6.036654e-05,6.147479e-05,6.173131e-05,6.251986e-05,6.307811e-05,6.350340e-05,6.431942e-05,6.442718e-05,6.529298e-05,6.545934e-05,6.610262e-05,6.650204e-05,6.685793e-05,6.745176e-05,6.756076e-05,6.821295e-05,6.831272e-05,6.881630e-05,6.908909e-05,6.937262e-05,6.978501e-05,6.988369e-05,7.035125e-05,7.040451e-05,7.077701e-05,7.095153e-05,7.116264e-05,7.142990e-05,7.150979e-05,7.182005e-05,7.184333e-05,7.209498e-05,7.219540e-05,7.233610e-05,7.248959e-05,7.254487e-05,7.272272e-05,7.272922e-05,7.287106e-05,7.291749e-05,7.299121e-05,7.305748e-05,7.308448e-05,7.315214e-05,7.319540e-05,7.320429e-05,7.321544e-05,7.321661e-05,7.321341e-05,7.319170e-05,7.319039e-05,7.314746e-05,7.313201e-05,7.308563e-05,7.303987e-05,7.300588e-05,7.291752e-05,7.290918e-05,7.279643e-05,7.276708e-05,7.266851e-05,7.259056e-05,7.252627e-05,7.238989e-05,7.237052e-05,7.220204e-05,7.216689e-05,7.202160e-05,7.192327e-05,7.182989e-05,7.166068e-05,7.162763e-05,7.141547e-05,7.138065e-05,7.119405e-05,7.108466e-05,7.096399e-05,7.077410e-05,7.072586e-05,7.048022e-05,7.045027e-05,7.022763e-05,7.011441e-05,6.996857e-05,6.976768e-05,6.970356e-05,6.943306e-05,6.941119e-05,6.915751e-05,6.904598e-05,6.887735e-05,6.867301e-05,6.859299e-05,6.830481e-05,6.829321e-05,6.801320e-05,6.790744e-05,6.771850e-05,6.751652e-05,6.742106e-05,6.712119e-05,6.672218e-05,6.632015e-05,6.591573e-05,6.550950e-05,6.510201e-05,6.469377e-05,6.428525e-05,6.387690e-05,6.346912e-05,6.306229e-05,6.265678e-05,6.225289e-05,6.185095e-05,6.145121e-05,6.105395e-05,6.065940e-05,6.026776e-05,5.987924e-05,5.949402e-05,5.911225e-05,5.873409e-05,5.835967e-05,5.798910e-05,5.762249e-05
0.000000e+00,2.958992e-10,9.649027e-10,5.181263e-09,1.495089e-08,2.395055e-08,6.454855e-08,6.686013e-08,1.447307e-07,1.744490e-07,2.701013e-07,3.742163e-07,4.577714e-07,6.984607e-07,7.227866e-07,1.073643e-06,1.170260e-06,1.503790e-06,1.771780e-06,1.992246e-06,2.450568e-06,2.514260e-06,3.050019e-06,3.157566e-06,3.586413e-06,3.862731e-06,4.115238e-06,4.549646e-06,4.631156e-06,5.130342e-06,5.208450e-06,5.609794e-06,5.832183e-06,6.067057e-06,6.415537e-06,6.500139e-06,6.907508e-06,6.954609e-06,7.288106e-06,7.446921e-06,7.641351e-06,7.891430e-06,7.967118e-06,8.265697e-06,8.288426e-06,8.537740e-06,8.639331e-06,8.784194e-06,8.946450e-06,9.006236e-06,9.205206e-06,9.212705e-06,9.382549e-06,9.441386e-06,9.539764e-06,9.635944e-06,9.678361e-06,9.799825e-06,9.905594e-06,9.936350e-06,9.997035e-06,1.004864e-05,1.007544e-05,1.013955e-05,1.014200e-05,1.019783e-05,1.021168e-05,1.024394e-05,1.026733e-05,1.028127e-05,1.030857e-05,1.031065e-05,1.033285e-05,1.033718e-05,1.034855e-05,1.035474e-05,1.035838e-05,1.036261e-05,1.036289e-05,1.036259e-05,1.036199e-05,1.035792e-05,1.035391e-05,1.034930e-05,1.033926e-05,1.033707e-05,1.032159e-05,1.031883e-05,1.030313e-05,1.029329e-05,1.028196e-05,1.026325e-05,1.025833e-05,1.023246e-05,1.022921e-05,1.020453e-05,1.019165e-05,1.017474e-05,1.015095e-05,1.014325e-05,1.011020e-05,1.010749e-05,1.007573e-05,1.006157e-05,1.003997e-05,1.001348e-05,1.000303e-05,9.965015e-06,9.963474e-06,9.926029e-06,9.911773e-06,9.886158e-06,9.858583e-06,9.845486e-06,9.804089e-06,9.762040e-06,9.748457e-06,9.719404e-06,9.691838e-06,9.676243e-06,9.634369e-06,9.632616e-06,9.588574e-06,9.576176e-06,9.544170e-06,9.517373e-06,9.499449e-06,9.458064e-06,9.454455e-06,9.409230e-06,9.398346e-06,9.363811e-06,9.338305e-06,9.318234e-06,9.278022e-06,9.272533e-06,9.226738e-06,9.217571e-06,9.180881e-06,9.157019e-06,9.134987e-06,9.096427e-06,9.089083e-06,9.043194e-06,9.035854e-06,8.997341e-06,8.975352e-06,8.951548e-06,8.914968e-06,8.905832e-06,8.860214e-06,8.854747e-06,8.814711e-06,8.794730e-06,8.769339e-06,8.734953e-06,8.724114e-06,8.679050e-06,8.675452e-06,8.634160e-06,8.616256e-06,8.589458e-06,8.557396e-06,8.544956e-06,8.500663e-06,8.498896e-06,8.456591e-06,8.440781e-06,8.412749e-06,8.383072e-06,8.369146e-06,8.325790e-06,8.268952e-06,8.212574e-06,8.156671e-06,8.101257e-06,8.046342e-06,7.991937e-06,7.938052e-06,7.884694e-06,7.831870e-06,7.779587e-06,7.727849e-06,7.676662e-06,7.626028e-06,7.575950e-06,7.526430e-06,7.477470e-06,7.429071e-06,7.381232e-06,7.333955e-06,7.287237e-06,7.241078e-06,7.195476e-06,7.150430e-06,7.105936e-06
0.000000e+00,7.727616e-10,2.483914e-09,1.303664e-08,3.703104e-08,5.886346e-08,1.553511e-07,1.607616e-07,3.385555e-07,4.043245e-07,6.092947e-07,8.224841e-07,9.874738e-07,1.440656e-06,1.485099e-06,2.111390e-06,2.281554e-06,2.871822e-06,3.356511e-06,3.766286e-06,4.658376e-06,4.787097e-06,5.918919e-06,6.156867e-06,7.141532e-06,7.806016e-06,8.433462e-06,9.557225e-06,9.774236e-06,1.114511e-05,1.136608e-05,1.252910e-05,1.319353e-05,1.391094e-05,1.500566e-05,1.527702e-05,1.661545e-05,1.677370e-05,1.791607e-05,1.847413e-05,1.917045e-05,2.008864e-05,2.037184e-05,2.151510e-05,2.160393e-05,2.259653e-05,2.301121e-05,2.361375e-05,2.430566e-05,2.456553e-05,2.545161e-05,2.548569e-05,2.627255e-05,2.655235e-05,2.702955e-05,2.750867e-05,2.772436e-05,2.835910e-05,2.893619e-05,2.910911e-05,2.945826e-05,2.976478e-05,2.992806e-05,3.033249e-05,3.034839e-05,3.072208e-05,3.081874e-05,3.105195e-05,3.122997e-05,3.134073e-05,3.157243e-05,3.159110e-05,3.180564e-05,3.185207e-05,3.198681e-05,3.207459e-05,3.213699e-05,3.224529e-05,3.225842e-05,3.235322e-05,3.236916e-05,3.242341e-05,3.245081e-05,3.247088e-05,3.249451e-05,3.249743e-05,3.250472e-05,3.250421e-05,3.249434e-05,3.248352e-05,3.246775e-05,3.243573e-05,3.242632e-05,3.237132e-05,3.236387e-05,3.230395e-05,3.227067e-05,3.222532e-05,3.215867e-05,3.213647e-05,3.203836e-05,3.203014e-05,3.193189e-05,3.188715e-05,3.181789e-05,3.173159e-05,3.169714e-05,3.157035e-05,3.156516e-05,3.143818e-05,3.138941e-05,3.130126e-05,3.120573e-05,3.116015e-05,3.101539e-05,3.086745e-05,3.081952e-05,3.071681e-05,3.061916e-05,3.056386e-05,3.041523e-05,3.040900e-05,3.025259e-05,3.020856e-05,3.009494e-05,2.999989e-05,2.993637e-05,2.978991e-05,2.977715e-05,2.961754e-05,2.957920e-05,2.945777e-05,2.936830e-05,2.929805e-05,2.915770e-05,2.913858e-05,2.897954e-05,2.894780e-05,2.882110e-05,2.873900e-05,2.866341e-05,2.853162e-05,2.850660e-05,2.835079e-05,2.832596e-05,2.819610e-05,2.812228e-05,2.804263e-05,2.792079e-05,2.789047e-05,2.773970e-05,2.772170e-05,2.759040e-05,2.752518e-05,2.744262e-05,2.733138e-05,2.729644e-05,2.715190e-05,2.714040e-05,2.700904e-05,2.695237e-05,2.686790e-05,2.676737e-05,2.672852e-05,2.659093e-05,2.658546e-05,2.645515e-05,2.640671e-05,2.632119e-05,2.623116e-05,2.618908e-05,2.605883e-05,2.588976e-05,2.572395e-05,2.556141e-05,2.540213e-05,2.524611e-05,2.509331e-05,2.494373e-05,2.479734e-05,2.465410e-05,2.451399e-05,2.437696e-05,2.424297e-05,2.411199e-05,2.398396e-05,2.385885e-05,2.373660e-05,2.361717e-05,2.350051e-05,2.338656e-05,2.327528e-05,2.316661e-05,2.306051e-05,2.295692e-05,2.285579e-05
0.000000e+00,8.757783e-09,2.008278e-08,6.942324e-08,1.591161e-07,2.333854e-07,5.397289e-07,5.565055e-07,1.106512e-06,1.312406e-06,1.969540e-06,2.680099e-06,3.248034e-06,4.871186e-06,5.034015e-06,7.357928e-06,7.991419e-06,1.017032e-05,1.192668e-05,1.338558e-05,1.648567e-05,1.692546e-05,2.073012e-05,2.151862e-05,2.475365e-05,2.691959e-05,2.895810e-05,3.260480e-05,3.330960e-05,3.777660e-05,3.850001e-05,4.232909e-05,4.453625e-05,4.693866e-05,5.064945e-05,5.157869e-05,5.622462e-05,5.678145e-05,6.085424e-05,6.288092e-05,6.544779e-05,6.890406e-05,6.998801e-05,7.446009e-05,7.481453e-05,7.885156e-05,8.058318e-05,8.315200e-05,8.618715e-05,8.735300e-05,9.144791e-05,9.160942e-05,9.543150e-05,9.683754e-05,9.929983e-05,1.018630e-04,1.030502e-04,1.066808e-04,1.101906e-04,1.112882e-04,1.135794e-04,1.156847e-04,1.168473e-04,1.198717e-04,1.199953e-04,1.230244e-04,1.238514e-04,1.259361e-04,1.276274e-04,1.287321e-04,1.312038e-04,1.314143e-04,1.339848e-04,1.345854e-04,1.364459e-04,1.377772e-04,1.387999e-04,1.407847e-04,1.410492e-04,1.431962e-04,1.436135e-04,1.452434e-04,1.462693e-04,1.471934e-04,1.487581e-04,1.490487e-04,1.508118e-04,1.510855e-04,1.524854e-04,1.532576e-04,1.540719e-04,1.552801e-04,1.555739e-04,1.569938e-04,1.571588e-04,1.583342e-04,1.588994e-04,1.595974e-04,1.605074e-04,1.607859e-04,1.619021e-04,1.619883e-04,1.629482e-04,1.633476e-04,1.639266e-04,1.645903e-04,1.648395e-04,1.656890e-04,1.657217e-04,1.664775e-04,1.667468e-04,1.672069e-04,1.676703e-04,1.678794e-04,1.684969e-04,1.690615e-04,1.692313e-04,1.695750e-04,1.698778e-04,1.700394e-04,1.704407e-04,1.704565e-04,1.708280e-04,1.709241e-04,1.711557e-04,1.713321e-04,1.714414e-04,1.716684e-04,1.716866e-04,1.718929e-04,1.719369e-04,1.720620e-04,1.721410e-04,1.721954e-04,1.722843e-04,1.722944e-04,1.723606e-04,1.723700e-04,1.723953e-04,1.724014e-04,1.724000e-04,1.723816e-04,1.723758e-04,1.723241e-04,1.723134e-04,1.722461e-04,1.721997e-04,1.721430e-04,1.720432e-04,1.720160e-04,1.718661e-04,1.718466e-04,1.716945e-04,1.716124e-04,1.715022e-04,1.713428e-04,1.712902e-04,1.710596e-04,1.710403e-04,1.708112e-04,1.707070e-04,1.705459e-04,1.703450e-04,1.702648e-04,1.699685e-04,1.699564e-04,1.696580e-04,1.695429e-04,1.693341e-04,1.691065e-04,1.689975e-04,1.686490e-04,1.681718e-04,1.676767e-04,1.671652e-04,1.666387e-04,1.660985e-04,1.655460e-04,1.649824e-04,1.644088e-04,1.638265e-04,1.632363e-04,1.626394e-04,1.620367e-04,1.614291e-04,1.608174e-04,1.602025e-04,1.595850e-04,1.589658e-04,1.583455e-04,1.577246e-04,1.571039e-04,1.564839e-04,1.558650e-04,1.552479e-04,1.546329e-04
0.000000e+00,2.319508e-09,5.375602e-09,1.874164e-08,4.294374e-08,6.283078e-08,1.433195e-07,1.476584e-07,2.863790e-07,3.367372e-07,4.928006e-07,6.551726e-07,7.813686e-07,1.130644e-06,1.165057e-06,1.650825e-06,1.782636e-06,2.237959e-06,2.609391e-06,2.921983e-06,3.600283e-06,3.698139e-06,4.562039e-06,4.744962e-06,5.509225e-06,6.033058e-06,6.534740e-06,7.452579e-06,7.632914e-06,8.797332e-06,8.989322e-06,1.002092e-05,1.062704e-05,1.129608e-05,1.234804e-05,1.261492e-05,1.396937e-05,1.413392e-05,1.535145e-05,1.596629e-05,1.675335e-05,1.782746e-05,1.816763e-05,1.958730e-05,1.970091e-05,2.100588e-05,2.157167e-05,2.241748e-05,2.342653e-05,2.381683e-05,2.519924e-05,2.525412e-05,2.656064e-05,2.704491e-05,2.789752e-05,2.879106e-05,2.920691e-05,3.048635e-05,3.173381e-05,3.212597e-05,3.294769e-05,3.370637e-05,3.412676e-05,3.522506e-05,3.527010e-05,3.637709e-05,3.668047e-05,3.744735e-05,3.807180e-05,3.848071e-05,3.939884e-05,3.947721e-05,4.043700e-05,4.066193e-05,4.136041e-05,4.186178e-05,4.224785e-05,4.299946e-05,4.309984e-05,4.391696e-05,4.407625e-05,4.469986e-05,4.509367e-05,4.544923e-05,4.605334e-05,4.616583e-05,4.685040e-05,4.695702e-05,4.750375e-05,4.780650e-05,4.812667e-05,4.860366e-05,4.871999e-05,4.928452e-05,4.935037e-05,4.982109e-05,5.004853e-05,5.033051e-05,5.070002e-05,5.081361e-05,5.127118e-05,5.130671e-05,5.170404e-05,5.187044e-05,5.211296e-05,5.239301e-05,5.249874e-05,5.286212e-05,5.287620e-05,5.320386e-05,5.332174e-05,5.352470e-05,5.373130e-05,5.382536e-05,5.410653e-05,5.436891e-05,5.444902e-05,5.461318e-05,5.476030e-05,5.483997e-05,5.504186e-05,5.504994e-05,5.524370e-05,5.529514e-05,5.542187e-05,5.552152e-05,5.558502e-05,5.572236e-05,5.573374e-05,5.586858e-05,5.589894e-05,5.599009e-05,5.605250e-05,5.609878e-05,5.618423e-05,5.619517e-05,5.627975e-05,5.629529e-05,5.635300e-05,5.638678e-05,5.641540e-05,5.645975e-05,5.646738e-05,5.650939e-05,5.651522e-05,5.654186e-05,5.655417e-05,5.656518e-05,5.657752e-05,5.657975e-05,5.658597e-05,5.658617e-05,5.658420e-05,5.658098e-05,5.657480e-05,5.656277e-05,5.655811e-05,5.653448e-05,5.653230e-05,5.650423e-05,5.649034e-05,5.646766e-05,5.643759e-05,5.642508e-05,5.637679e-05,5.637474e-05,5.632306e-05,5.630244e-05,5.626417e-05,5.622131e-05,5.620038e-05,5.613193e-05,5.603488e-05,5.593070e-05,5.581988e-05,5.570293e-05,5.558029e-05,5.545243e-05,5.531974e-05,5.518264e-05,5.504150e-05,5.489667e-05,5.474851e-05,5.459733e-05,5.444343e-05,5.428712e-05,5.412866e-05,5.396831e-05,5.380632e-05,5.364292e-05,5.347834e-05,5.331278e-05,5.314642e-05,5.297947e-05,5.281210e-05,5.264446e-05
0.000000e+00,2.263349e-09,6.343096e-09,2.740679e-08,6.967571e-08,1.059945e-07,2.588002e-07,2.671868e-07,5.389310e-07,6.385794e-07,9.487728e-07,1.272496e-06,1.524450e-06,2.224138e-06,2.293365e-06,3.279127e-06,3.549753e-06,4.495040e-06,5.276803e-06,5.940713e-06,7.395386e-06,7.606488e-06,9.479701e-06,9.878093e-06,1.154735e-05,1.269498e-05,1.379615e-05,1.581487e-05,1.621202e-05,1.877970e-05,1.920353e-05,2.148270e-05,2.282309e-05,2.430350e-05,2.663270e-05,2.722384e-05,3.022510e-05,3.058980e-05,3.328870e-05,3.465173e-05,3.639647e-05,3.877716e-05,3.953098e-05,4.267577e-05,4.292733e-05,4.581558e-05,4.706694e-05,4.893647e-05,5.116471e-05,5.202592e-05,5.507283e-05,5.519368e-05,5.806753e-05,5.913119e-05,6.100169e-05,6.295871e-05,6.386831e-05,6.666158e-05,6.937680e-05,7.022856e-05,7.201029e-05,7.365150e-05,7.455925e-05,7.692487e-05,7.702168e-05,7.939631e-05,8.004536e-05,8.168243e-05,8.301154e-05,8.387990e-05,8.582351e-05,8.598900e-05,8.801041e-05,8.848261e-05,8.994512e-05,9.099115e-05,9.179439e-05,9.335223e-05,9.355968e-05,9.524266e-05,9.556953e-05,9.684511e-05,9.764719e-05,9.836894e-05,9.958967e-05,9.981616e-05,1.011888e-04,1.014017e-04,1.024890e-04,1.030880e-04,1.037189e-04,1.046535e-04,1.048805e-04,1.059761e-04,1.061033e-04,1.070078e-04,1.074421e-04,1.079777e-04,1.086748e-04,1.088879e-04,1.097404e-04,1.098062e-04,1.105374e-04,1.108410e-04,1.112807e-04,1.117838e-04,1.119724e-04,1.126143e-04,1.126390e-04,1.132084e-04,1.134109e-04,1.137565e-04,1.141038e-04,1.142603e-04,1.147216e-04,1.151421e-04,1.152683e-04,1.155234e-04,1.157476e-04,1.158671e-04,1.161632e-04,1.161748e-04,1.164480e-04,1.165185e-04,1.166881e-04,1.168169e-04,1.168966e-04,1.170616e-04,1.170748e-04,1.172240e-04,1.172557e-04,1.173456e-04,1.174021e-04,1.174408e-04,1.175036e-04,1.175107e-04,1.175565e-04,1.175629e-04,1.175794e-04,1.175826e-04,1.175804e-04,1.175652e-04,1.175606e-04,1.175210e-04,1.175129e-04,1.174625e-04,1.174281e-04,1.173862e-04,1.173128e-04,1.172928e-04,1.171832e-04,1.171691e-04,1.170584e-04,1.169989e-04,1.169191e-04,1.168040e-04,1.167661e-04,1.166001e-04,1.165863e-04,1.164218e-04,1.163472e-04,1.162320e-04,1.160886e-04,1.160313e-04,1.158204e-04,1.158117e-04,1.155998e-04,1.155181e-04,1.153701e-04,1.152091e-04,1.151320e-04,1.148860e-04,1.145499e-04,1.142021e-04,1.138436e-04,1.134754e-04,1.130985e-04,1.127138e-04,1.123222e-04,1.119245e-04,1.115215e-04,1.111139e-04,1.107023e-04,1.102874e-04,1.098699e-04,1.094502e-04,1.090290e-04,1.086066e-04,1.081837e-04,1.077605e-04,1.073376e-04,1.069153e-04,1.064940e-04,1.060740e-04,1.056555e-04,1.052390e-04
0.000000e+00,4.339616e-09,1.044126e-08,3.781410e-08,8.824911e-08,1.301595e-07,3.031585e-07,3.126274e-07,6.224628e-07,7.381278e-07,1.106128e-06,1.502347e-06,1.818137e-06,2.718840e-06,2.809161e-06,4.097574e-06,4.447841e-06,5.643941e-06,6.593265e-06,7.368874e-06,8.973166e-06,9.195765e-06,1.107011e-05,1.144731e-05,1.295647e-05,1.393393e-05,1.483106e-05,1.638384e-05,1.667658e-05,1.847962e-05,1.876341e-05,2.022938e-05,2.104774e-05,2.191726e-05,2.321841e-05,2.353651e-05,2.508220e-05,2.526257e-05,2.655100e-05,2.717238e-05,2.794103e-05,2.894436e-05,2.925169e-05,3.048344e-05,3.057861e-05,3.163761e-05,3.207799e-05,3.271621e-05,3.344743e-05,3.372179e-05,3.465725e-05,3.469325e-05,3.552574e-05,3.582263e-05,3.633056e-05,3.684320e-05,3.707510e-05,3.776271e-05,3.839672e-05,3.858881e-05,3.898035e-05,3.932889e-05,3.951673e-05,3.998998e-05,4.000885e-05,4.045956e-05,4.057871e-05,4.087156e-05,4.110126e-05,4.124742e-05,4.156337e-05,4.158955e-05,4.190021e-05,4.197032e-05,4.218152e-05,4.232699e-05,4.243549e-05,4.263784e-05,4.266397e-05,4.286870e-05,4.290694e-05,4.305130e-05,4.313802e-05,4.321330e-05,4.333450e-05,4.335611e-05,4.348106e-05,4.349947e-05,4.358937e-05,4.363578e-05,4.368218e-05,4.374600e-05,4.376057e-05,4.382553e-05,4.383247e-05,4.387798e-05,4.389733e-05,4.391879e-05,4.394252e-05,4.394877e-05,4.396867e-05,4.396984e-05,4.397918e-05,4.398090e-05,4.398096e-05,4.397719e-05,4.397463e-05,4.396075e-05,4.396005e-05,4.393986e-05,4.393071e-05,4.391244e-05,4.389031e-05,4.387897e-05,4.383988e-05,4.379558e-05,4.378037e-05,4.374645e-05,4.371263e-05,4.369284e-05,4.363747e-05,4.363508e-05,4.357349e-05,4.355560e-05,4.350836e-05,4.346769e-05,4.343995e-05,4.337435e-05,4.336853e-05,4.329434e-05,4.327615e-05,4.321760e-05,4.317359e-05,4.313852e-05,4.306715e-05,4.305730e-05,4.297413e-05,4.295727e-05,4.288917e-05,4.284435e-05,4.280260e-05,4.272874e-05,4.271457e-05,4.262522e-05,4.261081e-05,4.253468e-05,4.249085e-05,4.244310e-05,4.236915e-05,4.235058e-05,4.225723e-05,4.224598e-05,4.216317e-05,4.212159e-05,4.206850e-05,4.199619e-05,4.197330e-05,4.187767e-05,4.187000e-05,4.178169e-05,4.174321e-05,4.168543e-05,4.161600e-05,4.158897e-05,4.149239e-05,4.148852e-05,4.139573e-05,4.136093e-05,4.129907e-05,4.123337e-05,4.120247e-05,4.110597e-05,4.097883e-05,4.085208e-05,4.072581e-05,4.060011e-05,4.047506e-05,4.035075e-05,4.022724e-05,4.010460e-05,3.998288e-05,3.986214e-05,3.974244e-05,3.962381e-05,3.950629e-05,3.938992e-05,3.927473e-05,3.916076e-05,3.904803e-05,3.893655e-05,3.882636e-05,3.871747e-05,3.860990e-05,3.850365e-05,3.839874e-05,3.829518e-05
0.000000e+00,7.943973e-11,3.068147e-10,2.266866e-09,8.452876e-09,1.538863e-08,5.552551e-08,5.813584e-08,1.595516e-07,2.035027e-07,3.582202e-07,5.432716e-07,7.009322e-07,1.189287e-06,1.241117e-06,2.036989e-06,2.272769e-06,3.149180e-06,3.932658e-06,4.637645e-06,6.302948e-06,6.557806e-06,8.956160e-06,9.496410e-06,1.186582e-05,1.358694e-05,1.530261e-05,1.859441e-05,1.926231e-05,2.371953e-05,2.447606e-05,2.862843e-05,3.112701e-05,3.392526e-05,3.839013e-05,3.953227e-05,4.536273e-05,4.607311e-05,5.132605e-05,5.396877e-05,5.733266e-05,6.187443e-05,6.329817e-05,6.914632e-05,6.960704e-05,7.481099e-05,7.701279e-05,8.023720e-05,8.397145e-05,8.538126e-05,9.021035e-05,9.039661e-05,9.470171e-05,9.623302e-05,9.884156e-05,1.014525e-04,1.026239e-04,1.060491e-04,1.091231e-04,1.100342e-04,1.118561e-04,1.134322e-04,1.142613e-04,1.162765e-04,1.163545e-04,1.181531e-04,1.186064e-04,1.196755e-04,1.204643e-04,1.209407e-04,1.218937e-04,1.219676e-04,1.227750e-04,1.229382e-04,1.233812e-04,1.236394e-04,1.238038e-04,1.240372e-04,1.240596e-04,1.241645e-04,1.241687e-04,1.241334e-04,1.240681e-04,1.239802e-04,1.237667e-04,1.237179e-04,1.233585e-04,1.232927e-04,1.229130e-04,1.226717e-04,1.223917e-04,1.219262e-04,1.218037e-04,1.211575e-04,1.210764e-04,1.204610e-04,1.201403e-04,1.197210e-04,1.191335e-04,1.189440e-04,1.181357e-04,1.180698e-04,1.173013e-04,1.169613e-04,1.164455e-04,1.158184e-04,1.155724e-04,1.146859e-04,1.146502e-04,1.137894e-04,1.134648e-04,1.128858e-04,1.122687e-04,1.119779e-04,1.110680e-04,1.101583e-04,1.098676e-04,1.092508e-04,1.086718e-04,1.083470e-04,1.074843e-04,1.074485e-04,1.065565e-04,1.063081e-04,1.056723e-04,1.051458e-04,1.047967e-04,1.039996e-04,1.039307e-04,1.030750e-04,1.028713e-04,1.022303e-04,1.017623e-04,1.013971e-04,1.006738e-04,1.005758e-04,9.976694e-05,9.960667e-05,9.897069e-05,9.856174e-05,9.818737e-05,9.753950e-05,9.741716e-05,9.666022e-05,9.654034e-05,9.591665e-05,9.556451e-05,9.518652e-05,9.461212e-05,9.446987e-05,9.376669e-05,9.368321e-05,9.307696e-05,9.277772e-05,9.240062e-05,9.189552e-05,9.173760e-05,9.108782e-05,9.103640e-05,9.045115e-05,9.020014e-05,8.982749e-05,8.938642e-05,8.921668e-05,8.861859e-05,8.859493e-05,8.803305e-05,8.782530e-05,8.745990e-05,8.707715e-05,8.689897e-05,8.635007e-05,8.564365e-05,8.495745e-05,8.429102e-05,8.364391e-05,8.301568e-05,8.240586e-05,8.181400e-05,8.123965e-05,8.068236e-05,8.014166e-05,7.961713e-05,7.910832e-05,7.861480e-05,7.813615e-05,7.767195e-05,7.722179e-05,7.678526e-05,7.636199e-05,7.595157e-05,7.555363e-05,7.516781e-05,7.479374e-05,7.443108e-05,7.407948e-05
0.000000e+00,3.713003e-09,9.416985e-09,3.634833e-08,8.829758e-08,1.329193e-07,3.274889e-07,3.385588e-07,7.205734e-07,8.716437e-07,1.375118e-06,1.943357e-06,2.405792e-06,3.723632e-06,3.853861e-06,5.655377e-06,6.128117e-06,7.702367e-06,8.922107e-06,9.907903e-06,1.193520e-05,1.221635e-05,1.459260e-05,1.507372e-05,1.701227e-05,1.828119e-05,1.945623e-05,2.151581e-05,2.190798e-05,2.435250e-05,2.474201e-05,2.677595e-05,2.792797e-05,2.916570e-05,3.104559e-05,3.151044e-05,3.380033e-05,3.407102e-05,3.602688e-05,3.698464e-05,3.818313e-05,3.977163e-05,4.026391e-05,4.226538e-05,4.242199e-05,4.418484e-05,4.492928e-05,4.602076e-05,4.729051e-05,4.777252e-05,4.944028e-05,4.950525e-05,5.102485e-05,5.157517e-05,5.252754e-05,5.350335e-05,5.394987e-05,5.529408e-05,5.656243e-05,5.695268e-05,5.775740e-05,5.848483e-05,5.888151e-05,5.989640e-05,5.993735e-05,6.092756e-05,6.119342e-05,6.185477e-05,6.238194e-05,6.272159e-05,6.346793e-05,6.353058e-05,6.428428e-05,6.445721e-05,6.498512e-05,6.535539e-05,6.563549e-05,6.616791e-05,6.623771e-05,6.679402e-05,6.689996e-05,6.730656e-05,6.755648e-05,6.777741e-05,6.814217e-05,6.820856e-05,6.860194e-05,6.866150e-05,6.895938e-05,6.911871e-05,6.928264e-05,6.951778e-05,6.957341e-05,6.983331e-05,6.986250e-05,7.006388e-05,7.015641e-05,7.026659e-05,7.040289e-05,7.044286e-05,7.059403e-05,7.060508e-05,7.072140e-05,7.076595e-05,7.082618e-05,7.088831e-05,7.090956e-05,7.097265e-05,7.097477e-05,7.101651e-05,7.102780e-05,7.104217e-05,7.104972e-05,7.105059e-05,7.104270e-05,7.101937e-05,7.100879e-05,7.098145e-05,7.094989e-05,7.092973e-05,7.086782e-05,7.086499e-05,7.078793e-05,7.076424e-05,7.069926e-05,7.064075e-05,7.059962e-05,7.049882e-05,7.048966e-05,7.036996e-05,7.033985e-05,7.024109e-05,7.016512e-05,7.010360e-05,6.997588e-05,6.995799e-05,6.980477e-05,6.977325e-05,6.964439e-05,6.955831e-05,6.947730e-05,6.933207e-05,6.930392e-05,6.912467e-05,6.909546e-05,6.893991e-05,6.884937e-05,6.875001e-05,6.859463e-05,6.855532e-05,6.835618e-05,6.833200e-05,6.815289e-05,6.806221e-05,6.794576e-05,6.778594e-05,6.773506e-05,6.752108e-05,6.750383e-05,6.730406e-05,6.721646e-05,6.708426e-05,6.692440e-05,6.686190e-05,6.663721e-05,6.662817e-05,6.641039e-05,6.632826e-05,6.618166e-05,6.602512e-05,6.595119e-05,6.571918e-05,6.541084e-05,6.510047e-05,6.478842e-05,6.447502e-05,6.416058e-05,6.384538e-05,6.352968e-05,6.321374e-05,6.289778e-05,6.258203e-05,6.226667e-05,6.195191e-05,6.163792e-05,6.132486e-05,6.101287e-05,6.070210e-05,6.039269e-05,6.008474e-05,5.977838e-05,5.947370e-05,5.917080e-05,5.886977e-05,5.857069e-05,5.827364e-05
0.000000e+00,5.256218e-10,1.764700e-09,9.996815e-09,3.010531e-08,4.929154e-08,1.401989e-07,1.455347e-07,3.324195e-07,4.067669e-07,6.549175e-07,9.374865e-07,1.171682e-06,1.872897e-06,1.945436e-06,3.013480e-06,3.312934e-06,4.359176e-06,5.212086e-06,5.921555e-06,7.419489e-06,7.630189e-06,9.427909e-06,9.794348e-06,1.127448e-05,1.224448e-05,1.314226e-05,1.471290e-05,1.501137e-05,1.686648e-05,1.716114e-05,1.869513e-05,1.956036e-05,2.048690e-05,2.188781e-05,2.223302e-05,2.392620e-05,2.412553e-05,2.556064e-05,2.625998e-05,2.713184e-05,2.828164e-05,2.863658e-05,3.007271e-05,3.018459e-05,3.143905e-05,3.196594e-05,3.273529e-05,3.362539e-05,3.396185e-05,3.511967e-05,3.516457e-05,3.621015e-05,3.658658e-05,3.723507e-05,3.789557e-05,3.819641e-05,3.909639e-05,3.993732e-05,4.019433e-05,4.072157e-05,4.119488e-05,4.145159e-05,4.210362e-05,4.212978e-05,4.275854e-05,4.292606e-05,4.334023e-05,4.366760e-05,4.387714e-05,4.433347e-05,4.437150e-05,4.482548e-05,4.492866e-05,4.524115e-05,4.545794e-05,4.562051e-05,4.592583e-05,4.596547e-05,4.627788e-05,4.633662e-05,4.655949e-05,4.669432e-05,4.681198e-05,4.700272e-05,4.703693e-05,4.723587e-05,4.726538e-05,4.741025e-05,4.748563e-05,4.756144e-05,4.766658e-05,4.769075e-05,4.779944e-05,4.781115e-05,4.788866e-05,4.792205e-05,4.795956e-05,4.800183e-05,4.801318e-05,4.805054e-05,4.805285e-05,4.807259e-05,4.807733e-05,4.808024e-05,4.807732e-05,4.807436e-05,4.805574e-05,4.805474e-05,4.802517e-05,4.801138e-05,4.798338e-05,4.794890e-05,4.793105e-05,4.786885e-05,4.779739e-05,4.777267e-05,4.771726e-05,4.766169e-05,4.762903e-05,4.753717e-05,4.753320e-05,4.743029e-05,4.740027e-05,4.732077e-05,4.725207e-05,4.720508e-05,4.709356e-05,4.708364e-05,4.695686e-05,4.692568e-05,4.682512e-05,4.674930e-05,4.668876e-05,4.656523e-05,4.654814e-05,4.640357e-05,4.637421e-05,4.625536e-05,4.617695e-05,4.610380e-05,4.597408e-05,4.594914e-05,4.579166e-05,4.576622e-05,4.563160e-05,4.555391e-05,4.546917e-05,4.533769e-05,4.530462e-05,4.513812e-05,4.511802e-05,4.496989e-05,4.489537e-05,4.480011e-05,4.467014e-05,4.462895e-05,4.445656e-05,4.444273e-05,4.428312e-05,4.421348e-05,4.410876e-05,4.398273e-05,4.393363e-05,4.375784e-05,4.375080e-05,4.358154e-05,4.351796e-05,4.340483e-05,4.328450e-05,4.322783e-05,4.305064e-05,4.281661e-05,4.258262e-05,4.234887e-05,4.211553e-05,4.188277e-05,4.165075e-05,4.141960e-05,4.118946e-05,4.096044e-05,4.073266e-05,4.050622e-05,4.028120e-05,4.005770e-05,3.983578e-05,3.961553e-05,3.939700e-05,3.918024e-05,3.896531e-05,3.875226e-05,3.854113e-05,3.833195e-05,3.812476e-05,3.791959e-05,3.771645e-05
0.000000e+00,4.318237e-10,1.521699e-09,9.396131e-09,3.014547e-08,5.081704e-08,1.533020e-07,1.594443e-07,3.780132e-07,4.658668e-07,7.599704e-07,1.094744e-06,1.371539e-06,2.196368e-06,2.281409e-06,3.530172e-06,3.879872e-06,5.103328e-06,6.104588e-06,6.941006e-06,8.718389e-06,8.969618e-06,1.112417e-05,1.156552e-05,1.335444e-05,1.453124e-05,1.562286e-05,1.753653e-05,1.790059e-05,2.016447e-05,2.052408e-05,2.239534e-05,2.344960e-05,2.457710e-05,2.627806e-05,2.669636e-05,2.874227e-05,2.898243e-05,3.070638e-05,3.154299e-05,3.258244e-05,3.394672e-05,3.436627e-05,3.605543e-05,3.618643e-05,3.764895e-05,3.825962e-05,3.914718e-05,4.016768e-05,4.055157e-05,4.186438e-05,4.191502e-05,4.308850e-05,4.350811e-05,4.422726e-05,4.495470e-05,4.528427e-05,4.626333e-05,4.716830e-05,4.744288e-05,4.800307e-05,4.850227e-05,4.877149e-05,4.945022e-05,4.947729e-05,5.012412e-05,5.029514e-05,5.071546e-05,5.104503e-05,5.125466e-05,5.170741e-05,5.174490e-05,5.218922e-05,5.228935e-05,5.259048e-05,5.279739e-05,5.295138e-05,5.323763e-05,5.327449e-05,5.356221e-05,5.361571e-05,5.381680e-05,5.393681e-05,5.404040e-05,5.420573e-05,5.423499e-05,5.440246e-05,5.442686e-05,5.454457e-05,5.460426e-05,5.466296e-05,5.474164e-05,5.475918e-05,5.483468e-05,5.484241e-05,5.489083e-05,5.490973e-05,5.492889e-05,5.494646e-05,5.495006e-05,5.495547e-05,5.495525e-05,5.494615e-05,5.493852e-05,5.492310e-05,5.489851e-05,5.488723e-05,5.483940e-05,5.483726e-05,5.478044e-05,5.475664e-05,5.471110e-05,5.465839e-05,5.463210e-05,5.454409e-05,5.444772e-05,5.441521e-05,5.434357e-05,5.427309e-05,5.423219e-05,5.411895e-05,5.411411e-05,5.398980e-05,5.395395e-05,5.385974e-05,5.377912e-05,5.372435e-05,5.359543e-05,5.358403e-05,5.343917e-05,5.340377e-05,5.329012e-05,5.320496e-05,5.313723e-05,5.299975e-05,5.298080e-05,5.282114e-05,5.278885e-05,5.265853e-05,5.257289e-05,5.249322e-05,5.235247e-05,5.232548e-05,5.215552e-05,5.212814e-05,5.198358e-05,5.190041e-05,5.180986e-05,5.166973e-05,5.163455e-05,5.145784e-05,5.143655e-05,5.127991e-05,5.120127e-05,5.110091e-05,5.096425e-05,5.092099e-05,5.074032e-05,5.072583e-05,5.055901e-05,5.048634e-05,5.037720e-05,5.024605e-05,5.019501e-05,5.001255e-05,5.000525e-05,4.982993e-05,4.976417e-05,4.964726e-05,4.952305e-05,4.946462e-05,4.928211e-05,4.904153e-05,4.880149e-05,4.856217e-05,4.832372e-05,4.808628e-05,4.784997e-05,4.761493e-05,4.738125e-05,4.714903e-05,4.691838e-05,4.668937e-05,4.646208e-05,4.623658e-05,4.601293e-05,4.579120e-05,4.557142e-05,4.535365e-05,4.513793e-05,4.492430e-05,4.471279e-05,4.450342e-05,4.429622e-05,4.409122e-05,4.388843e-05
0.000000e+00,2.227232e-09,5.648428e-09,2.170411e-08,5.208734e-08,7.755513e-08,1.826133e-07,1.883332e-07,3.729758e-07,4.406364e-07,6.518184e-07,8.734254e-07,1.046723e-06,1.530237e-06,1.578142e-06,2.258422e-06,2.444107e-06,3.088071e-06,3.615441e-06,4.060144e-06,5.026542e-06,5.166041e-06,6.397661e-06,6.658393e-06,7.747278e-06,8.493093e-06,9.206940e-06,1.051183e-05,1.076805e-05,1.242118e-05,1.269355e-05,1.415609e-05,1.501472e-05,1.596188e-05,1.744990e-05,1.782715e-05,1.974030e-05,1.997254e-05,2.168975e-05,2.255607e-05,2.366417e-05,2.517472e-05,2.565270e-05,2.764513e-05,2.780440e-05,2.963197e-05,3.042318e-05,3.160459e-05,3.301169e-05,3.355525e-05,3.547708e-05,3.555326e-05,3.736413e-05,3.803395e-05,3.921133e-05,4.044246e-05,4.101442e-05,4.276988e-05,4.447490e-05,4.500949e-05,4.612732e-05,4.715648e-05,4.772550e-05,4.920769e-05,4.926834e-05,5.075513e-05,5.116135e-05,5.218559e-05,5.301681e-05,5.355971e-05,5.477440e-05,5.487780e-05,5.614037e-05,5.643520e-05,5.734814e-05,5.800087e-05,5.850198e-05,5.947356e-05,5.960292e-05,6.065205e-05,6.085576e-05,6.165057e-05,6.215022e-05,6.259975e-05,6.335987e-05,6.350088e-05,6.435530e-05,6.448776e-05,6.516437e-05,6.553702e-05,6.592947e-05,6.651081e-05,6.665197e-05,6.733324e-05,6.741228e-05,6.797463e-05,6.824456e-05,6.857750e-05,6.901074e-05,6.914318e-05,6.967297e-05,6.971384e-05,7.016816e-05,7.035682e-05,7.063000e-05,7.094257e-05,7.105973e-05,7.145855e-05,7.147387e-05,7.182763e-05,7.195344e-05,7.216812e-05,7.238388e-05,7.248112e-05,7.276773e-05,7.302899e-05,7.310740e-05,7.326592e-05,7.340525e-05,7.347951e-05,7.366350e-05,7.367073e-05,7.384050e-05,7.388432e-05,7.398973e-05,7.406977e-05,7.411929e-05,7.422183e-05,7.423002e-05,7.432274e-05,7.434240e-05,7.439823e-05,7.443327e-05,7.445727e-05,7.449619e-05,7.450058e-05,7.452889e-05,7.453281e-05,7.454287e-05,7.454470e-05,7.454319e-05,7.453336e-05,7.453048e-05,7.450537e-05,7.450024e-05,7.446845e-05,7.444670e-05,7.442028e-05,7.437403e-05,7.436143e-05,7.429243e-05,7.428349e-05,7.421377e-05,7.417624e-05,7.412597e-05,7.405341e-05,7.402949e-05,7.392479e-05,7.391607e-05,7.381231e-05,7.376523e-05,7.369246e-05,7.360185e-05,7.356567e-05,7.343231e-05,7.342684e-05,7.329276e-05,7.324108e-05,7.314738e-05,7.304537e-05,7.299652e-05,7.284051e-05,7.262723e-05,7.240624e-05,7.217819e-05,7.194371e-05,7.170339e-05,7.145780e-05,7.120747e-05,7.095290e-05,7.069457e-05,7.043291e-05,7.016835e-05,6.990129e-05,6.963210e-05,6.936114e-05,6.908874e-05,6.881520e-05,6.854083e-05,6.826589e-05,6.799064e-05,6.771533e-05,6.744019e-05,6.716542e-05,6.689122e-05,6.661778e-05
0.000000e+00,8.113981e-10,2.833954e-09,1.721985e-08,5.454308e-08,9.132949e-08,2.705992e-07,2.812193e-07,6.524216e-07,7.985390e-07,1.277583e-06,1.807625e-06,2.236207e-06,3.475897e-06,3.601306e-06,5.414506e-06,5.917467e-06,7.680986e-06,9.143561e-06,1.038771e-05,1.312098e-05,1.351858e-05,1.705835e-05,1.781401e-05,2.099107e-05,2.318524e-05,2.529775e-05,2.918745e-05,2.995509e-05,3.493505e-05,3.575967e-05,4.020528e-05,4.282770e-05,4.572999e-05,5.030735e-05,5.147096e-05,5.738870e-05,5.810882e-05,6.344356e-05,6.614107e-05,6.959667e-05,7.431577e-05,7.581081e-05,8.205103e-05,8.255038e-05,8.828509e-05,9.077036e-05,9.448384e-05,9.891036e-05,1.006213e-04,1.066747e-04,1.069148e-04,1.126244e-04,1.147376e-04,1.184538e-04,1.223419e-04,1.241490e-04,1.296989e-04,1.350943e-04,1.367871e-04,1.403284e-04,1.435912e-04,1.453961e-04,1.501014e-04,1.502940e-04,1.550199e-04,1.563122e-04,1.595730e-04,1.622218e-04,1.639532e-04,1.678312e-04,1.681616e-04,1.721997e-04,1.731437e-04,1.760697e-04,1.781644e-04,1.797743e-04,1.828999e-04,1.833165e-04,1.866997e-04,1.873576e-04,1.899275e-04,1.915458e-04,1.930036e-04,1.954732e-04,1.959320e-04,1.987166e-04,1.991491e-04,2.013616e-04,2.025827e-04,2.038709e-04,2.057835e-04,2.062487e-04,2.084991e-04,2.087608e-04,2.106261e-04,2.115239e-04,2.126338e-04,2.140822e-04,2.145261e-04,2.163069e-04,2.164447e-04,2.179802e-04,2.186202e-04,2.195496e-04,2.206173e-04,2.210188e-04,2.223915e-04,2.224444e-04,2.236712e-04,2.241097e-04,2.248613e-04,2.256211e-04,2.259652e-04,2.269861e-04,2.279273e-04,2.282122e-04,2.287919e-04,2.293064e-04,2.295828e-04,2.302755e-04,2.303030e-04,2.309552e-04,2.311261e-04,2.315423e-04,2.318645e-04,2.320670e-04,2.324967e-04,2.325317e-04,2.329391e-04,2.330286e-04,2.332915e-04,2.334657e-04,2.335913e-04,2.338133e-04,2.338407e-04,2.340419e-04,2.340766e-04,2.341972e-04,2.342604e-04,2.343084e-04,2.343693e-04,2.343776e-04,2.344068e-04,2.344079e-04,2.343977e-04,2.343803e-04,2.343521e-04,2.342906e-04,2.342719e-04,2.341585e-04,2.341427e-04,2.340136e-04,2.339403e-04,2.338388e-04,2.336869e-04,2.336356e-04,2.334054e-04,2.333858e-04,2.331495e-04,2.330402e-04,2.328693e-04,2.326532e-04,2.325661e-04,2.322411e-04,2.322276e-04,2.318955e-04,2.317662e-04,2.315304e-04,2.312716e-04,2.311470e-04,2.307462e-04,2.301925e-04,2.296126e-04,2.290086e-04,2.283826e-04,2.277364e-04,2.270719e-04,2.263907e-04,2.256946e-04,2.249849e-04,2.242632e-04,2.235308e-04,2.227890e-04,2.220391e-04,2.212821e-04,2.205191e-04,2.197513e-04,2.189794e-04,2.182045e-04,2.174274e-04,2.166488e-04,2.158696e-04,2.150904e-04,2.143119e-04,2.135346e-04
0.000000e+00,2.101917e-10,7.012083e-10,3.923988e-09,1.167655e-08,1.897015e-08,5.250485e-08,5.442717e-08,1.191082e-07,1.436017e-07,2.213479e-07,3.040328e-07,3.690763e-07,5.517052e-07,5.698986e-07,8.310958e-07,9.035382e-07,1.159493e-06,1.375048e-06,1.561134e-06,1.978938e-06,2.040711e-06,2.600729e-06,2.722398e-06,3.240612e-06,3.603658e-06,3.956137e-06,4.610121e-06,4.739661e-06,5.581185e-06,5.720481e-06,6.469750e-06,6.909777e-06,7.394575e-06,8.153817e-06,8.345704e-06,9.314223e-06,9.431229e-06,1.029224e-05,1.072375e-05,1.127279e-05,1.201589e-05,1.224973e-05,1.321762e-05,1.329452e-05,1.417174e-05,1.454858e-05,1.510796e-05,1.576895e-05,1.602275e-05,1.691314e-05,1.694821e-05,1.777669e-05,1.808060e-05,1.861141e-05,1.916176e-05,1.941578e-05,2.018867e-05,2.092929e-05,2.115939e-05,2.163717e-05,2.207294e-05,2.231213e-05,2.292916e-05,2.295421e-05,2.356366e-05,2.372850e-05,2.414087e-05,2.447195e-05,2.468641e-05,2.516089e-05,2.520093e-05,2.568519e-05,2.579700e-05,2.614002e-05,2.638219e-05,2.656629e-05,2.691851e-05,2.696492e-05,2.733685e-05,2.740811e-05,2.768304e-05,2.785320e-05,2.800445e-05,2.825601e-05,2.830206e-05,2.857682e-05,2.861873e-05,2.882968e-05,2.894355e-05,2.906158e-05,2.923261e-05,2.927342e-05,2.946610e-05,2.948797e-05,2.964049e-05,2.971165e-05,2.979744e-05,2.990556e-05,2.993777e-05,3.006227e-05,3.007157e-05,3.017173e-05,3.021146e-05,3.026687e-05,3.032692e-05,3.034842e-05,3.041708e-05,3.041956e-05,3.047349e-05,3.049093e-05,3.051832e-05,3.054249e-05,3.055216e-05,3.057561e-05,3.058925e-05,3.059163e-05,3.059360e-05,3.059177e-05,3.058921e-05,3.057721e-05,3.057655e-05,3.055612e-05,3.054906e-05,3.052836e-05,3.050838e-05,3.049372e-05,3.045614e-05,3.045262e-05,3.040545e-05,3.039327e-05,3.035260e-05,3.032066e-05,3.029443e-05,3.023912e-05,3.023129e-05,3.016352e-05,3.014943e-05,3.009142e-05,3.005232e-05,3.001530e-05,2.994847e-05,2.993545e-05,2.985215e-05,2.983851e-05,2.976564e-05,2.972306e-05,2.967619e-05,2.960266e-05,2.958403e-05,2.948937e-05,2.947786e-05,2.939245e-05,2.934913e-05,2.929345e-05,2.921695e-05,2.919258e-05,2.909000e-05,2.908173e-05,2.898591e-05,2.894388e-05,2.888046e-05,2.880378e-05,2.877381e-05,2.866610e-05,2.866177e-05,2.855748e-05,2.851818e-05,2.844807e-05,2.837330e-05,2.833802e-05,2.822742e-05,2.808079e-05,2.793367e-05,2.778626e-05,2.763879e-05,2.749143e-05,2.734436e-05,2.719774e-05,2.705173e-05,2.690646e-05,2.676205e-05,2.661862e-05,2.647628e-05,2.633511e-05,2.619520e-05,2.605663e-05,2.591947e-05,2.578378e-05,2.564962e-05,2.551703e-05,2.538607e-05,2.525676e-05,2.512914e-05,2.500324e-05,2.487909e-05
0.000000e+00,3.930979e-10,1.371124e-09,8.299161e-09,2.616471e-08,4.368122e-08,1.282817e-07,1.332640e-07,3.060254e-07,3.734566e-07,5.929849e-07,8.341250e-07,1.028558e-06,1.593060e-06,1.650583e-06,2.494990e-06,2.733570e-06,3.582260e-06,4.295313e-06,4.903910e-06,6.233111e-06,6.424571e-06,8.097693e-06,8.446621e-06,9.879417e-06,1.083659e-05,1.173383e-05,1.332679e-05,1.363258e-05,1.555274e-05,1.586062e-05,1.747500e-05,1.839342e-05,1.938255e-05,2.088798e-05,2.126057e-05,2.309607e-05,2.331292e-05,2.487786e-05,2.564236e-05,2.659659e-05,2.785594e-05,2.824472e-05,2.981650e-05,2.993881e-05,3.130784e-05,3.188122e-05,3.271616e-05,3.367803e-05,3.404027e-05,3.528011e-05,3.532796e-05,3.643659e-05,3.683282e-05,3.751142e-05,3.819683e-05,3.850693e-05,3.942595e-05,4.027163e-05,4.052731e-05,4.104739e-05,4.150882e-05,4.175677e-05,4.237868e-05,4.240338e-05,4.299084e-05,4.314521e-05,4.352271e-05,4.381660e-05,4.400247e-05,4.440074e-05,4.443351e-05,4.481907e-05,4.490518e-05,4.516225e-05,4.533703e-05,4.546600e-05,4.570290e-05,4.573310e-05,4.596617e-05,4.600892e-05,4.616767e-05,4.626075e-05,4.633992e-05,4.646360e-05,4.648509e-05,4.660521e-05,4.662224e-05,4.670217e-05,4.674101e-05,4.677773e-05,4.682388e-05,4.683354e-05,4.687113e-05,4.687448e-05,4.689192e-05,4.689609e-05,4.689724e-05,4.689170e-05,4.688832e-05,4.686630e-05,4.686401e-05,4.683225e-05,4.681549e-05,4.678716e-05,4.674837e-05,4.673194e-05,4.666744e-05,4.666468e-05,4.659446e-05,4.656625e-05,4.651373e-05,4.645475e-05,4.642593e-05,4.633169e-05,4.623162e-05,4.619845e-05,4.612624e-05,4.605626e-05,4.601607e-05,4.590624e-05,4.590159e-05,4.578322e-05,4.574943e-05,4.566137e-05,4.558675e-05,4.553642e-05,4.541904e-05,4.540873e-05,4.527862e-05,4.524706e-05,4.514638e-05,4.507151e-05,4.501230e-05,4.489300e-05,4.487665e-05,4.473966e-05,4.471212e-05,4.460155e-05,4.452937e-05,4.446254e-05,4.434522e-05,4.432282e-05,4.418257e-05,4.416009e-05,4.404196e-05,4.397438e-05,4.390113e-05,4.378842e-05,4.376024e-05,4.361941e-05,4.360253e-05,4.347878e-05,4.341699e-05,4.333844e-05,4.323205e-05,4.319851e-05,4.305908e-05,4.304795e-05,4.292025e-05,4.286490e-05,4.278208e-05,4.268307e-05,4.264467e-05,4.250808e-05,4.250263e-05,4.237237e-05,4.232375e-05,4.223761e-05,4.214653e-05,4.210384e-05,4.197112e-05,4.179760e-05,4.162608e-05,4.145664e-05,4.128934e-05,4.112424e-05,4.096141e-05,4.080088e-05,4.064270e-05,4.048689e-05,4.033348e-05,4.018248e-05,4.003392e-05,3.988780e-05,3.974414e-05,3.960292e-05,3.946414e-05,3.932782e-05,3.919392e-05,3.906246e-05,3.893340e-05,3.880673e-05,3.868245e-05,3.856052e-05,3.844093e-05
0.000000e+00,5.756342e-11,2.177602e-10,1.543037e-09,5.548396e-09,9.909773e-09,3.414915e-08,3.569185e-08,9.415785e-08,1.189535e-07,2.049401e-07,3.063211e-07,3.920514e-07,6.561028e-07,6.840752e-07,1.113732e-06,1.241176e-06,1.715330e-06,2.138899e-06,2.518792e-06,3.407308e-06,3.541860e-06,4.785367e-06,5.059435e-06,6.234410e-06,7.060914e-06,7.863426e-06,9.348529e-06,9.641798e-06,1.153808e-05,1.185040e-05,1.352246e-05,1.449819e-05,1.556788e-05,1.723192e-05,1.765032e-05,1.974867e-05,2.000064e-05,2.184448e-05,2.276162e-05,2.392169e-05,2.547928e-05,2.596637e-05,2.796653e-05,2.812430e-05,2.991202e-05,3.067297e-05,3.179440e-05,3.310672e-05,3.360681e-05,3.534384e-05,3.541169e-05,3.700149e-05,3.757824e-05,3.857696e-05,3.960046e-05,4.006860e-05,4.147569e-05,4.279840e-05,4.320397e-05,4.403759e-05,4.478751e-05,4.519475e-05,4.623026e-05,4.627183e-05,4.727120e-05,4.753745e-05,4.819549e-05,4.871522e-05,4.904758e-05,4.977033e-05,4.983049e-05,5.054733e-05,5.070989e-05,5.120125e-05,5.154115e-05,5.179542e-05,5.227135e-05,5.233297e-05,5.281697e-05,5.290762e-05,5.325044e-05,5.345684e-05,5.363628e-05,5.392565e-05,5.397732e-05,5.427626e-05,5.432035e-05,5.453569e-05,5.464692e-05,5.475809e-05,5.491096e-05,5.494584e-05,5.510118e-05,5.511774e-05,5.522623e-05,5.527219e-05,5.532303e-05,5.537888e-05,5.539349e-05,5.543941e-05,5.544208e-05,5.546251e-05,5.546572e-05,5.546440e-05,5.545348e-05,5.544659e-05,5.541052e-05,5.540871e-05,5.535752e-05,5.533454e-05,5.528886e-05,5.523384e-05,5.520574e-05,5.510926e-05,5.500049e-05,5.496324e-05,5.488040e-05,5.479803e-05,5.474992e-05,5.461569e-05,5.460992e-05,5.446121e-05,5.441812e-05,5.430456e-05,5.420705e-05,5.414067e-05,5.398409e-05,5.397023e-05,5.379385e-05,5.375070e-05,5.361212e-05,5.350823e-05,5.342561e-05,5.325791e-05,5.323481e-05,5.304021e-05,5.300088e-05,5.284227e-05,5.273815e-05,5.264139e-05,5.247068e-05,5.243797e-05,5.223239e-05,5.219932e-05,5.202497e-05,5.192486e-05,5.181605e-05,5.164802e-05,5.160591e-05,5.139483e-05,5.136945e-05,5.118308e-05,5.108976e-05,5.097089e-05,5.080947e-05,5.075848e-05,5.054607e-05,5.052908e-05,5.033384e-05,5.024905e-05,5.012198e-05,4.996976e-05,4.991065e-05,4.970000e-05,4.969159e-05,4.949017e-05,4.941486e-05,4.928130e-05,4.913988e-05,4.907351e-05,4.886691e-05,4.859618e-05,4.832792e-05,4.806231e-05,4.779951e-05,4.753969e-05,4.728296e-05,4.702945e-05,4.677924e-05,4.653244e-05,4.628910e-05,4.604929e-05,4.581306e-05,4.558044e-05,4.535147e-05,4.512618e-05,4.490457e-05,4.468666e-05,4.447244e-05,4.426191e-05,4.405507e-05,4.385189e-05,4.365237e-05,4.345647e-05,4.326418e-05
0.000000e+00,3.268648e-09,7.460657e-09,2.550872e-08,5.775930e-08,8.406175e-08,1.896528e-07,1.953203e-07,3.758641e-07,4.412153e-07,6.435033e-07,8.539691e-07,1.017813e-06,1.474172e-06,1.519463e-06,2.167172e-06,2.345798e-06,2.971319e-06,3.488730e-06,3.926534e-06,4.874526e-06,5.010351e-06,6.191052e-06,6.435992e-06,7.437475e-06,8.102800e-06,8.723878e-06,9.820604e-06,1.003029e-05,1.134122e-05,1.155053e-05,1.264431e-05,1.326397e-05,1.392945e-05,1.493893e-05,1.518822e-05,1.641364e-05,1.655817e-05,1.759995e-05,1.810831e-05,1.874255e-05,1.957947e-05,1.983788e-05,2.088336e-05,2.096479e-05,2.187730e-05,2.226019e-05,2.281871e-05,2.346384e-05,2.370735e-05,2.454355e-05,2.457592e-05,2.532803e-05,2.559799e-05,2.606192e-05,2.653279e-05,2.674665e-05,2.738390e-05,2.797548e-05,2.815545e-05,2.852332e-05,2.885192e-05,2.902944e-05,2.947795e-05,2.949587e-05,2.992465e-05,3.003824e-05,3.031781e-05,3.053744e-05,3.067734e-05,3.098007e-05,3.100518e-05,3.130318e-05,3.137047e-05,3.157315e-05,3.171273e-05,3.181681e-05,3.201076e-05,3.203579e-05,3.223167e-05,3.226820e-05,3.240592e-05,3.248845e-05,3.255994e-05,3.267467e-05,3.269507e-05,3.281256e-05,3.282979e-05,3.291357e-05,3.295654e-05,3.299923e-05,3.305741e-05,3.307058e-05,3.312861e-05,3.313472e-05,3.317422e-05,3.319059e-05,3.320830e-05,3.322699e-05,3.323165e-05,3.324504e-05,3.324570e-05,3.324918e-05,3.324840e-05,3.324474e-05,3.323658e-05,3.323235e-05,3.321259e-05,3.321166e-05,3.318603e-05,3.317490e-05,3.315317e-05,3.312748e-05,3.311450e-05,3.307047e-05,3.302151e-05,3.300486e-05,3.296801e-05,3.293156e-05,3.291034e-05,3.285138e-05,3.284885e-05,3.278388e-05,3.276510e-05,3.271571e-05,3.267340e-05,3.264464e-05,3.257692e-05,3.257093e-05,3.249484e-05,3.247625e-05,3.241659e-05,3.237191e-05,3.233640e-05,3.226440e-05,3.225448e-05,3.217102e-05,3.215416e-05,3.208620e-05,3.204161e-05,3.200018e-05,3.192711e-05,3.191312e-05,3.182516e-05,3.181101e-05,3.173644e-05,3.169363e-05,3.164709e-05,3.157524e-05,3.155723e-05,3.146696e-05,3.145611e-05,3.137640e-05,3.133648e-05,3.128562e-05,3.121656e-05,3.119474e-05,3.110382e-05,3.109654e-05,3.101294e-05,3.097662e-05,3.092219e-05,3.085695e-05,3.083162e-05,3.074129e-05,3.073768e-05,3.065127e-05,3.061895e-05,3.056161e-05,3.050088e-05,3.047236e-05,3.038357e-05,3.026713e-05,3.015164e-05,3.003719e-05,2.992385e-05,2.981168e-05,2.970074e-05,2.959107e-05,2.948273e-05,2.937576e-05,2.927018e-05,2.916602e-05,2.906331e-05,2.896208e-05,2.886233e-05,2.876408e-05,2.866734e-05,2.857212e-05,2.847842e-05,2.838625e-05,2.829561e-05,2.820649e-05,2.811889e-05,2.803280e-05,2.794823e-05
0.000000e+00,4.213541e-09,9.636165e-09,3.315396e-08,7.582560e-08,1.112259e-07,2.586108e-07,2.667551e-07,5.380557e-07,6.416493e-07,9.786226e-07,1.351708e-06,1.654573e-06,2.532013e-06,2.620435e-06,3.877948e-06,4.217583e-06,5.370816e-06,6.282104e-06,7.026475e-06,8.571767e-06,8.787158e-06,1.061390e-05,1.098473e-05,1.248078e-05,1.346113e-05,1.436941e-05,1.596204e-05,1.626536e-05,1.815627e-05,1.845759e-05,2.003095e-05,2.092197e-05,2.187904e-05,2.333187e-05,2.369092e-05,2.545783e-05,2.566645e-05,2.717185e-05,2.790746e-05,2.882614e-05,3.003991e-05,3.041500e-05,3.193378e-05,3.205215e-05,3.337897e-05,3.393585e-05,3.474806e-05,3.568580e-05,3.603953e-05,3.725281e-05,3.729971e-05,3.838810e-05,3.877782e-05,3.944607e-05,4.012200e-05,4.042809e-05,4.133600e-05,4.217192e-05,4.242461e-05,4.293833e-05,4.339357e-05,4.363788e-05,4.424914e-05,4.427337e-05,4.484773e-05,4.499799e-05,4.536390e-05,4.564690e-05,4.582483e-05,4.620261e-05,4.623345e-05,4.659264e-05,4.667180e-05,4.690523e-05,4.706094e-05,4.717395e-05,4.737624e-05,4.740145e-05,4.759029e-05,4.762364e-05,4.774291e-05,4.780874e-05,4.786165e-05,4.793685e-05,4.794875e-05,4.800633e-05,4.801294e-05,4.803640e-05,4.804164e-05,4.804089e-05,4.802728e-05,4.802161e-05,4.798028e-05,4.797391e-05,4.791851e-05,4.788526e-05,4.783784e-05,4.776478e-05,4.773971e-05,4.762548e-05,4.761569e-05,4.749644e-05,4.744094e-05,4.735378e-05,4.724327e-05,4.719863e-05,4.703206e-05,4.702518e-05,4.685507e-05,4.678899e-05,4.666860e-05,4.653683e-05,4.647351e-05,4.627065e-05,4.606077e-05,4.599224e-05,4.584459e-05,4.570325e-05,4.562280e-05,4.540519e-05,4.539603e-05,4.516486e-05,4.509942e-05,4.492985e-05,4.478721e-05,4.469151e-05,4.446971e-05,4.445032e-05,4.420673e-05,4.414796e-05,4.396116e-05,4.382292e-05,4.371399e-05,4.349545e-05,4.346558e-05,4.321628e-05,4.316634e-05,4.296639e-05,4.283631e-05,4.271620e-05,4.250600e-05,4.246598e-05,4.221598e-05,4.217601e-05,4.196642e-05,4.184686e-05,4.171752e-05,4.151902e-05,4.146949e-05,4.122248e-05,4.119292e-05,4.097669e-05,4.086896e-05,4.073224e-05,4.054746e-05,4.048929e-05,4.024797e-05,4.022873e-05,4.000838e-05,3.991305e-05,3.977063e-05,3.960066e-05,3.953483e-05,3.930106e-05,3.929175e-05,3.906939e-05,3.898652e-05,3.883990e-05,3.868513e-05,3.861266e-05,3.838771e-05,3.809438e-05,3.780524e-05,3.752038e-05,3.723985e-05,3.696371e-05,3.669200e-05,3.642475e-05,3.616197e-05,3.590368e-05,3.564987e-05,3.540053e-05,3.515566e-05,3.491522e-05,3.467919e-05,3.444755e-05,3.422024e-05,3.399723e-05,3.377848e-05,3.356394e-05,3.335356e-05,3.314728e-05,3.294506e-05,3.274683e-05,3.255253e-05
0.000000e+00,4.482475e-09,1.024585e-08,3.526062e-08,8.085868e-08,1.189185e-07,2.793562e-07,2.883004e-07,5.893829e-07,7.054484e-07,1.084990e-06,1.506721e-06,1.849420e-06,2.842726e-06,2.942825e-06,4.363073e-06,4.744357e-06,6.025336e-06,7.018232e-06,7.814498e-06,9.422540e-06,9.641810e-06,1.145446e-05,1.181241e-05,1.322348e-05,1.412042e-05,1.493259e-05,1.631467e-05,1.657200e-05,1.813536e-05,1.837813e-05,1.961847e-05,2.030104e-05,2.101874e-05,2.207843e-05,2.233492e-05,2.356689e-05,2.370910e-05,2.471556e-05,2.519501e-05,2.578267e-05,2.654060e-05,2.677064e-05,2.768242e-05,2.775217e-05,2.852134e-05,2.883731e-05,2.929099e-05,2.980434e-05,2.999510e-05,3.063744e-05,3.066191e-05,3.122178e-05,3.141866e-05,3.175180e-05,3.208302e-05,3.223107e-05,3.266303e-05,3.305092e-05,3.316625e-05,3.339785e-05,3.359975e-05,3.370674e-05,3.397002e-05,3.398031e-05,3.422114e-05,3.428303e-05,3.443160e-05,3.454425e-05,3.461394e-05,3.475864e-05,3.477023e-05,3.490240e-05,3.493073e-05,3.501224e-05,3.506462e-05,3.510141e-05,3.516402e-05,3.517146e-05,3.522382e-05,3.523228e-05,3.525981e-05,3.527247e-05,3.528066e-05,3.528731e-05,3.528751e-05,3.528142e-05,3.527931e-05,3.526336e-05,3.525071e-05,3.523424e-05,3.520355e-05,3.519490e-05,3.514612e-05,3.513967e-05,3.508863e-05,3.506075e-05,3.502309e-05,3.496829e-05,3.495013e-05,3.487033e-05,3.486366e-05,3.478421e-05,3.474812e-05,3.469229e-05,3.462277e-05,3.459503e-05,3.449284e-05,3.448866e-05,3.438615e-05,3.434670e-05,3.427531e-05,3.419775e-05,3.416068e-05,3.404258e-05,3.392130e-05,3.388187e-05,3.379714e-05,3.371628e-05,3.367035e-05,3.354639e-05,3.354118e-05,3.340985e-05,3.337272e-05,3.327657e-05,3.319576e-05,3.314155e-05,3.301595e-05,3.300497e-05,3.286700e-05,3.283370e-05,3.272780e-05,3.264937e-05,3.258753e-05,3.246331e-05,3.244632e-05,3.230431e-05,3.227582e-05,3.216162e-05,3.208719e-05,3.201836e-05,3.189767e-05,3.187465e-05,3.173059e-05,3.170752e-05,3.158627e-05,3.151693e-05,3.144178e-05,3.132612e-05,3.129720e-05,3.115261e-05,3.113527e-05,3.100809e-05,3.094453e-05,3.086369e-05,3.075408e-05,3.071949e-05,3.057555e-05,3.056405e-05,3.043192e-05,3.037456e-05,3.028865e-05,3.018574e-05,3.014579e-05,3.000339e-05,2.999770e-05,2.986148e-05,2.981053e-05,2.972012e-05,2.962433e-05,2.957934e-05,2.943917e-05,2.925513e-05,2.907229e-05,2.889070e-05,2.871043e-05,2.853152e-05,2.835401e-05,2.817796e-05,2.800339e-05,2.783035e-05,2.765886e-05,2.748896e-05,2.732065e-05,2.715397e-05,2.698892e-05,2.682554e-05,2.666382e-05,2.650378e-05,2.634543e-05,2.618878e-05,2.603383e-05,2.588057e-05,2.572903e-05,2.557918e-05,2.543104e-05
0.000000e+00,1.293143e-09,3.877497e-09,1.835819e-08,4.913148e-08,7.633644e-08,1.944373e-07,2.010372e-07,4.194310e-07,5.013557e-07,7.615021e-07,1.040166e-06,1.261474e-06,1.893523e-06,1.957315e-06,2.886654e-06,3.147902e-06,4.077072e-06,4.860649e-06,5.533092e-06,7.015566e-06,7.230702e-06,9.127081e-06,9.526093e-06,1.117642e-05,1.228909e-05,1.333927e-05,1.522064e-05,1.558426e-05,1.788632e-05,1.825851e-05,2.022463e-05,2.135453e-05,2.258119e-05,2.446876e-05,2.493999e-05,2.728660e-05,2.756674e-05,2.960805e-05,3.061850e-05,3.189280e-05,3.359837e-05,3.413071e-05,3.631306e-05,3.648502e-05,3.843251e-05,3.926129e-05,4.048305e-05,4.191404e-05,4.245990e-05,4.435948e-05,4.443381e-05,4.617917e-05,4.681434e-05,4.791728e-05,4.905215e-05,4.957298e-05,5.114605e-05,5.263681e-05,5.309661e-05,5.404615e-05,5.490595e-05,5.537531e-05,5.657732e-05,5.662586e-05,5.779963e-05,5.811480e-05,5.889868e-05,5.952314e-05,5.992519e-05,6.080751e-05,6.088148e-05,6.176996e-05,6.197337e-05,6.259303e-05,6.302629e-05,6.335314e-05,6.397191e-05,6.405275e-05,6.469429e-05,6.481585e-05,6.528019e-05,6.556366e-05,6.581283e-05,6.622078e-05,6.629453e-05,6.672757e-05,6.679249e-05,6.711418e-05,6.728390e-05,6.745653e-05,6.769995e-05,6.775671e-05,6.801678e-05,6.804539e-05,6.823870e-05,6.832476e-05,6.842439e-05,6.854242e-05,6.857569e-05,6.869437e-05,6.870251e-05,6.878216e-05,6.880900e-05,6.884071e-05,6.886565e-05,6.887160e-05,6.887636e-05,6.887602e-05,6.885645e-05,6.884353e-05,6.881330e-05,6.877136e-05,6.874824e-05,6.866257e-05,6.855754e-05,6.852003e-05,6.843433e-05,6.834646e-05,6.829407e-05,6.814441e-05,6.813787e-05,6.796675e-05,6.791630e-05,6.778171e-05,6.766440e-05,6.758370e-05,6.739086e-05,6.737363e-05,6.715236e-05,6.709769e-05,6.692072e-05,6.678676e-05,6.667949e-05,6.645986e-05,6.642941e-05,6.617121e-05,6.611865e-05,6.590555e-05,6.576469e-05,6.563310e-05,6.539942e-05,6.535444e-05,6.507018e-05,6.502422e-05,6.478087e-05,6.464036e-05,6.448702e-05,6.424902e-05,6.418914e-05,6.388770e-05,6.385131e-05,6.358315e-05,6.344827e-05,6.327591e-05,6.304085e-05,6.296638e-05,6.265494e-05,6.262995e-05,6.234195e-05,6.221639e-05,6.202774e-05,6.180094e-05,6.171264e-05,6.139695e-05,6.138432e-05,6.108095e-05,6.096716e-05,6.076490e-05,6.055010e-05,6.044906e-05,6.013367e-05,5.971840e-05,5.930475e-05,5.889316e-05,5.848403e-05,5.807771e-05,5.767454e-05,5.727481e-05,5.687878e-05,5.648671e-05,5.609880e-05,5.571526e-05,5.533625e-05,5.496193e-05,5.459242e-05,5.422785e-05,5.386832e-05,5.351390e-05,5.316466e-05,5.282067e-05,5.248196e-05,5.214857e-05,5.182053e-05,5.149783e-05,5.118050e-05
0.000000e+00,4.092686e-09,9.397765e-09,3.245280e-08,7.405111e-08,1.081914e-07,2.463053e-07,2.537513e-07,4.919591e-07,5.785085e-07,8.469400e-07,1.126405e-06,1.343592e-06,1.943904e-06,2.002957e-06,2.834446e-06,3.059411e-06,3.834582e-06,4.464881e-06,4.993997e-06,6.138107e-06,6.302718e-06,7.751102e-06,8.056676e-06,9.329205e-06,1.019754e-05,1.102621e-05,1.253488e-05,1.283018e-05,1.472816e-05,1.503965e-05,1.670639e-05,1.768029e-05,1.875068e-05,2.042408e-05,2.084675e-05,2.298059e-05,2.323854e-05,2.513873e-05,2.609273e-05,2.730855e-05,2.895820e-05,2.947837e-05,3.163765e-05,3.180964e-05,3.377696e-05,3.462522e-05,3.588808e-05,3.738660e-05,3.796390e-05,3.999841e-05,4.007886e-05,4.198661e-05,4.269021e-05,4.392442e-05,4.521166e-05,4.580858e-05,4.763657e-05,4.940653e-05,4.996044e-05,5.111716e-05,5.218043e-05,5.276765e-05,5.429517e-05,5.435760e-05,5.588698e-05,5.630438e-05,5.735605e-05,5.820874e-05,5.876531e-05,6.000962e-05,6.011548e-05,6.140743e-05,6.170895e-05,6.264219e-05,6.330909e-05,6.382089e-05,6.481273e-05,6.494474e-05,6.601504e-05,6.622278e-05,6.703310e-05,6.754231e-05,6.800030e-05,6.877447e-05,6.891804e-05,6.978770e-05,6.992249e-05,7.061072e-05,7.098962e-05,7.138851e-05,7.197912e-05,7.212247e-05,7.281401e-05,7.289421e-05,7.346450e-05,7.373807e-05,7.407532e-05,7.451383e-05,7.464780e-05,7.518327e-05,7.522455e-05,7.568304e-05,7.587323e-05,7.614836e-05,7.646277e-05,7.658049e-05,7.698064e-05,7.699600e-05,7.735001e-05,7.747568e-05,7.768976e-05,7.790444e-05,7.800101e-05,7.828487e-05,7.854242e-05,7.861944e-05,7.877469e-05,7.891055e-05,7.898270e-05,7.916049e-05,7.916744e-05,7.932987e-05,7.937147e-05,7.947091e-05,7.954564e-05,7.959146e-05,7.968503e-05,7.969240e-05,7.977458e-05,7.979160e-05,7.983882e-05,7.986724e-05,7.988590e-05,7.991375e-05,7.991660e-05,7.993166e-05,7.993286e-05,7.993180e-05,7.992621e-05,7.991771e-05,7.989538e-05,7.989007e-05,7.984953e-05,7.984189e-05,7.979670e-05,7.976716e-05,7.973220e-05,7.967259e-05,7.965661e-05,7.957049e-05,7.955948e-05,7.947438e-05,7.942907e-05,7.936881e-05,7.928256e-05,7.925428e-05,7.913128e-05,7.912109e-05,7.900027e-05,7.894573e-05,7.886171e-05,7.875751e-05,7.871602e-05,7.856363e-05,7.855740e-05,7.840494e-05,7.834634e-05,7.824033e-05,7.812520e-05,7.807017e-05,7.789483e-05,7.765601e-05,7.740949e-05,7.715599e-05,7.689618e-05,7.663070e-05,7.636016e-05,7.608512e-05,7.580612e-05,7.552368e-05,7.523827e-05,7.495035e-05,7.466034e-05,7.436865e-05,7.407565e-05,7.378169e-05,7.348711e-05,7.319223e-05,7.289733e-05,7.260268e-05,7.230856e-05,7.201519e-05,7.172279e-05,7.143159e-05,7.114176e-05
0.000000e+00,5.469160e-11,1.882612e-10,1.110726e-09,3.426838e-09,5.656220e-09,1.614310e-08,1.675077e-08,3.739014e-08,4.526999e-08,7.042618e-08,9.736137e-08,1.186473e-07,1.786582e-07,1.846411e-07,2.701088e-07,2.935594e-07,3.750727e-07,4.418413e-07,4.980192e-07,6.193736e-07,6.367889e-07,7.892509e-07,8.212147e-07,9.534946e-07,1.042972e-06,1.127766e-06,1.280656e-06,1.310360e-06,1.499558e-06,1.530325e-06,1.693596e-06,1.787928e-06,1.890685e-06,2.049352e-06,2.089040e-06,2.286923e-06,2.310558e-06,2.482682e-06,2.567745e-06,2.674792e-06,2.817508e-06,2.861886e-06,3.042776e-06,3.056948e-06,3.216465e-06,3.283739e-06,3.382155e-06,3.496150e-06,3.539238e-06,3.687294e-06,3.693024e-06,3.826067e-06,3.873729e-06,3.955457e-06,4.038092e-06,4.075493e-06,4.186319e-06,4.288168e-06,4.318912e-06,4.381347e-06,4.436597e-06,4.466219e-06,4.540254e-06,4.543186e-06,4.612678e-06,4.630856e-06,4.675137e-06,4.709423e-06,4.731012e-06,4.776982e-06,4.780745e-06,4.824774e-06,4.834539e-06,4.863518e-06,4.883057e-06,4.897380e-06,4.923444e-06,4.926742e-06,4.951965e-06,4.956543e-06,4.973387e-06,4.983130e-06,4.991323e-06,5.003910e-06,5.006065e-06,5.017885e-06,5.019522e-06,5.027032e-06,5.030541e-06,5.033735e-06,5.037479e-06,5.038204e-06,5.040633e-06,5.040796e-06,5.041199e-06,5.040899e-06,5.040062e-06,5.038152e-06,5.037371e-06,5.033261e-06,5.032875e-06,5.027854e-06,5.025354e-06,5.021263e-06,5.015842e-06,5.013591e-06,5.004931e-06,5.004565e-06,4.995369e-06,4.991721e-06,4.984984e-06,4.977488e-06,4.973847e-06,4.962025e-06,4.949579e-06,4.945473e-06,4.936563e-06,4.927958e-06,4.923029e-06,4.909593e-06,4.909024e-06,4.894592e-06,4.890480e-06,4.879772e-06,4.870710e-06,4.864603e-06,4.850367e-06,4.849117e-06,4.833347e-06,4.829524e-06,4.817323e-06,4.808249e-06,4.801072e-06,4.786603e-06,4.784619e-06,4.767988e-06,4.764642e-06,4.751200e-06,4.742416e-06,4.734277e-06,4.719971e-06,4.717237e-06,4.700099e-06,4.697349e-06,4.682879e-06,4.674589e-06,4.665593e-06,4.651725e-06,4.648254e-06,4.630878e-06,4.628790e-06,4.613475e-06,4.605814e-06,4.596060e-06,4.582821e-06,4.578641e-06,4.561231e-06,4.559839e-06,4.543838e-06,4.536888e-06,4.526472e-06,4.513990e-06,4.509141e-06,4.491854e-06,4.491163e-06,4.474617e-06,4.468425e-06,4.457438e-06,4.445792e-06,4.440323e-06,4.423278e-06,4.400897e-06,4.378660e-06,4.356579e-06,4.334663e-06,4.312921e-06,4.291362e-06,4.269993e-06,4.248821e-06,4.227852e-06,4.207091e-06,4.186542e-06,4.166211e-06,4.146100e-06,4.126214e-06,4.106554e-06,4.087123e-06,4.067922e-06,4.048955e-06,4.030221e-06,4.011722e-06,3.993459e-06,3.975431e-06,3.957639e-06,3.940083e-06
0.000000e+00,1.185042e-09,2.753732e-09,9.630681e-09,2.211740e-08,3.240527e-08,7.428186e-08,7.654991e-08,1.496181e-07,1.763995e-07,2.602002e-07,3.485575e-07,4.179471e-07,6.125888e-07,6.319300e-07,9.068220e-07,9.817537e-07,1.240598e-06,1.451004e-06,1.627164e-06,2.005844e-06,2.060043e-06,2.533717e-06,2.632924e-06,3.043487e-06,3.321398e-06,3.585049e-06,4.061455e-06,4.154198e-06,4.746695e-06,4.843374e-06,5.358243e-06,5.657287e-06,5.984533e-06,6.493320e-06,6.621315e-06,7.264480e-06,7.341901e-06,7.910134e-06,8.194069e-06,8.554665e-06,9.041721e-06,9.194783e-06,9.827550e-06,9.877774e-06,1.045039e-05,1.069624e-05,1.106109e-05,1.149222e-05,1.165779e-05,1.223895e-05,1.226185e-05,1.280334e-05,1.300222e-05,1.335001e-05,1.371125e-05,1.387824e-05,1.438755e-05,1.487763e-05,1.503037e-05,1.534834e-05,1.563941e-05,1.579966e-05,1.621479e-05,1.623170e-05,1.664467e-05,1.675692e-05,1.703885e-05,1.726647e-05,1.741458e-05,1.774429e-05,1.777225e-05,1.811230e-05,1.819134e-05,1.843519e-05,1.860869e-05,1.874140e-05,1.899746e-05,1.903143e-05,1.930579e-05,1.935882e-05,1.956499e-05,1.969396e-05,1.980956e-05,2.000405e-05,2.003999e-05,2.025681e-05,2.029027e-05,2.046051e-05,2.055378e-05,2.065160e-05,2.079570e-05,2.083054e-05,2.099783e-05,2.101714e-05,2.115391e-05,2.121916e-05,2.129925e-05,2.140280e-05,2.143429e-05,2.155945e-05,2.156905e-05,2.167515e-05,2.171887e-05,2.178179e-05,2.185317e-05,2.187975e-05,2.196942e-05,2.197284e-05,2.205116e-05,2.207871e-05,2.212532e-05,2.217159e-05,2.219224e-05,2.225225e-05,2.230567e-05,2.232142e-05,2.235280e-05,2.237979e-05,2.239393e-05,2.242804e-05,2.242935e-05,2.245934e-05,2.246679e-05,2.248414e-05,2.249665e-05,2.250403e-05,2.251818e-05,2.251923e-05,2.252999e-05,2.253193e-05,2.253652e-05,2.253841e-05,2.253905e-05,2.253812e-05,2.253777e-05,2.253289e-05,2.253150e-05,2.252460e-05,2.251901e-05,2.251309e-05,2.250104e-05,2.249852e-05,2.248106e-05,2.247801e-05,2.246088e-05,2.245028e-05,2.243814e-05,2.241819e-05,2.241297e-05,2.238553e-05,2.238209e-05,2.235595e-05,2.234229e-05,2.232435e-05,2.229907e-05,2.229087e-05,2.225562e-05,2.225273e-05,2.221872e-05,2.220352e-05,2.218027e-05,2.215169e-05,2.214038e-05,2.209915e-05,2.209748e-05,2.205668e-05,2.204111e-05,2.201306e-05,2.198278e-05,2.196837e-05,2.192269e-05,2.186103e-05,2.179796e-05,2.173366e-05,2.166826e-05,2.160192e-05,2.153477e-05,2.146694e-05,2.139853e-05,2.132967e-05,2.126046e-05,2.119098e-05,2.112134e-05,2.105162e-05,2.098188e-05,2.091222e-05,2.084268e-05,2.077335e-05,2.070426e-05,2.063549e-05,2.056708e-05,2.049907e-05,2.043150e-05,2.036443e-05,2.029787e-05
0.000000e+00,3.344709e-09,8.995801e-09,3.704066e-08,9.227063e-08,1.396358e-07,3.414055e-07,3.526339e-07,7.262456e-07,8.680569e-07,1.325412e-06,1.826398e-06,2.230930e-06,3.405219e-06,3.524417e-06,5.249783e-06,5.726848e-06,7.383660e-06,8.731908e-06,9.857188e-06,1.225694e-05,1.259788e-05,1.554846e-05,1.615983e-05,1.866648e-05,2.034285e-05,2.191906e-05,2.473506e-05,2.527878e-05,2.872118e-05,2.927810e-05,3.222362e-05,3.391984e-05,3.576491e-05,3.861254e-05,3.932522e-05,4.288616e-05,4.331270e-05,4.643103e-05,4.798175e-05,4.994485e-05,5.258642e-05,5.341446e-05,5.682851e-05,5.709893e-05,6.017744e-05,6.149695e-05,6.345330e-05,6.576290e-05,6.664948e-05,6.976081e-05,6.988344e-05,7.278337e-05,7.384918e-05,7.571428e-05,7.765392e-05,7.855158e-05,8.129407e-05,8.394123e-05,8.476818e-05,8.649308e-05,8.807644e-05,8.895008e-05,9.122034e-05,9.131307e-05,9.358321e-05,9.420240e-05,9.576191e-05,9.702588e-05,9.785074e-05,9.969462e-05,9.985148e-05,1.017660e-04,1.022129e-04,1.035962e-04,1.045851e-04,1.053443e-04,1.068162e-04,1.070121e-04,1.086020e-04,1.089108e-04,1.101160e-04,1.108739e-04,1.115562e-04,1.127105e-04,1.129247e-04,1.142238e-04,1.144254e-04,1.154555e-04,1.160234e-04,1.166219e-04,1.175094e-04,1.177251e-04,1.187670e-04,1.188880e-04,1.197497e-04,1.201638e-04,1.206751e-04,1.213413e-04,1.215452e-04,1.223618e-04,1.224249e-04,1.231267e-04,1.234187e-04,1.238418e-04,1.243268e-04,1.245089e-04,1.251295e-04,1.251534e-04,1.257054e-04,1.259021e-04,1.262383e-04,1.265768e-04,1.267296e-04,1.271810e-04,1.275939e-04,1.277182e-04,1.279699e-04,1.281917e-04,1.283102e-04,1.286047e-04,1.286163e-04,1.288896e-04,1.289604e-04,1.291313e-04,1.292617e-04,1.293427e-04,1.295114e-04,1.295249e-04,1.296793e-04,1.297123e-04,1.298068e-04,1.298670e-04,1.299088e-04,1.299781e-04,1.299861e-04,1.300399e-04,1.300479e-04,1.300711e-04,1.300788e-04,1.300808e-04,1.300729e-04,1.300698e-04,1.300392e-04,1.300325e-04,1.299897e-04,1.299595e-04,1.299222e-04,1.298559e-04,1.298376e-04,1.297367e-04,1.297235e-04,1.296201e-04,1.295641e-04,1.294887e-04,1.293793e-04,1.293432e-04,1.291842e-04,1.291709e-04,1.290124e-04,1.289403e-04,1.288286e-04,1.286890e-04,1.286332e-04,1.284269e-04,1.284184e-04,1.282103e-04,1.281299e-04,1.279839e-04,1.278246e-04,1.277482e-04,1.275039e-04,1.271688e-04,1.268205e-04,1.264599e-04,1.260882e-04,1.257062e-04,1.253149e-04,1.249150e-04,1.245073e-04,1.240928e-04,1.236720e-04,1.232456e-04,1.228144e-04,1.223789e-04,1.219396e-04,1.214973e-04,1.210523e-04,1.206052e-04,1.201564e-04,1.197063e-04,1.192555e-04,1.188042e-04,1.183529e-04,1.179018e-04,1.174514e-04
0.000000e+00,3.028355e-09,6.967338e-09,2.398001e-08,5.435387e-08,7.906139e-08,1.776414e-07,1.829063e-07,3.493831e-07,4.091026e-07,5.924013e-07,7.809502e-07,9.264294e-07,1.326619e-06,1.365978e-06,1.922758e-06,2.074488e-06,2.600657e-06,3.031086e-06,3.393070e-06,4.174307e-06,4.286307e-06,5.265128e-06,5.469907e-06,6.315662e-06,6.886211e-06,7.425824e-06,8.396498e-06,8.584789e-06,9.782439e-06,9.976997e-06,1.100900e-05,1.160521e-05,1.225491e-05,1.325924e-05,1.351076e-05,1.476744e-05,1.491787e-05,1.601618e-05,1.656097e-05,1.724875e-05,1.817000e-05,1.845757e-05,1.963575e-05,1.972850e-05,2.077726e-05,2.122241e-05,2.187693e-05,2.264035e-05,2.293047e-05,2.393443e-05,2.397351e-05,2.488621e-05,2.521571e-05,2.578401e-05,2.636310e-05,2.662675e-05,2.741399e-05,2.814588e-05,2.836849e-05,2.882307e-05,2.922823e-05,2.944660e-05,2.999603e-05,3.001790e-05,3.053865e-05,3.067566e-05,3.101076e-05,3.127153e-05,3.143628e-05,3.178850e-05,3.181741e-05,3.215639e-05,3.223173e-05,3.245550e-05,3.260645e-05,3.271704e-05,3.291791e-05,3.294327e-05,3.313641e-05,3.317125e-05,3.329860e-05,3.337140e-05,3.343193e-05,3.352308e-05,3.353838e-05,3.361989e-05,3.363074e-05,3.367827e-05,3.369859e-05,3.371525e-05,3.373052e-05,3.373246e-05,3.373143e-05,3.373015e-05,3.371363e-05,3.370083e-05,3.368040e-05,3.364562e-05,3.363302e-05,3.357269e-05,3.356733e-05,3.350050e-05,3.346854e-05,3.341750e-05,3.335159e-05,3.332465e-05,3.322284e-05,3.321860e-05,3.311291e-05,3.307150e-05,3.299564e-05,3.291206e-05,3.287174e-05,3.274187e-05,3.260665e-05,3.256235e-05,3.246666e-05,3.237481e-05,3.232243e-05,3.218042e-05,3.217443e-05,3.202313e-05,3.198023e-05,3.186894e-05,3.177520e-05,3.171225e-05,3.156619e-05,3.155341e-05,3.139276e-05,3.135397e-05,3.123060e-05,3.113924e-05,3.106721e-05,3.092261e-05,3.090285e-05,3.073775e-05,3.070466e-05,3.057214e-05,3.048588e-05,3.040621e-05,3.026673e-05,3.024016e-05,3.007416e-05,3.004761e-05,2.990835e-05,2.982888e-05,2.974289e-05,2.961086e-05,2.957791e-05,2.941352e-05,2.939384e-05,2.924984e-05,2.917807e-05,2.908697e-05,2.896379e-05,2.892501e-05,2.876402e-05,2.875119e-05,2.860411e-05,2.854045e-05,2.844532e-05,2.833173e-05,2.828773e-05,2.813139e-05,2.812516e-05,2.797635e-05,2.792086e-05,2.782266e-05,2.771894e-05,2.767035e-05,2.751948e-05,2.732256e-05,2.712824e-05,2.693658e-05,2.674762e-05,2.656139e-05,2.637793e-05,2.619725e-05,2.601936e-05,2.584427e-05,2.567200e-05,2.550252e-05,2.533584e-05,2.517195e-05,2.501082e-05,2.485245e-05,2.469682e-05,2.454390e-05,2.439366e-05,2.424609e-05,2.410115e-05,2.395882e-05,2.381906e-05,2.368183e-05,2.354712e-05
0.000000e+00,9.107442e-09,2.084467e-08,7.172145e-08,1.635582e-07,2.391534e-07,5.478674e-07,5.646535e-07,1.109602e-06,1.311337e-06,1.948838e-06,2.629737e-06,3.169387e-06,4.697840e-06,4.850435e-06,7.021444e-06,7.611923e-06,9.640346e-06,1.127264e-05,1.262636e-05,1.549544e-05,1.590156e-05,1.940484e-05,2.012855e-05,2.308923e-05,2.506375e-05,2.691646e-05,3.021733e-05,3.085333e-05,3.486973e-05,3.551785e-05,3.893786e-05,4.090131e-05,4.303203e-05,4.631024e-05,4.712873e-05,5.120674e-05,5.169393e-05,5.524727e-05,5.700891e-05,5.923390e-05,6.221899e-05,6.315263e-05,6.699169e-05,6.729507e-05,7.074144e-05,7.221453e-05,7.439412e-05,7.696050e-05,7.794370e-05,8.138564e-05,8.152102e-05,8.471669e-05,8.588829e-05,8.793474e-05,9.005782e-05,9.103859e-05,9.402783e-05,9.690274e-05,9.779868e-05,9.966411e-05,1.013724e-04,1.023132e-04,1.047522e-04,1.048516e-04,1.072812e-04,1.079423e-04,1.096042e-04,1.109478e-04,1.118229e-04,1.137740e-04,1.139396e-04,1.159570e-04,1.164267e-04,1.178777e-04,1.189120e-04,1.197043e-04,1.212361e-04,1.214396e-04,1.230862e-04,1.234051e-04,1.246468e-04,1.254253e-04,1.261242e-04,1.273028e-04,1.275209e-04,1.288397e-04,1.290437e-04,1.300832e-04,1.306540e-04,1.312538e-04,1.321396e-04,1.323542e-04,1.333868e-04,1.335062e-04,1.343539e-04,1.347594e-04,1.352581e-04,1.359045e-04,1.361015e-04,1.368865e-04,1.369469e-04,1.376153e-04,1.378915e-04,1.382900e-04,1.387434e-04,1.389126e-04,1.394853e-04,1.395072e-04,1.400099e-04,1.401874e-04,1.404885e-04,1.407885e-04,1.409228e-04,1.413148e-04,1.416660e-04,1.417701e-04,1.419783e-04,1.421584e-04,1.422532e-04,1.424835e-04,1.424924e-04,1.426974e-04,1.427489e-04,1.428697e-04,1.429580e-04,1.430108e-04,1.431141e-04,1.431220e-04,1.432046e-04,1.432203e-04,1.432600e-04,1.432797e-04,1.432895e-04,1.432949e-04,1.432942e-04,1.432754e-04,1.432689e-04,1.432341e-04,1.432041e-04,1.431714e-04,1.431030e-04,1.430884e-04,1.429861e-04,1.429680e-04,1.428655e-04,1.428014e-04,1.427275e-04,1.426052e-04,1.425730e-04,1.424030e-04,1.423815e-04,1.422181e-04,1.421323e-04,1.420193e-04,1.418593e-04,1.418073e-04,1.415828e-04,1.415644e-04,1.413467e-04,1.412491e-04,1.410995e-04,1.409150e-04,1.408419e-04,1.405746e-04,1.405637e-04,1.402981e-04,1.401965e-04,1.400132e-04,1.398148e-04,1.397202e-04,1.394198e-04,1.390128e-04,1.385949e-04,1.381671e-04,1.377306e-04,1.372861e-04,1.368347e-04,1.363772e-04,1.359144e-04,1.354470e-04,1.349758e-04,1.345015e-04,1.340246e-04,1.335459e-04,1.330657e-04,1.325847e-04,1.321034e-04,1.316222e-04,1.311415e-04,1.306618e-04,1.301834e-04,1.297067e-04,1.292319e-04,1.287595e-04,1.282896e-04
0.000000e+00,5.869833e-10,1.688290e-09,7.525313e-09,1.940035e-08,2.964504e-08,7.278877e-08,7.515516e-08,1.516678e-07,1.796423e-07,2.664492e-07,3.566248e-07,4.265347e-07,6.195909e-07,6.386183e-07,9.086519e-07,9.826248e-07,1.241115e-06,1.455434e-06,1.637974e-06,2.039230e-06,2.097525e-06,2.613602e-06,2.722751e-06,3.175876e-06,3.482283e-06,3.771489e-06,4.287925e-06,4.387308e-06,5.011679e-06,5.111707e-06,5.635132e-06,5.931840e-06,6.250341e-06,6.732798e-06,6.851763e-06,7.435253e-06,7.503912e-06,7.997751e-06,8.238007e-06,8.537056e-06,8.930462e-06,9.051652e-06,9.540590e-06,9.578579e-06,1.000338e-05,1.018114e-05,1.043992e-05,1.073806e-05,1.085039e-05,1.123524e-05,1.125011e-05,1.159510e-05,1.171867e-05,1.193073e-05,1.214557e-05,1.224301e-05,1.253289e-05,1.280134e-05,1.288289e-05,1.304940e-05,1.319791e-05,1.327806e-05,1.348027e-05,1.348834e-05,1.368123e-05,1.373226e-05,1.385770e-05,1.395608e-05,1.401867e-05,1.415385e-05,1.416505e-05,1.429769e-05,1.432757e-05,1.441741e-05,1.447911e-05,1.452500e-05,1.461024e-05,1.462121e-05,1.470674e-05,1.472262e-05,1.478225e-05,1.481777e-05,1.484838e-05,1.489711e-05,1.490572e-05,1.495484e-05,1.496197e-05,1.499627e-05,1.501356e-05,1.503050e-05,1.505301e-05,1.505800e-05,1.507922e-05,1.508136e-05,1.509457e-05,1.509956e-05,1.510444e-05,1.510850e-05,1.510920e-05,1.510919e-05,1.510900e-05,1.510475e-05,1.510179e-05,1.509616e-05,1.508758e-05,1.508373e-05,1.506771e-05,1.506700e-05,1.504836e-05,1.504062e-05,1.502592e-05,1.500900e-05,1.500060e-05,1.497263e-05,1.494219e-05,1.493196e-05,1.490948e-05,1.488742e-05,1.487465e-05,1.483939e-05,1.483788e-05,1.479932e-05,1.478822e-05,1.475911e-05,1.473425e-05,1.471739e-05,1.467778e-05,1.467428e-05,1.462991e-05,1.461908e-05,1.458437e-05,1.455841e-05,1.453779e-05,1.449600e-05,1.449025e-05,1.444185e-05,1.443208e-05,1.439268e-05,1.436684e-05,1.434282e-05,1.430046e-05,1.429234e-05,1.424132e-05,1.423311e-05,1.418982e-05,1.416495e-05,1.413791e-05,1.409612e-05,1.408564e-05,1.403307e-05,1.402675e-05,1.398026e-05,1.395696e-05,1.392725e-05,1.388686e-05,1.387409e-05,1.382082e-05,1.381655e-05,1.376748e-05,1.374613e-05,1.371411e-05,1.367568e-05,1.366074e-05,1.360742e-05,1.360529e-05,1.355416e-05,1.353501e-05,1.350100e-05,1.346492e-05,1.344797e-05,1.339508e-05,1.332555e-05,1.325636e-05,1.318757e-05,1.311923e-05,1.305136e-05,1.298400e-05,1.291719e-05,1.285094e-05,1.278529e-05,1.272026e-05,1.265587e-05,1.259213e-05,1.252907e-05,1.246669e-05,1.240501e-05,1.234404e-05,1.228378e-05,1.222425e-05,1.216545e-05,1.210738e-05,1.205005e-05,1.199346e-05,1.193762e-05,1.188252e-05
0.000000e+00,9.767959e-10,2.497799e-09,9.656042e-09,2.316455e-08,3.443831e-08,8.052966e-08,8.302202e-08,1.626818e-07,1.915287e-07,2.805767e-07,3.726895e-07,4.439954e-07,6.409588e-07,6.603945e-07,9.369149e-07,1.012890e-06,1.278913e-06,1.499731e-06,1.687664e-06,2.099464e-06,2.159105e-06,2.685316e-06,2.796334e-06,3.257312e-06,3.570039e-06,3.866773e-06,4.402327e-06,4.506428e-06,5.169847e-06,5.277800e-06,5.851154e-06,6.182907e-06,6.544842e-06,7.105185e-06,7.245683e-06,7.948716e-06,8.033002e-06,8.649271e-06,8.955599e-06,9.343011e-06,9.863245e-06,1.002598e-05,1.069463e-05,1.074741e-05,1.134587e-05,1.160087e-05,1.197703e-05,1.241779e-05,1.258592e-05,1.317076e-05,1.319363e-05,1.373020e-05,1.392517e-05,1.426324e-05,1.461031e-05,1.476927e-05,1.524795e-05,1.569922e-05,1.583786e-05,1.612326e-05,1.638052e-05,1.652044e-05,1.687696e-05,1.689130e-05,1.723650e-05,1.732867e-05,1.755683e-05,1.773744e-05,1.785313e-05,1.810530e-05,1.812633e-05,1.837737e-05,1.843443e-05,1.860723e-05,1.872708e-05,1.881692e-05,1.898553e-05,1.900741e-05,1.917971e-05,1.921207e-05,1.933476e-05,1.940890e-05,1.947353e-05,1.957818e-05,1.959693e-05,1.970586e-05,1.972200e-05,1.980117e-05,1.984232e-05,1.988368e-05,1.994102e-05,1.995421e-05,2.001348e-05,2.001988e-05,2.006224e-05,2.008054e-05,2.010117e-05,2.012458e-05,2.013091e-05,2.015209e-05,2.015343e-05,2.016529e-05,2.016846e-05,2.017107e-05,2.017093e-05,2.016995e-05,2.016242e-05,2.016199e-05,2.014896e-05,2.014274e-05,2.012999e-05,2.011417e-05,2.010595e-05,2.007720e-05,2.004414e-05,2.003270e-05,2.000709e-05,1.998143e-05,1.996638e-05,1.992414e-05,1.992232e-05,1.987519e-05,1.986148e-05,1.982526e-05,1.979406e-05,1.977278e-05,1.972246e-05,1.971800e-05,1.966112e-05,1.964718e-05,1.960236e-05,1.956871e-05,1.954191e-05,1.948747e-05,1.947996e-05,1.941666e-05,1.940386e-05,1.935219e-05,1.931825e-05,1.928669e-05,1.923097e-05,1.922029e-05,1.915313e-05,1.914233e-05,1.908533e-05,1.905260e-05,1.901701e-05,1.896203e-05,1.894825e-05,1.887917e-05,1.887087e-05,1.880986e-05,1.877931e-05,1.874039e-05,1.868755e-05,1.867085e-05,1.860132e-05,1.859576e-05,1.853185e-05,1.850410e-05,1.846251e-05,1.841271e-05,1.839337e-05,1.832446e-05,1.832171e-05,1.825585e-05,1.823124e-05,1.818758e-05,1.814138e-05,1.811969e-05,1.805223e-05,1.796387e-05,1.787638e-05,1.778983e-05,1.770426e-05,1.761974e-05,1.753631e-05,1.745400e-05,1.737285e-05,1.729288e-05,1.721413e-05,1.713661e-05,1.706033e-05,1.698531e-05,1.691156e-05,1.683908e-05,1.676787e-05,1.669795e-05,1.662930e-05,1.656193e-05,1.649582e-05,1.643098e-05,1.636739e-05,1.630504e-05,1.624393e-05
0.000000e+00,2.601027e-09,6.092880e-09,2.137939e-08,4.897441e-08,7.160417e-08,1.632548e-07,1.682079e-07,3.277332e-07,3.862828e-07,5.700111e-07,7.646019e-07,9.179122e-07,1.348769e-06,1.391546e-06,1.995868e-06,2.158866e-06,2.714261e-06,3.156006e-06,3.518830e-06,4.277355e-06,4.383600e-06,5.288963e-06,5.473578e-06,6.220613e-06,6.711723e-06,7.167554e-06,7.968085e-06,8.120654e-06,9.071881e-06,9.223408e-06,1.001395e-05,1.046092e-05,1.094024e-05,1.166587e-05,1.184478e-05,1.272235e-05,1.282563e-05,1.356856e-05,1.393000e-05,1.437981e-05,1.497123e-05,1.515332e-05,1.588718e-05,1.594413e-05,1.658021e-05,1.684585e-05,1.723190e-05,1.767553e-05,1.784231e-05,1.841203e-05,1.843399e-05,1.894206e-05,1.912341e-05,1.943372e-05,1.974684e-05,1.988844e-05,2.030793e-05,2.069399e-05,2.081077e-05,2.104847e-05,2.125965e-05,2.137328e-05,2.165891e-05,2.167028e-05,2.194129e-05,2.201276e-05,2.218809e-05,2.232525e-05,2.241236e-05,2.260019e-05,2.261572e-05,2.279969e-05,2.284112e-05,2.296570e-05,2.305133e-05,2.311509e-05,2.323380e-05,2.324911e-05,2.336891e-05,2.339126e-05,2.347558e-05,2.352619e-05,2.357011e-05,2.364081e-05,2.365342e-05,2.372636e-05,2.373712e-05,2.378971e-05,2.381693e-05,2.384419e-05,2.388185e-05,2.389048e-05,2.392918e-05,2.393334e-05,2.396086e-05,2.397271e-05,2.398604e-05,2.400112e-05,2.400519e-05,2.401876e-05,2.401961e-05,2.402715e-05,2.402914e-05,2.403074e-05,2.403055e-05,2.402987e-05,2.402488e-05,2.402460e-05,2.401605e-05,2.401198e-05,2.400365e-05,2.399332e-05,2.398795e-05,2.396917e-05,2.394755e-05,2.394006e-05,2.392327e-05,2.390643e-05,2.389653e-05,2.386871e-05,2.386751e-05,2.383636e-05,2.382729e-05,2.380325e-05,2.378250e-05,2.376832e-05,2.373468e-05,2.373169e-05,2.369350e-05,2.368412e-05,2.365386e-05,2.363107e-05,2.361288e-05,2.357580e-05,2.357067e-05,2.352731e-05,2.351851e-05,2.348291e-05,2.345943e-05,2.343754e-05,2.339874e-05,2.339128e-05,2.334422e-05,2.333662e-05,2.329641e-05,2.327323e-05,2.324794e-05,2.320872e-05,2.319885e-05,2.314922e-05,2.314323e-05,2.309909e-05,2.307689e-05,2.304852e-05,2.300982e-05,2.299756e-05,2.294625e-05,2.294214e-05,2.289465e-05,2.287393e-05,2.284278e-05,2.280531e-05,2.279070e-05,2.273844e-05,2.273635e-05,2.268603e-05,2.266714e-05,2.263351e-05,2.259775e-05,2.258092e-05,2.252827e-05,2.245874e-05,2.238924e-05,2.231982e-05,2.225053e-05,2.218143e-05,2.211255e-05,2.204395e-05,2.197565e-05,2.190770e-05,2.184013e-05,2.177296e-05,2.170624e-05,2.163998e-05,2.157421e-05,2.150895e-05,2.144422e-05,2.138005e-05,2.131644e-05,2.125341e-05,2.119098e-05,2.112916e-05,2.106796e-05,2.100739e-05,2.094746e-05
0.000000e+00,5.143232e-10,2.002304e-09,1.504406e-08,5.698102e-08,1.046440e-07,3.863834e-07,4.049342e-07,1.138031e-06,1.461159e-06,2.616119e-06,4.024167e-06,5.241329e-06,9.088767e-06,9.502806e-06,1.596571e-05,1.791201e-05,2.524205e-05,3.189470e-05,3.794156e-05,5.239104e-05,5.461851e-05,7.573273e-05,8.052055e-05,1.016297e-04,1.170658e-04,1.325348e-04,1.624480e-04,1.685565e-04,2.096934e-04,2.167445e-04,2.558435e-04,2.797229e-04,3.068145e-04,3.508823e-04,3.623350e-04,4.220664e-04,4.294988e-04,4.856140e-04,5.146723e-04,5.525400e-04,6.053752e-04,6.223750e-04,6.946300e-04,7.005000e-04,7.688070e-04,7.989044e-04,8.444092e-04,8.994515e-04,9.209501e-04,9.979612e-04,1.001045e-03,1.074998e-03,1.102657e-03,1.151647e-03,1.203351e-03,1.227527e-03,1.302291e-03,1.375633e-03,1.398757e-03,1.447282e-03,1.492141e-03,1.517007e-03,1.581950e-03,1.584611e-03,1.649934e-03,1.667797e-03,1.712848e-03,1.749398e-03,1.773255e-03,1.826556e-03,1.831087e-03,1.886299e-03,1.899158e-03,1.938872e-03,1.967159e-03,1.988804e-03,2.030574e-03,2.036113e-03,2.080832e-03,2.089468e-03,2.123004e-03,2.143946e-03,2.162687e-03,2.194143e-03,2.199945e-03,2.234851e-03,2.240222e-03,2.267482e-03,2.282361e-03,2.297921e-03,2.320750e-03,2.326252e-03,2.352563e-03,2.355588e-03,2.376939e-03,2.387075e-03,2.399471e-03,2.415414e-03,2.420243e-03,2.439343e-03,2.440801e-03,2.456855e-03,2.463433e-03,2.472860e-03,2.483497e-03,2.487440e-03,2.500671e-03,2.501173e-03,2.512628e-03,2.516635e-03,2.523384e-03,2.530047e-03,2.533007e-03,2.541563e-03,2.549116e-03,2.551331e-03,2.555725e-03,2.559486e-03,2.561448e-03,2.566159e-03,2.566339e-03,2.570450e-03,2.571468e-03,2.573830e-03,2.575526e-03,2.576525e-03,2.578437e-03,2.578579e-03,2.580033e-03,2.580297e-03,2.580926e-03,2.581195e-03,2.581296e-03,2.581215e-03,2.581176e-03,2.580600e-03,2.580433e-03,2.579599e-03,2.578920e-03,2.578202e-03,2.576742e-03,2.576435e-03,2.574326e-03,2.573958e-03,2.571897e-03,2.570625e-03,2.569172e-03,2.566794e-03,2.566173e-03,2.562919e-03,2.562512e-03,2.559430e-03,2.557824e-03,2.555722e-03,2.552769e-03,2.551814e-03,2.547720e-03,2.547385e-03,2.543456e-03,2.541706e-03,2.539035e-03,2.535763e-03,2.534471e-03,2.529776e-03,2.529586e-03,2.524961e-03,2.523200e-03,2.520037e-03,2.516632e-03,2.515015e-03,2.509903e-03,2.503035e-03,2.496047e-03,2.488957e-03,2.481781e-03,2.474534e-03,2.467230e-03,2.459882e-03,2.452502e-03,2.445101e-03,2.437689e-03,2.430274e-03,2.422866e-03,2.415472e-03,2.408100e-03,2.400755e-03,2.393444e-03,2.386173e-03,2.378946e-03,2.371768e-03,2.364643e-03,2.357574e-03,2.350567e-03,2.343622e-03,2.336744e-03
0.000000e+00,7.691066e-11,3.007551e-10,2.281641e-09,8.724677e-09,1.611269e-08,6.045711e-08,6.340467e-08,1.815947e-07,2.344949e-07,4.264686e-07,6.652867e-07,8.751102e-07,1.554589e-06,1.628969e-06,2.815508e-06,3.180993e-06,4.584986e-06,5.890839e-06,7.099149e-06,1.005170e-05,1.051365e-05,1.496131e-05,1.598423e-05,2.054168e-05,2.391337e-05,2.731739e-05,3.395336e-05,3.531529e-05,4.452991e-05,4.611528e-05,5.492794e-05,6.032352e-05,6.645285e-05,7.643399e-05,7.902924e-05,9.256687e-05,9.425126e-05,1.069643e-04,1.135437e-04,1.221123e-04,1.340565e-04,1.378965e-04,1.542002e-04,1.555234e-04,1.709067e-04,1.776762e-04,1.879011e-04,2.002528e-04,2.050723e-04,2.223140e-04,2.230036e-04,2.395260e-04,2.456969e-04,2.566152e-04,2.681218e-04,2.734962e-04,2.900914e-04,3.063314e-04,3.114431e-04,3.221553e-04,3.320394e-04,3.375101e-04,3.517674e-04,3.523507e-04,3.666396e-04,3.705373e-04,3.803464e-04,3.882809e-04,3.934472e-04,4.049495e-04,4.059244e-04,4.177660e-04,4.205125e-04,4.289650e-04,4.349548e-04,4.395192e-04,4.482750e-04,4.494306e-04,4.587049e-04,4.604841e-04,4.673512e-04,4.716028e-04,4.753810e-04,4.816600e-04,4.828086e-04,4.896500e-04,4.906914e-04,4.959229e-04,4.987374e-04,5.016461e-04,5.058424e-04,5.068397e-04,5.115242e-04,5.120531e-04,5.157207e-04,5.174181e-04,5.194508e-04,5.219869e-04,5.227359e-04,5.255976e-04,5.258089e-04,5.280572e-04,5.289332e-04,5.301358e-04,5.314082e-04,5.318541e-04,5.332324e-04,5.332807e-04,5.342903e-04,5.345965e-04,5.350471e-04,5.353992e-04,5.355214e-04,5.357309e-04,5.356931e-04,5.356314e-04,5.354244e-04,5.351386e-04,5.349407e-04,5.342884e-04,5.342574e-04,5.333888e-04,5.331143e-04,5.323489e-04,5.316481e-04,5.311507e-04,5.299194e-04,5.298068e-04,5.283291e-04,5.279558e-04,5.267288e-04,5.257831e-04,5.250165e-04,5.234250e-04,5.232023e-04,5.212956e-04,5.209039e-04,5.193053e-04,5.182402e-04,5.172400e-04,5.154528e-04,5.151074e-04,5.129150e-04,5.125592e-04,5.106699e-04,5.095753e-04,5.083784e-04,5.065160e-04,5.060467e-04,5.036805e-04,5.033945e-04,5.012852e-04,5.002233e-04,4.988657e-04,4.970136e-04,4.964266e-04,4.939724e-04,4.937755e-04,4.915068e-04,4.905183e-04,4.890338e-04,4.872505e-04,4.865567e-04,4.840788e-04,4.839797e-04,4.816030e-04,4.807128e-04,4.791320e-04,4.774558e-04,4.766684e-04,4.742144e-04,4.709934e-04,4.677975e-04,4.646303e-04,4.614956e-04,4.583962e-04,4.553348e-04,4.523139e-04,4.493354e-04,4.464009e-04,4.435121e-04,4.406700e-04,4.378758e-04,4.351301e-04,4.324336e-04,4.297868e-04,4.271900e-04,4.246433e-04,4.221468e-04,4.197003e-04,4.173039e-04,4.149571e-04,4.126597e-04,4.104114e-04,4.082116e-04
0.000000e+00,3.302783e-09,8.360173e-09,3.183644e-08,7.561602e-08,1.119222e-07,2.595895e-07,2.675617e-07,5.226604e-07,6.153508e-07,9.029562e-07,1.202940e-06,1.436811e-06,2.088922e-06,2.153650e-06,3.078104e-06,3.332341e-06,4.218712e-06,4.946024e-06,5.556490e-06,6.861043e-06,7.045923e-06,8.630975e-06,8.954827e-06,1.026134e-05,1.111386e-05,1.189878e-05,1.325957e-05,1.351614e-05,1.509431e-05,1.534220e-05,1.661956e-05,1.732983e-05,1.808186e-05,1.920134e-05,1.947382e-05,2.079010e-05,2.094278e-05,2.202710e-05,2.254568e-05,2.318272e-05,2.400603e-05,2.425616e-05,2.524769e-05,2.532351e-05,2.615859e-05,2.650082e-05,2.699094e-05,2.754306e-05,2.774738e-05,2.843102e-05,2.845690e-05,2.904539e-05,2.925031e-05,2.959420e-05,2.993190e-05,3.008130e-05,3.051060e-05,3.088600e-05,3.099537e-05,3.121131e-05,3.139495e-05,3.149025e-05,3.171770e-05,3.172636e-05,3.192302e-05,3.197145e-05,3.208342e-05,3.216353e-05,3.221059e-05,3.230064e-05,3.230732e-05,3.237625e-05,3.238893e-05,3.241981e-05,3.243398e-05,3.244028e-05,3.244084e-05,3.243973e-05,3.242011e-05,3.241406e-05,3.238319e-05,3.235771e-05,3.233061e-05,3.227545e-05,3.226388e-05,3.218438e-05,3.217056e-05,3.209338e-05,3.204596e-05,3.199204e-05,3.190424e-05,3.188143e-05,3.176253e-05,3.174774e-05,3.163623e-05,3.157852e-05,3.150335e-05,3.139843e-05,3.136464e-05,3.122080e-05,3.120909e-05,3.107245e-05,3.101197e-05,3.092016e-05,3.080837e-05,3.076446e-05,3.060584e-05,3.059944e-05,3.044473e-05,3.038620e-05,3.028154e-05,3.016957e-05,3.011664e-05,2.995036e-05,2.978301e-05,2.972928e-05,2.961488e-05,2.950698e-05,2.944621e-05,2.928401e-05,2.927725e-05,2.910821e-05,2.906089e-05,2.893928e-05,2.883805e-05,2.877064e-05,2.861589e-05,2.860246e-05,2.843487e-05,2.839475e-05,2.826802e-05,2.817495e-05,2.810203e-05,2.795675e-05,2.793700e-05,2.777304e-05,2.774038e-05,2.761023e-05,2.752606e-05,2.744867e-05,2.731396e-05,2.728841e-05,2.712953e-05,2.710424e-05,2.697208e-05,2.689703e-05,2.681612e-05,2.669245e-05,2.666168e-05,2.650883e-05,2.649059e-05,2.635758e-05,2.629155e-05,2.620797e-05,2.609538e-05,2.606003e-05,2.591377e-05,2.590215e-05,2.576923e-05,2.571189e-05,2.562641e-05,2.552465e-05,2.548532e-05,2.534599e-05,2.534045e-05,2.520841e-05,2.515931e-05,2.507259e-05,2.498124e-05,2.493853e-05,2.480623e-05,2.463430e-05,2.446543e-05,2.429961e-05,2.413683e-05,2.397706e-05,2.382028e-05,2.366646e-05,2.351559e-05,2.336761e-05,2.322251e-05,2.308025e-05,2.294079e-05,2.280409e-05,2.267011e-05,2.253882e-05,2.241017e-05,2.228413e-05,2.216064e-05,2.203968e-05,2.192119e-05,2.180514e-05,2.169148e-05,2.158017e-05,2.147117e-05
0.000000e+00,9.979421e-10,2.326393e-09,8.143381e-09,1.864599e-08,2.724007e-08,6.170789e-08,6.355232e-08,1.218558e-07,1.427220e-07,2.064830e-07,2.715422e-07,3.213540e-07,4.567692e-07,4.699757e-07,6.553558e-07,7.055890e-07,8.797532e-07,1.022924e-06,1.144255e-06,1.409916e-06,1.448473e-06,1.790726e-06,1.863532e-06,2.168543e-06,2.378121e-06,2.579055e-06,2.946877e-06,3.019145e-06,3.485490e-06,3.562310e-06,3.974582e-06,4.216354e-06,4.482759e-06,4.900526e-06,5.006274e-06,5.541356e-06,5.606165e-06,6.084285e-06,6.324728e-06,6.631467e-06,7.048062e-06,7.179489e-06,7.725171e-06,7.768635e-06,8.265606e-06,8.479715e-06,8.798181e-06,9.175463e-06,9.320594e-06,9.830859e-06,9.850992e-06,1.032729e-05,1.050235e-05,1.080851e-05,1.112647e-05,1.127341e-05,1.172112e-05,1.215104e-05,1.228478e-05,1.256274e-05,1.281657e-05,1.295601e-05,1.331613e-05,1.333077e-05,1.368709e-05,1.378358e-05,1.402516e-05,1.421936e-05,1.434527e-05,1.462421e-05,1.464777e-05,1.493310e-05,1.499907e-05,1.520173e-05,1.534507e-05,1.545419e-05,1.566340e-05,1.569102e-05,1.591278e-05,1.595537e-05,1.612006e-05,1.622231e-05,1.631343e-05,1.646555e-05,1.649349e-05,1.666081e-05,1.668643e-05,1.681596e-05,1.688627e-05,1.695950e-05,1.706635e-05,1.709199e-05,1.721396e-05,1.722791e-05,1.732592e-05,1.737214e-05,1.742838e-05,1.750019e-05,1.752182e-05,1.760670e-05,1.761314e-05,1.768348e-05,1.771202e-05,1.775259e-05,1.779783e-05,1.781443e-05,1.786941e-05,1.787147e-05,1.791789e-05,1.793383e-05,1.796024e-05,1.798572e-05,1.799681e-05,1.802792e-05,1.805388e-05,1.806115e-05,1.807499e-05,1.808609e-05,1.809154e-05,1.810339e-05,1.810380e-05,1.811201e-05,1.811362e-05,1.811644e-05,1.811736e-05,1.811729e-05,1.811513e-05,1.811481e-05,1.810919e-05,1.810740e-05,1.810064e-05,1.809464e-05,1.808934e-05,1.807727e-05,1.807547e-05,1.805920e-05,1.805568e-05,1.804070e-05,1.803024e-05,1.802011e-05,1.800131e-05,1.799758e-05,1.797324e-05,1.796919e-05,1.794723e-05,1.793418e-05,1.791966e-05,1.789657e-05,1.789066e-05,1.786034e-05,1.785661e-05,1.782879e-05,1.781455e-05,1.779612e-05,1.777060e-05,1.776242e-05,1.772778e-05,1.772497e-05,1.769228e-05,1.767785e-05,1.765600e-05,1.762943e-05,1.761901e-05,1.758139e-05,1.757988e-05,1.754321e-05,1.752933e-05,1.750452e-05,1.747795e-05,1.746538e-05,1.742585e-05,1.737317e-05,1.732001e-05,1.726648e-05,1.721268e-05,1.715870e-05,1.710462e-05,1.705050e-05,1.699644e-05,1.694248e-05,1.688869e-05,1.683513e-05,1.678183e-05,1.672885e-05,1.667623e-05,1.662401e-05,1.657221e-05,1.652087e-05,1.647003e-05,1.641969e-05,1.636990e-05,1.632066e-05,1.627199e-05,1.622391e-05,1.617643e-05
0.000000e+00,1.529765e-09,3.511334e-09,1.207673e-08,2.740592e-08,3.990111e-08,8.989305e-08,9.256720e-08,1.772310e-07,2.076253e-07,3.008923e-07,3.966987e-07,4.704787e-07,6.726511e-07,6.924687e-07,9.715676e-07,1.047240e-06,1.308496e-06,1.520975e-06,1.698869e-06,2.080491e-06,2.134954e-06,2.608415e-06,2.706907e-06,3.111662e-06,3.382866e-06,3.637985e-06,4.093481e-06,4.181322e-06,4.736083e-06,4.825552e-06,5.297079e-06,5.567152e-06,5.859531e-06,6.307608e-06,6.419098e-06,6.971920e-06,7.037641e-06,7.514640e-06,7.749486e-06,8.044414e-06,8.436924e-06,8.558899e-06,9.056226e-06,9.095226e-06,9.534967e-06,9.721015e-06,9.994085e-06,1.031210e-05,1.043289e-05,1.085100e-05,1.086729e-05,1.124826e-05,1.138619e-05,1.162476e-05,1.186903e-05,1.198073e-05,1.231654e-05,1.263268e-05,1.272978e-05,1.292971e-05,1.311007e-05,1.320825e-05,1.345886e-05,1.346896e-05,1.371252e-05,1.377773e-05,1.393962e-05,1.406829e-05,1.415099e-05,1.433214e-05,1.434730e-05,1.452926e-05,1.457087e-05,1.469754e-05,1.478605e-05,1.485281e-05,1.497917e-05,1.499569e-05,1.512681e-05,1.515168e-05,1.524677e-05,1.530493e-05,1.535615e-05,1.544024e-05,1.545548e-05,1.554531e-05,1.555884e-05,1.562614e-05,1.566189e-05,1.569845e-05,1.575048e-05,1.576271e-05,1.581934e-05,1.582565e-05,1.586878e-05,1.588835e-05,1.591142e-05,1.593951e-05,1.594763e-05,1.597779e-05,1.597995e-05,1.600223e-05,1.601048e-05,1.602128e-05,1.603183e-05,1.603525e-05,1.604443e-05,1.604470e-05,1.604911e-05,1.604974e-05,1.604954e-05,1.604755e-05,1.604599e-05,1.603868e-05,1.602785e-05,1.602368e-05,1.601371e-05,1.600302e-05,1.599646e-05,1.597716e-05,1.597630e-05,1.595341e-05,1.594653e-05,1.592796e-05,1.591153e-05,1.590012e-05,1.587252e-05,1.587004e-05,1.583787e-05,1.582986e-05,1.580375e-05,1.578385e-05,1.576782e-05,1.573480e-05,1.573020e-05,1.569100e-05,1.568298e-05,1.565035e-05,1.562866e-05,1.560834e-05,1.557208e-05,1.556508e-05,1.552067e-05,1.551346e-05,1.547519e-05,1.545301e-05,1.542873e-05,1.539091e-05,1.538137e-05,1.533320e-05,1.532737e-05,1.528428e-05,1.526253e-05,1.523467e-05,1.519656e-05,1.518446e-05,1.513369e-05,1.512960e-05,1.508243e-05,1.506180e-05,1.503073e-05,1.499326e-05,1.497864e-05,1.492622e-05,1.492411e-05,1.487350e-05,1.485446e-05,1.482054e-05,1.478441e-05,1.476738e-05,1.471405e-05,1.464347e-05,1.457275e-05,1.450196e-05,1.443117e-05,1.436044e-05,1.428983e-05,1.421940e-05,1.414919e-05,1.407926e-05,1.400964e-05,1.394037e-05,1.387150e-05,1.380305e-05,1.373505e-05,1.366753e-05,1.360052e-05,1.353403e-05,1.346810e-05,1.340273e-05,1.333795e-05,1.327376e-05,1.321019e-05,1.314724e-05,1.308493e-05
0.000000e+00,6.554445e-11,2.407757e-10,1.608713e-09,5.495519e-09,9.551254e-09,3.075226e-08,3.205508e-08,7.930274e-08,9.849531e-08,1.626941e-07,2.351656e-07,2.945417e-07,4.698494e-07,4.878944e-07,7.558621e-07,8.326097e-07,1.109744e-06,1.348163e-06,1.556094e-06,2.025227e-06,2.094518e-06,2.717995e-06,2.851945e-06,3.415220e-06,3.802631e-06,4.173238e-06,4.847543e-06,4.979221e-06,5.821329e-06,5.958692e-06,6.688958e-06,7.111685e-06,7.572723e-06,8.285761e-06,8.464355e-06,9.356607e-06,9.463411e-06,1.024319e-05,1.063007e-05,1.111872e-05,1.177391e-05,1.197866e-05,1.281929e-05,1.288561e-05,1.363761e-05,1.395816e-05,1.443132e-05,1.498659e-05,1.519873e-05,1.593866e-05,1.596768e-05,1.665040e-05,1.689964e-05,1.733360e-05,1.778186e-05,1.798825e-05,1.861457e-05,1.921301e-05,1.939872e-05,1.978416e-05,2.013570e-05,2.032874e-05,2.082727e-05,2.084754e-05,2.134143e-05,2.147537e-05,2.181130e-05,2.208207e-05,2.225807e-05,2.264949e-05,2.268266e-05,2.308600e-05,2.317974e-05,2.346899e-05,2.367491e-05,2.383252e-05,2.413701e-05,2.417745e-05,2.450463e-05,2.456800e-05,2.481486e-05,2.496974e-05,2.510892e-05,2.534399e-05,2.538757e-05,2.565153e-05,2.569244e-05,2.590148e-05,2.601668e-05,2.613809e-05,2.631819e-05,2.636198e-05,2.657375e-05,2.659838e-05,2.677399e-05,2.685857e-05,2.696322e-05,2.710001e-05,2.714198e-05,2.731077e-05,2.732385e-05,2.747004e-05,2.753118e-05,2.762025e-05,2.772303e-05,2.776182e-05,2.789517e-05,2.790034e-05,2.802068e-05,2.806401e-05,2.813871e-05,2.821488e-05,2.824962e-05,2.835373e-05,2.845137e-05,2.848130e-05,2.854284e-05,2.859826e-05,2.862841e-05,2.870527e-05,2.870836e-05,2.878296e-05,2.880292e-05,2.885244e-05,2.889177e-05,2.891704e-05,2.897236e-05,2.897699e-05,2.903250e-05,2.904518e-05,2.908377e-05,2.911069e-05,2.913098e-05,2.916933e-05,2.917434e-05,2.921401e-05,2.922151e-05,2.925015e-05,2.926761e-05,2.928293e-05,2.930798e-05,2.931250e-05,2.933900e-05,2.934297e-05,2.936257e-05,2.937289e-05,2.938335e-05,2.939804e-05,2.940145e-05,2.941700e-05,2.941870e-05,2.943012e-05,2.943514e-05,2.944090e-05,2.944761e-05,2.944946e-05,2.945590e-05,2.945633e-05,2.946031e-05,2.946153e-05,2.946278e-05,2.946341e-05,2.946340e-05,2.946226e-05,2.946218e-05,2.945943e-05,2.945801e-05,2.945499e-05,2.945109e-05,2.944901e-05,2.944157e-05,2.942961e-05,2.941536e-05,2.939895e-05,2.938053e-05,2.936021e-05,2.933811e-05,2.931434e-05,2.928901e-05,2.926222e-05,2.923406e-05,2.920462e-05,2.917400e-05,2.914226e-05,2.910948e-05,2.907575e-05,2.904112e-05,2.900566e-05,2.896944e-05,2.893252e-05,2.889494e-05,2.885677e-05,2.881806e-05,2.877884e-05,2.873918e-05
0.000000e+00,1.846202e-10,6.347006e-10,3.744624e-09,1.158292e-08,1.916184e-08,5.512240e-08,5.721838e-08,1.289455e-07,1.565402e-07,2.451583e-07,3.406909e-07,4.165588e-07,6.321718e-07,6.538241e-07,9.671469e-07,1.054645e-06,1.364734e-06,1.625950e-06,1.850764e-06,2.351232e-06,2.424614e-06,3.082055e-06,3.223062e-06,3.817102e-06,4.227831e-06,4.623211e-06,5.350369e-06,5.493694e-06,6.421752e-06,6.575121e-06,7.400411e-06,7.886043e-06,8.422502e-06,9.266529e-06,9.480704e-06,1.056764e-05,1.069966e-05,1.167601e-05,1.216864e-05,1.279869e-05,1.365730e-05,1.392888e-05,1.506018e-05,1.515056e-05,1.618672e-05,1.663478e-05,1.730314e-05,1.809801e-05,1.840469e-05,1.948717e-05,1.953003e-05,2.054703e-05,2.092243e-05,2.158122e-05,2.226852e-05,2.258725e-05,2.356312e-05,2.450726e-05,2.480248e-05,2.541852e-05,2.598411e-05,2.629614e-05,2.710655e-05,2.713963e-05,2.794880e-05,2.816921e-05,2.872367e-05,2.917223e-05,2.946450e-05,3.011632e-05,3.017167e-05,3.084573e-05,3.100265e-05,3.148734e-05,3.183273e-05,3.209722e-05,3.260833e-05,3.267620e-05,3.322514e-05,3.333140e-05,3.374494e-05,3.400404e-05,3.423654e-05,3.462838e-05,3.470088e-05,3.513892e-05,3.520663e-05,3.555162e-05,3.574100e-05,3.593993e-05,3.623365e-05,3.630480e-05,3.664714e-05,3.668675e-05,3.696788e-05,3.710239e-05,3.726790e-05,3.748260e-05,3.754808e-05,3.780927e-05,3.782937e-05,3.805229e-05,3.814458e-05,3.827793e-05,3.843008e-05,3.848699e-05,3.868019e-05,3.868760e-05,3.885828e-05,3.891882e-05,3.902194e-05,3.912534e-05,3.917186e-05,3.930867e-05,3.943302e-05,3.947027e-05,3.954549e-05,3.961150e-05,3.964666e-05,3.973368e-05,3.973710e-05,3.981733e-05,3.983804e-05,3.988787e-05,3.992575e-05,3.994921e-05,3.999792e-05,4.000182e-05,4.004615e-05,4.005560e-05,4.008263e-05,4.009979e-05,4.011169e-05,4.013142e-05,4.013371e-05,4.014908e-05,4.015138e-05,4.015815e-05,4.016051e-05,4.016129e-05,4.015958e-05,4.015882e-05,4.015106e-05,4.014935e-05,4.013831e-05,4.013051e-05,4.012087e-05,4.010373e-05,4.009902e-05,4.007301e-05,4.006962e-05,4.004311e-05,4.002878e-05,4.000955e-05,3.998174e-05,3.997256e-05,3.993237e-05,3.992902e-05,3.988919e-05,3.987112e-05,3.984321e-05,3.980848e-05,3.979463e-05,3.974362e-05,3.974153e-05,3.969037e-05,3.967068e-05,3.963504e-05,3.959630e-05,3.957778e-05,3.951875e-05,3.943835e-05,3.935541e-05,3.927023e-05,3.918307e-05,3.909419e-05,3.900382e-05,3.891219e-05,3.881950e-05,3.872594e-05,3.863169e-05,3.853692e-05,3.844177e-05,3.834641e-05,3.825095e-05,3.815553e-05,3.806024e-05,3.796522e-05,3.787053e-05,3.777629e-05,3.768257e-05,3.758944e-05,3.749698e-05,3.740525e-05,3.731431e-05
0.000000e+00,3.430670e-09,8.823899e-09,3.443995e-08,8.322503e-08,1.241782e-07,2.927810e-07,3.019333e-07,5.954484e-07,7.020229e-07,1.031330e-06,1.371922e-06,1.635253e-06,2.360044e-06,2.431308e-06,3.439252e-06,3.714134e-06,4.670008e-06,5.457108e-06,6.124166e-06,7.583861e-06,7.795630e-06,9.675459e-06,1.007553e-05,1.175316e-05,1.290781e-05,1.401661e-05,1.605133e-05,1.645190e-05,1.904332e-05,1.947130e-05,2.177367e-05,2.312823e-05,2.462462e-05,2.697948e-05,2.757720e-05,3.061223e-05,3.098107e-05,3.371079e-05,3.508954e-05,3.685460e-05,3.926342e-05,4.002629e-05,4.320969e-05,4.346441e-05,4.638996e-05,4.765813e-05,4.955368e-05,5.181454e-05,5.268889e-05,5.578510e-05,5.590800e-05,5.883319e-05,5.991719e-05,6.182542e-05,6.382487e-05,6.475531e-05,6.761753e-05,7.040774e-05,7.128480e-05,7.312245e-05,7.481903e-05,7.575909e-05,7.821504e-05,7.831576e-05,8.079114e-05,8.146956e-05,8.318448e-05,8.458099e-05,8.549554e-05,8.754915e-05,8.772445e-05,8.987168e-05,9.037495e-05,9.193802e-05,9.306022e-05,9.392453e-05,9.560767e-05,9.583254e-05,9.766360e-05,9.802071e-05,9.941921e-05,1.003028e-04,1.011009e-04,1.024577e-04,1.027105e-04,1.042496e-04,1.044894e-04,1.057201e-04,1.064022e-04,1.071239e-04,1.082001e-04,1.084627e-04,1.097385e-04,1.098875e-04,1.109531e-04,1.114686e-04,1.121084e-04,1.129479e-04,1.132062e-04,1.142484e-04,1.143294e-04,1.152367e-04,1.156173e-04,1.161729e-04,1.168157e-04,1.170588e-04,1.178960e-04,1.179285e-04,1.186864e-04,1.189597e-04,1.194314e-04,1.199131e-04,1.201329e-04,1.207922e-04,1.214110e-04,1.216007e-04,1.219907e-04,1.223419e-04,1.225329e-04,1.230194e-04,1.230389e-04,1.235102e-04,1.236362e-04,1.239481e-04,1.241954e-04,1.243540e-04,1.247001e-04,1.247290e-04,1.250745e-04,1.251531e-04,1.253916e-04,1.255572e-04,1.256815e-04,1.259151e-04,1.259454e-04,1.261844e-04,1.262293e-04,1.263994e-04,1.265022e-04,1.265916e-04,1.267361e-04,1.267620e-04,1.269114e-04,1.269335e-04,1.270409e-04,1.270963e-04,1.271514e-04,1.272266e-04,1.272437e-04,1.273186e-04,1.273265e-04,1.273771e-04,1.273977e-04,1.274198e-04,1.274422e-04,1.274475e-04,1.274610e-04,1.274615e-04,1.274610e-04,1.274573e-04,1.274481e-04,1.274313e-04,1.274231e-04,1.273865e-04,1.273848e-04,1.273389e-04,1.273193e-04,1.272811e-04,1.272361e-04,1.272134e-04,1.271365e-04,1.270217e-04,1.268929e-04,1.267511e-04,1.265974e-04,1.264329e-04,1.262583e-04,1.260747e-04,1.258828e-04,1.256834e-04,1.254773e-04,1.252652e-04,1.250478e-04,1.248256e-04,1.245993e-04,1.243695e-04,1.241366e-04,1.239012e-04,1.236637e-04,1.234245e-04,1.231841e-04,1.229428e-04,1.227011e-04,1.224592e-04,1.222174e-04
0.000000e+00,1.274109e-09,3.554521e-09,1.524723e-08,3.855499e-08,5.849189e-08,1.418420e-07,1.463978e-07,2.932489e-07,3.467895e-07,5.126101e-07,6.845183e-07,8.176400e-07,1.184916e-06,1.221101e-06,1.734579e-06,1.875215e-06,2.366359e-06,2.772946e-06,3.118624e-06,3.876564e-06,3.986524e-06,4.960376e-06,5.166858e-06,6.028703e-06,6.617717e-06,7.179940e-06,8.202832e-06,8.402864e-06,9.686513e-06,9.896808e-06,1.102006e-05,1.167473e-05,1.239278e-05,1.351204e-05,1.379409e-05,1.521370e-05,1.538481e-05,1.664173e-05,1.727030e-05,1.806884e-05,1.914748e-05,1.948638e-05,2.088649e-05,2.099752e-05,2.226212e-05,2.280410e-05,2.360711e-05,2.455353e-05,2.491617e-05,2.618488e-05,2.623473e-05,2.740963e-05,2.783921e-05,2.858758e-05,2.936072e-05,2.971655e-05,3.079504e-05,3.182213e-05,3.213985e-05,3.279734e-05,3.339421e-05,3.372062e-05,3.455844e-05,3.459232e-05,3.541310e-05,3.563391e-05,3.618386e-05,3.662276e-05,3.690571e-05,3.752773e-05,3.757995e-05,3.820800e-05,3.835202e-05,3.879139e-05,3.909919e-05,3.933175e-05,3.977297e-05,3.983072e-05,4.028998e-05,4.037721e-05,4.071120e-05,4.091576e-05,4.109606e-05,4.139247e-05,4.144624e-05,4.176336e-05,4.181114e-05,4.204905e-05,4.217547e-05,4.230486e-05,4.248904e-05,4.253234e-05,4.273297e-05,4.275531e-05,4.290819e-05,4.297759e-05,4.305938e-05,4.315905e-05,4.318789e-05,4.329500e-05,4.330269e-05,4.338196e-05,4.341136e-05,4.344994e-05,4.348778e-05,4.350008e-05,4.353348e-05,4.353448e-05,4.355116e-05,4.355388e-05,4.355413e-05,4.354822e-05,4.354332e-05,4.351965e-05,4.348396e-05,4.347014e-05,4.343708e-05,4.340156e-05,4.337978e-05,4.331566e-05,4.331280e-05,4.323685e-05,4.321406e-05,4.315258e-05,4.309830e-05,4.306064e-05,4.296979e-05,4.296162e-05,4.285609e-05,4.282985e-05,4.274458e-05,4.267972e-05,4.262760e-05,4.252053e-05,4.250564e-05,4.237915e-05,4.235335e-05,4.224856e-05,4.217916e-05,4.211427e-05,4.199889e-05,4.197666e-05,4.183610e-05,4.181336e-05,4.169293e-05,4.162337e-05,4.154746e-05,4.142964e-05,4.140000e-05,4.125083e-05,4.123283e-05,4.110021e-05,4.103355e-05,4.094840e-05,4.083238e-05,4.079564e-05,4.064213e-05,4.062982e-05,4.048808e-05,4.042636e-05,4.033370e-05,4.022243e-05,4.017915e-05,4.002460e-05,4.001842e-05,3.987022e-05,3.981471e-05,3.971615e-05,3.961162e-05,3.956252e-05,3.940946e-05,3.920850e-05,3.900897e-05,3.881112e-05,3.861513e-05,3.842119e-05,3.822945e-05,3.804005e-05,3.785313e-05,3.766878e-05,3.748711e-05,3.730819e-05,3.713210e-05,3.695889e-05,3.678861e-05,3.662130e-05,3.645699e-05,3.629569e-05,3.613744e-05,3.598222e-05,3.583005e-05,3.568092e-05,3.553482e-05,3.539173e-05,3.525165e-05
0.000000e+00,1.682824e-09,3.879689e-09,1.342345e-08,3.058209e-08,4.460828e-08,1.009217e-07,1.039403e-07,1.997187e-07,2.341800e-07,3.401138e-07,4.491856e-07,5.333526e-07,7.648974e-07,7.876812e-07,1.110863e-06,1.199400e-06,1.508870e-06,1.765425e-06,1.983739e-06,2.462376e-06,2.531734e-06,3.143787e-06,3.272868e-06,3.808227e-06,4.170549e-06,4.513480e-06,5.129900e-06,5.249310e-06,6.006951e-06,6.129679e-06,6.778853e-06,7.152460e-06,7.558404e-06,8.183600e-06,8.339757e-06,9.117734e-06,9.210641e-06,9.887775e-06,1.022304e-05,1.064591e-05,1.121203e-05,1.138875e-05,1.211344e-05,1.217056e-05,1.281764e-05,1.309315e-05,1.349949e-05,1.397576e-05,1.415755e-05,1.479077e-05,1.481558e-05,1.539846e-05,1.561089e-05,1.598019e-05,1.636086e-05,1.653581e-05,1.706536e-05,1.756907e-05,1.772485e-05,1.804729e-05,1.834021e-05,1.850052e-05,1.891264e-05,1.892933e-05,1.933435e-05,1.944359e-05,1.971629e-05,1.993467e-05,2.007586e-05,2.038758e-05,2.041384e-05,2.073098e-05,2.080409e-05,2.102808e-05,2.118598e-05,2.130590e-05,2.153505e-05,2.156522e-05,2.180680e-05,2.185305e-05,2.203138e-05,2.214170e-05,2.223972e-05,2.240267e-05,2.243250e-05,2.261045e-05,2.263759e-05,2.277422e-05,2.284800e-05,2.292449e-05,2.303539e-05,2.306187e-05,2.318699e-05,2.320121e-05,2.330043e-05,2.334679e-05,2.340276e-05,2.347345e-05,2.349454e-05,2.357628e-05,2.358240e-05,2.364849e-05,2.367482e-05,2.371166e-05,2.375181e-05,2.376626e-05,2.381272e-05,2.381441e-05,2.385148e-05,2.386363e-05,2.388295e-05,2.390038e-05,2.390752e-05,2.392556e-05,2.393744e-05,2.394000e-05,2.394350e-05,2.394448e-05,2.394407e-05,2.393973e-05,2.393945e-05,2.392995e-05,2.392646e-05,2.391586e-05,2.390531e-05,2.389745e-05,2.387691e-05,2.387497e-05,2.384868e-05,2.384183e-05,2.381882e-05,2.380062e-05,2.378560e-05,2.375378e-05,2.374926e-05,2.370998e-05,2.370179e-05,2.366797e-05,2.364510e-05,2.362341e-05,2.358414e-05,2.357648e-05,2.352734e-05,2.351929e-05,2.347617e-05,2.345092e-05,2.342310e-05,2.337939e-05,2.336830e-05,2.331188e-05,2.330501e-05,2.325399e-05,2.322808e-05,2.319475e-05,2.314889e-05,2.313427e-05,2.307267e-05,2.306770e-05,2.301006e-05,2.298475e-05,2.294653e-05,2.290028e-05,2.288219e-05,2.281712e-05,2.281450e-05,2.275140e-05,2.272760e-05,2.268513e-05,2.263978e-05,2.261837e-05,2.255120e-05,2.246203e-05,2.237241e-05,2.228249e-05,2.219238e-05,2.210221e-05,2.201208e-05,2.192211e-05,2.183238e-05,2.174297e-05,2.165397e-05,2.156545e-05,2.147748e-05,2.139011e-05,2.130340e-05,2.121741e-05,2.113217e-05,2.104774e-05,2.096414e-05,2.088141e-05,2.079959e-05,2.071869e-05,2.063874e-05,2.055977e-05,2.048179e-05
0.000000e+00,9.706227e-10,3.790729e-09,2.867092e-08,1.092630e-07,2.013449e-07,7.501711e-07,7.864816e-07,2.231061e-06,2.872053e-06,5.177241e-06,8.009506e-06,1.047258e-05,1.832615e-05,1.917642e-05,3.254910e-05,3.660784e-05,5.199876e-05,6.608899e-05,7.898101e-05,1.100649e-04,1.148878e-04,1.609634e-04,1.714949e-04,2.182575e-04,2.527699e-04,2.876051e-04,3.556290e-04,3.696222e-04,4.647102e-04,4.811530e-04,5.730626e-04,6.297889e-04,6.946739e-04,8.013848e-04,8.293497e-04,9.767171e-04,9.952300e-04,1.136236e-03,1.210101e-03,1.307215e-03,1.444316e-03,1.488823e-03,1.680107e-03,1.695797e-03,1.880015e-03,1.962139e-03,2.087406e-03,2.240690e-03,2.301081e-03,2.519795e-03,2.528631e-03,2.742283e-03,2.823057e-03,2.967273e-03,3.121055e-03,3.193513e-03,3.419779e-03,3.644895e-03,3.716505e-03,3.867746e-03,4.008695e-03,4.087285e-03,4.294029e-03,4.302546e-03,4.512645e-03,4.570438e-03,4.716790e-03,4.836124e-03,4.914281e-03,5.089571e-03,5.104509e-03,5.286958e-03,5.329539e-03,5.461202e-03,5.555064e-03,5.626900e-03,5.765439e-03,5.783795e-03,5.931705e-03,5.960198e-03,6.070521e-03,6.139096e-03,6.200203e-03,6.302086e-03,6.320766e-03,6.432284e-03,6.449295e-03,6.534877e-03,6.580997e-03,6.628707e-03,6.697595e-03,6.713975e-03,6.790910e-03,6.799595e-03,6.859771e-03,6.887583e-03,6.920836e-03,6.962213e-03,6.974401e-03,7.020775e-03,7.024183e-03,7.060276e-03,7.074224e-03,7.093228e-03,7.113083e-03,7.119960e-03,7.140799e-03,7.141514e-03,7.156070e-03,7.160268e-03,7.166098e-03,7.170083e-03,7.171198e-03,7.171682e-03,7.167852e-03,7.165763e-03,7.160001e-03,7.152998e-03,7.148413e-03,7.134027e-03,7.133362e-03,7.115109e-03,7.109459e-03,7.093906e-03,7.079868e-03,7.069993e-03,7.045797e-03,7.043599e-03,7.014941e-03,7.007750e-03,6.984226e-03,6.966200e-03,6.951648e-03,6.921586e-03,6.917392e-03,6.881631e-03,6.874313e-03,6.844529e-03,6.824757e-03,6.806239e-03,6.773262e-03,6.766904e-03,6.726660e-03,6.720145e-03,6.685632e-03,6.665695e-03,6.643937e-03,6.610175e-03,6.601685e-03,6.558977e-03,6.553825e-03,6.515906e-03,6.496863e-03,6.472561e-03,6.439485e-03,6.429022e-03,6.385363e-03,6.381867e-03,6.341653e-03,6.324170e-03,6.297956e-03,6.266534e-03,6.254328e-03,6.210824e-03,6.209087e-03,6.167491e-03,6.151942e-03,6.124374e-03,6.095199e-03,6.081513e-03,6.038945e-03,5.983258e-03,5.928206e-03,5.873845e-03,5.820228e-03,5.767395e-03,5.715383e-03,5.664222e-03,5.613935e-03,5.564543e-03,5.516059e-03,5.468495e-03,5.421857e-03,5.376150e-03,5.331376e-03,5.287532e-03,5.244615e-03,5.202620e-03,5.161539e-03,5.121363e-03,5.082083e-03,5.043687e-03,5.006163e-03,4.969497e-03,4.933677e-03
0.000000e+00,2.798215e-10,1.090947e-09,8.222131e-09,3.123478e-08,5.745947e-08,2.131576e-07,2.234363e-07,6.312029e-07,8.116442e-07,1.459015e-06,2.252095e-06,2.940321e-06,5.128658e-06,5.365182e-06,9.080159e-06,1.020699e-05,1.448286e-05,1.840593e-05,2.200499e-05,3.072258e-05,3.207999e-05,4.510120e-05,4.808844e-05,6.138405e-05,7.121557e-05,8.114281e-05,1.005073e-04,1.044839e-04,1.314105e-04,1.360468e-04,1.618345e-04,1.776342e-04,1.955901e-04,2.248414e-04,2.324487e-04,2.721329e-04,2.770703e-04,3.143292e-04,3.336047e-04,3.586989e-04,3.936564e-04,4.048887e-04,4.525393e-04,4.564037e-04,5.012929e-04,5.210243e-04,5.507995e-04,5.867212e-04,6.007229e-04,6.507443e-04,6.527429e-04,7.005661e-04,7.183996e-04,7.499143e-04,7.830726e-04,7.985402e-04,8.462213e-04,8.927615e-04,9.073850e-04,9.379912e-04,9.661828e-04,9.817662e-04,1.022311e-03,1.023967e-03,1.064497e-03,1.075536e-03,1.103282e-03,1.125692e-03,1.140267e-03,1.172672e-03,1.175416e-03,1.208707e-03,1.216420e-03,1.240137e-03,1.256927e-03,1.269712e-03,1.294219e-03,1.297452e-03,1.323384e-03,1.328357e-03,1.347547e-03,1.359425e-03,1.369982e-03,1.387529e-03,1.390740e-03,1.409874e-03,1.412789e-03,1.427442e-03,1.435336e-03,1.443504e-03,1.455310e-03,1.458121e-03,1.471356e-03,1.472854e-03,1.483272e-03,1.488114e-03,1.493933e-03,1.501234e-03,1.503401e-03,1.511737e-03,1.512357e-03,1.519004e-03,1.521624e-03,1.525260e-03,1.529170e-03,1.530562e-03,1.534966e-03,1.535125e-03,1.538527e-03,1.539612e-03,1.541296e-03,1.542752e-03,1.543323e-03,1.544655e-03,1.545338e-03,1.545427e-03,1.545416e-03,1.545168e-03,1.544930e-03,1.543970e-03,1.543920e-03,1.542422e-03,1.541920e-03,1.540472e-03,1.539099e-03,1.538103e-03,1.535582e-03,1.535348e-03,1.532235e-03,1.531438e-03,1.528793e-03,1.526732e-03,1.525049e-03,1.521524e-03,1.521027e-03,1.516752e-03,1.515868e-03,1.512244e-03,1.509816e-03,1.507526e-03,1.503413e-03,1.502615e-03,1.497531e-03,1.496703e-03,1.492290e-03,1.489724e-03,1.486909e-03,1.482513e-03,1.481402e-03,1.475784e-03,1.475103e-03,1.470067e-03,1.467524e-03,1.464264e-03,1.459803e-03,1.458386e-03,1.452443e-03,1.451965e-03,1.446446e-03,1.444035e-03,1.440404e-03,1.436031e-03,1.434326e-03,1.428218e-03,1.427974e-03,1.422090e-03,1.419880e-03,1.415947e-03,1.411765e-03,1.409797e-03,1.403644e-03,1.395530e-03,1.387433e-03,1.379365e-03,1.371334e-03,1.363350e-03,1.355420e-03,1.347551e-03,1.339749e-03,1.332019e-03,1.324367e-03,1.316795e-03,1.309309e-03,1.301911e-03,1.294605e-03,1.287392e-03,1.280274e-03,1.273254e-03,1.266333e-03,1.259512e-03,1.252792e-03,1.246173e-03,1.239656e-03,1.233242e-03,1.226930e-03
0.000000e+00,1.211617e-10,4.565353e-10,3.210216e-09,1.147103e-08,2.042473e-08,6.992151e-08,7.306419e-08,1.919840e-07,2.424001e-07,4.174202e-07,6.242333e-07,7.994057e-07,1.338805e-06,1.395803e-06,2.263412e-06,2.517161e-06,3.444734e-06,4.251956e-06,4.960635e-06,6.572714e-06,6.812337e-06,8.987763e-06,9.460061e-06,1.146744e-05,1.286953e-05,1.422831e-05,1.674674e-05,1.724572e-05,2.049411e-05,2.103354e-05,2.394729e-05,2.566972e-05,2.757851e-05,3.059340e-05,3.136056e-05,3.526606e-05,3.574171e-05,3.926773e-05,4.105202e-05,4.333886e-05,4.646349e-05,4.745371e-05,5.158785e-05,5.191872e-05,5.571854e-05,5.736511e-05,5.982493e-05,6.275587e-05,6.388827e-05,6.789203e-05,6.805073e-05,7.182184e-05,7.321605e-05,7.566547e-05,7.822462e-05,7.941270e-05,8.305526e-05,8.658655e-05,8.769221e-05,9.000159e-05,9.212447e-05,9.329674e-05,9.634509e-05,9.646963e-05,9.951897e-05,1.003506e-04,1.024443e-04,1.041401e-04,1.052460e-04,1.077152e-04,1.079250e-04,1.104829e-04,1.110789e-04,1.129215e-04,1.142359e-04,1.152432e-04,1.171915e-04,1.174505e-04,1.195463e-04,1.199523e-04,1.215335e-04,1.225250e-04,1.234153e-04,1.249167e-04,1.251947e-04,1.268750e-04,1.271348e-04,1.284594e-04,1.291868e-04,1.299512e-04,1.310801e-04,1.313536e-04,1.326698e-04,1.328221e-04,1.339029e-04,1.344200e-04,1.350561e-04,1.358809e-04,1.361323e-04,1.371347e-04,1.372117e-04,1.380660e-04,1.384192e-04,1.389291e-04,1.395099e-04,1.397268e-04,1.404617e-04,1.404899e-04,1.411366e-04,1.413653e-04,1.417538e-04,1.421419e-04,1.423159e-04,1.428253e-04,1.432842e-04,1.434208e-04,1.436949e-04,1.439334e-04,1.440595e-04,1.443681e-04,1.443801e-04,1.446587e-04,1.447295e-04,1.448973e-04,1.450220e-04,1.450977e-04,1.452498e-04,1.452617e-04,1.453910e-04,1.454170e-04,1.454873e-04,1.455275e-04,1.455523e-04,1.455847e-04,1.455874e-04,1.455942e-04,1.455923e-04,1.455740e-04,1.455534e-04,1.455284e-04,1.454712e-04,1.454585e-04,1.453656e-04,1.453487e-04,1.452511e-04,1.451887e-04,1.451159e-04,1.449938e-04,1.449614e-04,1.447885e-04,1.447665e-04,1.445982e-04,1.445093e-04,1.443917e-04,1.442243e-04,1.441697e-04,1.439333e-04,1.439138e-04,1.436833e-04,1.435797e-04,1.434206e-04,1.432240e-04,1.431459e-04,1.428600e-04,1.428484e-04,1.425637e-04,1.424546e-04,1.422576e-04,1.420443e-04,1.419425e-04,1.416189e-04,1.411800e-04,1.407287e-04,1.402665e-04,1.397945e-04,1.393137e-04,1.388253e-04,1.383303e-04,1.378295e-04,1.373239e-04,1.368143e-04,1.363014e-04,1.357859e-04,1.352686e-04,1.347500e-04,1.342308e-04,1.337114e-04,1.331924e-04,1.326743e-04,1.321575e-04,1.316425e-04,1.311295e-04,1.306190e-04,1.301112e-04,1.296066e-04
0.000000e+00,6.898940e-09,1.835668e-08,7.447546e-08,1.837667e-07,2.768560e-07,6.698793e-07,6.916311e-07,1.410683e-06,1.681720e-06,2.550362e-06,3.493123e-06,4.247622e-06,6.400342e-06,6.615599e-06,9.666944e-06,1.049148e-05,1.330446e-05,1.554823e-05,1.739774e-05,2.128998e-05,2.183833e-05,2.654618e-05,2.751422e-05,3.146003e-05,3.407942e-05,3.652874e-05,4.087252e-05,4.170651e-05,4.695071e-05,4.779324e-05,5.222134e-05,5.474956e-05,5.748106e-05,6.165787e-05,6.269566e-05,6.783455e-05,6.844482e-05,7.287092e-05,7.504839e-05,7.778183e-05,8.141838e-05,8.254827e-05,8.715490e-05,8.751615e-05,9.158983e-05,9.331366e-05,9.584428e-05,9.879233e-05,9.991238e-05,1.037906e-04,1.039418e-04,1.074772e-04,1.087575e-04,1.109723e-04,1.132404e-04,1.142776e-04,1.173957e-04,1.203306e-04,1.212318e-04,1.230867e-04,1.247590e-04,1.256689e-04,1.279894e-04,1.280828e-04,1.303341e-04,1.309361e-04,1.324287e-04,1.336128e-04,1.343727e-04,1.360334e-04,1.361722e-04,1.378334e-04,1.382121e-04,1.393622e-04,1.401628e-04,1.407647e-04,1.418990e-04,1.420467e-04,1.432139e-04,1.434341e-04,1.442720e-04,1.447808e-04,1.452263e-04,1.459516e-04,1.460821e-04,1.468446e-04,1.469582e-04,1.475185e-04,1.478120e-04,1.481088e-04,1.485238e-04,1.486199e-04,1.490562e-04,1.491037e-04,1.494220e-04,1.495616e-04,1.497212e-04,1.499065e-04,1.499577e-04,1.501354e-04,1.501471e-04,1.502576e-04,1.502918e-04,1.503279e-04,1.503481e-04,1.503493e-04,1.503252e-04,1.503233e-04,1.502583e-04,1.502243e-04,1.501515e-04,1.500575e-04,1.500075e-04,1.498288e-04,1.496179e-04,1.495440e-04,1.493771e-04,1.492084e-04,1.491086e-04,1.488267e-04,1.488145e-04,1.484967e-04,1.484037e-04,1.481571e-04,1.479437e-04,1.477975e-04,1.474506e-04,1.474197e-04,1.470252e-04,1.469281e-04,1.466154e-04,1.463799e-04,1.461920e-04,1.458090e-04,1.457561e-04,1.453092e-04,1.452185e-04,1.448523e-04,1.446112e-04,1.443867e-04,1.439896e-04,1.439134e-04,1.434335e-04,1.433561e-04,1.429478e-04,1.427129e-04,1.424574e-04,1.420621e-04,1.419629e-04,1.414653e-04,1.414054e-04,1.409653e-04,1.407447e-04,1.404635e-04,1.400815e-04,1.399607e-04,1.394574e-04,1.394172e-04,1.389542e-04,1.387531e-04,1.384517e-04,1.380906e-04,1.379503e-04,1.374505e-04,1.374306e-04,1.369528e-04,1.367742e-04,1.364575e-04,1.361222e-04,1.359649e-04,1.354756e-04,1.348350e-04,1.342011e-04,1.335745e-04,1.329557e-04,1.323452e-04,1.317434e-04,1.311507e-04,1.305673e-04,1.299936e-04,1.294297e-04,1.288758e-04,1.283322e-04,1.277988e-04,1.272759e-04,1.267634e-04,1.262614e-04,1.257699e-04,1.252889e-04,1.248184e-04,1.243583e-04,1.239085e-04,1.234691e-04,1.230399e-04,1.226207e-04
0.000000e+00,2.734913e-10,1.067393e-09,8.061863e-09,3.068284e-08,5.649837e-08,2.100571e-07,2.202040e-07,6.231131e-07,8.015206e-07,1.441749e-06,2.226039e-06,2.906427e-06,5.067965e-06,5.301401e-06,8.962481e-06,1.007085e-05,1.426723e-05,1.810408e-05,2.161318e-05,3.007423e-05,3.138734e-05,4.393773e-05,4.680761e-05,5.955407e-05,6.896276e-05,7.845845e-05,9.699220e-05,1.008026e-04,1.266694e-04,1.311370e-04,1.560760e-04,1.714378e-04,1.889784e-04,2.177518e-04,2.252765e-04,2.648191e-04,2.697734e-04,3.074106e-04,3.270574e-04,3.528159e-04,3.890424e-04,4.007677e-04,4.509728e-04,4.550773e-04,5.031183e-04,5.244472e-04,5.568785e-04,5.963991e-04,6.119209e-04,6.679118e-04,6.701665e-04,7.245220e-04,7.449913e-04,7.814313e-04,8.201431e-04,8.383325e-04,8.949348e-04,9.509667e-04,9.687349e-04,1.006178e-03,1.040976e-03,1.060340e-03,1.111160e-03,1.113250e-03,1.164727e-03,1.178861e-03,1.214613e-03,1.243725e-03,1.262776e-03,1.305467e-03,1.309103e-03,1.353506e-03,1.363868e-03,1.395913e-03,1.418770e-03,1.436274e-03,1.470072e-03,1.474555e-03,1.510737e-03,1.517721e-03,1.544816e-03,1.561709e-03,1.576801e-03,1.602065e-03,1.606712e-03,1.634578e-03,1.638850e-03,1.660438e-03,1.672151e-03,1.684337e-03,1.702079e-03,1.706326e-03,1.726463e-03,1.728758e-03,1.744807e-03,1.752327e-03,1.761422e-03,1.772935e-03,1.776375e-03,1.789733e-03,1.790735e-03,1.801565e-03,1.805886e-03,1.811940e-03,1.818547e-03,1.820928e-03,1.828596e-03,1.828876e-03,1.835012e-03,1.837029e-03,1.840244e-03,1.843158e-03,1.844357e-03,1.847413e-03,1.849476e-03,1.849935e-03,1.850604e-03,1.850863e-03,1.850856e-03,1.850326e-03,1.850288e-03,1.848954e-03,1.848450e-03,1.846904e-03,1.845352e-03,1.844189e-03,1.841143e-03,1.840854e-03,1.836946e-03,1.835928e-03,1.832507e-03,1.829805e-03,1.827578e-03,1.822865e-03,1.822197e-03,1.816401e-03,1.815195e-03,1.810225e-03,1.806874e-03,1.803702e-03,1.797976e-03,1.796862e-03,1.789735e-03,1.788569e-03,1.782348e-03,1.778718e-03,1.774728e-03,1.768480e-03,1.766898e-03,1.758883e-03,1.757909e-03,1.750702e-03,1.747056e-03,1.742378e-03,1.735966e-03,1.733927e-03,1.725369e-03,1.724680e-03,1.716720e-03,1.713238e-03,1.707995e-03,1.701674e-03,1.699208e-03,1.690374e-03,1.690020e-03,1.681504e-03,1.678304e-03,1.672610e-03,1.666555e-03,1.663704e-03,1.654794e-03,1.643045e-03,1.631326e-03,1.619655e-03,1.608049e-03,1.596520e-03,1.585082e-03,1.573747e-03,1.562523e-03,1.551420e-03,1.540446e-03,1.529607e-03,1.518908e-03,1.508356e-03,1.497954e-03,1.487705e-03,1.477613e-03,1.467680e-03,1.457908e-03,1.448298e-03,1.438850e-03,1.429566e-03,1.420446e-03,1.411489e-03,1.402695e-03
0.000000e+00,8.968543e-11,3.478902e-10,2.594780e-09,9.766188e-09,1.787689e-08,6.551281e-08,6.863940e-08,1.918150e-07,2.459919e-07,4.395159e-07,6.755844e-07,8.799565e-07,1.528381e-06,1.598390e-06,2.696767e-06,3.029465e-06,4.289267e-06,5.440314e-06,6.491312e-06,9.014480e-06,9.404345e-06,1.310280e-05,1.394096e-05,1.762777e-05,2.031122e-05,2.298707e-05,2.811868e-05,2.915922e-05,3.609893e-05,3.727647e-05,4.374270e-05,4.763969e-05,5.201397e-05,5.902566e-05,6.082743e-05,7.009271e-05,7.123052e-05,7.971731e-05,8.404216e-05,8.960911e-05,9.725024e-05,9.967838e-05,1.098393e-04,1.106537e-04,1.200114e-04,1.240664e-04,1.301201e-04,1.373210e-04,1.400980e-04,1.498846e-04,1.502713e-04,1.594272e-04,1.627937e-04,1.686801e-04,1.747868e-04,1.776051e-04,1.861711e-04,1.943533e-04,1.968874e-04,2.021333e-04,2.068952e-04,2.094981e-04,2.161703e-04,2.164398e-04,2.229551e-04,2.247030e-04,2.290447e-04,2.324956e-04,2.347124e-04,2.395602e-04,2.399654e-04,2.448130e-04,2.459173e-04,2.492665e-04,2.515932e-04,2.533391e-04,2.566191e-04,2.570450e-04,2.603993e-04,2.610293e-04,2.634179e-04,2.648603e-04,2.661170e-04,2.681494e-04,2.685131e-04,2.706225e-04,2.709345e-04,2.724616e-04,2.732531e-04,2.740464e-04,2.751417e-04,2.753925e-04,2.765152e-04,2.766356e-04,2.774292e-04,2.777689e-04,2.781486e-04,2.785736e-04,2.786870e-04,2.790573e-04,2.790801e-04,2.792719e-04,2.793168e-04,2.793425e-04,2.793104e-04,2.792802e-04,2.790954e-04,2.790856e-04,2.787979e-04,2.786651e-04,2.783972e-04,2.780702e-04,2.779019e-04,2.773202e-04,2.766597e-04,2.764328e-04,2.759275e-04,2.754245e-04,2.751305e-04,2.743100e-04,2.742747e-04,2.733661e-04,2.731029e-04,2.724099e-04,2.718156e-04,2.714113e-04,2.704591e-04,2.703749e-04,2.693050e-04,2.690437e-04,2.682057e-04,2.675785e-04,2.670805e-04,2.660719e-04,2.659331e-04,2.647666e-04,2.645312e-04,2.635838e-04,2.629633e-04,2.623876e-04,2.613742e-04,2.611804e-04,2.599646e-04,2.597694e-04,2.587423e-04,2.581538e-04,2.575154e-04,2.565318e-04,2.562857e-04,2.550549e-04,2.549072e-04,2.538246e-04,2.532837e-04,2.525961e-04,2.516644e-04,2.513706e-04,2.501494e-04,2.500519e-04,2.489335e-04,2.484489e-04,2.477240e-04,2.468575e-04,2.465216e-04,2.453272e-04,2.452796e-04,2.441415e-04,2.437169e-04,2.429652e-04,2.421710e-04,2.417989e-04,2.406431e-04,2.391343e-04,2.376457e-04,2.361780e-04,2.347321e-04,2.333083e-04,2.319073e-04,2.305294e-04,2.291750e-04,2.278442e-04,2.265373e-04,2.252543e-04,2.239953e-04,2.227603e-04,2.215492e-04,2.203619e-04,2.191983e-04,2.180583e-04,2.169416e-04,2.158481e-04,2.147775e-04,2.137295e-04,2.127040e-04,2.117005e-04,2.107189e-04
0.000000e+00,9.440555e-10,2.828988e-09,1.334336e-08,3.549755e-08,5.491847e-08,1.378825e-07,1.424636e-07,2.913751e-07,3.460584e-07,5.161577e-07,6.932461e-07,8.306870e-07,1.210549e-06,1.248000e-06,1.779488e-06,1.925050e-06,2.433484e-06,2.854758e-06,3.213368e-06,4.001120e-06,4.115513e-06,5.127749e-06,5.341718e-06,6.229396e-06,6.828843e-06,7.393745e-06,8.399459e-06,8.592446e-06,9.799779e-06,9.992292e-06,1.099503e-05,1.155976e-05,1.216282e-05,1.306987e-05,1.329231e-05,1.437611e-05,1.450284e-05,1.540939e-05,1.584721e-05,1.638919e-05,1.709706e-05,1.731394e-05,1.818313e-05,1.825027e-05,1.899706e-05,1.930735e-05,1.975664e-05,2.027064e-05,2.046324e-05,2.111858e-05,2.114375e-05,2.172461e-05,2.193112e-05,2.228346e-05,2.263766e-05,2.279735e-05,2.326854e-05,2.369932e-05,2.382900e-05,2.409193e-05,2.432418e-05,2.444856e-05,2.475908e-05,2.477136e-05,2.506240e-05,2.513847e-05,2.532365e-05,2.546689e-05,2.555700e-05,2.574861e-05,2.576427e-05,2.594718e-05,2.598764e-05,2.610735e-05,2.618769e-05,2.624633e-05,2.635225e-05,2.636556e-05,2.646641e-05,2.648448e-05,2.655016e-05,2.658736e-05,2.661803e-05,2.666360e-05,2.667116e-05,2.671061e-05,2.671572e-05,2.673738e-05,2.674601e-05,2.675243e-05,2.675661e-05,2.675662e-05,2.675078e-05,2.674944e-05,2.673568e-05,2.672630e-05,2.671206e-05,2.668882e-05,2.668058e-05,2.664188e-05,2.663849e-05,2.659655e-05,2.657668e-05,2.654514e-05,2.650466e-05,2.648818e-05,2.642613e-05,2.642355e-05,2.635947e-05,2.633442e-05,2.628860e-05,2.623821e-05,2.621393e-05,2.613581e-05,2.605459e-05,2.602800e-05,2.597059e-05,2.591551e-05,2.588410e-05,2.579900e-05,2.579541e-05,2.570478e-05,2.567908e-05,2.561243e-05,2.555630e-05,2.551860e-05,2.543115e-05,2.542350e-05,2.532731e-05,2.530409e-05,2.523023e-05,2.517553e-05,2.513241e-05,2.504584e-05,2.503401e-05,2.493518e-05,2.491537e-05,2.483604e-05,2.478441e-05,2.473673e-05,2.465325e-05,2.463735e-05,2.453802e-05,2.452214e-05,2.443883e-05,2.439130e-05,2.433987e-05,2.426093e-05,2.424123e-05,2.414298e-05,2.413122e-05,2.404520e-05,2.400234e-05,2.394794e-05,2.387442e-05,2.385128e-05,2.375525e-05,2.374760e-05,2.365992e-05,2.362199e-05,2.356533e-05,2.349771e-05,2.347152e-05,2.337852e-05,2.337482e-05,2.328638e-05,2.325343e-05,2.319512e-05,2.313358e-05,2.310477e-05,2.301536e-05,2.289880e-05,2.278395e-05,2.267084e-05,2.255952e-05,2.244999e-05,2.234229e-05,2.223642e-05,2.213240e-05,2.203023e-05,2.192991e-05,2.183144e-05,2.173482e-05,2.164004e-05,2.154709e-05,2.145596e-05,2.136664e-05,2.127911e-05,2.119335e-05,2.110936e-05,2.102710e-05,2.094655e-05,2.086771e-05,2.079053e-05,2.071501e-05
0.000000e+00,9.194184e-11,3.544354e-10,2.610747e-09,9.718777e-09,1.768548e-08,6.385578e-08,6.686355e-08,1.841951e-07,2.353124e-07,4.164051e-07,6.351008e-07,8.230321e-07,1.413255e-06,1.476542e-06,2.461234e-06,2.756969e-06,3.868622e-06,4.875112e-06,5.788007e-06,7.961251e-06,8.295158e-06,1.144415e-05,1.215400e-05,1.526460e-05,1.751958e-05,1.976301e-05,2.405637e-05,2.492608e-05,3.072445e-05,3.170849e-05,3.711615e-05,4.038007e-05,4.404959e-05,4.994711e-05,5.146604e-05,5.930184e-05,6.026717e-05,6.749020e-05,7.118720e-05,7.596288e-05,8.255025e-05,8.465165e-05,9.348953e-05,9.420104e-05,1.024119e-04,1.059907e-04,1.113575e-04,1.177804e-04,1.202690e-04,1.290936e-04,1.294441e-04,1.377835e-04,1.408705e-04,1.462959e-04,1.519637e-04,1.545934e-04,1.626436e-04,1.704192e-04,1.728457e-04,1.778978e-04,1.825197e-04,1.850613e-04,1.916290e-04,1.918959e-04,1.983917e-04,2.001489e-04,2.045424e-04,2.080657e-04,2.103447e-04,2.153746e-04,2.157980e-04,2.209044e-04,2.220787e-04,2.256678e-04,2.281877e-04,2.300943e-04,2.337167e-04,2.341911e-04,2.379670e-04,2.386845e-04,2.414316e-04,2.431136e-04,2.445954e-04,2.470286e-04,2.474694e-04,2.500653e-04,2.504556e-04,2.523949e-04,2.534220e-04,2.544701e-04,2.559554e-04,2.563032e-04,2.579060e-04,2.580835e-04,2.592907e-04,2.598338e-04,2.604688e-04,2.612332e-04,2.614520e-04,2.622515e-04,2.623078e-04,2.628781e-04,2.630828e-04,2.633425e-04,2.635822e-04,2.636549e-04,2.638250e-04,2.638290e-04,2.638623e-04,2.638450e-04,2.637758e-04,2.636507e-04,2.635742e-04,2.632656e-04,2.628579e-04,2.627077e-04,2.623585e-04,2.619941e-04,2.617745e-04,2.611404e-04,2.611125e-04,2.603789e-04,2.601615e-04,2.595796e-04,2.590708e-04,2.587203e-04,2.578812e-04,2.578062e-04,2.568424e-04,2.566042e-04,2.558336e-04,2.552506e-04,2.547841e-04,2.538303e-04,2.536982e-04,2.525796e-04,2.523523e-04,2.514321e-04,2.508250e-04,2.502590e-04,2.492561e-04,2.490634e-04,2.478485e-04,2.476525e-04,2.466168e-04,2.460205e-04,2.453711e-04,2.443660e-04,2.441137e-04,2.428467e-04,2.426942e-04,2.415724e-04,2.410099e-04,2.402927e-04,2.393175e-04,2.390092e-04,2.377237e-04,2.376209e-04,2.364378e-04,2.359235e-04,2.351527e-04,2.342288e-04,2.338699e-04,2.325904e-04,2.325393e-04,2.313155e-04,2.308579e-04,2.300462e-04,2.291867e-04,2.287833e-04,2.275278e-04,2.258829e-04,2.242539e-04,2.226419e-04,2.210483e-04,2.194742e-04,2.179204e-04,2.163879e-04,2.148772e-04,2.133890e-04,2.119237e-04,2.104817e-04,2.090633e-04,2.076687e-04,2.062981e-04,2.049515e-04,2.036291e-04,2.023307e-04,2.010564e-04,1.998061e-04,1.985795e-04,1.973767e-04,1.961972e-04,1.950411e-04,1.939079e-04
0.000000e+00,2.240502e-10,6.848689e-10,3.327189e-09,9.010706e-09,1.404329e-08,3.573709e-08,3.693977e-08,7.613033e-08,9.054008e-08,1.353501e-07,1.819388e-07,2.180434e-07,3.176187e-07,3.274228e-07,4.664449e-07,5.045126e-07,6.375889e-07,7.480726e-07,8.423329e-07,1.050226e-06,1.080526e-06,1.350259e-06,1.407731e-06,1.648459e-06,1.813623e-06,1.971658e-06,2.259944e-06,2.316417e-06,2.679428e-06,2.738989e-06,3.057488e-06,3.243379e-06,3.447459e-06,3.765938e-06,3.846259e-06,4.250878e-06,4.299684e-06,4.658411e-06,4.837931e-06,5.066096e-06,5.374442e-06,5.471351e-06,5.871808e-06,5.903572e-06,6.265338e-06,6.420382e-06,6.650066e-06,6.920704e-06,7.024378e-06,7.386925e-06,7.401165e-06,7.736605e-06,7.859168e-06,8.072561e-06,8.292839e-06,8.394156e-06,8.700958e-06,8.992714e-06,9.082880e-06,9.269334e-06,9.438442e-06,9.530862e-06,9.767884e-06,9.777464e-06,1.000940e-05,1.007176e-05,1.022702e-05,1.035088e-05,1.043072e-05,1.060622e-05,1.062095e-05,1.079822e-05,1.083890e-05,1.096305e-05,1.105011e-05,1.111595e-05,1.124109e-05,1.125749e-05,1.138820e-05,1.141309e-05,1.150863e-05,1.156736e-05,1.161930e-05,1.170512e-05,1.172075e-05,1.181348e-05,1.182754e-05,1.189798e-05,1.193576e-05,1.197473e-05,1.203085e-05,1.204417e-05,1.210676e-05,1.211382e-05,1.216289e-05,1.218565e-05,1.221297e-05,1.224721e-05,1.225737e-05,1.229645e-05,1.229935e-05,1.233054e-05,1.234286e-05,1.235997e-05,1.237845e-05,1.238505e-05,1.240604e-05,1.240680e-05,1.242322e-05,1.242853e-05,1.243685e-05,1.244421e-05,1.244717e-05,1.245439e-05,1.245872e-05,1.245954e-05,1.246038e-05,1.246012e-05,1.245954e-05,1.245654e-05,1.245637e-05,1.245105e-05,1.244919e-05,1.244372e-05,1.243842e-05,1.243454e-05,1.242456e-05,1.242363e-05,1.241113e-05,1.240790e-05,1.239715e-05,1.238873e-05,1.238182e-05,1.236728e-05,1.236522e-05,1.234747e-05,1.234379e-05,1.232866e-05,1.231849e-05,1.230887e-05,1.229155e-05,1.228818e-05,1.226668e-05,1.226317e-05,1.224443e-05,1.223351e-05,1.222150e-05,1.220272e-05,1.219796e-05,1.217386e-05,1.217094e-05,1.214927e-05,1.213830e-05,1.212422e-05,1.210492e-05,1.209878e-05,1.207298e-05,1.207090e-05,1.204687e-05,1.203635e-05,1.202050e-05,1.200136e-05,1.199389e-05,1.196709e-05,1.196601e-05,1.194012e-05,1.193038e-05,1.191303e-05,1.189454e-05,1.188583e-05,1.185856e-05,1.182248e-05,1.178638e-05,1.175029e-05,1.171427e-05,1.167834e-05,1.164257e-05,1.160696e-05,1.157157e-05,1.153641e-05,1.150151e-05,1.146690e-05,1.143259e-05,1.139861e-05,1.136497e-05,1.133168e-05,1.129877e-05,1.126624e-05,1.123410e-05,1.120236e-05,1.117104e-05,1.114013e-05,1.110964e-05,1.107959e-05,1.104996e-05
0.000000e+00,2.989379e-09,7.670144e-09,2.974743e-08,7.148308e-08,1.063790e-07,2.497517e-07,2.575391e-07,5.084173e-07,6.002209e-07,8.867327e-07,1.187770e-06,1.423738e-06,2.086181e-06,2.152210e-06,3.098166e-06,3.358751e-06,4.266871e-06,5.011106e-06,5.635582e-06,6.973476e-06,7.163862e-06,8.809942e-06,9.150085e-06,1.053898e-05,1.146153e-05,1.232361e-05,1.384955e-05,1.414196e-05,1.597575e-05,1.626950e-05,1.780911e-05,1.868477e-05,1.962795e-05,2.106410e-05,2.141975e-05,2.317345e-05,2.338087e-05,2.487948e-05,2.561288e-05,2.652970e-05,2.774241e-05,2.811747e-05,2.963757e-05,2.975612e-05,3.108608e-05,3.164482e-05,3.246037e-05,3.340299e-05,3.375888e-05,3.498104e-05,3.502833e-05,3.612707e-05,3.652118e-05,3.719792e-05,3.788389e-05,3.819507e-05,3.912053e-05,3.997661e-05,4.023632e-05,4.076590e-05,4.123728e-05,4.149118e-05,4.212990e-05,4.215533e-05,4.276128e-05,4.292092e-05,4.331198e-05,4.361710e-05,4.381037e-05,4.422516e-05,4.425932e-05,4.466166e-05,4.475159e-05,4.502010e-05,4.520264e-05,4.533727e-05,4.558425e-05,4.561570e-05,4.585779e-05,4.590205e-05,4.606584e-05,4.616131e-05,4.624205e-05,4.636697e-05,4.638848e-05,4.650708e-05,4.652361e-05,4.659973e-05,4.663550e-05,4.666818e-05,4.670661e-05,4.671406e-05,4.673895e-05,4.674060e-05,4.674431e-05,4.674084e-05,4.673151e-05,4.671044e-05,4.670186e-05,4.665656e-05,4.665230e-05,4.659677e-05,4.656903e-05,4.652355e-05,4.646309e-05,4.643791e-05,4.634081e-05,4.633670e-05,4.623311e-05,4.619191e-05,4.611567e-05,4.603063e-05,4.598924e-05,4.585457e-05,4.571233e-05,4.566533e-05,4.556317e-05,4.546436e-05,4.540769e-05,4.525300e-05,4.524645e-05,4.507997e-05,4.503249e-05,4.490875e-05,4.480393e-05,4.473325e-05,4.456837e-05,4.455389e-05,4.437109e-05,4.432674e-05,4.418521e-05,4.407991e-05,4.399662e-05,4.382867e-05,4.380564e-05,4.361258e-05,4.357375e-05,4.341773e-05,4.331579e-05,4.322136e-05,4.305541e-05,4.302372e-05,4.282504e-05,4.279317e-05,4.262554e-05,4.252955e-05,4.242543e-05,4.226503e-05,4.222490e-05,4.202412e-05,4.200002e-05,4.182326e-05,4.173490e-05,4.162248e-05,4.147002e-05,4.142191e-05,4.122169e-05,4.120569e-05,4.102195e-05,4.094221e-05,4.082280e-05,4.067983e-05,4.062434e-05,4.042668e-05,4.041879e-05,4.022990e-05,4.015930e-05,4.003410e-05,3.990154e-05,3.983934e-05,3.964570e-05,3.939193e-05,3.914037e-05,3.889113e-05,3.864433e-05,3.840007e-05,3.815843e-05,3.791948e-05,3.768330e-05,3.744993e-05,3.721943e-05,3.699183e-05,3.676717e-05,3.654546e-05,3.632675e-05,3.611102e-05,3.589831e-05,3.568860e-05,3.548191e-05,3.527823e-05,3.507756e-05,3.487988e-05,3.468518e-05,3.449344e-05,3.430466e-05
0.000000e+00,2.294410e-10,8.970664e-10,6.801575e-09,2.598486e-08,4.795532e-08,1.794600e-07,1.881837e-07,5.367118e-07,6.920592e-07,1.253260e-06,1.946954e-06,2.553149e-06,4.499678e-06,4.711443e-06,8.061235e-06,9.083658e-06,1.297756e-05,1.655914e-05,1.984540e-05,2.778985e-05,2.902405e-05,4.082089e-05,4.351695e-05,5.547779e-05,6.428957e-05,7.316680e-05,9.044618e-05,9.399107e-05,1.179885e-04,1.221219e-04,1.451367e-04,1.592662e-04,1.753582e-04,2.016646e-04,2.085263e-04,2.444714e-04,2.489620e-04,2.829868e-04,3.006878e-04,3.238357e-04,3.562815e-04,3.667570e-04,4.114722e-04,4.151183e-04,4.576916e-04,4.765344e-04,5.051198e-04,5.398507e-04,5.534616e-04,6.024263e-04,6.043938e-04,6.517324e-04,6.695140e-04,7.011111e-04,7.346000e-04,7.503088e-04,7.990899e-04,8.472380e-04,8.624792e-04,8.945574e-04,9.243253e-04,9.408733e-04,9.842496e-04,9.860320e-04,1.029901e-03,1.041937e-03,1.072367e-03,1.097134e-03,1.113337e-03,1.149643e-03,1.152736e-03,1.190506e-03,1.199323e-03,1.226604e-03,1.246078e-03,1.261003e-03,1.289856e-03,1.293688e-03,1.324656e-03,1.330644e-03,1.353913e-03,1.368457e-03,1.381477e-03,1.403340e-03,1.407372e-03,1.431629e-03,1.435360e-03,1.454283e-03,1.464601e-03,1.475378e-03,1.491161e-03,1.494958e-03,1.513072e-03,1.515149e-03,1.529770e-03,1.536682e-03,1.545105e-03,1.555882e-03,1.559132e-03,1.571903e-03,1.572872e-03,1.583474e-03,1.587779e-03,1.593899e-03,1.600726e-03,1.603233e-03,1.611527e-03,1.611838e-03,1.618835e-03,1.621234e-03,1.625207e-03,1.629031e-03,1.630693e-03,1.635341e-03,1.639198e-03,1.640272e-03,1.642309e-03,1.643928e-03,1.644717e-03,1.646406e-03,1.646464e-03,1.647590e-03,1.647799e-03,1.648133e-03,1.648195e-03,1.648131e-03,1.647676e-03,1.647617e-03,1.646625e-03,1.646319e-03,1.645187e-03,1.644198e-03,1.643332e-03,1.641379e-03,1.641090e-03,1.638488e-03,1.637927e-03,1.635551e-03,1.633900e-03,1.632304e-03,1.629353e-03,1.628769e-03,1.624969e-03,1.624338e-03,1.620924e-03,1.618901e-03,1.616654e-03,1.613087e-03,1.612176e-03,1.607508e-03,1.606936e-03,1.602667e-03,1.600486e-03,1.597667e-03,1.593770e-03,1.592524e-03,1.587250e-03,1.586822e-03,1.581858e-03,1.579671e-03,1.576360e-03,1.572343e-03,1.570769e-03,1.565093e-03,1.564864e-03,1.559343e-03,1.557257e-03,1.553529e-03,1.549543e-03,1.547659e-03,1.541741e-03,1.533869e-03,1.525944e-03,1.517979e-03,1.509990e-03,1.501988e-03,1.493984e-03,1.485990e-03,1.478015e-03,1.470066e-03,1.462153e-03,1.454281e-03,1.446458e-03,1.438689e-03,1.430980e-03,1.423335e-03,1.415758e-03,1.408253e-03,1.400823e-03,1.393472e-03,1.386202e-03,1.379015e-03,1.371912e-03,1.364897e-03,1.357970e-03
0.000000e+00,1.004983e-10,3.925474e-10,2.969539e-09,1.131617e-08,2.084978e-08,7.760717e-08,8.135864e-08,2.302961e-07,2.962088e-07,5.324903e-07,8.213771e-07,1.071502e-06,1.863384e-06,1.948676e-06,3.281640e-06,3.683735e-06,5.201849e-06,6.586004e-06,7.850225e-06,1.089688e-05,1.136983e-05,1.589570e-05,1.693229e-05,2.154398e-05,2.495531e-05,2.840319e-05,3.514274e-05,3.652939e-05,4.594494e-05,4.757084e-05,5.663997e-05,6.221762e-05,6.857548e-05,7.897458e-05,8.168719e-05,9.588983e-05,9.766276e-05,1.110814e-04,1.180498e-04,1.271473e-04,1.398664e-04,1.439641e-04,1.614035e-04,1.628217e-04,1.793349e-04,1.866162e-04,1.976288e-04,2.109535e-04,2.161585e-04,2.348030e-04,2.355495e-04,2.534477e-04,2.601390e-04,2.719861e-04,2.844812e-04,2.903204e-04,3.083626e-04,3.260340e-04,3.315990e-04,3.432657e-04,3.540356e-04,3.599986e-04,3.755465e-04,3.761828e-04,3.917772e-04,3.960333e-04,4.067491e-04,4.154229e-04,4.210737e-04,4.336652e-04,4.347331e-04,4.477162e-04,4.507307e-04,4.600173e-04,4.666079e-04,4.716364e-04,4.813003e-04,4.825777e-04,4.928496e-04,4.948246e-04,5.024637e-04,5.072078e-04,5.114346e-04,5.184855e-04,5.197793e-04,5.275168e-04,5.286998e-04,5.346676e-04,5.378979e-04,5.412533e-04,5.461302e-04,5.472966e-04,5.528206e-04,5.534498e-04,5.578489e-04,5.599104e-04,5.624050e-04,5.655664e-04,5.665126e-04,5.701949e-04,5.704718e-04,5.734750e-04,5.746795e-04,5.763754e-04,5.782409e-04,5.789181e-04,5.811243e-04,5.812059e-04,5.830148e-04,5.836220e-04,5.846094e-04,5.855346e-04,5.859273e-04,5.869868e-04,5.878055e-04,5.880194e-04,5.884001e-04,5.886705e-04,5.887867e-04,5.889761e-04,5.889803e-04,5.889954e-04,5.889696e-04,5.888457e-04,5.886821e-04,5.885439e-04,5.881426e-04,5.881024e-04,5.875325e-04,5.873778e-04,5.868450e-04,5.864126e-04,5.860503e-04,5.852697e-04,5.851577e-04,5.841763e-04,5.839701e-04,5.831145e-04,5.825332e-04,5.819801e-04,5.809765e-04,5.807805e-04,5.795226e-04,5.793163e-04,5.782127e-04,5.775673e-04,5.768569e-04,5.757430e-04,5.754608e-04,5.740294e-04,5.738556e-04,5.725678e-04,5.719162e-04,5.710803e-04,5.699350e-04,5.695711e-04,5.680440e-04,5.679212e-04,5.665027e-04,5.658829e-04,5.649504e-04,5.638277e-04,5.633902e-04,5.618249e-04,5.617622e-04,5.602571e-04,5.596925e-04,5.586891e-04,5.576240e-04,5.571232e-04,5.555615e-04,5.535093e-04,5.514712e-04,5.494507e-04,5.474508e-04,5.454739e-04,5.435226e-04,5.415987e-04,5.397040e-04,5.378399e-04,5.360077e-04,5.342084e-04,5.324429e-04,5.307119e-04,5.290159e-04,5.273552e-04,5.257303e-04,5.241412e-04,5.225880e-04,5.210706e-04,5.195890e-04,5.181430e-04,5.167324e-04,5.153568e-04,5.140159e-04
0.000000e+00,3.542076e-09,8.118614e-09,2.790308e-08,6.336214e-08,9.231689e-08,2.085894e-07,2.148274e-07,4.132120e-07,4.848318e-07,7.058016e-07,9.344555e-07,1.111488e-06,1.599329e-06,1.647270e-06,2.322277e-06,2.504870e-06,3.133139e-06,3.642051e-06,4.067326e-06,4.979573e-06,5.109937e-06,6.247061e-06,6.484696e-06,7.466004e-06,8.128164e-06,8.754666e-06,9.882260e-06,1.010107e-05,1.149319e-05,1.171936e-05,1.291899e-05,1.361184e-05,1.436660e-05,1.553268e-05,1.582457e-05,1.728203e-05,1.745640e-05,1.872892e-05,1.935982e-05,2.015614e-05,2.122269e-05,2.155565e-05,2.292047e-05,2.302797e-05,2.424474e-05,2.476198e-05,2.552366e-05,2.641422e-05,2.675341e-05,2.793111e-05,2.797711e-05,2.905474e-05,2.944574e-05,3.012301e-05,3.081746e-05,3.113528e-05,3.209145e-05,3.299191e-05,3.326840e-05,3.383742e-05,3.435021e-05,3.462908e-05,3.533963e-05,3.536821e-05,3.605632e-05,3.624007e-05,3.669509e-05,3.705541e-05,3.728630e-05,3.778978e-05,3.783178e-05,3.833344e-05,3.844752e-05,3.879316e-05,3.903301e-05,3.921287e-05,3.955059e-05,3.959443e-05,3.993972e-05,4.000458e-05,4.025055e-05,4.039915e-05,4.052869e-05,4.073833e-05,4.077587e-05,4.099375e-05,4.102600e-05,4.118393e-05,4.126584e-05,4.134798e-05,4.146138e-05,4.148736e-05,4.160350e-05,4.161594e-05,4.169778e-05,4.173267e-05,4.177149e-05,4.181452e-05,4.182587e-05,4.186212e-05,4.186428e-05,4.188137e-05,4.188455e-05,4.188469e-05,4.187780e-05,4.187311e-05,4.184761e-05,4.184631e-05,4.180909e-05,4.179222e-05,4.175846e-05,4.171753e-05,4.169653e-05,4.162410e-05,4.154191e-05,4.151367e-05,4.145068e-05,4.138786e-05,4.135108e-05,4.124817e-05,4.124373e-05,4.112925e-05,4.109600e-05,4.100820e-05,4.093264e-05,4.088111e-05,4.075930e-05,4.074850e-05,4.061083e-05,4.057709e-05,4.046857e-05,4.038705e-05,4.032213e-05,4.019014e-05,4.017193e-05,4.001833e-05,3.998723e-05,3.986169e-05,3.977915e-05,3.970235e-05,3.956665e-05,3.954063e-05,3.937682e-05,3.935043e-05,3.921119e-05,3.913113e-05,3.904402e-05,3.890933e-05,3.887554e-05,3.870599e-05,3.868558e-05,3.853558e-05,3.846038e-05,3.836452e-05,3.823419e-05,3.819299e-05,3.802117e-05,3.800742e-05,3.784924e-05,3.778046e-05,3.767733e-05,3.755366e-05,3.750560e-05,3.733419e-05,3.732734e-05,3.716321e-05,3.710178e-05,3.699278e-05,3.687726e-05,3.682301e-05,3.665401e-05,3.643225e-05,3.621217e-05,3.599395e-05,3.577775e-05,3.556371e-05,3.535195e-05,3.514258e-05,3.493571e-05,3.473141e-05,3.452976e-05,3.433083e-05,3.413466e-05,3.394130e-05,3.375080e-05,3.356317e-05,3.337844e-05,3.319663e-05,3.301774e-05,3.284178e-05,3.266875e-05,3.249865e-05,3.233146e-05,3.216718e-05,3.200579e-05
0.000000e+00,1.576420e-10,5.622189e-10,3.553541e-09,1.162447e-08,1.979045e-08,6.107658e-08,6.357665e-08,1.534420e-07,1.898588e-07,3.123448e-07,4.524314e-07,5.687301e-07,9.188429e-07,9.553268e-07,1.501732e-06,1.658627e-06,2.221247e-06,2.696887e-06,3.103910e-06,3.995167e-06,4.123803e-06,5.251370e-06,5.487435e-06,6.460811e-06,7.115117e-06,7.731743e-06,8.835053e-06,9.048174e-06,1.039702e-05,1.061507e-05,1.176700e-05,1.242910e-05,1.314803e-05,1.425464e-05,1.453097e-05,1.590757e-05,1.607198e-05,1.727047e-05,1.786411e-05,1.861322e-05,1.961679e-05,1.993028e-05,2.121705e-05,2.131856e-05,2.246976e-05,2.296061e-05,2.368544e-05,2.453651e-05,2.486184e-05,2.599734e-05,2.604189e-05,2.709086e-05,2.747412e-05,2.814179e-05,2.883195e-05,2.914988e-05,3.011523e-05,3.103818e-05,3.132466e-05,3.191930e-05,3.246159e-05,3.275932e-05,3.352785e-05,3.355908e-05,3.431954e-05,3.452557e-05,3.504173e-05,3.545713e-05,3.572673e-05,3.632503e-05,3.637564e-05,3.698961e-05,3.713190e-05,3.756980e-05,3.788037e-05,3.811735e-05,3.857311e-05,3.863342e-05,3.911912e-05,3.921272e-05,3.957559e-05,3.980175e-05,4.000390e-05,4.034272e-05,4.040514e-05,4.078037e-05,4.083806e-05,4.113061e-05,4.129014e-05,4.145685e-05,4.170122e-05,4.176007e-05,4.204121e-05,4.207351e-05,4.230120e-05,4.240912e-05,4.254091e-05,4.271007e-05,4.276121e-05,4.296294e-05,4.297830e-05,4.314689e-05,4.321566e-05,4.331384e-05,4.342394e-05,4.346454e-05,4.359973e-05,4.360482e-05,4.372009e-05,4.375992e-05,4.382630e-05,4.389078e-05,4.391902e-05,4.399886e-05,4.406642e-05,4.408555e-05,4.412230e-05,4.415218e-05,4.416704e-05,4.420001e-05,4.420118e-05,4.422524e-05,4.423024e-05,4.423971e-05,4.424399e-05,4.424507e-05,4.424235e-05,4.424177e-05,4.423026e-05,4.422632e-05,4.421096e-05,4.419689e-05,4.418426e-05,4.415497e-05,4.415057e-05,4.411024e-05,4.410141e-05,4.406365e-05,4.403705e-05,4.401112e-05,4.396266e-05,4.395299e-05,4.388958e-05,4.387897e-05,4.382119e-05,4.378667e-05,4.374809e-05,4.368642e-05,4.367058e-05,4.358891e-05,4.357885e-05,4.350335e-05,4.346452e-05,4.341412e-05,4.334401e-05,4.332147e-05,4.322562e-05,4.321781e-05,4.312677e-05,4.308644e-05,4.302513e-05,4.295034e-05,4.292090e-05,4.281427e-05,4.280995e-05,4.270540e-05,4.266569e-05,4.259447e-05,4.251794e-05,4.248164e-05,4.236707e-05,4.221341e-05,4.205728e-05,4.189900e-05,4.173884e-05,4.157707e-05,4.141394e-05,4.124968e-05,4.108452e-05,4.091866e-05,4.075228e-05,4.058558e-05,4.041872e-05,4.025186e-05,4.008514e-05,3.991869e-05,3.975266e-05,3.958715e-05,3.942228e-05,3.925814e-05,3.909484e-05,3.893245e-05,3.877107e-05,3.861076e-05,3.845159e-05
0.000000e+00,7.701041e-11,3.011596e-10,2.284209e-09,8.728424e-09,1.610937e-08,6.028338e-08,6.321336e-08,1.802320e-07,2.323677e-07,4.206193e-07,6.531557e-07,8.562491e-07,1.507903e-06,1.578764e-06,2.699189e-06,3.041051e-06,4.342799e-06,5.539872e-06,6.637961e-06,9.290876e-06,9.702738e-06,1.363456e-05,1.453174e-05,1.850484e-05,2.142392e-05,2.435746e-05,3.004614e-05,3.120963e-05,3.905388e-05,4.039933e-05,4.786066e-05,5.241614e-05,5.758118e-05,6.597214e-05,6.815022e-05,7.948913e-05,8.089739e-05,9.150865e-05,9.698806e-05,1.041117e-04,1.140175e-04,1.171961e-04,1.306570e-04,1.317470e-04,1.443894e-04,1.499350e-04,1.582897e-04,1.683457e-04,1.722582e-04,1.861999e-04,1.867557e-04,2.000263e-04,2.049596e-04,2.136558e-04,2.227734e-04,2.270146e-04,2.400373e-04,2.526665e-04,2.566166e-04,2.648535e-04,2.724019e-04,2.765574e-04,2.873082e-04,2.877455e-04,2.983922e-04,3.012735e-04,3.084789e-04,3.142569e-04,3.179936e-04,3.262362e-04,3.269297e-04,3.352862e-04,3.372058e-04,3.430664e-04,3.471742e-04,3.502778e-04,3.561618e-04,3.569312e-04,3.630403e-04,3.641982e-04,3.686215e-04,3.713210e-04,3.736928e-04,3.775731e-04,3.782740e-04,3.823859e-04,3.830017e-04,3.860502e-04,3.876566e-04,3.892891e-04,3.915891e-04,3.921251e-04,3.945807e-04,3.948509e-04,3.966781e-04,3.974932e-04,3.984395e-04,3.995665e-04,3.998862e-04,4.010393e-04,4.011195e-04,4.019190e-04,4.021988e-04,4.025450e-04,4.028491e-04,4.029359e-04,4.031097e-04,4.031124e-04,4.030835e-04,4.030282e-04,4.028735e-04,4.026336e-04,4.024951e-04,4.019629e-04,4.012904e-04,4.010477e-04,4.004906e-04,3.999174e-04,3.995754e-04,3.985989e-04,3.985563e-04,3.974437e-04,3.971168e-04,3.962475e-04,3.954935e-04,3.949769e-04,3.937494e-04,3.936402e-04,3.922456e-04,3.919030e-04,3.908002e-04,3.899711e-04,3.893108e-04,3.879687e-04,3.877836e-04,3.862245e-04,3.859093e-04,3.846388e-04,3.838053e-04,3.830312e-04,3.816673e-04,3.814064e-04,3.797684e-04,3.795053e-04,3.781209e-04,3.773279e-04,3.764675e-04,3.751427e-04,3.748113e-04,3.731551e-04,3.729565e-04,3.715016e-04,3.707756e-04,3.698531e-04,3.686050e-04,3.682118e-04,3.665797e-04,3.664495e-04,3.649584e-04,3.643133e-04,3.633495e-04,3.621997e-04,3.617546e-04,3.601747e-04,3.601119e-04,3.586112e-04,3.580525e-04,3.570649e-04,3.560237e-04,3.555368e-04,3.540276e-04,3.520656e-04,3.501391e-04,3.482491e-04,3.463967e-04,3.445823e-04,3.428065e-04,3.410696e-04,3.393718e-04,3.377132e-04,3.360937e-04,3.345132e-04,3.329716e-04,3.314684e-04,3.300033e-04,3.285760e-04,3.271859e-04,3.258326e-04,3.245154e-04,3.232339e-04,3.219874e-04,3.207753e-04,3.195970e-04,3.184517e-04,3.173389e-04
0.000000e+00,3.720000e-11,1.427753e-10,1.041528e-09,3.840718e-09,6.951231e-09,2.473159e-08,2.588048e-08,7.019737e-08,8.928977e-08,1.562611e-07,2.361640e-07,3.042194e-07,5.154654e-07,5.379447e-07,8.848602e-07,9.882721e-07,1.375011e-06,1.723400e-06,2.038504e-06,2.786429e-06,2.901111e-06,3.979460e-06,4.221643e-06,5.278106e-06,6.038377e-06,6.789459e-06,8.210719e-06,8.495910e-06,1.037286e-05,1.068712e-05,1.239171e-05,1.340229e-05,1.452221e-05,1.628675e-05,1.673429e-05,1.899913e-05,1.927316e-05,2.128993e-05,2.229972e-05,2.358226e-05,2.531192e-05,2.585428e-05,2.808670e-05,2.826307e-05,3.026285e-05,3.111429e-05,3.236854e-05,3.383429e-05,3.439196e-05,3.632358e-05,3.639882e-05,3.815596e-05,3.879021e-05,3.988361e-05,4.099663e-05,4.150282e-05,4.301149e-05,4.440894e-05,4.483269e-05,4.569573e-05,4.646193e-05,4.687351e-05,4.790398e-05,4.794482e-05,4.891295e-05,4.916605e-05,4.978178e-05,5.025721e-05,5.055565e-05,5.118776e-05,5.123923e-05,5.183741e-05,5.196882e-05,5.235521e-05,5.261194e-05,5.279767e-05,5.312874e-05,5.316985e-05,5.347669e-05,5.353065e-05,5.372302e-05,5.382875e-05,5.391350e-05,5.403361e-05,5.405259e-05,5.414458e-05,5.415519e-05,5.419348e-05,5.420278e-05,5.420311e-05,5.418494e-05,5.417703e-05,5.411860e-05,5.410957e-05,5.403094e-05,5.398386e-05,5.391694e-05,5.381435e-05,5.377930e-05,5.362050e-05,5.360695e-05,5.344282e-05,5.336694e-05,5.324838e-05,5.309910e-05,5.303912e-05,5.281680e-05,5.280766e-05,5.258306e-05,5.249641e-05,5.233939e-05,5.216871e-05,5.208713e-05,5.182754e-05,5.156174e-05,5.147554e-05,5.129076e-05,5.111504e-05,5.101552e-05,5.074809e-05,5.073689e-05,5.045562e-05,5.037649e-05,5.017241e-05,5.000182e-05,4.988790e-05,4.962548e-05,4.960264e-05,4.931717e-05,4.924867e-05,4.903193e-05,4.887246e-05,4.874735e-05,4.849776e-05,4.846380e-05,4.818162e-05,4.812537e-05,4.790110e-05,4.775599e-05,4.762254e-05,4.739021e-05,4.734615e-05,4.707216e-05,4.702855e-05,4.680075e-05,4.667144e-05,4.653209e-05,4.631924e-05,4.626633e-05,4.600359e-05,4.597227e-05,4.574399e-05,4.563078e-05,4.548762e-05,4.529499e-05,4.523456e-05,4.498489e-05,4.496506e-05,4.473865e-05,4.464114e-05,4.449591e-05,4.432332e-05,4.425670e-05,4.402104e-05,4.401169e-05,4.378896e-05,4.370629e-05,4.356047e-05,4.340716e-05,4.333559e-05,4.311430e-05,4.282771e-05,4.254737e-05,4.227324e-05,4.200528e-05,4.174343e-05,4.148764e-05,4.123783e-05,4.099392e-05,4.075583e-05,4.052348e-05,4.029677e-05,4.007562e-05,3.985992e-05,3.964957e-05,3.944448e-05,3.924455e-05,3.904967e-05,3.885975e-05,3.867467e-05,3.849434e-05,3.831866e-05,3.814752e-05,3.798082e-05,3.781846e-05
0.000000e+00,9.508085e-10,2.505086e-09,1.001684e-08,2.441868e-08,3.651483e-08,8.619095e-08,8.888115e-08,1.748558e-07,2.059518e-07,3.017326e-07,4.004328e-07,4.765637e-07,6.856204e-07,7.061531e-07,9.964876e-07,1.075697e-06,1.351349e-06,1.578479e-06,1.770912e-06,2.191109e-06,2.251912e-06,2.789238e-06,2.902971e-06,3.377314e-06,3.701335e-06,4.010623e-06,4.573580e-06,4.683727e-06,5.391163e-06,5.507169e-06,6.127379e-06,6.489330e-06,6.886728e-06,7.507032e-06,7.663509e-06,8.452045e-06,8.547194e-06,9.246780e-06,9.597040e-06,1.004237e-05,1.064446e-05,1.083374e-05,1.161623e-05,1.167831e-05,1.238555e-05,1.268873e-05,1.313792e-05,1.366724e-05,1.387001e-05,1.457901e-05,1.460685e-05,1.526257e-05,1.550206e-05,1.591883e-05,1.634875e-05,1.654636e-05,1.714411e-05,1.771142e-05,1.788647e-05,1.824796e-05,1.857517e-05,1.875368e-05,1.921038e-05,1.922880e-05,1.967372e-05,1.979297e-05,2.008904e-05,2.032433e-05,2.047550e-05,2.080629e-05,2.083396e-05,2.116535e-05,2.124097e-05,2.147069e-05,2.163069e-05,2.175103e-05,2.197793e-05,2.200747e-05,2.224111e-05,2.228519e-05,2.245304e-05,2.255503e-05,2.264437e-05,2.278995e-05,2.281617e-05,2.296952e-05,2.299241e-05,2.310543e-05,2.316477e-05,2.322491e-05,2.330932e-05,2.332893e-05,2.341842e-05,2.342822e-05,2.349426e-05,2.352353e-05,2.355731e-05,2.359717e-05,2.360838e-05,2.364826e-05,2.365098e-05,2.367767e-05,2.368666e-05,2.369731e-05,2.370578e-05,2.370786e-05,2.370993e-05,2.370984e-05,2.370412e-05,2.370021e-05,2.369099e-05,2.367815e-05,2.367107e-05,2.364486e-05,2.361282e-05,2.360142e-05,2.357541e-05,2.354884e-05,2.353304e-05,2.348806e-05,2.348610e-05,2.343495e-05,2.341992e-05,2.337995e-05,2.334523e-05,2.332141e-05,2.326470e-05,2.325965e-05,2.319495e-05,2.317901e-05,2.312757e-05,2.308877e-05,2.305777e-05,2.299454e-05,2.298579e-05,2.291184e-05,2.289684e-05,2.283614e-05,2.279614e-05,2.275887e-05,2.269289e-05,2.268021e-05,2.260035e-05,2.258747e-05,2.251942e-05,2.248025e-05,2.243759e-05,2.237156e-05,2.235499e-05,2.227174e-05,2.226171e-05,2.218798e-05,2.215098e-05,2.210380e-05,2.203962e-05,2.201932e-05,2.193463e-05,2.192785e-05,2.184982e-05,2.181589e-05,2.176498e-05,2.170392e-05,2.168019e-05,2.159552e-05,2.159213e-05,2.151103e-05,2.148067e-05,2.142678e-05,2.136967e-05,2.134285e-05,2.125927e-05,2.114957e-05,2.104069e-05,2.093272e-05,2.082574e-05,2.071982e-05,2.061502e-05,2.051141e-05,2.040904e-05,2.030794e-05,2.020817e-05,2.010974e-05,2.001269e-05,1.991705e-05,1.982282e-05,1.973003e-05,1.963868e-05,1.954880e-05,1.946037e-05,1.937340e-05,1.928790e-05,1.920386e-05,1.912128e-05,1.904015e-05,1.896047e-05
0.000000e+00,6.609685e-09,1.517277e-08,5.280971e-08,1.227237e-07,1.820731e-07,4.397975e-07,4.544640e-07,9.602049e-07,1.158687e-06,1.804537e-06,2.495356e-06,3.028040e-06,4.441281e-06,4.575111e-06,6.373924e-06,6.837464e-06,8.378286e-06,9.580026e-06,1.056123e-05,1.261509e-05,1.290414e-05,1.539064e-05,1.590371e-05,1.800393e-05,1.940702e-05,2.072601e-05,2.308265e-05,2.353774e-05,2.641916e-05,2.688531e-05,2.935021e-05,3.076897e-05,3.231131e-05,3.468927e-05,3.528384e-05,3.825043e-05,3.860525e-05,4.119529e-05,4.248056e-05,4.410478e-05,4.628503e-05,4.696713e-05,4.977228e-05,4.999397e-05,5.251198e-05,5.358798e-05,5.517955e-05,5.705253e-05,5.776973e-05,6.027855e-05,6.037716e-05,6.270313e-05,6.355497e-05,6.504162e-05,6.658199e-05,6.729279e-05,6.945576e-05,7.153099e-05,7.217667e-05,7.351925e-05,7.474648e-05,7.542144e-05,7.716786e-05,7.723895e-05,7.897317e-05,7.944405e-05,8.062583e-05,8.157905e-05,8.219879e-05,8.357717e-05,8.369396e-05,8.511340e-05,8.544303e-05,8.645923e-05,8.718155e-05,8.773361e-05,8.879768e-05,8.893870e-05,9.007665e-05,9.029637e-05,9.114961e-05,9.168259e-05,9.215974e-05,9.296126e-05,9.310918e-05,9.400002e-05,9.413726e-05,9.483437e-05,9.521538e-05,9.561424e-05,9.620026e-05,9.634164e-05,9.701851e-05,9.709643e-05,9.764677e-05,9.790828e-05,9.822827e-05,9.864008e-05,9.876485e-05,9.925828e-05,9.929594e-05,9.971027e-05,9.987985e-05,1.001225e-04,1.003956e-04,1.004966e-04,1.008342e-04,1.008470e-04,1.011368e-04,1.012374e-04,1.014058e-04,1.015703e-04,1.016428e-04,1.018490e-04,1.020260e-04,1.020766e-04,1.021749e-04,1.022561e-04,1.022971e-04,1.023903e-04,1.023937e-04,1.024660e-04,1.024820e-04,1.025151e-04,1.025338e-04,1.025420e-04,1.025482e-04,1.025479e-04,1.025338e-04,1.025275e-04,1.025006e-04,1.024741e-04,1.024493e-04,1.023900e-04,1.023809e-04,1.022962e-04,1.022773e-04,1.021960e-04,1.021381e-04,1.020812e-04,1.019741e-04,1.019526e-04,1.018109e-04,1.017870e-04,1.016568e-04,1.015787e-04,1.014911e-04,1.013506e-04,1.013144e-04,1.011274e-04,1.011043e-04,1.009307e-04,1.008412e-04,1.007248e-04,1.005626e-04,1.005104e-04,1.002881e-04,1.002699e-04,1.000582e-04,9.996427e-05,9.982137e-05,9.964681e-05,9.957806e-05,9.932873e-05,9.931864e-05,9.907382e-05,9.898077e-05,9.881377e-05,9.863419e-05,9.854896e-05,9.827980e-05,9.791847e-05,9.755100e-05,9.717816e-05,9.680068e-05,9.641923e-05,9.603445e-05,9.564693e-05,9.525724e-05,9.486590e-05,9.447341e-05,9.408023e-05,9.368678e-05,9.329348e-05,9.290070e-05,9.250878e-05,9.211807e-05,9.172885e-05,9.134142e-05,9.095603e-05,9.057293e-05,9.019233e-05,8.981445e-05,8.943948e-05,8.906758e-05
0.000000e+00,3.902806e-09,8.952547e-09,3.103736e-08,7.168926e-08,1.058960e-07,2.521633e-07,2.604019e-07,5.413539e-07,6.507522e-07,1.006923e-06,1.390872e-06,1.689400e-06,2.488585e-06,2.564601e-06,3.588355e-06,3.852316e-06,4.728945e-06,5.411315e-06,5.967395e-06,7.128070e-06,7.291055e-06,8.689479e-06,8.977246e-06,1.015249e-05,1.093529e-05,1.166949e-05,1.297734e-05,1.322932e-05,1.482051e-05,1.507725e-05,1.643160e-05,1.720868e-05,1.805140e-05,1.934640e-05,1.966936e-05,2.127579e-05,2.146736e-05,2.286199e-05,2.355150e-05,2.442035e-05,2.558207e-05,2.594441e-05,2.742878e-05,2.754568e-05,2.886915e-05,2.943218e-05,3.026212e-05,3.123427e-05,3.160519e-05,3.289667e-05,3.294724e-05,3.413552e-05,3.456851e-05,3.532119e-05,3.609700e-05,3.645358e-05,3.753300e-05,3.856006e-05,3.887780e-05,3.953564e-05,4.013349e-05,4.046084e-05,4.130279e-05,4.133691e-05,4.216523e-05,4.238880e-05,4.294726e-05,4.339489e-05,4.368453e-05,4.432472e-05,4.437871e-05,4.503153e-05,4.518223e-05,4.564457e-05,4.597106e-05,4.621935e-05,4.669474e-05,4.675743e-05,4.726029e-05,4.735677e-05,4.772941e-05,4.796050e-05,4.816624e-05,4.850924e-05,4.857217e-05,4.894857e-05,4.900615e-05,4.929676e-05,4.945423e-05,4.961798e-05,4.985637e-05,4.991347e-05,5.018442e-05,5.021534e-05,5.043197e-05,5.053377e-05,5.065723e-05,5.081417e-05,5.086125e-05,5.104505e-05,5.105891e-05,5.120961e-05,5.127026e-05,5.135587e-05,5.145036e-05,5.148474e-05,5.159707e-05,5.160123e-05,5.169370e-05,5.172480e-05,5.177542e-05,5.182287e-05,5.184300e-05,5.189715e-05,5.193858e-05,5.194925e-05,5.196794e-05,5.198071e-05,5.198589e-05,5.199295e-05,5.199303e-05,5.198995e-05,5.198733e-05,5.197719e-05,5.196512e-05,5.195530e-05,5.192754e-05,5.192479e-05,5.188613e-05,5.187570e-05,5.183980e-05,5.181067e-05,5.178623e-05,5.173345e-05,5.172586e-05,5.165908e-05,5.164499e-05,5.158627e-05,5.154616e-05,5.150782e-05,5.143780e-05,5.142406e-05,5.133533e-05,5.132070e-05,5.124196e-05,5.119557e-05,5.114423e-05,5.106312e-05,5.104245e-05,5.093690e-05,5.092399e-05,5.082782e-05,5.077878e-05,5.071548e-05,5.062806e-05,5.060010e-05,5.048193e-05,5.047236e-05,5.036117e-05,5.031219e-05,5.023803e-05,5.014800e-05,5.011270e-05,4.998538e-05,4.998025e-05,4.985624e-05,4.980934e-05,4.972545e-05,4.963564e-05,4.959316e-05,4.945953e-05,4.928134e-05,4.910138e-05,4.891994e-05,4.873729e-05,4.855370e-05,4.836940e-05,4.818461e-05,4.799953e-05,4.781437e-05,4.762929e-05,4.744446e-05,4.726004e-05,4.707618e-05,4.689299e-05,4.671061e-05,4.652914e-05,4.634869e-05,4.616937e-05,4.599124e-05,4.581440e-05,4.563892e-05,4.546487e-05,4.529231e-05,4.512129e-05
0.000000e+00,5.447187e-09,1.262487e-08,4.389085e-08,1.001661e-07,1.461858e-07,3.310768e-07,3.409937e-07,6.559971e-07,7.694935e-07,1.118825e-06,1.479043e-06,1.757247e-06,2.522871e-06,2.598189e-06,3.665197e-06,3.956914e-06,4.974087e-06,5.814308e-06,6.527180e-06,8.083475e-06,8.308220e-06,1.028188e-05,1.069562e-05,1.240030e-05,1.354229e-05,1.461336e-05,1.651268e-05,1.687658e-05,1.915408e-05,1.951785e-05,2.141816e-05,2.249374e-05,2.364768e-05,2.539539e-05,2.582644e-05,2.794210e-05,2.819127e-05,2.998530e-05,3.085949e-05,3.194913e-05,3.338549e-05,3.382871e-05,3.562084e-05,3.576037e-05,3.732374e-05,3.797974e-05,3.893679e-05,4.004270e-05,4.046031e-05,4.189541e-05,4.195100e-05,4.324377e-05,4.370835e-05,4.450755e-05,4.531987e-05,4.568924e-05,4.679160e-05,4.781753e-05,4.813018e-05,4.877006e-05,4.934257e-05,4.965226e-05,5.043585e-05,5.046719e-05,5.121794e-05,5.141706e-05,5.190751e-05,5.229311e-05,5.253884e-05,5.307072e-05,5.311483e-05,5.363826e-05,5.375636e-05,5.411182e-05,5.435620e-05,5.453811e-05,5.487614e-05,5.491965e-05,5.525883e-05,5.532178e-05,5.555795e-05,5.569841e-05,5.581924e-05,5.601101e-05,5.604478e-05,5.623660e-05,5.626429e-05,5.639662e-05,5.646267e-05,5.652666e-05,5.661028e-05,5.662847e-05,5.670371e-05,5.671103e-05,5.675396e-05,5.676854e-05,5.678072e-05,5.678623e-05,5.678542e-05,5.676941e-05,5.676727e-05,5.673398e-05,5.671465e-05,5.668036e-05,5.663114e-05,5.660970e-05,5.652310e-05,5.651932e-05,5.642160e-05,5.638161e-05,5.630619e-05,5.622025e-05,5.617781e-05,5.603735e-05,5.588564e-05,5.583485e-05,5.572348e-05,5.561457e-05,5.555163e-05,5.537819e-05,5.537079e-05,5.518165e-05,5.512729e-05,5.498483e-05,5.486332e-05,5.478095e-05,5.458763e-05,5.457058e-05,5.435424e-05,5.430149e-05,5.413246e-05,5.400606e-05,5.390570e-05,5.370241e-05,5.367444e-05,5.343908e-05,5.339156e-05,5.320005e-05,5.307443e-05,5.295772e-05,5.275187e-05,5.271245e-05,5.246458e-05,5.242470e-05,5.221442e-05,5.209363e-05,5.196229e-05,5.175935e-05,5.170847e-05,5.145321e-05,5.142250e-05,5.119678e-05,5.108364e-05,5.093941e-05,5.074331e-05,5.068131e-05,5.042271e-05,5.040201e-05,5.016380e-05,5.006019e-05,4.990475e-05,4.971826e-05,4.964575e-05,4.938695e-05,4.937661e-05,4.912851e-05,4.903559e-05,4.887057e-05,4.869552e-05,4.861326e-05,4.835670e-05,4.801940e-05,4.768385e-05,4.735030e-05,4.701893e-05,4.668993e-05,4.636347e-05,4.603970e-05,4.571875e-05,4.540075e-05,4.508579e-05,4.477399e-05,4.446541e-05,4.416014e-05,4.385824e-05,4.355976e-05,4.326476e-05,4.297326e-05,4.268529e-05,4.240090e-05,4.212009e-05,4.184287e-05,4.156926e-05,4.129926e-05,4.103287e-05
0.000000e+00,4.215080e-10,1.653613e-09,1.266649e-08,4.910799e-08,9.162884e-08,3.570417e-07,3.751705e-07,1.138008e-06,1.497884e-06,2.875309e-06,4.706544e-06,6.392218e-06,1.214222e-05,1.278850e-05,2.326770e-05,2.651557e-05,3.891778e-05,5.027109e-05,6.059780e-05,8.515255e-05,8.891557e-05,1.242464e-04,1.321726e-04,1.667640e-04,1.917205e-04,2.164718e-04,2.636846e-04,2.732304e-04,3.367815e-04,3.475573e-04,4.067680e-04,4.425216e-04,4.827527e-04,5.475239e-04,5.642341e-04,6.506619e-04,6.613382e-04,7.414508e-04,7.826235e-04,8.359935e-04,9.099768e-04,9.336728e-04,1.033872e-03,1.041979e-03,1.135985e-03,1.177234e-03,1.239424e-03,1.314402e-03,1.343624e-03,1.448053e-03,1.452228e-03,1.552212e-03,1.589554e-03,1.655641e-03,1.725337e-03,1.757916e-03,1.858655e-03,1.957517e-03,1.988706e-03,2.054200e-03,2.114810e-03,2.148440e-03,2.236401e-03,2.240010e-03,2.328719e-03,2.353023e-03,2.414409e-03,2.464318e-03,2.496951e-03,2.570024e-03,2.576246e-03,2.652222e-03,2.669957e-03,2.724829e-03,2.764006e-03,2.794039e-03,2.852125e-03,2.859842e-03,2.922248e-03,2.934323e-03,2.981278e-03,3.010652e-03,3.036971e-03,3.081208e-03,3.089374e-03,3.138545e-03,3.146116e-03,3.184549e-03,3.205528e-03,3.227462e-03,3.259618e-03,3.267361e-03,3.304331e-03,3.308575e-03,3.338461e-03,3.352601e-03,3.369840e-03,3.391906e-03,3.398562e-03,3.424720e-03,3.426705e-03,3.448410e-03,3.457217e-03,3.469728e-03,3.483661e-03,3.488768e-03,3.505626e-03,3.506256e-03,3.520394e-03,3.525217e-03,3.533165e-03,3.540755e-03,3.544029e-03,3.553077e-03,3.560394e-03,3.562384e-03,3.566066e-03,3.568871e-03,3.570176e-03,3.572727e-03,3.572804e-03,3.574029e-03,3.574131e-03,3.573926e-03,3.573258e-03,3.572569e-03,3.570273e-03,3.570028e-03,3.566372e-03,3.565336e-03,3.561667e-03,3.558598e-03,3.555976e-03,3.550202e-03,3.549361e-03,3.541880e-03,3.540285e-03,3.533591e-03,3.528978e-03,3.524546e-03,3.516403e-03,3.514798e-03,3.504397e-03,3.502675e-03,3.493390e-03,3.487905e-03,3.481822e-03,3.472194e-03,3.469738e-03,3.457178e-03,3.455641e-03,3.444183e-03,3.438336e-03,3.430789e-03,3.420366e-03,3.417033e-03,3.402949e-03,3.401809e-03,3.388570e-03,3.382742e-03,3.373926e-03,3.363234e-03,3.359046e-03,3.343959e-03,3.343352e-03,3.328692e-03,3.323156e-03,3.313268e-03,3.302703e-03,3.297712e-03,3.282046e-03,3.261234e-03,3.240313e-03,3.219325e-03,3.198309e-03,3.177300e-03,3.156333e-03,3.135437e-03,3.114640e-03,3.093968e-03,3.073443e-03,3.053087e-03,3.032919e-03,3.012956e-03,2.993214e-03,2.973707e-03,2.954447e-03,2.935444e-03,2.916709e-03,2.898250e-03,2.880074e-03,2.862187e-03,2.844595e-03,2.827302e-03,2.810310e-03
0.000000e+00,3.388022e-10,1.327499e-09,1.013959e-08,3.919296e-08,7.299316e-08,2.828641e-07,2.971538e-07,8.956542e-07,1.176778e-06,2.249062e-06,3.670133e-06,4.976628e-06,9.433991e-06,9.935414e-06,1.808085e-05,2.061061e-05,3.028818e-05,3.916580e-05,4.725183e-05,6.650835e-05,6.946221e-05,9.722067e-05,1.034529e-04,1.306665e-04,1.503122e-04,1.698046e-04,2.070052e-04,2.145296e-04,2.646463e-04,2.731483e-04,3.198861e-04,3.481266e-04,3.799211e-04,4.311508e-04,4.443761e-04,5.128394e-04,5.213038e-04,5.848729e-04,6.175815e-04,6.600204e-04,7.189292e-04,7.378170e-04,8.177956e-04,8.242742e-04,8.994945e-04,9.325543e-04,9.824631e-04,1.042742e-03,1.066267e-03,1.150493e-03,1.153865e-03,1.234750e-03,1.265020e-03,1.318676e-03,1.375385e-03,1.401936e-03,1.484224e-03,1.565263e-03,1.590891e-03,1.644807e-03,1.694829e-03,1.722638e-03,1.795568e-03,1.798566e-03,1.872429e-03,1.892722e-03,1.944090e-03,1.985982e-03,2.013436e-03,2.075110e-03,2.080375e-03,2.144838e-03,2.159934e-03,2.206773e-03,2.240340e-03,2.266148e-03,2.316264e-03,2.322943e-03,2.377155e-03,2.387687e-03,2.428791e-03,2.454630e-03,2.477872e-03,2.517145e-03,2.524425e-03,2.568489e-03,2.575311e-03,2.610106e-03,2.629228e-03,2.649327e-03,2.679014e-03,2.686205e-03,2.720800e-03,2.724801e-03,2.753173e-03,2.766729e-03,2.783387e-03,2.804947e-03,2.811509e-03,2.837607e-03,2.839610e-03,2.861748e-03,2.870872e-03,2.884001e-03,2.898893e-03,2.904435e-03,2.923117e-03,2.923829e-03,2.940116e-03,2.945837e-03,2.955499e-03,2.965071e-03,2.969333e-03,2.981682e-03,2.992610e-03,2.995817e-03,3.002180e-03,3.007620e-03,3.010453e-03,3.017229e-03,3.017488e-03,3.023343e-03,3.024779e-03,3.028075e-03,3.030398e-03,3.031738e-03,3.034210e-03,3.034386e-03,3.036069e-03,3.036335e-03,3.036838e-03,3.036887e-03,3.036740e-03,3.035974e-03,3.035822e-03,3.034128e-03,3.033700e-03,3.031701e-03,3.030163e-03,3.028583e-03,3.025459e-03,3.024814e-03,3.020432e-03,3.019677e-03,3.015474e-03,3.012900e-03,3.009975e-03,3.005210e-03,3.003970e-03,2.997491e-03,2.996683e-03,2.990568e-03,2.987390e-03,2.983233e-03,2.977400e-03,2.975514e-03,2.967438e-03,2.966778e-03,2.959032e-03,2.955582e-03,2.950320e-03,2.943871e-03,2.941326e-03,2.932074e-03,2.931699e-03,2.922585e-03,2.919115e-03,2.912879e-03,2.906166e-03,2.902978e-03,2.892899e-03,2.879353e-03,2.865568e-03,2.851582e-03,2.837427e-03,2.823135e-03,2.808737e-03,2.794260e-03,2.779730e-03,2.765171e-03,2.750604e-03,2.736050e-03,2.721529e-03,2.707058e-03,2.692652e-03,2.678327e-03,2.664097e-03,2.649973e-03,2.635967e-03,2.622090e-03,2.608350e-03,2.594757e-03,2.581317e-03,2.568038e-03,2.554926e-03
0.000000e+00,2.555044e-11,9.740974e-11,7.007846e-10,2.551486e-09,4.585474e-09,1.601703e-08,1.674843e-08,4.458958e-08,5.642745e-08,9.747874e-08,1.457754e-07,1.864883e-07,3.110865e-07,3.242163e-07,5.243450e-07,5.831903e-07,8.003434e-07,9.923354e-07,1.163291e-06,1.560059e-06,1.619896e-06,2.171772e-06,2.293387e-06,2.815942e-06,3.185348e-06,3.545959e-06,4.219172e-06,4.353091e-06,5.227275e-06,5.372657e-06,6.157812e-06,6.621288e-06,7.133814e-06,7.940087e-06,8.144484e-06,9.179286e-06,9.304597e-06,1.022806e-05,1.069144e-05,1.128112e-05,1.207867e-05,1.232933e-05,1.336415e-05,1.344612e-05,1.437777e-05,1.477567e-05,1.536312e-05,1.605153e-05,1.631397e-05,1.722493e-05,1.726047e-05,1.809150e-05,1.839188e-05,1.891008e-05,1.943786e-05,1.967791e-05,2.039306e-05,2.105440e-05,2.125458e-05,2.166151e-05,2.202169e-05,2.221463e-05,2.269556e-05,2.271455e-05,2.316256e-05,2.327892e-05,2.356034e-05,2.377574e-05,2.390993e-05,2.419093e-05,2.421359e-05,2.447377e-05,2.453003e-05,2.469307e-05,2.479900e-05,2.487412e-05,2.500393e-05,2.501960e-05,2.513214e-05,2.515093e-05,2.521436e-05,2.524596e-05,2.526876e-05,2.529473e-05,2.529776e-05,2.530366e-05,2.530261e-05,2.528866e-05,2.527463e-05,2.525478e-05,2.521539e-05,2.520396e-05,2.513796e-05,2.512910e-05,2.505843e-05,2.501955e-05,2.496689e-05,2.489015e-05,2.486473e-05,2.475322e-05,2.474394e-05,2.463353e-05,2.458360e-05,2.450671e-05,2.441152e-05,2.437371e-05,2.423541e-05,2.422978e-05,2.409260e-05,2.404021e-05,2.394596e-05,2.384440e-05,2.379615e-05,2.364373e-05,2.348921e-05,2.343940e-05,2.333306e-05,2.323246e-05,2.317569e-05,2.302380e-05,2.301746e-05,2.285870e-05,2.281420e-05,2.269971e-05,2.260432e-05,2.254075e-05,2.239473e-05,2.238205e-05,2.222382e-05,2.218593e-05,2.206624e-05,2.197834e-05,2.190947e-05,2.177231e-05,2.175366e-05,2.159895e-05,2.156814e-05,2.144543e-05,2.136611e-05,2.129321e-05,2.116642e-05,2.114238e-05,2.099301e-05,2.096925e-05,2.084517e-05,2.077477e-05,2.069892e-05,2.058310e-05,2.055431e-05,2.041137e-05,2.039434e-05,2.027015e-05,2.020856e-05,2.013067e-05,2.002585e-05,1.999296e-05,1.985704e-05,1.984625e-05,1.972292e-05,1.966978e-05,1.959062e-05,1.949649e-05,1.946014e-05,1.933149e-05,1.932638e-05,1.920467e-05,1.915946e-05,1.907967e-05,1.899572e-05,1.895651e-05,1.883516e-05,1.867776e-05,1.852350e-05,1.837235e-05,1.822428e-05,1.807927e-05,1.793727e-05,1.779824e-05,1.766215e-05,1.752896e-05,1.739861e-05,1.727106e-05,1.714627e-05,1.702418e-05,1.690476e-05,1.678795e-05,1.667369e-05,1.656196e-05,1.645268e-05,1.634582e-05,1.624132e-05,1.613914e-05,1.603923e-05,1.594154e-05,1.584602e-05
0.000000e+00,8.168061e-11,3.192435e-10,2.418833e-09,9.235788e-09,1.704035e-08,6.374242e-08,6.684049e-08,1.906570e-07,2.458779e-07,4.455357e-07,6.926328e-07,9.087410e-07,1.602781e-06,1.678228e-06,2.867884e-06,3.229203e-06,4.596681e-06,5.842828e-06,6.977374e-06,9.690908e-06,1.010930e-05,1.407500e-05,1.497419e-05,1.893895e-05,2.183921e-05,2.474722e-05,3.037677e-05,3.152757e-05,3.928976e-05,4.062255e-05,4.802607e-05,5.255896e-05,5.771212e-05,6.611838e-05,6.830791e-05,7.975926e-05,8.118787e-05,9.199949e-05,9.761551e-05,1.049513e-04,1.152180e-04,1.185288e-04,1.326398e-04,1.337889e-04,1.471880e-04,1.531076e-04,1.620748e-04,1.729477e-04,1.772017e-04,1.924718e-04,1.930843e-04,2.077913e-04,2.133011e-04,2.230712e-04,2.333959e-04,2.382277e-04,2.531839e-04,2.678697e-04,2.725015e-04,2.822221e-04,2.912069e-04,2.961860e-04,3.091813e-04,3.097135e-04,3.227643e-04,3.263284e-04,3.353051e-04,3.425734e-04,3.473092e-04,3.578615e-04,3.587564e-04,3.696320e-04,3.721560e-04,3.799271e-04,3.854368e-04,3.896371e-04,3.976978e-04,3.987620e-04,4.073055e-04,4.089450e-04,4.152747e-04,4.191948e-04,4.226793e-04,4.284718e-04,4.295317e-04,4.358461e-04,4.368075e-04,4.416384e-04,4.442382e-04,4.469257e-04,4.508043e-04,4.517264e-04,4.560593e-04,4.565488e-04,4.599439e-04,4.615162e-04,4.633999e-04,4.657520e-04,4.664472e-04,4.691054e-04,4.693018e-04,4.713943e-04,4.722107e-04,4.733330e-04,4.745228e-04,4.749406e-04,4.762356e-04,4.762811e-04,4.772358e-04,4.775270e-04,4.779586e-04,4.783002e-04,4.784208e-04,4.786386e-04,4.786274e-04,4.785780e-04,4.784022e-04,4.781523e-04,4.779771e-04,4.773935e-04,4.773656e-04,4.765807e-04,4.763315e-04,4.756346e-04,4.749945e-04,4.745390e-04,4.734084e-04,4.733049e-04,4.719427e-04,4.715978e-04,4.704623e-04,4.695852e-04,4.688732e-04,4.673917e-04,4.671840e-04,4.654031e-04,4.650366e-04,4.635384e-04,4.625380e-04,4.615971e-04,4.599124e-04,4.595863e-04,4.575124e-04,4.571751e-04,4.553816e-04,4.543403e-04,4.531996e-04,4.514208e-04,4.509718e-04,4.487032e-04,4.484285e-04,4.463986e-04,4.453743e-04,4.440624e-04,4.422683e-04,4.416987e-04,4.393114e-04,4.391195e-04,4.369041e-04,4.359363e-04,4.344801e-04,4.327264e-04,4.320427e-04,4.295948e-04,4.294967e-04,4.271390e-04,4.262535e-04,4.246779e-04,4.230026e-04,4.222140e-04,4.197493e-04,4.164983e-04,4.132539e-04,4.100201e-04,4.068002e-04,4.035976e-04,4.004150e-04,3.972550e-04,3.941199e-04,3.910117e-04,3.879322e-04,3.848830e-04,3.818656e-04,3.788811e-04,3.759305e-04,3.730148e-04,3.701349e-04,3.672912e-04,3.644844e-04,3.617148e-04,3.589829e-04,3.562889e-04,3.536330e-04,3.510152e-04,3.484355e-04
0.000000e+00,1.314163e-09,3.013488e-09,1.039318e-08,2.371427e-08,3.466012e-08,7.908875e-08,8.149098e-08,1.587248e-07,1.869685e-07,2.751752e-07,3.680021e-07,4.408797e-07,6.459950e-07,6.664812e-07,9.608222e-07,1.042213e-06,1.327143e-06,1.562467e-06,1.761444e-06,2.193183e-06,2.255279e-06,2.799606e-06,2.913815e-06,3.386585e-06,3.706465e-06,4.009700e-06,4.556931e-06,4.663357e-06,5.342518e-06,5.453233e-06,6.042483e-06,6.384536e-06,6.758785e-06,7.340722e-06,7.487168e-06,8.223608e-06,8.312340e-06,8.964335e-06,9.290707e-06,9.705876e-06,1.026804e-05,1.044507e-05,1.117909e-05,1.123751e-05,1.190545e-05,1.219335e-05,1.262198e-05,1.313073e-05,1.332681e-05,1.401840e-05,1.404577e-05,1.469547e-05,1.493544e-05,1.535695e-05,1.579742e-05,1.600201e-05,1.663002e-05,1.724050e-05,1.743210e-05,1.783315e-05,1.820298e-05,1.840775e-05,1.894231e-05,1.896422e-05,1.950255e-05,1.965005e-05,2.002284e-05,2.032640e-05,2.052521e-05,2.097174e-05,2.100987e-05,2.147705e-05,2.158660e-05,2.192702e-05,2.217161e-05,2.236010e-05,2.272750e-05,2.277662e-05,2.317690e-05,2.325504e-05,2.356132e-05,2.375506e-05,2.393022e-05,2.422839e-05,2.428399e-05,2.462301e-05,2.467590e-05,2.494764e-05,2.509847e-05,2.525828e-05,2.549697e-05,2.555531e-05,2.583909e-05,2.587227e-05,2.611001e-05,2.622524e-05,2.636844e-05,2.655672e-05,2.661474e-05,2.684928e-05,2.686755e-05,2.707241e-05,2.715855e-05,2.728448e-05,2.743052e-05,2.748584e-05,2.767683e-05,2.768425e-05,2.785776e-05,2.792050e-05,2.802898e-05,2.814001e-05,2.819079e-05,2.834350e-05,2.848742e-05,2.853166e-05,2.862284e-05,2.870518e-05,2.875004e-05,2.886470e-05,2.886932e-05,2.898094e-05,2.901085e-05,2.908516e-05,2.914426e-05,2.918226e-05,2.926550e-05,2.927247e-05,2.935605e-05,2.937515e-05,2.943324e-05,2.947375e-05,2.950426e-05,2.956184e-05,2.956934e-05,2.962871e-05,2.963991e-05,2.968256e-05,2.970846e-05,2.973112e-05,2.976796e-05,2.977458e-05,2.981314e-05,2.981886e-05,2.984697e-05,2.986160e-05,2.987628e-05,2.989658e-05,2.990123e-05,2.992199e-05,2.992421e-05,2.993874e-05,2.994488e-05,2.995163e-05,2.995895e-05,2.996083e-05,2.996647e-05,2.996677e-05,2.996872e-05,2.996869e-05,2.996770e-05,2.996503e-05,2.996356e-05,2.995644e-05,2.995609e-05,2.994645e-05,2.994218e-05,2.993373e-05,2.992357e-05,2.991839e-05,2.990055e-05,2.987337e-05,2.984228e-05,2.980751e-05,2.976931e-05,2.972787e-05,2.968342e-05,2.963614e-05,2.958623e-05,2.953386e-05,2.947922e-05,2.942246e-05,2.936374e-05,2.930320e-05,2.924100e-05,2.917726e-05,2.911212e-05,2.904570e-05,2.897810e-05,2.890946e-05,2.883986e-05,2.876941e-05,2.869820e-05,2.862633e-05,2.855388e-05
0.000000e+00,9.582804e-12,3.717543e-11,2.771774e-10,1.041956e-09,1.905101e-09,6.946834e-09,7.276369e-09,2.015472e-08,2.576452e-08,4.558396e-08,6.937309e-08,8.968018e-08,1.526859e-07,1.593776e-07,2.621622e-07,2.926149e-07,4.058036e-07,5.069940e-07,5.980708e-07,8.134116e-07,8.464030e-07,1.157525e-06,1.227803e-06,1.537057e-06,1.762903e-06,1.989189e-06,2.427023e-06,2.516502e-06,3.119906e-06,3.223485e-06,3.798682e-06,4.150666e-06,4.550599e-06,5.202416e-06,5.372056e-06,6.258255e-06,6.368682e-06,7.203378e-06,7.636212e-06,8.200777e-06,8.989292e-06,9.243156e-06,1.032276e-05,1.041050e-05,1.143155e-05,1.188141e-05,1.256137e-05,1.338331e-05,1.370413e-05,1.485191e-05,1.489782e-05,1.599713e-05,1.640739e-05,1.713264e-05,1.789582e-05,1.825179e-05,1.934854e-05,2.041748e-05,2.075287e-05,2.145387e-05,2.209817e-05,2.245364e-05,2.337582e-05,2.341341e-05,2.433044e-05,2.457924e-05,2.520262e-05,2.570376e-05,2.602846e-05,2.674645e-05,2.680698e-05,2.753772e-05,2.770598e-05,2.822067e-05,2.858237e-05,2.885620e-05,2.937682e-05,2.944505e-05,2.998822e-05,3.009148e-05,3.048697e-05,3.072924e-05,3.094275e-05,3.129359e-05,3.135719e-05,3.173200e-05,3.178841e-05,3.206900e-05,3.221788e-05,3.237005e-05,3.258628e-05,3.263705e-05,3.287188e-05,3.289799e-05,3.307642e-05,3.315730e-05,3.325252e-05,3.336844e-05,3.340197e-05,3.352651e-05,3.353544e-05,3.362781e-05,3.366219e-05,3.370749e-05,3.375233e-05,3.376707e-05,3.380801e-05,3.380928e-05,3.383170e-05,3.383625e-05,3.383942e-05,3.383618e-05,3.383240e-05,3.381179e-05,3.377866e-05,3.376558e-05,3.373402e-05,3.369985e-05,3.367881e-05,3.361666e-05,3.361389e-05,3.354008e-05,3.351792e-05,3.345813e-05,3.340535e-05,3.336874e-05,3.328050e-05,3.327257e-05,3.317020e-05,3.314478e-05,3.306221e-05,3.299947e-05,3.294910e-05,3.284571e-05,3.283135e-05,3.270940e-05,3.268454e-05,3.258366e-05,3.251691e-05,3.245451e-05,3.234364e-05,3.232230e-05,3.218734e-05,3.216551e-05,3.204994e-05,3.198321e-05,3.191038e-05,3.179734e-05,3.176891e-05,3.162576e-05,3.160848e-05,3.148116e-05,3.141713e-05,3.133531e-05,3.122374e-05,3.118839e-05,3.104058e-05,3.102873e-05,3.089205e-05,3.083246e-05,3.074293e-05,3.063529e-05,3.059338e-05,3.044351e-05,3.043751e-05,3.029345e-05,3.023940e-05,3.014330e-05,3.004121e-05,2.999318e-05,2.984317e-05,2.964548e-05,2.944832e-05,2.925188e-05,2.905629e-05,2.886169e-05,2.866822e-05,2.847598e-05,2.828507e-05,2.809558e-05,2.790760e-05,2.772120e-05,2.753644e-05,2.735338e-05,2.717207e-05,2.699256e-05,2.681489e-05,2.663908e-05,2.646518e-05,2.629320e-05,2.612317e-05,2.595511e-05,2.578902e-05,2.562492e-05,2.546281e-05
0.000000e+00,1.086227e-08,2.494694e-08,8.614364e-08,1.967367e-07,2.877823e-07,6.592676e-07,6.794461e-07,1.333171e-06,1.574512e-06,2.335141e-06,3.145134e-06,3.786390e-06,5.606977e-06,5.789537e-06,8.411885e-06,9.134029e-06,1.164192e-05,1.368473e-05,1.539037e-05,1.902390e-05,1.953919e-05,2.398275e-05,2.489919e-05,2.863848e-05,3.112156e-05,3.344251e-05,3.755441e-05,3.834310e-05,4.329601e-05,4.409066e-05,4.826202e-05,5.063983e-05,5.320574e-05,5.712312e-05,5.809528e-05,6.290221e-05,6.347228e-05,6.760164e-05,6.962971e-05,7.217224e-05,7.554866e-05,7.659622e-05,8.085915e-05,8.119287e-05,8.494985e-05,8.653597e-05,8.886012e-05,9.156066e-05,9.258456e-05,9.611995e-05,9.625740e-05,9.946474e-05,1.006223e-04,1.026195e-04,1.046570e-04,1.055860e-04,1.083673e-04,1.109674e-04,1.117619e-04,1.133909e-04,1.148518e-04,1.156432e-04,1.176494e-04,1.177298e-04,1.196567e-04,1.201684e-04,1.214300e-04,1.224229e-04,1.230560e-04,1.244272e-04,1.245409e-04,1.258911e-04,1.261958e-04,1.271127e-04,1.277430e-04,1.282119e-04,1.290826e-04,1.291946e-04,1.300667e-04,1.302284e-04,1.308339e-04,1.311932e-04,1.315016e-04,1.319896e-04,1.320752e-04,1.325599e-04,1.326296e-04,1.329606e-04,1.331245e-04,1.332821e-04,1.334853e-04,1.335289e-04,1.337055e-04,1.337222e-04,1.338161e-04,1.338449e-04,1.338647e-04,1.338625e-04,1.338551e-04,1.337911e-04,1.337837e-04,1.336762e-04,1.336167e-04,1.335137e-04,1.333690e-04,1.333068e-04,1.330587e-04,1.330479e-04,1.327721e-04,1.326600e-04,1.324498e-04,1.322117e-04,1.320946e-04,1.317088e-04,1.312948e-04,1.311568e-04,1.308550e-04,1.305609e-04,1.303913e-04,1.299257e-04,1.299059e-04,1.294006e-04,1.292559e-04,1.288773e-04,1.285554e-04,1.283377e-04,1.278282e-04,1.277834e-04,1.272158e-04,1.270778e-04,1.266366e-04,1.263076e-04,1.260469e-04,1.255205e-04,1.254482e-04,1.248416e-04,1.247194e-04,1.242282e-04,1.239070e-04,1.236092e-04,1.230855e-04,1.229855e-04,1.223580e-04,1.222573e-04,1.217277e-04,1.214244e-04,1.210954e-04,1.205887e-04,1.204619e-04,1.198278e-04,1.197518e-04,1.191940e-04,1.189153e-04,1.185609e-04,1.180807e-04,1.179292e-04,1.172995e-04,1.172492e-04,1.166722e-04,1.164221e-04,1.160478e-04,1.156004e-04,1.154269e-04,1.148096e-04,1.147850e-04,1.141966e-04,1.139769e-04,1.135880e-04,1.131769e-04,1.129842e-04,1.123855e-04,1.116035e-04,1.108314e-04,1.100696e-04,1.093187e-04,1.085789e-04,1.078505e-04,1.071339e-04,1.064292e-04,1.057366e-04,1.050563e-04,1.043883e-04,1.037327e-04,1.030897e-04,1.024590e-04,1.018409e-04,1.012352e-04,1.006419e-04,1.000609e-04,9.949214e-05,9.893551e-05,9.839089e-05,9.785816e-05,9.733718e-05,9.682780e-05
0.000000e+00,1.216816e-09,2.787335e-09,9.571331e-09,2.170915e-08,3.159929e-08,7.111321e-08,7.322389e-08,1.398698e-07,1.637089e-07,2.365813e-07,3.110325e-07,3.681257e-07,5.238079e-07,5.390300e-07,7.534374e-07,8.117607e-07,1.014619e-06,1.182004e-06,1.324201e-06,1.636336e-06,1.681705e-06,2.084926e-06,2.170790e-06,2.530758e-06,2.778307e-06,3.015803e-06,3.450997e-06,3.536577e-06,4.089533e-06,4.180750e-06,4.671027e-06,4.959180e-06,5.277296e-06,5.777549e-06,5.904467e-06,6.548595e-06,6.626841e-06,7.205708e-06,7.497934e-06,7.871866e-06,8.381824e-06,8.543223e-06,9.216080e-06,9.269867e-06,9.886937e-06,1.015398e-05,1.055254e-05,1.102682e-05,1.120989e-05,1.185630e-05,1.188190e-05,1.248940e-05,1.271364e-05,1.310710e-05,1.351743e-05,1.370764e-05,1.428955e-05,1.485162e-05,1.502713e-05,1.539294e-05,1.572816e-05,1.591282e-05,1.639131e-05,1.641081e-05,1.688663e-05,1.701588e-05,1.734021e-05,1.760170e-05,1.777161e-05,1.814908e-05,1.818103e-05,1.856879e-05,1.865867e-05,1.893527e-05,1.913140e-05,1.928098e-05,1.956845e-05,1.960646e-05,1.991230e-05,1.997116e-05,2.019913e-05,2.034098e-05,2.046761e-05,2.067944e-05,2.071841e-05,2.095223e-05,2.098811e-05,2.116975e-05,2.126857e-05,2.137166e-05,2.152240e-05,2.155863e-05,2.173134e-05,2.175114e-05,2.189045e-05,2.195632e-05,2.203660e-05,2.213939e-05,2.217041e-05,2.229248e-05,2.230176e-05,2.240340e-05,2.244477e-05,2.250372e-05,2.256970e-05,2.259399e-05,2.267472e-05,2.267776e-05,2.274641e-05,2.277010e-05,2.280955e-05,2.284782e-05,2.286458e-05,2.291194e-05,2.295205e-05,2.296342e-05,2.298530e-05,2.300316e-05,2.301208e-05,2.303203e-05,2.303274e-05,2.304762e-05,2.305080e-05,2.305706e-05,2.306024e-05,2.306136e-05,2.306104e-05,2.306082e-05,2.305572e-05,2.305385e-05,2.304632e-05,2.303928e-05,2.303289e-05,2.301791e-05,2.301565e-05,2.299484e-05,2.299027e-05,2.297067e-05,2.295685e-05,2.294336e-05,2.291812e-05,2.291309e-05,2.288005e-05,2.287452e-05,2.284442e-05,2.282645e-05,2.280636e-05,2.277428e-05,2.276604e-05,2.272360e-05,2.271837e-05,2.267919e-05,2.265905e-05,2.263293e-05,2.259663e-05,2.258497e-05,2.253541e-05,2.253138e-05,2.248438e-05,2.246358e-05,2.243199e-05,2.239347e-05,2.237833e-05,2.232351e-05,2.232129e-05,2.226762e-05,2.224725e-05,2.221075e-05,2.217156e-05,2.215298e-05,2.209439e-05,2.201593e-05,2.193633e-05,2.185575e-05,2.177433e-05,2.169220e-05,2.160948e-05,2.152628e-05,2.144272e-05,2.135888e-05,2.127487e-05,2.119076e-05,2.110663e-05,2.102256e-05,2.093861e-05,2.085485e-05,2.077133e-05,2.068811e-05,2.060524e-05,2.052275e-05,2.044071e-05,2.035914e-05,2.027807e-05,2.019755e-05,2.011760e-05
0.000000e+00,5.439597e-11,2.135072e-10,1.632247e-09,6.284827e-09,1.165042e-08,4.413145e-08,4.630067e-08,1.338240e-07,1.732294e-07,3.169582e-07,4.968459e-07,6.555869e-07,1.172564e-06,1.229354e-06,2.138324e-06,2.419034e-06,3.498551e-06,4.502989e-06,5.432124e-06,7.701074e-06,8.055958e-06,1.147346e-05,1.226006e-05,1.576994e-05,1.837399e-05,2.101074e-05,2.617637e-05,2.724098e-05,3.448613e-05,3.574025e-05,4.275304e-05,4.708160e-05,5.203111e-05,6.016421e-05,6.229371e-05,7.349957e-05,7.490521e-05,8.559442e-05,9.118125e-05,9.851263e-05,1.088351e-04,1.121789e-04,1.265102e-04,1.276828e-04,1.414173e-04,1.475206e-04,1.568069e-04,1.681323e-04,1.725830e-04,1.886489e-04,1.892962e-04,2.049082e-04,2.107907e-04,2.212668e-04,2.324008e-04,2.376337e-04,2.539218e-04,2.700495e-04,2.751638e-04,2.859405e-04,2.959539e-04,3.015248e-04,3.161384e-04,3.167392e-04,3.315268e-04,3.355839e-04,3.458379e-04,3.541775e-04,3.596292e-04,3.718269e-04,3.728645e-04,3.855135e-04,3.884592e-04,3.975523e-04,4.040205e-04,4.089628e-04,4.184740e-04,4.197322e-04,4.298528e-04,4.317987e-04,4.393213e-04,4.439875e-04,4.481390e-04,4.550461e-04,4.563104e-04,4.638438e-04,4.649907e-04,4.707503e-04,4.738466e-04,4.770435e-04,4.816470e-04,4.827392e-04,4.878551e-04,4.884309e-04,4.924104e-04,4.942424e-04,4.964257e-04,4.991292e-04,4.999222e-04,5.029223e-04,5.031415e-04,5.054485e-04,5.063314e-04,5.075238e-04,5.087518e-04,5.091712e-04,5.104138e-04,5.104555e-04,5.112745e-04,5.114951e-04,5.117756e-04,5.119224e-04,5.119395e-04,5.117877e-04,5.113413e-04,5.111396e-04,5.106208e-04,5.100249e-04,5.096459e-04,5.084885e-04,5.084358e-04,5.070087e-04,5.065727e-04,5.053823e-04,5.043178e-04,5.035734e-04,5.017618e-04,5.015980e-04,4.994713e-04,4.989400e-04,4.972079e-04,4.958858e-04,4.948214e-04,4.926299e-04,4.923249e-04,4.897305e-04,4.892010e-04,4.870499e-04,4.856255e-04,4.842938e-04,4.819278e-04,4.814724e-04,4.785953e-04,4.781304e-04,4.756714e-04,4.742537e-04,4.727089e-04,4.703164e-04,4.697156e-04,4.666987e-04,4.663354e-04,4.636649e-04,4.623262e-04,4.606203e-04,4.583027e-04,4.575706e-04,4.545211e-04,4.542773e-04,4.514766e-04,4.502612e-04,4.484415e-04,4.462644e-04,4.454199e-04,4.424155e-04,4.422957e-04,4.394317e-04,4.383631e-04,4.364714e-04,4.344734e-04,4.335376e-04,4.306325e-04,4.268458e-04,4.231176e-04,4.194519e-04,4.158517e-04,4.123198e-04,4.088583e-04,4.054690e-04,4.021530e-04,3.989113e-04,3.957446e-04,3.926532e-04,3.896370e-04,3.866959e-04,3.838296e-04,3.810375e-04,3.783188e-04,3.756727e-04,3.730983e-04,3.705944e-04,3.681599e-04,3.657935e-04,3.634940e-04,3.612599e-04,3.590900e-04
0.000000e+00,1.335390e-10,5.249437e-10,4.025282e-09,1.553729e-08,2.883595e-08,1.094683e-07,1.148555e-07,3.320776e-07,4.297251e-07,7.849274e-07,1.227398e-06,1.616075e-06,2.872309e-06,3.009553e-06,5.192024e-06,5.862041e-06,8.429203e-06,1.081136e-05,1.301415e-05,1.840332e-05,1.924828e-05,2.742091e-05,2.931165e-05,3.779290e-05,4.413092e-05,5.058613e-05,6.333458e-05,6.597779e-05,8.409805e-05,8.725671e-05,1.050299e-04,1.160885e-04,1.288105e-04,1.498829e-04,1.554331e-04,1.848508e-04,1.885652e-04,2.169794e-04,2.319458e-04,2.517019e-04,2.797370e-04,2.888725e-04,3.283215e-04,3.315703e-04,3.698596e-04,3.870144e-04,4.132824e-04,4.455933e-04,4.583747e-04,5.049147e-04,5.068032e-04,5.526773e-04,5.701279e-04,6.014381e-04,6.350523e-04,6.509755e-04,7.010739e-04,7.515255e-04,7.677120e-04,8.021322e-04,8.345148e-04,8.527065e-04,9.010645e-04,9.030731e-04,9.530689e-04,9.669805e-04,1.002544e-03,1.031922e-03,1.051362e-03,1.095587e-03,1.099399e-03,1.146544e-03,1.157715e-03,1.192699e-03,1.218081e-03,1.237779e-03,1.276499e-03,1.281708e-03,1.324423e-03,1.332816e-03,1.365872e-03,1.386910e-03,1.406010e-03,1.438689e-03,1.444804e-03,1.482228e-03,1.488087e-03,1.518263e-03,1.535062e-03,1.552897e-03,1.579592e-03,1.586125e-03,1.617949e-03,1.621674e-03,1.648374e-03,1.661320e-03,1.677410e-03,1.698557e-03,1.705071e-03,1.731377e-03,1.733423e-03,1.756347e-03,1.765966e-03,1.780006e-03,1.796243e-03,1.802380e-03,1.823497e-03,1.824316e-03,1.843387e-03,1.850253e-03,1.862081e-03,1.874126e-03,1.879611e-03,1.896011e-03,1.911315e-03,1.915986e-03,1.925556e-03,1.934128e-03,1.938768e-03,1.950517e-03,1.950987e-03,1.962246e-03,1.965232e-03,1.972581e-03,1.978352e-03,1.982025e-03,1.989955e-03,1.990611e-03,1.998373e-03,2.000117e-03,2.005343e-03,2.008913e-03,2.011554e-03,2.016417e-03,2.017037e-03,2.021823e-03,2.022699e-03,2.025941e-03,2.027829e-03,2.029422e-03,2.031874e-03,2.032293e-03,2.034583e-03,2.034897e-03,2.036318e-03,2.036962e-03,2.037525e-03,2.038127e-03,2.038229e-03,2.038455e-03,2.038451e-03,2.038225e-03,2.037986e-03,2.037565e-03,2.036788e-03,2.036495e-03,2.035037e-03,2.034904e-03,2.033212e-03,2.032383e-03,2.031039e-03,2.029271e-03,2.028539e-03,2.025729e-03,2.025610e-03,2.022627e-03,2.021443e-03,2.019251e-03,2.016807e-03,2.015617e-03,2.011740e-03,2.006277e-03,2.000452e-03,1.994295e-03,1.987836e-03,1.981104e-03,1.974125e-03,1.966923e-03,1.959523e-03,1.951946e-03,1.944213e-03,1.936343e-03,1.928356e-03,1.920267e-03,1.912094e-03,1.903851e-03,1.895553e-03,1.887211e-03,1.878840e-03,1.870450e-03,1.862051e-03,1.853655e-03,1.845269e-03,1.836903e-03,1.828564e-03
0.000000e+00,4.091580e-11,1.589393e-10,1.188922e-09,4.486583e-09,8.224481e-09,3.025495e-08,3.170392e-08,8.895968e-08,1.142213e-07,2.047274e-07,3.155480e-07,4.117469e-07,7.177709e-07,7.508390e-07,1.268816e-06,1.425112e-06,2.013325e-06,2.545383e-06,3.026852e-06,4.168003e-06,4.342723e-06,5.983657e-06,6.352108e-06,7.961953e-06,9.125267e-06,1.028041e-05,1.248693e-05,1.293346e-05,1.590831e-05,1.641296e-05,1.918599e-05,2.085992e-05,2.274234e-05,2.576908e-05,2.654894e-05,3.057405e-05,3.107014e-05,3.478349e-05,3.668487e-05,3.914154e-05,4.253062e-05,4.361175e-05,4.815775e-05,4.852363e-05,5.274399e-05,5.458204e-05,5.733632e-05,6.062843e-05,6.190259e-05,6.641303e-05,6.659189e-05,7.084058e-05,7.240947e-05,7.516112e-05,7.802709e-05,7.935359e-05,8.339998e-05,8.728536e-05,8.849263e-05,9.099768e-05,9.327838e-05,9.452772e-05,9.773888e-05,9.786884e-05,1.010168e-04,1.018632e-04,1.039694e-04,1.056470e-04,1.067264e-04,1.090914e-04,1.092893e-04,1.116609e-04,1.122020e-04,1.138452e-04,1.149885e-04,1.158474e-04,1.174631e-04,1.176731e-04,1.193290e-04,1.196404e-04,1.208219e-04,1.215363e-04,1.221593e-04,1.231678e-04,1.233485e-04,1.243972e-04,1.245524e-04,1.253130e-04,1.257076e-04,1.261036e-04,1.266508e-04,1.267763e-04,1.273386e-04,1.273989e-04,1.277974e-04,1.279683e-04,1.281597e-04,1.283746e-04,1.284321e-04,1.286209e-04,1.286326e-04,1.287321e-04,1.287562e-04,1.287716e-04,1.287586e-04,1.287447e-04,1.286566e-04,1.286519e-04,1.285122e-04,1.284474e-04,1.283162e-04,1.281555e-04,1.280727e-04,1.277859e-04,1.274596e-04,1.273474e-04,1.270973e-04,1.268481e-04,1.267024e-04,1.262954e-04,1.262779e-04,1.258268e-04,1.256961e-04,1.253518e-04,1.250563e-04,1.248552e-04,1.243815e-04,1.243396e-04,1.238070e-04,1.236769e-04,1.232595e-04,1.229471e-04,1.226989e-04,1.221962e-04,1.221270e-04,1.215453e-04,1.214279e-04,1.209553e-04,1.206457e-04,1.203584e-04,1.198525e-04,1.197558e-04,1.191488e-04,1.190513e-04,1.185383e-04,1.182443e-04,1.179254e-04,1.174339e-04,1.173109e-04,1.166958e-04,1.166220e-04,1.160808e-04,1.158104e-04,1.154665e-04,1.150006e-04,1.148537e-04,1.142429e-04,1.141941e-04,1.136346e-04,1.133921e-04,1.130294e-04,1.125957e-04,1.124276e-04,1.118298e-04,1.118060e-04,1.112362e-04,1.110236e-04,1.106472e-04,1.102495e-04,1.100631e-04,1.094842e-04,1.087284e-04,1.079824e-04,1.072468e-04,1.065219e-04,1.058079e-04,1.051052e-04,1.044139e-04,1.037341e-04,1.030661e-04,1.024098e-04,1.017652e-04,1.011325e-04,1.005117e-04,9.990259e-05,9.930524e-05,9.871957e-05,9.814549e-05,9.758290e-05,9.703171e-05,9.649178e-05,9.596300e-05,9.544521e-05,9.493829e-05,9.444207e-05
0.000000e+00,2.845356e-09,6.823681e-09,2.460021e-08,5.709272e-08,8.383122e-08,1.917479e-07,1.975457e-07,3.817849e-07,4.481462e-07,6.522353e-07,8.624470e-07,1.024689e-06,1.471073e-06,1.514996e-06,2.137774e-06,2.308228e-06,2.903059e-06,3.394718e-06,3.811940e-06,4.723397e-06,4.855187e-06,6.016890e-06,6.261885e-06,7.279428e-06,7.970218e-06,8.626186e-06,9.811491e-06,1.004210e-05,1.151337e-05,1.175304e-05,1.302704e-05,1.376502e-05,1.457076e-05,1.581943e-05,1.613273e-05,1.770170e-05,1.788994e-05,1.926710e-05,1.995217e-05,2.081909e-05,2.198409e-05,2.234872e-05,2.384797e-05,2.396638e-05,2.530982e-05,2.588270e-05,2.672824e-05,2.771976e-05,2.809821e-05,2.941566e-05,2.946722e-05,3.067745e-05,3.111760e-05,3.188125e-05,3.266587e-05,3.302547e-05,3.410920e-05,3.513215e-05,3.544668e-05,3.609452e-05,3.667893e-05,3.699695e-05,3.780781e-05,3.784044e-05,3.862630e-05,3.883621e-05,3.935607e-05,3.976773e-05,4.003149e-05,4.060648e-05,4.065443e-05,4.122688e-05,4.135698e-05,4.175089e-05,4.202396e-05,4.222856e-05,4.261225e-05,4.266199e-05,4.305328e-05,4.312667e-05,4.340451e-05,4.357199e-05,4.371771e-05,4.395288e-05,4.399489e-05,4.423800e-05,4.427386e-05,4.444892e-05,4.453927e-05,4.462948e-05,4.475325e-05,4.478143e-05,4.490647e-05,4.491974e-05,4.500621e-05,4.504249e-05,4.508221e-05,4.512501e-05,4.513596e-05,4.516887e-05,4.517064e-05,4.518228e-05,4.518248e-05,4.517750e-05,4.516346e-05,4.515572e-05,4.511813e-05,4.511631e-05,4.506581e-05,4.504357e-05,4.499981e-05,4.494762e-05,4.492112e-05,4.483067e-05,4.472936e-05,4.469478e-05,4.461801e-05,4.454185e-05,4.449743e-05,4.437366e-05,4.436834e-05,4.423147e-05,4.419185e-05,4.408748e-05,4.399792e-05,4.393699e-05,4.379330e-05,4.378058e-05,4.361883e-05,4.357927e-05,4.345225e-05,4.335704e-05,4.328133e-05,4.312770e-05,4.310654e-05,4.292830e-05,4.289228e-05,4.274704e-05,4.265171e-05,4.256313e-05,4.240685e-05,4.237692e-05,4.218876e-05,4.215850e-05,4.199897e-05,4.190737e-05,4.180782e-05,4.165413e-05,4.161561e-05,4.142259e-05,4.139939e-05,4.122900e-05,4.114369e-05,4.103506e-05,4.088756e-05,4.084098e-05,4.064696e-05,4.063145e-05,4.045318e-05,4.037577e-05,4.025980e-05,4.012090e-05,4.006698e-05,3.987487e-05,3.986720e-05,3.968360e-05,3.961497e-05,3.949329e-05,3.936449e-05,3.930406e-05,3.911601e-05,3.886976e-05,3.862593e-05,3.838471e-05,3.814626e-05,3.791071e-05,3.767818e-05,3.744878e-05,3.722259e-05,3.699970e-05,3.678017e-05,3.656404e-05,3.635137e-05,3.614217e-05,3.593649e-05,3.573432e-05,3.553569e-05,3.534058e-05,3.514900e-05,3.496094e-05,3.477637e-05,3.459528e-05,3.441765e-05,3.424345e-05,3.407264e-05
0.000000e+00,1.150057e-09,3.176743e-09,1.348613e-08,3.402585e-08,5.166663e-08,1.263576e-07,1.304856e-07,2.660702e-07,3.166937e-07,4.772899e-07,6.493323e-07,7.858805e-07,1.173226e-06,1.211941e-06,1.763831e-06,1.914417e-06,2.434116e-06,2.855787e-06,3.208325e-06,3.965062e-06,4.073289e-06,5.018809e-06,5.216828e-06,6.036541e-06,6.591750e-06,7.118816e-06,8.072202e-06,8.257963e-06,9.446030e-06,9.640112e-06,1.067475e-05,1.127650e-05,1.193566e-05,1.296185e-05,1.322026e-05,1.452021e-05,1.467685e-05,1.582751e-05,1.640309e-05,1.713465e-05,1.812372e-05,1.843475e-05,1.972160e-05,1.982381e-05,2.098971e-05,2.149063e-05,2.223436e-05,2.311370e-05,2.345153e-05,2.463790e-05,2.468467e-05,2.579081e-05,2.619724e-05,2.690817e-05,2.764687e-05,2.798845e-05,2.903055e-05,3.003383e-05,3.034661e-05,3.099794e-05,3.159441e-05,3.192289e-05,3.277419e-05,3.280889e-05,3.365638e-05,3.388686e-05,3.446597e-05,3.493383e-05,3.523840e-05,3.591693e-05,3.597450e-05,3.667521e-05,3.683822e-05,3.734150e-05,3.769997e-05,3.797441e-05,3.850458e-05,3.857498e-05,3.914429e-05,3.925450e-05,3.968342e-05,3.995219e-05,4.019343e-05,4.060011e-05,4.067539e-05,4.113034e-05,4.120070e-05,4.155933e-05,4.175631e-05,4.196335e-05,4.226926e-05,4.234340e-05,4.270043e-05,4.274177e-05,4.303537e-05,4.317598e-05,4.334913e-05,4.357397e-05,4.364259e-05,4.391659e-05,4.393770e-05,4.417196e-05,4.426906e-05,4.440947e-05,4.456987e-05,4.462991e-05,4.483399e-05,4.484183e-05,4.502244e-05,4.508658e-05,4.519592e-05,4.530568e-05,4.535510e-05,4.550060e-05,4.563304e-05,4.567275e-05,4.575299e-05,4.582346e-05,4.586101e-05,4.595399e-05,4.595765e-05,4.604341e-05,4.606554e-05,4.611879e-05,4.615924e-05,4.618427e-05,4.623615e-05,4.624030e-05,4.628731e-05,4.629730e-05,4.632574e-05,4.634365e-05,4.635597e-05,4.637611e-05,4.637840e-05,4.639340e-05,4.639553e-05,4.640131e-05,4.640274e-05,4.640248e-05,4.639849e-05,4.639723e-05,4.638588e-05,4.638352e-05,4.636873e-05,4.635852e-05,4.634605e-05,4.632413e-05,4.631814e-05,4.628523e-05,4.628096e-05,4.624760e-05,4.622961e-05,4.620548e-05,4.617061e-05,4.615910e-05,4.610868e-05,4.610448e-05,4.605444e-05,4.603172e-05,4.599657e-05,4.595278e-05,4.593528e-05,4.587074e-05,4.586809e-05,4.580314e-05,4.577808e-05,4.573264e-05,4.568314e-05,4.565942e-05,4.558362e-05,4.547988e-05,4.537224e-05,4.526102e-05,4.514650e-05,4.502897e-05,4.490868e-05,4.478587e-05,4.466078e-05,4.453362e-05,4.440460e-05,4.427392e-05,4.414176e-05,4.400830e-05,4.387369e-05,4.373809e-05,4.360164e-05,4.346449e-05,4.332676e-05,4.318857e-05,4.305004e-05,4.291127e-05,4.277236e-05,4.263340e-05,4.249449e-05
0.000000e+00,9.221762e-10,2.563140e-09,1.098263e-08,2.788737e-08,4.247809e-08,1.046758e-07,1.081283e-07,2.221384e-07,2.649392e-07,4.011111e-07,5.467821e-07,6.615571e-07,9.807863e-07,1.012166e-06,1.451989e-06,1.570414e-06,1.977555e-06,2.308444e-06,2.586634e-06,3.190638e-06,3.277884e-06,4.049893e-06,4.213818e-06,4.900574e-06,5.373052e-06,5.826892e-06,6.660522e-06,6.824805e-06,7.889326e-06,8.065452e-06,9.014636e-06,9.574495e-06,1.019426e-05,1.117241e-05,1.142126e-05,1.268839e-05,1.284280e-05,1.398835e-05,1.456887e-05,1.531394e-05,1.633426e-05,1.665824e-05,1.801463e-05,1.812347e-05,1.937694e-05,1.992224e-05,2.073951e-05,2.171782e-05,2.209720e-05,2.344540e-05,2.349907e-05,2.478005e-05,2.525651e-05,2.609761e-05,2.698220e-05,2.739501e-05,2.866966e-05,2.991939e-05,3.031373e-05,3.114240e-05,3.191042e-05,3.233724e-05,3.345671e-05,3.350276e-05,3.463809e-05,3.495047e-05,3.574257e-05,3.639027e-05,3.681579e-05,3.777529e-05,3.785746e-05,3.886748e-05,3.910517e-05,3.984587e-05,4.037999e-05,4.079275e-05,4.160013e-05,4.170836e-05,4.259298e-05,4.276622e-05,4.344698e-05,4.387910e-05,4.427079e-05,4.493979e-05,4.506487e-05,4.582971e-05,4.594941e-05,4.656586e-05,4.690917e-05,4.727385e-05,4.782036e-05,4.795427e-05,4.860770e-05,4.868433e-05,4.923474e-05,4.950243e-05,4.983599e-05,5.027606e-05,5.041205e-05,5.096354e-05,5.100662e-05,5.149106e-05,5.169550e-05,5.199523e-05,5.234410e-05,5.247664e-05,5.293589e-05,5.295381e-05,5.337358e-05,5.352599e-05,5.379030e-05,5.406198e-05,5.418661e-05,5.456310e-05,5.492033e-05,5.503066e-05,5.525884e-05,5.546592e-05,5.557919e-05,5.587013e-05,5.588191e-05,5.616752e-05,5.624449e-05,5.643653e-05,5.659019e-05,5.668946e-05,5.690837e-05,5.692679e-05,5.714901e-05,5.720015e-05,5.735660e-05,5.746662e-05,5.755000e-05,5.770883e-05,5.772968e-05,5.789608e-05,5.792781e-05,5.804963e-05,5.812453e-05,5.819074e-05,5.829997e-05,5.831984e-05,5.843731e-05,5.845505e-05,5.854355e-05,5.859067e-05,5.863895e-05,5.870770e-05,5.872386e-05,5.879866e-05,5.880698e-05,5.886370e-05,5.888931e-05,5.891931e-05,5.895547e-05,5.896583e-05,5.900358e-05,5.900623e-05,5.903289e-05,5.904231e-05,5.905405e-05,5.906441e-05,5.906737e-05,5.907313e-05,5.907321e-05,5.907163e-05,5.906936e-05,5.906312e-05,5.905348e-05,5.904788e-05,5.902617e-05,5.898803e-05,5.893960e-05,5.888142e-05,5.881401e-05,5.873786e-05,5.865345e-05,5.856124e-05,5.846166e-05,5.835515e-05,5.824209e-05,5.812288e-05,5.799789e-05,5.786748e-05,5.773199e-05,5.759174e-05,5.744706e-05,5.729823e-05,5.714556e-05,5.698930e-05,5.682973e-05,5.666709e-05,5.650164e-05,5.633358e-05,5.616315e-05
0.000000e+00,7.729431e-11,3.006923e-10,2.255432e-09,8.527889e-09,1.564480e-08,5.758852e-08,6.034510e-08,1.689671e-07,2.166980e-07,3.867881e-07,5.933198e-07,7.712859e-07,1.331297e-06,1.391379e-06,2.326060e-06,2.606668e-06,3.661300e-06,4.616627e-06,5.484146e-06,7.555667e-06,7.874902e-06,1.090011e-05,1.158589e-05,1.460828e-05,1.681683e-05,1.902841e-05,2.329927e-05,2.417037e-05,3.002629e-05,3.102812e-05,3.657244e-05,3.994919e-05,4.377119e-05,4.996717e-05,5.157308e-05,5.991885e-05,6.095378e-05,6.874145e-05,7.275582e-05,7.796795e-05,8.520302e-05,8.752149e-05,9.732304e-05,9.811550e-05,1.072932e-04,1.113108e-04,1.173535e-04,1.246100e-04,1.274282e-04,1.374450e-04,1.378435e-04,1.473366e-04,1.508548e-04,1.570409e-04,1.635039e-04,1.665018e-04,1.756699e-04,1.845021e-04,1.872513e-04,1.929621e-04,1.981671e-04,2.010201e-04,2.083556e-04,2.086525e-04,2.158417e-04,2.177735e-04,2.225757e-04,2.263944e-04,2.288474e-04,2.342071e-04,2.346546e-04,2.399988e-04,2.412131e-04,2.448857e-04,2.474255e-04,2.493235e-04,2.528661e-04,2.533234e-04,2.568989e-04,2.575644e-04,2.600650e-04,2.615551e-04,2.628383e-04,2.648772e-04,2.652364e-04,2.672776e-04,2.675723e-04,2.689808e-04,2.696839e-04,2.703651e-04,2.712557e-04,2.714495e-04,2.722531e-04,2.723315e-04,2.727944e-04,2.729542e-04,2.730917e-04,2.731653e-04,2.731626e-04,2.730244e-04,2.730048e-04,2.726934e-04,2.725106e-04,2.721855e-04,2.717187e-04,2.715156e-04,2.706981e-04,2.706625e-04,2.697463e-04,2.693733e-04,2.686732e-04,2.678802e-04,2.674906e-04,2.662099e-04,2.648417e-04,2.643870e-04,2.633957e-04,2.624338e-04,2.618813e-04,2.603709e-04,2.603069e-04,2.586805e-04,2.582168e-04,2.570095e-04,2.559883e-04,2.553006e-04,2.537004e-04,2.535602e-04,2.517940e-04,2.513668e-04,2.500073e-04,2.489997e-04,2.482051e-04,2.466098e-04,2.463918e-04,2.445714e-04,2.442068e-04,2.427478e-04,2.417994e-04,2.409243e-04,2.393949e-04,2.391040e-04,2.372896e-04,2.370001e-04,2.354838e-04,2.346207e-04,2.336888e-04,2.322619e-04,2.319065e-04,2.301390e-04,2.299279e-04,2.283877e-04,2.276227e-04,2.266541e-04,2.253493e-04,2.249396e-04,2.232451e-04,2.231105e-04,2.215718e-04,2.209086e-04,2.199204e-04,2.187454e-04,2.182917e-04,2.166863e-04,2.166226e-04,2.151047e-04,2.145413e-04,2.135474e-04,2.125024e-04,2.120146e-04,2.105067e-04,2.085546e-04,2.066463e-04,2.047821e-04,2.029617e-04,2.011851e-04,1.994520e-04,1.977619e-04,1.961143e-04,1.945089e-04,1.929448e-04,1.914214e-04,1.899381e-04,1.884941e-04,1.870886e-04,1.857207e-04,1.843898e-04,1.830950e-04,1.818353e-04,1.806101e-04,1.794183e-04,1.782593e-04,1.771321e-04,1.760360e-04,1.749701e-04
0.000000e+00,7.349195e-11,2.708455e-10,1.818678e-09,6.227759e-09,1.082820e-08,3.478589e-08,3.625251e-08,8.901983e-08,1.102375e-07,1.804115e-07,2.583301e-07,3.212794e-07,5.032614e-07,5.217091e-07,7.907559e-07,8.664061e-07,1.135760e-06,1.363877e-06,1.560890e-06,2.000883e-06,2.065476e-06,2.643506e-06,2.767082e-06,3.284814e-06,3.639242e-06,3.977069e-06,4.588562e-06,4.707476e-06,5.463799e-06,5.586449e-06,6.234803e-06,6.607087e-06,7.010370e-06,7.628003e-06,7.781466e-06,8.540099e-06,8.629956e-06,9.279297e-06,9.596813e-06,9.993090e-06,1.051549e-05,1.067651e-05,1.132557e-05,1.137591e-05,1.193726e-05,1.217097e-05,1.250947e-05,1.289629e-05,1.304096e-05,1.353123e-05,1.354998e-05,1.398045e-05,1.413225e-05,1.438936e-05,1.464499e-05,1.475916e-05,1.509140e-05,1.538791e-05,1.547558e-05,1.565071e-05,1.580218e-05,1.588191e-05,1.607617e-05,1.608370e-05,1.625826e-05,1.630255e-05,1.640773e-05,1.648623e-05,1.653418e-05,1.663191e-05,1.663961e-05,1.672589e-05,1.674395e-05,1.679479e-05,1.682639e-05,1.684794e-05,1.688290e-05,1.688687e-05,1.691298e-05,1.691678e-05,1.692755e-05,1.693096e-05,1.693175e-05,1.692805e-05,1.692665e-05,1.691321e-05,1.691035e-05,1.689232e-05,1.687988e-05,1.686476e-05,1.683841e-05,1.683126e-05,1.679246e-05,1.678747e-05,1.674894e-05,1.672843e-05,1.670123e-05,1.666246e-05,1.664980e-05,1.659508e-05,1.659058e-05,1.653746e-05,1.651368e-05,1.647729e-05,1.643255e-05,1.641487e-05,1.635049e-05,1.634788e-05,1.628441e-05,1.626025e-05,1.621687e-05,1.617020e-05,1.614806e-05,1.607818e-05,1.600741e-05,1.598460e-05,1.593590e-05,1.588981e-05,1.586379e-05,1.579412e-05,1.579121e-05,1.571828e-05,1.569782e-05,1.564511e-05,1.560114e-05,1.557180e-05,1.550430e-05,1.549843e-05,1.542509e-05,1.540750e-05,1.535185e-05,1.531090e-05,1.527878e-05,1.521466e-05,1.520593e-05,1.513337e-05,1.511890e-05,1.506115e-05,1.502375e-05,1.498931e-05,1.492930e-05,1.491790e-05,1.484696e-05,1.483565e-05,1.477651e-05,1.474288e-05,1.470659e-05,1.465106e-05,1.463723e-05,1.456846e-05,1.456025e-05,1.450030e-05,1.447051e-05,1.443277e-05,1.438188e-05,1.436589e-05,1.429968e-05,1.429441e-05,1.423414e-05,1.420812e-05,1.416930e-05,1.412305e-05,1.410517e-05,1.404175e-05,1.403923e-05,1.397905e-05,1.395666e-05,1.391709e-05,1.387537e-05,1.385586e-05,1.379537e-05,1.371667e-05,1.363928e-05,1.356320e-05,1.348842e-05,1.341496e-05,1.334280e-05,1.327195e-05,1.320239e-05,1.313412e-05,1.306713e-05,1.300140e-05,1.293693e-05,1.287371e-05,1.281172e-05,1.275094e-05,1.269137e-05,1.263299e-05,1.257578e-05,1.251972e-05,1.246480e-05,1.241101e-05,1.235832e-05,1.230673e-05,1.225620e-05
0.000000e+00,2.469352e-09,6.722762e-09,2.809439e-08,7.057395e-08,1.072204e-07,2.648432e-07,2.736758e-07,5.701782e-07,6.834982e-07,1.047448e-06,1.435874e-06,1.737732e-06,2.553993e-06,2.632571e-06,3.710993e-06,3.995548e-06,4.960312e-06,5.732055e-06,6.374013e-06,7.749964e-06,7.946930e-06,9.672772e-06,1.003559e-05,1.154308e-05,1.256923e-05,1.354702e-05,1.532411e-05,1.567154e-05,1.790181e-05,1.826741e-05,2.022173e-05,2.136221e-05,2.261447e-05,2.456966e-05,2.506303e-05,2.755068e-05,2.785106e-05,3.006141e-05,3.116952e-05,3.258018e-05,3.449128e-05,3.509319e-05,3.758801e-05,3.778646e-05,4.005361e-05,4.102949e-05,4.248045e-05,4.419913e-05,4.486036e-05,4.718650e-05,4.727834e-05,4.945327e-05,5.025387e-05,5.165619e-05,5.311589e-05,5.379178e-05,5.585746e-05,5.785142e-05,5.847414e-05,5.977252e-05,6.096349e-05,6.162018e-05,6.332476e-05,6.339432e-05,6.509526e-05,6.555849e-05,6.672366e-05,6.766626e-05,6.828045e-05,6.965045e-05,6.976679e-05,7.118402e-05,7.151403e-05,7.253360e-05,7.326042e-05,7.381714e-05,7.489335e-05,7.503631e-05,7.619282e-05,7.641676e-05,7.728847e-05,7.783475e-05,7.832505e-05,7.915144e-05,7.930436e-05,8.022822e-05,8.037102e-05,8.109844e-05,8.149761e-05,8.191680e-05,8.253534e-05,8.268507e-05,8.340500e-05,8.348823e-05,8.407830e-05,8.436022e-05,8.470666e-05,8.515517e-05,8.529172e-05,8.583509e-05,8.587680e-05,8.633834e-05,8.652875e-05,8.680301e-05,8.711452e-05,8.723058e-05,8.762253e-05,8.763748e-05,8.798024e-05,8.810091e-05,8.830510e-05,8.850793e-05,8.859844e-05,8.886155e-05,8.909569e-05,8.916469e-05,8.930205e-05,8.942009e-05,8.948182e-05,8.963044e-05,8.963613e-05,8.976609e-05,8.979826e-05,8.987275e-05,8.992599e-05,8.995714e-05,9.001596e-05,9.002025e-05,9.006303e-05,9.007038e-05,9.008642e-05,9.009138e-05,9.009131e-05,9.008098e-05,9.007854e-05,9.004896e-05,9.004110e-05,9.000336e-05,8.997358e-05,8.994252e-05,8.988016e-05,8.986716e-05,8.977802e-05,8.976252e-05,8.967577e-05,8.962223e-05,8.956107e-05,8.946079e-05,8.943458e-05,8.929689e-05,8.927965e-05,8.914860e-05,8.908015e-05,8.899028e-05,8.886358e-05,8.882247e-05,8.864569e-05,8.863118e-05,8.846045e-05,8.838409e-05,8.826723e-05,8.812344e-05,8.806650e-05,8.785870e-05,8.785025e-05,8.764426e-05,8.756551e-05,8.742359e-05,8.727017e-05,8.719708e-05,8.696512e-05,8.665118e-05,8.632917e-05,8.599982e-05,8.566384e-05,8.532192e-05,8.497468e-05,8.462271e-05,8.426659e-05,8.390685e-05,8.354398e-05,8.317846e-05,8.281073e-05,8.244122e-05,8.207030e-05,8.169836e-05,8.132573e-05,8.095275e-05,8.057971e-05,8.020691e-05,7.983460e-05,7.946305e-05,7.909248e-05,7.872311e-05,7.835514e-05
0.000000e+00,1.183918e-09,2.755773e-09,9.622322e-09,2.199524e-08,3.211174e-08,7.269654e-08,7.487023e-08,1.437486e-07,1.684904e-07,2.444239e-07,3.224279e-07,3.825041e-07,5.472733e-07,5.634477e-07,7.921533e-07,8.545803e-07,1.072065e-06,1.251582e-06,1.403844e-06,1.736243e-06,1.784259e-06,2.206355e-06,2.294993e-06,2.661095e-06,2.907378e-06,3.139295e-06,3.553094e-06,3.632781e-06,4.134702e-06,4.215400e-06,4.639412e-06,4.881265e-06,5.142256e-06,5.540574e-06,5.639380e-06,6.127601e-06,6.185459e-06,6.604312e-06,6.809862e-06,7.067417e-06,7.409248e-06,7.515269e-06,7.946628e-06,7.980395e-06,8.360606e-06,8.521192e-06,8.756627e-06,9.030458e-06,9.134379e-06,9.493775e-06,9.507770e-06,9.834915e-06,9.953301e-06,1.015805e-05,1.036769e-05,1.046356e-05,1.075190e-05,1.102361e-05,1.110715e-05,1.127929e-05,1.143480e-05,1.151957e-05,1.173633e-05,1.174508e-05,1.195649e-05,1.201325e-05,1.215446e-05,1.226706e-05,1.233964e-05,1.249927e-05,1.251268e-05,1.267421e-05,1.271133e-05,1.282484e-05,1.290465e-05,1.296516e-05,1.308056e-05,1.309574e-05,1.321712e-05,1.324034e-05,1.332983e-05,1.338518e-05,1.343436e-05,1.351621e-05,1.353120e-05,1.362080e-05,1.363449e-05,1.370358e-05,1.374101e-05,1.377995e-05,1.383669e-05,1.385030e-05,1.391499e-05,1.392239e-05,1.397437e-05,1.399891e-05,1.402878e-05,1.406698e-05,1.407850e-05,1.412384e-05,1.412729e-05,1.416508e-05,1.418048e-05,1.420246e-05,1.422714e-05,1.423624e-05,1.426665e-05,1.426780e-05,1.429390e-05,1.430298e-05,1.431820e-05,1.433314e-05,1.433975e-05,1.435871e-05,1.437527e-05,1.438008e-05,1.438958e-05,1.439763e-05,1.440180e-05,1.441169e-05,1.441206e-05,1.442051e-05,1.442257e-05,1.442726e-05,1.443056e-05,1.443245e-05,1.443592e-05,1.443617e-05,1.443853e-05,1.443890e-05,1.443963e-05,1.443973e-05,1.443957e-05,1.443861e-05,1.443842e-05,1.443628e-05,1.443574e-05,1.443321e-05,1.443128e-05,1.442930e-05,1.442540e-05,1.442460e-05,1.441918e-05,1.441825e-05,1.441310e-05,1.440996e-05,1.440642e-05,1.440067e-05,1.439918e-05,1.439144e-05,1.439048e-05,1.438325e-05,1.437951e-05,1.437464e-05,1.436784e-05,1.436565e-05,1.435633e-05,1.435557e-05,1.434671e-05,1.434278e-05,1.433682e-05,1.432955e-05,1.432669e-05,1.431635e-05,1.431594e-05,1.430584e-05,1.430201e-05,1.429516e-05,1.428783e-05,1.428435e-05,1.427344e-05,1.425889e-05,1.424422e-05,1.422948e-05,1.421471e-05,1.419992e-05,1.418515e-05,1.417043e-05,1.415579e-05,1.414124e-05,1.412679e-05,1.411248e-05,1.409832e-05,1.408431e-05,1.407048e-05,1.405682e-05,1.404336e-05,1.403009e-05,1.401703e-05,1.400418e-05,1.399155e-05,1.397913e-05,1.396694e-05,1.395498e-05,1.394324e-05
0.000000e+00,8.408633e-11,3.136822e-10,2.160212e-09,7.570533e-09,1.333241e-08,4.429060e-08,4.622175e-08,1.174597e-07,1.468522e-07,2.463113e-07,3.600123e-07,4.539442e-07,7.341124e-07,7.631454e-07,1.197708e-06,1.323243e-06,1.780199e-06,2.177743e-06,2.527731e-06,3.328523e-06,3.448107e-06,4.539230e-06,4.777194e-06,5.791489e-06,6.501815e-06,7.190953e-06,8.468732e-06,8.721835e-06,1.036788e-05,1.064085e-05,1.211297e-05,1.298113e-05,1.394127e-05,1.545336e-05,1.583723e-05,1.778561e-05,1.802222e-05,1.977145e-05,2.065334e-05,2.178027e-05,2.331375e-05,2.379814e-05,2.581191e-05,2.597246e-05,2.780935e-05,2.860121e-05,2.977928e-05,3.117495e-05,3.171172e-05,3.359792e-05,3.367229e-05,3.543038e-05,3.607567e-05,3.720289e-05,3.837135e-05,3.891044e-05,4.054920e-05,4.211635e-05,4.260240e-05,4.361009e-05,4.452707e-05,4.502943e-05,4.632180e-05,4.637416e-05,4.764468e-05,4.798725e-05,4.884197e-05,4.952576e-05,4.996744e-05,5.094096e-05,5.102286e-05,5.201029e-05,5.223741e-05,5.293201e-05,5.342037e-05,5.379045e-05,5.449554e-05,5.458815e-05,5.532771e-05,5.546887e-05,5.601176e-05,5.634640e-05,5.664292e-05,5.713414e-05,5.722380e-05,5.775695e-05,5.783799e-05,5.824486e-05,5.846369e-05,5.868993e-05,5.901672e-05,5.909450e-05,5.946081e-05,5.950230e-05,5.979101e-05,5.992539e-05,6.008715e-05,6.029064e-05,6.035119e-05,6.058500e-05,6.060245e-05,6.079036e-05,6.086492e-05,6.096896e-05,6.108188e-05,6.112239e-05,6.125216e-05,6.125688e-05,6.135971e-05,6.139324e-05,6.144638e-05,6.149405e-05,6.151346e-05,6.156216e-05,6.159361e-05,6.160021e-05,6.160890e-05,6.161067e-05,6.160903e-05,6.159578e-05,6.159496e-05,6.156760e-05,6.155767e-05,6.152779e-05,6.149827e-05,6.147634e-05,6.141938e-05,6.141401e-05,6.134150e-05,6.132266e-05,6.125949e-05,6.120966e-05,6.116862e-05,6.108179e-05,6.106948e-05,6.096263e-05,6.094038e-05,6.084860e-05,6.078664e-05,6.072790e-05,6.062170e-05,6.060100e-05,6.046834e-05,6.044661e-05,6.033034e-05,6.026232e-05,6.018740e-05,6.006974e-05,6.003989e-05,5.988817e-05,5.986969e-05,5.973256e-05,5.966294e-05,5.957337e-05,5.945019e-05,5.941092e-05,5.924546e-05,5.923210e-05,5.907727e-05,5.900929e-05,5.890660e-05,5.878231e-05,5.873368e-05,5.855872e-05,5.855168e-05,5.838195e-05,5.831790e-05,5.820355e-05,5.808140e-05,5.802371e-05,5.784261e-05,5.760190e-05,5.735963e-05,5.711613e-05,5.687171e-05,5.662665e-05,5.638122e-05,5.613564e-05,5.589016e-05,5.564497e-05,5.540026e-05,5.515621e-05,5.491299e-05,5.467074e-05,5.442960e-05,5.418970e-05,5.395116e-05,5.371408e-05,5.347856e-05,5.324468e-05,5.301255e-05,5.278221e-05,5.255376e-05,5.232724e-05,5.210271e-05
0.000000e+00,2.759364e-11,1.054438e-10,7.622001e-10,2.786575e-09,5.018566e-09,1.761127e-08,1.841834e-08,4.916731e-08,6.223831e-08,1.074803e-07,1.604811e-07,2.049485e-07,3.398577e-07,3.539771e-07,5.673204e-07,6.295098e-07,8.576646e-07,1.058454e-06,1.237141e-06,1.653505e-06,1.716641e-06,2.304965e-06,2.436267e-06,3.008045e-06,3.420018e-06,3.828561e-06,4.608256e-06,4.765996e-06,5.817016e-06,5.995370e-06,6.975956e-06,7.568431e-06,8.235299e-06,9.309097e-06,9.586108e-06,1.101837e-05,1.119521e-05,1.252128e-05,1.320204e-05,1.408353e-05,1.530336e-05,1.569347e-05,1.733939e-05,1.747227e-05,1.900966e-05,1.968203e-05,2.069293e-05,2.190680e-05,2.237830e-05,2.405544e-05,2.412221e-05,2.571472e-05,2.630596e-05,2.734732e-05,2.843814e-05,2.894527e-05,3.050153e-05,3.200995e-05,3.248168e-05,3.346536e-05,3.436696e-05,3.486343e-05,3.614847e-05,3.620076e-05,3.747472e-05,3.781981e-05,3.868347e-05,3.937691e-05,3.982584e-05,4.081774e-05,4.090131e-05,4.190988e-05,4.214204e-05,4.285208e-05,4.335104e-05,4.372882e-05,4.444721e-05,4.454138e-05,4.529134e-05,4.543397e-05,4.598052e-05,4.631553e-05,4.661092e-05,4.709661e-05,4.718470e-05,4.770413e-05,4.778235e-05,4.817153e-05,4.837810e-05,4.858928e-05,4.888933e-05,4.895976e-05,4.928537e-05,4.932154e-05,4.956847e-05,4.968016e-05,4.981137e-05,4.997049e-05,5.001635e-05,5.018561e-05,5.019767e-05,5.032128e-05,5.036662e-05,5.042544e-05,5.048205e-05,5.050008e-05,5.054709e-05,5.054842e-05,5.056830e-05,5.056995e-05,5.056544e-05,5.055060e-05,5.054017e-05,5.049407e-05,5.042864e-05,5.040385e-05,5.034528e-05,5.028315e-05,5.024535e-05,5.013499e-05,5.013010e-05,5.000075e-05,4.996216e-05,4.985842e-05,4.976723e-05,4.970417e-05,4.955261e-05,4.953901e-05,4.936389e-05,4.932048e-05,4.917969e-05,4.907289e-05,4.898725e-05,4.881170e-05,4.878735e-05,4.858072e-05,4.853865e-05,4.836806e-05,4.825531e-05,4.815001e-05,4.796312e-05,4.792717e-05,4.770011e-05,4.766343e-05,4.746936e-05,4.735744e-05,4.723542e-05,4.704627e-05,4.699874e-05,4.675975e-05,4.673094e-05,4.651886e-05,4.641237e-05,4.627645e-05,4.609140e-05,4.603285e-05,4.578840e-05,4.576881e-05,4.554339e-05,4.544529e-05,4.529810e-05,4.512147e-05,4.505280e-05,4.480772e-05,4.479792e-05,4.456308e-05,4.447517e-05,4.431910e-05,4.415366e-05,4.407596e-05,4.383384e-05,4.351606e-05,4.320066e-05,4.288795e-05,4.257819e-05,4.227162e-05,4.196844e-05,4.166883e-05,4.137296e-05,4.108095e-05,4.079293e-05,4.050898e-05,4.022920e-05,3.995365e-05,3.968238e-05,3.941543e-05,3.915284e-05,3.889461e-05,3.864075e-05,3.839128e-05,3.814618e-05,3.790544e-05,3.766903e-05,3.743694e-05,3.720912e-05
0.000000e+00,3.421917e-10,1.226920e-09,7.815021e-09,2.563457e-08,4.362318e-08,1.335357e-07,1.389243e-07,3.288705e-07,4.040112e-07,6.504516e-07,9.225644e-07,1.142064e-06,1.775353e-06,1.839341e-06,2.763071e-06,3.018546e-06,3.909477e-06,4.640457e-06,5.255187e-06,6.579590e-06,6.769089e-06,8.420039e-06,8.764095e-06,1.017918e-05,1.112771e-05,1.201965e-05,1.360975e-05,1.391586e-05,1.584317e-05,1.615282e-05,1.777790e-05,1.870262e-05,1.969782e-05,2.120933e-05,2.158256e-05,2.341408e-05,2.362953e-05,2.517701e-05,2.592762e-05,2.685877e-05,2.807653e-05,2.844962e-05,2.994256e-05,3.005761e-05,3.133305e-05,3.186000e-05,3.261884e-05,3.347951e-05,3.379957e-05,3.487649e-05,3.491744e-05,3.585215e-05,3.617925e-05,3.673008e-05,3.727343e-05,3.751459e-05,3.821048e-05,3.882287e-05,3.900207e-05,3.935708e-05,3.966041e-05,3.981845e-05,4.019774e-05,4.021226e-05,4.054366e-05,4.062595e-05,4.081762e-05,4.095641e-05,4.103888e-05,4.119976e-05,4.121193e-05,4.134098e-05,4.136585e-05,4.142999e-05,4.146373e-05,4.148264e-05,4.150162e-05,4.150235e-05,4.149228e-05,4.148696e-05,4.145535e-05,4.142643e-05,4.139424e-05,4.132604e-05,4.131142e-05,4.120916e-05,4.119114e-05,4.108954e-05,4.102651e-05,4.095445e-05,4.083641e-05,4.080563e-05,4.064466e-05,4.062460e-05,4.047301e-05,4.039443e-05,4.029197e-05,4.014886e-05,4.010276e-05,3.990647e-05,3.989050e-05,3.970411e-05,3.962166e-05,3.949656e-05,3.934440e-05,3.928467e-05,3.906918e-05,3.906050e-05,3.885077e-05,3.877155e-05,3.863006e-05,3.847895e-05,3.840761e-05,3.818392e-05,3.795947e-05,3.788755e-05,3.773465e-05,3.759076e-05,3.750985e-05,3.729438e-05,3.728541e-05,3.706164e-05,3.699914e-05,3.683880e-05,3.670565e-05,3.661714e-05,3.641446e-05,3.639689e-05,3.617825e-05,3.612603e-05,3.596139e-05,3.584078e-05,3.574647e-05,3.555905e-05,3.553362e-05,3.532298e-05,3.528113e-05,3.511465e-05,3.500726e-05,3.490872e-05,3.473766e-05,3.470528e-05,3.450439e-05,3.447249e-05,3.430613e-05,3.421190e-05,3.411053e-05,3.395600e-05,3.391764e-05,3.372750e-05,3.370487e-05,3.354013e-05,3.345858e-05,3.335556e-05,3.321716e-05,3.317379e-05,3.299484e-05,3.298065e-05,3.281872e-05,3.274906e-05,3.264541e-05,3.252238e-05,3.247493e-05,3.230725e-05,3.230060e-05,3.214237e-05,3.208370e-05,3.198028e-05,3.187164e-05,3.182095e-05,3.166438e-05,3.146186e-05,3.126404e-05,3.107086e-05,3.088224e-05,3.069813e-05,3.051844e-05,3.034311e-05,3.017206e-05,3.000522e-05,2.984249e-05,2.968380e-05,2.952908e-05,2.937823e-05,2.923118e-05,2.908785e-05,2.894815e-05,2.881200e-05,2.867932e-05,2.855004e-05,2.842406e-05,2.830133e-05,2.818175e-05,2.806526e-05,2.795177e-05
0.000000e+00,4.218030e-11,1.611668e-10,1.164728e-09,4.258110e-09,7.669957e-09,2.695157e-08,2.818925e-08,7.551221e-08,9.572322e-08,1.660823e-07,2.492446e-07,3.195797e-07,5.357349e-07,5.585740e-07,9.077321e-07,1.010701e-06,1.391558e-06,1.729130e-06,2.030112e-06,2.729011e-06,2.834364e-06,3.803998e-06,4.016989e-06,4.928420e-06,5.568509e-06,6.189583e-06,7.338290e-06,7.565054e-06,9.030529e-06,9.271716e-06,1.056160e-05,1.131289e-05,1.213488e-05,1.340924e-05,1.372866e-05,1.532330e-05,1.551386e-05,1.690136e-05,1.758647e-05,1.844770e-05,1.959371e-05,1.994946e-05,2.139599e-05,2.150906e-05,2.277880e-05,2.331256e-05,2.409137e-05,2.499025e-05,2.532905e-05,2.648886e-05,2.653361e-05,2.756931e-05,2.793877e-05,2.857019e-05,2.920577e-05,2.949241e-05,3.033775e-05,3.110873e-05,3.134023e-05,3.180842e-05,3.222040e-05,3.244029e-05,3.298654e-05,3.300807e-05,3.351565e-05,3.364753e-05,3.396700e-05,3.421246e-05,3.436605e-05,3.469029e-05,3.471664e-05,3.502252e-05,3.508968e-05,3.528724e-05,3.541878e-05,3.551419e-05,3.568519e-05,3.570654e-05,3.586727e-05,3.589587e-05,3.599914e-05,3.605715e-05,3.610468e-05,3.617471e-05,3.618624e-05,3.624597e-05,3.625364e-05,3.628587e-05,3.629851e-05,3.630774e-05,3.631338e-05,3.631325e-05,3.630389e-05,3.630183e-05,3.628104e-05,3.626704e-05,3.624595e-05,3.621179e-05,3.619975e-05,3.614347e-05,3.613856e-05,3.607804e-05,3.604949e-05,3.600430e-05,3.594651e-05,3.592303e-05,3.583494e-05,3.583128e-05,3.574065e-05,3.570531e-05,3.564076e-05,3.556991e-05,3.553579e-05,3.542624e-05,3.531255e-05,3.527536e-05,3.519512e-05,3.511818e-05,3.507433e-05,3.495554e-05,3.495053e-05,3.482404e-05,3.478818e-05,3.469515e-05,3.461678e-05,3.456413e-05,3.444193e-05,3.443124e-05,3.429669e-05,3.426418e-05,3.416070e-05,3.408400e-05,3.402348e-05,3.390184e-05,3.388519e-05,3.374602e-05,3.371810e-05,3.360612e-05,3.353313e-05,3.346563e-05,3.334727e-05,3.332470e-05,3.318344e-05,3.316082e-05,3.304199e-05,3.297405e-05,3.290044e-05,3.278721e-05,3.275890e-05,3.261747e-05,3.260051e-05,3.247623e-05,3.241417e-05,3.233527e-05,3.222837e-05,3.219466e-05,3.205446e-05,3.204327e-05,3.191476e-05,3.185902e-05,3.177560e-05,3.167577e-05,3.163704e-05,3.149914e-05,3.149364e-05,3.136195e-05,3.131274e-05,3.122551e-05,3.113318e-05,3.108986e-05,3.095505e-05,3.077843e-05,3.060341e-05,3.043004e-05,3.025839e-05,3.008852e-05,2.992046e-05,2.975426e-05,2.958996e-05,2.942759e-05,2.926717e-05,2.910873e-05,2.895228e-05,2.879785e-05,2.864544e-05,2.849507e-05,2.834673e-05,2.820043e-05,2.805618e-05,2.791396e-05,2.777379e-05,2.763564e-05,2.749952e-05,2.736542e-05,2.723332e-05
0.000000e+00,1.041358e-09,3.226779e-09,1.592033e-08,4.328861e-08,6.743833e-08,1.705860e-07,1.762666e-07,3.599049e-07,4.268976e-07,6.341120e-07,8.483796e-07,1.013872e-06,1.467970e-06,1.512457e-06,2.136387e-06,2.304253e-06,2.877497e-06,3.335207e-06,3.711985e-06,4.500123e-06,4.610397e-06,5.546924e-06,5.736960e-06,6.501655e-06,7.000059e-06,7.459163e-06,8.256366e-06,8.406887e-06,9.334213e-06,9.480068e-06,1.023211e-05,1.065038e-05,1.109305e-05,1.175110e-05,1.191102e-05,1.268155e-05,1.277066e-05,1.340162e-05,1.370199e-05,1.406958e-05,1.454208e-05,1.468501e-05,1.524849e-05,1.529137e-05,1.576147e-05,1.595296e-05,1.622601e-05,1.653189e-05,1.664464e-05,1.702021e-05,1.703438e-05,1.735573e-05,1.746730e-05,1.765425e-05,1.783767e-05,1.791881e-05,1.815237e-05,1.835773e-05,1.841792e-05,1.853752e-05,1.864031e-05,1.869420e-05,1.882497e-05,1.883003e-05,1.894705e-05,1.897671e-05,1.904716e-05,1.909981e-05,1.913204e-05,1.919800e-05,1.920322e-05,1.926207e-05,1.927449e-05,1.930981e-05,1.933212e-05,1.934756e-05,1.937329e-05,1.937629e-05,1.939689e-05,1.940011e-05,1.941014e-05,1.941436e-05,1.941674e-05,1.941759e-05,1.941730e-05,1.941240e-05,1.941115e-05,1.940255e-05,1.939620e-05,1.938819e-05,1.937374e-05,1.936975e-05,1.934757e-05,1.934468e-05,1.932201e-05,1.930977e-05,1.929337e-05,1.926971e-05,1.926191e-05,1.922791e-05,1.922508e-05,1.919158e-05,1.917644e-05,1.915313e-05,1.912425e-05,1.911277e-05,1.907066e-05,1.906894e-05,1.902697e-05,1.901089e-05,1.898186e-05,1.895044e-05,1.893546e-05,1.888790e-05,1.883930e-05,1.882354e-05,1.878977e-05,1.875763e-05,1.873942e-05,1.869040e-05,1.868834e-05,1.863662e-05,1.862204e-05,1.858435e-05,1.855275e-05,1.853159e-05,1.848270e-05,1.847844e-05,1.842494e-05,1.841206e-05,1.837116e-05,1.834095e-05,1.831717e-05,1.826953e-05,1.826302e-05,1.820876e-05,1.819790e-05,1.815443e-05,1.812617e-05,1.810009e-05,1.805446e-05,1.804577e-05,1.799151e-05,1.798284e-05,1.793735e-05,1.791140e-05,1.788333e-05,1.784022e-05,1.782947e-05,1.777580e-05,1.776937e-05,1.772236e-05,1.769892e-05,1.766916e-05,1.762891e-05,1.761623e-05,1.756360e-05,1.755940e-05,1.751128e-05,1.749044e-05,1.745929e-05,1.742208e-05,1.740766e-05,1.735639e-05,1.735434e-05,1.730550e-05,1.728727e-05,1.725501e-05,1.722090e-05,1.720492e-05,1.715526e-05,1.709036e-05,1.702624e-05,1.696291e-05,1.690038e-05,1.683868e-05,1.677782e-05,1.671780e-05,1.665863e-05,1.660033e-05,1.654289e-05,1.648632e-05,1.643063e-05,1.637581e-05,1.632187e-05,1.626880e-05,1.621661e-05,1.616528e-05,1.611482e-05,1.606523e-05,1.601649e-05,1.596860e-05,1.592156e-05,1.587536e-05,1.582998e-05
0.000000e+00,9.096848e-10,2.973773e-09,1.611076e-08,4.708863e-08,7.612850e-08,2.117655e-07,2.196888e-07,4.971180e-07,6.077408e-07,9.781357e-07,1.400557e-06,1.749460e-06,2.776975e-06,2.881380e-06,4.375123e-06,4.780571e-06,6.161597e-06,7.256803e-06,8.153609e-06,1.002109e-05,1.028197e-05,1.249972e-05,1.295099e-05,1.477474e-05,1.597223e-05,1.708304e-05,1.903314e-05,1.940478e-05,2.172250e-05,2.209189e-05,2.402046e-05,2.511225e-05,2.628453e-05,2.806295e-05,2.850225e-05,3.066292e-05,3.091793e-05,3.275766e-05,3.365655e-05,3.477930e-05,3.626346e-05,3.672241e-05,3.858312e-05,3.872833e-05,4.035894e-05,4.104517e-05,4.204857e-05,4.321154e-05,4.365171e-05,4.516894e-05,4.522786e-05,4.660153e-05,4.709687e-05,4.795126e-05,4.882285e-05,4.922032e-05,5.041123e-05,5.152670e-05,5.186818e-05,5.256959e-05,5.320029e-05,5.354282e-05,5.441437e-05,5.444939e-05,5.529226e-05,5.551725e-05,5.607436e-05,5.651567e-05,5.679860e-05,5.741622e-05,5.746780e-05,5.808468e-05,5.822525e-05,5.865191e-05,5.894882e-05,5.917204e-05,5.959274e-05,5.964752e-05,6.008072e-05,6.016249e-05,6.047389e-05,6.066325e-05,6.082920e-05,6.109992e-05,6.114871e-05,6.143439e-05,6.147708e-05,6.168810e-05,6.179906e-05,6.191165e-05,6.206990e-05,6.210672e-05,6.227493e-05,6.229338e-05,6.241782e-05,6.247305e-05,6.253684e-05,6.261219e-05,6.263339e-05,6.270876e-05,6.271392e-05,6.276422e-05,6.278110e-05,6.280095e-05,6.281642e-05,6.282006e-05,6.282261e-05,6.282239e-05,6.280963e-05,6.280133e-05,6.278205e-05,6.275543e-05,6.274080e-05,6.268671e-05,6.262062e-05,6.259705e-05,6.254327e-05,6.248821e-05,6.245541e-05,6.236181e-05,6.235773e-05,6.225086e-05,6.221938e-05,6.213544e-05,6.206233e-05,6.201205e-05,6.189196e-05,6.188123e-05,6.174352e-05,6.170950e-05,6.159941e-05,6.151608e-05,6.144936e-05,6.131277e-05,6.129383e-05,6.113322e-05,6.110052e-05,6.096794e-05,6.088027e-05,6.079836e-05,6.065285e-05,6.062483e-05,6.044770e-05,6.041905e-05,6.026727e-05,6.017959e-05,6.008386e-05,5.993516e-05,5.989773e-05,5.970915e-05,5.968637e-05,5.951839e-05,5.943383e-05,5.932568e-05,5.917805e-05,5.913124e-05,5.893529e-05,5.891955e-05,5.873803e-05,5.865879e-05,5.853964e-05,5.839621e-05,5.834031e-05,5.814021e-05,5.813219e-05,5.793949e-05,5.786711e-05,5.773830e-05,5.760130e-05,5.753679e-05,5.733509e-05,5.706877e-05,5.680260e-05,5.653684e-05,5.627171e-05,5.600742e-05,5.574417e-05,5.548213e-05,5.522148e-05,5.496235e-05,5.470489e-05,5.444922e-05,5.419546e-05,5.394371e-05,5.369406e-05,5.344661e-05,5.320141e-05,5.295856e-05,5.271810e-05,5.248009e-05,5.224459e-05,5.201163e-05,5.178124e-05,5.155347e-05,5.132835e-05
0.000000e+00,2.038706e-09,4.855211e-09,1.743349e-08,4.069637e-08,6.018417e-08,1.422806e-07,1.468496e-07,3.002397e-07,3.592200e-07,5.516685e-07,7.644986e-07,9.362089e-07,1.424875e-06,1.473300e-06,2.146355e-06,2.323645e-06,2.914232e-06,3.370661e-06,3.738042e-06,4.487800e-06,4.591081e-06,5.456394e-06,5.629872e-06,6.322699e-06,6.770752e-06,7.181736e-06,7.892846e-06,8.026901e-06,8.852645e-06,8.982636e-06,9.654259e-06,1.002928e-05,1.042779e-05,1.102421e-05,1.117002e-05,1.187846e-05,1.196112e-05,1.255138e-05,1.283590e-05,1.318768e-05,1.364643e-05,1.378684e-05,1.434886e-05,1.439223e-05,1.487415e-05,1.507415e-05,1.536347e-05,1.569407e-05,1.581784e-05,1.623850e-05,1.625464e-05,1.662682e-05,1.675899e-05,1.698432e-05,1.721060e-05,1.731253e-05,1.761295e-05,1.788713e-05,1.796957e-05,1.813659e-05,1.828395e-05,1.836280e-05,1.855943e-05,1.856721e-05,1.875118e-05,1.879922e-05,1.891604e-05,1.900630e-05,1.906302e-05,1.918346e-05,1.919330e-05,1.930799e-05,1.933332e-05,1.940816e-05,1.945828e-05,1.949479e-05,1.956057e-05,1.956881e-05,1.963110e-05,1.964223e-05,1.968248e-05,1.970514e-05,1.972371e-05,1.975102e-05,1.975551e-05,1.977855e-05,1.978147e-05,1.979347e-05,1.979791e-05,1.980084e-05,1.980168e-05,1.980122e-05,1.979513e-05,1.979399e-05,1.978304e-05,1.977593e-05,1.976539e-05,1.974852e-05,1.974261e-05,1.971509e-05,1.971269e-05,1.968319e-05,1.966928e-05,1.964725e-05,1.961905e-05,1.960758e-05,1.956450e-05,1.956271e-05,1.951827e-05,1.950090e-05,1.946915e-05,1.943422e-05,1.941738e-05,1.936319e-05,1.930680e-05,1.928832e-05,1.924839e-05,1.921003e-05,1.918815e-05,1.912876e-05,1.912625e-05,1.906286e-05,1.904486e-05,1.899812e-05,1.895868e-05,1.893217e-05,1.887054e-05,1.886514e-05,1.879716e-05,1.878072e-05,1.872834e-05,1.868947e-05,1.865879e-05,1.859705e-05,1.858860e-05,1.851787e-05,1.850366e-05,1.844668e-05,1.840951e-05,1.837512e-05,1.831477e-05,1.830326e-05,1.823117e-05,1.821962e-05,1.815892e-05,1.812420e-05,1.808657e-05,1.802866e-05,1.801418e-05,1.794179e-05,1.793311e-05,1.786947e-05,1.783767e-05,1.779724e-05,1.774245e-05,1.772517e-05,1.765329e-05,1.764755e-05,1.758163e-05,1.755304e-05,1.751023e-05,1.745900e-05,1.743913e-05,1.736834e-05,1.736552e-05,1.729791e-05,1.727265e-05,1.722785e-05,1.718044e-05,1.715820e-05,1.708896e-05,1.699825e-05,1.690835e-05,1.681929e-05,1.673112e-05,1.664387e-05,1.655755e-05,1.647219e-05,1.638781e-05,1.630444e-05,1.622208e-05,1.614074e-05,1.606044e-05,1.598119e-05,1.590299e-05,1.582585e-05,1.574977e-05,1.567475e-05,1.560079e-05,1.552790e-05,1.545606e-05,1.538529e-05,1.531557e-05,1.524689e-05,1.517927e-05
0.000000e+00,3.202078e-09,7.455660e-09,2.601789e-08,5.942218e-08,8.671618e-08,1.961939e-07,2.020592e-07,3.881234e-07,4.550779e-07,6.610018e-07,8.732385e-07,1.037171e-06,1.488820e-06,1.533313e-06,2.165426e-06,2.338956e-06,2.947071e-06,3.453568e-06,3.886719e-06,4.844643e-06,4.984464e-06,6.229102e-06,6.493805e-06,7.597414e-06,8.347299e-06,9.057115e-06,1.032787e-05,1.057269e-05,1.211110e-05,1.235744e-05,1.364495e-05,1.437318e-05,1.515321e-05,1.633085e-05,1.662041e-05,1.803541e-05,1.820130e-05,1.939034e-05,1.996601e-05,2.067978e-05,2.161372e-05,2.190019e-05,2.304948e-05,2.313831e-05,2.412671e-05,2.453740e-05,2.513189e-05,2.581142e-05,2.606580e-05,2.692980e-05,2.696293e-05,2.772573e-05,2.799602e-05,2.845582e-05,2.891594e-05,2.912256e-05,2.972865e-05,3.027692e-05,3.044062e-05,3.077025e-05,3.105851e-05,3.121159e-05,3.158905e-05,3.160383e-05,3.194987e-05,3.203887e-05,3.225251e-05,3.241440e-05,3.251448e-05,3.272185e-05,3.273843e-05,3.292688e-05,3.296710e-05,3.308227e-05,3.315570e-05,3.320690e-05,3.329288e-05,3.330297e-05,3.337257e-05,3.338348e-05,3.341766e-05,3.343205e-05,3.344011e-05,3.344277e-05,3.344168e-05,3.342402e-05,3.341951e-05,3.338867e-05,3.336585e-05,3.333709e-05,3.328508e-05,3.327066e-05,3.319065e-05,3.318020e-05,3.309826e-05,3.305398e-05,3.299461e-05,3.290896e-05,3.288075e-05,3.275765e-05,3.274743e-05,3.262623e-05,3.257152e-05,3.248732e-05,3.238313e-05,3.234174e-05,3.219021e-05,3.218403e-05,3.203341e-05,3.197580e-05,3.187199e-05,3.175988e-05,3.170653e-05,3.153759e-05,3.136567e-05,3.131010e-05,3.119124e-05,3.107850e-05,3.101475e-05,3.084374e-05,3.083659e-05,3.065713e-05,3.060670e-05,3.047673e-05,3.036816e-05,3.029569e-05,3.012883e-05,3.011431e-05,2.993286e-05,2.988933e-05,2.975159e-05,2.965024e-05,2.957072e-05,2.941205e-05,2.939045e-05,2.921098e-05,2.917520e-05,2.903249e-05,2.894010e-05,2.885512e-05,2.870710e-05,2.867901e-05,2.850431e-05,2.847650e-05,2.833112e-05,2.824856e-05,2.815956e-05,2.802353e-05,2.798970e-05,2.782165e-05,2.780161e-05,2.765547e-05,2.758296e-05,2.749123e-05,2.736774e-05,2.732898e-05,2.716879e-05,2.715606e-05,2.701068e-05,2.694804e-05,2.685471e-05,2.674374e-05,2.670089e-05,2.654927e-05,2.654325e-05,2.639985e-05,2.634660e-05,2.625265e-05,2.615383e-05,2.610768e-05,2.596496e-05,2.578001e-05,2.559898e-05,2.542185e-05,2.524861e-05,2.507924e-05,2.491370e-05,2.475196e-05,2.459398e-05,2.443972e-05,2.428912e-05,2.414213e-05,2.399870e-05,2.385877e-05,2.372229e-05,2.358918e-05,2.345940e-05,2.333287e-05,2.320953e-05,2.308932e-05,2.297217e-05,2.285802e-05,2.274681e-05,2.263847e-05,2.253293e-05
0.000000e+00,3.505080e-11,1.368999e-10,1.035542e-09,3.946430e-09,7.272020e-09,2.708591e-08,2.839638e-08,8.049567e-08,1.035924e-07,1.865618e-07,2.883263e-07,3.766885e-07,6.577493e-07,6.881273e-07,1.165029e-06,1.309557e-06,1.857240e-06,2.358542e-06,2.817350e-06,3.924335e-06,4.096172e-06,5.738206e-06,6.113470e-06,7.778508e-06,9.005339e-06,1.024128e-05,1.264646e-05,1.313971e-05,1.647649e-05,1.705072e-05,2.024476e-05,2.220258e-05,2.442915e-05,2.806122e-05,2.900694e-05,3.394918e-05,3.456517e-05,3.922189e-05,4.163693e-05,4.478716e-05,4.918744e-05,5.060425e-05,5.663061e-05,5.712046e-05,6.282290e-05,6.533655e-05,6.913781e-05,7.373660e-05,7.553290e-05,8.196721e-05,8.222484e-05,8.840187e-05,9.071135e-05,9.480051e-05,9.911378e-05,1.011296e-04,1.073587e-04,1.134606e-04,1.153823e-04,1.194112e-04,1.231306e-04,1.251899e-04,1.305594e-04,1.307792e-04,1.361644e-04,1.376341e-04,1.413340e-04,1.443285e-04,1.462791e-04,1.506246e-04,1.509931e-04,1.554719e-04,1.565115e-04,1.597133e-04,1.619847e-04,1.637170e-04,1.670446e-04,1.674843e-04,1.710177e-04,1.716967e-04,1.743212e-04,1.759498e-04,1.773996e-04,1.798157e-04,1.802586e-04,1.829046e-04,1.833086e-04,1.853445e-04,1.864446e-04,1.875856e-04,1.892405e-04,1.896356e-04,1.915024e-04,1.917145e-04,1.931940e-04,1.938848e-04,1.947182e-04,1.957698e-04,1.960833e-04,1.972970e-04,1.973878e-04,1.983673e-04,1.987569e-04,1.993017e-04,1.998945e-04,2.001077e-04,2.007926e-04,2.008176e-04,2.013634e-04,2.015423e-04,2.018269e-04,2.020840e-04,2.021895e-04,2.024576e-04,2.026372e-04,2.026769e-04,2.027339e-04,2.027549e-04,2.027533e-04,2.027039e-04,2.027005e-04,2.025805e-04,2.025355e-04,2.023980e-04,2.022603e-04,2.021574e-04,2.018884e-04,2.018629e-04,2.015186e-04,2.014290e-04,2.011282e-04,2.008908e-04,2.006953e-04,2.002818e-04,2.002232e-04,1.997150e-04,1.996094e-04,1.991739e-04,1.988803e-04,1.986024e-04,1.981010e-04,1.980034e-04,1.973792e-04,1.972772e-04,1.967322e-04,1.964142e-04,1.960646e-04,1.955170e-04,1.953784e-04,1.946755e-04,1.945901e-04,1.939578e-04,1.936377e-04,1.932268e-04,1.926634e-04,1.924843e-04,1.917315e-04,1.916709e-04,1.909701e-04,1.906633e-04,1.902011e-04,1.896435e-04,1.894259e-04,1.886455e-04,1.886142e-04,1.878610e-04,1.875778e-04,1.870734e-04,1.865365e-04,1.862835e-04,1.854923e-04,1.844471e-04,1.834025e-04,1.823600e-04,1.813210e-04,1.802867e-04,1.792583e-04,1.782366e-04,1.772227e-04,1.762174e-04,1.752212e-04,1.742350e-04,1.732592e-04,1.722944e-04,1.713409e-04,1.703992e-04,1.694696e-04,1.685523e-04,1.676477e-04,1.667558e-04,1.658769e-04,1.650111e-04,1.641585e-04,1.633191e-04,1.624930e-04
0.000000e+00,3.639763e-10,1.120478e-09,5.501211e-09,1.499363e-08,2.342923e-08,5.991695e-08,6.194315e-08,1.280611e-07,1.524005e-07,2.281419e-07,3.069428e-07,3.680340e-07,5.365865e-07,5.531860e-07,7.886352e-07,8.531324e-07,1.078727e-06,1.266239e-06,1.426439e-06,1.780764e-06,1.832544e-06,2.295326e-06,2.394388e-06,2.811181e-06,3.098911e-06,3.375577e-06,3.883666e-06,3.983706e-06,4.630736e-06,4.737549e-06,5.311841e-06,5.649451e-06,6.022162e-06,6.608153e-06,6.756784e-06,7.510753e-06,7.602293e-06,8.279108e-06,8.620474e-06,9.056942e-06,9.651480e-06,9.839463e-06,1.062207e-05,1.068455e-05,1.140039e-05,1.170961e-05,1.217040e-05,1.271754e-05,1.292836e-05,1.367095e-05,1.370029e-05,1.439520e-05,1.465095e-05,1.509859e-05,1.556387e-05,1.577897e-05,1.643458e-05,1.706403e-05,1.725975e-05,1.766630e-05,1.803713e-05,1.824066e-05,1.876539e-05,1.878669e-05,1.930422e-05,1.944403e-05,1.979333e-05,2.007325e-05,2.025427e-05,2.065382e-05,2.068747e-05,2.109351e-05,2.118700e-05,2.147310e-05,2.167439e-05,2.182700e-05,2.211788e-05,2.215609e-05,2.246127e-05,2.251952e-05,2.274350e-05,2.288152e-05,2.300377e-05,2.320614e-05,2.324306e-05,2.346237e-05,2.349567e-05,2.366268e-05,2.375237e-05,2.384496e-05,2.397845e-05,2.401018e-05,2.415924e-05,2.417608e-05,2.429304e-05,2.434731e-05,2.441247e-05,2.449412e-05,2.451834e-05,2.461147e-05,2.461839e-05,2.469261e-05,2.472188e-05,2.476251e-05,2.480626e-05,2.482185e-05,2.487129e-05,2.487307e-05,2.491147e-05,2.492379e-05,2.494299e-05,2.495975e-05,2.496639e-05,2.498223e-05,2.499100e-05,2.499239e-05,2.499317e-05,2.499131e-05,2.498920e-05,2.497999e-05,2.497950e-05,2.496447e-05,2.495936e-05,2.494449e-05,2.493027e-05,2.491991e-05,2.489351e-05,2.489105e-05,2.485824e-05,2.484981e-05,2.482176e-05,2.479983e-05,2.478189e-05,2.474419e-05,2.473888e-05,2.469297e-05,2.468346e-05,2.464440e-05,2.461816e-05,2.459338e-05,2.454877e-05,2.454011e-05,2.448477e-05,2.447574e-05,2.442754e-05,2.439945e-05,2.436860e-05,2.432030e-05,2.430808e-05,2.424615e-05,2.423863e-05,2.418293e-05,2.415474e-05,2.411856e-05,2.406893e-05,2.405315e-05,2.398682e-05,2.398147e-05,2.391967e-05,2.389260e-05,2.385180e-05,2.380255e-05,2.378331e-05,2.371429e-05,2.371152e-05,2.364481e-05,2.361970e-05,2.357494e-05,2.352726e-05,2.350478e-05,2.343437e-05,2.334117e-05,2.324780e-05,2.315438e-05,2.306101e-05,2.296782e-05,2.287488e-05,2.278228e-05,2.269011e-05,2.259843e-05,2.250731e-05,2.241681e-05,2.232698e-05,2.223787e-05,2.214952e-05,2.206198e-05,2.197527e-05,2.188943e-05,2.180449e-05,2.172047e-05,2.163739e-05,2.155528e-05,2.147415e-05,2.139401e-05,2.131488e-05
0.000000e+00,1.563248e-10,5.622142e-10,3.604152e-09,1.189198e-08,2.030206e-08,6.265095e-08,6.519983e-08,1.554805e-07,1.913527e-07,3.093732e-07,4.401757e-07,5.460519e-07,8.541780e-07,8.856058e-07,1.347797e-06,1.478872e-06,1.948206e-06,2.347382e-06,2.692199e-06,3.459073e-06,3.571056e-06,4.564283e-06,4.774395e-06,5.645964e-06,6.234751e-06,6.790374e-06,7.783417e-06,7.974780e-06,9.180053e-06,9.373731e-06,1.039029e-05,1.096897e-05,1.159220e-05,1.254018e-05,1.277463e-05,1.392830e-05,1.406443e-05,1.504553e-05,1.552393e-05,1.612016e-05,1.690540e-05,1.714742e-05,1.812382e-05,1.819965e-05,1.904700e-05,1.940105e-05,1.991564e-05,2.050699e-05,2.072926e-05,2.148811e-05,2.151733e-05,2.219303e-05,2.243384e-05,2.284533e-05,2.325968e-05,2.344668e-05,2.399901e-05,2.450443e-05,2.465662e-05,2.496519e-05,2.523770e-05,2.538359e-05,2.574755e-05,2.576195e-05,2.610257e-05,2.619148e-05,2.640770e-05,2.657467e-05,2.667955e-05,2.690208e-05,2.692024e-05,2.713180e-05,2.717845e-05,2.731617e-05,2.740824e-05,2.747520e-05,2.759559e-05,2.761065e-05,2.772418e-05,2.774439e-05,2.781734e-05,2.785822e-05,2.789160e-05,2.794040e-05,2.794836e-05,2.798891e-05,2.799397e-05,2.801446e-05,2.802174e-05,2.802617e-05,2.802628e-05,2.802509e-05,2.801223e-05,2.800994e-05,2.798852e-05,2.797488e-05,2.795484e-05,2.792307e-05,2.791199e-05,2.786074e-05,2.785629e-05,2.780179e-05,2.777621e-05,2.773581e-05,2.768430e-05,2.766342e-05,2.758518e-05,2.758194e-05,2.750164e-05,2.747037e-05,2.741330e-05,2.735072e-05,2.732061e-05,2.722401e-05,2.712390e-05,2.709119e-05,2.702066e-05,2.695311e-05,2.691464e-05,2.681053e-05,2.680615e-05,2.669549e-05,2.666416e-05,2.658296e-05,2.651464e-05,2.646880e-05,2.636254e-05,2.635325e-05,2.623655e-05,2.620839e-05,2.611889e-05,2.605266e-05,2.600047e-05,2.589577e-05,2.588146e-05,2.576204e-05,2.573811e-05,2.564234e-05,2.558004e-05,2.552252e-05,2.542187e-05,2.540270e-05,2.528300e-05,2.526387e-05,2.516354e-05,2.510631e-05,2.504441e-05,2.494941e-05,2.492571e-05,2.480752e-05,2.479338e-05,2.468993e-05,2.463839e-05,2.457300e-05,2.448462e-05,2.445680e-05,2.434140e-05,2.433220e-05,2.422684e-05,2.418126e-05,2.411318e-05,2.403193e-05,2.400046e-05,2.388873e-05,2.388428e-05,2.377802e-05,2.373842e-05,2.366836e-05,2.359441e-05,2.355979e-05,2.345233e-05,2.331221e-05,2.317413e-05,2.303810e-05,2.290416e-05,2.277234e-05,2.264265e-05,2.251512e-05,2.238974e-05,2.226652e-05,2.214546e-05,2.202656e-05,2.190982e-05,2.179522e-05,2.168274e-05,2.157238e-05,2.146412e-05,2.135794e-05,2.125382e-05,2.115174e-05,2.105168e-05,2.095360e-05,2.085749e-05,2.076332e-05,2.067106e-05
0.000000e+00,5.876132e-10,2.162287e-09,1.451105e-08,4.985032e-08,8.698714e-08,2.841474e-07,2.964039e-07,7.499511e-07,9.386892e-07,1.586282e-06,2.343528e-06,2.981447e-06,4.934492e-06,5.140043e-06,8.248039e-06,9.148752e-06,1.240499e-05,1.519012e-05,1.759777e-05,2.294990e-05,2.373145e-05,3.067689e-05,3.215176e-05,3.830402e-05,4.250005e-05,4.649580e-05,5.373836e-05,5.515037e-05,6.417791e-05,6.565138e-05,7.349677e-05,7.805074e-05,8.303063e-05,9.076364e-05,9.270692e-05,1.024563e-04,1.036280e-04,1.122131e-04,1.164924e-04,1.219158e-04,1.292186e-04,1.315078e-04,1.409385e-04,1.416846e-04,1.501632e-04,1.537866e-04,1.591435e-04,1.654397e-04,1.678473e-04,1.762484e-04,1.765778e-04,1.843265e-04,1.871525e-04,1.920665e-04,1.971309e-04,1.994578e-04,2.064942e-04,2.131730e-04,2.152347e-04,2.194945e-04,2.233541e-04,2.254618e-04,2.308618e-04,2.310799e-04,2.363556e-04,2.377726e-04,2.412971e-04,2.441054e-04,2.459136e-04,2.498823e-04,2.502150e-04,2.542121e-04,2.551273e-04,2.579156e-04,2.598656e-04,2.613369e-04,2.641231e-04,2.644872e-04,2.673778e-04,2.679257e-04,2.700198e-04,2.712992e-04,2.724244e-04,2.742686e-04,2.746023e-04,2.765641e-04,2.768586e-04,2.783201e-04,2.790928e-04,2.798803e-04,2.809941e-04,2.812545e-04,2.824520e-04,2.825842e-04,2.834818e-04,2.838841e-04,2.843528e-04,2.849136e-04,2.850732e-04,2.856511e-04,2.856914e-04,2.860943e-04,2.862355e-04,2.864102e-04,2.865629e-04,2.866059e-04,2.866883e-04,2.866893e-04,2.866637e-04,2.866300e-04,2.865386e-04,2.863990e-04,2.863187e-04,2.860099e-04,2.856175e-04,2.854751e-04,2.851467e-04,2.848065e-04,2.846024e-04,2.840152e-04,2.839894e-04,2.833122e-04,2.831116e-04,2.825749e-04,2.821054e-04,2.817817e-04,2.810058e-04,2.809364e-04,2.800427e-04,2.798214e-04,2.791041e-04,2.785602e-04,2.781240e-04,2.772296e-04,2.771054e-04,2.760514e-04,2.758366e-04,2.749648e-04,2.743878e-04,2.738483e-04,2.728892e-04,2.727045e-04,2.715358e-04,2.713466e-04,2.703445e-04,2.697652e-04,2.691327e-04,2.681500e-04,2.679026e-04,2.666560e-04,2.665054e-04,2.653949e-04,2.648358e-04,2.641209e-04,2.631452e-04,2.628358e-04,2.615410e-04,2.614371e-04,2.602381e-04,2.597150e-04,2.589284e-04,2.579820e-04,2.576133e-04,2.562939e-04,2.562411e-04,2.549715e-04,2.544948e-04,2.536470e-04,2.527458e-04,2.523216e-04,2.509963e-04,2.492483e-04,2.475039e-04,2.457649e-04,2.440327e-04,2.423090e-04,2.405950e-04,2.388921e-04,2.372014e-04,2.355238e-04,2.338603e-04,2.322118e-04,2.305789e-04,2.289623e-04,2.273627e-04,2.257805e-04,2.242162e-04,2.226703e-04,2.211429e-04,2.196345e-04,2.181453e-04,2.166755e-04,2.152252e-04,2.137946e-04,2.123837e-04
0.000000e+00,4.847141e-09,1.150501e-08,4.103803e-08,9.483056e-08,1.390729e-07,3.178991e-07,3.275235e-07,6.343480e-07,7.453111e-07,1.087851e-06,1.442325e-06,1.716781e-06,2.474458e-06,2.549150e-06,3.609609e-06,3.900204e-06,4.915494e-06,5.756587e-06,6.472069e-06,8.040785e-06,8.268149e-06,1.027418e-05,1.069680e-05,1.244499e-05,1.362135e-05,1.472746e-05,1.669284e-05,1.706967e-05,1.942745e-05,1.980371e-05,2.176651e-05,2.287491e-05,2.406165e-05,2.585384e-05,2.629486e-05,2.845346e-05,2.870703e-05,3.052870e-05,3.141381e-05,3.251474e-05,3.396216e-05,3.440793e-05,3.620632e-05,3.634607e-05,3.790931e-05,3.856385e-05,3.951731e-05,4.061694e-05,4.103158e-05,4.245398e-05,4.250900e-05,4.378685e-05,4.424528e-05,4.503288e-05,4.583208e-05,4.619503e-05,4.727639e-05,4.828020e-05,4.858556e-05,4.920970e-05,4.976711e-05,5.006818e-05,5.082854e-05,5.085891e-05,5.158507e-05,5.177726e-05,5.224983e-05,5.262049e-05,5.285625e-05,5.336518e-05,5.340730e-05,5.390587e-05,5.401803e-05,5.435475e-05,5.458541e-05,5.475661e-05,5.507341e-05,5.511404e-05,5.542951e-05,5.548777e-05,5.570538e-05,5.583395e-05,5.594394e-05,5.611708e-05,5.614736e-05,5.631769e-05,5.634201e-05,5.645693e-05,5.651327e-05,5.656695e-05,5.663515e-05,5.664956e-05,5.670647e-05,5.671165e-05,5.673930e-05,5.674652e-05,5.674960e-05,5.674328e-05,5.673885e-05,5.670844e-05,5.670520e-05,5.665970e-05,5.663536e-05,5.659389e-05,5.653661e-05,5.651220e-05,5.641576e-05,5.641161e-05,5.630565e-05,5.626286e-05,5.618288e-05,5.609266e-05,5.604842e-05,5.590316e-05,5.574798e-05,5.569636e-05,5.558369e-05,5.547412e-05,5.541105e-05,5.523814e-05,5.523079e-05,5.504360e-05,5.499003e-05,5.485011e-05,5.473125e-05,5.465094e-05,5.446319e-05,5.444667e-05,5.423783e-05,5.418709e-05,5.402494e-05,5.390412e-05,5.380846e-05,5.361537e-05,5.358886e-05,5.336656e-05,5.332181e-05,5.314195e-05,5.302436e-05,5.291540e-05,5.272386e-05,5.268727e-05,5.245788e-05,5.242108e-05,5.222754e-05,5.211673e-05,5.199654e-05,5.181145e-05,5.176515e-05,5.153362e-05,5.150583e-05,5.130217e-05,5.120042e-05,5.107103e-05,5.089570e-05,5.084041e-05,5.061049e-05,5.059213e-05,5.038144e-05,5.029010e-05,5.015343e-05,4.998999e-05,4.992661e-05,4.970112e-05,4.969213e-05,4.947709e-05,4.939682e-05,4.925464e-05,4.910432e-05,4.903386e-05,4.881487e-05,4.852868e-05,4.824595e-05,4.796684e-05,4.769149e-05,4.742003e-05,4.715257e-05,4.688920e-05,4.663000e-05,4.637503e-05,4.612435e-05,4.587798e-05,4.563596e-05,4.539831e-05,4.516502e-05,4.493611e-05,4.471156e-05,4.449137e-05,4.427551e-05,4.406396e-05,4.385669e-05,4.365367e-05,4.345486e-05,4.326022e-05,4.306969e-05
0.000000e+00,1.019763e-10,3.863601e-10,2.744894e-09,9.884004e-09,1.765766e-08,6.074103e-08,6.347498e-08,1.663787e-07,2.096260e-07,3.579731e-07,5.300030e-07,6.733522e-07,1.104681e-06,1.149589e-06,1.824455e-06,2.020125e-06,2.734822e-06,3.360165e-06,3.913992e-06,5.194691e-06,5.387672e-06,7.169923e-06,7.563683e-06,9.261260e-06,1.046734e-05,1.164965e-05,1.386978e-05,1.431337e-05,1.722416e-05,1.771071e-05,2.034997e-05,2.191682e-05,2.365694e-05,2.640989e-05,2.711077e-05,3.067770e-05,3.111178e-05,3.432521e-05,3.594762e-05,3.802248e-05,4.084795e-05,4.174082e-05,4.545396e-05,4.575006e-05,4.913820e-05,5.059900e-05,5.277254e-05,5.534800e-05,5.633871e-05,5.982113e-05,5.995850e-05,6.320680e-05,6.439984e-05,6.648512e-05,6.864873e-05,6.964777e-05,7.268844e-05,7.560264e-05,7.650797e-05,7.838751e-05,8.010122e-05,8.104156e-05,8.346608e-05,8.356449e-05,8.595701e-05,8.660374e-05,8.822066e-05,8.951791e-05,9.035769e-05,9.221429e-05,9.237086e-05,9.426340e-05,9.470004e-05,9.603884e-05,9.698335e-05,9.770098e-05,9.907309e-05,9.925379e-05,1.007013e-04,1.009786e-04,1.020478e-04,1.027093e-04,1.032973e-04,1.042749e-04,1.044539e-04,1.055219e-04,1.056848e-04,1.065053e-04,1.069484e-04,1.074079e-04,1.080745e-04,1.082337e-04,1.089865e-04,1.090721e-04,1.096699e-04,1.099495e-04,1.102874e-04,1.107147e-04,1.108424e-04,1.113383e-04,1.113755e-04,1.117782e-04,1.119391e-04,1.121651e-04,1.124126e-04,1.125020e-04,1.127917e-04,1.128024e-04,1.130369e-04,1.131147e-04,1.132401e-04,1.133555e-04,1.134038e-04,1.135303e-04,1.136219e-04,1.136442e-04,1.136808e-04,1.137022e-04,1.137089e-04,1.137089e-04,1.137083e-04,1.136807e-04,1.136684e-04,1.136280e-04,1.135850e-04,1.135519e-04,1.134624e-04,1.134538e-04,1.133354e-04,1.133041e-04,1.131980e-04,1.131134e-04,1.130432e-04,1.128934e-04,1.128721e-04,1.126859e-04,1.126470e-04,1.124860e-04,1.123769e-04,1.122733e-04,1.120855e-04,1.120489e-04,1.118138e-04,1.117753e-04,1.115690e-04,1.114483e-04,1.113153e-04,1.111066e-04,1.110536e-04,1.107847e-04,1.107520e-04,1.105094e-04,1.103863e-04,1.102282e-04,1.100111e-04,1.099420e-04,1.096513e-04,1.096279e-04,1.093567e-04,1.092379e-04,1.090588e-04,1.088426e-04,1.087582e-04,1.084552e-04,1.084430e-04,1.081504e-04,1.080403e-04,1.078442e-04,1.076353e-04,1.075369e-04,1.072291e-04,1.068225e-04,1.064161e-04,1.060108e-04,1.056071e-04,1.052056e-04,1.048068e-04,1.044113e-04,1.040194e-04,1.036315e-04,1.032479e-04,1.028690e-04,1.024951e-04,1.021263e-04,1.017629e-04,1.014050e-04,1.010528e-04,1.007065e-04,1.003662e-04,1.000318e-04,9.970364e-05,9.938160e-05,9.906577e-05,9.875616e-05,9.845279e-05
0.000000e+00,1.751400e-09,4.315281e-09,1.600338e-08,3.764960e-08,5.559579e-08,1.288528e-07,1.328215e-07,2.604946e-07,3.071733e-07,4.527889e-07,6.056611e-07,7.253682e-07,1.060778e-06,1.094162e-06,1.571914e-06,1.703476e-06,2.162283e-06,2.538697e-06,2.854536e-06,3.529260e-06,3.624874e-06,4.444889e-06,4.612542e-06,5.289539e-06,5.731992e-06,6.139952e-06,6.848816e-06,6.982714e-06,7.808286e-06,7.938291e-06,8.609754e-06,8.984347e-06,9.382032e-06,9.976302e-06,1.012140e-05,1.082525e-05,1.090723e-05,1.149186e-05,1.177311e-05,1.212032e-05,1.257225e-05,1.271037e-05,1.326228e-05,1.330481e-05,1.377681e-05,1.397238e-05,1.425502e-05,1.457756e-05,1.469822e-05,1.510793e-05,1.512365e-05,1.548579e-05,1.561435e-05,1.583350e-05,1.605360e-05,1.615278e-05,1.644536e-05,1.671293e-05,1.679354e-05,1.695713e-05,1.710189e-05,1.717955e-05,1.737397e-05,1.738168e-05,1.756495e-05,1.761308e-05,1.773071e-05,1.782228e-05,1.788021e-05,1.800441e-05,1.801463e-05,1.813509e-05,1.816203e-05,1.824259e-05,1.829749e-05,1.833810e-05,1.841293e-05,1.842250e-05,1.849661e-05,1.851027e-05,1.856120e-05,1.859126e-05,1.861697e-05,1.865748e-05,1.866458e-05,1.870462e-05,1.871037e-05,1.873767e-05,1.875120e-05,1.876424e-05,1.878115e-05,1.878481e-05,1.879982e-05,1.880126e-05,1.880968e-05,1.881250e-05,1.881479e-05,1.881570e-05,1.881549e-05,1.881211e-05,1.881167e-05,1.880495e-05,1.880109e-05,1.879430e-05,1.878461e-05,1.878041e-05,1.876354e-05,1.876281e-05,1.874391e-05,1.873621e-05,1.872172e-05,1.870528e-05,1.869718e-05,1.867046e-05,1.864174e-05,1.863215e-05,1.861117e-05,1.859070e-05,1.857890e-05,1.854644e-05,1.854506e-05,1.850979e-05,1.849967e-05,1.847320e-05,1.845066e-05,1.843540e-05,1.839966e-05,1.839651e-05,1.835660e-05,1.834689e-05,1.831579e-05,1.829256e-05,1.827414e-05,1.823687e-05,1.823175e-05,1.818868e-05,1.817999e-05,1.814501e-05,1.812208e-05,1.810080e-05,1.806329e-05,1.805611e-05,1.801099e-05,1.800374e-05,1.796551e-05,1.794357e-05,1.791972e-05,1.788288e-05,1.787365e-05,1.782736e-05,1.782179e-05,1.778088e-05,1.776038e-05,1.773426e-05,1.769876e-05,1.768753e-05,1.764073e-05,1.763698e-05,1.759388e-05,1.757514e-05,1.754703e-05,1.751330e-05,1.750019e-05,1.745340e-05,1.745153e-05,1.740667e-05,1.738987e-05,1.736004e-05,1.732839e-05,1.731352e-05,1.726713e-05,1.720614e-05,1.714547e-05,1.708513e-05,1.702518e-05,1.696565e-05,1.690656e-05,1.684793e-05,1.678980e-05,1.673218e-05,1.667510e-05,1.661856e-05,1.656260e-05,1.650721e-05,1.645242e-05,1.639824e-05,1.634467e-05,1.629173e-05,1.623941e-05,1.618774e-05,1.613670e-05,1.608632e-05,1.603658e-05,1.598750e-05,1.593908e-05
0.000000e+00,1.178212e-08,2.735082e-08,9.559558e-08,2.196147e-07,3.219126e-07,7.393528e-07,7.620058e-07,1.493911e-06,1.763078e-06,2.607842e-06,3.501886e-06,4.205906e-06,6.187538e-06,6.384904e-06,9.196253e-06,9.963938e-06,1.261667e-05,1.477078e-05,1.657075e-05,2.042454e-05,2.097413e-05,2.575399e-05,2.674966e-05,3.084998e-05,3.360725e-05,3.620977e-05,4.088078e-05,4.178552e-05,4.753195e-05,4.846430e-05,5.340579e-05,5.625830e-05,5.936585e-05,6.416989e-05,6.537346e-05,7.139289e-05,7.211445e-05,7.739182e-05,8.001728e-05,8.334136e-05,8.781436e-05,8.921635e-05,9.499526e-05,9.545285e-05,1.006598e-04,1.028902e-04,1.061950e-04,1.100933e-04,1.115887e-04,1.168313e-04,1.170377e-04,1.219156e-04,1.237062e-04,1.268365e-04,1.300874e-04,1.315903e-04,1.361750e-04,1.405897e-04,1.419665e-04,1.448346e-04,1.474626e-04,1.489107e-04,1.526665e-04,1.528197e-04,1.565639e-04,1.575832e-04,1.601462e-04,1.622190e-04,1.635695e-04,1.665815e-04,1.668373e-04,1.699531e-04,1.706787e-04,1.729206e-04,1.745191e-04,1.757437e-04,1.781118e-04,1.784264e-04,1.809725e-04,1.814658e-04,1.833862e-04,1.845903e-04,1.856714e-04,1.874946e-04,1.878321e-04,1.898723e-04,1.901878e-04,1.917959e-04,1.926790e-04,1.936068e-04,1.949769e-04,1.953088e-04,1.969056e-04,1.970903e-04,1.984009e-04,1.990277e-04,1.997984e-04,2.007972e-04,2.011016e-04,2.023139e-04,2.024070e-04,2.034386e-04,2.038648e-04,2.044792e-04,2.051781e-04,2.054388e-04,2.063205e-04,2.063542e-04,2.071273e-04,2.074000e-04,2.078623e-04,2.083224e-04,2.085282e-04,2.091279e-04,2.096642e-04,2.098228e-04,2.101395e-04,2.104129e-04,2.105565e-04,2.109042e-04,2.109176e-04,2.112253e-04,2.113021e-04,2.114818e-04,2.116120e-04,2.116893e-04,2.118390e-04,2.118502e-04,2.119664e-04,2.119878e-04,2.120400e-04,2.120633e-04,2.120729e-04,2.120697e-04,2.120670e-04,2.120243e-04,2.120114e-04,2.119463e-04,2.118925e-04,2.118349e-04,2.117167e-04,2.116917e-04,2.115183e-04,2.114878e-04,2.113161e-04,2.112093e-04,2.110868e-04,2.108846e-04,2.108316e-04,2.105520e-04,2.105168e-04,2.102492e-04,2.101090e-04,2.099246e-04,2.096641e-04,2.095794e-04,2.092148e-04,2.091848e-04,2.088318e-04,2.086737e-04,2.084315e-04,2.081333e-04,2.080151e-04,2.075835e-04,2.075659e-04,2.071376e-04,2.069738e-04,2.066785e-04,2.063591e-04,2.062069e-04,2.057238e-04,2.050698e-04,2.043989e-04,2.037127e-04,2.030129e-04,2.023011e-04,2.015785e-04,2.008467e-04,2.001068e-04,1.993601e-04,1.986077e-04,1.978507e-04,1.970900e-04,1.963266e-04,1.955614e-04,1.947953e-04,1.940289e-04,1.932631e-04,1.924984e-04,1.917356e-04,1.909752e-04,1.902178e-04,1.894640e-04,1.887140e-04,1.879685e-04
0.000000e+00,1.703122e-10,5.903973e-10,3.534316e-09,1.104887e-08,1.836892e-08,5.340758e-08,5.545969e-08,1.260747e-07,1.533975e-07,2.415828e-07,3.372631e-07,4.136062e-07,6.316672e-07,6.536138e-07,9.708555e-07,1.059062e-06,1.369236e-06,1.627059e-06,1.846282e-06,2.325870e-06,2.395281e-06,3.008014e-06,3.137478e-06,3.676234e-06,4.042989e-06,4.391996e-06,5.024318e-06,5.147569e-06,5.935306e-06,6.063821e-06,6.747624e-06,7.144072e-06,7.577077e-06,8.248143e-06,8.416491e-06,9.259088e-06,9.360111e-06,1.009862e-05,1.046557e-05,1.092948e-05,1.155207e-05,1.174673e-05,1.254619e-05,1.260926e-05,1.332436e-05,1.362902e-05,1.407845e-05,1.460526e-05,1.480632e-05,1.550638e-05,1.553379e-05,1.617759e-05,1.641204e-05,1.681934e-05,1.723877e-05,1.743140e-05,1.801385e-05,1.856705e-05,1.873798e-05,1.909154e-05,1.941248e-05,1.958805e-05,2.003914e-05,2.005740e-05,2.050052e-05,2.062003e-05,2.091839e-05,2.115742e-05,2.131203e-05,2.165366e-05,2.168246e-05,2.203073e-05,2.211114e-05,2.235787e-05,2.253221e-05,2.266488e-05,2.291919e-05,2.295275e-05,2.322244e-05,2.327428e-05,2.347487e-05,2.359961e-05,2.371092e-05,2.389718e-05,2.393145e-05,2.413728e-05,2.416889e-05,2.432916e-05,2.441654e-05,2.450785e-05,2.464178e-05,2.467405e-05,2.482842e-05,2.484618e-05,2.497159e-05,2.503120e-05,2.510417e-05,2.519819e-05,2.522672e-05,2.533978e-05,2.534843e-05,2.544386e-05,2.548308e-05,2.553943e-05,2.560325e-05,2.562697e-05,2.570689e-05,2.570993e-05,2.577961e-05,2.580409e-05,2.584550e-05,2.588660e-05,2.590494e-05,2.595826e-05,2.600580e-05,2.601985e-05,2.604787e-05,2.607205e-05,2.608474e-05,2.611552e-05,2.611671e-05,2.614403e-05,2.615088e-05,2.616694e-05,2.617868e-05,2.618569e-05,2.619945e-05,2.620050e-05,2.621157e-05,2.621369e-05,2.621910e-05,2.622184e-05,2.622328e-05,2.622434e-05,2.622430e-05,2.622231e-05,2.622157e-05,2.621749e-05,2.621391e-05,2.620998e-05,2.620170e-05,2.619993e-05,2.618747e-05,2.618526e-05,2.617274e-05,2.616490e-05,2.615586e-05,2.614089e-05,2.613695e-05,2.611612e-05,2.611350e-05,2.609347e-05,2.608296e-05,2.606912e-05,2.604952e-05,2.604314e-05,2.601565e-05,2.601338e-05,2.598671e-05,2.597475e-05,2.595642e-05,2.593382e-05,2.592485e-05,2.589209e-05,2.589075e-05,2.585819e-05,2.584573e-05,2.582324e-05,2.579889e-05,2.578728e-05,2.575040e-05,2.570038e-05,2.564897e-05,2.559628e-05,2.554243e-05,2.548753e-05,2.543168e-05,2.537497e-05,2.531748e-05,2.525931e-05,2.520054e-05,2.514123e-05,2.508146e-05,2.502129e-05,2.496078e-05,2.489999e-05,2.483899e-05,2.477781e-05,2.471650e-05,2.465512e-05,2.459370e-05,2.453229e-05,2.447093e-05,2.440964e-05,2.434846e-05
0.000000e+00,1.512100e-10,5.154725e-10,2.976234e-09,8.989667e-09,1.465864e-08,4.048568e-08,4.195211e-08,9.050049e-08,1.085415e-07,1.648566e-07,2.235243e-07,2.690049e-07,3.944259e-07,4.067724e-07,5.817106e-07,6.295245e-07,7.960096e-07,9.329819e-07,1.048556e-06,1.298031e-06,1.333683e-06,1.642296e-06,1.705957e-06,1.964611e-06,2.134803e-06,2.292382e-06,2.567478e-06,2.619613e-06,2.942259e-06,2.993261e-06,3.257583e-06,3.405735e-06,3.563593e-06,3.800611e-06,3.858688e-06,4.141479e-06,4.174527e-06,4.410730e-06,4.524624e-06,4.665354e-06,4.848523e-06,4.904449e-06,5.127326e-06,5.144440e-06,5.333530e-06,5.411288e-06,5.522851e-06,5.648716e-06,5.695318e-06,5.851179e-06,5.857073e-06,5.990875e-06,6.037321e-06,6.115014e-06,6.190918e-06,6.224341e-06,6.319704e-06,6.402015e-06,6.425751e-06,6.472206e-06,6.511195e-06,6.531205e-06,6.578183e-06,6.579947e-06,6.619332e-06,6.628800e-06,6.650218e-06,6.665021e-06,6.673443e-06,6.688705e-06,6.689774e-06,6.699921e-06,6.701511e-06,6.704546e-06,6.704948e-06,6.704244e-06,6.700332e-06,6.699555e-06,6.690970e-06,6.688825e-06,6.678931e-06,6.671439e-06,6.663833e-06,6.649043e-06,6.646025e-06,6.625820e-06,6.622385e-06,6.603501e-06,6.592112e-06,6.579317e-06,6.558776e-06,6.553488e-06,6.526211e-06,6.522849e-06,6.497662e-06,6.484739e-06,6.467998e-06,6.444793e-06,6.437357e-06,6.405864e-06,6.403312e-06,6.373632e-06,6.360554e-06,6.340758e-06,6.316743e-06,6.307334e-06,6.273439e-06,6.272074e-06,6.239146e-06,6.226716e-06,6.204521e-06,6.180817e-06,6.169624e-06,6.134507e-06,6.099221e-06,6.087901e-06,6.063810e-06,6.041100e-06,6.028314e-06,5.994193e-06,5.992770e-06,5.957213e-06,5.947259e-06,5.921674e-06,5.900370e-06,5.886180e-06,5.853588e-06,5.850758e-06,5.815432e-06,5.806970e-06,5.780223e-06,5.760565e-06,5.745152e-06,5.714417e-06,5.710236e-06,5.675494e-06,5.668567e-06,5.640939e-06,5.623050e-06,5.606587e-06,5.577897e-06,5.572450e-06,5.538539e-06,5.533135e-06,5.504867e-06,5.488791e-06,5.471441e-06,5.444885e-06,5.438272e-06,5.405366e-06,5.401436e-06,5.372733e-06,5.358461e-06,5.340376e-06,5.315975e-06,5.308304e-06,5.276520e-06,5.273990e-06,5.245029e-06,5.232516e-06,5.213836e-06,5.191563e-06,5.182944e-06,5.152355e-06,5.151138e-06,5.122073e-06,5.111247e-06,5.092100e-06,5.071895e-06,5.062437e-06,5.033085e-06,4.994821e-06,4.957103e-06,4.919932e-06,4.883308e-06,4.847231e-06,4.811699e-06,4.776710e-06,4.742260e-06,4.708348e-06,4.674969e-06,4.642119e-06,4.609794e-06,4.577990e-06,4.546700e-06,4.515921e-06,4.485646e-06,4.455870e-06,4.426586e-06,4.397789e-06,4.369473e-06,4.341631e-06,4.314258e-06,4.287345e-06,4.260887e-06
0.000000e+00,5.729756e-10,1.860507e-09,9.941769e-09,2.863830e-08,4.585080e-08,1.232448e-07,1.276346e-07,2.741683e-07,3.293690e-07,5.044128e-07,6.908812e-07,8.380091e-07,1.253457e-06,1.295018e-06,1.893921e-06,2.060359e-06,2.647050e-06,3.136802e-06,3.554356e-06,4.468180e-06,4.600145e-06,5.757015e-06,5.998981e-06,6.994143e-06,7.659677e-06,8.283522e-06,9.389942e-06,9.602054e-06,1.093117e-05,1.114376e-05,1.225580e-05,1.288629e-05,1.356352e-05,1.459054e-05,1.484403e-05,1.608885e-05,1.623549e-05,1.729110e-05,1.780516e-05,1.844538e-05,1.928800e-05,1.954762e-05,2.059495e-05,2.067631e-05,2.158558e-05,2.196573e-05,2.251860e-05,2.315460e-05,2.339388e-05,2.421190e-05,2.424345e-05,2.497368e-05,2.523442e-05,2.568062e-05,2.613086e-05,2.633441e-05,2.693697e-05,2.749039e-05,2.765745e-05,2.799682e-05,2.829731e-05,2.845850e-05,2.886167e-05,2.887765e-05,2.925649e-05,2.935564e-05,2.959722e-05,2.978425e-05,2.990197e-05,3.015234e-05,3.017280e-05,3.041173e-05,3.046454e-05,3.062067e-05,3.072527e-05,3.080148e-05,3.093870e-05,3.095590e-05,3.108562e-05,3.110875e-05,3.119225e-05,3.123907e-05,3.127729e-05,3.133310e-05,3.134218e-05,3.138830e-05,3.139402e-05,3.141692e-05,3.142481e-05,3.142928e-05,3.142822e-05,3.142651e-05,3.140970e-05,3.140679e-05,3.137988e-05,3.136289e-05,3.133801e-05,3.129869e-05,3.128500e-05,3.122170e-05,3.121622e-05,3.114893e-05,3.111733e-05,3.106742e-05,3.100373e-05,3.097789e-05,3.088102e-05,3.087700e-05,3.077742e-05,3.073859e-05,3.066768e-05,3.058983e-05,3.055235e-05,3.043196e-05,3.030698e-05,3.026609e-05,3.017786e-05,3.009325e-05,3.004503e-05,2.991440e-05,2.990889e-05,2.976981e-05,2.973039e-05,2.962814e-05,2.954202e-05,2.948419e-05,2.935002e-05,2.933828e-05,2.919068e-05,2.915504e-05,2.904166e-05,2.895769e-05,2.889147e-05,2.875851e-05,2.874033e-05,2.858846e-05,2.855801e-05,2.843605e-05,2.835665e-05,2.828329e-05,2.815483e-05,2.813035e-05,2.797739e-05,2.795293e-05,2.782456e-05,2.775129e-05,2.767199e-05,2.755021e-05,2.751981e-05,2.736813e-05,2.734997e-05,2.721707e-05,2.715082e-05,2.706672e-05,2.695298e-05,2.691716e-05,2.676850e-05,2.675665e-05,2.662080e-05,2.656200e-05,2.647413e-05,2.636920e-05,2.632855e-05,2.618413e-05,2.617838e-05,2.604092e-05,2.598967e-05,2.589896e-05,2.580317e-05,2.575830e-05,2.561898e-05,2.543717e-05,2.525783e-05,2.508100e-05,2.490674e-05,2.473508e-05,2.456605e-05,2.439969e-05,2.423600e-05,2.407501e-05,2.391671e-05,2.376110e-05,2.360819e-05,2.345795e-05,2.331039e-05,2.316549e-05,2.302322e-05,2.288357e-05,2.274651e-05,2.261202e-05,2.248008e-05,2.235064e-05,2.222369e-05,2.209919e-05,2.197710e-05
0.000000e+00,2.007368e-09,4.843657e-09,1.751580e-08,4.059407e-08,5.952332e-08,1.356161e-07,1.396960e-07,2.692262e-07,3.158928e-07,4.596589e-07,6.082494e-07,7.232903e-07,1.040822e-06,1.072088e-06,1.513494e-06,1.633148e-06,2.044623e-06,2.376549e-06,2.652254e-06,3.236958e-06,3.319690e-06,4.032154e-06,4.178967e-06,4.777839e-06,5.175455e-06,5.547072e-06,6.205252e-06,6.331446e-06,7.123285e-06,7.250187e-06,7.915433e-06,8.293797e-06,8.701224e-06,9.321145e-06,9.474536e-06,1.022987e-05,1.031907e-05,1.096243e-05,1.127648e-05,1.166819e-05,1.218459e-05,1.234386e-05,1.298696e-05,1.303694e-05,1.359570e-05,1.382930e-05,1.416897e-05,1.455946e-05,1.470628e-05,1.520763e-05,1.522694e-05,1.567345e-05,1.583259e-05,1.610454e-05,1.637840e-05,1.650200e-05,1.686711e-05,1.720134e-05,1.730203e-05,1.750625e-05,1.768675e-05,1.778346e-05,1.802505e-05,1.803462e-05,1.826136e-05,1.832070e-05,1.846531e-05,1.857739e-05,1.864803e-05,1.879868e-05,1.881103e-05,1.895574e-05,1.898791e-05,1.908354e-05,1.914821e-05,1.919572e-05,1.928248e-05,1.929348e-05,1.937797e-05,1.939337e-05,1.945024e-05,1.948332e-05,1.951127e-05,1.955450e-05,1.956196e-05,1.960315e-05,1.960892e-05,1.963563e-05,1.964834e-05,1.966011e-05,1.967439e-05,1.967726e-05,1.968767e-05,1.968850e-05,1.969192e-05,1.969197e-05,1.969052e-05,1.968596e-05,1.968394e-05,1.967262e-05,1.967152e-05,1.965696e-05,1.964956e-05,1.963733e-05,1.962094e-05,1.961408e-05,1.958751e-05,1.958638e-05,1.955792e-05,1.954658e-05,1.952557e-05,1.950212e-05,1.949070e-05,1.945355e-05,1.941433e-05,1.940137e-05,1.937321e-05,1.934600e-05,1.933039e-05,1.928784e-05,1.928603e-05,1.924029e-05,1.922725e-05,1.919329e-05,1.916455e-05,1.914517e-05,1.910003e-05,1.909606e-05,1.904607e-05,1.903395e-05,1.899530e-05,1.896656e-05,1.894384e-05,1.889806e-05,1.889179e-05,1.883922e-05,1.882866e-05,1.878623e-05,1.875852e-05,1.873287e-05,1.868782e-05,1.867922e-05,1.862534e-05,1.861670e-05,1.857128e-05,1.854528e-05,1.851709e-05,1.847369e-05,1.846284e-05,1.840856e-05,1.840205e-05,1.835430e-05,1.833044e-05,1.830009e-05,1.825896e-05,1.824599e-05,1.819201e-05,1.818770e-05,1.813819e-05,1.811672e-05,1.808457e-05,1.804609e-05,1.803116e-05,1.797800e-05,1.797588e-05,1.792511e-05,1.790614e-05,1.787251e-05,1.783692e-05,1.782023e-05,1.776827e-05,1.770022e-05,1.763281e-05,1.756608e-05,1.750005e-05,1.743475e-05,1.737020e-05,1.730642e-05,1.724344e-05,1.718126e-05,1.711990e-05,1.705936e-05,1.699967e-05,1.694082e-05,1.688282e-05,1.682568e-05,1.676940e-05,1.671397e-05,1.665941e-05,1.660572e-05,1.655288e-05,1.650090e-05,1.644977e-05,1.639950e-05,1.635007e-05
0.000000e+00,5.226976e-11,2.041492e-10,1.544638e-09,5.890934e-09,1.086244e-08,4.057603e-08,4.254593e-08,1.212162e-07,1.562779e-07,2.829549e-07,4.395278e-07,5.762573e-07,1.013885e-06,1.061318e-06,1.805919e-06,2.030970e-06,2.879103e-06,3.648083e-06,4.345780e-06,6.007834e-06,6.263461e-06,8.680543e-06,9.227451e-06,1.163545e-05,1.339426e-05,1.515617e-05,1.856387e-05,1.926010e-05,2.395410e-05,2.475981e-05,2.923474e-05,3.197430e-05,3.508883e-05,4.017034e-05,4.149416e-05,4.842048e-05,4.928494e-05,5.583055e-05,5.923334e-05,6.368141e-05,6.991381e-05,7.192564e-05,8.051264e-05,8.121285e-05,8.938989e-05,9.301011e-05,9.850406e-05,1.051831e-04,1.078021e-04,1.172320e-04,1.176112e-04,1.267437e-04,1.301787e-04,1.362897e-04,1.427777e-04,1.458254e-04,1.553096e-04,1.647048e-04,1.676867e-04,1.739769e-04,1.798325e-04,1.830959e-04,1.916814e-04,1.920353e-04,2.007721e-04,2.031793e-04,2.092868e-04,2.142821e-04,2.175631e-04,2.249554e-04,2.255878e-04,2.333502e-04,2.351732e-04,2.408424e-04,2.449177e-04,2.480586e-04,2.541775e-04,2.549951e-04,2.616501e-04,2.629473e-04,2.680233e-04,2.712264e-04,2.741160e-04,2.790187e-04,2.799304e-04,2.854701e-04,2.863312e-04,2.907394e-04,2.931741e-04,2.957433e-04,2.995593e-04,3.004877e-04,3.049786e-04,3.055008e-04,3.092228e-04,3.110138e-04,3.132271e-04,3.161144e-04,3.169987e-04,3.205451e-04,3.208193e-04,3.238735e-04,3.251455e-04,3.269915e-04,3.291104e-04,3.299066e-04,3.326262e-04,3.327310e-04,3.351577e-04,3.360244e-04,3.375084e-04,3.390073e-04,3.396855e-04,3.416960e-04,3.435468e-04,3.441065e-04,3.452447e-04,3.462540e-04,3.467960e-04,3.481535e-04,3.482074e-04,3.494848e-04,3.498193e-04,3.506343e-04,3.512650e-04,3.516617e-04,3.525039e-04,3.525726e-04,3.533724e-04,3.535485e-04,3.540664e-04,3.544107e-04,3.546596e-04,3.551021e-04,3.551569e-04,3.555629e-04,3.556335e-04,3.558820e-04,3.560152e-04,3.561188e-04,3.562570e-04,3.562772e-04,3.563614e-04,3.563682e-04,3.563750e-04,3.563576e-04,3.563219e-04,3.562336e-04,3.562055e-04,3.560291e-04,3.560041e-04,3.557961e-04,3.556765e-04,3.555096e-04,3.552578e-04,3.551724e-04,3.547875e-04,3.547547e-04,3.543575e-04,3.541735e-04,3.538851e-04,3.535201e-04,3.533728e-04,3.528229e-04,3.528001e-04,3.522377e-04,3.520188e-04,3.516194e-04,3.511811e-04,3.509700e-04,3.502917e-04,3.493549e-04,3.483749e-04,3.473557e-04,3.463007e-04,3.452136e-04,3.440974e-04,3.429553e-04,3.417900e-04,3.406043e-04,3.394005e-04,3.381811e-04,3.369483e-04,3.357041e-04,3.344504e-04,3.331890e-04,3.319216e-04,3.306498e-04,3.293749e-04,3.280984e-04,3.268216e-04,3.255455e-04,3.242714e-04,3.230002e-04,3.217329e-04
0.000000e+00,7.966217e-10,2.374182e-09,1.112610e-08,2.952695e-08,4.565629e-08,1.146116e-07,1.184212e-07,2.423019e-07,2.877972e-07,4.292685e-07,5.764453e-07,6.905977e-07,1.005893e-06,1.036974e-06,1.478358e-06,1.599434e-06,2.023453e-06,2.376503e-06,2.678560e-06,3.347889e-06,3.445819e-06,4.321509e-06,4.508881e-06,5.295696e-06,5.836497e-06,6.353905e-06,7.295800e-06,7.479825e-06,8.657451e-06,8.849668e-06,9.872127e-06,1.046443e-05,1.111077e-05,1.211109e-05,1.236177e-05,1.361482e-05,1.376487e-05,1.486077e-05,1.540463e-05,1.609158e-05,1.701252e-05,1.730024e-05,1.848075e-05,1.857382e-05,1.962805e-05,2.007672e-05,2.073801e-05,2.151219e-05,2.180735e-05,2.283356e-05,2.287369e-05,2.381485e-05,2.415687e-05,2.475003e-05,2.535930e-05,2.563851e-05,2.648011e-05,2.727510e-05,2.751974e-05,2.802406e-05,2.847962e-05,2.872784e-05,2.936196e-05,2.938751e-05,3.000432e-05,3.016953e-05,3.057964e-05,3.090551e-05,3.111492e-05,3.157334e-05,3.161170e-05,3.207154e-05,3.217658e-05,3.249603e-05,3.271889e-05,3.288674e-05,3.320388e-05,3.324525e-05,3.357311e-05,3.363514e-05,3.387184e-05,3.401615e-05,3.414290e-05,3.435027e-05,3.438774e-05,3.460774e-05,3.464073e-05,3.480424e-05,3.489060e-05,3.497853e-05,3.510280e-05,3.513184e-05,3.526536e-05,3.528010e-05,3.538022e-05,3.542513e-05,3.547750e-05,3.554032e-05,3.555825e-05,3.562344e-05,3.562801e-05,3.567401e-05,3.569035e-05,3.571086e-05,3.572937e-05,3.573484e-05,3.574675e-05,3.574699e-05,3.574737e-05,3.574496e-05,3.573741e-05,3.572496e-05,3.571758e-05,3.568852e-05,3.565086e-05,3.563709e-05,3.560519e-05,3.557201e-05,3.555206e-05,3.549452e-05,3.549200e-05,3.542550e-05,3.540579e-05,3.535305e-05,3.530690e-05,3.527508e-05,3.519884e-05,3.519202e-05,3.510427e-05,3.508256e-05,3.501221e-05,3.495890e-05,3.491618e-05,3.482867e-05,3.481653e-05,3.471357e-05,3.469261e-05,3.460760e-05,3.455141e-05,3.449891e-05,3.440570e-05,3.438776e-05,3.427439e-05,3.425606e-05,3.415905e-05,3.410305e-05,3.404196e-05,3.394716e-05,3.392332e-05,3.380334e-05,3.378886e-05,3.368219e-05,3.362856e-05,3.356005e-05,3.346666e-05,3.343709e-05,3.331345e-05,3.330353e-05,3.318928e-05,3.313949e-05,3.306471e-05,3.297485e-05,3.293988e-05,3.281490e-05,3.280990e-05,3.268987e-05,3.264487e-05,3.256491e-05,3.248002e-05,3.244011e-05,3.231555e-05,3.215167e-05,3.198854e-05,3.182633e-05,3.166519e-05,3.150524e-05,3.134662e-05,3.118942e-05,3.103375e-05,3.087969e-05,3.072732e-05,3.057671e-05,3.042791e-05,3.028098e-05,3.013596e-05,2.999290e-05,2.985182e-05,2.971275e-05,2.957572e-05,2.944074e-05,2.930782e-05,2.917699e-05,2.904823e-05,2.892155e-05,2.879696e-05
0.000000e+00,2.194896e-09,5.053367e-09,1.748541e-08,3.993276e-08,5.837870e-08,1.332948e-07,1.373484e-07,2.678774e-07,3.157131e-07,4.654599e-07,6.236065e-07,7.481493e-07,1.100444e-06,1.135773e-06,1.646287e-06,1.788400e-06,2.288820e-06,2.704915e-06,3.058091e-06,3.826366e-06,3.936908e-06,4.904295e-06,5.106678e-06,5.941419e-06,6.503122e-06,7.033141e-06,7.983496e-06,8.167408e-06,9.334225e-06,9.523341e-06,1.052486e-05,1.110248e-05,1.173138e-05,1.270304e-05,1.294638e-05,1.416293e-05,1.430871e-05,1.537456e-05,1.590455e-05,1.657527e-05,1.747714e-05,1.775962e-05,1.892274e-05,1.901474e-05,2.006033e-05,2.050738e-05,2.116874e-05,2.194697e-05,2.224488e-05,2.328627e-05,2.332717e-05,2.429093e-05,2.464332e-05,2.525740e-05,2.589226e-05,2.618468e-05,2.707216e-05,2.791957e-05,2.818229e-05,2.872697e-05,2.922284e-05,2.949466e-05,3.019476e-05,3.022315e-05,3.091315e-05,3.109957e-05,3.156550e-05,3.193923e-05,3.218115e-05,3.271603e-05,3.276115e-05,3.330659e-05,3.343249e-05,3.381864e-05,3.409124e-05,3.429847e-05,3.469502e-05,3.474728e-05,3.516626e-05,3.524658e-05,3.555661e-05,3.574866e-05,3.591949e-05,3.620394e-05,3.625608e-05,3.656750e-05,3.661507e-05,3.685487e-05,3.698459e-05,3.711928e-05,3.731497e-05,3.736176e-05,3.758334e-05,3.760857e-05,3.778499e-05,3.786764e-05,3.796765e-05,3.809434e-05,3.813224e-05,3.827964e-05,3.829072e-05,3.841069e-05,3.845871e-05,3.852619e-05,3.860016e-05,3.862692e-05,3.871362e-05,3.871680e-05,3.878700e-05,3.881029e-05,3.884774e-05,3.888217e-05,3.889651e-05,3.893391e-05,3.896055e-05,3.896689e-05,3.897699e-05,3.898241e-05,3.898378e-05,3.898170e-05,3.898144e-05,3.897046e-05,3.896590e-05,3.895132e-05,3.893610e-05,3.892446e-05,3.889332e-05,3.889033e-05,3.884933e-05,3.883851e-05,3.880185e-05,3.877257e-05,3.874827e-05,3.869636e-05,3.868894e-05,3.862421e-05,3.861065e-05,3.855440e-05,3.851619e-05,3.847981e-05,3.841368e-05,3.840074e-05,3.831747e-05,3.830378e-05,3.823027e-05,3.818710e-05,3.813940e-05,3.806421e-05,3.804508e-05,3.794756e-05,3.793565e-05,3.784705e-05,3.780194e-05,3.774377e-05,3.766354e-05,3.763791e-05,3.752965e-05,3.752090e-05,3.741919e-05,3.737443e-05,3.730669e-05,3.722452e-05,3.719231e-05,3.707621e-05,3.707153e-05,3.695854e-05,3.691581e-05,3.683943e-05,3.675768e-05,3.671902e-05,3.659743e-05,3.643534e-05,3.627166e-05,3.610665e-05,3.594053e-05,3.577352e-05,3.560580e-05,3.543756e-05,3.526898e-05,3.510021e-05,3.493140e-05,3.476269e-05,3.459422e-05,3.442609e-05,3.425842e-05,3.409131e-05,3.392486e-05,3.375915e-05,3.359426e-05,3.343028e-05,3.326726e-05,3.310528e-05,3.294439e-05,3.278464e-05,3.262608e-05
0.000000e+00,2.235463e-10,7.664623e-10,4.500890e-09,1.388062e-08,2.293975e-08,6.598847e-08,6.850380e-08,1.551295e-07,1.887612e-07,2.979587e-07,4.176956e-07,5.142274e-07,7.949735e-07,8.236469e-07,1.246655e-06,1.367032e-06,1.799003e-06,2.166973e-06,2.484929e-06,3.192115e-06,3.295420e-06,4.213344e-06,4.408151e-06,5.220004e-06,5.772895e-06,6.298757e-06,7.250433e-06,7.435772e-06,8.619471e-06,8.812504e-06,9.839728e-06,1.043570e-05,1.108729e-05,1.209912e-05,1.235343e-05,1.362981e-05,1.378328e-05,1.490847e-05,1.546984e-05,1.618187e-05,1.714180e-05,1.744300e-05,1.868542e-05,1.878383e-05,1.990338e-05,2.038255e-05,2.109179e-05,2.192669e-05,2.224631e-05,2.336333e-05,2.340718e-05,2.443990e-05,2.481711e-05,2.547375e-05,2.615149e-05,2.646321e-05,2.740719e-05,2.830506e-05,2.858260e-05,2.915665e-05,2.967745e-05,2.996216e-05,3.069257e-05,3.072210e-05,3.143726e-05,3.162961e-05,3.210864e-05,3.249092e-05,3.273739e-05,3.327933e-05,3.332483e-05,3.387236e-05,3.399799e-05,3.438145e-05,3.465031e-05,3.485362e-05,3.523983e-05,3.529043e-05,3.569343e-05,3.577011e-05,3.606415e-05,3.624468e-05,3.640412e-05,3.666702e-05,3.671482e-05,3.699772e-05,3.704050e-05,3.725423e-05,3.736839e-05,3.748573e-05,3.765381e-05,3.769354e-05,3.787893e-05,3.789973e-05,3.804313e-05,3.810896e-05,3.818731e-05,3.828419e-05,3.831259e-05,3.842006e-05,3.842792e-05,3.851073e-05,3.854251e-05,3.858558e-05,3.863019e-05,3.864553e-05,3.869147e-05,3.869303e-05,3.872425e-05,3.873298e-05,3.874466e-05,3.875186e-05,3.875345e-05,3.875136e-05,3.873905e-05,3.873306e-05,3.871718e-05,3.869845e-05,3.868636e-05,3.864889e-05,3.864717e-05,3.860015e-05,3.858566e-05,3.854584e-05,3.850995e-05,3.848472e-05,3.842287e-05,3.841725e-05,3.834389e-05,3.832545e-05,3.826504e-05,3.821863e-05,3.818110e-05,3.810332e-05,3.809244e-05,3.799942e-05,3.798032e-05,3.790237e-05,3.785041e-05,3.780160e-05,3.771429e-05,3.769740e-05,3.759007e-05,3.757263e-05,3.747987e-05,3.742602e-05,3.736704e-05,3.727504e-05,3.725182e-05,3.713444e-05,3.712022e-05,3.701510e-05,3.696202e-05,3.689401e-05,3.680091e-05,3.677134e-05,3.664728e-05,3.663730e-05,3.652200e-05,3.647157e-05,3.639564e-05,3.630408e-05,3.626836e-05,3.614030e-05,3.613516e-05,3.601158e-05,3.596510e-05,3.588233e-05,3.579419e-05,3.575266e-05,3.562269e-05,3.545083e-05,3.527883e-05,3.510689e-05,3.493520e-05,3.476393e-05,3.459323e-05,3.442324e-05,3.425410e-05,3.408593e-05,3.391883e-05,3.375289e-05,3.358822e-05,3.342489e-05,3.326298e-05,3.310254e-05,3.294365e-05,3.278635e-05,3.263069e-05,3.247671e-05,3.232446e-05,3.217395e-05,3.202522e-05,3.187829e-05,3.173318e-05
0.000000e+00,4.422247e-09,1.042996e-08,3.701595e-08,8.548211e-08,1.254235e-07,2.875864e-07,2.963450e-07,5.770911e-07,6.793177e-07,9.970891e-07,1.329275e-06,1.588685e-06,2.313906e-06,2.386049e-06,3.420091e-06,3.705853e-06,4.707977e-06,5.538388e-06,6.242192e-06,7.771179e-06,7.990963e-06,9.911517e-06,1.031253e-05,1.196296e-05,1.306986e-05,1.411125e-05,1.597031e-05,1.632878e-05,1.859271e-05,1.895791e-05,2.088356e-05,2.198764e-05,2.318428e-05,2.502182e-05,2.547987e-05,2.775713e-05,2.802861e-05,3.000458e-05,3.098140e-05,3.221233e-05,3.385851e-05,3.437208e-05,3.647697e-05,3.664281e-05,3.852146e-05,3.932135e-05,4.050127e-05,4.188482e-05,4.241316e-05,4.425488e-05,4.432706e-05,4.602497e-05,4.664450e-05,4.772268e-05,4.883569e-05,4.934787e-05,5.090086e-05,5.238238e-05,5.284154e-05,5.379351e-05,5.466029e-05,5.513556e-05,5.636034e-05,5.641005e-05,5.761865e-05,5.794550e-05,5.876318e-05,5.941993e-05,5.984553e-05,6.078803e-05,6.086763e-05,6.183148e-05,6.205435e-05,6.273907e-05,6.322349e-05,6.359240e-05,6.430006e-05,6.439349e-05,6.514432e-05,6.528863e-05,6.584684e-05,6.619370e-05,6.650297e-05,6.701964e-05,6.711458e-05,6.768351e-05,6.777070e-05,6.821154e-05,6.845098e-05,6.870041e-05,6.906446e-05,6.915183e-05,6.956744e-05,6.961498e-05,6.994884e-05,7.010622e-05,7.029757e-05,7.054169e-05,7.061514e-05,7.090298e-05,7.092477e-05,7.116251e-05,7.125869e-05,7.139506e-05,7.154653e-05,7.160194e-05,7.178441e-05,7.179122e-05,7.194367e-05,7.199556e-05,7.208090e-05,7.216220e-05,7.219721e-05,7.229368e-05,7.237134e-05,7.239239e-05,7.243120e-05,7.246060e-05,7.247420e-05,7.250049e-05,7.250128e-05,7.251330e-05,7.251408e-05,7.251111e-05,7.250332e-05,7.249552e-05,7.247002e-05,7.246732e-05,7.242723e-05,7.241593e-05,7.237598e-05,7.234266e-05,7.231425e-05,7.225177e-05,7.224268e-05,7.216190e-05,7.214469e-05,7.207251e-05,7.202281e-05,7.197507e-05,7.188741e-05,7.187014e-05,7.175822e-05,7.173970e-05,7.163982e-05,7.158082e-05,7.151540e-05,7.141185e-05,7.138543e-05,7.125032e-05,7.123378e-05,7.111049e-05,7.104757e-05,7.096633e-05,7.085410e-05,7.081821e-05,7.066648e-05,7.065419e-05,7.051147e-05,7.044863e-05,7.035352e-05,7.023814e-05,7.019292e-05,7.002995e-05,7.002339e-05,6.986490e-05,6.980502e-05,6.969802e-05,6.958363e-05,6.952957e-05,6.935976e-05,6.913392e-05,6.890659e-05,6.867821e-05,6.844920e-05,6.821992e-05,6.799074e-05,6.776198e-05,6.753393e-05,6.730687e-05,6.708105e-05,6.685671e-05,6.663405e-05,6.641327e-05,6.619455e-05,6.597803e-05,6.576388e-05,6.555221e-05,6.534314e-05,6.513678e-05,6.493321e-05,6.473251e-05,6.453476e-05,6.434001e-05,6.414832e-05
0.000000e+00,3.605718e-09,8.336357e-09,2.893698e-08,6.606706e-08,9.648495e-08,2.191463e-07,2.257448e-07,4.363058e-07,5.126151e-07,7.489086e-07,9.947393e-07,1.186047e-06,1.718550e-06,1.771374e-06,2.526664e-06,2.735011e-06,3.465406e-06,4.071149e-06,4.585307e-06,5.705149e-06,5.866422e-06,7.277965e-06,7.573028e-06,8.787587e-06,9.601667e-06,1.036671e-05,1.172939e-05,1.199160e-05,1.364267e-05,1.390813e-05,1.530345e-05,1.609986e-05,1.695984e-05,1.827356e-05,1.859968e-05,2.021241e-05,2.040368e-05,2.178905e-05,2.246932e-05,2.332198e-05,2.445391e-05,2.480499e-05,2.623308e-05,2.634484e-05,2.760244e-05,2.813309e-05,2.891030e-05,2.981282e-05,3.015483e-05,3.133502e-05,3.138088e-05,3.245055e-05,3.283635e-05,3.350171e-05,3.418010e-05,3.448926e-05,3.541436e-05,3.627851e-05,3.654243e-05,3.708342e-05,3.756835e-05,3.783100e-05,3.849664e-05,3.852330e-05,3.916244e-05,3.933217e-05,3.975062e-05,4.007997e-05,4.029002e-05,4.074511e-05,4.078288e-05,4.123136e-05,4.133264e-05,4.163764e-05,4.184750e-05,4.200381e-05,4.229452e-05,4.233195e-05,4.262405e-05,4.267831e-05,4.288204e-05,4.300334e-05,4.310779e-05,4.327383e-05,4.330310e-05,4.346970e-05,4.349380e-05,4.360925e-05,4.366709e-05,4.372332e-05,4.379727e-05,4.381345e-05,4.388109e-05,4.388776e-05,4.392761e-05,4.394174e-05,4.395435e-05,4.396220e-05,4.396255e-05,4.395341e-05,4.395197e-05,4.392808e-05,4.391366e-05,4.388764e-05,4.384975e-05,4.383312e-05,4.376548e-05,4.376252e-05,4.368567e-05,4.365412e-05,4.359455e-05,4.352656e-05,4.349296e-05,4.338169e-05,4.326149e-05,4.322125e-05,4.313305e-05,4.304685e-05,4.299706e-05,4.285998e-05,4.285413e-05,4.270487e-05,4.266202e-05,4.254985e-05,4.245428e-05,4.238958e-05,4.223794e-05,4.222457e-05,4.205531e-05,4.201410e-05,4.188222e-05,4.178378e-05,4.170573e-05,4.154792e-05,4.152623e-05,4.134410e-05,4.130739e-05,4.115969e-05,4.106300e-05,4.097332e-05,4.081547e-05,4.078529e-05,4.059591e-05,4.056550e-05,4.040543e-05,4.031368e-05,4.021411e-05,4.006061e-05,4.002219e-05,3.982989e-05,3.980680e-05,3.963742e-05,3.955273e-05,3.944497e-05,3.929883e-05,3.925271e-05,3.906083e-05,3.904550e-05,3.886947e-05,3.879310e-05,3.867877e-05,3.854196e-05,3.848888e-05,3.829992e-05,3.829238e-05,3.811199e-05,3.804462e-05,3.792522e-05,3.779892e-05,3.773969e-05,3.755550e-05,3.731455e-05,3.707625e-05,3.684074e-05,3.660816e-05,3.637863e-05,3.615224e-05,3.592909e-05,3.570924e-05,3.549277e-05,3.527971e-05,3.507011e-05,3.486401e-05,3.466142e-05,3.446235e-05,3.426682e-05,3.407483e-05,3.388637e-05,3.370143e-05,3.351999e-05,3.334203e-05,3.316754e-05,3.299648e-05,3.282882e-05,3.266453e-05
0.000000e+00,7.172386e-09,1.631826e-08,5.534628e-08,1.242672e-07,1.799428e-07,4.000456e-07,4.117307e-07,7.784739e-07,9.088989e-07,1.305928e-06,1.709486e-06,2.017695e-06,2.852512e-06,2.933675e-06,4.067279e-06,4.372367e-06,5.421957e-06,6.274122e-06,6.987961e-06,8.521395e-06,8.740324e-06,1.063910e-05,1.103202e-05,1.263266e-05,1.368790e-05,1.466420e-05,1.636025e-05,1.667966e-05,1.863437e-05,1.893915e-05,2.049608e-05,2.135028e-05,2.224438e-05,2.355374e-05,2.386829e-05,2.536360e-05,2.553437e-05,2.673065e-05,2.729229e-05,2.797273e-05,2.883624e-05,2.909498e-05,3.010366e-05,3.017966e-05,3.100567e-05,3.133820e-05,3.180815e-05,3.232836e-05,3.251831e-05,3.314319e-05,3.316651e-05,3.368962e-05,3.386839e-05,3.416407e-05,3.444873e-05,3.457268e-05,3.492115e-05,3.521482e-05,3.529804e-05,3.545862e-05,3.559058e-05,3.565707e-05,3.580881e-05,3.581436e-05,3.593431e-05,3.596168e-05,3.602040e-05,3.605715e-05,3.607584e-05,3.610227e-05,3.610352e-05,3.610611e-05,3.610326e-05,3.608600e-05,3.606566e-05,3.604541e-05,3.599435e-05,3.598635e-05,3.591063e-05,3.589364e-05,3.581992e-05,3.576733e-05,3.571573e-05,3.561879e-05,3.559943e-05,3.547227e-05,3.545100e-05,3.533540e-05,3.526657e-05,3.518986e-05,3.506783e-05,3.503660e-05,3.487647e-05,3.485683e-05,3.471027e-05,3.463540e-05,3.453870e-05,3.440514e-05,3.436244e-05,3.418207e-05,3.416748e-05,3.399814e-05,3.392369e-05,3.381116e-05,3.367489e-05,3.362157e-05,3.342978e-05,3.342207e-05,3.323619e-05,3.316612e-05,3.304113e-05,3.290781e-05,3.284491e-05,3.264783e-05,3.245015e-05,3.238681e-05,3.225211e-05,3.212529e-05,3.205394e-05,3.186376e-05,3.185583e-05,3.165798e-05,3.160265e-05,3.146054e-05,3.134235e-05,3.126368e-05,3.108319e-05,3.106753e-05,3.087221e-05,3.082548e-05,3.067786e-05,3.056947e-05,3.048456e-05,3.031541e-05,3.029242e-05,3.010153e-05,3.006351e-05,2.991196e-05,2.981393e-05,2.972379e-05,2.956685e-05,2.953707e-05,2.935188e-05,2.932240e-05,2.916826e-05,2.908070e-05,2.898626e-05,2.884185e-05,2.880592e-05,2.862727e-05,2.860595e-05,2.845035e-05,2.837306e-05,2.827519e-05,2.814326e-05,2.810181e-05,2.793023e-05,2.791658e-05,2.776047e-05,2.769308e-05,2.759254e-05,2.747278e-05,2.742646e-05,2.726224e-05,2.725571e-05,2.709988e-05,2.704189e-05,2.693939e-05,2.683133e-05,2.678078e-05,2.662403e-05,2.642000e-05,2.621922e-05,2.602169e-05,2.582739e-05,2.563631e-05,2.544842e-05,2.526370e-05,2.508213e-05,2.490367e-05,2.472830e-05,2.455599e-05,2.438670e-05,2.422039e-05,2.405703e-05,2.389658e-05,2.373900e-05,2.358426e-05,2.343231e-05,2.328312e-05,2.313664e-05,2.299283e-05,2.285165e-05,2.271306e-05,2.257701e-05
0.000000e+00,1.150672e-09,3.191100e-09,1.361116e-08,3.443520e-08,5.236225e-08,1.286200e-07,1.328500e-07,2.725490e-07,3.250373e-07,4.924354e-07,6.728142e-07,8.164271e-07,1.224274e-06,1.264988e-06,1.842231e-06,1.998356e-06,2.531458e-06,2.957048e-06,3.307999e-06,4.046796e-06,4.150894e-06,5.044685e-06,5.228460e-06,5.977422e-06,6.474426e-06,6.938960e-06,7.762161e-06,7.920102e-06,8.912307e-06,9.071549e-06,9.907676e-06,1.038444e-05,1.089904e-05,1.168493e-05,1.188002e-05,1.284513e-05,1.295965e-05,1.378976e-05,1.419790e-05,1.471012e-05,1.539153e-05,1.560327e-05,1.646696e-05,1.653473e-05,1.729958e-05,1.762367e-05,1.810007e-05,1.865619e-05,1.886785e-05,1.960270e-05,1.963141e-05,2.030471e-05,2.054946e-05,2.097424e-05,2.141122e-05,2.161181e-05,2.221811e-05,2.279394e-05,2.297191e-05,2.334017e-05,2.367466e-05,2.385774e-05,2.432853e-05,2.434760e-05,2.481075e-05,2.493578e-05,2.524818e-05,2.549869e-05,2.566086e-05,2.601953e-05,2.604979e-05,2.641593e-05,2.650051e-05,2.676021e-05,2.694381e-05,2.708356e-05,2.735150e-05,2.738687e-05,2.767101e-05,2.772562e-05,2.793683e-05,2.806807e-05,2.818512e-05,2.838072e-05,2.841667e-05,2.863224e-05,2.866530e-05,2.883255e-05,2.892349e-05,2.901830e-05,2.915686e-05,2.919015e-05,2.934875e-05,2.936692e-05,2.949472e-05,2.955509e-05,2.962864e-05,2.972271e-05,2.975108e-05,2.986258e-05,2.987104e-05,2.996367e-05,3.000129e-05,3.005483e-05,3.011459e-05,3.013654e-05,3.020926e-05,3.021199e-05,3.027343e-05,3.029451e-05,3.032945e-05,3.036309e-05,3.037772e-05,3.041863e-05,3.045253e-05,3.046195e-05,3.047977e-05,3.049387e-05,3.050069e-05,3.051511e-05,3.051559e-05,3.052479e-05,3.052638e-05,3.052857e-05,3.052834e-05,3.052720e-05,3.052162e-05,3.052094e-05,3.051006e-05,3.050679e-05,3.049479e-05,3.048440e-05,3.047535e-05,3.045498e-05,3.045197e-05,3.042485e-05,3.041900e-05,3.039420e-05,3.037692e-05,3.036020e-05,3.032919e-05,3.032303e-05,3.028288e-05,3.027619e-05,3.023990e-05,3.021831e-05,3.019425e-05,3.015591e-05,3.014608e-05,3.009555e-05,3.008933e-05,3.004277e-05,3.001888e-05,2.998789e-05,2.994485e-05,2.993103e-05,2.987232e-05,2.986754e-05,2.981185e-05,2.978720e-05,2.974975e-05,2.970409e-05,2.968612e-05,2.962106e-05,2.961843e-05,2.955465e-05,2.953044e-05,2.948700e-05,2.944033e-05,2.941819e-05,2.934830e-05,2.925453e-05,2.915918e-05,2.906243e-05,2.896442e-05,2.886529e-05,2.876518e-05,2.866422e-05,2.856252e-05,2.846019e-05,2.835734e-05,2.825407e-05,2.815047e-05,2.804662e-05,2.794261e-05,2.783852e-05,2.773440e-05,2.763034e-05,2.752640e-05,2.742262e-05,2.731908e-05,2.721581e-05,2.711287e-05,2.701031e-05,2.690815e-05
0.000000e+00,1.166875e-09,2.815300e-09,1.015682e-08,2.346195e-08,3.433072e-08,7.773566e-08,8.005213e-08,1.531326e-07,1.792637e-07,2.591752e-07,3.408705e-07,4.034947e-07,5.733930e-07,5.898805e-07,8.181051e-07,8.786166e-07,1.083140e-06,1.244979e-06,1.377868e-06,1.656495e-06,1.695653e-06,2.030865e-06,2.099556e-06,2.378563e-06,2.562776e-06,2.734190e-06,3.035905e-06,3.093465e-06,3.452388e-06,3.509534e-06,3.807308e-06,3.975281e-06,4.154995e-06,4.426074e-06,4.492703e-06,4.818197e-06,4.856349e-06,5.129758e-06,5.262097e-06,5.426156e-06,5.640783e-06,5.706612e-06,5.970739e-06,5.991160e-06,6.218486e-06,6.313041e-06,6.450076e-06,6.607052e-06,6.665941e-06,6.866675e-06,6.874399e-06,7.052984e-06,7.116672e-06,7.225644e-06,7.335673e-06,7.385472e-06,7.533293e-06,7.669929e-06,7.711421e-06,7.796176e-06,7.871876e-06,7.912797e-06,8.016368e-06,8.020515e-06,8.120006e-06,8.146476e-06,8.211900e-06,8.263635e-06,8.296782e-06,8.369141e-06,8.375187e-06,8.447611e-06,8.464154e-06,8.514505e-06,8.549705e-06,8.576280e-06,8.626709e-06,8.633314e-06,8.685948e-06,8.695975e-06,8.734496e-06,8.758221e-06,8.779241e-06,8.814080e-06,8.820444e-06,8.858340e-06,8.864112e-06,8.893147e-06,8.908816e-06,8.925063e-06,8.948635e-06,8.954267e-06,8.980926e-06,8.983961e-06,9.005190e-06,9.015145e-06,9.027200e-06,9.042499e-06,9.047084e-06,9.064962e-06,9.066309e-06,9.080944e-06,9.086829e-06,9.095132e-06,9.104290e-06,9.107621e-06,9.118500e-06,9.118903e-06,9.127850e-06,9.130858e-06,9.135750e-06,9.140330e-06,9.142271e-06,9.147480e-06,9.151442e-06,9.152457e-06,9.154217e-06,9.155395e-06,9.155859e-06,9.156421e-06,9.156423e-06,9.155959e-06,9.155652e-06,9.154514e-06,9.153196e-06,9.152134e-06,9.149155e-06,9.148861e-06,9.144735e-06,9.143623e-06,9.139796e-06,9.136689e-06,9.134080e-06,9.128435e-06,9.127622e-06,9.120455e-06,9.118940e-06,9.112612e-06,9.108276e-06,9.104122e-06,9.096511e-06,9.095014e-06,9.085316e-06,9.083711e-06,9.075055e-06,9.069937e-06,9.064256e-06,9.055246e-06,9.052944e-06,9.041141e-06,9.039693e-06,9.028871e-06,9.023329e-06,9.016154e-06,9.006204e-06,9.003012e-06,8.989464e-06,8.988363e-06,8.975529e-06,8.969851e-06,8.961225e-06,8.950708e-06,8.946571e-06,8.931582e-06,8.930976e-06,8.916276e-06,8.910691e-06,8.900667e-06,8.889889e-06,8.884772e-06,8.868604e-06,8.846868e-06,8.824712e-06,8.802165e-06,8.779256e-06,8.756010e-06,8.732454e-06,8.708610e-06,8.684502e-06,8.660153e-06,8.635582e-06,8.610809e-06,8.585855e-06,8.560736e-06,8.535470e-06,8.510074e-06,8.484562e-06,8.458951e-06,8.433254e-06,8.407485e-06,8.381656e-06,8.355781e-06,8.329871e-06,8.303937e-06,8.277990e-06
0.000000e+00,1.186810e-10,4.389204e-10,2.970641e-09,1.025477e-08,1.791623e-08,5.836872e-08,6.086748e-08,1.519700e-07,1.891427e-07,3.138334e-07,4.549590e-07,5.707504e-07,9.132220e-07,9.485229e-07,1.474169e-06,1.625347e-06,2.174427e-06,2.651581e-06,3.071801e-06,4.034451e-06,4.178312e-06,5.490344e-06,5.775948e-06,6.988665e-06,7.831752e-06,8.643463e-06,1.012955e-05,1.042074e-05,1.228716e-05,1.259199e-05,1.421249e-05,1.514969e-05,1.617038e-05,1.774479e-05,1.813816e-05,2.009638e-05,2.032990e-05,2.202824e-05,2.286609e-05,2.391924e-05,2.532135e-05,2.575694e-05,2.753078e-05,2.766965e-05,2.923198e-05,2.989049e-05,3.085348e-05,3.196848e-05,3.238982e-05,3.383706e-05,3.389306e-05,3.519268e-05,3.565799e-05,3.645541e-05,3.726090e-05,3.762512e-05,3.870265e-05,3.968968e-05,3.998679e-05,4.058856e-05,4.111891e-05,4.140220e-05,4.210617e-05,4.213391e-05,4.278734e-05,4.295680e-05,4.336636e-05,4.367970e-05,4.387494e-05,4.428411e-05,4.431714e-05,4.469701e-05,4.477935e-05,4.501855e-05,4.517460e-05,4.528568e-05,4.547878e-05,4.550222e-05,4.567182e-05,4.570042e-05,4.579800e-05,4.584758e-05,4.588412e-05,4.592784e-05,4.593336e-05,4.594873e-05,4.594824e-05,4.593307e-05,4.591532e-05,4.588904e-05,4.583509e-05,4.581916e-05,4.572576e-05,4.571308e-05,4.561103e-05,4.555432e-05,4.547700e-05,4.536341e-05,4.532558e-05,4.515852e-05,4.514453e-05,4.497745e-05,4.490145e-05,4.478390e-05,4.463760e-05,4.457926e-05,4.436483e-05,4.435606e-05,4.414180e-05,4.405962e-05,4.391128e-05,4.375078e-05,4.367429e-05,4.343177e-05,4.318457e-05,4.310461e-05,4.293348e-05,4.277109e-05,4.267924e-05,4.243282e-05,4.242251e-05,4.216390e-05,4.209123e-05,4.190397e-05,4.174759e-05,4.164322e-05,4.140302e-05,4.138213e-05,4.112112e-05,4.105853e-05,4.086056e-05,4.071499e-05,4.060082e-05,4.037318e-05,4.034221e-05,4.008501e-05,4.003377e-05,3.982949e-05,3.969736e-05,3.957587e-05,3.936446e-05,3.932437e-05,3.907517e-05,3.903552e-05,3.882844e-05,3.871093e-05,3.858432e-05,3.839100e-05,3.834295e-05,3.810444e-05,3.807601e-05,3.786888e-05,3.776620e-05,3.763638e-05,3.746176e-05,3.740699e-05,3.718079e-05,3.716283e-05,3.695781e-05,3.686954e-05,3.673812e-05,3.658198e-05,3.652173e-05,3.630868e-05,3.630023e-05,3.609898e-05,3.602431e-05,3.589265e-05,3.575426e-05,3.568968e-05,3.549009e-05,3.523177e-05,3.497929e-05,3.473261e-05,3.449168e-05,3.425644e-05,3.402683e-05,3.380278e-05,3.358422e-05,3.337104e-05,3.316318e-05,3.296053e-05,3.276301e-05,3.257051e-05,3.238294e-05,3.220020e-05,3.202219e-05,3.184880e-05,3.167994e-05,3.151550e-05,3.135538e-05,3.119949e-05,3.104772e-05,3.089997e-05,3.075614e-05
0.000000e+00,4.474783e-10,1.570323e-09,9.610386e-09,3.055511e-08,5.121871e-08,1.517877e-07,1.577356e-07,3.649852e-07,4.462753e-07,7.119993e-07,1.005242e-06,1.242284e-06,1.930388e-06,2.000306e-06,3.017556e-06,3.301275e-06,4.297100e-06,5.119934e-06,5.814881e-06,7.318911e-06,7.534744e-06,9.421116e-06,9.815606e-06,1.144366e-05,1.254061e-05,1.357692e-05,1.543792e-05,1.579841e-05,1.808705e-05,1.845808e-05,2.042225e-05,2.155368e-05,2.278358e-05,2.467785e-05,2.515082e-05,2.750433e-05,2.778493e-05,2.982539e-05,3.083184e-05,3.209664e-05,3.377980e-05,3.430247e-05,3.642923e-05,3.659560e-05,3.846539e-05,3.925231e-05,4.040159e-05,4.172967e-05,4.223069e-05,4.394759e-05,4.401389e-05,4.554914e-05,4.609713e-05,4.703390e-05,4.797685e-05,4.840202e-05,4.965492e-05,5.079516e-05,5.113677e-05,5.182615e-05,5.243054e-05,5.275203e-05,5.354631e-05,5.357746e-05,5.430746e-05,5.449547e-05,5.494728e-05,5.529012e-05,5.550230e-05,5.594267e-05,5.597792e-05,5.637948e-05,5.646542e-05,5.671222e-05,5.687038e-05,5.698119e-05,5.716902e-05,5.719127e-05,5.734712e-05,5.737218e-05,5.745315e-05,5.748999e-05,5.751352e-05,5.753181e-05,5.753214e-05,5.751269e-05,5.750628e-05,5.745859e-05,5.742125e-05,5.737301e-05,5.728389e-05,5.725892e-05,5.711905e-05,5.710066e-05,5.695593e-05,5.687739e-05,5.677189e-05,5.661936e-05,5.656908e-05,5.634949e-05,5.633125e-05,5.611494e-05,5.601731e-05,5.586710e-05,5.568130e-05,5.560751e-05,5.533757e-05,5.532658e-05,5.505857e-05,5.495614e-05,5.477169e-05,5.457267e-05,5.447802e-05,5.417853e-05,5.387414e-05,5.377584e-05,5.356567e-05,5.336646e-05,5.325387e-05,5.295205e-05,5.293943e-05,5.262297e-05,5.253408e-05,5.230507e-05,5.211385e-05,5.198625e-05,5.169252e-05,5.166697e-05,5.134768e-05,5.127109e-05,5.102876e-05,5.085047e-05,5.071057e-05,5.043142e-05,5.039343e-05,5.007763e-05,5.001465e-05,4.976343e-05,4.960076e-05,4.945107e-05,4.919027e-05,4.914077e-05,4.883271e-05,4.878364e-05,4.852708e-05,4.838128e-05,4.822402e-05,4.798352e-05,4.792367e-05,4.762616e-05,4.759066e-05,4.733160e-05,4.720294e-05,4.704007e-05,4.682059e-05,4.675166e-05,4.646645e-05,4.644377e-05,4.618449e-05,4.607263e-05,4.590584e-05,4.570728e-05,4.563054e-05,4.535863e-05,4.534782e-05,4.509014e-05,4.499432e-05,4.482509e-05,4.464683e-05,4.456350e-05,4.430538e-05,4.396998e-05,4.364065e-05,4.331736e-05,4.300010e-05,4.268884e-05,4.238353e-05,4.208414e-05,4.179060e-05,4.150286e-05,4.122085e-05,4.094450e-05,4.067374e-05,4.040850e-05,4.014869e-05,3.989423e-05,3.964504e-05,3.940103e-05,3.916211e-05,3.892821e-05,3.869923e-05,3.847508e-05,3.825567e-05,3.804092e-05,3.783074e-05
0.000000e+00,9.601548e-10,2.596123e-09,1.070946e-08,2.653343e-08,3.993542e-08,9.546800e-08,9.849067e-08,1.956309e-07,2.309730e-07,3.403663e-07,4.537818e-07,5.416324e-07,7.838446e-07,8.076665e-07,1.143852e-06,1.235130e-06,1.550698e-06,1.808298e-06,2.025094e-06,2.495200e-06,2.562963e-06,3.160327e-06,3.286593e-06,3.813201e-06,4.173224e-06,4.517286e-06,5.144815e-06,5.267806e-06,6.059461e-06,6.189565e-06,6.886501e-06,7.294268e-06,7.742829e-06,8.444754e-06,8.622153e-06,9.518132e-06,9.626470e-06,1.042452e-05,1.082507e-05,1.133532e-05,1.202696e-05,1.224484e-05,1.314785e-05,1.321966e-05,1.403960e-05,1.439218e-05,1.491586e-05,1.553510e-05,1.577296e-05,1.660778e-05,1.664067e-05,1.741772e-05,1.770279e-05,1.820068e-05,1.871685e-05,1.895506e-05,1.967965e-05,2.037365e-05,2.058919e-05,2.103660e-05,2.144450e-05,2.166832e-05,2.224548e-05,2.226891e-05,2.283865e-05,2.299271e-05,2.337803e-05,2.368733e-05,2.388766e-05,2.433090e-05,2.436830e-05,2.482076e-05,2.492525e-05,2.524593e-05,2.547247e-05,2.564478e-05,2.597475e-05,2.601826e-05,2.636738e-05,2.643437e-05,2.669314e-05,2.685363e-05,2.699653e-05,2.723482e-05,2.727855e-05,2.754015e-05,2.758018e-05,2.778230e-05,2.789189e-05,2.800591e-05,2.817206e-05,2.821188e-05,2.840108e-05,2.842270e-05,2.857435e-05,2.864574e-05,2.873248e-05,2.884301e-05,2.887624e-05,2.900638e-05,2.901623e-05,2.912361e-05,2.916703e-05,2.922858e-05,2.929695e-05,2.932196e-05,2.940435e-05,2.940742e-05,2.947634e-05,2.949982e-05,2.953849e-05,2.957539e-05,2.959132e-05,2.963535e-05,2.967105e-05,2.968079e-05,2.969887e-05,2.971275e-05,2.971926e-05,2.973222e-05,2.973262e-05,2.973935e-05,2.974010e-05,2.973981e-05,2.973723e-05,2.973436e-05,2.972442e-05,2.972334e-05,2.970705e-05,2.970240e-05,2.968581e-05,2.967186e-05,2.965990e-05,2.963345e-05,2.962959e-05,2.959514e-05,2.958777e-05,2.955679e-05,2.953539e-05,2.951478e-05,2.947682e-05,2.946933e-05,2.942064e-05,2.941256e-05,2.936892e-05,2.934307e-05,2.931435e-05,2.926877e-05,2.925712e-05,2.919739e-05,2.919007e-05,2.913533e-05,2.910733e-05,2.907109e-05,2.902090e-05,2.900481e-05,2.893664e-05,2.893111e-05,2.886670e-05,2.883825e-05,2.879512e-05,2.874263e-05,2.872201e-05,2.864750e-05,2.864449e-05,2.857168e-05,2.854409e-05,2.849466e-05,2.844165e-05,2.841654e-05,2.833740e-05,2.823154e-05,2.812424e-05,2.801569e-05,2.790606e-05,2.779549e-05,2.768414e-05,2.757212e-05,2.745958e-05,2.734661e-05,2.723335e-05,2.711987e-05,2.700629e-05,2.689268e-05,2.677914e-05,2.666573e-05,2.655253e-05,2.643961e-05,2.632702e-05,2.621483e-05,2.610308e-05,2.599183e-05,2.588113e-05,2.577101e-05,2.566151e-05
0.000000e+00,3.221842e-11,1.201756e-10,8.273556e-10,2.898313e-09,5.102591e-09,1.692927e-08,1.766618e-08,4.479001e-08,5.594967e-08,9.358704e-08,1.363941e-07,1.715937e-07,2.757801e-07,2.865130e-07,4.459283e-07,4.916009e-07,6.567283e-07,7.992851e-07,9.242034e-07,1.208840e-06,1.251268e-06,1.638304e-06,1.722785e-06,2.083574e-06,2.337097e-06,2.583839e-06,3.043496e-06,3.134882e-06,3.731861e-06,3.831294e-06,4.369523e-06,4.688432e-06,5.042328e-06,5.602029e-06,5.744547e-06,6.470351e-06,6.558755e-06,7.213904e-06,7.545206e-06,7.969466e-06,8.548297e-06,8.731482e-06,9.494683e-06,9.555640e-06,1.025416e-05,1.055589e-05,1.100543e-05,1.153898e-05,1.174447e-05,1.246776e-05,1.249632e-05,1.317229e-05,1.342082e-05,1.385553e-05,1.430691e-05,1.451544e-05,1.515041e-05,1.575928e-05,1.594846e-05,1.634122e-05,1.669929e-05,1.689575e-05,1.740215e-05,1.742270e-05,1.792212e-05,1.805705e-05,1.839428e-05,1.866467e-05,1.883963e-05,1.922617e-05,1.925875e-05,1.965235e-05,1.974310e-05,2.002121e-05,2.021728e-05,2.036618e-05,2.065069e-05,2.068815e-05,2.098804e-05,2.104546e-05,2.126680e-05,2.140372e-05,2.152537e-05,2.172764e-05,2.176467e-05,2.198563e-05,2.201935e-05,2.218917e-05,2.228093e-05,2.237615e-05,2.251439e-05,2.254743e-05,2.270384e-05,2.272164e-05,2.284616e-05,2.290453e-05,2.297518e-05,2.306477e-05,2.309160e-05,2.319615e-05,2.320402e-05,2.328947e-05,2.332380e-05,2.337221e-05,2.342558e-05,2.344498e-05,2.350834e-05,2.351069e-05,2.356285e-05,2.358040e-05,2.360902e-05,2.363590e-05,2.364734e-05,2.367828e-05,2.370228e-05,2.370857e-05,2.371976e-05,2.372771e-05,2.373112e-05,2.373661e-05,2.373673e-05,2.373693e-05,2.373607e-05,2.373208e-05,2.372687e-05,2.372248e-05,2.370972e-05,2.370844e-05,2.369023e-05,2.368527e-05,2.366813e-05,2.365415e-05,2.364239e-05,2.361691e-05,2.361324e-05,2.358092e-05,2.357409e-05,2.354563e-05,2.352618e-05,2.350758e-05,2.347363e-05,2.346696e-05,2.342395e-05,2.341686e-05,2.337872e-05,2.335627e-05,2.333143e-05,2.329221e-05,2.328223e-05,2.323126e-05,2.322504e-05,2.317867e-05,2.315505e-05,2.312458e-05,2.308254e-05,2.306910e-05,2.301236e-05,2.300777e-05,2.295447e-05,2.293100e-05,2.289551e-05,2.285247e-05,2.283560e-05,2.277482e-05,2.277237e-05,2.271325e-05,2.269091e-05,2.265099e-05,2.260829e-05,2.258810e-05,2.252465e-05,2.244018e-05,2.235501e-05,2.226927e-05,2.218310e-05,2.209661e-05,2.200991e-05,2.192310e-05,2.183627e-05,2.174950e-05,2.166288e-05,2.157647e-05,2.149035e-05,2.140457e-05,2.131920e-05,2.123428e-05,2.114986e-05,2.106598e-05,2.098269e-05,2.090002e-05,2.081800e-05,2.073667e-05,2.065605e-05,2.057616e-05,2.049704e-05
0.000000e+00,1.654507e-09,3.851597e-09,1.343697e-08,3.069586e-08,4.481523e-08,1.016583e-07,1.047140e-07,2.022236e-07,2.375827e-07,3.471668e-07,4.612307e-07,5.498905e-07,7.948849e-07,8.189591e-07,1.156411e-06,1.246958e-06,1.555333e-06,1.801197e-06,2.003895e-06,2.430440e-06,2.490507e-06,3.005595e-06,3.111314e-06,3.541280e-06,3.825690e-06,4.090765e-06,4.558514e-06,4.647944e-06,5.207245e-06,5.296585e-06,5.763612e-06,6.028281e-06,6.312538e-06,6.743665e-06,6.850101e-06,7.372996e-06,7.434624e-06,7.878533e-06,8.094909e-06,8.364615e-06,8.720055e-06,8.829696e-06,9.272730e-06,9.307199e-06,9.693106e-06,9.854848e-06,1.009058e-05,1.036262e-05,1.046523e-05,1.081737e-05,1.083100e-05,1.114752e-05,1.126112e-05,1.145634e-05,1.165453e-05,1.174458e-05,1.201309e-05,1.226276e-05,1.233883e-05,1.249451e-05,1.263385e-05,1.270925e-05,1.290026e-05,1.290791e-05,1.309137e-05,1.314014e-05,1.326052e-05,1.335548e-05,1.341618e-05,1.354819e-05,1.355918e-05,1.369028e-05,1.372006e-05,1.381022e-05,1.387278e-05,1.391970e-05,1.400791e-05,1.401938e-05,1.410986e-05,1.412691e-05,1.419175e-05,1.423112e-05,1.426559e-05,1.432177e-05,1.433190e-05,1.439116e-05,1.440001e-05,1.444382e-05,1.446689e-05,1.449033e-05,1.452336e-05,1.453107e-05,1.456642e-05,1.457032e-05,1.459674e-05,1.460857e-05,1.462235e-05,1.463886e-05,1.464356e-05,1.466066e-05,1.466186e-05,1.467393e-05,1.467822e-05,1.468361e-05,1.468849e-05,1.468994e-05,1.469315e-05,1.469321e-05,1.469344e-05,1.469287e-05,1.469101e-05,1.468790e-05,1.468605e-05,1.467872e-05,1.466918e-05,1.466569e-05,1.465760e-05,1.464917e-05,1.464410e-05,1.462947e-05,1.462883e-05,1.461190e-05,1.460688e-05,1.459344e-05,1.458167e-05,1.457355e-05,1.455409e-05,1.455235e-05,1.452992e-05,1.452436e-05,1.450636e-05,1.449270e-05,1.448175e-05,1.445930e-05,1.445618e-05,1.442972e-05,1.442433e-05,1.440244e-05,1.438795e-05,1.437441e-05,1.435034e-05,1.434570e-05,1.431636e-05,1.431161e-05,1.428644e-05,1.427190e-05,1.425602e-05,1.423133e-05,1.422512e-05,1.419380e-05,1.419002e-05,1.416211e-05,1.414805e-05,1.413008e-05,1.410554e-05,1.409775e-05,1.406517e-05,1.406255e-05,1.403236e-05,1.401919e-05,1.399937e-05,1.397551e-05,1.396621e-05,1.393292e-05,1.393158e-05,1.389952e-05,1.388748e-05,1.386605e-05,1.384326e-05,1.383253e-05,1.379897e-05,1.375467e-05,1.371039e-05,1.366619e-05,1.362210e-05,1.357816e-05,1.353440e-05,1.349086e-05,1.344755e-05,1.340451e-05,1.336176e-05,1.331932e-05,1.327721e-05,1.323545e-05,1.319406e-05,1.315305e-05,1.311243e-05,1.307222e-05,1.303242e-05,1.299305e-05,1.295412e-05,1.291563e-05,1.287759e-05,1.284000e-05,1.280288e-05
0.000000e+00,5.210163e-10,2.051390e-09,1.578004e-08,6.107064e-08,1.134903e-07,4.320179e-07,4.533186e-07,1.312574e-06,1.698767e-06,3.102217e-06,4.846902e-06,6.376159e-06,1.129963e-05,1.183594e-05,2.033152e-05,2.292971e-05,3.285677e-05,4.204518e-05,5.053485e-05,7.132228e-05,7.458695e-05,1.062823e-04,1.136500e-04,1.468777e-04,1.719030e-04,1.975609e-04,2.487203e-04,2.594057e-04,3.333409e-04,3.463460e-04,4.201307e-04,4.665353e-04,5.203632e-04,6.105073e-04,6.344450e-04,7.626003e-04,7.789287e-04,9.048744e-04,9.719210e-04,1.061139e-03,1.189084e-03,1.231104e-03,1.414324e-03,1.429538e-03,1.610216e-03,1.691967e-03,1.818075e-03,1.974689e-03,2.037085e-03,2.266342e-03,2.275712e-03,2.504869e-03,2.592809e-03,2.751629e-03,2.923582e-03,3.005549e-03,3.265530e-03,3.530465e-03,3.616109e-03,3.799249e-03,3.972787e-03,4.070795e-03,4.333092e-03,4.344042e-03,4.617966e-03,4.694651e-03,4.891586e-03,5.055223e-03,5.163972e-03,5.412723e-03,5.434248e-03,5.701597e-03,5.765241e-03,5.965266e-03,6.111051e-03,6.224561e-03,6.448622e-03,6.478854e-03,6.727581e-03,6.776613e-03,6.970239e-03,7.093875e-03,7.206388e-03,7.399441e-03,7.435645e-03,7.657686e-03,7.692524e-03,7.872238e-03,7.972497e-03,8.079082e-03,8.238891e-03,8.278047e-03,8.469005e-03,8.491378e-03,8.651872e-03,8.729756e-03,8.826601e-03,8.953944e-03,8.993180e-03,9.151632e-03,9.163959e-03,9.302007e-03,9.359912e-03,9.444381e-03,9.541992e-03,9.578855e-03,9.705549e-03,9.710457e-03,9.824603e-03,9.865621e-03,9.936172e-03,1.000785e-02,1.004042e-02,1.013754e-02,1.022771e-02,1.025513e-02,1.031114e-02,1.036108e-02,1.038802e-02,1.045587e-02,1.045857e-02,1.052300e-02,1.053997e-02,1.058152e-02,1.061388e-02,1.063435e-02,1.067811e-02,1.068170e-02,1.072380e-02,1.073315e-02,1.076086e-02,1.077948e-02,1.079308e-02,1.081760e-02,1.082068e-02,1.084386e-02,1.084798e-02,1.086282e-02,1.087108e-02,1.087776e-02,1.088735e-02,1.088888e-02,1.089635e-02,1.089722e-02,1.090037e-02,1.090113e-02,1.090112e-02,1.089947e-02,1.089876e-02,1.089346e-02,1.089263e-02,1.088538e-02,1.088099e-02,1.087468e-02,1.086489e-02,1.086151e-02,1.084602e-02,1.084468e-02,1.082834e-02,1.082069e-02,1.080861e-02,1.079320e-02,1.078695e-02,1.076350e-02,1.076253e-02,1.073837e-02,1.072893e-02,1.071166e-02,1.069267e-02,1.068351e-02,1.065399e-02,1.061313e-02,1.057029e-02,1.052568e-02,1.047949e-02,1.043191e-02,1.038309e-02,1.033319e-02,1.028235e-02,1.023072e-02,1.017842e-02,1.012556e-02,1.007226e-02,1.001861e-02,9.964712e-03,9.910648e-03,9.856498e-03,9.802337e-03,9.748231e-03,9.694244e-03,9.640433e-03,9.586849e-03,9.533541e-03,9.480552e-03,9.427922e-03
0.000000e+00,2.519402e-09,5.770732e-09,1.984064e-08,4.510395e-08,6.576397e-08,1.489071e-07,1.533739e-07,2.956689e-07,3.471358e-07,5.062163e-07,6.713224e-07,7.995715e-07,1.155586e-06,1.190828e-06,1.693199e-06,1.831258e-06,2.313511e-06,2.711755e-06,3.049044e-06,3.783565e-06,3.889540e-06,4.822029e-06,5.018442e-06,5.833996e-06,6.387856e-06,6.914221e-06,7.866911e-06,8.052551e-06,9.239471e-06,9.433272e-06,1.046582e-05,1.106583e-05,1.172265e-05,1.274417e-05,1.300121e-05,1.429303e-05,1.444855e-05,1.559000e-05,1.616030e-05,1.688445e-05,1.786218e-05,1.816931e-05,1.943810e-05,1.953873e-05,2.068504e-05,2.117653e-05,2.190505e-05,2.276433e-05,2.309381e-05,2.424760e-05,2.429298e-05,2.536344e-05,2.575537e-05,2.643894e-05,2.714629e-05,2.747229e-05,2.846222e-05,2.940789e-05,2.970108e-05,3.030891e-05,3.086208e-05,3.116521e-05,3.194543e-05,3.197705e-05,3.274494e-05,3.295216e-05,3.346958e-05,3.388398e-05,3.415187e-05,3.474305e-05,3.479284e-05,3.539361e-05,3.553194e-05,3.595540e-05,3.625346e-05,3.647951e-05,3.691058e-05,3.696723e-05,3.741993e-05,3.750638e-05,3.783895e-05,3.804398e-05,3.822565e-05,3.852649e-05,3.858138e-05,3.890748e-05,3.895699e-05,3.920525e-05,3.933849e-05,3.947597e-05,3.967392e-05,3.972090e-05,3.994126e-05,3.996610e-05,4.013822e-05,4.021777e-05,4.031294e-05,4.043152e-05,4.046651e-05,4.060002e-05,4.060986e-05,4.071448e-05,4.075516e-05,4.081090e-05,4.086968e-05,4.089022e-05,4.095336e-05,4.095556e-05,4.100119e-05,4.101483e-05,4.103457e-05,4.104942e-05,4.105430e-05,4.106114e-05,4.105585e-05,4.105171e-05,4.103912e-05,4.102273e-05,4.101163e-05,4.097572e-05,4.097403e-05,4.092693e-05,4.091212e-05,4.087092e-05,4.083327e-05,4.080656e-05,4.074043e-05,4.073438e-05,4.065490e-05,4.063479e-05,4.056860e-05,4.051746e-05,4.047593e-05,4.038948e-05,4.037735e-05,4.027326e-05,4.025182e-05,4.016408e-05,4.010541e-05,4.005016e-05,3.995108e-05,3.993188e-05,3.980957e-05,3.978965e-05,3.968357e-05,3.962186e-05,3.955417e-05,3.944840e-05,3.942167e-05,3.928635e-05,3.926993e-05,3.914846e-05,3.908705e-05,3.900827e-05,3.890032e-05,3.886600e-05,3.872187e-05,3.871027e-05,3.857611e-05,3.851739e-05,3.842890e-05,3.832213e-05,3.828045e-05,3.813092e-05,3.812492e-05,3.798048e-05,3.792614e-05,3.782930e-05,3.772615e-05,3.767753e-05,3.752530e-05,3.732390e-05,3.712222e-05,3.692055e-05,3.671911e-05,3.651813e-05,3.631783e-05,3.611838e-05,3.591997e-05,3.572275e-05,3.552686e-05,3.533244e-05,3.513961e-05,3.494847e-05,3.475913e-05,3.457166e-05,3.438616e-05,3.420268e-05,3.402128e-05,3.384203e-05,3.366497e-05,3.349015e-05,3.331758e-05,3.314731e-05,3.297936e-05
0.000000e+00,2.891644e-10,1.126191e-09,8.470064e-09,3.212027e-08,5.903629e-08,2.185849e-07,2.291102e-07,6.464307e-07,8.310580e-07,1.493577e-06,2.305704e-06,3.010920e-06,5.255411e-06,5.498127e-06,9.310024e-06,1.046520e-05,1.483883e-05,1.883310e-05,2.247892e-05,3.123107e-05,3.258385e-05,4.543262e-05,4.834983e-05,6.121317e-05,7.061283e-05,8.002070e-05,9.816754e-05,1.018648e-04,1.266805e-04,1.309191e-04,1.543410e-04,1.685781e-04,1.846692e-04,2.107090e-04,2.174501e-04,2.524401e-04,2.567751e-04,2.893776e-04,3.061771e-04,3.279904e-04,3.582872e-04,3.680033e-04,4.091441e-04,4.124761e-04,4.511483e-04,4.681347e-04,4.937635e-04,5.246907e-04,5.367521e-04,5.798935e-04,5.816194e-04,6.229853e-04,6.384504e-04,6.658444e-04,6.947711e-04,7.083066e-04,7.502265e-04,7.914772e-04,8.045177e-04,8.319490e-04,8.573983e-04,8.715484e-04,9.086702e-04,9.101970e-04,9.478304e-04,9.581785e-04,9.843965e-04,1.005807e-03,1.019855e-03,1.051471e-03,1.054174e-03,1.087334e-03,1.095118e-03,1.119320e-03,1.136716e-03,1.150125e-03,1.176257e-03,1.179749e-03,1.208196e-03,1.213745e-03,1.235475e-03,1.249203e-03,1.261599e-03,1.282662e-03,1.286584e-03,1.310447e-03,1.314163e-03,1.333211e-03,1.343753e-03,1.354897e-03,1.371487e-03,1.375530e-03,1.395135e-03,1.397420e-03,1.413738e-03,1.421613e-03,1.431366e-03,1.444128e-03,1.448047e-03,1.463807e-03,1.465029e-03,1.478674e-03,1.484377e-03,1.492676e-03,1.502238e-03,1.505841e-03,1.518196e-03,1.518674e-03,1.529768e-03,1.533748e-03,1.540584e-03,1.547520e-03,1.550670e-03,1.560052e-03,1.568755e-03,1.571401e-03,1.576805e-03,1.581625e-03,1.584225e-03,1.590779e-03,1.591040e-03,1.597273e-03,1.598917e-03,1.602947e-03,1.606091e-03,1.608083e-03,1.612352e-03,1.612703e-03,1.616829e-03,1.617747e-03,1.620480e-03,1.622324e-03,1.623676e-03,1.626127e-03,1.626436e-03,1.628780e-03,1.629200e-03,1.630725e-03,1.631584e-03,1.632288e-03,1.633319e-03,1.633487e-03,1.634338e-03,1.634443e-03,1.634857e-03,1.634992e-03,1.635058e-03,1.635002e-03,1.634958e-03,1.634570e-03,1.634505e-03,1.633908e-03,1.633534e-03,1.632986e-03,1.632119e-03,1.631816e-03,1.630411e-03,1.630289e-03,1.628783e-03,1.628072e-03,1.626943e-03,1.625494e-03,1.624903e-03,1.622674e-03,1.622581e-03,1.620265e-03,1.619356e-03,1.617687e-03,1.615842e-03,1.614949e-03,1.612060e-03,1.608032e-03,1.603777e-03,1.599313e-03,1.594658e-03,1.589829e-03,1.584841e-03,1.579709e-03,1.574448e-03,1.569071e-03,1.563590e-03,1.558017e-03,1.552365e-03,1.546642e-03,1.540860e-03,1.535027e-03,1.529153e-03,1.523246e-03,1.517314e-03,1.511364e-03,1.505403e-03,1.499438e-03,1.493474e-03,1.487517e-03,1.481573e-03
0.000000e+00,7.370549e-09,1.737332e-08,6.206979e-08,1.455500e-07,2.162875e-07,5.209203e-07,5.381466e-07,1.129281e-06,1.361879e-06,2.133902e-06,2.999887e-06,3.700619e-06,5.683092e-06,5.878340e-06,8.582155e-06,9.295187e-06,1.168882e-05,1.356834e-05,1.510551e-05,1.832195e-05,1.877414e-05,2.265809e-05,2.345833e-05,2.673131e-05,2.891687e-05,3.097193e-05,3.464805e-05,3.535892e-05,3.987052e-05,4.060242e-05,4.448386e-05,4.672741e-05,4.917503e-05,5.296751e-05,5.391948e-05,5.869251e-05,5.926603e-05,6.346987e-05,6.556724e-05,6.822827e-05,7.181841e-05,7.294577e-05,7.760217e-05,7.797148e-05,8.217923e-05,8.398415e-05,8.666081e-05,8.982049e-05,9.103292e-05,9.528371e-05,9.545107e-05,9.940339e-05,1.008528e-04,1.033841e-04,1.060085e-04,1.072198e-04,1.109062e-04,1.144402e-04,1.155386e-04,1.178202e-04,1.199023e-04,1.210456e-04,1.239972e-04,1.241171e-04,1.270357e-04,1.278258e-04,1.298035e-04,1.313928e-04,1.324230e-04,1.347045e-04,1.348972e-04,1.372294e-04,1.377684e-04,1.394234e-04,1.405930e-04,1.414829e-04,1.431872e-04,1.434120e-04,1.452149e-04,1.455607e-04,1.468957e-04,1.477229e-04,1.484587e-04,1.496836e-04,1.499081e-04,1.512481e-04,1.514526e-04,1.524829e-04,1.530395e-04,1.536167e-04,1.544536e-04,1.546534e-04,1.555969e-04,1.557041e-04,1.564513e-04,1.567999e-04,1.572201e-04,1.577496e-04,1.579072e-04,1.585160e-04,1.585615e-04,1.590501e-04,1.592435e-04,1.595127e-04,1.598034e-04,1.599072e-04,1.602366e-04,1.602484e-04,1.605039e-04,1.605856e-04,1.607122e-04,1.608216e-04,1.608643e-04,1.609628e-04,1.610104e-04,1.610153e-04,1.610096e-04,1.609848e-04,1.609628e-04,1.608769e-04,1.608725e-04,1.607408e-04,1.606968e-04,1.605699e-04,1.604494e-04,1.603618e-04,1.601394e-04,1.601187e-04,1.598424e-04,1.597713e-04,1.595346e-04,1.593493e-04,1.591973e-04,1.588773e-04,1.588321e-04,1.584406e-04,1.583592e-04,1.580243e-04,1.577986e-04,1.575848e-04,1.571987e-04,1.571235e-04,1.566417e-04,1.565628e-04,1.561408e-04,1.558939e-04,1.556219e-04,1.551948e-04,1.550864e-04,1.545353e-04,1.544682e-04,1.539697e-04,1.537165e-04,1.533907e-04,1.529423e-04,1.527993e-04,1.521964e-04,1.521477e-04,1.515829e-04,1.513348e-04,1.509597e-04,1.505055e-04,1.503277e-04,1.496876e-04,1.496618e-04,1.490401e-04,1.488054e-04,1.483860e-04,1.479378e-04,1.477260e-04,1.470608e-04,1.461756e-04,1.452836e-04,1.443861e-04,1.434842e-04,1.425791e-04,1.416718e-04,1.407633e-04,1.398543e-04,1.389459e-04,1.380386e-04,1.371333e-04,1.362307e-04,1.353312e-04,1.344356e-04,1.335443e-04,1.326578e-04,1.317765e-04,1.309010e-04,1.300314e-04,1.291683e-04,1.283119e-04,1.274624e-04,1.266203e-04,1.257855e-04
0.000000e+00,5.642469e-11,2.150312e-10,1.546793e-09,5.637428e-09,1.014310e-08,3.562477e-08,3.726320e-08,1.002280e-07,1.273108e-07,2.224190e-07,3.362719e-07,4.335401e-07,7.360603e-07,7.682171e-07,1.260544e-06,1.405308e-06,1.936634e-06,2.401238e-06,2.810496e-06,3.745216e-06,3.884518e-06,5.152180e-06,5.427925e-06,6.600954e-06,7.420577e-06,8.214513e-06,9.683651e-06,9.974209e-06,1.186001e-05,1.217205e-05,1.385109e-05,1.483800e-05,1.592632e-05,1.763292e-05,1.806463e-05,2.024539e-05,2.050899e-05,2.244879e-05,2.342059e-05,2.465612e-05,2.632563e-05,2.685010e-05,2.901506e-05,2.918657e-05,3.113714e-05,3.197121e-05,3.320432e-05,3.465295e-05,3.520650e-05,3.713540e-05,3.721093e-05,3.898451e-05,3.962967e-05,4.074894e-05,4.189861e-05,4.242532e-05,4.401156e-05,4.550675e-05,4.596597e-05,4.691097e-05,4.776231e-05,4.822512e-05,4.940345e-05,4.945080e-05,5.059016e-05,5.089405e-05,5.164576e-05,5.224011e-05,5.262051e-05,5.344857e-05,5.351755e-05,5.434019e-05,5.452692e-05,5.509181e-05,5.548298e-05,5.577586e-05,5.632465e-05,5.639576e-05,5.695493e-05,5.705977e-05,5.745669e-05,5.769600e-05,5.790429e-05,5.824073e-05,5.830088e-05,5.864950e-05,5.870102e-05,5.895307e-05,5.908361e-05,5.921439e-05,5.939482e-05,5.943613e-05,5.962083e-05,5.964062e-05,5.977091e-05,5.982657e-05,5.988867e-05,5.995789e-05,5.997628e-05,6.003580e-05,6.003941e-05,6.006918e-05,6.007563e-05,6.007826e-05,6.007072e-05,6.006476e-05,6.003033e-05,6.002854e-05,5.997650e-05,5.995265e-05,5.990472e-05,5.984636e-05,5.981636e-05,5.971269e-05,5.959493e-05,5.955446e-05,5.946420e-05,5.937423e-05,5.932158e-05,5.917438e-05,5.916804e-05,5.900454e-05,5.895709e-05,5.883195e-05,5.872437e-05,5.865109e-05,5.847806e-05,5.846273e-05,5.826760e-05,5.821984e-05,5.806637e-05,5.795126e-05,5.785968e-05,5.767374e-05,5.764812e-05,5.743223e-05,5.738858e-05,5.721255e-05,5.709697e-05,5.698954e-05,5.679999e-05,5.676367e-05,5.653536e-05,5.649863e-05,5.630499e-05,5.619379e-05,5.607294e-05,5.588631e-05,5.583954e-05,5.560512e-05,5.557694e-05,5.536997e-05,5.526635e-05,5.513437e-05,5.495516e-05,5.489856e-05,5.466280e-05,5.464394e-05,5.442729e-05,5.433321e-05,5.419225e-05,5.402341e-05,5.395785e-05,5.372429e-05,5.371496e-05,5.349171e-05,5.340825e-05,5.326027e-05,5.310361e-05,5.303010e-05,5.280133e-05,5.250170e-05,5.220495e-05,5.191129e-05,5.162091e-05,5.133398e-05,5.105064e-05,5.077102e-05,5.049523e-05,5.022335e-05,4.995546e-05,4.969163e-05,4.943191e-05,4.917634e-05,4.892494e-05,4.867775e-05,4.843476e-05,4.819598e-05,4.796141e-05,4.773104e-05,4.750486e-05,4.728284e-05,4.706496e-05,4.685119e-05,4.664149e-05
0.000000e+00,4.508967e-09,1.044371e-08,3.655099e-08,8.465687e-08,1.250487e-07,2.965665e-07,3.061740e-07,6.319028e-07,7.585792e-07,1.176422e-06,1.645353e-06,2.028216e-06,3.137328e-06,3.248712e-06,4.822653e-06,5.245004e-06,6.674337e-06,7.802039e-06,8.724082e-06,1.064538e-05,1.091423e-05,1.320736e-05,1.367601e-05,1.557864e-05,1.683639e-05,1.800988e-05,2.008745e-05,2.048609e-05,2.299365e-05,2.339689e-05,2.551942e-05,2.673446e-05,2.805051e-05,3.007071e-05,3.057428e-05,3.307846e-05,3.337708e-05,3.555152e-05,3.662705e-05,3.798288e-05,3.979687e-05,4.036292e-05,4.268319e-05,4.286600e-05,4.493642e-05,4.581755e-05,4.711657e-05,4.863824e-05,4.921877e-05,5.123941e-05,5.131850e-05,5.317567e-05,5.385168e-05,5.502571e-05,5.623402e-05,5.678866e-05,5.846428e-05,6.005306e-05,6.054328e-05,6.155599e-05,6.247345e-05,6.297448e-05,6.425840e-05,6.431027e-05,6.556543e-05,6.590273e-05,6.674225e-05,6.741175e-05,6.784318e-05,6.879120e-05,6.887077e-05,6.982768e-05,7.004712e-05,7.071659e-05,7.118569e-05,7.154020e-05,7.221311e-05,7.230121e-05,7.300228e-05,7.313553e-05,7.364602e-05,7.395897e-05,7.423501e-05,7.468929e-05,7.477176e-05,7.525870e-05,7.533215e-05,7.569820e-05,7.589298e-05,7.609254e-05,7.637699e-05,7.644394e-05,7.675452e-05,7.678914e-05,7.702632e-05,7.713414e-05,7.726132e-05,7.741647e-05,7.746140e-05,7.762837e-05,7.764035e-05,7.776397e-05,7.780979e-05,7.786985e-05,7.792858e-05,7.794760e-05,7.799876e-05,7.800027e-05,7.802475e-05,7.802822e-05,7.802697e-05,7.801559e-05,7.800675e-05,7.796534e-05,7.790395e-05,7.788028e-05,7.782373e-05,7.776302e-05,7.772577e-05,7.761601e-05,7.761112e-05,7.748077e-05,7.744158e-05,7.733566e-05,7.724189e-05,7.717670e-05,7.701896e-05,7.700474e-05,7.682061e-05,7.677469e-05,7.662507e-05,7.651087e-05,7.641888e-05,7.622917e-05,7.620272e-05,7.597728e-05,7.593113e-05,7.574318e-05,7.561823e-05,7.550103e-05,7.529183e-05,7.525141e-05,7.499486e-05,7.495320e-05,7.473189e-05,7.460354e-05,7.446301e-05,7.424396e-05,7.418868e-05,7.390934e-05,7.387550e-05,7.362541e-05,7.349914e-05,7.333730e-05,7.311577e-05,7.304539e-05,7.275002e-05,7.272626e-05,7.245155e-05,7.233137e-05,7.215031e-05,7.193186e-05,7.184658e-05,7.154067e-05,7.152840e-05,7.123286e-05,7.112163e-05,7.092339e-05,7.071214e-05,7.061253e-05,7.030050e-05,6.988720e-05,6.947273e-05,6.905753e-05,6.864201e-05,6.822655e-05,6.781151e-05,6.739720e-05,6.698394e-05,6.657200e-05,6.616163e-05,6.575308e-05,6.534656e-05,6.494227e-05,6.454040e-05,6.414111e-05,6.374456e-05,6.335088e-05,6.296021e-05,6.257266e-05,6.218834e-05,6.180733e-05,6.142972e-05,6.105558e-05,6.068499e-05
0.000000e+00,3.663964e-10,1.251474e-09,7.296086e-09,2.236445e-08,3.684030e-08,1.050637e-07,1.090283e-07,2.444889e-07,2.965942e-07,4.641696e-07,6.453351e-07,7.895281e-07,1.199652e-06,1.240770e-06,1.831185e-06,1.993926e-06,2.561103e-06,3.026758e-06,3.418898e-06,4.266042e-06,4.387547e-06,5.449662e-06,5.671855e-06,6.589065e-06,7.207057e-06,7.790667e-06,8.837572e-06,9.040129e-06,1.032373e-05,1.053140e-05,1.162847e-05,1.225867e-05,1.294227e-05,1.399242e-05,1.425417e-05,1.555444e-05,1.570928e-05,1.683474e-05,1.738989e-05,1.808805e-05,1.901893e-05,1.930863e-05,2.049196e-05,2.058491e-05,2.163461e-05,2.207969e-05,2.273408e-05,2.349798e-05,2.378868e-05,2.479744e-05,2.483683e-05,2.575994e-05,2.609510e-05,2.667621e-05,2.727306e-05,2.754667e-05,2.837202e-05,2.915321e-05,2.939404e-05,2.989134e-05,3.034170e-05,3.058763e-05,3.121794e-05,3.124341e-05,3.186006e-05,3.202590e-05,3.243898e-05,3.276882e-05,3.298161e-05,3.345000e-05,3.348937e-05,3.396370e-05,3.407272e-05,3.440599e-05,3.464020e-05,3.481763e-05,3.515557e-05,3.519995e-05,3.555428e-05,3.562189e-05,3.588188e-05,3.604209e-05,3.618401e-05,3.641898e-05,3.646185e-05,3.671657e-05,3.675526e-05,3.694928e-05,3.705347e-05,3.716104e-05,3.731606e-05,3.735289e-05,3.752582e-05,3.754535e-05,3.768079e-05,3.774352e-05,3.781870e-05,3.791265e-05,3.794044e-05,3.804683e-05,3.805471e-05,3.813869e-05,3.817154e-05,3.821678e-05,3.826489e-05,3.828183e-05,3.833455e-05,3.833641e-05,3.837560e-05,3.838765e-05,3.840564e-05,3.842008e-05,3.842526e-05,3.843506e-05,3.843559e-05,3.843389e-05,3.842738e-05,3.841778e-05,3.841094e-05,3.838786e-05,3.838675e-05,3.835527e-05,3.834522e-05,3.831695e-05,3.829084e-05,3.827219e-05,3.822567e-05,3.822139e-05,3.816494e-05,3.815059e-05,3.810320e-05,3.806643e-05,3.803650e-05,3.797396e-05,3.796517e-05,3.788952e-05,3.787390e-05,3.780986e-05,3.776693e-05,3.772645e-05,3.765369e-05,3.763956e-05,3.754945e-05,3.753475e-05,3.745636e-05,3.741069e-05,3.736052e-05,3.728201e-05,3.726214e-05,3.716143e-05,3.714919e-05,3.705858e-05,3.701270e-05,3.695378e-05,3.687294e-05,3.684721e-05,3.673903e-05,3.673031e-05,3.662940e-05,3.658518e-05,3.651847e-05,3.643788e-05,3.640638e-05,3.629327e-05,3.628873e-05,3.617927e-05,3.613803e-05,3.606449e-05,3.598606e-05,3.594905e-05,3.583306e-05,3.567927e-05,3.552491e-05,3.537019e-05,3.521530e-05,3.506040e-05,3.490567e-05,3.475125e-05,3.459727e-05,3.444387e-05,3.429116e-05,3.413925e-05,3.398824e-05,3.383822e-05,3.368926e-05,3.354146e-05,3.339486e-05,3.324955e-05,3.310556e-05,3.296296e-05,3.282178e-05,3.268208e-05,3.254388e-05,3.240722e-05,3.227212e-05
0.000000e+00,3.714573e-09,1.459975e-08,1.119019e-07,4.316828e-07,8.008415e-07,3.035881e-06,3.185061e-06,9.189927e-06,1.188412e-05,2.166482e-05,3.381502e-05,4.446424e-05,7.876960e-05,8.250887e-05,1.418023e-04,1.599529e-04,2.293255e-04,2.935073e-04,3.527327e-04,4.972762e-04,5.199056e-04,7.385184e-04,7.890543e-04,1.015712e-03,1.185159e-03,1.357877e-03,1.699564e-03,1.770523e-03,2.258187e-03,2.343424e-03,2.824383e-03,3.124813e-03,3.471567e-03,4.048595e-03,4.201128e-03,5.013390e-03,5.116395e-03,5.907635e-03,6.326667e-03,6.882143e-03,7.674840e-03,7.934246e-03,9.060399e-03,9.153566e-03,1.025627e-02,1.075303e-02,1.151681e-02,1.246131e-02,1.283641e-02,1.420893e-02,1.426484e-02,1.562787e-02,1.614876e-02,1.708648e-02,1.809745e-02,1.857780e-02,2.009484e-02,2.163061e-02,2.212489e-02,2.317825e-02,2.417186e-02,2.473106e-02,2.622066e-02,2.628262e-02,2.782677e-02,2.825701e-02,2.935773e-02,3.026770e-02,3.087008e-02,3.224069e-02,3.235881e-02,3.381934e-02,3.416520e-02,3.524752e-02,3.603177e-02,3.663963e-02,3.783223e-02,3.799239e-02,3.930293e-02,3.955976e-02,4.056883e-02,4.120876e-02,4.178803e-02,4.277484e-02,4.295887e-02,4.408004e-02,4.425475e-02,4.515057e-02,4.564623e-02,4.616980e-02,4.694799e-02,4.713737e-02,4.805316e-02,4.815958e-02,4.891733e-02,4.928129e-02,4.973022e-02,5.031407e-02,5.049241e-02,5.120460e-02,5.125944e-02,5.186769e-02,5.211940e-02,5.248269e-02,5.289634e-02,5.305072e-02,5.357302e-02,5.359298e-02,5.405090e-02,5.421232e-02,5.448573e-02,5.475754e-02,5.487893e-02,5.523198e-02,5.554639e-02,5.563908e-02,5.582365e-02,5.598231e-02,5.606530e-02,5.626520e-02,5.627287e-02,5.644787e-02,5.649124e-02,5.659181e-02,5.666390e-02,5.670619e-02,5.678657e-02,5.679247e-02,5.685208e-02,5.686258e-02,5.688644e-02,5.689516e-02,5.689691e-02,5.688743e-02,5.688483e-02,5.685150e-02,5.684240e-02,5.679818e-02,5.676296e-02,5.672608e-02,5.665187e-02,5.663638e-02,5.653021e-02,5.651176e-02,5.640865e-02,5.634514e-02,5.627274e-02,5.615437e-02,5.612351e-02,5.596189e-02,5.594171e-02,5.578881e-02,5.570925e-02,5.560515e-02,5.545901e-02,5.541174e-02,5.520938e-02,5.519283e-02,5.499883e-02,5.491247e-02,5.478080e-02,5.461958e-02,5.455598e-02,5.432503e-02,5.431567e-02,5.408854e-02,5.400217e-02,5.384712e-02,5.368041e-02,5.360131e-02,5.335162e-02,5.301694e-02,5.267741e-02,5.233403e-02,5.198768e-02,5.163918e-02,5.128930e-02,5.093873e-02,5.058810e-02,5.023799e-02,4.988893e-02,4.954139e-02,4.919582e-02,4.885259e-02,4.851206e-02,4.817455e-02,4.784034e-02,4.750967e-02,4.718277e-02,4.685983e-02,4.654101e-02,4.622648e-02,4.591634e-02,4.561072e-02,4.530968e-02
0.000000e+00,7.893607e-10,2.355341e-09,1.103804e-08,2.926313e-08,4.522955e-08,1.136585e-07,1.174524e-07,2.418877e-07,2.881647e-07,4.342177e-07,5.896629e-07,7.126266e-07,1.062104e-06,1.097246e-06,1.605971e-06,1.747668e-06,2.245760e-06,2.657865e-06,3.005500e-06,3.753139e-06,3.859639e-06,4.779218e-06,4.968707e-06,5.739557e-06,6.248610e-06,6.721911e-06,7.553772e-06,7.712301e-06,8.699969e-06,8.857143e-06,9.676271e-06,1.013871e-05,1.063403e-05,1.138278e-05,1.156718e-05,1.247064e-05,1.257685e-05,1.334022e-05,1.371120e-05,1.417255e-05,1.477864e-05,1.496512e-05,1.571614e-05,1.577439e-05,1.642453e-05,1.669584e-05,1.708986e-05,1.754226e-05,1.771222e-05,1.829214e-05,1.831447e-05,1.883056e-05,1.901447e-05,1.932872e-05,1.964520e-05,1.978806e-05,2.021022e-05,2.059695e-05,2.071351e-05,2.095005e-05,2.115925e-05,2.127138e-05,2.155167e-05,2.156278e-05,2.182606e-05,2.189498e-05,2.206300e-05,2.219324e-05,2.227532e-05,2.245032e-05,2.246465e-05,2.263259e-05,2.266987e-05,2.278062e-05,2.285535e-05,2.291015e-05,2.300991e-05,2.302253e-05,2.311897e-05,2.313645e-05,2.320064e-05,2.323763e-05,2.326862e-05,2.331591e-05,2.332395e-05,2.336755e-05,2.337350e-05,2.340031e-05,2.341243e-05,2.342304e-05,2.343453e-05,2.343652e-05,2.344143e-05,2.344148e-05,2.343844e-05,2.343479e-05,2.342817e-05,2.341583e-05,2.341116e-05,2.338796e-05,2.338585e-05,2.335904e-05,2.334597e-05,2.332485e-05,2.329722e-05,2.328583e-05,2.324235e-05,2.324053e-05,2.319479e-05,2.317673e-05,2.314346e-05,2.310658e-05,2.308870e-05,2.303079e-05,2.296999e-05,2.294997e-05,2.290656e-05,2.286470e-05,2.284074e-05,2.277550e-05,2.277274e-05,2.270276e-05,2.268283e-05,2.263099e-05,2.258714e-05,2.255760e-05,2.248881e-05,2.248277e-05,2.240663e-05,2.238818e-05,2.232934e-05,2.228560e-05,2.225103e-05,2.218136e-05,2.217181e-05,2.209180e-05,2.207571e-05,2.201111e-05,2.196892e-05,2.192985e-05,2.186120e-05,2.184809e-05,2.176594e-05,2.175276e-05,2.168346e-05,2.164379e-05,2.160075e-05,2.153445e-05,2.151786e-05,2.143486e-05,2.142490e-05,2.135182e-05,2.131529e-05,2.126879e-05,2.120573e-05,2.118583e-05,2.110298e-05,2.109636e-05,2.102029e-05,2.098727e-05,2.093781e-05,2.087857e-05,2.085557e-05,2.077362e-05,2.077034e-05,2.069198e-05,2.066267e-05,2.061069e-05,2.055563e-05,2.052978e-05,2.044928e-05,2.034369e-05,2.023890e-05,2.013498e-05,2.003196e-05,1.992988e-05,1.982878e-05,1.972869e-05,1.962964e-05,1.953165e-05,1.943475e-05,1.933895e-05,1.924428e-05,1.915073e-05,1.905833e-05,1.896709e-05,1.887701e-05,1.878810e-05,1.870036e-05,1.861379e-05,1.852840e-05,1.844419e-05,1.836115e-05,1.827929e-05,1.819860e-05
0.000000e+00,1.697217e-10,6.114499e-10,3.934075e-09,1.303870e-08,2.233568e-08,6.988171e-08,7.277917e-08,1.777366e-07,2.205975e-07,3.656421e-07,5.325256e-07,6.713530e-07,1.087553e-06,1.130601e-06,1.764100e-06,1.941644e-06,2.561673e-06,3.066307e-06,3.484854e-06,4.362103e-06,4.484549e-06,5.516569e-06,5.723741e-06,6.547887e-06,7.076160e-06,7.556271e-06,8.374988e-06,8.527458e-06,9.452363e-06,9.595626e-06,1.032509e-05,1.072427e-05,1.114178e-05,1.175310e-05,1.189999e-05,1.259845e-05,1.267823e-05,1.323689e-05,1.349893e-05,1.381596e-05,1.421726e-05,1.433718e-05,1.480276e-05,1.483768e-05,1.521547e-05,1.536645e-05,1.557848e-05,1.581101e-05,1.589525e-05,1.616934e-05,1.617947e-05,1.640438e-05,1.648011e-05,1.660388e-05,1.672098e-05,1.677123e-05,1.690960e-05,1.702197e-05,1.705289e-05,1.711110e-05,1.715711e-05,1.717950e-05,1.722777e-05,1.722944e-05,1.726298e-05,1.726969e-05,1.728196e-05,1.728704e-05,1.728801e-05,1.728344e-05,1.728262e-05,1.726706e-05,1.726195e-05,1.724249e-05,1.722518e-05,1.720993e-05,1.717538e-05,1.717027e-05,1.712432e-05,1.711444e-05,1.707278e-05,1.704398e-05,1.701628e-05,1.696540e-05,1.695538e-05,1.689057e-05,1.687987e-05,1.682231e-05,1.678843e-05,1.675098e-05,1.669195e-05,1.667695e-05,1.660052e-05,1.659121e-05,1.652200e-05,1.648685e-05,1.644163e-05,1.637947e-05,1.635966e-05,1.627629e-05,1.626957e-05,1.619172e-05,1.615759e-05,1.610612e-05,1.604394e-05,1.601966e-05,1.593247e-05,1.592897e-05,1.584469e-05,1.581297e-05,1.575645e-05,1.569623e-05,1.566785e-05,1.557900e-05,1.548998e-05,1.546148e-05,1.540090e-05,1.534388e-05,1.531182e-05,1.522637e-05,1.522282e-05,1.513396e-05,1.510911e-05,1.504531e-05,1.499224e-05,1.495692e-05,1.487589e-05,1.486886e-05,1.478115e-05,1.476016e-05,1.469385e-05,1.464516e-05,1.460700e-05,1.453098e-05,1.452064e-05,1.443480e-05,1.441769e-05,1.434950e-05,1.430538e-05,1.426479e-05,1.419410e-05,1.418068e-05,1.409720e-05,1.408390e-05,1.401437e-05,1.397485e-05,1.393221e-05,1.386697e-05,1.385074e-05,1.376996e-05,1.376032e-05,1.368991e-05,1.365492e-05,1.361059e-05,1.355080e-05,1.353201e-05,1.345418e-05,1.344798e-05,1.337710e-05,1.334649e-05,1.330080e-05,1.324634e-05,1.322527e-05,1.315052e-05,1.314754e-05,1.307655e-05,1.305011e-05,1.300337e-05,1.295405e-05,1.293097e-05,1.285937e-05,1.276607e-05,1.267415e-05,1.258361e-05,1.249445e-05,1.240666e-05,1.232024e-05,1.223518e-05,1.215147e-05,1.206910e-05,1.198806e-05,1.190835e-05,1.182994e-05,1.175283e-05,1.167701e-05,1.160245e-05,1.152915e-05,1.145709e-05,1.138625e-05,1.131662e-05,1.124819e-05,1.118093e-05,1.111483e-05,1.104988e-05,1.098606e-05
0.000000e+00,2.340503e-09,5.744342e-09,2.133126e-08,5.056643e-08,7.514103e-08,1.782808e-07,1.839898e-07,3.736714e-07,4.457290e-07,6.786379e-07,9.342659e-07,1.140465e-06,1.733764e-06,1.793353e-06,2.640424e-06,2.869727e-06,3.652427e-06,4.276926e-06,4.791770e-06,5.875670e-06,6.028447e-06,7.341408e-06,7.611745e-06,8.715399e-06,9.449872e-06,1.013821e-05,1.136320e-05,1.159907e-05,1.308784e-05,1.332797e-05,1.459473e-05,1.532169e-05,1.611030e-05,1.732295e-05,1.762556e-05,1.913205e-05,1.931186e-05,2.062202e-05,2.127055e-05,2.208852e-05,2.318360e-05,2.352548e-05,2.492769e-05,2.503823e-05,2.629081e-05,2.682431e-05,2.761136e-05,2.853424e-05,2.888662e-05,3.011460e-05,3.016271e-05,3.129387e-05,3.170631e-05,3.242364e-05,3.316341e-05,3.350355e-05,3.453361e-05,3.551421e-05,3.581765e-05,3.644599e-05,3.701710e-05,3.732982e-05,3.813417e-05,3.816676e-05,3.895802e-05,3.917155e-05,3.970488e-05,4.013225e-05,4.040871e-05,4.101946e-05,4.107094e-05,4.169301e-05,4.183650e-05,4.227640e-05,4.258674e-05,4.282255e-05,4.327353e-05,4.333294e-05,4.380899e-05,4.390020e-05,4.425212e-05,4.447000e-05,4.466371e-05,4.498607e-05,4.504512e-05,4.539766e-05,4.545147e-05,4.572260e-05,4.586914e-05,4.602119e-05,4.624189e-05,4.629462e-05,4.654405e-05,4.657242e-05,4.677059e-05,4.686330e-05,4.697533e-05,4.711698e-05,4.715929e-05,4.732347e-05,4.733578e-05,4.746884e-05,4.752192e-05,4.759630e-05,4.767749e-05,4.770676e-05,4.780104e-05,4.780449e-05,4.787997e-05,4.790478e-05,4.794433e-05,4.798015e-05,4.799485e-05,4.803227e-05,4.805726e-05,4.806274e-05,4.807047e-05,4.807304e-05,4.807254e-05,4.806460e-05,4.806407e-05,4.804562e-05,4.803875e-05,4.801775e-05,4.799673e-05,4.798099e-05,4.793973e-05,4.793582e-05,4.788274e-05,4.786887e-05,4.782220e-05,4.778520e-05,4.775463e-05,4.768969e-05,4.768045e-05,4.760006e-05,4.758327e-05,4.751384e-05,4.746682e-05,4.742215e-05,4.734115e-05,4.732533e-05,4.722372e-05,4.720704e-05,4.711763e-05,4.706521e-05,4.700736e-05,4.691632e-05,4.689319e-05,4.677540e-05,4.676103e-05,4.665424e-05,4.659993e-05,4.652996e-05,4.643357e-05,4.640280e-05,4.627298e-05,4.626248e-05,4.614070e-05,4.608716e-05,4.600619e-05,4.590806e-05,4.586962e-05,4.573118e-05,4.572561e-05,4.559105e-05,4.554022e-05,4.544939e-05,4.535226e-05,4.530635e-05,4.516210e-05,4.497005e-05,4.477643e-05,4.458152e-05,4.438559e-05,4.418889e-05,4.399166e-05,4.379410e-05,4.359643e-05,4.339883e-05,4.320148e-05,4.300452e-05,4.280813e-05,4.261243e-05,4.241755e-05,4.222361e-05,4.203073e-05,4.183899e-05,4.164850e-05,4.145933e-05,4.127158e-05,4.108529e-05,4.090055e-05,4.071741e-05,4.053592e-05
0.000000e+00,5.248842e-09,1.272597e-08,4.660733e-08,1.096018e-07,1.622201e-07,3.805477e-07,3.925262e-07,7.850291e-07,9.316406e-07,1.397961e-06,1.899740e-06,2.299630e-06,3.442632e-06,3.557646e-06,5.212932e-06,5.669090e-06,7.251992e-06,8.538761e-06,9.610935e-06,1.188799e-05,1.221015e-05,1.498116e-05,1.555118e-05,1.787242e-05,1.941024e-05,2.084546e-05,2.338387e-05,2.387023e-05,2.692195e-05,2.741127e-05,2.997940e-05,3.144350e-05,3.302414e-05,3.543991e-05,3.604011e-05,3.901349e-05,3.936685e-05,4.193252e-05,4.319709e-05,4.478743e-05,4.690932e-05,4.757027e-05,5.027473e-05,5.048755e-05,5.289596e-05,5.392029e-05,5.543034e-05,5.719989e-05,5.787541e-05,6.022959e-05,6.032185e-05,6.249210e-05,6.328412e-05,6.466282e-05,6.608667e-05,6.674215e-05,6.873095e-05,7.063041e-05,7.121960e-05,7.244200e-05,7.355610e-05,7.416746e-05,7.574460e-05,7.580866e-05,7.736757e-05,7.778960e-05,7.884627e-05,7.969589e-05,8.024692e-05,8.146847e-05,8.157172e-05,8.282289e-05,8.311246e-05,8.400265e-05,8.463296e-05,8.511323e-05,8.603508e-05,8.615685e-05,8.713571e-05,8.732391e-05,8.805201e-05,8.850447e-05,8.890789e-05,8.958169e-05,8.970547e-05,9.044684e-05,9.056038e-05,9.113404e-05,9.144525e-05,9.176907e-05,9.224085e-05,9.235389e-05,9.289040e-05,9.295163e-05,9.338048e-05,9.358187e-05,9.382594e-05,9.413573e-05,9.422854e-05,9.459002e-05,9.461721e-05,9.491204e-05,9.503017e-05,9.519624e-05,9.537832e-05,9.544418e-05,9.565741e-05,9.566524e-05,9.583741e-05,9.589435e-05,9.598561e-05,9.606894e-05,9.610342e-05,9.619218e-05,9.625319e-05,9.626707e-05,9.628773e-05,9.629651e-05,9.629701e-05,9.628326e-05,9.628222e-05,9.624449e-05,9.622996e-05,9.618492e-05,9.613914e-05,9.610458e-05,9.601320e-05,9.600449e-05,9.588564e-05,9.585443e-05,9.574898e-05,9.566502e-05,9.559543e-05,9.544705e-05,9.542588e-05,9.524118e-05,9.520249e-05,9.504214e-05,9.493324e-05,9.482957e-05,9.464109e-05,9.460421e-05,9.436680e-05,9.432774e-05,9.411804e-05,9.399480e-05,9.385860e-05,9.364381e-05,9.358915e-05,9.331029e-05,9.327622e-05,9.302263e-05,9.289342e-05,9.272674e-05,9.249670e-05,9.242317e-05,9.211246e-05,9.208731e-05,9.179511e-05,9.166642e-05,9.147160e-05,9.123513e-05,9.114241e-05,9.080797e-05,9.079449e-05,9.046872e-05,9.034549e-05,9.012507e-05,8.988907e-05,8.977740e-05,8.942610e-05,8.895741e-05,8.848379e-05,8.800597e-05,8.752465e-05,8.704048e-05,8.655407e-05,8.606599e-05,8.557678e-05,8.508696e-05,8.459698e-05,8.410729e-05,8.361830e-05,8.313041e-05,8.264396e-05,8.215929e-05,8.167671e-05,8.119651e-05,8.071895e-05,8.024428e-05,7.977273e-05,7.930451e-05,7.883981e-05,7.837880e-05,7.792165e-05
0.000000e+00,2.366227e-11,9.094068e-11,6.656759e-10,2.464947e-09,4.474015e-09,1.607727e-08,1.683253e-08,4.634402e-08,5.924748e-08,1.051971e-07,1.610516e-07,2.091948e-07,3.599194e-07,3.759691e-07,6.213817e-07,6.933616e-07,9.568899e-07,1.186750e-06,1.389026e-06,1.851089e-06,1.920013e-06,2.548610e-06,2.685734e-06,3.270832e-06,3.681409e-06,4.080488e-06,4.822371e-06,4.969593e-06,5.928701e-06,6.087961e-06,6.947230e-06,7.453905e-06,8.013780e-06,8.893615e-06,9.116465e-06,1.024325e-05,1.037952e-05,1.138228e-05,1.188438e-05,1.252217e-05,1.338246e-05,1.365225e-05,1.476279e-05,1.485052e-05,1.584514e-05,1.626848e-05,1.689185e-05,1.761985e-05,1.789666e-05,1.885456e-05,1.889184e-05,1.976170e-05,2.007529e-05,2.061535e-05,2.116436e-05,2.141378e-05,2.215619e-05,2.284254e-05,2.305043e-05,2.347349e-05,2.384877e-05,2.405025e-05,2.455450e-05,2.457449e-05,2.504820e-05,2.517210e-05,2.547368e-05,2.570683e-05,2.585338e-05,2.616448e-05,2.618987e-05,2.648578e-05,2.655106e-05,2.674375e-05,2.687261e-05,2.696638e-05,2.713509e-05,2.715623e-05,2.731574e-05,2.734421e-05,2.744727e-05,2.750537e-05,2.755308e-05,2.762363e-05,2.763527e-05,2.769585e-05,2.770367e-05,2.773668e-05,2.774978e-05,2.775950e-05,2.776588e-05,2.776593e-05,2.775745e-05,2.775550e-05,2.773546e-05,2.772184e-05,2.770123e-05,2.766776e-05,2.765593e-05,2.760064e-05,2.759582e-05,2.753635e-05,2.750831e-05,2.746395e-05,2.740728e-05,2.738428e-05,2.729809e-05,2.729452e-05,2.720608e-05,2.717166e-05,2.710888e-05,2.704012e-05,2.700707e-05,2.690116e-05,2.679165e-05,2.675592e-05,2.667897e-05,2.660538e-05,2.656353e-05,2.645044e-05,2.644568e-05,2.632577e-05,2.629187e-05,2.620410e-05,2.613037e-05,2.608095e-05,2.596656e-05,2.595657e-05,2.583119e-05,2.580097e-05,2.570503e-05,2.563412e-05,2.557829e-05,2.546641e-05,2.545114e-05,2.532375e-05,2.529825e-05,2.519626e-05,2.512997e-05,2.506880e-05,2.496187e-05,2.494152e-05,2.481450e-05,2.479421e-05,2.468787e-05,2.462725e-05,2.456171e-05,2.446119e-05,2.443612e-05,2.431116e-05,2.429621e-05,2.418691e-05,2.413249e-05,2.406345e-05,2.397017e-05,2.394081e-05,2.381907e-05,2.380937e-05,2.369827e-05,2.365022e-05,2.357844e-05,2.349280e-05,2.345964e-05,2.334190e-05,2.333721e-05,2.322525e-05,2.318353e-05,2.310971e-05,2.303180e-05,2.299532e-05,2.288209e-05,2.273445e-05,2.258891e-05,2.244551e-05,2.230426e-05,2.216520e-05,2.202832e-05,2.189365e-05,2.176118e-05,2.163092e-05,2.150286e-05,2.137700e-05,2.125334e-05,2.113185e-05,2.101253e-05,2.089536e-05,2.078032e-05,2.066740e-05,2.055657e-05,2.044781e-05,2.034110e-05,2.023641e-05,2.013372e-05,2.003300e-05,1.993423e-05
0.000000e+00,1.307663e-10,4.625009e-10,2.874389e-09,9.256974e-09,1.561825e-08,4.696090e-08,4.882602e-08,1.141325e-07,1.398208e-07,2.237681e-07,3.161721e-07,3.906649e-07,6.065723e-07,6.285463e-07,9.512685e-07,1.042743e-06,1.370541e-06,1.649961e-06,1.891964e-06,2.432654e-06,2.511913e-06,3.218527e-06,3.368875e-06,3.995980e-06,4.422930e-06,4.828445e-06,5.559974e-06,5.701994e-06,6.604879e-06,6.751378e-06,7.527165e-06,7.974202e-06,8.460314e-06,9.209619e-06,9.396881e-06,1.033035e-05,1.044188e-05,1.125503e-05,1.165783e-05,1.216607e-05,1.284675e-05,1.305932e-05,1.393140e-05,1.400016e-05,1.477955e-05,1.511162e-05,1.560165e-05,1.617650e-05,1.639608e-05,1.716171e-05,1.719173e-05,1.789781e-05,1.815549e-05,1.860398e-05,1.906700e-05,1.928009e-05,1.992627e-05,2.054281e-05,2.073391e-05,2.113017e-05,2.149101e-05,2.168890e-05,2.219896e-05,2.221966e-05,2.272318e-05,2.285938e-05,2.320021e-05,2.347406e-05,2.365158e-05,2.404486e-05,2.407809e-05,2.448058e-05,2.457370e-05,2.485989e-05,2.506250e-05,2.521687e-05,2.551319e-05,2.555233e-05,2.586711e-05,2.592765e-05,2.616200e-05,2.630775e-05,2.643780e-05,2.665528e-05,2.669527e-05,2.693517e-05,2.697197e-05,2.715823e-05,2.725952e-05,2.736516e-05,2.751955e-05,2.755664e-05,2.773335e-05,2.775360e-05,2.789593e-05,2.796316e-05,2.804501e-05,2.814965e-05,2.818119e-05,2.830504e-05,2.831443e-05,2.841713e-05,2.845880e-05,2.851801e-05,2.858398e-05,2.860818e-05,2.868815e-05,2.869115e-05,2.875841e-05,2.878141e-05,2.881941e-05,2.885583e-05,2.887160e-05,2.891541e-05,2.895124e-05,2.896109e-05,2.897949e-05,2.899377e-05,2.900055e-05,2.901432e-05,2.901476e-05,2.902249e-05,2.902353e-05,2.902406e-05,2.902218e-05,2.901979e-05,2.901097e-05,2.900999e-05,2.899495e-05,2.899059e-05,2.897496e-05,2.896170e-05,2.895028e-05,2.892489e-05,2.892117e-05,2.888788e-05,2.888074e-05,2.885064e-05,2.882979e-05,2.880968e-05,2.877256e-05,2.876522e-05,2.871746e-05,2.870953e-05,2.866660e-05,2.864114e-05,2.861283e-05,2.856784e-05,2.855633e-05,2.849727e-05,2.849002e-05,2.843581e-05,2.840805e-05,2.837212e-05,2.832231e-05,2.830634e-05,2.823862e-05,2.823312e-05,2.816909e-05,2.814080e-05,2.809788e-05,2.804565e-05,2.802513e-05,2.795094e-05,2.794794e-05,2.787543e-05,2.784794e-05,2.779871e-05,2.774590e-05,2.772088e-05,2.764204e-05,2.753658e-05,2.742973e-05,2.732167e-05,2.721258e-05,2.710264e-05,2.699199e-05,2.688078e-05,2.676916e-05,2.665724e-05,2.654514e-05,2.643298e-05,2.632086e-05,2.620888e-05,2.609712e-05,2.598567e-05,2.587460e-05,2.576399e-05,2.565391e-05,2.554440e-05,2.543554e-05,2.532737e-05,2.521995e-05,2.511330e-05,2.500748e-05
0.000000e+00,3.684808e-09,8.459842e-09,2.916510e-08,6.637691e-08,9.680127e-08,2.189965e-07,2.255476e-07,4.333978e-07,5.081589e-07,7.378388e-07,9.740700e-07,1.156172e-06,1.656273e-06,1.705414e-06,2.401223e-06,2.591456e-06,3.255243e-06,3.804493e-06,4.271499e-06,5.295943e-06,5.444630e-06,6.762027e-06,7.041441e-06,8.207823e-06,9.004950e-06,9.765728e-06,1.114953e-05,1.142009e-05,1.315596e-05,1.344030e-05,1.495902e-05,1.584426e-05,1.681538e-05,1.832984e-05,1.871166e-05,2.063501e-05,2.086705e-05,2.257324e-05,2.342781e-05,2.451496e-05,2.598648e-05,2.644963e-05,2.836771e-05,2.852017e-05,3.026064e-05,3.100905e-05,3.212091e-05,3.343640e-05,3.394203e-05,3.571850e-05,3.578856e-05,3.744572e-05,3.805473e-05,3.912000e-05,4.022675e-05,4.073842e-05,4.229876e-05,4.379948e-05,4.426693e-05,4.523955e-05,4.612913e-05,4.661848e-05,4.788464e-05,4.793618e-05,4.919290e-05,4.953393e-05,5.038923e-05,5.107837e-05,5.152599e-05,5.252008e-05,5.260421e-05,5.362512e-05,5.386175e-05,5.459004e-05,5.510648e-05,5.550043e-05,5.625768e-05,5.635782e-05,5.716381e-05,5.731898e-05,5.792003e-05,5.829414e-05,5.862814e-05,5.918700e-05,5.928982e-05,5.990673e-05,6.000140e-05,6.048057e-05,6.074119e-05,6.101297e-05,6.141015e-05,6.150557e-05,6.195998e-05,6.201202e-05,6.237778e-05,6.255042e-05,6.276052e-05,6.302888e-05,6.310970e-05,6.342680e-05,6.345083e-05,6.371325e-05,6.381956e-05,6.397045e-05,6.413827e-05,6.419974e-05,6.440244e-05,6.441002e-05,6.457982e-05,6.463772e-05,6.473311e-05,6.482419e-05,6.486349e-05,6.497211e-05,6.506008e-05,6.508405e-05,6.512847e-05,6.516244e-05,6.517830e-05,6.520961e-05,6.521057e-05,6.522623e-05,6.522776e-05,6.522619e-05,6.521900e-05,6.521133e-05,6.518531e-05,6.518251e-05,6.514054e-05,6.512859e-05,6.508619e-05,6.505063e-05,6.502021e-05,6.495310e-05,6.494332e-05,6.485622e-05,6.483763e-05,6.475954e-05,6.470571e-05,6.465394e-05,6.455877e-05,6.454000e-05,6.441831e-05,6.439815e-05,6.428941e-05,6.422514e-05,6.415383e-05,6.404090e-05,6.401208e-05,6.386463e-05,6.384658e-05,6.371194e-05,6.364321e-05,6.355445e-05,6.343180e-05,6.339257e-05,6.322670e-05,6.321327e-05,6.305721e-05,6.298848e-05,6.288446e-05,6.275826e-05,6.270880e-05,6.253054e-05,6.252336e-05,6.234999e-05,6.228449e-05,6.216744e-05,6.204232e-05,6.198318e-05,6.179746e-05,6.155050e-05,6.130196e-05,6.105234e-05,6.080211e-05,6.055169e-05,6.030147e-05,6.005182e-05,5.980308e-05,5.955554e-05,5.930950e-05,5.906521e-05,5.882290e-05,5.858280e-05,5.834509e-05,5.810996e-05,5.787756e-05,5.764803e-05,5.742149e-05,5.719807e-05,5.697786e-05,5.676094e-05,5.654739e-05,5.633727e-05,5.613063e-05
0.000000e+00,5.944238e-09,1.401895e-08,4.977450e-08,1.149571e-07,1.686258e-07,3.857710e-07,3.974602e-07,7.698699e-07,9.043783e-07,1.318934e-06,1.746982e-06,2.077904e-06,2.990351e-06,3.080278e-06,4.358440e-06,4.709461e-06,5.939696e-06,6.964111e-06,7.839723e-06,9.774585e-06,1.005691e-05,1.257284e-05,1.310944e-05,1.535881e-05,1.690360e-05,1.838280e-05,2.108389e-05,2.161343e-05,2.502113e-05,2.558090e-05,2.857800e-05,3.033047e-05,3.225758e-05,3.527255e-05,3.603457e-05,3.988481e-05,4.035066e-05,4.378537e-05,4.551194e-05,4.771464e-05,5.070766e-05,5.165252e-05,5.558054e-05,5.589384e-05,5.948194e-05,6.103163e-05,6.334174e-05,6.608755e-05,6.714673e-05,7.088541e-05,7.103344e-05,7.454797e-05,7.584621e-05,7.812612e-05,8.050752e-05,8.161305e-05,8.500327e-05,8.829248e-05,8.932314e-05,9.147745e-05,9.346003e-05,9.455589e-05,9.740962e-05,9.752635e-05,1.003881e-04,1.011699e-04,1.031411e-04,1.047408e-04,1.057856e-04,1.081236e-04,1.083227e-04,1.107535e-04,1.113212e-04,1.130796e-04,1.143372e-04,1.153029e-04,1.171759e-04,1.174253e-04,1.194492e-04,1.198423e-04,1.213768e-04,1.223419e-04,1.232106e-04,1.246804e-04,1.249532e-04,1.266070e-04,1.268636e-04,1.281748e-04,1.288975e-04,1.296591e-04,1.307882e-04,1.310626e-04,1.323879e-04,1.325418e-04,1.336376e-04,1.341642e-04,1.348143e-04,1.356613e-04,1.359205e-04,1.369588e-04,1.370390e-04,1.379315e-04,1.383028e-04,1.388412e-04,1.394584e-04,1.396901e-04,1.404807e-04,1.405111e-04,1.412151e-04,1.414661e-04,1.418955e-04,1.423285e-04,1.425242e-04,1.431032e-04,1.436345e-04,1.437948e-04,1.441202e-04,1.444079e-04,1.445621e-04,1.449469e-04,1.449621e-04,1.453221e-04,1.454159e-04,1.456437e-04,1.458190e-04,1.459287e-04,1.461600e-04,1.461787e-04,1.463954e-04,1.464426e-04,1.465802e-04,1.466703e-04,1.467346e-04,1.468466e-04,1.468602e-04,1.469582e-04,1.469747e-04,1.470301e-04,1.470575e-04,1.470771e-04,1.470982e-04,1.471004e-04,1.471014e-04,1.470995e-04,1.470810e-04,1.470640e-04,1.470405e-04,1.469944e-04,1.469810e-04,1.469035e-04,1.468930e-04,1.468089e-04,1.467621e-04,1.466982e-04,1.466040e-04,1.465725e-04,1.464324e-04,1.464206e-04,1.462790e-04,1.462141e-04,1.461130e-04,1.459862e-04,1.459352e-04,1.457464e-04,1.457387e-04,1.455473e-04,1.454733e-04,1.453386e-04,1.451915e-04,1.451209e-04,1.448950e-04,1.445850e-04,1.442630e-04,1.439302e-04,1.435878e-04,1.432369e-04,1.428785e-04,1.425138e-04,1.421435e-04,1.417686e-04,1.413899e-04,1.410081e-04,1.406240e-04,1.402383e-04,1.398516e-04,1.394644e-04,1.390774e-04,1.386909e-04,1.383056e-04,1.379218e-04,1.375400e-04,1.371604e-04,1.367835e-04,1.364096e-04,1.360389e-04
0.000000e+00,1.650525e-10,5.117501e-10,2.541620e-09,6.982086e-09,1.095038e-08,2.823544e-08,2.919935e-08,6.081166e-08,7.251228e-08,1.090960e-07,1.473932e-07,1.772248e-07,2.600586e-07,2.682520e-07,3.849663e-07,4.170553e-07,5.294507e-07,6.228332e-07,7.024313e-07,8.774938e-07,9.029416e-07,1.128712e-06,1.176650e-06,1.376894e-06,1.513832e-06,1.644562e-06,1.882382e-06,1.928877e-06,2.227094e-06,2.275920e-06,2.536538e-06,2.688287e-06,2.854590e-06,3.113516e-06,3.178705e-06,3.506438e-06,3.545898e-06,3.835476e-06,3.980107e-06,4.163672e-06,4.411327e-06,4.489071e-06,4.809926e-06,4.835351e-06,5.124712e-06,5.248628e-06,5.432126e-06,5.648282e-06,5.731083e-06,6.020704e-06,6.032084e-06,6.300303e-06,6.398403e-06,6.569372e-06,6.746138e-06,6.827558e-06,7.074647e-06,7.310545e-06,7.383668e-06,7.535260e-06,7.673250e-06,7.748887e-06,7.943687e-06,7.951588e-06,8.143585e-06,8.195461e-06,8.325142e-06,8.429189e-06,8.496560e-06,8.645589e-06,8.658164e-06,8.810295e-06,8.845437e-06,8.953309e-06,9.029548e-06,9.087566e-06,9.198758e-06,9.213431e-06,9.331266e-06,9.353900e-06,9.441427e-06,9.495796e-06,9.544267e-06,9.625244e-06,9.640127e-06,9.729341e-06,9.743021e-06,9.812234e-06,9.849869e-06,9.889117e-06,9.946498e-06,9.960290e-06,1.002604e-05,1.003358e-05,1.008665e-05,1.011175e-05,1.014237e-05,1.018161e-05,1.019346e-05,1.024017e-05,1.024372e-05,1.028272e-05,1.029862e-05,1.032132e-05,1.034680e-05,1.035620e-05,1.038755e-05,1.038874e-05,1.041556e-05,1.042486e-05,1.044041e-05,1.045559e-05,1.046227e-05,1.048129e-05,1.049765e-05,1.050235e-05,1.051148e-05,1.051907e-05,1.052293e-05,1.053179e-05,1.053212e-05,1.053918e-05,1.054079e-05,1.054423e-05,1.054634e-05,1.054739e-05,1.054871e-05,1.054875e-05,1.054844e-05,1.054812e-05,1.054653e-05,1.054480e-05,1.054312e-05,1.053896e-05,1.053831e-05,1.053216e-05,1.053078e-05,1.052477e-05,1.052046e-05,1.051620e-05,1.050815e-05,1.050653e-05,1.049583e-05,1.049402e-05,1.048415e-05,1.047821e-05,1.047155e-05,1.046086e-05,1.045811e-05,1.044386e-05,1.044210e-05,1.042886e-05,1.042204e-05,1.041317e-05,1.040080e-05,1.039682e-05,1.037987e-05,1.037849e-05,1.036235e-05,1.035519e-05,1.034430e-05,1.033100e-05,1.032576e-05,1.030677e-05,1.030600e-05,1.028736e-05,1.028028e-05,1.026757e-05,1.025391e-05,1.024742e-05,1.022695e-05,1.019947e-05,1.017153e-05,1.014319e-05,1.011450e-05,1.008550e-05,1.005625e-05,1.002678e-05,9.997140e-06,9.967362e-06,9.937481e-06,9.907530e-06,9.877537e-06,9.847532e-06,9.817540e-06,9.787585e-06,9.757690e-06,9.727875e-06,9.698161e-06,9.668564e-06,9.639101e-06,9.609788e-06,9.580640e-06,9.551669e-06,9.522887e-06
0.000000e+00,1.460637e-11,5.647577e-11,4.182882e-10,1.563530e-09,2.850459e-09,1.032574e-08,1.081302e-08,2.980881e-08,3.807075e-08,6.725762e-08,1.023331e-07,1.323302e-07,2.257296e-07,2.356746e-07,3.887954e-07,4.342268e-07,6.029927e-07,7.534380e-07,8.883109e-07,1.204765e-06,1.252928e-06,1.702955e-06,1.803602e-06,2.242448e-06,2.559109e-06,2.873494e-06,3.474541e-06,3.596318e-06,4.409399e-06,4.547679e-06,5.309594e-06,5.771326e-06,6.292280e-06,7.133873e-06,7.351521e-06,8.480252e-06,8.619999e-06,9.670494e-06,1.021147e-05,1.091357e-05,1.188802e-05,1.220032e-05,1.352138e-05,1.362826e-05,1.486730e-05,1.541054e-05,1.622882e-05,1.721375e-05,1.759702e-05,1.896344e-05,1.901795e-05,2.032020e-05,2.080487e-05,2.166012e-05,2.255830e-05,2.297672e-05,2.426428e-05,2.551788e-05,2.591115e-05,2.673331e-05,2.748954e-05,2.790713e-05,2.899228e-05,2.903657e-05,3.011952e-05,3.041419e-05,3.115443e-05,3.175189e-05,3.214033e-05,3.300360e-05,3.307668e-05,3.396340e-05,3.416885e-05,3.480074e-05,3.524830e-05,3.558929e-05,3.624351e-05,3.632988e-05,3.702357e-05,3.715678e-05,3.767158e-05,3.799094e-05,3.827527e-05,3.874921e-05,3.883613e-05,3.935569e-05,3.943510e-05,3.983557e-05,4.005229e-05,4.027739e-05,4.060454e-05,4.068278e-05,4.105341e-05,4.109563e-05,4.139089e-05,4.152929e-05,4.169682e-05,4.190920e-05,4.197278e-05,4.222029e-05,4.223891e-05,4.244084e-05,4.252183e-05,4.263586e-05,4.276125e-05,4.280674e-05,4.295480e-05,4.296027e-05,4.308134e-05,4.312186e-05,4.318756e-05,4.324880e-05,4.327465e-05,4.334372e-05,4.339584e-05,4.340910e-05,4.343202e-05,4.344725e-05,4.345322e-05,4.346034e-05,4.346037e-05,4.345433e-05,4.345039e-05,4.343593e-05,4.341929e-05,4.340596e-05,4.336881e-05,4.336516e-05,4.331424e-05,4.330058e-05,4.325385e-05,4.321614e-05,4.318463e-05,4.311689e-05,4.310718e-05,4.302207e-05,4.300417e-05,4.292982e-05,4.287919e-05,4.283093e-05,4.274310e-05,4.272590e-05,4.261516e-05,4.259695e-05,4.249915e-05,4.244171e-05,4.237826e-05,4.227830e-05,4.225288e-05,4.212336e-05,4.210755e-05,4.199004e-05,4.193025e-05,4.185323e-05,4.174712e-05,4.171325e-05,4.157038e-05,4.155883e-05,4.142487e-05,4.136599e-05,4.127699e-05,4.116917e-05,4.112697e-05,4.097503e-05,4.096892e-05,4.082139e-05,4.076571e-05,4.066625e-05,4.055999e-05,4.050979e-05,4.035219e-05,4.014270e-05,3.993186e-05,3.972001e-05,3.950745e-05,3.929446e-05,3.908129e-05,3.886819e-05,3.865536e-05,3.844301e-05,3.823133e-05,3.802047e-05,3.781059e-05,3.760183e-05,3.739432e-05,3.718817e-05,3.698349e-05,3.678038e-05,3.657892e-05,3.637918e-05,3.618125e-05,3.598517e-05,3.579102e-05,3.559883e-05,3.540864e-05
0.000000e+00,1.626111e-09,4.794016e-09,2.207889e-08,5.793499e-08,8.916859e-08,2.223347e-07,2.297006e-07,4.709296e-07,5.605660e-07,8.434106e-07,1.144228e-06,1.381692e-06,2.050753e-06,2.117327e-06,3.061344e-06,3.317222e-06,4.193605e-06,4.895871e-06,5.476223e-06,6.699828e-06,6.872312e-06,8.352647e-06,8.656735e-06,9.894427e-06,1.071404e-05,1.147867e-05,1.282983e-05,1.308845e-05,1.470806e-05,1.496711e-05,1.632270e-05,1.709187e-05,1.791857e-05,1.917321e-05,1.948303e-05,2.100481e-05,2.118407e-05,2.247410e-05,2.310182e-05,2.388282e-05,2.490890e-05,2.522451e-05,2.649434e-05,2.659271e-05,2.768900e-05,2.814534e-05,2.880656e-05,2.956303e-05,2.984632e-05,3.080864e-05,3.084553e-05,3.169473e-05,3.199542e-05,3.250654e-05,3.301739e-05,3.324656e-05,3.391769e-05,3.452314e-05,3.470357e-05,3.506631e-05,3.538287e-05,3.555069e-05,3.596366e-05,3.597981e-05,3.635718e-05,3.645403e-05,3.668622e-05,3.686185e-05,3.697028e-05,3.719464e-05,3.721256e-05,3.741613e-05,3.745955e-05,3.758388e-05,3.766321e-05,3.771857e-05,3.781181e-05,3.782279e-05,3.789896e-05,3.791103e-05,3.794934e-05,3.796606e-05,3.797606e-05,3.798166e-05,3.798108e-05,3.796623e-05,3.796213e-05,3.793322e-05,3.791139e-05,3.788361e-05,3.783296e-05,3.781886e-05,3.774033e-05,3.773004e-05,3.764925e-05,3.760551e-05,3.754679e-05,3.746196e-05,3.743400e-05,3.731187e-05,3.730173e-05,3.718131e-05,3.712691e-05,3.704315e-05,3.693941e-05,3.689817e-05,3.674707e-05,3.674091e-05,3.659052e-05,3.653295e-05,3.642913e-05,3.631690e-05,3.626344e-05,3.609399e-05,3.592123e-05,3.586533e-05,3.574562e-05,3.563192e-05,3.556755e-05,3.539465e-05,3.538740e-05,3.520551e-05,3.515432e-05,3.502220e-05,3.491165e-05,3.483775e-05,3.466729e-05,3.465244e-05,3.446651e-05,3.442182e-05,3.428018e-05,3.417575e-05,3.409368e-05,3.392955e-05,3.390718e-05,3.372087e-05,3.368365e-05,3.353491e-05,3.343840e-05,3.334944e-05,3.319414e-05,3.316461e-05,3.298054e-05,3.295116e-05,3.279733e-05,3.270973e-05,3.261510e-05,3.247008e-05,3.243394e-05,3.225394e-05,3.223242e-05,3.207517e-05,3.199692e-05,3.189771e-05,3.176375e-05,3.172162e-05,3.154695e-05,3.153305e-05,3.137378e-05,3.130493e-05,3.120213e-05,3.107951e-05,3.103205e-05,3.086358e-05,3.085687e-05,3.069675e-05,3.063710e-05,3.053160e-05,3.042026e-05,3.036814e-05,3.020639e-05,2.999556e-05,2.978778e-05,2.958309e-05,2.938152e-05,2.918306e-05,2.898772e-05,2.879552e-05,2.860644e-05,2.842048e-05,2.823762e-05,2.805784e-05,2.788113e-05,2.770747e-05,2.753683e-05,2.736918e-05,2.720450e-05,2.704275e-05,2.688390e-05,2.672792e-05,2.657476e-05,2.642440e-05,2.627680e-05,2.613191e-05,2.598971e-05
0.000000e+00,1.982328e-08,4.560905e-08,1.600774e-07,3.768610e-07,5.644308e-07,1.406820e-06,1.455852e-06,3.199521e-06,3.908996e-06,6.317422e-06,9.074157e-06,1.132447e-05,1.770066e-05,1.832595e-05,2.687719e-05,2.909229e-05,3.639388e-05,4.198189e-05,4.645998e-05,5.557669e-05,5.683218e-05,6.736745e-05,6.948530e-05,7.797192e-05,8.348955e-05,8.857474e-05,9.743606e-05,9.911637e-05,1.095439e-04,1.111985e-04,1.198101e-04,1.246683e-04,1.298737e-04,1.377543e-04,1.396987e-04,1.492555e-04,1.503831e-04,1.585198e-04,1.624985e-04,1.674730e-04,1.740606e-04,1.761012e-04,1.843951e-04,1.850440e-04,1.923491e-04,1.954349e-04,1.999609e-04,2.052294e-04,2.072306e-04,2.141609e-04,2.144312e-04,2.207561e-04,2.230494e-04,2.270218e-04,2.310977e-04,2.329648e-04,2.385926e-04,2.439134e-04,2.455527e-04,2.489360e-04,2.519980e-04,2.536692e-04,2.579492e-04,2.581221e-04,2.623039e-04,2.634275e-04,2.662238e-04,2.684539e-04,2.698911e-04,2.730497e-04,2.733148e-04,2.765040e-04,2.772354e-04,2.794673e-04,2.810315e-04,2.822137e-04,2.844576e-04,2.847514e-04,2.870889e-04,2.875331e-04,2.892343e-04,2.902765e-04,2.911953e-04,2.927058e-04,2.929797e-04,2.945950e-04,2.948382e-04,2.960484e-04,2.966905e-04,2.973468e-04,2.982786e-04,2.984972e-04,2.995060e-04,2.996179e-04,3.003798e-04,3.007230e-04,3.011245e-04,3.016079e-04,3.017462e-04,3.022507e-04,3.022862e-04,3.026435e-04,3.027705e-04,3.029299e-04,3.030732e-04,3.031151e-04,3.032042e-04,3.032058e-04,3.032018e-04,3.031794e-04,3.031126e-04,3.030047e-04,3.029411e-04,3.026916e-04,3.023681e-04,3.022496e-04,3.019747e-04,3.016879e-04,3.015150e-04,3.010150e-04,3.009929e-04,3.004118e-04,3.002390e-04,2.997751e-04,2.993677e-04,2.990860e-04,2.984085e-04,2.983476e-04,2.975630e-04,2.973681e-04,2.967349e-04,2.962532e-04,2.958661e-04,2.950700e-04,2.949593e-04,2.940169e-04,2.938243e-04,2.930413e-04,2.925217e-04,2.920350e-04,2.911674e-04,2.910000e-04,2.899384e-04,2.897663e-04,2.888524e-04,2.883230e-04,2.877438e-04,2.868419e-04,2.866145e-04,2.854662e-04,2.853272e-04,2.843006e-04,2.837826e-04,2.831193e-04,2.822119e-04,2.819238e-04,2.807157e-04,2.806185e-04,2.794962e-04,2.790056e-04,2.782668e-04,2.773762e-04,2.770287e-04,2.757830e-04,2.757330e-04,2.745310e-04,2.740789e-04,2.732736e-04,2.724162e-04,2.720121e-04,2.707472e-04,2.690742e-04,2.673990e-04,2.657237e-04,2.640500e-04,2.623795e-04,2.607136e-04,2.590539e-04,2.574016e-04,2.557578e-04,2.541238e-04,2.525005e-04,2.508889e-04,2.492898e-04,2.477040e-04,2.461322e-04,2.445750e-04,2.430332e-04,2.415071e-04,2.399973e-04,2.385041e-04,2.370281e-04,2.355694e-04,2.341285e-04,2.327054e-04
0.000000e+00,8.828132e-09,2.047071e-08,7.147741e-08,1.643744e-07,2.413168e-07,5.587987e-07,5.761943e-07,1.147202e-06,1.361253e-06,2.044282e-06,2.779228e-06,3.360955e-06,4.983464e-06,5.142758e-06,7.357711e-06,7.946350e-06,9.939548e-06,1.152349e-05,1.283077e-05,1.559775e-05,1.598989e-05,1.938528e-05,2.009026e-05,2.298937e-05,2.493704e-05,2.677517e-05,3.007532e-05,3.071481e-05,3.477914e-05,3.543900e-05,3.893801e-05,4.095887e-05,4.316088e-05,4.656490e-05,4.741749e-05,5.167857e-05,5.218886e-05,5.591648e-05,5.776718e-05,6.010577e-05,6.324284e-05,6.422342e-05,6.824919e-05,6.856674e-05,7.216563e-05,7.369822e-05,7.595810e-05,7.860512e-05,7.961467e-05,8.312595e-05,8.326327e-05,8.648484e-05,8.765572e-05,8.968636e-05,9.177186e-05,9.272743e-05,9.560665e-05,9.832402e-05,9.915956e-05,1.008807e-04,1.024336e-04,1.032788e-04,1.054342e-04,1.055210e-04,1.076107e-04,1.081690e-04,1.095518e-04,1.106470e-04,1.113488e-04,1.128787e-04,1.130063e-04,1.145294e-04,1.148755e-04,1.159232e-04,1.166491e-04,1.171928e-04,1.182116e-04,1.183436e-04,1.193809e-04,1.195753e-04,1.203105e-04,1.207533e-04,1.211382e-04,1.217581e-04,1.218686e-04,1.225068e-04,1.226006e-04,1.230573e-04,1.232918e-04,1.235247e-04,1.238418e-04,1.239135e-04,1.242277e-04,1.242606e-04,1.244716e-04,1.245577e-04,1.246491e-04,1.247419e-04,1.247639e-04,1.248198e-04,1.248218e-04,1.248201e-04,1.248055e-04,1.247684e-04,1.247006e-04,1.246677e-04,1.245212e-04,1.245144e-04,1.243317e-04,1.242535e-04,1.241021e-04,1.239245e-04,1.238351e-04,1.235331e-04,1.231987e-04,1.230853e-04,1.228342e-04,1.225861e-04,1.224417e-04,1.220405e-04,1.220233e-04,1.215810e-04,1.214532e-04,1.211168e-04,1.208284e-04,1.206323e-04,1.201702e-04,1.201294e-04,1.196095e-04,1.194824e-04,1.190744e-04,1.187685e-04,1.185253e-04,1.180317e-04,1.179637e-04,1.173908e-04,1.172750e-04,1.168079e-04,1.165013e-04,1.162162e-04,1.157131e-04,1.156167e-04,1.150104e-04,1.149129e-04,1.143984e-04,1.141028e-04,1.137815e-04,1.132851e-04,1.131606e-04,1.125366e-04,1.124615e-04,1.119101e-04,1.116338e-04,1.112819e-04,1.108037e-04,1.106526e-04,1.100229e-04,1.099725e-04,1.093934e-04,1.091418e-04,1.087646e-04,1.083126e-04,1.081370e-04,1.075112e-04,1.074862e-04,1.068874e-04,1.066635e-04,1.062663e-04,1.058456e-04,1.056481e-04,1.050332e-04,1.042271e-04,1.034280e-04,1.026366e-04,1.018534e-04,1.010788e-04,1.003134e-04,9.955751e-05,9.881143e-05,9.807548e-05,9.734990e-05,9.663491e-05,9.593067e-05,9.523734e-05,9.455501e-05,9.388377e-05,9.322367e-05,9.257475e-05,9.193701e-05,9.131045e-05,9.069504e-05,9.009074e-05,8.949748e-05,8.891520e-05,8.834381e-05
0.000000e+00,1.141766e-09,2.604488e-09,8.877358e-09,2.001366e-08,2.904058e-08,6.487104e-08,6.677763e-08,1.267545e-07,1.481344e-07,2.133519e-07,2.798512e-07,3.307937e-07,4.695455e-07,4.830997e-07,6.736495e-07,7.253165e-07,9.041570e-07,1.050387e-06,1.173423e-06,1.439026e-06,1.477082e-06,1.808890e-06,1.878049e-06,2.162352e-06,2.352727e-06,2.531588e-06,2.850173e-06,2.911481e-06,3.297560e-06,3.359635e-06,3.685858e-06,3.871973e-06,4.072830e-06,4.379315e-06,4.455313e-06,4.830521e-06,4.874938e-06,5.196043e-06,5.353268e-06,5.549850e-06,5.809877e-06,5.890287e-06,6.216062e-06,6.241459e-06,6.526221e-06,6.645759e-06,6.820124e-06,7.021455e-06,7.097410e-06,7.357963e-06,7.368038e-06,7.601871e-06,7.685648e-06,7.829391e-06,7.974943e-06,8.040922e-06,8.236967e-06,8.418112e-06,8.473035e-06,8.584999e-06,8.684641e-06,8.738315e-06,8.873384e-06,8.878764e-06,9.007058e-06,9.040899e-06,9.123907e-06,9.188816e-06,9.230012e-06,9.318726e-06,9.326055e-06,9.412694e-06,9.432159e-06,9.490561e-06,9.530560e-06,9.560256e-06,9.615280e-06,9.622348e-06,9.677377e-06,9.687581e-06,9.725851e-06,9.748626e-06,9.768246e-06,9.799486e-06,9.805007e-06,9.836550e-06,9.841140e-06,9.863266e-06,9.874481e-06,9.885515e-06,9.900327e-06,9.903637e-06,9.917945e-06,9.919419e-06,9.928730e-06,9.932431e-06,9.936265e-06,9.939972e-06,9.940799e-06,9.942568e-06,9.942596e-06,9.941786e-06,9.940806e-06,9.938656e-06,9.935054e-06,9.933364e-06,9.926082e-06,9.925752e-06,9.916972e-06,9.913273e-06,9.906181e-06,9.897954e-06,9.893848e-06,9.880101e-06,9.865060e-06,9.859991e-06,9.848834e-06,9.837875e-06,9.831526e-06,9.813981e-06,9.813231e-06,9.794039e-06,9.788516e-06,9.774032e-06,9.761668e-06,9.753285e-06,9.733607e-06,9.731871e-06,9.709855e-06,9.704488e-06,9.687298e-06,9.674453e-06,9.664260e-06,9.643629e-06,9.640792e-06,9.616944e-06,9.612133e-06,9.592762e-06,9.580070e-06,9.568290e-06,9.547539e-06,9.543568e-06,9.518632e-06,9.514625e-06,9.493519e-06,9.481410e-06,9.468259e-06,9.447966e-06,9.442883e-06,9.417420e-06,9.414360e-06,9.391895e-06,9.380651e-06,9.366333e-06,9.346895e-06,9.340756e-06,9.315186e-06,9.313141e-06,9.289642e-06,9.279435e-06,9.264142e-06,9.245819e-06,9.238703e-06,9.213343e-06,9.212330e-06,9.188073e-06,9.179002e-06,9.162910e-06,9.145865e-06,9.137864e-06,9.112948e-06,9.080276e-06,9.047871e-06,9.015753e-06,8.983942e-06,8.952452e-06,8.921300e-06,8.890497e-06,8.860056e-06,8.829986e-06,8.800296e-06,8.770994e-06,8.742085e-06,8.713577e-06,8.685473e-06,8.657776e-06,8.630491e-06,8.603618e-06,8.577160e-06,8.551117e-06,8.525490e-06,8.500279e-06,8.475482e-06,8.451098e-06,8.427127e-06
0.000000e+00,1.861724e-11,7.153246e-11,5.227891e-10,1.929859e-09,3.493718e-09,1.242246e-08,1.299862e-08,3.515125e-08,4.465419e-08,7.781545e-08,1.170663e-07,1.502580e-07,2.520628e-07,2.627965e-07,4.262956e-07,4.743087e-07,6.512328e-07,8.073942e-07,9.463180e-07,1.268598e-06,1.317207e-06,1.765878e-06,1.864863e-06,2.290733e-06,2.592326e-06,2.887128e-06,3.438315e-06,3.548059e-06,4.264827e-06,4.384048e-06,5.027631e-06,5.407083e-06,5.826056e-06,6.483307e-06,6.649487e-06,7.487452e-06,7.588502e-06,8.329904e-06,8.699556e-06,9.167447e-06,9.795391e-06,9.991515e-06,1.079450e-05,1.085762e-05,1.156984e-05,1.187097e-05,1.231205e-05,1.282343e-05,1.301675e-05,1.368058e-05,1.370625e-05,1.430122e-05,1.451377e-05,1.487722e-05,1.524307e-05,1.540798e-05,1.589359e-05,1.633476e-05,1.646673e-05,1.673269e-05,1.696540e-05,1.708898e-05,1.739361e-05,1.740554e-05,1.768449e-05,1.775616e-05,1.792809e-05,1.805827e-05,1.813870e-05,1.830536e-05,1.831869e-05,1.847040e-05,1.850286e-05,1.859613e-05,1.865603e-05,1.869811e-05,1.876988e-05,1.877844e-05,1.883912e-05,1.884906e-05,1.888202e-05,1.889789e-05,1.890889e-05,1.892024e-05,1.892133e-05,1.892083e-05,1.891964e-05,1.890874e-05,1.889920e-05,1.888632e-05,1.886170e-05,1.885469e-05,1.881487e-05,1.880958e-05,1.876779e-05,1.874499e-05,1.871428e-05,1.866978e-05,1.865509e-05,1.859092e-05,1.858559e-05,1.852236e-05,1.849384e-05,1.844997e-05,1.839575e-05,1.837424e-05,1.829561e-05,1.829241e-05,1.821448e-05,1.818473e-05,1.813120e-05,1.807352e-05,1.804610e-05,1.795947e-05,1.787157e-05,1.784321e-05,1.778262e-05,1.772525e-05,1.769284e-05,1.760605e-05,1.760242e-05,1.751153e-05,1.748602e-05,1.742032e-05,1.736550e-05,1.732893e-05,1.724481e-05,1.723749e-05,1.714611e-05,1.712420e-05,1.705489e-05,1.700392e-05,1.696393e-05,1.688416e-05,1.687331e-05,1.678310e-05,1.676511e-05,1.669337e-05,1.664692e-05,1.660418e-05,1.652973e-05,1.651559e-05,1.642765e-05,1.641365e-05,1.634041e-05,1.629878e-05,1.625389e-05,1.618523e-05,1.616814e-05,1.608320e-05,1.607306e-05,1.599908e-05,1.596234e-05,1.591582e-05,1.585313e-05,1.583344e-05,1.575195e-05,1.574547e-05,1.567138e-05,1.563940e-05,1.559173e-05,1.553497e-05,1.551302e-05,1.543527e-05,1.543218e-05,1.535848e-05,1.533107e-05,1.528265e-05,1.523164e-05,1.520780e-05,1.513392e-05,1.503791e-05,1.494360e-05,1.485101e-05,1.476012e-05,1.467093e-05,1.458344e-05,1.449763e-05,1.441349e-05,1.433100e-05,1.425016e-05,1.417094e-05,1.409332e-05,1.401729e-05,1.394282e-05,1.386990e-05,1.379850e-05,1.372861e-05,1.366019e-05,1.359322e-05,1.352769e-05,1.346356e-05,1.340082e-05,1.333944e-05,1.327939e-05
0.000000e+00,2.735412e-08,6.336826e-08,2.223826e-07,5.176088e-07,7.674309e-07,1.843786e-06,1.904687e-06,3.992884e-06,4.811487e-06,7.502931e-06,1.045961e-05,1.279938e-05,1.919629e-05,1.981163e-05,2.814497e-05,3.029734e-05,3.742640e-05,4.294131e-05,4.740723e-05,5.663819e-05,5.792433e-05,6.885695e-05,7.108421e-05,8.010351e-05,8.604486e-05,9.157161e-05,1.013128e-04,1.031751e-04,1.148342e-04,1.166998e-04,1.264762e-04,1.320388e-04,1.380361e-04,1.471871e-04,1.494580e-04,1.606939e-04,1.620277e-04,1.717039e-04,1.764682e-04,1.824559e-04,1.904388e-04,1.929242e-04,2.030892e-04,2.038889e-04,2.129366e-04,2.167842e-04,2.224562e-04,2.291035e-04,2.316414e-04,2.404888e-04,2.408356e-04,2.489972e-04,2.519773e-04,2.571675e-04,2.625315e-04,2.650024e-04,2.725057e-04,2.796823e-04,2.819107e-04,2.865378e-04,2.907596e-04,2.930783e-04,2.990672e-04,2.993107e-04,3.052420e-04,3.068499e-04,3.108797e-04,3.141245e-04,3.162312e-04,3.209086e-04,3.213044e-04,3.261070e-04,3.272202e-04,3.306468e-04,3.330772e-04,3.349317e-04,3.384978e-04,3.389695e-04,3.427681e-04,3.434997e-04,3.463350e-04,3.481008e-04,3.496779e-04,3.523184e-04,3.528044e-04,3.557218e-04,3.561697e-04,3.584374e-04,3.596714e-04,3.609584e-04,3.628397e-04,3.632917e-04,3.654443e-04,3.656908e-04,3.674228e-04,3.682398e-04,3.692337e-04,3.705020e-04,3.708836e-04,3.723786e-04,3.724917e-04,3.737249e-04,3.742230e-04,3.749283e-04,3.757095e-04,3.759946e-04,3.769295e-04,3.769643e-04,3.777385e-04,3.779999e-04,3.784267e-04,3.788284e-04,3.789994e-04,3.794616e-04,3.798181e-04,3.799106e-04,3.800735e-04,3.801862e-04,3.802326e-04,3.802986e-04,3.802996e-04,3.802788e-04,3.802578e-04,3.801744e-04,3.800733e-04,3.799903e-04,3.797540e-04,3.797305e-04,3.793986e-04,3.793086e-04,3.789982e-04,3.787454e-04,3.785329e-04,3.780723e-04,3.780059e-04,3.774206e-04,3.772968e-04,3.767800e-04,3.764261e-04,3.760872e-04,3.754670e-04,3.753451e-04,3.745564e-04,3.744261e-04,3.737239e-04,3.733095e-04,3.728501e-04,3.721231e-04,3.719376e-04,3.709888e-04,3.708726e-04,3.700060e-04,3.695633e-04,3.689913e-04,3.682002e-04,3.679470e-04,3.668750e-04,3.667881e-04,3.657774e-04,3.653316e-04,3.646560e-04,3.638349e-04,3.635127e-04,3.623492e-04,3.623022e-04,3.611671e-04,3.607373e-04,3.599681e-04,3.591439e-04,3.587537e-04,3.575253e-04,3.558849e-04,3.542257e-04,3.525506e-04,3.508623e-04,3.491634e-04,3.474563e-04,3.457433e-04,3.440264e-04,3.423077e-04,3.405890e-04,3.388721e-04,3.371586e-04,3.354500e-04,3.337478e-04,3.320531e-04,3.303674e-04,3.286916e-04,3.270269e-04,3.253741e-04,3.237343e-04,3.221082e-04,3.204965e-04,3.189000e-04,3.173192e-04
0.000000e+00,1.967574e-10,7.703857e-10,5.857427e-09,2.242744e-08,4.143261e-08,1.553306e-07,1.628882e-07,4.646063e-07,5.988829e-07,1.082760e-06,1.678352e-06,2.196731e-06,3.850243e-06,4.029262e-06,6.844403e-06,7.698823e-06,1.094019e-05,1.391110e-05,1.663334e-05,2.321492e-05,2.423847e-05,3.404824e-05,3.629807e-05,4.631901e-05,5.374447e-05,6.126204e-05,7.599911e-05,7.903905e-05,9.976046e-05,1.033538e-04,1.234855e-04,1.359450e-04,1.502235e-04,1.737591e-04,1.799363e-04,2.125414e-04,2.166429e-04,2.479156e-04,2.643177e-04,2.858998e-04,3.163975e-04,3.263041e-04,3.689123e-04,3.724093e-04,4.134885e-04,4.318141e-04,4.597814e-04,4.940291e-04,5.075303e-04,5.564700e-04,5.584485e-04,6.063350e-04,6.244624e-04,6.568642e-04,6.914737e-04,7.078041e-04,7.589118e-04,8.099578e-04,8.262440e-04,8.607276e-04,8.929833e-04,9.110233e-04,9.586935e-04,9.606644e-04,1.009489e-03,1.022993e-03,1.057351e-03,1.085554e-03,1.104126e-03,1.146104e-03,1.149704e-03,1.193992e-03,1.204421e-03,1.236915e-03,1.260332e-03,1.278412e-03,1.313710e-03,1.318434e-03,1.356947e-03,1.364466e-03,1.393928e-03,1.412549e-03,1.429366e-03,1.457938e-03,1.463257e-03,1.495607e-03,1.500641e-03,1.526429e-03,1.540687e-03,1.555743e-03,1.578125e-03,1.583573e-03,1.609950e-03,1.613019e-03,1.634907e-03,1.645448e-03,1.658481e-03,1.675496e-03,1.680711e-03,1.701639e-03,1.703258e-03,1.721308e-03,1.728832e-03,1.739761e-03,1.752320e-03,1.757044e-03,1.773201e-03,1.773824e-03,1.788276e-03,1.793447e-03,1.802315e-03,1.811292e-03,1.815362e-03,1.827459e-03,1.838649e-03,1.842045e-03,1.848973e-03,1.855145e-03,1.858472e-03,1.866851e-03,1.867185e-03,1.875150e-03,1.877251e-03,1.882403e-03,1.886427e-03,1.888979e-03,1.894461e-03,1.894913e-03,1.900237e-03,1.901427e-03,1.904982e-03,1.907398e-03,1.909179e-03,1.912441e-03,1.912856e-03,1.916040e-03,1.916620e-03,1.918758e-03,1.919996e-03,1.921035e-03,1.922624e-03,1.922894e-03,1.924358e-03,1.924557e-03,1.925449e-03,1.925847e-03,1.926188e-03,1.926538e-03,1.926593e-03,1.926684e-03,1.926675e-03,1.926478e-03,1.926298e-03,1.925992e-03,1.925445e-03,1.925242e-03,1.924243e-03,1.924153e-03,1.923009e-03,1.922453e-03,1.921554e-03,1.920376e-03,1.919890e-03,1.918031e-03,1.917953e-03,1.915988e-03,1.915209e-03,1.913771e-03,1.912170e-03,1.911391e-03,1.908858e-03,1.905297e-03,1.901505e-03,1.897503e-03,1.893308e-03,1.888936e-03,1.884403e-03,1.879723e-03,1.874909e-03,1.869975e-03,1.864932e-03,1.859790e-03,1.854561e-03,1.849252e-03,1.843875e-03,1.838436e-03,1.832943e-03,1.827405e-03,1.821826e-03,1.816215e-03,1.810577e-03,1.804918e-03,1.799242e-03,1.793554e-03,1.787860e-03
0.000000e+00,1.317870e-09,5.169415e-09,3.945481e-08,1.516028e-07,2.806214e-07,1.057453e-06,1.109136e-06,3.179950e-06,4.104773e-06,7.447658e-06,1.157752e-05,1.518170e-05,2.672090e-05,2.797338e-05,4.773420e-05,5.375380e-05,7.667612e-05,9.780181e-05,1.172538e-04,1.646389e-04,1.720510e-04,2.436170e-04,2.601540e-04,3.342946e-04,3.896792e-04,4.460805e-04,5.574510e-04,5.805387e-04,7.387608e-04,7.663293e-04,9.213626e-04,1.017734e-03,1.128502e-03,1.311715e-03,1.359912e-03,1.614941e-03,1.647088e-03,1.892596e-03,2.021611e-03,2.191593e-03,2.432172e-03,2.510404e-03,2.847306e-03,2.874984e-03,3.200423e-03,3.345770e-03,3.567778e-03,3.839942e-03,3.947325e-03,4.336993e-03,4.352761e-03,4.734718e-03,4.879478e-03,5.138469e-03,5.415455e-03,5.546279e-03,5.956260e-03,6.366624e-03,6.497744e-03,6.775693e-03,7.036094e-03,7.181911e-03,7.567869e-03,7.583847e-03,7.980203e-03,8.090020e-03,8.369809e-03,8.599895e-03,8.751627e-03,9.095234e-03,9.124744e-03,9.488372e-03,9.574154e-03,9.841839e-03,1.003513e-02,1.018458e-02,1.047696e-02,1.051615e-02,1.083617e-02,1.089876e-02,1.114438e-02,1.129991e-02,1.144059e-02,1.168004e-02,1.172468e-02,1.199660e-02,1.203898e-02,1.225637e-02,1.237677e-02,1.250406e-02,1.269358e-02,1.273977e-02,1.296367e-02,1.298975e-02,1.317593e-02,1.326570e-02,1.337679e-02,1.352196e-02,1.356649e-02,1.374530e-02,1.375914e-02,1.391351e-02,1.397789e-02,1.407141e-02,1.417890e-02,1.421933e-02,1.435758e-02,1.436291e-02,1.448649e-02,1.453067e-02,1.460638e-02,1.468293e-02,1.471760e-02,1.482046e-02,1.491530e-02,1.494401e-02,1.500245e-02,1.505433e-02,1.508222e-02,1.515216e-02,1.515494e-02,1.522090e-02,1.523821e-02,1.528042e-02,1.531317e-02,1.533379e-02,1.537771e-02,1.538130e-02,1.542323e-02,1.543249e-02,1.545985e-02,1.547813e-02,1.549142e-02,1.551523e-02,1.551820e-02,1.554042e-02,1.554435e-02,1.555834e-02,1.556603e-02,1.557218e-02,1.558080e-02,1.558215e-02,1.558847e-02,1.558915e-02,1.559133e-02,1.559154e-02,1.559095e-02,1.558842e-02,1.558749e-02,1.558114e-02,1.558020e-02,1.557208e-02,1.556727e-02,1.556046e-02,1.555001e-02,1.554643e-02,1.553016e-02,1.552877e-02,1.551179e-02,1.550387e-02,1.549144e-02,1.547564e-02,1.546925e-02,1.544534e-02,1.544435e-02,1.541983e-02,1.541028e-02,1.539283e-02,1.537368e-02,1.536446e-02,1.533480e-02,1.529386e-02,1.525107e-02,1.520663e-02,1.516072e-02,1.511350e-02,1.506514e-02,1.501580e-02,1.496559e-02,1.491466e-02,1.486312e-02,1.481109e-02,1.475867e-02,1.470594e-02,1.465301e-02,1.459995e-02,1.454684e-02,1.449374e-02,1.444073e-02,1.438786e-02,1.433518e-02,1.428275e-02,1.423061e-02,1.417880e-02,1.412737e-02
0.000000e+00,2.855037e-09,7.187988e-09,2.744431e-08,6.580047e-08,9.803853e-08,2.319374e-07,2.392682e-07,4.779538e-07,5.663345e-07,8.450207e-07,1.141767e-06,1.376797e-06,2.046797e-06,2.114374e-06,3.098542e-06,3.375103e-06,4.358213e-06,5.186608e-06,5.897236e-06,7.464850e-06,7.692656e-06,9.707465e-06,1.013339e-05,1.190446e-05,1.310825e-05,1.425235e-05,1.632257e-05,1.672588e-05,1.930418e-05,1.972519e-05,2.196914e-05,2.327425e-05,2.470436e-05,2.693280e-05,2.749452e-05,3.032519e-05,3.066694e-05,3.318270e-05,3.444516e-05,3.605421e-05,3.823855e-05,3.892780e-05,4.179252e-05,4.202101e-05,4.463844e-05,4.576952e-05,4.745669e-05,4.946424e-05,5.023941e-05,5.297978e-05,5.308842e-05,5.567191e-05,5.662828e-05,5.831084e-05,6.007281e-05,6.089248e-05,6.341349e-05,6.587123e-05,6.664399e-05,6.826361e-05,6.975968e-05,7.058904e-05,7.275739e-05,7.284637e-05,7.503485e-05,7.563523e-05,7.715411e-05,7.839241e-05,7.920410e-05,8.102909e-05,8.118503e-05,8.309734e-05,8.354614e-05,8.494163e-05,8.594502e-05,8.671871e-05,8.822769e-05,8.842952e-05,9.007520e-05,9.039665e-05,9.165716e-05,9.245501e-05,9.317663e-05,9.440553e-05,9.463476e-05,9.603288e-05,9.625110e-05,9.737228e-05,9.799471e-05,9.865426e-05,9.963942e-05,9.988018e-05,1.010514e-04,1.011883e-04,1.021693e-04,1.026446e-04,1.032352e-04,1.040114e-04,1.042505e-04,1.052166e-04,1.052917e-04,1.061346e-04,1.064888e-04,1.070061e-04,1.076055e-04,1.078323e-04,1.086146e-04,1.086450e-04,1.093541e-04,1.096102e-04,1.100523e-04,1.105040e-04,1.107102e-04,1.113292e-04,1.119104e-04,1.120886e-04,1.124551e-04,1.127850e-04,1.129643e-04,1.134209e-04,1.134393e-04,1.138811e-04,1.139990e-04,1.142909e-04,1.145218e-04,1.146696e-04,1.149916e-04,1.150184e-04,1.153383e-04,1.154109e-04,1.156303e-04,1.157819e-04,1.158953e-04,1.161069e-04,1.161343e-04,1.163482e-04,1.163880e-04,1.165379e-04,1.166274e-04,1.167044e-04,1.168269e-04,1.168485e-04,1.169709e-04,1.169886e-04,1.170726e-04,1.171143e-04,1.171543e-04,1.172059e-04,1.172169e-04,1.172610e-04,1.172650e-04,1.172873e-04,1.172935e-04,1.172967e-04,1.172929e-04,1.172898e-04,1.172672e-04,1.172647e-04,1.172296e-04,1.172106e-04,1.171777e-04,1.171318e-04,1.171121e-04,1.170334e-04,1.170299e-04,1.169420e-04,1.169062e-04,1.168387e-04,1.167619e-04,1.167240e-04,1.165983e-04,1.164166e-04,1.162179e-04,1.160033e-04,1.157739e-04,1.155306e-04,1.152744e-04,1.150062e-04,1.147270e-04,1.144375e-04,1.141385e-04,1.138309e-04,1.135153e-04,1.131924e-04,1.128630e-04,1.125276e-04,1.121868e-04,1.118412e-04,1.114915e-04,1.111380e-04,1.107813e-04,1.104219e-04,1.100601e-04,1.096965e-04,1.093314e-04
0.000000e+00,9.533758e-09,2.232887e-08,7.850643e-08,1.806751e-07,2.651840e-07,6.136651e-07,6.327637e-07,1.260280e-06,1.495737e-06,2.246970e-06,3.053375e-06,3.688781e-06,5.439010e-06,5.608671e-06,7.920316e-06,8.519204e-06,1.049950e-05,1.202318e-05,1.324958e-05,1.575986e-05,1.610680e-05,1.902683e-05,1.961521e-05,2.197482e-05,2.350864e-05,2.492046e-05,2.737278e-05,2.783623e-05,3.069702e-05,3.114811e-05,3.348051e-05,3.478334e-05,3.616739e-05,3.823648e-05,3.874167e-05,4.119082e-05,4.147584e-05,4.350564e-05,4.447994e-05,4.568008e-05,4.723670e-05,4.771092e-05,4.959738e-05,4.974208e-05,5.134072e-05,5.199858e-05,5.294385e-05,5.401361e-05,5.441098e-05,5.574729e-05,5.579810e-05,5.695852e-05,5.736513e-05,5.805093e-05,5.872928e-05,5.903116e-05,5.990592e-05,6.068182e-05,6.091029e-05,6.136536e-05,6.175728e-05,6.196285e-05,6.246113e-05,6.248037e-05,6.292368e-05,6.303525e-05,6.329824e-05,6.349214e-05,6.360923e-05,6.384338e-05,6.386151e-05,6.405964e-05,6.409961e-05,6.420787e-05,6.427057e-05,6.431016e-05,6.436512e-05,6.437022e-05,6.439147e-05,6.439135e-05,6.437711e-05,6.435657e-05,6.433012e-05,6.426744e-05,6.425323e-05,6.414900e-05,6.412995e-05,6.401979e-05,6.394954e-05,6.386777e-05,6.373111e-05,6.369498e-05,6.350329e-05,6.347910e-05,6.329442e-05,6.319750e-05,6.306999e-05,6.288992e-05,6.283147e-05,6.258023e-05,6.255962e-05,6.231754e-05,6.220953e-05,6.204458e-05,6.184229e-05,6.176242e-05,6.147207e-05,6.146030e-05,6.117446e-05,6.106570e-05,6.087043e-05,6.066044e-05,6.056079e-05,6.024626e-05,5.992752e-05,5.982473e-05,5.960519e-05,5.939728e-05,5.927984e-05,5.896518e-05,5.895202e-05,5.862221e-05,5.852957e-05,5.829087e-05,5.809150e-05,5.795841e-05,5.765189e-05,5.762521e-05,5.729164e-05,5.721157e-05,5.695803e-05,5.677129e-05,5.662466e-05,5.633174e-05,5.629183e-05,5.595979e-05,5.589350e-05,5.562877e-05,5.545711e-05,5.529898e-05,5.502306e-05,5.497062e-05,5.464388e-05,5.459177e-05,5.431893e-05,5.416362e-05,5.399590e-05,5.373896e-05,5.367494e-05,5.335617e-05,5.331807e-05,5.303971e-05,5.290123e-05,5.272566e-05,5.248866e-05,5.241412e-05,5.210516e-05,5.208056e-05,5.179887e-05,5.167712e-05,5.149531e-05,5.127847e-05,5.119454e-05,5.089661e-05,5.088475e-05,5.060157e-05,5.049607e-05,5.030946e-05,5.011252e-05,5.002032e-05,4.973417e-05,4.936108e-05,4.899329e-05,4.863085e-05,4.827377e-05,4.792206e-05,4.757573e-05,4.723477e-05,4.689916e-05,4.656889e-05,4.624394e-05,4.592426e-05,4.560983e-05,4.530059e-05,4.499652e-05,4.469755e-05,4.440364e-05,4.411473e-05,4.383076e-05,4.355169e-05,4.327743e-05,4.300795e-05,4.274316e-05,4.248300e-05,4.222742e-05
0.000000e+00,6.420814e-10,1.917004e-09,9.025368e-09,2.410313e-08,3.744391e-08,9.563350e-08,9.889983e-08,2.078345e-07,2.491000e-07,3.814081e-07,5.249441e-07,6.399716e-07,9.714242e-07,1.004986e-06,1.492070e-06,1.627599e-06,2.102059e-06,2.492381e-06,2.820702e-06,3.527202e-06,3.628169e-06,4.506939e-06,4.690008e-06,5.443621e-06,5.950072e-06,6.427883e-06,7.285086e-06,7.451087e-06,8.505401e-06,8.676476e-06,9.583345e-06,1.010700e-05,1.067762e-05,1.156001e-05,1.178111e-05,1.288698e-05,1.301953e-05,1.398874e-05,1.447065e-05,1.508039e-05,1.589989e-05,1.615646e-05,1.721213e-05,1.729557e-05,1.824316e-05,1.864786e-05,1.924601e-05,1.994893e-05,2.021773e-05,2.115594e-05,2.119275e-05,2.205885e-05,2.237499e-05,2.292515e-05,2.349286e-05,2.375396e-05,2.454483e-05,2.529761e-05,2.553047e-05,2.601245e-05,2.645022e-05,2.668976e-05,2.730519e-05,2.733011e-05,2.793426e-05,2.809706e-05,2.850310e-05,2.882787e-05,2.903762e-05,2.949997e-05,2.953887e-05,3.000796e-05,3.011589e-05,3.044604e-05,3.067824e-05,3.085425e-05,3.118971e-05,3.123378e-05,3.158578e-05,3.165299e-05,3.191144e-05,3.207074e-05,3.221187e-05,3.244557e-05,3.248821e-05,3.274155e-05,3.278002e-05,3.297295e-05,3.307654e-05,3.318347e-05,3.333751e-05,3.337409e-05,3.354579e-05,3.356517e-05,3.369952e-05,3.376170e-05,3.383617e-05,3.392914e-05,3.395661e-05,3.406169e-05,3.406945e-05,3.415220e-05,3.418450e-05,3.422891e-05,3.427603e-05,3.429258e-05,3.434389e-05,3.434570e-05,3.438354e-05,3.439508e-05,3.441217e-05,3.442566e-05,3.443039e-05,3.443881e-05,3.443799e-05,3.443586e-05,3.442846e-05,3.441804e-05,3.441075e-05,3.438651e-05,3.438535e-05,3.435272e-05,3.434235e-05,3.431331e-05,3.428659e-05,3.426755e-05,3.422018e-05,3.421584e-05,3.415857e-05,3.414404e-05,3.409610e-05,3.405899e-05,3.402880e-05,3.396583e-05,3.395698e-05,3.388097e-05,3.386529e-05,3.380106e-05,3.375807e-05,3.371755e-05,3.364481e-05,3.363070e-05,3.354077e-05,3.352611e-05,3.344801e-05,3.340255e-05,3.335265e-05,3.327463e-05,3.325490e-05,3.315499e-05,3.314286e-05,3.305310e-05,3.300769e-05,3.294942e-05,3.286954e-05,3.284414e-05,3.273741e-05,3.272882e-05,3.262941e-05,3.258588e-05,3.252027e-05,3.244108e-05,3.241015e-05,3.229918e-05,3.229473e-05,3.218748e-05,3.214712e-05,3.207518e-05,3.199853e-05,3.196239e-05,3.184922e-05,3.169941e-05,3.154933e-05,3.139918e-05,3.124913e-05,3.109937e-05,3.095004e-05,3.080130e-05,3.065327e-05,3.050608e-05,3.035984e-05,3.021464e-05,3.007058e-05,2.992774e-05,2.978620e-05,2.964602e-05,2.950728e-05,2.937001e-05,2.923428e-05,2.910011e-05,2.896756e-05,2.883665e-05,2.870742e-05,2.857988e-05,2.845405e-05
0.000000e+00,5.994198e-10,1.591160e-09,6.437417e-09,1.584011e-08,2.381001e-08,5.703768e-08,5.885667e-08,1.178767e-07,1.396086e-07,2.076788e-07,2.794372e-07,3.357851e-07,4.943204e-07,5.101515e-07,7.377251e-07,8.007291e-07,1.021671e-06,1.204624e-06,1.359652e-06,1.697060e-06,1.745704e-06,2.173388e-06,2.263421e-06,2.637238e-06,2.891206e-06,3.132735e-06,3.570492e-06,3.655901e-06,4.202971e-06,4.292471e-06,4.770219e-06,5.048568e-06,5.353905e-06,5.830169e-06,5.950279e-06,6.555632e-06,6.628705e-06,7.166355e-06,7.435880e-06,7.779003e-06,8.243905e-06,8.390344e-06,8.997404e-06,9.045701e-06,9.597495e-06,9.835035e-06,1.018823e-05,1.060659e-05,1.076754e-05,1.133364e-05,1.135599e-05,1.188505e-05,1.207973e-05,1.242057e-05,1.277515e-05,1.293924e-05,1.344034e-05,1.392333e-05,1.407401e-05,1.438789e-05,1.467544e-05,1.483383e-05,1.524437e-05,1.526110e-05,1.566978e-05,1.578090e-05,1.606002e-05,1.628542e-05,1.643208e-05,1.675858e-05,1.678627e-05,1.712295e-05,1.720119e-05,1.744253e-05,1.761419e-05,1.774545e-05,1.799861e-05,1.803218e-05,1.830319e-05,1.835555e-05,1.855898e-05,1.868615e-05,1.880005e-05,1.899154e-05,1.902691e-05,1.924004e-05,1.927290e-05,1.943995e-05,1.953136e-05,1.962713e-05,1.976804e-05,1.980207e-05,1.996523e-05,1.998404e-05,2.011708e-05,2.018044e-05,2.025809e-05,2.035826e-05,2.038868e-05,2.050928e-05,2.051851e-05,2.062032e-05,2.066215e-05,2.072220e-05,2.079010e-05,2.081531e-05,2.090003e-05,2.090325e-05,2.097673e-05,2.100245e-05,2.104576e-05,2.108849e-05,2.110746e-05,2.116216e-05,2.121017e-05,2.122418e-05,2.125182e-05,2.127526e-05,2.128738e-05,2.131607e-05,2.131715e-05,2.134140e-05,2.134723e-05,2.136038e-05,2.136935e-05,2.137436e-05,2.138300e-05,2.138357e-05,2.138825e-05,2.138872e-05,2.138862e-05,2.138703e-05,2.138490e-05,2.137840e-05,2.137729e-05,2.136599e-05,2.136331e-05,2.135120e-05,2.134218e-05,2.133309e-05,2.131544e-05,2.131183e-05,2.128761e-05,2.128346e-05,2.126057e-05,2.124663e-05,2.123087e-05,2.120529e-05,2.119866e-05,2.116408e-05,2.115978e-05,2.112726e-05,2.111039e-05,2.108835e-05,2.105744e-05,2.104745e-05,2.100469e-05,2.100119e-05,2.096018e-05,2.094191e-05,2.091403e-05,2.087985e-05,2.086635e-05,2.081724e-05,2.081524e-05,2.076678e-05,2.074831e-05,2.071508e-05,2.067925e-05,2.066221e-05,2.060826e-05,2.053554e-05,2.046125e-05,2.038555e-05,2.030860e-05,2.023055e-05,2.015152e-05,2.007166e-05,1.999107e-05,1.990986e-05,1.982815e-05,1.974604e-05,1.966361e-05,1.958095e-05,1.949814e-05,1.941526e-05,1.933239e-05,1.924958e-05,1.916689e-05,1.908439e-05,1.900213e-05,1.892016e-05,1.883852e-05,1.875727e-05,1.867642e-05
0.000000e+00,1.415481e-11,5.516449e-11,4.153274e-10,1.575625e-09,2.895671e-09,1.070367e-08,1.121776e-08,3.151193e-08,4.044069e-08,7.226851e-08,1.108954e-07,1.441423e-07,2.484817e-07,2.596501e-07,4.328119e-07,4.846133e-07,6.787621e-07,8.541717e-07,1.013325e-06,1.393771e-06,1.452524e-06,2.012007e-06,2.139650e-06,2.706399e-06,3.125191e-06,3.548689e-06,4.378524e-06,4.549738e-06,5.717955e-06,5.920807e-06,7.059129e-06,7.765345e-06,8.576382e-06,9.917381e-06,1.027021e-05,1.213859e-05,1.237435e-05,1.417715e-05,1.512641e-05,1.637933e-05,1.815725e-05,1.873663e-05,2.123888e-05,2.144498e-05,2.387444e-05,2.496316e-05,2.663053e-05,2.868188e-05,2.949345e-05,3.244892e-05,3.256886e-05,3.548227e-05,3.659049e-05,3.857870e-05,4.071281e-05,4.172355e-05,4.490241e-05,4.810138e-05,4.912711e-05,5.130717e-05,5.335662e-05,5.450722e-05,5.756298e-05,5.768980e-05,6.084409e-05,6.172085e-05,6.396019e-05,6.580775e-05,6.702916e-05,6.980413e-05,7.004304e-05,7.299482e-05,7.369331e-05,7.587842e-05,7.746149e-05,7.868866e-05,8.109752e-05,8.142120e-05,8.407251e-05,8.459277e-05,8.663981e-05,8.794087e-05,8.912099e-05,9.113754e-05,9.151459e-05,9.381973e-05,9.418031e-05,9.603603e-05,9.706831e-05,9.816357e-05,9.980202e-05,1.002029e-04,1.021547e-04,1.023831e-04,1.040203e-04,1.048142e-04,1.058011e-04,1.070988e-04,1.074988e-04,1.091150e-04,1.092409e-04,1.106520e-04,1.112450e-04,1.121117e-04,1.131161e-04,1.134964e-04,1.148084e-04,1.148594e-04,1.160500e-04,1.164802e-04,1.172236e-04,1.179840e-04,1.183315e-04,1.193762e-04,1.203600e-04,1.206624e-04,1.212853e-04,1.218479e-04,1.221544e-04,1.229380e-04,1.229696e-04,1.237330e-04,1.239378e-04,1.244470e-04,1.248525e-04,1.251136e-04,1.256868e-04,1.257349e-04,1.263129e-04,1.264454e-04,1.268496e-04,1.271328e-04,1.273469e-04,1.277533e-04,1.278065e-04,1.282303e-04,1.283110e-04,1.286200e-04,1.288097e-04,1.289772e-04,1.292532e-04,1.293034e-04,1.296003e-04,1.296451e-04,1.298692e-04,1.299887e-04,1.301115e-04,1.302872e-04,1.303287e-04,1.305219e-04,1.305436e-04,1.306925e-04,1.307606e-04,1.308415e-04,1.309411e-04,1.309702e-04,1.310796e-04,1.310876e-04,1.311708e-04,1.312024e-04,1.312447e-04,1.312878e-04,1.313023e-04,1.313445e-04,1.313459e-04,1.313722e-04,1.313787e-04,1.313861e-04,1.313882e-04,1.313871e-04,1.313760e-04,1.313438e-04,1.312933e-04,1.312258e-04,1.311427e-04,1.310454e-04,1.309351e-04,1.308128e-04,1.306796e-04,1.305366e-04,1.303847e-04,1.302247e-04,1.300574e-04,1.298837e-04,1.297043e-04,1.295197e-04,1.293307e-04,1.291377e-04,1.289414e-04,1.287423e-04,1.285408e-04,1.283373e-04,1.281323e-04,1.279261e-04,1.277191e-04
0.000000e+00,1.210190e-10,4.084162e-10,2.322949e-09,6.961191e-09,1.132305e-08,3.121220e-08,3.234338e-08,6.989118e-08,8.387639e-08,1.275526e-07,1.729755e-07,2.080668e-07,3.040477e-07,3.134257e-07,4.449292e-07,4.804621e-07,6.031687e-07,7.034145e-07,7.879130e-07,9.714277e-07,9.978835e-07,1.230480e-06,1.279383e-06,1.481669e-06,1.617948e-06,1.746288e-06,1.974839e-06,2.018727e-06,2.293653e-06,2.337552e-06,2.566445e-06,2.695488e-06,2.833329e-06,3.040557e-06,3.091328e-06,3.338159e-06,3.366942e-06,3.572126e-06,3.670673e-06,3.792038e-06,3.949288e-06,3.997133e-06,4.187024e-06,4.201555e-06,4.361639e-06,4.427242e-06,4.521166e-06,4.626902e-06,4.666007e-06,4.796727e-06,4.801671e-06,4.914010e-06,4.953089e-06,5.018625e-06,5.082942e-06,5.111388e-06,5.193139e-06,5.264716e-06,5.285607e-06,5.326942e-06,5.362226e-06,5.380608e-06,5.424774e-06,5.426467e-06,5.465227e-06,5.474899e-06,5.497548e-06,5.514105e-06,5.524039e-06,5.543745e-06,5.545262e-06,5.561727e-06,5.565024e-06,5.573903e-06,5.579006e-06,5.582210e-06,5.586624e-06,5.587030e-06,5.588709e-06,5.588696e-06,5.587560e-06,5.585940e-06,5.583866e-06,5.578982e-06,5.577880e-06,5.569829e-06,5.568363e-06,5.559918e-06,5.554555e-06,5.548333e-06,5.537973e-06,5.535242e-06,5.520795e-06,5.518977e-06,5.505128e-06,5.497880e-06,5.488363e-06,5.474958e-06,5.470614e-06,5.451980e-06,5.450454e-06,5.432555e-06,5.424582e-06,5.412421e-06,5.397528e-06,5.391654e-06,5.370324e-06,5.369460e-06,5.348496e-06,5.340527e-06,5.326226e-06,5.310858e-06,5.303568e-06,5.280570e-06,5.257277e-06,5.249768e-06,5.233730e-06,5.218544e-06,5.209967e-06,5.186985e-06,5.186024e-06,5.161932e-06,5.155164e-06,5.137722e-06,5.123151e-06,5.113422e-06,5.091006e-06,5.089055e-06,5.064647e-06,5.058785e-06,5.040219e-06,5.026538e-06,5.015791e-06,4.994309e-06,4.991382e-06,4.967010e-06,4.962141e-06,4.942690e-06,4.930070e-06,4.918438e-06,4.898129e-06,4.894268e-06,4.870191e-06,4.866348e-06,4.846220e-06,4.834754e-06,4.822365e-06,4.803372e-06,4.798636e-06,4.775044e-06,4.772222e-06,4.751595e-06,4.741325e-06,4.728298e-06,4.710699e-06,4.705161e-06,4.682189e-06,4.680359e-06,4.659389e-06,4.650318e-06,4.636766e-06,4.620589e-06,4.614325e-06,4.592070e-06,4.591184e-06,4.570007e-06,4.562111e-06,4.548137e-06,4.533379e-06,4.526466e-06,4.504995e-06,4.476964e-06,4.449293e-06,4.421985e-06,4.395044e-06,4.368472e-06,4.342271e-06,4.316444e-06,4.290989e-06,4.265909e-06,4.241202e-06,4.216867e-06,4.192905e-06,4.169313e-06,4.146089e-06,4.123231e-06,4.100737e-06,4.078605e-06,4.056831e-06,4.035412e-06,4.014345e-06,3.993627e-06,3.973254e-06,3.953221e-06,3.933526e-06
0.000000e+00,1.798143e-10,6.297734e-10,3.839466e-09,1.216180e-08,2.033787e-08,5.976763e-08,6.208270e-08,1.416931e-07,1.723940e-07,2.708922e-07,3.766636e-07,4.602633e-07,6.957959e-07,7.192859e-07,1.056367e-06,1.149711e-06,1.478689e-06,1.754548e-06,1.991695e-06,2.520413e-06,2.598120e-06,3.296771e-06,3.447135e-06,4.081792e-06,4.520912e-06,4.943073e-06,5.716102e-06,5.867737e-06,6.841886e-06,7.001420e-06,7.851882e-06,8.345640e-06,8.885025e-06,9.720424e-06,9.929797e-06,1.097588e-05,1.110105e-05,1.201410e-05,1.246632e-05,1.303641e-05,1.379838e-05,1.403581e-05,1.500632e-05,1.508256e-05,1.594298e-05,1.630723e-05,1.684176e-05,1.746365e-05,1.769955e-05,1.851404e-05,1.854569e-05,1.928368e-05,1.954959e-05,2.000760e-05,2.047356e-05,2.068548e-05,2.131754e-05,2.190438e-05,2.208277e-05,2.244698e-05,2.277158e-05,2.294656e-05,2.338704e-05,2.340459e-05,2.382266e-05,2.393279e-05,2.420250e-05,2.441280e-05,2.454591e-05,2.483124e-05,2.485471e-05,2.513076e-05,2.519234e-05,2.537589e-05,2.550033e-05,2.559190e-05,2.575931e-05,2.578056e-05,2.594358e-05,2.597326e-05,2.608262e-05,2.614596e-05,2.619925e-05,2.628101e-05,2.629499e-05,2.637129e-05,2.638178e-05,2.642951e-05,2.645143e-05,2.647097e-05,2.649288e-05,2.649688e-05,2.650840e-05,2.650887e-05,2.650663e-05,2.650191e-05,2.649259e-05,2.647432e-05,2.646726e-05,2.643153e-05,2.642825e-05,2.638625e-05,2.636565e-05,2.633223e-05,2.628833e-05,2.627019e-05,2.620085e-05,2.619793e-05,2.612484e-05,2.609597e-05,2.604278e-05,2.598381e-05,2.595523e-05,2.586272e-05,2.576575e-05,2.573385e-05,2.566476e-05,2.559822e-05,2.556019e-05,2.545680e-05,2.545244e-05,2.534187e-05,2.531045e-05,2.522882e-05,2.515994e-05,2.511363e-05,2.500600e-05,2.499657e-05,2.487793e-05,2.484925e-05,2.475797e-05,2.469029e-05,2.463691e-05,2.452965e-05,2.451498e-05,2.439237e-05,2.436779e-05,2.426928e-05,2.420515e-05,2.414589e-05,2.404211e-05,2.402233e-05,2.389878e-05,2.387902e-05,2.377536e-05,2.371619e-05,2.365219e-05,2.355391e-05,2.352939e-05,2.340706e-05,2.339242e-05,2.328531e-05,2.323194e-05,2.316421e-05,2.307267e-05,2.304386e-05,2.292432e-05,2.291479e-05,2.280566e-05,2.275845e-05,2.268793e-05,2.260379e-05,2.257120e-05,2.245552e-05,2.245092e-05,2.234092e-05,2.229994e-05,2.222746e-05,2.215096e-05,2.211515e-05,2.200404e-05,2.185925e-05,2.171664e-05,2.157626e-05,2.143814e-05,2.130231e-05,2.116880e-05,2.103761e-05,2.090875e-05,2.078223e-05,2.065805e-05,2.053620e-05,2.041667e-05,2.029945e-05,2.018452e-05,2.007186e-05,1.996146e-05,1.985329e-05,1.974732e-05,1.964353e-05,1.954189e-05,1.944237e-05,1.934494e-05,1.924958e-05,1.915624e-05
0.000000e+00,4.943143e-11,1.917252e-10,1.429156e-09,5.372642e-09,9.824670e-09,3.585527e-08,3.755803e-08,1.042094e-07,1.332998e-07,2.363091e-07,3.603686e-07,4.665865e-07,7.977478e-07,8.330485e-07,1.377914e-06,1.540191e-06,2.146122e-06,2.690831e-06,3.182953e-06,4.351321e-06,4.530740e-06,6.225519e-06,6.608690e-06,8.294658e-06,9.524806e-06,1.075579e-05,1.313208e-05,1.361674e-05,1.687613e-05,1.743406e-05,2.052416e-05,2.240848e-05,2.454368e-05,2.801117e-05,2.891120e-05,3.359790e-05,3.418022e-05,3.857073e-05,4.084016e-05,4.379339e-05,4.790604e-05,4.922735e-05,5.483277e-05,5.528740e-05,6.056940e-05,6.289183e-05,6.639738e-05,7.062827e-05,7.227795e-05,7.817403e-05,7.840970e-05,8.405074e-05,8.615530e-05,8.987574e-05,9.379204e-05,9.561955e-05,1.012557e-04,1.067608e-04,1.084914e-04,1.121147e-04,1.154537e-04,1.173000e-04,1.221062e-04,1.223026e-04,1.271109e-04,1.284212e-04,1.317161e-04,1.343790e-04,1.361118e-04,1.399669e-04,1.402935e-04,1.442590e-04,1.451784e-04,1.480077e-04,1.500125e-04,1.515405e-04,1.544725e-04,1.548597e-04,1.579686e-04,1.585656e-04,1.608717e-04,1.623016e-04,1.635740e-04,1.656929e-04,1.660812e-04,1.683996e-04,1.687535e-04,1.705359e-04,1.714986e-04,1.724968e-04,1.739442e-04,1.742896e-04,1.759214e-04,1.761067e-04,1.773994e-04,1.780029e-04,1.787308e-04,1.796491e-04,1.799228e-04,1.809824e-04,1.810617e-04,1.819165e-04,1.822565e-04,1.827318e-04,1.832489e-04,1.834348e-04,1.840319e-04,1.840537e-04,1.845291e-04,1.846849e-04,1.849325e-04,1.851560e-04,1.852475e-04,1.854798e-04,1.856344e-04,1.856683e-04,1.857164e-04,1.857330e-04,1.857305e-04,1.856844e-04,1.856813e-04,1.855730e-04,1.855326e-04,1.854097e-04,1.852870e-04,1.851954e-04,1.849563e-04,1.849338e-04,1.846282e-04,1.845488e-04,1.842822e-04,1.840719e-04,1.838988e-04,1.835329e-04,1.834810e-04,1.830316e-04,1.829381e-04,1.825532e-04,1.822939e-04,1.820484e-04,1.816057e-04,1.815195e-04,1.809688e-04,1.808788e-04,1.803983e-04,1.801181e-04,1.798101e-04,1.793279e-04,1.792059e-04,1.785876e-04,1.785125e-04,1.779567e-04,1.776755e-04,1.773148e-04,1.768205e-04,1.766633e-04,1.760037e-04,1.759506e-04,1.753371e-04,1.750688e-04,1.746648e-04,1.741778e-04,1.739879e-04,1.733073e-04,1.732800e-04,1.726241e-04,1.723777e-04,1.719392e-04,1.714729e-04,1.712534e-04,1.705675e-04,1.696632e-04,1.687615e-04,1.678638e-04,1.669714e-04,1.660854e-04,1.652068e-04,1.643365e-04,1.634753e-04,1.626240e-04,1.617831e-04,1.609533e-04,1.601350e-04,1.593287e-04,1.585346e-04,1.577531e-04,1.569845e-04,1.562289e-04,1.554866e-04,1.547576e-04,1.540419e-04,1.533398e-04,1.526512e-04,1.519760e-04,1.513144e-04
0.000000e+00,8.641406e-11,3.376584e-10,2.556147e-09,9.746757e-09,1.796390e-08,6.691824e-08,7.015523e-08,1.987372e-07,2.556725e-07,4.598767e-07,7.097123e-07,9.261420e-07,1.611880e-06,1.685779e-06,2.841348e-06,3.190096e-06,4.506990e-06,5.707401e-06,6.803124e-06,9.439575e-06,9.848230e-06,1.374940e-05,1.464050e-05,1.859444e-05,2.150901e-05,2.444692e-05,3.016970e-05,3.134427e-05,3.929796e-05,4.066804e-05,4.829507e-05,5.297478e-05,5.830055e-05,6.699500e-05,6.926003e-05,8.110279e-05,8.257940e-05,9.374475e-05,9.953637e-05,1.070915e-04,1.176441e-04,1.210414e-04,1.354880e-04,1.366619e-04,1.503229e-04,1.563413e-04,1.654379e-04,1.764345e-04,1.807270e-04,1.960884e-04,1.967029e-04,2.114251e-04,2.169228e-04,2.266472e-04,2.368899e-04,2.416714e-04,2.564228e-04,2.708342e-04,2.753643e-04,2.848470e-04,2.935821e-04,2.984103e-04,3.109688e-04,3.114818e-04,3.240263e-04,3.274404e-04,3.360161e-04,3.429348e-04,3.474303e-04,3.574102e-04,3.582541e-04,3.684785e-04,3.708426e-04,3.780995e-04,3.832237e-04,3.871177e-04,3.945588e-04,3.955379e-04,4.033680e-04,4.048642e-04,4.106194e-04,4.141658e-04,4.173056e-04,4.224969e-04,4.234426e-04,4.290478e-04,4.298965e-04,4.341400e-04,4.364080e-04,4.387394e-04,4.420778e-04,4.428665e-04,4.465425e-04,4.469543e-04,4.497889e-04,4.510868e-04,4.526272e-04,4.545247e-04,4.550789e-04,4.571653e-04,4.573170e-04,4.589072e-04,4.595120e-04,4.603250e-04,4.611564e-04,4.614387e-04,4.622675e-04,4.622950e-04,4.628302e-04,4.629711e-04,4.631447e-04,4.632257e-04,4.632283e-04,4.630977e-04,4.627685e-04,4.626237e-04,4.622559e-04,4.618383e-04,4.615743e-04,4.607735e-04,4.607372e-04,4.597576e-04,4.594595e-04,4.586477e-04,4.579240e-04,4.574190e-04,4.561930e-04,4.560824e-04,4.546481e-04,4.542904e-04,4.531257e-04,4.522381e-04,4.515244e-04,4.500565e-04,4.498525e-04,4.481179e-04,4.477641e-04,4.463281e-04,4.453780e-04,4.444901e-04,4.429135e-04,4.426102e-04,4.406945e-04,4.403850e-04,4.387486e-04,4.378053e-04,4.367776e-04,4.351861e-04,4.347865e-04,4.327797e-04,4.325380e-04,4.307613e-04,4.298706e-04,4.287352e-04,4.271924e-04,4.267049e-04,4.246736e-04,4.245112e-04,4.226444e-04,4.218339e-04,4.206200e-04,4.191668e-04,4.186028e-04,4.165953e-04,4.165152e-04,4.145995e-04,4.138843e-04,4.126174e-04,4.112782e-04,4.106506e-04,4.087008e-04,4.061553e-04,4.036448e-04,4.011717e-04,3.987380e-04,3.963458e-04,3.939964e-04,3.916910e-04,3.894308e-04,3.872165e-04,3.850487e-04,3.829277e-04,3.808538e-04,3.788271e-04,3.768476e-04,3.749152e-04,3.730296e-04,3.711905e-04,3.693974e-04,3.676499e-04,3.659474e-04,3.642894e-04,3.626751e-04,3.611039e-04,3.595751e-04
0.000000e+00,5.765258e-10,1.561278e-09,6.432177e-09,1.587748e-08,2.383727e-08,5.657428e-08,5.834764e-08,1.150222e-07,1.355230e-07,1.986952e-07,2.638573e-07,3.141767e-07,4.526614e-07,4.662895e-07,6.595693e-07,7.124998e-07,8.973874e-07,1.050457e-06,1.180521e-06,1.464918e-06,1.506034e-06,1.867698e-06,1.943693e-06,2.257791e-06,2.469346e-06,2.668805e-06,3.025419e-06,3.094215e-06,3.528542e-06,3.598542e-06,3.967145e-06,4.177994e-06,4.406006e-06,4.754879e-06,4.841571e-06,5.270674e-06,5.321595e-06,5.690498e-06,5.871630e-06,6.098563e-06,6.399502e-06,6.492734e-06,6.871220e-06,6.900775e-06,7.232573e-06,7.372058e-06,7.575685e-06,7.810976e-06,7.899767e-06,8.204327e-06,8.216100e-06,8.489148e-06,8.586848e-06,8.754251e-06,8.923370e-06,8.999868e-06,9.226389e-06,9.434355e-06,9.497090e-06,9.624425e-06,9.737018e-06,9.797340e-06,9.947940e-06,9.953898e-06,1.009494e-05,1.013177e-05,1.022134e-05,1.029051e-05,1.033396e-05,1.042614e-05,1.043366e-05,1.052130e-05,1.054063e-05,1.059770e-05,1.063587e-05,1.066366e-05,1.071367e-05,1.071994e-05,1.076727e-05,1.077572e-05,1.080633e-05,1.082359e-05,1.083777e-05,1.085871e-05,1.086216e-05,1.088009e-05,1.088240e-05,1.089208e-05,1.089586e-05,1.089860e-05,1.090019e-05,1.090012e-05,1.089704e-05,1.089638e-05,1.088975e-05,1.088531e-05,1.087862e-05,1.086779e-05,1.086396e-05,1.084610e-05,1.084454e-05,1.082530e-05,1.081621e-05,1.080182e-05,1.078340e-05,1.077591e-05,1.074779e-05,1.074662e-05,1.071765e-05,1.070634e-05,1.068569e-05,1.066300e-05,1.065207e-05,1.061696e-05,1.058050e-05,1.056857e-05,1.054283e-05,1.051814e-05,1.050407e-05,1.046594e-05,1.046433e-05,1.042373e-05,1.041222e-05,1.038235e-05,1.035719e-05,1.034029e-05,1.030107e-05,1.029764e-05,1.025447e-05,1.024404e-05,1.021085e-05,1.018625e-05,1.016685e-05,1.012786e-05,1.012252e-05,1.007793e-05,1.006899e-05,1.003313e-05,1.000976e-05,9.988161e-06,9.950295e-06,9.943074e-06,9.897909e-06,9.890678e-06,9.852704e-06,9.831002e-06,9.807495e-06,9.771346e-06,9.762314e-06,9.717192e-06,9.711783e-06,9.672158e-06,9.652377e-06,9.627237e-06,9.593187e-06,9.582453e-06,9.537829e-06,9.534267e-06,9.493386e-06,9.475663e-06,9.449142e-06,9.417420e-06,9.405115e-06,9.361321e-06,9.359575e-06,9.317776e-06,9.302163e-06,9.274493e-06,9.245216e-06,9.231484e-06,9.188761e-06,9.132824e-06,9.077426e-06,9.022587e-06,8.968323e-06,8.914651e-06,8.861582e-06,8.809128e-06,8.757299e-06,8.706102e-06,8.655545e-06,8.605633e-06,8.556369e-06,8.507758e-06,8.459801e-06,8.412500e-06,8.365855e-06,8.319865e-06,8.274530e-06,8.229848e-06,8.185816e-06,8.142431e-06,8.099691e-06,8.057591e-06,8.016127e-06
0.000000e+00,3.712207e-09,8.570775e-09,2.979025e-08,6.823488e-08,9.986752e-08,2.282810e-07,2.352197e-07,4.578358e-07,5.389852e-07,7.914691e-07,1.055656e-06,1.262036e-06,1.838543e-06,1.895801e-06,2.713041e-06,2.937464e-06,3.719105e-06,4.361261e-06,4.902800e-06,6.076098e-06,6.244844e-06,7.725886e-06,8.037239e-06,9.328927e-06,1.020566e-05,1.103885e-05,1.254743e-05,1.284153e-05,1.472326e-05,1.503077e-05,1.667060e-05,1.762476e-05,1.867041e-05,2.029948e-05,2.070999e-05,2.277726e-05,2.302666e-05,2.486097e-05,2.578031e-05,2.695077e-05,2.853730e-05,2.903731e-05,3.111229e-05,3.127757e-05,3.316845e-05,3.398420e-05,3.519949e-05,3.664326e-05,3.720009e-05,3.916574e-05,3.924358e-05,4.109274e-05,4.177640e-05,4.297808e-05,4.423506e-05,4.481935e-05,4.661468e-05,4.836266e-05,4.891184e-05,5.006228e-05,5.112434e-05,5.171287e-05,5.325094e-05,5.331403e-05,5.486563e-05,5.529120e-05,5.636773e-05,5.724531e-05,5.782054e-05,5.911392e-05,5.922444e-05,6.057993e-05,6.089811e-05,6.188760e-05,6.259924e-05,6.314810e-05,6.421891e-05,6.436217e-05,6.553060e-05,6.575889e-05,6.665423e-05,6.722110e-05,6.773393e-05,6.860759e-05,6.877060e-05,6.976514e-05,6.992042e-05,7.071849e-05,7.116174e-05,7.163159e-05,7.233374e-05,7.250540e-05,7.334086e-05,7.343859e-05,7.413893e-05,7.447848e-05,7.490055e-05,7.545560e-05,7.562668e-05,7.631825e-05,7.637211e-05,7.697620e-05,7.723017e-05,7.760144e-05,7.803188e-05,7.819489e-05,7.875745e-05,7.877932e-05,7.929000e-05,7.947455e-05,7.979343e-05,8.011956e-05,8.026858e-05,8.071632e-05,8.113746e-05,8.126674e-05,8.153283e-05,8.177271e-05,8.190323e-05,8.223604e-05,8.224944e-05,8.257223e-05,8.265852e-05,8.287235e-05,8.304186e-05,8.315055e-05,8.338774e-05,8.340754e-05,8.364403e-05,8.369781e-05,8.386070e-05,8.397363e-05,8.405823e-05,8.421675e-05,8.423728e-05,8.439848e-05,8.442863e-05,8.454246e-05,8.461073e-05,8.466984e-05,8.476443e-05,8.478119e-05,8.487711e-05,8.489106e-05,8.495816e-05,8.499194e-05,8.502488e-05,8.506830e-05,8.507780e-05,8.511746e-05,8.512136e-05,8.514436e-05,8.515228e-05,8.515898e-05,8.516218e-05,8.516181e-05,8.515331e-05,8.515215e-05,8.513393e-05,8.512323e-05,8.510411e-05,8.507642e-05,8.506428e-05,8.501486e-05,8.501268e-05,8.495623e-05,8.493295e-05,8.488880e-05,8.483811e-05,8.481294e-05,8.472903e-05,8.460651e-05,8.447136e-05,8.432433e-05,8.416616e-05,8.399752e-05,8.381910e-05,8.363154e-05,8.343544e-05,8.323140e-05,8.301997e-05,8.280170e-05,8.257709e-05,8.234665e-05,8.211083e-05,8.187008e-05,8.162484e-05,8.137551e-05,8.112248e-05,8.086612e-05,8.060678e-05,8.034480e-05,8.008050e-05,7.981419e-05,7.954615e-05
0.000000e+00,5.134459e-10,1.737536e-09,9.967280e-09,3.020244e-08,4.949494e-08,1.397344e-07,1.449607e-07,3.231208e-07,3.915612e-07,6.116825e-07,8.499508e-07,1.040001e-06,1.583951e-06,1.638863e-06,2.438340e-06,2.662988e-06,3.462688e-06,4.139181e-06,4.722062e-06,6.015765e-06,6.204455e-06,7.875361e-06,8.228100e-06,9.687908e-06,1.067072e-05,1.159567e-05,1.324313e-05,1.355986e-05,1.555049e-05,1.586982e-05,1.754458e-05,1.849759e-05,1.952428e-05,2.108798e-05,2.147531e-05,2.338615e-05,2.361229e-05,2.524753e-05,2.604889e-05,2.705205e-05,2.838190e-05,2.879402e-05,3.046916e-05,3.060019e-05,3.207449e-05,3.269662e-05,3.360811e-05,3.466732e-05,3.506903e-05,3.645700e-05,3.651101e-05,3.777242e-05,3.822837e-05,3.901618e-05,3.982163e-05,4.018954e-05,4.129408e-05,4.233161e-05,4.264979e-05,4.330411e-05,4.389334e-05,4.421366e-05,4.502960e-05,4.506241e-05,4.585254e-05,4.606358e-05,4.658629e-05,4.700040e-05,4.726588e-05,4.784515e-05,4.789350e-05,4.847132e-05,4.860283e-05,4.900149e-05,4.927836e-05,4.948611e-05,4.987650e-05,4.992720e-05,5.032675e-05,5.040185e-05,5.068671e-05,5.085886e-05,5.100894e-05,5.125181e-05,5.129528e-05,5.154749e-05,5.158478e-05,5.176724e-05,5.186167e-05,5.195616e-05,5.208614e-05,5.211579e-05,5.224766e-05,5.226169e-05,5.235320e-05,5.239166e-05,5.243380e-05,5.247921e-05,5.249081e-05,5.252549e-05,5.252734e-05,5.253907e-05,5.253885e-05,5.253271e-05,5.251643e-05,5.250755e-05,5.246465e-05,5.246258e-05,5.240506e-05,5.237970e-05,5.232974e-05,5.227003e-05,5.223965e-05,5.213567e-05,5.201866e-05,5.197860e-05,5.188943e-05,5.180068e-05,5.174878e-05,5.160368e-05,5.159743e-05,5.143610e-05,5.138924e-05,5.126547e-05,5.115889e-05,5.108617e-05,5.091409e-05,5.089882e-05,5.070401e-05,5.065620e-05,5.050228e-05,5.038648e-05,5.029416e-05,5.010613e-05,5.008015e-05,4.986073e-05,4.981624e-05,4.963636e-05,4.951787e-05,4.940746e-05,4.921198e-05,4.917444e-05,4.893768e-05,4.889948e-05,4.869756e-05,4.858121e-05,4.845441e-05,4.825795e-05,4.820858e-05,4.796037e-05,4.793044e-05,4.771008e-05,4.759936e-05,4.745798e-05,4.726535e-05,4.720435e-05,4.694943e-05,4.692898e-05,4.669345e-05,4.659082e-05,4.643665e-05,4.625135e-05,4.617922e-05,4.592138e-05,4.591106e-05,4.566330e-05,4.557037e-05,4.540516e-05,4.522968e-05,4.514713e-05,4.488937e-05,4.454977e-05,4.421119e-05,4.387392e-05,4.353824e-05,4.320437e-05,4.287253e-05,4.254294e-05,4.221576e-05,4.189117e-05,4.156931e-05,4.125032e-05,4.093433e-05,4.062142e-05,4.031171e-05,4.000527e-05,3.970219e-05,3.940251e-05,3.910630e-05,3.881361e-05,3.852446e-05,3.823890e-05,3.795695e-05,3.767862e-05,3.740392e-05
0.000000e+00,8.861600e-11,3.444952e-10,2.582249e-09,9.770138e-09,1.794266e-08,6.642031e-08,6.962280e-08,1.971214e-07,2.538453e-07,4.588342e-07,7.128116e-07,9.354348e-07,1.654478e-06,1.733054e-06,2.983273e-06,3.367071e-06,4.835036e-06,6.190664e-06,7.436382e-06,1.044579e-05,1.091235e-05,1.534921e-05,1.635636e-05,2.078921e-05,2.401631e-05,2.723357e-05,3.339976e-05,3.464941e-05,4.297781e-05,4.439007e-05,5.214133e-05,5.681046e-05,6.205036e-05,7.044957e-05,7.260831e-05,8.371574e-05,8.508082e-05,9.527340e-05,1.004764e-04,1.071847e-04,1.164168e-04,1.193574e-04,1.317048e-04,1.326978e-04,1.441470e-04,1.491338e-04,1.566108e-04,1.655608e-04,1.690303e-04,1.813468e-04,1.818366e-04,1.935089e-04,1.978407e-04,2.054719e-04,2.134733e-04,2.171977e-04,2.286541e-04,2.398146e-04,2.433198e-04,2.506577e-04,2.574228e-04,2.611667e-04,2.709290e-04,2.713287e-04,2.811347e-04,2.838157e-04,2.905788e-04,2.960700e-04,2.996577e-04,3.076872e-04,3.083708e-04,3.167193e-04,3.186690e-04,3.247063e-04,3.290227e-04,3.323362e-04,3.387598e-04,3.396149e-04,3.465488e-04,3.478949e-04,3.531457e-04,3.564455e-04,3.594136e-04,3.644306e-04,3.653611e-04,3.709972e-04,3.718707e-04,3.763312e-04,3.787870e-04,3.813725e-04,3.852011e-04,3.861305e-04,3.906149e-04,3.911351e-04,3.948352e-04,3.966109e-04,3.988008e-04,4.016500e-04,4.025210e-04,4.060050e-04,4.062738e-04,4.092618e-04,4.105030e-04,4.123004e-04,4.143579e-04,4.151293e-04,4.177570e-04,4.178581e-04,4.201917e-04,4.210225e-04,4.224414e-04,4.238695e-04,4.245139e-04,4.264166e-04,4.281569e-04,4.286806e-04,4.297417e-04,4.306777e-04,4.311781e-04,4.324233e-04,4.324725e-04,4.336313e-04,4.339323e-04,4.346606e-04,4.352186e-04,4.355665e-04,4.362958e-04,4.363546e-04,4.370305e-04,4.371766e-04,4.375994e-04,4.378732e-04,4.380665e-04,4.383973e-04,4.384367e-04,4.387147e-04,4.387597e-04,4.389051e-04,4.389709e-04,4.390122e-04,4.390410e-04,4.390403e-04,4.389934e-04,4.389792e-04,4.388754e-04,4.387945e-04,4.386899e-04,4.384955e-04,4.384407e-04,4.381310e-04,4.380900e-04,4.377643e-04,4.375857e-04,4.373436e-04,4.369897e-04,4.368721e-04,4.363525e-04,4.363089e-04,4.357877e-04,4.355497e-04,4.351803e-04,4.347181e-04,4.345330e-04,4.338481e-04,4.338199e-04,4.331280e-04,4.328605e-04,4.323749e-04,4.318450e-04,4.315910e-04,4.307783e-04,4.296648e-04,4.285089e-04,4.273146e-04,4.260858e-04,4.248259e-04,4.235384e-04,4.222264e-04,4.208930e-04,4.195409e-04,4.181727e-04,4.167909e-04,4.153979e-04,4.139957e-04,4.125865e-04,4.111721e-04,4.097542e-04,4.083346e-04,4.069148e-04,4.054963e-04,4.040803e-04,4.026681e-04,4.012609e-04,3.998597e-04,3.984656e-04
0.000000e+00,3.810423e-10,1.495546e-09,1.143017e-08,4.398370e-08,8.148873e-08,3.079173e-07,3.230078e-07,9.293246e-07,1.200916e-06,2.185604e-06,3.407090e-06,4.476612e-06,7.917334e-06,8.292027e-06,1.422647e-05,1.604076e-05,2.296639e-05,2.936246e-05,3.525531e-05,4.960013e-05,5.184113e-05,7.342277e-05,7.839421e-05,1.006111e-04,1.171357e-04,1.339065e-04,1.668756e-04,1.736888e-04,2.202149e-04,2.282957e-04,2.736222e-04,3.017127e-04,3.339336e-04,3.871013e-04,4.010663e-04,4.748405e-04,4.841280e-04,5.549912e-04,5.921925e-04,6.411788e-04,7.104737e-04,7.330017e-04,8.300083e-04,8.379783e-04,9.317086e-04,9.735879e-04,1.037586e-03,1.116105e-03,1.147107e-03,1.259732e-03,1.264294e-03,1.374923e-03,1.416917e-03,1.492150e-03,1.572764e-03,1.610898e-03,1.730675e-03,1.851010e-03,1.889562e-03,1.971460e-03,2.048417e-03,2.091613e-03,2.206325e-03,2.211086e-03,2.329528e-03,2.362463e-03,2.446620e-03,2.516106e-03,2.562074e-03,2.666622e-03,2.675631e-03,2.787064e-03,2.813469e-03,2.896172e-03,2.956192e-03,3.002782e-03,3.094415e-03,3.106746e-03,3.207939e-03,3.227835e-03,3.306257e-03,3.356218e-03,3.401618e-03,3.479388e-03,3.493957e-03,3.583227e-03,3.597223e-03,3.669395e-03,3.709648e-03,3.752443e-03,3.816630e-03,3.832365e-03,3.909166e-03,3.918173e-03,3.982863e-03,4.014311e-03,4.053478e-03,4.105105e-03,4.121045e-03,4.185601e-03,4.190637e-03,4.247192e-03,4.271009e-03,4.305867e-03,4.346339e-03,4.361681e-03,4.414692e-03,4.416755e-03,4.464961e-03,4.482398e-03,4.512551e-03,4.543415e-03,4.557528e-03,4.599959e-03,4.639913e-03,4.652186e-03,4.677458e-03,4.700255e-03,4.712665e-03,4.744328e-03,4.745603e-03,4.776342e-03,4.784564e-03,4.804951e-03,4.821124e-03,4.831501e-03,4.854166e-03,4.856059e-03,4.878693e-03,4.883847e-03,4.899470e-03,4.910319e-03,4.918457e-03,4.933735e-03,4.935717e-03,4.951314e-03,4.954240e-03,4.965311e-03,4.971977e-03,4.977768e-03,4.987087e-03,4.988746e-03,4.998302e-03,4.999703e-03,5.006494e-03,5.009958e-03,5.013377e-03,5.017977e-03,5.019005e-03,5.023430e-03,5.023883e-03,5.026704e-03,5.027793e-03,5.028877e-03,5.029821e-03,5.029996e-03,5.030108e-03,5.030075e-03,5.029259e-03,5.028661e-03,5.027494e-03,5.025678e-03,5.024853e-03,5.021380e-03,5.021224e-03,5.017113e-03,5.015391e-03,5.012092e-03,5.008266e-03,5.006354e-03,4.999935e-03,4.990479e-03,4.979974e-03,4.968494e-03,4.956109e-03,4.942886e-03,4.928889e-03,4.914178e-03,4.898811e-03,4.882843e-03,4.866325e-03,4.849307e-03,4.831835e-03,4.813955e-03,4.795707e-03,4.777132e-03,4.758267e-03,4.739148e-03,4.719809e-03,4.700280e-03,4.680593e-03,4.660774e-03,4.640851e-03,4.620849e-03,4.600790e-03
0.000000e+00,6.967475e-10,2.703946e-09,2.018777e-08,7.604703e-08,1.392593e-07,5.106751e-07,5.350531e-07,1.494886e-06,1.916616e-06,3.420751e-06,5.250922e-06,6.831658e-06,1.182815e-05,1.236615e-05,2.077989e-05,2.332073e-05,3.292316e-05,4.168402e-05,4.968302e-05,6.891926e-05,7.189814e-05,1.002796e-04,1.067463e-04,1.353629e-04,1.563769e-04,1.774936e-04,2.184541e-04,2.268351e-04,2.833859e-04,2.930952e-04,3.470015e-04,3.799722e-04,4.174151e-04,4.783951e-04,4.942569e-04,5.770720e-04,5.873869e-04,6.653360e-04,7.057510e-04,7.584705e-04,8.321305e-04,8.558568e-04,9.568492e-04,9.650646e-04,1.060788e-03,1.103039e-03,1.167009e-03,1.244532e-03,1.274856e-03,1.383692e-03,1.388057e-03,1.492901e-03,1.532194e-03,1.601900e-03,1.675619e-03,1.710143e-03,1.817126e-03,1.922388e-03,1.955638e-03,2.025512e-03,2.090218e-03,2.126130e-03,2.220067e-03,2.223921e-03,2.318607e-03,2.344529e-03,2.409953e-03,2.463077e-03,2.497769e-03,2.575310e-03,2.581902e-03,2.662234e-03,2.680938e-03,2.738683e-03,2.779779e-03,2.811198e-03,2.871737e-03,2.879755e-03,2.944355e-03,2.956802e-03,3.005021e-03,3.035027e-03,3.061799e-03,3.106531e-03,3.114749e-03,3.163950e-03,3.171480e-03,3.209489e-03,3.230077e-03,3.251468e-03,3.282559e-03,3.289993e-03,3.325180e-03,3.329184e-03,3.357148e-03,3.370226e-03,3.386021e-03,3.405971e-03,3.411923e-03,3.434983e-03,3.436709e-03,3.455328e-03,3.462733e-03,3.473083e-03,3.484335e-03,3.488376e-03,3.501331e-03,3.501802e-03,3.512068e-03,3.515414e-03,3.520708e-03,3.525445e-03,3.527367e-03,3.532157e-03,3.535189e-03,3.535805e-03,3.536567e-03,3.536629e-03,3.536394e-03,3.534860e-03,3.534769e-03,3.531785e-03,3.530718e-03,3.527533e-03,3.524409e-03,3.522099e-03,3.516128e-03,3.515567e-03,3.508015e-03,3.506059e-03,3.499518e-03,3.494374e-03,3.490147e-03,3.481233e-03,3.479971e-03,3.469054e-03,3.466787e-03,3.457457e-03,3.451177e-03,3.445238e-03,3.434533e-03,3.432451e-03,3.419148e-03,3.416975e-03,3.405378e-03,3.398615e-03,3.391186e-03,3.379558e-03,3.376616e-03,3.361709e-03,3.359899e-03,3.346503e-03,3.339727e-03,3.331033e-03,3.319122e-03,3.315335e-03,3.299439e-03,3.298159e-03,3.283374e-03,3.276908e-03,3.267170e-03,3.255430e-03,3.250850e-03,3.234441e-03,3.233783e-03,3.217964e-03,3.212020e-03,3.201440e-03,3.190188e-03,3.184890e-03,3.168330e-03,3.146487e-03,3.124693e-03,3.102981e-03,3.081381e-03,3.059917e-03,3.038614e-03,3.017492e-03,2.996569e-03,2.975864e-03,2.955389e-03,2.935157e-03,2.915180e-03,2.895468e-03,2.876027e-03,2.856866e-03,2.837989e-03,2.819402e-03,2.801108e-03,2.783111e-03,2.765412e-03,2.748012e-03,2.730912e-03,2.714113e-03,2.697614e-03
0.000000e+00,1.693818e-10,5.994505e-10,3.728174e-09,1.200915e-08,2.026290e-08,6.095708e-08,6.338087e-08,1.484714e-07,1.820774e-07,2.924776e-07,4.149735e-07,5.143341e-07,8.038033e-07,8.332737e-07,1.262816e-06,1.382875e-06,1.805452e-06,2.156457e-06,2.454552e-06,3.105848e-06,3.200069e-06,4.032374e-06,4.208506e-06,4.943284e-06,5.445641e-06,5.925695e-06,6.801262e-06,6.972887e-06,8.077976e-06,8.259680e-06,9.233614e-06,9.803974e-06,1.043189e-05,1.141557e-05,1.166438e-05,1.292228e-05,1.307450e-05,1.419656e-05,1.476011e-05,1.547823e-05,1.645180e-05,1.675847e-05,1.802885e-05,1.812982e-05,1.928150e-05,1.977596e-05,2.050920e-05,2.137405e-05,2.170551e-05,2.286479e-05,2.291032e-05,2.398228e-05,2.437356e-05,2.505406e-05,2.575514e-05,2.607703e-05,2.704890e-05,2.796811e-05,2.825097e-05,2.883375e-05,2.935949e-05,2.964553e-05,3.037436e-05,3.040366e-05,3.110883e-05,3.129692e-05,3.176207e-05,3.212966e-05,3.236476e-05,3.287596e-05,3.291850e-05,3.342510e-05,3.353988e-05,3.388650e-05,3.412590e-05,3.430474e-05,3.463877e-05,3.468193e-05,3.502021e-05,3.508338e-05,3.532169e-05,3.546463e-05,3.558850e-05,3.578733e-05,3.582270e-05,3.602629e-05,3.605616e-05,3.620124e-05,3.627559e-05,3.634941e-05,3.644988e-05,3.647260e-05,3.657252e-05,3.658303e-05,3.665079e-05,3.667878e-05,3.670896e-05,3.674062e-05,3.674848e-05,3.677072e-05,3.677179e-05,3.677697e-05,3.677526e-05,3.676843e-05,3.675378e-05,3.674625e-05,3.671149e-05,3.670985e-05,3.666514e-05,3.664579e-05,3.660812e-05,3.656369e-05,3.654130e-05,3.646548e-05,3.638142e-05,3.635290e-05,3.628982e-05,3.622754e-05,3.619132e-05,3.609084e-05,3.608654e-05,3.597603e-05,3.594413e-05,3.586032e-05,3.578860e-05,3.573990e-05,3.562533e-05,3.561521e-05,3.548668e-05,3.545530e-05,3.535470e-05,3.527942e-05,3.521963e-05,3.509848e-05,3.508180e-05,3.494154e-05,3.491323e-05,3.479914e-05,3.472432e-05,3.465485e-05,3.453238e-05,3.450893e-05,3.436162e-05,3.433794e-05,3.421314e-05,3.414150e-05,3.406367e-05,3.394352e-05,3.391341e-05,3.376254e-05,3.374440e-05,3.361120e-05,3.354451e-05,3.345955e-05,3.334418e-05,3.330773e-05,3.315587e-05,3.314372e-05,3.300408e-05,3.294341e-05,3.285247e-05,3.274348e-05,3.270115e-05,3.255020e-05,3.254418e-05,3.239973e-05,3.234568e-05,3.224979e-05,3.214819e-05,3.210048e-05,3.195186e-05,3.175683e-05,3.156325e-05,3.137122e-05,3.118086e-05,3.099225e-05,3.080548e-05,3.062062e-05,3.043773e-05,3.025688e-05,3.007811e-05,2.990145e-05,2.972695e-05,2.955464e-05,2.938454e-05,2.921667e-05,2.905104e-05,2.888767e-05,2.872656e-05,2.856772e-05,2.841114e-05,2.825683e-05,2.810479e-05,2.795499e-05,2.780744e-05
0.000000e+00,1.807672e-09,4.209110e-09,1.473868e-08,3.383006e-08,4.952955e-08,1.131711e-07,1.166065e-07,2.267125e-07,2.668136e-07,3.915402e-07,5.220810e-07,6.241600e-07,9.103278e-07,9.388686e-07,1.349768e-06,1.464005e-06,1.867356e-06,2.205102e-06,2.493947e-06,3.129401e-06,3.221589e-06,4.035116e-06,4.206612e-06,4.917478e-06,5.398276e-06,5.853216e-06,6.670966e-06,6.829413e-06,7.835379e-06,7.998472e-06,8.862047e-06,9.359842e-06,9.901504e-06,1.073751e-05,1.094670e-05,1.199126e-05,1.211629e-05,1.302946e-05,1.348291e-05,1.405616e-05,1.482595e-05,1.506682e-05,1.605748e-05,1.613576e-05,1.702473e-05,1.740443e-05,1.796575e-05,1.862572e-05,1.887822e-05,1.976029e-05,1.979492e-05,2.061057e-05,2.090868e-05,2.142805e-05,2.196486e-05,2.221209e-05,2.296235e-05,2.367876e-05,2.390088e-05,2.436146e-05,2.478084e-05,2.501079e-05,2.560320e-05,2.562724e-05,2.621143e-05,2.636932e-05,2.676409e-05,2.708088e-05,2.728601e-05,2.773977e-05,2.777806e-05,2.824115e-05,2.834809e-05,2.867622e-05,2.890797e-05,2.908422e-05,2.942162e-05,2.946610e-05,2.982282e-05,2.989123e-05,3.015535e-05,3.031902e-05,3.046463e-05,3.070715e-05,3.075160e-05,3.101717e-05,3.105773e-05,3.126223e-05,3.137284e-05,3.148768e-05,3.165447e-05,3.169435e-05,3.188307e-05,3.190455e-05,3.205466e-05,3.212493e-05,3.220988e-05,3.231737e-05,3.234950e-05,3.247424e-05,3.248359e-05,3.258480e-05,3.262521e-05,3.268186e-05,3.274376e-05,3.276608e-05,3.283809e-05,3.284072e-05,3.289848e-05,3.291750e-05,3.294785e-05,3.297541e-05,3.298675e-05,3.301573e-05,3.303529e-05,3.303964e-05,3.304593e-05,3.304828e-05,3.304813e-05,3.304273e-05,3.304235e-05,3.302902e-05,3.302399e-05,3.300856e-05,3.299302e-05,3.298136e-05,3.295074e-05,3.294783e-05,3.290831e-05,3.289798e-05,3.286317e-05,3.283556e-05,3.281274e-05,3.276425e-05,3.275735e-05,3.269729e-05,3.268474e-05,3.263286e-05,3.259773e-05,3.256435e-05,3.250383e-05,3.249201e-05,3.241612e-05,3.240366e-05,3.233690e-05,3.229777e-05,3.225460e-05,3.218669e-05,3.216944e-05,3.208162e-05,3.207091e-05,3.199135e-05,3.195091e-05,3.189882e-05,3.182710e-05,3.180422e-05,3.170771e-05,3.169992e-05,3.160947e-05,3.156973e-05,3.150965e-05,3.143689e-05,3.140841e-05,3.130588e-05,3.130175e-05,3.120220e-05,3.116462e-05,3.109750e-05,3.102578e-05,3.099190e-05,3.088552e-05,3.074408e-05,3.060172e-05,3.045864e-05,3.031506e-05,3.017117e-05,3.002715e-05,2.988316e-05,2.973935e-05,2.959588e-05,2.945286e-05,2.931042e-05,2.916868e-05,2.902773e-05,2.888766e-05,2.874858e-05,2.861055e-05,2.847365e-05,2.833795e-05,2.820350e-05,2.807035e-05,2.793856e-05,2.780817e-05,2.767922e-05,2.755173e-05
0.000000e+00,1.068156e-10,4.170186e-10,3.151298e-09,1.199649e-08,2.209029e-08,8.209369e-08,8.605624e-08,2.431753e-07,3.126197e-07,5.612590e-07,8.647714e-07,1.127225e-06,1.956550e-06,2.045752e-06,3.437303e-06,3.856261e-06,5.435274e-06,6.871744e-06,8.181556e-06,1.133129e-05,1.181954e-05,1.648422e-05,1.755098e-05,2.229099e-05,2.579183e-05,2.932609e-05,3.622367e-05,3.764117e-05,4.725202e-05,4.890925e-05,5.814057e-05,6.380775e-05,7.025851e-05,8.078912e-05,8.353197e-05,9.786627e-05,9.965255e-05,1.131506e-04,1.201455e-04,1.292627e-04,1.419817e-04,1.460726e-04,1.634464e-04,1.648567e-04,1.812498e-04,1.884617e-04,1.993505e-04,2.124951e-04,2.176206e-04,2.359388e-04,2.366708e-04,2.541913e-04,2.607257e-04,2.722736e-04,2.844234e-04,2.900906e-04,3.075573e-04,3.245992e-04,3.299520e-04,3.411515e-04,3.514625e-04,3.571597e-04,3.719734e-04,3.725783e-04,3.873712e-04,3.913970e-04,4.015103e-04,4.096711e-04,4.149751e-04,4.267556e-04,4.277523e-04,4.398346e-04,4.426307e-04,4.512205e-04,4.572934e-04,4.619131e-04,4.707550e-04,4.719200e-04,4.812523e-04,4.830389e-04,4.899241e-04,4.941779e-04,4.979523e-04,5.042123e-04,5.053557e-04,5.121549e-04,5.131881e-04,5.183716e-04,5.211554e-04,5.240286e-04,5.281669e-04,5.291493e-04,5.337575e-04,5.342771e-04,5.378770e-04,5.395410e-04,5.415318e-04,5.440132e-04,5.447455e-04,5.475414e-04,5.477477e-04,5.499423e-04,5.507972e-04,5.519707e-04,5.532126e-04,5.536481e-04,5.549956e-04,5.550429e-04,5.560334e-04,5.563350e-04,5.567811e-04,5.571333e-04,5.572573e-04,5.574801e-04,5.574665e-04,5.574149e-04,5.572330e-04,5.569754e-04,5.567951e-04,5.561963e-04,5.561677e-04,5.553648e-04,5.551104e-04,5.543998e-04,5.537482e-04,5.532852e-04,5.521380e-04,5.520331e-04,5.506546e-04,5.503061e-04,5.491604e-04,5.482769e-04,5.475606e-04,5.460729e-04,5.458645e-04,5.440812e-04,5.437148e-04,5.422189e-04,5.412219e-04,5.402855e-04,5.386119e-04,5.382883e-04,5.362342e-04,5.359007e-04,5.341298e-04,5.331035e-04,5.319809e-04,5.302337e-04,5.297933e-04,5.275723e-04,5.273038e-04,5.253228e-04,5.243252e-04,5.230494e-04,5.213083e-04,5.207564e-04,5.184477e-04,5.182625e-04,5.161272e-04,5.151964e-04,5.137982e-04,5.121179e-04,5.114640e-04,5.091275e-04,5.090340e-04,5.067914e-04,5.059511e-04,5.044585e-04,5.028750e-04,5.021309e-04,4.998108e-04,4.967633e-04,4.937366e-04,4.907345e-04,4.877602e-04,4.848168e-04,4.819069e-04,4.790326e-04,4.761961e-04,4.733989e-04,4.706428e-04,4.679288e-04,4.652580e-04,4.626313e-04,4.600495e-04,4.575129e-04,4.550221e-04,4.525773e-04,4.501787e-04,4.478264e-04,4.455202e-04,4.432601e-04,4.410459e-04,4.388772e-04,4.367539e-04
0.000000e+00,1.446423e-09,5.570769e-09,4.095989e-08,1.522450e-07,2.768222e-07,9.975234e-07,1.044427e-06,2.871689e-06,3.666735e-06,6.480107e-06,9.872877e-06,1.278531e-05,2.191869e-05,2.289701e-05,3.809859e-05,4.265745e-05,5.977075e-05,7.523843e-05,8.925075e-05,1.225663e-04,1.276818e-04,1.759181e-04,1.867948e-04,2.344989e-04,2.691407e-04,3.036675e-04,3.699466e-04,3.834082e-04,4.734856e-04,4.888316e-04,5.734809e-04,6.248386e-04,6.828222e-04,7.765596e-04,8.008125e-04,9.266541e-04,9.422418e-04,1.059472e-03,1.119883e-03,1.198334e-03,1.307319e-03,1.342276e-03,1.490317e-03,1.502307e-03,1.641478e-03,1.702601e-03,1.794802e-03,1.906013e-03,1.949363e-03,2.104281e-03,2.110473e-03,2.258729e-03,2.314066e-03,2.411942e-03,2.515062e-03,2.563221e-03,2.711936e-03,2.857528e-03,2.903376e-03,2.999507e-03,3.088280e-03,3.137451e-03,3.265750e-03,3.271004e-03,3.399872e-03,3.435083e-03,3.523821e-03,3.595751e-03,3.642668e-03,3.747388e-03,3.756283e-03,3.864579e-03,3.889772e-03,3.967510e-03,4.022804e-03,4.065068e-03,4.146491e-03,4.157275e-03,4.244180e-03,4.260932e-03,4.325859e-03,4.366298e-03,4.402407e-03,4.462824e-03,4.473936e-03,4.540574e-03,4.550791e-03,4.602458e-03,4.630518e-03,4.659738e-03,4.702351e-03,4.712569e-03,4.761111e-03,4.766656e-03,4.805529e-03,4.823809e-03,4.845989e-03,4.874194e-03,4.882658e-03,4.915704e-03,4.918196e-03,4.945293e-03,4.956197e-03,4.971588e-03,4.988572e-03,4.994750e-03,5.014938e-03,5.015686e-03,5.032306e-03,5.037897e-03,5.047003e-03,5.055546e-03,5.059175e-03,5.068962e-03,5.076502e-03,5.078461e-03,5.081924e-03,5.084341e-03,5.085355e-03,5.086888e-03,5.086916e-03,5.086724e-03,5.086371e-03,5.084888e-03,5.083043e-03,5.081516e-03,5.077144e-03,5.076709e-03,5.070563e-03,5.068899e-03,5.063171e-03,5.058519e-03,5.054619e-03,5.046200e-03,5.044991e-03,5.034365e-03,5.032127e-03,5.022818e-03,5.016472e-03,5.010419e-03,4.999395e-03,4.997236e-03,4.983332e-03,4.981044e-03,4.968767e-03,4.961559e-03,4.953599e-03,4.941066e-03,4.937881e-03,4.921662e-03,4.919685e-03,4.904992e-03,4.897525e-03,4.887914e-03,4.874689e-03,4.870472e-03,4.852703e-03,4.851269e-03,4.834647e-03,4.827352e-03,4.816338e-03,4.803018e-03,4.797810e-03,4.779091e-03,4.778339e-03,4.760213e-03,4.753383e-03,4.741202e-03,4.728212e-03,4.722083e-03,4.702881e-03,4.677443e-03,4.651944e-03,4.626428e-03,4.600934e-03,4.575498e-03,4.550152e-03,4.524925e-03,4.499845e-03,4.474934e-03,4.450215e-03,4.425707e-03,4.401427e-03,4.377390e-03,4.353611e-03,4.330101e-03,4.306870e-03,4.283929e-03,4.261285e-03,4.238944e-03,4.216913e-03,4.195196e-03,4.173796e-03,4.152718e-03,4.131964e-03
0.000000e+00,1.847290e-10,6.504635e-10,4.009029e-09,1.282307e-08,2.155749e-08,6.422156e-08,6.674625e-08,1.544361e-07,1.886088e-07,2.992421e-07,4.194158e-07,5.152253e-07,7.883436e-07,8.158050e-07,1.213421e-06,1.324513e-06,1.718506e-06,2.050971e-06,2.337662e-06,2.977879e-06,3.071971e-06,3.916859e-06,4.098390e-06,4.863626e-06,5.392642e-06,5.901407e-06,6.834973e-06,7.018569e-06,8.203376e-06,8.398446e-06,9.444262e-06,1.005648e-05,1.072996e-05,1.178344e-05,1.204958e-05,1.339275e-05,1.355504e-05,1.474975e-05,1.534887e-05,1.611159e-05,1.714480e-05,1.747015e-05,1.881817e-05,1.892536e-05,2.014934e-05,2.067585e-05,2.145824e-05,2.238428e-05,2.274032e-05,2.399183e-05,2.404121e-05,2.520976e-05,2.563953e-05,2.639178e-05,2.717413e-05,2.753614e-05,2.864162e-05,2.970743e-05,3.004004e-05,3.073317e-05,3.136857e-05,3.171876e-05,3.262732e-05,3.266438e-05,3.357043e-05,3.381711e-05,3.443749e-05,3.493932e-05,3.526629e-05,3.599571e-05,3.605766e-05,3.681251e-05,3.698835e-05,3.753183e-05,3.791951e-05,3.821664e-05,3.879158e-05,3.886802e-05,3.948702e-05,3.960703e-05,4.007475e-05,4.036837e-05,4.063229e-05,4.107809e-05,4.116072e-05,4.166113e-05,4.173866e-05,4.213455e-05,4.235252e-05,4.258204e-05,4.292203e-05,4.300460e-05,4.340323e-05,4.344950e-05,4.377889e-05,4.393715e-05,4.413254e-05,4.438714e-05,4.446507e-05,4.477738e-05,4.480152e-05,4.507033e-05,4.518227e-05,4.534474e-05,4.553130e-05,4.560143e-05,4.584117e-05,4.585042e-05,4.606470e-05,4.614135e-05,4.627276e-05,4.640576e-05,4.646604e-05,4.664520e-05,4.681091e-05,4.686119e-05,4.696377e-05,4.705515e-05,4.710440e-05,4.722842e-05,4.723336e-05,4.735121e-05,4.738229e-05,4.745848e-05,4.751798e-05,4.755568e-05,4.763664e-05,4.764331e-05,4.772183e-05,4.773937e-05,4.779170e-05,4.782721e-05,4.785335e-05,4.790113e-05,4.790719e-05,4.795363e-05,4.796207e-05,4.799305e-05,4.801089e-05,4.802581e-05,4.804844e-05,4.805226e-05,4.807274e-05,4.807549e-05,4.808758e-05,4.809278e-05,4.809707e-05,4.810102e-05,4.810152e-05,4.810120e-05,4.810085e-05,4.809638e-05,4.809291e-05,4.808733e-05,4.807777e-05,4.807429e-05,4.805750e-05,4.805600e-05,4.803717e-05,4.802810e-05,4.801353e-05,4.799457e-05,4.798678e-05,4.795712e-05,4.795587e-05,4.792473e-05,4.791243e-05,4.788979e-05,4.786466e-05,4.785248e-05,4.781295e-05,4.775764e-05,4.769908e-05,4.763758e-05,4.757345e-05,4.750695e-05,4.743835e-05,4.736790e-05,4.729582e-05,4.722232e-05,4.714761e-05,4.707186e-05,4.699526e-05,4.691797e-05,4.684013e-05,4.676189e-05,4.668337e-05,4.660470e-05,4.652599e-05,4.644735e-05,4.636887e-05,4.629063e-05,4.621273e-05,4.613523e-05,4.605821e-05
0.000000e+00,2.885733e-10,1.038132e-09,6.653320e-09,2.192538e-08,3.739010e-08,1.148998e-07,1.195488e-07,2.833131e-07,3.479677e-07,5.593411e-07,7.915928e-07,9.782950e-07,1.516459e-06,1.570993e-06,2.367731e-06,2.592436e-06,3.395328e-06,4.078582e-06,4.670659e-06,5.996857e-06,6.191698e-06,7.931538e-06,8.301756e-06,9.841622e-06,1.088263e-05,1.186300e-05,1.360473e-05,1.393826e-05,1.601867e-05,1.634933e-05,1.806629e-05,1.902893e-05,2.005305e-05,2.158487e-05,2.195878e-05,2.376941e-05,2.397980e-05,2.547542e-05,2.619127e-05,2.707082e-05,2.820730e-05,2.855243e-05,2.991933e-05,3.002375e-05,3.117245e-05,3.164234e-05,3.231419e-05,3.306923e-05,3.334811e-05,3.427867e-05,3.431382e-05,3.511100e-05,3.538764e-05,3.585062e-05,3.630356e-05,3.650333e-05,3.707500e-05,3.757149e-05,3.771543e-05,3.799853e-05,3.823796e-05,3.836167e-05,3.865506e-05,3.866618e-05,3.891706e-05,3.897835e-05,3.911903e-05,3.921856e-05,3.927646e-05,3.938547e-05,3.939343e-05,3.947372e-05,3.948792e-05,3.952081e-05,3.953389e-05,3.953791e-05,3.953048e-05,3.952795e-05,3.949361e-05,3.948403e-05,3.943734e-05,3.940017e-05,3.936139e-05,3.928387e-05,3.926778e-05,3.915838e-05,3.913953e-05,3.903488e-05,3.897104e-05,3.889881e-05,3.878184e-05,3.875156e-05,3.859441e-05,3.857494e-05,3.842850e-05,3.835300e-05,3.825489e-05,3.811838e-05,3.807452e-05,3.788826e-05,3.787313e-05,3.769689e-05,3.761908e-05,3.750113e-05,3.735782e-05,3.730161e-05,3.709893e-05,3.709077e-05,3.689363e-05,3.681917e-05,3.668619e-05,3.654413e-05,3.647705e-05,3.626661e-05,3.605524e-05,3.598747e-05,3.584328e-05,3.570745e-05,3.563102e-05,3.542722e-05,3.541873e-05,3.520667e-05,3.514736e-05,3.499506e-05,3.486840e-05,3.478411e-05,3.459078e-05,3.457401e-05,3.436491e-05,3.431490e-05,3.415699e-05,3.404110e-05,3.395036e-05,3.376969e-05,3.374515e-05,3.354147e-05,3.350093e-05,3.333943e-05,3.323505e-05,3.313912e-05,3.297224e-05,3.294060e-05,3.274396e-05,3.271267e-05,3.254925e-05,3.245650e-05,3.235654e-05,3.220383e-05,3.216586e-05,3.197727e-05,3.195478e-05,3.179079e-05,3.170942e-05,3.160647e-05,3.146784e-05,3.142432e-05,3.124437e-05,3.123007e-05,3.106663e-05,3.099616e-05,3.089113e-05,3.076615e-05,3.071786e-05,3.054684e-05,3.054005e-05,3.037807e-05,3.031787e-05,3.021155e-05,3.009961e-05,3.004729e-05,2.988527e-05,2.967483e-05,2.946829e-05,2.926561e-05,2.906676e-05,2.887172e-05,2.868045e-05,2.849291e-05,2.830907e-05,2.812886e-05,2.795226e-05,2.777921e-05,2.760966e-05,2.744356e-05,2.728086e-05,2.712150e-05,2.696544e-05,2.681261e-05,2.666297e-05,2.651646e-05,2.637301e-05,2.623259e-05,2.609512e-05,2.596057e-05,2.582886e-05
0.000000e+00,3.344353e-11,1.268065e-10,9.027779e-10,3.261347e-09,5.842049e-09,2.032758e-08,2.125605e-08,5.688754e-08,7.222364e-08,1.262506e-07,1.913356e-07,2.472939e-07,4.231487e-07,4.419786e-07,7.324417e-07,8.183397e-07,1.133963e-06,1.409032e-06,1.649702e-06,2.191197e-06,2.270770e-06,2.980029e-06,3.130647e-06,3.756584e-06,4.179901e-06,4.579254e-06,5.291659e-06,5.428630e-06,6.287996e-06,6.425457e-06,7.143510e-06,7.549417e-06,7.984005e-06,8.639566e-06,8.800622e-06,9.586444e-06,9.678406e-06,1.033617e-05,1.065355e-05,1.104586e-05,1.155672e-05,1.171276e-05,1.233510e-05,1.238293e-05,1.291200e-05,1.312999e-05,1.344336e-05,1.379802e-05,1.392972e-05,1.437221e-05,1.438902e-05,1.477240e-05,1.490647e-05,1.513220e-05,1.535492e-05,1.545382e-05,1.573960e-05,1.599202e-05,1.606615e-05,1.621357e-05,1.634032e-05,1.640674e-05,1.656774e-05,1.657396e-05,1.671753e-05,1.675379e-05,1.683965e-05,1.690349e-05,1.694237e-05,1.702139e-05,1.702760e-05,1.709708e-05,1.711160e-05,1.715241e-05,1.717775e-05,1.719503e-05,1.722306e-05,1.722624e-05,1.724722e-05,1.725028e-05,1.725902e-05,1.726183e-05,1.726256e-05,1.725979e-05,1.725870e-05,1.724817e-05,1.724591e-05,1.723163e-05,1.722173e-05,1.720967e-05,1.718856e-05,1.718283e-05,1.715155e-05,1.714752e-05,1.711627e-05,1.709957e-05,1.707736e-05,1.704556e-05,1.703515e-05,1.698994e-05,1.698620e-05,1.694201e-05,1.692214e-05,1.689161e-05,1.685392e-05,1.683896e-05,1.678426e-05,1.678203e-05,1.672770e-05,1.670691e-05,1.666945e-05,1.662895e-05,1.660966e-05,1.654848e-05,1.648603e-05,1.646581e-05,1.642246e-05,1.638122e-05,1.635786e-05,1.629497e-05,1.629234e-05,1.622600e-05,1.620729e-05,1.615894e-05,1.611838e-05,1.609123e-05,1.602844e-05,1.602296e-05,1.595419e-05,1.593763e-05,1.588501e-05,1.584611e-05,1.581547e-05,1.575403e-05,1.574563e-05,1.567556e-05,1.566152e-05,1.560529e-05,1.556870e-05,1.553489e-05,1.547569e-05,1.546441e-05,1.539387e-05,1.538259e-05,1.532334e-05,1.528949e-05,1.525283e-05,1.519648e-05,1.518240e-05,1.511207e-05,1.510364e-05,1.504188e-05,1.501105e-05,1.497186e-05,1.491877e-05,1.490203e-05,1.483242e-05,1.482686e-05,1.476306e-05,1.473539e-05,1.469396e-05,1.464439e-05,1.462516e-05,1.455666e-05,1.455393e-05,1.448850e-05,1.446404e-05,1.442068e-05,1.437477e-05,1.435322e-05,1.428614e-05,1.419820e-05,1.411097e-05,1.402448e-05,1.393875e-05,1.385381e-05,1.376967e-05,1.368636e-05,1.360388e-05,1.352225e-05,1.344149e-05,1.336160e-05,1.328259e-05,1.320447e-05,1.312725e-05,1.305092e-05,1.297550e-05,1.290098e-05,1.282737e-05,1.275466e-05,1.268287e-05,1.261197e-05,1.254198e-05,1.247290e-05,1.240471e-05
0.000000e+00,1.206247e-09,3.420623e-09,1.499866e-08,3.842519e-08,5.863894e-08,1.441680e-07,1.488808e-07,3.024941e-07,3.592438e-07,5.372451e-07,7.250294e-07,8.724653e-07,1.286716e-06,1.328015e-06,1.919798e-06,2.082950e-06,2.652770e-06,3.122183e-06,3.518516e-06,4.377395e-06,4.500849e-06,5.582575e-06,5.809455e-06,6.748291e-06,7.383104e-06,7.984452e-06,9.068211e-06,9.278710e-06,1.061940e-05,1.083747e-05,1.199533e-05,1.266510e-05,1.339570e-05,1.452669e-05,1.481026e-05,1.622936e-05,1.639952e-05,1.764412e-05,1.826314e-05,1.904652e-05,2.009967e-05,2.042946e-05,2.178679e-05,2.189410e-05,2.311328e-05,2.363425e-05,2.440462e-05,2.531063e-05,2.565732e-05,2.686867e-05,2.691623e-05,2.803666e-05,2.844625e-05,2.915993e-05,2.989776e-05,3.023764e-05,3.126932e-05,3.225493e-05,3.256064e-05,3.319477e-05,3.377247e-05,3.408935e-05,3.490623e-05,3.493939e-05,3.574582e-05,3.596394e-05,3.650968e-05,3.694804e-05,3.723212e-05,3.786124e-05,3.791438e-05,3.855777e-05,3.870656e-05,3.916372e-05,3.948723e-05,3.973365e-05,4.020642e-05,4.026886e-05,4.077066e-05,4.086713e-05,4.124040e-05,4.147244e-05,4.167940e-05,4.202532e-05,4.208891e-05,4.247019e-05,4.252866e-05,4.282446e-05,4.298527e-05,4.315291e-05,4.339785e-05,4.345669e-05,4.373691e-05,4.376901e-05,4.399466e-05,4.410121e-05,4.423096e-05,4.439683e-05,4.444683e-05,4.464323e-05,4.465813e-05,4.482110e-05,4.488726e-05,4.498134e-05,4.508627e-05,4.512480e-05,4.525232e-05,4.525710e-05,4.536470e-05,4.540159e-05,4.546269e-05,4.552149e-05,4.554704e-05,4.561844e-05,4.567757e-05,4.569401e-05,4.572507e-05,4.574966e-05,4.576157e-05,4.578679e-05,4.578764e-05,4.580387e-05,4.580672e-05,4.581078e-05,4.581068e-05,4.580890e-05,4.579983e-05,4.579872e-05,4.578072e-05,4.577528e-05,4.575534e-05,4.573807e-05,4.572302e-05,4.568916e-05,4.568416e-05,4.563917e-05,4.562947e-05,4.558842e-05,4.555987e-05,4.553226e-05,4.548116e-05,4.547104e-05,4.540508e-05,4.539411e-05,4.533469e-05,4.529942e-05,4.526017e-05,4.519777e-05,4.518180e-05,4.509985e-05,4.508979e-05,4.501457e-05,4.497606e-05,4.492621e-05,4.485714e-05,4.483500e-05,4.474116e-05,4.473355e-05,4.464490e-05,4.460577e-05,4.454642e-05,4.447425e-05,4.444591e-05,4.434354e-05,4.433941e-05,4.423950e-05,4.420166e-05,4.413394e-05,4.406137e-05,4.402701e-05,4.391887e-05,4.377449e-05,4.362854e-05,4.348129e-05,4.333300e-05,4.318392e-05,4.303427e-05,4.288427e-05,4.273410e-05,4.258394e-05,4.243397e-05,4.228434e-05,4.213519e-05,4.198665e-05,4.183885e-05,4.169189e-05,4.154588e-05,4.140092e-05,4.125708e-05,4.111444e-05,4.097308e-05,4.083306e-05,4.069445e-05,4.055728e-05,4.042161e-05
0.000000e+00,1.018772e-09,2.505654e-09,9.312341e-09,2.199372e-08,3.254467e-08,7.570237e-08,7.803983e-08,1.529891e-07,1.802388e-07,2.646677e-07,3.524172e-07,4.205808e-07,6.096694e-07,6.283789e-07,8.952392e-07,9.687270e-07,1.226450e-06,1.440851e-06,1.623734e-06,2.026289e-06,2.084846e-06,2.604958e-06,2.715563e-06,3.178400e-06,3.495800e-06,3.799588e-06,4.354410e-06,4.463236e-06,5.164276e-06,5.279580e-06,5.897750e-06,6.259900e-06,6.658765e-06,7.284156e-06,7.442488e-06,8.244184e-06,8.341376e-06,9.059273e-06,9.421020e-06,9.883384e-06,1.051321e-05,1.071241e-05,1.154255e-05,1.160891e-05,1.237035e-05,1.270010e-05,1.319268e-05,1.377978e-05,1.400675e-05,1.481014e-05,1.484203e-05,1.560077e-05,1.588192e-05,1.637685e-05,1.689550e-05,1.713689e-05,1.787967e-05,1.860420e-05,1.883206e-05,1.930971e-05,1.975098e-05,1.999563e-05,2.063529e-05,2.066153e-05,2.130716e-05,2.148428e-05,2.193236e-05,2.229766e-05,2.253710e-05,2.307542e-05,2.312142e-05,2.368546e-05,2.381783e-05,2.422941e-05,2.452533e-05,2.475352e-05,2.519855e-05,2.525808e-05,2.574342e-05,2.583821e-05,2.620988e-05,2.644511e-05,2.665785e-05,2.702015e-05,2.708773e-05,2.749992e-05,2.756426e-05,2.789485e-05,2.807840e-05,2.827293e-05,2.856357e-05,2.863461e-05,2.898031e-05,2.902075e-05,2.931048e-05,2.945094e-05,2.962554e-05,2.985514e-05,2.992592e-05,3.021205e-05,3.023434e-05,3.048435e-05,3.058950e-05,3.074324e-05,3.092157e-05,3.098914e-05,3.122243e-05,3.123151e-05,3.144353e-05,3.152021e-05,3.165281e-05,3.178857e-05,3.185067e-05,3.203747e-05,3.221359e-05,3.226775e-05,3.237938e-05,3.248022e-05,3.253519e-05,3.267569e-05,3.268136e-05,3.281822e-05,3.285492e-05,3.294611e-05,3.301866e-05,3.306533e-05,3.316763e-05,3.317620e-05,3.327902e-05,3.330253e-05,3.337408e-05,3.342402e-05,3.346165e-05,3.353276e-05,3.354203e-05,3.361548e-05,3.362936e-05,3.368226e-05,3.371444e-05,3.374262e-05,3.378855e-05,3.379682e-05,3.384508e-05,3.385227e-05,3.388765e-05,3.390613e-05,3.392475e-05,3.395063e-05,3.395659e-05,3.398339e-05,3.398627e-05,3.400535e-05,3.401353e-05,3.402267e-05,3.403286e-05,3.403556e-05,3.404418e-05,3.404469e-05,3.404872e-05,3.404944e-05,3.404937e-05,3.404751e-05,3.404628e-05,3.403962e-05,3.403928e-05,3.402956e-05,3.402513e-05,3.401623e-05,3.400539e-05,3.399980e-05,3.398040e-05,3.395049e-05,3.391597e-05,3.387711e-05,3.383421e-05,3.378753e-05,3.373732e-05,3.368384e-05,3.362730e-05,3.356793e-05,3.350595e-05,3.344155e-05,3.337492e-05,3.330624e-05,3.323569e-05,3.316344e-05,3.308963e-05,3.301442e-05,3.293794e-05,3.286034e-05,3.278173e-05,3.270224e-05,3.262199e-05,3.254107e-05,3.245960e-05
0.000000e+00,1.889135e-09,5.055814e-09,2.058018e-08,5.059041e-08,7.587775e-08,1.799735e-07,1.856159e-07,3.660017e-07,4.312428e-07,6.321004e-07,8.388748e-07,9.982098e-07,1.435142e-06,1.478023e-06,2.084467e-06,2.250182e-06,2.829096e-06,3.309951e-06,3.720895e-06,4.631196e-06,4.764437e-06,5.957609e-06,6.213422e-06,7.289768e-06,8.031307e-06,8.741616e-06,1.003502e-05,1.028753e-05,1.189943e-05,1.216162e-05,1.355041e-05,1.434966e-05,1.521680e-05,1.654758e-05,1.687881e-05,1.852031e-05,1.871527e-05,2.012826e-05,2.082235e-05,2.169218e-05,2.284611e-05,2.320372e-05,2.465628e-05,2.476977e-05,2.604480e-05,2.658139e-05,2.736552e-05,2.827296e-05,2.861584e-05,2.979415e-05,2.983977e-05,3.089972e-05,3.127990e-05,3.193257e-05,3.259369e-05,3.289336e-05,3.378328e-05,3.460394e-05,3.485225e-05,3.535735e-05,3.580526e-05,3.604574e-05,3.664772e-05,3.667159e-05,3.723751e-05,3.738559e-05,3.774620e-05,3.802510e-05,3.820043e-05,3.857262e-05,3.860299e-05,3.895665e-05,3.903456e-05,3.926415e-05,3.941718e-05,3.952816e-05,3.972661e-05,3.975131e-05,3.993613e-05,3.996872e-05,4.008507e-05,4.014912e-05,4.020048e-05,4.027316e-05,4.028461e-05,4.033962e-05,4.034586e-05,4.036756e-05,4.037193e-05,4.037038e-05,4.035580e-05,4.034994e-05,4.030798e-05,4.030158e-05,4.024617e-05,4.021309e-05,4.016608e-05,4.009389e-05,4.006918e-05,3.995688e-05,3.994727e-05,3.983048e-05,3.977625e-05,3.969121e-05,3.958363e-05,3.954025e-05,3.937866e-05,3.937199e-05,3.920747e-05,3.914368e-05,3.902764e-05,3.890088e-05,3.884006e-05,3.864557e-05,3.844495e-05,3.837957e-05,3.823892e-05,3.810454e-05,3.802816e-05,3.782199e-05,3.781332e-05,3.759498e-05,3.753329e-05,3.737368e-05,3.723970e-05,3.714994e-05,3.694236e-05,3.692424e-05,3.669701e-05,3.664229e-05,3.646865e-05,3.634042e-05,3.623955e-05,3.603759e-05,3.601004e-05,3.578047e-05,3.573457e-05,3.555110e-05,3.543201e-05,3.532223e-05,3.513055e-05,3.509411e-05,3.486695e-05,3.483070e-05,3.464097e-05,3.453297e-05,3.441636e-05,3.423778e-05,3.419330e-05,3.397195e-05,3.394550e-05,3.375244e-05,3.365648e-05,3.353491e-05,3.337099e-05,3.331948e-05,3.310625e-05,3.308929e-05,3.289532e-05,3.281160e-05,3.268676e-05,3.253811e-05,3.248065e-05,3.227706e-05,3.226897e-05,3.207604e-05,3.200431e-05,3.187763e-05,3.174424e-05,3.168189e-05,3.148884e-05,3.123818e-05,3.099231e-05,3.075125e-05,3.051504e-05,3.028366e-05,3.005711e-05,2.983538e-05,2.961844e-05,2.940626e-05,2.919879e-05,2.899598e-05,2.879777e-05,2.860412e-05,2.841496e-05,2.823022e-05,2.804983e-05,2.787372e-05,2.770181e-05,2.753402e-05,2.737029e-05,2.721053e-05,2.705465e-05,2.690259e-05,2.675426e-05
0.000000e+00,6.913535e-10,2.506133e-09,1.632043e-08,5.457735e-08,9.382393e-08,2.942819e-07,3.064394e-07,7.403997e-07,9.139326e-07,1.486821e-06,2.123133e-06,2.638220e-06,4.134496e-06,4.286816e-06,6.521569e-06,7.154224e-06,9.420891e-06,1.135665e-05,1.303962e-05,1.683369e-05,1.739468e-05,2.245934e-05,2.355237e-05,2.817084e-05,3.136914e-05,3.444571e-05,4.008599e-05,4.119379e-05,4.832685e-05,4.949827e-05,5.576257e-05,5.941685e-05,6.342569e-05,6.967385e-05,7.124801e-05,7.916819e-05,8.012252e-05,8.713150e-05,9.063634e-05,9.508961e-05,1.011081e-04,1.030003e-04,1.108274e-04,1.114490e-04,1.185401e-04,1.215873e-04,1.261128e-04,1.314666e-04,1.335246e-04,1.407585e-04,1.410439e-04,1.478014e-04,1.502881e-04,1.546432e-04,1.591770e-04,1.612767e-04,1.676968e-04,1.739004e-04,1.758395e-04,1.798860e-04,1.836023e-04,1.856535e-04,1.909861e-04,1.912039e-04,1.965391e-04,1.979948e-04,2.016617e-04,2.046345e-04,2.065748e-04,2.109131e-04,2.112822e-04,2.157879e-04,2.168397e-04,2.200962e-04,2.224244e-04,2.242117e-04,2.276776e-04,2.281391e-04,2.318833e-04,2.326105e-04,2.354491e-04,2.372345e-04,2.388416e-04,2.415610e-04,2.420658e-04,2.451267e-04,2.456016e-04,2.480292e-04,2.493676e-04,2.507783e-04,2.528705e-04,2.533790e-04,2.558360e-04,2.561215e-04,2.581542e-04,2.591315e-04,2.603383e-04,2.619113e-04,2.623928e-04,2.643224e-04,2.644715e-04,2.661314e-04,2.668222e-04,2.678243e-04,2.689736e-04,2.694052e-04,2.708784e-04,2.709352e-04,2.722480e-04,2.727164e-04,2.735178e-04,2.743264e-04,2.746919e-04,2.757738e-04,2.767673e-04,2.770671e-04,2.776760e-04,2.782146e-04,2.785032e-04,2.792239e-04,2.792525e-04,2.799269e-04,2.801028e-04,2.805298e-04,2.808584e-04,2.810642e-04,2.814978e-04,2.815330e-04,2.819391e-04,2.820276e-04,2.822854e-04,2.824542e-04,2.825746e-04,2.827838e-04,2.828092e-04,2.829918e-04,2.830223e-04,2.831248e-04,2.831752e-04,2.832107e-04,2.832480e-04,2.832516e-04,2.832499e-04,2.832458e-04,2.832075e-04,2.831734e-04,2.831267e-04,2.830356e-04,2.830093e-04,2.828573e-04,2.828368e-04,2.826725e-04,2.825812e-04,2.824567e-04,2.822730e-04,2.822116e-04,2.819388e-04,2.819159e-04,2.816400e-04,2.815135e-04,2.813167e-04,2.810695e-04,2.809702e-04,2.806021e-04,2.805870e-04,2.802137e-04,2.800692e-04,2.798063e-04,2.795190e-04,2.793811e-04,2.789393e-04,2.783328e-04,2.777019e-04,2.770491e-04,2.763765e-04,2.756864e-04,2.749808e-04,2.742614e-04,2.735302e-04,2.727888e-04,2.720388e-04,2.712816e-04,2.705188e-04,2.697514e-04,2.689809e-04,2.682084e-04,2.674349e-04,2.666613e-04,2.658888e-04,2.651181e-04,2.643500e-04,2.635854e-04,2.628248e-04,2.620690e-04,2.613185e-04
0.000000e+00,4.366760e-09,9.998353e-09,3.434535e-08,7.800172e-08,1.136597e-07,2.568362e-07,2.645148e-07,5.084658e-07,5.963978e-07,8.672175e-07,1.146809e-06,1.363005e-06,1.959183e-06,2.017919e-06,2.851108e-06,3.079054e-06,3.873208e-06,4.527380e-06,5.080528e-06,6.281872e-06,6.454747e-06,7.969425e-06,8.286772e-06,9.597203e-06,1.047999e-05,1.131331e-05,1.280720e-05,1.309612e-05,1.492654e-05,1.522266e-05,1.678749e-05,1.768699e-05,1.866349e-05,2.016569e-05,2.054057e-05,2.240614e-05,2.262870e-05,2.424910e-05,2.505029e-05,2.605977e-05,2.740916e-05,2.782990e-05,2.955262e-05,2.968822e-05,3.122239e-05,3.187446e-05,3.283485e-05,3.395842e-05,3.438667e-05,3.587554e-05,3.593376e-05,3.729997e-05,3.779683e-05,3.865920e-05,3.954612e-05,3.995305e-05,4.118189e-05,4.234649e-05,4.270576e-05,4.344794e-05,4.412035e-05,4.448762e-05,4.542907e-05,4.546711e-05,4.638816e-05,4.663584e-05,4.725262e-05,4.774493e-05,4.806240e-05,4.876081e-05,4.881948e-05,4.952585e-05,4.968806e-05,5.018351e-05,5.053127e-05,5.079445e-05,5.129499e-05,5.136063e-05,5.188397e-05,5.198367e-05,5.236637e-05,5.260165e-05,5.280967e-05,5.315315e-05,5.321567e-05,5.358611e-05,5.364219e-05,5.392267e-05,5.407266e-05,5.422698e-05,5.444826e-05,5.450061e-05,5.474509e-05,5.477253e-05,5.496186e-05,5.504883e-05,5.515234e-05,5.528035e-05,5.531787e-05,5.545975e-05,5.547011e-05,5.557921e-05,5.562099e-05,5.567745e-05,5.573568e-05,5.575561e-05,5.581477e-05,5.581676e-05,5.585598e-05,5.586662e-05,5.588025e-05,5.588755e-05,5.588851e-05,5.588170e-05,5.586067e-05,5.585107e-05,5.582626e-05,5.579758e-05,5.577926e-05,5.572300e-05,5.572043e-05,5.565049e-05,5.562901e-05,5.557013e-05,5.551718e-05,5.548000e-05,5.538900e-05,5.538074e-05,5.527293e-05,5.524584e-05,5.515714e-05,5.508901e-05,5.503391e-05,5.491972e-05,5.490376e-05,5.476717e-05,5.473912e-05,5.462460e-05,5.454826e-05,5.447651e-05,5.434814e-05,5.432330e-05,5.416537e-05,5.413969e-05,5.400311e-05,5.392380e-05,5.383688e-05,5.370125e-05,5.366700e-05,5.349382e-05,5.347283e-05,5.331763e-05,5.323923e-05,5.313872e-05,5.300110e-05,5.295737e-05,5.277385e-05,5.275908e-05,5.258839e-05,5.251372e-05,5.240124e-05,5.226556e-05,5.221261e-05,5.202271e-05,5.201509e-05,5.183175e-05,5.176278e-05,5.163991e-05,5.150904e-05,5.144736e-05,5.125427e-05,5.099884e-05,5.074309e-05,5.048732e-05,5.023183e-05,4.997688e-05,4.972272e-05,4.946957e-05,4.921764e-05,4.896713e-05,4.871819e-05,4.847100e-05,4.822569e-05,4.798240e-05,4.774124e-05,4.750233e-05,4.726576e-05,4.703161e-05,4.679996e-05,4.657088e-05,4.634443e-05,4.612066e-05,4.589962e-05,4.568134e-05,4.546587e-05
0.000000e+00,1.041213e-10,3.848396e-10,2.601933e-09,8.980734e-09,1.569827e-08,5.136384e-08,5.357836e-08,1.352249e-07,1.690326e-07,2.843903e-07,4.182687e-07,5.304155e-07,8.714150e-07,9.071576e-07,1.445376e-06,1.600673e-06,2.159444e-06,2.633550e-06,3.040063e-06,3.930975e-06,4.059479e-06,5.182327e-06,5.416204e-06,6.374212e-06,7.011310e-06,7.605839e-06,8.653864e-06,8.853841e-06,1.009999e-05,1.029820e-05,1.132997e-05,1.191115e-05,1.253225e-05,1.346771e-05,1.369736e-05,1.481736e-05,1.494841e-05,1.588569e-05,1.633795e-05,1.689697e-05,1.762478e-05,1.784704e-05,1.873293e-05,1.880096e-05,1.955278e-05,1.986201e-05,2.030578e-05,2.080662e-05,2.099212e-05,2.161287e-05,2.163636e-05,2.216986e-05,2.235523e-05,2.266555e-05,2.296908e-05,2.310285e-05,2.348501e-05,2.381549e-05,2.391092e-05,2.409790e-05,2.425507e-05,2.433582e-05,2.452571e-05,2.453284e-05,2.469243e-05,2.473085e-05,2.481786e-05,2.487805e-05,2.491230e-05,2.497438e-05,2.497872e-05,2.501991e-05,2.502633e-05,2.503844e-05,2.503981e-05,2.503668e-05,2.502006e-05,2.501678e-05,2.498072e-05,2.497172e-05,2.493027e-05,2.489890e-05,2.486707e-05,2.480520e-05,2.479258e-05,2.470811e-05,2.469375e-05,2.461486e-05,2.456730e-05,2.451390e-05,2.442823e-05,2.440620e-05,2.429262e-05,2.427863e-05,2.417393e-05,2.412028e-05,2.405085e-05,2.395475e-05,2.392399e-05,2.379391e-05,2.378338e-05,2.366111e-05,2.360734e-05,2.352606e-05,2.342766e-05,2.338916e-05,2.325078e-05,2.324522e-05,2.311124e-05,2.306078e-05,2.297084e-05,2.287502e-05,2.282985e-05,2.268849e-05,2.254699e-05,2.250171e-05,2.240554e-05,2.231512e-05,2.226431e-05,2.212908e-05,2.212346e-05,2.198313e-05,2.194395e-05,2.184344e-05,2.175999e-05,2.170451e-05,2.157746e-05,2.156645e-05,2.142933e-05,2.139657e-05,2.129324e-05,2.121751e-05,2.115826e-05,2.104044e-05,2.102445e-05,2.089186e-05,2.086550e-05,2.076055e-05,2.069279e-05,2.063057e-05,2.052243e-05,2.050194e-05,2.037472e-05,2.035449e-05,2.024892e-05,2.018905e-05,2.012457e-05,2.002615e-05,2.000169e-05,1.988031e-05,1.986584e-05,1.976043e-05,1.970816e-05,1.964207e-05,1.955314e-05,1.952524e-05,1.940994e-05,1.940078e-05,1.929617e-05,1.925110e-05,1.918395e-05,1.910411e-05,1.907327e-05,1.896413e-05,1.895980e-05,1.885653e-05,1.881817e-05,1.875046e-05,1.867921e-05,1.864592e-05,1.854289e-05,1.840921e-05,1.827815e-05,1.814967e-05,1.802375e-05,1.790037e-05,1.777949e-05,1.766108e-05,1.754511e-05,1.743154e-05,1.732033e-05,1.721146e-05,1.710488e-05,1.700055e-05,1.689844e-05,1.679851e-05,1.670072e-05,1.660503e-05,1.651141e-05,1.641980e-05,1.633019e-05,1.624251e-05,1.615675e-05,1.607285e-05,1.599079e-05
0.000000e+00,2.177638e-10,7.436930e-10,4.325696e-09,1.320568e-08,2.169170e-08,6.133150e-08,6.362204e-08,1.413671e-07,1.710873e-07,2.663068e-07,3.689818e-07,4.507289e-07,6.844629e-07,7.080511e-07,1.051084e-06,1.147182e-06,1.487101e-06,1.770874e-06,2.011914e-06,2.534377e-06,2.609136e-06,3.256223e-06,3.389646e-06,3.931462e-06,4.287736e-06,4.617428e-06,5.192400e-06,5.301248e-06,5.973561e-06,6.079572e-06,6.627405e-06,6.933074e-06,7.257439e-06,7.741480e-06,7.859480e-06,8.430270e-06,8.496541e-06,8.967353e-06,9.192524e-06,9.469012e-06,9.825925e-06,9.934218e-06,1.036257e-05,1.039525e-05,1.075425e-05,1.090078e-05,1.110989e-05,1.134422e-05,1.143056e-05,1.171766e-05,1.172847e-05,1.197281e-05,1.205718e-05,1.219781e-05,1.233457e-05,1.239458e-05,1.256508e-05,1.271127e-05,1.275324e-05,1.283510e-05,1.290347e-05,1.293842e-05,1.301999e-05,1.302304e-05,1.309065e-05,1.310675e-05,1.314284e-05,1.316737e-05,1.318109e-05,1.320516e-05,1.320678e-05,1.322117e-05,1.322307e-05,1.322540e-05,1.322374e-05,1.322055e-05,1.320951e-05,1.320755e-05,1.318730e-05,1.318245e-05,1.316058e-05,1.314436e-05,1.312810e-05,1.309685e-05,1.309051e-05,1.304840e-05,1.304128e-05,1.300229e-05,1.297887e-05,1.295264e-05,1.291068e-05,1.289990e-05,1.284444e-05,1.283762e-05,1.278660e-05,1.276048e-05,1.272671e-05,1.267998e-05,1.266503e-05,1.260183e-05,1.259672e-05,1.253733e-05,1.251121e-05,1.247174e-05,1.242394e-05,1.240524e-05,1.233800e-05,1.233530e-05,1.227017e-05,1.224564e-05,1.220189e-05,1.215527e-05,1.213329e-05,1.206447e-05,1.199553e-05,1.197346e-05,1.192657e-05,1.188246e-05,1.185767e-05,1.179165e-05,1.178890e-05,1.172034e-05,1.170118e-05,1.165203e-05,1.161120e-05,1.158405e-05,1.152182e-05,1.151643e-05,1.144922e-05,1.143316e-05,1.138247e-05,1.134530e-05,1.131621e-05,1.125832e-05,1.125046e-05,1.118527e-05,1.117230e-05,1.112066e-05,1.108730e-05,1.105665e-05,1.100336e-05,1.099326e-05,1.093051e-05,1.092053e-05,1.086842e-05,1.083885e-05,1.080700e-05,1.075835e-05,1.074625e-05,1.068621e-05,1.067905e-05,1.062686e-05,1.060097e-05,1.056822e-05,1.052413e-05,1.051030e-05,1.045309e-05,1.044855e-05,1.039661e-05,1.037422e-05,1.034086e-05,1.030117e-05,1.028583e-05,1.023154e-05,1.022938e-05,1.017797e-05,1.015886e-05,1.012513e-05,1.008961e-05,1.007301e-05,1.002162e-05,9.954894e-06,9.889415e-06,9.825176e-06,9.762169e-06,9.700380e-06,9.639799e-06,9.580411e-06,9.522203e-06,9.465160e-06,9.409266e-06,9.354506e-06,9.300863e-06,9.248321e-06,9.196862e-06,9.146470e-06,9.097127e-06,9.048816e-06,9.001519e-06,8.955218e-06,8.909896e-06,8.865535e-06,8.822118e-06,8.779626e-06,8.738042e-06
0.000000e+00,2.810264e-11,1.049286e-10,7.232940e-10,2.534123e-09,4.459858e-09,1.476180e-08,1.540216e-08,3.886865e-08,4.847221e-08,8.067766e-08,1.170104e-07,1.466831e-07,2.336136e-07,2.425023e-07,3.733579e-07,4.105102e-07,5.439165e-07,6.582399e-07,7.579847e-07,9.843123e-07,1.017968e-06,1.324200e-06,1.390848e-06,1.674489e-06,1.872599e-06,2.064214e-06,2.417383e-06,2.486937e-06,2.935244e-06,3.008834e-06,3.401491e-06,3.629488e-06,3.878347e-06,4.262938e-06,4.359106e-06,4.837835e-06,4.894895e-06,5.309415e-06,5.513503e-06,5.769521e-06,6.109309e-06,6.214590e-06,6.641767e-06,6.675098e-06,7.048852e-06,7.205681e-06,7.434237e-06,7.697660e-06,7.796855e-06,8.136110e-06,8.149191e-06,8.451822e-06,8.559737e-06,8.744159e-06,8.929823e-06,9.013585e-06,9.260792e-06,9.486657e-06,9.554589e-06,9.692189e-06,9.813564e-06,9.878487e-06,1.004031e-05,1.004670e-05,1.019801e-05,1.023751e-05,1.033360e-05,1.040788e-05,1.045460e-05,1.055401e-05,1.056215e-05,1.065730e-05,1.067840e-05,1.074107e-05,1.078336e-05,1.081441e-05,1.087103e-05,1.087821e-05,1.093331e-05,1.094335e-05,1.098045e-05,1.100206e-05,1.102036e-05,1.104875e-05,1.105366e-05,1.108096e-05,1.108480e-05,1.110279e-05,1.111147e-05,1.111964e-05,1.112985e-05,1.113197e-05,1.114017e-05,1.114090e-05,1.114462e-05,1.114548e-05,1.114565e-05,1.114433e-05,1.114356e-05,1.113863e-05,1.113812e-05,1.113110e-05,1.112742e-05,1.112121e-05,1.111274e-05,1.110916e-05,1.109515e-05,1.109455e-05,1.107933e-05,1.107323e-05,1.106187e-05,1.104914e-05,1.104292e-05,1.102260e-05,1.100103e-05,1.099389e-05,1.097834e-05,1.096326e-05,1.095460e-05,1.093094e-05,1.092993e-05,1.090441e-05,1.089712e-05,1.087812e-05,1.086200e-05,1.085112e-05,1.082573e-05,1.082350e-05,1.079531e-05,1.078846e-05,1.076661e-05,1.075034e-05,1.073746e-05,1.071147e-05,1.070790e-05,1.067799e-05,1.067197e-05,1.064776e-05,1.063194e-05,1.061727e-05,1.059147e-05,1.058654e-05,1.055562e-05,1.055065e-05,1.052453e-05,1.050956e-05,1.049331e-05,1.046825e-05,1.046198e-05,1.043058e-05,1.042681e-05,1.039913e-05,1.038528e-05,1.036765e-05,1.034372e-05,1.033617e-05,1.030470e-05,1.030218e-05,1.027327e-05,1.026071e-05,1.024189e-05,1.021934e-05,1.021058e-05,1.017936e-05,1.017812e-05,1.014824e-05,1.013707e-05,1.011724e-05,1.009623e-05,1.008637e-05,1.005563e-05,1.001530e-05,9.975253e-06,9.935519e-06,9.896115e-06,9.857060e-06,9.818370e-06,9.780059e-06,9.742140e-06,9.704626e-06,9.667527e-06,9.630851e-06,9.594607e-06,9.558802e-06,9.523442e-06,9.488532e-06,9.454077e-06,9.420080e-06,9.386543e-06,9.353470e-06,9.320861e-06,9.288718e-06,9.257041e-06,9.225829e-06,9.195083e-06
0.000000e+00,1.648918e-11,6.336044e-11,4.632532e-10,1.711441e-09,3.100357e-09,1.105350e-08,1.156784e-08,3.142589e-08,3.998722e-08,7.003001e-08,1.058777e-07,1.363977e-07,2.309268e-07,2.409584e-07,3.947522e-07,4.401531e-07,6.078506e-07,7.560098e-07,8.877182e-07,1.192535e-06,1.238410e-06,1.660652e-06,1.753547e-06,2.152374e-06,2.434192e-06,2.709340e-06,3.223376e-06,3.325710e-06,3.994502e-06,4.105862e-06,4.707943e-06,5.063840e-06,5.457769e-06,6.078109e-06,6.235467e-06,7.032493e-06,7.129034e-06,7.840471e-06,8.197365e-06,8.651369e-06,9.264944e-06,9.457650e-06,1.025241e-05,1.031530e-05,1.102945e-05,1.133408e-05,1.178341e-05,1.230936e-05,1.250971e-05,1.320465e-05,1.323175e-05,1.386533e-05,1.409436e-05,1.448965e-05,1.489270e-05,1.507624e-05,1.562437e-05,1.613390e-05,1.628885e-05,1.660520e-05,1.688712e-05,1.703906e-05,1.742137e-05,1.743659e-05,1.779920e-05,1.789468e-05,1.812847e-05,1.831075e-05,1.842615e-05,1.867367e-05,1.869405e-05,1.893405e-05,1.898771e-05,1.914802e-05,1.925717e-05,1.933781e-05,1.948625e-05,1.950521e-05,1.965196e-05,1.967897e-05,1.977970e-05,1.983914e-05,1.989000e-05,1.997026e-05,1.998433e-05,2.006406e-05,2.007555e-05,2.013045e-05,2.015793e-05,2.018469e-05,2.022005e-05,2.022785e-05,2.026093e-05,2.026426e-05,2.028484e-05,2.029267e-05,2.030041e-05,2.030713e-05,2.030839e-05,2.030949e-05,2.030930e-05,2.030432e-05,2.030063e-05,2.029346e-05,2.028241e-05,2.027742e-05,2.025668e-05,2.025576e-05,2.023167e-05,2.022169e-05,2.020277e-05,2.018108e-05,2.017034e-05,2.013470e-05,2.009614e-05,2.008323e-05,2.005494e-05,2.002729e-05,2.001133e-05,1.996742e-05,1.996555e-05,1.991780e-05,1.990410e-05,1.986826e-05,1.983775e-05,1.981711e-05,1.976876e-05,1.976450e-05,1.971059e-05,1.969747e-05,1.965551e-05,1.962420e-05,1.959938e-05,1.954922e-05,1.954233e-05,1.948444e-05,1.947277e-05,1.942583e-05,1.939510e-05,1.936659e-05,1.931640e-05,1.930680e-05,1.924654e-05,1.923686e-05,1.918589e-05,1.915666e-05,1.912491e-05,1.907594e-05,1.906367e-05,1.900223e-05,1.899485e-05,1.894065e-05,1.891352e-05,1.887897e-05,1.883207e-05,1.881725e-05,1.875553e-05,1.875060e-05,1.869385e-05,1.866920e-05,1.863226e-05,1.858798e-05,1.857078e-05,1.850946e-05,1.850701e-05,1.844832e-05,1.842636e-05,1.838740e-05,1.834611e-05,1.832672e-05,1.826631e-05,1.818703e-05,1.810831e-05,1.803020e-05,1.795274e-05,1.787598e-05,1.779993e-05,1.772465e-05,1.765015e-05,1.757645e-05,1.750359e-05,1.743158e-05,1.736043e-05,1.729016e-05,1.722079e-05,1.715232e-05,1.708477e-05,1.701814e-05,1.695243e-05,1.688765e-05,1.682381e-05,1.676090e-05,1.669893e-05,1.663789e-05,1.657778e-05
0.000000e+00,2.160947e-10,7.628925e-10,4.723278e-09,1.515620e-08,2.551680e-08,7.624082e-08,7.924597e-08,1.837518e-07,2.245279e-07,3.566846e-07,5.004532e-07,6.152112e-07,9.428398e-07,9.758092e-07,1.453177e-06,1.586401e-06,2.057572e-06,2.452879e-06,2.791679e-06,3.540649e-06,3.649826e-06,4.620320e-06,4.826643e-06,5.688638e-06,6.277777e-06,6.839593e-06,7.859303e-06,8.058232e-06,9.330101e-06,9.537604e-06,1.064133e-05,1.128078e-05,1.197869e-05,1.305904e-05,1.332980e-05,1.468320e-05,1.484526e-05,1.602858e-05,1.661560e-05,1.735681e-05,1.834993e-05,1.866005e-05,1.993173e-05,2.003193e-05,2.116645e-05,2.164900e-05,2.235996e-05,2.319191e-05,2.350902e-05,2.461132e-05,2.465441e-05,2.566531e-05,2.603275e-05,2.667016e-05,2.732521e-05,2.762557e-05,2.853172e-05,2.938918e-05,2.965342e-05,3.019881e-05,3.069237e-05,3.096170e-05,3.165131e-05,3.167915e-05,3.235256e-05,3.253342e-05,3.298344e-05,3.334220e-05,3.357335e-05,3.408126e-05,3.412389e-05,3.463669e-05,3.475432e-05,3.511333e-05,3.536506e-05,3.555543e-05,3.591713e-05,3.596453e-05,3.634218e-05,3.641407e-05,3.668987e-05,3.685930e-05,3.700904e-05,3.725613e-05,3.730109e-05,3.756739e-05,3.760769e-05,3.780923e-05,3.791700e-05,3.802787e-05,3.818689e-05,3.822451e-05,3.840032e-05,3.842007e-05,3.855639e-05,3.861909e-05,3.869379e-05,3.878636e-05,3.881354e-05,3.891659e-05,3.892414e-05,3.900388e-05,3.903458e-05,3.907629e-05,3.911968e-05,3.913466e-05,3.917979e-05,3.918133e-05,3.921245e-05,3.922129e-05,3.923336e-05,3.924123e-05,3.924322e-05,3.924269e-05,3.923240e-05,3.922714e-05,3.921294e-05,3.919594e-05,3.918488e-05,3.915036e-05,3.914876e-05,3.910510e-05,3.909159e-05,3.905438e-05,3.902074e-05,3.899705e-05,3.893886e-05,3.893357e-05,3.886434e-05,3.884692e-05,3.878977e-05,3.874581e-05,3.871022e-05,3.863639e-05,3.862605e-05,3.853761e-05,3.851943e-05,3.844520e-05,3.839569e-05,3.834914e-05,3.826582e-05,3.824970e-05,3.814716e-05,3.813049e-05,3.804178e-05,3.799026e-05,3.793380e-05,3.784570e-05,3.782345e-05,3.771095e-05,3.769732e-05,3.759651e-05,3.754559e-05,3.748032e-05,3.739095e-05,3.736256e-05,3.724340e-05,3.723382e-05,3.712302e-05,3.707456e-05,3.700157e-05,3.691355e-05,3.687920e-05,3.675604e-05,3.675109e-05,3.663222e-05,3.658750e-05,3.650786e-05,3.642306e-05,3.638309e-05,3.625801e-05,3.609261e-05,3.592706e-05,3.576158e-05,3.559635e-05,3.543154e-05,3.526731e-05,3.510380e-05,3.494115e-05,3.477948e-05,3.461889e-05,3.445950e-05,3.430138e-05,3.414462e-05,3.398930e-05,3.383548e-05,3.368323e-05,3.353259e-05,3.338361e-05,3.323635e-05,3.309082e-05,3.294708e-05,3.280513e-05,3.266501e-05,3.252673e-05
0.000000e+00,9.305137e-10,2.415656e-09,9.438500e-09,2.261360e-08,3.351690e-08,7.738016e-08,7.972392e-08,1.534134e-07,1.795882e-07,2.589608e-07,3.390927e-07,3.999253e-07,5.633239e-07,5.791193e-07,7.985475e-07,8.573304e-07,1.059156e-06,1.222942e-06,1.360342e-06,1.656790e-06,1.699306e-06,2.070631e-06,2.148131e-06,2.466634e-06,2.679400e-06,2.878546e-06,3.230583e-06,3.297845e-06,3.717085e-06,3.783731e-06,4.130142e-06,4.324735e-06,4.532126e-06,4.843131e-06,4.919199e-06,5.288410e-06,5.331403e-06,5.637558e-06,5.784408e-06,5.965096e-06,6.198947e-06,6.270039e-06,6.551897e-06,6.573443e-06,6.810597e-06,6.907645e-06,7.046422e-06,7.202365e-06,7.259947e-06,7.451973e-06,7.459220e-06,7.623480e-06,7.680408e-06,7.775568e-06,7.868493e-06,7.909412e-06,8.026233e-06,8.127274e-06,8.156475e-06,8.213761e-06,8.262028e-06,8.286889e-06,8.345596e-06,8.347812e-06,8.397631e-06,8.409733e-06,8.437382e-06,8.456807e-06,8.468036e-06,8.488984e-06,8.490500e-06,8.505609e-06,8.508228e-06,8.514136e-06,8.516303e-06,8.516790e-06,8.514781e-06,8.514216e-06,8.507002e-06,8.505051e-06,8.495682e-06,8.488335e-06,8.480739e-06,8.465707e-06,8.462608e-06,8.441686e-06,8.438104e-06,8.418328e-06,8.406347e-06,8.392855e-06,8.371147e-06,8.365553e-06,8.336681e-06,8.333122e-06,8.306470e-06,8.292807e-06,8.275127e-06,8.250665e-06,8.242839e-06,8.209771e-06,8.207097e-06,8.176073e-06,8.162448e-06,8.141878e-06,8.117017e-06,8.107305e-06,8.072460e-06,8.071062e-06,8.037437e-06,8.024802e-06,8.002322e-06,7.978429e-06,7.967189e-06,7.932106e-06,7.897133e-06,7.885973e-06,7.862322e-06,7.840150e-06,7.827720e-06,7.794738e-06,7.793369e-06,7.759306e-06,7.749824e-06,7.725563e-06,7.705482e-06,7.692168e-06,7.661774e-06,7.659146e-06,7.626519e-06,7.618750e-06,7.594306e-06,7.576453e-06,7.562522e-06,7.534919e-06,7.531182e-06,7.500296e-06,7.494175e-06,7.469876e-06,7.454243e-06,7.439927e-06,7.415141e-06,7.410458e-06,7.381473e-06,7.376881e-06,7.352976e-06,7.339471e-06,7.324969e-06,7.302918e-06,7.297454e-06,7.270431e-06,7.267222e-06,7.243901e-06,7.232383e-06,7.217861e-06,7.198398e-06,7.192310e-06,7.167247e-06,7.165263e-06,7.142667e-06,7.132970e-06,7.118568e-06,7.101512e-06,7.094946e-06,7.071796e-06,7.070880e-06,7.049114e-06,7.041062e-06,7.026895e-06,7.012048e-06,7.005134e-06,6.983825e-06,6.956380e-06,6.929700e-06,6.903770e-06,6.878575e-06,6.854102e-06,6.830335e-06,6.807259e-06,6.784859e-06,6.763120e-06,6.742025e-06,6.721561e-06,6.701711e-06,6.682461e-06,6.663795e-06,6.645700e-06,6.628159e-06,6.611158e-06,6.594683e-06,6.578721e-06,6.563256e-06,6.548276e-06,6.533767e-06,6.519716e-06,6.506109e-06
0.000000e+00,1.591254e-09,4.365479e-09,1.829985e-08,4.566246e-08,6.890695e-08,1.656568e-07,1.709419e-07,3.418568e-07,4.045631e-07,6.004282e-07,8.062544e-07,9.675368e-07,1.420033e-06,1.465121e-06,2.111030e-06,2.288970e-06,2.908877e-06,3.416123e-06,3.840678e-06,4.745374e-06,4.873469e-06,5.973328e-06,6.198815e-06,7.113000e-06,7.714407e-06,8.272193e-06,9.249652e-06,9.435533e-06,1.059081e-05,1.077421e-05,1.172795e-05,1.226478e-05,1.283846e-05,1.370291e-05,1.391529e-05,1.495263e-05,1.507423e-05,1.594589e-05,1.636804e-05,1.689164e-05,1.757714e-05,1.778751e-05,1.863209e-05,1.869742e-05,1.942480e-05,1.972738e-05,2.016580e-05,2.066770e-05,2.085584e-05,2.149614e-05,2.152073e-05,2.208829e-05,2.229004e-05,2.263418e-05,2.298001e-05,2.313587e-05,2.359555e-05,2.401548e-05,2.414184e-05,2.439796e-05,2.462414e-05,2.474525e-05,2.504763e-05,2.505959e-05,2.534314e-05,2.541729e-05,2.559795e-05,2.573788e-05,2.582602e-05,2.601384e-05,2.602922e-05,2.620934e-05,2.624932e-05,2.636804e-05,2.644815e-05,2.650690e-05,2.661385e-05,2.662739e-05,2.673089e-05,2.674966e-05,2.681868e-05,2.685852e-05,2.689195e-05,2.694311e-05,2.695183e-05,2.699934e-05,2.700586e-05,2.703545e-05,2.704900e-05,2.706105e-05,2.707452e-05,2.707696e-05,2.708397e-05,2.708424e-05,2.708277e-05,2.707981e-05,2.707403e-05,2.706273e-05,2.705837e-05,2.703634e-05,2.703432e-05,2.700849e-05,2.699582e-05,2.697529e-05,2.694833e-05,2.693720e-05,2.689464e-05,2.689285e-05,2.684801e-05,2.683029e-05,2.679765e-05,2.676145e-05,2.674390e-05,2.668709e-05,2.662749e-05,2.660787e-05,2.656537e-05,2.652440e-05,2.650098e-05,2.643725e-05,2.643455e-05,2.636630e-05,2.634689e-05,2.629643e-05,2.625380e-05,2.622511e-05,2.615838e-05,2.615253e-05,2.607883e-05,2.606099e-05,2.600417e-05,2.596199e-05,2.592869e-05,2.586168e-05,2.585250e-05,2.577574e-05,2.576033e-05,2.569851e-05,2.565820e-05,2.562091e-05,2.555551e-05,2.554304e-05,2.546498e-05,2.545248e-05,2.538681e-05,2.534928e-05,2.530862e-05,2.524609e-05,2.523047e-05,2.515243e-05,2.514307e-05,2.507455e-05,2.504035e-05,2.499689e-05,2.493805e-05,2.491950e-05,2.484244e-05,2.483629e-05,2.476574e-05,2.473517e-05,2.468945e-05,2.463479e-05,2.461359e-05,2.453822e-05,2.453521e-05,2.446335e-05,2.443653e-05,2.438902e-05,2.433879e-05,2.431525e-05,2.424207e-05,2.414641e-05,2.405186e-05,2.395846e-05,2.386624e-05,2.377523e-05,2.368547e-05,2.359696e-05,2.350973e-05,2.342380e-05,2.333918e-05,2.325587e-05,2.317388e-05,2.309322e-05,2.301389e-05,2.293589e-05,2.285922e-05,2.278388e-05,2.270985e-05,2.263714e-05,2.256574e-05,2.249564e-05,2.242682e-05,2.235929e-05,2.229302e-05
0.000000e+00,6.078883e-11,2.212770e-10,1.451195e-09,4.875542e-09,8.397206e-09,2.641105e-08,2.750364e-08,6.645624e-08,8.200198e-08,1.331990e-07,1.898621e-07,2.355953e-07,3.678904e-07,3.813189e-07,5.777207e-07,6.331609e-07,8.314576e-07,1.000623e-06,1.147724e-06,1.479862e-06,1.529051e-06,1.973958e-06,2.070098e-06,2.476128e-06,2.756459e-06,3.024830e-06,3.511868e-06,3.606582e-06,4.207276e-06,4.304250e-06,4.813911e-06,5.103901e-06,5.415536e-06,5.887352e-06,6.003518e-06,6.571386e-06,6.637941e-06,7.114493e-06,7.344753e-06,7.629667e-06,8.001250e-06,8.114906e-06,8.569115e-06,8.604095e-06,8.991916e-06,9.152267e-06,9.383487e-06,9.646407e-06,9.744433e-06,1.007569e-05,1.008834e-05,1.037842e-05,1.048068e-05,1.065398e-05,1.082657e-05,1.090381e-05,1.112943e-05,1.133237e-05,1.139278e-05,1.151418e-05,1.162014e-05,1.167635e-05,1.181490e-05,1.182032e-05,1.194751e-05,1.198029e-05,1.205921e-05,1.211933e-05,1.215669e-05,1.223482e-05,1.224112e-05,1.231357e-05,1.232930e-05,1.237509e-05,1.240510e-05,1.242659e-05,1.246433e-05,1.246896e-05,1.250300e-05,1.250888e-05,1.252945e-05,1.254043e-05,1.254899e-05,1.256052e-05,1.256224e-05,1.256978e-05,1.257049e-05,1.257213e-05,1.257156e-05,1.256977e-05,1.256480e-05,1.256315e-05,1.255266e-05,1.255116e-05,1.253868e-05,1.253151e-05,1.252155e-05,1.250661e-05,1.250157e-05,1.247902e-05,1.247711e-05,1.245417e-05,1.244364e-05,1.242725e-05,1.240671e-05,1.239848e-05,1.236806e-05,1.236681e-05,1.233617e-05,1.232436e-05,1.230298e-05,1.227974e-05,1.226864e-05,1.223328e-05,1.219705e-05,1.218528e-05,1.216005e-05,1.213602e-05,1.212239e-05,1.208572e-05,1.208418e-05,1.204550e-05,1.203460e-05,1.200644e-05,1.198285e-05,1.196707e-05,1.193063e-05,1.192746e-05,1.188768e-05,1.187811e-05,1.184778e-05,1.182541e-05,1.180783e-05,1.177265e-05,1.176786e-05,1.172793e-05,1.171995e-05,1.168807e-05,1.166738e-05,1.164832e-05,1.161505e-05,1.160872e-05,1.156930e-05,1.156302e-05,1.153009e-05,1.151135e-05,1.149112e-05,1.146012e-05,1.145240e-05,1.141396e-05,1.140936e-05,1.137582e-05,1.135914e-05,1.133800e-05,1.130947e-05,1.130051e-05,1.126336e-05,1.126041e-05,1.122658e-05,1.121198e-05,1.119018e-05,1.116420e-05,1.115415e-05,1.111852e-05,1.111710e-05,1.108329e-05,1.107070e-05,1.104846e-05,1.102502e-05,1.101405e-05,1.098006e-05,1.093584e-05,1.089236e-05,1.084964e-05,1.080768e-05,1.076647e-05,1.072602e-05,1.068634e-05,1.064742e-05,1.060925e-05,1.057183e-05,1.053517e-05,1.049925e-05,1.046406e-05,1.042961e-05,1.039587e-05,1.036286e-05,1.033055e-05,1.029894e-05,1.026802e-05,1.023778e-05,1.020822e-05,1.017931e-05,1.015105e-05,1.012343e-05
0.000000e+00,1.101591e-09,2.566264e-09,8.970327e-09,2.052750e-08,2.999388e-08,6.813125e-08,7.018132e-08,1.355458e-07,1.592162e-07,2.324692e-07,3.085788e-07,3.676668e-07,5.307457e-07,5.467617e-07,7.714433e-07,8.319007e-07,1.038958e-06,1.205856e-06,1.344992e-06,1.643084e-06,1.685686e-06,2.057794e-06,2.135720e-06,2.458302e-06,2.676779e-06,2.884145e-06,3.259062e-06,3.332075e-06,3.798639e-06,3.874779e-06,4.280224e-06,4.515636e-06,4.773136e-06,5.173140e-06,5.273687e-06,5.778289e-06,5.838949e-06,6.283527e-06,6.505206e-06,6.786229e-06,7.164800e-06,7.283511e-06,7.772813e-06,7.811543e-06,8.251909e-06,8.440256e-06,8.718915e-06,9.046791e-06,9.172281e-06,9.610771e-06,9.627987e-06,1.003344e-05,1.018159e-05,1.043961e-05,1.070615e-05,1.082884e-05,1.120089e-05,1.155570e-05,1.166561e-05,1.189337e-05,1.210058e-05,1.221412e-05,1.250640e-05,1.251826e-05,1.280618e-05,1.288396e-05,1.307837e-05,1.323433e-05,1.333531e-05,1.355871e-05,1.357756e-05,1.380568e-05,1.385839e-05,1.402025e-05,1.413470e-05,1.422184e-05,1.438896e-05,1.441103e-05,1.458840e-05,1.462251e-05,1.475451e-05,1.483662e-05,1.490991e-05,1.503255e-05,1.505512e-05,1.519065e-05,1.521147e-05,1.531700e-05,1.537453e-05,1.543465e-05,1.552280e-05,1.554404e-05,1.564561e-05,1.565730e-05,1.573978e-05,1.577896e-05,1.582692e-05,1.588869e-05,1.590743e-05,1.598164e-05,1.598732e-05,1.604991e-05,1.607563e-05,1.611255e-05,1.615434e-05,1.616986e-05,1.622213e-05,1.622412e-05,1.626964e-05,1.628562e-05,1.631263e-05,1.633942e-05,1.635136e-05,1.638605e-05,1.641693e-05,1.642604e-05,1.644419e-05,1.645984e-05,1.646805e-05,1.648790e-05,1.648867e-05,1.650623e-05,1.651063e-05,1.652091e-05,1.652840e-05,1.653286e-05,1.654156e-05,1.654222e-05,1.654914e-05,1.655045e-05,1.655375e-05,1.655537e-05,1.655618e-05,1.655661e-05,1.655655e-05,1.655497e-05,1.655442e-05,1.655154e-05,1.654907e-05,1.654638e-05,1.654076e-05,1.653957e-05,1.653121e-05,1.652973e-05,1.652138e-05,1.651617e-05,1.651018e-05,1.650027e-05,1.649766e-05,1.648392e-05,1.648220e-05,1.646902e-05,1.646212e-05,1.645303e-05,1.644019e-05,1.643601e-05,1.641803e-05,1.641655e-05,1.639913e-05,1.639133e-05,1.637937e-05,1.636465e-05,1.635882e-05,1.633751e-05,1.633664e-05,1.631549e-05,1.630740e-05,1.629281e-05,1.627704e-05,1.626952e-05,1.624564e-05,1.621330e-05,1.618011e-05,1.614613e-05,1.611146e-05,1.607614e-05,1.604026e-05,1.600387e-05,1.596702e-05,1.592978e-05,1.589219e-05,1.585430e-05,1.581615e-05,1.577779e-05,1.573925e-05,1.570058e-05,1.566180e-05,1.562295e-05,1.558406e-05,1.554515e-05,1.550627e-05,1.546742e-05,1.542863e-05,1.538994e-05,1.535134e-05
0.000000e+00,1.972581e-11,7.532631e-11,5.434869e-10,1.982664e-09,3.565842e-09,1.246240e-08,1.303115e-08,3.462234e-08,4.376628e-08,7.530795e-08,1.120980e-07,1.428600e-07,2.357175e-07,2.453990e-07,3.908879e-07,4.330138e-07,5.863929e-07,7.197394e-07,8.370174e-07,1.104897e-06,1.144841e-06,1.508449e-06,1.587507e-06,1.923232e-06,2.156886e-06,2.382177e-06,2.795613e-06,2.876767e-06,3.397785e-06,3.482977e-06,3.935956e-06,4.197741e-06,4.482408e-06,4.920032e-06,5.029002e-06,5.568541e-06,5.632508e-06,6.094884e-06,6.320958e-06,6.602997e-06,6.974502e-06,7.088931e-06,7.549770e-06,7.585488e-06,7.983544e-06,8.149196e-06,8.389118e-06,8.663408e-06,8.766071e-06,9.114578e-06,9.127934e-06,9.435289e-06,9.544127e-06,9.729219e-06,9.914438e-06,9.997646e-06,1.024203e-05,1.046393e-05,1.053045e-05,1.066496e-05,1.078341e-05,1.084672e-05,1.100454e-05,1.101079e-05,1.115865e-05,1.119735e-05,1.129174e-05,1.136506e-05,1.141139e-05,1.151063e-05,1.151880e-05,1.161512e-05,1.163670e-05,1.170137e-05,1.174562e-05,1.177847e-05,1.183943e-05,1.184728e-05,1.190853e-05,1.191994e-05,1.196292e-05,1.198870e-05,1.201106e-05,1.204705e-05,1.205347e-05,1.209066e-05,1.209616e-05,1.212307e-05,1.213704e-05,1.215107e-05,1.217055e-05,1.217503e-05,1.219526e-05,1.219745e-05,1.221205e-05,1.221841e-05,1.222565e-05,1.223400e-05,1.223629e-05,1.224419e-05,1.224471e-05,1.224955e-05,1.225101e-05,1.225252e-05,1.225329e-05,1.225329e-05,1.225199e-05,1.225189e-05,1.224876e-05,1.224714e-05,1.224372e-05,1.223933e-05,1.223700e-05,1.222870e-05,1.221892e-05,1.221549e-05,1.220775e-05,1.219992e-05,1.219529e-05,1.218218e-05,1.218161e-05,1.216680e-05,1.216246e-05,1.215092e-05,1.214091e-05,1.213404e-05,1.211769e-05,1.211623e-05,1.209755e-05,1.209294e-05,1.207805e-05,1.206679e-05,1.205779e-05,1.203937e-05,1.203682e-05,1.201518e-05,1.201078e-05,1.199293e-05,1.198113e-05,1.197010e-05,1.195052e-05,1.194675e-05,1.192289e-05,1.191903e-05,1.189858e-05,1.188676e-05,1.187385e-05,1.185378e-05,1.184873e-05,1.182325e-05,1.182017e-05,1.179745e-05,1.178600e-05,1.177134e-05,1.175132e-05,1.174497e-05,1.171835e-05,1.171621e-05,1.169151e-05,1.168071e-05,1.166447e-05,1.164489e-05,1.163725e-05,1.160988e-05,1.160879e-05,1.158238e-05,1.157245e-05,1.155476e-05,1.153593e-05,1.152705e-05,1.149926e-05,1.146247e-05,1.142562e-05,1.138872e-05,1.135181e-05,1.131492e-05,1.127808e-05,1.124131e-05,1.120464e-05,1.116808e-05,1.113166e-05,1.109540e-05,1.105932e-05,1.102342e-05,1.098774e-05,1.095227e-05,1.091704e-05,1.088206e-05,1.084734e-05,1.081289e-05,1.077871e-05,1.074482e-05,1.071123e-05,1.067794e-05,1.064496e-05
0.000000e+00,1.832200e-10,6.068808e-10,3.347056e-09,9.830335e-09,1.585689e-08,4.308278e-08,4.462634e-08,9.585821e-08,1.149803e-07,1.749426e-07,2.377487e-07,2.865984e-07,4.216984e-07,4.350151e-07,6.238853e-07,6.755861e-07,8.561860e-07,1.005950e-06,1.133609e-06,1.414921e-06,1.455907e-06,1.820765e-06,1.898528e-06,2.224413e-06,2.448181e-06,2.662434e-06,3.053623e-06,3.130304e-06,3.623573e-06,3.704561e-06,4.137879e-06,4.390948e-06,4.668901e-06,5.102865e-06,5.212342e-06,5.763938e-06,5.830477e-06,6.319490e-06,6.564130e-06,6.874920e-06,7.294555e-06,7.426323e-06,7.970032e-06,8.013093e-06,8.502670e-06,8.711930e-06,9.021189e-06,9.384258e-06,9.522903e-06,1.000550e-05,1.002438e-05,1.046707e-05,1.062777e-05,1.090607e-05,1.119110e-05,1.132136e-05,1.171213e-05,1.207791e-05,1.218964e-05,1.241851e-05,1.262332e-05,1.273403e-05,1.301362e-05,1.302478e-05,1.329126e-05,1.336162e-05,1.353416e-05,1.366890e-05,1.375427e-05,1.393742e-05,1.395250e-05,1.412983e-05,1.416939e-05,1.428730e-05,1.436720e-05,1.442597e-05,1.453331e-05,1.454692e-05,1.465124e-05,1.467020e-05,1.473999e-05,1.478033e-05,1.481421e-05,1.486609e-05,1.487494e-05,1.492313e-05,1.492974e-05,1.495973e-05,1.497344e-05,1.498563e-05,1.499920e-05,1.500166e-05,1.500863e-05,1.500889e-05,1.500729e-05,1.500424e-05,1.499833e-05,1.498683e-05,1.498241e-05,1.496015e-05,1.495811e-05,1.493211e-05,1.491939e-05,1.489881e-05,1.487186e-05,1.486075e-05,1.481839e-05,1.481661e-05,1.477213e-05,1.475459e-05,1.472236e-05,1.468669e-05,1.466943e-05,1.461368e-05,1.455540e-05,1.453627e-05,1.449487e-05,1.445507e-05,1.443235e-05,1.437067e-05,1.436806e-05,1.430223e-05,1.428355e-05,1.423504e-05,1.419416e-05,1.416669e-05,1.410291e-05,1.409732e-05,1.402710e-05,1.401014e-05,1.395617e-05,1.391618e-05,1.388465e-05,1.382132e-05,1.381266e-05,1.374030e-05,1.372580e-05,1.366768e-05,1.362984e-05,1.359489e-05,1.353366e-05,1.352200e-05,1.344909e-05,1.343742e-05,1.337623e-05,1.334129e-05,1.330348e-05,1.324541e-05,1.323091e-05,1.315856e-05,1.314990e-05,1.308649e-05,1.305487e-05,1.301473e-05,1.296043e-05,1.294332e-05,1.287231e-05,1.286665e-05,1.280173e-05,1.277362e-05,1.273160e-05,1.268140e-05,1.266195e-05,1.259281e-05,1.259005e-05,1.252420e-05,1.249963e-05,1.245614e-05,1.241018e-05,1.238865e-05,1.232174e-05,1.223434e-05,1.214801e-05,1.206278e-05,1.197866e-05,1.189567e-05,1.181384e-05,1.173315e-05,1.165363e-05,1.157528e-05,1.149810e-05,1.142209e-05,1.134726e-05,1.127359e-05,1.120109e-05,1.112975e-05,1.105957e-05,1.099053e-05,1.092262e-05,1.085585e-05,1.079019e-05,1.072564e-05,1.066219e-05,1.059982e-05,1.053852e-05
0.000000e+00,5.533926e-11,2.124440e-10,1.550403e-09,5.719373e-09,1.035377e-08,3.686784e-08,3.858223e-08,1.048023e-07,1.333808e-07,2.338382e-07,3.540725e-07,4.567536e-07,7.765821e-07,8.106769e-07,1.336716e-06,1.493078e-06,2.074000e-06,2.590653e-06,3.051839e-06,4.123404e-06,4.284992e-06,5.773677e-06,6.101233e-06,7.506402e-06,8.497551e-06,9.463434e-06,1.126252e-05,1.161981e-05,1.394759e-05,1.433399e-05,1.641736e-05,1.764451e-05,1.899925e-05,2.112556e-05,2.166364e-05,2.438159e-05,2.471001e-05,2.712528e-05,2.833380e-05,2.986830e-05,3.193728e-05,3.258595e-05,3.525556e-05,3.546642e-05,3.785665e-05,3.887377e-05,4.037117e-05,4.211922e-05,4.278362e-05,4.508105e-05,4.517040e-05,4.725315e-05,4.800284e-05,4.929209e-05,5.059966e-05,5.119247e-05,5.295109e-05,5.456682e-05,5.505374e-05,5.604032e-05,5.690968e-05,5.737381e-05,5.852553e-05,5.857085e-05,5.963609e-05,5.991148e-05,6.057505e-05,6.108036e-05,6.139390e-05,6.204684e-05,6.209926e-05,6.269806e-05,6.282670e-05,6.319738e-05,6.343619e-05,6.360431e-05,6.389156e-05,6.392587e-05,6.416889e-05,6.420866e-05,6.433999e-05,6.440265e-05,6.444550e-05,6.448783e-05,6.449141e-05,6.448340e-05,6.447747e-05,6.442677e-05,6.438379e-05,6.432647e-05,6.421787e-05,6.418707e-05,6.401281e-05,6.398974e-05,6.380758e-05,6.370840e-05,6.357495e-05,6.338185e-05,6.331819e-05,6.304027e-05,6.301721e-05,6.274390e-05,6.262073e-05,6.243150e-05,6.219792e-05,6.210531e-05,6.176733e-05,6.175359e-05,6.141935e-05,6.129196e-05,6.106302e-05,6.081668e-05,6.069978e-05,6.033096e-05,5.995773e-05,5.983755e-05,5.958116e-05,5.933884e-05,5.920219e-05,5.883691e-05,5.882167e-05,5.844035e-05,5.833353e-05,5.805892e-05,5.783026e-05,5.767798e-05,5.732840e-05,5.729806e-05,5.691965e-05,5.682910e-05,5.654317e-05,5.633332e-05,5.616900e-05,5.584190e-05,5.579747e-05,5.542888e-05,5.535554e-05,5.506351e-05,5.487485e-05,5.470156e-05,5.440033e-05,5.434325e-05,5.398875e-05,5.393239e-05,5.363821e-05,5.347139e-05,5.329176e-05,5.301762e-05,5.294951e-05,5.261157e-05,5.257131e-05,5.227800e-05,5.213263e-05,5.194887e-05,5.170174e-05,5.162424e-05,5.130415e-05,5.127874e-05,5.098863e-05,5.086370e-05,5.067770e-05,5.045668e-05,5.037137e-05,5.006965e-05,5.005768e-05,4.977254e-05,4.966671e-05,4.948003e-05,4.928374e-05,4.919211e-05,4.890875e-05,4.854168e-05,4.818246e-05,4.783102e-05,4.748728e-05,4.715114e-05,4.682250e-05,4.650126e-05,4.618730e-05,4.588051e-05,4.558078e-05,4.528797e-05,4.500197e-05,4.472265e-05,4.444988e-05,4.418354e-05,4.392350e-05,4.366963e-05,4.342181e-05,4.317989e-05,4.294376e-05,4.271330e-05,4.248837e-05,4.226885e-05,4.205462e-05
0.000000e+00,7.463678e-10,1.725963e-09,5.982125e-09,1.362771e-08,1.987524e-08,4.498143e-08,4.632913e-08,8.923654e-08,1.047500e-07,1.526850e-07,2.023586e-07,2.408154e-07,3.463723e-07,3.566896e-07,5.004956e-07,5.389120e-07,6.696949e-07,7.743142e-07,8.610397e-07,1.045461e-06,1.071670e-06,1.299101e-06,1.346395e-06,1.540978e-06,1.671680e-06,1.794934e-06,2.015819e-06,2.058544e-06,2.329351e-06,2.373185e-06,2.604916e-06,2.738180e-06,2.882882e-06,3.105487e-06,3.161031e-06,3.437337e-06,3.470281e-06,3.709993e-06,3.828394e-06,3.977436e-06,4.176388e-06,4.238351e-06,4.491665e-06,4.511576e-06,4.736540e-06,4.831979e-06,4.972346e-06,5.136260e-06,5.198648e-06,5.415175e-06,5.423630e-06,5.621799e-06,5.693755e-06,5.818513e-06,5.946660e-06,6.005407e-06,6.182648e-06,6.350467e-06,6.402223e-06,6.509139e-06,6.606032e-06,6.658976e-06,6.794814e-06,6.800308e-06,6.933484e-06,6.969360e-06,7.058858e-06,7.130486e-06,7.176786e-06,7.279007e-06,7.287621e-06,7.391708e-06,7.415723e-06,7.489386e-06,7.541408e-06,7.580982e-06,7.656807e-06,7.666812e-06,7.747178e-06,7.762622e-06,7.822370e-06,7.859516e-06,7.892662e-06,7.948114e-06,7.958317e-06,8.019585e-06,8.028997e-06,8.076702e-06,8.102709e-06,8.129890e-06,8.169754e-06,8.179361e-06,8.225314e-06,8.230601e-06,8.267938e-06,8.285684e-06,8.307411e-06,8.335406e-06,8.343901e-06,8.377566e-06,8.380142e-06,8.408557e-06,8.420236e-06,8.437014e-06,8.456010e-06,8.463071e-06,8.486853e-06,8.487759e-06,8.508480e-06,8.515759e-06,8.528062e-06,8.540265e-06,8.545707e-06,8.561513e-06,8.575576e-06,8.579722e-06,8.587984e-06,8.595096e-06,8.598822e-06,8.607823e-06,8.608169e-06,8.616101e-06,8.618078e-06,8.622689e-06,8.626025e-06,8.628001e-06,8.631817e-06,8.632102e-06,8.635050e-06,8.635593e-06,8.636905e-06,8.637487e-06,8.637721e-06,8.637620e-06,8.637549e-06,8.636439e-06,8.636109e-06,8.634437e-06,8.633058e-06,8.631587e-06,8.628570e-06,8.627932e-06,8.623512e-06,8.622736e-06,8.618364e-06,8.615646e-06,8.612526e-06,8.607380e-06,8.606030e-06,8.598911e-06,8.598017e-06,8.591200e-06,8.587627e-06,8.582926e-06,8.576279e-06,8.574118e-06,8.564803e-06,8.564036e-06,8.555007e-06,8.550959e-06,8.544754e-06,8.537103e-06,8.534069e-06,8.522973e-06,8.522521e-06,8.511489e-06,8.507263e-06,8.499637e-06,8.491377e-06,8.487436e-06,8.474905e-06,8.457891e-06,8.440374e-06,8.422390e-06,8.403975e-06,8.385163e-06,8.365984e-06,8.346468e-06,8.326644e-06,8.306538e-06,8.286174e-06,8.265578e-06,8.244771e-06,8.223775e-06,8.202610e-06,8.181295e-06,8.159848e-06,8.138287e-06,8.116628e-06,8.094887e-06,8.073077e-06,8.051214e-06,8.029310e-06,8.007378e-06,7.985429e-06
0.000000e+00,6.861779e-10,2.689428e-09,2.049893e-08,7.871134e-08,1.456862e-07,5.496290e-07,5.765488e-07,1.659467e-06,2.145584e-06,3.913775e-06,6.118982e-06,8.059560e-06,1.435394e-05,1.504344e-05,2.604154e-05,2.942625e-05,4.240437e-05,5.443601e-05,6.553513e-05,9.253709e-05,9.674877e-05,1.371664e-04,1.464357e-04,1.876594e-04,2.181089e-04,2.488325e-04,3.087298e-04,3.210288e-04,4.043462e-04,4.187035e-04,4.986595e-04,5.477477e-04,6.036455e-04,6.949904e-04,7.188080e-04,8.435039e-04,8.590728e-04,9.769689e-04,1.038253e-03,1.118343e-03,1.230505e-03,1.266694e-03,1.421042e-03,1.433619e-03,1.580379e-03,1.645284e-03,1.743691e-03,1.863171e-03,1.909971e-03,2.078240e-03,2.084999e-03,2.247553e-03,2.308588e-03,2.417015e-03,2.531904e-03,2.585787e-03,2.753088e-03,2.918207e-03,2.970477e-03,3.080499e-03,3.182613e-03,3.239388e-03,3.388248e-03,3.394367e-03,3.544995e-03,3.586339e-03,3.690897e-03,3.776037e-03,3.831759e-03,3.956680e-03,3.967325e-03,4.097394e-03,4.127775e-03,4.221815e-03,4.288983e-03,4.340484e-03,4.440103e-03,4.453338e-03,4.560352e-03,4.581054e-03,4.661536e-03,4.711860e-03,4.756929e-03,4.832632e-03,4.846598e-03,4.930632e-03,4.943561e-03,5.009139e-03,5.044896e-03,5.082245e-03,5.136936e-03,5.150091e-03,5.212828e-03,5.220021e-03,5.270617e-03,5.294520e-03,5.323626e-03,5.360824e-03,5.372030e-03,5.416005e-03,5.419337e-03,5.455731e-03,5.470473e-03,5.491390e-03,5.514648e-03,5.523163e-03,5.551230e-03,5.552278e-03,5.575768e-03,5.583771e-03,5.596953e-03,5.609532e-03,5.614958e-03,5.629951e-03,5.642096e-03,5.645407e-03,5.651554e-03,5.656268e-03,5.658479e-03,5.662885e-03,5.663022e-03,5.665329e-03,5.665593e-03,5.665538e-03,5.664714e-03,5.663786e-03,5.660552e-03,5.660201e-03,5.654907e-03,5.653396e-03,5.648024e-03,5.643518e-03,5.639665e-03,5.631175e-03,5.629939e-03,5.618949e-03,5.616608e-03,5.606795e-03,5.600045e-03,5.593569e-03,5.581697e-03,5.579362e-03,5.564258e-03,5.561763e-03,5.548337e-03,5.540428e-03,5.531676e-03,5.517863e-03,5.514347e-03,5.496418e-03,5.494229e-03,5.477952e-03,5.469673e-03,5.459012e-03,5.444334e-03,5.439653e-03,5.419931e-03,5.418339e-03,5.399895e-03,5.391804e-03,5.379593e-03,5.364837e-03,5.359071e-03,5.338369e-03,5.337538e-03,5.317528e-03,5.309998e-03,5.296583e-03,5.282299e-03,5.275569e-03,5.254518e-03,5.226725e-03,5.198981e-03,5.171344e-03,5.143866e-03,5.116592e-03,5.089565e-03,5.062822e-03,5.036395e-03,5.010314e-03,4.984606e-03,4.959292e-03,4.934391e-03,4.909921e-03,4.885896e-03,4.862328e-03,4.839226e-03,4.816597e-03,4.794449e-03,4.772784e-03,4.751606e-03,4.730916e-03,4.710714e-03,4.690999e-03,4.671769e-03
0.000000e+00,1.051601e-08,2.582249e-08,9.614809e-08,2.289867e-07,3.414879e-07,8.205447e-07,8.473420e-07,1.750372e-06,2.098566e-06,3.236990e-06,4.500919e-06,5.525815e-06,8.474702e-06,8.769731e-06,1.292403e-05,1.403508e-05,1.778780e-05,2.074449e-05,2.316181e-05,2.820423e-05,2.891073e-05,3.494847e-05,3.618512e-05,4.121477e-05,4.454716e-05,4.766088e-05,5.318221e-05,5.424265e-05,6.091782e-05,6.199176e-05,6.764533e-05,7.088147e-05,7.438580e-05,7.976239e-05,8.110198e-05,8.775932e-05,8.855271e-05,9.432642e-05,9.718017e-05,1.007758e-04,1.055838e-04,1.070836e-04,1.132298e-04,1.137140e-04,1.191978e-04,1.215321e-04,1.249744e-04,1.290092e-04,1.305494e-04,1.359153e-04,1.361255e-04,1.410672e-04,1.428689e-04,1.460021e-04,1.492331e-04,1.507186e-04,1.552171e-04,1.594989e-04,1.608238e-04,1.635667e-04,1.660592e-04,1.674237e-04,1.709318e-04,1.710739e-04,1.745217e-04,1.754515e-04,1.777721e-04,1.796297e-04,1.808303e-04,1.834787e-04,1.837016e-04,1.863918e-04,1.870111e-04,1.889064e-04,1.902401e-04,1.912512e-04,1.931788e-04,1.934320e-04,1.954546e-04,1.958406e-04,1.973245e-04,1.982384e-04,1.990475e-04,2.003853e-04,2.006291e-04,2.020748e-04,2.022939e-04,2.033900e-04,2.039765e-04,2.045799e-04,2.054451e-04,2.056497e-04,2.066043e-04,2.067114e-04,2.074487e-04,2.077866e-04,2.081877e-04,2.086817e-04,2.088259e-04,2.093677e-04,2.094070e-04,2.098175e-04,2.099726e-04,2.101796e-04,2.103883e-04,2.104581e-04,2.106569e-04,2.106632e-04,2.107799e-04,2.108063e-04,2.108308e-04,2.108260e-04,2.108131e-04,2.107304e-04,2.105860e-04,2.105273e-04,2.103831e-04,2.102240e-04,2.101249e-04,2.098276e-04,2.098142e-04,2.094541e-04,2.093448e-04,2.090472e-04,2.087818e-04,2.085963e-04,2.081447e-04,2.081039e-04,2.075724e-04,2.074393e-04,2.070043e-04,2.066710e-04,2.064018e-04,2.058449e-04,2.057672e-04,2.051024e-04,2.049660e-04,2.044095e-04,2.040387e-04,2.036905e-04,2.030676e-04,2.029471e-04,2.021811e-04,2.020566e-04,2.013943e-04,2.010097e-04,2.005883e-04,1.999306e-04,1.997645e-04,1.989245e-04,1.988227e-04,1.980697e-04,1.976892e-04,1.972013e-04,1.965332e-04,1.963208e-04,1.954294e-04,1.953576e-04,1.945281e-04,1.941651e-04,1.936182e-04,1.929582e-04,1.927006e-04,1.917764e-04,1.917393e-04,1.908466e-04,1.905106e-04,1.899120e-04,1.892742e-04,1.889736e-04,1.880321e-04,1.867859e-04,1.855375e-04,1.842885e-04,1.830401e-04,1.817940e-04,1.805512e-04,1.793129e-04,1.780803e-04,1.768543e-04,1.756358e-04,1.744257e-04,1.732247e-04,1.720335e-04,1.708529e-04,1.696832e-04,1.685252e-04,1.673792e-04,1.662456e-04,1.651249e-04,1.640174e-04,1.629233e-04,1.618429e-04,1.607765e-04,1.597242e-04
0.000000e+00,4.834889e-10,1.774482e-09,1.185456e-08,4.061260e-08,7.081256e-08,2.315691e-07,2.415953e-07,6.155571e-07,7.728105e-07,1.318883e-06,1.968355e-06,2.522944e-06,4.251484e-06,4.435424e-06,7.243885e-06,8.063715e-06,1.103488e-05,1.357548e-05,1.576578e-05,2.060354e-05,2.130577e-05,2.749440e-05,2.879623e-05,3.417999e-05,3.780934e-05,4.123438e-05,4.736829e-05,4.855344e-05,5.605219e-05,5.726375e-05,6.365928e-05,6.733075e-05,7.131296e-05,7.743250e-05,7.895854e-05,8.654709e-05,8.745175e-05,9.403494e-05,9.728758e-05,1.013836e-04,1.068547e-04,1.085596e-04,1.155347e-04,1.160833e-04,1.222857e-04,1.249190e-04,1.287938e-04,1.333213e-04,1.350451e-04,1.410292e-04,1.412629e-04,1.467396e-04,1.487276e-04,1.521728e-04,1.557085e-04,1.573279e-04,1.622063e-04,1.668111e-04,1.682276e-04,1.711471e-04,1.737838e-04,1.752202e-04,1.788893e-04,1.790372e-04,1.826054e-04,1.835611e-04,1.859331e-04,1.878177e-04,1.890285e-04,1.916785e-04,1.919002e-04,1.945569e-04,1.951635e-04,1.970073e-04,1.982926e-04,1.992601e-04,2.010859e-04,2.013238e-04,2.032069e-04,2.035626e-04,2.049177e-04,2.057418e-04,2.064642e-04,2.076420e-04,2.078542e-04,2.090955e-04,2.092808e-04,2.101953e-04,2.106751e-04,2.111609e-04,2.118413e-04,2.119991e-04,2.127166e-04,2.127949e-04,2.133197e-04,2.135505e-04,2.138147e-04,2.141221e-04,2.142074e-04,2.145035e-04,2.145232e-04,2.147084e-04,2.147661e-04,2.148275e-04,2.148628e-04,2.148656e-04,2.148276e-04,2.148246e-04,2.147180e-04,2.146619e-04,2.145413e-04,2.143848e-04,2.143015e-04,2.140027e-04,2.136486e-04,2.135243e-04,2.132430e-04,2.129579e-04,2.127893e-04,2.123114e-04,2.122907e-04,2.117504e-04,2.115921e-04,2.111714e-04,2.108067e-04,2.105566e-04,2.099616e-04,2.099086e-04,2.092301e-04,2.090629e-04,2.085234e-04,2.081162e-04,2.077909e-04,2.071266e-04,2.070347e-04,2.062571e-04,2.060991e-04,2.054598e-04,2.050382e-04,2.046450e-04,2.039481e-04,2.038142e-04,2.029692e-04,2.028328e-04,2.021115e-04,2.016959e-04,2.012428e-04,2.005408e-04,2.003644e-04,1.994776e-04,1.993707e-04,1.985837e-04,1.981885e-04,1.976840e-04,1.969969e-04,1.967794e-04,1.958712e-04,1.957984e-04,1.949603e-04,1.945954e-04,1.940476e-04,1.933899e-04,1.931340e-04,1.922204e-04,1.921839e-04,1.913075e-04,1.909792e-04,1.903960e-04,1.897774e-04,1.894867e-04,1.885802e-04,1.873888e-04,1.862045e-04,1.850284e-04,1.838617e-04,1.827052e-04,1.815598e-04,1.804263e-04,1.793053e-04,1.781975e-04,1.771033e-04,1.760233e-04,1.749578e-04,1.739073e-04,1.728720e-04,1.718522e-04,1.708481e-04,1.698598e-04,1.688875e-04,1.679314e-04,1.669914e-04,1.660676e-04,1.651599e-04,1.642685e-04,1.633932e-04
0.000000e+00,2.128827e-11,8.115687e-11,5.838028e-10,2.125814e-09,3.821406e-09,1.337033e-08,1.398240e-08,3.737497e-08,4.737383e-08,8.226746e-08,1.237096e-07,1.589270e-07,2.679395e-07,2.795097e-07,4.568677e-07,5.091608e-07,7.016752e-07,8.705420e-07,1.019449e-06,1.359111e-06,1.409601e-06,1.866487e-06,1.965127e-06,2.381215e-06,2.668277e-06,2.943291e-06,3.444031e-06,3.541795e-06,4.166099e-06,4.267706e-06,4.806250e-06,5.116443e-06,5.453142e-06,5.969974e-06,6.098584e-06,6.735308e-06,6.810817e-06,7.356965e-06,7.624288e-06,7.958121e-06,8.398462e-06,8.534235e-06,9.081645e-06,9.124107e-06,9.597533e-06,9.794586e-06,1.007989e-05,1.040568e-05,1.052744e-05,1.093961e-05,1.095536e-05,1.131641e-05,1.144349e-05,1.165837e-05,1.187149e-05,1.196646e-05,1.224199e-05,1.248653e-05,1.255852e-05,1.270185e-05,1.282518e-05,1.288982e-05,1.304636e-05,1.305240e-05,1.319154e-05,1.322656e-05,1.330918e-05,1.337022e-05,1.340719e-05,1.348157e-05,1.348737e-05,1.355140e-05,1.356455e-05,1.360088e-05,1.362279e-05,1.363728e-05,1.365955e-05,1.366193e-05,1.367610e-05,1.367777e-05,1.368088e-05,1.368001e-05,1.367731e-05,1.366853e-05,1.366631e-05,1.364869e-05,1.364531e-05,1.362520e-05,1.361204e-05,1.359650e-05,1.357019e-05,1.356318e-05,1.352576e-05,1.352102e-05,1.348472e-05,1.346562e-05,1.344047e-05,1.340493e-05,1.339339e-05,1.334381e-05,1.333975e-05,1.329203e-05,1.327076e-05,1.323832e-05,1.319858e-05,1.318291e-05,1.312602e-05,1.312371e-05,1.306784e-05,1.304662e-05,1.300855e-05,1.296768e-05,1.294830e-05,1.288724e-05,1.282549e-05,1.280561e-05,1.276318e-05,1.272304e-05,1.270040e-05,1.263978e-05,1.263725e-05,1.257383e-05,1.255603e-05,1.251021e-05,1.247197e-05,1.244646e-05,1.238777e-05,1.238267e-05,1.231887e-05,1.230357e-05,1.225515e-05,1.221950e-05,1.219153e-05,1.213568e-05,1.212808e-05,1.206483e-05,1.205221e-05,1.200183e-05,1.196918e-05,1.193911e-05,1.188667e-05,1.187671e-05,1.181466e-05,1.180477e-05,1.175298e-05,1.172352e-05,1.169171e-05,1.164300e-05,1.163086e-05,1.157046e-05,1.156324e-05,1.151052e-05,1.148431e-05,1.145107e-05,1.140623e-05,1.139212e-05,1.133369e-05,1.132904e-05,1.127578e-05,1.125277e-05,1.121842e-05,1.117745e-05,1.116160e-05,1.110535e-05,1.110311e-05,1.104966e-05,1.102975e-05,1.099455e-05,1.095740e-05,1.094001e-05,1.088607e-05,1.081577e-05,1.074650e-05,1.067828e-05,1.061111e-05,1.054499e-05,1.047991e-05,1.041589e-05,1.035291e-05,1.029098e-05,1.023008e-05,1.017022e-05,1.011138e-05,1.005355e-05,9.996742e-06,9.940930e-06,9.886108e-06,9.832267e-06,9.779395e-06,9.727481e-06,9.676514e-06,9.626483e-06,9.577374e-06,9.529175e-06,9.481875e-06
0.000000e+00,4.505896e-09,1.036995e-08,3.586672e-08,8.204262e-08,1.201913e-07,2.773228e-07,2.859271e-07,5.681542e-07,6.737718e-07,1.009434e-06,1.367081e-06,1.646851e-06,2.410691e-06,2.484442e-06,3.490635e-06,3.752773e-06,4.626997e-06,5.308851e-06,5.864059e-06,7.018864e-06,7.180423e-06,8.558881e-06,8.840648e-06,9.983971e-06,1.073854e-05,1.144098e-05,1.267914e-05,1.291572e-05,1.439474e-05,1.463093e-05,1.586556e-05,1.656529e-05,1.731696e-05,1.845747e-05,1.873915e-05,2.012393e-05,2.028725e-05,2.146460e-05,2.203912e-05,2.275593e-05,2.370192e-05,2.399406e-05,2.517635e-05,2.526847e-05,2.630121e-05,2.673489e-05,2.736795e-05,2.810001e-05,2.837661e-05,2.932782e-05,2.936469e-05,3.022270e-05,3.053134e-05,3.106272e-05,3.160347e-05,3.184960e-05,3.258528e-05,3.327180e-05,3.348146e-05,3.391129e-05,3.429688e-05,3.450591e-05,3.503653e-05,3.505781e-05,3.556914e-05,3.570533e-05,3.604199e-05,3.630807e-05,3.647839e-05,3.684938e-05,3.688031e-05,3.724967e-05,3.733367e-05,3.758828e-05,3.776512e-05,3.789788e-05,3.814767e-05,3.818015e-05,3.843667e-05,3.848501e-05,3.866894e-05,3.878062e-05,3.887840e-05,3.903772e-05,3.906641e-05,3.923426e-05,3.925933e-05,3.938317e-05,3.944825e-05,3.951428e-05,3.960710e-05,3.962869e-05,3.972744e-05,3.973828e-05,3.981148e-05,3.984404e-05,3.988174e-05,3.992646e-05,3.993909e-05,3.998435e-05,3.998747e-05,4.001828e-05,4.002885e-05,4.004163e-05,4.005226e-05,4.005506e-05,4.005923e-05,4.005921e-05,4.005476e-05,4.005114e-05,4.004220e-05,4.002933e-05,4.002212e-05,3.999501e-05,3.996137e-05,3.994930e-05,3.992164e-05,3.989321e-05,3.987625e-05,3.982772e-05,3.982560e-05,3.977007e-05,3.975370e-05,3.971003e-05,3.967198e-05,3.964581e-05,3.958330e-05,3.957772e-05,3.950607e-05,3.948837e-05,3.943113e-05,3.938783e-05,3.935317e-05,3.928227e-05,3.927244e-05,3.918918e-05,3.917225e-05,3.910361e-05,3.905826e-05,3.901593e-05,3.894080e-05,3.892634e-05,3.883503e-05,3.882027e-05,3.874217e-05,3.869709e-05,3.864792e-05,3.857163e-05,3.855244e-05,3.845587e-05,3.844422e-05,3.835835e-05,3.831518e-05,3.826001e-05,3.818480e-05,3.816097e-05,3.806133e-05,3.805334e-05,3.796122e-05,3.792106e-05,3.786072e-05,3.778817e-05,3.775993e-05,3.765894e-05,3.765490e-05,3.755783e-05,3.752142e-05,3.745668e-05,3.738791e-05,3.735556e-05,3.725455e-05,3.712147e-05,3.698881e-05,3.685669e-05,3.672524e-05,3.659455e-05,3.646472e-05,3.633583e-05,3.620797e-05,3.608120e-05,3.595559e-05,3.583120e-05,3.570807e-05,3.558626e-05,3.546580e-05,3.534674e-05,3.522910e-05,3.511292e-05,3.499820e-05,3.488499e-05,3.477329e-05,3.466313e-05,3.455450e-05,3.444742e-05,3.434190e-05
0.000000e+00,5.469592e-09,1.261122e-08,4.367493e-08,9.967048e-08,1.455746e-07,3.309826e-07,3.409691e-07,6.601888e-07,7.760887e-07,1.135381e-06,1.509255e-06,1.799732e-06,2.602392e-06,2.681320e-06,3.790590e-06,4.089522e-06,5.112866e-06,5.935148e-06,6.617485e-06,8.066334e-06,8.271752e-06,1.004678e-05,1.041402e-05,1.191748e-05,1.292048e-05,1.386127e-05,1.553526e-05,1.585733e-05,1.788635e-05,1.821284e-05,1.993056e-05,2.091240e-05,2.197393e-05,2.359840e-05,2.400224e-05,2.600322e-05,2.624099e-05,2.796651e-05,2.881616e-05,2.988361e-05,3.130545e-05,3.174769e-05,3.355342e-05,3.369523e-05,3.529689e-05,3.597620e-05,3.697537e-05,3.814261e-05,3.858710e-05,4.013115e-05,4.019150e-05,4.160731e-05,4.212215e-05,4.301589e-05,4.393550e-05,4.435766e-05,4.563375e-05,4.684553e-05,4.721998e-05,4.799462e-05,4.869794e-05,4.908277e-05,5.007177e-05,5.011182e-05,5.108373e-05,5.134589e-05,5.200045e-05,5.252484e-05,5.286400e-05,5.361322e-05,5.367637e-05,5.443956e-05,5.461562e-05,5.515552e-05,5.553656e-05,5.582621e-05,5.638046e-05,5.645351e-05,5.703928e-05,5.715161e-05,5.758534e-05,5.785418e-05,5.809343e-05,5.849214e-05,5.856527e-05,5.900251e-05,5.906936e-05,5.940674e-05,5.958951e-05,5.977952e-05,6.005610e-05,6.012233e-05,6.043662e-05,6.047248e-05,6.072376e-05,6.084185e-05,6.098509e-05,6.116723e-05,6.122189e-05,6.143540e-05,6.145151e-05,6.162680e-05,6.169742e-05,6.179721e-05,6.190754e-05,6.194774e-05,6.207943e-05,6.208432e-05,6.219327e-05,6.223007e-05,6.229023e-05,6.234699e-05,6.237123e-05,6.243714e-05,6.248880e-05,6.250245e-05,6.252701e-05,6.254477e-05,6.255255e-05,6.256583e-05,6.256615e-05,6.256851e-05,6.256725e-05,6.256029e-05,6.255056e-05,6.254214e-05,6.251720e-05,6.251467e-05,6.247845e-05,6.246852e-05,6.243405e-05,6.240580e-05,6.238198e-05,6.233022e-05,6.232275e-05,6.225685e-05,6.224291e-05,6.218472e-05,6.214490e-05,6.210680e-05,6.203718e-05,6.202351e-05,6.193523e-05,6.192067e-05,6.184235e-05,6.179623e-05,6.174520e-05,6.166466e-05,6.164415e-05,6.153949e-05,6.152670e-05,6.143154e-05,6.138307e-05,6.132059e-05,6.123442e-05,6.120690e-05,6.109075e-05,6.108135e-05,6.097236e-05,6.092444e-05,6.085199e-05,6.076421e-05,6.072984e-05,6.060613e-05,6.060116e-05,6.048106e-05,6.043573e-05,6.035480e-05,6.026837e-05,6.022755e-05,6.009945e-05,5.992936e-05,5.975841e-05,5.958694e-05,5.941521e-05,5.924351e-05,5.907208e-05,5.890114e-05,5.873089e-05,5.856154e-05,5.839325e-05,5.822617e-05,5.806046e-05,5.789624e-05,5.773364e-05,5.757275e-05,5.741368e-05,5.725651e-05,5.710131e-05,5.694815e-05,5.679710e-05,5.664820e-05,5.650149e-05,5.635702e-05,5.621482e-05
0.000000e+00,3.580117e-09,8.195010e-09,2.819506e-08,6.423792e-08,9.383208e-08,2.139165e-07,2.204103e-07,4.293397e-07,5.058305e-07,7.450462e-07,9.973519e-07,1.195864e-06,1.756995e-06,1.813270e-06,2.627758e-06,2.855224e-06,3.660007e-06,4.334306e-06,4.910276e-06,6.172727e-06,6.355198e-06,7.956674e-06,8.292157e-06,9.674667e-06,1.060233e-05,1.147469e-05,1.302982e-05,1.332927e-05,1.521679e-05,1.552064e-05,1.711987e-05,1.803457e-05,1.902414e-05,2.054016e-05,2.091741e-05,2.278924e-05,2.301198e-05,2.463067e-05,2.542926e-05,2.643407e-05,2.777523e-05,2.819303e-05,2.990232e-05,3.003679e-05,3.155775e-05,3.220409e-05,3.315611e-05,3.427023e-05,3.469504e-05,3.617298e-05,3.623081e-05,3.758903e-05,3.808358e-05,3.894288e-05,3.982805e-05,4.023471e-05,4.146511e-05,4.263499e-05,4.299675e-05,4.374553e-05,4.442578e-05,4.479814e-05,4.575558e-05,4.579437e-05,4.673591e-05,4.698997e-05,4.762451e-05,4.813301e-05,4.846199e-05,4.918893e-05,4.925022e-05,4.999105e-05,5.016200e-05,5.068634e-05,5.105650e-05,5.133793e-05,5.187664e-05,5.194765e-05,5.251727e-05,5.262654e-05,5.304854e-05,5.331020e-05,5.354314e-05,5.393149e-05,5.400273e-05,5.442891e-05,5.449410e-05,5.482322e-05,5.500161e-05,5.518715e-05,5.545739e-05,5.552214e-05,5.582957e-05,5.586468e-05,5.611079e-05,5.622655e-05,5.636706e-05,5.654591e-05,5.659963e-05,5.680967e-05,5.682553e-05,5.699831e-05,5.706802e-05,5.716664e-05,5.727585e-05,5.731571e-05,5.744650e-05,5.745137e-05,5.755998e-05,5.759676e-05,5.765704e-05,5.771412e-05,5.773858e-05,5.780541e-05,5.785833e-05,5.787246e-05,5.789812e-05,5.791702e-05,5.792549e-05,5.794072e-05,5.794113e-05,5.794572e-05,5.794511e-05,5.793988e-05,5.793163e-05,5.792422e-05,5.790164e-05,5.789932e-05,5.786571e-05,5.785641e-05,5.782393e-05,5.779715e-05,5.777448e-05,5.772498e-05,5.771782e-05,5.765441e-05,5.764096e-05,5.758469e-05,5.754608e-05,5.750906e-05,5.744126e-05,5.742792e-05,5.734163e-05,5.732737e-05,5.725056e-05,5.720524e-05,5.715503e-05,5.707562e-05,5.705537e-05,5.695188e-05,5.693922e-05,5.684486e-05,5.679672e-05,5.673457e-05,5.664874e-05,5.662129e-05,5.650525e-05,5.649586e-05,5.638670e-05,5.633862e-05,5.626585e-05,5.617755e-05,5.614293e-05,5.601813e-05,5.601310e-05,5.589165e-05,5.584573e-05,5.576366e-05,5.567585e-05,5.563433e-05,5.550384e-05,5.533007e-05,5.515486e-05,5.497852e-05,5.480135e-05,5.462361e-05,5.444554e-05,5.426738e-05,5.408935e-05,5.391163e-05,5.373440e-05,5.355784e-05,5.338210e-05,5.320733e-05,5.303364e-05,5.286116e-05,5.269000e-05,5.252026e-05,5.235202e-05,5.218538e-05,5.202040e-05,5.185715e-05,5.169569e-05,5.153607e-05,5.137835e-05
0.000000e+00,8.809336e-11,3.213456e-10,2.115481e-09,7.126549e-09,1.228818e-08,3.871486e-08,4.031757e-08,9.737642e-08,1.200942e-07,1.946704e-07,2.767811e-07,3.427396e-07,5.321036e-07,5.512146e-07,8.287368e-07,9.064774e-07,1.182794e-06,1.416772e-06,1.619246e-06,2.074170e-06,2.141372e-06,2.748598e-06,2.879866e-06,3.435476e-06,3.820879e-06,4.191714e-06,4.870459e-06,5.003426e-06,5.855022e-06,5.993926e-06,6.730946e-06,7.155751e-06,7.616839e-06,8.324189e-06,8.500084e-06,9.369952e-06,9.472995e-06,1.021752e-05,1.058146e-05,1.103553e-05,1.163382e-05,1.181817e-05,1.256096e-05,1.261856e-05,1.326058e-05,1.352780e-05,1.391476e-05,1.435683e-05,1.452214e-05,1.508217e-05,1.510358e-05,1.559500e-05,1.576819e-05,1.606136e-05,1.635253e-05,1.648245e-05,1.685985e-05,1.719543e-05,1.729433e-05,1.749129e-05,1.766082e-05,1.774965e-05,1.796454e-05,1.797282e-05,1.816315e-05,1.821087e-05,1.832295e-05,1.840514e-05,1.845452e-05,1.855254e-05,1.856008e-05,1.864176e-05,1.865804e-05,1.870160e-05,1.872629e-05,1.874151e-05,1.876160e-05,1.876331e-05,1.876869e-05,1.876793e-05,1.875922e-05,1.874891e-05,1.873636e-05,1.870780e-05,1.870146e-05,1.865576e-05,1.864753e-05,1.860042e-05,1.857074e-05,1.853648e-05,1.847978e-05,1.846490e-05,1.838656e-05,1.837674e-05,1.830226e-05,1.826348e-05,1.821274e-05,1.814162e-05,1.811866e-05,1.802062e-05,1.801263e-05,1.791919e-05,1.787777e-05,1.781485e-05,1.773818e-05,1.770806e-05,1.759924e-05,1.759485e-05,1.748874e-05,1.744863e-05,1.737693e-05,1.730029e-05,1.726408e-05,1.715050e-05,1.703641e-05,1.699983e-05,1.692204e-05,1.684880e-05,1.680761e-05,1.669785e-05,1.669328e-05,1.657922e-05,1.654735e-05,1.646558e-05,1.639765e-05,1.635248e-05,1.624903e-05,1.624006e-05,1.612840e-05,1.610173e-05,1.601761e-05,1.595597e-05,1.590776e-05,1.581193e-05,1.579893e-05,1.569119e-05,1.566977e-05,1.558458e-05,1.552961e-05,1.547916e-05,1.539156e-05,1.537497e-05,1.527205e-05,1.525570e-05,1.517043e-05,1.512212e-05,1.507013e-05,1.499086e-05,1.497118e-05,1.487359e-05,1.486197e-05,1.477738e-05,1.473549e-05,1.468256e-05,1.461143e-05,1.458913e-05,1.449711e-05,1.448981e-05,1.440649e-05,1.437064e-05,1.431727e-05,1.425391e-05,1.422946e-05,1.414304e-05,1.413961e-05,1.405801e-05,1.402774e-05,1.397437e-05,1.391828e-05,1.389210e-05,1.381120e-05,1.370649e-05,1.360411e-05,1.350404e-05,1.340624e-05,1.331067e-05,1.321731e-05,1.312612e-05,1.303705e-05,1.295008e-05,1.286516e-05,1.278224e-05,1.270130e-05,1.262229e-05,1.254518e-05,1.246991e-05,1.239645e-05,1.232477e-05,1.225481e-05,1.218655e-05,1.211994e-05,1.205495e-05,1.199153e-05,1.192966e-05,1.186929e-05
0.000000e+00,3.932231e-10,1.330308e-09,7.645419e-09,2.329222e-08,3.835669e-08,1.105255e-07,1.147864e-07,2.649264e-07,3.249864e-07,5.262998e-07,7.567051e-07,9.483689e-07,1.524830e-06,1.584632e-06,2.468265e-06,2.717208e-06,3.592656e-06,4.314742e-06,4.922528e-06,6.230958e-06,6.418017e-06,8.047382e-06,8.387205e-06,9.788074e-06,1.073163e-05,1.162370e-05,1.322929e-05,1.354107e-05,1.552829e-05,1.585195e-05,1.757375e-05,1.857282e-05,1.966571e-05,2.136473e-05,2.179222e-05,2.394127e-05,2.420010e-05,2.610102e-05,2.705175e-05,2.826006e-05,2.989375e-05,3.040753e-05,3.253340e-05,3.270226e-05,3.462854e-05,3.545613e-05,3.668481e-05,3.813723e-05,3.869511e-05,4.065340e-05,4.073058e-05,4.255462e-05,4.322428e-05,4.439468e-05,4.560932e-05,4.617038e-05,4.787932e-05,4.951982e-05,5.003014e-05,5.109085e-05,5.205961e-05,5.259193e-05,5.396716e-05,5.402307e-05,5.538468e-05,5.575357e-05,5.667752e-05,5.742064e-05,5.790263e-05,5.897100e-05,5.906128e-05,6.015493e-05,6.040791e-05,6.118519e-05,6.173509e-05,6.215378e-05,6.295655e-05,6.306250e-05,6.391321e-05,6.407656e-05,6.470782e-05,6.509948e-05,6.544824e-05,6.602973e-05,6.613641e-05,6.677424e-05,6.687174e-05,6.736363e-05,6.762989e-05,6.790648e-05,6.830849e-05,6.840463e-05,6.885990e-05,6.891174e-05,6.927408e-05,6.944375e-05,6.964890e-05,6.990849e-05,6.998606e-05,7.028720e-05,7.030978e-05,7.055392e-05,7.065133e-05,7.078778e-05,7.093666e-05,7.099029e-05,7.116289e-05,7.116919e-05,7.130700e-05,7.135217e-05,7.142398e-05,7.148871e-05,7.151515e-05,7.158178e-05,7.162508e-05,7.163420e-05,7.164624e-05,7.164868e-05,7.164639e-05,7.162778e-05,7.162662e-05,7.158799e-05,7.157393e-05,7.153151e-05,7.148946e-05,7.145814e-05,7.137654e-05,7.136883e-05,7.126447e-05,7.123727e-05,7.114591e-05,7.107362e-05,7.101398e-05,7.088746e-05,7.086948e-05,7.071316e-05,7.068054e-05,7.054575e-05,7.045454e-05,7.036794e-05,7.021104e-05,7.018040e-05,6.998378e-05,6.995152e-05,6.977867e-05,6.967738e-05,6.956567e-05,6.938996e-05,6.934533e-05,6.911818e-05,6.909049e-05,6.888474e-05,6.878016e-05,6.864549e-05,6.846006e-05,6.840090e-05,6.815140e-05,6.813124e-05,6.789742e-05,6.779467e-05,6.763937e-05,6.745126e-05,6.737762e-05,6.711255e-05,6.710188e-05,6.684450e-05,6.674733e-05,6.657380e-05,6.638837e-05,6.630076e-05,6.602569e-05,6.565997e-05,6.529182e-05,6.492180e-05,6.455047e-05,6.417831e-05,6.380580e-05,6.343337e-05,6.306141e-05,6.269030e-05,6.232038e-05,6.195197e-05,6.158536e-05,6.122083e-05,6.085861e-05,6.049894e-05,6.014203e-05,5.978806e-05,5.943721e-05,5.908963e-05,5.874546e-05,5.840484e-05,5.806787e-05,5.773466e-05,5.740529e-05
0.000000e+00,1.146609e-10,4.199895e-10,2.790246e-09,9.485654e-09,1.644398e-08,5.260749e-08,5.482219e-08,1.347904e-07,1.671311e-07,2.749033e-07,3.960077e-07,4.949058e-07,7.857137e-07,8.155693e-07,1.257697e-06,1.383974e-06,1.838942e-06,2.229327e-06,2.569257e-06,3.335487e-06,3.448681e-06,4.469184e-06,4.689155e-06,5.618254e-06,6.261895e-06,6.881727e-06,8.020942e-06,8.245243e-06,9.694694e-06,9.933654e-06,1.121626e-05,1.196823e-05,1.279636e-05,1.409359e-05,1.442163e-05,1.607904e-05,1.627949e-05,1.775603e-05,1.849701e-05,1.944069e-05,2.071930e-05,2.112194e-05,2.278966e-05,2.292222e-05,2.443482e-05,2.508474e-05,2.604948e-05,2.718930e-05,2.762686e-05,2.916129e-05,2.922171e-05,3.064815e-05,3.117105e-05,3.208383e-05,3.302941e-05,3.346558e-05,3.479147e-05,3.606030e-05,3.645416e-05,3.727145e-05,3.801624e-05,3.842482e-05,3.947801e-05,3.952075e-05,4.055997e-05,4.084091e-05,4.154345e-05,4.210729e-05,4.247243e-05,4.328017e-05,4.334833e-05,4.417268e-05,4.436304e-05,4.494714e-05,4.535968e-05,4.567342e-05,4.627408e-05,4.635327e-05,4.698848e-05,4.711033e-05,4.758084e-05,4.787251e-05,4.813210e-05,4.856469e-05,4.864403e-05,4.911834e-05,4.919085e-05,4.955671e-05,4.975485e-05,4.996079e-05,5.026044e-05,5.033217e-05,5.067240e-05,5.071120e-05,5.098296e-05,5.111058e-05,5.126529e-05,5.146184e-05,5.152079e-05,5.175079e-05,5.176812e-05,5.195657e-05,5.203238e-05,5.213936e-05,5.225741e-05,5.230035e-05,5.244068e-05,5.244587e-05,5.256141e-05,5.260028e-05,5.266359e-05,5.272298e-05,5.274821e-05,5.281622e-05,5.286853e-05,5.288209e-05,5.290599e-05,5.292256e-05,5.292944e-05,5.293950e-05,5.293967e-05,5.293742e-05,5.293465e-05,5.292341e-05,5.290965e-05,5.289833e-05,5.286603e-05,5.286282e-05,5.281751e-05,5.280525e-05,5.276299e-05,5.272865e-05,5.269982e-05,5.263751e-05,5.262854e-05,5.254965e-05,5.253301e-05,5.246365e-05,5.241626e-05,5.237098e-05,5.228832e-05,5.227210e-05,5.216742e-05,5.215016e-05,5.205734e-05,5.200269e-05,5.194223e-05,5.184676e-05,5.182245e-05,5.169834e-05,5.168317e-05,5.157023e-05,5.151268e-05,5.143843e-05,5.133596e-05,5.130322e-05,5.116488e-05,5.115369e-05,5.102368e-05,5.096645e-05,5.087986e-05,5.077483e-05,5.073366e-05,5.058531e-05,5.057934e-05,5.043502e-05,5.038047e-05,5.028298e-05,5.017870e-05,5.012939e-05,4.997444e-05,4.976809e-05,4.956002e-05,4.935057e-05,4.914007e-05,4.892880e-05,4.871705e-05,4.850506e-05,4.829307e-05,4.808131e-05,4.786997e-05,4.765924e-05,4.744928e-05,4.724027e-05,4.703233e-05,4.682561e-05,4.662023e-05,4.641630e-05,4.621391e-05,4.601317e-05,4.581415e-05,4.561693e-05,4.542159e-05,4.522818e-05,4.503675e-05
0.000000e+00,2.789404e-09,6.565603e-09,2.322297e-08,5.360168e-08,7.874362e-08,1.822891e-07,1.879551e-07,3.736040e-07,4.430308e-07,6.638676e-07,9.000507e-07,1.085761e-06,1.597469e-06,1.647206e-06,2.329981e-06,2.508816e-06,3.106933e-06,3.574648e-06,3.956003e-06,4.750333e-06,4.861573e-06,5.811866e-06,6.006394e-06,6.796863e-06,7.319653e-06,7.807189e-06,8.668757e-06,8.833720e-06,9.867527e-06,1.003303e-05,1.089999e-05,1.139270e-05,1.192302e-05,1.272965e-05,1.292922e-05,1.391201e-05,1.402810e-05,1.486577e-05,1.527498e-05,1.578583e-05,1.646028e-05,1.666858e-05,1.751131e-05,1.757694e-05,1.831216e-05,1.862050e-05,1.907003e-05,1.958881e-05,1.978448e-05,2.045565e-05,2.048161e-05,2.108413e-05,2.130012e-05,2.167092e-05,2.204670e-05,2.221717e-05,2.272431e-05,2.319393e-05,2.333656e-05,2.362771e-05,2.388733e-05,2.402740e-05,2.438067e-05,2.439476e-05,2.473154e-05,2.482058e-05,2.503943e-05,2.521100e-05,2.532012e-05,2.555572e-05,2.557522e-05,2.580629e-05,2.585834e-05,2.601481e-05,2.612226e-05,2.620218e-05,2.635065e-05,2.636975e-05,2.651878e-05,2.654647e-05,2.665046e-05,2.671246e-05,2.676593e-05,2.685115e-05,2.686622e-05,2.695234e-05,2.696487e-05,2.702522e-05,2.705575e-05,2.708572e-05,2.712576e-05,2.713466e-05,2.717281e-05,2.717669e-05,2.720088e-05,2.721021e-05,2.721954e-05,2.722782e-05,2.722942e-05,2.723110e-05,2.723090e-05,2.722514e-05,2.722073e-05,2.721204e-05,2.719847e-05,2.719229e-05,2.716634e-05,2.716518e-05,2.713460e-05,2.712183e-05,2.709747e-05,2.706934e-05,2.705533e-05,2.700851e-05,2.695734e-05,2.694010e-05,2.690213e-05,2.686481e-05,2.684316e-05,2.678326e-05,2.678070e-05,2.671500e-05,2.669605e-05,2.664629e-05,2.660371e-05,2.657479e-05,2.650674e-05,2.650072e-05,2.642427e-05,2.640559e-05,2.634562e-05,2.630068e-05,2.626494e-05,2.619240e-05,2.618240e-05,2.609815e-05,2.608110e-05,2.601232e-05,2.596712e-05,2.592507e-05,2.585076e-05,2.583651e-05,2.574676e-05,2.573230e-05,2.565594e-05,2.561200e-05,2.556416e-05,2.549010e-05,2.547150e-05,2.537807e-05,2.536681e-05,2.528396e-05,2.524235e-05,2.518925e-05,2.511691e-05,2.509401e-05,2.499833e-05,2.499065e-05,2.490227e-05,2.486375e-05,2.480589e-05,2.473635e-05,2.470927e-05,2.461246e-05,2.460859e-05,2.451552e-05,2.448060e-05,2.441849e-05,2.435249e-05,2.432143e-05,2.422439e-05,2.409638e-05,2.396857e-05,2.384104e-05,2.371386e-05,2.358713e-05,2.346090e-05,2.333523e-05,2.321019e-05,2.308583e-05,2.296220e-05,2.283933e-05,2.271729e-05,2.259609e-05,2.247578e-05,2.235639e-05,2.223794e-05,2.212047e-05,2.200399e-05,2.188852e-05,2.177409e-05,2.166071e-05,2.154840e-05,2.143717e-05,2.132702e-05
0.000000e+00,4.530072e-10,1.600834e-09,9.956394e-09,3.222163e-08,5.463437e-08,1.680262e-07,1.749204e-07,4.257725e-07,5.291428e-07,8.832951e-07,1.297937e-06,1.647258e-06,2.708117e-06,2.818516e-06,4.449372e-06,4.908165e-06,6.519275e-06,7.846337e-06,8.962607e-06,1.136408e-05,1.170722e-05,1.469342e-05,1.531547e-05,1.787608e-05,1.959689e-05,2.122044e-05,2.413346e-05,2.469765e-05,2.828166e-05,2.886334e-05,3.194772e-05,3.372951e-05,3.567186e-05,3.867732e-05,3.943082e-05,4.320240e-05,4.365484e-05,4.696586e-05,4.861422e-05,5.070213e-05,5.351295e-05,5.439416e-05,5.802699e-05,5.831467e-05,6.158782e-05,6.298951e-05,6.506585e-05,6.751372e-05,6.845223e-05,7.173992e-05,7.186930e-05,7.492349e-05,7.604327e-05,7.799894e-05,8.002707e-05,8.096359e-05,8.381584e-05,8.655503e-05,8.740768e-05,8.918122e-05,9.080299e-05,9.169514e-05,9.400403e-05,9.409803e-05,9.639155e-05,9.701440e-05,9.857768e-05,9.983874e-05,1.006587e-04,1.024824e-04,1.026370e-04,1.045152e-04,1.049513e-04,1.062960e-04,1.072517e-04,1.079822e-04,1.093900e-04,1.095766e-04,1.110821e-04,1.113727e-04,1.125015e-04,1.132064e-04,1.138376e-04,1.148976e-04,1.150933e-04,1.162713e-04,1.164528e-04,1.173744e-04,1.178781e-04,1.184053e-04,1.191798e-04,1.193666e-04,1.202609e-04,1.203638e-04,1.210907e-04,1.214360e-04,1.218585e-04,1.224020e-04,1.225667e-04,1.232176e-04,1.232672e-04,1.238134e-04,1.240369e-04,1.243565e-04,1.247160e-04,1.248488e-04,1.252926e-04,1.253094e-04,1.256898e-04,1.258217e-04,1.260423e-04,1.262575e-04,1.263521e-04,1.266209e-04,1.268506e-04,1.269161e-04,1.270428e-04,1.271469e-04,1.271991e-04,1.273170e-04,1.273213e-04,1.274107e-04,1.274301e-04,1.274690e-04,1.274895e-04,1.274974e-04,1.274985e-04,1.274975e-04,1.274705e-04,1.274601e-04,1.274177e-04,1.273773e-04,1.273403e-04,1.272529e-04,1.272396e-04,1.271166e-04,1.270894e-04,1.269725e-04,1.268896e-04,1.268084e-04,1.266557e-04,1.266252e-04,1.264239e-04,1.263901e-04,1.262055e-04,1.260949e-04,1.259709e-04,1.257722e-04,1.257210e-04,1.254565e-04,1.254239e-04,1.251784e-04,1.250519e-04,1.248873e-04,1.246579e-04,1.245841e-04,1.242693e-04,1.242437e-04,1.239438e-04,1.238107e-04,1.236081e-04,1.233606e-04,1.232630e-04,1.229089e-04,1.228946e-04,1.225465e-04,1.224142e-04,1.221764e-04,1.219205e-04,1.217990e-04,1.214149e-04,1.208984e-04,1.203721e-04,1.198371e-04,1.192942e-04,1.187443e-04,1.181884e-04,1.176271e-04,1.170613e-04,1.164917e-04,1.159189e-04,1.153436e-04,1.147663e-04,1.141876e-04,1.136080e-04,1.130281e-04,1.124481e-04,1.118687e-04,1.112902e-04,1.107129e-04,1.101372e-04,1.095634e-04,1.089919e-04,1.084229e-04,1.078566e-04
0.000000e+00,1.147450e-09,2.856012e-09,1.073569e-08,2.547191e-08,3.775772e-08,8.822187e-08,9.096506e-08,1.794993e-07,2.119679e-07,3.134928e-07,4.204153e-07,5.043772e-07,7.408204e-07,7.644571e-07,1.104979e-06,1.199538e-06,1.532155e-06,1.808525e-06,2.042979e-06,2.552166e-06,2.625283e-06,3.262765e-06,3.395480e-06,3.940032e-06,4.303654e-06,4.644538e-06,5.250094e-06,5.366417e-06,6.097736e-06,6.215165e-06,6.831869e-06,7.183551e-06,7.563118e-06,8.142675e-06,8.286507e-06,8.997689e-06,9.082027e-06,9.692914e-06,9.992918e-06,1.036900e-05,1.086839e-05,1.102332e-05,1.165378e-05,1.170314e-05,1.225877e-05,1.249336e-05,1.283713e-05,1.323661e-05,1.338809e-05,1.391125e-05,1.393160e-05,1.440651e-05,1.457800e-05,1.487404e-05,1.517629e-05,1.531420e-05,1.572749e-05,1.611458e-05,1.623304e-05,1.647622e-05,1.669469e-05,1.681323e-05,1.711439e-05,1.712648e-05,1.741688e-05,1.749422e-05,1.768536e-05,1.783633e-05,1.793288e-05,1.814290e-05,1.816038e-05,1.836881e-05,1.841610e-05,1.855914e-05,1.865817e-05,1.873231e-05,1.887117e-05,1.888916e-05,1.903053e-05,1.905702e-05,1.915723e-05,1.921759e-05,1.927006e-05,1.935466e-05,1.936976e-05,1.945704e-05,1.946989e-05,1.953259e-05,1.956489e-05,1.959708e-05,1.964113e-05,1.965114e-05,1.969537e-05,1.970004e-05,1.973033e-05,1.974292e-05,1.975657e-05,1.977100e-05,1.977461e-05,1.978494e-05,1.978545e-05,1.978803e-05,1.978734e-05,1.978432e-05,1.977769e-05,1.977425e-05,1.975820e-05,1.975744e-05,1.973656e-05,1.972747e-05,1.970969e-05,1.968861e-05,1.967794e-05,1.964163e-05,1.960106e-05,1.958723e-05,1.955653e-05,1.952609e-05,1.950832e-05,1.945881e-05,1.945669e-05,1.940187e-05,1.938599e-05,1.934412e-05,1.930815e-05,1.928365e-05,1.922579e-05,1.922066e-05,1.915536e-05,1.913937e-05,1.908794e-05,1.904932e-05,1.901857e-05,1.895604e-05,1.894741e-05,1.887463e-05,1.885990e-05,1.880038e-05,1.876123e-05,1.872480e-05,1.866037e-05,1.864801e-05,1.857014e-05,1.855759e-05,1.849132e-05,1.845318e-05,1.841166e-05,1.834738e-05,1.833125e-05,1.825019e-05,1.824043e-05,1.816859e-05,1.813254e-05,1.808653e-05,1.802390e-05,1.800409e-05,1.792134e-05,1.791471e-05,1.783836e-05,1.780513e-05,1.775523e-05,1.769531e-05,1.767200e-05,1.758873e-05,1.758540e-05,1.750548e-05,1.747552e-05,1.742230e-05,1.736581e-05,1.733925e-05,1.725637e-05,1.714730e-05,1.703869e-05,1.693063e-05,1.682319e-05,1.671644e-05,1.661045e-05,1.650528e-05,1.640098e-05,1.629758e-05,1.619514e-05,1.609369e-05,1.599327e-05,1.589390e-05,1.579562e-05,1.569843e-05,1.560237e-05,1.550744e-05,1.541367e-05,1.532105e-05,1.522962e-05,1.513936e-05,1.505028e-05,1.496240e-05,1.487570e-05
0.000000e+00,1.875698e-09,7.313489e-09,5.512824e-08,2.094383e-07,3.852753e-07,1.428822e-06,1.497689e-06,4.227491e-06,5.434234e-06,9.758519e-06,1.504681e-05,1.962889e-05,3.416212e-05,3.572993e-05,6.028580e-05,6.770945e-05,9.577937e-05,1.214012e-04,1.448050e-04,2.011512e-04,2.098879e-04,2.933332e-04,3.124072e-04,3.971333e-04,4.597111e-04,5.229230e-04,6.465149e-04,6.719654e-04,8.451523e-04,8.751431e-04,1.043013e-03,1.146815e-03,1.265725e-03,1.461691e-03,1.513128e-03,1.784740e-03,1.818926e-03,2.079774e-03,2.216743e-03,2.397162e-03,2.652519e-03,2.735577e-03,3.093467e-03,3.122888e-03,3.469079e-03,3.623863e-03,3.860502e-03,4.150975e-03,4.265695e-03,4.682527e-03,4.699411e-03,5.108812e-03,5.264164e-03,5.542343e-03,5.840162e-03,5.980926e-03,6.422407e-03,6.864701e-03,7.006078e-03,7.305812e-03,7.586627e-03,7.743856e-03,8.159858e-03,8.177073e-03,8.603841e-03,8.721975e-03,9.022681e-03,9.269622e-03,9.432266e-03,9.799897e-03,9.831420e-03,1.021912e-02,1.031036e-02,1.059448e-02,1.079902e-02,1.095678e-02,1.126431e-02,1.130541e-02,1.163991e-02,1.170508e-02,1.195993e-02,1.212054e-02,1.226524e-02,1.251023e-02,1.255570e-02,1.283129e-02,1.287400e-02,1.309204e-02,1.321197e-02,1.333808e-02,1.352444e-02,1.356960e-02,1.378683e-02,1.381195e-02,1.399008e-02,1.407516e-02,1.417967e-02,1.431486e-02,1.435599e-02,1.451942e-02,1.453195e-02,1.467039e-02,1.472739e-02,1.480934e-02,1.490219e-02,1.493671e-02,1.505297e-02,1.505739e-02,1.515857e-02,1.519407e-02,1.525398e-02,1.531328e-02,1.533967e-02,1.541607e-02,1.548366e-02,1.550349e-02,1.554286e-02,1.557654e-02,1.559410e-02,1.563621e-02,1.563781e-02,1.567440e-02,1.568342e-02,1.570426e-02,1.571910e-02,1.572777e-02,1.574410e-02,1.574529e-02,1.575719e-02,1.575924e-02,1.576379e-02,1.576530e-02,1.576543e-02,1.576301e-02,1.576242e-02,1.575504e-02,1.575307e-02,1.574360e-02,1.573612e-02,1.572834e-02,1.571277e-02,1.570954e-02,1.568743e-02,1.568360e-02,1.566224e-02,1.564912e-02,1.563419e-02,1.560984e-02,1.560350e-02,1.557035e-02,1.556622e-02,1.553494e-02,1.551868e-02,1.549743e-02,1.546763e-02,1.545800e-02,1.541680e-02,1.541343e-02,1.537397e-02,1.535642e-02,1.532967e-02,1.529692e-02,1.528401e-02,1.523712e-02,1.523522e-02,1.518911e-02,1.517158e-02,1.514011e-02,1.510626e-02,1.509020e-02,1.503949e-02,1.497147e-02,1.490239e-02,1.483244e-02,1.476178e-02,1.469056e-02,1.461892e-02,1.454697e-02,1.447485e-02,1.440264e-02,1.433045e-02,1.425837e-02,1.418647e-02,1.411483e-02,1.404351e-02,1.397258e-02,1.390208e-02,1.383207e-02,1.376258e-02,1.369367e-02,1.362536e-02,1.355769e-02,1.349069e-02,1.342437e-02,1.335877e-02
0.000000e+00,3.458914e-09,7.919738e-09,2.718014e-08,6.165809e-08,8.978852e-08,2.026200e-07,2.086687e-07,4.008553e-07,4.701678e-07,6.838579e-07,9.048353e-07,1.075924e-06,1.548057e-06,1.594548e-06,2.251727e-06,2.430405e-06,3.047953e-06,3.550670e-06,3.971922e-06,4.877407e-06,5.006901e-06,6.136296e-06,6.372175e-06,7.345333e-06,8.001054e-06,8.620716e-06,9.734166e-06,9.949965e-06,1.132101e-05,1.154347e-05,1.272206e-05,1.340183e-05,1.414161e-05,1.528315e-05,1.556865e-05,1.699275e-05,1.716299e-05,1.840433e-05,1.901918e-05,1.979467e-05,2.083235e-05,2.115608e-05,2.248195e-05,2.258631e-05,2.376670e-05,2.426803e-05,2.500579e-05,2.586764e-05,2.619569e-05,2.733373e-05,2.737814e-05,2.841809e-05,2.879508e-05,2.944765e-05,3.011619e-05,3.042195e-05,3.134103e-05,3.220541e-05,3.247060e-05,3.301598e-05,3.350703e-05,3.377391e-05,3.445332e-05,3.448063e-05,3.513774e-05,3.531308e-05,3.574698e-05,3.609031e-05,3.631019e-05,3.678930e-05,3.682924e-05,3.730608e-05,3.741445e-05,3.774261e-05,3.797019e-05,3.814077e-05,3.846089e-05,3.850242e-05,3.882944e-05,3.889084e-05,3.912360e-05,3.926418e-05,3.938668e-05,3.958487e-05,3.962035e-05,3.982624e-05,3.985671e-05,4.000592e-05,4.008329e-05,4.016088e-05,4.026801e-05,4.029255e-05,4.040231e-05,4.041408e-05,4.049147e-05,4.052449e-05,4.056126e-05,4.060209e-05,4.061288e-05,4.064744e-05,4.064950e-05,4.066602e-05,4.066920e-05,4.066962e-05,4.066349e-05,4.065921e-05,4.063571e-05,4.063451e-05,4.059997e-05,4.058427e-05,4.055281e-05,4.051462e-05,4.049501e-05,4.042729e-05,4.035035e-05,4.032389e-05,4.026485e-05,4.020591e-05,4.017139e-05,4.007474e-05,4.007057e-05,3.996293e-05,3.993165e-05,3.984900e-05,3.977783e-05,3.972927e-05,3.961439e-05,3.960419e-05,3.947421e-05,3.944233e-05,3.933974e-05,3.926262e-05,3.920116e-05,3.907611e-05,3.905885e-05,3.891314e-05,3.888362e-05,3.876436e-05,3.868589e-05,3.861282e-05,3.848360e-05,3.845881e-05,3.830258e-05,3.827740e-05,3.814441e-05,3.806786e-05,3.798452e-05,3.785553e-05,3.782315e-05,3.766050e-05,3.764090e-05,3.749677e-05,3.742444e-05,3.733215e-05,3.720655e-05,3.716681e-05,3.700092e-05,3.698763e-05,3.683462e-05,3.676803e-05,3.666808e-05,3.654808e-05,3.650140e-05,3.633473e-05,3.632807e-05,3.616819e-05,3.610828e-05,3.600187e-05,3.588896e-05,3.583589e-05,3.567033e-05,3.545261e-05,3.523598e-05,3.502061e-05,3.480666e-05,3.459427e-05,3.438356e-05,3.417465e-05,3.396765e-05,3.376263e-05,3.355969e-05,3.335890e-05,3.316031e-05,3.296399e-05,3.276997e-05,3.257831e-05,3.238904e-05,3.220218e-05,3.201775e-05,3.183578e-05,3.165629e-05,3.147927e-05,3.130474e-05,3.113269e-05,3.096313e-05
0.000000e+00,8.077841e-10,2.257013e-09,9.707278e-09,2.460023e-08,3.736583e-08,9.090774e-08,9.384078e-08,1.886717e-07,2.233678e-07,3.311725e-07,4.434059e-07,5.305801e-07,7.718243e-07,7.956207e-07,1.132884e-06,1.224933e-06,1.544639e-06,1.807029e-06,2.028567e-06,2.510264e-06,2.579776e-06,3.192619e-06,3.322077e-06,3.861319e-06,4.229165e-06,4.579966e-06,5.217740e-06,5.342414e-06,6.142272e-06,6.273283e-06,6.972963e-06,7.380694e-06,7.827841e-06,8.524738e-06,8.700337e-06,9.584094e-06,9.690612e-06,1.047309e-05,1.086446e-05,1.136174e-05,1.203375e-05,1.224498e-05,1.311829e-05,1.318761e-05,1.397773e-05,1.431683e-05,1.481987e-05,1.541388e-05,1.564186e-05,1.644136e-05,1.647285e-05,1.721649e-05,1.748928e-05,1.796580e-05,1.846004e-05,1.868824e-05,1.938309e-05,2.004990e-05,2.025733e-05,2.068852e-05,2.108245e-05,2.129898e-05,2.185872e-05,2.188149e-05,2.243644e-05,2.258695e-05,2.296431e-05,2.326828e-05,2.346570e-05,2.390415e-05,2.394126e-05,2.439173e-05,2.449619e-05,2.481785e-05,2.504615e-05,2.522044e-05,2.555588e-05,2.560030e-05,2.595825e-05,2.602729e-05,2.629514e-05,2.646227e-05,2.661179e-05,2.686272e-05,2.690901e-05,2.718761e-05,2.723051e-05,2.744839e-05,2.756746e-05,2.769212e-05,2.787534e-05,2.791956e-05,2.813145e-05,2.815587e-05,2.832850e-05,2.841068e-05,2.851140e-05,2.864136e-05,2.868083e-05,2.883743e-05,2.884942e-05,2.898181e-05,2.903629e-05,2.911460e-05,2.920335e-05,2.923636e-05,2.934765e-05,2.935189e-05,2.944901e-05,2.948316e-05,2.954094e-05,2.959833e-05,2.962395e-05,2.969850e-05,2.976504e-05,2.978471e-05,2.982401e-05,2.985797e-05,2.987582e-05,2.991919e-05,2.992087e-05,2.995954e-05,2.996927e-05,2.999218e-05,3.000902e-05,3.001915e-05,3.003923e-05,3.004077e-05,3.005737e-05,3.006063e-05,3.006923e-05,3.007391e-05,3.007665e-05,3.007972e-05,3.007990e-05,3.007923e-05,3.007865e-05,3.007491e-05,3.007129e-05,3.006716e-05,3.005816e-05,3.005621e-05,3.004227e-05,3.003977e-05,3.002554e-05,3.001658e-05,3.000622e-05,2.998903e-05,2.998450e-05,2.996055e-05,2.995753e-05,2.993452e-05,2.992246e-05,2.990659e-05,2.988417e-05,2.987689e-05,2.984558e-05,2.984301e-05,2.981278e-05,2.979928e-05,2.977863e-05,2.975326e-05,2.974323e-05,2.970672e-05,2.970523e-05,2.966918e-05,2.965544e-05,2.963074e-05,2.960412e-05,2.959148e-05,2.955149e-05,2.949773e-05,2.944305e-05,2.938761e-05,2.933157e-05,2.927507e-05,2.921825e-05,2.916124e-05,2.910414e-05,2.904706e-05,2.899010e-05,2.893335e-05,2.887688e-05,2.882077e-05,2.876509e-05,2.870989e-05,2.865523e-05,2.860115e-05,2.854770e-05,2.849493e-05,2.844285e-05,2.839151e-05,2.834093e-05,2.829113e-05,2.824213e-05
0.000000e+00,1.016927e-09,2.321021e-09,7.941535e-09,1.802565e-08,2.629581e-08,5.995016e-08,6.177745e-08,1.210553e-07,1.429721e-07,2.118977e-07,2.843551e-07,3.405009e-07,4.925030e-07,5.071407e-07,7.074250e-07,7.599575e-07,9.367130e-07,1.076464e-06,1.191574e-06,1.434918e-06,1.469390e-06,1.767817e-06,1.829768e-06,2.084461e-06,2.255469e-06,2.416746e-06,2.705917e-06,2.761881e-06,3.116902e-06,3.174418e-06,3.478731e-06,3.653916e-06,3.844270e-06,4.137333e-06,4.210490e-06,4.574506e-06,4.617910e-06,4.933642e-06,5.089484e-06,5.285485e-06,5.546692e-06,5.627915e-06,5.959125e-06,5.985090e-06,6.277626e-06,6.401193e-06,6.582236e-06,6.792446e-06,6.872070e-06,7.146509e-06,7.157161e-06,7.405182e-06,7.494407e-06,7.647927e-06,7.803902e-06,7.874770e-06,8.085891e-06,8.281598e-06,8.341033e-06,8.462300e-06,8.570299e-06,8.628488e-06,8.774883e-06,8.780712e-06,8.919563e-06,8.956129e-06,9.045661e-06,9.115463e-06,9.159642e-06,9.254353e-06,9.262146e-06,9.353809e-06,9.374265e-06,9.435258e-06,9.476637e-06,9.507105e-06,9.562858e-06,9.569942e-06,9.624341e-06,9.634257e-06,9.670850e-06,9.692091e-06,9.709992e-06,9.737542e-06,9.742263e-06,9.768136e-06,9.771712e-06,9.788056e-06,9.795628e-06,9.802445e-06,9.810240e-06,9.811699e-06,9.816191e-06,9.816427e-06,9.816271e-06,9.814995e-06,9.812270e-06,9.806689e-06,9.804495e-06,9.793233e-06,9.792190e-06,9.778757e-06,9.772123e-06,9.761317e-06,9.747060e-06,9.741151e-06,9.718478e-06,9.717522e-06,9.693505e-06,9.683989e-06,9.666424e-06,9.646896e-06,9.637414e-06,9.606642e-06,9.574266e-06,9.563590e-06,9.540429e-06,9.518071e-06,9.505269e-06,9.470387e-06,9.468911e-06,9.431474e-06,9.420814e-06,9.393068e-06,9.369602e-06,9.353794e-06,9.316979e-06,9.313749e-06,9.273021e-06,9.263154e-06,9.231693e-06,9.208316e-06,9.189841e-06,9.152636e-06,9.147538e-06,9.104851e-06,9.096272e-06,9.061840e-06,9.039367e-06,9.018565e-06,8.982049e-06,8.975079e-06,8.931431e-06,8.924435e-06,8.887668e-06,8.866633e-06,8.843833e-06,8.808740e-06,8.799965e-06,8.756103e-06,8.750841e-06,8.712279e-06,8.693017e-06,8.668526e-06,8.635340e-06,8.624874e-06,8.581349e-06,8.577873e-06,8.537977e-06,8.520676e-06,8.494781e-06,8.463801e-06,8.451782e-06,8.409000e-06,8.407294e-06,8.366454e-06,8.351198e-06,8.324160e-06,8.295551e-06,8.282132e-06,8.240387e-06,8.185734e-06,8.131621e-06,8.078070e-06,8.025101e-06,7.972732e-06,7.920980e-06,7.869856e-06,7.819372e-06,7.769537e-06,7.720359e-06,7.671844e-06,7.623997e-06,7.576820e-06,7.530316e-06,7.484485e-06,7.439329e-06,7.394845e-06,7.351033e-06,7.307890e-06,7.265413e-06,7.223597e-06,7.182440e-06,7.141935e-06,7.102079e-06
0.000000e+00,1.213892e-11,4.569948e-11,3.202987e-10,1.138722e-09,2.019805e-09,6.818044e-09,7.119388e-09,1.830838e-08,2.294778e-08,3.868165e-08,5.668141e-08,7.153680e-08,1.156938e-07,1.202549e-07,1.882035e-07,2.077321e-07,2.785335e-07,3.398757e-07,3.937659e-07,5.168977e-07,5.352783e-07,7.030064e-07,7.395932e-07,8.955288e-07,1.004662e-06,1.110420e-06,1.306019e-06,1.344665e-06,1.594991e-06,1.636314e-06,1.858096e-06,1.987979e-06,2.130776e-06,2.353762e-06,2.409987e-06,2.692870e-06,2.726935e-06,2.976768e-06,3.101364e-06,3.259227e-06,3.471553e-06,3.538016e-06,3.811126e-06,3.832675e-06,4.076792e-06,4.180624e-06,4.333492e-06,4.512042e-06,4.579958e-06,4.815174e-06,4.824337e-06,5.038367e-06,5.115663e-06,5.248999e-06,5.384882e-06,5.446749e-06,5.631491e-06,5.803276e-06,5.855540e-06,5.962303e-06,6.057529e-06,6.108894e-06,6.238317e-06,6.243475e-06,6.366547e-06,6.399020e-06,6.478670e-06,6.540936e-06,6.580442e-06,6.665465e-06,6.672485e-06,6.755428e-06,6.774050e-06,6.829897e-06,6.868128e-06,6.896507e-06,6.949097e-06,6.955854e-06,7.008507e-06,7.018283e-06,7.055008e-06,7.076928e-06,7.095867e-06,7.126179e-06,7.131562e-06,7.162537e-06,7.167083e-06,7.189204e-06,7.200587e-06,7.211944e-06,7.227542e-06,7.231104e-06,7.247003e-06,7.248706e-06,7.259932e-06,7.264749e-06,7.270156e-06,7.276266e-06,7.277916e-06,7.283431e-06,7.283781e-06,7.286900e-06,7.287755e-06,7.288503e-06,7.288595e-06,7.288405e-06,7.286753e-06,7.286657e-06,7.283682e-06,7.282252e-06,7.279312e-06,7.275657e-06,7.273756e-06,7.267114e-06,7.259480e-06,7.256841e-06,7.250936e-06,7.245027e-06,7.241560e-06,7.231841e-06,7.231422e-06,7.220585e-06,7.217434e-06,7.209110e-06,7.201940e-06,7.197049e-06,7.185480e-06,7.184454e-06,7.171371e-06,7.168163e-06,7.157841e-06,7.150084e-06,7.143905e-06,7.131333e-06,7.129598e-06,7.114955e-06,7.111989e-06,7.100008e-06,7.092124e-06,7.084785e-06,7.071804e-06,7.069313e-06,7.053620e-06,7.051090e-06,7.037727e-06,7.030034e-06,7.021658e-06,7.008690e-06,7.005433e-06,6.989073e-06,6.987102e-06,6.972595e-06,6.965312e-06,6.956016e-06,6.943359e-06,6.939353e-06,6.922621e-06,6.921280e-06,6.905834e-06,6.899106e-06,6.889004e-06,6.876869e-06,6.872146e-06,6.855270e-06,6.854595e-06,6.838388e-06,6.832311e-06,6.821510e-06,6.810041e-06,6.804646e-06,6.787806e-06,6.765626e-06,6.743520e-06,6.721506e-06,6.699598e-06,6.677811e-06,6.656159e-06,6.634653e-06,6.613305e-06,6.592125e-06,6.571122e-06,6.550305e-06,6.529681e-06,6.509257e-06,6.489040e-06,6.469035e-06,6.449247e-06,6.429680e-06,6.410340e-06,6.391228e-06,6.372348e-06,6.353703e-06,6.335294e-06,6.317124e-06,6.299194e-06
0.000000e+00,4.325229e-11,1.661841e-10,1.215010e-09,4.489433e-09,8.134067e-09,2.901719e-08,3.036835e-08,8.257239e-08,1.050974e-07,1.842113e-07,2.787461e-07,3.593512e-07,6.098520e-07,6.365227e-07,1.047967e-06,1.170436e-06,1.627077e-06,2.036114e-06,2.403978e-06,3.269467e-06,3.401311e-06,4.632244e-06,4.906958e-06,6.100746e-06,6.957284e-06,7.803134e-06,9.407068e-06,9.729907e-06,1.186738e-05,1.222786e-05,1.419896e-05,1.538165e-05,1.670600e-05,1.882454e-05,1.936847e-05,2.216531e-05,2.250894e-05,2.507480e-05,2.638497e-05,2.807480e-05,3.040159e-05,3.114298e-05,3.425709e-05,3.450755e-05,3.739523e-05,3.865241e-05,4.053607e-05,4.278762e-05,4.365915e-05,4.674509e-05,4.686750e-05,4.977588e-05,5.085022e-05,5.273497e-05,5.469856e-05,5.560752e-05,5.838041e-05,6.104234e-05,6.186914e-05,6.358389e-05,6.514370e-05,6.599741e-05,6.818850e-05,6.827706e-05,7.041862e-05,7.099312e-05,7.241947e-05,7.355187e-05,7.427839e-05,7.586331e-05,7.599548e-05,7.757202e-05,7.792971e-05,7.901027e-05,7.975644e-05,8.031340e-05,8.135146e-05,8.148531e-05,8.253049e-05,8.272474e-05,8.345391e-05,8.388773e-05,8.426091e-05,8.485292e-05,8.495710e-05,8.554823e-05,8.563346e-05,8.604020e-05,8.624284e-05,8.643888e-05,8.669459e-05,8.675012e-05,8.697969e-05,8.700202e-05,8.713324e-05,8.717813e-05,8.721623e-05,8.723538e-05,8.723396e-05,8.719150e-05,8.718565e-05,8.709370e-05,8.704013e-05,8.694519e-05,8.680934e-05,8.675036e-05,8.651335e-05,8.650305e-05,8.623808e-05,8.613032e-05,8.592821e-05,8.569951e-05,8.558719e-05,8.521825e-05,8.482438e-05,8.469353e-05,8.440837e-05,8.413171e-05,8.397282e-05,8.353856e-05,8.352015e-05,8.305257e-05,8.291926e-05,8.257215e-05,8.227853e-05,8.208078e-05,8.162057e-05,8.158022e-05,8.107207e-05,8.094915e-05,8.055780e-05,8.026765e-05,8.003877e-05,7.957907e-05,7.951622e-05,7.899127e-05,7.888609e-05,7.846496e-05,7.819106e-05,7.793823e-05,7.749607e-05,7.741192e-05,7.688682e-05,7.680296e-05,7.636361e-05,7.611334e-05,7.584294e-05,7.542860e-05,7.532536e-05,7.481140e-05,7.474999e-05,7.430151e-05,7.407856e-05,7.379610e-05,7.341521e-05,7.329553e-05,7.280013e-05,7.276073e-05,7.231018e-05,7.211578e-05,7.182592e-05,7.148090e-05,7.134757e-05,7.087532e-05,7.085656e-05,7.040932e-05,7.024312e-05,6.994971e-05,6.964088e-05,6.949660e-05,6.905008e-05,6.847088e-05,6.790340e-05,6.734771e-05,6.680385e-05,6.627181e-05,6.575154e-05,6.524300e-05,6.474608e-05,6.426067e-05,6.378665e-05,6.332388e-05,6.287220e-05,6.243143e-05,6.200140e-05,6.158193e-05,6.117282e-05,6.077388e-05,6.038490e-05,6.000569e-05,5.963603e-05,5.927572e-05,5.892455e-05,5.858231e-05,5.824881e-05
0.000000e+00,3.829017e-11,1.446338e-10,1.023240e-09,3.683961e-09,6.594419e-09,2.301138e-08,2.406912e-08,6.514352e-08,8.308662e-08,1.473592e-07,2.265724e-07,2.958737e-07,5.182708e-07,5.423568e-07,9.166640e-07,1.027739e-06,1.435378e-06,1.789253e-06,2.097692e-06,2.788417e-06,2.889648e-06,3.790749e-06,3.982122e-06,4.779051e-06,5.320506e-06,5.833982e-06,6.758295e-06,6.937440e-06,8.073897e-06,8.257878e-06,9.230102e-06,9.788690e-06,1.039467e-05,1.132566e-05,1.155772e-05,1.271063e-05,1.284792e-05,1.384584e-05,1.433801e-05,1.495682e-05,1.578147e-05,1.603796e-05,1.708454e-05,1.716666e-05,1.809275e-05,1.848460e-05,1.905960e-05,1.972885e-05,1.998288e-05,2.086109e-05,2.089527e-05,2.169341e-05,2.198173e-05,2.247955e-05,2.298785e-05,2.321974e-05,2.391462e-05,2.456514e-05,2.476414e-05,2.517256e-05,2.553934e-05,2.573831e-05,2.624371e-05,2.626399e-05,2.675128e-05,2.688109e-05,2.720196e-05,2.745553e-05,2.761780e-05,2.797114e-05,2.800059e-05,2.835211e-05,2.843201e-05,2.867409e-05,2.884212e-05,2.896821e-05,2.920529e-05,2.923610e-05,2.947933e-05,2.952515e-05,2.969939e-05,2.980514e-05,2.989770e-05,3.004847e-05,3.007562e-05,3.023442e-05,3.025814e-05,3.037533e-05,3.043695e-05,3.049948e-05,3.058746e-05,3.060795e-05,3.070175e-05,3.071206e-05,3.078183e-05,3.081296e-05,3.084910e-05,3.089217e-05,3.090439e-05,3.094849e-05,3.095156e-05,3.098214e-05,3.099283e-05,3.100603e-05,3.101756e-05,3.102082e-05,3.102711e-05,3.102719e-05,3.102547e-05,3.102305e-05,3.101645e-05,3.100634e-05,3.100053e-05,3.097820e-05,3.094989e-05,3.093964e-05,3.091602e-05,3.089160e-05,3.087697e-05,3.083495e-05,3.083310e-05,3.078477e-05,3.077048e-05,3.073228e-05,3.069892e-05,3.067594e-05,3.062095e-05,3.061603e-05,3.055281e-05,3.053718e-05,3.048654e-05,3.044817e-05,3.041743e-05,3.035446e-05,3.034572e-05,3.027161e-05,3.025652e-05,3.019529e-05,3.015479e-05,3.011694e-05,3.004968e-05,3.003673e-05,2.995482e-05,2.994157e-05,2.987136e-05,2.983080e-05,2.978650e-05,2.971769e-05,2.970036e-05,2.961308e-05,2.960253e-05,2.952476e-05,2.948561e-05,2.943553e-05,2.936716e-05,2.934548e-05,2.925471e-05,2.924742e-05,2.916331e-05,2.912660e-05,2.907138e-05,2.900490e-05,2.897899e-05,2.888621e-05,2.888250e-05,2.879313e-05,2.875956e-05,2.869981e-05,2.863625e-05,2.860631e-05,2.851270e-05,2.838904e-05,2.826540e-05,2.814190e-05,2.801862e-05,2.789567e-05,2.777314e-05,2.765110e-05,2.752963e-05,2.740879e-05,2.728866e-05,2.716928e-05,2.705071e-05,2.693299e-05,2.681618e-05,2.670030e-05,2.658540e-05,2.647150e-05,2.635864e-05,2.624685e-05,2.613614e-05,2.602654e-05,2.591806e-05,2.581073e-05,2.570455e-05
0.000000e+00,5.885378e-11,2.132301e-10,1.385708e-09,4.620190e-09,7.926456e-09,2.470390e-08,2.571707e-08,6.166720e-08,7.595385e-08,1.228705e-07,1.746558e-07,2.163958e-07,3.370440e-07,3.492895e-07,5.284954e-07,5.791274e-07,7.603672e-07,9.150546e-07,1.049505e-06,1.352372e-06,1.397102e-06,1.799776e-06,1.886305e-06,2.249871e-06,2.499297e-06,2.737107e-06,3.167041e-06,3.250506e-06,3.779793e-06,3.865336e-06,4.316046e-06,4.573682e-06,4.851822e-06,5.275971e-06,5.381038e-06,5.898770e-06,5.959930e-06,6.401070e-06,6.616362e-06,6.884818e-06,7.238558e-06,7.347614e-06,7.787689e-06,7.821874e-06,8.203835e-06,8.363418e-06,8.595338e-06,8.861785e-06,8.961912e-06,9.303638e-06,9.316794e-06,9.620900e-06,9.729242e-06,9.914332e-06,1.010067e-05,1.018476e-05,1.043314e-05,1.066055e-05,1.072907e-05,1.086812e-05,1.099109e-05,1.105701e-05,1.122186e-05,1.122839e-05,1.138343e-05,1.142407e-05,1.152325e-05,1.160029e-05,1.164894e-05,1.175300e-05,1.176155e-05,1.186206e-05,1.188449e-05,1.195141e-05,1.199689e-05,1.203046e-05,1.209217e-05,1.210004e-05,1.216090e-05,1.217209e-05,1.221375e-05,1.223829e-05,1.225924e-05,1.229220e-05,1.229796e-05,1.233047e-05,1.233513e-05,1.235729e-05,1.236827e-05,1.237887e-05,1.239265e-05,1.239565e-05,1.240802e-05,1.240922e-05,1.241634e-05,1.241881e-05,1.242096e-05,1.242217e-05,1.242217e-05,1.242026e-05,1.241998e-05,1.241547e-05,1.241281e-05,1.240806e-05,1.240122e-05,1.239824e-05,1.238620e-05,1.238568e-05,1.237214e-05,1.236661e-05,1.235621e-05,1.234441e-05,1.233859e-05,1.231941e-05,1.229881e-05,1.229193e-05,1.227690e-05,1.226225e-05,1.225381e-05,1.223062e-05,1.222964e-05,1.220448e-05,1.219727e-05,1.217843e-05,1.216240e-05,1.215156e-05,1.212620e-05,1.212397e-05,1.209571e-05,1.208884e-05,1.206687e-05,1.205047e-05,1.203749e-05,1.201124e-05,1.200763e-05,1.197736e-05,1.197126e-05,1.194672e-05,1.193066e-05,1.191576e-05,1.188953e-05,1.188452e-05,1.185304e-05,1.184798e-05,1.182136e-05,1.180609e-05,1.178951e-05,1.176394e-05,1.175754e-05,1.172546e-05,1.172160e-05,1.169331e-05,1.167915e-05,1.166111e-05,1.163663e-05,1.162890e-05,1.159668e-05,1.159411e-05,1.156450e-05,1.155163e-05,1.153235e-05,1.150925e-05,1.150028e-05,1.146828e-05,1.146700e-05,1.143638e-05,1.142493e-05,1.140460e-05,1.138306e-05,1.137295e-05,1.134144e-05,1.130008e-05,1.125903e-05,1.121829e-05,1.117789e-05,1.113786e-05,1.109820e-05,1.105894e-05,1.102010e-05,1.098167e-05,1.094368e-05,1.090613e-05,1.086903e-05,1.083240e-05,1.079623e-05,1.076053e-05,1.072531e-05,1.069057e-05,1.065632e-05,1.062255e-05,1.058927e-05,1.055648e-05,1.052418e-05,1.049237e-05,1.046104e-05
0.000000e+00,3.117697e-10,1.074420e-09,6.367306e-09,1.977240e-08,3.278467e-08,9.499573e-08,9.864274e-08,2.246898e-07,2.737906e-07,4.335991e-07,6.092532e-07,7.510181e-07,1.163134e-06,1.205154e-06,1.821984e-06,1.996186e-06,2.615657e-06,3.136418e-06,3.581709e-06,4.559155e-06,4.700684e-06,5.947565e-06,6.210139e-06,7.298572e-06,8.035362e-06,8.733376e-06,9.990706e-06,1.023476e-05,1.178765e-05,1.203996e-05,1.337831e-05,1.415145e-05,1.499395e-05,1.629636e-05,1.662258e-05,1.825300e-05,1.844827e-05,1.987491e-05,2.058343e-05,2.147901e-05,2.268110e-05,2.305705e-05,2.460188e-05,2.472385e-05,2.610747e-05,2.669756e-05,2.756884e-05,2.859138e-05,2.898203e-05,3.034401e-05,3.039739e-05,3.165259e-05,3.211031e-05,3.290632e-05,3.372708e-05,3.410438e-05,3.524652e-05,3.633293e-05,3.666890e-05,3.736420e-05,3.799567e-05,3.834122e-05,3.922917e-05,3.926512e-05,4.013724e-05,4.037235e-05,4.095905e-05,4.142865e-05,4.173214e-05,4.240176e-05,4.245815e-05,4.313879e-05,4.329559e-05,4.377579e-05,4.411408e-05,4.437086e-05,4.486122e-05,4.492574e-05,4.544213e-05,4.554093e-05,4.592168e-05,4.615705e-05,4.636605e-05,4.671330e-05,4.677684e-05,4.715557e-05,4.721330e-05,4.750377e-05,4.766048e-05,4.782287e-05,4.805816e-05,4.811429e-05,4.837937e-05,4.840947e-05,4.861941e-05,4.871741e-05,4.883565e-05,4.898482e-05,4.902930e-05,4.920150e-05,4.921438e-05,4.935335e-05,4.940864e-05,4.948592e-05,4.956998e-05,4.960020e-05,4.969715e-05,4.970069e-05,4.977772e-05,4.980287e-05,4.984276e-05,4.987855e-05,4.989312e-05,4.992961e-05,4.995300e-05,4.995783e-05,4.996400e-05,4.996487e-05,4.996333e-05,4.995231e-05,4.995164e-05,4.992956e-05,4.992160e-05,4.989771e-05,4.987414e-05,4.985665e-05,4.981122e-05,4.980694e-05,4.974909e-05,4.973405e-05,4.968360e-05,4.964376e-05,4.961094e-05,4.954143e-05,4.953157e-05,4.944591e-05,4.942805e-05,4.935436e-05,4.930456e-05,4.925732e-05,4.917183e-05,4.915516e-05,4.904821e-05,4.903068e-05,4.893683e-05,4.888188e-05,4.882131e-05,4.872613e-05,4.870197e-05,4.857908e-05,4.856411e-05,4.845292e-05,4.839644e-05,4.832375e-05,4.822371e-05,4.819180e-05,4.805732e-05,4.804646e-05,4.792052e-05,4.786520e-05,4.778162e-05,4.768041e-05,4.764080e-05,4.749825e-05,4.749252e-05,4.735416e-05,4.730195e-05,4.720870e-05,4.710908e-05,4.706202e-05,4.691427e-05,4.671786e-05,4.652015e-05,4.632143e-05,4.612197e-05,4.592203e-05,4.572182e-05,4.552156e-05,4.532145e-05,4.512168e-05,4.492241e-05,4.472380e-05,4.452599e-05,4.432912e-05,4.413332e-05,4.393869e-05,4.374533e-05,4.355334e-05,4.336281e-05,4.317382e-05,4.298643e-05,4.280072e-05,4.261673e-05,4.243452e-05,4.225414e-05
0.000000e+00,5.617724e-09,1.287412e-08,4.436766e-08,1.011581e-07,1.477667e-07,3.364390e-07,3.466177e-07,6.727132e-07,7.914393e-07,1.160620e-06,1.546780e-06,1.848429e-06,2.690986e-06,2.774650e-06,3.968089e-06,4.295592e-06,5.435829e-06,6.372682e-06,7.163233e-06,8.878579e-06,9.125617e-06,1.129777e-05,1.175532e-05,1.365687e-05,1.495049e-05,1.618201e-05,1.841680e-05,1.885319e-05,2.165064e-05,2.210862e-05,2.455446e-05,2.598022e-05,2.754472e-05,2.998585e-05,3.060163e-05,3.370580e-05,3.408058e-05,3.683860e-05,3.822153e-05,3.998244e-05,4.236903e-05,4.312096e-05,4.623924e-05,4.648742e-05,4.932388e-05,5.054560e-05,5.236302e-05,5.451720e-05,5.534639e-05,5.826520e-05,5.838050e-05,6.111210e-05,6.211818e-05,6.388107e-05,6.571696e-05,6.656731e-05,6.916710e-05,7.167772e-05,7.246196e-05,7.409729e-05,7.559748e-05,7.642467e-05,7.857178e-05,7.865939e-05,8.080151e-05,8.138478e-05,8.285159e-05,8.403782e-05,8.481054e-05,8.653337e-05,8.667963e-05,8.846039e-05,8.887482e-05,9.015456e-05,9.106619e-05,9.176407e-05,9.311203e-05,9.329097e-05,9.473742e-05,9.501725e-05,9.610566e-05,9.678700e-05,9.739799e-05,9.842657e-05,9.861672e-05,9.976420e-05,9.994135e-05,1.008428e-04,1.013367e-04,1.018548e-04,1.026181e-04,1.028026e-04,1.036884e-04,1.037907e-04,1.045146e-04,1.048598e-04,1.052833e-04,1.058304e-04,1.059967e-04,1.066570e-04,1.067076e-04,1.072663e-04,1.074962e-04,1.078267e-04,1.082009e-04,1.083400e-04,1.088083e-04,1.088261e-04,1.092335e-04,1.093763e-04,1.096173e-04,1.098557e-04,1.099617e-04,1.102682e-04,1.105386e-04,1.106178e-04,1.107746e-04,1.109083e-04,1.109777e-04,1.111431e-04,1.111493e-04,1.112911e-04,1.113256e-04,1.114044e-04,1.114593e-04,1.114906e-04,1.115471e-04,1.115510e-04,1.115870e-04,1.115921e-04,1.115996e-04,1.115970e-04,1.115903e-04,1.115647e-04,1.115600e-04,1.115099e-04,1.114976e-04,1.114411e-04,1.113983e-04,1.113546e-04,1.112690e-04,1.112514e-04,1.111324e-04,1.111120e-04,1.109986e-04,1.109293e-04,1.108507e-04,1.107230e-04,1.106898e-04,1.105165e-04,1.104949e-04,1.103316e-04,1.102469e-04,1.101360e-04,1.099805e-04,1.099303e-04,1.097151e-04,1.096975e-04,1.094912e-04,1.093994e-04,1.092592e-04,1.090875e-04,1.090197e-04,1.087732e-04,1.087632e-04,1.085203e-04,1.084278e-04,1.082616e-04,1.080825e-04,1.079975e-04,1.077284e-04,1.073666e-04,1.069981e-04,1.066238e-04,1.062446e-04,1.058613e-04,1.054747e-04,1.050855e-04,1.046945e-04,1.043021e-04,1.039090e-04,1.035158e-04,1.031230e-04,1.027310e-04,1.023403e-04,1.019513e-04,1.015643e-04,1.011798e-04,1.007980e-04,1.004191e-04,1.000436e-04,9.967158e-05,9.930332e-05,9.893901e-05,9.857883e-05
0.000000e+00,1.207232e-09,3.871603e-09,2.028894e-08,5.775738e-08,9.205220e-08,2.458442e-07,2.545712e-07,5.470268e-07,6.578506e-07,1.011342e-06,1.389823e-06,1.688242e-06,2.520599e-06,2.602633e-06,3.755162e-06,4.065883e-06,5.133230e-06,5.998113e-06,6.722615e-06,8.285491e-06,8.509985e-06,1.048150e-05,1.089656e-05,1.262146e-05,1.379490e-05,1.491175e-05,1.693688e-05,1.733195e-05,1.985987e-05,2.027278e-05,2.247222e-05,2.374918e-05,2.514536e-05,2.731198e-05,2.785603e-05,3.058199e-05,3.090913e-05,3.330246e-05,3.449279e-05,3.599857e-05,3.802094e-05,3.865359e-05,4.125306e-05,4.145823e-05,4.378475e-05,4.477612e-05,4.623861e-05,4.795265e-05,4.860667e-05,5.088280e-05,5.097187e-05,5.306257e-05,5.382308e-05,5.514302e-05,5.650010e-05,5.712249e-05,5.900039e-05,6.077705e-05,6.132436e-05,6.245355e-05,6.347470e-05,6.403157e-05,6.545584e-05,6.551329e-05,6.690122e-05,6.727342e-05,6.819821e-05,6.893399e-05,6.940726e-05,7.044465e-05,7.053155e-05,7.157431e-05,7.181281e-05,7.253884e-05,7.304603e-05,7.342843e-05,7.415189e-05,7.424637e-05,7.499588e-05,7.513785e-05,7.568014e-05,7.601120e-05,7.630224e-05,7.677899e-05,7.686521e-05,7.737197e-05,7.744803e-05,7.782535e-05,7.802482e-05,7.822809e-05,7.851558e-05,7.858280e-05,7.889204e-05,7.892620e-05,7.915821e-05,7.926229e-05,7.938366e-05,7.952915e-05,7.957062e-05,7.972123e-05,7.973177e-05,7.983752e-05,7.987487e-05,7.992145e-05,7.996289e-05,7.997488e-05,7.999959e-05,8.000001e-05,7.999728e-05,7.999015e-05,7.996956e-05,7.993698e-05,7.991797e-05,7.984397e-05,7.974896e-05,7.971434e-05,7.963427e-05,7.955112e-05,7.950115e-05,7.935714e-05,7.935081e-05,7.918438e-05,7.913505e-05,7.900295e-05,7.888731e-05,7.880754e-05,7.861625e-05,7.859912e-05,7.837863e-05,7.832401e-05,7.814693e-05,7.801261e-05,7.790487e-05,7.768391e-05,7.765323e-05,7.739275e-05,7.733966e-05,7.712415e-05,7.698149e-05,7.684809e-05,7.661091e-05,7.656521e-05,7.627612e-05,7.622932e-05,7.598137e-05,7.583804e-05,7.568150e-05,7.543827e-05,7.537703e-05,7.506843e-05,7.503114e-05,7.475616e-05,7.461771e-05,7.444064e-05,7.419893e-05,7.412229e-05,7.380147e-05,7.377571e-05,7.347856e-05,7.334888e-05,7.315388e-05,7.291920e-05,7.282776e-05,7.250050e-05,7.248739e-05,7.217239e-05,7.205411e-05,7.184368e-05,7.161995e-05,7.151463e-05,7.118548e-05,7.075121e-05,7.031762e-05,6.988513e-05,6.945414e-05,6.902502e-05,6.859809e-05,6.817367e-05,6.775203e-05,6.733342e-05,6.691806e-05,6.650616e-05,6.609790e-05,6.569346e-05,6.529297e-05,6.489657e-05,6.450437e-05,6.411648e-05,6.373298e-05,6.335395e-05,6.297945e-05,6.260955e-05,6.224428e-05,6.188369e-05,6.152779e-05
0.000000e+00,2.018948e-09,4.929991e-09,1.806684e-08,4.232061e-08,6.252143e-08,1.466438e-07,1.512878e-07,3.055257e-07,3.640664e-07,5.519631e-07,7.531667e-07,9.098756e-07,1.330683e-06,1.370696e-06,1.906448e-06,2.043256e-06,2.492848e-06,2.837671e-06,3.115502e-06,3.687142e-06,3.766606e-06,4.441463e-06,4.578960e-06,5.136438e-06,5.504596e-06,5.847938e-06,6.455474e-06,6.571987e-06,7.304144e-06,7.421720e-06,8.039535e-06,8.392167e-06,8.773018e-06,9.354913e-06,9.499360e-06,1.021340e-05,1.029802e-05,1.091025e-05,1.121026e-05,1.158548e-05,1.208178e-05,1.223519e-05,1.285605e-05,1.290438e-05,1.344537e-05,1.367180e-05,1.400114e-05,1.437971e-05,1.452196e-05,1.500703e-05,1.502568e-05,1.545608e-05,1.560895e-05,1.586933e-05,1.613021e-05,1.624743e-05,1.659140e-05,1.690243e-05,1.699522e-05,1.718190e-05,1.734495e-05,1.743144e-05,1.764440e-05,1.765273e-05,1.784752e-05,1.789755e-05,1.801757e-05,1.810846e-05,1.816463e-05,1.828109e-05,1.829041e-05,1.839654e-05,1.841927e-05,1.848462e-05,1.852661e-05,1.855612e-05,1.860643e-05,1.861243e-05,1.865487e-05,1.866180e-05,1.868465e-05,1.869552e-05,1.870291e-05,1.871009e-05,1.871066e-05,1.870888e-05,1.870776e-05,1.869842e-05,1.869056e-05,1.868009e-05,1.866026e-05,1.865462e-05,1.862267e-05,1.861843e-05,1.858484e-05,1.856648e-05,1.854168e-05,1.850563e-05,1.849369e-05,1.844133e-05,1.843696e-05,1.838499e-05,1.836144e-05,1.832507e-05,1.827990e-05,1.826190e-05,1.819579e-05,1.819309e-05,1.812702e-05,1.810166e-05,1.805586e-05,1.800622e-05,1.798253e-05,1.790726e-05,1.783024e-05,1.780526e-05,1.775166e-05,1.770062e-05,1.767168e-05,1.759372e-05,1.759045e-05,1.750812e-05,1.748488e-05,1.742481e-05,1.737440e-05,1.734064e-05,1.726255e-05,1.725573e-05,1.717018e-05,1.714957e-05,1.708409e-05,1.703567e-05,1.699753e-05,1.692105e-05,1.691060e-05,1.682337e-05,1.680590e-05,1.673591e-05,1.669036e-05,1.664829e-05,1.657460e-05,1.656056e-05,1.647278e-05,1.645874e-05,1.638502e-05,1.634291e-05,1.629731e-05,1.622721e-05,1.620970e-05,1.612224e-05,1.611175e-05,1.603496e-05,1.599663e-05,1.594791e-05,1.588192e-05,1.586111e-05,1.577460e-05,1.576770e-05,1.568842e-05,1.565404e-05,1.560258e-05,1.554100e-05,1.551711e-05,1.543204e-05,1.542865e-05,1.534740e-05,1.531703e-05,1.526319e-05,1.520619e-05,1.517945e-05,1.509618e-05,1.498703e-05,1.487878e-05,1.477146e-05,1.466509e-05,1.455970e-05,1.445532e-05,1.435196e-05,1.424964e-05,1.414837e-05,1.404817e-05,1.394905e-05,1.385101e-05,1.375406e-05,1.365821e-05,1.356346e-05,1.346981e-05,1.337727e-05,1.328584e-05,1.319551e-05,1.310628e-05,1.301815e-05,1.293111e-05,1.284517e-05,1.276032e-05
0.000000e+00,3.789711e-10,1.188610e-09,6.008863e-09,1.668955e-08,2.629472e-08,6.836684e-08,7.071859e-08,1.479440e-07,1.765375e-07,2.658681e-07,3.591990e-07,4.317448e-07,6.324805e-07,6.522848e-07,9.337020e-07,1.010944e-06,1.281666e-06,1.507470e-06,1.701100e-06,2.132340e-06,2.195754e-06,2.767526e-06,2.891125e-06,3.415691e-06,3.781782e-06,4.136431e-06,4.793114e-06,4.923062e-06,5.766936e-06,5.906637e-06,6.658560e-06,7.100707e-06,7.588472e-06,8.353915e-06,8.547696e-06,9.527917e-06,9.646585e-06,1.052149e-05,1.096107e-05,1.152141e-05,1.228161e-05,1.252124e-05,1.351514e-05,1.359423e-05,1.449779e-05,1.488662e-05,1.546444e-05,1.614814e-05,1.641088e-05,1.733344e-05,1.736980e-05,1.822898e-05,1.854423e-05,1.909485e-05,1.966559e-05,1.992892e-05,2.072948e-05,2.149527e-05,2.173283e-05,2.222541e-05,2.267372e-05,2.291935e-05,2.355127e-05,2.357688e-05,2.419803e-05,2.436546e-05,2.478309e-05,2.511699e-05,2.533253e-05,2.580713e-05,2.584702e-05,2.632733e-05,2.643762e-05,2.677437e-05,2.701056e-05,2.718915e-05,2.752829e-05,2.757271e-05,2.792617e-05,2.799335e-05,2.825068e-05,2.840837e-05,2.854740e-05,2.877604e-05,2.881752e-05,2.906221e-05,2.909908e-05,2.928263e-05,2.938016e-05,2.947995e-05,2.962192e-05,2.965528e-05,2.980973e-05,2.982692e-05,2.994439e-05,2.999764e-05,3.006030e-05,3.013646e-05,3.015846e-05,3.023985e-05,3.024567e-05,3.030543e-05,3.032743e-05,3.035608e-05,3.038380e-05,3.039268e-05,3.041606e-05,3.041673e-05,3.042702e-05,3.042808e-05,3.042633e-05,3.041956e-05,3.041470e-05,3.039283e-05,3.036139e-05,3.034941e-05,3.032100e-05,3.029074e-05,3.027227e-05,3.021817e-05,3.021577e-05,3.015203e-05,3.013296e-05,3.008157e-05,3.003628e-05,3.000489e-05,2.992923e-05,2.992243e-05,2.983465e-05,2.981284e-05,2.974196e-05,2.968806e-05,2.964475e-05,2.955576e-05,2.954339e-05,2.943825e-05,2.941679e-05,2.932964e-05,2.927190e-05,2.921788e-05,2.912180e-05,2.910328e-05,2.898611e-05,2.896714e-05,2.886664e-05,2.880855e-05,2.874512e-05,2.864658e-05,2.862178e-05,2.849684e-05,2.848175e-05,2.837052e-05,2.831455e-05,2.824300e-05,2.814541e-05,2.811448e-05,2.798513e-05,2.797475e-05,2.785510e-05,2.780294e-05,2.772456e-05,2.763033e-05,2.759364e-05,2.746248e-05,2.745723e-05,2.733121e-05,2.728395e-05,2.719994e-05,2.711073e-05,2.706878e-05,2.693783e-05,2.676547e-05,2.659385e-05,2.642316e-05,2.625355e-05,2.608519e-05,2.591820e-05,2.575272e-05,2.558883e-05,2.542666e-05,2.526627e-05,2.510775e-05,2.495116e-05,2.479657e-05,2.464402e-05,2.449355e-05,2.434520e-05,2.419900e-05,2.405497e-05,2.391314e-05,2.377351e-05,2.363609e-05,2.350089e-05,2.336791e-05,2.323715e-05
0.000000e+00,2.163591e-09,4.948706e-09,1.699331e-08,3.862565e-08,5.632957e-08,1.277165e-07,1.315581e-07,2.542687e-07,2.988028e-07,4.369175e-07,5.809359e-07,6.932263e-07,1.006589e-06,1.037725e-06,1.483382e-06,1.606344e-06,2.036973e-06,2.393350e-06,2.695325e-06,3.352266e-06,3.446895e-06,4.277096e-06,4.451329e-06,5.172197e-06,5.659325e-06,6.120453e-06,6.950670e-06,7.111804e-06,8.137318e-06,8.304015e-06,9.188778e-06,9.700407e-06,1.025845e-05,1.112235e-05,1.133899e-05,1.242350e-05,1.255359e-05,1.350548e-05,1.397920e-05,1.457899e-05,1.538584e-05,1.563862e-05,1.667959e-05,1.676193e-05,1.769771e-05,1.809774e-05,1.868943e-05,1.938545e-05,1.965180e-05,2.058244e-05,2.061898e-05,2.147950e-05,2.179394e-05,2.234160e-05,2.290736e-05,2.316780e-05,2.395757e-05,2.471068e-05,2.494394e-05,2.542721e-05,2.586673e-05,2.610747e-05,2.672685e-05,2.675195e-05,2.736134e-05,2.752579e-05,2.793644e-05,2.826541e-05,2.847815e-05,2.894788e-05,2.898745e-05,2.946538e-05,2.957554e-05,2.991302e-05,3.015087e-05,3.033146e-05,3.067643e-05,3.072183e-05,3.108523e-05,3.115477e-05,3.142278e-05,3.158845e-05,3.173557e-05,3.197996e-05,3.202467e-05,3.229115e-05,3.233175e-05,3.253602e-05,3.264618e-05,3.276029e-05,3.292553e-05,3.296493e-05,3.315088e-05,3.317198e-05,3.331903e-05,3.338761e-05,3.347027e-05,3.357442e-05,3.360544e-05,3.372535e-05,3.373430e-05,3.383077e-05,3.386905e-05,3.392245e-05,3.398035e-05,3.400110e-05,3.406742e-05,3.406983e-05,3.412206e-05,3.413899e-05,3.416564e-05,3.418927e-05,3.419877e-05,3.422203e-05,3.423595e-05,3.423853e-05,3.424107e-05,3.423996e-05,3.423789e-05,3.422747e-05,3.422688e-05,3.420850e-05,3.420209e-05,3.418318e-05,3.416484e-05,3.415135e-05,3.411663e-05,3.411338e-05,3.406966e-05,3.405836e-05,3.402055e-05,3.399083e-05,3.396639e-05,3.391481e-05,3.390751e-05,3.384420e-05,3.383104e-05,3.377677e-05,3.374017e-05,3.370550e-05,3.364286e-05,3.363065e-05,3.355248e-05,3.353968e-05,3.347122e-05,3.343119e-05,3.338711e-05,3.331791e-05,3.330036e-05,3.321118e-05,3.320032e-05,3.311976e-05,3.307887e-05,3.302629e-05,3.295399e-05,3.293094e-05,3.283389e-05,3.282606e-05,3.273529e-05,3.269545e-05,3.263530e-05,3.256251e-05,3.253404e-05,3.243167e-05,3.242756e-05,3.232831e-05,3.229088e-05,3.222408e-05,3.215276e-05,3.211909e-05,3.201345e-05,3.187319e-05,3.173220e-05,3.159070e-05,3.144885e-05,3.130686e-05,3.116486e-05,3.102303e-05,3.088150e-05,3.074039e-05,3.059982e-05,3.045990e-05,3.032074e-05,3.018243e-05,3.004504e-05,2.990865e-05,2.977334e-05,2.963917e-05,2.950619e-05,2.937446e-05,2.924403e-05,2.911492e-05,2.898719e-05,2.886087e-05,2.873598e-05
0.000000e+00,3.995535e-11,1.493950e-10,1.032276e-09,3.623094e-09,6.382257e-09,2.118279e-08,2.210467e-08,5.602500e-08,6.998180e-08,1.170970e-07,1.708157e-07,2.151208e-07,3.470438e-07,3.607018e-07,5.649381e-07,6.238702e-07,8.380400e-07,1.023728e-06,1.186500e-06,1.555479e-06,1.610078e-06,2.100831e-06,2.205893e-06,2.644901e-06,2.943391e-06,3.225658e-06,3.729711e-06,3.826582e-06,4.433111e-06,4.529846e-06,5.033428e-06,5.316622e-06,5.618497e-06,6.071075e-06,6.181728e-06,6.718508e-06,6.780984e-06,7.225744e-06,7.439032e-06,7.701486e-06,8.041296e-06,8.144654e-06,8.554834e-06,8.586224e-06,8.932141e-06,9.073968e-06,9.277119e-06,9.505980e-06,9.590670e-06,9.873986e-06,9.884709e-06,1.012848e-05,1.021335e-05,1.035575e-05,1.049561e-05,1.055750e-05,1.073552e-05,1.089159e-05,1.093720e-05,1.102752e-05,1.110476e-05,1.114506e-05,1.124214e-05,1.124587e-05,1.133156e-05,1.135305e-05,1.140361e-05,1.144087e-05,1.146339e-05,1.150866e-05,1.151219e-05,1.155114e-05,1.155915e-05,1.158130e-05,1.159471e-05,1.160361e-05,1.161741e-05,1.161890e-05,1.162792e-05,1.162903e-05,1.163134e-05,1.163110e-05,1.162974e-05,1.162491e-05,1.162365e-05,1.161354e-05,1.161157e-05,1.159980e-05,1.159203e-05,1.158281e-05,1.156709e-05,1.156288e-05,1.154031e-05,1.153744e-05,1.151535e-05,1.150366e-05,1.148822e-05,1.146628e-05,1.145913e-05,1.142827e-05,1.142573e-05,1.139580e-05,1.138239e-05,1.136187e-05,1.133662e-05,1.132662e-05,1.129018e-05,1.128870e-05,1.125265e-05,1.123890e-05,1.121414e-05,1.118745e-05,1.117475e-05,1.113457e-05,1.109367e-05,1.108044e-05,1.105213e-05,1.102524e-05,1.101003e-05,1.096913e-05,1.096741e-05,1.092436e-05,1.091223e-05,1.088092e-05,1.085469e-05,1.083714e-05,1.079661e-05,1.079307e-05,1.074877e-05,1.073810e-05,1.070426e-05,1.067926e-05,1.065959e-05,1.062019e-05,1.061481e-05,1.056993e-05,1.056095e-05,1.052500e-05,1.050162e-05,1.048004e-05,1.044228e-05,1.043509e-05,1.039017e-05,1.038299e-05,1.034531e-05,1.032380e-05,1.030052e-05,1.026476e-05,1.025584e-05,1.021127e-05,1.020593e-05,1.016685e-05,1.014735e-05,1.012258e-05,1.008906e-05,1.007850e-05,1.003460e-05,1.003109e-05,9.990904e-06,9.973488e-06,9.947430e-06,9.916272e-06,9.904188e-06,9.861189e-06,9.859474e-06,9.818444e-06,9.803120e-06,9.775964e-06,9.747232e-06,9.733756e-06,9.691832e-06,9.636936e-06,9.582564e-06,9.528728e-06,9.475443e-06,9.422721e-06,9.370570e-06,9.319002e-06,9.268022e-06,9.217639e-06,9.167857e-06,9.118680e-06,9.070113e-06,9.022159e-06,8.974818e-06,8.928093e-06,8.881983e-06,8.836489e-06,8.791610e-06,8.747344e-06,8.703691e-06,8.660647e-06,8.618210e-06,8.576378e-06,8.535145e-06
0.000000e+00,1.973744e-10,7.713987e-10,5.843153e-09,2.229685e-08,4.111501e-08,1.534112e-07,1.608447e-07,4.566800e-07,5.879493e-07,1.059803e-06,1.638849e-06,2.141679e-06,3.739920e-06,3.912480e-06,6.614618e-06,7.430646e-06,1.051054e-05,1.331392e-05,1.586886e-05,2.200339e-05,2.295305e-05,3.201334e-05,3.408326e-05,4.328092e-05,5.008238e-05,5.696351e-05,7.045618e-05,7.324170e-05,9.226591e-05,9.557295e-05,1.141538e-04,1.257029e-04,1.389884e-04,1.610103e-04,1.668164e-04,1.976478e-04,2.015486e-04,2.314561e-04,2.472599e-04,2.681786e-04,2.979783e-04,3.077184e-04,3.499465e-04,3.534363e-04,3.947046e-04,4.132758e-04,4.418086e-04,4.770611e-04,4.910523e-04,5.422113e-04,5.442942e-04,5.950472e-04,6.144310e-04,6.493117e-04,6.868982e-04,7.047510e-04,7.611088e-04,8.181310e-04,8.364775e-04,8.755680e-04,9.124333e-04,9.331780e-04,9.884314e-04,9.907295e-04,1.048003e-03,1.063962e-03,1.104794e-03,1.138556e-03,1.160911e-03,1.211793e-03,1.216180e-03,1.270443e-03,1.283301e-03,1.323559e-03,1.352756e-03,1.375404e-03,1.419889e-03,1.425869e-03,1.474862e-03,1.484477e-03,1.522305e-03,1.546343e-03,1.568137e-03,1.605355e-03,1.612309e-03,1.654783e-03,1.661420e-03,1.695537e-03,1.714483e-03,1.734555e-03,1.764518e-03,1.771835e-03,1.807380e-03,1.811530e-03,1.841205e-03,1.855548e-03,1.873330e-03,1.896622e-03,1.903779e-03,1.932585e-03,1.934820e-03,1.959783e-03,1.970221e-03,1.985413e-03,2.002919e-03,2.009517e-03,2.032140e-03,2.033015e-03,2.053329e-03,2.060615e-03,2.073131e-03,2.085830e-03,2.091597e-03,2.108775e-03,2.124716e-03,2.129563e-03,2.139468e-03,2.148310e-03,2.153083e-03,2.165127e-03,2.165607e-03,2.177090e-03,2.180125e-03,2.187578e-03,2.193413e-03,2.197118e-03,2.205096e-03,2.205754e-03,2.213530e-03,2.215273e-03,2.220488e-03,2.224042e-03,2.226669e-03,2.231496e-03,2.232111e-03,2.236855e-03,2.237723e-03,2.240935e-03,2.242806e-03,2.244386e-03,2.246825e-03,2.247244e-03,2.249539e-03,2.249856e-03,2.251303e-03,2.251969e-03,2.252565e-03,2.253232e-03,2.253353e-03,2.253695e-03,2.253707e-03,2.253615e-03,2.253453e-03,2.253139e-03,2.252526e-03,2.252289e-03,2.251088e-03,2.250977e-03,2.249556e-03,2.248856e-03,2.247715e-03,2.246207e-03,2.245581e-03,2.243175e-03,2.243073e-03,2.240512e-03,2.239494e-03,2.237609e-03,2.235506e-03,2.234482e-03,2.231144e-03,2.226441e-03,2.221425e-03,2.216125e-03,2.210567e-03,2.204776e-03,2.198772e-03,2.192578e-03,2.186213e-03,2.179695e-03,2.173040e-03,2.166265e-03,2.159384e-03,2.152411e-03,2.145357e-03,2.138236e-03,2.131056e-03,2.123830e-03,2.116565e-03,2.109272e-03,2.101957e-03,2.094628e-03,2.087293e-03,2.079958e-03,2.072629e-03
0.000000e+00,1.471127e-09,3.366699e-09,1.155973e-08,2.626160e-08,3.828731e-08,8.676515e-08,8.937416e-08,1.727586e-07,2.030481e-07,2.970843e-07,3.952835e-07,4.719314e-07,6.860829e-07,7.073743e-07,1.012204e-06,1.096303e-06,1.390624e-06,1.633782e-06,1.839368e-06,2.284583e-06,2.348437e-06,2.905066e-06,3.021003e-06,3.497174e-06,3.815658e-06,4.114661e-06,4.646921e-06,4.749331e-06,5.394434e-06,5.498225e-06,6.044256e-06,6.356373e-06,6.693865e-06,7.210492e-06,7.338964e-06,7.975818e-06,8.051529e-06,8.601221e-06,8.872056e-06,9.212467e-06,9.666158e-06,9.807328e-06,1.038402e-05,1.042933e-05,1.094118e-05,1.115835e-05,1.147783e-05,1.185112e-05,1.199329e-05,1.248717e-05,1.250647e-05,1.295934e-05,1.312402e-05,1.340989e-05,1.370401e-05,1.383903e-05,1.424716e-05,1.463475e-05,1.475454e-05,1.500238e-05,1.522747e-05,1.535066e-05,1.566744e-05,1.568027e-05,1.599192e-05,1.607606e-05,1.628631e-05,1.645496e-05,1.656416e-05,1.680578e-05,1.682618e-05,1.707307e-05,1.713015e-05,1.730553e-05,1.742965e-05,1.752422e-05,1.770579e-05,1.772979e-05,1.792288e-05,1.796005e-05,1.810408e-05,1.819380e-05,1.827398e-05,1.840837e-05,1.843313e-05,1.858208e-05,1.860500e-05,1.872133e-05,1.878487e-05,1.885137e-05,1.894909e-05,1.897267e-05,1.908566e-05,1.909868e-05,1.919077e-05,1.923463e-05,1.928841e-05,1.935784e-05,1.937895e-05,1.946275e-05,1.946917e-05,1.954016e-05,1.956942e-05,1.961152e-05,1.965931e-05,1.967712e-05,1.973727e-05,1.973956e-05,1.979224e-05,1.981082e-05,1.984231e-05,1.987368e-05,1.988772e-05,1.992871e-05,1.996552e-05,1.997645e-05,1.999836e-05,2.001738e-05,2.002743e-05,2.005198e-05,2.005293e-05,2.007505e-05,2.008066e-05,2.009396e-05,2.010383e-05,2.010982e-05,2.012187e-05,2.012281e-05,2.013306e-05,2.013513e-05,2.014072e-05,2.014393e-05,2.014593e-05,2.014858e-05,2.014881e-05,2.014949e-05,2.014938e-05,2.014809e-05,2.014658e-05,2.014472e-05,2.014043e-05,2.013947e-05,2.013246e-05,2.013118e-05,2.012378e-05,2.011905e-05,2.011352e-05,2.010423e-05,2.010176e-05,2.008859e-05,2.008692e-05,2.007408e-05,2.006730e-05,2.005832e-05,2.004554e-05,2.004136e-05,2.002329e-05,2.002179e-05,2.000415e-05,1.999622e-05,1.998402e-05,1.996895e-05,1.996296e-05,1.994101e-05,1.994011e-05,1.991823e-05,1.990984e-05,1.989468e-05,1.987824e-05,1.987039e-05,1.984542e-05,1.981148e-05,1.977652e-05,1.974063e-05,1.970389e-05,1.966639e-05,1.962818e-05,1.958935e-05,1.954996e-05,1.951008e-05,1.946975e-05,1.942903e-05,1.938798e-05,1.934665e-05,1.930507e-05,1.926329e-05,1.922135e-05,1.917929e-05,1.913715e-05,1.909495e-05,1.905273e-05,1.901052e-05,1.896834e-05,1.892622e-05,1.888419e-05
0.000000e+00,1.218851e-10,4.343614e-10,2.736255e-09,8.898626e-09,1.507862e-08,4.568660e-08,4.751073e-08,1.113063e-07,1.363168e-07,2.176118e-07,3.062907e-07,3.771849e-07,5.799748e-07,6.004133e-07,8.971934e-07,9.803751e-07,1.276219e-06,1.526766e-06,1.743370e-06,2.228385e-06,2.299766e-06,2.940941e-06,3.078619e-06,3.657961e-06,4.057071e-06,4.439522e-06,5.137209e-06,5.273741e-06,6.149152e-06,6.292313e-06,7.055028e-06,7.497722e-06,7.981427e-06,8.731117e-06,8.919150e-06,9.859712e-06,9.972394e-06,1.079535e-05,1.120363e-05,1.171905e-05,1.240924e-05,1.262461e-05,1.350664e-05,1.357604e-05,1.436057e-05,1.469341e-05,1.518267e-05,1.575320e-05,1.597000e-05,1.672034e-05,1.674956e-05,1.743214e-05,1.767876e-05,1.810447e-05,1.853888e-05,1.873692e-05,1.932953e-05,1.988271e-05,2.005151e-05,2.039719e-05,2.070660e-05,2.087397e-05,2.129729e-05,2.131421e-05,2.171926e-05,2.182655e-05,2.209054e-05,2.229772e-05,2.242956e-05,2.271431e-05,2.273789e-05,2.301708e-05,2.307993e-05,2.326871e-05,2.339816e-05,2.349432e-05,2.367255e-05,2.369544e-05,2.387352e-05,2.390650e-05,2.403001e-05,2.410330e-05,2.416626e-05,2.426604e-05,2.428360e-05,2.438327e-05,2.439766e-05,2.446648e-05,2.450091e-05,2.453436e-05,2.457834e-05,2.458798e-05,2.462836e-05,2.463236e-05,2.465646e-05,2.466517e-05,2.467318e-05,2.467881e-05,2.467938e-05,2.467586e-05,2.467518e-05,2.466337e-05,2.465603e-05,2.464262e-05,2.462294e-05,2.461427e-05,2.457894e-05,2.457739e-05,2.453721e-05,2.452073e-05,2.448963e-05,2.445419e-05,2.443671e-05,2.437891e-05,2.431670e-05,2.429592e-05,2.425048e-05,2.420617e-05,2.418063e-05,2.411051e-05,2.410753e-05,2.403151e-05,2.400974e-05,2.395288e-05,2.390457e-05,2.387194e-05,2.379566e-05,2.378895e-05,2.370417e-05,2.368359e-05,2.361785e-05,2.356891e-05,2.353019e-05,2.345210e-05,2.344140e-05,2.335167e-05,2.333362e-05,2.326117e-05,2.321386e-05,2.317007e-05,2.309319e-05,2.307852e-05,2.298665e-05,2.297193e-05,2.289460e-05,2.285038e-05,2.280248e-05,2.272882e-05,2.271041e-05,2.261849e-05,2.260747e-05,2.252680e-05,2.248656e-05,2.243544e-05,2.236627e-05,2.234448e-05,2.225400e-05,2.224679e-05,2.216407e-05,2.212826e-05,2.207473e-05,2.201081e-05,2.198605e-05,2.189808e-05,2.189458e-05,2.181087e-05,2.177966e-05,2.172444e-05,2.166615e-05,2.163885e-05,2.155413e-05,2.144366e-05,2.133481e-05,2.122763e-05,2.112216e-05,2.101844e-05,2.091649e-05,2.081634e-05,2.071800e-05,2.062149e-05,2.052680e-05,2.043395e-05,2.034293e-05,2.025374e-05,2.016637e-05,2.008082e-05,1.999705e-05,1.991508e-05,1.983486e-05,1.975640e-05,1.967966e-05,1.960463e-05,1.953129e-05,1.945960e-05,1.938956e-05
0.000000e+00,4.556456e-10,1.438401e-09,7.326387e-09,2.040077e-08,3.216120e-08,8.376859e-08,8.666138e-08,1.823956e-07,2.182718e-07,3.320529e-07,4.537600e-07,5.502981e-07,8.248702e-07,8.524268e-07,1.247998e-06,1.356630e-06,1.731801e-06,2.034224e-06,2.284183e-06,2.808538e-06,2.882005e-06,3.506754e-06,3.633722e-06,4.145558e-06,4.480187e-06,4.789363e-06,5.328897e-06,5.431211e-06,6.065258e-06,6.165629e-06,6.686328e-06,6.978449e-06,7.289779e-06,7.757082e-06,7.871516e-06,8.428040e-06,8.492986e-06,8.956501e-06,9.179548e-06,9.454722e-06,9.812194e-06,9.921196e-06,1.035505e-05,1.038834e-05,1.075600e-05,1.090720e-05,1.112425e-05,1.136950e-05,1.146046e-05,1.176563e-05,1.177721e-05,1.204102e-05,1.213316e-05,1.228811e-05,1.244078e-05,1.250849e-05,1.270382e-05,1.287582e-05,1.292621e-05,1.302618e-05,1.311183e-05,1.315658e-05,1.326445e-05,1.326860e-05,1.336380e-05,1.338764e-05,1.344363e-05,1.348472e-05,1.350945e-05,1.355872e-05,1.356252e-05,1.360403e-05,1.361240e-05,1.363507e-05,1.364825e-05,1.365663e-05,1.366850e-05,1.366964e-05,1.367493e-05,1.367512e-05,1.367325e-05,1.366986e-05,1.366531e-05,1.365425e-05,1.365172e-05,1.363307e-05,1.362965e-05,1.360988e-05,1.359727e-05,1.358260e-05,1.355814e-05,1.355168e-05,1.351749e-05,1.351319e-05,1.348039e-05,1.346322e-05,1.344069e-05,1.340896e-05,1.339868e-05,1.335462e-05,1.335101e-05,1.330875e-05,1.328995e-05,1.326129e-05,1.322623e-05,1.321242e-05,1.316233e-05,1.316031e-05,1.311119e-05,1.309254e-05,1.305913e-05,1.302328e-05,1.300629e-05,1.295280e-05,1.289876e-05,1.288138e-05,1.284429e-05,1.280924e-05,1.278946e-05,1.273659e-05,1.273438e-05,1.267911e-05,1.266361e-05,1.262373e-05,1.259047e-05,1.256830e-05,1.251731e-05,1.251288e-05,1.245753e-05,1.244427e-05,1.240230e-05,1.237144e-05,1.234723e-05,1.229894e-05,1.229237e-05,1.223774e-05,1.222685e-05,1.218340e-05,1.215526e-05,1.212936e-05,1.208423e-05,1.207567e-05,1.202233e-05,1.201384e-05,1.196939e-05,1.194412e-05,1.191686e-05,1.187514e-05,1.186475e-05,1.181310e-05,1.180693e-05,1.176191e-05,1.173953e-05,1.171119e-05,1.167298e-05,1.166097e-05,1.161125e-05,1.160730e-05,1.156205e-05,1.154251e-05,1.151336e-05,1.147864e-05,1.146521e-05,1.141759e-05,1.141570e-05,1.137051e-05,1.135370e-05,1.132399e-05,1.129266e-05,1.127801e-05,1.123259e-05,1.117349e-05,1.111537e-05,1.105822e-05,1.100205e-05,1.094686e-05,1.089264e-05,1.083940e-05,1.078712e-05,1.073580e-05,1.068544e-05,1.063603e-05,1.058755e-05,1.054001e-05,1.049338e-05,1.044766e-05,1.040285e-05,1.035892e-05,1.031587e-05,1.027369e-05,1.023236e-05,1.019187e-05,1.015221e-05,1.011337e-05,1.007533e-05
0.000000e+00,1.602668e-10,5.773963e-10,3.714878e-09,1.229538e-08,2.102289e-08,6.506966e-08,6.772258e-08,1.616229e-07,1.988592e-07,3.209538e-07,4.554733e-07,5.637507e-07,8.761171e-07,9.077776e-07,1.370385e-06,1.500888e-06,1.967588e-06,2.365717e-06,2.711954e-06,3.494215e-06,3.610185e-06,4.662255e-06,4.890716e-06,5.862639e-06,6.542568e-06,7.202395e-06,8.427707e-06,8.670837e-06,1.025645e-05,1.052023e-05,1.194722e-05,1.279250e-05,1.373069e-05,1.521557e-05,1.559399e-05,1.752389e-05,1.775931e-05,1.950690e-05,2.039276e-05,2.152948e-05,2.308483e-05,2.357819e-05,2.563993e-05,2.580506e-05,2.770217e-05,2.852452e-05,2.975306e-05,3.121649e-05,3.178165e-05,3.377792e-05,3.385697e-05,3.573293e-05,3.642509e-05,3.763882e-05,3.890327e-05,3.948882e-05,4.127723e-05,4.299939e-05,4.353586e-05,4.465161e-05,4.567100e-05,4.623110e-05,4.767717e-05,4.773591e-05,4.916482e-05,4.955123e-05,5.051729e-05,5.129207e-05,5.179335e-05,5.290028e-05,5.299352e-05,5.411879e-05,5.437785e-05,5.517047e-05,5.572788e-05,5.615021e-05,5.695434e-05,5.705987e-05,5.790153e-05,5.806189e-05,5.867740e-05,5.905563e-05,5.938983e-05,5.994100e-05,6.004122e-05,6.063406e-05,6.072364e-05,6.117081e-05,6.140926e-05,6.165397e-05,6.200357e-05,6.208601e-05,6.246936e-05,6.251221e-05,6.280643e-05,6.294069e-05,6.309957e-05,6.329439e-05,6.335107e-05,6.356316e-05,6.357849e-05,6.373800e-05,6.379798e-05,6.387768e-05,6.395760e-05,6.398420e-05,6.405952e-05,6.406191e-05,6.410550e-05,6.411522e-05,6.412393e-05,6.412160e-05,6.411652e-05,6.408491e-05,6.403067e-05,6.400878e-05,6.395529e-05,6.389663e-05,6.386022e-05,6.375167e-05,6.374680e-05,6.361634e-05,6.357692e-05,6.347007e-05,6.337520e-05,6.330915e-05,6.314914e-05,6.313471e-05,6.294780e-05,6.290120e-05,6.274942e-05,6.263367e-05,6.254052e-05,6.234870e-05,6.232200e-05,6.209471e-05,6.204827e-05,6.185946e-05,6.173423e-05,6.161700e-05,6.140830e-05,6.136806e-05,6.111331e-05,6.107206e-05,6.085340e-05,6.072699e-05,6.058892e-05,6.037444e-05,6.032045e-05,6.004852e-05,6.001568e-05,5.977362e-05,5.965186e-05,5.949625e-05,5.928405e-05,5.921682e-05,5.893578e-05,5.891323e-05,5.865349e-05,5.854031e-05,5.837033e-05,5.816611e-05,5.808664e-05,5.780274e-05,5.779139e-05,5.751893e-05,5.741683e-05,5.723548e-05,5.704308e-05,5.695266e-05,5.667070e-05,5.630021e-05,5.593208e-05,5.556675e-05,5.520458e-05,5.484593e-05,5.449110e-05,5.414035e-05,5.379394e-05,5.345207e-05,5.311493e-05,5.278266e-05,5.245542e-05,5.213331e-05,5.181643e-05,5.150486e-05,5.119865e-05,5.089785e-05,5.060250e-05,5.031261e-05,5.002818e-05,4.974922e-05,4.947571e-05,4.920763e-05,4.894495e-05
0.000000e+00,5.562064e-10,1.626484e-09,7.413289e-09,1.934467e-08,2.970040e-08,7.355457e-08,7.596662e-08,1.541710e-07,1.828472e-07,2.720710e-07,3.651212e-07,4.375017e-07,6.382929e-07,6.581371e-07,9.400009e-07,1.017077e-06,1.284915e-06,1.504535e-06,1.689575e-06,2.090117e-06,2.147686e-06,2.652504e-06,2.758514e-06,3.197806e-06,3.495446e-06,3.777855e-06,4.287911e-06,4.387135e-06,5.020166e-06,5.123288e-06,5.671458e-06,5.988955e-06,6.335536e-06,6.872383e-06,7.007020e-06,7.680728e-06,7.761487e-06,8.351774e-06,8.645015e-06,9.015655e-06,9.512902e-06,9.668319e-06,1.030621e-05,1.035651e-05,1.092628e-05,1.116874e-05,1.152602e-05,1.194409e-05,1.210341e-05,1.265690e-05,1.267853e-05,1.318540e-05,1.336939e-05,1.368820e-05,1.401523e-05,1.416495e-05,1.461559e-05,1.504034e-05,1.517085e-05,1.543959e-05,1.568201e-05,1.581395e-05,1.615058e-05,1.616414e-05,1.649097e-05,1.657843e-05,1.679537e-05,1.696763e-05,1.707827e-05,1.732040e-05,1.734066e-05,1.758355e-05,1.763905e-05,1.780792e-05,1.792586e-05,1.801477e-05,1.818307e-05,1.820507e-05,1.837974e-05,1.841288e-05,1.853970e-05,1.861736e-05,1.868583e-05,1.879849e-05,1.881895e-05,1.893988e-05,1.895815e-05,1.904936e-05,1.909806e-05,1.914812e-05,1.921987e-05,1.923684e-05,1.931615e-05,1.932507e-05,1.938667e-05,1.941506e-05,1.944896e-05,1.949113e-05,1.950356e-05,1.955097e-05,1.955446e-05,1.959166e-05,1.960615e-05,1.962607e-05,1.964720e-05,1.965462e-05,1.967770e-05,1.967852e-05,1.969567e-05,1.970096e-05,1.970888e-05,1.971529e-05,1.971763e-05,1.972223e-05,1.972296e-05,1.972242e-05,1.972008e-05,1.971646e-05,1.971384e-05,1.970489e-05,1.970446e-05,1.969216e-05,1.968822e-05,1.967715e-05,1.966692e-05,1.965961e-05,1.964139e-05,1.963971e-05,1.961764e-05,1.961203e-05,1.959353e-05,1.957920e-05,1.956754e-05,1.954322e-05,1.953980e-05,1.951045e-05,1.950440e-05,1.947960e-05,1.946301e-05,1.944737e-05,1.941931e-05,1.941387e-05,1.937919e-05,1.937353e-05,1.934342e-05,1.932590e-05,1.930667e-05,1.927660e-05,1.926900e-05,1.923050e-05,1.922583e-05,1.919125e-05,1.917376e-05,1.915131e-05,1.912053e-05,1.911074e-05,1.906962e-05,1.906630e-05,1.902799e-05,1.901121e-05,1.898591e-05,1.895536e-05,1.894343e-05,1.890060e-05,1.889888e-05,1.885747e-05,1.884188e-05,1.881408e-05,1.878445e-05,1.877047e-05,1.872667e-05,1.866864e-05,1.861043e-05,1.855210e-05,1.849374e-05,1.843539e-05,1.837711e-05,1.831896e-05,1.826098e-05,1.820321e-05,1.814570e-05,1.808848e-05,1.803158e-05,1.797505e-05,1.791890e-05,1.786316e-05,1.780786e-05,1.775301e-05,1.769865e-05,1.764478e-05,1.759143e-05,1.753860e-05,1.748631e-05,1.743457e-05,1.738340e-05
0.000000e+00,6.614475e-11,2.529492e-10,1.831581e-09,6.708641e-09,1.209650e-08,4.261283e-08,4.457389e-08,1.196336e-07,1.517119e-07,2.633887e-07,3.953196e-07,5.068110e-07,8.488865e-07,8.849835e-07,1.435966e-06,1.598236e-06,2.198227e-06,2.730544e-06,3.206264e-06,4.317545e-06,4.486075e-06,6.052698e-06,6.400984e-06,7.910333e-06,8.989965e-06,1.005400e-05,1.206708e-05,1.247165e-05,1.514602e-05,1.559638e-05,1.805610e-05,1.952978e-05,2.117818e-05,2.381134e-05,2.448667e-05,2.795469e-05,2.838026e-05,3.155454e-05,3.317304e-05,3.525826e-05,3.812539e-05,3.903798e-05,4.286644e-05,4.317403e-05,4.671733e-05,4.825832e-05,5.056569e-05,5.332178e-05,5.438821e-05,5.816348e-05,5.831323e-05,6.187220e-05,6.318768e-05,6.549727e-05,6.790686e-05,6.902384e-05,7.243933e-05,7.573336e-05,7.676039e-05,7.889765e-05,8.085173e-05,8.192591e-05,8.470090e-05,8.481367e-05,8.755811e-05,8.830065e-05,9.015786e-05,9.164819e-05,9.261287e-05,9.474453e-05,9.492419e-05,9.709384e-05,9.759377e-05,9.912460e-05,1.002024e-04,1.010199e-04,1.025789e-04,1.027837e-04,1.044204e-04,1.047329e-04,1.059346e-04,1.066751e-04,1.073311e-04,1.084169e-04,1.086149e-04,1.097911e-04,1.099697e-04,1.108647e-04,1.113451e-04,1.118407e-04,1.125546e-04,1.127241e-04,1.135196e-04,1.136094e-04,1.142320e-04,1.145203e-04,1.148658e-04,1.152976e-04,1.154253e-04,1.159149e-04,1.159512e-04,1.163386e-04,1.164905e-04,1.167003e-04,1.169243e-04,1.170036e-04,1.172521e-04,1.172610e-04,1.174492e-04,1.175082e-04,1.175980e-04,1.176732e-04,1.177016e-04,1.177629e-04,1.177846e-04,1.177835e-04,1.177691e-04,1.177410e-04,1.177191e-04,1.176406e-04,1.176368e-04,1.175242e-04,1.174876e-04,1.173836e-04,1.172866e-04,1.172169e-04,1.170419e-04,1.170257e-04,1.168120e-04,1.167575e-04,1.165773e-04,1.164372e-04,1.163230e-04,1.160844e-04,1.160508e-04,1.157619e-04,1.157022e-04,1.154575e-04,1.152936e-04,1.151390e-04,1.148613e-04,1.148074e-04,1.144638e-04,1.144078e-04,1.141093e-04,1.139354e-04,1.137446e-04,1.134463e-04,1.133709e-04,1.129887e-04,1.129424e-04,1.125991e-04,1.124255e-04,1.122026e-04,1.118972e-04,1.118001e-04,1.113921e-04,1.113592e-04,1.109793e-04,1.108129e-04,1.105622e-04,1.102595e-04,1.101413e-04,1.097173e-04,1.097003e-04,1.092906e-04,1.091364e-04,1.088615e-04,1.085687e-04,1.084306e-04,1.079983e-04,1.074260e-04,1.068525e-04,1.062787e-04,1.057051e-04,1.051325e-04,1.045613e-04,1.039920e-04,1.034252e-04,1.028612e-04,1.023004e-04,1.017433e-04,1.011900e-04,1.006410e-04,1.000964e-04,9.955651e-05,9.902152e-05,9.849163e-05,9.796701e-05,9.744779e-05,9.693411e-05,9.642610e-05,9.592384e-05,9.542742e-05,9.493691e-05
0.000000e+00,6.712344e-10,1.620019e-09,5.861144e-09,1.358270e-08,1.990882e-08,4.524297e-08,4.659646e-08,8.928812e-08,1.045334e-07,1.510530e-07,1.984591e-07,2.347330e-07,3.332829e-07,3.428884e-07,4.775023e-07,5.138683e-07,6.393272e-07,7.414484e-07,8.270596e-07,1.010881e-06,1.037104e-06,1.264440e-06,1.311517e-06,1.503876e-06,1.631601e-06,1.750790e-06,1.961101e-06,2.001278e-06,2.252069e-06,2.292032e-06,2.500400e-06,2.618027e-06,2.743944e-06,2.934012e-06,2.980754e-06,3.209236e-06,3.236031e-06,3.428130e-06,3.521149e-06,3.636481e-06,3.787353e-06,3.833616e-06,4.019114e-06,4.033444e-06,4.192771e-06,4.258909e-06,4.354571e-06,4.463797e-06,4.504651e-06,4.643273e-06,4.648584e-06,4.770795e-06,4.814067e-06,4.887648e-06,4.961258e-06,4.994314e-06,5.091310e-06,5.179169e-06,5.205443e-06,5.258435e-06,5.304905e-06,5.329648e-06,5.390926e-06,5.393336e-06,5.450016e-06,5.464699e-06,5.500183e-06,5.527356e-06,5.544312e-06,5.579965e-06,5.582853e-06,5.616230e-06,5.623518e-06,5.644846e-06,5.658931e-06,5.669074e-06,5.687046e-06,5.689268e-06,5.705756e-06,5.708637e-06,5.718846e-06,5.724405e-06,5.728822e-06,5.734988e-06,5.735947e-06,5.740466e-06,5.740962e-06,5.742606e-06,5.742851e-06,5.742578e-06,5.741124e-06,5.740574e-06,5.736775e-06,5.736206e-06,5.731345e-06,5.728479e-06,5.724438e-06,5.718287e-06,5.716194e-06,5.706743e-06,5.705939e-06,5.696206e-06,5.691712e-06,5.684692e-06,5.675854e-06,5.672303e-06,5.659132e-06,5.658591e-06,5.645267e-06,5.640121e-06,5.630786e-06,5.620625e-06,5.615763e-06,5.600265e-06,5.584354e-06,5.579184e-06,5.568086e-06,5.557512e-06,5.551515e-06,5.535365e-06,5.534688e-06,5.517649e-06,5.512846e-06,5.500440e-06,5.490048e-06,5.483097e-06,5.467054e-06,5.465655e-06,5.448145e-06,5.443936e-06,5.430596e-06,5.420761e-06,5.413034e-06,5.397587e-06,5.395483e-06,5.377965e-06,5.374467e-06,5.360500e-06,5.351446e-06,5.343107e-06,5.328565e-06,5.325803e-06,5.308601e-06,5.305860e-06,5.291517e-06,5.283362e-06,5.274562e-06,5.261099e-06,5.257748e-06,5.241085e-06,5.239096e-06,5.224582e-06,5.217374e-06,5.208247e-06,5.195950e-06,5.192088e-06,5.176110e-06,5.174840e-06,5.160320e-06,5.154057e-06,5.144722e-06,5.133614e-06,5.129322e-06,5.114122e-06,5.113518e-06,5.099126e-06,5.093778e-06,5.084337e-06,5.074399e-06,5.069757e-06,5.055387e-06,5.036745e-06,5.018474e-06,5.000577e-06,4.983053e-06,4.965902e-06,4.949124e-06,4.932716e-06,4.916675e-06,4.901000e-06,4.885686e-06,4.870730e-06,4.856128e-06,4.841875e-06,4.827967e-06,4.814399e-06,4.801166e-06,4.788262e-06,4.775682e-06,4.763420e-06,4.751472e-06,4.739830e-06,4.728489e-06,4.717443e-06,4.706687e-06
0.000000e+00,3.260914e-10,1.128187e-09,6.723442e-09,2.092560e-08,3.470172e-08,1.002385e-07,1.040628e-07,2.351253e-07,2.856463e-07,4.483077e-07,6.244237e-07,7.648498e-07,1.166234e-06,1.206686e-06,1.793099e-06,1.956705e-06,2.533438e-06,3.013595e-06,3.421594e-06,4.310681e-06,4.438782e-06,5.561458e-06,5.796628e-06,6.767242e-06,7.420586e-06,8.036904e-06,9.140729e-06,9.354048e-06,1.070419e-05,1.092237e-05,1.207403e-05,1.273487e-05,1.345111e-05,1.455009e-05,1.482371e-05,1.618088e-05,1.634222e-05,1.751264e-05,1.808823e-05,1.881009e-05,1.976842e-05,2.006553e-05,2.127255e-05,2.136685e-05,2.242599e-05,2.287145e-05,2.352197e-05,2.427395e-05,2.455781e-05,2.553188e-05,2.556954e-05,2.644354e-05,2.675648e-05,2.729299e-05,2.783551e-05,2.808111e-05,2.880939e-05,2.947973e-05,2.968236e-05,3.009441e-05,3.045974e-05,3.065593e-05,3.114748e-05,3.116698e-05,3.163033e-05,3.175189e-05,3.204876e-05,3.227942e-05,3.242507e-05,3.273642e-05,3.276199e-05,3.306218e-05,3.312904e-05,3.332819e-05,3.346314e-05,3.356247e-05,3.374423e-05,3.376734e-05,3.394497e-05,3.397741e-05,3.409743e-05,3.416739e-05,3.422662e-05,3.431848e-05,3.433435e-05,3.442227e-05,3.443461e-05,3.449194e-05,3.451933e-05,3.454479e-05,3.457585e-05,3.458214e-05,3.460523e-05,3.460709e-05,3.461517e-05,3.461566e-05,3.461303e-05,3.460392e-05,3.459977e-05,3.457628e-05,3.457399e-05,3.454339e-05,3.452776e-05,3.450184e-05,3.446696e-05,3.445234e-05,3.439554e-05,3.439313e-05,3.433204e-05,3.430764e-05,3.426238e-05,3.421175e-05,3.418707e-05,3.410659e-05,3.402137e-05,3.399317e-05,3.393182e-05,3.387241e-05,3.383831e-05,3.374514e-05,3.374119e-05,3.364077e-05,3.361211e-05,3.353736e-05,3.347400e-05,3.343124e-05,3.333142e-05,3.332265e-05,3.321185e-05,3.318495e-05,3.309904e-05,3.303508e-05,3.298445e-05,3.288228e-05,3.286826e-05,3.275065e-05,3.272698e-05,3.263180e-05,3.256956e-05,3.251185e-05,3.241036e-05,3.239096e-05,3.226926e-05,3.224972e-05,3.214687e-05,3.208792e-05,3.202393e-05,3.192523e-05,3.190052e-05,3.177677e-05,3.176190e-05,3.165277e-05,3.159815e-05,3.152860e-05,3.143418e-05,3.140436e-05,3.128011e-05,3.127018e-05,3.115595e-05,3.110632e-05,3.103193e-05,3.094276e-05,3.090812e-05,3.078458e-05,3.077964e-05,3.066136e-05,3.061710e-05,3.053853e-05,3.045524e-05,3.041612e-05,3.029419e-05,3.013404e-05,2.997488e-05,2.981679e-05,2.965985e-05,2.950413e-05,2.934969e-05,2.919658e-05,2.904485e-05,2.889455e-05,2.874572e-05,2.859839e-05,2.845259e-05,2.830836e-05,2.816571e-05,2.802467e-05,2.788526e-05,2.774748e-05,2.761135e-05,2.747689e-05,2.734409e-05,2.721296e-05,2.708351e-05,2.695574e-05,2.682965e-05
0.000000e+00,1.483498e-10,5.785844e-10,4.363047e-09,1.657778e-08,3.049441e-08,1.130227e-07,1.184653e-07,3.338892e-07,4.289451e-07,7.688223e-07,1.183079e-06,1.540938e-06,2.670371e-06,2.791760e-06,4.683531e-06,5.252388e-06,7.392975e-06,9.334958e-06,1.110068e-05,1.532595e-05,1.597829e-05,2.217754e-05,2.358751e-05,2.982333e-05,3.440341e-05,3.901005e-05,4.796448e-05,4.980033e-05,6.222504e-05,6.436509e-05,7.628423e-05,8.360569e-05,9.194867e-05,1.055990e-04,1.091620e-04,1.278431e-04,1.301788e-04,1.478893e-04,1.571114e-04,1.691794e-04,1.861087e-04,1.915775e-04,2.149363e-04,2.168419e-04,2.391005e-04,2.489562e-04,2.639111e-04,2.820849e-04,2.892077e-04,3.148321e-04,3.158617e-04,3.406305e-04,3.499320e-04,3.664561e-04,3.839621e-04,3.921706e-04,4.176460e-04,4.427649e-04,4.507101e-04,4.674219e-04,4.829164e-04,4.915237e-04,5.140634e-04,5.149888e-04,5.377480e-04,5.439858e-04,5.597432e-04,5.725536e-04,5.809275e-04,5.996692e-04,6.012643e-04,6.207266e-04,6.252652e-04,6.392959e-04,6.493006e-04,6.569620e-04,6.717582e-04,6.737215e-04,6.895774e-04,6.926408e-04,7.045382e-04,7.119683e-04,7.186170e-04,7.297742e-04,7.318312e-04,7.442011e-04,7.461035e-04,7.557502e-04,7.610096e-04,7.665039e-04,7.745524e-04,7.764894e-04,7.857351e-04,7.867963e-04,7.942705e-04,7.978087e-04,8.021254e-04,8.076584e-04,8.093298e-04,8.159138e-04,8.164146e-04,8.219071e-04,8.241457e-04,8.273393e-04,8.309191e-04,8.322390e-04,8.366343e-04,8.368000e-04,8.405525e-04,8.418514e-04,8.440202e-04,8.461338e-04,8.470626e-04,8.497044e-04,8.519691e-04,8.526179e-04,8.538793e-04,8.549256e-04,8.554563e-04,8.566759e-04,8.567207e-04,8.576920e-04,8.579141e-04,8.583889e-04,8.586825e-04,8.588287e-04,8.590208e-04,8.590283e-04,8.590034e-04,8.589657e-04,8.587689e-04,8.585513e-04,8.583389e-04,8.578094e-04,8.577268e-04,8.569450e-04,8.567694e-04,8.560055e-04,8.554583e-04,8.549193e-04,8.539013e-04,8.536970e-04,8.523483e-04,8.521215e-04,8.508828e-04,8.501403e-04,8.493090e-04,8.479775e-04,8.476352e-04,8.458690e-04,8.456513e-04,8.440179e-04,8.431782e-04,8.420885e-04,8.405738e-04,8.400873e-04,8.380203e-04,8.378523e-04,8.358932e-04,8.350266e-04,8.337111e-04,8.321089e-04,8.314792e-04,8.292020e-04,8.291101e-04,8.268840e-04,8.260403e-04,8.245293e-04,8.229091e-04,8.221417e-04,8.197248e-04,8.164954e-04,8.132282e-04,8.099299e-04,8.066065e-04,8.032638e-04,7.999069e-04,7.965406e-04,7.931691e-04,7.897966e-04,7.864266e-04,7.830625e-04,7.797075e-04,7.763643e-04,7.730355e-04,7.697234e-04,7.664302e-04,7.631579e-04,7.599082e-04,7.566827e-04,7.534830e-04,7.503103e-04,7.471658e-04,7.440507e-04,7.409658e-04
0.000000e+00,2.004035e-10,7.842526e-10,5.955966e-09,2.277819e-08,4.205140e-08,1.573341e-07,1.649744e-07,4.694326e-07,6.046633e-07,1.091026e-06,1.688109e-06,2.206683e-06,3.855623e-06,4.033755e-06,6.827400e-06,7.673005e-06,1.087386e-05,1.380005e-05,1.647652e-05,2.293323e-05,2.393588e-05,3.352954e-05,3.572630e-05,4.549761e-05,5.272572e-05,6.003399e-05,7.433593e-05,7.728231e-05,9.733454e-05,1.008065e-04,1.202316e-04,1.322319e-04,1.459648e-04,1.685578e-04,1.744790e-04,2.056756e-04,2.095933e-04,2.394169e-04,2.550260e-04,2.755309e-04,3.044414e-04,3.138162e-04,3.540480e-04,3.573434e-04,3.959830e-04,4.131769e-04,4.393654e-04,4.713495e-04,4.839323e-04,5.294182e-04,5.312531e-04,5.755603e-04,5.922823e-04,6.221017e-04,6.538515e-04,6.687956e-04,7.154078e-04,7.617191e-04,7.764416e-04,8.075271e-04,8.364942e-04,8.526474e-04,8.951618e-04,8.969142e-04,9.401808e-04,9.520983e-04,9.823192e-04,1.007015e-03,1.023220e-03,1.059677e-03,1.062792e-03,1.100961e-03,1.109906e-03,1.137668e-03,1.157568e-03,1.172869e-03,1.202577e-03,1.206535e-03,1.238648e-03,1.244883e-03,1.269201e-03,1.284474e-03,1.298199e-03,1.321365e-03,1.325655e-03,1.351588e-03,1.355597e-03,1.376025e-03,1.387232e-03,1.398998e-03,1.416348e-03,1.420545e-03,1.440707e-03,1.443035e-03,1.459527e-03,1.467395e-03,1.477052e-03,1.489534e-03,1.493329e-03,1.508408e-03,1.509564e-03,1.522338e-03,1.527600e-03,1.535170e-03,1.543756e-03,1.546952e-03,1.557734e-03,1.558146e-03,1.567566e-03,1.570881e-03,1.576493e-03,1.582072e-03,1.584564e-03,1.591822e-03,1.598313e-03,1.600234e-03,1.604077e-03,1.607405e-03,1.609157e-03,1.613425e-03,1.613590e-03,1.617415e-03,1.618382e-03,1.620668e-03,1.622359e-03,1.623383e-03,1.625433e-03,1.625592e-03,1.627327e-03,1.627676e-03,1.628618e-03,1.629157e-03,1.629492e-03,1.629938e-03,1.629976e-03,1.630096e-03,1.630079e-03,1.629876e-03,1.629634e-03,1.629338e-03,1.628655e-03,1.628503e-03,1.627392e-03,1.627190e-03,1.626024e-03,1.625281e-03,1.624416e-03,1.622970e-03,1.622587e-03,1.620551e-03,1.620294e-03,1.618324e-03,1.617287e-03,1.615920e-03,1.613982e-03,1.613352e-03,1.610633e-03,1.610409e-03,1.607774e-03,1.606594e-03,1.604788e-03,1.602564e-03,1.601683e-03,1.598470e-03,1.598340e-03,1.595159e-03,1.593944e-03,1.591757e-03,1.589397e-03,1.588274e-03,1.584715e-03,1.579917e-03,1.575017e-03,1.570029e-03,1.564966e-03,1.559841e-03,1.554664e-03,1.549445e-03,1.544194e-03,1.538920e-03,1.533630e-03,1.528331e-03,1.523030e-03,1.517733e-03,1.512446e-03,1.507174e-03,1.501921e-03,1.496691e-03,1.491490e-03,1.486319e-03,1.481183e-03,1.476085e-03,1.471026e-03,1.466010e-03,1.461039e-03
0.000000e+00,1.992636e-09,4.684494e-09,1.658588e-08,3.830017e-08,5.621862e-08,1.291615e-07,1.331093e-07,2.600334e-07,3.064218e-07,4.511534e-07,6.032266e-07,7.224507e-07,1.057210e-06,1.090577e-06,1.568517e-06,1.700198e-06,2.159813e-06,2.538287e-06,2.857945e-06,3.551800e-06,3.651722e-06,4.530035e-06,4.714972e-06,5.483295e-06,6.005808e-06,6.503161e-06,7.405691e-06,7.581949e-06,8.712203e-06,8.897324e-06,9.886490e-06,1.046360e-05,1.109734e-05,1.208732e-05,1.233729e-05,1.359897e-05,1.375149e-05,1.487525e-05,1.543966e-05,1.615930e-05,1.713643e-05,1.744473e-05,1.872565e-05,1.882776e-05,1.999671e-05,2.050128e-05,2.125314e-05,2.214633e-05,2.249074e-05,2.370590e-05,2.375400e-05,2.489556e-05,2.531708e-05,2.605715e-05,2.682992e-05,2.718860e-05,2.828827e-05,2.935493e-05,2.968913e-05,3.038767e-05,3.103054e-05,3.138590e-05,3.231142e-05,3.234929e-05,3.327775e-05,3.353146e-05,3.417136e-05,3.469091e-05,3.503040e-05,3.579050e-05,3.585525e-05,3.664641e-05,3.683135e-05,3.740450e-05,3.781483e-05,3.813019e-05,3.874257e-05,3.882420e-05,3.948734e-05,3.961633e-05,4.012039e-05,4.043797e-05,4.072420e-05,4.120941e-05,4.129960e-05,4.184745e-05,4.193261e-05,4.236861e-05,4.260953e-05,4.286393e-05,4.324215e-05,4.333425e-05,4.378043e-05,4.383238e-05,4.420327e-05,4.438215e-05,4.460361e-05,4.489329e-05,4.498222e-05,4.533991e-05,4.536764e-05,4.567742e-05,4.580695e-05,4.599551e-05,4.621291e-05,4.629490e-05,4.657629e-05,4.658718e-05,4.684037e-05,4.693134e-05,4.708782e-05,4.724691e-05,4.731927e-05,4.753536e-05,4.773669e-05,4.779809e-05,4.792385e-05,4.803647e-05,4.809742e-05,4.825176e-05,4.825794e-05,4.840595e-05,4.844523e-05,4.854197e-05,4.861804e-05,4.866650e-05,4.877132e-05,4.878001e-05,4.888297e-05,4.890616e-05,4.897584e-05,4.902359e-05,4.905904e-05,4.912459e-05,4.913299e-05,4.919810e-05,4.921010e-05,4.925476e-05,4.928100e-05,4.930333e-05,4.933816e-05,4.934419e-05,4.937768e-05,4.938237e-05,4.940413e-05,4.941442e-05,4.942387e-05,4.943504e-05,4.943721e-05,4.944445e-05,4.944492e-05,4.944587e-05,4.944473e-05,4.944176e-05,4.943510e-05,4.943238e-05,4.941799e-05,4.941663e-05,4.939883e-05,4.938989e-05,4.937515e-05,4.935542e-05,4.934716e-05,4.931510e-05,4.931373e-05,4.927916e-05,4.926532e-05,4.923956e-05,4.921064e-05,4.919649e-05,4.915013e-05,4.908421e-05,4.901328e-05,4.893771e-05,4.885784e-05,4.877403e-05,4.868657e-05,4.859579e-05,4.850195e-05,4.840534e-05,4.830620e-05,4.820477e-05,4.810128e-05,4.799595e-05,4.788898e-05,4.778055e-05,4.767086e-05,4.756007e-05,4.744833e-05,4.733581e-05,4.722265e-05,4.710897e-05,4.699491e-05,4.688058e-05,4.676609e-05
0.000000e+00,2.057210e-09,4.716318e-09,1.620536e-08,3.678578e-08,5.359028e-08,1.211305e-07,1.247579e-07,2.403883e-07,2.822717e-07,4.119844e-07,5.469770e-07,6.520002e-07,9.433387e-07,9.720934e-07,1.378296e-06,1.488373e-06,1.866776e-06,2.172252e-06,2.426496e-06,2.968242e-06,3.045242e-06,3.712520e-06,3.851005e-06,4.419564e-06,4.800352e-06,5.158644e-06,5.798944e-06,5.922548e-06,6.704327e-06,6.830618e-06,7.497248e-06,7.879897e-06,8.294846e-06,8.932173e-06,9.091014e-06,9.880110e-06,9.974078e-06,1.065704e-05,1.099385e-05,1.141731e-05,1.198159e-05,1.215709e-05,1.287315e-05,1.292933e-05,1.356293e-05,1.383102e-05,1.422444e-05,1.468238e-05,1.485622e-05,1.545733e-05,1.548072e-05,1.602721e-05,1.622469e-05,1.656573e-05,1.691405e-05,1.707300e-05,1.754946e-05,1.799569e-05,1.813223e-05,1.841249e-05,1.866421e-05,1.880076e-05,1.914759e-05,1.916150e-05,1.949578e-05,1.958478e-05,1.980469e-05,1.997834e-05,2.008938e-05,2.033088e-05,2.035099e-05,2.059064e-05,2.064501e-05,2.080945e-05,2.092330e-05,2.100853e-05,2.116823e-05,2.118893e-05,2.135168e-05,2.138221e-05,2.149779e-05,2.156750e-05,2.162820e-05,2.172629e-05,2.174384e-05,2.184558e-05,2.186062e-05,2.193425e-05,2.197241e-05,2.201066e-05,2.206346e-05,2.207555e-05,2.212965e-05,2.213545e-05,2.217364e-05,2.218997e-05,2.220817e-05,2.222846e-05,2.223384e-05,2.225123e-05,2.225228e-05,2.226090e-05,2.226271e-05,2.226334e-05,2.226091e-05,2.225906e-05,2.224852e-05,2.224797e-05,2.223213e-05,2.222489e-05,2.221033e-05,2.219260e-05,2.218348e-05,2.215195e-05,2.211609e-05,2.210375e-05,2.207622e-05,2.204873e-05,2.203264e-05,2.198757e-05,2.198563e-05,2.193547e-05,2.192089e-05,2.188240e-05,2.184927e-05,2.182667e-05,2.177324e-05,2.176850e-05,2.170810e-05,2.169330e-05,2.164567e-05,2.160989e-05,2.158139e-05,2.152344e-05,2.151544e-05,2.144798e-05,2.143432e-05,2.137916e-05,2.134289e-05,2.130913e-05,2.124947e-05,2.123803e-05,2.116598e-05,2.115437e-05,2.109311e-05,2.105786e-05,2.101951e-05,2.096019e-05,2.094531e-05,2.087059e-05,2.086159e-05,2.079545e-05,2.076228e-05,2.071998e-05,2.066244e-05,2.064425e-05,2.056834e-05,2.056227e-05,2.049233e-05,2.046191e-05,2.041627e-05,2.036152e-05,2.034024e-05,2.026428e-05,2.026124e-05,2.018845e-05,2.016119e-05,2.011280e-05,2.006148e-05,2.003737e-05,1.996222e-05,1.986349e-05,1.976539e-05,1.966799e-05,1.957136e-05,1.947556e-05,1.938064e-05,1.928666e-05,1.919366e-05,1.910168e-05,1.901076e-05,1.892092e-05,1.883219e-05,1.874459e-05,1.865815e-05,1.857287e-05,1.848878e-05,1.840588e-05,1.832418e-05,1.824369e-05,1.816441e-05,1.808635e-05,1.800950e-05,1.793386e-05,1.785943e-05
0.000000e+00,3.348179e-09,7.657345e-09,2.629165e-08,5.976351e-08,8.716462e-08,1.977453e-07,2.037007e-07,3.941785e-07,4.634196e-07,6.784374e-07,9.027702e-07,1.077388e-06,1.560352e-06,1.607818e-06,2.273509e-06,2.452513e-06,3.065150e-06,3.558566e-06,3.969688e-06,4.849938e-06,4.975681e-06,6.073319e-06,6.303024e-06,7.253256e-06,7.896172e-06,8.505859e-06,9.606755e-06,9.820926e-06,1.118773e-05,1.141049e-05,1.259522e-05,1.328201e-05,1.403230e-05,1.519595e-05,1.548810e-05,1.695226e-05,1.712805e-05,1.841510e-05,1.905604e-05,1.986783e-05,2.096025e-05,2.130257e-05,2.271247e-05,2.282401e-05,2.409168e-05,2.463365e-05,2.543532e-05,2.637846e-05,2.673942e-05,2.800088e-05,2.805042e-05,2.921733e-05,2.964390e-05,3.038710e-05,3.115530e-05,3.150910e-05,3.258275e-05,3.360791e-05,3.392574e-05,3.458478e-05,3.518486e-05,3.551388e-05,3.636156e-05,3.639595e-05,3.723193e-05,3.745790e-05,3.802293e-05,3.847643e-05,3.877015e-05,3.942004e-05,3.947488e-05,4.013849e-05,4.029179e-05,4.076235e-05,4.109489e-05,4.134790e-05,4.183262e-05,4.189655e-05,4.240973e-05,4.250823e-05,4.288883e-05,4.312496e-05,4.333526e-05,4.368599e-05,4.375036e-05,4.413548e-05,4.419440e-05,4.449191e-05,4.465318e-05,4.482092e-05,4.506521e-05,4.512373e-05,4.540154e-05,4.543325e-05,4.565548e-05,4.575995e-05,4.588668e-05,4.604783e-05,4.609620e-05,4.628506e-05,4.629931e-05,4.645428e-05,4.651667e-05,4.660479e-05,4.670209e-05,4.673752e-05,4.685334e-05,4.685763e-05,4.695311e-05,4.698525e-05,4.703762e-05,4.708679e-05,4.710767e-05,4.716400e-05,4.720731e-05,4.721854e-05,4.723830e-05,4.725197e-05,4.725762e-05,4.726576e-05,4.726588e-05,4.726370e-05,4.726129e-05,4.725164e-05,4.723989e-05,4.723025e-05,4.720278e-05,4.720005e-05,4.716155e-05,4.715113e-05,4.711522e-05,4.708602e-05,4.706151e-05,4.700849e-05,4.700086e-05,4.693369e-05,4.691950e-05,4.686038e-05,4.681997e-05,4.678133e-05,4.671075e-05,4.669689e-05,4.660740e-05,4.659263e-05,4.651319e-05,4.646638e-05,4.641457e-05,4.633270e-05,4.631184e-05,4.620529e-05,4.619226e-05,4.609518e-05,4.604567e-05,4.598177e-05,4.589352e-05,4.586531e-05,4.574602e-05,4.573636e-05,4.562414e-05,4.557470e-05,4.549986e-05,4.540902e-05,4.537340e-05,4.524494e-05,4.523976e-05,4.511467e-05,4.506736e-05,4.498275e-05,4.489219e-05,4.484935e-05,4.471462e-05,4.453501e-05,4.435366e-05,4.417087e-05,4.398694e-05,4.380210e-05,4.361661e-05,4.343069e-05,4.324455e-05,4.305838e-05,4.287236e-05,4.268666e-05,4.250143e-05,4.231682e-05,4.213296e-05,4.194997e-05,4.176796e-05,4.158704e-05,4.140730e-05,4.122882e-05,4.105170e-05,4.087600e-05,4.070178e-05,4.052911e-05,4.035805e-05
0.000000e+00,5.385272e-09,1.256009e-08,4.407310e-08,1.013197e-07,1.484744e-07,3.402459e-07,3.506242e-07,6.845442e-07,8.067319e-07,1.188415e-06,1.589923e-06,1.904713e-06,2.786146e-06,2.873647e-06,4.115787e-06,4.453747e-06,5.617996e-06,6.559790e-06,7.344658e-06,9.020057e-06,9.258530e-06,1.132895e-05,1.175954e-05,1.353078e-05,1.472025e-05,1.584187e-05,1.785236e-05,1.824138e-05,2.070912e-05,2.110897e-05,2.322548e-05,2.444504e-05,2.577163e-05,2.781800e-05,2.832979e-05,3.088356e-05,3.118899e-05,3.341809e-05,3.452375e-05,3.592026e-05,3.779319e-05,3.837867e-05,4.078366e-05,4.097350e-05,4.312723e-05,4.404597e-05,4.540294e-05,4.699652e-05,4.760569e-05,4.973165e-05,4.981504e-05,5.177807e-05,5.249494e-05,5.374317e-05,5.503245e-05,5.562595e-05,5.742612e-05,5.914395e-05,5.967637e-05,6.078017e-05,6.178502e-05,6.233590e-05,6.375499e-05,6.381255e-05,6.521182e-05,6.558999e-05,6.653555e-05,6.729437e-05,6.778577e-05,6.887285e-05,6.896458e-05,7.007417e-05,7.033041e-05,7.111675e-05,7.167218e-05,7.209459e-05,7.290334e-05,7.300996e-05,7.386510e-05,7.402910e-05,7.466226e-05,7.505461e-05,7.540366e-05,7.598494e-05,7.609148e-05,7.672785e-05,7.682503e-05,7.731488e-05,7.757973e-05,7.785461e-05,7.825370e-05,7.834905e-05,7.880015e-05,7.885146e-05,7.920979e-05,7.937738e-05,7.957982e-05,7.983565e-05,7.991202e-05,8.020812e-05,8.023030e-05,8.046980e-05,8.056519e-05,8.069866e-05,8.084400e-05,8.089628e-05,8.106416e-05,8.107027e-05,8.120376e-05,8.124737e-05,8.131649e-05,8.137850e-05,8.140371e-05,8.146671e-05,8.150675e-05,8.151492e-05,8.152505e-05,8.152588e-05,8.152276e-05,8.150222e-05,8.150099e-05,8.146083e-05,8.144643e-05,8.140330e-05,8.136086e-05,8.132939e-05,8.124775e-05,8.124006e-05,8.113619e-05,8.110920e-05,8.101868e-05,8.094723e-05,8.088836e-05,8.076370e-05,8.074601e-05,8.059242e-05,8.056042e-05,8.042831e-05,8.033905e-05,8.025439e-05,8.010119e-05,8.007132e-05,7.987974e-05,7.984834e-05,7.968026e-05,7.958188e-05,7.947348e-05,7.930316e-05,7.925994e-05,7.904018e-05,7.901341e-05,7.881470e-05,7.871381e-05,7.858399e-05,7.840544e-05,7.834851e-05,7.810870e-05,7.808934e-05,7.786498e-05,7.776648e-05,7.761773e-05,7.743775e-05,7.736734e-05,7.711418e-05,7.710400e-05,7.685857e-05,7.676602e-05,7.660085e-05,7.642454e-05,7.634131e-05,7.608026e-05,7.573381e-05,7.538580e-05,7.503676e-05,7.468723e-05,7.433767e-05,7.398854e-05,7.364023e-05,7.329312e-05,7.294757e-05,7.260390e-05,7.226238e-05,7.192331e-05,7.158691e-05,7.125343e-05,7.092305e-05,7.059597e-05,7.027234e-05,6.995233e-05,6.963606e-05,6.932365e-05,6.901521e-05,6.871083e-05,6.841058e-05,6.811453e-05
0.000000e+00,1.533878e-09,3.512977e-09,1.209376e-08,2.758551e-08,4.034016e-08,9.245456e-08,9.528951e-08,1.873923e-07,2.215236e-07,3.295493e-07,4.453507e-07,5.376098e-07,8.026489e-07,8.295038e-07,1.221624e-06,1.331816e-06,1.721944e-06,2.047576e-06,2.323977e-06,2.922836e-06,3.008566e-06,3.752417e-06,3.906409e-06,4.535043e-06,4.951980e-06,5.340873e-06,6.027311e-06,6.158565e-06,6.979726e-06,7.110981e-06,7.797887e-06,8.187975e-06,8.607848e-06,9.246985e-06,9.405288e-06,1.018657e-05,1.027909e-05,1.094864e-05,1.127718e-05,1.168893e-05,1.223571e-05,1.240540e-05,1.309638e-05,1.315052e-05,1.376065e-05,1.401867e-05,1.439732e-05,1.483833e-05,1.500587e-05,1.558603e-05,1.560865e-05,1.613782e-05,1.632955e-05,1.666144e-05,1.700161e-05,1.715729e-05,1.762590e-05,1.806793e-05,1.820388e-05,1.848412e-05,1.873729e-05,1.887528e-05,1.922804e-05,1.924227e-05,1.958597e-05,1.967816e-05,1.990729e-05,2.008972e-05,2.020715e-05,2.046483e-05,2.048644e-05,2.074608e-05,2.080557e-05,2.098694e-05,2.111395e-05,2.120990e-05,2.139197e-05,2.141580e-05,2.160546e-05,2.164151e-05,2.177967e-05,2.186440e-05,2.193919e-05,2.206239e-05,2.208477e-05,2.221712e-05,2.223711e-05,2.233692e-05,2.239015e-05,2.244481e-05,2.252298e-05,2.254144e-05,2.262739e-05,2.263701e-05,2.270323e-05,2.273355e-05,2.276952e-05,2.281384e-05,2.282678e-05,2.287551e-05,2.287905e-05,2.291617e-05,2.293028e-05,2.294922e-05,2.296856e-05,2.297510e-05,2.299422e-05,2.299484e-05,2.300695e-05,2.301005e-05,2.301369e-05,2.301502e-05,2.301477e-05,2.301054e-05,2.300131e-05,2.299736e-05,2.298740e-05,2.297617e-05,2.296909e-05,2.294762e-05,2.294665e-05,2.292034e-05,2.291232e-05,2.289042e-05,2.287082e-05,2.285711e-05,2.282367e-05,2.282064e-05,2.278123e-05,2.277136e-05,2.273907e-05,2.271433e-05,2.269435e-05,2.265303e-05,2.264726e-05,2.259797e-05,2.258786e-05,2.254663e-05,2.251918e-05,2.249340e-05,2.244734e-05,2.243844e-05,2.238187e-05,2.237268e-05,2.232383e-05,2.229549e-05,2.226445e-05,2.221605e-05,2.220383e-05,2.214210e-05,2.213462e-05,2.207935e-05,2.205144e-05,2.201569e-05,2.196675e-05,2.195121e-05,2.188600e-05,2.188075e-05,2.182015e-05,2.179364e-05,2.175373e-05,2.170560e-05,2.168682e-05,2.161949e-05,2.161679e-05,2.155180e-05,2.152737e-05,2.148383e-05,2.143748e-05,2.141564e-05,2.134726e-05,2.125684e-05,2.116632e-05,2.107581e-05,2.098542e-05,2.089522e-05,2.080530e-05,2.071573e-05,2.062660e-05,2.053795e-05,2.044986e-05,2.036236e-05,2.027552e-05,2.018937e-05,2.010396e-05,2.001932e-05,1.993548e-05,1.985248e-05,1.977034e-05,1.968909e-05,1.960874e-05,1.952931e-05,1.945082e-05,1.937329e-05,1.929671e-05
0.000000e+00,1.452374e-10,5.284548e-10,3.470814e-09,1.171613e-08,2.026566e-08,6.489755e-08,6.764806e-08,1.685231e-07,2.101791e-07,3.522431e-07,5.167815e-07,6.538694e-07,1.063378e-06,1.105559e-06,1.724565e-06,1.898402e-06,2.512162e-06,3.024352e-06,3.461297e-06,4.423033e-06,4.563009e-06,5.808896e-06,6.074686e-06,7.191158e-06,7.961220e-06,8.701853e-06,1.006372e-05,1.033222e-05,1.207232e-05,1.236019e-05,1.391097e-05,1.482496e-05,1.583591e-05,1.742926e-05,1.783412e-05,1.989220e-05,2.014255e-05,2.199670e-05,2.293398e-05,2.413449e-05,2.577374e-05,2.629304e-05,2.846064e-05,2.863411e-05,3.062652e-05,3.149019e-05,3.278100e-05,3.432030e-05,3.491548e-05,3.702247e-05,3.710609e-05,3.909553e-05,3.983245e-05,4.112923e-05,4.248731e-05,4.311904e-05,4.506129e-05,4.695307e-05,4.754738e-05,4.879209e-05,4.994059e-05,5.057669e-05,5.223759e-05,5.230567e-05,5.397830e-05,5.443648e-05,5.559420e-05,5.653646e-05,5.715328e-05,5.853764e-05,5.865576e-05,6.010203e-05,6.044084e-05,6.149270e-05,6.224746e-05,6.282851e-05,6.395932e-05,6.411032e-05,6.533909e-05,6.557857e-05,6.651587e-05,6.710761e-05,6.764175e-05,6.854901e-05,6.871790e-05,6.974549e-05,6.990548e-05,7.072573e-05,7.117980e-05,7.165987e-05,7.237480e-05,7.254912e-05,7.339474e-05,7.349334e-05,7.419797e-05,7.453828e-05,7.496004e-05,7.551244e-05,7.568218e-05,7.636561e-05,7.641865e-05,7.701153e-05,7.725966e-05,7.762112e-05,7.803818e-05,7.819555e-05,7.873597e-05,7.875689e-05,7.924350e-05,7.941838e-05,7.971926e-05,8.002517e-05,8.016432e-05,8.057975e-05,8.096658e-05,8.108449e-05,8.132583e-05,8.154173e-05,8.165848e-05,8.195372e-05,8.196552e-05,8.224787e-05,8.232263e-05,8.250645e-05,8.265056e-05,8.274216e-05,8.293957e-05,8.295587e-05,8.314843e-05,8.319159e-05,8.332066e-05,8.340853e-05,8.347336e-05,8.359221e-05,8.360732e-05,8.372327e-05,8.374437e-05,8.382197e-05,8.386671e-05,8.390412e-05,8.396084e-05,8.397041e-05,8.402151e-05,8.402832e-05,8.405808e-05,8.407065e-05,8.408073e-05,8.408925e-05,8.409008e-05,8.408672e-05,8.408549e-05,8.407123e-05,8.406070e-05,8.404414e-05,8.401614e-05,8.400600e-05,8.395733e-05,8.395299e-05,8.389862e-05,8.387243e-05,8.383036e-05,8.377556e-05,8.375301e-05,8.366703e-05,8.366341e-05,8.357285e-05,8.353702e-05,8.347089e-05,8.339732e-05,8.336156e-05,8.324525e-05,8.308166e-05,8.290741e-05,8.272327e-05,8.253001e-05,8.232835e-05,8.211896e-05,8.190250e-05,8.167959e-05,8.145081e-05,8.121673e-05,8.097786e-05,8.073472e-05,8.048777e-05,8.023747e-05,7.998423e-05,7.972848e-05,7.947058e-05,7.921089e-05,7.894975e-05,7.868749e-05,7.842441e-05,7.816078e-05,7.789688e-05,7.763296e-05
0.000000e+00,5.395560e-11,2.100850e-10,1.578826e-09,5.980851e-09,1.098426e-08,4.056004e-08,4.250735e-08,1.194485e-07,1.533521e-07,2.744763e-07,4.220083e-07,5.494147e-07,9.513879e-07,9.945803e-07,1.667370e-06,1.869530e-06,2.629474e-06,3.317641e-06,3.942090e-06,5.430392e-06,5.659313e-06,7.821406e-06,8.309483e-06,1.045024e-05,1.200315e-05,1.354793e-05,1.650094e-05,1.709827e-05,2.106962e-05,2.174134e-05,2.541852e-05,2.762513e-05,3.009321e-05,3.402945e-05,3.503688e-05,4.019045e-05,4.082017e-05,4.549490e-05,4.786183e-05,5.089310e-05,5.502514e-05,5.633119e-05,6.175962e-05,6.219211e-05,6.713379e-05,6.925928e-05,7.241440e-05,7.613929e-05,7.756761e-05,8.256494e-05,8.276125e-05,8.738311e-05,8.907010e-05,9.200368e-05,9.502551e-05,9.641269e-05,1.006002e-04,1.045600e-04,1.057784e-04,1.082889e-04,1.105538e-04,1.117864e-04,1.149281e-04,1.150544e-04,1.180968e-04,1.189089e-04,1.209189e-04,1.225092e-04,1.235274e-04,1.257449e-04,1.259297e-04,1.281343e-04,1.286350e-04,1.301500e-04,1.311996e-04,1.319858e-04,1.334599e-04,1.336511e-04,1.351551e-04,1.354374e-04,1.365072e-04,1.371532e-04,1.377164e-04,1.386282e-04,1.387915e-04,1.397412e-04,1.398821e-04,1.405738e-04,1.409341e-04,1.412970e-04,1.418020e-04,1.419185e-04,1.424453e-04,1.425025e-04,1.428844e-04,1.430515e-04,1.432421e-04,1.434632e-04,1.435244e-04,1.437369e-04,1.437511e-04,1.438851e-04,1.439274e-04,1.439738e-04,1.440035e-04,1.440077e-04,1.439912e-04,1.439895e-04,1.439282e-04,1.438949e-04,1.438226e-04,1.437281e-04,1.436777e-04,1.434970e-04,1.432833e-04,1.432085e-04,1.430395e-04,1.428689e-04,1.427683e-04,1.424842e-04,1.424719e-04,1.421527e-04,1.420595e-04,1.418126e-04,1.415994e-04,1.414537e-04,1.411084e-04,1.410778e-04,1.406863e-04,1.405903e-04,1.402810e-04,1.400485e-04,1.398632e-04,1.394863e-04,1.394343e-04,1.389953e-04,1.389065e-04,1.385476e-04,1.383116e-04,1.380920e-04,1.377041e-04,1.376297e-04,1.371614e-04,1.370860e-04,1.366880e-04,1.364592e-04,1.362104e-04,1.358256e-04,1.357291e-04,1.352449e-04,1.351866e-04,1.347584e-04,1.345437e-04,1.342701e-04,1.338982e-04,1.337806e-04,1.332904e-04,1.332511e-04,1.327999e-04,1.326037e-04,1.323095e-04,1.319568e-04,1.318197e-04,1.313308e-04,1.313112e-04,1.308431e-04,1.306679e-04,1.303569e-04,1.300274e-04,1.298726e-04,1.293903e-04,1.287574e-04,1.281290e-04,1.275057e-04,1.268877e-04,1.262756e-04,1.256697e-04,1.250701e-04,1.244773e-04,1.238913e-04,1.233125e-04,1.227409e-04,1.221767e-04,1.216201e-04,1.210711e-04,1.205299e-04,1.199965e-04,1.194709e-04,1.189533e-04,1.184435e-04,1.179417e-04,1.174479e-04,1.169620e-04,1.164840e-04,1.160139e-04
0.000000e+00,1.338227e-11,5.104696e-11,3.674407e-10,1.337371e-09,2.402096e-09,8.364527e-09,8.744894e-09,2.314113e-08,2.921906e-08,5.012573e-08,7.442588e-08,9.469237e-08,1.556701e-07,1.620150e-07,2.571900e-07,2.847108e-07,3.848866e-07,4.720416e-07,5.488121e-07,7.247952e-07,7.511271e-07,9.921169e-07,1.044850e-06,1.270248e-06,1.428596e-06,1.582489e-06,1.868144e-06,1.924725e-06,2.292136e-06,2.352914e-06,2.679516e-06,2.870981e-06,3.081516e-06,3.410073e-06,3.492832e-06,3.908349e-06,3.958260e-06,4.323250e-06,4.504456e-06,4.733113e-06,5.038777e-06,5.133966e-06,5.522343e-06,5.552782e-06,5.895308e-06,6.039623e-06,6.250464e-06,6.494083e-06,6.585948e-06,6.900407e-06,6.912534e-06,7.192966e-06,7.292828e-06,7.463182e-06,7.634122e-06,7.710995e-06,7.936675e-06,8.140767e-06,8.201637e-06,8.324036e-06,8.430826e-06,8.487416e-06,8.626534e-06,8.631969e-06,8.758836e-06,8.791351e-06,8.869207e-06,8.928013e-06,8.964287e-06,9.039286e-06,9.045274e-06,9.113336e-06,9.127874e-06,9.169599e-06,9.196354e-06,9.215133e-06,9.247130e-06,9.250946e-06,9.277979e-06,9.282411e-06,9.297107e-06,9.304198e-06,9.309131e-06,9.314283e-06,9.314788e-06,9.314749e-06,9.314256e-06,9.309623e-06,9.305519e-06,9.299960e-06,9.289298e-06,9.286257e-06,9.268961e-06,9.266664e-06,9.248477e-06,9.238547e-06,9.225163e-06,9.205752e-06,9.199343e-06,9.171308e-06,9.168977e-06,9.141316e-06,9.128825e-06,9.109602e-06,9.085818e-06,9.076372e-06,9.041815e-06,9.040408e-06,9.006099e-06,8.992987e-06,8.969374e-06,8.943895e-06,8.931777e-06,8.893430e-06,8.854443e-06,8.841849e-06,8.814917e-06,8.789380e-06,8.774942e-06,8.736220e-06,8.734600e-06,8.693964e-06,8.682543e-06,8.653104e-06,8.628505e-06,8.612079e-06,8.574240e-06,8.570946e-06,8.529756e-06,8.519867e-06,8.488555e-06,8.465494e-06,8.447386e-06,8.411215e-06,8.406288e-06,8.365295e-06,8.357112e-06,8.324440e-06,8.303261e-06,8.283754e-06,8.249726e-06,8.243261e-06,8.202988e-06,8.196566e-06,8.162956e-06,8.143832e-06,8.123185e-06,8.091570e-06,8.083695e-06,8.044502e-06,8.039820e-06,8.005622e-06,7.988617e-06,7.967068e-06,7.937993e-06,7.928852e-06,7.890987e-06,7.887973e-06,7.853482e-06,7.838583e-06,7.816345e-06,7.789840e-06,7.779586e-06,7.743211e-06,7.741764e-06,7.707226e-06,7.694368e-06,7.671636e-06,7.647664e-06,7.636447e-06,7.601662e-06,7.556370e-06,7.511795e-06,7.467939e-06,7.424806e-06,7.382398e-06,7.340714e-06,7.299754e-06,7.259514e-06,7.219993e-06,7.181186e-06,7.143089e-06,7.105697e-06,7.069003e-06,7.033001e-06,6.997685e-06,6.963046e-06,6.929078e-06,6.895771e-06,6.863119e-06,6.831111e-06,6.799739e-06,6.768995e-06,6.738868e-06,6.709350e-06
0.000000e+00,7.705321e-09,1.788880e-08,6.226025e-08,1.421291e-07,2.074751e-07,4.706076e-07,4.847543e-07,9.362168e-07,1.099932e-06,1.607340e-06,2.135593e-06,2.546332e-06,3.682468e-06,3.794236e-06,5.364637e-06,5.787521e-06,7.233929e-06,8.394984e-06,9.357954e-06,1.140236e-05,1.169227e-05,1.419905e-05,1.471819e-05,1.684599e-05,1.826805e-05,1.960396e-05,2.198626e-05,2.244540e-05,2.534374e-05,2.581103e-05,2.827341e-05,2.968357e-05,3.121005e-05,3.354904e-05,3.413093e-05,3.701534e-05,3.735811e-05,3.984481e-05,4.106817e-05,4.260339e-05,4.464413e-05,4.527763e-05,4.785657e-05,4.805849e-05,5.033162e-05,5.129107e-05,5.269646e-05,5.432844e-05,5.494682e-05,5.708017e-05,5.716305e-05,5.909551e-05,5.979217e-05,6.099319e-05,6.221716e-05,6.277475e-05,6.444231e-05,6.599868e-05,6.647381e-05,6.744744e-05,6.831991e-05,6.879240e-05,6.998975e-05,7.003770e-05,7.118769e-05,7.149322e-05,7.224680e-05,7.284048e-05,7.321944e-05,7.404165e-05,7.410997e-05,7.492275e-05,7.510672e-05,7.566201e-05,7.604543e-05,7.633188e-05,7.686711e-05,7.693632e-05,7.747915e-05,7.758065e-05,7.796403e-05,7.819444e-05,7.839447e-05,7.871641e-05,7.877380e-05,7.910518e-05,7.915396e-05,7.939162e-05,7.951400e-05,7.963598e-05,7.980297e-05,7.984093e-05,8.000904e-05,8.002685e-05,8.014270e-05,8.019120e-05,8.024420e-05,8.030115e-05,8.031567e-05,8.035914e-05,8.036146e-05,8.037649e-05,8.037652e-05,8.036952e-05,8.035039e-05,8.033992e-05,8.028926e-05,8.028682e-05,8.021904e-05,8.018925e-05,8.013067e-05,8.006087e-05,8.002545e-05,7.990462e-05,7.976935e-05,7.972319e-05,7.962073e-05,7.951908e-05,7.945978e-05,7.929457e-05,7.928747e-05,7.910471e-05,7.905178e-05,7.891235e-05,7.879265e-05,7.871117e-05,7.851896e-05,7.850195e-05,7.828536e-05,7.823236e-05,7.806209e-05,7.793436e-05,7.783273e-05,7.762634e-05,7.759789e-05,7.735810e-05,7.730959e-05,7.711387e-05,7.698527e-05,7.686568e-05,7.665447e-05,7.661398e-05,7.635920e-05,7.631817e-05,7.610173e-05,7.597729e-05,7.584193e-05,7.563265e-05,7.558016e-05,7.531674e-05,7.528503e-05,7.505197e-05,7.493512e-05,7.478614e-05,7.458356e-05,7.451951e-05,7.425234e-05,7.423095e-05,7.398485e-05,7.387781e-05,7.371726e-05,7.352466e-05,7.344978e-05,7.318260e-05,7.317192e-05,7.291588e-05,7.282001e-05,7.264981e-05,7.246932e-05,7.238452e-05,7.212016e-05,7.177286e-05,7.142770e-05,7.108492e-05,7.074476e-05,7.040743e-05,7.007311e-05,6.974196e-05,6.941414e-05,6.908978e-05,6.876900e-05,6.845189e-05,6.813856e-05,6.782907e-05,6.752350e-05,6.722189e-05,6.692431e-05,6.663078e-05,6.634134e-05,6.605601e-05,6.577481e-05,6.549774e-05,6.522482e-05,6.495605e-05,6.469142e-05
0.000000e+00,7.677774e-09,1.766117e-08,6.116342e-08,1.402815e-07,2.059079e-07,4.781313e-07,4.931131e-07,9.880288e-07,1.174864e-06,1.774893e-06,2.426945e-06,2.948238e-06,4.427708e-06,4.574817e-06,6.641708e-06,7.194236e-06,9.060569e-06,1.052940e-05,1.172762e-05,1.421468e-05,1.456149e-05,1.750541e-05,1.810363e-05,2.051872e-05,2.210236e-05,2.356992e-05,2.614300e-05,2.663290e-05,2.968513e-05,3.017114e-05,3.270694e-05,3.414150e-05,3.568130e-05,3.801684e-05,3.859377e-05,4.143236e-05,4.176754e-05,4.418744e-05,4.537123e-05,4.685157e-05,4.881206e-05,4.941930e-05,5.188686e-05,5.207985e-05,5.425183e-05,5.516886e-05,5.651327e-05,5.807729e-05,5.867104e-05,6.072590e-05,6.080597e-05,6.267925e-05,6.335797e-05,6.453302e-05,6.573787e-05,6.628954e-05,6.795147e-05,6.952163e-05,7.000518e-05,7.100297e-05,7.190583e-05,7.239855e-05,7.366051e-05,7.371148e-05,7.494485e-05,7.527636e-05,7.610177e-05,7.676050e-05,7.718530e-05,7.811990e-05,7.819844e-05,7.914414e-05,7.936139e-05,8.002528e-05,8.049157e-05,8.084467e-05,8.151681e-05,8.160503e-05,8.230898e-05,8.244323e-05,8.295908e-05,8.327666e-05,8.355778e-05,8.402272e-05,8.410747e-05,8.461044e-05,8.468673e-05,8.506888e-05,8.527375e-05,8.548492e-05,8.578859e-05,8.586059e-05,8.619786e-05,8.623584e-05,8.649859e-05,8.661981e-05,8.676460e-05,8.694460e-05,8.699760e-05,8.719926e-05,8.721408e-05,8.737116e-05,8.743193e-05,8.751482e-05,8.760158e-05,8.763169e-05,8.772316e-05,8.772631e-05,8.779058e-05,8.780920e-05,8.783520e-05,8.785314e-05,8.785824e-05,8.786088e-05,8.784421e-05,8.783497e-05,8.780930e-05,8.777786e-05,8.775716e-05,8.769181e-05,8.768877e-05,8.760504e-05,8.757897e-05,8.750686e-05,8.744136e-05,8.739506e-05,8.728088e-05,8.727046e-05,8.713381e-05,8.709931e-05,8.698585e-05,8.689831e-05,8.682727e-05,8.667947e-05,8.665874e-05,8.648088e-05,8.644425e-05,8.629431e-05,8.619404e-05,8.609959e-05,8.593014e-05,8.589728e-05,8.568789e-05,8.565376e-05,8.547192e-05,8.536605e-05,8.524984e-05,8.506808e-05,8.502210e-05,8.478914e-05,8.476085e-05,8.455135e-05,8.444530e-05,8.430913e-05,8.412231e-05,8.406285e-05,8.381285e-05,8.379269e-05,8.355946e-05,8.345723e-05,8.330301e-05,8.311664e-05,8.304380e-05,8.278210e-05,8.277159e-05,8.251821e-05,8.242271e-05,8.225236e-05,8.207059e-05,8.198481e-05,8.171578e-05,8.135879e-05,8.100010e-05,8.064015e-05,8.027935e-05,7.991810e-05,7.955673e-05,7.919560e-05,7.883501e-05,7.847524e-05,7.811655e-05,7.775921e-05,7.740343e-05,7.704942e-05,7.669738e-05,7.634748e-05,7.599989e-05,7.565477e-05,7.531223e-05,7.497242e-05,7.463545e-05,7.430142e-05,7.397042e-05,7.364253e-05,7.331785e-05
0.000000e+00,1.059850e-10,4.014035e-10,2.849107e-09,1.024927e-08,1.830039e-08,6.287888e-08,6.570675e-08,1.721665e-07,2.169435e-07,3.707786e-07,5.497050e-07,6.992584e-07,1.151676e-06,1.198975e-06,1.913380e-06,2.121529e-06,2.884049e-06,3.552363e-06,4.143761e-06,5.505418e-06,5.709606e-06,7.580304e-06,7.989723e-06,9.738372e-06,1.096482e-05,1.215479e-05,1.435818e-05,1.479379e-05,1.761653e-05,1.808258e-05,2.058356e-05,2.204759e-05,2.365629e-05,2.616572e-05,2.679784e-05,2.997351e-05,3.035533e-05,3.315109e-05,3.454212e-05,3.630106e-05,3.866007e-05,3.939678e-05,4.241468e-05,4.265212e-05,4.533428e-05,4.647061e-05,4.813826e-05,5.007743e-05,5.081241e-05,5.334556e-05,5.344382e-05,5.572941e-05,5.654988e-05,5.795833e-05,5.938378e-05,6.002914e-05,6.194080e-05,6.369417e-05,6.422218e-05,6.529171e-05,6.623409e-05,6.673727e-05,6.798655e-05,6.803574e-05,6.919291e-05,6.949245e-05,7.021517e-05,7.076661e-05,7.110938e-05,7.182508e-05,7.188267e-05,7.254227e-05,7.268447e-05,7.309546e-05,7.336146e-05,7.354944e-05,7.387247e-05,7.391125e-05,7.418770e-05,7.423334e-05,7.438537e-05,7.445912e-05,7.451053e-05,7.456399e-05,7.456913e-05,7.456683e-05,7.456117e-05,7.450893e-05,7.446286e-05,7.440040e-05,7.428027e-05,7.424590e-05,7.404979e-05,7.402366e-05,7.381611e-05,7.370236e-05,7.354860e-05,7.332484e-05,7.325077e-05,7.292580e-05,7.289873e-05,7.257669e-05,7.243091e-05,7.220617e-05,7.192755e-05,7.181675e-05,7.141076e-05,7.139421e-05,7.099033e-05,7.083582e-05,7.055742e-05,7.025682e-05,7.011381e-05,6.966115e-05,6.920094e-05,6.905230e-05,6.873455e-05,6.843340e-05,6.826324e-05,6.780720e-05,6.778814e-05,6.731030e-05,6.717615e-05,6.683067e-05,6.654239e-05,6.635011e-05,6.590783e-05,6.586939e-05,6.538922e-05,6.527414e-05,6.491025e-05,6.464276e-05,6.443305e-05,6.401500e-05,6.395814e-05,6.348600e-05,6.339194e-05,6.301704e-05,6.277457e-05,6.255165e-05,6.216372e-05,6.209015e-05,6.163285e-05,6.156009e-05,6.118001e-05,6.096430e-05,6.073187e-05,6.037687e-05,6.028862e-05,5.985045e-05,5.979822e-05,5.941750e-05,5.922870e-05,5.898992e-05,5.866861e-05,5.856781e-05,5.815127e-05,5.811818e-05,5.774036e-05,5.757759e-05,5.733516e-05,5.704697e-05,5.693571e-05,5.654204e-05,5.652641e-05,5.615417e-05,5.601596e-05,5.577212e-05,5.551565e-05,5.539589e-05,5.502546e-05,5.454537e-05,5.407533e-05,5.361525e-05,5.316505e-05,5.272464e-05,5.229388e-05,5.187265e-05,5.146083e-05,5.105825e-05,5.066479e-05,5.028026e-05,4.990453e-05,4.953743e-05,4.917878e-05,4.882842e-05,4.848619e-05,4.815192e-05,4.782543e-05,4.750656e-05,4.719513e-05,4.689099e-05,4.659396e-05,4.630389e-05,4.602060e-05
0.000000e+00,4.488889e-09,1.058906e-08,3.778625e-08,8.826047e-08,1.307134e-07,3.106869e-07,3.207426e-07,6.597891e-07,7.906366e-07,1.218036e-06,1.689426e-06,2.067478e-06,3.130695e-06,3.235231e-06,4.683578e-06,5.066062e-06,6.352143e-06,7.364145e-06,8.193018e-06,9.929995e-06,1.017439e-05,1.227432e-05,1.270697e-05,1.447546e-05,1.565483e-05,1.676213e-05,1.873777e-05,1.911893e-05,2.153027e-05,2.192009e-05,2.398038e-05,2.516558e-05,2.645358e-05,2.843857e-05,2.893474e-05,3.140952e-05,3.170542e-05,3.386465e-05,3.493554e-05,3.628814e-05,3.810229e-05,3.866945e-05,4.099945e-05,4.118339e-05,4.327049e-05,4.416095e-05,4.547631e-05,4.702128e-05,4.761194e-05,4.967360e-05,4.975449e-05,5.165856e-05,5.235400e-05,5.356504e-05,5.481608e-05,5.539204e-05,5.713926e-05,5.880698e-05,5.932397e-05,6.039594e-05,6.137206e-05,6.190729e-05,6.328651e-05,6.334248e-05,6.470320e-05,6.507111e-05,6.599133e-05,6.673022e-05,6.720892e-05,6.826861e-05,6.835808e-05,6.944102e-05,6.969132e-05,7.045997e-05,7.100348e-05,7.141720e-05,7.221029e-05,7.231496e-05,7.315549e-05,7.331693e-05,7.394102e-05,7.432848e-05,7.467371e-05,7.524992e-05,7.535572e-05,7.598913e-05,7.608611e-05,7.657599e-05,7.684173e-05,7.711827e-05,7.752130e-05,7.761791e-05,7.807677e-05,7.812918e-05,7.849666e-05,7.866952e-05,7.887933e-05,7.914631e-05,7.922647e-05,7.953971e-05,7.956335e-05,7.982062e-05,7.992428e-05,8.007072e-05,8.023253e-05,8.029147e-05,8.048426e-05,8.049141e-05,8.065045e-05,8.070402e-05,8.079135e-05,8.087334e-05,8.090818e-05,8.100216e-05,8.107443e-05,8.109316e-05,8.112610e-05,8.114884e-05,8.115822e-05,8.117160e-05,8.117180e-05,8.116783e-05,8.116370e-05,8.114723e-05,8.112726e-05,8.111089e-05,8.106430e-05,8.105968e-05,8.099440e-05,8.097673e-05,8.091585e-05,8.086634e-05,8.082477e-05,8.073483e-05,8.072189e-05,8.060788e-05,8.058380e-05,8.048340e-05,8.041475e-05,8.034909e-05,8.022910e-05,8.020554e-05,8.005332e-05,8.002820e-05,7.989298e-05,7.981329e-05,7.972505e-05,7.958557e-05,7.955002e-05,7.936837e-05,7.934615e-05,7.918055e-05,7.909607e-05,7.898701e-05,7.883633e-05,7.878814e-05,7.858436e-05,7.856785e-05,7.837602e-05,7.829150e-05,7.816350e-05,7.800809e-05,7.794713e-05,7.772725e-05,7.771838e-05,7.750415e-05,7.742311e-05,7.727814e-05,7.712293e-05,7.704949e-05,7.681848e-05,7.651035e-05,7.619909e-05,7.588522e-05,7.556921e-05,7.525153e-05,7.493259e-05,7.461278e-05,7.429247e-05,7.397200e-05,7.365168e-05,7.333181e-05,7.301266e-05,7.269449e-05,7.237753e-05,7.206200e-05,7.174809e-05,7.143599e-05,7.112588e-05,7.081790e-05,7.051220e-05,7.020892e-05,6.990817e-05,6.961007e-05,6.931471e-05
0.000000e+00,1.551906e-09,4.669373e-09,2.219652e-08,5.946479e-08,9.236638e-08,2.345592e-07,2.424754e-07,5.028362e-07,5.997864e-07,9.054228e-07,1.229444e-06,1.484434e-06,2.200978e-06,2.272281e-06,3.288283e-06,3.566139e-06,4.528719e-06,5.313630e-06,5.971851e-06,7.388068e-06,7.590759e-06,9.360316e-06,9.730287e-06,1.125797e-05,1.228834e-05,1.326266e-05,1.501438e-05,1.535398e-05,1.751186e-05,1.786197e-05,1.971665e-05,2.078602e-05,2.194945e-05,2.374382e-05,2.419241e-05,2.642912e-05,2.669638e-05,2.864478e-05,2.960959e-05,3.082640e-05,3.245474e-05,3.296283e-05,3.504475e-05,3.520871e-05,3.706460e-05,3.785377e-05,3.901640e-05,4.037701e-05,4.089570e-05,4.269930e-05,4.276984e-05,4.442510e-05,4.502710e-05,4.607196e-05,4.714655e-05,4.763958e-05,4.912833e-05,5.053908e-05,5.097426e-05,5.187318e-05,5.268755e-05,5.313232e-05,5.427238e-05,5.431845e-05,5.543370e-05,5.573358e-05,5.648037e-05,5.707644e-05,5.746084e-05,5.830652e-05,5.837757e-05,5.923304e-05,5.942951e-05,6.002972e-05,6.045109e-05,6.077005e-05,6.137686e-05,6.145646e-05,6.209134e-05,6.221234e-05,6.267702e-05,6.296287e-05,6.321575e-05,6.363361e-05,6.370973e-05,6.416110e-05,6.422950e-05,6.457191e-05,6.475528e-05,6.494416e-05,6.521548e-05,6.527976e-05,6.558056e-05,6.561441e-05,6.584835e-05,6.595615e-05,6.608482e-05,6.624460e-05,6.629161e-05,6.647029e-05,6.648342e-05,6.662237e-05,6.667608e-05,6.674928e-05,6.682585e-05,6.685241e-05,6.693306e-05,6.693584e-05,6.699250e-05,6.700894e-05,6.703193e-05,6.704790e-05,6.705249e-05,6.705529e-05,6.704136e-05,6.703354e-05,6.701171e-05,6.698492e-05,6.696728e-05,6.691156e-05,6.690898e-05,6.683766e-05,6.681548e-05,6.675416e-05,6.669854e-05,6.665925e-05,6.656250e-05,6.655368e-05,6.643815e-05,6.640901e-05,6.631333e-05,6.623962e-05,6.617987e-05,6.605576e-05,6.603838e-05,6.588942e-05,6.585878e-05,6.573355e-05,6.564995e-05,6.557130e-05,6.543043e-05,6.540314e-05,6.522956e-05,6.520132e-05,6.505100e-05,6.496365e-05,6.486788e-05,6.471837e-05,6.468060e-05,6.448953e-05,6.446637e-05,6.429505e-05,6.420848e-05,6.409748e-05,6.394546e-05,6.389715e-05,6.369437e-05,6.367805e-05,6.348941e-05,6.340689e-05,6.328256e-05,6.313261e-05,6.307408e-05,6.286420e-05,6.285578e-05,6.265315e-05,6.257693e-05,6.244116e-05,6.229657e-05,6.222842e-05,6.201513e-05,6.173305e-05,6.145071e-05,6.116847e-05,6.088667e-05,6.060560e-05,6.032554e-05,6.004676e-05,5.976949e-05,5.949394e-05,5.922030e-05,5.894877e-05,5.867949e-05,5.841262e-05,5.814828e-05,5.788660e-05,5.762768e-05,5.737162e-05,5.711850e-05,5.686839e-05,5.662136e-05,5.637747e-05,5.613676e-05,5.589927e-05,5.566504e-05
0.000000e+00,3.347211e-10,1.054956e-09,5.367344e-09,1.495091e-08,2.357636e-08,6.138221e-08,6.349687e-08,1.330718e-07,1.589162e-07,2.400176e-07,3.253880e-07,3.922128e-07,5.791414e-07,5.977294e-07,8.638942e-07,9.373739e-07,1.194933e-06,1.408399e-06,1.589501e-06,1.983986e-06,2.040841e-06,2.539552e-06,2.644132e-06,3.076205e-06,3.367431e-06,3.642419e-06,4.135506e-06,4.230878e-06,4.835066e-06,4.932792e-06,5.449026e-06,5.745560e-06,6.067231e-06,6.561388e-06,6.684547e-06,7.296253e-06,7.369073e-06,7.898075e-06,8.158750e-06,8.486219e-06,8.922023e-06,9.057406e-06,9.608894e-06,9.652092e-06,1.013846e-05,1.034375e-05,1.064440e-05,1.099332e-05,1.112546e-05,1.158086e-05,1.159854e-05,1.201018e-05,1.215832e-05,1.241334e-05,1.267264e-05,1.279054e-05,1.314225e-05,1.346910e-05,1.356857e-05,1.377189e-05,1.395346e-05,1.405152e-05,1.429910e-05,1.430898e-05,1.454532e-05,1.460785e-05,1.476160e-05,1.488219e-05,1.495891e-05,1.512459e-05,1.513831e-05,1.530088e-05,1.533751e-05,1.544765e-05,1.552330e-05,1.557960e-05,1.568423e-05,1.569771e-05,1.580288e-05,1.582244e-05,1.589599e-05,1.593991e-05,1.597786e-05,1.603852e-05,1.604928e-05,1.611098e-05,1.611999e-05,1.616364e-05,1.618590e-05,1.620792e-05,1.623771e-05,1.624442e-05,1.627370e-05,1.627676e-05,1.629630e-05,1.630426e-05,1.631271e-05,1.632133e-05,1.632339e-05,1.632877e-05,1.632898e-05,1.632924e-05,1.632814e-05,1.632518e-05,1.631964e-05,1.631693e-05,1.630482e-05,1.630426e-05,1.628914e-05,1.628268e-05,1.627018e-05,1.625554e-05,1.624818e-05,1.622341e-05,1.619606e-05,1.618681e-05,1.616637e-05,1.614622e-05,1.613451e-05,1.610207e-05,1.610068e-05,1.606503e-05,1.605475e-05,1.602774e-05,1.600463e-05,1.598893e-05,1.595202e-05,1.594876e-05,1.590734e-05,1.589723e-05,1.586480e-05,1.584052e-05,1.582124e-05,1.578214e-05,1.577676e-05,1.573147e-05,1.572233e-05,1.568546e-05,1.566127e-05,1.563880e-05,1.559916e-05,1.559157e-05,1.554385e-05,1.553618e-05,1.549571e-05,1.547247e-05,1.544720e-05,1.540817e-05,1.539839e-05,1.534933e-05,1.534343e-05,1.530008e-05,1.527836e-05,1.525067e-05,1.521306e-05,1.520117e-05,1.515160e-05,1.514763e-05,1.510201e-05,1.508217e-05,1.505243e-05,1.501676e-05,1.500289e-05,1.495344e-05,1.495147e-05,1.490410e-05,1.488636e-05,1.485489e-05,1.482152e-05,1.480584e-05,1.475698e-05,1.469280e-05,1.462902e-05,1.456570e-05,1.450286e-05,1.444054e-05,1.437878e-05,1.431760e-05,1.425702e-05,1.419707e-05,1.413776e-05,1.407912e-05,1.402116e-05,1.396390e-05,1.390733e-05,1.385149e-05,1.379636e-05,1.374196e-05,1.368830e-05,1.363538e-05,1.358320e-05,1.353176e-05,1.348107e-05,1.343112e-05,1.338192e-05
0.000000e+00,3.575961e-11,1.366711e-10,9.884718e-10,3.616667e-09,6.517247e-09,2.291623e-08,2.396879e-08,6.417273e-08,8.131323e-08,1.408273e-07,2.108606e-07,2.698422e-07,4.498410e-07,4.687610e-07,7.561957e-07,8.404597e-07,1.151038e-06,1.425810e-06,1.671126e-06,2.244333e-06,2.331343e-06,3.141715e-06,3.322276e-06,4.106333e-06,4.668509e-06,5.223403e-06,6.274704e-06,6.486128e-06,7.883908e-06,8.119230e-06,9.403527e-06,1.017191e-05,1.103016e-05,1.239803e-05,1.274818e-05,1.454174e-05,1.476130e-05,1.639525e-05,1.722590e-05,1.829370e-05,1.975782e-05,2.022292e-05,2.216974e-05,2.232587e-05,2.412212e-05,2.490217e-05,2.606924e-05,2.746245e-05,2.800147e-05,2.991040e-05,2.998617e-05,3.178880e-05,3.245634e-05,3.363055e-05,3.485937e-05,3.543057e-05,3.718470e-05,3.888970e-05,3.942448e-05,4.054303e-05,4.157320e-05,4.214290e-05,4.362730e-05,4.368804e-05,4.517776e-05,4.558489e-05,4.661174e-05,4.744541e-05,4.799009e-05,4.920935e-05,4.931318e-05,5.058166e-05,5.087807e-05,5.179639e-05,5.245354e-05,5.295839e-05,5.393825e-05,5.406882e-05,5.512893e-05,5.533503e-05,5.614006e-05,5.664695e-05,5.710360e-05,5.787726e-05,5.802100e-05,5.889369e-05,5.902927e-05,5.972316e-05,6.010638e-05,6.051087e-05,6.111196e-05,6.125828e-05,6.196686e-05,6.204934e-05,6.263801e-05,6.292183e-05,6.327316e-05,6.373264e-05,6.387368e-05,6.444092e-05,6.448490e-05,6.497619e-05,6.518164e-05,6.548079e-05,6.582580e-05,6.595595e-05,6.640290e-05,6.642021e-05,6.682281e-05,6.696758e-05,6.721682e-05,6.747052e-05,6.758604e-05,6.793153e-05,6.825434e-05,6.835301e-05,6.855545e-05,6.873723e-05,6.883585e-05,6.908639e-05,6.909645e-05,6.933815e-05,6.940256e-05,6.956183e-05,6.968773e-05,6.976831e-05,6.994377e-05,6.995840e-05,7.013286e-05,7.017249e-05,7.029245e-05,7.037559e-05,7.043788e-05,7.055469e-05,7.056983e-05,7.068897e-05,7.071132e-05,7.079593e-05,7.084694e-05,7.089132e-05,7.096294e-05,7.097572e-05,7.104970e-05,7.106061e-05,7.111380e-05,7.114120e-05,7.116852e-05,7.120588e-05,7.121437e-05,7.125181e-05,7.125576e-05,7.128131e-05,7.129189e-05,7.130330e-05,7.131525e-05,7.131820e-05,7.132640e-05,7.132678e-05,7.132829e-05,7.132736e-05,7.132423e-05,7.131782e-05,7.131457e-05,7.129964e-05,7.129894e-05,7.127978e-05,7.127147e-05,7.125527e-05,7.123610e-05,7.122641e-05,7.119348e-05,7.114424e-05,7.108894e-05,7.102813e-05,7.096232e-05,7.089200e-05,7.081761e-05,7.073957e-05,7.065827e-05,7.057409e-05,7.048738e-05,7.039844e-05,7.030759e-05,7.021511e-05,7.012125e-05,7.002627e-05,6.993038e-05,6.983380e-05,6.973672e-05,6.963933e-05,6.954180e-05,6.944427e-05,6.934690e-05,6.924981e-05,6.915313e-05
0.000000e+00,7.730806e-10,2.616994e-09,1.501909e-08,4.553447e-08,7.465848e-08,2.113498e-07,2.192917e-07,4.918057e-07,5.974312e-07,9.406739e-07,1.318026e-06,1.622978e-06,2.511295e-06,2.601937e-06,3.929582e-06,4.302496e-06,5.616921e-06,6.705546e-06,7.624061e-06,9.602794e-06,9.885381e-06,1.233818e-05,1.284716e-05,1.493333e-05,1.632637e-05,1.763360e-05,1.996101e-05,2.040902e-05,2.323350e-05,2.368834e-05,2.608292e-05,2.745276e-05,2.893449e-05,3.120279e-05,3.176669e-05,3.455951e-05,3.489112e-05,3.729476e-05,3.847580e-05,3.995632e-05,4.192119e-05,4.253031e-05,4.500520e-05,4.519862e-05,4.737178e-05,4.828645e-05,4.962306e-05,5.116977e-05,5.175415e-05,5.376199e-05,5.383972e-05,5.564522e-05,5.629264e-05,5.740384e-05,5.852910e-05,5.903907e-05,6.055315e-05,6.194922e-05,6.237164e-05,6.323104e-05,6.399336e-05,6.440279e-05,6.542833e-05,6.546901e-05,6.643452e-05,6.668749e-05,6.730418e-05,6.778194e-05,6.808277e-05,6.872297e-05,6.877532e-05,6.938672e-05,6.952191e-05,6.992173e-05,7.018972e-05,7.038503e-05,7.073698e-05,7.078109e-05,7.111419e-05,7.117361e-05,7.138843e-05,7.150910e-05,7.160778e-05,7.175235e-05,7.177597e-05,7.189658e-05,7.191169e-05,7.197298e-05,7.199490e-05,7.200837e-05,7.200919e-05,7.200577e-05,7.196801e-05,7.196125e-05,7.189779e-05,7.185726e-05,7.179762e-05,7.170293e-05,7.166988e-05,7.151680e-05,7.150352e-05,7.134047e-05,7.126387e-05,7.114285e-05,7.098841e-05,7.092577e-05,7.069096e-05,7.068122e-05,7.044003e-05,7.034604e-05,7.017448e-05,6.998628e-05,6.989572e-05,6.960506e-05,6.930373e-05,6.920525e-05,6.899288e-05,6.878944e-05,6.867358e-05,6.836001e-05,6.834681e-05,6.801351e-05,6.791914e-05,6.767454e-05,6.746877e-05,6.733070e-05,6.701071e-05,6.698274e-05,6.663135e-05,6.654657e-05,6.627716e-05,6.607783e-05,6.592079e-05,6.560581e-05,6.556278e-05,6.520365e-05,6.513173e-05,6.484386e-05,6.465666e-05,6.448386e-05,6.418160e-05,6.412406e-05,6.376481e-05,6.370741e-05,6.340647e-05,6.323489e-05,6.304936e-05,6.276474e-05,6.269375e-05,6.233992e-05,6.229759e-05,6.198811e-05,6.183401e-05,6.163854e-05,6.137450e-05,6.129142e-05,6.094693e-05,6.091949e-05,6.060523e-05,6.046937e-05,6.026648e-05,6.002448e-05,5.993081e-05,5.959835e-05,5.958512e-05,5.926920e-05,5.915153e-05,5.894346e-05,5.872395e-05,5.862122e-05,5.830255e-05,5.788749e-05,5.747889e-05,5.707686e-05,5.668148e-05,5.629280e-05,5.591087e-05,5.553570e-05,5.516732e-05,5.480571e-05,5.445085e-05,5.410272e-05,5.376128e-05,5.342647e-05,5.309826e-05,5.277656e-05,5.246133e-05,5.215247e-05,5.184992e-05,5.155359e-05,5.126340e-05,5.097926e-05,5.070107e-05,5.042875e-05,5.016219e-05
0.000000e+00,3.361602e-11,1.289327e-10,9.398295e-10,3.467280e-09,6.281064e-09,2.246640e-08,2.351771e-08,6.450604e-08,8.239903e-08,1.461116e-07,2.237713e-07,2.910836e-07,5.050642e-07,5.281726e-07,8.891591e-07,9.975239e-07,1.401968e-06,1.762407e-06,2.083764e-06,2.826826e-06,2.938319e-06,3.957550e-06,4.179808e-06,5.124893e-06,5.783391e-06,6.418739e-06,7.585838e-06,7.815146e-06,9.289736e-06,9.531331e-06,1.081892e-05,1.156576e-05,1.238060e-05,1.363972e-05,1.395461e-05,1.552293e-05,1.570996e-05,1.706971e-05,1.773989e-05,1.858136e-05,1.969961e-05,2.004645e-05,2.145565e-05,2.156574e-05,2.280159e-05,2.332095e-05,2.407873e-05,2.495344e-05,2.528320e-05,2.641262e-05,2.645622e-05,2.746591e-05,2.782643e-05,2.844310e-05,2.906459e-05,2.934517e-05,3.017387e-05,3.093156e-05,3.115947e-05,3.162104e-05,3.202797e-05,3.224548e-05,3.278688e-05,3.280825e-05,3.331287e-05,3.344423e-05,3.376291e-05,3.400822e-05,3.416194e-05,3.448699e-05,3.451345e-05,3.482085e-05,3.488843e-05,3.508743e-05,3.522005e-05,3.531631e-05,3.548891e-05,3.551047e-05,3.567269e-05,3.570154e-05,3.580561e-05,3.586397e-05,3.591167e-05,3.598168e-05,3.599315e-05,3.605216e-05,3.605965e-05,3.609067e-05,3.610240e-05,3.611046e-05,3.611395e-05,3.611322e-05,3.610046e-05,3.609795e-05,3.607359e-05,3.605764e-05,3.603391e-05,3.599592e-05,3.598260e-05,3.592076e-05,3.591538e-05,3.584936e-05,3.581834e-05,3.576933e-05,3.570684e-05,3.568151e-05,3.558666e-05,3.558273e-05,3.548548e-05,3.544764e-05,3.537862e-05,3.530302e-05,3.526667e-05,3.515017e-05,3.502961e-05,3.499026e-05,3.490546e-05,3.482430e-05,3.477812e-05,3.465324e-05,3.464799e-05,3.451541e-05,3.447790e-05,3.438071e-05,3.429900e-05,3.424420e-05,3.411723e-05,3.410613e-05,3.396677e-05,3.393316e-05,3.382635e-05,3.374733e-05,3.368508e-05,3.356021e-05,3.354315e-05,3.340074e-05,3.337222e-05,3.325803e-05,3.318375e-05,3.311516e-05,3.299514e-05,3.297228e-05,3.282951e-05,3.280669e-05,3.268698e-05,3.261868e-05,3.254479e-05,3.243136e-05,3.240305e-05,3.226184e-05,3.224494e-05,3.212126e-05,3.205962e-05,3.198137e-05,3.187557e-05,3.184226e-05,3.170398e-05,3.169296e-05,3.156661e-05,3.151192e-05,3.143018e-05,3.133257e-05,3.129476e-05,3.116038e-05,3.115503e-05,3.102710e-05,3.097939e-05,3.089494e-05,3.080573e-05,3.076394e-05,3.063413e-05,3.046465e-05,3.029735e-05,3.013227e-05,2.996946e-05,2.980895e-05,2.965076e-05,2.949491e-05,2.934143e-05,2.919032e-05,2.904159e-05,2.889525e-05,2.875129e-05,2.860971e-05,2.847050e-05,2.833366e-05,2.819918e-05,2.806703e-05,2.793721e-05,2.780969e-05,2.768447e-05,2.756151e-05,2.744079e-05,2.732230e-05,2.720601e-05
0.000000e+00,1.476184e-09,4.380260e-09,2.040720e-08,5.406217e-08,8.364257e-08,2.115372e-07,2.186791e-07,4.555630e-07,5.448374e-07,8.300330e-07,1.138029e-06,1.383813e-06,2.085409e-06,2.155788e-06,3.161027e-06,3.435202e-06,4.377357e-06,5.134297e-06,5.760343e-06,7.080181e-06,7.266130e-06,8.860225e-06,9.187221e-06,1.051636e-05,1.139493e-05,1.221345e-05,1.365742e-05,1.393349e-05,1.566052e-05,1.593651e-05,1.738020e-05,1.819923e-05,1.907977e-05,2.041739e-05,2.074806e-05,2.237553e-05,2.256769e-05,2.395426e-05,2.463177e-05,2.547793e-05,2.659610e-05,2.694175e-05,2.834224e-05,2.845146e-05,2.967712e-05,3.019240e-05,3.094517e-05,3.181653e-05,3.214599e-05,3.327996e-05,3.332394e-05,3.434805e-05,3.471666e-05,3.535151e-05,3.599782e-05,3.629207e-05,3.717163e-05,3.799237e-05,3.824295e-05,3.875655e-05,3.921702e-05,3.946651e-05,4.009925e-05,4.012461e-05,4.073322e-05,4.089508e-05,4.129468e-05,4.160988e-05,4.181129e-05,4.224889e-05,4.228529e-05,4.271887e-05,4.281715e-05,4.311414e-05,4.331952e-05,4.347313e-05,4.376058e-05,4.379779e-05,4.409001e-05,4.414471e-05,4.435156e-05,4.447603e-05,4.458417e-05,4.475840e-05,4.478948e-05,4.496904e-05,4.499548e-05,4.512433e-05,4.519067e-05,4.525677e-05,4.534718e-05,4.536771e-05,4.545841e-05,4.546799e-05,4.553009e-05,4.555590e-05,4.558390e-05,4.561351e-05,4.562092e-05,4.564219e-05,4.564324e-05,4.564869e-05,4.564736e-05,4.564134e-05,4.562798e-05,4.562103e-05,4.558858e-05,4.558704e-05,4.554479e-05,4.552639e-05,4.549038e-05,4.544770e-05,4.542608e-05,4.535255e-05,4.527041e-05,4.524241e-05,4.518026e-05,4.511862e-05,4.508267e-05,4.498247e-05,4.497816e-05,4.486724e-05,4.483510e-05,4.475039e-05,4.467761e-05,4.462805e-05,4.451101e-05,4.450064e-05,4.436857e-05,4.433622e-05,4.423222e-05,4.415412e-05,4.409193e-05,4.396549e-05,4.394805e-05,4.380089e-05,4.377109e-05,4.365075e-05,4.357160e-05,4.349792e-05,4.336765e-05,4.334266e-05,4.318522e-05,4.315984e-05,4.302583e-05,4.294870e-05,4.286473e-05,4.273475e-05,4.270211e-05,4.253819e-05,4.251844e-05,4.237313e-05,4.230020e-05,4.220713e-05,4.208043e-05,4.204034e-05,4.187291e-05,4.185949e-05,4.170500e-05,4.163773e-05,4.153674e-05,4.141544e-05,4.136825e-05,4.119967e-05,4.119293e-05,4.103110e-05,4.097044e-05,4.086264e-05,4.074821e-05,4.069441e-05,4.052648e-05,4.030545e-05,4.008529e-05,3.986618e-05,3.964827e-05,3.943170e-05,3.921662e-05,3.900312e-05,3.879131e-05,3.858130e-05,3.837316e-05,3.816697e-05,3.796281e-05,3.776073e-05,3.756079e-05,3.736303e-05,3.716750e-05,3.697423e-05,3.678326e-05,3.659460e-05,3.640828e-05,3.622431e-05,3.604272e-05,3.586351e-05,3.568668e-05
0.000000e+00,2.233579e-09,5.642545e-09,2.161392e-08,5.190817e-08,7.741428e-08,1.838229e-07,1.896714e-07,3.813229e-07,4.528231e-07,6.794719e-07,9.211358e-07,1.111264e-06,1.639129e-06,1.690906e-06,2.412680e-06,2.605410e-06,3.261685e-06,3.787422e-06,4.224092e-06,5.155949e-06,5.288784e-06,6.445973e-06,6.687667e-06,7.686013e-06,8.360262e-06,8.998857e-06,1.015021e-05,1.037397e-05,1.180048e-05,1.203276e-05,1.326749e-05,1.398289e-05,1.476431e-05,1.597634e-05,1.628073e-05,1.780728e-05,1.799072e-05,1.933529e-05,2.000606e-05,2.085706e-05,2.200524e-05,2.236583e-05,2.385579e-05,2.397402e-05,2.532201e-05,2.590092e-05,2.676043e-05,2.777698e-05,2.816772e-05,2.954122e-05,2.959543e-05,3.087888e-05,3.135137e-05,3.217921e-05,3.304154e-05,3.344112e-05,3.466387e-05,3.584697e-05,3.621715e-05,3.699024e-05,3.770103e-05,3.809370e-05,3.911577e-05,3.915756e-05,4.018219e-05,4.046213e-05,4.116810e-05,4.174129e-05,4.211586e-05,4.295471e-05,4.302617e-05,4.389979e-05,4.410409e-05,4.473760e-05,4.519150e-05,4.554058e-05,4.621909e-05,4.630961e-05,4.704548e-05,4.718876e-05,4.774910e-05,4.810252e-05,4.842134e-05,4.896241e-05,4.906308e-05,4.967518e-05,4.977042e-05,5.025851e-05,5.052855e-05,5.081395e-05,5.123879e-05,5.134234e-05,5.184453e-05,5.190307e-05,5.232133e-05,5.252330e-05,5.277357e-05,5.310134e-05,5.320205e-05,5.360753e-05,5.363900e-05,5.399081e-05,5.413807e-05,5.435262e-05,5.460025e-05,5.469371e-05,5.501478e-05,5.502722e-05,5.531655e-05,5.542059e-05,5.559969e-05,5.578193e-05,5.586488e-05,5.611275e-05,5.634395e-05,5.641451e-05,5.655907e-05,5.668860e-05,5.675873e-05,5.693639e-05,5.694351e-05,5.711395e-05,5.715919e-05,5.727063e-05,5.735824e-05,5.741405e-05,5.753474e-05,5.754474e-05,5.766320e-05,5.768987e-05,5.776992e-05,5.782472e-05,5.786536e-05,5.794037e-05,5.794997e-05,5.802420e-05,5.803784e-05,5.808847e-05,5.811810e-05,5.814320e-05,5.818209e-05,5.818879e-05,5.822561e-05,5.823072e-05,5.825406e-05,5.826484e-05,5.827447e-05,5.828527e-05,5.828722e-05,5.829263e-05,5.829280e-05,5.829102e-05,5.828818e-05,5.828272e-05,5.827213e-05,5.826803e-05,5.824724e-05,5.824533e-05,5.822064e-05,5.820843e-05,5.818850e-05,5.816207e-05,5.815108e-05,5.810864e-05,5.810684e-05,5.806142e-05,5.804330e-05,5.800966e-05,5.797199e-05,5.795359e-05,5.789343e-05,5.780812e-05,5.771651e-05,5.761906e-05,5.751618e-05,5.740828e-05,5.729574e-05,5.717893e-05,5.705819e-05,5.693385e-05,5.680623e-05,5.667560e-05,5.654227e-05,5.640649e-05,5.626852e-05,5.612858e-05,5.598692e-05,5.584375e-05,5.569926e-05,5.555365e-05,5.540709e-05,5.525977e-05,5.511183e-05,5.496344e-05,5.481474e-05
0.000000e+00,4.875698e-11,1.883732e-10,1.393285e-09,5.203787e-09,9.485111e-09,3.438009e-08,3.600480e-08,9.953204e-08,1.272715e-07,2.257393e-07,3.449355e-07,4.475232e-07,7.700899e-07,8.046769e-07,1.341632e-06,1.502226e-06,2.102158e-06,2.639807e-06,3.122896e-06,4.256723e-06,4.429067e-06,6.033341e-06,6.390249e-06,7.936819e-06,9.042340e-06,1.013087e-05,1.218661e-05,1.259909e-05,1.531905e-05,1.577586e-05,1.826384e-05,1.974847e-05,2.140340e-05,2.403373e-05,2.470560e-05,2.813733e-05,2.855626e-05,3.166533e-05,3.323971e-05,3.525701e-05,3.800999e-05,3.888113e-05,4.250834e-05,4.279782e-05,4.611162e-05,4.754069e-05,4.966661e-05,5.218410e-05,5.315178e-05,5.654855e-05,5.668235e-05,5.984124e-05,6.099858e-05,6.301706e-05,6.510459e-05,6.606589e-05,6.898015e-05,7.175452e-05,7.261219e-05,7.438575e-05,7.599389e-05,7.687240e-05,7.912362e-05,7.921455e-05,8.141362e-05,8.200404e-05,8.347213e-05,8.464116e-05,8.539349e-05,8.704350e-05,8.718177e-05,8.884164e-05,8.922146e-05,9.037812e-05,9.118662e-05,9.179651e-05,9.295133e-05,9.310226e-05,9.430089e-05,9.452824e-05,9.539791e-05,9.593003e-05,9.639880e-05,9.716918e-05,9.730891e-05,9.813344e-05,9.825776e-05,9.887743e-05,9.920737e-05,9.954572e-05,1.000290e-04,1.001429e-04,1.006735e-04,1.007329e-04,1.011416e-04,1.013289e-04,1.015513e-04,1.018259e-04,1.019063e-04,1.022101e-04,1.022323e-04,1.024662e-04,1.025560e-04,1.026777e-04,1.028040e-04,1.028475e-04,1.029784e-04,1.029829e-04,1.030731e-04,1.030988e-04,1.031340e-04,1.031573e-04,1.031634e-04,1.031634e-04,1.031360e-04,1.031218e-04,1.030833e-04,1.030369e-04,1.030068e-04,1.029126e-04,1.029083e-04,1.027892e-04,1.027524e-04,1.026512e-04,1.025598e-04,1.024954e-04,1.023376e-04,1.023233e-04,1.021358e-04,1.020887e-04,1.019343e-04,1.018157e-04,1.017197e-04,1.015208e-04,1.014930e-04,1.012551e-04,1.012062e-04,1.010068e-04,1.008739e-04,1.007490e-04,1.005257e-04,1.004825e-04,1.002079e-04,1.001632e-04,9.992584e-05,9.978803e-05,9.963704e-05,9.940151e-05,9.934204e-05,9.904139e-05,9.900496e-05,9.873561e-05,9.859956e-05,9.842518e-05,9.818642e-05,9.811056e-05,9.779217e-05,9.776655e-05,9.747042e-05,9.734086e-05,9.714568e-05,9.691023e-05,9.681832e-05,9.648866e-05,9.647543e-05,9.615702e-05,9.603721e-05,9.582370e-05,9.559622e-05,9.548897e-05,9.515309e-05,9.470840e-05,9.426267e-05,9.381638e-05,9.336998e-05,9.292389e-05,9.247850e-05,9.203414e-05,9.159114e-05,9.114980e-05,9.071040e-05,9.027318e-05,8.983837e-05,8.940619e-05,8.897682e-05,8.855045e-05,8.812723e-05,8.770731e-05,8.729083e-05,8.687790e-05,8.646863e-05,8.606312e-05,8.566146e-05,8.526373e-05,8.486999e-05
0.000000e+00,3.293153e-11,1.268012e-10,9.311543e-10,3.454382e-09,6.272621e-09,2.250826e-08,2.356207e-08,6.445624e-08,8.217788e-08,1.446539e-07,2.196326e-07,2.837487e-07,4.836216e-07,5.049342e-07,8.338728e-07,9.317170e-07,1.295701e-06,1.620171e-06,1.910439e-06,2.586977e-06,2.689220e-06,3.633216e-06,3.841304e-06,4.734822e-06,5.365414e-06,5.979783e-06,7.122719e-06,7.349367e-06,8.822196e-06,9.065927e-06,1.037568e-05,1.114330e-05,1.198707e-05,1.330300e-05,1.363429e-05,1.529649e-05,1.549603e-05,1.695449e-05,1.767817e-05,1.859108e-05,1.981120e-05,2.019117e-05,2.174192e-05,2.186351e-05,2.323270e-05,2.381027e-05,2.465509e-05,2.563319e-05,2.600268e-05,2.727101e-05,2.732005e-05,2.845729e-05,2.886398e-05,2.956027e-05,3.026268e-05,3.057998e-05,3.151755e-05,3.237501e-05,3.263290e-05,3.315507e-05,3.361518e-05,3.386099e-05,3.447230e-05,3.449641e-05,3.506523e-05,3.521311e-05,3.557147e-05,3.584687e-05,3.601922e-05,3.638297e-05,3.641253e-05,3.675539e-05,3.683059e-05,3.705162e-05,3.719854e-05,3.730493e-05,3.749510e-05,3.751880e-05,3.769652e-05,3.772800e-05,3.784119e-05,3.790431e-05,3.795567e-05,3.803048e-05,3.804265e-05,3.810458e-05,3.811232e-05,3.814374e-05,3.815507e-05,3.816222e-05,3.816341e-05,3.816193e-05,3.814463e-05,3.814149e-05,3.811191e-05,3.809301e-05,3.806523e-05,3.802125e-05,3.800593e-05,3.793522e-05,3.792911e-05,3.785421e-05,3.781914e-05,3.776389e-05,3.769363e-05,3.766520e-05,3.755896e-05,3.755456e-05,3.744593e-05,3.740372e-05,3.732682e-05,3.724267e-05,3.720225e-05,3.707280e-05,3.693900e-05,3.689535e-05,3.680133e-05,3.671140e-05,3.666024e-05,3.652194e-05,3.651612e-05,3.636935e-05,3.632782e-05,3.622026e-05,3.612983e-05,3.606917e-05,3.592865e-05,3.591637e-05,3.576212e-05,3.572491e-05,3.560666e-05,3.551916e-05,3.545021e-05,3.531189e-05,3.529299e-05,3.513518e-05,3.510356e-05,3.497695e-05,3.489457e-05,3.481848e-05,3.468527e-05,3.465989e-05,3.450135e-05,3.447599e-05,3.434296e-05,3.426702e-05,3.418484e-05,3.405863e-05,3.402712e-05,3.386987e-05,3.385104e-05,3.371320e-05,3.364447e-05,3.355719e-05,3.343912e-05,3.340192e-05,3.324747e-05,3.323515e-05,3.309389e-05,3.303271e-05,3.294124e-05,3.283195e-05,3.278959e-05,3.263899e-05,3.263299e-05,3.248947e-05,3.243593e-05,3.234110e-05,3.224087e-05,3.219389e-05,3.204789e-05,3.185708e-05,3.166850e-05,3.148220e-05,3.129823e-05,3.111664e-05,3.093746e-05,3.076072e-05,3.058644e-05,3.041465e-05,3.024535e-05,3.007855e-05,2.991426e-05,2.975249e-05,2.959322e-05,2.943646e-05,2.928220e-05,2.913043e-05,2.898113e-05,2.883430e-05,2.868990e-05,2.854794e-05,2.840838e-05,2.827120e-05,2.813639e-05
0.000000e+00,4.525021e-09,1.252320e-08,5.351208e-08,1.366061e-07,2.094566e-07,5.322080e-07,5.506841e-07,1.190318e-06,1.443690e-06,2.289544e-06,3.250263e-06,4.040375e-06,6.347907e-06,6.580713e-06,9.877740e-06,1.076204e-05,1.374294e-05,1.607604e-05,1.796867e-05,2.186513e-05,2.240511e-05,2.695775e-05,2.787647e-05,3.156563e-05,3.396886e-05,3.618582e-05,4.005183e-05,4.078513e-05,4.533630e-05,4.605843e-05,4.981642e-05,5.193587e-05,5.420625e-05,5.764229e-05,5.848985e-05,6.265435e-05,6.314558e-05,6.668968e-05,6.842227e-05,7.058828e-05,7.345641e-05,7.434481e-05,7.795578e-05,7.823830e-05,8.141931e-05,8.276327e-05,8.473483e-05,8.703061e-05,8.790285e-05,9.092473e-05,9.104259e-05,9.380250e-05,9.480370e-05,9.653874e-05,9.832006e-05,9.913645e-05,1.015989e-04,1.039297e-04,1.046483e-04,1.061324e-04,1.074767e-04,1.082108e-04,1.100929e-04,1.101690e-04,1.120106e-04,1.125059e-04,1.137397e-04,1.147247e-04,1.153601e-04,1.167582e-04,1.168757e-04,1.182903e-04,1.186152e-04,1.196076e-04,1.203043e-04,1.208314e-04,1.218339e-04,1.219653e-04,1.230129e-04,1.232123e-04,1.239775e-04,1.244474e-04,1.248625e-04,1.255469e-04,1.256713e-04,1.264071e-04,1.265183e-04,1.270730e-04,1.273686e-04,1.276719e-04,1.281049e-04,1.282069e-04,1.286807e-04,1.287336e-04,1.290962e-04,1.292612e-04,1.294559e-04,1.296936e-04,1.297625e-04,1.300185e-04,1.300368e-04,1.302262e-04,1.302963e-04,1.303880e-04,1.304774e-04,1.305062e-04,1.305829e-04,1.305851e-04,1.306201e-04,1.306243e-04,1.306200e-04,1.305995e-04,1.305844e-04,1.305152e-04,1.304142e-04,1.303754e-04,1.302831e-04,1.301842e-04,1.301236e-04,1.299452e-04,1.299373e-04,1.297256e-04,1.296620e-04,1.294902e-04,1.293381e-04,1.292323e-04,1.289765e-04,1.289534e-04,1.286548e-04,1.285803e-04,1.283376e-04,1.281523e-04,1.280031e-04,1.276953e-04,1.276524e-04,1.272867e-04,1.272119e-04,1.269070e-04,1.267043e-04,1.265142e-04,1.261749e-04,1.261093e-04,1.256934e-04,1.256258e-04,1.252671e-04,1.250591e-04,1.248314e-04,1.244766e-04,1.243871e-04,1.239350e-04,1.238802e-04,1.234757e-04,1.232715e-04,1.230099e-04,1.226520e-04,1.225384e-04,1.220617e-04,1.220234e-04,1.215805e-04,1.213869e-04,1.210953e-04,1.207438e-04,1.206067e-04,1.201151e-04,1.200954e-04,1.196212e-04,1.194428e-04,1.191253e-04,1.187871e-04,1.186278e-04,1.181293e-04,1.174703e-04,1.168108e-04,1.161519e-04,1.154941e-04,1.148382e-04,1.141849e-04,1.135346e-04,1.128880e-04,1.122455e-04,1.116076e-04,1.109747e-04,1.103473e-04,1.097256e-04,1.091099e-04,1.085007e-04,1.078981e-04,1.073023e-04,1.067136e-04,1.061321e-04,1.055581e-04,1.049915e-04,1.044327e-04,1.038817e-04,1.033385e-04
0.000000e+00,6.598143e-10,2.127806e-09,1.120862e-08,3.186510e-08,5.064529e-08,1.335398e-07,1.381866e-07,2.910669e-07,3.477796e-07,5.253144e-07,7.113911e-07,8.564127e-07,1.258707e-06,1.298408e-06,1.859800e-06,2.012211e-06,2.536767e-06,2.959810e-06,3.310501e-06,4.049770e-06,4.153697e-06,5.039581e-06,5.219852e-06,5.946160e-06,6.419914e-06,6.856304e-06,7.613641e-06,7.756539e-06,8.636044e-06,8.774232e-06,9.486096e-06,9.881568e-06,1.029979e-05,1.092100e-05,1.107189e-05,1.179869e-05,1.188274e-05,1.247787e-05,1.276131e-05,1.310836e-05,1.355491e-05,1.369012e-05,1.422396e-05,1.426464e-05,1.471137e-05,1.489376e-05,1.515432e-05,1.544702e-05,1.555516e-05,1.591645e-05,1.593012e-05,1.624087e-05,1.634916e-05,1.653112e-05,1.671033e-05,1.678986e-05,1.701968e-05,1.722311e-05,1.728301e-05,1.740241e-05,1.750549e-05,1.755971e-05,1.769193e-05,1.769706e-05,1.781629e-05,1.784666e-05,1.791911e-05,1.797359e-05,1.800709e-05,1.807612e-05,1.808162e-05,1.814401e-05,1.815731e-05,1.819544e-05,1.821984e-05,1.823694e-05,1.826602e-05,1.826948e-05,1.829392e-05,1.829791e-05,1.831105e-05,1.831730e-05,1.832157e-05,1.832577e-05,1.832612e-05,1.832527e-05,1.832467e-05,1.831955e-05,1.831522e-05,1.830944e-05,1.829847e-05,1.829536e-05,1.827769e-05,1.827535e-05,1.825680e-05,1.824668e-05,1.823301e-05,1.821316e-05,1.820660e-05,1.817785e-05,1.817545e-05,1.814698e-05,1.813410e-05,1.811424e-05,1.808961e-05,1.807981e-05,1.804388e-05,1.804241e-05,1.800662e-05,1.799292e-05,1.796819e-05,1.794146e-05,1.792873e-05,1.788836e-05,1.784722e-05,1.783390e-05,1.780540e-05,1.777833e-05,1.776301e-05,1.772186e-05,1.772014e-05,1.767687e-05,1.766470e-05,1.763330e-05,1.760703e-05,1.758948e-05,1.754901e-05,1.754548e-05,1.750137e-05,1.749078e-05,1.745721e-05,1.743247e-05,1.741304e-05,1.737420e-05,1.736891e-05,1.732487e-05,1.731608e-05,1.728096e-05,1.725819e-05,1.723721e-05,1.720062e-05,1.719366e-05,1.715034e-05,1.714344e-05,1.710729e-05,1.708672e-05,1.706452e-05,1.703052e-05,1.702206e-05,1.697993e-05,1.697490e-05,1.693815e-05,1.691989e-05,1.689675e-05,1.686554e-05,1.685574e-05,1.681512e-05,1.681189e-05,1.677493e-05,1.675897e-05,1.673516e-05,1.670680e-05,1.669583e-05,1.665695e-05,1.665540e-05,1.661853e-05,1.660481e-05,1.658057e-05,1.655503e-05,1.654308e-05,1.650607e-05,1.645796e-05,1.641069e-05,1.636428e-05,1.631873e-05,1.627403e-05,1.623020e-05,1.618724e-05,1.614513e-05,1.610388e-05,1.606348e-05,1.602392e-05,1.598521e-05,1.594733e-05,1.591028e-05,1.587404e-05,1.583861e-05,1.580398e-05,1.577013e-05,1.573707e-05,1.570476e-05,1.567322e-05,1.564241e-05,1.561234e-05,1.558298e-05
0.000000e+00,1.477014e-10,5.581357e-10,3.944575e-09,1.414248e-08,2.521234e-08,8.637583e-08,9.025333e-08,2.363044e-07,2.978290e-07,5.097857e-07,7.575272e-07,9.655966e-07,1.600158e-06,1.666907e-06,2.682682e-06,2.980833e-06,4.078668e-06,5.045379e-06,5.902433e-06,7.876258e-06,8.171993e-06,1.087543e-05,1.146545e-05,1.397859e-05,1.573493e-05,1.743461e-05,2.057221e-05,2.119129e-05,2.519579e-05,2.585606e-05,2.939699e-05,3.146910e-05,3.374646e-05,3.730218e-05,3.819880e-05,4.271163e-05,4.325534e-05,4.724565e-05,4.923790e-05,5.176469e-05,5.516874e-05,5.623580e-05,6.062939e-05,6.097672e-05,6.491938e-05,6.660120e-05,6.908325e-05,7.199237e-05,7.310205e-05,7.696034e-05,7.711115e-05,8.064602e-05,8.192880e-05,8.415017e-05,8.642611e-05,8.746675e-05,9.059230e-05,9.352572e-05,9.442392e-05,9.626785e-05,9.792356e-05,9.882128e-05,1.010987e-04,1.011899e-04,1.033789e-04,1.039605e-04,1.053943e-04,1.065228e-04,1.072425e-04,1.088016e-04,1.089309e-04,1.104669e-04,1.108137e-04,1.118580e-04,1.125766e-04,1.131119e-04,1.141080e-04,1.142363e-04,1.152387e-04,1.154252e-04,1.161265e-04,1.165452e-04,1.169067e-04,1.174841e-04,1.175864e-04,1.181719e-04,1.182573e-04,1.186698e-04,1.188793e-04,1.190858e-04,1.193637e-04,1.194258e-04,1.196951e-04,1.197230e-04,1.198989e-04,1.199689e-04,1.200418e-04,1.201125e-04,1.201283e-04,1.201628e-04,1.201635e-04,1.201492e-04,1.201311e-04,1.200912e-04,1.200239e-04,1.199923e-04,1.198558e-04,1.198496e-04,1.196846e-04,1.196151e-04,1.194817e-04,1.193269e-04,1.192497e-04,1.189911e-04,1.187081e-04,1.186128e-04,1.184031e-04,1.181971e-04,1.180779e-04,1.177485e-04,1.177344e-04,1.173744e-04,1.172709e-04,1.169996e-04,1.167681e-04,1.166113e-04,1.162435e-04,1.162111e-04,1.158002e-04,1.157002e-04,1.153799e-04,1.151409e-04,1.149513e-04,1.145681e-04,1.145154e-04,1.140733e-04,1.139842e-04,1.136258e-04,1.133912e-04,1.131737e-04,1.127911e-04,1.127179e-04,1.122591e-04,1.121855e-04,1.117979e-04,1.115759e-04,1.113351e-04,1.109639e-04,1.108710e-04,1.104064e-04,1.103506e-04,1.099416e-04,1.097372e-04,1.094772e-04,1.091247e-04,1.090136e-04,1.085510e-04,1.085141e-04,1.080901e-04,1.079062e-04,1.076309e-04,1.073017e-04,1.071739e-04,1.067194e-04,1.067012e-04,1.062675e-04,1.061055e-04,1.058185e-04,1.055150e-04,1.053727e-04,1.049302e-04,1.043515e-04,1.037793e-04,1.032138e-04,1.026555e-04,1.021044e-04,1.015609e-04,1.010250e-04,1.004970e-04,9.997701e-05,9.946504e-05,9.896120e-05,9.846555e-05,9.797813e-05,9.749896e-05,9.702804e-05,9.656536e-05,9.611091e-05,9.566466e-05,9.522655e-05,9.479655e-05,9.437460e-05,9.396063e-05,9.355456e-05,9.315633e-05
0.000000e+00,1.846761e-09,4.227974e-09,1.450349e-08,3.286263e-08,4.780313e-08,1.073521e-07,1.105270e-07,2.104847e-07,2.461064e-07,3.545754e-07,4.647549e-07,5.488203e-07,7.762542e-07,7.983571e-07,1.107385e-06,1.190779e-06,1.479053e-06,1.715317e-06,1.915270e-06,2.352909e-06,2.416453e-06,2.981203e-06,3.101513e-06,3.606026e-06,3.952871e-06,4.285240e-06,4.892298e-06,5.011248e-06,5.775184e-06,5.900309e-06,6.567714e-06,6.955589e-06,7.379730e-06,8.037656e-06,8.202765e-06,9.029172e-06,9.128237e-06,9.852174e-06,1.021166e-05,1.066583e-05,1.127477e-05,1.146500e-05,1.224529e-05,1.230679e-05,1.300301e-05,1.329907e-05,1.373510e-05,1.424495e-05,1.443914e-05,1.511322e-05,1.513954e-05,1.575596e-05,1.597948e-05,1.636642e-05,1.676279e-05,1.694403e-05,1.748859e-05,1.800018e-05,1.815697e-05,1.847912e-05,1.876875e-05,1.892594e-05,1.932532e-05,1.934135e-05,1.972617e-05,1.982856e-05,2.008134e-05,2.028063e-05,2.040788e-05,2.068393e-05,2.070686e-05,2.097939e-05,2.104098e-05,2.122660e-05,2.135441e-05,2.144965e-05,2.162684e-05,2.164966e-05,2.182777e-05,2.186087e-05,2.198510e-05,2.205906e-05,2.212273e-05,2.222389e-05,2.224172e-05,2.234312e-05,2.235777e-05,2.242791e-05,2.246299e-05,2.249705e-05,2.254174e-05,2.255149e-05,2.259211e-05,2.259609e-05,2.261976e-05,2.262803e-05,2.263526e-05,2.263940e-05,2.263940e-05,2.263291e-05,2.263196e-05,2.261652e-05,2.260734e-05,2.259090e-05,2.256709e-05,2.255669e-05,2.251450e-05,2.251265e-05,2.246492e-05,2.244537e-05,2.240849e-05,2.236649e-05,2.234575e-05,2.227718e-05,2.220325e-05,2.217854e-05,2.212441e-05,2.207156e-05,2.204107e-05,2.195720e-05,2.195363e-05,2.186246e-05,2.183631e-05,2.176791e-05,2.170970e-05,2.167031e-05,2.157811e-05,2.156999e-05,2.146722e-05,2.144222e-05,2.136228e-05,2.130267e-05,2.125545e-05,2.116005e-05,2.114695e-05,2.103701e-05,2.101488e-05,2.092586e-05,2.086765e-05,2.081369e-05,2.071882e-05,2.070070e-05,2.058704e-05,2.056881e-05,2.047290e-05,2.041798e-05,2.035841e-05,2.026668e-05,2.024374e-05,2.012900e-05,2.011523e-05,2.001432e-05,1.996391e-05,1.989981e-05,1.981298e-05,1.978560e-05,1.967176e-05,1.966267e-05,1.955839e-05,1.951320e-05,1.944558e-05,1.936475e-05,1.933340e-05,1.922193e-05,1.921749e-05,1.911124e-05,1.907158e-05,1.900137e-05,1.892716e-05,1.889238e-05,1.878434e-05,1.864322e-05,1.850391e-05,1.836648e-05,1.823100e-05,1.809753e-05,1.796613e-05,1.783682e-05,1.770965e-05,1.758464e-05,1.746181e-05,1.734117e-05,1.722273e-05,1.710650e-05,1.699246e-05,1.688063e-05,1.677098e-05,1.666350e-05,1.655819e-05,1.645501e-05,1.635396e-05,1.625500e-05,1.615811e-05,1.606327e-05,1.597044e-05
0.000000e+00,9.974527e-11,3.601970e-10,2.330444e-09,7.762773e-09,1.332965e-08,4.185694e-08,4.359451e-08,1.062723e-07,1.317025e-07,2.171253e-07,3.145286e-07,3.951723e-07,6.371812e-07,6.623645e-07,1.039816e-06,1.148547e-06,1.540952e-06,1.876706e-06,2.167517e-06,2.816766e-06,2.911945e-06,3.762452e-06,3.944189e-06,4.706779e-06,5.231137e-06,5.733729e-06,6.652888e-06,6.833320e-06,7.996419e-06,8.187826e-06,9.214365e-06,9.815978e-06,1.047872e-05,1.151803e-05,1.178117e-05,1.311356e-05,1.327508e-05,1.446796e-05,1.506890e-05,1.583677e-05,1.688229e-05,1.721285e-05,1.858960e-05,1.869959e-05,1.996104e-05,2.050690e-05,2.132179e-05,2.229225e-05,2.266715e-05,2.399303e-05,2.404561e-05,2.529596e-05,2.575882e-05,2.657303e-05,2.742543e-05,2.782186e-05,2.904055e-05,3.022755e-05,3.060050e-05,3.138172e-05,3.210276e-05,3.250223e-05,3.354573e-05,3.358852e-05,3.464029e-05,3.492857e-05,3.565741e-05,3.625107e-05,3.663995e-05,3.751350e-05,3.758809e-05,3.850213e-05,3.871647e-05,3.938249e-05,3.986096e-05,4.022965e-05,4.094812e-05,4.104415e-05,4.182660e-05,4.197930e-05,4.257764e-05,4.295598e-05,4.329793e-05,4.387973e-05,4.398819e-05,4.464911e-05,4.475218e-05,4.528142e-05,4.557499e-05,4.588586e-05,4.634984e-05,4.646317e-05,4.701407e-05,4.707844e-05,4.753931e-05,4.776247e-05,4.803961e-05,4.840361e-05,4.851571e-05,4.896831e-05,4.900352e-05,4.939813e-05,4.956383e-05,4.980586e-05,5.008613e-05,5.019219e-05,5.055779e-05,5.057199e-05,5.090333e-05,5.102294e-05,5.122946e-05,5.144046e-05,5.153681e-05,5.182600e-05,5.209765e-05,5.218098e-05,5.235236e-05,5.250674e-05,5.259070e-05,5.280463e-05,5.281323e-05,5.302053e-05,5.307591e-05,5.321312e-05,5.332183e-05,5.339153e-05,5.354358e-05,5.355627e-05,5.370785e-05,5.374232e-05,5.384674e-05,5.391916e-05,5.397343e-05,5.407517e-05,5.408836e-05,5.419199e-05,5.421140e-05,5.428475e-05,5.432882e-05,5.436705e-05,5.442842e-05,5.443932e-05,5.450194e-05,5.451109e-05,5.455530e-05,5.457773e-05,5.459977e-05,5.462920e-05,5.463572e-05,5.466349e-05,5.466629e-05,5.468343e-05,5.468981e-05,5.469587e-05,5.470049e-05,5.470111e-05,5.469949e-05,5.469907e-05,5.469128e-05,5.468622e-05,5.467679e-05,5.466261e-05,5.465628e-05,5.463005e-05,5.462888e-05,5.459833e-05,5.458562e-05,5.456140e-05,5.453342e-05,5.451948e-05,5.447283e-05,5.440438e-05,5.432858e-05,5.424590e-05,5.415681e-05,5.406175e-05,5.396114e-05,5.385538e-05,5.374485e-05,5.362991e-05,5.351092e-05,5.338819e-05,5.326204e-05,5.313278e-05,5.300068e-05,5.286601e-05,5.272903e-05,5.258998e-05,5.244910e-05,5.230660e-05,5.216268e-05,5.201755e-05,5.187139e-05,5.172438e-05,5.157668e-05
0.000000e+00,3.304054e-09,7.519019e-09,2.555220e-08,5.756861e-08,8.358328e-08,1.877011e-07,1.932846e-07,3.713271e-07,4.359317e-07,6.366166e-07,8.465407e-07,1.010641e-06,1.469534e-06,1.515123e-06,2.164585e-06,2.342090e-06,2.954892e-06,3.449550e-06,3.858884e-06,4.717512e-06,4.837648e-06,5.855436e-06,6.061179e-06,6.885705e-06,7.420046e-06,7.910146e-06,8.756780e-06,8.916076e-06,9.894370e-06,1.004785e-05,1.083822e-05,1.127748e-05,1.174250e-05,1.243483e-05,1.260339e-05,1.341818e-05,1.351276e-05,1.418516e-05,1.450725e-05,1.490351e-05,1.541685e-05,1.557315e-05,1.619466e-05,1.624234e-05,1.676917e-05,1.698614e-05,1.729820e-05,1.765197e-05,1.778360e-05,1.822751e-05,1.824443e-05,1.863219e-05,1.876874e-05,1.900005e-05,1.923032e-05,1.933336e-05,1.963446e-05,1.990560e-05,1.998641e-05,2.014900e-05,2.029120e-05,2.036677e-05,2.055357e-05,2.056091e-05,2.073329e-05,2.077790e-05,2.088567e-05,2.096818e-05,2.101968e-05,2.112807e-05,2.113686e-05,2.123860e-05,2.126087e-05,2.132621e-05,2.136954e-05,2.140088e-05,2.145675e-05,2.146370e-05,2.151570e-05,2.152488e-05,2.155779e-05,2.157605e-05,2.159083e-05,2.161217e-05,2.161561e-05,2.163282e-05,2.163492e-05,2.164313e-05,2.164580e-05,2.164713e-05,2.164616e-05,2.164538e-05,2.163837e-05,2.163720e-05,2.162657e-05,2.161997e-05,2.161041e-05,2.159543e-05,2.159026e-05,2.156648e-05,2.156443e-05,2.153940e-05,2.152772e-05,2.150933e-05,2.148597e-05,2.147653e-05,2.144126e-05,2.143980e-05,2.140376e-05,2.138975e-05,2.136424e-05,2.133631e-05,2.132289e-05,2.127991e-05,2.123545e-05,2.122094e-05,2.118968e-05,2.115976e-05,2.114273e-05,2.109669e-05,2.109475e-05,2.104585e-05,2.103201e-05,2.099615e-05,2.096598e-05,2.094575e-05,2.089884e-05,2.089474e-05,2.084323e-05,2.083080e-05,2.079129e-05,2.076205e-05,2.073900e-05,2.069275e-05,2.068643e-05,2.063365e-05,2.062307e-05,2.058072e-05,2.055315e-05,2.052769e-05,2.048312e-05,2.047462e-05,2.042156e-05,2.041308e-05,2.036856e-05,2.034315e-05,2.031565e-05,2.027341e-05,2.026287e-05,2.021026e-05,2.020396e-05,2.015786e-05,2.013487e-05,2.010569e-05,2.006621e-05,2.005378e-05,2.000216e-05,1.999804e-05,1.995085e-05,1.993042e-05,1.989988e-05,1.986339e-05,1.984926e-05,1.979902e-05,1.979701e-05,1.974916e-05,1.973132e-05,1.969972e-05,1.966634e-05,1.965069e-05,1.960211e-05,1.953865e-05,1.947600e-05,1.941418e-05,1.935320e-05,1.929307e-05,1.923381e-05,1.917544e-05,1.911796e-05,1.906137e-05,1.900569e-05,1.895091e-05,1.889705e-05,1.884409e-05,1.879204e-05,1.874090e-05,1.869066e-05,1.864133e-05,1.859289e-05,1.854534e-05,1.849867e-05,1.845289e-05,1.840797e-05,1.836392e-05,1.832072e-05
0.000000e+00,2.098260e-09,6.395760e-09,3.099955e-08,8.401918e-08,1.311098e-07,3.354007e-07,3.467800e-07,7.200781e-07,8.583986e-07,1.291587e-06,1.746212e-06,2.101093e-06,3.089460e-06,3.187430e-06,4.586204e-06,4.971638e-06,6.323663e-06,7.448539e-06,8.407946e-06,1.051860e-05,1.082542e-05,1.354729e-05,1.412521e-05,1.653957e-05,1.819120e-05,1.976864e-05,2.264047e-05,2.320232e-05,2.680945e-05,2.740064e-05,3.055944e-05,3.240132e-05,3.442220e-05,3.757386e-05,3.836840e-05,4.236989e-05,4.285250e-05,4.640010e-05,4.817606e-05,5.043437e-05,5.348927e-05,5.445031e-05,5.842788e-05,5.874388e-05,6.234949e-05,6.389900e-05,6.620002e-05,6.892110e-05,6.996665e-05,7.363878e-05,7.378357e-05,7.720783e-05,7.846611e-05,8.066707e-05,8.295395e-05,8.401137e-05,8.723709e-05,9.034178e-05,9.130947e-05,9.332410e-05,9.516834e-05,9.618362e-05,9.881354e-05,9.892069e-05,1.015363e-04,1.022471e-04,1.040319e-04,1.054724e-04,1.064094e-04,1.084945e-04,1.086712e-04,1.108199e-04,1.113190e-04,1.128580e-04,1.139523e-04,1.147887e-04,1.164012e-04,1.166149e-04,1.183398e-04,1.186729e-04,1.199665e-04,1.207747e-04,1.214983e-04,1.227140e-04,1.229383e-04,1.242898e-04,1.244981e-04,1.255559e-04,1.261343e-04,1.267398e-04,1.276298e-04,1.278445e-04,1.288731e-04,1.289916e-04,1.298286e-04,1.302266e-04,1.307138e-04,1.313413e-04,1.315316e-04,1.322848e-04,1.323423e-04,1.329761e-04,1.332358e-04,1.336080e-04,1.340277e-04,1.341832e-04,1.347040e-04,1.347238e-04,1.351730e-04,1.353296e-04,1.355924e-04,1.358505e-04,1.359645e-04,1.362915e-04,1.365754e-04,1.366575e-04,1.368183e-04,1.369531e-04,1.370221e-04,1.371828e-04,1.371888e-04,1.373201e-04,1.373508e-04,1.374179e-04,1.374611e-04,1.374838e-04,1.375177e-04,1.375194e-04,1.375264e-04,1.375240e-04,1.375063e-04,1.374836e-04,1.374604e-04,1.373999e-04,1.373902e-04,1.372971e-04,1.372758e-04,1.371823e-04,1.371144e-04,1.370471e-04,1.369186e-04,1.368926e-04,1.367200e-04,1.366908e-04,1.365305e-04,1.364338e-04,1.363250e-04,1.361498e-04,1.361046e-04,1.358701e-04,1.358411e-04,1.356227e-04,1.355099e-04,1.353630e-04,1.351581e-04,1.350920e-04,1.348106e-04,1.347876e-04,1.345193e-04,1.344003e-04,1.342191e-04,1.339978e-04,1.339106e-04,1.335944e-04,1.335816e-04,1.332713e-04,1.331534e-04,1.329418e-04,1.327144e-04,1.326065e-04,1.322660e-04,1.318094e-04,1.313458e-04,1.308763e-04,1.304018e-04,1.299233e-04,1.294418e-04,1.289579e-04,1.284726e-04,1.279865e-04,1.275003e-04,1.270145e-04,1.265298e-04,1.260468e-04,1.255658e-04,1.250873e-04,1.246118e-04,1.241396e-04,1.236712e-04,1.232067e-04,1.227465e-04,1.222909e-04,1.218401e-04,1.213944e-04,1.209538e-04
0.000000e+00,1.651664e-10,5.965846e-10,3.855895e-09,1.280529e-08,2.192991e-08,6.812311e-08,7.091030e-08,1.698064e-07,2.091352e-07,3.384781e-07,4.816295e-07,5.973259e-07,9.333528e-07,9.675937e-07,1.471590e-06,1.614991e-06,2.132083e-06,2.578316e-06,2.970024e-06,3.866159e-06,4.000162e-06,5.225717e-06,5.493527e-06,6.635219e-06,7.433047e-06,8.203956e-06,9.620909e-06,9.899208e-06,1.168621e-05,1.197841e-05,1.353239e-05,1.443109e-05,1.540946e-05,1.691733e-05,1.729379e-05,1.916606e-05,1.938914e-05,2.101048e-05,2.180979e-05,2.281416e-05,2.415119e-05,2.456663e-05,2.625937e-05,2.639200e-05,2.788562e-05,2.851627e-05,2.944011e-05,3.051266e-05,3.091893e-05,3.231940e-05,3.237377e-05,3.363993e-05,3.409559e-05,3.487986e-05,3.567705e-05,3.603940e-05,3.711946e-05,3.812156e-05,3.842608e-05,3.904770e-05,3.960166e-05,3.990028e-05,4.065207e-05,4.068201e-05,4.139581e-05,4.158392e-05,4.204476e-05,4.240431e-05,4.263202e-05,4.312059e-05,4.316082e-05,4.363435e-05,4.374013e-05,4.405580e-05,4.427022e-05,4.442827e-05,4.471794e-05,4.475479e-05,4.503830e-05,4.509009e-05,4.528160e-05,4.539313e-05,4.548740e-05,4.563318e-05,4.565827e-05,4.579665e-05,4.581593e-05,4.590485e-05,4.594672e-05,4.598508e-05,4.603050e-05,4.603938e-05,4.606973e-05,4.607184e-05,4.607793e-05,4.607497e-05,4.606571e-05,4.604377e-05,4.603469e-05,4.598636e-05,4.598179e-05,4.592215e-05,4.589231e-05,4.584336e-05,4.577831e-05,4.575124e-05,4.564692e-05,4.564251e-05,4.553150e-05,4.548741e-05,4.540595e-05,4.531528e-05,4.527122e-05,4.512818e-05,4.497762e-05,4.492798e-05,4.482031e-05,4.471641e-05,4.465694e-05,4.449501e-05,4.448817e-05,4.431459e-05,4.426520e-05,4.413676e-05,4.402825e-05,4.395521e-05,4.378532e-05,4.377043e-05,4.358285e-05,4.353746e-05,4.339289e-05,4.328563e-05,4.320095e-05,4.303067e-05,4.300737e-05,4.281249e-05,4.277338e-05,4.261661e-05,4.251445e-05,4.242001e-05,4.225451e-05,4.222296e-05,4.202569e-05,4.199412e-05,4.182843e-05,4.173381e-05,4.163138e-05,4.147403e-05,4.143474e-05,4.123866e-05,4.121518e-05,4.104332e-05,4.095764e-05,4.084886e-05,4.070174e-05,4.065541e-05,4.046310e-05,4.044776e-05,4.027203e-05,4.019597e-05,4.008231e-05,3.994659e-05,3.989403e-05,3.970727e-05,3.969983e-05,3.952211e-05,3.945586e-05,3.933863e-05,3.921484e-05,3.915687e-05,3.897690e-05,3.874216e-05,3.851071e-05,3.828263e-05,3.805800e-05,3.783687e-05,3.761929e-05,3.740529e-05,3.719489e-05,3.698811e-05,3.678496e-05,3.658545e-05,3.638955e-05,3.619727e-05,3.600859e-05,3.582348e-05,3.564192e-05,3.546389e-05,3.528935e-05,3.511827e-05,3.495061e-05,3.478633e-05,3.462539e-05,3.446775e-05,3.431336e-05
0.000000e+00,8.938110e-11,3.449761e-10,2.545241e-09,9.478710e-09,1.724387e-08,6.210306e-08,6.501760e-08,1.781040e-07,2.270526e-07,3.992016e-07,6.049202e-07,7.801229e-07,1.322852e-06,1.380474e-06,2.266080e-06,2.528739e-06,3.505950e-06,4.380081e-06,5.166418e-06,7.020347e-06,7.303425e-06,9.956277e-06,1.055086e-05,1.314511e-05,1.501635e-05,1.687158e-05,2.040715e-05,2.112126e-05,2.586655e-05,2.666938e-05,3.106946e-05,3.371614e-05,3.668398e-05,4.143721e-05,4.265817e-05,4.893589e-05,4.970684e-05,5.545832e-05,5.839023e-05,6.216533e-05,6.734906e-05,6.899675e-05,7.589347e-05,7.644630e-05,8.279844e-05,8.555052e-05,8.965763e-05,9.453948e-05,9.642071e-05,1.030417e-04,1.033030e-04,1.094794e-04,1.117450e-04,1.156977e-04,1.197849e-04,1.216658e-04,1.273581e-04,1.327540e-04,1.344155e-04,1.378382e-04,1.409233e-04,1.425998e-04,1.468613e-04,1.470322e-04,1.511329e-04,1.522217e-04,1.549028e-04,1.570075e-04,1.583458e-04,1.612304e-04,1.614686e-04,1.642798e-04,1.649093e-04,1.667901e-04,1.680688e-04,1.690114e-04,1.707374e-04,1.709568e-04,1.726401e-04,1.729466e-04,1.740758e-04,1.747294e-04,1.752785e-04,1.761195e-04,1.762630e-04,1.770437e-04,1.771507e-04,1.776351e-04,1.778558e-04,1.780512e-04,1.782669e-04,1.783054e-04,1.784109e-04,1.784141e-04,1.783800e-04,1.783262e-04,1.782245e-04,1.780300e-04,1.779557e-04,1.775840e-04,1.775501e-04,1.771194e-04,1.769096e-04,1.765711e-04,1.761293e-04,1.759477e-04,1.752572e-04,1.752283e-04,1.745072e-04,1.742239e-04,1.737044e-04,1.731317e-04,1.728553e-04,1.719658e-04,1.710412e-04,1.707387e-04,1.700864e-04,1.694616e-04,1.691060e-04,1.681446e-04,1.681042e-04,1.670847e-04,1.667966e-04,1.660510e-04,1.654253e-04,1.650062e-04,1.640377e-04,1.639532e-04,1.628946e-04,1.626399e-04,1.618327e-04,1.612373e-04,1.607696e-04,1.598346e-04,1.597072e-04,1.586473e-04,1.584358e-04,1.575915e-04,1.570445e-04,1.565410e-04,1.556637e-04,1.554972e-04,1.544610e-04,1.542961e-04,1.534337e-04,1.529439e-04,1.524159e-04,1.516091e-04,1.514085e-04,1.504121e-04,1.502933e-04,1.494274e-04,1.489979e-04,1.484548e-04,1.477240e-04,1.474948e-04,1.465477e-04,1.464725e-04,1.456139e-04,1.452442e-04,1.446937e-04,1.440396e-04,1.437871e-04,1.428945e-04,1.428591e-04,1.420160e-04,1.417031e-04,1.411515e-04,1.405718e-04,1.403013e-04,1.394653e-04,1.383836e-04,1.373266e-04,1.362942e-04,1.352862e-04,1.343025e-04,1.333427e-04,1.324066e-04,1.314938e-04,1.306040e-04,1.297368e-04,1.288917e-04,1.280685e-04,1.272666e-04,1.264857e-04,1.257253e-04,1.249850e-04,1.242643e-04,1.235628e-04,1.228800e-04,1.222156e-04,1.215690e-04,1.209398e-04,1.203277e-04,1.197321e-04
0.000000e+00,8.305147e-09,1.944111e-08,6.860049e-08,1.584743e-07,2.329178e-07,5.388106e-07,5.554958e-07,1.098657e-06,1.300204e-06,1.937862e-06,2.619011e-06,3.157976e-06,4.675648e-06,4.826312e-06,6.955455e-06,7.531434e-06,9.508773e-06,1.110575e-05,1.243838e-05,1.529647e-05,1.570526e-05,1.927964e-05,2.002918e-05,2.313659e-05,2.524602e-05,2.725241e-05,3.089193e-05,3.160267e-05,3.616139e-05,3.690830e-05,4.090094e-05,4.323170e-05,4.579241e-05,4.979507e-05,5.080617e-05,5.591252e-05,5.653011e-05,6.108226e-05,6.336971e-05,6.628720e-05,7.025006e-05,7.150074e-05,7.669820e-05,7.711261e-05,8.185704e-05,8.390515e-05,8.695702e-05,9.058242e-05,9.198024e-05,9.691116e-05,9.710628e-05,1.017365e-04,1.034455e-04,1.064450e-04,1.095754e-04,1.110276e-04,1.154770e-04,1.197873e-04,1.211365e-04,1.239543e-04,1.265446e-04,1.279751e-04,1.316958e-04,1.318479e-04,1.355716e-04,1.365875e-04,1.391462e-04,1.412197e-04,1.425725e-04,1.455951e-04,1.458521e-04,1.489866e-04,1.497175e-04,1.519782e-04,1.535921e-04,1.548296e-04,1.572250e-04,1.575436e-04,1.601232e-04,1.606233e-04,1.625717e-04,1.637942e-04,1.648925e-04,1.667457e-04,1.670890e-04,1.691647e-04,1.694859e-04,1.711233e-04,1.720229e-04,1.729683e-04,1.743649e-04,1.747033e-04,1.763318e-04,1.765203e-04,1.778575e-04,1.784970e-04,1.792837e-04,1.803033e-04,1.806139e-04,1.818517e-04,1.819468e-04,1.830001e-04,1.834353e-04,1.840626e-04,1.847762e-04,1.850424e-04,1.859425e-04,1.859769e-04,1.867661e-04,1.870444e-04,1.875160e-04,1.879855e-04,1.881953e-04,1.888068e-04,1.893531e-04,1.895146e-04,1.898371e-04,1.901152e-04,1.902612e-04,1.906144e-04,1.906280e-04,1.909400e-04,1.910179e-04,1.911996e-04,1.913311e-04,1.914090e-04,1.915592e-04,1.915704e-04,1.916861e-04,1.917073e-04,1.917582e-04,1.917802e-04,1.917886e-04,1.917824e-04,1.917792e-04,1.917321e-04,1.917183e-04,1.916490e-04,1.915922e-04,1.915317e-04,1.914080e-04,1.913819e-04,1.912012e-04,1.911695e-04,1.909912e-04,1.908804e-04,1.907534e-04,1.905442e-04,1.904893e-04,1.902004e-04,1.901641e-04,1.898880e-04,1.897434e-04,1.895534e-04,1.892850e-04,1.891978e-04,1.888225e-04,1.887917e-04,1.884287e-04,1.882663e-04,1.880175e-04,1.877113e-04,1.875900e-04,1.871472e-04,1.871291e-04,1.866901e-04,1.865222e-04,1.862196e-04,1.858926e-04,1.857368e-04,1.852424e-04,1.845736e-04,1.838881e-04,1.831875e-04,1.824737e-04,1.817481e-04,1.810121e-04,1.802673e-04,1.795149e-04,1.787562e-04,1.779923e-04,1.772242e-04,1.764531e-04,1.756799e-04,1.749055e-04,1.741307e-04,1.733564e-04,1.725832e-04,1.718118e-04,1.710430e-04,1.702772e-04,1.695151e-04,1.687571e-04,1.680038e-04,1.672555e-04
0.000000e+00,2.910897e-09,6.827176e-09,2.415044e-08,5.590346e-08,8.227034e-08,1.911483e-07,1.971096e-07,3.922174e-07,4.650501e-07,6.965844e-07,9.450794e-07,1.142045e-06,1.695705e-06,1.750473e-06,2.518740e-06,2.724582e-06,3.424733e-06,3.983205e-06,4.444771e-06,5.422070e-06,5.560522e-06,6.757961e-06,7.006187e-06,8.025222e-06,8.708121e-06,9.351291e-06,1.050279e-05,1.072544e-05,1.213715e-05,1.236582e-05,1.357618e-05,1.427374e-05,1.503279e-05,1.620461e-05,1.649790e-05,1.796322e-05,1.813872e-05,1.942139e-05,2.005901e-05,2.086593e-05,2.195120e-05,2.229126e-05,2.369272e-05,2.380369e-05,2.506644e-05,2.560744e-05,2.640928e-05,2.735560e-05,2.771877e-05,2.899301e-05,2.904322e-05,3.023059e-05,3.066694e-05,3.143052e-05,3.222464e-05,3.259217e-05,3.371522e-05,3.479957e-05,3.513841e-05,3.584536e-05,3.649455e-05,3.685287e-05,3.778444e-05,3.782251e-05,3.875479e-05,3.900921e-05,3.965032e-05,4.017028e-05,4.050978e-05,4.126924e-05,4.133389e-05,4.212341e-05,4.230784e-05,4.287915e-05,4.328791e-05,4.360192e-05,4.421134e-05,4.429255e-05,4.495189e-05,4.508008e-05,4.558078e-05,4.589606e-05,4.618008e-05,4.666123e-05,4.675062e-05,4.729325e-05,4.737753e-05,4.780879e-05,4.804688e-05,4.829808e-05,4.867115e-05,4.876192e-05,4.920111e-05,4.925219e-05,4.961644e-05,4.979182e-05,5.000868e-05,5.029180e-05,5.037858e-05,5.072688e-05,5.075384e-05,5.105432e-05,5.117961e-05,5.136160e-05,5.157075e-05,5.164941e-05,5.191843e-05,5.192881e-05,5.216931e-05,5.225531e-05,5.240270e-05,5.255174e-05,5.261923e-05,5.281950e-05,5.300410e-05,5.305996e-05,5.317361e-05,5.327444e-05,5.332860e-05,5.346422e-05,5.346960e-05,5.359715e-05,5.363052e-05,5.371175e-05,5.377450e-05,5.381390e-05,5.389731e-05,5.390410e-05,5.398279e-05,5.400002e-05,5.405045e-05,5.408368e-05,5.410751e-05,5.414929e-05,5.415439e-05,5.419151e-05,5.419780e-05,5.421927e-05,5.423013e-05,5.423805e-05,5.424716e-05,5.424823e-05,5.425017e-05,5.424974e-05,5.424422e-05,5.423867e-05,5.423073e-05,5.421472e-05,5.421001e-05,5.418239e-05,5.417863e-05,5.414817e-05,5.413110e-05,5.410765e-05,5.407281e-05,5.406111e-05,5.400883e-05,5.400440e-05,5.395107e-05,5.392649e-05,5.388810e-05,5.383967e-05,5.382016e-05,5.374748e-05,5.374448e-05,5.367032e-05,5.364148e-05,5.358887e-05,5.353116e-05,5.350337e-05,5.341401e-05,5.329051e-05,5.316108e-05,5.302615e-05,5.288611e-05,5.274136e-05,5.259225e-05,5.243913e-05,5.228232e-05,5.212213e-05,5.195887e-05,5.179282e-05,5.162423e-05,5.145337e-05,5.128047e-05,5.110577e-05,5.092948e-05,5.075180e-05,5.057293e-05,5.039306e-05,5.021235e-05,5.003098e-05,4.984909e-05,4.966684e-05,4.948436e-05
0.000000e+00,1.972507e-09,4.923253e-09,1.863668e-08,4.456678e-08,6.639431e-08,1.575982e-07,1.626188e-07,3.275941e-07,3.893568e-07,5.858310e-07,7.962891e-07,9.623879e-07,1.425122e-06,1.470613e-06,2.106826e-06,2.277457e-06,2.861313e-06,3.332511e-06,3.726395e-06,4.574885e-06,4.696731e-06,5.767761e-06,5.993634e-06,6.934612e-06,7.577389e-06,8.191580e-06,9.312216e-06,9.531984e-06,1.094824e-05,1.118134e-05,1.243206e-05,1.316573e-05,1.397468e-05,1.524508e-05,1.556712e-05,1.720041e-05,1.739873e-05,1.886584e-05,1.960664e-05,2.055506e-05,2.184997e-05,2.226029e-05,2.397432e-05,2.411162e-05,2.569062e-05,2.637644e-05,2.740333e-05,2.863132e-05,2.910726e-05,3.079787e-05,3.086516e-05,3.247122e-05,3.306873e-05,3.412393e-05,3.523451e-05,3.575315e-05,3.735648e-05,3.893192e-05,3.942989e-05,4.047783e-05,4.145111e-05,4.199292e-05,4.341744e-05,4.347615e-05,4.492670e-05,4.532692e-05,4.634401e-05,4.717825e-05,4.772764e-05,4.897062e-05,4.907735e-05,5.039299e-05,5.070367e-05,5.167456e-05,5.237737e-05,5.292212e-05,5.399196e-05,5.413583e-05,5.531591e-05,5.554792e-05,5.646266e-05,5.704590e-05,5.757640e-05,5.848670e-05,5.865750e-05,5.970639e-05,5.987125e-05,6.072349e-05,6.120055e-05,6.170928e-05,6.247569e-05,6.266424e-05,6.358887e-05,6.369781e-05,6.448369e-05,6.486811e-05,6.534924e-05,6.598779e-05,6.618603e-05,6.699463e-05,6.705811e-05,6.777557e-05,6.808033e-05,6.852941e-05,6.905571e-05,6.925671e-05,6.995801e-05,6.998553e-05,7.063387e-05,7.087106e-05,7.128485e-05,7.171357e-05,7.191148e-05,7.251433e-05,7.309392e-05,7.327457e-05,7.365081e-05,7.399554e-05,7.418551e-05,7.467845e-05,7.469856e-05,7.519049e-05,7.532451e-05,7.566180e-05,7.593490e-05,7.611300e-05,7.651077e-05,7.654459e-05,7.695707e-05,7.705328e-05,7.735093e-05,7.756353e-05,7.772664e-05,7.804263e-05,7.808468e-05,7.842550e-05,7.849164e-05,7.874957e-05,7.891161e-05,7.905733e-05,7.930357e-05,7.934922e-05,7.962568e-05,7.966851e-05,7.988712e-05,8.000740e-05,8.013396e-05,8.032120e-05,8.036662e-05,8.058548e-05,8.061083e-05,8.079093e-05,8.087719e-05,8.098337e-05,8.112115e-05,8.116317e-05,8.133069e-05,8.134357e-05,8.148629e-05,8.154528e-05,8.163033e-05,8.172707e-05,8.176315e-05,8.188508e-05,8.188973e-05,8.199645e-05,8.203402e-05,8.209759e-05,8.216068e-05,8.218880e-05,8.227041e-05,8.236390e-05,8.244184e-05,8.250487e-05,8.255361e-05,8.258869e-05,8.261067e-05,8.262015e-05,8.261766e-05,8.260375e-05,8.257893e-05,8.254370e-05,8.249853e-05,8.244390e-05,8.238026e-05,8.230804e-05,8.222765e-05,8.213952e-05,8.204401e-05,8.194152e-05,8.183239e-05,8.171700e-05,8.159566e-05,8.146871e-05,8.133646e-05
0.000000e+00,4.130409e-09,9.798266e-09,3.507354e-08,8.160812e-08,1.203039e-07,2.801317e-07,2.888782e-07,5.744030e-07,6.803640e-07,1.013091e-06,1.360755e-06,1.628762e-06,2.353082e-06,2.423024e-06,3.388672e-06,3.645250e-06,4.520046e-06,5.224506e-06,5.813140e-06,7.081425e-06,7.263612e-06,8.865473e-06,9.203330e-06,1.061051e-05,1.157110e-05,1.248818e-05,1.415873e-05,1.448585e-05,1.658916e-05,1.693446e-05,1.878247e-05,1.986242e-05,2.104938e-05,2.290471e-05,2.337325e-05,2.573764e-05,2.602333e-05,2.812673e-05,2.918185e-05,3.052550e-05,3.234648e-05,3.292013e-05,3.529821e-05,3.548741e-05,3.764878e-05,3.857909e-05,3.996218e-05,4.160014e-05,4.223019e-05,4.444592e-05,4.453338e-05,4.660372e-05,4.736543e-05,4.869903e-05,5.008631e-05,5.072833e-05,5.268901e-05,5.457922e-05,5.516899e-05,5.639780e-05,5.752383e-05,5.814420e-05,5.975275e-05,5.981833e-05,6.142052e-05,6.185633e-05,6.295146e-05,6.383621e-05,6.441211e-05,6.569484e-05,6.580365e-05,6.712745e-05,6.743525e-05,6.838503e-05,6.906095e-05,6.957801e-05,7.057574e-05,7.070809e-05,7.177703e-05,7.198364e-05,7.278663e-05,7.328878e-05,7.373872e-05,7.449536e-05,7.463512e-05,7.547767e-05,7.560760e-05,7.626818e-05,7.662968e-05,7.700847e-05,7.756572e-05,7.770030e-05,7.834542e-05,7.841978e-05,7.894555e-05,7.919579e-05,7.950238e-05,7.989761e-05,8.001753e-05,8.049263e-05,8.052895e-05,8.092923e-05,8.109343e-05,8.132885e-05,8.159451e-05,8.169297e-05,8.202304e-05,8.203555e-05,8.232044e-05,8.241976e-05,8.258652e-05,8.275025e-05,8.282261e-05,8.302997e-05,8.320983e-05,8.326177e-05,8.336337e-05,8.344837e-05,8.349176e-05,8.359236e-05,8.359609e-05,8.367744e-05,8.369624e-05,8.373685e-05,8.376237e-05,8.377531e-05,8.379303e-05,8.379379e-05,8.379323e-05,8.379036e-05,8.377451e-05,8.375642e-05,8.373850e-05,8.369317e-05,8.368603e-05,8.361791e-05,8.360248e-05,8.353490e-05,8.348610e-05,8.343775e-05,8.334573e-05,8.332717e-05,8.320385e-05,8.318298e-05,8.306844e-05,8.299934e-05,8.292159e-05,8.279628e-05,8.276391e-05,8.259598e-05,8.257516e-05,8.241836e-05,8.233728e-05,8.223160e-05,8.208386e-05,8.203621e-05,8.183270e-05,8.181608e-05,8.162154e-05,8.153504e-05,8.140320e-05,8.124179e-05,8.117811e-05,8.094670e-05,8.093732e-05,8.070937e-05,8.062256e-05,8.046651e-05,8.029840e-05,8.021849e-05,7.996567e-05,7.962518e-05,7.927766e-05,7.892382e-05,7.856433e-05,7.819982e-05,7.783087e-05,7.745804e-05,7.708187e-05,7.670283e-05,7.632141e-05,7.593802e-05,7.555309e-05,7.516701e-05,7.478012e-05,7.439277e-05,7.400528e-05,7.361794e-05,7.323104e-05,7.284483e-05,7.245956e-05,7.207544e-05,7.169269e-05,7.131152e-05,7.093209e-05
0.000000e+00,3.294546e-11,1.287791e-10,9.756749e-10,3.723285e-09,6.865395e-09,2.560595e-08,2.684592e-08,7.614335e-08,9.798958e-08,1.763953e-07,2.723914e-07,3.555885e-07,6.192789e-07,6.476964e-07,1.091849e-06,1.225768e-06,1.730754e-06,2.190055e-06,2.608508e-06,3.612938e-06,3.768401e-06,5.251148e-06,5.589762e-06,7.093606e-06,8.204699e-06,9.327843e-06,1.152699e-05,1.198045e-05,1.507205e-05,1.560849e-05,1.861693e-05,2.048203e-05,2.262290e-05,2.616070e-05,2.709119e-05,3.201659e-05,3.263788e-05,3.738771e-05,3.988797e-05,4.318734e-05,4.786799e-05,4.939300e-05,5.597752e-05,5.651974e-05,6.290975e-05,6.577238e-05,7.015525e-05,7.554535e-05,7.767711e-05,8.543664e-05,8.575140e-05,9.339413e-05,9.629957e-05,1.015095e-04,1.070979e-04,1.097431e-04,1.180559e-04,1.264102e-04,1.290865e-04,1.347702e-04,1.401079e-04,1.431021e-04,1.510448e-04,1.513742e-04,1.595574e-04,1.618291e-04,1.676253e-04,1.724006e-04,1.755540e-04,1.827072e-04,1.833223e-04,1.909117e-04,1.927047e-04,1.983062e-04,2.023568e-04,2.054922e-04,2.116345e-04,2.124585e-04,2.191960e-04,2.205154e-04,2.256978e-04,2.289838e-04,2.319587e-04,2.370292e-04,2.379753e-04,2.437458e-04,2.446462e-04,2.492697e-04,2.518337e-04,2.545477e-04,2.585945e-04,2.595819e-04,2.643751e-04,2.649343e-04,2.689310e-04,2.708615e-04,2.732539e-04,2.763866e-04,2.773489e-04,2.812215e-04,2.815219e-04,2.848777e-04,2.862809e-04,2.883235e-04,2.906780e-04,2.915657e-04,2.946108e-04,2.947286e-04,2.974656e-04,2.984480e-04,3.001370e-04,3.018523e-04,3.026319e-04,3.049571e-04,3.071196e-04,3.077783e-04,3.091260e-04,3.103313e-04,3.109830e-04,3.126313e-04,3.126972e-04,3.142749e-04,3.146930e-04,3.157223e-04,3.165308e-04,3.170456e-04,3.181584e-04,3.182505e-04,3.193429e-04,3.195890e-04,3.203283e-04,3.208353e-04,3.212120e-04,3.219096e-04,3.219991e-04,3.226947e-04,3.228232e-04,3.233035e-04,3.235873e-04,3.238301e-04,3.242121e-04,3.242789e-04,3.246542e-04,3.247077e-04,3.249600e-04,3.250833e-04,3.252003e-04,3.253478e-04,3.253787e-04,3.254987e-04,3.255094e-04,3.255639e-04,3.255760e-04,3.255774e-04,3.255551e-04,3.255424e-04,3.254618e-04,3.254534e-04,3.253384e-04,3.252777e-04,3.251749e-04,3.250339e-04,3.249740e-04,3.247380e-04,3.247278e-04,3.244692e-04,3.243649e-04,3.241700e-04,3.239501e-04,3.238423e-04,3.234882e-04,3.229835e-04,3.224402e-04,3.218622e-04,3.212530e-04,3.206160e-04,3.199543e-04,3.192708e-04,3.185682e-04,3.178491e-04,3.171158e-04,3.163704e-04,3.156150e-04,3.148514e-04,3.140814e-04,3.133067e-04,3.125285e-04,3.117484e-04,3.109677e-04,3.101873e-04,3.094085e-04,3.086322e-04,3.078594e-04,3.070907e-04,3.063270e-04
0.000000e+00,5.896724e-09,1.344767e-08,4.608127e-08,1.052618e-07,1.544689e-07,3.607254e-07,3.721808e-07,7.555765e-07,9.021280e-07,1.374747e-06,1.883797e-06,2.282058e-06,3.355417e-06,3.457482e-06,4.816985e-06,5.160883e-06,6.278048e-06,7.119391e-06,7.786449e-06,9.126357e-06,9.309014e-06,1.082354e-05,1.112394e-05,1.231321e-05,1.307335e-05,1.376427e-05,1.494492e-05,1.516532e-05,1.650707e-05,1.671574e-05,1.778235e-05,1.836929e-05,1.898602e-05,1.989517e-05,2.011484e-05,2.116717e-05,2.128829e-05,2.214293e-05,2.254829e-05,2.304337e-05,2.367860e-05,2.387059e-05,2.462741e-05,2.468502e-05,2.531715e-05,2.557505e-05,2.594338e-05,2.635707e-05,2.650988e-05,2.702045e-05,2.703977e-05,2.747886e-05,2.763182e-05,2.788877e-05,2.814162e-05,2.825371e-05,2.857706e-05,2.886197e-05,2.894552e-05,2.911143e-05,2.925378e-05,2.932824e-05,2.950805e-05,2.951498e-05,2.967407e-05,2.971397e-05,2.980774e-05,2.987661e-05,2.991807e-05,3.000059e-05,3.000695e-05,3.007616e-05,3.009003e-05,3.012732e-05,3.014864e-05,3.016191e-05,3.017976e-05,3.018134e-05,3.018685e-05,3.018639e-05,3.017963e-05,3.017121e-05,3.016075e-05,3.013661e-05,3.013121e-05,3.009191e-05,3.008477e-05,3.004370e-05,3.001762e-05,2.998736e-05,2.993691e-05,2.992359e-05,2.985307e-05,2.984418e-05,2.977639e-05,2.974084e-05,2.969412e-05,2.962817e-05,2.960677e-05,2.951483e-05,2.950728e-05,2.941872e-05,2.937921e-05,2.931888e-05,2.924487e-05,2.921565e-05,2.910941e-05,2.910510e-05,2.900046e-05,2.896063e-05,2.888910e-05,2.881215e-05,2.877561e-05,2.866025e-05,2.854325e-05,2.850550e-05,2.842483e-05,2.834838e-05,2.830518e-05,2.818935e-05,2.818451e-05,2.806297e-05,2.802881e-05,2.794074e-05,2.786713e-05,2.781796e-05,2.770463e-05,2.769476e-05,2.757128e-05,2.754162e-05,2.744764e-05,2.737836e-05,2.732393e-05,2.721511e-05,2.720028e-05,2.707676e-05,2.705208e-05,2.695347e-05,2.688947e-05,2.683048e-05,2.672746e-05,2.670787e-05,2.658571e-05,2.656621e-05,2.646407e-05,2.640588e-05,2.634299e-05,2.624658e-05,2.622254e-05,2.610276e-05,2.608843e-05,2.598370e-05,2.593156e-05,2.586541e-05,2.577603e-05,2.574791e-05,2.563125e-05,2.562195e-05,2.551545e-05,2.546939e-05,2.540056e-05,2.531840e-05,2.528658e-05,2.517356e-05,2.516906e-05,2.506150e-05,2.502140e-05,2.495043e-05,2.487548e-05,2.484037e-05,2.473133e-05,2.458899e-05,2.444848e-05,2.430983e-05,2.417305e-05,2.403817e-05,2.390519e-05,2.377411e-05,2.364495e-05,2.351771e-05,2.339239e-05,2.326897e-05,2.314747e-05,2.302787e-05,2.291017e-05,2.279434e-05,2.268039e-05,2.256830e-05,2.245806e-05,2.234964e-05,2.224304e-05,2.213823e-05,2.203521e-05,2.193394e-05,2.183441e-05
0.000000e+00,5.288256e-10,1.746316e-09,9.575693e-09,2.800495e-08,4.509653e-08,1.223362e-07,1.267245e-07,2.733450e-07,3.286250e-07,5.041135e-07,6.914527e-07,8.395856e-07,1.259226e-06,1.301292e-06,1.907915e-06,2.076267e-06,2.666748e-06,3.154140e-06,3.564412e-06,4.442504e-06,4.566931e-06,5.631584e-06,5.848409e-06,6.719683e-06,7.284674e-06,7.802006e-06,8.691687e-06,8.858326e-06,9.874961e-06,1.003327e-05,1.084258e-05,1.128765e-05,1.175476e-05,1.244167e-05,1.260724e-05,1.339735e-05,1.348790e-05,1.412385e-05,1.442330e-05,1.478665e-05,1.524832e-05,1.538669e-05,1.592571e-05,1.596627e-05,1.640614e-05,1.658255e-05,1.683089e-05,1.710405e-05,1.720321e-05,1.752661e-05,1.753858e-05,1.780468e-05,1.789438e-05,1.804102e-05,1.817971e-05,1.823917e-05,1.840254e-05,1.853438e-05,1.857042e-05,1.863775e-05,1.869029e-05,1.871550e-05,1.876848e-05,1.877026e-05,1.880446e-05,1.881065e-05,1.882031e-05,1.882186e-05,1.881984e-05,1.880656e-05,1.880486e-05,1.877704e-05,1.876862e-05,1.873786e-05,1.871147e-05,1.868866e-05,1.863804e-05,1.863065e-05,1.856490e-05,1.855091e-05,1.849238e-05,1.845229e-05,1.841396e-05,1.834410e-05,1.833042e-05,1.824243e-05,1.822799e-05,1.815064e-05,1.810539e-05,1.805558e-05,1.797753e-05,1.795777e-05,1.785763e-05,1.784548e-05,1.775558e-05,1.771016e-05,1.765196e-05,1.757236e-05,1.754710e-05,1.744127e-05,1.743277e-05,1.733475e-05,1.729199e-05,1.722774e-05,1.715052e-05,1.712047e-05,1.701310e-05,1.700881e-05,1.690582e-05,1.686725e-05,1.679876e-05,1.672616e-05,1.669206e-05,1.658583e-05,1.648018e-05,1.644651e-05,1.637520e-05,1.630840e-05,1.627097e-05,1.617170e-05,1.616758e-05,1.606508e-05,1.603655e-05,1.596353e-05,1.590308e-05,1.586299e-05,1.577142e-05,1.576350e-05,1.566509e-05,1.564164e-05,1.556781e-05,1.551384e-05,1.547169e-05,1.538807e-05,1.537674e-05,1.528299e-05,1.526438e-05,1.519045e-05,1.514282e-05,1.509915e-05,1.502342e-05,1.500909e-05,1.492029e-05,1.490620e-05,1.483275e-05,1.479117e-05,1.474646e-05,1.467835e-05,1.466145e-05,1.457770e-05,1.456774e-05,1.449522e-05,1.445933e-05,1.441400e-05,1.435312e-05,1.433404e-05,1.425534e-05,1.424910e-05,1.417789e-05,1.414725e-05,1.410167e-05,1.404756e-05,1.402669e-05,1.395293e-05,1.395000e-05,1.388038e-05,1.385456e-05,1.380904e-05,1.376121e-05,1.373889e-05,1.366991e-05,1.358066e-05,1.349341e-05,1.340813e-05,1.332479e-05,1.324337e-05,1.316382e-05,1.308613e-05,1.301024e-05,1.293613e-05,1.286376e-05,1.279311e-05,1.272413e-05,1.265679e-05,1.259106e-05,1.252690e-05,1.246429e-05,1.240318e-05,1.234354e-05,1.228535e-05,1.222857e-05,1.217317e-05,1.211911e-05,1.206637e-05,1.201492e-05
0.000000e+00,1.162212e-10,4.443719e-10,3.217830e-09,1.179398e-08,2.128029e-08,7.518991e-08,7.866324e-08,2.122567e-07,2.696876e-07,4.709290e-07,7.108556e-07,9.151145e-07,1.547991e-06,1.615173e-06,2.645443e-06,2.949690e-06,4.074153e-06,5.068974e-06,5.954901e-06,8.012816e-06,8.323608e-06,1.119978e-05,1.183664e-05,1.458936e-05,1.655362e-05,1.848756e-05,2.214557e-05,2.288105e-05,2.774958e-05,2.857097e-05,3.306716e-05,3.577021e-05,3.880299e-05,4.366959e-05,4.492238e-05,5.138761e-05,5.218480e-05,5.815880e-05,6.122447e-05,6.519482e-05,7.069375e-05,7.245414e-05,7.989566e-05,8.049764e-05,8.747937e-05,9.054402e-05,9.516699e-05,1.007461e-04,1.029224e-04,1.107122e-04,1.110241e-04,1.185055e-04,1.213065e-04,1.262745e-04,1.315308e-04,1.339944e-04,1.416429e-04,1.492010e-04,1.515977e-04,1.566519e-04,1.613576e-04,1.639815e-04,1.708926e-04,1.711778e-04,1.782309e-04,1.801790e-04,1.851327e-04,1.891985e-04,1.918769e-04,1.979379e-04,1.984584e-04,2.048734e-04,2.063880e-04,2.111195e-04,2.145428e-04,2.171949e-04,2.223994e-04,2.230988e-04,2.288311e-04,2.299570e-04,2.343923e-04,2.372169e-04,2.397835e-04,2.441816e-04,2.450059e-04,2.500616e-04,2.508551e-04,2.549525e-04,2.572423e-04,2.596811e-04,2.633488e-04,2.642499e-04,2.686618e-04,2.691808e-04,2.729196e-04,2.747450e-04,2.770263e-04,2.800482e-04,2.809850e-04,2.847988e-04,2.850978e-04,2.884710e-04,2.899010e-04,2.920049e-04,2.944653e-04,2.954035e-04,2.986703e-04,2.987983e-04,3.018085e-04,3.029074e-04,3.048213e-04,3.068000e-04,3.077119e-04,3.104835e-04,3.131394e-04,3.139653e-04,3.156826e-04,3.172525e-04,3.181162e-04,3.203522e-04,3.204433e-04,3.226669e-04,3.232714e-04,3.247900e-04,3.260168e-04,3.268154e-04,3.285950e-04,3.287461e-04,3.305848e-04,3.310127e-04,3.323342e-04,3.332760e-04,3.339972e-04,3.353912e-04,3.355763e-04,3.370741e-04,3.373642e-04,3.384932e-04,3.392008e-04,3.398360e-04,3.409068e-04,3.411050e-04,3.423024e-04,3.424876e-04,3.434308e-04,3.439484e-04,3.444922e-04,3.452946e-04,3.454889e-04,3.464230e-04,3.465310e-04,3.472967e-04,3.476625e-04,3.481120e-04,3.486938e-04,3.488709e-04,3.495753e-04,3.496293e-04,3.502271e-04,3.504735e-04,3.508281e-04,3.512305e-04,3.513802e-04,3.518851e-04,3.519043e-04,3.523444e-04,3.524990e-04,3.527599e-04,3.530182e-04,3.531331e-04,3.534656e-04,3.538448e-04,3.541590e-04,3.544115e-04,3.546055e-04,3.547439e-04,3.548296e-04,3.548655e-04,3.548541e-04,3.547980e-04,3.546997e-04,3.545615e-04,3.543858e-04,3.541746e-04,3.539300e-04,3.536541e-04,3.533487e-04,3.530157e-04,3.526568e-04,3.522737e-04,3.518679e-04,3.514412e-04,3.509948e-04,3.505302e-04,3.500487e-04
0.000000e+00,9.479530e-10,2.179606e-09,7.487752e-09,1.692944e-08,2.458082e-08,5.487631e-08,5.648434e-08,1.068398e-07,1.246806e-07,1.787489e-07,2.333486e-07,2.748307e-07,3.864461e-07,3.972524e-07,5.477191e-07,5.881473e-07,7.274001e-07,8.409923e-07,9.367622e-07,1.145187e-06,1.175308e-06,1.441313e-06,1.497563e-06,1.731754e-06,1.891127e-06,2.042596e-06,2.316151e-06,2.369300e-06,2.707297e-06,2.762131e-06,3.052268e-06,3.219155e-06,3.400257e-06,3.678406e-06,3.747689e-06,4.091361e-06,4.132211e-06,4.428440e-06,4.574015e-06,4.756450e-06,4.998356e-06,5.073273e-06,5.377142e-06,5.400847e-06,5.666630e-06,5.778141e-06,5.940635e-06,6.127874e-06,6.198362e-06,6.439297e-06,6.448580e-06,6.663176e-06,6.739584e-06,6.869961e-06,7.000882e-06,7.059806e-06,7.233023e-06,7.390061e-06,7.436983e-06,7.531472e-06,7.614064e-06,7.657890e-06,7.765791e-06,7.770011e-06,7.868568e-06,7.893836e-06,7.954320e-06,7.999944e-06,8.028035e-06,8.085883e-06,8.090482e-06,8.142417e-06,8.153400e-06,8.184580e-06,8.204191e-06,8.217686e-06,8.239875e-06,8.242424e-06,8.259450e-06,8.261986e-06,8.269390e-06,8.271956e-06,8.272834e-06,8.271116e-06,8.270340e-06,8.262429e-06,8.260694e-06,8.249592e-06,8.241815e-06,8.232284e-06,8.215507e-06,8.210932e-06,8.185930e-06,8.182702e-06,8.157645e-06,8.144248e-06,8.126416e-06,8.100908e-06,8.092557e-06,8.056358e-06,8.053369e-06,8.018086e-06,8.002252e-06,7.977985e-06,7.948109e-06,7.936284e-06,7.893188e-06,7.891437e-06,7.848888e-06,7.832680e-06,7.803560e-06,7.772232e-06,7.757364e-06,7.710446e-06,7.662939e-06,7.647633e-06,7.614967e-06,7.584072e-06,7.566641e-06,7.520009e-06,7.518062e-06,7.469323e-06,7.455659e-06,7.420509e-06,7.391216e-06,7.371695e-06,7.326847e-06,7.322951e-06,7.274340e-06,7.262700e-06,7.225919e-06,7.198905e-06,7.177738e-06,7.135575e-06,7.129844e-06,7.082279e-06,7.072808e-06,7.035078e-06,7.010689e-06,6.988276e-06,6.949292e-06,6.941901e-06,6.895981e-06,6.888677e-06,6.850537e-06,6.828899e-06,6.805590e-06,6.770002e-06,6.761157e-06,6.717255e-06,6.712023e-06,6.673895e-06,6.654992e-06,6.631090e-06,6.598934e-06,6.588848e-06,6.547177e-06,6.543868e-06,6.506084e-06,6.489809e-06,6.465572e-06,6.436766e-06,6.425646e-06,6.386307e-06,6.384746e-06,6.347558e-06,6.333752e-06,6.309397e-06,6.283785e-06,6.271826e-06,6.234841e-06,6.186918e-06,6.140008e-06,6.094102e-06,6.049193e-06,6.005267e-06,5.962314e-06,5.920320e-06,5.879271e-06,5.839153e-06,5.799951e-06,5.761648e-06,5.724230e-06,5.687679e-06,5.651979e-06,5.617114e-06,5.583067e-06,5.549820e-06,5.517358e-06,5.485663e-06,5.454719e-06,5.424509e-06,5.395017e-06,5.366226e-06,5.338120e-06
0.000000e+00,6.224105e-11,2.418526e-10,1.809839e-09,6.828828e-09,1.251369e-08,4.593133e-08,4.812438e-08,1.343745e-07,1.722042e-07,3.067951e-07,4.699072e-07,6.102650e-07,1.051169e-06,1.098423e-06,1.832926e-06,2.053340e-06,2.882041e-06,3.633745e-06,4.317633e-06,5.956633e-06,6.210008e-06,8.621656e-06,9.170919e-06,1.160200e-05,1.338828e-05,1.518445e-05,1.867180e-05,1.938584e-05,2.420727e-05,2.503556e-05,2.963592e-05,3.245048e-05,3.564699e-05,4.085213e-05,4.220574e-05,4.926942e-05,5.014872e-05,5.678898e-05,6.022831e-05,6.471074e-05,7.096534e-05,7.297780e-05,8.153140e-05,8.222629e-05,9.031211e-05,9.387473e-05,9.926091e-05,1.057757e-04,1.083201e-04,1.174342e-04,1.177992e-04,1.265506e-04,1.298234e-04,1.356199e-04,1.417368e-04,1.445966e-04,1.534394e-04,1.621109e-04,1.648442e-04,1.705784e-04,1.758771e-04,1.788133e-04,1.864772e-04,1.867912e-04,1.944918e-04,1.965959e-04,2.018986e-04,2.061963e-04,2.089989e-04,2.152520e-04,2.157829e-04,2.222443e-04,2.237466e-04,2.283793e-04,2.316717e-04,2.341866e-04,2.390265e-04,2.396670e-04,2.448233e-04,2.458160e-04,2.496599e-04,2.520505e-04,2.541826e-04,2.577442e-04,2.583984e-04,2.623152e-04,2.629147e-04,2.659417e-04,2.675820e-04,2.692872e-04,2.717678e-04,2.723615e-04,2.751746e-04,2.754951e-04,2.777369e-04,2.787876e-04,2.800588e-04,2.816691e-04,2.821508e-04,2.840232e-04,2.841638e-04,2.856864e-04,2.862954e-04,2.871505e-04,2.880870e-04,2.884255e-04,2.895210e-04,2.895612e-04,2.904466e-04,2.907400e-04,2.912114e-04,2.916442e-04,2.918243e-04,2.922939e-04,2.926285e-04,2.927083e-04,2.928359e-04,2.929054e-04,2.929238e-04,2.929026e-04,2.928995e-04,2.927701e-04,2.927159e-04,2.925421e-04,2.923607e-04,2.922220e-04,2.918514e-04,2.918158e-04,2.913294e-04,2.912014e-04,2.907683e-04,2.904234e-04,2.901377e-04,2.895293e-04,2.894426e-04,2.886877e-04,2.885300e-04,2.878776e-04,2.874358e-04,2.870164e-04,2.862565e-04,2.861082e-04,2.851569e-04,2.850009e-04,2.841660e-04,2.836773e-04,2.831389e-04,2.822934e-04,2.820790e-04,2.809892e-04,2.808565e-04,2.798724e-04,2.793731e-04,2.787313e-04,2.778495e-04,2.775686e-04,2.763865e-04,2.762912e-04,2.751875e-04,2.747036e-04,2.739735e-04,2.730914e-04,2.727468e-04,2.715090e-04,2.714593e-04,2.702621e-04,2.698112e-04,2.690076e-04,2.681511e-04,2.677472e-04,2.664823e-04,2.648080e-04,2.631313e-04,2.614547e-04,2.597807e-04,2.581116e-04,2.564493e-04,2.547958e-04,2.531526e-04,2.515214e-04,2.499033e-04,2.482998e-04,2.467118e-04,2.451404e-04,2.435863e-04,2.420504e-04,2.405334e-04,2.390358e-04,2.375580e-04,2.361006e-04,2.346639e-04,2.332481e-04,2.318536e-04,2.304805e-04,2.291289e-04
0.000000e+00,2.783823e-09,7.144155e-09,2.778552e-08,6.701559e-08,9.994974e-08,2.360073e-07,2.434218e-07,4.830796e-07,5.710384e-07,8.459631e-07,1.134907e-06,1.360994e-06,1.990928e-06,2.053169e-06,2.930791e-06,3.167819e-06,3.980062e-06,4.633703e-06,5.177040e-06,6.334658e-06,6.499297e-06,7.928108e-06,8.225178e-06,9.446899e-06,1.026698e-05,1.103989e-05,1.242396e-05,1.269152e-05,1.438643e-05,1.466063e-05,1.610970e-05,1.694274e-05,1.784715e-05,1.923846e-05,1.958566e-05,2.131337e-05,2.151946e-05,2.301983e-05,2.376158e-05,2.469607e-05,2.594511e-05,2.633455e-05,2.792911e-05,2.805462e-05,2.947488e-05,3.007866e-05,3.096814e-05,3.200920e-05,3.240616e-05,3.378712e-05,3.384115e-05,3.510991e-05,3.557177e-05,3.637407e-05,3.720021e-05,3.757963e-05,3.872708e-05,3.981719e-05,4.015409e-05,4.085103e-05,4.148374e-05,4.182987e-05,4.271911e-05,4.275511e-05,4.362830e-05,4.386368e-05,4.445104e-05,4.492116e-05,4.522501e-05,4.589544e-05,4.595189e-05,4.663342e-05,4.679042e-05,4.727129e-05,4.761006e-05,4.786720e-05,4.835822e-05,4.842283e-05,4.893982e-05,4.903873e-05,4.941979e-05,4.965526e-05,4.986430e-05,5.021142e-05,5.027490e-05,5.065307e-05,5.071067e-05,5.100026e-05,5.115632e-05,5.131786e-05,5.155156e-05,5.160724e-05,5.186969e-05,5.189944e-05,5.210649e-05,5.220287e-05,5.231885e-05,5.246462e-05,5.250794e-05,5.267488e-05,5.268732e-05,5.282078e-05,5.287348e-05,5.294666e-05,5.302547e-05,5.305354e-05,5.314237e-05,5.314556e-05,5.321408e-05,5.323588e-05,5.326955e-05,5.329844e-05,5.330964e-05,5.333516e-05,5.334688e-05,5.334784e-05,5.334555e-05,5.333819e-05,5.333190e-05,5.330782e-05,5.330659e-05,5.327030e-05,5.325825e-05,5.322363e-05,5.319090e-05,5.316719e-05,5.310714e-05,5.310156e-05,5.302727e-05,5.300821e-05,5.294485e-05,5.289533e-05,5.285480e-05,5.276962e-05,5.275759e-05,5.265367e-05,5.263212e-05,5.254349e-05,5.248385e-05,5.242744e-05,5.232572e-05,5.230592e-05,5.217932e-05,5.215861e-05,5.204798e-05,5.198335e-05,5.191224e-05,5.180071e-05,5.177244e-05,5.162888e-05,5.161141e-05,5.148185e-05,5.141613e-05,5.133163e-05,5.121550e-05,5.117849e-05,5.102268e-05,5.101011e-05,5.086445e-05,5.080053e-05,5.070401e-05,5.058726e-05,5.054160e-05,5.037741e-05,5.037080e-05,5.021163e-05,5.015161e-05,5.004447e-05,4.993009e-05,4.987608e-05,4.970665e-05,4.948166e-05,4.925545e-05,4.902835e-05,4.880065e-05,4.857263e-05,4.834454e-05,4.811662e-05,4.788909e-05,4.766216e-05,4.743600e-05,4.721080e-05,4.698671e-05,4.676388e-05,4.654244e-05,4.632252e-05,4.610423e-05,4.588767e-05,4.567294e-05,4.546012e-05,4.524929e-05,4.504052e-05,4.483386e-05,4.462938e-05,4.442712e-05
0.000000e+00,1.464681e-09,3.524250e-09,1.276844e-08,2.973060e-08,4.371561e-08,1.002135e-07,1.032481e-07,1.994857e-07,2.340265e-07,3.397519e-07,4.477957e-07,5.305771e-07,7.557080e-07,7.776646e-07,1.085801e-06,1.169275e-06,1.458673e-06,1.696671e-06,1.898537e-06,2.341363e-06,2.405740e-06,2.978291e-06,3.100296e-06,3.611840e-06,3.963405e-06,4.300264e-06,4.915797e-06,5.036508e-06,5.813255e-06,5.940806e-06,6.623262e-06,7.021808e-06,7.459511e-06,8.142875e-06,8.315279e-06,9.184192e-06,9.289056e-06,1.006028e-05,1.044660e-05,1.093804e-05,1.160314e-05,1.181245e-05,1.267902e-05,1.274788e-05,1.353379e-05,1.387162e-05,1.437335e-05,1.496676e-05,1.519478e-05,1.599567e-05,1.602724e-05,1.677402e-05,1.704841e-05,1.752830e-05,1.802683e-05,1.825731e-05,1.896018e-05,1.963636e-05,1.984704e-05,2.028551e-05,2.068673e-05,2.090754e-05,2.147922e-05,2.150250e-05,2.207064e-05,2.222495e-05,2.261229e-05,2.292475e-05,2.312791e-05,2.357976e-05,2.361804e-05,2.408327e-05,2.419130e-05,2.452426e-05,2.476088e-05,2.494169e-05,2.529011e-05,2.533628e-05,2.570876e-05,2.578067e-05,2.605987e-05,2.623425e-05,2.639036e-05,2.665258e-05,2.670098e-05,2.699246e-05,2.703738e-05,2.726555e-05,2.739032e-05,2.752097e-05,2.771305e-05,2.775942e-05,2.798160e-05,2.800720e-05,2.818818e-05,2.827431e-05,2.837983e-05,2.851589e-05,2.855719e-05,2.872088e-05,2.873340e-05,2.887151e-05,2.892823e-05,2.900966e-05,2.910172e-05,2.913590e-05,2.925078e-05,2.925514e-05,2.935482e-05,2.938972e-05,2.944854e-05,2.950663e-05,2.953243e-05,2.960696e-05,2.967260e-05,2.969179e-05,2.972977e-05,2.976211e-05,2.977890e-05,2.981888e-05,2.982040e-05,2.985465e-05,2.986300e-05,2.988204e-05,2.989533e-05,2.990292e-05,2.991668e-05,2.991764e-05,2.992653e-05,2.992783e-05,2.992990e-05,2.992949e-05,2.992806e-05,2.992236e-05,2.992130e-05,2.990990e-05,2.990709e-05,2.989413e-05,2.988429e-05,2.987425e-05,2.985454e-05,2.985049e-05,2.982310e-05,2.981839e-05,2.979229e-05,2.977635e-05,2.975828e-05,2.972891e-05,2.972128e-05,2.968148e-05,2.967652e-05,2.963907e-05,2.961962e-05,2.959422e-05,2.955861e-05,2.954710e-05,2.949788e-05,2.949386e-05,2.944671e-05,2.942573e-05,2.939375e-05,2.935457e-05,2.933911e-05,2.928296e-05,2.928068e-05,2.922540e-05,2.920436e-05,2.916656e-05,2.912588e-05,2.910656e-05,2.904550e-05,2.896347e-05,2.888001e-05,2.879533e-05,2.870962e-05,2.862308e-05,2.853587e-05,2.844815e-05,2.836008e-05,2.827178e-05,2.818338e-05,2.809502e-05,2.800678e-05,2.791878e-05,2.783110e-05,2.774384e-05,2.765708e-05,2.757087e-05,2.748531e-05,2.740043e-05,2.731631e-05,2.723298e-05,2.715050e-05,2.706890e-05,2.698823e-05
0.000000e+00,1.774085e-11,6.839288e-11,5.033757e-10,1.870476e-09,3.398752e-09,1.220437e-08,1.277566e-08,3.490530e-08,4.447000e-08,7.807470e-08,1.181952e-07,1.523495e-07,2.581336e-07,2.693663e-07,4.421224e-07,4.934184e-07,6.845852e-07,8.560941e-07,1.010830e-06,1.377372e-06,1.433544e-06,1.962244e-06,2.081230e-06,2.601927e-06,2.978624e-06,3.352626e-06,4.065811e-06,4.209816e-06,5.165288e-06,5.326585e-06,6.208164e-06,6.736138e-06,7.325856e-06,8.264808e-06,8.504848e-06,9.731326e-06,9.881042e-06,1.099163e-05,1.155346e-05,1.227258e-05,1.325222e-05,1.356173e-05,1.484752e-05,1.494992e-05,1.611943e-05,1.662214e-05,1.736798e-05,1.824776e-05,1.858486e-05,1.976288e-05,1.980911e-05,2.089602e-05,2.129198e-05,2.197934e-05,2.268553e-05,2.300899e-05,2.398211e-05,2.489679e-05,2.517695e-05,2.575197e-05,2.626788e-05,2.654734e-05,2.725498e-05,2.728328e-05,2.796075e-05,2.814014e-05,2.858115e-05,2.892676e-05,2.914633e-05,2.961937e-05,2.965844e-05,3.011985e-05,3.022333e-05,3.053313e-05,3.074453e-05,3.090094e-05,3.118918e-05,3.122603e-05,3.151112e-05,3.156358e-05,3.175894e-05,3.187396e-05,3.197214e-05,3.212637e-05,3.215331e-05,3.230492e-05,3.232660e-05,3.242935e-05,3.248009e-05,3.252884e-05,3.259190e-05,3.260550e-05,3.266131e-05,3.266670e-05,3.269812e-05,3.270874e-05,3.271764e-05,3.272190e-05,3.272147e-05,3.271106e-05,3.270965e-05,3.268777e-05,3.267514e-05,3.265285e-05,3.262114e-05,3.260743e-05,3.255254e-05,3.255017e-05,3.248915e-05,3.246441e-05,3.241810e-05,3.236583e-05,3.234019e-05,3.225614e-05,3.216661e-05,3.213689e-05,3.207217e-05,3.200942e-05,3.197338e-05,3.187491e-05,3.187073e-05,3.176466e-05,3.173441e-05,3.165558e-05,3.158884e-05,3.154386e-05,3.143903e-05,3.142983e-05,3.131380e-05,3.128569e-05,3.119606e-05,3.112946e-05,3.107685e-05,3.097091e-05,3.095640e-05,3.083494e-05,3.081054e-05,3.071265e-05,3.064879e-05,3.058970e-05,3.048605e-05,3.046628e-05,3.034251e-05,3.032268e-05,3.021854e-05,3.015900e-05,3.009449e-05,2.999528e-05,2.997049e-05,2.984662e-05,2.983177e-05,2.972300e-05,2.966870e-05,2.959970e-05,2.950627e-05,2.947682e-05,2.935441e-05,2.934464e-05,2.923256e-05,2.918399e-05,2.911132e-05,2.902444e-05,2.899075e-05,2.887091e-05,2.886613e-05,2.875183e-05,2.870916e-05,2.863358e-05,2.855365e-05,2.851618e-05,2.839967e-05,2.824731e-05,2.809663e-05,2.794769e-05,2.780055e-05,2.765525e-05,2.751183e-05,2.737032e-05,2.723076e-05,2.709316e-05,2.695754e-05,2.682392e-05,2.669231e-05,2.656271e-05,2.643513e-05,2.630956e-05,2.618602e-05,2.606448e-05,2.594495e-05,2.582743e-05,2.571188e-05,2.559832e-05,2.548671e-05,2.537705e-05,2.526933e-05
0.000000e+00,9.519059e-10,2.283153e-09,8.227859e-09,1.908023e-08,2.799988e-08,6.391654e-08,6.584272e-08,1.268880e-07,1.488023e-07,2.159681e-07,2.847939e-07,3.376661e-07,4.819549e-07,4.960529e-07,6.938252e-07,7.472360e-07,9.312168e-07,1.080696e-06,1.205989e-06,1.475908e-06,1.514601e-06,1.853194e-06,1.924170e-06,2.217899e-06,2.416575e-06,2.604824e-06,2.944120e-06,3.010013e-06,3.429456e-06,3.497620e-06,3.859137e-06,4.067858e-06,4.295116e-06,4.645885e-06,4.733612e-06,5.171080e-06,5.223350e-06,5.604278e-06,5.792772e-06,6.030306e-06,6.347725e-06,6.446640e-06,6.851135e-06,6.882927e-06,7.242024e-06,7.394244e-06,7.617902e-06,7.878624e-06,7.977696e-06,8.320639e-06,8.333998e-06,8.646235e-06,8.759146e-06,8.954224e-06,9.153562e-06,9.244548e-06,9.517320e-06,9.772794e-06,9.850949e-06,1.001134e-05,1.015532e-05,1.023340e-05,1.043157e-05,1.043952e-05,1.063026e-05,1.068099e-05,1.080623e-05,1.090499e-05,1.096808e-05,1.110505e-05,1.111643e-05,1.125196e-05,1.128265e-05,1.137529e-05,1.143927e-05,1.148708e-05,1.157638e-05,1.158793e-05,1.167846e-05,1.169538e-05,1.175927e-05,1.179763e-05,1.183090e-05,1.188440e-05,1.189392e-05,1.194885e-05,1.195692e-05,1.199618e-05,1.201634e-05,1.203639e-05,1.206374e-05,1.206994e-05,1.209725e-05,1.210013e-05,1.211874e-05,1.212646e-05,1.213480e-05,1.214359e-05,1.214579e-05,1.215205e-05,1.215236e-05,1.215393e-05,1.215352e-05,1.215172e-05,1.214777e-05,1.214573e-05,1.213622e-05,1.213577e-05,1.212346e-05,1.211812e-05,1.210770e-05,1.209538e-05,1.208916e-05,1.206807e-05,1.204462e-05,1.203665e-05,1.201901e-05,1.200157e-05,1.199142e-05,1.196323e-05,1.196202e-05,1.193097e-05,1.192201e-05,1.189843e-05,1.187823e-05,1.186452e-05,1.183223e-05,1.182938e-05,1.179313e-05,1.178428e-05,1.175590e-05,1.173466e-05,1.171779e-05,1.168360e-05,1.167889e-05,1.163931e-05,1.163132e-05,1.159914e-05,1.157804e-05,1.155845e-05,1.152393e-05,1.151732e-05,1.147583e-05,1.146917e-05,1.143405e-05,1.141391e-05,1.139203e-05,1.135829e-05,1.134984e-05,1.130752e-05,1.130244e-05,1.126514e-05,1.124648e-05,1.122274e-05,1.119052e-05,1.118035e-05,1.113803e-05,1.113465e-05,1.109581e-05,1.107895e-05,1.105372e-05,1.102352e-05,1.101180e-05,1.097007e-05,1.096841e-05,1.092857e-05,1.091369e-05,1.088732e-05,1.085942e-05,1.084633e-05,1.080565e-05,1.075242e-05,1.069978e-05,1.064775e-05,1.059638e-05,1.054569e-05,1.049570e-05,1.044643e-05,1.039790e-05,1.035012e-05,1.030311e-05,1.025687e-05,1.021142e-05,1.016675e-05,1.012286e-05,1.007977e-05,1.003747e-05,9.995965e-06,9.955243e-06,9.915306e-06,9.876149e-06,9.837766e-06,9.800151e-06,9.763298e-06,9.727199e-06
0.000000e+00,2.378954e-09,5.478997e-09,1.890913e-08,4.300931e-08,6.271290e-08,1.421195e-07,1.463940e-07,2.831759e-07,3.329578e-07,4.877996e-07,6.496838e-07,7.758236e-07,1.124575e-06,1.158800e-06,1.636893e-06,1.764673e-06,2.198830e-06,2.544554e-06,2.829763e-06,3.431582e-06,3.516576e-06,4.248523e-06,4.399497e-06,5.016346e-06,5.426946e-06,5.811521e-06,6.494627e-06,6.625887e-06,7.451551e-06,7.584195e-06,8.280956e-06,8.678294e-06,9.107005e-06,9.761038e-06,9.923201e-06,1.072376e-05,1.081853e-05,1.150368e-05,1.183919e-05,1.225875e-05,1.281387e-05,1.298558e-05,1.368157e-05,1.373585e-05,1.434481e-05,1.460065e-05,1.497408e-05,1.540570e-05,1.556867e-05,1.612842e-05,1.615008e-05,1.665352e-05,1.683417e-05,1.714452e-05,1.745933e-05,1.760223e-05,1.802768e-05,1.842201e-05,1.854183e-05,1.878650e-05,1.900474e-05,1.912250e-05,1.941951e-05,1.943137e-05,1.971451e-05,1.978937e-05,1.997331e-05,2.011748e-05,2.020914e-05,2.040697e-05,2.042333e-05,2.061717e-05,2.066080e-05,2.079190e-05,2.088185e-05,2.094871e-05,2.107277e-05,2.108873e-05,2.121304e-05,2.123610e-05,2.132266e-05,2.137418e-05,2.141856e-05,2.148919e-05,2.150166e-05,2.157282e-05,2.158315e-05,2.163283e-05,2.165791e-05,2.168248e-05,2.171521e-05,2.172247e-05,2.175347e-05,2.175661e-05,2.177611e-05,2.178358e-05,2.179099e-05,2.179745e-05,2.179866e-05,2.179963e-05,2.179944e-05,2.179440e-05,2.179067e-05,2.178341e-05,2.177217e-05,2.176709e-05,2.174584e-05,2.174490e-05,2.172004e-05,2.170970e-05,2.169002e-05,2.166737e-05,2.165612e-05,2.161864e-05,2.157787e-05,2.156418e-05,2.153408e-05,2.150457e-05,2.148750e-05,2.144040e-05,2.143838e-05,2.138694e-05,2.137215e-05,2.133338e-05,2.130030e-05,2.127789e-05,2.122528e-05,2.122064e-05,2.116181e-05,2.114748e-05,2.110156e-05,2.106724e-05,2.104002e-05,2.098492e-05,2.097734e-05,2.091364e-05,2.090079e-05,2.084904e-05,2.081513e-05,2.078366e-05,2.072821e-05,2.071760e-05,2.065095e-05,2.064024e-05,2.058381e-05,2.055143e-05,2.051626e-05,2.046198e-05,2.044838e-05,2.038025e-05,2.037206e-05,2.031193e-05,2.028183e-05,2.024349e-05,2.019143e-05,2.017499e-05,2.010649e-05,2.010101e-05,2.003804e-05,2.001068e-05,1.996968e-05,1.992055e-05,1.990147e-05,1.983344e-05,1.983072e-05,1.976563e-05,1.974128e-05,1.969809e-05,1.965232e-05,1.963084e-05,1.956391e-05,1.947612e-05,1.938900e-05,1.930262e-05,1.921703e-05,1.913226e-05,1.904835e-05,1.896535e-05,1.888328e-05,1.880217e-05,1.872205e-05,1.864293e-05,1.856483e-05,1.848776e-05,1.841175e-05,1.833680e-05,1.826291e-05,1.819010e-05,1.811837e-05,1.804771e-05,1.797814e-05,1.790965e-05,1.784223e-05,1.777590e-05,1.771064e-05
0.000000e+00,1.144570e-09,2.616649e-09,8.992987e-09,2.052334e-08,3.004891e-08,6.933913e-08,7.149418e-08,1.424694e-07,1.692032e-07,2.549495e-07,3.478033e-07,4.215579e-07,6.273887e-07,6.475561e-07,9.264905e-07,1.000103e-06,1.247784e-06,1.443036e-06,1.603277e-06,1.940174e-06,1.987704e-06,2.397441e-06,2.482160e-06,2.829530e-06,3.062117e-06,3.281155e-06,3.673492e-06,3.749405e-06,4.231204e-06,4.309336e-06,4.723336e-06,4.962262e-06,5.222501e-06,5.624678e-06,5.725401e-06,6.228825e-06,6.289124e-06,6.729725e-06,6.948585e-06,7.225280e-06,7.596747e-06,7.712941e-06,8.190470e-06,8.228174e-06,8.655936e-06,8.838372e-06,9.107725e-06,9.423805e-06,9.544540e-06,9.965379e-06,9.981869e-06,1.036951e-05,1.051080e-05,1.075643e-05,1.100957e-05,1.112588e-05,1.147777e-05,1.181216e-05,1.191550e-05,1.212927e-05,1.232329e-05,1.242941e-05,1.270195e-05,1.271298e-05,1.298045e-05,1.305253e-05,1.323234e-05,1.337623e-05,1.346921e-05,1.367435e-05,1.369162e-05,1.390019e-05,1.394825e-05,1.409550e-05,1.419931e-05,1.427815e-05,1.442890e-05,1.444875e-05,1.460786e-05,1.463836e-05,1.475606e-05,1.482899e-05,1.489388e-05,1.500202e-05,1.502185e-05,1.514049e-05,1.515864e-05,1.525027e-05,1.529996e-05,1.535167e-05,1.542705e-05,1.544513e-05,1.553107e-05,1.554089e-05,1.560989e-05,1.564242e-05,1.568198e-05,1.573249e-05,1.574770e-05,1.580740e-05,1.581193e-05,1.586140e-05,1.588148e-05,1.591002e-05,1.594185e-05,1.595354e-05,1.599224e-05,1.599369e-05,1.602639e-05,1.603762e-05,1.605623e-05,1.607419e-05,1.608201e-05,1.610393e-05,1.612222e-05,1.612733e-05,1.613706e-05,1.614485e-05,1.614866e-05,1.615690e-05,1.615718e-05,1.616280e-05,1.616388e-05,1.616567e-05,1.616614e-05,1.616595e-05,1.616404e-05,1.616378e-05,1.615929e-05,1.615788e-05,1.615261e-05,1.614796e-05,1.614387e-05,1.613455e-05,1.613317e-05,1.612063e-05,1.611791e-05,1.610634e-05,1.609826e-05,1.609042e-05,1.607584e-05,1.607294e-05,1.605400e-05,1.605084e-05,1.603368e-05,1.602346e-05,1.601206e-05,1.599389e-05,1.598922e-05,1.596523e-05,1.596227e-05,1.594014e-05,1.592878e-05,1.591404e-05,1.589356e-05,1.588698e-05,1.585901e-05,1.585674e-05,1.583020e-05,1.581845e-05,1.580059e-05,1.577881e-05,1.577024e-05,1.573920e-05,1.573794e-05,1.570750e-05,1.569593e-05,1.567519e-05,1.565289e-05,1.564231e-05,1.560891e-05,1.556407e-05,1.551845e-05,1.547213e-05,1.542519e-05,1.537768e-05,1.532967e-05,1.528122e-05,1.523239e-05,1.518322e-05,1.513377e-05,1.508407e-05,1.503419e-05,1.498414e-05,1.493398e-05,1.488374e-05,1.483344e-05,1.478313e-05,1.473284e-05,1.468258e-05,1.463239e-05,1.458229e-05,1.453230e-05,1.448245e-05,1.443276e-05
0.000000e+00,5.218863e-10,1.893386e-09,1.234969e-08,4.135626e-08,7.115151e-08,2.236853e-07,2.329513e-07,5.646034e-07,6.976723e-07,1.138612e-06,1.631093e-06,2.031670e-06,3.203616e-06,3.323507e-06,5.090644e-06,5.592592e-06,7.391284e-06,8.923192e-06,1.024937e-05,1.321644e-05,1.365253e-05,1.756368e-05,1.840271e-05,2.193454e-05,2.437206e-05,2.671387e-05,3.100682e-05,3.185064e-05,3.729468e-05,3.819092e-05,4.299651e-05,4.581060e-05,4.890738e-05,5.375447e-05,5.497958e-05,6.116702e-05,6.191515e-05,6.742592e-05,7.019183e-05,7.371544e-05,7.849282e-05,7.999821e-05,8.624063e-05,8.673736e-05,9.241301e-05,9.485646e-05,9.848963e-05,1.027931e-04,1.044486e-04,1.102716e-04,1.105015e-04,1.159437e-04,1.179464e-04,1.214531e-04,1.251017e-04,1.267905e-04,1.319491e-04,1.369241e-04,1.384768e-04,1.417126e-04,1.446786e-04,1.463130e-04,1.505522e-04,1.507251e-04,1.549497e-04,1.560992e-04,1.589885e-04,1.613235e-04,1.628437e-04,1.662311e-04,1.665185e-04,1.700163e-04,1.708298e-04,1.733407e-04,1.751281e-04,1.764958e-04,1.791356e-04,1.794859e-04,1.823153e-04,1.828624e-04,1.849887e-04,1.863186e-04,1.875105e-04,1.895151e-04,1.898854e-04,1.921179e-04,1.924622e-04,1.942128e-04,1.951707e-04,1.961745e-04,1.976511e-04,1.980077e-04,1.997167e-04,1.999137e-04,2.013060e-04,2.019685e-04,2.027800e-04,2.038257e-04,2.041428e-04,2.053987e-04,2.054947e-04,2.065517e-04,2.069849e-04,2.076057e-04,2.083055e-04,2.085647e-04,2.094324e-04,2.094652e-04,2.102125e-04,2.104725e-04,2.109085e-04,2.113356e-04,2.115240e-04,2.120623e-04,2.125268e-04,2.126603e-04,2.129204e-04,2.131367e-04,2.132464e-04,2.134985e-04,2.135078e-04,2.137073e-04,2.137525e-04,2.138478e-04,2.139050e-04,2.139321e-04,2.139621e-04,2.139626e-04,2.139419e-04,2.139296e-04,2.138725e-04,2.138132e-04,2.137567e-04,2.136182e-04,2.135968e-04,2.133949e-04,2.133497e-04,2.131532e-04,2.130124e-04,2.128736e-04,2.126110e-04,2.125582e-04,2.122089e-04,2.121499e-04,2.118273e-04,2.116333e-04,2.114154e-04,2.110651e-04,2.109747e-04,2.105070e-04,2.104491e-04,2.100136e-04,2.097888e-04,2.094962e-04,2.090877e-04,2.089561e-04,2.083948e-04,2.083490e-04,2.078136e-04,2.075758e-04,2.072136e-04,2.067708e-04,2.065963e-04,2.059626e-04,2.059370e-04,2.053138e-04,2.050767e-04,2.046509e-04,2.041926e-04,2.039749e-04,2.032869e-04,2.023618e-04,2.014193e-04,2.004615e-04,1.994901e-04,1.985068e-04,1.975134e-04,1.965113e-04,1.955020e-04,1.944868e-04,1.934669e-04,1.924437e-04,1.914182e-04,1.903914e-04,1.893643e-04,1.883379e-04,1.873129e-04,1.862902e-04,1.852706e-04,1.842546e-04,1.832430e-04,1.822363e-04,1.812351e-04,1.802399e-04,1.792511e-04
0.000000e+00,1.158075e-09,2.943313e-09,1.131538e-08,2.711937e-08,4.033940e-08,9.473267e-08,9.768999e-08,1.930550e-07,2.279797e-07,3.370110e-07,4.515696e-07,5.413326e-07,7.929973e-07,8.180460e-07,1.176001e-06,1.274320e-06,1.616339e-06,1.896546e-06,2.132162e-06,2.640286e-06,2.713093e-06,3.349228e-06,3.482321e-06,4.032240e-06,4.403547e-06,4.755043e-06,5.388256e-06,5.511238e-06,6.294718e-06,6.422205e-06,7.099485e-06,7.491586e-06,7.919593e-06,8.582786e-06,8.749187e-06,9.582576e-06,9.682577e-06,1.041433e-05,1.077846e-05,1.123936e-05,1.185899e-05,1.205299e-05,1.285103e-05,1.291409e-05,1.362982e-05,1.393522e-05,1.438621e-05,1.491545e-05,1.511759e-05,1.582183e-05,1.584941e-05,1.649730e-05,1.673318e-05,1.714280e-05,1.756419e-05,1.775753e-05,1.834103e-05,1.889318e-05,1.906326e-05,1.941409e-05,1.973124e-05,1.990412e-05,2.034597e-05,2.036379e-05,2.079379e-05,2.090898e-05,2.119493e-05,2.142212e-05,2.156810e-05,2.188755e-05,2.191427e-05,2.223446e-05,2.230756e-05,2.252971e-05,2.268456e-05,2.280110e-05,2.302101e-05,2.304967e-05,2.327651e-05,2.331937e-05,2.348266e-05,2.358203e-05,2.366916e-05,2.381136e-05,2.383700e-05,2.398718e-05,2.400963e-05,2.412063e-05,2.417901e-05,2.423827e-05,2.432160e-05,2.434099e-05,2.442963e-05,2.443935e-05,2.450499e-05,2.453415e-05,2.456787e-05,2.460775e-05,2.461899e-05,2.465906e-05,2.466181e-05,2.468877e-05,2.469789e-05,2.470874e-05,2.471744e-05,2.471959e-05,2.472190e-05,2.472182e-05,2.471622e-05,2.471231e-05,2.470306e-05,2.469010e-05,2.468293e-05,2.465629e-05,2.462358e-05,2.461190e-05,2.458523e-05,2.455790e-05,2.454163e-05,2.449519e-05,2.449316e-05,2.444017e-05,2.442457e-05,2.438300e-05,2.434683e-05,2.432197e-05,2.426267e-05,2.425738e-05,2.418950e-05,2.417276e-05,2.411862e-05,2.407770e-05,2.404496e-05,2.397806e-05,2.396879e-05,2.389031e-05,2.387436e-05,2.380975e-05,2.376710e-05,2.372729e-05,2.365671e-05,2.364314e-05,2.355745e-05,2.354361e-05,2.347040e-05,2.342818e-05,2.338215e-05,2.331078e-05,2.329284e-05,2.320261e-05,2.319172e-05,2.311158e-05,2.307131e-05,2.301989e-05,2.294983e-05,2.292764e-05,2.283495e-05,2.282751e-05,2.274190e-05,2.270461e-05,2.264860e-05,2.258132e-05,2.255514e-05,2.246159e-05,2.245785e-05,2.236804e-05,2.233437e-05,2.227455e-05,2.221105e-05,2.218120e-05,2.208804e-05,2.196547e-05,2.184347e-05,2.172214e-05,2.160160e-05,2.148193e-05,2.136322e-05,2.124554e-05,2.112897e-05,2.101355e-05,2.089934e-05,2.078639e-05,2.067475e-05,2.056445e-05,2.045551e-05,2.034797e-05,2.024186e-05,2.013718e-05,2.003395e-05,1.993220e-05,1.983192e-05,1.973312e-05,1.963582e-05,1.954000e-05,1.944567e-05
0.000000e+00,8.504479e-10,1.941335e-09,6.632786e-09,1.499399e-08,2.179251e-08,4.890558e-08,5.035291e-08,9.605800e-08,1.124181e-07,1.624871e-07,2.137392e-07,2.531062e-07,3.606884e-07,3.712229e-07,5.198188e-07,5.602964e-07,7.012330e-07,8.176784e-07,9.166882e-07,1.134119e-06,1.165707e-06,1.445615e-06,1.504905e-06,1.751499e-06,1.918700e-06,2.076866e-06,2.360147e-06,2.414783e-06,2.758881e-06,2.814139e-06,3.103849e-06,3.268473e-06,3.445494e-06,3.714211e-06,3.780572e-06,4.106598e-06,4.145017e-06,4.421671e-06,4.556451e-06,4.724363e-06,4.945472e-06,5.013627e-06,5.288735e-06,5.310117e-06,5.549232e-06,5.649282e-06,5.794891e-06,5.962550e-06,6.025675e-06,6.241709e-06,6.250046e-06,6.443246e-06,6.512317e-06,6.630644e-06,6.750219e-06,6.804340e-06,6.964829e-06,7.112649e-06,7.157368e-06,7.248366e-06,7.329141e-06,7.372560e-06,7.481490e-06,7.485818e-06,7.588720e-06,7.615756e-06,7.681841e-06,7.733252e-06,7.765741e-06,7.835250e-06,7.840960e-06,7.908023e-06,7.922961e-06,7.967431e-06,7.997534e-06,8.019660e-06,8.060047e-06,8.065168e-06,8.104386e-06,8.111511e-06,8.137724e-06,8.152866e-06,8.165569e-06,8.184982e-06,8.188287e-06,8.206222e-06,8.208670e-06,8.219698e-06,8.224674e-06,8.229022e-06,8.233683e-06,8.234478e-06,8.236338e-06,8.236332e-06,8.234854e-06,8.233204e-06,8.230263e-06,8.224834e-06,8.222789e-06,8.212638e-06,8.211717e-06,8.200009e-06,8.194304e-06,8.185083e-06,8.173011e-06,8.168033e-06,8.149019e-06,8.148220e-06,8.128193e-06,8.120280e-06,8.105696e-06,8.089511e-06,8.081659e-06,8.056208e-06,8.029457e-06,8.020640e-06,8.001515e-06,7.983055e-06,7.972484e-06,7.943678e-06,7.942459e-06,7.911530e-06,7.902719e-06,7.879778e-06,7.860366e-06,7.847283e-06,7.816794e-06,7.814117e-06,7.780350e-06,7.772163e-06,7.746043e-06,7.726619e-06,7.711258e-06,7.680296e-06,7.676050e-06,7.640472e-06,7.633316e-06,7.604572e-06,7.585792e-06,7.568396e-06,7.537826e-06,7.531986e-06,7.495383e-06,7.489511e-06,7.458624e-06,7.440935e-06,7.421744e-06,7.392175e-06,7.384775e-06,7.347748e-06,7.343302e-06,7.310690e-06,7.294383e-06,7.273629e-06,7.245476e-06,7.236589e-06,7.199593e-06,7.196636e-06,7.162662e-06,7.147912e-06,7.125816e-06,7.099350e-06,7.089073e-06,7.052452e-06,7.050990e-06,7.015967e-06,7.002869e-06,6.979634e-06,6.955021e-06,6.943466e-06,6.907476e-06,6.860261e-06,6.813402e-06,6.766920e-06,6.720835e-06,6.675164e-06,6.629925e-06,6.585129e-06,6.540790e-06,6.496919e-06,6.453524e-06,6.410614e-06,6.368194e-06,6.326272e-06,6.284852e-06,6.243936e-06,6.203529e-06,6.163632e-06,6.124246e-06,6.085371e-06,6.047009e-06,6.009158e-06,5.971818e-06,5.934985e-06,5.898660e-06
0.000000e+00,7.771734e-09,1.779999e-08,6.109025e-08,1.385517e-07,2.017326e-07,4.550719e-07,4.686515e-07,9.001478e-07,1.055808e-06,1.535936e-06,2.032883e-06,2.417998e-06,3.482535e-06,3.587498e-06,5.073444e-06,5.477935e-06,6.876026e-06,8.012777e-06,8.963397e-06,1.099865e-05,1.128869e-05,1.380671e-05,1.432994e-05,1.647897e-05,1.791842e-05,1.927254e-05,2.169121e-05,2.215789e-05,2.510757e-05,2.558374e-05,2.809570e-05,2.953643e-05,3.109789e-05,3.349444e-05,3.409143e-05,3.705558e-05,3.740839e-05,3.997175e-05,4.123540e-05,4.282372e-05,4.493967e-05,4.559765e-05,4.828210e-05,4.849270e-05,5.086791e-05,5.187299e-05,5.334811e-05,5.506554e-05,5.571762e-05,5.797308e-05,5.806090e-05,6.011275e-05,6.085455e-05,6.213612e-05,6.344584e-05,6.404377e-05,6.583717e-05,6.751860e-05,6.803345e-05,6.909086e-05,7.004130e-05,7.055721e-05,7.186864e-05,7.192128e-05,7.318692e-05,7.352420e-05,7.435814e-05,7.501727e-05,7.543907e-05,7.635732e-05,7.643383e-05,7.734652e-05,7.755382e-05,7.818123e-05,7.861610e-05,7.894195e-05,7.955327e-05,7.963257e-05,8.025686e-05,8.037409e-05,8.081849e-05,8.108694e-05,8.132096e-05,8.169980e-05,8.176766e-05,8.216183e-05,8.222023e-05,8.250657e-05,8.265536e-05,8.280484e-05,8.301191e-05,8.305947e-05,8.327314e-05,8.329615e-05,8.344840e-05,8.351398e-05,8.358768e-05,8.367090e-05,8.369329e-05,8.376740e-05,8.377203e-05,8.381208e-05,8.382215e-05,8.382929e-05,8.382572e-05,8.382089e-05,8.378862e-05,8.378686e-05,8.373415e-05,8.370941e-05,8.365903e-05,8.359692e-05,8.356476e-05,8.345271e-05,8.332421e-05,8.327982e-05,8.318050e-05,8.308109e-05,8.302275e-05,8.285913e-05,8.285207e-05,8.266949e-05,8.261638e-05,8.247600e-05,8.235505e-05,8.227252e-05,8.207723e-05,8.205991e-05,8.183899e-05,8.178482e-05,8.161053e-05,8.147957e-05,8.137525e-05,8.116311e-05,8.113383e-05,8.088691e-05,8.083692e-05,8.063509e-05,8.050239e-05,8.037893e-05,8.016078e-05,8.011895e-05,7.985565e-05,7.981325e-05,7.958950e-05,7.946086e-05,7.932092e-05,7.910459e-05,7.905032e-05,7.877810e-05,7.874534e-05,7.850459e-05,7.838393e-05,7.823013e-05,7.802111e-05,7.795505e-05,7.767961e-05,7.765757e-05,7.740410e-05,7.729394e-05,7.712877e-05,7.693078e-05,7.685385e-05,7.657957e-05,7.656861e-05,7.630611e-05,7.620791e-05,7.603368e-05,7.584910e-05,7.576244e-05,7.549256e-05,7.513865e-05,7.478767e-05,7.443992e-05,7.409563e-05,7.375504e-05,7.341835e-05,7.308572e-05,7.275731e-05,7.243326e-05,7.211368e-05,7.179868e-05,7.148832e-05,7.118268e-05,7.088183e-05,7.058579e-05,7.029460e-05,7.000830e-05,6.972688e-05,6.945035e-05,6.917872e-05,6.891197e-05,6.865008e-05,6.839303e-05,6.814080e-05
0.000000e+00,2.692476e-10,8.740226e-10,4.667133e-09,1.343099e-08,2.148689e-08,5.757751e-08,5.961838e-08,1.273947e-07,1.527612e-07,2.326627e-07,3.169827e-07,3.830134e-07,5.675645e-07,5.859000e-07,8.483735e-07,9.209093e-07,1.176013e-06,1.388968e-06,1.571023e-06,1.972484e-06,2.030911e-06,2.549372e-06,2.659407e-06,3.118561e-06,3.431992e-06,3.730736e-06,4.272958e-06,4.378779e-06,5.056102e-06,5.166769e-06,5.756448e-06,6.099013e-06,6.473779e-06,7.055929e-06,7.202237e-06,7.936186e-06,8.024371e-06,8.670278e-06,8.992025e-06,9.399530e-06,9.947706e-06,1.011939e-05,1.082579e-05,1.088161e-05,1.151517e-05,1.178546e-05,1.218451e-05,1.265259e-05,1.283130e-05,1.345354e-05,1.347790e-05,1.404972e-05,1.425773e-05,1.461872e-05,1.498976e-05,1.515986e-05,1.567278e-05,1.615740e-05,1.630654e-05,1.661394e-05,1.689156e-05,1.704279e-05,1.742897e-05,1.744453e-05,1.781988e-05,1.792036e-05,1.816967e-05,1.836764e-05,1.849479e-05,1.877295e-05,1.879621e-05,1.907493e-05,1.913856e-05,1.933196e-05,1.946681e-05,1.956833e-05,1.976004e-05,1.978504e-05,1.998312e-05,2.002059e-05,2.016355e-05,2.025072e-05,2.032729e-05,2.045261e-05,2.047526e-05,2.060837e-05,2.062834e-05,2.072746e-05,2.077990e-05,2.083338e-05,2.090915e-05,2.092690e-05,2.100879e-05,2.101787e-05,2.107975e-05,2.110768e-05,2.114045e-05,2.118014e-05,2.119156e-05,2.123367e-05,2.123666e-05,2.126735e-05,2.127859e-05,2.129316e-05,2.130715e-05,2.131160e-05,2.132317e-05,2.132349e-05,2.132831e-05,2.132868e-05,2.132747e-05,2.132369e-05,2.132105e-05,2.130942e-05,2.129296e-05,2.128673e-05,2.127200e-05,2.125638e-05,2.124686e-05,2.121908e-05,2.121785e-05,2.118523e-05,2.117549e-05,2.114929e-05,2.112623e-05,2.111027e-05,2.107185e-05,2.106840e-05,2.102391e-05,2.101286e-05,2.097700e-05,2.094975e-05,2.092788e-05,2.088296e-05,2.087672e-05,2.082369e-05,2.081288e-05,2.076897e-05,2.073989e-05,2.071269e-05,2.066433e-05,2.065501e-05,2.059606e-05,2.058652e-05,2.053596e-05,2.050674e-05,2.047483e-05,2.042527e-05,2.041279e-05,2.034994e-05,2.034235e-05,2.028638e-05,2.025821e-05,2.022219e-05,2.017305e-05,2.015747e-05,2.009230e-05,2.008707e-05,2.002674e-05,2.000043e-05,1.996088e-05,1.991331e-05,1.989478e-05,1.982850e-05,1.982585e-05,1.976210e-05,1.973818e-05,1.969563e-05,1.965042e-05,1.962915e-05,1.956270e-05,1.947512e-05,1.938777e-05,1.930073e-05,1.921409e-05,1.912791e-05,1.904227e-05,1.895722e-05,1.887281e-05,1.878910e-05,1.870613e-05,1.862393e-05,1.854255e-05,1.846201e-05,1.838234e-05,1.830357e-05,1.822571e-05,1.814879e-05,1.807282e-05,1.799782e-05,1.792379e-05,1.785075e-05,1.777870e-05,1.770765e-05,1.763761e-05
0.000000e+00,1.136606e-10,4.427572e-10,3.330954e-09,1.263236e-08,2.321587e-08,8.589114e-08,9.002233e-08,2.535141e-07,3.256718e-07,5.838417e-07,8.988740e-07,1.171307e-06,2.032526e-06,2.125193e-06,3.571275e-06,4.006710e-06,5.647265e-06,7.138085e-06,8.495411e-06,1.174910e-05,1.225200e-05,1.703475e-05,1.812277e-05,2.293088e-05,2.645463e-05,2.998891e-05,3.682220e-05,3.821632e-05,4.758233e-05,4.918274e-05,5.802405e-05,6.339320e-05,6.945395e-05,7.923941e-05,8.176734e-05,9.484903e-05,9.646478e-05,1.085790e-04,1.147944e-04,1.228368e-04,1.339533e-04,1.375051e-04,1.524723e-04,1.536794e-04,1.676341e-04,1.737316e-04,1.828948e-04,1.938948e-04,1.981678e-04,2.133757e-04,2.139817e-04,2.284505e-04,2.338332e-04,2.433330e-04,2.533170e-04,2.579724e-04,2.723258e-04,2.863574e-04,2.907746e-04,3.000380e-04,3.085983e-04,3.133441e-04,3.257489e-04,3.262578e-04,3.387653e-04,3.421933e-04,3.508572e-04,3.579103e-04,3.625276e-04,3.728894e-04,3.737734e-04,3.845943e-04,3.871283e-04,3.949922e-04,4.006315e-04,4.049707e-04,4.134090e-04,4.145351e-04,4.236920e-04,4.254751e-04,4.324490e-04,4.368474e-04,4.408145e-04,4.475457e-04,4.487978e-04,4.564084e-04,4.575921e-04,4.636564e-04,4.670096e-04,4.705521e-04,4.758222e-04,4.771061e-04,4.833290e-04,4.840540e-04,4.892315e-04,4.917297e-04,4.948241e-04,4.988737e-04,5.001174e-04,5.051218e-04,5.055100e-04,5.098478e-04,5.116624e-04,5.143053e-04,5.173541e-04,5.185043e-04,5.224547e-04,5.226077e-04,5.261658e-04,5.274450e-04,5.296470e-04,5.318875e-04,5.329072e-04,5.359554e-04,5.387999e-04,5.396686e-04,5.414492e-04,5.430459e-04,5.439112e-04,5.461057e-04,5.461937e-04,5.483042e-04,5.488654e-04,5.502501e-04,5.513416e-04,5.520384e-04,5.535503e-04,5.536760e-04,5.551692e-04,5.555069e-04,5.565247e-04,5.572258e-04,5.577484e-04,5.587209e-04,5.588462e-04,5.598240e-04,5.600056e-04,5.606871e-04,5.610923e-04,5.614408e-04,5.619932e-04,5.620903e-04,5.626404e-04,5.627196e-04,5.630960e-04,5.632823e-04,5.634614e-04,5.636918e-04,5.637411e-04,5.639392e-04,5.639577e-04,5.640599e-04,5.640894e-04,5.641069e-04,5.640958e-04,5.640841e-04,5.639950e-04,5.639851e-04,5.638429e-04,5.637653e-04,5.636314e-04,5.634439e-04,5.633634e-04,5.630421e-04,5.630282e-04,5.626703e-04,5.625247e-04,5.622509e-04,5.619399e-04,5.617866e-04,5.612799e-04,5.605503e-04,5.597566e-04,5.589038e-04,5.579968e-04,5.570402e-04,5.560383e-04,5.549950e-04,5.539143e-04,5.527997e-04,5.516547e-04,5.504824e-04,5.492859e-04,5.480680e-04,5.468313e-04,5.455784e-04,5.443117e-04,5.430332e-04,5.417452e-04,5.404495e-04,5.391480e-04,5.378424e-04,5.365342e-04,5.352250e-04,5.339162e-04
0.000000e+00,2.588659e-09,5.875725e-09,1.985858e-08,4.448319e-08,6.434809e-08,1.428338e-07,1.470020e-07,2.780894e-07,3.248767e-07,4.680022e-07,6.146780e-07,7.275344e-07,1.036466e-06,1.066708e-06,1.490942e-06,1.605192e-06,1.996106e-06,2.309438e-06,2.568395e-06,3.113569e-06,3.190252e-06,3.845721e-06,3.979669e-06,4.522000e-06,4.878436e-06,5.208923e-06,5.787985e-06,5.898094e-06,6.582295e-06,6.690870e-06,7.255170e-06,7.572453e-06,7.911113e-06,8.420371e-06,8.545243e-06,9.153435e-06,9.224508e-06,9.732325e-06,9.977055e-06,1.027932e-05,1.067255e-05,1.079259e-05,1.127100e-05,1.130775e-05,1.171404e-05,1.188135e-05,1.212176e-05,1.239374e-05,1.249470e-05,1.283378e-05,1.284665e-05,1.314022e-05,1.324283e-05,1.341550e-05,1.358572e-05,1.366125e-05,1.387918e-05,1.407109e-05,1.412730e-05,1.423878e-05,1.433420e-05,1.438401e-05,1.450391e-05,1.450851e-05,1.461395e-05,1.464027e-05,1.470191e-05,1.474692e-05,1.477389e-05,1.482720e-05,1.483129e-05,1.487541e-05,1.488417e-05,1.490748e-05,1.492058e-05,1.492859e-05,1.493893e-05,1.493978e-05,1.494199e-05,1.494143e-05,1.493609e-05,1.493007e-05,1.492285e-05,1.490660e-05,1.490301e-05,1.487721e-05,1.487257e-05,1.484605e-05,1.482935e-05,1.481007e-05,1.477815e-05,1.476977e-05,1.472558e-05,1.472004e-05,1.467793e-05,1.465596e-05,1.462717e-05,1.458673e-05,1.457365e-05,1.451766e-05,1.451309e-05,1.445950e-05,1.443568e-05,1.439941e-05,1.435508e-05,1.433762e-05,1.427435e-05,1.427179e-05,1.420978e-05,1.418626e-05,1.414410e-05,1.409887e-05,1.407745e-05,1.401000e-05,1.394186e-05,1.391993e-05,1.387316e-05,1.382896e-05,1.380402e-05,1.373732e-05,1.373454e-05,1.366480e-05,1.364524e-05,1.359490e-05,1.355292e-05,1.352492e-05,1.346052e-05,1.345492e-05,1.338498e-05,1.336820e-05,1.331514e-05,1.327610e-05,1.324547e-05,1.318435e-05,1.317603e-05,1.310684e-05,1.309304e-05,1.303796e-05,1.300228e-05,1.296943e-05,1.291216e-05,1.290128e-05,1.283354e-05,1.282275e-05,1.276625e-05,1.273411e-05,1.269942e-05,1.264632e-05,1.263309e-05,1.256727e-05,1.255941e-05,1.250199e-05,1.247344e-05,1.243726e-05,1.238845e-05,1.237310e-05,1.230953e-05,1.230447e-05,1.224655e-05,1.222153e-05,1.218418e-05,1.213965e-05,1.212242e-05,1.206130e-05,1.205887e-05,1.200081e-05,1.197919e-05,1.194096e-05,1.190063e-05,1.188175e-05,1.182320e-05,1.174691e-05,1.167177e-05,1.159778e-05,1.152494e-05,1.145326e-05,1.138273e-05,1.131335e-05,1.124511e-05,1.117802e-05,1.111205e-05,1.104721e-05,1.098349e-05,1.092087e-05,1.085934e-05,1.079891e-05,1.073954e-05,1.068124e-05,1.062399e-05,1.056777e-05,1.051257e-05,1.045839e-05,1.040520e-05,1.035299e-05,1.030175e-05
0.000000e+00,8.525999e-10,2.429937e-09,1.070070e-08,2.740649e-08,4.177184e-08,1.020998e-07,1.054048e-07,2.122178e-07,2.512810e-07,3.726473e-07,4.990695e-07,5.973724e-07,8.702122e-07,8.972044e-07,1.281596e-06,1.387115e-06,1.755340e-06,2.058960e-06,2.315726e-06,2.873409e-06,2.953681e-06,3.657679e-06,3.805401e-06,4.416561e-06,4.829511e-06,5.220340e-06,5.923600e-06,6.060009e-06,6.927207e-06,7.067978e-06,7.813996e-06,8.244370e-06,8.712781e-06,9.435567e-06,9.616322e-06,1.051781e-05,1.062555e-05,1.141095e-05,1.179978e-05,1.229001e-05,1.294553e-05,1.314991e-05,1.398628e-05,1.405206e-05,1.479541e-05,1.511073e-05,1.557429e-05,1.611500e-05,1.632056e-05,1.703249e-05,1.706024e-05,1.770890e-05,1.794356e-05,1.834909e-05,1.876359e-05,1.895282e-05,1.952023e-05,2.005173e-05,2.021435e-05,2.054806e-05,2.084766e-05,2.101012e-05,2.142249e-05,2.143902e-05,2.183596e-05,2.194154e-05,2.220218e-05,2.240770e-05,2.253898e-05,2.282405e-05,2.284775e-05,2.312986e-05,2.319376e-05,2.338670e-05,2.351999e-05,2.361962e-05,2.380590e-05,2.383000e-05,2.401914e-05,2.405453e-05,2.418832e-05,2.426881e-05,2.433877e-05,2.445154e-05,2.447167e-05,2.458818e-05,2.460537e-05,2.468941e-05,2.473291e-05,2.477651e-05,2.483668e-05,2.485046e-05,2.491211e-05,2.491873e-05,2.496233e-05,2.498101e-05,2.500192e-05,2.502534e-05,2.503160e-05,2.505210e-05,2.505336e-05,2.506407e-05,2.506661e-05,2.506814e-05,2.506650e-05,2.506489e-05,2.505486e-05,2.505433e-05,2.503858e-05,2.503129e-05,2.501653e-05,2.499846e-05,2.498915e-05,2.495687e-05,2.492008e-05,2.490742e-05,2.487915e-05,2.485095e-05,2.483444e-05,2.478825e-05,2.478626e-05,2.473491e-05,2.472001e-05,2.468068e-05,2.464687e-05,2.462384e-05,2.456944e-05,2.456462e-05,2.450326e-05,2.448824e-05,2.443998e-05,2.440378e-05,2.437497e-05,2.431649e-05,2.430843e-05,2.424053e-05,2.422680e-05,2.417143e-05,2.413508e-05,2.410129e-05,2.404166e-05,2.403024e-05,2.395842e-05,2.394687e-05,2.388595e-05,2.385097e-05,2.381295e-05,2.375423e-05,2.373952e-05,2.366576e-05,2.365689e-05,2.359177e-05,2.355916e-05,2.351763e-05,2.346123e-05,2.344342e-05,2.336922e-05,2.336328e-05,2.329509e-05,2.326547e-05,2.322109e-05,2.316793e-05,2.314729e-05,2.307374e-05,2.307081e-05,2.300049e-05,2.297421e-05,2.292759e-05,2.287824e-05,2.285508e-05,2.278300e-05,2.268856e-05,2.259501e-05,2.250242e-05,2.241083e-05,2.232032e-05,2.223091e-05,2.214265e-05,2.205558e-05,2.196972e-05,2.188511e-05,2.180175e-05,2.171968e-05,2.163890e-05,2.155942e-05,2.148126e-05,2.140441e-05,2.132889e-05,2.125468e-05,2.118179e-05,2.111022e-05,2.103996e-05,2.097101e-05,2.090335e-05,2.083697e-05
0.000000e+00,1.855547e-09,4.829595e-09,1.911758e-08,4.655868e-08,6.970768e-08,1.656632e-07,1.708961e-07,3.397857e-07,4.015740e-07,5.938930e-07,7.948606e-07,9.515769e-07,1.388546e-06,1.431939e-06,2.053463e-06,2.225392e-06,2.830646e-06,3.336555e-06,3.769546e-06,4.726384e-06,4.865920e-06,6.108090e-06,6.372752e-06,7.481568e-06,8.242861e-06,8.971981e-06,1.030444e-05,1.056590e-05,1.225073e-05,1.252793e-05,1.401443e-05,1.488557e-05,1.584528e-05,1.735060e-05,1.773182e-05,1.966290e-05,1.989711e-05,2.162776e-05,2.250033e-05,2.361612e-05,2.513702e-05,2.561832e-05,2.762539e-05,2.778591e-05,2.962912e-05,3.042799e-05,3.162210e-05,3.304665e-05,3.359772e-05,3.555018e-05,3.562772e-05,3.747441e-05,3.815937e-05,3.936610e-05,4.063196e-05,4.122157e-05,4.303779e-05,4.481226e-05,4.537093e-05,4.654297e-05,4.762693e-05,4.822837e-05,4.980264e-05,4.986730e-05,5.145891e-05,5.189600e-05,5.300266e-05,5.390580e-05,5.449825e-05,5.583159e-05,5.594561e-05,5.734484e-05,5.767352e-05,5.869620e-05,5.943219e-05,6.000009e-05,6.110864e-05,6.125700e-05,6.246755e-05,6.270415e-05,6.363239e-05,6.422029e-05,6.475227e-05,6.565879e-05,6.582797e-05,6.686033e-05,6.702154e-05,6.785020e-05,6.831051e-05,6.879848e-05,6.952777e-05,6.970608e-05,7.057391e-05,7.067542e-05,7.140292e-05,7.175562e-05,7.219403e-05,7.277051e-05,7.294819e-05,7.366635e-05,7.372227e-05,7.434944e-05,7.461306e-05,7.499839e-05,7.544501e-05,7.561413e-05,7.619757e-05,7.622025e-05,7.674963e-05,7.694086e-05,7.727120e-05,7.760891e-05,7.776317e-05,7.822641e-05,7.866177e-05,7.879533e-05,7.907010e-05,7.931763e-05,7.945223e-05,7.979518e-05,7.980898e-05,8.014114e-05,8.022984e-05,8.044949e-05,8.062340e-05,8.073481e-05,8.097761e-05,8.099785e-05,8.123935e-05,8.129418e-05,8.146001e-05,8.157475e-05,8.166055e-05,8.182093e-05,8.184165e-05,8.200399e-05,8.203427e-05,8.214822e-05,8.221628e-05,8.227498e-05,8.236842e-05,8.238489e-05,8.247857e-05,8.249209e-05,8.255660e-05,8.258867e-05,8.261956e-05,8.265946e-05,8.266802e-05,8.270252e-05,8.270575e-05,8.272360e-05,8.272876e-05,8.273178e-05,8.272967e-05,8.272756e-05,8.271142e-05,8.270963e-05,8.268386e-05,8.266974e-05,8.264533e-05,8.261105e-05,8.259628e-05,8.253715e-05,8.253458e-05,8.246837e-05,8.244132e-05,8.239034e-05,8.233221e-05,8.230348e-05,8.220816e-05,8.207003e-05,8.191867e-05,8.175487e-05,8.157941e-05,8.139303e-05,8.119643e-05,8.099029e-05,8.077526e-05,8.055197e-05,8.032101e-05,8.008295e-05,7.983833e-05,7.958768e-05,7.933149e-05,7.907023e-05,7.880436e-05,7.853432e-05,7.826050e-05,7.798332e-05,7.770313e-05,7.742030e-05,7.713516e-05,7.684803e-05,7.655923e-05
0.000000e+00,3.739597e-10,1.315572e-09,8.090649e-09,2.581983e-08,4.334942e-08,1.286772e-07,1.337158e-07,3.082696e-07,3.761208e-07,5.953687e-07,8.330346e-07,1.022281e-06,1.561132e-06,1.615284e-06,2.399283e-06,2.618395e-06,3.396086e-06,4.053258e-06,4.620677e-06,5.889741e-06,6.076396e-06,7.752097e-06,8.111707e-06,9.623960e-06,1.066462e-05,1.166076e-05,1.347480e-05,1.382926e-05,1.609751e-05,1.646770e-05,1.843625e-05,1.957604e-05,2.081912e-05,2.274121e-05,2.322247e-05,2.562520e-05,2.591258e-05,2.800857e-05,2.904680e-05,3.035614e-05,3.210752e-05,3.265370e-05,3.488929e-05,3.506515e-05,3.705302e-05,3.789656e-05,3.913701e-05,4.058465e-05,4.113522e-05,4.304329e-05,4.311770e-05,4.485837e-05,4.548869e-05,4.657888e-05,4.769454e-05,4.820438e-05,4.973539e-05,5.117317e-05,5.161386e-05,5.251963e-05,5.333453e-05,5.377718e-05,5.490335e-05,5.494859e-05,5.603696e-05,5.632725e-05,5.704552e-05,5.761377e-05,5.797768e-05,5.877076e-05,5.883690e-05,5.962664e-05,5.980622e-05,6.035036e-05,6.072809e-05,6.101148e-05,6.154414e-05,6.161335e-05,6.215919e-05,6.226192e-05,6.265218e-05,6.288865e-05,6.309534e-05,6.343123e-05,6.349159e-05,6.384374e-05,6.389617e-05,6.415446e-05,6.428965e-05,6.442631e-05,6.461743e-05,6.466171e-05,6.486298e-05,6.488495e-05,6.503232e-05,6.509725e-05,6.517181e-05,6.525907e-05,6.528341e-05,6.536901e-05,6.537479e-05,6.543036e-05,6.544848e-05,6.546913e-05,6.548395e-05,6.548689e-05,6.548515e-05,6.548469e-05,6.546529e-05,6.545396e-05,6.542863e-05,6.539476e-05,6.537644e-05,6.530987e-05,6.523004e-05,6.520186e-05,6.513798e-05,6.507309e-05,6.503466e-05,6.492575e-05,6.492102e-05,6.479791e-05,6.476185e-05,6.466614e-05,6.458325e-05,6.452648e-05,6.439164e-05,6.437964e-05,6.422629e-05,6.418859e-05,6.406707e-05,6.397555e-05,6.390255e-05,6.375384e-05,6.373330e-05,6.355983e-05,6.352467e-05,6.338262e-05,6.328915e-05,6.320214e-05,6.304831e-05,6.301880e-05,6.283300e-05,6.280307e-05,6.264511e-05,6.255429e-05,6.245549e-05,6.230275e-05,6.226444e-05,6.207228e-05,6.204916e-05,6.187928e-05,6.179416e-05,6.168570e-05,6.153834e-05,6.149179e-05,6.129777e-05,6.128225e-05,6.110385e-05,6.102636e-05,6.091023e-05,6.077111e-05,6.071709e-05,6.052458e-05,6.051690e-05,6.033288e-05,6.026409e-05,6.014212e-05,6.001300e-05,5.995243e-05,5.976393e-05,5.951712e-05,5.927281e-05,5.903121e-05,5.879249e-05,5.855682e-05,5.832433e-05,5.809514e-05,5.786937e-05,5.764708e-05,5.742837e-05,5.721329e-05,5.700189e-05,5.679421e-05,5.659029e-05,5.639012e-05,5.619374e-05,5.600114e-05,5.581232e-05,5.562726e-05,5.544596e-05,5.526839e-05,5.509453e-05,5.492435e-05,5.475781e-05
0.000000e+00,1.115397e-09,3.036096e-09,1.265414e-08,3.158025e-08,4.769726e-08,1.149110e-07,1.185825e-07,2.369476e-07,2.801213e-07,4.138947e-07,5.526380e-07,6.600925e-07,9.565464e-07,9.857539e-07,1.400416e-06,1.514143e-06,1.912445e-06,2.244196e-06,2.528201e-06,3.158501e-06,3.250874e-06,4.079266e-06,4.257166e-06,5.007087e-06,5.525364e-06,6.023400e-06,6.935303e-06,7.114225e-06,8.264595e-06,8.453202e-06,9.460120e-06,1.004613e-05,1.068779e-05,1.168537e-05,1.193622e-05,1.319552e-05,1.334695e-05,1.445719e-05,1.501114e-05,1.571389e-05,1.666178e-05,1.695936e-05,1.818825e-05,1.828571e-05,1.939607e-05,1.987243e-05,2.057907e-05,2.141373e-05,2.173421e-05,2.285904e-05,2.290338e-05,2.395167e-05,2.433684e-05,2.501066e-05,2.571102e-05,2.603500e-05,2.702403e-05,2.797741e-05,2.827494e-05,2.889503e-05,2.946360e-05,2.977703e-05,3.059050e-05,3.062370e-05,3.143548e-05,3.165661e-05,3.221296e-05,3.266324e-05,3.295678e-05,3.361202e-05,3.366770e-05,3.434650e-05,3.450473e-05,3.499403e-05,3.534332e-05,3.561117e-05,3.612981e-05,3.619880e-05,3.675784e-05,3.686629e-05,3.728919e-05,3.755486e-05,3.779378e-05,3.819762e-05,3.827252e-05,3.872629e-05,3.879664e-05,3.915600e-05,3.935397e-05,3.956252e-05,3.987162e-05,3.994671e-05,4.030941e-05,4.035153e-05,4.065144e-05,4.079559e-05,4.097361e-05,4.120566e-05,4.127670e-05,4.156147e-05,4.158348e-05,4.182867e-05,4.193079e-05,4.207901e-05,4.224921e-05,4.231319e-05,4.253189e-05,4.254032e-05,4.273576e-05,4.280565e-05,4.292544e-05,4.304663e-05,4.310154e-05,4.326467e-05,4.341538e-05,4.346108e-05,4.355424e-05,4.363714e-05,4.368178e-05,4.379405e-05,4.379851e-05,4.390495e-05,4.393296e-05,4.400155e-05,4.405499e-05,4.408879e-05,4.416117e-05,4.416712e-05,4.423696e-05,4.425250e-05,4.429872e-05,4.432993e-05,4.435281e-05,4.439435e-05,4.439960e-05,4.443946e-05,4.444663e-05,4.447274e-05,4.448757e-05,4.449980e-05,4.451794e-05,4.452094e-05,4.453648e-05,4.453847e-05,4.454673e-05,4.454986e-05,4.455198e-05,4.455275e-05,4.455249e-05,4.454854e-05,4.454777e-05,4.454037e-05,4.453551e-05,4.452824e-05,4.451651e-05,4.451238e-05,4.449300e-05,4.449130e-05,4.447033e-05,4.446038e-05,4.444456e-05,4.442421e-05,4.441590e-05,4.438454e-05,4.438323e-05,4.435064e-05,4.433785e-05,4.431439e-05,4.428847e-05,4.427594e-05,4.423546e-05,4.417915e-05,4.411988e-05,4.405795e-05,4.399364e-05,4.392724e-05,4.385898e-05,4.378910e-05,4.371783e-05,4.364538e-05,4.357193e-05,4.349767e-05,4.342276e-05,4.334736e-05,4.327162e-05,4.319567e-05,4.311964e-05,4.304364e-05,4.296778e-05,4.289216e-05,4.281687e-05,4.274200e-05,4.266762e-05,4.259381e-05,4.252062e-05
0.000000e+00,1.089314e-09,3.762651e-09,2.238044e-08,6.963420e-08,1.155146e-07,3.343761e-07,3.471739e-07,7.870862e-07,9.572103e-07,1.506439e-06,2.102976e-06,2.579601e-06,3.944672e-06,4.082365e-06,6.078063e-06,6.634312e-06,8.592434e-06,1.022015e-05,1.160271e-05,1.461946e-05,1.505503e-05,1.888808e-05,1.969524e-05,2.304468e-05,2.531666e-05,2.747315e-05,3.136788e-05,3.212534e-05,3.695480e-05,3.774092e-05,4.191611e-05,4.433132e-05,4.696501e-05,5.103854e-05,5.205897e-05,5.715799e-05,5.776842e-05,6.222520e-05,6.443601e-05,6.722744e-05,7.096758e-05,7.213553e-05,7.692444e-05,7.730175e-05,8.157325e-05,8.338960e-05,8.606495e-05,8.919408e-05,9.038622e-05,9.452707e-05,9.468884e-05,9.848042e-05,9.985678e-05,1.022418e-04,1.046886e-04,1.058090e-04,1.091816e-04,1.123610e-04,1.133380e-04,1.153497e-04,1.171639e-04,1.181512e-04,1.206687e-04,1.207700e-04,1.232112e-04,1.238637e-04,1.254804e-04,1.267617e-04,1.275834e-04,1.293766e-04,1.295263e-04,1.313156e-04,1.317228e-04,1.329575e-04,1.338149e-04,1.344584e-04,1.356676e-04,1.358246e-04,1.370625e-04,1.372952e-04,1.381781e-04,1.387119e-04,1.391774e-04,1.399313e-04,1.400663e-04,1.408505e-04,1.409666e-04,1.415354e-04,1.418305e-04,1.421264e-04,1.425351e-04,1.426286e-04,1.430470e-04,1.430918e-04,1.433862e-04,1.435116e-04,1.436509e-04,1.438049e-04,1.438454e-04,1.439739e-04,1.439814e-04,1.440404e-04,1.440505e-04,1.440487e-04,1.440208e-04,1.440025e-04,1.439054e-04,1.439005e-04,1.437605e-04,1.436973e-04,1.435712e-04,1.434186e-04,1.433404e-04,1.430709e-04,1.427656e-04,1.426607e-04,1.424270e-04,1.421940e-04,1.420576e-04,1.416761e-04,1.416597e-04,1.412355e-04,1.411124e-04,1.407873e-04,1.405076e-04,1.403169e-04,1.398661e-04,1.398262e-04,1.393170e-04,1.391923e-04,1.387911e-04,1.384899e-04,1.382500e-04,1.377625e-04,1.376952e-04,1.371282e-04,1.370135e-04,1.365503e-04,1.362459e-04,1.359628e-04,1.354627e-04,1.353668e-04,1.347635e-04,1.346663e-04,1.341539e-04,1.338594e-04,1.335391e-04,1.330441e-04,1.329200e-04,1.322974e-04,1.322224e-04,1.316721e-04,1.313964e-04,1.310450e-04,1.305676e-04,1.304168e-04,1.297881e-04,1.297378e-04,1.291596e-04,1.289083e-04,1.285318e-04,1.280806e-04,1.279053e-04,1.272806e-04,1.272557e-04,1.266582e-04,1.264348e-04,1.260386e-04,1.256190e-04,1.254220e-04,1.248090e-04,1.240057e-04,1.232099e-04,1.224222e-04,1.216431e-04,1.208732e-04,1.201130e-04,1.193627e-04,1.186229e-04,1.178937e-04,1.171754e-04,1.164683e-04,1.157725e-04,1.150881e-04,1.144152e-04,1.137539e-04,1.131044e-04,1.124665e-04,1.118402e-04,1.112257e-04,1.106228e-04,1.100314e-04,1.094516e-04,1.088832e-04,1.083261e-04
0.000000e+00,3.406885e-09,8.280775e-09,3.025224e-08,7.061223e-08,1.039096e-07,2.388734e-07,2.461500e-07,4.787997e-07,5.632911e-07,8.254533e-07,1.098971e-06,1.312237e-06,1.906165e-06,1.964981e-06,2.799839e-06,3.027346e-06,3.813174e-06,4.451179e-06,4.984161e-06,6.124408e-06,6.286881e-06,7.698107e-06,7.991622e-06,9.198617e-06,1.000866e-05,1.077203e-05,1.213917e-05,1.240353e-05,1.407903e-05,1.435028e-05,1.578484e-05,1.661044e-05,1.750753e-05,1.888904e-05,1.923404e-05,2.095186e-05,2.115685e-05,2.264921e-05,2.338672e-05,2.431521e-05,2.555432e-05,2.594005e-05,2.751511e-05,2.763874e-05,2.903301e-05,2.962276e-05,3.048763e-05,3.149299e-05,3.187409e-05,3.318869e-05,3.323974e-05,3.442885e-05,3.485675e-05,3.559298e-05,3.634079e-05,3.668041e-05,3.769125e-05,3.862629e-05,3.890970e-05,3.948689e-05,3.999946e-05,4.027493e-05,4.096524e-05,4.099263e-05,4.164253e-05,4.181272e-05,4.222735e-05,4.254817e-05,4.274992e-05,4.317824e-05,4.321319e-05,4.362013e-05,4.370975e-05,4.397373e-05,4.414957e-05,4.427700e-05,4.450461e-05,4.453292e-05,4.474445e-05,4.478168e-05,4.491440e-05,4.498726e-05,4.504552e-05,4.512761e-05,4.514048e-05,4.520183e-05,4.520870e-05,4.523207e-05,4.523627e-05,4.523374e-05,4.521621e-05,4.520935e-05,4.516085e-05,4.515350e-05,4.509011e-05,4.505242e-05,4.499898e-05,4.491710e-05,4.488911e-05,4.476207e-05,4.475121e-05,4.461937e-05,4.455822e-05,4.446240e-05,4.434126e-05,4.429244e-05,4.411071e-05,4.410321e-05,4.391836e-05,4.384672e-05,4.371645e-05,4.357421e-05,4.350598e-05,4.328788e-05,4.306299e-05,4.298973e-05,4.283212e-05,4.268158e-05,4.259602e-05,4.236508e-05,4.235537e-05,4.211082e-05,4.204173e-05,4.186296e-05,4.171289e-05,4.161235e-05,4.137980e-05,4.135950e-05,4.110488e-05,4.104355e-05,4.084892e-05,4.070515e-05,4.059203e-05,4.036549e-05,4.033458e-05,4.007690e-05,4.002537e-05,3.981933e-05,3.968552e-05,3.956214e-05,3.934659e-05,3.930560e-05,3.904995e-05,3.900914e-05,3.879541e-05,3.867369e-05,3.854219e-05,3.834069e-05,3.829048e-05,3.804043e-05,3.801054e-05,3.779220e-05,3.768360e-05,3.754594e-05,3.736016e-05,3.730175e-05,3.705977e-05,3.704050e-05,3.682007e-05,3.672486e-05,3.658276e-05,3.641342e-05,3.634792e-05,3.611560e-05,3.610636e-05,3.588588e-05,3.580382e-05,3.565880e-05,3.550592e-05,3.543441e-05,3.521275e-05,3.492439e-05,3.464089e-05,3.436230e-05,3.408863e-05,3.381992e-05,3.355615e-05,3.329731e-05,3.304340e-05,3.279438e-05,3.255021e-05,3.231086e-05,3.207629e-05,3.184643e-05,3.162123e-05,3.140064e-05,3.118458e-05,3.097300e-05,3.076583e-05,3.056299e-05,3.036441e-05,3.017002e-05,2.997975e-05,2.979352e-05,2.961125e-05
0.000000e+00,2.097309e-09,6.197454e-09,2.872676e-08,7.588053e-08,1.172090e-07,2.946296e-07,3.044745e-07,6.272912e-07,7.471642e-07,1.124391e-06,1.523803e-06,1.838266e-06,2.726281e-06,2.815235e-06,4.101055e-06,4.459819e-06,5.729331e-06,6.794609e-06,7.706778e-06,9.716929e-06,1.000898e-05,1.259232e-05,1.313850e-05,1.540949e-05,1.695241e-05,1.841782e-05,2.106562e-05,2.158071e-05,2.486644e-05,2.540162e-05,2.824658e-05,2.989487e-05,3.169508e-05,3.448670e-05,3.518762e-05,3.870151e-05,3.912359e-05,4.221568e-05,4.375695e-05,4.571076e-05,4.834340e-05,4.916922e-05,5.257544e-05,5.284525e-05,5.591575e-05,5.723074e-05,5.917844e-05,6.147386e-05,6.235357e-05,6.543307e-05,6.555417e-05,6.841053e-05,6.945643e-05,7.128095e-05,7.316979e-05,7.404070e-05,7.668743e-05,7.921978e-05,8.000587e-05,8.163729e-05,8.312436e-05,8.394031e-05,8.604442e-05,8.612984e-05,8.820743e-05,8.876937e-05,9.017510e-05,9.130390e-05,9.203518e-05,9.365366e-05,9.379027e-05,9.544322e-05,9.582506e-05,9.699702e-05,9.782500e-05,9.845479e-05,9.966072e-05,9.981972e-05,1.010950e-04,1.013396e-04,1.022840e-04,1.028692e-04,1.033899e-04,1.042570e-04,1.044159e-04,1.053652e-04,1.055102e-04,1.062410e-04,1.066362e-04,1.070463e-04,1.076419e-04,1.077842e-04,1.084576e-04,1.085342e-04,1.090694e-04,1.093197e-04,1.096223e-04,1.100048e-04,1.101190e-04,1.105623e-04,1.105955e-04,1.109545e-04,1.110976e-04,1.112982e-04,1.115169e-04,1.115957e-04,1.118493e-04,1.118585e-04,1.120612e-04,1.121277e-04,1.122335e-04,1.123291e-04,1.123683e-04,1.124675e-04,1.125330e-04,1.125472e-04,1.125667e-04,1.125723e-04,1.125702e-04,1.125468e-04,1.125453e-04,1.124935e-04,1.124744e-04,1.124163e-04,1.123585e-04,1.123154e-04,1.122026e-04,1.121920e-04,1.120475e-04,1.120098e-04,1.118832e-04,1.117830e-04,1.117003e-04,1.115250e-04,1.115001e-04,1.112836e-04,1.112385e-04,1.110520e-04,1.109259e-04,1.108062e-04,1.105896e-04,1.105473e-04,1.102761e-04,1.102317e-04,1.099937e-04,1.098543e-04,1.097008e-04,1.094594e-04,1.093982e-04,1.090867e-04,1.090488e-04,1.087672e-04,1.086241e-04,1.084401e-04,1.081871e-04,1.081064e-04,1.077665e-04,1.077390e-04,1.074210e-04,1.072814e-04,1.070707e-04,1.068156e-04,1.067159e-04,1.063572e-04,1.063428e-04,1.059951e-04,1.058641e-04,1.056301e-04,1.053805e-04,1.052627e-04,1.048931e-04,1.044028e-04,1.039104e-04,1.034167e-04,1.029224e-04,1.024283e-04,1.019350e-04,1.014429e-04,1.009528e-04,1.004650e-04,9.997996e-05,9.949816e-05,9.901995e-05,9.854568e-05,9.807565e-05,9.761014e-05,9.714942e-05,9.669371e-05,9.624321e-05,9.579811e-05,9.535857e-05,9.492472e-05,9.449671e-05,9.407462e-05,9.365855e-05
0.000000e+00,4.887392e-09,1.119674e-08,3.844585e-08,8.725579e-08,1.271186e-07,2.874296e-07,2.960437e-07,5.708421e-07,6.704685e-07,9.792957e-07,1.301216e-06,1.552171e-06,2.252147e-06,2.321652e-06,3.314828e-06,3.588126e-06,4.541785e-06,5.326125e-06,5.986761e-06,7.410210e-06,7.613638e-06,9.380608e-06,9.747404e-06,1.125033e-05,1.225283e-05,1.319233e-05,1.486125e-05,1.518187e-05,1.719815e-05,1.752200e-05,1.922305e-05,2.019326e-05,2.124043e-05,2.283913e-05,2.323579e-05,2.519617e-05,2.542850e-05,2.711012e-05,2.793494e-05,2.896773e-05,3.033665e-05,3.076067e-05,3.248209e-05,3.261654e-05,3.412664e-05,3.476200e-05,3.569032e-05,3.676451e-05,3.717038e-05,3.856524e-05,3.861925e-05,3.987430e-05,4.032460e-05,4.109792e-05,4.188167e-05,4.223710e-05,4.329329e-05,4.426860e-05,4.456401e-05,4.516549e-05,4.569960e-05,4.598669e-05,4.670658e-05,4.673517e-05,4.741402e-05,4.759206e-05,4.802645e-05,4.836336e-05,4.857566e-05,4.902787e-05,4.906488e-05,4.949730e-05,4.959297e-05,4.987606e-05,5.006588e-05,5.020423e-05,5.045356e-05,5.048481e-05,5.072066e-05,5.076271e-05,5.091456e-05,5.099970e-05,5.106919e-05,5.117059e-05,5.118709e-05,5.127070e-05,5.128106e-05,5.132235e-05,5.133644e-05,5.134424e-05,5.134174e-05,5.133847e-05,5.130703e-05,5.130162e-05,5.125180e-05,5.122042e-05,5.117456e-05,5.110218e-05,5.107700e-05,5.096071e-05,5.095064e-05,5.082718e-05,5.076926e-05,5.067783e-05,5.056125e-05,5.051398e-05,5.033689e-05,5.032954e-05,5.014772e-05,5.007688e-05,4.994759e-05,4.980577e-05,4.973753e-05,4.951851e-05,4.929144e-05,4.921721e-05,4.905717e-05,4.890383e-05,4.881651e-05,4.858014e-05,4.857019e-05,4.831892e-05,4.824777e-05,4.806336e-05,4.790821e-05,4.780410e-05,4.756280e-05,4.754171e-05,4.727673e-05,4.721280e-05,4.700964e-05,4.685933e-05,4.674091e-05,4.650340e-05,4.647095e-05,4.620017e-05,4.614595e-05,4.592893e-05,4.578781e-05,4.565756e-05,4.542975e-05,4.538638e-05,4.511569e-05,4.507244e-05,4.484574e-05,4.471650e-05,4.457678e-05,4.436248e-05,4.430904e-05,4.404273e-05,4.401088e-05,4.377804e-05,4.366213e-05,4.351513e-05,4.331662e-05,4.325418e-05,4.299532e-05,4.297471e-05,4.273868e-05,4.263668e-05,4.248439e-05,4.230281e-05,4.223254e-05,4.198324e-05,4.197333e-05,4.173657e-05,4.164843e-05,4.149261e-05,4.132829e-05,4.125141e-05,4.101305e-05,4.070282e-05,4.039771e-05,4.009780e-05,3.980313e-05,3.951376e-05,3.922971e-05,3.895099e-05,3.867761e-05,3.840956e-05,3.814681e-05,3.788934e-05,3.763712e-05,3.739010e-05,3.714823e-05,3.691146e-05,3.667972e-05,3.645296e-05,3.623110e-05,3.601408e-05,3.580182e-05,3.559425e-05,3.539129e-05,3.519286e-05,3.499889e-05
0.000000e+00,3.676499e-09,8.420899e-09,2.898488e-08,6.600703e-08,9.635544e-08,2.189891e-07,2.255971e-07,4.369376e-07,5.137179e-07,7.518801e-07,9.999147e-07,1.192756e-06,1.726200e-06,1.778704e-06,2.517930e-06,2.717709e-06,3.404256e-06,3.959540e-06,4.423163e-06,5.416947e-06,5.558915e-06,6.797033e-06,7.055751e-06,8.124119e-06,8.845065e-06,9.527251e-06,1.075532e-05,1.099369e-05,1.251084e-05,1.275747e-05,1.406643e-05,1.482328e-05,1.564868e-05,1.692624e-05,1.724657e-05,1.884993e-05,1.904225e-05,2.044964e-05,2.115024e-05,2.203764e-05,2.323232e-05,2.360689e-05,2.515141e-05,2.527375e-05,2.666621e-05,2.726285e-05,2.814716e-05,2.919061e-05,2.959097e-05,3.099504e-05,3.105035e-05,3.235741e-05,3.283736e-05,3.367666e-05,3.454862e-05,3.495184e-05,3.618242e-05,3.736815e-05,3.773811e-05,3.850909e-05,3.921590e-05,3.960551e-05,4.061661e-05,4.065786e-05,4.166676e-05,4.194156e-05,4.263292e-05,4.319245e-05,4.355718e-05,4.437125e-05,4.444042e-05,4.528361e-05,4.548013e-05,4.608774e-05,4.652138e-05,4.685386e-05,4.749742e-05,4.758300e-05,4.827624e-05,4.841067e-05,4.893465e-05,4.926362e-05,4.955932e-05,5.005873e-05,5.015130e-05,5.071167e-05,5.079846e-05,5.124147e-05,5.148523e-05,5.174176e-05,5.212143e-05,5.221356e-05,5.265786e-05,5.270938e-05,5.307568e-05,5.325137e-05,5.346796e-05,5.374961e-05,5.383567e-05,5.417973e-05,5.420626e-05,5.450104e-05,5.462340e-05,5.480050e-05,5.500305e-05,5.507895e-05,5.533724e-05,5.534716e-05,5.557618e-05,5.565762e-05,5.579656e-05,5.593622e-05,5.599916e-05,5.618472e-05,5.635397e-05,5.640479e-05,5.650759e-05,5.659804e-05,5.664629e-05,5.676600e-05,5.677071e-05,5.688149e-05,5.691015e-05,5.697926e-05,5.703191e-05,5.706460e-05,5.713263e-05,5.713809e-05,5.720029e-05,5.721360e-05,5.725174e-05,5.727604e-05,5.729295e-05,5.732115e-05,5.732443e-05,5.734666e-05,5.735003e-05,5.736010e-05,5.736377e-05,5.736521e-05,5.736337e-05,5.736241e-05,5.735212e-05,5.734981e-05,5.733475e-05,5.732400e-05,5.731067e-05,5.728683e-05,5.728026e-05,5.724387e-05,5.723912e-05,5.720185e-05,5.718166e-05,5.715453e-05,5.711521e-05,5.710221e-05,5.704521e-05,5.704046e-05,5.698382e-05,5.695809e-05,5.691831e-05,5.686875e-05,5.684895e-05,5.677601e-05,5.677302e-05,5.669972e-05,5.667148e-05,5.662032e-05,5.656466e-05,5.653803e-05,5.645308e-05,5.633720e-05,5.621749e-05,5.609437e-05,5.596823e-05,5.583945e-05,5.570839e-05,5.557537e-05,5.544072e-05,5.530471e-05,5.516763e-05,5.502972e-05,5.489123e-05,5.475238e-05,5.461337e-05,5.447441e-05,5.433566e-05,5.419730e-05,5.405947e-05,5.392233e-05,5.378599e-05,5.365059e-05,5.351624e-05,5.338303e-05,5.325106e-05
0.000000e+00,9.820886e-09,2.427539e-08,9.064466e-08,2.146736e-07,3.182391e-07,7.459266e-07,7.692878e-07,1.529279e-06,1.810618e-06,2.696363e-06,3.631954e-06,4.362368e-06,6.369418e-06,6.564998e-06,9.277201e-06,9.998562e-06,1.245121e-05,1.441465e-05,1.604584e-05,1.953005e-05,2.002718e-05,2.436325e-05,2.527013e-05,2.902038e-05,3.155686e-05,3.396167e-05,3.830260e-05,3.914689e-05,4.453324e-05,4.541077e-05,5.007645e-05,5.277982e-05,5.573202e-05,6.030807e-05,6.145643e-05,6.720815e-05,6.789833e-05,7.294855e-05,7.546153e-05,7.864242e-05,8.291921e-05,8.425842e-05,8.976920e-05,9.020479e-05,9.515142e-05,9.726383e-05,1.003856e-04,1.040536e-04,1.054560e-04,1.103501e-04,1.105420e-04,1.150584e-04,1.167065e-04,1.195743e-04,1.225330e-04,1.238936e-04,1.280141e-04,1.319350e-04,1.331477e-04,1.356571e-04,1.379358e-04,1.391824e-04,1.423840e-04,1.425136e-04,1.456544e-04,1.465002e-04,1.486091e-04,1.502947e-04,1.513827e-04,1.537789e-04,1.539803e-04,1.564075e-04,1.569653e-04,1.586701e-04,1.598677e-04,1.607745e-04,1.625007e-04,1.627272e-04,1.645337e-04,1.648779e-04,1.661999e-04,1.670129e-04,1.677318e-04,1.689189e-04,1.691349e-04,1.704149e-04,1.706086e-04,1.715771e-04,1.720947e-04,1.726269e-04,1.733894e-04,1.735696e-04,1.744101e-04,1.745043e-04,1.751532e-04,1.754506e-04,1.758037e-04,1.762390e-04,1.763662e-04,1.768451e-04,1.768800e-04,1.772447e-04,1.773832e-04,1.775690e-04,1.777581e-04,1.778220e-04,1.780075e-04,1.780136e-04,1.781291e-04,1.781580e-04,1.781904e-04,1.781993e-04,1.781946e-04,1.781451e-04,1.780449e-04,1.780027e-04,1.778971e-04,1.777787e-04,1.777043e-04,1.774796e-04,1.774694e-04,1.771950e-04,1.771114e-04,1.768834e-04,1.766797e-04,1.765372e-04,1.761901e-04,1.761586e-04,1.757497e-04,1.756473e-04,1.753127e-04,1.750563e-04,1.748494e-04,1.744215e-04,1.743618e-04,1.738516e-04,1.737470e-04,1.733206e-04,1.730368e-04,1.727704e-04,1.722944e-04,1.722024e-04,1.716183e-04,1.715234e-04,1.710194e-04,1.707270e-04,1.704070e-04,1.699082e-04,1.697823e-04,1.691466e-04,1.690697e-04,1.685010e-04,1.682141e-04,1.678466e-04,1.673440e-04,1.671844e-04,1.665154e-04,1.664616e-04,1.658404e-04,1.655690e-04,1.651604e-04,1.646681e-04,1.644762e-04,1.637884e-04,1.637609e-04,1.630980e-04,1.628488e-04,1.624054e-04,1.619337e-04,1.617115e-04,1.610168e-04,1.600995e-04,1.591831e-04,1.582686e-04,1.573572e-04,1.564497e-04,1.555471e-04,1.546502e-04,1.537597e-04,1.528762e-04,1.520003e-04,1.511326e-04,1.502737e-04,1.494238e-04,1.485835e-04,1.477530e-04,1.469327e-04,1.461228e-04,1.453236e-04,1.445352e-04,1.437579e-04,1.429917e-04,1.422368e-04,1.414932e-04,1.407611e-04
0.000000e+00,3.871826e-09,8.874704e-09,3.053781e-08,6.955376e-08,1.016098e-07,2.321701e-07,2.392573e-07,4.689024e-07,5.537530e-07,8.214875e-07,1.106858e-06,1.332543e-06,1.968346e-06,2.031472e-06,2.921335e-06,3.160707e-06,3.975532e-06,4.624488e-06,5.159358e-06,6.286244e-06,6.445233e-06,7.813604e-06,8.095825e-06,9.249662e-06,1.001892e-05,1.074074e-05,1.202704e-05,1.227493e-05,1.384048e-05,1.409309e-05,1.542571e-05,1.619021e-05,1.701910e-05,1.829216e-05,1.860948e-05,2.018630e-05,2.037414e-05,2.173978e-05,2.241360e-05,2.326108e-05,2.439093e-05,2.474243e-05,2.617717e-05,2.628977e-05,2.755975e-05,2.809714e-05,2.888571e-05,2.980337e-05,3.015161e-05,3.135499e-05,3.140180e-05,3.249422e-05,3.288845e-05,3.356845e-05,3.426167e-05,3.457748e-05,3.552169e-05,3.640192e-05,3.667028e-05,3.721942e-05,3.771039e-05,3.797572e-05,3.864586e-05,3.867262e-05,3.931212e-05,3.948118e-05,3.989633e-05,4.022124e-05,4.042748e-05,4.087123e-05,4.090784e-05,4.133972e-05,4.143641e-05,4.172542e-05,4.192210e-05,4.206725e-05,4.233355e-05,4.236745e-05,4.262824e-05,4.267586e-05,4.285178e-05,4.295399e-05,4.304014e-05,4.317264e-05,4.319532e-05,4.331929e-05,4.333635e-05,4.341393e-05,4.344949e-05,4.348110e-05,4.351623e-05,4.352254e-05,4.353988e-05,4.354041e-05,4.353467e-05,4.352563e-05,4.350842e-05,4.347529e-05,4.346258e-05,4.339849e-05,4.339262e-05,4.331745e-05,4.328056e-05,4.322067e-05,4.314190e-05,4.310932e-05,4.298449e-05,4.297923e-05,4.284722e-05,4.279496e-05,4.269852e-05,4.259133e-05,4.253929e-05,4.237042e-05,4.219275e-05,4.213416e-05,4.200704e-05,4.188431e-05,4.181403e-05,4.162253e-05,4.161442e-05,4.140887e-05,4.135033e-05,4.119797e-05,4.106912e-05,4.098233e-05,4.078020e-05,4.076247e-05,4.053890e-05,4.048475e-05,4.031211e-05,4.018386e-05,4.008253e-05,3.987854e-05,3.985060e-05,3.961670e-05,3.956971e-05,3.938120e-05,3.925822e-05,3.914444e-05,3.894482e-05,3.890674e-05,3.866840e-05,3.863023e-05,3.842970e-05,3.831507e-05,3.819090e-05,3.799995e-05,3.795224e-05,3.771394e-05,3.768537e-05,3.747620e-05,3.737183e-05,3.723923e-05,3.705974e-05,3.700319e-05,3.676825e-05,3.674951e-05,3.653456e-05,3.644147e-05,3.630226e-05,3.613594e-05,3.607148e-05,3.584233e-05,3.583320e-05,3.561492e-05,3.553349e-05,3.538934e-05,3.523704e-05,3.516569e-05,3.494404e-05,3.465464e-05,3.436901e-05,3.408726e-05,3.380950e-05,3.353582e-05,3.326629e-05,3.300097e-05,3.273990e-05,3.248312e-05,3.223065e-05,3.198250e-05,3.173867e-05,3.149915e-05,3.126394e-05,3.103302e-05,3.080635e-05,3.058392e-05,3.036567e-05,3.015158e-05,2.994160e-05,2.973568e-05,2.953377e-05,2.933581e-05,2.914177e-05
0.000000e+00,5.284280e-09,1.323298e-08,4.995802e-08,1.184396e-07,1.752772e-07,4.064612e-07,4.189312e-07,8.167396e-07,9.605944e-07,1.404426e-06,1.863404e-06,2.218646e-06,3.198831e-06,3.295386e-06,4.662585e-06,5.035330e-06,6.327553e-06,7.383632e-06,8.270756e-06,1.018149e-05,1.045493e-05,1.283898e-05,1.333636e-05,1.538495e-05,1.676149e-05,1.805902e-05,2.038162e-05,2.083037e-05,2.367018e-05,2.412906e-05,2.655117e-05,2.794103e-05,2.944751e-05,3.175932e-05,3.233501e-05,3.519136e-05,3.553106e-05,3.799649e-05,3.920987e-05,4.073267e-05,4.275657e-05,4.338465e-05,4.593982e-05,4.613972e-05,4.838796e-05,4.933542e-05,5.072121e-05,5.232672e-05,5.293386e-05,5.502222e-05,5.510314e-05,5.698431e-05,5.765962e-05,5.881965e-05,5.999567e-05,6.052908e-05,6.211447e-05,6.357859e-05,6.402204e-05,6.492487e-05,6.572648e-05,6.615731e-05,6.723740e-05,6.728027e-05,6.829841e-05,6.856536e-05,6.921656e-05,6.972150e-05,7.003963e-05,7.071715e-05,7.077259e-05,7.142037e-05,7.156371e-05,7.198784e-05,7.227232e-05,7.247974e-05,7.285373e-05,7.290064e-05,7.325499e-05,7.331825e-05,7.354706e-05,7.367569e-05,7.378095e-05,7.393534e-05,7.396059e-05,7.408970e-05,7.410591e-05,7.417183e-05,7.419555e-05,7.421034e-05,7.421189e-05,7.420842e-05,7.416910e-05,7.416201e-05,7.409521e-05,7.405245e-05,7.398945e-05,7.388931e-05,7.385433e-05,7.369225e-05,7.367819e-05,7.350543e-05,7.342426e-05,7.329599e-05,7.313228e-05,7.306588e-05,7.281696e-05,7.280663e-05,7.255096e-05,7.245133e-05,7.226950e-05,7.207006e-05,7.197410e-05,7.166619e-05,7.134707e-05,7.124279e-05,7.101800e-05,7.080270e-05,7.068012e-05,7.034847e-05,7.033451e-05,6.998218e-05,6.988245e-05,6.962405e-05,6.940676e-05,6.926100e-05,6.892333e-05,6.889382e-05,6.852328e-05,6.843393e-05,6.815006e-05,6.794013e-05,6.777481e-05,6.744338e-05,6.739812e-05,6.702055e-05,6.694497e-05,6.664260e-05,6.644608e-05,6.626476e-05,6.594776e-05,6.588744e-05,6.551105e-05,6.545094e-05,6.513595e-05,6.495647e-05,6.476249e-05,6.446510e-05,6.439097e-05,6.402167e-05,6.397751e-05,6.365484e-05,6.349428e-05,6.329073e-05,6.301594e-05,6.292953e-05,6.257146e-05,6.254295e-05,6.221667e-05,6.207571e-05,6.186532e-05,6.161456e-05,6.151756e-05,6.117350e-05,6.115982e-05,6.083326e-05,6.071172e-05,6.049693e-05,6.027050e-05,6.016459e-05,5.983632e-05,5.940934e-05,5.898967e-05,5.857740e-05,5.817259e-05,5.777529e-05,5.738552e-05,5.700328e-05,5.662857e-05,5.626135e-05,5.590158e-05,5.554922e-05,5.520421e-05,5.486647e-05,5.453593e-05,5.421251e-05,5.389611e-05,5.358663e-05,5.328398e-05,5.298805e-05,5.269873e-05,5.241591e-05,5.213948e-05,5.186933e-05,5.160534e-05
0.000000e+00,5.442105e-10,1.415593e-09,5.541957e-09,1.328701e-08,1.969643e-08,4.547103e-08,4.684773e-08,9.010320e-08,1.054539e-07,1.519574e-07,1.988327e-07,2.343673e-07,3.295882e-07,3.387751e-07,4.660751e-07,5.000772e-07,6.165251e-07,7.107342e-07,7.896127e-07,9.595345e-07,9.838946e-07,1.196853e-06,1.241385e-06,1.424851e-06,1.547858e-06,1.663298e-06,1.867922e-06,1.907070e-06,2.151107e-06,2.189867e-06,2.390929e-06,2.503451e-06,2.622928e-06,2.801064e-06,2.844422e-06,3.053548e-06,3.077749e-06,3.249121e-06,3.330696e-06,3.430491e-06,3.558671e-06,3.597415e-06,3.749969e-06,3.761561e-06,3.888470e-06,3.940042e-06,4.013415e-06,4.095329e-06,4.125430e-06,4.225230e-06,4.228979e-06,4.313587e-06,4.342747e-06,4.391298e-06,4.438471e-06,4.459168e-06,4.517989e-06,4.568530e-06,4.583075e-06,4.611525e-06,4.635404e-06,4.647668e-06,4.676524e-06,4.677611e-06,4.701956e-06,4.707847e-06,4.721263e-06,4.730642e-06,4.736042e-06,4.746043e-06,4.746761e-06,4.753846e-06,4.755050e-06,4.757684e-06,4.758545e-06,4.758622e-06,4.757300e-06,4.756976e-06,4.753030e-06,4.751988e-06,4.747039e-06,4.743193e-06,4.739233e-06,4.731424e-06,4.729817e-06,4.718977e-06,4.717122e-06,4.706879e-06,4.700669e-06,4.693671e-06,4.682397e-06,4.679488e-06,4.664449e-06,4.662593e-06,4.648663e-06,4.641505e-06,4.632226e-06,4.619352e-06,4.615225e-06,4.597739e-06,4.596321e-06,4.579838e-06,4.572576e-06,4.561587e-06,4.548261e-06,4.543042e-06,4.524256e-06,4.523500e-06,4.505275e-06,4.498402e-06,4.486141e-06,4.473063e-06,4.466894e-06,4.447567e-06,4.428191e-06,4.421986e-06,4.408796e-06,4.396384e-06,4.389406e-06,4.370819e-06,4.370045e-06,4.350735e-06,4.345339e-06,4.331493e-06,4.319988e-06,4.312337e-06,4.294804e-06,4.293284e-06,4.274346e-06,4.269819e-06,4.255537e-06,4.245064e-06,4.236868e-06,4.220563e-06,4.218349e-06,4.199991e-06,4.196339e-06,4.181800e-06,4.172410e-06,4.163785e-06,4.148793e-06,4.145952e-06,4.128307e-06,4.125502e-06,4.110856e-06,4.102549e-06,4.093602e-06,4.079944e-06,4.076550e-06,4.059703e-06,4.057695e-06,4.043063e-06,4.035809e-06,4.026635e-06,4.014291e-06,4.010419e-06,3.994418e-06,3.993147e-06,3.978632e-06,3.972378e-06,3.963062e-06,3.951987e-06,3.947710e-06,3.932576e-06,3.931975e-06,3.917660e-06,3.912343e-06,3.902962e-06,3.893091e-06,3.888480e-06,3.874216e-06,3.855719e-06,3.837596e-06,3.819845e-06,3.802464e-06,3.785448e-06,3.768794e-06,3.752499e-06,3.736558e-06,3.720966e-06,3.705719e-06,3.690812e-06,3.676241e-06,3.661999e-06,3.648083e-06,3.634485e-06,3.621203e-06,3.608229e-06,3.595558e-06,3.583185e-06,3.571105e-06,3.559312e-06,3.547800e-06,3.536564e-06,3.525599e-06
0.000000e+00,2.793761e-09,6.434896e-09,2.221826e-08,5.052814e-08,7.363665e-08,1.662873e-07,1.712509e-07,3.287348e-07,3.854183e-07,5.597898e-07,7.395343e-07,8.783522e-07,1.260386e-06,1.297960e-06,1.829419e-06,1.974235e-06,2.476315e-06,2.886605e-06,3.230976e-06,3.970540e-06,4.076033e-06,4.990868e-06,5.180495e-06,5.956645e-06,6.473652e-06,6.957658e-06,7.816134e-06,7.980859e-06,9.015131e-06,9.180978e-06,1.005081e-05,1.054591e-05,1.107943e-05,1.189228e-05,1.209366e-05,1.308720e-05,1.320477e-05,1.405477e-05,1.447114e-05,1.499208e-05,1.568209e-05,1.589575e-05,1.676321e-05,1.683099e-05,1.759267e-05,1.791353e-05,1.838295e-05,1.892734e-05,1.913346e-05,1.984403e-05,1.987162e-05,2.051491e-05,2.074681e-05,2.114665e-05,2.155427e-05,2.174004e-05,2.229605e-05,2.281582e-05,2.297469e-05,2.330057e-05,2.359303e-05,2.375161e-05,2.415413e-05,2.417027e-05,2.455794e-05,2.466113e-05,2.491601e-05,2.511722e-05,2.524585e-05,2.552553e-05,2.554881e-05,2.582620e-05,2.588911e-05,2.607931e-05,2.621092e-05,2.630940e-05,2.649379e-05,2.651767e-05,2.670529e-05,2.674043e-05,2.687337e-05,2.695340e-05,2.702298e-05,2.713515e-05,2.715517e-05,2.727091e-05,2.728797e-05,2.737116e-05,2.741404e-05,2.745681e-05,2.751540e-05,2.752872e-05,2.758771e-05,2.759396e-05,2.763457e-05,2.765153e-05,2.767002e-05,2.768978e-05,2.769479e-05,2.770953e-05,2.771030e-05,2.771489e-05,2.771455e-05,2.771147e-05,2.770390e-05,2.769985e-05,2.768056e-05,2.767964e-05,2.765412e-05,2.764295e-05,2.762103e-05,2.759495e-05,2.758173e-05,2.753668e-05,2.748628e-05,2.746909e-05,2.743093e-05,2.739307e-05,2.737099e-05,2.730947e-05,2.730682e-05,2.723875e-05,2.721903e-05,2.716709e-05,2.712249e-05,2.709214e-05,2.702051e-05,2.701416e-05,2.693344e-05,2.691369e-05,2.685021e-05,2.680260e-05,2.676471e-05,2.668777e-05,2.667716e-05,2.658777e-05,2.656968e-05,2.649672e-05,2.644879e-05,2.640422e-05,2.632550e-05,2.631042e-05,2.621549e-05,2.620021e-05,2.611959e-05,2.607325e-05,2.602285e-05,2.594496e-05,2.592542e-05,2.582742e-05,2.581562e-05,2.572896e-05,2.568553e-05,2.563017e-05,2.555492e-05,2.553114e-05,2.543197e-05,2.542403e-05,2.533275e-05,2.529307e-05,2.523358e-05,2.516224e-05,2.513451e-05,2.503565e-05,2.503170e-05,2.493704e-05,2.490162e-05,2.483876e-05,2.477214e-05,2.474086e-05,2.464340e-05,2.451552e-05,2.438861e-05,2.426276e-05,2.413806e-05,2.401460e-05,2.389244e-05,2.377164e-05,2.365226e-05,2.353435e-05,2.341795e-05,2.330310e-05,2.318982e-05,2.307815e-05,2.296811e-05,2.285970e-05,2.275296e-05,2.264788e-05,2.254447e-05,2.244275e-05,2.234270e-05,2.224433e-05,2.214763e-05,2.205261e-05,2.195924e-05
0.000000e+00,8.486009e-11,3.141053e-10,2.129494e-09,7.362261e-09,1.287354e-08,4.203765e-08,4.384173e-08,1.097624e-07,1.367287e-07,2.274186e-07,3.304213e-07,4.151475e-07,6.662487e-07,6.921298e-07,1.075794e-06,1.185172e-06,1.577260e-06,1.910628e-06,2.198482e-06,2.839567e-06,2.933438e-06,3.771351e-06,3.950177e-06,4.699427e-06,5.213244e-06,5.704371e-06,6.598270e-06,6.772992e-06,7.892354e-06,8.075311e-06,9.049806e-06,9.615285e-06,1.023305e-05,1.119024e-05,1.143025e-05,1.263021e-05,1.277389e-05,1.382257e-05,1.434235e-05,1.499796e-05,1.587478e-05,1.614812e-05,1.726600e-05,1.735385e-05,1.834577e-05,1.876593e-05,1.938280e-05,2.010101e-05,2.037362e-05,2.131577e-05,2.135242e-05,2.220776e-05,2.251644e-05,2.304890e-05,2.359180e-05,2.383919e-05,2.457922e-05,2.527005e-05,2.548095e-05,2.591309e-05,2.630031e-05,2.651001e-05,2.704143e-05,2.706271e-05,2.757321e-05,2.770887e-05,2.804359e-05,2.830744e-05,2.847597e-05,2.884203e-05,2.887248e-05,2.923520e-05,2.931745e-05,2.956616e-05,2.973837e-05,2.986734e-05,3.010924e-05,3.014061e-05,3.038778e-05,3.043423e-05,3.061054e-05,3.071727e-05,3.081052e-05,3.096201e-05,3.098923e-05,3.114812e-05,3.117179e-05,3.128851e-05,3.134971e-05,3.141168e-05,3.149861e-05,3.151881e-05,3.161099e-05,3.162110e-05,3.168925e-05,3.171953e-05,3.175457e-05,3.179609e-05,3.180782e-05,3.184985e-05,3.185275e-05,3.188144e-05,3.189131e-05,3.190331e-05,3.191342e-05,3.191614e-05,3.192056e-05,3.192057e-05,3.191716e-05,3.191413e-05,3.190649e-05,3.189535e-05,3.188906e-05,3.186535e-05,3.183581e-05,3.182519e-05,3.180084e-05,3.177580e-05,3.176085e-05,3.171806e-05,3.171619e-05,3.166720e-05,3.165275e-05,3.161420e-05,3.158059e-05,3.155748e-05,3.150226e-05,3.149733e-05,3.143401e-05,3.141836e-05,3.136775e-05,3.132945e-05,3.129879e-05,3.123603e-05,3.122733e-05,3.115359e-05,3.113858e-05,3.107774e-05,3.103753e-05,3.099997e-05,3.093328e-05,3.092044e-05,3.083931e-05,3.082619e-05,3.075671e-05,3.071659e-05,3.067279e-05,3.060479e-05,3.058768e-05,3.050150e-05,3.049109e-05,3.041436e-05,3.037574e-05,3.032636e-05,3.025898e-05,3.023762e-05,3.014822e-05,3.014104e-05,3.005825e-05,3.002213e-05,2.996781e-05,2.990243e-05,2.987695e-05,2.978577e-05,2.978212e-05,2.969433e-05,2.966136e-05,2.960269e-05,2.954030e-05,2.951092e-05,2.941907e-05,2.929782e-05,2.917664e-05,2.905565e-05,2.893496e-05,2.881465e-05,2.869480e-05,2.857549e-05,2.845681e-05,2.833880e-05,2.822153e-05,2.810506e-05,2.798944e-05,2.787471e-05,2.776091e-05,2.764808e-05,2.753626e-05,2.742548e-05,2.731576e-05,2.720714e-05,2.709962e-05,2.699324e-05,2.688801e-05,2.678394e-05,2.668105e-05
0.000000e+00,5.941373e-09,1.426442e-08,5.161946e-08,1.204229e-07,1.774759e-07,4.112563e-07,4.239665e-07,8.352597e-07,9.867369e-07,1.462668e-06,1.967023e-06,2.364479e-06,3.483315e-06,3.594676e-06,5.177468e-06,5.608286e-06,7.091975e-06,8.291403e-06,9.290359e-06,1.142067e-05,1.172364e-05,1.435133e-05,1.489719e-05,1.714036e-05,1.864479e-05,2.006205e-05,2.259938e-05,2.308993e-05,2.619881e-05,2.670211e-05,2.936444e-05,3.089724e-05,3.256363e-05,3.513242e-05,3.577455e-05,3.897701e-05,3.935985e-05,4.215273e-05,4.353732e-05,4.528547e-05,4.762883e-05,4.836109e-05,5.136761e-05,5.160483e-05,5.429512e-05,5.544215e-05,5.713562e-05,5.912332e-05,5.988284e-05,6.253209e-05,6.263597e-05,6.508005e-05,6.597208e-05,6.752460e-05,6.912723e-05,6.986466e-05,7.210014e-05,7.423138e-05,7.489150e-05,7.625936e-05,7.750380e-05,7.818568e-05,7.994105e-05,8.001222e-05,8.174123e-05,8.220821e-05,8.337519e-05,8.431104e-05,8.491675e-05,8.625570e-05,8.636861e-05,8.773361e-05,8.804861e-05,8.901465e-05,8.969644e-05,9.021464e-05,9.120590e-05,9.133649e-05,9.238311e-05,9.258366e-05,9.335737e-05,9.383633e-05,9.426210e-05,9.497039e-05,9.510009e-05,9.587407e-05,9.599214e-05,9.658668e-05,9.690770e-05,9.724052e-05,9.772299e-05,9.783813e-05,9.838195e-05,9.844371e-05,9.887438e-05,9.907536e-05,9.931772e-05,9.962320e-05,9.971420e-05,1.000660e-04,1.000923e-04,1.003752e-04,1.004874e-04,1.006438e-04,1.008132e-04,1.008738e-04,1.010670e-04,1.010740e-04,1.012252e-04,1.012740e-04,1.013503e-04,1.014172e-04,1.014438e-04,1.015074e-04,1.015426e-04,1.015481e-04,1.015509e-04,1.015427e-04,1.015337e-04,1.014946e-04,1.014925e-04,1.014285e-04,1.014067e-04,1.013430e-04,1.012818e-04,1.012372e-04,1.011229e-04,1.011122e-04,1.009692e-04,1.009324e-04,1.008093e-04,1.007127e-04,1.006334e-04,1.004662e-04,1.004426e-04,1.002377e-04,1.001951e-04,1.000197e-04,9.990142e-05,9.978939e-05,9.958705e-05,9.954762e-05,9.929516e-05,9.925382e-05,9.903275e-05,9.890347e-05,9.876110e-05,9.853759e-05,9.848089e-05,9.819277e-05,9.815769e-05,9.789734e-05,9.776520e-05,9.759521e-05,9.736145e-05,9.728693e-05,9.697304e-05,9.694770e-05,9.665403e-05,9.652511e-05,9.633040e-05,9.609478e-05,9.600261e-05,9.567109e-05,9.565775e-05,9.533625e-05,9.521498e-05,9.499850e-05,9.476735e-05,9.465821e-05,9.431573e-05,9.386088e-05,9.340354e-05,9.294438e-05,9.248405e-05,9.202314e-05,9.156218e-05,9.110169e-05,9.064213e-05,9.018394e-05,8.972752e-05,8.927325e-05,8.882145e-05,8.837245e-05,8.792652e-05,8.748394e-05,8.704494e-05,8.660974e-05,8.617854e-05,8.575151e-05,8.532882e-05,8.491061e-05,8.449701e-05,8.408813e-05,8.368407e-05
0.000000e+00,2.012962e-09,4.617178e-09,1.588139e-08,3.607141e-08,5.255265e-08,1.186594e-07,1.222022e-07,2.346607e-07,2.751622e-07,3.998365e-07,5.285043e-07,6.280080e-07,9.026797e-07,9.297774e-07,1.315324e-06,1.421283e-06,1.792526e-06,2.101100e-06,2.364101e-06,2.941657e-06,3.025430e-06,3.765284e-06,3.921414e-06,4.569106e-06,5.007463e-06,5.422269e-06,6.167444e-06,6.311709e-06,7.226225e-06,7.374215e-06,8.156243e-06,8.605683e-06,9.093477e-06,9.843553e-06,1.003067e-05,1.096143e-05,1.107242e-05,1.188015e-05,1.227929e-05,1.278194e-05,1.345336e-05,1.366259e-05,1.451856e-05,1.458589e-05,1.534696e-05,1.567006e-05,1.614546e-05,1.670085e-05,1.691229e-05,1.764617e-05,1.767483e-05,1.834628e-05,1.858995e-05,1.901216e-05,1.944534e-05,1.964370e-05,2.024110e-05,2.080475e-05,2.097810e-05,2.133529e-05,2.165780e-05,2.183347e-05,2.228213e-05,2.230020e-05,2.273647e-05,2.285331e-05,2.314335e-05,2.337382e-05,2.352193e-05,2.384622e-05,2.387336e-05,2.419880e-05,2.427316e-05,2.449940e-05,2.465732e-05,2.477631e-05,2.500130e-05,2.503067e-05,2.526359e-05,2.530770e-05,2.547616e-05,2.557900e-05,2.566942e-05,2.581760e-05,2.584441e-05,2.600210e-05,2.602579e-05,2.614344e-05,2.620575e-05,2.626935e-05,2.635956e-05,2.638070e-05,2.647833e-05,2.648916e-05,2.656303e-05,2.659641e-05,2.663558e-05,2.668303e-05,2.669670e-05,2.674707e-05,2.675066e-05,2.678738e-05,2.680082e-05,2.681823e-05,2.683493e-05,2.684024e-05,2.685396e-05,2.685434e-05,2.685993e-05,2.686028e-05,2.685867e-05,2.685393e-05,2.685066e-05,2.683635e-05,2.681618e-05,2.680856e-05,2.679057e-05,2.677150e-05,2.675989e-05,2.672603e-05,2.672453e-05,2.668482e-05,2.667297e-05,2.664110e-05,2.661306e-05,2.659367e-05,2.654702e-05,2.654283e-05,2.648886e-05,2.647547e-05,2.643201e-05,2.639902e-05,2.637254e-05,2.631822e-05,2.631068e-05,2.624664e-05,2.623359e-05,2.618064e-05,2.614560e-05,2.611286e-05,2.605469e-05,2.604349e-05,2.597270e-05,2.596125e-05,2.590065e-05,2.586567e-05,2.582750e-05,2.576828e-05,2.575339e-05,2.567845e-05,2.566941e-05,2.560281e-05,2.556933e-05,2.552658e-05,2.546833e-05,2.544988e-05,2.537282e-05,2.536664e-05,2.529547e-05,2.526448e-05,2.521795e-05,2.516207e-05,2.514033e-05,2.506270e-05,2.505959e-05,2.498512e-05,2.495722e-05,2.490766e-05,2.485510e-05,2.483040e-05,2.475338e-05,2.465219e-05,2.455165e-05,2.445186e-05,2.435291e-05,2.425490e-05,2.415790e-05,2.406197e-05,2.396719e-05,2.387359e-05,2.378124e-05,2.369016e-05,2.360039e-05,2.351197e-05,2.342492e-05,2.333926e-05,2.325501e-05,2.317218e-05,2.309078e-05,2.301081e-05,2.293229e-05,2.285521e-05,2.277957e-05,2.270537e-05,2.263260e-05
0.000000e+00,1.035563e-09,2.559761e-09,9.544422e-09,2.252636e-08,3.329385e-08,7.707584e-08,7.943665e-08,1.546694e-07,1.818253e-07,2.654046e-07,3.514978e-07,4.179086e-07,6.003808e-07,6.183155e-07,8.723211e-07,9.417899e-07,1.184298e-06,1.385110e-06,1.555971e-06,1.931180e-06,1.985685e-06,2.469152e-06,2.571823e-06,3.000928e-06,3.294679e-06,3.575419e-06,4.087044e-06,4.187223e-06,4.831122e-06,4.936782e-06,5.502011e-06,5.832143e-06,6.194854e-06,6.761598e-06,6.904690e-06,7.626665e-06,7.713893e-06,8.356092e-06,8.678241e-06,9.088507e-06,9.644556e-06,9.819728e-06,1.054590e-05,1.060367e-05,1.126353e-05,1.154748e-05,1.196950e-05,1.246904e-05,1.266110e-05,1.333597e-05,1.336259e-05,1.399218e-05,1.422352e-05,1.462809e-05,1.504826e-05,1.524245e-05,1.583427e-05,1.640285e-05,1.657981e-05,1.694774e-05,1.728391e-05,1.746868e-05,1.794621e-05,1.796563e-05,1.843868e-05,1.856688e-05,1.888807e-05,1.914648e-05,1.931414e-05,1.968590e-05,1.971733e-05,2.009816e-05,2.018629e-05,2.045719e-05,2.064896e-05,2.079506e-05,2.107538e-05,2.111239e-05,2.140989e-05,2.146707e-05,2.168824e-05,2.182564e-05,2.194814e-05,2.215272e-05,2.219030e-05,2.241542e-05,2.244990e-05,2.262420e-05,2.271880e-05,2.281732e-05,2.296099e-05,2.299545e-05,2.315927e-05,2.317800e-05,2.330941e-05,2.337130e-05,2.344650e-05,2.354233e-05,2.357114e-05,2.368393e-05,2.369246e-05,2.378543e-05,2.382299e-05,2.387618e-05,2.393517e-05,2.395673e-05,2.402757e-05,2.403021e-05,2.408921e-05,2.410924e-05,2.414211e-05,2.417332e-05,2.418673e-05,2.422350e-05,2.425284e-05,2.426072e-05,2.427515e-05,2.428591e-05,2.429081e-05,2.429993e-05,2.430019e-05,2.430364e-05,2.430359e-05,2.430150e-05,2.429767e-05,2.429409e-05,2.428288e-05,2.428172e-05,2.426467e-05,2.425992e-05,2.424323e-05,2.422941e-05,2.421767e-05,2.419197e-05,2.418824e-05,2.415519e-05,2.414816e-05,2.411874e-05,2.409852e-05,2.407912e-05,2.404354e-05,2.403653e-05,2.399119e-05,2.398369e-05,2.394327e-05,2.391941e-05,2.389297e-05,2.385112e-05,2.384045e-05,2.378588e-05,2.377920e-05,2.372942e-05,2.370401e-05,2.367121e-05,2.362589e-05,2.361140e-05,2.355012e-05,2.354516e-05,2.348750e-05,2.346210e-05,2.342366e-05,2.337700e-05,2.335871e-05,2.329277e-05,2.329011e-05,2.322593e-05,2.320167e-05,2.315830e-05,2.311191e-05,2.308997e-05,2.302103e-05,2.292922e-05,2.283667e-05,2.274354e-05,2.264999e-05,2.255615e-05,2.246217e-05,2.236817e-05,2.227426e-05,2.218054e-05,2.208711e-05,2.199406e-05,2.190147e-05,2.180942e-05,2.171798e-05,2.162720e-05,2.153715e-05,2.144787e-05,2.135942e-05,2.127183e-05,2.118515e-05,2.109940e-05,2.101462e-05,2.093084e-05,2.084807e-05
0.000000e+00,9.443654e-09,2.174691e-08,7.547291e-08,1.731819e-07,2.540292e-07,5.865875e-07,6.047530e-07,1.197527e-06,1.418076e-06,2.117316e-06,2.865864e-06,3.458856e-06,5.129787e-06,5.295637e-06,7.635475e-06,8.266586e-06,1.042515e-05,1.215860e-05,1.359816e-05,1.666466e-05,1.710099e-05,2.089317e-05,2.168331e-05,2.494109e-05,2.713667e-05,2.921346e-05,3.295293e-05,3.367912e-05,3.830630e-05,3.905949e-05,4.306279e-05,4.538240e-05,4.791653e-05,5.184847e-05,5.283623e-05,5.779208e-05,5.838786e-05,6.275626e-05,6.493650e-05,6.770335e-05,7.143757e-05,7.261054e-05,7.745776e-05,7.784241e-05,8.222768e-05,8.411062e-05,8.690557e-05,9.020969e-05,9.147917e-05,9.593848e-05,9.611435e-05,1.002755e-04,1.018057e-04,1.044842e-04,1.072703e-04,1.085598e-04,1.124992e-04,1.163005e-04,1.174875e-04,1.199625e-04,1.222330e-04,1.234850e-04,1.267360e-04,1.268687e-04,1.301145e-04,1.309988e-04,1.332241e-04,1.350252e-04,1.361993e-04,1.388199e-04,1.390426e-04,1.417564e-04,1.423887e-04,1.443434e-04,1.457378e-04,1.468065e-04,1.488740e-04,1.491487e-04,1.513732e-04,1.518042e-04,1.534830e-04,1.545359e-04,1.554814e-04,1.570762e-04,1.573715e-04,1.591564e-04,1.594325e-04,1.608395e-04,1.616121e-04,1.624238e-04,1.636222e-04,1.639124e-04,1.653086e-04,1.654701e-04,1.666153e-04,1.671626e-04,1.678355e-04,1.687068e-04,1.689721e-04,1.700282e-04,1.701093e-04,1.710064e-04,1.713766e-04,1.719097e-04,1.725151e-04,1.727407e-04,1.735020e-04,1.735310e-04,1.741963e-04,1.744303e-04,1.748261e-04,1.752187e-04,1.753938e-04,1.759019e-04,1.763527e-04,1.764852e-04,1.767484e-04,1.769739e-04,1.770914e-04,1.773729e-04,1.773836e-04,1.776273e-04,1.776871e-04,1.778244e-04,1.779211e-04,1.779769e-04,1.780794e-04,1.780866e-04,1.781556e-04,1.781662e-04,1.781854e-04,1.781857e-04,1.781780e-04,1.781418e-04,1.781348e-04,1.780577e-04,1.780383e-04,1.779480e-04,1.778787e-04,1.778074e-04,1.776665e-04,1.776374e-04,1.774393e-04,1.774051e-04,1.772145e-04,1.770975e-04,1.769643e-04,1.767468e-04,1.766901e-04,1.763929e-04,1.763558e-04,1.760742e-04,1.759273e-04,1.757349e-04,1.754640e-04,1.753762e-04,1.749992e-04,1.749682e-04,1.746048e-04,1.744425e-04,1.741941e-04,1.738889e-04,1.737681e-04,1.733276e-04,1.733097e-04,1.728736e-04,1.727070e-04,1.724068e-04,1.720826e-04,1.719281e-04,1.714384e-04,1.707761e-04,1.700975e-04,1.694041e-04,1.686973e-04,1.679787e-04,1.672495e-04,1.665110e-04,1.657644e-04,1.650108e-04,1.642513e-04,1.634869e-04,1.627186e-04,1.619472e-04,1.611736e-04,1.603986e-04,1.596229e-04,1.588472e-04,1.580722e-04,1.572985e-04,1.565267e-04,1.557572e-04,1.549907e-04,1.542275e-04,1.534681e-04
0.000000e+00,3.341971e-10,1.202900e-09,7.713978e-09,2.542202e-08,4.334736e-08,1.331186e-07,1.385005e-07,3.280042e-07,4.028168e-07,6.475405e-07,9.168473e-07,1.133722e-06,1.760732e-06,1.824398e-06,2.755588e-06,3.018016e-06,3.951779e-06,4.738652e-06,5.413002e-06,6.895588e-06,7.110182e-06,8.993818e-06,9.387976e-06,1.100803e-05,1.208950e-05,1.310096e-05,1.488773e-05,1.522906e-05,1.735732e-05,1.769591e-05,1.945784e-05,2.044944e-05,2.150805e-05,2.309949e-05,2.348951e-05,2.538706e-05,2.560851e-05,2.718840e-05,2.794793e-05,2.888388e-05,3.009714e-05,3.046632e-05,3.193096e-05,3.204296e-05,3.327527e-05,3.377913e-05,3.449876e-05,3.530554e-05,3.560275e-05,3.659010e-05,3.662722e-05,3.746494e-05,3.775330e-05,3.823240e-05,3.869592e-05,3.889836e-05,3.946922e-05,3.995167e-05,4.008849e-05,4.035250e-05,4.056933e-05,4.067847e-05,4.092711e-05,4.093619e-05,4.113203e-05,4.117661e-05,4.127205e-05,4.133164e-05,4.136194e-05,4.140495e-05,4.140703e-05,4.141226e-05,4.140809e-05,4.138216e-05,4.135143e-05,4.132088e-05,4.124418e-05,4.123221e-05,4.111957e-05,4.109444e-05,4.098605e-05,4.090930e-05,4.083443e-05,4.069493e-05,4.066722e-05,4.048664e-05,4.045664e-05,4.029470e-05,4.019906e-05,4.009316e-05,3.992611e-05,3.988363e-05,3.966749e-05,3.964117e-05,3.944600e-05,3.934714e-05,3.922026e-05,3.904646e-05,3.899125e-05,3.875983e-05,3.874124e-05,3.852677e-05,3.843324e-05,3.829274e-05,3.812397e-05,3.805833e-05,3.782406e-05,3.781470e-05,3.759040e-05,3.750650e-05,3.735774e-05,3.720029e-05,3.712644e-05,3.689681e-05,3.666911e-05,3.659670e-05,3.644358e-05,3.630048e-05,3.622043e-05,3.600860e-05,3.599982e-05,3.578192e-05,3.572140e-05,3.556683e-05,3.543919e-05,3.535469e-05,3.516219e-05,3.514558e-05,3.493957e-05,3.489059e-05,3.473672e-05,3.462453e-05,3.453709e-05,3.436411e-05,3.434072e-05,3.414762e-05,3.410940e-05,3.395782e-05,3.386044e-05,3.377134e-05,3.361726e-05,3.358818e-05,3.340832e-05,3.337986e-05,3.323178e-05,3.314821e-05,3.305853e-05,3.292229e-05,3.288856e-05,3.272185e-05,3.270206e-05,3.255837e-05,3.248745e-05,3.239809e-05,3.227840e-05,3.224099e-05,3.208702e-05,3.207484e-05,3.193617e-05,3.187669e-05,3.178838e-05,3.168385e-05,3.164362e-05,3.150186e-05,3.149625e-05,3.136304e-05,3.131378e-05,3.122713e-05,3.113635e-05,3.109408e-05,3.096386e-05,3.079620e-05,3.063328e-05,3.047499e-05,3.032122e-05,3.017188e-05,3.002685e-05,2.988603e-05,2.974931e-05,2.961661e-05,2.948780e-05,2.936280e-05,2.924150e-05,2.912380e-05,2.900962e-05,2.889885e-05,2.879140e-05,2.868718e-05,2.858610e-05,2.848807e-05,2.839300e-05,2.830082e-05,2.821144e-05,2.812478e-05,2.804076e-05
0.000000e+00,8.294473e-09,1.912448e-08,6.612962e-08,1.506812e-07,2.199491e-07,5.001093e-07,5.152311e-07,1.000966e-06,1.178553e-06,1.733267e-06,2.316482e-06,2.772805e-06,4.039903e-06,4.164482e-06,5.903916e-06,6.367765e-06,7.938485e-06,9.182997e-06,1.020561e-05,1.235252e-05,1.265463e-05,1.524637e-05,1.577889e-05,1.794795e-05,1.938613e-05,2.072927e-05,2.310611e-05,2.356153e-05,2.641700e-05,2.687424e-05,2.926928e-05,3.062995e-05,3.209383e-05,3.431847e-05,3.486842e-05,3.757352e-05,3.789264e-05,4.019249e-05,4.131391e-05,4.271163e-05,4.455267e-05,4.512014e-05,4.740991e-05,4.758778e-05,4.957530e-05,5.040579e-05,5.161287e-05,5.299984e-05,5.352108e-05,5.529999e-05,5.536847e-05,5.695100e-05,5.751450e-05,5.847659e-05,5.944401e-05,5.988007e-05,6.116541e-05,6.233706e-05,6.268875e-05,6.339980e-05,6.402508e-05,6.435860e-05,6.518601e-05,6.521857e-05,6.598485e-05,6.618331e-05,6.666254e-05,6.702874e-05,6.725669e-05,6.773374e-05,6.777220e-05,6.821387e-05,6.830940e-05,6.858632e-05,6.876633e-05,6.889401e-05,6.911459e-05,6.914119e-05,6.933194e-05,6.936366e-05,6.947013e-05,6.952245e-05,6.955944e-05,6.959926e-05,6.960338e-05,6.960526e-05,6.960187e-05,6.956822e-05,6.953749e-05,6.949521e-05,6.941280e-05,6.938904e-05,6.925234e-05,6.923400e-05,6.908758e-05,6.900680e-05,6.889709e-05,6.873648e-05,6.868308e-05,6.844759e-05,6.842788e-05,6.819256e-05,6.808548e-05,6.791979e-05,6.771337e-05,6.763098e-05,6.732772e-05,6.731531e-05,6.701149e-05,6.689474e-05,6.668367e-05,6.645481e-05,6.634557e-05,6.599838e-05,6.564324e-05,6.552809e-05,6.528119e-05,6.504631e-05,6.491322e-05,6.455523e-05,6.454022e-05,6.416305e-05,6.405680e-05,6.378249e-05,6.355282e-05,6.339926e-05,6.304491e-05,6.301403e-05,6.262744e-05,6.253452e-05,6.224006e-05,6.202297e-05,6.185241e-05,6.151145e-05,6.146499e-05,6.107825e-05,6.100102e-05,6.069261e-05,6.049264e-05,6.030844e-05,5.998714e-05,5.992610e-05,5.954590e-05,5.948528e-05,5.916813e-05,5.898775e-05,5.879306e-05,5.849512e-05,5.842094e-05,5.805196e-05,5.800791e-05,5.768634e-05,5.752658e-05,5.732425e-05,5.705152e-05,5.696585e-05,5.661127e-05,5.658307e-05,5.626064e-05,5.612152e-05,5.591407e-05,5.566711e-05,5.557166e-05,5.523349e-05,5.522005e-05,5.489963e-05,5.478050e-05,5.457013e-05,5.434859e-05,5.424505e-05,5.392443e-05,5.350809e-05,5.309961e-05,5.269902e-05,5.230633e-05,5.192152e-05,5.154457e-05,5.117544e-05,5.081406e-05,5.046037e-05,5.011430e-05,4.977575e-05,4.944464e-05,4.912086e-05,4.880431e-05,4.849488e-05,4.819245e-05,4.789691e-05,4.760813e-05,4.732599e-05,4.705037e-05,4.678114e-05,4.651817e-05,4.626133e-05,4.601051e-05
0.000000e+00,5.152673e-11,1.945002e-10,1.371054e-09,4.901647e-09,8.722663e-09,2.971739e-08,3.104340e-08,8.069039e-08,1.014619e-07,1.725127e-07,2.547210e-07,3.231731e-07,5.291994e-07,5.506654e-07,8.736614e-07,9.674292e-07,1.310060e-06,1.609560e-06,1.874135e-06,2.481759e-06,2.572666e-06,3.402089e-06,3.582624e-06,4.348650e-06,4.880338e-06,5.391257e-06,6.323259e-06,6.505252e-06,7.665613e-06,7.853981e-06,8.849041e-06,9.419142e-06,1.003504e-05,1.097397e-05,1.120633e-05,1.234876e-05,1.248336e-05,1.345116e-05,1.392123e-05,1.450495e-05,1.526940e-05,1.550388e-05,1.644367e-05,1.651621e-05,1.732174e-05,1.765538e-05,1.813691e-05,1.868487e-05,1.888922e-05,1.957960e-05,1.960595e-05,2.020979e-05,2.042234e-05,2.078206e-05,2.113947e-05,2.129910e-05,2.176389e-05,2.217959e-05,2.230276e-05,2.254940e-05,2.276349e-05,2.287655e-05,2.315343e-05,2.316421e-05,2.341544e-05,2.347965e-05,2.363316e-05,2.374887e-05,2.382015e-05,2.396728e-05,2.397902e-05,2.411220e-05,2.414059e-05,2.422195e-05,2.427397e-05,2.431038e-05,2.437208e-05,2.437940e-05,2.443077e-05,2.443908e-05,2.446613e-05,2.447868e-05,2.448694e-05,2.449418e-05,2.449457e-05,2.449023e-05,2.448851e-05,2.447506e-05,2.446423e-05,2.445007e-05,2.442363e-05,2.441619e-05,2.437426e-05,2.436872e-05,2.432505e-05,2.430128e-05,2.426927e-05,2.422288e-05,2.420755e-05,2.414047e-05,2.413489e-05,2.406857e-05,2.403856e-05,2.399231e-05,2.393496e-05,2.391215e-05,2.382848e-05,2.382507e-05,2.374168e-05,2.370973e-05,2.365207e-05,2.358970e-05,2.355998e-05,2.346567e-05,2.336941e-05,2.333824e-05,2.327144e-05,2.320795e-05,2.317198e-05,2.307528e-05,2.307122e-05,2.296936e-05,2.294066e-05,2.286656e-05,2.280449e-05,2.276297e-05,2.266711e-05,2.265876e-05,2.255403e-05,2.252884e-05,2.244893e-05,2.238996e-05,2.234357e-05,2.225071e-05,2.223804e-05,2.213245e-05,2.211134e-05,2.202689e-05,2.197203e-05,2.192143e-05,2.183299e-05,2.181616e-05,2.171114e-05,2.169437e-05,2.160645e-05,2.155632e-05,2.150213e-05,2.141898e-05,2.139824e-05,2.129484e-05,2.128247e-05,2.119197e-05,2.114689e-05,2.108968e-05,2.101234e-05,2.098800e-05,2.088697e-05,2.087891e-05,2.078662e-05,2.074668e-05,2.068699e-05,2.061572e-05,2.058810e-05,2.048998e-05,2.048607e-05,2.039265e-05,2.035781e-05,2.029613e-05,2.023097e-05,2.020045e-05,2.010560e-05,1.998174e-05,1.985940e-05,1.973863e-05,1.961944e-05,1.950184e-05,1.938586e-05,1.927150e-05,1.915878e-05,1.904769e-05,1.893825e-05,1.883044e-05,1.872428e-05,1.861976e-05,1.851686e-05,1.841559e-05,1.831594e-05,1.821790e-05,1.812145e-05,1.802658e-05,1.793329e-05,1.784155e-05,1.775136e-05,1.766270e-05,1.757555e-05
0.000000e+00,8.627636e-10,2.306751e-09,9.375099e-09,2.301977e-08,3.450778e-08,8.176411e-08,8.432498e-08,1.662141e-07,1.958523e-07,2.872120e-07,3.814760e-07,4.542718e-07,6.545229e-07,6.742133e-07,9.528038e-07,1.028790e-06,1.292805e-06,1.509620e-06,1.692707e-06,2.090569e-06,2.147937e-06,2.653017e-06,2.759545e-06,3.202679e-06,3.504476e-06,3.791989e-06,4.314144e-06,4.416156e-06,5.070347e-06,5.177474e-06,5.749597e-06,6.083041e-06,6.448793e-06,7.019006e-06,7.162717e-06,7.886120e-06,7.973318e-06,8.613816e-06,8.934057e-06,9.340771e-06,9.889804e-06,1.006220e-05,1.077363e-05,1.082999e-05,1.147098e-05,1.174515e-05,1.215061e-05,1.262715e-05,1.280932e-05,1.344438e-05,1.346926e-05,1.405356e-05,1.426618e-05,1.463508e-05,1.501399e-05,1.518757e-05,1.571010e-05,1.620210e-05,1.635304e-05,1.666333e-05,1.694240e-05,1.709387e-05,1.747859e-05,1.749402e-05,1.786431e-05,1.796274e-05,1.820547e-05,1.839653e-05,1.851835e-05,1.878208e-05,1.880395e-05,1.906331e-05,1.912178e-05,1.929759e-05,1.941825e-05,1.950794e-05,1.967422e-05,1.969558e-05,1.986170e-05,1.989245e-05,2.000752e-05,2.007572e-05,2.013422e-05,2.022672e-05,2.024296e-05,2.033487e-05,2.034809e-05,2.041105e-05,2.044234e-05,2.047255e-05,2.051185e-05,2.052037e-05,2.055549e-05,2.055890e-05,2.057882e-05,2.058558e-05,2.059124e-05,2.059388e-05,2.059356e-05,2.058657e-05,2.058563e-05,2.057099e-05,2.056251e-05,2.054753e-05,2.052611e-05,2.051681e-05,2.047947e-05,2.047784e-05,2.043605e-05,2.041904e-05,2.038710e-05,2.035091e-05,2.033311e-05,2.027454e-05,2.021183e-05,2.019095e-05,2.014537e-05,2.010104e-05,2.007553e-05,2.000565e-05,2.000268e-05,1.992712e-05,1.990553e-05,1.984917e-05,1.980136e-05,1.976910e-05,1.969378e-05,1.968716e-05,1.960360e-05,1.958333e-05,1.951864e-05,1.947053e-05,1.943248e-05,1.935583e-05,1.934532e-05,1.925733e-05,1.923965e-05,1.916867e-05,1.912236e-05,1.907950e-05,1.900429e-05,1.898994e-05,1.890013e-05,1.888575e-05,1.881019e-05,1.876700e-05,1.872022e-05,1.864829e-05,1.863032e-05,1.854059e-05,1.852984e-05,1.845111e-05,1.841184e-05,1.836195e-05,1.829445e-05,1.827319e-05,1.818488e-05,1.817784e-05,1.809709e-05,1.806214e-05,1.800988e-05,1.794746e-05,1.792328e-05,1.783734e-05,1.783392e-05,1.775211e-05,1.772161e-05,1.766762e-05,1.761060e-05,1.758389e-05,1.750097e-05,1.739278e-05,1.728607e-05,1.718090e-05,1.707729e-05,1.697529e-05,1.687490e-05,1.677615e-05,1.667906e-05,1.658363e-05,1.648986e-05,1.639777e-05,1.630734e-05,1.621857e-05,1.613146e-05,1.604600e-05,1.596218e-05,1.587997e-05,1.579938e-05,1.572038e-05,1.564295e-05,1.556708e-05,1.549274e-05,1.541992e-05,1.534860e-05
0.000000e+00,2.605357e-09,7.039414e-09,2.900094e-08,7.179198e-08,1.080265e-07,2.583107e-07,2.665009e-07,5.304434e-07,6.268542e-07,9.266319e-07,1.239610e-06,1.483538e-06,2.162590e-06,2.229871e-06,3.187600e-06,3.449823e-06,4.360305e-06,5.104503e-06,5.728941e-06,7.070554e-06,7.262149e-06,8.928405e-06,9.275150e-06,1.070050e-05,1.165597e-05,1.255514e-05,1.416152e-05,1.447147e-05,1.643015e-05,1.674623e-05,1.841288e-05,1.936803e-05,2.040242e-05,2.198805e-05,2.238261e-05,2.433869e-05,2.457115e-05,2.625738e-05,2.708671e-05,2.812709e-05,2.950917e-05,2.993795e-05,3.168183e-05,3.181824e-05,3.335226e-05,3.399872e-05,3.494436e-05,3.604021e-05,3.645473e-05,3.788126e-05,3.793656e-05,3.922296e-05,3.968518e-05,4.047982e-05,4.128643e-05,4.165269e-05,4.274312e-05,4.375298e-05,4.405951e-05,4.468472e-05,4.524132e-05,4.554113e-05,4.629515e-05,4.632516e-05,4.703997e-05,4.722816e-05,4.768880e-05,4.804779e-05,4.827493e-05,4.876160e-05,4.880163e-05,4.927216e-05,4.937708e-05,4.968969e-05,4.990152e-05,5.005733e-05,5.034197e-05,5.037808e-05,5.065484e-05,5.070516e-05,5.089040e-05,5.099750e-05,5.108743e-05,5.122502e-05,5.124847e-05,5.137596e-05,5.139339e-05,5.147218e-05,5.150791e-05,5.153933e-05,5.157351e-05,5.157948e-05,5.159458e-05,5.159480e-05,5.158648e-05,5.157602e-05,5.155692e-05,5.152112e-05,5.150755e-05,5.143991e-05,5.143375e-05,5.135545e-05,5.131727e-05,5.125555e-05,5.117477e-05,5.114147e-05,5.101443e-05,5.100910e-05,5.087556e-05,5.082288e-05,5.072591e-05,5.061850e-05,5.056648e-05,5.039818e-05,5.022190e-05,5.016393e-05,5.003843e-05,4.991760e-05,4.984854e-05,4.966087e-05,4.965294e-05,4.945229e-05,4.939529e-05,4.924720e-05,4.912225e-05,4.903824e-05,4.884305e-05,4.882596e-05,4.861084e-05,4.855884e-05,4.839335e-05,4.827069e-05,4.817393e-05,4.797955e-05,4.795297e-05,4.773084e-05,4.768630e-05,4.750789e-05,4.739173e-05,4.728442e-05,4.709654e-05,4.706075e-05,4.683714e-05,4.680138e-05,4.661383e-05,4.650682e-05,4.639107e-05,4.621339e-05,4.616906e-05,4.594800e-05,4.592155e-05,4.572807e-05,4.563171e-05,4.550944e-05,4.534424e-05,4.529225e-05,4.507664e-05,4.505946e-05,4.486274e-05,4.477768e-05,4.465066e-05,4.449914e-05,4.444049e-05,4.423235e-05,4.422407e-05,4.402630e-05,4.395265e-05,4.382242e-05,4.368506e-05,4.362078e-05,4.342143e-05,4.316190e-05,4.290655e-05,4.265547e-05,4.240873e-05,4.216637e-05,4.192844e-05,4.169495e-05,4.146592e-05,4.124136e-05,4.102125e-05,4.080559e-05,4.059434e-05,4.038749e-05,4.018500e-05,3.998682e-05,3.979292e-05,3.960325e-05,3.941775e-05,3.923638e-05,3.905906e-05,3.888576e-05,3.871639e-05,3.855090e-05,3.838923e-05
0.000000e+00,1.211557e-08,2.786695e-08,9.646867e-08,2.207764e-07,3.233185e-07,7.430663e-07,7.659197e-07,1.508854e-06,1.784288e-06,2.656049e-06,3.589905e-06,4.332696e-06,6.454331e-06,6.667880e-06,9.744994e-06,1.059450e-05,1.354905e-05,1.596029e-05,1.797715e-05,2.228717e-05,2.290008e-05,2.820516e-05,2.930392e-05,3.380463e-05,3.680935e-05,3.962979e-05,4.465559e-05,4.562390e-05,5.173742e-05,5.272362e-05,5.792550e-05,6.090999e-05,6.414678e-05,6.912199e-05,7.036316e-05,7.653985e-05,7.727687e-05,8.264554e-05,8.530229e-05,8.865260e-05,9.313712e-05,9.453705e-05,1.002784e-04,1.007310e-04,1.058600e-04,1.080448e-04,1.112682e-04,1.150487e-04,1.164924e-04,1.215246e-04,1.217218e-04,1.263593e-04,1.280508e-04,1.309932e-04,1.340287e-04,1.354248e-04,1.396539e-04,1.436818e-04,1.449286e-04,1.475109e-04,1.498586e-04,1.511444e-04,1.544520e-04,1.545861e-04,1.578405e-04,1.587188e-04,1.609126e-04,1.626705e-04,1.638077e-04,1.663195e-04,1.665312e-04,1.690887e-04,1.696784e-04,1.714858e-04,1.727602e-04,1.737282e-04,1.755781e-04,1.758217e-04,1.777719e-04,1.781453e-04,1.795846e-04,1.804746e-04,1.812651e-04,1.825787e-04,1.828190e-04,1.842516e-04,1.844699e-04,1.855681e-04,1.861603e-04,1.867736e-04,1.876613e-04,1.878730e-04,1.888711e-04,1.889843e-04,1.897726e-04,1.901398e-04,1.905820e-04,1.911382e-04,1.913036e-04,1.919418e-04,1.919894e-04,1.925005e-04,1.927027e-04,1.929838e-04,1.932871e-04,1.933953e-04,1.937388e-04,1.937512e-04,1.940179e-04,1.941032e-04,1.942358e-04,1.943507e-04,1.943959e-04,1.945012e-04,1.945549e-04,1.945617e-04,1.945598e-04,1.945386e-04,1.945187e-04,1.944384e-04,1.944342e-04,1.943089e-04,1.942669e-04,1.941453e-04,1.940297e-04,1.939457e-04,1.937321e-04,1.937123e-04,1.934473e-04,1.933792e-04,1.931527e-04,1.929756e-04,1.928305e-04,1.925257e-04,1.924827e-04,1.921109e-04,1.920338e-04,1.917169e-04,1.915038e-04,1.913024e-04,1.909394e-04,1.908688e-04,1.904177e-04,1.903440e-04,1.899505e-04,1.897209e-04,1.894685e-04,1.890731e-04,1.889730e-04,1.884653e-04,1.884036e-04,1.879465e-04,1.877150e-04,1.874177e-04,1.870097e-04,1.868799e-04,1.863342e-04,1.862903e-04,1.857815e-04,1.855587e-04,1.852227e-04,1.848171e-04,1.846587e-04,1.840901e-04,1.840673e-04,1.835179e-04,1.833112e-04,1.829428e-04,1.825503e-04,1.823653e-04,1.817862e-04,1.810202e-04,1.802537e-04,1.794879e-04,1.787239e-04,1.779628e-04,1.772053e-04,1.764525e-04,1.757051e-04,1.749638e-04,1.742292e-04,1.735020e-04,1.727827e-04,1.720717e-04,1.713696e-04,1.706766e-04,1.699932e-04,1.693196e-04,1.686560e-04,1.680028e-04,1.673600e-04,1.667279e-04,1.661066e-04,1.654962e-04,1.648967e-04
0.000000e+00,5.523241e-09,1.266199e-08,4.373942e-08,1.002271e-07,1.470335e-07,3.405736e-07,3.511960e-07,7.007348e-07,8.321853e-07,1.253655e-06,1.712342e-06,2.080931e-06,3.142789e-06,3.249933e-06,4.789178e-06,5.211509e-06,6.670655e-06,7.852443e-06,8.836923e-06,1.093561e-05,1.123400e-05,1.382197e-05,1.435984e-05,1.657255e-05,1.805985e-05,1.946437e-05,2.198948e-05,2.247950e-05,2.560135e-05,2.610966e-05,2.881361e-05,3.038276e-05,3.209976e-05,3.477062e-05,3.544304e-05,3.882658e-05,3.923451e-05,4.223361e-05,4.373592e-05,4.564779e-05,4.823766e-05,4.905343e-05,5.243574e-05,5.270490e-05,5.578105e-05,5.710598e-05,5.907689e-05,6.141296e-05,6.231212e-05,6.547695e-05,6.560196e-05,6.856293e-05,6.965318e-05,7.156295e-05,7.355081e-05,7.447112e-05,7.728275e-05,7.999422e-05,8.084028e-05,8.260290e-05,8.421767e-05,8.510704e-05,8.741175e-05,8.750566e-05,8.979849e-05,9.042156e-05,9.198584e-05,9.324793e-05,9.406852e-05,9.589321e-05,9.604778e-05,9.792523e-05,9.836088e-05,9.970278e-05,1.006554e-04,1.013826e-04,1.027818e-04,1.029670e-04,1.044584e-04,1.047458e-04,1.058596e-04,1.065534e-04,1.071731e-04,1.082108e-04,1.084018e-04,1.095485e-04,1.097245e-04,1.106158e-04,1.111008e-04,1.116066e-04,1.123461e-04,1.125237e-04,1.133698e-04,1.134667e-04,1.141477e-04,1.144690e-04,1.148599e-04,1.153590e-04,1.155092e-04,1.160980e-04,1.161425e-04,1.166288e-04,1.168254e-04,1.171041e-04,1.174132e-04,1.175262e-04,1.178974e-04,1.179112e-04,1.182200e-04,1.183247e-04,1.184961e-04,1.186584e-04,1.187279e-04,1.189173e-04,1.190663e-04,1.191057e-04,1.191768e-04,1.192281e-04,1.192506e-04,1.192887e-04,1.192896e-04,1.192954e-04,1.192913e-04,1.192696e-04,1.192397e-04,1.192139e-04,1.191376e-04,1.191298e-04,1.190188e-04,1.189883e-04,1.188822e-04,1.187950e-04,1.187214e-04,1.185610e-04,1.185378e-04,1.183326e-04,1.182890e-04,1.181070e-04,1.179820e-04,1.178621e-04,1.176424e-04,1.175992e-04,1.173192e-04,1.172729e-04,1.170232e-04,1.168757e-04,1.167121e-04,1.164531e-04,1.163870e-04,1.160487e-04,1.160072e-04,1.156980e-04,1.155401e-04,1.153359e-04,1.150535e-04,1.149631e-04,1.145803e-04,1.145493e-04,1.141884e-04,1.140292e-04,1.137879e-04,1.134947e-04,1.133796e-04,1.129641e-04,1.129473e-04,1.125420e-04,1.123885e-04,1.121138e-04,1.118195e-04,1.116802e-04,1.112417e-04,1.106561e-04,1.100638e-04,1.094660e-04,1.088634e-04,1.082572e-04,1.076480e-04,1.070368e-04,1.064241e-04,1.058108e-04,1.051974e-04,1.045846e-04,1.039728e-04,1.033627e-04,1.027547e-04,1.021493e-04,1.015468e-04,1.009476e-04,1.003521e-04,9.976063e-05,9.917345e-05,9.859083e-05,9.801303e-05,9.744027e-05,9.687274e-05
0.000000e+00,1.510313e-09,3.461867e-09,1.194205e-08,2.727732e-08,3.990492e-08,9.139548e-08,9.418993e-08,1.845632e-07,2.178529e-07,3.225519e-07,4.337466e-07,5.215936e-07,7.701806e-07,7.950425e-07,1.151093e-06,1.248917e-06,1.588848e-06,1.867009e-06,2.100877e-06,2.605948e-06,2.678457e-06,3.314151e-06,3.447717e-06,4.001972e-06,4.378529e-06,4.736828e-06,5.387005e-06,5.514006e-06,6.328846e-06,6.462400e-06,7.176593e-06,7.593765e-06,8.052344e-06,8.769738e-06,8.951081e-06,9.867743e-06,9.978708e-06,1.079731e-05,1.120914e-05,1.173489e-05,1.244992e-05,1.267580e-05,1.361564e-05,1.369066e-05,1.455033e-05,1.492192e-05,1.547617e-05,1.613543e-05,1.638987e-05,1.728854e-05,1.732414e-05,1.816971e-05,1.848220e-05,1.903117e-05,1.960480e-05,1.987117e-05,2.068826e-05,2.148130e-05,2.172986e-05,2.224947e-05,2.272775e-05,2.299215e-05,2.368075e-05,2.370892e-05,2.439959e-05,2.458829e-05,2.506412e-05,2.545033e-05,2.570262e-05,2.626721e-05,2.631528e-05,2.690245e-05,2.703962e-05,2.746452e-05,2.776848e-05,2.800195e-05,2.845492e-05,2.851527e-05,2.900503e-05,2.910021e-05,2.947183e-05,2.970570e-05,2.991630e-05,3.027285e-05,3.033906e-05,3.074075e-05,3.080311e-05,3.112204e-05,3.129799e-05,3.148356e-05,3.175899e-05,3.182598e-05,3.214992e-05,3.218758e-05,3.245604e-05,3.258524e-05,3.274495e-05,3.295339e-05,3.301727e-05,3.327360e-05,3.329343e-05,3.351453e-05,3.360672e-05,3.374063e-05,3.389457e-05,3.395248e-05,3.415060e-05,3.415825e-05,3.433554e-05,3.439899e-05,3.450780e-05,3.461796e-05,3.466789e-05,3.481629e-05,3.495347e-05,3.499507e-05,3.507989e-05,3.515535e-05,3.519598e-05,3.529810e-05,3.530216e-05,3.539886e-05,3.542429e-05,3.548646e-05,3.553482e-05,3.556536e-05,3.563056e-05,3.563591e-05,3.569848e-05,3.571235e-05,3.575341e-05,3.578096e-05,3.580103e-05,3.583715e-05,3.584167e-05,3.587563e-05,3.588165e-05,3.590321e-05,3.591512e-05,3.592469e-05,3.593823e-05,3.594036e-05,3.595048e-05,3.595160e-05,3.595529e-05,3.595580e-05,3.595506e-05,3.595140e-05,3.595001e-05,3.594038e-05,3.593893e-05,3.592639e-05,3.591890e-05,3.590823e-05,3.589179e-05,3.588613e-05,3.586027e-05,3.585804e-05,3.583084e-05,3.581811e-05,3.579802e-05,3.577239e-05,3.576199e-05,3.572290e-05,3.572128e-05,3.568093e-05,3.566514e-05,3.563622e-05,3.560433e-05,3.558892e-05,3.553918e-05,3.547000e-05,3.539710e-05,3.532075e-05,3.524123e-05,3.515878e-05,3.507365e-05,3.498607e-05,3.489624e-05,3.480438e-05,3.471067e-05,3.461530e-05,3.451844e-05,3.442025e-05,3.432088e-05,3.422048e-05,3.411918e-05,3.401712e-05,3.391441e-05,3.381117e-05,3.370751e-05,3.360352e-05,3.349931e-05,3.339495e-05,3.329054e-05
0.000000e+00,6.606770e-11,2.298591e-10,1.382438e-09,4.325947e-09,7.186406e-09,2.076352e-08,2.155295e-08,4.837266e-08,5.858528e-08,9.100128e-08,1.253443e-07,1.522141e-07,2.268731e-07,2.342456e-07,3.388223e-07,3.674209e-07,4.671452e-07,5.496238e-07,6.197897e-07,7.740591e-07,7.965022e-07,9.959362e-07,1.038342e-06,1.215487e-06,1.336400e-06,1.451428e-06,1.659071e-06,1.699357e-06,1.954762e-06,1.996033e-06,2.213441e-06,2.337665e-06,2.471707e-06,2.675908e-06,2.726441e-06,2.975062e-06,3.004381e-06,3.215471e-06,3.318206e-06,3.446003e-06,3.613802e-06,3.665380e-06,3.872673e-06,3.888714e-06,4.067268e-06,4.141466e-06,4.248825e-06,4.371410e-06,4.417247e-06,4.572640e-06,4.578588e-06,4.715276e-06,4.763578e-06,4.845563e-06,4.927360e-06,4.964009e-06,5.071197e-06,5.167758e-06,5.196521e-06,5.254353e-06,5.304852e-06,5.331650e-06,5.397728e-06,5.400317e-06,5.461006e-06,5.476656e-06,5.514346e-06,5.543073e-06,5.560936e-06,5.598326e-06,5.601344e-06,5.636104e-06,5.643661e-06,5.665710e-06,5.680212e-06,5.690624e-06,5.709004e-06,5.711269e-06,5.728036e-06,5.730955e-06,5.741280e-06,5.746884e-06,5.751327e-06,5.757515e-06,5.758476e-06,5.762996e-06,5.763492e-06,5.765136e-06,5.765384e-06,5.765120e-06,5.763694e-06,5.763154e-06,5.759420e-06,5.758861e-06,5.754085e-06,5.751270e-06,5.747302e-06,5.741265e-06,5.739210e-06,5.729935e-06,5.729146e-06,5.719591e-06,5.715177e-06,5.708280e-06,5.699592e-06,5.696098e-06,5.683131e-06,5.682597e-06,5.669457e-06,5.664375e-06,5.655148e-06,5.645089e-06,5.640270e-06,5.624882e-06,5.609040e-06,5.603883e-06,5.592793e-06,5.582204e-06,5.576188e-06,5.559950e-06,5.559267e-06,5.542070e-06,5.537211e-06,5.524633e-06,5.514069e-06,5.506988e-06,5.490597e-06,5.489166e-06,5.471195e-06,5.466863e-06,5.453101e-06,5.442925e-06,5.434909e-06,5.418837e-06,5.416642e-06,5.398318e-06,5.394649e-06,5.379959e-06,5.370403e-06,5.361580e-06,5.346140e-06,5.343200e-06,5.324832e-06,5.321895e-06,5.306491e-06,5.297701e-06,5.288190e-06,5.273587e-06,5.269942e-06,5.251757e-06,5.249579e-06,5.233645e-06,5.225702e-06,5.215617e-06,5.201977e-06,5.197681e-06,5.179845e-06,5.178423e-06,5.162117e-06,5.155057e-06,5.144504e-06,5.131897e-06,5.127011e-06,5.109646e-06,5.108954e-06,5.092413e-06,5.086243e-06,5.075317e-06,5.063773e-06,5.058363e-06,5.041555e-06,5.019598e-06,4.997909e-06,4.976494e-06,4.955360e-06,4.934512e-06,4.913953e-06,4.893688e-06,4.873718e-06,4.854046e-06,4.834673e-06,4.815602e-06,4.796831e-06,4.778362e-06,4.760195e-06,4.742328e-06,4.724762e-06,4.707494e-06,4.690523e-06,4.673848e-06,4.657467e-06,4.641377e-06,4.625576e-06,4.610062e-06,4.594831e-06
0.000000e+00,1.047457e-10,3.916561e-10,2.708824e-09,9.531119e-09,1.682753e-08,5.639872e-08,5.888486e-08,1.518326e-07,1.908231e-07,3.251974e-07,4.828627e-07,6.158803e-07,1.023800e-06,1.066790e-06,1.718148e-06,1.907275e-06,2.591096e-06,3.174264e-06,3.675496e-06,4.774363e-06,4.932606e-06,6.308231e-06,6.592561e-06,7.746309e-06,8.502046e-06,9.197610e-06,1.039822e-05,1.062334e-05,1.199530e-05,1.220843e-05,1.329436e-05,1.388826e-05,1.450846e-05,1.541383e-05,1.563075e-05,1.665812e-05,1.677498e-05,1.759014e-05,1.797035e-05,1.842829e-05,1.900425e-05,1.917548e-05,1.983566e-05,1.988486e-05,2.041357e-05,2.062285e-05,2.091445e-05,2.123054e-05,2.134392e-05,2.170777e-05,2.172104e-05,2.201180e-05,2.210772e-05,2.226174e-05,2.240362e-05,2.246310e-05,2.262110e-05,2.274063e-05,2.277150e-05,2.282619e-05,2.286504e-05,2.288190e-05,2.291074e-05,2.291146e-05,2.291820e-05,2.291640e-05,2.290506e-05,2.288874e-05,2.287466e-05,2.283343e-05,2.282930e-05,2.277097e-05,2.275525e-05,2.270144e-05,2.265819e-05,2.262224e-05,2.254559e-05,2.253468e-05,2.243994e-05,2.242022e-05,2.233901e-05,2.228438e-05,2.223277e-05,2.213999e-05,2.212199e-05,2.200732e-05,2.198866e-05,2.188936e-05,2.183172e-05,2.176862e-05,2.167032e-05,2.164554e-05,2.152054e-05,2.150542e-05,2.139395e-05,2.133784e-05,2.126611e-05,2.116827e-05,2.113728e-05,2.100771e-05,2.099733e-05,2.087764e-05,2.082552e-05,2.074727e-05,2.065331e-05,2.061676e-05,2.048630e-05,2.048108e-05,2.035602e-05,2.030919e-05,2.022606e-05,2.013793e-05,2.009654e-05,1.996756e-05,1.983924e-05,1.979833e-05,1.971165e-05,1.963041e-05,1.958487e-05,1.946400e-05,1.945899e-05,1.933405e-05,1.929925e-05,1.921013e-05,1.913629e-05,1.908728e-05,1.897523e-05,1.896553e-05,1.884494e-05,1.881618e-05,1.872554e-05,1.865921e-05,1.860737e-05,1.850442e-05,1.849045e-05,1.837481e-05,1.835184e-05,1.826048e-05,1.820154e-05,1.814746e-05,1.805356e-05,1.803578e-05,1.792546e-05,1.790793e-05,1.781649e-05,1.776468e-05,1.770890e-05,1.762381e-05,1.760268e-05,1.749785e-05,1.748536e-05,1.739440e-05,1.734932e-05,1.729234e-05,1.721569e-05,1.719166e-05,1.709237e-05,1.708448e-05,1.699445e-05,1.695568e-05,1.689792e-05,1.682927e-05,1.680276e-05,1.670896e-05,1.670524e-05,1.661653e-05,1.658358e-05,1.652544e-05,1.646427e-05,1.643569e-05,1.634728e-05,1.623260e-05,1.612019e-05,1.601004e-05,1.590211e-05,1.579638e-05,1.569281e-05,1.559137e-05,1.549203e-05,1.539476e-05,1.529953e-05,1.520630e-05,1.511504e-05,1.502572e-05,1.493829e-05,1.485274e-05,1.476901e-05,1.468709e-05,1.460693e-05,1.452850e-05,1.445177e-05,1.437670e-05,1.430327e-05,1.423144e-05,1.416117e-05
0.000000e+00,3.730457e-10,1.267060e-09,7.309132e-09,2.220760e-08,3.641098e-08,1.025759e-07,1.063917e-07,2.353797e-07,2.843905e-07,4.401810e-07,6.059935e-07,7.364197e-07,1.102328e-06,1.138747e-06,1.660797e-06,1.805290e-06,2.314617e-06,2.741888e-06,3.109311e-06,3.928480e-06,4.048832e-06,5.129682e-06,5.361910e-06,6.340076e-06,7.014743e-06,7.661622e-06,8.841784e-06,9.072645e-06,1.055126e-05,1.079272e-05,1.207716e-05,1.282100e-05,1.363229e-05,1.488672e-05,1.520080e-05,1.676880e-05,1.695634e-05,1.832420e-05,1.900181e-05,1.985646e-05,2.099989e-05,2.135655e-05,2.281686e-05,2.293177e-05,2.423110e-05,2.478273e-05,2.559423e-05,2.654183e-05,2.690239e-05,2.815278e-05,2.820156e-05,2.934355e-05,2.975742e-05,3.047370e-05,3.120741e-05,3.154295e-05,3.255163e-05,3.350060e-05,3.379184e-05,3.439109e-05,3.493104e-05,3.522469e-05,3.597311e-05,3.600322e-05,3.672868e-05,3.692258e-05,3.740319e-05,3.778437e-05,3.802898e-05,3.856361e-05,3.860830e-05,3.914339e-05,3.926547e-05,3.963648e-05,3.989509e-05,4.008977e-05,4.045744e-05,4.050540e-05,4.088543e-05,4.095734e-05,4.123187e-05,4.139938e-05,4.154662e-05,4.178788e-05,4.183153e-05,4.208834e-05,4.212693e-05,4.231871e-05,4.242036e-05,4.252421e-05,4.267170e-05,4.270632e-05,4.286646e-05,4.288426e-05,4.300595e-05,4.306111e-05,4.312604e-05,4.320508e-05,4.322793e-05,4.331274e-05,4.331882e-05,4.338151e-05,4.340475e-05,4.343523e-05,4.346512e-05,4.347484e-05,4.350121e-05,4.350200e-05,4.351517e-05,4.351731e-05,4.351750e-05,4.351282e-05,4.350894e-05,4.349016e-05,4.346182e-05,4.345083e-05,4.342453e-05,4.339623e-05,4.337885e-05,4.332763e-05,4.332534e-05,4.326450e-05,4.324622e-05,4.319681e-05,4.315309e-05,4.312271e-05,4.304926e-05,4.304264e-05,4.295699e-05,4.293565e-05,4.286614e-05,4.281313e-05,4.277044e-05,4.268249e-05,4.267024e-05,4.256584e-05,4.254448e-05,4.245754e-05,4.239978e-05,4.234562e-05,4.224901e-05,4.223035e-05,4.211197e-05,4.209276e-05,4.199073e-05,4.193158e-05,4.186684e-05,4.176596e-05,4.174051e-05,4.161195e-05,4.159638e-05,4.148133e-05,4.142325e-05,4.134883e-05,4.124698e-05,4.121463e-05,4.107887e-05,4.106795e-05,4.094171e-05,4.088649e-05,4.080329e-05,4.070292e-05,4.066374e-05,4.052318e-05,4.051754e-05,4.038174e-05,4.033062e-05,4.023952e-05,4.014243e-05,4.009664e-05,3.995318e-05,3.976312e-05,3.957243e-05,3.938131e-05,3.918993e-05,3.899846e-05,3.880705e-05,3.861584e-05,3.842495e-05,3.823451e-05,3.804463e-05,3.785541e-05,3.766695e-05,3.747933e-05,3.729264e-05,3.710695e-05,3.692233e-05,3.673885e-05,3.655655e-05,3.637551e-05,3.619575e-05,3.601734e-05,3.584031e-05,3.566469e-05,3.549053e-05
0.000000e+00,9.019172e-11,3.358674e-10,2.302147e-09,8.024204e-09,1.408329e-08,4.632057e-08,4.831913e-08,1.214229e-07,1.513260e-07,2.517670e-07,3.655694e-07,4.589809e-07,7.352028e-07,7.636540e-07,1.186175e-06,1.307117e-06,1.743146e-06,2.116997e-06,2.441785e-06,3.169349e-06,3.276128e-06,4.228121e-06,4.430468e-06,5.272342e-06,5.842596e-06,6.381199e-06,7.343406e-06,7.528595e-06,8.691758e-06,8.878008e-06,9.851714e-06,1.040270e-05,1.099301e-05,1.188414e-05,1.210317e-05,1.317213e-05,1.329723e-05,1.419183e-05,1.462319e-05,1.515587e-05,1.584825e-05,1.605934e-05,1.689868e-05,1.696298e-05,1.767156e-05,1.796182e-05,1.837686e-05,1.884274e-05,1.901449e-05,1.958536e-05,1.960683e-05,2.009120e-05,2.025783e-05,2.053443e-05,2.080158e-05,2.091805e-05,2.124544e-05,2.152033e-05,2.159784e-05,2.174660e-05,2.186772e-05,2.192821e-05,2.206419e-05,2.206909e-05,2.217305e-05,2.219605e-05,2.224375e-05,2.227166e-05,2.228467e-05,2.229881e-05,2.229906e-05,2.228994e-05,2.228457e-05,2.226009e-05,2.223527e-05,2.221204e-05,2.215653e-05,2.214808e-05,2.207029e-05,2.205324e-05,2.198051e-05,2.192965e-05,2.188041e-05,2.178942e-05,2.177145e-05,2.165495e-05,2.163569e-05,2.153205e-05,2.147110e-05,2.140378e-05,2.129790e-05,2.127103e-05,2.113459e-05,2.111801e-05,2.099516e-05,2.093302e-05,2.085334e-05,2.074430e-05,2.070967e-05,2.056462e-05,2.055297e-05,2.041861e-05,2.036001e-05,2.027198e-05,2.016622e-05,2.012507e-05,1.997814e-05,1.997227e-05,1.983145e-05,1.977874e-05,1.968521e-05,1.958612e-05,1.953961e-05,1.939481e-05,1.925096e-05,1.920515e-05,1.910819e-05,1.901744e-05,1.896661e-05,1.883190e-05,1.882632e-05,1.868740e-05,1.864876e-05,1.854993e-05,1.846816e-05,1.841397e-05,1.829027e-05,1.827957e-05,1.814679e-05,1.811517e-05,1.801567e-05,1.794297e-05,1.788623e-05,1.777374e-05,1.775851e-05,1.763252e-05,1.760753e-05,1.750829e-05,1.744439e-05,1.738584e-05,1.728435e-05,1.726516e-05,1.714627e-05,1.712741e-05,1.702917e-05,1.697360e-05,1.691386e-05,1.682290e-05,1.680034e-05,1.668860e-05,1.667531e-05,1.657864e-05,1.653082e-05,1.647045e-05,1.638940e-05,1.636401e-05,1.625933e-05,1.625103e-05,1.615637e-05,1.611567e-05,1.605514e-05,1.598331e-05,1.595561e-05,1.585777e-05,1.585389e-05,1.576159e-05,1.572738e-05,1.566707e-05,1.560373e-05,1.557419e-05,1.548291e-05,1.536487e-05,1.524955e-05,1.513692e-05,1.502692e-05,1.491950e-05,1.481462e-05,1.471221e-05,1.461224e-05,1.451466e-05,1.441940e-05,1.432642e-05,1.423567e-05,1.414711e-05,1.406067e-05,1.397632e-05,1.389400e-05,1.381367e-05,1.373528e-05,1.365878e-05,1.358413e-05,1.351129e-05,1.344020e-05,1.337083e-05,1.330314e-05
0.000000e+00,5.431454e-11,2.096354e-10,1.549101e-09,5.792548e-09,1.057698e-08,3.870106e-08,4.055250e-08,1.141860e-07,1.469902e-07,2.659665e-07,4.141157e-07,5.442719e-07,9.629913e-07,1.008398e-06,1.716716e-06,1.928339e-06,2.712967e-06,3.405991e-06,4.019937e-06,5.429775e-06,5.640495e-06,7.561836e-06,7.980244e-06,9.760071e-06,1.100244e-05,1.220405e-05,1.442097e-05,1.485821e-05,1.768462e-05,1.815023e-05,2.064443e-05,2.210115e-05,2.369901e-05,2.618559e-05,2.681076e-05,2.994384e-05,3.031962e-05,3.306469e-05,3.442596e-05,3.614260e-05,3.843604e-05,3.915005e-05,4.206298e-05,4.229129e-05,4.486091e-05,4.594399e-05,4.752701e-05,4.935740e-05,5.004803e-05,5.241412e-05,5.250544e-05,5.461863e-05,5.537188e-05,5.665779e-05,5.794929e-05,5.853044e-05,6.023768e-05,6.178248e-05,6.224321e-05,6.316941e-05,6.397685e-05,6.440431e-05,6.545307e-05,6.549396e-05,6.644585e-05,6.668877e-05,6.726795e-05,6.770232e-05,6.796848e-05,6.851276e-05,6.855577e-05,6.903810e-05,6.913915e-05,6.942360e-05,6.960013e-05,6.972014e-05,6.991352e-05,6.993528e-05,7.007624e-05,7.009613e-05,7.014980e-05,7.016356e-05,7.016236e-05,7.013016e-05,7.011990e-05,7.002795e-05,7.000899e-05,6.989165e-05,6.981187e-05,6.971573e-05,6.954939e-05,6.950452e-05,6.926202e-05,6.923100e-05,6.899186e-05,6.886509e-05,6.869736e-05,6.845912e-05,6.838153e-05,6.804711e-05,6.801963e-05,6.769658e-05,6.755237e-05,6.733219e-05,6.706239e-05,6.695596e-05,6.656973e-05,6.655410e-05,6.617515e-05,6.603136e-05,6.577372e-05,6.549752e-05,6.536677e-05,6.495550e-05,6.454101e-05,6.440784e-05,6.412425e-05,6.385675e-05,6.370611e-05,6.330412e-05,6.328737e-05,6.286874e-05,6.275163e-05,6.245084e-05,6.220068e-05,6.203423e-05,6.165251e-05,6.161940e-05,6.120682e-05,6.110818e-05,6.079687e-05,6.056858e-05,6.038991e-05,6.003449e-05,5.998624e-05,5.958614e-05,5.950657e-05,5.918985e-05,5.898536e-05,5.879759e-05,5.847135e-05,5.840955e-05,5.802588e-05,5.796491e-05,5.764673e-05,5.746637e-05,5.727220e-05,5.697599e-05,5.690242e-05,5.653745e-05,5.649398e-05,5.617738e-05,5.602051e-05,5.582224e-05,5.555568e-05,5.547211e-05,5.512699e-05,5.509960e-05,5.478692e-05,5.465231e-05,5.445191e-05,5.421384e-05,5.412197e-05,5.379709e-05,5.378420e-05,5.347727e-05,5.336336e-05,5.316248e-05,5.295130e-05,5.285272e-05,5.254795e-05,5.215325e-05,5.176712e-05,5.138947e-05,5.102019e-05,5.065919e-05,5.030635e-05,4.996154e-05,4.962464e-05,4.929552e-05,4.897405e-05,4.866009e-05,4.835351e-05,4.805416e-05,4.776191e-05,4.747662e-05,4.719814e-05,4.692634e-05,4.666107e-05,4.640220e-05,4.614958e-05,4.590309e-05,4.566257e-05,4.542790e-05,4.519894e-05
0.000000e+00,3.372165e-10,1.151294e-09,6.701944e-09,2.050159e-08,3.372527e-08,9.575830e-08,9.935143e-08,2.215474e-07,2.683046e-07,4.179774e-07,5.788723e-07,7.064671e-07,1.068423e-06,1.104706e-06,1.627491e-06,1.772468e-06,2.281455e-06,2.703643e-06,3.061917e-06,3.843026e-06,3.955741e-06,4.946808e-06,5.155289e-06,6.019462e-06,6.604692e-06,7.159415e-06,8.159319e-06,8.353485e-06,9.589155e-06,9.789910e-06,1.085435e-05,1.146869e-05,1.213742e-05,1.316926e-05,1.342726e-05,1.471347e-05,1.486711e-05,1.598654e-05,1.654031e-05,1.723801e-05,1.817011e-05,1.846053e-05,1.964793e-05,1.974125e-05,2.079522e-05,2.124200e-05,2.189848e-05,2.266391e-05,2.295483e-05,2.396235e-05,2.400161e-05,2.491991e-05,2.525231e-05,2.582712e-05,2.641535e-05,2.668418e-05,2.749179e-05,2.825103e-05,2.848399e-05,2.896330e-05,2.939524e-05,2.963021e-05,3.022944e-05,3.025356e-05,3.083525e-05,3.099092e-05,3.137721e-05,3.168416e-05,3.188145e-05,3.231372e-05,3.234993e-05,3.278459e-05,3.288409e-05,3.318735e-05,3.339964e-05,3.356003e-05,3.386453e-05,3.390441e-05,3.422217e-05,3.428267e-05,3.451492e-05,3.465777e-05,3.478418e-05,3.499326e-05,3.503139e-05,3.525793e-05,3.529234e-05,3.546506e-05,3.555795e-05,3.565400e-05,3.579282e-05,3.582588e-05,3.598177e-05,3.599944e-05,3.612265e-05,3.618012e-05,3.624946e-05,3.633696e-05,3.636307e-05,3.646431e-05,3.647190e-05,3.655393e-05,3.658670e-05,3.663266e-05,3.668298e-05,3.670117e-05,3.676008e-05,3.676224e-05,3.680998e-05,3.682584e-05,3.685142e-05,3.687503e-05,3.688492e-05,3.691096e-05,3.692999e-05,3.693467e-05,3.694244e-05,3.694714e-05,3.694871e-05,3.694925e-05,3.694916e-05,3.694416e-05,3.694183e-05,3.693404e-05,3.692563e-05,3.691909e-05,3.690134e-05,3.689962e-05,3.687590e-05,3.686960e-05,3.684818e-05,3.683101e-05,3.681672e-05,3.678611e-05,3.678173e-05,3.674345e-05,3.673541e-05,3.670206e-05,3.667937e-05,3.665776e-05,3.661844e-05,3.661074e-05,3.656117e-05,3.655301e-05,3.650920e-05,3.648346e-05,3.645500e-05,3.641012e-05,3.639871e-05,3.634046e-05,3.633334e-05,3.628038e-05,3.625340e-05,3.621860e-05,3.617059e-05,3.615524e-05,3.609041e-05,3.608516e-05,3.602420e-05,3.599736e-05,3.595672e-05,3.590741e-05,3.588807e-05,3.581834e-05,3.581552e-05,3.574760e-05,3.572190e-05,3.567594e-05,3.562672e-05,3.560344e-05,3.553016e-05,3.543238e-05,3.533353e-05,3.523374e-05,3.513316e-05,3.503190e-05,3.493008e-05,3.482781e-05,3.472518e-05,3.462230e-05,3.451925e-05,3.441611e-05,3.431297e-05,3.420989e-05,3.410694e-05,3.400419e-05,3.390170e-05,3.379951e-05,3.369769e-05,3.359627e-05,3.349532e-05,3.339486e-05,3.329494e-05,3.319559e-05,3.309685e-05
0.000000e+00,1.129947e-09,2.850952e-09,1.084109e-08,2.576500e-08,3.814964e-08,8.844852e-08,9.115773e-08,1.773621e-07,2.084261e-07,3.038925e-07,4.020184e-07,4.775598e-07,6.843630e-07,7.046243e-07,9.902215e-07,1.067874e-06,1.337400e-06,1.558768e-06,1.745802e-06,2.151907e-06,2.210315e-06,2.720654e-06,2.827028e-06,3.262918e-06,3.552644e-06,3.822618e-06,4.296980e-06,4.387210e-06,4.946992e-06,5.035603e-06,5.494823e-06,5.751957e-06,6.025526e-06,6.435209e-06,6.535367e-06,7.021689e-06,7.078374e-06,7.482681e-06,7.677179e-06,7.917208e-06,8.229378e-06,8.324697e-06,8.705029e-06,8.734288e-06,9.058458e-06,9.192410e-06,9.385528e-06,9.605124e-06,9.687012e-06,9.963852e-06,9.974428e-06,1.021711e-05,1.030272e-05,1.044792e-05,1.059265e-05,1.065747e-05,1.084696e-05,1.101759e-05,1.106840e-05,1.117054e-05,1.125968e-05,1.130695e-05,1.142338e-05,1.142794e-05,1.153456e-05,1.156198e-05,1.162783e-05,1.167778e-05,1.170869e-05,1.177291e-05,1.177806e-05,1.183678e-05,1.184937e-05,1.188565e-05,1.190900e-05,1.192543e-05,1.195348e-05,1.195682e-05,1.198048e-05,1.198434e-05,1.199702e-05,1.200300e-05,1.200702e-05,1.201075e-05,1.201100e-05,1.200947e-05,1.200875e-05,1.200289e-05,1.199806e-05,1.199169e-05,1.197967e-05,1.197627e-05,1.195701e-05,1.195446e-05,1.193426e-05,1.192322e-05,1.190833e-05,1.188668e-05,1.187951e-05,1.184808e-05,1.184547e-05,1.181430e-05,1.180017e-05,1.177839e-05,1.175134e-05,1.174057e-05,1.170106e-05,1.169944e-05,1.166003e-05,1.164492e-05,1.161766e-05,1.158816e-05,1.157411e-05,1.152952e-05,1.148404e-05,1.146931e-05,1.143778e-05,1.140783e-05,1.139088e-05,1.134533e-05,1.134342e-05,1.129553e-05,1.128205e-05,1.124728e-05,1.121819e-05,1.119876e-05,1.115395e-05,1.115005e-05,1.110122e-05,1.108950e-05,1.105235e-05,1.102497e-05,1.100347e-05,1.096052e-05,1.095467e-05,1.090597e-05,1.089625e-05,1.085744e-05,1.083228e-05,1.080911e-05,1.076870e-05,1.076103e-05,1.071322e-05,1.070560e-05,1.066573e-05,1.064306e-05,1.061858e-05,1.058113e-05,1.057180e-05,1.052541e-05,1.051987e-05,1.047944e-05,1.045934e-05,1.043389e-05,1.039959e-05,1.038881e-05,1.034418e-05,1.034064e-05,1.030004e-05,1.028253e-05,1.025640e-05,1.022529e-05,1.021326e-05,1.017063e-05,1.016894e-05,1.012853e-05,1.011350e-05,1.008695e-05,1.005899e-05,1.004591e-05,1.000541e-05,9.952781e-06,9.901106e-06,9.850388e-06,9.800629e-06,9.751829e-06,9.703985e-06,9.657094e-06,9.611151e-06,9.566151e-06,9.522085e-06,9.478945e-06,9.436723e-06,9.395407e-06,9.354987e-06,9.315452e-06,9.276789e-06,9.238988e-06,9.202034e-06,9.165914e-06,9.130617e-06,9.096127e-06,9.062431e-06,9.029516e-06,8.997368e-06
0.000000e+00,7.771616e-10,2.482371e-09,1.293825e-08,3.674810e-08,5.854466e-08,1.565342e-07,1.621078e-07,3.496600e-07,4.211182e-07,6.506235e-07,8.997240e-07,1.099361e-06,1.675715e-06,1.734257e-06,2.590641e-06,2.831676e-06,3.686098e-06,4.400876e-06,5.009355e-06,6.336266e-06,6.527448e-06,8.202738e-06,8.553701e-06,1.000308e-05,1.098006e-05,1.190317e-05,1.356129e-05,1.388258e-05,1.592379e-05,1.625505e-05,1.801096e-05,1.902478e-05,2.012941e-05,2.183746e-05,2.226546e-05,2.440640e-05,2.466308e-05,2.654066e-05,2.747489e-05,2.865782e-05,3.024971e-05,3.074867e-05,3.280527e-05,3.296810e-05,3.482083e-05,3.561428e-05,3.678975e-05,3.817589e-05,3.870745e-05,4.057034e-05,4.064368e-05,4.237566e-05,4.301108e-05,4.412141e-05,4.527378e-05,4.580623e-05,4.742931e-05,4.899032e-05,4.947673e-05,5.048933e-05,5.141632e-05,5.192672e-05,5.324924e-05,5.330314e-05,5.461948e-05,5.497742e-05,5.587677e-05,5.660329e-05,5.707621e-05,5.812969e-05,5.821907e-05,5.930674e-05,5.955973e-05,6.034063e-05,6.089665e-05,6.132219e-05,6.214384e-05,6.225290e-05,6.313433e-05,6.330484e-05,6.396807e-05,6.438327e-05,6.475563e-05,6.538257e-05,6.549848e-05,6.619813e-05,6.630617e-05,6.685609e-05,6.715753e-05,6.747380e-05,6.793995e-05,6.805269e-05,6.859415e-05,6.865668e-05,6.909958e-05,6.931090e-05,6.957031e-05,6.990567e-05,7.000766e-05,7.041289e-05,7.044396e-05,7.078726e-05,7.092865e-05,7.113199e-05,7.136250e-05,7.144825e-05,7.173719e-05,7.174820e-05,7.199992e-05,7.208830e-05,7.223753e-05,7.238529e-05,7.245106e-05,7.264153e-05,7.280991e-05,7.285929e-05,7.295717e-05,7.304075e-05,7.308422e-05,7.318800e-05,7.319195e-05,7.328123e-05,7.330304e-05,7.335289e-05,7.338776e-05,7.340773e-05,7.344399e-05,7.344652e-05,7.347003e-05,7.347347e-05,7.347896e-05,7.347786e-05,7.347402e-05,7.345874e-05,7.345589e-05,7.342520e-05,7.341761e-05,7.338258e-05,7.335590e-05,7.332864e-05,7.327500e-05,7.326395e-05,7.318907e-05,7.317618e-05,7.310453e-05,7.306068e-05,7.301087e-05,7.292969e-05,7.290856e-05,7.279809e-05,7.278431e-05,7.267992e-05,7.262559e-05,7.255448e-05,7.245456e-05,7.242221e-05,7.228351e-05,7.227214e-05,7.213876e-05,7.207926e-05,7.198836e-05,7.187676e-05,7.183265e-05,7.167197e-05,7.166545e-05,7.150668e-05,7.144610e-05,7.133707e-05,7.121942e-05,7.116345e-05,7.098612e-05,7.074683e-05,7.050216e-05,7.025269e-05,6.999897e-05,6.974151e-05,6.948078e-05,6.921726e-05,6.895136e-05,6.868349e-05,6.841402e-05,6.814332e-05,6.787171e-05,6.759950e-05,6.732700e-05,6.705447e-05,6.678216e-05,6.651033e-05,6.623918e-05,6.596894e-05,6.569978e-05,6.543189e-05,6.516544e-05,6.490059e-05,6.463746e-05
0.000000e+00,3.108118e-10,1.092167e-09,6.770908e-09,2.215787e-08,3.807633e-08,1.245270e-07,1.300655e-07,3.475037e-07,4.432736e-07,7.800798e-07,1.167652e-06,1.478240e-06,2.328044e-06,2.409538e-06,3.507136e-06,3.788794e-06,4.716749e-06,5.429952e-06,6.004976e-06,7.187705e-06,7.351962e-06,8.743932e-06,9.026667e-06,1.016897e-05,1.091916e-05,1.161531e-05,1.283797e-05,1.307102e-05,1.452430e-05,1.475583e-05,1.596384e-05,1.664687e-05,1.737934e-05,1.848832e-05,1.876178e-05,2.010357e-05,2.026154e-05,2.139862e-05,2.195239e-05,2.264230e-05,2.355108e-05,2.383134e-05,2.496364e-05,2.505174e-05,2.603815e-05,2.645169e-05,2.705464e-05,2.775083e-05,2.801358e-05,2.891599e-05,2.895093e-05,2.976328e-05,3.005514e-05,3.055719e-05,3.106752e-05,3.129963e-05,3.199268e-05,3.263850e-05,3.283553e-05,3.323925e-05,3.360109e-05,3.379712e-05,3.429433e-05,3.431426e-05,3.479277e-05,3.492011e-05,3.523470e-05,3.548313e-05,3.564203e-05,3.598783e-05,3.601663e-05,3.636034e-05,3.643843e-05,3.667488e-05,3.683890e-05,3.696190e-05,3.719296e-05,3.722297e-05,3.745958e-05,3.750410e-05,3.767315e-05,3.777554e-05,3.786501e-05,3.801032e-05,3.803642e-05,3.818859e-05,3.821123e-05,3.832264e-05,3.838087e-05,3.843965e-05,3.852167e-05,3.854063e-05,3.862652e-05,3.863585e-05,3.869822e-05,3.872550e-05,3.875659e-05,3.879253e-05,3.880243e-05,3.883649e-05,3.883872e-05,3.885948e-05,3.886573e-05,3.887207e-05,3.887506e-05,3.887491e-05,3.886858e-05,3.886815e-05,3.885366e-05,3.884628e-05,3.883066e-05,3.881068e-05,3.880010e-05,3.876245e-05,3.871816e-05,3.870265e-05,3.866764e-05,3.863223e-05,3.861129e-05,3.855207e-05,3.854950e-05,3.848261e-05,3.846301e-05,3.841096e-05,3.836581e-05,3.833486e-05,3.826118e-05,3.825461e-05,3.817050e-05,3.814977e-05,3.808279e-05,3.803219e-05,3.799173e-05,3.790901e-05,3.789755e-05,3.780049e-05,3.778075e-05,3.770076e-05,3.764790e-05,3.759855e-05,3.751092e-05,3.749405e-05,3.738745e-05,3.737021e-05,3.727891e-05,3.722617e-05,3.716859e-05,3.707916e-05,3.705665e-05,3.694322e-05,3.692951e-05,3.682844e-05,3.677755e-05,3.671245e-05,3.662355e-05,3.659536e-05,3.647728e-05,3.646780e-05,3.635833e-05,3.631053e-05,3.623860e-05,3.615198e-05,3.611820e-05,3.599722e-05,3.599237e-05,3.587573e-05,3.583189e-05,3.575383e-05,3.567074e-05,3.563160e-05,3.550909e-05,3.534710e-05,3.518492e-05,3.502269e-05,3.486053e-05,3.469857e-05,3.453692e-05,3.437568e-05,3.421494e-05,3.405480e-05,3.389533e-05,3.373662e-05,3.357872e-05,3.342171e-05,3.326565e-05,3.311058e-05,3.295656e-05,3.280363e-05,3.265184e-05,3.250123e-05,3.235182e-05,3.220365e-05,3.205675e-05,3.191115e-05,3.176687e-05
0.000000e+00,9.387029e-09,2.164105e-08,7.498792e-08,1.714674e-07,2.509107e-07,5.751852e-07,5.928062e-07,1.163985e-06,1.374858e-06,2.037827e-06,2.736936e-06,3.281742e-06,4.772002e-06,4.916564e-06,6.907338e-06,7.432355e-06,9.203836e-06,1.060769e-05,1.176500e-05,1.421185e-05,1.455834e-05,1.755459e-05,1.817564e-05,2.072455e-05,2.243156e-05,2.403790e-05,2.690904e-05,2.746333e-05,3.096926e-05,3.153559e-05,3.452469e-05,3.624011e-05,3.810004e-05,4.095616e-05,4.166791e-05,4.520357e-05,4.562462e-05,4.868528e-05,5.019524e-05,5.209443e-05,5.462720e-05,5.541550e-05,5.863586e-05,5.888883e-05,6.174564e-05,6.295687e-05,6.473751e-05,6.681570e-05,6.760635e-05,7.034886e-05,7.045590e-05,7.296334e-05,7.387312e-05,7.544950e-05,7.706722e-05,7.780823e-05,8.004101e-05,8.215005e-05,8.279929e-05,8.413832e-05,8.534890e-05,8.600904e-05,8.769769e-05,8.776582e-05,8.941249e-05,8.985436e-05,9.095301e-05,9.182803e-05,9.239137e-05,9.362790e-05,9.373160e-05,9.497775e-05,9.526327e-05,9.613383e-05,9.674336e-05,9.720379e-05,9.807718e-05,9.819149e-05,9.910070e-05,9.927345e-05,9.993510e-05,1.003406e-04,1.006982e-04,1.012867e-04,1.013935e-04,1.020243e-04,1.021194e-04,1.025938e-04,1.028463e-04,1.031051e-04,1.034742e-04,1.035611e-04,1.039648e-04,1.040098e-04,1.043188e-04,1.044595e-04,1.046257e-04,1.048291e-04,1.048882e-04,1.051085e-04,1.051244e-04,1.052890e-04,1.053505e-04,1.054319e-04,1.055126e-04,1.055392e-04,1.056130e-04,1.056153e-04,1.056553e-04,1.056631e-04,1.056677e-04,1.056600e-04,1.056521e-04,1.056101e-04,1.055433e-04,1.055170e-04,1.054533e-04,1.053841e-04,1.053413e-04,1.052146e-04,1.052089e-04,1.050573e-04,1.050116e-04,1.048877e-04,1.047778e-04,1.047013e-04,1.045160e-04,1.044993e-04,1.042827e-04,1.042287e-04,1.040525e-04,1.039180e-04,1.038096e-04,1.035862e-04,1.035551e-04,1.032897e-04,1.032353e-04,1.030142e-04,1.028673e-04,1.027295e-04,1.024837e-04,1.024363e-04,1.021352e-04,1.020864e-04,1.018270e-04,1.016767e-04,1.015123e-04,1.012562e-04,1.011917e-04,1.008657e-04,1.008262e-04,1.005348e-04,1.003879e-04,1.001997e-04,9.994237e-05,9.986068e-05,9.951830e-05,9.949077e-05,9.917295e-05,9.903408e-05,9.882505e-05,9.857319e-05,9.847497e-05,9.812308e-05,9.810897e-05,9.776971e-05,9.764220e-05,9.741519e-05,9.717362e-05,9.705983e-05,9.670389e-05,9.623365e-05,9.576347e-05,9.529387e-05,9.482536e-05,9.435837e-05,9.389333e-05,9.343061e-05,9.297055e-05,9.251347e-05,9.205967e-05,9.160940e-05,9.116290e-05,9.072039e-05,9.028206e-05,8.984809e-05,8.941863e-05,8.899382e-05,8.857378e-05,8.815862e-05,8.774844e-05,8.734331e-05,8.694330e-05,8.654848e-05,8.615889e-05
0.000000e+00,1.069968e-10,4.019950e-10,2.808211e-09,9.964995e-09,1.766587e-08,5.965294e-08,6.229378e-08,1.606934e-07,2.016803e-07,3.414061e-07,5.024515e-07,6.361736e-07,1.036855e-06,1.078442e-06,1.699976e-06,1.878776e-06,2.525435e-06,3.082360e-06,3.568579e-06,4.669243e-06,4.832452e-06,6.311870e-06,6.632740e-06,7.995968e-06,8.947808e-06,9.869975e-06,1.157807e-05,1.191626e-05,1.411498e-05,1.447950e-05,1.644457e-05,1.760261e-05,1.888228e-05,2.089454e-05,2.140466e-05,2.398817e-05,2.430119e-05,2.660972e-05,2.776951e-05,2.924721e-05,3.124959e-05,3.187998e-05,3.448911e-05,3.469629e-05,3.705770e-05,3.807041e-05,3.957100e-05,4.133920e-05,4.201644e-05,4.438359e-05,4.447653e-05,4.666410e-05,4.746257e-05,4.885149e-05,5.028325e-05,5.094104e-05,5.292960e-05,5.481534e-05,5.539693e-05,5.659762e-05,5.768411e-05,5.827679e-05,5.979286e-05,5.985401e-05,6.133112e-05,6.172709e-05,6.271051e-05,6.349239e-05,6.399498e-05,6.509554e-05,6.518766e-05,6.629189e-05,6.654413e-05,6.731119e-05,6.784624e-05,6.824916e-05,6.901022e-05,6.910947e-05,6.989577e-05,7.004447e-05,7.061167e-05,7.095731e-05,7.126075e-05,7.175690e-05,7.184651e-05,7.237234e-05,7.245114e-05,7.284156e-05,7.304762e-05,7.325736e-05,7.355360e-05,7.362281e-05,7.394086e-05,7.397598e-05,7.421435e-05,7.432127e-05,7.444599e-05,7.459564e-05,7.463836e-05,7.479395e-05,7.480488e-05,7.491510e-05,7.495443e-05,7.500406e-05,7.504937e-05,7.506294e-05,7.509379e-05,7.509446e-05,7.509850e-05,7.509416e-05,7.507891e-05,7.505258e-05,7.503673e-05,7.497360e-05,7.489105e-05,7.486078e-05,7.479055e-05,7.471745e-05,7.467347e-05,7.454669e-05,7.454112e-05,7.439473e-05,7.435138e-05,7.423544e-05,7.413414e-05,7.406435e-05,7.389742e-05,7.388250e-05,7.369084e-05,7.364349e-05,7.349030e-05,7.337443e-05,7.328172e-05,7.309217e-05,7.306592e-05,7.284364e-05,7.279847e-05,7.261560e-05,7.249497e-05,7.238247e-05,7.218315e-05,7.214486e-05,7.190337e-05,7.186441e-05,7.165854e-05,7.153999e-05,7.141089e-05,7.121105e-05,7.116089e-05,7.090899e-05,7.087865e-05,7.065561e-05,7.054376e-05,7.040114e-05,7.020724e-05,7.014594e-05,6.989036e-05,6.986990e-05,6.963469e-05,6.953247e-05,6.937924e-05,6.919561e-05,6.912428e-05,6.887005e-05,6.885990e-05,6.861679e-05,6.852590e-05,6.836471e-05,6.819408e-05,6.811401e-05,6.786487e-05,6.753868e-05,6.721584e-05,6.689667e-05,6.658144e-05,6.627038e-05,6.596370e-05,6.566159e-05,6.536420e-05,6.507165e-05,6.478407e-05,6.450153e-05,6.422411e-05,6.395187e-05,6.368484e-05,6.342305e-05,6.316651e-05,6.291523e-05,6.266920e-05,6.242840e-05,6.219280e-05,6.196237e-05,6.173707e-05,6.151686e-05,6.130168e-05
0.000000e+00,3.070537e-09,7.041256e-09,2.422810e-08,5.509650e-08,8.035664e-08,1.822350e-07,1.877197e-07,3.630834e-07,4.268112e-07,6.246853e-07,8.311770e-07,9.920308e-07,1.438078e-06,1.482029e-06,2.100288e-06,2.266879e-06,2.836591e-06,3.293688e-06,3.672655e-06,4.476981e-06,4.591032e-06,5.577372e-06,5.781698e-06,6.619462e-06,7.179650e-06,7.706134e-06,8.645581e-06,8.826726e-06,9.970939e-06,1.015554e-05,1.112891e-05,1.168689e-05,1.229140e-05,1.321890e-05,1.344990e-05,1.459681e-05,1.473333e-05,1.572549e-05,1.621485e-05,1.683030e-05,1.765107e-05,1.790655e-05,1.895050e-05,1.903253e-05,1.995926e-05,2.035241e-05,2.093069e-05,2.160617e-05,2.186333e-05,2.275631e-05,2.279120e-05,2.360922e-05,2.390645e-05,2.442206e-05,2.495206e-05,2.519516e-05,2.592912e-05,2.662475e-05,2.683940e-05,2.728300e-05,2.768517e-05,2.790497e-05,2.846901e-05,2.849182e-05,2.904479e-05,2.919372e-05,2.956513e-05,2.986220e-05,3.005412e-05,3.047741e-05,3.051305e-05,3.094319e-05,3.104228e-05,3.134580e-05,3.155969e-05,3.172211e-05,3.203245e-05,3.207331e-05,3.240058e-05,3.246326e-05,3.270503e-05,3.285469e-05,3.298776e-05,3.320924e-05,3.324982e-05,3.349223e-05,3.352925e-05,3.371595e-05,3.381698e-05,3.392192e-05,3.407452e-05,3.411103e-05,3.428414e-05,3.430388e-05,3.444207e-05,3.450695e-05,3.458559e-05,3.468550e-05,3.471547e-05,3.483240e-05,3.484122e-05,3.493708e-05,3.497567e-05,3.503015e-05,3.509032e-05,3.511224e-05,3.518392e-05,3.518658e-05,3.524578e-05,3.526574e-05,3.529834e-05,3.532903e-05,3.534211e-05,3.537758e-05,3.540522e-05,3.541248e-05,3.542545e-05,3.543472e-05,3.543871e-05,3.544525e-05,3.544539e-05,3.544588e-05,3.544495e-05,3.544052e-05,3.543464e-05,3.542966e-05,3.541510e-05,3.541364e-05,3.539275e-05,3.538705e-05,3.536730e-05,3.535116e-05,3.533756e-05,3.530806e-05,3.530380e-05,3.526628e-05,3.525834e-05,3.522522e-05,3.520256e-05,3.518087e-05,3.514123e-05,3.513344e-05,3.508313e-05,3.507483e-05,3.503014e-05,3.500380e-05,3.497465e-05,3.492858e-05,3.491684e-05,3.485689e-05,3.484955e-05,3.479493e-05,3.476708e-05,3.473114e-05,3.468151e-05,3.466565e-05,3.459859e-05,3.459316e-05,3.453010e-05,3.450233e-05,3.446029e-05,3.440929e-05,3.438929e-05,3.431720e-05,3.431430e-05,3.424413e-05,3.421760e-05,3.417017e-05,3.411943e-05,3.409543e-05,3.401998e-05,3.391945e-05,3.381803e-05,3.371588e-05,3.361315e-05,3.351001e-05,3.340657e-05,3.330297e-05,3.319932e-05,3.309573e-05,3.299230e-05,3.288912e-05,3.278628e-05,3.268386e-05,3.258193e-05,3.248055e-05,3.237980e-05,3.227972e-05,3.218036e-05,3.208179e-05,3.198402e-05,3.188712e-05,3.179111e-05,3.169603e-05,3.160189e-05
0.000000e+00,6.472150e-09,1.661664e-08,6.464359e-08,1.558699e-07,2.323868e-07,5.477639e-07,5.649158e-07,1.117385e-06,1.319230e-06,1.947166e-06,2.602982e-06,3.113957e-06,4.534000e-06,4.674432e-06,6.667250e-06,7.210883e-06,9.092666e-06,1.062512e-05,1.190775e-05,1.465517e-05,1.504669e-05,1.844357e-05,1.914869e-05,2.204109e-05,2.397456e-05,2.579022e-05,2.902491e-05,2.964775e-05,3.357473e-05,3.420708e-05,3.753573e-05,3.943956e-05,4.149874e-05,4.465133e-05,4.543527e-05,4.932039e-05,4.978210e-05,5.313281e-05,5.478254e-05,5.685475e-05,5.961389e-05,6.047174e-05,6.397238e-05,6.424713e-05,6.734795e-05,6.866166e-05,7.059212e-05,7.284416e-05,7.370072e-05,7.667117e-05,7.678709e-05,7.950235e-05,8.048748e-05,8.219441e-05,8.394605e-05,8.474841e-05,8.716621e-05,8.945030e-05,9.015343e-05,9.160362e-05,9.291465e-05,9.362951e-05,9.545784e-05,9.553159e-05,9.731365e-05,9.779166e-05,9.897964e-05,9.992517e-05,1.005335e-04,1.018676e-04,1.019794e-04,1.033214e-04,1.036284e-04,1.045633e-04,1.052167e-04,1.057094e-04,1.066417e-04,1.067635e-04,1.077294e-04,1.079124e-04,1.086110e-04,1.090373e-04,1.094120e-04,1.100251e-04,1.101359e-04,1.107863e-04,1.108838e-04,1.113667e-04,1.116213e-04,1.118802e-04,1.122450e-04,1.123301e-04,1.127195e-04,1.127623e-04,1.130514e-04,1.131799e-04,1.133286e-04,1.135045e-04,1.135540e-04,1.137303e-04,1.137424e-04,1.138600e-04,1.138994e-04,1.139456e-04,1.139813e-04,1.139896e-04,1.139941e-04,1.139935e-04,1.139615e-04,1.139411e-04,1.138938e-04,1.138288e-04,1.137931e-04,1.136612e-04,1.135002e-04,1.134428e-04,1.133117e-04,1.131775e-04,1.130975e-04,1.128692e-04,1.128592e-04,1.125984e-04,1.125215e-04,1.123165e-04,1.121379e-04,1.120150e-04,1.117215e-04,1.116953e-04,1.113586e-04,1.112754e-04,1.110062e-04,1.108024e-04,1.106393e-04,1.103053e-04,1.102589e-04,1.098663e-04,1.097863e-04,1.094623e-04,1.092481e-04,1.090479e-04,1.086926e-04,1.086242e-04,1.081919e-04,1.081220e-04,1.077518e-04,1.075381e-04,1.073049e-04,1.069429e-04,1.068518e-04,1.063932e-04,1.063378e-04,1.059298e-04,1.057246e-04,1.054623e-04,1.051045e-04,1.049912e-04,1.045171e-04,1.044791e-04,1.040406e-04,1.038494e-04,1.035622e-04,1.032168e-04,1.030823e-04,1.026014e-04,1.025822e-04,1.021200e-04,1.019466e-04,1.016384e-04,1.013110e-04,1.011570e-04,1.006762e-04,1.000430e-04,9.941207e-05,9.878409e-05,9.815967e-05,9.753934e-05,9.692361e-05,9.631293e-05,9.570772e-05,9.510833e-05,9.451511e-05,9.392835e-05,9.334832e-05,9.277525e-05,9.220935e-05,9.165080e-05,9.109975e-05,9.055634e-05,9.002067e-05,8.949283e-05,8.897290e-05,8.846094e-05,8.795698e-05,8.746105e-05,8.697316e-05
0.000000e+00,1.544282e-09,3.573758e-09,1.244241e-08,2.853998e-08,4.183057e-08,9.632941e-08,9.930119e-08,1.961717e-07,2.322062e-07,3.465655e-07,4.692344e-07,5.665575e-07,8.410251e-07,8.682613e-07,1.251984e-06,1.355285e-06,1.707958e-06,1.990501e-06,2.224725e-06,2.722551e-06,2.793275e-06,3.406981e-06,3.534663e-06,4.060562e-06,4.414604e-06,4.749286e-06,5.351583e-06,5.468517e-06,6.213517e-06,6.334784e-06,6.979409e-06,7.352994e-06,7.761201e-06,8.394710e-06,8.553876e-06,9.352488e-06,9.448491e-06,1.015226e-05,1.050335e-05,1.094866e-05,1.154907e-05,1.173749e-05,1.251494e-05,1.257654e-05,1.327764e-05,1.357792e-05,1.402265e-05,1.454668e-05,1.474746e-05,1.544998e-05,1.547759e-05,1.612853e-05,1.636667e-05,1.678178e-05,1.721104e-05,1.740878e-05,1.800884e-05,1.858158e-05,1.875905e-05,1.912683e-05,1.946138e-05,1.964465e-05,2.011616e-05,2.013527e-05,2.059899e-05,2.072407e-05,2.103628e-05,2.128622e-05,2.144775e-05,2.180404e-05,2.183403e-05,2.219582e-05,2.227909e-05,2.253389e-05,2.271313e-05,2.284901e-05,2.310798e-05,2.314200e-05,2.341367e-05,2.346552e-05,2.366484e-05,2.378763e-05,2.389634e-05,2.407620e-05,2.410898e-05,2.430357e-05,2.433309e-05,2.448090e-05,2.456011e-05,2.464174e-05,2.475905e-05,2.478685e-05,2.491695e-05,2.493159e-05,2.503277e-05,2.507939e-05,2.513500e-05,2.520402e-05,2.522430e-05,2.530133e-05,2.530698e-05,2.536670e-05,2.538971e-05,2.542101e-05,2.545359e-05,2.546484e-05,2.549874e-05,2.549990e-05,2.552326e-05,2.552988e-05,2.553890e-05,2.554471e-05,2.554614e-05,2.554547e-05,2.553733e-05,2.553322e-05,2.552216e-05,2.550894e-05,2.550035e-05,2.547356e-05,2.547232e-05,2.543843e-05,2.542795e-05,2.539905e-05,2.537293e-05,2.535452e-05,2.530928e-05,2.530517e-05,2.525130e-05,2.523774e-05,2.519322e-05,2.515897e-05,2.513122e-05,2.507362e-05,2.506556e-05,2.499650e-05,2.498230e-05,2.492428e-05,2.488556e-05,2.484915e-05,2.478394e-05,2.477132e-05,2.469100e-05,2.467793e-05,2.460840e-05,2.456799e-05,2.452370e-05,2.445455e-05,2.443708e-05,2.434873e-05,2.433802e-05,2.425880e-05,2.421877e-05,2.416744e-05,2.409715e-05,2.407481e-05,2.398104e-05,2.397349e-05,2.388626e-05,2.384810e-05,2.379061e-05,2.372125e-05,2.369419e-05,2.359711e-05,2.359322e-05,2.349949e-05,2.346424e-05,2.340143e-05,2.333454e-05,2.330301e-05,2.320433e-05,2.307380e-05,2.294314e-05,2.281252e-05,2.268207e-05,2.255196e-05,2.242229e-05,2.229320e-05,2.216480e-05,2.203717e-05,2.191042e-05,2.178462e-05,2.165986e-05,2.153619e-05,2.141368e-05,2.129239e-05,2.117236e-05,2.105364e-05,2.093626e-05,2.082027e-05,2.070569e-05,2.059254e-05,2.048085e-05,2.037063e-05,2.026191e-05
0.000000e+00,3.816118e-11,1.455804e-10,1.049321e-09,3.831186e-09,6.900197e-09,2.430523e-08,2.542638e-08,6.864013e-08,8.729033e-08,1.530279e-07,2.321689e-07,3.001532e-07,5.137992e-07,5.367044e-07,8.916834e-07,9.974141e-07,1.389377e-06,1.735591e-06,2.042028e-06,2.743126e-06,2.847470e-06,3.791706e-06,3.995404e-06,4.853300e-06,5.443505e-06,6.007394e-06,7.029681e-06,7.228551e-06,8.492512e-06,8.697203e-06,9.777124e-06,1.039521e-05,1.106277e-05,1.208054e-05,1.233248e-05,1.357189e-05,1.371800e-05,1.476918e-05,1.528012e-05,1.591486e-05,1.674649e-05,1.700163e-05,1.802419e-05,1.810310e-05,1.897903e-05,1.934153e-05,1.986423e-05,2.045810e-05,2.067924e-05,2.142468e-05,2.145307e-05,2.210209e-05,2.232973e-05,2.271381e-05,2.309371e-05,2.326273e-05,2.375217e-05,2.418572e-05,2.431326e-05,2.456713e-05,2.478562e-05,2.490019e-05,2.517795e-05,2.518868e-05,2.543627e-05,2.549876e-05,2.564650e-05,2.575610e-05,2.582271e-05,2.595751e-05,2.596808e-05,2.608554e-05,2.610989e-05,2.617782e-05,2.621945e-05,2.624744e-05,2.629178e-05,2.629668e-05,2.632765e-05,2.633183e-05,2.634225e-05,2.634395e-05,2.634220e-05,2.633198e-05,2.632905e-05,2.630420e-05,2.629922e-05,2.626890e-05,2.624858e-05,2.622429e-05,2.618258e-05,2.617138e-05,2.611107e-05,2.610338e-05,2.604419e-05,2.601287e-05,2.597146e-05,2.591269e-05,2.589355e-05,2.581104e-05,2.580425e-05,2.572446e-05,2.568879e-05,2.563429e-05,2.556738e-05,2.554096e-05,2.544485e-05,2.544096e-05,2.534633e-05,2.531033e-05,2.524570e-05,2.517622e-05,2.514326e-05,2.503925e-05,2.493394e-05,2.489999e-05,2.482752e-05,2.475892e-05,2.472019e-05,2.461647e-05,2.461213e-05,2.450351e-05,2.447302e-05,2.439448e-05,2.432892e-05,2.428517e-05,2.418446e-05,2.417570e-05,2.406619e-05,2.403992e-05,2.395676e-05,2.389554e-05,2.384748e-05,2.375152e-05,2.373846e-05,2.362977e-05,2.360807e-05,2.352148e-05,2.346536e-05,2.341367e-05,2.332352e-05,2.330640e-05,2.319972e-05,2.318271e-05,2.309369e-05,2.304304e-05,2.298836e-05,2.290462e-05,2.288376e-05,2.277995e-05,2.276754e-05,2.267695e-05,2.263190e-05,2.257480e-05,2.249775e-05,2.247353e-05,2.237317e-05,2.236518e-05,2.227373e-05,2.223422e-05,2.217525e-05,2.210495e-05,2.207774e-05,2.198122e-05,2.197738e-05,2.188571e-05,2.185157e-05,2.179121e-05,2.172754e-05,2.169775e-05,2.160532e-05,2.148493e-05,2.136638e-05,2.124968e-05,2.113485e-05,2.102189e-05,2.091079e-05,2.080157e-05,2.069421e-05,2.058871e-05,2.048506e-05,2.038326e-05,2.028328e-05,2.018512e-05,2.008877e-05,1.999420e-05,1.990140e-05,1.981035e-05,1.972104e-05,1.963344e-05,1.954753e-05,1.946330e-05,1.938071e-05,1.929975e-05,1.922040e-05
0.000000e+00,1.354384e-09,3.510368e-09,1.373659e-08,3.304743e-08,4.912428e-08,1.144468e-07,1.179618e-07,2.295179e-07,2.695769e-07,3.922630e-07,5.178027e-07,6.141388e-07,8.769163e-07,9.026088e-07,1.264298e-06,1.362585e-06,1.703910e-06,1.984656e-06,2.222240e-06,2.739473e-06,2.814035e-06,3.467777e-06,3.604650e-06,4.168356e-06,4.546059e-06,4.900584e-06,5.530343e-06,5.651200e-06,6.409250e-06,6.530604e-06,7.165747e-06,7.526076e-06,7.913237e-06,8.500519e-06,8.645485e-06,9.357292e-06,9.441122e-06,1.004437e-05,1.033795e-05,1.070330e-05,1.118361e-05,1.133144e-05,1.192686e-05,1.197304e-05,1.248834e-05,1.270325e-05,1.301520e-05,1.337301e-05,1.350730e-05,1.396495e-05,1.398255e-05,1.438879e-05,1.453326e-05,1.477975e-05,1.502742e-05,1.513901e-05,1.546790e-05,1.576784e-05,1.585796e-05,1.604036e-05,1.620110e-05,1.628701e-05,1.650088e-05,1.650932e-05,1.670885e-05,1.676083e-05,1.688708e-05,1.698440e-05,1.704546e-05,1.717484e-05,1.718539e-05,1.730819e-05,1.733525e-05,1.741512e-05,1.746851e-05,1.750736e-05,1.757726e-05,1.758602e-05,1.765215e-05,1.766396e-05,1.770672e-05,1.773084e-05,1.775065e-05,1.777993e-05,1.778476e-05,1.780985e-05,1.781307e-05,1.782664e-05,1.783195e-05,1.783581e-05,1.783808e-05,1.783798e-05,1.783373e-05,1.783281e-05,1.782359e-05,1.781739e-05,1.780805e-05,1.779292e-05,1.778758e-05,1.776258e-05,1.776040e-05,1.773345e-05,1.772073e-05,1.770055e-05,1.767472e-05,1.766422e-05,1.762475e-05,1.762311e-05,1.758243e-05,1.756655e-05,1.753753e-05,1.750564e-05,1.749028e-05,1.744092e-05,1.738964e-05,1.737286e-05,1.733665e-05,1.730191e-05,1.728211e-05,1.722845e-05,1.722619e-05,1.716905e-05,1.715285e-05,1.711082e-05,1.707542e-05,1.705164e-05,1.699646e-05,1.699163e-05,1.693089e-05,1.691622e-05,1.686954e-05,1.683495e-05,1.680767e-05,1.675287e-05,1.674537e-05,1.668272e-05,1.667015e-05,1.661980e-05,1.658699e-05,1.655667e-05,1.650354e-05,1.649342e-05,1.643009e-05,1.641995e-05,1.636674e-05,1.633634e-05,1.630342e-05,1.625283e-05,1.624019e-05,1.617709e-05,1.616953e-05,1.611416e-05,1.608654e-05,1.605144e-05,1.600393e-05,1.598896e-05,1.592676e-05,1.592180e-05,1.586487e-05,1.584020e-05,1.580331e-05,1.575921e-05,1.574211e-05,1.568130e-05,1.567888e-05,1.562089e-05,1.559925e-05,1.556091e-05,1.552038e-05,1.550137e-05,1.544230e-05,1.536505e-05,1.528866e-05,1.521316e-05,1.513857e-05,1.506491e-05,1.499220e-05,1.492046e-05,1.484969e-05,1.477991e-05,1.471113e-05,1.464334e-05,1.457657e-05,1.451080e-05,1.444604e-05,1.438228e-05,1.431954e-05,1.425780e-05,1.419707e-05,1.413733e-05,1.407858e-05,1.402082e-05,1.396403e-05,1.390822e-05,1.385337e-05
0.000000e+00,3.410014e-10,1.171820e-09,6.912514e-09,2.140872e-08,3.547027e-08,1.028216e-07,1.067795e-07,2.443244e-07,2.982995e-07,4.753521e-07,6.718813e-07,8.313896e-07,1.295388e-06,1.342493e-06,2.024923e-06,2.214246e-06,2.876375e-06,3.422446e-06,3.884294e-06,4.889892e-06,5.035152e-06,6.317913e-06,6.589492e-06,7.723735e-06,8.500756e-06,9.244672e-06,1.060530e-05,1.087260e-05,1.259864e-05,1.288326e-05,1.441286e-05,1.531183e-05,1.630432e-05,1.786520e-05,1.826123e-05,2.027114e-05,2.051528e-05,2.232123e-05,2.323267e-05,2.439861e-05,2.598789e-05,2.649065e-05,2.858515e-05,2.875246e-05,3.067058e-05,3.149979e-05,3.273625e-05,3.420581e-05,3.477245e-05,3.677047e-05,3.684948e-05,3.872267e-05,3.941296e-05,4.062252e-05,4.188166e-05,4.246450e-05,4.424412e-05,4.595782e-05,4.649183e-05,4.760293e-05,4.861889e-05,4.917754e-05,5.062173e-05,5.068046e-05,5.211115e-05,5.249878e-05,5.346957e-05,5.425011e-05,5.475618e-05,5.587717e-05,5.597183e-05,5.711770e-05,5.738249e-05,5.819525e-05,5.876945e-05,5.920615e-05,6.004207e-05,6.015224e-05,6.103552e-05,6.120482e-05,6.185807e-05,6.226250e-05,6.262202e-05,6.322007e-05,6.332958e-05,6.398295e-05,6.408261e-05,6.458434e-05,6.485520e-05,6.513595e-05,6.554286e-05,6.563995e-05,6.609847e-05,6.615054e-05,6.651360e-05,6.668304e-05,6.688738e-05,6.714501e-05,6.722178e-05,6.751874e-05,6.754094e-05,6.778010e-05,6.787509e-05,6.800767e-05,6.815158e-05,6.820318e-05,6.836830e-05,6.837430e-05,6.850463e-05,6.854696e-05,6.861372e-05,6.867309e-05,6.869703e-05,6.875599e-05,6.879196e-05,6.879883e-05,6.880623e-05,6.880455e-05,6.880004e-05,6.877595e-05,6.877458e-05,6.873097e-05,6.871566e-05,6.867031e-05,6.862615e-05,6.859362e-05,6.850975e-05,6.850188e-05,6.839603e-05,6.836863e-05,6.827697e-05,6.820484e-05,6.814554e-05,6.802029e-05,6.800255e-05,6.784877e-05,6.781678e-05,6.768493e-05,6.759600e-05,6.751174e-05,6.735951e-05,6.732984e-05,6.713988e-05,6.710878e-05,6.694245e-05,6.684519e-05,6.673811e-05,6.657003e-05,6.652740e-05,6.631084e-05,6.628448e-05,6.608891e-05,6.598968e-05,6.586207e-05,6.568665e-05,6.563075e-05,6.539537e-05,6.537638e-05,6.515632e-05,6.505976e-05,6.491397e-05,6.473764e-05,6.466868e-05,6.442076e-05,6.441080e-05,6.417055e-05,6.407996e-05,6.391832e-05,6.374581e-05,6.366437e-05,6.340897e-05,6.307001e-05,6.272949e-05,6.238789e-05,6.204567e-05,6.170327e-05,6.136108e-05,6.101945e-05,6.067871e-05,6.033919e-05,6.000115e-05,5.966486e-05,5.933054e-05,5.899842e-05,5.866868e-05,5.834151e-05,5.801707e-05,5.769550e-05,5.737694e-05,5.706149e-05,5.674927e-05,5.644037e-05,5.613486e-05,5.583282e-05,5.553432e-05
0.000000e+00,3.627926e-11,1.377389e-10,9.837030e-10,3.564618e-09,6.395684e-09,2.233068e-08,2.335307e-08,6.257046e-08,7.941090e-08,1.383993e-07,2.085446e-07,2.679409e-07,4.493053e-07,4.683021e-07,7.538807e-07,8.363790e-07,1.135559e-06,1.394292e-06,1.621148e-06,2.138749e-06,2.216036e-06,2.923629e-06,3.078845e-06,3.745551e-06,4.218171e-06,4.681711e-06,5.555105e-06,5.730315e-06,6.887903e-06,7.082915e-06,8.149435e-06,8.790041e-06,9.508442e-06,1.066070e-05,1.095724e-05,1.248716e-05,1.267576e-05,1.408884e-05,1.481381e-05,1.575252e-05,1.705226e-05,1.746825e-05,1.922619e-05,1.936836e-05,2.101676e-05,2.174007e-05,2.283086e-05,2.414676e-05,2.465994e-05,2.649612e-05,2.656961e-05,2.833223e-05,2.899195e-05,3.016184e-05,3.139932e-05,3.197924e-05,3.377945e-05,3.555812e-05,3.612213e-05,3.731157e-05,3.841908e-05,3.903668e-05,4.066371e-05,4.073085e-05,4.239194e-05,4.285088e-05,4.401824e-05,4.497674e-05,4.560840e-05,4.703853e-05,4.716138e-05,4.867645e-05,4.903436e-05,5.015307e-05,5.096307e-05,5.159095e-05,5.282413e-05,5.298995e-05,5.435010e-05,5.461748e-05,5.567154e-05,5.634347e-05,5.695451e-05,5.800274e-05,5.819937e-05,5.940653e-05,5.959621e-05,6.057647e-05,6.112497e-05,6.170971e-05,6.259027e-05,6.280683e-05,6.386845e-05,6.399349e-05,6.489519e-05,6.533607e-05,6.588771e-05,6.661955e-05,6.684668e-05,6.777280e-05,6.784549e-05,6.866676e-05,6.901549e-05,6.952926e-05,7.013117e-05,7.036100e-05,7.116269e-05,7.119414e-05,7.193504e-05,7.220604e-05,7.267875e-05,7.316847e-05,7.339452e-05,7.408304e-05,7.474500e-05,7.495133e-05,7.538108e-05,7.577489e-05,7.599194e-05,7.655527e-05,7.657826e-05,7.714068e-05,7.729397e-05,7.767986e-05,7.799246e-05,7.819641e-05,7.865220e-05,7.869096e-05,7.916414e-05,7.927458e-05,7.961652e-05,7.986100e-05,8.004871e-05,8.041279e-05,8.046128e-05,8.085480e-05,8.093127e-05,8.122982e-05,8.141770e-05,8.158688e-05,8.187333e-05,8.192652e-05,8.224925e-05,8.229935e-05,8.255558e-05,8.269695e-05,8.284602e-05,8.306724e-05,8.312103e-05,8.338111e-05,8.341134e-05,8.362670e-05,8.373030e-05,8.385827e-05,8.402515e-05,8.407625e-05,8.428107e-05,8.429690e-05,8.447316e-05,8.454651e-05,8.465291e-05,8.477492e-05,8.482073e-05,8.497701e-05,8.498302e-05,8.512212e-05,8.517170e-05,8.525644e-05,8.534179e-05,8.538032e-05,8.549411e-05,8.562944e-05,8.574854e-05,8.585215e-05,8.594097e-05,8.601567e-05,8.607692e-05,8.612534e-05,8.616154e-05,8.618611e-05,8.619961e-05,8.620259e-05,8.619555e-05,8.617902e-05,8.615346e-05,8.611935e-05,8.607713e-05,8.602722e-05,8.597005e-05,8.590600e-05,8.583546e-05,8.575878e-05,8.567633e-05,8.558843e-05,8.549541e-05
0.000000e+00,7.631924e-09,1.751031e-08,6.042503e-08,1.378386e-07,2.013566e-07,4.581172e-07,4.719493e-07,9.138568e-07,1.074133e-06,1.570420e-06,2.086334e-06,2.487324e-06,3.600186e-06,3.710263e-06,5.276471e-06,5.705788e-06,7.201819e-06,8.433874e-06,9.475961e-06,1.174466e-05,1.207219e-05,1.495987e-05,1.556978e-05,1.810990e-05,1.984251e-05,2.149505e-05,2.450094e-05,2.508890e-05,2.886505e-05,2.948437e-05,3.279682e-05,3.473145e-05,3.685734e-05,4.018051e-05,4.101993e-05,4.525850e-05,4.577103e-05,4.954801e-05,5.144539e-05,5.386484e-05,5.715036e-05,5.818709e-05,6.249481e-05,6.283825e-05,6.677009e-05,6.846750e-05,7.099710e-05,7.400286e-05,7.516208e-05,7.925321e-05,7.941517e-05,8.326048e-05,8.468093e-05,8.717564e-05,8.978186e-05,9.099199e-05,9.470432e-05,9.830861e-05,9.943863e-05,1.018017e-04,1.039778e-04,1.051813e-04,1.083180e-04,1.084464e-04,1.115963e-04,1.124576e-04,1.146309e-04,1.163965e-04,1.175507e-04,1.201364e-04,1.203567e-04,1.230501e-04,1.236800e-04,1.256324e-04,1.270306e-04,1.281054e-04,1.301926e-04,1.304709e-04,1.327310e-04,1.331706e-04,1.348881e-04,1.359697e-04,1.369443e-04,1.385953e-04,1.389021e-04,1.407638e-04,1.410529e-04,1.425319e-04,1.433481e-04,1.442090e-04,1.454867e-04,1.457974e-04,1.472997e-04,1.474744e-04,1.487184e-04,1.493168e-04,1.500559e-04,1.510196e-04,1.513147e-04,1.524971e-04,1.525884e-04,1.536056e-04,1.540288e-04,1.546424e-04,1.553459e-04,1.556100e-04,1.565106e-04,1.565452e-04,1.573464e-04,1.576318e-04,1.581195e-04,1.586106e-04,1.588323e-04,1.594866e-04,1.600847e-04,1.602645e-04,1.606284e-04,1.609488e-04,1.611198e-04,1.615441e-04,1.615608e-04,1.619532e-04,1.620546e-04,1.622988e-04,1.624844e-04,1.625994e-04,1.628377e-04,1.628568e-04,1.630726e-04,1.631184e-04,1.632484e-04,1.633300e-04,1.633858e-04,1.634763e-04,1.634865e-04,1.635517e-04,1.635607e-04,1.635832e-04,1.635866e-04,1.635821e-04,1.635571e-04,1.635499e-04,1.634880e-04,1.634754e-04,1.633976e-04,1.633444e-04,1.632799e-04,1.631670e-04,1.631363e-04,1.629677e-04,1.629459e-04,1.627755e-04,1.626837e-04,1.625607e-04,1.623829e-04,1.623243e-04,1.620673e-04,1.620459e-04,1.617909e-04,1.616751e-04,1.614959e-04,1.612725e-04,1.611832e-04,1.608538e-04,1.608403e-04,1.605086e-04,1.603806e-04,1.601483e-04,1.598952e-04,1.597738e-04,1.593859e-04,1.588545e-04,1.583027e-04,1.577321e-04,1.571441e-04,1.565402e-04,1.559218e-04,1.552902e-04,1.546465e-04,1.539921e-04,1.533280e-04,1.526553e-04,1.519749e-04,1.512879e-04,1.505951e-04,1.498974e-04,1.491956e-04,1.484905e-04,1.477828e-04,1.470731e-04,1.463622e-04,1.456506e-04,1.449390e-04,1.442277e-04,1.435175e-04
0.000000e+00,4.297213e-09,9.885881e-09,3.421130e-08,7.823708e-08,1.145120e-07,2.626722e-07,2.707251e-07,5.318213e-07,6.282838e-07,9.322516e-07,1.254947e-06,1.508691e-06,2.214720e-06,2.284113e-06,3.252930e-06,3.511835e-06,4.393373e-06,5.099338e-06,5.685615e-06,6.937057e-06,7.115541e-06,8.672182e-06,8.997819e-06,1.034528e-05,1.125775e-05,1.212398e-05,1.369099e-05,1.399633e-05,1.594922e-05,1.626822e-05,1.796860e-05,1.895725e-05,2.003987e-05,2.172428e-05,2.214820e-05,2.427897e-05,2.453549e-05,2.641806e-05,2.735844e-05,2.855219e-05,3.016325e-05,3.066913e-05,3.275784e-05,3.292342e-05,3.480854e-05,3.561623e-05,3.681274e-05,3.822290e-05,3.876328e-05,4.065422e-05,4.072854e-05,4.248080e-05,4.312187e-05,4.423933e-05,4.539484e-05,4.592710e-05,4.754227e-05,4.908374e-05,4.956136e-05,5.055108e-05,5.145132e-05,5.194442e-05,5.321296e-05,5.326436e-05,5.451189e-05,5.484839e-05,5.568831e-05,5.636068e-05,5.679520e-05,5.775364e-05,5.783432e-05,5.880761e-05,5.903163e-05,5.971710e-05,6.019935e-05,6.056494e-05,6.126175e-05,6.135329e-05,6.208435e-05,6.222388e-05,6.276033e-05,6.309081e-05,6.338345e-05,6.386761e-05,6.395588e-05,6.447977e-05,6.455924e-05,6.495725e-05,6.517056e-05,6.539038e-05,6.570630e-05,6.578117e-05,6.613158e-05,6.617101e-05,6.644353e-05,6.656908e-05,6.671886e-05,6.690471e-05,6.695934e-05,6.716672e-05,6.718192e-05,6.734264e-05,6.740456e-05,6.748871e-05,6.757626e-05,6.760647e-05,6.769741e-05,6.770051e-05,6.776295e-05,6.778059e-05,6.780446e-05,6.781963e-05,6.782325e-05,6.782058e-05,6.779766e-05,6.778623e-05,6.775564e-05,6.771923e-05,6.769562e-05,6.762206e-05,6.761867e-05,6.752580e-05,6.749707e-05,6.741796e-05,6.734647e-05,6.729610e-05,6.717234e-05,6.716108e-05,6.701375e-05,6.697665e-05,6.685491e-05,6.676122e-05,6.668533e-05,6.652779e-05,6.650574e-05,6.631683e-05,6.627799e-05,6.611926e-05,6.601332e-05,6.591368e-05,6.573523e-05,6.570067e-05,6.548082e-05,6.544504e-05,6.525466e-05,6.514401e-05,6.502270e-05,6.483331e-05,6.478546e-05,6.454338e-05,6.451402e-05,6.429691e-05,6.418718e-05,6.404647e-05,6.385374e-05,6.379247e-05,6.353528e-05,6.351458e-05,6.327525e-05,6.317053e-05,6.301274e-05,6.282236e-05,6.274805e-05,6.248150e-05,6.247080e-05,6.221337e-05,6.211651e-05,6.194394e-05,6.176011e-05,6.167346e-05,6.140217e-05,6.104323e-05,6.068378e-05,6.032427e-05,5.996513e-05,5.960674e-05,5.924946e-05,5.889363e-05,5.853953e-05,5.818745e-05,5.783764e-05,5.749032e-05,5.714571e-05,5.680400e-05,5.646535e-05,5.612993e-05,5.579787e-05,5.546928e-05,5.514430e-05,5.482300e-05,5.450547e-05,5.419180e-05,5.388203e-05,5.357623e-05,5.327443e-05
0.000000e+00,1.546944e-09,4.468925e-09,2.011705e-08,5.238296e-08,8.052436e-08,2.011889e-07,2.078913e-07,4.284315e-07,5.107283e-07,7.710586e-07,1.048679e-06,1.268457e-06,1.893299e-06,1.956142e-06,2.866871e-06,3.121201e-06,4.019704e-06,4.770767e-06,5.411562e-06,6.817636e-06,7.021435e-06,8.822169e-06,9.202920e-06,1.078839e-05,1.186888e-05,1.289838e-05,1.476800e-05,1.513325e-05,1.747572e-05,1.785940e-05,1.990937e-05,2.110520e-05,2.241822e-05,2.446895e-05,2.498668e-05,2.759963e-05,2.791548e-05,3.024263e-05,3.141151e-05,3.290202e-05,3.492630e-05,3.556517e-05,3.822052e-05,3.843229e-05,4.085764e-05,4.190527e-05,4.346728e-05,4.532465e-05,4.604140e-05,4.857303e-05,4.867333e-05,5.105630e-05,5.193746e-05,5.348630e-05,5.510620e-05,5.585903e-05,5.817128e-05,6.042056e-05,6.112670e-05,6.260498e-05,6.396834e-05,6.472323e-05,6.669370e-05,6.677446e-05,6.875823e-05,6.930157e-05,7.067442e-05,7.179177e-05,7.252322e-05,7.416495e-05,7.430504e-05,7.602052e-05,7.642245e-05,7.767045e-05,7.856612e-05,7.925576e-05,8.059821e-05,8.077750e-05,8.223679e-05,8.252127e-05,8.363487e-05,8.433809e-05,8.497299e-05,8.605164e-05,8.625247e-05,8.747465e-05,8.766498e-05,8.864091e-05,8.918126e-05,8.975263e-05,9.060368e-05,9.081121e-05,9.181805e-05,9.193546e-05,9.277454e-05,9.317981e-05,9.368208e-05,9.433993e-05,9.454206e-05,9.535583e-05,9.541898e-05,9.612476e-05,9.642008e-05,9.685019e-05,9.734630e-05,9.753344e-05,9.817580e-05,9.820067e-05,9.877857e-05,9.898611e-05,9.934299e-05,9.970553e-05,9.987031e-05,1.003617e-04,1.008184e-04,1.009574e-04,1.012416e-04,1.014953e-04,1.016323e-04,1.019780e-04,1.019918e-04,1.023210e-04,1.024079e-04,1.026210e-04,1.027875e-04,1.028930e-04,1.031192e-04,1.031378e-04,1.033565e-04,1.034052e-04,1.035500e-04,1.036478e-04,1.037194e-04,1.038490e-04,1.038653e-04,1.039889e-04,1.040110e-04,1.040909e-04,1.041357e-04,1.041721e-04,1.042249e-04,1.042335e-04,1.042757e-04,1.042807e-04,1.042995e-04,1.043047e-04,1.043058e-04,1.042986e-04,1.042951e-04,1.042683e-04,1.042640e-04,1.042260e-04,1.042027e-04,1.041689e-04,1.041159e-04,1.040976e-04,1.040127e-04,1.040053e-04,1.039149e-04,1.038722e-04,1.038047e-04,1.037180e-04,1.036827e-04,1.035494e-04,1.035439e-04,1.034055e-04,1.033511e-04,1.032513e-04,1.031409e-04,1.030874e-04,1.029143e-04,1.026725e-04,1.024164e-04,1.021471e-04,1.018655e-04,1.015725e-04,1.012690e-04,1.009557e-04,1.006335e-04,1.003031e-04,9.996521e-05,9.962052e-05,9.926967e-05,9.891327e-05,9.855190e-05,9.818612e-05,9.781645e-05,9.744339e-05,9.706741e-05,9.668897e-05,9.630848e-05,9.592636e-05,9.554299e-05,9.515872e-05,9.477390e-05
0.000000e+00,3.102931e-10,1.114740e-09,7.132579e-09,2.350310e-08,4.010273e-08,1.236593e-07,1.286890e-07,3.069967e-07,3.779535e-07,6.119122e-07,8.721734e-07,1.083582e-06,1.702205e-06,1.765539e-06,2.699854e-06,2.965250e-06,3.914532e-06,4.719262e-06,5.412177e-06,6.948103e-06,7.172120e-06,9.162036e-06,9.584590e-06,1.134796e-05,1.255161e-05,1.369871e-05,1.578022e-05,1.618638e-05,1.878544e-05,1.920999e-05,2.147167e-05,2.278511e-05,2.422159e-05,2.645193e-05,2.701224e-05,2.982130e-05,3.015860e-05,3.262745e-05,3.385601e-05,3.541065e-05,3.749914e-05,3.815250e-05,4.083652e-05,4.104829e-05,4.344830e-05,4.446999e-05,4.597564e-05,4.773731e-05,4.840849e-05,5.073886e-05,5.082986e-05,5.296079e-05,5.373328e-05,5.507011e-05,5.643879e-05,5.706432e-05,5.894232e-05,6.070429e-05,6.124379e-05,6.235145e-05,6.334631e-05,6.388588e-05,6.525545e-05,6.531036e-05,6.662823e-05,6.697864e-05,6.784326e-05,6.852458e-05,6.895948e-05,6.990282e-05,6.998118e-05,7.091272e-05,7.112337e-05,7.175855e-05,7.219643e-05,7.252310e-05,7.313216e-05,7.321076e-05,7.382585e-05,7.394053e-05,7.437255e-05,7.463117e-05,7.485494e-05,7.521330e-05,7.527691e-05,7.564221e-05,7.569564e-05,7.595443e-05,7.608645e-05,7.621698e-05,7.639345e-05,7.643312e-05,7.660593e-05,7.662389e-05,7.673833e-05,7.678450e-05,7.683308e-05,7.688152e-05,7.689280e-05,7.691994e-05,7.692077e-05,7.691683e-05,7.690761e-05,7.688565e-05,7.684697e-05,7.682845e-05,7.674716e-05,7.674343e-05,7.664360e-05,7.660120e-05,7.651948e-05,7.642414e-05,7.637638e-05,7.621582e-05,7.603918e-05,7.597949e-05,7.584780e-05,7.571815e-05,7.564291e-05,7.543457e-05,7.542566e-05,7.519714e-05,7.513127e-05,7.495835e-05,7.481055e-05,7.471026e-05,7.447455e-05,7.445374e-05,7.418962e-05,7.412519e-05,7.391868e-05,7.376425e-05,7.364165e-05,7.339336e-05,7.335920e-05,7.307197e-05,7.301400e-05,7.278054e-05,7.262752e-05,7.248547e-05,7.223517e-05,7.218726e-05,7.188641e-05,7.183806e-05,7.158336e-05,7.143724e-05,7.127852e-05,7.103363e-05,7.097229e-05,7.066502e-05,7.062809e-05,7.035705e-05,7.022140e-05,7.004870e-05,6.981427e-05,6.974025e-05,6.943197e-05,6.940733e-05,6.912412e-05,6.900115e-05,6.881693e-05,6.859628e-05,6.851061e-05,6.820536e-05,6.819317e-05,6.790136e-05,6.779226e-05,6.759879e-05,6.739393e-05,6.729779e-05,6.699852e-05,6.660635e-05,6.621769e-05,6.583278e-05,6.545185e-05,6.507507e-05,6.470264e-05,6.433468e-05,6.397133e-05,6.361269e-05,6.325886e-05,6.290992e-05,6.256593e-05,6.222693e-05,6.189297e-05,6.156407e-05,6.124026e-05,6.092154e-05,6.060792e-05,6.029939e-05,5.999593e-05,5.969752e-05,5.940416e-05,5.911580e-05,5.883240e-05
0.000000e+00,1.466042e-09,3.349266e-09,1.145689e-08,2.591995e-08,3.768561e-08,8.462650e-08,8.713262e-08,1.662748e-07,1.946023e-07,2.812901e-07,3.700128e-07,4.381458e-07,6.241643e-07,6.423548e-07,8.979951e-07,9.671894e-07,1.205933e-06,1.400107e-06,1.562776e-06,1.912268e-06,1.962218e-06,2.397318e-06,2.488040e-06,2.861650e-06,3.112708e-06,3.349407e-06,3.773284e-06,3.855214e-06,4.374006e-06,4.457893e-06,4.900987e-06,5.155514e-06,5.431662e-06,5.856066e-06,5.961891e-06,6.487941e-06,6.550625e-06,7.006523e-06,7.231589e-06,7.514816e-06,7.892772e-06,8.010466e-06,8.491569e-06,8.529382e-06,8.956646e-06,9.137931e-06,9.404600e-06,9.716089e-06,9.834678e-06,1.024643e-05,1.026251e-05,1.063964e-05,1.077666e-05,1.101433e-05,1.125863e-05,1.137069e-05,1.170903e-05,1.202978e-05,1.212879e-05,1.233346e-05,1.251912e-05,1.262064e-05,1.288138e-05,1.289194e-05,1.314798e-05,1.321703e-05,1.338942e-05,1.352755e-05,1.361691e-05,1.381445e-05,1.383111e-05,1.403264e-05,1.407920e-05,1.422214e-05,1.432323e-05,1.440021e-05,1.454791e-05,1.456743e-05,1.472436e-05,1.475456e-05,1.487154e-05,1.494440e-05,1.500950e-05,1.511860e-05,1.513871e-05,1.525964e-05,1.527825e-05,1.537273e-05,1.542436e-05,1.547841e-05,1.555788e-05,1.557707e-05,1.566908e-05,1.567969e-05,1.575481e-05,1.579063e-05,1.583459e-05,1.589144e-05,1.590874e-05,1.597755e-05,1.598284e-05,1.604133e-05,1.606549e-05,1.610033e-05,1.613999e-05,1.615481e-05,1.620501e-05,1.620693e-05,1.625115e-05,1.626681e-05,1.629346e-05,1.632014e-05,1.633213e-05,1.636735e-05,1.639931e-05,1.640888e-05,1.642818e-05,1.644511e-05,1.645413e-05,1.647641e-05,1.647729e-05,1.649782e-05,1.650312e-05,1.651586e-05,1.652554e-05,1.653154e-05,1.654398e-05,1.654497e-05,1.655628e-05,1.655870e-05,1.656558e-05,1.656995e-05,1.657297e-05,1.657797e-05,1.657855e-05,1.658242e-05,1.658299e-05,1.658465e-05,1.658520e-05,1.658535e-05,1.658481e-05,1.658459e-05,1.658245e-05,1.658198e-05,1.657899e-05,1.657689e-05,1.657429e-05,1.656968e-05,1.656842e-05,1.656143e-05,1.656052e-05,1.655339e-05,1.654953e-05,1.654435e-05,1.653684e-05,1.653437e-05,1.652349e-05,1.652258e-05,1.651177e-05,1.650686e-05,1.649925e-05,1.648977e-05,1.648598e-05,1.647200e-05,1.647143e-05,1.645735e-05,1.645192e-05,1.644207e-05,1.643133e-05,1.642619e-05,1.640975e-05,1.638725e-05,1.636390e-05,1.633977e-05,1.631493e-05,1.628944e-05,1.626336e-05,1.623673e-05,1.620961e-05,1.618205e-05,1.615408e-05,1.612576e-05,1.609713e-05,1.606822e-05,1.603906e-05,1.600969e-05,1.598015e-05,1.595045e-05,1.592064e-05,1.589073e-05,1.586075e-05,1.583073e-05,1.580068e-05,1.577063e-05,1.574060e-05
0.000000e+00,1.066216e-09,2.766994e-09,1.081893e-08,2.596315e-08,3.852781e-08,8.931591e-08,9.203962e-08,1.781365e-07,2.089221e-07,3.028836e-07,3.986203e-07,4.718537e-07,6.707551e-07,6.901417e-07,9.620521e-07,1.035642e-06,1.290305e-06,1.498830e-06,1.674705e-06,2.055908e-06,2.110678e-06,2.588841e-06,2.688448e-06,3.096512e-06,3.367711e-06,3.620421e-06,4.064413e-06,4.148852e-06,4.672460e-06,4.755288e-06,5.184159e-06,5.423940e-06,5.678680e-06,6.059292e-06,6.152157e-06,6.601813e-06,6.654073e-06,7.025743e-06,7.203792e-06,7.422756e-06,7.706101e-06,7.792262e-06,8.134176e-06,8.160345e-06,8.448829e-06,8.567198e-06,8.736894e-06,8.928355e-06,8.999307e-06,9.237194e-06,9.246217e-06,9.451826e-06,9.523662e-06,9.644570e-06,9.763851e-06,9.816835e-06,9.970043e-06,1.010560e-05,1.014548e-05,1.022488e-05,1.029329e-05,1.032920e-05,1.041643e-05,1.041981e-05,1.049789e-05,1.051766e-05,1.056455e-05,1.059949e-05,1.062081e-05,1.066422e-05,1.066764e-05,1.070589e-05,1.071389e-05,1.073639e-05,1.075035e-05,1.075985e-05,1.077522e-05,1.077696e-05,1.078833e-05,1.078996e-05,1.079450e-05,1.079584e-05,1.079600e-05,1.079397e-05,1.079327e-05,1.078673e-05,1.078536e-05,1.077676e-05,1.077086e-05,1.076370e-05,1.075124e-05,1.074787e-05,1.072953e-05,1.072717e-05,1.070895e-05,1.069924e-05,1.068636e-05,1.066797e-05,1.066196e-05,1.063596e-05,1.063381e-05,1.060851e-05,1.059717e-05,1.057979e-05,1.055839e-05,1.054992e-05,1.051906e-05,1.051780e-05,1.048730e-05,1.047567e-05,1.045477e-05,1.043226e-05,1.042156e-05,1.038777e-05,1.035347e-05,1.034240e-05,1.031874e-05,1.029633e-05,1.028366e-05,1.024970e-05,1.024828e-05,1.021267e-05,1.020267e-05,1.017688e-05,1.015534e-05,1.014096e-05,1.010783e-05,1.010495e-05,1.006890e-05,1.006024e-05,1.003284e-05,1.001266e-05,9.996810e-06,9.965155e-06,9.960843e-06,9.924968e-06,9.917806e-06,9.889211e-06,9.870673e-06,9.853598e-06,9.823811e-06,9.818151e-06,9.782893e-06,9.777270e-06,9.747841e-06,9.731095e-06,9.713014e-06,9.685326e-06,9.678429e-06,9.644099e-06,9.639997e-06,9.610038e-06,9.595140e-06,9.576259e-06,9.550781e-06,9.542772e-06,9.509587e-06,9.506946e-06,9.476714e-06,9.463653e-06,9.444160e-06,9.420923e-06,9.411933e-06,9.380038e-06,9.378770e-06,9.348483e-06,9.337207e-06,9.317272e-06,9.296247e-06,9.286409e-06,9.255899e-06,9.216170e-06,9.177066e-06,9.138592e-06,9.100752e-06,9.063548e-06,9.026980e-06,8.991049e-06,8.955753e-06,8.921092e-06,8.887062e-06,8.853660e-06,8.820883e-06,8.788725e-06,8.757184e-06,8.726252e-06,8.695924e-06,8.666194e-06,8.637056e-06,8.608502e-06,8.580527e-06,8.553121e-06,8.526279e-06,8.499992e-06,8.474253e-06
0.000000e+00,2.165726e-09,5.748692e-09,2.318089e-08,5.679302e-08,8.516277e-08,2.029367e-07,2.093732e-07,4.182714e-07,4.953439e-07,7.376188e-07,9.944275e-07,1.196834e-06,1.766712e-06,1.823432e-06,2.629024e-06,2.847956e-06,3.600203e-06,4.206039e-06,4.708958e-06,5.776551e-06,5.927874e-06,7.235527e-06,7.506196e-06,8.615451e-06,9.356971e-06,1.005397e-05,1.129853e-05,1.153869e-05,1.305766e-05,1.330308e-05,1.459906e-05,1.534346e-05,1.615121e-05,1.739297e-05,1.770268e-05,1.924250e-05,1.942600e-05,2.076039e-05,2.141886e-05,2.224695e-05,2.335057e-05,2.369378e-05,2.509361e-05,2.520337e-05,2.644033e-05,2.696301e-05,2.772903e-05,2.861878e-05,2.895589e-05,3.011821e-05,3.016333e-05,3.121423e-05,3.159239e-05,3.224312e-05,3.290434e-05,3.320479e-05,3.409982e-05,3.492938e-05,3.518125e-05,3.569504e-05,3.615243e-05,3.639878e-05,3.701817e-05,3.704281e-05,3.762959e-05,3.778398e-05,3.816171e-05,3.845584e-05,3.864182e-05,3.903991e-05,3.907263e-05,3.945684e-05,3.954242e-05,3.979715e-05,3.996952e-05,4.009616e-05,4.032716e-05,4.035643e-05,4.058042e-05,4.062108e-05,4.077050e-05,4.085669e-05,4.092892e-05,4.103912e-05,4.105785e-05,4.115933e-05,4.117315e-05,4.123530e-05,4.126324e-05,4.128758e-05,4.131350e-05,4.131789e-05,4.132783e-05,4.132773e-05,4.131894e-05,4.130942e-05,4.129262e-05,4.126179e-05,4.125021e-05,4.119296e-05,4.118777e-05,4.112203e-05,4.109007e-05,4.103850e-05,4.097114e-05,4.094340e-05,4.083766e-05,4.083322e-05,4.072217e-05,4.067837e-05,4.059776e-05,4.050846e-05,4.046520e-05,4.032519e-05,4.017841e-05,4.013011e-05,4.002547e-05,3.992463e-05,3.986695e-05,3.971003e-05,3.970340e-05,3.953531e-05,3.948750e-05,3.936315e-05,3.925808e-05,3.918735e-05,3.902274e-05,3.900831e-05,3.882642e-05,3.878238e-05,3.864202e-05,3.853778e-05,3.845543e-05,3.828967e-05,3.826696e-05,3.807690e-05,3.803872e-05,3.788549e-05,3.778552e-05,3.769299e-05,3.753061e-05,3.749962e-05,3.730559e-05,3.727450e-05,3.711110e-05,3.701763e-05,3.691632e-05,3.676040e-05,3.672142e-05,3.652656e-05,3.650319e-05,3.633188e-05,3.624631e-05,3.613752e-05,3.599009e-05,3.594359e-05,3.575022e-05,3.573478e-05,3.555751e-05,3.548063e-05,3.536555e-05,3.522786e-05,3.517444e-05,3.498426e-05,3.497667e-05,3.479508e-05,3.472724e-05,3.460698e-05,3.447972e-05,3.442002e-05,3.423425e-05,3.399097e-05,3.374999e-05,3.351139e-05,3.327528e-05,3.304172e-05,3.281077e-05,3.258251e-05,3.235696e-05,3.213418e-05,3.191420e-05,3.169704e-05,3.148272e-05,3.127126e-05,3.106267e-05,3.085695e-05,3.065411e-05,3.045413e-05,3.025703e-05,3.006278e-05,2.987138e-05,2.968280e-05,2.949704e-05,2.931408e-05,2.913389e-05
0.000000e+00,2.309755e-11,8.900719e-11,6.549794e-10,2.435975e-09,4.430901e-09,1.599120e-08,1.674461e-08,4.618806e-08,5.905088e-08,1.047848e-07,1.603006e-07,2.081804e-07,3.588796e-07,3.750230e-07,6.244544e-07,6.985073e-07,9.726915e-07,1.215266e-06,1.430952e-06,1.930050e-06,2.005156e-06,2.696554e-06,2.848727e-06,3.502562e-06,3.965210e-06,4.417537e-06,5.264476e-06,5.433402e-06,6.540162e-06,6.724929e-06,7.726350e-06,8.320285e-06,8.979437e-06,1.002121e-05,1.028622e-05,1.163318e-05,1.179687e-05,1.300685e-05,1.361634e-05,1.439416e-05,1.544993e-05,1.578264e-05,1.716073e-05,1.727020e-05,1.851792e-05,1.905282e-05,1.984489e-05,2.077701e-05,2.113356e-05,2.237715e-05,2.242587e-05,2.357011e-05,2.398632e-05,2.470815e-05,2.544897e-05,2.578807e-05,2.680774e-05,2.776597e-05,2.805954e-05,2.866238e-05,2.920376e-05,2.949730e-05,3.024183e-05,3.027166e-05,3.098690e-05,3.117682e-05,3.164485e-05,3.201299e-05,3.224763e-05,3.275550e-05,3.279761e-05,3.329732e-05,3.341006e-05,3.374937e-05,3.398271e-05,3.415646e-05,3.447961e-05,3.452124e-05,3.484638e-05,3.490688e-05,3.513447e-05,3.527048e-05,3.538803e-05,3.557613e-05,3.560950e-05,3.580120e-05,3.582926e-05,3.596533e-05,3.603495e-05,3.610400e-05,3.619792e-05,3.621917e-05,3.631270e-05,3.632256e-05,3.638634e-05,3.641285e-05,3.644169e-05,3.647246e-05,3.648027e-05,3.650349e-05,3.650472e-05,3.651264e-05,3.651264e-05,3.650894e-05,3.649895e-05,3.649351e-05,3.646736e-05,3.646611e-05,3.643147e-05,3.641633e-05,3.638670e-05,3.635161e-05,3.633387e-05,3.627372e-05,3.620694e-05,3.618428e-05,3.613417e-05,3.608472e-05,3.605598e-05,3.597633e-05,3.597292e-05,3.588547e-05,3.586026e-05,3.579409e-05,3.573755e-05,3.569920e-05,3.560913e-05,3.560119e-05,3.550040e-05,3.547584e-05,3.539717e-05,3.533840e-05,3.529179e-05,3.519750e-05,3.518455e-05,3.507569e-05,3.505374e-05,3.496545e-05,3.490765e-05,3.485405e-05,3.475972e-05,3.474169e-05,3.462855e-05,3.461039e-05,3.451480e-05,3.446003e-05,3.440060e-05,3.430901e-05,3.428609e-05,3.417141e-05,3.415764e-05,3.405667e-05,3.400620e-05,3.394200e-05,3.385495e-05,3.382749e-05,3.371324e-05,3.370411e-05,3.359934e-05,3.355390e-05,3.348588e-05,3.340449e-05,3.337291e-05,3.326053e-05,3.325605e-05,3.314878e-05,3.310872e-05,3.303774e-05,3.296265e-05,3.292744e-05,3.281793e-05,3.267469e-05,3.253300e-05,3.239295e-05,3.225461e-05,3.211804e-05,3.198330e-05,3.185044e-05,3.171948e-05,3.159047e-05,3.146343e-05,3.133839e-05,3.121535e-05,3.109434e-05,3.097537e-05,3.085843e-05,3.074353e-05,3.063067e-05,3.051985e-05,3.041105e-05,3.030427e-05,3.019950e-05,3.009672e-05,2.999592e-05,2.989709e-05
0.000000e+00,6.124924e-09,1.443818e-08,5.126077e-08,1.184695e-07,1.738884e-07,3.988542e-07,4.109973e-07,7.995623e-07,9.406902e-07,1.378138e-06,1.833559e-06,2.188062e-06,3.175205e-06,3.273178e-06,4.675994e-06,5.063878e-06,6.428335e-06,7.566986e-06,8.539716e-06,1.068214e-05,1.099367e-05,1.375643e-05,1.434260e-05,1.678906e-05,1.846022e-05,2.005446e-05,2.295266e-05,2.351911e-05,2.715258e-05,2.774769e-05,3.092656e-05,3.278005e-05,3.481418e-05,3.798877e-05,3.878972e-05,4.282852e-05,4.331630e-05,4.690714e-05,4.870860e-05,5.100349e-05,5.411587e-05,5.509703e-05,5.916895e-05,5.949325e-05,6.320223e-05,6.480126e-05,6.718171e-05,7.000610e-05,7.109412e-05,7.492800e-05,7.507958e-05,7.867362e-05,7.999883e-05,8.232288e-05,8.474593e-05,8.586921e-05,8.930738e-05,9.263340e-05,9.367354e-05,9.584438e-05,9.783810e-05,9.893838e-05,1.017975e-04,1.019143e-04,1.047718e-04,1.055506e-04,1.075110e-04,1.090981e-04,1.101328e-04,1.124422e-04,1.126384e-04,1.150293e-04,1.155862e-04,1.173074e-04,1.185347e-04,1.194749e-04,1.212925e-04,1.215340e-04,1.234872e-04,1.238654e-04,1.253372e-04,1.262593e-04,1.270867e-04,1.284805e-04,1.287384e-04,1.302950e-04,1.305355e-04,1.317595e-04,1.324306e-04,1.331347e-04,1.341724e-04,1.344234e-04,1.356284e-04,1.357675e-04,1.367525e-04,1.372222e-04,1.377985e-04,1.385430e-04,1.387692e-04,1.396671e-04,1.397359e-04,1.404950e-04,1.408071e-04,1.412554e-04,1.417626e-04,1.419509e-04,1.425839e-04,1.426080e-04,1.431569e-04,1.433489e-04,1.436722e-04,1.439908e-04,1.441321e-04,1.445389e-04,1.448947e-04,1.449982e-04,1.452018e-04,1.453736e-04,1.454620e-04,1.456698e-04,1.456776e-04,1.458503e-04,1.458913e-04,1.459822e-04,1.460424e-04,1.460750e-04,1.461274e-04,1.461305e-04,1.461504e-04,1.461500e-04,1.461364e-04,1.461143e-04,1.460901e-04,1.460238e-04,1.460130e-04,1.459068e-04,1.458821e-04,1.457727e-04,1.456925e-04,1.456123e-04,1.454581e-04,1.454269e-04,1.452177e-04,1.451821e-04,1.449861e-04,1.448674e-04,1.447333e-04,1.445166e-04,1.444605e-04,1.441687e-04,1.441325e-04,1.438592e-04,1.437176e-04,1.435328e-04,1.432742e-04,1.431907e-04,1.428338e-04,1.428046e-04,1.424630e-04,1.423110e-04,1.420793e-04,1.417955e-04,1.416835e-04,1.412764e-04,1.412599e-04,1.408589e-04,1.407061e-04,1.404316e-04,1.401359e-04,1.399954e-04,1.395509e-04,1.389527e-04,1.383427e-04,1.377224e-04,1.370930e-04,1.364559e-04,1.358121e-04,1.351627e-04,1.345089e-04,1.338516e-04,1.331916e-04,1.325299e-04,1.318673e-04,1.312044e-04,1.305421e-04,1.298809e-04,1.292215e-04,1.285644e-04,1.279102e-04,1.272594e-04,1.266124e-04,1.259696e-04,1.253314e-04,1.246983e-04,1.240704e-04
0.000000e+00,4.418762e-11,1.683186e-10,1.208806e-09,4.393865e-09,7.888758e-09,2.747114e-08,2.872139e-08,7.613471e-08,9.620374e-08,1.654432e-07,2.462780e-07,3.139548e-07,5.188347e-07,5.402531e-07,8.636416e-07,9.578725e-07,1.303617e-06,1.608049e-06,1.879141e-06,2.511475e-06,2.607432e-06,3.502144e-06,3.701879e-06,4.571217e-06,5.196536e-06,5.815176e-06,6.990078e-06,7.226651e-06,8.791252e-06,9.054541e-06,1.048933e-05,1.134518e-05,1.229803e-05,1.380831e-05,1.419304e-05,1.615014e-05,1.638804e-05,1.814605e-05,1.903091e-05,2.015915e-05,2.168843e-05,2.216979e-05,2.416048e-05,2.431840e-05,2.611594e-05,2.688525e-05,2.802305e-05,2.935995e-05,2.987077e-05,3.165005e-05,3.171969e-05,3.335366e-05,3.394732e-05,3.497606e-05,3.603079e-05,3.651322e-05,3.796250e-05,3.932246e-05,3.973869e-05,4.059269e-05,4.135874e-05,4.177369e-05,4.282466e-05,4.286672e-05,4.387366e-05,4.414049e-05,4.479690e-05,4.531182e-05,4.563924e-05,4.634538e-05,4.640376e-05,4.709378e-05,4.724869e-05,4.771278e-05,4.802971e-05,4.826430e-05,4.869667e-05,4.875193e-05,4.917926e-05,4.925780e-05,4.954983e-05,4.972126e-05,4.986713e-05,5.009496e-05,5.013452e-05,5.035530e-05,5.038651e-05,5.053260e-05,5.060316e-05,5.066946e-05,5.075179e-05,5.076878e-05,5.083331e-05,5.083885e-05,5.086568e-05,5.087037e-05,5.086835e-05,5.085198e-05,5.084369e-05,5.079389e-05,5.078888e-05,5.072105e-05,5.068590e-05,5.062712e-05,5.054748e-05,5.051396e-05,5.038327e-05,5.037770e-05,5.023667e-05,5.018030e-05,5.007569e-05,4.995872e-05,4.990173e-05,4.971610e-05,4.952004e-05,4.945529e-05,4.931469e-05,4.917889e-05,4.910112e-05,4.888927e-05,4.888031e-05,4.865319e-05,4.858859e-05,4.842061e-05,4.827878e-05,4.818337e-05,4.796161e-05,4.794218e-05,4.769774e-05,4.763866e-05,4.745067e-05,4.731138e-05,4.720155e-05,4.698104e-05,4.695090e-05,4.669923e-05,4.664882e-05,4.644699e-05,4.631573e-05,4.619458e-05,4.598272e-05,4.594240e-05,4.569078e-05,4.565059e-05,4.544005e-05,4.532010e-05,4.519049e-05,4.499187e-05,4.494238e-05,4.469594e-05,4.466650e-05,4.445141e-05,4.434447e-05,4.420897e-05,4.402623e-05,4.396880e-05,4.373107e-05,4.371216e-05,4.349590e-05,4.340258e-05,4.326343e-05,4.309779e-05,4.303377e-05,4.280702e-05,4.279801e-05,4.258326e-05,4.250346e-05,4.236257e-05,4.221428e-05,4.214500e-05,4.193062e-05,4.165258e-05,4.138024e-05,4.111365e-05,4.085286e-05,4.059786e-05,4.034868e-05,4.010528e-05,3.986764e-05,3.963573e-05,3.940950e-05,3.918888e-05,3.897381e-05,3.876422e-05,3.856003e-05,3.836115e-05,3.816750e-05,3.797898e-05,3.779551e-05,3.761698e-05,3.744329e-05,3.727435e-05,3.711005e-05,3.695029e-05,3.679497e-05
0.000000e+00,3.370888e-09,7.720528e-09,2.659705e-08,6.074110e-08,8.890819e-08,2.044589e-07,2.107646e-07,4.166076e-07,4.933261e-07,7.373951e-07,1.000530e-06,1.210653e-06,1.811780e-06,1.872177e-06,2.735736e-06,2.971365e-06,3.781056e-06,4.431875e-06,4.970786e-06,6.110461e-06,6.271545e-06,7.659436e-06,7.945893e-06,9.117470e-06,9.898881e-06,1.063238e-05,1.194039e-05,1.219262e-05,1.378729e-05,1.404493e-05,1.540581e-05,1.618811e-05,1.703779e-05,1.834627e-05,1.867314e-05,2.030222e-05,2.049686e-05,2.191605e-05,2.261914e-05,2.350637e-05,2.469471e-05,2.506580e-05,2.658789e-05,2.670787e-05,2.806713e-05,2.864577e-05,2.949893e-05,3.049836e-05,3.087961e-05,3.220632e-05,3.225824e-05,3.347697e-05,3.392039e-05,3.469016e-05,3.548187e-05,3.584508e-05,3.694147e-05,3.797951e-05,3.829944e-05,3.895976e-05,3.955718e-05,3.988308e-05,4.071696e-05,4.075060e-05,4.156367e-05,4.178176e-05,4.232376e-05,4.275505e-05,4.303249e-05,4.364064e-05,4.369158e-05,4.430277e-05,4.444254e-05,4.486788e-05,4.516489e-05,4.538872e-05,4.581189e-05,4.586711e-05,4.630487e-05,4.638770e-05,4.670378e-05,4.689645e-05,4.706561e-05,4.734215e-05,4.739208e-05,4.768487e-05,4.772871e-05,4.794563e-05,4.805988e-05,4.817593e-05,4.833928e-05,4.837732e-05,4.855128e-05,4.857038e-05,4.869926e-05,4.875649e-05,4.882262e-05,4.890074e-05,4.892271e-05,4.900080e-05,4.900614e-05,4.905812e-05,4.907550e-05,4.909585e-05,4.911152e-05,4.911511e-05,4.911699e-05,4.911672e-05,4.910252e-05,4.909349e-05,4.907268e-05,4.904410e-05,4.902842e-05,4.897065e-05,4.890023e-05,4.887516e-05,4.881797e-05,4.875948e-05,4.872466e-05,4.862539e-05,4.862105e-05,4.850785e-05,4.847453e-05,4.838573e-05,4.830845e-05,4.825534e-05,4.812859e-05,4.811728e-05,4.797215e-05,4.793633e-05,4.782049e-05,4.773291e-05,4.766284e-05,4.751953e-05,4.749968e-05,4.733149e-05,4.729728e-05,4.715871e-05,4.706720e-05,4.698179e-05,4.683025e-05,4.680110e-05,4.661705e-05,4.658731e-05,4.642998e-05,4.633921e-05,4.624023e-05,4.608673e-05,4.604814e-05,4.585400e-05,4.583058e-05,4.565810e-05,4.557142e-05,4.546072e-05,4.530987e-05,4.526210e-05,4.506249e-05,4.504648e-05,4.486211e-05,4.478179e-05,4.466118e-05,4.451628e-05,4.445990e-05,4.425845e-05,4.425039e-05,4.405702e-05,4.398453e-05,4.385576e-05,4.371909e-05,4.365484e-05,4.345439e-05,4.319076e-05,4.292849e-05,4.266783e-05,4.240903e-05,4.215230e-05,4.189784e-05,4.164582e-05,4.139640e-05,4.114972e-05,4.090591e-05,4.066508e-05,4.042732e-05,4.019272e-05,3.996135e-05,3.973328e-05,3.950855e-05,3.928721e-05,3.906928e-05,3.885481e-05,3.864380e-05,3.843627e-05,3.823223e-05,3.803167e-05,3.783460e-05
0.000000e+00,2.414240e-11,9.272554e-11,6.782280e-10,2.512167e-09,4.562884e-09,1.646359e-08,1.724126e-08,4.786666e-08,6.138211e-08,1.099897e-07,1.698458e-07,2.219356e-07,3.869738e-07,4.046751e-07,6.772213e-07,7.576396e-07,1.053182e-06,1.311928e-06,1.540097e-06,2.062371e-06,2.140371e-06,2.852552e-06,3.008083e-06,3.672398e-06,4.139253e-06,4.593644e-06,5.440186e-06,5.608496e-06,6.707982e-06,6.891104e-06,7.882217e-06,8.469319e-06,9.120641e-06,1.015021e-05,1.041226e-05,1.174587e-05,1.190819e-05,1.311033e-05,1.371764e-05,1.449476e-05,1.555386e-05,1.588877e-05,1.728262e-05,1.739385e-05,1.866737e-05,1.921689e-05,2.003498e-05,2.100501e-05,2.137832e-05,2.269128e-05,2.274309e-05,2.396866e-05,2.441897e-05,2.520622e-05,2.602325e-05,2.640057e-05,2.754913e-05,2.865003e-05,2.899204e-05,2.970206e-05,3.034939e-05,3.070457e-05,3.162023e-05,3.165739e-05,3.256077e-05,3.280493e-05,3.341530e-05,3.390491e-05,3.422183e-05,3.492240e-05,3.498148e-05,3.569550e-05,3.586023e-05,3.636530e-05,3.672163e-05,3.699238e-05,3.751012e-05,3.757832e-05,3.812470e-05,3.822938e-05,3.863318e-05,3.888314e-05,3.910537e-05,3.947515e-05,3.954289e-05,3.994734e-05,4.000909e-05,4.032029e-05,4.048856e-05,4.066325e-05,4.091702e-05,4.097770e-05,4.126509e-05,4.129782e-05,4.152678e-05,4.163413e-05,4.176412e-05,4.192899e-05,4.197838e-05,4.217078e-05,4.218527e-05,4.234251e-05,4.240566e-05,4.249468e-05,4.259274e-05,4.262837e-05,4.274461e-05,4.274891e-05,4.284436e-05,4.287641e-05,4.292856e-05,4.297738e-05,4.299809e-05,4.305380e-05,4.309649e-05,4.310753e-05,4.312693e-05,4.314030e-05,4.314582e-05,4.315375e-05,4.315387e-05,4.315173e-05,4.314938e-05,4.314001e-05,4.312863e-05,4.311930e-05,4.309280e-05,4.309017e-05,4.305314e-05,4.304313e-05,4.300871e-05,4.298078e-05,4.295737e-05,4.290682e-05,4.289955e-05,4.283570e-05,4.282224e-05,4.276621e-05,4.272798e-05,4.269147e-05,4.262490e-05,4.261185e-05,4.252768e-05,4.251381e-05,4.243930e-05,4.239547e-05,4.234701e-05,4.227056e-05,4.225111e-05,4.215187e-05,4.213975e-05,4.204956e-05,4.200364e-05,4.194442e-05,4.186278e-05,4.183670e-05,4.172660e-05,4.171770e-05,4.161434e-05,4.156888e-05,4.150013e-05,4.141679e-05,4.138414e-05,4.126656e-05,4.126182e-05,4.114755e-05,4.110439e-05,4.102727e-05,4.094483e-05,4.090587e-05,4.078350e-05,4.062069e-05,4.045670e-05,4.029179e-05,4.012620e-05,3.996018e-05,3.979391e-05,3.962761e-05,3.946144e-05,3.929558e-05,3.913018e-05,3.896537e-05,3.880129e-05,3.863804e-05,3.847575e-05,3.831451e-05,3.815441e-05,3.799553e-05,3.783795e-05,3.768173e-05,3.752693e-05,3.737362e-05,3.722184e-05,3.707163e-05,3.692303e-05
0.000000e+00,8.321145e-12,3.184554e-11,2.308011e-10,8.453156e-10,1.523513e-09,5.351905e-09,5.597253e-09,1.493756e-08,1.890305e-08,3.260584e-08,4.861699e-08,6.201895e-08,1.025265e-07,1.067539e-07,1.703902e-07,1.888631e-07,2.563752e-07,3.154850e-07,3.678721e-07,4.892287e-07,5.075496e-07,6.773165e-07,7.149802e-07,8.780837e-07,9.947111e-07,1.109650e-06,1.327064e-06,1.370743e-06,1.659179e-06,1.707681e-06,1.972070e-06,2.129964e-06,2.306033e-06,2.585904e-06,2.657382e-06,3.022280e-06,3.066795e-06,3.396864e-06,3.563767e-06,3.777339e-06,4.068191e-06,4.160061e-06,4.541593e-06,4.571967e-06,4.918756e-06,5.067741e-06,5.288664e-06,5.549052e-06,5.648752e-06,5.996794e-06,6.010437e-06,6.330909e-06,6.447476e-06,6.649564e-06,6.856796e-06,6.951565e-06,7.236037e-06,7.502414e-06,7.583777e-06,7.750401e-06,7.899433e-06,7.979956e-06,8.183146e-06,8.191251e-06,8.384646e-06,8.435656e-06,8.560655e-06,8.658177e-06,8.719917e-06,8.852279e-06,8.863169e-06,8.991217e-06,9.019780e-06,9.104917e-06,9.162650e-06,9.205151e-06,9.282927e-06,9.292812e-06,9.368789e-06,9.382659e-06,9.433951e-06,9.463844e-06,9.489144e-06,9.528397e-06,9.535179e-06,9.572827e-06,9.578121e-06,9.602816e-06,9.614694e-06,9.625833e-06,9.639655e-06,9.642513e-06,9.653451e-06,9.654404e-06,9.659192e-06,9.660202e-06,9.660238e-06,9.658179e-06,9.657051e-06,9.650052e-06,9.649339e-06,9.639622e-06,9.634570e-06,9.626112e-06,9.614656e-06,9.609838e-06,9.591087e-06,9.590289e-06,9.570118e-06,9.562072e-06,9.547167e-06,9.530536e-06,9.522445e-06,9.496144e-06,9.468438e-06,9.459301e-06,9.439483e-06,9.420362e-06,9.409421e-06,9.379639e-06,9.378380e-06,9.346478e-06,9.337405e-06,9.313818e-06,9.293899e-06,9.280496e-06,9.249331e-06,9.246600e-06,9.212208e-06,9.203888e-06,9.177391e-06,9.157733e-06,9.142216e-06,9.111012e-06,9.106742e-06,9.071023e-06,9.063855e-06,9.035110e-06,9.016374e-06,8.999048e-06,8.968672e-06,8.962879e-06,8.926642e-06,8.920840e-06,8.890371e-06,8.872959e-06,8.854100e-06,8.825102e-06,8.817857e-06,8.781671e-06,8.777334e-06,8.745568e-06,8.729714e-06,8.709569e-06,8.682293e-06,8.673697e-06,8.637971e-06,8.635120e-06,8.602409e-06,8.588235e-06,8.567029e-06,8.541675e-06,8.531845e-06,8.496871e-06,8.495476e-06,8.462120e-06,8.449667e-06,8.427605e-06,8.404275e-06,8.393336e-06,8.359324e-06,8.314834e-06,8.270826e-06,8.227315e-06,8.184316e-06,8.141841e-06,8.099901e-06,8.058506e-06,8.017663e-06,7.977378e-06,7.937657e-06,7.898504e-06,7.859923e-06,7.821914e-06,7.784479e-06,7.747620e-06,7.711334e-06,7.675622e-06,7.640481e-06,7.605910e-06,7.571905e-06,7.538463e-06,7.505581e-06,7.473255e-06,7.441480e-06
0.000000e+00,4.684235e-11,1.808767e-10,1.336072e-09,4.982333e-09,9.071798e-09,3.276018e-08,3.430194e-08,9.429161e-08,1.203370e-07,2.122162e-07,3.224614e-07,4.166618e-07,7.098820e-07,7.411210e-07,1.223367e-06,1.367085e-06,1.904234e-06,2.387780e-06,2.825070e-06,3.864025e-06,4.023576e-06,5.529010e-06,5.868680e-06,7.358622e-06,8.439981e-06,9.516430e-06,1.157685e-05,1.199411e-05,1.477308e-05,1.524400e-05,1.782693e-05,1.938120e-05,2.112375e-05,2.391248e-05,2.462821e-05,2.830316e-05,2.875383e-05,3.211097e-05,3.381890e-05,3.601455e-05,3.902327e-05,3.997817e-05,4.396810e-05,4.428747e-05,4.795298e-05,4.953903e-05,5.190424e-05,5.471380e-05,5.579622e-05,5.960631e-05,5.975672e-05,6.331495e-05,6.462195e-05,6.690560e-05,6.927274e-05,7.036456e-05,7.368089e-05,7.684616e-05,7.782608e-05,7.985424e-05,8.169498e-05,8.270110e-05,8.528037e-05,8.538456e-05,8.790405e-05,8.858021e-05,9.026041e-05,9.159672e-05,9.245565e-05,9.433556e-05,9.449280e-05,9.637569e-05,9.680512e-05,9.810881e-05,9.901578e-05,9.969715e-05,1.009794e-04,1.011461e-04,1.024613e-04,1.027089e-04,1.036487e-04,1.042175e-04,1.047141e-04,1.055191e-04,1.056635e-04,1.065029e-04,1.066274e-04,1.072381e-04,1.075558e-04,1.078750e-04,1.083175e-04,1.084191e-04,1.088760e-04,1.089252e-04,1.092509e-04,1.093912e-04,1.095490e-04,1.097271e-04,1.097751e-04,1.099339e-04,1.099439e-04,1.100300e-04,1.100519e-04,1.100677e-04,1.100609e-04,1.100510e-04,1.099838e-04,1.099801e-04,1.098698e-04,1.098180e-04,1.097125e-04,1.095826e-04,1.095153e-04,1.092812e-04,1.090131e-04,1.089207e-04,1.087140e-04,1.085074e-04,1.083863e-04,1.080473e-04,1.080327e-04,1.076554e-04,1.075458e-04,1.072565e-04,1.070078e-04,1.068383e-04,1.064380e-04,1.064025e-04,1.059511e-04,1.058406e-04,1.054856e-04,1.052194e-04,1.050077e-04,1.045781e-04,1.045189e-04,1.040206e-04,1.039199e-04,1.035141e-04,1.032478e-04,1.030005e-04,1.025645e-04,1.024810e-04,1.019567e-04,1.018725e-04,1.014286e-04,1.011740e-04,1.008975e-04,1.004710e-04,1.003643e-04,9.982977e-05,9.976558e-05,9.929469e-05,9.905924e-05,9.875969e-05,9.835354e-05,9.822541e-05,9.769243e-05,9.764986e-05,9.716126e-05,9.694942e-05,9.663241e-05,9.625332e-05,9.610632e-05,9.558340e-05,9.556255e-05,9.506403e-05,9.487799e-05,9.454855e-05,9.420041e-05,9.403727e-05,9.353049e-05,9.286883e-05,9.221597e-05,9.157235e-05,9.093837e-05,9.031435e-05,8.970058e-05,8.909727e-05,8.850462e-05,8.792277e-05,8.735182e-05,8.679185e-05,8.624289e-05,8.570497e-05,8.517807e-05,8.466217e-05,8.415721e-05,8.366312e-05,8.317983e-05,8.270723e-05,8.224521e-05,8.179364e-05,8.135241e-05,8.092136e-05,8.050035e-05
0.000000e+00,3.587465e-09,9.839054e-09,4.148021e-08,1.050198e-07,1.605079e-07,4.061371e-07,4.202175e-07,9.094655e-07,1.103867e-06,1.750991e-06,2.473499e-06,3.051606e-06,4.644777e-06,4.798121e-06,6.859141e-06,7.384514e-06,9.098823e-06,1.039621e-05,1.142828e-05,1.351039e-05,1.379518e-05,1.616630e-05,1.663879e-05,1.851721e-05,1.972487e-05,2.082766e-05,2.272407e-05,2.307982e-05,2.525790e-05,2.559858e-05,2.734837e-05,2.831735e-05,2.934021e-05,3.085688e-05,3.122494e-05,3.299669e-05,3.320152e-05,3.465196e-05,3.534297e-05,3.618944e-05,3.727942e-05,3.760968e-05,3.891473e-05,3.901425e-05,4.010788e-05,4.055472e-05,4.119332e-05,4.191082e-05,4.217587e-05,4.306078e-05,4.309423e-05,4.385356e-05,4.411748e-05,4.455978e-05,4.499340e-05,4.518499e-05,4.573465e-05,4.621402e-05,4.635340e-05,4.662816e-05,4.686121e-05,4.698188e-05,4.726884e-05,4.727974e-05,4.752601e-05,4.758628e-05,4.772473e-05,4.782270e-05,4.787964e-05,4.798648e-05,4.799425e-05,4.807181e-05,4.808526e-05,4.811536e-05,4.812595e-05,4.812772e-05,4.811485e-05,4.811147e-05,4.806904e-05,4.805761e-05,4.800266e-05,4.795936e-05,4.791439e-05,4.782473e-05,4.780614e-05,4.767968e-05,4.765787e-05,4.753664e-05,4.746254e-05,4.737853e-05,4.724212e-05,4.720673e-05,4.702253e-05,4.699965e-05,4.682713e-05,4.673788e-05,4.662161e-05,4.645927e-05,4.640698e-05,4.618419e-05,4.616604e-05,4.595409e-05,4.586019e-05,4.571749e-05,4.554352e-05,4.547511e-05,4.522764e-05,4.521764e-05,4.497570e-05,4.488403e-05,4.471988e-05,4.454397e-05,4.446070e-05,4.419866e-05,4.393422e-05,4.384916e-05,4.366779e-05,4.349642e-05,4.339977e-05,4.314129e-05,4.313050e-05,4.286031e-05,4.278454e-05,4.258952e-05,4.242687e-05,4.231840e-05,4.206890e-05,4.204721e-05,4.177618e-05,4.171118e-05,4.150554e-05,4.135422e-05,4.123547e-05,4.099845e-05,4.096618e-05,4.069782e-05,4.064427e-05,4.043055e-05,4.029205e-05,4.016452e-05,3.994210e-05,3.989985e-05,3.963665e-05,3.959469e-05,3.937505e-05,3.925008e-05,3.911514e-05,3.890849e-05,3.885701e-05,3.860073e-05,3.857011e-05,3.834639e-05,3.823511e-05,3.809405e-05,3.790364e-05,3.784377e-05,3.759560e-05,3.757584e-05,3.734959e-05,3.725180e-05,3.710578e-05,3.693162e-05,3.686421e-05,3.662491e-05,3.661539e-05,3.638792e-05,3.630317e-05,3.615325e-05,3.599501e-05,3.592092e-05,3.569096e-05,3.539105e-05,3.509530e-05,3.480374e-05,3.451636e-05,3.423317e-05,3.395417e-05,3.367934e-05,3.340867e-05,3.314213e-05,3.287972e-05,3.262139e-05,3.236712e-05,3.211687e-05,3.187061e-05,3.162829e-05,3.138988e-05,3.115534e-05,3.092461e-05,3.069766e-05,3.047444e-05,3.025489e-05,3.003898e-05,2.982664e-05,2.961783e-05
0.000000e+00,4.184589e-09,9.582552e-09,3.290855e-08,7.468952e-08,1.087765e-07,2.453239e-07,2.526333e-07,4.841824e-07,5.673427e-07,8.225476e-07,1.084685e-06,1.286548e-06,1.839963e-06,1.894261e-06,2.661101e-06,2.869998e-06,3.595725e-06,4.191872e-06,4.695242e-06,5.787259e-06,5.944324e-06,7.320164e-06,7.608396e-06,8.798639e-06,9.600519e-06,1.035749e-05,1.171447e-05,1.197689e-05,1.363903e-05,1.390784e-05,1.532776e-05,1.614340e-05,1.702830e-05,1.838816e-05,1.872721e-05,2.041245e-05,2.061323e-05,2.207334e-05,2.279399e-05,2.370066e-05,2.491012e-05,2.528660e-05,2.682473e-05,2.694555e-05,2.830990e-05,2.888822e-05,2.973817e-05,3.072964e-05,3.110666e-05,3.241348e-05,3.246445e-05,3.365753e-05,3.408993e-05,3.483844e-05,3.560550e-05,3.595645e-05,3.701226e-05,3.800694e-05,3.831255e-05,3.894192e-05,3.950974e-05,3.981887e-05,4.060786e-05,4.063963e-05,4.140620e-05,4.161140e-05,4.212063e-05,4.252516e-05,4.278507e-05,4.335406e-05,4.340168e-05,4.397261e-05,4.410308e-05,4.450001e-05,4.477714e-05,4.498600e-05,4.538107e-05,4.543265e-05,4.584200e-05,4.591957e-05,4.621601e-05,4.639716e-05,4.655657e-05,4.681812e-05,4.686550e-05,4.714457e-05,4.718656e-05,4.739544e-05,4.750633e-05,4.761976e-05,4.778112e-05,4.781905e-05,4.799481e-05,4.801439e-05,4.814845e-05,4.820939e-05,4.828131e-05,4.836918e-05,4.839467e-05,4.848975e-05,4.849660e-05,4.856770e-05,4.859434e-05,4.862964e-05,4.866490e-05,4.867660e-05,4.870957e-05,4.871061e-05,4.872950e-05,4.873366e-05,4.873728e-05,4.873605e-05,4.873374e-05,4.871969e-05,4.869589e-05,4.868633e-05,4.866304e-05,4.863758e-05,4.862182e-05,4.857497e-05,4.857287e-05,4.851679e-05,4.849989e-05,4.845415e-05,4.841364e-05,4.838549e-05,4.831743e-05,4.831130e-05,4.823207e-05,4.821236e-05,4.814825e-05,4.809946e-05,4.806025e-05,4.797968e-05,4.796848e-05,4.787330e-05,4.785389e-05,4.777508e-05,4.772291e-05,4.767413e-05,4.758746e-05,4.757077e-05,4.746529e-05,4.744824e-05,4.735797e-05,4.730587e-05,4.724904e-05,4.716092e-05,4.713877e-05,4.702736e-05,4.701393e-05,4.691504e-05,4.686537e-05,4.680199e-05,4.671569e-05,4.668839e-05,4.657442e-05,4.656529e-05,4.646024e-05,4.641454e-05,4.634599e-05,4.626376e-05,4.623180e-05,4.611782e-05,4.611327e-05,4.600415e-05,4.596332e-05,4.589090e-05,4.581419e-05,4.577818e-05,4.566607e-05,4.551919e-05,4.537371e-05,4.522979e-05,4.508758e-05,4.494721e-05,4.480878e-05,4.467239e-05,4.453812e-05,4.440605e-05,4.427623e-05,4.414871e-05,4.402354e-05,4.390075e-05,4.378037e-05,4.366241e-05,4.354688e-05,4.343378e-05,4.332313e-05,4.321492e-05,4.310913e-05,4.300575e-05,4.290477e-05,4.280616e-05,4.270991e-05
0.000000e+00,1.263310e-10,4.400317e-10,2.658284e-09,8.370901e-09,1.396590e-08,4.090445e-08,4.248624e-08,9.697921e-08,1.180553e-07,1.859187e-07,2.591967e-07,3.173943e-07,4.825910e-07,4.991604e-07,7.386645e-07,8.055305e-07,1.042935e-06,1.243989e-06,1.418192e-06,1.810866e-06,1.869057e-06,2.397501e-06,2.512433e-06,3.002061e-06,3.345033e-06,3.677952e-06,4.295662e-06,4.418065e-06,5.214228e-06,5.346257e-06,6.058138e-06,6.477818e-06,6.941832e-06,7.672395e-06,7.857840e-06,8.799183e-06,8.913532e-06,9.759336e-06,1.018618e-05,1.073220e-05,1.147658e-05,1.171211e-05,1.269383e-05,1.277230e-05,1.367257e-05,1.406225e-05,1.464401e-05,1.533674e-05,1.560429e-05,1.655004e-05,1.658752e-05,1.747830e-05,1.780771e-05,1.838660e-05,1.899175e-05,1.927284e-05,2.013532e-05,2.097270e-05,2.123518e-05,2.178394e-05,2.228906e-05,2.256829e-05,2.329549e-05,2.332524e-05,2.405452e-05,2.425374e-05,2.475602e-05,2.516361e-05,2.542980e-05,2.602536e-05,2.607605e-05,2.669510e-05,2.683967e-05,2.728735e-05,2.760748e-05,2.785328e-05,2.832996e-05,2.839344e-05,2.890844e-05,2.900847e-05,2.939890e-05,2.964447e-05,2.986551e-05,3.023951e-05,3.030893e-05,3.072989e-05,3.079520e-05,3.112907e-05,3.131316e-05,3.150720e-05,3.179503e-05,3.186500e-05,3.220315e-05,3.224245e-05,3.252238e-05,3.265702e-05,3.282336e-05,3.304032e-05,3.310677e-05,3.337327e-05,3.339388e-05,3.362351e-05,3.371920e-05,3.385813e-05,3.401772e-05,3.407773e-05,3.428292e-05,3.429083e-05,3.447428e-05,3.453990e-05,3.465238e-05,3.476620e-05,3.481778e-05,3.497100e-05,3.511255e-05,3.515547e-05,3.524294e-05,3.532076e-05,3.536265e-05,3.546797e-05,3.547216e-05,3.557189e-05,3.559813e-05,3.566231e-05,3.571225e-05,3.574381e-05,3.581127e-05,3.581681e-05,3.588170e-05,3.589611e-05,3.593885e-05,3.596761e-05,3.598863e-05,3.602661e-05,3.603139e-05,3.606745e-05,3.607389e-05,3.609715e-05,3.611018e-05,3.612079e-05,3.613618e-05,3.613867e-05,3.615108e-05,3.615258e-05,3.615830e-05,3.616000e-05,3.616059e-05,3.615905e-05,3.615821e-05,3.615139e-05,3.615029e-05,3.614038e-05,3.613427e-05,3.612541e-05,3.611150e-05,3.610667e-05,3.608440e-05,3.608247e-05,3.605877e-05,3.604762e-05,3.602999e-05,3.600741e-05,3.599823e-05,3.596368e-05,3.596224e-05,3.592649e-05,3.591249e-05,3.588683e-05,3.585854e-05,3.584486e-05,3.580072e-05,3.573937e-05,3.567479e-05,3.560728e-05,3.553710e-05,3.546452e-05,3.538978e-05,3.531311e-05,3.523471e-05,3.515480e-05,3.507357e-05,3.499118e-05,3.490781e-05,3.482362e-05,3.473875e-05,3.465334e-05,3.456752e-05,3.448141e-05,3.439511e-05,3.430874e-05,3.422239e-05,3.413616e-05,3.405012e-05,3.396436e-05,3.387894e-05
0.000000e+00,2.764764e-10,1.073957e-09,8.043473e-09,3.045349e-08,5.599213e-08,2.086173e-07,2.187606e-07,6.274891e-07,8.119344e-07,1.488682e-06,2.343398e-06,3.102184e-06,5.578200e-06,5.849288e-06,1.012963e-05,1.142514e-05,1.628715e-05,2.065244e-05,2.457125e-05,3.374179e-05,3.513210e-05,4.803211e-05,5.089303e-05,6.326116e-05,7.207992e-05,8.075063e-05,9.710516e-05,1.003848e-04,1.220100e-04,1.256429e-04,1.454420e-04,1.572707e-04,1.704723e-04,1.914957e-04,1.968745e-04,2.244096e-04,2.277783e-04,2.528317e-04,2.655545e-04,2.818932e-04,3.042572e-04,3.113501e-04,3.409662e-04,3.433355e-04,3.705169e-04,3.822714e-04,3.997929e-04,4.205930e-04,4.286023e-04,4.567728e-04,4.578841e-04,4.841525e-04,4.937897e-04,5.106103e-04,5.280182e-04,5.360364e-04,5.603409e-04,5.834535e-04,5.905888e-04,6.053220e-04,6.186479e-04,6.259109e-04,6.444536e-04,6.452001e-04,6.631826e-04,6.679840e-04,6.798635e-04,6.892534e-04,6.952584e-04,7.083063e-04,7.093911e-04,7.222933e-04,7.252107e-04,7.340022e-04,7.400535e-04,7.445599e-04,7.529346e-04,7.540121e-04,7.624071e-04,7.639636e-04,7.697950e-04,7.732556e-04,7.762269e-04,7.809287e-04,7.817545e-04,7.864290e-04,7.871012e-04,7.903013e-04,7.918898e-04,7.934213e-04,7.954083e-04,7.958375e-04,7.975970e-04,7.977661e-04,7.987451e-04,7.990678e-04,7.993254e-04,7.994124e-04,7.993796e-04,7.989473e-04,7.988929e-04,7.980664e-04,7.975965e-04,7.967725e-04,7.956043e-04,7.950994e-04,7.930790e-04,7.929913e-04,7.907410e-04,7.898271e-04,7.881137e-04,7.861754e-04,7.852234e-04,7.820947e-04,7.787507e-04,7.776386e-04,7.752127e-04,7.728560e-04,7.715008e-04,7.677911e-04,7.676336e-04,7.636284e-04,7.624845e-04,7.595012e-04,7.569726e-04,7.552670e-04,7.512888e-04,7.509394e-04,7.465313e-04,7.454627e-04,7.420545e-04,7.395215e-04,7.375198e-04,7.334893e-04,7.329372e-04,7.283161e-04,7.273880e-04,7.236649e-04,7.212371e-04,7.189916e-04,7.150540e-04,7.143032e-04,7.096064e-04,7.088546e-04,7.049073e-04,7.026526e-04,7.002114e-04,6.964605e-04,6.955239e-04,6.908492e-04,6.902893e-04,6.861917e-04,6.841488e-04,6.815552e-04,6.780477e-04,6.769432e-04,6.723589e-04,6.719934e-04,6.678051e-04,6.659927e-04,6.632844e-04,6.600514e-04,6.587992e-04,6.543516e-04,6.541745e-04,6.499434e-04,6.483665e-04,6.455763e-04,6.426310e-04,6.412518e-04,6.369712e-04,6.313899e-04,6.258893e-04,6.204711e-04,6.151370e-04,6.098880e-04,6.047249e-04,5.996484e-04,5.946587e-04,5.897560e-04,5.849402e-04,5.802112e-04,5.755684e-04,5.710115e-04,5.665397e-04,5.621523e-04,5.578486e-04,5.536275e-04,5.494881e-04,5.454295e-04,5.414504e-04,5.375497e-04,5.337263e-04,5.299790e-04,5.263065e-04
0.000000e+00,6.245460e-11,2.265629e-10,1.476014e-09,4.931055e-09,8.467570e-09,2.643210e-08,2.751708e-08,6.597548e-08,8.122770e-08,1.311596e-07,1.859758e-07,2.299268e-07,3.558342e-07,3.685236e-07,5.525266e-07,6.039960e-07,7.867274e-07,9.412418e-07,1.074812e-06,1.374509e-06,1.418737e-06,1.817930e-06,1.904138e-06,2.268818e-06,2.521711e-06,2.765134e-06,3.211335e-06,3.298901e-06,3.861526e-06,3.953655e-06,4.444605e-06,4.729436e-06,5.040359e-06,5.521350e-06,5.641777e-06,6.242629e-06,6.314426e-06,6.837447e-06,7.096006e-06,7.421482e-06,7.855613e-06,7.990672e-06,8.541619e-06,8.584820e-06,9.071553e-06,9.277138e-06,9.578302e-06,9.927877e-06,1.006025e-05,1.051628e-05,1.053397e-05,1.094575e-05,1.109379e-05,1.134838e-05,1.160687e-05,1.172426e-05,1.207376e-05,1.239746e-05,1.249573e-05,1.269616e-05,1.287462e-05,1.297077e-05,1.321266e-05,1.322230e-05,1.345184e-05,1.351232e-05,1.366053e-05,1.377621e-05,1.384951e-05,1.400697e-05,1.401994e-05,1.417296e-05,1.420722e-05,1.430968e-05,1.437953e-05,1.443118e-05,1.452633e-05,1.453849e-05,1.463261e-05,1.464993e-05,1.471448e-05,1.475252e-05,1.478501e-05,1.483611e-05,1.484504e-05,1.489536e-05,1.490256e-05,1.493671e-05,1.495358e-05,1.496980e-05,1.499075e-05,1.499527e-05,1.501374e-05,1.501551e-05,1.502576e-05,1.502915e-05,1.503187e-05,1.503287e-05,1.503256e-05,1.502827e-05,1.502773e-05,1.501943e-05,1.501471e-05,1.500643e-05,1.499470e-05,1.498963e-05,1.496937e-05,1.496850e-05,1.494597e-05,1.493683e-05,1.491970e-05,1.490034e-05,1.489083e-05,1.485962e-05,1.482629e-05,1.481521e-05,1.479105e-05,1.476758e-05,1.475410e-05,1.471718e-05,1.471561e-05,1.467577e-05,1.466439e-05,1.463471e-05,1.460956e-05,1.459259e-05,1.455302e-05,1.454954e-05,1.450567e-05,1.449504e-05,1.446111e-05,1.443589e-05,1.441595e-05,1.437580e-05,1.437030e-05,1.432424e-05,1.431498e-05,1.427785e-05,1.425363e-05,1.423121e-05,1.419189e-05,1.418439e-05,1.413746e-05,1.412994e-05,1.409047e-05,1.406791e-05,1.404348e-05,1.400592e-05,1.399654e-05,1.394969e-05,1.394407e-05,1.390298e-05,1.388248e-05,1.385644e-05,1.382122e-05,1.381012e-05,1.376405e-05,1.376037e-05,1.371825e-05,1.370001e-05,1.367275e-05,1.364019e-05,1.362758e-05,1.358276e-05,1.358097e-05,1.353831e-05,1.352240e-05,1.349425e-05,1.346452e-05,1.345059e-05,1.340736e-05,1.335097e-05,1.329536e-05,1.324055e-05,1.318658e-05,1.313345e-05,1.308119e-05,1.302979e-05,1.297927e-05,1.292963e-05,1.288089e-05,1.283303e-05,1.278606e-05,1.273999e-05,1.269480e-05,1.265049e-05,1.260706e-05,1.256451e-05,1.252282e-05,1.248199e-05,1.244201e-05,1.240287e-05,1.236456e-05,1.232707e-05,1.229039e-05
0.000000e+00,1.287572e-11,4.944418e-11,3.609527e-10,1.331034e-09,2.408101e-09,8.545126e-09,8.940583e-09,2.410605e-08,3.059136e-08,5.314113e-08,7.968730e-08,1.020270e-07,1.700160e-07,1.771433e-07,2.849464e-07,3.163844e-07,4.316714e-07,5.330008e-07,6.230391e-07,8.322836e-07,8.639435e-07,1.158093e-06,1.223532e-06,1.507616e-06,1.711397e-06,1.912694e-06,2.294514e-06,2.371357e-06,2.879536e-06,2.965070e-06,3.431386e-06,3.709725e-06,4.019766e-06,4.511471e-06,4.636769e-06,5.274202e-06,5.351680e-06,5.923992e-06,6.211820e-06,6.578479e-06,7.074674e-06,7.230626e-06,7.874144e-06,7.925083e-06,8.503571e-06,8.750332e-06,9.114284e-06,9.540250e-06,9.702493e-06,1.026520e-05,1.028714e-05,1.080013e-05,1.098558e-05,1.130568e-05,1.163215e-05,1.178086e-05,1.222516e-05,1.263852e-05,1.276431e-05,1.302128e-05,1.325046e-05,1.337405e-05,1.368529e-05,1.369769e-05,1.399325e-05,1.407114e-05,1.426192e-05,1.441075e-05,1.450499e-05,1.470715e-05,1.472379e-05,1.491972e-05,1.496349e-05,1.509415e-05,1.518296e-05,1.524847e-05,1.536869e-05,1.538401e-05,1.550209e-05,1.552372e-05,1.560395e-05,1.565092e-05,1.569082e-05,1.575303e-05,1.576383e-05,1.582406e-05,1.583258e-05,1.587253e-05,1.589191e-05,1.591021e-05,1.593318e-05,1.593798e-05,1.595669e-05,1.595836e-05,1.596711e-05,1.596926e-05,1.596997e-05,1.596751e-05,1.596595e-05,1.595565e-05,1.595458e-05,1.593967e-05,1.593180e-05,1.591852e-05,1.590039e-05,1.589272e-05,1.586269e-05,1.586141e-05,1.582887e-05,1.581585e-05,1.579165e-05,1.576456e-05,1.575136e-05,1.570835e-05,1.566290e-05,1.564789e-05,1.561530e-05,1.558383e-05,1.556580e-05,1.551671e-05,1.551463e-05,1.546201e-05,1.544704e-05,1.540813e-05,1.537528e-05,1.535317e-05,1.530180e-05,1.529730e-05,1.524067e-05,1.522698e-05,1.518342e-05,1.515114e-05,1.512568e-05,1.507455e-05,1.506755e-05,1.500916e-05,1.499746e-05,1.495060e-05,1.492010e-05,1.489195e-05,1.484268e-05,1.483330e-05,1.477472e-05,1.476536e-05,1.471628e-05,1.468830e-05,1.465805e-05,1.461164e-05,1.460007e-05,1.454241e-05,1.453551e-05,1.448510e-05,1.446000e-05,1.442818e-05,1.438522e-05,1.437171e-05,1.431571e-05,1.431125e-05,1.426020e-05,1.423815e-05,1.420523e-05,1.416599e-05,1.415081e-05,1.409696e-05,1.409482e-05,1.404371e-05,1.402469e-05,1.399108e-05,1.395564e-05,1.393907e-05,1.388770e-05,1.382089e-05,1.375524e-05,1.369076e-05,1.362747e-05,1.356537e-05,1.350448e-05,1.344478e-05,1.338630e-05,1.332901e-05,1.327292e-05,1.321802e-05,1.316430e-05,1.311176e-05,1.306038e-05,1.301015e-05,1.296106e-05,1.291308e-05,1.286622e-05,1.282045e-05,1.277576e-05,1.273212e-05,1.268953e-05,1.264796e-05,1.260740e-05
0.000000e+00,1.766858e-10,6.346925e-10,4.049711e-09,1.327275e-08,2.255625e-08,6.862922e-08,7.137591e-08,1.674229e-07,2.050848e-07,3.276625e-07,4.618383e-07,5.695518e-07,8.799772e-07,9.114389e-07,1.370549e-06,1.499543e-06,1.956719e-06,2.339329e-06,2.664983e-06,3.372934e-06,3.474457e-06,4.355191e-06,4.537154e-06,5.276915e-06,5.763798e-06,6.214488e-06,7.000566e-06,7.149383e-06,8.068745e-06,8.213771e-06,8.963755e-06,9.382793e-06,9.828101e-06,1.049420e-05,1.065692e-05,1.144619e-05,1.153807e-05,1.219246e-05,1.250643e-05,1.289283e-05,1.339294e-05,1.354494e-05,1.414703e-05,1.419300e-05,1.469802e-05,1.490400e-05,1.519754e-05,1.552548e-05,1.564592e-05,1.604416e-05,1.605907e-05,1.639382e-05,1.650819e-05,1.669695e-05,1.687771e-05,1.695596e-05,1.717355e-05,1.735261e-05,1.740226e-05,1.749611e-05,1.757067e-05,1.760704e-05,1.768564e-05,1.768836e-05,1.774293e-05,1.775379e-05,1.777347e-05,1.778135e-05,1.778257e-05,1.777407e-05,1.777263e-05,1.774586e-05,1.773715e-05,1.770428e-05,1.767523e-05,1.764975e-05,1.759238e-05,1.758394e-05,1.750834e-05,1.749217e-05,1.742430e-05,1.737766e-05,1.733300e-05,1.725149e-05,1.723551e-05,1.713278e-05,1.711591e-05,1.702562e-05,1.697283e-05,1.691477e-05,1.682387e-05,1.680087e-05,1.668450e-05,1.667039e-05,1.656614e-05,1.651355e-05,1.644624e-05,1.635432e-05,1.632517e-05,1.620328e-05,1.619350e-05,1.608086e-05,1.603180e-05,1.595817e-05,1.586979e-05,1.583543e-05,1.571285e-05,1.570795e-05,1.559060e-05,1.554670e-05,1.546884e-05,1.538639e-05,1.534770e-05,1.522731e-05,1.510775e-05,1.506969e-05,1.498914e-05,1.491376e-05,1.487155e-05,1.475968e-05,1.475504e-05,1.463968e-05,1.460759e-05,1.452552e-05,1.445763e-05,1.441261e-05,1.430987e-05,1.430099e-05,1.419069e-05,1.416442e-05,1.408174e-05,1.402132e-05,1.397416e-05,1.388064e-05,1.386797e-05,1.376319e-05,1.374240e-05,1.365983e-05,1.360664e-05,1.355789e-05,1.347338e-05,1.345739e-05,1.335833e-05,1.334262e-05,1.326072e-05,1.321437e-05,1.316454e-05,1.308863e-05,1.306979e-05,1.297648e-05,1.296538e-05,1.288460e-05,1.284462e-05,1.279413e-05,1.272632e-05,1.270508e-05,1.261742e-05,1.261047e-05,1.253116e-05,1.249704e-05,1.244628e-05,1.238601e-05,1.236276e-05,1.228059e-05,1.227733e-05,1.219977e-05,1.217100e-05,1.212027e-05,1.206696e-05,1.204208e-05,1.196518e-05,1.186563e-05,1.176828e-05,1.167307e-05,1.157999e-05,1.148897e-05,1.140000e-05,1.131302e-05,1.122800e-05,1.114489e-05,1.106366e-05,1.098427e-05,1.090667e-05,1.083084e-05,1.075673e-05,1.068430e-05,1.061351e-05,1.054433e-05,1.047672e-05,1.041064e-05,1.034607e-05,1.028295e-05,1.022126e-05,1.016097e-05,1.010204e-05
0.000000e+00,3.246175e-09,7.420716e-09,2.541442e-08,5.758108e-08,8.380851e-08,1.889658e-07,1.946030e-07,3.737933e-07,4.384688e-07,6.380673e-07,8.448297e-07,1.005192e-06,1.449278e-06,1.493152e-06,2.116819e-06,2.287601e-06,2.881758e-06,3.369077e-06,3.778966e-06,4.660927e-06,4.786851e-06,5.879299e-06,6.105746e-06,7.032250e-06,7.648928e-06,8.225800e-06,9.247843e-06,9.443783e-06,1.067281e-05,1.086970e-05,1.190152e-05,1.248826e-05,1.312012e-05,1.408200e-05,1.432016e-05,1.549443e-05,1.563331e-05,1.663685e-05,1.712811e-05,1.774244e-05,1.855559e-05,1.880724e-05,1.982824e-05,1.990796e-05,2.080328e-05,2.118009e-05,2.173095e-05,2.236911e-05,2.261051e-05,2.344177e-05,2.347402e-05,2.422500e-05,2.449533e-05,2.496087e-05,2.543470e-05,2.565035e-05,2.629465e-05,2.689515e-05,2.707831e-05,2.745338e-05,2.778920e-05,2.797094e-05,2.843110e-05,2.844951e-05,2.889079e-05,2.900790e-05,2.929647e-05,2.952351e-05,2.966826e-05,2.998181e-05,3.000782e-05,3.031679e-05,3.038657e-05,3.059676e-05,3.074146e-05,3.084928e-05,3.104996e-05,3.107582e-05,3.127784e-05,3.131542e-05,3.145670e-05,3.154100e-05,3.161373e-05,3.172969e-05,3.175020e-05,3.186730e-05,3.188431e-05,3.196619e-05,3.200751e-05,3.204796e-05,3.210176e-05,3.211366e-05,3.216428e-05,3.216939e-05,3.220076e-05,3.221256e-05,3.222399e-05,3.223331e-05,3.223482e-05,3.223406e-05,3.223352e-05,3.222246e-05,3.221495e-05,3.220075e-05,3.217924e-05,3.216961e-05,3.212968e-05,3.212791e-05,3.208157e-05,3.206237e-05,3.202587e-05,3.198393e-05,3.196312e-05,3.189382e-05,3.181848e-05,3.179317e-05,3.173754e-05,3.168301e-05,3.165145e-05,3.156432e-05,3.156060e-05,3.146539e-05,3.143800e-05,3.136618e-05,3.130488e-05,3.126331e-05,3.116572e-05,3.115711e-05,3.104787e-05,3.102124e-05,3.093589e-05,3.087208e-05,3.082143e-05,3.071886e-05,3.070475e-05,3.058608e-05,3.056213e-05,3.046565e-05,3.040241e-05,3.034367e-05,3.024016e-05,3.022034e-05,3.009584e-05,3.007583e-05,2.997035e-05,2.990981e-05,2.984403e-05,2.974248e-05,2.971703e-05,2.958950e-05,2.957417e-05,2.946157e-05,2.940519e-05,2.933336e-05,2.923582e-05,2.920501e-05,2.907660e-05,2.906633e-05,2.894825e-05,2.889695e-05,2.882006e-05,2.872790e-05,2.869211e-05,2.856448e-05,2.855938e-05,2.843726e-05,2.839157e-05,2.831051e-05,2.822462e-05,2.818430e-05,2.805870e-05,2.789392e-05,2.773042e-05,2.756830e-05,2.740766e-05,2.724858e-05,2.709114e-05,2.693542e-05,2.678147e-05,2.662934e-05,2.647909e-05,2.633074e-05,2.618434e-05,2.603990e-05,2.589746e-05,2.575704e-05,2.561864e-05,2.548228e-05,2.534795e-05,2.521568e-05,2.508545e-05,2.495726e-05,2.483112e-05,2.470700e-05,2.458490e-05
0.000000e+00,2.568185e-09,1.010656e-08,7.766084e-08,3.002630e-07,5.576912e-07,2.119986e-06,2.224387e-06,6.431996e-06,8.321501e-06,1.518335e-05,2.370709e-05,3.117462e-05,5.520255e-05,5.781895e-05,9.924920e-05,1.119144e-04,1.602821e-04,2.050140e-04,2.463078e-04,3.472505e-04,3.630807e-04,5.164362e-04,5.519992e-04,7.120034e-04,8.321241e-04,9.549655e-04,1.199041e-03,1.249887e-03,1.600597e-03,1.662102e-03,2.010119e-03,2.228252e-03,2.480631e-03,2.901870e-03,3.013455e-03,3.609066e-03,3.684751e-03,4.267119e-03,4.576182e-03,4.986493e-03,5.573119e-03,5.765344e-03,6.601177e-03,6.670417e-03,7.490914e-03,7.861117e-03,8.430983e-03,9.136772e-03,9.417395e-03,1.044583e-02,1.048778e-02,1.151173e-02,1.190371e-02,1.261035e-02,1.337365e-02,1.373688e-02,1.488647e-02,1.605429e-02,1.643108e-02,1.723565e-02,1.799670e-02,1.842597e-02,1.957302e-02,1.962085e-02,2.081611e-02,2.115032e-02,2.200783e-02,2.271961e-02,2.319231e-02,2.427271e-02,2.436615e-02,2.552623e-02,2.580228e-02,2.666971e-02,2.730184e-02,2.779402e-02,2.876576e-02,2.889690e-02,2.997634e-02,3.018926e-02,3.103060e-02,3.156835e-02,3.205818e-02,3.289982e-02,3.305785e-02,3.402857e-02,3.418115e-02,3.496954e-02,3.541045e-02,3.588013e-02,3.658644e-02,3.675992e-02,3.760862e-02,3.770837e-02,3.842613e-02,3.877595e-02,3.921246e-02,3.978930e-02,3.996775e-02,4.069226e-02,4.074890e-02,4.138633e-02,4.165553e-02,4.205040e-02,4.251024e-02,4.268498e-02,4.329065e-02,4.331428e-02,4.386802e-02,4.406907e-02,4.441777e-02,4.477619e-02,4.494062e-02,4.543730e-02,4.590858e-02,4.605415e-02,4.635523e-02,4.662853e-02,4.677805e-02,4.716229e-02,4.717785e-02,4.755541e-02,4.765725e-02,4.791154e-02,4.811527e-02,4.824705e-02,4.853816e-02,4.856270e-02,4.885928e-02,4.892771e-02,4.913756e-02,4.928567e-02,4.939827e-02,4.961376e-02,4.964217e-02,4.986995e-02,4.991364e-02,5.008233e-02,5.018690e-02,5.027997e-02,5.043509e-02,5.046354e-02,5.063367e-02,5.065969e-02,5.079098e-02,5.086211e-02,5.093607e-02,5.104372e-02,5.106950e-02,5.119185e-02,5.120581e-02,5.130363e-02,5.134960e-02,5.140536e-02,5.147627e-02,5.149754e-02,5.158064e-02,5.158691e-02,5.165512e-02,5.168260e-02,5.172141e-02,5.176431e-02,5.177993e-02,5.183108e-02,5.183298e-02,5.187525e-02,5.188950e-02,5.191279e-02,5.193471e-02,5.194405e-02,5.196938e-02,5.199426e-02,5.201004e-02,5.201738e-02,5.201688e-02,5.200913e-02,5.199467e-02,5.197399e-02,5.194758e-02,5.191589e-02,5.187932e-02,5.183827e-02,5.179311e-02,5.174417e-02,5.169178e-02,5.163623e-02,5.157782e-02,5.151679e-02,5.145340e-02,5.138787e-02,5.132042e-02,5.125126e-02,5.118056e-02,5.110850e-02,5.103525e-02
0.000000e+00,5.856821e-11,2.264521e-10,1.677041e-09,6.267504e-09,1.142473e-08,4.136800e-08,4.331927e-08,1.193492e-07,1.523977e-07,2.690698e-07,4.091438e-07,5.288446e-07,9.012797e-07,9.409340e-07,1.552306e-06,1.734198e-06,2.412744e-06,3.021929e-06,3.571604e-06,4.873419e-06,5.072865e-06,6.949154e-06,7.371169e-06,9.216718e-06,1.055044e-05,1.187321e-05,1.439103e-05,1.489860e-05,1.825822e-05,1.882386e-05,2.190673e-05,2.374551e-05,2.579208e-05,2.903373e-05,2.985893e-05,3.405146e-05,3.456042e-05,3.831555e-05,4.020117e-05,4.260032e-05,4.584175e-05,4.685922e-05,5.105074e-05,5.138203e-05,5.513875e-05,5.673792e-05,5.909260e-05,6.184195e-05,6.288709e-05,6.650215e-05,6.664279e-05,6.992258e-05,7.110407e-05,7.313756e-05,7.520276e-05,7.614027e-05,7.892734e-05,8.149845e-05,8.227588e-05,8.385577e-05,8.525417e-05,8.600361e-05,8.787401e-05,8.794796e-05,8.969617e-05,9.015163e-05,9.125654e-05,9.210636e-05,9.263815e-05,9.375951e-05,9.385050e-05,9.490339e-05,9.513346e-05,9.580669e-05,9.625085e-05,9.657020e-05,9.713413e-05,9.720358e-05,9.771623e-05,9.780508e-05,9.811720e-05,9.828447e-05,9.841517e-05,9.859190e-05,9.861838e-05,9.873465e-05,9.874568e-05,9.877135e-05,9.876276e-05,9.873541e-05,9.865871e-05,9.863329e-05,9.847103e-05,9.844779e-05,9.825424e-05,9.814293e-05,9.798812e-05,9.775587e-05,9.767751e-05,9.732685e-05,9.729719e-05,9.694026e-05,9.677641e-05,9.652151e-05,9.620208e-05,9.607411e-05,9.560123e-05,9.558183e-05,9.510583e-05,9.492250e-05,9.459060e-05,9.423018e-05,9.405801e-05,9.351031e-05,9.294957e-05,9.276769e-05,9.237769e-05,9.200664e-05,9.179639e-05,9.123095e-05,9.120725e-05,9.061170e-05,9.044398e-05,9.001106e-05,8.964873e-05,8.940652e-05,8.884783e-05,8.879916e-05,8.818998e-05,8.804361e-05,8.757988e-05,8.723813e-05,8.696967e-05,8.643319e-05,8.636010e-05,8.575184e-05,8.563040e-05,8.514549e-05,8.483114e-05,8.454161e-05,8.403662e-05,8.394069e-05,8.334319e-05,8.324793e-05,8.274949e-05,8.246598e-05,8.215998e-05,8.169160e-05,8.157497e-05,8.099476e-05,8.092546e-05,8.041960e-05,8.016819e-05,7.984972e-05,7.942028e-05,7.928534e-05,7.872662e-05,7.868217e-05,7.817372e-05,7.795422e-05,7.762677e-05,7.723673e-05,7.708590e-05,7.655119e-05,7.652993e-05,7.602274e-05,7.583404e-05,7.550061e-05,7.514919e-05,7.498484e-05,7.447550e-05,7.381305e-05,7.316188e-05,7.252200e-05,7.189342e-05,7.127610e-05,7.067000e-05,7.007504e-05,6.949115e-05,6.891823e-05,6.835618e-05,6.780488e-05,6.726420e-05,6.673402e-05,6.621419e-05,6.570456e-05,6.520499e-05,6.471533e-05,6.423541e-05,6.376507e-05,6.330416e-05,6.285252e-05,6.240996e-05,6.197634e-05,6.155149e-05
0.000000e+00,1.748036e-11,6.697904e-11,4.868874e-10,1.789594e-09,3.233144e-09,1.145074e-08,1.198051e-08,3.235705e-08,4.111250e-08,7.176118e-08,1.082426e-07,1.392637e-07,2.353259e-07,2.455297e-07,4.025502e-07,4.491829e-07,6.227930e-07,7.780339e-07,9.174372e-07,1.244356e-06,1.293987e-06,1.754361e-06,1.856229e-06,2.294410e-06,2.603799e-06,2.904845e-06,3.462721e-06,3.572891e-06,4.284007e-06,4.400783e-06,5.023311e-06,5.383974e-06,5.776601e-06,6.380594e-06,6.530999e-06,7.275300e-06,7.363472e-06,8.000110e-06,8.310834e-06,8.697844e-06,9.206339e-06,9.362627e-06,9.990149e-06,1.003864e-05,1.057748e-05,1.080074e-05,1.112291e-05,1.148925e-05,1.162574e-05,1.208610e-05,1.210364e-05,1.250482e-05,1.264561e-05,1.288324e-05,1.311842e-05,1.322310e-05,1.352644e-05,1.379546e-05,1.387468e-05,1.403248e-05,1.416846e-05,1.423984e-05,1.441318e-05,1.441989e-05,1.457489e-05,1.461411e-05,1.470705e-05,1.477624e-05,1.481842e-05,1.490422e-05,1.491098e-05,1.498654e-05,1.500233e-05,1.504679e-05,1.507443e-05,1.509329e-05,1.512397e-05,1.512746e-05,1.515060e-05,1.515401e-05,1.516387e-05,1.516724e-05,1.516835e-05,1.516602e-05,1.516499e-05,1.515466e-05,1.515241e-05,1.513813e-05,1.512820e-05,1.511609e-05,1.509493e-05,1.508918e-05,1.505794e-05,1.505393e-05,1.502288e-05,1.500636e-05,1.498444e-05,1.495322e-05,1.494303e-05,1.489900e-05,1.489538e-05,1.485268e-05,1.483357e-05,1.480434e-05,1.476844e-05,1.475426e-05,1.470265e-05,1.470056e-05,1.464973e-05,1.463040e-05,1.459569e-05,1.455839e-05,1.454069e-05,1.448489e-05,1.442843e-05,1.441024e-05,1.437142e-05,1.433471e-05,1.431399e-05,1.425854e-05,1.425623e-05,1.419823e-05,1.418197e-05,1.414009e-05,1.410517e-05,1.408188e-05,1.402831e-05,1.402366e-05,1.396550e-05,1.395156e-05,1.390746e-05,1.387503e-05,1.384959e-05,1.379885e-05,1.379194e-05,1.373455e-05,1.372311e-05,1.367746e-05,1.364791e-05,1.362071e-05,1.357332e-05,1.356433e-05,1.350834e-05,1.349943e-05,1.345279e-05,1.342628e-05,1.339768e-05,1.335394e-05,1.334305e-05,1.328891e-05,1.328245e-05,1.323528e-05,1.321185e-05,1.318218e-05,1.314218e-05,1.312962e-05,1.307761e-05,1.307348e-05,1.302617e-05,1.300576e-05,1.297531e-05,1.293905e-05,1.292503e-05,1.287534e-05,1.287336e-05,1.282625e-05,1.280872e-05,1.277776e-05,1.274514e-05,1.272988e-05,1.268261e-05,1.262116e-05,1.256079e-05,1.250149e-05,1.244327e-05,1.238612e-05,1.233005e-05,1.227505e-05,1.222111e-05,1.216823e-05,1.211640e-05,1.206561e-05,1.201585e-05,1.196710e-05,1.191937e-05,1.187264e-05,1.182689e-05,1.178212e-05,1.173830e-05,1.169543e-05,1.165350e-05,1.161248e-05,1.157237e-05,1.153314e-05,1.149480e-05
0.000000e+00,3.874685e-10,1.340674e-09,8.007943e-09,2.502505e-08,4.161871e-08,1.212674e-07,1.259415e-07,2.872069e-07,3.497660e-07,5.520510e-07,7.719639e-07,9.476916e-07,1.451214e-06,1.502065e-06,2.242607e-06,2.450763e-06,3.192208e-06,3.820495e-06,4.363326e-06,5.576969e-06,5.755407e-06,7.358278e-06,7.702904e-06,9.157491e-06,1.016556e-05,1.113762e-05,1.292946e-05,1.328324e-05,1.557883e-05,1.595898e-05,1.800848e-05,1.921755e-05,2.055588e-05,2.266741e-05,2.320441e-05,2.593738e-05,2.627023e-05,2.873837e-05,2.998824e-05,3.159152e-05,3.378549e-05,3.448177e-05,3.739509e-05,3.762876e-05,4.031861e-05,4.148823e-05,4.324069e-05,4.533779e-05,4.615090e-05,4.904005e-05,4.915506e-05,5.190018e-05,5.292136e-05,5.472439e-05,5.662131e-05,5.750684e-05,6.024261e-05,6.292763e-05,6.377555e-05,6.555857e-05,6.721273e-05,6.813276e-05,7.054863e-05,7.064809e-05,7.310298e-05,7.377935e-05,7.549625e-05,7.690229e-05,7.782711e-05,7.991596e-05,8.009508e-05,8.229994e-05,8.281972e-05,8.444174e-05,8.561368e-05,8.652070e-05,8.829852e-05,8.853722e-05,9.049179e-05,9.087533e-05,9.238507e-05,9.334559e-05,9.421778e-05,9.571106e-05,9.599075e-05,9.770487e-05,9.797373e-05,9.936107e-05,1.001358e-04,1.009603e-04,1.021995e-04,1.025037e-04,1.039922e-04,1.041672e-04,1.054270e-04,1.060415e-04,1.068091e-04,1.078249e-04,1.081396e-04,1.094197e-04,1.095199e-04,1.106504e-04,1.111292e-04,1.118330e-04,1.126553e-04,1.129685e-04,1.140581e-04,1.141007e-04,1.151028e-04,1.154682e-04,1.161038e-04,1.167601e-04,1.170622e-04,1.179791e-04,1.188556e-04,1.191277e-04,1.196926e-04,1.202082e-04,1.204914e-04,1.212231e-04,1.212529e-04,1.219781e-04,1.221748e-04,1.226681e-04,1.230655e-04,1.233238e-04,1.238977e-04,1.239462e-04,1.245364e-04,1.246733e-04,1.250952e-04,1.253948e-04,1.256235e-04,1.260640e-04,1.261224e-04,1.265925e-04,1.266832e-04,1.270350e-04,1.272543e-04,1.274505e-04,1.277793e-04,1.278399e-04,1.282041e-04,1.282601e-04,1.285439e-04,1.286985e-04,1.288600e-04,1.290964e-04,1.291532e-04,1.294243e-04,1.294554e-04,1.296739e-04,1.297772e-04,1.299029e-04,1.300635e-04,1.301119e-04,1.303016e-04,1.303159e-04,1.304726e-04,1.305359e-04,1.306256e-04,1.307250e-04,1.307613e-04,1.308803e-04,1.308847e-04,1.309830e-04,1.310162e-04,1.310703e-04,1.311210e-04,1.311425e-04,1.312004e-04,1.312555e-04,1.312877e-04,1.312980e-04,1.312876e-04,1.312576e-04,1.312091e-04,1.311429e-04,1.310601e-04,1.309617e-04,1.308484e-04,1.307213e-04,1.305810e-04,1.304284e-04,1.302642e-04,1.300892e-04,1.299041e-04,1.297095e-04,1.295062e-04,1.292946e-04,1.290755e-04,1.288493e-04,1.286166e-04,1.283780e-04,1.281339e-04
0.000000e+00,1.288792e-11,4.996201e-11,3.719768e-10,1.396561e-09,2.551782e-09,9.290830e-09,9.731023e-09,2.692391e-08,3.441045e-08,6.086055e-08,9.262053e-08,1.197481e-07,2.040310e-07,2.129934e-07,3.509269e-07,3.918904e-07,5.445248e-07,6.814640e-07,8.050859e-07,1.098654e-06,1.143777e-06,1.570984e-06,1.667860e-06,2.095518e-06,2.409001e-06,2.723866e-06,3.334682e-06,3.459704e-06,4.303737e-06,4.448718e-06,5.253845e-06,5.746301e-06,6.305399e-06,7.215220e-06,7.451668e-06,8.684240e-06,8.837499e-06,9.993420e-06,1.059102e-05,1.136859e-05,1.245097e-05,1.279854e-05,1.427171e-05,1.439109e-05,1.577649e-05,1.638466e-05,1.730136e-05,1.840542e-05,1.883515e-05,2.036713e-05,2.042823e-05,2.188719e-05,2.242965e-05,2.338591e-05,2.438844e-05,2.485471e-05,2.628582e-05,2.767243e-05,2.810575e-05,2.900861e-05,2.983497e-05,3.028940e-05,3.146305e-05,3.151072e-05,3.266942e-05,3.298229e-05,3.376315e-05,3.438753e-05,3.479037e-05,3.567595e-05,3.575026e-05,3.664266e-05,3.684684e-05,3.746803e-05,3.790128e-05,3.822730e-05,3.884191e-05,3.892190e-05,3.955360e-05,3.967257e-05,4.012451e-05,4.039813e-05,4.063698e-05,4.102414e-05,4.109355e-05,4.149691e-05,4.155670e-05,4.184985e-05,4.200218e-05,4.215520e-05,4.236712e-05,4.241580e-05,4.263448e-05,4.265804e-05,4.281405e-05,4.288136e-05,4.295721e-05,4.304331e-05,4.306662e-05,4.314482e-05,4.314980e-05,4.319424e-05,4.320647e-05,4.321721e-05,4.321860e-05,4.321591e-05,4.319245e-05,4.319108e-05,4.314877e-05,4.312846e-05,4.308672e-05,4.303490e-05,4.300800e-05,4.291421e-05,4.280684e-05,4.276983e-05,4.268725e-05,4.260490e-05,4.255673e-05,4.242223e-05,4.241645e-05,4.226748e-05,4.222434e-05,4.211082e-05,4.201351e-05,4.194738e-05,4.179175e-05,4.177800e-05,4.160344e-05,4.156086e-05,4.142441e-05,4.132243e-05,4.124153e-05,4.107790e-05,4.105541e-05,4.086655e-05,4.082850e-05,4.067546e-05,4.057535e-05,4.048256e-05,4.031943e-05,4.028827e-05,4.009293e-05,4.006160e-05,3.989689e-05,3.980262e-05,3.970043e-05,3.954316e-05,3.950384e-05,3.930735e-05,3.928379e-05,3.911119e-05,3.902504e-05,3.891556e-05,3.876735e-05,3.872064e-05,3.852660e-05,3.851112e-05,3.833358e-05,3.825668e-05,3.814171e-05,3.800435e-05,3.795112e-05,3.776191e-05,3.775438e-05,3.757418e-05,3.750698e-05,3.738801e-05,3.726235e-05,3.720348e-05,3.702066e-05,3.678205e-05,3.654663e-05,3.631451e-05,3.608577e-05,3.586048e-05,3.563868e-05,3.542043e-05,3.520576e-05,3.499468e-05,3.478721e-05,3.458335e-05,3.438311e-05,3.418647e-05,3.399342e-05,3.380395e-05,3.361802e-05,3.343563e-05,3.325672e-05,3.308128e-05,3.290927e-05,3.274065e-05,3.257537e-05,3.241341e-05,3.225471e-05
0.000000e+00,1.171642e-10,4.293773e-10,2.857160e-09,9.735220e-09,1.690487e-08,5.441332e-08,5.672173e-08,1.407860e-07,1.751330e-07,2.908408e-07,4.228894e-07,5.321227e-07,8.594498e-07,8.935060e-07,1.405573e-06,1.554028e-06,2.094743e-06,2.564062e-06,2.975429e-06,3.908138e-06,4.046304e-06,5.293238e-06,5.561970e-06,6.695377e-06,7.478322e-06,8.230190e-06,9.606190e-06,9.876192e-06,1.161384e-05,1.189917e-05,1.342551e-05,1.431663e-05,1.529513e-05,1.682258e-05,1.720793e-05,1.915022e-05,1.938467e-05,2.110938e-05,2.197372e-05,2.307379e-05,2.456374e-05,2.503294e-05,2.697742e-05,2.713209e-05,2.889895e-05,2.965950e-05,3.079039e-05,3.213014e-05,3.264566e-05,3.445972e-05,3.453136e-05,3.622847e-05,3.685348e-05,3.794867e-05,3.908940e-05,3.961787e-05,4.123425e-05,4.279663e-05,4.328505e-05,4.430428e-05,4.524031e-05,4.575693e-05,4.709978e-05,4.715464e-05,4.849779e-05,4.886417e-05,4.978698e-05,5.053491e-05,5.102300e-05,5.211401e-05,5.220682e-05,5.333952e-05,5.360389e-05,5.442226e-05,5.500724e-05,5.545629e-05,5.632697e-05,5.644290e-05,5.738342e-05,5.756612e-05,5.827921e-05,5.872779e-05,5.913162e-05,5.981511e-05,5.994201e-05,6.071175e-05,6.083123e-05,6.144218e-05,6.177922e-05,6.213464e-05,6.266214e-05,6.279042e-05,6.341083e-05,6.348296e-05,6.399712e-05,6.424460e-05,6.455053e-05,6.494987e-05,6.507226e-05,6.556350e-05,6.560151e-05,6.602539e-05,6.620217e-05,6.645904e-05,6.675440e-05,6.686555e-05,6.724596e-05,6.726065e-05,6.760130e-05,6.772328e-05,6.793257e-05,6.814458e-05,6.824073e-05,6.852671e-05,6.879141e-05,6.887176e-05,6.903570e-05,6.918174e-05,6.926044e-05,6.945855e-05,6.946644e-05,6.965449e-05,6.970403e-05,6.982536e-05,6.991993e-05,6.997977e-05,7.010792e-05,7.011845e-05,7.024208e-05,7.026958e-05,7.035131e-05,7.040644e-05,7.044681e-05,7.051995e-05,7.052916e-05,7.059898e-05,7.061149e-05,7.065684e-05,7.068238e-05,7.070328e-05,7.073385e-05,7.073883e-05,7.076402e-05,7.076712e-05,7.077932e-05,7.078330e-05,7.078522e-05,7.078348e-05,7.078218e-05,7.077062e-05,7.076868e-05,7.075097e-05,7.073987e-05,7.072365e-05,7.069798e-05,7.068903e-05,7.064750e-05,7.064389e-05,7.059941e-05,7.057842e-05,7.054511e-05,7.050236e-05,7.048494e-05,7.041921e-05,7.041647e-05,7.034823e-05,7.032145e-05,7.027230e-05,7.021798e-05,7.019170e-05,7.010670e-05,6.998820e-05,6.986306e-05,6.973182e-05,6.959499e-05,6.945306e-05,6.930648e-05,6.915568e-05,6.900107e-05,6.884304e-05,6.868195e-05,6.851814e-05,6.835193e-05,6.818364e-05,6.801354e-05,6.784190e-05,6.766899e-05,6.749503e-05,6.732026e-05,6.714488e-05,6.696909e-05,6.679307e-05,6.661700e-05,6.644104e-05,6.626535e-05
0.000000e+00,1.268915e-10,4.980918e-10,3.807053e-09,1.464648e-08,2.712849e-08,1.023795e-07,1.073892e-07,3.082408e-07,3.979804e-07,7.224010e-07,1.123152e-06,1.472782e-06,2.591231e-06,2.712537e-06,4.624028e-06,5.205438e-06,7.415917e-06,9.448582e-06,1.131668e-05,1.585471e-05,1.656308e-05,2.338487e-05,2.495708e-05,3.198967e-05,3.722819e-05,4.255169e-05,5.303573e-05,5.520510e-05,7.004124e-05,7.262140e-05,8.710850e-05,9.609686e-05,1.064139e-04,1.234497e-04,1.279259e-04,1.515776e-04,1.545552e-04,1.772711e-04,1.891918e-04,2.048816e-04,2.270579e-04,2.342621e-04,2.652475e-04,2.677904e-04,2.976595e-04,3.109818e-04,3.313103e-04,3.561977e-04,3.660069e-04,4.015547e-04,4.029916e-04,4.377601e-04,4.509185e-04,4.744340e-04,4.995461e-04,5.113933e-04,5.484636e-04,5.854801e-04,5.972885e-04,6.222888e-04,6.456712e-04,6.587476e-04,6.932980e-04,6.947264e-04,7.301078e-04,7.398929e-04,7.647866e-04,7.852174e-04,7.986698e-04,8.290698e-04,8.316763e-04,8.637367e-04,8.712837e-04,8.947923e-04,9.117261e-04,9.247947e-04,9.502946e-04,9.537052e-04,9.814939e-04,9.869150e-04,1.008139e-03,1.021538e-03,1.033627e-03,1.054137e-03,1.057950e-03,1.081108e-03,1.084705e-03,1.103104e-03,1.113252e-03,1.123948e-03,1.139802e-03,1.143653e-03,1.162237e-03,1.164393e-03,1.179721e-03,1.187071e-03,1.196127e-03,1.207890e-03,1.211481e-03,1.225811e-03,1.226914e-03,1.239147e-03,1.244209e-03,1.251517e-03,1.259845e-03,1.262955e-03,1.273491e-03,1.273894e-03,1.283159e-03,1.286433e-03,1.291991e-03,1.297536e-03,1.300020e-03,1.307278e-03,1.313798e-03,1.315734e-03,1.319613e-03,1.322978e-03,1.324752e-03,1.329080e-03,1.329248e-03,1.333131e-03,1.334112e-03,1.336430e-03,1.338141e-03,1.339174e-03,1.341232e-03,1.341391e-03,1.343108e-03,1.343449e-03,1.344353e-03,1.344852e-03,1.345149e-03,1.345499e-03,1.345522e-03,1.345495e-03,1.345444e-03,1.345092e-03,1.344741e-03,1.344334e-03,1.343439e-03,1.343242e-03,1.341837e-03,1.341584e-03,1.340138e-03,1.339223e-03,1.338163e-03,1.336396e-03,1.335930e-03,1.333456e-03,1.333144e-03,1.330758e-03,1.329504e-03,1.327850e-03,1.325510e-03,1.324748e-03,1.321466e-03,1.321196e-03,1.318017e-03,1.316593e-03,1.314413e-03,1.311729e-03,1.310667e-03,1.306790e-03,1.306632e-03,1.302793e-03,1.301327e-03,1.298687e-03,1.295838e-03,1.294481e-03,1.290185e-03,1.284391e-03,1.278474e-03,1.272451e-03,1.266339e-03,1.260153e-03,1.253908e-03,1.247616e-03,1.241290e-03,1.234940e-03,1.228577e-03,1.222210e-03,1.215848e-03,1.209499e-03,1.203169e-03,1.196867e-03,1.190598e-03,1.184367e-03,1.178179e-03,1.172040e-03,1.165952e-03,1.159921e-03,1.153948e-03,1.148038e-03,1.142193e-03
0.000000e+00,2.484906e-09,5.911310e-09,2.113676e-08,4.889557e-08,7.173169e-08,1.640203e-07,1.689861e-07,3.272274e-07,3.844337e-07,5.610152e-07,7.438091e-07,8.854259e-07,1.276784e-06,1.315383e-06,1.862876e-06,2.012434e-06,2.531731e-06,2.956786e-06,3.314053e-06,4.083508e-06,4.193579e-06,5.152424e-06,5.352269e-06,6.174726e-06,6.726849e-06,7.246999e-06,8.177646e-06,8.357425e-06,9.495244e-06,9.679159e-06,1.065046e-05,1.120838e-05,1.181376e-05,1.274442e-05,1.297655e-05,1.413104e-05,1.426869e-05,1.527030e-05,1.576517e-05,1.638831e-05,1.722060e-05,1.747994e-05,1.854100e-05,1.862446e-05,1.956811e-05,1.996885e-05,2.055871e-05,2.124824e-05,2.151090e-05,2.242347e-05,2.245913e-05,2.329568e-05,2.359975e-05,2.412732e-05,2.466970e-05,2.491850e-05,2.566969e-05,2.638159e-05,2.660125e-05,2.705512e-05,2.746651e-05,2.769132e-05,2.826804e-05,2.829136e-05,2.885652e-05,2.900868e-05,2.938809e-05,2.969147e-05,2.988742e-05,3.031949e-05,3.035586e-05,3.079475e-05,3.089584e-05,3.120543e-05,3.142357e-05,3.158920e-05,3.190568e-05,3.194734e-05,3.228109e-05,3.234502e-05,3.259164e-05,3.274435e-05,3.288016e-05,3.310629e-05,3.314775e-05,3.339548e-05,3.343334e-05,3.362438e-05,3.372785e-05,3.383543e-05,3.399205e-05,3.402957e-05,3.420769e-05,3.422803e-05,3.437064e-05,3.443775e-05,3.451924e-05,3.462306e-05,3.465426e-05,3.477644e-05,3.478568e-05,3.488647e-05,3.492723e-05,3.498503e-05,3.504923e-05,3.507273e-05,3.515020e-05,3.515309e-05,3.521799e-05,3.524013e-05,3.527665e-05,3.531159e-05,3.532669e-05,3.536861e-05,3.540285e-05,3.541227e-05,3.542987e-05,3.544357e-05,3.545008e-05,3.546345e-05,3.546388e-05,3.547164e-05,3.547278e-05,3.547372e-05,3.547238e-05,3.547045e-05,3.546300e-05,3.546216e-05,3.544914e-05,3.544535e-05,3.543169e-05,3.542009e-05,3.541008e-05,3.538783e-05,3.538457e-05,3.535540e-05,3.534915e-05,3.532281e-05,3.530458e-05,3.528701e-05,3.525462e-05,3.524822e-05,3.520663e-05,3.519973e-05,3.516244e-05,3.514035e-05,3.511581e-05,3.507687e-05,3.506692e-05,3.501593e-05,3.500968e-05,3.496299e-05,3.493912e-05,3.490825e-05,3.486552e-05,3.485183e-05,3.479388e-05,3.478918e-05,3.473450e-05,3.471038e-05,3.467383e-05,3.462940e-05,3.461196e-05,3.454900e-05,3.454646e-05,3.448506e-05,3.446181e-05,3.442022e-05,3.437566e-05,3.435457e-05,3.428819e-05,3.419961e-05,3.411007e-05,3.401974e-05,3.392877e-05,3.383729e-05,3.374544e-05,3.365333e-05,3.356106e-05,3.346875e-05,3.337649e-05,3.328437e-05,3.319246e-05,3.310085e-05,3.300959e-05,3.291877e-05,3.282843e-05,3.273862e-05,3.264941e-05,3.256083e-05,3.247293e-05,3.238575e-05,3.229932e-05,3.221367e-05,3.212883e-05
0.000000e+00,2.784429e-10,1.093666e-09,8.370219e-09,3.224172e-08,5.976051e-08,2.259574e-07,2.370331e-07,6.817668e-07,8.807787e-07,1.601282e-06,2.492967e-06,3.272021e-06,5.769248e-06,6.040469e-06,1.032135e-05,1.162561e-05,1.659120e-05,2.116500e-05,2.537353e-05,3.561217e-05,3.721192e-05,5.263225e-05,5.618878e-05,7.210318e-05,8.395935e-05,9.600550e-05,1.197128e-04,1.246147e-04,1.580952e-04,1.639093e-04,1.965026e-04,2.166783e-04,2.397910e-04,2.778467e-04,2.878233e-04,3.403824e-04,3.469809e-04,3.971842e-04,4.234353e-04,4.578894e-04,5.064022e-04,5.221161e-04,5.894511e-04,5.949593e-04,6.594610e-04,6.881145e-04,7.317014e-04,7.848448e-04,8.057258e-04,8.810933e-04,8.841298e-04,9.573745e-04,9.849794e-04,1.034157e-03,1.086455e-03,1.111050e-03,1.187687e-03,1.263727e-03,1.287883e-03,1.338859e-03,1.386335e-03,1.412799e-03,1.482425e-03,1.485294e-03,1.556119e-03,1.575623e-03,1.625078e-03,1.665486e-03,1.692001e-03,1.751650e-03,1.756747e-03,1.819197e-03,1.833832e-03,1.879256e-03,1.911818e-03,1.936853e-03,1.985458e-03,1.991933e-03,2.044462e-03,2.054660e-03,2.094422e-03,2.119384e-03,2.141810e-03,2.179634e-03,2.186635e-03,2.228921e-03,2.235453e-03,2.268698e-03,2.286913e-03,2.306011e-03,2.334118e-03,2.340907e-03,2.373442e-03,2.377191e-03,2.403680e-03,2.416273e-03,2.431685e-03,2.451519e-03,2.457529e-03,2.481283e-03,2.483096e-03,2.503024e-03,2.511174e-03,2.522828e-03,2.535930e-03,2.540772e-03,2.556934e-03,2.557544e-03,2.571392e-03,2.576195e-03,2.584223e-03,2.592058e-03,2.595504e-03,2.605310e-03,2.613714e-03,2.616120e-03,2.620790e-03,2.624654e-03,2.626607e-03,2.631072e-03,2.631235e-03,2.634739e-03,2.635528e-03,2.637185e-03,2.638169e-03,2.638633e-03,2.639137e-03,2.639145e-03,2.638778e-03,2.638565e-03,2.637587e-03,2.636580e-03,2.635625e-03,2.633302e-03,2.632943e-03,2.629591e-03,2.628844e-03,2.625613e-03,2.623313e-03,2.621055e-03,2.616809e-03,2.615959e-03,2.610364e-03,2.609425e-03,2.604308e-03,2.601249e-03,2.597829e-03,2.592363e-03,2.590959e-03,2.583732e-03,2.582843e-03,2.576179e-03,2.572759e-03,2.568328e-03,2.562179e-03,2.560206e-03,2.551841e-03,2.551162e-03,2.543256e-03,2.539765e-03,2.534474e-03,2.528041e-03,2.525517e-03,2.516405e-03,2.516037e-03,2.507158e-03,2.503799e-03,2.497793e-03,2.491367e-03,2.488328e-03,2.478778e-03,2.466067e-03,2.453265e-03,2.440403e-03,2.427505e-03,2.414597e-03,2.401699e-03,2.388832e-03,2.376015e-03,2.363262e-03,2.350589e-03,2.338010e-03,2.325536e-03,2.313177e-03,2.300944e-03,2.288844e-03,2.276886e-03,2.265074e-03,2.253416e-03,2.241916e-03,2.230578e-03,2.219405e-03,2.208401e-03,2.197568e-03,2.186908e-03
0.000000e+00,2.694031e-10,1.060528e-09,8.158276e-09,3.159662e-08,5.876342e-08,2.245175e-07,2.356367e-07,6.869983e-07,8.913860e-07,1.640579e-06,2.583763e-06,3.419617e-06,6.158193e-06,6.460310e-06,1.132590e-05,1.283928e-05,1.870395e-05,2.422090e-05,2.937182e-05,4.212084e-05,4.413468e-05,6.376213e-05,6.833375e-05,8.894316e-05,1.044305e-04,1.202618e-04,1.516592e-04,1.581872e-04,2.030720e-04,2.109169e-04,2.551553e-04,2.827545e-04,3.145676e-04,3.673965e-04,3.813371e-04,4.553962e-04,4.647667e-04,5.365897e-04,5.745169e-04,6.246820e-04,6.960596e-04,7.193661e-04,8.202722e-04,8.286012e-04,9.269767e-04,9.711783e-04,1.039011e-03,1.122694e-03,1.155871e-03,1.277026e-03,1.281954e-03,1.401926e-03,1.447699e-03,1.530012e-03,1.618642e-03,1.660720e-03,1.793490e-03,1.927773e-03,1.970975e-03,2.063033e-03,2.149872e-03,2.198752e-03,2.329018e-03,2.334439e-03,2.469623e-03,2.507324e-03,2.603866e-03,2.683787e-03,2.736756e-03,2.857495e-03,2.867916e-03,2.996996e-03,3.027630e-03,3.123680e-03,3.193469e-03,3.247684e-03,3.354387e-03,3.368753e-03,3.486664e-03,3.509849e-03,3.601222e-03,3.659410e-03,3.712259e-03,3.802707e-03,3.819636e-03,3.923236e-03,3.939455e-03,4.022969e-03,4.069445e-03,4.118763e-03,4.192529e-03,4.210569e-03,4.298358e-03,4.308621e-03,4.382114e-03,4.417690e-03,4.461842e-03,4.519750e-03,4.537557e-03,4.609290e-03,4.614858e-03,4.677082e-03,4.703107e-03,4.740986e-03,4.784622e-03,4.801062e-03,4.857379e-03,4.859555e-03,4.910015e-03,4.928078e-03,4.959051e-03,4.990385e-03,5.004576e-03,5.046680e-03,5.085460e-03,5.097184e-03,5.121014e-03,5.142122e-03,5.153442e-03,5.181728e-03,5.182847e-03,5.209331e-03,5.216237e-03,5.232998e-03,5.245890e-03,5.253953e-03,5.270924e-03,5.272298e-03,5.288136e-03,5.291576e-03,5.301571e-03,5.308082e-03,5.312702e-03,5.320672e-03,5.321630e-03,5.328451e-03,5.329572e-03,5.333263e-03,5.335002e-03,5.336159e-03,5.337178e-03,5.337230e-03,5.336567e-03,5.336306e-03,5.334258e-03,5.332590e-03,5.330387e-03,5.326222e-03,5.325038e-03,5.318290e-03,5.317390e-03,5.310221e-03,5.306272e-03,5.300908e-03,5.293042e-03,5.290422e-03,5.278834e-03,5.277861e-03,5.266212e-03,5.260888e-03,5.252621e-03,5.242272e-03,5.238125e-03,5.222783e-03,5.222153e-03,5.206655e-03,5.200667e-03,5.189796e-03,5.177942e-03,5.172260e-03,5.154098e-03,5.129250e-03,5.103505e-03,5.076964e-03,5.049725e-03,5.021875e-03,4.993500e-03,4.964679e-03,4.935486e-03,4.905989e-03,4.876254e-03,4.846340e-03,4.816303e-03,4.786195e-03,4.756065e-03,4.725957e-03,4.695911e-03,4.665967e-03,4.636159e-03,4.606519e-03,4.577076e-03,4.547858e-03,4.518888e-03,4.490188e-03,4.461780e-03
0.000000e+00,5.042274e-10,1.979394e-09,1.513802e-08,5.831723e-08,1.081447e-07,4.101991e-07,4.303912e-07,1.246509e-06,1.614658e-06,2.960176e-06,4.648789e-06,6.142139e-06,1.102094e-05,1.155802e-05,2.017674e-05,2.284497e-05,3.312486e-05,4.270662e-05,5.157701e-05,7.324203e-05,7.662936e-05,1.092091e-04,1.166951e-04,1.500306e-04,1.746866e-04,1.995845e-04,2.481646e-04,2.581447e-04,3.257843e-04,3.374443e-04,4.023950e-04,4.422814e-04,4.877085e-04,5.619565e-04,5.813186e-04,6.827030e-04,6.953631e-04,7.912444e-04,8.410940e-04,9.062516e-04,9.975240e-04,1.026979e-03,1.152645e-03,1.162887e-03,1.282448e-03,1.335347e-03,1.415583e-03,1.513056e-03,1.551254e-03,1.688685e-03,1.694208e-03,1.827129e-03,1.877080e-03,1.965878e-03,2.060059e-03,2.104265e-03,2.241671e-03,2.377528e-03,2.420589e-03,2.511320e-03,2.595647e-03,2.642583e-03,2.765835e-03,2.770906e-03,2.895930e-03,2.930302e-03,3.017344e-03,3.088348e-03,3.134885e-03,3.239416e-03,3.248337e-03,3.357524e-03,3.383078e-03,3.462310e-03,3.519030e-03,3.562596e-03,3.647072e-03,3.658316e-03,3.749433e-03,3.767103e-03,3.835939e-03,3.879104e-03,3.917849e-03,3.983129e-03,3.995201e-03,4.068049e-03,4.079292e-03,4.136468e-03,4.167760e-03,4.200543e-03,4.248742e-03,4.260374e-03,4.316069e-03,4.322480e-03,4.367747e-03,4.389243e-03,4.415530e-03,4.449320e-03,4.459548e-03,4.499934e-03,4.503012e-03,4.536825e-03,4.550632e-03,4.570356e-03,4.592496e-03,4.600666e-03,4.627894e-03,4.628921e-03,4.652175e-03,4.660222e-03,4.673646e-03,4.686709e-03,4.692440e-03,4.708688e-03,4.722518e-03,4.726453e-03,4.734054e-03,4.740291e-03,4.743419e-03,4.750476e-03,4.750731e-03,4.756103e-03,4.757274e-03,4.759645e-03,4.760937e-03,4.761465e-03,4.761705e-03,4.761664e-03,4.760340e-03,4.759806e-03,4.757587e-03,4.755456e-03,4.753497e-03,4.748859e-03,4.748154e-03,4.741642e-03,4.740206e-03,4.734039e-03,4.729679e-03,4.725420e-03,4.717448e-03,4.715857e-03,4.705418e-03,4.703671e-03,4.694167e-03,4.688497e-03,4.682166e-03,4.672064e-03,4.669473e-03,4.656142e-03,4.654502e-03,4.642227e-03,4.635932e-03,4.627776e-03,4.616464e-03,4.612836e-03,4.597452e-03,4.596203e-03,4.581664e-03,4.575245e-03,4.565513e-03,4.553680e-03,4.549035e-03,4.532266e-03,4.531590e-03,4.515238e-03,4.509051e-03,4.497983e-03,4.486134e-03,4.480529e-03,4.462903e-03,4.439419e-03,4.415737e-03,4.391906e-03,4.367974e-03,4.343982e-03,4.319970e-03,4.295972e-03,4.272023e-03,4.248150e-03,4.224381e-03,4.200740e-03,4.177249e-03,4.153928e-03,4.130794e-03,4.107865e-03,4.085154e-03,4.062673e-03,4.040435e-03,4.018449e-03,3.996725e-03,3.975269e-03,3.954089e-03,3.933189e-03,3.912576e-03
0.000000e+00,1.107849e-11,4.229115e-11,3.048887e-10,1.111201e-09,1.997245e-09,6.965303e-09,7.282412e-09,1.928772e-08,2.435566e-08,4.177656e-08,6.199465e-08,7.882817e-08,1.293148e-07,1.345543e-07,2.128731e-07,2.354359e-07,3.173381e-07,3.884216e-07,4.510038e-07,5.947353e-07,6.163053e-07,8.149247e-07,8.587333e-07,1.047648e-06,1.182108e-06,1.314244e-06,1.563446e-06,1.613420e-06,1.942880e-06,1.998204e-06,2.299475e-06,2.479182e-06,2.679403e-06,2.997301e-06,3.078417e-06,3.492025e-06,3.542422e-06,3.915662e-06,4.104075e-06,4.344830e-06,4.672029e-06,4.775209e-06,5.202754e-06,5.236721e-06,5.623754e-06,5.789563e-06,6.034886e-06,6.323144e-06,6.433247e-06,6.816369e-06,6.831346e-06,7.182222e-06,7.309382e-06,7.529211e-06,7.753769e-06,7.856154e-06,8.162255e-06,8.447076e-06,8.533696e-06,8.710495e-06,8.867914e-06,8.952670e-06,9.165539e-06,9.173999e-06,9.375073e-06,9.427843e-06,9.556645e-06,9.656588e-06,9.719591e-06,9.853876e-06,9.864873e-06,9.993514e-06,1.002203e-05,1.010657e-05,1.016347e-05,1.020511e-05,1.028066e-05,1.029019e-05,1.036285e-05,1.037598e-05,1.042409e-05,1.045175e-05,1.047488e-05,1.051013e-05,1.051612e-05,1.054868e-05,1.055313e-05,1.057334e-05,1.058260e-05,1.059086e-05,1.060021e-05,1.060193e-05,1.060718e-05,1.060745e-05,1.060719e-05,1.060567e-05,1.060249e-05,1.059606e-05,1.059356e-05,1.058083e-05,1.057967e-05,1.056472e-05,1.055740e-05,1.054557e-05,1.053009e-05,1.052371e-05,1.049943e-05,1.049841e-05,1.047300e-05,1.046300e-05,1.044465e-05,1.042439e-05,1.041460e-05,1.038304e-05,1.035014e-05,1.033935e-05,1.031605e-05,1.029369e-05,1.028094e-05,1.024636e-05,1.024491e-05,1.020808e-05,1.019764e-05,1.017057e-05,1.014777e-05,1.013245e-05,1.009694e-05,1.009383e-05,1.005478e-05,1.004535e-05,1.001537e-05,9.993169e-06,9.975667e-06,9.940530e-06,9.935726e-06,9.895605e-06,9.887564e-06,9.855353e-06,9.834385e-06,9.815015e-06,9.781095e-06,9.774632e-06,9.734244e-06,9.727784e-06,9.693886e-06,9.674533e-06,9.653588e-06,9.621415e-06,9.613383e-06,9.573296e-06,9.568495e-06,9.533353e-06,9.515829e-06,9.493576e-06,9.463471e-06,9.453988e-06,9.414606e-06,9.411465e-06,9.375450e-06,9.359854e-06,9.336534e-06,9.308673e-06,9.297876e-06,9.259487e-06,9.257957e-06,9.221381e-06,9.207734e-06,9.183569e-06,9.158031e-06,9.146062e-06,9.108869e-06,9.060269e-06,9.012250e-06,8.964825e-06,8.918008e-06,8.871811e-06,8.826242e-06,8.781309e-06,8.737020e-06,8.693378e-06,8.650387e-06,8.608050e-06,8.566369e-06,8.525343e-06,8.484973e-06,8.445257e-06,8.406194e-06,8.367780e-06,8.330012e-06,8.292887e-06,8.256400e-06,8.220547e-06,8.185321e-06,8.150718e-06,8.116732e-06
0.000000e+00,3.450512e-09,7.819664e-09,2.629220e-08,5.857260e-08,8.446862e-08,1.860385e-07,1.914089e-07,3.595575e-07,4.193219e-07,6.016462e-07,7.879379e-07,9.309576e-07,1.320799e-06,1.358800e-06,1.887737e-06,2.028683e-06,2.505712e-06,2.882374e-06,3.190134e-06,3.828795e-06,3.917718e-06,4.669799e-06,4.821863e-06,5.432460e-06,5.829602e-06,6.195064e-06,6.829254e-06,6.948980e-06,7.686829e-06,7.802952e-06,8.402176e-06,8.735869e-06,9.089403e-06,9.615693e-06,9.743724e-06,1.036124e-05,1.043271e-05,1.093895e-05,1.117996e-05,1.147477e-05,1.185320e-05,1.196748e-05,1.241669e-05,1.245076e-05,1.282272e-05,1.297324e-05,1.318653e-05,1.342313e-05,1.350957e-05,1.379369e-05,1.380428e-05,1.404104e-05,1.412152e-05,1.425394e-05,1.438028e-05,1.443483e-05,1.458624e-05,1.471066e-05,1.474515e-05,1.481038e-05,1.486232e-05,1.488773e-05,1.494298e-05,1.494491e-05,1.498394e-05,1.499189e-05,1.500676e-05,1.501340e-05,1.501510e-05,1.501139e-05,1.501059e-05,1.499469e-05,1.498933e-05,1.496873e-05,1.495025e-05,1.493391e-05,1.489681e-05,1.489132e-05,1.484193e-05,1.483131e-05,1.478660e-05,1.475575e-05,1.472612e-05,1.467183e-05,1.466116e-05,1.459236e-05,1.458103e-05,1.452025e-05,1.448461e-05,1.444533e-05,1.438366e-05,1.436803e-05,1.428874e-05,1.427911e-05,1.420780e-05,1.417175e-05,1.412552e-05,1.406226e-05,1.404217e-05,1.395798e-05,1.395122e-05,1.387319e-05,1.383914e-05,1.378796e-05,1.372644e-05,1.370249e-05,1.361691e-05,1.361349e-05,1.353137e-05,1.350061e-05,1.344598e-05,1.338806e-05,1.336085e-05,1.327608e-05,1.319176e-05,1.316488e-05,1.310795e-05,1.305461e-05,1.302472e-05,1.294543e-05,1.294214e-05,1.286026e-05,1.283746e-05,1.277912e-05,1.273081e-05,1.269877e-05,1.262557e-05,1.261924e-05,1.254056e-05,1.252180e-05,1.246276e-05,1.241958e-05,1.238586e-05,1.231896e-05,1.230989e-05,1.223486e-05,1.221997e-05,1.216079e-05,1.212266e-05,1.208769e-05,1.202703e-05,1.201556e-05,1.194442e-05,1.193313e-05,1.187427e-05,1.184095e-05,1.180511e-05,1.175050e-05,1.173695e-05,1.166979e-05,1.166180e-05,1.160362e-05,1.157483e-05,1.153845e-05,1.148959e-05,1.147428e-05,1.141109e-05,1.140608e-05,1.134888e-05,1.132427e-05,1.128766e-05,1.124417e-05,1.122740e-05,1.116811e-05,1.116576e-05,1.110978e-05,1.108901e-05,1.105239e-05,1.101391e-05,1.099595e-05,1.094043e-05,1.086856e-05,1.079828e-05,1.072955e-05,1.066236e-05,1.059667e-05,1.053248e-05,1.046973e-05,1.040842e-05,1.034852e-05,1.028999e-05,1.023282e-05,1.017697e-05,1.012242e-05,1.006913e-05,1.001710e-05,9.966279e-06,9.916653e-06,9.868194e-06,9.820876e-06,9.774673e-06,9.729561e-06,9.685515e-06,9.642511e-06,9.600524e-06
0.000000e+00,5.644055e-10,1.882856e-09,1.054495e-08,3.143283e-08,5.113774e-08,1.422730e-07,1.475210e-07,3.254136e-07,3.933950e-07,6.112237e-07,8.460739e-07,1.032970e-06,1.567026e-06,1.620929e-06,2.407109e-06,2.628797e-06,3.422119e-06,4.099425e-06,4.688380e-06,6.015913e-06,6.212089e-06,7.980567e-06,8.361489e-06,9.967985e-06,1.107793e-05,1.214416e-05,1.409692e-05,1.448038e-05,1.695120e-05,1.735749e-05,1.953420e-05,2.080789e-05,2.220914e-05,2.440263e-05,2.495724e-05,2.776079e-05,2.810014e-05,3.060306e-05,3.186182e-05,3.346827e-05,3.565204e-05,3.634165e-05,3.920960e-05,3.943842e-05,4.205972e-05,4.319224e-05,4.488088e-05,4.688859e-05,4.766321e-05,5.039815e-05,5.050645e-05,5.307833e-05,5.402856e-05,5.569753e-05,5.744111e-05,5.825063e-05,6.073347e-05,6.314278e-05,6.389781e-05,6.547608e-05,6.692864e-05,6.773155e-05,6.982247e-05,6.990800e-05,7.200472e-05,7.257748e-05,7.402151e-05,7.519326e-05,7.595852e-05,7.767052e-05,7.781624e-05,7.959539e-05,8.001081e-05,8.129698e-05,8.221641e-05,8.292216e-05,8.429016e-05,8.447225e-05,8.594870e-05,8.623528e-05,8.735304e-05,8.805533e-05,8.868689e-05,8.975409e-05,8.995194e-05,9.114993e-05,9.133550e-05,9.228260e-05,9.280360e-05,9.335173e-05,9.416247e-05,9.435908e-05,9.530643e-05,9.541617e-05,9.619555e-05,9.656877e-05,9.702821e-05,9.762435e-05,9.780616e-05,9.853114e-05,9.858690e-05,9.920485e-05,9.946035e-05,9.982897e-05,1.002486e-04,1.004052e-04,1.009351e-04,1.009553e-04,1.014203e-04,1.015843e-04,1.018624e-04,1.021392e-04,1.022629e-04,1.026233e-04,1.029451e-04,1.030402e-04,1.032298e-04,1.033931e-04,1.034787e-04,1.036852e-04,1.036931e-04,1.038745e-04,1.039196e-04,1.040242e-04,1.040992e-04,1.041433e-04,1.042270e-04,1.042331e-04,1.042949e-04,1.043057e-04,1.043298e-04,1.043380e-04,1.043388e-04,1.043264e-04,1.043232e-04,1.042840e-04,1.042734e-04,1.042222e-04,1.041815e-04,1.041388e-04,1.040529e-04,1.040349e-04,1.039112e-04,1.038897e-04,1.037688e-04,1.036941e-04,1.036086e-04,1.034681e-04,1.034313e-04,1.032379e-04,1.032137e-04,1.030291e-04,1.029326e-04,1.028057e-04,1.026266e-04,1.025685e-04,1.023181e-04,1.022975e-04,1.020553e-04,1.019468e-04,1.017807e-04,1.015762e-04,1.014951e-04,1.011990e-04,1.011869e-04,1.008930e-04,1.007806e-04,1.005778e-04,1.003584e-04,1.002538e-04,9.992169e-05,9.947168e-05,9.900950e-05,9.853626e-05,9.805301e-05,9.756072e-05,9.706034e-05,9.655277e-05,9.603884e-05,9.551937e-05,9.499510e-05,9.446676e-05,9.393502e-05,9.340053e-05,9.286388e-05,9.232566e-05,9.178638e-05,9.124657e-05,9.070669e-05,9.016718e-05,8.962848e-05,8.909097e-05,8.855502e-05,8.802096e-05,8.748913e-05
0.000000e+00,2.121725e-10,8.035009e-10,5.706831e-09,2.056542e-08,3.677566e-08,1.271242e-07,1.328837e-07,3.516182e-07,4.445757e-07,7.675190e-07,1.149146e-06,1.472402e-06,2.470002e-06,2.575783e-06,4.200041e-06,4.680954e-06,6.463559e-06,8.045517e-06,9.455899e-06,1.272869e-05,1.322184e-05,1.776268e-05,1.876155e-05,2.304785e-05,2.607429e-05,2.902774e-05,3.454458e-05,3.564319e-05,4.283115e-05,4.403007e-05,5.052754e-05,5.438360e-05,5.866844e-05,6.545871e-05,6.719066e-05,7.603194e-05,7.711143e-05,8.513139e-05,8.920161e-05,9.442986e-05,1.015948e-04,1.038706e-04,1.133996e-04,1.141641e-04,1.229663e-04,1.267929e-04,1.325240e-04,1.393759e-04,1.420301e-04,1.514462e-04,1.518205e-04,1.607386e-04,1.640477e-04,1.698775e-04,1.759913e-04,1.788377e-04,1.875978e-04,1.961401e-04,1.988253e-04,2.044503e-04,2.096417e-04,2.125171e-04,2.200242e-04,2.203318e-04,2.278884e-04,2.299573e-04,2.351826e-04,2.394323e-04,2.422124e-04,2.484456e-04,2.489770e-04,2.554771e-04,2.569980e-04,2.617145e-04,2.650937e-04,2.676920e-04,2.727398e-04,2.734129e-04,2.788815e-04,2.799454e-04,2.841025e-04,2.867211e-04,2.890807e-04,2.930789e-04,2.938217e-04,2.983311e-04,2.990315e-04,3.026147e-04,3.045924e-04,3.066785e-04,3.097753e-04,3.105285e-04,3.141709e-04,3.145943e-04,3.176116e-04,3.190633e-04,3.208569e-04,3.231964e-04,3.239129e-04,3.267855e-04,3.270075e-04,3.294807e-04,3.305104e-04,3.320044e-04,3.337185e-04,3.343624e-04,3.365604e-04,3.366451e-04,3.386040e-04,3.393030e-04,3.404988e-04,3.417048e-04,3.422499e-04,3.438628e-04,3.453425e-04,3.457887e-04,3.466941e-04,3.474941e-04,3.479224e-04,3.489901e-04,3.490323e-04,3.500284e-04,3.502875e-04,3.509151e-04,3.513965e-04,3.516969e-04,3.523271e-04,3.523780e-04,3.529627e-04,3.530891e-04,3.534549e-04,3.536916e-04,3.538585e-04,3.541435e-04,3.541774e-04,3.544152e-04,3.544533e-04,3.545755e-04,3.546294e-04,3.546617e-04,3.546794e-04,3.546773e-04,3.546253e-04,3.546110e-04,3.545091e-04,3.544313e-04,3.543315e-04,3.541472e-04,3.540955e-04,3.538040e-04,3.537654e-04,3.534597e-04,3.532922e-04,3.530653e-04,3.527335e-04,3.526232e-04,3.521360e-04,3.520951e-04,3.516060e-04,3.513826e-04,3.510356e-04,3.506011e-04,3.504269e-04,3.497821e-04,3.497555e-04,3.491031e-04,3.488508e-04,3.483921e-04,3.478913e-04,3.476509e-04,3.468813e-04,3.458251e-04,3.447263e-04,3.435888e-04,3.424159e-04,3.412111e-04,3.399775e-04,3.387180e-04,3.374355e-04,3.361325e-04,3.348118e-04,3.334755e-04,3.321261e-04,3.307655e-04,3.293958e-04,3.280189e-04,3.266366e-04,3.252504e-04,3.238620e-04,3.224729e-04,3.210844e-04,3.196977e-04,3.183142e-04,3.169349e-04,3.155609e-04
0.000000e+00,7.256368e-11,2.698964e-10,1.848185e-09,6.454978e-09,1.136088e-08,3.792382e-08,3.959478e-08,1.024593e-07,1.290780e-07,2.218816e-07,3.325960e-07,4.272508e-07,7.226251e-07,7.540879e-07,1.235140e-06,1.375675e-06,1.884042e-06,2.315661e-06,2.683866e-06,3.478790e-06,3.591658e-06,4.553593e-06,4.747867e-06,5.519228e-06,6.009269e-06,6.449343e-06,7.183766e-06,7.317878e-06,8.110396e-06,8.229670e-06,8.821253e-06,9.133384e-06,9.450738e-06,9.898286e-06,1.000276e-05,1.048316e-05,1.053631e-05,1.089863e-05,1.106263e-05,1.125601e-05,1.149285e-05,1.156192e-05,1.182255e-05,1.184161e-05,1.204357e-05,1.212205e-05,1.223010e-05,1.234562e-05,1.238670e-05,1.251740e-05,1.252214e-05,1.262574e-05,1.265988e-05,1.271481e-05,1.276574e-05,1.278727e-05,1.284541e-05,1.289121e-05,1.290354e-05,1.292634e-05,1.294389e-05,1.295223e-05,1.296952e-05,1.297010e-05,1.298097e-05,1.298288e-05,1.298572e-05,1.298595e-05,1.298509e-05,1.298031e-05,1.297972e-05,1.297014e-05,1.296726e-05,1.295681e-05,1.294787e-05,1.294015e-05,1.292299e-05,1.292049e-05,1.289813e-05,1.289336e-05,1.287335e-05,1.285959e-05,1.284638e-05,1.282218e-05,1.281742e-05,1.278667e-05,1.278159e-05,1.275428e-05,1.273820e-05,1.272041e-05,1.269235e-05,1.268521e-05,1.264878e-05,1.264434e-05,1.261126e-05,1.259442e-05,1.257273e-05,1.254285e-05,1.253331e-05,1.249307e-05,1.248982e-05,1.245211e-05,1.243554e-05,1.241049e-05,1.238017e-05,1.236830e-05,1.232559e-05,1.232387e-05,1.228243e-05,1.226679e-05,1.223887e-05,1.220906e-05,1.219498e-05,1.215079e-05,1.210636e-05,1.209209e-05,1.206172e-05,1.203307e-05,1.201693e-05,1.197381e-05,1.197201e-05,1.192701e-05,1.191440e-05,1.188196e-05,1.185492e-05,1.183689e-05,1.179543e-05,1.179183e-05,1.174680e-05,1.173600e-05,1.170183e-05,1.167669e-05,1.165695e-05,1.161755e-05,1.161218e-05,1.156754e-05,1.155863e-05,1.152305e-05,1.149998e-05,1.147873e-05,1.144164e-05,1.143459e-05,1.139065e-05,1.138364e-05,1.134693e-05,1.132603e-05,1.130344e-05,1.126882e-05,1.126019e-05,1.121720e-05,1.121206e-05,1.117448e-05,1.115576e-05,1.113203e-05,1.109996e-05,1.108986e-05,1.104800e-05,1.104466e-05,1.100643e-05,1.098990e-05,1.096518e-05,1.093568e-05,1.092425e-05,1.088364e-05,1.088202e-05,1.084336e-05,1.082894e-05,1.080342e-05,1.077645e-05,1.076382e-05,1.072456e-05,1.067328e-05,1.062261e-05,1.057256e-05,1.052315e-05,1.047436e-05,1.042622e-05,1.037871e-05,1.033185e-05,1.028562e-05,1.024005e-05,1.019511e-05,1.015082e-05,1.010717e-05,1.006415e-05,1.002178e-05,9.980041e-06,9.938932e-06,9.898452e-06,9.858595e-06,9.819359e-06,9.780737e-06,9.742726e-06,9.705321e-06,9.668515e-06
0.000000e+00,2.525709e-09,6.479873e-09,2.515847e-08,6.051630e-08,9.007884e-08,2.112101e-07,2.177687e-07,4.276615e-07,5.037541e-07,7.387349e-07,9.816471e-07,1.169317e-06,1.684207e-06,1.734626e-06,2.441700e-06,2.632272e-06,3.286848e-06,3.816636e-06,4.259551e-06,5.211142e-06,5.347334e-06,6.537549e-06,6.786761e-06,7.817347e-06,8.513847e-06,9.173419e-06,1.036139e-05,1.059198e-05,1.205899e-05,1.229726e-05,1.356043e-05,1.428934e-05,1.508273e-05,1.630694e-05,1.661306e-05,1.813960e-05,1.832202e-05,1.965175e-05,2.031009e-05,2.114021e-05,2.225068e-05,2.259707e-05,2.401576e-05,2.412744e-05,2.539097e-05,2.592792e-05,2.671859e-05,2.764326e-05,2.799557e-05,2.921979e-05,2.926764e-05,3.038994e-05,3.079783e-05,3.150544e-05,3.223273e-05,3.256627e-05,3.357288e-05,3.452611e-05,3.482005e-05,3.542709e-05,3.597692e-05,3.627719e-05,3.704682e-05,3.707793e-05,3.783097e-05,3.803350e-05,3.853804e-05,3.894097e-05,3.920095e-05,3.977335e-05,3.982148e-05,4.040145e-05,4.053481e-05,4.094265e-05,4.122945e-05,4.144684e-05,4.186129e-05,4.191575e-05,4.235106e-05,4.243423e-05,4.275438e-05,4.295199e-05,4.312729e-05,4.341814e-05,4.347130e-05,4.378788e-05,4.383608e-05,4.407840e-05,4.420900e-05,4.434422e-05,4.453995e-05,4.458662e-05,4.480680e-05,4.483179e-05,4.500595e-05,4.508720e-05,4.518518e-05,4.530872e-05,4.534554e-05,4.548805e-05,4.549871e-05,4.561368e-05,4.565940e-05,4.572333e-05,4.579287e-05,4.581787e-05,4.589815e-05,4.590107e-05,4.596494e-05,4.598582e-05,4.601899e-05,4.604883e-05,4.606101e-05,4.609169e-05,4.611166e-05,4.611589e-05,4.612154e-05,4.612283e-05,4.612189e-05,4.611379e-05,4.611328e-05,4.609622e-05,4.609000e-05,4.607121e-05,4.605258e-05,4.603872e-05,4.600260e-05,4.599919e-05,4.595306e-05,4.594105e-05,4.590072e-05,4.586884e-05,4.584255e-05,4.578683e-05,4.577892e-05,4.571016e-05,4.569583e-05,4.563662e-05,4.559658e-05,4.555859e-05,4.548979e-05,4.547637e-05,4.539024e-05,4.537611e-05,4.530046e-05,4.525614e-05,4.520728e-05,4.513046e-05,4.511095e-05,4.501169e-05,4.499959e-05,4.490971e-05,4.486403e-05,4.480522e-05,4.472424e-05,4.469840e-05,4.458945e-05,4.458065e-05,4.447854e-05,4.443366e-05,4.436582e-05,4.428364e-05,4.425146e-05,4.413561e-05,4.413095e-05,4.401840e-05,4.397590e-05,4.389998e-05,4.381881e-05,4.378045e-05,4.365996e-05,4.349960e-05,4.333799e-05,4.317534e-05,4.301189e-05,4.284781e-05,4.268330e-05,4.251854e-05,4.235366e-05,4.218884e-05,4.202419e-05,4.185986e-05,4.169596e-05,4.153259e-05,4.136986e-05,4.120786e-05,4.104668e-05,4.088640e-05,4.072710e-05,4.056883e-05,4.041166e-05,4.025565e-05,4.010085e-05,3.994731e-05,3.979507e-05
0.000000e+00,9.787335e-10,2.355818e-09,8.506435e-09,1.973389e-08,2.897379e-08,6.640437e-08,6.842415e-08,1.331978e-07,1.568285e-07,2.305128e-07,3.078862e-07,3.684612e-07,5.374850e-07,5.542017e-07,7.899521e-07,8.535603e-07,1.070958e-06,1.244981e-06,1.388860e-06,1.692843e-06,1.735790e-06,2.105663e-06,2.181962e-06,2.493810e-06,2.701569e-06,2.896373e-06,3.243121e-06,3.309880e-06,3.731025e-06,3.798901e-06,4.156584e-06,4.361493e-06,4.583415e-06,4.923759e-06,5.008495e-06,5.428980e-06,5.479003e-06,5.842255e-06,6.021198e-06,6.245983e-06,6.545172e-06,6.638137e-06,7.017022e-06,7.046716e-06,7.381272e-06,7.522631e-06,7.729849e-06,7.970698e-06,8.062022e-06,8.377341e-06,8.389599e-06,8.675594e-06,8.778782e-06,8.956786e-06,9.138346e-06,9.221114e-06,9.468924e-06,9.700679e-06,9.771539e-06,9.916937e-06,1.004750e-05,1.011833e-05,1.029830e-05,1.030552e-05,1.047922e-05,1.052554e-05,1.064015e-05,1.073087e-05,1.078901e-05,1.091592e-05,1.092652e-05,1.105338e-05,1.108231e-05,1.117024e-05,1.123155e-05,1.127774e-05,1.136509e-05,1.137650e-05,1.146710e-05,1.148429e-05,1.155009e-05,1.159040e-05,1.162598e-05,1.168459e-05,1.169524e-05,1.175834e-05,1.176789e-05,1.181569e-05,1.184128e-05,1.186767e-05,1.190563e-05,1.191465e-05,1.195696e-05,1.196174e-05,1.199492e-05,1.201032e-05,1.202882e-05,1.205203e-05,1.205893e-05,1.208548e-05,1.208746e-05,1.210872e-05,1.211713e-05,1.212885e-05,1.214154e-05,1.214608e-05,1.216059e-05,1.216111e-05,1.217254e-05,1.217625e-05,1.218210e-05,1.218731e-05,1.218942e-05,1.219462e-05,1.219785e-05,1.219848e-05,1.219921e-05,1.219915e-05,1.219882e-05,1.219690e-05,1.219678e-05,1.219320e-05,1.219193e-05,1.218815e-05,1.218446e-05,1.218173e-05,1.217467e-05,1.217401e-05,1.216507e-05,1.216276e-05,1.215499e-05,1.214886e-05,1.214382e-05,1.213314e-05,1.213162e-05,1.211847e-05,1.211572e-05,1.210440e-05,1.209675e-05,1.208948e-05,1.207632e-05,1.207376e-05,1.205727e-05,1.205457e-05,1.204007e-05,1.203157e-05,1.202219e-05,1.200743e-05,1.200368e-05,1.198458e-05,1.198225e-05,1.196491e-05,1.195609e-05,1.194472e-05,1.192903e-05,1.192403e-05,1.190287e-05,1.190116e-05,1.188128e-05,1.187253e-05,1.185929e-05,1.184321e-05,1.183691e-05,1.181417e-05,1.181326e-05,1.179111e-05,1.178273e-05,1.176773e-05,1.175167e-05,1.174407e-05,1.172014e-05,1.168818e-05,1.165583e-05,1.162314e-05,1.159014e-05,1.155687e-05,1.152336e-05,1.148965e-05,1.145576e-05,1.142173e-05,1.138758e-05,1.135334e-05,1.131902e-05,1.128466e-05,1.125028e-05,1.121588e-05,1.118151e-05,1.114716e-05,1.111286e-05,1.107863e-05,1.104448e-05,1.101042e-05,1.097647e-05,1.094264e-05,1.090893e-05
0.000000e+00,1.519333e-11,5.753375e-11,4.079387e-10,1.464648e-09,2.611171e-09,8.920468e-09,9.318914e-09,2.420274e-08,3.040579e-08,5.150956e-08,7.571461e-08,9.570762e-08,1.551029e-07,1.612310e-07,2.523087e-07,2.784107e-07,3.728237e-07,4.544478e-07,5.261218e-07,6.901428e-07,7.146855e-07,9.396592e-07,9.889994e-07,1.200360e-06,1.349208e-06,1.494025e-06,1.762791e-06,1.815961e-06,2.160049e-06,2.216704e-06,2.519411e-06,2.695264e-06,2.887043e-06,3.182625e-06,3.256313e-06,3.621279e-06,3.664534e-06,3.976854e-06,4.129225e-06,4.318869e-06,4.567685e-06,4.644049e-06,4.949952e-06,4.973536e-06,5.234879e-06,5.342723e-06,5.497785e-06,5.673146e-06,5.738177e-06,5.956031e-06,5.964280e-06,6.151703e-06,6.216834e-06,6.325853e-06,6.432431e-06,6.479377e-06,6.613346e-06,6.728953e-06,6.762275e-06,6.827466e-06,6.882145e-06,6.910190e-06,6.975967e-06,6.978435e-06,7.033491e-06,7.046715e-06,7.076607e-06,7.097243e-06,7.108974e-06,7.130227e-06,7.131718e-06,7.145891e-06,7.148127e-06,7.152467e-06,7.153169e-06,7.152342e-06,7.147338e-06,7.146331e-06,7.135177e-06,7.132389e-06,7.119547e-06,7.109852e-06,7.100042e-06,7.081057e-06,7.077197e-06,7.051492e-06,7.047142e-06,7.023348e-06,7.009085e-06,6.993142e-06,6.967716e-06,6.961205e-06,6.927829e-06,6.923739e-06,6.893270e-06,6.877749e-06,6.857755e-06,6.830245e-06,6.821480e-06,6.784618e-06,6.781648e-06,6.747321e-06,6.732311e-06,6.709721e-06,6.682528e-06,6.671935e-06,6.634062e-06,6.632546e-06,6.596191e-06,6.582573e-06,6.558399e-06,6.532781e-06,6.520754e-06,6.483313e-06,6.446128e-06,6.434290e-06,6.409242e-06,6.385810e-06,6.372694e-06,6.337956e-06,6.336517e-06,6.300739e-06,6.290797e-06,6.265386e-06,6.244386e-06,6.230477e-06,6.198770e-06,6.196032e-06,6.162064e-06,6.153985e-06,6.128588e-06,6.110060e-06,6.095613e-06,6.067017e-06,6.063148e-06,6.031200e-06,6.024872e-06,5.999772e-06,5.983638e-06,5.968870e-06,5.943320e-06,5.938496e-06,5.908650e-06,5.903924e-06,5.879334e-06,5.865450e-06,5.850546e-06,5.827896e-06,5.822286e-06,5.794551e-06,5.791258e-06,5.767338e-06,5.755529e-06,5.740645e-06,5.720702e-06,5.714466e-06,5.688799e-06,5.686767e-06,5.663637e-06,5.653713e-06,5.638977e-06,5.621529e-06,5.614812e-06,5.591137e-06,5.590200e-06,5.567946e-06,5.559715e-06,5.545233e-06,5.530057e-06,5.522991e-06,5.501214e-06,5.473168e-06,5.445905e-06,5.419409e-06,5.393663e-06,5.368651e-06,5.344358e-06,5.320765e-06,5.297858e-06,5.275620e-06,5.254034e-06,5.233085e-06,5.212756e-06,5.193032e-06,5.173897e-06,5.155336e-06,5.137333e-06,5.119874e-06,5.102945e-06,5.086529e-06,5.070615e-06,5.055187e-06,5.040231e-06,5.025736e-06,5.011687e-06
0.000000e+00,3.133783e-11,1.178396e-10,8.241457e-10,2.925509e-09,5.185854e-09,1.749192e-08,1.826500e-08,4.700893e-08,5.895223e-08,9.956791e-08,1.462356e-07,1.849029e-07,3.005617e-07,3.125643e-07,4.924086e-07,5.444088e-07,7.338447e-07,8.988588e-07,1.044294e-06,1.377470e-06,1.427247e-06,1.881063e-06,1.979831e-06,2.399271e-06,2.690999e-06,2.972010e-06,3.486829e-06,3.587745e-06,4.234656e-06,4.340293e-06,4.901544e-06,5.225723e-06,5.578271e-06,6.120710e-06,6.255932e-06,6.926858e-06,7.006596e-06,7.584542e-06,7.868291e-06,8.223551e-06,8.693939e-06,8.839439e-06,9.428657e-06,9.474555e-06,9.988486e-06,1.020373e-05,1.051696e-05,1.087731e-05,1.101280e-05,1.147534e-05,1.149315e-05,1.190444e-05,1.205077e-05,1.230040e-05,1.255106e-05,1.266390e-05,1.299596e-05,1.329780e-05,1.338823e-05,1.357083e-05,1.373117e-05,1.381660e-05,1.402839e-05,1.403672e-05,1.423283e-05,1.428366e-05,1.440657e-05,1.450074e-05,1.455954e-05,1.468329e-05,1.469332e-05,1.480940e-05,1.483478e-05,1.490919e-05,1.495846e-05,1.499403e-05,1.505733e-05,1.506519e-05,1.512381e-05,1.513413e-05,1.517097e-05,1.519130e-05,1.520767e-05,1.523108e-05,1.523482e-05,1.525325e-05,1.525544e-05,1.526373e-05,1.526615e-05,1.526697e-05,1.526477e-05,1.526360e-05,1.525421e-05,1.525270e-05,1.523932e-05,1.523115e-05,1.521941e-05,1.520121e-05,1.519494e-05,1.516629e-05,1.516383e-05,1.513383e-05,1.511986e-05,1.509790e-05,1.507006e-05,1.505881e-05,1.501682e-05,1.501509e-05,1.497221e-05,1.495554e-05,1.492519e-05,1.489195e-05,1.487598e-05,1.482479e-05,1.477178e-05,1.475447e-05,1.471714e-05,1.468138e-05,1.466101e-05,1.460585e-05,1.460353e-05,1.454483e-05,1.452820e-05,1.448504e-05,1.444869e-05,1.442427e-05,1.436759e-05,1.436262e-05,1.430019e-05,1.428510e-05,1.423707e-05,1.420145e-05,1.417334e-05,1.411682e-05,1.410908e-05,1.404436e-05,1.403137e-05,1.397925e-05,1.394526e-05,1.391382e-05,1.385864e-05,1.384811e-05,1.378219e-05,1.377163e-05,1.371611e-05,1.368435e-05,1.364991e-05,1.359690e-05,1.358365e-05,1.351735e-05,1.350940e-05,1.345107e-05,1.342191e-05,1.338483e-05,1.333454e-05,1.331867e-05,1.325262e-05,1.324734e-05,1.318672e-05,1.316040e-05,1.312098e-05,1.307378e-05,1.305545e-05,1.299013e-05,1.298752e-05,1.292506e-05,1.290170e-05,1.286025e-05,1.281634e-05,1.279572e-05,1.273150e-05,1.264722e-05,1.256353e-05,1.248047e-05,1.239806e-05,1.231633e-05,1.223531e-05,1.215502e-05,1.207547e-05,1.199668e-05,1.191868e-05,1.184146e-05,1.176505e-05,1.168945e-05,1.161467e-05,1.154072e-05,1.146761e-05,1.139533e-05,1.132389e-05,1.125330e-05,1.118355e-05,1.111465e-05,1.104659e-05,1.097938e-05,1.091301e-05
0.000000e+00,8.929154e-11,3.382985e-10,2.404844e-09,8.673972e-09,1.552042e-08,5.376985e-08,5.621256e-08,1.492928e-07,1.890088e-07,3.275671e-07,4.921776e-07,6.320793e-07,1.064399e-06,1.110162e-06,1.807191e-06,2.010956e-06,2.754433e-06,3.399026e-06,3.962713e-06,5.236469e-06,5.424750e-06,7.121165e-06,7.486353e-06,9.025947e-06,1.008921e-05,1.111011e-05,1.297760e-05,1.334381e-05,1.569741e-05,1.608318e-05,1.814214e-05,1.933986e-05,2.065052e-05,2.268561e-05,2.319668e-05,2.575668e-05,2.606375e-05,2.830877e-05,2.942412e-05,3.083361e-05,3.272381e-05,3.331436e-05,3.573671e-05,3.592760e-05,3.808885e-05,3.900786e-05,4.036135e-05,4.194408e-05,4.254696e-05,4.464043e-05,4.472220e-05,4.663826e-05,4.733365e-05,4.853848e-05,4.977447e-05,5.034039e-05,5.204438e-05,5.365169e-05,5.414591e-05,5.516425e-05,5.608371e-05,5.658456e-05,5.786392e-05,5.791548e-05,5.916017e-05,5.949369e-05,6.032199e-05,6.098075e-05,6.140441e-05,6.233315e-05,6.241096e-05,6.334518e-05,6.355901e-05,6.421055e-05,6.466638e-05,6.501053e-05,6.566308e-05,6.574846e-05,6.642761e-05,6.655666e-05,6.705110e-05,6.735433e-05,6.762197e-05,6.806296e-05,6.814312e-05,6.861731e-05,6.868901e-05,6.904721e-05,6.923857e-05,6.943533e-05,6.971737e-05,6.978408e-05,7.009574e-05,7.013075e-05,7.037249e-05,7.048373e-05,7.061637e-05,7.078095e-05,7.082934e-05,7.101326e-05,7.102677e-05,7.116986e-05,7.122522e-05,7.130080e-05,7.138008e-05,7.140766e-05,7.149190e-05,7.149482e-05,7.155494e-05,7.157270e-05,7.159810e-05,7.161673e-05,7.162262e-05,7.162970e-05,7.162043e-05,7.161419e-05,7.159589e-05,7.157262e-05,7.155706e-05,7.150722e-05,7.150489e-05,7.144025e-05,7.142004e-05,7.136400e-05,7.131300e-05,7.127692e-05,7.118788e-05,7.117976e-05,7.107321e-05,7.104632e-05,7.095796e-05,7.088985e-05,7.083462e-05,7.071987e-05,7.070379e-05,7.056602e-05,7.053768e-05,7.042185e-05,7.034451e-05,7.027176e-05,7.014147e-05,7.011624e-05,6.995571e-05,6.992959e-05,6.979060e-05,6.970984e-05,6.962131e-05,6.948310e-05,6.944819e-05,6.927162e-05,6.925021e-05,6.909190e-05,6.901191e-05,6.890936e-05,6.876892e-05,6.872428e-05,6.853695e-05,6.852188e-05,6.834763e-05,6.827139e-05,6.815655e-05,6.801802e-05,6.796396e-05,6.777006e-05,6.776228e-05,6.757507e-05,6.750464e-05,6.737917e-05,6.724554e-05,6.718255e-05,6.698538e-05,6.672454e-05,6.646336e-05,6.620216e-05,6.594123e-05,6.568084e-05,6.542123e-05,6.516263e-05,6.490525e-05,6.464928e-05,6.439489e-05,6.414223e-05,6.389146e-05,6.364271e-05,6.339609e-05,6.315170e-05,6.290966e-05,6.267003e-05,6.243291e-05,6.219836e-05,6.196643e-05,6.173720e-05,6.151069e-05,6.128696e-05,6.106603e-05
0.000000e+00,2.710319e-10,9.602075e-10,5.992911e-09,1.941430e-08,3.290622e-08,1.007755e-07,1.048815e-07,2.529023e-07,3.132210e-07,5.175385e-07,7.532631e-07,9.497911e-07,1.539680e-06,1.600664e-06,2.496002e-06,2.746279e-06,3.619630e-06,4.331866e-06,4.925384e-06,6.183248e-06,6.360755e-06,7.881070e-06,8.192173e-06,9.452455e-06,1.028113e-05,1.104972e-05,1.239709e-05,1.265344e-05,1.424788e-05,1.450121e-05,1.581982e-05,1.656299e-05,1.735803e-05,1.855789e-05,1.885304e-05,2.029710e-05,2.046666e-05,2.168409e-05,2.227504e-05,2.300942e-05,2.397345e-05,2.426995e-05,2.546381e-05,2.555641e-05,2.659023e-05,2.702191e-05,2.764933e-05,2.837067e-05,2.864200e-05,2.956970e-05,2.960548e-05,3.043436e-05,3.073062e-05,3.123820e-05,3.175133e-05,3.198370e-05,3.267345e-05,3.331012e-05,3.350309e-05,3.389642e-05,3.424644e-05,3.443500e-05,3.490960e-05,3.492851e-05,3.537948e-05,3.549847e-05,3.579039e-05,3.601868e-05,3.616359e-05,3.647559e-05,3.650136e-05,3.680584e-05,3.687419e-05,3.707909e-05,3.721920e-05,3.732305e-05,3.751497e-05,3.753956e-05,3.773034e-05,3.776556e-05,3.789704e-05,3.797472e-05,3.804120e-05,3.814594e-05,3.816427e-05,3.826761e-05,3.828240e-05,3.835251e-05,3.838707e-05,3.842018e-05,3.846268e-05,3.847175e-05,3.850829e-05,3.851171e-05,3.853080e-05,3.853650e-05,3.854021e-05,3.853915e-05,3.853740e-05,3.852322e-05,3.852161e-05,3.849842e-05,3.848570e-05,3.846375e-05,3.843306e-05,3.841988e-05,3.836746e-05,3.836520e-05,3.830709e-05,3.828352e-05,3.823934e-05,3.818932e-05,3.816473e-05,3.808377e-05,3.799691e-05,3.796795e-05,3.790461e-05,3.784287e-05,3.780727e-05,3.770945e-05,3.770529e-05,3.759901e-05,3.756853e-05,3.748879e-05,3.742090e-05,3.737494e-05,3.726726e-05,3.725777e-05,3.713756e-05,3.710829e-05,3.701457e-05,3.694458e-05,3.688906e-05,3.677671e-05,3.676126e-05,3.663138e-05,3.660517e-05,3.649963e-05,3.643046e-05,3.636622e-05,3.625299e-05,3.623132e-05,3.609510e-05,3.607319e-05,3.595772e-05,3.589141e-05,3.581933e-05,3.570800e-05,3.568009e-05,3.554011e-05,3.552327e-05,3.539953e-05,3.533751e-05,3.525846e-05,3.515099e-05,3.511702e-05,3.497530e-05,3.496396e-05,3.483341e-05,3.477663e-05,3.469143e-05,3.458921e-05,3.454946e-05,3.440757e-05,3.440190e-05,3.426583e-05,3.421486e-05,3.412433e-05,3.402827e-05,3.398311e-05,3.384226e-05,3.365697e-05,3.347253e-05,3.328904e-05,3.310662e-05,3.292535e-05,3.274531e-05,3.256660e-05,3.238927e-05,3.221340e-05,3.203903e-05,3.186623e-05,3.169503e-05,3.152548e-05,3.135762e-05,3.119147e-05,3.102707e-05,3.086444e-05,3.070361e-05,3.054458e-05,3.038738e-05,3.023202e-05,3.007850e-05,2.992683e-05,2.977703e-05
0.000000e+00,7.779599e-11,2.898478e-10,1.988232e-09,6.932144e-09,1.216608e-08,3.997343e-08,4.169498e-08,1.044757e-07,1.300521e-07,2.155427e-07,3.116763e-07,3.900508e-07,6.193515e-07,6.427863e-07,9.877588e-07,1.085702e-06,1.437261e-06,1.738054e-06,1.999796e-06,2.589826e-06,2.676973e-06,3.460887e-06,3.629083e-06,4.334048e-06,4.815469e-06,5.272223e-06,6.090908e-06,6.248605e-06,7.237494e-06,7.395328e-06,8.216584e-06,8.677619e-06,9.167904e-06,9.899685e-06,1.007785e-05,1.093668e-05,1.103597e-05,1.173794e-05,1.207118e-05,1.247775e-05,1.299774e-05,1.315431e-05,1.376740e-05,1.381373e-05,1.431808e-05,1.452130e-05,1.480835e-05,1.512542e-05,1.524090e-05,1.561896e-05,1.563299e-05,1.594608e-05,1.605209e-05,1.622601e-05,1.639136e-05,1.646258e-05,1.665960e-05,1.682077e-05,1.686536e-05,1.694963e-05,1.701670e-05,1.704953e-05,1.712108e-05,1.712358e-05,1.717464e-05,1.718518e-05,1.720532e-05,1.721495e-05,1.721800e-05,1.721560e-05,1.721481e-05,1.719763e-05,1.719163e-05,1.716818e-05,1.714689e-05,1.712794e-05,1.708467e-05,1.707825e-05,1.702027e-05,1.700777e-05,1.695504e-05,1.691856e-05,1.688346e-05,1.681902e-05,1.680634e-05,1.672438e-05,1.671086e-05,1.663820e-05,1.659550e-05,1.654835e-05,1.647415e-05,1.645531e-05,1.635951e-05,1.634784e-05,1.626133e-05,1.621747e-05,1.616112e-05,1.608379e-05,1.605918e-05,1.595578e-05,1.594745e-05,1.585116e-05,1.580903e-05,1.574555e-05,1.566900e-05,1.563914e-05,1.553210e-05,1.552781e-05,1.542460e-05,1.538582e-05,1.531678e-05,1.524335e-05,1.520877e-05,1.510070e-05,1.499267e-05,1.495812e-05,1.488478e-05,1.481585e-05,1.477712e-05,1.467406e-05,1.466978e-05,1.456282e-05,1.453295e-05,1.445632e-05,1.439267e-05,1.435035e-05,1.425336e-05,1.424495e-05,1.414018e-05,1.411513e-05,1.403608e-05,1.397810e-05,1.393270e-05,1.384236e-05,1.383009e-05,1.372826e-05,1.370799e-05,1.362726e-05,1.357507e-05,1.352711e-05,1.344365e-05,1.342783e-05,1.332945e-05,1.331379e-05,1.323199e-05,1.318554e-05,1.313546e-05,1.305893e-05,1.303989e-05,1.294528e-05,1.293399e-05,1.285164e-05,1.281076e-05,1.275900e-05,1.268925e-05,1.266734e-05,1.257668e-05,1.256947e-05,1.248703e-05,1.245145e-05,1.239839e-05,1.233519e-05,1.231075e-05,1.222413e-05,1.222069e-05,1.213852e-05,1.210795e-05,1.205392e-05,1.199698e-05,1.197034e-05,1.188776e-05,1.178029e-05,1.167457e-05,1.157058e-05,1.146831e-05,1.136774e-05,1.126886e-05,1.117165e-05,1.107610e-05,1.098218e-05,1.088988e-05,1.079917e-05,1.071004e-05,1.062246e-05,1.053641e-05,1.045188e-05,1.036882e-05,1.028723e-05,1.020708e-05,1.012835e-05,1.005101e-05,9.975046e-06,9.900424e-06,9.827126e-06,9.755129e-06
0.000000e+00,1.815960e-11,6.833096e-11,4.782400e-10,1.697319e-09,3.007281e-09,1.011699e-08,1.056252e-08,2.705112e-08,3.386384e-08,5.689079e-08,8.311618e-08,1.046826e-07,1.684482e-07,1.750094e-07,2.722902e-07,3.001100e-07,4.005658e-07,4.871973e-07,5.630746e-07,7.358371e-07,7.615629e-07,9.955285e-07,1.046348e-06,1.261829e-06,1.411329e-06,1.554956e-06,1.816769e-06,1.867845e-06,2.192871e-06,2.245501e-06,2.522686e-06,2.680742e-06,2.850768e-06,3.108306e-06,3.171699e-06,3.481223e-06,3.517438e-06,3.776182e-06,3.900755e-06,4.054390e-06,4.253756e-06,4.314477e-06,4.555746e-06,4.574226e-06,4.778032e-06,4.861677e-06,4.981591e-06,5.116868e-06,5.166993e-06,5.335039e-06,5.341413e-06,5.486689e-06,5.537472e-06,5.623006e-06,5.707512e-06,5.745107e-06,5.854124e-06,5.951178e-06,5.979886e-06,6.037351e-06,6.087269e-06,6.113673e-06,6.178572e-06,6.181110e-06,6.240559e-06,6.255887e-06,6.292842e-06,6.321086e-06,6.338707e-06,6.375816e-06,6.378829e-06,6.413815e-06,6.421509e-06,6.444205e-06,6.459397e-06,6.470479e-06,6.490536e-06,6.493064e-06,6.512336e-06,6.515823e-06,6.528628e-06,6.536021e-06,6.542233e-06,6.551775e-06,6.553409e-06,6.562385e-06,6.563631e-06,6.569363e-06,6.572055e-06,6.574520e-06,6.577443e-06,6.578016e-06,6.579992e-06,6.580133e-06,6.580574e-06,6.580418e-06,6.579875e-06,6.578550e-06,6.577997e-06,6.575031e-06,6.574750e-06,6.571061e-06,6.569209e-06,6.566163e-06,6.562101e-06,6.560406e-06,6.553853e-06,6.553575e-06,6.546562e-06,6.543768e-06,6.538588e-06,6.532801e-06,6.529980e-06,6.520784e-06,6.511043e-06,6.507817e-06,6.500797e-06,6.493991e-06,6.490082e-06,6.479389e-06,6.478935e-06,6.467387e-06,6.464086e-06,6.455470e-06,6.448154e-06,6.443211e-06,6.431655e-06,6.430638e-06,6.417777e-06,6.414650e-06,6.404651e-06,6.397193e-06,6.391282e-06,6.379335e-06,6.377693e-06,6.363904e-06,6.361123e-06,6.349932e-06,6.342601e-06,6.335797e-06,6.323809e-06,6.321515e-06,6.307102e-06,6.304785e-06,6.292574e-06,6.285564e-06,6.277944e-06,6.266177e-06,6.263227e-06,6.248434e-06,6.246655e-06,6.233579e-06,6.227026e-06,6.218672e-06,6.207315e-06,6.203725e-06,6.188747e-06,6.187547e-06,6.173748e-06,6.167745e-06,6.158738e-06,6.147929e-06,6.143725e-06,6.128718e-06,6.128118e-06,6.113724e-06,6.108330e-06,6.098750e-06,6.088583e-06,6.083803e-06,6.068891e-06,6.049269e-06,6.029729e-06,6.010285e-06,5.990948e-06,5.971727e-06,5.952633e-06,5.933675e-06,5.914860e-06,5.896196e-06,5.877690e-06,5.859348e-06,5.841175e-06,5.823178e-06,5.805360e-06,5.787725e-06,5.770278e-06,5.753022e-06,5.735960e-06,5.719093e-06,5.702426e-06,5.685958e-06,5.669693e-06,5.653631e-06,5.637774e-06
0.000000e+00,6.513861e-11,2.559874e-10,1.961426e-09,7.563786e-09,1.402865e-08,5.313848e-08,5.574751e-08,1.606722e-07,2.077008e-07,3.782428e-07,5.897783e-07,7.749432e-07,1.370236e-06,1.435028e-06,2.460520e-06,2.773835e-06,3.969406e-06,5.073443e-06,6.090938e-06,8.570695e-06,8.958585e-06,1.270275e-05,1.356766e-05,1.744486e-05,2.034172e-05,2.329327e-05,2.912906e-05,3.034048e-05,3.866140e-05,4.011497e-05,4.831228e-05,5.342872e-05,5.933017e-05,6.914128e-05,7.173279e-05,8.551879e-05,8.726532e-05,1.006684e-04,1.077572e-04,1.171442e-04,1.305205e-04,1.348928e-04,1.538456e-04,1.554115e-04,1.739214e-04,1.822457e-04,1.950274e-04,2.108047e-04,2.170617e-04,2.399152e-04,2.408448e-04,2.634735e-04,2.721044e-04,2.876187e-04,3.043117e-04,3.122314e-04,3.371924e-04,3.623842e-04,3.704755e-04,3.876923e-04,4.038992e-04,4.130062e-04,4.372153e-04,4.382207e-04,4.632367e-04,4.701928e-04,4.879614e-04,5.026206e-04,5.123095e-04,5.343095e-04,5.362025e-04,5.595700e-04,5.650928e-04,5.823487e-04,5.948266e-04,6.044832e-04,6.233901e-04,6.259252e-04,6.466337e-04,6.506843e-04,6.665746e-04,6.766310e-04,6.857201e-04,7.011720e-04,7.040490e-04,7.215453e-04,7.242667e-04,7.381988e-04,7.458914e-04,7.540041e-04,7.660367e-04,7.689601e-04,7.830699e-04,7.847065e-04,7.963405e-04,8.019161e-04,8.087817e-04,8.176903e-04,8.204066e-04,8.312307e-04,8.320625e-04,8.412715e-04,8.450729e-04,8.505486e-04,8.567671e-04,8.590831e-04,8.668974e-04,8.671953e-04,8.740147e-04,8.764110e-04,8.804594e-04,8.844702e-04,8.862562e-04,8.914303e-04,8.960071e-04,8.973497e-04,9.000121e-04,9.022870e-04,9.034707e-04,9.063004e-04,9.064082e-04,9.088494e-04,9.094474e-04,9.108191e-04,9.117845e-04,9.123412e-04,9.133666e-04,9.134394e-04,9.141368e-04,9.142470e-04,9.144557e-04,9.144771e-04,9.144178e-04,9.141062e-04,9.140443e-04,9.133556e-04,9.131817e-04,9.123711e-04,9.117486e-04,9.111098e-04,9.098498e-04,9.095900e-04,9.078289e-04,9.075259e-04,9.058434e-04,9.048154e-04,9.036494e-04,9.017544e-04,9.012622e-04,8.986962e-04,8.983770e-04,8.959654e-04,8.947151e-04,8.930830e-04,8.907987e-04,8.900615e-04,8.869128e-04,8.866557e-04,8.836481e-04,8.823122e-04,8.802783e-04,8.777926e-04,8.768134e-04,8.732630e-04,8.731193e-04,8.696362e-04,8.683135e-04,8.659415e-04,8.633944e-04,8.621869e-04,8.583800e-04,8.532869e-04,8.481303e-04,8.429242e-04,8.376815e-04,8.324139e-04,8.271324e-04,8.218466e-04,8.165656e-04,8.112976e-04,8.060498e-04,8.008291e-04,7.956414e-04,7.904921e-04,7.853861e-04,7.803277e-04,7.753208e-04,7.703688e-04,7.654747e-04,7.606411e-04,7.558702e-04,7.511641e-04,7.465243e-04,7.419523e-04,7.374492e-04
0.000000e+00,2.894606e-11,1.122490e-10,8.365761e-10,3.145813e-09,5.754946e-09,2.105054e-08,2.205326e-08,6.148175e-08,7.878870e-08,1.404880e-07,2.155571e-07,2.804160e-07,4.856092e-07,5.077196e-07,8.537385e-07,9.582600e-07,1.352964e-06,1.712179e-06,2.039054e-06,2.819765e-06,2.939925e-06,4.074349e-06,4.330194e-06,5.450972e-06,6.262630e-06,7.069091e-06,8.608908e-06,8.920203e-06,1.098970e-05,1.133986e-05,1.325843e-05,1.441171e-05,1.570401e-05,1.777142e-05,1.830198e-05,2.102664e-05,2.136087e-05,2.385183e-05,2.512005e-05,2.675158e-05,2.898967e-05,2.970061e-05,3.267474e-05,3.291306e-05,3.565126e-05,3.683777e-05,3.860917e-05,4.071657e-05,4.152942e-05,4.439495e-05,4.450821e-05,4.719083e-05,4.817776e-05,4.990422e-05,5.169664e-05,5.252436e-05,5.504245e-05,5.745157e-05,5.819858e-05,5.974655e-05,6.115371e-05,6.192379e-05,6.390117e-05,6.398115e-05,6.591773e-05,6.643834e-05,6.773378e-05,6.876602e-05,6.943049e-05,7.088776e-05,7.100985e-05,7.247455e-05,7.280937e-05,7.382782e-05,7.453832e-05,7.507331e-05,7.608336e-05,7.621502e-05,7.725720e-05,7.745407e-05,7.820424e-05,7.866059e-05,7.906064e-05,7.971329e-05,7.983094e-05,8.051967e-05,8.062260e-05,8.113132e-05,8.139882e-05,8.167027e-05,8.205198e-05,8.214082e-05,8.254713e-05,8.259176e-05,8.289320e-05,8.302739e-05,8.318290e-05,8.336766e-05,8.341993e-05,8.360782e-05,8.362083e-05,8.374992e-05,8.379466e-05,8.384943e-05,8.389640e-05,8.390936e-05,8.393258e-05,8.393279e-05,8.392179e-05,8.391007e-05,8.387952e-05,8.383403e-05,8.380818e-05,8.371000e-05,8.358711e-05,8.354289e-05,8.344148e-05,8.333721e-05,8.327497e-05,8.309710e-05,8.308933e-05,8.288616e-05,8.282635e-05,8.266701e-05,8.252844e-05,8.243328e-05,8.220653e-05,8.218632e-05,8.192734e-05,8.186353e-05,8.165752e-05,8.150208e-05,8.137792e-05,8.112460e-05,8.108956e-05,8.079337e-05,8.073327e-05,8.049022e-05,8.033010e-05,8.018091e-05,7.991691e-05,7.986622e-05,7.954684e-05,7.949535e-05,7.922343e-05,7.906694e-05,7.889658e-05,7.863302e-05,7.856688e-05,7.823483e-05,7.819485e-05,7.790093e-05,7.775355e-05,7.756563e-05,7.731012e-05,7.722934e-05,7.689246e-05,7.686549e-05,7.655533e-05,7.642049e-05,7.621830e-05,7.597587e-05,7.588167e-05,7.554572e-05,7.553229e-05,7.521071e-05,7.509038e-05,7.487688e-05,7.465067e-05,7.454447e-05,7.421366e-05,7.377978e-05,7.334942e-05,7.292293e-05,7.250062e-05,7.208276e-05,7.166959e-05,7.126132e-05,7.085812e-05,7.046017e-05,7.006758e-05,6.968048e-05,6.929895e-05,6.892307e-05,6.855291e-05,6.818851e-05,6.782990e-05,6.747711e-05,6.713014e-05,6.678900e-05,6.645368e-05,6.612417e-05,6.580043e-05,6.548245e-05,6.517018e-05
0.000000e+00,1.807708e-10,7.066167e-10,5.356348e-09,2.046794e-08,3.778732e-08,1.416857e-07,1.485904e-07,4.254340e-07,5.493559e-07,9.991674e-07,1.558937e-06,2.050866e-06,3.644016e-06,3.818380e-06,6.597377e-06,7.452060e-06,1.072769e-05,1.376232e-05,1.655948e-05,2.335175e-05,2.440921e-05,3.452414e-05,3.683468e-05,4.706504e-05,5.457244e-05,6.210436e-05,7.666417e-05,7.963373e-05,9.957524e-05,1.029814e-04,1.217940e-04,1.332164e-04,1.461100e-04,1.669303e-04,1.723098e-04,2.001559e-04,2.035962e-04,2.293960e-04,2.426364e-04,2.597703e-04,2.834530e-04,2.910185e-04,3.228851e-04,3.254537e-04,3.551240e-04,3.680710e-04,3.875019e-04,4.107772e-04,4.198012e-04,4.518220e-04,4.530944e-04,4.833833e-04,4.946011e-04,5.143236e-04,5.349353e-04,5.445013e-04,5.737940e-04,6.020984e-04,6.109327e-04,6.293292e-04,6.461611e-04,6.554178e-04,6.793393e-04,6.803116e-04,7.039723e-04,7.103726e-04,7.263747e-04,7.392062e-04,7.475054e-04,7.658199e-04,7.673615e-04,7.859491e-04,7.902228e-04,8.032824e-04,8.124486e-04,8.193822e-04,8.325509e-04,8.342754e-04,8.479933e-04,8.505989e-04,8.605714e-04,8.666741e-04,8.720480e-04,8.808672e-04,8.824642e-04,8.918625e-04,8.932747e-04,9.002869e-04,9.039976e-04,9.077817e-04,9.131385e-04,9.143920e-04,9.201624e-04,9.208005e-04,9.251374e-04,9.270857e-04,9.293606e-04,9.320940e-04,9.328751e-04,9.357227e-04,9.359230e-04,9.379441e-04,9.386663e-04,9.395788e-04,9.404138e-04,9.406647e-04,9.412385e-04,9.412513e-04,9.413354e-04,9.412601e-04,9.409891e-04,9.405169e-04,9.402317e-04,9.390939e-04,9.376049e-04,9.370588e-04,9.357924e-04,9.344748e-04,9.336827e-04,9.314008e-04,9.313006e-04,9.286697e-04,9.278915e-04,9.258122e-04,9.239978e-04,9.227492e-04,9.197666e-04,9.195003e-04,9.160841e-04,9.152413e-04,9.125180e-04,9.104617e-04,9.088184e-04,9.054645e-04,9.050006e-04,9.010789e-04,9.002833e-04,8.970667e-04,8.949488e-04,8.929766e-04,8.894893e-04,8.888203e-04,8.846086e-04,8.839302e-04,8.803516e-04,8.782950e-04,8.760589e-04,8.726048e-04,8.717390e-04,8.674002e-04,8.668787e-04,8.630499e-04,8.611340e-04,8.586951e-04,8.553864e-04,8.543422e-04,8.499970e-04,8.496499e-04,8.456650e-04,8.439371e-04,8.413513e-04,8.382592e-04,8.370602e-04,8.327961e-04,8.326262e-04,8.285628e-04,8.270470e-04,8.243636e-04,8.215294e-04,8.202019e-04,8.160803e-04,8.107057e-04,8.054109e-04,8.002003e-04,7.950777e-04,7.900465e-04,7.851091e-04,7.802677e-04,7.755241e-04,7.708796e-04,7.663350e-04,7.618909e-04,7.575476e-04,7.533051e-04,7.491631e-04,7.451212e-04,7.411788e-04,7.373349e-04,7.335886e-04,7.299388e-04,7.263843e-04,7.229236e-04,7.195554e-04,7.162782e-04,7.130904e-04
0.000000e+00,3.876448e-11,1.500470e-10,1.114889e-09,4.186374e-09,7.658124e-09,2.809612e-08,2.944133e-08,8.281278e-08,1.065033e-07,1.920461e-07,2.979880e-07,3.907863e-07,6.892172e-07,7.216445e-07,1.230646e-06,1.384013e-06,1.957961e-06,2.471548e-06,2.931369e-06,4.002940e-06,4.164849e-06,5.660212e-06,5.990162e-06,7.409615e-06,8.414915e-06,9.397945e-06,1.123797e-05,1.160479e-05,1.400599e-05,1.440646e-05,1.657491e-05,1.785933e-05,1.928342e-05,2.153147e-05,2.210285e-05,2.500465e-05,2.535708e-05,2.796110e-05,2.927240e-05,3.094582e-05,3.321788e-05,3.393418e-05,3.690366e-05,3.713978e-05,3.983406e-05,4.099122e-05,4.270761e-05,4.473267e-05,4.550900e-05,4.822538e-05,4.833211e-05,5.084622e-05,5.176467e-05,5.336320e-05,5.501214e-05,5.577004e-05,5.806229e-05,6.023714e-05,6.090803e-05,6.229322e-05,6.354667e-05,6.423039e-05,6.597906e-05,6.604958e-05,6.775258e-05,6.820892e-05,6.934190e-05,7.024220e-05,7.082064e-05,7.208643e-05,7.219231e-05,7.346079e-05,7.375033e-05,7.463018e-05,7.524334e-05,7.570475e-05,7.657537e-05,7.668883e-05,7.758682e-05,7.775648e-05,7.840309e-05,7.879668e-05,7.914193e-05,7.970581e-05,7.980757e-05,8.040413e-05,8.049343e-05,8.093560e-05,8.116871e-05,8.140582e-05,8.174039e-05,8.181850e-05,8.217718e-05,8.221676e-05,8.248525e-05,8.260561e-05,8.274595e-05,8.291428e-05,8.296233e-05,8.313733e-05,8.314963e-05,8.327370e-05,8.331803e-05,8.337407e-05,8.342543e-05,8.344090e-05,8.347653e-05,8.347733e-05,8.348316e-05,8.347886e-05,8.346289e-05,8.343472e-05,8.341765e-05,8.334930e-05,8.325956e-05,8.322660e-05,8.315008e-05,8.307035e-05,8.302237e-05,8.288396e-05,8.287787e-05,8.271794e-05,8.267057e-05,8.254384e-05,8.243307e-05,8.235675e-05,8.217413e-05,8.215780e-05,8.194802e-05,8.189617e-05,8.172839e-05,8.160144e-05,8.149983e-05,8.129198e-05,8.126319e-05,8.101928e-05,8.096969e-05,8.076885e-05,8.063628e-05,8.051260e-05,8.029334e-05,8.025119e-05,7.998524e-05,7.994230e-05,7.971531e-05,7.958449e-05,7.944194e-05,7.922111e-05,7.916564e-05,7.888687e-05,7.885327e-05,7.860606e-05,7.848196e-05,7.832362e-05,7.810811e-05,7.803993e-05,7.775534e-05,7.773254e-05,7.747017e-05,7.735601e-05,7.718474e-05,7.697922e-05,7.689932e-05,7.661418e-05,7.660279e-05,7.632956e-05,7.622727e-05,7.604569e-05,7.585320e-05,7.576278e-05,7.548102e-05,7.511116e-05,7.474398e-05,7.437984e-05,7.401902e-05,7.366179e-05,7.330839e-05,7.295904e-05,7.261392e-05,7.227318e-05,7.193698e-05,7.160543e-05,7.127863e-05,7.095667e-05,7.063962e-05,7.032754e-05,7.002047e-05,6.971845e-05,6.942150e-05,6.912963e-05,6.884285e-05,6.856115e-05,6.828452e-05,6.801294e-05,6.774640e-05
0.000000e+00,3.713557e-11,1.423271e-10,1.035830e-09,3.815127e-09,6.903798e-09,2.460482e-08,2.575158e-08,7.025276e-08,8.957401e-08,1.579726e-07,2.406801e-07,3.119175e-07,5.365154e-07,5.606509e-07,9.361835e-07,1.048649e-06,1.468519e-06,1.843679e-06,2.179381e-06,2.960997e-06,3.078977e-06,4.166469e-06,4.405804e-06,5.432434e-06,6.156380e-06,6.861664e-06,8.174806e-06,8.435512e-06,1.013358e-05,1.041540e-05,1.193487e-05,1.283001e-05,1.381850e-05,1.537104e-05,1.576420e-05,1.775258e-05,1.799318e-05,1.976545e-05,2.065446e-05,2.178590e-05,2.331696e-05,2.379849e-05,2.578934e-05,2.594729e-05,2.774616e-05,2.851692e-05,2.965829e-05,3.100219e-05,3.151665e-05,3.331375e-05,3.338427e-05,3.504357e-05,3.564890e-05,3.670145e-05,3.778595e-05,3.828402e-05,3.978901e-05,4.121520e-05,4.165485e-05,4.256221e-05,4.338288e-05,4.383041e-05,4.497467e-05,4.502081e-05,4.613492e-05,4.643346e-05,4.717470e-05,4.776380e-05,4.814238e-05,4.897113e-05,4.904048e-05,4.987166e-05,5.006149e-05,5.063872e-05,5.104134e-05,5.134453e-05,5.191726e-05,5.199197e-05,5.258391e-05,5.269590e-05,5.312321e-05,5.338377e-05,5.361265e-05,5.398725e-05,5.405496e-05,5.445277e-05,5.451246e-05,5.480863e-05,5.496526e-05,5.512498e-05,5.535120e-05,5.540417e-05,5.564844e-05,5.567551e-05,5.585992e-05,5.594312e-05,5.604066e-05,5.615864e-05,5.619257e-05,5.631749e-05,5.632637e-05,5.641715e-05,5.645032e-05,5.649320e-05,5.653421e-05,5.654719e-05,5.658059e-05,5.658152e-05,5.659477e-05,5.659543e-05,5.659105e-05,5.657893e-05,5.657066e-05,5.653475e-05,5.648442e-05,5.646544e-05,5.642070e-05,5.637334e-05,5.634456e-05,5.626062e-05,5.625690e-05,5.615859e-05,5.612926e-05,5.605043e-05,5.598113e-05,5.593318e-05,5.581790e-05,5.580756e-05,5.567423e-05,5.564115e-05,5.553382e-05,5.545232e-05,5.538693e-05,5.525274e-05,5.523410e-05,5.507587e-05,5.504362e-05,5.491271e-05,5.482608e-05,5.474510e-05,5.460118e-05,5.457346e-05,5.439820e-05,5.436984e-05,5.421969e-05,5.413296e-05,5.403829e-05,5.389132e-05,5.385434e-05,5.366815e-05,5.364567e-05,5.348001e-05,5.339668e-05,5.329020e-05,5.314498e-05,5.309897e-05,5.290656e-05,5.289113e-05,5.271321e-05,5.263565e-05,5.251911e-05,5.237902e-05,5.232448e-05,5.212948e-05,5.212168e-05,5.193430e-05,5.186402e-05,5.173910e-05,5.160642e-05,5.154401e-05,5.134919e-05,5.109266e-05,5.083708e-05,5.058272e-05,5.032980e-05,5.007852e-05,4.982908e-05,4.958164e-05,4.933634e-05,4.909333e-05,4.885273e-05,4.861464e-05,4.837916e-05,4.814637e-05,4.791634e-05,4.768915e-05,4.746484e-05,4.724346e-05,4.702504e-05,4.680964e-05,4.659725e-05,4.638792e-05,4.618165e-05,4.597845e-05,4.577832e-05
0.000000e+00,8.666186e-10,2.343054e-09,9.622244e-09,2.372286e-08,3.563293e-08,8.512769e-08,8.783646e-08,1.760716e-07,2.087985e-07,3.122372e-07,4.225282e-07,5.095826e-07,7.527936e-07,7.767135e-07,1.108482e-06,1.195935e-06,1.488105e-06,1.715093e-06,1.898695e-06,2.276172e-06,2.328480e-06,2.769797e-06,2.858939e-06,3.217161e-06,3.450665e-06,3.666072e-06,4.041380e-06,4.112478e-06,4.552603e-06,4.622203e-06,4.982952e-06,5.185106e-06,5.400375e-06,5.723172e-06,5.802165e-06,6.186107e-06,6.230895e-06,6.550506e-06,6.704328e-06,6.894183e-06,7.141079e-06,7.216450e-06,7.517056e-06,7.540170e-06,7.796128e-06,7.901816e-06,8.054105e-06,8.227166e-06,8.291677e-06,8.509715e-06,8.518044e-06,8.709220e-06,8.776712e-06,8.891276e-06,9.005680e-06,9.057007e-06,9.207546e-06,9.344007e-06,9.384880e-06,9.467472e-06,9.540147e-06,9.578970e-06,9.675654e-06,9.679475e-06,9.769896e-06,9.793524e-06,9.851080e-06,9.895682e-06,9.923803e-06,9.983854e-06,9.988783e-06,1.004667e-05,1.005958e-05,1.009807e-05,1.012422e-05,1.014351e-05,1.017898e-05,1.018350e-05,1.021848e-05,1.022491e-05,1.024884e-05,1.026293e-05,1.027497e-05,1.029388e-05,1.029719e-05,1.031580e-05,1.031846e-05,1.033108e-05,1.033730e-05,1.034328e-05,1.035097e-05,1.035262e-05,1.035931e-05,1.035995e-05,1.036355e-05,1.036467e-05,1.036549e-05,1.036554e-05,1.036531e-05,1.036314e-05,1.036288e-05,1.035912e-05,1.035702e-05,1.035338e-05,1.034824e-05,1.034602e-05,1.033715e-05,1.033677e-05,1.032688e-05,1.032285e-05,1.031528e-05,1.030669e-05,1.030245e-05,1.028847e-05,1.027340e-05,1.026836e-05,1.025732e-05,1.024652e-05,1.024028e-05,1.022310e-05,1.022236e-05,1.020361e-05,1.019822e-05,1.018408e-05,1.017200e-05,1.016381e-05,1.014457e-05,1.014287e-05,1.012129e-05,1.011602e-05,1.009911e-05,1.008645e-05,1.007638e-05,1.005595e-05,1.005313e-05,1.002940e-05,1.002460e-05,1.000523e-05,9.992488e-06,9.980633e-06,9.959677e-06,9.955655e-06,9.930321e-06,9.926237e-06,9.904658e-06,9.892231e-06,9.878692e-06,9.857718e-06,9.852448e-06,9.825950e-06,9.822754e-06,9.799219e-06,9.787390e-06,9.772278e-06,9.751674e-06,9.745146e-06,9.717843e-06,9.715652e-06,9.690387e-06,9.679366e-06,9.662796e-06,9.642856e-06,9.635086e-06,9.607274e-06,9.606159e-06,9.579374e-06,9.569311e-06,9.551400e-06,9.532344e-06,9.523368e-06,9.495289e-06,9.458175e-06,9.421029e-06,9.383876e-06,9.346741e-06,9.309645e-06,9.272610e-06,9.235655e-06,9.198798e-06,9.162057e-06,9.125447e-06,9.088985e-06,9.052683e-06,9.016555e-06,8.980612e-06,8.944868e-06,8.909330e-06,8.874011e-06,8.838918e-06,8.804061e-06,8.769446e-06,8.735081e-06,8.700973e-06,8.667127e-06,8.633550e-06
0.000000e+00,4.463645e-10,1.616870e-09,1.052000e-08,3.519340e-08,6.055605e-08,1.910064e-07,1.989671e-07,4.866852e-07,6.036131e-07,9.967160e-07,1.444899e-06,1.815350e-06,2.919924e-06,3.034063e-06,4.723787e-06,5.203325e-06,6.910534e-06,8.347184e-06,9.577646e-06,1.229093e-05,1.268567e-05,1.618946e-05,1.693385e-05,2.004583e-05,2.217712e-05,2.421483e-05,2.793059e-05,2.865849e-05,3.333926e-05,3.410766e-05,3.821916e-05,4.062091e-05,4.325954e-05,4.738123e-05,4.842148e-05,5.366639e-05,5.429956e-05,5.895679e-05,6.128970e-05,6.425702e-05,6.827127e-05,6.953394e-05,7.475732e-05,7.517205e-05,7.990022e-05,8.192946e-05,8.493911e-05,8.849129e-05,8.985388e-05,9.462773e-05,9.481555e-05,9.924700e-05,1.008700e-04,1.037010e-04,1.066311e-04,1.079817e-04,1.120835e-04,1.160026e-04,1.172179e-04,1.197375e-04,1.220308e-04,1.232877e-04,1.265231e-04,1.266543e-04,1.298392e-04,1.306988e-04,1.328451e-04,1.345641e-04,1.356754e-04,1.381278e-04,1.383342e-04,1.408260e-04,1.413997e-04,1.431556e-04,1.443914e-04,1.453284e-04,1.471153e-04,1.473502e-04,1.492265e-04,1.495849e-04,1.509631e-04,1.518127e-04,1.525654e-04,1.538115e-04,1.540388e-04,1.553888e-04,1.555936e-04,1.566205e-04,1.571712e-04,1.577391e-04,1.585560e-04,1.587497e-04,1.596573e-04,1.597594e-04,1.604664e-04,1.607925e-04,1.611818e-04,1.616656e-04,1.618080e-04,1.623494e-04,1.623892e-04,1.628101e-04,1.629728e-04,1.631943e-04,1.634257e-04,1.635058e-04,1.637485e-04,1.637568e-04,1.639259e-04,1.639744e-04,1.640415e-04,1.640866e-04,1.640988e-04,1.641009e-04,1.640509e-04,1.640245e-04,1.639519e-04,1.638641e-04,1.638067e-04,1.636264e-04,1.636180e-04,1.633884e-04,1.633171e-04,1.631205e-04,1.629423e-04,1.628165e-04,1.625071e-04,1.624789e-04,1.621098e-04,1.620168e-04,1.617113e-04,1.614760e-04,1.612854e-04,1.608894e-04,1.608339e-04,1.603588e-04,1.602611e-04,1.598618e-04,1.595952e-04,1.593444e-04,1.588952e-04,1.588083e-04,1.582549e-04,1.581648e-04,1.576857e-04,1.574072e-04,1.571020e-04,1.566255e-04,1.565051e-04,1.558963e-04,1.558225e-04,1.552767e-04,1.550009e-04,1.546474e-04,1.541632e-04,1.540094e-04,1.533637e-04,1.533117e-04,1.527113e-04,1.524487e-04,1.520531e-04,1.515760e-04,1.513898e-04,1.507223e-04,1.506956e-04,1.500514e-04,1.498092e-04,1.493778e-04,1.489184e-04,1.487020e-04,1.480248e-04,1.471297e-04,1.462344e-04,1.453401e-04,1.444478e-04,1.435585e-04,1.426732e-04,1.417927e-04,1.409178e-04,1.400492e-04,1.391874e-04,1.383332e-04,1.374869e-04,1.366491e-04,1.358202e-04,1.350005e-04,1.341904e-04,1.333902e-04,1.326001e-04,1.318204e-04,1.310513e-04,1.302928e-04,1.295452e-04,1.288085e-04,1.280828e-04
0.000000e+00,2.335958e-11,9.104111e-11,6.855810e-10,2.602100e-09,4.784178e-09,1.771901e-08,1.857211e-08,5.236669e-08,6.729962e-08,1.208046e-07,1.862471e-07,2.429683e-07,4.229850e-07,4.424129e-07,7.467653e-07,8.387598e-07,1.186306e-06,1.502928e-06,1.791501e-06,2.483468e-06,2.590395e-06,3.606788e-06,3.837901e-06,4.859311e-06,5.608547e-06,6.361193e-06,7.821431e-06,8.120367e-06,1.013975e-05,1.048695e-05,1.241761e-05,1.360116e-05,1.494788e-05,1.714725e-05,1.772059e-05,2.072224e-05,2.109706e-05,2.393617e-05,2.541266e-05,2.734305e-05,3.004809e-05,3.092126e-05,3.464743e-05,3.495118e-05,3.849687e-05,4.006547e-05,4.244408e-05,4.533210e-05,4.646321e-05,5.052849e-05,5.069171e-05,5.461470e-05,5.608613e-05,5.869748e-05,6.145993e-05,6.275366e-05,6.676159e-05,7.070127e-05,7.194454e-05,7.455458e-05,7.696783e-05,7.830536e-05,8.179647e-05,8.193944e-05,8.544469e-05,8.640164e-05,8.881095e-05,9.076050e-05,9.203002e-05,9.485603e-05,9.509550e-05,9.800273e-05,9.867655e-05,1.007487e-04,1.022153e-04,1.033317e-04,1.054699e-04,1.057517e-04,1.080094e-04,1.084416e-04,1.101069e-04,1.111353e-04,1.120472e-04,1.135582e-04,1.138339e-04,1.154714e-04,1.157199e-04,1.169647e-04,1.176317e-04,1.183189e-04,1.193061e-04,1.195399e-04,1.206333e-04,1.207563e-04,1.216053e-04,1.219961e-04,1.224619e-04,1.230394e-04,1.232091e-04,1.238529e-04,1.239001e-04,1.243993e-04,1.245919e-04,1.248542e-04,1.251281e-04,1.252230e-04,1.255115e-04,1.255214e-04,1.257247e-04,1.257840e-04,1.258678e-04,1.259275e-04,1.259456e-04,1.259627e-04,1.259237e-04,1.259000e-04,1.258325e-04,1.257487e-04,1.256933e-04,1.255178e-04,1.255097e-04,1.252852e-04,1.252154e-04,1.250231e-04,1.248492e-04,1.247266e-04,1.244259e-04,1.243986e-04,1.240418e-04,1.239521e-04,1.236587e-04,1.234336e-04,1.232517e-04,1.228756e-04,1.228231e-04,1.223749e-04,1.222830e-04,1.219090e-04,1.216603e-04,1.214272e-04,1.210115e-04,1.209313e-04,1.204227e-04,1.203402e-04,1.199029e-04,1.196498e-04,1.193732e-04,1.189432e-04,1.188349e-04,1.182891e-04,1.182231e-04,1.177368e-04,1.174920e-04,1.171791e-04,1.167521e-04,1.166168e-04,1.160509e-04,1.160055e-04,1.154820e-04,1.152538e-04,1.149109e-04,1.144988e-04,1.143383e-04,1.137648e-04,1.137418e-04,1.131908e-04,1.129842e-04,1.126171e-04,1.122273e-04,1.120439e-04,1.114719e-04,1.107191e-04,1.099697e-04,1.092245e-04,1.084841e-04,1.077492e-04,1.070203e-04,1.062978e-04,1.055822e-04,1.048738e-04,1.041730e-04,1.034800e-04,1.027951e-04,1.021184e-04,1.014502e-04,1.007905e-04,1.001396e-04,9.949748e-05,9.886424e-05,9.823993e-05,9.762460e-05,9.701826e-05,9.642093e-05,9.583260e-05,9.525325e-05
0.000000e+00,2.991509e-09,7.268351e-09,2.659544e-08,6.226634e-08,9.183064e-08,2.126941e-07,2.192527e-07,4.309018e-07,5.085990e-07,7.518644e-07,1.007935e-06,1.208050e-06,1.760881e-06,1.814986e-06,2.567765e-06,2.768333e-06,3.449909e-06,3.994423e-06,4.445759e-06,5.406407e-06,5.543094e-06,6.731517e-06,6.979249e-06,8.000916e-06,8.689514e-06,9.340688e-06,1.051222e-05,1.073952e-05,1.218549e-05,1.242040e-05,1.366631e-05,1.438588e-05,1.516971e-05,1.638061e-05,1.668370e-05,1.819689e-05,1.837791e-05,1.969876e-05,2.035351e-05,2.117983e-05,2.228634e-05,2.263173e-05,2.404729e-05,2.415878e-05,2.542052e-05,2.595684e-05,2.674659e-05,2.767000e-05,2.802173e-05,2.924318e-05,2.929089e-05,3.040905e-05,3.081493e-05,3.151824e-05,3.223986e-05,3.257030e-05,3.356537e-05,3.450404e-05,3.479265e-05,3.538729e-05,3.592408e-05,3.621642e-05,3.696287e-05,3.699294e-05,3.771857e-05,3.791287e-05,3.839513e-05,3.877830e-05,3.902453e-05,3.956363e-05,3.960875e-05,4.014977e-05,4.027341e-05,4.064960e-05,4.091224e-05,4.111019e-05,4.148460e-05,4.153349e-05,4.192137e-05,4.199486e-05,4.227566e-05,4.244722e-05,4.259815e-05,4.284570e-05,4.289052e-05,4.315444e-05,4.319413e-05,4.339146e-05,4.349612e-05,4.360308e-05,4.375507e-05,4.379076e-05,4.395584e-05,4.397419e-05,4.409963e-05,4.415648e-05,4.422338e-05,4.430474e-05,4.432825e-05,4.441537e-05,4.442161e-05,4.448579e-05,4.450951e-05,4.454052e-05,4.457074e-05,4.458050e-05,4.460664e-05,4.460741e-05,4.461980e-05,4.462151e-05,4.462077e-05,4.461486e-05,4.461032e-05,4.458918e-05,4.455802e-05,4.454604e-05,4.451750e-05,4.448693e-05,4.446821e-05,4.441320e-05,4.441075e-05,4.434565e-05,4.432613e-05,4.427343e-05,4.422689e-05,4.419458e-05,4.411657e-05,4.410955e-05,4.401878e-05,4.399619e-05,4.392268e-05,4.386668e-05,4.382164e-05,4.372892e-05,4.371602e-05,4.360617e-05,4.358372e-05,4.349241e-05,4.343181e-05,4.337505e-05,4.327390e-05,4.325439e-05,4.313069e-05,4.311063e-05,4.300422e-05,4.294260e-05,4.287521e-05,4.277034e-05,4.274391e-05,4.261052e-05,4.259439e-05,4.247526e-05,4.241520e-05,4.233831e-05,4.223322e-05,4.219987e-05,4.206009e-05,4.204885e-05,4.191914e-05,4.186247e-05,4.177719e-05,4.167443e-05,4.163436e-05,4.149079e-05,4.148504e-05,4.134662e-05,4.129460e-05,4.120197e-05,4.110338e-05,4.105694e-05,4.091165e-05,4.071962e-05,4.052752e-05,4.033555e-05,4.014388e-05,3.995269e-05,3.976212e-05,3.957233e-05,3.938343e-05,3.919556e-05,3.900882e-05,3.882330e-05,3.863910e-05,3.845630e-05,3.827498e-05,3.809520e-05,3.791702e-05,3.774050e-05,3.756569e-05,3.739263e-05,3.722136e-05,3.705191e-05,3.688432e-05,3.671860e-05,3.655479e-05
0.000000e+00,2.212657e-09,5.165346e-09,1.808456e-08,4.139337e-08,6.047500e-08,1.372617e-07,1.413856e-07,2.726801e-07,3.201349e-07,4.667100e-07,6.186582e-07,7.365445e-07,1.063053e-06,1.095312e-06,1.553909e-06,1.679521e-06,2.116727e-06,2.475561e-06,2.777494e-06,3.427061e-06,3.519746e-06,4.322513e-06,4.488532e-06,5.166054e-06,5.615290e-06,6.034187e-06,6.773036e-06,6.914193e-06,7.795996e-06,7.936684e-06,8.671440e-06,9.087378e-06,9.533821e-06,1.021057e-05,1.037762e-05,1.119832e-05,1.129507e-05,1.199234e-05,1.233251e-05,1.275689e-05,1.331697e-05,1.348995e-05,1.419013e-05,1.424469e-05,1.485662e-05,1.511370e-05,1.548910e-05,1.592348e-05,1.608768e-05,1.665271e-05,1.667462e-05,1.718485e-05,1.736854e-05,1.768499e-05,1.800733e-05,1.815416e-05,1.859348e-05,1.900419e-05,1.912977e-05,1.938752e-05,1.961908e-05,1.974475e-05,2.006432e-05,2.007716e-05,2.038600e-05,2.046842e-05,2.067251e-05,2.083421e-05,2.093791e-05,2.116441e-05,2.118334e-05,2.140993e-05,2.146163e-05,2.161876e-05,2.172834e-05,2.181086e-05,2.196685e-05,2.198721e-05,2.214873e-05,2.217934e-05,2.229632e-05,2.236783e-05,2.243080e-05,2.253423e-05,2.255299e-05,2.266362e-05,2.268030e-05,2.276341e-05,2.280765e-05,2.285302e-05,2.291782e-05,2.293310e-05,2.300423e-05,2.301219e-05,2.306698e-05,2.309208e-05,2.312188e-05,2.315866e-05,2.316943e-05,2.321009e-05,2.321306e-05,2.324431e-05,2.325629e-05,2.327251e-05,2.328931e-05,2.329508e-05,2.331238e-05,2.331297e-05,2.332477e-05,2.332809e-05,2.333257e-05,2.333541e-05,2.333609e-05,2.333561e-05,2.333142e-05,2.332933e-05,2.332375e-05,2.331714e-05,2.331287e-05,2.329959e-05,2.329898e-05,2.328231e-05,2.327717e-05,2.326306e-05,2.325035e-05,2.324141e-05,2.321953e-05,2.321754e-05,2.319162e-05,2.318511e-05,2.316380e-05,2.314745e-05,2.313424e-05,2.310689e-05,2.310307e-05,2.307041e-05,2.306372e-05,2.303641e-05,2.301822e-05,2.300116e-05,2.297067e-05,2.296478e-05,2.292737e-05,2.292129e-05,2.288902e-05,2.287031e-05,2.284983e-05,2.281793e-05,2.280989e-05,2.276926e-05,2.276434e-05,2.272803e-05,2.270971e-05,2.268626e-05,2.265421e-05,2.264403e-05,2.260139e-05,2.259797e-05,2.255841e-05,2.254113e-05,2.251513e-05,2.248382e-05,2.247161e-05,2.242790e-05,2.242615e-05,2.238404e-05,2.236822e-05,2.234008e-05,2.231014e-05,2.229605e-05,2.225199e-05,2.219385e-05,2.213580e-05,2.207790e-05,2.202022e-05,2.196281e-05,2.190573e-05,2.184902e-05,2.179273e-05,2.173689e-05,2.168153e-05,2.162671e-05,2.157243e-05,2.151872e-05,2.146562e-05,2.141313e-05,2.136129e-05,2.131009e-05,2.125956e-05,2.120971e-05,2.116055e-05,2.111208e-05,2.106432e-05,2.101727e-05,2.097093e-05
0.000000e+00,4.573691e-11,1.721422e-10,1.205710e-09,4.284198e-09,7.597821e-09,2.565893e-08,2.679452e-08,6.909162e-08,8.670867e-08,1.468006e-07,2.161728e-07,2.738864e-07,4.474227e-07,4.654806e-07,7.359722e-07,8.138667e-07,1.095071e-06,1.335813e-06,1.544333e-06,2.009071e-06,2.077022e-06,2.680688e-06,2.808629e-06,3.340272e-06,3.700233e-06,4.040439e-06,4.649425e-06,4.766874e-06,5.506818e-06,5.625698e-06,6.249160e-06,6.603472e-06,6.984331e-06,7.561762e-06,7.704147e-06,8.401676e-06,8.483595e-06,9.071139e-06,9.355567e-06,9.707858e-06,1.016760e-05,1.030821e-05,1.086959e-05,1.091276e-05,1.139034e-05,1.158705e-05,1.186966e-05,1.218909e-05,1.230755e-05,1.270468e-05,1.271974e-05,1.306230e-05,1.318168e-05,1.338207e-05,1.357892e-05,1.366602e-05,1.391639e-05,1.413555e-05,1.419950e-05,1.432596e-05,1.443385e-05,1.449003e-05,1.462497e-05,1.463014e-05,1.474855e-05,1.477811e-05,1.484740e-05,1.489815e-05,1.492868e-05,1.498953e-05,1.499424e-05,1.504575e-05,1.505619e-05,1.508473e-05,1.510160e-05,1.511256e-05,1.512880e-05,1.513046e-05,1.513954e-05,1.514039e-05,1.514077e-05,1.513861e-05,1.513503e-05,1.512537e-05,1.512307e-05,1.510557e-05,1.510230e-05,1.508315e-05,1.507080e-05,1.505633e-05,1.503204e-05,1.502560e-05,1.499136e-05,1.498703e-05,1.495399e-05,1.493664e-05,1.491382e-05,1.488161e-05,1.487115e-05,1.482626e-05,1.482257e-05,1.477936e-05,1.476010e-05,1.473070e-05,1.469467e-05,1.468045e-05,1.462879e-05,1.462670e-05,1.457589e-05,1.455657e-05,1.452189e-05,1.448461e-05,1.446692e-05,1.441111e-05,1.435457e-05,1.433634e-05,1.429741e-05,1.426054e-05,1.423971e-05,1.418390e-05,1.418156e-05,1.412305e-05,1.410662e-05,1.406425e-05,1.402887e-05,1.400524e-05,1.395080e-05,1.394606e-05,1.388679e-05,1.387256e-05,1.382748e-05,1.379426e-05,1.376817e-05,1.371603e-05,1.370892e-05,1.364977e-05,1.363796e-05,1.359076e-05,1.356015e-05,1.353193e-05,1.348267e-05,1.347331e-05,1.341494e-05,1.340562e-05,1.335683e-05,1.332905e-05,1.329903e-05,1.325303e-05,1.324156e-05,1.318444e-05,1.317761e-05,1.312769e-05,1.310284e-05,1.307133e-05,1.302877e-05,1.301538e-05,1.295986e-05,1.295544e-05,1.290478e-05,1.288288e-05,1.285016e-05,1.281112e-05,1.279600e-05,1.274233e-05,1.274019e-05,1.268914e-05,1.267012e-05,1.263646e-05,1.260092e-05,1.258428e-05,1.253262e-05,1.246522e-05,1.239875e-05,1.233321e-05,1.226861e-05,1.220495e-05,1.214225e-05,1.208051e-05,1.201972e-05,1.195989e-05,1.190102e-05,1.184311e-05,1.178614e-05,1.173013e-05,1.167505e-05,1.162091e-05,1.156771e-05,1.151542e-05,1.146406e-05,1.141360e-05,1.136403e-05,1.131536e-05,1.126757e-05,1.122065e-05,1.117459e-05
0.000000e+00,8.239372e-10,1.877331e-09,6.375410e-09,1.433680e-08,2.079167e-08,4.656286e-08,4.794318e-08,9.191964e-08,1.078662e-07,1.573675e-07,2.090379e-07,2.492782e-07,3.605127e-07,3.714240e-07,5.233855e-07,5.637360e-07,6.994338e-07,8.055523e-07,8.916156e-07,1.068603e-06,1.093093e-06,1.298968e-06,1.340350e-06,1.505802e-06,1.612864e-06,1.711042e-06,1.880717e-06,1.912660e-06,2.108988e-06,2.139813e-06,2.298644e-06,2.386972e-06,2.480513e-06,2.619818e-06,2.653739e-06,2.817715e-06,2.836750e-06,2.972069e-06,3.036889e-06,3.116642e-06,3.219983e-06,3.251456e-06,3.376691e-06,3.386304e-06,3.492642e-06,3.536507e-06,3.599694e-06,3.671513e-06,3.698298e-06,3.788942e-06,3.792410e-06,3.872135e-06,3.900360e-06,3.948393e-06,3.996547e-06,4.018224e-06,4.082121e-06,4.140554e-06,4.158172e-06,4.193969e-06,4.225714e-06,4.242783e-06,4.285675e-06,4.287383e-06,4.328122e-06,4.338882e-06,4.365325e-06,4.386075e-06,4.399290e-06,4.427912e-06,4.430288e-06,4.458564e-06,4.464971e-06,4.484341e-06,4.497761e-06,4.507820e-06,4.526725e-06,4.529183e-06,4.548595e-06,4.552257e-06,4.566209e-06,4.574702e-06,4.582159e-06,4.594362e-06,4.596569e-06,4.609552e-06,4.611504e-06,4.621210e-06,4.626362e-06,4.631635e-06,4.639145e-06,4.640912e-06,4.649120e-06,4.650036e-06,4.656329e-06,4.659201e-06,4.662604e-06,4.666786e-06,4.668006e-06,4.672589e-06,4.672922e-06,4.676405e-06,4.677727e-06,4.679501e-06,4.681309e-06,4.681920e-06,4.683704e-06,4.683762e-06,4.684889e-06,4.685176e-06,4.685511e-06,4.685629e-06,4.685603e-06,4.685196e-06,4.684317e-06,4.683941e-06,4.682995e-06,4.681927e-06,4.681254e-06,4.679211e-06,4.679118e-06,4.676610e-06,4.675844e-06,4.673750e-06,4.671874e-06,4.670559e-06,4.667347e-06,4.667056e-06,4.663257e-06,4.662304e-06,4.659181e-06,4.656783e-06,4.654842e-06,4.650820e-06,4.650257e-06,4.645440e-06,4.644449e-06,4.640403e-06,4.637702e-06,4.635161e-06,4.630607e-06,4.629725e-06,4.624108e-06,4.623193e-06,4.618320e-06,4.615484e-06,4.612372e-06,4.607506e-06,4.606275e-06,4.600037e-06,4.599280e-06,4.593669e-06,4.590828e-06,4.587179e-06,4.582169e-06,4.580575e-06,4.573865e-06,4.573324e-06,4.567057e-06,4.564308e-06,4.560159e-06,4.555140e-06,4.553177e-06,4.546118e-06,4.545834e-06,4.538988e-06,4.536405e-06,4.531794e-06,4.526868e-06,4.524541e-06,4.517234e-06,4.507517e-06,4.497729e-06,4.487879e-06,4.477979e-06,4.468038e-06,4.458065e-06,4.448069e-06,4.438058e-06,4.428039e-06,4.418020e-06,4.408007e-06,4.398007e-06,4.388026e-06,4.378069e-06,4.368142e-06,4.358249e-06,4.348396e-06,4.338586e-06,4.328823e-06,4.319112e-06,4.309455e-06,4.299857e-06,4.290320e-06,4.280846e-06
0.000000e+00,1.773909e-09,4.707239e-09,1.900842e-08,4.665257e-08,7.000753e-08,1.668315e-07,1.721107e-07,3.424313e-07,4.047261e-07,5.985949e-07,8.011279e-07,9.589918e-07,1.398508e-06,1.442081e-06,2.064184e-06,2.235498e-06,2.835393e-06,3.332540e-06,3.754542e-06,4.674122e-06,4.806596e-06,5.965796e-06,6.207900e-06,7.202862e-06,7.867810e-06,8.490941e-06,9.596057e-06,9.807956e-06,1.113647e-05,1.134914e-05,1.246277e-05,1.309530e-05,1.377592e-05,1.481105e-05,1.506719e-05,1.632960e-05,1.647887e-05,1.755761e-05,1.808590e-05,1.874696e-05,1.962299e-05,1.989443e-05,2.099776e-05,2.108407e-05,2.205545e-05,2.246553e-05,2.306665e-05,2.376576e-05,2.403109e-05,2.494892e-05,2.498467e-05,2.582063e-05,2.612331e-05,2.664703e-05,2.718360e-05,2.742912e-05,2.816806e-05,2.886514e-05,2.907958e-05,2.952173e-05,2.992136e-05,3.013926e-05,3.069668e-05,3.071918e-05,3.126295e-05,3.140893e-05,3.177204e-05,3.206145e-05,3.224790e-05,3.265756e-05,3.269195e-05,3.310560e-05,3.320050e-05,3.349020e-05,3.369339e-05,3.384709e-05,3.413925e-05,3.417755e-05,3.448282e-05,3.454097e-05,3.476412e-05,3.490131e-05,3.502260e-05,3.522291e-05,3.525938e-05,3.547554e-05,3.550828e-05,3.567209e-05,3.575978e-05,3.585005e-05,3.597966e-05,3.601035e-05,3.615392e-05,3.617006e-05,3.628161e-05,3.633299e-05,3.639427e-05,3.647033e-05,3.649270e-05,3.657765e-05,3.658389e-05,3.664986e-05,3.667534e-05,3.671003e-05,3.674627e-05,3.675883e-05,3.679688e-05,3.679818e-05,3.682479e-05,3.683247e-05,3.684314e-05,3.685045e-05,3.685249e-05,3.685336e-05,3.684624e-05,3.684236e-05,3.683162e-05,3.681854e-05,3.680996e-05,3.678293e-05,3.678167e-05,3.674718e-05,3.673647e-05,3.670688e-05,3.668006e-05,3.666114e-05,3.661455e-05,3.661031e-05,3.655473e-05,3.654072e-05,3.649472e-05,3.645930e-05,3.643059e-05,3.637097e-05,3.636262e-05,3.629109e-05,3.627638e-05,3.621626e-05,3.617613e-05,3.613838e-05,3.607078e-05,3.605768e-05,3.597439e-05,3.596084e-05,3.588872e-05,3.584681e-05,3.580086e-05,3.572914e-05,3.571102e-05,3.561936e-05,3.560825e-05,3.552606e-05,3.548453e-05,3.543128e-05,3.535836e-05,3.533518e-05,3.523789e-05,3.523007e-05,3.513957e-05,3.509997e-05,3.504033e-05,3.496838e-05,3.494030e-05,3.483959e-05,3.483555e-05,3.473832e-05,3.470174e-05,3.463658e-05,3.456719e-05,3.453448e-05,3.443211e-05,3.429671e-05,3.416117e-05,3.402567e-05,3.389035e-05,3.375538e-05,3.362088e-05,3.348697e-05,3.335378e-05,3.322140e-05,3.308992e-05,3.295945e-05,3.283004e-05,3.270179e-05,3.257474e-05,3.244896e-05,3.232450e-05,3.220140e-05,3.207972e-05,3.195948e-05,3.184071e-05,3.172346e-05,3.160773e-05,3.149355e-05,3.138094e-05
0.000000e+00,7.264359e-11,2.678739e-10,1.802580e-09,6.194290e-09,1.079981e-08,3.507232e-08,3.657200e-08,9.143873e-08,1.139605e-07,1.901505e-07,2.775840e-07,3.502259e-07,5.691510e-07,5.920075e-07,9.364362e-07,1.036323e-06,1.399110e-06,1.711777e-06,1.983593e-06,2.590893e-06,2.679728e-06,3.467837e-06,3.634457e-06,4.324720e-06,4.789987e-06,5.228144e-06,6.008873e-06,6.158960e-06,7.101563e-06,7.252602e-06,8.043494e-06,8.492379e-06,8.974794e-06,9.706711e-06,9.887402e-06,1.077471e-05,1.087922e-05,1.163128e-05,1.199726e-05,1.245268e-05,1.305119e-05,1.323534e-05,1.397656e-05,1.403400e-05,1.467440e-05,1.494110e-05,1.532769e-05,1.577017e-05,1.593593e-05,1.649925e-05,1.652086e-05,1.701829e-05,1.719450e-05,1.749415e-05,1.779380e-05,1.792828e-05,1.832243e-05,1.867852e-05,1.878477e-05,1.899864e-05,1.918564e-05,1.928496e-05,1.953004e-05,1.953965e-05,1.976490e-05,1.982299e-05,1.996285e-05,2.006937e-05,2.013555e-05,2.027385e-05,2.028500e-05,2.041305e-05,2.044080e-05,2.052149e-05,2.057428e-05,2.061198e-05,2.067798e-05,2.068605e-05,2.074515e-05,2.075528e-05,2.079058e-05,2.080922e-05,2.082358e-05,2.084250e-05,2.084526e-05,2.085664e-05,2.085757e-05,2.085868e-05,2.085659e-05,2.085223e-05,2.084148e-05,2.083807e-05,2.081691e-05,2.081394e-05,2.078942e-05,2.077547e-05,2.075618e-05,2.072742e-05,2.071775e-05,2.067460e-05,2.067096e-05,2.062720e-05,2.060714e-05,2.057596e-05,2.053689e-05,2.052124e-05,2.046340e-05,2.046103e-05,2.040275e-05,2.038029e-05,2.033958e-05,2.029532e-05,2.027415e-05,2.020669e-05,2.013743e-05,2.011492e-05,2.006658e-05,2.002048e-05,1.999431e-05,1.992377e-05,1.992081e-05,1.984622e-05,1.982516e-05,1.977069e-05,1.972498e-05,1.969436e-05,1.962352e-05,1.961734e-05,1.953976e-05,1.952106e-05,1.946171e-05,1.941783e-05,1.938329e-05,1.931405e-05,1.930459e-05,1.922570e-05,1.920991e-05,1.914669e-05,1.910558e-05,1.906763e-05,1.900123e-05,1.898858e-05,1.890961e-05,1.889699e-05,1.883077e-05,1.879299e-05,1.875212e-05,1.868936e-05,1.867369e-05,1.859554e-05,1.858618e-05,1.851771e-05,1.848357e-05,1.844022e-05,1.838160e-05,1.836313e-05,1.828645e-05,1.828034e-05,1.821023e-05,1.817987e-05,1.813448e-05,1.808025e-05,1.805923e-05,1.798450e-05,1.798153e-05,1.791033e-05,1.788376e-05,1.783671e-05,1.778698e-05,1.776368e-05,1.769124e-05,1.759657e-05,1.750299e-05,1.741053e-05,1.731921e-05,1.722906e-05,1.714009e-05,1.705231e-05,1.696573e-05,1.688037e-05,1.679622e-05,1.671330e-05,1.663160e-05,1.655112e-05,1.647187e-05,1.639384e-05,1.631704e-05,1.624144e-05,1.616706e-05,1.609388e-05,1.602189e-05,1.595109e-05,1.588147e-05,1.581302e-05,1.574573e-05
0.000000e+00,7.239288e-10,2.268838e-09,1.146132e-08,3.184201e-08,5.019487e-08,1.308816e-07,1.354062e-07,2.847935e-07,3.404921e-07,5.157700e-07,7.008185e-07,8.459100e-07,1.252459e-06,1.292933e-06,1.873802e-06,2.034778e-06,2.602292e-06,3.077512e-06,3.484639e-06,4.384024e-06,4.514960e-06,5.674815e-06,5.920127e-06,6.938734e-06,7.628461e-06,8.281066e-06,9.452854e-06,9.679598e-06,1.111600e-05,1.134828e-05,1.257499e-05,1.327944e-05,1.404355e-05,1.521765e-05,1.551038e-05,1.696563e-05,1.713906e-05,1.840076e-05,1.902392e-05,1.980848e-05,2.085622e-05,2.118270e-05,2.251845e-05,2.262352e-05,2.381181e-05,2.431658e-05,2.505978e-05,2.592899e-05,2.626024e-05,2.741178e-05,2.745681e-05,2.851365e-05,2.889810e-05,2.956560e-05,3.025251e-05,3.056786e-05,3.152099e-05,3.242586e-05,3.270540e-05,3.328356e-05,3.380831e-05,3.409535e-05,3.483276e-05,3.486261e-05,3.558683e-05,3.578211e-05,3.626954e-05,3.665989e-05,3.691231e-05,3.746974e-05,3.751672e-05,3.808435e-05,3.821528e-05,3.861677e-05,3.890011e-05,3.911551e-05,3.952774e-05,3.958207e-05,4.001794e-05,4.010155e-05,4.042453e-05,4.062484e-05,4.080321e-05,4.110073e-05,4.115534e-05,4.148217e-05,4.153221e-05,4.178496e-05,4.192211e-05,4.206490e-05,4.227315e-05,4.232310e-05,4.256068e-05,4.258786e-05,4.277868e-05,4.286865e-05,4.297809e-05,4.311781e-05,4.315988e-05,4.332495e-05,4.333746e-05,4.347417e-05,4.352961e-05,4.360838e-05,4.369616e-05,4.372837e-05,4.383488e-05,4.383887e-05,4.392865e-05,4.395942e-05,4.401036e-05,4.405937e-05,4.408067e-05,4.414019e-05,4.418952e-05,4.420325e-05,4.422923e-05,4.424984e-05,4.425985e-05,4.428116e-05,4.428189e-05,4.429584e-05,4.429836e-05,4.430216e-05,4.430248e-05,4.430131e-05,4.429453e-05,4.429368e-05,4.427968e-05,4.427542e-05,4.425970e-05,4.424603e-05,4.423409e-05,4.420716e-05,4.420319e-05,4.416733e-05,4.415959e-05,4.412682e-05,4.410401e-05,4.408194e-05,4.404109e-05,4.403299e-05,4.398023e-05,4.397145e-05,4.392391e-05,4.389568e-05,4.386426e-05,4.381430e-05,4.380152e-05,4.373590e-05,4.372784e-05,4.366760e-05,4.363676e-05,4.359683e-05,4.354150e-05,4.352376e-05,4.344857e-05,4.344247e-05,4.337144e-05,4.334007e-05,4.329250e-05,4.323464e-05,4.321192e-05,4.312984e-05,4.312653e-05,4.304640e-05,4.301605e-05,4.296171e-05,4.290347e-05,4.287590e-05,4.278909e-05,4.267315e-05,4.255588e-05,4.243751e-05,4.231823e-05,4.219825e-05,4.207773e-05,4.195683e-05,4.183572e-05,4.171452e-05,4.159338e-05,4.147241e-05,4.135173e-05,4.123143e-05,4.111161e-05,4.099237e-05,4.087377e-05,4.075591e-05,4.063884e-05,4.052262e-05,4.040733e-05,4.029299e-05,4.017968e-05,4.006742e-05,3.995626e-05
0.000000e+00,6.100193e-09,1.404627e-08,4.872488e-08,1.118041e-07,1.640578e-07,3.799001e-07,3.917375e-07,7.808775e-07,9.270553e-07,1.394960e-06,1.901928e-06,2.306642e-06,3.454200e-06,3.568339e-06,5.177877e-06,5.611305e-06,7.090838e-06,8.275878e-06,9.258133e-06,1.134578e-05,1.164239e-05,1.421681e-05,1.475262e-05,1.696057e-05,1.844812e-05,1.985533e-05,2.239062e-05,2.288331e-05,2.602636e-05,2.653868e-05,2.926571e-05,3.084912e-05,3.258198e-05,3.527720e-05,3.595557e-05,3.936701e-05,3.977802e-05,4.279739e-05,4.430805e-05,4.622860e-05,4.882642e-05,4.964373e-05,5.302721e-05,5.329609e-05,5.636498e-05,5.768445e-05,5.964458e-05,6.196370e-05,6.285513e-05,6.598736e-05,6.611091e-05,6.903349e-05,7.010776e-05,7.198717e-05,7.394023e-05,7.484333e-05,7.759814e-05,8.024879e-05,8.107467e-05,8.279343e-05,8.436586e-05,8.523103e-05,8.747012e-05,8.756127e-05,8.978446e-05,9.038786e-05,9.190139e-05,9.312105e-05,9.391331e-05,9.567291e-05,9.582183e-05,9.762885e-05,9.804766e-05,9.933648e-05,1.002502e-04,1.009471e-04,1.022861e-04,1.024631e-04,1.038871e-04,1.041611e-04,1.052217e-04,1.058813e-04,1.064698e-04,1.074531e-04,1.076339e-04,1.087169e-04,1.088828e-04,1.097215e-04,1.101767e-04,1.106504e-04,1.113410e-04,1.115065e-04,1.122922e-04,1.123819e-04,1.130104e-04,1.133056e-04,1.136635e-04,1.141180e-04,1.142542e-04,1.147848e-04,1.148247e-04,1.152579e-04,1.154315e-04,1.156757e-04,1.159437e-04,1.160407e-04,1.163550e-04,1.163665e-04,1.166208e-04,1.167051e-04,1.168403e-04,1.169641e-04,1.170155e-04,1.171483e-04,1.172408e-04,1.172622e-04,1.172948e-04,1.173100e-04,1.173121e-04,1.172958e-04,1.172945e-04,1.172436e-04,1.172236e-04,1.171611e-04,1.170970e-04,1.170485e-04,1.169197e-04,1.169074e-04,1.167392e-04,1.166949e-04,1.165453e-04,1.164261e-04,1.163272e-04,1.161162e-04,1.160861e-04,1.158233e-04,1.157682e-04,1.155399e-04,1.153848e-04,1.152372e-04,1.149688e-04,1.149163e-04,1.145783e-04,1.145226e-04,1.142241e-04,1.140487e-04,1.138548e-04,1.135492e-04,1.134714e-04,1.130747e-04,1.130263e-04,1.126657e-04,1.124820e-04,1.122451e-04,1.119183e-04,1.118139e-04,1.113727e-04,1.113369e-04,1.109222e-04,1.107397e-04,1.104633e-04,1.101281e-04,1.099966e-04,1.095227e-04,1.095036e-04,1.090423e-04,1.088679e-04,1.085559e-04,1.082221e-04,1.080642e-04,1.075676e-04,1.069055e-04,1.062370e-04,1.055631e-04,1.048849e-04,1.042032e-04,1.035189e-04,1.028328e-04,1.021458e-04,1.014584e-04,1.007714e-04,1.000853e-04,9.940084e-05,9.871843e-05,9.803858e-05,9.736175e-05,9.668838e-05,9.601883e-05,9.535349e-05,9.469267e-05,9.403667e-05,9.338577e-05,9.274022e-05,9.210026e-05,9.146608e-05
0.000000e+00,2.961063e-10,1.067332e-09,6.880894e-09,2.285583e-08,3.919539e-08,1.228003e-07,1.278911e-07,3.116763e-07,3.863617e-07,6.377599e-07,9.252148e-07,1.163625e-06,1.879543e-06,1.953976e-06,3.065253e-06,3.383435e-06,4.523338e-06,5.488104e-06,6.316172e-06,8.141701e-06,8.406835e-06,1.075097e-05,1.124646e-05,1.330710e-05,1.470802e-05,1.603961e-05,1.844879e-05,1.891799e-05,2.191510e-05,2.240396e-05,2.500586e-05,2.651564e-05,2.816638e-05,3.072958e-05,3.137373e-05,3.460601e-05,3.499457e-05,3.784259e-05,3.926305e-05,4.106433e-05,4.349219e-05,4.425389e-05,4.739578e-05,4.764465e-05,5.047651e-05,5.168905e-05,5.348463e-05,5.560007e-05,5.641058e-05,5.924666e-05,5.935814e-05,6.198687e-05,6.294896e-05,6.462670e-05,6.636279e-05,6.716300e-05,6.959380e-05,7.191819e-05,7.263949e-05,7.413610e-05,7.549996e-05,7.624817e-05,7.817728e-05,7.825559e-05,8.015998e-05,8.067500e-05,8.196330e-05,8.299770e-05,8.366780e-05,8.515083e-05,8.527601e-05,8.679065e-05,8.714055e-05,8.821459e-05,8.897347e-05,8.955076e-05,9.065639e-05,9.080219e-05,9.197194e-05,9.219636e-05,9.306314e-05,9.360061e-05,9.407909e-05,9.487674e-05,9.502307e-05,9.589812e-05,9.603193e-05,9.670714e-05,9.707286e-05,9.745296e-05,9.800593e-05,9.813827e-05,9.876569e-05,9.883721e-05,9.933778e-05,9.957261e-05,9.985702e-05,1.002178e-04,1.003258e-04,1.007464e-04,1.007780e-04,1.011211e-04,1.012585e-04,1.014519e-04,1.016642e-04,1.017411e-04,1.019906e-04,1.019997e-04,1.022023e-04,1.022696e-04,1.023781e-04,1.024780e-04,1.025197e-04,1.026290e-04,1.027074e-04,1.027263e-04,1.027567e-04,1.027736e-04,1.027783e-04,1.027744e-04,1.027737e-04,1.027443e-04,1.027318e-04,1.026915e-04,1.026490e-04,1.026164e-04,1.025288e-04,1.025204e-04,1.024047e-04,1.023741e-04,1.022703e-04,1.021873e-04,1.021183e-04,1.019709e-04,1.019498e-04,1.017658e-04,1.017272e-04,1.015671e-04,1.014584e-04,1.013548e-04,1.011665e-04,1.011297e-04,1.008925e-04,1.008535e-04,1.006442e-04,1.005212e-04,1.003853e-04,1.001712e-04,1.001168e-04,9.983915e-05,9.980525e-05,9.955311e-05,9.942475e-05,9.925929e-05,9.903115e-05,9.895828e-05,9.865064e-05,9.862576e-05,9.833691e-05,9.820984e-05,9.801762e-05,9.778455e-05,9.769323e-05,9.736423e-05,9.735098e-05,9.703105e-05,9.691017e-05,9.669412e-05,9.646306e-05,9.635383e-05,9.601056e-05,9.555350e-05,9.509265e-05,9.462877e-05,9.416251e-05,9.369452e-05,9.322539e-05,9.275567e-05,9.228587e-05,9.181645e-05,9.134788e-05,9.088054e-05,9.041481e-05,8.995105e-05,8.948957e-05,8.903067e-05,8.857461e-05,8.812165e-05,8.767202e-05,8.722592e-05,8.678354e-05,8.634505e-05,8.591062e-05,8.548037e-05,8.505443e-05
0.000000e+00,3.389646e-10,1.067213e-09,5.429144e-09,1.514868e-08,2.392283e-08,6.259036e-08,6.476128e-08,1.365270e-07,1.633192e-07,2.477344e-07,3.370194e-07,4.071446e-07,6.042131e-07,6.238796e-07,9.070807e-07,9.858775e-07,1.264737e-06,1.499498e-06,1.701515e-06,2.150716e-06,2.216449e-06,2.802423e-06,2.927194e-06,3.448245e-06,3.803627e-06,4.141644e-06,4.752508e-06,4.871256e-06,5.627267e-06,5.750102e-06,6.401318e-06,6.777121e-06,7.186214e-06,7.817687e-06,7.975665e-06,8.764114e-06,8.858421e-06,9.546653e-06,9.887967e-06,1.031897e-05,1.089678e-05,1.107733e-05,1.181854e-05,1.187701e-05,1.253993e-05,1.282244e-05,1.323935e-05,1.372834e-05,1.391507e-05,1.456582e-05,1.459132e-05,1.519069e-05,1.540918e-05,1.578909e-05,1.618072e-05,1.636073e-05,1.690555e-05,1.742372e-05,1.758395e-05,1.791555e-05,1.821671e-05,1.838151e-05,1.880501e-05,1.882216e-05,1.923815e-05,1.935031e-05,1.963020e-05,1.985424e-05,1.999905e-05,2.031860e-05,2.034552e-05,2.067040e-05,2.074525e-05,2.097452e-05,2.113607e-05,2.125871e-05,2.149294e-05,2.152377e-05,2.177051e-05,2.181773e-05,2.199972e-05,2.211224e-05,2.221218e-05,2.237824e-05,2.240862e-05,2.258980e-05,2.261741e-05,2.275640e-05,2.283139e-05,2.290911e-05,2.302173e-05,2.304860e-05,2.317548e-05,2.318989e-05,2.329038e-05,2.333728e-05,2.339386e-05,2.346523e-05,2.348650e-05,2.356884e-05,2.357500e-05,2.364138e-05,2.366777e-05,2.370462e-05,2.374466e-05,2.375904e-05,2.380508e-05,2.380675e-05,2.384317e-05,2.385502e-05,2.387373e-05,2.389041e-05,2.389716e-05,2.391382e-05,2.392408e-05,2.392607e-05,2.392828e-05,2.392794e-05,2.392675e-05,2.392017e-05,2.391979e-05,2.390772e-05,2.390346e-05,2.389080e-05,2.387844e-05,2.386932e-05,2.384574e-05,2.384352e-05,2.381366e-05,2.380592e-05,2.377997e-05,2.375951e-05,2.374267e-05,2.370703e-05,2.370197e-05,2.365808e-05,2.364894e-05,2.361119e-05,2.358568e-05,2.356149e-05,2.351768e-05,2.350914e-05,2.345431e-05,2.344532e-05,2.339717e-05,2.336897e-05,2.333787e-05,2.328896e-05,2.327654e-05,2.321332e-05,2.320561e-05,2.314835e-05,2.311924e-05,2.308175e-05,2.303011e-05,2.301363e-05,2.294411e-05,2.293849e-05,2.287329e-05,2.284462e-05,2.280128e-05,2.274874e-05,2.272817e-05,2.265405e-05,2.265106e-05,2.257901e-05,2.255179e-05,2.250313e-05,2.245110e-05,2.242650e-05,2.234918e-05,2.224619e-05,2.214229e-05,2.203761e-05,2.193230e-05,2.182648e-05,2.172026e-05,2.161375e-05,2.150706e-05,2.140028e-05,2.129350e-05,2.118680e-05,2.108025e-05,2.097393e-05,2.086790e-05,2.076223e-05,2.065696e-05,2.055216e-05,2.044787e-05,2.034413e-05,2.024098e-05,2.013847e-05,2.003663e-05,1.993549e-05,1.983508e-05
0.000000e+00,2.266304e-10,8.329049e-10,5.575947e-09,1.912402e-08,3.335562e-08,1.090770e-07,1.137969e-07,2.895967e-07,3.633805e-07,6.188822e-07,9.209650e-07,1.176936e-06,1.960120e-06,2.042059e-06,3.260820e-06,3.606215e-06,4.826124e-06,5.837068e-06,6.689994e-06,8.527129e-06,8.789426e-06,1.106416e-05,1.153550e-05,1.346345e-05,1.474634e-05,1.594621e-05,1.807151e-05,1.847886e-05,2.103297e-05,2.144191e-05,2.358364e-05,2.480013e-05,2.610865e-05,2.809670e-05,2.858806e-05,3.100425e-05,3.128920e-05,3.334202e-05,3.434242e-05,3.558865e-05,3.722882e-05,3.773402e-05,3.977047e-05,3.992851e-05,4.169274e-05,4.242892e-05,4.349774e-05,4.472398e-05,4.518427e-05,4.675283e-05,4.681314e-05,4.820525e-05,4.870023e-05,4.954449e-05,5.039243e-05,5.077435e-05,5.189927e-05,5.292412e-05,5.323177e-05,5.385406e-05,5.440186e-05,5.469438e-05,5.542173e-05,5.545042e-05,5.612742e-05,5.630353e-05,5.673055e-05,5.705905e-05,5.726479e-05,5.769956e-05,5.773492e-05,5.814550e-05,5.823566e-05,5.850084e-05,5.867724e-05,5.880503e-05,5.903345e-05,5.906190e-05,5.927503e-05,5.931271e-05,5.944779e-05,5.952271e-05,5.958330e-05,5.967049e-05,5.968448e-05,5.975405e-05,5.976242e-05,5.979452e-05,5.980431e-05,5.980824e-05,5.980140e-05,5.979736e-05,5.976390e-05,5.975846e-05,5.970972e-05,5.967977e-05,5.963655e-05,5.956923e-05,5.954599e-05,5.943951e-05,5.943035e-05,5.931849e-05,5.926629e-05,5.918418e-05,5.907993e-05,5.903778e-05,5.888036e-05,5.887384e-05,5.871292e-05,5.865038e-05,5.853641e-05,5.841164e-05,5.835169e-05,5.815955e-05,5.796074e-05,5.789582e-05,5.775594e-05,5.762202e-05,5.754579e-05,5.733957e-05,5.733089e-05,5.711177e-05,5.704973e-05,5.688894e-05,5.675366e-05,5.666287e-05,5.645240e-05,5.643399e-05,5.620272e-05,5.614690e-05,5.596942e-05,5.583801e-05,5.573443e-05,5.552651e-05,5.549809e-05,5.526069e-05,5.521310e-05,5.502249e-05,5.489841e-05,5.478377e-05,5.458300e-05,5.454475e-05,5.430565e-05,5.426740e-05,5.406668e-05,5.395207e-05,5.382802e-05,5.363743e-05,5.358984e-05,5.335232e-05,5.332386e-05,5.311558e-05,5.301171e-05,5.287978e-05,5.270127e-05,5.264504e-05,5.241146e-05,5.239283e-05,5.217917e-05,5.208664e-05,5.194826e-05,5.178291e-05,5.171881e-05,5.149092e-05,5.148184e-05,5.126466e-05,5.118361e-05,5.104009e-05,5.088838e-05,5.081727e-05,5.059627e-05,5.030742e-05,5.002193e-05,4.973988e-05,4.946136e-05,4.918643e-05,4.891516e-05,4.864758e-05,4.838374e-05,4.812367e-05,4.786738e-05,4.761490e-05,4.736623e-05,4.712137e-05,4.688033e-05,4.664310e-05,4.640966e-05,4.618001e-05,4.595411e-05,4.573196e-05,4.551352e-05,4.529877e-05,4.508768e-05,4.488022e-05,4.467634e-05
0.000000e+00,1.662750e-10,6.100767e-10,4.067582e-09,1.387272e-08,2.409062e-08,7.738539e-08,8.065531e-08,1.989226e-07,2.468033e-07,4.063613e-07,5.854739e-07,7.315144e-07,1.159603e-06,1.203445e-06,1.851002e-06,2.035603e-06,2.700858e-06,3.273299e-06,3.773959e-06,4.912520e-06,5.082034e-06,6.626572e-06,6.963354e-06,8.400531e-06,9.409575e-06,1.039115e-05,1.221898e-05,1.258232e-05,1.495609e-05,1.535159e-05,1.749350e-05,1.876384e-05,2.017496e-05,2.241050e-05,2.298060e-05,2.589051e-05,2.624577e-05,2.888504e-05,3.022449e-05,3.194509e-05,3.430328e-05,3.505240e-05,3.818975e-05,3.844155e-05,4.134118e-05,4.260238e-05,4.449212e-05,4.675308e-05,4.762946e-05,5.074156e-05,5.086537e-05,5.381825e-05,5.491546e-05,5.685075e-05,5.888375e-05,5.983161e-05,6.275458e-05,6.561454e-05,6.651572e-05,6.840737e-05,7.015802e-05,7.112984e-05,7.367493e-05,7.377949e-05,7.635457e-05,7.706206e-05,7.885390e-05,8.031685e-05,8.127684e-05,8.343826e-05,8.362315e-05,8.589299e-05,8.642641e-05,8.808681e-05,8.928241e-05,9.020534e-05,9.200809e-05,9.224949e-05,9.422038e-05,9.460587e-05,9.611925e-05,9.707864e-05,9.794746e-05,9.942962e-05,9.970648e-05,1.013978e-04,1.016623e-04,1.030231e-04,1.037802e-04,1.045839e-04,1.057872e-04,1.060818e-04,1.075186e-04,1.076870e-04,1.088960e-04,1.094836e-04,1.102155e-04,1.111807e-04,1.114788e-04,1.126877e-04,1.127821e-04,1.138437e-04,1.142917e-04,1.149485e-04,1.157131e-04,1.160036e-04,1.170107e-04,1.170500e-04,1.179712e-04,1.183059e-04,1.188867e-04,1.194843e-04,1.197587e-04,1.205887e-04,1.213780e-04,1.216222e-04,1.221281e-04,1.225881e-04,1.228402e-04,1.234895e-04,1.235159e-04,1.241562e-04,1.243294e-04,1.247626e-04,1.251106e-04,1.253361e-04,1.258359e-04,1.258781e-04,1.263897e-04,1.265081e-04,1.268720e-04,1.271297e-04,1.273262e-04,1.277033e-04,1.277532e-04,1.281541e-04,1.282312e-04,1.285299e-04,1.287158e-04,1.288817e-04,1.291593e-04,1.292103e-04,1.295167e-04,1.295637e-04,1.298018e-04,1.299313e-04,1.300664e-04,1.302639e-04,1.303113e-04,1.305374e-04,1.305633e-04,1.307455e-04,1.308315e-04,1.309363e-04,1.310702e-04,1.311106e-04,1.312690e-04,1.312810e-04,1.314122e-04,1.314654e-04,1.315410e-04,1.316251e-04,1.316559e-04,1.317575e-04,1.317613e-04,1.318466e-04,1.318756e-04,1.319236e-04,1.319693e-04,1.319890e-04,1.320435e-04,1.320996e-04,1.321386e-04,1.321616e-04,1.321697e-04,1.321638e-04,1.321450e-04,1.321140e-04,1.320718e-04,1.320191e-04,1.319567e-04,1.318854e-04,1.318058e-04,1.317187e-04,1.316245e-04,1.315239e-04,1.314175e-04,1.313057e-04,1.311891e-04,1.310682e-04,1.309434e-04,1.308150e-04,1.306836e-04,1.305495e-04,1.304130e-04
0.000000e+00,2.571678e-10,9.553307e-10,6.529146e-09,2.276722e-08,4.002747e-08,1.330088e-07,1.388329e-07,3.560692e-07,4.470751e-07,7.607101e-07,1.129133e-06,1.440547e-06,2.400056e-06,2.501636e-06,4.053190e-06,4.508374e-06,6.172669e-06,7.615289e-06,8.872566e-06,1.168617e-05,1.209797e-05,1.575158e-05,1.652392e-05,1.972277e-05,2.187809e-05,2.390711e-05,2.752054e-05,2.821485e-05,3.257236e-05,3.327005e-05,3.692042e-05,3.898980e-05,4.121152e-05,4.457745e-05,4.540746e-05,4.947757e-05,4.995631e-05,5.339741e-05,5.506943e-05,5.714787e-05,5.987593e-05,6.071458e-05,6.408735e-05,6.434857e-05,6.725970e-05,6.847170e-05,7.022842e-05,7.223949e-05,7.299311e-05,7.555573e-05,7.565408e-05,7.792019e-05,7.872390e-05,8.009197e-05,8.146208e-05,8.207774e-05,8.388504e-05,8.552204e-05,8.601130e-05,8.699728e-05,8.786057e-05,8.831950e-05,8.945299e-05,8.949745e-05,9.053982e-05,9.080855e-05,9.145509e-05,9.194669e-05,9.225152e-05,9.288609e-05,9.293703e-05,9.351925e-05,9.364443e-05,9.400543e-05,9.423832e-05,9.440245e-05,9.468325e-05,9.471682e-05,9.495469e-05,9.499359e-05,9.512183e-05,9.518261e-05,9.522369e-05,9.526252e-05,9.526534e-05,9.525157e-05,9.524452e-05,9.518682e-05,9.513887e-05,9.507526e-05,9.495493e-05,9.492078e-05,9.472701e-05,9.470128e-05,9.449731e-05,9.438569e-05,9.423485e-05,9.401526e-05,9.394253e-05,9.362310e-05,9.359645e-05,9.327908e-05,9.313512e-05,9.291282e-05,9.263658e-05,9.252652e-05,9.212220e-05,9.210568e-05,9.170174e-05,9.154677e-05,9.126691e-05,9.096384e-05,9.081931e-05,9.036046e-05,8.989175e-05,8.973989e-05,8.941445e-05,8.910504e-05,8.892978e-05,8.845858e-05,8.843883e-05,8.794264e-05,8.780289e-05,8.744213e-05,8.714012e-05,8.693819e-05,8.647223e-05,8.643163e-05,8.592318e-05,8.580095e-05,8.541353e-05,8.512785e-05,8.490332e-05,8.445433e-05,8.439312e-05,8.388347e-05,8.378165e-05,8.337485e-05,8.311093e-05,8.286772e-05,8.244318e-05,8.236249e-05,8.185954e-05,8.177930e-05,8.135920e-05,8.112006e-05,8.086180e-05,8.046618e-05,8.036761e-05,7.987691e-05,7.981827e-05,7.938992e-05,7.917688e-05,7.890686e-05,7.854249e-05,7.842792e-05,7.795328e-05,7.791549e-05,7.748307e-05,7.729627e-05,7.701745e-05,7.668511e-05,7.655654e-05,7.610043e-05,7.608229e-05,7.564923e-05,7.548802e-05,7.520302e-05,7.490248e-05,7.476186e-05,7.432582e-05,7.375815e-05,7.319957e-05,7.265012e-05,7.210987e-05,7.157881e-05,7.105696e-05,7.054429e-05,7.004079e-05,6.954640e-05,6.906106e-05,6.858473e-05,6.811731e-05,6.765872e-05,6.720888e-05,6.676767e-05,6.633501e-05,6.591078e-05,6.549487e-05,6.508715e-05,6.468752e-05,6.429585e-05,6.391201e-05,6.353589e-05,6.316735e-05
0.000000e+00,1.210659e-10,4.285598e-10,2.666660e-09,8.590669e-09,1.449119e-08,4.348685e-08,4.520817e-08,1.051997e-07,1.286565e-07,2.048085e-07,2.878307e-07,3.542206e-07,5.443766e-07,5.635683e-07,8.428986e-07,9.214262e-07,1.201628e-06,1.440097e-06,1.647152e-06,2.113810e-06,2.182837e-06,2.806646e-06,2.941433e-06,3.511543e-06,3.906822e-06,4.287357e-06,4.985594e-06,5.122810e-06,6.006814e-06,6.152057e-06,6.929019e-06,7.382421e-06,7.879907e-06,8.655359e-06,8.850718e-06,9.833358e-06,9.951708e-06,1.082035e-05,1.125421e-05,1.180482e-05,1.254748e-05,1.278054e-05,1.374190e-05,1.381804e-05,1.468400e-05,1.505447e-05,1.560258e-05,1.624738e-05,1.649409e-05,1.735562e-05,1.738942e-05,1.818486e-05,1.847513e-05,1.898008e-05,1.950076e-05,1.974007e-05,2.046409e-05,2.115177e-05,2.136415e-05,2.180313e-05,2.220106e-05,2.241846e-05,2.297577e-05,2.299829e-05,2.354336e-05,2.368987e-05,2.405456e-05,2.434545e-05,2.453292e-05,2.494494e-05,2.497953e-05,2.539557e-05,2.549101e-05,2.578225e-05,2.598643e-05,2.614081e-05,2.643407e-05,2.647250e-05,2.677854e-05,2.683678e-05,2.706017e-05,2.719737e-05,2.731859e-05,2.751858e-05,2.755496e-05,2.777044e-05,2.780305e-05,2.796611e-05,2.805331e-05,2.814304e-05,2.827178e-05,2.830225e-05,2.844471e-05,2.846073e-05,2.857137e-05,2.862233e-05,2.868312e-05,2.875860e-05,2.878081e-05,2.886526e-05,2.887146e-05,2.893723e-05,2.896270e-05,2.899747e-05,2.903397e-05,2.904668e-05,2.908550e-05,2.908685e-05,2.911459e-05,2.912279e-05,2.913453e-05,2.914315e-05,2.914589e-05,2.914920e-05,2.914497e-05,2.914210e-05,2.913368e-05,2.912296e-05,2.911578e-05,2.909279e-05,2.909171e-05,2.906187e-05,2.905254e-05,2.902665e-05,2.900308e-05,2.898640e-05,2.894523e-05,2.894148e-05,2.889220e-05,2.887975e-05,2.883887e-05,2.880734e-05,2.878178e-05,2.872865e-05,2.872121e-05,2.865741e-05,2.864429e-05,2.859063e-05,2.855480e-05,2.852110e-05,2.846072e-05,2.844903e-05,2.837463e-05,2.836252e-05,2.829810e-05,2.826066e-05,2.821961e-05,2.815553e-05,2.813934e-05,2.805745e-05,2.804753e-05,2.797410e-05,2.793700e-05,2.788943e-05,2.782428e-05,2.780357e-05,2.771665e-05,2.770966e-05,2.762880e-05,2.759343e-05,2.754013e-05,2.747584e-05,2.745075e-05,2.736075e-05,2.735714e-05,2.727024e-05,2.723754e-05,2.717929e-05,2.711725e-05,2.708801e-05,2.699646e-05,2.687533e-05,2.675404e-05,2.663271e-05,2.651150e-05,2.639052e-05,2.626989e-05,2.614971e-05,2.603008e-05,2.591109e-05,2.579280e-05,2.567531e-05,2.555867e-05,2.544294e-05,2.532818e-05,2.521444e-05,2.510176e-05,2.499018e-05,2.487974e-05,2.477046e-05,2.466238e-05,2.455551e-05,2.444989e-05,2.434552e-05,2.424243e-05
0.000000e+00,1.873466e-11,7.191416e-11,5.245436e-10,1.932919e-09,3.495902e-09,1.239975e-08,1.297357e-08,3.499874e-08,4.443127e-08,7.729940e-08,1.161361e-07,1.489376e-07,2.494033e-07,2.599878e-07,4.211613e-07,4.685025e-07,6.431398e-07,7.976445e-07,9.354462e-07,1.256523e-06,1.305125e-06,1.755827e-06,1.855756e-06,2.287614e-06,2.595253e-06,2.897337e-06,3.465619e-06,3.579292e-06,4.325912e-06,4.450796e-06,5.128392e-06,5.530643e-06,5.977206e-06,6.683007e-06,6.862513e-06,7.774473e-06,7.885240e-06,8.703507e-06,9.115320e-06,9.640493e-06,1.035266e-05,1.057692e-05,1.150503e-05,1.157871e-05,1.241786e-05,1.277733e-05,1.330935e-05,1.393508e-05,1.417434e-05,1.500855e-05,1.504123e-05,1.580862e-05,1.608777e-05,1.657200e-05,1.706921e-05,1.729693e-05,1.798235e-05,1.862782e-05,1.882594e-05,1.923347e-05,1.960042e-05,1.979984e-05,2.030748e-05,2.032788e-05,2.081885e-05,2.094988e-05,2.127422e-05,2.153104e-05,2.169564e-05,2.205488e-05,2.208487e-05,2.244375e-05,2.252557e-05,2.277411e-05,2.294735e-05,2.307781e-05,2.332445e-05,2.335665e-05,2.361238e-05,2.366091e-05,2.384668e-05,2.396058e-05,2.406115e-05,2.422707e-05,2.425727e-05,2.443648e-05,2.446367e-05,2.460007e-05,2.467341e-05,2.474927e-05,2.485903e-05,2.488520e-05,2.500890e-05,2.502297e-05,2.512132e-05,2.516744e-05,2.522334e-05,2.529441e-05,2.531575e-05,2.539928e-05,2.540560e-05,2.547461e-05,2.550257e-05,2.554233e-05,2.558669e-05,2.560300e-05,2.565713e-05,2.565917e-05,2.570519e-05,2.572108e-05,2.574759e-05,2.577338e-05,2.578471e-05,2.581692e-05,2.584454e-05,2.585246e-05,2.586787e-05,2.588067e-05,2.588717e-05,2.590216e-05,2.590271e-05,2.591471e-05,2.591747e-05,2.592340e-05,2.592711e-05,2.592897e-05,2.593150e-05,2.593161e-05,2.593149e-05,2.593107e-05,2.592877e-05,2.592618e-05,2.592361e-05,2.591716e-05,2.591614e-05,2.590650e-05,2.590433e-05,2.589482e-05,2.588797e-05,2.588120e-05,2.586835e-05,2.586576e-05,2.584860e-05,2.584571e-05,2.582983e-05,2.582027e-05,2.580953e-05,2.579225e-05,2.578779e-05,2.576469e-05,2.576183e-05,2.574032e-05,2.572921e-05,2.571474e-05,2.569454e-05,2.568803e-05,2.566026e-05,2.565800e-05,2.563149e-05,2.561971e-05,2.560178e-05,2.557984e-05,2.557119e-05,2.553977e-05,2.553850e-05,2.550759e-05,2.549582e-05,2.547468e-05,2.545191e-05,2.544109e-05,2.540688e-05,2.536084e-05,2.531387e-05,2.526608e-05,2.521753e-05,2.516832e-05,2.511852e-05,2.506819e-05,2.501741e-05,2.496624e-05,2.491474e-05,2.486296e-05,2.481095e-05,2.475877e-05,2.470646e-05,2.465407e-05,2.460164e-05,2.454920e-05,2.449679e-05,2.444445e-05,2.439221e-05,2.434010e-05,2.428815e-05,2.423638e-05,2.418482e-05
0.000000e+00,3.378868e-09,7.724818e-09,2.646341e-08,5.998573e-08,8.734051e-08,1.971960e-07,2.030925e-07,3.908410e-07,4.587340e-07,6.685823e-07,8.863477e-07,1.055450e-06,1.524619e-06,1.571052e-06,2.233558e-06,2.416060e-06,3.056255e-06,3.588819e-06,4.042714e-06,5.038009e-06,5.182055e-06,6.447829e-06,6.713000e-06,7.803260e-06,8.530695e-06,9.210249e-06,1.040793e-05,1.063626e-05,1.205654e-05,1.228198e-05,1.345330e-05,1.411153e-05,1.481393e-05,1.587031e-05,1.612949e-05,1.739366e-05,1.754169e-05,1.860207e-05,1.911531e-05,1.975180e-05,2.058525e-05,2.084112e-05,2.186926e-05,2.194887e-05,2.283622e-05,2.320599e-05,2.374262e-05,2.435836e-05,2.458960e-05,2.537868e-05,2.540906e-05,2.611166e-05,2.636218e-05,2.679057e-05,2.722245e-05,2.741759e-05,2.799499e-05,2.852509e-05,2.868511e-05,2.901022e-05,2.929816e-05,2.945268e-05,2.983941e-05,2.985475e-05,3.021865e-05,3.031400e-05,3.054654e-05,3.072685e-05,3.084049e-05,3.108267e-05,3.110250e-05,3.133447e-05,3.138588e-05,3.153825e-05,3.164070e-05,3.171556e-05,3.185103e-05,3.186808e-05,3.199737e-05,3.202057e-05,3.210493e-05,3.215274e-05,3.219217e-05,3.225073e-05,3.226043e-05,3.231098e-05,3.231751e-05,3.234501e-05,3.235582e-05,3.236366e-05,3.236821e-05,3.236798e-05,3.235898e-05,3.235705e-05,3.233761e-05,3.232452e-05,3.230475e-05,3.227262e-05,3.226126e-05,3.220791e-05,3.220324e-05,3.214545e-05,3.211807e-05,3.207458e-05,3.201871e-05,3.199595e-05,3.191019e-05,3.190662e-05,3.181786e-05,3.178312e-05,3.171951e-05,3.164946e-05,3.161566e-05,3.150678e-05,3.139331e-05,3.135611e-05,3.127570e-05,3.119842e-05,3.115432e-05,3.103460e-05,3.102955e-05,3.090173e-05,3.086544e-05,3.077119e-05,3.069170e-05,3.063824e-05,3.051404e-05,3.050316e-05,3.036622e-05,3.033310e-05,3.022766e-05,3.014945e-05,3.008772e-05,2.996360e-05,2.994661e-05,2.980455e-05,2.977603e-05,2.966171e-05,2.958719e-05,2.951828e-05,2.939746e-05,2.937442e-05,2.923028e-05,2.920721e-05,2.908602e-05,2.901676e-05,2.894175e-05,2.882642e-05,2.879760e-05,2.865370e-05,2.863645e-05,2.851014e-05,2.844710e-05,2.836702e-05,2.825860e-05,2.822443e-05,2.808247e-05,2.807114e-05,2.794120e-05,2.788491e-05,2.780070e-05,2.770006e-05,2.766104e-05,2.752227e-05,2.751674e-05,2.738446e-05,2.733509e-05,2.724764e-05,2.715521e-05,2.711188e-05,2.697721e-05,2.680118e-05,2.662720e-05,2.645534e-05,2.628565e-05,2.611820e-05,2.595301e-05,2.579014e-05,2.562959e-05,2.547141e-05,2.531561e-05,2.516219e-05,2.501118e-05,2.486256e-05,2.471635e-05,2.457253e-05,2.443110e-05,2.429206e-05,2.415538e-05,2.402106e-05,2.388908e-05,2.375942e-05,2.363205e-05,2.350696e-05,2.338413e-05
0.000000e+00,9.672687e-11,3.665334e-10,2.604499e-09,9.379408e-09,1.675791e-08,5.768800e-08,6.028762e-08,1.583474e-07,1.996827e-07,3.420137e-07,5.080708e-07,6.472151e-07,1.069699e-06,1.113986e-06,1.785194e-06,1.981504e-06,2.703263e-06,3.338950e-06,3.903584e-06,5.209397e-06,5.405719e-06,7.206892e-06,7.601127e-06,9.281735e-06,1.045517e-05,1.158776e-05,1.366561e-05,1.407305e-05,1.668314e-05,1.710879e-05,1.936591e-05,2.066542e-05,2.207439e-05,2.423226e-05,2.476810e-05,2.741335e-05,2.772616e-05,2.998292e-05,3.108389e-05,3.245559e-05,3.426000e-05,3.481538e-05,3.705095e-05,3.722418e-05,3.915485e-05,3.995853e-05,4.112298e-05,4.245508e-05,4.295394e-05,4.464858e-05,4.471356e-05,4.620951e-05,4.673945e-05,4.764072e-05,4.854235e-05,4.894719e-05,5.013467e-05,5.120935e-05,5.153048e-05,5.217772e-05,5.274474e-05,5.304638e-05,5.379259e-05,5.382190e-05,5.451073e-05,5.468892e-05,5.511912e-05,5.544805e-05,5.565307e-05,5.608347e-05,5.611829e-05,5.652017e-05,5.660776e-05,5.686378e-05,5.703253e-05,5.715387e-05,5.736839e-05,5.739485e-05,5.759083e-05,5.762497e-05,5.774561e-05,5.781100e-05,5.786271e-05,5.793434e-05,5.794538e-05,5.799660e-05,5.800206e-05,5.801912e-05,5.802049e-05,5.801548e-05,5.799530e-05,5.798801e-05,5.793884e-05,5.793158e-05,5.786994e-05,5.783385e-05,5.778312e-05,5.770616e-05,5.768002e-05,5.756217e-05,5.755214e-05,5.743096e-05,5.737503e-05,5.728768e-05,5.717771e-05,5.713351e-05,5.696952e-05,5.696277e-05,5.679671e-05,5.673252e-05,5.661599e-05,5.648902e-05,5.642821e-05,5.623413e-05,5.603446e-05,5.596950e-05,5.582987e-05,5.569662e-05,5.562095e-05,5.541683e-05,5.540826e-05,5.519230e-05,5.513131e-05,5.497354e-05,5.484113e-05,5.475243e-05,5.454726e-05,5.452935e-05,5.430467e-05,5.425054e-05,5.407873e-05,5.395177e-05,5.385184e-05,5.365163e-05,5.362429e-05,5.339635e-05,5.335074e-05,5.316825e-05,5.304966e-05,5.294023e-05,5.274889e-05,5.271248e-05,5.248520e-05,5.244889e-05,5.225856e-05,5.215004e-05,5.203272e-05,5.185272e-05,5.180783e-05,5.158402e-05,5.155724e-05,5.136142e-05,5.126389e-05,5.114015e-05,5.097293e-05,5.092030e-05,5.070197e-05,5.068457e-05,5.048525e-05,5.039903e-05,5.027021e-05,5.011647e-05,5.005693e-05,4.984547e-05,4.983705e-05,4.963590e-05,4.956092e-05,4.942825e-05,4.928818e-05,4.922259e-05,4.901894e-05,4.875330e-05,4.849131e-05,4.823305e-05,4.797856e-05,4.772790e-05,4.748108e-05,4.723813e-05,4.699908e-05,4.676392e-05,4.653266e-05,4.630530e-05,4.608183e-05,4.586224e-05,4.564650e-05,4.543460e-05,4.522652e-05,4.502222e-05,4.482167e-05,4.462484e-05,4.443170e-05,4.424220e-05,4.405631e-05,4.387398e-05,4.369517e-05
0.000000e+00,6.161817e-11,2.296450e-10,1.577534e-09,5.515808e-09,9.704217e-09,3.222411e-08,3.363173e-08,8.591352e-08,1.077078e-07,1.824593e-07,2.697384e-07,3.431735e-07,5.678649e-07,5.915227e-07,9.498305e-07,1.053861e-06,1.430123e-06,1.751278e-06,2.027623e-06,2.634915e-06,2.722573e-06,3.487445e-06,3.646280e-06,4.294021e-06,4.721565e-06,5.117751e-06,5.808717e-06,5.939407e-06,6.744955e-06,6.871647e-06,7.524654e-06,7.887712e-06,8.271964e-06,8.843556e-06,8.982599e-06,9.653815e-06,9.731624e-06,1.028394e-05,1.054793e-05,1.087209e-05,1.129083e-05,1.141801e-05,1.192197e-05,1.196049e-05,1.238471e-05,1.255851e-05,1.280740e-05,1.308777e-05,1.319155e-05,1.353897e-05,1.355213e-05,1.385172e-05,1.395624e-05,1.413198e-05,1.430518e-05,1.438207e-05,1.460430e-05,1.480098e-05,1.485889e-05,1.497436e-05,1.507409e-05,1.512658e-05,1.525467e-05,1.525965e-05,1.537546e-05,1.540503e-05,1.547573e-05,1.552910e-05,1.556205e-05,1.563038e-05,1.563586e-05,1.569842e-05,1.571190e-05,1.575091e-05,1.577629e-05,1.579435e-05,1.582581e-05,1.582964e-05,1.585761e-05,1.586239e-05,1.587898e-05,1.588769e-05,1.589437e-05,1.590310e-05,1.590436e-05,1.590944e-05,1.590983e-05,1.591005e-05,1.590888e-05,1.590660e-05,1.590115e-05,1.589943e-05,1.588886e-05,1.588737e-05,1.587516e-05,1.586822e-05,1.585861e-05,1.584425e-05,1.583941e-05,1.581779e-05,1.581596e-05,1.579393e-05,1.578380e-05,1.576801e-05,1.574816e-05,1.574018e-05,1.571060e-05,1.570938e-05,1.567939e-05,1.566778e-05,1.564668e-05,1.562363e-05,1.561258e-05,1.557721e-05,1.554066e-05,1.552873e-05,1.550302e-05,1.547841e-05,1.546439e-05,1.542644e-05,1.542484e-05,1.538446e-05,1.537301e-05,1.534330e-05,1.531827e-05,1.530145e-05,1.526238e-05,1.525896e-05,1.521589e-05,1.520548e-05,1.517230e-05,1.514769e-05,1.512825e-05,1.508913e-05,1.508377e-05,1.503893e-05,1.502992e-05,1.499376e-05,1.497015e-05,1.494830e-05,1.490993e-05,1.490260e-05,1.485669e-05,1.484933e-05,1.481061e-05,1.478844e-05,1.476439e-05,1.472734e-05,1.471806e-05,1.467166e-05,1.466609e-05,1.462520e-05,1.460475e-05,1.457872e-05,1.454340e-05,1.453225e-05,1.448580e-05,1.448208e-05,1.443939e-05,1.442085e-05,1.439306e-05,1.435975e-05,1.434681e-05,1.430067e-05,1.429883e-05,1.425466e-05,1.423813e-05,1.420879e-05,1.417769e-05,1.416308e-05,1.411754e-05,1.405771e-05,1.399824e-05,1.393914e-05,1.388046e-05,1.382221e-05,1.376440e-05,1.370707e-05,1.365023e-05,1.359389e-05,1.353807e-05,1.348278e-05,1.342803e-05,1.337384e-05,1.332022e-05,1.326716e-05,1.321469e-05,1.316280e-05,1.311150e-05,1.306080e-05,1.301070e-05,1.296120e-05,1.291230e-05,1.286402e-05,1.281634e-05
0.000000e+00,1.318337e-09,3.081087e-09,1.083052e-08,2.493355e-08,3.658271e-08,8.432786e-08,8.692973e-08,1.716041e-07,2.029973e-07,3.018989e-07,4.060887e-07,4.869932e-07,7.071249e-07,7.284305e-07,1.022262e-06,1.100096e-06,1.364416e-06,1.576064e-06,1.752143e-06,2.129463e-06,2.183463e-06,2.656523e-06,2.755965e-06,3.169214e-06,3.450651e-06,3.718992e-06,4.207257e-06,4.302817e-06,4.917180e-06,5.018055e-06,5.558162e-06,5.874055e-06,6.221534e-06,6.765377e-06,6.902862e-06,7.597617e-06,7.681675e-06,8.301291e-06,8.612594e-06,9.009489e-06,9.548157e-06,9.718020e-06,1.042297e-05,1.047910e-05,1.112074e-05,1.139710e-05,1.180810e-05,1.229494e-05,1.248220e-05,1.314059e-05,1.316657e-05,1.378119e-05,1.400711e-05,1.440230e-05,1.481282e-05,1.500258e-05,1.558099e-05,1.613680e-05,1.630981e-05,1.666957e-05,1.699832e-05,1.717904e-05,1.764614e-05,1.766514e-05,1.812801e-05,1.825348e-05,1.856793e-05,1.882102e-05,1.898529e-05,1.934978e-05,1.938060e-05,1.975442e-05,1.984101e-05,2.010739e-05,2.029620e-05,2.044019e-05,2.071695e-05,2.075355e-05,2.104820e-05,2.110495e-05,2.132488e-05,2.146190e-05,2.158435e-05,2.178956e-05,2.182737e-05,2.205472e-05,2.208969e-05,2.226713e-05,2.236398e-05,2.246529e-05,2.261400e-05,2.264986e-05,2.282150e-05,2.284125e-05,2.298084e-05,2.304721e-05,2.312850e-05,2.323326e-05,2.326505e-05,2.339104e-05,2.340068e-05,2.350702e-05,2.355073e-05,2.361350e-05,2.368456e-05,2.371096e-05,2.379988e-05,2.380326e-05,2.388068e-05,2.390787e-05,2.395380e-05,2.399934e-05,2.401963e-05,2.407855e-05,2.413093e-05,2.414636e-05,2.417710e-05,2.420354e-05,2.421739e-05,2.425082e-05,2.425211e-05,2.428156e-05,2.428890e-05,2.430602e-05,2.431841e-05,2.432575e-05,2.433993e-05,2.434100e-05,2.435201e-05,2.435404e-05,2.435900e-05,2.436125e-05,2.436220e-05,2.436204e-05,2.436181e-05,2.435801e-05,2.435686e-05,2.435100e-05,2.434615e-05,2.434095e-05,2.433028e-05,2.432802e-05,2.431238e-05,2.430963e-05,2.429416e-05,2.428455e-05,2.427352e-05,2.425535e-05,2.425058e-05,2.422549e-05,2.422233e-05,2.419834e-05,2.418579e-05,2.416928e-05,2.414597e-05,2.413840e-05,2.410580e-05,2.410312e-05,2.407160e-05,2.405749e-05,2.403588e-05,2.400927e-05,2.399873e-05,2.396024e-05,2.395867e-05,2.392049e-05,2.390589e-05,2.387956e-05,2.385109e-05,2.383753e-05,2.379445e-05,2.373612e-05,2.367624e-05,2.361496e-05,2.355239e-05,2.348867e-05,2.342390e-05,2.335819e-05,2.329164e-05,2.322435e-05,2.315639e-05,2.308786e-05,2.301883e-05,2.294937e-05,2.287956e-05,2.280945e-05,2.273912e-05,2.266860e-05,2.259797e-05,2.252726e-05,2.245652e-05,2.238581e-05,2.231515e-05,2.224460e-05,2.217417e-05
0.000000e+00,3.740643e-11,1.424436e-10,1.021812e-09,3.708324e-09,6.650947e-09,2.308685e-08,2.413415e-08,6.374539e-08,8.046858e-08,1.380461e-07,2.051178e-07,2.611974e-07,4.307484e-07,4.484616e-07,7.157413e-07,7.935641e-07,1.078760e-06,1.329189e-06,1.551393e-06,2.065633e-06,2.143077e-06,2.856245e-06,3.013092e-06,3.685140e-06,4.157757e-06,4.616545e-06,5.464631e-06,5.631849e-06,6.709499e-06,6.886214e-06,7.827190e-06,8.371541e-06,8.963466e-06,9.872635e-06,1.009875e-05,1.121592e-05,1.134805e-05,1.230049e-05,1.276423e-05,1.334064e-05,1.409564e-05,1.432708e-05,1.525285e-05,1.532413e-05,1.611308e-05,1.643808e-05,1.690473e-05,1.743139e-05,1.762637e-05,1.827796e-05,1.830257e-05,1.886055e-05,1.905375e-05,1.937615e-05,1.968985e-05,1.982748e-05,2.021782e-05,2.055084e-05,2.064593e-05,2.083044e-05,2.098322e-05,2.106068e-05,2.123904e-05,2.124561e-05,2.138927e-05,2.142263e-05,2.149554e-05,2.154292e-05,2.156817e-05,2.160829e-05,2.161066e-05,2.162633e-05,2.162644e-05,2.161823e-05,2.160437e-05,2.158918e-05,2.154833e-05,2.154174e-05,2.147825e-05,2.146381e-05,2.140081e-05,2.135566e-05,2.131131e-05,2.122805e-05,2.121144e-05,2.110270e-05,2.108457e-05,2.098644e-05,2.092832e-05,2.086384e-05,2.076191e-05,2.073595e-05,2.060368e-05,2.058755e-05,2.046785e-05,2.040714e-05,2.032916e-05,2.022224e-05,2.018825e-05,2.004567e-05,2.003420e-05,1.990188e-05,1.984413e-05,1.975732e-05,1.965297e-05,1.961235e-05,1.946730e-05,1.946150e-05,1.932243e-05,1.927037e-05,1.917800e-05,1.908015e-05,1.903423e-05,1.889129e-05,1.874936e-05,1.870417e-05,1.860856e-05,1.851912e-05,1.846904e-05,1.833639e-05,1.833089e-05,1.819421e-05,1.815621e-05,1.805907e-05,1.797875e-05,1.792554e-05,1.780416e-05,1.779368e-05,1.766353e-05,1.763256e-05,1.753515e-05,1.746403e-05,1.740855e-05,1.729865e-05,1.728377e-05,1.716083e-05,1.713647e-05,1.703975e-05,1.697752e-05,1.692053e-05,1.682183e-05,1.680319e-05,1.668772e-05,1.666942e-05,1.657413e-05,1.652027e-05,1.646241e-05,1.637438e-05,1.635256e-05,1.624458e-05,1.623174e-05,1.613844e-05,1.609233e-05,1.603415e-05,1.595611e-05,1.593168e-05,1.583102e-05,1.582305e-05,1.573216e-05,1.569311e-05,1.563508e-05,1.556626e-05,1.553975e-05,1.544616e-05,1.544245e-05,1.535429e-05,1.532163e-05,1.526412e-05,1.520376e-05,1.517562e-05,1.508877e-05,1.497663e-05,1.486727e-05,1.476064e-05,1.465669e-05,1.455536e-05,1.445660e-05,1.436035e-05,1.426655e-05,1.417515e-05,1.408610e-05,1.399933e-05,1.391480e-05,1.383245e-05,1.375223e-05,1.367409e-05,1.359797e-05,1.352382e-05,1.345160e-05,1.338126e-05,1.331274e-05,1.324600e-05,1.318100e-05,1.311768e-05,1.305601e-05
0.000000e+00,8.290701e-11,3.040660e-10,2.026055e-09,6.912714e-09,1.201544e-08,3.883596e-08,4.049313e-08,1.013257e-07,1.264390e-07,2.120431e-07,3.114034e-07,3.947105e-07,6.484944e-07,6.751329e-07,1.076968e-06,1.193150e-06,1.612136e-06,1.968995e-06,2.276152e-06,2.953815e-06,3.052128e-06,3.918089e-06,4.100134e-06,4.852420e-06,5.358922e-06,5.836330e-06,6.689638e-06,6.854227e-06,7.893227e-06,8.060677e-06,8.942467e-06,9.446933e-06,9.992542e-06,1.082760e-05,1.103516e-05,1.206294e-05,1.218496e-05,1.306938e-05,1.350397e-05,1.404883e-05,1.477218e-05,1.499650e-05,1.590847e-05,1.597979e-05,1.678168e-05,1.711959e-05,1.761389e-05,1.818681e-05,1.840358e-05,1.914993e-05,1.917888e-05,1.985272e-05,2.009511e-05,2.051225e-05,2.093637e-05,2.112924e-05,2.170474e-05,2.224010e-05,2.240318e-05,2.273685e-05,2.303529e-05,2.319669e-05,2.360505e-05,2.362139e-05,2.401277e-05,2.411664e-05,2.437270e-05,2.457432e-05,2.470300e-05,2.498227e-05,2.500548e-05,2.528189e-05,2.534453e-05,2.553390e-05,2.566497e-05,2.576311e-05,2.594719e-05,2.597108e-05,2.615923e-05,2.619461e-05,2.632894e-05,2.641034e-05,2.648150e-05,2.659729e-05,2.661812e-05,2.673993e-05,2.675811e-05,2.684798e-05,2.689525e-05,2.694326e-05,2.701092e-05,2.702670e-05,2.709915e-05,2.710715e-05,2.716141e-05,2.718577e-05,2.721422e-05,2.724845e-05,2.725826e-05,2.729419e-05,2.729673e-05,2.732258e-05,2.733196e-05,2.734401e-05,2.735541e-05,2.735898e-05,2.736797e-05,2.736821e-05,2.737142e-05,2.737138e-05,2.736974e-05,2.736587e-05,2.736332e-05,2.735252e-05,2.733766e-05,2.733210e-05,2.731905e-05,2.730531e-05,2.729699e-05,2.727279e-05,2.727173e-05,2.724352e-05,2.723513e-05,2.721261e-05,2.719284e-05,2.717919e-05,2.714642e-05,2.714348e-05,2.710567e-05,2.709630e-05,2.706592e-05,2.704287e-05,2.702440e-05,2.698652e-05,2.698126e-05,2.693665e-05,2.692756e-05,2.689069e-05,2.686631e-05,2.684352e-05,2.680304e-05,2.679525e-05,2.674599e-05,2.673802e-05,2.669583e-05,2.667147e-05,2.664488e-05,2.660360e-05,2.659322e-05,2.654093e-05,2.653462e-05,2.648810e-05,2.646470e-05,2.643480e-05,2.639402e-05,2.638109e-05,2.632704e-05,2.632271e-05,2.627271e-05,2.625092e-05,2.621816e-05,2.617877e-05,2.616343e-05,2.610858e-05,2.610638e-05,2.605365e-05,2.603386e-05,2.599869e-05,2.596131e-05,2.594373e-05,2.588881e-05,2.581645e-05,2.574430e-05,2.567243e-05,2.560091e-05,2.552979e-05,2.545912e-05,2.538895e-05,2.531932e-05,2.525028e-05,2.518185e-05,2.511408e-05,2.504698e-05,2.498059e-05,2.491493e-05,2.485002e-05,2.478587e-05,2.472250e-05,2.465993e-05,2.459818e-05,2.453723e-05,2.447712e-05,2.441784e-05,2.435940e-05,2.430181e-05
0.000000e+00,1.267615e-09,3.591673e-09,1.572637e-08,4.023960e-08,6.136232e-08,1.505114e-07,1.554141e-07,3.147297e-07,3.733592e-07,5.565100e-07,7.485326e-07,8.984378e-07,1.315416e-06,1.356633e-06,1.940103e-06,2.098716e-06,2.646220e-06,3.091240e-06,3.463943e-06,4.265457e-06,4.380193e-06,5.382657e-06,5.592475e-06,6.459826e-06,7.045746e-06,7.600462e-06,8.599417e-06,8.793319e-06,1.002715e-05,1.022763e-05,1.129089e-05,1.190494e-05,1.257383e-05,1.360723e-05,1.386593e-05,1.515791e-05,1.531253e-05,1.644146e-05,1.700164e-05,1.770928e-05,1.865840e-05,1.895508e-05,2.017360e-05,2.026976e-05,2.136052e-05,2.182564e-05,2.251241e-05,2.331858e-05,2.362665e-05,2.470129e-05,2.474343e-05,2.573501e-05,2.609697e-05,2.672701e-05,2.737754e-05,2.767693e-05,2.858476e-05,2.945082e-05,2.971921e-05,3.027564e-05,3.078222e-05,3.105997e-05,3.177565e-05,3.180469e-05,3.251083e-05,3.270178e-05,3.317947e-05,3.356314e-05,3.381178e-05,3.436244e-05,3.440895e-05,3.497222e-05,3.510250e-05,3.550283e-05,3.578616e-05,3.600201e-05,3.641627e-05,3.647100e-05,3.691101e-05,3.699564e-05,3.732325e-05,3.752703e-05,3.770890e-05,3.801313e-05,3.806909e-05,3.840496e-05,3.845651e-05,3.871758e-05,3.885970e-05,3.900802e-05,3.922508e-05,3.927728e-05,3.952637e-05,3.955495e-05,3.975623e-05,3.985152e-05,3.996778e-05,4.011687e-05,4.016192e-05,4.033948e-05,4.035299e-05,4.050129e-05,4.056179e-05,4.064815e-05,4.074505e-05,4.078080e-05,4.089997e-05,4.090447e-05,4.100637e-05,4.104167e-05,4.110065e-05,4.115817e-05,4.118346e-05,4.125542e-05,4.131710e-05,4.133476e-05,4.136907e-05,4.139749e-05,4.141187e-05,4.144481e-05,4.144601e-05,4.147198e-05,4.147786e-05,4.149025e-05,4.149771e-05,4.150127e-05,4.150538e-05,4.150547e-05,4.150325e-05,4.150180e-05,4.149500e-05,4.148788e-05,4.148109e-05,4.146445e-05,4.146188e-05,4.143770e-05,4.143230e-05,4.140888e-05,4.139216e-05,4.137572e-05,4.134473e-05,4.133852e-05,4.129754e-05,4.129065e-05,4.125305e-05,4.123052e-05,4.120531e-05,4.116493e-05,4.115454e-05,4.110099e-05,4.109439e-05,4.104486e-05,4.101940e-05,4.098636e-05,4.094043e-05,4.092568e-05,4.086300e-05,4.085791e-05,4.079851e-05,4.077224e-05,4.073236e-05,4.068380e-05,4.066472e-05,4.059573e-05,4.059294e-05,4.052553e-05,4.049998e-05,4.045425e-05,4.040524e-05,4.038203e-05,4.030898e-05,4.021147e-05,4.011296e-05,4.001367e-05,3.991381e-05,3.981356e-05,3.971312e-05,3.961263e-05,3.951226e-05,3.941213e-05,3.931238e-05,3.921313e-05,3.911448e-05,3.901652e-05,3.891935e-05,3.882305e-05,3.872769e-05,3.863334e-05,3.854004e-05,3.844787e-05,3.835686e-05,3.826705e-05,3.817849e-05,3.809120e-05,3.800521e-05
0.000000e+00,2.134946e-10,7.954605e-10,5.463897e-09,1.910032e-08,3.358702e-08,1.110745e-07,1.158933e-07,2.927622e-07,3.653061e-07,6.092216e-07,8.854706e-07,1.111838e-06,1.778428e-06,1.846848e-06,2.859024e-06,3.147950e-06,4.190535e-06,5.089956e-06,5.878962e-06,7.683622e-06,7.953667e-06,1.043085e-05,1.097482e-05,1.330950e-05,1.495946e-05,1.657083e-05,1.958201e-05,2.018150e-05,2.409864e-05,2.475068e-05,2.827467e-05,3.035675e-05,3.266069e-05,3.628832e-05,3.720860e-05,4.187226e-05,4.243758e-05,4.660808e-05,4.870410e-05,5.137532e-05,5.499616e-05,5.613634e-05,6.085680e-05,6.123173e-05,6.550576e-05,6.733907e-05,7.005583e-05,7.325715e-05,7.448322e-05,7.876766e-05,7.893581e-05,8.289236e-05,8.433546e-05,8.684386e-05,8.942654e-05,9.061179e-05,9.418863e-05,9.756947e-05,9.860945e-05,1.007517e-04,1.026837e-04,1.037347e-04,1.064120e-04,1.065197e-04,1.091092e-04,1.097997e-04,1.115071e-04,1.128559e-04,1.137183e-04,1.155924e-04,1.157483e-04,1.176035e-04,1.180235e-04,1.192906e-04,1.201645e-04,1.208166e-04,1.220319e-04,1.221887e-04,1.234143e-04,1.236425e-04,1.245007e-04,1.250131e-04,1.254554e-04,1.261607e-04,1.262854e-04,1.269979e-04,1.271014e-04,1.275997e-04,1.278513e-04,1.280976e-04,1.284254e-04,1.284980e-04,1.288071e-04,1.288384e-04,1.290310e-04,1.291039e-04,1.291752e-04,1.292350e-04,1.292454e-04,1.292467e-04,1.292440e-04,1.291841e-04,1.291422e-04,1.290623e-04,1.289405e-04,1.288858e-04,1.286588e-04,1.286487e-04,1.283853e-04,1.282762e-04,1.280691e-04,1.278316e-04,1.277139e-04,1.273229e-04,1.268994e-04,1.267575e-04,1.264463e-04,1.261422e-04,1.259666e-04,1.254833e-04,1.254627e-04,1.249372e-04,1.247865e-04,1.243924e-04,1.240573e-04,1.238306e-04,1.233004e-04,1.232537e-04,1.226636e-04,1.225203e-04,1.220622e-04,1.217211e-04,1.214511e-04,1.209065e-04,1.208319e-04,1.202059e-04,1.200800e-04,1.195746e-04,1.192446e-04,1.189392e-04,1.184031e-04,1.183008e-04,1.176606e-04,1.175581e-04,1.170195e-04,1.167118e-04,1.163785e-04,1.158663e-04,1.157384e-04,1.150999e-04,1.150234e-04,1.144639e-04,1.141850e-04,1.138309e-04,1.133523e-04,1.132016e-04,1.125766e-04,1.125268e-04,1.119563e-04,1.117096e-04,1.113411e-04,1.109017e-04,1.107317e-04,1.101281e-04,1.101041e-04,1.095310e-04,1.093176e-04,1.089405e-04,1.085428e-04,1.083568e-04,1.077804e-04,1.070307e-04,1.062943e-04,1.055715e-04,1.048626e-04,1.041677e-04,1.034871e-04,1.028208e-04,1.021689e-04,1.015315e-04,1.009085e-04,1.002998e-04,9.970542e-05,9.912523e-05,9.855910e-05,9.800689e-05,9.746841e-05,9.694351e-05,9.643199e-05,9.593363e-05,9.544822e-05,9.497554e-05,9.451535e-05,9.406741e-05,9.363148e-05
0.000000e+00,8.354992e-10,2.679377e-09,1.406901e-08,4.023207e-08,6.436205e-08,1.744394e-07,1.807708e-07,3.976810e-07,4.821216e-07,7.589451e-07,1.066978e-06,1.317541e-06,2.046137e-06,2.119884e-06,3.179527e-06,3.470154e-06,4.474808e-06,5.290528e-06,5.972376e-06,7.434947e-06,7.643991e-06,9.469035e-06,9.851014e-06,1.143168e-05,1.250202e-05,1.351810e-05,1.535644e-05,1.571474e-05,1.800758e-05,1.838238e-05,2.038189e-05,2.154603e-05,2.282240e-05,2.481196e-05,2.531346e-05,2.783951e-05,2.814426e-05,3.038539e-05,3.150811e-05,3.293668e-05,3.487095e-05,3.547991e-05,3.800275e-05,3.820335e-05,4.049412e-05,4.147963e-05,4.294428e-05,4.467808e-05,4.534478e-05,4.768848e-05,4.778096e-05,4.996947e-05,5.077431e-05,5.218293e-05,5.364755e-05,5.432511e-05,5.639318e-05,5.838513e-05,5.900625e-05,6.029967e-05,6.148402e-05,6.213613e-05,6.382556e-05,6.389439e-05,6.557475e-05,6.603137e-05,6.717790e-05,6.810315e-05,6.870486e-05,7.004345e-05,7.015688e-05,7.153544e-05,7.185553e-05,7.284214e-05,7.354317e-05,7.407877e-05,7.511050e-05,7.524717e-05,7.634925e-05,7.656189e-05,7.738701e-05,7.790188e-05,7.836243e-05,7.913510e-05,7.927754e-05,8.013436e-05,8.026617e-05,8.093489e-05,8.129973e-05,8.168112e-05,8.224035e-05,8.237504e-05,8.301857e-05,8.309250e-05,8.361363e-05,8.386058e-05,8.416209e-05,8.454887e-05,8.466577e-05,8.512646e-05,8.516151e-05,8.554590e-05,8.570251e-05,8.592579e-05,8.617575e-05,8.626778e-05,8.657347e-05,8.658496e-05,8.684441e-05,8.693374e-05,8.708213e-05,8.722554e-05,8.728807e-05,8.746367e-05,8.761028e-05,8.765129e-05,8.772924e-05,8.779145e-05,8.782182e-05,8.788704e-05,8.788928e-05,8.793279e-05,8.794084e-05,8.795352e-05,8.795549e-05,8.795258e-05,8.793350e-05,8.793105e-05,8.788995e-05,8.787729e-05,8.783029e-05,8.778912e-05,8.775302e-05,8.767119e-05,8.765906e-05,8.754932e-05,8.752555e-05,8.742463e-05,8.735416e-05,8.728583e-05,8.715890e-05,8.713370e-05,8.696900e-05,8.694153e-05,8.679245e-05,8.670372e-05,8.660477e-05,8.644706e-05,8.640662e-05,8.619864e-05,8.617306e-05,8.598146e-05,8.588313e-05,8.575566e-05,8.557864e-05,8.552181e-05,8.528047e-05,8.526085e-05,8.503214e-05,8.493097e-05,8.477733e-05,8.459013e-05,8.451652e-05,8.425016e-05,8.423940e-05,8.397869e-05,8.387979e-05,8.370252e-05,8.351225e-05,8.342206e-05,8.313769e-05,8.275694e-05,8.237079e-05,8.198000e-05,8.158527e-05,8.118724e-05,8.078655e-05,8.038375e-05,7.997940e-05,7.957400e-05,7.916802e-05,7.876189e-05,7.835604e-05,7.795084e-05,7.754665e-05,7.714380e-05,7.674259e-05,7.634331e-05,7.594621e-05,7.555155e-05,7.515954e-05,7.477039e-05,7.438429e-05,7.400140e-05,7.362188e-05
0.000000e+00,2.812457e-11,1.083922e-10,7.973586e-10,2.961482e-09,5.379553e-09,1.929597e-08,2.019804e-08,5.507723e-08,7.011755e-08,1.228112e-07,1.854444e-07,2.385458e-07,4.018768e-07,4.191271e-07,6.824685e-07,7.600219e-07,1.046887e-06,1.301830e-06,1.530273e-06,2.067064e-06,2.148918e-06,2.916064e-06,3.088182e-06,3.840580e-06,4.384980e-06,4.926236e-06,5.961883e-06,6.171703e-06,7.571079e-06,7.808659e-06,9.114643e-06,9.903127e-06,1.078967e-05,1.221436e-05,1.258121e-05,1.447277e-05,1.470565e-05,1.644688e-05,1.733705e-05,1.848570e-05,2.006749e-05,2.057139e-05,2.268656e-05,2.285654e-05,2.481454e-05,2.566578e-05,2.693969e-05,2.845989e-05,2.904757e-05,3.112510e-05,3.120740e-05,3.316062e-05,3.388112e-05,3.514398e-05,3.645838e-05,3.706649e-05,3.892093e-05,4.070146e-05,4.125484e-05,4.240353e-05,4.345008e-05,4.402379e-05,4.550018e-05,4.555999e-05,4.701086e-05,4.740174e-05,4.837598e-05,4.915399e-05,4.965567e-05,5.075836e-05,5.085091e-05,5.196320e-05,5.221802e-05,5.299450e-05,5.353750e-05,5.394712e-05,5.472240e-05,5.482366e-05,5.562691e-05,5.577903e-05,5.635986e-05,5.671422e-05,5.702557e-05,5.753509e-05,5.762716e-05,5.816780e-05,5.824886e-05,5.865063e-05,5.886277e-05,5.907877e-05,5.938395e-05,5.945527e-05,5.978312e-05,5.981933e-05,6.006523e-05,6.017560e-05,6.030442e-05,6.045916e-05,6.050338e-05,6.066473e-05,6.067609e-05,6.079097e-05,6.083217e-05,6.088448e-05,6.093281e-05,6.094752e-05,6.098227e-05,6.098311e-05,6.099079e-05,6.098781e-05,6.097501e-05,6.095136e-05,6.093680e-05,6.087788e-05,6.079990e-05,6.077118e-05,6.070443e-05,6.063482e-05,6.059292e-05,6.047206e-05,6.046675e-05,6.032721e-05,6.028592e-05,6.017553e-05,6.007917e-05,6.001284e-05,5.985436e-05,5.984021e-05,5.965865e-05,5.961385e-05,5.946909e-05,5.935977e-05,5.927241e-05,5.909409e-05,5.906943e-05,5.886092e-05,5.881862e-05,5.864759e-05,5.853497e-05,5.843010e-05,5.824466e-05,5.820908e-05,5.798511e-05,5.794903e-05,5.775871e-05,5.764932e-05,5.753039e-05,5.734666e-05,5.730060e-05,5.706979e-05,5.704204e-05,5.683833e-05,5.673639e-05,5.660661e-05,5.643052e-05,5.637495e-05,5.614366e-05,5.612519e-05,5.591304e-05,5.582104e-05,5.568335e-05,5.551868e-05,5.545482e-05,5.522768e-05,5.521863e-05,5.500213e-05,5.492135e-05,5.477835e-05,5.462727e-05,5.455650e-05,5.433675e-05,5.405010e-05,5.376760e-05,5.348949e-05,5.321598e-05,5.294723e-05,5.268339e-05,5.242458e-05,5.217088e-05,5.192238e-05,5.167911e-05,5.144113e-05,5.120843e-05,5.098104e-05,5.075893e-05,5.054209e-05,5.033049e-05,5.012408e-05,4.992283e-05,4.972667e-05,4.953554e-05,4.934937e-05,4.916810e-05,4.899165e-05,4.881994e-05
0.000000e+00,2.840020e-09,8.585486e-09,4.106283e-08,1.103115e-07,1.714782e-07,4.356265e-07,4.503188e-07,9.327876e-07,1.112124e-06,1.676731e-06,2.274792e-06,2.745751e-06,4.075445e-06,4.208559e-06,6.128224e-06,6.661614e-06,8.537839e-06,1.009673e-05,1.141986e-05,1.430041e-05,1.471529e-05,1.835219e-05,1.911459e-05,2.226503e-05,2.439016e-05,2.639891e-05,3.000793e-05,3.070722e-05,3.514839e-05,3.586870e-05,3.968380e-05,4.188344e-05,4.427675e-05,4.796887e-05,4.889210e-05,5.349650e-05,5.404678e-05,5.805866e-05,6.004511e-05,6.254977e-05,6.589936e-05,6.694380e-05,7.121778e-05,7.155389e-05,7.535193e-05,7.696261e-05,7.932968e-05,8.208916e-05,8.313762e-05,8.676534e-05,8.690659e-05,9.020526e-05,9.139661e-05,9.345234e-05,9.554872e-05,9.650384e-05,9.935905e-05,1.020190e-04,1.028293e-04,1.044863e-04,1.059658e-04,1.067645e-04,1.087783e-04,1.088585e-04,1.107738e-04,1.112789e-04,1.125166e-04,1.134822e-04,1.140935e-04,1.154037e-04,1.155114e-04,1.167776e-04,1.170597e-04,1.178993e-04,1.184670e-04,1.188838e-04,1.196424e-04,1.197383e-04,1.204702e-04,1.206024e-04,1.210862e-04,1.213631e-04,1.215934e-04,1.219402e-04,1.219984e-04,1.223076e-04,1.223486e-04,1.225272e-04,1.226025e-04,1.226631e-04,1.227155e-04,1.227211e-04,1.227066e-04,1.227002e-04,1.226247e-04,1.225686e-04,1.224804e-04,1.223319e-04,1.222784e-04,1.220231e-04,1.220005e-04,1.217188e-04,1.215842e-04,1.213694e-04,1.210920e-04,1.209786e-04,1.205501e-04,1.205323e-04,1.200873e-04,1.199128e-04,1.195931e-04,1.192408e-04,1.190707e-04,1.185228e-04,1.179520e-04,1.177650e-04,1.173609e-04,1.169729e-04,1.167516e-04,1.161517e-04,1.161264e-04,1.154872e-04,1.153060e-04,1.148361e-04,1.144403e-04,1.141746e-04,1.135584e-04,1.135045e-04,1.128274e-04,1.126639e-04,1.121445e-04,1.117601e-04,1.114573e-04,1.108499e-04,1.107670e-04,1.100747e-04,1.099361e-04,1.093814e-04,1.090209e-04,1.086883e-04,1.081067e-04,1.079960e-04,1.073056e-04,1.071953e-04,1.066177e-04,1.062886e-04,1.059330e-04,1.053880e-04,1.052522e-04,1.045759e-04,1.044951e-04,1.039046e-04,1.036110e-04,1.032388e-04,1.027368e-04,1.025790e-04,1.019254e-04,1.018734e-04,1.012786e-04,1.010218e-04,1.006388e-04,1.001826e-04,1.000063e-04,9.938133e-05,9.935650e-05,9.876416e-05,9.854392e-05,9.815496e-05,9.774535e-05,9.755391e-05,9.696114e-05,9.619158e-05,9.543689e-05,9.469723e-05,9.397271e-05,9.326340e-05,9.256932e-05,9.189045e-05,9.122673e-05,9.057808e-05,8.994439e-05,8.932553e-05,8.872133e-05,8.813161e-05,8.755619e-05,8.699486e-05,8.644739e-05,8.591355e-05,8.539312e-05,8.488583e-05,8.439144e-05,8.390970e-05,8.344033e-05,8.298309e-05,8.253770e-05
0.000000e+00,3.595931e-09,8.467845e-09,2.999999e-08,6.920063e-08,1.014668e-07,2.321351e-07,2.391780e-07,4.641833e-07,5.457741e-07,7.983502e-07,1.060840e-06,1.264831e-06,1.830929e-06,1.886923e-06,2.683548e-06,2.901829e-06,3.661712e-06,4.286019e-06,4.812513e-06,5.952322e-06,6.116052e-06,7.549557e-06,7.849942e-06,9.091780e-06,9.930332e-06,1.072377e-05,1.215138e-05,1.242831e-05,1.418937e-05,1.447536e-05,1.599180e-05,1.686742e-05,1.782126e-05,1.929524e-05,1.966433e-05,2.150858e-05,2.172943e-05,2.334277e-05,2.414399e-05,2.515685e-05,2.651663e-05,2.694200e-05,2.869075e-05,2.882888e-05,3.039679e-05,3.106606e-05,3.205500e-05,3.321698e-05,3.366132e-05,3.521266e-05,3.527353e-05,3.670677e-05,3.723033e-05,3.814216e-05,3.908422e-05,3.951797e-05,4.083391e-05,4.209011e-05,4.247955e-05,4.328710e-05,4.402248e-05,4.442572e-05,4.546488e-05,4.550705e-05,4.653236e-05,4.680960e-05,4.750309e-05,4.805997e-05,4.842079e-05,4.921963e-05,4.928708e-05,5.010364e-05,5.029240e-05,5.087217e-05,5.128222e-05,5.159441e-05,5.219305e-05,5.227207e-05,5.290688e-05,5.302886e-05,5.350054e-05,5.379354e-05,5.405472e-05,5.449091e-05,5.457105e-05,5.505114e-05,5.512469e-05,5.549655e-05,5.569848e-05,5.590880e-05,5.621572e-05,5.628937e-05,5.663969e-05,5.667976e-05,5.696115e-05,5.709379e-05,5.725508e-05,5.746085e-05,5.752277e-05,5.776548e-05,5.778385e-05,5.798441e-05,5.806558e-05,5.818071e-05,5.830866e-05,5.835550e-05,5.850985e-05,5.851561e-05,5.864479e-05,5.868880e-05,5.876130e-05,5.883050e-05,5.886035e-05,5.894284e-05,5.900964e-05,5.902784e-05,5.906159e-05,5.908742e-05,5.909949e-05,5.912338e-05,5.912412e-05,5.913620e-05,5.913743e-05,5.913645e-05,5.913119e-05,5.912553e-05,5.910617e-05,5.910409e-05,5.907274e-05,5.906381e-05,5.903209e-05,5.900546e-05,5.898268e-05,5.893238e-05,5.892505e-05,5.885972e-05,5.884578e-05,5.878718e-05,5.874677e-05,5.870790e-05,5.863641e-05,5.862231e-05,5.853085e-05,5.851570e-05,5.843392e-05,5.838556e-05,5.833191e-05,5.824688e-05,5.822517e-05,5.811408e-05,5.810047e-05,5.799894e-05,5.794709e-05,5.788010e-05,5.778747e-05,5.775783e-05,5.763244e-05,5.762229e-05,5.750420e-05,5.745216e-05,5.737336e-05,5.727768e-05,5.724016e-05,5.710486e-05,5.709940e-05,5.696765e-05,5.691784e-05,5.682876e-05,5.673346e-05,5.668839e-05,5.654672e-05,5.635803e-05,5.616779e-05,5.597634e-05,5.578402e-05,5.559114e-05,5.539800e-05,5.520484e-05,5.501193e-05,5.481948e-05,5.462771e-05,5.443680e-05,5.424694e-05,5.405828e-05,5.387098e-05,5.368517e-05,5.350096e-05,5.331848e-05,5.313782e-05,5.295908e-05,5.278233e-05,5.260765e-05,5.243511e-05,5.226476e-05,5.209665e-05
0.000000e+00,4.545134e-11,1.768289e-10,1.326827e-09,5.020320e-09,9.215585e-09,3.400948e-08,3.564241e-08,1.002525e-07,1.287840e-07,2.310288e-07,3.561989e-07,4.648184e-07,8.103598e-07,8.477213e-07,1.434498e-06,1.612314e-06,2.285352e-06,2.899466e-06,3.459307e-06,4.799666e-06,5.006325e-06,6.961582e-06,7.403521e-06,9.343245e-06,1.075139e-05,1.215301e-05,1.483505e-05,1.537807e-05,1.899373e-05,1.960632e-05,2.296595e-05,2.498745e-05,2.725378e-05,3.088065e-05,3.181147e-05,3.659042e-05,3.717640e-05,4.154074e-05,4.376031e-05,4.661266e-05,5.051872e-05,5.175768e-05,5.692952e-05,5.734311e-05,6.208489e-05,6.413339e-05,6.718403e-05,7.080033e-05,7.219114e-05,7.707462e-05,7.726698e-05,8.180715e-05,8.346935e-05,8.636573e-05,8.935643e-05,9.073152e-05,9.488967e-05,9.882905e-05,1.000421e-04,1.025420e-04,1.047971e-04,1.060238e-04,1.091474e-04,1.092729e-04,1.122897e-04,1.130931e-04,1.150770e-04,1.166411e-04,1.176395e-04,1.198034e-04,1.199830e-04,1.221148e-04,1.225958e-04,1.240430e-04,1.250371e-04,1.257764e-04,1.271481e-04,1.273244e-04,1.286966e-04,1.289508e-04,1.299029e-04,1.304679e-04,1.309531e-04,1.317219e-04,1.318571e-04,1.326243e-04,1.327350e-04,1.332642e-04,1.335289e-04,1.337859e-04,1.341240e-04,1.341981e-04,1.345092e-04,1.345401e-04,1.347270e-04,1.347953e-04,1.348592e-04,1.349068e-04,1.349129e-04,1.348948e-04,1.348904e-04,1.348111e-04,1.347606e-04,1.346678e-04,1.345308e-04,1.344704e-04,1.342240e-04,1.342132e-04,1.339333e-04,1.338187e-04,1.336028e-04,1.333574e-04,1.332365e-04,1.328383e-04,1.324115e-04,1.322695e-04,1.319595e-04,1.316584e-04,1.314852e-04,1.310114e-04,1.309913e-04,1.304803e-04,1.303344e-04,1.299544e-04,1.296327e-04,1.294159e-04,1.289108e-04,1.288665e-04,1.283081e-04,1.281730e-04,1.277423e-04,1.274228e-04,1.271706e-04,1.266636e-04,1.265942e-04,1.260144e-04,1.258982e-04,1.254324e-04,1.251291e-04,1.248490e-04,1.243587e-04,1.242654e-04,1.236822e-04,1.235889e-04,1.231002e-04,1.228215e-04,1.225201e-04,1.220579e-04,1.219426e-04,1.213682e-04,1.212995e-04,1.207974e-04,1.205475e-04,1.202307e-04,1.198029e-04,1.196684e-04,1.191109e-04,1.190665e-04,1.185586e-04,1.183392e-04,1.180117e-04,1.176215e-04,1.174706e-04,1.169354e-04,1.169141e-04,1.164062e-04,1.162173e-04,1.158834e-04,1.155316e-04,1.153671e-04,1.148573e-04,1.141947e-04,1.135439e-04,1.129051e-04,1.122785e-04,1.116641e-04,1.110619e-04,1.104720e-04,1.098944e-04,1.093289e-04,1.087756e-04,1.082343e-04,1.077050e-04,1.071875e-04,1.066818e-04,1.061876e-04,1.057049e-04,1.052335e-04,1.047732e-04,1.043239e-04,1.038853e-04,1.034573e-04,1.030398e-04,1.026325e-04,1.022352e-04
0.000000e+00,2.179420e-11,8.316171e-11,5.990705e-10,2.182290e-09,3.921795e-09,1.367921e-08,1.430237e-08,3.792886e-08,4.792294e-08,8.236580e-08,1.225014e-07,1.560425e-07,2.572546e-07,2.678077e-07,4.265284e-07,4.725626e-07,6.406490e-07,7.875895e-07,9.176023e-07,1.217804e-06,1.262987e-06,1.679548e-06,1.771383e-06,2.166229e-06,2.445414e-06,2.717707e-06,3.224334e-06,3.324708e-06,3.975009e-06,4.082163e-06,4.654793e-06,4.987402e-06,5.349960e-06,5.908163e-06,6.047174e-06,6.734566e-06,6.815897e-06,7.402123e-06,7.687427e-06,8.041827e-06,8.505575e-06,8.647614e-06,9.215225e-06,9.258895e-06,9.741993e-06,9.940931e-06,1.022661e-05,1.054929e-05,1.066888e-05,1.106949e-05,1.108467e-05,1.142982e-05,1.155003e-05,1.175174e-05,1.194982e-05,1.203746e-05,1.228939e-05,1.251006e-05,1.257449e-05,1.270202e-05,1.281097e-05,1.286778e-05,1.300449e-05,1.300975e-05,1.313022e-05,1.316040e-05,1.323135e-05,1.328357e-05,1.331512e-05,1.337843e-05,1.338336e-05,1.343775e-05,1.344891e-05,1.347979e-05,1.349845e-05,1.351084e-05,1.353006e-05,1.353214e-05,1.354476e-05,1.354633e-05,1.354968e-05,1.354948e-05,1.354776e-05,1.354142e-05,1.353977e-05,1.352639e-05,1.352379e-05,1.350822e-05,1.349795e-05,1.348579e-05,1.346510e-05,1.345958e-05,1.343001e-05,1.342625e-05,1.339745e-05,1.338226e-05,1.336223e-05,1.333386e-05,1.332464e-05,1.328496e-05,1.328170e-05,1.324342e-05,1.322633e-05,1.320022e-05,1.316821e-05,1.315557e-05,1.310963e-05,1.310777e-05,1.306256e-05,1.304537e-05,1.301450e-05,1.298132e-05,1.296558e-05,1.291591e-05,1.286560e-05,1.284939e-05,1.281475e-05,1.278196e-05,1.276345e-05,1.271384e-05,1.271177e-05,1.265979e-05,1.264519e-05,1.260758e-05,1.257617e-05,1.255521e-05,1.250693e-05,1.250273e-05,1.245019e-05,1.243758e-05,1.239765e-05,1.236824e-05,1.234515e-05,1.229901e-05,1.229273e-05,1.224043e-05,1.222999e-05,1.218829e-05,1.216125e-05,1.213634e-05,1.209287e-05,1.208461e-05,1.203313e-05,1.202492e-05,1.198192e-05,1.195745e-05,1.193102e-05,1.189052e-05,1.188043e-05,1.183019e-05,1.182419e-05,1.178031e-05,1.175848e-05,1.173080e-05,1.169343e-05,1.168168e-05,1.163297e-05,1.162909e-05,1.158468e-05,1.156549e-05,1.153682e-05,1.150264e-05,1.148940e-05,1.144243e-05,1.144057e-05,1.139592e-05,1.137930e-05,1.134988e-05,1.131884e-05,1.130431e-05,1.125922e-05,1.120044e-05,1.114252e-05,1.108546e-05,1.102926e-05,1.097394e-05,1.091949e-05,1.086592e-05,1.081323e-05,1.076141e-05,1.071046e-05,1.066039e-05,1.061118e-05,1.056284e-05,1.051535e-05,1.046871e-05,1.042291e-05,1.037795e-05,1.033382e-05,1.029050e-05,1.024800e-05,1.020630e-05,1.016540e-05,1.012527e-05,1.008592e-05
0.000000e+00,1.883146e-10,6.603664e-10,4.037517e-09,1.282862e-08,2.149496e-08,6.356257e-08,6.604420e-08,1.520276e-07,1.854887e-07,2.938502e-07,4.117703e-07,5.059979e-07,7.755722e-07,8.027367e-07,1.196248e-06,1.305986e-06,1.693114e-06,2.016327e-06,2.292054e-06,2.897557e-06,2.985401e-06,3.762425e-06,3.926865e-06,4.611727e-06,5.078210e-06,5.522149e-06,6.326209e-06,6.482864e-06,7.483260e-06,7.646307e-06,8.512920e-06,9.014554e-06,9.561686e-06,1.040789e-05,1.061982e-05,1.167818e-05,1.180479e-05,1.272839e-05,1.318594e-05,1.376296e-05,1.453473e-05,1.477537e-05,1.576012e-05,1.583756e-05,1.671269e-05,1.708388e-05,1.762950e-05,1.826589e-05,1.850781e-05,1.934570e-05,1.937836e-05,2.014194e-05,2.041826e-05,2.089593e-05,2.138443e-05,2.160756e-05,2.227714e-05,2.290532e-05,2.309775e-05,2.349305e-05,2.384848e-05,2.404145e-05,2.453210e-05,2.455180e-05,2.502551e-05,2.515178e-05,2.546405e-05,2.571092e-05,2.586893e-05,2.621302e-05,2.624170e-05,2.658387e-05,2.666161e-05,2.689698e-05,2.706018e-05,2.718251e-05,2.741211e-05,2.744190e-05,2.767657e-05,2.772066e-05,2.788787e-05,2.798895e-05,2.807712e-05,2.821996e-05,2.824556e-05,2.839439e-05,2.841646e-05,2.852476e-05,2.858111e-05,2.863777e-05,2.871637e-05,2.873445e-05,2.881578e-05,2.882456e-05,2.888271e-05,2.890783e-05,2.893613e-05,2.896821e-05,2.897688e-05,2.900575e-05,2.900757e-05,2.902350e-05,2.902766e-05,2.903086e-05,2.903009e-05,2.902848e-05,2.901702e-05,2.901639e-05,2.899708e-05,2.898793e-05,2.896922e-05,2.894604e-05,2.893399e-05,2.889189e-05,2.884340e-05,2.882661e-05,2.878898e-05,2.875123e-05,2.872904e-05,2.866670e-05,2.866400e-05,2.859424e-05,2.857390e-05,2.852010e-05,2.847366e-05,2.844193e-05,2.836672e-05,2.836004e-05,2.827474e-05,2.825379e-05,2.818630e-05,2.813551e-05,2.809499e-05,2.801247e-05,2.800107e-05,2.790475e-05,2.788522e-05,2.780628e-05,2.775428e-05,2.770584e-05,2.762011e-05,2.760365e-05,2.749988e-05,2.748314e-05,2.739471e-05,2.734377e-05,2.728829e-05,2.720237e-05,2.718079e-05,2.707234e-05,2.705927e-05,2.696309e-05,2.691479e-05,2.685315e-05,2.676922e-05,2.674265e-05,2.663170e-05,2.662281e-05,2.652040e-05,2.647580e-05,2.640884e-05,2.632842e-05,2.629714e-05,2.618535e-05,2.618088e-05,2.607358e-05,2.603336e-05,2.596189e-05,2.588602e-05,2.585035e-05,2.573904e-05,2.559254e-05,2.544666e-05,2.530152e-05,2.515722e-05,2.501387e-05,2.487154e-05,2.473033e-05,2.459031e-05,2.445153e-05,2.431405e-05,2.417794e-05,2.404323e-05,2.390996e-05,2.377817e-05,2.364789e-05,2.351915e-05,2.339197e-05,2.326637e-05,2.314236e-05,2.301995e-05,2.289917e-05,2.278000e-05,2.266247e-05,2.254656e-05
0.000000e+00,3.630829e-09,8.330060e-09,2.881155e-08,6.612013e-08,9.710593e-08,2.258017e-07,2.328878e-07,4.669570e-07,5.552787e-07,8.387213e-07,1.146425e-06,1.392260e-06,2.089805e-06,2.159199e-06,3.136510e-06,3.398856e-06,4.289841e-06,4.997204e-06,5.578721e-06,6.799415e-06,6.971146e-06,8.444079e-06,8.746729e-06,9.980100e-06,1.079890e-05,1.156479e-05,1.292412e-05,1.318531e-05,1.482982e-05,1.509441e-05,1.648728e-05,1.728446e-05,1.814756e-05,1.947156e-05,1.980141e-05,2.144065e-05,2.163603e-05,2.305813e-05,2.376131e-05,2.464774e-05,2.583404e-05,2.620440e-05,2.772396e-05,2.784382e-05,2.920313e-05,2.978289e-05,3.063937e-05,3.164580e-05,3.203081e-05,3.337614e-05,3.342898e-05,3.467456e-05,3.513041e-05,3.592563e-05,3.674928e-05,3.712929e-05,3.828573e-05,3.939536e-05,3.974065e-05,4.045879e-05,4.111547e-05,4.147674e-05,4.241200e-05,4.245008e-05,4.337975e-05,4.363237e-05,4.426675e-05,4.477890e-05,4.511213e-05,4.585406e-05,4.591698e-05,4.668243e-05,4.686039e-05,4.740958e-05,4.780049e-05,4.809959e-05,4.867697e-05,4.875359e-05,4.937270e-05,4.949244e-05,4.995805e-05,5.024946e-05,5.051075e-05,5.095059e-05,5.103189e-05,5.152255e-05,5.159830e-05,5.198379e-05,5.219503e-05,5.241664e-05,5.274316e-05,5.282211e-05,5.320121e-05,5.324497e-05,5.355489e-05,5.370271e-05,5.388412e-05,5.411853e-05,5.418979e-05,5.447283e-05,5.449452e-05,5.473408e-05,5.483268e-05,5.497442e-05,5.513497e-05,5.519465e-05,5.539558e-05,5.540323e-05,5.557799e-05,5.563927e-05,5.574263e-05,5.584481e-05,5.589023e-05,5.602150e-05,5.613711e-05,5.617092e-05,5.623775e-05,5.629458e-05,5.632403e-05,5.639395e-05,5.639660e-05,5.645604e-05,5.647041e-05,5.650294e-05,5.652529e-05,5.653785e-05,5.655985e-05,5.656132e-05,5.657387e-05,5.657531e-05,5.657600e-05,5.657282e-05,5.656820e-05,5.655349e-05,5.655093e-05,5.652466e-05,5.651837e-05,5.648982e-05,5.646845e-05,5.644682e-05,5.640470e-05,5.639607e-05,5.633797e-05,5.632801e-05,5.627288e-05,5.623926e-05,5.620117e-05,5.613927e-05,5.612318e-05,5.603926e-05,5.602881e-05,5.594972e-05,5.590863e-05,5.585488e-05,5.577943e-05,5.575502e-05,5.565045e-05,5.564188e-05,5.554142e-05,5.549663e-05,5.542822e-05,5.534426e-05,5.531108e-05,5.519026e-05,5.518536e-05,5.506599e-05,5.502045e-05,5.493850e-05,5.485007e-05,5.480799e-05,5.467469e-05,5.449476e-05,5.431074e-05,5.412302e-05,5.393200e-05,5.373805e-05,5.354150e-05,5.334270e-05,5.314193e-05,5.293951e-05,5.273570e-05,5.253075e-05,5.232492e-05,5.211843e-05,5.191149e-05,5.170431e-05,5.149706e-05,5.128994e-05,5.108310e-05,5.087671e-05,5.067089e-05,5.046580e-05,5.026155e-05,5.005826e-05,4.985604e-05
0.000000e+00,1.726733e-09,4.371138e-09,1.670654e-08,3.984137e-08,5.908039e-08,1.373281e-07,1.415435e-07,2.755230e-07,3.237006e-07,4.713463e-07,6.224410e-07,7.383230e-07,1.053881e-06,1.084683e-06,1.517302e-06,1.634567e-06,2.041113e-06,2.375191e-06,2.658149e-06,3.276732e-06,3.366343e-06,4.158665e-06,4.326265e-06,5.023465e-06,5.497037e-06,5.946236e-06,6.755065e-06,6.911837e-06,7.906086e-06,8.066960e-06,8.916397e-06,9.403786e-06,9.931855e-06,1.074158e-05,1.094308e-05,1.194206e-05,1.206078e-05,1.292202e-05,1.334569e-05,1.387733e-05,1.458400e-05,1.480337e-05,1.569650e-05,1.576644e-05,1.655395e-05,1.688646e-05,1.737370e-05,1.793981e-05,1.815443e-05,1.889541e-05,1.892422e-05,1.959638e-05,1.983896e-05,2.025752e-05,2.068459e-05,2.087934e-05,2.146263e-05,2.200838e-05,2.217528e-05,2.251776e-05,2.282526e-05,2.299204e-05,2.341559e-05,2.343258e-05,2.384078e-05,2.394948e-05,2.421810e-05,2.443025e-05,2.456595e-05,2.486121e-05,2.488580e-05,2.517903e-05,2.524560e-05,2.544704e-05,2.558660e-05,2.569116e-05,2.588726e-05,2.591269e-05,2.611288e-05,2.615047e-05,2.629294e-05,2.637900e-05,2.645402e-05,2.657546e-05,2.659722e-05,2.672358e-05,2.674231e-05,2.683412e-05,2.688184e-05,2.692979e-05,2.699622e-05,2.701148e-05,2.708006e-05,2.708745e-05,2.713635e-05,2.715742e-05,2.718111e-05,2.720788e-05,2.721508e-05,2.723895e-05,2.724045e-05,2.725338e-05,2.725665e-05,2.725898e-05,2.725788e-05,2.725634e-05,2.724601e-05,2.724544e-05,2.722851e-05,2.722055e-05,2.720434e-05,2.718433e-05,2.717396e-05,2.713781e-05,2.709631e-05,2.708196e-05,2.704983e-05,2.701765e-05,2.699876e-05,2.694573e-05,2.694344e-05,2.688419e-05,2.686694e-05,2.682132e-05,2.678198e-05,2.675512e-05,2.669152e-05,2.668587e-05,2.661382e-05,2.659614e-05,2.653922e-05,2.649641e-05,2.646228e-05,2.639283e-05,2.638323e-05,2.630227e-05,2.628587e-05,2.621959e-05,2.617597e-05,2.613535e-05,2.606352e-05,2.604974e-05,2.596290e-05,2.594890e-05,2.587499e-05,2.583245e-05,2.578614e-05,2.571448e-05,2.569649e-05,2.560615e-05,2.559527e-05,2.551524e-05,2.547509e-05,2.542387e-05,2.535418e-05,2.533214e-05,2.524014e-05,2.523277e-05,2.514796e-05,2.511105e-05,2.505568e-05,2.498922e-05,2.496338e-05,2.487112e-05,2.486744e-05,2.477899e-05,2.474586e-05,2.468704e-05,2.462464e-05,2.459532e-05,2.450390e-05,2.438376e-05,2.426432e-05,2.414568e-05,2.402793e-05,2.391115e-05,2.379541e-05,2.368077e-05,2.356730e-05,2.345503e-05,2.334402e-05,2.323430e-05,2.312591e-05,2.301888e-05,2.291324e-05,2.280900e-05,2.270619e-05,2.260482e-05,2.250489e-05,2.240643e-05,2.230944e-05,2.221391e-05,2.211986e-05,2.202728e-05,2.193617e-05
0.000000e+00,5.495076e-09,1.299064e-08,4.617176e-08,1.067022e-07,1.566747e-07,3.607861e-07,3.718730e-07,7.308665e-07,8.633122e-07,1.280472e-06,1.724141e-06,2.074709e-06,3.064097e-06,3.162656e-06,4.561584e-06,4.941048e-06,6.240951e-06,7.282445e-06,8.142820e-06,9.955548e-06,1.021093e-05,1.240125e-05,1.285090e-05,1.468028e-05,1.589128e-05,1.702099e-05,1.901775e-05,1.940009e-05,2.179653e-05,2.218025e-05,2.419089e-05,2.533415e-05,2.656534e-05,2.843966e-05,2.890374e-05,3.119172e-05,3.146229e-05,3.341689e-05,3.437330e-05,3.556881e-05,3.715003e-05,3.763906e-05,3.962107e-05,3.977567e-05,4.151008e-05,4.223887e-05,4.330288e-05,4.453307e-05,4.499767e-05,4.659374e-05,4.665554e-05,4.809160e-05,4.860704e-05,4.949264e-05,5.039103e-05,5.079886e-05,5.201288e-05,5.313770e-05,5.347933e-05,5.417662e-05,5.479806e-05,5.513314e-05,5.597726e-05,5.601091e-05,5.681364e-05,5.702547e-05,5.754506e-05,5.795122e-05,5.820886e-05,5.876296e-05,5.880868e-05,5.934807e-05,5.946892e-05,5.983049e-05,6.007700e-05,6.025926e-05,6.059476e-05,6.063760e-05,6.096859e-05,6.102937e-05,6.125517e-05,6.138758e-05,6.150015e-05,6.167574e-05,6.170620e-05,6.187587e-05,6.189980e-05,6.201157e-05,6.206532e-05,6.211559e-05,6.217744e-05,6.219008e-05,6.223710e-05,6.224099e-05,6.225857e-05,6.226041e-05,6.225633e-05,6.223983e-05,6.223209e-05,6.218747e-05,6.218307e-05,6.212400e-05,6.209366e-05,6.204312e-05,6.197486e-05,6.194617e-05,6.183444e-05,6.182968e-05,6.170911e-05,6.166088e-05,6.157131e-05,6.147102e-05,6.142209e-05,6.126245e-05,6.109330e-05,6.103731e-05,6.091553e-05,6.079760e-05,6.072994e-05,6.054514e-05,6.053730e-05,6.033834e-05,6.028158e-05,6.013370e-05,6.000847e-05,5.992404e-05,5.972720e-05,5.970992e-05,5.949190e-05,5.943905e-05,5.927049e-05,5.914519e-05,5.904616e-05,5.884670e-05,5.881937e-05,5.859053e-05,5.854455e-05,5.836002e-05,5.823962e-05,5.812821e-05,5.793272e-05,5.789542e-05,5.766198e-05,5.762459e-05,5.742818e-05,5.731590e-05,5.719427e-05,5.700724e-05,5.696051e-05,5.672714e-05,5.669917e-05,5.649436e-05,5.639218e-05,5.626237e-05,5.608670e-05,5.603136e-05,5.580149e-05,5.578315e-05,5.557291e-05,5.548188e-05,5.534578e-05,5.518321e-05,5.512021e-05,5.489633e-05,5.488741e-05,5.467425e-05,5.459476e-05,5.445406e-05,5.430546e-05,5.423585e-05,5.401971e-05,5.373770e-05,5.345955e-05,5.318541e-05,5.291538e-05,5.264955e-05,5.238800e-05,5.213078e-05,5.187795e-05,5.162954e-05,5.138558e-05,5.114607e-05,5.091103e-05,5.068045e-05,5.045432e-05,5.023262e-05,5.001533e-05,4.980242e-05,4.959385e-05,4.938960e-05,4.918961e-05,4.899385e-05,4.880226e-05,4.861478e-05,4.843138e-05
0.000000e+00,3.193704e-09,8.037736e-09,3.064540e-08,7.331795e-08,1.090653e-07,2.565436e-07,2.645754e-07,5.239684e-07,6.190553e-07,9.157702e-07,1.226607e-06,1.468921e-06,2.139337e-06,2.205226e-06,3.130656e-06,3.380349e-06,4.239357e-06,4.937145e-06,5.522977e-06,6.791015e-06,6.973656e-06,8.583248e-06,8.923435e-06,1.034232e-05,1.131248e-05,1.223971e-05,1.393104e-05,1.426255e-05,1.639656e-05,1.674731e-05,1.862646e-05,1.972625e-05,2.093647e-05,2.283149e-05,2.331074e-05,2.573382e-05,2.602716e-05,2.819096e-05,2.927930e-05,3.066837e-05,3.255693e-05,3.315340e-05,3.563464e-05,3.583266e-05,3.810197e-05,3.908298e-05,4.054653e-05,4.228819e-05,4.296069e-05,4.533795e-05,4.543219e-05,4.767286e-05,4.850218e-05,4.996095e-05,5.148821e-05,5.219857e-05,5.438283e-05,5.651149e-05,5.718063e-05,5.858289e-05,5.987798e-05,6.059585e-05,6.247260e-05,6.254961e-05,6.444375e-05,6.496341e-05,6.627817e-05,6.735020e-05,6.805300e-05,6.963352e-05,6.976860e-05,7.142548e-05,7.181447e-05,7.302432e-05,7.389460e-05,7.456590e-05,7.587583e-05,7.605111e-05,7.748091e-05,7.776031e-05,7.885633e-05,7.955042e-05,8.017845e-05,8.124865e-05,8.144838e-05,8.266727e-05,8.285763e-05,8.383628e-05,8.438004e-05,8.495660e-05,8.581860e-05,8.602942e-05,8.705593e-05,8.717606e-05,8.803734e-05,8.845517e-05,8.897482e-05,8.965867e-05,8.986958e-05,9.072277e-05,9.078927e-05,9.153558e-05,9.184965e-05,9.230914e-05,9.284245e-05,9.304460e-05,9.374308e-05,9.377027e-05,9.440568e-05,9.463564e-05,9.503348e-05,9.544106e-05,9.562756e-05,9.618895e-05,9.671868e-05,9.688167e-05,9.721776e-05,9.752154e-05,9.768718e-05,9.811080e-05,9.812789e-05,9.854084e-05,9.865162e-05,9.892695e-05,9.914611e-05,9.928712e-05,9.959632e-05,9.962222e-05,9.993312e-05,1.000042e-04,1.002207e-04,1.003718e-04,1.004856e-04,1.007008e-04,1.007288e-04,1.009511e-04,1.009931e-04,1.011531e-04,1.012504e-04,1.013356e-04,1.014743e-04,1.014993e-04,1.016449e-04,1.016666e-04,1.017731e-04,1.018286e-04,1.018845e-04,1.019620e-04,1.019798e-04,1.020596e-04,1.020682e-04,1.021245e-04,1.021485e-04,1.021751e-04,1.022043e-04,1.022120e-04,1.022356e-04,1.022369e-04,1.022466e-04,1.022475e-04,1.022454e-04,1.022373e-04,1.022326e-04,1.022086e-04,1.022074e-04,1.021739e-04,1.021589e-04,1.021290e-04,1.020929e-04,1.020743e-04,1.020103e-04,1.019121e-04,1.017993e-04,1.016727e-04,1.015332e-04,1.013815e-04,1.012185e-04,1.010449e-04,1.008614e-04,1.006686e-04,1.004673e-04,1.002580e-04,1.000413e-04,9.981781e-05,9.958804e-05,9.935251e-05,9.911169e-05,9.886605e-05,9.861604e-05,9.836208e-05,9.810456e-05,9.784386e-05,9.758035e-05,9.731438e-05,9.704626e-05
0.000000e+00,7.737772e-10,2.533761e-09,1.366283e-08,3.938356e-08,6.293558e-08,1.675403e-07,1.734222e-07,3.676808e-07,4.400927e-07,6.680235e-07,9.089841e-07,1.098197e-06,1.628570e-06,1.681256e-06,2.429153e-06,2.632210e-06,3.326914e-06,3.879628e-06,4.331297e-06,5.262259e-06,5.390802e-06,6.464006e-06,6.677673e-06,7.523581e-06,8.063251e-06,8.552520e-06,9.384967e-06,9.539780e-06,1.047758e-05,1.062262e-05,1.136010e-05,1.176274e-05,1.218299e-05,1.279632e-05,1.294327e-05,1.363923e-05,1.371840e-05,1.427047e-05,1.452786e-05,1.483771e-05,1.522705e-05,1.534270e-05,1.578802e-05,1.582116e-05,1.617690e-05,1.631746e-05,1.651301e-05,1.672454e-05,1.680029e-05,1.704279e-05,1.705162e-05,1.724458e-05,1.730802e-05,1.740960e-05,1.750274e-05,1.754161e-05,1.764415e-05,1.772050e-05,1.773990e-05,1.777367e-05,1.779681e-05,1.780639e-05,1.782085e-05,1.782112e-05,1.782006e-05,1.781720e-05,1.780516e-05,1.779031e-05,1.777817e-05,1.774399e-05,1.774063e-05,1.769390e-05,1.768145e-05,1.763917e-05,1.760543e-05,1.757750e-05,1.751824e-05,1.750983e-05,1.743698e-05,1.742185e-05,1.735966e-05,1.731791e-05,1.727851e-05,1.720779e-05,1.719408e-05,1.710685e-05,1.709266e-05,1.701727e-05,1.697354e-05,1.692571e-05,1.685129e-05,1.683253e-05,1.673803e-05,1.672662e-05,1.664248e-05,1.660016e-05,1.654611e-05,1.647246e-05,1.644914e-05,1.635178e-05,1.634397e-05,1.625418e-05,1.621511e-05,1.615650e-05,1.608621e-05,1.605889e-05,1.596146e-05,1.595757e-05,1.586433e-05,1.582946e-05,1.576761e-05,1.570211e-05,1.567137e-05,1.557570e-05,1.548068e-05,1.545042e-05,1.538637e-05,1.532641e-05,1.529282e-05,1.520379e-05,1.520010e-05,1.510824e-05,1.508268e-05,1.501728e-05,1.496316e-05,1.492727e-05,1.484533e-05,1.483824e-05,1.475021e-05,1.472923e-05,1.466321e-05,1.461494e-05,1.457725e-05,1.450249e-05,1.449236e-05,1.440856e-05,1.439193e-05,1.432585e-05,1.428327e-05,1.424424e-05,1.417655e-05,1.416375e-05,1.408437e-05,1.407178e-05,1.400612e-05,1.396896e-05,1.392900e-05,1.386811e-05,1.385300e-05,1.377812e-05,1.376922e-05,1.370438e-05,1.367228e-05,1.363175e-05,1.357730e-05,1.356024e-05,1.348984e-05,1.348426e-05,1.342055e-05,1.339314e-05,1.335236e-05,1.330394e-05,1.328526e-05,1.321924e-05,1.321662e-05,1.315430e-05,1.313118e-05,1.309042e-05,1.304759e-05,1.302760e-05,1.296583e-05,1.288587e-05,1.280768e-05,1.273125e-05,1.265653e-05,1.258351e-05,1.251216e-05,1.244244e-05,1.237433e-05,1.230779e-05,1.224280e-05,1.217933e-05,1.211735e-05,1.205682e-05,1.199772e-05,1.194002e-05,1.188369e-05,1.182870e-05,1.177502e-05,1.172262e-05,1.167147e-05,1.162155e-05,1.157283e-05,1.152528e-05,1.147888e-05
0.000000e+00,1.398222e-09,3.518129e-09,1.334134e-08,3.167432e-08,4.688651e-08,1.086892e-07,1.120193e-07,2.180578e-07,2.563095e-07,3.740118e-07,4.952436e-07,5.887590e-07,8.456570e-07,8.708988e-07,1.228096e-06,1.325661e-06,1.665694e-06,1.946455e-06,2.184599e-06,2.704258e-06,2.779270e-06,3.437622e-06,3.575552e-06,4.143657e-06,4.524166e-06,4.881088e-06,5.514299e-06,5.635679e-06,6.395852e-06,6.517353e-06,7.152383e-06,7.512002e-06,7.897903e-06,8.482367e-06,8.626484e-06,9.333358e-06,9.416534e-06,1.001473e-05,1.030568e-05,1.066768e-05,1.114355e-05,1.129004e-05,1.188030e-05,1.192611e-05,1.243758e-05,1.265115e-05,1.296147e-05,1.331802e-05,1.345204e-05,1.390967e-05,1.392730e-05,1.433509e-05,1.448052e-05,1.472920e-05,1.497987e-05,1.509311e-05,1.542805e-05,1.573531e-05,1.582801e-05,1.601626e-05,1.618289e-05,1.627226e-05,1.649584e-05,1.650470e-05,1.671494e-05,1.677001e-05,1.690430e-05,1.700844e-05,1.707407e-05,1.721402e-05,1.722549e-05,1.735973e-05,1.738953e-05,1.747794e-05,1.753753e-05,1.758118e-05,1.766046e-05,1.767047e-05,1.774676e-05,1.776053e-05,1.781095e-05,1.783984e-05,1.786390e-05,1.790027e-05,1.790640e-05,1.793920e-05,1.794360e-05,1.796300e-05,1.797142e-05,1.797845e-05,1.798521e-05,1.798616e-05,1.798671e-05,1.798632e-05,1.798064e-05,1.797599e-05,1.796843e-05,1.795535e-05,1.795057e-05,1.792748e-05,1.792542e-05,1.789958e-05,1.788715e-05,1.786723e-05,1.784140e-05,1.783081e-05,1.779062e-05,1.778894e-05,1.774699e-05,1.773050e-05,1.770021e-05,1.766673e-05,1.765053e-05,1.759821e-05,1.754349e-05,1.752550e-05,1.748657e-05,1.744910e-05,1.742767e-05,1.736944e-05,1.736698e-05,1.730466e-05,1.728694e-05,1.724088e-05,1.720198e-05,1.717580e-05,1.711490e-05,1.710956e-05,1.704230e-05,1.702602e-05,1.697413e-05,1.693561e-05,1.690518e-05,1.684393e-05,1.683554e-05,1.676534e-05,1.675123e-05,1.669464e-05,1.665772e-05,1.662355e-05,1.656359e-05,1.655215e-05,1.648050e-05,1.646902e-05,1.640869e-05,1.637418e-05,1.633677e-05,1.627920e-05,1.626481e-05,1.619286e-05,1.618423e-05,1.612098e-05,1.608939e-05,1.604922e-05,1.599479e-05,1.597762e-05,1.590622e-05,1.590052e-05,1.583507e-05,1.580668e-05,1.576419e-05,1.571335e-05,1.569363e-05,1.562341e-05,1.562061e-05,1.555356e-05,1.552851e-05,1.548411e-05,1.543712e-05,1.541508e-05,1.534649e-05,1.525668e-05,1.516772e-05,1.507965e-05,1.499250e-05,1.490631e-05,1.482109e-05,1.473688e-05,1.465369e-05,1.457154e-05,1.449043e-05,1.441039e-05,1.433142e-05,1.425352e-05,1.417671e-05,1.410098e-05,1.402634e-05,1.395278e-05,1.388032e-05,1.380893e-05,1.373863e-05,1.366940e-05,1.360124e-05,1.353415e-05,1.346811e-05
0.000000e+00,8.626115e-10,2.900880e-09,1.642517e-08,4.918116e-08,8.007052e-08,2.222777e-07,2.304344e-07,5.053477e-07,6.097767e-07,9.428491e-07,1.300126e-06,1.583491e-06,2.389050e-06,2.469970e-06,3.638412e-06,3.962778e-06,5.099511e-06,6.036945e-06,6.826685e-06,8.526246e-06,8.768818e-06,1.087257e-05,1.130865e-05,1.309404e-05,1.428422e-05,1.539947e-05,1.738104e-05,1.776186e-05,2.015795e-05,2.054300e-05,2.256641e-05,2.372089e-05,2.496703e-05,2.686895e-05,2.734062e-05,2.966916e-05,2.994475e-05,3.193608e-05,3.291012e-05,3.412661e-05,3.573242e-05,3.622803e-05,3.822976e-05,3.838533e-05,4.012349e-05,4.084929e-05,4.190309e-05,4.311140e-05,4.356455e-05,4.510580e-05,4.516494e-05,4.652653e-05,4.700867e-05,4.782790e-05,4.864586e-05,4.901235e-05,5.008335e-05,5.104517e-05,5.133069e-05,5.190277e-05,5.239939e-05,5.266148e-05,5.330206e-05,5.332696e-05,5.390497e-05,5.405194e-05,5.440136e-05,5.466241e-05,5.482188e-05,5.514660e-05,5.517217e-05,5.545767e-05,5.551714e-05,5.568362e-05,5.578600e-05,5.585498e-05,5.596434e-05,5.597643e-05,5.605239e-05,5.606250e-05,5.608701e-05,5.608995e-05,5.608411e-05,5.605531e-05,5.604728e-05,5.597979e-05,5.596635e-05,5.588468e-05,5.583003e-05,5.576472e-05,5.565260e-05,5.562249e-05,5.546033e-05,5.543964e-05,5.528040e-05,5.519612e-05,5.508467e-05,5.492644e-05,5.487491e-05,5.465277e-05,5.463451e-05,5.441973e-05,5.432377e-05,5.417716e-05,5.399730e-05,5.392628e-05,5.366824e-05,5.365778e-05,5.340403e-05,5.330759e-05,5.313460e-05,5.294883e-05,5.286079e-05,5.258336e-05,5.230301e-05,5.221279e-05,5.202038e-05,5.183856e-05,5.173604e-05,5.146194e-05,5.145050e-05,5.116424e-05,5.108402e-05,5.087769e-05,5.070578e-05,5.059124e-05,5.032809e-05,5.030523e-05,5.001999e-05,4.995168e-05,4.973580e-05,4.957720e-05,4.945291e-05,4.920524e-05,4.917157e-05,4.889197e-05,4.883628e-05,4.861432e-05,4.847076e-05,4.833877e-05,4.810906e-05,4.806549e-05,4.779460e-05,4.775149e-05,4.752623e-05,4.739833e-05,4.726047e-05,4.704982e-05,4.699744e-05,4.673720e-05,4.670616e-05,4.647983e-05,4.636752e-05,4.622540e-05,4.603402e-05,4.597395e-05,4.572554e-05,4.570580e-05,4.548019e-05,4.538292e-05,4.523795e-05,4.506547e-05,4.499883e-05,4.476286e-05,4.475349e-05,4.453005e-05,4.444701e-05,4.430041e-05,4.414607e-05,4.407394e-05,4.385065e-05,4.356076e-05,4.327639e-05,4.299750e-05,4.272407e-05,4.245605e-05,4.219340e-05,4.193607e-05,4.168399e-05,4.143712e-05,4.119538e-05,4.095870e-05,4.072702e-05,4.050026e-05,4.027835e-05,4.006121e-05,3.984876e-05,3.964093e-05,3.943763e-05,3.923879e-05,3.904432e-05,3.885414e-05,3.866818e-05,3.848635e-05,3.830856e-05
0.000000e+00,9.714511e-10,3.044736e-09,1.539567e-08,4.289114e-08,6.779410e-08,1.789512e-07,1.852655e-07,3.984583e-07,4.801799e-07,7.442528e-07,1.031957e-06,1.261533e-06,1.908536e-06,1.972497e-06,2.867420e-06,3.106460e-06,3.917522e-06,4.562480e-06,5.094294e-06,6.216647e-06,6.375231e-06,7.742066e-06,8.024284e-06,9.178427e-06,9.947586e-06,1.066862e-05,1.195077e-05,1.219734e-05,1.374977e-05,1.399941e-05,1.531191e-05,1.606135e-05,1.687088e-05,1.810799e-05,1.841517e-05,1.993482e-05,2.011511e-05,2.142140e-05,2.206319e-05,2.286803e-05,2.393742e-05,2.426937e-05,2.562139e-05,2.572733e-05,2.692123e-05,2.742612e-05,2.816706e-05,2.903003e-05,2.935789e-05,3.049343e-05,3.053770e-05,3.157396e-05,3.194962e-05,3.260026e-05,3.326773e-05,3.357344e-05,3.449476e-05,3.536577e-05,3.563414e-05,3.618813e-05,3.668972e-05,3.696360e-05,3.766565e-05,3.769403e-05,3.838123e-05,3.856615e-05,3.902703e-05,3.939540e-05,3.963326e-05,4.015757e-05,4.020170e-05,4.073408e-05,4.085668e-05,4.123212e-05,4.149663e-05,4.169745e-05,4.208115e-05,4.213167e-05,4.253629e-05,4.261379e-05,4.291279e-05,4.309793e-05,4.326258e-05,4.353675e-05,4.358701e-05,4.388736e-05,4.393327e-05,4.416488e-05,4.429033e-05,4.442074e-05,4.461059e-05,4.465606e-05,4.487192e-05,4.489656e-05,4.506933e-05,4.515060e-05,4.524927e-05,4.537491e-05,4.541267e-05,4.556040e-05,4.557156e-05,4.569330e-05,4.574249e-05,4.581217e-05,4.588949e-05,4.591777e-05,4.601081e-05,4.601428e-05,4.609198e-05,4.611843e-05,4.616194e-05,4.620342e-05,4.622129e-05,4.627063e-05,4.631051e-05,4.632137e-05,4.634147e-05,4.635683e-05,4.636400e-05,4.637815e-05,4.637859e-05,4.638568e-05,4.638638e-05,4.638570e-05,4.638250e-05,4.637908e-05,4.636744e-05,4.636619e-05,4.634740e-05,4.634206e-05,4.632307e-05,4.630715e-05,4.629353e-05,4.626346e-05,4.625908e-05,4.622004e-05,4.621170e-05,4.617668e-05,4.615252e-05,4.612928e-05,4.608652e-05,4.607809e-05,4.602335e-05,4.601428e-05,4.596530e-05,4.593632e-05,4.590416e-05,4.585315e-05,4.584013e-05,4.577341e-05,4.576523e-05,4.570419e-05,4.567299e-05,4.563265e-05,4.557683e-05,4.555896e-05,4.548327e-05,4.547713e-05,4.540574e-05,4.537425e-05,4.532652e-05,4.526851e-05,4.524574e-05,4.516354e-05,4.516022e-05,4.508002e-05,4.504966e-05,4.499533e-05,4.493711e-05,4.490955e-05,4.482281e-05,4.470699e-05,4.458988e-05,4.447167e-05,4.435255e-05,4.423270e-05,4.411228e-05,4.399144e-05,4.387033e-05,4.374907e-05,4.362780e-05,4.350662e-05,4.338564e-05,4.326495e-05,4.314466e-05,4.302483e-05,4.290556e-05,4.278691e-05,4.266895e-05,4.255174e-05,4.243533e-05,4.231979e-05,4.220515e-05,4.209146e-05,4.197875e-05
0.000000e+00,6.392818e-10,2.273380e-09,1.427464e-08,4.635563e-08,7.854146e-08,2.385486e-07,2.481200e-07,5.854408e-07,7.190295e-07,1.158234e-06,1.645486e-06,2.040615e-06,3.194059e-06,3.311918e-06,5.045541e-06,5.536357e-06,7.287235e-06,8.767483e-06,1.004055e-05,1.286207e-05,1.327388e-05,1.693880e-05,1.771903e-05,2.098404e-05,2.322164e-05,2.536116e-05,2.926137e-05,3.002509e-05,3.493285e-05,3.573790e-05,4.004239e-05,4.255440e-05,4.531204e-05,4.961526e-05,5.070049e-05,5.616725e-05,5.682665e-05,6.167324e-05,6.409868e-05,6.718145e-05,7.134793e-05,7.265753e-05,7.807019e-05,7.849960e-05,8.339155e-05,8.548897e-05,8.859732e-05,9.226215e-05,9.366682e-05,9.858286e-05,9.877610e-05,1.033316e-04,1.049980e-04,1.079022e-04,1.109044e-04,1.122869e-04,1.164799e-04,1.204781e-04,1.217160e-04,1.242798e-04,1.266099e-04,1.278853e-04,1.311634e-04,1.312961e-04,1.345150e-04,1.353824e-04,1.375455e-04,1.392752e-04,1.403920e-04,1.428523e-04,1.430592e-04,1.455527e-04,1.461258e-04,1.478779e-04,1.491088e-04,1.500408e-04,1.518147e-04,1.520474e-04,1.539038e-04,1.542576e-04,1.556161e-04,1.564515e-04,1.571902e-04,1.584101e-04,1.586322e-04,1.599480e-04,1.601472e-04,1.611433e-04,1.616760e-04,1.622239e-04,1.630093e-04,1.631950e-04,1.640621e-04,1.641594e-04,1.648303e-04,1.651383e-04,1.655046e-04,1.659572e-04,1.660897e-04,1.665903e-04,1.666269e-04,1.670109e-04,1.671577e-04,1.673557e-04,1.675593e-04,1.676288e-04,1.678341e-04,1.678410e-04,1.679755e-04,1.680114e-04,1.680565e-04,1.680789e-04,1.680806e-04,1.680511e-04,1.679711e-04,1.679354e-04,1.678438e-04,1.677387e-04,1.676719e-04,1.674676e-04,1.674583e-04,1.672054e-04,1.671280e-04,1.669160e-04,1.667257e-04,1.665922e-04,1.662661e-04,1.662365e-04,1.658509e-04,1.657541e-04,1.654375e-04,1.651946e-04,1.649984e-04,1.645920e-04,1.645352e-04,1.640499e-04,1.639503e-04,1.635440e-04,1.632734e-04,1.630193e-04,1.625650e-04,1.624771e-04,1.619190e-04,1.618284e-04,1.613463e-04,1.610667e-04,1.607604e-04,1.602828e-04,1.601623e-04,1.595533e-04,1.594796e-04,1.589345e-04,1.586594e-04,1.583070e-04,1.578248e-04,1.576716e-04,1.570294e-04,1.569778e-04,1.563813e-04,1.561205e-04,1.557280e-04,1.552549e-04,1.550703e-04,1.544090e-04,1.543825e-04,1.537449e-04,1.535052e-04,1.530784e-04,1.526243e-04,1.524104e-04,1.517412e-04,1.508573e-04,1.499737e-04,1.490914e-04,1.482115e-04,1.473349e-04,1.464624e-04,1.455948e-04,1.447327e-04,1.438769e-04,1.430278e-04,1.421860e-04,1.413519e-04,1.405261e-04,1.397088e-04,1.389004e-04,1.381012e-04,1.373114e-04,1.365313e-04,1.357610e-04,1.350008e-04,1.342508e-04,1.335111e-04,1.327817e-04,1.320628e-04
0.000000e+00,1.341407e-09,3.086599e-09,1.064450e-08,2.423073e-08,3.537164e-08,8.060053e-08,8.305011e-08,1.621762e-07,1.913082e-07,2.829690e-07,3.804695e-07,4.576938e-07,6.778841e-07,7.000899e-07,1.023056e-06,1.113567e-06,1.433856e-06,1.701357e-06,1.928598e-06,2.420995e-06,2.491420e-06,3.100643e-06,3.226201e-06,3.736089e-06,4.071588e-06,4.382412e-06,4.925841e-06,5.028979e-06,5.668566e-06,5.769894e-06,6.296145e-06,6.592001e-06,6.908036e-06,7.384327e-06,7.501402e-06,8.073961e-06,8.141178e-06,8.623859e-06,8.858236e-06,9.149595e-06,9.532260e-06,9.649994e-06,1.012419e-05,1.016098e-05,1.057162e-05,1.074303e-05,1.099201e-05,1.127791e-05,1.138532e-05,1.175180e-05,1.176591e-05,1.209188e-05,1.220795e-05,1.240617e-05,1.260554e-05,1.269544e-05,1.296061e-05,1.320264e-05,1.327537e-05,1.342258e-05,1.355226e-05,1.362153e-05,1.379383e-05,1.380062e-05,1.396098e-05,1.400267e-05,1.410372e-05,1.418137e-05,1.422995e-05,1.433242e-05,1.434074e-05,1.443715e-05,1.445825e-05,1.452015e-05,1.456115e-05,1.459073e-05,1.464327e-05,1.464977e-05,1.469815e-05,1.470662e-05,1.473668e-05,1.475309e-05,1.476614e-05,1.478438e-05,1.478722e-05,1.480060e-05,1.480207e-05,1.480691e-05,1.480759e-05,1.480671e-05,1.480225e-05,1.480057e-05,1.478897e-05,1.478724e-05,1.477239e-05,1.476363e-05,1.475127e-05,1.473242e-05,1.472599e-05,1.469694e-05,1.469446e-05,1.466446e-05,1.465057e-05,1.462885e-05,1.460144e-05,1.459041e-05,1.454939e-05,1.454770e-05,1.450607e-05,1.448997e-05,1.446071e-05,1.442879e-05,1.441349e-05,1.436463e-05,1.431429e-05,1.429791e-05,1.426267e-05,1.422902e-05,1.420990e-05,1.415830e-05,1.415614e-05,1.410150e-05,1.408607e-05,1.404612e-05,1.401258e-05,1.399011e-05,1.393810e-05,1.393356e-05,1.387658e-05,1.386285e-05,1.381925e-05,1.378702e-05,1.376165e-05,1.371081e-05,1.370387e-05,1.364597e-05,1.363438e-05,1.358800e-05,1.355786e-05,1.353004e-05,1.348139e-05,1.347213e-05,1.341433e-05,1.340509e-05,1.335668e-05,1.332907e-05,1.329921e-05,1.325340e-05,1.324198e-05,1.318501e-05,1.317819e-05,1.312834e-05,1.310350e-05,1.307199e-05,1.302941e-05,1.301600e-05,1.296039e-05,1.295596e-05,1.290518e-05,1.288321e-05,1.285039e-05,1.281121e-05,1.279603e-05,1.274214e-05,1.273999e-05,1.268871e-05,1.266960e-05,1.263577e-05,1.260006e-05,1.258333e-05,1.253139e-05,1.246363e-05,1.239678e-05,1.233087e-05,1.226591e-05,1.220191e-05,1.213887e-05,1.207681e-05,1.201573e-05,1.195563e-05,1.189650e-05,1.183836e-05,1.178120e-05,1.172500e-05,1.166978e-05,1.161552e-05,1.156222e-05,1.150987e-05,1.145847e-05,1.140800e-05,1.135845e-05,1.130983e-05,1.126211e-05,1.121529e-05,1.116935e-05
0.000000e+00,1.071255e-10,3.940772e-10,2.638620e-09,9.024481e-09,1.569110e-08,5.055072e-08,5.269316e-08,1.304193e-07,1.620132e-07,2.677988e-07,3.874096e-07,4.855382e-07,7.756218e-07,8.054844e-07,1.247907e-06,1.373994e-06,1.825687e-06,2.208851e-06,2.538494e-06,3.266469e-06,3.372176e-06,4.303577e-06,4.499281e-06,5.306574e-06,5.848044e-06,6.356251e-06,7.257955e-06,7.430742e-06,8.511607e-06,8.684074e-06,9.583528e-06,1.009107e-05,1.063386e-05,1.145156e-05,1.165226e-05,1.263039e-05,1.274473e-05,1.356177e-05,1.395546e-05,1.444157e-05,1.507366e-05,1.526652e-05,1.603471e-05,1.609368e-05,1.674543e-05,1.701367e-05,1.739901e-05,1.783484e-05,1.799662e-05,1.854008e-05,1.856073e-05,1.903173e-05,1.919655e-05,1.947425e-05,1.974857e-05,1.987053e-05,2.022359e-05,2.053647e-05,2.062860e-05,2.081218e-05,2.097049e-05,2.105365e-05,2.125583e-05,2.126366e-05,2.144487e-05,2.149079e-05,2.159976e-05,2.168103e-05,2.173064e-05,2.183167e-05,2.183964e-05,2.192872e-05,2.194734e-05,2.199970e-05,2.203217e-05,2.205423e-05,2.208979e-05,2.209380e-05,2.211979e-05,2.212347e-05,2.213344e-05,2.213604e-05,2.213588e-05,2.213003e-05,2.212815e-05,2.211118e-05,2.210766e-05,2.208581e-05,2.207088e-05,2.205282e-05,2.202141e-05,2.201290e-05,2.196669e-05,2.196075e-05,2.191478e-05,2.189026e-05,2.185768e-05,2.181112e-05,2.179588e-05,2.172983e-05,2.172437e-05,2.165991e-05,2.163095e-05,2.158650e-05,2.153167e-05,2.150994e-05,2.143052e-05,2.142729e-05,2.134854e-05,2.131845e-05,2.126426e-05,2.120575e-05,2.117791e-05,2.108971e-05,2.099987e-05,2.097081e-05,2.090858e-05,2.084946e-05,2.081600e-05,2.072606e-05,2.072229e-05,2.062761e-05,2.060095e-05,2.053209e-05,2.047443e-05,2.043586e-05,2.034680e-05,2.033904e-05,2.024172e-05,2.021831e-05,2.014402e-05,2.008918e-05,2.004603e-05,1.995962e-05,1.994783e-05,1.984951e-05,1.982983e-05,1.975113e-05,1.969998e-05,1.965278e-05,1.957023e-05,1.955451e-05,1.945639e-05,1.944070e-05,1.935846e-05,1.931155e-05,1.926079e-05,1.918287e-05,1.916342e-05,1.906639e-05,1.905478e-05,1.896975e-05,1.892736e-05,1.887354e-05,1.880072e-05,1.877778e-05,1.868252e-05,1.867492e-05,1.858778e-05,1.855004e-05,1.849360e-05,1.842614e-05,1.839999e-05,1.830698e-05,1.830328e-05,1.821460e-05,1.818150e-05,1.812286e-05,1.806086e-05,1.803179e-05,1.794139e-05,1.782313e-05,1.770611e-05,1.759036e-05,1.747591e-05,1.736277e-05,1.725096e-05,1.714049e-05,1.703139e-05,1.692365e-05,1.681728e-05,1.671230e-05,1.660870e-05,1.650648e-05,1.640565e-05,1.630620e-05,1.620813e-05,1.611144e-05,1.601612e-05,1.592216e-05,1.582956e-05,1.573831e-05,1.564839e-05,1.555981e-05,1.547254e-05
0.000000e+00,1.535197e-10,6.028069e-10,4.610658e-09,1.775099e-08,3.289351e-08,1.243103e-07,1.304018e-07,3.750093e-07,4.844936e-07,8.810639e-07,1.372294e-06,1.801854e-06,3.180664e-06,3.330544e-06,5.697552e-06,6.418707e-06,9.161588e-06,1.168217e-05,1.399542e-05,1.959869e-05,2.047125e-05,2.884898e-05,3.077424e-05,3.936770e-05,4.575519e-05,5.223953e-05,6.500340e-05,6.764496e-05,8.572932e-05,8.887915e-05,1.066002e-04,1.176294e-04,1.303255e-04,1.513808e-04,1.569327e-04,1.864087e-04,1.901365e-04,2.187006e-04,2.337790e-04,2.537173e-04,2.820756e-04,2.913321e-04,3.313857e-04,3.346899e-04,3.736898e-04,3.911947e-04,4.180317e-04,4.510893e-04,4.641780e-04,5.118797e-04,5.138165e-04,5.608767e-04,5.787814e-04,6.109020e-04,6.453693e-04,6.616865e-04,7.129623e-04,7.644666e-04,7.809544e-04,8.159450e-04,8.487647e-04,8.671541e-04,9.158474e-04,9.178635e-04,9.678580e-04,9.817009e-04,1.016939e-03,1.045873e-03,1.064925e-03,1.107964e-03,1.111653e-03,1.156977e-03,1.167632e-03,1.200771e-03,1.224587e-03,1.242927e-03,1.278597e-03,1.283354e-03,1.321977e-03,1.329480e-03,1.358739e-03,1.377104e-03,1.393596e-03,1.421383e-03,1.426520e-03,1.457496e-03,1.462271e-03,1.486519e-03,1.499759e-03,1.513597e-03,1.533871e-03,1.538748e-03,1.561998e-03,1.564661e-03,1.583379e-03,1.592205e-03,1.602932e-03,1.616599e-03,1.620704e-03,1.636746e-03,1.637956e-03,1.651113e-03,1.656403e-03,1.663862e-03,1.672075e-03,1.675056e-03,1.684758e-03,1.685116e-03,1.693031e-03,1.695672e-03,1.699940e-03,1.703893e-03,1.705552e-03,1.709931e-03,1.713143e-03,1.713934e-03,1.715251e-03,1.716051e-03,1.716319e-03,1.716424e-03,1.716409e-03,1.715581e-03,1.715193e-03,1.713894e-03,1.712493e-03,1.711405e-03,1.708454e-03,1.708168e-03,1.704238e-03,1.703197e-03,1.699663e-03,1.696839e-03,1.694495e-03,1.689492e-03,1.688779e-03,1.682560e-03,1.681260e-03,1.675882e-03,1.672240e-03,1.668783e-03,1.662524e-03,1.661303e-03,1.653478e-03,1.652197e-03,1.645344e-03,1.641338e-03,1.636931e-03,1.630021e-03,1.628271e-03,1.619393e-03,1.618314e-03,1.610324e-03,1.606280e-03,1.601090e-03,1.593976e-03,1.591714e-03,1.582218e-03,1.581454e-03,1.572625e-03,1.568764e-03,1.562952e-03,1.555949e-03,1.553218e-03,1.543441e-03,1.543049e-03,1.533635e-03,1.530101e-03,1.523816e-03,1.517137e-03,1.513995e-03,1.504187e-03,1.491278e-03,1.478432e-03,1.465672e-03,1.453016e-03,1.440481e-03,1.428081e-03,1.415829e-03,1.403736e-03,1.391812e-03,1.380065e-03,1.368501e-03,1.357127e-03,1.345946e-03,1.334963e-03,1.324180e-03,1.313599e-03,1.303221e-03,1.293048e-03,1.283079e-03,1.273314e-03,1.263753e-03,1.254392e-03,1.245232e-03,1.236271e-03
0.000000e+00,9.360121e-09,2.276544e-08,8.340002e-08,1.955297e-07,2.887031e-07,6.719570e-07,6.928596e-07,1.372621e-06,1.624390e-06,2.418283e-06,3.259341e-06,3.917342e-06,5.723354e-06,5.898581e-06,8.301551e-06,8.930661e-06,1.103566e-05,1.268369e-05,1.402906e-05,1.683584e-05,1.722932e-05,2.059311e-05,2.128193e-05,2.408016e-05,2.592905e-05,2.765113e-05,3.068745e-05,3.126761e-05,3.489291e-05,3.547146e-05,3.849305e-05,4.020308e-05,4.203756e-05,4.481523e-05,4.550004e-05,4.885842e-05,4.925354e-05,5.209492e-05,5.347670e-05,5.519586e-05,5.745569e-05,5.815133e-05,6.095473e-05,6.117230e-05,6.360231e-05,6.461735e-05,6.609276e-05,6.778887e-05,6.842670e-05,7.060637e-05,7.069040e-05,7.263522e-05,7.332950e-05,7.451763e-05,7.571658e-05,7.625867e-05,7.786389e-05,7.933914e-05,7.978475e-05,8.069044e-05,8.149304e-05,8.192389e-05,8.300274e-05,8.304554e-05,8.406136e-05,8.432763e-05,8.497722e-05,8.548112e-05,8.579880e-05,8.647610e-05,8.653158e-05,8.718086e-05,8.732483e-05,8.775170e-05,8.803893e-05,8.824895e-05,8.862931e-05,8.867721e-05,8.904084e-05,8.910618e-05,8.934402e-05,8.947911e-05,8.959073e-05,8.975709e-05,8.978474e-05,8.992962e-05,8.994847e-05,9.002875e-05,9.006101e-05,9.008529e-05,9.010188e-05,9.010224e-05,9.008246e-05,9.007774e-05,9.002861e-05,8.999479e-05,8.994323e-05,8.985871e-05,8.982868e-05,8.968720e-05,8.967478e-05,8.952090e-05,8.944787e-05,8.933176e-05,8.918247e-05,8.912162e-05,8.889223e-05,8.888267e-05,8.864519e-05,8.855223e-05,8.838204e-05,8.819464e-05,8.810423e-05,8.781312e-05,8.750996e-05,8.741060e-05,8.719594e-05,8.698976e-05,8.687214e-05,8.655305e-05,8.653959e-05,8.619927e-05,8.610271e-05,8.585208e-05,8.564082e-05,8.549887e-05,8.516926e-05,8.514041e-05,8.477745e-05,8.468975e-05,8.441068e-05,8.420385e-05,8.404072e-05,8.371300e-05,8.366817e-05,8.329360e-05,8.321849e-05,8.291751e-05,8.272151e-05,8.254040e-05,8.222315e-05,8.216270e-05,8.178483e-05,8.172438e-05,8.140718e-05,8.122609e-05,8.103010e-05,8.072908e-05,8.065393e-05,8.027896e-05,8.023406e-05,7.990548e-05,7.974168e-05,7.953374e-05,7.925253e-05,7.916398e-05,7.879643e-05,7.876713e-05,7.843129e-05,7.828594e-05,7.806873e-05,7.780938e-05,7.770893e-05,7.735203e-05,7.733782e-05,7.699819e-05,7.687157e-05,7.664752e-05,7.641094e-05,7.630014e-05,7.595615e-05,7.550743e-05,7.506497e-05,7.462891e-05,7.419938e-05,7.377651e-05,7.336036e-05,7.295100e-05,7.254849e-05,7.215285e-05,7.176411e-05,7.138227e-05,7.100732e-05,7.063923e-05,7.027800e-05,6.992357e-05,6.957590e-05,6.923493e-05,6.890062e-05,6.857289e-05,6.825168e-05,6.793691e-05,6.762850e-05,6.732637e-05,6.703044e-05
0.000000e+00,7.240265e-10,2.330924e-09,1.229088e-08,3.515514e-08,5.618191e-08,1.514106e-07,1.568579e-07,3.420148e-07,4.134848e-07,6.462411e-07,9.037331e-07,1.112988e-06,1.725308e-06,1.787786e-06,2.696523e-06,2.948743e-06,3.825583e-06,4.538304e-06,5.131462e-06,6.388734e-06,6.566366e-06,8.092235e-06,8.405762e-06,9.681671e-06,1.052641e-05,1.131450e-05,1.270775e-05,1.297460e-05,1.464804e-05,1.491616e-05,1.632203e-05,1.712222e-05,1.798467e-05,1.929906e-05,1.962477e-05,2.123210e-05,2.142232e-05,2.279743e-05,2.347075e-05,2.431271e-05,2.542663e-05,2.577116e-05,2.716722e-05,2.727608e-05,2.849665e-05,2.900904e-05,2.975637e-05,3.061906e-05,3.094442e-05,3.205983e-05,3.210293e-05,3.310249e-05,3.346014e-05,3.407306e-05,3.469248e-05,3.497279e-05,3.580346e-05,3.656723e-05,3.679790e-05,3.726655e-05,3.768152e-05,3.790410e-05,3.846066e-05,3.848271e-05,3.900528e-05,3.914195e-05,3.947473e-05,3.973214e-05,3.989402e-05,4.023793e-05,4.026601e-05,4.059355e-05,4.066585e-05,4.087938e-05,4.102221e-05,4.112614e-05,4.131299e-05,4.133637e-05,4.151250e-05,4.154384e-05,4.165685e-05,4.172008e-05,4.177161e-05,4.184666e-05,4.185885e-05,4.192054e-05,4.192816e-05,4.195852e-05,4.196885e-05,4.197455e-05,4.197266e-05,4.197025e-05,4.194717e-05,4.194321e-05,4.190674e-05,4.188382e-05,4.185033e-05,4.179754e-05,4.177919e-05,4.169450e-05,4.168718e-05,4.159738e-05,4.155529e-05,4.148886e-05,4.140421e-05,4.136991e-05,4.124142e-05,4.123609e-05,4.110424e-05,4.105289e-05,4.095917e-05,4.085637e-05,4.080692e-05,4.064818e-05,4.048359e-05,4.042978e-05,4.031374e-05,4.020254e-05,4.013920e-05,3.996768e-05,3.996045e-05,3.977800e-05,3.972631e-05,3.959229e-05,3.947946e-05,3.940372e-05,3.922805e-05,3.921268e-05,3.901954e-05,3.897291e-05,3.882462e-05,3.871481e-05,3.862824e-05,3.845444e-05,3.843067e-05,3.823220e-05,3.819242e-05,3.803306e-05,3.792932e-05,3.783348e-05,3.766565e-05,3.763367e-05,3.743383e-05,3.740187e-05,3.723414e-05,3.713840e-05,3.703477e-05,3.687561e-05,3.683588e-05,3.663759e-05,3.661385e-05,3.644005e-05,3.635340e-05,3.624338e-05,3.609456e-05,3.604769e-05,3.585307e-05,3.583755e-05,3.565963e-05,3.558260e-05,3.546744e-05,3.532989e-05,3.527659e-05,3.508715e-05,3.507960e-05,3.489917e-05,3.483187e-05,3.471272e-05,3.458684e-05,3.452786e-05,3.434462e-05,3.410531e-05,3.386900e-05,3.363576e-05,3.340565e-05,3.317872e-05,3.295501e-05,3.273455e-05,3.251737e-05,3.230349e-05,3.209291e-05,3.188564e-05,3.168168e-05,3.148102e-05,3.128365e-05,3.108956e-05,3.089873e-05,3.071114e-05,3.052676e-05,3.034557e-05,3.016753e-05,2.999263e-05,2.982081e-05,2.965205e-05,2.948632e-05
0.000000e+00,2.789981e-10,9.315997e-10,5.220243e-09,1.555484e-08,2.530005e-08,7.042464e-08,7.302822e-08,1.617711e-07,1.959683e-07,3.066975e-07,4.280583e-07,5.260451e-07,8.120433e-07,8.413311e-07,1.274290e-06,1.397567e-06,1.838971e-06,2.212814e-06,2.533725e-06,3.239714e-06,3.341940e-06,4.240708e-06,4.429369e-06,5.208598e-06,5.733398e-06,6.228621e-06,7.116245e-06,7.287941e-06,8.376622e-06,8.552973e-06,9.486480e-06,1.002459e-05,1.061029e-05,1.151487e-05,1.174134e-05,1.287321e-05,1.300880e-05,1.399972e-05,1.449215e-05,1.511493e-05,1.595145e-05,1.621320e-05,1.728930e-05,1.737429e-05,1.833839e-05,1.874948e-05,1.935615e-05,2.006741e-05,2.033883e-05,2.128322e-05,2.132017e-05,2.218674e-05,2.250159e-05,2.304735e-05,2.360727e-05,2.386356e-05,2.463439e-05,2.535935e-05,2.558164e-05,2.603841e-05,2.644906e-05,2.667190e-05,2.723776e-05,2.726045e-05,2.780494e-05,2.794965e-05,2.830646e-05,2.858727e-05,2.876627e-05,2.915365e-05,2.918576e-05,2.956643e-05,2.965220e-05,2.990994e-05,3.008672e-05,3.021802e-05,3.046121e-05,3.049242e-05,3.073485e-05,3.077966e-05,3.094709e-05,3.104611e-05,3.113090e-05,3.126462e-05,3.128806e-05,3.142053e-05,3.143956e-05,3.153013e-05,3.157507e-05,3.161839e-05,3.167461e-05,3.168675e-05,3.173654e-05,3.174133e-05,3.176907e-05,3.177822e-05,3.178552e-05,3.178800e-05,3.178707e-05,3.177482e-05,3.177328e-05,3.174981e-05,3.173645e-05,3.171301e-05,3.167972e-05,3.166533e-05,3.160764e-05,3.160514e-05,3.154077e-05,3.151459e-05,3.146547e-05,3.140981e-05,3.138245e-05,3.129240e-05,3.119592e-05,3.116379e-05,3.109362e-05,3.102534e-05,3.098603e-05,3.087824e-05,3.087366e-05,3.075700e-05,3.072363e-05,3.063649e-05,3.056250e-05,3.051254e-05,3.039580e-05,3.038553e-05,3.025584e-05,3.022435e-05,3.012379e-05,3.004892e-05,2.998968e-05,2.987021e-05,2.985382e-05,2.971647e-05,2.968884e-05,2.957788e-05,2.950540e-05,2.943827e-05,2.932038e-05,2.929787e-05,2.915687e-05,2.913427e-05,2.901546e-05,2.894749e-05,2.887380e-05,2.876041e-05,2.873206e-05,2.859037e-05,2.857338e-05,2.844888e-05,2.838672e-05,2.830770e-05,2.820069e-05,2.816696e-05,2.802674e-05,2.801555e-05,2.788716e-05,2.783153e-05,2.774830e-05,2.764881e-05,2.761024e-05,2.747305e-05,2.746758e-05,2.733680e-05,2.728799e-05,2.720155e-05,2.711018e-05,2.706736e-05,2.693428e-05,2.676038e-05,2.658859e-05,2.641899e-05,2.625163e-05,2.608659e-05,2.592390e-05,2.576361e-05,2.560576e-05,2.545036e-05,2.529744e-05,2.514700e-05,2.499906e-05,2.485362e-05,2.471068e-05,2.457022e-05,2.443225e-05,2.429675e-05,2.416370e-05,2.403309e-05,2.390490e-05,2.377910e-05,2.365567e-05,2.353459e-05,2.341582e-05
0.000000e+00,2.446237e-11,9.562243e-11,7.244940e-10,2.764845e-09,5.098278e-09,1.901830e-08,1.993948e-08,5.657672e-08,7.282083e-08,1.311587e-07,2.026600e-07,2.646915e-07,4.616691e-07,4.829300e-07,8.160280e-07,9.167460e-07,1.297605e-06,1.645299e-06,1.962959e-06,2.728094e-06,2.846782e-06,3.981141e-06,4.240627e-06,5.394108e-06,6.246899e-06,7.109000e-06,8.796303e-06,9.144014e-06,1.151210e-05,1.192249e-05,1.422096e-05,1.564320e-05,1.727315e-05,1.996062e-05,2.066623e-05,2.439296e-05,2.486208e-05,2.844161e-05,3.032105e-05,3.279628e-05,3.629851e-05,3.743729e-05,4.234168e-05,4.274465e-05,4.748363e-05,4.960071e-05,5.283508e-05,5.680116e-05,5.836622e-05,6.404603e-05,6.427587e-05,6.984288e-05,7.195228e-05,7.572501e-05,7.975750e-05,8.166098e-05,8.762018e-05,9.357314e-05,9.547215e-05,9.949190e-05,1.032498e-04,1.053503e-04,1.108950e-04,1.111240e-04,1.167911e-04,1.183560e-04,1.223317e-04,1.255879e-04,1.277281e-04,1.325524e-04,1.329652e-04,1.380299e-04,1.392186e-04,1.429115e-04,1.455618e-04,1.476011e-04,1.515639e-04,1.520921e-04,1.563796e-04,1.572124e-04,1.604605e-04,1.625004e-04,1.643332e-04,1.674252e-04,1.679975e-04,1.714546e-04,1.719886e-04,1.747066e-04,1.761957e-04,1.777569e-04,1.800545e-04,1.806094e-04,1.832690e-04,1.835755e-04,1.857412e-04,1.867710e-04,1.880317e-04,1.896550e-04,1.901471e-04,1.920938e-04,1.922424e-04,1.938787e-04,1.945489e-04,1.955087e-04,1.965903e-04,1.969908e-04,1.983321e-04,1.983829e-04,1.995394e-04,1.999426e-04,2.006197e-04,2.012851e-04,2.015796e-04,2.024257e-04,2.031644e-04,2.033791e-04,2.038018e-04,2.041594e-04,2.043439e-04,2.047800e-04,2.047964e-04,2.051648e-04,2.052536e-04,2.054544e-04,2.055923e-04,2.056700e-04,2.058073e-04,2.058166e-04,2.058986e-04,2.059091e-04,2.059203e-04,2.059077e-04,2.058859e-04,2.058122e-04,2.057991e-04,2.056637e-04,2.056311e-04,2.054830e-04,2.053723e-04,2.052604e-04,2.050432e-04,2.049988e-04,2.047012e-04,2.046504e-04,2.043702e-04,2.042003e-04,2.040084e-04,2.036984e-04,2.036182e-04,2.032018e-04,2.031502e-04,2.027613e-04,2.025604e-04,2.022987e-04,2.019335e-04,2.018159e-04,2.013145e-04,2.012736e-04,2.007961e-04,2.005844e-04,2.002623e-04,1.998693e-04,1.997146e-04,1.991541e-04,1.991315e-04,1.985823e-04,1.983738e-04,1.980001e-04,1.975990e-04,1.974088e-04,1.968093e-04,1.960071e-04,1.951943e-04,1.943727e-04,1.935442e-04,1.927101e-04,1.918720e-04,1.910310e-04,1.901885e-04,1.893454e-04,1.885028e-04,1.876615e-04,1.868224e-04,1.859861e-04,1.851535e-04,1.843251e-04,1.835014e-04,1.826830e-04,1.818703e-04,1.810638e-04,1.802637e-04,1.794706e-04,1.786846e-04,1.779061e-04,1.771352e-04
0.000000e+00,3.420182e-10,1.344508e-09,1.030990e-08,3.979497e-08,7.385521e-08,2.803603e-07,2.941572e-07,8.504888e-07,1.100597e-06,2.010544e-06,3.144440e-06,4.140859e-06,7.363729e-06,7.716038e-06,1.332334e-05,1.504633e-05,2.165284e-05,2.778785e-05,3.346295e-05,4.734884e-05,4.952572e-05,7.057186e-05,7.543795e-05,9.725028e-05,1.135339e-04,1.301043e-04,1.627894e-04,1.695600e-04,2.159225e-04,2.239955e-04,2.693769e-04,2.975787e-04,3.299923e-04,3.836167e-04,3.977279e-04,4.724411e-04,4.818653e-04,5.538965e-04,5.917936e-04,6.417762e-04,7.126242e-04,7.356909e-04,8.351910e-04,8.433777e-04,9.397782e-04,9.829186e-04,1.048917e-03,1.130000e-03,1.162045e-03,1.278585e-03,1.283309e-03,1.397950e-03,1.441501e-03,1.519559e-03,1.603241e-03,1.642837e-03,1.767226e-03,1.892190e-03,1.932215e-03,2.017217e-03,2.097043e-03,2.141825e-03,2.260639e-03,2.265566e-03,2.388023e-03,2.422028e-03,2.508814e-03,2.580344e-03,2.627593e-03,2.734826e-03,2.744050e-03,2.857909e-03,2.884820e-03,2.968926e-03,3.029776e-03,3.076894e-03,3.169239e-03,3.181632e-03,3.282992e-03,3.302848e-03,3.380854e-03,3.430327e-03,3.475122e-03,3.551477e-03,3.565725e-03,3.652616e-03,3.666172e-03,3.735765e-03,3.774344e-03,3.815163e-03,3.875985e-03,3.890817e-03,3.962749e-03,3.971133e-03,4.030995e-03,4.059868e-03,4.095603e-03,4.142306e-03,4.156629e-03,4.214141e-03,4.218592e-03,4.268214e-03,4.288898e-03,4.318928e-03,4.353412e-03,4.366371e-03,4.410634e-03,4.412340e-03,4.451812e-03,4.465900e-03,4.490003e-03,4.514316e-03,4.525305e-03,4.557821e-03,4.587653e-03,4.596649e-03,4.614903e-03,4.631035e-03,4.639672e-03,4.661211e-03,4.662062e-03,4.682174e-03,4.687410e-03,4.700106e-03,4.709859e-03,4.715955e-03,4.728779e-03,4.729817e-03,4.741786e-03,4.744387e-03,4.751953e-03,4.756893e-03,4.760407e-03,4.766498e-03,4.767235e-03,4.772520e-03,4.773399e-03,4.776344e-03,4.777781e-03,4.778785e-03,4.779824e-03,4.779921e-03,4.779824e-03,4.779698e-03,4.778565e-03,4.777568e-03,4.776212e-03,4.773586e-03,4.772831e-03,4.768485e-03,4.767901e-03,4.763234e-03,4.760651e-03,4.757136e-03,4.751969e-03,4.750246e-03,4.742618e-03,4.741977e-03,4.734302e-03,4.730794e-03,4.725347e-03,4.718529e-03,4.715798e-03,4.705700e-03,4.705285e-03,4.695095e-03,4.691160e-03,4.684022e-03,4.676245e-03,4.672520e-03,4.660625e-03,4.644380e-03,4.627584e-03,4.610306e-03,4.592612e-03,4.574561e-03,4.556209e-03,4.537609e-03,4.518808e-03,4.499850e-03,4.480777e-03,4.461627e-03,4.442435e-03,4.423233e-03,4.404050e-03,4.384915e-03,4.365850e-03,4.346880e-03,4.328025e-03,4.309303e-03,4.290732e-03,4.272327e-03,4.254102e-03,4.236070e-03,4.218240e-03
0.000000e+00,5.129254e-09,1.196415e-08,4.213403e-08,9.753263e-08,1.436977e-07,3.359494e-07,3.465475e-07,6.970683e-07,8.295756e-07,1.256186e-06,1.722851e-06,2.099445e-06,3.192764e-06,3.303827e-06,4.914658e-06,5.361164e-06,6.914461e-06,8.179545e-06,9.234636e-06,1.147828e-05,1.179607e-05,1.453403e-05,1.509839e-05,1.740126e-05,1.893144e-05,2.036306e-05,2.290412e-05,2.339239e-05,2.646675e-05,2.696148e-05,2.956643e-05,3.105800e-05,3.267371e-05,3.515415e-05,3.577252e-05,3.884840e-05,3.921534e-05,4.188848e-05,4.321182e-05,4.488150e-05,4.711871e-05,4.781778e-05,5.068919e-05,5.091589e-05,5.348903e-05,5.458767e-05,5.621191e-05,5.812235e-05,5.885367e-05,6.141125e-05,6.151176e-05,6.388248e-05,6.475071e-05,6.626602e-05,6.783637e-05,6.856120e-05,7.076793e-05,7.288660e-05,7.354609e-05,7.491798e-05,7.617275e-05,7.686318e-05,7.865074e-05,7.872355e-05,8.050066e-05,8.098357e-05,8.219625e-05,8.317523e-05,8.381216e-05,8.523009e-05,8.535033e-05,8.681279e-05,8.715274e-05,8.820158e-05,8.894791e-05,8.951881e-05,9.062043e-05,9.076656e-05,9.194695e-05,9.217513e-05,9.306207e-05,9.361684e-05,9.411402e-05,9.495034e-05,9.510485e-05,9.603659e-05,9.618032e-05,9.691126e-05,9.731140e-05,9.773082e-05,9.834809e-05,9.849721e-05,9.921232e-05,9.929478e-05,9.987801e-05,1.001557e-04,1.004961e-04,1.009351e-04,1.010683e-04,1.015964e-04,1.016368e-04,1.020821e-04,1.022649e-04,1.025270e-04,1.028230e-04,1.029327e-04,1.033007e-04,1.033147e-04,1.036326e-04,1.037435e-04,1.039298e-04,1.041128e-04,1.041937e-04,1.044258e-04,1.046273e-04,1.046855e-04,1.047995e-04,1.048949e-04,1.049437e-04,1.050569e-04,1.050611e-04,1.051529e-04,1.051742e-04,1.052203e-04,1.052494e-04,1.052642e-04,1.052850e-04,1.052859e-04,1.052862e-04,1.052833e-04,1.052663e-04,1.052466e-04,1.052270e-04,1.051772e-04,1.051694e-04,1.050942e-04,1.050771e-04,1.050023e-04,1.049483e-04,1.048947e-04,1.047926e-04,1.047720e-04,1.046351e-04,1.046119e-04,1.044847e-04,1.044079e-04,1.043215e-04,1.041823e-04,1.041463e-04,1.039596e-04,1.039365e-04,1.037621e-04,1.036720e-04,1.035545e-04,1.033903e-04,1.033374e-04,1.031112e-04,1.030928e-04,1.028766e-04,1.027805e-04,1.026341e-04,1.024549e-04,1.023842e-04,1.021274e-04,1.021170e-04,1.018641e-04,1.017678e-04,1.015948e-04,1.014085e-04,1.013200e-04,1.010400e-04,1.006631e-04,1.002789e-04,9.988806e-05,9.949141e-05,9.908967e-05,9.868354e-05,9.827366e-05,9.786067e-05,9.744513e-05,9.702760e-05,9.660857e-05,9.618855e-05,9.576797e-05,9.534726e-05,9.492683e-05,9.450703e-05,9.408822e-05,9.367072e-05,9.325483e-05,9.284084e-05,9.242901e-05,9.201958e-05,9.161278e-05,9.120881e-05
0.000000e+00,1.626084e-11,6.309107e-11,4.706127e-10,1.770304e-09,3.238488e-09,1.183275e-08,1.239538e-08,3.444933e-08,4.409082e-08,7.829559e-08,1.196057e-07,1.550636e-07,2.660748e-07,2.779463e-07,4.620122e-07,5.171126e-07,7.238710e-07,9.109850e-07,1.080937e-06,1.487365e-06,1.550097e-06,2.145983e-06,2.281402e-06,2.879472e-06,3.317547e-06,3.756861e-06,4.606381e-06,4.779759e-06,5.945486e-06,6.144879e-06,7.247714e-06,7.918638e-06,8.677166e-06,9.904629e-06,1.022229e-05,1.186988e-05,1.207381e-05,1.360556e-05,1.439330e-05,1.541427e-05,1.682826e-05,1.728062e-05,1.918922e-05,1.934328e-05,2.112500e-05,2.190363e-05,2.307338e-05,2.447621e-05,2.502052e-05,2.695350e-05,2.703035e-05,2.886040e-05,2.953839e-05,3.073044e-05,3.197605e-05,3.255401e-05,3.432274e-05,3.602949e-05,3.656155e-05,3.766832e-05,3.867930e-05,3.923449e-05,4.066626e-05,4.072435e-05,4.213530e-05,4.251599e-05,4.346572e-05,4.422497e-05,4.471484e-05,4.579224e-05,4.588268e-05,4.696995e-05,4.721904e-05,4.797795e-05,4.850846e-05,4.890848e-05,4.966501e-05,4.976375e-05,5.054632e-05,5.069436e-05,5.125902e-05,5.160299e-05,5.190484e-05,5.239796e-05,5.248695e-05,5.300856e-05,5.308663e-05,5.347296e-05,5.367651e-05,5.388341e-05,5.417510e-05,5.424315e-05,5.455534e-05,5.458975e-05,5.482307e-05,5.492755e-05,5.504932e-05,5.519529e-05,5.523695e-05,5.538873e-05,5.539940e-05,5.550725e-05,5.554591e-05,5.559500e-05,5.564045e-05,5.565432e-05,5.568742e-05,5.568823e-05,5.569636e-05,5.569404e-05,5.568308e-05,5.566229e-05,5.564940e-05,5.559700e-05,5.552747e-05,5.550184e-05,5.544227e-05,5.538014e-05,5.534274e-05,5.523491e-05,5.523017e-05,5.510570e-05,5.506887e-05,5.497042e-05,5.488448e-05,5.482533e-05,5.468398e-05,5.467135e-05,5.450933e-05,5.446934e-05,5.434007e-05,5.424238e-05,5.416427e-05,5.400471e-05,5.398262e-05,5.379573e-05,5.375778e-05,5.360417e-05,5.350289e-05,5.340847e-05,5.324124e-05,5.320911e-05,5.300654e-05,5.297386e-05,5.280117e-05,5.270171e-05,5.259339e-05,5.242565e-05,5.238353e-05,5.217194e-05,5.214645e-05,5.195891e-05,5.186479e-05,5.174471e-05,5.158130e-05,5.152960e-05,5.131382e-05,5.129653e-05,5.109758e-05,5.101100e-05,5.088108e-05,5.072515e-05,5.066451e-05,5.044804e-05,5.043938e-05,5.023183e-05,5.015408e-05,5.001602e-05,4.986957e-05,4.980075e-05,4.958615e-05,4.930409e-05,4.902362e-05,4.874496e-05,4.846831e-05,4.819383e-05,4.792170e-05,4.765203e-05,4.738495e-05,4.712058e-05,4.685900e-05,4.660030e-05,4.634456e-05,4.609183e-05,4.584218e-05,4.559565e-05,4.535227e-05,4.511208e-05,4.487510e-05,4.464136e-05,4.441086e-05,4.418361e-05,4.395962e-05,4.373889e-05,4.352142e-05
0.000000e+00,3.388505e-10,1.196192e-09,7.407552e-09,2.378545e-08,4.006861e-08,1.200111e-07,1.247578e-07,2.904704e-07,3.554445e-07,5.671408e-07,7.992092e-07,9.856311e-07,1.522507e-06,1.576838e-06,2.367230e-06,2.588566e-06,3.372192e-06,4.029965e-06,4.593957e-06,5.843203e-06,6.025776e-06,7.656994e-06,8.006128e-06,9.475692e-06,1.049135e-05,1.146923e-05,1.326896e-05,1.362394e-05,1.592480e-05,1.630542e-05,1.835531e-05,1.956280e-05,2.089759e-05,2.299920e-05,2.353273e-05,2.624119e-05,2.657020e-05,2.900327e-05,3.023054e-05,3.179952e-05,3.393596e-05,3.461120e-05,3.742060e-05,3.764475e-05,4.021130e-05,4.131895e-05,4.296840e-05,4.492518e-05,4.567862e-05,4.833035e-05,4.843506e-05,5.091367e-05,5.182527e-05,5.342028e-05,5.507746e-05,5.584343e-05,5.817777e-05,6.041930e-05,6.111649e-05,6.256516e-05,6.388745e-05,6.461358e-05,6.648760e-05,6.656372e-05,6.841553e-05,6.891648e-05,7.016960e-05,7.117557e-05,7.182703e-05,7.326786e-05,7.338939e-05,7.485862e-05,7.519762e-05,7.623695e-05,7.697000e-05,7.752681e-05,7.859078e-05,7.873082e-05,7.985178e-05,8.006626e-05,8.089257e-05,8.140307e-05,8.185612e-05,8.260797e-05,8.274539e-05,8.356338e-05,8.368786e-05,8.431322e-05,8.464985e-05,8.499801e-05,8.550103e-05,8.562074e-05,8.618419e-05,8.624795e-05,8.669110e-05,8.689694e-05,8.714417e-05,8.745405e-05,8.754592e-05,8.789885e-05,8.792505e-05,8.820538e-05,8.831553e-05,8.846785e-05,8.863081e-05,8.868850e-05,8.886947e-05,8.887592e-05,8.901283e-05,8.905561e-05,8.912055e-05,8.917443e-05,8.919456e-05,8.923670e-05,8.924874e-05,8.924650e-05,8.923234e-05,8.920768e-05,8.918914e-05,8.912387e-05,8.912066e-05,8.902839e-05,8.899847e-05,8.891371e-05,8.883472e-05,8.877798e-05,8.863563e-05,8.862250e-05,8.844847e-05,8.840408e-05,8.825709e-05,8.814274e-05,8.804945e-05,8.785414e-05,8.782664e-05,8.758965e-05,8.754064e-05,8.733945e-05,8.720444e-05,8.707697e-05,8.684763e-05,8.680308e-05,8.651861e-05,8.647216e-05,8.622435e-05,8.607985e-05,8.592105e-05,8.567239e-05,8.560944e-05,8.529019e-05,8.525139e-05,8.496394e-05,8.481834e-05,8.463132e-05,8.437461e-05,8.429289e-05,8.394922e-05,8.392152e-05,8.360082e-05,8.346025e-05,8.324819e-05,8.299194e-05,8.289180e-05,8.253209e-05,8.251764e-05,8.216949e-05,8.203832e-05,8.180439e-05,8.155489e-05,8.143717e-05,8.106818e-05,8.057898e-05,8.008801e-05,7.959594e-05,7.910339e-05,7.861093e-05,7.811910e-05,7.762836e-05,7.713919e-05,7.665198e-05,7.616711e-05,7.568493e-05,7.520575e-05,7.472987e-05,7.425754e-05,7.378900e-05,7.332446e-05,7.286412e-05,7.240815e-05,7.195671e-05,7.150993e-05,7.106793e-05,7.063083e-05,7.019871e-05,6.977164e-05
0.000000e+00,1.763565e-10,6.860070e-10,5.146192e-09,1.946907e-08,3.573674e-08,1.318706e-07,1.382017e-07,3.886691e-07,4.992531e-07,8.954190e-07,1.380109e-06,1.800368e-06,3.134348e-06,3.278256e-06,5.528078e-06,6.205774e-06,8.753763e-06,1.105721e-05,1.314202e-05,1.808884e-05,1.884719e-05,2.598484e-05,2.759162e-05,3.463074e-05,3.973661e-05,4.482254e-05,5.458090e-05,5.656244e-05,6.982027e-05,7.207881e-05,8.453685e-05,9.209497e-05,1.006275e-04,1.144186e-04,1.179860e-04,1.364883e-04,1.387790e-04,1.559968e-04,1.648617e-04,1.763645e-04,1.923246e-04,1.974385e-04,2.190645e-04,2.208138e-04,2.410891e-04,2.499770e-04,2.633635e-04,2.794756e-04,2.857455e-04,3.081017e-04,3.089936e-04,3.303085e-04,3.382444e-04,3.522535e-04,3.669747e-04,3.738360e-04,3.949670e-04,4.155692e-04,4.220392e-04,4.355770e-04,4.480442e-04,4.549354e-04,4.728672e-04,4.736000e-04,4.915356e-04,4.964232e-04,5.087159e-04,5.186536e-04,5.251226e-04,5.395235e-04,5.407441e-04,5.555755e-04,5.590173e-04,5.696169e-04,5.771369e-04,5.828737e-04,5.938977e-04,5.953549e-04,6.070731e-04,6.093265e-04,6.180439e-04,6.234592e-04,6.282852e-04,6.363384e-04,6.378166e-04,6.466596e-04,6.480121e-04,6.548366e-04,6.585318e-04,6.623708e-04,6.679514e-04,6.692861e-04,6.756067e-04,6.763263e-04,6.813568e-04,6.837124e-04,6.865608e-04,6.901654e-04,6.912428e-04,6.954266e-04,6.957405e-04,6.991357e-04,7.004915e-04,7.023929e-04,7.044710e-04,7.052208e-04,7.076413e-04,7.077299e-04,7.096754e-04,7.103171e-04,7.113438e-04,7.122796e-04,7.126664e-04,7.136623e-04,7.143503e-04,7.145083e-04,7.147479e-04,7.148581e-04,7.148725e-04,7.147504e-04,7.147404e-04,7.143675e-04,7.142220e-04,7.137688e-04,7.133073e-04,7.129588e-04,7.120390e-04,7.119514e-04,7.107598e-04,7.104478e-04,7.093965e-04,7.085627e-04,7.078737e-04,7.064107e-04,7.062027e-04,7.043945e-04,7.040173e-04,7.024595e-04,7.014065e-04,7.004076e-04,6.986004e-04,6.982481e-04,6.959900e-04,6.956201e-04,6.936416e-04,6.924848e-04,6.912112e-04,6.892128e-04,6.887062e-04,6.861338e-04,6.858209e-04,6.835009e-04,6.823250e-04,6.808139e-04,6.787394e-04,6.780790e-04,6.753017e-04,6.750779e-04,6.724877e-04,6.713529e-04,6.696419e-04,6.675761e-04,6.667693e-04,6.638744e-04,6.637582e-04,6.609613e-04,6.599090e-04,6.580343e-04,6.560378e-04,6.550970e-04,6.521529e-04,6.482620e-04,6.443722e-04,6.404900e-04,6.366212e-04,6.327712e-04,6.289449e-04,6.251468e-04,6.213807e-04,6.176505e-04,6.139592e-04,6.103097e-04,6.067047e-04,6.031463e-04,5.996365e-04,5.961771e-04,5.927696e-04,5.894151e-04,5.861148e-04,5.828696e-04,5.796801e-04,5.765469e-04,5.734704e-04,5.704508e-04,5.674882e-04
0.000000e+00,1.933663e-09,4.434530e-09,1.529575e-08,3.488444e-08,5.095509e-08,1.158997e-07,1.193974e-07,2.310797e-07,2.715534e-07,3.967651e-07,5.267703e-07,6.277431e-07,9.080533e-07,9.358192e-07,1.332888e-06,1.442680e-06,1.829821e-06,2.154849e-06,2.434469e-06,3.057689e-06,3.149176e-06,3.969313e-06,4.145133e-06,4.884277e-06,5.393055e-06,5.880482e-06,6.769975e-06,6.944164e-06,8.062829e-06,8.246166e-06,9.225536e-06,9.796418e-06,1.042268e-05,1.139941e-05,1.164570e-05,1.288678e-05,1.303657e-05,1.413877e-05,1.469140e-05,1.539511e-05,1.634911e-05,1.664977e-05,1.789727e-05,1.799661e-05,1.913269e-05,1.962248e-05,2.035166e-05,2.121696e-05,2.155035e-05,2.272545e-05,2.277193e-05,2.387418e-05,2.428080e-05,2.499419e-05,2.573841e-05,2.608359e-05,2.714088e-05,2.816491e-05,2.848543e-05,2.915486e-05,2.977027e-05,3.011017e-05,3.099439e-05,3.103053e-05,3.191586e-05,3.215748e-05,3.276622e-05,3.325975e-05,3.358186e-05,3.430189e-05,3.436313e-05,3.511051e-05,3.528490e-05,3.582455e-05,3.621008e-05,3.650587e-05,3.707892e-05,3.715517e-05,3.777316e-05,3.789306e-05,3.836061e-05,3.865427e-05,3.891830e-05,3.936437e-05,3.944706e-05,3.994768e-05,4.002522e-05,4.042100e-05,4.063873e-05,4.086784e-05,4.120680e-05,4.128902e-05,4.168538e-05,4.173131e-05,4.205771e-05,4.221414e-05,4.240683e-05,4.265711e-05,4.273351e-05,4.303854e-05,4.306203e-05,4.332268e-05,4.343066e-05,4.358668e-05,4.376470e-05,4.383127e-05,4.405716e-05,4.406582e-05,4.426506e-05,4.433563e-05,4.445565e-05,4.457569e-05,4.462958e-05,4.478751e-05,4.493007e-05,4.497255e-05,4.505787e-05,4.513219e-05,4.517150e-05,4.526780e-05,4.527155e-05,4.535856e-05,4.538067e-05,4.543309e-05,4.547204e-05,4.549567e-05,4.554312e-05,4.554680e-05,4.558698e-05,4.559505e-05,4.561669e-05,4.562893e-05,4.563640e-05,4.564582e-05,4.564655e-05,4.564758e-05,4.564673e-05,4.563991e-05,4.563262e-05,4.562395e-05,4.560442e-05,4.560008e-05,4.556870e-05,4.556300e-05,4.553015e-05,4.550922e-05,4.548481e-05,4.544386e-05,4.543300e-05,4.537506e-05,4.536771e-05,4.531131e-05,4.528149e-05,4.524204e-05,4.518590e-05,4.516757e-05,4.508816e-05,4.508160e-05,4.500409e-05,4.496922e-05,4.491563e-05,4.484937e-05,4.482304e-05,4.472654e-05,4.472261e-05,4.462639e-05,4.458948e-05,4.452280e-05,4.445051e-05,4.441599e-05,4.430618e-05,4.415695e-05,4.400327e-05,4.384555e-05,4.368419e-05,4.351956e-05,4.335202e-05,4.318189e-05,4.300950e-05,4.283515e-05,4.265911e-05,4.248166e-05,4.230303e-05,4.212347e-05,4.194321e-05,4.176243e-05,4.158136e-05,4.140016e-05,4.121901e-05,4.103806e-05,4.085748e-05,4.067741e-05,4.049796e-05,4.031927e-05,4.014145e-05
0.000000e+00,8.870996e-11,3.307480e-10,2.275829e-09,7.971792e-09,1.403618e-08,4.660403e-08,4.863477e-08,1.234742e-07,1.543088e-07,2.584446e-07,3.770995e-07,4.748091e-07,7.646346e-07,7.945387e-07,1.239646e-06,1.367483e-06,1.830806e-06,2.232224e-06,2.585066e-06,3.392928e-06,3.513821e-06,4.622418e-06,4.865816e-06,5.911129e-06,6.651409e-06,7.376499e-06,8.739509e-06,9.012396e-06,1.081063e-05,1.111277e-05,1.276128e-05,1.374843e-05,1.485292e-05,1.661922e-05,1.707281e-05,1.940706e-05,1.969416e-05,2.184093e-05,2.293948e-05,2.435915e-05,2.631983e-05,2.694616e-05,2.958648e-05,2.979955e-05,3.226497e-05,3.334378e-05,3.496709e-05,3.691950e-05,3.767910e-05,4.038819e-05,4.049633e-05,4.308267e-05,4.404703e-05,4.575195e-05,4.754780e-05,4.838660e-05,5.097838e-05,5.352014e-05,5.432193e-05,5.600584e-05,5.756489e-05,5.843041e-05,6.069666e-05,6.078973e-05,6.308053e-05,6.370932e-05,6.530029e-05,6.659725e-05,6.744717e-05,6.935686e-05,6.951993e-05,7.151788e-05,7.198622e-05,7.344077e-05,7.448483e-05,7.528873e-05,7.685333e-05,7.706224e-05,7.876207e-05,7.909327e-05,8.038921e-05,8.120698e-05,8.194485e-05,8.319733e-05,8.343036e-05,8.484721e-05,8.506765e-05,8.619700e-05,8.682156e-05,8.748139e-05,8.846296e-05,8.870209e-05,8.986089e-05,8.999587e-05,9.095958e-05,9.142442e-05,9.199996e-05,9.275277e-05,9.298384e-05,9.391305e-05,9.398508e-05,9.478937e-05,9.512549e-05,9.561459e-05,9.617809e-05,9.639046e-05,9.711872e-05,9.714689e-05,9.780107e-05,9.803580e-05,9.843918e-05,9.884866e-05,9.903468e-05,9.958917e-05,1.001042e-04,1.002609e-04,1.005813e-04,1.008675e-04,1.010220e-04,1.014121e-04,1.014277e-04,1.017997e-04,1.018981e-04,1.021396e-04,1.023285e-04,1.024485e-04,1.027065e-04,1.027278e-04,1.029787e-04,1.030349e-04,1.032025e-04,1.033164e-04,1.034002e-04,1.035537e-04,1.035731e-04,1.037223e-04,1.037493e-04,1.038487e-04,1.039058e-04,1.039534e-04,1.040254e-04,1.040375e-04,1.041018e-04,1.041103e-04,1.041473e-04,1.041627e-04,1.041749e-04,1.041846e-04,1.041854e-04,1.041797e-04,1.041780e-04,1.041586e-04,1.041446e-04,1.041228e-04,1.040863e-04,1.040731e-04,1.040103e-04,1.040047e-04,1.039349e-04,1.039014e-04,1.038477e-04,1.037779e-04,1.037493e-04,1.036403e-04,1.036358e-04,1.035214e-04,1.034762e-04,1.033930e-04,1.033006e-04,1.032557e-04,1.031101e-04,1.029060e-04,1.026893e-04,1.024612e-04,1.022225e-04,1.019742e-04,1.017173e-04,1.014525e-04,1.011807e-04,1.009026e-04,1.006189e-04,1.003303e-04,1.000374e-04,9.974085e-05,9.944113e-05,9.913880e-05,9.883434e-05,9.852823e-05,9.822089e-05,9.791273e-05,9.760413e-05,9.729545e-05,9.698701e-05,9.667912e-05,9.637208e-05
0.000000e+00,6.170345e-11,2.278376e-10,1.535625e-09,5.275357e-09,9.187940e-09,2.964726e-08,3.090292e-08,7.624652e-08,9.455476e-08,1.553609e-07,2.232871e-07,2.784509e-07,4.392374e-07,4.556379e-07,6.966900e-07,7.650287e-07,1.009946e-06,1.218902e-06,1.400170e-06,1.806651e-06,1.866437e-06,2.401777e-06,2.516183e-06,2.994830e-06,3.321616e-06,3.632258e-06,4.192195e-06,4.300710e-06,4.987930e-06,5.098888e-06,5.683179e-06,6.016985e-06,6.377222e-06,6.926248e-06,7.062172e-06,7.731292e-06,7.810240e-06,8.378845e-06,8.655662e-06,9.000004e-06,9.451948e-06,9.590780e-06,1.014799e-05,1.019105e-05,1.066925e-05,1.086729e-05,1.115289e-05,1.147727e-05,1.159797e-05,1.200419e-05,1.201963e-05,1.237181e-05,1.249484e-05,1.270161e-05,1.290486e-05,1.299477e-05,1.325282e-05,1.347754e-05,1.354272e-05,1.367087e-05,1.377910e-05,1.383491e-05,1.396681e-05,1.397180e-05,1.408368e-05,1.411082e-05,1.417270e-05,1.421600e-05,1.424091e-05,1.428695e-05,1.429025e-05,1.432257e-05,1.432799e-05,1.433959e-05,1.434303e-05,1.434290e-05,1.433569e-05,1.433402e-05,1.431432e-05,1.430919e-05,1.428505e-05,1.426643e-05,1.424736e-05,1.420997e-05,1.420231e-05,1.415085e-05,1.414208e-05,1.409386e-05,1.406478e-05,1.403217e-05,1.397995e-05,1.396654e-05,1.389759e-05,1.388912e-05,1.382586e-05,1.379355e-05,1.375184e-05,1.369430e-05,1.367593e-05,1.359848e-05,1.359223e-05,1.351982e-05,1.348807e-05,1.344021e-05,1.338246e-05,1.335992e-05,1.327914e-05,1.327590e-05,1.319808e-05,1.316886e-05,1.311690e-05,1.306171e-05,1.303576e-05,1.295480e-05,1.287412e-05,1.284838e-05,1.279384e-05,1.274271e-05,1.271405e-05,1.263798e-05,1.263483e-05,1.255624e-05,1.253436e-05,1.247836e-05,1.243199e-05,1.240124e-05,1.233100e-05,1.232493e-05,1.224946e-05,1.223148e-05,1.217488e-05,1.213351e-05,1.210121e-05,1.203716e-05,1.202849e-05,1.195672e-05,1.194249e-05,1.188594e-05,1.184953e-05,1.181616e-05,1.175832e-05,1.174738e-05,1.167963e-05,1.166888e-05,1.161290e-05,1.158123e-05,1.154720e-05,1.149538e-05,1.148253e-05,1.141890e-05,1.141133e-05,1.135630e-05,1.132909e-05,1.129474e-05,1.124863e-05,1.123420e-05,1.117469e-05,1.116997e-05,1.111619e-05,1.109307e-05,1.105871e-05,1.101794e-05,1.100223e-05,1.094674e-05,1.094454e-05,1.089225e-05,1.087287e-05,1.083873e-05,1.080289e-05,1.078618e-05,1.073459e-05,1.066793e-05,1.060290e-05,1.053947e-05,1.047760e-05,1.041727e-05,1.035846e-05,1.030112e-05,1.024524e-05,1.019078e-05,1.013772e-05,1.008601e-05,1.003564e-05,9.986575e-06,9.938782e-06,9.892235e-06,9.846904e-06,9.802761e-06,9.759777e-06,9.717925e-06,9.677178e-06,9.637508e-06,9.598888e-06,9.561293e-06,9.524697e-06
0.000000e+00,5.699000e-09,1.310748e-08,4.535239e-08,1.036883e-07,1.517175e-07,3.474297e-07,3.580440e-07,7.007828e-07,8.267330e-07,1.221637e-06,1.638973e-06,1.967319e-06,2.892099e-06,2.984389e-06,4.306135e-06,4.669744e-06,5.934328e-06,6.967566e-06,7.832470e-06,9.679974e-06,9.942358e-06,1.220685e-05,1.267407e-05,1.458022e-05,1.584554e-05,1.702780e-05,1.912134e-05,1.952278e-05,2.204353e-05,2.244800e-05,2.457204e-05,2.578390e-05,2.709304e-05,2.909568e-05,2.959361e-05,3.206289e-05,3.235665e-05,3.449186e-05,3.554590e-05,3.687320e-05,3.864751e-05,3.920106e-05,4.147087e-05,4.164984e-05,4.367921e-05,4.454474e-05,4.582358e-05,4.732694e-05,4.790229e-05,4.991430e-05,4.999339e-05,5.185913e-05,5.254280e-05,5.373673e-05,5.497524e-05,5.554740e-05,5.729174e-05,5.897057e-05,5.949412e-05,6.058489e-05,6.158473e-05,6.213586e-05,6.356633e-05,6.362471e-05,6.505278e-05,6.544194e-05,6.642148e-05,6.721480e-05,6.773225e-05,6.888826e-05,6.898657e-05,7.018593e-05,7.046577e-05,7.133185e-05,7.195078e-05,7.242584e-05,7.334678e-05,7.346940e-05,7.446404e-05,7.465722e-05,7.541124e-05,7.588553e-05,7.631248e-05,7.703507e-05,7.716922e-05,7.798289e-05,7.810917e-05,7.875488e-05,7.911104e-05,7.948657e-05,8.004382e-05,8.017931e-05,8.083442e-05,8.091056e-05,8.145319e-05,8.171426e-05,8.203689e-05,8.245780e-05,8.258674e-05,8.310395e-05,8.314395e-05,8.358969e-05,8.377544e-05,8.404511e-05,8.435485e-05,8.447130e-05,8.486936e-05,8.488472e-05,8.524034e-05,8.536746e-05,8.558525e-05,8.580541e-05,8.590509e-05,8.620082e-05,8.647338e-05,8.655585e-05,8.672367e-05,8.687258e-05,8.695258e-05,8.715300e-05,8.716095e-05,8.734961e-05,8.739901e-05,8.751937e-05,8.761246e-05,8.767098e-05,8.779510e-05,8.780522e-05,8.792280e-05,8.794861e-05,8.802442e-05,8.807461e-05,8.811076e-05,8.817462e-05,8.818248e-05,8.824021e-05,8.825013e-05,8.828457e-05,8.830255e-05,8.831615e-05,8.833322e-05,8.833552e-05,8.834323e-05,8.834342e-05,8.833982e-05,8.833438e-05,8.832580e-05,8.830728e-05,8.830166e-05,8.826790e-05,8.826322e-05,8.822496e-05,8.820328e-05,8.817331e-05,8.812847e-05,8.811335e-05,8.804552e-05,8.803976e-05,8.797020e-05,8.793807e-05,8.788779e-05,8.782427e-05,8.779865e-05,8.770314e-05,8.769920e-05,8.760161e-05,8.756365e-05,8.749438e-05,8.741838e-05,8.738178e-05,8.726411e-05,8.710151e-05,8.693124e-05,8.675391e-05,8.657010e-05,8.638038e-05,8.618525e-05,8.598523e-05,8.578078e-05,8.557235e-05,8.536036e-05,8.514521e-05,8.492728e-05,8.470693e-05,8.448449e-05,8.426029e-05,8.403463e-05,8.380778e-05,8.358001e-05,8.335159e-05,8.312273e-05,8.289368e-05,8.266463e-05,8.243578e-05,8.220731e-05
0.000000e+00,5.265140e-11,1.832466e-10,1.104981e-09,3.472947e-09,5.787528e-09,1.689312e-08,1.754367e-08,3.987739e-08,4.848048e-08,7.607201e-08,1.056990e-07,1.291192e-07,1.951253e-07,2.017099e-07,2.962196e-07,3.223944e-07,4.146354e-07,4.919530e-07,5.583884e-07,7.064048e-07,7.281519e-07,9.237693e-07,9.659296e-07,1.144381e-06,1.268542e-06,1.388633e-06,1.610845e-06,1.654835e-06,1.941050e-06,1.988561e-06,2.245137e-06,2.396775e-06,2.564786e-06,2.830073e-06,2.897556e-06,3.240920e-06,3.282714e-06,3.592321e-06,3.748827e-06,3.949220e-06,4.222617e-06,4.309147e-06,4.669750e-06,4.698560e-06,5.028826e-06,5.171568e-06,5.384351e-06,5.637099e-06,5.734503e-06,6.077670e-06,6.091230e-06,6.412454e-06,6.530690e-06,6.737672e-06,6.952849e-06,7.052346e-06,7.355693e-06,7.647108e-06,7.737765e-06,7.926154e-06,8.098112e-06,8.192540e-06,8.436211e-06,8.446107e-06,8.686811e-06,8.751908e-06,8.914705e-06,9.045346e-06,9.129926e-06,9.316916e-06,9.332684e-06,9.523241e-06,9.567194e-06,9.701911e-06,9.796901e-06,9.869040e-06,1.000686e-05,1.002500e-05,1.017020e-05,1.019798e-05,1.030503e-05,1.037119e-05,1.042992e-05,1.052745e-05,1.054528e-05,1.065155e-05,1.066774e-05,1.074913e-05,1.079300e-05,1.083843e-05,1.090419e-05,1.091987e-05,1.099383e-05,1.100222e-05,1.106069e-05,1.108795e-05,1.112082e-05,1.116225e-05,1.117459e-05,1.122234e-05,1.122591e-05,1.126440e-05,1.127970e-05,1.130108e-05,1.132434e-05,1.133270e-05,1.135954e-05,1.136052e-05,1.138188e-05,1.138888e-05,1.140000e-05,1.141003e-05,1.141413e-05,1.142454e-05,1.143143e-05,1.143293e-05,1.143504e-05,1.143572e-05,1.143557e-05,1.143336e-05,1.143321e-05,1.142817e-05,1.142629e-05,1.142060e-05,1.141493e-05,1.141069e-05,1.139963e-05,1.139859e-05,1.138445e-05,1.138077e-05,1.136842e-05,1.135866e-05,1.135063e-05,1.133362e-05,1.133121e-05,1.131028e-05,1.130592e-05,1.128795e-05,1.127583e-05,1.126435e-05,1.124360e-05,1.123956e-05,1.121368e-05,1.120944e-05,1.118681e-05,1.117358e-05,1.115903e-05,1.113621e-05,1.113043e-05,1.110107e-05,1.109750e-05,1.107104e-05,1.105763e-05,1.104040e-05,1.101675e-05,1.100922e-05,1.097755e-05,1.097500e-05,1.094546e-05,1.093251e-05,1.091299e-05,1.088941e-05,1.088020e-05,1.084714e-05,1.084581e-05,1.081385e-05,1.080181e-05,1.078037e-05,1.075751e-05,1.074674e-05,1.071299e-05,1.066834e-05,1.062363e-05,1.057892e-05,1.053428e-05,1.048977e-05,1.044543e-05,1.040132e-05,1.035747e-05,1.031393e-05,1.027073e-05,1.022790e-05,1.018547e-05,1.014347e-05,1.010191e-05,1.006083e-05,1.002023e-05,9.980135e-06,9.940556e-06,9.901507e-06,9.862996e-06,9.825031e-06,9.787622e-06,9.750773e-06,9.714489e-06
0.000000e+00,3.964228e-10,1.345858e-09,7.763958e-09,2.364289e-08,3.886780e-08,1.110155e-07,1.152394e-07,2.621398e-07,3.200421e-07,5.114651e-07,7.266188e-07,9.030373e-07,1.422382e-06,1.475419e-06,2.244387e-06,2.456807e-06,3.192423e-06,3.788221e-06,4.283445e-06,5.333359e-06,5.481854e-06,6.760421e-06,7.023944e-06,8.099818e-06,8.815498e-06,9.485833e-06,1.067762e-05,1.090692e-05,1.235267e-05,1.258560e-05,1.381305e-05,1.451632e-05,1.527816e-05,1.644699e-05,1.673810e-05,1.818319e-05,1.835516e-05,1.960415e-05,2.021946e-05,2.099227e-05,2.202036e-05,2.233961e-05,2.363914e-05,2.374085e-05,2.488491e-05,2.536704e-05,2.607207e-05,2.688836e-05,2.719681e-05,2.825638e-05,2.829738e-05,2.924900e-05,2.958977e-05,3.017382e-05,3.076391e-05,3.103079e-05,3.182058e-05,3.254437e-05,3.276231e-05,3.320384e-05,3.359312e-05,3.380112e-05,3.431824e-05,3.433863e-05,3.481899e-05,3.494364e-05,3.524504e-05,3.547580e-05,3.561967e-05,3.592144e-05,3.594581e-05,3.622637e-05,3.628725e-05,3.646427e-05,3.657990e-05,3.666232e-05,3.680582e-05,3.682327e-05,3.694975e-05,3.697114e-05,3.704430e-05,3.708166e-05,3.710933e-05,3.714280e-05,3.714710e-05,3.715978e-05,3.715961e-05,3.714937e-05,3.713675e-05,3.711779e-05,3.707847e-05,3.706681e-05,3.699808e-05,3.698871e-05,3.691315e-05,3.687103e-05,3.681347e-05,3.672867e-05,3.670037e-05,3.657509e-05,3.656458e-05,3.643879e-05,3.638142e-05,3.629252e-05,3.618159e-05,3.613727e-05,3.597397e-05,3.596728e-05,3.580344e-05,3.574043e-05,3.562647e-05,3.550281e-05,3.544377e-05,3.525602e-05,3.506381e-05,3.500146e-05,3.486773e-05,3.474044e-05,3.466828e-05,3.447408e-05,3.446594e-05,3.426116e-05,3.420344e-05,3.405434e-05,3.392943e-05,3.384586e-05,3.365288e-05,3.363605e-05,3.342525e-05,3.337453e-05,3.321372e-05,3.309506e-05,3.300175e-05,3.281504e-05,3.278957e-05,3.257742e-05,3.253501e-05,3.236549e-05,3.225544e-05,3.215398e-05,3.197675e-05,3.194305e-05,3.173287e-05,3.169932e-05,3.152357e-05,3.142346e-05,3.131529e-05,3.114948e-05,3.110815e-05,3.090225e-05,3.087763e-05,3.069770e-05,3.060815e-05,3.049458e-05,3.034122e-05,3.029297e-05,3.009295e-05,3.007702e-05,2.989458e-05,2.981571e-05,2.969792e-05,2.955740e-05,2.950301e-05,2.930991e-05,2.930223e-05,2.911866e-05,2.905027e-05,2.892929e-05,2.880160e-05,2.874183e-05,2.855630e-05,2.831442e-05,2.807599e-05,2.784105e-05,2.760963e-05,2.738173e-05,2.715737e-05,2.693654e-05,2.671923e-05,2.650545e-05,2.629517e-05,2.608837e-05,2.588503e-05,2.568512e-05,2.548861e-05,2.529547e-05,2.510566e-05,2.491914e-05,2.473589e-05,2.455585e-05,2.437898e-05,2.420524e-05,2.403459e-05,2.386698e-05,2.370237e-05
0.000000e+00,1.280476e-09,3.164015e-09,1.175274e-08,2.761062e-08,4.070300e-08,9.365670e-08,9.650439e-08,1.871033e-07,2.197886e-07,3.205008e-07,4.245486e-07,5.050675e-07,7.274479e-07,7.493855e-07,1.061047e-06,1.146427e-06,1.443984e-06,1.688886e-06,1.895577e-06,2.342519e-06,2.406567e-06,2.964380e-06,3.080443e-06,3.556619e-06,3.874576e-06,4.172633e-06,4.701956e-06,4.803596e-06,5.442101e-06,5.544523e-06,6.081763e-06,6.387537e-06,6.716964e-06,7.218546e-06,7.342724e-06,7.954642e-06,8.026954e-06,8.548891e-06,8.803901e-06,9.122210e-06,9.542266e-06,9.671920e-06,1.019589e-05,1.023664e-05,1.069252e-05,1.088325e-05,1.116072e-05,1.147986e-05,1.159987e-05,1.200970e-05,1.202549e-05,1.239034e-05,1.252030e-05,1.274221e-05,1.296536e-05,1.306594e-05,1.336241e-05,1.363261e-05,1.371370e-05,1.387765e-05,1.402183e-05,1.409874e-05,1.428959e-05,1.429711e-05,1.447402e-05,1.451988e-05,1.463074e-05,1.471560e-05,1.476852e-05,1.487958e-05,1.488856e-05,1.499207e-05,1.501457e-05,1.508016e-05,1.512317e-05,1.515393e-05,1.520783e-05,1.521442e-05,1.526260e-05,1.527084e-05,1.529940e-05,1.531433e-05,1.532569e-05,1.534025e-05,1.534228e-05,1.534995e-05,1.535040e-05,1.534940e-05,1.534642e-05,1.534131e-05,1.532982e-05,1.532629e-05,1.530492e-05,1.530196e-05,1.527775e-05,1.526408e-05,1.524526e-05,1.521730e-05,1.520792e-05,1.516617e-05,1.516265e-05,1.512040e-05,1.510105e-05,1.507098e-05,1.503334e-05,1.501826e-05,1.496254e-05,1.496026e-05,1.490413e-05,1.488250e-05,1.484330e-05,1.480068e-05,1.478029e-05,1.471534e-05,1.464867e-05,1.462701e-05,1.458047e-05,1.453611e-05,1.451093e-05,1.444307e-05,1.444022e-05,1.436850e-05,1.434826e-05,1.429591e-05,1.425199e-05,1.422258e-05,1.415458e-05,1.414865e-05,1.407422e-05,1.405630e-05,1.399940e-05,1.395737e-05,1.392429e-05,1.385803e-05,1.384899e-05,1.377356e-05,1.375847e-05,1.369809e-05,1.365886e-05,1.362266e-05,1.355936e-05,1.354731e-05,1.347213e-05,1.346011e-05,1.339715e-05,1.336125e-05,1.332243e-05,1.326288e-05,1.324803e-05,1.317397e-05,1.316511e-05,1.310030e-05,1.306802e-05,1.302705e-05,1.297169e-05,1.295427e-05,1.288196e-05,1.287620e-05,1.281017e-05,1.278161e-05,1.273892e-05,1.268797e-05,1.266823e-05,1.259812e-05,1.259533e-05,1.252860e-05,1.250373e-05,1.245970e-05,1.241321e-05,1.239143e-05,1.232380e-05,1.223552e-05,1.214840e-05,1.206246e-05,1.197771e-05,1.189416e-05,1.181182e-05,1.173070e-05,1.165080e-05,1.157212e-05,1.149466e-05,1.141842e-05,1.134340e-05,1.126959e-05,1.119698e-05,1.112557e-05,1.105534e-05,1.098629e-05,1.091841e-05,1.085168e-05,1.078610e-05,1.072165e-05,1.065832e-05,1.059609e-05,1.053495e-05
0.000000e+00,1.253069e-09,3.954900e-09,2.021830e-08,5.667092e-08,8.973110e-08,2.365791e-07,2.448699e-07,5.212227e-07,6.254192e-07,9.569576e-07,1.312523e-06,1.595001e-06,2.402046e-06,2.483532e-06,3.671715e-06,4.006174e-06,5.197845e-06,6.206099e-06,7.074547e-06,9.002848e-06,9.284531e-06,1.179135e-05,1.232466e-05,1.455364e-05,1.607812e-05,1.753322e-05,2.017957e-05,2.069689e-05,2.401566e-05,2.455928e-05,2.746340e-05,2.915694e-05,3.101581e-05,3.391757e-05,3.464982e-05,3.834337e-05,3.878959e-05,4.207537e-05,4.372444e-05,4.582583e-05,4.867693e-05,4.957598e-05,5.330843e-05,5.360577e-05,5.700731e-05,5.847421e-05,6.065835e-05,6.325029e-05,6.424888e-05,6.776788e-05,6.790701e-05,7.120590e-05,7.242219e-05,7.455501e-05,7.677824e-05,7.780869e-05,8.096171e-05,8.401006e-05,8.496291e-05,8.695075e-05,8.877534e-05,8.978178e-05,9.239528e-05,9.250195e-05,9.511080e-05,9.582133e-05,9.760846e-05,9.905395e-05,9.999562e-05,1.020952e-04,1.022734e-04,1.044433e-04,1.049482e-04,1.065072e-04,1.076173e-04,1.084670e-04,1.101074e-04,1.103250e-04,1.120837e-04,1.124238e-04,1.137456e-04,1.145724e-04,1.153133e-04,1.165593e-04,1.167894e-04,1.181768e-04,1.183908e-04,1.194782e-04,1.200731e-04,1.206962e-04,1.216126e-04,1.218338e-04,1.228935e-04,1.230155e-04,1.238781e-04,1.242882e-04,1.247902e-04,1.254366e-04,1.256325e-04,1.264075e-04,1.264667e-04,1.271179e-04,1.273844e-04,1.277659e-04,1.281953e-04,1.283541e-04,1.288848e-04,1.289049e-04,1.293603e-04,1.295184e-04,1.297828e-04,1.300410e-04,1.301546e-04,1.304776e-04,1.307541e-04,1.308330e-04,1.309859e-04,1.311117e-04,1.311750e-04,1.313181e-04,1.313232e-04,1.314325e-04,1.314563e-04,1.315045e-04,1.315305e-04,1.315409e-04,1.315444e-04,1.315434e-04,1.315135e-04,1.315017e-04,1.314529e-04,1.314060e-04,1.313629e-04,1.312606e-04,1.312450e-04,1.311007e-04,1.310687e-04,1.309311e-04,1.308334e-04,1.307377e-04,1.305576e-04,1.305215e-04,1.302839e-04,1.302440e-04,1.300260e-04,1.298953e-04,1.297489e-04,1.295140e-04,1.294535e-04,1.291411e-04,1.291025e-04,1.288125e-04,1.286631e-04,1.284687e-04,1.281978e-04,1.281106e-04,1.277391e-04,1.277088e-04,1.273549e-04,1.271980e-04,1.269590e-04,1.266671e-04,1.265521e-04,1.261350e-04,1.261181e-04,1.257082e-04,1.255524e-04,1.252726e-04,1.249717e-04,1.248288e-04,1.243773e-04,1.237708e-04,1.231535e-04,1.225265e-04,1.218910e-04,1.212481e-04,1.205989e-04,1.199444e-04,1.192854e-04,1.186228e-04,1.179575e-04,1.172901e-04,1.166215e-04,1.159522e-04,1.152829e-04,1.146142e-04,1.139466e-04,1.132807e-04,1.126168e-04,1.119555e-04,1.112972e-04,1.106421e-04,1.099908e-04,1.093434e-04,1.087003e-04
0.000000e+00,4.244879e-09,1.656104e-08,1.249699e-07,4.751163e-07,8.742301e-07,3.242315e-06,3.398522e-06,9.581812e-06,1.230991e-05,2.206081e-05,3.393650e-05,4.418682e-05,7.648770e-05,7.995514e-05,1.339077e-04,1.501061e-04,2.109964e-04,2.661933e-04,3.163773e-04,4.365511e-04,4.551214e-04,6.318749e-04,6.721469e-04,8.505532e-04,9.818622e-04,1.114128e-03,1.371664e-03,1.424520e-03,1.782580e-03,1.844295e-03,2.188126e-03,2.399354e-03,2.640019e-03,3.033591e-03,3.136268e-03,3.674139e-03,3.741327e-03,4.250283e-03,4.514936e-03,4.860859e-03,5.345344e-03,5.501656e-03,6.168218e-03,6.222519e-03,6.855952e-03,7.135936e-03,7.560229e-03,8.074981e-03,8.276477e-03,9.000258e-03,9.029305e-03,9.727326e-03,9.989098e-03,1.045369e-02,1.094531e-02,1.117564e-02,1.188977e-02,1.259304e-02,1.281533e-02,1.328270e-02,1.371583e-02,1.395637e-02,1.458614e-02,1.461200e-02,1.524784e-02,1.542212e-02,1.586246e-02,1.622056e-02,1.645472e-02,1.697909e-02,1.702374e-02,1.756888e-02,1.769611e-02,1.808973e-02,1.837070e-02,1.858607e-02,1.900253e-02,1.905785e-02,1.950521e-02,1.959177e-02,1.992839e-02,2.013901e-02,2.032776e-02,2.064518e-02,2.070380e-02,2.105705e-02,2.111150e-02,2.138814e-02,2.153939e-02,2.169775e-02,2.193044e-02,2.198658e-02,2.225540e-02,2.228635e-02,2.250497e-02,2.260889e-02,2.273608e-02,2.289987e-02,2.294953e-02,2.314612e-02,2.316114e-02,2.332662e-02,2.339450e-02,2.349183e-02,2.360174e-02,2.364250e-02,2.377940e-02,2.378460e-02,2.390325e-02,2.394478e-02,2.401476e-02,2.408389e-02,2.411462e-02,2.420350e-02,2.428204e-02,2.430508e-02,2.435084e-02,2.439005e-02,2.441051e-02,2.445972e-02,2.446161e-02,2.450467e-02,2.451535e-02,2.454020e-02,2.455812e-02,2.456870e-02,2.458911e-02,2.459064e-02,2.460644e-02,2.460937e-02,2.461654e-02,2.461985e-02,2.462133e-02,2.462145e-02,2.462118e-02,2.461646e-02,2.461499e-02,2.460748e-02,2.460125e-02,2.459458e-02,2.458093e-02,2.457805e-02,2.455818e-02,2.455470e-02,2.453521e-02,2.452317e-02,2.450942e-02,2.448689e-02,2.448102e-02,2.445024e-02,2.444640e-02,2.441729e-02,2.440215e-02,2.438236e-02,2.435460e-02,2.434563e-02,2.430728e-02,2.430415e-02,2.426746e-02,2.425115e-02,2.422632e-02,2.419597e-02,2.418401e-02,2.414065e-02,2.413890e-02,2.409637e-02,2.408023e-02,2.405128e-02,2.402021e-02,2.400549e-02,2.395910e-02,2.389710e-02,2.383441e-02,2.377122e-02,2.370768e-02,2.364394e-02,2.358015e-02,2.351641e-02,2.345284e-02,2.338954e-02,2.332661e-02,2.326411e-02,2.320212e-02,2.314071e-02,2.307994e-02,2.301984e-02,2.296048e-02,2.290188e-02,2.284409e-02,2.278713e-02,2.273102e-02,2.267579e-02,2.262147e-02,2.256805e-02,2.251556e-02
0.000000e+00,1.858767e-10,6.947203e-10,4.804271e-09,1.690971e-08,2.986003e-08,1.000451e-07,1.044496e-07,2.685622e-07,3.370727e-07,5.717691e-07,8.447054e-07,1.073286e-06,1.767307e-06,1.839998e-06,2.936343e-06,3.254154e-06,4.407783e-06,5.403103e-06,6.271328e-06,8.229647e-06,8.518954e-06,1.112702e-05,1.168923e-05,1.406458e-05,1.571128e-05,1.729828e-05,2.021886e-05,2.079452e-05,2.451992e-05,2.513503e-05,2.844122e-05,3.038325e-05,3.252509e-05,3.588675e-05,3.673807e-05,4.104680e-05,4.156872e-05,4.541838e-05,4.735350e-05,4.982085e-05,5.316857e-05,5.422374e-05,5.859856e-05,5.894653e-05,6.291916e-05,6.462687e-05,6.716207e-05,7.015716e-05,7.130665e-05,7.533524e-05,7.549375e-05,7.923306e-05,8.060189e-05,8.298820e-05,8.545537e-05,8.659139e-05,9.003584e-05,9.331698e-05,9.433198e-05,9.643221e-05,9.833843e-05,9.938067e-05,1.020549e-04,1.021630e-04,1.047810e-04,1.054850e-04,1.072376e-04,1.086356e-04,1.095365e-04,1.115160e-04,1.116821e-04,1.136793e-04,1.141371e-04,1.155334e-04,1.165112e-04,1.172498e-04,1.186510e-04,1.188344e-04,1.202927e-04,1.205697e-04,1.216307e-04,1.222807e-04,1.228540e-04,1.237971e-04,1.239683e-04,1.249791e-04,1.251316e-04,1.258918e-04,1.262966e-04,1.267117e-04,1.273041e-04,1.274437e-04,1.280928e-04,1.281653e-04,1.286636e-04,1.288911e-04,1.291605e-04,1.294915e-04,1.295880e-04,1.299500e-04,1.299762e-04,1.302504e-04,1.303542e-04,1.304930e-04,1.306338e-04,1.306813e-04,1.308186e-04,1.308230e-04,1.309081e-04,1.309292e-04,1.309528e-04,1.309592e-04,1.309557e-04,1.309193e-04,1.308464e-04,1.308157e-04,1.307392e-04,1.306537e-04,1.306001e-04,1.304386e-04,1.304313e-04,1.302348e-04,1.301751e-04,1.300126e-04,1.298677e-04,1.297665e-04,1.295205e-04,1.294982e-04,1.292094e-04,1.291372e-04,1.289016e-04,1.287215e-04,1.285763e-04,1.282766e-04,1.282348e-04,1.278785e-04,1.278055e-04,1.275085e-04,1.273111e-04,1.271260e-04,1.267959e-04,1.267321e-04,1.263278e-04,1.262623e-04,1.259142e-04,1.257125e-04,1.254920e-04,1.251487e-04,1.250621e-04,1.246254e-04,1.245726e-04,1.241826e-04,1.239861e-04,1.237345e-04,1.233907e-04,1.232816e-04,1.228246e-04,1.227879e-04,1.223641e-04,1.221790e-04,1.219007e-04,1.215655e-04,1.214348e-04,1.209670e-04,1.209483e-04,1.204977e-04,1.203285e-04,1.200274e-04,1.197072e-04,1.195565e-04,1.190852e-04,1.184634e-04,1.178425e-04,1.172231e-04,1.166060e-04,1.159916e-04,1.153806e-04,1.147733e-04,1.141702e-04,1.135717e-04,1.129782e-04,1.123899e-04,1.118072e-04,1.112303e-04,1.106594e-04,1.100947e-04,1.095364e-04,1.089846e-04,1.084395e-04,1.079013e-04,1.073699e-04,1.068455e-04,1.063281e-04,1.058178e-04,1.053147e-04
0.000000e+00,5.609999e-09,2.197911e-08,1.673235e-07,6.413705e-07,1.185561e-06,4.450873e-06,4.667678e-06,1.332940e-05,1.718657e-05,3.109168e-05,4.821222e-05,6.311389e-05,1.106307e-04,1.157726e-04,1.965371e-04,2.210093e-04,3.136601e-04,3.983234e-04,4.757009e-04,6.621080e-04,6.910244e-04,9.673952e-04,1.030618e-03,1.311687e-03,1.519529e-03,1.729683e-03,2.141130e-03,2.225940e-03,2.803696e-03,2.903845e-03,3.464825e-03,3.811978e-03,4.209818e-03,4.865657e-03,5.037808e-03,5.946624e-03,6.060964e-03,6.932875e-03,7.390234e-03,7.992062e-03,8.842491e-03,9.118716e-03,1.030654e-02,1.040401e-02,1.154859e-02,1.205893e-02,1.283740e-02,1.378993e-02,1.416517e-02,1.552395e-02,1.557884e-02,1.690573e-02,1.740727e-02,1.830259e-02,1.925713e-02,1.970684e-02,2.111111e-02,2.250840e-02,2.295298e-02,2.389219e-02,2.476793e-02,2.525646e-02,2.654271e-02,2.659573e-02,2.790510e-02,2.826575e-02,2.918020e-02,2.992721e-02,3.041725e-02,3.151896e-02,3.161304e-02,3.276485e-02,3.303449e-02,3.387052e-02,3.446887e-02,3.492832e-02,3.581860e-02,3.593701e-02,3.689574e-02,3.708145e-02,3.780405e-02,3.825638e-02,3.866180e-02,3.934337e-02,3.946918e-02,4.022664e-02,4.034324e-02,4.093487e-02,4.125759e-02,4.159477e-02,4.208860e-02,4.220740e-02,4.277400e-02,4.283896e-02,4.329591e-02,4.351175e-02,4.377456e-02,4.411034e-02,4.421148e-02,4.460825e-02,4.463830e-02,4.496649e-02,4.509937e-02,4.528785e-02,4.549732e-02,4.557399e-02,4.582656e-02,4.583599e-02,4.604722e-02,4.611916e-02,4.623759e-02,4.635056e-02,4.639928e-02,4.653385e-02,4.664284e-02,4.667256e-02,4.672774e-02,4.677010e-02,4.678998e-02,4.682972e-02,4.683097e-02,4.685203e-02,4.685454e-02,4.685447e-02,4.684751e-02,4.683952e-02,4.681142e-02,4.680836e-02,4.676213e-02,4.674892e-02,4.670191e-02,4.666246e-02,4.662872e-02,4.655437e-02,4.654354e-02,4.644730e-02,4.642680e-02,4.634087e-02,4.628178e-02,4.622509e-02,4.612118e-02,4.610074e-02,4.596856e-02,4.594673e-02,4.582925e-02,4.576004e-02,4.568347e-02,4.556260e-02,4.553183e-02,4.537494e-02,4.535578e-02,4.521332e-02,4.514084e-02,4.504749e-02,4.491895e-02,4.487794e-02,4.470512e-02,4.469116e-02,4.452944e-02,4.445845e-02,4.435130e-02,4.422172e-02,4.417106e-02,4.398908e-02,4.398177e-02,4.380567e-02,4.373935e-02,4.362112e-02,4.349512e-02,4.343572e-02,4.324971e-02,4.300368e-02,4.275751e-02,4.251167e-02,4.226656e-02,4.202255e-02,4.177997e-02,4.153912e-02,4.130026e-02,4.106362e-02,4.082940e-02,4.059779e-02,4.036895e-02,4.014301e-02,3.992009e-02,3.970030e-02,3.948372e-02,3.927042e-02,3.906047e-02,3.885390e-02,3.865076e-02,3.845108e-02,3.825486e-02,3.806212e-02,3.787287e-02
0.000000e+00,2.150320e-09,4.923771e-09,1.693528e-08,3.853619e-08,5.622664e-08,1.275951e-07,1.314361e-07,2.540738e-07,2.985428e-07,4.362798e-07,5.795963e-07,6.911245e-07,1.001557e-06,1.032355e-06,1.473052e-06,1.594800e-06,2.022632e-06,2.378996e-06,2.682775e-06,3.348796e-06,3.445208e-06,4.294112e-06,4.472655e-06,5.211258e-06,5.709455e-06,6.179823e-06,7.022695e-06,7.185613e-06,8.216861e-06,8.383539e-06,9.263652e-06,9.769082e-06,1.031745e-05,1.116047e-05,1.137077e-05,1.241706e-05,1.254186e-05,1.345057e-05,1.389996e-05,1.446633e-05,1.522379e-05,1.546009e-05,1.642830e-05,1.650457e-05,1.736809e-05,1.773551e-05,1.827715e-05,1.891165e-05,1.915375e-05,1.999661e-05,2.002961e-05,2.080491e-05,2.108734e-05,2.157817e-05,2.208388e-05,2.231624e-05,2.301920e-05,2.368739e-05,2.389394e-05,2.432130e-05,2.470929e-05,2.492156e-05,2.546685e-05,2.548892e-05,2.602423e-05,2.616850e-05,2.652839e-05,2.681632e-05,2.700233e-05,2.741253e-05,2.744705e-05,2.786355e-05,2.795942e-05,2.825282e-05,2.845931e-05,2.861589e-05,2.891451e-05,2.895376e-05,2.926742e-05,2.932733e-05,2.955785e-05,2.970001e-05,2.982601e-05,3.003474e-05,3.007284e-05,3.029927e-05,3.033366e-05,3.050618e-05,3.059882e-05,3.069444e-05,3.083220e-05,3.086490e-05,3.101838e-05,3.103569e-05,3.115566e-05,3.121113e-05,3.127750e-05,3.136024e-05,3.138466e-05,3.147783e-05,3.148470e-05,3.155771e-05,3.158609e-05,3.162495e-05,3.166590e-05,3.168020e-05,3.172406e-05,3.172558e-05,3.175712e-05,3.176649e-05,3.177995e-05,3.178991e-05,3.179310e-05,3.179707e-05,3.179238e-05,3.178913e-05,3.177951e-05,3.176718e-05,3.175890e-05,3.173226e-05,3.173101e-05,3.169625e-05,3.168535e-05,3.165504e-05,3.162736e-05,3.160774e-05,3.155919e-05,3.155475e-05,3.149640e-05,3.148163e-05,3.143303e-05,3.139548e-05,3.136498e-05,3.130146e-05,3.129254e-05,3.121602e-05,3.120025e-05,3.113569e-05,3.109250e-05,3.105182e-05,3.097882e-05,3.096467e-05,3.087447e-05,3.085978e-05,3.078147e-05,3.073590e-05,3.068589e-05,3.060770e-05,3.058793e-05,3.048779e-05,3.047564e-05,3.038568e-05,3.034016e-05,3.028176e-05,3.020168e-05,3.017621e-05,3.006919e-05,3.006057e-05,2.996087e-05,2.991720e-05,2.985138e-05,2.977191e-05,2.974087e-05,2.962948e-05,2.962501e-05,2.951732e-05,2.947678e-05,2.940452e-05,2.932751e-05,2.929120e-05,2.917745e-05,2.902682e-05,2.887586e-05,2.872475e-05,2.857370e-05,2.842287e-05,2.827243e-05,2.812251e-05,2.797327e-05,2.782482e-05,2.767728e-05,2.753075e-05,2.738533e-05,2.724110e-05,2.709816e-05,2.695656e-05,2.681638e-05,2.667766e-05,2.654047e-05,2.640485e-05,2.627084e-05,2.613848e-05,2.600779e-05,2.587881e-05,2.575155e-05
0.000000e+00,1.767075e-09,4.044212e-09,1.385774e-08,3.139882e-08,4.570826e-08,1.032139e-07,1.063038e-07,2.049433e-07,2.407458e-07,3.518554e-07,4.677759e-07,5.580853e-07,8.086744e-07,8.333843e-07,1.181313e-06,1.275117e-06,1.595623e-06,1.851946e-06,2.063556e-06,2.509186e-06,2.571947e-06,3.109957e-06,3.220325e-06,3.668980e-06,3.965572e-06,4.241899e-06,4.729348e-06,4.822533e-06,5.405358e-06,5.498474e-06,5.985409e-06,6.261528e-06,6.558264e-06,7.008752e-06,7.120060e-06,7.667509e-06,7.732104e-06,8.197897e-06,8.425288e-06,8.709067e-06,9.083677e-06,9.199380e-06,9.667676e-06,9.704163e-06,1.011321e-05,1.028496e-05,1.053562e-05,1.082537e-05,1.093481e-05,1.131098e-05,1.132555e-05,1.166450e-05,1.178633e-05,1.199592e-05,1.220899e-05,1.230590e-05,1.259518e-05,1.286457e-05,1.294671e-05,1.311491e-05,1.326554e-05,1.334708e-05,1.355366e-05,1.356194e-05,1.376034e-05,1.381307e-05,1.394315e-05,1.404569e-05,1.411119e-05,1.425343e-05,1.426526e-05,1.440613e-05,1.443806e-05,1.453454e-05,1.460128e-05,1.465121e-05,1.474471e-05,1.475682e-05,1.485200e-05,1.486984e-05,1.493738e-05,1.497809e-05,1.501352e-05,1.507076e-05,1.508099e-05,1.514031e-05,1.514908e-05,1.519196e-05,1.521417e-05,1.523642e-05,1.526710e-05,1.527412e-05,1.530547e-05,1.530883e-05,1.533088e-05,1.534027e-05,1.535070e-05,1.536225e-05,1.536529e-05,1.537498e-05,1.537555e-05,1.538007e-05,1.538089e-05,1.538086e-05,1.537892e-05,1.537762e-05,1.537060e-05,1.537025e-05,1.536006e-05,1.535545e-05,1.534623e-05,1.533505e-05,1.532931e-05,1.530952e-05,1.528704e-05,1.527931e-05,1.526205e-05,1.524483e-05,1.523474e-05,1.520647e-05,1.520525e-05,1.517374e-05,1.516457e-05,1.514035e-05,1.511947e-05,1.510522e-05,1.507146e-05,1.506847e-05,1.503022e-05,1.502083e-05,1.499059e-05,1.496783e-05,1.494968e-05,1.491270e-05,1.490759e-05,1.486442e-05,1.485566e-05,1.482025e-05,1.479692e-05,1.477517e-05,1.473666e-05,1.472926e-05,1.468259e-05,1.467506e-05,1.463524e-05,1.461228e-05,1.458726e-05,1.454848e-05,1.453873e-05,1.448970e-05,1.448378e-05,1.444022e-05,1.441833e-05,1.439036e-05,1.435223e-05,1.434015e-05,1.428965e-05,1.428560e-05,1.423890e-05,1.421854e-05,1.418794e-05,1.415114e-05,1.413681e-05,1.408555e-05,1.408350e-05,1.403419e-05,1.401568e-05,1.398276e-05,1.394777e-05,1.393130e-05,1.387984e-05,1.381194e-05,1.374414e-05,1.367649e-05,1.360904e-05,1.354183e-05,1.347492e-05,1.340833e-05,1.334210e-05,1.327627e-05,1.321086e-05,1.314591e-05,1.308143e-05,1.301746e-05,1.295400e-05,1.289108e-05,1.282872e-05,1.276692e-05,1.270572e-05,1.264510e-05,1.258510e-05,1.252570e-05,1.246694e-05,1.240880e-05,1.235131e-05
0.000000e+00,2.289975e-09,5.254458e-09,1.814164e-08,4.148358e-08,6.075348e-08,1.398605e-07,1.441787e-07,2.851389e-07,3.376548e-07,5.045794e-07,6.842426e-07,8.275000e-07,1.236870e-06,1.278011e-06,1.867930e-06,2.029646e-06,2.588039e-06,3.039417e-06,3.414360e-06,4.208939e-06,4.321290e-06,5.288173e-06,5.487309e-06,6.299535e-06,6.838969e-06,7.343465e-06,8.238354e-06,8.410205e-06,9.491305e-06,9.665097e-06,1.057920e-05,1.110176e-05,1.166703e-05,1.253307e-05,1.274861e-05,1.381845e-05,1.394580e-05,1.487172e-05,1.532882e-05,1.590429e-05,1.667307e-05,1.691274e-05,1.789426e-05,1.797155e-05,1.884663e-05,1.921902e-05,1.976819e-05,2.041195e-05,2.065776e-05,2.151458e-05,2.154816e-05,2.233826e-05,2.262664e-05,2.312870e-05,2.364728e-05,2.388606e-05,2.461071e-05,2.530318e-05,2.551809e-05,2.596414e-05,2.637097e-05,2.659436e-05,2.717123e-05,2.719468e-05,2.776600e-05,2.792090e-05,2.830924e-05,2.862210e-05,2.882534e-05,2.927701e-05,2.931526e-05,2.977996e-05,2.988784e-05,3.022039e-05,3.045678e-05,3.063749e-05,3.098597e-05,3.103218e-05,3.140536e-05,3.147750e-05,3.175793e-05,3.193340e-05,3.209073e-05,3.235562e-05,3.240460e-05,3.270033e-05,3.274602e-05,3.297872e-05,3.310641e-05,3.324052e-05,3.343849e-05,3.348644e-05,3.371719e-05,3.374389e-05,3.393344e-05,3.402416e-05,3.413583e-05,3.428077e-05,3.432500e-05,3.450153e-05,3.451513e-05,3.466601e-05,3.472855e-05,3.481897e-05,3.492228e-05,3.496096e-05,3.509247e-05,3.509752e-05,3.521398e-05,3.525538e-05,3.532598e-05,3.539692e-05,3.542889e-05,3.552315e-05,3.560917e-05,3.563502e-05,3.568733e-05,3.573341e-05,3.575801e-05,3.581916e-05,3.582157e-05,3.587836e-05,3.589309e-05,3.592869e-05,3.595592e-05,3.597288e-05,3.600838e-05,3.601124e-05,3.604405e-05,3.605113e-05,3.607158e-05,3.608480e-05,3.609410e-05,3.610997e-05,3.611186e-05,3.612510e-05,3.612722e-05,3.613404e-05,3.613706e-05,3.613891e-05,3.614000e-05,3.613991e-05,3.613725e-05,3.613650e-05,3.613111e-05,3.612699e-05,3.612169e-05,3.611190e-05,3.610915e-05,3.609367e-05,3.609162e-05,3.607539e-05,3.606651e-05,3.605448e-05,3.603692e-05,3.603108e-05,3.600533e-05,3.600317e-05,3.597736e-05,3.596558e-05,3.594730e-05,3.592443e-05,3.591527e-05,3.588138e-05,3.587999e-05,3.584576e-05,3.583252e-05,3.580849e-05,3.578227e-05,3.576969e-05,3.572946e-05,3.567429e-05,3.561698e-05,3.555772e-05,3.549667e-05,3.543401e-05,3.536990e-05,3.530448e-05,3.523789e-05,3.517026e-05,3.510171e-05,3.503237e-05,3.496234e-05,3.489171e-05,3.482059e-05,3.474907e-05,3.467722e-05,3.460513e-05,3.453287e-05,3.446052e-05,3.438812e-05,3.431576e-05,3.424347e-05,3.417132e-05,3.409935e-05
0.000000e+00,1.369714e-09,3.294847e-09,1.197465e-08,2.809206e-08,4.156860e-08,9.769812e-08,1.007876e-07,2.025278e-07,2.407553e-07,3.630186e-07,4.955536e-07,6.017866e-07,9.077993e-07,9.387498e-07,1.386231e-06,1.509967e-06,1.939714e-06,2.288909e-06,2.579550e-06,3.195826e-06,3.282934e-06,4.031812e-06,4.185858e-06,4.813530e-06,5.229900e-06,5.619025e-06,6.308796e-06,6.441209e-06,7.274043e-06,7.407914e-06,8.112083e-06,8.514703e-06,8.950313e-06,9.617914e-06,9.784111e-06,1.060927e-05,1.070752e-05,1.142203e-05,1.177486e-05,1.221912e-05,1.281269e-05,1.299774e-05,1.375558e-05,1.381525e-05,1.449077e-05,1.477817e-05,1.520188e-05,1.569835e-05,1.588784e-05,1.654792e-05,1.657378e-05,1.718170e-05,1.740338e-05,1.778900e-05,1.818685e-05,1.836986e-05,1.892448e-05,1.945322e-05,1.961703e-05,1.995656e-05,2.026563e-05,2.043506e-05,2.087163e-05,2.088935e-05,2.132012e-05,2.143662e-05,2.172810e-05,2.196225e-05,2.211401e-05,2.245021e-05,2.247861e-05,2.282265e-05,2.290224e-05,2.314688e-05,2.332008e-05,2.345206e-05,2.370544e-05,2.373893e-05,2.400819e-05,2.406000e-05,2.426058e-05,2.438537e-05,2.449676e-05,2.468313e-05,2.471742e-05,2.492322e-05,2.495480e-05,2.511477e-05,2.520183e-05,2.529269e-05,2.542561e-05,2.545757e-05,2.560998e-05,2.562746e-05,2.575047e-05,2.580865e-05,2.587958e-05,2.597039e-05,2.599779e-05,2.610562e-05,2.611381e-05,2.620353e-05,2.624002e-05,2.629197e-05,2.635003e-05,2.637137e-05,2.644216e-05,2.644482e-05,2.650473e-05,2.652532e-05,2.655948e-05,2.659242e-05,2.660675e-05,2.664692e-05,2.668032e-05,2.668963e-05,2.670727e-05,2.672129e-05,2.672809e-05,2.674258e-05,2.674307e-05,2.675250e-05,2.675418e-05,2.675665e-05,2.675671e-05,2.675578e-05,2.675077e-05,2.675015e-05,2.673999e-05,2.673690e-05,2.672553e-05,2.671564e-05,2.670699e-05,2.668748e-05,2.668459e-05,2.665852e-05,2.665288e-05,2.662898e-05,2.661230e-05,2.659614e-05,2.656615e-05,2.656019e-05,2.652130e-05,2.651482e-05,2.647962e-05,2.645867e-05,2.643531e-05,2.639807e-05,2.638852e-05,2.633938e-05,2.633334e-05,2.628804e-05,2.626478e-05,2.623461e-05,2.619269e-05,2.617923e-05,2.612201e-05,2.611735e-05,2.606306e-05,2.603902e-05,2.600249e-05,2.595794e-05,2.594040e-05,2.587690e-05,2.587433e-05,2.581207e-05,2.578842e-05,2.574600e-05,2.570041e-05,2.567878e-05,2.561049e-05,2.551885e-05,2.542564e-05,2.533104e-05,2.523520e-05,2.513824e-05,2.504032e-05,2.494155e-05,2.484204e-05,2.474192e-05,2.464129e-05,2.454023e-05,2.443885e-05,2.433723e-05,2.423546e-05,2.413359e-05,2.403172e-05,2.392989e-05,2.382818e-05,2.372665e-05,2.362534e-05,2.352431e-05,2.342361e-05,2.332328e-05,2.322336e-05
0.000000e+00,6.211428e-10,1.496140e-09,5.420020e-09,1.261615e-08,1.855429e-08,4.265164e-08,4.395197e-08,8.556301e-08,1.006844e-07,1.476091e-07,1.965680e-07,2.347602e-07,3.414846e-07,3.521054e-07,5.046316e-07,5.469205e-07,6.958340e-07,8.200016e-07,9.257671e-07,1.156976e-06,1.190348e-06,1.483085e-06,1.544419e-06,1.797444e-06,1.967607e-06,2.128004e-06,2.415037e-06,2.470486e-06,2.821440e-06,2.878178e-06,3.177938e-06,3.350250e-06,3.537369e-06,3.825418e-06,3.897349e-06,4.255667e-06,4.298455e-06,4.610286e-06,4.764659e-06,4.959342e-06,5.219869e-06,5.301165e-06,5.634287e-06,5.660521e-06,5.957447e-06,6.083681e-06,6.269598e-06,6.487047e-06,6.569894e-06,6.857688e-06,6.868933e-06,7.132519e-06,7.228223e-06,7.394088e-06,7.564295e-06,7.642241e-06,7.876959e-06,8.098334e-06,8.166384e-06,8.306550e-06,8.433020e-06,8.501868e-06,8.677543e-06,8.684616e-06,8.855171e-06,8.900797e-06,9.013946e-06,9.103740e-06,9.161383e-06,9.287405e-06,9.297940e-06,9.424088e-06,9.452868e-06,9.540302e-06,9.601220e-06,9.647056e-06,9.733547e-06,9.744819e-06,9.834055e-06,9.850919e-06,9.915215e-06,9.954372e-06,9.988734e-06,1.004489e-05,1.005503e-05,1.011451e-05,1.012342e-05,1.016755e-05,1.019084e-05,1.021454e-05,1.024800e-05,1.025582e-05,1.029173e-05,1.029570e-05,1.032260e-05,1.033466e-05,1.034873e-05,1.036559e-05,1.037040e-05,1.038789e-05,1.038912e-05,1.040146e-05,1.040585e-05,1.041136e-05,1.041634e-05,1.041781e-05,1.042105e-05,1.042111e-05,1.042126e-05,1.042064e-05,1.041866e-05,1.041537e-05,1.041341e-05,1.040571e-05,1.039570e-05,1.039204e-05,1.038355e-05,1.037472e-05,1.036940e-05,1.035407e-05,1.035339e-05,1.033565e-05,1.033039e-05,1.031629e-05,1.030396e-05,1.029544e-05,1.027503e-05,1.027320e-05,1.024968e-05,1.024385e-05,1.022496e-05,1.021064e-05,1.019915e-05,1.017559e-05,1.017232e-05,1.014456e-05,1.013890e-05,1.011594e-05,1.010074e-05,1.008653e-05,1.006127e-05,1.005640e-05,1.002561e-05,1.002063e-05,9.994226e-06,9.978965e-06,9.962298e-06,9.936400e-06,9.929880e-06,9.897022e-06,9.893051e-06,9.863770e-06,9.849026e-06,9.830168e-06,9.804422e-06,9.796258e-06,9.762078e-06,9.759333e-06,9.727665e-06,9.713843e-06,9.693054e-06,9.668029e-06,9.658276e-06,9.623363e-06,9.621964e-06,9.588342e-06,9.575713e-06,9.553241e-06,9.529339e-06,9.518084e-06,9.482896e-06,9.436436e-06,9.390008e-06,9.343654e-06,9.297416e-06,9.251329e-06,9.205428e-06,9.159744e-06,9.114305e-06,9.069136e-06,9.024262e-06,8.979703e-06,8.935480e-06,8.891610e-06,8.848108e-06,8.804990e-06,8.762268e-06,8.719954e-06,8.678058e-06,8.636589e-06,8.595555e-06,8.554963e-06,8.514819e-06,8.475129e-06,8.435897e-06
0.000000e+00,2.689575e-09,6.179596e-09,2.137426e-08,4.883271e-08,7.137751e-08,1.624788e-07,1.673823e-07,3.236870e-07,3.801895e-07,5.544837e-07,7.346515e-07,8.740392e-07,1.258560e-06,1.296455e-06,1.834476e-06,1.981936e-06,2.497404e-06,2.925077e-06,3.289773e-06,4.094648e-06,4.212157e-06,5.262930e-06,5.488265e-06,6.439377e-06,7.099676e-06,7.738034e-06,8.920262e-06,9.154646e-06,1.068408e-05,1.093888e-05,1.232032e-05,1.314165e-05,1.405643e-05,1.551209e-05,1.588474e-05,1.779687e-05,1.803154e-05,1.978398e-05,2.067971e-05,2.183691e-05,2.343540e-05,2.394631e-05,2.610284e-05,2.627713e-05,2.829733e-05,2.918375e-05,3.052087e-05,3.213501e-05,3.276495e-05,3.502149e-05,3.511190e-05,3.728298e-05,3.809697e-05,3.954245e-05,4.107446e-05,4.179353e-05,4.403044e-05,4.624797e-05,4.695272e-05,4.844152e-05,4.983091e-05,5.060702e-05,5.265618e-05,5.274089e-05,5.484007e-05,5.542126e-05,5.690193e-05,5.812018e-05,5.892423e-05,6.074824e-05,6.090515e-05,6.284316e-05,6.330175e-05,6.473705e-05,6.577800e-05,6.658589e-05,6.817504e-05,6.838898e-05,7.014583e-05,7.049162e-05,7.185615e-05,7.272707e-05,7.351980e-05,7.488122e-05,7.513681e-05,7.670731e-05,7.695429e-05,7.823154e-05,7.894684e-05,7.970986e-05,8.085974e-05,8.114269e-05,8.253052e-05,8.269406e-05,8.387390e-05,8.445106e-05,8.517345e-05,8.613218e-05,8.642980e-05,8.764364e-05,8.773894e-05,8.881569e-05,8.927297e-05,8.994668e-05,9.073599e-05,9.103737e-05,9.208852e-05,9.212975e-05,9.310092e-05,9.345605e-05,9.407536e-05,9.471670e-05,9.501264e-05,9.591355e-05,9.677890e-05,9.704843e-05,9.760949e-05,9.812320e-05,9.840612e-05,9.913967e-05,9.916958e-05,9.990066e-05,1.000997e-04,1.006001e-04,1.010050e-04,1.012688e-04,1.018574e-04,1.019074e-04,1.025167e-04,1.026587e-04,1.030975e-04,1.034106e-04,1.036505e-04,1.041147e-04,1.041764e-04,1.046760e-04,1.047728e-04,1.051499e-04,1.053864e-04,1.055988e-04,1.059572e-04,1.060235e-04,1.064247e-04,1.064867e-04,1.068029e-04,1.069764e-04,1.071588e-04,1.074279e-04,1.074931e-04,1.078064e-04,1.078426e-04,1.080993e-04,1.082218e-04,1.083724e-04,1.085670e-04,1.086263e-04,1.088615e-04,1.088796e-04,1.090788e-04,1.091607e-04,1.092785e-04,1.094117e-04,1.094612e-04,1.096276e-04,1.096339e-04,1.097780e-04,1.098283e-04,1.099130e-04,1.099962e-04,1.100331e-04,1.101388e-04,1.102570e-04,1.103519e-04,1.104247e-04,1.104762e-04,1.105074e-04,1.105193e-04,1.105128e-04,1.104886e-04,1.104478e-04,1.103910e-04,1.103192e-04,1.102329e-04,1.101330e-04,1.100202e-04,1.098951e-04,1.097584e-04,1.096108e-04,1.094528e-04,1.092851e-04,1.091081e-04,1.089225e-04,1.087288e-04,1.085274e-04,1.083189e-04
0.000000e+00,5.539178e-09,2.179730e-08,1.674916e-07,6.476543e-07,1.203084e-06,4.576562e-06,4.802136e-06,1.390476e-05,1.799870e-05,3.289256e-05,5.144236e-05,6.773131e-05,1.203413e-04,1.260860e-04,2.173995e-04,2.454288e-04,3.528794e-04,4.527439e-04,5.452809e-04,7.726081e-04,8.083781e-04,1.156147e-03,1.237052e-03,1.601859e-03,1.876325e-03,2.157301e-03,2.715893e-03,2.832253e-03,3.634193e-03,3.774660e-03,4.568187e-03,5.064282e-03,5.636904e-03,6.589199e-03,6.840712e-03,8.177833e-03,8.347088e-03,9.644527e-03,1.032956e-02,1.123530e-02,1.252300e-02,1.294313e-02,1.475970e-02,1.490944e-02,1.667562e-02,1.746754e-02,1.868068e-02,2.017345e-02,2.076404e-02,2.291446e-02,2.300170e-02,2.512047e-02,2.592603e-02,2.737059e-02,2.892004e-02,2.965341e-02,3.195782e-02,3.427305e-02,3.501451e-02,3.658879e-02,3.806661e-02,3.889530e-02,4.109236e-02,4.118342e-02,4.344466e-02,4.407191e-02,4.567119e-02,4.698746e-02,4.785590e-02,4.982336e-02,4.999237e-02,5.207487e-02,5.256607e-02,5.409838e-02,5.520412e-02,5.605853e-02,5.772808e-02,5.795160e-02,5.977449e-02,6.013041e-02,6.152467e-02,6.240535e-02,6.320016e-02,6.454876e-02,6.479949e-02,6.632168e-02,6.655802e-02,6.776616e-02,6.843185e-02,6.913278e-02,7.017013e-02,7.042173e-02,7.163356e-02,7.177383e-02,7.276907e-02,7.324480e-02,7.382937e-02,7.458569e-02,7.481576e-02,7.572976e-02,7.579980e-02,7.657305e-02,7.689098e-02,7.734748e-02,7.786352e-02,7.805499e-02,7.869766e-02,7.872205e-02,7.927763e-02,7.947149e-02,7.979709e-02,8.011692e-02,8.025832e-02,8.066357e-02,8.101517e-02,8.111673e-02,8.131542e-02,8.148168e-02,8.156661e-02,8.176372e-02,8.177103e-02,8.193095e-02,8.196805e-02,8.204859e-02,8.209979e-02,8.212614e-02,8.216393e-02,8.216575e-02,8.216952e-02,8.216532e-02,8.213949e-02,8.210866e-02,8.207765e-02,8.199846e-02,8.198594e-02,8.186622e-02,8.183908e-02,8.172031e-02,8.163467e-02,8.154995e-02,8.138918e-02,8.135682e-02,8.114255e-02,8.110640e-02,8.090868e-02,8.078990e-02,8.065670e-02,8.044305e-02,8.038805e-02,8.010408e-02,8.006904e-02,7.980610e-02,7.967087e-02,7.949534e-02,7.925136e-02,7.917300e-02,7.884020e-02,7.881315e-02,7.849800e-02,7.835872e-02,7.814742e-02,7.789035e-02,7.778942e-02,7.742490e-02,7.741020e-02,7.705474e-02,7.692025e-02,7.667973e-02,7.642235e-02,7.630064e-02,7.591820e-02,7.540938e-02,7.489733e-02,7.438339e-02,7.386877e-02,7.335458e-02,7.284185e-02,7.233148e-02,7.182432e-02,7.132110e-02,7.082252e-02,7.032917e-02,6.984159e-02,6.936026e-02,6.888559e-02,6.841795e-02,6.795766e-02,6.750499e-02,6.706016e-02,6.662337e-02,6.619477e-02,6.577449e-02,6.536262e-02,6.495922e-02,6.456434e-02
0.000000e+00,2.178768e-10,7.487139e-10,4.391490e-09,1.344452e-08,2.207989e-08,6.208616e-08,6.438141e-08,1.413600e-07,1.703660e-07,2.619925e-07,3.588864e-07,4.348163e-07,6.468329e-07,6.678479e-07,9.663605e-07,1.047753e-06,1.328587e-06,1.555467e-06,1.743509e-06,2.138916e-06,2.194330e-06,2.664288e-06,2.759334e-06,3.140083e-06,3.386537e-06,3.612267e-06,4.001273e-06,4.074309e-06,4.521538e-06,4.591472e-06,4.950431e-06,5.148958e-06,5.358250e-06,5.667902e-06,5.742897e-06,6.102871e-06,6.144360e-06,6.437247e-06,6.576149e-06,6.745657e-06,6.962752e-06,7.028242e-06,7.285586e-06,7.305109e-06,7.518641e-06,7.605331e-06,7.728639e-06,7.866355e-06,7.917005e-06,8.085287e-06,8.091623e-06,8.235085e-06,8.284796e-06,8.367998e-06,8.449530e-06,8.485581e-06,8.589316e-06,8.680593e-06,8.707382e-06,8.760688e-06,8.806622e-06,8.830764e-06,8.889590e-06,8.891875e-06,8.944969e-06,8.958516e-06,8.990889e-06,9.015312e-06,9.030382e-06,9.061608e-06,9.064108e-06,9.092654e-06,9.098793e-06,9.116534e-06,9.128040e-06,9.136201e-06,9.150341e-06,9.152055e-06,9.164451e-06,9.166544e-06,9.173703e-06,9.177365e-06,9.180088e-06,9.183414e-06,9.183849e-06,9.185200e-06,9.185206e-06,9.184337e-06,9.183190e-06,9.181438e-06,9.177761e-06,9.176663e-06,9.170156e-06,9.169265e-06,9.162046e-06,9.158001e-06,9.152453e-06,9.144236e-06,9.141484e-06,9.129243e-06,9.128212e-06,9.115823e-06,9.110144e-06,9.101310e-06,9.090228e-06,9.085782e-06,9.069314e-06,9.068637e-06,9.051974e-06,9.045531e-06,9.033828e-06,9.021058e-06,9.014935e-06,8.995353e-06,8.975133e-06,8.968536e-06,8.954325e-06,8.940721e-06,8.932976e-06,8.912012e-06,8.911129e-06,8.888826e-06,8.882505e-06,8.866106e-06,8.852289e-06,8.843005e-06,8.821446e-06,8.819559e-06,8.795799e-06,8.790053e-06,8.771756e-06,8.758179e-06,8.747459e-06,8.725890e-06,8.722936e-06,8.698213e-06,8.693247e-06,8.673314e-06,8.660305e-06,8.648262e-06,8.627116e-06,8.623079e-06,8.597786e-06,8.593730e-06,8.572402e-06,8.560192e-06,8.546947e-06,8.526541e-06,8.521436e-06,8.495887e-06,8.492819e-06,8.470315e-06,8.459060e-06,8.444735e-06,8.425298e-06,8.419161e-06,8.393606e-06,8.391563e-06,8.368083e-06,8.357885e-06,8.342603e-06,8.324290e-06,8.317177e-06,8.291816e-06,8.290803e-06,8.266529e-06,8.257446e-06,8.241326e-06,8.224240e-06,8.216215e-06,8.191205e-06,8.158358e-06,8.125716e-06,8.093295e-06,8.061107e-06,8.029166e-06,7.997484e-06,7.966070e-06,7.934936e-06,7.904088e-06,7.873536e-06,7.843286e-06,7.813346e-06,7.783719e-06,7.754412e-06,7.725429e-06,7.696774e-06,7.668450e-06,7.640460e-06,7.612807e-06,7.585491e-06,7.558515e-06,7.531879e-06,7.505586e-06,7.479633e-06
0.000000e+00,1.481146e-09,5.837544e-09,4.500424e-08,1.745625e-07,3.248336e-07,1.241425e-06,1.302865e-06,3.790727e-06,4.913435e-06,9.010384e-06,1.413233e-05,1.864281e-05,3.326851e-05,3.486983e-05,6.040585e-05,6.827002e-05,9.850230e-05,1.266978e-04,1.528917e-04,2.174589e-04,2.276428e-04,3.269379e-04,3.501037e-04,4.548296e-04,5.338865e-04,6.150349e-04,7.769633e-04,8.107904e-04,1.044766e-03,1.085895e-03,1.319020e-03,1.465415e-03,1.634990e-03,1.918372e-03,1.993495e-03,2.394767e-03,2.445784e-03,2.838479e-03,3.046958e-03,3.323789e-03,3.719658e-03,3.849391e-03,4.413563e-03,4.460303e-03,5.014225e-03,5.264183e-03,5.648996e-03,6.125682e-03,6.315245e-03,7.010148e-03,7.038499e-03,7.730741e-03,7.995856e-03,8.473963e-03,8.990696e-03,9.236708e-03,1.001586e-02,1.080832e-02,1.106422e-02,1.161106e-02,1.212884e-02,1.242112e-02,1.320304e-02,1.323567e-02,1.405199e-02,1.428051e-02,1.486748e-02,1.535537e-02,1.567973e-02,1.642217e-02,1.648645e-02,1.728554e-02,1.747596e-02,1.807504e-02,1.851230e-02,1.885317e-02,1.952723e-02,1.961831e-02,2.036901e-02,2.051730e-02,2.110396e-02,2.147953e-02,2.182201e-02,2.241137e-02,2.252215e-02,2.320351e-02,2.331074e-02,2.386536e-02,2.417592e-02,2.450707e-02,2.500560e-02,2.512815e-02,2.572821e-02,2.579879e-02,2.630695e-02,2.655480e-02,2.686419e-02,2.727324e-02,2.739981e-02,2.791378e-02,2.795396e-02,2.840614e-02,2.859705e-02,2.887699e-02,2.920277e-02,2.932650e-02,2.975488e-02,2.977158e-02,3.016241e-02,3.030407e-02,3.054939e-02,3.080097e-02,3.091616e-02,3.126310e-02,3.159061e-02,3.169139e-02,3.189914e-02,3.208683e-02,3.218912e-02,3.245048e-02,3.246102e-02,3.271532e-02,3.278344e-02,3.295253e-02,3.308685e-02,3.317313e-02,3.336185e-02,3.337763e-02,3.356655e-02,3.360963e-02,3.374040e-02,3.383136e-02,3.389968e-02,3.402821e-02,3.404491e-02,3.417660e-02,3.420136e-02,3.429525e-02,3.435196e-02,3.440136e-02,3.448115e-02,3.449541e-02,3.457790e-02,3.459005e-02,3.464929e-02,3.467976e-02,3.471006e-02,3.475133e-02,3.476066e-02,3.480153e-02,3.480580e-02,3.483312e-02,3.484419e-02,3.485585e-02,3.486745e-02,3.487013e-02,3.487637e-02,3.487654e-02,3.487497e-02,3.487235e-02,3.486629e-02,3.485576e-02,3.485072e-02,3.482862e-02,3.482760e-02,3.480032e-02,3.478868e-02,3.476617e-02,3.473977e-02,3.472650e-02,3.468161e-02,3.461488e-02,3.454027e-02,3.445841e-02,3.436990e-02,3.427533e-02,3.417522e-02,3.407011e-02,3.396048e-02,3.384680e-02,3.372949e-02,3.360899e-02,3.348566e-02,3.335988e-02,3.323199e-02,3.310232e-02,3.297116e-02,3.283880e-02,3.270551e-02,3.257154e-02,3.243710e-02,3.230243e-02,3.216772e-02,3.203315e-02,3.189891e-02
0.000000e+00,1.201977e-09,2.739891e-09,9.331912e-09,2.103670e-08,3.053092e-08,6.829544e-08,7.030885e-08,1.338611e-07,1.566189e-07,2.263797e-07,2.980343e-07,3.532737e-07,5.051558e-07,5.200964e-07,7.317770e-07,7.896216e-07,9.909240e-07,1.156457e-06,1.296220e-06,1.599213e-06,1.642767e-06,2.024170e-06,2.104078e-06,2.434283e-06,2.657101e-06,2.867825e-06,3.246797e-06,3.320295e-06,3.787721e-06,3.863650e-06,4.266440e-06,4.499209e-06,4.752970e-06,5.145555e-06,5.243948e-06,5.736124e-06,5.795116e-06,6.226378e-06,6.440713e-06,6.711758e-06,7.075684e-06,7.189511e-06,7.657137e-06,7.694041e-06,8.112412e-06,8.290619e-06,8.553392e-06,8.861113e-06,8.978436e-06,9.386212e-06,9.402148e-06,9.775685e-06,9.911262e-06,1.014610e-05,1.038684e-05,1.049698e-05,1.082806e-05,1.113932e-05,1.123475e-05,1.143090e-05,1.160733e-05,1.170312e-05,1.194665e-05,1.195642e-05,1.219136e-05,1.225393e-05,1.240855e-05,1.253065e-05,1.260872e-05,1.277845e-05,1.279257e-05,1.296087e-05,1.299904e-05,1.311443e-05,1.319429e-05,1.325406e-05,1.336604e-05,1.338055e-05,1.349465e-05,1.351605e-05,1.359712e-05,1.364604e-05,1.368868e-05,1.375766e-05,1.377002e-05,1.384180e-05,1.385244e-05,1.390466e-05,1.393185e-05,1.395920e-05,1.399722e-05,1.400598e-05,1.404553e-05,1.404981e-05,1.407835e-05,1.409078e-05,1.410490e-05,1.412117e-05,1.412563e-05,1.414094e-05,1.414195e-05,1.415122e-05,1.415400e-05,1.415681e-05,1.415813e-05,1.415805e-05,1.415525e-05,1.415506e-05,1.414870e-05,1.414547e-05,1.413865e-05,1.412995e-05,1.412536e-05,1.410907e-05,1.408997e-05,1.408330e-05,1.406828e-05,1.405312e-05,1.404417e-05,1.401892e-05,1.401783e-05,1.398941e-05,1.398110e-05,1.395906e-05,1.393998e-05,1.392692e-05,1.389588e-05,1.389312e-05,1.385778e-05,1.384909e-05,1.382102e-05,1.379985e-05,1.378294e-05,1.374842e-05,1.374365e-05,1.370322e-05,1.369501e-05,1.366176e-05,1.363982e-05,1.361934e-05,1.358302e-05,1.357604e-05,1.353192e-05,1.352479e-05,1.348706e-05,1.346529e-05,1.344152e-05,1.340464e-05,1.339536e-05,1.334864e-05,1.334299e-05,1.330139e-05,1.328046e-05,1.325369e-05,1.321715e-05,1.320556e-05,1.315706e-05,1.315316e-05,1.310822e-05,1.308860e-05,1.305909e-05,1.302356e-05,1.300970e-05,1.296009e-05,1.295810e-05,1.291029e-05,1.289231e-05,1.286032e-05,1.282627e-05,1.281022e-05,1.276002e-05,1.269364e-05,1.262717e-05,1.256067e-05,1.249419e-05,1.242776e-05,1.236144e-05,1.229526e-05,1.222926e-05,1.216347e-05,1.209791e-05,1.203262e-05,1.196763e-05,1.190295e-05,1.183861e-05,1.177463e-05,1.171103e-05,1.164783e-05,1.158504e-05,1.152268e-05,1.146075e-05,1.139929e-05,1.133828e-05,1.127775e-05,1.121770e-05
0.000000e+00,2.397436e-09,5.851754e-09,2.150129e-08,5.034905e-08,7.417277e-08,1.705872e-07,1.757724e-07,3.405842e-07,3.999274e-07,5.822559e-07,7.696928e-07,9.140585e-07,1.309631e-06,1.348406e-06,1.894720e-06,2.043017e-06,2.556288e-06,2.976059e-06,3.329783e-06,4.097567e-06,4.208272e-06,5.183918e-06,5.390011e-06,6.248790e-06,6.835091e-06,7.394721e-06,8.413648e-06,8.613080e-06,9.894655e-06,1.010493e-05,1.122970e-05,1.188655e-05,1.260807e-05,1.373500e-05,1.401940e-05,1.545335e-05,1.562646e-05,1.689977e-05,1.753763e-05,1.834895e-05,1.944652e-05,1.979175e-05,2.121974e-05,2.133310e-05,2.262529e-05,2.317969e-05,2.400165e-05,2.497121e-05,2.534293e-05,2.664417e-05,2.669532e-05,2.790124e-05,2.834231e-05,2.911084e-05,2.990493e-05,3.027043e-05,3.137819e-05,3.243289e-05,3.275907e-05,3.343389e-05,3.404625e-05,3.438102e-05,3.523981e-05,3.527453e-05,3.611504e-05,3.634100e-05,3.690345e-05,3.735195e-05,3.764091e-05,3.827553e-05,3.832877e-05,3.896854e-05,3.911511e-05,3.956183e-05,3.987441e-05,4.011035e-05,4.055741e-05,4.061586e-05,4.108014e-05,4.116821e-05,4.150501e-05,4.171097e-05,4.189227e-05,4.218981e-05,4.224371e-05,4.256108e-05,4.260882e-05,4.284612e-05,4.297195e-05,4.310050e-05,4.328302e-05,4.332585e-05,4.352375e-05,4.354573e-05,4.369573e-05,4.376357e-05,4.384326e-05,4.393989e-05,4.396774e-05,4.407054e-05,4.407786e-05,4.415294e-05,4.418046e-05,4.421618e-05,4.425051e-05,4.426144e-05,4.428986e-05,4.429066e-05,4.430249e-05,4.430337e-05,4.430037e-05,4.429099e-05,4.428445e-05,4.425567e-05,4.421489e-05,4.419944e-05,4.416294e-05,4.412420e-05,4.410061e-05,4.403170e-05,4.402865e-05,4.394775e-05,4.392359e-05,4.385859e-05,4.380138e-05,4.376178e-05,4.366649e-05,4.365794e-05,4.354761e-05,4.352023e-05,4.343134e-05,4.336382e-05,4.330962e-05,4.319838e-05,4.318293e-05,4.305171e-05,4.302496e-05,4.291638e-05,4.284452e-05,4.277734e-05,4.265795e-05,4.263496e-05,4.248959e-05,4.246607e-05,4.234156e-05,4.226965e-05,4.219118e-05,4.206939e-05,4.203875e-05,4.188453e-05,4.186592e-05,4.172879e-05,4.165984e-05,4.157176e-05,4.145170e-05,4.141368e-05,4.125474e-05,4.124200e-05,4.109516e-05,4.103118e-05,4.093511e-05,4.081969e-05,4.077477e-05,4.061430e-05,4.060789e-05,4.045386e-05,4.039613e-05,4.029358e-05,4.018475e-05,4.013359e-05,3.997403e-05,3.976423e-05,3.955559e-05,3.934834e-05,3.914266e-05,3.893873e-05,3.873672e-05,3.853675e-05,3.833896e-05,3.814345e-05,3.795033e-05,3.775968e-05,3.757157e-05,3.738607e-05,3.720323e-05,3.702310e-05,3.684571e-05,3.667109e-05,3.649927e-05,3.633026e-05,3.616407e-05,3.600071e-05,3.584018e-05,3.568248e-05,3.552760e-05
0.000000e+00,3.768950e-11,1.420828e-10,9.996144e-10,3.571816e-09,6.358528e-09,2.174505e-08,2.272112e-08,5.960183e-08,7.521278e-08,1.293319e-07,1.932014e-07,2.472948e-07,4.143201e-07,4.320375e-07,7.039932e-07,7.843919e-07,1.081368e-06,1.343007e-06,1.574378e-06,2.103377e-06,2.182071e-06,2.893692e-06,3.047077e-06,3.692558e-06,4.136209e-06,4.559868e-06,5.327824e-06,5.477263e-06,6.428128e-06,6.582376e-06,7.398017e-06,7.866620e-06,8.374578e-06,9.153515e-06,9.347303e-06,1.030724e-05,1.042120e-05,1.124676e-05,1.165197e-05,1.215937e-05,1.283156e-05,1.303961e-05,1.388296e-05,1.394872e-05,1.468582e-05,1.499497e-05,1.544542e-05,1.596442e-05,1.615981e-05,1.682780e-05,1.685354e-05,1.744886e-05,1.766095e-05,1.802308e-05,1.838708e-05,1.855106e-05,1.903388e-05,1.947295e-05,1.960449e-05,1.987000e-05,2.010294e-05,2.022696e-05,2.053386e-05,2.054592e-05,2.082905e-05,2.090221e-05,2.107859e-05,2.121311e-05,2.129676e-05,2.147167e-05,2.148577e-05,2.164776e-05,2.168285e-05,2.178480e-05,2.185139e-05,2.189887e-05,2.198174e-05,2.199185e-05,2.206549e-05,2.207805e-05,2.212147e-05,2.214411e-05,2.216131e-05,2.218337e-05,2.218646e-05,2.219824e-05,2.219897e-05,2.219788e-05,2.219372e-05,2.218650e-05,2.217016e-05,2.216514e-05,2.213475e-05,2.213054e-05,2.209621e-05,2.207687e-05,2.205030e-05,2.201094e-05,2.199776e-05,2.193926e-05,2.193434e-05,2.187539e-05,2.184847e-05,2.180672e-05,2.175459e-05,2.173375e-05,2.165694e-05,2.165380e-05,2.157672e-05,2.154708e-05,2.149347e-05,2.143531e-05,2.140754e-05,2.131925e-05,2.122890e-05,2.119960e-05,2.113676e-05,2.107695e-05,2.104306e-05,2.095186e-05,2.094803e-05,2.085188e-05,2.082478e-05,2.075479e-05,2.069617e-05,2.065694e-05,2.056638e-05,2.055849e-05,2.045956e-05,2.043577e-05,2.036031e-05,2.030463e-05,2.026084e-05,2.017323e-05,2.016128e-05,2.006171e-05,2.004180e-05,1.996223e-05,1.991057e-05,1.986293e-05,1.977972e-05,1.976389e-05,1.966517e-05,1.964941e-05,1.956685e-05,1.951981e-05,1.946897e-05,1.939103e-05,1.937160e-05,1.927478e-05,1.926321e-05,1.917857e-05,1.913643e-05,1.908299e-05,1.901081e-05,1.898810e-05,1.889392e-05,1.888641e-05,1.880048e-05,1.876331e-05,1.870781e-05,1.864158e-05,1.861593e-05,1.852488e-05,1.852125e-05,1.843466e-05,1.840239e-05,1.834530e-05,1.828503e-05,1.825681e-05,1.816921e-05,1.805495e-05,1.794229e-05,1.783123e-05,1.772179e-05,1.761399e-05,1.750784e-05,1.740333e-05,1.730047e-05,1.719926e-05,1.709970e-05,1.700179e-05,1.690551e-05,1.681085e-05,1.671782e-05,1.662639e-05,1.653656e-05,1.644831e-05,1.636162e-05,1.627649e-05,1.619289e-05,1.611080e-05,1.603022e-05,1.595112e-05,1.587347e-05
0.000000e+00,4.795070e-09,1.141572e-08,4.087819e-08,9.465502e-08,1.389071e-07,3.175981e-07,3.272019e-07,6.324968e-07,7.424859e-07,1.080719e-06,1.428926e-06,1.697465e-06,2.434844e-06,2.507248e-06,3.529806e-06,3.808149e-06,4.773833e-06,5.565854e-06,6.234471e-06,7.688415e-06,7.898275e-06,9.749291e-06,1.014055e-05,1.177147e-05,1.288533e-05,1.394873e-05,1.588533e-05,1.626445e-05,1.870120e-05,1.910110e-05,2.124077e-05,2.249078e-05,2.386436e-05,2.601091e-05,2.655290e-05,2.928743e-05,2.961778e-05,3.204948e-05,3.326892e-05,3.482141e-05,3.692445e-05,3.758666e-05,4.033000e-05,4.054810e-05,4.303767e-05,4.410795e-05,4.569743e-05,4.757678e-05,4.829867e-05,5.083228e-05,5.093211e-05,5.329069e-05,5.415608e-05,5.566773e-05,5.723510e-05,5.795853e-05,6.015945e-05,6.226790e-05,6.292279e-05,6.428225e-05,6.552165e-05,6.620170e-05,6.795502e-05,6.802618e-05,6.975623e-05,7.022386e-05,7.139292e-05,7.233073e-05,7.293774e-05,7.427944e-05,7.439256e-05,7.575950e-05,7.607476e-05,7.704095e-05,7.772216e-05,7.823944e-05,7.922760e-05,7.935764e-05,8.039831e-05,8.059739e-05,8.136428e-05,8.183801e-05,8.225839e-05,8.295600e-05,8.308350e-05,8.384245e-05,8.395793e-05,8.453805e-05,8.485026e-05,8.517308e-05,8.563933e-05,8.575027e-05,8.627227e-05,8.633133e-05,8.674169e-05,8.693222e-05,8.716104e-05,8.744779e-05,8.753280e-05,8.785932e-05,8.788356e-05,8.814291e-05,8.824483e-05,8.838579e-05,8.853666e-05,8.859010e-05,8.875790e-05,8.876388e-05,8.889117e-05,8.893106e-05,8.899182e-05,8.904256e-05,8.906167e-05,8.910248e-05,8.911593e-05,8.911473e-05,8.910364e-05,8.908298e-05,8.906715e-05,8.901072e-05,8.900793e-05,8.892739e-05,8.890120e-05,8.882688e-05,8.875752e-05,8.870769e-05,8.858258e-05,8.857104e-05,8.841810e-05,8.837910e-05,8.825000e-05,8.814964e-05,8.806779e-05,8.789659e-05,8.787249e-05,8.766507e-05,8.762221e-05,8.744643e-05,8.732860e-05,8.721745e-05,8.701773e-05,8.697897e-05,8.673176e-05,8.669145e-05,8.647658e-05,8.635147e-05,8.621413e-05,8.599940e-05,8.594509e-05,8.567010e-05,8.563672e-05,8.538975e-05,8.526485e-05,8.510462e-05,8.488506e-05,8.481526e-05,8.452217e-05,8.449858e-05,8.422584e-05,8.410650e-05,8.392672e-05,8.370987e-05,8.362525e-05,8.332183e-05,8.330966e-05,8.301685e-05,8.290674e-05,8.271066e-05,8.250195e-05,8.240362e-05,8.209603e-05,8.168969e-05,8.128357e-05,8.087826e-05,8.047430e-05,8.007218e-05,7.967236e-05,7.927524e-05,7.888120e-05,7.849058e-05,7.810368e-05,7.772078e-05,7.734212e-05,7.696793e-05,7.659839e-05,7.623368e-05,7.587394e-05,7.551932e-05,7.516991e-05,7.482582e-05,7.448712e-05,7.415387e-05,7.382613e-05,7.350393e-05,7.318729e-05
0.000000e+00,3.100008e-10,8.914815e-10,3.980998e-09,1.029575e-08,1.576592e-08,3.895639e-08,4.023416e-08,8.180084e-08,9.710585e-08,1.449167e-07,1.950514e-07,2.342225e-07,3.436161e-07,3.544840e-07,5.099614e-07,5.528508e-07,7.032027e-07,8.280492e-07,9.343424e-07,1.167847e-06,1.201786e-06,1.503366e-06,1.567587e-06,1.836942e-06,2.022373e-06,2.200491e-06,2.527570e-06,2.592008e-06,3.009398e-06,3.078435e-06,3.450421e-06,3.669804e-06,3.912663e-06,4.296011e-06,4.393553e-06,4.890387e-06,4.950947e-06,5.400379e-06,5.628216e-06,5.920704e-06,6.321333e-06,6.448556e-06,6.981190e-06,7.023927e-06,7.515961e-06,7.729901e-06,8.050366e-06,8.433601e-06,8.582085e-06,9.108994e-06,9.129942e-06,9.629169e-06,9.814448e-06,1.014090e-05,1.048330e-05,1.064271e-05,1.113332e-05,1.161166e-05,1.176199e-05,1.207686e-05,1.236735e-05,1.252821e-05,1.294799e-05,1.296519e-05,1.338742e-05,1.350297e-05,1.379466e-05,1.403175e-05,1.418678e-05,1.453416e-05,1.456376e-05,1.492567e-05,1.501030e-05,1.527265e-05,1.546051e-05,1.560491e-05,1.588533e-05,1.592272e-05,1.622638e-05,1.628544e-05,1.651623e-05,1.666162e-05,1.679264e-05,1.701473e-05,1.705601e-05,1.730673e-05,1.734570e-05,1.754521e-05,1.765546e-05,1.777188e-05,1.794499e-05,1.798716e-05,1.819145e-05,1.821525e-05,1.838518e-05,1.846718e-05,1.856876e-05,1.870173e-05,1.874258e-05,1.890703e-05,1.891979e-05,1.906250e-05,1.912225e-05,1.920935e-05,1.930996e-05,1.934795e-05,1.947865e-05,1.948372e-05,1.960177e-05,1.964430e-05,1.971764e-05,1.979246e-05,1.982658e-05,1.992889e-05,2.002484e-05,2.005425e-05,2.011473e-05,2.016919e-05,2.019880e-05,2.027430e-05,2.027733e-05,2.035056e-05,2.037014e-05,2.041871e-05,2.045726e-05,2.048202e-05,2.053616e-05,2.054069e-05,2.059494e-05,2.060732e-05,2.064495e-05,2.067118e-05,2.069092e-05,2.072818e-05,2.073303e-05,2.077145e-05,2.077871e-05,2.080634e-05,2.082315e-05,2.083787e-05,2.086185e-05,2.086617e-05,2.089140e-05,2.089516e-05,2.091370e-05,2.092339e-05,2.093319e-05,2.094684e-05,2.095000e-05,2.096425e-05,2.096579e-05,2.097605e-05,2.098050e-05,2.098553e-05,2.099123e-05,2.099277e-05,2.099789e-05,2.099821e-05,2.100098e-05,2.100166e-05,2.100212e-05,2.100180e-05,2.100142e-05,2.099895e-05,2.099882e-05,2.099480e-05,2.099291e-05,2.098904e-05,2.098424e-05,2.098175e-05,2.097299e-05,2.095931e-05,2.094334e-05,2.092524e-05,2.090512e-05,2.088313e-05,2.085937e-05,2.083397e-05,2.080701e-05,2.077862e-05,2.074887e-05,2.071787e-05,2.068570e-05,2.065243e-05,2.061815e-05,2.058292e-05,2.054682e-05,2.050991e-05,2.047226e-05,2.043391e-05,2.039494e-05,2.035538e-05,2.031529e-05,2.027472e-05,2.023370e-05
0.000000e+00,1.946387e-09,4.451539e-09,1.526760e-08,3.462740e-08,5.041327e-08,1.135755e-07,1.169532e-07,2.237723e-07,2.620489e-07,3.792246e-07,4.991370e-07,5.911819e-07,8.423372e-07,8.668957e-07,1.212562e-06,1.306464e-06,1.632466e-06,1.900623e-06,2.127720e-06,2.623423e-06,2.695100e-06,3.326984e-06,3.460201e-06,4.012845e-06,4.387049e-06,4.741359e-06,5.378446e-06,5.501876e-06,6.284973e-06,6.411800e-06,7.082443e-06,7.468203e-06,7.887152e-06,8.531932e-06,8.692893e-06,9.494285e-06,9.589932e-06,1.028671e-05,1.063150e-05,1.106624e-05,1.164805e-05,1.182964e-05,1.257425e-05,1.263294e-05,1.329799e-05,1.358127e-05,1.399926e-05,1.448959e-05,1.467690e-05,1.533012e-05,1.535573e-05,1.595844e-05,1.617850e-05,1.656167e-05,1.695753e-05,1.713982e-05,1.769309e-05,1.822183e-05,1.838592e-05,1.872649e-05,1.903708e-05,1.920761e-05,1.964790e-05,1.966580e-05,2.010172e-05,2.021988e-05,2.051605e-05,2.075458e-05,2.090951e-05,2.125367e-05,2.128281e-05,2.163669e-05,2.171881e-05,2.197185e-05,2.215164e-05,2.228902e-05,2.255379e-05,2.258888e-05,2.287213e-05,2.292684e-05,2.313943e-05,2.327234e-05,2.339143e-05,2.359176e-05,2.362877e-05,2.385206e-05,2.388652e-05,2.406189e-05,2.415799e-05,2.425883e-05,2.440747e-05,2.444342e-05,2.461621e-05,2.463618e-05,2.477770e-05,2.484531e-05,2.492838e-05,2.503596e-05,2.506873e-05,2.519919e-05,2.520921e-05,2.532021e-05,2.536606e-05,2.543219e-05,2.550745e-05,2.553554e-05,2.563065e-05,2.563429e-05,2.571788e-05,2.574742e-05,2.579758e-05,2.584765e-05,2.587009e-05,2.593574e-05,2.599484e-05,2.601241e-05,2.604768e-05,2.607834e-05,2.609454e-05,2.613416e-05,2.613570e-05,2.617142e-05,2.618048e-05,2.620195e-05,2.621787e-05,2.622752e-05,2.624687e-05,2.624837e-05,2.626471e-05,2.626798e-05,2.627675e-05,2.628170e-05,2.628470e-05,2.628845e-05,2.628874e-05,2.628906e-05,2.628869e-05,2.628582e-05,2.628280e-05,2.627921e-05,2.627117e-05,2.626938e-05,2.625649e-05,2.625415e-05,2.624068e-05,2.623209e-05,2.622209e-05,2.620531e-05,2.620086e-05,2.617711e-05,2.617410e-05,2.615098e-05,2.613876e-05,2.612258e-05,2.609954e-05,2.609201e-05,2.605940e-05,2.605671e-05,2.602484e-05,2.601050e-05,2.598844e-05,2.596114e-05,2.595029e-05,2.591047e-05,2.590885e-05,2.586909e-05,2.585382e-05,2.582621e-05,2.579625e-05,2.578193e-05,2.573632e-05,2.567419e-05,2.561004e-05,2.554400e-05,2.547623e-05,2.540686e-05,2.533601e-05,2.526382e-05,2.519040e-05,2.511584e-05,2.504027e-05,2.496376e-05,2.488642e-05,2.480834e-05,2.472958e-05,2.465024e-05,2.457039e-05,2.449008e-05,2.440940e-05,2.432840e-05,2.424713e-05,2.416567e-05,2.408405e-05,2.400232e-05,2.392054e-05
0.000000e+00,4.239832e-10,1.474678e-09,8.876559e-09,2.785251e-08,4.638281e-08,1.353797e-07,1.406037e-07,3.210601e-07,3.912367e-07,6.190684e-07,8.685053e-07,1.069096e-06,1.648475e-06,1.707219e-06,2.561817e-06,2.800470e-06,3.639786e-06,4.335034e-06,4.923031e-06,6.196361e-06,6.379033e-06,7.973244e-06,8.305896e-06,9.675165e-06,1.059406e-05,1.145916e-05,1.300497e-05,1.330322e-05,1.518755e-05,1.549153e-05,1.709370e-05,1.801124e-05,1.900419e-05,2.052456e-05,2.090249e-05,2.277314e-05,2.299507e-05,2.460200e-05,2.539016e-05,2.637650e-05,2.768198e-05,2.808573e-05,2.972061e-05,2.984796e-05,3.127389e-05,3.187107e-05,3.274014e-05,3.373980e-05,3.411565e-05,3.539824e-05,3.544760e-05,3.658714e-05,3.699226e-05,3.768279e-05,3.837530e-05,3.868670e-05,3.960115e-05,4.042904e-05,4.067623e-05,4.117382e-05,4.160862e-05,4.183932e-05,4.240740e-05,4.242962e-05,4.294899e-05,4.308228e-05,4.340171e-05,4.364315e-05,4.379210e-05,4.409982e-05,4.412436e-05,4.440264e-05,4.446184e-05,4.463091e-05,4.473832e-05,4.481297e-05,4.493784e-05,4.495245e-05,4.505280e-05,4.506846e-05,4.511725e-05,4.513760e-05,4.514885e-05,4.515210e-05,4.515045e-05,4.512470e-05,4.511821e-05,4.507408e-05,4.504162e-05,4.500087e-05,4.492748e-05,4.490721e-05,4.479507e-05,4.478046e-05,4.466626e-05,4.460475e-05,4.452248e-05,4.440415e-05,4.436528e-05,4.419607e-05,4.418205e-05,4.401617e-05,4.394149e-05,4.382678e-05,4.368518e-05,4.362902e-05,4.342389e-05,4.341555e-05,4.321235e-05,4.313478e-05,4.299523e-05,4.284481e-05,4.277332e-05,4.254735e-05,4.231797e-05,4.224395e-05,4.208579e-05,4.193597e-05,4.185134e-05,4.162462e-05,4.161514e-05,4.137764e-05,4.131097e-05,4.113927e-05,4.099598e-05,4.090040e-05,4.068050e-05,4.066138e-05,4.042252e-05,4.036526e-05,4.018413e-05,4.005092e-05,3.994644e-05,3.973807e-05,3.970972e-05,3.947415e-05,3.942720e-05,3.923995e-05,3.911876e-05,3.900728e-05,3.881314e-05,3.877630e-05,3.854716e-05,3.851067e-05,3.831997e-05,3.821165e-05,3.809486e-05,3.791632e-05,3.787191e-05,3.765123e-05,3.762490e-05,3.743288e-05,3.733756e-05,3.721694e-05,3.705447e-05,3.700346e-05,3.679250e-05,3.677574e-05,3.658411e-05,3.650147e-05,3.637831e-05,3.623176e-05,3.617513e-05,3.597461e-05,3.596665e-05,3.577677e-05,3.570620e-05,3.558161e-05,3.545044e-05,3.538914e-05,3.519937e-05,3.495302e-05,3.471138e-05,3.447442e-05,3.424213e-05,3.401447e-05,3.379142e-05,3.357293e-05,3.335895e-05,3.314943e-05,3.294432e-05,3.274356e-05,3.254709e-05,3.235484e-05,3.216675e-05,3.198275e-05,3.180278e-05,3.162676e-05,3.145463e-05,3.128632e-05,3.112174e-05,3.096085e-05,3.080355e-05,3.064979e-05,3.049948e-05
0.000000e+00,1.237354e-10,4.674534e-10,3.305416e-09,1.187728e-08,2.121996e-08,7.340564e-08,7.674236e-08,2.044702e-07,2.593343e-07,4.523874e-07,6.847425e-07,8.844359e-07,1.511688e-06,1.578825e-06,2.613971e-06,2.920051e-06,4.045726e-06,5.029578e-06,5.893811e-06,7.854437e-06,8.144803e-06,1.076359e-05,1.132755e-05,1.370457e-05,1.534511e-05,1.691929e-05,1.979656e-05,2.036050e-05,2.398371e-05,2.457750e-05,2.774758e-05,2.959284e-05,3.161377e-05,3.475636e-05,3.554664e-05,3.951310e-05,3.998986e-05,4.348257e-05,4.522276e-05,4.742701e-05,5.039235e-05,5.132107e-05,5.514216e-05,5.544409e-05,5.887057e-05,6.033212e-05,6.248951e-05,6.501944e-05,6.598506e-05,6.934604e-05,6.947755e-05,7.256383e-05,7.368591e-05,7.563219e-05,7.763115e-05,7.854701e-05,8.130602e-05,8.390862e-05,8.470850e-05,8.635555e-05,8.784076e-05,8.864877e-05,9.070832e-05,9.079116e-05,9.278631e-05,9.331913e-05,9.463844e-05,9.568298e-05,9.635220e-05,9.781092e-05,9.793257e-05,9.938476e-05,9.971480e-05,1.007141e-04,1.014069e-04,1.019261e-04,1.028998e-04,1.030260e-04,1.040193e-04,1.042056e-04,1.049112e-04,1.053367e-04,1.057070e-04,1.063048e-04,1.064116e-04,1.070300e-04,1.071213e-04,1.075670e-04,1.077971e-04,1.080270e-04,1.083426e-04,1.084145e-04,1.087337e-04,1.087676e-04,1.089886e-04,1.090814e-04,1.091832e-04,1.092930e-04,1.093211e-04,1.094059e-04,1.094104e-04,1.094408e-04,1.094416e-04,1.094292e-04,1.093938e-04,1.093741e-04,1.092784e-04,1.092737e-04,1.091448e-04,1.090879e-04,1.089759e-04,1.088422e-04,1.087742e-04,1.085421e-04,1.082818e-04,1.081929e-04,1.079954e-04,1.077993e-04,1.076849e-04,1.073659e-04,1.073521e-04,1.069990e-04,1.068967e-04,1.066270e-04,1.063956e-04,1.062380e-04,1.058661e-04,1.058332e-04,1.054142e-04,1.053117e-04,1.049823e-04,1.047353e-04,1.045388e-04,1.041398e-04,1.040848e-04,1.036215e-04,1.035278e-04,1.031498e-04,1.029016e-04,1.026709e-04,1.022636e-04,1.021855e-04,1.016947e-04,1.016157e-04,1.011991e-04,1.009598e-04,1.006997e-04,1.002978e-04,1.001970e-04,9.969179e-05,9.963102e-05,9.918468e-05,9.896110e-05,9.867625e-05,9.828931e-05,9.816706e-05,9.765761e-05,9.761686e-05,9.714839e-05,9.694487e-05,9.663984e-05,9.627434e-05,9.613238e-05,9.562640e-05,9.560619e-05,9.512224e-05,9.494126e-05,9.462025e-05,9.428028e-05,9.412072e-05,9.362395e-05,9.297288e-05,9.232760e-05,9.168861e-05,9.105635e-05,9.043120e-05,8.981351e-05,8.920356e-05,8.860161e-05,8.800790e-05,8.742260e-05,8.684588e-05,8.627787e-05,8.571866e-05,8.516835e-05,8.462699e-05,8.409461e-05,8.357125e-05,8.305690e-05,8.255156e-05,8.205520e-05,8.156779e-05,8.108927e-05,8.061959e-05,8.015869e-05
0.000000e+00,4.466569e-11,1.698920e-10,1.216812e-09,4.414315e-09,7.919088e-09,2.755116e-08,2.880516e-08,7.645973e-08,9.669554e-08,1.668166e-07,2.492690e-07,3.187677e-07,5.315719e-07,5.540144e-07,8.968108e-07,9.979339e-07,1.372742e-06,1.706500e-06,2.005638e-06,2.706723e-06,2.813231e-06,3.803953e-06,4.024118e-06,4.976555e-06,5.655402e-06,6.321924e-06,7.575120e-06,7.825669e-06,9.470424e-06,9.745431e-06,1.123751e-05,1.212358e-05,1.310795e-05,1.466615e-05,1.506307e-05,1.708479e-05,1.733104e-05,1.915577e-05,2.007833e-05,2.125952e-05,2.287065e-05,2.338044e-05,2.550396e-05,2.567354e-05,2.761657e-05,2.845575e-05,2.970592e-05,3.118955e-05,3.176088e-05,3.377160e-05,3.385098e-05,3.572949e-05,3.641996e-05,3.762728e-05,3.888030e-05,3.945891e-05,4.121954e-05,4.290546e-05,4.342871e-05,4.451400e-05,4.550201e-05,4.604341e-05,4.743639e-05,4.749282e-05,4.886210e-05,4.923119e-05,5.015173e-05,5.088771e-05,5.136279e-05,5.240884e-05,5.249676e-05,5.355553e-05,5.379868e-05,5.454127e-05,5.506227e-05,5.545638e-05,5.620528e-05,5.630342e-05,5.708510e-05,5.723383e-05,5.780416e-05,5.815425e-05,5.846340e-05,5.897298e-05,5.906561e-05,5.961356e-05,5.969638e-05,6.010996e-05,6.033071e-05,6.055748e-05,6.088204e-05,6.095870e-05,6.131613e-05,6.135620e-05,6.163218e-05,6.175874e-05,6.190918e-05,6.209495e-05,6.214935e-05,6.235482e-05,6.236982e-05,6.252763e-05,6.258804e-05,6.266970e-05,6.275400e-05,6.278289e-05,6.286893e-05,6.287183e-05,6.292950e-05,6.294538e-05,6.296617e-05,6.297821e-05,6.298042e-05,6.297368e-05,6.294728e-05,6.293488e-05,6.290247e-05,6.286470e-05,6.284046e-05,6.276579e-05,6.276237e-05,6.266927e-05,6.264065e-05,6.256216e-05,6.249157e-05,6.244200e-05,6.232068e-05,6.230967e-05,6.216602e-05,6.212995e-05,6.201186e-05,6.192121e-05,6.184792e-05,6.169614e-05,6.167492e-05,6.149354e-05,6.145631e-05,6.130439e-05,6.120316e-05,6.110807e-05,6.093804e-05,6.090515e-05,6.069615e-05,6.066218e-05,6.048156e-05,6.037672e-05,6.026186e-05,6.008272e-05,6.003749e-05,5.980886e-05,5.978116e-05,5.957638e-05,5.947295e-05,5.934039e-05,5.915892e-05,5.910126e-05,5.885931e-05,5.883984e-05,5.861485e-05,5.851642e-05,5.836816e-05,5.818933e-05,5.811953e-05,5.786921e-05,5.785917e-05,5.761744e-05,5.752649e-05,5.736445e-05,5.719183e-05,5.711045e-05,5.685565e-05,5.651839e-05,5.618047e-05,5.584225e-05,5.550407e-05,5.516626e-05,5.482910e-05,5.449286e-05,5.415778e-05,5.382409e-05,5.349199e-05,5.316167e-05,5.283330e-05,5.250704e-05,5.218302e-05,5.186138e-05,5.154223e-05,5.122568e-05,5.091181e-05,5.060072e-05,5.029248e-05,4.998716e-05,4.968481e-05,4.938549e-05,4.908924e-05
0.000000e+00,2.921070e-11,1.114235e-10,8.025317e-10,2.925306e-09,5.260876e-09,1.841174e-08,1.925410e-08,5.137021e-08,6.504732e-08,1.125381e-07,1.684899e-07,2.156975e-07,3.603247e-07,3.755770e-07,6.084266e-07,6.770680e-07,9.313615e-07,1.157788e-06,1.360848e-06,1.837584e-06,1.910127e-06,2.586250e-06,2.736754e-06,3.388202e-06,3.852239e-06,4.307003e-06,5.158106e-06,5.327455e-06,6.430534e-06,6.613323e-06,7.595632e-06,8.170849e-06,8.802243e-06,9.784407e-06,1.003109e-05,1.126474e-05,1.141235e-05,1.248792e-05,1.301936e-05,1.368757e-05,1.457677e-05,1.485276e-05,1.597462e-05,1.606227e-05,1.704610e-05,1.745933e-05,1.806185e-05,1.875648e-05,1.901804e-05,1.991214e-05,1.994659e-05,2.074277e-05,2.102615e-05,2.150953e-05,2.199465e-05,2.221288e-05,2.285395e-05,2.343443e-05,2.360773e-05,2.395646e-05,2.426100e-05,2.442250e-05,2.481974e-05,2.483527e-05,2.519765e-05,2.529049e-05,2.551261e-05,2.568008e-05,2.578316e-05,2.599541e-05,2.601229e-05,2.620295e-05,2.624330e-05,2.635800e-05,2.643032e-05,2.648022e-05,2.656271e-05,2.657225e-05,2.663660e-05,2.664636e-05,2.667565e-05,2.668670e-05,2.669164e-05,2.668878e-05,2.668666e-05,2.666267e-05,2.665720e-05,2.662150e-05,2.659614e-05,2.656483e-05,2.650939e-05,2.649423e-05,2.641113e-05,2.640038e-05,2.631687e-05,2.627218e-05,2.621268e-05,2.612755e-05,2.609968e-05,2.597890e-05,2.596893e-05,2.585129e-05,2.579853e-05,2.571771e-05,2.561829e-05,2.557896e-05,2.543575e-05,2.542994e-05,2.528875e-05,2.523502e-05,2.513856e-05,2.503488e-05,2.498572e-05,2.483073e-05,2.467405e-05,2.462362e-05,2.451608e-05,2.441447e-05,2.435719e-05,2.420412e-05,2.419773e-05,2.403800e-05,2.399326e-05,2.387827e-05,2.378254e-05,2.371879e-05,2.357248e-05,2.355978e-05,2.340146e-05,2.336358e-05,2.324399e-05,2.315624e-05,2.308754e-05,2.295082e-05,2.293226e-05,2.277827e-05,2.274763e-05,2.262568e-05,2.254693e-05,2.247461e-05,2.234893e-05,2.232513e-05,2.217733e-05,2.215384e-05,2.203126e-05,2.196179e-05,2.188700e-05,2.177293e-05,2.174460e-05,2.160408e-05,2.158735e-05,2.146550e-05,2.140514e-05,2.132887e-05,2.122636e-05,2.119423e-05,2.106158e-05,2.105106e-05,2.093095e-05,2.087927e-05,2.080235e-05,2.071101e-05,2.067577e-05,2.055123e-05,2.054629e-05,2.042871e-05,2.038510e-05,2.030822e-05,2.022744e-05,2.018974e-05,2.007328e-05,1.992259e-05,1.977536e-05,1.963153e-05,1.949107e-05,1.935393e-05,1.922006e-05,1.908942e-05,1.896195e-05,1.883759e-05,1.871629e-05,1.859800e-05,1.848264e-05,1.837017e-05,1.826052e-05,1.815364e-05,1.804946e-05,1.794793e-05,1.784899e-05,1.775257e-05,1.765862e-05,1.756708e-05,1.747789e-05,1.739100e-05,1.730635e-05
0.000000e+00,7.243260e-11,2.645103e-10,1.745921e-09,5.898102e-09,1.018727e-08,3.225284e-08,3.359520e-08,8.158987e-08,1.007861e-07,1.640605e-07,2.340929e-07,2.905733e-07,4.536152e-07,4.701332e-07,7.110904e-07,7.789176e-07,1.021031e-06,1.227231e-06,1.406522e-06,1.812311e-06,1.872615e-06,2.422060e-06,2.541974e-06,3.054343e-06,3.414533e-06,3.764935e-06,4.416146e-06,4.545213e-06,5.383279e-06,5.521825e-06,6.265380e-06,6.700270e-06,7.177416e-06,7.919588e-06,8.106046e-06,9.039332e-06,9.151133e-06,9.966980e-06,1.037107e-05,1.088032e-05,1.156043e-05,1.177219e-05,1.263675e-05,1.270459e-05,1.346934e-05,1.379259e-05,1.426635e-05,1.481659e-05,1.502503e-05,1.574348e-05,1.577136e-05,1.642046e-05,1.665389e-05,1.705535e-05,1.746297e-05,1.764805e-05,1.819889e-05,1.870858e-05,1.886314e-05,1.917812e-05,1.945811e-05,1.960875e-05,1.998687e-05,2.000189e-05,2.035911e-05,2.045292e-05,2.068206e-05,2.086008e-05,2.097244e-05,2.121232e-05,2.123199e-05,2.146245e-05,2.151362e-05,2.166555e-05,2.176796e-05,2.184297e-05,2.197916e-05,2.199635e-05,2.212730e-05,2.215093e-05,2.223733e-05,2.228676e-05,2.232790e-05,2.238997e-05,2.240041e-05,2.245619e-05,2.246364e-05,2.249647e-05,2.251066e-05,2.252246e-05,2.253370e-05,2.253525e-05,2.253590e-05,2.253521e-05,2.252539e-05,2.251747e-05,2.250465e-05,2.248256e-05,2.247452e-05,2.243583e-05,2.243239e-05,2.238931e-05,2.236868e-05,2.233568e-05,2.229303e-05,2.227559e-05,2.220964e-05,2.220689e-05,2.213841e-05,2.211157e-05,2.206241e-05,2.200826e-05,2.198214e-05,2.189806e-05,2.181057e-05,2.178193e-05,2.172009e-05,2.166077e-05,2.162696e-05,2.153538e-05,2.153152e-05,2.143408e-05,2.140648e-05,2.133494e-05,2.127474e-05,2.123435e-05,2.114074e-05,2.113256e-05,2.102980e-05,2.100501e-05,2.092627e-05,2.086803e-05,2.082216e-05,2.073022e-05,2.071767e-05,2.061294e-05,2.059197e-05,2.050812e-05,2.045363e-05,2.040335e-05,2.031549e-05,2.029877e-05,2.019448e-05,2.017782e-05,2.009058e-05,2.004088e-05,1.998718e-05,1.990487e-05,1.988436e-05,1.978220e-05,1.976999e-05,1.968078e-05,1.963640e-05,1.958015e-05,1.950424e-05,1.948038e-05,1.938152e-05,1.937365e-05,1.928362e-05,1.924473e-05,1.918671e-05,1.911758e-05,1.909085e-05,1.899605e-05,1.899228e-05,1.890235e-05,1.886890e-05,1.880978e-05,1.874749e-05,1.871836e-05,1.862809e-05,1.851076e-05,1.839552e-05,1.828238e-05,1.817137e-05,1.806249e-05,1.795575e-05,1.785114e-05,1.774866e-05,1.764830e-05,1.755005e-05,1.745389e-05,1.735980e-05,1.726776e-05,1.717776e-05,1.708975e-05,1.700372e-05,1.691964e-05,1.683748e-05,1.675721e-05,1.667880e-05,1.660222e-05,1.652743e-05,1.645441e-05,1.638312e-05
0.000000e+00,1.811406e-09,4.334260e-09,1.556738e-08,3.609637e-08,5.305185e-08,1.223902e-07,1.261615e-07,2.485954e-07,2.939181e-07,4.371321e-07,5.900728e-07,7.112762e-07,1.054590e-06,1.088867e-06,1.576010e-06,1.708076e-06,2.158686e-06,2.516316e-06,2.808604e-06,3.413281e-06,3.497160e-06,4.202711e-06,4.344465e-06,4.910486e-06,5.275916e-06,5.610354e-06,6.186724e-06,6.294998e-06,6.958826e-06,7.062798e-06,7.597429e-06,7.893948e-06,8.207335e-06,8.672769e-06,8.785861e-06,9.331070e-06,9.394190e-06,9.841713e-06,1.005526e-05,1.031716e-05,1.065490e-05,1.075734e-05,1.116265e-05,1.119359e-05,1.153387e-05,1.167306e-05,1.187210e-05,1.209591e-05,1.217864e-05,1.245504e-05,1.246549e-05,1.270292e-05,1.278551e-05,1.292400e-05,1.305990e-05,1.311999e-05,1.329259e-05,1.344348e-05,1.348745e-05,1.357428e-05,1.364817e-05,1.368654e-05,1.377822e-05,1.378172e-05,1.386122e-05,1.388085e-05,1.392634e-05,1.395903e-05,1.397831e-05,1.401547e-05,1.401825e-05,1.404723e-05,1.405266e-05,1.406621e-05,1.407282e-05,1.407611e-05,1.407797e-05,1.407776e-05,1.407192e-05,1.406991e-05,1.405929e-05,1.405027e-05,1.404054e-05,1.402049e-05,1.401626e-05,1.398698e-05,1.398187e-05,1.395323e-05,1.393556e-05,1.391544e-05,1.388260e-05,1.387405e-05,1.382945e-05,1.382390e-05,1.378198e-05,1.376027e-05,1.373198e-05,1.369246e-05,1.367973e-05,1.362551e-05,1.362109e-05,1.356957e-05,1.354676e-05,1.351213e-05,1.346997e-05,1.345341e-05,1.339359e-05,1.339118e-05,1.333285e-05,1.331079e-05,1.327135e-05,1.322916e-05,1.320922e-05,1.314662e-05,1.308365e-05,1.306344e-05,1.302042e-05,1.297987e-05,1.295705e-05,1.289615e-05,1.289361e-05,1.283020e-05,1.281246e-05,1.276688e-05,1.272897e-05,1.270374e-05,1.264585e-05,1.264083e-05,1.257821e-05,1.256323e-05,1.251593e-05,1.248122e-05,1.245403e-05,1.239992e-05,1.239257e-05,1.233158e-05,1.231944e-05,1.227109e-05,1.223984e-05,1.221113e-05,1.216121e-05,1.215174e-05,1.209293e-05,1.208358e-05,1.203473e-05,1.200702e-05,1.197716e-05,1.193157e-05,1.192023e-05,1.186396e-05,1.185726e-05,1.180836e-05,1.178412e-05,1.175345e-05,1.171218e-05,1.169923e-05,1.164570e-05,1.164145e-05,1.159288e-05,1.157196e-05,1.154078e-05,1.150370e-05,1.148938e-05,1.143871e-05,1.143670e-05,1.138875e-05,1.137095e-05,1.133952e-05,1.130645e-05,1.129100e-05,1.124320e-05,1.118120e-05,1.112045e-05,1.106093e-05,1.100264e-05,1.094557e-05,1.088970e-05,1.083502e-05,1.078152e-05,1.072918e-05,1.067800e-05,1.062794e-05,1.057900e-05,1.053116e-05,1.048440e-05,1.043871e-05,1.039406e-05,1.035044e-05,1.030783e-05,1.026621e-05,1.022556e-05,1.018587e-05,1.014712e-05,1.010928e-05,1.007235e-05
0.000000e+00,9.248460e-11,3.513976e-10,2.511859e-09,9.099839e-09,1.631555e-08,5.672479e-08,5.930652e-08,1.575198e-07,1.992866e-07,3.442701e-07,5.151576e-07,6.594495e-07,1.102060e-06,1.148770e-06,1.861786e-06,2.071710e-06,2.846991e-06,3.532831e-06,4.143479e-06,5.559144e-06,5.772327e-06,7.732710e-06,8.163058e-06,1.000424e-05,1.129745e-05,1.255285e-05,1.487756e-05,1.533706e-05,1.831278e-05,1.880375e-05,2.143671e-05,2.297674e-05,2.466809e-05,2.730546e-05,2.796977e-05,3.130860e-05,3.171033e-05,3.465550e-05,3.612409e-05,3.798539e-05,4.049149e-05,4.127697e-05,4.451245e-05,4.476840e-05,4.767726e-05,4.892069e-05,5.075974e-05,5.292297e-05,5.375083e-05,5.664372e-05,5.675731e-05,5.943354e-05,6.041200e-05,6.211714e-05,6.388036e-05,6.469274e-05,6.715976e-05,6.951854e-05,7.025067e-05,7.177024e-05,7.315591e-05,7.391658e-05,7.588002e-05,7.595980e-05,7.790245e-05,7.842876e-05,7.974741e-05,8.080875e-05,8.149771e-05,8.302710e-05,8.315651e-05,8.472707e-05,8.509124e-05,8.621267e-05,8.700872e-05,8.761659e-05,8.878708e-05,8.894211e-05,9.019244e-05,9.043376e-05,9.137072e-05,9.195599e-05,9.248004e-05,9.336076e-05,9.352339e-05,9.450367e-05,9.465486e-05,9.542372e-05,9.584475e-05,9.628625e-05,9.693664e-05,9.709390e-05,9.784920e-05,9.793643e-05,9.855458e-05,9.884974e-05,9.921239e-05,9.968191e-05,9.982489e-05,1.003942e-04,1.004380e-04,1.009225e-04,1.011228e-04,1.014117e-04,1.017408e-04,1.018637e-04,1.022804e-04,1.022964e-04,1.026635e-04,1.027935e-04,1.030146e-04,1.032359e-04,1.033354e-04,1.036274e-04,1.038920e-04,1.039711e-04,1.041307e-04,1.042704e-04,1.043448e-04,1.045283e-04,1.045355e-04,1.047041e-04,1.047475e-04,1.048518e-04,1.049307e-04,1.049795e-04,1.050805e-04,1.050885e-04,1.051798e-04,1.051991e-04,1.052541e-04,1.052888e-04,1.053126e-04,1.053516e-04,1.053561e-04,1.053853e-04,1.053895e-04,1.054012e-04,1.054044e-04,1.054044e-04,1.053978e-04,1.053956e-04,1.053757e-04,1.053715e-04,1.053452e-04,1.053270e-04,1.053047e-04,1.052656e-04,1.052549e-04,1.051963e-04,1.051887e-04,1.051294e-04,1.050975e-04,1.050548e-04,1.049933e-04,1.049730e-04,1.048844e-04,1.048770e-04,1.047894e-04,1.047498e-04,1.046886e-04,1.046125e-04,1.045822e-04,1.044707e-04,1.044661e-04,1.043544e-04,1.043115e-04,1.042338e-04,1.041493e-04,1.041090e-04,1.039805e-04,1.038055e-04,1.036251e-04,1.034399e-04,1.032504e-04,1.030572e-04,1.028608e-04,1.026616e-04,1.024600e-04,1.022565e-04,1.020513e-04,1.018450e-04,1.016376e-04,1.014297e-04,1.012214e-04,1.010131e-04,1.008048e-04,1.005970e-04,1.003897e-04,1.001832e-04,9.997759e-05,9.977309e-05,9.956984e-05,9.936797e-05,9.916760e-05
0.000000e+00,2.185934e-09,8.599116e-09,6.609170e-08,2.560132e-07,4.764313e-07,1.827443e-06,1.918409e-06,5.639471e-06,7.339942e-06,1.363768e-05,2.167980e-05,2.888722e-05,5.284687e-05,5.551208e-05,9.869179e-05,1.121555e-04,1.641988e-04,2.128021e-04,2.578078e-04,3.676794e-04,3.848507e-04,5.499756e-04,5.879245e-04,7.570437e-04,8.823393e-04,1.009103e-03,1.257268e-03,1.308399e-03,1.656397e-03,1.716655e-03,2.053823e-03,2.262178e-03,2.500703e-03,2.893411e-03,2.996407e-03,3.539706e-03,3.608021e-03,4.128829e-03,4.401997e-03,4.761528e-03,5.269898e-03,5.435141e-03,6.146666e-03,6.205129e-03,6.892824e-03,7.200211e-03,7.670137e-03,8.247063e-03,8.474983e-03,9.303666e-03,9.337256e-03,1.015246e-02,1.046224e-02,1.101769e-02,1.161357e-02,1.189572e-02,1.278304e-02,1.367628e-02,1.396284e-02,1.457224e-02,1.514567e-02,1.546789e-02,1.632478e-02,1.636039e-02,1.724713e-02,1.749405e-02,1.812569e-02,1.864798e-02,1.899387e-02,1.978172e-02,1.984969e-02,2.069135e-02,2.089106e-02,2.151727e-02,2.197240e-02,2.232608e-02,2.302270e-02,2.311655e-02,2.388766e-02,2.403947e-02,2.463853e-02,2.502074e-02,2.536845e-02,2.596497e-02,2.607684e-02,2.676327e-02,2.687103e-02,2.742740e-02,2.773819e-02,2.806902e-02,2.856603e-02,2.868802e-02,2.928437e-02,2.935441e-02,2.985813e-02,3.010346e-02,3.040943e-02,3.081351e-02,3.093846e-02,3.144547e-02,3.148509e-02,3.193077e-02,3.211888e-02,3.239469e-02,3.271569e-02,3.283762e-02,3.325997e-02,3.327644e-02,3.366218e-02,3.380214e-02,3.404472e-02,3.429384e-02,3.440805e-02,3.475268e-02,3.507912e-02,3.517982e-02,3.538787e-02,3.557643e-02,3.567945e-02,3.594370e-02,3.595439e-02,3.621320e-02,3.628285e-02,3.645641e-02,3.659507e-02,3.668454e-02,3.688153e-02,3.689809e-02,3.709758e-02,3.714342e-02,3.728350e-02,3.738188e-02,3.745635e-02,3.759803e-02,3.761661e-02,3.776475e-02,3.779297e-02,3.790124e-02,3.796776e-02,3.802653e-02,3.812345e-02,3.814107e-02,3.824528e-02,3.826103e-02,3.833960e-02,3.838147e-02,3.842442e-02,3.848571e-02,3.850015e-02,3.856717e-02,3.857464e-02,3.862586e-02,3.864914e-02,3.867658e-02,3.871002e-02,3.871969e-02,3.875552e-02,3.875808e-02,3.878441e-02,3.879410e-02,3.880668e-02,3.881878e-02,3.882263e-02,3.883256e-02,3.883283e-02,3.883676e-02,3.883692e-02,3.883551e-02,3.883168e-02,3.882907e-02,3.881770e-02,3.879557e-02,3.876584e-02,3.872902e-02,3.868560e-02,3.863607e-02,3.858085e-02,3.852039e-02,3.845507e-02,3.838527e-02,3.831137e-02,3.823368e-02,3.815255e-02,3.806827e-02,3.798113e-02,3.789140e-02,3.779934e-02,3.770519e-02,3.760918e-02,3.751152e-02,3.741242e-02,3.731206e-02,3.721062e-02,3.710828e-02,3.700519e-02
0.000000e+00,1.218684e-09,4.794072e-09,3.684104e-08,1.426571e-07,2.653985e-07,1.016718e-06,1.067257e-06,3.130951e-06,4.072146e-06,7.550386e-06,1.197885e-05,1.593788e-05,2.904877e-05,3.050326e-05,5.398617e-05,6.128294e-05,8.940749e-05,1.155872e-04,1.397766e-04,1.986874e-04,2.078809e-04,2.961721e-04,3.164415e-04,4.067138e-04,4.735553e-04,5.411630e-04,6.735006e-04,7.007672e-04,8.863691e-04,9.185134e-04,1.098417e-03,1.209628e-03,1.336980e-03,1.546735e-03,1.601764e-03,1.892140e-03,1.928663e-03,2.207166e-03,2.353281e-03,2.545623e-03,2.817631e-03,2.906051e-03,3.286782e-03,3.318064e-03,3.685983e-03,3.850398e-03,4.101690e-03,4.410071e-03,4.531852e-03,4.974359e-03,4.992286e-03,5.427084e-03,5.592156e-03,5.887904e-03,6.204820e-03,6.354735e-03,6.825548e-03,7.298396e-03,7.449832e-03,7.771424e-03,8.073443e-03,8.242882e-03,8.692488e-03,8.711137e-03,9.174680e-03,9.303436e-03,9.632126e-03,9.903140e-03,1.008222e-02,1.048884e-02,1.052383e-02,1.095596e-02,1.105816e-02,1.137773e-02,1.160910e-02,1.178836e-02,1.214000e-02,1.218723e-02,1.257377e-02,1.264956e-02,1.294755e-02,1.313676e-02,1.330822e-02,1.360086e-02,1.365553e-02,1.398927e-02,1.404141e-02,1.430936e-02,1.445813e-02,1.461574e-02,1.485099e-02,1.490844e-02,1.518753e-02,1.522011e-02,1.545313e-02,1.556576e-02,1.570540e-02,1.588834e-02,1.594455e-02,1.617080e-02,1.618836e-02,1.638443e-02,1.646641e-02,1.658572e-02,1.672317e-02,1.677496e-02,1.695249e-02,1.695936e-02,1.711864e-02,1.717574e-02,1.727376e-02,1.737312e-02,1.741820e-02,1.755231e-02,1.767646e-02,1.771414e-02,1.779101e-02,1.785945e-02,1.789633e-02,1.798907e-02,1.799276e-02,1.808068e-02,1.810382e-02,1.816043e-02,1.820450e-02,1.823235e-02,1.829191e-02,1.829680e-02,1.835410e-02,1.836682e-02,1.840457e-02,1.842998e-02,1.844855e-02,1.848211e-02,1.848633e-02,1.851821e-02,1.852391e-02,1.854450e-02,1.855605e-02,1.856547e-02,1.857918e-02,1.858140e-02,1.859254e-02,1.859390e-02,1.859916e-02,1.860081e-02,1.860151e-02,1.860046e-02,1.859981e-02,1.859430e-02,1.859340e-02,1.858520e-02,1.858011e-02,1.857271e-02,1.856109e-02,1.855705e-02,1.853839e-02,1.853678e-02,1.851693e-02,1.850760e-02,1.849285e-02,1.847398e-02,1.846631e-02,1.843747e-02,1.843627e-02,1.840650e-02,1.839485e-02,1.837353e-02,1.835005e-02,1.833872e-02,1.830219e-02,1.825157e-02,1.819845e-02,1.814311e-02,1.808579e-02,1.802672e-02,1.796610e-02,1.790414e-02,1.784103e-02,1.777693e-02,1.771201e-02,1.764642e-02,1.758029e-02,1.751375e-02,1.744693e-02,1.737993e-02,1.731285e-02,1.724579e-02,1.717883e-02,1.711206e-02,1.704554e-02,1.697935e-02,1.691354e-02,1.684818e-02,1.678330e-02
0.000000e+00,2.240269e-09,5.446731e-09,1.997685e-08,4.687024e-08,6.918848e-08,1.604160e-07,1.653609e-07,3.244237e-07,3.825465e-07,5.636964e-07,7.535360e-07,9.018452e-07,1.314732e-06,1.355548e-06,1.933097e-06,2.090092e-06,2.632800e-06,3.075705e-06,3.448466e-06,4.257245e-06,4.373914e-06,5.403883e-06,5.621990e-06,6.533488e-06,7.158578e-06,7.757600e-06,8.854693e-06,9.070451e-06,1.046545e-05,1.069579e-05,1.193517e-05,1.266479e-05,1.347141e-05,1.474238e-05,1.506534e-05,1.670769e-05,1.690758e-05,1.838895e-05,1.913855e-05,2.009951e-05,2.141331e-05,2.182992e-05,2.357103e-05,2.371051e-05,2.531409e-05,2.601001e-05,2.705092e-05,2.829331e-05,2.877395e-05,3.047631e-05,3.054388e-05,3.215183e-05,3.274738e-05,3.379509e-05,3.489166e-05,3.540140e-05,3.696676e-05,3.848784e-05,3.896478e-05,3.996194e-05,4.087971e-05,4.138694e-05,4.270726e-05,4.276125e-05,4.408375e-05,4.444466e-05,4.535375e-05,4.609041e-05,4.657094e-05,4.764411e-05,4.773532e-05,4.884719e-05,4.910628e-05,4.990708e-05,5.047818e-05,5.091572e-05,5.176166e-05,5.187404e-05,5.278306e-05,5.295905e-05,5.364395e-05,5.407300e-05,5.445795e-05,5.510644e-05,5.522639e-05,5.595062e-05,5.606249e-05,5.663205e-05,5.694435e-05,5.727210e-05,5.775530e-05,5.787219e-05,5.843375e-05,5.849862e-05,5.895820e-05,5.917756e-05,5.944695e-05,5.979537e-05,5.990137e-05,6.032284e-05,6.035518e-05,6.071269e-05,6.086007e-05,6.107222e-05,6.131302e-05,6.140270e-05,6.170536e-05,6.171691e-05,6.198141e-05,6.207450e-05,6.223202e-05,6.238847e-05,6.245831e-05,6.266137e-05,6.284225e-05,6.289562e-05,6.300199e-05,6.309357e-05,6.314155e-05,6.325742e-05,6.326188e-05,6.336390e-05,6.338930e-05,6.344848e-05,6.349122e-05,6.351648e-05,6.356508e-05,6.356869e-05,6.360592e-05,6.361270e-05,6.362889e-05,6.363580e-05,6.363834e-05,6.363602e-05,6.363496e-05,6.361940e-05,6.361489e-05,6.359232e-05,6.357388e-05,6.355431e-05,6.351437e-05,6.350596e-05,6.344784e-05,6.343767e-05,6.338048e-05,6.334502e-05,6.330440e-05,6.323759e-05,6.322009e-05,6.312802e-05,6.311647e-05,6.302864e-05,6.298271e-05,6.292239e-05,6.283729e-05,6.280967e-05,6.269090e-05,6.268114e-05,6.256643e-05,6.251514e-05,6.243664e-05,6.234009e-05,6.230187e-05,6.216246e-05,6.215679e-05,6.201870e-05,6.196595e-05,6.187092e-05,6.176827e-05,6.171939e-05,6.156439e-05,6.135492e-05,6.114043e-05,6.092145e-05,6.069849e-05,6.047203e-05,6.024250e-05,6.001032e-05,5.977588e-05,5.953955e-05,5.930166e-05,5.906255e-05,5.882249e-05,5.858178e-05,5.834067e-05,5.809941e-05,5.785822e-05,5.761732e-05,5.737689e-05,5.713713e-05,5.689819e-05,5.666025e-05,5.642343e-05,5.618787e-05,5.595371e-05
0.000000e+00,1.248964e-09,3.424613e-09,1.434360e-08,3.577587e-08,5.398502e-08,1.298621e-07,1.340119e-07,2.685215e-07,3.180260e-07,4.731869e-07,6.370719e-07,7.660413e-07,1.130084e-06,1.166511e-06,1.690609e-06,1.835604e-06,2.342466e-06,2.759257e-06,3.109694e-06,3.862051e-06,3.969250e-06,4.897176e-06,5.089138e-06,5.873690e-06,6.395489e-06,6.883612e-06,7.749052e-06,7.915126e-06,8.958516e-06,9.125983e-06,1.000532e-05,1.050672e-05,1.104786e-05,1.187402e-05,1.207902e-05,1.309220e-05,1.321228e-05,1.408135e-05,1.450755e-05,1.504105e-05,1.574773e-05,1.596648e-05,1.685358e-05,1.692279e-05,1.769906e-05,1.802499e-05,1.850028e-05,1.904866e-05,1.925534e-05,1.996307e-05,1.999039e-05,2.062287e-05,2.084865e-05,2.123473e-05,2.162364e-05,2.179913e-05,2.231697e-05,2.278948e-05,2.293136e-05,2.321821e-05,2.347041e-05,2.360489e-05,2.393832e-05,2.395143e-05,2.425984e-05,2.433964e-05,2.453217e-05,2.467913e-05,2.477053e-05,2.496160e-05,2.497699e-05,2.515364e-05,2.519182e-05,2.530246e-05,2.537438e-05,2.542541e-05,2.551368e-05,2.552435e-05,2.560107e-05,2.561390e-05,2.565727e-05,2.567892e-05,2.569455e-05,2.571234e-05,2.571441e-05,2.571829e-05,2.571751e-05,2.570750e-05,2.569749e-05,2.568330e-05,2.565505e-05,2.564683e-05,2.559917e-05,2.559275e-05,2.554132e-05,2.551288e-05,2.547421e-05,2.541754e-05,2.539869e-05,2.531556e-05,2.530860e-05,2.522555e-05,2.518778e-05,2.512935e-05,2.505660e-05,2.502757e-05,2.492079e-05,2.491643e-05,2.480955e-05,2.476851e-05,2.469434e-05,2.461395e-05,2.457560e-05,2.445375e-05,2.432919e-05,2.428881e-05,2.420225e-05,2.411991e-05,2.407326e-05,2.394779e-05,2.394253e-05,2.381032e-05,2.377307e-05,2.367689e-05,2.359634e-05,2.354247e-05,2.341811e-05,2.340727e-05,2.327149e-05,2.323884e-05,2.313531e-05,2.305893e-05,2.299889e-05,2.287876e-05,2.286238e-05,2.272593e-05,2.269865e-05,2.258965e-05,2.251890e-05,2.245367e-05,2.233975e-05,2.231809e-05,2.218301e-05,2.216145e-05,2.204852e-05,2.198419e-05,2.191469e-05,2.180816e-05,2.178161e-05,2.164933e-05,2.163352e-05,2.151793e-05,2.146040e-05,2.138744e-05,2.128892e-05,2.125793e-05,2.112944e-05,2.111921e-05,2.100201e-05,2.095134e-05,2.087566e-05,2.078540e-05,2.075045e-05,2.062639e-05,2.062145e-05,2.050351e-05,2.045957e-05,2.038184e-05,2.029979e-05,2.026138e-05,2.014216e-05,1.998672e-05,1.983348e-05,1.968247e-05,1.953370e-05,1.938719e-05,1.924294e-05,1.910095e-05,1.896121e-05,1.882373e-05,1.868849e-05,1.855548e-05,1.842469e-05,1.829610e-05,1.816969e-05,1.804545e-05,1.792334e-05,1.780336e-05,1.768548e-05,1.756966e-05,1.745590e-05,1.734415e-05,1.723439e-05,1.712660e-05,1.702074e-05
0.000000e+00,4.844968e-09,1.128108e-08,3.954713e-08,9.090546e-08,1.331986e-07,3.048966e-07,3.141711e-07,6.114787e-07,7.197305e-07,1.056147e-06,1.407637e-06,1.681976e-06,2.448258e-06,2.524434e-06,3.615447e-06,3.916741e-06,4.973174e-06,5.849260e-06,6.593075e-06,8.216125e-06,8.450475e-06,1.051236e-05,1.094640e-05,1.274674e-05,1.396733e-05,1.512563e-05,1.721774e-05,1.762476e-05,2.022242e-05,2.064584e-05,2.289868e-05,2.420571e-05,2.563497e-05,2.785553e-05,2.841394e-05,3.121949e-05,3.155722e-05,3.403682e-05,3.527667e-05,3.685252e-05,3.898395e-05,3.965463e-05,4.243261e-05,4.265352e-05,4.517732e-05,4.626411e-05,4.788099e-05,4.979848e-05,5.053703e-05,5.314001e-05,5.324296e-05,5.568551e-05,5.658712e-05,5.817002e-05,5.982323e-05,6.059082e-05,6.294590e-05,6.523383e-05,6.595163e-05,6.745371e-05,6.883848e-05,6.960506e-05,7.160578e-05,7.168777e-05,7.370207e-05,7.425387e-05,7.564843e-05,7.678390e-05,7.752751e-05,7.919756e-05,7.934015e-05,8.108732e-05,8.149702e-05,8.277012e-05,8.368480e-05,8.438972e-05,8.576370e-05,8.594739e-05,8.744442e-05,8.773667e-05,8.888216e-05,8.960680e-05,9.026198e-05,9.137730e-05,9.158528e-05,9.285350e-05,9.305139e-05,9.406803e-05,9.463236e-05,9.523031e-05,9.612346e-05,9.634174e-05,9.740375e-05,9.752793e-05,9.841772e-05,9.884901e-05,9.938504e-05,1.000898e-04,1.003071e-04,1.011852e-04,1.012536e-04,1.020207e-04,1.023432e-04,1.028148e-04,1.033618e-04,1.035690e-04,1.042844e-04,1.043122e-04,1.049622e-04,1.051973e-04,1.056038e-04,1.060199e-04,1.062102e-04,1.067826e-04,1.073221e-04,1.074880e-04,1.078299e-04,1.081388e-04,1.083071e-04,1.087373e-04,1.087546e-04,1.091735e-04,1.092858e-04,1.095649e-04,1.097868e-04,1.099296e-04,1.102424e-04,1.102686e-04,1.105829e-04,1.106548e-04,1.108734e-04,1.110259e-04,1.111409e-04,1.113579e-04,1.113862e-04,1.116103e-04,1.116526e-04,1.118139e-04,1.119119e-04,1.119977e-04,1.121375e-04,1.121626e-04,1.123093e-04,1.123311e-04,1.124384e-04,1.124944e-04,1.125508e-04,1.126290e-04,1.126470e-04,1.127277e-04,1.127364e-04,1.127935e-04,1.128180e-04,1.128451e-04,1.128752e-04,1.128830e-04,1.129079e-04,1.129093e-04,1.129202e-04,1.129217e-04,1.129205e-04,1.129136e-04,1.129094e-04,1.128872e-04,1.128861e-04,1.128546e-04,1.128404e-04,1.128120e-04,1.127776e-04,1.127599e-04,1.126986e-04,1.126045e-04,1.124962e-04,1.123746e-04,1.122406e-04,1.120950e-04,1.119386e-04,1.117721e-04,1.115963e-04,1.114117e-04,1.112192e-04,1.110193e-04,1.108125e-04,1.105995e-04,1.103808e-04,1.101569e-04,1.099282e-04,1.096953e-04,1.094585e-04,1.092183e-04,1.089751e-04,1.087292e-04,1.084811e-04,1.082309e-04,1.079791e-04
0.000000e+00,4.874795e-10,1.496557e-09,7.323683e-09,1.994007e-08,3.115693e-08,7.975439e-08,8.245655e-08,1.707897e-07,2.033702e-07,3.049174e-07,4.107612e-07,4.929171e-07,7.198886e-07,7.422590e-07,1.059789e-06,1.146835e-06,1.451539e-06,1.705181e-06,1.922252e-06,2.403951e-06,2.474552e-06,3.107961e-06,3.244077e-06,3.818380e-06,4.215925e-06,4.598587e-06,5.301290e-06,5.439524e-06,6.331564e-06,6.478397e-06,7.265275e-06,7.725608e-06,8.231706e-06,9.022737e-06,9.222442e-06,1.022958e-05,1.035118e-05,1.124571e-05,1.169385e-05,1.226392e-05,1.303521e-05,1.327784e-05,1.428165e-05,1.436135e-05,1.527012e-05,1.566017e-05,1.623865e-05,1.692135e-05,1.718321e-05,1.810041e-05,1.813648e-05,1.898741e-05,1.929889e-05,1.984196e-05,2.040360e-05,2.066230e-05,2.144712e-05,2.219558e-05,2.242732e-05,2.290718e-05,2.334318e-05,2.358178e-05,2.419467e-05,2.421948e-05,2.482065e-05,2.498250e-05,2.538584e-05,2.570798e-05,2.591579e-05,2.637296e-05,2.641137e-05,2.687355e-05,2.697962e-05,2.730339e-05,2.753039e-05,2.770200e-05,2.802788e-05,2.807055e-05,2.841022e-05,2.847480e-05,2.872221e-05,2.887391e-05,2.900773e-05,2.922797e-05,2.926796e-05,2.950409e-05,2.953971e-05,2.971728e-05,2.981180e-05,2.990868e-05,3.004684e-05,3.007938e-05,3.023046e-05,3.024732e-05,3.036297e-05,3.041565e-05,3.047790e-05,3.055409e-05,3.057622e-05,3.065886e-05,3.066482e-05,3.072670e-05,3.074989e-05,3.078061e-05,3.081127e-05,3.082142e-05,3.084989e-05,3.085078e-05,3.086678e-05,3.087017e-05,3.087281e-05,3.087105e-05,3.086865e-05,3.085496e-05,3.083234e-05,3.082332e-05,3.080141e-05,3.077749e-05,3.076270e-05,3.071872e-05,3.071675e-05,3.066408e-05,3.064819e-05,3.060514e-05,3.056697e-05,3.054041e-05,3.047611e-05,3.047031e-05,3.039525e-05,3.037655e-05,3.031562e-05,3.026917e-05,3.023178e-05,3.015480e-05,3.014408e-05,3.005285e-05,3.003421e-05,2.995839e-05,2.990810e-05,2.986101e-05,2.977714e-05,2.976096e-05,2.965853e-05,2.964193e-05,2.955395e-05,2.950305e-05,2.944745e-05,2.936102e-05,2.933926e-05,2.922958e-05,2.921632e-05,2.911860e-05,2.906940e-05,2.900651e-05,2.892068e-05,2.889347e-05,2.877965e-05,2.877052e-05,2.866521e-05,2.861929e-05,2.855027e-05,2.846730e-05,2.843499e-05,2.831947e-05,2.831484e-05,2.820384e-05,2.816220e-05,2.808820e-05,2.800962e-05,2.797266e-05,2.785732e-05,2.770551e-05,2.755438e-05,2.740410e-05,2.725482e-05,2.710669e-05,2.695983e-05,2.681435e-05,2.667036e-05,2.652794e-05,2.638718e-05,2.624815e-05,2.611090e-05,2.597550e-05,2.584198e-05,2.571039e-05,2.558077e-05,2.545313e-05,2.532750e-05,2.520390e-05,2.508234e-05,2.496282e-05,2.484536e-05,2.472994e-05,2.461658e-05
0.000000e+00,2.461954e-11,9.383387e-11,6.745605e-10,2.453935e-09,4.407796e-09,1.537112e-08,1.607181e-08,4.269858e-08,5.399840e-08,9.310440e-08,1.389760e-07,1.775415e-07,2.950180e-07,3.073499e-07,4.941903e-07,5.487230e-07,7.483807e-07,9.229086e-07,1.076843e-06,1.429339e-06,1.481976e-06,1.961870e-06,2.066406e-06,2.511295e-06,2.822057e-06,3.122779e-06,3.677957e-06,3.787503e-06,4.495951e-06,4.612708e-06,5.238347e-06,5.603893e-06,6.004973e-06,6.629368e-06,6.786399e-06,7.573668e-06,7.668130e-06,8.358444e-06,8.700970e-06,9.133136e-06,9.710973e-06,9.890996e-06,1.062618e-05,1.068386e-05,1.133378e-05,1.160818e-05,1.200984e-05,1.247533e-05,1.265132e-05,1.325604e-05,1.327944e-05,1.382265e-05,1.401715e-05,1.435049e-05,1.468724e-05,1.483954e-05,1.529031e-05,1.570374e-05,1.582836e-05,1.608114e-05,1.630448e-05,1.642407e-05,1.672248e-05,1.673428e-05,1.701365e-05,1.708661e-05,1.726412e-05,1.740134e-05,1.748764e-05,1.767117e-05,1.768618e-05,1.786163e-05,1.790051e-05,1.801584e-05,1.809358e-05,1.815057e-05,1.825433e-05,1.826746e-05,1.836810e-05,1.838640e-05,1.845391e-05,1.849313e-05,1.852626e-05,1.857753e-05,1.858638e-05,1.863542e-05,1.864231e-05,1.867443e-05,1.868988e-05,1.870437e-05,1.872238e-05,1.872610e-05,1.874043e-05,1.874168e-05,1.874806e-05,1.874947e-05,1.874965e-05,1.874719e-05,1.874580e-05,1.873705e-05,1.873615e-05,1.872387e-05,1.871745e-05,1.870670e-05,1.869210e-05,1.868596e-05,1.866199e-05,1.866096e-05,1.863512e-05,1.862480e-05,1.860566e-05,1.858428e-05,1.857386e-05,1.853999e-05,1.850425e-05,1.849246e-05,1.846686e-05,1.844214e-05,1.842799e-05,1.838944e-05,1.838781e-05,1.834649e-05,1.833473e-05,1.830416e-05,1.827833e-05,1.826094e-05,1.822051e-05,1.821697e-05,1.817234e-05,1.816154e-05,1.812716e-05,1.810164e-05,1.808151e-05,1.804102e-05,1.803548e-05,1.798915e-05,1.797985e-05,1.794258e-05,1.791830e-05,1.789585e-05,1.785651e-05,1.784902e-05,1.780213e-05,1.779462e-05,1.775524e-05,1.773275e-05,1.770840e-05,1.767099e-05,1.766165e-05,1.761502e-05,1.760944e-05,1.756857e-05,1.754819e-05,1.752231e-05,1.748731e-05,1.747629e-05,1.743053e-05,1.742688e-05,1.738505e-05,1.736694e-05,1.733988e-05,1.730757e-05,1.729505e-05,1.725057e-05,1.724880e-05,1.720646e-05,1.719067e-05,1.716273e-05,1.713323e-05,1.711942e-05,1.707651e-05,1.702054e-05,1.696534e-05,1.691094e-05,1.685734e-05,1.680458e-05,1.675266e-05,1.670159e-05,1.665138e-05,1.660204e-05,1.655357e-05,1.650598e-05,1.645926e-05,1.641341e-05,1.636844e-05,1.632434e-05,1.628111e-05,1.623874e-05,1.619723e-05,1.615656e-05,1.611674e-05,1.607776e-05,1.603959e-05,1.600225e-05,1.596571e-05
0.000000e+00,1.083792e-09,3.026853e-09,1.299711e-08,3.287528e-08,4.988007e-08,1.210076e-07,1.248977e-07,2.504589e-07,2.963287e-07,4.387264e-07,5.868792e-07,7.019407e-07,1.020464e-06,1.051894e-06,1.497465e-06,1.619057e-06,2.041008e-06,2.386652e-06,2.677897e-06,3.309152e-06,3.400020e-06,4.198828e-06,4.367067e-06,5.066152e-06,5.541593e-06,5.994020e-06,6.814314e-06,6.974352e-06,7.998818e-06,8.166258e-06,9.058855e-06,9.577759e-06,1.014578e-05,1.102887e-05,1.125096e-05,1.236598e-05,1.250006e-05,1.348281e-05,1.397284e-05,1.459398e-05,1.543043e-05,1.569263e-05,1.677265e-05,1.685808e-05,1.782868e-05,1.824333e-05,1.885617e-05,1.957611e-05,1.985129e-05,2.081095e-05,2.084856e-05,2.173272e-05,2.205492e-05,2.261483e-05,2.319136e-05,2.345604e-05,2.425563e-05,2.501328e-05,2.524688e-05,2.572908e-05,2.616539e-05,2.640340e-05,2.701231e-05,2.703688e-05,2.763037e-05,2.778951e-05,2.818489e-05,2.849938e-05,2.870160e-05,2.914465e-05,2.918174e-05,2.962665e-05,2.972833e-05,3.003768e-05,3.025359e-05,3.041625e-05,3.072364e-05,3.076375e-05,3.108161e-05,3.114174e-05,3.137122e-05,3.151111e-05,3.163396e-05,3.183489e-05,3.187118e-05,3.208419e-05,3.211611e-05,3.227426e-05,3.235771e-05,3.244262e-05,3.256247e-05,3.259046e-05,3.271892e-05,3.273309e-05,3.282911e-05,3.287208e-05,3.292209e-05,3.298185e-05,3.299885e-05,3.306037e-05,3.306466e-05,3.310756e-05,3.312263e-05,3.314132e-05,3.315777e-05,3.316247e-05,3.317181e-05,3.317195e-05,3.317011e-05,3.316693e-05,3.315808e-05,3.314435e-05,3.313641e-05,3.310574e-05,3.306671e-05,3.305254e-05,3.301988e-05,3.298608e-05,3.296582e-05,3.290761e-05,3.290505e-05,3.283807e-05,3.281826e-05,3.276534e-05,3.271913e-05,3.268731e-05,3.261121e-05,3.260441e-05,3.251702e-05,3.249542e-05,3.242553e-05,3.237263e-05,3.233028e-05,3.224362e-05,3.223161e-05,3.212984e-05,3.210914e-05,3.202526e-05,3.196987e-05,3.191816e-05,3.182643e-05,3.180879e-05,3.169740e-05,3.167941e-05,3.158423e-05,3.152934e-05,3.146950e-05,3.137672e-05,3.135341e-05,3.123615e-05,3.122201e-05,3.111791e-05,3.106562e-05,3.099886e-05,3.090793e-05,3.087915e-05,3.075895e-05,3.074931e-05,3.063838e-05,3.059008e-05,3.051758e-05,3.043053e-05,3.039667e-05,3.027576e-05,3.027093e-05,3.015497e-05,3.011153e-05,3.003439e-05,2.995256e-05,2.991411e-05,2.979422e-05,2.963670e-05,2.948017e-05,2.932478e-05,2.917067e-05,2.901795e-05,2.886675e-05,2.871715e-05,2.856925e-05,2.842313e-05,2.827884e-05,2.813645e-05,2.799602e-05,2.785757e-05,2.772116e-05,2.758681e-05,2.745454e-05,2.732437e-05,2.719632e-05,2.707039e-05,2.694660e-05,2.682494e-05,2.670542e-05,2.658802e-05,2.647275e-05
0.000000e+00,6.256184e-11,2.442342e-10,1.845788e-09,7.029694e-09,1.295007e-08,4.822161e-08,5.055488e-08,1.433876e-07,1.845890e-07,3.328176e-07,5.150301e-07,6.735240e-07,1.178559e-06,1.233173e-06,2.089326e-06,2.347969e-06,3.323242e-06,4.208752e-06,5.013397e-06,6.934947e-06,7.231055e-06,1.003785e-05,1.067457e-05,1.348456e-05,1.554326e-05,1.761048e-05,2.162158e-05,2.244306e-05,2.799782e-05,2.895401e-05,3.427839e-05,3.754896e-05,4.127680e-05,4.737990e-05,4.897397e-05,5.734050e-05,5.838771e-05,6.633761e-05,7.048427e-05,7.591832e-05,8.355703e-05,8.602874e-05,9.660949e-05,9.747440e-05,1.075972e-04,1.120914e-04,1.189257e-04,1.272556e-04,1.305279e-04,1.423365e-04,1.428122e-04,1.542854e-04,1.586090e-04,1.663109e-04,1.745007e-04,1.783519e-04,1.903516e-04,2.022568e-04,2.060385e-04,2.140193e-04,2.214520e-04,2.255954e-04,2.364974e-04,2.369467e-04,2.480392e-04,2.510947e-04,2.588442e-04,2.651787e-04,2.693371e-04,2.786979e-04,2.794981e-04,2.893115e-04,2.916135e-04,2.987652e-04,3.038989e-04,3.078508e-04,3.155373e-04,3.165630e-04,3.248994e-04,3.265216e-04,3.328602e-04,3.368521e-04,3.404477e-04,3.465359e-04,3.476663e-04,3.545217e-04,3.555853e-04,3.610214e-04,3.640173e-04,3.671738e-04,3.718521e-04,3.729884e-04,3.784754e-04,3.791123e-04,3.836454e-04,3.858227e-04,3.885097e-04,3.920091e-04,3.930797e-04,3.973670e-04,3.976981e-04,4.013832e-04,4.029164e-04,4.051400e-04,4.076907e-04,4.086488e-04,4.119211e-04,4.120473e-04,4.149680e-04,4.160118e-04,4.178003e-04,4.196091e-04,4.204286e-04,4.228632e-04,4.251140e-04,4.257970e-04,4.271906e-04,4.284324e-04,4.291021e-04,4.307901e-04,4.308574e-04,4.324649e-04,4.328897e-04,4.339328e-04,4.347498e-04,4.352688e-04,4.363878e-04,4.364803e-04,4.375742e-04,4.378200e-04,4.385574e-04,4.390620e-04,4.394362e-04,4.401279e-04,4.402166e-04,4.409044e-04,4.410313e-04,4.415050e-04,4.417847e-04,4.420237e-04,4.423997e-04,4.424653e-04,4.428345e-04,4.428872e-04,4.431357e-04,4.432574e-04,4.433730e-04,4.435196e-04,4.435504e-04,4.436717e-04,4.436826e-04,4.437402e-04,4.437546e-04,4.437595e-04,4.437430e-04,4.437325e-04,4.436624e-04,4.436550e-04,4.435519e-04,4.434970e-04,4.434037e-04,4.432751e-04,4.432203e-04,4.430041e-04,4.429948e-04,4.427573e-04,4.426614e-04,4.424820e-04,4.422797e-04,4.421804e-04,4.418541e-04,4.413889e-04,4.408878e-04,4.403545e-04,4.397922e-04,4.392040e-04,4.385927e-04,4.379610e-04,4.373113e-04,4.366459e-04,4.359668e-04,4.352760e-04,4.345753e-04,4.338664e-04,4.331507e-04,4.324297e-04,4.317047e-04,4.309770e-04,4.302475e-04,4.295174e-04,4.287876e-04,4.280589e-04,4.273322e-04,4.266082e-04,4.258877e-04
0.000000e+00,4.180092e-09,9.559052e-09,3.282794e-08,7.467545e-08,1.089872e-07,2.479744e-07,2.554833e-07,4.969116e-07,5.852627e-07,8.614935e-07,1.152454e-06,1.380679e-06,2.018731e-06,2.081916e-06,2.975240e-06,3.217314e-06,4.049792e-06,4.723268e-06,5.285611e-06,6.491534e-06,6.663920e-06,8.169423e-06,8.484622e-06,9.789154e-06,1.067254e-05,1.151105e-05,1.302756e-05,1.332301e-05,1.521253e-05,1.552118e-05,1.716651e-05,1.812336e-05,1.917145e-05,2.080288e-05,2.121364e-05,2.327942e-05,2.352826e-05,2.535550e-05,2.626894e-05,2.742918e-05,2.899622e-05,2.948857e-05,3.152279e-05,3.168414e-05,3.352207e-05,3.431002e-05,3.547777e-05,3.685468e-05,3.738248e-05,3.922993e-05,3.930256e-05,4.101497e-05,4.164150e-05,4.273359e-05,4.386273e-05,4.438275e-05,4.596028e-05,4.746483e-05,4.793075e-05,4.889575e-05,4.977285e-05,5.025298e-05,5.148702e-05,5.153698e-05,5.274865e-05,5.307512e-05,5.388925e-05,5.454013e-05,5.496033e-05,5.588586e-05,5.596368e-05,5.690126e-05,5.711673e-05,5.777518e-05,5.823759e-05,5.858764e-05,5.925356e-05,5.934091e-05,6.003727e-05,6.016992e-05,6.067906e-05,6.099198e-05,6.126856e-05,6.172502e-05,6.180807e-05,6.229984e-05,6.237424e-05,6.274607e-05,6.294472e-05,6.314892e-05,6.344137e-05,6.351048e-05,6.383278e-05,6.386891e-05,6.411779e-05,6.423188e-05,6.436742e-05,6.453459e-05,6.458348e-05,6.476775e-05,6.478117e-05,6.492191e-05,6.497552e-05,6.504760e-05,6.512134e-05,6.514636e-05,6.521970e-05,6.522212e-05,6.526903e-05,6.528118e-05,6.529572e-05,6.530161e-05,6.530108e-05,6.528635e-05,6.525272e-05,6.523815e-05,6.520131e-05,6.515959e-05,6.513322e-05,6.505310e-05,6.504946e-05,6.495102e-05,6.492095e-05,6.483882e-05,6.476528e-05,6.471377e-05,6.458808e-05,6.457669e-05,6.442839e-05,6.439122e-05,6.426964e-05,6.417644e-05,6.410116e-05,6.394539e-05,6.392363e-05,6.373771e-05,6.369958e-05,6.354402e-05,6.344043e-05,6.334316e-05,6.316928e-05,6.313566e-05,6.292208e-05,6.288737e-05,6.270290e-05,6.259585e-05,6.247860e-05,6.229579e-05,6.224964e-05,6.201644e-05,6.198819e-05,6.177940e-05,6.167399e-05,6.153891e-05,6.135406e-05,6.129533e-05,6.104900e-05,6.102918e-05,6.080024e-05,6.070013e-05,6.054936e-05,6.036757e-05,6.029664e-05,6.004237e-05,6.003217e-05,5.978679e-05,5.969451e-05,5.953015e-05,5.935514e-05,5.927267e-05,5.901458e-05,5.867329e-05,5.833171e-05,5.799024e-05,5.764924e-05,5.730907e-05,5.697002e-05,5.663239e-05,5.629643e-05,5.596239e-05,5.563049e-05,5.530091e-05,5.497385e-05,5.464946e-05,5.432789e-05,5.400928e-05,5.369373e-05,5.338137e-05,5.307228e-05,5.276654e-05,5.246423e-05,5.216541e-05,5.187013e-05,5.157845e-05,5.129039e-05
0.000000e+00,5.242851e-11,1.997909e-10,1.435761e-09,5.220658e-09,9.374053e-09,3.263984e-08,3.412479e-08,9.039863e-08,1.141963e-07,1.962127e-07,2.918135e-07,3.717423e-07,6.131745e-07,6.383709e-07,1.017891e-06,1.128166e-06,1.531596e-06,1.885246e-06,2.198873e-06,2.925442e-06,3.035072e-06,4.049170e-06,4.273577e-06,5.242247e-06,5.931385e-06,6.607422e-06,7.877340e-06,8.131047e-06,9.794473e-06,1.007216e-05,1.157583e-05,1.246589e-05,1.345156e-05,1.500389e-05,1.539756e-05,1.739008e-05,1.763122e-05,1.940633e-05,2.029543e-05,2.142492e-05,2.294843e-05,2.342616e-05,2.539234e-05,2.554764e-05,2.730781e-05,2.805671e-05,2.915909e-05,3.044583e-05,3.093488e-05,3.262599e-05,3.269177e-05,3.422533e-05,3.477756e-05,3.572770e-05,3.669211e-05,3.712969e-05,3.842950e-05,3.962675e-05,3.998832e-05,4.072228e-05,4.137086e-05,4.171796e-05,4.258241e-05,4.261653e-05,4.342140e-05,4.363051e-05,4.413653e-05,4.452433e-05,4.476626e-05,4.527412e-05,4.531517e-05,4.578802e-05,4.589072e-05,4.618963e-05,4.638522e-05,4.652482e-05,4.676860e-05,4.679832e-05,4.701474e-05,4.705157e-05,4.717856e-05,4.724438e-05,4.729404e-05,4.735668e-05,4.736526e-05,4.739607e-05,4.739750e-05,4.739010e-05,4.737518e-05,4.735075e-05,4.729738e-05,4.728120e-05,4.718442e-05,4.717111e-05,4.706315e-05,4.700269e-05,4.691994e-05,4.679788e-05,4.675714e-05,4.657691e-05,4.656180e-05,4.638125e-05,4.629907e-05,4.617198e-05,4.601383e-05,4.595078e-05,4.571919e-05,4.570973e-05,4.547861e-05,4.539004e-05,4.523031e-05,4.505766e-05,4.497547e-05,4.471514e-05,4.445030e-05,4.436474e-05,4.418182e-05,4.400846e-05,4.391050e-05,4.364803e-05,4.363706e-05,4.336216e-05,4.328501e-05,4.308639e-05,4.292073e-05,4.281027e-05,4.255636e-05,4.253430e-05,4.225890e-05,4.219293e-05,4.198447e-05,4.183133e-05,4.171134e-05,4.147234e-05,4.143985e-05,4.117026e-05,4.111660e-05,4.090283e-05,4.076469e-05,4.063777e-05,4.041710e-05,4.037528e-05,4.011553e-05,4.007424e-05,3.985867e-05,3.973645e-05,3.960483e-05,3.940401e-05,3.935413e-05,3.910665e-05,3.907717e-05,3.886249e-05,3.875612e-05,3.862171e-05,3.844101e-05,3.838437e-05,3.815051e-05,3.813195e-05,3.792017e-05,3.782903e-05,3.769339e-05,3.753231e-05,3.747017e-05,3.725053e-05,3.724182e-05,3.703447e-05,3.695757e-05,3.682199e-05,3.667955e-05,3.661309e-05,3.640775e-05,3.614212e-05,3.588263e-05,3.562920e-05,3.538177e-05,3.514027e-05,3.490461e-05,3.467470e-05,3.445045e-05,3.423177e-05,3.401854e-05,3.381068e-05,3.360808e-05,3.341063e-05,3.321822e-05,3.303074e-05,3.284809e-05,3.267017e-05,3.249685e-05,3.232804e-05,3.216363e-05,3.200352e-05,3.184760e-05,3.169576e-05,3.154792e-05
0.000000e+00,1.286763e-08,5.058414e-08,3.879086e-07,1.497476e-06,2.779478e-06,1.055635e-05,1.107614e-05,3.205250e-05,4.149174e-05,7.587147e-05,1.187807e-04,1.565383e-04,2.789031e-04,2.922964e-04,5.057168e-04,5.713488e-04,8.230141e-04,1.056578e-03,1.272434e-03,1.799713e-03,1.882267e-03,2.679171e-03,2.863161e-03,3.687042e-03,4.301450e-03,4.926340e-03,6.158496e-03,6.413717e-03,8.161826e-03,8.466351e-03,1.017926e-02,1.124478e-02,1.247056e-02,1.450132e-02,1.503634e-02,1.787337e-02,1.823176e-02,2.097490e-02,2.242088e-02,2.433085e-02,2.704358e-02,2.792814e-02,3.175111e-02,3.206617e-02,3.578181e-02,3.744789e-02,4.000050e-02,4.314250e-02,4.438598e-02,4.891605e-02,4.909994e-02,5.356783e-02,5.526782e-02,5.831820e-02,6.159295e-02,6.314404e-02,6.802261e-02,7.293178e-02,7.450566e-02,7.785020e-02,8.099343e-02,8.275758e-02,8.744047e-02,8.763475e-02,9.246383e-02,9.380507e-02,9.722830e-02,1.000496e-01,1.019130e-01,1.061407e-01,1.065043e-01,1.109899e-01,1.120495e-01,1.153589e-01,1.177511e-01,1.196020e-01,1.232251e-01,1.237109e-01,1.276789e-01,1.284551e-01,1.315003e-01,1.334281e-01,1.351708e-01,1.381347e-01,1.386868e-01,1.420461e-01,1.425689e-01,1.452471e-01,1.467272e-01,1.482892e-01,1.506086e-01,1.511726e-01,1.538981e-01,1.542146e-01,1.564670e-01,1.575483e-01,1.588815e-01,1.606146e-01,1.611439e-01,1.632572e-01,1.634199e-01,1.652245e-01,1.659714e-01,1.670495e-01,1.682775e-01,1.687360e-01,1.702880e-01,1.703473e-01,1.717096e-01,1.721904e-01,1.730053e-01,1.738167e-01,1.741794e-01,1.752365e-01,1.761810e-01,1.764602e-01,1.770175e-01,1.774983e-01,1.777505e-01,1.783611e-01,1.783846e-01,1.789241e-01,1.790588e-01,1.793735e-01,1.796017e-01,1.797371e-01,1.799995e-01,1.800192e-01,1.802237e-01,1.802618e-01,1.803549e-01,1.803977e-01,1.804166e-01,1.804164e-01,1.804125e-01,1.803465e-01,1.803262e-01,1.802220e-01,1.801354e-01,1.800426e-01,1.798518e-01,1.798115e-01,1.795320e-01,1.794830e-01,1.792071e-01,1.790359e-01,1.788398e-01,1.785173e-01,1.784329e-01,1.779892e-01,1.779335e-01,1.775111e-01,1.772906e-01,1.770013e-01,1.765941e-01,1.764621e-01,1.758957e-01,1.758493e-01,1.753043e-01,1.750612e-01,1.746900e-01,1.742345e-01,1.740546e-01,1.734001e-01,1.733736e-01,1.727282e-01,1.724824e-01,1.720406e-01,1.715648e-01,1.713388e-01,1.706244e-01,1.696644e-01,1.686878e-01,1.676975e-01,1.666962e-01,1.656861e-01,1.646696e-01,1.636487e-01,1.626253e-01,1.616011e-01,1.605777e-01,1.595565e-01,1.585390e-01,1.575263e-01,1.565194e-01,1.555194e-01,1.545272e-01,1.535435e-01,1.525692e-01,1.516048e-01,1.506509e-01,1.497081e-01,1.487767e-01,1.478572e-01,1.469499e-01
0.000000e+00,1.146394e-09,2.885119e-09,1.095117e-08,2.603270e-08,3.856869e-08,8.966757e-08,9.242801e-08,1.806789e-07,2.126745e-07,3.116316e-07,4.143084e-07,4.939905e-07,7.146904e-07,7.364918e-07,1.046206e-06,1.130923e-06,1.425190e-06,1.665914e-06,1.867942e-06,2.301512e-06,2.363321e-06,2.899089e-06,3.010117e-06,3.464612e-06,3.767496e-06,4.051208e-06,4.554915e-06,4.651649e-06,5.259686e-06,5.357298e-06,5.869779e-06,6.161881e-06,6.476982e-06,6.957696e-06,7.076906e-06,7.665727e-06,7.735479e-06,8.240187e-06,8.487684e-06,8.797588e-06,9.208459e-06,9.335776e-06,9.853103e-06,9.893550e-06,1.034839e-05,1.054014e-05,1.082086e-05,1.114667e-05,1.127011e-05,1.169602e-05,1.171257e-05,1.209875e-05,1.223812e-05,1.247866e-05,1.272421e-05,1.283624e-05,1.317216e-05,1.348714e-05,1.358364e-05,1.378197e-05,1.396049e-05,1.405751e-05,1.430468e-05,1.431462e-05,1.455417e-05,1.461821e-05,1.477702e-05,1.490308e-05,1.498405e-05,1.516125e-05,1.517608e-05,1.535394e-05,1.539460e-05,1.551841e-05,1.560494e-05,1.567024e-05,1.579397e-05,1.581016e-05,1.593886e-05,1.596331e-05,1.605700e-05,1.611447e-05,1.616521e-05,1.624885e-05,1.626406e-05,1.635413e-05,1.636777e-05,1.643594e-05,1.647243e-05,1.650999e-05,1.656396e-05,1.657675e-05,1.663667e-05,1.664342e-05,1.669016e-05,1.671176e-05,1.673762e-05,1.676988e-05,1.677941e-05,1.681590e-05,1.681860e-05,1.684741e-05,1.685869e-05,1.687425e-05,1.689084e-05,1.689671e-05,1.691506e-05,1.691571e-05,1.692957e-05,1.693390e-05,1.694047e-05,1.694595e-05,1.694800e-05,1.695238e-05,1.695379e-05,1.695365e-05,1.695244e-05,1.695021e-05,1.694850e-05,1.694245e-05,1.694215e-05,1.693354e-05,1.693074e-05,1.692282e-05,1.691543e-05,1.691013e-05,1.689683e-05,1.689560e-05,1.687937e-05,1.687524e-05,1.686155e-05,1.685091e-05,1.684225e-05,1.682412e-05,1.682157e-05,1.679961e-05,1.679507e-05,1.677647e-05,1.676399e-05,1.675223e-05,1.673108e-05,1.672698e-05,1.670079e-05,1.669652e-05,1.667374e-05,1.666047e-05,1.664590e-05,1.662309e-05,1.661732e-05,1.658809e-05,1.658454e-05,1.655824e-05,1.654493e-05,1.652784e-05,1.650440e-05,1.649694e-05,1.646559e-05,1.646306e-05,1.643383e-05,1.642102e-05,1.640170e-05,1.637837e-05,1.636926e-05,1.633653e-05,1.633522e-05,1.630356e-05,1.629163e-05,1.627037e-05,1.624770e-05,1.623700e-05,1.620349e-05,1.615906e-05,1.611449e-05,1.606983e-05,1.602514e-05,1.598045e-05,1.593582e-05,1.589129e-05,1.584689e-05,1.580267e-05,1.575866e-05,1.571487e-05,1.567135e-05,1.562812e-05,1.558520e-05,1.554261e-05,1.550038e-05,1.545851e-05,1.541703e-05,1.537595e-05,1.533528e-05,1.529503e-05,1.525522e-05,1.521585e-05,1.517694e-05
0.000000e+00,2.930781e-09,6.902216e-09,2.442825e-08,5.626247e-08,8.241730e-08,1.880475e-07,1.937307e-07,3.748994e-07,4.404383e-07,6.429113e-07,8.527615e-07,1.015479e-06,1.465387e-06,1.509753e-06,2.138089e-06,2.309307e-06,2.902253e-06,3.386133e-06,3.792248e-06,4.666576e-06,4.791718e-06,5.883645e-06,6.111734e-06,7.052574e-06,7.686198e-06,8.284649e-06,9.359048e-06,9.567131e-06,1.088804e-05,1.110219e-05,1.223603e-05,1.288952e-05,1.360041e-05,1.469699e-05,1.497121e-05,1.633932e-05,1.650291e-05,1.769654e-05,1.828838e-05,1.903567e-05,2.003746e-05,2.035051e-05,2.163583e-05,2.173725e-05,2.288738e-05,2.337774e-05,2.410172e-05,2.495150e-05,2.527621e-05,2.640894e-05,2.645336e-05,2.749859e-05,2.788015e-05,2.854437e-05,2.923026e-05,2.954595e-05,3.050339e-05,3.141702e-05,3.170022e-05,3.228745e-05,3.282223e-05,3.311551e-05,3.387146e-05,3.390215e-05,3.464846e-05,3.485036e-05,3.535562e-05,3.576163e-05,3.602485e-05,3.660814e-05,3.665743e-05,3.725464e-05,3.739285e-05,3.781779e-05,3.811876e-05,3.834818e-05,3.878885e-05,3.884710e-05,3.931581e-05,3.940604e-05,3.975557e-05,3.997320e-05,4.016759e-05,4.049311e-05,4.055304e-05,4.091310e-05,4.096842e-05,4.124886e-05,4.140172e-05,4.156141e-05,4.179545e-05,4.185180e-05,4.212103e-05,4.215196e-05,4.237006e-05,4.247348e-05,4.259983e-05,4.276214e-05,4.281125e-05,4.300516e-05,4.301994e-05,4.318240e-05,4.324880e-05,4.334376e-05,4.345054e-05,4.349000e-05,4.362186e-05,4.362684e-05,4.374003e-05,4.377934e-05,4.384517e-05,4.390957e-05,4.393795e-05,4.401895e-05,4.408878e-05,4.410886e-05,4.414800e-05,4.418057e-05,4.419714e-05,4.423530e-05,4.423671e-05,4.426721e-05,4.427419e-05,4.428910e-05,4.429830e-05,4.430284e-05,4.430864e-05,4.430885e-05,4.430754e-05,4.430618e-05,4.429930e-05,4.429180e-05,4.428450e-05,4.426635e-05,4.426351e-05,4.423666e-05,4.423061e-05,4.420427e-05,4.418534e-05,4.416665e-05,4.413123e-05,4.412411e-05,4.407691e-05,4.406895e-05,4.402534e-05,4.399911e-05,4.396965e-05,4.392230e-05,4.391009e-05,4.384687e-05,4.383906e-05,4.378024e-05,4.374990e-05,4.371041e-05,4.365531e-05,4.363757e-05,4.356191e-05,4.355575e-05,4.348364e-05,4.345163e-05,4.340291e-05,4.334336e-05,4.331989e-05,4.323476e-05,4.323131e-05,4.314765e-05,4.311583e-05,4.305871e-05,4.299726e-05,4.296809e-05,4.287591e-05,4.275206e-05,4.262598e-05,4.249794e-05,4.236818e-05,4.223691e-05,4.210435e-05,4.197069e-05,4.183612e-05,4.170081e-05,4.156492e-05,4.142860e-05,4.129200e-05,4.115524e-05,4.101844e-05,4.088173e-05,4.074521e-05,4.060897e-05,4.047311e-05,4.033772e-05,4.020287e-05,4.006865e-05,3.993510e-05,3.980231e-05,3.967033e-05
0.000000e+00,5.094486e-10,1.372362e-09,5.623705e-09,1.385889e-08,2.080243e-08,4.941613e-08,5.096877e-08,1.007238e-07,1.187825e-07,1.746168e-07,2.324834e-07,2.773400e-07,4.014166e-07,4.136658e-07,5.877258e-07,6.353913e-07,8.012994e-07,9.374984e-07,1.052167e-06,1.299367e-06,1.334727e-06,1.642413e-06,1.706431e-06,1.969371e-06,2.145368e-06,2.310772e-06,2.605723e-06,2.662554e-06,3.021149e-06,3.078935e-06,3.383300e-06,3.557502e-06,3.745993e-06,4.034663e-06,4.106450e-06,4.462133e-06,4.504384e-06,4.810780e-06,4.961436e-06,5.150416e-06,5.401474e-06,5.479372e-06,5.796282e-06,5.821081e-06,6.100080e-06,6.217742e-06,6.389977e-06,6.589790e-06,6.665445e-06,6.926181e-06,6.936303e-06,7.172090e-06,7.256996e-06,7.403242e-06,7.552101e-06,7.619853e-06,7.822254e-06,8.010865e-06,8.068387e-06,8.186178e-06,8.291646e-06,8.348731e-06,8.493311e-06,8.499099e-06,8.637873e-06,8.674733e-06,8.765653e-06,8.837293e-06,8.883038e-06,8.982360e-06,8.990619e-06,9.088972e-06,9.111266e-06,9.178654e-06,9.225290e-06,9.260203e-06,9.325646e-06,9.334132e-06,9.400928e-06,9.413473e-06,9.461056e-06,9.489833e-06,9.514953e-06,9.555713e-06,9.563030e-06,9.605678e-06,9.612022e-06,9.643259e-06,9.659600e-06,9.676116e-06,9.699216e-06,9.704568e-06,9.728916e-06,9.731575e-06,9.749439e-06,9.757325e-06,9.766398e-06,9.777054e-06,9.780037e-06,9.790584e-06,9.791301e-06,9.798251e-06,9.800556e-06,9.803236e-06,9.805269e-06,9.805725e-06,9.805888e-06,9.805849e-06,9.803889e-06,9.802669e-06,9.799876e-06,9.796069e-06,9.793989e-06,9.786361e-06,9.777112e-06,9.773829e-06,9.766357e-06,9.758733e-06,9.754203e-06,9.741311e-06,9.740749e-06,9.726089e-06,9.721780e-06,9.710310e-06,9.700340e-06,9.693494e-06,9.677173e-06,9.675717e-06,9.657052e-06,9.652448e-06,9.637565e-06,9.626317e-06,9.617320e-06,9.598924e-06,9.596376e-06,9.574788e-06,9.570398e-06,9.552608e-06,9.540857e-06,9.529886e-06,9.510413e-06,9.506667e-06,9.482994e-06,9.479167e-06,9.458909e-06,9.447212e-06,9.434448e-06,9.414635e-06,9.409649e-06,9.384545e-06,9.381514e-06,9.359168e-06,9.347923e-06,9.333548e-06,9.313931e-06,9.307712e-06,9.281688e-06,9.279598e-06,9.255500e-06,9.244984e-06,9.229172e-06,9.210142e-06,9.202726e-06,9.176184e-06,9.175120e-06,9.149564e-06,9.139965e-06,9.122885e-06,9.104719e-06,9.096166e-06,9.069421e-06,9.034107e-06,8.998809e-06,8.963559e-06,8.928385e-06,8.893313e-06,8.858367e-06,8.823570e-06,8.788942e-06,8.754502e-06,8.720268e-06,8.686254e-06,8.652477e-06,8.618949e-06,8.585682e-06,8.552688e-06,8.519976e-06,8.487556e-06,8.455436e-06,8.423623e-06,8.392124e-06,8.360946e-06,8.330093e-06,8.299570e-06,8.269382e-06
0.000000e+00,4.964476e-10,1.710817e-09,1.013923e-08,3.149149e-08,5.222619e-08,1.514646e-07,1.572876e-07,3.588945e-07,4.376110e-07,6.944991e-07,9.780715e-07,1.207882e-06,1.881196e-06,1.950326e-06,2.976742e-06,3.270855e-06,4.332517e-06,5.243270e-06,6.033730e-06,7.798391e-06,8.056485e-06,1.034694e-05,1.083155e-05,1.284179e-05,1.420031e-05,1.548330e-05,1.778082e-05,1.822448e-05,2.102845e-05,2.148087e-05,2.386593e-05,2.523263e-05,2.671296e-05,2.898377e-05,2.954932e-05,3.235765e-05,3.269203e-05,3.512296e-05,3.632267e-05,3.783235e-05,3.984727e-05,4.047486e-05,4.304139e-05,4.324320e-05,4.552460e-05,4.649321e-05,4.791873e-05,4.958488e-05,5.021950e-05,5.242396e-05,5.251010e-05,5.453032e-05,5.526442e-05,5.653781e-05,5.784643e-05,5.844650e-05,6.025721e-05,6.197131e-05,6.249971e-05,6.359066e-05,6.457835e-05,6.511751e-05,6.649863e-05,6.655441e-05,6.790412e-05,6.826681e-05,6.916955e-05,6.988960e-05,7.035372e-05,7.137404e-05,7.145971e-05,7.249064e-05,7.272724e-05,7.344961e-05,7.395635e-05,7.433970e-05,7.506842e-05,7.516395e-05,7.592535e-05,7.607034e-05,7.662680e-05,7.696881e-05,7.727115e-05,7.777027e-05,7.786113e-05,7.839939e-05,7.848088e-05,7.888849e-05,7.910653e-05,7.933091e-05,7.965284e-05,7.972903e-05,8.008515e-05,8.012517e-05,8.040146e-05,8.052857e-05,8.068006e-05,8.086783e-05,8.092299e-05,8.113216e-05,8.114750e-05,8.130945e-05,8.137183e-05,8.145662e-05,8.154488e-05,8.157536e-05,8.166729e-05,8.167043e-05,8.173395e-05,8.175205e-05,8.177682e-05,8.179311e-05,8.179731e-05,8.179675e-05,8.177641e-05,8.176593e-05,8.173753e-05,8.170344e-05,8.168124e-05,8.161186e-05,8.160866e-05,8.152083e-05,8.149365e-05,8.141876e-05,8.135107e-05,8.130338e-05,8.118626e-05,8.117560e-05,8.103628e-05,8.100122e-05,8.088623e-05,8.079781e-05,8.072622e-05,8.057777e-05,8.055699e-05,8.037923e-05,8.034272e-05,8.019361e-05,8.009418e-05,8.000074e-05,7.983357e-05,7.980122e-05,7.959561e-05,7.956219e-05,7.938446e-05,7.928128e-05,7.916825e-05,7.899197e-05,7.894747e-05,7.872256e-05,7.869532e-05,7.849396e-05,7.839232e-05,7.826208e-05,7.808388e-05,7.802728e-05,7.778993e-05,7.777085e-05,7.755038e-05,7.745402e-05,7.730894e-05,7.713411e-05,7.706592e-05,7.682160e-05,7.681180e-05,7.657625e-05,7.648772e-05,7.633012e-05,7.616244e-05,7.608346e-05,7.583648e-05,7.551035e-05,7.518448e-05,7.485930e-05,7.453518e-05,7.421247e-05,7.389149e-05,7.357253e-05,7.325585e-05,7.294170e-05,7.263028e-05,7.232181e-05,7.201645e-05,7.171436e-05,7.141568e-05,7.112055e-05,7.082907e-05,7.054133e-05,7.025743e-05,6.997743e-05,6.970141e-05,6.942940e-05,6.916146e-05,6.889762e-05,6.863790e-05
0.000000e+00,1.050157e-10,3.729130e-10,2.331112e-09,7.525865e-09,1.270059e-08,3.807728e-08,3.958074e-08,9.179569e-08,1.121285e-07,1.778896e-07,2.492404e-07,3.060925e-07,4.680984e-07,4.843839e-07,7.199222e-07,7.855610e-07,1.017223e-06,1.210822e-06,1.376062e-06,1.738829e-06,1.791409e-06,2.255503e-06,2.353434e-06,2.760035e-06,3.035768e-06,3.297253e-06,3.768644e-06,3.860169e-06,4.442392e-06,4.536934e-06,5.037920e-06,5.326806e-06,5.641017e-06,6.125247e-06,6.246194e-06,6.848252e-06,6.920055e-06,7.442353e-06,7.700088e-06,8.024109e-06,8.455582e-06,8.589644e-06,9.135652e-06,9.178403e-06,9.659413e-06,9.862193e-06,1.015880e-05,1.050237e-05,1.063226e-05,1.107876e-05,1.109605e-05,1.149777e-05,1.164185e-05,1.188916e-05,1.213965e-05,1.225319e-05,1.259038e-05,1.290152e-05,1.299574e-05,1.318759e-05,1.335801e-05,1.344968e-05,1.367985e-05,1.368901e-05,1.390682e-05,1.396412e-05,1.410440e-05,1.421377e-05,1.428303e-05,1.443171e-05,1.444397e-05,1.458844e-05,1.462080e-05,1.471763e-05,1.478372e-05,1.483266e-05,1.492301e-05,1.493459e-05,1.502442e-05,1.504101e-05,1.510308e-05,1.513986e-05,1.517144e-05,1.522150e-05,1.523031e-05,1.528044e-05,1.528769e-05,1.532250e-05,1.534002e-05,1.535715e-05,1.537991e-05,1.538495e-05,1.540645e-05,1.540863e-05,1.542213e-05,1.542730e-05,1.543245e-05,1.543696e-05,1.543782e-05,1.543862e-05,1.543850e-05,1.543521e-05,1.543274e-05,1.542790e-05,1.542039e-05,1.541699e-05,1.540274e-05,1.540210e-05,1.538541e-05,1.537846e-05,1.536523e-05,1.534999e-05,1.534241e-05,1.531715e-05,1.528962e-05,1.528036e-05,1.526000e-05,1.524001e-05,1.522843e-05,1.519644e-05,1.519508e-05,1.516006e-05,1.514997e-05,1.512350e-05,1.510087e-05,1.508552e-05,1.504942e-05,1.504623e-05,1.500572e-05,1.499583e-05,1.496410e-05,1.494034e-05,1.492145e-05,1.488313e-05,1.487785e-05,1.483338e-05,1.482439e-05,1.478812e-05,1.476429e-05,1.474212e-05,1.470297e-05,1.469547e-05,1.464820e-05,1.464059e-05,1.460039e-05,1.457727e-05,1.455209e-05,1.451312e-05,1.450334e-05,1.445419e-05,1.444827e-05,1.440470e-05,1.438282e-05,1.435489e-05,1.431685e-05,1.430481e-05,1.425450e-05,1.425047e-05,1.420399e-05,1.418374e-05,1.415332e-05,1.411676e-05,1.410252e-05,1.405161e-05,1.404957e-05,1.400063e-05,1.398227e-05,1.394961e-05,1.391489e-05,1.389856e-05,1.384751e-05,1.378017e-05,1.371292e-05,1.364580e-05,1.357886e-05,1.351214e-05,1.344568e-05,1.337949e-05,1.331363e-05,1.324811e-05,1.318296e-05,1.311820e-05,1.305386e-05,1.298996e-05,1.292652e-05,1.286355e-05,1.280106e-05,1.273909e-05,1.267762e-05,1.261669e-05,1.255630e-05,1.249645e-05,1.243716e-05,1.237843e-05,1.232028e-05
0.000000e+00,5.581322e-09,1.325919e-08,4.749507e-08,1.105161e-07,1.629472e-07,3.800885e-07,3.920055e-07,7.835873e-07,9.304550e-07,1.398919e-06,1.902142e-06,2.299540e-06,3.403392e-06,3.511443e-06,5.009729e-06,5.406981e-06,6.750535e-06,7.817180e-06,8.697156e-06,1.055906e-05,1.082288e-05,1.310659e-05,1.358060e-05,1.552912e-05,1.683735e-05,1.807126e-05,2.028449e-05,2.071301e-05,2.343354e-05,2.387472e-05,2.621153e-05,2.755909e-05,2.902563e-05,3.128888e-05,3.185502e-05,3.467992e-05,3.501772e-05,3.748200e-05,3.870333e-05,4.024461e-05,4.230864e-05,4.295300e-05,4.559458e-05,4.580269e-05,4.815878e-05,4.916080e-05,5.063698e-05,5.236416e-05,5.302240e-05,5.530998e-05,5.539939e-05,5.749615e-05,5.825789e-05,5.957871e-05,6.093507e-05,6.155658e-05,6.342982e-05,6.519918e-05,6.574362e-05,6.686595e-05,6.787976e-05,6.843214e-05,6.984328e-05,6.990015e-05,7.127276e-05,7.164040e-05,7.255301e-05,7.327816e-05,7.374411e-05,7.476403e-05,7.484937e-05,7.587221e-05,7.610580e-05,7.681604e-05,7.731136e-05,7.768430e-05,7.838856e-05,7.848039e-05,7.920766e-05,7.934514e-05,7.986938e-05,8.018864e-05,8.046876e-05,8.092635e-05,8.100892e-05,8.149286e-05,8.156527e-05,8.192352e-05,8.211213e-05,8.230370e-05,8.257332e-05,8.263610e-05,8.292335e-05,8.295490e-05,8.316792e-05,8.326263e-05,8.337222e-05,8.350196e-05,8.353853e-05,8.366906e-05,8.367802e-05,8.376589e-05,8.379564e-05,8.383103e-05,8.385938e-05,8.386638e-05,8.387376e-05,8.387350e-05,8.385491e-05,8.384202e-05,8.381146e-05,8.376868e-05,8.374500e-05,8.365702e-05,8.354893e-05,8.351032e-05,8.342209e-05,8.333166e-05,8.327777e-05,8.312391e-05,8.311719e-05,8.294151e-05,8.288976e-05,8.275182e-05,8.263171e-05,8.254916e-05,8.235210e-05,8.233451e-05,8.210880e-05,8.205309e-05,8.187293e-05,8.173671e-05,8.162771e-05,8.140483e-05,8.137396e-05,8.111240e-05,8.105921e-05,8.084375e-05,8.070147e-05,8.056868e-05,8.033312e-05,8.028782e-05,8.000176e-05,7.995555e-05,7.971107e-05,7.957005e-05,7.941628e-05,7.917783e-05,7.911788e-05,7.881636e-05,7.877998e-05,7.851214e-05,7.837755e-05,7.820566e-05,7.797146e-05,7.789730e-05,7.758743e-05,7.756259e-05,7.727641e-05,7.715174e-05,7.696455e-05,7.673966e-05,7.665216e-05,7.633953e-05,7.632702e-05,7.602692e-05,7.591444e-05,7.571460e-05,7.550250e-05,7.540279e-05,7.509171e-05,7.468255e-05,7.427546e-05,7.387084e-05,7.346903e-05,7.307037e-05,7.267515e-05,7.228363e-05,7.189605e-05,7.151262e-05,7.113353e-05,7.075894e-05,7.038899e-05,7.002382e-05,6.966354e-05,6.930823e-05,6.895798e-05,6.861285e-05,6.827289e-05,6.793814e-05,6.760863e-05,6.728439e-05,6.696542e-05,6.665172e-05,6.634329e-05
0.000000e+00,4.260535e-11,1.599679e-10,1.116232e-09,3.958402e-09,7.016386e-09,2.370568e-08,2.475656e-08,6.402010e-08,8.043585e-08,1.366536e-07,2.019029e-07,2.564137e-07,4.212545e-07,4.384744e-07,6.976823e-07,7.727617e-07,1.045567e-06,1.281593e-06,1.488125e-06,1.956341e-06,2.025788e-06,2.654820e-06,2.791065e-06,3.368893e-06,3.771277e-06,4.160239e-06,4.878450e-06,5.020315e-06,5.940153e-06,6.092260e-06,6.910538e-06,7.391537e-06,7.922132e-06,8.754799e-06,8.965598e-06,1.003174e-05,1.016077e-05,1.111165e-05,1.158898e-05,1.219688e-05,1.302033e-05,1.327954e-05,1.435245e-05,1.443766e-05,1.540919e-05,1.582609e-05,1.644419e-05,1.717321e-05,1.745267e-05,1.843069e-05,1.846914e-05,1.937511e-05,1.970638e-05,2.028349e-05,2.087969e-05,2.115409e-05,2.198576e-05,2.277788e-05,2.302296e-05,2.353026e-05,2.399102e-05,2.424312e-05,2.489074e-05,2.491695e-05,2.555254e-05,2.572377e-05,2.615083e-05,2.649237e-05,2.671296e-05,2.719922e-05,2.724014e-05,2.773368e-05,2.784728e-05,2.819495e-05,2.843968e-05,2.862533e-05,2.897962e-05,2.902621e-05,2.939898e-05,2.947028e-05,2.974501e-05,2.991482e-05,3.006563e-05,3.031627e-05,3.036214e-05,3.063581e-05,3.067756e-05,3.088786e-05,3.100151e-05,3.111945e-05,3.129075e-05,3.133171e-05,3.152570e-05,3.154780e-05,3.170246e-05,3.177502e-05,3.186295e-05,3.197462e-05,3.200811e-05,3.213881e-05,3.214867e-05,3.225590e-05,3.229910e-05,3.236016e-05,3.242771e-05,3.245235e-05,3.253318e-05,3.253619e-05,3.260333e-05,3.262610e-05,3.266344e-05,3.269888e-05,3.271410e-05,3.275590e-05,3.278936e-05,3.279839e-05,3.281500e-05,3.282754e-05,3.283331e-05,3.284440e-05,3.284473e-05,3.284971e-05,3.285000e-05,3.284863e-05,3.284525e-05,3.284190e-05,3.283101e-05,3.282986e-05,3.281287e-05,3.280810e-05,3.279125e-05,3.277723e-05,3.276530e-05,3.273912e-05,3.273531e-05,3.270156e-05,3.269438e-05,3.266430e-05,3.264361e-05,3.262377e-05,3.258737e-05,3.258020e-05,3.253381e-05,3.252614e-05,3.248481e-05,3.246042e-05,3.243338e-05,3.239062e-05,3.237972e-05,3.232398e-05,3.231716e-05,3.226634e-05,3.224041e-05,3.220694e-05,3.216072e-05,3.214594e-05,3.208347e-05,3.207841e-05,3.201965e-05,3.199378e-05,3.195462e-05,3.190710e-05,3.188848e-05,3.182134e-05,3.181864e-05,3.175331e-05,3.172862e-05,3.168449e-05,3.163728e-05,3.161495e-05,3.154480e-05,3.145139e-05,3.135721e-05,3.126243e-05,3.116719e-05,3.107164e-05,3.097590e-05,3.088009e-05,3.078432e-05,3.068868e-05,3.059327e-05,3.049818e-05,3.040349e-05,3.030925e-05,3.021555e-05,3.012244e-05,3.002998e-05,2.993821e-05,2.984718e-05,2.975694e-05,2.966752e-05,2.957896e-05,2.949128e-05,2.940452e-05,2.931870e-05
0.000000e+00,1.564603e-10,4.975156e-10,2.564909e-09,7.199044e-09,1.138502e-08,2.977632e-08,3.080571e-08,6.466733e-08,7.723633e-08,1.166337e-07,1.580289e-07,1.903809e-07,2.807082e-07,2.896826e-07,4.183073e-07,4.539319e-07,5.796150e-07,6.850975e-07,7.757207e-07,9.768739e-07,1.006264e-06,1.267386e-06,1.322694e-06,1.551963e-06,1.706340e-06,1.851347e-06,2.108270e-06,2.157395e-06,2.463589e-06,2.512253e-06,2.765164e-06,2.907254e-06,3.058775e-06,3.286339e-06,3.342094e-06,3.613507e-06,3.645220e-06,3.871913e-06,3.981295e-06,4.116598e-06,4.293119e-06,4.347151e-06,4.563416e-06,4.580101e-06,4.765443e-06,4.842311e-06,4.953452e-06,5.080336e-06,5.127803e-06,5.288963e-06,5.295143e-06,5.437483e-06,5.487972e-06,5.573970e-06,5.660235e-06,5.699067e-06,5.813436e-06,5.917745e-06,5.949108e-06,6.012655e-06,6.068761e-06,6.098807e-06,6.173852e-06,6.176824e-06,6.247297e-06,6.265755e-06,6.310788e-06,6.345752e-06,6.367825e-06,6.415026e-06,6.418904e-06,6.464486e-06,6.474655e-06,6.504999e-06,6.525621e-06,6.540839e-06,6.568806e-06,6.572374e-06,6.599940e-06,6.605004e-06,6.623847e-06,6.634930e-06,6.644383e-06,6.659220e-06,6.661809e-06,6.676367e-06,6.678445e-06,6.688277e-06,6.693115e-06,6.697745e-06,6.703685e-06,6.704955e-06,6.710080e-06,6.710563e-06,6.713277e-06,6.714110e-06,6.714690e-06,6.714653e-06,6.714452e-06,6.712686e-06,6.712482e-06,6.709505e-06,6.707859e-06,6.705012e-06,6.701019e-06,6.699303e-06,6.692468e-06,6.692172e-06,6.684587e-06,6.681509e-06,6.675737e-06,6.669201e-06,6.665988e-06,6.655404e-06,6.644047e-06,6.640258e-06,6.631972e-06,6.623891e-06,6.619231e-06,6.606419e-06,6.605873e-06,6.591945e-06,6.587948e-06,6.577487e-06,6.568575e-06,6.562541e-06,6.548389e-06,6.547142e-06,6.531326e-06,6.527471e-06,6.515124e-06,6.505895e-06,6.498568e-06,6.483729e-06,6.481686e-06,6.464505e-06,6.461035e-06,6.447050e-06,6.437873e-06,6.429345e-06,6.414295e-06,6.411411e-06,6.393271e-06,6.390351e-06,6.374944e-06,6.366086e-06,6.356448e-06,6.341542e-06,6.337802e-06,6.319021e-06,6.316759e-06,6.300122e-06,6.291772e-06,6.281119e-06,6.266616e-06,6.262026e-06,6.242857e-06,6.241320e-06,6.223624e-06,6.215915e-06,6.204339e-06,6.190428e-06,6.185013e-06,6.165656e-06,6.164882e-06,6.146280e-06,6.139301e-06,6.126893e-06,6.113708e-06,6.107503e-06,6.088121e-06,6.062559e-06,6.037041e-06,6.011581e-06,5.986194e-06,5.960896e-06,5.935698e-06,5.910612e-06,5.885649e-06,5.860821e-06,5.836135e-06,5.811601e-06,5.787227e-06,5.763021e-06,5.738989e-06,5.715137e-06,5.691471e-06,5.667997e-06,5.644719e-06,5.621642e-06,5.598769e-06,5.576105e-06,5.553652e-06,5.531413e-06,5.509390e-06
0.000000e+00,1.656389e-10,5.877500e-10,3.671350e-09,1.185499e-08,2.001486e-08,6.012751e-08,6.250836e-08,1.454269e-07,1.778179e-07,2.828815e-07,3.972989e-07,4.887210e-07,7.502250e-07,7.765830e-07,1.159057e-06,1.266043e-06,1.644978e-06,1.963230e-06,2.235962e-06,2.838034e-06,2.925656e-06,3.702558e-06,3.867244e-06,4.553490e-06,5.020933e-06,5.465612e-06,6.270323e-06,6.426985e-06,7.426455e-06,7.589192e-06,8.453431e-06,8.953149e-06,9.497744e-06,1.033911e-05,1.054964e-05,1.159988e-05,1.172538e-05,1.263985e-05,1.309212e-05,1.366169e-05,1.442186e-05,1.465845e-05,1.562409e-05,1.569984e-05,1.655355e-05,1.691427e-05,1.744277e-05,1.805630e-05,1.828862e-05,1.908883e-05,1.911986e-05,1.984196e-05,2.010140e-05,2.054728e-05,2.099950e-05,2.120467e-05,2.181456e-05,2.237779e-05,2.254836e-05,2.289558e-05,2.320380e-05,2.336942e-05,2.378451e-05,2.380099e-05,2.419214e-05,2.429469e-05,2.454483e-05,2.473880e-05,2.486104e-05,2.512149e-05,2.514281e-05,2.539214e-05,2.544737e-05,2.561102e-05,2.572101e-05,2.580138e-05,2.594681e-05,2.596511e-05,2.610400e-05,2.612895e-05,2.621978e-05,2.627141e-05,2.631410e-05,2.637788e-05,2.638851e-05,2.644450e-05,2.645184e-05,2.648345e-05,2.649649e-05,2.650668e-05,2.651476e-05,2.651541e-05,2.651079e-05,2.650939e-05,2.649391e-05,2.648285e-05,2.646576e-05,2.643741e-05,2.642728e-05,2.637936e-05,2.637514e-05,2.632280e-05,2.629793e-05,2.625837e-05,2.620750e-05,2.618676e-05,2.610865e-05,2.610540e-05,2.602463e-05,2.599305e-05,2.593528e-05,2.587174e-05,2.584111e-05,2.574262e-05,2.564026e-05,2.560675e-05,2.553444e-05,2.546509e-05,2.542556e-05,2.531849e-05,2.531398e-05,2.520003e-05,2.516774e-05,2.508401e-05,2.501353e-05,2.496622e-05,2.485651e-05,2.484692e-05,2.472634e-05,2.469724e-05,2.460473e-05,2.453625e-05,2.448228e-05,2.437399e-05,2.435919e-05,2.423563e-05,2.421088e-05,2.411177e-05,2.404730e-05,2.398777e-05,2.388359e-05,2.386375e-05,2.373985e-05,2.372004e-05,2.361618e-05,2.355693e-05,2.349285e-05,2.339450e-05,2.336997e-05,2.324761e-05,2.323297e-05,2.312587e-05,2.307251e-05,2.300481e-05,2.291331e-05,2.288452e-05,2.276504e-05,2.275552e-05,2.264644e-05,2.259926e-05,2.252877e-05,2.244465e-05,2.241207e-05,2.229639e-05,2.229179e-05,2.218177e-05,2.214077e-05,2.206824e-05,2.199167e-05,2.195582e-05,2.184455e-05,2.169946e-05,2.155645e-05,2.141556e-05,2.127682e-05,2.114025e-05,2.100587e-05,2.087369e-05,2.074372e-05,2.061595e-05,2.049040e-05,2.036705e-05,2.024590e-05,2.012693e-05,2.001012e-05,1.989547e-05,1.978296e-05,1.967255e-05,1.956424e-05,1.945800e-05,1.935381e-05,1.925163e-05,1.915144e-05,1.905322e-05,1.895693e-05
0.000000e+00,9.405583e-11,3.422668e-10,2.246196e-09,7.567407e-09,1.306846e-08,4.160080e-08,4.335099e-08,1.070640e-07,1.331523e-07,2.213526e-07,3.222111e-07,4.052995e-07,6.492066e-07,6.740173e-07,1.033032e-06,1.132454e-06,1.479832e-06,1.766233e-06,2.008554e-06,2.536610e-06,2.612933e-06,3.287113e-06,3.429828e-06,4.025419e-06,4.432727e-06,4.821901e-06,5.531134e-06,5.670010e-06,6.562480e-06,6.708870e-06,7.491382e-06,7.947739e-06,8.448310e-06,9.228225e-06,9.424622e-06,1.041170e-05,1.053048e-05,1.140123e-05,1.183535e-05,1.238535e-05,1.312525e-05,1.335693e-05,1.430959e-05,1.438482e-05,1.523786e-05,1.560127e-05,1.613713e-05,1.676455e-05,1.700371e-05,1.783475e-05,1.786722e-05,1.862818e-05,1.890433e-05,1.938265e-05,1.987304e-05,2.009743e-05,2.077232e-05,2.140757e-05,2.160258e-05,2.200383e-05,2.236539e-05,2.256201e-05,2.306312e-05,2.308328e-05,2.356895e-05,2.369876e-05,2.402048e-05,2.427565e-05,2.443940e-05,2.479735e-05,2.482727e-05,2.518568e-05,2.526749e-05,2.551621e-05,2.568971e-05,2.582041e-05,2.606751e-05,2.609978e-05,2.635579e-05,2.640431e-05,2.658984e-05,2.670332e-05,2.680327e-05,2.696756e-05,2.699737e-05,2.717332e-05,2.719987e-05,2.733229e-05,2.740289e-05,2.747536e-05,2.757904e-05,2.760353e-05,2.771776e-05,2.773057e-05,2.781895e-05,2.785957e-05,2.790795e-05,2.796791e-05,2.798553e-05,2.805243e-05,2.805735e-05,2.810935e-05,2.812947e-05,2.815694e-05,2.818575e-05,2.819578e-05,2.822646e-05,2.822752e-05,2.824949e-05,2.825601e-05,2.826537e-05,2.827232e-05,2.827457e-05,2.827751e-05,2.827460e-05,2.827249e-05,2.826622e-05,2.825814e-05,2.825272e-05,2.823525e-05,2.823443e-05,2.821167e-05,2.820454e-05,2.818473e-05,2.816667e-05,2.815388e-05,2.812227e-05,2.811938e-05,2.808147e-05,2.807189e-05,2.804037e-05,2.801605e-05,2.799630e-05,2.795522e-05,2.794946e-05,2.790004e-05,2.788986e-05,2.784820e-05,2.782035e-05,2.779413e-05,2.774709e-05,2.773797e-05,2.767988e-05,2.767041e-05,2.761998e-05,2.759063e-05,2.755842e-05,2.750806e-05,2.749532e-05,2.743079e-05,2.742295e-05,2.736494e-05,2.733557e-05,2.729788e-05,2.724616e-05,2.722970e-05,2.716050e-05,2.715493e-05,2.709037e-05,2.706207e-05,2.701939e-05,2.696779e-05,2.694763e-05,2.687517e-05,2.687226e-05,2.680208e-05,2.677563e-05,2.672844e-05,2.667807e-05,2.665429e-05,2.657970e-05,2.648066e-05,2.638108e-05,2.628106e-05,2.618071e-05,2.608012e-05,2.597940e-05,2.587862e-05,2.577786e-05,2.567720e-05,2.557670e-05,2.547643e-05,2.537644e-05,2.527680e-05,2.517755e-05,2.507874e-05,2.498042e-05,2.488261e-05,2.478537e-05,2.468873e-05,2.459271e-05,2.449735e-05,2.440268e-05,2.430872e-05,2.421548e-05
0.000000e+00,1.028223e-08,2.357311e-08,8.127054e-08,1.856772e-07,2.718684e-07,6.262026e-07,6.455750e-07,1.279826e-06,1.516927e-06,2.271988e-06,3.083321e-06,3.725724e-06,5.520864e-06,5.697317e-06,8.149214e-06,8.799018e-06,1.098904e-05,1.271561e-05,1.413039e-05,1.709312e-05,1.750949e-05,2.107860e-05,2.181165e-05,2.479807e-05,2.677955e-05,2.863177e-05,3.191504e-05,3.254514e-05,3.650477e-05,3.714044e-05,4.047868e-05,4.238237e-05,4.443698e-05,4.757387e-05,4.835226e-05,5.220009e-05,5.265626e-05,5.595928e-05,5.758052e-05,5.961195e-05,6.230763e-05,6.314348e-05,6.654237e-05,6.680827e-05,6.979992e-05,7.106192e-05,7.291002e-05,7.505573e-05,7.586879e-05,7.867424e-05,7.878326e-05,8.132603e-05,8.224321e-05,8.382514e-05,8.543836e-05,8.617365e-05,8.837444e-05,9.043111e-05,9.105948e-05,9.234787e-05,9.350328e-05,9.412931e-05,9.571666e-05,9.578026e-05,9.730569e-05,9.771101e-05,9.871070e-05,9.949805e-05,1.000004e-04,1.010896e-04,1.011800e-04,1.022544e-04,1.024972e-04,1.032286e-04,1.037323e-04,1.041076e-04,1.048059e-04,1.048959e-04,1.055983e-04,1.057289e-04,1.062192e-04,1.065112e-04,1.067628e-04,1.071628e-04,1.072334e-04,1.076348e-04,1.076929e-04,1.079710e-04,1.081103e-04,1.082456e-04,1.084233e-04,1.084621e-04,1.086240e-04,1.086399e-04,1.087344e-04,1.087674e-04,1.087964e-04,1.088129e-04,1.088129e-04,1.087868e-04,1.087830e-04,1.087208e-04,1.086837e-04,1.086173e-04,1.085210e-04,1.084789e-04,1.083077e-04,1.083002e-04,1.081061e-04,1.080265e-04,1.078761e-04,1.077045e-04,1.076197e-04,1.073387e-04,1.070350e-04,1.069333e-04,1.067102e-04,1.064921e-04,1.063660e-04,1.060187e-04,1.060039e-04,1.056252e-04,1.055165e-04,1.052315e-04,1.049885e-04,1.048239e-04,1.044378e-04,1.044037e-04,1.039721e-04,1.038669e-04,1.035301e-04,1.032785e-04,1.030788e-04,1.026747e-04,1.026191e-04,1.021520e-04,1.020577e-04,1.016782e-04,1.014296e-04,1.011988e-04,1.007921e-04,1.007143e-04,1.002255e-04,1.001470e-04,9.973319e-05,9.949577e-05,9.923788e-05,9.883990e-05,9.874020e-05,9.824073e-05,9.818070e-05,9.773999e-05,9.751939e-05,9.723848e-05,9.685709e-05,9.673665e-05,9.623494e-05,9.619482e-05,9.573375e-05,9.553351e-05,9.523347e-05,9.487402e-05,9.473444e-05,9.423700e-05,9.421713e-05,9.374144e-05,9.356355e-05,9.324805e-05,9.291393e-05,9.275710e-05,9.226883e-05,9.162880e-05,9.099429e-05,9.036575e-05,8.974354e-05,8.912800e-05,8.851943e-05,8.791809e-05,8.732421e-05,8.673799e-05,8.615959e-05,8.558917e-05,8.502683e-05,8.447267e-05,8.392677e-05,8.338919e-05,8.285996e-05,8.233910e-05,8.182663e-05,8.132254e-05,8.082681e-05,8.033941e-05,7.986031e-05,7.938946e-05,7.892680e-05
0.000000e+00,3.421045e-11,1.277840e-10,8.822865e-10,3.098962e-09,5.463881e-09,1.819852e-08,1.899374e-08,4.835103e-08,6.046695e-08,1.014431e-07,1.482100e-07,1.867615e-07,3.011748e-07,3.129756e-07,4.882249e-07,5.383638e-07,7.191857e-07,8.746925e-07,1.010565e-06,1.319282e-06,1.365245e-06,1.784690e-06,1.876402e-06,2.269295e-06,2.546912e-06,2.818575e-06,3.329034e-06,3.431246e-06,4.105247e-06,4.218600e-06,4.837751e-06,5.209113e-06,5.625191e-06,6.291857e-06,6.463310e-06,7.347239e-06,7.456138e-06,8.271596e-06,8.689644e-06,9.230603e-06,9.978907e-06,1.021821e-05,1.122822e-05,1.130981e-05,1.225443e-05,1.266807e-05,1.329072e-05,1.403977e-05,1.433118e-05,1.537020e-05,1.541166e-05,1.640252e-05,1.677157e-05,1.742330e-05,1.810858e-05,1.842816e-05,1.941322e-05,2.037505e-05,2.067745e-05,2.131075e-05,2.189472e-05,2.221784e-05,2.305990e-05,2.309435e-05,2.393868e-05,2.416915e-05,2.474964e-05,2.521985e-05,2.552642e-05,2.621040e-05,2.626849e-05,2.697562e-05,2.714014e-05,2.764785e-05,2.800913e-05,2.828541e-05,2.881812e-05,2.888873e-05,2.945839e-05,2.956834e-05,2.999509e-05,3.026141e-05,3.049965e-05,3.089930e-05,3.097297e-05,3.141601e-05,3.148415e-05,3.182978e-05,3.201830e-05,3.221532e-05,3.250414e-05,3.257369e-05,3.290597e-05,3.294414e-05,3.321322e-05,3.334075e-05,3.349650e-05,3.369642e-05,3.375688e-05,3.399538e-05,3.401355e-05,3.421301e-05,3.429445e-05,3.441077e-05,3.454138e-05,3.458960e-05,3.475043e-05,3.475650e-05,3.489416e-05,3.494188e-05,3.502165e-05,3.509950e-05,3.513375e-05,3.523123e-05,3.531488e-05,3.533885e-05,3.538543e-05,3.542403e-05,3.544357e-05,3.548836e-05,3.549000e-05,3.552534e-05,3.553334e-05,3.555022e-05,3.556037e-05,3.556522e-05,3.557077e-05,3.557090e-05,3.556779e-05,3.556579e-05,3.555640e-05,3.554659e-05,3.553723e-05,3.551427e-05,3.551071e-05,3.547730e-05,3.546983e-05,3.543742e-05,3.541425e-05,3.539145e-05,3.534841e-05,3.533977e-05,3.528275e-05,3.527315e-05,3.522072e-05,3.518926e-05,3.515400e-05,3.509747e-05,3.508291e-05,3.500773e-05,3.499845e-05,3.492875e-05,3.489286e-05,3.484622e-05,3.478127e-05,3.476039e-05,3.467150e-05,3.466426e-05,3.457977e-05,3.454234e-05,3.448543e-05,3.441598e-05,3.438866e-05,3.428966e-05,3.428565e-05,3.418861e-05,3.415177e-05,3.408569e-05,3.401471e-05,3.398105e-05,3.387486e-05,3.373255e-05,3.358809e-05,3.344178e-05,3.329389e-05,3.314469e-05,3.299439e-05,3.284323e-05,3.269141e-05,3.253912e-05,3.238652e-05,3.223379e-05,3.208108e-05,3.192852e-05,3.177625e-05,3.162437e-05,3.147301e-05,3.132226e-05,3.117221e-05,3.102296e-05,3.087458e-05,3.072713e-05,3.058070e-05,3.043533e-05,3.029108e-05
0.000000e+00,2.097671e-09,5.571657e-09,2.255554e-08,5.555184e-08,8.358120e-08,2.011719e-07,2.076455e-07,4.197791e-07,4.988759e-07,7.495992e-07,1.017494e-06,1.229112e-06,1.821850e-06,1.880399e-06,2.702297e-06,2.923071e-06,3.676976e-06,4.282113e-06,4.784953e-06,5.857733e-06,6.010583e-06,7.341150e-06,7.618831e-06,8.765067e-06,9.538570e-06,1.027076e-05,1.158995e-05,1.184619e-05,1.347882e-05,1.374450e-05,1.515579e-05,1.597269e-05,1.686421e-05,1.824511e-05,1.859149e-05,2.032560e-05,2.053361e-05,2.205535e-05,2.281240e-05,2.377056e-05,2.505877e-05,2.546215e-05,2.712225e-05,2.725349e-05,2.874415e-05,2.938093e-05,3.032229e-05,3.142892e-05,3.185221e-05,3.333043e-05,3.338844e-05,3.475435e-05,3.525330e-05,3.612217e-05,3.701965e-05,3.743277e-05,3.868565e-05,3.988082e-05,4.025114e-05,4.101869e-05,4.171720e-05,4.210002e-05,4.308581e-05,4.312578e-05,4.409716e-05,4.435957e-05,4.501545e-05,4.554155e-05,4.588213e-05,4.663527e-05,4.669880e-05,4.746714e-05,4.764454e-05,4.818884e-05,4.857325e-05,4.886561e-05,4.942540e-05,4.949921e-05,5.009138e-05,5.020500e-05,5.064391e-05,5.091619e-05,5.115872e-05,5.156333e-05,5.163760e-05,5.208204e-05,5.215007e-05,5.249363e-05,5.267995e-05,5.287383e-05,5.315636e-05,5.322409e-05,5.354578e-05,5.358253e-05,5.384027e-05,5.396157e-05,5.410885e-05,5.429640e-05,5.435275e-05,5.457317e-05,5.458982e-05,5.477124e-05,5.484446e-05,5.494808e-05,5.506284e-05,5.510473e-05,5.524222e-05,5.524734e-05,5.536152e-05,5.540020e-05,5.546356e-05,5.552353e-05,5.554921e-05,5.561934e-05,5.567475e-05,5.568950e-05,5.571623e-05,5.573580e-05,5.574451e-05,5.575990e-05,5.576030e-05,5.576430e-05,5.576339e-05,5.575713e-05,5.574774e-05,5.573943e-05,5.571435e-05,5.571178e-05,5.567475e-05,5.566452e-05,5.562886e-05,5.559950e-05,5.557465e-05,5.552043e-05,5.551258e-05,5.544314e-05,5.542840e-05,5.536676e-05,5.532445e-05,5.528387e-05,5.520951e-05,5.519487e-05,5.510015e-05,5.508449e-05,5.500008e-05,5.495024e-05,5.489499e-05,5.480754e-05,5.478523e-05,5.467111e-05,5.465714e-05,5.455293e-05,5.449972e-05,5.443098e-05,5.433594e-05,5.430553e-05,5.417684e-05,5.416642e-05,5.404516e-05,5.399170e-05,5.391072e-05,5.381235e-05,5.377375e-05,5.363446e-05,5.362884e-05,5.349304e-05,5.344165e-05,5.334970e-05,5.325122e-05,5.320461e-05,5.305795e-05,5.286223e-05,5.266440e-05,5.246481e-05,5.226376e-05,5.206155e-05,5.185843e-05,5.165467e-05,5.145049e-05,5.124612e-05,5.104175e-05,5.083757e-05,5.063377e-05,5.043048e-05,5.022788e-05,5.002609e-05,4.982524e-05,4.962545e-05,4.942682e-05,4.922947e-05,4.903347e-05,4.883892e-05,4.864588e-05,4.845443e-05,4.826464e-05
0.000000e+00,1.389848e-09,3.259980e-09,1.133065e-08,2.555710e-08,3.698376e-08,8.168613e-08,8.404266e-08,1.574456e-07,1.833647e-07,2.619497e-07,3.416153e-07,4.024647e-07,5.678168e-07,5.839517e-07,8.105035e-07,8.718067e-07,1.083232e-06,1.254746e-06,1.397710e-06,1.700870e-06,1.743606e-06,2.107876e-06,2.181847e-06,2.478742e-06,2.671187e-06,2.847510e-06,3.151366e-06,3.208410e-06,3.557749e-06,3.612398e-06,3.893135e-06,4.048671e-06,4.212962e-06,4.456864e-06,4.516122e-06,4.801863e-06,4.834956e-06,5.069717e-06,5.181844e-06,5.319475e-06,5.497198e-06,5.551165e-06,5.765036e-06,5.781388e-06,5.961531e-06,6.035395e-06,6.141259e-06,6.260697e-06,6.304967e-06,6.453501e-06,6.459139e-06,6.587774e-06,6.632805e-06,6.708742e-06,6.783895e-06,6.817373e-06,6.914626e-06,7.001433e-06,7.027152e-06,7.078687e-06,7.123508e-06,7.147231e-06,7.205573e-06,7.207855e-06,7.261288e-06,7.275054e-06,7.308201e-06,7.333475e-06,7.349204e-06,7.382186e-06,7.384853e-06,7.415647e-06,7.422367e-06,7.442039e-06,7.455048e-06,7.464432e-06,7.481118e-06,7.483187e-06,7.498628e-06,7.501345e-06,7.511044e-06,7.516391e-06,7.520692e-06,7.526830e-06,7.527807e-06,7.532599e-06,7.533163e-06,7.535254e-06,7.535819e-06,7.535939e-06,7.535169e-06,7.534803e-06,7.531984e-06,7.531538e-06,7.527605e-06,7.525214e-06,7.521780e-06,7.516449e-06,7.514611e-06,7.506190e-06,7.505465e-06,7.496603e-06,7.492460e-06,7.485930e-06,7.477613e-06,7.474243e-06,7.461609e-06,7.461085e-06,7.448090e-06,7.443018e-06,7.433745e-06,7.423546e-06,7.418627e-06,7.402786e-06,7.386270e-06,7.380850e-06,7.369123e-06,7.357837e-06,7.351387e-06,7.333842e-06,7.333100e-06,7.314300e-06,7.308948e-06,7.295020e-06,7.283236e-06,7.275295e-06,7.256779e-06,7.255154e-06,7.234627e-06,7.229646e-06,7.213742e-06,7.201899e-06,7.192524e-06,7.173598e-06,7.171000e-06,7.149192e-06,7.144799e-06,7.127123e-06,7.115551e-06,7.104814e-06,7.085904e-06,7.082286e-06,7.059556e-06,7.055902e-06,7.036645e-06,7.025588e-06,7.013569e-06,6.995000e-06,6.990344e-06,6.966987e-06,6.964176e-06,6.943512e-06,6.933150e-06,6.919934e-06,6.901953e-06,6.896265e-06,6.872519e-06,6.870617e-06,6.848708e-06,6.839169e-06,6.824844e-06,6.807636e-06,6.800938e-06,6.777000e-06,6.776042e-06,6.753041e-06,6.744412e-06,6.729069e-06,6.712766e-06,6.705095e-06,6.681126e-06,6.649510e-06,6.617936e-06,6.586421e-06,6.554980e-06,6.523629e-06,6.492380e-06,6.461247e-06,6.430242e-06,6.399375e-06,6.368656e-06,6.338097e-06,6.307704e-06,6.277487e-06,6.247454e-06,6.217611e-06,6.187965e-06,6.158522e-06,6.129288e-06,6.100267e-06,6.071465e-06,6.042886e-06,6.014533e-06,5.986411e-06,5.958521e-06
0.000000e+00,2.845089e-09,6.480066e-09,2.203294e-08,4.964406e-08,7.208282e-08,1.619724e-07,1.667975e-07,3.209277e-07,3.769664e-07,5.511702e-07,7.328824e-07,8.738097e-07,1.257973e-06,1.295131e-06,1.803067e-06,1.935442e-06,2.375928e-06,2.717774e-06,2.994706e-06,3.566113e-06,3.645534e-06,4.317793e-06,4.454006e-06,5.002473e-06,5.360689e-06,5.691441e-06,6.267995e-06,6.377216e-06,7.053027e-06,7.159821e-06,7.712914e-06,8.022491e-06,8.351851e-06,8.845164e-06,8.965791e-06,9.551664e-06,9.619972e-06,1.010733e-05,1.034189e-05,1.063149e-05,1.100840e-05,1.112356e-05,1.158359e-05,1.161902e-05,1.201210e-05,1.217487e-05,1.241000e-05,1.267819e-05,1.277847e-05,1.311889e-05,1.313194e-05,1.343276e-05,1.353955e-05,1.372163e-05,1.390460e-05,1.398709e-05,1.423070e-05,1.445398e-05,1.452137e-05,1.465837e-05,1.477991e-05,1.484526e-05,1.500942e-05,1.501595e-05,1.517167e-05,1.521274e-05,1.531354e-05,1.539245e-05,1.544261e-05,1.555090e-05,1.555987e-05,1.566620e-05,1.569019e-05,1.576243e-05,1.581220e-05,1.584933e-05,1.591862e-05,1.592758e-05,1.599782e-05,1.601096e-05,1.606066e-05,1.609058e-05,1.611661e-05,1.615867e-05,1.616619e-05,1.620984e-05,1.621631e-05,1.624799e-05,1.626446e-05,1.628102e-05,1.630399e-05,1.630927e-05,1.633309e-05,1.633566e-05,1.635276e-05,1.636018e-05,1.636858e-05,1.637818e-05,1.638079e-05,1.638963e-05,1.639020e-05,1.639533e-05,1.639678e-05,1.639809e-05,1.639836e-05,1.639810e-05,1.639553e-05,1.639538e-05,1.639055e-05,1.638820e-05,1.638332e-05,1.637719e-05,1.637398e-05,1.636266e-05,1.634948e-05,1.634489e-05,1.633457e-05,1.632416e-05,1.631803e-05,1.630072e-05,1.629997e-05,1.628048e-05,1.627478e-05,1.625966e-05,1.624656e-05,1.623759e-05,1.621625e-05,1.621434e-05,1.619001e-05,1.618402e-05,1.616466e-05,1.615004e-05,1.613835e-05,1.611446e-05,1.611115e-05,1.608312e-05,1.607742e-05,1.605432e-05,1.603906e-05,1.602481e-05,1.599949e-05,1.599462e-05,1.596382e-05,1.595884e-05,1.593245e-05,1.591720e-05,1.590055e-05,1.587468e-05,1.586816e-05,1.583533e-05,1.583136e-05,1.580209e-05,1.578734e-05,1.576847e-05,1.574269e-05,1.573451e-05,1.570024e-05,1.569749e-05,1.566570e-05,1.565181e-05,1.563090e-05,1.560571e-05,1.559589e-05,1.556068e-05,1.555926e-05,1.552529e-05,1.551252e-05,1.548976e-05,1.546553e-05,1.545411e-05,1.541835e-05,1.537103e-05,1.532360e-05,1.527612e-05,1.522861e-05,1.518113e-05,1.513369e-05,1.508633e-05,1.503908e-05,1.499198e-05,1.494503e-05,1.489827e-05,1.485173e-05,1.480542e-05,1.475935e-05,1.471356e-05,1.466805e-05,1.462284e-05,1.457795e-05,1.453339e-05,1.448916e-05,1.444529e-05,1.440179e-05,1.435865e-05,1.431589e-05
0.000000e+00,8.479543e-11,3.089313e-10,2.029558e-09,6.828216e-09,1.176807e-08,3.705602e-08,3.859000e-08,9.324376e-08,1.150274e-07,1.866255e-07,2.655991e-07,3.291331e-07,5.119430e-07,5.304227e-07,7.993083e-07,8.747918e-07,1.143592e-06,1.371777e-06,1.569637e-06,2.015518e-06,2.081541e-06,2.679988e-06,2.809816e-06,3.361221e-06,3.745553e-06,4.116827e-06,4.800199e-06,4.934661e-06,5.800512e-06,5.942521e-06,6.699771e-06,7.139180e-06,7.618644e-06,8.359518e-06,8.544795e-06,9.467570e-06,9.577633e-06,1.037798e-05,1.077267e-05,1.126856e-05,1.192834e-05,1.213322e-05,1.296710e-05,1.303236e-05,1.376644e-05,1.407585e-05,1.452844e-05,1.505284e-05,1.525117e-05,1.593344e-05,1.595988e-05,1.657472e-05,1.679553e-05,1.717502e-05,1.756005e-05,1.773482e-05,1.825497e-05,1.873661e-05,1.888282e-05,1.918111e-05,1.944681e-05,1.959001e-05,1.995059e-05,1.996495e-05,2.030767e-05,2.039809e-05,2.061989e-05,2.079333e-05,2.090339e-05,2.114033e-05,2.115990e-05,2.139111e-05,2.144302e-05,2.159865e-05,2.170514e-05,2.178412e-05,2.193027e-05,2.194902e-05,2.209478e-05,2.212176e-05,2.222276e-05,2.228272e-05,2.233425e-05,2.241603e-05,2.243044e-05,2.251247e-05,2.252435e-05,2.258140e-05,2.261012e-05,2.263821e-05,2.267555e-05,2.268382e-05,2.271910e-05,2.272268e-05,2.274485e-05,2.275335e-05,2.276181e-05,2.276924e-05,2.277067e-05,2.277207e-05,2.277188e-05,2.276661e-05,2.276263e-05,2.275484e-05,2.274276e-05,2.273728e-05,2.271441e-05,2.271339e-05,2.268666e-05,2.267556e-05,2.265445e-05,2.263019e-05,2.261815e-05,2.257812e-05,2.253468e-05,2.252012e-05,2.248815e-05,2.245687e-05,2.243880e-05,2.238901e-05,2.238689e-05,2.233267e-05,2.231710e-05,2.227636e-05,2.224165e-05,2.221816e-05,2.216313e-05,2.215828e-05,2.209690e-05,2.208196e-05,2.203417e-05,2.199852e-05,2.197027e-05,2.191316e-05,2.190532e-05,2.183947e-05,2.182620e-05,2.177284e-05,2.173792e-05,2.170554e-05,2.164857e-05,2.163768e-05,2.156936e-05,2.155840e-05,2.150068e-05,2.146761e-05,2.143172e-05,2.137640e-05,2.136256e-05,2.129326e-05,2.128494e-05,2.122391e-05,2.119340e-05,2.115457e-05,2.110190e-05,2.108528e-05,2.101612e-05,2.101059e-05,2.094712e-05,2.091958e-05,2.087834e-05,2.082898e-05,2.080982e-05,2.074159e-05,2.073887e-05,2.067371e-05,2.064935e-05,2.060618e-05,2.056050e-05,2.053906e-05,2.047237e-05,2.038504e-05,2.029856e-05,2.021297e-05,2.012832e-05,2.004466e-05,1.996200e-05,1.988039e-05,1.979984e-05,1.972039e-05,1.964204e-05,1.956481e-05,1.948872e-05,1.941377e-05,1.933997e-05,1.926733e-05,1.919585e-05,1.912553e-05,1.905638e-05,1.898838e-05,1.892154e-05,1.885586e-05,1.879132e-05,1.872793e-05,1.866567e-05
0.000000e+00,5.766307e-10,1.792781e-09,8.940472e-09,2.463704e-08,3.871318e-08,1.005109e-07,1.039800e-07,2.190781e-07,2.623213e-07,3.996833e-07,5.468148e-07,6.636437e-07,9.973391e-07,1.031035e-06,1.522837e-06,1.661554e-06,2.157446e-06,2.579421e-06,2.944665e-06,3.759816e-06,3.879118e-06,4.938192e-06,5.162052e-06,6.087809e-06,6.709330e-06,7.292121e-06,8.323395e-06,8.520510e-06,9.749686e-06,9.945228e-06,1.096285e-05,1.153582e-05,1.214802e-05,1.307011e-05,1.329655e-05,1.440215e-05,1.453170e-05,1.546016e-05,1.590971e-05,1.646726e-05,1.719717e-05,1.742116e-05,1.832047e-05,1.839003e-05,1.916453e-05,1.948667e-05,1.995338e-05,2.048746e-05,2.068758e-05,2.136820e-05,2.139433e-05,2.199665e-05,2.221045e-05,2.257467e-05,2.293991e-05,2.310422e-05,2.358743e-05,2.402653e-05,2.415810e-05,2.442381e-05,2.465720e-05,2.478160e-05,2.509005e-05,2.510219e-05,2.538785e-05,2.546188e-05,2.564079e-05,2.577774e-05,2.586314e-05,2.604245e-05,2.605695e-05,2.622417e-05,2.626055e-05,2.636666e-05,2.643632e-05,2.648620e-05,2.657372e-05,2.658444e-05,2.666295e-05,2.667642e-05,2.672321e-05,2.674779e-05,2.676660e-05,2.679095e-05,2.679440e-05,2.680783e-05,2.680873e-05,2.680803e-05,2.680373e-05,2.679603e-05,2.677832e-05,2.677283e-05,2.673933e-05,2.673466e-05,2.669640e-05,2.667472e-05,2.664481e-05,2.660028e-05,2.658531e-05,2.651858e-05,2.651295e-05,2.644525e-05,2.641421e-05,2.636592e-05,2.630540e-05,2.628114e-05,2.619141e-05,2.618772e-05,2.609720e-05,2.606227e-05,2.599895e-05,2.593005e-05,2.589708e-05,2.579195e-05,2.568392e-05,2.564880e-05,2.557332e-05,2.550132e-05,2.546043e-05,2.535018e-05,2.534555e-05,2.522893e-05,2.519600e-05,2.511081e-05,2.503931e-05,2.499141e-05,2.488061e-05,2.487094e-05,2.474958e-05,2.472035e-05,2.462752e-05,2.455892e-05,2.450492e-05,2.439670e-05,2.438192e-05,2.425867e-05,2.423400e-05,2.413530e-05,2.407113e-05,2.401191e-05,2.390835e-05,2.388863e-05,2.376556e-05,2.374589e-05,2.364278e-05,2.358398e-05,2.352038e-05,2.342280e-05,2.339845e-05,2.327705e-05,2.326252e-05,2.315625e-05,2.310331e-05,2.303612e-05,2.294529e-05,2.291669e-05,2.279804e-05,2.278859e-05,2.268021e-05,2.263331e-05,2.256322e-05,2.247955e-05,2.244714e-05,2.233198e-05,2.232740e-05,2.221779e-05,2.217692e-05,2.210459e-05,2.202819e-05,2.199240e-05,2.188125e-05,2.173616e-05,2.159295e-05,2.145165e-05,2.131231e-05,2.117493e-05,2.103953e-05,2.090613e-05,2.077474e-05,2.064536e-05,2.051799e-05,2.039264e-05,2.026929e-05,2.014795e-05,2.002859e-05,1.991122e-05,1.979582e-05,1.968238e-05,1.957088e-05,1.946129e-05,1.935362e-05,1.924783e-05,1.914390e-05,1.904182e-05,1.894156e-05
0.000000e+00,3.080880e-09,7.081162e-09,2.442854e-08,5.562374e-08,8.116392e-08,1.841963e-07,1.897431e-07,3.670675e-07,4.314964e-07,6.315271e-07,8.402484e-07,1.002817e-06,1.453519e-06,1.497934e-06,2.123844e-06,2.293185e-06,2.876087e-06,3.349129e-06,3.745553e-06,4.600871e-06,4.723757e-06,5.803755e-06,6.031424e-06,6.979385e-06,7.626471e-06,8.244464e-06,9.371372e-06,9.592286e-06,1.101539e-05,1.124953e-05,1.250551e-05,1.324195e-05,1.405364e-05,1.532750e-05,1.565021e-05,1.728524e-05,1.748354e-05,1.894855e-05,1.968675e-05,2.063000e-05,2.191392e-05,2.231967e-05,2.400803e-05,2.414276e-05,2.568608e-05,2.635253e-05,2.734551e-05,2.852450e-05,2.897876e-05,3.057908e-05,3.064233e-05,3.214056e-05,3.269217e-05,3.365810e-05,3.466272e-05,3.512745e-05,3.654515e-05,3.790851e-05,3.833296e-05,3.921550e-05,4.002173e-05,4.046474e-05,4.160891e-05,4.165541e-05,4.278719e-05,4.309355e-05,4.386022e-05,4.447603e-05,4.487500e-05,4.575786e-05,4.583236e-05,4.673339e-05,4.694140e-05,4.757942e-05,4.802972e-05,4.837194e-05,4.902638e-05,4.911258e-05,4.980307e-05,4.993531e-05,5.044523e-05,5.076066e-05,5.104091e-05,5.150674e-05,5.159199e-05,5.210037e-05,5.217788e-05,5.256793e-05,5.277841e-05,5.299653e-05,5.331260e-05,5.338801e-05,5.374416e-05,5.378461e-05,5.406671e-05,5.419843e-05,5.435735e-05,5.455791e-05,5.461772e-05,5.484938e-05,5.486672e-05,5.505387e-05,5.512838e-05,5.523263e-05,5.534619e-05,5.538706e-05,5.551850e-05,5.552330e-05,5.562822e-05,5.566264e-05,5.571745e-05,5.576701e-05,5.578734e-05,5.583900e-05,5.587349e-05,5.588107e-05,5.589181e-05,5.589550e-05,5.589492e-05,5.588443e-05,5.588372e-05,5.585907e-05,5.584986e-05,5.582178e-05,5.579367e-05,5.577264e-05,5.571758e-05,5.571237e-05,5.564168e-05,5.562323e-05,5.556122e-05,5.551213e-05,5.547162e-05,5.538569e-05,5.537348e-05,5.526735e-05,5.524522e-05,5.515378e-05,5.509194e-05,5.503325e-05,5.492699e-05,5.490626e-05,5.477325e-05,5.475143e-05,5.463465e-05,5.456625e-05,5.449086e-05,5.437236e-05,5.434227e-05,5.418925e-05,5.417061e-05,5.403213e-05,5.396179e-05,5.387124e-05,5.374664e-05,5.370689e-05,5.353937e-05,5.352584e-05,5.336895e-05,5.330003e-05,5.319589e-05,5.306979e-05,5.302044e-05,5.284283e-05,5.283568e-05,5.266328e-05,5.259821e-05,5.248200e-05,5.235783e-05,5.229918e-05,5.211501e-05,5.187013e-05,5.162358e-05,5.137570e-05,5.112683e-05,5.087725e-05,5.062725e-05,5.037709e-05,5.012699e-05,4.987719e-05,4.962787e-05,4.937924e-05,4.913145e-05,4.888467e-05,4.863905e-05,4.839471e-05,4.815178e-05,4.791038e-05,4.767060e-05,4.743253e-05,4.719627e-05,4.696189e-05,4.672945e-05,4.649903e-05,4.627068e-05
0.000000e+00,3.892652e-11,1.513002e-10,1.132690e-09,4.274510e-09,7.832767e-09,2.873511e-08,3.010598e-08,8.394624e-08,1.075194e-07,1.912097e-07,2.923040e-07,3.790366e-07,6.501146e-07,6.790534e-07,1.126323e-06,1.259670e-06,1.757732e-06,2.205375e-06,2.609525e-06,3.567526e-06,3.714431e-06,5.099308e-06,5.411743e-06,6.783796e-06,7.782409e-06,8.779839e-06,1.070065e-05,1.109174e-05,1.371649e-05,1.416492e-05,1.664435e-05,1.815293e-05,1.985942e-05,2.262413e-05,2.334042e-05,2.706150e-05,2.752279e-05,3.099307e-05,3.278136e-05,3.510270e-05,3.832403e-05,3.935606e-05,4.371777e-05,4.407032e-05,4.815224e-05,4.993853e-05,5.262445e-05,5.584877e-05,5.710061e-05,6.154873e-05,6.172564e-05,6.593911e-05,6.750020e-05,7.024464e-05,7.311146e-05,7.444110e-05,7.850727e-05,8.242497e-05,8.364473e-05,8.617909e-05,8.849014e-05,8.975746e-05,9.301861e-05,9.315069e-05,9.635206e-05,9.721342e-05,9.935724e-05,1.010652e-04,1.021641e-04,1.045711e-04,1.047725e-04,1.071839e-04,1.077336e-04,1.094013e-04,1.105599e-04,1.114291e-04,1.130609e-04,1.132726e-04,1.149379e-04,1.152501e-04,1.164318e-04,1.171433e-04,1.177617e-04,1.187577e-04,1.189353e-04,1.199604e-04,1.201112e-04,1.208453e-04,1.212225e-04,1.215978e-04,1.221099e-04,1.222260e-04,1.227378e-04,1.227917e-04,1.231409e-04,1.232857e-04,1.234427e-04,1.236088e-04,1.236504e-04,1.237711e-04,1.237772e-04,1.238113e-04,1.238062e-04,1.237773e-04,1.237103e-04,1.236751e-04,1.235105e-04,1.235027e-04,1.232887e-04,1.231959e-04,1.230149e-04,1.228013e-04,1.226936e-04,1.223295e-04,1.219265e-04,1.217900e-04,1.214886e-04,1.211916e-04,1.210193e-04,1.205425e-04,1.205221e-04,1.200000e-04,1.198497e-04,1.194558e-04,1.191199e-04,1.188924e-04,1.183591e-04,1.183121e-04,1.177172e-04,1.175725e-04,1.171098e-04,1.167650e-04,1.164919e-04,1.159408e-04,1.158652e-04,1.152313e-04,1.151038e-04,1.145918e-04,1.142575e-04,1.139481e-04,1.134050e-04,1.133014e-04,1.126528e-04,1.125489e-04,1.120034e-04,1.116917e-04,1.113542e-04,1.108355e-04,1.107060e-04,1.100597e-04,1.099823e-04,1.094159e-04,1.091336e-04,1.087753e-04,1.082910e-04,1.081385e-04,1.075061e-04,1.074557e-04,1.068785e-04,1.066289e-04,1.062561e-04,1.058114e-04,1.056393e-04,1.050285e-04,1.050042e-04,1.044240e-04,1.042079e-04,1.038260e-04,1.034232e-04,1.032348e-04,1.026505e-04,1.018903e-04,1.011429e-04,1.004085e-04,9.968739e-05,9.897973e-05,9.828560e-05,9.760507e-05,9.693815e-05,9.628483e-05,9.564508e-05,9.501882e-05,9.440595e-05,9.380637e-05,9.321995e-05,9.264653e-05,9.208595e-05,9.153804e-05,9.100263e-05,9.047951e-05,8.996849e-05,8.946937e-05,8.898193e-05,8.850597e-05,8.804127e-05
0.000000e+00,1.873349e-09,5.008495e-09,2.038422e-08,5.016945e-08,7.532864e-08,1.794231e-07,1.850880e-07,3.673184e-07,4.337351e-07,6.397772e-07,8.541597e-07,1.020757e-06,1.482566e-06,1.528185e-06,2.175596e-06,2.352362e-06,2.965127e-06,3.465279e-06,3.884722e-06,4.785866e-06,4.914596e-06,6.034959e-06,6.268335e-06,7.228645e-06,7.873303e-06,8.480661e-06,9.567366e-06,9.777280e-06,1.110552e-05,1.132013e-05,1.245298e-05,1.310311e-05,1.380792e-05,1.488989e-05,1.515941e-05,1.649747e-05,1.665671e-05,1.781322e-05,1.838305e-05,1.909893e-05,2.005193e-05,2.034809e-05,2.155535e-05,2.164998e-05,2.271647e-05,2.316725e-05,2.382826e-05,2.459689e-05,2.488844e-05,2.589556e-05,2.593473e-05,2.684890e-05,2.717889e-05,2.774831e-05,2.832927e-05,2.859415e-05,2.938721e-05,3.012860e-05,3.035515e-05,3.081968e-05,3.123628e-05,3.146200e-05,3.203435e-05,3.205728e-05,3.260732e-05,3.275348e-05,3.311398e-05,3.339794e-05,3.357916e-05,3.397213e-05,3.400477e-05,3.439271e-05,3.448042e-05,3.474485e-05,3.492709e-05,3.506302e-05,3.531633e-05,3.534901e-05,3.560457e-05,3.565218e-05,3.583137e-05,3.593848e-05,3.603103e-05,3.617891e-05,3.620511e-05,3.635510e-05,3.637696e-05,3.648243e-05,3.653590e-05,3.658847e-05,3.665885e-05,3.667452e-05,3.674182e-05,3.674870e-05,3.679157e-05,3.680819e-05,3.682488e-05,3.683986e-05,3.684282e-05,3.684641e-05,3.684611e-05,3.683661e-05,3.682915e-05,3.681434e-05,3.679107e-05,3.678046e-05,3.673578e-05,3.673378e-05,3.668109e-05,3.665909e-05,3.661711e-05,3.656866e-05,3.654454e-05,3.646402e-05,3.637619e-05,3.634663e-05,3.628161e-05,3.621780e-05,3.618084e-05,3.607876e-05,3.607440e-05,3.596278e-05,3.593066e-05,3.584643e-05,3.577453e-05,3.572579e-05,3.561136e-05,3.560127e-05,3.547324e-05,3.544204e-05,3.534208e-05,3.526738e-05,3.520812e-05,3.508816e-05,3.507167e-05,3.493304e-05,3.490508e-05,3.479251e-05,3.471876e-05,3.465033e-05,3.452982e-05,3.450676e-05,3.436203e-05,3.433878e-05,3.421634e-05,3.414614e-05,3.406991e-05,3.395236e-05,3.392292e-05,3.377555e-05,3.375785e-05,3.362796e-05,3.356299e-05,3.348030e-05,3.336812e-05,3.333272e-05,3.318534e-05,3.317357e-05,3.303830e-05,3.297960e-05,3.289171e-05,3.278649e-05,3.274566e-05,3.260027e-05,3.259447e-05,3.245562e-05,3.240374e-05,3.231179e-05,3.221450e-05,3.216886e-05,3.202691e-05,3.184113e-05,3.165729e-05,3.147551e-05,3.129589e-05,3.111854e-05,3.094352e-05,3.077091e-05,3.060077e-05,3.043315e-05,3.026808e-05,3.010560e-05,2.994574e-05,2.978852e-05,2.963394e-05,2.948203e-05,2.933277e-05,2.918617e-05,2.904222e-05,2.890092e-05,2.876224e-05,2.862617e-05,2.849270e-05,2.836180e-05,2.823345e-05
0.000000e+00,4.132915e-11,1.566657e-10,1.113577e-09,4.009096e-09,7.159853e-09,2.459384e-08,2.569893e-08,6.722744e-08,8.465371e-08,1.443614e-07,2.135304e-07,2.711462e-07,4.445497e-07,4.626140e-07,7.344298e-07,8.133770e-07,1.102257e-06,1.355602e-06,1.580304e-06,2.100400e-06,2.178755e-06,2.900774e-06,3.059669e-06,3.740748e-06,4.219811e-06,4.684793e-06,5.543841e-06,5.713113e-06,6.802914e-06,6.981423e-06,7.930959e-06,8.479496e-06,9.075365e-06,9.989473e-06,1.021663e-05,1.133810e-05,1.147066e-05,1.242602e-05,1.289116e-05,1.346943e-05,1.422740e-05,1.445992e-05,1.539133e-05,1.546315e-05,1.625946e-05,1.658839e-05,1.706183e-05,1.759817e-05,1.779738e-05,1.846628e-05,1.849166e-05,1.906966e-05,1.927119e-05,1.960947e-05,1.994151e-05,2.008825e-05,2.050904e-05,2.087516e-05,2.098135e-05,2.119016e-05,2.136661e-05,2.145768e-05,2.167324e-05,2.168139e-05,2.186490e-05,2.190956e-05,2.201172e-05,2.208361e-05,2.212523e-05,2.220298e-05,2.220861e-05,2.226488e-05,2.227466e-05,2.229683e-05,2.230508e-05,2.230707e-05,2.230001e-05,2.229798e-05,2.227174e-05,2.226462e-05,2.223036e-05,2.220347e-05,2.217565e-05,2.212058e-05,2.210923e-05,2.203259e-05,2.201947e-05,2.194705e-05,2.190318e-05,2.185380e-05,2.177438e-05,2.175392e-05,2.164834e-05,2.163534e-05,2.153794e-05,2.148803e-05,2.142345e-05,2.133414e-05,2.130557e-05,2.118489e-05,2.117513e-05,2.106194e-05,2.101223e-05,2.093720e-05,2.084652e-05,2.081110e-05,2.068400e-05,2.067890e-05,2.055625e-05,2.051015e-05,2.042813e-05,2.034094e-05,2.029991e-05,2.017181e-05,2.004405e-05,2.000327e-05,1.991680e-05,1.983571e-05,1.979023e-05,1.966949e-05,1.966448e-05,1.953966e-05,1.950490e-05,1.941590e-05,1.934219e-05,1.929328e-05,1.918156e-05,1.917189e-05,1.905181e-05,1.902319e-05,1.893309e-05,1.886722e-05,1.881579e-05,1.871377e-05,1.869995e-05,1.858563e-05,1.856295e-05,1.847284e-05,1.841482e-05,1.836163e-05,1.826944e-05,1.825201e-05,1.814399e-05,1.812686e-05,1.803760e-05,1.798711e-05,1.793284e-05,1.785022e-05,1.782972e-05,1.772825e-05,1.771618e-05,1.762842e-05,1.758501e-05,1.753023e-05,1.745671e-05,1.743368e-05,1.733877e-05,1.733124e-05,1.724548e-05,1.720861e-05,1.715380e-05,1.708879e-05,1.706373e-05,1.697525e-05,1.697174e-05,1.688835e-05,1.685745e-05,1.680301e-05,1.674587e-05,1.671922e-05,1.663697e-05,1.653071e-05,1.642705e-05,1.632595e-05,1.622736e-05,1.613124e-05,1.603754e-05,1.594622e-05,1.585722e-05,1.577051e-05,1.568603e-05,1.560374e-05,1.552359e-05,1.544552e-05,1.536951e-05,1.529549e-05,1.522342e-05,1.515326e-05,1.508496e-05,1.501847e-05,1.495376e-05,1.489077e-05,1.482947e-05,1.476982e-05,1.471176e-05
0.000000e+00,3.243632e-10,1.175026e-09,7.641656e-09,2.552441e-08,4.385212e-08,1.373510e-07,1.430182e-07,3.452223e-07,4.260697e-07,6.930696e-07,9.899414e-07,1.230573e-06,1.931466e-06,2.002982e-06,3.055699e-06,3.354840e-06,4.430083e-06,5.351967e-06,6.155615e-06,7.973212e-06,8.242564e-06,1.068087e-05,1.120867e-05,1.344540e-05,1.500104e-05,1.650304e-05,1.927172e-05,1.981789e-05,2.335396e-05,2.393790e-05,2.707612e-05,2.891881e-05,3.095029e-05,3.413686e-05,3.494346e-05,3.902372e-05,3.951773e-05,4.316052e-05,4.499110e-05,4.732493e-05,5.049167e-05,5.148997e-05,5.563084e-05,5.596038e-05,5.972516e-05,6.134533e-05,6.375311e-05,6.660235e-05,6.769743e-05,7.154340e-05,7.169501e-05,7.527875e-05,7.659441e-05,7.889352e-05,8.127860e-05,8.237985e-05,8.573181e-05,8.894517e-05,8.994370e-05,9.201724e-05,9.390850e-05,9.494659e-05,9.762422e-05,9.773294e-05,1.003769e-04,1.010919e-04,1.028801e-04,1.043151e-04,1.052444e-04,1.072992e-04,1.074725e-04,1.095676e-04,1.100510e-04,1.115330e-04,1.125783e-04,1.133723e-04,1.148897e-04,1.150894e-04,1.166883e-04,1.169943e-04,1.181730e-04,1.189013e-04,1.195477e-04,1.206204e-04,1.208164e-04,1.219833e-04,1.221608e-04,1.230524e-04,1.235320e-04,1.240278e-04,1.247433e-04,1.249134e-04,1.257131e-04,1.258035e-04,1.264307e-04,1.267215e-04,1.270700e-04,1.275056e-04,1.276345e-04,1.281277e-04,1.281641e-04,1.285530e-04,1.287049e-04,1.289138e-04,1.291353e-04,1.292131e-04,1.294542e-04,1.294627e-04,1.296400e-04,1.296939e-04,1.297734e-04,1.298355e-04,1.298570e-04,1.298937e-04,1.298860e-04,1.298745e-04,1.298363e-04,1.297835e-04,1.297470e-04,1.296262e-04,1.296204e-04,1.294587e-04,1.294074e-04,1.292640e-04,1.291322e-04,1.290383e-04,1.288050e-04,1.287836e-04,1.285016e-04,1.284300e-04,1.281941e-04,1.280115e-04,1.278629e-04,1.275531e-04,1.275096e-04,1.271356e-04,1.270585e-04,1.267426e-04,1.265311e-04,1.263318e-04,1.259740e-04,1.259046e-04,1.254624e-04,1.253903e-04,1.250063e-04,1.247827e-04,1.245374e-04,1.241540e-04,1.240570e-04,1.235660e-04,1.235065e-04,1.230655e-04,1.228425e-04,1.225564e-04,1.221643e-04,1.220396e-04,1.215160e-04,1.214739e-04,1.209864e-04,1.207731e-04,1.204515e-04,1.200636e-04,1.199122e-04,1.193690e-04,1.193472e-04,1.188227e-04,1.186253e-04,1.182738e-04,1.178994e-04,1.177229e-04,1.171707e-04,1.164405e-04,1.157099e-04,1.149799e-04,1.142515e-04,1.135255e-04,1.128028e-04,1.120841e-04,1.113701e-04,1.106613e-04,1.099584e-04,1.092619e-04,1.085722e-04,1.078897e-04,1.072148e-04,1.065478e-04,1.058890e-04,1.052387e-04,1.045971e-04,1.039644e-04,1.033407e-04,1.027262e-04,1.021210e-04,1.015253e-04,1.009389e-04
0.000000e+00,2.710450e-11,1.036170e-10,7.498017e-10,2.745523e-09,4.950761e-09,1.746247e-08,1.826788e-08,4.922028e-08,6.252079e-08,1.091410e-07,1.648000e-07,2.122800e-07,3.600834e-07,3.758388e-07,6.189832e-07,6.912761e-07,9.598831e-07,1.198722e-06,1.411807e-06,1.906266e-06,1.980733e-06,2.665393e-06,2.815680e-06,3.458836e-06,3.910959e-06,4.350345e-06,5.165651e-06,5.327099e-06,6.375361e-06,6.548789e-06,7.481245e-06,8.028528e-06,8.631167e-06,9.574036e-06,9.812102e-06,1.101173e-05,1.115638e-05,1.221850e-05,1.274896e-05,1.342173e-05,1.432776e-05,1.461164e-05,1.577941e-05,1.587164e-05,1.691723e-05,1.736242e-05,1.801832e-05,1.878511e-05,1.907695e-05,2.008844e-05,2.012786e-05,2.104911e-05,2.138197e-05,2.195627e-05,2.254162e-05,2.280812e-05,2.360370e-05,2.434280e-05,2.456743e-05,2.502584e-05,2.543401e-05,2.565382e-05,2.620623e-05,2.622819e-05,2.675079e-05,2.688813e-05,2.722374e-05,2.748464e-05,2.764938e-05,2.800131e-05,2.803019e-05,2.836875e-05,2.844401e-05,2.866769e-05,2.881876e-05,2.892961e-05,2.913152e-05,2.915708e-05,2.935261e-05,2.938810e-05,2.951862e-05,2.959405e-05,2.965743e-05,2.975461e-05,2.977122e-05,2.986210e-05,2.987464e-05,2.993199e-05,2.995863e-05,2.998273e-05,3.001068e-05,3.001602e-05,3.003344e-05,3.003453e-05,3.003644e-05,3.003355e-05,3.002638e-05,3.001077e-05,3.000450e-05,2.997193e-05,2.996890e-05,2.992972e-05,2.991035e-05,2.987882e-05,2.983729e-05,2.982012e-05,2.975440e-05,2.975164e-05,2.968241e-05,2.965508e-05,2.960480e-05,2.954913e-05,2.952219e-05,2.943513e-05,2.934412e-05,2.931424e-05,2.924963e-05,2.918753e-05,2.915209e-05,2.905591e-05,2.905186e-05,2.894930e-05,2.892022e-05,2.884474e-05,2.878116e-05,2.873846e-05,2.863939e-05,2.863072e-05,2.852178e-05,2.849547e-05,2.841184e-05,2.834992e-05,2.830112e-05,2.820318e-05,2.818980e-05,2.807804e-05,2.805565e-05,2.796601e-05,2.790769e-05,2.785384e-05,2.775960e-05,2.774166e-05,2.762959e-05,2.761168e-05,2.751773e-05,2.746415e-05,2.740619e-05,2.731725e-05,2.729506e-05,2.718440e-05,2.717116e-05,2.707431e-05,2.702606e-05,2.696484e-05,2.688210e-05,2.685606e-05,2.674803e-05,2.673942e-05,2.664079e-05,2.659813e-05,2.653439e-05,2.645833e-05,2.642888e-05,2.632428e-05,2.632012e-05,2.622065e-05,2.618358e-05,2.611799e-05,2.604877e-05,2.601635e-05,2.591575e-05,2.578457e-05,2.565528e-05,2.552791e-05,2.540249e-05,2.527904e-05,2.515758e-05,2.503812e-05,2.492067e-05,2.480524e-05,2.469183e-05,2.458044e-05,2.447106e-05,2.436368e-05,2.425829e-05,2.415489e-05,2.405345e-05,2.395397e-05,2.385642e-05,2.376078e-05,2.366704e-05,2.357518e-05,2.348517e-05,2.339699e-05,2.331062e-05
0.000000e+00,1.198462e-09,3.488520e-09,1.582736e-08,4.126576e-08,6.337413e-08,1.572591e-07,1.624327e-07,3.305160e-07,3.922663e-07,5.846106e-07,7.853895e-07,9.416406e-07,1.375538e-06,1.418479e-06,2.030765e-06,2.199272e-06,2.789770e-06,3.280394e-06,3.698389e-06,4.616584e-06,4.749910e-06,5.931139e-06,6.181593e-06,7.226599e-06,7.940255e-06,8.620925e-06,9.857803e-06,1.009944e-05,1.164804e-05,1.190140e-05,1.325303e-05,1.403950e-05,1.490098e-05,1.624147e-05,1.657881e-05,1.827391e-05,1.847791e-05,1.997430e-05,2.072122e-05,2.166876e-05,2.294621e-05,2.334699e-05,2.499973e-05,2.513060e-05,2.661879e-05,2.725537e-05,2.819710e-05,2.930485e-05,2.972868e-05,3.120861e-05,3.126668e-05,3.263298e-05,3.313155e-05,3.399879e-05,3.489295e-05,3.530387e-05,3.654682e-05,3.772686e-05,3.809114e-05,3.884380e-05,3.952565e-05,3.989794e-05,4.085146e-05,4.088996e-05,4.182089e-05,4.207077e-05,4.269204e-05,4.318666e-05,4.350494e-05,4.420281e-05,4.426128e-05,4.496289e-05,4.512334e-05,4.561167e-05,4.595264e-05,4.620959e-05,4.669529e-05,4.675867e-05,4.726093e-05,4.735595e-05,4.771840e-05,4.793925e-05,4.813308e-05,4.844979e-05,4.850695e-05,4.884195e-05,4.889207e-05,4.913999e-05,4.927046e-05,4.940290e-05,4.958916e-05,4.963250e-05,4.983051e-05,4.985223e-05,4.999862e-05,5.006353e-05,5.013844e-05,5.022675e-05,5.025154e-05,5.033943e-05,5.034541e-05,5.040353e-05,5.042283e-05,5.044524e-05,5.046215e-05,5.046587e-05,5.046670e-05,5.046634e-05,5.044893e-05,5.043821e-05,5.041373e-05,5.038039e-05,5.036219e-05,5.029537e-05,5.021427e-05,5.018546e-05,5.011985e-05,5.005285e-05,5.001302e-05,4.989959e-05,4.989465e-05,4.976555e-05,4.972760e-05,4.962653e-05,4.953865e-05,4.947830e-05,4.933443e-05,4.932159e-05,4.915706e-05,4.911649e-05,4.898535e-05,4.888628e-05,4.880706e-05,4.864517e-05,4.862276e-05,4.843298e-05,4.839442e-05,4.823824e-05,4.813518e-05,4.803903e-05,4.786857e-05,4.783580e-05,4.762897e-05,4.759557e-05,4.741896e-05,4.731714e-05,4.720615e-05,4.703413e-05,4.699091e-05,4.677357e-05,4.674736e-05,4.655445e-05,4.645756e-05,4.633386e-05,4.616541e-05,4.611209e-05,4.588939e-05,4.587154e-05,4.566602e-05,4.557654e-05,4.544222e-05,4.528094e-05,4.521820e-05,4.499418e-05,4.498522e-05,4.477033e-05,4.468983e-05,4.454686e-05,4.439519e-05,4.432392e-05,4.410166e-05,4.380960e-05,4.351929e-05,4.323104e-05,4.294508e-05,4.266165e-05,4.238095e-05,4.210316e-05,4.182845e-05,4.155695e-05,4.128881e-05,4.102412e-05,4.076298e-05,4.050548e-05,4.025168e-05,4.000164e-05,3.975540e-05,3.951302e-05,3.927450e-05,3.903987e-05,3.880914e-05,3.858231e-05,3.835939e-05,3.814035e-05,3.792520e-05
0.000000e+00,3.016033e-09,7.219104e-09,2.602361e-08,6.048869e-08,8.890836e-08,2.038598e-07,2.100413e-07,4.064626e-07,4.771408e-07,6.940455e-07,9.165476e-07,1.087566e-06,1.554796e-06,1.600513e-06,2.244289e-06,2.419212e-06,3.026398e-06,3.525625e-06,3.948297e-06,4.871412e-06,5.005068e-06,6.187576e-06,6.438218e-06,7.484875e-06,8.200993e-06,8.885340e-06,1.013267e-05,1.037695e-05,1.194730e-05,1.220502e-05,1.358375e-05,1.438899e-05,1.527357e-05,1.665539e-05,1.700418e-05,1.876339e-05,1.897586e-05,2.053965e-05,2.132379e-05,2.232218e-05,2.367500e-05,2.410113e-05,2.586766e-05,2.600821e-05,2.761395e-05,2.830525e-05,2.933323e-05,3.055109e-05,3.101970e-05,3.266852e-05,3.273363e-05,3.427572e-05,3.484349e-05,3.583813e-05,3.687369e-05,3.735326e-05,3.881928e-05,4.023490e-05,4.067710e-05,4.159928e-05,4.244539e-05,4.291202e-05,4.412359e-05,4.417304e-05,4.538256e-05,4.571205e-05,4.654103e-05,4.721188e-05,4.764912e-05,4.862476e-05,4.870764e-05,4.971753e-05,4.995278e-05,5.067984e-05,5.119837e-05,5.159570e-05,5.236418e-05,5.246630e-05,5.329288e-05,5.345302e-05,5.407669e-05,5.446779e-05,5.481902e-05,5.541146e-05,5.552115e-05,5.618439e-05,5.628699e-05,5.681003e-05,5.709735e-05,5.739933e-05,5.784547e-05,5.795357e-05,5.847400e-05,5.853423e-05,5.896182e-05,5.916645e-05,5.941826e-05,5.974489e-05,5.984449e-05,6.024165e-05,6.027220e-05,6.061087e-05,6.075098e-05,6.095325e-05,6.118374e-05,6.126985e-05,6.156170e-05,6.157288e-05,6.182983e-05,6.192073e-05,6.207519e-05,6.222953e-05,6.229876e-05,6.250144e-05,6.268412e-05,6.273850e-05,6.284768e-05,6.294271e-05,6.299294e-05,6.311594e-05,6.312072e-05,6.323180e-05,6.326001e-05,6.332693e-05,6.337665e-05,6.340684e-05,6.346752e-05,6.347223e-05,6.352379e-05,6.353417e-05,6.356216e-05,6.357813e-05,6.358799e-05,6.360082e-05,6.360187e-05,6.360441e-05,6.360360e-05,6.359615e-05,6.358777e-05,6.357765e-05,6.355457e-05,6.354942e-05,6.351198e-05,6.350517e-05,6.346581e-05,6.344068e-05,6.341137e-05,6.336217e-05,6.334911e-05,6.327946e-05,6.327063e-05,6.320284e-05,6.316702e-05,6.311963e-05,6.305224e-05,6.303024e-05,6.293500e-05,6.292715e-05,6.283429e-05,6.279255e-05,6.272844e-05,6.264922e-05,6.261777e-05,6.250258e-05,6.249789e-05,6.238319e-05,6.233923e-05,6.225986e-05,6.217389e-05,6.213288e-05,6.200249e-05,6.182561e-05,6.164379e-05,6.145755e-05,6.126736e-05,6.107370e-05,6.087697e-05,6.067760e-05,6.047596e-05,6.027240e-05,6.006726e-05,5.986086e-05,5.965349e-05,5.944542e-05,5.923691e-05,5.902820e-05,5.881952e-05,5.861107e-05,5.840306e-05,5.819566e-05,5.798904e-05,5.778336e-05,5.757876e-05,5.737538e-05,5.717334e-05
0.000000e+00,1.432347e-09,3.277284e-09,1.126430e-08,2.563102e-08,3.740466e-08,8.499511e-08,8.756088e-08,1.697332e-07,1.996450e-07,2.926157e-07,3.896625e-07,4.651675e-07,6.735422e-07,6.939763e-07,9.798103e-07,1.056488e-06,1.318593e-06,1.529498e-06,1.705172e-06,2.081245e-06,2.134962e-06,2.603814e-06,2.701913e-06,3.107621e-06,3.382002e-06,3.642100e-06,4.111477e-06,4.202748e-06,4.784900e-06,4.879725e-06,5.383841e-06,5.675926e-06,5.994926e-06,6.489535e-06,6.613699e-06,7.235985e-06,7.310710e-06,7.857968e-06,8.130649e-06,8.476230e-06,8.941759e-06,9.087772e-06,9.690017e-06,9.737727e-06,1.028080e-05,1.051349e-05,1.085833e-05,1.126513e-05,1.142118e-05,1.196824e-05,1.198978e-05,1.249866e-05,1.268542e-05,1.301186e-05,1.335079e-05,1.350745e-05,1.398522e-05,1.444513e-05,1.458853e-05,1.488722e-05,1.516089e-05,1.531168e-05,1.570278e-05,1.571873e-05,1.610871e-05,1.621489e-05,1.648196e-05,1.669805e-05,1.683890e-05,1.715323e-05,1.717994e-05,1.750554e-05,1.758143e-05,1.781616e-05,1.798374e-05,1.811227e-05,1.836123e-05,1.839435e-05,1.866288e-05,1.871501e-05,1.891833e-05,1.904615e-05,1.916117e-05,1.935575e-05,1.939186e-05,1.961085e-05,1.964483e-05,1.981858e-05,1.991442e-05,2.001549e-05,2.016550e-05,2.020199e-05,2.037851e-05,2.039904e-05,2.054543e-05,2.061593e-05,2.070314e-05,2.081708e-05,2.085202e-05,2.099243e-05,2.100331e-05,2.112472e-05,2.117543e-05,2.124922e-05,2.133423e-05,2.136626e-05,2.147617e-05,2.148042e-05,2.157923e-05,2.161472e-05,2.167575e-05,2.173779e-05,2.176601e-05,2.185027e-05,2.192881e-05,2.195277e-05,2.200186e-05,2.204585e-05,2.206968e-05,2.213007e-05,2.213249e-05,2.219052e-05,2.220594e-05,2.224398e-05,2.227395e-05,2.229309e-05,2.233458e-05,2.233803e-05,2.237900e-05,2.238826e-05,2.241618e-05,2.243542e-05,2.244975e-05,2.247644e-05,2.247988e-05,2.250672e-05,2.251171e-05,2.253044e-05,2.254158e-05,2.255118e-05,2.256640e-05,2.256908e-05,2.258428e-05,2.258647e-05,2.259692e-05,2.260211e-05,2.260711e-05,2.261359e-05,2.261498e-05,2.262065e-05,2.262119e-05,2.262422e-05,2.262516e-05,2.262581e-05,2.262575e-05,2.262551e-05,2.262342e-05,2.262317e-05,2.261963e-05,2.261766e-05,2.261424e-05,2.260941e-05,2.260732e-05,2.259897e-05,2.259861e-05,2.258926e-05,2.258545e-05,2.257827e-05,2.257009e-05,2.256606e-05,2.255271e-05,2.253344e-05,2.251244e-05,2.248985e-05,2.246578e-05,2.244037e-05,2.241372e-05,2.238594e-05,2.235714e-05,2.232740e-05,2.229683e-05,2.226550e-05,2.223349e-05,2.220088e-05,2.216773e-05,2.213413e-05,2.210011e-05,2.206575e-05,2.203110e-05,2.199621e-05,2.196113e-05,2.192591e-05,2.189057e-05,2.185518e-05,2.181975e-05
0.000000e+00,2.812123e-09,6.435032e-09,2.209259e-08,5.015416e-08,7.306010e-08,1.648860e-07,1.698037e-07,3.256632e-07,3.816666e-07,5.535956e-07,7.302868e-07,8.664204e-07,1.240076e-06,1.276783e-06,1.796568e-06,1.938747e-06,2.435395e-06,2.847211e-06,3.198072e-06,3.969787e-06,4.081969e-06,5.076454e-06,5.287256e-06,6.165399e-06,6.763021e-06,7.330898e-06,8.356544e-06,8.555888e-06,9.825097e-06,1.003135e-05,1.112507e-05,1.175644e-05,1.244391e-05,1.350540e-05,1.377100e-05,1.509687e-05,1.525548e-05,1.641308e-05,1.698720e-05,1.771218e-05,1.868404e-05,1.898771e-05,2.023412e-05,2.033243e-05,2.144678e-05,2.192152e-05,2.262191e-05,2.344304e-05,2.375650e-05,2.484828e-05,2.489104e-05,2.589562e-05,2.626156e-05,2.689743e-05,2.755236e-05,2.785316e-05,2.876264e-05,2.962607e-05,2.989273e-05,3.044397e-05,3.094386e-05,3.121707e-05,3.191798e-05,3.194632e-05,3.263280e-05,3.281751e-05,3.327772e-05,3.364526e-05,3.388239e-05,3.440429e-05,3.444815e-05,3.497642e-05,3.509778e-05,3.546861e-05,3.572900e-05,3.592614e-05,3.630124e-05,3.635045e-05,3.674294e-05,3.681774e-05,3.710500e-05,3.728170e-05,3.743799e-05,3.769621e-05,3.774325e-05,3.802206e-05,3.806430e-05,3.827568e-05,3.838883e-05,3.850534e-05,3.867259e-05,3.871220e-05,3.889740e-05,3.891822e-05,3.906204e-05,3.912823e-05,3.920716e-05,3.930503e-05,3.933379e-05,3.944289e-05,3.945089e-05,3.953539e-05,3.956795e-05,3.961219e-05,3.965824e-05,3.967414e-05,3.972206e-05,3.972370e-05,3.975674e-05,3.976612e-05,3.977892e-05,3.978723e-05,3.978931e-05,3.978861e-05,3.977746e-05,3.977179e-05,3.975649e-05,3.973819e-05,3.972629e-05,3.968913e-05,3.968742e-05,3.964043e-05,3.962588e-05,3.958582e-05,3.954961e-05,3.952409e-05,3.946142e-05,3.945571e-05,3.938111e-05,3.936233e-05,3.930072e-05,3.925332e-05,3.921494e-05,3.913529e-05,3.912415e-05,3.902871e-05,3.900909e-05,3.892896e-05,3.887551e-05,3.882524e-05,3.873527e-05,3.871786e-05,3.860710e-05,3.858908e-05,3.849325e-05,3.843758e-05,3.837657e-05,3.828136e-05,3.825731e-05,3.813572e-05,3.812098e-05,3.801201e-05,3.795697e-05,3.788640e-05,3.778980e-05,3.775910e-05,3.763029e-05,3.761993e-05,3.750016e-05,3.744777e-05,3.736887e-05,3.727372e-05,3.723659e-05,3.710347e-05,3.709813e-05,3.696965e-05,3.692133e-05,3.683527e-05,3.674364e-05,3.670046e-05,3.656535e-05,3.638670e-05,3.620796e-05,3.602935e-05,3.585106e-05,3.567330e-05,3.549623e-05,3.532002e-05,3.514482e-05,3.497075e-05,3.479794e-05,3.462651e-05,3.445654e-05,3.428814e-05,3.412138e-05,3.395634e-05,3.379307e-05,3.363165e-05,3.347212e-05,3.331453e-05,3.315891e-05,3.300530e-05,3.285373e-05,3.270422e-05,3.255678e-05
0.000000e+00,2.716139e-09,6.214649e-09,2.135060e-08,4.852470e-08,7.073964e-08,1.600165e-07,1.648061e-07,3.169633e-07,3.717855e-07,5.405056e-07,7.144764e-07,8.488658e-07,1.219101e-06,1.255571e-06,1.773658e-06,1.915876e-06,2.414221e-06,2.829184e-06,3.183910e-06,3.967685e-06,4.081998e-06,5.098919e-06,5.315177e-06,6.217987e-06,6.833699e-06,7.419370e-06,8.477905e-06,8.683685e-06,9.993722e-06,1.020655e-05,1.133476e-05,1.198571e-05,1.269424e-05,1.378782e-05,1.406139e-05,1.542688e-05,1.559022e-05,1.678258e-05,1.737415e-05,1.812150e-05,1.912413e-05,1.943763e-05,2.072589e-05,2.082761e-05,2.198205e-05,2.247474e-05,2.320269e-05,2.405800e-05,2.438509e-05,2.552717e-05,2.557200e-05,2.662745e-05,2.701311e-05,2.768492e-05,2.837923e-05,2.869900e-05,2.966950e-05,3.059652e-05,3.088404e-05,3.148042e-05,3.202375e-05,3.232178e-05,3.309015e-05,3.312134e-05,3.387999e-05,3.408521e-05,3.459871e-05,3.501122e-05,3.527857e-05,3.587070e-05,3.592071e-05,3.652629e-05,3.666632e-05,3.709651e-05,3.740084e-05,3.763258e-05,3.807705e-05,3.813573e-05,3.860717e-05,3.869775e-05,3.904810e-05,3.926572e-05,3.945971e-05,3.978366e-05,3.984317e-05,4.019963e-05,4.025424e-05,4.053022e-05,4.068003e-05,4.083601e-05,4.106352e-05,4.111809e-05,4.137748e-05,4.140713e-05,4.161519e-05,4.171317e-05,4.183220e-05,4.198386e-05,4.202944e-05,4.220783e-05,4.222131e-05,4.236825e-05,4.242758e-05,4.251155e-05,4.260458e-05,4.263854e-05,4.275003e-05,4.275418e-05,4.284677e-05,4.287813e-05,4.292949e-05,4.297810e-05,4.299890e-05,4.305568e-05,4.310048e-05,4.311239e-05,4.313393e-05,4.314965e-05,4.315662e-05,4.316882e-05,4.316914e-05,4.317203e-05,4.317119e-05,4.316583e-05,4.315796e-05,4.315105e-05,4.313029e-05,4.312817e-05,4.309767e-05,4.308926e-05,4.305998e-05,4.303590e-05,4.301554e-05,4.297117e-05,4.296476e-05,4.290802e-05,4.289600e-05,4.284571e-05,4.281123e-05,4.277818e-05,4.271768e-05,4.270578e-05,4.262882e-05,4.261610e-05,4.254762e-05,4.250723e-05,4.246249e-05,4.239173e-05,4.237369e-05,4.228151e-05,4.227023e-05,4.218620e-05,4.214334e-05,4.208801e-05,4.201161e-05,4.198718e-05,4.188391e-05,4.187555e-05,4.177844e-05,4.173568e-05,4.167096e-05,4.159243e-05,4.156165e-05,4.145072e-05,4.144625e-05,4.133832e-05,4.129753e-05,4.122463e-05,4.114665e-05,4.110979e-05,4.099397e-05,4.083980e-05,4.068445e-05,4.052821e-05,4.037134e-05,4.021408e-05,4.005666e-05,3.989930e-05,3.974218e-05,3.958549e-05,3.942939e-05,3.927403e-05,3.911956e-05,3.896611e-05,3.881379e-05,3.866271e-05,3.851296e-05,3.836465e-05,3.821784e-05,3.807261e-05,3.792903e-05,3.778715e-05,3.764703e-05,3.750871e-05,3.737223e-05
0.000000e+00,2.522785e-11,9.497999e-11,6.662035e-10,2.372285e-09,4.213361e-09,1.429478e-08,1.493050e-08,3.870467e-08,4.864649e-08,8.267024e-08,1.220962e-07,1.549778e-07,2.541349e-07,2.644721e-07,4.197042e-07,4.645633e-07,6.273153e-07,7.679543e-07,8.909932e-07,1.170165e-06,1.211625e-06,1.588080e-06,1.669876e-06,2.017972e-06,2.261613e-06,2.498159e-06,2.937733e-06,3.025000e-06,3.594458e-06,3.689236e-06,4.202126e-06,4.505997e-06,4.843254e-06,5.376852e-06,5.512776e-06,6.205373e-06,6.289776e-06,6.915556e-06,7.232174e-06,7.637765e-06,8.191288e-06,8.366483e-06,9.096343e-06,9.154626e-06,9.822230e-06,1.011039e-05,1.053937e-05,1.104783e-05,1.124341e-05,1.193045e-05,1.195752e-05,1.259709e-05,1.283152e-05,1.324047e-05,1.366344e-05,1.385821e-05,1.444845e-05,1.500980e-05,1.518317e-05,1.554131e-05,1.586554e-05,1.604242e-05,1.649469e-05,1.651292e-05,1.695294e-05,1.707072e-05,1.736284e-05,1.759456e-05,1.774321e-05,1.806775e-05,1.809484e-05,1.841865e-05,1.849234e-05,1.871567e-05,1.887071e-05,1.898701e-05,1.920548e-05,1.923384e-05,1.945736e-05,1.949937e-05,1.965878e-05,1.975519e-05,1.983931e-05,1.997569e-05,2.000015e-05,2.014247e-05,2.016360e-05,2.026741e-05,2.032153e-05,2.037606e-05,2.045196e-05,2.046947e-05,2.054866e-05,2.055725e-05,2.061458e-05,2.063961e-05,2.066814e-05,2.070111e-05,2.071020e-05,2.074157e-05,2.074364e-05,2.076302e-05,2.076898e-05,2.077526e-05,2.077875e-05,2.077897e-05,2.077478e-05,2.077445e-05,2.076327e-05,2.075745e-05,2.074500e-05,2.072898e-05,2.072049e-05,2.069021e-05,2.065462e-05,2.064218e-05,2.061413e-05,2.058582e-05,2.056913e-05,2.052202e-05,2.051998e-05,2.046703e-05,2.045157e-05,2.041059e-05,2.037517e-05,2.035095e-05,2.029349e-05,2.028838e-05,2.022315e-05,2.020712e-05,2.015548e-05,2.011661e-05,2.008560e-05,2.002245e-05,2.001372e-05,1.994002e-05,1.992508e-05,1.986469e-05,1.982493e-05,1.978789e-05,1.972236e-05,1.970978e-05,1.963050e-05,1.961771e-05,1.955018e-05,1.951130e-05,1.946895e-05,1.940340e-05,1.938694e-05,1.930424e-05,1.929427e-05,1.922096e-05,1.918416e-05,1.913720e-05,1.907327e-05,1.905304e-05,1.896856e-05,1.896179e-05,1.888385e-05,1.884991e-05,1.879897e-05,1.873779e-05,1.871399e-05,1.862897e-05,1.862557e-05,1.854397e-05,1.851339e-05,1.845905e-05,1.840137e-05,1.837425e-05,1.828962e-05,1.817825e-05,1.806734e-05,1.795698e-05,1.784724e-05,1.773819e-05,1.762989e-05,1.752241e-05,1.741578e-05,1.731005e-05,1.720527e-05,1.710146e-05,1.699867e-05,1.689691e-05,1.679621e-05,1.669660e-05,1.659809e-05,1.650070e-05,1.640444e-05,1.630932e-05,1.621535e-05,1.612255e-05,1.603090e-05,1.594042e-05,1.585111e-05
0.000000e+00,2.632836e-09,6.416497e-09,2.359370e-08,5.543113e-08,8.187800e-08,1.901625e-07,1.960393e-07,3.854112e-07,4.547521e-07,6.712999e-07,8.989768e-07,1.077492e-06,1.578640e-06,1.628583e-06,2.343793e-06,2.540755e-06,3.227425e-06,3.791233e-06,4.265716e-06,5.288760e-06,5.435225e-06,6.712587e-06,6.979204e-06,8.078138e-06,8.817570e-06,9.515590e-06,1.076826e-05,1.101085e-05,1.255116e-05,1.280098e-05,1.412462e-05,1.488836e-05,1.572009e-05,1.700530e-05,1.732718e-05,1.893631e-05,1.912912e-05,2.053880e-05,2.123976e-05,2.212693e-05,2.332013e-05,2.369397e-05,2.523415e-05,2.535605e-05,2.674264e-05,2.733625e-05,2.821550e-05,2.925209e-05,2.964957e-05,3.104245e-05,3.109728e-05,3.239232e-05,3.286749e-05,3.369792e-05,3.456004e-05,3.495849e-05,3.617365e-05,3.734338e-05,3.770812e-05,3.846790e-05,3.916408e-05,3.954769e-05,4.054282e-05,4.058341e-05,4.157585e-05,4.184609e-05,4.252591e-05,4.307602e-05,4.343460e-05,4.423497e-05,4.430299e-05,4.513218e-05,4.532548e-05,4.592333e-05,4.635018e-05,4.667757e-05,4.731169e-05,4.739606e-05,4.807997e-05,4.821270e-05,4.873044e-05,4.905584e-05,4.934861e-05,4.984373e-05,4.993560e-05,5.049252e-05,5.057891e-05,5.102044e-05,5.126384e-05,5.152040e-05,5.190093e-05,5.199343e-05,5.244054e-05,5.249250e-05,5.286270e-05,5.304079e-05,5.326086e-05,5.354798e-05,5.363594e-05,5.398883e-05,5.401612e-05,5.432038e-05,5.444722e-05,5.463144e-05,5.484316e-05,5.492281e-05,5.519527e-05,5.520579e-05,5.544958e-05,5.553683e-05,5.568647e-05,5.583796e-05,5.590663e-05,5.611076e-05,5.629950e-05,5.635675e-05,5.647349e-05,5.657737e-05,5.663332e-05,5.677401e-05,5.677960e-05,5.691289e-05,5.694796e-05,5.703373e-05,5.710047e-05,5.714264e-05,5.723274e-05,5.724013e-05,5.732669e-05,5.734589e-05,5.740279e-05,5.744100e-05,5.746887e-05,5.751907e-05,5.752536e-05,5.757269e-05,5.758109e-05,5.761126e-05,5.762798e-05,5.764145e-05,5.766060e-05,5.766363e-05,5.767816e-05,5.767980e-05,5.768538e-05,5.768635e-05,5.768563e-05,5.768101e-05,5.767921e-05,5.766644e-05,5.766450e-05,5.764761e-05,5.763747e-05,5.762299e-05,5.760058e-05,5.759286e-05,5.755749e-05,5.755444e-05,5.751711e-05,5.749961e-05,5.747197e-05,5.743665e-05,5.742230e-05,5.736832e-05,5.736608e-05,5.731025e-05,5.728838e-05,5.724829e-05,5.720403e-05,5.718263e-05,5.711347e-05,5.701712e-05,5.691537e-05,5.680861e-05,5.669719e-05,5.658145e-05,5.646171e-05,5.633828e-05,5.621144e-05,5.608147e-05,5.594863e-05,5.581317e-05,5.567531e-05,5.553527e-05,5.539327e-05,5.524950e-05,5.510415e-05,5.495739e-05,5.480940e-05,5.466032e-05,5.451032e-05,5.435952e-05,5.420807e-05,5.405609e-05,5.390371e-05
0.000000e+00,2.346134e-09,5.461139e-09,1.911086e-08,4.382773e-08,6.412295e-08,1.461183e-07,1.505321e-07,2.913549e-07,3.423469e-07,5.000043e-07,6.635660e-07,7.904810e-07,1.141707e-06,1.176361e-06,1.667432e-06,1.801341e-06,2.265614e-06,2.645487e-06,2.965353e-06,3.658348e-06,3.758104e-06,4.635453e-06,4.820387e-06,5.589692e-06,6.113826e-06,6.613416e-06,7.521551e-06,7.699108e-06,8.838943e-06,9.025800e-06,1.002476e-05,1.060783e-05,1.124817e-05,1.224827e-05,1.250069e-05,1.377392e-05,1.392771e-05,1.505973e-05,1.562745e-05,1.635037e-05,1.733005e-05,1.763866e-05,1.891799e-05,1.901977e-05,2.018245e-05,2.068288e-05,2.142681e-05,2.230774e-05,2.264655e-05,2.383783e-05,2.388485e-05,2.499746e-05,2.540666e-05,2.612283e-05,2.686747e-05,2.721193e-05,2.826320e-05,2.927556e-05,2.959117e-05,3.024829e-05,3.084985e-05,3.118101e-05,3.203869e-05,3.207363e-05,3.292631e-05,3.315795e-05,3.373942e-05,3.420850e-05,3.451348e-05,3.519170e-05,3.524916e-05,3.594724e-05,3.610928e-05,3.660859e-05,3.696325e-05,3.723414e-05,3.775580e-05,3.782489e-05,3.838184e-05,3.848927e-05,3.890605e-05,3.916605e-05,3.939858e-05,3.978860e-05,3.986049e-05,4.029286e-05,4.035937e-05,4.069673e-05,4.088078e-05,4.107316e-05,4.135523e-05,4.142317e-05,4.174777e-05,4.178506e-05,4.204796e-05,4.217255e-05,4.232469e-05,4.251991e-05,4.257892e-05,4.281156e-05,4.282927e-05,4.302351e-05,4.310269e-05,4.321563e-05,4.334216e-05,4.338878e-05,4.354375e-05,4.354958e-05,4.368134e-05,4.372677e-05,4.380232e-05,4.387548e-05,4.390743e-05,4.399736e-05,4.407282e-05,4.409402e-05,4.413447e-05,4.416697e-05,4.418294e-05,4.421765e-05,4.421885e-05,4.424280e-05,4.424744e-05,4.425536e-05,4.425766e-05,4.425707e-05,4.424953e-05,4.424848e-05,4.423007e-05,4.422425e-05,4.420236e-05,4.418294e-05,4.416580e-05,4.412666e-05,4.412084e-05,4.406793e-05,4.405643e-05,4.400747e-05,4.397319e-05,4.393987e-05,4.387785e-05,4.386552e-05,4.378477e-05,4.377128e-05,4.369799e-05,4.365429e-05,4.360551e-05,4.352764e-05,4.350766e-05,4.340474e-05,4.339207e-05,4.329707e-05,4.324825e-05,4.318491e-05,4.309685e-05,4.306855e-05,4.294825e-05,4.293846e-05,4.282425e-05,4.277368e-05,4.269681e-05,4.260304e-05,4.256614e-05,4.243247e-05,4.242707e-05,4.229602e-05,4.224625e-05,4.215697e-05,4.206103e-05,4.201552e-05,4.187185e-05,4.167912e-05,4.148322e-05,4.128450e-05,4.108331e-05,4.087997e-05,4.067477e-05,4.046799e-05,4.025990e-05,4.005075e-05,3.984076e-05,3.963016e-05,3.941914e-05,3.920790e-05,3.899661e-05,3.878544e-05,3.857454e-05,3.836406e-05,3.815413e-05,3.794488e-05,3.773641e-05,3.752885e-05,3.732228e-05,3.711681e-05,3.691251e-05
0.000000e+00,7.008113e-10,2.187631e-09,1.100380e-08,3.059572e-08,4.835187e-08,1.279089e-07,1.324441e-07,2.865884e-07,3.461981e-07,5.408215e-07,7.564067e-07,9.310654e-07,1.434420e-06,1.484935e-06,2.201505e-06,2.395185e-06,3.056797e-06,3.586506e-06,4.025162e-06,4.955950e-06,5.088017e-06,6.232314e-06,6.470003e-06,7.447576e-06,8.104329e-06,8.724084e-06,9.836548e-06,1.005208e-05,1.142155e-05,1.164383e-05,1.282235e-05,1.350289e-05,1.424439e-05,1.539074e-05,1.567791e-05,1.711370e-05,1.728574e-05,1.854327e-05,1.916830e-05,1.995897e-05,2.102148e-05,2.135411e-05,2.272290e-05,2.283112e-05,2.406051e-05,2.458591e-05,2.536298e-05,2.627721e-05,2.662718e-05,2.785068e-05,2.789875e-05,2.903175e-05,2.944630e-05,3.016919e-05,3.091736e-05,3.126231e-05,3.231085e-05,3.331487e-05,3.362681e-05,3.427474e-05,3.486615e-05,3.519105e-05,3.603044e-05,3.606458e-05,3.689626e-05,3.712177e-05,3.768713e-05,3.814254e-05,3.843833e-05,3.909541e-05,3.915104e-05,3.982649e-05,3.998319e-05,4.046593e-05,4.080877e-05,4.107065e-05,4.157508e-05,4.164190e-05,4.218096e-05,4.228502e-05,4.268906e-05,4.294145e-05,4.316743e-05,4.354717e-05,4.361728e-05,4.403977e-05,4.410491e-05,4.443607e-05,4.461731e-05,4.480727e-05,4.508690e-05,4.515447e-05,4.547871e-05,4.551612e-05,4.578100e-05,4.590732e-05,4.606234e-05,4.626271e-05,4.632365e-05,4.656586e-05,4.658444e-05,4.678985e-05,4.687454e-05,4.699646e-05,4.713492e-05,4.718651e-05,4.736079e-05,4.736744e-05,4.752004e-05,4.757383e-05,4.766499e-05,4.775574e-05,4.779633e-05,4.791474e-05,4.802085e-05,4.805231e-05,4.811527e-05,4.816985e-05,4.819860e-05,4.826868e-05,4.827140e-05,4.833420e-05,4.835006e-05,4.838752e-05,4.841518e-05,4.843187e-05,4.846514e-05,4.846771e-05,4.849549e-05,4.850101e-05,4.851565e-05,4.852377e-05,4.852861e-05,4.853436e-05,4.853476e-05,4.853447e-05,4.853368e-05,4.852812e-05,4.852253e-05,4.851604e-05,4.850172e-05,4.849858e-05,4.847603e-05,4.847197e-05,4.844871e-05,4.843399e-05,4.841690e-05,4.838841e-05,4.838088e-05,4.834091e-05,4.833586e-05,4.829724e-05,4.827691e-05,4.825010e-05,4.821210e-05,4.819973e-05,4.814634e-05,4.814194e-05,4.809013e-05,4.806691e-05,4.803131e-05,4.798744e-05,4.797006e-05,4.790656e-05,4.790397e-05,4.784098e-05,4.781689e-05,4.777348e-05,4.772656e-05,4.770421e-05,4.763332e-05,4.753751e-05,4.743942e-05,4.733933e-05,4.723751e-05,4.713421e-05,4.702965e-05,4.692405e-05,4.681761e-05,4.671051e-05,4.660293e-05,4.649503e-05,4.638696e-05,4.627886e-05,4.617085e-05,4.606305e-05,4.595558e-05,4.584854e-05,4.574201e-05,4.563610e-05,4.553087e-05,4.542640e-05,4.532275e-05,4.522000e-05,4.511818e-05
0.000000e+00,6.093516e-11,2.279662e-10,1.578427e-09,5.556092e-09,9.806811e-09,3.275542e-08,3.419088e-08,8.733606e-08,1.093468e-07,1.840920e-07,2.699467e-07,3.411420e-07,5.546084e-07,5.768057e-07,9.100950e-07,1.006583e-06,1.357777e-06,1.662577e-06,1.929897e-06,2.536828e-06,2.626834e-06,3.439928e-06,3.615262e-06,4.354513e-06,4.864460e-06,5.353169e-06,6.243931e-06,6.418045e-06,7.532114e-06,7.713861e-06,8.679682e-06,9.238172e-06,9.846486e-06,1.078506e-05,1.101962e-05,1.218745e-05,1.232673e-05,1.333955e-05,1.383906e-05,1.446666e-05,1.530155e-05,1.556072e-05,1.661485e-05,1.669728e-05,1.762335e-05,1.801293e-05,1.858171e-05,1.923874e-05,1.948655e-05,2.033552e-05,2.036830e-05,2.112730e-05,2.139821e-05,2.186139e-05,2.232774e-05,2.253808e-05,2.315830e-05,2.372352e-05,2.389309e-05,2.423568e-05,2.453663e-05,2.469700e-05,2.509434e-05,2.510996e-05,2.547718e-05,2.557217e-05,2.580136e-05,2.597635e-05,2.608524e-05,2.631316e-05,2.633155e-05,2.654294e-05,2.658877e-05,2.672202e-05,2.680912e-05,2.687126e-05,2.697980e-05,2.699304e-05,2.708959e-05,2.710606e-05,2.716303e-05,2.719274e-05,2.721532e-05,2.724426e-05,2.724831e-05,2.726373e-05,2.726467e-05,2.726314e-05,2.725761e-05,2.724802e-05,2.722637e-05,2.721971e-05,2.717948e-05,2.717390e-05,2.712844e-05,2.710285e-05,2.706767e-05,2.701556e-05,2.699811e-05,2.692066e-05,2.691415e-05,2.683611e-05,2.680048e-05,2.674522e-05,2.667622e-05,2.664865e-05,2.654702e-05,2.654286e-05,2.644090e-05,2.640170e-05,2.633081e-05,2.625393e-05,2.621722e-05,2.610057e-05,2.598124e-05,2.594255e-05,2.585961e-05,2.578070e-05,2.573599e-05,2.561574e-05,2.561070e-05,2.548401e-05,2.544833e-05,2.535618e-05,2.527903e-05,2.522743e-05,2.510836e-05,2.509798e-05,2.496802e-05,2.493677e-05,2.483773e-05,2.476468e-05,2.470727e-05,2.459244e-05,2.457678e-05,2.444641e-05,2.442036e-05,2.431627e-05,2.424873e-05,2.418649e-05,2.407781e-05,2.405715e-05,2.392837e-05,2.390782e-05,2.380021e-05,2.373894e-05,2.367276e-05,2.357136e-05,2.354609e-05,2.342026e-05,2.340522e-05,2.329534e-05,2.324067e-05,2.317136e-05,2.307781e-05,2.304839e-05,2.292645e-05,2.291675e-05,2.280560e-05,2.275757e-05,2.268586e-05,2.260036e-05,2.256727e-05,2.244985e-05,2.244517e-05,2.233362e-05,2.229207e-05,2.221860e-05,2.214110e-05,2.210482e-05,2.199229e-05,2.184569e-05,2.170130e-05,2.155915e-05,2.141926e-05,2.128162e-05,2.114625e-05,2.101315e-05,2.088230e-05,2.075370e-05,2.062735e-05,2.050322e-05,2.038131e-05,2.026160e-05,2.014406e-05,2.002868e-05,1.991544e-05,1.980430e-05,1.969526e-05,1.958827e-05,1.948332e-05,1.938038e-05,1.927942e-05,1.918041e-05,1.908332e-05
0.000000e+00,3.643862e-09,8.504315e-09,2.988489e-08,6.880037e-08,1.009046e-07,2.317876e-07,2.388829e-07,4.676841e-07,5.516105e-07,8.142110e-07,1.090657e-06,1.307098e-06,1.909408e-06,1.968814e-06,2.804760e-06,3.030295e-06,3.804039e-06,4.428851e-06,4.950267e-06,6.068334e-06,6.228182e-06,7.624409e-06,7.916750e-06,9.126477e-06,9.945274e-06,1.072199e-05,1.212515e-05,1.239825e-05,1.414226e-05,1.442672e-05,1.594091e-05,1.681984e-05,1.778121e-05,1.927498e-05,1.965060e-05,2.153721e-05,2.176423e-05,2.343003e-05,2.426222e-05,2.531904e-05,2.674661e-05,2.719532e-05,2.905103e-05,2.919839e-05,3.087943e-05,3.160184e-05,3.267483e-05,3.394438e-05,3.443248e-05,3.614852e-05,3.621625e-05,3.781991e-05,3.841020e-05,3.944427e-05,4.052107e-05,4.101986e-05,4.254546e-05,4.402029e-05,4.448144e-05,4.544396e-05,4.632823e-05,4.681642e-05,4.808596e-05,4.813785e-05,4.940868e-05,4.975552e-05,5.062951e-05,5.133833e-05,5.180112e-05,5.283626e-05,5.292436e-05,5.400019e-05,5.425145e-05,5.502964e-05,5.558628e-05,5.601380e-05,5.684329e-05,5.695379e-05,5.785078e-05,5.802512e-05,5.870593e-05,5.913447e-05,5.952044e-05,6.017409e-05,6.029550e-05,6.103229e-05,6.114671e-05,6.173201e-05,6.205505e-05,6.239582e-05,6.290179e-05,6.302488e-05,6.362034e-05,6.368959e-05,6.418333e-05,6.442104e-05,6.471494e-05,6.509865e-05,6.521627e-05,6.568837e-05,6.572491e-05,6.613229e-05,6.630219e-05,6.654903e-05,6.683282e-05,6.693960e-05,6.730495e-05,6.731906e-05,6.764603e-05,6.776306e-05,6.796376e-05,6.816692e-05,6.825902e-05,6.853268e-05,6.878559e-05,6.886227e-05,6.901856e-05,6.915756e-05,6.923238e-05,6.942036e-05,6.942783e-05,6.960565e-05,6.965239e-05,6.976657e-05,6.985530e-05,6.991129e-05,7.003070e-05,7.004048e-05,7.015481e-05,7.018010e-05,7.025490e-05,7.030496e-05,7.034137e-05,7.040668e-05,7.041482e-05,7.047583e-05,7.048658e-05,7.052494e-05,7.054595e-05,7.056269e-05,7.058601e-05,7.058960e-05,7.060618e-05,7.060790e-05,7.061290e-05,7.061276e-05,7.061022e-05,7.060163e-05,7.059861e-05,7.057849e-05,7.057552e-05,7.055027e-05,7.053540e-05,7.051436e-05,7.048217e-05,7.047116e-05,7.042102e-05,7.041672e-05,7.036432e-05,7.033987e-05,7.030139e-05,7.025241e-05,7.023257e-05,7.015818e-05,7.015510e-05,7.007854e-05,7.004863e-05,6.999392e-05,6.993370e-05,6.990463e-05,6.981094e-05,6.968096e-05,6.954434e-05,6.940163e-05,6.925335e-05,6.910000e-05,6.894203e-05,6.877989e-05,6.861400e-05,6.844475e-05,6.827251e-05,6.809764e-05,6.792047e-05,6.774131e-05,6.756045e-05,6.737817e-05,6.719474e-05,6.701040e-05,6.682539e-05,6.663991e-05,6.645417e-05,6.626837e-05,6.608268e-05,6.589728e-05,6.571230e-05
0.000000e+00,4.963283e-11,1.875415e-10,1.325205e-09,4.749265e-09,8.462985e-09,2.892796e-08,3.022241e-08,7.874530e-08,9.905744e-08,1.685039e-07,2.487236e-07,3.153826e-07,5.152173e-07,5.359714e-07,8.469105e-07,9.367664e-07,1.263943e-06,1.548954e-06,1.800436e-06,2.378909e-06,2.465738e-06,3.264228e-06,3.439942e-06,4.195395e-06,4.730637e-06,5.254616e-06,6.237721e-06,6.434137e-06,7.723924e-06,7.939764e-06,9.112358e-06,9.810150e-06,1.058675e-05,1.181922e-05,1.213379e-05,1.373985e-05,1.393590e-05,1.539136e-05,1.612899e-05,1.707507e-05,1.836838e-05,1.877828e-05,2.048906e-05,2.062591e-05,2.219642e-05,2.287615e-05,2.389042e-05,2.509681e-05,2.556220e-05,2.720407e-05,2.726902e-05,2.880944e-05,2.937734e-05,3.037281e-05,3.140958e-05,3.188970e-05,3.335658e-05,3.477077e-05,3.521185e-05,3.613036e-05,3.697124e-05,3.743409e-05,3.863252e-05,3.868132e-05,3.987187e-05,4.019509e-05,4.100600e-05,4.165964e-05,4.208432e-05,4.302784e-05,4.310771e-05,4.407731e-05,4.430215e-05,4.499440e-05,4.548558e-05,4.586044e-05,4.658155e-05,4.667698e-05,4.744563e-05,4.759376e-05,4.816808e-05,4.852605e-05,4.884601e-05,4.938234e-05,4.948116e-05,5.007522e-05,5.016657e-05,5.062989e-05,5.088263e-05,5.114684e-05,5.153435e-05,5.162771e-05,5.207412e-05,5.212544e-05,5.248761e-05,5.265951e-05,5.286970e-05,5.314001e-05,5.322187e-05,5.354555e-05,5.357025e-05,5.384209e-05,5.395342e-05,5.411284e-05,5.429252e-05,5.435907e-05,5.458200e-05,5.459045e-05,5.478282e-05,5.484993e-05,5.496266e-05,5.507353e-05,5.512262e-05,5.526372e-05,5.538697e-05,5.542280e-05,5.549333e-05,5.555296e-05,5.558371e-05,5.565626e-05,5.565899e-05,5.572000e-05,5.573464e-05,5.576755e-05,5.578993e-05,5.580239e-05,5.582385e-05,5.582526e-05,5.583685e-05,5.583803e-05,5.583783e-05,5.583397e-05,5.582882e-05,5.581312e-05,5.581044e-05,5.578326e-05,5.577681e-05,5.574782e-05,5.572630e-05,5.570465e-05,5.566277e-05,5.565424e-05,5.559707e-05,5.558733e-05,5.553359e-05,5.550100e-05,5.546422e-05,5.540477e-05,5.538938e-05,5.530945e-05,5.529953e-05,5.522479e-05,5.518614e-05,5.513576e-05,5.506538e-05,5.504269e-05,5.494589e-05,5.493800e-05,5.484567e-05,5.480468e-05,5.474230e-05,5.466608e-05,5.463606e-05,5.452720e-05,5.452279e-05,5.441596e-05,5.437538e-05,5.430257e-05,5.422436e-05,5.418726e-05,5.407022e-05,5.391341e-05,5.375435e-05,5.359343e-05,5.343101e-05,5.326743e-05,5.310300e-05,5.293800e-05,5.277270e-05,5.260734e-05,5.244216e-05,5.227735e-05,5.211310e-05,5.194960e-05,5.178700e-05,5.162544e-05,5.146507e-05,5.130601e-05,5.114835e-05,5.099222e-05,5.083768e-05,5.068484e-05,5.053375e-05,5.038448e-05,5.023709e-05
0.000000e+00,2.654214e-09,6.292365e-09,2.244457e-08,5.191420e-08,7.618004e-08,1.743689e-07,1.796555e-07,3.481736e-07,4.090888e-07,5.969863e-07,7.911814e-07,9.413591e-07,1.354970e-06,1.395647e-06,1.970352e-06,2.126646e-06,2.667324e-06,3.108005e-06,3.477468e-06,4.271396e-06,4.384844e-06,5.372561e-06,5.578373e-06,6.425401e-06,6.994083e-06,7.529877e-06,8.488543e-06,8.673727e-06,9.845576e-06,1.003495e-05,1.103484e-05,1.160899e-05,1.223180e-05,1.318893e-05,1.342762e-05,1.461448e-05,1.475597e-05,1.578559e-05,1.629437e-05,1.693518e-05,1.779149e-05,1.805845e-05,1.915154e-05,1.923758e-05,2.021138e-05,2.062548e-05,2.123569e-05,2.195022e-05,2.222278e-05,2.317154e-05,2.320869e-05,2.408134e-05,2.439927e-05,2.495189e-05,2.552146e-05,2.578323e-05,2.657566e-05,2.732969e-05,2.756298e-05,2.804599e-05,2.848499e-05,2.872536e-05,2.934365e-05,2.936870e-05,2.997698e-05,3.014116e-05,3.055122e-05,3.087986e-05,3.109248e-05,3.156224e-05,3.160185e-05,3.208042e-05,3.219082e-05,3.252931e-05,3.276812e-05,3.294959e-05,3.329663e-05,3.334234e-05,3.370863e-05,3.377881e-05,3.404951e-05,3.421707e-05,3.436602e-05,3.461377e-05,3.465914e-05,3.492987e-05,3.497118e-05,3.517917e-05,3.529148e-05,3.540795e-05,3.557681e-05,3.561712e-05,3.580756e-05,3.582919e-05,3.598011e-05,3.605058e-05,3.613560e-05,3.624285e-05,3.627482e-05,3.639853e-05,3.640778e-05,3.650747e-05,3.654707e-05,3.660236e-05,3.666236e-05,3.668388e-05,3.675269e-05,3.675519e-05,3.680944e-05,3.682704e-05,3.685474e-05,3.687929e-05,3.688916e-05,3.691329e-05,3.692767e-05,3.693030e-05,3.693282e-05,3.693150e-05,3.692923e-05,3.691803e-05,3.691740e-05,3.689778e-05,3.689095e-05,3.687082e-05,3.685129e-05,3.683693e-05,3.679999e-05,3.679653e-05,3.675000e-05,3.673797e-05,3.669772e-05,3.666607e-05,3.664004e-05,3.658509e-05,3.657730e-05,3.650983e-05,3.649580e-05,3.643793e-05,3.639890e-05,3.636191e-05,3.629507e-05,3.628204e-05,3.619861e-05,3.618494e-05,3.611185e-05,3.606911e-05,3.602203e-05,3.594812e-05,3.592938e-05,3.583411e-05,3.582252e-05,3.573645e-05,3.569277e-05,3.563659e-05,3.555936e-05,3.553474e-05,3.543106e-05,3.542270e-05,3.532575e-05,3.528320e-05,3.521895e-05,3.514124e-05,3.511084e-05,3.500156e-05,3.499717e-05,3.489126e-05,3.485132e-05,3.478006e-05,3.470400e-05,3.466810e-05,3.455550e-05,3.440607e-05,3.425598e-05,3.410544e-05,3.395468e-05,3.380390e-05,3.365327e-05,3.350296e-05,3.335314e-05,3.320395e-05,3.305552e-05,3.290797e-05,3.276142e-05,3.261597e-05,3.247170e-05,3.232872e-05,3.218708e-05,3.204687e-05,3.190815e-05,3.177097e-05,3.163537e-05,3.150142e-05,3.136914e-05,3.123857e-05,3.110974e-05
0.000000e+00,2.716422e-08,1.066252e-07,8.150269e-07,3.136552e-06,5.811380e-06,2.196244e-05,2.303896e-05,6.630330e-05,8.568974e-05,1.560108e-04,2.433105e-04,3.198061e-04,5.662062e-04,5.930635e-04,1.018882e-03,1.149181e-03,1.646749e-03,2.106226e-03,2.529306e-03,3.557682e-03,3.718119e-03,5.260049e-03,5.614455e-03,7.194923e-03,8.367178e-03,9.554320e-03,1.188125e-02,1.236108e-02,1.562921e-02,1.619541e-02,1.936412e-02,2.132215e-02,2.356298e-02,2.724926e-02,2.821523e-02,3.330328e-02,3.394206e-02,3.880323e-02,4.134630e-02,4.468571e-02,4.939150e-02,5.091680e-02,5.745892e-02,5.799454e-02,6.427176e-02,6.706331e-02,7.131318e-02,7.650034e-02,7.854005e-02,8.590901e-02,8.620612e-02,9.337723e-02,9.608200e-02,1.009030e-01,1.060328e-01,1.084461e-01,1.159687e-01,1.234350e-01,1.258069e-01,1.308121e-01,1.354726e-01,1.380699e-01,1.448999e-01,1.451812e-01,1.521218e-01,1.540316e-01,1.588705e-01,1.628199e-01,1.654091e-01,1.712255e-01,1.717219e-01,1.777964e-01,1.792176e-01,1.836222e-01,1.867730e-01,1.891915e-01,1.938759e-01,1.944988e-01,1.995405e-01,2.005168e-01,2.043148e-01,2.066918e-01,2.088219e-01,2.124022e-01,2.130630e-01,2.170411e-01,2.176534e-01,2.207601e-01,2.224546e-01,2.242249e-01,2.268177e-01,2.274415e-01,2.304163e-01,2.307574e-01,2.331565e-01,2.342899e-01,2.356698e-01,2.374331e-01,2.379642e-01,2.400480e-01,2.402059e-01,2.419297e-01,2.426277e-01,2.436180e-01,2.447186e-01,2.451214e-01,2.464489e-01,2.464984e-01,2.476089e-01,2.479871e-01,2.486100e-01,2.492043e-01,2.494606e-01,2.501690e-01,2.507432e-01,2.508998e-01,2.511909e-01,2.514147e-01,2.515199e-01,2.517307e-01,2.517374e-01,2.518505e-01,2.518644e-01,2.518660e-01,2.518312e-01,2.517905e-01,2.516460e-01,2.516302e-01,2.513911e-01,2.513227e-01,2.510790e-01,2.508743e-01,2.506992e-01,2.503133e-01,2.502571e-01,2.497574e-01,2.496509e-01,2.492048e-01,2.488981e-01,2.486039e-01,2.480647e-01,2.479587e-01,2.472732e-01,2.471601e-01,2.465512e-01,2.461927e-01,2.457961e-01,2.451705e-01,2.450113e-01,2.441998e-01,2.441008e-01,2.433647e-01,2.429904e-01,2.425085e-01,2.418454e-01,2.416339e-01,2.407433e-01,2.406715e-01,2.398389e-01,2.394738e-01,2.389229e-01,2.382572e-01,2.379971e-01,2.370635e-01,2.370260e-01,2.361236e-01,2.357840e-01,2.351791e-01,2.345349e-01,2.342314e-01,2.332820e-01,2.320280e-01,2.307757e-01,2.295275e-01,2.282855e-01,2.270516e-01,2.258274e-01,2.246146e-01,2.234144e-01,2.222281e-01,2.210566e-01,2.199008e-01,2.187616e-01,2.176396e-01,2.165353e-01,2.154493e-01,2.143818e-01,2.133333e-01,2.123040e-01,2.112940e-01,2.103034e-01,2.093324e-01,2.083809e-01,2.074489e-01,2.065364e-01
0.000000e+00,1.603553e-09,4.714619e-09,2.168456e-08,5.697571e-08,8.778294e-08,2.193018e-07,2.265733e-07,4.638764e-07,5.515217e-07,8.259590e-07,1.114544e-06,1.340443e-06,1.972325e-06,2.035117e-06,2.931506e-06,3.177655e-06,4.034720e-06,4.738506e-06,5.331828e-06,6.617069e-06,6.801914e-06,8.424606e-06,8.765844e-06,1.018194e-05,1.114345e-05,1.205735e-05,1.371205e-05,1.403456e-05,1.609703e-05,1.643381e-05,1.822788e-05,1.926996e-05,2.041006e-05,2.218139e-05,2.262668e-05,2.486136e-05,2.512999e-05,2.709858e-05,2.807999e-05,2.932390e-05,3.099907e-05,3.152422e-05,3.368790e-05,3.385909e-05,3.580478e-05,3.663646e-05,3.786626e-05,3.931215e-05,3.986518e-05,4.179579e-05,4.187153e-05,4.365362e-05,4.430396e-05,4.543538e-05,4.660232e-05,4.713880e-05,4.876253e-05,5.030603e-05,5.078301e-05,5.176940e-05,5.266420e-05,5.315332e-05,5.440819e-05,5.445892e-05,5.568771e-05,5.601824e-05,5.684149e-05,5.749860e-05,5.792232e-05,5.885415e-05,5.893241e-05,5.987412e-05,6.009022e-05,6.074989e-05,6.121244e-05,6.156220e-05,6.222656e-05,6.231359e-05,6.300658e-05,6.313839e-05,6.364366e-05,6.395367e-05,6.422731e-05,6.467808e-05,6.475998e-05,6.524403e-05,6.531712e-05,6.568179e-05,6.587614e-05,6.607552e-05,6.636027e-05,6.642740e-05,6.673954e-05,6.677442e-05,6.701398e-05,6.712330e-05,6.725268e-05,6.741136e-05,6.745754e-05,6.763036e-05,6.764286e-05,6.777291e-05,6.782182e-05,6.788684e-05,6.795206e-05,6.797376e-05,6.803521e-05,6.803716e-05,6.807265e-05,6.808052e-05,6.808748e-05,6.808534e-05,6.808105e-05,6.805463e-05,6.800944e-05,6.799121e-05,6.794665e-05,6.789774e-05,6.786736e-05,6.777671e-05,6.777264e-05,6.766348e-05,6.763046e-05,6.754085e-05,6.746118e-05,6.740565e-05,6.727092e-05,6.725876e-05,6.710099e-05,6.706159e-05,6.693313e-05,6.683499e-05,6.675591e-05,6.659279e-05,6.657006e-05,6.637622e-05,6.633655e-05,6.617505e-05,6.606773e-05,6.596713e-05,6.578769e-05,6.575305e-05,6.553334e-05,6.549770e-05,6.530851e-05,6.519892e-05,6.507905e-05,6.489246e-05,6.484542e-05,6.460804e-05,6.457933e-05,6.436734e-05,6.426048e-05,6.412369e-05,6.393678e-05,6.387747e-05,6.362901e-05,6.360905e-05,6.337865e-05,6.327804e-05,6.312669e-05,6.294445e-05,6.287341e-05,6.261910e-05,6.260891e-05,6.236401e-05,6.227203e-05,6.210837e-05,6.193434e-05,6.185242e-05,6.159636e-05,6.125855e-05,6.092134e-05,6.058511e-05,6.025022e-05,5.991700e-05,5.958575e-05,5.925675e-05,5.893022e-05,5.860641e-05,5.828550e-05,5.796769e-05,5.765312e-05,5.734195e-05,5.703430e-05,5.673029e-05,5.643001e-05,5.613356e-05,5.584099e-05,5.555239e-05,5.526779e-05,5.498724e-05,5.471077e-05,5.443842e-05,5.417019e-05
0.000000e+00,3.001620e-10,1.080015e-09,6.932909e-09,2.292351e-08,3.920241e-08,1.218463e-07,1.268535e-07,3.063776e-07,3.787807e-07,6.204876e-07,8.927612e-07,1.114717e-06,1.757616e-06,1.822423e-06,2.750419e-06,3.004526e-06,3.883809e-06,4.599584e-06,5.199242e-06,6.488414e-06,6.672841e-06,8.282138e-06,8.618375e-06,1.000553e-05,1.093965e-05,1.182149e-05,1.340253e-05,1.370828e-05,1.564417e-05,1.595704e-05,1.760794e-05,1.855450e-05,1.957951e-05,2.114992e-05,2.154044e-05,2.347441e-05,2.370398e-05,2.536741e-05,2.618428e-05,2.720788e-05,2.856577e-05,2.898664e-05,3.069676e-05,3.083045e-05,3.233334e-05,3.296663e-05,3.389326e-05,3.496797e-05,3.537490e-05,3.677793e-05,3.683243e-05,3.810301e-05,3.856122e-05,3.935161e-05,4.015801e-05,4.052581e-05,4.162811e-05,4.266135e-05,4.297788e-05,4.362854e-05,4.421433e-05,4.453282e-05,4.534468e-05,4.537736e-05,4.616530e-05,4.637621e-05,4.689976e-05,4.731601e-05,4.758373e-05,4.817091e-05,4.822013e-05,4.881175e-05,4.894737e-05,4.936123e-05,4.965149e-05,4.987111e-05,5.028895e-05,5.034378e-05,5.078150e-05,5.086504e-05,5.118641e-05,5.138466e-05,5.156049e-05,5.185230e-05,5.190566e-05,5.222366e-05,5.227213e-05,5.251617e-05,5.264798e-05,5.278475e-05,5.298336e-05,5.303085e-05,5.325584e-05,5.328148e-05,5.346101e-05,5.354532e-05,5.364757e-05,5.377759e-05,5.381663e-05,5.396926e-05,5.398079e-05,5.410644e-05,5.415720e-05,5.422911e-05,5.430893e-05,5.433813e-05,5.443432e-05,5.443791e-05,5.451844e-05,5.454591e-05,5.459122e-05,5.463458e-05,5.465333e-05,5.470541e-05,5.474805e-05,5.475979e-05,5.478181e-05,5.479900e-05,5.480722e-05,5.482422e-05,5.482477e-05,5.483494e-05,5.483652e-05,5.483815e-05,5.483692e-05,5.483483e-05,5.482634e-05,5.482537e-05,5.481012e-05,5.480564e-05,5.478945e-05,5.477562e-05,5.476367e-05,5.473702e-05,5.473311e-05,5.469804e-05,5.469051e-05,5.465874e-05,5.463673e-05,5.461549e-05,5.457627e-05,5.456852e-05,5.451806e-05,5.450968e-05,5.446435e-05,5.443747e-05,5.440758e-05,5.436010e-05,5.434796e-05,5.428567e-05,5.427802e-05,5.422089e-05,5.419164e-05,5.415379e-05,5.410134e-05,5.408452e-05,5.401325e-05,5.400747e-05,5.394012e-05,5.391037e-05,5.386526e-05,5.381036e-05,5.378880e-05,5.371086e-05,5.370771e-05,5.363156e-05,5.360270e-05,5.355102e-05,5.349559e-05,5.346933e-05,5.338660e-05,5.327597e-05,5.316389e-05,5.305056e-05,5.293615e-05,5.282085e-05,5.270480e-05,5.258815e-05,5.247104e-05,5.235361e-05,5.223596e-05,5.211822e-05,5.200048e-05,5.188285e-05,5.176541e-05,5.164826e-05,5.153147e-05,5.141511e-05,5.129926e-05,5.118398e-05,5.106932e-05,5.095535e-05,5.084211e-05,5.072965e-05,5.061802e-05
0.000000e+00,2.637352e-11,1.013025e-10,7.398810e-10,2.729461e-09,4.939218e-09,1.753752e-08,1.834963e-08,4.951364e-08,6.285066e-08,1.092645e-07,1.639766e-07,2.100746e-07,3.506511e-07,3.654103e-07,5.890929e-07,6.544584e-07,8.945333e-07,1.105843e-06,1.293684e-06,1.729877e-06,1.795785e-06,2.406323e-06,2.541628e-06,3.126559e-06,3.543647e-06,3.953671e-06,4.726463e-06,4.881282e-06,5.900141e-06,6.070887e-06,6.998832e-06,7.550808e-06,8.164437e-06,9.135821e-06,9.383123e-06,1.064065e-05,1.079349e-05,1.192285e-05,1.249125e-05,1.321594e-05,1.419793e-05,1.450691e-05,1.578374e-05,1.588495e-05,1.703558e-05,1.752714e-05,1.825290e-05,1.910335e-05,1.942753e-05,2.055270e-05,2.059660e-05,2.162304e-05,2.199412e-05,2.263447e-05,2.328710e-05,2.358416e-05,2.447037e-05,2.529239e-05,2.554188e-05,2.605036e-05,2.650223e-05,2.674516e-05,2.735414e-05,2.737830e-05,2.795177e-05,2.810197e-05,2.846796e-05,2.875129e-05,2.892955e-05,2.930847e-05,2.933943e-05,2.970059e-05,2.978036e-05,3.001611e-05,3.017402e-05,3.028907e-05,3.049647e-05,3.052249e-05,3.071936e-05,3.075460e-05,3.088253e-05,3.095497e-05,3.101475e-05,3.110381e-05,3.111863e-05,3.119665e-05,3.120689e-05,3.125113e-05,3.126955e-05,3.128423e-05,3.129667e-05,3.129797e-05,3.129423e-05,3.129269e-05,3.127474e-05,3.126159e-05,3.124110e-05,3.120699e-05,3.119479e-05,3.113716e-05,3.113209e-05,3.106943e-05,3.103977e-05,3.099274e-05,3.093256e-05,3.090813e-05,3.081652e-05,3.081273e-05,3.071879e-05,3.068225e-05,3.061570e-05,3.054290e-05,3.050796e-05,3.039622e-05,3.028106e-05,3.024357e-05,3.016300e-05,3.008615e-05,3.004253e-05,2.992501e-05,2.992007e-05,2.979603e-05,2.976106e-05,2.967075e-05,2.959512e-05,2.954455e-05,2.942789e-05,2.941773e-05,2.929054e-05,2.925998e-05,2.916321e-05,2.909194e-05,2.903597e-05,2.892422e-05,2.890900e-05,2.878247e-05,2.875723e-05,2.865654e-05,2.859134e-05,2.853135e-05,2.842684e-05,2.840701e-05,2.828364e-05,2.826400e-05,2.816134e-05,2.810303e-05,2.804019e-05,2.794415e-05,2.792026e-05,2.780164e-05,2.778750e-05,2.768438e-05,2.763323e-05,2.756852e-05,2.748145e-05,2.745412e-05,2.734122e-05,2.733225e-05,2.722984e-05,2.718573e-05,2.712002e-05,2.704193e-05,2.701178e-05,2.690514e-05,2.690091e-05,2.680011e-05,2.676270e-05,2.669671e-05,2.662733e-05,2.659494e-05,2.649481e-05,2.636515e-05,2.623834e-05,2.611439e-05,2.599328e-05,2.587498e-05,2.575948e-05,2.564674e-05,2.553675e-05,2.542945e-05,2.532483e-05,2.522283e-05,2.512342e-05,2.502656e-05,2.493220e-05,2.484030e-05,2.475082e-05,2.466370e-05,2.457890e-05,2.449638e-05,2.441609e-05,2.433798e-05,2.426199e-05,2.418810e-05,2.411624e-05
0.000000e+00,3.147827e-11,1.206083e-10,8.765222e-10,3.219999e-09,5.814438e-09,2.054511e-08,2.149276e-08,5.778978e-08,7.330464e-08,1.272880e-07,1.909720e-07,2.447035e-07,4.090691e-07,4.263723e-07,6.896244e-07,7.668784e-07,1.051612e-06,1.303203e-06,1.527351e-06,2.048785e-06,2.127622e-06,2.857786e-06,3.019489e-06,3.717792e-06,4.214908e-06,4.702950e-06,5.621202e-06,5.804947e-06,7.012814e-06,7.215060e-06,8.313733e-06,8.967142e-06,9.693690e-06,1.084470e-05,1.113800e-05,1.263173e-05,1.281360e-05,1.416009e-05,1.483982e-05,1.570872e-05,1.689079e-05,1.726395e-05,1.881305e-05,1.893636e-05,2.034440e-05,2.094959e-05,2.184758e-05,2.290726e-05,2.331347e-05,2.473430e-05,2.479010e-05,2.610362e-05,2.658293e-05,2.741626e-05,2.827443e-05,2.866828e-05,2.985686e-05,3.098021e-05,3.132573e-05,3.203743e-05,3.267928e-05,3.302844e-05,3.391805e-05,3.395382e-05,3.481473e-05,3.504444e-05,3.561279e-05,3.606227e-05,3.634998e-05,3.697637e-05,3.702856e-05,3.765101e-05,3.779234e-05,3.821994e-05,3.851616e-05,3.873804e-05,3.915408e-05,3.920803e-05,3.963265e-05,3.971236e-05,4.001457e-05,4.019717e-05,4.035642e-05,4.061448e-05,4.066075e-05,4.093001e-05,4.097000e-05,4.116655e-05,4.126913e-05,4.137261e-05,4.151694e-05,4.155031e-05,4.170166e-05,4.171814e-05,4.182855e-05,4.187709e-05,4.193276e-05,4.199782e-05,4.201596e-05,4.207971e-05,4.208401e-05,4.212547e-05,4.213905e-05,4.215461e-05,4.216602e-05,4.216840e-05,4.216803e-05,4.216773e-05,4.215459e-05,4.214675e-05,4.212911e-05,4.210540e-05,4.209255e-05,4.204579e-05,4.198966e-05,4.196984e-05,4.192492e-05,4.187930e-05,4.185229e-05,4.177575e-05,4.177242e-05,4.168593e-05,4.166061e-05,4.159340e-05,4.153520e-05,4.149534e-05,4.140068e-05,4.139226e-05,4.128461e-05,4.125814e-05,4.117281e-05,4.110854e-05,4.105727e-05,4.095278e-05,4.093834e-05,4.081637e-05,4.079164e-05,4.069168e-05,4.062587e-05,4.056457e-05,4.045611e-05,4.043530e-05,4.030413e-05,4.028299e-05,4.017131e-05,4.010704e-05,4.003706e-05,3.992876e-05,3.990157e-05,3.976505e-05,3.974860e-05,3.962766e-05,3.956698e-05,3.948958e-05,3.938428e-05,3.935097e-05,3.921196e-05,3.920082e-05,3.907269e-05,3.901693e-05,3.893328e-05,3.883288e-05,3.879385e-05,3.865451e-05,3.864894e-05,3.851535e-05,3.846532e-05,3.837648e-05,3.828225e-05,3.823797e-05,3.809991e-05,3.791848e-05,3.773811e-05,3.755895e-05,3.738111e-05,3.720473e-05,3.702989e-05,3.685670e-05,3.668523e-05,3.651556e-05,3.634775e-05,3.618185e-05,3.601793e-05,3.585602e-05,3.569616e-05,3.553839e-05,3.538272e-05,3.522918e-05,3.507779e-05,3.492856e-05,3.478150e-05,3.463662e-05,3.449392e-05,3.435340e-05,3.421506e-05
0.000000e+00,4.394056e-10,1.466804e-09,8.216289e-09,2.446993e-08,3.977919e-08,1.103981e-07,1.144582e-07,2.518603e-07,3.043014e-07,4.722541e-07,6.533177e-07,7.974326e-07,1.209080e-06,1.250579e-06,1.853066e-06,2.021538e-06,2.616881e-06,3.114178e-06,3.537797e-06,4.463922e-06,4.597680e-06,5.773332e-06,6.020384e-06,7.042998e-06,7.734089e-06,8.388077e-06,9.564431e-06,9.792522e-06,1.124187e-05,1.147702e-05,1.272262e-05,1.344077e-05,1.422204e-05,1.542691e-05,1.572811e-05,1.722969e-05,1.740909e-05,1.871662e-05,1.936386e-05,2.017985e-05,2.127114e-05,2.161148e-05,2.300484e-05,2.311448e-05,2.435441e-05,2.488096e-05,2.565582e-05,2.656108e-05,2.690570e-05,2.810165e-05,2.814834e-05,2.924209e-05,2.963887e-05,3.032615e-05,3.103095e-05,3.135356e-05,3.232456e-05,3.323984e-05,3.352111e-05,3.410039e-05,3.462301e-05,3.490750e-05,3.563342e-05,3.566265e-05,3.636748e-05,3.655605e-05,3.702374e-05,3.739493e-05,3.763324e-05,3.815430e-05,3.819786e-05,3.871948e-05,3.883848e-05,3.919999e-05,3.945181e-05,3.964125e-05,3.999856e-05,4.004511e-05,4.041336e-05,4.048289e-05,4.074775e-05,4.090881e-05,4.104997e-05,4.128020e-05,4.132169e-05,4.156449e-05,4.160075e-05,4.177989e-05,4.187399e-05,4.196937e-05,4.210323e-05,4.213433e-05,4.227612e-05,4.229164e-05,4.239604e-05,4.244220e-05,4.249533e-05,4.255773e-05,4.257518e-05,4.263670e-05,4.264086e-05,4.268098e-05,4.269410e-05,4.270904e-05,4.271976e-05,4.272186e-05,4.272038e-05,4.272003e-05,4.270546e-05,4.269697e-05,4.267797e-05,4.265250e-05,4.263869e-05,4.258839e-05,4.252779e-05,4.250634e-05,4.245757e-05,4.240789e-05,4.237839e-05,4.229451e-05,4.229086e-05,4.219557e-05,4.216757e-05,4.209306e-05,4.202832e-05,4.198387e-05,4.187795e-05,4.186850e-05,4.174741e-05,4.171755e-05,4.162106e-05,4.154815e-05,4.148985e-05,4.137070e-05,4.135420e-05,4.121448e-05,4.118608e-05,4.107104e-05,4.099510e-05,4.092423e-05,4.079853e-05,4.077436e-05,4.062174e-05,4.059708e-05,4.046664e-05,4.039139e-05,4.030933e-05,4.018207e-05,4.015008e-05,3.998911e-05,3.996969e-05,3.982665e-05,3.975475e-05,3.966291e-05,3.953773e-05,3.949809e-05,3.933238e-05,3.931909e-05,3.916595e-05,3.909922e-05,3.899897e-05,3.887849e-05,3.883160e-05,3.866397e-05,3.865727e-05,3.849624e-05,3.843585e-05,3.832852e-05,3.821454e-05,3.816093e-05,3.799360e-05,3.777327e-05,3.755379e-05,3.733535e-05,3.711814e-05,3.690232e-05,3.668806e-05,3.647549e-05,3.626474e-05,3.605591e-05,3.584912e-05,3.564444e-05,3.544197e-05,3.524176e-05,3.504389e-05,3.484840e-05,3.465534e-05,3.446476e-05,3.427668e-05,3.409113e-05,3.390814e-05,3.372771e-05,3.354987e-05,3.337462e-05,3.320196e-05
0.000000e+00,5.942913e-11,2.280989e-10,1.664052e-09,6.136567e-09,1.110660e-08,3.951664e-08,4.135239e-08,1.121618e-07,1.426651e-07,2.496249e-07,3.770715e-07,4.853714e-07,8.191500e-07,8.544029e-07,1.390645e-06,1.547519e-06,2.122261e-06,2.625103e-06,3.069225e-06,4.090046e-06,4.243082e-06,5.647699e-06,5.956171e-06,7.280227e-06,8.216542e-06,9.131990e-06,1.084698e-05,1.118926e-05,1.343396e-05,1.380910e-05,1.584442e-05,1.705320e-05,1.839609e-05,2.052128e-05,2.106238e-05,2.381542e-05,2.415027e-05,2.662696e-05,2.787535e-05,2.946909e-05,3.163298e-05,3.231494e-05,3.513928e-05,3.536359e-05,3.791902e-05,3.901372e-05,4.063353e-05,4.253739e-05,4.326485e-05,4.579783e-05,4.589692e-05,4.822010e-05,4.906307e-05,5.052199e-05,5.201479e-05,5.269640e-05,5.473856e-05,5.664584e-05,5.722751e-05,5.841745e-05,5.948040e-05,6.005421e-05,6.150065e-05,6.155830e-05,6.293301e-05,6.329529e-05,6.418251e-05,6.487410e-05,6.531165e-05,6.624878e-05,6.632582e-05,6.723070e-05,6.743226e-05,6.803222e-05,6.843817e-05,6.873640e-05,6.928034e-05,6.934926e-05,6.987674e-05,6.997251e-05,7.032467e-05,7.052802e-05,7.069866e-05,7.095966e-05,7.100415e-05,7.124630e-05,7.127950e-05,7.143004e-05,7.149887e-05,7.156004e-05,7.162830e-05,7.164069e-05,7.167610e-05,7.167750e-05,7.167015e-05,7.165536e-05,7.162644e-05,7.157004e-05,7.154833e-05,7.143894e-05,7.142893e-05,7.130120e-05,7.123877e-05,7.113778e-05,7.100562e-05,7.095117e-05,7.074369e-05,7.073499e-05,7.051745e-05,7.043180e-05,7.027443e-05,7.010051e-05,7.001642e-05,6.974509e-05,6.946199e-05,6.936915e-05,6.916852e-05,6.897586e-05,6.886598e-05,6.856812e-05,6.855556e-05,6.823837e-05,6.814847e-05,6.791539e-05,6.771922e-05,6.758756e-05,6.728239e-05,6.725572e-05,6.692064e-05,6.683982e-05,6.658304e-05,6.639313e-05,6.624357e-05,6.594375e-05,6.590281e-05,6.556132e-05,6.549298e-05,6.521959e-05,6.504194e-05,6.487806e-05,6.459164e-05,6.453715e-05,6.419724e-05,6.414297e-05,6.385866e-05,6.369671e-05,6.352172e-05,6.325354e-05,6.318670e-05,6.285386e-05,6.281408e-05,6.252342e-05,6.237885e-05,6.219560e-05,6.194830e-05,6.187056e-05,6.154848e-05,6.152285e-05,6.122951e-05,6.110282e-05,6.091377e-05,6.068852e-05,6.060139e-05,6.029246e-05,6.028018e-05,5.998708e-05,5.987802e-05,5.968532e-05,5.948222e-05,5.938724e-05,5.909290e-05,5.871019e-05,5.833417e-05,5.796489e-05,5.760241e-05,5.724675e-05,5.689790e-05,5.655587e-05,5.622063e-05,5.589215e-05,5.557039e-05,5.525528e-05,5.494679e-05,5.464482e-05,5.434933e-05,5.406021e-05,5.377739e-05,5.350079e-05,5.323030e-05,5.296584e-05,5.270730e-05,5.245460e-05,5.220763e-05,5.196628e-05,5.173046e-05
0.000000e+00,3.104434e-09,7.441764e-09,2.706964e-08,6.405701e-08,9.556680e-08,2.323673e-07,2.401436e-07,5.079796e-07,6.131019e-07,9.559958e-07,1.324773e-06,1.610626e-06,2.374342e-06,2.446997e-06,3.427625e-06,3.681316e-06,4.526720e-06,5.187881e-06,5.728630e-06,6.862665e-06,7.022464e-06,8.398799e-06,8.683138e-06,9.848123e-06,1.062728e-05,1.136030e-05,1.267119e-05,1.292450e-05,1.452947e-05,1.478929e-05,1.616382e-05,1.695543e-05,1.781634e-05,1.914424e-05,1.947635e-05,2.113389e-05,2.133219e-05,2.277991e-05,2.349840e-05,2.440637e-05,2.562505e-05,2.600627e-05,2.757367e-05,2.769751e-05,2.910364e-05,2.970422e-05,3.059217e-05,3.163645e-05,3.203610e-05,3.343304e-05,3.348792e-05,3.478126e-05,3.525445e-05,3.607960e-05,3.693363e-05,3.732741e-05,3.852443e-05,3.967076e-05,4.002694e-05,4.076680e-05,4.144214e-05,4.181316e-05,4.277167e-05,4.281064e-05,4.376021e-05,4.401764e-05,4.466290e-05,4.518250e-05,4.551989e-05,4.626899e-05,4.633238e-05,4.710164e-05,4.727997e-05,4.782896e-05,4.821843e-05,4.851566e-05,4.908741e-05,4.916306e-05,4.977249e-05,4.988993e-05,5.034524e-05,5.062902e-05,5.088264e-05,5.130766e-05,5.138595e-05,5.185645e-05,5.192877e-05,5.229537e-05,5.249519e-05,5.270392e-05,5.300970e-05,5.308330e-05,5.343466e-05,5.347500e-05,5.375913e-05,5.389366e-05,5.405780e-05,5.426820e-05,5.433175e-05,5.458200e-05,5.460103e-05,5.480957e-05,5.489446e-05,5.501542e-05,5.515072e-05,5.520050e-05,5.536572e-05,5.537193e-05,5.551197e-05,5.556013e-05,5.564009e-05,5.571728e-05,5.575091e-05,5.584523e-05,5.592382e-05,5.594576e-05,5.598741e-05,5.602056e-05,5.603671e-05,5.607125e-05,5.607243e-05,5.609521e-05,5.609936e-05,5.610570e-05,5.610635e-05,5.610451e-05,5.609361e-05,5.609224e-05,5.606944e-05,5.606247e-05,5.603667e-05,5.601416e-05,5.599446e-05,5.594989e-05,5.594330e-05,5.588368e-05,5.587079e-05,5.581607e-05,5.577791e-05,5.574092e-05,5.567227e-05,5.565864e-05,5.556966e-05,5.555483e-05,5.547437e-05,5.542650e-05,5.537315e-05,5.528814e-05,5.526635e-05,5.515434e-05,5.514056e-05,5.503743e-05,5.498452e-05,5.491594e-05,5.482075e-05,5.479019e-05,5.466047e-05,5.464993e-05,5.452705e-05,5.447271e-05,5.439020e-05,5.428969e-05,5.425017e-05,5.410722e-05,5.410144e-05,5.396157e-05,5.390852e-05,5.381345e-05,5.371142e-05,5.366306e-05,5.351062e-05,5.330657e-05,5.309970e-05,5.289040e-05,5.267903e-05,5.246596e-05,5.225150e-05,5.203597e-05,5.181964e-05,5.160279e-05,5.138566e-05,5.116849e-05,5.095149e-05,5.073487e-05,5.051882e-05,5.030350e-05,5.008908e-05,4.987571e-05,4.966353e-05,4.945267e-05,4.924323e-05,4.903534e-05,4.882909e-05,4.862457e-05,4.842186e-05
0.000000e+00,3.293815e-09,7.626259e-09,2.675357e-08,6.237594e-08,9.267665e-08,2.249430e-07,2.325040e-07,4.952440e-07,5.992788e-07,9.403361e-07,1.307722e-06,1.591679e-06,2.343641e-06,2.414593e-06,3.361979e-06,3.604047e-06,4.402392e-06,5.018477e-06,5.517427e-06,6.550746e-06,6.695033e-06,7.925528e-06,8.177167e-06,9.199729e-06,9.876484e-06,1.050825e-05,1.162686e-05,1.184141e-05,1.318936e-05,1.340574e-05,1.454234e-05,1.519079e-05,1.589101e-05,1.696095e-05,1.722664e-05,1.854136e-05,1.869738e-05,1.982820e-05,2.038400e-05,2.108118e-05,2.200775e-05,2.229540e-05,2.346697e-05,2.355876e-05,2.459288e-05,2.502994e-05,2.567094e-05,2.641670e-05,2.669975e-05,2.767853e-05,2.771664e-05,2.860708e-05,2.892907e-05,2.948551e-05,3.005451e-05,3.031442e-05,3.109470e-05,3.182746e-05,3.205211e-05,3.251401e-05,3.292981e-05,3.315580e-05,3.373123e-05,3.375436e-05,3.431128e-05,3.445998e-05,3.482821e-05,3.511986e-05,3.530680e-05,3.571467e-05,3.574871e-05,3.615558e-05,3.624820e-05,3.652904e-05,3.672417e-05,3.687066e-05,3.714620e-05,3.718201e-05,3.746458e-05,3.751777e-05,3.771983e-05,3.784223e-05,3.794916e-05,3.812277e-05,3.815393e-05,3.833546e-05,3.836243e-05,3.849500e-05,3.856412e-05,3.863374e-05,3.873055e-05,3.875285e-05,3.885344e-05,3.886431e-05,3.893654e-05,3.896784e-05,3.900319e-05,3.904342e-05,3.905433e-05,3.909090e-05,3.909322e-05,3.911376e-05,3.911925e-05,3.912375e-05,3.912342e-05,3.912167e-05,3.910827e-05,3.910751e-05,3.908427e-05,3.907317e-05,3.905036e-05,3.902198e-05,3.900719e-05,3.895538e-05,3.889551e-05,3.887474e-05,3.882814e-05,3.878133e-05,3.875379e-05,3.867633e-05,3.867298e-05,3.858617e-05,3.856085e-05,3.849382e-05,3.843592e-05,3.839635e-05,3.830250e-05,3.829416e-05,3.818764e-05,3.816147e-05,3.807715e-05,3.801367e-05,3.796303e-05,3.785986e-05,3.784560e-05,3.772518e-05,3.770076e-05,3.760204e-05,3.753703e-05,3.747646e-05,3.736928e-05,3.734871e-05,3.721901e-05,3.719809e-05,3.708760e-05,3.702398e-05,3.695470e-05,3.684744e-05,3.682051e-05,3.668522e-05,3.666892e-05,3.654900e-05,3.648882e-05,3.641204e-05,3.630755e-05,3.627449e-05,3.613649e-05,3.612544e-05,3.599819e-05,3.594282e-05,3.585972e-05,3.575999e-05,3.572120e-05,3.558275e-05,3.557722e-05,3.544448e-05,3.539476e-05,3.530648e-05,3.521285e-05,3.516885e-05,3.503169e-05,3.485146e-05,3.467236e-05,3.449452e-05,3.431810e-05,3.414322e-05,3.397000e-05,3.379854e-05,3.362894e-05,3.346127e-05,3.329561e-05,3.313203e-05,3.297057e-05,3.281129e-05,3.265423e-05,3.249942e-05,3.234689e-05,3.219666e-05,3.204875e-05,3.190318e-05,3.175995e-05,3.161906e-05,3.148052e-05,3.134433e-05,3.121048e-05
0.000000e+00,4.128096e-10,1.455022e-09,8.985479e-09,2.879457e-08,4.846412e-08,1.449294e-07,1.506553e-07,3.505944e-07,4.290366e-07,6.848822e-07,9.659014e-07,1.192144e-06,1.846982e-06,1.913582e-06,2.891402e-06,3.168585e-06,4.162559e-06,5.011327e-06,5.748100e-06,7.401905e-06,7.645404e-06,9.830707e-06,1.029933e-05,1.226900e-05,1.362448e-05,1.492312e-05,1.729387e-05,1.775834e-05,2.074332e-05,2.123288e-05,2.384958e-05,2.537583e-05,2.705066e-05,2.966297e-05,3.032158e-05,3.363862e-05,3.403868e-05,3.697931e-05,3.845123e-05,4.032262e-05,4.285324e-05,4.364907e-05,4.694100e-05,4.720238e-05,5.018262e-05,5.146201e-05,5.336007e-05,5.560136e-05,5.646148e-05,5.947688e-05,5.959558e-05,6.239808e-05,6.342536e-05,6.521862e-05,6.707651e-05,6.793356e-05,7.053935e-05,7.303363e-05,7.380802e-05,7.541512e-05,7.687988e-05,7.768345e-05,7.975497e-05,7.983904e-05,8.188296e-05,8.243546e-05,8.381682e-05,8.492515e-05,8.564269e-05,8.722917e-05,8.736297e-05,8.898037e-05,8.935356e-05,9.049780e-05,9.130502e-05,9.191831e-05,9.309073e-05,9.324510e-05,9.448145e-05,9.471815e-05,9.563065e-05,9.619489e-05,9.669601e-05,9.752853e-05,9.768083e-05,9.858835e-05,9.872659e-05,9.942179e-05,9.979647e-05,1.001843e-04,1.007454e-04,1.008791e-04,1.015090e-04,1.015804e-04,1.020771e-04,1.023082e-04,1.025862e-04,1.029354e-04,1.030391e-04,1.034385e-04,1.034682e-04,1.037870e-04,1.039127e-04,1.040870e-04,1.042745e-04,1.043411e-04,1.045516e-04,1.045591e-04,1.047207e-04,1.047718e-04,1.048505e-04,1.049175e-04,1.049433e-04,1.050010e-04,1.050254e-04,1.050266e-04,1.050186e-04,1.049986e-04,1.049822e-04,1.049210e-04,1.049179e-04,1.048274e-04,1.047976e-04,1.047123e-04,1.046320e-04,1.045739e-04,1.044274e-04,1.044139e-04,1.042334e-04,1.041872e-04,1.040339e-04,1.039143e-04,1.038166e-04,1.036116e-04,1.035826e-04,1.033332e-04,1.032815e-04,1.030693e-04,1.029268e-04,1.027921e-04,1.025496e-04,1.025025e-04,1.022014e-04,1.021522e-04,1.018898e-04,1.017367e-04,1.015684e-04,1.013049e-04,1.012382e-04,1.008999e-04,1.008588e-04,1.005541e-04,1.003998e-04,1.002017e-04,9.992975e-05,9.984320e-05,9.947931e-05,9.944998e-05,9.911060e-05,9.896189e-05,9.873764e-05,9.846677e-05,9.836096e-05,9.798106e-05,9.796581e-05,9.759843e-05,9.746010e-05,9.721352e-05,9.695069e-05,9.682675e-05,9.643853e-05,9.592451e-05,9.540943e-05,9.489407e-05,9.437912e-05,9.386523e-05,9.335299e-05,9.284294e-05,9.233559e-05,9.183139e-05,9.133077e-05,9.083409e-05,9.034172e-05,8.985395e-05,8.937107e-05,8.889334e-05,8.842097e-05,8.795417e-05,8.749312e-05,8.703797e-05,8.658886e-05,8.614590e-05,8.570919e-05,8.527882e-05,8.485486e-05
0.000000e+00,1.418653e-10,5.014483e-10,3.108051e-09,9.968298e-09,1.676899e-08,4.992666e-08,5.188516e-08,1.196943e-07,1.460260e-07,2.310179e-07,3.230216e-07,3.962120e-07,6.043712e-07,6.252730e-07,9.274635e-07,1.011728e-06,1.309726e-06,1.559723e-06,1.773837e-06,2.245792e-06,2.314344e-06,2.919710e-06,3.047325e-06,3.575746e-06,3.932247e-06,4.268587e-06,4.870026e-06,4.986018e-06,5.717612e-06,5.835366e-06,6.454422e-06,6.807616e-06,7.188651e-06,7.769548e-06,7.913457e-06,8.622860e-06,8.706701e-06,9.311724e-06,9.607182e-06,9.975759e-06,1.046167e-05,1.061151e-05,1.121636e-05,1.126335e-05,1.178845e-05,1.200784e-05,1.232664e-05,1.269284e-05,1.283042e-05,1.329985e-05,1.331791e-05,1.373540e-05,1.388407e-05,1.413796e-05,1.439343e-05,1.450867e-05,1.484891e-05,1.516018e-05,1.525394e-05,1.544410e-05,1.561222e-05,1.570232e-05,1.592756e-05,1.593649e-05,1.614825e-05,1.620375e-05,1.633920e-05,1.644443e-05,1.651088e-05,1.665305e-05,1.666474e-05,1.680216e-05,1.683284e-05,1.692444e-05,1.698676e-05,1.703279e-05,1.711752e-05,1.712835e-05,1.721215e-05,1.722758e-05,1.728516e-05,1.731916e-05,1.734827e-05,1.739423e-05,1.740230e-05,1.744800e-05,1.745459e-05,1.748607e-05,1.750182e-05,1.751713e-05,1.753733e-05,1.754177e-05,1.756051e-05,1.756238e-05,1.757384e-05,1.757811e-05,1.758221e-05,1.758550e-05,1.758602e-05,1.758565e-05,1.758545e-05,1.758144e-05,1.757875e-05,1.757370e-05,1.756611e-05,1.756273e-05,1.754878e-05,1.754817e-05,1.753211e-05,1.752549e-05,1.751294e-05,1.749857e-05,1.749146e-05,1.746789e-05,1.744238e-05,1.743383e-05,1.741510e-05,1.739679e-05,1.738621e-05,1.735708e-05,1.735584e-05,1.732412e-05,1.731501e-05,1.729117e-05,1.727085e-05,1.725710e-05,1.722486e-05,1.722201e-05,1.718601e-05,1.717724e-05,1.714918e-05,1.712822e-05,1.711159e-05,1.707797e-05,1.707334e-05,1.703449e-05,1.702666e-05,1.699511e-05,1.697445e-05,1.695527e-05,1.692148e-05,1.691501e-05,1.687440e-05,1.686787e-05,1.683349e-05,1.681376e-05,1.679232e-05,1.675924e-05,1.675095e-05,1.670940e-05,1.670441e-05,1.666773e-05,1.664937e-05,1.662597e-05,1.659419e-05,1.658415e-05,1.654231e-05,1.653896e-05,1.650047e-05,1.648375e-05,1.645867e-05,1.642861e-05,1.641693e-05,1.637527e-05,1.637360e-05,1.633372e-05,1.631879e-05,1.629230e-05,1.626422e-05,1.625103e-05,1.620993e-05,1.615596e-05,1.610236e-05,1.604915e-05,1.599637e-05,1.594404e-05,1.589220e-05,1.584086e-05,1.579004e-05,1.573976e-05,1.569004e-05,1.564090e-05,1.559234e-05,1.554439e-05,1.549703e-05,1.545030e-05,1.540419e-05,1.535870e-05,1.531386e-05,1.526965e-05,1.522608e-05,1.518315e-05,1.514087e-05,1.509923e-05,1.505824e-05
0.000000e+00,1.343677e-09,3.304682e-09,1.220498e-08,2.858483e-08,4.208952e-08,9.667038e-08,9.960541e-08,1.930200e-07,2.267380e-07,3.306479e-07,4.379316e-07,5.208327e-07,7.488339e-07,7.712285e-07,1.086969e-06,1.172585e-06,1.467620e-06,1.706295e-06,1.904690e-06,2.324136e-06,2.383190e-06,2.886887e-06,2.989400e-06,3.402322e-06,3.671575e-06,3.919582e-06,4.350203e-06,4.431521e-06,4.932884e-06,5.011842e-06,5.419723e-06,5.647346e-06,5.889077e-06,6.250496e-06,6.338786e-06,6.767365e-06,6.817326e-06,7.173907e-06,7.345682e-06,7.557995e-06,7.834861e-06,7.919612e-06,8.259068e-06,8.285283e-06,8.576924e-06,8.698180e-06,8.873925e-06,9.075341e-06,9.150948e-06,9.408957e-06,9.418896e-06,9.648960e-06,9.731152e-06,9.871987e-06,1.001447e-05,1.007906e-05,1.027119e-05,1.044933e-05,1.050354e-05,1.061442e-05,1.071363e-05,1.076732e-05,1.090341e-05,1.090887e-05,1.103984e-05,1.107472e-05,1.116098e-05,1.122922e-05,1.127294e-05,1.136841e-05,1.137638e-05,1.147188e-05,1.149368e-05,1.155999e-05,1.160630e-05,1.164122e-05,1.170739e-05,1.171605e-05,1.178490e-05,1.179799e-05,1.184818e-05,1.187901e-05,1.190626e-05,1.195127e-05,1.195947e-05,1.200815e-05,1.201553e-05,1.205258e-05,1.207247e-05,1.209303e-05,1.212271e-05,1.212977e-05,1.216302e-05,1.216679e-05,1.219300e-05,1.220522e-05,1.221992e-05,1.223845e-05,1.224397e-05,1.226532e-05,1.226691e-05,1.228412e-05,1.229097e-05,1.230055e-05,1.231098e-05,1.231473e-05,1.232680e-05,1.232724e-05,1.233689e-05,1.234005e-05,1.234510e-05,1.234967e-05,1.235155e-05,1.235635e-05,1.235958e-05,1.236029e-05,1.236133e-05,1.236172e-05,1.236169e-05,1.236081e-05,1.236074e-05,1.235856e-05,1.235773e-05,1.235520e-05,1.235266e-05,1.235075e-05,1.234572e-05,1.234525e-05,1.233877e-05,1.233708e-05,1.233137e-05,1.232684e-05,1.232309e-05,1.231513e-05,1.231399e-05,1.230411e-05,1.230205e-05,1.229351e-05,1.228771e-05,1.228221e-05,1.227221e-05,1.227026e-05,1.225770e-05,1.225563e-05,1.224456e-05,1.223806e-05,1.223088e-05,1.221957e-05,1.221669e-05,1.220203e-05,1.220024e-05,1.218691e-05,1.218012e-05,1.217137e-05,1.215930e-05,1.215544e-05,1.213914e-05,1.213782e-05,1.212250e-05,1.211575e-05,1.210553e-05,1.209313e-05,1.208827e-05,1.207072e-05,1.207002e-05,1.205292e-05,1.204645e-05,1.203488e-05,1.202248e-05,1.201661e-05,1.199815e-05,1.197348e-05,1.194853e-05,1.192333e-05,1.189789e-05,1.187227e-05,1.184648e-05,1.182055e-05,1.179451e-05,1.176838e-05,1.174218e-05,1.171594e-05,1.168967e-05,1.166339e-05,1.163712e-05,1.161088e-05,1.158469e-05,1.155855e-05,1.153248e-05,1.150649e-05,1.148060e-05,1.145482e-05,1.142916e-05,1.140362e-05,1.137822e-05
0.000000e+00,1.118685e-11,4.293015e-11,3.129454e-10,1.152484e-09,2.083641e-09,7.382941e-09,7.724255e-09,2.081319e-08,2.641334e-08,4.590958e-08,6.891859e-08,8.833406e-08,1.477284e-07,1.539814e-07,2.491599e-07,2.771212e-07,3.803945e-07,4.720378e-07,5.540723e-07,7.465149e-07,7.758137e-07,1.049617e-06,1.110814e-06,1.377078e-06,1.568285e-06,1.757032e-06,2.114077e-06,2.185723e-06,2.657340e-06,2.736316e-06,3.164702e-06,3.418623e-06,3.699900e-06,4.142649e-06,4.254829e-06,4.821585e-06,4.890032e-06,5.392738e-06,5.643662e-06,5.961499e-06,6.388411e-06,6.521825e-06,7.068455e-06,7.111455e-06,7.596924e-06,7.802376e-06,8.103545e-06,8.453103e-06,8.585374e-06,9.040165e-06,9.057770e-06,9.466318e-06,9.612510e-06,9.862816e-06,1.011522e-05,1.022916e-05,1.056531e-05,1.087163e-05,1.096345e-05,1.114877e-05,1.131127e-05,1.139771e-05,1.161121e-05,1.161958e-05,1.181570e-05,1.186620e-05,1.198751e-05,1.207955e-05,1.213651e-05,1.225475e-05,1.226422e-05,1.237220e-05,1.239534e-05,1.246195e-05,1.250481e-05,1.253497e-05,1.258652e-05,1.259268e-05,1.263644e-05,1.264363e-05,1.266753e-05,1.267910e-05,1.268717e-05,1.269563e-05,1.269647e-05,1.269648e-05,1.269569e-05,1.268817e-05,1.268148e-05,1.267240e-05,1.265496e-05,1.264999e-05,1.262166e-05,1.261789e-05,1.258808e-05,1.257181e-05,1.254986e-05,1.251805e-05,1.250755e-05,1.246162e-05,1.245781e-05,1.241253e-05,1.239210e-05,1.236067e-05,1.232182e-05,1.230640e-05,1.225004e-05,1.224774e-05,1.219187e-05,1.217054e-05,1.213216e-05,1.209079e-05,1.207113e-05,1.200899e-05,1.194594e-05,1.192559e-05,1.188213e-05,1.184096e-05,1.181771e-05,1.175543e-05,1.175282e-05,1.168759e-05,1.166928e-05,1.162212e-05,1.158276e-05,1.155650e-05,1.149608e-05,1.149083e-05,1.142519e-05,1.140944e-05,1.135964e-05,1.132300e-05,1.129425e-05,1.123689e-05,1.122909e-05,1.116419e-05,1.115125e-05,1.109962e-05,1.106618e-05,1.103541e-05,1.098178e-05,1.097160e-05,1.090823e-05,1.089813e-05,1.084532e-05,1.081530e-05,1.078291e-05,1.073335e-05,1.072102e-05,1.065967e-05,1.065234e-05,1.059888e-05,1.057231e-05,1.053867e-05,1.049330e-05,1.047905e-05,1.042005e-05,1.041535e-05,1.036166e-05,1.033848e-05,1.030390e-05,1.026272e-05,1.024679e-05,1.019032e-05,1.018808e-05,1.013451e-05,1.011458e-05,1.007936e-05,1.004224e-05,1.002487e-05,9.971050e-06,9.901031e-06,9.832182e-06,9.764503e-06,9.697994e-06,9.632651e-06,9.568470e-06,9.505445e-06,9.443568e-06,9.382832e-06,9.323226e-06,9.264739e-06,9.207361e-06,9.151079e-06,9.095880e-06,9.041751e-06,8.988679e-06,8.936648e-06,8.885645e-06,8.835654e-06,8.786660e-06,8.738647e-06,8.691601e-06,8.645504e-06,8.600343e-06
0.000000e+00,5.938009e-09,1.366682e-08,4.723120e-08,1.076462e-07,1.571189e-07,3.565449e-07,3.672698e-07,7.092659e-07,8.330624e-07,1.215750e-06,1.612642e-06,1.920506e-06,2.772328e-06,2.856397e-06,4.049606e-06,4.375818e-06,5.509452e-06,6.438185e-06,7.218791e-06,8.896679e-06,9.136027e-06,1.120990e-05,1.163916e-05,1.339316e-05,1.455855e-05,1.564728e-05,1.757287e-05,1.794158e-05,2.025113e-05,2.062064e-05,2.255522e-05,2.365403e-05,2.483646e-05,2.663512e-05,2.708028e-05,2.927462e-05,2.953413e-05,3.140973e-05,3.232837e-05,3.347795e-05,3.500141e-05,3.547345e-05,3.739204e-05,3.754211e-05,3.923098e-05,3.994385e-05,4.098864e-05,4.220343e-05,4.266438e-05,4.425842e-05,4.432049e-05,4.577158e-05,4.629676e-05,4.720517e-05,4.813544e-05,4.856093e-05,4.984091e-05,5.104736e-05,5.141828e-05,5.218268e-05,5.287313e-05,5.324941e-05,5.421136e-05,5.425016e-05,5.518757e-05,5.543905e-05,5.606424e-05,5.656216e-05,5.688275e-05,5.758658e-05,5.764563e-05,5.835539e-05,5.851810e-05,5.901446e-05,5.936229e-05,5.962522e-05,6.012453e-05,6.018994e-05,6.071085e-05,6.080996e-05,6.119008e-05,6.142351e-05,6.162972e-05,6.196988e-05,6.203176e-05,6.239812e-05,6.245355e-05,6.273063e-05,6.287874e-05,6.303107e-05,6.324947e-05,6.330113e-05,6.354244e-05,6.356954e-05,6.375655e-05,6.384253e-05,6.394496e-05,6.407183e-05,6.410907e-05,6.425026e-05,6.426060e-05,6.436982e-05,6.441186e-05,6.446898e-05,6.452842e-05,6.454894e-05,6.461082e-05,6.461293e-05,6.465569e-05,6.466788e-05,6.468458e-05,6.469560e-05,6.469847e-05,6.469828e-05,6.468490e-05,6.467797e-05,6.465916e-05,6.463658e-05,6.462188e-05,6.457592e-05,6.457380e-05,6.451566e-05,6.449767e-05,6.444813e-05,6.440339e-05,6.437188e-05,6.429455e-05,6.428751e-05,6.419562e-05,6.417251e-05,6.409677e-05,6.403856e-05,6.399148e-05,6.389389e-05,6.388024e-05,6.376355e-05,6.373960e-05,6.364185e-05,6.357672e-05,6.351555e-05,6.340622e-05,6.338508e-05,6.325080e-05,6.322898e-05,6.311308e-05,6.304585e-05,6.297225e-05,6.285758e-05,6.282865e-05,6.268257e-05,6.266489e-05,6.253430e-05,6.246844e-05,6.238411e-05,6.226885e-05,6.223226e-05,6.207899e-05,6.206667e-05,6.192452e-05,6.186245e-05,6.176907e-05,6.165665e-05,6.161284e-05,6.145602e-05,6.144973e-05,6.129877e-05,6.124210e-05,6.114128e-05,6.103413e-05,6.098370e-05,6.082616e-05,6.061853e-05,6.041151e-05,6.020539e-05,6.000039e-05,5.979674e-05,5.959465e-05,5.939428e-05,5.919582e-05,5.899940e-05,5.880516e-05,5.861322e-05,5.842368e-05,5.823662e-05,5.805215e-05,5.787031e-05,5.769118e-05,5.751481e-05,5.734124e-05,5.717050e-05,5.700262e-05,5.683763e-05,5.667554e-05,5.651636e-05,5.636009e-05
0.000000e+00,2.079458e-10,8.138610e-10,6.182652e-09,2.365333e-08,4.367683e-08,1.635317e-07,1.714787e-07,4.883935e-07,6.292718e-07,1.136374e-06,1.759643e-06,2.301489e-06,4.027066e-06,4.213686e-06,7.144938e-06,8.033679e-06,1.140316e-05,1.449011e-05,1.731849e-05,2.415868e-05,2.522285e-05,3.542941e-05,3.777227e-05,4.821735e-05,5.596747e-05,6.382271e-05,7.924768e-05,8.243373e-05,1.041889e-04,1.079681e-04,1.291768e-04,1.423327e-04,1.574368e-04,1.823966e-04,1.889605e-04,2.236946e-04,2.280743e-04,2.615433e-04,2.791500e-04,3.023721e-04,3.352922e-04,3.460120e-04,3.922639e-04,3.960703e-04,4.409036e-04,4.609739e-04,4.916866e-04,5.294322e-04,5.443533e-04,5.986336e-04,6.008345e-04,6.542521e-04,6.745490e-04,7.109320e-04,7.499406e-04,7.683993e-04,8.263861e-04,8.846339e-04,9.032876e-04,9.428957e-04,9.800824e-04,1.000938e-03,1.056251e-03,1.058545e-03,1.115512e-03,1.131324e-03,1.171658e-03,1.204881e-03,1.226815e-03,1.276557e-03,1.280833e-03,1.333581e-03,1.346039e-03,1.384944e-03,1.413065e-03,1.434824e-03,1.477424e-03,1.483136e-03,1.529812e-03,1.538946e-03,1.574798e-03,1.597508e-03,1.618051e-03,1.653021e-03,1.659539e-03,1.699245e-03,1.705431e-03,1.737156e-03,1.754716e-03,1.773273e-03,1.800877e-03,1.807600e-03,1.840152e-03,1.843940e-03,1.870949e-03,1.883949e-03,1.900014e-03,1.920964e-03,1.927378e-03,1.953073e-03,1.955058e-03,1.977138e-03,1.986315e-03,1.999610e-03,2.014828e-03,2.020533e-03,2.039950e-03,2.040696e-03,2.057906e-03,2.064021e-03,2.074447e-03,2.084911e-03,2.089621e-03,2.103474e-03,2.116054e-03,2.119819e-03,2.127410e-03,2.134056e-03,2.137587e-03,2.146293e-03,2.146634e-03,2.154596e-03,2.156637e-03,2.161519e-03,2.165193e-03,2.167448e-03,2.172062e-03,2.172426e-03,2.176498e-03,2.177344e-03,2.179704e-03,2.181137e-03,2.182086e-03,2.183532e-03,2.183683e-03,2.184535e-03,2.184620e-03,2.184679e-03,2.184486e-03,2.184152e-03,2.183215e-03,2.182987e-03,2.181221e-03,2.180885e-03,2.178885e-03,2.177571e-03,2.176012e-03,2.173347e-03,2.172632e-03,2.168774e-03,2.168280e-03,2.164467e-03,2.162437e-03,2.159739e-03,2.155879e-03,2.154615e-03,2.149121e-03,2.148666e-03,2.143281e-03,2.140853e-03,2.137118e-03,2.132494e-03,2.130655e-03,2.123913e-03,2.123637e-03,2.116911e-03,2.114332e-03,2.109671e-03,2.104620e-03,2.102210e-03,2.094546e-03,2.084148e-03,2.073463e-03,2.062527e-03,2.051371e-03,2.040026e-03,2.028522e-03,2.016884e-03,2.005138e-03,1.993307e-03,1.981413e-03,1.969476e-03,1.957514e-03,1.945545e-03,1.933586e-03,1.921650e-03,1.909753e-03,1.897905e-03,1.886120e-03,1.874407e-03,1.862777e-03,1.851238e-03,1.839798e-03,1.828465e-03,1.817246e-03
0.000000e+00,8.054071e-09,1.856198e-08,6.441169e-08,1.476232e-07,2.163228e-07,4.976567e-07,5.129707e-07,1.010068e-06,1.193882e-06,1.773696e-06,2.391734e-06,2.881598e-06,4.278065e-06,4.418797e-06,6.462321e-06,7.033825e-06,9.052663e-06,1.073653e-05,1.216765e-05,1.528083e-05,1.572833e-05,1.963489e-05,2.044945e-05,2.379738e-05,2.603888e-05,2.814528e-05,3.190104e-05,3.262474e-05,3.719318e-05,3.792994e-05,4.181507e-05,4.404331e-05,4.645935e-05,5.017207e-05,5.109814e-05,5.570617e-05,5.625596e-05,6.026061e-05,6.224224e-05,6.474105e-05,6.808556e-05,6.912955e-05,7.341062e-05,7.374805e-05,7.757122e-05,7.919926e-05,8.160066e-05,8.441577e-05,8.549041e-05,8.923406e-05,8.938069e-05,9.282692e-05,9.408279e-05,9.626588e-05,9.851560e-05,9.954934e-05,1.026769e-04,1.056492e-04,1.065678e-04,1.084677e-04,1.101917e-04,1.111345e-04,1.135545e-04,1.136524e-04,1.160247e-04,1.166633e-04,1.182549e-04,1.195264e-04,1.203469e-04,1.221531e-04,1.223049e-04,1.241330e-04,1.245529e-04,1.258356e-04,1.267359e-04,1.274171e-04,1.287122e-04,1.288820e-04,1.302345e-04,1.304919e-04,1.314790e-04,1.320849e-04,1.326198e-04,1.335009e-04,1.336610e-04,1.346067e-04,1.347495e-04,1.354611e-04,1.358398e-04,1.362279e-04,1.367810e-04,1.369111e-04,1.375143e-04,1.375815e-04,1.380412e-04,1.382497e-04,1.384951e-04,1.387935e-04,1.388797e-04,1.391980e-04,1.392207e-04,1.394533e-04,1.395384e-04,1.396486e-04,1.397537e-04,1.397868e-04,1.398709e-04,1.398732e-04,1.399036e-04,1.399032e-04,1.398874e-04,1.398498e-04,1.398250e-04,1.397187e-04,1.395710e-04,1.395153e-04,1.393840e-04,1.392448e-04,1.391600e-04,1.389121e-04,1.389011e-04,1.386091e-04,1.385218e-04,1.382862e-04,1.380782e-04,1.379340e-04,1.375856e-04,1.375543e-04,1.371489e-04,1.370479e-04,1.367193e-04,1.364687e-04,1.362671e-04,1.358516e-04,1.357937e-04,1.353007e-04,1.351999e-04,1.347893e-04,1.345166e-04,1.342608e-04,1.338046e-04,1.337165e-04,1.331576e-04,1.330669e-04,1.325851e-04,1.323058e-04,1.320002e-04,1.315240e-04,1.314038e-04,1.307970e-04,1.307235e-04,1.301807e-04,1.299067e-04,1.295557e-04,1.290755e-04,1.289230e-04,1.282833e-04,1.282318e-04,1.276373e-04,1.273773e-04,1.269859e-04,1.265138e-04,1.263296e-04,1.256692e-04,1.256428e-04,1.250053e-04,1.247656e-04,1.243385e-04,1.238837e-04,1.236693e-04,1.229983e-04,1.221106e-04,1.212216e-04,1.203324e-04,1.194439e-04,1.185570e-04,1.176725e-04,1.167911e-04,1.159135e-04,1.150404e-04,1.141722e-04,1.133097e-04,1.124531e-04,1.116031e-04,1.107599e-04,1.099240e-04,1.090956e-04,1.082751e-04,1.074628e-04,1.066589e-04,1.058635e-04,1.050769e-04,1.042993e-04,1.035308e-04,1.027714e-04
0.000000e+00,1.328906e-09,3.253800e-09,1.202071e-08,2.828111e-08,4.177297e-08,9.677666e-08,9.974987e-08,1.948880e-07,2.294077e-07,3.362013e-07,4.470058e-07,5.329812e-07,7.711929e-07,7.947484e-07,1.130707e-06,1.223275e-06,1.548347e-06,1.819424e-06,2.051099e-06,2.561850e-06,2.636152e-06,3.294619e-06,3.434073e-06,4.014387e-06,4.408786e-06,4.783237e-06,5.459057e-06,5.590376e-06,6.426635e-06,6.562599e-06,7.284154e-06,7.701264e-06,8.156053e-06,8.859796e-06,9.036218e-06,9.919178e-06,1.002508e-05,1.080005e-05,1.118584e-05,1.167452e-05,1.233249e-05,1.253881e-05,1.338969e-05,1.345710e-05,1.422443e-05,1.455328e-05,1.504075e-05,1.561606e-05,1.583684e-05,1.661125e-05,1.664176e-05,1.736291e-05,1.762777e-05,1.809101e-05,1.857238e-05,1.879503e-05,1.947469e-05,2.012987e-05,2.033436e-05,2.076062e-05,2.115157e-05,2.136714e-05,2.192687e-05,2.194972e-05,2.250872e-05,2.266108e-05,2.304462e-05,2.335527e-05,2.355790e-05,2.401062e-05,2.404912e-05,2.451884e-05,2.462844e-05,2.496766e-05,2.521010e-05,2.539620e-05,2.575701e-05,2.580506e-05,2.619486e-05,2.627059e-05,2.656622e-05,2.675225e-05,2.691976e-05,2.720339e-05,2.725607e-05,2.757576e-05,2.762540e-05,2.787940e-05,2.801962e-05,2.816758e-05,2.838736e-05,2.844085e-05,2.869975e-05,2.872988e-05,2.894483e-05,2.904841e-05,2.917659e-05,2.934414e-05,2.939554e-05,2.960218e-05,2.961819e-05,2.979696e-05,2.987166e-05,2.998036e-05,3.010560e-05,3.015281e-05,3.031475e-05,3.032101e-05,3.046659e-05,3.051886e-05,3.060873e-05,3.070005e-05,3.074157e-05,3.086547e-05,3.098080e-05,3.101596e-05,3.108791e-05,3.115231e-05,3.118714e-05,3.127528e-05,3.127881e-05,3.136323e-05,3.138561e-05,3.144070e-05,3.148398e-05,3.151153e-05,3.157105e-05,3.157598e-05,3.163433e-05,3.164746e-05,3.168684e-05,3.171379e-05,3.173376e-05,3.177061e-05,3.177533e-05,3.181178e-05,3.181847e-05,3.184333e-05,3.185788e-05,3.187021e-05,3.188932e-05,3.189261e-05,3.191074e-05,3.191325e-05,3.192478e-05,3.193013e-05,3.193493e-05,3.194036e-05,3.194135e-05,3.194423e-05,3.194434e-05,3.194371e-05,3.194246e-05,3.193997e-05,3.193506e-05,3.193315e-05,3.192339e-05,3.192249e-05,3.191084e-05,3.190507e-05,3.189563e-05,3.188310e-05,3.187788e-05,3.185774e-05,3.185688e-05,3.183530e-05,3.182668e-05,3.181069e-05,3.179277e-05,3.178401e-05,3.175538e-05,3.171476e-05,3.167113e-05,3.162469e-05,3.157565e-05,3.152420e-05,3.147051e-05,3.141477e-05,3.135712e-05,3.129772e-05,3.123672e-05,3.117424e-05,3.111043e-05,3.104540e-05,3.097928e-05,3.091216e-05,3.084415e-05,3.077536e-05,3.070587e-05,3.063577e-05,3.056514e-05,3.049407e-05,3.042262e-05,3.035086e-05,3.027887e-05
0.000000e+00,2.519062e-09,6.798490e-09,2.803005e-08,6.957414e-08,1.048957e-07,2.524300e-07,2.605110e-07,5.227452e-07,6.193071e-07,9.218082e-07,1.240828e-06,1.491433e-06,2.196509e-06,2.266869e-06,3.275694e-06,3.553832e-06,4.524722e-06,5.323970e-06,5.998724e-06,7.462461e-06,7.673171e-06,9.524732e-06,9.914516e-06,1.153381e-05,1.263510e-05,1.368344e-05,1.558610e-05,1.595771e-05,1.834085e-05,1.873118e-05,2.081669e-05,2.203315e-05,2.336860e-05,2.545352e-05,2.597964e-05,2.863278e-05,2.895319e-05,3.131124e-05,3.249356e-05,3.399874e-05,3.603775e-05,3.667984e-05,3.934014e-05,3.955166e-05,4.196644e-05,4.300474e-05,4.454690e-05,4.637051e-05,4.707105e-05,4.952987e-05,4.962676e-05,5.191573e-05,5.275552e-05,5.422232e-05,5.574292e-05,5.644463e-05,5.857881e-05,6.062203e-05,6.125633e-05,6.257245e-05,6.377150e-05,6.442903e-05,6.612284e-05,6.619154e-05,6.786032e-05,6.831090e-05,6.943630e-05,7.033789e-05,7.092083e-05,7.220732e-05,7.231566e-05,7.362284e-05,7.392377e-05,7.484467e-05,7.549254e-05,7.598365e-05,7.691950e-05,7.704240e-05,7.802367e-05,7.821087e-05,7.893026e-05,7.937312e-05,7.976503e-05,8.041284e-05,8.053086e-05,8.123058e-05,8.133659e-05,8.186702e-05,8.215086e-05,8.244298e-05,8.286205e-05,8.296121e-05,8.342438e-05,8.347639e-05,8.383512e-05,8.399990e-05,8.419599e-05,8.443842e-05,8.450945e-05,8.477790e-05,8.479750e-05,8.500366e-05,8.508251e-05,8.518897e-05,8.529855e-05,8.533598e-05,8.544677e-05,8.545048e-05,8.552336e-05,8.554293e-05,8.556765e-05,8.558027e-05,8.558150e-05,8.556667e-05,8.552485e-05,8.550604e-05,8.545768e-05,8.540209e-05,8.536669e-05,8.525831e-05,8.525337e-05,8.511915e-05,8.507801e-05,8.496537e-05,8.486426e-05,8.479334e-05,8.461999e-05,8.460427e-05,8.439935e-05,8.434794e-05,8.417970e-05,8.405065e-05,8.394637e-05,8.373055e-05,8.370040e-05,8.344273e-05,8.338988e-05,8.317430e-05,8.303075e-05,8.289597e-05,8.265512e-05,8.260856e-05,8.231288e-05,8.226485e-05,8.200965e-05,8.186163e-05,8.169959e-05,8.144708e-05,8.138338e-05,8.106164e-05,8.102269e-05,8.073498e-05,8.058984e-05,8.040396e-05,8.014981e-05,8.006913e-05,7.973100e-05,7.970382e-05,7.939003e-05,7.925296e-05,7.904669e-05,7.879826e-05,7.870141e-05,7.835458e-05,7.834068e-05,7.800659e-05,7.788110e-05,7.765779e-05,7.742032e-05,7.730852e-05,7.695910e-05,7.649812e-05,7.603802e-05,7.557937e-05,7.512271e-05,7.466852e-05,7.421725e-05,7.376928e-05,7.332499e-05,7.288471e-05,7.244872e-05,7.201730e-05,7.159068e-05,7.116908e-05,7.075267e-05,7.034162e-05,6.993607e-05,6.953615e-05,6.914196e-05,6.875357e-05,6.837107e-05,6.799451e-05,6.762392e-05,6.725935e-05,6.690080e-05
0.000000e+00,7.078735e-10,2.038123e-09,9.130235e-09,2.373573e-08,3.650513e-08,9.183890e-08,9.494337e-08,1.989733e-07,2.387019e-07,3.673547e-07,5.089704e-07,6.238211e-07,9.604579e-07,9.949599e-07,1.502829e-06,1.646185e-06,2.153100e-06,2.573825e-06,2.928557e-06,3.689114e-06,3.797122e-06,4.726071e-06,4.916704e-06,5.689754e-06,6.198369e-06,6.670165e-06,7.497441e-06,7.654892e-06,8.635127e-06,8.791087e-06,9.604338e-06,1.006412e-05,1.055750e-05,1.130580e-05,1.149068e-05,1.240080e-05,1.250835e-05,1.328549e-05,1.366622e-05,1.414298e-05,1.477569e-05,1.497202e-05,1.577181e-05,1.583452e-05,1.654194e-05,1.684166e-05,1.728231e-05,1.779703e-05,1.799307e-05,1.867459e-05,1.870125e-05,1.932738e-05,1.955548e-05,1.995210e-05,2.036125e-05,2.054948e-05,2.112033e-05,2.166548e-05,2.183465e-05,2.218582e-05,2.250622e-05,2.268223e-05,2.313710e-05,2.315560e-05,2.360681e-05,2.372930e-05,2.403674e-05,2.428483e-05,2.444623e-05,2.480563e-05,2.483612e-05,2.520722e-05,2.529358e-05,2.556032e-05,2.575048e-05,2.589618e-05,2.617806e-05,2.621553e-05,2.651908e-05,2.657795e-05,2.680750e-05,2.695173e-05,2.708146e-05,2.730087e-05,2.734158e-05,2.758847e-05,2.762678e-05,2.782270e-05,2.793080e-05,2.804482e-05,2.821417e-05,2.825538e-05,2.845486e-05,2.847808e-05,2.864377e-05,2.872366e-05,2.882256e-05,2.895196e-05,2.899169e-05,2.915157e-05,2.916397e-05,2.930261e-05,2.936064e-05,2.944521e-05,2.954285e-05,2.957972e-05,2.970652e-05,2.971144e-05,2.982593e-05,2.986717e-05,2.993828e-05,3.001081e-05,3.004388e-05,3.014303e-05,3.023601e-05,3.026450e-05,3.032308e-05,3.037584e-05,3.040452e-05,3.047761e-05,3.048055e-05,3.055142e-05,3.057037e-05,3.061736e-05,3.065464e-05,3.067857e-05,3.073090e-05,3.073527e-05,3.078765e-05,3.079960e-05,3.083590e-05,3.086118e-05,3.088019e-05,3.091603e-05,3.092070e-05,3.095760e-05,3.096456e-05,3.099103e-05,3.100710e-05,3.102115e-05,3.104400e-05,3.104811e-05,3.107204e-05,3.107559e-05,3.109306e-05,3.110216e-05,3.111132e-05,3.112400e-05,3.112692e-05,3.113998e-05,3.114138e-05,3.115062e-05,3.115455e-05,3.115893e-05,3.116375e-05,3.116502e-05,3.116899e-05,3.116921e-05,3.117092e-05,3.117115e-05,3.117091e-05,3.116975e-05,3.116904e-05,3.116540e-05,3.116522e-05,3.116006e-05,3.115773e-05,3.115309e-05,3.114746e-05,3.114457e-05,3.113457e-05,3.111920e-05,3.110152e-05,3.108164e-05,3.105971e-05,3.103584e-05,3.101015e-05,3.098276e-05,3.095376e-05,3.092326e-05,3.089135e-05,3.085812e-05,3.082365e-05,3.078803e-05,3.075134e-05,3.071363e-05,3.067499e-05,3.063548e-05,3.059517e-05,3.055410e-05,3.051234e-05,3.046995e-05,3.042696e-05,3.038344e-05,3.033943e-05
0.000000e+00,3.464844e-09,7.897370e-09,2.683137e-08,6.025000e-08,8.720405e-08,1.932961e-07,1.989066e-07,3.738787e-07,4.355993e-07,6.219823e-07,8.093353e-07,9.511724e-07,1.330851e-06,1.367464e-06,1.874585e-06,2.009960e-06,2.473160e-06,2.847146e-06,3.159494e-06,3.829031e-06,3.924575e-06,4.754511e-06,4.926835e-06,5.632669e-06,6.102729e-06,6.542195e-06,7.319049e-06,7.467596e-06,8.395277e-06,8.543111e-06,9.313553e-06,9.748011e-06,1.021252e-05,1.091218e-05,1.108391e-05,1.192102e-05,1.201890e-05,1.271858e-05,1.305593e-05,1.347269e-05,1.401505e-05,1.418065e-05,1.484088e-05,1.489161e-05,1.545274e-05,1.568396e-05,1.601641e-05,1.639284e-05,1.653270e-05,1.700297e-05,1.702085e-05,1.742897e-05,1.757188e-05,1.781275e-05,1.805074e-05,1.815654e-05,1.846270e-05,1.873363e-05,1.881328e-05,1.897174e-05,1.910800e-05,1.917939e-05,1.935221e-05,1.935888e-05,1.951240e-05,1.955102e-05,1.964206e-05,1.970922e-05,1.974982e-05,1.983123e-05,1.983755e-05,1.990698e-05,1.992110e-05,1.995971e-05,1.998251e-05,1.999725e-05,2.001880e-05,2.002096e-05,2.003213e-05,2.003297e-05,2.003193e-05,2.002768e-05,2.002142e-05,2.000535e-05,2.000159e-05,1.997335e-05,1.996811e-05,1.993753e-05,1.991786e-05,1.989487e-05,1.985630e-05,1.984608e-05,1.979179e-05,1.978493e-05,1.973256e-05,1.970508e-05,1.966894e-05,1.961794e-05,1.960140e-05,1.953038e-05,1.952456e-05,1.945629e-05,1.942588e-05,1.937950e-05,1.932272e-05,1.930034e-05,1.921912e-05,1.921583e-05,1.913611e-05,1.910584e-05,1.905158e-05,1.899335e-05,1.896577e-05,1.887887e-05,1.879110e-05,1.876286e-05,1.870262e-05,1.864571e-05,1.861361e-05,1.852779e-05,1.852421e-05,1.843456e-05,1.840943e-05,1.834478e-05,1.829090e-05,1.825498e-05,1.817245e-05,1.816528e-05,1.807576e-05,1.805431e-05,1.798651e-05,1.793667e-05,1.789760e-05,1.781971e-05,1.780912e-05,1.772112e-05,1.770358e-05,1.763366e-05,1.758842e-05,1.754680e-05,1.747433e-05,1.746058e-05,1.737505e-05,1.736143e-05,1.729025e-05,1.724981e-05,1.720620e-05,1.713954e-05,1.712295e-05,1.704052e-05,1.703068e-05,1.695893e-05,1.692330e-05,1.687821e-05,1.681745e-05,1.679837e-05,1.671943e-05,1.671316e-05,1.664142e-05,1.661047e-05,1.656433e-05,1.650940e-05,1.648818e-05,1.641298e-05,1.640999e-05,1.633873e-05,1.631223e-05,1.626544e-05,1.621615e-05,1.619311e-05,1.612176e-05,1.602905e-05,1.593802e-05,1.584868e-05,1.576102e-05,1.567503e-05,1.559070e-05,1.550802e-05,1.542697e-05,1.534754e-05,1.526971e-05,1.519347e-05,1.511879e-05,1.504566e-05,1.497406e-05,1.490396e-05,1.483534e-05,1.476818e-05,1.470246e-05,1.463816e-05,1.457524e-05,1.451369e-05,1.445349e-05,1.439460e-05,1.433702e-05
0.000000e+00,2.123528e-10,7.103570e-10,3.991291e-09,1.190127e-08,1.934632e-08,5.354430e-08,5.550234e-08,1.212333e-07,1.460514e-07,2.245894e-07,3.077583e-07,3.729496e-07,5.550224e-07,5.730882e-07,8.311607e-07,9.023367e-07,1.152548e-06,1.361824e-06,1.541489e-06,1.941660e-06,2.000458e-06,2.529326e-06,2.643247e-06,3.124652e-06,3.458334e-06,3.779601e-06,4.369003e-06,4.484774e-06,5.229582e-06,5.351717e-06,6.003493e-06,6.382411e-06,6.796779e-06,7.439505e-06,7.600786e-06,8.407942e-06,8.504689e-06,9.211650e-06,9.562685e-06,1.000619e-05,1.060085e-05,1.078664e-05,1.154880e-05,1.160888e-05,1.228917e-05,1.257855e-05,1.300486e-05,1.350358e-05,1.369359e-05,1.435359e-05,1.437937e-05,1.498359e-05,1.520287e-05,1.558275e-05,1.597232e-05,1.615061e-05,1.668703e-05,1.719214e-05,1.734722e-05,1.766631e-05,1.795380e-05,1.811012e-05,1.850825e-05,1.852426e-05,1.890957e-05,1.901242e-05,1.926698e-05,1.946845e-05,1.959748e-05,1.987867e-05,1.990211e-05,2.018193e-05,2.024551e-05,2.043802e-05,2.057147e-05,2.067147e-05,2.085902e-05,2.088335e-05,2.107472e-05,2.111062e-05,2.124662e-05,2.132865e-05,2.140006e-05,2.151542e-05,2.153604e-05,2.165550e-05,2.167314e-05,2.175936e-05,2.180393e-05,2.184850e-05,2.190980e-05,2.192378e-05,2.198601e-05,2.199264e-05,2.203597e-05,2.205426e-05,2.207441e-05,2.209635e-05,2.210203e-05,2.211951e-05,2.212049e-05,2.212749e-05,2.212817e-05,2.212660e-05,2.212078e-05,2.211741e-05,2.210047e-05,2.209964e-05,2.207631e-05,2.206594e-05,2.204543e-05,2.202083e-05,2.200829e-05,2.196536e-05,2.191704e-05,2.190051e-05,2.186375e-05,2.182720e-05,2.180585e-05,2.174628e-05,2.174372e-05,2.167767e-05,2.165852e-05,2.160804e-05,2.156467e-05,2.153513e-05,2.146539e-05,2.145921e-05,2.138057e-05,2.136131e-05,2.129944e-05,2.125302e-05,2.121608e-05,2.114104e-05,2.113069e-05,2.104350e-05,2.102586e-05,2.095470e-05,2.090796e-05,2.086448e-05,2.078773e-05,2.077302e-05,2.068047e-05,2.066557e-05,2.058700e-05,2.054184e-05,2.049274e-05,2.041686e-05,2.039783e-05,2.030241e-05,2.029093e-05,2.020658e-05,2.016432e-05,2.011047e-05,2.003729e-05,2.001417e-05,1.991778e-05,1.991007e-05,1.982139e-05,1.978286e-05,1.972509e-05,1.965586e-05,1.962896e-05,1.953306e-05,1.952923e-05,1.943747e-05,1.940315e-05,1.934225e-05,1.927774e-05,1.924746e-05,1.915315e-05,1.902948e-05,1.890684e-05,1.878532e-05,1.866502e-05,1.854599e-05,1.842831e-05,1.831204e-05,1.819722e-05,1.808390e-05,1.797212e-05,1.786190e-05,1.775328e-05,1.764627e-05,1.754090e-05,1.743717e-05,1.733509e-05,1.723468e-05,1.713592e-05,1.703883e-05,1.694341e-05,1.684963e-05,1.675751e-05,1.666702e-05,1.657816e-05
0.000000e+00,9.513375e-10,3.152808e-09,1.743393e-08,5.142682e-08,8.322795e-08,2.288607e-07,2.372046e-07,5.188860e-07,6.262428e-07,9.701271e-07,1.341340e-06,1.637280e-06,2.484787e-06,2.570376e-06,3.814734e-06,4.162966e-06,5.392947e-06,6.418262e-06,7.289165e-06,9.182243e-06,9.454215e-06,1.182685e-05,1.232115e-05,1.435069e-05,1.570715e-05,1.697965e-05,1.924192e-05,1.967671e-05,2.241119e-05,2.285037e-05,2.515673e-05,2.647159e-05,2.789008e-05,3.005403e-05,3.059060e-05,3.324010e-05,3.355384e-05,3.582286e-05,3.693461e-05,3.832556e-05,4.016729e-05,4.073733e-05,4.304964e-05,4.323012e-05,4.525601e-05,4.610782e-05,4.735195e-05,4.879108e-05,4.933477e-05,5.120325e-05,5.127561e-05,5.295752e-05,5.356129e-05,5.459873e-05,5.565117e-05,5.612889e-05,5.755074e-05,5.886765e-05,5.926750e-05,6.008334e-05,6.081010e-05,6.120182e-05,6.218801e-05,6.222729e-05,6.316405e-05,6.341103e-05,6.401639e-05,6.448906e-05,6.478861e-05,6.543194e-05,6.548495e-05,6.610956e-05,6.624925e-05,6.666646e-05,6.695021e-05,6.715954e-05,6.754363e-05,6.759253e-05,6.796904e-05,6.803787e-05,6.829249e-05,6.844082e-05,6.856617e-05,6.875987e-05,6.879318e-05,6.897650e-05,6.900197e-05,6.911894e-05,6.917357e-05,6.922316e-05,6.928072e-05,6.929168e-05,6.932690e-05,6.932900e-05,6.933107e-05,6.932362e-05,6.930631e-05,6.926939e-05,6.925464e-05,6.917795e-05,6.917079e-05,6.907802e-05,6.903192e-05,6.895654e-05,6.885662e-05,6.881508e-05,6.865515e-05,6.864839e-05,6.847814e-05,6.841049e-05,6.828537e-05,6.814592e-05,6.807808e-05,6.785744e-05,6.762453e-05,6.754758e-05,6.738040e-05,6.721871e-05,6.712600e-05,6.687297e-05,6.686225e-05,6.658998e-05,6.651233e-05,6.631001e-05,6.613864e-05,6.602307e-05,6.575355e-05,6.572988e-05,6.543108e-05,6.535861e-05,6.512730e-05,6.495523e-05,6.481912e-05,6.454470e-05,6.450706e-05,6.419165e-05,6.412821e-05,6.387335e-05,6.370684e-05,6.355261e-05,6.328160e-05,6.322983e-05,6.290541e-05,6.285338e-05,6.257971e-05,6.242301e-05,6.225306e-05,6.199127e-05,6.192577e-05,6.159815e-05,6.155882e-05,6.127046e-05,6.112632e-05,6.094296e-05,6.069432e-05,6.061588e-05,6.028944e-05,6.026336e-05,5.996385e-05,5.983389e-05,5.963930e-05,5.940636e-05,5.931595e-05,5.899399e-05,5.898114e-05,5.867354e-05,5.855859e-05,5.835476e-05,5.813901e-05,5.803777e-05,5.772269e-05,5.730989e-05,5.690082e-05,5.649569e-05,5.609468e-05,5.569793e-05,5.530558e-05,5.491776e-05,5.453456e-05,5.415607e-05,5.378236e-05,5.341349e-05,5.304951e-05,5.269045e-05,5.233635e-05,5.198721e-05,5.164305e-05,5.130387e-05,5.096967e-05,5.064043e-05,5.031614e-05,4.999677e-05,4.968230e-05,4.937270e-05,4.906793e-05
0.000000e+00,1.533168e-09,3.489555e-09,1.184896e-08,2.665817e-08,3.866782e-08,8.657188e-08,8.913450e-08,1.705827e-07,2.000293e-07,2.912350e-07,3.863479e-07,4.605922e-07,6.682424e-07,6.889019e-07,9.844522e-07,1.065735e-06,1.348347e-06,1.578885e-06,1.771356e-06,2.180281e-06,2.238076e-06,2.733791e-06,2.835380e-06,3.247526e-06,3.519184e-06,3.771738e-06,4.216241e-06,4.301109e-06,4.831562e-06,4.916300e-06,5.359659e-06,5.611388e-06,5.882292e-06,6.294503e-06,6.396551e-06,6.899699e-06,6.959207e-06,7.389193e-06,7.599641e-06,7.862726e-06,8.210676e-06,8.318268e-06,8.754103e-06,8.788074e-06,9.168847e-06,9.328594e-06,9.561458e-06,9.830024e-06,9.931229e-06,1.027777e-05,1.029114e-05,1.060098e-05,1.071165e-05,1.090103e-05,1.109202e-05,1.117830e-05,1.143337e-05,1.166698e-05,1.173734e-05,1.187999e-05,1.200593e-05,1.207333e-05,1.224137e-05,1.224801e-05,1.240506e-05,1.244602e-05,1.254554e-05,1.262232e-05,1.267051e-05,1.277265e-05,1.278098e-05,1.287798e-05,1.289936e-05,1.296247e-05,1.300466e-05,1.303537e-05,1.309065e-05,1.309758e-05,1.314991e-05,1.315926e-05,1.319316e-05,1.321230e-05,1.322804e-05,1.325138e-05,1.325524e-05,1.327539e-05,1.327800e-05,1.328907e-05,1.329350e-05,1.329682e-05,1.329909e-05,1.329914e-05,1.329649e-05,1.329586e-05,1.328928e-05,1.328477e-05,1.327790e-05,1.326669e-05,1.326271e-05,1.324402e-05,1.324238e-05,1.322213e-05,1.321254e-05,1.319732e-05,1.317777e-05,1.316981e-05,1.313985e-05,1.313861e-05,1.310765e-05,1.309554e-05,1.307339e-05,1.304902e-05,1.303727e-05,1.299946e-05,1.296011e-05,1.294722e-05,1.291937e-05,1.289263e-05,1.287737e-05,1.283598e-05,1.283423e-05,1.279006e-05,1.277752e-05,1.274494e-05,1.271746e-05,1.269898e-05,1.265602e-05,1.265225e-05,1.260484e-05,1.259337e-05,1.255681e-05,1.252966e-05,1.250821e-05,1.246503e-05,1.245911e-05,1.240957e-05,1.239962e-05,1.235965e-05,1.233356e-05,1.230940e-05,1.226698e-05,1.225888e-05,1.220812e-05,1.219998e-05,1.215717e-05,1.213265e-05,1.210605e-05,1.206507e-05,1.205481e-05,1.200349e-05,1.199732e-05,1.195211e-05,1.192950e-05,1.190072e-05,1.186167e-05,1.184934e-05,1.179801e-05,1.179390e-05,1.174673e-05,1.172624e-05,1.169554e-05,1.165875e-05,1.164446e-05,1.159350e-05,1.159147e-05,1.154270e-05,1.152445e-05,1.149206e-05,1.145773e-05,1.144160e-05,1.139135e-05,1.132534e-05,1.125974e-05,1.119456e-05,1.112984e-05,1.106561e-05,1.100187e-05,1.093865e-05,1.087597e-05,1.081385e-05,1.075229e-05,1.069131e-05,1.063092e-05,1.057114e-05,1.051196e-05,1.045340e-05,1.039546e-05,1.033814e-05,1.028146e-05,1.022542e-05,1.017001e-05,1.011524e-05,1.006111e-05,1.000763e-05,9.954787e-06
0.000000e+00,4.802993e-09,1.103833e-08,3.806379e-08,8.658865e-08,1.262385e-07,2.854267e-07,2.939613e-07,5.648878e-07,6.624267e-07,9.624187e-07,1.271469e-06,1.510007e-06,2.166104e-06,2.230633e-06,3.144827e-06,3.394803e-06,4.266556e-06,4.986665e-06,5.597529e-06,6.930798e-06,7.123343e-06,8.815850e-06,9.171356e-06,1.064079e-05,1.163085e-05,1.256474e-05,1.423576e-05,1.455834e-05,1.659652e-05,1.692529e-05,1.865785e-05,1.964998e-05,2.072381e-05,2.236897e-05,2.277823e-05,2.480709e-05,2.504824e-05,2.679830e-05,2.765979e-05,2.874159e-05,3.018115e-05,3.062846e-05,3.245200e-05,3.259498e-05,3.420683e-05,3.488857e-05,3.588890e-05,3.705330e-05,3.749538e-05,3.902448e-05,3.908402e-05,4.047533e-05,4.097843e-05,4.184781e-05,4.273659e-05,4.314246e-05,4.436032e-05,4.550286e-05,4.585285e-05,4.657188e-05,4.721840e-05,4.756941e-05,4.846188e-05,4.849771e-05,4.935914e-05,4.958869e-05,5.015617e-05,5.060452e-05,5.089131e-05,5.151517e-05,5.156711e-05,5.218610e-05,5.232649e-05,5.275080e-05,5.304425e-05,5.326370e-05,5.367413e-05,5.372723e-05,5.414377e-05,5.422164e-05,5.451564e-05,5.469211e-05,5.484509e-05,5.509064e-05,5.513430e-05,5.538537e-05,5.542214e-05,5.560033e-05,5.569127e-05,5.578114e-05,5.590247e-05,5.592968e-05,5.604775e-05,5.605996e-05,5.613709e-05,5.616772e-05,5.619935e-05,5.622954e-05,5.623612e-05,5.624892e-05,5.624896e-05,5.623921e-05,5.622933e-05,5.620837e-05,5.617382e-05,5.615772e-05,5.608853e-05,5.608540e-05,5.600200e-05,5.596683e-05,5.589928e-05,5.582074e-05,5.578146e-05,5.564958e-05,5.550463e-05,5.545564e-05,5.534754e-05,5.524105e-05,5.517921e-05,5.500782e-05,5.500048e-05,5.481216e-05,5.475782e-05,5.461502e-05,5.449279e-05,5.440976e-05,5.421436e-05,5.419709e-05,5.397765e-05,5.392404e-05,5.375204e-05,5.362323e-05,5.352086e-05,5.331325e-05,5.328465e-05,5.304394e-05,5.299530e-05,5.279920e-05,5.267050e-05,5.255091e-05,5.233992e-05,5.229950e-05,5.204538e-05,5.200449e-05,5.178894e-05,5.166513e-05,5.153055e-05,5.132265e-05,5.127054e-05,5.100924e-05,5.097782e-05,5.074696e-05,5.063132e-05,5.048398e-05,5.028381e-05,5.022057e-05,4.995697e-05,4.993588e-05,4.969342e-05,4.958806e-05,4.943014e-05,4.924086e-05,4.916733e-05,4.890519e-05,4.889473e-05,4.864390e-05,4.855007e-05,4.838361e-05,4.820727e-05,4.812449e-05,4.786667e-05,4.752857e-05,4.719326e-05,4.686098e-05,4.653197e-05,4.620641e-05,4.588449e-05,4.556636e-05,4.525217e-05,4.494202e-05,4.463603e-05,4.433429e-05,4.403686e-05,4.374380e-05,4.345518e-05,4.317101e-05,4.289134e-05,4.261618e-05,4.234553e-05,4.207940e-05,4.181779e-05,4.156067e-05,4.130804e-05,4.105987e-05,4.081613e-05
0.000000e+00,5.206183e-11,1.991440e-10,1.443056e-09,5.291117e-09,9.548000e-09,3.373462e-08,3.529255e-08,9.518285e-08,1.209133e-07,2.110239e-07,3.184060e-07,4.098294e-07,6.934701e-07,7.236315e-07,1.187849e-06,1.325571e-06,1.836931e-06,2.291946e-06,2.698723e-06,3.647292e-06,3.790827e-06,5.120171e-06,5.414457e-06,6.684637e-06,7.588327e-06,8.475293e-06,1.014430e-05,1.047840e-05,1.267694e-05,1.304558e-05,1.505169e-05,1.624812e-05,1.758195e-05,1.970362e-05,2.024610e-05,2.302200e-05,2.336156e-05,2.588737e-05,2.717077e-05,2.882014e-05,3.108085e-05,3.179879e-05,3.480262e-05,3.504342e-05,3.781207e-05,3.901328e-05,4.080889e-05,4.294936e-05,4.377641e-05,4.669956e-05,4.681537e-05,4.956506e-05,5.058024e-05,5.236134e-05,5.421821e-05,5.507862e-05,5.770877e-05,6.024529e-05,6.103633e-05,6.268312e-05,6.418978e-05,6.501857e-05,6.716198e-05,6.724917e-05,6.937353e-05,6.994922e-05,7.139119e-05,7.255071e-05,7.330255e-05,7.496803e-05,7.510868e-05,7.681124e-05,7.720468e-05,7.841237e-05,7.926562e-05,7.991458e-05,8.115692e-05,8.132068e-05,8.263374e-05,8.288547e-05,8.385698e-05,8.445866e-05,8.499371e-05,8.588419e-05,8.604733e-05,8.702126e-05,8.716993e-05,8.791893e-05,8.832372e-05,8.874373e-05,8.935335e-05,8.949900e-05,9.018803e-05,9.026642e-05,9.081402e-05,9.107028e-05,9.138006e-05,9.177203e-05,9.188919e-05,9.234431e-05,9.237847e-05,9.274824e-05,9.289609e-05,9.310370e-05,9.333107e-05,9.341327e-05,9.367945e-05,9.368923e-05,9.390465e-05,9.397612e-05,9.409113e-05,9.419695e-05,9.424109e-05,9.435661e-05,9.443969e-05,9.445973e-05,9.449221e-05,9.451064e-05,9.451601e-05,9.451341e-05,9.451278e-05,9.448418e-05,9.447184e-05,9.443177e-05,9.438950e-05,9.435702e-05,9.426973e-05,9.426134e-05,9.414608e-05,9.411565e-05,9.401251e-05,9.393016e-05,9.386183e-05,9.371599e-05,9.369518e-05,9.351367e-05,9.347567e-05,9.331831e-05,9.321157e-05,9.311008e-05,9.292591e-05,9.288991e-05,9.265869e-05,9.262072e-05,9.241723e-05,9.229793e-05,9.216633e-05,9.195932e-05,9.190674e-05,9.163916e-05,9.160654e-05,9.136426e-05,9.124114e-05,9.108267e-05,9.086455e-05,9.079499e-05,9.050178e-05,9.047810e-05,9.020359e-05,9.008303e-05,8.990091e-05,8.968048e-05,8.959423e-05,8.928398e-05,8.927151e-05,8.897061e-05,8.885710e-05,8.865450e-05,8.843818e-05,8.833604e-05,8.801559e-05,8.759010e-05,8.716244e-05,8.673328e-05,8.630322e-05,8.587285e-05,8.544267e-05,8.501318e-05,8.458481e-05,8.415796e-05,8.373301e-05,8.331030e-05,8.289013e-05,8.247279e-05,8.205854e-05,8.164760e-05,8.124019e-05,8.083650e-05,8.043670e-05,8.004093e-05,7.964935e-05,7.926206e-05,7.887917e-05,7.850078e-05,7.812697e-05
0.000000e+00,2.088540e-09,5.049842e-09,1.843905e-08,4.329545e-08,6.404078e-08,1.500383e-07,1.547542e-07,3.092448e-07,3.669621e-07,5.507180e-07,7.489234e-07,9.073480e-07,1.362883e-06,1.408958e-06,2.076879e-06,2.262460e-06,2.911005e-06,3.442907e-06,3.888949e-06,4.843908e-06,4.979803e-06,6.156180e-06,6.399792e-06,7.397409e-06,8.063231e-06,8.688143e-06,9.801750e-06,1.001635e-05,1.137185e-05,1.159065e-05,1.274557e-05,1.340892e-05,1.412905e-05,1.523754e-05,1.551440e-05,1.689427e-05,1.705916e-05,1.826187e-05,1.885812e-05,1.961105e-05,2.062072e-05,2.093635e-05,2.223300e-05,2.233537e-05,2.349696e-05,2.399262e-05,2.472486e-05,2.558508e-05,2.591400e-05,2.706228e-05,2.710734e-05,2.816815e-05,2.855567e-05,2.923056e-05,2.992784e-05,3.024889e-05,3.122288e-05,3.215262e-05,3.244084e-05,3.303844e-05,3.358256e-05,3.388090e-05,3.464956e-05,3.468074e-05,3.543885e-05,3.564378e-05,3.615624e-05,3.656757e-05,3.683398e-05,3.742348e-05,3.747323e-05,3.807518e-05,3.821423e-05,3.864106e-05,3.894266e-05,3.917211e-05,3.961161e-05,3.966958e-05,4.013470e-05,4.022395e-05,4.056870e-05,4.078249e-05,4.097281e-05,4.129002e-05,4.134820e-05,4.169606e-05,4.174924e-05,4.201751e-05,4.216276e-05,4.231368e-05,4.253313e-05,4.258564e-05,4.283443e-05,4.286278e-05,4.306109e-05,4.315406e-05,4.326658e-05,4.340919e-05,4.345186e-05,4.361786e-05,4.363033e-05,4.376544e-05,4.381951e-05,4.389547e-05,4.397869e-05,4.400878e-05,4.410614e-05,4.410972e-05,4.418833e-05,4.421435e-05,4.425608e-05,4.429426e-05,4.431009e-05,4.435104e-05,4.437958e-05,4.438620e-05,4.439634e-05,4.440115e-05,4.440190e-05,4.439725e-05,4.439685e-05,4.438174e-05,4.437577e-05,4.435709e-05,4.433793e-05,4.432341e-05,4.428487e-05,4.428119e-05,4.423088e-05,4.421766e-05,4.417295e-05,4.413732e-05,4.410780e-05,4.404483e-05,4.403585e-05,4.395748e-05,4.394107e-05,4.387308e-05,4.382692e-05,4.378299e-05,4.370318e-05,4.368757e-05,4.358712e-05,4.357061e-05,4.348197e-05,4.342992e-05,4.337242e-05,4.328179e-05,4.325874e-05,4.314121e-05,4.312687e-05,4.302010e-05,4.296573e-05,4.289563e-05,4.279895e-05,4.276806e-05,4.263761e-05,4.262706e-05,4.250450e-05,4.245055e-05,4.236892e-05,4.226989e-05,4.223108e-05,4.209115e-05,4.208552e-05,4.194933e-05,4.189784e-05,4.180578e-05,4.170726e-05,4.166066e-05,4.151412e-05,4.131877e-05,4.112152e-05,4.092267e-05,4.072250e-05,4.052128e-05,4.031923e-05,4.011660e-05,3.991360e-05,3.971041e-05,3.950723e-05,3.930423e-05,3.910156e-05,3.889938e-05,3.869782e-05,3.849701e-05,3.829707e-05,3.809810e-05,3.790022e-05,3.770351e-05,3.750805e-05,3.731394e-05,3.712123e-05,3.692999e-05,3.674029e-05
0.000000e+00,3.322279e-10,1.123960e-09,6.441024e-09,1.950737e-08,3.197800e-08,9.068608e-08,9.410924e-08,2.125360e-07,2.589600e-07,4.117689e-07,5.828403e-07,7.230207e-07,1.137799e-06,1.180451e-06,1.806432e-06,1.981748e-06,2.595005e-06,3.096304e-06,3.514361e-06,4.400058e-06,4.524944e-06,5.593161e-06,5.811436e-06,6.694763e-06,7.275010e-06,7.812992e-06,8.756259e-06,8.935811e-06,1.005387e-05,1.023178e-05,1.115935e-05,1.168347e-05,1.224540e-05,1.309610e-05,1.330588e-05,1.433537e-05,1.445660e-05,1.532918e-05,1.575410e-05,1.628336e-05,1.698008e-05,1.719479e-05,1.806110e-05,1.812841e-05,1.888082e-05,1.919547e-05,1.965317e-05,2.017983e-05,2.037801e-05,2.105576e-05,2.108191e-05,2.168736e-05,2.190368e-05,2.227409e-05,2.264822e-05,2.281752e-05,2.331951e-05,2.378206e-05,2.392207e-05,2.420717e-05,2.446055e-05,2.459691e-05,2.493977e-05,2.495341e-05,2.527872e-05,2.536449e-05,2.557487e-05,2.573938e-05,2.584382e-05,2.606885e-05,2.608745e-05,2.630751e-05,2.635701e-05,2.650567e-05,2.660767e-05,2.668351e-05,2.682438e-05,2.684251e-05,2.698403e-05,2.701035e-05,2.710935e-05,2.716851e-05,2.721967e-05,2.730155e-05,2.731608e-05,2.739962e-05,2.741185e-05,2.747121e-05,2.750159e-05,2.753173e-05,2.757273e-05,2.758199e-05,2.762273e-05,2.762701e-05,2.765464e-05,2.766605e-05,2.767835e-05,2.769125e-05,2.769445e-05,2.770348e-05,2.770391e-05,2.770593e-05,2.770518e-05,2.770229e-05,2.769612e-05,2.769296e-05,2.767836e-05,2.767767e-05,2.765885e-05,2.765068e-05,2.763476e-05,2.761594e-05,2.760643e-05,2.757413e-05,2.753816e-05,2.752591e-05,2.749876e-05,2.747185e-05,2.745617e-05,2.741248e-05,2.741061e-05,2.736229e-05,2.734829e-05,2.731141e-05,2.727972e-05,2.725814e-05,2.720718e-05,2.720266e-05,2.714512e-05,2.713102e-05,2.708568e-05,2.705161e-05,2.702446e-05,2.696924e-05,2.696161e-05,2.689725e-05,2.688421e-05,2.683149e-05,2.679678e-05,2.676444e-05,2.670720e-05,2.669621e-05,2.662688e-05,2.661570e-05,2.655656e-05,2.652248e-05,2.648533e-05,2.642774e-05,2.641327e-05,2.634045e-05,2.633167e-05,2.626696e-05,2.623442e-05,2.619285e-05,2.613616e-05,2.611819e-05,2.604305e-05,2.603702e-05,2.596749e-05,2.593715e-05,2.589154e-05,2.583666e-05,2.581528e-05,2.573875e-05,2.573568e-05,2.566198e-05,2.563430e-05,2.558504e-05,2.553264e-05,2.550796e-05,2.543078e-05,2.532881e-05,2.522681e-05,2.512486e-05,2.502303e-05,2.492138e-05,2.481997e-05,2.471887e-05,2.461812e-05,2.451777e-05,2.441787e-05,2.431847e-05,2.421959e-05,2.412128e-05,2.402356e-05,2.392648e-05,2.383006e-05,2.373433e-05,2.363930e-05,2.354501e-05,2.345147e-05,2.335870e-05,2.326672e-05,2.317554e-05,2.308518e-05
0.000000e+00,6.273827e-11,2.385235e-10,1.706669e-09,6.187106e-09,1.109752e-08,3.864107e-08,4.040327e-08,1.076578e-07,1.363872e-07,2.367004e-07,3.560602e-07,4.577287e-07,7.739368e-07,8.076339e-07,1.327402e-06,1.481780e-06,2.054226e-06,2.561227e-06,3.011662e-06,4.049290e-06,4.204612e-06,5.621002e-06,5.929141e-06,7.237083e-06,8.146579e-06,9.023056e-06,1.063148e-05,1.094738e-05,1.297946e-05,1.331266e-05,1.509098e-05,1.612511e-05,1.725634e-05,1.901185e-05,1.945254e-05,2.165895e-05,2.192350e-05,2.385692e-05,2.481692e-05,2.602949e-05,2.765413e-05,2.816126e-05,3.023821e-05,3.040161e-05,3.224774e-05,3.303011e-05,3.417865e-05,3.551474e-05,3.602127e-05,3.776745e-05,3.783520e-05,3.941064e-05,3.997597e-05,4.094587e-05,4.192634e-05,4.236970e-05,4.368020e-05,4.487683e-05,4.523578e-05,4.596031e-05,4.659518e-05,4.693252e-05,4.776377e-05,4.779628e-05,4.855529e-05,4.874962e-05,4.921389e-05,4.956287e-05,4.977696e-05,5.021512e-05,5.024974e-05,5.063772e-05,5.071883e-05,5.094649e-05,5.108693e-05,5.118174e-05,5.133239e-05,5.134907e-05,5.145398e-05,5.146794e-05,5.150179e-05,5.150579e-05,5.149761e-05,5.145748e-05,5.144629e-05,5.135243e-05,5.133376e-05,5.122033e-05,5.114453e-05,5.105400e-05,5.089879e-05,5.085715e-05,5.063322e-05,5.060468e-05,5.038538e-05,5.026951e-05,5.011651e-05,4.989975e-05,4.982926e-05,4.952602e-05,4.950114e-05,4.920898e-05,4.907874e-05,4.888009e-05,4.863697e-05,4.854115e-05,4.819376e-05,4.817971e-05,4.783936e-05,4.771031e-05,4.747924e-05,4.723170e-05,4.711457e-05,4.674639e-05,4.637563e-05,4.625658e-05,4.600312e-05,4.576415e-05,4.562961e-05,4.527070e-05,4.525574e-05,4.488212e-05,4.477762e-05,4.450926e-05,4.428611e-05,4.413764e-05,4.379718e-05,4.376765e-05,4.339966e-05,4.331168e-05,4.303401e-05,4.283036e-05,4.267096e-05,4.235384e-05,4.231078e-05,4.195367e-05,4.188264e-05,4.159984e-05,4.141720e-05,4.124945e-05,4.095789e-05,4.090265e-05,4.055955e-05,4.050500e-05,4.022026e-05,4.005879e-05,3.988488e-05,3.961944e-05,3.955349e-05,3.922613e-05,3.918712e-05,3.890286e-05,3.876194e-05,3.858373e-05,3.834398e-05,3.826877e-05,3.795798e-05,3.793330e-05,3.765140e-05,3.752994e-05,3.734902e-05,3.713391e-05,3.705084e-05,3.675686e-05,3.674519e-05,3.646707e-05,3.636377e-05,3.618145e-05,3.598961e-05,3.589999e-05,3.562265e-05,3.526284e-05,3.491010e-05,3.456436e-05,3.422553e-05,3.389352e-05,3.356823e-05,3.324956e-05,3.293741e-05,3.263168e-05,3.233225e-05,3.203900e-05,3.175184e-05,3.147064e-05,3.119529e-05,3.092568e-05,3.066169e-05,3.040321e-05,3.015012e-05,2.990232e-05,2.965968e-05,2.942211e-05,2.918948e-05,2.896169e-05,2.873864e-05
0.000000e+00,8.548449e-11,3.348249e-10,2.547466e-09,9.758794e-09,1.803210e-08,6.761513e-08,7.090462e-08,2.021397e-07,2.604856e-07,4.704476e-07,7.283009e-07,9.522512e-07,1.664083e-06,1.740948e-06,2.945711e-06,3.310194e-06,4.689857e-06,5.952169e-06,7.108556e-06,9.908863e-06,1.034533e-05,1.454676e-05,1.551552e-05,1.985556e-05,2.309798e-05,2.640294e-05,3.294327e-05,3.430195e-05,4.364278e-05,4.527580e-05,5.449014e-05,6.024428e-05,6.688247e-05,7.791798e-05,8.083231e-05,9.632765e-05,9.828951e-05,1.133337e-04,1.212813e-04,1.317949e-04,1.467538e-04,1.516374e-04,1.727717e-04,1.745152e-04,1.950946e-04,2.043314e-04,2.184923e-04,2.359358e-04,2.428426e-04,2.680174e-04,2.690397e-04,2.938849e-04,3.033411e-04,3.203117e-04,3.385336e-04,3.471651e-04,3.743143e-04,4.016323e-04,4.103897e-04,4.289972e-04,4.464814e-04,4.562929e-04,4.823306e-04,4.834106e-04,5.102489e-04,5.177006e-04,5.367144e-04,5.523791e-04,5.627221e-04,5.861791e-04,5.881956e-04,6.130669e-04,6.189396e-04,6.372762e-04,6.505247e-04,6.607719e-04,6.808230e-04,6.835104e-04,7.054553e-04,7.097463e-04,7.265773e-04,7.372277e-04,7.468537e-04,7.632201e-04,7.662680e-04,7.848091e-04,7.876942e-04,8.024713e-04,8.106364e-04,8.192533e-04,8.320470e-04,8.351581e-04,8.501925e-04,8.519386e-04,8.643665e-04,8.703337e-04,8.776929e-04,8.872637e-04,8.901873e-04,9.018672e-04,9.027670e-04,9.127520e-04,9.168879e-04,9.228626e-04,9.296752e-04,9.322210e-04,9.408506e-04,9.411809e-04,9.487751e-04,9.514600e-04,9.560189e-04,9.605686e-04,9.626070e-04,9.685642e-04,9.739156e-04,9.755042e-04,9.786863e-04,9.814462e-04,9.829010e-04,9.864468e-04,9.865842e-04,9.897603e-04,9.905619e-04,9.924528e-04,9.938460e-04,9.946852e-04,9.963521e-04,9.964801e-04,9.978597e-04,9.981315e-04,9.988456e-04,9.992337e-04,9.994589e-04,9.997062e-04,9.997195e-04,9.996474e-04,9.995947e-04,9.992614e-04,9.989427e-04,9.985798e-04,9.977918e-04,9.976203e-04,9.963997e-04,9.961813e-04,9.949344e-04,9.941488e-04,9.932402e-04,9.917300e-04,9.913319e-04,9.892240e-04,9.889583e-04,9.869302e-04,9.858654e-04,9.844637e-04,9.824814e-04,9.818370e-04,9.790623e-04,9.788342e-04,9.761508e-04,9.749504e-04,9.731135e-04,9.708547e-04,9.699609e-04,9.667027e-04,9.665703e-04,9.633484e-04,9.621190e-04,9.599069e-04,9.575213e-04,9.563867e-04,9.527959e-04,9.479606e-04,9.430319e-04,9.380251e-04,9.329544e-04,9.278330e-04,9.226730e-04,9.174858e-04,9.122817e-04,9.070703e-04,9.018605e-04,8.966603e-04,8.914772e-04,8.863178e-04,8.811885e-04,8.760948e-04,8.710418e-04,8.660342e-04,8.610760e-04,8.561709e-04,8.513224e-04,8.465333e-04,8.418063e-04,8.371436e-04,8.325472e-04
0.000000e+00,4.893356e-09,1.150544e-08,4.082358e-08,9.458953e-08,1.391756e-07,3.223654e-07,3.323496e-07,6.566402e-07,7.765821e-07,1.154686e-06,1.556495e-06,1.873146e-06,2.760523e-06,2.848386e-06,4.088735e-06,4.424409e-06,5.579071e-06,6.515094e-06,7.298859e-06,8.988085e-06,9.230582e-06,1.135962e-05,1.180791e-05,1.367234e-05,1.494292e-05,1.615470e-05,1.836000e-05,1.879165e-05,2.156700e-05,2.202277e-05,2.446369e-05,2.589203e-05,2.746409e-05,2.992717e-05,3.055048e-05,3.370542e-05,3.408781e-05,3.691213e-05,3.833536e-05,4.015477e-05,4.263411e-05,4.341864e-05,4.669032e-05,4.695202e-05,4.995774e-05,5.126107e-05,5.321019e-05,5.553734e-05,5.643824e-05,5.963369e-05,5.976073e-05,6.278954e-05,6.391477e-05,6.589984e-05,6.798625e-05,6.895960e-05,7.196470e-05,7.491176e-05,7.584210e-05,7.779808e-05,7.961244e-05,8.062153e-05,8.327139e-05,8.338049e-05,8.607378e-05,8.681601e-05,8.870058e-05,9.024453e-05,9.126040e-05,9.355607e-05,9.375301e-05,9.617840e-05,9.675052e-05,9.853678e-05,9.982833e-05,1.008285e-04,1.027905e-04,1.030541e-04,1.052141e-04,1.056383e-04,1.073093e-04,1.083735e-04,1.093405e-04,1.109979e-04,1.113085e-04,1.132144e-04,1.135136e-04,1.150590e-04,1.159229e-04,1.168433e-04,1.182282e-04,1.185685e-04,1.202356e-04,1.204318e-04,1.218457e-04,1.225364e-04,1.233999e-04,1.245445e-04,1.248994e-04,1.263453e-04,1.264586e-04,1.277386e-04,1.282815e-04,1.290806e-04,1.300157e-04,1.303724e-04,1.316151e-04,1.316638e-04,1.328098e-04,1.332284e-04,1.339577e-04,1.347121e-04,1.350599e-04,1.361174e-04,1.371314e-04,1.374469e-04,1.381030e-04,1.387030e-04,1.390332e-04,1.398882e-04,1.399230e-04,1.407736e-04,1.410049e-04,1.415859e-04,1.420553e-04,1.423610e-04,1.430419e-04,1.430997e-04,1.438032e-04,1.439669e-04,1.444724e-04,1.448325e-04,1.451082e-04,1.456408e-04,1.457115e-04,1.462833e-04,1.463939e-04,1.468244e-04,1.470939e-04,1.473357e-04,1.477429e-04,1.478181e-04,1.482725e-04,1.483426e-04,1.486996e-04,1.488951e-04,1.491002e-04,1.494022e-04,1.494752e-04,1.498253e-04,1.498657e-04,1.501513e-04,1.502873e-04,1.504539e-04,1.506686e-04,1.507338e-04,1.509918e-04,1.510115e-04,1.512284e-04,1.513173e-04,1.514445e-04,1.515878e-04,1.516407e-04,1.518176e-04,1.518243e-04,1.519758e-04,1.520283e-04,1.521160e-04,1.522013e-04,1.522387e-04,1.523445e-04,1.524594e-04,1.525471e-04,1.526089e-04,1.526460e-04,1.526596e-04,1.526507e-04,1.526204e-04,1.525697e-04,1.524997e-04,1.524113e-04,1.523054e-04,1.521830e-04,1.520449e-04,1.518918e-04,1.517247e-04,1.515443e-04,1.513513e-04,1.511465e-04,1.509305e-04,1.507040e-04,1.504676e-04,1.502219e-04,1.499676e-04,1.497052e-04
0.000000e+00,6.669126e-09,1.531145e-08,5.292485e-08,1.210658e-07,1.772630e-07,4.070830e-07,4.195832e-07,8.251341e-07,9.750852e-07,1.448401e-06,1.953730e-06,2.354899e-06,3.500553e-06,3.616063e-06,5.290076e-06,5.756236e-06,7.393082e-06,8.746617e-06,9.890103e-06,1.236433e-05,1.271925e-05,1.581964e-05,1.646773e-05,1.914216e-05,2.094463e-05,2.264859e-05,2.571330e-05,2.630793e-05,3.009335e-05,3.070905e-05,3.398022e-05,3.587509e-05,3.794528e-05,4.115857e-05,4.196617e-05,4.602150e-05,4.650947e-05,5.009101e-05,5.188112e-05,5.415557e-05,5.723035e-05,5.819746e-05,6.220074e-05,6.251889e-05,6.615099e-05,6.771337e-05,7.003561e-05,7.278569e-05,7.384365e-05,7.756579e-05,7.771278e-05,8.119430e-05,8.247638e-05,8.472286e-05,8.706257e-05,8.814645e-05,9.146124e-05,9.466447e-05,9.566561e-05,9.775427e-05,9.967171e-05,1.007296e-04,1.034779e-04,1.035901e-04,1.063360e-04,1.070844e-04,1.089681e-04,1.104931e-04,1.114874e-04,1.137070e-04,1.138956e-04,1.161943e-04,1.167299e-04,1.183856e-04,1.195667e-04,1.204718e-04,1.222224e-04,1.224551e-04,1.243380e-04,1.247028e-04,1.261232e-04,1.270137e-04,1.278131e-04,1.291611e-04,1.294106e-04,1.309181e-04,1.311512e-04,1.323385e-04,1.329902e-04,1.336745e-04,1.346842e-04,1.349286e-04,1.361036e-04,1.362394e-04,1.372020e-04,1.376617e-04,1.382265e-04,1.389572e-04,1.391795e-04,1.400637e-04,1.401315e-04,1.408814e-04,1.411904e-04,1.416350e-04,1.421392e-04,1.423269e-04,1.429594e-04,1.429835e-04,1.435347e-04,1.437282e-04,1.440551e-04,1.443786e-04,1.445226e-04,1.449393e-04,1.453073e-04,1.454151e-04,1.456285e-04,1.458105e-04,1.459049e-04,1.461298e-04,1.461383e-04,1.463305e-04,1.463772e-04,1.464832e-04,1.465567e-04,1.465982e-04,1.466721e-04,1.466771e-04,1.467215e-04,1.467272e-04,1.467330e-04,1.467256e-04,1.467130e-04,1.466705e-04,1.466630e-04,1.465844e-04,1.465653e-04,1.464785e-04,1.464131e-04,1.463467e-04,1.462168e-04,1.461902e-04,1.460102e-04,1.459793e-04,1.458080e-04,1.457033e-04,1.455846e-04,1.453915e-04,1.453412e-04,1.450789e-04,1.450462e-04,1.447986e-04,1.446698e-04,1.445013e-04,1.442646e-04,1.441880e-04,1.438596e-04,1.438327e-04,1.435170e-04,1.433762e-04,1.431610e-04,1.428969e-04,1.427925e-04,1.424122e-04,1.423967e-04,1.420209e-04,1.418775e-04,1.416193e-04,1.413407e-04,1.412081e-04,1.407880e-04,1.402210e-04,1.396409e-04,1.390492e-04,1.384470e-04,1.378357e-04,1.372163e-04,1.365900e-04,1.359576e-04,1.353202e-04,1.346787e-04,1.340339e-04,1.333866e-04,1.327376e-04,1.320875e-04,1.314371e-04,1.307869e-04,1.301375e-04,1.294895e-04,1.288433e-04,1.281994e-04,1.275584e-04,1.269205e-04,1.262861e-04,1.256557e-04
0.000000e+00,2.137612e-09,5.914282e-09,2.521719e-08,6.399846e-08,9.759912e-08,2.425096e-07,2.506349e-07,5.234685e-07,6.279326e-07,9.660168e-07,1.334367e-06,1.627301e-06,2.445513e-06,2.525857e-06,3.644659e-06,3.942962e-06,4.957808e-06,5.770421e-06,6.445562e-06,7.888130e-06,8.094052e-06,9.891945e-06,1.026849e-05,1.182814e-05,1.288568e-05,1.389064e-05,1.571110e-05,1.606621e-05,1.834043e-05,1.871245e-05,2.069805e-05,2.185473e-05,2.312335e-05,2.510173e-05,2.560059e-05,2.811443e-05,2.841784e-05,3.065023e-05,3.176938e-05,3.319436e-05,3.512576e-05,3.573436e-05,3.825904e-05,3.846005e-05,4.075852e-05,4.174930e-05,4.322424e-05,4.497450e-05,4.564888e-05,4.802630e-05,4.812034e-05,5.035149e-05,5.117497e-05,5.262043e-05,5.412953e-05,5.482996e-05,5.697767e-05,5.906178e-05,5.971503e-05,6.108100e-05,6.233888e-05,6.303459e-05,6.484802e-05,6.492226e-05,6.674413e-05,6.724250e-05,6.850055e-05,6.952325e-05,7.019216e-05,7.169193e-05,7.181981e-05,7.338455e-05,7.375086e-05,7.488766e-05,7.570308e-05,7.633074e-05,7.755208e-05,7.771515e-05,7.904217e-05,7.930082e-05,8.031328e-05,8.095262e-05,8.152986e-05,8.251072e-05,8.269337e-05,8.380529e-05,8.397850e-05,8.486707e-05,8.535934e-05,8.588016e-05,8.665655e-05,8.684601e-05,8.776604e-05,8.787343e-05,8.864168e-05,8.901326e-05,8.947432e-05,9.007922e-05,9.026534e-05,9.101608e-05,9.107444e-05,9.172787e-05,9.200198e-05,9.240201e-05,9.286478e-05,9.303975e-05,9.364234e-05,9.366573e-05,9.421099e-05,9.440763e-05,9.474688e-05,9.509316e-05,9.525116e-05,9.572496e-05,9.616935e-05,9.630552e-05,9.658541e-05,9.683730e-05,9.697417e-05,9.732262e-05,9.733663e-05,9.767377e-05,9.776376e-05,9.798653e-05,9.816287e-05,9.827583e-05,9.852204e-05,9.854257e-05,9.878761e-05,9.884329e-05,9.901179e-05,9.912852e-05,9.921592e-05,9.937960e-05,9.940079e-05,9.956716e-05,9.959828e-05,9.971577e-05,9.978627e-05,9.984734e-05,9.994519e-05,9.996256e-05,1.000621e-04,1.000766e-04,1.001466e-04,1.001820e-04,1.002167e-04,1.002628e-04,1.002730e-04,1.003160e-04,1.003204e-04,1.003465e-04,1.003560e-04,1.003648e-04,1.003709e-04,1.003715e-04,1.003672e-04,1.003664e-04,1.003523e-04,1.003435e-04,1.003273e-04,1.003034e-04,1.002927e-04,1.002489e-04,1.002470e-04,1.001963e-04,1.001753e-04,1.001354e-04,1.000894e-04,1.000665e-04,9.999004e-05,9.987815e-05,9.975453e-05,9.961996e-05,9.947518e-05,9.932089e-05,9.915776e-05,9.898644e-05,9.880753e-05,9.862160e-05,9.842922e-05,9.823089e-05,9.802711e-05,9.781836e-05,9.760508e-05,9.738769e-05,9.716661e-05,9.694219e-05,9.671482e-05,9.648483e-05,9.625254e-05,9.601827e-05,9.578229e-05,9.554489e-05,9.530633e-05
0.000000e+00,1.205894e-08,4.739657e-08,3.632581e-07,1.401126e-06,2.598959e-06,9.846404e-06,1.032990e-05,2.977289e-05,3.848605e-05,7.007330e-05,1.092301e-04,1.434829e-04,2.534461e-04,2.653991e-04,4.541316e-04,5.116159e-04,7.301784e-04,9.309241e-04,1.115075e-03,1.560835e-03,1.630214e-03,2.295893e-03,2.448760e-03,3.130613e-03,3.636946e-03,4.150547e-03,5.160346e-03,5.369137e-03,6.796784e-03,7.045133e-03,8.440646e-03,9.307746e-03,1.030453e-02,1.195445e-02,1.238887e-02,1.469082e-02,1.498143e-02,1.720443e-02,1.837529e-02,1.992086e-02,2.211407e-02,2.282872e-02,2.591438e-02,2.616846e-02,2.916237e-02,3.050326e-02,3.255573e-02,3.507889e-02,3.607645e-02,3.970578e-02,3.985294e-02,4.342458e-02,4.478156e-02,4.721370e-02,4.982078e-02,5.105418e-02,5.492756e-02,5.881604e-02,6.006075e-02,6.270270e-02,6.518179e-02,6.657159e-02,7.025522e-02,7.040787e-02,7.419785e-02,7.524902e-02,7.792907e-02,8.013487e-02,8.159028e-02,8.488812e-02,8.517145e-02,8.866377e-02,8.948783e-02,9.205960e-02,9.391664e-02,9.535242e-02,9.816057e-02,9.853681e-02,1.016084e-01,1.022088e-01,1.045636e-01,1.060534e-01,1.073999e-01,1.096892e-01,1.101156e-01,1.127096e-01,1.131133e-01,1.151815e-01,1.163247e-01,1.175317e-01,1.193247e-01,1.197609e-01,1.218704e-01,1.221156e-01,1.238620e-01,1.247015e-01,1.257377e-01,1.270873e-01,1.275000e-01,1.291514e-01,1.292788e-01,1.306950e-01,1.312829e-01,1.321337e-01,1.331065e-01,1.334708e-01,1.347097e-01,1.347572e-01,1.358537e-01,1.362430e-01,1.369064e-01,1.375718e-01,1.378713e-01,1.387518e-01,1.395515e-01,1.397909e-01,1.402739e-01,1.406973e-01,1.409225e-01,1.414788e-01,1.415006e-01,1.420116e-01,1.421430e-01,1.424586e-01,1.426976e-01,1.428451e-01,1.431496e-01,1.431739e-01,1.434481e-01,1.435061e-01,1.436707e-01,1.437738e-01,1.438444e-01,1.439590e-01,1.439719e-01,1.440560e-01,1.440678e-01,1.440990e-01,1.441060e-01,1.441035e-01,1.440792e-01,1.440718e-01,1.440060e-01,1.439924e-01,1.439083e-01,1.438507e-01,1.437807e-01,1.436585e-01,1.436253e-01,1.434438e-01,1.434203e-01,1.432379e-01,1.431401e-01,1.430095e-01,1.428217e-01,1.427600e-01,1.424911e-01,1.424688e-01,1.422041e-01,1.420845e-01,1.419004e-01,1.416721e-01,1.415813e-01,1.412481e-01,1.412345e-01,1.409018e-01,1.407742e-01,1.405437e-01,1.402939e-01,1.401747e-01,1.397959e-01,1.392823e-01,1.387551e-01,1.382162e-01,1.376673e-01,1.371100e-01,1.365457e-01,1.359758e-01,1.354016e-01,1.348241e-01,1.342444e-01,1.336635e-01,1.330822e-01,1.325014e-01,1.319218e-01,1.313441e-01,1.307689e-01,1.301967e-01,1.296281e-01,1.290635e-01,1.285033e-01,1.279479e-01,1.273977e-01,1.268529e-01,1.263138e-01
0.000000e+00,4.450612e-10,1.505199e-09,8.641678e-09,2.627400e-08,4.318646e-08,1.233981e-07,1.280942e-07,2.910817e-07,3.550697e-07,5.654074e-07,7.997966e-07,9.907651e-07,1.549932e-06,1.606985e-06,2.438375e-06,2.670303e-06,3.484160e-06,4.157244e-06,4.727051e-06,5.967548e-06,6.146610e-06,7.725340e-06,8.058886e-06,9.448897e-06,1.039813e-05,1.130455e-05,1.295633e-05,1.327991e-05,1.536224e-05,1.570446e-05,1.753827e-05,1.861204e-05,1.979433e-05,2.164748e-05,2.211655e-05,2.449125e-05,2.477910e-05,2.690516e-05,2.797645e-05,2.934576e-05,3.121124e-05,3.180137e-05,3.426133e-05,3.445802e-05,3.671606e-05,3.769455e-05,3.915708e-05,4.090191e-05,4.157696e-05,4.396931e-05,4.406435e-05,4.632875e-05,4.716918e-05,4.865066e-05,5.020613e-05,5.093121e-05,5.316726e-05,5.535632e-05,5.604657e-05,5.749645e-05,5.883974e-05,5.958615e-05,6.154379e-05,6.162431e-05,6.361020e-05,6.415681e-05,6.554334e-05,6.667780e-05,6.742351e-05,6.910648e-05,6.925071e-05,7.102509e-05,7.144311e-05,7.274696e-05,7.368844e-05,7.441677e-05,7.584356e-05,7.603505e-05,7.760242e-05,7.790984e-05,7.911958e-05,7.988890e-05,8.058727e-05,8.178250e-05,8.200631e-05,8.337753e-05,8.359254e-05,8.470180e-05,8.532104e-05,8.598003e-05,8.697008e-05,8.721313e-05,8.840204e-05,8.854178e-05,8.954768e-05,9.003831e-05,9.065102e-05,9.146185e-05,9.171300e-05,9.273458e-05,9.281459e-05,9.371671e-05,9.409872e-05,9.466033e-05,9.531642e-05,9.556638e-05,9.643581e-05,9.646984e-05,9.726954e-05,9.756112e-05,9.806848e-05,9.859236e-05,9.883355e-05,9.956564e-05,1.002656e-04,1.004830e-04,1.009344e-04,1.013464e-04,1.015728e-04,1.021579e-04,1.021817e-04,1.027619e-04,1.029193e-04,1.033142e-04,1.036326e-04,1.038395e-04,1.042995e-04,1.043384e-04,1.048119e-04,1.049218e-04,1.052606e-04,1.055014e-04,1.056853e-04,1.060398e-04,1.060867e-04,1.064656e-04,1.065387e-04,1.068225e-04,1.069997e-04,1.071583e-04,1.074244e-04,1.074735e-04,1.077689e-04,1.078143e-04,1.080450e-04,1.081709e-04,1.083025e-04,1.084955e-04,1.085419e-04,1.087640e-04,1.087895e-04,1.089692e-04,1.090543e-04,1.091581e-04,1.092911e-04,1.093313e-04,1.094893e-04,1.095013e-04,1.096326e-04,1.096859e-04,1.097618e-04,1.098463e-04,1.098772e-04,1.099795e-04,1.099834e-04,1.100691e-04,1.100984e-04,1.101465e-04,1.101923e-04,1.102120e-04,1.102661e-04,1.103209e-04,1.103575e-04,1.103769e-04,1.103800e-04,1.103675e-04,1.103402e-04,1.102991e-04,1.102448e-04,1.101780e-04,1.100994e-04,1.100097e-04,1.099095e-04,1.097995e-04,1.096803e-04,1.095523e-04,1.094162e-04,1.092724e-04,1.091216e-04,1.089640e-04,1.088003e-04,1.086308e-04,1.084559e-04,1.082762e-04,1.080919e-04
0.000000e+00,7.040453e-11,2.710890e-10,1.990836e-09,7.385839e-09,1.341121e-08,4.810740e-08,5.035847e-08,1.376297e-07,1.754034e-07,3.083928e-07,4.677049e-07,6.037459e-07,1.027107e-06,1.072207e-06,1.767973e-06,1.974990e-06,2.746329e-06,3.436566e-06,4.056925e-06,5.515947e-06,5.738231e-06,7.815300e-06,8.279480e-06,1.030024e-05,1.175429e-05,1.319398e-05,1.593484e-05,1.648829e-05,2.016759e-05,2.079064e-05,2.421037e-05,2.627244e-05,2.859030e-05,3.231677e-05,3.327713e-05,3.823745e-05,3.884939e-05,4.343540e-05,4.578812e-05,4.883331e-05,5.304562e-05,5.439241e-05,6.007350e-05,6.053209e-05,6.583759e-05,6.815787e-05,7.164652e-05,7.583603e-05,7.746357e-05,8.325393e-05,8.348453e-05,8.898511e-05,9.102802e-05,9.462728e-05,9.839926e-05,1.001535e-04,1.055400e-04,1.107659e-04,1.124013e-04,1.158136e-04,1.189438e-04,1.206686e-04,1.251372e-04,1.253192e-04,1.297564e-04,1.309597e-04,1.339739e-04,1.363972e-04,1.379677e-04,1.414427e-04,1.417358e-04,1.452781e-04,1.460948e-04,1.485963e-04,1.503576e-04,1.516933e-04,1.542389e-04,1.545732e-04,1.572414e-04,1.577501e-04,1.597037e-04,1.609049e-04,1.619668e-04,1.637190e-04,1.640378e-04,1.659242e-04,1.662094e-04,1.676338e-04,1.683939e-04,1.691744e-04,1.702905e-04,1.705539e-04,1.717803e-04,1.719175e-04,1.728614e-04,1.732930e-04,1.738049e-04,1.744346e-04,1.746183e-04,1.753091e-04,1.753592e-04,1.758842e-04,1.760834e-04,1.763505e-04,1.766227e-04,1.767147e-04,1.769832e-04,1.769920e-04,1.771619e-04,1.772054e-04,1.772567e-04,1.772762e-04,1.772732e-04,1.772166e-04,1.770919e-04,1.770384e-04,1.769039e-04,1.767524e-04,1.766570e-04,1.763686e-04,1.763555e-04,1.760035e-04,1.758964e-04,1.756048e-04,1.753446e-04,1.751629e-04,1.747212e-04,1.746813e-04,1.741631e-04,1.740336e-04,1.736114e-04,1.732888e-04,1.730289e-04,1.724930e-04,1.724184e-04,1.717823e-04,1.716522e-04,1.711230e-04,1.707718e-04,1.704428e-04,1.698566e-04,1.697436e-04,1.690274e-04,1.689114e-04,1.682961e-04,1.679402e-04,1.675513e-04,1.669469e-04,1.667947e-04,1.660278e-04,1.659351e-04,1.652519e-04,1.649080e-04,1.644683e-04,1.638685e-04,1.636784e-04,1.628831e-04,1.628193e-04,1.620837e-04,1.617630e-04,1.612811e-04,1.607017e-04,1.604761e-04,1.596698e-04,1.596375e-04,1.588628e-04,1.585723e-04,1.580560e-04,1.575078e-04,1.572500e-04,1.564455e-04,1.553867e-04,1.543328e-04,1.532849e-04,1.522440e-04,1.512110e-04,1.501867e-04,1.491719e-04,1.481672e-04,1.471731e-04,1.461903e-04,1.452190e-04,1.442597e-04,1.433127e-04,1.423784e-04,1.414568e-04,1.405483e-04,1.396530e-04,1.387709e-04,1.379022e-04,1.370470e-04,1.362052e-04,1.353769e-04,1.345621e-04,1.337607e-04
0.000000e+00,4.424844e-09,1.742912e-08,1.341849e-07,5.196987e-07,9.661573e-07,3.681256e-06,3.862895e-06,1.119348e-05,1.448939e-05,2.646932e-05,4.136335e-05,5.441731e-05,9.642692e-05,1.010007e-04,1.733707e-04,1.954667e-04,2.796996e-04,3.573698e-04,4.288689e-04,6.028818e-04,6.300799e-04,8.924826e-04,9.530889e-04,1.224864e-03,1.428101e-03,1.635393e-03,2.046024e-03,2.131404e-03,2.719222e-03,2.822155e-03,3.404018e-03,3.768367e-03,4.189708e-03,4.892688e-03,5.078879e-03,6.072764e-03,6.199075e-03,7.171242e-03,7.687384e-03,8.372880e-03,9.353519e-03,9.675007e-03,1.107380e-02,1.118974e-02,1.256442e-02,1.318511e-02,1.414110e-02,1.532596e-02,1.579732e-02,1.752595e-02,1.759649e-02,1.931934e-02,1.997929e-02,2.116952e-02,2.245591e-02,2.306830e-02,2.500739e-02,2.697850e-02,2.761468e-02,2.897346e-02,3.025906e-02,3.098430e-02,3.292247e-02,3.300329e-02,3.502306e-02,3.558777e-02,3.703660e-02,3.823896e-02,3.903730e-02,4.086130e-02,4.101900e-02,4.297602e-02,4.344143e-02,4.490311e-02,4.596742e-02,4.679553e-02,4.842878e-02,4.864901e-02,5.045973e-02,5.081643e-02,5.222432e-02,5.312269e-02,5.393987e-02,5.534119e-02,5.560387e-02,5.721424e-02,5.746680e-02,5.876925e-02,5.949558e-02,6.026754e-02,6.142463e-02,6.170808e-02,6.309016e-02,6.325205e-02,6.441334e-02,6.497683e-02,6.567746e-02,6.659873e-02,6.688259e-02,6.802902e-02,6.811822e-02,6.911725e-02,6.953638e-02,7.014792e-02,7.085484e-02,7.112188e-02,7.204007e-02,7.207565e-02,7.290358e-02,7.320129e-02,7.371360e-02,7.423451e-02,7.447141e-02,7.517835e-02,7.583584e-02,7.603603e-02,7.644535e-02,7.681095e-02,7.700838e-02,7.750660e-02,7.752648e-02,7.800120e-02,7.812656e-02,7.843411e-02,7.867444e-02,7.882678e-02,7.915385e-02,7.918079e-02,7.949770e-02,7.956841e-02,7.977907e-02,7.992168e-02,8.002642e-02,8.021716e-02,8.024128e-02,8.042513e-02,8.045830e-02,8.057942e-02,8.064845e-02,8.070559e-02,8.079086e-02,8.080503e-02,8.087911e-02,8.088869e-02,8.092912e-02,8.094497e-02,8.095638e-02,8.096263e-02,8.096211e-02,8.094752e-02,8.094446e-02,8.091377e-02,8.089315e-02,8.086200e-02,8.081126e-02,8.079328e-02,8.070867e-02,8.070124e-02,8.060916e-02,8.056541e-02,8.049574e-02,8.040597e-02,8.036932e-02,8.023079e-02,8.022501e-02,8.008102e-02,8.002450e-02,7.992080e-02,7.980629e-02,7.975093e-02,7.957215e-02,7.932371e-02,7.906253e-02,7.879004e-02,7.850762e-02,7.821653e-02,7.791796e-02,7.761300e-02,7.730269e-02,7.698798e-02,7.666976e-02,7.634883e-02,7.602597e-02,7.570187e-02,7.537717e-02,7.505246e-02,7.472829e-02,7.440516e-02,7.408351e-02,7.376376e-02,7.344629e-02,7.313143e-02,7.281949e-02,7.251075e-02,7.220546e-02
0.000000e+00,4.576894e-11,1.765416e-10,1.300864e-09,4.838637e-09,8.796279e-09,3.161318e-08,3.309364e-08,9.041071e-08,1.151574e-07,2.019493e-07,3.052436e-07,3.928978e-07,6.628211e-07,6.913505e-07,1.127221e-06,1.255680e-06,1.731123e-06,2.153975e-06,2.533123e-06,3.425083e-06,3.561242e-06,4.839625e-06,5.127062e-06,6.386425e-06,7.300541e-06,8.211663e-06,9.960536e-06,1.031560e-05,1.268813e-05,1.309146e-05,1.530938e-05,1.664796e-05,1.815136e-05,2.056125e-05,2.118021e-05,2.435853e-05,2.474813e-05,2.764753e-05,2.911981e-05,3.100881e-05,3.358906e-05,3.440569e-05,3.780422e-05,3.807522e-05,4.117372e-05,4.250722e-05,4.448720e-05,4.682502e-05,4.772143e-05,5.085692e-05,5.098005e-05,5.387778e-05,5.493472e-05,5.677148e-05,5.866163e-05,5.952857e-05,6.214237e-05,6.460864e-05,6.536630e-05,6.692529e-05,6.832923e-05,6.909204e-05,7.103227e-05,7.111016e-05,7.298220e-05,7.348065e-05,7.471170e-05,7.568279e-05,7.630307e-05,7.764942e-05,7.776130e-05,7.909187e-05,7.939284e-05,8.030054e-05,8.092637e-05,8.139329e-05,8.226384e-05,8.237619e-05,8.325529e-05,8.341919e-05,8.403663e-05,8.440626e-05,8.472611e-05,8.523849e-05,8.532948e-05,8.585230e-05,8.592884e-05,8.629994e-05,8.648961e-05,8.667752e-05,8.693244e-05,8.698994e-05,8.724184e-05,8.726822e-05,8.743765e-05,8.750712e-05,8.758153e-05,8.765858e-05,8.767741e-05,8.772899e-05,8.773131e-05,8.773975e-05,8.773336e-05,8.771295e-05,8.767212e-05,8.765164e-05,8.755868e-05,8.755435e-05,8.743675e-05,8.738624e-05,8.728833e-05,8.717346e-05,8.711574e-05,8.692117e-05,8.670662e-05,8.663406e-05,8.647398e-05,8.631641e-05,8.622499e-05,8.597209e-05,8.596128e-05,8.568435e-05,8.560464e-05,8.539561e-05,8.521725e-05,8.509637e-05,8.481281e-05,8.478781e-05,8.447107e-05,8.439396e-05,8.414718e-05,8.396304e-05,8.381710e-05,8.352222e-05,8.348172e-05,8.314186e-05,8.307342e-05,8.279828e-05,8.261838e-05,8.245168e-05,8.215868e-05,8.210271e-05,8.175197e-05,8.169572e-05,8.140001e-05,8.123078e-05,8.104733e-05,8.076500e-05,8.069442e-05,8.034169e-05,8.029939e-05,7.998954e-05,7.983487e-05,7.963833e-05,7.937225e-05,7.928840e-05,7.894005e-05,7.891226e-05,7.859356e-05,7.845554e-05,7.824918e-05,7.800266e-05,7.790714e-05,7.756765e-05,7.755413e-05,7.723091e-05,7.711039e-05,7.689708e-05,7.667182e-05,7.656632e-05,7.623878e-05,7.581154e-05,7.539037e-05,7.497546e-05,7.456702e-05,7.416517e-05,7.377005e-05,7.338174e-05,7.300033e-05,7.262586e-05,7.225837e-05,7.189787e-05,7.154438e-05,7.119787e-05,7.085833e-05,7.052572e-05,7.020000e-05,6.988111e-05,6.956900e-05,6.926359e-05,6.896482e-05,6.867261e-05,6.838687e-05,6.810751e-05,6.783446e-05
0.000000e+00,8.191710e-09,1.873968e-08,6.458352e-08,1.480525e-07,2.174957e-07,5.076481e-07,5.237070e-07,1.058147e-06,1.261221e-06,1.913294e-06,2.612436e-06,3.158083e-06,4.630898e-06,4.771694e-06,6.673783e-06,7.165171e-06,8.797696e-06,1.006809e-05,1.110262e-05,1.325867e-05,1.356099e-05,1.614956e-05,1.668090e-05,1.884548e-05,2.028198e-05,2.162515e-05,2.400709e-05,2.446436e-05,2.733895e-05,2.780058e-05,3.022550e-05,3.160879e-05,3.310210e-05,3.538274e-05,3.594880e-05,3.874798e-05,3.907995e-05,4.148452e-05,4.266541e-05,4.414580e-05,4.611169e-05,4.672165e-05,4.920414e-05,4.939852e-05,5.158741e-05,5.251196e-05,5.386737e-05,5.544352e-05,5.604152e-05,5.810866e-05,5.818911e-05,6.006869e-05,6.074821e-05,6.192241e-05,6.312298e-05,6.367136e-05,6.531762e-05,6.686373e-05,6.733779e-05,6.831255e-05,6.919016e-05,6.966718e-05,7.088206e-05,7.093090e-05,7.210708e-05,7.242119e-05,7.319914e-05,7.381544e-05,7.421053e-05,7.507272e-05,7.514469e-05,7.600501e-05,7.620087e-05,7.679482e-05,7.720753e-05,7.751738e-05,7.810013e-05,7.817587e-05,7.877338e-05,7.888582e-05,7.931288e-05,7.957147e-05,7.979729e-05,8.016366e-05,8.022940e-05,8.061191e-05,8.066869e-05,8.094742e-05,8.109251e-05,8.123843e-05,8.144079e-05,8.148731e-05,8.169638e-05,8.171890e-05,8.186782e-05,8.193189e-05,8.200376e-05,8.208457e-05,8.210620e-05,8.217709e-05,8.218146e-05,8.221827e-05,8.222682e-05,8.223149e-05,8.222462e-05,8.221840e-05,8.218060e-05,8.217859e-05,8.211961e-05,8.209225e-05,8.203688e-05,8.196892e-05,8.193381e-05,8.181170e-05,8.167181e-05,8.162349e-05,8.151533e-05,8.140699e-05,8.134337e-05,8.116474e-05,8.115702e-05,8.095729e-05,8.089910e-05,8.074514e-05,8.061227e-05,8.052149e-05,8.030631e-05,8.028720e-05,8.004309e-05,7.998314e-05,7.978996e-05,7.964454e-05,7.952854e-05,7.929218e-05,7.925952e-05,7.898358e-05,7.892761e-05,7.870134e-05,7.855228e-05,7.841339e-05,7.816752e-05,7.812030e-05,7.782260e-05,7.777457e-05,7.752079e-05,7.737460e-05,7.721534e-05,7.696866e-05,7.690670e-05,7.659530e-05,7.655777e-05,7.628153e-05,7.614282e-05,7.596577e-05,7.572467e-05,7.564837e-05,7.532966e-05,7.530411e-05,7.500996e-05,7.488186e-05,7.468956e-05,7.445859e-05,7.436874e-05,7.404775e-05,7.403492e-05,7.372686e-05,7.361140e-05,7.340627e-05,7.318856e-05,7.308621e-05,7.276688e-05,7.234679e-05,7.192869e-05,7.151295e-05,7.109990e-05,7.068983e-05,7.028303e-05,6.987973e-05,6.948015e-05,6.908450e-05,6.869296e-05,6.830567e-05,6.792279e-05,6.754443e-05,6.717070e-05,6.680169e-05,6.643748e-05,6.607813e-05,6.572370e-05,6.537424e-05,6.502977e-05,6.469032e-05,6.435590e-05,6.402653e-05,6.370221e-05
0.000000e+00,1.287158e-11,4.915030e-11,3.549619e-10,1.298179e-09,2.340057e-09,8.256854e-09,8.638188e-09,2.333777e-08,2.967979e-08,5.201797e-08,7.888363e-08,1.019509e-07,1.745175e-07,1.823140e-07,3.038994e-07,3.404531e-07,4.775516e-07,6.007876e-07,7.115004e-07,9.701774e-07,1.009274e-06,1.369413e-06,1.448506e-06,1.786572e-06,2.023521e-06,2.253030e-06,2.676538e-06,2.760007e-06,3.298587e-06,3.387115e-06,3.860259e-06,4.135734e-06,4.437189e-06,4.904947e-06,5.022315e-06,5.609357e-06,5.679660e-06,6.192770e-06,6.447046e-06,6.767695e-06,7.196346e-06,7.329917e-06,7.875821e-06,7.918694e-06,8.402360e-06,8.606975e-06,8.907030e-06,9.255712e-06,9.387838e-06,9.843279e-06,9.860953e-06,1.027230e-05,1.042015e-05,1.067428e-05,1.093203e-05,1.104896e-05,1.139642e-05,1.171705e-05,1.181409e-05,1.201148e-05,1.218654e-05,1.228053e-05,1.251587e-05,1.252520e-05,1.274662e-05,1.280461e-05,1.294597e-05,1.305552e-05,1.312453e-05,1.327154e-05,1.328358e-05,1.342441e-05,1.345564e-05,1.354830e-05,1.361074e-05,1.365648e-05,1.373966e-05,1.375017e-05,1.383051e-05,1.384507e-05,1.389858e-05,1.392947e-05,1.395541e-05,1.399516e-05,1.400196e-05,1.403911e-05,1.404424e-05,1.406771e-05,1.407862e-05,1.408850e-05,1.409999e-05,1.410219e-05,1.410943e-05,1.410989e-05,1.411080e-05,1.410968e-05,1.410684e-05,1.410056e-05,1.409803e-05,1.408483e-05,1.408360e-05,1.406764e-05,1.405973e-05,1.404682e-05,1.402978e-05,1.402272e-05,1.399563e-05,1.399448e-05,1.396582e-05,1.395448e-05,1.393356e-05,1.391033e-05,1.389907e-05,1.386255e-05,1.382420e-05,1.381156e-05,1.378418e-05,1.375777e-05,1.374266e-05,1.370152e-05,1.369978e-05,1.365567e-05,1.364312e-05,1.361046e-05,1.358284e-05,1.356424e-05,1.352094e-05,1.351714e-05,1.346924e-05,1.345763e-05,1.342062e-05,1.339311e-05,1.337137e-05,1.332757e-05,1.332157e-05,1.327128e-05,1.326116e-05,1.322056e-05,1.319404e-05,1.316948e-05,1.312633e-05,1.311808e-05,1.306643e-05,1.305815e-05,1.301457e-05,1.298961e-05,1.296254e-05,1.292082e-05,1.291039e-05,1.285814e-05,1.285187e-05,1.280585e-05,1.278283e-05,1.275354e-05,1.271379e-05,1.270125e-05,1.264899e-05,1.264482e-05,1.259681e-05,1.257597e-05,1.254473e-05,1.250731e-05,1.249277e-05,1.244095e-05,1.243888e-05,1.238930e-05,1.237075e-05,1.233783e-05,1.230294e-05,1.228656e-05,1.223551e-05,1.216849e-05,1.210192e-05,1.203582e-05,1.197022e-05,1.190515e-05,1.184063e-05,1.177668e-05,1.171332e-05,1.165057e-05,1.158844e-05,1.152695e-05,1.146610e-05,1.140591e-05,1.134638e-05,1.128753e-05,1.122935e-05,1.117186e-05,1.111507e-05,1.105896e-05,1.100355e-05,1.094883e-05,1.089481e-05,1.084149e-05,1.078887e-05
0.000000e+00,8.152250e-09,1.863124e-08,6.409156e-08,1.467755e-07,2.155872e-07,5.038524e-07,5.198475e-07,1.054111e-06,1.257638e-06,1.909244e-06,2.599126e-06,3.129356e-06,4.530206e-06,4.662359e-06,6.429482e-06,6.882125e-06,8.379086e-06,9.538792e-06,1.048075e-05,1.243828e-05,1.271224e-05,1.505305e-05,1.553249e-05,1.748198e-05,1.877248e-05,1.997673e-05,2.210639e-05,2.251434e-05,2.507194e-05,2.548152e-05,2.762755e-05,2.884747e-05,3.016078e-05,3.215886e-05,3.265330e-05,3.508918e-05,3.537701e-05,3.745497e-05,3.847082e-05,3.973977e-05,4.141673e-05,4.193507e-05,4.403457e-05,4.419825e-05,4.603396e-05,4.680505e-05,4.793065e-05,4.923201e-05,4.972354e-05,5.141273e-05,5.147816e-05,5.299935e-05,5.354577e-05,5.448530e-05,5.543952e-05,5.587312e-05,5.716580e-05,5.836669e-05,5.873216e-05,5.947935e-05,6.014687e-05,6.050750e-05,6.141853e-05,6.145493e-05,6.232544e-05,6.255592e-05,6.312282e-05,6.356770e-05,6.385079e-05,6.446235e-05,6.451299e-05,6.511296e-05,6.524807e-05,6.565412e-05,6.593270e-05,6.613975e-05,6.652369e-05,6.657302e-05,6.695696e-05,6.702808e-05,6.729446e-05,6.745253e-05,6.758829e-05,6.780329e-05,6.784108e-05,6.805534e-05,6.808621e-05,6.823344e-05,6.830675e-05,6.837764e-05,6.847003e-05,6.849007e-05,6.857277e-05,6.858078e-05,6.862765e-05,6.864345e-05,6.865653e-05,6.866215e-05,6.866113e-05,6.864306e-05,6.864069e-05,6.860387e-05,6.858261e-05,6.854501e-05,6.849121e-05,6.846783e-05,6.837362e-05,6.836952e-05,6.826361e-05,6.822036e-05,6.813895e-05,6.804636e-05,6.800070e-05,6.784991e-05,6.768751e-05,6.763324e-05,6.751442e-05,6.739842e-05,6.733148e-05,6.714735e-05,6.713950e-05,6.693923e-05,6.688176e-05,6.673137e-05,6.660330e-05,6.651660e-05,6.631344e-05,6.629554e-05,6.606877e-05,6.601356e-05,6.583686e-05,6.570494e-05,6.560033e-05,6.538873e-05,6.535965e-05,6.511530e-05,6.506602e-05,6.486770e-05,6.473780e-05,6.461725e-05,6.440496e-05,6.436435e-05,6.410934e-05,6.406836e-05,6.385255e-05,6.372876e-05,6.359431e-05,6.338685e-05,6.333489e-05,6.307459e-05,6.304330e-05,6.281364e-05,6.269869e-05,6.255230e-05,6.235356e-05,6.229079e-05,6.202931e-05,6.200840e-05,6.176807e-05,6.166367e-05,6.150723e-05,6.131979e-05,6.124699e-05,6.098748e-05,6.097712e-05,6.072887e-05,6.063601e-05,6.047128e-05,6.029677e-05,6.021484e-05,5.995968e-05,5.962499e-05,5.929293e-05,5.896371e-05,5.863751e-05,5.831451e-05,5.799483e-05,5.767863e-05,5.736600e-05,5.705705e-05,5.675187e-05,5.645053e-05,5.615310e-05,5.585962e-05,5.557014e-05,5.528470e-05,5.500332e-05,5.472602e-05,5.445281e-05,5.418371e-05,5.391870e-05,5.365779e-05,5.340097e-05,5.314821e-05,5.289951e-05
0.000000e+00,4.618716e-10,1.485356e-09,7.813695e-09,2.227718e-08,3.550908e-08,9.465667e-08,9.800289e-08,2.095391e-07,2.515347e-07,3.848105e-07,5.270914e-07,6.396253e-07,9.586514e-07,9.906549e-07,1.452762e-06,1.581236e-06,2.032959e-06,2.407725e-06,2.725227e-06,3.414141e-06,3.513082e-06,4.377262e-06,4.557699e-06,5.300727e-06,5.799628e-06,6.269535e-06,7.109782e-06,7.272001e-06,8.297809e-06,8.463463e-06,9.337495e-06,9.838865e-06,1.038226e-05,1.121621e-05,1.142392e-05,1.245503e-05,1.257773e-05,1.346889e-05,1.390799e-05,1.445966e-05,1.519409e-05,1.542234e-05,1.635284e-05,1.642578e-05,1.724787e-05,1.759537e-05,1.810496e-05,1.869755e-05,1.892233e-05,1.969885e-05,1.972905e-05,2.043394e-05,2.068841e-05,2.112752e-05,2.157557e-05,2.177986e-05,2.239157e-05,2.296354e-05,2.313834e-05,2.349683e-05,2.381842e-05,2.399270e-05,2.443476e-05,2.445248e-05,2.487761e-05,2.499063e-05,2.526956e-05,2.548944e-05,2.562986e-05,2.593466e-05,2.596000e-05,2.626149e-05,2.632974e-05,2.653579e-05,2.667806e-05,2.678435e-05,2.698290e-05,2.700856e-05,2.720980e-05,2.724740e-05,2.738935e-05,2.747457e-05,2.754848e-05,2.766724e-05,2.768838e-05,2.781022e-05,2.782811e-05,2.791508e-05,2.795969e-05,2.800401e-05,2.806436e-05,2.807801e-05,2.813801e-05,2.814431e-05,2.818492e-05,2.820163e-05,2.821958e-05,2.823823e-05,2.824281e-05,2.825535e-05,2.825591e-05,2.825793e-05,2.825633e-05,2.825124e-05,2.824104e-05,2.823592e-05,2.821256e-05,2.821147e-05,2.818176e-05,2.816895e-05,2.814404e-05,2.811470e-05,2.809992e-05,2.804988e-05,2.799437e-05,2.797552e-05,2.793382e-05,2.789260e-05,2.786862e-05,2.780203e-05,2.779917e-05,2.772581e-05,2.770462e-05,2.764888e-05,2.760114e-05,2.756869e-05,2.749230e-05,2.748554e-05,2.739971e-05,2.737874e-05,2.731146e-05,2.726107e-05,2.722103e-05,2.713983e-05,2.712865e-05,2.703453e-05,2.701552e-05,2.693889e-05,2.688862e-05,2.684191e-05,2.675954e-05,2.674376e-05,2.664462e-05,2.662868e-05,2.654464e-05,2.649640e-05,2.644397e-05,2.636302e-05,2.634273e-05,2.624107e-05,2.622884e-05,2.613909e-05,2.609415e-05,2.603691e-05,2.595918e-05,2.593463e-05,2.583235e-05,2.582417e-05,2.573015e-05,2.568932e-05,2.562813e-05,2.555482e-05,2.552635e-05,2.542490e-05,2.542085e-05,2.532383e-05,2.528755e-05,2.522321e-05,2.515508e-05,2.512310e-05,2.502355e-05,2.489307e-05,2.476376e-05,2.463569e-05,2.450896e-05,2.438364e-05,2.425978e-05,2.413744e-05,2.401667e-05,2.389752e-05,2.378001e-05,2.366418e-05,2.355006e-05,2.343765e-05,2.332699e-05,2.321808e-05,2.311092e-05,2.300553e-05,2.290191e-05,2.280005e-05,2.269996e-05,2.260162e-05,2.250502e-05,2.241017e-05,2.231704e-05
0.000000e+00,2.652910e-11,9.648426e-11,6.314144e-10,2.116326e-09,3.639594e-09,1.139679e-08,1.186589e-08,2.851879e-08,3.513358e-08,5.682279e-08,8.069049e-08,9.986973e-08,1.550221e-07,1.605978e-07,2.417997e-07,2.646297e-07,3.460806e-07,4.154226e-07,4.756972e-07,6.119963e-07,6.322286e-07,8.160864e-07,8.560596e-07,1.026005e-06,1.144475e-06,1.258791e-06,1.468474e-06,1.509574e-06,1.772504e-06,1.815295e-06,2.041599e-06,2.171323e-06,2.311416e-06,2.524714e-06,2.577429e-06,2.836113e-06,2.866531e-06,3.084879e-06,3.190705e-06,3.321923e-06,3.493492e-06,3.546066e-06,3.756618e-06,3.772864e-06,3.953262e-06,4.028011e-06,4.135967e-06,4.258981e-06,4.304919e-06,4.460470e-06,4.466420e-06,4.603100e-06,4.651391e-06,4.733377e-06,4.815231e-06,4.851934e-06,4.959443e-06,5.056598e-06,5.085614e-06,5.144095e-06,5.195345e-06,5.222626e-06,5.290205e-06,5.292863e-06,5.355454e-06,5.371695e-06,5.411016e-06,5.441223e-06,5.460131e-06,5.500093e-06,5.503345e-06,5.541167e-06,5.549496e-06,5.574070e-06,5.590510e-06,5.602487e-06,5.624103e-06,5.626820e-06,5.647433e-06,5.651139e-06,5.664661e-06,5.672385e-06,5.678810e-06,5.688518e-06,5.690156e-06,5.698951e-06,5.700138e-06,5.705426e-06,5.707771e-06,5.709787e-06,5.711881e-06,5.712222e-06,5.712904e-06,5.712875e-06,5.711986e-06,5.711112e-06,5.709610e-06,5.706908e-06,5.705903e-06,5.700983e-06,5.700540e-06,5.694953e-06,5.692253e-06,5.687911e-06,5.682264e-06,5.679945e-06,5.671135e-06,5.670766e-06,5.661553e-06,5.657928e-06,5.651268e-06,5.643903e-06,5.640340e-06,5.628826e-06,5.616777e-06,5.612817e-06,5.604242e-06,5.595985e-06,5.591265e-06,5.578428e-06,5.577886e-06,5.564143e-06,5.560234e-06,5.550070e-06,5.541482e-06,5.535700e-06,5.522243e-06,5.521063e-06,5.506185e-06,5.502582e-06,5.491094e-06,5.482558e-06,5.475813e-06,5.462226e-06,5.460364e-06,5.444768e-06,5.441633e-06,5.429044e-06,5.420824e-06,5.413212e-06,5.399840e-06,5.397287e-06,5.381285e-06,5.378719e-06,5.365222e-06,5.357493e-06,5.349110e-06,5.336195e-06,5.332964e-06,5.316794e-06,5.314853e-06,5.300614e-06,5.293493e-06,5.284432e-06,5.272140e-06,5.268260e-06,5.252106e-06,5.250815e-06,5.235979e-06,5.229538e-06,5.219888e-06,5.208329e-06,5.203841e-06,5.187843e-06,5.187204e-06,5.171902e-06,5.166179e-06,5.156025e-06,5.145268e-06,5.140217e-06,5.124483e-06,5.103838e-06,5.083342e-06,5.063005e-06,5.042837e-06,5.022846e-06,5.003038e-06,4.983422e-06,4.964002e-06,4.944785e-06,4.925774e-06,4.906974e-06,4.888389e-06,4.870022e-06,4.851876e-06,4.833953e-06,4.816256e-06,4.798785e-06,4.781543e-06,4.764530e-06,4.747747e-06,4.731195e-06,4.714873e-06,4.698782e-06,4.682921e-06
0.000000e+00,4.001788e-09,9.193923e-09,3.163647e-08,7.178571e-08,1.045049e-07,2.354249e-07,2.424305e-07,4.644548e-07,5.442921e-07,7.897808e-07,1.042780e-06,1.238177e-06,1.775817e-06,1.828665e-06,2.574712e-06,2.777325e-06,3.476979e-06,4.045620e-06,4.521214e-06,5.539799e-06,5.684986e-06,6.945443e-06,7.207306e-06,8.282354e-06,9.001816e-06,9.678044e-06,1.088416e-05,1.111659e-05,1.258325e-05,1.281959e-05,1.406421e-05,1.477634e-05,1.554662e-05,1.672558e-05,1.701862e-05,1.846954e-05,1.864177e-05,1.988997e-05,2.050317e-05,2.127184e-05,2.229210e-05,2.260844e-05,2.389438e-05,2.399493e-05,2.512551e-05,2.560191e-05,2.629885e-05,2.710673e-05,2.741244e-05,2.846526e-05,2.850610e-05,2.945703e-05,2.979919e-05,3.038816e-05,3.098714e-05,3.125957e-05,3.207263e-05,3.282905e-05,3.305946e-05,3.353078e-05,3.395217e-05,3.417996e-05,3.475583e-05,3.477885e-05,3.532979e-05,3.547578e-05,3.583514e-05,3.611746e-05,3.629727e-05,3.668627e-05,3.671852e-05,3.710116e-05,3.718750e-05,3.744744e-05,3.762627e-05,3.775949e-05,3.800743e-05,3.803939e-05,3.828913e-05,3.833563e-05,3.851060e-05,3.861520e-05,3.870561e-05,3.885022e-05,3.887586e-05,3.902299e-05,3.904448e-05,3.914852e-05,3.920154e-05,3.925391e-05,3.932464e-05,3.934053e-05,3.940967e-05,3.941685e-05,3.946254e-05,3.948095e-05,3.950029e-05,3.951953e-05,3.952399e-05,3.953465e-05,3.953497e-05,3.953321e-05,3.952945e-05,3.952056e-05,3.950498e-05,3.949753e-05,3.946489e-05,3.946340e-05,3.942339e-05,3.940641e-05,3.937371e-05,3.933558e-05,3.931648e-05,3.925232e-05,3.918178e-05,3.915795e-05,3.910539e-05,3.905366e-05,3.902364e-05,3.894056e-05,3.893700e-05,3.884590e-05,3.881965e-05,3.875074e-05,3.869186e-05,3.865190e-05,3.855803e-05,3.854974e-05,3.844458e-05,3.841893e-05,3.833674e-05,3.827528e-05,3.822649e-05,3.812771e-05,3.811412e-05,3.799988e-05,3.797683e-05,3.788400e-05,3.782316e-05,3.776670e-05,3.766722e-05,3.764818e-05,3.752864e-05,3.750943e-05,3.740826e-05,3.735022e-05,3.728720e-05,3.718996e-05,3.716561e-05,3.704365e-05,3.702899e-05,3.692144e-05,3.686762e-05,3.679911e-05,3.670614e-05,3.667678e-05,3.655456e-05,3.654479e-05,3.643253e-05,3.638380e-05,3.631081e-05,3.622340e-05,3.618947e-05,3.606860e-05,3.606377e-05,3.594826e-05,3.590509e-05,3.582853e-05,3.574749e-05,3.570947e-05,3.559114e-05,3.543614e-05,3.528261e-05,3.513065e-05,3.498035e-05,3.483178e-05,3.468502e-05,3.454012e-05,3.439714e-05,3.425611e-05,3.411708e-05,3.398008e-05,3.384513e-05,3.371226e-05,3.358147e-05,3.345279e-05,3.332621e-05,3.320175e-05,3.307941e-05,3.295917e-05,3.284104e-05,3.272501e-05,3.261106e-05,3.249920e-05,3.238939e-05
0.000000e+00,4.057784e-09,9.370588e-09,3.256248e-08,7.468572e-08,1.095211e-07,2.529492e-07,2.607947e-07,5.172810e-07,6.126867e-07,9.127696e-07,1.226190e-06,1.466920e-06,2.110632e-06,2.172163e-06,3.009695e-06,3.228539e-06,3.963730e-06,4.544226e-06,5.021954e-06,6.030363e-06,6.173006e-06,7.405009e-06,7.660011e-06,8.705128e-06,9.403617e-06,1.005977e-05,1.122960e-05,1.145499e-05,1.287702e-05,1.310615e-05,1.431273e-05,1.500312e-05,1.574998e-05,1.689352e-05,1.717787e-05,1.858692e-05,1.875434e-05,1.996902e-05,2.056685e-05,2.131754e-05,2.231668e-05,2.262722e-05,2.389397e-05,2.399335e-05,2.511477e-05,2.558974e-05,2.628757e-05,2.710150e-05,2.741106e-05,2.848460e-05,2.852651e-05,2.950811e-05,2.986438e-05,3.048191e-05,3.111604e-05,3.140668e-05,3.228334e-05,3.311305e-05,3.336885e-05,3.389710e-05,3.437556e-05,3.463687e-05,3.530678e-05,3.533385e-05,3.598956e-05,3.616597e-05,3.660552e-05,3.695666e-05,3.718329e-05,3.768243e-05,3.772440e-05,3.823038e-05,3.834675e-05,3.870272e-05,3.895308e-05,3.914288e-05,3.950473e-05,3.955228e-05,3.993232e-05,4.000492e-05,4.028433e-05,4.045674e-05,4.060962e-05,4.086312e-05,4.090943e-05,4.118499e-05,4.122690e-05,4.143745e-05,4.155076e-05,4.166794e-05,4.183723e-05,4.187753e-05,4.206726e-05,4.208874e-05,4.223812e-05,4.230757e-05,4.239107e-05,4.249589e-05,4.252701e-05,4.264681e-05,4.265573e-05,4.275132e-05,4.278902e-05,4.284133e-05,4.289760e-05,4.291761e-05,4.298089e-05,4.298316e-05,4.303185e-05,4.304732e-05,4.307118e-05,4.309160e-05,4.309950e-05,4.311743e-05,4.312553e-05,4.312615e-05,4.312438e-05,4.311902e-05,4.311448e-05,4.309722e-05,4.309635e-05,4.307046e-05,4.306188e-05,4.303726e-05,4.301403e-05,4.299721e-05,4.295465e-05,4.295070e-05,4.289813e-05,4.288465e-05,4.283988e-05,4.280491e-05,4.277630e-05,4.271622e-05,4.270774e-05,4.263452e-05,4.261935e-05,4.255695e-05,4.251499e-05,4.247532e-05,4.240381e-05,4.238990e-05,4.230097e-05,4.228643e-05,4.220877e-05,4.216343e-05,4.211355e-05,4.203535e-05,4.201553e-05,4.191493e-05,4.190270e-05,4.181196e-05,4.176594e-05,4.170680e-05,4.162553e-05,4.159964e-05,4.149067e-05,4.148188e-05,4.138004e-05,4.133536e-05,4.126792e-05,4.118635e-05,4.115445e-05,4.103978e-05,4.103517e-05,4.092404e-05,4.088214e-05,4.080736e-05,4.072755e-05,4.068987e-05,4.057166e-05,4.041474e-05,4.025702e-05,4.009871e-05,3.994002e-05,3.978113e-05,3.962222e-05,3.946346e-05,3.930498e-05,3.914693e-05,3.898943e-05,3.883261e-05,3.867657e-05,3.852141e-05,3.836723e-05,3.821410e-05,3.806210e-05,3.791131e-05,3.776178e-05,3.761357e-05,3.746675e-05,3.732134e-05,3.717740e-05,3.703497e-05,3.689408e-05
0.000000e+00,3.494114e-11,1.338336e-10,9.722972e-10,3.572203e-09,6.452079e-09,2.283116e-08,2.388629e-08,6.440701e-08,8.178283e-08,1.424582e-07,2.144122e-07,2.753972e-07,4.633159e-07,4.832088e-07,7.882429e-07,8.785810e-07,1.214721e-06,1.515932e-06,1.787633e-06,2.431801e-06,2.530639e-06,3.462949e-06,3.673299e-06,4.595929e-06,5.265199e-06,5.930741e-06,7.201388e-06,7.458023e-06,9.159473e-06,9.446288e-06,1.101051e-05,1.194397e-05,1.298308e-05,1.462908e-05,1.504810e-05,1.717721e-05,1.743573e-05,1.934395e-05,2.030298e-05,2.152443e-05,2.317776e-05,2.369766e-05,2.584555e-05,2.601581e-05,2.795289e-05,2.878158e-05,3.000714e-05,3.144755e-05,3.199817e-05,3.391807e-05,3.399329e-05,3.576086e-05,3.640452e-05,3.752228e-05,3.867208e-05,3.919952e-05,4.079104e-05,4.229637e-05,4.275991e-05,4.371591e-05,4.457989e-05,4.505079e-05,4.625422e-05,4.630273e-05,4.747392e-05,4.778771e-05,4.856688e-05,4.918627e-05,4.958442e-05,5.045653e-05,5.052954e-05,5.140536e-05,5.160559e-05,5.221505e-05,5.264080e-05,5.296184e-05,5.356953e-05,5.364893e-05,5.427948e-05,5.439908e-05,5.485659e-05,5.513657e-05,5.538327e-05,5.578886e-05,5.586245e-05,5.629693e-05,5.636248e-05,5.668940e-05,5.686363e-05,5.704244e-05,5.729814e-05,5.735852e-05,5.763996e-05,5.767152e-05,5.788901e-05,5.798887e-05,5.810775e-05,5.825497e-05,5.829820e-05,5.846224e-05,5.847427e-05,5.860164e-05,5.865089e-05,5.871810e-05,5.878864e-05,5.881320e-05,5.888843e-05,5.889105e-05,5.894520e-05,5.896138e-05,5.898484e-05,5.900264e-05,5.900858e-05,5.901759e-05,5.901298e-05,5.900879e-05,5.899577e-05,5.897859e-05,5.896693e-05,5.892914e-05,5.892737e-05,5.887794e-05,5.886244e-05,5.881944e-05,5.878029e-05,5.875261e-05,5.868438e-05,5.867816e-05,5.859674e-05,5.857624e-05,5.850897e-05,5.845726e-05,5.841542e-05,5.832875e-05,5.831663e-05,5.821310e-05,5.819187e-05,5.810530e-05,5.804771e-05,5.799368e-05,5.789725e-05,5.787863e-05,5.776055e-05,5.774140e-05,5.763980e-05,5.758098e-05,5.751670e-05,5.741674e-05,5.739156e-05,5.726469e-05,5.724936e-05,5.713634e-05,5.707947e-05,5.700678e-05,5.690763e-05,5.687622e-05,5.674490e-05,5.673437e-05,5.661302e-05,5.656015e-05,5.648075e-05,5.638539e-05,5.634829e-05,5.621578e-05,5.621048e-05,5.608339e-05,5.603578e-05,5.595123e-05,5.586158e-05,5.581946e-05,5.568817e-05,5.551581e-05,5.534472e-05,5.517511e-05,5.500715e-05,5.484101e-05,5.467684e-05,5.451474e-05,5.435484e-05,5.419722e-05,5.404197e-05,5.388916e-05,5.373885e-05,5.359108e-05,5.344590e-05,5.330333e-05,5.316340e-05,5.302612e-05,5.289150e-05,5.275955e-05,5.263026e-05,5.250364e-05,5.237967e-05,5.225833e-05,5.213962e-05
0.000000e+00,6.831330e-10,1.772591e-09,6.935241e-09,1.666076e-08,2.474030e-08,5.746397e-08,5.922124e-08,1.148629e-07,1.347974e-07,1.957498e-07,2.580127e-07,3.057423e-07,4.357724e-07,4.484729e-07,6.268990e-07,6.752203e-07,8.421993e-07,9.783578e-07,1.092658e-06,1.338742e-06,1.373948e-06,1.680696e-06,1.744638e-06,2.007757e-06,2.184323e-06,2.350580e-06,2.647766e-06,2.705126e-06,3.067692e-06,3.126213e-06,3.434803e-06,3.611656e-06,3.803163e-06,4.096654e-06,4.169663e-06,4.531413e-06,4.574375e-06,4.885774e-06,5.038737e-06,5.230401e-06,5.484547e-06,5.563265e-06,5.882672e-06,5.907600e-06,6.187265e-06,6.304713e-06,6.476016e-06,6.673694e-06,6.748209e-06,7.003417e-06,7.013268e-06,7.241466e-06,7.322969e-06,7.462414e-06,7.603009e-06,7.666506e-06,7.854149e-06,8.025876e-06,8.077568e-06,8.182320e-06,8.274747e-06,8.324186e-06,8.447363e-06,8.452229e-06,8.567233e-06,8.597207e-06,8.669998e-06,8.726113e-06,8.761318e-06,8.835903e-06,8.841982e-06,8.912752e-06,8.928347e-06,8.974366e-06,9.005135e-06,9.027530e-06,9.067858e-06,9.072915e-06,9.111152e-06,9.117995e-06,9.142836e-06,9.156908e-06,9.168523e-06,9.185844e-06,9.188728e-06,9.203934e-06,9.205933e-06,9.214584e-06,9.218201e-06,9.221092e-06,9.223571e-06,9.223835e-06,9.223164e-06,9.222869e-06,9.219397e-06,9.216835e-06,9.212827e-06,9.206127e-06,9.203725e-06,9.192336e-06,9.191333e-06,9.178886e-06,9.172976e-06,9.163581e-06,9.151518e-06,9.146608e-06,9.128141e-06,9.127373e-06,9.108336e-06,9.100906e-06,9.087336e-06,9.072443e-06,9.065275e-06,9.042270e-06,9.018433e-06,9.010645e-06,8.993861e-06,8.977793e-06,8.968647e-06,8.943914e-06,8.942873e-06,8.916617e-06,8.909188e-06,8.889947e-06,8.873774e-06,8.862929e-06,8.837814e-06,8.835620e-06,8.808074e-06,8.801434e-06,8.780341e-06,8.764745e-06,8.752465e-06,8.727849e-06,8.724488e-06,8.696446e-06,8.690833e-06,8.668376e-06,8.653778e-06,8.640307e-06,8.616753e-06,8.612270e-06,8.584292e-06,8.579822e-06,8.556395e-06,8.543041e-06,8.528603e-06,8.506459e-06,8.500936e-06,8.473413e-06,8.470120e-06,8.446050e-06,8.434065e-06,8.418862e-06,8.398326e-06,8.391865e-06,8.365071e-06,8.362936e-06,8.338490e-06,8.327921e-06,8.312136e-06,8.293305e-06,8.286015e-06,8.260138e-06,8.259109e-06,8.234513e-06,8.225350e-06,8.209145e-06,8.192045e-06,8.184041e-06,8.159206e-06,8.126845e-06,8.094972e-06,8.063594e-06,8.032717e-06,8.002347e-06,7.972487e-06,7.943140e-06,7.914307e-06,7.885990e-06,7.858187e-06,7.830898e-06,7.804121e-06,7.777853e-06,7.752093e-06,7.726836e-06,7.702078e-06,7.677816e-06,7.654044e-06,7.630758e-06,7.607952e-06,7.585620e-06,7.563757e-06,7.542357e-06,7.521413e-06
0.000000e+00,7.546397e-11,2.833236e-10,1.976314e-09,7.004537e-09,1.241076e-08,4.187434e-08,4.372778e-08,1.128695e-07,1.417259e-07,2.403723e-07,3.546055e-07,4.498979e-07,7.379234e-07,7.680436e-07,1.223727e-06,1.356840e-06,1.846069e-06,2.276938e-06,2.659697e-06,3.544853e-06,3.677886e-06,4.896959e-06,5.163291e-06,6.295905e-06,7.083652e-06,7.841320e-06,9.224200e-06,9.494271e-06,1.121606e-05,1.149553e-05,1.297173e-05,1.381756e-05,1.473161e-05,1.612613e-05,1.647154e-05,1.817245e-05,1.837321e-05,1.981974e-05,2.052462e-05,2.140247e-05,2.255728e-05,2.291285e-05,2.434557e-05,2.445672e-05,2.569742e-05,2.621512e-05,2.696687e-05,2.782972e-05,2.815377e-05,2.925905e-05,2.930159e-05,3.028450e-05,3.063457e-05,3.123256e-05,3.183451e-05,3.210616e-05,3.290858e-05,3.364330e-05,3.386471e-05,3.431396e-05,3.471125e-05,3.492421e-05,3.545662e-05,3.547771e-05,3.597805e-05,3.610910e-05,3.642872e-05,3.667668e-05,3.683306e-05,3.716692e-05,3.719431e-05,3.751551e-05,3.758697e-05,3.779957e-05,3.794344e-05,3.804921e-05,3.824247e-05,3.826701e-05,3.845538e-05,3.848972e-05,3.861657e-05,3.869035e-05,3.875268e-05,3.884908e-05,3.886568e-05,3.895740e-05,3.897022e-05,3.902954e-05,3.905767e-05,3.908366e-05,3.911499e-05,3.912125e-05,3.914366e-05,3.914539e-05,3.915214e-05,3.915177e-05,3.914788e-05,3.913677e-05,3.913194e-05,3.910534e-05,3.910278e-05,3.906900e-05,3.905194e-05,3.902379e-05,3.898619e-05,3.897049e-05,3.890985e-05,3.890728e-05,3.884255e-05,3.881681e-05,3.876921e-05,3.871619e-05,3.869042e-05,3.860672e-05,3.851861e-05,3.848956e-05,3.842655e-05,3.836575e-05,3.833096e-05,3.823626e-05,3.823226e-05,3.813078e-05,3.810192e-05,3.802689e-05,3.796352e-05,3.792088e-05,3.782174e-05,3.781305e-05,3.770366e-05,3.767721e-05,3.759297e-05,3.753049e-05,3.748119e-05,3.738210e-05,3.736854e-05,3.725522e-05,3.723249e-05,3.714139e-05,3.708206e-05,3.702724e-05,3.693120e-05,3.691290e-05,3.679851e-05,3.678022e-05,3.668422e-05,3.662942e-05,3.657013e-05,3.647908e-05,3.645635e-05,3.634299e-05,3.632942e-05,3.623013e-05,3.618066e-05,3.611787e-05,3.603298e-05,3.600626e-05,3.589540e-05,3.588657e-05,3.578534e-05,3.574155e-05,3.567613e-05,3.559806e-05,3.556784e-05,3.546050e-05,3.545623e-05,3.535416e-05,3.531614e-05,3.524887e-05,3.517788e-05,3.514465e-05,3.504154e-05,3.490718e-05,3.477484e-05,3.464459e-05,3.451645e-05,3.439045e-05,3.426663e-05,3.414500e-05,3.402557e-05,3.390835e-05,3.379334e-05,3.368055e-05,3.356996e-05,3.346158e-05,3.335538e-05,3.325136e-05,3.314950e-05,3.304978e-05,3.295218e-05,3.285668e-05,3.276325e-05,3.267188e-05,3.258254e-05,3.249519e-05,3.240981e-05
0.000000e+00,7.134191e-09,1.654220e-08,5.815252e-08,1.355095e-07,2.009948e-07,4.830158e-07,4.989622e-07,1.044697e-06,1.257849e-06,1.953773e-06,2.708142e-06,3.298373e-06,4.895457e-06,5.048616e-06,7.130186e-06,7.672120e-06,9.485405e-06,1.090994e-05,1.207851e-05,1.453798e-05,1.488543e-05,1.788633e-05,1.850810e-05,2.106184e-05,2.277541e-05,2.439161e-05,2.729209e-05,2.785409e-05,3.142686e-05,3.200722e-05,3.508722e-05,3.686869e-05,3.881274e-05,4.182558e-05,4.258193e-05,4.637464e-05,4.683045e-05,5.017239e-05,5.184065e-05,5.395857e-05,5.681921e-05,5.771848e-05,6.143937e-05,6.173501e-05,6.511030e-05,6.656257e-05,6.872205e-05,7.128151e-05,7.226697e-05,7.573886e-05,7.587614e-05,7.913280e-05,8.033476e-05,8.244485e-05,8.464864e-05,8.567188e-05,8.881163e-05,9.186252e-05,9.281985e-05,9.482353e-05,9.667119e-05,9.769421e-05,1.003650e-04,1.004745e-04,1.031647e-04,1.039019e-04,1.057654e-04,1.072832e-04,1.082775e-04,1.105112e-04,1.107020e-04,1.130405e-04,1.135891e-04,1.152946e-04,1.165204e-04,1.174655e-04,1.193083e-04,1.195547e-04,1.215639e-04,1.219563e-04,1.234947e-04,1.244682e-04,1.253486e-04,1.268477e-04,1.271273e-04,1.288327e-04,1.290989e-04,1.304664e-04,1.312256e-04,1.320301e-04,1.332318e-04,1.335255e-04,1.349544e-04,1.351215e-04,1.363185e-04,1.368986e-04,1.376195e-04,1.385671e-04,1.388591e-04,1.400390e-04,1.401309e-04,1.411609e-04,1.415938e-04,1.422264e-04,1.429595e-04,1.432370e-04,1.441945e-04,1.442317e-04,1.451003e-04,1.454141e-04,1.459561e-04,1.465102e-04,1.467633e-04,1.475234e-04,1.482380e-04,1.484573e-04,1.489084e-04,1.493149e-04,1.495360e-04,1.500996e-04,1.501223e-04,1.506685e-04,1.508144e-04,1.511760e-04,1.514625e-04,1.516461e-04,1.520466e-04,1.520800e-04,1.524790e-04,1.525697e-04,1.528443e-04,1.530345e-04,1.531770e-04,1.534437e-04,1.534782e-04,1.537492e-04,1.537999e-04,1.539910e-04,1.541055e-04,1.542046e-04,1.543630e-04,1.543911e-04,1.545514e-04,1.545747e-04,1.546866e-04,1.547428e-04,1.547976e-04,1.548696e-04,1.548853e-04,1.549507e-04,1.549570e-04,1.549945e-04,1.550072e-04,1.550177e-04,1.550220e-04,1.550211e-04,1.550054e-04,1.550034e-04,1.549715e-04,1.549530e-04,1.549201e-04,1.548727e-04,1.548520e-04,1.547678e-04,1.547641e-04,1.546682e-04,1.546288e-04,1.545540e-04,1.544683e-04,1.544257e-04,1.542840e-04,1.540775e-04,1.538501e-04,1.536030e-04,1.533374e-04,1.530547e-04,1.527559e-04,1.524421e-04,1.521144e-04,1.517737e-04,1.514211e-04,1.510573e-04,1.506834e-04,1.503001e-04,1.499082e-04,1.495085e-04,1.491017e-04,1.486885e-04,1.482695e-04,1.478454e-04,1.474168e-04,1.469842e-04,1.465481e-04,1.461091e-04,1.456677e-04
0.000000e+00,3.341832e-10,1.031243e-09,5.083092e-09,1.390465e-08,2.178205e-08,5.624743e-08,5.818000e-08,1.223214e-07,1.464528e-07,2.232278e-07,3.054726e-07,3.705197e-07,5.530007e-07,5.710449e-07,8.245066e-07,8.925815e-07,1.124754e-06,1.310612e-06,1.464627e-06,1.791766e-06,1.838209e-06,2.240666e-06,2.324236e-06,2.667633e-06,2.897918e-06,3.114812e-06,3.502858e-06,3.577820e-06,4.052200e-06,4.128858e-06,4.533506e-06,4.765715e-06,5.017415e-06,5.403664e-06,5.499847e-06,5.977061e-06,6.033813e-06,6.445726e-06,6.648474e-06,6.902971e-06,7.241345e-06,7.346395e-06,7.774073e-06,7.807559e-06,8.184523e-06,8.343627e-06,8.576679e-06,8.847301e-06,8.949848e-06,9.303657e-06,9.317405e-06,9.638014e-06,9.753640e-06,9.953049e-06,1.015639e-05,1.024908e-05,1.052656e-05,1.078607e-05,1.086543e-05,1.102828e-05,1.117453e-05,1.125389e-05,1.145555e-05,1.146364e-05,1.165832e-05,1.171023e-05,1.183868e-05,1.194035e-05,1.200550e-05,1.214766e-05,1.215953e-05,1.230149e-05,1.233384e-05,1.243208e-05,1.250051e-05,1.255200e-05,1.264919e-05,1.266187e-05,1.276231e-05,1.278132e-05,1.285391e-05,1.289822e-05,1.293720e-05,1.300114e-05,1.301272e-05,1.308094e-05,1.309121e-05,1.314233e-05,1.316949e-05,1.319731e-05,1.323696e-05,1.324629e-05,1.328965e-05,1.329450e-05,1.332775e-05,1.334293e-05,1.336091e-05,1.338301e-05,1.338945e-05,1.341366e-05,1.341542e-05,1.343382e-05,1.344080e-05,1.345017e-05,1.345973e-05,1.346297e-05,1.347242e-05,1.347274e-05,1.347876e-05,1.348031e-05,1.348216e-05,1.348290e-05,1.348282e-05,1.348091e-05,1.347660e-05,1.347473e-05,1.347003e-05,1.346471e-05,1.346135e-05,1.345115e-05,1.345069e-05,1.343818e-05,1.343436e-05,1.342394e-05,1.341461e-05,1.340808e-05,1.339215e-05,1.339071e-05,1.337191e-05,1.336720e-05,1.335180e-05,1.333999e-05,1.333045e-05,1.331071e-05,1.330795e-05,1.328437e-05,1.327953e-05,1.325979e-05,1.324664e-05,1.323428e-05,1.321218e-05,1.320790e-05,1.318072e-05,1.317629e-05,1.315278e-05,1.313913e-05,1.312416e-05,1.310079e-05,1.309489e-05,1.306503e-05,1.306141e-05,1.303463e-05,1.302109e-05,1.300372e-05,1.297993e-05,1.297236e-05,1.294057e-05,1.293801e-05,1.290840e-05,1.289544e-05,1.287589e-05,1.285228e-05,1.284305e-05,1.280994e-05,1.280861e-05,1.277657e-05,1.276450e-05,1.274298e-05,1.272002e-05,1.270918e-05,1.267522e-05,1.263016e-05,1.258490e-05,1.253947e-05,1.249394e-05,1.244833e-05,1.240269e-05,1.235705e-05,1.231145e-05,1.226593e-05,1.222050e-05,1.217520e-05,1.213005e-05,1.208507e-05,1.204030e-05,1.199574e-05,1.195142e-05,1.190736e-05,1.186356e-05,1.182005e-05,1.177684e-05,1.173395e-05,1.169137e-05,1.164913e-05,1.160724e-05
0.000000e+00,1.344492e-11,5.230017e-11,3.922307e-10,1.482705e-09,2.719573e-09,1.000236e-08,1.048064e-08,2.929799e-08,3.755066e-08,6.688994e-08,1.023855e-07,1.328700e-07,2.282683e-07,2.384607e-07,3.961527e-07,4.432233e-07,6.192994e-07,7.779607e-07,9.215923e-07,1.263689e-06,1.316361e-06,1.815733e-06,1.929091e-06,2.429805e-06,2.797046e-06,3.166043e-06,3.882283e-06,4.028960e-06,5.020077e-06,5.190501e-06,6.138053e-06,6.718677e-06,7.378947e-06,8.456044e-06,8.736527e-06,1.020262e-05,1.038540e-05,1.176748e-05,1.248451e-05,1.342012e-05,1.472758e-05,1.514871e-05,1.694084e-05,1.708658e-05,1.878388e-05,1.953252e-05,2.066523e-05,2.203657e-05,2.257254e-05,2.449394e-05,2.457093e-05,2.641819e-05,2.710957e-05,2.833479e-05,2.962877e-05,3.023412e-05,3.210743e-05,3.394692e-05,3.452728e-05,3.574575e-05,3.687289e-05,3.749800e-05,3.913166e-05,3.919864e-05,4.084351e-05,4.129360e-05,4.242925e-05,4.335120e-05,4.395326e-05,4.529914e-05,4.541359e-05,4.680895e-05,4.713408e-05,4.813858e-05,4.885434e-05,4.940221e-05,5.045973e-05,5.060000e-05,5.173250e-05,5.195124e-05,5.280056e-05,5.333085e-05,5.380531e-05,5.460136e-05,5.474811e-05,5.563048e-05,5.576617e-05,5.645413e-05,5.682915e-05,5.722085e-05,5.779451e-05,5.793254e-05,5.859115e-05,5.866671e-05,5.919867e-05,5.945031e-05,5.975712e-05,6.014997e-05,6.026853e-05,6.073490e-05,6.077033e-05,6.115825e-05,6.131598e-05,6.154053e-05,6.179144e-05,6.188369e-05,6.218961e-05,6.220109e-05,6.246013e-05,6.254920e-05,6.269705e-05,6.283985e-05,6.290210e-05,6.307697e-05,6.322327e-05,6.326432e-05,6.334259e-05,6.340548e-05,6.343641e-05,6.350385e-05,6.350620e-05,6.355333e-05,6.356265e-05,6.357915e-05,6.358494e-05,6.358493e-05,6.357359e-05,6.357188e-05,6.354118e-05,6.353131e-05,6.349393e-05,6.346065e-05,6.343121e-05,6.336401e-05,6.335402e-05,6.326333e-05,6.324365e-05,6.316006e-05,6.310167e-05,6.304508e-05,6.294005e-05,6.291922e-05,6.278328e-05,6.276064e-05,6.263800e-05,6.256515e-05,6.248409e-05,6.235521e-05,6.232224e-05,6.215308e-05,6.213231e-05,6.197721e-05,6.189786e-05,6.179523e-05,6.165316e-05,6.160766e-05,6.141503e-05,6.139942e-05,6.121782e-05,6.113776e-05,6.101650e-05,6.086924e-05,6.081149e-05,6.060321e-05,6.059482e-05,6.039205e-05,6.031540e-05,6.017837e-05,6.003181e-05,5.996252e-05,5.974482e-05,5.945514e-05,5.916343e-05,5.887028e-05,5.857625e-05,5.828186e-05,5.798757e-05,5.769380e-05,5.740095e-05,5.710938e-05,5.681941e-05,5.653133e-05,5.624543e-05,5.596192e-05,5.568105e-05,5.540299e-05,5.512793e-05,5.485602e-05,5.458740e-05,5.432219e-05,5.406049e-05,5.380240e-05,5.354800e-05,5.329735e-05,5.305050e-05
0.000000e+00,6.454523e-09,1.486426e-08,5.150259e-08,1.177537e-07,1.722113e-07,3.930945e-07,4.050260e-07,7.878672e-07,9.274858e-07,1.362222e-06,1.817668e-06,2.173789e-06,3.169243e-06,3.268101e-06,4.677260e-06,5.063415e-06,6.405421e-06,7.505120e-06,8.431156e-06,1.043531e-05,1.072344e-05,1.325265e-05,1.378459e-05,1.599283e-05,1.749323e-05,1.892044e-05,2.150798e-05,2.201294e-05,2.524789e-05,2.577719e-05,2.860273e-05,3.024900e-05,3.205486e-05,3.487158e-05,3.558194e-05,3.916224e-05,3.959446e-05,4.277505e-05,4.436993e-05,4.640094e-05,4.915431e-05,5.002204e-05,5.362216e-05,5.390882e-05,5.718686e-05,5.859993e-05,6.070351e-05,6.319958e-05,6.416124e-05,6.755075e-05,6.768480e-05,7.086431e-05,7.203734e-05,7.409560e-05,7.624328e-05,7.723961e-05,8.029241e-05,8.325114e-05,8.417772e-05,8.611379e-05,8.789485e-05,8.887909e-05,9.144166e-05,9.154648e-05,9.411589e-05,9.481782e-05,9.658778e-05,9.802442e-05,9.896296e-05,1.010637e-04,1.012426e-04,1.034281e-04,1.039388e-04,1.055212e-04,1.066536e-04,1.075236e-04,1.092124e-04,1.094374e-04,1.112646e-04,1.116199e-04,1.130074e-04,1.138809e-04,1.146678e-04,1.160007e-04,1.162483e-04,1.177511e-04,1.179845e-04,1.191784e-04,1.198374e-04,1.205326e-04,1.215647e-04,1.218158e-04,1.230304e-04,1.231717e-04,1.241787e-04,1.246634e-04,1.252627e-04,1.260450e-04,1.262847e-04,1.272468e-04,1.273213e-04,1.281511e-04,1.284972e-04,1.289997e-04,1.295773e-04,1.297946e-04,1.305377e-04,1.305664e-04,1.312310e-04,1.314687e-04,1.318763e-04,1.322887e-04,1.324755e-04,1.330303e-04,1.335425e-04,1.336977e-04,1.340138e-04,1.342947e-04,1.344458e-04,1.348250e-04,1.348400e-04,1.351981e-04,1.352921e-04,1.355216e-04,1.356996e-04,1.358118e-04,1.360507e-04,1.360703e-04,1.362983e-04,1.363486e-04,1.364972e-04,1.365963e-04,1.366683e-04,1.367968e-04,1.368128e-04,1.369319e-04,1.369528e-04,1.370268e-04,1.370669e-04,1.370986e-04,1.371418e-04,1.371483e-04,1.371771e-04,1.371799e-04,1.371860e-04,1.371834e-04,1.371758e-04,1.371547e-04,1.371476e-04,1.371023e-04,1.370958e-04,1.370407e-04,1.370087e-04,1.369637e-04,1.368954e-04,1.368721e-04,1.367667e-04,1.367577e-04,1.366482e-04,1.365973e-04,1.365174e-04,1.364159e-04,1.363749e-04,1.362215e-04,1.362151e-04,1.360577e-04,1.359963e-04,1.358842e-04,1.357611e-04,1.357017e-04,1.355106e-04,1.352462e-04,1.349692e-04,1.346806e-04,1.343815e-04,1.340730e-04,1.337560e-04,1.334315e-04,1.331003e-04,1.327632e-04,1.324211e-04,1.320745e-04,1.317243e-04,1.313710e-04,1.310153e-04,1.306576e-04,1.302986e-04,1.299388e-04,1.295786e-04,1.292184e-04,1.288586e-04,1.284997e-04,1.281420e-04,1.277857e-04,1.274313e-04
0.000000e+00,2.410320e-10,8.519627e-10,5.289501e-09,1.702141e-08,2.870472e-08,8.615830e-08,8.957160e-08,2.086970e-07,2.553507e-07,4.070400e-07,5.727272e-07,7.054003e-07,1.086025e-06,1.124478e-06,1.684595e-06,1.842142e-06,2.404298e-06,2.882520e-06,3.297524e-06,4.232384e-06,4.370672e-06,5.621985e-06,5.893009e-06,7.043580e-06,7.846450e-06,8.624237e-06,1.006571e-05,1.035135e-05,1.221180e-05,1.252095e-05,1.419216e-05,1.518132e-05,1.627874e-05,1.801506e-05,1.845752e-05,2.071430e-05,2.098968e-05,2.303485e-05,2.407245e-05,2.540507e-05,2.723119e-05,2.781124e-05,3.024021e-05,3.043513e-05,3.267957e-05,3.365562e-05,3.511782e-05,3.686671e-05,3.754442e-05,3.994985e-05,4.004550e-05,4.232566e-05,4.317225e-05,4.466447e-05,4.623042e-05,4.695987e-05,4.920645e-05,5.139967e-05,5.208961e-05,5.353585e-05,5.487169e-05,5.561205e-05,5.754665e-05,5.762599e-05,5.957600e-05,6.011039e-05,6.146095e-05,6.256039e-05,6.328016e-05,6.489551e-05,6.503334e-05,6.672055e-05,6.711570e-05,6.834216e-05,6.922182e-05,6.989876e-05,7.121542e-05,7.139115e-05,7.282032e-05,7.309867e-05,7.418739e-05,7.487412e-05,7.549358e-05,7.654470e-05,7.674021e-05,7.792869e-05,7.811355e-05,7.906046e-05,7.958400e-05,8.013700e-05,8.095949e-05,8.115983e-05,8.213048e-05,8.224352e-05,8.305047e-05,8.343962e-05,8.392136e-05,8.455133e-05,8.474466e-05,8.552191e-05,8.558214e-05,8.625459e-05,8.653552e-05,8.694420e-05,8.741487e-05,8.759220e-05,8.820001e-05,8.822351e-05,8.876906e-05,8.896470e-05,8.930073e-05,8.964159e-05,8.979635e-05,9.025726e-05,9.068475e-05,9.081469e-05,9.108007e-05,9.131676e-05,9.144444e-05,9.176624e-05,9.177907e-05,9.208511e-05,9.216583e-05,9.236369e-05,9.251812e-05,9.261591e-05,9.282559e-05,9.284284e-05,9.304550e-05,9.309065e-05,9.322491e-05,9.331559e-05,9.338204e-05,9.350263e-05,9.351782e-05,9.363318e-05,9.365388e-05,9.372900e-05,9.377139e-05,9.380613e-05,9.385709e-05,9.386540e-05,9.390762e-05,9.391284e-05,9.393356e-05,9.394044e-05,9.394396e-05,9.394159e-05,9.393956e-05,9.392105e-05,9.391791e-05,9.388910e-05,9.387096e-05,9.384437e-05,9.380222e-05,9.378749e-05,9.371906e-05,9.371311e-05,9.363967e-05,9.360497e-05,9.354988e-05,9.347909e-05,9.345023e-05,9.334125e-05,9.333670e-05,9.322344e-05,9.317897e-05,9.309729e-05,9.300699e-05,9.296327e-05,9.282182e-05,9.262447e-05,9.241589e-05,9.219697e-05,9.196859e-05,9.173154e-05,9.148660e-05,9.123451e-05,9.097594e-05,9.071157e-05,9.044199e-05,9.016781e-05,8.988957e-05,8.960780e-05,8.932297e-05,8.903557e-05,8.874603e-05,8.845475e-05,8.816213e-05,8.786852e-05,8.757427e-05,8.727970e-05,8.698511e-05,8.669077e-05,8.639696e-05
0.000000e+00,3.165836e-09,9.051628e-09,4.009524e-08,1.033897e-07,1.583812e-07,3.948585e-07,4.080702e-07,8.491471e-07,1.017121e-06,1.560360e-06,2.157146e-06,2.639373e-06,4.033577e-06,4.174225e-06,6.184249e-06,6.730906e-06,8.599863e-06,1.009015e-05,1.131565e-05,1.388118e-05,1.424091e-05,1.731086e-05,1.793796e-05,2.047985e-05,2.215509e-05,2.371327e-05,2.645805e-05,2.698245e-05,3.026180e-05,3.078584e-05,3.352766e-05,3.508391e-05,3.675787e-05,3.930249e-05,3.993186e-05,4.303098e-05,4.339704e-05,4.603879e-05,4.732958e-05,4.894118e-05,5.106921e-05,5.172647e-05,5.438548e-05,5.459252e-05,5.691135e-05,5.788331e-05,5.929947e-05,6.093209e-05,6.154724e-05,6.365383e-05,6.373516e-05,6.561999e-05,6.629381e-05,6.744791e-05,6.861344e-05,6.914058e-05,7.070174e-05,7.213608e-05,7.256908e-05,7.344860e-05,7.422719e-05,7.464474e-05,7.568872e-05,7.573008e-05,7.671035e-05,7.696678e-05,7.759129e-05,7.807452e-05,7.837854e-05,7.902487e-05,7.907768e-05,7.969413e-05,7.983036e-05,8.023312e-05,8.050300e-05,8.069968e-05,8.105417e-05,8.109862e-05,8.143455e-05,8.149456e-05,8.171182e-05,8.183420e-05,8.193456e-05,8.208237e-05,8.210666e-05,8.223182e-05,8.224773e-05,8.231350e-05,8.233823e-05,8.235496e-05,8.236122e-05,8.235924e-05,8.232922e-05,8.232344e-05,8.226758e-05,8.223110e-05,8.217684e-05,8.208985e-05,8.205933e-05,8.191726e-05,8.190489e-05,8.175267e-05,8.168097e-05,8.156749e-05,8.142241e-05,8.136349e-05,8.114235e-05,8.113317e-05,8.090560e-05,8.081684e-05,8.065471e-05,8.047671e-05,8.039101e-05,8.011576e-05,7.983013e-05,7.973671e-05,7.953520e-05,7.934204e-05,7.923199e-05,7.893398e-05,7.892143e-05,7.860440e-05,7.851459e-05,7.828171e-05,7.808570e-05,7.795412e-05,7.764900e-05,7.762232e-05,7.728697e-05,7.720602e-05,7.694866e-05,7.675813e-05,7.660796e-05,7.630658e-05,7.626539e-05,7.592141e-05,7.585249e-05,7.557649e-05,7.539689e-05,7.523103e-05,7.494070e-05,7.488540e-05,7.453997e-05,7.448474e-05,7.419505e-05,7.402976e-05,7.385094e-05,7.357643e-05,7.350792e-05,7.316625e-05,7.312535e-05,7.282614e-05,7.267705e-05,7.248783e-05,7.223202e-05,7.215149e-05,7.181732e-05,7.179069e-05,7.148547e-05,7.135342e-05,7.115610e-05,7.092056e-05,7.082934e-05,7.050530e-05,7.049240e-05,7.018411e-05,7.006920e-05,6.986587e-05,6.965119e-05,6.955065e-05,6.923855e-05,6.883147e-05,6.843007e-05,6.803448e-05,6.764481e-05,6.726112e-05,6.688348e-05,6.651193e-05,6.614652e-05,6.578726e-05,6.543415e-05,6.508720e-05,6.474640e-05,6.441171e-05,6.408312e-05,6.376058e-05,6.344406e-05,6.313351e-05,6.282887e-05,6.253009e-05,6.223711e-05,6.194986e-05,6.166827e-05,6.139228e-05,6.112181e-05
0.000000e+00,2.799605e-09,6.443471e-09,2.215015e-08,5.012274e-08,7.284570e-08,1.634532e-07,1.682939e-07,3.216304e-07,3.767980e-07,5.467335e-07,7.224870e-07,8.587023e-07,1.235612e-06,1.272817e-06,1.800364e-06,1.944202e-06,2.441634e-06,2.845626e-06,3.182496e-06,3.898682e-06,4.000042e-06,4.871231e-06,5.050159e-06,5.777138e-06,6.256919e-06,6.703085e-06,7.487838e-06,7.637501e-06,8.570843e-06,8.719516e-06,9.494923e-06,9.933051e-06,1.040257e-05,1.111258e-05,1.128747e-05,1.214415e-05,1.224482e-05,1.296796e-05,1.331901e-05,1.375509e-05,1.432691e-05,1.450256e-05,1.520820e-05,1.526280e-05,1.587059e-05,1.612324e-05,1.648899e-05,1.690693e-05,1.706331e-05,1.759395e-05,1.761428e-05,1.808180e-05,1.824718e-05,1.852808e-05,1.880856e-05,1.893429e-05,1.930214e-05,1.963353e-05,1.973219e-05,1.993041e-05,2.010322e-05,2.019478e-05,2.041989e-05,2.042869e-05,2.063414e-05,2.068683e-05,2.081309e-05,2.090854e-05,2.096745e-05,2.108932e-05,2.109905e-05,2.120962e-05,2.123322e-05,2.130083e-05,2.134404e-05,2.137425e-05,2.142529e-05,2.143132e-05,2.147341e-05,2.148014e-05,2.150178e-05,2.151151e-05,2.151762e-05,2.152204e-05,2.152202e-05,2.151598e-05,2.151412e-05,2.150046e-05,2.148989e-05,2.147630e-05,2.145128e-05,2.144429e-05,2.140517e-05,2.140003e-05,2.135960e-05,2.133768e-05,2.130822e-05,2.126563e-05,2.125159e-05,2.119022e-05,2.118513e-05,2.112461e-05,2.109728e-05,2.105519e-05,2.100308e-05,2.098237e-05,2.090652e-05,2.090342e-05,2.082797e-05,2.079910e-05,2.074705e-05,2.069082e-05,2.066404e-05,2.057921e-05,2.049279e-05,2.046484e-05,2.040501e-05,2.034822e-05,2.031608e-05,2.022979e-05,2.022618e-05,2.013548e-05,2.010997e-05,2.004415e-05,1.998910e-05,1.995232e-05,1.986752e-05,1.986014e-05,1.976772e-05,1.974551e-05,1.967517e-05,1.962333e-05,1.958260e-05,1.950120e-05,1.949011e-05,1.939777e-05,1.937933e-05,1.930567e-05,1.925790e-05,1.921389e-05,1.913707e-05,1.912248e-05,1.903150e-05,1.901699e-05,1.894102e-05,1.889778e-05,1.885108e-05,1.877955e-05,1.876173e-05,1.867300e-05,1.866240e-05,1.858495e-05,1.854642e-05,1.849760e-05,1.843169e-05,1.841097e-05,1.832511e-05,1.831828e-05,1.824004e-05,1.820623e-05,1.815577e-05,1.809560e-05,1.807232e-05,1.798972e-05,1.798644e-05,1.790799e-05,1.787877e-05,1.782712e-05,1.777264e-05,1.774714e-05,1.766805e-05,1.756504e-05,1.746362e-05,1.736380e-05,1.726559e-05,1.716900e-05,1.707402e-05,1.698065e-05,1.688889e-05,1.679874e-05,1.671018e-05,1.662322e-05,1.653783e-05,1.645400e-05,1.637173e-05,1.629099e-05,1.621178e-05,1.613406e-05,1.605784e-05,1.598308e-05,1.590978e-05,1.583791e-05,1.576744e-05,1.569837e-05,1.563067e-05
0.000000e+00,1.743687e-09,3.982258e-09,1.361797e-08,3.080165e-08,4.477471e-08,1.004624e-07,1.034327e-07,1.970812e-07,2.305301e-07,3.326669e-07,4.368737e-07,5.166933e-07,7.338753e-07,7.550662e-07,1.052388e-06,1.132809e-06,1.410595e-06,1.637249e-06,1.827834e-06,2.239781e-06,2.298939e-06,2.817125e-06,2.925787e-06,3.375326e-06,3.679119e-06,3.966691e-06,4.484243e-06,4.584636e-06,5.222805e-06,5.326376e-06,5.875061e-06,6.191411e-06,6.535530e-06,7.066081e-06,7.198670e-06,7.859346e-06,7.938235e-06,8.512898e-06,8.797118e-06,9.155186e-06,9.633560e-06,9.782616e-06,1.039215e-05,1.044006e-05,1.098129e-05,1.121078e-05,1.154805e-05,1.194140e-05,1.209093e-05,1.260885e-05,1.262904e-05,1.310112e-05,1.327198e-05,1.356739e-05,1.386955e-05,1.400758e-05,1.442186e-05,1.481059e-05,1.492967e-05,1.517431e-05,1.539425e-05,1.551366e-05,1.581722e-05,1.582940e-05,1.612236e-05,1.620042e-05,1.639341e-05,1.654590e-05,1.664346e-05,1.685576e-05,1.687344e-05,1.708429e-05,1.713215e-05,1.727693e-05,1.737720e-05,1.745228e-05,1.759302e-05,1.761126e-05,1.775473e-05,1.778164e-05,1.788356e-05,1.794503e-05,1.799855e-05,1.808504e-05,1.810051e-05,1.819019e-05,1.820345e-05,1.826832e-05,1.830193e-05,1.833560e-05,1.838206e-05,1.839269e-05,1.844022e-05,1.844531e-05,1.847879e-05,1.849307e-05,1.850897e-05,1.852663e-05,1.853130e-05,1.854629e-05,1.854719e-05,1.855444e-05,1.855588e-05,1.855619e-05,1.855374e-05,1.855199e-05,1.854225e-05,1.854175e-05,1.852735e-05,1.852080e-05,1.850767e-05,1.849172e-05,1.848354e-05,1.845530e-05,1.842325e-05,1.841224e-05,1.838769e-05,1.836321e-05,1.834888e-05,1.830881e-05,1.830709e-05,1.826255e-05,1.824963e-05,1.821551e-05,1.818616e-05,1.816616e-05,1.811891e-05,1.811472e-05,1.806137e-05,1.804830e-05,1.800629e-05,1.797475e-05,1.794965e-05,1.789864e-05,1.789161e-05,1.783231e-05,1.782031e-05,1.777190e-05,1.774008e-05,1.771050e-05,1.765825e-05,1.764823e-05,1.758522e-05,1.757507e-05,1.752156e-05,1.749080e-05,1.745736e-05,1.740567e-05,1.739270e-05,1.732769e-05,1.731987e-05,1.726240e-05,1.723360e-05,1.719690e-05,1.714703e-05,1.713127e-05,1.706558e-05,1.706032e-05,1.699988e-05,1.697362e-05,1.693424e-05,1.688704e-05,1.686871e-05,1.680333e-05,1.680072e-05,1.673816e-05,1.671476e-05,1.667324e-05,1.662925e-05,1.660860e-05,1.654429e-05,1.645996e-05,1.637631e-05,1.629343e-05,1.621137e-05,1.613017e-05,1.604988e-05,1.597055e-05,1.589220e-05,1.581487e-05,1.573858e-05,1.566336e-05,1.558922e-05,1.551618e-05,1.544425e-05,1.537344e-05,1.530376e-05,1.523521e-05,1.516779e-05,1.510151e-05,1.503636e-05,1.497235e-05,1.490946e-05,1.484769e-05,1.478704e-05
0.000000e+00,2.975101e-09,6.818917e-09,2.347681e-08,5.345969e-08,7.804036e-08,1.774693e-07,1.828330e-07,3.547780e-07,4.174406e-07,6.123879e-07,8.160264e-07,9.744487e-07,1.411217e-06,1.454012e-06,2.052345e-06,2.212873e-06,2.762079e-06,3.204748e-06,3.574069e-06,4.366621e-06,4.480046e-06,5.472368e-06,5.680521e-06,6.543311e-06,7.128566e-06,7.684646e-06,8.691298e-06,8.887508e-06,1.014247e-05,1.034745e-05,1.143977e-05,1.207460e-05,1.276951e-05,1.385007e-05,1.412190e-05,1.548751e-05,1.565184e-05,1.685745e-05,1.745944e-05,1.822349e-05,1.925448e-05,1.957821e-05,2.091502e-05,2.102101e-05,2.222817e-05,2.274568e-05,2.351277e-05,2.441767e-05,2.476471e-05,2.598062e-05,2.602846e-05,2.715788e-05,2.757184e-05,2.829453e-05,2.904350e-05,2.938913e-05,3.044074e-05,3.144884e-05,3.176221e-05,3.241327e-05,3.300764e-05,3.333416e-05,3.417763e-05,3.421192e-05,3.504712e-05,3.527346e-05,3.584056e-05,3.629694e-05,3.659312e-05,3.725023e-05,3.730581e-05,3.797971e-05,3.813580e-05,3.861597e-05,3.895628e-05,3.921578e-05,3.971442e-05,3.978035e-05,4.031090e-05,4.041304e-05,4.080867e-05,4.105496e-05,4.127488e-05,4.164300e-05,4.171075e-05,4.211749e-05,4.217994e-05,4.249626e-05,4.266848e-05,4.284824e-05,4.311128e-05,4.317454e-05,4.347627e-05,4.351087e-05,4.375450e-05,4.386975e-05,4.401028e-05,4.419027e-05,4.424461e-05,4.445847e-05,4.447472e-05,4.465280e-05,4.472528e-05,4.482853e-05,4.494403e-05,4.498653e-05,4.512765e-05,4.513296e-05,4.525272e-05,4.529396e-05,4.536252e-05,4.542885e-05,4.545780e-05,4.553931e-05,4.560775e-05,4.562699e-05,4.566378e-05,4.569343e-05,4.570805e-05,4.574007e-05,4.574119e-05,4.576380e-05,4.576832e-05,4.577643e-05,4.577946e-05,4.577965e-05,4.577475e-05,4.577398e-05,4.575991e-05,4.575534e-05,4.573794e-05,4.572235e-05,4.570851e-05,4.567680e-05,4.567207e-05,4.562904e-05,4.561968e-05,4.557983e-05,4.555192e-05,4.552481e-05,4.547438e-05,4.546436e-05,4.539883e-05,4.538789e-05,4.532854e-05,4.529321e-05,4.525383e-05,4.519107e-05,4.517499e-05,4.509231e-05,4.508215e-05,4.500608e-05,4.496708e-05,4.491656e-05,4.484647e-05,4.482399e-05,4.472862e-05,4.472088e-05,4.463068e-05,4.459083e-05,4.453038e-05,4.445682e-05,4.442793e-05,4.432352e-05,4.431930e-05,4.421734e-05,4.417872e-05,4.410958e-05,4.403547e-05,4.400039e-05,4.388994e-05,4.374246e-05,4.359337e-05,4.344298e-05,4.329157e-05,4.313940e-05,4.298672e-05,4.283376e-05,4.268072e-05,4.252781e-05,4.237519e-05,4.222305e-05,4.207153e-05,4.192078e-05,4.177092e-05,4.162207e-05,4.147434e-05,4.132784e-05,4.118264e-05,4.103884e-05,4.089651e-05,4.075570e-05,4.061649e-05,4.047893e-05,4.034306e-05
0.000000e+00,3.249931e-09,7.436518e-09,2.553390e-08,5.799469e-08,8.452170e-08,1.911655e-07,1.968909e-07,3.791152e-07,4.449537e-07,6.482274e-07,8.587876e-07,1.021977e-06,1.472582e-06,1.516947e-06,2.143449e-06,2.313545e-06,2.900877e-06,3.378877e-06,3.779765e-06,4.643774e-06,4.767671e-06,5.852557e-06,6.080181e-06,7.023296e-06,7.662467e-06,8.269236e-06,9.366200e-06,9.579792e-06,1.094427e-05,1.116687e-05,1.235188e-05,1.303969e-05,1.379188e-05,1.496011e-05,1.525373e-05,1.672733e-05,1.690450e-05,1.820317e-05,1.885095e-05,1.967245e-05,2.077977e-05,2.112719e-05,2.256031e-05,2.267384e-05,2.396568e-05,2.451884e-05,2.533800e-05,2.630313e-05,2.667291e-05,2.796683e-05,2.801769e-05,2.921694e-05,2.965582e-05,3.042112e-05,3.121294e-05,3.157787e-05,3.268617e-05,3.374548e-05,3.407409e-05,3.475572e-05,3.537662e-05,3.571711e-05,3.659455e-05,3.663016e-05,3.749560e-05,3.772952e-05,3.831438e-05,3.878369e-05,3.908757e-05,3.975968e-05,3.981638e-05,4.050209e-05,4.066040e-05,4.114607e-05,4.148899e-05,4.174972e-05,4.224871e-05,4.231447e-05,4.284177e-05,4.294286e-05,4.333307e-05,4.357479e-05,4.378980e-05,4.414778e-05,4.421339e-05,4.460525e-05,4.466510e-05,4.496676e-05,4.512990e-05,4.529926e-05,4.554526e-05,4.560407e-05,4.588247e-05,4.591416e-05,4.613570e-05,4.623946e-05,4.636496e-05,4.652389e-05,4.657142e-05,4.675620e-05,4.677008e-05,4.692040e-05,4.698054e-05,4.706505e-05,4.715766e-05,4.719116e-05,4.729971e-05,4.730370e-05,4.739162e-05,4.742081e-05,4.746779e-05,4.751103e-05,4.752908e-05,4.757631e-05,4.761027e-05,4.761846e-05,4.763172e-05,4.763921e-05,4.764137e-05,4.764019e-05,4.763993e-05,4.762806e-05,4.762295e-05,4.760638e-05,4.758892e-05,4.757550e-05,4.753946e-05,4.753600e-05,4.748843e-05,4.747587e-05,4.743332e-05,4.739934e-05,4.737116e-05,4.731101e-05,4.730243e-05,4.722760e-05,4.721193e-05,4.714708e-05,4.710311e-05,4.706130e-05,4.698547e-05,4.697065e-05,4.687550e-05,4.685988e-05,4.677620e-05,4.672716e-05,4.667309e-05,4.658808e-05,4.656650e-05,4.645673e-05,4.644335e-05,4.634405e-05,4.629363e-05,4.622876e-05,4.613954e-05,4.611110e-05,4.599133e-05,4.598166e-05,4.586967e-05,4.582053e-05,4.574635e-05,4.565665e-05,4.562157e-05,4.549554e-05,4.549047e-05,4.536842e-05,4.532244e-05,4.524042e-05,4.515294e-05,4.511167e-05,4.498236e-05,4.481102e-05,4.463926e-05,4.446735e-05,4.429557e-05,4.412415e-05,4.395334e-05,4.378333e-05,4.361431e-05,4.344646e-05,4.327994e-05,4.311487e-05,4.295141e-05,4.278965e-05,4.262970e-05,4.247166e-05,4.231561e-05,4.216162e-05,4.200976e-05,4.186008e-05,4.171262e-05,4.156744e-05,4.142456e-05,4.128400e-05,4.114580e-05
0.000000e+00,1.086512e-09,4.244462e-09,3.211637e-08,1.224102e-07,2.255553e-07,8.396218e-07,8.802067e-07,2.491034e-06,3.203625e-06,5.756710e-06,8.875499e-06,1.157365e-05,2.010441e-05,2.102231e-05,3.534759e-05,3.966232e-05,5.592931e-05,7.073272e-05,8.423335e-05,1.167054e-04,1.217399e-04,1.698631e-04,1.808774e-04,2.298830e-04,2.661679e-04,3.028987e-04,3.749332e-04,3.898011e-04,4.912586e-04,5.088752e-04,6.077119e-04,6.690070e-04,7.393736e-04,8.556534e-04,8.862334e-04,1.048067e-03,1.068475e-03,1.224446e-03,1.306509e-03,1.414756e-03,1.568233e-03,1.618215e-03,1.833889e-03,1.851640e-03,2.060721e-03,2.154321e-03,2.297550e-03,2.473565e-03,2.543139e-03,2.796195e-03,2.806454e-03,3.055394e-03,3.149954e-03,3.319406e-03,3.501008e-03,3.586909e-03,3.856612e-03,4.127270e-03,4.213886e-03,4.397693e-03,4.570122e-03,4.666765e-03,4.922835e-03,4.933444e-03,5.196772e-03,5.269782e-03,5.455878e-03,5.608988e-03,5.709983e-03,5.938746e-03,5.958395e-03,6.200512e-03,6.257624e-03,6.435819e-03,6.564452e-03,6.663883e-03,6.858307e-03,6.884352e-03,7.096947e-03,7.138501e-03,7.301457e-03,7.404556e-03,7.497736e-03,7.656185e-03,7.685698e-03,7.865306e-03,7.893269e-03,8.036574e-03,8.115835e-03,8.199556e-03,8.324035e-03,8.354343e-03,8.501058e-03,8.518128e-03,8.639852e-03,8.698457e-03,8.770901e-03,8.865435e-03,8.894396e-03,9.010549e-03,9.019530e-03,9.119580e-03,9.161250e-03,9.221722e-03,9.291132e-03,9.317214e-03,9.406298e-03,9.409732e-03,9.489222e-03,9.517615e-03,9.566233e-03,9.615348e-03,9.637576e-03,9.703497e-03,9.764235e-03,9.782615e-03,9.820027e-03,9.853246e-03,9.871106e-03,9.915917e-03,9.917697e-03,9.960020e-03,9.971135e-03,9.998289e-03,1.001939e-02,1.003271e-02,1.006115e-02,1.006348e-02,1.009079e-02,1.009685e-02,1.011483e-02,1.012693e-02,1.013577e-02,1.015178e-02,1.015379e-02,1.016904e-02,1.017177e-02,1.018168e-02,1.018727e-02,1.019186e-02,1.019862e-02,1.019972e-02,1.020540e-02,1.020611e-02,1.020902e-02,1.021006e-02,1.021070e-02,1.021074e-02,1.021057e-02,1.020873e-02,1.020840e-02,1.020528e-02,1.020328e-02,1.020033e-02,1.019562e-02,1.019397e-02,1.018629e-02,1.018562e-02,1.017737e-02,1.017347e-02,1.016729e-02,1.015936e-02,1.015613e-02,1.014397e-02,1.014346e-02,1.013086e-02,1.012592e-02,1.011688e-02,1.010690e-02,1.010208e-02,1.008652e-02,1.006491e-02,1.004220e-02,1.001848e-02,9.993865e-03,9.968443e-03,9.942301e-03,9.915520e-03,9.888175e-03,9.860336e-03,9.832067e-03,9.803426e-03,9.774471e-03,9.745252e-03,9.715816e-03,9.686208e-03,9.656468e-03,9.626635e-03,9.596743e-03,9.566823e-03,9.536907e-03,9.507022e-03,9.477193e-03,9.447444e-03,9.417796e-03
0.000000e+00,1.447291e-09,4.724672e-09,2.552714e-08,7.427653e-08,1.195771e-07,3.260403e-07,3.378497e-07,7.361518e-07,8.878318e-07,1.373248e-06,1.896388e-06,2.312801e-06,3.502808e-06,3.622852e-06,5.368698e-06,5.858364e-06,7.596694e-06,9.060797e-06,1.031830e-05,1.310428e-05,1.351102e-05,1.713464e-05,1.790723e-05,2.114605e-05,2.337180e-05,2.550519e-05,2.940858e-05,3.017523e-05,3.512127e-05,3.593596e-05,4.030925e-05,4.287554e-05,4.570557e-05,5.015035e-05,5.127711e-05,5.699157e-05,5.768542e-05,6.281795e-05,6.540939e-05,6.872694e-05,7.325613e-05,7.469123e-05,8.068582e-05,8.116600e-05,8.668807e-05,8.908652e-05,9.267781e-05,9.697258e-05,9.863721e-05,1.045506e-04,1.047860e-04,1.104046e-04,1.124953e-04,1.161877e-04,1.200747e-04,1.218902e-04,1.275040e-04,1.330222e-04,1.347669e-04,1.384394e-04,1.418514e-04,1.437512e-04,1.487480e-04,1.489540e-04,1.540451e-04,1.554503e-04,1.590224e-04,1.619536e-04,1.638847e-04,1.682554e-04,1.686308e-04,1.732604e-04,1.743542e-04,1.777734e-04,1.802498e-04,1.821699e-04,1.859429e-04,1.864505e-04,1.906157e-04,1.914350e-04,1.946666e-04,1.967282e-04,1.986042e-04,2.018251e-04,2.024297e-04,2.061444e-04,2.067286e-04,2.097499e-04,2.114421e-04,2.132476e-04,2.159692e-04,2.166390e-04,2.199260e-04,2.203135e-04,2.231102e-04,2.244791e-04,2.261933e-04,2.284699e-04,2.291771e-04,2.320635e-04,2.322902e-04,2.348543e-04,2.359442e-04,2.375513e-04,2.394361e-04,2.401564e-04,2.426715e-04,2.427703e-04,2.450985e-04,2.459509e-04,2.474391e-04,2.489824e-04,2.496954e-04,2.518690e-04,2.539620e-04,2.546150e-04,2.559761e-04,2.572245e-04,2.579131e-04,2.597018e-04,2.597749e-04,2.615632e-04,2.620510e-04,2.632799e-04,2.642762e-04,2.649266e-04,2.663812e-04,2.665051e-04,2.680171e-04,2.683702e-04,2.694643e-04,2.702470e-04,2.708483e-04,2.720154e-04,2.721709e-04,2.734335e-04,2.736790e-04,2.746379e-04,2.752416e-04,2.757855e-04,2.767067e-04,2.768779e-04,2.779166e-04,2.780779e-04,2.789031e-04,2.793585e-04,2.798388e-04,2.805518e-04,2.807252e-04,2.815637e-04,2.816612e-04,2.823556e-04,2.826897e-04,2.831024e-04,2.836405e-04,2.838053e-04,2.844656e-04,2.845166e-04,2.850846e-04,2.853210e-04,2.856636e-04,2.860564e-04,2.862037e-04,2.867062e-04,2.867256e-04,2.871723e-04,2.873313e-04,2.876029e-04,2.878762e-04,2.879994e-04,2.883628e-04,2.887935e-04,2.891707e-04,2.894968e-04,2.897739e-04,2.900044e-04,2.901902e-04,2.903334e-04,2.904360e-04,2.904999e-04,2.905270e-04,2.905189e-04,2.904775e-04,2.904045e-04,2.903013e-04,2.901696e-04,2.900109e-04,2.898266e-04,2.896181e-04,2.893868e-04,2.891339e-04,2.888606e-04,2.885683e-04,2.882580e-04,2.879308e-04
0.000000e+00,2.570605e-11,9.875609e-11,7.224384e-10,2.674504e-09,4.854546e-09,1.745790e-08,1.827900e-08,5.042709e-08,6.452099e-08,1.149089e-07,1.766669e-07,2.304593e-07,4.030383e-07,4.218230e-07,7.191941e-07,8.099232e-07,1.154347e-06,1.468520e-06,1.753815e-06,2.429762e-06,2.532931e-06,3.493881e-06,3.707242e-06,4.627408e-06,5.279501e-06,5.916138e-06,7.102515e-06,7.337966e-06,8.868749e-06,9.122152e-06,1.048420e-05,1.128281e-05,1.216108e-05,1.353227e-05,1.387785e-05,1.561505e-05,1.582404e-05,1.735536e-05,1.811811e-05,1.908364e-05,2.038098e-05,2.078683e-05,2.245386e-05,2.258538e-05,2.407552e-05,2.470974e-05,2.564429e-05,2.673767e-05,2.715424e-05,2.860086e-05,2.865735e-05,2.998088e-05,3.046095e-05,3.129219e-05,3.214401e-05,3.253363e-05,3.370490e-05,3.480640e-05,3.514429e-05,3.583912e-05,3.646464e-05,3.680455e-05,3.766979e-05,3.770456e-05,3.854129e-05,3.876456e-05,3.931714e-05,3.975447e-05,4.003463e-05,4.064546e-05,4.069641e-05,4.130515e-05,4.144366e-05,4.186356e-05,4.215528e-05,4.237431e-05,4.278643e-05,4.284003e-05,4.326329e-05,4.334307e-05,4.364658e-05,4.383090e-05,4.399231e-05,4.425537e-05,4.430277e-05,4.458016e-05,4.462162e-05,4.482659e-05,4.493446e-05,4.504404e-05,4.519840e-05,4.523440e-05,4.539945e-05,4.541763e-05,4.554087e-05,4.559603e-05,4.566026e-05,4.573717e-05,4.575910e-05,4.583880e-05,4.584439e-05,4.590068e-05,4.592072e-05,4.594598e-05,4.596898e-05,4.597586e-05,4.599140e-05,4.599174e-05,4.599364e-05,4.599137e-05,4.598352e-05,4.597003e-05,4.596193e-05,4.592973e-05,4.588768e-05,4.587227e-05,4.583654e-05,4.579935e-05,4.577698e-05,4.571248e-05,4.570965e-05,4.563514e-05,4.561307e-05,4.555403e-05,4.550241e-05,4.546684e-05,4.538167e-05,4.537405e-05,4.527614e-05,4.525193e-05,4.517354e-05,4.511418e-05,4.506664e-05,4.496931e-05,4.495582e-05,4.484144e-05,4.481816e-05,4.472382e-05,4.466149e-05,4.460328e-05,4.449998e-05,4.448010e-05,4.435456e-05,4.433427e-05,4.422691e-05,4.416495e-05,4.409738e-05,4.399255e-05,4.396619e-05,4.383356e-05,4.381755e-05,4.369967e-05,4.364041e-05,4.356470e-05,4.346152e-05,4.342884e-05,4.329222e-05,4.328126e-05,4.315500e-05,4.309998e-05,4.301733e-05,4.291799e-05,4.287932e-05,4.274110e-05,4.273557e-05,4.260278e-05,4.255298e-05,4.246447e-05,4.237046e-05,4.232625e-05,4.218824e-05,4.200650e-05,4.182542e-05,4.164518e-05,4.146592e-05,4.128777e-05,4.111086e-05,4.093530e-05,4.076119e-05,4.058862e-05,4.041767e-05,4.024841e-05,4.008091e-05,3.991522e-05,3.975140e-05,3.958948e-05,3.942952e-05,3.927153e-05,3.911555e-05,3.896161e-05,3.880972e-05,3.865990e-05,3.851216e-05,3.836651e-05,3.822296e-05
0.000000e+00,3.661218e-10,1.124641e-09,5.471568e-09,1.474102e-08,2.287346e-08,5.742448e-08,5.932288e-08,1.206212e-07,1.429781e-07,2.121980e-07,2.839509e-07,3.395379e-07,4.931403e-07,5.082988e-07,7.240063e-07,7.833030e-07,9.911698e-07,1.164137e-06,1.311704e-06,1.635898e-06,1.682880e-06,2.095882e-06,2.182319e-06,2.536544e-06,2.771173e-06,2.988541e-06,3.366092e-06,3.437136e-06,3.871335e-06,3.938953e-06,4.284128e-06,4.473444e-06,4.671673e-06,4.962351e-06,5.032289e-06,5.365625e-06,5.403807e-06,5.672122e-06,5.798699e-06,5.952677e-06,6.149251e-06,6.208442e-06,6.440727e-06,6.458337e-06,6.650925e-06,6.729142e-06,6.840476e-06,6.964986e-06,7.010836e-06,7.163449e-06,7.169205e-06,7.299736e-06,7.345068e-06,7.421069e-06,7.495708e-06,7.528764e-06,7.624059e-06,7.708103e-06,7.732797e-06,7.781962e-06,7.824350e-06,7.846631e-06,7.900914e-06,7.903022e-06,7.951950e-06,7.964415e-06,7.994156e-06,8.016537e-06,8.030314e-06,8.058756e-06,8.061026e-06,8.086826e-06,8.092342e-06,8.108193e-06,8.118383e-06,8.125554e-06,8.137822e-06,8.139290e-06,8.149740e-06,8.151464e-06,8.157210e-06,8.160007e-06,8.161969e-06,8.164045e-06,8.164253e-06,8.164268e-06,8.164072e-06,8.162203e-06,8.160525e-06,8.158231e-06,8.153781e-06,8.152501e-06,8.145150e-06,8.144165e-06,8.136302e-06,8.131964e-06,8.126070e-06,8.117431e-06,8.114555e-06,8.101852e-06,8.100787e-06,8.088046e-06,8.082232e-06,8.073214e-06,8.061942e-06,8.057431e-06,8.040762e-06,8.040077e-06,8.023269e-06,8.016782e-06,8.005011e-06,7.992185e-06,7.986040e-06,7.966407e-06,7.946157e-06,7.939554e-06,7.925335e-06,7.911728e-06,7.903982e-06,7.883018e-06,7.882135e-06,7.859832e-06,7.853510e-06,7.837106e-06,7.823280e-06,7.813989e-06,7.792402e-06,7.790511e-06,7.766702e-06,7.760941e-06,7.742587e-06,7.728959e-06,7.718192e-06,7.696513e-06,7.693542e-06,7.668660e-06,7.663657e-06,7.643566e-06,7.630441e-06,7.618282e-06,7.596911e-06,7.592828e-06,7.567221e-06,7.563110e-06,7.541479e-06,7.529079e-06,7.515618e-06,7.494856e-06,7.489656e-06,7.463605e-06,7.460474e-06,7.437482e-06,7.425968e-06,7.411299e-06,7.391368e-06,7.385069e-06,7.358805e-06,7.356703e-06,7.332517e-06,7.321999e-06,7.306218e-06,7.287281e-06,7.279917e-06,7.253625e-06,7.252574e-06,7.227350e-06,7.217898e-06,7.201103e-06,7.183274e-06,7.174890e-06,7.148722e-06,7.114258e-06,7.079900e-06,7.045663e-06,7.011562e-06,6.977609e-06,6.943818e-06,6.910200e-06,6.876765e-06,6.843524e-06,6.810486e-06,6.777660e-06,6.745052e-06,6.712671e-06,6.680523e-06,6.648615e-06,6.616951e-06,6.585537e-06,6.554378e-06,6.523478e-06,6.492841e-06,6.462469e-06,6.432367e-06,6.402536e-06,6.372980e-06
0.000000e+00,1.235579e-09,2.866570e-09,9.959685e-09,2.268740e-08,3.306853e-08,7.461490e-08,7.683777e-08,1.472585e-07,1.725676e-07,2.503452e-07,3.304177e-07,3.921764e-07,5.614983e-07,5.780786e-07,8.106050e-07,8.732470e-07,1.088125e-06,1.261568e-06,1.406176e-06,1.715582e-06,1.759724e-06,2.144135e-06,2.224344e-06,2.555166e-06,2.778066e-06,2.988735e-06,3.367370e-06,3.440766e-06,3.907137e-06,3.982811e-06,4.383708e-06,4.614877e-06,4.866379e-06,5.254235e-06,5.351181e-06,5.834357e-06,5.892061e-06,6.312436e-06,6.520355e-06,6.782286e-06,7.132163e-06,7.241158e-06,7.686701e-06,7.721708e-06,8.116969e-06,8.284439e-06,8.530409e-06,8.816988e-06,8.925839e-06,9.302422e-06,9.317085e-06,9.659627e-06,9.783420e-06,9.997196e-06,1.021551e-05,1.031510e-05,1.061352e-05,1.089279e-05,1.097818e-05,1.115336e-05,1.131059e-05,1.139582e-05,1.161214e-05,1.162081e-05,1.182903e-05,1.188443e-05,1.202122e-05,1.212916e-05,1.219814e-05,1.234809e-05,1.236056e-05,1.250925e-05,1.254298e-05,1.264497e-05,1.271558e-05,1.276845e-05,1.286757e-05,1.288042e-05,1.298157e-05,1.300056e-05,1.307256e-05,1.311608e-05,1.315404e-05,1.321556e-05,1.322660e-05,1.329082e-05,1.330036e-05,1.334724e-05,1.337171e-05,1.339639e-05,1.343078e-05,1.343873e-05,1.347473e-05,1.347864e-05,1.350481e-05,1.351628e-05,1.352938e-05,1.354460e-05,1.354882e-05,1.356347e-05,1.356445e-05,1.357367e-05,1.357658e-05,1.357973e-05,1.358170e-05,1.358195e-05,1.358058e-05,1.358045e-05,1.357589e-05,1.357343e-05,1.356811e-05,1.356117e-05,1.355747e-05,1.354417e-05,1.352842e-05,1.352288e-05,1.351038e-05,1.349772e-05,1.349023e-05,1.346906e-05,1.346814e-05,1.344424e-05,1.343725e-05,1.341869e-05,1.340261e-05,1.339160e-05,1.336544e-05,1.336311e-05,1.333332e-05,1.332599e-05,1.330235e-05,1.328452e-05,1.327028e-05,1.324125e-05,1.323723e-05,1.320327e-05,1.319638e-05,1.316849e-05,1.315011e-05,1.313296e-05,1.310260e-05,1.309677e-05,1.305996e-05,1.305402e-05,1.302262e-05,1.300452e-05,1.298479e-05,1.295422e-05,1.294654e-05,1.290791e-05,1.290325e-05,1.286896e-05,1.285173e-05,1.282972e-05,1.279975e-05,1.279026e-05,1.275059e-05,1.274741e-05,1.271077e-05,1.269481e-05,1.267083e-05,1.264201e-05,1.263080e-05,1.259071e-05,1.258910e-05,1.255059e-05,1.253614e-05,1.251047e-05,1.248320e-05,1.247037e-05,1.243033e-05,1.237757e-05,1.232499e-05,1.227262e-05,1.222051e-05,1.216868e-05,1.211718e-05,1.206603e-05,1.201526e-05,1.196489e-05,1.191496e-05,1.186547e-05,1.181645e-05,1.176791e-05,1.171986e-05,1.167233e-05,1.162532e-05,1.157884e-05,1.153290e-05,1.148750e-05,1.144267e-05,1.139839e-05,1.135467e-05,1.131152e-05,1.126894e-05
0.000000e+00,8.463089e-09,1.938930e-08,6.668494e-08,1.519819e-07,2.222488e-07,5.105323e-07,5.262813e-07,1.041992e-06,1.234980e-06,1.850732e-06,2.514512e-06,3.041571e-06,4.520091e-06,4.665791e-06,6.694916e-06,7.233703e-06,9.051373e-06,1.048575e-05,1.166183e-05,1.412730e-05,1.447414e-05,1.745249e-05,1.806562e-05,2.056990e-05,2.223818e-05,2.380324e-05,2.659263e-05,2.713036e-05,3.052886e-05,3.107771e-05,3.397578e-05,3.564064e-05,3.744772e-05,4.022743e-05,4.092111e-05,4.437283e-05,4.478452e-05,4.778068e-05,4.926081e-05,5.112383e-05,5.360953e-05,5.438317e-05,5.754158e-05,5.778944e-05,6.058448e-05,6.176650e-05,6.349975e-05,6.551413e-05,6.627759e-05,6.891047e-05,6.901269e-05,7.139310e-05,7.224939e-05,7.372223e-05,7.521755e-05,7.589640e-05,7.791573e-05,7.978177e-05,8.034695e-05,8.149724e-05,8.251780e-05,8.306586e-05,8.443787e-05,8.449226e-05,8.578143e-05,8.611851e-05,8.693871e-05,8.757225e-05,8.797008e-05,8.881294e-05,8.888159e-05,8.967941e-05,8.985466e-05,9.036977e-05,9.071174e-05,9.095884e-05,9.139825e-05,9.145268e-05,9.185719e-05,9.192788e-05,9.217813e-05,9.231385e-05,9.242107e-05,9.256876e-05,9.259133e-05,9.269402e-05,9.270450e-05,9.273396e-05,9.273222e-05,9.271579e-05,9.266233e-05,9.264384e-05,9.252225e-05,9.250451e-05,9.235492e-05,9.226776e-05,9.214552e-05,9.196037e-05,9.189750e-05,9.161408e-05,9.158997e-05,9.129832e-05,9.116359e-05,9.095303e-05,9.068764e-05,9.058087e-05,9.018433e-05,9.016799e-05,8.976571e-05,8.961003e-05,8.932719e-05,8.901866e-05,8.887077e-05,8.839833e-05,8.791162e-05,8.775312e-05,8.741225e-05,8.708671e-05,8.690173e-05,8.640246e-05,8.638148e-05,8.585278e-05,8.570340e-05,8.531684e-05,8.499228e-05,8.477479e-05,8.427159e-05,8.422766e-05,8.367641e-05,8.354359e-05,8.312192e-05,8.281030e-05,8.256501e-05,8.207354e-05,8.200645e-05,8.144692e-05,8.133496e-05,8.088708e-05,8.059604e-05,8.032752e-05,7.985810e-05,7.976878e-05,7.921136e-05,7.912232e-05,7.865572e-05,7.838978e-05,7.810229e-05,7.766139e-05,7.755145e-05,7.700354e-05,7.693801e-05,7.645890e-05,7.622036e-05,7.591780e-05,7.550911e-05,7.538053e-05,7.484730e-05,7.480482e-05,7.431834e-05,7.410800e-05,7.379385e-05,7.341908e-05,7.327400e-05,7.275894e-05,7.273844e-05,7.224881e-05,7.206639e-05,7.174372e-05,7.140321e-05,7.124380e-05,7.074913e-05,7.010433e-05,6.946897e-05,6.884315e-05,6.822698e-05,6.762051e-05,6.702378e-05,6.643680e-05,6.585956e-05,6.529206e-05,6.473424e-05,6.418606e-05,6.364744e-05,6.311833e-05,6.259862e-05,6.208823e-05,6.158706e-05,6.109499e-05,6.061191e-05,6.013771e-05,5.967225e-05,5.921542e-05,5.876708e-05,5.832710e-05,5.789534e-05
0.000000e+00,5.761817e-11,2.212616e-10,1.616688e-09,5.975934e-09,1.083567e-08,3.882954e-08,4.064881e-08,1.115793e-07,1.425289e-07,2.526320e-07,3.866603e-07,5.027483e-07,8.721062e-07,9.120792e-07,1.540516e-06,1.730952e-06,2.449918e-06,3.101486e-06,3.690417e-06,5.077314e-06,5.288068e-06,7.240583e-06,7.671649e-06,9.520951e-06,1.082206e-05,1.208484e-05,1.441826e-05,1.487827e-05,1.784384e-05,1.833050e-05,2.092518e-05,2.242969e-05,2.406963e-05,2.659863e-05,2.722987e-05,3.036452e-05,3.073722e-05,3.343832e-05,3.476376e-05,3.642196e-05,3.861444e-05,3.929173e-05,4.202902e-05,4.224183e-05,4.461990e-05,4.561294e-05,4.705458e-05,4.870726e-05,4.932692e-05,5.143392e-05,5.151475e-05,5.337531e-05,5.403399e-05,5.515310e-05,5.627044e-05,5.677113e-05,5.823473e-05,5.955039e-05,5.994132e-05,6.072538e-05,6.140715e-05,6.176753e-05,6.265064e-05,6.268506e-05,6.348627e-05,6.369090e-05,6.417949e-05,6.454700e-05,6.477290e-05,6.523748e-05,6.527440e-05,6.569160e-05,6.577999e-05,6.603172e-05,6.619108e-05,6.630158e-05,6.648603e-05,6.650758e-05,6.665565e-05,6.667881e-05,6.675132e-05,6.678206e-05,6.679966e-05,6.680713e-05,6.680536e-05,6.677269e-05,6.676417e-05,6.670557e-05,6.666218e-05,6.660758e-05,6.650914e-05,6.648195e-05,6.633163e-05,6.631206e-05,6.615930e-05,6.607712e-05,6.596736e-05,6.580973e-05,6.575801e-05,6.553323e-05,6.551463e-05,6.529480e-05,6.519598e-05,6.504435e-05,6.485741e-05,6.478334e-05,6.451308e-05,6.450209e-05,6.423477e-05,6.413282e-05,6.394949e-05,6.375201e-05,6.365820e-05,6.336181e-05,6.306109e-05,6.296407e-05,6.275679e-05,6.256045e-05,6.244955e-05,6.215239e-05,6.213997e-05,6.182859e-05,6.174115e-05,6.151590e-05,6.132784e-05,6.120234e-05,6.091344e-05,6.088831e-05,6.057419e-05,6.049882e-05,6.026030e-05,6.008474e-05,5.994695e-05,5.967186e-05,5.963440e-05,5.932292e-05,5.926078e-05,5.901273e-05,5.885201e-05,5.870403e-05,5.844602e-05,5.839702e-05,5.809185e-05,5.804321e-05,5.778869e-05,5.764392e-05,5.748767e-05,5.724848e-05,5.718892e-05,5.689255e-05,5.685715e-05,5.659867e-05,5.647017e-05,5.630736e-05,5.608774e-05,5.601871e-05,5.573279e-05,5.571004e-05,5.544967e-05,5.533721e-05,5.516940e-05,5.496940e-05,5.489203e-05,5.461761e-05,5.460670e-05,5.434618e-05,5.424920e-05,5.407776e-05,5.389698e-05,5.381239e-05,5.355009e-05,5.320858e-05,5.287248e-05,5.254181e-05,5.221658e-05,5.189679e-05,5.158243e-05,5.127349e-05,5.096995e-05,5.067178e-05,5.037894e-05,5.009140e-05,4.980911e-05,4.953204e-05,4.926012e-05,4.899331e-05,4.873155e-05,4.847478e-05,4.822294e-05,4.797597e-05,4.773380e-05,4.749638e-05,4.726362e-05,4.703547e-05,4.681186e-05
0.000000e+00,1.113772e-10,4.217337e-10,2.995205e-09,1.079701e-08,1.931440e-08,6.687882e-08,6.991559e-08,1.855739e-07,2.348891e-07,4.067707e-07,6.106248e-07,7.835829e-07,1.316511e-06,1.372809e-06,2.228890e-06,2.478971e-06,3.392447e-06,4.187093e-06,4.884903e-06,6.473929e-06,6.710383e-06,8.860515e-06,9.328152e-06,1.131880e-05,1.271184e-05,1.406356e-05,1.657230e-05,1.706976e-05,2.031000e-05,2.084824e-05,2.375534e-05,2.547319e-05,2.737588e-05,3.037821e-05,3.114150e-05,3.502240e-05,3.549448e-05,3.898979e-05,4.075574e-05,4.301636e-05,4.610045e-05,4.707674e-05,5.114778e-05,5.147328e-05,5.520872e-05,5.682610e-05,5.924130e-05,6.211821e-05,6.322968e-05,6.716035e-05,6.731621e-05,7.102200e-05,7.239345e-05,7.480531e-05,7.732931e-05,7.850275e-05,8.210837e-05,8.561758e-05,8.671959e-05,8.902702e-05,9.115559e-05,9.233435e-05,9.541192e-05,9.553807e-05,9.863740e-05,9.948647e-05,1.016322e-04,1.033790e-04,1.045227e-04,1.070906e-04,1.073098e-04,1.099945e-04,1.106237e-04,1.125780e-04,1.139812e-04,1.150620e-04,1.171670e-04,1.174482e-04,1.197385e-04,1.201852e-04,1.219347e-04,1.230403e-04,1.240391e-04,1.257372e-04,1.260536e-04,1.279804e-04,1.282807e-04,1.298218e-04,1.306759e-04,1.315798e-04,1.329278e-04,1.332568e-04,1.348549e-04,1.350415e-04,1.363763e-04,1.370219e-04,1.378231e-04,1.388742e-04,1.391976e-04,1.405019e-04,1.406032e-04,1.417380e-04,1.422138e-04,1.429080e-04,1.437107e-04,1.440140e-04,1.450580e-04,1.450985e-04,1.460419e-04,1.463817e-04,1.469676e-04,1.475649e-04,1.478371e-04,1.486522e-04,1.494146e-04,1.496477e-04,1.501262e-04,1.505557e-04,1.507886e-04,1.513799e-04,1.514036e-04,1.519728e-04,1.521241e-04,1.524977e-04,1.527921e-04,1.529799e-04,1.533872e-04,1.534210e-04,1.538224e-04,1.539130e-04,1.541856e-04,1.543727e-04,1.545119e-04,1.547696e-04,1.548026e-04,1.550592e-04,1.551065e-04,1.552829e-04,1.553866e-04,1.554749e-04,1.556125e-04,1.556364e-04,1.557686e-04,1.557871e-04,1.558726e-04,1.559129e-04,1.559496e-04,1.559925e-04,1.560006e-04,1.560267e-04,1.560281e-04,1.560287e-04,1.560223e-04,1.560078e-04,1.559771e-04,1.559648e-04,1.559007e-04,1.558947e-04,1.558164e-04,1.557771e-04,1.557126e-04,1.556263e-04,1.555903e-04,1.554502e-04,1.554442e-04,1.552931e-04,1.552325e-04,1.551197e-04,1.549929e-04,1.549308e-04,1.547271e-04,1.544367e-04,1.541231e-04,1.537878e-04,1.534322e-04,1.530574e-04,1.526649e-04,1.522558e-04,1.518312e-04,1.513923e-04,1.509399e-04,1.504752e-04,1.499991e-04,1.495125e-04,1.490162e-04,1.485110e-04,1.479977e-04,1.474771e-04,1.469498e-04,1.464165e-04,1.458779e-04,1.453345e-04,1.447870e-04,1.442358e-04,1.436815e-04
0.000000e+00,2.531513e-10,9.171527e-10,5.963884e-09,1.991138e-08,3.419635e-08,1.069807e-07,1.113889e-07,2.685167e-07,3.312844e-07,5.384513e-07,7.686628e-07,9.551882e-07,1.497928e-06,1.553233e-06,2.364451e-06,2.593638e-06,3.410966e-06,4.102757e-06,4.698891e-06,6.024950e-06,6.219077e-06,7.953055e-06,8.323572e-06,9.878573e-06,1.094787e-05,1.197253e-05,1.384475e-05,1.421186e-05,1.657360e-05,1.696130e-05,1.903472e-05,2.024462e-05,2.157228e-05,2.364209e-05,2.416358e-05,2.678660e-05,2.710249e-05,2.942040e-05,3.057760e-05,3.204548e-05,3.402372e-05,3.464410e-05,3.720051e-05,3.740278e-05,3.970108e-05,4.068302e-05,4.213428e-05,4.383909e-05,4.449067e-05,4.676278e-05,4.685183e-05,4.894499e-05,4.970775e-05,5.103328e-05,5.239832e-05,5.302511e-05,5.491919e-05,5.671531e-05,5.726948e-05,5.841416e-05,5.945101e-05,6.001716e-05,6.146770e-05,6.152629e-05,6.294404e-05,6.332501e-05,6.427322e-05,6.502948e-05,6.551690e-05,6.658836e-05,6.667832e-05,6.776085e-05,6.800929e-05,6.876789e-05,6.930013e-05,6.970286e-05,7.046871e-05,7.056915e-05,7.137012e-05,7.152276e-05,7.210902e-05,7.246979e-05,7.278905e-05,7.331703e-05,7.341328e-05,7.398469e-05,7.407141e-05,7.450614e-05,7.473950e-05,7.498036e-05,7.532750e-05,7.540998e-05,7.579751e-05,7.584129e-05,7.614532e-05,7.628637e-05,7.645569e-05,7.666788e-05,7.673079e-05,7.697267e-05,7.699064e-05,7.718327e-05,7.725917e-05,7.736445e-05,7.747766e-05,7.751795e-05,7.764545e-05,7.765003e-05,7.774850e-05,7.777991e-05,7.782861e-05,7.787069e-05,7.788717e-05,7.792552e-05,7.794492e-05,7.794732e-05,7.794656e-05,7.793881e-05,7.793157e-05,7.790252e-05,7.790101e-05,7.785590e-05,7.784079e-05,7.779717e-05,7.775578e-05,7.772574e-05,7.764952e-05,7.764244e-05,7.754809e-05,7.752388e-05,7.744343e-05,7.738059e-05,7.732919e-05,7.722127e-05,7.720604e-05,7.707462e-05,7.704739e-05,7.693552e-05,7.686036e-05,7.678933e-05,7.666144e-05,7.663658e-05,7.647778e-05,7.645184e-05,7.631340e-05,7.623265e-05,7.614389e-05,7.600489e-05,7.596969e-05,7.579120e-05,7.576951e-05,7.560879e-05,7.552739e-05,7.542283e-05,7.527933e-05,7.523365e-05,7.504158e-05,7.502609e-05,7.484690e-05,7.476837e-05,7.464991e-05,7.450680e-05,7.445088e-05,7.425005e-05,7.424199e-05,7.404767e-05,7.397448e-05,7.384396e-05,7.370478e-05,7.363913e-05,7.343337e-05,7.316068e-05,7.288711e-05,7.261303e-05,7.233878e-05,7.206467e-05,7.179101e-05,7.151804e-05,7.124602e-05,7.097517e-05,7.070570e-05,7.043780e-05,7.017163e-05,6.990737e-05,6.964514e-05,6.938508e-05,6.912731e-05,6.887194e-05,6.861905e-05,6.836874e-05,6.812107e-05,6.787613e-05,6.763397e-05,6.739464e-05,6.715818e-05
0.000000e+00,9.576276e-11,3.676037e-10,2.683070e-09,9.901266e-09,1.792915e-08,6.389800e-08,6.687185e-08,1.818123e-07,2.314420e-07,4.059321e-07,6.147327e-07,7.929263e-07,1.346624e-06,1.405499e-06,2.309621e-06,2.576867e-06,3.564794e-06,4.438629e-06,5.216428e-06,7.021377e-06,7.293732e-06,9.811243e-06,1.036797e-05,1.277138e-05,1.448346e-05,1.616675e-05,1.934411e-05,1.998189e-05,2.419452e-05,2.490362e-05,2.877648e-05,3.109744e-05,3.369461e-05,3.784618e-05,3.891157e-05,4.438675e-05,4.505911e-05,5.007725e-05,5.263790e-05,5.593882e-05,6.048059e-05,6.192690e-05,6.799754e-05,6.848547e-05,7.410823e-05,7.655461e-05,8.021867e-05,8.459682e-05,8.629130e-05,9.229184e-05,9.252991e-05,9.818948e-05,1.002821e-04,1.039572e-04,1.077929e-04,1.095715e-04,1.150130e-04,1.202653e-04,1.219039e-04,1.253158e-04,1.284376e-04,1.301548e-04,1.345949e-04,1.347755e-04,1.391734e-04,1.403646e-04,1.433466e-04,1.457424e-04,1.472948e-04,1.507297e-04,1.510195e-04,1.545237e-04,1.553324e-04,1.578115e-04,1.595599e-04,1.608878e-04,1.634246e-04,1.637584e-04,1.664297e-04,1.669406e-04,1.689084e-04,1.701237e-04,1.712018e-04,1.729902e-04,1.733170e-04,1.752616e-04,1.755574e-04,1.770429e-04,1.778421e-04,1.786683e-04,1.798614e-04,1.801452e-04,1.814808e-04,1.816319e-04,1.826821e-04,1.831699e-04,1.837559e-04,1.844908e-04,1.847089e-04,1.855474e-04,1.856098e-04,1.862778e-04,1.865410e-04,1.869059e-04,1.872981e-04,1.874375e-04,1.878780e-04,1.878938e-04,1.882327e-04,1.883404e-04,1.885066e-04,1.886492e-04,1.887046e-04,1.888311e-04,1.888905e-04,1.888960e-04,1.888869e-04,1.888535e-04,1.888244e-04,1.887123e-04,1.887066e-04,1.885371e-04,1.884809e-04,1.883193e-04,1.881668e-04,1.880564e-04,1.877773e-04,1.877515e-04,1.874073e-04,1.873192e-04,1.870267e-04,1.867986e-04,1.866122e-04,1.862214e-04,1.861663e-04,1.856913e-04,1.855930e-04,1.851894e-04,1.849185e-04,1.846627e-04,1.842025e-04,1.841132e-04,1.835426e-04,1.834495e-04,1.829528e-04,1.826633e-04,1.823453e-04,1.818478e-04,1.817219e-04,1.810839e-04,1.810064e-04,1.804327e-04,1.801424e-04,1.797697e-04,1.792587e-04,1.790961e-04,1.784130e-04,1.783580e-04,1.777216e-04,1.774429e-04,1.770229e-04,1.765158e-04,1.763178e-04,1.756074e-04,1.755789e-04,1.748924e-04,1.746340e-04,1.741736e-04,1.736831e-04,1.734519e-04,1.727279e-04,1.717698e-04,1.708105e-04,1.698510e-04,1.688928e-04,1.679368e-04,1.669842e-04,1.660357e-04,1.650922e-04,1.641546e-04,1.632234e-04,1.622994e-04,1.613830e-04,1.604749e-04,1.595754e-04,1.586850e-04,1.578039e-04,1.569326e-04,1.560714e-04,1.552203e-04,1.543798e-04,1.535499e-04,1.527308e-04,1.519226e-04,1.511255e-04
0.000000e+00,3.293918e-09,9.794904e-09,4.585563e-08,1.221531e-07,1.896884e-07,4.855966e-07,5.022811e-07,1.063026e-06,1.277277e-06,1.968004e-06,2.717477e-06,3.312720e-06,4.974037e-06,5.136864e-06,7.387982e-06,7.980997e-06,9.969329e-06,1.152642e-05,1.279583e-05,1.543563e-05,1.580461e-05,1.894694e-05,1.958769e-05,2.218139e-05,2.388730e-05,2.547102e-05,2.825250e-05,2.878256e-05,3.208659e-05,3.261278e-05,3.535776e-05,3.690987e-05,3.857487e-05,4.109799e-05,4.172078e-05,4.478206e-05,4.514321e-05,4.774861e-05,4.902194e-05,5.061324e-05,5.271909e-05,5.337104e-05,5.601911e-05,5.622616e-05,5.855612e-05,5.953976e-05,6.098196e-05,6.266020e-05,6.329751e-05,6.550439e-05,6.559043e-05,6.760476e-05,6.833530e-05,6.960118e-05,7.090082e-05,7.149651e-05,7.329382e-05,7.499635e-05,7.552168e-05,7.660738e-05,7.759196e-05,7.813024e-05,7.951230e-05,7.956824e-05,8.092467e-05,8.129030e-05,8.220280e-05,8.293342e-05,8.340581e-05,8.444891e-05,8.453681e-05,8.559886e-05,8.584382e-05,8.659490e-05,8.712493e-05,8.752781e-05,8.829876e-05,8.840037e-05,8.921527e-05,8.937157e-05,8.997511e-05,9.034930e-05,9.068239e-05,9.123766e-05,9.133953e-05,9.194884e-05,9.204204e-05,9.251257e-05,9.276760e-05,9.303286e-05,9.341921e-05,9.351178e-05,9.395131e-05,9.400149e-05,9.435334e-05,9.451883e-05,9.471970e-05,9.497536e-05,9.505214e-05,9.535233e-05,9.537500e-05,9.562188e-05,9.572146e-05,9.586230e-05,9.601821e-05,9.607508e-05,9.626162e-05,9.626855e-05,9.642325e-05,9.647559e-05,9.656127e-05,9.664226e-05,9.667690e-05,9.677131e-05,9.684562e-05,9.686533e-05,9.690090e-05,9.692678e-05,9.693819e-05,9.695794e-05,9.695844e-05,9.696259e-05,9.696099e-05,9.695154e-05,9.693796e-05,9.692612e-05,9.689075e-05,9.688716e-05,9.683541e-05,9.682117e-05,9.677162e-05,9.673091e-05,9.669650e-05,9.662154e-05,9.661070e-05,9.651488e-05,9.649456e-05,9.640963e-05,9.635137e-05,9.629554e-05,9.619328e-05,9.617316e-05,9.604303e-05,9.602152e-05,9.590563e-05,9.583724e-05,9.576145e-05,9.564153e-05,9.561095e-05,9.545455e-05,9.543541e-05,9.529268e-05,9.521982e-05,9.512572e-05,9.499566e-05,9.495405e-05,9.477803e-05,9.476377e-05,9.459799e-05,9.452492e-05,9.441426e-05,9.427986e-05,9.422714e-05,9.403693e-05,9.402926e-05,9.384390e-05,9.377377e-05,9.364832e-05,9.351400e-05,9.345044e-05,9.325049e-05,9.298378e-05,9.271436e-05,9.244268e-05,9.216917e-05,9.189423e-05,9.161823e-05,9.134152e-05,9.106441e-05,9.078722e-05,9.051021e-05,9.023364e-05,8.995776e-05,8.968279e-05,8.940893e-05,8.913637e-05,8.886529e-05,8.859585e-05,8.832821e-05,8.806249e-05,8.779882e-05,8.753733e-05,8.727811e-05,8.702125e-05,8.676685e-05
0.000000e+00,4.177291e-09,9.594630e-09,3.313486e-08,7.571608e-08,1.108262e-07,2.547082e-07,2.625541e-07,5.184633e-07,6.137547e-07,9.165829e-07,1.242256e-06,1.501420e-06,2.236862e-06,2.310224e-06,3.349864e-06,3.631162e-06,4.593352e-06,5.364161e-06,6.001922e-06,7.351259e-06,7.542140e-06,9.188933e-06,9.529320e-06,1.092310e-05,1.185401e-05,1.272865e-05,1.428989e-05,1.459114e-05,1.649681e-05,1.680482e-05,1.843226e-05,1.936802e-05,2.038446e-05,2.194981e-05,2.234084e-05,2.428951e-05,2.452230e-05,2.621944e-05,2.706005e-05,2.812061e-05,2.954075e-05,2.998413e-05,3.180225e-05,3.194553e-05,3.356842e-05,3.425911e-05,3.527729e-05,3.646977e-05,3.692462e-05,3.850718e-05,3.856910e-05,4.002267e-05,4.055152e-05,4.146962e-05,4.241399e-05,4.284728e-05,4.415554e-05,4.539478e-05,4.577690e-05,4.656587e-05,4.728013e-05,4.766999e-05,4.866834e-05,4.870865e-05,4.968357e-05,4.994537e-05,5.059663e-05,5.111563e-05,5.144988e-05,5.218384e-05,5.224541e-05,5.298541e-05,5.315499e-05,5.367206e-05,5.403411e-05,5.430758e-05,5.482628e-05,5.489416e-05,5.543397e-05,5.553651e-05,5.592914e-05,5.616968e-05,5.638176e-05,5.673057e-05,5.679386e-05,5.716742e-05,5.722374e-05,5.750435e-05,5.765361e-05,5.780650e-05,5.802438e-05,5.807565e-05,5.831353e-05,5.834005e-05,5.852177e-05,5.860443e-05,5.870198e-05,5.882112e-05,5.885566e-05,5.898428e-05,5.899352e-05,5.908922e-05,5.912487e-05,5.917182e-05,5.921818e-05,5.923336e-05,5.927504e-05,5.927631e-05,5.929804e-05,5.930196e-05,5.930345e-05,5.929763e-05,5.929233e-05,5.926569e-05,5.922449e-05,5.920837e-05,5.916962e-05,5.912775e-05,5.910198e-05,5.902577e-05,5.902236e-05,5.893157e-05,5.890425e-05,5.883035e-05,5.876490e-05,5.871940e-05,5.860932e-05,5.859940e-05,5.847098e-05,5.843898e-05,5.833476e-05,5.825528e-05,5.819130e-05,5.805951e-05,5.804116e-05,5.788485e-05,5.785289e-05,5.772286e-05,5.763653e-05,5.755565e-05,5.741149e-05,5.738367e-05,5.720733e-05,5.717873e-05,5.702702e-05,5.693918e-05,5.684313e-05,5.669366e-05,5.665599e-05,5.646596e-05,5.644297e-05,5.627333e-05,5.618783e-05,5.607841e-05,5.592892e-05,5.588149e-05,5.568282e-05,5.566686e-05,5.548265e-05,5.540222e-05,5.528123e-05,5.513556e-05,5.507878e-05,5.487550e-05,5.486735e-05,5.467159e-05,5.459806e-05,5.446724e-05,5.432812e-05,5.426262e-05,5.405790e-05,5.378777e-05,5.351806e-05,5.324907e-05,5.298107e-05,5.271433e-05,5.244906e-05,5.218549e-05,5.192381e-05,5.166418e-05,5.140678e-05,5.115173e-05,5.089918e-05,5.064922e-05,5.040197e-05,5.015752e-05,4.991595e-05,4.967731e-05,4.944169e-05,4.920913e-05,4.897967e-05,4.875335e-05,4.853020e-05,4.831025e-05,4.809351e-05
0.000000e+00,3.822532e-10,1.342339e-09,8.230223e-09,2.621641e-08,4.398885e-08,1.305871e-07,1.357086e-07,3.138176e-07,3.834262e-07,6.097882e-07,8.574942e-07,1.056262e-06,1.627629e-06,1.685344e-06,2.521882e-06,2.754924e-06,3.575039e-06,4.257176e-06,4.837462e-06,6.108117e-06,6.292183e-06,7.919301e-06,8.263653e-06,9.698917e-06,1.067810e-05,1.161151e-05,1.330658e-05,1.363755e-05,1.575723e-05,1.610372e-05,1.795047e-05,1.902348e-05,2.019730e-05,2.202018e-05,2.247817e-05,2.477450e-05,2.505026e-05,2.706901e-05,2.807393e-05,2.934606e-05,3.105634e-05,3.159179e-05,3.379429e-05,3.396831e-05,3.594354e-05,3.678645e-05,3.803140e-05,3.949300e-05,4.005148e-05,4.199895e-05,4.207528e-05,4.387041e-05,4.452508e-05,4.566371e-05,4.683790e-05,4.737774e-05,4.901228e-05,5.056787e-05,5.104915e-05,5.204562e-05,5.295124e-05,5.344711e-05,5.472262e-05,5.477431e-05,5.602945e-05,5.636830e-05,5.721496e-05,5.789390e-05,5.833339e-05,5.930539e-05,5.938740e-05,6.037966e-05,6.060891e-05,6.131285e-05,6.181064e-05,6.218964e-05,6.291664e-05,6.301264e-05,6.378441e-05,6.393283e-05,6.450741e-05,6.486491e-05,6.518407e-05,6.571833e-05,6.581668e-05,6.640747e-05,6.649826e-05,6.695858e-05,6.720963e-05,6.747206e-05,6.785706e-05,6.794985e-05,6.839382e-05,6.844491e-05,6.880574e-05,6.897727e-05,6.918731e-05,6.945798e-05,6.954012e-05,6.986571e-05,6.989062e-05,7.016553e-05,7.027855e-05,7.044095e-05,7.062489e-05,7.069329e-05,7.092378e-05,7.093257e-05,7.113361e-05,7.120431e-05,7.132389e-05,7.144265e-05,7.149567e-05,7.164997e-05,7.178773e-05,7.182848e-05,7.190987e-05,7.198022e-05,7.201722e-05,7.210713e-05,7.211061e-05,7.219080e-05,7.221098e-05,7.225852e-05,7.229345e-05,7.231446e-05,7.235609e-05,7.235928e-05,7.239360e-05,7.240034e-05,7.241800e-05,7.242755e-05,7.243305e-05,7.243898e-05,7.243928e-05,7.243718e-05,7.243581e-05,7.242724e-05,7.241912e-05,7.240990e-05,7.238994e-05,7.238560e-05,7.235474e-05,7.234922e-05,7.231771e-05,7.229784e-05,7.227487e-05,7.223665e-05,7.222657e-05,7.217314e-05,7.216640e-05,7.211490e-05,7.208782e-05,7.205214e-05,7.200159e-05,7.198514e-05,7.191418e-05,7.190834e-05,7.183950e-05,7.180865e-05,7.176136e-05,7.170307e-05,7.167997e-05,7.159556e-05,7.159213e-05,7.150834e-05,7.147629e-05,7.141850e-05,7.135601e-05,7.132623e-05,7.123171e-05,7.110377e-05,7.097257e-05,7.083846e-05,7.070174e-05,7.056272e-05,7.042169e-05,7.027889e-05,7.013458e-05,6.998899e-05,6.984233e-05,6.969479e-05,6.954657e-05,6.939784e-05,6.924877e-05,6.909949e-05,6.895017e-05,6.880092e-05,6.865188e-05,6.850315e-05,6.835484e-05,6.820706e-05,6.805989e-05,6.791342e-05,6.776773e-05
0.000000e+00,7.499712e-09,2.933874e-08,2.226482e-07,8.509394e-07,1.570377e-06,5.870208e-06,6.155052e-06,1.749925e-05,2.253533e-05,4.064003e-05,6.285527e-05,8.214278e-05,1.434421e-04,1.500618e-04,2.538198e-04,2.852040e-04,4.039020e-04,5.122713e-04,6.112715e-04,8.496469e-04,8.866094e-04,1.239623e-03,1.320303e-03,1.678569e-03,1.943022e-03,2.209978e-03,2.731295e-03,2.838528e-03,3.567008e-03,3.692926e-03,4.396339e-03,4.830049e-03,5.325643e-03,6.139392e-03,6.352347e-03,7.472317e-03,7.612731e-03,8.680018e-03,9.237499e-03,9.968699e-03,1.099751e-02,1.133059e-02,1.275712e-02,1.287376e-02,1.423911e-02,1.484529e-02,1.576698e-02,1.688999e-02,1.733098e-02,1.892134e-02,1.898536e-02,2.052842e-02,2.110925e-02,2.214290e-02,2.324041e-02,2.375587e-02,2.535894e-02,2.694431e-02,2.744671e-02,2.850484e-02,2.948753e-02,3.003406e-02,3.146734e-02,3.152625e-02,3.297635e-02,3.337424e-02,3.438007e-02,3.519849e-02,3.573375e-02,3.693239e-02,3.703443e-02,3.827977e-02,3.857021e-02,3.946799e-02,4.010797e-02,4.059788e-02,4.154334e-02,4.166871e-02,4.268019e-02,4.287537e-02,4.363245e-02,4.410436e-02,4.452596e-02,4.523168e-02,4.536152e-02,4.614018e-02,4.625957e-02,4.686322e-02,4.719096e-02,4.753214e-02,4.802940e-02,4.814856e-02,4.871426e-02,4.877882e-02,4.923109e-02,4.944352e-02,4.970100e-02,5.002796e-02,5.012597e-02,5.050801e-02,5.053679e-02,5.084917e-02,5.097464e-02,5.115147e-02,5.134620e-02,5.141692e-02,5.164751e-02,5.165603e-02,5.184517e-02,5.190864e-02,5.201182e-02,5.210837e-02,5.214930e-02,5.225940e-02,5.234386e-02,5.236574e-02,5.240434e-02,5.243121e-02,5.244245e-02,5.245941e-02,5.245972e-02,5.245761e-02,5.245374e-02,5.243753e-02,5.241741e-02,5.240081e-02,5.235342e-02,5.234871e-02,5.228244e-02,5.226455e-02,5.220312e-02,5.215341e-02,5.211184e-02,5.202241e-02,5.200960e-02,5.189736e-02,5.187380e-02,5.177603e-02,5.170962e-02,5.164644e-02,5.153179e-02,5.150939e-02,5.136563e-02,5.134205e-02,5.121585e-02,5.114201e-02,5.106071e-02,5.093314e-02,5.090081e-02,5.073673e-02,5.071679e-02,5.056900e-02,5.049418e-02,5.039812e-02,5.026643e-02,5.022455e-02,5.004871e-02,5.003456e-02,4.987101e-02,4.979949e-02,4.969181e-02,4.956205e-02,4.951145e-02,4.933027e-02,4.932301e-02,4.914854e-02,4.908303e-02,4.896654e-02,4.884275e-02,4.878451e-02,4.860270e-02,4.836339e-02,4.812525e-02,4.788867e-02,4.765401e-02,4.742157e-02,4.719163e-02,4.696442e-02,4.674016e-02,4.651901e-02,4.630114e-02,4.608668e-02,4.587574e-02,4.566840e-02,4.546476e-02,4.526485e-02,4.506874e-02,4.487645e-02,4.468800e-02,4.450341e-02,4.432267e-02,4.414578e-02,4.397273e-02,4.380349e-02,4.363803e-02
0.000000e+00,2.705098e-09,7.004532e-09,2.748799e-08,6.674685e-08,1.000620e-07,2.415809e-07,2.494793e-07,5.150140e-07,6.171880e-07,9.503287e-07,1.317031e-06,1.610354e-06,2.427981e-06,2.507578e-06,3.592316e-06,3.872894e-06,4.798511e-06,5.508512e-06,6.078815e-06,7.243789e-06,7.404631e-06,8.757855e-06,9.030572e-06,1.012519e-05,1.083800e-05,1.149536e-05,1.264085e-05,1.285794e-05,1.420310e-05,1.441608e-05,1.552163e-05,1.614258e-05,1.680518e-05,1.780186e-05,1.804640e-05,1.923915e-05,1.937878e-05,2.037851e-05,2.086193e-05,2.146083e-05,2.224369e-05,2.248365e-05,2.344562e-05,2.351993e-05,2.434634e-05,2.468955e-05,2.518626e-05,2.575396e-05,2.596649e-05,2.668869e-05,2.671639e-05,2.735489e-05,2.758147e-05,2.796750e-05,2.835479e-05,2.852913e-05,2.904255e-05,2.951050e-05,2.965106e-05,2.993562e-05,3.018650e-05,3.032068e-05,3.065509e-05,3.066830e-05,3.098102e-05,3.106265e-05,3.126125e-05,3.141476e-05,3.151130e-05,3.171654e-05,3.173332e-05,3.192935e-05,3.197274e-05,3.210128e-05,3.218772e-05,3.225092e-05,3.236548e-05,3.237992e-05,3.248981e-05,3.250962e-05,3.258202e-05,3.262343e-05,3.265789e-05,3.270988e-05,3.271863e-05,3.276539e-05,3.277164e-05,3.279921e-05,3.281114e-05,3.282107e-05,3.283056e-05,3.283188e-05,3.283246e-05,3.283188e-05,3.282359e-05,3.281688e-05,3.280598e-05,3.278716e-05,3.278029e-05,3.274714e-05,3.274418e-05,3.270709e-05,3.268926e-05,3.266067e-05,3.262358e-05,3.260837e-05,3.255064e-05,3.254822e-05,3.248789e-05,3.246416e-05,3.242054e-05,3.237228e-05,3.234892e-05,3.227340e-05,3.219427e-05,3.216823e-05,3.211183e-05,3.205746e-05,3.202635e-05,3.194168e-05,3.193810e-05,3.184730e-05,3.182145e-05,3.175418e-05,3.169728e-05,3.165894e-05,3.156962e-05,3.156179e-05,3.146289e-05,3.143891e-05,3.136242e-05,3.130553e-05,3.126054e-05,3.116984e-05,3.115740e-05,3.105313e-05,3.103215e-05,3.094786e-05,3.089277e-05,3.084172e-05,3.075197e-05,3.073482e-05,3.062726e-05,3.061000e-05,3.051915e-05,3.046709e-05,3.041059e-05,3.032346e-05,3.030165e-05,3.019243e-05,3.017930e-05,3.008299e-05,3.003479e-05,2.997342e-05,2.989010e-05,2.986378e-05,2.975414e-05,2.974537e-05,2.964456e-05,2.960075e-05,2.953508e-05,2.945637e-05,2.942578e-05,2.931669e-05,2.931233e-05,2.920786e-05,2.916876e-05,2.909935e-05,2.902575e-05,2.899117e-05,2.888339e-05,2.874177e-05,2.860096e-05,2.846103e-05,2.832205e-05,2.818407e-05,2.804716e-05,2.791135e-05,2.777669e-05,2.764322e-05,2.751098e-05,2.738000e-05,2.725030e-05,2.712191e-05,2.699486e-05,2.686917e-05,2.674484e-05,2.662190e-05,2.650036e-05,2.638023e-05,2.626152e-05,2.614423e-05,2.602837e-05,2.591394e-05,2.580095e-05
0.000000e+00,1.222000e-09,3.236782e-09,1.298945e-08,3.167870e-08,4.738247e-08,1.121705e-07,1.156975e-07,2.296490e-07,2.714879e-07,4.024384e-07,5.403562e-07,6.483853e-07,9.489090e-07,9.785011e-07,1.392258e-06,1.502649e-06,1.875907e-06,2.170441e-06,2.411323e-06,2.913055e-06,2.983196e-06,3.580062e-06,3.701622e-06,4.193037e-06,4.515646e-06,4.814693e-06,5.338773e-06,5.438467e-06,6.058429e-06,6.156905e-06,6.669256e-06,6.957810e-06,7.266274e-06,7.731247e-06,7.845504e-06,8.403696e-06,8.469139e-06,8.938331e-06,9.165614e-06,9.447585e-06,9.816893e-06,9.930274e-06,1.038578e-05,1.042104e-05,1.081398e-05,1.097767e-05,1.121515e-05,1.148757e-05,1.158987e-05,1.193901e-05,1.195245e-05,1.226357e-05,1.237461e-05,1.256469e-05,1.275669e-05,1.284360e-05,1.310154e-05,1.333980e-05,1.341208e-05,1.355959e-05,1.369114e-05,1.376216e-05,1.394148e-05,1.394864e-05,1.412016e-05,1.416565e-05,1.427777e-05,1.436607e-05,1.442245e-05,1.454494e-05,1.455513e-05,1.467667e-05,1.470427e-05,1.478787e-05,1.484590e-05,1.488947e-05,1.497149e-05,1.498216e-05,1.506658e-05,1.508252e-05,1.514329e-05,1.518032e-05,1.521285e-05,1.526611e-05,1.527575e-05,1.533245e-05,1.534097e-05,1.538337e-05,1.540587e-05,1.542890e-05,1.546169e-05,1.546940e-05,1.550522e-05,1.550921e-05,1.553664e-05,1.554915e-05,1.556396e-05,1.558214e-05,1.558744e-05,1.560733e-05,1.560877e-05,1.562385e-05,1.562956e-05,1.563720e-05,1.564498e-05,1.564760e-05,1.565521e-05,1.565546e-05,1.566022e-05,1.566141e-05,1.566277e-05,1.566317e-05,1.566301e-05,1.566108e-05,1.565712e-05,1.565544e-05,1.565123e-05,1.564651e-05,1.564354e-05,1.563456e-05,1.563415e-05,1.562317e-05,1.561981e-05,1.561067e-05,1.560249e-05,1.559676e-05,1.558278e-05,1.558152e-05,1.556502e-05,1.556088e-05,1.554734e-05,1.553695e-05,1.552855e-05,1.551114e-05,1.550871e-05,1.548789e-05,1.548361e-05,1.546615e-05,1.545450e-05,1.544354e-05,1.542392e-05,1.542012e-05,1.539593e-05,1.539199e-05,1.537103e-05,1.535884e-05,1.534546e-05,1.532455e-05,1.531926e-05,1.529248e-05,1.528923e-05,1.526515e-05,1.525297e-05,1.523732e-05,1.521584e-05,1.520901e-05,1.518026e-05,1.517794e-05,1.515110e-05,1.513933e-05,1.512157e-05,1.510009e-05,1.509169e-05,1.506148e-05,1.506027e-05,1.503099e-05,1.501994e-05,1.500022e-05,1.497916e-05,1.496922e-05,1.493799e-05,1.489647e-05,1.485464e-05,1.481257e-05,1.477028e-05,1.472782e-05,1.468523e-05,1.464254e-05,1.459978e-05,1.455699e-05,1.451419e-05,1.447142e-05,1.442869e-05,1.438604e-05,1.434348e-05,1.430104e-05,1.425874e-05,1.421659e-05,1.417461e-05,1.413283e-05,1.409124e-05,1.404988e-05,1.400876e-05,1.396787e-05,1.392725e-05
0.000000e+00,5.036031e-09,1.201074e-08,4.315586e-08,1.002696e-07,1.474596e-07,3.394155e-07,3.497893e-07,6.821848e-07,8.030748e-07,1.178057e-06,1.568324e-06,1.871491e-06,2.708983e-06,2.791331e-06,3.949442e-06,4.262040e-06,5.335158e-06,6.201891e-06,6.924777e-06,8.472050e-06,8.692844e-06,1.061585e-05,1.101710e-05,1.267185e-05,1.378645e-05,1.483957e-05,1.673148e-05,1.709809e-05,1.942693e-05,1.980474e-05,2.180635e-05,2.296093e-05,2.421776e-05,2.615833e-05,2.664399e-05,2.906958e-05,2.935994e-05,3.148084e-05,3.253414e-05,3.386594e-05,3.565484e-05,3.621478e-05,3.851899e-05,3.870119e-05,4.077172e-05,4.165713e-05,4.296749e-05,4.451071e-05,4.510199e-05,4.717199e-05,4.725341e-05,4.917514e-05,4.987959e-05,5.110987e-05,5.238589e-05,5.297523e-05,5.477081e-05,5.649664e-05,5.703423e-05,5.815312e-05,5.917717e-05,5.974093e-05,6.120147e-05,6.126099e-05,6.271443e-05,6.310962e-05,6.410251e-05,6.490457e-05,6.542663e-05,6.658958e-05,6.668825e-05,6.788891e-05,6.816818e-05,6.903023e-05,6.964405e-05,7.011383e-05,7.102096e-05,7.114136e-05,7.211450e-05,7.230274e-05,7.303491e-05,7.349323e-05,7.390425e-05,7.459625e-05,7.472419e-05,7.549636e-05,7.561559e-05,7.622239e-05,7.655497e-05,7.690388e-05,7.741806e-05,7.754240e-05,7.813949e-05,7.820843e-05,7.869667e-05,7.892957e-05,7.921543e-05,7.958489e-05,7.969723e-05,8.014347e-05,8.017767e-05,8.055554e-05,8.071111e-05,8.093481e-05,8.118830e-05,8.128257e-05,8.160012e-05,8.161221e-05,8.188870e-05,8.198573e-05,8.214951e-05,8.231161e-05,8.238375e-05,8.259253e-05,8.277698e-05,8.283104e-05,8.293817e-05,8.302960e-05,8.307713e-05,8.319056e-05,8.319487e-05,8.329237e-05,8.331617e-05,8.337057e-05,8.340860e-05,8.343037e-05,8.346991e-05,8.347267e-05,8.349830e-05,8.350206e-05,8.350809e-05,8.350695e-05,8.350283e-05,8.348636e-05,8.348329e-05,8.345020e-05,8.344201e-05,8.340427e-05,8.337554e-05,8.334618e-05,8.328848e-05,8.327660e-05,8.319616e-05,8.318233e-05,8.310547e-05,8.305847e-05,8.300512e-05,8.291826e-05,8.289567e-05,8.277766e-05,8.276294e-05,8.265161e-05,8.259373e-05,8.251803e-05,8.241176e-05,8.237739e-05,8.223016e-05,8.221811e-05,8.207679e-05,8.201381e-05,8.191768e-05,8.179981e-05,8.175326e-05,8.158390e-05,8.157703e-05,8.140999e-05,8.134633e-05,8.123188e-05,8.110854e-05,8.104991e-05,8.086441e-05,8.061467e-05,8.036000e-05,8.010105e-05,7.983842e-05,7.957267e-05,7.930435e-05,7.903394e-05,7.876191e-05,7.848871e-05,7.821474e-05,7.794038e-05,7.766600e-05,7.739192e-05,7.711844e-05,7.684587e-05,7.657446e-05,7.630445e-05,7.603608e-05,7.576956e-05,7.550507e-05,7.524279e-05,7.498289e-05,7.472551e-05,7.447079e-05
0.000000e+00,1.329403e-10,4.993095e-10,3.485190e-09,1.236021e-08,2.191060e-08,7.409174e-08,7.738149e-08,2.006887e-07,2.524732e-07,4.307804e-07,6.392951e-07,8.143858e-07,1.345387e-06,1.400786e-06,2.227826e-06,2.464230e-06,3.309526e-06,4.023647e-06,4.636197e-06,5.986512e-06,6.182653e-06,7.916559e-06,8.282829e-06,9.803825e-06,1.083471e-05,1.181120e-05,1.356712e-05,1.390720e-05,1.606220e-05,1.641060e-05,1.824848e-05,1.930133e-05,2.044015e-05,2.218127e-05,2.261337e-05,2.474654e-05,2.499890e-05,2.682065e-05,2.771025e-05,2.881943e-05,3.027982e-05,3.072956e-05,3.254066e-05,3.268103e-05,3.424525e-05,3.489610e-05,3.583854e-05,3.691541e-05,3.731822e-05,3.868411e-05,3.873639e-05,3.993784e-05,4.036229e-05,4.108253e-05,4.180077e-05,4.212243e-05,4.306263e-05,4.390879e-05,4.416067e-05,4.466691e-05,4.510874e-05,4.534313e-05,4.592093e-05,4.594357e-05,4.647422e-05,4.661109e-05,4.694084e-05,4.719237e-05,4.734891e-05,4.767705e-05,4.770357e-05,4.800961e-05,4.807632e-05,4.827146e-05,4.840032e-05,4.849318e-05,4.865807e-05,4.867851e-05,4.883082e-05,4.885760e-05,4.895320e-05,4.900595e-05,4.904843e-05,4.910930e-05,4.911904e-05,4.916729e-05,4.917308e-05,4.919524e-05,4.920200e-05,4.920474e-05,4.920018e-05,4.919746e-05,4.917490e-05,4.917123e-05,4.913842e-05,4.911828e-05,4.908925e-05,4.904409e-05,4.902852e-05,4.895721e-05,4.895108e-05,4.887627e-05,4.884138e-05,4.878651e-05,4.871686e-05,4.868870e-05,4.858354e-05,4.857919e-05,4.847165e-05,4.842985e-05,4.835364e-05,4.827016e-05,4.823002e-05,4.810130e-05,4.796793e-05,4.792433e-05,4.783032e-05,4.774021e-05,4.768887e-05,4.754979e-05,4.754393e-05,4.739585e-05,4.735386e-05,4.724492e-05,4.715313e-05,4.709145e-05,4.694823e-05,4.693569e-05,4.677789e-05,4.673974e-05,4.661829e-05,4.652821e-05,4.645711e-05,4.631412e-05,4.629455e-05,4.613080e-05,4.609792e-05,4.596603e-05,4.588001e-05,4.580042e-05,4.566077e-05,4.563412e-05,4.546728e-05,4.544054e-05,4.530002e-05,4.521964e-05,4.513249e-05,4.499835e-05,4.496480e-05,4.479706e-05,4.477694e-05,4.462938e-05,4.455565e-05,4.446186e-05,4.433470e-05,4.429459e-05,4.412765e-05,4.411431e-05,4.396113e-05,4.389466e-05,4.379511e-05,4.367592e-05,4.362965e-05,4.346482e-05,4.345824e-05,4.330069e-05,4.324178e-05,4.313731e-05,4.302667e-05,4.297473e-05,4.281302e-05,4.260094e-05,4.239053e-05,4.218189e-05,4.197509e-05,4.177021e-05,4.156731e-05,4.136646e-05,4.116770e-05,4.097108e-05,4.077665e-05,4.058444e-05,4.039447e-05,4.020678e-05,4.002140e-05,3.983832e-05,3.965758e-05,3.947918e-05,3.930314e-05,3.912945e-05,3.895812e-05,3.878914e-05,3.862253e-05,3.845827e-05,3.829635e-05
0.000000e+00,6.081590e-11,2.377149e-10,1.800852e-09,6.871483e-09,1.266950e-08,4.724486e-08,4.953234e-08,1.404671e-07,1.807625e-07,3.253821e-07,5.024617e-07,6.559566e-07,1.142714e-06,1.195202e-06,2.016712e-06,2.264912e-06,3.203321e-06,4.060503e-06,4.844535e-06,6.737698e-06,7.032007e-06,9.853151e-06,1.050040e-05,1.338432e-05,1.552176e-05,1.768536e-05,2.192321e-05,2.279648e-05,2.873727e-05,2.976503e-05,3.550735e-05,3.904669e-05,4.308794e-05,4.971290e-05,5.144396e-05,6.052637e-05,6.166230e-05,7.027455e-05,7.475696e-05,8.061873e-05,8.883194e-05,9.148226e-05,1.027838e-04,1.037043e-04,1.144393e-04,1.191816e-04,1.263639e-04,1.350689e-04,1.384734e-04,1.506860e-04,1.511756e-04,1.629231e-04,1.673201e-04,1.751106e-04,1.833342e-04,1.871793e-04,1.990659e-04,2.107131e-04,2.143812e-04,2.220700e-04,2.291651e-04,2.330919e-04,2.433220e-04,2.437404e-04,2.539833e-04,2.567750e-04,2.637945e-04,2.694650e-04,2.731530e-04,2.813498e-04,2.820436e-04,2.904554e-04,2.924022e-04,2.983822e-04,3.026084e-04,3.058217e-04,3.119664e-04,3.127753e-04,3.192472e-04,3.204844e-04,3.252446e-04,3.281789e-04,3.307771e-04,3.350734e-04,3.358560e-04,3.404946e-04,3.411968e-04,3.447072e-04,3.465825e-04,3.485095e-04,3.512668e-04,3.519178e-04,3.549489e-04,3.552882e-04,3.576204e-04,3.586863e-04,3.599495e-04,3.615016e-04,3.619540e-04,3.636513e-04,3.637743e-04,3.650586e-04,3.655442e-04,3.661930e-04,3.668501e-04,3.670710e-04,3.677088e-04,3.677296e-04,3.681221e-04,3.682188e-04,3.683259e-04,3.683522e-04,3.683347e-04,3.681627e-04,3.678229e-04,3.676809e-04,3.673283e-04,3.669361e-04,3.666909e-04,3.659554e-04,3.659223e-04,3.650333e-04,3.647642e-04,3.640342e-04,3.633860e-04,3.629349e-04,3.618428e-04,3.617444e-04,3.604715e-04,3.601546e-04,3.591241e-04,3.583400e-04,3.577100e-04,3.564161e-04,3.562363e-04,3.547096e-04,3.543984e-04,3.531361e-04,3.523013e-04,3.515217e-04,3.501378e-04,3.498717e-04,3.481912e-04,3.479198e-04,3.464848e-04,3.456578e-04,3.447569e-04,3.433618e-04,3.430115e-04,3.412523e-04,3.410405e-04,3.394828e-04,3.387017e-04,3.377061e-04,3.363527e-04,3.359251e-04,3.341425e-04,3.339999e-04,3.323608e-04,3.316489e-04,3.305823e-04,3.293048e-04,3.288090e-04,3.270427e-04,3.269723e-04,3.252854e-04,3.246552e-04,3.235384e-04,3.223572e-04,3.218033e-04,3.200813e-04,3.178303e-04,3.156065e-04,3.134121e-04,3.112487e-04,3.091178e-04,3.070207e-04,3.049585e-04,3.029319e-04,3.009417e-04,2.989883e-04,2.970722e-04,2.951935e-04,2.933525e-04,2.915490e-04,2.897832e-04,2.880548e-04,2.863636e-04,2.847093e-04,2.830917e-04,2.815103e-04,2.799648e-04,2.784546e-04,2.769794e-04,2.755385e-04
0.000000e+00,3.415674e-11,1.301669e-10,9.356413e-10,3.403468e-09,6.112866e-09,2.130383e-08,2.227397e-08,5.906974e-08,7.464356e-08,1.283558e-07,1.910150e-07,2.434294e-07,4.018379e-07,4.183746e-07,6.675264e-07,7.399438e-07,1.004997e-06,1.237593e-06,1.444167e-06,1.924344e-06,1.997041e-06,2.673362e-06,2.824075e-06,3.479521e-06,3.950879e-06,4.417449e-06,5.304905e-06,5.483878e-06,6.670311e-06,6.870462e-06,7.963747e-06,8.617910e-06,9.347902e-06,1.050836e-05,1.080459e-05,1.231500e-05,1.249897e-05,1.386064e-05,1.454735e-05,1.542411e-05,1.661439e-05,1.698945e-05,1.854248e-05,1.866580e-05,2.007079e-05,2.067276e-05,2.156381e-05,2.261191e-05,2.301272e-05,2.441033e-05,2.446508e-05,2.575097e-05,2.621879e-05,2.703036e-05,2.786373e-05,2.824540e-05,2.939410e-05,3.047542e-05,3.080715e-05,3.148910e-05,3.210253e-05,3.243556e-05,3.328186e-05,3.331581e-05,3.413130e-05,3.434827e-05,3.488385e-05,3.530603e-05,3.557556e-05,3.616020e-05,3.620876e-05,3.678591e-05,3.691637e-05,3.730958e-05,3.758046e-05,3.778239e-05,3.815848e-05,3.820697e-05,3.858595e-05,3.865650e-05,3.892190e-05,3.908044e-05,3.921737e-05,3.943607e-05,3.947481e-05,3.969660e-05,3.972893e-05,3.988503e-05,3.996428e-05,4.004230e-05,4.014709e-05,4.017050e-05,4.027164e-05,4.028205e-05,4.034761e-05,4.037352e-05,4.040020e-05,4.042560e-05,4.043114e-05,4.044201e-05,4.044206e-05,4.043435e-05,4.042642e-05,4.040958e-05,4.038192e-05,4.036905e-05,4.031402e-05,4.031154e-05,4.024568e-05,4.021803e-05,4.016513e-05,4.010391e-05,4.007341e-05,3.997150e-05,3.986031e-05,3.982290e-05,3.974068e-05,3.966007e-05,3.961343e-05,3.948477e-05,3.947928e-05,3.933894e-05,3.929862e-05,3.919305e-05,3.910311e-05,3.904221e-05,3.889956e-05,3.888699e-05,3.872791e-05,3.868921e-05,3.856545e-05,3.847317e-05,3.840008e-05,3.825246e-05,3.823220e-05,3.806221e-05,3.802800e-05,3.789048e-05,3.780061e-05,3.771734e-05,3.757105e-05,3.754311e-05,3.736807e-05,3.734000e-05,3.719248e-05,3.710808e-05,3.701660e-05,3.687583e-05,3.684065e-05,3.666484e-05,3.664376e-05,3.648937e-05,3.641231e-05,3.631441e-05,3.618188e-05,3.614012e-05,3.596666e-05,3.595283e-05,3.579417e-05,3.572547e-05,3.562276e-05,3.550009e-05,3.545256e-05,3.528366e-05,3.527693e-05,3.511616e-05,3.505622e-05,3.495014e-05,3.483814e-05,3.478569e-05,3.462287e-05,3.441056e-05,3.420131e-05,3.399524e-05,3.379245e-05,3.359299e-05,3.339693e-05,3.320433e-05,3.301520e-05,3.282957e-05,3.264747e-05,3.246890e-05,3.229385e-05,3.212232e-05,3.195429e-05,3.178975e-05,3.162866e-05,3.147101e-05,3.131676e-05,3.116588e-05,3.101831e-05,3.087403e-05,3.073298e-05,3.059513e-05,3.046041e-05
0.000000e+00,5.585766e-11,2.104162e-10,1.477623e-09,5.267370e-09,9.360915e-09,3.181012e-08,3.322703e-08,8.627967e-08,1.084927e-07,1.845973e-07,2.729196e-07,3.466841e-07,5.697850e-07,5.931100e-07,9.452198e-07,1.047658e-06,1.421837e-06,1.748007e-06,2.035086e-06,2.690603e-06,2.788286e-06,3.676903e-06,3.870069e-06,4.691005e-06,5.263702e-06,5.817652e-06,6.840579e-06,7.042565e-06,8.351072e-06,8.567212e-06,9.728577e-06,1.041007e-05,1.116077e-05,1.233655e-05,1.263375e-05,1.413411e-05,1.431538e-05,1.564905e-05,1.631710e-05,1.716651e-05,1.831455e-05,1.867531e-05,2.016529e-05,2.028339e-05,2.162735e-05,2.220255e-05,2.305359e-05,2.405449e-05,2.443729e-05,2.577291e-05,2.582527e-05,2.705607e-05,2.750449e-05,2.828345e-05,2.908499e-05,2.945274e-05,3.056253e-05,3.161218e-05,3.193536e-05,3.260176e-05,3.320383e-05,3.353188e-05,3.436990e-05,3.440367e-05,3.521861e-05,3.543684e-05,3.597847e-05,3.640878e-05,3.668527e-05,3.729052e-05,3.734118e-05,3.794846e-05,3.808723e-05,3.850944e-05,3.880424e-05,3.902647e-05,3.944695e-05,3.950188e-05,3.993796e-05,4.002065e-05,4.033693e-05,4.053046e-05,4.070097e-05,4.098128e-05,4.103214e-05,4.133244e-05,4.137775e-05,4.160376e-05,4.172423e-05,4.184790e-05,4.202479e-05,4.206657e-05,4.226138e-05,4.228323e-05,4.243385e-05,4.250303e-05,4.258541e-05,4.268745e-05,4.271741e-05,4.283111e-05,4.283945e-05,4.292769e-05,4.296178e-05,4.300826e-05,4.305695e-05,4.307387e-05,4.312549e-05,4.312728e-05,4.316404e-05,4.317488e-05,4.319036e-05,4.320168e-05,4.320525e-05,4.320948e-05,4.320373e-05,4.319990e-05,4.318867e-05,4.317443e-05,4.316491e-05,4.313444e-05,4.313302e-05,4.309354e-05,4.308120e-05,4.304699e-05,4.301586e-05,4.299383e-05,4.293947e-05,4.293451e-05,4.286944e-05,4.285302e-05,4.279902e-05,4.275739e-05,4.272362e-05,4.265341e-05,4.264357e-05,4.255920e-05,4.254184e-05,4.247083e-05,4.242338e-05,4.237872e-05,4.229868e-05,4.228317e-05,4.218440e-05,4.216832e-05,4.208267e-05,4.203286e-05,4.197821e-05,4.189280e-05,4.187121e-05,4.176188e-05,4.174861e-05,4.165041e-05,4.160073e-05,4.153697e-05,4.144955e-05,4.142173e-05,4.130486e-05,4.129544e-05,4.118649e-05,4.113875e-05,4.106676e-05,4.097980e-05,4.094582e-05,4.082378e-05,4.081888e-05,4.070076e-05,4.065626e-05,4.057688e-05,4.049220e-05,4.045224e-05,4.032694e-05,4.016068e-05,3.999364e-05,3.982600e-05,3.965794e-05,3.948962e-05,3.932118e-05,3.915278e-05,3.898453e-05,3.881656e-05,3.864898e-05,3.848189e-05,3.831539e-05,3.814956e-05,3.798450e-05,3.782027e-05,3.765694e-05,3.749458e-05,3.733325e-05,3.717300e-05,3.701388e-05,3.685594e-05,3.669922e-05,3.654376e-05,3.638959e-05
0.000000e+00,4.283679e-09,9.836311e-09,3.391059e-08,7.720160e-08,1.126399e-07,2.555031e-07,2.631888e-07,5.085476e-07,5.975326e-07,8.733127e-07,1.160520e-06,1.384092e-06,2.005157e-06,2.066554e-06,2.936861e-06,3.173899e-06,3.993504e-06,4.660948e-06,5.220524e-06,6.425056e-06,6.597574e-06,8.105703e-06,8.421555e-06,9.728172e-06,1.061191e-05,1.144959e-05,1.296120e-05,1.325513e-05,1.513007e-05,1.543551e-05,1.705972e-05,1.800111e-05,1.902956e-05,2.062481e-05,2.102540e-05,2.303365e-05,2.327486e-05,2.504151e-05,2.592176e-05,2.703718e-05,2.853912e-05,2.900999e-05,3.095046e-05,3.110404e-05,3.285036e-05,3.359735e-05,3.470268e-05,3.600358e-05,3.650160e-05,3.824240e-05,3.831077e-05,3.992138e-05,4.051011e-05,4.153575e-05,4.259559e-05,4.308356e-05,4.456363e-05,4.597541e-05,4.641274e-05,4.731892e-05,4.814314e-05,4.859462e-05,4.975619e-05,4.980326e-05,5.094591e-05,5.125420e-05,5.202387e-05,5.264021e-05,5.303864e-05,5.391788e-05,5.399192e-05,5.488553e-05,5.509133e-05,5.572140e-05,5.616500e-05,5.650151e-05,5.714351e-05,5.722791e-05,5.790266e-05,5.803159e-05,5.852786e-05,5.883414e-05,5.910582e-05,5.955652e-05,5.963887e-05,6.012898e-05,6.020353e-05,6.057803e-05,6.077956e-05,6.098795e-05,6.128895e-05,6.136057e-05,6.169766e-05,6.173580e-05,6.200096e-05,6.212414e-05,6.227215e-05,6.245777e-05,6.251284e-05,6.272460e-05,6.274033e-05,6.290891e-05,6.297528e-05,6.306724e-05,6.316594e-05,6.320099e-05,6.331148e-05,6.331543e-05,6.340001e-05,6.342675e-05,6.346782e-05,6.350269e-05,6.351608e-05,6.354592e-05,6.355843e-05,6.355895e-05,6.355465e-05,6.354414e-05,6.353557e-05,6.350374e-05,6.350214e-05,6.345526e-05,6.343985e-05,6.339580e-05,6.335443e-05,6.332459e-05,6.324936e-05,6.324240e-05,6.314999e-05,6.312637e-05,6.304807e-05,6.298710e-05,6.293732e-05,6.283307e-05,6.281839e-05,6.269189e-05,6.266574e-05,6.255841e-05,6.248643e-05,6.241851e-05,6.229641e-05,6.227271e-05,6.212150e-05,6.209684e-05,6.196538e-05,6.188882e-05,6.180478e-05,6.167337e-05,6.164013e-05,6.147185e-05,6.145143e-05,6.130030e-05,6.122389e-05,6.112586e-05,6.099156e-05,6.094887e-05,6.076965e-05,6.075522e-05,6.058850e-05,6.051557e-05,6.040572e-05,6.027325e-05,6.022157e-05,6.003631e-05,6.002888e-05,5.985019e-05,5.978302e-05,5.966343e-05,5.953618e-05,5.947625e-05,5.928884e-05,5.904143e-05,5.879436e-05,5.854799e-05,5.830267e-05,5.805869e-05,5.781635e-05,5.757588e-05,5.733753e-05,5.710151e-05,5.686799e-05,5.663715e-05,5.640914e-05,5.618408e-05,5.596210e-05,5.574330e-05,5.552776e-05,5.531557e-05,5.510678e-05,5.490145e-05,5.469962e-05,5.450133e-05,5.430660e-05,5.411544e-05,5.392788e-05
0.000000e+00,3.241466e-10,1.262741e-09,9.500170e-09,3.602645e-08,6.620434e-08,2.448299e-07,2.565994e-07,7.220245e-07,9.272597e-07,1.660862e-06,2.554877e-06,3.327209e-06,5.765331e-06,6.027437e-06,1.011408e-05,1.134372e-05,1.597481e-05,2.018230e-05,2.401316e-05,3.319879e-05,3.461895e-05,4.813247e-05,5.120857e-05,6.481215e-05,7.479311e-05,8.481451e-05,1.042234e-04,1.081890e-04,1.348837e-04,1.394547e-04,1.647583e-04,1.801672e-04,1.975991e-04,2.258267e-04,2.331349e-04,2.710526e-04,2.757468e-04,3.110107e-04,3.291469e-04,3.526517e-04,3.852011e-04,3.956129e-04,4.395351e-04,4.430798e-04,4.840702e-04,5.019809e-04,5.288869e-04,5.611544e-04,5.736754e-04,6.181501e-04,6.199188e-04,6.620521e-04,6.776712e-04,7.051502e-04,7.338928e-04,7.472411e-04,7.881494e-04,8.277261e-04,8.400886e-04,8.658479e-04,8.894355e-04,9.024154e-04,9.359863e-04,9.373516e-04,9.705995e-04,9.796008e-04,1.002121e-03,1.020195e-03,1.031893e-03,1.057733e-03,1.059910e-03,1.086177e-03,1.092222e-03,1.110709e-03,1.123700e-03,1.133535e-03,1.152236e-03,1.154687e-03,1.174207e-03,1.177919e-03,1.192141e-03,1.200858e-03,1.208542e-03,1.221171e-03,1.223461e-03,1.236958e-03,1.238990e-03,1.249091e-03,1.254448e-03,1.259919e-03,1.267683e-03,1.269503e-03,1.277904e-03,1.278836e-03,1.285182e-03,1.288044e-03,1.291396e-03,1.295443e-03,1.296604e-03,1.300864e-03,1.301165e-03,1.304230e-03,1.305339e-03,1.306758e-03,1.308088e-03,1.308499e-03,1.309503e-03,1.309529e-03,1.309819e-03,1.309773e-03,1.309493e-03,1.308927e-03,1.308569e-03,1.307091e-03,1.305097e-03,1.304357e-03,1.302628e-03,1.300814e-03,1.299718e-03,1.296544e-03,1.296404e-03,1.292717e-03,1.291623e-03,1.288689e-03,1.286121e-03,1.284349e-03,1.280105e-03,1.279725e-03,1.274843e-03,1.273635e-03,1.269726e-03,1.266768e-03,1.264399e-03,1.259554e-03,1.258883e-03,1.253198e-03,1.252042e-03,1.247363e-03,1.244276e-03,1.241396e-03,1.236295e-03,1.235314e-03,1.229133e-03,1.228135e-03,1.222866e-03,1.219831e-03,1.216527e-03,1.211413e-03,1.210129e-03,1.203684e-03,1.202908e-03,1.197202e-03,1.194341e-03,1.190694e-03,1.185736e-03,1.184169e-03,1.177635e-03,1.177112e-03,1.171101e-03,1.168489e-03,1.164574e-03,1.159883e-03,1.158061e-03,1.151569e-03,1.151309e-03,1.145102e-03,1.142781e-03,1.138666e-03,1.134311e-03,1.132267e-03,1.125909e-03,1.117584e-03,1.109346e-03,1.101201e-03,1.093157e-03,1.085217e-03,1.077388e-03,1.069674e-03,1.062077e-03,1.054600e-03,1.047247e-03,1.040018e-03,1.032915e-03,1.025940e-03,1.019092e-03,1.012373e-03,1.005781e-03,9.993176e-04,9.929814e-04,9.867719e-04,9.806883e-04,9.747295e-04,9.688944e-04,9.631816e-04,9.575897e-04
0.000000e+00,2.574396e-09,5.887081e-09,2.018236e-08,4.576102e-08,6.661956e-08,1.501593e-07,1.546316e-07,2.963840e-07,3.473414e-07,5.039066e-07,6.650182e-07,7.892646e-07,1.130361e-06,1.163838e-06,1.635831e-06,1.763950e-06,2.206844e-06,2.567997e-06,2.871320e-06,3.525944e-06,3.619877e-06,4.442571e-06,4.615169e-06,5.330013e-06,5.814107e-06,6.273305e-06,7.102468e-06,7.263752e-06,8.292706e-06,8.460335e-06,9.351546e-06,9.867900e-06,1.043177e-05,1.130578e-05,1.152512e-05,1.262373e-05,1.275556e-05,1.372025e-05,1.420031e-05,1.480798e-05,1.562502e-05,1.588087e-05,1.693366e-05,1.701687e-05,1.796179e-05,1.836526e-05,1.896147e-05,1.966184e-05,1.992958e-05,2.086369e-05,2.090032e-05,2.176194e-05,2.207627e-05,2.262302e-05,2.318685e-05,2.344604e-05,2.423058e-05,2.497653e-05,2.520711e-05,2.568410e-05,2.611700e-05,2.635373e-05,2.696148e-05,2.698607e-05,2.758192e-05,2.774235e-05,2.814223e-05,2.846177e-05,2.866801e-05,2.912220e-05,2.916038e-05,2.962050e-05,2.972626e-05,3.004954e-05,3.027669e-05,3.044873e-05,3.077627e-05,3.081926e-05,3.116235e-05,3.122778e-05,3.147919e-05,3.163396e-05,3.177095e-05,3.199748e-05,3.203877e-05,3.228377e-05,3.232093e-05,3.250705e-05,3.260682e-05,3.270967e-05,3.285757e-05,3.289264e-05,3.305694e-05,3.307545e-05,3.320354e-05,3.326267e-05,3.333334e-05,3.342130e-05,3.344723e-05,3.354603e-05,3.355331e-05,3.363058e-05,3.366057e-05,3.370163e-05,3.374485e-05,3.375993e-05,3.380618e-05,3.380779e-05,3.384107e-05,3.385098e-05,3.386524e-05,3.387587e-05,3.387931e-05,3.388387e-05,3.387948e-05,3.387627e-05,3.386667e-05,3.385430e-05,3.384596e-05,3.381909e-05,3.381783e-05,3.378274e-05,3.377173e-05,3.374113e-05,3.371322e-05,3.369343e-05,3.364450e-05,3.364002e-05,3.358130e-05,3.356645e-05,3.351761e-05,3.347991e-05,3.344931e-05,3.338563e-05,3.337670e-05,3.330011e-05,3.328434e-05,3.321983e-05,3.317671e-05,3.313613e-05,3.306337e-05,3.304927e-05,3.295951e-05,3.294490e-05,3.286709e-05,3.282184e-05,3.277222e-05,3.269471e-05,3.267512e-05,3.257599e-05,3.256397e-05,3.247502e-05,3.243006e-05,3.237239e-05,3.229339e-05,3.226827e-05,3.216283e-05,3.215434e-05,3.205621e-05,3.201327e-05,3.194856e-05,3.187050e-05,3.184002e-05,3.173071e-05,3.172633e-05,3.162076e-05,3.158104e-05,3.151028e-05,3.143491e-05,3.139938e-05,3.128815e-05,3.114101e-05,3.099367e-05,3.084634e-05,3.069919e-05,3.055237e-05,3.040603e-05,3.026032e-05,3.011534e-05,2.997122e-05,2.982806e-05,2.968595e-05,2.954498e-05,2.940522e-05,2.926674e-05,2.912961e-05,2.899389e-05,2.885961e-05,2.872684e-05,2.859559e-05,2.846592e-05,2.833785e-05,2.821140e-05,2.808660e-05,2.796346e-05
0.000000e+00,9.824903e-10,2.756057e-09,1.191559e-08,3.028529e-08,4.605749e-08,1.123339e-07,1.159684e-07,2.336199e-07,2.767197e-07,4.107852e-07,5.505909e-07,6.593625e-07,9.614789e-07,9.913903e-07,1.418225e-06,1.535813e-06,1.948264e-06,2.291359e-06,2.583894e-06,3.227049e-06,3.320490e-06,4.148833e-06,4.324579e-06,5.058331e-06,5.559904e-06,6.038708e-06,6.909939e-06,7.080332e-06,8.174023e-06,8.353247e-06,9.310861e-06,9.869292e-06,1.048209e-05,1.143807e-05,1.167914e-05,1.289367e-05,1.304021e-05,1.411773e-05,1.465738e-05,1.534381e-05,1.627269e-05,1.656497e-05,1.777490e-05,1.787104e-05,1.896797e-05,1.943935e-05,2.013924e-05,2.096665e-05,2.128447e-05,2.240009e-05,2.244405e-05,2.348317e-05,2.386465e-05,2.453138e-05,2.522331e-05,2.554293e-05,2.651651e-05,2.745124e-05,2.774206e-05,2.834663e-05,2.889895e-05,2.920251e-05,2.998707e-05,3.001898e-05,3.079637e-05,3.100711e-05,3.153523e-05,3.196033e-05,3.223624e-05,3.284843e-05,3.290021e-05,3.352807e-05,3.367349e-05,3.412080e-05,3.443777e-05,3.467945e-05,3.514375e-05,3.520513e-05,3.569895e-05,3.579399e-05,3.616204e-05,3.639109e-05,3.659555e-05,3.693767e-05,3.700061e-05,3.737835e-05,3.743633e-05,3.772987e-05,3.788961e-05,3.805628e-05,3.830003e-05,3.835863e-05,3.863797e-05,3.867000e-05,3.889532e-05,3.900184e-05,3.913166e-05,3.929782e-05,3.934795e-05,3.954510e-05,3.956007e-05,3.972402e-05,3.979067e-05,3.988556e-05,3.999158e-05,4.003056e-05,4.015983e-05,4.016468e-05,4.027413e-05,4.031176e-05,4.037421e-05,4.043450e-05,4.046078e-05,4.053453e-05,4.059611e-05,4.061335e-05,4.064616e-05,4.067242e-05,4.068529e-05,4.071311e-05,4.071407e-05,4.073306e-05,4.073670e-05,4.074280e-05,4.074441e-05,4.074379e-05,4.073740e-05,4.073652e-05,4.072147e-05,4.071675e-05,4.069907e-05,4.068348e-05,4.066975e-05,4.063856e-05,4.063393e-05,4.059198e-05,4.058289e-05,4.054429e-05,4.051734e-05,4.049121e-05,4.044270e-05,4.043308e-05,4.037021e-05,4.035974e-05,4.030293e-05,4.026915e-05,4.023152e-05,4.017161e-05,4.015627e-05,4.007744e-05,4.006775e-05,3.999528e-05,3.995814e-05,3.991005e-05,3.984335e-05,3.982196e-05,3.973125e-05,3.972389e-05,3.963812e-05,3.960024e-05,3.954277e-05,3.947285e-05,3.944538e-05,3.934615e-05,3.934214e-05,3.924523e-05,3.920852e-05,3.914280e-05,3.907236e-05,3.903900e-05,3.893398e-05,3.879373e-05,3.865190e-05,3.850877e-05,3.836461e-05,3.821964e-05,3.807410e-05,3.792820e-05,3.778214e-05,3.763608e-05,3.749021e-05,3.734467e-05,3.719960e-05,3.705515e-05,3.691142e-05,3.676852e-05,3.662657e-05,3.648565e-05,3.634585e-05,3.620724e-05,3.606989e-05,3.593388e-05,3.579925e-05,3.566606e-05,3.553435e-05
0.000000e+00,6.858155e-11,2.684818e-10,2.040467e-09,7.808523e-09,1.442005e-08,5.398756e-08,5.661042e-08,1.611301e-07,2.075457e-07,3.744003e-07,5.790400e-07,7.565868e-07,1.320036e-06,1.380809e-06,2.331843e-06,2.619053e-06,3.704249e-06,4.694542e-06,5.599631e-06,7.783253e-06,8.122574e-06,1.137506e-05,1.212151e-05,1.544993e-05,1.792033e-05,2.042463e-05,2.534155e-05,2.635677e-05,3.328175e-05,3.448305e-05,4.121244e-05,4.537465e-05,5.014024e-05,5.798207e-05,6.003699e-05,7.085748e-05,7.221531e-05,8.254205e-05,8.793899e-05,9.501942e-05,1.049833e-04,1.082093e-04,1.220251e-04,1.231547e-04,1.363761e-04,1.422456e-04,1.511697e-04,1.620431e-04,1.663133e-04,1.817159e-04,1.823361e-04,1.972896e-04,2.029218e-04,2.129506e-04,2.236094e-04,2.286199e-04,2.442242e-04,2.596963e-04,2.646092e-04,2.749750e-04,2.846264e-04,2.900057e-04,3.041570e-04,3.047402e-04,3.191362e-04,3.231013e-04,3.331576e-04,3.413777e-04,3.467738e-04,3.589213e-04,3.599598e-04,3.726954e-04,3.756830e-04,3.849648e-04,3.916277e-04,3.967568e-04,4.067326e-04,4.080636e-04,4.188812e-04,4.209858e-04,4.292082e-04,4.343848e-04,4.390463e-04,4.469351e-04,4.483992e-04,4.572729e-04,4.586488e-04,4.656751e-04,4.695432e-04,4.736147e-04,4.796404e-04,4.811023e-04,4.881491e-04,4.889657e-04,4.947674e-04,4.975470e-04,5.009700e-04,5.054140e-04,5.067701e-04,5.121815e-04,5.125980e-04,5.172180e-04,5.191307e-04,5.218936e-04,5.250444e-04,5.262223e-04,5.302181e-04,5.303712e-04,5.338948e-04,5.351429e-04,5.372660e-04,5.393908e-04,5.403452e-04,5.431454e-04,5.456795e-04,5.464363e-04,5.479600e-04,5.492920e-04,5.499990e-04,5.517403e-04,5.518084e-04,5.533994e-04,5.538073e-04,5.547831e-04,5.555183e-04,5.559702e-04,5.568973e-04,5.569707e-04,5.577946e-04,5.579672e-04,5.584514e-04,5.587495e-04,5.589500e-04,5.592650e-04,5.592993e-04,5.595074e-04,5.595329e-04,5.595825e-04,5.595716e-04,5.595322e-04,5.593983e-04,5.593637e-04,5.590841e-04,5.590294e-04,5.586998e-04,5.584802e-04,5.582174e-04,5.577648e-04,5.576428e-04,5.569818e-04,5.568970e-04,5.562400e-04,5.558892e-04,5.554224e-04,5.547535e-04,5.545341e-04,5.535798e-04,5.535007e-04,5.525640e-04,5.521414e-04,5.514910e-04,5.506853e-04,5.503648e-04,5.491894e-04,5.491414e-04,5.479683e-04,5.475182e-04,5.467050e-04,5.458236e-04,5.454028e-04,5.440650e-04,5.422492e-04,5.403828e-04,5.384716e-04,5.365212e-04,5.345368e-04,5.325233e-04,5.304850e-04,5.284261e-04,5.263505e-04,5.242618e-04,5.221632e-04,5.200579e-04,5.179486e-04,5.158379e-04,5.137284e-04,5.116222e-04,5.095214e-04,5.074279e-04,5.053433e-04,5.032694e-04,5.012076e-04,4.991592e-04,4.971254e-04,4.951073e-04
0.000000e+00,1.721233e-09,4.488000e-09,1.774329e-08,4.307507e-08,6.437196e-08,1.523835e-07,1.571792e-07,3.121530e-07,3.690219e-07,5.467701e-07,7.335644e-07,8.796659e-07,1.286191e-06,1.326309e-06,1.891478e-06,2.044121e-06,2.568013e-06,2.991064e-06,3.343987e-06,4.100266e-06,4.208336e-06,5.151871e-06,5.349360e-06,6.166505e-06,6.719624e-06,7.244426e-06,8.192934e-06,8.377616e-06,9.557657e-06,9.750227e-06,1.077573e-05,1.137125e-05,1.202273e-05,1.303497e-05,1.328945e-05,1.456675e-05,1.472031e-05,1.584579e-05,1.640693e-05,1.711817e-05,1.807591e-05,1.837611e-05,1.961255e-05,1.971034e-05,2.082121e-05,2.129564e-05,2.199662e-05,2.281972e-05,2.313419e-05,2.423012e-05,2.427305e-05,2.528142e-05,2.564850e-05,2.628582e-05,2.694119e-05,2.724174e-05,2.814820e-05,2.900478e-05,2.926834e-05,2.981150e-05,3.030183e-05,3.056881e-05,3.125004e-05,3.127747e-05,3.193853e-05,3.211527e-05,3.255328e-05,3.290049e-05,3.312315e-05,3.360917e-05,3.364974e-05,3.413473e-05,3.424513e-05,3.457986e-05,3.481238e-05,3.498691e-05,3.531503e-05,3.535767e-05,3.569394e-05,3.575722e-05,3.599750e-05,3.614300e-05,3.627008e-05,3.647635e-05,3.651338e-05,3.672905e-05,3.676110e-05,3.691869e-05,3.700093e-05,3.708384e-05,3.719931e-05,3.722597e-05,3.734649e-05,3.735956e-05,3.744675e-05,3.748478e-05,3.752804e-05,3.757788e-05,3.759158e-05,3.763853e-05,3.764160e-05,3.767000e-05,3.767849e-05,3.768703e-05,3.769090e-05,3.769060e-05,3.768166e-05,3.768106e-05,3.766109e-05,3.765099e-05,3.762971e-05,3.760260e-05,3.758831e-05,3.753763e-05,3.747836e-05,3.745769e-05,3.741117e-05,3.736429e-05,3.733667e-05,3.725880e-05,3.725543e-05,3.716801e-05,3.714250e-05,3.707492e-05,3.701654e-05,3.697663e-05,3.688201e-05,3.687360e-05,3.676625e-05,3.673989e-05,3.665499e-05,3.659110e-05,3.654017e-05,3.643648e-05,3.642216e-05,3.630128e-05,3.627679e-05,3.617783e-05,3.611273e-05,3.605211e-05,3.594495e-05,3.592439e-05,3.579491e-05,3.577404e-05,3.566391e-05,3.560055e-05,3.553161e-05,3.542497e-05,3.539822e-05,3.526393e-05,3.524776e-05,3.512891e-05,3.506932e-05,3.499335e-05,3.489004e-05,3.485738e-05,3.472116e-05,3.471026e-05,3.458483e-05,3.453029e-05,3.444850e-05,3.435042e-05,3.431230e-05,3.417633e-05,3.417090e-05,3.404070e-05,3.399198e-05,3.390550e-05,3.381385e-05,3.377082e-05,3.363673e-05,3.346077e-05,3.328614e-05,3.311296e-05,3.294138e-05,3.277150e-05,3.260341e-05,3.243721e-05,3.227297e-05,3.211075e-05,3.195063e-05,3.179263e-05,3.163682e-05,3.148322e-05,3.133186e-05,3.118276e-05,3.103595e-05,3.089143e-05,3.074922e-05,3.060932e-05,3.047173e-05,3.033644e-05,3.020346e-05,3.007277e-05,2.994436e-05
0.000000e+00,3.269041e-09,7.482132e-09,2.574136e-08,5.865078e-08,8.567550e-08,1.953642e-07,2.012972e-07,3.922583e-07,4.622016e-07,6.809818e-07,9.115936e-07,1.092692e-06,1.600910e-06,1.651445e-06,2.370593e-06,2.566892e-06,3.245433e-06,3.796932e-06,4.258197e-06,5.247208e-06,5.388412e-06,6.618145e-06,6.874671e-06,7.932374e-06,8.644764e-06,9.317981e-06,1.052817e-05,1.076285e-05,1.225536e-05,1.249783e-05,1.378426e-05,1.452784e-05,1.533864e-05,1.659347e-05,1.690808e-05,1.848278e-05,1.867166e-05,2.005369e-05,2.074155e-05,2.161263e-05,2.278490e-05,2.315232e-05,2.466641e-05,2.478626e-05,2.614947e-05,2.673296e-05,2.759698e-05,2.861506e-05,2.900523e-05,3.037128e-05,3.042501e-05,3.169289e-05,3.215746e-05,3.296841e-05,3.380884e-05,3.419672e-05,3.537715e-05,3.650944e-05,3.686161e-05,3.759365e-05,3.826245e-05,3.863011e-05,3.958069e-05,3.961936e-05,4.056216e-05,4.081794e-05,4.145939e-05,4.197626e-05,4.231205e-05,4.305806e-05,4.312123e-05,4.388809e-05,4.406597e-05,4.461384e-05,4.500276e-05,4.529972e-05,4.587132e-05,4.594699e-05,4.655694e-05,4.667456e-05,4.713082e-05,4.741541e-05,4.766991e-05,4.809678e-05,4.817547e-05,4.864873e-05,4.872154e-05,4.909093e-05,4.929250e-05,4.950325e-05,4.981238e-05,4.988687e-05,5.024293e-05,5.028386e-05,5.057256e-05,5.070950e-05,5.087684e-05,5.109180e-05,5.115683e-05,5.141357e-05,5.143313e-05,5.164804e-05,5.173581e-05,5.186121e-05,5.200204e-05,5.205403e-05,5.222740e-05,5.223394e-05,5.238219e-05,5.243354e-05,5.251926e-05,5.260276e-05,5.263942e-05,5.274346e-05,5.283215e-05,5.285741e-05,5.290622e-05,5.294627e-05,5.296637e-05,5.301166e-05,5.301329e-05,5.304764e-05,5.305510e-05,5.307005e-05,5.307802e-05,5.308113e-05,5.308181e-05,5.308145e-05,5.307159e-05,5.306777e-05,5.305209e-05,5.303715e-05,5.302346e-05,5.299111e-05,5.298619e-05,5.294078e-05,5.293076e-05,5.288768e-05,5.285717e-05,5.282732e-05,5.277133e-05,5.276013e-05,5.268652e-05,5.267417e-05,5.260687e-05,5.256661e-05,5.252156e-05,5.244947e-05,5.243093e-05,5.233534e-05,5.232355e-05,5.223510e-05,5.218960e-05,5.213053e-05,5.204834e-05,5.202192e-05,5.190957e-05,5.190043e-05,5.179374e-05,5.174649e-05,5.167469e-05,5.158713e-05,5.155268e-05,5.142794e-05,5.142289e-05,5.130069e-05,5.125431e-05,5.117115e-05,5.108187e-05,5.103953e-05,5.090603e-05,5.072724e-05,5.054589e-05,5.036237e-05,5.017704e-05,4.999023e-05,4.980225e-05,4.961339e-05,4.942393e-05,4.923412e-05,4.904419e-05,4.885437e-05,4.866485e-05,4.847584e-05,4.828749e-05,4.809999e-05,4.791346e-05,4.772806e-05,4.754392e-05,4.736114e-05,4.717983e-05,4.700010e-05,4.682203e-05,4.664570e-05,4.647118e-05
0.000000e+00,6.381564e-10,2.498606e-09,1.899739e-08,7.274344e-08,1.343973e-07,5.040661e-07,5.286048e-07,1.509048e-06,1.945824e-06,3.521650e-06,5.464704e-06,7.158454e-06,1.257420e-05,1.316156e-05,2.241814e-05,2.523368e-05,3.593269e-05,4.575585e-05,5.476473e-05,7.655504e-05,7.994334e-05,1.123876e-04,1.198181e-04,1.528527e-04,1.772594e-04,2.019021e-04,2.500092e-04,2.598991e-04,3.270089e-04,3.385931e-04,4.032086e-04,4.429615e-04,4.883009e-04,5.625434e-04,5.819304e-04,6.836022e-04,6.963152e-04,7.927014e-04,8.428772e-04,9.085139e-04,1.000536e-03,1.030247e-03,1.157050e-03,1.167387e-03,1.288036e-03,1.341398e-03,1.422296e-03,1.520481e-03,1.558923e-03,1.697020e-03,1.702562e-03,1.835722e-03,1.885641e-03,1.974199e-03,2.067835e-03,2.111671e-03,2.247414e-03,2.380764e-03,2.422830e-03,2.511121e-03,2.592729e-03,2.637952e-03,2.755959e-03,2.760791e-03,2.879237e-03,2.911567e-03,2.992953e-03,3.058796e-03,3.101665e-03,3.197072e-03,3.205155e-03,3.303262e-03,3.325993e-03,3.395873e-03,3.445310e-03,3.482925e-03,3.554912e-03,3.564394e-03,3.640295e-03,3.654811e-03,3.710678e-03,3.745120e-03,3.775619e-03,3.826041e-03,3.835224e-03,3.889618e-03,3.897847e-03,3.938946e-03,3.960871e-03,3.983368e-03,4.015488e-03,4.023056e-03,4.058192e-03,4.062111e-03,4.088965e-03,4.101173e-03,4.115569e-03,4.133123e-03,4.138204e-03,4.157066e-03,4.158418e-03,4.172356e-03,4.177517e-03,4.184272e-03,4.190870e-03,4.193007e-03,4.198754e-03,4.198924e-03,4.201700e-03,4.202111e-03,4.202028e-03,4.200846e-03,4.199915e-03,4.195531e-03,4.189042e-03,4.186547e-03,4.180606e-03,4.174255e-03,4.170375e-03,4.158998e-03,4.158493e-03,4.145100e-03,4.141096e-03,4.130325e-03,4.120850e-03,4.114295e-03,4.098540e-03,4.097128e-03,4.078934e-03,4.074427e-03,4.059820e-03,4.048751e-03,4.039884e-03,4.021736e-03,4.019221e-03,3.997917e-03,3.993587e-03,3.976055e-03,3.964492e-03,3.953712e-03,3.934624e-03,3.930959e-03,3.907863e-03,3.904140e-03,3.884487e-03,3.873183e-03,3.860887e-03,3.841882e-03,3.837117e-03,3.813228e-03,3.810355e-03,3.789264e-03,3.778708e-03,3.765268e-03,3.747034e-03,3.741279e-03,3.717332e-03,3.715419e-03,3.693461e-03,3.683940e-03,3.669694e-03,3.652662e-03,3.646059e-03,3.622581e-03,3.621646e-03,3.599283e-03,3.590943e-03,3.576183e-03,3.560599e-03,3.553302e-03,3.530654e-03,3.501142e-03,3.472092e-03,3.443528e-03,3.415473e-03,3.387941e-03,3.360947e-03,3.334501e-03,3.308611e-03,3.283282e-03,3.258516e-03,3.234317e-03,3.210682e-03,3.187609e-03,3.165095e-03,3.143136e-03,3.121726e-03,3.100858e-03,3.080525e-03,3.060718e-03,3.041430e-03,3.022651e-03,3.004372e-03,2.986582e-03,2.969273e-03
0.000000e+00,1.974383e-10,6.914230e-10,4.211881e-09,1.332583e-08,2.226895e-08,6.534671e-08,6.787527e-08,1.549075e-07,1.885410e-07,2.968143e-07,4.137836e-07,5.067752e-07,7.712957e-07,7.978708e-07,1.182485e-06,1.289875e-06,1.670142e-06,1.989703e-06,2.263737e-06,2.868508e-06,2.956395e-06,3.732185e-06,3.895531e-06,4.570507e-06,5.024215e-06,5.450745e-06,6.209260e-06,6.354880e-06,7.268083e-06,7.414198e-06,8.178301e-06,8.611181e-06,9.075671e-06,9.778775e-06,9.952019e-06,1.080056e-05,1.090024e-05,1.161573e-05,1.196265e-05,1.239309e-05,1.295647e-05,1.312926e-05,1.382186e-05,1.387534e-05,1.446945e-05,1.471570e-05,1.507137e-05,1.547650e-05,1.562771e-05,1.613917e-05,1.615871e-05,1.660693e-05,1.676492e-05,1.703256e-05,1.729888e-05,1.741794e-05,1.776513e-05,1.807632e-05,1.816867e-05,1.835377e-05,1.851469e-05,1.859976e-05,1.880837e-05,1.881651e-05,1.900620e-05,1.905475e-05,1.917092e-05,1.925860e-05,1.931266e-05,1.942437e-05,1.943329e-05,1.953456e-05,1.955617e-05,1.961812e-05,1.965774e-05,1.968548e-05,1.973247e-05,1.973804e-05,1.977710e-05,1.978340e-05,1.980386e-05,1.981327e-05,1.981939e-05,1.982451e-05,1.982471e-05,1.982073e-05,1.981929e-05,1.980828e-05,1.979952e-05,1.978813e-05,1.976693e-05,1.976097e-05,1.972744e-05,1.972301e-05,1.968812e-05,1.966913e-05,1.964355e-05,1.960646e-05,1.959420e-05,1.954054e-05,1.953607e-05,1.948295e-05,1.945890e-05,1.942181e-05,1.937578e-05,1.935745e-05,1.929019e-05,1.928745e-05,1.922032e-05,1.919457e-05,1.914808e-05,1.909774e-05,1.907374e-05,1.899749e-05,1.891956e-05,1.889430e-05,1.884013e-05,1.878858e-05,1.875936e-05,1.868072e-05,1.867742e-05,1.859445e-05,1.857106e-05,1.851060e-05,1.845991e-05,1.842598e-05,1.834756e-05,1.834072e-05,1.825492e-05,1.823425e-05,1.816867e-05,1.812022e-05,1.808209e-05,1.800567e-05,1.799524e-05,1.790820e-05,1.789078e-05,1.782106e-05,1.777572e-05,1.773387e-05,1.766065e-05,1.764671e-05,1.755963e-05,1.754570e-05,1.747268e-05,1.743100e-05,1.738591e-05,1.731666e-05,1.729938e-05,1.721312e-05,1.720279e-05,1.712717e-05,1.708947e-05,1.704158e-05,1.697679e-05,1.695637e-05,1.687159e-05,1.686482e-05,1.678724e-05,1.675364e-05,1.670337e-05,1.664330e-05,1.662001e-05,1.653716e-05,1.653386e-05,1.645485e-05,1.642536e-05,1.637311e-05,1.631786e-05,1.629195e-05,1.621139e-05,1.610598e-05,1.600166e-05,1.589847e-05,1.579643e-05,1.569555e-05,1.559585e-05,1.549734e-05,1.540005e-05,1.530397e-05,1.520911e-05,1.511549e-05,1.502310e-05,1.493195e-05,1.484203e-05,1.475335e-05,1.466590e-05,1.457968e-05,1.449469e-05,1.441092e-05,1.432836e-05,1.424700e-05,1.416684e-05,1.408787e-05,1.401009e-05
0.000000e+00,1.047990e-10,4.070467e-10,3.043504e-09,1.147513e-08,2.101886e-08,7.704663e-08,8.072015e-08,2.249564e-07,2.880936e-07,5.122047e-07,7.828548e-07,1.015007e-06,1.740368e-06,1.817790e-06,3.014369e-06,3.371202e-06,4.705110e-06,5.906309e-06,6.993380e-06,9.582208e-06,9.980837e-06,1.376163e-05,1.462040e-05,1.841655e-05,2.120422e-05,2.400841e-05,2.946115e-05,3.057943e-05,3.815038e-05,3.945480e-05,4.672107e-05,5.118499e-05,5.627165e-05,6.459284e-05,6.676440e-05,7.814583e-05,7.956826e-05,9.034895e-05,9.595884e-05,1.032956e-04,1.135792e-04,1.168990e-04,1.310657e-04,1.322205e-04,1.456985e-04,1.516599e-04,1.606980e-04,1.716689e-04,1.759649e-04,1.914017e-04,1.920214e-04,2.069142e-04,2.124998e-04,2.224127e-04,2.329007e-04,2.378134e-04,2.530384e-04,2.680172e-04,2.727478e-04,2.826863e-04,2.918859e-04,2.969897e-04,3.103318e-04,3.108789e-04,3.243123e-04,3.279872e-04,3.372558e-04,3.447748e-04,3.496814e-04,3.606370e-04,3.615677e-04,3.728989e-04,3.755346e-04,3.836646e-04,3.894441e-04,3.938592e-04,4.023567e-04,4.034812e-04,4.125330e-04,4.142755e-04,4.210206e-04,4.252139e-04,4.289525e-04,4.351940e-04,4.363399e-04,4.431960e-04,4.442447e-04,4.495359e-04,4.524003e-04,4.553757e-04,4.596993e-04,4.607330e-04,4.656260e-04,4.661829e-04,4.700735e-04,4.718942e-04,4.740947e-04,4.768777e-04,4.777091e-04,4.809360e-04,4.811780e-04,4.837948e-04,4.848395e-04,4.863046e-04,4.879061e-04,4.884841e-04,4.903519e-04,4.904203e-04,4.919256e-04,4.924236e-04,4.932229e-04,4.939556e-04,4.942603e-04,4.950543e-04,4.956205e-04,4.957559e-04,4.959737e-04,4.960946e-04,4.961283e-04,4.961027e-04,4.960981e-04,4.958960e-04,4.958104e-04,4.955346e-04,4.952462e-04,4.950257e-04,4.944368e-04,4.943804e-04,4.936093e-04,4.934067e-04,4.927226e-04,4.921790e-04,4.917296e-04,4.907750e-04,4.906393e-04,4.894602e-04,4.892145e-04,4.882002e-04,4.875155e-04,4.868667e-04,4.856950e-04,4.854668e-04,4.840071e-04,4.837684e-04,4.824936e-04,4.817498e-04,4.809322e-04,4.796523e-04,4.793284e-04,4.776870e-04,4.774878e-04,4.760129e-04,4.752671e-04,4.743105e-04,4.730002e-04,4.725838e-04,4.708367e-04,4.706962e-04,4.690728e-04,4.683633e-04,4.672953e-04,4.660088e-04,4.655073e-04,4.637117e-04,4.636397e-04,4.619111e-04,4.612621e-04,4.601079e-04,4.588814e-04,4.583044e-04,4.565026e-04,4.541303e-04,4.517685e-04,4.494207e-04,4.470903e-04,4.447799e-04,4.424922e-04,4.402294e-04,4.379935e-04,4.357860e-04,4.336086e-04,4.314625e-04,4.293488e-04,4.272683e-04,4.252219e-04,4.232101e-04,4.212334e-04,4.192923e-04,4.173869e-04,4.155175e-04,4.136840e-04,4.118866e-04,4.101252e-04,4.083995e-04,4.067096e-04
0.000000e+00,4.567915e-09,1.117820e-08,4.118319e-08,9.656176e-08,1.423266e-07,3.277134e-07,3.376902e-07,6.550853e-07,7.694826e-07,1.121249e-06,1.483221e-06,1.762211e-06,2.527630e-06,2.602758e-06,3.664279e-06,3.953667e-06,4.960126e-06,5.788449e-06,6.489015e-06,8.011574e-06,8.230735e-06,1.014970e-05,1.055112e-05,1.220454e-05,1.331357e-05,1.435615e-05,1.621339e-05,1.657072e-05,1.881959e-05,1.918091e-05,2.107836e-05,2.215979e-05,2.332598e-05,2.510376e-05,2.554430e-05,2.771778e-05,2.797493e-05,2.983330e-05,3.074291e-05,3.188007e-05,3.338423e-05,3.384943e-05,3.573472e-05,3.588175e-05,3.753107e-05,3.822393e-05,3.923522e-05,4.040401e-05,4.084528e-05,4.236056e-05,4.241920e-05,4.378134e-05,4.426988e-05,4.510873e-05,4.595889e-05,4.634450e-05,4.749093e-05,4.855069e-05,4.887199e-05,4.952677e-05,5.010900e-05,5.042234e-05,5.120942e-05,5.124072e-05,5.198532e-05,5.218105e-05,5.265956e-05,5.303176e-05,5.326687e-05,5.376939e-05,5.381063e-05,5.429417e-05,5.440162e-05,5.472074e-05,5.493592e-05,5.509351e-05,5.537948e-05,5.541554e-05,5.568979e-05,5.573916e-05,5.591912e-05,5.602152e-05,5.610625e-05,5.623276e-05,5.625382e-05,5.636432e-05,5.637873e-05,5.644017e-05,5.646494e-05,5.648364e-05,5.649658e-05,5.649692e-05,5.648209e-05,5.647851e-05,5.644112e-05,5.641530e-05,5.637589e-05,5.631118e-05,5.628816e-05,5.617962e-05,5.617009e-05,5.605185e-05,5.599569e-05,5.590634e-05,5.579139e-05,5.574451e-05,5.556771e-05,5.556035e-05,5.537722e-05,5.530551e-05,5.517421e-05,5.502960e-05,5.495982e-05,5.473511e-05,5.450106e-05,5.442436e-05,5.425863e-05,5.409949e-05,5.400870e-05,5.376247e-05,5.375208e-05,5.348957e-05,5.341511e-05,5.322188e-05,5.305908e-05,5.294971e-05,5.269590e-05,5.267369e-05,5.239442e-05,5.232697e-05,5.211245e-05,5.195357e-05,5.182831e-05,5.157686e-05,5.154249e-05,5.125544e-05,5.119792e-05,5.096757e-05,5.081769e-05,5.067929e-05,5.043707e-05,5.039094e-05,5.010288e-05,5.005684e-05,4.981542e-05,4.967773e-05,4.952884e-05,4.930038e-05,4.924340e-05,4.895936e-05,4.892538e-05,4.867695e-05,4.855325e-05,4.839635e-05,4.818444e-05,4.811778e-05,4.784140e-05,4.781939e-05,4.756736e-05,4.745844e-05,4.729582e-05,4.710192e-05,4.702689e-05,4.676071e-05,4.675012e-05,4.649736e-05,4.640327e-05,4.623695e-05,4.606159e-05,4.597956e-05,4.572526e-05,4.539443e-05,4.506921e-05,4.474972e-05,4.443603e-05,4.412819e-05,4.382625e-05,4.353023e-05,4.324015e-05,4.295598e-05,4.267773e-05,4.240536e-05,4.213884e-05,4.187812e-05,4.162315e-05,4.137386e-05,4.113020e-05,4.089208e-05,4.065944e-05,4.043219e-05,4.021024e-05,3.999352e-05,3.978193e-05,3.957539e-05,3.937379e-05
0.000000e+00,7.295866e-09,1.672756e-08,5.762586e-08,1.312317e-07,1.915216e-07,4.346315e-07,4.477072e-07,8.646530e-07,1.015568e-06,1.482113e-06,1.966230e-06,2.342143e-06,3.385513e-06,3.488844e-06,4.965620e-06,5.373448e-06,6.808377e-06,8.007788e-06,9.034567e-06,1.130268e-05,1.163306e-05,1.456388e-05,1.518503e-05,1.776998e-05,1.952591e-05,2.119159e-05,2.419264e-05,2.477484e-05,2.847393e-05,2.907387e-05,3.225028e-05,3.408053e-05,3.607098e-05,3.914020e-05,3.990753e-05,4.373502e-05,4.419264e-05,4.753159e-05,4.918728e-05,5.127818e-05,5.408195e-05,5.495835e-05,5.855809e-05,5.884223e-05,6.206572e-05,6.344077e-05,6.547168e-05,6.785668e-05,6.876838e-05,7.195003e-05,7.207484e-05,7.501240e-05,7.608507e-05,7.795266e-05,7.988143e-05,8.076921e-05,8.346147e-05,8.602977e-05,8.682559e-05,8.847515e-05,8.997644e-05,9.079929e-05,9.291839e-05,9.300433e-05,9.509284e-05,9.565713e-05,9.706769e-05,9.819933e-05,9.893199e-05,1.005523e-04,1.006890e-04,1.023422e-04,1.027239e-04,1.038951e-04,1.047222e-04,1.053511e-04,1.065552e-04,1.067140e-04,1.079871e-04,1.082313e-04,1.091741e-04,1.097585e-04,1.102785e-04,1.111447e-04,1.113036e-04,1.122528e-04,1.123979e-04,1.131295e-04,1.135254e-04,1.139368e-04,1.145347e-04,1.146778e-04,1.153556e-04,1.154328e-04,1.159732e-04,1.162265e-04,1.165333e-04,1.169222e-04,1.170387e-04,1.174922e-04,1.175263e-04,1.178962e-04,1.180445e-04,1.182532e-04,1.184826e-04,1.185657e-04,1.188360e-04,1.188459e-04,1.190662e-04,1.191397e-04,1.192585e-04,1.193686e-04,1.194149e-04,1.195374e-04,1.196280e-04,1.196505e-04,1.196883e-04,1.197118e-04,1.197201e-04,1.197255e-04,1.197252e-04,1.197050e-04,1.196951e-04,1.196612e-04,1.196241e-04,1.195951e-04,1.195159e-04,1.195082e-04,1.194018e-04,1.193735e-04,1.192771e-04,1.191998e-04,1.191355e-04,1.189977e-04,1.189780e-04,1.188057e-04,1.187696e-04,1.186198e-04,1.185180e-04,1.184212e-04,1.182453e-04,1.182109e-04,1.179897e-04,1.179534e-04,1.177587e-04,1.176445e-04,1.175185e-04,1.173203e-04,1.172700e-04,1.170139e-04,1.169827e-04,1.167510e-04,1.166333e-04,1.164818e-04,1.162735e-04,1.162071e-04,1.159275e-04,1.159049e-04,1.156435e-04,1.155288e-04,1.153556e-04,1.151463e-04,1.150645e-04,1.147705e-04,1.147587e-04,1.144741e-04,1.143669e-04,1.141758e-04,1.139721e-04,1.138760e-04,1.135750e-04,1.131766e-04,1.127776e-04,1.123788e-04,1.119807e-04,1.115841e-04,1.111894e-04,1.107972e-04,1.104079e-04,1.100219e-04,1.096397e-04,1.092616e-04,1.088879e-04,1.085188e-04,1.081546e-04,1.077956e-04,1.074419e-04,1.070936e-04,1.067510e-04,1.064142e-04,1.060832e-04,1.057582e-04,1.054391e-04,1.051262e-04,1.048193e-04
0.000000e+00,1.559834e-10,6.089788e-10,4.602151e-09,1.752140e-08,3.226627e-08,1.199419e-07,1.257329e-07,3.554229e-07,4.569762e-07,8.207024e-07,1.264907e-06,1.649167e-06,2.864063e-06,2.994788e-06,5.034942e-06,5.649388e-06,7.965391e-06,1.007184e-05,1.199150e-05,1.660137e-05,1.731499e-05,2.411878e-05,2.567117e-05,3.255449e-05,3.762512e-05,4.273503e-05,5.268855e-05,5.473182e-05,6.857525e-05,7.096153e-05,8.425693e-05,9.242546e-05,1.017330e-04,1.169561e-04,1.209280e-04,1.417394e-04,1.443396e-04,1.640415e-04,1.742902e-04,1.876907e-04,2.064683e-04,2.125292e-04,2.383901e-04,2.404980e-04,2.651009e-04,2.759841e-04,2.924873e-04,3.125267e-04,3.203767e-04,3.486010e-04,3.497346e-04,3.769990e-04,3.872352e-04,4.054184e-04,4.246827e-04,4.337169e-04,4.617638e-04,4.894403e-04,4.982009e-04,5.166401e-04,5.337539e-04,5.432691e-04,5.682199e-04,5.692455e-04,5.944993e-04,6.014326e-04,6.189717e-04,6.332596e-04,6.426145e-04,6.636000e-04,6.653893e-04,6.872670e-04,6.923817e-04,7.082266e-04,7.195576e-04,7.282546e-04,7.451030e-04,7.473441e-04,7.654944e-04,7.690120e-04,7.827097e-04,7.912949e-04,7.989989e-04,8.119754e-04,8.143748e-04,8.288535e-04,8.310880e-04,8.424537e-04,8.486759e-04,8.551967e-04,8.647893e-04,8.671054e-04,8.782045e-04,8.794831e-04,8.885194e-04,8.928164e-04,8.980767e-04,9.048501e-04,9.069034e-04,9.150267e-04,9.156470e-04,9.224743e-04,9.252702e-04,9.292734e-04,9.337825e-04,9.354513e-04,9.410350e-04,9.412463e-04,9.460509e-04,9.477226e-04,9.505249e-04,9.532708e-04,9.544826e-04,9.579487e-04,9.609473e-04,9.618119e-04,9.635017e-04,9.649140e-04,9.656347e-04,9.673062e-04,9.673682e-04,9.687232e-04,9.690376e-04,9.697203e-04,9.701548e-04,9.703789e-04,9.707022e-04,9.707180e-04,9.707557e-04,9.707218e-04,9.705093e-04,9.702536e-04,9.699956e-04,9.693351e-04,9.692305e-04,9.682294e-04,9.680021e-04,9.670067e-04,9.662880e-04,9.655764e-04,9.642244e-04,9.639519e-04,9.621460e-04,9.618410e-04,9.601706e-04,9.591656e-04,9.580373e-04,9.562245e-04,9.557572e-04,9.533408e-04,9.530421e-04,9.507979e-04,9.496414e-04,9.481381e-04,9.460440e-04,9.453703e-04,9.425032e-04,9.422698e-04,9.395448e-04,9.383377e-04,9.365029e-04,9.342651e-04,9.333848e-04,9.301973e-04,9.300685e-04,9.269471e-04,9.257629e-04,9.236404e-04,9.213626e-04,9.202831e-04,9.168807e-04,9.123296e-04,9.077204e-04,9.030638e-04,8.983694e-04,8.936464e-04,8.889031e-04,8.841472e-04,8.793858e-04,8.746254e-04,8.698722e-04,8.651315e-04,8.604084e-04,8.557077e-04,8.510335e-04,8.463897e-04,8.417798e-04,8.372069e-04,8.326739e-04,8.281834e-04,8.237378e-04,8.193390e-04,8.149890e-04,8.106893e-04,8.064415e-04
0.000000e+00,3.850038e-09,9.918167e-09,3.871375e-08,9.349130e-08,1.394903e-07,3.296370e-07,3.400058e-07,6.756690e-07,7.991486e-07,1.186264e-06,1.595336e-06,1.917326e-06,2.825860e-06,2.916699e-06,4.221266e-06,4.581293e-06,5.837085e-06,6.867512e-06,7.733369e-06,9.594128e-06,9.859711e-06,1.216603e-05,1.264505e-05,1.461043e-05,1.592454e-05,1.715887e-05,1.935890e-05,1.978271e-05,2.245663e-05,2.288754e-05,2.515757e-05,2.645727e-05,2.786411e-05,3.002003e-05,3.055647e-05,3.321650e-05,3.353273e-05,3.582787e-05,3.695767e-05,3.837619e-05,4.026306e-05,4.084909e-05,4.323624e-05,4.342325e-05,4.552928e-05,4.641863e-05,4.772172e-05,4.923528e-05,4.980886e-05,5.178764e-05,5.186451e-05,5.365641e-05,5.430209e-05,5.541455e-05,5.654708e-05,5.706253e-05,5.860180e-05,6.003441e-05,6.047075e-05,6.136307e-05,6.216026e-05,6.259086e-05,6.367785e-05,6.372124e-05,6.475788e-05,6.503186e-05,6.570462e-05,6.623115e-05,6.656541e-05,6.728486e-05,6.734425e-05,6.804510e-05,6.820214e-05,6.867192e-05,6.899204e-05,6.922857e-05,6.966341e-05,6.971887e-05,7.014648e-05,7.022480e-05,7.051498e-05,7.068439e-05,7.082782e-05,7.105002e-05,7.108831e-05,7.129963e-05,7.132909e-05,7.146484e-05,7.152862e-05,7.158684e-05,7.165521e-05,7.166842e-05,7.171222e-05,7.171506e-05,7.172077e-05,7.171398e-05,7.169645e-05,7.165740e-05,7.164155e-05,7.155821e-05,7.155037e-05,7.144848e-05,7.139763e-05,7.131429e-05,7.120356e-05,7.115747e-05,7.097976e-05,7.097224e-05,7.078278e-05,7.070746e-05,7.056809e-05,7.041272e-05,7.033712e-05,7.009126e-05,6.983181e-05,6.974611e-05,6.955997e-05,6.938002e-05,6.927689e-05,6.899556e-05,6.898365e-05,6.868127e-05,6.859509e-05,6.837069e-05,6.818078e-05,6.805281e-05,6.775464e-05,6.772847e-05,6.739846e-05,6.731849e-05,6.706350e-05,6.687403e-05,6.672430e-05,6.642280e-05,6.638150e-05,6.603569e-05,6.596622e-05,6.568746e-05,6.550558e-05,6.533731e-05,6.504207e-05,6.498574e-05,6.463321e-05,6.457674e-05,6.428015e-05,6.411060e-05,6.392694e-05,6.364452e-05,6.357396e-05,6.322156e-05,6.317932e-05,6.287003e-05,6.271572e-05,6.251969e-05,6.225438e-05,6.217079e-05,6.182359e-05,6.179590e-05,6.147832e-05,6.134080e-05,6.113519e-05,6.088956e-05,6.079438e-05,6.045609e-05,6.044261e-05,6.012047e-05,6.000033e-05,5.978767e-05,5.956304e-05,5.945781e-05,5.913103e-05,5.870457e-05,5.828388e-05,5.786913e-05,5.746050e-05,5.705812e-05,5.666210e-05,5.627253e-05,5.588947e-05,5.551298e-05,5.514308e-05,5.477980e-05,5.442315e-05,5.407311e-05,5.372965e-05,5.339277e-05,5.306240e-05,5.273852e-05,5.242106e-05,5.210996e-05,5.180515e-05,5.150657e-05,5.121414e-05,5.092778e-05,5.064739e-05
0.000000e+00,5.785145e-11,2.135460e-10,1.438913e-09,4.947755e-09,8.628957e-09,2.805870e-08,2.926098e-08,7.340663e-08,9.161537e-08,1.535233e-07,2.249082e-07,2.842098e-07,4.606995e-07,4.788156e-07,7.423875e-07,8.153748e-07,1.068198e-06,1.272500e-06,1.441543e-06,1.796071e-06,1.845668e-06,2.265586e-06,2.350363e-06,2.689416e-06,2.908303e-06,3.108281e-06,3.451496e-06,3.515703e-06,3.906990e-06,3.967859e-06,4.278783e-06,4.449604e-06,4.628766e-06,4.892054e-06,4.955497e-06,5.258279e-06,5.292996e-06,5.537067e-06,5.652243e-06,5.792355e-06,5.971216e-06,6.025072e-06,6.236471e-06,6.252505e-06,6.428021e-06,6.499438e-06,6.601313e-06,6.715693e-06,6.757977e-06,6.899620e-06,6.904995e-06,7.027778e-06,7.070894e-06,7.143886e-06,7.216630e-06,7.249254e-06,7.345065e-06,7.432369e-06,7.458664e-06,7.512092e-06,7.559515e-06,7.585044e-06,7.649362e-06,7.651928e-06,7.713355e-06,7.729650e-06,7.769850e-06,7.801573e-06,7.821871e-06,7.866119e-06,7.869813e-06,7.914017e-06,7.924104e-06,7.954783e-06,7.976209e-06,7.992373e-06,8.023007e-06,8.027015e-06,8.058915e-06,8.064982e-06,8.088253e-06,8.102551e-06,8.115191e-06,8.136073e-06,8.139877e-06,8.162443e-06,8.165865e-06,8.183009e-06,8.192204e-06,8.201687e-06,8.215338e-06,8.218578e-06,8.233777e-06,8.235491e-06,8.247370e-06,8.252864e-06,8.259441e-06,8.267642e-06,8.270063e-06,8.279309e-06,8.279991e-06,8.287244e-06,8.290066e-06,8.293933e-06,8.298010e-06,8.299434e-06,8.303802e-06,8.303954e-06,8.307091e-06,8.308021e-06,8.309351e-06,8.310324e-06,8.310629e-06,8.310969e-06,8.310415e-06,8.310056e-06,8.309007e-06,8.307676e-06,8.306785e-06,8.303918e-06,8.303784e-06,8.300040e-06,8.298863e-06,8.295586e-06,8.292587e-06,8.290455e-06,8.285163e-06,8.284678e-06,8.278283e-06,8.276659e-06,8.271298e-06,8.267139e-06,8.263751e-06,8.256664e-06,8.255666e-06,8.247069e-06,8.245291e-06,8.237984e-06,8.233073e-06,8.228432e-06,8.220064e-06,8.218435e-06,8.208015e-06,8.206310e-06,8.197191e-06,8.191857e-06,8.185982e-06,8.176750e-06,8.174407e-06,8.162484e-06,8.161030e-06,8.150228e-06,8.144735e-06,8.137658e-06,8.127904e-06,8.124788e-06,8.111634e-06,8.110570e-06,8.098210e-06,8.092768e-06,8.084530e-06,8.074529e-06,8.070607e-06,8.056455e-06,8.055884e-06,8.042086e-06,8.036862e-06,8.027512e-06,8.017490e-06,8.012744e-06,7.997793e-06,7.977798e-06,7.957527e-06,7.937002e-06,7.916246e-06,7.895278e-06,7.874118e-06,7.852784e-06,7.831294e-06,7.809664e-06,7.787911e-06,7.766050e-06,7.744094e-06,7.722058e-06,7.699956e-06,7.677798e-06,7.655598e-06,7.633366e-06,7.611113e-06,7.588850e-06,7.566586e-06,7.544330e-06,7.522091e-06,7.499878e-06,7.477698e-06
0.000000e+00,2.476643e-09,5.765335e-09,2.016788e-08,4.628826e-08,6.781224e-08,1.556990e-07,1.604758e-07,3.154700e-07,3.728347e-07,5.542251e-07,7.483835e-07,9.027395e-07,1.342974e-06,1.387202e-06,2.021831e-06,2.196002e-06,2.797998e-06,3.285143e-06,3.690036e-06,4.548543e-06,4.669970e-06,5.715225e-06,5.930554e-06,6.808999e-06,7.392569e-06,7.938462e-06,8.907066e-06,9.093114e-06,1.026377e-05,1.045200e-05,1.144206e-05,1.200802e-05,1.262013e-05,1.355754e-05,1.379072e-05,1.494711e-05,1.508462e-05,1.608321e-05,1.657526e-05,1.719364e-05,1.801751e-05,1.827375e-05,1.931965e-05,1.940175e-05,2.032825e-05,2.072068e-05,2.129717e-05,2.196927e-05,2.222473e-05,2.310969e-05,2.314420e-05,2.395148e-05,2.424391e-05,2.474995e-05,2.526830e-05,2.550539e-05,2.621840e-05,2.688986e-05,2.709613e-05,2.752087e-05,2.790405e-05,2.811266e-05,2.864518e-05,2.866663e-05,2.918424e-05,2.932285e-05,2.966698e-05,2.994054e-05,3.011642e-05,3.050181e-05,3.053409e-05,3.092153e-05,3.101019e-05,3.128027e-05,3.146918e-05,3.161178e-05,3.188213e-05,3.191751e-05,3.219883e-05,3.225228e-05,3.245708e-05,3.258269e-05,3.269357e-05,3.287628e-05,3.290950e-05,3.310606e-05,3.313579e-05,3.328436e-05,3.336377e-05,3.344546e-05,3.356263e-05,3.359036e-05,3.372003e-05,3.373461e-05,3.383536e-05,3.388178e-05,3.393721e-05,3.400609e-05,3.402638e-05,3.410364e-05,3.410933e-05,3.416971e-05,3.419316e-05,3.422528e-05,3.425913e-05,3.427097e-05,3.430740e-05,3.430867e-05,3.433513e-05,3.434309e-05,3.435471e-05,3.436362e-05,3.436664e-05,3.437140e-05,3.436944e-05,3.436747e-05,3.436119e-05,3.435279e-05,3.434704e-05,3.432827e-05,3.432738e-05,3.430256e-05,3.429473e-05,3.427291e-05,3.425294e-05,3.423876e-05,3.420361e-05,3.420039e-05,3.415810e-05,3.414740e-05,3.411214e-05,3.408490e-05,3.406277e-05,3.401669e-05,3.401023e-05,3.395472e-05,3.394329e-05,3.389648e-05,3.386517e-05,3.383568e-05,3.378278e-05,3.377253e-05,3.370719e-05,3.369654e-05,3.363983e-05,3.360683e-05,3.357062e-05,3.351400e-05,3.349969e-05,3.342719e-05,3.341839e-05,3.335324e-05,3.332028e-05,3.327799e-05,3.321998e-05,3.320153e-05,3.312399e-05,3.311774e-05,3.304546e-05,3.301380e-05,3.296605e-05,3.290838e-05,3.288586e-05,3.280496e-05,3.280171e-05,3.272344e-05,3.269396e-05,3.264138e-05,3.258532e-05,3.255886e-05,3.247595e-05,3.236601e-05,3.225564e-05,3.214497e-05,3.203413e-05,3.192323e-05,3.181236e-05,3.170164e-05,3.159115e-05,3.148097e-05,3.137117e-05,3.126184e-05,3.115303e-05,3.104480e-05,3.093721e-05,3.083031e-05,3.072415e-05,3.061877e-05,3.051420e-05,3.041048e-05,3.030765e-05,3.020573e-05,3.010476e-05,3.000475e-05,2.990572e-05
0.000000e+00,3.002328e-09,7.703105e-09,2.999102e-08,7.253387e-08,1.084342e-07,2.584666e-07,2.667195e-07,5.374144e-07,6.385131e-07,9.593283e-07,1.301852e-06,1.571539e-06,2.320540e-06,2.393995e-06,3.417281e-06,3.690271e-06,4.619081e-06,5.362435e-06,5.979502e-06,7.295697e-06,7.483284e-06,9.117492e-06,9.458884e-06,1.086951e-05,1.182273e-05,1.272599e-05,1.435566e-05,1.467254e-05,1.669382e-05,1.702311e-05,1.877392e-05,1.978850e-05,2.089667e-05,2.261491e-05,2.304621e-05,2.520730e-05,2.546671e-05,2.736566e-05,2.831108e-05,2.950828e-05,3.111892e-05,3.162350e-05,3.370114e-05,3.386546e-05,3.573248e-05,3.653038e-05,3.771025e-05,3.909775e-05,3.962862e-05,4.148299e-05,4.155578e-05,4.326991e-05,4.389619e-05,4.498694e-05,4.611383e-05,4.663263e-05,4.820618e-05,4.970730e-05,5.017242e-05,5.113643e-05,5.201365e-05,5.249438e-05,5.373212e-05,5.378232e-05,5.500172e-05,5.533111e-05,5.615430e-05,5.681453e-05,5.724190e-05,5.818676e-05,5.826645e-05,5.923002e-05,5.945244e-05,6.013472e-05,6.061643e-05,6.098267e-05,6.168363e-05,6.177602e-05,6.251689e-05,6.265895e-05,6.320738e-05,6.354722e-05,6.384958e-05,6.435318e-05,6.444550e-05,6.499714e-05,6.508142e-05,6.550641e-05,6.573637e-05,6.597520e-05,6.632230e-05,6.640532e-05,6.679853e-05,6.684331e-05,6.715652e-05,6.730330e-05,6.748093e-05,6.770600e-05,6.777334e-05,6.803526e-05,6.805494e-05,6.826816e-05,6.835351e-05,6.847345e-05,6.860490e-05,6.865245e-05,6.880648e-05,6.881214e-05,6.893676e-05,6.897809e-05,6.904450e-05,6.910546e-05,6.913082e-05,6.919682e-05,6.924354e-05,6.925459e-05,6.927199e-05,6.928105e-05,6.928312e-05,6.927836e-05,6.927784e-05,6.925703e-05,6.924854e-05,6.922154e-05,6.919352e-05,6.917214e-05,6.911509e-05,6.910962e-05,6.903470e-05,6.901495e-05,6.894807e-05,6.889470e-05,6.885041e-05,6.875585e-05,6.874235e-05,6.862450e-05,6.859980e-05,6.849742e-05,6.842789e-05,6.836169e-05,6.824136e-05,6.821782e-05,6.806631e-05,6.804139e-05,6.790765e-05,6.782909e-05,6.774229e-05,6.760548e-05,6.757067e-05,6.739321e-05,6.737154e-05,6.721029e-05,6.712818e-05,6.702230e-05,6.687626e-05,6.682960e-05,6.663253e-05,6.661658e-05,6.643141e-05,6.634990e-05,6.622655e-05,6.607691e-05,6.601826e-05,6.580681e-05,6.579829e-05,6.559246e-05,6.551464e-05,6.537548e-05,6.522656e-05,6.515611e-05,6.493457e-05,6.463920e-05,6.434092e-05,6.404017e-05,6.373736e-05,6.343289e-05,6.312711e-05,6.282037e-05,6.251297e-05,6.220522e-05,6.189738e-05,6.158972e-05,6.128246e-05,6.097582e-05,6.067002e-05,6.036523e-05,6.006164e-05,5.975940e-05,5.945868e-05,5.915959e-05,5.886228e-05,5.856685e-05,5.827342e-05,5.798209e-05,5.769293e-05
0.000000e+00,1.604319e-09,3.689484e-09,1.274630e-08,2.904965e-08,4.239458e-08,9.608762e-08,9.896975e-08,1.905581e-07,2.235598e-07,3.250965e-07,4.297129e-07,5.104520e-07,7.324634e-07,7.542953e-07,1.063626e-06,1.148256e-06,1.443774e-06,1.688570e-06,1.896890e-06,2.354172e-06,2.420535e-06,3.007619e-06,3.131791e-06,3.648125e-06,3.998738e-06,4.331392e-06,4.931135e-06,5.047565e-06,5.788049e-06,5.908273e-06,6.545433e-06,6.913055e-06,7.313273e-06,7.931267e-06,8.085940e-06,8.858504e-06,8.950994e-06,9.626666e-06,9.962286e-06,1.038671e-05,1.095696e-05,1.113549e-05,1.187034e-05,1.192845e-05,1.258908e-05,1.287166e-05,1.328997e-05,1.378276e-05,1.397162e-05,1.463302e-05,1.465904e-05,1.527340e-05,1.549869e-05,1.589227e-05,1.630067e-05,1.648936e-05,1.706454e-05,1.761785e-05,1.779032e-05,1.814946e-05,1.847841e-05,1.865961e-05,1.912948e-05,1.914865e-05,1.961695e-05,1.974442e-05,2.006497e-05,2.032425e-05,2.049318e-05,2.087008e-05,2.090209e-05,2.129221e-05,2.138311e-05,2.166409e-05,2.186457e-05,2.201826e-05,2.231571e-05,2.235527e-05,2.267566e-05,2.273779e-05,2.297998e-05,2.313205e-05,2.326876e-05,2.349972e-05,2.354254e-05,2.380182e-05,2.384200e-05,2.404714e-05,2.416007e-05,2.427898e-05,2.445508e-05,2.449783e-05,2.470418e-05,2.472812e-05,2.489848e-05,2.498028e-05,2.508119e-05,2.521257e-05,2.525275e-05,2.541359e-05,2.542601e-05,2.556412e-05,2.562154e-05,2.570474e-05,2.580008e-05,2.583585e-05,2.595782e-05,2.596252e-05,2.607102e-05,2.610969e-05,2.617580e-05,2.624242e-05,2.627250e-05,2.636146e-05,2.644299e-05,2.646757e-05,2.651741e-05,2.656144e-05,2.658501e-05,2.664375e-05,2.664607e-05,2.670088e-05,2.671515e-05,2.674971e-05,2.677624e-05,2.679281e-05,2.682762e-05,2.683044e-05,2.686282e-05,2.686984e-05,2.689020e-05,2.690343e-05,2.691280e-05,2.692890e-05,2.693082e-05,2.694449e-05,2.694672e-05,2.695399e-05,2.695735e-05,2.695952e-05,2.696123e-05,2.696127e-05,2.695940e-05,2.695878e-05,2.695409e-05,2.695037e-05,2.694551e-05,2.693640e-05,2.693382e-05,2.691916e-05,2.691721e-05,2.690168e-05,2.689313e-05,2.688152e-05,2.686449e-05,2.685882e-05,2.683370e-05,2.683159e-05,2.680629e-05,2.679472e-05,2.677672e-05,2.675415e-05,2.674509e-05,2.671152e-05,2.671013e-05,2.667610e-05,2.666292e-05,2.663895e-05,2.661275e-05,2.660017e-05,2.655983e-05,2.650438e-05,2.644659e-05,2.638665e-05,2.632474e-05,2.626102e-05,2.619565e-05,2.612878e-05,2.606056e-05,2.599111e-05,2.592056e-05,2.584904e-05,2.577666e-05,2.570351e-05,2.562971e-05,2.555535e-05,2.548051e-05,2.540529e-05,2.532975e-05,2.525398e-05,2.517804e-05,2.510200e-05,2.502592e-05,2.494987e-05,2.487388e-05
0.000000e+00,2.186562e-10,7.889413e-10,5.089331e-09,1.687620e-08,2.887946e-08,8.952894e-08,9.318353e-08,2.225598e-07,2.738574e-07,4.419669e-07,6.269585e-07,7.756498e-07,1.203351e-06,1.246589e-06,1.875828e-06,2.052478e-06,2.681250e-06,3.214279e-06,3.675600e-06,4.711096e-06,4.863852e-06,6.240554e-06,6.537193e-06,7.788431e-06,8.652041e-06,9.479580e-06,1.098559e-05,1.127933e-05,1.315120e-05,1.345506e-05,1.506104e-05,1.598237e-05,1.697930e-05,1.850349e-05,1.888171e-05,2.074906e-05,2.097003e-05,2.256642e-05,2.334720e-05,2.432250e-05,2.561089e-05,2.600893e-05,2.761978e-05,2.774525e-05,2.915104e-05,2.974069e-05,3.060036e-05,3.159250e-05,3.196669e-05,3.325001e-05,3.329963e-05,3.445120e-05,3.486380e-05,3.557177e-05,3.628872e-05,3.661374e-05,3.757952e-05,3.847181e-05,3.874229e-05,3.929348e-05,3.978367e-05,4.004753e-05,4.071063e-05,4.073701e-05,4.136500e-05,4.153024e-05,4.193457e-05,4.224952e-05,4.244873e-05,4.287535e-05,4.291043e-05,4.332255e-05,4.341439e-05,4.368787e-05,4.387303e-05,4.400910e-05,4.425737e-05,4.428882e-05,4.452953e-05,4.457321e-05,4.473362e-05,4.482603e-05,4.490336e-05,4.502099e-05,4.504093e-05,4.514842e-05,4.516296e-05,4.522779e-05,4.525646e-05,4.528094e-05,4.530577e-05,4.530964e-05,4.531559e-05,4.531486e-05,4.530041e-05,4.528742e-05,4.526560e-05,4.522692e-05,4.521262e-05,4.514283e-05,4.513656e-05,4.505752e-05,4.501932e-05,4.495789e-05,4.487796e-05,4.484512e-05,4.472027e-05,4.471504e-05,4.458436e-05,4.453292e-05,4.443837e-05,4.433379e-05,4.428319e-05,4.411966e-05,4.394860e-05,4.389239e-05,4.377075e-05,4.365369e-05,4.358682e-05,4.340514e-05,4.339747e-05,4.320332e-05,4.314817e-05,4.300495e-05,4.288413e-05,4.280290e-05,4.261421e-05,4.259769e-05,4.238979e-05,4.233954e-05,4.217963e-05,4.206112e-05,4.196765e-05,4.177989e-05,4.175421e-05,4.153969e-05,4.149669e-05,4.132441e-05,4.121228e-05,4.110870e-05,4.092736e-05,4.089282e-05,4.067706e-05,4.064257e-05,4.046166e-05,4.035847e-05,4.024685e-05,4.007557e-05,4.003284e-05,3.981982e-05,3.979434e-05,3.960798e-05,3.951518e-05,3.939747e-05,3.923847e-05,3.918845e-05,3.898105e-05,3.896453e-05,3.877540e-05,3.869365e-05,3.857161e-05,3.842609e-05,3.836979e-05,3.817002e-05,3.816207e-05,3.797240e-05,3.790179e-05,3.777699e-05,3.764541e-05,3.758386e-05,3.739307e-05,3.714490e-05,3.690100e-05,3.666144e-05,3.642629e-05,3.619560e-05,3.596940e-05,3.574772e-05,3.553057e-05,3.531794e-05,3.510982e-05,3.490620e-05,3.470705e-05,3.451233e-05,3.432201e-05,3.413604e-05,3.395438e-05,3.377696e-05,3.360374e-05,3.343465e-05,3.326962e-05,3.310860e-05,3.295152e-05,3.279830e-05,3.264888e-05
0.000000e+00,1.933590e-09,5.856505e-09,2.815474e-08,7.615421e-08,1.189719e-07,3.077853e-07,3.184614e-07,6.783364e-07,8.164048e-07,1.264529e-06,1.758066e-06,2.157184e-06,3.311795e-06,3.428366e-06,5.099408e-06,5.556428e-06,7.131333e-06,8.403873e-06,9.463091e-06,1.172133e-05,1.204260e-05,1.483214e-05,1.541267e-05,1.780358e-05,1.941272e-05,2.093339e-05,2.366871e-05,2.419955e-05,2.758001e-05,2.812999e-05,3.105217e-05,3.274460e-05,3.459290e-05,3.745920e-05,3.817891e-05,4.178711e-05,4.222052e-05,4.539524e-05,4.697731e-05,4.898223e-05,5.168210e-05,5.252851e-05,5.601630e-05,5.629231e-05,5.942989e-05,6.077141e-05,6.275559e-05,6.508909e-05,6.598182e-05,6.909905e-05,6.922136e-05,7.209964e-05,7.315012e-05,7.497775e-05,7.686269e-05,7.772915e-05,8.035105e-05,8.284202e-05,8.361141e-05,8.520177e-05,8.664341e-05,8.743093e-05,8.944936e-05,8.953090e-05,9.150364e-05,9.203353e-05,9.335159e-05,9.440162e-05,9.507758e-05,9.656054e-05,9.668484e-05,9.817696e-05,9.851835e-05,9.955775e-05,1.002838e-04,1.008311e-04,1.018660e-04,1.020011e-04,1.030717e-04,1.032743e-04,1.040471e-04,1.045181e-04,1.049315e-04,1.056074e-04,1.057295e-04,1.064456e-04,1.065528e-04,1.070834e-04,1.073629e-04,1.076468e-04,1.080464e-04,1.081394e-04,1.085646e-04,1.086113e-04,1.089259e-04,1.090654e-04,1.092265e-04,1.094163e-04,1.094696e-04,1.096582e-04,1.096710e-04,1.097953e-04,1.098363e-04,1.098837e-04,1.099187e-04,1.099261e-04,1.099251e-04,1.099242e-04,1.098832e-04,1.098585e-04,1.098027e-04,1.097272e-04,1.096861e-04,1.095354e-04,1.093527e-04,1.092879e-04,1.091401e-04,1.089892e-04,1.088995e-04,1.086437e-04,1.086326e-04,1.083412e-04,1.082554e-04,1.080269e-04,1.078280e-04,1.076914e-04,1.073652e-04,1.073361e-04,1.069625e-04,1.068702e-04,1.065718e-04,1.063462e-04,1.061655e-04,1.057960e-04,1.057447e-04,1.053107e-04,1.052224e-04,1.048644e-04,1.046279e-04,1.044070e-04,1.040149e-04,1.039394e-04,1.034626e-04,1.033856e-04,1.029776e-04,1.027420e-04,1.024850e-04,1.020862e-04,1.019859e-04,1.014808e-04,1.014198e-04,1.009706e-04,1.007446e-04,1.004558e-04,1.000620e-04,9.993725e-05,9.941542e-05,9.937355e-05,9.889092e-05,9.868049e-05,9.836428e-05,9.798406e-05,9.783601e-05,9.730660e-05,9.728540e-05,9.677649e-05,9.658556e-05,9.624609e-05,9.588548e-05,9.571583e-05,9.518605e-05,9.448809e-05,9.379235e-05,9.309949e-05,9.241016e-05,9.172492e-05,9.104427e-05,9.036871e-05,8.969863e-05,8.903444e-05,8.837648e-05,8.772504e-05,8.708041e-05,8.644282e-05,8.581250e-05,8.518962e-05,8.457435e-05,8.396682e-05,8.336714e-05,8.277542e-05,8.219173e-05,8.161613e-05,8.104867e-05,8.048936e-05,7.993824e-05
0.000000e+00,2.320563e-10,5.320537e-10,1.821962e-09,4.114496e-09,5.973529e-09,1.335759e-08,1.375075e-08,2.613273e-08,3.055337e-08,4.406010e-08,5.786460e-08,6.846015e-08,9.740269e-08,1.002364e-07,1.402036e-07,1.510872e-07,1.889473e-07,2.201542e-07,2.466048e-07,3.043076e-07,3.126377e-07,3.857661e-07,4.010898e-07,4.641934e-07,5.064289e-07,5.460070e-07,6.160902e-07,6.295018e-07,7.133118e-07,7.266771e-07,7.963965e-07,8.357830e-07,8.779787e-07,9.417695e-07,9.574813e-07,1.034478e-06,1.043534e-06,1.108661e-06,1.140351e-06,1.179815e-06,1.231781e-06,1.247805e-06,1.312559e-06,1.317599e-06,1.374062e-06,1.397757e-06,1.432340e-06,1.472338e-06,1.487457e-06,1.539505e-06,1.541525e-06,1.588597e-06,1.605571e-06,1.634861e-06,1.664775e-06,1.678435e-06,1.719461e-06,1.758084e-06,1.769960e-06,1.794449e-06,1.816603e-06,1.828697e-06,1.859709e-06,1.860963e-06,1.891378e-06,1.899579e-06,1.920065e-06,1.936496e-06,1.947141e-06,1.970721e-06,1.972714e-06,1.996887e-06,2.002491e-06,2.019755e-06,2.032023e-06,2.041405e-06,2.059513e-06,2.061917e-06,2.081369e-06,2.085138e-06,2.099828e-06,2.109056e-06,2.117359e-06,2.131411e-06,2.134020e-06,2.149866e-06,2.152329e-06,2.164947e-06,2.171927e-06,2.179307e-06,2.190306e-06,2.192990e-06,2.206035e-06,2.207559e-06,2.218476e-06,2.223768e-06,2.230348e-06,2.239009e-06,2.241681e-06,2.252503e-06,2.253347e-06,2.262840e-06,2.266845e-06,2.272717e-06,2.279556e-06,2.282156e-06,2.291177e-06,2.291530e-06,2.299801e-06,2.302812e-06,2.308046e-06,2.313445e-06,2.315928e-06,2.323464e-06,2.330668e-06,2.332906e-06,2.337554e-06,2.341801e-06,2.344136e-06,2.350178e-06,2.350425e-06,2.356433e-06,2.358066e-06,2.362171e-06,2.365488e-06,2.367649e-06,2.372469e-06,2.372878e-06,2.377866e-06,2.379028e-06,2.382622e-06,2.385187e-06,2.387155e-06,2.390965e-06,2.391472e-06,2.395581e-06,2.396378e-06,2.399489e-06,2.401444e-06,2.403202e-06,2.406177e-06,2.406729e-06,2.410074e-06,2.410593e-06,2.413244e-06,2.414704e-06,2.416244e-06,2.418525e-06,2.419079e-06,2.421756e-06,2.422067e-06,2.424279e-06,2.425342e-06,2.426654e-06,2.428361e-06,2.428883e-06,2.430973e-06,2.431134e-06,2.432927e-06,2.433672e-06,2.434750e-06,2.435983e-06,2.436445e-06,2.438017e-06,2.438077e-06,2.439468e-06,2.439962e-06,2.440804e-06,2.441647e-06,2.442027e-06,2.443140e-06,2.444447e-06,2.445577e-06,2.446536e-06,2.447330e-06,2.447966e-06,2.448450e-06,2.448788e-06,2.448986e-06,2.449048e-06,2.448981e-06,2.448788e-06,2.448475e-06,2.448047e-06,2.447507e-06,2.446861e-06,2.446112e-06,2.445265e-06,2.444322e-06,2.443288e-06,2.442167e-06,2.440961e-06,2.439675e-06,2.438311e-06,2.436873e-06
0.000000e+00,2.199840e-09,5.248014e-09,1.883302e-08,4.366360e-08,6.412157e-08,1.469512e-07,1.514128e-07,2.937601e-07,3.452831e-07,5.044699e-07,6.694259e-07,7.972887e-07,1.150546e-06,1.185353e-06,1.677530e-06,1.811341e-06,2.273617e-06,2.649680e-06,2.964688e-06,3.641863e-06,3.738748e-06,4.584620e-06,4.761529e-06,5.492460e-06,5.985983e-06,6.453134e-06,7.294392e-06,7.457705e-06,8.497232e-06,8.666202e-06,9.562784e-06,1.008090e-05,1.064557e-05,1.151851e-05,1.173713e-05,1.282945e-05,1.296023e-05,1.391520e-05,1.438910e-05,1.498772e-05,1.579037e-05,1.604119e-05,1.707058e-05,1.715176e-05,1.807168e-05,1.846341e-05,1.904107e-05,1.971784e-05,1.997602e-05,2.087450e-05,2.090966e-05,2.173504e-05,2.203535e-05,2.255670e-05,2.309296e-05,2.333900e-05,2.408183e-05,2.478540e-05,2.500232e-05,2.545019e-05,2.585561e-05,2.607688e-05,2.664347e-05,2.666634e-05,2.721956e-05,2.736812e-05,2.773764e-05,2.803209e-05,2.822172e-05,2.863811e-05,2.867304e-05,2.909283e-05,2.918903e-05,2.948236e-05,2.968774e-05,2.984288e-05,3.013715e-05,3.017565e-05,3.048192e-05,3.054010e-05,3.076289e-05,3.089940e-05,3.101977e-05,3.121777e-05,3.125370e-05,3.146582e-05,3.149781e-05,3.165722e-05,3.174204e-05,3.182894e-05,3.195285e-05,3.198202e-05,3.211741e-05,3.213252e-05,3.223607e-05,3.228321e-05,3.233890e-05,3.240699e-05,3.242676e-05,3.250048e-05,3.250579e-05,3.256085e-05,3.258144e-05,3.260864e-05,3.263566e-05,3.264457e-05,3.266933e-05,3.267009e-05,3.268357e-05,3.268625e-05,3.268795e-05,3.268558e-05,3.268304e-05,3.266943e-05,3.264766e-05,3.263905e-05,3.261824e-05,3.259564e-05,3.258168e-05,3.254029e-05,3.253844e-05,3.248897e-05,3.247406e-05,3.243369e-05,3.239790e-05,3.237300e-05,3.231273e-05,3.230730e-05,3.223693e-05,3.221938e-05,3.216224e-05,3.211866e-05,3.208357e-05,3.201128e-05,3.200121e-05,3.191547e-05,3.189795e-05,3.182663e-05,3.177929e-05,3.173493e-05,3.165589e-05,3.164064e-05,3.154399e-05,3.152833e-05,3.144521e-05,3.139709e-05,3.134449e-05,3.126267e-05,3.124205e-05,3.113807e-05,3.112550e-05,3.103273e-05,3.098599e-05,3.092619e-05,3.084453e-05,3.081862e-05,3.071016e-05,3.070145e-05,3.060096e-05,3.055710e-05,3.049114e-05,3.041176e-05,3.038083e-05,3.027014e-05,3.026571e-05,3.015920e-05,3.011921e-05,3.004809e-05,2.997250e-05,2.993692e-05,2.982578e-05,2.967927e-05,2.953313e-05,2.938753e-05,2.924263e-05,2.909857e-05,2.895547e-05,2.881344e-05,2.867259e-05,2.853302e-05,2.839480e-05,2.825801e-05,2.812272e-05,2.798899e-05,2.785686e-05,2.772640e-05,2.759763e-05,2.747060e-05,2.734532e-05,2.722183e-05,2.710015e-05,2.698028e-05,2.686225e-05,2.674606e-05,2.663172e-05
0.000000e+00,1.278692e-10,4.599634e-10,2.950224e-09,9.738287e-09,1.662655e-08,5.126841e-08,5.335030e-08,1.268161e-07,1.558518e-07,2.507497e-07,3.548331e-07,4.382940e-07,6.776655e-07,7.018209e-07,1.052836e-06,1.151280e-06,1.501689e-06,1.799033e-06,2.056790e-06,2.637371e-06,2.723304e-06,3.501967e-06,3.670893e-06,4.388963e-06,4.890676e-06,5.376949e-06,6.278014e-06,6.456461e-06,7.617015e-06,7.809499e-06,8.847715e-06,9.460129e-06,1.013753e-05,1.120453e-05,1.147543e-05,1.285048e-05,1.301747e-05,1.425195e-05,1.487427e-05,1.566944e-05,1.675132e-05,1.709303e-05,1.851339e-05,1.862662e-05,1.992194e-05,2.048028e-05,2.131088e-05,2.229486e-05,2.267329e-05,2.400312e-05,2.405556e-05,2.529520e-05,2.575025e-05,2.654522e-05,2.736941e-05,2.774971e-05,2.890596e-05,3.001192e-05,3.035497e-05,3.106624e-05,3.171349e-05,3.206807e-05,3.298015e-05,3.301710e-05,3.391340e-05,3.415498e-05,3.475744e-05,3.523909e-05,3.554998e-05,3.623448e-05,3.629201e-05,3.698475e-05,3.714382e-05,3.762957e-05,3.797028e-05,3.822795e-05,3.871739e-05,3.878150e-05,3.929186e-05,3.938890e-05,3.976072e-05,3.998870e-05,4.018981e-05,4.052076e-05,4.058084e-05,4.093553e-05,4.098902e-05,4.125556e-05,4.139736e-05,4.154260e-05,4.174958e-05,4.179829e-05,4.202420e-05,4.204939e-05,4.222190e-05,4.230033e-05,4.239286e-05,4.250582e-05,4.253855e-05,4.266035e-05,4.266911e-05,4.275962e-05,4.279331e-05,4.283764e-05,4.288136e-05,4.289566e-05,4.293486e-05,4.293605e-05,4.295638e-05,4.296001e-05,4.296131e-05,4.295572e-05,4.295069e-05,4.292552e-05,4.288673e-05,4.287159e-05,4.283523e-05,4.279600e-05,4.277188e-05,4.270068e-05,4.269750e-05,4.261285e-05,4.258742e-05,4.251869e-05,4.245791e-05,4.241570e-05,4.231373e-05,4.230455e-05,4.218588e-05,4.215634e-05,4.206027e-05,4.198712e-05,4.192831e-05,4.180734e-05,4.179051e-05,4.164740e-05,4.161818e-05,4.149944e-05,4.142074e-05,4.134710e-05,4.121605e-05,4.119079e-05,4.103093e-05,4.100505e-05,4.086790e-05,4.078862e-05,4.070205e-05,4.056757e-05,4.053372e-05,4.036324e-05,4.034265e-05,4.019090e-05,4.011455e-05,4.001698e-05,3.988391e-05,3.984175e-05,3.966547e-05,3.965133e-05,3.948836e-05,3.941733e-05,3.931064e-05,3.918242e-05,3.913251e-05,3.895418e-05,3.894704e-05,3.877582e-05,3.871163e-05,3.859759e-05,3.847655e-05,3.841966e-05,3.824216e-05,3.800877e-05,3.777666e-05,3.754610e-05,3.731732e-05,3.709054e-05,3.686593e-05,3.664367e-05,3.642391e-05,3.620679e-05,3.599241e-05,3.578089e-05,3.557231e-05,3.536674e-05,3.516425e-05,3.496490e-05,3.476872e-05,3.457576e-05,3.438603e-05,3.419956e-05,3.401635e-05,3.383641e-05,3.365974e-05,3.348633e-05,3.331618e-05
0.000000e+00,9.860261e-11,3.636784e-10,2.449325e-09,8.425360e-09,1.469817e-08,4.778577e-08,4.983033e-08,1.245574e-07,1.551708e-07,2.584171e-07,3.762931e-07,4.737778e-07,7.657319e-07,7.961026e-07,1.253214e-06,1.386052e-06,1.871833e-06,2.296390e-06,2.670847e-06,3.527050e-06,3.654599e-06,4.811278e-06,5.061416e-06,6.117212e-06,6.845698e-06,7.543376e-06,8.812858e-06,9.060599e-06,1.064241e-05,1.089991e-05,1.226599e-05,1.305437e-05,1.391209e-05,1.523419e-05,1.556449e-05,1.720952e-05,1.740586e-05,1.883559e-05,1.954247e-05,2.043289e-05,2.162248e-05,2.199318e-05,2.350963e-05,2.362888e-05,2.497672e-05,2.554873e-05,2.639012e-05,2.737267e-05,2.774660e-05,2.904388e-05,2.909452e-05,3.028061e-05,3.071086e-05,3.145616e-05,3.222060e-05,3.257060e-05,3.362452e-05,3.461890e-05,3.492475e-05,3.555513e-05,3.612454e-05,3.643483e-05,3.722790e-05,3.725987e-05,3.803225e-05,3.823936e-05,3.875406e-05,3.916378e-05,3.942748e-05,4.000615e-05,4.005468e-05,4.063781e-05,4.077145e-05,4.117904e-05,4.146460e-05,4.168045e-05,4.209039e-05,4.214410e-05,4.257198e-05,4.265343e-05,4.296597e-05,4.315808e-05,4.332793e-05,4.360851e-05,4.365961e-05,4.396269e-05,4.400864e-05,4.423878e-05,4.436216e-05,4.448939e-05,4.467251e-05,4.471598e-05,4.491992e-05,4.494293e-05,4.510251e-05,4.517641e-05,4.526500e-05,4.537576e-05,4.540855e-05,4.553426e-05,4.554358e-05,4.564319e-05,4.568229e-05,4.573633e-05,4.579413e-05,4.581460e-05,4.587890e-05,4.588119e-05,4.593006e-05,4.594541e-05,4.596887e-05,4.598858e-05,4.599607e-05,4.601236e-05,4.601842e-05,4.601830e-05,4.601486e-05,4.600782e-05,4.600229e-05,4.598225e-05,4.598125e-05,4.595228e-05,4.594282e-05,4.591588e-05,4.589067e-05,4.587251e-05,4.582685e-05,4.582263e-05,4.576664e-05,4.575234e-05,4.570495e-05,4.566806e-05,4.563794e-05,4.557484e-05,4.556595e-05,4.548932e-05,4.547346e-05,4.540836e-05,4.536466e-05,4.532338e-05,4.524909e-05,4.523466e-05,4.514245e-05,4.512739e-05,4.504702e-05,4.500014e-05,4.494860e-05,4.486786e-05,4.484742e-05,4.474368e-05,4.473107e-05,4.463760e-05,4.459022e-05,4.452935e-05,4.444575e-05,4.441912e-05,4.430709e-05,4.429805e-05,4.419340e-05,4.414750e-05,4.407821e-05,4.399443e-05,4.396167e-05,4.384391e-05,4.383917e-05,4.372505e-05,4.368202e-05,4.360523e-05,4.352325e-05,4.348455e-05,4.336312e-05,4.320187e-05,4.303971e-05,4.287686e-05,4.271350e-05,4.254981e-05,4.238596e-05,4.222209e-05,4.205834e-05,4.189485e-05,4.173174e-05,4.156912e-05,4.140710e-05,4.124576e-05,4.108519e-05,4.092549e-05,4.076671e-05,4.060894e-05,4.045224e-05,4.029665e-05,4.014224e-05,3.998906e-05,3.983715e-05,3.968654e-05,3.953728e-05
0.000000e+00,1.042784e-10,3.618384e-10,2.169279e-09,6.786301e-09,1.128369e-08,3.278756e-08,3.404554e-08,7.723440e-08,9.389495e-08,1.474930e-07,2.053851e-07,2.514248e-07,3.825530e-07,3.957457e-07,5.872812e-07,6.410224e-07,8.326307e-07,9.956732e-07,1.137317e-06,1.457024e-06,1.504375e-06,1.932770e-06,2.025373e-06,2.416609e-06,2.686914e-06,2.945914e-06,3.416863e-06,3.508637e-06,4.092768e-06,4.187481e-06,4.687685e-06,4.974428e-06,5.284611e-06,5.758845e-06,5.876551e-06,6.458014e-06,6.526871e-06,7.024705e-06,7.268478e-06,7.573279e-06,7.976473e-06,8.101166e-06,8.606434e-06,8.645833e-06,9.087696e-06,9.273259e-06,9.544035e-06,9.856864e-06,9.974937e-06,1.038023e-05,1.039591e-05,1.076002e-05,1.089057e-05,1.111468e-05,1.134176e-05,1.144475e-05,1.175094e-05,1.203407e-05,1.211996e-05,1.229507e-05,1.245094e-05,1.253490e-05,1.274617e-05,1.275458e-05,1.295513e-05,1.300799e-05,1.313758e-05,1.323878e-05,1.330294e-05,1.344086e-05,1.345223e-05,1.358642e-05,1.361648e-05,1.370643e-05,1.376779e-05,1.381317e-05,1.389682e-05,1.390751e-05,1.399026e-05,1.400549e-05,1.406220e-05,1.409559e-05,1.412408e-05,1.416878e-05,1.417657e-05,1.422035e-05,1.422659e-05,1.425603e-05,1.427045e-05,1.428419e-05,1.430167e-05,1.430537e-05,1.432009e-05,1.432144e-05,1.432882e-05,1.433088e-05,1.433201e-05,1.433100e-05,1.433009e-05,1.432344e-05,1.432271e-05,1.431243e-05,1.430688e-05,1.429740e-05,1.428427e-05,1.427867e-05,1.425654e-05,1.425558e-05,1.423128e-05,1.422148e-05,1.420317e-05,1.418253e-05,1.417243e-05,1.413929e-05,1.410398e-05,1.409225e-05,1.406667e-05,1.404184e-05,1.402756e-05,1.398848e-05,1.398682e-05,1.394460e-05,1.393253e-05,1.390105e-05,1.387434e-05,1.385632e-05,1.381422e-05,1.381052e-05,1.376378e-05,1.375244e-05,1.371622e-05,1.368926e-05,1.366792e-05,1.362490e-05,1.361900e-05,1.356954e-05,1.355959e-05,1.351963e-05,1.349352e-05,1.346933e-05,1.342685e-05,1.341873e-05,1.336789e-05,1.335974e-05,1.331688e-05,1.329234e-05,1.326574e-05,1.322479e-05,1.321454e-05,1.316333e-05,1.315718e-05,1.311214e-05,1.308964e-05,1.306103e-05,1.302226e-05,1.301004e-05,1.295919e-05,1.295513e-05,1.290852e-05,1.288831e-05,1.285807e-05,1.282190e-05,1.280786e-05,1.275793e-05,1.275594e-05,1.270828e-05,1.269049e-05,1.265896e-05,1.262561e-05,1.260997e-05,1.256134e-05,1.249771e-05,1.243477e-05,1.237255e-05,1.231107e-05,1.225036e-05,1.219043e-05,1.213131e-05,1.207301e-05,1.201554e-05,1.195891e-05,1.190313e-05,1.184821e-05,1.179414e-05,1.174094e-05,1.168861e-05,1.163713e-05,1.158652e-05,1.153677e-05,1.148788e-05,1.143984e-05,1.139265e-05,1.134630e-05,1.130078e-05,1.125609e-05
0.000000e+00,1.219005e-09,3.866038e-09,1.990012e-08,5.597413e-08,8.872517e-08,2.341364e-07,2.423388e-07,5.152290e-07,6.178712e-07,9.436538e-07,1.291797e-06,1.567500e-06,2.350578e-06,2.429217e-06,3.564653e-06,3.879937e-06,4.986037e-06,5.901022e-06,6.675093e-06,8.355213e-06,8.596908e-06,1.071624e-05,1.116109e-05,1.300325e-05,1.425019e-05,1.543248e-05,1.756594e-05,1.798073e-05,2.062559e-05,2.105624e-05,2.334480e-05,2.466993e-05,2.611627e-05,2.835648e-05,2.891831e-05,3.173002e-05,3.206712e-05,3.453165e-05,3.575643e-05,3.730501e-05,3.938368e-05,4.003367e-05,4.270315e-05,4.291376e-05,4.530100e-05,4.631768e-05,4.781681e-05,4.957256e-05,5.024210e-05,5.257017e-05,5.266119e-05,5.479605e-05,5.557164e-05,5.691629e-05,5.829657e-05,5.892875e-05,6.083249e-05,6.262757e-05,6.317917e-05,6.431487e-05,6.533888e-05,6.589598e-05,6.731594e-05,6.737305e-05,6.874871e-05,6.911611e-05,7.002589e-05,7.074628e-05,7.120785e-05,7.221406e-05,7.229798e-05,7.329983e-05,7.352754e-05,7.421703e-05,7.469505e-05,7.505325e-05,7.572505e-05,7.581216e-05,7.649739e-05,7.662591e-05,7.711251e-05,7.740583e-05,7.766101e-05,7.807275e-05,7.814629e-05,7.857167e-05,7.863439e-05,7.894038e-05,7.909814e-05,7.925551e-05,7.947105e-05,7.952005e-05,7.973689e-05,7.975983e-05,7.990878e-05,7.997087e-05,8.003839e-05,8.011018e-05,8.012825e-05,8.018079e-05,8.018345e-05,8.019833e-05,8.019604e-05,8.018308e-05,8.015299e-05,8.013715e-05,8.006256e-05,8.005901e-05,7.996122e-05,7.991854e-05,7.983495e-05,7.973573e-05,7.968547e-05,7.951444e-05,7.932341e-05,7.925830e-05,7.911386e-05,7.897068e-05,7.888720e-05,7.865474e-05,7.864476e-05,7.838779e-05,7.831340e-05,7.811748e-05,7.794937e-05,7.783498e-05,7.756520e-05,7.754133e-05,7.723754e-05,7.716323e-05,7.692458e-05,7.674564e-05,7.660332e-05,7.631444e-05,7.627463e-05,7.593930e-05,7.587150e-05,7.559807e-05,7.541854e-05,7.525166e-05,7.495716e-05,7.490073e-05,7.454591e-05,7.448882e-05,7.418779e-05,7.401488e-05,7.382691e-05,7.353658e-05,7.346380e-05,7.309894e-05,7.305506e-05,7.273278e-05,7.257137e-05,7.236576e-05,7.208648e-05,7.199826e-05,7.163066e-05,7.160126e-05,7.126331e-05,7.111651e-05,7.089653e-05,7.063296e-05,7.053061e-05,7.016585e-05,7.015129e-05,6.980249e-05,6.967208e-05,6.944079e-05,6.919588e-05,6.908095e-05,6.872319e-05,6.825446e-05,6.779006e-05,6.733037e-05,6.687570e-05,6.642632e-05,6.598247e-05,6.554438e-05,6.511223e-05,6.468618e-05,6.426635e-05,6.385287e-05,6.344583e-05,6.304529e-05,6.265131e-05,6.226393e-05,6.188317e-05,6.150905e-05,6.114156e-05,6.078069e-05,6.042643e-05,6.007873e-05,5.973756e-05,5.940287e-05,5.907461e-05
0.000000e+00,1.060411e-09,2.891846e-09,1.202587e-08,2.985185e-08,4.492877e-08,1.072133e-07,1.105964e-07,2.190726e-07,2.584539e-07,3.801959e-07,5.063103e-07,6.040185e-07,8.740289e-07,9.006642e-07,1.278741e-06,1.382144e-06,1.741645e-06,2.036349e-06,2.284232e-06,2.818115e-06,2.894445e-06,3.558444e-06,3.696574e-06,4.263898e-06,4.643633e-06,5.000514e-06,5.636874e-06,5.759475e-06,6.532879e-06,6.657468e-06,7.313412e-06,7.688575e-06,8.094237e-06,8.714817e-06,8.868996e-06,9.631871e-06,9.722363e-06,1.037767e-05,1.069921e-05,1.110185e-05,1.163540e-05,1.180059e-05,1.247077e-05,1.252308e-05,1.310998e-05,1.335658e-05,1.371646e-05,1.413220e-05,1.428908e-05,1.482724e-05,1.484804e-05,1.533082e-05,1.550369e-05,1.580011e-05,1.609995e-05,1.623574e-05,1.663860e-05,1.700979e-05,1.712209e-05,1.735060e-05,1.755339e-05,1.766238e-05,1.793573e-05,1.794659e-05,1.820471e-05,1.827251e-05,1.843825e-05,1.856720e-05,1.864870e-05,1.882317e-05,1.883752e-05,1.900610e-05,1.904370e-05,1.915582e-05,1.923191e-05,1.928797e-05,1.939072e-05,1.940380e-05,1.950447e-05,1.952288e-05,1.959108e-05,1.963092e-05,1.966469e-05,1.971717e-05,1.972625e-05,1.977668e-05,1.978377e-05,1.981683e-05,1.983268e-05,1.984749e-05,1.986567e-05,1.986939e-05,1.988321e-05,1.988436e-05,1.988960e-05,1.989021e-05,1.988914e-05,1.988455e-05,1.988238e-05,1.986982e-05,1.986858e-05,1.985194e-05,1.984339e-05,1.982916e-05,1.980996e-05,1.980189e-05,1.977050e-05,1.976917e-05,1.973534e-05,1.972182e-05,1.969673e-05,1.966866e-05,1.965496e-05,1.961032e-05,1.956304e-05,1.954740e-05,1.951338e-05,1.948044e-05,1.946155e-05,1.940993e-05,1.940774e-05,1.935216e-05,1.933631e-05,1.929498e-05,1.925996e-05,1.923635e-05,1.918127e-05,1.917643e-05,1.911536e-05,1.910055e-05,1.905327e-05,1.901810e-05,1.899028e-05,1.893420e-05,1.892650e-05,1.886204e-05,1.884908e-05,1.879699e-05,1.876297e-05,1.873145e-05,1.867607e-05,1.866550e-05,1.859921e-05,1.858858e-05,1.853266e-05,1.850064e-05,1.846592e-05,1.841243e-05,1.839905e-05,1.833210e-05,1.832406e-05,1.826514e-05,1.823568e-05,1.819821e-05,1.814739e-05,1.813135e-05,1.806463e-05,1.805929e-05,1.799806e-05,1.797149e-05,1.793170e-05,1.788406e-05,1.786557e-05,1.779971e-05,1.779708e-05,1.773415e-05,1.771062e-05,1.766891e-05,1.762475e-05,1.760402e-05,1.753951e-05,1.745497e-05,1.737117e-05,1.728814e-05,1.720592e-05,1.712456e-05,1.704407e-05,1.696448e-05,1.688581e-05,1.680809e-05,1.673132e-05,1.665553e-05,1.658073e-05,1.650692e-05,1.643411e-05,1.636231e-05,1.629153e-05,1.622176e-05,1.615301e-05,1.608527e-05,1.601856e-05,1.595286e-05,1.588817e-05,1.582449e-05,1.576181e-05
0.000000e+00,2.196183e-09,5.372862e-09,1.980705e-08,4.654010e-08,6.873193e-08,1.595873e-07,1.645208e-07,3.238028e-07,3.823042e-07,5.656862e-07,7.596117e-07,9.124204e-07,1.344471e-06,1.387740e-06,2.010427e-06,2.182629e-06,2.784029e-06,3.277854e-06,3.692668e-06,4.582678e-06,4.709485e-06,5.807841e-06,6.035300e-06,6.966125e-06,7.586419e-06,8.167635e-06,9.200509e-06,9.399070e-06,1.064927e-05,1.085037e-05,1.190843e-05,1.251339e-05,1.316773e-05,1.416987e-05,1.441917e-05,1.565553e-05,1.580257e-05,1.687043e-05,1.739671e-05,1.805825e-05,1.893994e-05,1.921425e-05,2.033449e-05,2.042246e-05,2.141583e-05,2.183692e-05,2.245588e-05,2.317817e-05,2.345293e-05,2.440588e-05,2.444307e-05,2.531416e-05,2.563017e-05,2.617766e-05,2.673940e-05,2.699668e-05,2.777181e-05,2.850393e-05,2.872930e-05,2.919411e-05,2.961437e-05,2.984357e-05,3.043000e-05,3.045366e-05,3.102583e-05,3.117944e-05,3.156157e-05,3.186615e-05,3.206239e-05,3.249362e-05,3.252983e-05,3.296539e-05,3.306535e-05,3.337057e-05,3.358476e-05,3.374685e-05,3.405520e-05,3.409565e-05,3.441834e-05,3.447987e-05,3.471627e-05,3.486184e-05,3.499072e-05,3.520403e-05,3.524294e-05,3.547409e-05,3.550920e-05,3.568532e-05,3.577995e-05,3.587770e-05,3.601873e-05,3.605227e-05,3.621000e-05,3.622784e-05,3.635183e-05,3.640943e-05,3.647865e-05,3.656550e-05,3.659129e-05,3.669056e-05,3.669795e-05,3.677722e-05,3.680851e-05,3.685198e-05,3.689883e-05,3.691553e-05,3.696851e-05,3.697042e-05,3.701154e-05,3.702471e-05,3.704520e-05,3.706301e-05,3.707003e-05,3.708656e-05,3.709528e-05,3.709650e-05,3.709666e-05,3.709390e-05,3.709114e-05,3.707973e-05,3.707913e-05,3.706104e-05,3.705494e-05,3.703724e-05,3.702036e-05,3.700807e-05,3.697680e-05,3.697389e-05,3.693499e-05,3.692499e-05,3.689170e-05,3.686564e-05,3.684429e-05,3.679937e-05,3.679302e-05,3.673817e-05,3.672679e-05,3.667996e-05,3.664844e-05,3.661862e-05,3.656484e-05,3.655438e-05,3.648743e-05,3.647648e-05,3.641797e-05,3.638379e-05,3.634619e-05,3.628720e-05,3.627225e-05,3.619632e-05,3.618708e-05,3.611856e-05,3.608380e-05,3.603911e-05,3.597768e-05,3.595811e-05,3.587570e-05,3.586905e-05,3.579200e-05,3.575818e-05,3.570713e-05,3.564536e-05,3.562119e-05,3.553431e-05,3.553081e-05,3.544657e-05,3.541479e-05,3.535807e-05,3.529750e-05,3.526890e-05,3.517914e-05,3.505990e-05,3.493996e-05,3.481947e-05,3.469857e-05,3.457742e-05,3.445614e-05,3.433485e-05,3.421366e-05,3.409266e-05,3.397196e-05,3.385164e-05,3.373179e-05,3.361247e-05,3.349376e-05,3.337572e-05,3.325841e-05,3.314188e-05,3.302618e-05,3.291135e-05,3.279744e-05,3.268449e-05,3.257252e-05,3.246158e-05,3.235168e-05
0.000000e+00,8.954216e-11,3.461388e-10,2.563454e-09,9.588518e-09,1.749529e-08,6.364804e-08,6.666846e-08,1.853694e-07,2.375104e-07,4.238029e-07,6.513415e-07,8.485602e-07,1.474294e-06,1.541740e-06,2.592884e-06,2.907901e-06,4.083959e-06,5.134953e-06,6.076012e-06,8.271471e-06,8.603565e-06,1.167554e-05,1.235448e-05,1.527928e-05,1.735412e-05,1.938522e-05,2.319173e-05,2.395117e-05,2.892588e-05,2.975599e-05,3.425191e-05,3.691528e-05,3.986794e-05,4.452705e-05,4.571068e-05,5.171650e-05,5.244517e-05,5.782288e-05,6.052590e-05,6.396956e-05,6.863285e-05,7.009967e-05,7.616057e-05,7.664098e-05,8.210452e-05,8.443968e-05,8.788919e-05,9.193476e-05,9.347800e-05,9.884022e-05,9.904963e-05,1.039509e-04,1.057254e-04,1.087909e-04,1.119200e-04,1.133461e-04,1.176075e-04,1.215707e-04,1.227757e-04,1.252348e-04,1.274241e-04,1.286027e-04,1.315625e-04,1.316801e-04,1.344750e-04,1.352083e-04,1.369975e-04,1.383848e-04,1.392588e-04,1.411195e-04,1.412717e-04,1.430494e-04,1.434426e-04,1.446057e-04,1.453856e-04,1.459544e-04,1.469805e-04,1.471093e-04,1.480840e-04,1.482585e-04,1.488918e-04,1.492502e-04,1.495455e-04,1.499843e-04,1.500571e-04,1.504384e-04,1.504881e-04,1.507002e-04,1.507865e-04,1.508529e-04,1.509029e-04,1.509059e-04,1.508683e-04,1.508581e-04,1.507484e-04,1.506715e-04,1.505537e-04,1.503602e-04,1.502914e-04,1.499681e-04,1.499398e-04,1.495897e-04,1.494241e-04,1.491616e-04,1.488255e-04,1.486889e-04,1.481763e-04,1.481550e-04,1.476278e-04,1.474224e-04,1.470474e-04,1.466363e-04,1.464386e-04,1.458044e-04,1.451479e-04,1.449336e-04,1.444718e-04,1.440298e-04,1.437783e-04,1.430984e-04,1.430697e-04,1.423482e-04,1.421440e-04,1.416154e-04,1.411710e-04,1.408730e-04,1.401830e-04,1.401227e-04,1.393657e-04,1.391832e-04,1.386035e-04,1.381747e-04,1.378370e-04,1.371600e-04,1.370675e-04,1.362959e-04,1.361414e-04,1.355231e-04,1.351210e-04,1.347499e-04,1.341006e-04,1.339770e-04,1.332052e-04,1.330819e-04,1.324351e-04,1.320662e-04,1.316672e-04,1.310549e-04,1.309021e-04,1.301402e-04,1.300490e-04,1.293820e-04,1.290497e-04,1.286280e-04,1.280578e-04,1.278783e-04,1.271335e-04,1.270741e-04,1.263937e-04,1.260993e-04,1.256594e-04,1.251341e-04,1.249306e-04,1.242077e-04,1.241789e-04,1.234908e-04,1.232343e-04,1.227802e-04,1.223006e-04,1.220759e-04,1.213782e-04,1.204675e-04,1.195687e-04,1.186819e-04,1.178075e-04,1.169455e-04,1.160960e-04,1.152591e-04,1.144349e-04,1.136235e-04,1.128248e-04,1.120387e-04,1.112654e-04,1.105048e-04,1.097567e-04,1.090212e-04,1.082981e-04,1.075873e-04,1.068888e-04,1.062025e-04,1.055281e-04,1.048657e-04,1.042150e-04,1.035759e-04,1.029483e-04
0.000000e+00,3.186487e-11,1.132373e-10,7.098503e-10,2.300588e-09,3.892431e-09,1.176037e-08,1.222888e-08,2.860603e-08,3.502506e-08,5.589001e-08,7.865225e-08,9.685055e-08,1.489062e-07,1.541527e-07,2.303458e-07,2.517121e-07,3.278027e-07,3.924495e-07,4.485690e-07,5.752965e-07,5.940940e-07,7.648764e-07,8.020211e-07,9.601615e-07,1.070756e-06,1.177893e-06,1.375905e-06,1.414998e-06,1.667875e-06,1.709552e-06,1.932856e-06,2.063323e-06,2.206501e-06,2.429573e-06,2.485732e-06,2.767860e-06,2.801796e-06,3.050557e-06,3.174596e-06,3.331816e-06,3.543544e-06,3.609919e-06,3.883401e-06,3.905042e-06,4.151035e-06,4.256217e-06,4.411806e-06,4.594842e-06,4.664890e-06,4.909643e-06,4.919252e-06,5.145575e-06,5.228281e-06,5.372339e-06,5.521182e-06,5.589709e-06,5.797563e-06,5.995870e-06,6.057318e-06,6.184676e-06,6.300573e-06,6.364088e-06,6.527629e-06,6.534261e-06,6.695396e-06,6.738924e-06,6.847721e-06,6.934992e-06,6.991491e-06,7.116435e-06,7.126976e-06,7.254460e-06,7.283898e-06,7.374235e-06,7.438051e-06,7.486595e-06,7.579574e-06,7.591837e-06,7.690256e-06,7.709146e-06,7.782142e-06,7.827436e-06,7.867781e-06,7.935097e-06,7.947455e-06,8.021436e-06,8.032762e-06,8.089989e-06,8.121042e-06,8.153372e-06,8.200522e-06,8.211832e-06,8.265611e-06,8.271761e-06,8.314939e-06,8.335291e-06,8.360038e-06,8.391618e-06,8.401123e-06,8.438398e-06,8.441221e-06,8.472060e-06,8.484555e-06,8.502297e-06,8.522048e-06,8.529289e-06,8.553210e-06,8.554105e-06,8.574224e-06,8.581108e-06,8.592488e-06,8.603414e-06,8.608153e-06,8.621363e-06,8.632255e-06,8.635272e-06,8.640960e-06,8.645440e-06,8.647601e-06,8.652147e-06,8.652299e-06,8.655166e-06,8.655656e-06,8.656311e-06,8.656214e-06,8.655835e-06,8.654051e-06,8.653837e-06,8.650410e-06,8.649385e-06,8.645642e-06,8.642418e-06,8.639617e-06,8.633340e-06,8.632416e-06,8.624115e-06,8.622329e-06,8.614786e-06,8.609552e-06,8.604498e-06,8.595162e-06,8.593315e-06,8.581302e-06,8.579306e-06,8.568515e-06,8.562119e-06,8.555011e-06,8.543728e-06,8.540844e-06,8.526063e-06,8.524250e-06,8.510716e-06,8.503796e-06,8.494849e-06,8.482469e-06,8.478505e-06,8.461723e-06,8.460363e-06,8.444544e-06,8.437569e-06,8.427003e-06,8.414169e-06,8.409135e-06,8.390972e-06,8.390240e-06,8.372547e-06,8.365854e-06,8.353887e-06,8.341078e-06,8.335020e-06,8.315974e-06,8.290599e-06,8.265006e-06,8.239245e-06,8.213361e-06,8.187397e-06,8.161391e-06,8.135380e-06,8.109397e-06,8.083472e-06,8.057633e-06,8.031907e-06,8.006317e-06,7.980885e-06,7.955630e-06,7.930571e-06,7.905724e-06,7.881103e-06,7.856723e-06,7.832595e-06,7.808730e-06,7.785138e-06,7.761827e-06,7.738805e-06,7.716078e-06
0.000000e+00,3.673476e-11,1.408128e-10,1.024277e-09,3.765717e-09,6.802737e-09,2.406469e-08,2.517592e-08,6.778279e-08,8.601602e-08,1.495360e-07,2.246016e-07,2.880288e-07,4.824629e-07,5.029598e-07,8.151877e-07,9.068865e-07,1.244823e-06,1.543140e-06,1.808574e-06,2.424661e-06,2.517645e-06,3.377056e-06,3.567009e-06,4.386122e-06,4.968349e-06,5.539459e-06,6.613236e-06,6.828040e-06,8.240112e-06,8.476606e-06,9.761912e-06,1.052693e-05,1.137825e-05,1.272855e-05,1.307297e-05,1.482935e-05,1.504346e-05,1.663047e-05,1.743280e-05,1.845955e-05,1.985827e-05,2.030025e-05,2.213701e-05,2.228334e-05,2.395525e-05,2.467432e-05,2.574161e-05,2.700127e-05,2.748412e-05,2.917230e-05,2.923856e-05,3.079723e-05,3.136527e-05,3.235159e-05,3.336521e-05,3.382956e-05,3.522686e-05,3.654056e-05,3.694298e-05,3.776901e-05,3.851020e-05,3.891169e-05,3.992843e-05,3.996910e-05,4.094257e-05,4.120036e-05,4.183415e-05,4.233085e-05,4.264645e-05,4.332641e-05,4.338258e-05,4.404593e-05,4.419471e-05,4.464018e-05,4.494419e-05,4.516913e-05,4.558367e-05,4.563666e-05,4.604664e-05,4.612207e-05,4.640293e-05,4.656823e-05,4.670928e-05,4.693067e-05,4.696931e-05,4.718652e-05,4.721752e-05,4.736423e-05,4.743643e-05,4.750558e-05,4.759448e-05,4.761353e-05,4.769088e-05,4.769823e-05,4.774021e-05,4.775367e-05,4.776395e-05,4.776625e-05,4.776433e-05,4.774343e-05,4.774090e-05,4.770318e-05,4.768205e-05,4.764532e-05,4.759368e-05,4.757149e-05,4.748317e-05,4.747936e-05,4.738174e-05,4.734227e-05,4.726846e-05,4.718524e-05,4.714447e-05,4.701082e-05,4.686849e-05,4.682126e-05,4.671836e-05,4.661855e-05,4.656123e-05,4.640449e-05,4.639784e-05,4.622888e-05,4.618066e-05,4.605497e-05,4.594848e-05,4.587667e-05,4.570921e-05,4.569451e-05,4.550896e-05,4.546397e-05,4.532046e-05,4.521377e-05,4.512942e-05,4.495950e-05,4.493621e-05,4.474117e-05,4.470197e-05,4.454461e-05,4.444189e-05,4.434681e-05,4.417990e-05,4.414804e-05,4.394855e-05,4.391658e-05,4.374856e-05,4.365244e-05,4.354827e-05,4.338795e-05,4.334787e-05,4.314753e-05,4.312350e-05,4.294743e-05,4.285949e-05,4.274770e-05,4.259624e-05,4.254848e-05,4.234990e-05,4.233404e-05,4.215207e-05,4.207317e-05,4.195510e-05,4.181386e-05,4.175908e-05,4.156411e-05,4.155633e-05,4.137027e-05,4.130077e-05,4.117763e-05,4.104735e-05,4.098626e-05,4.079622e-05,4.054752e-05,4.030136e-05,4.005784e-05,3.981707e-05,3.957911e-05,3.934403e-05,3.911191e-05,3.888278e-05,3.865668e-05,3.843366e-05,3.821374e-05,3.799693e-05,3.778326e-05,3.757273e-05,3.736535e-05,3.716112e-05,3.696003e-05,3.676208e-05,3.656725e-05,3.637553e-05,3.618691e-05,3.600137e-05,3.581887e-05,3.563941e-05
0.000000e+00,1.594263e-09,3.785035e-09,1.351772e-08,3.141419e-08,4.634548e-08,1.088925e-07,1.123613e-07,2.283383e-07,2.727269e-07,4.167147e-07,5.738639e-07,6.985016e-07,1.041328e-06,1.074400e-06,1.521741e-06,1.636805e-06,2.015791e-06,2.306586e-06,2.540594e-06,3.020524e-06,3.087031e-06,3.649351e-06,3.763320e-06,4.223127e-06,4.524684e-06,4.804349e-06,5.295432e-06,5.389054e-06,5.973261e-06,6.066424e-06,6.553051e-06,6.828676e-06,7.124696e-06,7.573832e-06,7.684769e-06,8.230237e-06,8.294585e-06,8.758526e-06,8.984975e-06,9.267550e-06,9.640524e-06,9.755713e-06,1.022189e-05,1.025821e-05,1.066540e-05,1.083637e-05,1.108593e-05,1.137448e-05,1.148350e-05,1.185843e-05,1.187296e-05,1.221123e-05,1.233295e-05,1.254260e-05,1.275612e-05,1.285338e-05,1.314447e-05,1.341685e-05,1.350023e-05,1.367153e-05,1.382569e-05,1.390950e-05,1.412317e-05,1.413177e-05,1.433930e-05,1.439490e-05,1.453304e-05,1.464304e-05,1.471389e-05,1.486961e-05,1.488269e-05,1.504025e-05,1.507647e-05,1.518732e-05,1.526537e-05,1.532462e-05,1.543789e-05,1.545281e-05,1.557248e-05,1.559545e-05,1.568422e-05,1.573937e-05,1.578856e-05,1.587083e-05,1.588597e-05,1.597691e-05,1.599089e-05,1.606180e-05,1.610051e-05,1.614102e-05,1.620056e-05,1.621493e-05,1.628386e-05,1.629181e-05,1.634811e-05,1.637497e-05,1.640796e-05,1.645067e-05,1.646368e-05,1.651550e-05,1.651948e-05,1.656365e-05,1.658193e-05,1.660834e-05,1.663848e-05,1.664975e-05,1.668808e-05,1.668955e-05,1.672348e-05,1.673554e-05,1.675611e-05,1.677679e-05,1.678612e-05,1.681364e-05,1.683879e-05,1.684636e-05,1.686171e-05,1.687525e-05,1.688249e-05,1.690054e-05,1.690125e-05,1.691808e-05,1.692246e-05,1.693308e-05,1.694123e-05,1.694633e-05,1.695704e-05,1.695791e-05,1.696791e-05,1.697008e-05,1.697639e-05,1.698050e-05,1.698343e-05,1.698848e-05,1.698908e-05,1.699343e-05,1.699414e-05,1.699651e-05,1.699764e-05,1.699839e-05,1.699909e-05,1.699913e-05,1.699877e-05,1.699862e-05,1.699737e-05,1.699633e-05,1.699496e-05,1.699235e-05,1.699160e-05,1.698732e-05,1.698675e-05,1.698217e-05,1.697964e-05,1.697618e-05,1.697110e-05,1.696940e-05,1.696185e-05,1.696122e-05,1.695357e-05,1.695007e-05,1.694460e-05,1.693772e-05,1.693496e-05,1.692468e-05,1.692426e-05,1.691379e-05,1.690973e-05,1.690233e-05,1.689422e-05,1.689031e-05,1.687776e-05,1.686043e-05,1.684228e-05,1.682335e-05,1.680369e-05,1.678336e-05,1.676239e-05,1.674082e-05,1.671870e-05,1.669607e-05,1.667295e-05,1.664939e-05,1.662541e-05,1.660105e-05,1.657634e-05,1.655130e-05,1.652596e-05,1.650036e-05,1.647450e-05,1.644842e-05,1.642214e-05,1.639568e-05,1.636906e-05,1.634230e-05,1.631542e-05
0.000000e+00,5.795412e-09,1.329960e-08,4.585757e-08,1.045333e-07,1.526912e-07,3.479301e-07,3.584815e-07,6.977268e-07,8.218344e-07,1.209603e-06,1.617551e-06,1.937164e-06,2.829038e-06,2.917231e-06,4.161759e-06,4.498241e-06,5.652878e-06,6.584106e-06,7.359678e-06,9.016707e-06,9.252890e-06,1.130813e-05,1.173673e-05,1.350429e-05,1.469542e-05,1.582166e-05,1.784779e-05,1.824092e-05,2.074276e-05,2.114943e-05,2.330794e-05,2.455617e-05,2.591761e-05,2.802514e-05,2.855361e-05,3.119889e-05,3.151618e-05,3.383771e-05,3.499304e-05,3.645590e-05,3.842416e-05,3.904094e-05,4.158202e-05,4.178312e-05,4.407000e-05,4.504859e-05,4.649735e-05,4.820406e-05,4.885804e-05,5.114737e-05,5.123741e-05,5.336190e-05,5.414032e-05,5.549922e-05,5.690771e-05,5.755785e-05,5.953706e-05,6.143682e-05,6.202803e-05,6.325763e-05,6.438194e-05,6.500045e-05,6.660140e-05,6.666659e-05,6.825765e-05,6.868994e-05,6.977546e-05,7.065180e-05,7.122200e-05,7.249168e-05,7.259938e-05,7.390979e-05,7.421457e-05,7.515546e-05,7.582561e-05,7.633868e-05,7.733005e-05,7.746172e-05,7.852683e-05,7.873310e-05,7.953626e-05,8.003987e-05,8.049217e-05,8.125536e-05,8.139673e-05,8.225201e-05,8.238442e-05,8.306007e-05,8.343174e-05,8.382287e-05,8.440183e-05,8.454235e-05,8.522036e-05,8.529901e-05,8.585868e-05,8.612741e-05,8.645904e-05,8.689096e-05,8.702311e-05,8.755250e-05,8.759340e-05,8.804874e-05,8.823829e-05,8.851332e-05,8.882902e-05,8.894766e-05,8.935313e-05,8.936877e-05,8.973105e-05,8.986059e-05,9.008266e-05,9.030735e-05,9.040918e-05,9.071176e-05,9.099152e-05,9.107639e-05,9.124951e-05,9.140367e-05,9.148675e-05,9.169589e-05,9.170422e-05,9.190285e-05,9.195521e-05,9.208353e-05,9.218368e-05,9.224712e-05,9.238322e-05,9.239443e-05,9.252624e-05,9.255566e-05,9.264331e-05,9.270270e-05,9.274635e-05,9.282597e-05,9.283605e-05,9.291306e-05,9.292699e-05,9.297800e-05,9.300720e-05,9.303148e-05,9.306796e-05,9.307406e-05,9.310631e-05,9.311054e-05,9.312873e-05,9.313615e-05,9.314183e-05,9.314592e-05,9.314609e-05,9.314196e-05,9.314092e-05,9.312989e-05,9.312217e-05,9.311029e-05,9.309060e-05,9.308355e-05,9.305007e-05,9.304711e-05,9.301021e-05,9.299256e-05,9.296431e-05,9.292772e-05,9.291271e-05,9.285573e-05,9.285334e-05,9.279367e-05,9.277014e-05,9.272682e-05,9.267877e-05,9.265546e-05,9.257986e-05,9.247400e-05,9.236173e-05,9.224359e-05,9.212006e-05,9.199160e-05,9.185864e-05,9.172161e-05,9.158087e-05,9.143679e-05,9.128972e-05,9.113997e-05,9.098784e-05,9.083362e-05,9.067756e-05,9.051993e-05,9.036096e-05,9.020085e-05,9.003983e-05,8.987809e-05,8.971580e-05,8.955313e-05,8.939025e-05,8.922731e-05,8.906444e-05
0.000000e+00,8.674170e-09,1.985431e-08,6.826841e-08,1.556267e-07,2.275859e-07,5.223752e-07,5.384526e-07,1.063059e-06,1.258411e-06,1.878179e-06,2.540518e-06,3.062538e-06,4.512394e-06,4.654390e-06,6.623477e-06,7.145073e-06,8.905576e-06,1.029811e-05,1.144303e-05,1.385335e-05,1.419353e-05,1.712499e-05,1.773054e-05,2.020998e-05,2.186622e-05,2.342253e-05,2.620067e-05,2.673667e-05,3.012607e-05,3.067359e-05,3.356425e-05,3.522422e-05,3.702513e-05,3.979322e-05,4.048355e-05,4.391589e-05,4.432495e-05,4.730029e-05,4.876918e-05,5.061743e-05,5.308298e-05,5.385042e-05,5.698498e-05,5.723112e-05,6.000939e-05,6.118616e-05,6.291435e-05,6.492793e-05,6.569284e-05,6.833993e-05,6.844304e-05,7.085256e-05,7.172386e-05,7.322925e-05,7.476766e-05,7.546993e-05,7.757569e-05,7.954858e-05,8.015228e-05,8.139142e-05,8.250416e-05,8.310766e-05,8.463977e-05,8.470121e-05,8.617632e-05,8.656874e-05,8.753751e-05,8.830146e-05,8.878941e-05,8.984873e-05,8.993679e-05,9.098439e-05,9.122150e-05,9.193698e-05,9.243067e-05,9.279922e-05,9.348691e-05,9.357571e-05,9.427092e-05,9.440059e-05,9.488919e-05,9.518169e-05,9.543474e-05,9.583976e-05,9.591160e-05,9.632367e-05,9.638384e-05,9.667467e-05,9.682252e-05,9.696819e-05,9.716391e-05,9.720763e-05,9.739626e-05,9.741563e-05,9.753718e-05,9.758483e-05,9.763333e-05,9.767821e-05,9.768754e-05,9.770247e-05,9.770205e-05,9.768065e-05,9.766217e-05,9.762448e-05,9.756405e-05,9.753624e-05,9.741809e-05,9.741277e-05,9.727206e-05,9.721305e-05,9.710010e-05,9.696929e-05,9.690403e-05,9.668557e-05,9.644637e-05,9.636570e-05,9.618796e-05,9.601318e-05,9.591181e-05,9.563128e-05,9.561929e-05,9.531169e-05,9.522303e-05,9.499024e-05,9.479121e-05,9.465610e-05,9.433842e-05,9.431035e-05,9.395403e-05,9.386705e-05,9.358809e-05,9.337931e-05,9.321345e-05,9.287725e-05,9.283096e-05,9.244143e-05,9.236274e-05,9.204561e-05,9.183754e-05,9.164422e-05,9.130323e-05,9.123793e-05,9.082736e-05,9.076131e-05,9.041310e-05,9.021311e-05,8.999571e-05,8.965990e-05,8.957572e-05,8.915361e-05,8.910284e-05,8.872984e-05,8.854297e-05,8.830484e-05,8.798127e-05,8.787901e-05,8.745272e-05,8.741860e-05,8.702631e-05,8.685579e-05,8.660011e-05,8.629356e-05,8.617444e-05,8.574956e-05,8.573259e-05,8.532575e-05,8.517349e-05,8.490326e-05,8.461683e-05,8.448231e-05,8.406312e-05,8.351281e-05,8.296631e-05,8.242401e-05,8.188624e-05,8.135330e-05,8.082546e-05,8.030295e-05,7.978599e-05,7.927477e-05,7.876944e-05,7.827016e-05,7.777703e-05,7.729016e-05,7.680963e-05,7.633552e-05,7.586787e-05,7.540673e-05,7.495213e-05,7.450409e-05,7.406261e-05,7.362769e-05,7.319933e-05,7.277750e-05,7.236218e-05
0.000000e+00,1.660066e-10,6.060021e-10,3.998560e-09,1.351267e-08,2.335192e-08,7.414934e-08,7.724891e-08,1.887233e-07,2.336473e-07,3.830027e-07,5.504612e-07,6.870493e-07,1.088178e-06,1.129323e-06,1.737643e-06,1.910958e-06,2.533313e-06,3.064382e-06,3.524480e-06,4.553873e-06,4.705092e-06,6.059722e-06,6.349867e-06,7.569276e-06,8.409026e-06,9.214451e-06,1.068779e-05,1.097694e-05,1.283940e-05,1.314555e-05,1.478501e-05,1.574355e-05,1.679713e-05,1.844353e-05,1.885912e-05,2.095441e-05,2.120731e-05,2.306666e-05,2.399731e-05,2.518002e-05,2.677758e-05,2.727939e-05,2.935071e-05,2.951481e-05,3.138116e-05,3.217929e-05,3.335933e-05,3.474559e-05,3.527527e-05,3.712062e-05,3.719286e-05,3.888852e-05,3.950493e-05,4.057361e-05,4.167008e-05,4.217191e-05,4.368073e-05,4.509855e-05,4.553292e-05,4.642487e-05,4.722584e-05,4.766007e-05,4.876122e-05,4.880532e-05,4.986238e-05,5.014286e-05,5.083357e-05,5.137616e-05,5.172157e-05,5.246767e-05,5.252943e-05,5.326039e-05,5.342475e-05,5.391787e-05,5.425527e-05,5.450539e-05,5.496735e-05,5.502650e-05,5.548476e-05,5.556918e-05,5.588369e-05,5.606885e-05,5.622677e-05,5.647427e-05,5.651737e-05,5.675876e-05,5.679303e-05,5.695411e-05,5.703242e-05,5.710644e-05,5.719930e-05,5.721867e-05,5.729356e-05,5.730017e-05,5.733376e-05,5.734112e-05,5.734179e-05,5.732784e-05,5.732002e-05,5.727069e-05,5.726562e-05,5.719593e-05,5.715936e-05,5.709772e-05,5.701355e-05,5.697794e-05,5.683834e-05,5.683236e-05,5.668058e-05,5.661965e-05,5.650623e-05,5.637894e-05,5.631674e-05,5.611347e-05,5.589770e-05,5.582621e-05,5.567061e-05,5.551985e-05,5.543332e-05,5.519689e-05,5.518687e-05,5.493223e-05,5.485958e-05,5.467030e-05,5.451001e-05,5.440194e-05,5.415003e-05,5.412792e-05,5.384897e-05,5.378136e-05,5.356577e-05,5.340556e-05,5.327895e-05,5.302402e-05,5.298910e-05,5.269676e-05,5.263804e-05,5.240243e-05,5.224876e-05,5.210660e-05,5.185724e-05,5.180967e-05,5.151207e-05,5.146441e-05,5.121414e-05,5.107113e-05,5.091625e-05,5.067816e-05,5.061869e-05,5.032176e-05,5.028619e-05,5.002573e-05,4.989582e-05,4.973083e-05,4.950761e-05,4.943730e-05,4.914533e-05,4.912205e-05,4.885512e-05,4.873956e-05,4.856683e-05,4.836055e-05,4.828063e-05,4.799664e-05,4.798533e-05,4.771501e-05,4.761422e-05,4.743584e-05,4.724746e-05,4.715923e-05,4.688528e-05,4.652788e-05,4.617543e-05,4.582804e-05,4.548585e-05,4.514895e-05,4.481741e-05,4.449128e-05,4.417061e-05,4.385541e-05,4.354571e-05,4.324151e-05,4.294279e-05,4.264954e-05,4.236173e-05,4.207932e-05,4.180228e-05,4.153056e-05,4.126410e-05,4.100284e-05,4.074674e-05,4.049571e-05,4.024970e-05,4.000864e-05,3.977244e-05
0.000000e+00,5.758595e-09,1.326971e-08,4.601030e-08,1.052685e-07,1.540339e-07,3.523799e-07,3.631197e-07,7.091194e-07,8.359636e-07,1.233059e-06,1.652212e-06,1.981835e-06,2.909018e-06,3.001368e-06,4.317873e-06,4.677888e-06,5.924838e-06,6.942079e-06,7.796293e-06,9.640909e-06,9.905907e-06,1.223314e-05,1.272322e-05,1.476171e-05,1.615128e-05,1.747705e-05,1.989163e-05,2.036458e-05,2.340879e-05,2.390930e-05,2.659294e-05,2.816583e-05,2.989915e-05,3.261937e-05,3.330859e-05,3.680186e-05,3.722575e-05,4.035935e-05,4.193998e-05,4.396167e-05,4.671777e-05,4.758994e-05,5.122613e-05,5.151685e-05,5.485337e-05,5.629823e-05,5.845611e-05,6.102689e-05,6.202017e-05,6.553285e-05,6.567212e-05,6.898296e-05,7.020777e-05,7.236078e-05,7.461212e-05,7.565802e-05,7.886771e-05,8.198415e-05,8.296095e-05,8.500281e-05,8.688177e-05,8.792018e-05,9.062318e-05,9.073371e-05,9.344167e-05,9.418083e-05,9.604308e-05,9.755262e-05,9.853760e-05,1.007383e-04,1.009254e-04,1.032073e-04,1.037393e-04,1.053842e-04,1.065580e-04,1.074577e-04,1.091981e-04,1.094294e-04,1.113013e-04,1.116638e-04,1.130755e-04,1.139602e-04,1.147543e-04,1.160925e-04,1.163401e-04,1.178354e-04,1.180664e-04,1.192427e-04,1.198878e-04,1.205647e-04,1.215626e-04,1.218039e-04,1.229630e-04,1.230969e-04,1.240446e-04,1.244967e-04,1.250514e-04,1.257680e-04,1.259858e-04,1.268504e-04,1.269167e-04,1.276478e-04,1.279485e-04,1.283805e-04,1.288693e-04,1.290508e-04,1.296612e-04,1.296844e-04,1.302139e-04,1.303992e-04,1.307113e-04,1.310190e-04,1.311555e-04,1.315488e-04,1.318932e-04,1.319934e-04,1.321907e-04,1.323575e-04,1.324434e-04,1.326456e-04,1.326532e-04,1.328219e-04,1.328621e-04,1.329514e-04,1.330111e-04,1.330435e-04,1.330966e-04,1.330998e-04,1.331220e-04,1.331224e-04,1.331116e-04,1.330922e-04,1.330703e-04,1.330095e-04,1.329995e-04,1.329007e-04,1.328777e-04,1.327752e-04,1.326999e-04,1.326245e-04,1.324792e-04,1.324497e-04,1.322521e-04,1.322185e-04,1.320330e-04,1.319206e-04,1.317935e-04,1.315880e-04,1.315348e-04,1.312578e-04,1.312234e-04,1.309637e-04,1.308291e-04,1.306534e-04,1.304074e-04,1.303279e-04,1.299882e-04,1.299604e-04,1.296350e-04,1.294902e-04,1.292693e-04,1.289987e-04,1.288918e-04,1.285035e-04,1.284877e-04,1.281049e-04,1.279590e-04,1.276968e-04,1.274143e-04,1.272800e-04,1.268551e-04,1.262829e-04,1.256990e-04,1.251049e-04,1.245016e-04,1.238905e-04,1.232725e-04,1.226488e-04,1.220203e-04,1.213879e-04,1.207526e-04,1.201150e-04,1.194759e-04,1.188362e-04,1.181963e-04,1.175570e-04,1.169188e-04,1.162823e-04,1.156479e-04,1.150162e-04,1.143875e-04,1.137622e-04,1.131408e-04,1.125235e-04,1.119107e-04
0.000000e+00,3.569247e-09,8.225611e-09,2.856719e-08,6.554603e-08,9.611544e-08,2.215656e-07,2.284048e-07,4.509422e-07,5.334784e-07,7.946060e-07,1.073989e-06,1.295877e-06,1.927706e-06,1.991123e-06,2.901000e-06,3.150936e-06,4.016894e-06,4.721228e-06,5.309916e-06,6.570166e-06,6.749879e-06,8.313296e-06,8.639168e-06,9.982503e-06,1.088745e-05,1.174309e-05,1.328310e-05,1.358210e-05,1.548706e-05,1.579715e-05,1.744572e-05,1.840139e-05,1.944599e-05,2.106825e-05,2.147611e-05,2.352478e-05,2.377136e-05,2.558144e-05,2.648634e-05,2.763630e-05,2.919132e-05,2.968053e-05,3.170624e-05,3.186728e-05,3.370655e-05,3.449820e-05,3.567552e-05,3.707091e-05,3.760812e-05,3.950019e-05,3.957498e-05,4.134832e-05,4.200234e-05,4.314978e-05,4.434704e-05,4.490249e-05,4.660487e-05,4.825582e-05,4.877314e-05,4.985464e-05,5.085033e-05,5.140094e-05,5.283591e-05,5.289465e-05,5.433593e-05,5.473013e-05,5.572512e-05,5.653385e-05,5.706276e-05,5.824840e-05,5.834948e-05,5.958606e-05,5.987547e-05,6.077334e-05,6.141703e-05,6.191226e-05,6.287528e-05,6.300379e-05,6.404897e-05,6.425254e-05,6.504885e-05,6.555124e-05,6.600451e-05,6.677390e-05,6.691705e-05,6.778758e-05,6.792304e-05,6.861720e-05,6.900122e-05,6.940704e-05,7.001100e-05,7.015819e-05,7.087176e-05,7.095492e-05,7.154884e-05,7.183547e-05,7.219051e-05,7.265515e-05,7.279783e-05,7.337185e-05,7.341636e-05,7.391360e-05,7.412150e-05,7.442410e-05,7.477288e-05,7.490435e-05,7.535532e-05,7.537277e-05,7.577797e-05,7.592338e-05,7.617324e-05,7.642686e-05,7.654205e-05,7.688530e-05,7.720385e-05,7.730071e-05,7.749857e-05,7.767507e-05,7.777029e-05,7.801026e-05,7.801982e-05,7.824797e-05,7.830812e-05,7.845549e-05,7.857043e-05,7.864316e-05,7.879889e-05,7.881169e-05,7.896180e-05,7.899516e-05,7.909418e-05,7.916083e-05,7.920951e-05,7.929742e-05,7.930845e-05,7.939162e-05,7.940642e-05,7.945966e-05,7.948925e-05,7.951315e-05,7.954726e-05,7.955267e-05,7.957881e-05,7.958178e-05,7.959210e-05,7.959407e-05,7.959307e-05,7.958532e-05,7.958224e-05,7.956010e-05,7.955671e-05,7.952715e-05,7.950935e-05,7.948385e-05,7.944431e-05,7.943066e-05,7.936801e-05,7.936260e-05,7.929632e-05,7.926521e-05,7.921602e-05,7.915309e-05,7.912749e-05,7.903113e-05,7.902712e-05,7.892730e-05,7.888817e-05,7.881637e-05,7.873706e-05,7.869868e-05,7.857457e-05,7.840146e-05,7.821844e-05,7.802620e-05,7.782540e-05,7.761665e-05,7.740055e-05,7.717767e-05,7.694854e-05,7.671369e-05,7.647361e-05,7.622875e-05,7.597957e-05,7.572648e-05,7.546988e-05,7.521017e-05,7.494768e-05,7.468279e-05,7.441579e-05,7.414701e-05,7.387674e-05,7.360525e-05,7.333281e-05,7.305966e-05,7.278604e-05
0.000000e+00,6.238443e-10,2.053484e-09,1.124841e-08,3.307044e-08,5.353691e-08,1.484141e-07,1.539116e-07,3.433760e-07,4.174868e-07,6.612977e-07,9.341742e-07,1.157723e-06,1.818807e-06,1.886764e-06,2.884550e-06,3.164470e-06,4.147207e-06,4.956481e-06,5.636713e-06,7.097188e-06,7.305450e-06,9.112521e-06,9.487651e-06,1.102688e-05,1.205671e-05,1.302492e-05,1.475385e-05,1.508749e-05,1.719790e-05,1.753897e-05,1.934087e-05,2.037683e-05,2.150208e-05,2.323510e-05,2.366806e-05,2.582628e-05,2.608419e-05,2.796525e-05,2.889760e-05,3.007466e-05,3.165240e-05,3.214542e-05,3.416970e-05,3.432943e-05,3.614093e-05,3.691332e-05,3.805373e-05,3.939236e-05,3.990389e-05,4.168818e-05,4.175815e-05,4.340432e-05,4.400513e-05,4.505080e-05,4.613020e-05,4.662684e-05,4.813223e-05,4.956727e-05,5.001173e-05,5.093267e-05,5.177044e-05,5.222946e-05,5.341107e-05,5.345898e-05,5.462275e-05,5.493705e-05,5.572246e-05,5.635229e-05,5.675992e-05,5.766106e-05,5.773706e-05,5.865581e-05,5.886785e-05,5.951820e-05,5.997726e-05,6.032623e-05,6.099392e-05,6.108191e-05,6.178725e-05,6.192245e-05,6.244423e-05,6.276740e-05,6.305480e-05,6.353321e-05,6.362087e-05,6.414431e-05,6.422423e-05,6.462694e-05,6.484463e-05,6.507053e-05,6.539847e-05,6.547682e-05,6.584747e-05,6.588963e-05,6.618409e-05,6.632184e-05,6.648826e-05,6.669866e-05,6.676150e-05,6.700525e-05,6.702352e-05,6.722093e-05,6.729965e-05,6.740990e-05,6.753015e-05,6.757346e-05,6.771288e-05,6.771797e-05,6.782935e-05,6.786590e-05,6.792405e-05,6.797658e-05,6.799810e-05,6.805255e-05,6.808845e-05,6.809618e-05,6.810678e-05,6.810973e-05,6.810849e-05,6.809534e-05,6.809448e-05,6.806563e-05,6.805501e-05,6.802277e-05,6.799066e-05,6.796669e-05,6.790408e-05,6.789815e-05,6.781790e-05,6.779697e-05,6.772662e-05,6.767093e-05,6.762498e-05,6.752747e-05,6.751362e-05,6.739315e-05,6.736802e-05,6.726415e-05,6.719389e-05,6.712719e-05,6.700636e-05,6.698278e-05,6.683143e-05,6.680660e-05,6.667363e-05,6.659573e-05,6.650984e-05,6.637479e-05,6.634050e-05,6.616603e-05,6.614476e-05,6.598681e-05,6.590656e-05,6.580325e-05,6.566104e-05,6.561568e-05,6.542447e-05,6.540902e-05,6.522993e-05,6.515125e-05,6.503238e-05,6.488844e-05,6.483211e-05,6.462940e-05,6.462125e-05,6.442453e-05,6.435029e-05,6.421774e-05,6.407615e-05,6.400928e-05,6.379937e-05,6.352043e-05,6.323982e-05,6.295797e-05,6.267528e-05,6.239212e-05,6.210886e-05,6.182580e-05,6.154325e-05,6.126150e-05,6.098078e-05,6.070135e-05,6.042341e-05,6.014717e-05,5.987281e-05,5.960049e-05,5.933037e-05,5.906259e-05,5.879727e-05,5.853452e-05,5.827446e-05,5.801716e-05,5.776272e-05,5.751120e-05,5.726268e-05
0.000000e+00,1.136013e-09,4.437694e-09,3.364163e-08,1.288766e-07,2.385731e-07,9.059090e-07,9.507319e-07,2.784933e-06,3.625330e-06,6.751004e-06,1.076128e-05,1.435906e-05,2.624138e-05,2.755139e-05,4.838228e-05,5.472930e-05,7.868128e-05,1.003380e-04,1.198870e-04,1.659884e-04,1.730180e-04,2.387041e-04,2.533787e-04,3.172328e-04,3.631507e-04,4.085950e-04,4.950694e-04,5.125251e-04,6.285348e-04,6.481743e-04,7.559440e-04,8.209077e-04,8.939104e-04,1.011232e-03,1.041457e-03,1.197503e-03,1.216745e-03,1.360889e-03,1.434794e-03,1.530407e-03,1.662585e-03,1.704827e-03,1.882921e-03,1.897291e-03,2.063488e-03,2.136145e-03,2.245368e-03,2.376516e-03,2.427464e-03,2.608750e-03,2.615971e-03,2.788287e-03,2.852324e-03,2.965220e-03,3.083657e-03,3.138792e-03,3.308337e-03,3.473286e-03,3.525017e-03,3.633156e-03,3.732622e-03,3.787554e-03,3.930335e-03,3.936165e-03,4.078751e-03,4.117570e-03,4.215140e-03,4.293951e-03,4.345223e-03,4.459285e-03,4.468948e-03,4.586311e-03,4.613535e-03,4.697353e-03,4.756802e-03,4.802149e-03,4.889291e-03,4.900810e-03,4.993470e-03,5.011296e-03,5.080285e-03,5.123176e-03,5.161429e-03,5.225341e-03,5.237086e-03,5.307454e-03,5.318235e-03,5.372734e-03,5.402323e-03,5.433135e-03,5.478082e-03,5.488864e-03,5.540130e-03,5.545992e-03,5.587141e-03,5.606530e-03,5.630101e-03,5.660164e-03,5.669210e-03,5.704664e-03,5.707349e-03,5.736654e-03,5.748521e-03,5.765363e-03,5.784102e-03,5.790969e-03,5.813642e-03,5.814490e-03,5.833547e-03,5.840065e-03,5.850840e-03,5.861184e-03,5.865671e-03,5.878184e-03,5.888513e-03,5.891379e-03,5.896790e-03,5.901065e-03,5.903135e-03,5.907517e-03,5.907665e-03,5.910492e-03,5.910992e-03,5.911718e-03,5.911727e-03,5.911443e-03,5.909946e-03,5.909761e-03,5.906760e-03,5.905852e-03,5.902522e-03,5.899638e-03,5.897126e-03,5.891480e-03,5.890647e-03,5.883155e-03,5.881540e-03,5.874714e-03,5.869971e-03,5.865388e-03,5.856913e-03,5.855235e-03,5.844310e-03,5.842494e-03,5.832665e-03,5.826834e-03,5.820349e-03,5.810045e-03,5.807409e-03,5.793888e-03,5.792228e-03,5.779827e-03,5.773479e-03,5.765264e-03,5.753884e-03,5.750237e-03,5.734779e-03,5.733525e-03,5.718924e-03,5.712477e-03,5.702700e-03,5.690809e-03,5.686139e-03,5.669266e-03,5.668585e-03,5.652107e-03,5.645865e-03,5.634687e-03,5.622704e-03,5.617029e-03,5.599153e-03,5.575260e-03,5.551068e-03,5.526617e-03,5.501947e-03,5.477090e-03,5.452081e-03,5.426949e-03,5.401723e-03,5.376427e-03,5.351086e-03,5.325722e-03,5.300356e-03,5.275007e-03,5.249694e-03,5.224431e-03,5.199235e-03,5.174119e-03,5.149097e-03,5.124181e-03,5.099381e-03,5.074708e-03,5.050172e-03,5.025781e-03,5.001543e-03
0.000000e+00,2.129396e-09,5.641591e-09,2.276573e-08,5.594330e-08,8.405862e-08,2.014276e-07,2.078635e-07,4.174562e-07,4.950185e-07,7.391139e-07,9.974446e-07,1.200019e-06,1.762133e-06,1.817336e-06,2.589266e-06,2.796253e-06,3.504083e-06,4.074593e-06,4.550830e-06,5.574292e-06,5.720969e-06,7.006777e-06,7.277113e-06,8.400043e-06,9.163972e-06,9.891468e-06,1.121245e-05,1.147053e-05,1.312561e-05,1.339666e-05,1.484433e-05,1.568815e-05,1.661385e-05,1.805737e-05,1.842127e-05,2.025397e-05,2.047501e-05,2.209987e-05,2.291330e-05,2.394767e-05,2.534687e-05,2.578703e-05,2.760867e-05,2.775338e-05,2.940440e-05,3.011382e-05,3.116718e-05,3.241257e-05,3.289102e-05,3.457101e-05,3.463724e-05,3.620318e-05,3.677842e-05,3.778442e-05,3.882937e-05,3.931244e-05,4.078562e-05,4.220298e-05,4.264465e-05,4.356402e-05,4.440551e-05,4.486872e-05,4.606854e-05,4.611742e-05,4.731075e-05,4.763509e-05,4.844964e-05,4.910728e-05,4.953517e-05,5.048784e-05,5.056863e-05,5.155139e-05,5.177988e-05,5.248495e-05,5.298682e-05,5.337084e-05,5.411227e-05,5.421067e-05,5.500604e-05,5.515992e-05,5.575858e-05,5.613351e-05,5.646991e-05,5.703677e-05,5.714165e-05,5.777538e-05,5.787335e-05,5.837265e-05,5.864685e-05,5.893500e-05,5.936074e-05,5.946391e-05,5.996084e-05,6.001838e-05,6.042717e-05,6.062302e-05,6.086428e-05,6.117776e-05,6.127349e-05,6.165606e-05,6.168555e-05,6.201322e-05,6.214924e-05,6.234616e-05,6.257151e-05,6.265601e-05,6.294386e-05,6.295493e-05,6.321077e-05,6.330193e-05,6.345774e-05,6.361479e-05,6.368575e-05,6.389572e-05,6.408854e-05,6.414676e-05,6.426506e-05,6.436986e-05,6.442611e-05,6.456687e-05,6.457246e-05,6.470486e-05,6.473953e-05,6.482402e-05,6.488946e-05,6.493064e-05,6.501822e-05,6.502537e-05,6.510883e-05,6.512725e-05,6.518162e-05,6.521793e-05,6.524431e-05,6.529156e-05,6.529745e-05,6.534155e-05,6.534933e-05,6.537712e-05,6.539239e-05,6.540462e-05,6.542183e-05,6.542452e-05,6.543724e-05,6.543863e-05,6.544319e-05,6.544376e-05,6.544277e-05,6.543810e-05,6.543635e-05,6.542430e-05,6.542249e-05,6.540694e-05,6.539770e-05,6.538460e-05,6.536449e-05,6.535760e-05,6.532622e-05,6.532353e-05,6.529075e-05,6.527548e-05,6.525146e-05,6.522093e-05,6.520859e-05,6.516238e-05,6.516047e-05,6.511308e-05,6.509461e-05,6.506089e-05,6.502386e-05,6.500603e-05,6.494869e-05,6.486952e-05,6.478677e-05,6.470081e-05,6.461201e-05,6.452068e-05,6.442716e-05,6.433171e-05,6.423461e-05,6.413611e-05,6.403645e-05,6.393584e-05,6.383448e-05,6.373256e-05,6.363026e-05,6.352773e-05,6.342513e-05,6.332258e-05,6.322023e-05,6.311817e-05,6.301653e-05,6.291540e-05,6.281487e-05,6.271503e-05,6.261595e-05
0.000000e+00,1.213724e-11,4.664107e-11,3.410389e-10,1.259939e-09,2.282379e-09,8.135892e-09,8.514395e-09,2.312392e-08,2.942069e-08,5.151182e-08,7.786822e-08,1.003122e-07,1.699240e-07,1.773246e-07,2.912537e-07,3.250824e-07,4.508784e-07,5.630853e-07,6.635904e-07,8.984421e-07,9.340132e-07,1.263434e-06,1.336288e-06,1.650066e-06,1.872410e-06,2.089727e-06,2.495789e-06,2.576584e-06,3.103803e-06,3.191417e-06,3.664038e-06,3.942474e-06,4.249786e-06,4.731766e-06,4.853637e-06,5.468446e-06,5.542634e-06,6.087464e-06,6.359532e-06,6.704428e-06,7.168411e-06,7.313628e-06,7.909967e-06,7.956980e-06,8.488985e-06,8.714870e-06,9.046886e-06,9.433712e-06,9.580533e-06,1.008744e-05,1.010713e-05,1.056574e-05,1.073066e-05,1.101415e-05,1.130159e-05,1.143192e-05,1.181879e-05,1.217491e-05,1.228245e-05,1.250079e-05,1.269385e-05,1.279724e-05,1.305513e-05,1.306532e-05,1.330626e-05,1.336904e-05,1.352143e-05,1.363877e-05,1.371229e-05,1.386773e-05,1.388038e-05,1.402721e-05,1.405946e-05,1.415432e-05,1.421744e-05,1.426320e-05,1.434509e-05,1.435531e-05,1.443202e-05,1.444563e-05,1.449465e-05,1.452208e-05,1.454446e-05,1.457722e-05,1.458258e-05,1.461011e-05,1.461360e-05,1.462804e-05,1.463351e-05,1.463729e-05,1.463900e-05,1.463869e-05,1.463303e-05,1.463191e-05,1.462101e-05,1.461387e-05,1.460326e-05,1.458630e-05,1.458036e-05,1.455284e-05,1.455046e-05,1.452118e-05,1.450746e-05,1.448581e-05,1.445826e-05,1.444712e-05,1.440545e-05,1.440372e-05,1.436113e-05,1.434458e-05,1.431444e-05,1.428148e-05,1.426565e-05,1.421499e-05,1.416268e-05,1.414562e-05,1.410890e-05,1.407380e-05,1.405384e-05,1.399992e-05,1.399765e-05,1.394048e-05,1.392432e-05,1.388246e-05,1.384729e-05,1.382371e-05,1.376912e-05,1.376435e-05,1.370446e-05,1.369003e-05,1.364416e-05,1.361023e-05,1.358351e-05,1.352992e-05,1.352259e-05,1.346149e-05,1.344925e-05,1.340026e-05,1.336839e-05,1.333896e-05,1.328746e-05,1.327765e-05,1.321638e-05,1.320659e-05,1.315520e-05,1.312588e-05,1.309415e-05,1.304543e-05,1.303327e-05,1.297259e-05,1.296533e-05,1.291216e-05,1.288565e-05,1.285200e-05,1.280647e-05,1.279214e-05,1.273260e-05,1.272785e-05,1.267342e-05,1.264985e-05,1.261461e-05,1.257251e-05,1.255619e-05,1.249819e-05,1.249588e-05,1.244061e-05,1.241999e-05,1.238348e-05,1.234490e-05,1.232681e-05,1.227061e-05,1.219717e-05,1.212460e-05,1.205291e-05,1.198213e-05,1.191227e-05,1.184333e-05,1.177535e-05,1.170831e-05,1.164223e-05,1.157711e-05,1.151295e-05,1.144976e-05,1.138753e-05,1.132627e-05,1.126598e-05,1.120664e-05,1.114825e-05,1.109082e-05,1.103433e-05,1.097878e-05,1.092416e-05,1.087046e-05,1.081768e-05,1.076580e-05
0.000000e+00,2.855340e-11,1.069228e-10,7.414256e-10,2.611305e-09,4.608546e-09,1.535869e-08,1.602919e-08,4.069647e-08,5.082716e-08,8.488361e-08,1.233948e-07,1.548835e-07,2.471941e-07,2.566327e-07,3.954749e-07,4.348436e-07,5.759861e-07,6.966629e-07,8.017631e-07,1.039748e-06,1.075095e-06,1.396561e-06,1.466542e-06,1.764764e-06,1.973673e-06,2.176412e-06,2.552296e-06,2.626712e-06,3.109882e-06,3.189823e-06,3.619630e-06,3.871854e-06,4.149508e-06,4.583633e-06,4.693171e-06,5.244536e-06,5.310941e-06,5.797900e-06,6.040647e-06,6.348029e-06,6.761042e-06,6.890209e-06,7.420288e-06,7.462061e-06,7.934703e-06,8.135398e-06,8.430484e-06,8.774545e-06,8.905242e-06,9.357149e-06,9.374730e-06,9.784898e-06,9.932801e-06,1.018766e-05,1.044704e-05,1.056503e-05,1.091698e-05,1.124378e-05,1.134313e-05,1.154598e-05,1.172681e-05,1.182432e-05,1.206992e-05,1.207970e-05,1.231317e-05,1.237476e-05,1.252582e-05,1.264389e-05,1.271880e-05,1.288000e-05,1.289330e-05,1.305050e-05,1.308578e-05,1.319155e-05,1.326391e-05,1.331758e-05,1.341693e-05,1.342969e-05,1.352890e-05,1.354728e-05,1.361621e-05,1.365722e-05,1.369255e-05,1.374883e-05,1.375878e-05,1.381573e-05,1.382403e-05,1.386414e-05,1.388456e-05,1.390473e-05,1.393200e-05,1.393814e-05,1.396496e-05,1.396777e-05,1.398576e-05,1.399314e-05,1.400104e-05,1.400926e-05,1.401128e-05,1.401689e-05,1.401715e-05,1.401828e-05,1.401773e-05,1.401580e-05,1.401181e-05,1.400979e-05,1.400056e-05,1.400012e-05,1.398837e-05,1.398331e-05,1.397350e-05,1.396196e-05,1.395616e-05,1.393659e-05,1.391497e-05,1.390765e-05,1.389150e-05,1.387557e-05,1.386633e-05,1.384071e-05,1.383962e-05,1.381151e-05,1.380341e-05,1.378214e-05,1.376397e-05,1.375163e-05,1.372264e-05,1.372008e-05,1.368761e-05,1.367969e-05,1.365430e-05,1.363532e-05,1.362024e-05,1.358972e-05,1.358553e-05,1.355022e-05,1.354309e-05,1.351439e-05,1.349558e-05,1.347812e-05,1.344734e-05,1.344145e-05,1.340444e-05,1.339849e-05,1.336715e-05,1.334917e-05,1.332963e-05,1.329947e-05,1.329192e-05,1.325406e-05,1.324951e-05,1.321609e-05,1.319936e-05,1.317805e-05,1.314911e-05,1.313996e-05,1.310188e-05,1.309883e-05,1.306381e-05,1.304860e-05,1.302580e-05,1.299847e-05,1.298786e-05,1.295002e-05,1.294850e-05,1.291229e-05,1.289875e-05,1.287471e-05,1.284925e-05,1.283729e-05,1.280005e-05,1.275119e-05,1.270270e-05,1.265462e-05,1.260696e-05,1.255977e-05,1.251305e-05,1.246683e-05,1.242113e-05,1.237596e-05,1.233133e-05,1.228727e-05,1.224377e-05,1.220085e-05,1.215852e-05,1.211678e-05,1.207564e-05,1.203509e-05,1.199516e-05,1.195583e-05,1.191710e-05,1.187899e-05,1.184148e-05,1.180458e-05,1.176828e-05
0.000000e+00,8.788614e-11,3.444395e-10,2.623718e-09,1.006077e-08,1.859931e-08,6.982048e-08,7.322023e-08,2.089179e-07,2.692682e-07,4.864705e-07,7.532011e-07,9.848057e-07,1.720393e-06,1.799759e-06,3.041533e-06,3.416278e-06,4.830057e-06,6.116294e-06,7.288007e-06,1.009847e-05,1.053309e-05,1.467151e-05,1.561464e-05,1.979327e-05,2.286949e-05,2.596904e-05,3.200804e-05,3.324826e-05,4.165824e-05,4.310941e-05,5.120401e-05,5.618536e-05,6.186906e-05,7.118292e-05,7.361663e-05,8.639160e-05,8.799041e-05,1.001228e-04,1.064460e-04,1.147255e-04,1.263481e-04,1.301044e-04,1.461559e-04,1.474659e-04,1.627716e-04,1.695509e-04,1.798399e-04,1.923466e-04,1.972491e-04,2.148889e-04,2.155978e-04,2.326526e-04,2.390580e-04,2.504381e-04,2.624955e-04,2.681494e-04,2.856976e-04,3.030008e-04,3.084739e-04,3.199855e-04,3.306578e-04,3.365859e-04,3.521074e-04,3.527446e-04,3.684119e-04,3.727048e-04,3.835458e-04,3.923555e-04,3.981119e-04,4.109873e-04,4.120825e-04,4.254364e-04,4.285478e-04,4.381585e-04,4.450031e-04,4.502391e-04,4.603354e-04,4.616734e-04,4.724611e-04,4.745413e-04,4.826059e-04,4.876294e-04,4.921149e-04,4.996184e-04,5.009982e-04,5.092684e-04,5.105357e-04,5.169405e-04,5.204155e-04,5.240312e-04,5.292972e-04,5.305586e-04,5.365420e-04,5.372244e-04,5.420018e-04,5.442435e-04,5.469588e-04,5.504029e-04,5.514343e-04,5.554499e-04,5.557519e-04,5.590272e-04,5.603402e-04,5.621877e-04,5.642173e-04,5.649529e-04,5.673436e-04,5.674317e-04,5.693805e-04,5.700310e-04,5.710837e-04,5.720612e-04,5.724727e-04,5.735665e-04,5.743834e-04,5.745893e-04,5.749411e-04,5.751699e-04,5.752567e-04,5.753468e-04,5.753462e-04,5.752254e-04,5.751559e-04,5.749091e-04,5.746313e-04,5.744114e-04,5.738049e-04,5.737458e-04,5.729251e-04,5.727065e-04,5.719616e-04,5.713639e-04,5.708667e-04,5.698031e-04,5.696512e-04,5.683256e-04,5.680481e-04,5.668993e-04,5.661210e-04,5.653817e-04,5.640425e-04,5.637812e-04,5.621059e-04,5.618314e-04,5.603634e-04,5.595053e-04,5.585608e-04,5.570800e-04,5.567048e-04,5.548015e-04,5.545702e-04,5.528568e-04,5.519895e-04,5.508762e-04,5.493500e-04,5.488646e-04,5.468269e-04,5.466629e-04,5.447674e-04,5.439384e-04,5.426901e-04,5.411857e-04,5.405990e-04,5.384976e-04,5.384133e-04,5.363890e-04,5.356287e-04,5.342763e-04,5.328388e-04,5.321624e-04,5.300498e-04,5.272671e-04,5.244959e-04,5.217405e-04,5.190049e-04,5.162926e-04,5.136068e-04,5.109503e-04,5.083254e-04,5.057343e-04,5.031788e-04,5.006604e-04,4.981806e-04,4.957403e-04,4.933406e-04,4.909822e-04,4.886656e-04,4.863914e-04,4.841599e-04,4.819712e-04,4.798254e-04,4.777226e-04,4.756626e-04,4.736454e-04,4.716706e-04
0.000000e+00,2.322541e-11,8.953162e-11,6.589324e-10,2.448591e-09,4.449394e-09,1.597926e-08,1.672736e-08,4.570779e-08,5.823381e-08,1.022393e-07,1.547615e-07,1.994505e-07,3.376361e-07,3.522820e-07,5.765705e-07,6.427527e-07,8.874256e-07,1.104160e-06,1.297468e-06,1.747644e-06,1.815764e-06,2.447576e-06,2.587765e-06,3.194561e-06,3.628109e-06,4.055159e-06,4.862732e-06,5.024992e-06,6.097264e-06,6.277769e-06,7.263143e-06,7.852988e-06,8.512141e-06,9.563314e-06,9.832496e-06,1.121156e-05,1.138037e-05,1.263618e-05,1.327401e-05,1.409305e-05,1.521377e-05,1.556908e-05,1.705165e-05,1.717017e-05,1.852889e-05,1.911581e-05,1.998987e-05,2.102614e-05,2.142475e-05,2.282489e-05,2.288006e-05,2.418284e-05,2.466015e-05,2.549243e-05,2.635272e-05,2.674864e-05,2.794764e-05,2.908663e-05,2.943812e-05,3.016380e-05,3.082027e-05,3.117818e-05,3.209273e-05,3.212959e-05,3.301846e-05,3.325626e-05,3.384579e-05,3.431324e-05,3.461304e-05,3.526740e-05,3.532202e-05,3.597481e-05,3.612337e-05,3.657371e-05,3.688647e-05,3.712117e-05,3.756239e-05,3.761972e-05,3.807193e-05,3.815704e-05,3.848040e-05,3.867637e-05,3.884768e-05,3.912620e-05,3.917628e-05,3.946865e-05,3.951223e-05,3.972715e-05,3.983987e-05,3.995405e-05,4.011426e-05,4.015150e-05,4.032156e-05,4.034022e-05,4.046618e-05,4.052224e-05,4.058721e-05,4.066448e-05,4.068638e-05,4.076530e-05,4.077079e-05,4.082552e-05,4.084469e-05,4.086844e-05,4.088940e-05,4.089542e-05,4.090768e-05,4.090788e-05,4.090639e-05,4.090282e-05,4.089263e-05,4.087666e-05,4.086740e-05,4.083163e-05,4.078619e-05,4.076974e-05,4.073188e-05,4.069281e-05,4.066945e-05,4.060252e-05,4.059959e-05,4.052296e-05,4.050037e-05,4.044014e-05,4.038771e-05,4.035168e-05,4.026578e-05,4.025811e-05,4.015990e-05,4.013569e-05,4.005750e-05,3.999847e-05,3.995131e-05,3.985503e-05,3.984171e-05,3.972906e-05,3.970619e-05,3.961369e-05,3.955272e-05,3.949590e-05,3.939530e-05,3.937598e-05,3.925418e-05,3.923454e-05,3.913076e-05,3.907100e-05,3.900593e-05,3.890520e-05,3.887991e-05,3.875289e-05,3.873759e-05,3.862506e-05,3.856860e-05,3.849658e-05,3.839860e-05,3.836761e-05,3.823830e-05,3.822794e-05,3.810877e-05,3.805693e-05,3.797916e-05,3.788585e-05,3.784958e-05,3.772014e-05,3.771496e-05,3.759093e-05,3.754449e-05,3.746204e-05,3.737463e-05,3.733357e-05,3.720559e-05,3.703754e-05,3.687061e-05,3.670496e-05,3.654070e-05,3.637795e-05,3.621679e-05,3.605733e-05,3.589963e-05,3.574377e-05,3.558980e-05,3.543778e-05,3.528774e-05,3.513973e-05,3.499378e-05,3.484992e-05,3.470817e-05,3.456854e-05,3.443105e-05,3.429570e-05,3.416251e-05,3.403147e-05,3.390258e-05,3.377585e-05,3.365126e-05
0.000000e+00,7.381590e-11,2.877190e-10,2.166603e-09,8.219760e-09,1.510586e-08,5.582752e-08,5.850822e-08,1.643024e-07,2.108344e-07,3.766548e-07,5.778137e-07,7.508881e-07,1.293606e-06,1.351652e-06,2.250113e-06,2.518218e-06,3.519581e-06,4.418824e-06,5.229710e-06,7.147403e-06,7.440899e-06,1.020032e-05,1.082107e-05,1.353974e-05,1.551129e-05,1.747480e-05,2.124075e-05,2.200514e-05,2.711529e-05,2.798495e-05,3.277609e-05,3.567720e-05,3.894644e-05,4.421563e-05,4.557539e-05,5.260435e-05,5.347171e-05,5.996935e-05,6.329916e-05,6.760319e-05,7.354263e-05,7.543750e-05,8.340451e-05,8.404562e-05,9.143862e-05,9.465699e-05,9.947768e-05,1.052362e-04,1.074639e-04,1.153447e-04,1.156571e-04,1.230731e-04,1.258098e-04,1.306077e-04,1.356024e-04,1.379133e-04,1.449603e-04,1.517246e-04,1.538263e-04,1.581875e-04,1.621590e-04,1.643350e-04,1.699310e-04,1.701576e-04,1.756497e-04,1.771279e-04,1.808093e-04,1.837457e-04,1.856374e-04,1.897896e-04,1.901377e-04,1.943160e-04,1.952718e-04,1.981803e-04,2.002105e-04,2.017398e-04,2.046282e-04,2.050049e-04,2.079870e-04,2.085505e-04,2.106983e-04,2.120053e-04,2.131512e-04,2.150214e-04,2.153586e-04,2.173332e-04,2.176285e-04,2.190881e-04,2.198560e-04,2.206358e-04,2.217331e-04,2.219888e-04,2.231592e-04,2.232880e-04,2.241590e-04,2.245477e-04,2.249993e-04,2.255380e-04,2.256911e-04,2.262448e-04,2.262835e-04,2.266704e-04,2.268070e-04,2.269774e-04,2.271300e-04,2.271746e-04,2.272706e-04,2.272724e-04,2.272733e-04,2.272529e-04,2.271902e-04,2.270884e-04,2.270285e-04,2.267946e-04,2.264949e-04,2.263860e-04,2.261351e-04,2.258758e-04,2.257206e-04,2.252760e-04,2.252566e-04,2.247476e-04,2.245976e-04,2.241981e-04,2.238506e-04,2.236121e-04,2.230441e-04,2.229935e-04,2.223456e-04,2.221862e-04,2.216719e-04,2.212845e-04,2.209753e-04,2.203456e-04,2.202586e-04,2.195243e-04,2.193756e-04,2.187750e-04,2.183800e-04,2.180127e-04,2.173638e-04,2.172395e-04,2.164573e-04,2.163314e-04,2.156678e-04,2.152867e-04,2.148726e-04,2.142334e-04,2.140732e-04,2.132710e-04,2.131746e-04,2.124672e-04,2.121133e-04,2.116628e-04,2.110519e-04,2.108591e-04,2.100569e-04,2.099928e-04,2.092570e-04,2.089379e-04,2.084604e-04,2.078892e-04,2.076677e-04,2.068795e-04,2.068481e-04,2.060966e-04,2.058161e-04,2.053194e-04,2.047945e-04,2.045485e-04,2.037842e-04,2.027863e-04,2.018016e-04,2.008308e-04,1.998744e-04,1.989330e-04,1.980071e-04,1.970969e-04,1.962028e-04,1.953249e-04,1.944635e-04,1.936187e-04,1.927904e-04,1.919788e-04,1.911839e-04,1.904055e-04,1.896437e-04,1.888984e-04,1.881693e-04,1.874565e-04,1.867597e-04,1.860787e-04,1.854134e-04,1.847636e-04,1.841291e-04
0.000000e+00,2.948670e-11,1.154160e-10,8.768312e-10,3.354116e-09,6.192515e-09,2.316713e-08,2.429185e-08,6.908106e-08,8.895731e-08,1.603605e-07,2.478559e-07,3.237126e-07,5.641526e-07,5.900602e-07,9.947671e-07,1.116698e-06,1.576047e-06,1.993239e-06,2.372844e-06,3.282235e-06,3.422773e-06,4.760463e-06,5.065293e-06,6.416319e-06,7.411711e-06,8.415588e-06,1.037473e-05,1.077766e-05,1.351560e-05,1.398908e-05,1.663586e-05,1.826958e-05,2.013824e-05,2.321096e-05,2.401601e-05,2.825629e-05,2.878866e-05,3.284053e-05,3.496065e-05,3.774516e-05,4.166997e-05,4.294235e-05,4.840083e-05,4.884780e-05,5.408674e-05,5.641684e-05,5.996444e-05,6.429461e-05,6.599734e-05,7.214864e-05,7.239664e-05,7.838200e-05,8.063926e-05,8.466213e-05,8.894203e-05,9.095527e-05,9.722957e-05,1.034555e-04,1.054330e-04,1.096059e-04,1.134911e-04,1.156563e-04,1.213504e-04,1.215849e-04,1.273727e-04,1.289658e-04,1.330032e-04,1.363002e-04,1.384626e-04,1.433242e-04,1.437394e-04,1.488247e-04,1.500158e-04,1.537114e-04,1.563594e-04,1.583947e-04,1.623452e-04,1.628714e-04,1.671401e-04,1.679688e-04,1.712006e-04,1.732302e-04,1.750543e-04,1.781331e-04,1.787033e-04,1.821511e-04,1.826843e-04,1.854016e-04,1.868932e-04,1.884597e-04,1.907711e-04,1.913305e-04,1.940200e-04,1.943308e-04,1.965340e-04,1.975863e-04,1.988790e-04,2.005521e-04,2.010614e-04,2.030878e-04,2.032434e-04,2.049648e-04,2.056752e-04,2.066990e-04,2.078628e-04,2.082969e-04,2.097649e-04,2.098210e-04,2.111094e-04,2.115643e-04,2.123364e-04,2.131069e-04,2.134521e-04,2.144622e-04,2.153722e-04,2.156432e-04,2.161876e-04,2.166621e-04,2.169135e-04,2.175308e-04,2.175548e-04,2.181165e-04,2.182600e-04,2.186028e-04,2.188603e-04,2.190182e-04,2.193413e-04,2.193668e-04,2.196525e-04,2.197121e-04,2.198789e-04,2.199812e-04,2.200496e-04,2.201564e-04,2.201680e-04,2.202371e-04,2.202452e-04,2.202599e-04,2.202545e-04,2.202393e-04,2.201904e-04,2.201780e-04,2.200784e-04,2.200591e-04,2.199430e-04,2.198659e-04,2.197740e-04,2.196159e-04,2.195734e-04,2.193434e-04,2.193139e-04,2.190857e-04,2.189641e-04,2.188022e-04,2.185705e-04,2.184946e-04,2.181644e-04,2.181370e-04,2.178131e-04,2.176670e-04,2.174422e-04,2.171636e-04,2.170529e-04,2.166465e-04,2.166299e-04,2.162242e-04,2.160685e-04,2.157871e-04,2.154820e-04,2.153363e-04,2.148728e-04,2.142430e-04,2.135946e-04,2.129296e-04,2.122496e-04,2.115563e-04,2.108512e-04,2.101357e-04,2.094111e-04,2.086785e-04,2.079391e-04,2.071939e-04,2.064439e-04,2.056901e-04,2.049331e-04,2.041739e-04,2.034130e-04,2.026513e-04,2.018893e-04,2.011277e-04,2.003668e-04,1.996074e-04,1.988498e-04,1.980944e-04,1.973417e-04
0.000000e+00,6.690152e-10,2.272240e-09,1.313573e-08,4.014358e-08,6.617186e-08,1.908322e-07,1.981878e-07,4.570498e-07,5.604197e-07,9.058393e-07,1.298011e-06,1.620497e-06,2.564378e-06,2.659961e-06,4.026920e-06,4.399004e-06,5.674371e-06,6.697245e-06,7.543658e-06,9.333820e-06,9.586958e-06,1.176961e-05,1.222046e-05,1.406539e-05,1.529647e-05,1.645214e-05,1.851215e-05,1.890915e-05,2.141612e-05,2.182052e-05,2.395293e-05,2.517540e-05,2.649992e-05,2.853214e-05,2.903825e-05,3.155035e-05,3.184927e-05,3.402030e-05,3.509004e-05,3.643407e-05,3.822348e-05,3.877964e-05,4.104708e-05,4.122484e-05,4.322846e-05,4.407551e-05,4.531776e-05,4.676255e-05,4.731066e-05,4.920442e-05,4.927809e-05,5.099774e-05,5.161869e-05,5.269044e-05,5.378437e-05,5.428330e-05,5.577797e-05,5.717660e-05,5.760430e-05,5.848182e-05,5.926953e-05,5.969666e-05,6.078092e-05,6.082440e-05,6.186852e-05,6.214638e-05,6.283262e-05,6.337419e-05,6.372035e-05,6.447272e-05,6.453532e-05,6.528115e-05,6.545025e-05,6.596135e-05,6.631489e-05,6.657938e-05,6.707448e-05,6.713859e-05,6.764219e-05,6.773652e-05,6.809330e-05,6.830813e-05,6.849491e-05,6.879609e-05,6.884986e-05,6.916089e-05,6.920676e-05,6.943060e-05,6.954612e-05,6.966146e-05,6.981977e-05,6.985583e-05,7.001595e-05,7.003296e-05,7.014392e-05,7.019057e-05,7.024177e-05,7.029716e-05,7.031140e-05,7.035460e-05,7.035697e-05,7.037309e-05,7.037392e-05,7.036847e-05,7.035169e-05,7.034226e-05,7.029592e-05,7.029367e-05,7.023079e-05,7.020300e-05,7.014816e-05,7.008260e-05,7.004924e-05,6.993518e-05,6.980704e-05,6.976324e-05,6.966586e-05,6.956909e-05,6.951258e-05,6.935489e-05,6.934810e-05,6.917329e-05,6.912260e-05,6.898894e-05,6.887407e-05,6.879581e-05,6.861098e-05,6.859461e-05,6.838601e-05,6.833491e-05,6.817064e-05,6.804730e-05,6.794910e-05,6.774948e-05,6.772194e-05,6.748969e-05,6.744268e-05,6.725285e-05,6.712804e-05,6.701188e-05,6.680660e-05,6.676722e-05,6.651928e-05,6.647933e-05,6.626844e-05,6.614712e-05,6.601507e-05,6.581079e-05,6.575952e-05,6.550208e-05,6.547108e-05,6.524308e-05,6.512870e-05,6.498279e-05,6.478427e-05,6.472148e-05,6.445939e-05,6.443839e-05,6.419675e-05,6.409159e-05,6.393379e-05,6.374437e-05,6.367070e-05,6.340768e-05,6.339716e-05,6.314490e-05,6.305039e-05,6.288253e-05,6.270444e-05,6.262073e-05,6.235964e-05,6.201631e-05,6.167474e-05,6.133519e-05,6.099790e-05,6.066307e-05,6.033090e-05,6.000157e-05,5.967522e-05,5.935200e-05,5.903204e-05,5.871544e-05,5.840231e-05,5.809271e-05,5.778674e-05,5.748445e-05,5.718590e-05,5.689114e-05,5.660019e-05,5.631309e-05,5.602987e-05,5.575054e-05,5.547511e-05,5.520358e-05,5.493596e-05
0.000000e+00,2.459866e-11,9.356232e-11,6.699368e-10,2.429142e-09,4.356100e-09,1.513503e-08,1.582288e-08,4.192276e-08,5.298685e-08,9.126004e-08,1.361559e-07,1.739212e-07,2.891769e-07,3.013005e-07,4.857732e-07,5.399415e-07,7.397362e-07,9.163869e-07,1.073755e-06,1.439332e-06,1.494505e-06,2.003698e-06,2.115962e-06,2.598392e-06,2.939380e-06,3.272123e-06,3.892825e-06,4.016210e-06,4.820830e-06,4.954504e-06,5.675756e-06,6.100992e-06,6.570814e-06,7.309108e-06,7.496133e-06,8.442275e-06,8.556781e-06,9.400305e-06,9.823426e-06,1.036185e-05,1.109016e-05,1.131912e-05,1.226500e-05,1.233998e-05,1.319303e-05,1.355794e-05,1.409750e-05,1.473131e-05,1.497344e-05,1.581665e-05,1.584965e-05,1.662370e-05,1.690485e-05,1.739190e-05,1.789105e-05,1.811928e-05,1.880452e-05,1.944691e-05,1.964339e-05,2.004631e-05,2.040748e-05,2.060301e-05,2.109794e-05,2.111773e-05,2.159153e-05,2.171703e-05,2.202573e-05,2.226787e-05,2.242186e-05,2.275413e-05,2.278161e-05,2.310679e-05,2.317990e-05,2.339926e-05,2.354945e-05,2.366090e-05,2.386715e-05,2.389361e-05,2.409924e-05,2.413728e-05,2.427963e-05,2.436404e-05,2.443652e-05,2.455139e-05,2.457160e-05,2.468647e-05,2.470308e-05,2.478266e-05,2.482261e-05,2.486158e-05,2.491320e-05,2.492459e-05,2.497293e-05,2.497780e-05,2.500778e-05,2.501913e-05,2.503023e-05,2.503961e-05,2.504127e-05,2.504185e-05,2.504147e-05,2.503281e-05,2.502669e-05,2.501496e-05,2.499706e-05,2.498903e-05,2.495569e-05,2.495421e-05,2.491557e-05,2.489957e-05,2.486923e-05,2.483444e-05,2.481720e-05,2.475997e-05,2.469799e-05,2.467722e-05,2.463166e-05,2.458711e-05,2.456136e-05,2.449047e-05,2.448745e-05,2.441024e-05,2.438807e-05,2.433003e-05,2.428058e-05,2.424710e-05,2.416861e-05,2.416169e-05,2.407404e-05,2.405270e-05,2.398438e-05,2.393336e-05,2.389289e-05,2.381102e-05,2.379976e-05,2.370518e-05,2.368610e-05,2.360929e-05,2.355896e-05,2.351224e-05,2.342993e-05,2.341417e-05,2.331522e-05,2.329931e-05,2.321549e-05,2.316738e-05,2.311510e-05,2.303439e-05,2.301416e-05,2.291275e-05,2.290055e-05,2.281097e-05,2.276609e-05,2.270890e-05,2.263118e-05,2.260662e-05,2.250420e-05,2.249600e-05,2.240171e-05,2.236071e-05,2.229921e-05,2.222544e-05,2.219676e-05,2.209442e-05,2.209033e-05,2.199224e-05,2.195550e-05,2.189026e-05,2.182105e-05,2.178853e-05,2.168709e-05,2.155370e-05,2.142098e-05,2.128898e-05,2.115779e-05,2.102746e-05,2.089804e-05,2.076960e-05,2.064218e-05,2.051582e-05,2.039055e-05,2.026641e-05,2.014343e-05,2.002163e-05,1.990105e-05,1.978169e-05,1.966358e-05,1.954673e-05,1.943115e-05,1.931686e-05,1.920387e-05,1.909217e-05,1.898179e-05,1.887271e-05,1.876495e-05
0.000000e+00,9.211728e-11,3.610724e-10,2.751529e-09,1.055697e-08,1.952510e-08,7.341624e-08,7.699768e-08,2.202859e-07,2.841907e-07,5.149242e-07,7.996211e-07,1.047872e-06,1.841841e-06,1.927958e-06,3.285232e-06,3.698116e-06,5.267403e-06,6.708874e-06,8.031552e-06,1.123407e-05,1.173250e-05,1.651197e-05,1.760835e-05,2.249102e-05,2.610724e-05,2.976598e-05,3.693018e-05,3.840650e-05,4.845514e-05,5.019503e-05,5.992782e-05,6.593860e-05,7.281481e-05,8.412075e-05,8.708230e-05,1.026743e-04,1.046309e-04,1.195146e-04,1.272964e-04,1.375099e-04,1.518926e-04,1.565519e-04,1.765202e-04,1.781539e-04,1.972857e-04,2.057850e-04,2.187130e-04,2.344723e-04,2.406629e-04,2.629957e-04,2.638950e-04,2.855729e-04,2.937343e-04,3.082594e-04,3.236823e-04,3.309257e-04,3.534486e-04,3.757133e-04,3.827659e-04,3.976136e-04,4.113935e-04,4.190529e-04,4.391204e-04,4.399446e-04,4.602122e-04,4.657660e-04,4.797892e-04,4.911801e-04,4.986193e-04,5.152427e-04,5.166555e-04,5.338603e-04,5.378623e-04,5.502048e-04,5.589739e-04,5.656682e-04,5.785366e-04,5.802374e-04,5.939062e-04,5.965317e-04,6.066743e-04,6.129595e-04,6.185475e-04,6.278369e-04,6.295362e-04,6.396554e-04,6.411950e-04,6.489237e-04,6.530766e-04,6.573631e-04,6.635341e-04,6.649980e-04,6.718553e-04,6.726273e-04,6.779636e-04,6.804216e-04,6.833528e-04,6.869866e-04,6.880537e-04,6.920981e-04,6.923942e-04,6.955178e-04,6.967180e-04,6.983449e-04,7.000315e-04,7.006115e-04,7.023490e-04,7.024080e-04,7.035887e-04,7.039191e-04,7.043611e-04,7.046347e-04,7.046960e-04,7.046224e-04,7.041682e-04,7.039469e-04,7.033605e-04,7.026702e-04,7.022254e-04,7.008507e-04,7.007877e-04,6.990714e-04,6.985440e-04,6.970991e-04,6.958020e-04,6.948926e-04,6.926735e-04,6.924725e-04,6.898582e-04,6.892040e-04,6.870682e-04,6.854356e-04,6.841199e-04,6.814075e-04,6.810297e-04,6.778130e-04,6.771558e-04,6.744844e-04,6.727138e-04,6.710573e-04,6.681118e-04,6.675445e-04,6.639578e-04,6.633778e-04,6.603082e-04,6.585371e-04,6.566061e-04,6.536130e-04,6.528610e-04,6.490818e-04,6.486264e-04,6.452767e-04,6.435962e-04,6.414533e-04,6.385397e-04,6.376187e-04,6.337793e-04,6.334721e-04,6.299410e-04,6.284072e-04,6.261093e-04,6.233573e-04,6.222891e-04,6.184851e-04,6.183334e-04,6.147014e-04,6.133449e-04,6.109417e-04,6.084006e-04,6.072094e-04,6.035077e-04,5.986729e-04,5.939018e-04,5.891992e-04,5.845692e-04,5.800153e-04,5.755403e-04,5.711466e-04,5.668361e-04,5.626101e-04,5.584698e-04,5.544157e-04,5.504483e-04,5.465678e-04,5.427738e-04,5.390662e-04,5.354443e-04,5.319074e-04,5.284547e-04,5.250852e-04,5.217979e-04,5.185914e-04,5.154647e-04,5.124163e-04,5.094448e-04
0.000000e+00,6.318468e-11,2.461777e-10,1.852319e-09,7.023084e-09,1.290294e-08,4.766000e-08,4.994775e-08,1.402394e-07,1.799625e-07,3.215896e-07,4.935673e-07,6.416945e-07,1.107233e-06,1.157126e-06,1.932179e-06,2.164565e-06,3.037558e-06,3.828816e-06,4.548587e-06,6.275145e-06,6.542422e-06,9.093957e-06,9.677328e-06,1.227090e-05,1.418920e-05,1.612918e-05,1.992718e-05,2.070984e-05,2.603752e-05,2.696005e-05,3.212048e-05,3.530699e-05,3.895144e-05,4.494088e-05,4.650909e-05,5.475973e-05,5.579437e-05,6.365903e-05,6.776679e-05,7.315381e-05,8.073118e-05,8.318371e-05,9.368285e-05,9.454098e-05,1.045814e-04,1.090364e-04,1.158068e-04,1.240504e-04,1.272857e-04,1.389446e-04,1.394137e-04,1.507113e-04,1.549601e-04,1.625158e-04,1.705301e-04,1.742912e-04,1.859745e-04,1.975072e-04,2.011569e-04,2.088354e-04,2.159555e-04,2.199106e-04,2.302647e-04,2.306897e-04,2.411348e-04,2.439950e-04,2.512136e-04,2.570735e-04,2.608990e-04,2.694431e-04,2.701689e-04,2.790064e-04,2.810615e-04,2.873987e-04,2.919006e-04,2.953374e-04,3.019447e-04,3.028181e-04,3.098397e-04,3.111891e-04,3.164045e-04,3.196391e-04,3.225172e-04,3.273080e-04,3.281854e-04,3.334183e-04,3.342159e-04,3.382271e-04,3.403884e-04,3.426246e-04,3.458556e-04,3.466244e-04,3.502415e-04,3.506505e-04,3.534911e-04,3.548086e-04,3.563892e-04,3.583666e-04,3.589519e-04,3.611958e-04,3.613620e-04,3.631370e-04,3.638324e-04,3.647919e-04,3.658150e-04,3.661764e-04,3.673062e-04,3.673463e-04,3.681966e-04,3.684615e-04,3.688626e-04,3.691946e-04,3.693185e-04,3.695781e-04,3.696548e-04,3.696428e-04,3.695614e-04,3.694180e-04,3.693100e-04,3.689309e-04,3.689123e-04,3.683793e-04,3.682073e-04,3.677215e-04,3.672711e-04,3.669489e-04,3.661447e-04,3.660708e-04,3.650961e-04,3.648488e-04,3.640332e-04,3.634023e-04,3.628898e-04,3.618231e-04,3.616735e-04,3.603911e-04,3.601272e-04,3.590491e-04,3.583297e-04,3.576536e-04,3.564442e-04,3.562103e-04,3.547245e-04,3.544832e-04,3.532012e-04,3.524581e-04,3.516450e-04,3.503793e-04,3.500602e-04,3.484509e-04,3.482563e-04,3.468207e-04,3.460977e-04,3.451731e-04,3.439113e-04,3.435113e-04,3.418383e-04,3.417041e-04,3.401569e-04,3.394826e-04,3.384696e-04,3.372525e-04,3.367788e-04,3.350866e-04,3.350189e-04,3.333951e-04,3.327866e-04,3.317060e-04,3.305597e-04,3.300211e-04,3.283420e-04,3.261367e-04,3.239469e-04,3.217752e-04,3.196238e-04,3.174949e-04,3.153903e-04,3.133114e-04,3.112597e-04,3.092362e-04,3.072420e-04,3.052779e-04,3.033445e-04,3.014424e-04,2.995720e-04,2.977337e-04,2.959277e-04,2.941541e-04,2.924130e-04,2.907044e-04,2.890282e-04,2.873844e-04,2.857726e-04,2.841928e-04,2.826446e-04
0.000000e+00,1.852519e-09,4.602447e-09,1.723514e-08,4.071888e-08,6.018450e-08,1.392358e-07,1.434950e-07,2.791181e-07,3.280409e-07,4.785710e-07,6.335924e-07,7.531374e-07,1.081102e-06,1.113266e-06,1.566244e-06,1.689042e-06,2.113140e-06,2.458728e-06,2.749003e-06,3.376167e-06,3.466280e-06,4.257230e-06,4.423599e-06,5.114355e-06,5.583723e-06,6.030126e-06,6.838995e-06,6.996738e-06,8.006041e-06,8.170932e-06,9.049618e-06,9.560202e-06,1.011893e-05,1.098721e-05,1.120551e-05,1.230114e-05,1.243285e-05,1.339803e-05,1.387918e-05,1.448897e-05,1.531004e-05,1.556740e-05,1.662751e-05,1.671137e-05,1.766424e-05,1.807141e-05,1.867333e-05,1.938075e-05,1.965125e-05,2.059520e-05,2.063222e-05,2.150301e-05,2.182066e-05,2.237314e-05,2.294276e-05,2.320456e-05,2.399671e-05,2.474944e-05,2.498201e-05,2.546294e-05,2.589918e-05,2.613765e-05,2.674955e-05,2.677429e-05,2.737373e-05,2.753505e-05,2.793701e-05,2.825808e-05,2.846525e-05,2.892133e-05,2.895967e-05,2.942154e-05,2.952769e-05,2.985217e-05,3.008016e-05,3.025287e-05,3.058178e-05,3.062496e-05,3.096975e-05,3.103554e-05,3.128852e-05,3.144442e-05,3.158254e-05,3.181128e-05,3.185303e-05,3.210118e-05,3.213889e-05,3.232814e-05,3.242988e-05,3.253502e-05,3.268678e-05,3.272288e-05,3.289275e-05,3.291197e-05,3.304559e-05,3.310768e-05,3.318233e-05,3.327605e-05,3.330388e-05,3.341107e-05,3.341905e-05,3.350471e-05,3.353855e-05,3.358558e-05,3.363630e-05,3.365440e-05,3.371186e-05,3.371393e-05,3.375863e-05,3.377298e-05,3.379534e-05,3.381485e-05,3.382257e-05,3.384089e-05,3.385083e-05,3.385232e-05,3.385289e-05,3.385031e-05,3.384757e-05,3.383593e-05,3.383531e-05,3.381654e-05,3.381017e-05,3.379167e-05,3.377398e-05,3.376108e-05,3.372821e-05,3.372515e-05,3.368421e-05,3.367368e-05,3.363860e-05,3.361113e-05,3.358862e-05,3.354126e-05,3.353457e-05,3.347672e-05,3.346472e-05,3.341534e-05,3.338211e-05,3.335068e-05,3.329400e-05,3.328297e-05,3.321243e-05,3.320090e-05,3.313928e-05,3.310329e-05,3.306371e-05,3.300164e-05,3.298591e-05,3.290606e-05,3.289635e-05,3.282433e-05,3.278781e-05,3.274088e-05,3.267639e-05,3.265585e-05,3.256939e-05,3.256242e-05,3.248164e-05,3.244621e-05,3.239272e-05,3.232805e-05,3.230276e-05,3.221185e-05,3.220820e-05,3.212012e-05,3.208692e-05,3.202767e-05,3.196443e-05,3.193458e-05,3.184095e-05,3.171668e-05,3.159180e-05,3.146647e-05,3.134087e-05,3.121512e-05,3.108937e-05,3.096375e-05,3.083836e-05,3.071331e-05,3.058870e-05,3.046461e-05,3.034114e-05,3.021835e-05,3.009632e-05,2.997510e-05,2.985476e-05,2.973535e-05,2.961692e-05,2.949950e-05,2.938315e-05,2.926789e-05,2.915375e-05,2.904077e-05,2.892898e-05
0.000000e+00,4.640630e-10,1.823427e-09,1.397048e-08,5.389457e-08,1.000048e-07,3.796630e-07,3.983561e-07,1.153073e-06,1.492899e-06,2.731163e-06,4.276036e-06,5.633027e-06,1.000272e-05,1.047787e-05,1.795918e-05,2.022687e-05,2.879562e-05,3.659421e-05,4.369362e-05,6.069417e-05,6.331958e-05,8.827708e-05,9.395590e-05,1.190877e-04,1.375671e-04,1.561748e-04,1.924111e-04,1.998517e-04,2.503141e-04,2.590244e-04,3.076363e-04,3.375789e-04,3.717738e-04,4.278878e-04,4.425679e-04,5.197557e-04,5.294319e-04,6.029810e-04,6.414032e-04,6.918085e-04,7.627585e-04,7.857381e-04,8.842198e-04,8.922776e-04,9.866680e-04,1.028622e-03,1.092476e-03,1.170391e-03,1.201026e-03,1.311705e-03,1.316168e-03,1.423909e-03,1.464563e-03,1.537056e-03,1.614248e-03,1.650587e-03,1.763979e-03,1.876740e-03,1.912615e-03,1.988419e-03,2.059133e-03,2.098602e-03,2.202627e-03,2.206919e-03,2.313037e-03,2.342315e-03,2.416664e-03,2.477538e-03,2.517547e-03,2.607749e-03,2.615469e-03,2.710249e-03,2.732512e-03,2.801740e-03,2.851492e-03,2.889822e-03,2.964445e-03,2.974408e-03,3.055436e-03,3.071211e-03,3.132866e-03,3.171702e-03,3.206682e-03,3.265895e-03,3.276886e-03,3.343498e-03,3.353825e-03,3.406553e-03,3.435570e-03,3.466100e-03,3.511252e-03,3.522199e-03,3.574920e-03,3.581024e-03,3.624343e-03,3.645065e-03,3.670551e-03,3.703577e-03,3.713638e-03,3.753699e-03,3.756776e-03,3.790834e-03,3.804892e-03,3.825146e-03,3.848160e-03,3.856737e-03,3.885714e-03,3.886821e-03,3.912182e-03,3.921116e-03,3.936245e-03,3.951288e-03,3.958008e-03,3.977575e-03,3.995046e-03,4.000210e-03,4.010521e-03,4.019423e-03,4.024099e-03,4.035436e-03,4.035873e-03,4.045937e-03,4.048461e-03,4.054381e-03,4.058705e-03,4.061291e-03,4.066366e-03,4.066751e-03,4.070843e-03,4.071631e-03,4.073645e-03,4.074679e-03,4.075232e-03,4.075681e-03,4.075677e-03,4.075047e-03,4.074799e-03,4.073411e-03,4.072183e-03,4.070831e-03,4.067978e-03,4.067367e-03,4.063078e-03,4.062319e-03,4.058018e-03,4.055332e-03,4.052241e-03,4.047136e-03,4.045796e-03,4.038730e-03,4.037843e-03,4.031089e-03,4.027557e-03,4.022917e-03,4.016374e-03,4.014252e-03,4.005135e-03,4.004387e-03,3.995602e-03,3.991679e-03,3.985686e-03,3.978330e-03,3.975422e-03,3.964840e-03,3.964410e-03,3.953969e-03,3.949990e-03,3.942836e-03,3.935130e-03,3.931469e-03,3.919890e-03,3.904323e-03,3.888479e-03,3.872404e-03,3.856140e-03,3.839726e-03,3.823198e-03,3.806589e-03,3.789929e-03,3.773246e-03,3.756566e-03,3.739911e-03,3.723303e-03,3.706761e-03,3.690302e-03,3.673943e-03,3.657699e-03,3.641581e-03,3.625602e-03,3.609773e-03,3.594102e-03,3.578599e-03,3.563271e-03,3.548123e-03,3.533163e-03
0.000000e+00,4.912618e-10,1.929115e-09,1.476167e-08,5.688377e-08,1.054898e-07,3.999279e-07,4.195968e-07,1.213155e-06,1.570271e-06,2.871067e-06,4.493403e-06,5.918107e-06,1.050390e-05,1.100236e-05,1.884540e-05,2.122076e-05,3.018824e-05,3.833926e-05,4.575149e-05,6.347334e-05,6.620694e-05,9.215500e-05,9.805040e-05,1.241059e-04,1.432316e-04,1.624644e-04,1.998516e-04,2.075184e-04,2.594323e-04,2.683794e-04,3.182446e-04,3.489047e-04,3.838711e-04,4.411476e-04,4.561114e-04,5.346593e-04,5.444908e-04,6.191155e-04,6.580275e-04,7.090030e-04,7.806197e-04,8.037821e-04,9.028664e-04,9.109608e-04,1.005638e-03,1.047637e-03,1.111462e-03,1.189187e-03,1.219700e-03,1.329718e-03,1.334147e-03,1.440902e-03,1.481099e-03,1.552661e-03,1.628698e-03,1.664436e-03,1.775703e-03,1.885980e-03,1.920986e-03,1.994825e-03,2.063548e-03,2.101839e-03,2.202520e-03,2.206667e-03,2.308997e-03,2.337163e-03,2.408557e-03,2.466867e-03,2.505119e-03,2.591140e-03,2.598488e-03,2.688510e-03,2.709602e-03,2.775059e-03,2.821975e-03,2.858045e-03,2.928073e-03,2.937403e-03,3.013094e-03,3.027791e-03,3.085105e-03,3.121097e-03,3.153440e-03,3.208019e-03,3.218125e-03,3.279198e-03,3.288638e-03,3.336715e-03,3.363079e-03,3.390742e-03,3.431502e-03,3.441356e-03,3.488642e-03,3.494097e-03,3.532693e-03,3.551076e-03,3.573608e-03,3.602668e-03,3.611488e-03,3.646441e-03,3.649114e-03,3.678574e-03,3.690663e-03,3.707998e-03,3.727567e-03,3.734823e-03,3.759159e-03,3.760082e-03,3.781115e-03,3.788458e-03,3.800802e-03,3.812947e-03,3.818325e-03,3.833790e-03,3.847300e-03,3.851226e-03,3.858954e-03,3.865484e-03,3.868850e-03,3.876784e-03,3.877082e-03,3.883742e-03,3.885338e-03,3.888919e-03,3.891348e-03,3.892696e-03,3.895006e-03,3.895156e-03,3.896378e-03,3.896495e-03,3.896437e-03,3.895989e-03,3.895404e-03,3.893648e-03,3.893350e-03,3.890339e-03,3.889628e-03,3.886435e-03,3.884072e-03,3.881697e-03,3.877115e-03,3.876182e-03,3.869945e-03,3.868883e-03,3.863037e-03,3.859497e-03,3.855506e-03,3.849065e-03,3.847400e-03,3.838762e-03,3.837691e-03,3.829633e-03,3.825472e-03,3.820054e-03,3.812495e-03,3.810061e-03,3.799690e-03,3.798845e-03,3.788973e-03,3.784597e-03,3.777942e-03,3.769822e-03,3.766627e-03,3.755055e-03,3.754587e-03,3.743253e-03,3.738952e-03,3.731245e-03,3.722974e-03,3.719055e-03,3.706704e-03,3.690191e-03,3.673477e-03,3.656604e-03,3.639608e-03,3.622525e-03,3.605384e-03,3.588215e-03,3.571044e-03,3.553895e-03,3.536790e-03,3.519747e-03,3.502787e-03,3.485924e-03,3.469174e-03,3.452550e-03,3.436064e-03,3.419727e-03,3.403548e-03,3.387536e-03,3.371699e-03,3.356044e-03,3.340576e-03,3.325300e-03,3.310222e-03
0.000000e+00,1.849051e-09,5.089090e-09,2.145062e-08,5.373238e-08,8.122017e-08,1.957554e-07,2.020094e-07,4.037313e-07,4.774202e-07,7.063446e-07,9.448817e-07,1.130403e-06,1.644878e-06,1.695686e-06,2.415681e-06,2.611853e-06,3.290868e-06,3.844867e-06,4.310179e-06,5.314701e-06,5.458913e-06,6.723354e-06,6.989025e-06,8.091133e-06,8.839271e-06,9.550355e-06,1.083794e-05,1.108893e-05,1.269431e-05,1.295650e-05,1.435350e-05,1.516514e-05,1.605326e-05,1.743342e-05,1.778041e-05,1.952206e-05,1.973144e-05,2.126593e-05,2.203095e-05,2.300057e-05,2.430626e-05,2.471554e-05,2.640152e-05,2.653489e-05,2.805038e-05,2.869795e-05,2.965522e-05,3.078019e-05,3.121031e-05,3.271107e-05,3.276991e-05,3.415396e-05,3.465871e-05,3.553642e-05,3.644107e-05,3.685675e-05,3.811400e-05,3.930790e-05,3.967659e-05,4.043871e-05,4.112964e-05,4.150717e-05,4.247528e-05,4.251441e-05,4.346185e-05,4.371665e-05,4.435118e-05,4.485764e-05,4.518423e-05,4.590265e-05,4.596300e-05,4.668957e-05,4.685641e-05,4.736606e-05,4.772383e-05,4.799464e-05,4.850986e-05,4.857746e-05,4.911666e-05,4.921945e-05,4.961435e-05,4.985743e-05,5.007259e-05,5.042848e-05,5.049337e-05,5.087865e-05,5.093713e-05,5.123029e-05,5.138767e-05,5.155010e-05,5.178420e-05,5.183981e-05,5.210107e-05,5.213058e-05,5.233547e-05,5.243048e-05,5.254451e-05,5.268732e-05,5.272965e-05,5.289224e-05,5.290432e-05,5.303361e-05,5.308448e-05,5.315497e-05,5.323063e-05,5.325751e-05,5.334234e-05,5.334538e-05,5.341053e-05,5.343119e-05,5.346306e-05,5.349033e-05,5.350090e-05,5.352493e-05,5.353601e-05,5.353695e-05,5.353494e-05,5.352824e-05,5.352249e-05,5.350049e-05,5.349937e-05,5.346626e-05,5.345529e-05,5.342382e-05,5.339412e-05,5.337264e-05,5.331833e-05,5.331329e-05,5.324634e-05,5.322919e-05,5.317228e-05,5.312789e-05,5.309161e-05,5.301551e-05,5.300478e-05,5.291223e-05,5.289306e-05,5.281436e-05,5.276149e-05,5.271156e-05,5.262167e-05,5.260420e-05,5.249263e-05,5.247441e-05,5.237717e-05,5.232045e-05,5.225812e-05,5.216050e-05,5.213578e-05,5.201043e-05,5.199520e-05,5.188232e-05,5.182514e-05,5.175170e-05,5.165088e-05,5.161879e-05,5.148382e-05,5.147294e-05,5.134700e-05,5.129179e-05,5.120851e-05,5.110788e-05,5.106855e-05,5.092727e-05,5.092160e-05,5.078486e-05,5.073334e-05,5.064146e-05,5.054345e-05,5.049721e-05,5.035225e-05,5.016005e-05,4.996711e-05,4.977370e-05,4.958005e-05,4.938638e-05,4.919290e-05,4.899977e-05,4.880719e-05,4.861530e-05,4.842424e-05,4.823416e-05,4.804517e-05,4.785737e-05,4.767088e-05,4.748579e-05,4.730218e-05,4.712012e-05,4.693968e-05,4.676094e-05,4.658393e-05,4.640872e-05,4.623535e-05,4.606385e-05,4.589426e-05
0.000000e+00,2.437064e-09,6.446251e-09,2.596660e-08,6.379195e-08,9.588665e-08,2.303921e-07,2.377928e-07,4.801628e-07,5.704821e-07,8.567867e-07,1.163261e-06,1.406329e-06,2.094784e-06,2.163499e-06,3.140802e-06,3.406594e-06,4.320133e-06,5.056273e-06,5.667741e-06,6.967094e-06,7.151414e-06,8.745549e-06,9.075770e-06,1.042971e-05,1.133517e-05,1.218638e-05,1.370621e-05,1.399945e-05,1.585369e-05,1.615321e-05,1.773449e-05,1.864259e-05,1.962795e-05,2.114309e-05,2.152111e-05,2.340209e-05,2.362648e-05,2.526028e-05,2.606820e-05,2.708632e-05,2.844770e-05,2.887230e-05,3.061164e-05,3.074860e-05,3.229899e-05,3.295840e-05,3.393019e-05,3.506811e-05,3.550215e-05,3.701268e-05,3.707180e-05,3.846044e-05,3.896614e-05,3.984484e-05,4.074991e-05,4.116566e-05,4.242327e-05,4.361844e-05,4.398787e-05,4.475223e-05,4.544626e-05,4.582598e-05,4.680169e-05,4.684120e-05,4.779953e-05,4.805790e-05,4.870272e-05,4.921892e-05,4.955259e-05,5.028897e-05,5.035100e-05,5.109982e-05,5.127237e-05,5.180095e-05,5.217344e-05,5.245624e-05,5.299646e-05,5.306755e-05,5.363670e-05,5.374563e-05,5.416546e-05,5.442503e-05,5.465556e-05,5.503861e-05,5.510869e-05,5.552650e-05,5.559018e-05,5.591058e-05,5.608340e-05,5.626245e-05,5.652178e-05,5.658362e-05,5.687551e-05,5.690864e-05,5.713951e-05,5.724717e-05,5.737693e-05,5.754040e-05,5.758908e-05,5.777717e-05,5.779121e-05,5.794239e-05,5.800233e-05,5.808587e-05,5.817633e-05,5.820870e-05,5.831193e-05,5.831567e-05,5.839656e-05,5.842265e-05,5.846354e-05,5.849947e-05,5.851379e-05,5.854819e-05,5.856759e-05,5.857076e-05,5.857279e-05,5.856902e-05,5.856455e-05,5.854469e-05,5.854362e-05,5.851069e-05,5.849942e-05,5.846645e-05,5.843473e-05,5.841152e-05,5.835208e-05,5.834653e-05,5.827205e-05,5.825283e-05,5.818865e-05,5.813825e-05,5.809686e-05,5.800956e-05,5.799720e-05,5.789013e-05,5.786787e-05,5.777613e-05,5.771426e-05,5.765565e-05,5.754973e-05,5.752909e-05,5.739686e-05,5.737520e-05,5.725934e-05,5.719156e-05,5.711690e-05,5.699963e-05,5.696988e-05,5.681861e-05,5.680019e-05,5.666341e-05,5.659396e-05,5.650458e-05,5.638162e-05,5.634240e-05,5.617714e-05,5.616380e-05,5.600906e-05,5.594109e-05,5.583841e-05,5.571407e-05,5.566541e-05,5.549029e-05,5.548324e-05,5.531326e-05,5.524910e-05,5.513451e-05,5.501209e-05,5.495425e-05,5.477265e-05,5.453116e-05,5.428801e-05,5.404353e-05,5.379805e-05,5.355187e-05,5.330526e-05,5.305848e-05,5.281178e-05,5.256538e-05,5.231947e-05,5.207427e-05,5.182993e-05,5.158663e-05,5.134452e-05,5.110373e-05,5.086440e-05,5.062664e-05,5.039055e-05,5.015625e-05,4.992382e-05,4.969334e-05,4.946488e-05,4.923852e-05,4.901431e-05
0.000000e+00,3.666155e-09,9.029247e-09,3.344178e-08,7.852453e-08,1.157891e-07,2.669980e-07,2.751522e-07,5.357694e-07,6.303456e-07,9.235123e-07,1.228989e-06,1.467037e-06,2.130766e-06,2.196659e-06,3.138121e-06,3.397142e-06,4.300754e-06,5.043637e-06,5.669189e-06,7.016891e-06,7.209514e-06,8.883380e-06,9.231084e-06,1.065694e-05,1.160922e-05,1.250267e-05,1.409236e-05,1.439817e-05,1.632445e-05,1.663437e-05,1.826478e-05,1.919663e-05,2.020400e-05,2.174519e-05,2.212820e-05,2.402465e-05,2.424980e-05,2.588183e-05,2.668385e-05,2.768947e-05,2.902463e-05,2.943869e-05,3.112191e-05,3.125352e-05,3.273283e-05,3.335586e-05,3.426670e-05,3.532129e-05,3.571989e-05,3.709004e-05,3.714310e-05,3.837585e-05,3.881800e-05,3.957696e-05,4.034557e-05,4.069388e-05,4.172781e-05,4.268055e-05,4.296864e-05,4.355437e-05,4.407340e-05,4.435191e-05,4.504853e-05,4.507613e-05,4.573017e-05,4.590117e-05,4.631731e-05,4.663887e-05,4.684090e-05,4.726938e-05,4.730432e-05,4.771096e-05,4.780047e-05,4.806411e-05,4.823974e-05,4.836705e-05,4.859459e-05,4.862291e-05,4.883473e-05,4.887208e-05,4.900546e-05,4.907893e-05,4.913788e-05,4.922147e-05,4.923467e-05,4.929835e-05,4.930563e-05,4.933133e-05,4.933693e-05,4.933588e-05,4.932050e-05,4.931415e-05,4.926815e-05,4.926109e-05,4.919978e-05,4.916307e-05,4.911082e-05,4.903048e-05,4.900296e-05,4.887774e-05,4.886702e-05,4.873665e-05,4.867607e-05,4.858104e-05,4.846075e-05,4.841221e-05,4.823135e-05,4.822388e-05,4.803957e-05,4.796806e-05,4.783791e-05,4.769564e-05,4.762735e-05,4.740879e-05,4.718308e-05,4.710946e-05,4.695098e-05,4.679943e-05,4.671324e-05,4.648032e-05,4.647053e-05,4.622347e-05,4.615360e-05,4.597265e-05,4.582058e-05,4.571862e-05,4.548250e-05,4.546187e-05,4.520287e-05,4.514042e-05,4.494205e-05,4.479535e-05,4.467981e-05,4.444816e-05,4.441653e-05,4.415253e-05,4.409967e-05,4.388814e-05,4.375060e-05,4.362365e-05,4.340160e-05,4.335933e-05,4.309542e-05,4.305325e-05,4.283215e-05,4.270607e-05,4.256973e-05,4.236053e-05,4.230835e-05,4.204818e-05,4.201705e-05,4.178940e-05,4.167601e-05,4.153213e-05,4.133772e-05,4.127653e-05,4.102271e-05,4.100248e-05,4.077077e-05,4.067055e-05,4.052082e-05,4.034215e-05,4.027296e-05,4.002726e-05,4.001747e-05,3.978378e-05,3.969669e-05,3.954261e-05,3.937996e-05,3.930380e-05,3.906739e-05,3.875908e-05,3.845513e-05,3.815561e-05,3.786057e-05,3.757005e-05,3.728408e-05,3.700268e-05,3.672586e-05,3.645363e-05,3.618596e-05,3.592285e-05,3.566428e-05,3.541022e-05,3.516063e-05,3.491549e-05,3.467474e-05,3.443835e-05,3.420626e-05,3.397843e-05,3.375481e-05,3.353533e-05,3.331995e-05,3.310860e-05,3.290122e-05
0.000000e+00,3.798923e-09,1.009851e-08,4.094279e-08,1.008967e-07,1.517755e-07,3.642385e-07,3.758811e-07,7.540642e-07,8.934590e-07,1.330288e-06,1.790681e-06,2.151766e-06,3.163270e-06,3.263779e-06,4.694960e-06,5.086156e-06,6.440194e-06,7.541945e-06,8.463553e-06,1.043805e-05,1.071966e-05,1.316798e-05,1.367763e-05,1.577467e-05,1.718287e-05,1.851038e-05,2.088847e-05,2.134837e-05,2.426368e-05,2.473573e-05,2.723298e-05,2.867101e-05,3.023469e-05,3.264617e-05,3.324923e-05,3.625913e-05,3.661926e-05,3.924913e-05,4.055496e-05,4.220610e-05,4.442444e-05,4.511900e-05,4.797868e-05,4.820492e-05,5.077767e-05,5.187889e-05,5.351004e-05,5.543347e-05,5.617119e-05,5.875756e-05,5.885942e-05,6.126659e-05,6.215055e-05,6.369653e-05,6.530313e-05,6.604629e-05,6.831531e-05,7.050355e-05,7.118676e-05,7.261130e-05,7.391830e-05,7.463919e-05,7.651164e-05,7.658809e-05,7.845907e-05,7.896914e-05,8.025335e-05,8.129367e-05,8.197230e-05,8.348847e-05,8.361739e-05,8.519018e-05,8.555707e-05,8.669229e-05,8.750320e-05,8.812536e-05,8.933071e-05,8.949110e-05,9.079124e-05,9.104355e-05,9.202751e-05,9.264570e-05,9.320165e-05,9.414120e-05,9.431542e-05,9.537055e-05,9.553405e-05,9.636878e-05,9.682822e-05,9.731182e-05,9.802766e-05,9.820137e-05,9.903913e-05,9.913626e-05,9.982674e-05,1.001578e-04,1.005658e-04,1.010961e-04,1.012580e-04,1.019049e-04,1.019547e-04,1.025080e-04,1.027373e-04,1.030688e-04,1.034473e-04,1.035889e-04,1.040696e-04,1.040881e-04,1.045125e-04,1.046629e-04,1.049189e-04,1.051751e-04,1.052901e-04,1.056275e-04,1.059324e-04,1.060233e-04,1.062061e-04,1.063653e-04,1.064496e-04,1.066563e-04,1.066644e-04,1.068514e-04,1.068990e-04,1.070119e-04,1.070959e-04,1.071470e-04,1.072496e-04,1.072576e-04,1.073449e-04,1.073625e-04,1.074098e-04,1.074367e-04,1.074533e-04,1.074747e-04,1.074764e-04,1.074799e-04,1.074784e-04,1.074648e-04,1.074499e-04,1.074319e-04,1.073912e-04,1.073821e-04,1.073161e-04,1.073041e-04,1.072347e-04,1.071904e-04,1.071387e-04,1.070519e-04,1.070288e-04,1.069057e-04,1.068901e-04,1.067701e-04,1.067066e-04,1.066226e-04,1.065029e-04,1.064639e-04,1.062945e-04,1.062805e-04,1.061151e-04,1.060407e-04,1.059263e-04,1.057848e-04,1.057285e-04,1.055224e-04,1.055140e-04,1.053083e-04,1.052295e-04,1.050869e-04,1.049324e-04,1.048586e-04,1.046237e-04,1.043046e-04,1.039759e-04,1.036385e-04,1.032934e-04,1.029413e-04,1.025830e-04,1.022192e-04,1.018507e-04,1.014781e-04,1.011019e-04,1.007229e-04,1.003415e-04,9.995828e-05,9.957369e-05,9.918822e-05,9.880228e-05,9.841630e-05,9.803064e-05,9.764567e-05,9.726171e-05,9.687907e-05,9.649806e-05,9.611893e-05,9.574193e-05
0.000000e+00,1.807730e-10,6.319711e-10,3.841027e-09,1.214286e-08,2.029113e-08,5.958260e-08,6.189063e-08,1.413866e-07,1.721170e-07,2.710029e-07,3.776874e-07,4.623623e-07,7.024661e-07,7.265250e-07,1.073517e-06,1.170042e-06,1.510965e-06,1.797027e-06,2.042642e-06,2.588398e-06,2.668373e-06,3.385286e-06,3.539250e-06,4.189128e-06,4.639865e-06,5.074976e-06,5.878524e-06,6.037426e-06,7.070551e-06,7.241983e-06,8.167840e-06,8.715262e-06,9.322175e-06,1.028158e-05,1.052589e-05,1.177086e-05,1.192262e-05,1.304863e-05,1.361903e-05,1.435062e-05,1.535102e-05,1.566821e-05,1.699297e-05,1.709902e-05,1.831678e-05,1.884430e-05,1.963195e-05,2.056949e-05,2.093135e-05,2.220847e-05,2.225901e-05,2.345749e-05,2.389923e-05,2.467323e-05,2.547867e-05,2.585131e-05,2.698804e-05,2.808045e-05,2.842027e-05,2.912624e-05,2.977026e-05,3.012370e-05,3.103475e-05,3.107171e-05,3.196967e-05,3.221209e-05,3.281741e-05,3.330204e-05,3.361519e-05,3.430551e-05,3.436358e-05,3.506347e-05,3.522435e-05,3.571598e-05,3.606117e-05,3.632242e-05,3.681916e-05,3.688428e-05,3.740315e-05,3.750191e-05,3.788071e-05,3.811329e-05,3.831870e-05,3.865733e-05,3.871890e-05,3.908309e-05,3.913814e-05,3.941306e-05,3.955981e-05,3.971057e-05,3.992637e-05,3.997735e-05,4.021510e-05,4.024175e-05,4.042545e-05,4.050974e-05,4.061000e-05,4.073395e-05,4.077028e-05,4.090776e-05,4.091781e-05,4.102383e-05,4.106458e-05,4.111986e-05,4.117730e-05,4.119710e-05,4.125679e-05,4.125883e-05,4.130006e-05,4.131183e-05,4.132802e-05,4.133881e-05,4.134169e-05,4.134205e-05,4.133003e-05,4.132371e-05,4.130649e-05,4.128575e-05,4.127224e-05,4.123001e-05,4.122806e-05,4.117468e-05,4.115817e-05,4.111276e-05,4.107179e-05,4.104296e-05,4.097229e-05,4.096587e-05,4.088206e-05,4.086100e-05,4.079204e-05,4.073912e-05,4.069633e-05,4.060776e-05,4.059539e-05,4.048964e-05,4.046795e-05,4.037951e-05,4.032063e-05,4.026537e-05,4.016666e-05,4.014758e-05,4.002648e-05,4.000682e-05,3.990239e-05,3.984184e-05,3.977559e-05,3.967240e-05,3.964637e-05,3.951498e-05,3.949908e-05,3.938167e-05,3.932246e-05,3.924666e-05,3.914304e-05,3.911016e-05,3.897237e-05,3.896130e-05,3.883348e-05,3.877766e-05,3.869367e-05,3.859251e-05,3.855308e-05,3.841188e-05,3.840622e-05,3.827020e-05,3.821911e-05,3.812818e-05,3.803148e-05,3.798594e-05,3.784360e-05,3.765573e-05,3.746808e-05,3.728088e-05,3.709431e-05,3.690853e-05,3.672371e-05,3.653999e-05,3.635748e-05,3.617632e-05,3.599660e-05,3.581842e-05,3.564185e-05,3.546698e-05,3.529387e-05,3.512257e-05,3.495315e-05,3.478564e-05,3.462009e-05,3.445653e-05,3.429499e-05,3.413549e-05,3.397805e-05,3.382268e-05,3.366941e-05
0.000000e+00,2.556960e-09,5.838374e-09,2.003935e-08,4.581265e-08,6.724623e-08,1.571056e-07,1.620982e-07,3.293651e-07,3.933746e-07,5.997148e-07,8.210902e-07,9.933451e-07,1.454451e-06,1.498182e-06,2.081977e-06,2.230537e-06,2.717115e-06,3.088319e-06,3.385889e-06,3.992986e-06,4.076754e-06,4.781042e-06,4.922844e-06,5.491328e-06,5.860767e-06,6.200803e-06,6.791498e-06,6.903150e-06,7.592627e-06,7.701400e-06,8.264169e-06,8.578850e-06,8.913501e-06,9.414641e-06,9.537191e-06,1.013264e-05,1.020210e-05,1.069803e-05,1.093698e-05,1.123228e-05,1.161717e-05,1.173491e-05,1.220597e-05,1.224231e-05,1.264595e-05,1.281341e-05,1.305564e-05,1.333243e-05,1.343607e-05,1.378845e-05,1.380198e-05,1.411410e-05,1.422506e-05,1.441441e-05,1.460487e-05,1.469080e-05,1.494470e-05,1.517749e-05,1.524774e-05,1.539052e-05,1.551710e-05,1.558511e-05,1.575569e-05,1.576247e-05,1.592378e-05,1.596623e-05,1.607016e-05,1.615125e-05,1.620263e-05,1.631306e-05,1.632217e-05,1.642969e-05,1.645380e-05,1.652603e-05,1.657540e-05,1.661199e-05,1.667962e-05,1.668829e-05,1.675563e-05,1.676808e-05,1.681463e-05,1.684222e-05,1.686589e-05,1.690336e-05,1.690994e-05,1.694731e-05,1.695270e-05,1.697845e-05,1.699132e-05,1.700381e-05,1.702020e-05,1.702379e-05,1.703877e-05,1.704024e-05,1.704909e-05,1.705225e-05,1.705510e-05,1.705695e-05,1.705708e-05,1.705531e-05,1.705502e-05,1.705007e-05,1.704706e-05,1.704160e-05,1.703362e-05,1.703012e-05,1.701584e-05,1.701521e-05,1.699896e-05,1.699229e-05,1.697967e-05,1.696527e-05,1.695814e-05,1.693453e-05,1.690899e-05,1.690044e-05,1.688166e-05,1.686329e-05,1.685268e-05,1.682340e-05,1.682215e-05,1.679021e-05,1.678102e-05,1.675695e-05,1.673641e-05,1.672249e-05,1.668979e-05,1.668690e-05,1.665030e-05,1.664137e-05,1.661274e-05,1.659133e-05,1.657433e-05,1.653987e-05,1.653512e-05,1.649519e-05,1.648713e-05,1.645461e-05,1.643327e-05,1.641343e-05,1.637843e-05,1.637172e-05,1.632952e-05,1.632273e-05,1.628690e-05,1.626630e-05,1.624389e-05,1.620923e-05,1.620054e-05,1.615690e-05,1.615164e-05,1.611300e-05,1.609362e-05,1.606889e-05,1.603524e-05,1.602460e-05,1.598016e-05,1.597660e-05,1.593561e-05,1.591776e-05,1.589097e-05,1.585879e-05,1.584628e-05,1.580155e-05,1.579976e-05,1.575683e-05,1.574073e-05,1.571212e-05,1.568174e-05,1.566745e-05,1.562285e-05,1.556410e-05,1.550555e-05,1.544721e-05,1.538914e-05,1.533137e-05,1.527392e-05,1.521682e-05,1.516011e-05,1.510380e-05,1.504792e-05,1.499249e-05,1.493752e-05,1.488303e-05,1.482904e-05,1.477555e-05,1.472259e-05,1.467016e-05,1.461828e-05,1.456695e-05,1.451617e-05,1.446596e-05,1.441633e-05,1.436727e-05,1.431879e-05
0.000000e+00,1.424245e-09,3.764612e-09,1.513713e-08,3.710483e-08,5.568788e-08,1.331048e-07,1.373448e-07,2.752130e-07,3.261391e-07,4.861375e-07,6.552097e-07,7.878116e-07,1.156753e-06,1.193069e-06,1.700977e-06,1.836718e-06,2.297459e-06,2.663748e-06,2.965536e-06,3.601314e-06,3.691001e-06,4.462297e-06,4.621148e-06,5.269267e-06,5.699816e-06,6.102403e-06,6.815809e-06,6.952634e-06,7.811374e-06,7.949020e-06,8.670673e-06,9.081198e-06,9.523366e-06,1.019652e-05,1.036318e-05,1.118478e-05,1.128193e-05,1.198377e-05,1.232723e-05,1.275666e-05,1.332492e-05,1.350076e-05,1.421415e-05,1.426985e-05,1.489551e-05,1.515889e-05,1.554407e-05,1.599053e-05,1.615952e-05,1.674191e-05,1.676452e-05,1.729157e-05,1.748154e-05,1.780908e-05,1.814300e-05,1.829519e-05,1.875077e-05,1.917680e-05,1.930705e-05,1.957431e-05,1.981426e-05,1.994441e-05,2.027492e-05,2.028818e-05,2.060674e-05,2.069157e-05,2.090121e-05,2.106678e-05,2.117268e-05,2.140304e-05,2.142222e-05,2.165091e-05,2.170280e-05,2.185975e-05,2.196841e-05,2.204976e-05,2.220215e-05,2.222189e-05,2.237707e-05,2.240616e-05,2.251621e-05,2.258250e-05,2.264015e-05,2.273314e-05,2.274974e-05,2.284576e-05,2.285991e-05,2.292897e-05,2.296457e-05,2.300009e-05,2.304876e-05,2.305983e-05,2.310884e-05,2.311403e-05,2.314775e-05,2.316184e-05,2.317718e-05,2.319355e-05,2.319769e-05,2.320983e-05,2.321045e-05,2.321412e-05,2.321374e-05,2.321105e-05,2.320455e-05,2.320110e-05,2.318472e-05,2.318393e-05,2.316232e-05,2.315287e-05,2.313432e-05,2.311227e-05,2.310109e-05,2.306300e-05,2.302040e-05,2.300586e-05,2.297360e-05,2.294159e-05,2.292292e-05,2.287088e-05,2.286865e-05,2.281107e-05,2.279439e-05,2.275044e-05,2.271270e-05,2.268700e-05,2.262637e-05,2.262101e-05,2.255266e-05,2.253593e-05,2.248218e-05,2.244185e-05,2.240976e-05,2.234457e-05,2.233559e-05,2.225984e-05,2.224452e-05,2.218268e-05,2.214206e-05,2.210427e-05,2.203755e-05,2.202476e-05,2.194427e-05,2.193132e-05,2.186295e-05,2.182366e-05,2.178092e-05,2.171486e-05,2.169829e-05,2.161517e-05,2.160516e-05,2.153166e-05,2.149482e-05,2.144786e-05,2.138403e-05,2.136385e-05,2.127973e-05,2.127299e-05,2.119556e-05,2.116190e-05,2.111143e-05,2.105092e-05,2.102741e-05,2.094354e-05,2.094019e-05,2.085991e-05,2.082986e-05,2.077655e-05,2.072006e-05,2.069353e-05,2.061089e-05,2.050246e-05,2.039487e-05,2.028820e-05,2.018253e-05,2.007793e-05,1.997445e-05,1.987215e-05,1.977108e-05,1.967128e-05,1.957279e-05,1.947564e-05,1.937986e-05,1.928546e-05,1.919247e-05,1.910090e-05,1.901077e-05,1.892207e-05,1.883483e-05,1.874903e-05,1.866469e-05,1.858179e-05,1.850035e-05,1.842034e-05,1.834177e-05
0.000000e+00,5.248821e-10,1.206043e-09,4.163562e-09,9.484608e-09,1.383664e-08,3.130762e-08,3.224349e-08,6.187504e-08,7.249983e-08,1.050177e-07,1.382602e-07,1.637434e-07,2.331113e-07,2.398814e-07,3.349701e-07,3.607510e-07,4.501904e-07,5.238056e-07,5.862888e-07,7.235252e-07,7.434995e-07,9.214807e-07,9.594964e-07,1.119279e-06,1.229473e-06,1.335340e-06,1.529425e-06,1.567568e-06,1.813454e-06,1.853881e-06,2.070245e-06,2.196554e-06,2.335144e-06,2.551099e-06,2.605481e-06,2.878839e-06,2.911742e-06,3.153116e-06,3.273619e-06,3.426535e-06,3.632845e-06,3.697627e-06,3.965191e-06,3.986414e-06,4.228262e-06,4.332054e-06,4.486070e-06,4.668092e-06,4.738018e-06,4.983645e-06,4.993334e-06,5.222615e-06,5.306965e-06,5.454688e-06,5.608476e-06,5.679709e-06,5.897592e-06,6.108308e-06,6.174226e-06,6.311876e-06,6.438431e-06,6.508349e-06,6.690368e-06,6.697813e-06,6.880378e-06,6.930277e-06,7.056171e-06,7.158455e-06,7.225334e-06,7.375238e-06,7.388019e-06,7.544386e-06,7.580993e-06,7.694602e-06,7.776099e-06,7.838835e-06,7.960946e-06,7.977255e-06,8.110033e-06,8.135927e-06,8.237340e-06,8.301433e-06,8.359344e-06,8.457851e-06,8.476212e-06,8.588109e-06,8.605561e-06,8.695195e-06,8.744934e-06,8.797629e-06,8.876330e-06,8.895564e-06,8.989153e-06,9.000099e-06,9.078541e-06,9.116578e-06,9.163872e-06,9.226096e-06,9.245285e-06,9.322914e-06,9.328965e-06,9.396892e-06,9.425489e-06,9.467345e-06,9.515958e-06,9.534397e-06,9.598167e-06,9.600651e-06,9.658771e-06,9.679835e-06,9.716322e-06,9.753767e-06,9.770927e-06,9.822691e-06,9.871716e-06,9.886842e-06,9.918101e-06,9.946444e-06,9.961939e-06,1.000171e-05,1.000332e-05,1.004234e-05,1.005285e-05,1.007908e-05,1.010006e-05,1.011361e-05,1.014351e-05,1.014603e-05,1.017641e-05,1.018340e-05,1.020482e-05,1.021990e-05,1.023133e-05,1.025315e-05,1.025602e-05,1.027895e-05,1.028333e-05,1.030018e-05,1.031057e-05,1.031977e-05,1.033501e-05,1.033780e-05,1.035430e-05,1.035681e-05,1.036935e-05,1.037607e-05,1.038299e-05,1.039292e-05,1.039527e-05,1.040625e-05,1.040749e-05,1.041598e-05,1.041987e-05,1.042449e-05,1.043018e-05,1.043184e-05,1.043807e-05,1.043852e-05,1.044322e-05,1.044499e-05,1.044733e-05,1.044967e-05,1.045044e-05,1.045259e-05,1.045266e-05,1.045381e-05,1.045403e-05,1.045414e-05,1.045387e-05,1.045361e-05,1.045226e-05,1.044926e-05,1.044495e-05,1.043940e-05,1.043265e-05,1.042479e-05,1.041586e-05,1.040591e-05,1.039501e-05,1.038320e-05,1.037053e-05,1.035704e-05,1.034278e-05,1.032779e-05,1.031211e-05,1.029578e-05,1.027883e-05,1.026130e-05,1.024322e-05,1.022463e-05,1.020555e-05,1.018601e-05,1.016604e-05,1.014567e-05,1.012492e-05
0.000000e+00,3.808377e-11,1.468084e-10,1.080315e-09,4.013143e-09,7.290433e-09,2.615539e-08,2.737843e-08,7.468921e-08,9.510335e-08,1.666881e-07,2.519034e-07,3.242553e-07,5.473607e-07,5.709706e-07,9.323646e-07,1.039104e-06,1.434914e-06,1.787696e-06,2.104367e-06,2.849431e-06,2.963061e-06,4.026523e-06,4.264494e-06,5.300621e-06,6.045183e-06,6.780446e-06,8.171869e-06,8.451151e-06,1.029005e-05,1.059806e-05,1.226911e-05,1.325980e-05,1.435735e-05,1.608508e-05,1.652283e-05,1.873418e-05,1.900119e-05,2.096178e-05,2.193997e-05,2.317848e-05,2.484090e-05,2.536012e-05,2.748579e-05,2.765288e-05,2.953791e-05,3.033486e-05,3.150219e-05,3.285570e-05,3.336748e-05,3.512556e-05,3.519357e-05,3.677087e-05,3.733489e-05,3.830021e-05,3.927327e-05,3.971245e-05,4.100822e-05,4.218959e-05,4.254397e-05,4.325983e-05,4.388836e-05,4.422312e-05,4.505180e-05,4.508436e-05,4.584891e-05,4.604643e-05,4.652248e-05,4.688539e-05,4.711093e-05,4.758221e-05,4.762018e-05,4.805608e-05,4.815042e-05,4.842435e-05,4.860312e-05,4.873053e-05,4.895280e-05,4.897989e-05,4.917745e-05,4.921117e-05,4.932793e-05,4.938905e-05,4.943574e-05,4.949634e-05,4.950499e-05,4.953950e-05,4.954204e-05,4.954277e-05,4.953421e-05,4.951804e-05,4.948008e-05,4.946825e-05,4.939612e-05,4.938608e-05,4.930409e-05,4.925789e-05,4.919442e-05,4.910053e-05,4.906914e-05,4.893008e-05,4.891842e-05,4.877893e-05,4.871542e-05,4.861718e-05,4.849494e-05,4.844621e-05,4.826723e-05,4.825992e-05,4.808137e-05,4.801296e-05,4.788961e-05,4.775631e-05,4.769286e-05,4.749194e-05,4.728757e-05,4.722155e-05,4.708040e-05,4.694663e-05,4.687104e-05,4.666848e-05,4.666001e-05,4.644780e-05,4.638822e-05,4.623483e-05,4.610685e-05,4.602150e-05,4.582521e-05,4.580815e-05,4.559510e-05,4.554404e-05,4.538262e-05,4.526399e-05,4.517098e-05,4.498560e-05,4.496039e-05,4.475105e-05,4.470935e-05,4.454316e-05,4.443567e-05,4.433686e-05,4.416491e-05,4.413230e-05,4.392962e-05,4.389737e-05,4.372892e-05,4.363332e-05,4.353031e-05,4.337298e-05,4.333387e-05,4.313968e-05,4.311653e-05,4.294781e-05,4.286414e-05,4.275832e-05,4.261592e-05,4.257125e-05,4.238666e-05,4.237200e-05,4.220457e-05,4.213244e-05,4.202501e-05,4.189732e-05,4.184802e-05,4.167360e-05,4.166668e-05,4.150177e-05,4.144055e-05,4.133255e-05,4.121896e-05,4.116593e-05,4.100192e-05,4.078941e-05,4.058143e-05,4.037796e-05,4.017896e-05,3.998442e-05,3.979427e-05,3.960849e-05,3.942702e-05,3.924981e-05,3.907680e-05,3.890794e-05,3.874315e-05,3.858239e-05,3.842557e-05,3.827264e-05,3.812353e-05,3.797816e-05,3.783647e-05,3.769839e-05,3.756384e-05,3.743276e-05,3.730507e-05,3.718071e-05,3.705960e-05
0.000000e+00,1.130994e-10,4.251677e-10,2.973787e-09,1.056637e-08,1.874783e-08,6.348754e-08,6.630760e-08,1.717956e-07,2.159443e-07,3.672399e-07,5.429236e-07,6.896647e-07,1.132559e-06,1.178714e-06,1.870168e-06,2.069255e-06,2.788580e-06,3.406681e-06,3.945136e-06,5.160448e-06,5.340295e-06,6.967455e-06,7.319816e-06,8.815599e-06,9.859416e-06,1.087072e-05,1.274505e-05,1.311644e-05,1.553422e-05,1.593569e-05,1.810357e-05,1.938424e-05,2.080229e-05,2.303861e-05,2.360681e-05,2.649275e-05,2.684336e-05,2.943540e-05,3.074182e-05,3.241037e-05,3.467842e-05,3.539410e-05,3.836435e-05,3.860076e-05,4.130063e-05,4.246141e-05,4.418444e-05,4.621907e-05,4.699952e-05,4.973191e-05,4.983931e-05,5.236997e-05,5.329471e-05,5.490433e-05,5.656470e-05,5.732777e-05,5.963501e-05,6.182259e-05,6.249700e-05,6.388865e-05,6.514687e-05,6.583269e-05,6.758481e-05,6.765541e-05,6.935848e-05,6.981423e-05,7.094441e-05,7.184103e-05,7.241634e-05,7.367295e-05,7.377791e-05,7.503314e-05,7.531904e-05,7.618632e-05,7.678918e-05,7.724191e-05,7.809372e-05,7.820447e-05,7.907858e-05,7.924319e-05,7.986880e-05,8.024806e-05,8.057963e-05,8.111860e-05,8.121547e-05,8.178059e-05,8.186473e-05,8.227914e-05,8.249596e-05,8.271508e-05,8.302133e-05,8.309224e-05,8.341426e-05,8.344936e-05,8.368462e-05,8.378807e-05,8.390662e-05,8.404495e-05,8.408341e-05,8.421796e-05,8.422699e-05,8.431308e-05,8.434068e-05,8.437142e-05,8.439207e-05,8.439550e-05,8.438767e-05,8.438673e-05,8.435018e-05,8.432982e-05,8.428510e-05,8.422612e-05,8.419443e-05,8.408001e-05,8.394359e-05,8.389556e-05,8.378681e-05,8.367650e-05,8.361120e-05,8.342626e-05,8.341822e-05,8.320922e-05,8.314801e-05,8.298547e-05,8.284465e-05,8.274817e-05,8.251885e-05,8.249844e-05,8.223733e-05,8.217308e-05,8.196582e-05,8.180958e-05,8.168484e-05,8.143043e-05,8.139525e-05,8.109787e-05,8.103753e-05,8.079345e-05,8.063261e-05,8.048270e-05,8.021728e-05,8.016630e-05,7.984486e-05,7.979300e-05,7.951897e-05,7.936112e-05,7.918917e-05,7.892287e-05,7.885599e-05,7.851988e-05,7.847938e-05,7.818131e-05,7.803167e-05,7.784070e-05,7.758069e-05,7.749842e-05,7.715484e-05,7.712731e-05,7.681032e-05,7.667231e-05,7.646515e-05,7.621641e-05,7.611965e-05,7.577408e-05,7.576025e-05,7.542870e-05,7.530446e-05,7.508375e-05,7.484955e-05,7.473946e-05,7.439603e-05,7.394435e-05,7.349492e-05,7.304809e-05,7.260421e-05,7.216357e-05,7.172644e-05,7.129306e-05,7.086365e-05,7.043840e-05,7.001748e-05,6.960103e-05,6.918919e-05,6.878208e-05,6.837979e-05,6.798241e-05,6.759001e-05,6.720265e-05,6.682037e-05,6.644322e-05,6.607121e-05,6.570438e-05,6.534272e-05,6.498624e-05,6.463495e-05
0.000000e+00,1.080967e-09,4.248778e-09,3.256598e-08,1.256204e-07,2.330261e-07,8.829922e-07,9.263585e-07,2.670643e-06,3.452525e-06,6.287768e-06,9.803398e-06,1.287888e-05,2.274690e-05,2.381871e-05,4.071138e-05,4.584442e-05,6.531261e-05,8.313641e-05,9.944899e-05,1.388301e-04,1.449497e-04,2.035892e-04,2.170429e-04,2.770357e-04,3.215902e-04,3.668054e-04,4.558002e-04,4.742204e-04,6.003733e-04,6.223562e-04,7.460985e-04,8.231729e-04,9.119518e-04,1.059314e-03,1.098198e-03,1.304808e-03,1.330958e-03,1.531466e-03,1.637403e-03,1.777579e-03,1.977125e-03,2.042301e-03,2.324556e-03,2.347857e-03,2.623068e-03,2.746706e-03,2.936392e-03,3.170276e-03,3.262952e-03,3.601068e-03,3.614808e-03,3.948994e-03,4.076307e-03,4.304949e-03,4.550670e-03,4.667143e-03,5.033803e-03,5.403201e-03,5.521711e-03,5.773666e-03,6.010584e-03,6.143606e-03,6.496858e-03,6.511517e-03,6.875998e-03,6.977259e-03,7.235753e-03,7.448841e-03,7.589600e-03,7.909000e-03,7.936470e-03,8.275410e-03,8.355480e-03,8.605582e-03,8.786373e-03,8.926258e-03,9.200105e-03,9.236820e-03,9.536750e-03,9.595422e-03,9.825630e-03,9.971368e-03,1.010313e-02,1.032726e-02,1.036901e-02,1.062312e-02,1.066267e-02,1.086534e-02,1.097739e-02,1.109567e-02,1.127139e-02,1.131414e-02,1.152083e-02,1.154485e-02,1.171588e-02,1.179806e-02,1.189946e-02,1.203145e-02,1.207179e-02,1.223311e-02,1.224555e-02,1.238369e-02,1.244098e-02,1.252382e-02,1.261842e-02,1.265381e-02,1.277399e-02,1.277859e-02,1.288468e-02,1.292227e-02,1.298623e-02,1.305024e-02,1.307898e-02,1.316330e-02,1.323952e-02,1.326226e-02,1.330800e-02,1.334792e-02,1.336908e-02,1.342109e-02,1.342312e-02,1.347043e-02,1.348252e-02,1.351136e-02,1.353299e-02,1.354623e-02,1.357322e-02,1.357535e-02,1.359902e-02,1.360392e-02,1.361755e-02,1.362578e-02,1.363121e-02,1.363944e-02,1.364030e-02,1.364507e-02,1.364553e-02,1.364578e-02,1.364462e-02,1.364267e-02,1.363729e-02,1.363599e-02,1.362596e-02,1.362406e-02,1.361280e-02,1.360543e-02,1.359671e-02,1.358187e-02,1.357790e-02,1.355654e-02,1.355382e-02,1.353283e-02,1.352169e-02,1.350692e-02,1.348587e-02,1.347899e-02,1.344918e-02,1.344672e-02,1.341765e-02,1.340458e-02,1.338452e-02,1.335976e-02,1.334993e-02,1.331401e-02,1.331255e-02,1.327687e-02,1.326322e-02,1.323862e-02,1.321202e-02,1.319936e-02,1.315920e-02,1.310495e-02,1.304949e-02,1.299299e-02,1.293562e-02,1.287755e-02,1.281890e-02,1.275982e-02,1.270043e-02,1.264083e-02,1.258113e-02,1.252142e-02,1.246179e-02,1.240230e-02,1.234304e-02,1.228406e-02,1.222542e-02,1.216718e-02,1.210938e-02,1.205206e-02,1.199526e-02,1.193901e-02,1.188335e-02,1.182830e-02,1.177388e-02
0.000000e+00,6.964933e-10,2.738430e-09,2.100466e-08,8.108844e-08,1.504962e-07,5.711975e-07,5.992969e-07,1.731549e-06,2.240100e-06,4.088189e-06,6.387080e-06,8.404097e-06,1.491187e-05,1.562201e-05,2.690019e-05,3.035869e-05,4.360139e-05,5.588487e-05,6.724402e-05,9.504912e-05,9.941118e-05,1.416440e-04,1.514256e-04,1.953523e-04,2.282293e-04,2.617557e-04,3.280817e-04,3.418513e-04,4.363988e-04,4.529055e-04,5.459171e-04,6.038953e-04,6.706887e-04,7.815321e-04,8.107677e-04,9.659934e-04,9.856232e-04,1.136005e-03,1.215361e-03,1.320262e-03,1.469397e-03,1.518061e-03,1.728559e-03,1.745920e-03,1.950798e-03,2.042747e-03,2.183723e-03,2.357415e-03,2.426207e-03,2.677074e-03,2.687266e-03,2.935115e-03,3.029530e-03,3.199109e-03,3.381405e-03,3.467841e-03,3.740116e-03,4.014771e-03,4.102979e-03,4.290688e-03,4.467441e-03,4.566799e-03,4.831117e-03,4.842102e-03,5.115654e-03,5.191815e-03,5.386587e-03,5.547553e-03,5.654100e-03,5.896567e-03,5.917468e-03,6.176035e-03,6.237311e-03,6.429219e-03,6.568456e-03,6.676505e-03,6.888883e-03,6.917448e-03,7.151667e-03,7.197674e-03,7.378840e-03,7.494097e-03,7.598707e-03,7.777597e-03,7.811062e-03,8.015751e-03,8.047782e-03,8.212668e-03,8.304407e-03,8.401750e-03,8.547357e-03,8.582973e-03,8.756351e-03,8.776630e-03,8.921926e-03,8.992325e-03,9.079771e-03,9.194623e-03,9.229984e-03,9.372684e-03,9.383779e-03,9.508008e-03,9.560107e-03,9.636111e-03,9.723968e-03,9.757161e-03,9.871337e-03,9.875763e-03,9.978827e-03,1.001593e-02,1.007983e-02,1.014491e-02,1.017454e-02,1.026318e-02,1.034594e-02,1.037121e-02,1.042303e-02,1.046950e-02,1.049468e-02,1.055853e-02,1.056108e-02,1.062246e-02,1.063877e-02,1.067900e-02,1.071069e-02,1.073092e-02,1.077477e-02,1.077842e-02,1.082169e-02,1.083146e-02,1.086092e-02,1.088120e-02,1.089630e-02,1.092441e-02,1.092802e-02,1.095625e-02,1.096150e-02,1.098117e-02,1.099287e-02,1.100293e-02,1.101890e-02,1.102171e-02,1.103765e-02,1.103995e-02,1.105091e-02,1.105636e-02,1.106163e-02,1.106847e-02,1.106995e-02,1.107600e-02,1.107658e-02,1.107992e-02,1.108100e-02,1.108182e-02,1.108199e-02,1.108183e-02,1.108006e-02,1.107984e-02,1.107661e-02,1.107478e-02,1.107159e-02,1.106706e-02,1.106510e-02,1.105724e-02,1.105690e-02,1.104809e-02,1.104449e-02,1.103773e-02,1.103005e-02,1.102627e-02,1.101376e-02,1.099577e-02,1.097627e-02,1.095540e-02,1.093329e-02,1.091009e-02,1.088590e-02,1.086086e-02,1.083506e-02,1.080860e-02,1.078158e-02,1.075408e-02,1.072617e-02,1.069794e-02,1.066945e-02,1.064076e-02,1.061193e-02,1.058302e-02,1.055406e-02,1.052512e-02,1.049622e-02,1.046742e-02,1.043873e-02,1.041020e-02,1.038185e-02
0.000000e+00,3.954256e-09,9.065523e-09,3.126000e-08,7.142619e-08,1.045790e-07,2.407635e-07,2.482031e-07,4.912707e-07,5.817667e-07,8.674850e-07,1.168209e-06,1.400684e-06,2.026430e-06,2.086442e-06,2.905038e-06,3.119308e-06,3.839995e-06,4.409980e-06,4.879742e-06,5.873629e-06,6.014493e-06,7.234317e-06,7.487558e-06,8.528427e-06,9.226880e-06,9.885165e-06,1.106428e-05,1.129230e-05,1.273744e-05,1.297137e-05,1.420847e-05,1.492035e-05,1.569389e-05,1.688542e-05,1.718309e-05,1.866655e-05,1.884377e-05,2.013593e-05,2.077610e-05,2.158406e-05,2.266672e-05,2.300498e-05,2.439381e-05,2.450341e-05,2.574667e-05,2.627705e-05,2.706058e-05,2.798123e-05,2.833337e-05,2.956350e-05,2.961180e-05,3.075004e-05,3.116642e-05,3.189252e-05,3.264419e-05,3.299086e-05,3.404532e-05,3.505639e-05,3.537088e-05,3.602479e-05,3.662256e-05,3.695137e-05,3.780246e-05,3.783712e-05,3.868313e-05,3.891304e-05,3.949051e-05,3.995690e-05,4.026046e-05,4.093679e-05,4.099419e-05,4.169290e-05,4.185552e-05,4.235784e-05,4.271590e-05,4.299021e-05,4.352071e-05,4.359121e-05,4.416204e-05,4.427268e-05,4.470384e-05,4.497449e-05,4.521776e-05,4.562872e-05,4.570491e-05,4.616635e-05,4.623787e-05,4.660314e-05,4.680434e-05,4.701629e-05,4.733045e-05,4.740679e-05,4.777557e-05,4.781841e-05,4.812357e-05,4.827033e-05,4.845167e-05,4.868823e-05,4.876071e-05,4.905153e-05,4.907403e-05,4.932491e-05,4.942955e-05,4.958162e-05,4.975654e-05,4.982240e-05,5.004794e-05,5.005665e-05,5.025893e-05,5.033144e-05,5.045601e-05,5.058241e-05,5.063982e-05,5.081095e-05,5.096999e-05,5.101842e-05,5.111748e-05,5.120606e-05,5.125395e-05,5.137508e-05,5.137992e-05,5.149587e-05,5.152661e-05,5.160228e-05,5.166172e-05,5.169958e-05,5.178143e-05,5.178821e-05,5.186858e-05,5.188668e-05,5.194109e-05,5.197840e-05,5.200611e-05,5.205742e-05,5.206400e-05,5.211512e-05,5.212456e-05,5.215979e-05,5.218057e-05,5.219833e-05,5.222619e-05,5.223104e-05,5.225823e-05,5.226208e-05,5.228016e-05,5.228889e-05,5.229710e-05,5.230723e-05,5.230930e-05,5.231702e-05,5.231766e-05,5.232048e-05,5.232072e-05,5.231991e-05,5.231692e-05,5.231552e-05,5.230752e-05,5.230673e-05,5.229610e-05,5.229061e-05,5.228144e-05,5.226899e-05,5.226374e-05,5.224315e-05,5.224226e-05,5.221984e-05,5.221081e-05,5.219396e-05,5.217498e-05,5.216568e-05,5.213512e-05,5.209153e-05,5.204452e-05,5.199436e-05,5.194133e-05,5.188566e-05,5.182759e-05,5.176734e-05,5.170512e-05,5.164112e-05,5.157553e-05,5.150850e-05,5.144021e-05,5.137081e-05,5.130044e-05,5.122923e-05,5.115730e-05,5.108477e-05,5.101176e-05,5.093836e-05,5.086468e-05,5.079079e-05,5.071679e-05,5.064276e-05,5.056876e-05
0.000000e+00,3.247228e-10,8.852621e-10,3.697495e-09,9.243149e-09,1.397530e-08,3.379797e-08,3.488477e-08,7.013767e-08,8.309703e-08,1.235642e-07,1.659587e-07,1.990084e-07,2.905692e-07,2.995844e-07,4.265909e-07,4.609736e-07,5.795282e-07,6.760313e-07,7.571165e-07,9.326494e-07,9.579233e-07,1.180440e-06,1.227406e-06,1.423006e-06,1.556453e-06,1.683758e-06,1.915345e-06,1.960641e-06,2.251446e-06,2.299114e-06,2.553878e-06,2.702495e-06,2.865622e-06,3.120194e-06,3.184408e-06,3.508069e-06,3.547138e-06,3.834578e-06,3.978659e-06,4.162082e-06,4.410624e-06,4.488925e-06,4.813646e-06,4.839493e-06,5.134986e-06,5.262329e-06,5.451874e-06,5.676768e-06,5.763416e-06,6.068884e-06,6.080968e-06,6.367693e-06,6.473543e-06,6.659388e-06,6.853497e-06,6.943625e-06,7.220158e-06,7.488822e-06,7.573115e-06,7.749522e-06,7.912171e-06,8.002221e-06,8.237294e-06,8.246930e-06,8.483699e-06,8.548582e-06,8.712612e-06,8.846233e-06,8.933777e-06,9.130515e-06,9.147321e-06,9.353388e-06,9.401749e-06,9.552135e-06,9.660297e-06,9.743726e-06,9.906545e-06,9.928335e-06,1.010614e-05,1.014090e-05,1.027731e-05,1.036377e-05,1.044204e-05,1.057557e-05,1.060051e-05,1.075289e-05,1.077672e-05,1.089937e-05,1.096763e-05,1.104012e-05,1.114872e-05,1.117532e-05,1.130514e-05,1.132036e-05,1.142975e-05,1.148297e-05,1.154931e-05,1.163690e-05,1.166399e-05,1.177394e-05,1.178254e-05,1.187933e-05,1.192024e-05,1.198029e-05,1.205033e-05,1.207698e-05,1.216954e-05,1.217316e-05,1.225811e-05,1.228904e-05,1.234281e-05,1.239828e-05,1.242379e-05,1.250117e-05,1.257508e-05,1.259801e-05,1.264562e-05,1.268907e-05,1.271293e-05,1.277460e-05,1.277710e-05,1.283826e-05,1.285486e-05,1.289650e-05,1.293009e-05,1.295193e-05,1.300052e-05,1.300464e-05,1.305473e-05,1.306637e-05,1.310230e-05,1.312786e-05,1.314743e-05,1.318519e-05,1.319020e-05,1.323071e-05,1.323855e-05,1.326904e-05,1.328813e-05,1.330526e-05,1.333410e-05,1.333944e-05,1.337166e-05,1.337664e-05,1.340200e-05,1.341591e-05,1.343051e-05,1.345205e-05,1.345727e-05,1.348233e-05,1.348523e-05,1.350577e-05,1.351558e-05,1.352764e-05,1.354324e-05,1.354799e-05,1.356688e-05,1.356833e-05,1.358437e-05,1.359099e-05,1.360051e-05,1.361132e-05,1.361534e-05,1.362892e-05,1.362944e-05,1.364130e-05,1.364546e-05,1.365251e-05,1.365949e-05,1.366260e-05,1.367161e-05,1.368192e-05,1.369052e-05,1.369749e-05,1.370291e-05,1.370685e-05,1.370940e-05,1.371062e-05,1.371058e-05,1.370935e-05,1.370699e-05,1.370355e-05,1.369911e-05,1.369369e-05,1.368737e-05,1.368019e-05,1.367220e-05,1.366344e-05,1.365395e-05,1.364378e-05,1.363296e-05,1.362154e-05,1.360955e-05,1.359702e-05,1.358398e-05
0.000000e+00,1.004711e-10,3.918676e-10,2.956647e-09,1.124891e-08,2.071682e-08,7.718203e-08,8.092198e-08,2.302088e-07,2.967544e-07,5.374769e-07,8.359255e-07,1.097585e-06,1.942878e-06,2.035272e-06,3.506373e-06,3.958485e-06,5.690518e-06,7.294354e-06,8.772075e-06,1.235780e-05,1.291571e-05,1.824748e-05,1.946421e-05,2.484630e-05,2.879072e-05,3.274391e-05,4.037493e-05,4.192968e-05,5.235724e-05,5.413622e-05,6.395149e-05,6.990323e-05,7.661503e-05,8.743961e-05,9.023393e-05,1.046827e-04,1.064661e-04,1.198286e-04,1.266785e-04,1.355351e-04,1.477628e-04,1.516655e-04,1.680852e-04,1.694073e-04,1.846640e-04,1.913121e-04,2.012782e-04,2.131969e-04,2.178119e-04,2.341582e-04,2.348068e-04,2.502203e-04,2.559161e-04,2.659115e-04,2.763305e-04,2.811559e-04,2.958883e-04,3.100537e-04,3.144593e-04,3.236075e-04,3.319443e-04,3.365145e-04,3.482720e-04,3.487482e-04,3.602907e-04,3.633971e-04,3.711314e-04,3.772970e-04,3.812663e-04,3.899689e-04,3.906977e-04,3.994327e-04,4.014268e-04,4.074833e-04,4.116984e-04,4.148652e-04,4.208229e-04,4.215971e-04,4.277005e-04,4.288477e-04,4.331986e-04,4.358266e-04,4.381163e-04,4.418177e-04,4.424797e-04,4.463156e-04,4.468822e-04,4.496511e-04,4.510824e-04,4.525133e-04,4.544806e-04,4.549294e-04,4.569261e-04,4.571387e-04,4.585294e-04,4.591169e-04,4.597650e-04,4.604733e-04,4.606575e-04,4.612307e-04,4.612635e-04,4.615076e-04,4.615403e-04,4.615100e-04,4.613535e-04,4.612588e-04,4.607741e-04,4.607501e-04,4.600746e-04,4.597736e-04,4.591781e-04,4.584646e-04,4.581015e-04,4.568606e-04,4.554704e-04,4.549963e-04,4.539449e-04,4.529036e-04,4.522971e-04,4.506116e-04,4.505394e-04,4.486831e-04,4.481471e-04,4.467389e-04,4.455344e-04,4.447168e-04,4.427956e-04,4.426260e-04,4.404751e-04,4.399508e-04,4.382720e-04,4.370182e-04,4.360240e-04,4.340142e-04,4.337381e-04,4.314205e-04,4.309537e-04,4.290770e-04,4.278499e-04,4.267130e-04,4.247150e-04,4.243334e-04,4.219427e-04,4.215595e-04,4.195452e-04,4.183931e-04,4.171447e-04,4.152244e-04,4.147446e-04,4.123482e-04,4.120611e-04,4.099584e-04,4.089097e-04,4.075779e-04,4.057765e-04,4.052091e-04,4.028542e-04,4.026665e-04,4.005152e-04,3.995845e-04,3.981939e-04,3.965345e-04,3.958920e-04,3.936108e-04,3.935200e-04,3.913518e-04,3.905442e-04,3.891160e-04,3.876095e-04,3.869045e-04,3.847183e-04,3.818724e-04,3.790735e-04,3.763227e-04,3.736212e-04,3.709698e-04,3.683690e-04,3.658194e-04,3.633210e-04,3.608742e-04,3.584788e-04,3.561347e-04,3.538416e-04,3.515994e-04,3.494074e-04,3.472653e-04,3.451726e-04,3.431285e-04,3.411326e-04,3.391840e-04,3.372821e-04,3.354262e-04,3.336154e-04,3.318490e-04,3.301261e-04
0.000000e+00,1.855072e-10,5.999070e-10,3.177756e-09,9.082475e-09,1.448262e-08,3.858379e-08,3.994608e-08,8.534881e-08,1.024587e-07,1.568678e-07,2.151669e-07,2.614344e-07,3.932596e-07,4.065305e-07,5.988774e-07,6.525465e-07,8.416345e-07,9.985995e-07,1.131282e-06,1.416770e-06,1.457377e-06,1.806271e-06,1.877633e-06,2.165445e-06,2.353028e-06,2.525497e-06,2.823885e-06,2.880051e-06,3.224935e-06,3.279021e-06,3.557411e-06,3.712032e-06,3.875661e-06,4.119204e-06,4.178497e-06,4.465185e-06,4.498481e-06,4.735348e-06,4.848954e-06,4.988905e-06,5.170597e-06,5.226023e-06,5.447066e-06,5.464070e-06,5.652562e-06,5.730550e-06,5.843160e-06,5.971575e-06,6.019593e-06,6.182645e-06,6.188900e-06,6.333130e-06,6.384388e-06,6.471877e-06,6.559937e-06,6.599701e-06,6.717394e-06,6.825715e-06,6.858516e-06,6.925380e-06,6.984936e-06,7.017062e-06,7.098147e-06,7.101386e-06,7.178933e-06,7.199505e-06,7.250236e-06,7.290227e-06,7.315786e-06,7.371398e-06,7.376032e-06,7.431384e-06,7.443982e-06,7.482215e-06,7.508834e-06,7.528865e-06,7.566706e-06,7.571645e-06,7.610835e-06,7.618266e-06,7.646693e-06,7.664101e-06,7.679453e-06,7.704733e-06,7.709327e-06,7.736511e-06,7.740622e-06,7.761180e-06,7.772177e-06,7.783498e-06,7.799760e-06,7.803614e-06,7.821663e-06,7.823696e-06,7.837771e-06,7.844274e-06,7.852054e-06,7.861753e-06,7.864617e-06,7.875560e-06,7.876368e-06,7.884972e-06,7.888328e-06,7.892939e-06,7.897824e-06,7.899538e-06,7.904842e-06,7.905028e-06,7.908919e-06,7.910099e-06,7.911833e-06,7.913180e-06,7.913643e-06,7.914404e-06,7.914168e-06,7.913890e-06,7.912985e-06,7.911752e-06,7.910900e-06,7.908091e-06,7.907957e-06,7.904197e-06,7.903003e-06,7.899659e-06,7.896578e-06,7.894379e-06,7.888896e-06,7.888391e-06,7.881730e-06,7.880035e-06,7.874426e-06,7.870066e-06,7.866509e-06,7.859057e-06,7.858007e-06,7.848947e-06,7.847070e-06,7.839355e-06,7.834164e-06,7.829255e-06,7.820396e-06,7.818670e-06,7.807624e-06,7.805815e-06,7.796137e-06,7.790473e-06,7.784231e-06,7.774416e-06,7.771923e-06,7.759233e-06,7.757686e-06,7.746180e-06,7.740326e-06,7.732780e-06,7.722374e-06,7.719050e-06,7.705005e-06,7.703869e-06,7.690662e-06,7.684844e-06,7.676034e-06,7.665333e-06,7.661135e-06,7.645980e-06,7.645368e-06,7.630580e-06,7.624979e-06,7.614950e-06,7.604195e-06,7.599100e-06,7.583042e-06,7.561546e-06,7.539732e-06,7.517623e-06,7.495242e-06,7.472609e-06,7.449744e-06,7.426668e-06,7.403397e-06,7.379951e-06,7.356344e-06,7.332593e-06,7.308714e-06,7.284720e-06,7.260625e-06,7.236443e-06,7.212186e-06,7.187865e-06,7.163492e-06,7.139079e-06,7.114634e-06,7.090169e-06,7.065693e-06,7.041213e-06,7.016740e-06
0.000000e+00,3.421980e-10,1.028074e-09,4.875467e-09,1.306524e-08,2.033051e-08,5.225302e-08,5.405714e-08,1.149993e-07,1.384621e-07,2.148952e-07,2.994045e-07,3.678368e-07,5.651226e-07,5.849173e-07,8.644763e-07,9.393155e-07,1.191302e-06,1.388227e-06,1.547783e-06,1.875734e-06,1.921126e-06,2.303238e-06,2.380211e-06,2.688749e-06,2.889193e-06,3.073641e-06,3.394021e-06,3.454582e-06,3.828671e-06,3.887715e-06,4.193373e-06,4.364445e-06,4.546522e-06,4.819510e-06,4.886333e-06,5.211415e-06,5.249383e-06,5.520753e-06,5.651693e-06,5.813690e-06,6.025131e-06,6.089883e-06,6.349265e-06,6.369293e-06,6.591998e-06,6.684502e-06,6.818428e-06,6.971629e-06,7.029036e-06,7.224404e-06,7.231911e-06,7.405193e-06,7.466843e-06,7.572109e-06,7.678058e-06,7.725879e-06,7.867241e-06,7.996926e-06,8.036076e-06,8.115648e-06,8.186199e-06,8.224102e-06,8.319174e-06,8.322951e-06,8.412829e-06,8.436469e-06,8.494334e-06,8.539456e-06,8.568036e-06,8.629418e-06,8.634478e-06,8.694165e-06,8.707537e-06,8.747562e-06,8.774881e-06,8.795105e-06,8.832425e-06,8.837202e-06,8.874238e-06,8.881070e-06,8.906569e-06,8.921632e-06,8.934524e-06,8.954850e-06,8.958410e-06,8.978514e-06,8.981397e-06,8.995101e-06,9.001887e-06,9.008419e-06,9.016876e-06,9.018699e-06,9.026155e-06,9.026869e-06,9.030985e-06,9.032326e-06,9.033374e-06,9.033665e-06,9.033496e-06,9.031511e-06,9.031266e-06,9.027568e-06,9.025474e-06,9.021807e-06,9.016607e-06,9.014358e-06,9.005341e-06,9.004949e-06,8.994870e-06,8.990764e-06,8.983049e-06,8.974290e-06,8.969977e-06,8.955745e-06,8.940440e-06,8.935329e-06,8.924142e-06,8.913224e-06,8.906925e-06,8.889597e-06,8.888859e-06,8.870011e-06,8.864602e-06,8.850442e-06,8.838378e-06,8.830209e-06,8.811055e-06,8.809366e-06,8.787964e-06,8.782750e-06,8.766050e-06,8.753571e-06,8.743668e-06,8.723619e-06,8.720861e-06,8.697667e-06,8.692985e-06,8.674124e-06,8.661754e-06,8.650265e-06,8.630005e-06,8.626124e-06,8.601731e-06,8.597807e-06,8.577115e-06,8.565228e-06,8.552303e-06,8.532328e-06,8.527319e-06,8.502188e-06,8.499164e-06,8.476933e-06,8.465786e-06,8.451573e-06,8.432243e-06,8.426130e-06,8.400622e-06,8.398579e-06,8.375067e-06,8.364835e-06,8.349481e-06,8.331048e-06,8.323879e-06,8.298277e-06,8.297253e-06,8.272688e-06,8.263482e-06,8.247125e-06,8.229764e-06,8.221601e-06,8.196126e-06,8.162594e-06,8.129190e-06,8.095936e-06,8.062852e-06,8.029955e-06,7.997261e-06,7.964786e-06,7.932544e-06,7.900547e-06,7.868806e-06,7.837333e-06,7.806136e-06,7.775224e-06,7.744605e-06,7.714285e-06,7.684272e-06,7.654570e-06,7.625184e-06,7.596119e-06,7.567379e-06,7.538965e-06,7.510882e-06,7.483131e-06,7.455715e-06
0.000000e+00,5.747598e-10,1.866380e-09,9.972664e-09,2.873305e-08,4.602036e-08,1.240253e-07,1.284648e-07,2.776811e-07,3.344191e-07,5.162364e-07,7.129536e-07,8.701857e-07,1.321965e-06,1.367660e-06,2.031361e-06,2.216424e-06,2.865939e-06,3.401639e-06,3.852461e-06,4.820228e-06,4.958034e-06,6.149317e-06,6.395334e-06,7.398980e-06,8.064663e-06,8.685886e-06,9.783338e-06,9.993304e-06,1.130730e-05,1.151732e-05,1.261575e-05,1.323864e-05,1.390793e-05,1.492352e-05,1.517431e-05,1.640658e-05,1.655180e-05,1.759759e-05,1.810700e-05,1.874145e-05,1.957632e-05,1.983347e-05,2.087010e-05,2.095056e-05,2.184890e-05,2.222386e-05,2.276838e-05,2.339331e-05,2.362793e-05,2.442767e-05,2.445842e-05,2.516833e-05,2.542074e-05,2.585116e-05,2.628328e-05,2.647781e-05,2.705021e-05,2.757051e-05,2.772639e-05,2.804105e-05,2.831720e-05,2.846425e-05,2.882831e-05,2.884261e-05,2.917861e-05,2.926544e-05,2.947471e-05,2.963422e-05,2.973331e-05,2.994014e-05,2.995678e-05,3.014737e-05,3.018846e-05,3.030726e-05,3.038416e-05,3.043852e-05,3.053193e-05,3.054314e-05,3.062301e-05,3.063617e-05,3.067990e-05,3.070097e-05,3.071551e-05,3.073012e-05,3.073140e-05,3.072909e-05,3.072713e-05,3.070998e-05,3.069522e-05,3.067538e-05,3.063738e-05,3.062653e-05,3.056460e-05,3.055634e-05,3.049066e-05,3.045459e-05,3.040574e-05,3.033444e-05,3.031078e-05,3.020667e-05,3.019797e-05,3.009424e-05,3.004711e-05,2.997425e-05,2.988359e-05,2.984743e-05,2.971445e-05,2.970901e-05,2.957594e-05,2.952483e-05,2.943246e-05,2.933235e-05,2.928458e-05,2.913278e-05,2.897753e-05,2.892720e-05,2.881928e-05,2.871660e-05,2.865842e-05,2.850189e-05,2.849533e-05,2.833035e-05,2.828386e-05,2.816381e-05,2.806325e-05,2.799600e-05,2.784073e-05,2.782720e-05,2.765766e-05,2.761689e-05,2.748763e-05,2.739227e-05,2.731731e-05,2.716735e-05,2.714691e-05,2.697660e-05,2.694257e-05,2.680657e-05,2.671832e-05,2.663697e-05,2.649494e-05,2.646794e-05,2.629960e-05,2.627274e-05,2.613209e-05,2.605201e-05,2.596552e-05,2.583299e-05,2.579997e-05,2.563554e-05,2.561589e-05,2.547232e-05,2.540091e-05,2.531039e-05,2.518821e-05,2.514979e-05,2.499061e-05,2.497794e-05,2.483289e-05,2.477022e-05,2.467668e-05,2.456517e-05,2.452203e-05,2.436897e-05,2.436288e-05,2.421753e-05,2.416342e-05,2.406775e-05,2.396686e-05,2.391965e-05,2.377325e-05,2.358264e-05,2.339506e-05,2.321052e-05,2.302905e-05,2.285065e-05,2.267533e-05,2.250308e-05,2.233388e-05,2.216773e-05,2.200461e-05,2.184450e-05,2.168736e-05,2.153317e-05,2.138190e-05,2.123352e-05,2.108799e-05,2.094527e-05,2.080532e-05,2.066811e-05,2.053360e-05,2.040173e-05,2.027248e-05,2.014579e-05,2.002163e-05
0.000000e+00,1.782123e-09,7.014705e-09,5.392813e-08,2.086059e-07,3.875688e-07,1.474656e-06,1.547344e-06,4.479823e-06,5.798187e-06,1.059155e-05,1.655506e-05,2.178548e-05,3.863270e-05,4.046759e-05,6.949082e-05,7.834284e-05,1.120253e-04,1.429858e-04,1.714030e-04,2.402555e-04,2.509810e-04,3.540295e-04,3.777314e-04,4.836352e-04,5.624743e-04,6.426172e-04,8.006870e-04,8.334514e-04,1.058207e-03,1.097430e-03,1.318493e-03,1.456398e-03,1.615425e-03,1.879772e-03,1.949597e-03,2.321081e-03,2.368150e-03,2.729430e-03,2.920558e-03,3.173705e-03,3.534535e-03,3.652504e-03,4.164006e-03,4.206276e-03,4.706023e-03,4.930823e-03,5.276055e-03,5.702284e-03,5.871344e-03,6.488937e-03,6.514061e-03,7.125739e-03,7.359080e-03,7.778571e-03,8.230010e-03,8.444214e-03,9.119464e-03,9.801165e-03,1.002017e-02,1.048625e-02,1.092511e-02,1.117177e-02,1.182766e-02,1.185491e-02,1.253303e-02,1.272167e-02,1.320367e-02,1.360150e-02,1.386454e-02,1.446212e-02,1.451357e-02,1.514886e-02,1.529910e-02,1.576874e-02,1.610858e-02,1.637173e-02,1.688734e-02,1.695652e-02,1.752202e-02,1.763272e-02,1.806729e-02,1.834258e-02,1.859159e-02,1.901535e-02,1.909431e-02,1.957502e-02,1.964987e-02,2.003342e-02,2.024547e-02,2.046932e-02,2.080181e-02,2.088268e-02,2.127355e-02,2.131895e-02,2.164208e-02,2.179722e-02,2.198851e-02,2.223721e-02,2.231316e-02,2.261641e-02,2.263976e-02,2.289871e-02,2.300588e-02,2.316056e-02,2.333673e-02,2.340250e-02,2.362510e-02,2.363361e-02,2.382898e-02,2.389791e-02,2.401476e-02,2.413109e-02,2.418310e-02,2.433467e-02,2.447013e-02,2.451019e-02,2.459016e-02,2.465920e-02,2.469545e-02,2.478327e-02,2.478666e-02,2.486447e-02,2.488394e-02,2.492954e-02,2.496273e-02,2.498251e-02,2.502113e-02,2.502404e-02,2.505475e-02,2.506057e-02,2.507524e-02,2.508247e-02,2.508610e-02,2.508817e-02,2.508793e-02,2.508127e-02,2.507897e-02,2.506666e-02,2.505610e-02,2.504462e-02,2.502074e-02,2.501566e-02,2.498025e-02,2.497402e-02,2.493885e-02,2.491699e-02,2.489191e-02,2.485066e-02,2.483986e-02,2.478308e-02,2.477597e-02,2.472197e-02,2.469381e-02,2.465690e-02,2.460501e-02,2.458821e-02,2.451624e-02,2.451035e-02,2.444129e-02,2.441054e-02,2.436366e-02,2.430627e-02,2.428364e-02,2.420149e-02,2.419816e-02,2.411746e-02,2.408679e-02,2.403178e-02,2.397270e-02,2.394468e-02,2.385637e-02,2.373827e-02,2.361881e-02,2.349837e-02,2.337730e-02,2.325593e-02,2.313454e-02,2.301339e-02,2.289273e-02,2.277276e-02,2.265367e-02,2.253565e-02,2.241883e-02,2.230337e-02,2.218937e-02,2.207693e-02,2.196616e-02,2.185713e-02,2.174991e-02,2.164455e-02,2.154110e-02,2.143959e-02,2.134006e-02,2.124253e-02,2.114701e-02
0.000000e+00,1.253500e-10,4.902949e-10,3.720462e-09,1.422370e-08,2.625973e-08,9.836099e-08,1.031462e-07,2.944407e-07,3.797555e-07,6.881181e-07,1.069514e-06,1.402940e-06,2.474010e-06,2.590547e-06,4.433435e-06,4.995540e-06,7.133897e-06,9.096943e-06,1.089484e-05,1.522901e-05,1.590090e-05,2.230605e-05,2.376599e-05,3.022796e-05,3.497480e-05,3.974656e-05,4.900868e-05,5.090496e-05,6.371150e-05,6.591233e-05,7.814237e-05,8.563161e-05,9.414455e-05,1.080253e-04,1.116390e-04,1.305241e-04,1.328783e-04,1.506793e-04,1.599152e-04,1.719683e-04,1.888157e-04,1.942434e-04,2.173487e-04,2.192282e-04,2.411237e-04,2.507850e-04,2.654065e-04,2.831143e-04,2.900367e-04,3.148579e-04,3.158526e-04,3.397205e-04,3.486535e-04,3.644826e-04,3.811958e-04,3.890124e-04,4.131886e-04,4.369014e-04,4.443753e-04,4.600529e-04,4.745352e-04,4.825573e-04,5.034840e-04,5.043407e-04,5.253407e-04,5.310730e-04,5.455061e-04,5.571875e-04,5.647965e-04,5.817441e-04,5.831810e-04,6.006381e-04,6.046882e-04,6.171546e-04,6.259905e-04,6.327247e-04,6.456443e-04,6.473495e-04,6.610362e-04,6.636619e-04,6.737968e-04,6.800718e-04,6.856482e-04,6.949157e-04,6.966110e-04,7.067089e-04,7.082460e-04,7.159683e-04,7.201233e-04,7.244178e-04,7.306143e-04,7.320874e-04,7.390084e-04,7.397902e-04,7.452131e-04,7.477246e-04,7.507339e-04,7.544925e-04,7.556036e-04,7.598550e-04,7.601694e-04,7.635204e-04,7.648297e-04,7.666319e-04,7.685467e-04,7.692207e-04,7.713174e-04,7.713914e-04,7.729517e-04,7.734325e-04,7.741524e-04,7.747355e-04,7.749473e-04,7.753631e-04,7.754254e-04,7.753747e-04,7.751588e-04,7.748265e-04,7.745868e-04,7.737711e-04,7.737318e-04,7.726149e-04,7.722580e-04,7.712564e-04,7.703333e-04,7.696754e-04,7.680401e-04,7.678902e-04,7.659177e-04,7.654183e-04,7.637743e-04,7.625049e-04,7.614750e-04,7.593342e-04,7.590343e-04,7.564656e-04,7.559376e-04,7.537815e-04,7.523442e-04,7.509941e-04,7.485808e-04,7.481143e-04,7.451526e-04,7.446718e-04,7.421188e-04,7.406397e-04,7.390220e-04,7.365049e-04,7.358706e-04,7.326727e-04,7.322861e-04,7.294355e-04,7.280005e-04,7.261659e-04,7.236633e-04,7.228703e-04,7.195546e-04,7.192887e-04,7.162244e-04,7.148894e-04,7.128846e-04,7.104768e-04,7.095401e-04,7.061950e-04,7.060613e-04,7.028536e-04,7.016522e-04,6.995194e-04,6.972580e-04,6.961958e-04,6.928861e-04,6.885431e-04,6.842351e-04,6.799673e-04,6.757443e-04,6.715703e-04,6.674488e-04,6.633830e-04,6.593755e-04,6.554285e-04,6.515440e-04,6.477237e-04,6.439687e-04,6.402802e-04,6.366589e-04,6.331055e-04,6.296203e-04,6.262035e-04,6.228552e-04,6.195752e-04,6.163633e-04,6.132192e-04,6.101424e-04,6.071323e-04,6.041882e-04
0.000000e+00,5.423585e-11,2.115101e-10,1.594661e-09,6.057961e-09,1.114252e-08,4.129338e-08,4.328188e-08,1.220095e-07,1.567632e-07,2.811071e-07,4.328297e-07,5.640374e-07,9.789309e-07,1.023589e-06,1.721008e-06,1.931193e-06,2.723664e-06,3.444268e-06,4.100445e-06,5.672908e-06,5.915846e-06,8.224978e-06,8.750055e-06,1.107067e-05,1.277279e-05,1.448236e-05,1.779776e-05,1.847617e-05,2.305547e-05,2.384209e-05,2.821187e-05,3.088668e-05,3.392620e-05,3.888034e-05,4.016970e-05,4.690524e-05,4.774453e-05,5.408856e-05,5.737836e-05,6.166962e-05,6.766384e-05,6.959393e-05,7.780389e-05,7.847126e-05,8.624007e-05,8.966444e-05,9.484248e-05,1.011057e-04,1.035517e-04,1.123098e-04,1.126603e-04,1.210614e-04,1.242003e-04,1.297544e-04,1.356073e-04,1.383404e-04,1.467753e-04,1.550194e-04,1.576114e-04,1.630380e-04,1.680374e-04,1.708008e-04,1.779890e-04,1.782826e-04,1.854624e-04,1.874163e-04,1.923239e-04,1.962827e-04,1.988547e-04,2.045636e-04,2.050463e-04,2.108936e-04,2.122455e-04,2.163948e-04,2.193244e-04,2.215507e-04,2.258048e-04,2.263646e-04,2.308422e-04,2.316979e-04,2.349905e-04,2.370204e-04,2.388184e-04,2.417935e-04,2.423359e-04,2.455539e-04,2.460418e-04,2.484842e-04,2.497920e-04,2.511388e-04,2.530726e-04,2.535305e-04,2.556720e-04,2.559127e-04,2.575759e-04,2.583417e-04,2.592552e-04,2.603889e-04,2.607223e-04,2.619897e-04,2.620828e-04,2.630692e-04,2.634511e-04,2.639726e-04,2.645202e-04,2.647110e-04,2.652953e-04,2.653156e-04,2.657358e-04,2.658610e-04,2.660423e-04,2.661790e-04,2.662242e-04,2.662905e-04,2.662496e-04,2.662151e-04,2.661093e-04,2.659709e-04,2.658773e-04,2.655748e-04,2.655605e-04,2.651657e-04,2.650420e-04,2.646990e-04,2.643869e-04,2.641663e-04,2.636225e-04,2.635730e-04,2.629242e-04,2.627608e-04,2.622247e-04,2.618125e-04,2.614790e-04,2.607878e-04,2.606912e-04,2.598651e-04,2.596956e-04,2.590043e-04,2.585442e-04,2.581123e-04,2.573411e-04,2.571921e-04,2.562466e-04,2.560932e-04,2.552785e-04,2.548066e-04,2.542904e-04,2.534870e-04,2.532845e-04,2.522630e-04,2.521395e-04,2.512279e-04,2.507686e-04,2.501811e-04,2.493787e-04,2.491242e-04,2.480590e-04,2.479735e-04,2.469868e-04,2.465563e-04,2.459091e-04,2.451305e-04,2.448272e-04,2.437421e-04,2.436986e-04,2.426550e-04,2.422634e-04,2.415670e-04,2.408271e-04,2.404790e-04,2.393917e-04,2.379592e-04,2.365312e-04,2.351092e-04,2.336947e-04,2.322887e-04,2.308926e-04,2.295071e-04,2.281332e-04,2.267717e-04,2.254233e-04,2.240885e-04,2.227679e-04,2.214621e-04,2.201713e-04,2.188959e-04,2.176363e-04,2.163927e-04,2.151654e-04,2.139544e-04,2.127599e-04,2.115820e-04,2.104208e-04,2.092763e-04,2.081486e-04
0.000000e+00,1.197018e-10,4.690652e-10,3.572879e-09,1.370576e-08,2.534940e-08,9.537543e-08,1.000327e-07,2.866873e-07,3.701184e-07,6.721750e-07,1.046427e-06,1.373989e-06,2.428026e-06,2.542868e-06,4.363692e-06,4.921039e-06,7.050765e-06,9.019575e-06,1.083413e-05,1.525017e-05,1.593966e-05,2.257054e-05,2.409526e-05,3.089494e-05,3.593679e-05,4.103994e-05,5.103171e-05,5.308998e-05,6.708779e-05,6.950895e-05,8.303681e-05,9.137708e-05,1.009043e-04,1.165366e-04,1.206248e-04,1.421042e-04,1.447944e-04,1.652229e-04,1.758790e-04,1.898407e-04,2.094565e-04,2.158001e-04,2.429308e-04,2.451465e-04,2.710529e-04,2.825380e-04,2.999813e-04,3.212039e-04,3.295287e-04,3.595089e-04,3.607145e-04,3.897395e-04,4.006497e-04,4.200446e-04,4.406088e-04,4.502568e-04,4.802186e-04,5.097843e-04,5.191394e-04,5.388202e-04,5.570691e-04,5.672062e-04,5.937457e-04,5.948352e-04,6.216137e-04,6.289481e-04,6.474616e-04,6.624952e-04,6.723116e-04,6.942448e-04,6.961087e-04,7.188096e-04,7.240908e-04,7.403819e-04,7.519609e-04,7.608037e-04,7.778129e-04,7.800623e-04,7.981534e-04,8.016318e-04,8.150807e-04,8.234261e-04,8.308545e-04,8.432251e-04,8.454915e-04,8.590135e-04,8.610753e-04,8.714474e-04,8.770380e-04,8.828237e-04,8.911859e-04,8.931762e-04,9.025411e-04,9.036003e-04,9.109566e-04,9.143689e-04,9.184625e-04,9.235834e-04,9.250991e-04,9.309078e-04,9.313380e-04,9.359297e-04,9.377274e-04,9.402061e-04,9.428464e-04,9.437777e-04,9.466847e-04,9.467877e-04,9.489663e-04,9.496421e-04,9.506610e-04,9.514972e-04,9.518060e-04,9.524373e-04,9.525897e-04,9.525428e-04,9.522966e-04,9.518901e-04,9.515901e-04,9.505514e-04,9.505009e-04,9.490581e-04,9.485946e-04,9.472897e-04,9.460833e-04,9.452219e-04,9.430769e-04,9.428800e-04,9.402876e-04,9.396307e-04,9.374671e-04,9.357959e-04,9.344396e-04,9.316200e-04,9.312249e-04,9.278418e-04,9.271465e-04,9.243077e-04,9.224159e-04,9.206391e-04,9.174648e-04,9.168514e-04,9.129589e-04,9.123273e-04,9.089751e-04,9.070341e-04,9.049124e-04,9.016134e-04,9.007826e-04,8.965964e-04,8.960907e-04,8.923638e-04,8.904893e-04,8.880943e-04,8.848300e-04,8.837963e-04,8.794780e-04,8.791319e-04,8.751466e-04,8.734120e-04,8.708090e-04,8.676856e-04,8.664714e-04,8.621395e-04,8.619665e-04,8.578187e-04,8.562669e-04,8.535138e-04,8.505978e-04,8.492291e-04,8.449688e-04,8.393886e-04,8.338646e-04,8.284036e-04,8.230111e-04,8.176923e-04,8.124514e-04,8.072921e-04,8.022173e-04,7.972297e-04,7.923313e-04,7.875237e-04,7.828083e-04,7.781859e-04,7.736572e-04,7.692225e-04,7.648817e-04,7.606349e-04,7.564816e-04,7.524212e-04,7.484532e-04,7.445766e-04,7.407905e-04,7.370939e-04,7.334856e-04
0.000000e+00,9.999369e-10,3.922521e-09,2.998092e-08,1.156165e-07,2.147089e-07,8.205040e-07,8.612707e-07,2.531086e-06,3.296252e-06,6.141837e-06,9.797783e-06,1.308901e-05,2.407267e-05,2.529535e-05,4.504111e-05,5.116194e-05,7.463240e-05,9.628696e-05,1.161304e-04,1.638478e-04,1.712228e-04,2.411918e-04,2.570557e-04,3.269270e-04,3.779283e-04,4.289544e-04,5.273990e-04,5.474681e-04,6.823616e-04,7.054429e-04,8.332569e-04,9.111966e-04,9.995324e-04,1.143070e-03,1.180351e-03,1.374688e-03,1.398862e-03,1.581360e-03,1.675869e-03,1.799056e-03,1.971013e-03,2.026366e-03,2.261811e-03,2.280953e-03,2.503872e-03,2.602205e-03,2.751015e-03,2.931251e-03,3.001721e-03,3.254502e-03,3.264635e-03,3.507924e-03,3.599049e-03,3.760626e-03,3.931394e-03,4.011326e-03,4.258840e-03,4.502081e-03,4.578853e-03,4.740073e-03,4.889225e-03,4.971944e-03,5.188075e-03,5.196934e-03,5.414387e-03,5.473847e-03,5.623755e-03,5.745302e-03,5.824585e-03,6.001501e-03,6.016521e-03,6.199296e-03,6.241776e-03,6.372721e-03,6.465712e-03,6.536688e-03,6.673119e-03,6.691153e-03,6.836135e-03,6.863999e-03,6.971707e-03,7.038525e-03,7.097992e-03,7.197012e-03,7.215152e-03,7.323388e-03,7.339893e-03,7.422931e-03,7.467697e-03,7.514035e-03,7.581027e-03,7.596977e-03,7.672049e-03,7.680543e-03,7.739556e-03,7.766944e-03,7.799813e-03,7.840956e-03,7.853139e-03,7.899856e-03,7.903318e-03,7.940287e-03,7.954772e-03,7.974755e-03,7.996057e-03,8.003575e-03,8.027062e-03,8.027895e-03,8.045521e-03,8.050994e-03,8.059252e-03,8.066036e-03,8.068544e-03,8.073680e-03,8.074929e-03,8.074552e-03,8.072555e-03,8.069250e-03,8.066808e-03,8.058340e-03,8.057928e-03,8.046146e-03,8.042357e-03,8.031680e-03,8.021801e-03,8.014741e-03,7.997141e-03,7.995524e-03,7.974220e-03,7.968817e-03,7.951006e-03,7.937234e-03,7.926049e-03,7.902773e-03,7.899510e-03,7.871537e-03,7.865783e-03,7.842272e-03,7.826588e-03,7.811848e-03,7.785487e-03,7.780388e-03,7.748011e-03,7.742752e-03,7.714824e-03,7.698637e-03,7.680930e-03,7.653370e-03,7.646425e-03,7.611397e-03,7.607162e-03,7.575929e-03,7.560204e-03,7.540099e-03,7.512670e-03,7.503978e-03,7.467633e-03,7.464718e-03,7.431126e-03,7.416491e-03,7.394514e-03,7.368118e-03,7.357850e-03,7.321182e-03,7.319716e-03,7.284556e-03,7.271388e-03,7.248012e-03,7.223230e-03,7.211590e-03,7.175324e-03,7.127746e-03,7.080560e-03,7.033827e-03,6.987597e-03,6.941916e-03,6.896822e-03,6.852350e-03,6.808528e-03,6.765381e-03,6.722930e-03,6.681192e-03,6.640179e-03,6.599904e-03,6.560375e-03,6.521595e-03,6.483571e-03,6.446301e-03,6.409787e-03,6.374026e-03,6.339014e-03,6.304748e-03,6.271222e-03,6.238429e-03,6.206360e-03
0.000000e+00,1.738040e-10,5.961062e-10,3.503779e-09,1.081441e-08,1.787739e-08,5.140138e-08,5.335692e-08,1.204135e-07,1.462833e-07,2.296236e-07,3.198867e-07,3.918536e-07,5.975477e-07,6.182854e-07,9.195618e-07,1.003987e-06,1.303759e-06,1.556719e-06,1.774658e-06,2.260694e-06,2.332087e-06,2.973656e-06,3.111789e-06,3.696144e-06,4.102660e-06,4.496038e-06,5.225010e-06,5.369553e-06,6.312496e-06,6.469503e-06,7.320153e-06,7.825291e-06,8.387262e-06,9.279882e-06,9.508037e-06,1.067626e-05,1.081932e-05,1.188537e-05,1.242861e-05,1.312864e-05,1.409218e-05,1.439926e-05,1.569050e-05,1.579449e-05,1.699580e-05,1.752043e-05,1.830884e-05,1.925567e-05,1.962368e-05,2.093478e-05,2.098707e-05,2.223707e-05,2.270285e-05,2.352598e-05,2.439267e-05,2.479739e-05,2.604768e-05,2.727370e-05,2.766045e-05,2.847277e-05,2.922497e-05,2.964262e-05,3.073644e-05,3.078137e-05,3.188752e-05,3.219123e-05,3.295988e-05,3.358669e-05,3.399756e-05,3.492107e-05,3.499995e-05,3.596666e-05,3.619334e-05,3.689751e-05,3.740311e-05,3.779250e-05,3.855054e-05,3.865177e-05,3.947562e-05,3.963617e-05,4.026444e-05,4.066094e-05,4.101873e-05,4.162605e-05,4.173904e-05,4.242604e-05,4.253291e-05,4.308039e-05,4.338310e-05,4.370284e-05,4.417835e-05,4.429416e-05,4.485513e-05,4.492045e-05,4.538657e-05,4.561126e-05,4.588929e-05,4.625268e-05,4.636414e-05,4.681194e-05,4.684662e-05,4.723353e-05,4.739501e-05,4.762973e-05,4.789974e-05,4.800137e-05,4.834927e-05,4.836270e-05,4.867421e-05,4.878573e-05,4.897701e-05,4.917066e-05,4.925843e-05,4.951924e-05,4.976019e-05,4.983322e-05,4.998201e-05,5.011426e-05,5.018541e-05,5.036400e-05,5.037110e-05,5.053975e-05,5.058401e-05,5.069203e-05,5.077582e-05,5.082860e-05,5.094089e-05,5.095007e-05,5.105707e-05,5.108066e-05,5.115018e-05,5.119647e-05,5.122999e-05,5.128966e-05,5.129705e-05,5.135192e-05,5.136148e-05,5.139512e-05,5.141314e-05,5.142716e-05,5.144582e-05,5.144854e-05,5.145974e-05,5.146062e-05,5.146123e-05,5.145862e-05,5.145345e-05,5.144084e-05,5.143683e-05,5.141182e-05,5.140827e-05,5.137879e-05,5.136183e-05,5.133816e-05,5.130242e-05,5.129030e-05,5.123557e-05,5.123091e-05,5.117433e-05,5.114809e-05,5.110693e-05,5.105476e-05,5.103368e-05,5.095491e-05,5.095165e-05,5.087092e-05,5.083946e-05,5.078201e-05,5.071888e-05,5.068846e-05,5.059054e-05,5.045504e-05,5.031297e-05,5.016487e-05,5.001127e-05,4.985266e-05,4.968950e-05,4.952225e-05,4.935132e-05,4.917711e-05,4.899999e-05,4.882033e-05,4.863845e-05,4.845468e-05,4.826931e-05,4.808263e-05,4.789489e-05,4.770635e-05,4.751725e-05,4.732779e-05,4.713819e-05,4.694865e-05,4.675933e-05,4.657042e-05,4.638207e-05
0.000000e+00,2.858734e-10,1.123860e-09,8.619970e-09,3.328601e-08,6.179643e-08,2.349065e-07,2.464846e-07,7.142993e-07,9.251120e-07,1.694120e-06,2.655958e-06,3.503772e-06,6.257938e-06,6.559849e-06,1.137779e-05,1.286103e-05,1.855040e-05,2.382933e-05,2.870467e-05,4.059515e-05,4.245417e-05,6.036229e-05,6.448755e-05,8.291934e-05,9.662421e-05,1.105300e-04,1.378599e-04,1.435069e-04,1.820689e-04,1.887667e-04,2.263408e-04,2.496327e-04,2.763562e-04,3.204705e-04,3.320613e-04,3.933207e-04,4.010358e-04,4.599235e-04,4.908522e-04,5.315921e-04,5.892432e-04,6.079902e-04,6.887326e-04,6.953672e-04,7.733944e-04,8.082553e-04,8.615204e-04,9.268496e-04,9.526348e-04,1.046250e-03,1.050039e-03,1.141873e-03,1.176695e-03,1.239017e-03,1.305698e-03,1.337202e-03,1.435966e-03,1.534865e-03,1.566472e-03,1.633480e-03,1.696262e-03,1.731419e-03,1.824466e-03,1.828318e-03,1.923843e-03,1.950302e-03,2.017693e-03,2.073084e-03,2.109596e-03,2.192220e-03,2.199312e-03,2.286631e-03,2.307210e-03,2.371372e-03,2.417644e-03,2.453385e-03,2.523197e-03,2.532542e-03,2.608744e-03,2.623622e-03,2.681913e-03,2.718744e-03,2.751995e-03,2.808452e-03,2.818955e-03,2.882774e-03,2.892693e-03,2.943453e-03,2.971467e-03,3.001006e-03,3.044816e-03,3.055461e-03,3.106856e-03,3.112820e-03,3.155240e-03,3.175591e-03,3.200673e-03,3.233269e-03,3.243220e-03,3.282953e-03,3.286013e-03,3.319950e-03,3.334001e-03,3.354293e-03,3.377423e-03,3.386065e-03,3.415357e-03,3.416478e-03,3.442256e-03,3.451372e-03,3.466855e-03,3.482313e-03,3.489243e-03,3.509513e-03,3.527755e-03,3.533179e-03,3.544060e-03,3.553520e-03,3.558517e-03,3.570737e-03,3.571212e-03,3.582232e-03,3.585029e-03,3.591661e-03,3.596588e-03,3.599580e-03,3.605600e-03,3.606068e-03,3.611203e-03,3.612242e-03,3.615058e-03,3.616685e-03,3.617706e-03,3.619093e-03,3.619217e-03,3.619657e-03,3.619622e-03,3.619090e-03,3.618418e-03,3.617579e-03,3.615622e-03,3.615182e-03,3.611956e-03,3.611366e-03,3.607955e-03,3.605774e-03,3.603231e-03,3.598964e-03,3.597833e-03,3.591808e-03,3.591045e-03,3.585201e-03,3.582120e-03,3.578054e-03,3.572287e-03,3.570408e-03,3.562302e-03,3.561634e-03,3.553771e-03,3.550247e-03,3.544850e-03,3.538204e-03,3.535572e-03,3.525969e-03,3.525578e-03,3.516068e-03,3.512436e-03,3.505898e-03,3.498842e-03,3.495485e-03,3.484854e-03,3.470526e-03,3.455908e-03,3.441046e-03,3.425982e-03,3.410756e-03,3.395404e-03,3.379959e-03,3.364452e-03,3.348910e-03,3.333359e-03,3.317823e-03,3.302322e-03,3.286876e-03,3.271503e-03,3.256219e-03,3.241038e-03,3.225973e-03,3.211036e-03,3.196237e-03,3.181586e-03,3.167092e-03,3.152761e-03,3.138601e-03,3.124616e-03
0.000000e+00,5.256550e-10,2.061724e-09,1.573999e-08,6.054161e-08,1.121751e-07,4.245848e-07,4.454475e-07,1.287573e-06,1.667015e-06,3.052603e-06,4.789920e-06,6.325371e-06,1.133597e-05,1.188696e-05,2.070966e-05,2.343320e-05,3.389261e-05,4.359967e-05,5.255721e-05,7.435330e-05,7.775362e-05,1.104034e-04,1.178980e-04,1.512728e-04,1.759801e-04,2.009651e-04,2.498521e-04,2.599211e-04,3.284249e-04,3.402825e-04,4.066105e-04,4.475815e-04,4.944704e-04,5.716338e-04,5.918643e-04,6.985295e-04,7.119357e-04,8.140918e-04,8.676391e-04,9.380777e-04,1.037599e-03,1.069928e-03,1.209010e-03,1.220428e-03,1.354633e-03,1.414551e-03,1.506064e-03,1.618262e-03,1.662538e-03,1.823273e-03,1.829780e-03,1.987482e-03,2.047297e-03,2.154384e-03,2.269025e-03,2.323215e-03,2.493236e-03,2.663737e-03,2.718288e-03,2.834047e-03,2.942654e-03,3.003539e-03,3.164937e-03,3.171627e-03,3.337774e-03,3.383879e-03,3.501490e-03,3.598368e-03,3.662335e-03,3.807438e-03,3.819916e-03,3.973885e-03,4.010266e-03,4.123941e-03,4.206166e-03,4.269827e-03,4.394582e-03,4.411323e-03,4.548252e-03,4.575076e-03,4.680470e-03,4.747323e-03,4.807865e-03,4.911093e-03,4.930360e-03,5.047901e-03,5.066246e-03,5.160462e-03,5.212721e-03,5.268039e-03,5.350522e-03,5.370648e-03,5.468324e-03,5.479716e-03,5.561116e-03,5.600414e-03,5.649090e-03,5.712775e-03,5.732323e-03,5.810900e-03,5.816988e-03,5.884919e-03,5.913273e-03,5.954483e-03,6.001872e-03,6.019702e-03,6.080691e-03,6.083044e-03,6.137568e-03,6.157061e-03,6.190456e-03,6.224205e-03,6.239480e-03,6.284764e-03,6.326434e-03,6.339027e-03,6.364619e-03,6.387286e-03,6.399443e-03,6.429830e-03,6.431033e-03,6.459513e-03,6.466946e-03,6.485004e-03,6.498916e-03,6.507630e-03,6.526015e-03,6.527507e-03,6.544754e-03,6.548514e-03,6.559484e-03,6.566675e-03,6.571809e-03,6.580751e-03,6.581837e-03,6.589675e-03,6.590989e-03,6.595426e-03,6.597624e-03,6.599189e-03,6.600887e-03,6.601064e-03,6.601143e-03,6.600995e-03,6.599519e-03,6.598160e-03,6.596279e-03,6.592582e-03,6.591510e-03,6.585295e-03,6.584455e-03,6.577712e-03,6.573962e-03,6.568839e-03,6.561279e-03,6.558750e-03,6.547517e-03,6.546571e-03,6.535208e-03,6.529998e-03,6.521889e-03,6.511710e-03,6.507624e-03,6.492475e-03,6.491851e-03,6.476498e-03,6.470555e-03,6.459752e-03,6.447952e-03,6.442289e-03,6.424161e-03,6.399299e-03,6.373473e-03,6.346785e-03,6.319331e-03,6.291202e-03,6.262483e-03,6.233253e-03,6.203587e-03,6.173557e-03,6.143226e-03,6.112658e-03,6.081908e-03,6.051032e-03,6.020078e-03,5.989092e-03,5.958119e-03,5.927197e-03,5.896364e-03,5.865654e-03,5.835098e-03,5.804725e-03,5.774562e-03,5.744633e-03,5.714960e-03
0.000000e+00,7.064571e-10,2.355829e-09,1.316716e-08,3.912941e-08,6.352639e-08,1.755932e-07,1.820165e-07,3.983580e-07,4.804445e-07,7.417514e-07,1.021007e-06,1.241671e-06,1.865660e-06,1.928153e-06,2.830901e-06,3.082824e-06,3.976535e-06,4.731581e-06,5.383465e-06,6.840816e-06,7.055005e-06,8.973961e-06,9.384469e-06,1.110342e-05,1.227794e-05,1.339469e-05,1.540743e-05,1.579742e-05,1.826660e-05,1.866524e-05,2.076507e-05,2.196576e-05,2.326309e-05,2.524508e-05,2.573695e-05,2.816767e-05,2.845569e-05,3.053996e-05,3.156201e-05,3.284157e-05,3.453748e-05,3.506282e-05,3.719622e-05,3.736292e-05,3.923628e-05,4.002527e-05,4.117922e-05,4.251668e-05,4.302279e-05,4.476598e-05,4.483362e-05,4.640889e-05,4.697595e-05,4.795250e-05,4.894632e-05,4.939860e-05,5.074951e-05,5.200805e-05,5.239178e-05,5.317737e-05,5.388047e-05,5.426087e-05,5.522361e-05,5.526213e-05,5.618481e-05,5.642958e-05,5.703262e-05,5.750691e-05,5.780927e-05,5.846409e-05,5.851843e-05,5.916370e-05,5.930946e-05,5.974860e-05,6.005103e-05,6.027649e-05,6.069650e-05,6.075068e-05,6.117430e-05,6.125323e-05,6.155040e-05,6.172816e-05,6.188187e-05,6.212783e-05,6.217146e-05,6.242182e-05,6.245840e-05,6.263543e-05,6.272561e-05,6.281466e-05,6.293483e-05,6.296178e-05,6.307892e-05,6.309105e-05,6.316808e-05,6.319894e-05,6.323117e-05,6.326281e-05,6.327001e-05,6.328628e-05,6.328666e-05,6.328160e-05,6.327420e-05,6.325747e-05,6.322887e-05,6.321533e-05,6.315652e-05,6.315384e-05,6.308230e-05,6.305204e-05,6.299386e-05,6.292617e-05,6.289232e-05,6.277874e-05,6.265410e-05,6.261204e-05,6.251934e-05,6.242818e-05,6.237533e-05,6.222913e-05,6.222288e-05,6.206277e-05,6.201667e-05,6.189572e-05,6.179244e-05,6.172241e-05,6.155797e-05,6.154346e-05,6.135948e-05,6.131463e-05,6.117101e-05,6.106371e-05,6.097859e-05,6.080636e-05,6.078268e-05,6.058376e-05,6.054365e-05,6.038224e-05,6.027656e-05,6.017853e-05,6.000598e-05,5.997299e-05,5.976596e-05,5.973273e-05,5.955778e-05,5.945753e-05,5.934874e-05,5.918108e-05,5.913912e-05,5.892918e-05,5.890398e-05,5.871916e-05,5.862679e-05,5.850929e-05,5.835001e-05,5.829977e-05,5.809079e-05,5.807410e-05,5.788253e-05,5.779947e-05,5.767516e-05,5.752649e-05,5.746883e-05,5.726367e-05,5.725549e-05,5.705982e-05,5.698678e-05,5.685739e-05,5.672061e-05,5.665650e-05,5.645723e-05,5.619684e-05,5.593964e-05,5.568578e-05,5.543540e-05,5.518863e-05,5.494556e-05,5.470630e-05,5.447091e-05,5.423945e-05,5.401197e-05,5.378850e-05,5.356907e-05,5.335371e-05,5.314241e-05,5.293517e-05,5.273199e-05,5.253286e-05,5.233776e-05,5.214666e-05,5.195954e-05,5.177636e-05,5.159708e-05,5.142167e-05,5.125008e-05
0.000000e+00,4.031876e-10,1.573283e-09,1.188059e-08,4.522645e-08,8.330699e-08,3.103190e-07,3.253465e-07,9.242829e-07,1.190715e-06,2.152010e-06,3.339042e-06,4.375931e-06,7.704724e-06,8.066827e-06,1.379239e-05,1.553854e-05,2.217978e-05,2.827352e-05,3.385129e-05,4.728200e-05,4.936194e-05,6.916048e-05,7.366571e-05,9.357414e-05,1.081661e-04,1.228087e-04,1.511617e-04,1.569561e-04,1.960054e-04,2.027025e-04,2.398538e-04,2.625548e-04,2.883188e-04,3.302477e-04,3.411488e-04,3.980348e-04,4.051171e-04,4.586201e-04,4.863493e-04,5.225116e-04,5.730228e-04,5.892896e-04,6.585173e-04,6.641480e-04,7.297496e-04,7.587041e-04,8.025420e-04,8.556723e-04,8.764568e-04,9.510707e-04,9.540640e-04,1.025979e-03,1.052944e-03,1.100801e-03,1.151448e-03,1.175181e-03,1.248795e-03,1.321346e-03,1.344295e-03,1.392572e-03,1.437352e-03,1.462240e-03,1.527466e-03,1.530147e-03,1.596120e-03,1.614226e-03,1.660016e-03,1.697306e-03,1.721716e-03,1.776461e-03,1.781128e-03,1.838180e-03,1.851515e-03,1.892823e-03,1.922358e-03,1.945026e-03,1.988934e-03,1.994774e-03,2.042068e-03,2.051233e-03,2.086921e-03,2.109288e-03,2.129359e-03,2.163165e-03,2.169416e-03,2.207135e-03,2.212956e-03,2.242566e-03,2.258776e-03,2.275764e-03,2.300756e-03,2.306791e-03,2.335709e-03,2.339041e-03,2.362586e-03,2.373783e-03,2.387491e-03,2.405142e-03,2.410493e-03,2.431665e-03,2.433282e-03,2.451078e-03,2.458366e-03,2.468803e-03,2.480559e-03,2.484910e-03,2.499470e-03,2.500021e-03,2.512552e-03,2.516912e-03,2.524222e-03,2.531387e-03,2.534549e-03,2.543595e-03,2.551424e-03,2.553683e-03,2.558097e-03,2.561789e-03,2.563673e-03,2.568047e-03,2.568210e-03,2.571761e-03,2.572587e-03,2.574382e-03,2.575529e-03,2.576123e-03,2.576991e-03,2.577034e-03,2.577163e-03,2.577082e-03,2.576554e-03,2.575908e-03,2.575252e-03,2.573566e-03,2.573299e-03,2.570735e-03,2.570152e-03,2.567599e-03,2.565754e-03,2.563927e-03,2.560454e-03,2.559754e-03,2.555115e-03,2.554331e-03,2.550041e-03,2.547460e-03,2.544562e-03,2.539908e-03,2.538709e-03,2.532508e-03,2.531742e-03,2.525987e-03,2.523022e-03,2.519169e-03,2.513805e-03,2.512080e-03,2.504742e-03,2.504145e-03,2.497176e-03,2.494091e-03,2.489403e-03,2.483689e-03,2.481443e-03,2.473313e-03,2.472984e-03,2.465031e-03,2.462016e-03,2.456615e-03,2.450822e-03,2.448078e-03,2.439437e-03,2.427894e-03,2.416223e-03,2.404452e-03,2.392607e-03,2.380711e-03,2.368786e-03,2.356853e-03,2.344931e-03,2.333036e-03,2.321184e-03,2.309390e-03,2.297667e-03,2.286026e-03,2.274478e-03,2.263034e-03,2.251701e-03,2.240488e-03,2.229402e-03,2.218449e-03,2.207635e-03,2.196965e-03,2.186443e-03,2.176072e-03,2.165856e-03
0.000000e+00,4.360273e-11,1.700532e-10,1.284499e-09,4.902507e-09,9.054910e-09,3.415160e-08,3.583038e-08,1.040910e-07,1.351680e-07,2.501528e-07,3.971029e-07,5.290117e-07,9.685596e-07,1.017504e-06,1.809613e-06,2.055779e-06,3.001354e-06,3.874403e-06,4.673578e-06,6.587448e-06,6.881946e-06,9.654985e-06,1.027810e-05,1.299685e-05,1.495486e-05,1.689182e-05,2.056873e-05,2.130893e-05,2.620603e-05,2.703086e-05,3.153315e-05,3.422685e-05,3.723511e-05,4.202747e-05,4.325365e-05,4.952907e-05,5.029653e-05,5.600154e-05,5.889664e-05,6.261224e-05,6.769372e-05,6.930428e-05,7.602341e-05,7.656056e-05,8.271873e-05,8.537950e-05,8.934313e-05,9.404453e-05,9.585371e-05,1.022120e-04,1.024627e-04,1.083842e-04,1.105549e-04,1.143412e-04,1.182563e-04,1.200584e-04,1.255159e-04,1.306980e-04,1.322960e-04,1.355929e-04,1.385713e-04,1.401930e-04,1.443274e-04,1.444937e-04,1.484937e-04,1.495600e-04,1.521946e-04,1.542731e-04,1.556002e-04,1.584776e-04,1.587164e-04,1.615509e-04,1.621902e-04,1.641127e-04,1.654319e-04,1.664120e-04,1.682271e-04,1.684600e-04,1.702683e-04,1.706023e-04,1.718492e-04,1.725855e-04,1.732150e-04,1.742052e-04,1.743782e-04,1.753512e-04,1.754901e-04,1.761463e-04,1.764683e-04,1.767755e-04,1.771673e-04,1.772505e-04,1.775824e-04,1.776132e-04,1.777822e-04,1.778309e-04,1.778601e-04,1.778438e-04,1.778259e-04,1.776891e-04,1.776739e-04,1.774583e-04,1.773415e-04,1.771418e-04,1.768653e-04,1.767474e-04,1.762824e-04,1.762624e-04,1.757535e-04,1.755487e-04,1.751671e-04,1.747384e-04,1.745290e-04,1.738446e-04,1.731190e-04,1.728788e-04,1.723568e-04,1.718518e-04,1.715623e-04,1.707729e-04,1.707395e-04,1.698920e-04,1.696507e-04,1.690231e-04,1.684928e-04,1.681360e-04,1.673060e-04,1.672333e-04,1.663177e-04,1.660963e-04,1.653915e-04,1.648691e-04,1.644570e-04,1.636291e-04,1.635159e-04,1.625702e-04,1.623806e-04,1.616214e-04,1.611274e-04,1.606711e-04,1.598726e-04,1.597205e-04,1.587709e-04,1.586191e-04,1.578234e-04,1.573696e-04,1.568790e-04,1.561263e-04,1.559386e-04,1.550030e-04,1.548911e-04,1.540729e-04,1.536656e-04,1.531491e-04,1.524515e-04,1.522320e-04,1.513223e-04,1.512499e-04,1.504204e-04,1.500619e-04,1.495267e-04,1.488885e-04,1.486416e-04,1.477654e-04,1.477306e-04,1.468985e-04,1.465887e-04,1.460410e-04,1.454635e-04,1.451933e-04,1.443554e-04,1.432648e-04,1.421920e-04,1.411372e-04,1.401006e-04,1.390824e-04,1.380825e-04,1.371011e-04,1.361381e-04,1.351934e-04,1.342670e-04,1.333588e-04,1.324686e-04,1.315963e-04,1.307417e-04,1.299047e-04,1.290850e-04,1.282824e-04,1.274967e-04,1.267277e-04,1.259750e-04,1.252386e-04,1.245181e-04,1.238133e-04,1.231239e-04
0.000000e+00,7.735790e-11,3.021888e-10,2.287300e-09,8.726681e-09,1.609516e-08,6.016633e-08,6.308943e-08,1.799200e-07,2.320365e-07,4.205409e-07,6.539795e-07,8.582634e-07,1.515073e-06,1.586542e-06,2.715291e-06,3.058759e-06,4.361055e-06,5.550506e-06,6.635150e-06,9.233895e-06,9.634995e-06,1.343973e-05,1.430284e-05,1.810875e-05,2.089217e-05,2.368180e-05,2.907754e-05,3.017968e-05,3.760535e-05,3.887886e-05,4.594517e-05,5.026506e-05,5.517031e-05,6.315973e-05,6.523830e-05,7.609475e-05,7.744754e-05,8.767519e-05,9.298147e-05,9.990697e-05,1.095904e-04,1.127113e-04,1.260050e-04,1.270871e-04,1.397027e-04,1.452756e-04,1.537183e-04,1.639584e-04,1.679665e-04,1.823646e-04,1.829425e-04,1.968330e-04,2.020442e-04,2.112967e-04,2.210934e-04,2.256858e-04,2.399361e-04,2.539891e-04,2.584358e-04,2.677929e-04,2.764749e-04,2.813013e-04,2.939545e-04,2.944745e-04,3.072785e-04,3.107935e-04,3.196849e-04,3.269281e-04,3.316706e-04,3.423102e-04,3.432175e-04,3.543119e-04,3.569060e-04,3.649442e-04,3.706943e-04,3.751089e-04,3.836648e-04,3.848033e-04,3.940281e-04,3.958169e-04,4.027863e-04,4.071578e-04,4.110832e-04,4.177014e-04,4.189261e-04,4.263237e-04,4.274667e-04,4.332864e-04,4.364772e-04,4.398252e-04,4.447593e-04,4.459525e-04,4.516809e-04,4.523422e-04,4.570239e-04,4.592563e-04,4.619952e-04,4.655332e-04,4.666086e-04,4.708781e-04,4.712052e-04,4.748177e-04,4.763043e-04,4.784413e-04,4.808624e-04,4.817628e-04,4.847955e-04,4.849110e-04,4.875529e-04,4.884806e-04,4.900478e-04,4.916010e-04,4.922930e-04,4.943006e-04,4.960826e-04,4.966071e-04,4.976505e-04,4.985466e-04,4.990152e-04,5.001443e-04,5.001876e-04,5.011779e-04,5.014239e-04,5.019959e-04,5.024080e-04,5.026512e-04,5.031181e-04,5.031528e-04,5.035094e-04,5.035743e-04,5.037293e-04,5.037957e-04,5.038204e-04,5.038000e-04,5.037902e-04,5.036461e-04,5.036042e-04,5.033949e-04,5.032241e-04,5.030431e-04,5.026745e-04,5.025970e-04,5.020626e-04,5.019692e-04,5.014454e-04,5.011213e-04,5.007508e-04,5.001430e-04,4.999840e-04,4.991498e-04,4.990454e-04,4.982528e-04,4.978394e-04,4.972974e-04,4.965347e-04,4.962876e-04,4.952275e-04,4.951407e-04,4.941208e-04,4.936659e-04,4.929710e-04,4.921183e-04,4.917814e-04,4.905553e-04,4.905055e-04,4.892955e-04,4.888344e-04,4.880051e-04,4.871114e-04,4.866866e-04,4.853427e-04,4.835337e-04,4.816897e-04,4.798155e-04,4.779156e-04,4.759941e-04,4.740549e-04,4.721016e-04,4.701374e-04,4.681654e-04,4.661884e-04,4.642090e-04,4.622296e-04,4.602525e-04,4.582796e-04,4.563129e-04,4.543540e-04,4.524046e-04,4.504660e-04,4.485397e-04,4.466267e-04,4.447282e-04,4.428452e-04,4.409786e-04,4.391292e-04
0.000000e+00,2.778685e-11,1.066512e-10,7.782255e-10,2.871087e-09,5.197983e-09,1.851237e-08,1.937324e-08,5.261066e-08,6.694362e-08,1.172651e-07,1.773697e-07,2.286004e-07,3.876964e-07,4.046228e-07,6.653617e-07,7.428217e-07,1.031038e-06,1.288505e-06,1.519625e-06,2.062464e-06,2.145104e-06,2.916955e-06,3.089425e-06,3.840519e-06,4.381478e-06,4.917698e-06,5.940680e-06,6.147632e-06,7.527248e-06,7.761572e-06,9.051641e-06,9.832931e-06,1.071435e-05,1.213887e-05,1.250753e-05,1.442212e-05,1.465956e-05,1.644799e-05,1.737180e-05,1.857407e-05,2.024967e-05,2.078856e-05,2.307907e-05,2.326522e-05,2.543287e-05,2.638922e-05,2.783705e-05,2.959203e-05,3.027876e-05,3.274535e-05,3.284436e-05,3.522462e-05,3.611799e-05,3.770488e-05,3.938640e-05,4.017516e-05,4.262527e-05,4.504585e-05,4.581280e-05,4.742849e-05,4.892997e-05,4.976570e-05,5.196057e-05,5.205091e-05,5.427846e-05,5.489117e-05,5.644357e-05,5.771098e-05,5.854227e-05,6.041167e-05,6.057137e-05,6.252841e-05,6.298716e-05,6.441158e-05,6.543342e-05,6.621969e-05,6.774822e-05,6.795210e-05,6.960862e-05,6.993083e-05,7.118952e-05,7.198190e-05,7.269544e-05,7.390318e-05,7.412737e-05,7.548658e-05,7.569741e-05,7.677457e-05,7.736798e-05,7.799298e-05,7.891882e-05,7.914362e-05,8.022838e-05,8.035421e-05,8.124923e-05,8.167868e-05,8.220821e-05,8.289690e-05,8.310735e-05,8.394875e-05,8.401363e-05,8.473446e-05,8.503362e-05,8.546656e-05,8.596163e-05,8.614710e-05,8.677810e-05,8.680234e-05,8.736154e-05,8.756032e-05,8.789938e-05,8.824002e-05,8.839350e-05,8.884576e-05,8.925798e-05,8.938172e-05,8.963189e-05,8.985188e-05,8.996920e-05,9.026011e-05,9.027156e-05,9.054054e-05,9.061009e-05,9.077769e-05,9.090532e-05,9.098448e-05,9.114915e-05,9.116235e-05,9.131266e-05,9.134478e-05,9.143673e-05,9.149523e-05,9.153585e-05,9.160339e-05,9.161122e-05,9.166403e-05,9.167198e-05,9.169540e-05,9.170359e-05,9.170640e-05,9.170068e-05,9.169809e-05,9.167144e-05,9.166554e-05,9.162742e-05,9.160039e-05,9.156694e-05,9.150729e-05,9.149087e-05,9.140005e-05,9.138820e-05,9.129528e-05,9.124496e-05,9.117733e-05,9.107933e-05,9.104694e-05,9.090480e-05,9.089294e-05,9.075160e-05,9.068736e-05,9.058796e-05,9.046404e-05,9.041452e-05,9.023184e-05,9.022435e-05,9.004051e-05,8.996961e-05,8.984104e-05,8.970103e-05,8.963396e-05,8.941976e-05,8.912689e-05,8.882343e-05,8.851035e-05,8.818855e-05,8.785886e-05,8.752209e-05,8.717899e-05,8.683026e-05,8.647655e-05,8.611848e-05,8.575664e-05,8.539156e-05,8.502375e-05,8.465370e-05,8.428183e-05,8.390859e-05,8.353434e-05,8.315946e-05,8.278428e-05,8.240912e-05,8.203429e-05,8.166004e-05,8.128665e-05,8.091434e-05
0.000000e+00,1.019889e-10,4.005233e-10,3.064533e-09,1.180311e-08,2.187731e-08,8.274186e-08,8.679941e-08,2.498509e-07,3.228851e-07,5.876101e-07,9.158152e-07,1.203021e-06,2.126018e-06,2.226451e-06,3.815306e-06,4.300447e-06,6.150188e-06,7.855900e-06,9.425616e-06,1.324123e-05,1.383676e-05,1.956666e-05,2.088557e-05,2.677691e-05,3.115710e-05,3.560200e-05,4.434027e-05,4.614627e-05,5.848267e-05,6.062600e-05,7.265249e-05,8.010944e-05,8.866615e-05,1.027927e-04,1.065045e-04,1.261208e-04,1.285911e-04,1.474433e-04,1.573422e-04,1.703779e-04,1.888172e-04,1.948112e-04,2.206144e-04,2.227336e-04,2.476458e-04,2.587688e-04,2.757549e-04,2.965730e-04,3.047851e-04,3.345768e-04,3.357821e-04,3.649702e-04,3.760286e-04,3.958074e-04,4.169516e-04,4.269349e-04,4.582049e-04,4.894772e-04,4.994630e-04,5.206198e-04,5.404260e-04,5.515100e-04,5.808223e-04,5.820350e-04,6.120919e-04,6.204111e-04,6.415883e-04,6.589825e-04,6.704419e-04,6.963572e-04,6.985804e-04,7.259411e-04,7.323859e-04,7.524708e-04,7.669474e-04,7.781248e-04,7.999470e-04,8.028670e-04,8.266688e-04,8.313143e-04,8.495089e-04,8.610006e-04,8.713727e-04,8.889771e-04,8.922513e-04,9.121414e-04,9.152321e-04,9.310446e-04,9.397691e-04,9.489668e-04,9.626047e-04,9.659178e-04,9.819108e-04,9.837663e-04,9.969618e-04,1.003291e-03,1.011090e-03,1.021222e-03,1.024315e-03,1.036660e-03,1.037611e-03,1.048150e-03,1.052512e-03,1.058809e-03,1.065983e-03,1.068663e-03,1.077740e-03,1.078087e-03,1.086067e-03,1.088886e-03,1.093671e-03,1.098444e-03,1.100581e-03,1.106823e-03,1.112426e-03,1.114088e-03,1.117417e-03,1.120302e-03,1.121822e-03,1.125526e-03,1.125669e-03,1.128983e-03,1.129819e-03,1.131790e-03,1.133241e-03,1.134114e-03,1.135847e-03,1.135980e-03,1.137411e-03,1.137692e-03,1.138429e-03,1.138827e-03,1.139057e-03,1.139304e-03,1.139316e-03,1.139227e-03,1.139169e-03,1.138808e-03,1.138467e-03,1.138080e-03,1.137243e-03,1.137061e-03,1.135767e-03,1.135536e-03,1.134217e-03,1.133386e-03,1.132425e-03,1.130829e-03,1.130408e-03,1.128180e-03,1.127900e-03,1.125756e-03,1.124630e-03,1.123148e-03,1.121052e-03,1.120370e-03,1.117434e-03,1.117192e-03,1.114351e-03,1.113079e-03,1.111133e-03,1.108738e-03,1.107790e-03,1.104332e-03,1.104192e-03,1.100769e-03,1.099463e-03,1.097110e-03,1.094571e-03,1.093363e-03,1.089537e-03,1.084378e-03,1.079111e-03,1.073750e-03,1.068311e-03,1.062807e-03,1.057250e-03,1.051652e-03,1.046023e-03,1.040373e-03,1.034712e-03,1.029046e-03,1.023385e-03,1.017734e-03,1.012101e-03,1.006491e-03,1.000910e-03,9.953625e-04,9.898527e-04,9.843850e-04,9.789629e-04,9.735896e-04,9.682683e-04,9.630014e-04,9.577913e-04
0.000000e+00,8.241953e-10,2.772817e-09,1.576006e-08,4.752095e-08,7.778001e-08,2.200434e-07,2.283320e-07,5.145716e-07,6.264712e-07,9.935096e-07,1.402271e-06,1.735836e-06,2.717953e-06,2.818679e-06,4.295812e-06,4.710148e-06,6.166951e-06,7.371055e-06,8.387548e-06,1.058697e-05,1.090272e-05,1.366714e-05,1.424682e-05,1.664737e-05,1.827365e-05,1.981767e-05,2.261138e-05,2.315591e-05,2.664094e-05,2.721075e-05,3.025132e-05,3.202236e-05,3.396495e-05,3.699495e-05,3.775912e-05,4.161083e-05,4.207582e-05,4.549724e-05,4.721248e-05,4.939608e-05,5.235440e-05,5.328612e-05,5.714747e-05,5.745457e-05,6.096180e-05,6.247062e-05,6.471267e-05,6.736583e-05,6.838566e-05,7.196831e-05,7.210958e-05,7.545000e-05,7.667696e-05,7.882200e-05,8.104869e-05,8.207735e-05,8.521063e-05,8.821793e-05,8.915320e-05,9.109668e-05,9.287089e-05,9.384537e-05,9.636115e-05,9.646336e-05,9.895102e-05,9.962434e-05,1.013094e-04,1.026631e-04,1.035402e-04,1.054818e-04,1.056457e-04,1.076284e-04,1.080863e-04,1.094912e-04,1.104832e-04,1.112374e-04,1.126802e-04,1.128703e-04,1.143935e-04,1.146853e-04,1.158106e-04,1.165068e-04,1.171254e-04,1.181533e-04,1.183414e-04,1.194625e-04,1.196334e-04,1.204924e-04,1.209554e-04,1.214347e-04,1.221278e-04,1.222929e-04,1.230708e-04,1.231589e-04,1.237716e-04,1.240564e-04,1.243988e-04,1.248283e-04,1.249558e-04,1.254456e-04,1.254820e-04,1.258715e-04,1.260246e-04,1.262364e-04,1.264630e-04,1.265432e-04,1.267948e-04,1.268038e-04,1.269940e-04,1.270533e-04,1.271433e-04,1.272176e-04,1.272452e-04,1.273023e-04,1.273168e-04,1.273128e-04,1.272911e-04,1.272544e-04,1.272272e-04,1.271320e-04,1.271274e-04,1.269935e-04,1.269502e-04,1.268275e-04,1.267133e-04,1.266314e-04,1.264257e-04,1.264067e-04,1.261553e-04,1.260911e-04,1.258786e-04,1.257133e-04,1.255784e-04,1.252959e-04,1.252561e-04,1.249131e-04,1.248421e-04,1.245507e-04,1.243550e-04,1.241703e-04,1.238377e-04,1.237730e-04,1.233602e-04,1.232927e-04,1.229328e-04,1.227228e-04,1.224920e-04,1.221304e-04,1.220388e-04,1.215742e-04,1.215178e-04,1.210991e-04,1.208870e-04,1.206145e-04,1.202402e-04,1.201210e-04,1.196196e-04,1.195792e-04,1.191111e-04,1.189058e-04,1.185960e-04,1.182216e-04,1.180752e-04,1.175493e-04,1.175282e-04,1.170189e-04,1.168270e-04,1.164846e-04,1.161193e-04,1.159470e-04,1.154065e-04,1.146897e-04,1.139699e-04,1.132482e-04,1.125255e-04,1.118026e-04,1.110805e-04,1.103598e-04,1.096411e-04,1.089252e-04,1.082127e-04,1.075039e-04,1.067995e-04,1.060999e-04,1.054055e-04,1.047167e-04,1.040337e-04,1.033570e-04,1.026867e-04,1.020232e-04,1.013666e-04,1.007171e-04,1.000749e-04,9.944021e-05,9.881308e-05
0.000000e+00,2.301219e-09,9.046219e-09,6.936564e-08,2.677359e-07,4.968854e-07,1.886287e-06,1.979122e-06,5.723303e-06,7.407076e-06,1.353546e-05,2.117641e-05,2.789342e-05,4.961799e-05,5.199144e-05,8.968169e-05,1.012212e-04,1.452501e-04,1.858247e-04,2.231072e-04,3.134591e-04,3.275265e-04,4.624654e-04,4.934343e-04,6.314486e-04,7.337957e-04,8.374860e-04,1.040992e-03,1.083012e-03,1.369841e-03,1.419654e-03,1.699139e-03,1.872460e-03,2.071408e-03,2.400076e-03,2.486487e-03,2.943573e-03,3.001186e-03,3.441252e-03,3.672598e-03,3.977542e-03,4.409434e-03,4.549959e-03,5.155576e-03,5.205363e-03,5.791099e-03,6.052887e-03,6.452944e-03,6.943643e-03,7.137309e-03,7.840253e-03,7.868701e-03,8.557763e-03,8.818857e-03,9.285819e-03,9.784896e-03,1.002046e-02,1.075782e-02,1.149420e-02,1.172905e-02,1.222606e-02,1.269055e-02,1.295011e-02,1.363500e-02,1.366328e-02,1.436276e-02,1.455580e-02,1.504600e-02,1.544719e-02,1.571073e-02,1.630421e-02,1.635495e-02,1.697692e-02,1.712271e-02,1.757516e-02,1.789935e-02,1.814845e-02,1.863151e-02,1.869580e-02,1.921643e-02,1.931730e-02,1.970981e-02,1.995547e-02,2.017557e-02,2.054535e-02,2.061356e-02,2.102377e-02,2.108683e-02,2.140635e-02,2.158025e-02,2.176158e-02,2.202633e-02,2.208986e-02,2.239170e-02,2.242617e-02,2.266769e-02,2.278111e-02,2.291851e-02,2.309276e-02,2.314490e-02,2.334765e-02,2.336287e-02,2.352759e-02,2.359338e-02,2.368560e-02,2.378629e-02,2.382257e-02,2.393941e-02,2.394368e-02,2.403704e-02,2.406767e-02,2.411640e-02,2.416039e-02,2.417839e-02,2.422395e-02,2.425397e-02,2.426045e-02,2.426935e-02,2.427192e-02,2.427097e-02,2.426035e-02,2.425966e-02,2.423627e-02,2.422767e-02,2.420160e-02,2.417571e-02,2.415642e-02,2.410623e-02,2.410149e-02,2.403753e-02,2.402091e-02,2.396523e-02,2.392134e-02,2.388525e-02,2.380902e-02,2.379823e-02,2.370478e-02,2.368537e-02,2.360546e-02,2.355169e-02,2.350084e-02,2.340923e-02,2.339143e-02,2.327771e-02,2.325915e-02,2.316016e-02,2.310251e-02,2.303922e-02,2.294030e-02,2.291529e-02,2.278877e-02,2.277343e-02,2.266002e-02,2.260275e-02,2.252938e-02,2.242903e-02,2.239717e-02,2.226370e-02,2.225297e-02,2.212923e-02,2.207523e-02,2.199404e-02,2.189638e-02,2.185835e-02,2.172240e-02,2.171696e-02,2.158639e-02,2.153745e-02,2.145052e-02,2.135829e-02,2.131495e-02,2.117986e-02,2.100251e-02,2.082655e-02,2.065225e-02,2.047987e-02,2.030959e-02,2.014162e-02,1.997611e-02,1.981319e-02,1.965298e-02,1.949558e-02,1.934106e-02,1.918948e-02,1.904089e-02,1.889533e-02,1.875282e-02,1.861337e-02,1.847699e-02,1.834366e-02,1.821337e-02,1.808611e-02,1.796185e-02,1.784055e-02,1.772219e-02,1.760673e-02
0.000000e+00,5.176261e-09,1.203260e-08,4.208047e-08,9.667985e-08,1.417490e-07,3.262473e-07,3.362907e-07,6.624893e-07,7.831327e-07,1.162538e-06,1.561882e-06,1.872154e-06,2.717603e-06,2.799495e-06,3.928794e-06,4.227664e-06,5.240935e-06,6.049905e-06,6.721024e-06,8.152701e-06,8.356831e-06,1.013640e-05,1.050844e-05,1.204668e-05,1.308690e-05,1.407305e-05,1.585313e-05,1.619935e-05,1.840821e-05,1.876809e-05,2.068158e-05,2.179035e-05,2.300121e-05,2.487815e-05,2.534917e-05,2.770828e-05,2.799135e-05,3.006249e-05,3.109296e-05,3.239715e-05,3.415026e-05,3.469911e-05,3.695684e-05,3.713524e-05,3.916053e-05,4.002500e-05,4.130201e-05,4.280154e-05,4.337459e-05,4.537301e-05,4.545135e-05,4.729330e-05,4.796490e-05,4.913262e-05,5.033612e-05,5.088912e-05,5.256182e-05,5.415050e-05,5.464119e-05,5.565560e-05,5.657538e-05,5.707796e-05,5.836670e-05,5.841879e-05,5.967979e-05,6.001881e-05,6.086283e-05,6.153612e-05,6.197004e-05,6.292365e-05,6.300369e-05,6.396616e-05,6.418683e-05,6.485989e-05,6.533129e-05,6.568738e-05,6.636278e-05,6.645115e-05,6.715371e-05,6.728710e-05,6.779758e-05,6.811002e-05,6.838522e-05,6.883716e-05,6.891906e-05,6.940149e-05,6.947407e-05,6.983484e-05,7.002608e-05,7.022137e-05,7.049838e-05,7.056330e-05,7.086276e-05,7.089594e-05,7.112184e-05,7.122356e-05,7.134254e-05,7.148579e-05,7.152679e-05,7.167648e-05,7.168701e-05,7.179339e-05,7.183137e-05,7.187927e-05,7.192283e-05,7.193579e-05,7.196454e-05,7.196513e-05,7.196706e-05,7.196184e-05,7.194484e-05,7.191632e-05,7.189929e-05,7.183177e-05,7.174357e-05,7.171119e-05,7.163594e-05,7.155742e-05,7.151007e-05,7.137314e-05,7.136710e-05,7.120811e-05,7.116087e-05,7.103415e-05,7.092299e-05,7.084619e-05,7.066174e-05,7.064520e-05,7.043206e-05,7.037920e-05,7.020764e-05,7.007735e-05,6.997276e-05,6.975803e-05,6.972819e-05,6.947469e-05,6.942297e-05,6.921294e-05,6.907381e-05,6.894363e-05,6.871204e-05,6.866740e-05,6.838484e-05,6.833909e-05,6.809654e-05,6.795628e-05,6.780304e-05,6.756485e-05,6.750486e-05,6.720249e-05,6.716595e-05,6.689639e-05,6.676064e-05,6.658701e-05,6.634994e-05,6.627476e-05,6.596004e-05,6.593477e-05,6.564322e-05,6.551599e-05,6.532466e-05,6.509440e-05,6.500468e-05,6.468360e-05,6.467074e-05,6.436171e-05,6.424569e-05,6.403930e-05,6.381990e-05,6.371663e-05,6.339394e-05,6.296836e-05,6.254366e-05,6.212028e-05,6.169865e-05,6.127914e-05,6.086212e-05,6.044790e-05,6.003676e-05,5.962898e-05,5.922478e-05,5.882437e-05,5.842796e-05,5.803571e-05,5.764778e-05,5.726429e-05,5.688535e-05,5.651109e-05,5.614157e-05,5.577688e-05,5.541707e-05,5.506219e-05,5.471229e-05,5.436739e-05,5.402750e-05
0.000000e+00,1.448460e-08,3.645007e-08,1.394700e-07,3.363332e-07,5.036267e-07,1.215637e-06,1.255386e-06,2.589369e-06,3.101413e-06,4.771113e-06,6.625697e-06,8.137675e-06,1.257276e-05,1.302547e-05,1.960144e-05,2.142308e-05,2.774772e-05,3.288632e-05,3.716712e-05,4.626952e-05,4.755974e-05,5.869647e-05,6.099786e-05,7.041407e-05,7.669555e-05,8.259169e-05,9.310496e-05,9.513226e-05,1.079514e-04,1.100231e-04,1.209718e-04,1.272715e-04,1.341206e-04,1.446860e-04,1.473295e-04,1.605341e-04,1.621155e-04,1.736752e-04,1.794231e-04,1.866991e-04,1.964890e-04,1.995576e-04,2.122087e-04,2.132107e-04,2.246162e-04,2.295040e-04,2.367496e-04,2.453015e-04,2.485836e-04,2.600979e-04,2.605516e-04,2.712766e-04,2.752163e-04,2.821077e-04,2.892698e-04,2.925826e-04,3.026958e-04,3.124442e-04,3.154864e-04,3.218269e-04,3.276404e-04,3.308450e-04,3.391614e-04,3.395007e-04,3.477980e-04,3.500576e-04,3.557415e-04,3.603401e-04,3.633369e-04,3.700227e-04,3.705906e-04,3.775092e-04,3.791206e-04,3.841001e-04,3.876507e-04,3.903709e-04,3.956305e-04,3.963293e-04,4.019834e-04,4.030784e-04,4.073413e-04,4.100130e-04,4.124111e-04,4.164530e-04,4.172009e-04,4.217189e-04,4.224170e-04,4.259731e-04,4.279239e-04,4.299718e-04,4.329920e-04,4.337228e-04,4.372340e-04,4.376396e-04,4.405132e-04,4.418845e-04,4.435680e-04,4.457443e-04,4.464060e-04,4.490346e-04,4.492360e-04,4.514609e-04,4.523764e-04,4.536921e-04,4.551817e-04,4.557352e-04,4.575969e-04,4.576676e-04,4.592838e-04,4.598496e-04,4.608025e-04,4.617423e-04,4.621593e-04,4.633603e-04,4.644116e-04,4.647173e-04,4.653189e-04,4.658268e-04,4.660882e-04,4.667018e-04,4.667247e-04,4.672341e-04,4.673546e-04,4.676214e-04,4.677974e-04,4.678919e-04,4.680417e-04,4.680504e-04,4.681017e-04,4.680986e-04,4.680506e-04,4.679789e-04,4.679015e-04,4.676928e-04,4.676588e-04,4.673269e-04,4.672501e-04,4.669097e-04,4.666604e-04,4.664113e-04,4.659327e-04,4.658355e-04,4.651862e-04,4.650757e-04,4.644668e-04,4.640977e-04,4.636809e-04,4.630066e-04,4.628319e-04,4.619231e-04,4.618102e-04,4.609576e-04,4.605156e-04,4.599385e-04,4.591298e-04,4.588686e-04,4.577509e-04,4.576595e-04,4.565881e-04,4.561110e-04,4.553829e-04,4.544903e-04,4.541377e-04,4.528552e-04,4.528031e-04,4.515375e-04,4.510550e-04,4.501871e-04,4.492512e-04,4.488060e-04,4.473965e-04,4.454959e-04,4.435536e-04,4.415741e-04,4.395613e-04,4.375190e-04,4.354509e-04,4.333605e-04,4.312509e-04,4.291253e-04,4.269865e-04,4.248373e-04,4.226804e-04,4.205180e-04,4.183526e-04,4.161863e-04,4.140211e-04,4.118590e-04,4.097016e-04,4.075508e-04,4.054080e-04,4.032747e-04,4.011523e-04,3.990420e-04,3.969451e-04
0.000000e+00,9.880863e-11,3.837693e-10,2.870440e-09,1.083463e-08,1.986726e-08,7.319536e-08,7.670757e-08,2.158668e-07,2.774643e-07,4.989465e-07,7.714568e-07,1.008855e-06,1.766942e-06,1.849001e-06,3.134916e-06,3.522745e-06,4.980675e-06,6.297455e-06,7.488043e-06,1.030937e-05,1.074155e-05,1.480772e-05,1.572313e-05,1.973623e-05,2.265183e-05,2.556145e-05,3.116305e-05,3.230396e-05,3.997163e-05,4.128420e-05,4.856044e-05,5.300618e-05,5.805508e-05,6.628583e-05,6.842949e-05,7.964732e-05,8.104805e-05,9.166262e-05,9.718816e-05,1.044205e-04,1.145748e-04,1.178583e-04,1.319061e-04,1.330540e-04,1.464884e-04,1.524533e-04,1.615256e-04,1.725874e-04,1.769346e-04,1.926308e-04,1.932635e-04,2.085296e-04,2.142864e-04,2.245468e-04,2.354644e-04,2.406008e-04,2.566130e-04,2.725088e-04,2.775594e-04,2.882187e-04,2.981455e-04,3.036783e-04,3.182299e-04,3.188294e-04,3.336194e-04,3.376895e-04,3.480024e-04,3.564199e-04,3.619383e-04,3.743353e-04,3.753933e-04,3.883396e-04,3.913684e-04,4.007549e-04,4.074690e-04,4.126224e-04,4.226030e-04,4.239301e-04,4.346709e-04,4.367507e-04,4.448416e-04,4.499051e-04,4.544428e-04,4.620705e-04,4.634785e-04,4.719555e-04,4.732606e-04,4.798833e-04,4.834969e-04,4.872735e-04,4.928074e-04,4.941393e-04,5.004958e-04,5.012252e-04,5.063591e-04,5.087871e-04,5.117462e-04,5.155327e-04,5.166747e-04,5.211629e-04,5.215035e-04,5.252292e-04,5.267418e-04,5.288924e-04,5.312907e-04,5.321710e-04,5.350835e-04,5.351926e-04,5.376481e-04,5.384897e-04,5.398828e-04,5.412229e-04,5.418050e-04,5.434318e-04,5.447797e-04,5.451547e-04,5.458647e-04,5.464283e-04,5.467022e-04,5.472872e-04,5.473071e-04,5.476936e-04,5.477646e-04,5.478755e-04,5.478918e-04,5.478657e-04,5.476982e-04,5.476767e-04,5.473205e-04,5.472114e-04,5.468083e-04,5.464573e-04,5.461508e-04,5.454603e-04,5.453584e-04,5.444406e-04,5.442429e-04,5.434068e-04,5.428262e-04,5.422655e-04,5.412299e-04,5.410251e-04,5.396933e-04,5.394722e-04,5.382774e-04,5.375700e-04,5.367844e-04,5.355389e-04,5.352209e-04,5.335929e-04,5.333935e-04,5.319063e-04,5.311470e-04,5.301665e-04,5.288119e-04,5.283788e-04,5.265478e-04,5.263996e-04,5.246783e-04,5.239206e-04,5.227743e-04,5.213845e-04,5.208401e-04,5.188792e-04,5.188003e-04,5.168952e-04,5.161760e-04,5.148915e-04,5.135193e-04,5.128711e-04,5.108370e-04,5.081353e-04,5.054201e-04,5.026966e-04,4.999696e-04,4.972435e-04,4.945222e-04,4.918095e-04,4.891085e-04,4.864222e-04,4.837533e-04,4.811042e-04,4.784772e-04,4.758740e-04,4.732966e-04,4.707463e-04,4.682245e-04,4.657325e-04,4.632713e-04,4.608418e-04,4.584447e-04,4.560807e-04,4.537504e-04,4.514542e-04,4.491924e-04
0.000000e+00,3.714357e-09,1.460564e-08,1.120875e-07,4.331010e-07,8.043886e-07,3.061379e-06,3.212437e-06,9.321666e-06,1.207699e-05,2.213381e-05,3.471855e-05,4.581361e-05,8.186469e-05,8.581775e-05,1.489705e-04,1.684506e-04,2.434068e-04,3.133398e-04,3.782759e-04,5.380158e-04,5.631549e-04,8.072862e-04,8.639689e-04,1.118869e-03,1.309831e-03,1.504572e-03,1.889481e-03,1.969295e-03,2.516117e-03,2.611340e-03,3.146361e-03,3.478479e-03,3.859726e-03,4.489132e-03,4.654459e-03,5.527532e-03,5.637380e-03,6.474833e-03,6.913898e-03,7.491353e-03,8.306700e-03,8.571365e-03,9.708593e-03,9.801845e-03,1.089638e-02,1.138410e-02,1.212781e-02,1.303754e-02,1.339589e-02,1.469360e-02,1.474602e-02,1.601403e-02,1.649366e-02,1.735049e-02,1.826512e-02,1.869651e-02,2.004595e-02,2.139305e-02,2.182273e-02,2.273241e-02,2.358322e-02,2.405905e-02,2.531643e-02,2.536842e-02,2.665640e-02,2.701269e-02,2.791929e-02,2.866359e-02,2.915379e-02,3.026199e-02,3.035704e-02,3.152653e-02,3.180195e-02,3.266016e-02,3.327865e-02,3.375614e-02,3.468832e-02,3.481304e-02,3.582972e-02,3.602815e-02,3.680531e-02,3.729618e-02,3.773923e-02,3.849124e-02,3.863111e-02,3.948080e-02,3.961284e-02,4.028837e-02,4.066109e-02,4.105402e-02,4.163661e-02,4.177813e-02,4.246123e-02,4.254048e-02,4.310395e-02,4.337413e-02,4.370701e-02,4.413933e-02,4.427126e-02,4.479758e-02,4.483808e-02,4.528696e-02,4.547259e-02,4.574040e-02,4.604522e-02,4.615896e-02,4.654375e-02,4.655845e-02,4.689586e-02,4.701485e-02,4.721644e-02,4.741700e-02,4.750662e-02,4.776755e-02,4.800036e-02,4.806911e-02,4.820619e-02,4.832429e-02,4.838618e-02,4.853567e-02,4.854142e-02,4.867300e-02,4.870575e-02,4.878201e-02,4.883701e-02,4.886948e-02,4.893182e-02,4.893645e-02,4.898391e-02,4.899250e-02,4.901283e-02,4.902129e-02,4.902416e-02,4.902031e-02,4.901882e-02,4.899768e-02,4.899163e-02,4.896161e-02,4.893722e-02,4.891143e-02,4.885896e-02,4.884794e-02,4.877191e-02,4.875863e-02,4.868408e-02,4.863794e-02,4.858516e-02,4.849849e-02,4.847583e-02,4.835674e-02,4.834182e-02,4.822852e-02,4.816937e-02,4.809178e-02,4.798250e-02,4.794708e-02,4.779497e-02,4.778250e-02,4.763599e-02,4.757058e-02,4.747063e-02,4.734789e-02,4.729936e-02,4.712265e-02,4.711548e-02,4.694093e-02,4.687436e-02,4.675461e-02,4.662548e-02,4.656408e-02,4.636972e-02,4.610789e-02,4.584077e-02,4.556907e-02,4.529346e-02,4.501457e-02,4.473297e-02,4.444919e-02,4.416375e-02,4.387709e-02,4.358965e-02,4.330183e-02,4.301397e-02,4.272643e-02,4.243951e-02,4.215349e-02,4.186864e-02,4.158520e-02,4.130337e-02,4.102336e-02,4.074536e-02,4.046951e-02,4.019598e-02,3.992488e-02,3.965635e-02
0.000000e+00,7.803471e-11,3.042477e-10,2.292980e-09,8.709274e-09,1.601884e-08,5.937882e-08,6.223941e-08,1.755680e-07,2.256340e-07,4.048998e-07,6.238453e-07,8.133111e-07,1.412859e-06,1.477419e-06,2.486005e-06,2.790095e-06,3.937304e-06,4.981739e-06,5.934100e-06,8.221914e-06,8.576061e-06,1.195010e-05,1.271895e-05,1.612121e-05,1.861870e-05,2.112650e-05,2.598192e-05,2.697346e-05,3.364178e-05,3.478227e-05,4.108720e-05,4.491901e-05,4.924632e-05,5.623567e-05,5.804150e-05,6.738539e-05,6.853915e-05,7.718498e-05,8.161663e-05,8.734504e-05,9.524948e-05,9.777099e-05,1.083712e-04,1.092241e-04,1.190587e-04,1.233397e-04,1.297525e-04,1.374141e-04,1.403786e-04,1.508704e-04,1.512865e-04,1.611690e-04,1.648192e-04,1.712232e-04,1.778979e-04,1.809893e-04,1.904308e-04,1.995180e-04,2.023471e-04,2.082275e-04,2.135949e-04,2.165415e-04,2.241394e-04,2.244477e-04,2.319380e-04,2.339602e-04,2.390087e-04,2.430495e-04,2.456595e-04,2.514097e-04,2.518932e-04,2.577151e-04,2.590519e-04,2.631328e-04,2.659936e-04,2.681557e-04,2.722578e-04,2.727945e-04,2.770614e-04,2.778712e-04,2.809690e-04,2.828635e-04,2.845310e-04,2.872661e-04,2.877612e-04,2.906740e-04,2.911115e-04,2.932836e-04,2.944327e-04,2.956044e-04,2.972627e-04,2.976507e-04,2.994365e-04,2.996340e-04,3.009757e-04,3.015783e-04,3.022816e-04,3.031263e-04,3.033675e-04,3.042459e-04,3.043076e-04,3.049292e-04,3.051506e-04,3.054292e-04,3.056821e-04,3.057573e-04,3.059243e-04,3.059278e-04,3.059406e-04,3.059116e-04,3.058163e-04,3.056563e-04,3.055608e-04,3.051831e-04,3.046919e-04,3.045121e-04,3.040954e-04,3.036620e-04,3.034013e-04,3.026500e-04,3.026170e-04,3.017493e-04,3.014924e-04,3.008050e-04,3.002043e-04,2.997903e-04,2.987995e-04,2.987109e-04,2.975725e-04,2.972911e-04,2.963803e-04,2.956910e-04,2.951391e-04,2.940102e-04,2.938537e-04,2.925284e-04,2.922589e-04,2.911673e-04,2.904467e-04,2.897742e-04,2.885820e-04,2.883528e-04,2.869064e-04,2.866729e-04,2.854383e-04,2.847267e-04,2.839513e-04,2.827501e-04,2.824483e-04,2.809319e-04,2.807492e-04,2.794046e-04,2.787296e-04,2.778685e-04,2.766965e-04,2.763258e-04,2.747785e-04,2.746546e-04,2.732284e-04,2.726080e-04,2.716773e-04,2.705607e-04,2.701267e-04,2.685781e-04,2.685162e-04,2.670329e-04,2.664777e-04,2.654924e-04,2.644480e-04,2.639576e-04,2.624298e-04,2.604253e-04,2.584367e-04,2.564658e-04,2.545142e-04,2.525835e-04,2.506749e-04,2.487896e-04,2.469285e-04,2.450926e-04,2.432824e-04,2.414988e-04,2.397420e-04,2.380127e-04,2.363110e-04,2.346373e-04,2.329917e-04,2.313743e-04,2.297852e-04,2.282243e-04,2.266917e-04,2.251872e-04,2.237106e-04,2.222619e-04,2.208407e-04
0.000000e+00,7.709824e-09,1.934160e-08,7.331354e-08,1.745780e-07,2.590944e-07,6.064420e-07,6.253269e-07,1.234999e-06,1.458726e-06,2.159103e-06,2.898438e-06,3.480416e-06,5.125617e-06,5.290512e-06,7.670401e-06,8.331617e-06,1.065427e-05,1.257875e-05,1.420805e-05,1.774349e-05,1.825158e-05,2.269684e-05,2.362717e-05,2.746819e-05,3.005741e-05,3.250458e-05,3.690298e-05,3.775574e-05,4.317789e-05,4.405859e-05,4.873087e-05,5.143153e-05,5.437658e-05,5.893518e-05,6.007827e-05,6.580046e-05,6.648686e-05,7.150910e-05,7.400823e-05,7.717196e-05,8.142655e-05,8.275901e-05,8.824270e-05,8.867617e-05,9.359829e-05,9.569969e-05,9.880404e-05,1.024488e-04,1.038413e-04,1.086944e-04,1.088845e-04,1.133506e-04,1.149767e-04,1.178002e-04,1.207040e-04,1.220358e-04,1.260527e-04,1.298481e-04,1.310158e-04,1.334215e-04,1.355923e-04,1.367738e-04,1.397862e-04,1.399074e-04,1.428260e-04,1.436053e-04,1.455344e-04,1.470607e-04,1.480380e-04,1.501659e-04,1.503431e-04,1.524566e-04,1.529360e-04,1.543854e-04,1.553876e-04,1.561370e-04,1.575380e-04,1.577191e-04,1.591393e-04,1.594046e-04,1.604053e-04,1.610052e-04,1.615248e-04,1.623574e-04,1.625053e-04,1.633542e-04,1.634783e-04,1.640789e-04,1.643847e-04,1.646864e-04,1.650926e-04,1.651836e-04,1.655770e-04,1.656175e-04,1.658731e-04,1.659742e-04,1.660781e-04,1.661765e-04,1.661978e-04,1.662379e-04,1.662379e-04,1.662038e-04,1.661706e-04,1.661007e-04,1.659865e-04,1.659335e-04,1.657068e-04,1.656966e-04,1.654251e-04,1.653111e-04,1.650927e-04,1.648397e-04,1.647135e-04,1.642913e-04,1.638298e-04,1.636743e-04,1.633322e-04,1.629964e-04,1.628020e-04,1.622648e-04,1.622419e-04,1.616550e-04,1.614862e-04,1.610438e-04,1.606666e-04,1.604110e-04,1.598118e-04,1.597589e-04,1.590898e-04,1.589269e-04,1.584056e-04,1.580167e-04,1.577085e-04,1.570858e-04,1.570003e-04,1.562826e-04,1.561380e-04,1.555571e-04,1.551772e-04,1.548252e-04,1.542067e-04,1.540885e-04,1.533482e-04,1.532295e-04,1.526056e-04,1.522486e-04,1.518617e-04,1.512664e-04,1.511176e-04,1.503743e-04,1.502852e-04,1.496327e-04,1.493072e-04,1.488937e-04,1.483341e-04,1.481579e-04,1.474262e-04,1.473678e-04,1.466991e-04,1.464097e-04,1.459773e-04,1.454611e-04,1.452613e-04,1.445516e-04,1.445233e-04,1.438487e-04,1.435973e-04,1.431529e-04,1.426841e-04,1.424647e-04,1.417843e-04,1.408989e-04,1.400282e-04,1.391729e-04,1.383334e-04,1.375099e-04,1.367029e-04,1.359124e-04,1.351387e-04,1.343818e-04,1.336418e-04,1.329187e-04,1.322125e-04,1.315231e-04,1.308503e-04,1.301942e-04,1.295544e-04,1.289309e-04,1.283234e-04,1.277318e-04,1.271557e-04,1.265950e-04,1.260493e-04,1.255185e-04,1.250023e-04
0.000000e+00,1.170002e-11,4.455920e-11,3.197189e-10,1.160468e-09,2.081343e-09,7.222636e-09,7.550090e-09,1.992132e-08,2.513620e-08,4.305584e-08,6.386509e-08,8.121325e-08,1.334070e-07,1.388390e-07,2.203926e-07,2.440093e-07,3.301633e-07,4.054219e-07,4.719929e-07,6.257045e-07,6.488422e-07,8.622345e-07,9.093000e-07,1.111766e-06,1.255052e-06,1.394928e-06,1.655605e-06,1.707329e-06,2.043226e-06,2.098722e-06,2.396152e-06,2.569657e-06,2.759500e-06,3.053431e-06,3.126972e-06,3.492880e-06,3.536442e-06,3.852308e-06,4.007322e-06,4.201178e-06,4.457235e-06,4.536250e-06,4.855070e-06,4.879817e-06,5.155898e-06,5.270924e-06,5.437622e-06,5.628291e-06,5.699664e-06,5.941897e-06,5.951177e-06,6.164558e-06,6.240018e-06,6.368171e-06,6.496120e-06,6.553480e-06,6.721390e-06,6.872913e-06,6.918114e-06,7.009125e-06,7.088774e-06,7.131129e-06,7.235912e-06,7.240030e-06,7.336910e-06,7.362025e-06,7.422810e-06,7.469494e-06,7.498721e-06,7.560537e-06,7.565572e-06,7.624230e-06,7.637179e-06,7.675493e-06,7.701245e-06,7.720092e-06,7.754360e-06,7.758696e-06,7.791909e-06,7.797953e-06,7.820274e-06,7.833274e-06,7.844283e-06,7.861407e-06,7.864375e-06,7.880943e-06,7.883292e-06,7.894340e-06,7.899738e-06,7.904879e-06,7.911442e-06,7.912840e-06,7.918472e-06,7.919003e-06,7.921998e-06,7.922934e-06,7.923616e-06,7.923680e-06,7.923504e-06,7.921822e-06,7.921624e-06,7.918711e-06,7.917096e-06,7.914301e-06,7.910386e-06,7.908706e-06,7.902031e-06,7.901743e-06,7.894371e-06,7.891389e-06,7.885812e-06,7.879517e-06,7.876431e-06,7.866299e-06,7.855483e-06,7.851887e-06,7.844042e-06,7.836416e-06,7.832030e-06,7.820009e-06,7.819499e-06,7.806495e-06,7.802775e-06,7.793062e-06,7.784813e-06,7.779240e-06,7.766212e-06,7.765066e-06,7.750576e-06,7.747054e-06,7.735800e-06,7.727412e-06,7.720769e-06,7.707353e-06,7.705511e-06,7.690053e-06,7.686940e-06,7.674419e-06,7.666227e-06,7.658631e-06,7.645267e-06,7.642712e-06,7.626682e-06,7.624108e-06,7.610558e-06,7.602791e-06,7.594360e-06,7.581358e-06,7.578103e-06,7.561803e-06,7.559844e-06,7.545474e-06,7.538284e-06,7.529131e-06,7.516708e-06,7.512785e-06,7.496450e-06,7.495144e-06,7.480136e-06,7.473618e-06,7.463853e-06,7.452154e-06,7.447611e-06,7.431421e-06,7.430775e-06,7.415290e-06,7.409499e-06,7.399226e-06,7.388345e-06,7.383237e-06,7.367330e-06,7.346469e-06,7.325777e-06,7.305264e-06,7.284944e-06,7.264825e-06,7.244918e-06,7.225230e-06,7.205769e-06,7.186542e-06,7.167554e-06,7.148810e-06,7.130316e-06,7.112074e-06,7.094088e-06,7.076361e-06,7.058895e-06,7.041692e-06,7.024752e-06,7.008077e-06,6.991668e-06,6.975524e-06,6.959646e-06,6.944033e-06,6.928685e-06
0.000000e+00,5.302469e-11,1.972436e-10,1.349044e-09,4.694490e-09,8.234022e-09,2.707259e-08,2.824171e-08,7.115020e-08,8.878945e-08,1.484140e-07,2.166226e-07,2.730555e-07,4.415591e-07,4.590024e-07,7.182118e-07,7.921107e-07,1.056045e-06,1.278529e-06,1.468769e-06,1.885186e-06,1.945257e-06,2.470801e-06,2.580460e-06,3.030463e-06,3.330474e-06,3.610970e-06,4.106612e-06,4.201351e-06,4.792819e-06,4.887066e-06,5.378366e-06,5.655618e-06,5.952317e-06,6.399960e-06,6.509998e-06,7.047522e-06,7.110510e-06,7.561673e-06,7.779806e-06,8.049866e-06,8.402299e-06,8.510134e-06,8.941115e-06,8.974302e-06,9.342044e-06,9.493936e-06,9.712709e-06,9.960993e-06,1.005340e-05,1.036484e-05,1.037671e-05,1.064813e-05,1.074347e-05,1.090461e-05,1.106450e-05,1.113585e-05,1.134354e-05,1.152941e-05,1.158457e-05,1.169523e-05,1.179162e-05,1.184271e-05,1.196858e-05,1.197351e-05,1.208919e-05,1.211907e-05,1.219120e-05,1.224641e-05,1.228088e-05,1.235357e-05,1.235947e-05,1.242807e-05,1.244316e-05,1.248768e-05,1.251746e-05,1.253918e-05,1.257844e-05,1.258339e-05,1.262099e-05,1.262778e-05,1.265263e-05,1.266691e-05,1.267886e-05,1.269706e-05,1.270016e-05,1.271697e-05,1.271927e-05,1.272967e-05,1.273442e-05,1.273862e-05,1.274327e-05,1.274411e-05,1.274641e-05,1.274649e-05,1.274578e-05,1.274463e-05,1.274243e-05,1.273819e-05,1.273657e-05,1.272836e-05,1.272761e-05,1.271799e-05,1.271327e-05,1.270559e-05,1.269549e-05,1.269131e-05,1.267527e-05,1.267460e-05,1.265760e-05,1.265086e-05,1.263839e-05,1.262451e-05,1.261776e-05,1.259579e-05,1.257257e-05,1.256489e-05,1.254819e-05,1.253201e-05,1.252272e-05,1.249731e-05,1.249624e-05,1.246881e-05,1.246097e-05,1.244049e-05,1.242311e-05,1.241136e-05,1.238388e-05,1.238146e-05,1.235085e-05,1.234341e-05,1.231959e-05,1.230180e-05,1.228771e-05,1.225918e-05,1.225526e-05,1.222229e-05,1.221564e-05,1.218885e-05,1.217128e-05,1.215496e-05,1.212617e-05,1.212066e-05,1.208599e-05,1.208042e-05,1.205099e-05,1.203408e-05,1.201569e-05,1.198724e-05,1.198010e-05,1.194427e-05,1.193996e-05,1.190823e-05,1.189230e-05,1.187199e-05,1.184433e-05,1.183557e-05,1.179902e-05,1.179609e-05,1.176234e-05,1.174764e-05,1.172556e-05,1.169902e-05,1.168869e-05,1.165176e-05,1.165028e-05,1.161479e-05,1.160147e-05,1.157779e-05,1.155262e-05,1.154077e-05,1.150376e-05,1.145494e-05,1.140618e-05,1.135751e-05,1.130897e-05,1.126057e-05,1.121235e-05,1.116432e-05,1.111650e-05,1.106892e-05,1.102159e-05,1.097453e-05,1.092775e-05,1.088128e-05,1.083512e-05,1.078928e-05,1.074378e-05,1.069863e-05,1.065383e-05,1.060940e-05,1.056534e-05,1.052166e-05,1.047837e-05,1.043547e-05,1.039297e-05
0.000000e+00,8.018319e-11,3.078904e-10,2.251892e-09,8.341984e-09,1.515096e-08,5.460065e-08,5.717409e-08,1.580806e-07,2.023646e-07,3.606712e-07,5.542678e-07,7.221653e-07,1.254148e-06,1.311359e-06,2.198904e-06,2.463497e-06,3.447175e-06,4.322860e-06,5.105975e-06,6.935290e-06,7.212723e-06,9.794008e-06,1.036887e-05,1.286700e-05,1.466248e-05,1.644038e-05,1.982948e-05,2.051488e-05,2.508370e-05,2.585974e-05,3.013286e-05,3.272127e-05,3.564176e-05,4.036216e-05,4.158375e-05,4.792698e-05,4.871346e-05,5.463531e-05,5.769256e-05,6.166925e-05,6.720713e-05,6.898697e-05,7.654531e-05,7.715906e-05,8.430061e-05,8.744816e-05,9.220960e-05,9.797547e-05,1.002300e-04,1.083214e-04,1.086459e-04,1.164451e-04,1.193706e-04,1.245653e-04,1.300678e-04,1.326486e-04,1.406646e-04,1.485859e-04,1.510966e-04,1.563879e-04,1.613085e-04,1.640490e-04,1.712536e-04,1.715503e-04,1.788757e-04,1.808934e-04,1.860116e-04,1.901973e-04,1.929465e-04,1.991413e-04,1.996714e-04,2.061792e-04,2.077082e-04,2.124646e-04,2.158858e-04,2.185239e-04,2.236672e-04,2.243549e-04,2.299567e-04,2.310495e-04,2.353296e-04,2.380335e-04,2.404749e-04,2.446227e-04,2.453949e-04,2.500924e-04,2.508236e-04,2.545711e-04,2.566444e-04,2.588352e-04,2.620950e-04,2.628893e-04,2.667383e-04,2.671867e-04,2.703877e-04,2.719317e-04,2.738431e-04,2.763428e-04,2.771101e-04,2.801946e-04,2.804337e-04,2.831026e-04,2.842178e-04,2.858402e-04,2.877091e-04,2.884133e-04,2.908280e-04,2.909214e-04,2.930902e-04,2.938684e-04,2.952058e-04,2.965636e-04,2.971806e-04,2.990203e-04,3.007305e-04,3.012513e-04,3.023166e-04,3.032691e-04,3.037840e-04,3.050857e-04,3.051377e-04,3.063829e-04,3.067128e-04,3.075244e-04,3.081615e-04,3.085670e-04,3.094426e-04,3.095151e-04,3.103732e-04,3.105662e-04,3.111455e-04,3.115420e-04,3.118361e-04,3.123794e-04,3.124490e-04,3.129879e-04,3.130872e-04,3.134566e-04,3.136736e-04,3.138584e-04,3.141467e-04,3.141967e-04,3.144748e-04,3.145139e-04,3.146957e-04,3.147823e-04,3.148624e-04,3.149586e-04,3.149777e-04,3.150443e-04,3.150492e-04,3.150648e-04,3.150599e-04,3.150417e-04,3.149964e-04,3.149774e-04,3.148740e-04,3.148641e-04,3.147337e-04,3.146678e-04,3.145587e-04,3.144122e-04,3.143508e-04,3.141119e-04,3.141018e-04,3.138439e-04,3.137406e-04,3.135485e-04,3.133327e-04,3.132271e-04,3.128815e-04,3.123906e-04,3.118632e-04,3.113022e-04,3.107105e-04,3.100908e-04,3.094455e-04,3.087769e-04,3.080873e-04,3.073787e-04,3.066530e-04,3.059120e-04,3.051573e-04,3.043906e-04,3.036133e-04,3.028268e-04,3.020323e-04,3.012312e-04,3.004244e-04,2.996131e-04,2.987982e-04,2.979806e-04,2.971612e-04,2.963408e-04,2.955202e-04
0.000000e+00,3.658586e-09,8.834161e-09,3.200579e-08,7.432182e-08,1.091057e-07,2.493901e-07,2.569282e-07,4.968594e-07,5.835305e-07,8.510718e-07,1.128222e-06,1.343138e-06,1.937810e-06,1.996495e-06,2.828245e-06,3.054920e-06,3.838681e-06,4.475404e-06,5.006804e-06,6.139249e-06,6.299921e-06,7.686237e-06,7.972295e-06,9.139770e-06,9.915117e-06,1.063974e-05,1.192279e-05,1.216873e-05,1.371139e-05,1.395853e-05,1.525371e-05,1.599008e-05,1.678280e-05,1.798861e-05,1.828691e-05,1.975546e-05,1.992885e-05,2.117925e-05,2.178946e-05,2.255044e-05,2.355340e-05,2.386267e-05,2.511098e-05,2.520797e-05,2.629178e-05,2.674465e-05,2.740276e-05,2.815871e-05,2.844270e-05,2.941136e-05,2.944863e-05,3.030941e-05,3.061566e-05,3.113816e-05,3.166307e-05,3.189949e-05,3.259570e-05,3.322948e-05,3.341957e-05,3.380369e-05,3.414132e-05,3.432137e-05,3.476805e-05,3.478563e-05,3.519962e-05,3.530694e-05,3.556642e-05,3.576513e-05,3.588910e-05,3.614955e-05,3.617062e-05,3.641386e-05,3.646685e-05,3.662156e-05,3.672332e-05,3.679631e-05,3.692478e-05,3.694055e-05,3.705660e-05,3.707662e-05,3.714662e-05,3.718383e-05,3.721267e-05,3.725101e-05,3.725664e-05,3.728032e-05,3.728234e-05,3.728536e-05,3.728161e-05,3.727330e-05,3.725230e-05,3.724557e-05,3.720350e-05,3.719755e-05,3.714833e-05,3.712020e-05,3.708119e-05,3.702282e-05,3.700315e-05,3.691517e-05,3.690774e-05,3.681818e-05,3.677704e-05,3.671300e-05,3.663264e-05,3.660041e-05,3.648113e-05,3.647623e-05,3.635581e-05,3.630934e-05,3.622508e-05,3.613338e-05,3.608950e-05,3.594959e-05,3.580583e-05,3.575909e-05,3.565868e-05,3.556290e-05,3.550853e-05,3.536194e-05,3.535579e-05,3.520079e-05,3.515703e-05,3.504386e-05,3.494890e-05,3.488530e-05,3.473823e-05,3.472540e-05,3.456439e-05,3.452562e-05,3.440254e-05,3.431160e-05,3.424004e-05,3.409667e-05,3.407710e-05,3.391390e-05,3.388125e-05,3.375063e-05,3.366574e-05,3.358742e-05,3.345049e-05,3.342444e-05,3.326180e-05,3.323582e-05,3.309964e-05,3.302201e-05,3.293807e-05,3.280931e-05,3.277719e-05,3.261709e-05,3.259794e-05,3.245787e-05,3.238810e-05,3.229959e-05,3.217998e-05,3.214234e-05,3.198617e-05,3.197373e-05,3.183116e-05,3.176949e-05,3.167734e-05,3.156737e-05,3.152478e-05,3.137352e-05,3.136749e-05,3.122359e-05,3.116995e-05,3.107503e-05,3.097481e-05,3.092788e-05,3.078216e-05,3.059204e-05,3.040452e-05,3.021962e-05,3.003738e-05,2.985784e-05,2.968100e-05,2.950689e-05,2.933550e-05,2.916685e-05,2.900093e-05,2.883774e-05,2.867726e-05,2.851950e-05,2.836443e-05,2.821203e-05,2.806230e-05,2.791519e-05,2.777070e-05,2.762880e-05,2.748945e-05,2.735264e-05,2.721833e-05,2.708649e-05,2.695709e-05
0.000000e+00,5.672882e-10,1.699404e-09,8.034707e-09,2.146791e-08,3.330848e-08,8.430748e-08,8.713803e-08,1.796839e-07,2.138673e-07,3.206726e-07,4.324541e-07,5.195384e-07,7.614322e-07,7.853638e-07,1.126246e-06,1.219934e-06,1.547929e-06,1.820372e-06,2.052751e-06,2.565373e-06,2.640162e-06,3.308037e-06,3.451024e-06,4.053488e-06,4.470652e-06,4.873042e-06,5.615750e-06,5.762593e-06,6.717352e-06,6.875809e-06,7.731867e-06,8.238306e-06,8.800098e-06,9.688999e-06,9.915540e-06,1.107136e-05,1.121244e-05,1.226057e-05,1.279259e-05,1.347615e-05,1.441337e-05,1.471120e-05,1.595906e-05,1.605925e-05,1.721342e-05,1.771564e-05,1.846837e-05,1.936923e-05,1.971847e-05,2.095879e-05,2.100813e-05,2.218490e-05,2.262206e-05,2.339291e-05,2.420227e-05,2.457942e-05,2.574151e-05,2.687673e-05,2.723397e-05,2.798302e-05,2.867510e-05,2.905875e-05,3.006148e-05,3.010261e-05,3.111360e-05,3.139069e-05,3.209103e-05,3.266116e-05,3.303440e-05,3.387201e-05,3.394347e-05,3.481817e-05,3.502299e-05,3.565858e-05,3.611432e-05,3.646494e-05,3.714662e-05,3.723757e-05,3.797691e-05,3.812083e-05,3.868349e-05,3.903814e-05,3.935787e-05,3.989994e-05,4.000070e-05,4.061266e-05,4.070775e-05,4.119445e-05,4.146321e-05,4.174682e-05,4.216803e-05,4.227052e-05,4.276632e-05,4.282397e-05,4.323500e-05,4.343283e-05,4.367734e-05,4.399639e-05,4.409413e-05,4.448614e-05,4.451645e-05,4.485415e-05,4.499480e-05,4.519891e-05,4.543318e-05,4.552119e-05,4.582174e-05,4.583332e-05,4.610128e-05,4.619691e-05,4.636054e-05,4.652562e-05,4.660023e-05,4.682104e-05,4.702364e-05,4.708474e-05,4.720870e-05,4.731824e-05,4.737688e-05,4.752301e-05,4.752879e-05,4.766505e-05,4.770049e-05,4.778627e-05,4.785203e-05,4.789303e-05,4.797897e-05,4.798590e-05,4.806543e-05,4.808259e-05,4.813215e-05,4.816412e-05,4.818659e-05,4.822475e-05,4.822926e-05,4.826065e-05,4.826561e-05,4.828122e-05,4.828781e-05,4.829146e-05,4.829239e-05,4.829179e-05,4.828267e-05,4.828036e-05,4.826450e-05,4.825269e-05,4.823770e-05,4.821030e-05,4.820265e-05,4.815975e-05,4.815409e-05,4.810935e-05,4.808489e-05,4.805181e-05,4.800352e-05,4.798748e-05,4.791669e-05,4.791076e-05,4.783976e-05,4.780734e-05,4.775700e-05,4.769397e-05,4.766871e-05,4.757518e-05,4.757133e-05,4.747668e-05,4.744006e-05,4.737349e-05,4.730077e-05,4.726586e-05,4.715405e-05,4.700044e-05,4.684049e-05,4.667470e-05,4.650353e-05,4.632746e-05,4.614690e-05,4.596227e-05,4.577396e-05,4.558234e-05,4.538776e-05,4.519054e-05,4.499101e-05,4.478945e-05,4.458615e-05,4.438137e-05,4.417536e-05,4.396837e-05,4.376060e-05,4.355227e-05,4.334358e-05,4.313471e-05,4.292584e-05,4.271713e-05,4.250873e-05
0.000000e+00,2.991598e-11,1.142607e-10,8.256790e-10,3.021502e-09,5.448112e-09,1.923307e-08,2.012146e-08,5.434216e-08,6.908725e-08,1.209138e-07,1.829958e-07,2.360634e-07,4.014272e-07,4.190442e-07,6.900328e-07,7.702084e-07,1.066451e-06,1.327941e-06,1.560042e-06,2.095741e-06,2.176191e-06,2.914868e-06,3.077007e-06,3.772028e-06,4.262394e-06,4.740850e-06,5.634631e-06,5.812637e-06,6.977411e-06,7.171688e-06,8.224313e-06,8.848654e-06,9.541902e-06,1.063895e-05,1.091839e-05,1.234190e-05,1.251532e-05,1.380064e-05,1.445067e-05,1.528315e-05,1.641900e-05,1.677849e-05,1.827641e-05,1.839606e-05,1.976744e-05,2.035998e-05,2.124305e-05,2.229164e-05,2.269565e-05,2.411863e-05,2.417485e-05,2.550636e-05,2.599638e-05,2.685415e-05,2.774586e-05,2.815820e-05,2.941555e-05,3.062398e-05,3.100008e-05,3.178197e-05,3.249613e-05,3.288854e-05,3.390208e-05,3.394327e-05,3.494614e-05,3.521769e-05,3.589751e-05,3.644388e-05,3.679805e-05,3.758241e-05,3.764865e-05,3.845042e-05,3.863572e-05,3.920463e-05,3.960671e-05,3.991264e-05,4.049864e-05,4.057592e-05,4.119599e-05,4.131495e-05,4.177439e-05,4.205923e-05,4.231272e-05,4.273510e-05,4.281256e-05,4.327547e-05,4.334621e-05,4.370301e-05,4.389612e-05,4.409673e-05,4.438834e-05,4.445810e-05,4.478861e-05,4.482627e-05,4.508968e-05,4.521318e-05,4.536269e-05,4.555223e-05,4.560898e-05,4.582984e-05,4.584645e-05,4.602653e-05,4.609871e-05,4.620026e-05,4.631177e-05,4.635217e-05,4.648340e-05,4.648823e-05,4.659500e-05,4.663058e-05,4.668802e-05,4.674115e-05,4.676342e-05,4.682217e-05,4.686517e-05,4.687575e-05,4.689328e-05,4.690384e-05,4.690733e-05,4.690833e-05,4.690812e-05,4.689640e-05,4.689098e-05,4.687290e-05,4.685343e-05,4.683830e-05,4.679725e-05,4.679328e-05,4.673845e-05,4.672390e-05,4.667441e-05,4.663475e-05,4.660175e-05,4.653110e-05,4.652100e-05,4.643269e-05,4.641417e-05,4.633731e-05,4.628508e-05,4.623533e-05,4.614490e-05,4.612720e-05,4.601335e-05,4.599463e-05,4.589418e-05,4.583520e-05,4.577007e-05,4.566749e-05,4.564141e-05,4.550853e-05,4.549231e-05,4.537176e-05,4.531044e-05,4.523143e-05,4.512257e-05,4.508783e-05,4.494124e-05,4.492939e-05,4.479193e-05,4.473150e-05,4.464016e-05,4.452950e-05,4.448617e-05,4.433019e-05,4.432391e-05,4.417243e-05,4.411524e-05,4.401310e-05,4.390397e-05,4.385240e-05,4.369052e-05,4.347529e-05,4.325868e-05,4.304101e-05,4.282263e-05,4.260381e-05,4.238485e-05,4.216599e-05,4.194748e-05,4.172952e-05,4.151232e-05,4.129607e-05,4.108092e-05,4.086704e-05,4.065457e-05,4.044363e-05,4.023435e-05,4.002682e-05,3.982115e-05,3.961742e-05,3.941570e-05,3.921608e-05,3.901860e-05,3.882333e-05,3.863031e-05
