0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,6.405973e-12,3.173683e-11,3.347300e-10,1.560184e-09,3.132322e-09,1.380568e-08,1.455474e-08,4.624288e-08,6.100523e-08,1.158689e-07,1.854579e-07,2.470995e-07,4.474128e-07,4.693244e-07,8.171497e-07,9.235435e-07,1.329038e-06,1.702060e-06,2.044139e-06,2.869438e-06,2.997352e-06,4.214377e-06,4.490855e-06,5.708712e-06,6.596115e-06,7.481212e-06,9.177789e-06,9.521536e-06,1.181052e-05,1.219820e-05,1.432269e-05,1.559926e-05,1.702856e-05,1.931144e-05,1.989641e-05,2.289369e-05,2.326052e-05,2.598811e-05,2.737232e-05,2.914840e-05,3.157595e-05,3.234489e-05,3.554992e-05,3.580591e-05,3.873816e-05,4.000357e-05,4.188684e-05,4.411798e-05,4.497582e-05,4.798768e-05,4.810633e-05,5.090765e-05,5.193392e-05,5.372355e-05,5.557387e-05,5.642567e-05,5.900661e-05,6.146105e-05,6.221915e-05,6.378558e-05,6.520423e-05,6.597844e-05,6.795945e-05,6.803936e-05,6.996928e-05,7.048644e-05,7.177022e-05,7.279002e-05,7.344501e-05,7.487743e-05,7.499719e-05,7.643080e-05,7.675772e-05,7.775031e-05,7.844115e-05,7.896045e-05,7.993880e-05,8.006613e-05,8.107239e-05,8.126215e-05,8.198427e-05,8.242283e-05,8.280683e-05,8.343240e-05,8.354505e-05,8.420379e-05,8.430213e-05,8.478780e-05,8.504291e-05,8.530162e-05,8.566512e-05,8.574967e-05,8.613617e-05,8.617861e-05,8.646519e-05,8.659274e-05,8.674056e-05,8.691624e-05,8.696597e-05,8.714490e-05,8.715731e-05,8.728064e-05,8.732354e-05,8.737630e-05,8.742202e-05,8.743482e-05,8.745898e-05,8.745927e-05,8.745138e-05,8.744136e-05,8.741450e-05,8.737388e-05,8.735065e-05,8.726199e-05,8.715056e-05,8.711042e-05,8.701829e-05,8.692352e-05,8.686695e-05,8.670528e-05,8.669822e-05,8.651367e-05,8.645936e-05,8.631476e-05,8.618910e-05,8.610287e-05,8.589757e-05,8.587928e-05,8.564519e-05,8.558756e-05,8.540170e-05,8.526163e-05,8.514986e-05,8.492211e-05,8.489064e-05,8.462495e-05,8.457111e-05,8.435361e-05,8.421055e-05,8.407743e-05,8.384221e-05,8.379711e-05,8.351333e-05,8.346765e-05,8.322673e-05,8.308833e-05,8.293789e-05,8.270555e-05,8.264733e-05,8.235556e-05,8.232049e-05,8.206304e-05,8.193421e-05,8.177020e-05,8.154766e-05,8.147742e-05,8.118507e-05,8.116171e-05,8.089348e-05,8.077713e-05,8.060296e-05,8.039461e-05,8.031379e-05,8.002623e-05,8.001476e-05,7.974051e-05,7.963814e-05,7.945684e-05,7.926523e-05,7.917543e-05,7.889645e-05,7.853219e-05,7.817277e-05,7.781848e-05,7.746957e-05,7.712623e-05,7.678865e-05,7.645697e-05,7.613131e-05,7.581178e-05,7.549843e-05,7.519132e-05,7.489049e-05,7.459595e-05,7.430771e-05,7.402575e-05,7.375005e-05,7.348058e-05,7.321729e-05,7.296013e-05,7.270905e-05,7.246397e-05,7.222482e-05,7.199153e-05,7.176401e-05
0.000000e+00,2.921813e-09,6.889797e-09,2.444599e-08,5.646029e-08,8.285951e-08,1.902170e-07,1.960239e-07,3.826267e-07,4.507987e-07,6.634557e-07,8.868865e-07,1.062078e-06,1.554336e-06,1.603445e-06,2.308133e-06,2.502729e-06,3.183181e-06,3.744327e-06,4.218250e-06,5.244946e-06,5.392437e-06,6.683501e-06,6.953978e-06,8.072130e-06,8.827322e-06,9.542201e-06,1.082979e-05,1.107982e-05,1.267241e-05,1.293152e-05,1.430815e-05,1.510530e-05,1.597575e-05,1.732546e-05,1.766436e-05,1.936365e-05,1.956781e-05,2.106388e-05,2.180992e-05,2.275601e-05,2.403153e-05,2.443183e-05,2.608395e-05,2.621489e-05,2.770588e-05,2.834493e-05,2.929206e-05,3.040928e-05,3.083777e-05,3.233921e-05,3.239830e-05,3.379331e-05,3.430470e-05,3.519759e-05,3.612314e-05,3.655033e-05,3.785036e-05,3.909700e-05,3.948460e-05,4.029000e-05,4.102542e-05,4.142950e-05,4.247348e-05,4.251592e-05,4.354994e-05,4.383019e-05,4.453243e-05,4.509762e-05,4.546445e-05,4.627836e-05,4.634719e-05,4.718196e-05,4.737531e-05,4.797010e-05,4.839163e-05,4.871306e-05,4.933063e-05,4.941227e-05,5.006924e-05,5.019570e-05,5.068544e-05,5.099025e-05,5.126237e-05,5.171770e-05,5.180148e-05,5.230425e-05,5.238142e-05,5.277210e-05,5.298468e-05,5.320644e-05,5.353071e-05,5.360864e-05,5.398004e-05,5.402260e-05,5.432195e-05,5.446337e-05,5.463563e-05,5.485590e-05,5.492231e-05,5.518318e-05,5.520297e-05,5.541940e-05,5.550723e-05,5.563208e-05,5.577123e-05,5.582228e-05,5.599106e-05,5.599738e-05,5.613941e-05,5.618800e-05,5.626829e-05,5.634528e-05,5.637863e-05,5.647133e-05,5.654723e-05,5.656811e-05,5.660718e-05,5.663753e-05,5.665195e-05,5.668137e-05,5.668232e-05,5.669900e-05,5.670132e-05,5.670271e-05,5.669899e-05,5.669412e-05,5.667591e-05,5.667387e-05,5.664258e-05,5.663350e-05,5.660085e-05,5.657312e-05,5.654923e-05,5.649607e-05,5.648828e-05,5.641852e-05,5.640356e-05,5.634045e-05,5.629673e-05,5.625454e-05,5.617666e-05,5.616125e-05,5.606102e-05,5.604437e-05,5.595427e-05,5.590083e-05,5.584139e-05,5.574694e-05,5.572277e-05,5.559878e-05,5.558355e-05,5.546975e-05,5.541148e-05,5.533604e-05,5.523147e-05,5.519794e-05,5.505577e-05,5.504423e-05,5.490982e-05,5.485044e-05,5.476036e-05,5.465073e-05,5.460767e-05,5.445198e-05,5.444569e-05,5.429354e-05,5.423587e-05,5.413258e-05,5.402179e-05,5.396931e-05,5.380395e-05,5.358280e-05,5.335878e-05,5.313228e-05,5.290368e-05,5.267333e-05,5.244157e-05,5.220871e-05,5.197503e-05,5.174079e-05,5.150626e-05,5.127166e-05,5.103721e-05,5.080312e-05,5.056957e-05,5.033673e-05,5.010477e-05,4.987383e-05,4.964405e-05,4.941557e-05,4.918850e-05,4.896294e-05,4.873899e-05,4.851676e-05,4.829631e-05
0.000000e+00,1.220384e-08,2.806189e-08,9.716987e-08,2.226189e-07,3.263191e-07,7.526759e-07,7.759687e-07,1.536930e-06,1.820601e-06,2.722142e-06,3.690832e-06,4.460626e-06,6.639373e-06,6.856273e-06,9.924077e-06,1.075289e-05,1.358688e-05,1.585831e-05,1.773966e-05,2.172836e-05,2.229364e-05,2.718162e-05,2.819445e-05,3.235028e-05,3.513338e-05,3.775329e-05,4.244126e-05,4.334743e-05,4.909090e-05,5.002098e-05,5.494301e-05,5.777902e-05,6.086455e-05,6.562667e-05,6.681829e-05,7.276954e-05,7.348199e-05,7.868669e-05,8.127202e-05,8.454138e-05,8.893364e-05,9.030862e-05,9.596718e-05,9.641461e-05,1.014991e-04,1.036730e-04,1.068897e-04,1.106766e-04,1.121271e-04,1.172020e-04,1.174015e-04,1.221076e-04,1.238311e-04,1.268389e-04,1.299549e-04,1.313927e-04,1.357675e-04,1.399628e-04,1.412674e-04,1.439791e-04,1.464562e-04,1.478179e-04,1.513382e-04,1.514814e-04,1.549723e-04,1.559192e-04,1.582938e-04,1.602068e-04,1.614494e-04,1.642093e-04,1.644429e-04,1.672785e-04,1.679359e-04,1.699601e-04,1.713963e-04,1.724923e-04,1.746003e-04,1.748792e-04,1.771253e-04,1.775580e-04,1.792350e-04,1.802797e-04,1.812128e-04,1.827753e-04,1.830629e-04,1.847897e-04,1.850548e-04,1.863975e-04,1.871282e-04,1.878905e-04,1.890051e-04,1.892729e-04,1.905486e-04,1.906947e-04,1.917217e-04,1.922064e-04,1.927961e-04,1.935490e-04,1.937756e-04,1.946638e-04,1.947311e-04,1.954645e-04,1.957610e-04,1.961811e-04,1.966469e-04,1.968170e-04,1.973756e-04,1.973964e-04,1.978601e-04,1.980170e-04,1.982737e-04,1.985160e-04,1.986194e-04,1.989002e-04,1.991189e-04,1.991762e-04,1.992783e-04,1.993505e-04,1.993811e-04,1.994289e-04,1.994299e-04,1.994271e-04,1.994174e-04,1.993753e-04,1.993216e-04,1.992767e-04,1.991467e-04,1.991337e-04,1.989483e-04,1.988978e-04,1.987228e-04,1.985797e-04,1.984591e-04,1.981971e-04,1.981592e-04,1.978251e-04,1.977543e-04,1.974584e-04,1.972555e-04,1.970610e-04,1.967047e-04,1.966346e-04,1.961807e-04,1.961056e-04,1.957010e-04,1.954620e-04,1.951969e-04,1.947771e-04,1.946699e-04,1.941214e-04,1.940541e-04,1.935526e-04,1.932963e-04,1.929650e-04,1.925065e-04,1.923597e-04,1.917378e-04,1.916874e-04,1.911006e-04,1.908417e-04,1.904491e-04,1.899718e-04,1.897844e-04,1.891073e-04,1.890800e-04,1.884190e-04,1.881687e-04,1.877203e-04,1.872397e-04,1.870121e-04,1.862953e-04,1.853371e-04,1.843669e-04,1.833864e-04,1.823972e-04,1.814006e-04,1.803981e-04,1.793910e-04,1.783804e-04,1.773675e-04,1.763533e-04,1.753389e-04,1.743252e-04,1.733130e-04,1.723031e-04,1.712963e-04,1.702933e-04,1.692947e-04,1.683012e-04,1.673133e-04,1.663315e-04,1.653562e-04,1.643880e-04,1.634271e-04,1.624741e-04
0.000000e+00,1.780107e-11,8.438117e-11,8.139135e-10,3.507538e-09,6.754558e-09,2.687348e-08,2.821882e-08,8.174385e-08,1.053507e-07,1.893855e-07,2.911197e-07,3.785668e-07,6.530463e-07,6.824611e-07,1.139736e-06,1.276903e-06,1.791430e-06,2.255095e-06,2.673090e-06,3.655094e-06,3.804069e-06,5.180281e-06,5.482933e-06,6.775104e-06,7.677312e-06,8.546889e-06,1.013724e-05,1.044821e-05,1.243309e-05,1.275563e-05,1.446112e-05,1.543982e-05,1.649886e-05,1.811796e-05,1.851972e-05,2.050305e-05,2.073773e-05,2.243313e-05,2.326234e-05,2.429818e-05,2.566673e-05,2.608960e-05,2.780133e-05,2.793470e-05,2.942944e-05,3.005672e-05,3.097168e-05,3.202840e-05,3.242720e-05,3.379633e-05,3.384931e-05,3.508028e-05,3.552200e-05,3.628098e-05,3.705116e-05,3.740092e-05,3.844299e-05,3.941036e-05,3.970468e-05,4.030639e-05,4.084401e-05,4.113455e-05,4.186900e-05,4.189836e-05,4.260131e-05,4.278769e-05,4.324682e-05,4.360795e-05,4.383824e-05,4.433734e-05,4.437879e-05,4.487157e-05,4.498306e-05,4.531955e-05,4.555190e-05,4.572554e-05,4.605020e-05,4.609221e-05,4.642209e-05,4.648387e-05,4.671756e-05,4.685836e-05,4.698087e-05,4.717874e-05,4.721413e-05,4.741932e-05,4.744967e-05,4.759829e-05,4.767541e-05,4.775281e-05,4.785992e-05,4.788451e-05,4.799491e-05,4.800680e-05,4.808546e-05,4.811936e-05,4.815750e-05,4.820065e-05,4.821228e-05,4.825100e-05,4.825343e-05,4.827473e-05,4.828027e-05,4.828453e-05,4.828350e-05,4.828135e-05,4.826610e-05,4.826525e-05,4.823961e-05,4.822748e-05,4.820269e-05,4.817200e-05,4.815607e-05,4.810045e-05,4.803647e-05,4.801433e-05,4.796474e-05,4.791503e-05,4.788583e-05,4.780381e-05,4.780026e-05,4.770855e-05,4.768183e-05,4.761116e-05,4.755017e-05,4.750851e-05,4.740981e-05,4.740104e-05,4.728911e-05,4.726163e-05,4.717310e-05,4.710647e-05,4.705333e-05,4.694508e-05,4.693013e-05,4.680379e-05,4.677817e-05,4.667459e-05,4.660636e-05,4.654279e-05,4.643025e-05,4.640864e-05,4.627237e-05,4.625039e-05,4.613419e-05,4.606725e-05,4.599431e-05,4.588131e-05,4.585292e-05,4.571019e-05,4.569298e-05,4.556630e-05,4.550265e-05,4.542139e-05,4.531068e-05,4.527563e-05,4.512914e-05,4.511739e-05,4.498206e-05,4.492309e-05,4.483451e-05,4.472805e-05,4.468660e-05,4.453845e-05,4.453252e-05,4.439015e-05,4.433675e-05,4.424180e-05,4.414094e-05,4.409349e-05,4.394529e-05,4.374999e-05,4.355521e-05,4.336109e-05,4.316777e-05,4.297539e-05,4.278406e-05,4.259389e-05,4.240498e-05,4.221741e-05,4.203127e-05,4.184664e-05,4.166357e-05,4.148213e-05,4.130237e-05,4.112435e-05,4.094810e-05,4.077366e-05,4.060107e-05,4.043036e-05,4.026156e-05,4.009468e-05,3.992974e-05,3.976677e-05,3.960578e-05
0.000000e+00,4.723695e-12,2.415054e-11,2.719120e-10,1.345108e-09,2.790058e-09,1.337268e-08,1.414617e-08,4.878990e-08,6.579891e-08,1.319960e-07,2.206308e-07,3.022427e-07,5.813947e-07,6.129521e-07,1.133593e-06,1.298983e-06,1.950032e-06,2.573684e-06,3.163741e-06,4.651135e-06,4.889236e-06,7.249352e-06,7.808548e-06,1.036873e-05,1.233087e-05,1.436664e-05,1.848270e-05,1.935026e-05,2.540936e-05,2.648352e-05,3.261250e-05,3.649058e-05,4.100495e-05,4.859021e-05,5.060784e-05,6.141864e-05,6.279615e-05,7.341244e-05,7.905346e-05,8.654381e-05,9.724599e-05,1.007493e-04,1.159498e-04,1.172062e-04,1.320540e-04,1.387262e-04,1.489603e-04,1.615690e-04,1.665605e-04,1.847417e-04,1.854794e-04,2.033891e-04,2.101942e-04,2.223882e-04,2.354509e-04,2.416264e-04,2.609952e-04,2.803907e-04,2.865868e-04,2.997156e-04,3.120043e-04,3.188793e-04,3.370478e-04,3.377990e-04,3.563995e-04,3.615412e-04,3.746140e-04,3.853325e-04,3.923834e-04,4.082943e-04,4.096569e-04,4.263909e-04,4.303227e-04,4.425496e-04,4.513359e-04,4.581036e-04,4.712728e-04,4.730303e-04,4.873128e-04,4.900909e-04,5.009399e-04,5.077646e-04,5.139050e-04,5.242825e-04,5.262061e-04,5.378451e-04,5.396462e-04,5.488272e-04,5.538676e-04,5.591608e-04,5.669680e-04,5.688568e-04,5.779282e-04,5.789755e-04,5.863900e-04,5.899243e-04,5.942587e-04,5.998530e-04,6.015519e-04,6.082881e-04,6.088035e-04,6.144868e-04,6.168202e-04,6.201677e-04,6.239487e-04,6.253511e-04,6.300571e-04,6.302357e-04,6.343062e-04,6.357279e-04,6.381185e-04,6.404717e-04,6.415142e-04,6.445129e-04,6.471340e-04,6.478961e-04,6.493965e-04,6.506648e-04,6.513188e-04,6.528609e-04,6.529189e-04,6.542143e-04,6.545247e-04,6.552217e-04,6.556948e-04,6.559575e-04,6.564081e-04,6.564374e-04,6.566765e-04,6.566996e-04,6.566893e-04,6.566029e-04,6.564898e-04,6.561492e-04,6.560914e-04,6.555068e-04,6.553686e-04,6.547482e-04,6.542890e-04,6.538275e-04,6.529368e-04,6.527555e-04,6.515431e-04,6.513368e-04,6.502003e-04,6.495123e-04,6.487368e-04,6.474851e-04,6.471616e-04,6.454835e-04,6.452756e-04,6.437107e-04,6.429027e-04,6.418511e-04,6.403843e-04,6.399121e-04,6.379006e-04,6.377368e-04,6.358234e-04,6.349756e-04,6.336868e-04,6.321150e-04,6.314967e-04,6.292587e-04,6.291682e-04,6.269781e-04,6.261476e-04,6.246599e-04,6.230645e-04,6.223088e-04,6.199294e-04,6.167520e-04,6.135414e-04,6.103057e-04,6.070525e-04,6.037888e-04,6.005211e-04,5.972550e-04,5.939960e-04,5.907490e-04,5.875183e-04,5.843080e-04,5.811216e-04,5.779625e-04,5.748336e-04,5.717374e-04,5.686765e-04,5.656528e-04,5.626681e-04,5.597241e-04,5.568222e-04,5.539636e-04,5.511492e-04,5.483800e-04,5.456567e-04
0.000000e+00,1.808294e-11,8.532258e-11,8.153978e-10,3.484513e-09,6.678378e-09,2.621437e-08,2.751012e-08,7.836837e-08,1.004590e-07,1.778116e-07,2.692667e-07,3.462982e-07,5.805516e-07,6.050819e-07,9.755375e-07,1.083407e-06,1.478577e-06,1.825553e-06,2.133671e-06,2.849020e-06,2.957158e-06,3.960244e-06,4.182948e-06,5.147648e-06,5.837579e-06,6.517581e-06,7.804239e-06,8.062841e-06,9.772312e-06,1.006018e-05,1.163233e-05,1.257419e-05,1.362769e-05,1.531060e-05,1.574225e-05,1.795938e-05,1.823152e-05,2.026221e-05,2.129826e-05,2.263391e-05,2.447224e-05,2.505789e-05,2.751806e-05,2.771597e-05,2.999900e-05,3.099390e-05,3.248618e-05,3.427319e-05,3.496611e-05,3.742646e-05,3.752430e-05,3.985615e-05,4.072141e-05,4.224538e-05,4.384254e-05,4.458561e-05,4.686958e-05,4.909120e-05,4.978812e-05,5.124552e-05,5.258710e-05,5.332859e-05,5.525855e-05,5.533745e-05,5.726996e-05,5.779717e-05,5.912471e-05,6.019992e-05,6.090099e-05,6.246569e-05,6.259861e-05,6.421790e-05,6.459495e-05,6.575959e-05,6.658943e-05,6.722476e-05,6.845187e-05,6.861475e-05,6.993115e-05,7.018576e-05,7.117574e-05,7.179518e-05,7.235043e-05,7.328461e-05,7.345723e-05,7.449824e-05,7.465884e-05,7.547562e-05,7.592280e-05,7.639155e-05,7.708151e-05,7.724821e-05,7.804781e-05,7.814003e-05,7.879253e-05,7.910337e-05,7.948451e-05,7.997645e-05,8.012588e-05,8.071873e-05,8.076412e-05,8.126509e-05,8.147107e-05,8.176696e-05,8.210185e-05,8.222627e-05,8.264492e-05,8.266085e-05,8.302473e-05,8.315230e-05,8.336749e-05,8.358027e-05,8.367490e-05,8.394863e-05,8.419028e-05,8.426109e-05,8.440141e-05,8.452121e-05,8.458351e-05,8.473235e-05,8.473802e-05,8.486632e-05,8.489773e-05,8.496975e-05,8.502041e-05,8.504959e-05,8.510328e-05,8.510708e-05,8.514339e-05,8.514909e-05,8.515967e-05,8.516045e-05,8.515701e-05,8.513982e-05,8.513644e-05,8.509898e-05,8.508955e-05,8.504559e-05,8.501183e-05,8.497718e-05,8.490876e-05,8.489464e-05,8.479882e-05,8.478231e-05,8.469052e-05,8.463433e-05,8.457050e-05,8.446657e-05,8.443953e-05,8.429829e-05,8.428068e-05,8.414746e-05,8.407822e-05,8.398769e-05,8.386066e-05,8.381959e-05,8.364374e-05,8.362936e-05,8.346072e-05,8.338562e-05,8.327105e-05,8.313065e-05,8.307524e-05,8.287377e-05,8.286560e-05,8.266711e-05,8.259153e-05,8.245570e-05,8.230944e-05,8.223996e-05,8.202028e-05,8.172492e-05,8.142418e-05,8.111883e-05,8.080959e-05,8.049713e-05,8.018207e-05,7.986499e-05,7.954643e-05,7.922689e-05,7.890684e-05,7.858671e-05,7.826690e-05,7.794779e-05,7.762970e-05,7.731296e-05,7.699786e-05,7.668466e-05,7.637361e-05,7.606492e-05,7.575880e-05,7.545545e-05,7.515501e-05,7.485765e-05,7.456350e-05
0.000000e+00,4.959165e-09,1.140013e-08,3.942474e-08,9.012682e-08,1.318845e-07,3.022429e-07,3.114930e-07,6.109220e-07,7.213544e-07,1.069156e-06,1.439420e-06,1.732731e-06,2.567952e-06,2.651999e-06,3.867634e-06,4.205539e-06,5.390700e-06,6.369576e-06,7.195874e-06,8.981547e-06,9.237413e-06,1.146882e-05,1.193434e-05,1.385147e-05,1.513980e-05,1.635475e-05,1.853237e-05,1.895372e-05,2.162696e-05,2.206026e-05,2.435514e-05,2.567886e-05,2.712029e-05,2.934766e-05,2.990553e-05,3.269493e-05,3.302921e-05,3.547358e-05,3.668920e-05,3.822778e-05,4.029692e-05,4.094510e-05,4.361447e-05,4.382564e-05,4.622619e-05,4.725284e-05,4.877199e-05,5.056020e-05,5.124492e-05,5.363933e-05,5.373341e-05,5.595077e-05,5.676190e-05,5.817587e-05,5.963837e-05,6.031226e-05,6.235844e-05,6.431365e-05,6.492007e-05,6.617780e-05,6.732327e-05,6.795136e-05,6.956961e-05,6.963526e-05,7.123080e-05,7.166194e-05,7.273963e-05,7.360408e-05,7.416363e-05,7.540059e-05,7.550490e-05,7.676567e-05,7.705653e-05,7.794830e-05,7.857735e-05,7.905523e-05,7.996869e-05,8.008896e-05,8.105200e-05,8.123635e-05,8.194688e-05,8.238613e-05,8.277613e-05,8.342381e-05,8.354225e-05,8.424771e-05,8.435512e-05,8.489494e-05,8.518563e-05,8.548633e-05,8.592081e-05,8.602422e-05,8.651088e-05,8.656595e-05,8.694855e-05,8.712615e-05,8.733937e-05,8.760636e-05,8.768545e-05,8.798882e-05,8.801130e-05,8.825146e-05,8.834553e-05,8.847526e-05,8.861340e-05,8.866209e-05,8.881371e-05,8.881906e-05,8.893184e-05,8.896650e-05,8.901815e-05,8.905948e-05,8.907423e-05,8.910163e-05,8.910181e-05,8.909636e-05,8.907621e-05,8.904693e-05,8.902620e-05,8.895644e-05,8.895309e-05,8.885815e-05,8.882782e-05,8.874260e-05,8.866385e-05,8.860759e-05,8.846716e-05,8.845425e-05,8.828364e-05,8.824024e-05,8.809680e-05,8.798545e-05,8.789472e-05,8.770501e-05,8.767832e-05,8.744852e-05,8.740103e-05,8.720618e-05,8.707549e-05,8.695213e-05,8.673025e-05,8.668715e-05,8.641200e-05,8.636708e-05,8.612741e-05,8.598765e-05,8.583405e-05,8.559351e-05,8.553260e-05,8.522367e-05,8.518612e-05,8.490787e-05,8.476688e-05,8.458576e-05,8.433708e-05,8.425790e-05,8.392480e-05,8.389794e-05,8.358695e-05,8.345059e-05,8.324482e-05,8.299610e-05,8.289887e-05,8.254952e-05,8.253548e-05,8.219717e-05,8.206967e-05,8.184221e-05,8.159953e-05,8.148500e-05,8.112589e-05,8.064951e-05,8.017110e-05,7.969132e-05,7.921079e-05,7.873008e-05,7.824972e-05,7.777021e-05,7.729200e-05,7.681551e-05,7.634113e-05,7.586921e-05,7.540009e-05,7.493407e-05,7.447142e-05,7.401240e-05,7.355723e-05,7.310612e-05,7.265926e-05,7.221683e-05,7.177896e-05,7.134580e-05,7.091746e-05,7.049406e-05,7.007569e-05
0.000000e+00,2.599192e-12,1.313711e-11,1.444797e-10,7.000651e-10,1.436265e-09,6.704963e-09,7.085706e-09,2.390619e-08,3.207652e-08,6.365682e-08,1.057258e-07,1.444094e-07,2.769411e-07,2.919594e-07,5.407806e-07,6.201493e-07,9.333198e-07,1.233443e-06,1.516724e-06,2.225253e-06,2.337767e-06,3.437831e-06,3.694363e-06,4.849339e-06,5.714051e-06,6.593988e-06,8.325092e-06,8.682495e-06,1.111534e-05,1.153610e-05,1.388406e-05,1.532792e-05,1.697274e-05,1.965954e-05,2.035953e-05,2.401799e-05,2.447388e-05,2.791838e-05,2.970301e-05,3.202871e-05,3.527250e-05,3.631567e-05,4.074547e-05,4.110501e-05,4.528448e-05,4.712328e-05,4.989988e-05,5.325249e-05,5.456011e-05,5.923526e-05,5.942218e-05,6.389747e-05,6.556768e-05,6.852107e-05,7.163111e-05,7.308284e-05,7.756205e-05,8.194054e-05,8.331776e-05,8.620265e-05,8.886315e-05,9.033521e-05,9.417047e-05,9.432735e-05,9.817040e-05,9.921879e-05,1.018577e-04,1.039934e-04,1.053846e-04,1.084849e-04,1.087479e-04,1.119459e-04,1.126889e-04,1.149786e-04,1.166050e-04,1.178469e-04,1.202365e-04,1.205528e-04,1.230991e-04,1.235895e-04,1.254894e-04,1.266722e-04,1.277280e-04,1.294945e-04,1.298195e-04,1.317687e-04,1.320677e-04,1.335808e-04,1.344036e-04,1.352613e-04,1.365146e-04,1.368156e-04,1.382491e-04,1.384133e-04,1.395673e-04,1.401121e-04,1.407755e-04,1.416236e-04,1.418792e-04,1.428834e-04,1.429596e-04,1.437932e-04,1.441318e-04,1.446136e-04,1.451515e-04,1.453492e-04,1.460046e-04,1.460293e-04,1.465843e-04,1.467753e-04,1.470924e-04,1.473991e-04,1.475330e-04,1.479098e-04,1.482267e-04,1.483160e-04,1.484871e-04,1.486257e-04,1.486944e-04,1.488463e-04,1.488516e-04,1.489620e-04,1.489848e-04,1.490282e-04,1.490480e-04,1.490531e-04,1.490418e-04,1.490393e-04,1.489891e-04,1.489720e-04,1.489050e-04,1.488439e-04,1.487891e-04,1.486624e-04,1.486435e-04,1.484701e-04,1.484323e-04,1.482708e-04,1.481576e-04,1.480475e-04,1.478425e-04,1.478017e-04,1.475351e-04,1.474906e-04,1.472490e-04,1.471053e-04,1.469451e-04,1.466898e-04,1.466244e-04,1.462884e-04,1.462471e-04,1.459382e-04,1.457799e-04,1.455750e-04,1.452908e-04,1.451997e-04,1.448134e-04,1.447820e-04,1.444170e-04,1.442558e-04,1.440114e-04,1.437142e-04,1.435975e-04,1.431760e-04,1.431590e-04,1.427477e-04,1.425920e-04,1.423134e-04,1.420148e-04,1.418735e-04,1.414289e-04,1.408355e-04,1.402361e-04,1.396317e-04,1.390235e-04,1.384124e-04,1.377993e-04,1.371851e-04,1.365706e-04,1.359564e-04,1.353433e-04,1.347319e-04,1.341226e-04,1.335161e-04,1.329127e-04,1.323129e-04,1.317171e-04,1.311256e-04,1.305388e-04,1.299569e-04,1.293803e-04,1.288090e-04,1.282434e-04,1.276837e-04,1.271300e-04
0.000000e+00,5.321770e-12,2.621241e-11,2.731429e-10,1.259184e-09,2.512807e-09,1.090484e-08,1.148931e-08,3.595542e-08,4.724221e-08,8.883615e-08,1.410741e-07,1.870199e-07,3.349071e-07,3.509792e-07,6.039313e-07,6.805707e-07,9.698631e-07,1.232412e-06,1.470489e-06,2.035806e-06,2.122423e-06,2.935715e-06,3.118149e-06,3.913837e-06,4.487057e-06,5.054569e-06,6.133647e-06,6.351203e-06,7.793674e-06,8.037194e-06,9.369463e-06,1.016906e-05,1.106429e-05,1.249542e-05,1.286257e-05,1.474787e-05,1.497915e-05,1.670314e-05,1.758117e-05,1.871108e-05,2.026168e-05,2.075438e-05,2.281609e-05,2.298133e-05,2.487984e-05,2.570240e-05,2.693013e-05,2.838986e-05,2.895255e-05,3.093401e-05,3.101224e-05,3.286285e-05,3.354235e-05,3.472895e-05,3.595764e-05,3.652377e-05,3.824037e-05,3.987331e-05,4.037750e-05,4.141864e-05,4.236042e-05,4.287376e-05,4.418452e-05,4.423730e-05,4.550898e-05,4.584866e-05,4.668949e-05,4.735464e-05,4.778034e-05,4.870660e-05,4.878371e-05,4.970231e-05,4.991051e-05,5.053933e-05,5.097371e-05,5.129824e-05,5.190441e-05,5.198275e-05,5.259672e-05,5.271140e-05,5.314408e-05,5.340369e-05,5.362876e-05,5.399030e-05,5.405466e-05,5.442559e-05,5.448009e-05,5.474526e-05,5.488156e-05,5.501726e-05,5.520283e-05,5.524499e-05,5.543172e-05,5.545152e-05,5.558053e-05,5.563475e-05,5.569434e-05,5.575911e-05,5.577588e-05,5.582773e-05,5.583067e-05,5.585229e-05,5.585498e-05,5.585181e-05,5.583713e-05,5.582836e-05,5.578390e-05,5.578171e-05,5.572021e-05,5.569291e-05,5.563897e-05,5.557450e-05,5.554172e-05,5.542989e-05,5.530480e-05,5.526217e-05,5.516766e-05,5.507410e-05,5.501961e-05,5.486817e-05,5.486167e-05,5.469482e-05,5.464663e-05,5.451993e-05,5.441148e-05,5.433782e-05,5.416456e-05,5.414925e-05,5.395490e-05,5.390747e-05,5.375542e-05,5.364169e-05,5.355140e-05,5.336853e-05,5.334337e-05,5.313186e-05,5.308917e-05,5.291731e-05,5.280468e-05,5.270015e-05,5.251602e-05,5.248079e-05,5.225958e-05,5.222404e-05,5.203686e-05,5.192951e-05,5.181295e-05,5.163315e-05,5.158812e-05,5.136265e-05,5.133556e-05,5.113677e-05,5.103731e-05,5.091071e-05,5.073891e-05,5.068467e-05,5.045886e-05,5.044081e-05,5.023344e-05,5.014342e-05,5.000857e-05,4.984710e-05,4.978441e-05,4.956109e-05,4.955218e-05,4.933875e-05,4.925896e-05,4.911748e-05,4.896770e-05,4.889741e-05,4.867863e-05,4.839195e-05,4.810787e-05,4.782654e-05,4.754810e-05,4.727268e-05,4.700040e-05,4.673134e-05,4.646560e-05,4.620325e-05,4.594434e-05,4.568893e-05,4.543705e-05,4.518875e-05,4.494404e-05,4.470294e-05,4.446546e-05,4.423161e-05,4.400140e-05,4.377480e-05,4.355183e-05,4.333245e-05,4.311666e-05,4.290444e-05,4.269576e-05
0.000000e+00,4.115500e-12,2.103689e-11,2.368853e-10,1.173078e-09,2.435930e-09,1.173647e-08,1.241902e-08,4.325808e-08,5.855210e-08,1.187885e-07,2.008224e-07,2.774361e-07,5.450234e-07,5.756858e-07,1.089147e-06,1.254326e-06,1.909502e-06,2.540595e-06,3.138257e-06,4.640201e-06,4.879620e-06,7.234149e-06,7.786923e-06,1.029379e-05,1.219051e-05,1.413832e-05,1.802241e-05,1.883289e-05,2.442665e-05,2.540750e-05,3.095192e-05,3.442007e-05,3.842406e-05,4.508323e-05,4.684183e-05,5.618806e-05,5.737063e-05,6.643080e-05,7.121038e-05,7.752469e-05,8.649048e-05,8.941253e-05,1.020272e-04,1.030655e-04,1.152933e-04,1.207641e-04,1.291295e-04,1.393966e-04,1.434501e-04,1.581670e-04,1.587626e-04,1.731914e-04,1.786584e-04,1.884354e-04,1.988829e-04,2.038133e-04,2.192428e-04,2.346460e-04,2.395573e-04,2.499498e-04,2.596609e-04,2.650871e-04,2.794053e-04,2.799966e-04,2.946233e-04,2.986612e-04,3.089183e-04,3.173181e-04,3.228391e-04,3.352844e-04,3.363493e-04,3.494182e-04,3.524861e-04,3.620206e-04,3.688665e-04,3.741365e-04,3.843840e-04,3.857509e-04,3.968528e-04,3.990111e-04,4.074356e-04,4.127322e-04,4.174959e-04,4.255429e-04,4.270339e-04,4.360524e-04,4.374475e-04,4.445567e-04,4.484582e-04,4.525541e-04,4.585934e-04,4.600541e-04,4.670673e-04,4.678767e-04,4.736058e-04,4.763357e-04,4.796827e-04,4.840010e-04,4.853120e-04,4.905081e-04,4.909055e-04,4.952860e-04,4.970835e-04,4.996610e-04,5.025702e-04,5.036486e-04,5.072642e-04,5.074013e-04,5.105235e-04,5.116125e-04,5.134417e-04,5.152391e-04,5.160341e-04,5.183155e-04,5.203007e-04,5.208757e-04,5.220039e-04,5.229524e-04,5.234391e-04,5.245773e-04,5.246198e-04,5.255591e-04,5.257806e-04,5.262698e-04,5.265916e-04,5.267642e-04,5.270380e-04,5.270540e-04,5.271506e-04,5.271463e-04,5.270651e-04,5.269416e-04,5.268079e-04,5.264476e-04,5.263891e-04,5.258184e-04,5.256869e-04,5.251051e-04,5.246808e-04,5.242581e-04,5.234493e-04,5.232857e-04,5.221961e-04,5.220114e-04,5.209969e-04,5.203846e-04,5.196956e-04,5.185858e-04,5.182992e-04,5.168142e-04,5.166304e-04,5.152471e-04,5.145331e-04,5.136039e-04,5.123077e-04,5.118903e-04,5.101118e-04,5.099668e-04,5.082735e-04,5.075226e-04,5.063804e-04,5.049860e-04,5.044371e-04,5.024481e-04,5.023677e-04,5.004175e-04,4.996771e-04,4.983493e-04,4.969234e-04,4.962472e-04,4.941149e-04,4.912594e-04,4.883643e-04,4.854361e-04,4.824811e-04,4.795051e-04,4.765134e-04,4.735109e-04,4.705021e-04,4.674912e-04,4.644821e-04,4.614783e-04,4.584831e-04,4.554993e-04,4.525297e-04,4.495769e-04,4.466429e-04,4.437300e-04,4.408398e-04,4.379742e-04,4.351346e-04,4.323224e-04,4.295387e-04,4.267847e-04,4.240612e-04
0.000000e+00,3.284955e-11,1.562797e-10,1.519300e-09,6.598078e-09,1.276394e-08,5.145115e-08,5.405832e-08,1.590637e-07,2.059838e-07,3.752004e-07,5.836462e-07,7.653011e-07,1.346619e-06,1.409717e-06,2.403918e-06,2.705602e-06,3.844407e-06,4.874740e-06,5.803648e-06,7.979854e-06,8.309047e-06,1.133970e-05,1.200430e-05,1.483896e-05,1.681926e-05,1.873219e-05,2.224959e-05,2.294112e-05,2.739240e-05,2.812263e-05,3.202113e-05,3.428918e-05,3.677126e-05,4.062616e-05,4.159462e-05,4.644974e-05,4.703273e-05,5.130072e-05,5.342565e-05,5.611638e-05,5.973591e-05,6.086973e-05,6.553758e-05,6.590671e-05,7.010030e-05,7.189219e-05,7.454157e-05,7.765655e-05,7.884818e-05,8.300971e-05,8.317304e-05,8.701835e-05,8.842291e-05,9.086858e-05,9.339440e-05,9.455691e-05,9.808164e-05,1.014425e-04,1.024835e-04,1.046405e-04,1.066026e-04,1.076776e-04,1.104443e-04,1.105565e-04,1.132808e-04,1.140164e-04,1.158543e-04,1.173277e-04,1.182812e-04,1.203885e-04,1.205662e-04,1.227139e-04,1.232094e-04,1.247291e-04,1.258015e-04,1.266166e-04,1.281759e-04,1.283813e-04,1.300280e-04,1.303437e-04,1.315615e-04,1.323158e-04,1.329865e-04,1.341029e-04,1.343074e-04,1.355288e-04,1.357153e-04,1.366550e-04,1.371630e-04,1.376902e-04,1.384555e-04,1.386384e-04,1.395037e-04,1.396022e-04,1.402899e-04,1.406116e-04,1.410005e-04,1.414923e-04,1.416392e-04,1.422093e-04,1.422521e-04,1.427142e-04,1.428986e-04,1.431570e-04,1.434390e-04,1.435406e-04,1.438681e-04,1.438801e-04,1.441423e-04,1.442284e-04,1.443657e-04,1.444899e-04,1.445409e-04,1.446705e-04,1.447567e-04,1.447755e-04,1.448018e-04,1.448102e-04,1.448081e-04,1.447793e-04,1.447774e-04,1.447119e-04,1.446876e-04,1.446134e-04,1.445392e-04,1.444837e-04,1.443383e-04,1.443245e-04,1.441376e-04,1.440887e-04,1.439244e-04,1.437941e-04,1.436864e-04,1.434577e-04,1.434252e-04,1.431421e-04,1.430829e-04,1.428383e-04,1.426726e-04,1.425152e-04,1.422297e-04,1.421739e-04,1.418156e-04,1.417568e-04,1.414414e-04,1.412564e-04,1.410522e-04,1.407309e-04,1.406492e-04,1.402332e-04,1.401824e-04,1.398051e-04,1.396131e-04,1.393657e-04,1.390248e-04,1.389160e-04,1.384566e-04,1.384195e-04,1.379883e-04,1.377987e-04,1.375119e-04,1.371641e-04,1.370279e-04,1.365371e-04,1.365173e-04,1.360399e-04,1.358595e-04,1.355371e-04,1.351922e-04,1.350291e-04,1.345164e-04,1.338335e-04,1.331444e-04,1.324502e-04,1.317519e-04,1.310501e-04,1.303459e-04,1.296399e-04,1.289329e-04,1.282256e-04,1.275184e-04,1.268121e-04,1.261071e-04,1.254039e-04,1.247031e-04,1.240049e-04,1.233098e-04,1.226182e-04,1.219303e-04,1.212465e-04,1.205671e-04,1.198924e-04,1.192225e-04,1.185576e-04,1.178981e-04
0.000000e+00,1.420075e-11,6.613151e-11,6.155112e-10,2.570223e-09,4.865990e-09,1.853157e-08,1.942458e-08,5.382584e-08,6.851020e-08,1.192156e-07,1.782220e-07,2.273906e-07,3.749689e-07,3.902963e-07,6.198170e-07,6.861157e-07,9.275667e-07,1.138163e-06,1.324336e-06,1.754180e-06,1.818902e-06,2.416281e-06,2.548171e-06,3.116168e-06,3.518822e-06,3.912518e-06,4.648208e-06,4.794548e-06,5.748576e-06,5.906918e-06,6.759863e-06,7.261342e-06,7.813958e-06,8.678977e-06,8.897415e-06,9.998091e-06,1.013080e-05,1.110517e-05,1.159181e-05,1.220910e-05,1.304077e-05,1.330148e-05,1.437498e-05,1.445985e-05,1.542329e-05,1.583434e-05,1.644109e-05,1.715248e-05,1.742393e-05,1.836828e-05,1.840521e-05,1.927141e-05,1.958605e-05,2.013136e-05,2.069078e-05,2.094685e-05,2.171719e-05,2.244226e-05,2.266475e-05,2.312235e-05,2.353432e-05,2.375817e-05,2.432783e-05,2.435072e-05,2.490126e-05,2.504808e-05,2.541124e-05,2.569841e-05,2.588224e-05,2.628258e-05,2.631595e-05,2.671411e-05,2.680457e-05,2.707849e-05,2.726845e-05,2.741087e-05,2.767830e-05,2.771301e-05,2.798663e-05,2.803808e-05,2.823340e-05,2.835164e-05,2.845493e-05,2.862264e-05,2.865277e-05,2.882840e-05,2.885453e-05,2.898323e-05,2.905057e-05,2.911861e-05,2.921376e-05,2.923581e-05,2.933600e-05,2.934694e-05,2.942033e-05,2.945268e-05,2.948985e-05,2.953341e-05,2.954557e-05,2.958842e-05,2.959132e-05,2.961928e-05,2.962845e-05,2.963898e-05,2.964668e-05,2.964828e-05,2.964791e-05,2.964770e-05,2.963854e-05,2.963309e-05,2.962081e-05,2.960429e-05,2.959532e-05,2.956260e-05,2.952319e-05,2.950925e-05,2.947757e-05,2.944532e-05,2.942618e-05,2.937182e-05,2.936946e-05,2.930779e-05,2.928969e-05,2.924156e-05,2.919977e-05,2.917110e-05,2.910283e-05,2.909674e-05,2.901879e-05,2.899958e-05,2.893753e-05,2.889068e-05,2.885322e-05,2.877671e-05,2.876612e-05,2.867646e-05,2.865824e-05,2.858446e-05,2.853576e-05,2.849031e-05,2.840972e-05,2.839423e-05,2.829637e-05,2.828056e-05,2.819692e-05,2.814867e-05,2.809603e-05,2.801439e-05,2.799386e-05,2.789053e-05,2.787806e-05,2.778618e-05,2.773997e-05,2.768093e-05,2.760042e-05,2.757490e-05,2.746820e-05,2.745964e-05,2.736092e-05,2.731787e-05,2.725316e-05,2.717533e-05,2.714501e-05,2.703656e-05,2.703221e-05,2.692787e-05,2.688870e-05,2.681903e-05,2.674497e-05,2.671011e-05,2.660116e-05,2.645742e-05,2.631388e-05,2.617065e-05,2.602785e-05,2.588558e-05,2.574392e-05,2.560296e-05,2.546278e-05,2.532344e-05,2.518502e-05,2.504756e-05,2.491112e-05,2.477575e-05,2.464149e-05,2.450838e-05,2.437645e-05,2.424574e-05,2.411627e-05,2.398807e-05,2.386116e-05,2.373556e-05,2.361128e-05,2.348834e-05,2.336676e-05
0.000000e+00,4.572367e-11,2.354879e-10,2.692388e-09,1.350873e-08,2.824039e-08,1.381407e-07,1.462524e-07,5.147785e-07,6.980835e-07,1.419910e-06,2.399933e-06,3.311454e-06,6.472104e-06,6.832550e-06,1.284181e-05,1.477012e-05,2.242571e-05,2.983457e-05,3.689693e-05,5.487558e-05,5.777335e-05,8.673597e-05,9.365486e-05,1.255701e-04,1.502705e-04,1.760981e-04,2.288911e-04,2.401107e-04,3.193036e-04,3.334889e-04,4.152208e-04,4.676053e-04,5.292082e-04,6.341640e-04,6.623769e-04,8.155761e-04,8.353362e-04,9.893770e-04,1.072460e-03,1.184065e-03,1.346007e-03,1.399640e-03,1.635829e-03,1.655600e-03,1.892096e-03,2.000058e-03,2.167665e-03,2.377479e-03,2.461547e-03,2.772565e-03,2.785344e-03,3.099384e-03,3.220628e-03,3.440539e-03,3.679922e-03,3.794472e-03,4.159554e-03,4.534115e-03,4.655701e-03,4.916469e-03,5.164490e-03,5.304939e-03,5.682095e-03,5.697878e-03,6.093680e-03,6.204806e-03,6.490804e-03,6.729099e-03,6.887781e-03,7.251678e-03,7.283226e-03,7.675844e-03,7.769516e-03,8.064434e-03,8.279872e-03,8.447898e-03,8.780309e-03,8.825235e-03,9.195546e-03,9.268693e-03,9.558032e-03,9.743195e-03,9.911990e-03,1.020228e-02,1.025681e-02,1.059198e-02,1.064468e-02,1.091705e-02,1.106939e-02,1.123168e-02,1.147566e-02,1.153557e-02,1.182854e-02,1.186295e-02,1.211042e-02,1.223091e-02,1.238112e-02,1.257936e-02,1.264062e-02,1.288893e-02,1.290831e-02,1.312610e-02,1.321787e-02,1.335223e-02,1.350828e-02,1.356745e-02,1.377192e-02,1.377987e-02,1.396582e-02,1.403307e-02,1.414936e-02,1.426836e-02,1.432277e-02,1.448629e-02,1.464017e-02,1.468742e-02,1.478469e-02,1.487239e-02,1.492011e-02,1.504182e-02,1.504672e-02,1.516479e-02,1.519636e-02,1.527462e-02,1.533668e-02,1.537649e-02,1.546343e-02,1.547069e-02,1.555751e-02,1.557727e-02,1.563722e-02,1.567885e-02,1.571010e-02,1.576881e-02,1.577643e-02,1.583648e-02,1.584776e-02,1.589052e-02,1.591632e-02,1.593879e-02,1.597508e-02,1.598156e-02,1.601906e-02,1.602459e-02,1.605154e-02,1.606541e-02,1.607922e-02,1.609807e-02,1.610233e-02,1.612109e-02,1.612306e-02,1.613571e-02,1.614088e-02,1.614639e-02,1.615199e-02,1.615332e-02,1.615671e-02,1.615683e-02,1.615672e-02,1.615581e-02,1.615353e-02,1.614935e-02,1.614731e-02,1.613823e-02,1.613781e-02,1.612644e-02,1.612156e-02,1.611208e-02,1.610093e-02,1.609531e-02,1.607625e-02,1.604783e-02,1.601594e-02,1.598087e-02,1.594286e-02,1.590217e-02,1.585901e-02,1.581360e-02,1.576614e-02,1.571683e-02,1.566583e-02,1.561331e-02,1.555944e-02,1.550435e-02,1.544819e-02,1.539108e-02,1.533315e-02,1.527450e-02,1.521525e-02,1.515548e-02,1.509530e-02,1.503478e-02,1.497402e-02,1.491307e-02,1.485202e-02
0.000000e+00,4.061802e-09,9.439615e-09,3.285566e-08,7.488216e-08,1.091394e-07,2.459209e-07,2.532227e-07,4.836023e-07,5.659463e-07,8.175332e-07,1.074427e-06,1.271335e-06,1.807651e-06,1.860022e-06,2.595514e-06,2.794652e-06,3.482955e-06,4.044770e-06,4.517029e-06,5.536242e-06,5.682344e-06,6.958220e-06,7.224769e-06,8.323376e-06,9.061886e-06,9.757982e-06,1.100342e-05,1.124392e-05,1.276446e-05,1.300991e-05,1.430410e-05,1.504564e-05,1.584844e-05,1.707838e-05,1.738427e-05,1.889968e-05,1.907964e-05,2.038413e-05,2.102508e-05,2.182854e-05,2.289480e-05,2.322534e-05,2.456838e-05,2.467335e-05,2.585286e-05,2.634943e-05,2.707529e-05,2.791567e-05,2.823334e-05,2.932571e-05,2.936803e-05,3.035196e-05,3.070528e-05,3.131245e-05,3.192848e-05,3.220813e-05,3.304047e-05,3.381134e-05,3.404538e-05,3.452290e-05,3.494827e-05,3.517754e-05,3.575481e-05,3.577781e-05,3.632634e-05,3.647102e-05,3.682581e-05,3.710305e-05,3.727889e-05,3.765705e-05,3.768826e-05,3.805651e-05,3.813906e-05,3.838618e-05,3.855485e-05,3.867970e-05,3.890997e-05,3.893943e-05,3.916760e-05,3.920964e-05,3.936636e-05,3.945877e-05,3.953773e-05,3.966194e-05,3.968365e-05,3.980592e-05,3.982341e-05,3.990626e-05,3.994712e-05,3.998629e-05,4.003670e-05,4.004751e-05,4.009135e-05,4.009550e-05,4.011913e-05,4.012660e-05,4.013211e-05,4.013280e-05,4.013146e-05,4.011825e-05,4.011668e-05,4.009352e-05,4.008061e-05,4.005820e-05,4.002673e-05,4.001320e-05,3.995933e-05,3.995701e-05,3.989737e-05,3.987323e-05,3.982804e-05,3.977703e-05,3.975200e-05,3.966989e-05,3.958226e-05,3.955315e-05,3.948968e-05,3.942806e-05,3.939264e-05,3.929571e-05,3.929160e-05,3.918700e-05,3.915713e-05,3.907924e-05,3.901323e-05,3.896870e-05,3.886484e-05,3.885572e-05,3.874062e-05,3.871272e-05,3.862371e-05,3.855755e-05,3.850526e-05,3.839995e-05,3.838552e-05,3.826473e-05,3.824047e-05,3.814313e-05,3.807963e-05,3.802089e-05,3.791788e-05,3.789823e-05,3.777530e-05,3.775562e-05,3.765227e-05,3.759323e-05,3.752929e-05,3.743103e-05,3.740650e-05,3.728401e-05,3.726934e-05,3.716194e-05,3.710840e-05,3.704041e-05,3.694845e-05,3.691950e-05,3.679930e-05,3.678972e-05,3.667990e-05,3.663238e-05,3.656137e-05,3.647660e-05,3.644378e-05,3.632718e-05,3.632254e-05,3.621164e-05,3.617031e-05,3.609720e-05,3.602003e-05,3.598390e-05,3.587180e-05,3.572570e-05,3.558180e-05,3.544017e-05,3.530086e-05,3.516389e-05,3.502932e-05,3.489716e-05,3.476744e-05,3.464015e-05,3.451532e-05,3.439294e-05,3.427300e-05,3.415551e-05,3.404044e-05,3.392779e-05,3.381754e-05,3.370967e-05,3.360414e-05,3.350095e-05,3.340007e-05,3.330145e-05,3.320508e-05,3.311093e-05,3.301895e-05
0.000000e+00,1.220267e-09,2.923134e-09,1.052234e-08,2.440444e-08,3.582908e-08,8.198145e-08,8.446342e-08,1.634871e-07,1.920278e-07,2.800696e-07,3.711661e-07,4.417394e-07,6.368239e-07,6.560693e-07,9.290664e-07,1.003645e-06,1.262759e-06,1.475371e-06,1.654758e-06,2.044306e-06,2.100465e-06,2.595122e-06,2.699544e-06,3.134459e-06,3.431269e-06,3.714572e-06,4.230599e-06,4.331660e-06,4.981843e-06,5.088675e-06,5.661056e-06,5.996143e-06,6.365029e-06,6.943049e-06,7.089313e-06,7.829336e-06,7.918976e-06,8.580463e-06,8.913287e-06,9.338088e-06,9.915457e-06,1.009772e-05,1.085503e-05,1.091539e-05,1.160594e-05,1.190366e-05,1.234669e-05,1.287178e-05,1.307382e-05,1.378427e-05,1.381230e-05,1.447532e-05,1.471890e-05,1.514467e-05,1.558642e-05,1.579036e-05,1.641083e-05,1.700486e-05,1.718921e-05,1.757156e-05,1.791961e-05,1.811033e-05,1.860094e-05,1.862082e-05,1.910289e-05,1.923279e-05,1.955665e-05,1.981542e-05,1.998237e-05,2.034963e-05,2.038048e-05,2.075155e-05,2.083665e-05,2.109626e-05,2.127807e-05,2.141539e-05,2.167574e-05,2.170979e-05,2.198033e-05,2.203166e-05,2.222797e-05,2.234801e-05,2.245366e-05,2.262699e-05,2.265838e-05,2.284320e-05,2.287099e-05,2.300913e-05,2.308235e-05,2.315712e-05,2.326320e-05,2.328807e-05,2.340289e-05,2.341563e-05,2.350248e-05,2.354169e-05,2.358766e-05,2.364328e-05,2.365928e-05,2.371811e-05,2.372229e-05,2.376493e-05,2.378046e-05,2.380047e-05,2.381946e-05,2.382542e-05,2.384045e-05,2.384085e-05,2.384618e-05,2.384609e-05,2.384323e-05,2.383656e-05,2.383218e-05,2.381356e-05,2.378790e-05,2.377829e-05,2.375570e-05,2.373186e-05,2.371740e-05,2.367532e-05,2.367346e-05,2.362429e-05,2.360964e-05,2.357028e-05,2.353571e-05,2.351180e-05,2.345435e-05,2.344920e-05,2.338281e-05,2.336634e-05,2.331294e-05,2.327240e-05,2.323988e-05,2.317318e-05,2.316392e-05,2.308531e-05,2.306929e-05,2.300429e-05,2.296129e-05,2.292110e-05,2.284969e-05,2.283594e-05,2.274903e-05,2.273497e-05,2.266055e-05,2.261757e-05,2.257068e-05,2.249790e-05,2.247959e-05,2.238744e-05,2.237631e-05,2.229437e-05,2.225316e-05,2.220052e-05,2.212875e-05,2.210602e-05,2.201100e-05,2.200338e-05,2.191556e-05,2.187729e-05,2.181981e-05,2.175073e-05,2.172385e-05,2.162777e-05,2.162392e-05,2.153165e-05,2.149706e-05,2.143559e-05,2.137033e-05,2.133964e-05,2.124389e-05,2.111789e-05,2.099248e-05,2.086777e-05,2.074388e-05,2.062090e-05,2.049892e-05,2.037804e-05,2.025831e-05,2.013980e-05,2.002257e-05,1.990667e-05,1.979213e-05,1.967901e-05,1.956733e-05,1.945712e-05,1.934839e-05,1.924118e-05,1.913550e-05,1.903135e-05,1.892875e-05,1.882769e-05,1.872819e-05,1.863025e-05,1.853386e-05
0.000000e+00,1.911269e-10,7.972048e-10,6.037316e-09,2.143785e-08,3.751346e-08,1.204392e-07,1.254913e-07,3.075203e-07,3.813577e-07,6.298422e-07,9.144443e-07,1.151166e-06,1.866415e-06,1.941158e-06,3.064111e-06,3.387476e-06,4.548775e-06,5.531304e-06,6.371823e-06,8.209687e-06,8.474565e-06,1.079182e-05,1.127594e-05,1.326868e-05,1.460535e-05,1.586320e-05,1.810986e-05,1.854331e-05,2.128310e-05,2.172547e-05,2.406019e-05,2.540048e-05,2.685450e-05,2.908995e-05,2.964766e-05,3.242285e-05,3.275392e-05,3.516486e-05,3.635731e-05,3.786025e-05,3.987031e-05,4.049733e-05,4.306624e-05,4.326855e-05,4.555888e-05,4.653309e-05,4.796884e-05,4.965002e-05,5.029124e-05,5.252259e-05,5.260991e-05,5.466060e-05,5.540718e-05,5.670410e-05,5.803948e-05,5.865273e-05,6.050693e-05,6.226776e-05,6.281174e-05,6.393676e-05,6.495761e-05,6.551587e-05,6.694938e-05,6.700739e-05,6.841382e-05,6.879272e-05,6.973780e-05,7.049376e-05,7.098211e-05,7.205897e-05,7.214961e-05,7.324317e-05,7.349495e-05,7.426568e-05,7.480832e-05,7.522000e-05,7.600564e-05,7.610895e-05,7.693534e-05,7.709335e-05,7.770189e-05,7.807773e-05,7.841126e-05,7.896484e-05,7.906604e-05,7.966874e-05,7.976050e-05,8.022178e-05,8.047031e-05,8.072753e-05,8.109960e-05,8.118825e-05,8.160612e-05,8.165349e-05,8.198325e-05,8.213681e-05,8.232166e-05,8.255416e-05,8.262330e-05,8.289003e-05,8.290992e-05,8.312365e-05,8.320821e-05,8.332586e-05,8.345294e-05,8.349832e-05,8.364260e-05,8.364781e-05,8.376022e-05,8.379631e-05,8.385260e-05,8.390172e-05,8.392114e-05,8.396715e-05,8.399189e-05,8.399552e-05,8.399657e-05,8.398957e-05,8.398234e-05,8.395190e-05,8.395029e-05,8.390147e-05,8.388493e-05,8.383688e-05,8.379095e-05,8.375747e-05,8.367211e-05,8.366415e-05,8.355779e-05,8.353042e-05,8.343921e-05,8.336777e-05,8.330920e-05,8.318593e-05,8.316851e-05,8.301784e-05,8.298657e-05,8.285788e-05,8.277125e-05,8.268928e-05,8.254141e-05,8.251263e-05,8.232854e-05,8.229843e-05,8.213755e-05,8.204358e-05,8.194020e-05,8.177806e-05,8.173697e-05,8.152836e-05,8.150298e-05,8.131480e-05,8.121938e-05,8.109674e-05,8.092824e-05,8.087457e-05,8.064869e-05,8.063047e-05,8.041945e-05,8.032690e-05,8.018722e-05,8.001833e-05,7.995231e-05,7.971503e-05,7.970550e-05,7.947570e-05,7.938908e-05,7.923457e-05,7.906972e-05,7.899192e-05,7.874801e-05,7.842448e-05,7.809967e-05,7.777403e-05,7.744800e-05,7.712199e-05,7.679638e-05,7.647150e-05,7.614768e-05,7.582520e-05,7.550434e-05,7.518535e-05,7.486845e-05,7.455384e-05,7.424171e-05,7.393225e-05,7.362559e-05,7.332189e-05,7.302126e-05,7.272382e-05,7.242968e-05,7.213892e-05,7.185163e-05,7.156786e-05,7.128769e-05
0.000000e+00,1.900662e-11,9.134600e-11,9.059267e-10,3.999825e-09,7.801581e-09,3.201236e-08,3.365473e-08,1.001296e-07,1.298846e-07,2.369234e-07,3.678240e-07,4.809523e-07,8.376135e-07,8.759008e-07,1.471335e-06,1.649886e-06,2.319245e-06,2.922251e-06,3.466240e-06,4.748380e-06,4.943649e-06,6.761302e-06,7.165000e-06,8.908082e-06,1.014606e-05,1.135733e-05,1.362252e-05,1.407342e-05,1.701718e-05,1.750666e-05,2.014927e-05,2.170843e-05,2.343205e-05,2.614300e-05,2.683028e-05,3.031134e-05,3.073319e-05,3.384529e-05,3.540984e-05,3.740478e-05,4.011174e-05,4.096505e-05,4.450399e-05,4.478558e-05,4.800205e-05,4.938595e-05,5.144228e-05,5.387522e-05,5.481022e-05,5.809383e-05,5.822328e-05,6.128332e-05,6.240695e-05,6.437096e-05,6.640933e-05,6.735091e-05,7.021900e-05,7.297248e-05,7.382912e-05,7.560990e-05,7.723669e-05,7.813082e-05,8.044174e-05,8.053572e-05,8.282580e-05,8.344668e-05,8.500285e-05,8.625576e-05,8.706914e-05,8.887456e-05,8.902730e-05,9.088023e-05,9.130962e-05,9.263106e-05,9.356813e-05,9.428303e-05,9.565765e-05,9.583950e-05,9.730386e-05,9.758598e-05,9.867955e-05,9.936099e-05,9.996997e-05,1.009905e-04,1.011785e-04,1.023084e-04,1.024821e-04,1.033630e-04,1.038433e-04,1.043454e-04,1.050814e-04,1.052587e-04,1.061059e-04,1.062033e-04,1.068901e-04,1.072158e-04,1.076139e-04,1.081255e-04,1.082803e-04,1.088918e-04,1.089385e-04,1.094511e-04,1.096607e-04,1.099605e-04,1.102978e-04,1.104225e-04,1.108393e-04,1.108550e-04,1.112131e-04,1.113376e-04,1.115460e-04,1.117501e-04,1.118401e-04,1.120973e-04,1.123195e-04,1.123834e-04,1.125084e-04,1.126126e-04,1.126657e-04,1.127885e-04,1.127931e-04,1.128921e-04,1.129150e-04,1.129644e-04,1.129954e-04,1.130112e-04,1.130330e-04,1.130339e-04,1.130340e-04,1.130308e-04,1.130126e-04,1.129917e-04,1.129709e-04,1.129184e-04,1.129101e-04,1.128314e-04,1.128135e-04,1.127356e-04,1.126794e-04,1.126239e-04,1.125184e-04,1.124972e-04,1.123563e-04,1.123326e-04,1.122023e-04,1.121239e-04,1.120358e-04,1.118943e-04,1.118578e-04,1.116688e-04,1.116455e-04,1.114698e-04,1.113792e-04,1.112613e-04,1.110969e-04,1.110440e-04,1.108185e-04,1.108001e-04,1.105854e-04,1.104902e-04,1.103454e-04,1.101685e-04,1.100988e-04,1.098463e-04,1.098361e-04,1.095883e-04,1.094941e-04,1.093252e-04,1.091437e-04,1.090576e-04,1.087858e-04,1.084214e-04,1.080512e-04,1.076761e-04,1.072969e-04,1.069143e-04,1.065288e-04,1.061411e-04,1.057518e-04,1.053615e-04,1.049705e-04,1.045793e-04,1.041884e-04,1.037982e-04,1.034090e-04,1.030212e-04,1.026350e-04,1.022508e-04,1.018687e-04,1.014892e-04,1.011123e-04,1.007383e-04,1.003673e-04,9.999960e-05,9.963526e-05
0.000000e+00,4.585695e-09,1.062813e-08,3.701429e-08,8.479756e-08,1.241523e-07,2.847523e-07,2.934768e-07,5.762291e-07,6.806857e-07,1.010227e-06,1.361803e-06,1.640689e-06,2.435520e-06,2.515487e-06,3.669336e-06,3.988575e-06,5.100464e-06,6.007839e-06,6.765210e-06,8.374563e-06,8.602156e-06,1.055683e-05,1.095810e-05,1.258876e-05,1.366588e-05,1.466873e-05,1.643669e-05,1.677459e-05,1.888843e-05,1.922634e-05,2.099500e-05,2.199959e-05,2.308095e-05,2.472688e-05,2.513448e-05,2.714533e-05,2.738333e-05,2.910463e-05,2.994843e-05,3.100496e-05,3.240600e-05,3.284027e-05,3.460579e-05,3.474391e-05,3.629800e-05,3.695377e-05,3.791443e-05,3.903048e-05,3.945360e-05,4.091487e-05,4.097169e-05,4.229829e-05,4.277738e-05,4.360454e-05,4.444928e-05,4.483478e-05,4.599056e-05,4.707377e-05,4.740540e-05,4.808650e-05,4.869871e-05,4.903104e-05,4.987589e-05,4.990980e-05,5.072528e-05,5.094262e-05,5.148001e-05,5.190474e-05,5.217653e-05,5.276812e-05,5.281740e-05,5.340513e-05,5.353855e-05,5.394219e-05,5.422171e-05,5.443100e-05,5.482312e-05,5.487393e-05,5.527326e-05,5.534810e-05,5.563124e-05,5.580176e-05,5.595001e-05,5.618899e-05,5.623164e-05,5.647812e-05,5.651442e-05,5.669137e-05,5.678247e-05,5.687324e-05,5.699732e-05,5.702548e-05,5.714978e-05,5.716290e-05,5.724777e-05,5.728294e-05,5.732097e-05,5.736094e-05,5.737087e-05,5.739886e-05,5.740020e-05,5.740630e-05,5.740381e-05,5.739446e-05,5.737467e-05,5.736454e-05,5.731772e-05,5.731551e-05,5.725509e-05,5.722887e-05,5.717770e-05,5.711715e-05,5.708654e-05,5.698256e-05,5.686666e-05,5.682719e-05,5.673969e-05,5.665299e-05,5.660245e-05,5.646177e-05,5.645573e-05,5.630024e-05,5.625522e-05,5.613666e-05,5.603492e-05,5.596567e-05,5.580232e-05,5.578786e-05,5.560382e-05,5.555879e-05,5.541411e-05,5.530560e-05,5.521926e-05,5.504391e-05,5.501974e-05,5.481603e-05,5.477482e-05,5.460857e-05,5.449935e-05,5.439777e-05,5.421841e-05,5.418403e-05,5.396771e-05,5.393288e-05,5.374916e-05,5.364357e-05,5.352871e-05,5.335119e-05,5.330667e-05,5.308332e-05,5.305645e-05,5.285894e-05,5.275996e-05,5.263379e-05,5.246230e-05,5.240809e-05,5.218209e-05,5.216400e-05,5.195597e-05,5.186555e-05,5.172996e-05,5.156739e-05,5.150422e-05,5.127893e-05,5.126993e-05,5.105426e-05,5.097355e-05,5.083034e-05,5.067859e-05,5.060733e-05,5.038534e-05,5.009410e-05,4.980512e-05,4.951862e-05,4.923481e-05,4.895388e-05,4.867599e-05,4.840128e-05,4.812989e-05,4.786194e-05,4.759750e-05,4.733668e-05,4.707955e-05,4.682616e-05,4.657657e-05,4.633081e-05,4.608893e-05,4.585094e-05,4.561685e-05,4.538669e-05,4.516044e-05,4.493810e-05,4.471967e-05,4.450513e-05,4.429447e-05
0.000000e+00,2.115018e-09,4.864999e-09,1.678965e-08,3.820776e-08,5.571374e-08,1.260504e-07,1.298240e-07,2.497694e-07,2.930296e-07,4.263524e-07,5.641369e-07,6.707858e-07,9.654019e-07,9.944724e-07,1.407798e-06,1.521206e-06,1.917488e-06,2.245294e-06,2.523409e-06,3.130061e-06,3.217622e-06,3.987123e-06,4.148801e-06,4.817773e-06,5.269499e-06,5.696589e-06,6.463713e-06,6.612283e-06,7.555039e-06,7.707796e-06,8.516140e-06,8.981646e-06,9.487719e-06,1.026770e-05,1.046263e-05,1.143438e-05,1.155050e-05,1.239717e-05,1.281659e-05,1.334582e-05,1.405456e-05,1.427586e-05,1.518348e-05,1.525502e-05,1.606549e-05,1.641054e-05,1.691936e-05,1.751557e-05,1.774308e-05,1.853515e-05,1.856616e-05,1.929457e-05,1.955983e-05,2.002071e-05,2.049532e-05,2.071329e-05,2.137232e-05,2.199806e-05,2.219134e-05,2.259099e-05,2.295351e-05,2.315171e-05,2.366042e-05,2.368100e-05,2.417971e-05,2.431399e-05,2.464878e-05,2.491640e-05,2.508920e-05,2.546998e-05,2.550201e-05,2.588825e-05,2.597711e-05,2.624896e-05,2.644020e-05,2.658519e-05,2.686166e-05,2.689799e-05,2.718837e-05,2.724385e-05,2.745735e-05,2.758908e-05,2.770588e-05,2.789956e-05,2.793494e-05,2.814542e-05,2.817744e-05,2.833823e-05,2.842476e-05,2.851423e-05,2.864348e-05,2.867424e-05,2.881907e-05,2.883546e-05,2.894947e-05,2.900247e-05,2.906618e-05,2.914616e-05,2.916991e-05,2.926132e-05,2.926812e-05,2.934107e-05,2.936984e-05,2.940977e-05,2.945272e-05,2.946800e-05,2.951634e-05,2.951807e-05,2.955531e-05,2.956715e-05,2.958544e-05,2.960112e-05,2.960721e-05,2.962108e-05,2.962751e-05,2.962806e-05,2.962691e-05,2.962302e-05,2.961968e-05,2.960688e-05,2.960622e-05,2.958689e-05,2.958047e-05,2.956204e-05,2.954461e-05,2.953199e-05,2.950003e-05,2.949706e-05,2.945756e-05,2.944743e-05,2.941376e-05,2.938747e-05,2.936595e-05,2.932075e-05,2.931437e-05,2.925928e-05,2.924785e-05,2.920090e-05,2.916931e-05,2.913945e-05,2.908563e-05,2.907516e-05,2.900821e-05,2.899726e-05,2.893880e-05,2.890466e-05,2.886710e-05,2.880822e-05,2.879330e-05,2.871754e-05,2.870833e-05,2.863999e-05,2.860534e-05,2.856079e-05,2.849959e-05,2.848008e-05,2.839800e-05,2.839137e-05,2.831465e-05,2.828099e-05,2.823018e-05,2.816871e-05,2.814468e-05,2.805826e-05,2.805479e-05,2.797103e-05,2.793944e-05,2.788307e-05,2.782290e-05,2.779449e-05,2.770536e-05,2.758701e-05,2.746802e-05,2.734857e-05,2.722879e-05,2.710883e-05,2.698881e-05,2.686886e-05,2.674909e-05,2.662959e-05,2.651047e-05,2.639182e-05,2.627370e-05,2.615620e-05,2.603938e-05,2.592331e-05,2.580804e-05,2.569363e-05,2.558011e-05,2.546755e-05,2.535596e-05,2.524540e-05,2.513589e-05,2.502746e-05,2.492013e-05
0.000000e+00,3.734156e-09,8.676057e-09,3.023146e-08,6.905262e-08,1.008080e-07,2.284694e-07,2.353209e-07,4.532342e-07,5.318916e-07,7.744522e-07,1.025114e-06,1.218823e-06,1.750130e-06,1.802101e-06,2.528524e-06,2.723293e-06,3.388214e-06,3.921448e-06,4.363805e-06,5.303894e-06,5.437329e-06,6.592314e-06,6.831726e-06,7.813438e-06,8.469646e-06,9.085937e-06,1.018396e-05,1.039536e-05,1.172763e-05,1.194200e-05,1.306926e-05,1.371283e-05,1.440766e-05,1.546827e-05,1.573132e-05,1.703005e-05,1.718379e-05,1.829511e-05,1.883912e-05,1.951917e-05,2.041837e-05,2.069636e-05,2.182216e-05,2.190990e-05,2.289329e-05,2.330590e-05,2.390755e-05,2.460187e-05,2.486370e-05,2.576136e-05,2.579605e-05,2.660082e-05,2.688893e-05,2.738293e-05,2.788264e-05,2.810896e-05,2.878056e-05,2.939960e-05,2.958693e-05,2.996815e-05,3.030654e-05,3.048841e-05,3.094451e-05,3.096262e-05,3.139309e-05,3.150610e-05,3.178211e-05,3.199656e-05,3.213194e-05,3.242108e-05,3.244480e-05,3.272287e-05,3.278466e-05,3.296822e-05,3.309209e-05,3.318288e-05,3.334793e-05,3.336878e-05,3.352777e-05,3.355650e-05,3.366162e-05,3.372183e-05,3.377198e-05,3.384772e-05,3.386047e-05,3.392858e-05,3.393769e-05,3.397775e-05,3.399502e-05,3.400932e-05,3.402276e-05,3.402456e-05,3.402468e-05,3.402373e-05,3.401080e-05,3.400054e-05,3.398399e-05,3.395558e-05,3.394524e-05,3.389551e-05,3.389108e-05,3.383566e-05,3.380908e-05,3.376654e-05,3.371146e-05,3.368891e-05,3.360351e-05,3.359994e-05,3.351102e-05,3.347611e-05,3.341207e-05,3.334141e-05,3.330728e-05,3.319719e-05,3.308233e-05,3.304465e-05,3.296319e-05,3.288491e-05,3.284023e-05,3.271899e-05,3.271388e-05,3.258453e-05,3.254783e-05,3.245256e-05,3.237226e-05,3.231830e-05,3.219305e-05,3.218209e-05,3.204423e-05,3.201092e-05,3.190498e-05,3.182650e-05,3.176462e-05,3.164037e-05,3.162338e-05,3.148149e-05,3.145305e-05,3.133915e-05,3.126502e-05,3.119656e-05,3.107671e-05,3.105389e-05,3.091131e-05,3.088851e-05,3.076896e-05,3.070076e-05,3.062700e-05,3.051378e-05,3.048554e-05,3.034471e-05,3.032785e-05,3.020461e-05,3.014322e-05,3.006534e-05,2.996012e-05,2.992700e-05,2.978967e-05,2.977873e-05,2.965343e-05,2.959925e-05,2.951833e-05,2.942181e-05,2.938445e-05,2.925184e-05,2.924656e-05,2.912055e-05,2.907362e-05,2.899063e-05,2.890308e-05,2.886211e-05,2.873504e-05,2.856956e-05,2.840671e-05,2.824654e-05,2.808908e-05,2.793438e-05,2.778245e-05,2.763331e-05,2.748697e-05,2.734342e-05,2.720267e-05,2.706470e-05,2.692951e-05,2.679708e-05,2.666739e-05,2.654041e-05,2.641611e-05,2.629448e-05,2.617547e-05,2.605906e-05,2.594521e-05,2.583388e-05,2.572504e-05,2.561865e-05,2.551466e-05
0.000000e+00,5.950516e-09,1.378749e-08,4.798196e-08,1.096843e-07,1.602418e-07,3.639437e-07,3.748900e-07,7.234204e-07,8.493456e-07,1.237986e-06,1.640361e-06,1.952237e-06,2.815354e-06,2.900622e-06,4.114261e-06,4.447522e-06,5.612228e-06,6.575558e-06,7.392753e-06,9.175931e-06,9.433505e-06,1.170139e-05,1.217917e-05,1.416213e-05,1.550738e-05,1.678437e-05,1.909127e-05,1.954008e-05,2.240373e-05,2.287031e-05,2.535148e-05,2.678962e-05,2.836082e-05,3.079824e-05,3.141038e-05,3.448000e-05,3.484879e-05,3.755088e-05,3.889796e-05,4.060574e-05,4.290702e-05,4.362892e-05,4.660652e-05,4.684238e-05,4.952638e-05,5.067576e-05,5.237809e-05,5.438416e-05,5.515293e-05,5.784379e-05,5.794960e-05,6.044503e-05,6.135866e-05,6.295233e-05,6.460201e-05,6.536260e-05,6.767381e-05,6.988485e-05,7.057116e-05,7.199542e-05,7.329360e-05,7.400589e-05,7.584262e-05,7.591719e-05,7.773073e-05,7.822123e-05,7.944830e-05,8.043364e-05,8.107201e-05,8.248492e-05,8.260419e-05,8.404738e-05,8.438080e-05,8.540424e-05,8.612740e-05,8.667753e-05,8.773114e-05,8.787007e-05,8.898473e-05,8.919857e-05,9.002437e-05,9.053629e-05,9.099186e-05,9.175085e-05,9.189002e-05,9.272165e-05,9.284872e-05,9.348950e-05,9.383621e-05,9.419627e-05,9.471947e-05,9.484458e-05,9.543700e-05,9.550446e-05,9.597602e-05,9.619690e-05,9.646406e-05,9.680232e-05,9.690347e-05,9.729651e-05,9.732601e-05,9.764537e-05,9.777303e-05,9.795219e-05,9.814821e-05,9.821900e-05,9.844777e-05,9.845616e-05,9.864041e-05,9.870126e-05,9.879873e-05,9.888769e-05,9.892449e-05,9.901938e-05,9.908503e-05,9.910011e-05,9.912298e-05,9.913342e-05,9.913473e-05,9.912268e-05,9.912171e-05,9.908529e-05,9.907108e-05,9.902679e-05,9.898162e-05,9.894747e-05,9.885714e-05,9.884853e-05,9.873113e-05,9.870033e-05,9.859637e-05,9.851371e-05,9.844530e-05,9.829967e-05,9.827894e-05,9.809824e-05,9.806046e-05,9.790413e-05,9.779819e-05,9.769749e-05,9.751484e-05,9.747916e-05,9.724993e-05,9.721229e-05,9.701057e-05,9.689229e-05,9.676181e-05,9.655649e-05,9.650433e-05,9.623882e-05,9.620644e-05,9.596588e-05,9.584359e-05,9.568612e-05,9.546930e-05,9.540012e-05,9.510841e-05,9.508484e-05,9.481151e-05,9.469141e-05,9.450991e-05,9.429012e-05,9.420408e-05,9.389446e-05,9.388201e-05,9.358147e-05,9.346805e-05,9.326552e-05,9.304916e-05,9.294697e-05,9.262618e-05,9.219990e-05,9.177106e-05,9.134033e-05,9.090836e-05,9.047572e-05,9.004297e-05,8.961062e-05,8.917912e-05,8.874891e-05,8.832038e-05,8.789391e-05,8.746983e-05,8.704844e-05,8.663004e-05,8.621487e-05,8.580317e-05,8.539515e-05,8.499101e-05,8.459091e-05,8.419503e-05,8.380349e-05,8.341641e-05,8.303392e-05,8.265610e-05
0.000000e+00,8.749954e-10,2.881451e-09,1.503845e-08,4.205362e-08,6.643157e-08,1.747451e-07,1.808820e-07,3.874207e-07,4.663215e-07,7.207801e-07,9.984849e-07,1.221789e-06,1.867316e-06,1.932792e-06,2.884330e-06,3.149269e-06,4.075702e-06,4.834614e-06,5.469241e-06,6.819514e-06,7.010556e-06,8.651470e-06,8.988311e-06,1.035692e-05,1.126074e-05,1.210210e-05,1.358506e-05,1.386847e-05,1.564132e-05,1.592474e-05,1.740854e-05,1.825177e-05,1.916001e-05,2.054413e-05,2.088731e-05,2.258357e-05,2.278476e-05,2.424327e-05,2.496080e-05,2.586208e-05,2.706298e-05,2.743673e-05,2.896479e-05,2.908497e-05,3.044461e-05,3.102278e-05,3.187513e-05,3.287424e-05,3.325578e-05,3.458640e-05,3.463858e-05,3.586714e-05,3.631607e-05,3.709841e-05,3.790771e-05,3.828080e-05,3.941506e-05,4.050208e-05,4.084010e-05,4.154282e-05,4.218509e-05,4.253832e-05,4.345246e-05,4.348969e-05,4.439803e-05,4.464482e-05,4.526452e-05,4.576479e-05,4.609030e-05,4.681507e-05,4.687654e-05,4.762443e-05,4.779835e-05,4.833513e-05,4.871731e-05,4.900979e-05,4.957456e-05,4.964952e-05,5.025545e-05,5.037268e-05,5.082876e-05,5.111437e-05,5.137058e-05,5.180213e-05,5.188194e-05,5.236391e-05,5.243837e-05,5.281754e-05,5.302551e-05,5.324383e-05,5.356585e-05,5.364378e-05,5.401833e-05,5.406162e-05,5.436845e-05,5.451499e-05,5.469504e-05,5.492806e-05,5.499899e-05,5.528119e-05,5.530285e-05,5.554247e-05,5.564130e-05,5.578364e-05,5.594529e-05,5.600552e-05,5.620886e-05,5.621661e-05,5.639441e-05,5.645700e-05,5.656291e-05,5.666811e-05,5.671506e-05,5.685153e-05,5.697299e-05,5.700879e-05,5.708007e-05,5.714135e-05,5.717340e-05,5.725061e-05,5.725357e-05,5.732115e-05,5.733790e-05,5.737671e-05,5.740450e-05,5.742078e-05,5.745163e-05,5.745389e-05,5.747653e-05,5.748047e-05,5.748920e-05,5.749211e-05,5.749235e-05,5.748762e-05,5.748645e-05,5.747192e-05,5.746802e-05,5.744918e-05,5.743425e-05,5.741865e-05,5.738726e-05,5.738070e-05,5.733572e-05,5.732790e-05,5.728407e-05,5.725700e-05,5.722609e-05,5.717537e-05,5.716211e-05,5.709247e-05,5.708375e-05,5.701747e-05,5.698285e-05,5.693741e-05,5.687335e-05,5.685257e-05,5.676324e-05,5.675591e-05,5.666967e-05,5.663112e-05,5.657213e-05,5.649957e-05,5.647085e-05,5.636607e-05,5.636181e-05,5.625802e-05,5.621836e-05,5.614691e-05,5.606972e-05,5.603295e-05,5.591634e-05,5.575868e-05,5.559715e-05,5.543215e-05,5.526405e-05,5.509320e-05,5.491993e-05,5.474457e-05,5.456740e-05,5.438871e-05,5.420876e-05,5.402779e-05,5.384604e-05,5.366372e-05,5.348105e-05,5.329820e-05,5.311537e-05,5.293271e-05,5.275040e-05,5.256857e-05,5.238736e-05,5.220689e-05,5.202730e-05,5.184869e-05,5.167115e-05
0.000000e+00,4.203464e-09,9.688659e-09,3.348410e-08,7.619048e-08,1.110590e-07,2.508663e-07,2.583555e-07,4.959036e-07,5.813724e-07,8.442153e-07,1.115104e-06,1.324341e-06,1.900735e-06,1.957496e-06,2.762657e-06,2.983011e-06,3.751211e-06,4.384655e-06,4.920698e-06,6.085819e-06,6.253543e-06,7.723123e-06,8.030942e-06,9.301353e-06,1.015637e-05,1.096274e-05,1.240632e-05,1.268519e-05,1.444942e-05,1.473441e-05,1.623833e-05,1.710119e-05,1.803653e-05,1.947242e-05,1.983016e-05,2.160678e-05,2.181829e-05,2.335535e-05,2.411331e-05,2.506629e-05,2.633634e-05,2.673141e-05,2.834387e-05,2.847042e-05,2.989818e-05,3.050262e-05,3.139006e-05,3.242374e-05,3.281636e-05,3.417493e-05,3.422785e-05,3.546454e-05,3.591180e-05,3.668470e-05,3.747480e-05,3.783557e-05,3.891789e-05,3.993282e-05,4.024360e-05,4.088188e-05,4.145554e-05,4.176689e-05,4.255813e-05,4.258989e-05,4.335306e-05,4.355634e-05,4.405870e-05,4.445546e-05,4.470918e-05,4.526097e-05,4.530690e-05,4.585427e-05,4.597842e-05,4.635368e-05,4.661329e-05,4.680749e-05,4.717097e-05,4.721802e-05,4.758751e-05,4.765668e-05,4.791817e-05,4.807547e-05,4.821211e-05,4.843214e-05,4.847137e-05,4.869794e-05,4.873128e-05,4.889369e-05,4.897723e-05,4.906043e-05,4.917411e-05,4.919990e-05,4.931376e-05,4.932577e-05,4.940357e-05,4.943587e-05,4.947085e-05,4.950780e-05,4.951703e-05,4.954346e-05,4.954476e-05,4.955144e-05,4.954974e-05,4.954220e-05,4.952553e-05,4.951690e-05,4.947664e-05,4.947473e-05,4.942248e-05,4.939977e-05,4.935540e-05,4.930288e-05,4.927634e-05,4.918618e-05,4.908578e-05,4.905161e-05,4.897591e-05,4.890098e-05,4.885733e-05,4.873595e-05,4.873074e-05,4.859682e-05,4.855809e-05,4.845618e-05,4.836882e-05,4.830942e-05,4.816948e-05,4.815710e-05,4.799975e-05,4.796130e-05,4.783786e-05,4.774539e-05,4.767190e-05,4.752283e-05,4.750230e-05,4.732947e-05,4.729455e-05,4.715381e-05,4.706146e-05,4.697567e-05,4.682437e-05,4.679539e-05,4.661330e-05,4.658402e-05,4.642970e-05,4.634111e-05,4.624485e-05,4.609626e-05,4.605903e-05,4.587248e-05,4.585006e-05,4.568543e-05,4.560303e-05,4.549809e-05,4.535564e-05,4.531066e-05,4.512333e-05,4.510835e-05,4.493627e-05,4.486155e-05,4.474963e-05,4.461560e-05,4.456357e-05,4.437823e-05,4.437084e-05,4.419374e-05,4.412755e-05,4.401020e-05,4.388601e-05,4.382774e-05,4.364645e-05,4.340910e-05,4.317415e-05,4.294176e-05,4.271210e-05,4.248528e-05,4.226144e-05,4.204067e-05,4.182306e-05,4.160868e-05,4.139759e-05,4.118986e-05,4.098551e-05,4.078457e-05,4.058708e-05,4.039305e-05,4.020248e-05,4.001538e-05,3.983175e-05,3.965156e-05,3.947482e-05,3.930149e-05,3.913156e-05,3.896500e-05,3.880179e-05
0.000000e+00,4.790478e-11,2.259875e-10,2.157218e-09,9.210188e-09,1.765256e-08,6.955988e-08,7.302157e-08,2.108231e-07,2.718205e-07,4.904628e-07,7.581163e-07,9.902535e-07,1.725538e-06,1.804538e-06,3.023349e-06,3.382626e-06,4.692119e-06,5.814563e-06,6.778839e-06,8.878785e-06,9.178727e-06,1.174994e-05,1.227208e-05,1.435285e-05,1.568013e-05,1.687494e-05,1.887369e-05,1.923920e-05,2.140141e-05,2.172707e-05,2.334264e-05,2.419499e-05,2.506127e-05,2.628170e-05,2.656626e-05,2.787241e-05,2.801661e-05,2.899717e-05,2.943929e-05,2.995872e-05,3.059137e-05,3.077493e-05,3.146271e-05,3.151266e-05,3.203768e-05,3.223932e-05,3.251408e-05,3.280330e-05,3.290472e-05,3.322101e-05,3.323226e-05,3.347304e-05,3.354978e-05,3.366965e-05,3.377563e-05,3.381849e-05,3.392619e-05,3.399844e-05,3.401489e-05,3.404012e-05,3.405270e-05,3.405539e-05,3.404849e-05,3.404779e-05,3.402035e-05,3.400947e-05,3.397564e-05,3.394147e-05,3.391588e-05,3.384922e-05,3.384294e-05,3.375846e-05,3.373662e-05,3.366382e-05,3.360684e-05,3.356024e-05,3.346255e-05,3.344879e-05,3.333039e-05,3.330595e-05,3.320586e-05,3.313892e-05,3.307592e-05,3.296306e-05,3.294121e-05,3.280232e-05,3.277974e-05,3.265975e-05,3.259016e-05,3.251398e-05,3.239534e-05,3.236542e-05,3.221446e-05,3.219619e-05,3.206144e-05,3.199354e-05,3.190668e-05,3.178808e-05,3.175047e-05,3.159308e-05,3.158044e-05,3.143474e-05,3.137120e-05,3.127569e-05,3.116084e-05,3.111612e-05,3.095622e-05,3.094982e-05,3.079617e-05,3.073855e-05,3.063613e-05,3.052738e-05,3.047624e-05,3.031664e-05,3.015745e-05,3.010661e-05,2.999879e-05,2.989757e-05,2.984075e-05,2.968973e-05,2.968345e-05,2.952696e-05,2.948330e-05,2.937137e-05,2.927848e-05,2.921675e-05,2.907542e-05,2.906317e-05,2.891070e-05,2.887428e-05,2.875939e-05,2.867518e-05,2.860928e-05,2.847823e-05,2.846044e-05,2.831290e-05,2.828355e-05,2.816669e-05,2.809121e-05,2.802187e-05,2.790129e-05,2.787844e-05,2.773645e-05,2.771387e-05,2.759592e-05,2.752899e-05,2.745686e-05,2.734670e-05,2.731931e-05,2.718326e-05,2.716704e-05,2.704875e-05,2.699005e-05,2.691577e-05,2.681574e-05,2.678434e-05,2.665447e-05,2.664415e-05,2.652616e-05,2.647527e-05,2.639942e-05,2.630913e-05,2.627424e-05,2.615064e-05,2.614572e-05,2.602860e-05,2.598505e-05,2.590813e-05,2.582710e-05,2.578922e-05,2.567188e-05,2.551937e-05,2.536955e-05,2.522241e-05,2.507794e-05,2.493610e-05,2.479688e-05,2.466025e-05,2.452618e-05,2.439466e-05,2.426564e-05,2.413910e-05,2.401501e-05,2.389334e-05,2.377404e-05,2.365710e-05,2.354248e-05,2.343014e-05,2.332005e-05,2.321217e-05,2.310647e-05,2.300292e-05,2.290147e-05,2.280210e-05,2.270477e-05
0.000000e+00,2.296408e-11,1.110935e-10,1.116227e-09,4.982877e-09,9.773649e-09,4.061688e-08,4.272007e-08,1.282796e-07,1.667042e-07,3.050326e-07,4.739484e-07,6.194998e-07,1.075298e-06,1.123951e-06,1.874628e-06,2.097909e-06,2.930046e-06,3.676064e-06,4.348596e-06,5.940573e-06,6.184509e-06,8.481847e-06,8.999434e-06,1.126764e-05,1.291187e-05,1.454680e-05,1.766981e-05,1.830104e-05,2.249199e-05,2.319970e-05,2.706699e-05,2.938172e-05,3.196530e-05,3.607414e-05,3.712356e-05,4.247956e-05,4.313274e-05,4.797477e-05,5.042276e-05,5.355558e-05,5.782442e-05,5.917385e-05,6.478704e-05,6.523473e-05,7.035801e-05,7.256724e-05,7.585476e-05,7.975103e-05,8.125011e-05,8.652128e-05,8.672927e-05,9.164958e-05,9.345779e-05,9.661999e-05,9.990359e-05,1.014208e-04,1.060433e-04,1.104811e-04,1.118616e-04,1.147305e-04,1.173502e-04,1.187894e-04,1.225062e-04,1.226573e-04,1.263352e-04,1.273313e-04,1.298253e-04,1.318304e-04,1.331306e-04,1.360114e-04,1.362547e-04,1.392021e-04,1.398837e-04,1.419776e-04,1.434586e-04,1.445862e-04,1.467479e-04,1.470332e-04,1.493242e-04,1.497642e-04,1.514647e-04,1.525202e-04,1.534604e-04,1.550290e-04,1.553169e-04,1.570397e-04,1.573033e-04,1.586342e-04,1.593557e-04,1.601060e-04,1.611986e-04,1.614603e-04,1.627022e-04,1.628440e-04,1.638368e-04,1.643033e-04,1.648690e-04,1.655878e-04,1.658034e-04,1.666447e-04,1.667081e-04,1.673973e-04,1.676745e-04,1.680655e-04,1.684967e-04,1.686535e-04,1.691651e-04,1.691841e-04,1.696043e-04,1.697454e-04,1.699747e-04,1.701891e-04,1.702799e-04,1.705232e-04,1.707080e-04,1.707553e-04,1.708374e-04,1.708925e-04,1.709144e-04,1.709416e-04,1.709418e-04,1.709225e-04,1.709091e-04,1.708591e-04,1.708009e-04,1.707541e-04,1.706228e-04,1.706099e-04,1.704289e-04,1.703802e-04,1.702133e-04,1.700782e-04,1.699652e-04,1.697215e-04,1.696865e-04,1.693794e-04,1.693147e-04,1.690455e-04,1.688619e-04,1.686867e-04,1.683672e-04,1.683046e-04,1.679008e-04,1.678343e-04,1.674769e-04,1.672666e-04,1.670342e-04,1.666676e-04,1.665743e-04,1.660984e-04,1.660402e-04,1.656077e-04,1.653874e-04,1.651035e-04,1.647119e-04,1.645868e-04,1.640589e-04,1.640162e-04,1.635206e-04,1.633026e-04,1.629730e-04,1.625734e-04,1.624169e-04,1.618534e-04,1.618307e-04,1.612831e-04,1.610763e-04,1.607069e-04,1.603121e-04,1.601255e-04,1.595397e-04,1.587607e-04,1.579765e-04,1.571885e-04,1.563979e-04,1.556059e-04,1.548135e-04,1.540218e-04,1.532316e-04,1.524437e-04,1.516591e-04,1.508783e-04,1.501020e-04,1.493308e-04,1.485653e-04,1.478059e-04,1.470532e-04,1.463074e-04,1.455690e-04,1.448383e-04,1.441157e-04,1.434013e-04,1.426954e-04,1.419982e-04,1.413098e-04
0.000000e+00,6.281184e-09,1.506007e-08,5.438843e-08,1.266541e-07,1.864305e-07,4.299863e-07,4.431638e-07,8.660467e-07,1.020114e-06,1.498796e-06,1.998341e-06,2.387632e-06,3.471909e-06,3.579470e-06,5.117426e-06,5.541941e-06,7.033299e-06,8.276383e-06,9.337724e-06,1.167254e-05,1.201148e-05,1.500438e-05,1.563520e-05,1.824566e-05,2.000420e-05,2.166053e-05,2.461434e-05,2.518277e-05,2.875920e-05,2.933358e-05,3.234886e-05,3.406706e-05,3.592028e-05,3.874768e-05,3.944902e-05,4.291587e-05,4.332697e-05,4.630564e-05,4.776954e-05,4.960640e-05,5.204966e-05,5.280889e-05,5.590612e-05,5.614919e-05,5.889301e-05,6.005605e-05,6.176610e-05,6.376303e-05,6.452329e-05,6.716360e-05,6.726678e-05,6.968702e-05,7.056695e-05,7.209427e-05,7.366552e-05,7.438671e-05,7.656617e-05,7.863487e-05,7.927387e-05,8.059534e-05,8.179451e-05,8.245033e-05,8.413458e-05,8.420274e-05,8.585561e-05,8.630099e-05,8.741202e-05,8.830088e-05,8.887514e-05,9.014152e-05,9.024811e-05,9.153411e-05,9.183015e-05,9.273626e-05,9.337401e-05,9.385768e-05,9.478019e-05,9.490144e-05,9.587053e-05,9.605565e-05,9.676792e-05,9.720718e-05,9.759648e-05,9.824136e-05,9.835905e-05,9.905836e-05,9.916456e-05,9.969709e-05,9.998293e-05,1.002778e-04,1.007024e-04,1.008032e-04,1.012755e-04,1.013287e-04,1.016972e-04,1.018673e-04,1.020705e-04,1.023233e-04,1.023978e-04,1.026811e-04,1.027019e-04,1.029226e-04,1.030079e-04,1.031241e-04,1.032457e-04,1.032878e-04,1.034154e-04,1.034198e-04,1.035088e-04,1.035344e-04,1.035697e-04,1.035933e-04,1.035997e-04,1.036004e-04,1.035735e-04,1.035593e-04,1.035204e-04,1.034733e-04,1.034425e-04,1.033457e-04,1.033412e-04,1.032178e-04,1.031795e-04,1.030736e-04,1.029776e-04,1.029098e-04,1.027428e-04,1.027276e-04,1.025281e-04,1.024777e-04,1.023123e-04,1.021847e-04,1.020813e-04,1.018662e-04,1.018360e-04,1.015775e-04,1.015243e-04,1.013065e-04,1.011610e-04,1.010241e-04,1.007785e-04,1.007309e-04,1.004277e-04,1.003784e-04,1.001155e-04,9.996250e-05,9.979469e-05,9.953246e-05,9.946616e-05,9.913051e-05,9.908978e-05,9.878835e-05,9.863590e-05,9.844029e-05,9.817216e-05,9.808689e-05,9.772869e-05,9.769984e-05,9.736620e-05,9.722011e-05,9.699991e-05,9.673409e-05,9.663028e-05,9.625776e-05,9.624280e-05,9.588276e-05,9.574723e-05,9.550568e-05,9.524828e-05,9.512691e-05,9.474679e-05,9.424354e-05,9.373928e-05,9.323468e-05,9.273037e-05,9.222694e-05,9.172494e-05,9.122485e-05,9.072715e-05,9.023227e-05,8.974058e-05,8.925246e-05,8.876822e-05,8.828818e-05,8.781259e-05,8.734172e-05,8.687577e-05,8.641495e-05,8.595945e-05,8.550941e-05,8.506498e-05,8.462628e-05,8.419343e-05,8.376650e-05,8.334559e-05
0.000000e+00,1.187443e-09,2.789249e-09,9.834112e-09,2.257734e-08,3.300824e-08,7.483124e-08,7.706848e-08,1.477484e-07,1.730272e-07,2.502262e-07,3.289321e-07,3.891478e-07,5.526169e-07,5.685378e-07,7.914687e-07,8.516583e-07,1.059400e-06,1.228885e-06,1.371490e-06,1.680211e-06,1.724607e-06,2.114170e-06,2.196008e-06,2.535053e-06,2.764562e-06,2.982060e-06,3.373989e-06,3.450077e-06,3.934120e-06,4.012730e-06,4.429379e-06,4.669733e-06,4.931277e-06,5.334693e-06,5.435541e-06,5.938257e-06,5.998309e-06,6.435922e-06,6.652487e-06,6.925466e-06,7.290456e-06,7.404263e-06,7.870125e-06,7.906780e-06,8.321279e-06,8.497299e-06,8.756337e-06,9.059016e-06,9.174260e-06,9.574320e-06,9.589943e-06,9.956060e-06,1.008895e-05,1.031926e-05,1.055561e-05,1.066388e-05,1.099006e-05,1.129805e-05,1.139282e-05,1.158822e-05,1.176478e-05,1.186101e-05,1.210703e-05,1.211695e-05,1.235659e-05,1.242084e-05,1.258051e-05,1.270757e-05,1.278933e-05,1.296864e-05,1.298367e-05,1.316416e-05,1.320548e-05,1.333141e-05,1.341953e-05,1.348606e-05,1.361219e-05,1.362869e-05,1.375991e-05,1.378484e-05,1.388030e-05,1.393880e-05,1.399040e-05,1.407534e-05,1.409077e-05,1.418191e-05,1.419567e-05,1.426432e-05,1.430093e-05,1.433849e-05,1.439220e-05,1.440488e-05,1.446391e-05,1.447052e-05,1.451602e-05,1.453686e-05,1.456160e-05,1.459211e-05,1.460103e-05,1.463468e-05,1.463714e-05,1.466290e-05,1.467273e-05,1.468600e-05,1.469965e-05,1.470431e-05,1.471813e-05,1.471859e-05,1.472773e-05,1.473021e-05,1.473339e-05,1.473512e-05,1.473536e-05,1.473388e-05,1.472918e-05,1.472703e-05,1.472147e-05,1.471506e-05,1.471098e-05,1.469845e-05,1.469787e-05,1.468235e-05,1.467760e-05,1.466459e-05,1.465292e-05,1.464475e-05,1.462479e-05,1.462298e-05,1.459944e-05,1.459354e-05,1.457427e-05,1.455950e-05,1.454759e-05,1.452296e-05,1.451952e-05,1.449020e-05,1.448419e-05,1.445972e-05,1.444346e-05,1.442820e-05,1.440098e-05,1.439573e-05,1.436240e-05,1.435699e-05,1.432829e-05,1.431168e-05,1.429351e-05,1.426523e-05,1.425811e-05,1.422217e-05,1.421783e-05,1.418577e-05,1.416962e-05,1.414896e-05,1.412075e-05,1.411181e-05,1.407436e-05,1.407136e-05,1.403669e-05,1.402157e-05,1.399883e-05,1.397148e-05,1.396083e-05,1.392274e-05,1.392122e-05,1.388460e-05,1.387086e-05,1.384644e-05,1.382050e-05,1.380831e-05,1.377022e-05,1.372009e-05,1.367017e-05,1.362053e-05,1.357122e-05,1.352229e-05,1.347377e-05,1.342572e-05,1.337817e-05,1.333115e-05,1.328469e-05,1.323880e-05,1.319353e-05,1.314888e-05,1.310486e-05,1.306151e-05,1.301882e-05,1.297680e-05,1.293548e-05,1.289484e-05,1.285489e-05,1.281565e-05,1.277710e-05,1.273926e-05,1.270211e-05
0.000000e+00,4.606759e-12,2.375175e-11,2.721836e-10,1.368601e-09,2.864607e-09,1.405944e-08,1.488715e-08,5.259353e-08,7.139867e-08,1.456492e-07,2.468120e-07,3.411683e-07,6.697404e-07,7.073217e-07,1.336277e-06,1.538880e-06,2.345905e-06,3.129966e-06,3.879352e-06,5.792945e-06,6.101948e-06,9.195805e-06,9.935942e-06,1.335308e-05,1.599997e-05,1.876885e-05,2.443067e-05,2.563413e-05,3.412956e-05,3.565137e-05,4.441975e-05,5.003968e-05,5.664856e-05,6.790848e-05,7.093528e-05,8.737169e-05,8.949179e-05,1.060201e-04,1.149355e-04,1.269124e-04,1.442930e-04,1.500496e-04,1.754028e-04,1.775252e-04,2.029140e-04,2.145046e-04,2.324984e-04,2.550225e-04,2.640468e-04,2.974281e-04,2.987994e-04,3.324923e-04,3.454961e-04,3.690743e-04,3.947268e-04,4.069965e-04,4.460725e-04,4.861098e-04,4.990930e-04,5.269133e-04,5.533394e-04,5.682877e-04,6.083649e-04,6.100399e-04,6.519816e-04,6.637342e-04,6.939309e-04,7.190315e-04,7.357141e-04,7.738667e-04,7.771671e-04,8.181361e-04,8.278806e-04,8.584789e-04,8.807483e-04,8.980652e-04,9.321812e-04,9.367767e-04,9.745078e-04,9.819280e-04,1.011165e-03,1.029775e-03,1.046667e-03,1.075545e-03,1.080945e-03,1.113939e-03,1.119096e-03,1.145605e-03,1.160320e-03,1.175903e-03,1.199139e-03,1.204808e-03,1.232301e-03,1.235504e-03,1.258371e-03,1.269391e-03,1.283018e-03,1.300799e-03,1.306245e-03,1.328063e-03,1.329749e-03,1.348490e-03,1.356276e-03,1.367546e-03,1.380433e-03,1.385258e-03,1.401655e-03,1.402284e-03,1.416770e-03,1.421905e-03,1.430639e-03,1.439378e-03,1.443300e-03,1.454792e-03,1.465156e-03,1.468242e-03,1.474436e-03,1.479825e-03,1.482672e-03,1.489639e-03,1.489910e-03,1.496192e-03,1.497786e-03,1.501562e-03,1.504364e-03,1.506063e-03,1.509472e-03,1.509737e-03,1.512626e-03,1.513208e-03,1.514772e-03,1.515664e-03,1.516214e-03,1.516933e-03,1.516993e-03,1.517145e-03,1.517104e-03,1.516708e-03,1.516261e-03,1.515719e-03,1.514486e-03,1.514211e-03,1.512218e-03,1.511856e-03,1.509772e-03,1.508446e-03,1.506904e-03,1.504325e-03,1.503643e-03,1.500018e-03,1.499560e-03,1.496055e-03,1.494212e-03,1.491781e-03,1.488340e-03,1.487220e-03,1.482395e-03,1.481999e-03,1.477329e-03,1.475240e-03,1.472042e-03,1.468111e-03,1.466555e-03,1.460887e-03,1.460656e-03,1.455054e-03,1.452918e-03,1.449075e-03,1.444934e-03,1.442966e-03,1.436740e-03,1.428369e-03,1.419851e-03,1.411214e-03,1.402485e-03,1.393685e-03,1.384838e-03,1.375962e-03,1.367076e-03,1.358196e-03,1.349337e-03,1.340512e-03,1.331734e-03,1.323013e-03,1.314359e-03,1.305781e-03,1.297287e-03,1.288883e-03,1.280577e-03,1.272372e-03,1.264275e-03,1.256288e-03,1.248415e-03,1.240659e-03,1.233023e-03
0.000000e+00,1.915359e-11,8.859299e-11,8.138488e-10,3.362302e-09,6.331697e-09,2.382783e-08,2.496543e-08,6.856971e-08,8.711218e-08,1.510252e-07,2.253498e-07,2.873212e-07,4.737875e-07,4.932009e-07,7.850481e-07,8.697439e-07,1.179595e-06,1.451500e-06,1.693017e-06,2.254172e-06,2.339041e-06,3.126099e-06,3.300622e-06,4.054410e-06,4.590202e-06,5.114571e-06,6.094094e-06,6.288691e-06,7.553526e-06,7.762650e-06,8.884177e-06,9.539199e-06,1.025690e-05,1.137115e-05,1.165070e-05,1.304787e-05,1.321504e-05,1.443388e-05,1.503706e-05,1.579695e-05,1.681166e-05,1.712764e-05,1.841842e-05,1.851977e-05,1.966337e-05,2.014745e-05,2.085793e-05,2.168488e-05,2.199873e-05,2.308336e-05,2.312556e-05,2.411031e-05,2.446572e-05,2.507879e-05,2.570387e-05,2.598867e-05,2.684033e-05,2.763460e-05,2.787684e-05,2.837269e-05,2.881626e-05,2.905608e-05,2.966225e-05,2.968648e-05,3.026576e-05,3.041907e-05,3.079593e-05,3.109132e-05,3.127906e-05,3.168382e-05,3.171727e-05,3.211271e-05,3.220149e-05,3.246750e-05,3.264921e-05,3.278374e-05,3.303180e-05,3.306352e-05,3.330884e-05,3.335394e-05,3.352166e-05,3.362012e-05,3.370389e-05,3.383466e-05,3.385735e-05,3.398379e-05,3.400163e-05,3.408491e-05,3.412492e-05,3.416231e-05,3.420819e-05,3.421753e-05,3.425204e-05,3.425486e-05,3.426723e-05,3.426814e-05,3.426444e-05,3.425106e-05,3.424492e-05,3.420987e-05,3.420643e-05,3.416042e-05,3.413685e-05,3.409764e-05,3.404476e-05,3.402255e-05,3.393610e-05,3.393242e-05,3.383921e-05,3.380194e-05,3.373273e-05,3.365525e-05,3.361746e-05,3.349416e-05,3.336355e-05,3.332032e-05,3.322630e-05,3.313526e-05,3.308304e-05,3.294041e-05,3.293436e-05,3.278084e-05,3.273705e-05,3.262298e-05,3.252640e-05,3.246129e-05,3.230954e-05,3.229622e-05,3.212820e-05,3.208749e-05,3.195764e-05,3.186116e-05,3.178492e-05,3.163141e-05,3.161038e-05,3.143436e-05,3.139900e-05,3.125715e-05,3.116464e-05,3.107906e-05,3.092897e-05,3.090035e-05,3.072125e-05,3.069258e-05,3.054201e-05,3.045599e-05,3.036283e-05,3.021967e-05,3.018392e-05,3.000545e-05,2.998407e-05,2.982759e-05,2.974956e-05,2.965050e-05,2.951651e-05,2.947432e-05,2.929918e-05,2.928522e-05,2.912520e-05,2.905596e-05,2.895250e-05,2.882900e-05,2.878117e-05,2.861130e-05,2.860454e-05,2.844299e-05,2.838279e-05,2.827629e-05,2.816390e-05,2.811129e-05,2.794803e-05,2.773531e-05,2.752583e-05,2.731970e-05,2.711699e-05,2.691775e-05,2.672204e-05,2.652988e-05,2.634132e-05,2.615636e-05,2.597500e-05,2.579726e-05,2.562311e-05,2.545254e-05,2.528554e-05,2.512208e-05,2.496212e-05,2.480563e-05,2.465258e-05,2.450291e-05,2.435660e-05,2.421358e-05,2.407381e-05,2.393724e-05,2.380382e-05
0.000000e+00,3.586863e-12,1.844971e-11,2.103657e-10,1.052761e-09,2.197620e-09,1.070809e-08,1.133504e-08,3.973619e-08,5.382514e-08,1.091676e-07,1.840807e-07,2.536027e-07,4.939271e-07,5.212795e-07,9.761973e-07,1.121840e-06,1.698961e-06,2.256273e-06,2.786746e-06,4.134893e-06,4.351959e-06,6.519187e-06,7.036423e-06,9.420401e-06,1.126349e-05,1.318893e-05,1.711894e-05,1.795312e-05,2.383036e-05,2.488104e-05,3.092210e-05,3.478236e-05,3.931005e-05,4.699431e-05,4.905349e-05,6.018785e-05,6.161823e-05,7.272429e-05,7.868206e-05,8.665008e-05,9.814188e-05,1.019298e-04,1.185071e-04,1.198872e-04,1.363069e-04,1.437491e-04,1.552377e-04,1.695098e-04,1.751947e-04,1.960620e-04,1.969139e-04,2.177158e-04,2.256789e-04,2.400269e-04,2.555065e-04,2.628631e-04,2.860918e-04,3.095817e-04,3.171327e-04,3.332051e-04,3.483371e-04,3.568391e-04,3.794292e-04,3.803669e-04,4.036792e-04,4.101540e-04,4.266747e-04,4.402810e-04,4.492608e-04,4.696062e-04,4.713537e-04,4.928791e-04,4.979533e-04,5.137717e-04,5.251738e-04,5.339753e-04,5.511468e-04,5.534426e-04,5.721347e-04,5.757772e-04,5.900208e-04,5.989950e-04,6.070776e-04,6.207525e-04,6.232890e-04,6.386452e-04,6.410225e-04,6.531425e-04,6.597964e-04,6.667824e-04,6.770812e-04,6.795713e-04,6.915199e-04,6.928979e-04,7.026425e-04,7.072793e-04,7.129568e-04,7.202674e-04,7.224831e-04,7.312439e-04,7.319125e-04,7.392640e-04,7.422704e-04,7.465693e-04,7.514018e-04,7.531871e-04,7.591454e-04,7.593704e-04,7.644729e-04,7.662420e-04,7.691986e-04,7.720831e-04,7.733515e-04,7.769605e-04,7.800545e-04,7.809404e-04,7.826616e-04,7.840875e-04,7.848095e-04,7.864647e-04,7.865254e-04,7.878355e-04,7.881331e-04,7.887654e-04,7.891510e-04,7.893396e-04,7.895743e-04,7.895821e-04,7.895156e-04,7.894561e-04,7.891621e-04,7.888465e-04,7.885424e-04,7.877930e-04,7.876767e-04,7.865840e-04,7.863398e-04,7.852822e-04,7.845285e-04,7.837887e-04,7.823977e-04,7.821195e-04,7.802902e-04,7.799836e-04,7.783151e-04,7.773193e-04,7.762080e-04,7.744359e-04,7.739817e-04,7.716484e-04,7.713618e-04,7.692194e-04,7.681230e-04,7.667053e-04,7.647438e-04,7.641160e-04,7.614610e-04,7.612461e-04,7.587489e-04,7.576499e-04,7.559879e-04,7.539738e-04,7.531854e-04,7.503485e-04,7.502344e-04,7.474838e-04,7.464468e-04,7.445972e-04,7.426248e-04,7.416945e-04,7.387809e-04,7.349262e-04,7.310708e-04,7.272238e-04,7.233933e-04,7.195865e-04,7.158098e-04,7.120688e-04,7.083687e-04,7.047136e-04,7.011076e-04,6.975538e-04,6.940551e-04,6.906139e-04,6.872323e-04,6.839119e-04,6.806541e-04,6.774599e-04,6.743302e-04,6.712656e-04,6.682664e-04,6.653328e-04,6.624648e-04,6.596622e-04,6.569248e-04
0.000000e+00,9.274279e-09,2.153314e-08,7.519923e-08,1.724894e-07,2.525526e-07,5.778118e-07,5.954021e-07,1.160782e-06,1.367381e-06,2.011753e-06,2.688059e-06,3.217395e-06,4.697598e-06,4.844540e-06,6.934596e-06,7.505015e-06,9.475188e-06,1.107199e-05,1.240237e-05,1.523419e-05,1.563593e-05,1.910576e-05,1.982297e-05,2.275621e-05,2.471050e-05,2.654197e-05,2.979793e-05,3.042407e-05,3.436774e-05,3.500229e-05,3.834156e-05,4.025129e-05,4.231727e-05,4.548222e-05,4.626977e-05,5.017716e-05,5.064210e-05,5.402078e-05,5.568763e-05,5.778499e-05,6.058474e-05,6.145705e-05,6.502682e-05,6.530774e-05,6.848651e-05,6.983820e-05,7.183034e-05,7.416383e-05,7.505428e-05,7.815582e-05,7.827731e-05,8.113363e-05,8.217528e-05,8.398745e-05,8.585748e-05,8.671784e-05,8.932603e-05,9.181379e-05,9.258479e-05,9.418333e-05,9.563896e-05,9.643719e-05,9.849464e-05,9.857815e-05,1.006092e-04,1.011586e-04,1.025334e-04,1.036380e-04,1.043540e-04,1.059402e-04,1.060742e-04,1.076974e-04,1.080729e-04,1.092268e-04,1.100436e-04,1.106658e-04,1.118598e-04,1.120175e-04,1.132854e-04,1.135291e-04,1.144724e-04,1.150587e-04,1.155817e-04,1.164558e-04,1.166165e-04,1.175796e-04,1.177273e-04,1.184741e-04,1.188799e-04,1.193027e-04,1.199201e-04,1.200683e-04,1.207735e-04,1.208542e-04,1.214210e-04,1.216882e-04,1.220132e-04,1.224280e-04,1.225528e-04,1.230420e-04,1.230790e-04,1.234832e-04,1.236467e-04,1.238786e-04,1.241361e-04,1.242303e-04,1.245405e-04,1.245521e-04,1.248111e-04,1.248993e-04,1.250442e-04,1.251821e-04,1.252415e-04,1.254049e-04,1.255361e-04,1.255716e-04,1.256368e-04,1.256860e-04,1.257086e-04,1.257517e-04,1.257530e-04,1.257716e-04,1.257723e-04,1.257657e-04,1.257510e-04,1.257367e-04,1.256908e-04,1.256859e-04,1.256147e-04,1.255947e-04,1.255242e-04,1.254655e-04,1.254155e-04,1.253058e-04,1.252899e-04,1.251482e-04,1.251181e-04,1.249917e-04,1.249047e-04,1.248212e-04,1.246679e-04,1.246377e-04,1.244420e-04,1.244097e-04,1.242351e-04,1.241320e-04,1.240177e-04,1.238368e-04,1.237907e-04,1.235547e-04,1.235258e-04,1.233104e-04,1.232005e-04,1.230586e-04,1.228626e-04,1.227999e-04,1.225349e-04,1.225134e-04,1.222642e-04,1.221544e-04,1.219883e-04,1.217867e-04,1.217078e-04,1.214231e-04,1.214117e-04,1.211348e-04,1.210302e-04,1.208433e-04,1.206435e-04,1.205490e-04,1.202524e-04,1.198579e-04,1.194608e-04,1.190618e-04,1.186618e-04,1.182613e-04,1.178609e-04,1.174614e-04,1.170631e-04,1.166665e-04,1.162722e-04,1.158805e-04,1.154918e-04,1.151065e-04,1.147247e-04,1.143470e-04,1.139734e-04,1.136042e-04,1.132396e-04,1.128798e-04,1.125251e-04,1.121754e-04,1.118309e-04,1.114918e-04,1.111581e-04
0.000000e+00,1.342942e-11,6.144591e-11,5.525326e-10,2.241649e-09,4.181661e-09,1.538206e-08,1.610225e-08,4.333081e-08,5.476052e-08,9.374508e-08,1.385261e-07,1.755408e-07,2.856618e-07,2.970398e-07,4.665705e-07,5.153039e-07,6.920357e-07,8.452198e-07,9.798315e-07,1.287405e-06,1.333303e-06,1.751674e-06,1.842780e-06,2.230266e-06,2.500568e-06,2.761770e-06,3.242934e-06,3.337715e-06,3.949528e-06,4.050195e-06,4.589075e-06,4.903673e-06,5.248827e-06,5.786516e-06,5.921878e-06,6.601902e-06,6.683693e-06,7.283118e-06,7.581861e-06,7.960287e-06,8.469325e-06,8.628723e-06,9.284304e-06,9.336085e-06,9.923483e-06,1.017388e-05,1.054329e-05,1.097617e-05,1.114130e-05,1.171563e-05,1.173809e-05,1.226491e-05,1.245632e-05,1.278817e-05,1.312882e-05,1.328484e-05,1.375471e-05,1.419784e-05,1.433404e-05,1.461454e-05,1.486758e-05,1.500532e-05,1.535669e-05,1.537084e-05,1.571189e-05,1.580312e-05,1.602936e-05,1.620890e-05,1.632418e-05,1.657627e-05,1.659735e-05,1.684988e-05,1.690753e-05,1.708279e-05,1.720503e-05,1.729709e-05,1.747108e-05,1.749379e-05,1.767384e-05,1.770794e-05,1.783820e-05,1.791777e-05,1.798778e-05,1.810263e-05,1.812344e-05,1.824603e-05,1.826449e-05,1.835634e-05,1.840515e-05,1.845513e-05,1.852636e-05,1.854312e-05,1.862100e-05,1.862970e-05,1.868940e-05,1.871666e-05,1.874895e-05,1.878863e-05,1.880020e-05,1.884371e-05,1.884687e-05,1.887999e-05,1.889259e-05,1.890952e-05,1.892685e-05,1.893274e-05,1.895009e-05,1.895067e-05,1.896197e-05,1.896498e-05,1.896874e-05,1.897062e-05,1.897077e-05,1.896838e-05,1.896188e-05,1.895899e-05,1.895157e-05,1.894310e-05,1.893772e-05,1.892133e-05,1.892059e-05,1.890041e-05,1.889425e-05,1.887742e-05,1.886235e-05,1.885181e-05,1.882613e-05,1.882381e-05,1.879358e-05,1.878602e-05,1.876132e-05,1.874241e-05,1.872717e-05,1.869568e-05,1.869129e-05,1.865384e-05,1.864617e-05,1.861494e-05,1.859418e-05,1.857472e-05,1.854000e-05,1.853330e-05,1.849080e-05,1.848390e-05,1.844731e-05,1.842612e-05,1.840294e-05,1.836687e-05,1.835778e-05,1.831191e-05,1.830636e-05,1.826542e-05,1.824478e-05,1.821838e-05,1.818231e-05,1.817086e-05,1.812294e-05,1.811909e-05,1.807466e-05,1.805527e-05,1.802610e-05,1.799099e-05,1.797731e-05,1.792833e-05,1.792637e-05,1.787922e-05,1.786152e-05,1.783002e-05,1.779654e-05,1.778077e-05,1.773152e-05,1.766655e-05,1.760171e-05,1.753707e-05,1.747269e-05,1.740864e-05,1.734496e-05,1.728171e-05,1.721893e-05,1.715666e-05,1.709493e-05,1.703379e-05,1.697325e-05,1.691335e-05,1.685411e-05,1.679554e-05,1.673767e-05,1.668051e-05,1.662407e-05,1.656837e-05,1.651342e-05,1.645923e-05,1.640580e-05,1.635313e-05,1.630123e-05
0.000000e+00,2.532236e-12,1.270535e-11,1.375124e-10,6.558224e-10,1.332982e-09,6.058554e-09,6.395044e-09,2.090892e-08,2.778958e-08,5.373633e-08,8.719107e-08,1.171570e-07,2.158825e-07,2.267730e-07,4.012127e-07,4.550206e-07,6.614493e-07,8.528353e-07,1.029348e-06,1.458444e-06,1.525311e-06,2.165599e-06,2.311983e-06,2.960230e-06,3.435645e-06,3.911967e-06,4.829795e-06,5.016385e-06,6.262695e-06,6.474268e-06,7.634980e-06,8.332757e-06,9.113578e-06,1.035821e-05,1.067641e-05,1.230016e-05,1.249798e-05,1.396133e-05,1.469817e-05,1.563705e-05,1.690699e-05,1.730574e-05,1.894760e-05,1.907725e-05,2.054499e-05,2.116799e-05,2.208262e-05,2.314541e-05,2.354766e-05,2.492981e-05,2.498326e-05,2.622117e-05,2.666269e-05,2.741615e-05,2.817184e-05,2.851129e-05,2.950504e-05,3.039755e-05,3.066199e-05,3.119040e-05,3.164677e-05,3.188638e-05,3.246686e-05,3.248924e-05,3.300351e-05,3.313230e-05,3.343422e-05,3.365478e-05,3.378680e-05,3.404702e-05,3.406689e-05,3.428019e-05,3.432208e-05,3.443238e-05,3.449299e-05,3.452900e-05,3.457231e-05,3.457540e-05,3.457669e-05,3.457196e-05,3.453768e-05,3.450298e-05,3.446289e-05,3.437549e-05,3.435651e-05,3.422238e-05,3.419859e-05,3.406406e-05,3.398043e-05,3.388477e-05,3.372821e-05,3.368743e-05,3.347468e-05,3.344823e-05,3.324889e-05,3.314597e-05,3.301219e-05,3.282618e-05,3.276648e-05,3.251343e-05,3.249292e-05,3.225455e-05,3.214966e-05,3.199115e-05,3.179938e-05,3.172442e-05,3.145536e-05,3.144456e-05,3.118488e-05,3.108732e-05,3.091378e-05,3.072943e-05,3.064274e-05,3.037237e-05,3.010318e-05,3.001737e-05,2.983564e-05,2.966545e-05,2.957012e-05,2.931745e-05,2.930697e-05,2.904647e-05,2.897405e-05,2.878888e-05,2.863580e-05,2.853439e-05,2.830317e-05,2.828320e-05,2.803543e-05,2.797649e-05,2.779121e-05,2.765604e-05,2.755065e-05,2.734204e-05,2.731382e-05,2.708077e-05,2.703462e-05,2.685156e-05,2.673390e-05,2.662622e-05,2.643994e-05,2.640477e-05,2.618721e-05,2.615276e-05,2.597355e-05,2.587238e-05,2.576378e-05,2.559876e-05,2.555789e-05,2.535584e-05,2.533186e-05,2.515763e-05,2.507162e-05,2.496321e-05,2.481796e-05,2.477254e-05,2.458560e-05,2.457080e-05,2.440232e-05,2.433003e-05,2.422268e-05,2.409556e-05,2.404662e-05,2.387408e-05,2.386725e-05,2.370503e-05,2.364501e-05,2.353940e-05,2.342870e-05,2.337714e-05,2.321820e-05,2.301338e-05,2.281411e-05,2.262027e-05,2.243171e-05,2.224831e-05,2.206994e-05,2.189646e-05,2.172776e-05,2.156370e-05,2.140415e-05,2.124901e-05,2.109813e-05,2.095141e-05,2.080872e-05,2.066996e-05,2.053500e-05,2.040375e-05,2.027609e-05,2.015192e-05,2.003114e-05,1.991364e-05,1.979933e-05,1.968812e-05,1.957992e-05
0.000000e+00,3.062973e-10,6.994916e-10,2.390499e-09,5.401407e-09,7.845949e-09,1.755868e-08,1.807549e-08,3.430945e-08,4.008076e-08,5.762116e-08,7.539762e-08,8.893942e-08,1.255069e-07,1.290565e-07,1.786292e-07,1.919939e-07,2.381694e-07,2.760002e-07,3.080154e-07,3.781017e-07,3.882808e-07,4.787890e-07,4.980806e-07,5.790269e-07,6.347306e-07,6.881643e-07,7.859468e-07,8.051424e-07,9.287846e-07,9.491050e-07,1.057884e-06,1.121440e-06,1.191253e-06,1.300250e-06,1.327745e-06,1.466268e-06,1.482977e-06,1.605787e-06,1.667239e-06,1.745335e-06,1.850857e-06,1.884017e-06,2.021018e-06,2.031883e-06,2.155606e-06,2.208618e-06,2.287137e-06,2.379631e-06,2.415056e-06,2.538894e-06,2.543757e-06,2.658267e-06,2.700089e-06,2.772875e-06,2.847967e-06,2.882490e-06,2.986954e-06,3.086173e-06,3.116807e-06,3.180106e-06,3.237452e-06,3.268762e-06,3.348952e-06,3.352190e-06,3.430474e-06,3.451487e-06,3.503729e-06,3.545324e-06,3.572092e-06,3.630798e-06,3.635717e-06,3.694775e-06,3.708289e-06,3.749444e-06,3.778212e-06,3.799912e-06,3.840998e-06,3.846367e-06,3.889002e-06,3.897087e-06,3.928007e-06,3.946917e-06,3.963570e-06,3.990919e-06,3.995877e-06,4.025109e-06,4.029512e-06,4.051439e-06,4.063096e-06,4.075036e-06,4.092055e-06,4.096063e-06,4.114674e-06,4.116752e-06,4.131019e-06,4.137529e-06,4.145238e-06,4.154706e-06,4.157466e-06,4.167830e-06,4.168583e-06,4.176452e-06,4.179438e-06,4.183445e-06,4.187532e-06,4.188917e-06,4.192970e-06,4.193104e-06,4.195700e-06,4.196377e-06,4.197198e-06,4.197557e-06,4.197549e-06,4.196832e-06,4.195123e-06,4.194379e-06,4.192493e-06,4.190357e-06,4.189008e-06,4.184915e-06,4.184730e-06,4.179717e-06,4.178190e-06,4.174025e-06,4.170306e-06,4.167705e-06,4.161378e-06,4.160806e-06,4.153372e-06,4.151513e-06,4.145446e-06,4.140808e-06,4.137068e-06,4.129351e-06,4.128275e-06,4.119102e-06,4.117225e-06,4.109582e-06,4.104505e-06,4.099746e-06,4.091259e-06,4.089621e-06,4.079236e-06,4.077552e-06,4.068616e-06,4.063442e-06,4.057784e-06,4.048981e-06,4.046762e-06,4.035572e-06,4.034219e-06,4.024232e-06,4.019200e-06,4.012761e-06,4.003966e-06,4.001176e-06,3.989493e-06,3.988555e-06,3.977727e-06,3.973000e-06,3.965891e-06,3.957334e-06,3.954000e-06,3.942064e-06,3.941586e-06,3.930097e-06,3.925782e-06,3.918107e-06,3.909947e-06,3.906106e-06,3.894102e-06,3.878268e-06,3.862464e-06,3.846706e-06,3.831010e-06,3.815390e-06,3.799858e-06,3.784427e-06,3.769106e-06,3.753905e-06,3.738833e-06,3.723897e-06,3.709104e-06,3.694460e-06,3.679971e-06,3.665642e-06,3.651477e-06,3.637479e-06,3.623652e-06,3.609999e-06,3.596522e-06,3.583223e-06,3.570103e-06,3.557164e-06,3.544408e-06
0.000000e+00,3.077087e-11,1.435231e-10,1.340673e-09,5.620740e-09,1.066918e-08,4.099202e-08,4.298612e-08,1.206933e-07,1.543202e-07,2.722284e-07,4.125650e-07,5.318088e-07,9.006164e-07,9.397511e-07,1.540353e-06,1.717872e-06,2.373607e-06,2.951598e-06,3.463163e-06,4.635250e-06,4.809986e-06,6.395991e-06,6.739479e-06,8.192793e-06,9.200123e-06,1.016945e-05,1.194741e-05,1.229681e-05,1.454891e-05,1.491925e-05,1.690272e-05,1.806247e-05,1.933732e-05,2.133000e-05,2.183316e-05,2.437153e-05,2.467813e-05,2.693440e-05,2.806530e-05,2.950433e-05,3.145194e-05,3.206471e-05,3.459996e-05,3.480125e-05,3.709570e-05,3.807998e-05,3.953898e-05,4.125917e-05,4.191836e-05,4.422402e-05,4.431459e-05,4.644780e-05,4.722701e-05,4.858315e-05,4.998205e-05,5.062504e-05,5.256988e-05,5.441541e-05,5.498479e-05,5.616052e-05,5.722461e-05,5.780513e-05,5.929014e-05,5.935004e-05,6.079680e-05,6.118458e-05,6.214756e-05,6.291302e-05,6.340496e-05,6.448191e-05,6.457203e-05,6.565207e-05,6.589872e-05,6.664861e-05,6.717155e-05,6.756529e-05,6.830887e-05,6.840584e-05,6.917399e-05,6.931926e-05,6.987347e-05,7.021128e-05,7.050793e-05,7.099326e-05,7.108096e-05,7.159602e-05,7.167328e-05,7.205649e-05,7.225908e-05,7.246561e-05,7.275802e-05,7.282648e-05,7.314207e-05,7.317703e-05,7.341519e-05,7.352261e-05,7.364854e-05,7.380085e-05,7.384466e-05,7.400597e-05,7.401744e-05,7.413477e-05,7.417767e-05,7.423321e-05,7.428644e-05,7.430333e-05,7.434705e-05,7.434827e-05,7.436617e-05,7.436736e-05,7.436239e-05,7.434757e-05,7.433732e-05,7.429246e-05,7.422922e-05,7.420532e-05,7.414894e-05,7.408919e-05,7.405285e-05,7.394682e-05,7.394213e-05,7.381787e-05,7.378080e-05,7.368111e-05,7.359346e-05,7.353282e-05,7.338697e-05,7.337389e-05,7.320518e-05,7.316332e-05,7.302749e-05,7.292434e-05,7.284156e-05,7.267169e-05,7.264810e-05,7.244775e-05,7.240692e-05,7.224115e-05,7.213143e-05,7.202886e-05,7.184654e-05,7.181142e-05,7.158935e-05,7.155342e-05,7.136311e-05,7.125317e-05,7.113316e-05,7.094680e-05,7.089990e-05,7.066374e-05,7.063522e-05,7.042502e-05,7.031927e-05,7.018411e-05,6.999974e-05,6.994131e-05,6.969693e-05,6.967732e-05,6.945124e-05,6.935266e-05,6.920451e-05,6.902636e-05,6.895699e-05,6.870890e-05,6.869896e-05,6.846045e-05,6.837097e-05,6.821186e-05,6.804282e-05,6.796329e-05,6.771494e-05,6.738771e-05,6.706146e-05,6.673652e-05,6.641317e-05,6.609167e-05,6.577226e-05,6.545514e-05,6.514051e-05,6.482854e-05,6.451939e-05,6.421320e-05,6.391008e-05,6.361016e-05,6.331352e-05,6.302026e-05,6.273045e-05,6.244415e-05,6.216142e-05,6.188231e-05,6.160686e-05,6.133509e-05,6.106704e-05,6.080271e-05,6.054213e-05
0.000000e+00,1.462669e-09,3.412759e-09,1.196678e-08,2.744697e-08,4.013851e-08,9.120611e-08,9.394539e-08,1.808306e-07,2.120547e-07,3.078502e-07,4.061541e-07,4.817756e-07,6.887904e-07,7.090844e-07,9.956819e-07,1.073840e-06,1.346151e-06,1.571235e-06,1.762612e-06,2.182862e-06,2.243934e-06,2.786148e-06,2.901420e-06,3.383671e-06,3.714213e-06,4.030381e-06,4.607127e-06,4.720128e-06,5.446851e-06,5.566159e-06,6.204593e-06,6.577604e-06,6.987498e-06,7.628082e-06,7.789834e-06,8.606045e-06,8.704668e-06,9.430816e-06,9.795122e-06,1.025913e-05,1.088814e-05,1.108634e-05,1.190819e-05,1.197358e-05,1.272084e-05,1.304256e-05,1.352093e-05,1.408754e-05,1.430550e-05,1.507205e-05,1.510230e-05,1.581847e-05,1.608192e-05,1.654306e-05,1.702259e-05,1.724444e-05,1.792160e-05,1.857376e-05,1.877709e-05,1.920044e-05,1.958800e-05,1.980136e-05,2.035392e-05,2.037643e-05,2.092573e-05,2.107494e-05,2.144948e-05,2.175160e-05,2.194801e-05,2.238475e-05,2.242175e-05,2.287120e-05,2.297552e-05,2.329693e-05,2.352520e-05,2.369955e-05,2.403525e-05,2.407970e-05,2.443808e-05,2.450720e-05,2.477536e-05,2.494265e-05,2.509226e-05,2.534322e-05,2.538949e-05,2.566776e-05,2.571057e-05,2.592777e-05,2.604630e-05,2.617024e-05,2.635204e-05,2.639585e-05,2.660527e-05,2.662935e-05,2.679919e-05,2.687976e-05,2.697824e-05,2.710476e-05,2.714305e-05,2.729426e-05,2.730579e-05,2.743246e-05,2.748422e-05,2.755822e-05,2.764139e-05,2.767212e-05,2.777470e-05,2.777858e-05,2.786649e-05,2.789699e-05,2.794800e-05,2.799780e-05,2.801971e-05,2.808212e-05,2.813566e-05,2.815100e-05,2.818079e-05,2.820546e-05,2.821793e-05,2.824645e-05,2.824749e-05,2.826985e-05,2.827488e-05,2.828540e-05,2.829161e-05,2.829450e-05,2.829747e-05,2.829749e-05,2.829471e-05,2.829322e-05,2.828648e-05,2.827960e-05,2.827310e-05,2.825731e-05,2.825487e-05,2.823208e-05,2.822699e-05,2.820498e-05,2.818928e-05,2.817384e-05,2.814474e-05,2.813891e-05,2.810041e-05,2.809394e-05,2.805859e-05,2.803739e-05,2.801365e-05,2.797559e-05,2.796579e-05,2.791523e-05,2.790899e-05,2.786214e-05,2.783802e-05,2.780670e-05,2.776310e-05,2.774909e-05,2.768946e-05,2.768461e-05,2.762798e-05,2.760291e-05,2.756480e-05,2.751833e-05,2.750005e-05,2.743387e-05,2.743119e-05,2.736638e-05,2.734179e-05,2.729772e-05,2.725041e-05,2.722799e-05,2.715731e-05,2.706272e-05,2.696688e-05,2.687000e-05,2.677227e-05,2.667388e-05,2.657501e-05,2.647580e-05,2.637641e-05,2.627698e-05,2.617763e-05,2.607848e-05,2.597963e-05,2.588120e-05,2.578327e-05,2.568592e-05,2.558924e-05,2.549328e-05,2.539813e-05,2.530384e-05,2.521046e-05,2.511804e-05,2.502662e-05,2.493624e-05,2.484695e-05
0.000000e+00,3.488609e-12,1.723913e-11,1.808673e-10,8.390649e-10,1.680277e-09,7.358486e-09,7.755763e-09,2.449254e-08,3.226022e-08,6.103708e-08,9.740497e-08,1.295370e-07,2.335901e-07,2.449442e-07,4.245415e-07,4.792442e-07,6.867424e-07,8.762771e-07,1.049023e-06,1.462091e-06,1.525701e-06,2.126476e-06,2.262020e-06,2.856023e-06,3.286450e-06,3.714363e-06,4.532162e-06,4.697623e-06,5.798847e-06,5.985396e-06,7.008746e-06,7.624912e-06,8.316289e-06,9.424403e-06,9.709191e-06,1.117431e-05,1.135433e-05,1.269796e-05,1.338334e-05,1.426627e-05,1.547953e-05,1.586541e-05,1.748188e-05,1.761155e-05,1.910274e-05,1.974956e-05,2.071584e-05,2.186612e-05,2.230995e-05,2.387493e-05,2.393679e-05,2.540179e-05,2.594059e-05,2.688275e-05,2.786021e-05,2.831129e-05,2.968206e-05,3.099088e-05,3.139608e-05,3.223464e-05,3.299549e-05,3.341123e-05,3.447643e-05,3.451944e-05,3.555883e-05,3.583755e-05,3.652966e-05,3.707957e-05,3.743275e-05,3.820490e-05,3.826942e-05,3.904139e-05,3.921726e-05,3.975069e-05,4.012136e-05,4.039959e-05,4.092261e-05,4.099054e-05,4.152612e-05,4.162682e-05,4.200896e-05,4.224008e-05,4.244174e-05,4.276856e-05,4.282715e-05,4.316783e-05,4.321837e-05,4.346639e-05,4.359548e-05,4.372536e-05,4.390568e-05,4.394720e-05,4.413426e-05,4.415449e-05,4.428884e-05,4.434712e-05,4.441309e-05,4.448853e-05,4.450910e-05,4.457883e-05,4.458333e-05,4.462416e-05,4.463585e-05,4.464683e-05,4.465008e-05,4.464853e-05,4.463083e-05,4.462974e-05,4.459521e-05,4.457827e-05,4.454305e-05,4.449882e-05,4.447568e-05,4.439431e-05,4.430011e-05,4.426743e-05,4.419414e-05,4.412061e-05,4.407741e-05,4.395611e-05,4.395087e-05,4.381541e-05,4.377600e-05,4.367185e-05,4.358215e-05,4.352095e-05,4.337627e-05,4.336345e-05,4.320000e-05,4.315995e-05,4.303123e-05,4.293461e-05,4.285773e-05,4.270156e-05,4.268003e-05,4.249865e-05,4.246197e-05,4.231405e-05,4.221694e-05,4.212668e-05,4.196743e-05,4.193693e-05,4.174518e-05,4.171434e-05,4.155179e-05,4.145847e-05,4.135708e-05,4.120056e-05,4.116135e-05,4.096487e-05,4.094126e-05,4.076792e-05,4.068117e-05,4.057072e-05,4.042082e-05,4.037350e-05,4.017646e-05,4.016071e-05,3.997979e-05,3.990126e-05,3.978366e-05,3.964287e-05,3.958823e-05,3.939365e-05,3.938589e-05,3.920006e-05,3.913062e-05,3.900756e-05,3.887736e-05,3.881629e-05,3.862634e-05,3.837778e-05,3.813187e-05,3.788879e-05,3.764868e-05,3.741166e-05,3.717786e-05,3.694735e-05,3.672022e-05,3.649653e-05,3.627633e-05,3.605967e-05,3.584658e-05,3.563707e-05,3.543115e-05,3.522885e-05,3.503014e-05,3.483504e-05,3.464351e-05,3.445555e-05,3.427113e-05,3.409022e-05,3.391280e-05,3.373883e-05,3.356828e-05
0.000000e+00,1.540102e-09,3.947208e-09,1.528983e-08,3.676526e-08,5.474987e-08,1.287549e-07,1.327760e-07,2.621893e-07,3.094393e-07,4.564223e-07,6.100455e-07,7.299219e-07,1.064505e-06,1.097742e-06,1.573294e-06,1.704460e-06,2.163801e-06,2.544046e-06,2.866404e-06,3.568346e-06,3.669540e-06,4.558243e-06,4.744956e-06,5.518144e-06,6.041188e-06,6.536666e-06,7.429415e-06,7.602766e-06,8.706455e-06,8.885904e-06,9.838436e-06,1.038924e-05,1.098994e-05,1.191963e-05,1.215270e-05,1.331897e-05,1.345881e-05,1.448160e-05,1.499031e-05,1.563410e-05,1.649964e-05,1.677068e-05,1.788627e-05,1.797448e-05,1.897653e-05,1.940470e-05,2.003780e-05,2.078228e-05,2.106712e-05,2.206212e-05,2.210118e-05,2.302100e-05,2.335709e-05,2.394246e-05,2.454722e-05,2.482563e-05,2.567005e-05,2.647556e-05,2.672512e-05,2.724229e-05,2.771280e-05,2.797060e-05,2.863412e-05,2.866102e-05,2.931426e-05,2.949061e-05,2.993114e-05,3.028420e-05,3.051259e-05,3.101707e-05,3.105959e-05,3.157318e-05,3.169160e-05,3.205446e-05,3.231027e-05,3.250453e-05,3.287565e-05,3.292450e-05,3.331550e-05,3.339032e-05,3.367865e-05,3.385685e-05,3.401506e-05,3.427777e-05,3.432582e-05,3.461200e-05,3.465558e-05,3.487466e-05,3.499268e-05,3.511481e-05,3.529139e-05,3.533345e-05,3.553155e-05,3.555399e-05,3.571006e-05,3.578263e-05,3.586988e-05,3.597940e-05,3.601191e-05,3.613698e-05,3.614628e-05,3.624593e-05,3.628518e-05,3.633956e-05,3.639790e-05,3.641861e-05,3.648384e-05,3.648618e-05,3.653596e-05,3.655164e-05,3.657564e-05,3.659585e-05,3.660354e-05,3.662029e-05,3.662650e-05,3.662635e-05,3.662274e-05,3.661537e-05,3.660958e-05,3.658858e-05,3.658753e-05,3.655713e-05,3.654718e-05,3.651884e-05,3.649229e-05,3.647315e-05,3.642496e-05,3.642050e-05,3.636131e-05,3.634618e-05,3.629600e-05,3.625690e-05,3.622496e-05,3.615800e-05,3.614856e-05,3.606715e-05,3.605030e-05,3.598108e-05,3.593459e-05,3.589067e-05,3.581161e-05,3.579624e-05,3.569807e-05,3.568203e-05,3.559644e-05,3.554652e-05,3.549164e-05,3.540567e-05,3.538390e-05,3.527347e-05,3.526005e-05,3.516059e-05,3.511020e-05,3.504547e-05,3.495662e-05,3.492833e-05,3.480935e-05,3.479976e-05,3.468873e-05,3.464007e-05,3.456665e-05,3.447795e-05,3.444328e-05,3.431877e-05,3.431377e-05,3.419329e-05,3.414790e-05,3.406696e-05,3.398066e-05,3.393994e-05,3.381235e-05,3.364326e-05,3.347366e-05,3.330378e-05,3.313385e-05,3.296409e-05,3.279469e-05,3.262581e-05,3.245764e-05,3.229031e-05,3.212397e-05,3.195875e-05,3.179475e-05,3.163208e-05,3.147084e-05,3.131112e-05,3.115298e-05,3.099651e-05,3.084177e-05,3.068880e-05,3.053767e-05,3.038841e-05,3.024105e-05,3.009564e-05,2.995220e-05
0.000000e+00,3.767833e-11,1.699246e-10,1.484636e-09,5.875968e-09,1.082037e-08,3.858500e-08,4.034366e-08,1.056821e-07,1.326808e-07,2.237273e-07,3.270890e-07,4.119243e-07,6.624277e-07,6.881945e-07,1.070122e-06,1.179215e-06,1.571741e-06,1.907254e-06,2.197850e-06,2.845307e-06,2.939880e-06,3.777624e-06,3.954420e-06,4.685387e-06,5.176558e-06,5.637812e-06,6.456196e-06,6.612967e-06,7.593027e-06,7.749296e-06,8.563743e-06,9.022930e-06,9.513717e-06,1.025254e-05,1.043379e-05,1.131664e-05,1.141979e-05,1.215656e-05,1.251139e-05,1.294931e-05,1.351842e-05,1.369199e-05,1.438290e-05,1.443591e-05,1.502141e-05,1.526219e-05,1.560784e-05,1.599838e-05,1.614323e-05,1.662924e-05,1.664769e-05,1.706798e-05,1.721482e-05,1.746188e-05,1.770545e-05,1.781357e-05,1.812578e-05,1.840127e-05,1.848212e-05,1.864279e-05,1.878076e-05,1.885299e-05,1.902768e-05,1.903442e-05,1.918950e-05,1.922851e-05,1.932050e-05,1.938844e-05,1.942956e-05,1.951221e-05,1.951865e-05,1.958957e-05,1.960408e-05,1.964401e-05,1.966787e-05,1.968349e-05,1.970697e-05,1.970940e-05,1.972303e-05,1.972438e-05,1.972552e-05,1.972277e-05,1.971793e-05,1.970447e-05,1.970121e-05,1.967624e-05,1.967154e-05,1.964381e-05,1.962580e-05,1.960463e-05,1.956887e-05,1.955936e-05,1.950859e-05,1.950215e-05,1.945286e-05,1.942690e-05,1.939267e-05,1.934421e-05,1.932845e-05,1.926063e-05,1.925506e-05,1.918957e-05,1.916032e-05,1.911561e-05,1.906074e-05,1.903906e-05,1.896022e-05,1.895702e-05,1.887932e-05,1.884975e-05,1.879663e-05,1.873948e-05,1.871235e-05,1.862668e-05,1.853982e-05,1.851180e-05,1.845192e-05,1.839520e-05,1.836315e-05,1.827724e-05,1.827365e-05,1.818354e-05,1.815822e-05,1.809295e-05,1.803842e-05,1.800200e-05,1.791808e-05,1.791077e-05,1.781938e-05,1.779743e-05,1.772791e-05,1.767668e-05,1.763643e-05,1.755599e-05,1.754503e-05,1.745377e-05,1.743554e-05,1.736271e-05,1.731546e-05,1.727191e-05,1.719588e-05,1.718143e-05,1.709131e-05,1.707693e-05,1.700161e-05,1.695871e-05,1.691235e-05,1.684130e-05,1.682359e-05,1.673535e-05,1.672480e-05,1.664768e-05,1.660928e-05,1.656059e-05,1.649481e-05,1.647411e-05,1.638828e-05,1.638144e-05,1.630310e-05,1.626922e-05,1.621861e-05,1.615821e-05,1.613482e-05,1.605175e-05,1.604844e-05,1.596941e-05,1.593994e-05,1.588781e-05,1.583276e-05,1.580697e-05,1.572690e-05,1.562240e-05,1.551926e-05,1.541752e-05,1.531717e-05,1.521822e-05,1.512069e-05,1.502457e-05,1.492987e-05,1.483658e-05,1.474471e-05,1.465425e-05,1.456519e-05,1.447754e-05,1.439127e-05,1.430638e-05,1.422286e-05,1.414070e-05,1.405990e-05,1.398042e-05,1.390227e-05,1.382543e-05,1.374988e-05,1.367561e-05,1.360260e-05
0.000000e+00,6.416737e-09,1.521390e-08,5.425498e-08,1.256549e-07,1.847185e-07,4.268028e-07,4.399860e-07,8.684133e-07,1.027153e-06,1.529238e-06,2.066705e-06,2.494182e-06,3.717431e-06,3.840897e-06,5.630951e-06,6.129192e-06,7.874812e-06,9.310154e-06,1.051414e-05,1.308376e-05,1.344781e-05,1.657386e-05,1.721459e-05,1.981109e-05,2.151804e-05,2.310037e-05,2.587179e-05,2.639871e-05,2.967375e-05,3.019382e-05,3.289999e-05,3.442499e-05,3.605662e-05,3.852011e-05,3.912639e-05,4.209508e-05,4.244395e-05,4.495104e-05,4.616951e-05,4.768515e-05,4.967731e-05,5.029058e-05,5.276240e-05,5.295427e-05,5.509764e-05,5.599315e-05,5.729498e-05,5.879168e-05,5.935451e-05,6.127755e-05,6.135166e-05,6.306644e-05,6.367819e-05,6.472434e-05,6.577881e-05,6.625505e-05,6.766287e-05,6.895248e-05,6.934098e-05,7.012881e-05,7.082456e-05,7.119695e-05,7.212535e-05,7.216204e-05,7.302922e-05,7.325518e-05,7.380360e-05,7.422578e-05,7.449020e-05,7.504857e-05,7.509394e-05,7.561957e-05,7.573462e-05,7.607172e-05,7.629448e-05,7.645482e-05,7.673825e-05,7.677317e-05,7.703086e-05,7.707546e-05,7.723179e-05,7.731509e-05,7.737970e-05,7.746558e-05,7.747815e-05,7.753051e-05,7.753483e-05,7.754001e-05,7.753024e-05,7.750969e-05,7.745870e-05,7.744242e-05,7.734095e-05,7.732660e-05,7.720785e-05,7.713991e-05,7.704557e-05,7.690413e-05,7.685640e-05,7.664251e-05,7.662439e-05,7.640595e-05,7.630542e-05,7.614865e-05,7.595158e-05,7.587242e-05,7.557897e-05,7.556690e-05,7.526990e-05,7.515510e-05,7.494671e-05,7.471960e-05,7.461081e-05,7.426354e-05,7.390612e-05,7.378980e-05,7.353973e-05,7.330104e-05,7.316546e-05,7.279968e-05,7.278431e-05,7.239725e-05,7.228794e-05,7.200516e-05,7.176784e-05,7.160886e-05,7.124123e-05,7.120914e-05,7.080671e-05,7.070979e-05,7.040223e-05,7.017507e-05,6.999634e-05,6.963843e-05,6.958960e-05,6.918255e-05,6.910115e-05,6.877569e-05,6.856435e-05,6.836948e-05,6.802907e-05,6.796433e-05,6.756065e-05,6.749622e-05,6.715878e-05,6.696663e-05,6.675907e-05,6.644105e-05,6.636180e-05,6.596727e-05,6.592012e-05,6.557572e-05,6.540445e-05,6.518739e-05,6.489453e-05,6.480247e-05,6.442117e-05,6.439083e-05,6.404366e-05,6.389375e-05,6.367008e-05,6.340362e-05,6.330058e-05,6.293527e-05,6.292074e-05,6.257427e-05,6.244538e-05,6.221766e-05,6.197772e-05,6.186554e-05,6.151796e-05,6.106623e-05,6.062265e-05,6.018729e-05,5.976021e-05,5.934145e-05,5.893102e-05,5.852893e-05,5.813513e-05,5.774961e-05,5.737232e-05,5.700318e-05,5.664212e-05,5.628907e-05,5.594394e-05,5.560661e-05,5.527700e-05,5.495499e-05,5.464046e-05,5.433330e-05,5.403339e-05,5.374059e-05,5.345478e-05,5.317584e-05,5.290363e-05
0.000000e+00,6.400095e-10,2.632130e-09,1.944462e-08,6.780499e-08,1.176503e-07,3.709145e-07,3.862212e-07,9.327639e-07,1.152524e-06,1.886750e-06,2.720391e-06,3.409548e-06,5.477183e-06,5.692424e-06,8.919829e-06,9.849132e-06,1.319451e-05,1.603900e-05,1.848431e-05,2.387064e-05,2.465131e-05,3.152514e-05,3.297076e-05,3.895334e-05,4.299370e-05,4.681460e-05,5.368220e-05,5.501326e-05,6.347055e-05,6.484304e-05,7.211807e-05,7.631816e-05,8.089421e-05,8.796965e-05,8.974256e-05,9.861165e-05,9.967507e-05,1.074547e-04,1.113264e-04,1.162297e-04,1.228307e-04,1.249003e-04,1.334347e-04,1.341107e-04,1.418064e-04,1.451045e-04,1.499935e-04,1.557638e-04,1.579782e-04,1.657464e-04,1.660524e-04,1.732876e-04,1.759453e-04,1.805940e-04,1.854256e-04,1.876606e-04,1.944843e-04,2.010638e-04,2.031177e-04,2.073994e-04,2.113267e-04,2.134924e-04,2.191159e-04,2.193455e-04,2.249616e-04,2.264923e-04,2.303449e-04,2.334649e-04,2.354996e-04,2.400442e-04,2.404306e-04,2.451429e-04,2.462419e-04,2.496418e-04,2.520700e-04,2.539328e-04,2.575414e-04,2.580215e-04,2.619135e-04,2.626688e-04,2.656145e-04,2.674654e-04,2.691301e-04,2.719441e-04,2.724660e-04,2.756277e-04,2.761178e-04,2.786209e-04,2.799993e-04,2.814509e-04,2.836010e-04,2.841231e-04,2.866429e-04,2.869353e-04,2.890154e-04,2.900140e-04,2.912457e-04,2.928487e-04,2.933388e-04,2.952995e-04,2.954508e-04,2.971326e-04,2.978312e-04,2.988428e-04,3.000005e-04,3.004344e-04,3.019121e-04,3.019689e-04,3.032800e-04,3.037463e-04,3.045422e-04,3.053423e-04,3.057030e-04,3.067661e-04,3.077355e-04,3.080265e-04,3.086148e-04,3.091319e-04,3.094076e-04,3.100906e-04,3.101175e-04,3.107478e-04,3.109104e-04,3.113018e-04,3.115989e-04,3.117827e-04,3.121631e-04,3.121935e-04,3.125373e-04,3.126102e-04,3.128169e-04,3.129465e-04,3.130352e-04,3.131786e-04,3.131947e-04,3.132982e-04,3.133124e-04,3.133481e-04,3.133537e-04,3.133469e-04,3.133081e-04,3.132969e-04,3.132004e-04,3.131808e-04,3.130596e-04,3.129769e-04,3.128766e-04,3.127012e-04,3.126534e-04,3.123921e-04,3.123582e-04,3.120944e-04,3.119524e-04,3.117623e-04,3.114880e-04,3.113975e-04,3.110017e-04,3.109688e-04,3.105766e-04,3.103986e-04,3.101236e-04,3.097811e-04,3.096444e-04,3.091404e-04,3.091197e-04,3.086130e-04,3.084176e-04,3.080635e-04,3.076780e-04,3.074933e-04,3.069036e-04,3.060974e-04,3.052620e-04,3.043999e-04,3.035134e-04,3.026048e-04,3.016763e-04,3.007299e-04,2.997674e-04,2.987908e-04,2.978016e-04,2.968016e-04,2.957922e-04,2.947749e-04,2.937511e-04,2.927220e-04,2.916888e-04,2.906528e-04,2.896148e-04,2.885760e-04,2.875373e-04,2.864996e-04,2.854636e-04,2.844302e-04,2.834001e-04
0.000000e+00,2.256900e-09,5.852089e-09,2.289978e-08,5.521030e-08,8.223806e-08,1.931382e-07,1.991517e-07,3.922105e-07,4.625260e-07,6.808988e-07,9.087789e-07,1.086468e-06,1.582205e-06,1.631448e-06,2.335967e-06,2.530227e-06,3.209850e-06,3.771058e-06,4.245362e-06,5.272080e-06,5.419308e-06,6.702821e-06,6.970235e-06,8.069092e-06,8.804650e-06,9.495701e-06,1.072700e-05,1.096406e-05,1.245832e-05,1.269885e-05,1.396451e-05,1.468797e-05,1.547004e-05,1.666632e-05,1.696355e-05,1.843479e-05,1.860940e-05,1.987468e-05,2.049622e-05,2.127532e-05,2.230940e-05,2.263002e-05,2.393327e-05,2.403517e-05,2.518072e-05,2.566332e-05,2.636911e-05,2.718687e-05,2.749617e-05,2.856052e-05,2.860178e-05,2.956160e-05,2.990650e-05,3.049952e-05,3.110157e-05,3.137498e-05,3.218915e-05,3.294358e-05,3.317268e-05,3.364015e-05,3.405654e-05,3.428094e-05,3.484573e-05,3.486822e-05,3.540434e-05,3.554562e-05,3.589176e-05,3.616185e-05,3.633292e-05,3.670006e-05,3.673029e-05,3.708631e-05,3.716586e-05,3.740335e-05,3.756474e-05,3.768375e-05,3.790197e-05,3.792974e-05,3.814351e-05,3.818258e-05,3.832712e-05,3.841134e-05,3.848256e-05,3.859276e-05,3.861174e-05,3.871644e-05,3.873104e-05,3.879839e-05,3.883012e-05,3.885919e-05,3.889365e-05,3.890039e-05,3.892342e-05,3.892502e-05,3.892964e-05,3.892739e-05,3.892034e-05,3.890363e-05,3.889672e-05,3.885991e-05,3.885643e-05,3.881098e-05,3.878824e-05,3.875092e-05,3.870132e-05,3.868067e-05,3.860110e-05,3.859773e-05,3.851303e-05,3.847939e-05,3.841722e-05,3.834802e-05,3.831440e-05,3.820522e-05,3.809033e-05,3.805245e-05,3.797029e-05,3.789102e-05,3.784566e-05,3.772215e-05,3.771693e-05,3.758459e-05,3.754695e-05,3.744907e-05,3.736640e-05,3.731078e-05,3.718144e-05,3.717010e-05,3.702739e-05,3.699287e-05,3.688297e-05,3.680146e-05,3.673715e-05,3.660789e-05,3.659021e-05,3.644241e-05,3.641277e-05,3.629400e-05,3.621666e-05,3.614520e-05,3.602006e-05,3.599621e-05,3.584724e-05,3.582341e-05,3.569844e-05,3.562714e-05,3.555000e-05,3.543159e-05,3.540204e-05,3.525473e-05,3.523710e-05,3.510817e-05,3.504395e-05,3.496248e-05,3.485241e-05,3.481777e-05,3.467414e-05,3.466269e-05,3.453166e-05,3.447501e-05,3.439043e-05,3.428954e-05,3.425050e-05,3.411195e-05,3.410644e-05,3.397483e-05,3.392583e-05,3.383920e-05,3.374784e-05,3.370510e-05,3.357257e-05,3.340009e-05,3.323048e-05,3.306380e-05,3.290009e-05,3.273938e-05,3.258170e-05,3.242706e-05,3.227548e-05,3.212696e-05,3.198149e-05,3.183907e-05,3.169967e-05,3.156328e-05,3.142988e-05,3.129943e-05,3.117191e-05,3.104728e-05,3.092552e-05,3.080657e-05,3.069040e-05,3.057697e-05,3.046625e-05,3.035817e-05,3.025270e-05
0.000000e+00,4.606440e-10,1.751988e-09,1.133510e-08,3.609227e-08,6.019530e-08,1.762639e-07,1.831279e-07,4.254794e-07,5.226803e-07,8.494007e-07,1.224584e-06,1.537186e-06,2.476070e-06,2.573105e-06,3.991780e-06,4.385259e-06,5.744759e-06,6.838068e-06,7.739936e-06,9.630385e-06,9.895452e-06,1.215573e-05,1.261695e-05,1.448471e-05,1.571423e-05,1.685691e-05,1.886789e-05,1.925184e-05,2.165147e-05,2.203472e-05,2.403923e-05,2.517660e-05,2.639986e-05,2.825951e-05,2.871956e-05,3.098610e-05,3.125400e-05,3.318897e-05,3.413577e-05,3.531953e-05,3.688613e-05,3.737095e-05,3.933812e-05,3.949175e-05,4.121764e-05,4.194442e-05,4.300739e-05,4.423969e-05,4.470616e-05,4.631387e-05,4.637629e-05,4.783147e-05,4.835604e-05,4.926055e-05,5.018279e-05,5.060317e-05,5.186182e-05,5.303929e-05,5.339943e-05,5.413858e-05,5.480253e-05,5.516280e-05,5.607838e-05,5.611513e-05,5.699879e-05,5.723435e-05,5.781697e-05,5.827775e-05,5.857281e-05,5.921578e-05,5.926940e-05,5.990973e-05,6.005537e-05,6.049671e-05,6.080317e-05,6.103314e-05,6.146554e-05,6.152172e-05,6.196504e-05,6.204849e-05,6.236557e-05,6.255772e-05,6.272567e-05,6.299857e-05,6.304761e-05,6.333353e-05,6.337608e-05,6.358549e-05,6.369495e-05,6.380544e-05,6.395960e-05,6.399523e-05,6.415661e-05,6.417414e-05,6.429125e-05,6.434243e-05,6.440074e-05,6.446806e-05,6.448658e-05,6.455019e-05,6.455436e-05,6.459292e-05,6.460446e-05,6.461605e-05,6.462125e-05,6.462079e-05,6.460828e-05,6.460743e-05,6.457960e-05,6.456552e-05,6.453579e-05,6.449784e-05,6.447780e-05,6.440657e-05,6.432295e-05,6.429371e-05,6.422777e-05,6.416115e-05,6.412181e-05,6.401062e-05,6.400579e-05,6.388042e-05,6.384373e-05,6.374634e-05,6.366198e-05,6.360418e-05,6.346676e-05,6.345452e-05,6.329792e-05,6.325936e-05,6.313489e-05,6.304098e-05,6.296594e-05,6.281273e-05,6.279152e-05,6.261208e-05,6.257563e-05,6.242804e-05,6.233065e-05,6.223978e-05,6.207866e-05,6.204768e-05,6.185208e-05,6.182048e-05,6.165332e-05,6.155688e-05,6.145171e-05,6.128856e-05,6.124754e-05,6.104109e-05,6.101617e-05,6.083262e-05,6.074031e-05,6.062237e-05,6.046154e-05,6.041059e-05,6.019748e-05,6.018038e-05,5.998326e-05,5.989730e-05,5.976811e-05,5.961274e-05,5.955223e-05,5.933578e-05,5.932712e-05,5.911893e-05,5.904080e-05,5.890183e-05,5.875413e-05,5.868462e-05,5.846743e-05,5.818101e-05,5.789512e-05,5.761001e-05,5.732592e-05,5.704306e-05,5.676162e-05,5.648177e-05,5.620368e-05,5.592748e-05,5.565333e-05,5.538132e-05,5.511159e-05,5.484421e-05,5.457930e-05,5.431691e-05,5.405713e-05,5.380002e-05,5.354564e-05,5.329403e-05,5.304524e-05,5.279931e-05,5.255626e-05,5.231613e-05,5.207894e-05
0.000000e+00,7.356315e-12,3.642724e-11,3.838953e-10,1.788792e-09,3.591541e-09,1.584988e-08,1.671140e-08,5.328058e-08,7.038920e-08,1.343076e-07,2.160274e-07,2.889290e-07,5.285828e-07,5.550206e-07,9.794583e-07,1.110831e-06,1.616794e-06,2.088259e-06,2.524607e-06,3.589075e-06,3.755222e-06,5.346524e-06,5.709973e-06,7.315665e-06,8.488110e-06,9.657649e-06,1.189561e-05,1.234801e-05,1.534774e-05,1.585328e-05,1.860877e-05,2.025155e-05,2.207872e-05,2.496952e-05,2.570472e-05,2.943596e-05,2.988850e-05,3.322536e-05,3.490001e-05,3.703047e-05,3.990962e-05,4.081383e-05,4.454310e-05,4.483825e-05,4.819081e-05,4.962181e-05,5.173419e-05,5.421026e-05,5.515471e-05,5.843783e-05,5.856612e-05,6.157248e-05,6.266301e-05,6.455079e-05,6.648401e-05,6.736761e-05,7.002021e-05,7.250791e-05,7.326927e-05,7.483174e-05,7.623408e-05,7.699417e-05,7.892163e-05,7.899885e-05,8.085030e-05,8.134196e-05,8.255380e-05,8.350725e-05,8.411509e-05,8.543117e-05,8.554033e-05,8.683585e-05,8.712820e-05,8.800813e-05,8.861319e-05,8.906364e-05,8.990101e-05,9.000881e-05,9.084997e-05,9.100626e-05,9.159327e-05,9.194310e-05,9.224468e-05,9.272507e-05,9.280996e-05,9.329461e-05,9.336503e-05,9.370391e-05,9.387509e-05,9.404288e-05,9.426663e-05,9.431629e-05,9.452865e-05,9.455024e-05,9.468424e-05,9.473577e-05,9.478710e-05,9.483234e-05,9.484102e-05,9.484959e-05,9.484841e-05,9.481617e-05,9.479176e-05,9.474392e-05,9.466955e-05,9.463583e-05,9.449466e-05,9.448837e-05,9.432304e-05,9.425428e-05,9.412340e-05,9.397282e-05,9.389804e-05,9.364910e-05,9.337858e-05,9.328777e-05,9.308836e-05,9.289309e-05,9.278018e-05,9.246896e-05,9.245569e-05,9.211641e-05,9.201896e-05,9.176377e-05,9.154633e-05,9.139910e-05,9.105405e-05,9.102365e-05,9.063856e-05,9.054483e-05,9.024492e-05,9.002113e-05,8.984374e-05,8.948520e-05,8.943595e-05,8.902242e-05,8.893910e-05,8.860398e-05,8.838469e-05,8.818137e-05,8.782367e-05,8.775529e-05,8.732641e-05,8.725757e-05,8.689532e-05,8.668778e-05,8.646259e-05,8.611558e-05,8.602875e-05,8.559427e-05,8.554211e-05,8.515961e-05,8.496841e-05,8.472518e-05,8.439540e-05,8.429137e-05,8.385852e-05,8.382395e-05,8.342699e-05,8.325480e-05,8.299705e-05,8.268864e-05,8.256899e-05,8.214308e-05,8.212609e-05,8.171953e-05,8.156768e-05,8.129858e-05,8.101391e-05,8.088041e-05,8.046521e-05,7.992198e-05,7.938453e-05,7.885319e-05,7.832819e-05,7.780978e-05,7.729814e-05,7.679345e-05,7.629583e-05,7.580540e-05,7.532226e-05,7.484648e-05,7.437811e-05,7.391720e-05,7.346375e-05,7.301779e-05,7.257931e-05,7.214830e-05,7.172472e-05,7.130855e-05,7.089973e-05,7.049823e-05,7.010399e-05,6.971695e-05,6.933703e-05
0.000000e+00,5.128672e-11,2.291005e-10,1.969071e-09,7.709633e-09,1.413831e-08,5.019233e-08,5.248099e-08,1.382468e-07,1.741342e-07,2.970291e-07,4.396679e-07,5.587673e-07,9.173817e-07,9.546282e-07,1.508294e-06,1.665996e-06,2.229064e-06,2.704844e-06,3.113830e-06,4.020934e-06,4.153538e-06,5.337899e-06,5.591250e-06,6.657012e-06,7.393011e-06,8.101235e-06,9.403772e-06,9.660565e-06,1.132416e-05,1.159924e-05,1.308019e-05,1.395219e-05,1.491588e-05,1.643277e-05,1.681780e-05,1.877219e-05,1.900959e-05,2.076531e-05,2.165109e-05,2.278380e-05,2.432695e-05,2.481493e-05,2.684687e-05,2.700913e-05,2.886884e-05,2.967263e-05,3.087117e-05,3.229589e-05,3.284541e-05,3.478432e-05,3.486106e-05,3.668181e-05,3.735377e-05,3.853286e-05,3.976295e-05,4.033344e-05,4.208044e-05,4.377155e-05,4.430061e-05,4.540514e-05,4.641997e-05,4.698022e-05,4.843681e-05,4.849632e-05,4.995340e-05,5.035084e-05,5.135174e-05,5.216278e-05,5.269193e-05,5.387429e-05,5.397483e-05,5.520148e-05,5.548763e-05,5.637307e-05,5.700560e-05,5.749093e-05,5.843133e-05,5.855649e-05,5.957119e-05,5.976816e-05,6.053656e-05,6.101956e-05,6.145414e-05,6.218911e-05,6.232548e-05,6.315214e-05,6.328036e-05,6.393565e-05,6.429687e-05,6.467755e-05,6.524211e-05,6.537933e-05,6.604247e-05,6.611952e-05,6.666842e-05,6.693241e-05,6.725858e-05,6.768402e-05,6.781433e-05,6.833701e-05,6.837744e-05,6.882793e-05,6.901568e-05,6.928833e-05,6.960161e-05,6.971944e-05,7.012246e-05,7.013801e-05,7.049851e-05,7.062750e-05,7.084871e-05,7.107263e-05,7.117413e-05,7.147579e-05,7.175470e-05,7.183930e-05,7.201181e-05,7.216535e-05,7.224805e-05,7.245603e-05,7.246431e-05,7.266144e-05,7.271333e-05,7.284028e-05,7.293913e-05,7.300162e-05,7.313525e-05,7.314622e-05,7.327483e-05,7.330339e-05,7.338814e-05,7.344518e-05,7.348685e-05,7.356215e-05,7.357160e-05,7.364302e-05,7.365576e-05,7.370173e-05,7.372742e-05,7.374829e-05,7.377843e-05,7.378327e-05,7.380721e-05,7.381005e-05,7.382061e-05,7.382345e-05,7.382398e-05,7.381977e-05,7.381779e-05,7.380248e-05,7.380006e-05,7.377852e-05,7.376533e-05,7.374630e-05,7.371654e-05,7.370623e-05,7.365871e-05,7.365460e-05,7.360410e-05,7.358036e-05,7.354276e-05,7.349462e-05,7.347503e-05,7.340124e-05,7.339817e-05,7.332170e-05,7.329172e-05,7.323672e-05,7.317596e-05,7.314658e-05,7.305156e-05,7.291911e-05,7.277920e-05,7.263239e-05,7.247920e-05,7.232012e-05,7.215561e-05,7.198612e-05,7.181207e-05,7.163384e-05,7.145181e-05,7.126634e-05,7.107774e-05,7.088635e-05,7.069245e-05,7.049632e-05,7.029823e-05,7.009842e-05,6.989713e-05,6.969459e-05,6.949100e-05,6.928655e-05,6.908144e-05,6.887583e-05,6.866990e-05
0.000000e+00,2.020035e-11,9.601591e-11,9.307545e-10,4.024888e-09,7.760981e-09,3.090390e-08,3.244916e-08,9.360705e-08,1.203777e-07,2.147256e-07,3.271470e-07,4.223872e-07,7.143355e-07,7.450759e-07,1.212275e-06,1.349159e-06,1.852754e-06,2.296523e-06,2.690880e-06,3.604101e-06,3.741610e-06,5.007108e-06,5.285259e-06,6.477022e-06,7.315880e-06,8.131645e-06,9.645975e-06,9.945857e-06,1.189234e-05,1.221421e-05,1.394362e-05,1.495761e-05,1.607313e-05,1.781608e-05,1.825567e-05,2.046765e-05,2.073401e-05,2.268712e-05,2.366080e-05,2.489393e-05,2.655134e-05,2.706984e-05,2.919862e-05,2.936645e-05,3.126615e-05,3.207326e-05,3.326046e-05,3.464544e-05,3.517175e-05,3.699228e-05,3.706313e-05,3.871633e-05,3.931255e-05,4.033996e-05,4.138547e-05,4.186094e-05,4.327845e-05,4.459295e-05,4.499205e-05,4.580595e-05,4.653007e-05,4.691983e-05,4.789874e-05,4.793766e-05,4.886303e-05,4.910610e-05,4.969994e-05,5.016138e-05,5.045263e-05,5.107454e-05,5.112554e-05,5.172316e-05,5.185589e-05,5.225000e-05,5.251577e-05,5.271050e-05,5.306434e-05,5.310904e-05,5.344982e-05,5.351140e-05,5.373691e-05,5.386628e-05,5.397421e-05,5.413777e-05,5.416541e-05,5.431403e-05,5.433408e-05,5.442337e-05,5.446283e-05,5.449656e-05,5.453105e-05,5.453652e-05,5.454599e-05,5.454520e-05,5.452755e-05,5.451121e-05,5.448358e-05,5.443447e-05,5.441631e-05,5.432782e-05,5.431989e-05,5.422003e-05,5.417192e-05,5.409473e-05,5.399460e-05,5.395357e-05,5.379811e-05,5.379161e-05,5.362975e-05,5.356624e-05,5.344981e-05,5.332147e-05,5.325952e-05,5.305999e-05,5.285228e-05,5.278424e-05,5.263733e-05,5.249638e-05,5.241603e-05,5.219838e-05,5.218921e-05,5.195761e-05,5.189201e-05,5.172193e-05,5.157883e-05,5.148281e-05,5.126028e-05,5.124082e-05,5.099653e-05,5.093761e-05,5.075041e-05,5.061196e-05,5.050293e-05,5.028436e-05,5.025451e-05,5.000553e-05,4.995570e-05,4.975634e-05,4.962679e-05,4.950727e-05,4.929835e-05,4.925860e-05,4.901062e-05,4.897102e-05,4.876355e-05,4.864536e-05,4.851763e-05,4.832186e-05,4.827306e-05,4.803002e-05,4.800097e-05,4.778868e-05,4.768307e-05,4.754919e-05,4.736850e-05,4.731169e-05,4.707629e-05,4.705756e-05,4.684311e-05,4.675049e-05,4.661225e-05,4.644751e-05,4.638379e-05,4.615780e-05,4.614881e-05,4.593436e-05,4.585456e-05,4.571353e-05,4.556487e-05,4.549534e-05,4.527986e-05,4.499962e-05,4.472421e-05,4.445368e-05,4.418807e-05,4.392741e-05,4.367169e-05,4.342092e-05,4.317510e-05,4.293419e-05,4.269817e-05,4.246701e-05,4.224067e-05,4.201910e-05,4.180224e-05,4.159006e-05,4.138248e-05,4.117944e-05,4.098089e-05,4.078674e-05,4.059695e-05,4.041143e-05,4.023011e-05,4.005292e-05,3.987980e-05
0.000000e+00,4.897150e-09,1.279656e-08,5.048819e-08,1.221939e-07,1.822752e-07,4.291740e-07,4.425716e-07,8.728701e-07,1.029603e-06,1.516095e-06,2.023032e-06,2.417634e-06,3.515090e-06,3.623843e-06,5.176244e-06,5.603679e-06,7.099956e-06,8.338762e-06,9.388862e-06,1.167031e-05,1.199803e-05,1.485381e-05,1.544733e-05,1.787521e-05,1.948742e-05,2.099055e-05,2.363787e-05,2.414276e-05,2.728816e-05,2.778844e-05,3.039329e-05,3.186161e-05,3.343225e-05,3.580202e-05,3.638481e-05,3.923526e-05,3.956984e-05,4.197159e-05,4.313705e-05,4.458497e-05,4.648502e-05,4.706923e-05,4.942056e-05,4.960285e-05,5.163707e-05,5.248583e-05,5.371855e-05,5.513419e-05,5.566612e-05,5.748199e-05,5.755193e-05,5.916925e-05,5.974587e-05,6.073162e-05,6.172484e-05,6.217334e-05,6.349899e-05,6.471338e-05,6.507930e-05,6.582147e-05,6.647717e-05,6.682826e-05,6.770412e-05,6.773876e-05,6.855792e-05,6.877158e-05,6.929062e-05,6.969071e-05,6.994160e-05,7.047232e-05,7.051550e-05,7.101677e-05,7.112676e-05,7.144974e-05,7.166390e-05,7.181852e-05,7.209312e-05,7.212710e-05,7.237928e-05,7.242327e-05,7.257867e-05,7.266266e-05,7.272875e-05,7.281912e-05,7.283280e-05,7.289396e-05,7.289996e-05,7.291519e-05,7.291204e-05,7.289933e-05,7.286173e-05,7.284904e-05,7.276685e-05,7.275496e-05,7.265517e-05,7.259727e-05,7.251625e-05,7.239379e-05,7.235225e-05,7.216516e-05,7.214926e-05,7.195691e-05,7.186809e-05,7.172928e-05,7.155435e-05,7.148397e-05,7.122257e-05,7.121180e-05,7.094657e-05,7.084391e-05,7.065737e-05,7.045387e-05,7.035631e-05,7.004462e-05,6.972347e-05,6.961888e-05,6.939393e-05,6.917911e-05,6.905704e-05,6.872759e-05,6.871374e-05,6.836494e-05,6.826640e-05,6.801145e-05,6.779744e-05,6.765406e-05,6.732245e-05,6.729350e-05,6.693044e-05,6.684300e-05,6.656550e-05,6.636054e-05,6.619928e-05,6.587636e-05,6.583231e-05,6.546509e-05,6.539166e-05,6.509809e-05,6.490749e-05,6.473175e-05,6.442481e-05,6.436645e-05,6.400257e-05,6.394450e-05,6.364044e-05,6.346733e-05,6.328037e-05,6.299398e-05,6.292264e-05,6.256752e-05,6.252509e-05,6.221523e-05,6.206118e-05,6.186600e-05,6.160275e-05,6.152002e-05,6.117747e-05,6.115021e-05,6.083850e-05,6.070394e-05,6.050325e-05,6.026425e-05,6.017186e-05,5.984443e-05,5.983142e-05,5.952107e-05,5.940567e-05,5.920185e-05,5.898719e-05,5.888686e-05,5.857615e-05,5.817267e-05,5.777685e-05,5.738875e-05,5.700842e-05,5.663589e-05,5.627116e-05,5.591423e-05,5.556506e-05,5.522361e-05,5.488982e-05,5.456364e-05,5.424499e-05,5.393377e-05,5.362991e-05,5.333330e-05,5.304383e-05,5.276139e-05,5.248588e-05,5.221716e-05,5.195513e-05,5.169965e-05,5.145060e-05,5.120786e-05,5.097130e-05
0.000000e+00,2.291796e-12,1.184555e-11,1.365197e-10,6.906435e-10,1.451118e-09,7.207709e-09,7.636319e-09,2.740988e-08,3.740230e-08,7.742988e-08,1.330524e-07,1.857907e-07,3.741625e-07,3.960872e-07,7.714161e-07,8.950257e-07,1.396725e-06,1.894828e-06,2.377994e-06,3.633391e-06,3.838296e-06,5.912040e-06,6.412659e-06,8.738751e-06,1.055246e-05,1.245719e-05,1.636728e-05,1.720022e-05,2.309050e-05,2.414691e-05,3.023705e-05,3.414153e-05,3.873259e-05,4.655097e-05,4.865157e-05,6.004893e-05,6.151782e-05,7.295937e-05,7.912373e-05,8.739721e-05,9.938869e-05,1.033567e-04,1.208129e-04,1.222728e-04,1.397224e-04,1.476802e-04,1.600253e-04,1.754644e-04,1.816463e-04,2.044969e-04,2.054351e-04,2.284772e-04,2.373659e-04,2.534780e-04,2.710020e-04,2.793824e-04,3.060684e-04,3.334103e-04,3.422775e-04,3.612809e-04,3.793366e-04,3.895527e-04,4.169541e-04,4.180997e-04,4.467987e-04,4.548454e-04,4.755307e-04,4.927379e-04,5.041813e-04,5.303746e-04,5.326421e-04,5.608112e-04,5.675176e-04,5.885936e-04,6.039500e-04,6.159019e-04,6.394774e-04,6.426562e-04,6.687842e-04,6.739289e-04,6.942216e-04,7.071570e-04,7.189118e-04,7.390378e-04,7.428055e-04,7.658610e-04,7.694696e-04,7.880434e-04,7.983724e-04,8.093248e-04,8.256864e-04,8.296835e-04,8.491037e-04,8.513705e-04,8.675753e-04,8.754008e-04,8.850932e-04,8.977688e-04,9.016574e-04,9.172717e-04,9.184800e-04,9.319442e-04,9.375519e-04,9.456863e-04,9.550126e-04,9.585127e-04,9.704407e-04,9.708994e-04,9.814901e-04,9.852570e-04,9.916828e-04,9.981364e-04,1.001042e-03,1.009594e-03,1.017363e-03,1.019688e-03,1.024378e-03,1.028484e-03,1.030665e-03,1.036044e-03,1.036254e-03,1.041174e-03,1.042435e-03,1.045452e-03,1.047722e-03,1.049117e-03,1.051973e-03,1.052199e-03,1.054725e-03,1.055251e-03,1.056723e-03,1.057622e-03,1.058221e-03,1.059146e-03,1.059245e-03,1.059822e-03,1.059886e-03,1.059978e-03,1.059900e-03,1.059736e-03,1.059244e-03,1.059122e-03,1.058158e-03,1.057973e-03,1.056867e-03,1.056137e-03,1.055270e-03,1.053786e-03,1.053387e-03,1.051240e-03,1.050966e-03,1.048847e-03,1.047721e-03,1.046226e-03,1.044093e-03,1.043395e-03,1.040369e-03,1.040119e-03,1.037166e-03,1.035838e-03,1.033800e-03,1.031283e-03,1.030285e-03,1.026634e-03,1.026485e-03,1.022861e-03,1.021475e-03,1.018978e-03,1.016280e-03,1.014996e-03,1.010925e-03,1.005434e-03,9.998296e-04,9.941309e-04,9.883566e-04,9.825239e-04,9.766484e-04,9.707442e-04,9.648244e-04,9.589008e-04,9.529840e-04,9.470840e-04,9.412095e-04,9.353684e-04,9.295679e-04,9.238143e-04,9.181134e-04,9.124702e-04,9.068891e-04,9.013742e-04,8.959289e-04,8.905561e-04,8.852584e-04,8.800380e-04,8.748967e-04
0.000000e+00,7.880922e-12,3.818703e-11,3.849941e-10,1.724321e-09,3.388861e-09,1.416810e-08,1.490592e-08,4.512183e-08,5.879498e-08,1.084368e-07,1.698086e-07,2.232651e-07,3.935703e-07,4.119796e-07,7.005923e-07,7.878327e-07,1.117026e-06,1.415920e-06,1.687072e-06,2.330660e-06,2.429148e-06,3.350667e-06,3.556334e-06,4.447640e-06,5.083309e-06,5.706900e-06,6.876230e-06,7.109357e-06,8.633017e-06,8.886529e-06,1.025518e-05,1.106228e-05,1.195380e-05,1.335382e-05,1.370823e-05,1.549953e-05,1.571613e-05,1.731052e-05,1.810957e-05,1.912582e-05,2.049986e-05,2.093177e-05,2.271636e-05,2.285789e-05,2.446923e-05,2.515947e-05,2.618154e-05,2.738511e-05,2.784594e-05,2.945645e-05,2.951968e-05,3.100837e-05,3.155202e-05,3.249820e-05,3.347452e-05,3.392347e-05,3.528262e-05,3.657492e-05,3.697431e-05,3.780029e-05,3.854961e-05,3.895923e-05,4.001022e-05,4.005272e-05,4.108212e-05,4.135909e-05,4.204908e-05,4.260007e-05,4.295550e-05,4.373770e-05,4.380343e-05,4.459504e-05,4.477690e-05,4.533258e-05,4.572283e-05,4.601833e-05,4.658078e-05,4.665459e-05,4.724365e-05,4.735600e-05,4.778776e-05,4.805366e-05,4.828912e-05,4.867882e-05,4.874991e-05,4.917220e-05,4.923633e-05,4.955802e-05,4.973084e-05,4.990933e-05,5.016678e-05,5.022799e-05,5.051580e-05,5.054835e-05,5.077449e-05,5.087952e-05,5.100571e-05,5.116403e-05,5.121102e-05,5.139193e-05,5.140539e-05,5.154986e-05,5.160690e-05,5.168617e-05,5.177165e-05,5.180215e-05,5.189904e-05,5.190253e-05,5.197799e-05,5.200223e-05,5.204011e-05,5.207328e-05,5.208645e-05,5.211801e-05,5.213573e-05,5.213863e-05,5.214051e-05,5.213716e-05,5.213318e-05,5.211551e-05,5.211456e-05,5.208539e-05,5.207544e-05,5.204640e-05,5.201858e-05,5.199827e-05,5.194646e-05,5.194163e-05,5.187709e-05,5.186049e-05,5.180522e-05,5.176198e-05,5.172658e-05,5.165216e-05,5.164165e-05,5.155094e-05,5.153214e-05,5.145489e-05,5.140298e-05,5.135394e-05,5.126565e-05,5.124849e-05,5.113892e-05,5.112103e-05,5.102560e-05,5.096997e-05,5.090886e-05,5.081323e-05,5.078903e-05,5.066641e-05,5.065152e-05,5.054128e-05,5.048550e-05,5.041391e-05,5.031576e-05,5.028455e-05,5.015344e-05,5.014288e-05,5.002080e-05,4.996736e-05,4.988683e-05,4.978968e-05,4.975175e-05,4.961573e-05,4.961027e-05,4.947895e-05,4.942955e-05,4.934156e-05,4.924787e-05,4.920372e-05,4.906558e-05,4.888299e-05,4.870039e-05,4.851803e-05,4.833616e-05,4.815499e-05,4.797472e-05,4.779553e-05,4.761758e-05,4.744103e-05,4.726600e-05,4.709262e-05,4.692100e-05,4.675123e-05,4.658339e-05,4.641757e-05,4.625383e-05,4.609222e-05,4.593281e-05,4.577563e-05,4.562072e-05,4.546811e-05,4.531783e-05,4.516989e-05,4.502431e-05
0.000000e+00,5.856563e-11,2.389575e-10,1.736920e-09,5.965463e-09,1.025934e-08,3.150767e-08,3.276860e-08,7.652941e-08,9.354985e-08,1.485499e-07,2.081902e-07,2.557116e-07,3.912261e-07,4.048612e-07,6.024727e-07,6.577131e-07,8.534216e-07,1.017919e-06,1.158966e-06,1.470281e-06,1.515547e-06,1.915951e-06,2.000546e-06,2.351734e-06,2.589637e-06,2.814923e-06,3.220034e-06,3.298520e-06,3.796394e-06,3.877006e-06,4.303065e-06,4.547913e-06,4.813558e-06,5.221656e-06,5.323359e-06,5.828418e-06,5.888532e-06,6.325165e-06,6.540291e-06,6.810530e-06,7.170199e-06,7.281949e-06,7.737353e-06,7.773042e-06,8.175136e-06,8.345040e-06,8.594126e-06,8.883706e-06,8.993534e-06,9.372905e-06,9.387660e-06,9.732071e-06,9.856432e-06,1.007111e-05,1.029028e-05,1.039029e-05,1.069004e-05,1.097091e-05,1.105691e-05,1.123355e-05,1.139239e-05,1.147866e-05,1.169816e-05,1.170698e-05,1.191929e-05,1.197597e-05,1.211637e-05,1.222763e-05,1.229900e-05,1.245492e-05,1.246795e-05,1.262398e-05,1.265959e-05,1.276782e-05,1.284330e-05,1.290017e-05,1.300767e-05,1.302171e-05,1.313309e-05,1.315421e-05,1.323494e-05,1.328432e-05,1.332783e-05,1.339935e-05,1.341233e-05,1.348896e-05,1.350052e-05,1.355822e-05,1.358899e-05,1.362059e-05,1.366581e-05,1.367650e-05,1.372637e-05,1.373197e-05,1.377060e-05,1.378837e-05,1.380956e-05,1.383586e-05,1.384359e-05,1.387302e-05,1.387519e-05,1.389816e-05,1.390708e-05,1.391929e-05,1.393218e-05,1.393669e-05,1.395060e-05,1.395109e-05,1.396127e-05,1.396436e-05,1.396892e-05,1.397250e-05,1.397375e-05,1.397596e-05,1.397574e-05,1.397519e-05,1.397327e-05,1.397057e-05,1.396869e-05,1.396246e-05,1.396216e-05,1.395384e-05,1.395120e-05,1.394384e-05,1.393709e-05,1.393229e-05,1.392040e-05,1.391932e-05,1.390503e-05,1.390141e-05,1.388952e-05,1.388034e-05,1.387289e-05,1.385741e-05,1.385524e-05,1.383665e-05,1.383282e-05,1.381719e-05,1.380676e-05,1.379695e-05,1.377939e-05,1.377599e-05,1.375438e-05,1.375087e-05,1.373218e-05,1.372133e-05,1.370945e-05,1.369092e-05,1.368625e-05,1.366262e-05,1.365975e-05,1.363861e-05,1.362794e-05,1.361427e-05,1.359557e-05,1.358964e-05,1.356476e-05,1.356276e-05,1.353966e-05,1.352957e-05,1.351439e-05,1.349610e-05,1.348897e-05,1.346343e-05,1.346241e-05,1.343781e-05,1.342856e-05,1.341212e-05,1.339463e-05,1.338639e-05,1.336066e-05,1.332670e-05,1.329280e-05,1.325900e-05,1.322534e-05,1.319186e-05,1.315858e-05,1.312554e-05,1.309277e-05,1.306027e-05,1.302808e-05,1.299622e-05,1.296470e-05,1.293353e-05,1.290274e-05,1.287233e-05,1.284231e-05,1.281270e-05,1.278349e-05,1.275470e-05,1.272633e-05,1.269839e-05,1.267088e-05,1.264380e-05,1.261716e-05
0.000000e+00,1.219939e-11,5.764058e-11,5.518929e-10,2.359925e-09,4.522592e-09,1.772435e-08,1.859853e-08,5.280503e-08,6.761145e-08,1.192778e-07,1.800863e-07,2.311248e-07,3.855711e-07,4.016883e-07,6.439951e-07,7.141795e-07,9.698137e-07,1.192199e-06,1.387903e-06,1.835360e-06,1.902139e-06,2.510846e-06,2.643430e-06,3.207690e-06,3.601850e-06,3.983317e-06,4.687804e-06,4.826871e-06,5.726994e-06,5.875503e-06,6.672346e-06,7.138905e-06,7.651812e-06,8.452677e-06,8.654591e-06,9.670253e-06,9.792518e-06,1.068881e-05,1.113545e-05,1.170085e-05,1.246023e-05,1.269763e-05,1.367123e-05,1.374790e-05,1.461464e-05,1.498218e-05,1.552187e-05,1.614984e-05,1.638795e-05,1.720896e-05,1.724082e-05,1.798199e-05,1.824813e-05,1.870508e-05,1.916769e-05,1.937718e-05,1.999797e-05,2.056787e-05,2.073962e-05,2.108782e-05,2.139503e-05,2.155928e-05,2.196793e-05,2.198405e-05,2.236423e-05,2.246300e-05,2.270211e-05,2.288554e-05,2.300012e-05,2.324122e-05,2.326076e-05,2.348654e-05,2.353582e-05,2.367995e-05,2.377503e-05,2.384343e-05,2.396440e-05,2.397933e-05,2.408990e-05,2.410917e-05,2.417730e-05,2.421426e-05,2.424354e-05,2.428422e-05,2.429051e-05,2.432000e-05,2.432320e-05,2.433363e-05,2.433500e-05,2.433295e-05,2.432303e-05,2.431934e-05,2.429410e-05,2.429035e-05,2.425842e-05,2.423969e-05,2.421337e-05,2.417349e-05,2.415996e-05,2.409909e-05,2.409392e-05,2.403158e-05,2.400289e-05,2.395818e-05,2.390207e-05,2.387958e-05,2.379639e-05,2.379297e-05,2.370917e-05,2.367689e-05,2.361845e-05,2.355499e-05,2.352467e-05,2.342827e-05,2.332963e-05,2.329764e-05,2.322908e-05,2.316388e-05,2.312694e-05,2.302766e-05,2.302350e-05,2.291902e-05,2.288961e-05,2.281372e-05,2.275024e-05,2.270782e-05,2.261003e-05,2.260152e-05,2.249498e-05,2.246939e-05,2.238836e-05,2.232867e-05,2.228180e-05,2.218818e-05,2.217543e-05,2.206938e-05,2.204821e-05,2.196373e-05,2.190899e-05,2.185860e-05,2.177074e-05,2.175406e-05,2.165019e-05,2.163364e-05,2.154706e-05,2.149784e-05,2.144474e-05,2.136349e-05,2.134327e-05,2.124271e-05,2.123071e-05,2.114310e-05,2.109959e-05,2.104449e-05,2.097023e-05,2.094690e-05,2.085037e-05,2.084270e-05,2.075492e-05,2.071705e-05,2.066058e-05,2.059336e-05,2.056737e-05,2.047530e-05,2.047165e-05,2.038439e-05,2.035195e-05,2.029466e-05,2.023431e-05,2.020610e-05,2.011873e-05,2.000523e-05,1.989382e-05,1.978450e-05,1.967726e-05,1.957212e-05,1.946905e-05,1.936804e-05,1.926909e-05,1.917217e-05,1.907726e-05,1.898435e-05,1.889342e-05,1.880443e-05,1.871737e-05,1.863221e-05,1.854892e-05,1.846747e-05,1.838784e-05,1.830999e-05,1.823391e-05,1.815954e-05,1.808688e-05,1.801588e-05,1.794652e-05
0.000000e+00,2.139583e-12,1.057282e-11,1.108609e-10,5.135908e-10,1.027304e-09,4.478122e-09,4.718734e-09,1.478830e-08,1.942603e-08,3.645779e-08,5.771032e-08,7.628068e-08,1.353648e-07,1.417296e-07,2.407599e-07,2.704187e-07,3.813805e-07,4.811612e-07,5.711963e-07,7.842448e-07,8.168590e-07,1.123448e-06,1.192379e-06,1.493925e-06,1.712100e-06,1.928832e-06,2.342634e-06,2.426286e-06,2.982230e-06,3.076240e-06,3.590827e-06,3.899593e-06,4.244917e-06,4.795555e-06,4.936451e-06,5.656883e-06,5.744864e-06,6.397513e-06,6.727567e-06,7.149758e-06,7.724151e-06,7.905388e-06,8.656702e-06,8.716405e-06,9.396668e-06,9.688046e-06,1.011902e-05,1.062513e-05,1.081834e-05,1.149007e-05,1.151631e-05,1.213052e-05,1.235285e-05,1.273685e-05,1.312862e-05,1.330706e-05,1.383984e-05,1.433460e-05,1.448488e-05,1.479132e-05,1.506386e-05,1.521048e-05,1.557840e-05,1.559301e-05,1.594014e-05,1.603119e-05,1.625339e-05,1.642579e-05,1.653448e-05,1.676624e-05,1.678523e-05,1.700756e-05,1.705690e-05,1.720341e-05,1.730224e-05,1.737471e-05,1.750666e-05,1.752336e-05,1.765120e-05,1.767443e-05,1.775998e-05,1.780956e-05,1.785135e-05,1.791580e-05,1.792688e-05,1.798802e-05,1.799656e-05,1.803611e-05,1.805494e-05,1.807241e-05,1.809372e-05,1.809805e-05,1.811407e-05,1.811540e-05,1.812144e-05,1.812215e-05,1.812100e-05,1.811593e-05,1.811354e-05,1.809977e-05,1.809842e-05,1.808034e-05,1.807112e-05,1.805582e-05,1.803531e-05,1.802674e-05,1.799356e-05,1.799215e-05,1.795671e-05,1.794262e-05,1.791658e-05,1.788759e-05,1.787351e-05,1.782781e-05,1.777977e-05,1.776395e-05,1.772965e-05,1.769658e-05,1.767767e-05,1.762622e-05,1.762405e-05,1.756898e-05,1.755332e-05,1.751263e-05,1.747827e-05,1.745516e-05,1.740143e-05,1.739672e-05,1.733745e-05,1.732311e-05,1.727745e-05,1.724358e-05,1.721684e-05,1.716309e-05,1.715573e-05,1.709420e-05,1.708186e-05,1.703235e-05,1.700008e-05,1.697025e-05,1.691795e-05,1.690797e-05,1.684558e-05,1.683560e-05,1.678315e-05,1.675318e-05,1.672073e-05,1.667083e-05,1.665837e-05,1.659612e-05,1.658866e-05,1.653402e-05,1.650676e-05,1.647212e-05,1.642523e-05,1.641046e-05,1.634906e-05,1.634417e-05,1.628797e-05,1.626363e-05,1.622721e-05,1.618369e-05,1.616681e-05,1.610680e-05,1.610441e-05,1.604719e-05,1.602584e-05,1.598801e-05,1.594803e-05,1.592929e-05,1.587102e-05,1.579486e-05,1.571957e-05,1.564519e-05,1.557174e-05,1.549923e-05,1.542770e-05,1.535716e-05,1.528761e-05,1.521908e-05,1.515157e-05,1.508508e-05,1.501963e-05,1.495521e-05,1.489183e-05,1.482949e-05,1.476818e-05,1.470790e-05,1.464865e-05,1.459042e-05,1.453321e-05,1.447702e-05,1.442183e-05,1.436763e-05,1.431442e-05
0.000000e+00,1.926533e-11,9.142909e-11,8.829655e-10,3.802605e-09,7.313690e-09,2.890010e-08,3.033460e-08,8.668282e-08,1.111481e-07,1.966674e-07,2.974323e-07,3.820100e-07,6.376446e-07,6.642849e-07,1.063904e-06,1.179373e-06,1.599252e-06,1.964154e-06,2.285442e-06,3.022019e-06,3.132267e-06,4.141484e-06,4.362251e-06,5.304454e-06,5.963877e-06,6.601674e-06,7.774566e-06,8.004855e-06,9.480723e-06,9.721305e-06,1.099510e-05,1.172616e-05,1.251608e-05,1.371888e-05,1.401602e-05,1.547227e-05,1.564320e-05,1.686716e-05,1.745797e-05,1.818765e-05,1.913574e-05,1.942465e-05,2.057245e-05,2.066031e-05,2.162811e-05,2.202436e-05,2.259094e-05,2.322725e-05,2.346202e-05,2.424386e-05,2.427332e-05,2.493997e-05,2.517041e-05,2.555469e-05,2.592864e-05,2.609282e-05,2.655951e-05,2.696004e-05,2.707510e-05,2.729969e-05,2.748751e-05,2.758364e-05,2.780850e-05,2.781692e-05,2.800428e-05,2.804913e-05,2.815023e-05,2.821968e-05,2.825896e-05,2.832947e-05,2.833436e-05,2.838001e-05,2.838691e-05,2.839919e-05,2.839949e-05,2.839488e-05,2.837380e-05,2.836978e-05,2.832633e-05,2.831564e-05,2.826676e-05,2.823007e-05,2.819303e-05,2.812147e-05,2.810694e-05,2.801007e-05,2.799367e-05,2.790386e-05,2.784993e-05,2.778957e-05,2.769311e-05,2.766836e-05,2.754123e-05,2.752563e-05,2.740911e-05,2.734960e-05,2.727278e-05,2.716682e-05,2.713299e-05,2.699036e-05,2.697885e-05,2.684548e-05,2.678701e-05,2.669885e-05,2.659246e-05,2.655093e-05,2.640213e-05,2.639616e-05,2.625279e-05,2.619897e-05,2.610325e-05,2.600160e-05,2.595379e-05,2.580466e-05,2.565609e-05,2.560870e-05,2.550828e-05,2.541416e-05,2.536140e-05,2.522141e-05,2.521561e-05,2.507104e-05,2.503080e-05,2.492783e-05,2.484259e-05,2.478607e-05,2.465701e-05,2.464585e-05,2.450727e-05,2.447425e-05,2.437038e-05,2.429448e-05,2.423524e-05,2.411782e-05,2.410192e-05,2.397045e-05,2.394438e-05,2.384087e-05,2.377424e-05,2.371320e-05,2.360747e-05,2.358748e-05,2.346372e-05,2.344410e-05,2.334193e-05,2.328417e-05,2.322212e-05,2.312771e-05,2.310430e-05,2.298847e-05,2.297471e-05,2.287463e-05,2.282517e-05,2.276277e-05,2.267908e-05,2.265289e-05,2.254497e-05,2.253642e-05,2.243901e-05,2.239717e-05,2.233500e-05,2.226130e-05,2.223291e-05,2.213273e-05,2.212876e-05,2.203444e-05,2.199951e-05,2.193802e-05,2.187352e-05,2.184346e-05,2.175074e-05,2.163110e-05,2.151457e-05,2.140108e-05,2.129059e-05,2.118303e-05,2.107834e-05,2.097647e-05,2.087736e-05,2.078095e-05,2.068717e-05,2.059598e-05,2.050731e-05,2.042110e-05,2.033729e-05,2.025583e-05,2.017666e-05,2.009972e-05,2.002496e-05,1.995232e-05,1.988174e-05,1.981318e-05,1.974658e-05,1.968189e-05,1.961906e-05
0.000000e+00,5.695794e-09,1.301283e-08,4.459316e-08,1.013635e-07,1.480046e-07,3.384275e-07,3.487921e-07,6.863025e-07,8.117338e-07,1.208893e-06,1.631551e-06,1.962754e-06,2.870866e-06,2.958815e-06,4.161912e-06,4.476104e-06,5.525646e-06,6.345935e-06,7.014948e-06,8.409685e-06,8.605167e-06,1.027673e-05,1.061923e-05,1.201185e-05,1.293344e-05,1.379310e-05,1.531231e-05,1.560314e-05,1.742486e-05,1.771631e-05,1.924182e-05,2.010771e-05,2.103867e-05,2.245224e-05,2.280147e-05,2.451799e-05,2.472035e-05,2.617786e-05,2.688800e-05,2.777259e-05,2.893686e-05,2.929553e-05,3.074171e-05,3.085398e-05,3.210774e-05,3.263122e-05,3.339164e-05,3.426469e-05,3.459260e-05,3.571083e-05,3.575385e-05,3.674737e-05,3.710084e-05,3.770394e-05,3.830985e-05,3.858277e-05,3.938648e-05,4.011798e-05,4.033732e-05,4.078039e-05,4.116956e-05,4.137694e-05,4.189070e-05,4.191090e-05,4.238558e-05,4.250832e-05,4.280426e-05,4.302992e-05,4.317014e-05,4.346283e-05,4.348638e-05,4.375600e-05,4.381409e-05,4.398191e-05,4.409038e-05,4.416692e-05,4.429802e-05,4.431370e-05,4.442482e-05,4.444298e-05,4.450271e-05,4.453085e-05,4.454968e-05,4.456684e-05,4.456791e-05,4.455948e-05,4.455579e-05,4.452635e-05,4.450221e-05,4.447035e-05,4.441028e-05,4.439325e-05,4.429666e-05,4.428384e-05,4.418215e-05,4.412646e-05,4.405115e-05,4.394141e-05,4.390503e-05,4.374507e-05,4.373171e-05,4.357247e-05,4.350015e-05,4.338835e-05,4.324926e-05,4.319378e-05,4.298973e-05,4.298138e-05,4.277712e-05,4.269866e-05,4.255683e-05,4.240306e-05,4.232966e-05,4.209636e-05,4.185764e-05,4.178021e-05,4.161414e-05,4.145609e-05,4.136649e-05,4.112536e-05,4.111525e-05,4.086095e-05,4.078927e-05,4.060408e-05,4.044893e-05,4.034511e-05,4.010536e-05,4.008446e-05,3.982252e-05,3.975950e-05,3.955965e-05,3.941218e-05,3.929621e-05,3.906414e-05,3.903249e-05,3.876880e-05,3.871609e-05,3.850540e-05,3.836862e-05,3.824253e-05,3.802230e-05,3.798042e-05,3.771929e-05,3.767761e-05,3.745931e-05,3.733499e-05,3.720068e-05,3.699484e-05,3.694354e-05,3.668805e-05,3.665751e-05,3.643434e-05,3.632330e-05,3.618253e-05,3.599249e-05,3.593273e-05,3.568503e-05,3.566531e-05,3.543954e-05,3.534197e-05,3.519632e-05,3.502265e-05,3.495545e-05,3.471698e-05,3.470750e-05,3.448099e-05,3.439665e-05,3.424751e-05,3.409020e-05,3.401659e-05,3.378826e-05,3.349088e-05,3.319812e-05,3.291003e-05,3.262664e-05,3.234795e-05,3.207398e-05,3.180472e-05,3.154015e-05,3.128027e-05,3.102503e-05,3.077441e-05,3.052837e-05,3.028686e-05,3.004984e-05,2.981725e-05,2.958905e-05,2.936516e-05,2.914554e-05,2.893012e-05,2.871883e-05,2.851161e-05,2.830840e-05,2.810912e-05,2.791371e-05
0.000000e+00,6.627030e-09,1.515229e-08,5.198682e-08,1.182137e-07,1.725773e-07,3.937964e-07,4.057996e-07,7.944593e-07,9.378247e-07,1.388125e-06,1.861786e-06,2.229633e-06,3.228954e-06,3.325353e-06,4.644212e-06,4.989599e-06,6.148528e-06,7.060531e-06,7.808461e-06,9.378960e-06,9.600212e-06,1.150230e-05,1.189410e-05,1.349355e-05,1.455713e-05,1.555251e-05,1.731856e-05,1.765760e-05,1.978764e-05,2.012940e-05,2.192245e-05,2.294329e-05,2.404333e-05,2.571868e-05,2.613354e-05,2.817848e-05,2.842022e-05,3.016576e-05,3.101922e-05,3.208527e-05,3.349381e-05,3.392906e-05,3.569112e-05,3.582842e-05,3.736725e-05,3.801299e-05,3.895477e-05,4.004212e-05,4.045234e-05,4.185972e-05,4.191415e-05,4.317760e-05,4.363037e-05,4.440735e-05,4.519424e-05,4.555097e-05,4.661085e-05,4.758975e-05,4.788637e-05,4.849062e-05,4.902768e-05,4.931661e-05,5.004210e-05,5.007094e-05,5.075689e-05,5.093714e-05,5.137770e-05,5.172028e-05,5.193661e-05,5.239886e-05,5.243679e-05,5.288134e-05,5.298009e-05,5.327327e-05,5.347086e-05,5.361551e-05,5.387782e-05,5.391088e-05,5.416208e-05,5.420725e-05,5.437173e-05,5.446517e-05,5.454233e-05,5.465720e-05,5.467626e-05,5.477580e-05,5.478868e-05,5.484313e-05,5.486462e-05,5.488032e-05,5.488969e-05,5.488933e-05,5.487206e-05,5.486830e-05,5.483026e-05,5.480454e-05,5.476564e-05,5.470224e-05,5.467979e-05,5.457422e-05,5.456497e-05,5.445039e-05,5.439604e-05,5.430963e-05,5.419853e-05,5.415324e-05,5.398243e-05,5.397532e-05,5.379835e-05,5.372904e-05,5.360207e-05,5.346217e-05,5.339463e-05,5.317697e-05,5.295001e-05,5.287556e-05,5.271459e-05,5.255987e-05,5.247153e-05,5.223170e-05,5.222158e-05,5.196544e-05,5.189270e-05,5.170378e-05,5.154440e-05,5.143723e-05,5.118819e-05,5.116638e-05,5.089178e-05,5.082537e-05,5.061394e-05,5.045712e-05,5.033334e-05,5.008451e-05,5.005045e-05,4.976568e-05,4.970853e-05,4.947942e-05,4.933011e-05,4.919205e-05,4.895005e-05,4.890391e-05,4.861532e-05,4.856912e-05,4.832658e-05,4.818801e-05,4.803796e-05,4.780733e-05,4.774972e-05,4.746211e-05,4.742765e-05,4.717534e-05,4.704948e-05,4.688962e-05,4.667329e-05,4.660514e-05,4.632207e-05,4.629949e-05,4.604057e-05,4.592845e-05,4.576080e-05,4.556050e-05,4.548288e-05,4.520694e-05,4.519595e-05,4.493310e-05,4.483505e-05,4.466146e-05,4.447804e-05,4.439211e-05,4.412513e-05,4.377649e-05,4.343227e-05,4.309262e-05,4.275763e-05,4.242741e-05,4.210203e-05,4.178155e-05,4.146602e-05,4.115548e-05,4.084994e-05,4.054942e-05,4.025391e-05,3.996342e-05,3.967793e-05,3.939740e-05,3.912183e-05,3.885116e-05,3.858537e-05,3.832440e-05,3.806821e-05,3.781674e-05,3.756995e-05,3.732776e-05,3.709013e-05
0.000000e+00,3.052895e-10,1.248397e-09,9.119544e-09,3.149629e-08,5.437300e-08,1.692689e-07,1.761660e-07,4.204246e-07,5.178591e-07,8.413849e-07,1.206237e-06,1.506601e-06,2.404274e-06,2.497569e-06,3.896358e-06,4.299520e-06,5.753016e-06,6.990644e-06,8.054535e-06,1.039183e-05,1.072939e-05,1.368225e-05,1.429810e-05,1.682479e-05,1.850995e-05,2.008721e-05,2.288158e-05,2.341715e-05,2.677481e-05,2.731241e-05,3.012859e-05,3.172920e-05,3.345236e-05,3.607469e-05,3.672384e-05,3.992393e-05,4.030234e-05,4.303635e-05,4.437443e-05,4.604743e-05,4.826112e-05,4.894603e-05,5.172344e-05,5.194019e-05,5.437321e-05,5.539634e-05,5.689097e-05,5.862053e-05,5.927420e-05,6.152199e-05,6.160908e-05,6.363483e-05,6.436271e-05,6.561439e-05,6.688565e-05,6.746327e-05,6.918481e-05,7.078294e-05,7.126897e-05,7.226200e-05,7.314826e-05,7.362666e-05,7.483360e-05,7.488176e-05,7.603225e-05,7.633633e-05,7.708313e-05,7.766790e-05,7.803934e-05,7.883968e-05,7.890581e-05,7.968731e-05,7.986275e-05,8.038853e-05,8.074783e-05,8.101398e-05,8.150517e-05,8.156802e-05,8.205485e-05,8.214451e-05,8.247849e-05,8.267508e-05,8.284277e-05,8.310558e-05,8.315136e-05,8.340775e-05,8.344416e-05,8.361527e-05,8.369845e-05,8.377707e-05,8.387560e-05,8.389613e-05,8.397530e-05,8.398225e-05,8.401726e-05,8.402459e-05,8.402454e-05,8.400837e-05,8.399955e-05,8.394456e-05,8.393893e-05,8.386170e-05,8.382122e-05,8.375301e-05,8.365982e-05,8.362038e-05,8.346561e-05,8.345898e-05,8.329040e-05,8.322263e-05,8.309634e-05,8.295439e-05,8.288494e-05,8.265760e-05,8.241565e-05,8.233535e-05,8.216036e-05,8.199051e-05,8.189288e-05,8.162567e-05,8.161433e-05,8.132574e-05,8.124327e-05,8.102809e-05,8.084553e-05,8.072228e-05,8.043448e-05,8.040918e-05,8.008959e-05,8.001200e-05,7.976426e-05,7.957983e-05,7.943389e-05,7.913952e-05,7.909914e-05,7.876064e-05,7.869254e-05,7.841896e-05,7.824021e-05,7.807463e-05,7.778373e-05,7.772817e-05,7.738005e-05,7.732422e-05,7.703069e-05,7.686268e-05,7.668051e-05,7.640004e-05,7.632990e-05,7.597920e-05,7.593713e-05,7.562875e-05,7.547471e-05,7.527885e-05,7.501347e-05,7.492978e-05,7.458182e-05,7.455403e-05,7.423519e-05,7.409697e-05,7.389014e-05,7.364279e-05,7.354686e-05,7.320555e-05,7.319194e-05,7.286638e-05,7.274484e-05,7.252952e-05,7.230185e-05,7.219512e-05,7.186331e-05,7.142949e-05,7.100067e-05,7.057706e-05,7.015885e-05,6.974623e-05,6.933932e-05,6.893825e-05,6.854313e-05,6.815405e-05,6.777105e-05,6.739421e-05,6.702355e-05,6.665910e-05,6.630088e-05,6.594887e-05,6.560308e-05,6.526349e-05,6.493006e-05,6.460278e-05,6.428159e-05,6.396645e-05,6.365732e-05,6.335413e-05,6.305682e-05
0.000000e+00,3.763288e-09,1.080185e-08,4.725102e-08,1.199652e-07,1.820729e-07,4.410545e-07,4.551880e-07,9.101154e-07,1.075775e-06,1.588458e-06,2.119475e-06,2.530316e-06,3.661568e-06,3.772802e-06,5.345648e-06,5.774322e-06,7.262734e-06,8.483049e-06,9.510572e-06,1.172532e-05,1.204176e-05,1.478428e-05,1.535131e-05,1.766202e-05,1.918958e-05,2.060952e-05,2.310136e-05,2.357537e-05,2.651967e-05,2.698656e-05,2.941102e-05,3.077253e-05,3.222447e-05,3.440570e-05,3.494024e-05,3.754299e-05,3.784715e-05,4.002133e-05,4.107024e-05,4.236736e-05,4.405873e-05,4.457616e-05,4.664541e-05,4.680491e-05,4.857495e-05,4.930796e-05,5.036637e-05,5.157229e-05,5.202264e-05,5.354782e-05,5.360616e-05,5.494673e-05,5.542045e-05,5.622477e-05,5.702771e-05,5.738767e-05,5.844138e-05,5.939191e-05,5.967526e-05,6.024523e-05,6.074307e-05,6.100723e-05,6.165817e-05,6.168365e-05,6.228008e-05,6.243349e-05,6.280190e-05,6.308130e-05,6.325419e-05,6.361309e-05,6.364183e-05,6.396944e-05,6.403962e-05,6.424137e-05,6.437089e-05,6.446176e-05,6.461613e-05,6.463446e-05,6.476312e-05,6.478387e-05,6.485116e-05,6.488195e-05,6.490177e-05,6.491757e-05,6.491796e-05,6.490253e-05,6.489730e-05,6.485809e-05,6.482718e-05,6.478710e-05,6.471271e-05,6.469182e-05,6.457439e-05,6.455891e-05,6.443679e-05,6.437034e-05,6.428087e-05,6.415117e-05,6.410833e-05,6.392079e-05,6.390519e-05,6.371972e-05,6.363582e-05,6.350651e-05,6.334620e-05,6.328243e-05,6.304868e-05,6.303914e-05,6.280635e-05,6.271722e-05,6.255648e-05,6.238274e-05,6.230001e-05,6.203781e-05,6.177070e-05,6.168431e-05,6.149943e-05,6.132396e-05,6.122470e-05,6.095830e-05,6.094715e-05,6.066737e-05,6.058870e-05,6.038590e-05,6.021642e-05,6.010324e-05,5.984256e-05,5.981987e-05,5.953621e-05,5.946813e-05,5.925263e-05,5.909401e-05,5.896951e-05,5.872100e-05,5.868717e-05,5.840591e-05,5.834982e-05,5.812601e-05,5.798108e-05,5.784771e-05,5.761534e-05,5.757123e-05,5.729680e-05,5.725309e-05,5.702458e-05,5.689476e-05,5.675476e-05,5.654072e-05,5.648747e-05,5.622286e-05,5.619130e-05,5.596106e-05,5.584677e-05,5.570215e-05,5.550739e-05,5.544625e-05,5.519343e-05,5.517334e-05,5.494377e-05,5.484480e-05,5.469733e-05,5.452191e-05,5.445416e-05,5.421431e-05,5.420479e-05,5.397782e-05,5.389351e-05,5.374471e-05,5.358815e-05,5.351502e-05,5.328875e-05,5.299534e-05,5.270793e-05,5.242653e-05,5.215110e-05,5.188164e-05,5.161810e-05,5.136044e-05,5.110861e-05,5.086254e-05,5.062217e-05,5.038743e-05,5.015824e-05,4.993453e-05,4.971620e-05,4.950317e-05,4.929535e-05,4.909265e-05,4.889498e-05,4.870224e-05,4.851435e-05,4.833120e-05,4.815270e-05,4.797875e-05,4.780926e-05
0.000000e+00,4.221356e-09,9.679488e-09,3.330789e-08,7.578390e-08,1.105882e-07,2.514065e-07,2.590080e-07,5.031244e-07,5.923369e-07,8.709824e-07,1.164438e-06,1.395061e-06,2.045585e-06,2.110691e-06,3.049230e-06,3.309799e-06,4.225011e-06,4.983073e-06,5.624167e-06,7.010247e-06,7.208631e-06,8.932361e-06,9.290038e-06,1.075410e-05,1.172895e-05,1.264112e-05,1.425792e-05,1.456802e-05,1.651452e-05,1.682661e-05,1.846372e-05,1.939595e-05,2.040107e-05,2.193379e-05,2.231380e-05,2.419065e-05,2.441298e-05,2.602175e-05,2.681071e-05,2.779861e-05,2.910832e-05,2.951411e-05,3.116242e-05,3.129123e-05,3.273897e-05,3.334870e-05,3.424039e-05,3.527355e-05,3.566437e-05,3.700958e-05,3.706174e-05,3.827554e-05,3.871191e-05,3.946250e-05,4.022493e-05,4.057134e-05,4.160348e-05,4.256076e-05,4.285162e-05,4.344533e-05,4.397440e-05,4.425960e-05,4.497759e-05,4.500619e-05,4.568782e-05,4.586742e-05,4.630732e-05,4.665037e-05,4.686752e-05,4.733301e-05,4.737130e-05,4.782149e-05,4.792187e-05,4.822089e-05,4.842340e-05,4.857225e-05,4.884382e-05,4.887823e-05,4.914143e-05,4.918916e-05,4.936434e-05,4.946514e-05,4.954938e-05,4.967724e-05,4.969886e-05,4.981499e-05,4.983062e-05,4.989989e-05,4.993015e-05,4.995559e-05,4.998043e-05,4.998402e-05,4.998702e-05,4.998575e-05,4.996631e-05,4.995013e-05,4.992357e-05,4.987731e-05,4.986036e-05,4.977816e-05,4.977081e-05,4.967839e-05,4.963387e-05,4.956238e-05,4.946950e-05,4.943139e-05,4.928660e-05,4.928053e-05,4.912913e-05,4.906955e-05,4.896005e-05,4.883896e-05,4.878036e-05,4.859098e-05,4.839281e-05,4.832768e-05,4.818668e-05,4.805095e-05,4.797337e-05,4.776252e-05,4.775362e-05,4.752811e-05,4.746402e-05,4.729749e-05,4.715692e-05,4.706237e-05,4.684257e-05,4.682332e-05,4.658086e-05,4.652223e-05,4.633551e-05,4.619702e-05,4.608772e-05,4.586800e-05,4.583793e-05,4.558655e-05,4.553611e-05,4.533395e-05,4.520223e-05,4.508048e-05,4.486715e-05,4.482649e-05,4.457226e-05,4.453158e-05,4.431808e-05,4.419618e-05,4.406423e-05,4.386154e-05,4.381093e-05,4.355842e-05,4.352819e-05,4.330691e-05,4.319661e-05,4.305658e-05,4.286723e-05,4.280762e-05,4.256018e-05,4.254045e-05,4.231441e-05,4.221661e-05,4.207046e-05,4.189601e-05,4.182845e-05,4.158848e-05,4.157893e-05,4.135067e-05,4.126560e-05,4.111510e-05,4.095624e-05,4.088186e-05,4.065102e-05,4.035011e-05,4.005364e-05,3.976171e-05,3.947444e-05,3.919188e-05,3.891410e-05,3.864115e-05,3.837305e-05,3.810983e-05,3.785149e-05,3.759804e-05,3.734945e-05,3.710572e-05,3.686681e-05,3.663269e-05,3.640332e-05,3.617867e-05,3.595867e-05,3.574328e-05,3.553245e-05,3.532610e-05,3.512418e-05,3.492663e-05,3.473337e-05
0.000000e+00,1.198100e-11,5.510774e-11,5.006647e-10,2.048762e-09,3.838625e-09,1.426378e-08,1.493718e-08,4.052158e-08,5.130464e-08,8.817332e-08,1.306028e-07,1.656898e-07,2.699721e-07,2.807297e-07,4.404321e-07,4.861039e-07,6.507507e-07,7.922463e-07,9.157674e-07,1.195881e-06,1.237508e-06,1.616282e-06,1.698816e-06,2.051160e-06,2.298897e-06,2.540331e-06,2.991370e-06,3.081278e-06,3.670843e-06,3.769442e-06,4.305264e-06,4.624469e-06,4.980217e-06,5.546138e-06,5.690883e-06,6.432043e-06,6.522773e-06,7.198195e-06,7.541763e-06,7.983678e-06,8.590069e-06,8.782801e-06,9.589971e-06,9.654728e-06,1.039979e-05,1.072331e-05,1.120718e-05,1.178431e-05,1.200739e-05,1.279615e-05,1.282741e-05,1.356963e-05,1.384368e-05,1.432447e-05,1.482564e-05,1.505782e-05,1.576732e-05,1.645102e-05,1.666411e-05,1.710746e-05,1.751274e-05,1.773553e-05,1.831110e-05,1.833450e-05,1.890395e-05,1.905808e-05,1.944376e-05,1.975345e-05,1.995403e-05,2.039766e-05,2.043508e-05,2.088741e-05,2.099176e-05,2.131165e-05,2.153722e-05,2.170854e-05,2.203585e-05,2.207893e-05,2.242371e-05,2.248968e-05,2.274386e-05,2.290092e-05,2.304034e-05,2.327185e-05,2.331418e-05,2.356637e-05,2.360479e-05,2.379794e-05,2.390205e-05,2.400986e-05,2.416592e-05,2.420313e-05,2.437870e-05,2.439862e-05,2.453750e-05,2.460229e-05,2.468042e-05,2.477897e-05,2.480835e-05,2.492210e-05,2.493061e-05,2.502249e-05,2.505908e-05,2.511029e-05,2.516611e-05,2.518621e-05,2.525098e-05,2.525334e-05,2.530524e-05,2.532232e-05,2.534963e-05,2.537449e-05,2.538476e-05,2.541119e-05,2.542947e-05,2.543368e-05,2.544010e-05,2.544313e-05,2.544359e-05,2.544063e-05,2.544038e-05,2.543091e-05,2.542719e-05,2.541559e-05,2.540375e-05,2.539481e-05,2.537119e-05,2.536894e-05,2.533832e-05,2.533030e-05,2.530328e-05,2.528184e-05,2.526413e-05,2.522651e-05,2.522116e-05,2.517464e-05,2.516494e-05,2.512484e-05,2.509773e-05,2.507200e-05,2.502543e-05,2.501635e-05,2.495811e-05,2.494856e-05,2.489747e-05,2.486758e-05,2.483465e-05,2.478293e-05,2.476981e-05,2.470313e-05,2.469501e-05,2.463476e-05,2.460419e-05,2.456488e-05,2.451083e-05,2.449360e-05,2.442108e-05,2.441523e-05,2.434744e-05,2.431769e-05,2.427279e-05,2.421849e-05,2.419725e-05,2.412093e-05,2.411786e-05,2.404392e-05,2.401605e-05,2.396632e-05,2.391326e-05,2.388822e-05,2.380970e-05,2.370554e-05,2.360095e-05,2.349608e-05,2.339107e-05,2.328605e-05,2.318114e-05,2.307646e-05,2.297209e-05,2.286813e-05,2.276466e-05,2.266177e-05,2.255951e-05,2.245795e-05,2.235716e-05,2.225717e-05,2.215804e-05,2.205981e-05,2.196252e-05,2.186620e-05,2.177088e-05,2.167659e-05,2.158335e-05,2.149118e-05,2.140010e-05
0.000000e+00,5.815082e-09,1.334030e-08,4.601063e-08,1.051330e-07,1.539525e-07,3.548218e-07,3.658123e-07,7.260495e-07,8.608701e-07,1.290357e-06,1.751272e-06,2.115145e-06,3.124584e-06,3.223183e-06,4.583282e-06,4.941162e-06,6.141769e-06,7.083859e-06,7.853754e-06,9.461651e-06,9.687236e-06,1.161794e-05,1.201389e-05,1.362510e-05,1.469259e-05,1.568940e-05,1.745393e-05,1.779222e-05,1.991565e-05,2.025616e-05,2.204273e-05,2.306037e-05,2.415780e-05,2.583166e-05,2.624674e-05,2.829727e-05,2.854023e-05,3.029891e-05,3.116186e-05,3.224302e-05,3.367775e-05,3.412269e-05,3.593268e-05,3.607435e-05,3.766918e-05,3.834259e-05,3.932965e-05,4.047729e-05,4.091269e-05,4.241779e-05,4.247637e-05,4.384520e-05,4.434020e-05,4.519581e-05,4.607103e-05,4.647098e-05,4.767246e-05,4.880229e-05,4.914907e-05,4.986272e-05,5.050607e-05,5.085614e-05,5.174911e-05,5.178506e-05,5.265203e-05,5.288402e-05,5.345960e-05,5.391671e-05,5.421034e-05,5.485300e-05,5.490678e-05,5.555139e-05,5.569866e-05,5.614661e-05,5.645924e-05,5.669480e-05,5.714013e-05,5.719825e-05,5.765919e-05,5.774646e-05,5.807974e-05,5.828316e-05,5.846198e-05,5.875490e-05,5.880788e-05,5.911934e-05,5.916610e-05,5.939818e-05,5.952096e-05,5.964616e-05,5.982344e-05,5.986493e-05,6.005610e-05,6.007726e-05,6.022118e-05,6.028593e-05,6.036164e-05,6.045276e-05,6.047885e-05,6.057414e-05,6.058085e-05,6.064876e-05,6.067310e-05,6.070393e-05,6.073224e-05,6.074077e-05,6.076039e-05,6.076083e-05,6.076379e-05,6.076125e-05,6.075199e-05,6.073574e-05,6.072589e-05,6.068640e-05,6.063435e-05,6.061518e-05,6.057055e-05,6.052391e-05,6.049576e-05,6.041429e-05,6.041069e-05,6.031604e-05,6.028791e-05,6.021245e-05,6.014626e-05,6.010053e-05,5.999072e-05,5.998087e-05,5.985403e-05,5.982258e-05,5.972053e-05,5.964305e-05,5.958087e-05,5.945324e-05,5.943551e-05,5.928491e-05,5.925420e-05,5.912948e-05,5.904689e-05,5.896963e-05,5.883221e-05,5.880573e-05,5.863814e-05,5.861101e-05,5.846721e-05,5.838406e-05,5.829324e-05,5.815209e-05,5.811654e-05,5.793740e-05,5.791576e-05,5.775609e-05,5.767569e-05,5.757287e-05,5.743248e-05,5.738796e-05,5.720161e-05,5.718664e-05,5.701402e-05,5.693868e-05,5.682539e-05,5.668905e-05,5.663593e-05,5.644580e-05,5.643818e-05,5.625517e-05,5.618646e-05,5.606421e-05,5.593424e-05,5.587307e-05,5.568187e-05,5.542965e-05,5.517785e-05,5.492675e-05,5.467658e-05,5.442755e-05,5.417987e-05,5.393372e-05,5.368926e-05,5.344665e-05,5.320603e-05,5.296751e-05,5.273121e-05,5.249723e-05,5.226566e-05,5.203659e-05,5.181007e-05,5.158619e-05,5.136498e-05,5.114650e-05,5.093078e-05,5.071787e-05,5.050780e-05,5.030057e-05,5.009623e-05
0.000000e+00,3.153205e-10,1.188039e-09,7.558139e-09,2.371307e-08,3.919614e-08,1.114177e-07,1.155858e-07,2.569123e-07,3.108983e-07,4.837805e-07,6.700561e-07,8.182393e-07,1.241263e-06,1.283902e-06,1.903248e-06,2.076669e-06,2.691059e-06,3.206845e-06,3.648573e-06,4.623206e-06,4.765067e-06,6.024653e-06,6.292313e-06,7.411389e-06,8.177896e-06,8.910852e-06,1.024786e-05,1.050987e-05,1.219588e-05,1.247289e-05,1.395646e-05,1.482435e-05,1.577910e-05,1.727346e-05,1.765125e-05,1.956039e-05,1.979138e-05,2.149420e-05,2.234982e-05,2.344080e-05,2.492179e-05,2.538889e-05,2.732792e-05,2.748235e-05,2.924820e-05,3.000907e-05,3.114099e-05,3.248240e-05,3.299856e-05,3.481419e-05,3.488585e-05,3.658211e-05,3.720593e-05,3.829755e-05,3.943205e-05,3.995662e-05,4.155626e-05,4.309417e-05,4.357299e-05,4.456874e-05,4.547873e-05,4.597894e-05,4.727172e-05,4.732429e-05,4.860475e-05,4.895169e-05,4.982068e-05,5.051953e-05,5.097276e-05,5.197712e-05,5.206197e-05,5.308948e-05,5.332706e-05,5.405668e-05,5.457253e-05,5.496508e-05,5.571713e-05,5.581632e-05,5.661212e-05,5.676478e-05,5.735427e-05,5.771958e-05,5.804458e-05,5.858572e-05,5.868489e-05,5.927703e-05,5.936743e-05,5.982285e-05,6.006894e-05,6.032420e-05,6.069445e-05,6.078286e-05,6.120062e-05,6.124809e-05,6.157922e-05,6.173384e-05,6.192037e-05,6.215563e-05,6.222574e-05,6.249694e-05,6.251721e-05,6.273556e-05,6.282223e-05,6.294313e-05,6.307417e-05,6.312111e-05,6.327096e-05,6.327639e-05,6.339405e-05,6.343208e-05,6.349173e-05,6.354430e-05,6.356529e-05,6.361596e-05,6.364496e-05,6.364985e-05,6.365343e-05,6.364860e-05,6.364249e-05,6.361470e-05,6.361319e-05,6.356656e-05,6.355053e-05,6.350359e-05,6.345835e-05,6.342521e-05,6.334027e-05,6.333233e-05,6.322582e-05,6.319832e-05,6.310650e-05,6.303438e-05,6.297516e-05,6.285026e-05,6.283258e-05,6.267946e-05,6.264764e-05,6.251651e-05,6.242811e-05,6.234439e-05,6.219319e-05,6.216373e-05,6.197514e-05,6.194427e-05,6.177920e-05,6.168269e-05,6.157645e-05,6.140970e-05,6.136741e-05,6.115260e-05,6.112646e-05,6.093248e-05,6.083407e-05,6.070751e-05,6.053355e-05,6.047812e-05,6.024471e-05,6.022588e-05,6.000769e-05,5.991195e-05,5.976742e-05,5.959261e-05,5.952425e-05,5.927851e-05,5.926863e-05,5.903053e-05,5.894077e-05,5.878060e-05,5.860969e-05,5.852901e-05,5.827603e-05,5.794039e-05,5.760333e-05,5.726534e-05,5.692690e-05,5.658846e-05,5.625042e-05,5.591314e-05,5.557698e-05,5.524226e-05,5.490926e-05,5.457825e-05,5.424948e-05,5.392317e-05,5.359952e-05,5.327872e-05,5.296093e-05,5.264629e-05,5.233495e-05,5.202703e-05,5.172262e-05,5.142183e-05,5.112473e-05,5.083139e-05,5.054188e-05
0.000000e+00,8.818881e-13,4.527355e-12,5.141003e-11,2.562877e-10,5.338329e-10,2.585930e-09,2.736656e-09,9.533526e-09,1.289051e-08,2.602092e-08,4.369890e-08,6.003568e-08,1.161589e-07,1.225195e-07,2.277242e-07,2.612169e-07,3.932629e-07,5.199698e-07,6.400024e-07,9.431675e-07,9.917774e-07,1.474898e-06,1.589733e-06,2.117455e-06,2.524219e-06,2.948479e-06,3.813466e-06,3.997031e-06,5.291310e-06,5.523000e-06,6.857821e-06,7.713623e-06,8.720643e-06,1.043849e-05,1.090081e-05,1.341580e-05,1.374078e-05,1.627915e-05,1.765194e-05,1.950016e-05,2.219051e-05,2.308373e-05,2.703029e-05,2.736161e-05,3.133579e-05,3.315675e-05,3.599183e-05,3.955433e-05,4.098584e-05,4.630134e-05,4.652037e-05,5.191827e-05,5.400976e-05,5.781335e-05,6.196769e-05,6.396052e-05,7.033137e-05,7.689561e-05,7.903186e-05,8.362154e-05,8.799596e-05,9.047655e-05,9.714808e-05,9.742754e-05,1.044414e-04,1.064120e-04,1.114853e-04,1.157127e-04,1.185273e-04,1.249776e-04,1.255365e-04,1.324832e-04,1.341380e-04,1.393396e-04,1.431299e-04,1.460796e-04,1.518953e-04,1.526790e-04,1.591159e-04,1.603820e-04,1.653705e-04,1.685449e-04,1.714251e-04,1.763452e-04,1.772644e-04,1.828754e-04,1.837512e-04,1.882470e-04,1.907377e-04,1.933705e-04,1.972859e-04,1.982390e-04,2.028475e-04,2.033829e-04,2.071930e-04,2.090213e-04,2.112741e-04,2.141988e-04,2.150907e-04,2.186444e-04,2.189174e-04,2.219380e-04,2.231834e-04,2.249754e-04,2.270063e-04,2.277614e-04,2.303019e-04,2.303985e-04,2.326034e-04,2.333748e-04,2.346731e-04,2.359519e-04,2.365186e-04,2.381482e-04,2.395702e-04,2.399829e-04,2.407934e-04,2.414760e-04,2.418266e-04,2.426480e-04,2.426788e-04,2.433588e-04,2.435196e-04,2.438757e-04,2.441113e-04,2.442384e-04,2.444433e-04,2.444555e-04,2.445356e-04,2.445354e-04,2.444871e-04,2.444068e-04,2.443181e-04,2.440761e-04,2.440366e-04,2.436503e-04,2.435610e-04,2.431664e-04,2.428786e-04,2.425920e-04,2.420447e-04,2.419341e-04,2.411991e-04,2.410747e-04,2.403931e-04,2.399829e-04,2.395222e-04,2.387825e-04,2.385920e-04,2.376078e-04,2.374863e-04,2.365747e-04,2.361058e-04,2.354974e-04,2.346519e-04,2.343804e-04,2.332281e-04,2.331345e-04,2.320443e-04,2.315629e-04,2.308330e-04,2.299456e-04,2.295974e-04,2.283411e-04,2.282904e-04,2.270670e-04,2.266045e-04,2.257780e-04,2.248944e-04,2.244769e-04,2.231661e-04,2.214249e-04,2.196757e-04,2.179229e-04,2.161706e-04,2.144223e-04,2.126813e-04,2.109502e-04,2.092318e-04,2.075282e-04,2.058414e-04,2.041732e-04,2.025250e-04,2.008982e-04,1.992939e-04,1.977130e-04,1.961564e-04,1.946246e-04,1.931182e-04,1.916377e-04,1.901832e-04,1.887552e-04,1.873537e-04,1.859787e-04,1.846304e-04
0.000000e+00,1.259338e-08,2.938772e-08,1.033458e-07,2.382490e-07,3.497758e-07,8.062766e-07,8.310999e-07,1.635254e-06,1.931854e-06,2.864671e-06,3.852958e-06,4.629920e-06,6.799859e-06,7.014200e-06,1.003259e-05,1.084755e-05,1.364661e-05,1.591208e-05,1.780730e-05,2.188823e-05,2.247375e-05,2.761193e-05,2.869337e-05,3.318984e-05,3.625312e-05,3.917396e-05,4.448784e-05,4.552765e-05,5.221071e-05,5.330771e-05,5.917987e-05,6.261340e-05,6.638967e-05,7.229946e-05,7.379350e-05,8.134473e-05,8.225861e-05,8.899777e-05,9.238602e-05,9.670895e-05,1.025830e-04,1.044372e-04,1.121448e-04,1.127594e-04,1.197972e-04,1.228358e-04,1.273639e-04,1.327436e-04,1.348179e-04,1.421357e-04,1.424253e-04,1.492977e-04,1.518346e-04,1.562874e-04,1.609349e-04,1.630913e-04,1.696985e-04,1.761009e-04,1.781054e-04,1.822924e-04,1.861423e-04,1.882687e-04,1.938008e-04,1.940269e-04,1.995654e-04,2.010768e-04,2.048842e-04,2.079702e-04,2.099839e-04,2.144837e-04,2.148664e-04,2.195341e-04,2.206227e-04,2.239904e-04,2.263953e-04,2.282399e-04,2.318117e-04,2.322868e-04,2.361352e-04,2.368814e-04,2.397898e-04,2.416152e-04,2.432554e-04,2.460240e-04,2.465369e-04,2.496393e-04,2.501194e-04,2.525676e-04,2.539129e-04,2.553271e-04,2.574164e-04,2.579227e-04,2.603594e-04,2.606414e-04,2.626425e-04,2.635996e-04,2.647767e-04,2.663023e-04,2.667672e-04,2.686187e-04,2.687610e-04,2.703362e-04,2.709866e-04,2.719242e-04,2.729901e-04,2.733875e-04,2.747305e-04,2.747817e-04,2.759576e-04,2.763719e-04,2.770733e-04,2.777705e-04,2.780818e-04,2.789871e-04,2.797933e-04,2.800310e-04,2.805044e-04,2.809113e-04,2.811242e-04,2.816367e-04,2.816563e-04,2.821045e-04,2.822154e-04,2.824721e-04,2.826555e-04,2.827627e-04,2.829648e-04,2.829795e-04,2.831258e-04,2.831507e-04,2.832046e-04,2.832204e-04,2.832190e-04,2.831807e-04,2.831719e-04,2.830662e-04,2.830382e-04,2.829045e-04,2.827992e-04,2.826896e-04,2.824697e-04,2.824239e-04,2.821100e-04,2.820555e-04,2.817503e-04,2.815621e-04,2.813471e-04,2.809947e-04,2.809026e-04,2.804190e-04,2.803584e-04,2.798983e-04,2.796580e-04,2.793426e-04,2.788980e-04,2.787537e-04,2.781337e-04,2.780828e-04,2.774842e-04,2.772165e-04,2.768070e-04,2.763031e-04,2.761037e-04,2.753760e-04,2.753464e-04,2.746254e-04,2.743499e-04,2.738534e-04,2.733170e-04,2.730614e-04,2.722508e-04,2.711546e-04,2.700311e-04,2.688831e-04,2.677132e-04,2.665239e-04,2.653174e-04,2.640961e-04,2.628618e-04,2.616167e-04,2.603625e-04,2.591010e-04,2.578338e-04,2.565625e-04,2.552884e-04,2.540131e-04,2.527376e-04,2.514633e-04,2.501912e-04,2.489223e-04,2.476577e-04,2.463982e-04,2.451447e-04,2.438980e-04,2.426587e-04
0.000000e+00,8.460962e-10,2.185193e-09,8.532308e-09,2.057965e-08,3.066737e-08,7.205240e-08,7.429396e-08,1.459992e-07,1.719668e-07,2.520407e-07,3.346631e-07,3.984486e-07,5.738209e-07,5.910642e-07,8.354492e-07,9.023755e-07,1.136552e-06,1.331382e-06,1.498012e-06,1.867178e-06,1.921194e-06,2.404477e-06,2.507997e-06,2.943464e-06,3.243760e-06,3.532058e-06,4.059944e-06,4.163606e-06,4.831588e-06,4.941429e-06,5.529844e-06,5.874049e-06,6.252587e-06,6.844724e-06,6.994343e-06,7.749925e-06,7.841288e-06,8.514420e-06,8.852419e-06,9.283202e-06,9.867678e-06,1.005196e-05,1.081671e-05,1.087761e-05,1.157386e-05,1.187384e-05,1.232015e-05,1.284915e-05,1.305274e-05,1.376917e-05,1.379746e-05,1.446733e-05,1.471385e-05,1.514547e-05,1.559442e-05,1.580215e-05,1.643628e-05,1.704700e-05,1.723738e-05,1.763372e-05,1.799645e-05,1.819608e-05,1.871286e-05,1.873390e-05,1.924717e-05,1.938650e-05,1.973602e-05,2.001772e-05,2.020073e-05,2.060723e-05,2.064164e-05,2.105921e-05,2.115600e-05,2.145395e-05,2.166524e-05,2.182643e-05,2.213630e-05,2.217728e-05,2.250713e-05,2.257064e-05,2.281665e-05,2.296980e-05,2.310653e-05,2.333536e-05,2.337747e-05,2.363015e-05,2.366893e-05,2.386528e-05,2.397211e-05,2.408355e-05,2.424648e-05,2.428563e-05,2.447221e-05,2.449359e-05,2.464393e-05,2.471495e-05,2.480145e-05,2.491205e-05,2.494539e-05,2.507637e-05,2.508630e-05,2.519497e-05,2.523908e-05,2.530179e-05,2.537171e-05,2.539737e-05,2.548227e-05,2.548545e-05,2.555699e-05,2.558150e-05,2.562205e-05,2.566102e-05,2.567793e-05,2.572510e-05,2.576402e-05,2.577480e-05,2.579511e-05,2.581109e-05,2.581879e-05,2.583493e-05,2.583546e-05,2.584551e-05,2.584719e-05,2.584931e-05,2.584873e-05,2.584720e-05,2.584035e-05,2.583954e-05,2.582663e-05,2.582279e-05,2.580880e-05,2.579677e-05,2.578633e-05,2.576296e-05,2.575952e-05,2.572864e-05,2.572200e-05,2.569394e-05,2.567448e-05,2.565568e-05,2.562096e-05,2.561409e-05,2.556939e-05,2.556197e-05,2.552181e-05,2.549801e-05,2.547155e-05,2.542954e-05,2.541880e-05,2.536375e-05,2.535700e-05,2.530658e-05,2.528080e-05,2.524746e-05,2.520133e-05,2.518655e-05,2.512401e-05,2.511894e-05,2.505997e-05,2.503397e-05,2.499459e-05,2.494674e-05,2.492798e-05,2.486027e-05,2.485754e-05,2.479159e-05,2.476665e-05,2.472204e-05,2.467431e-05,2.465174e-05,2.458078e-05,2.448626e-05,2.439098e-05,2.429511e-05,2.419883e-05,2.410232e-05,2.400573e-05,2.390918e-05,2.381282e-05,2.371676e-05,2.362111e-05,2.352598e-05,2.343145e-05,2.333761e-05,2.324454e-05,2.315230e-05,2.306097e-05,2.297059e-05,2.288121e-05,2.279289e-05,2.270567e-05,2.261957e-05,2.253464e-05,2.245089e-05,2.236836e-05
0.000000e+00,1.659222e-10,5.611914e-10,3.032380e-09,8.610293e-09,1.365092e-08,3.578907e-08,3.702768e-08,7.771796e-08,9.278606e-08,1.398509e-07,1.889928e-07,2.271621e-07,3.326218e-07,3.430129e-07,4.903831e-07,5.307351e-07,6.718134e-07,7.890517e-07,8.892599e-07,1.111317e-06,1.143837e-06,1.435517e-06,1.498210e-06,1.762965e-06,1.946583e-06,2.123692e-06,2.450046e-06,2.514435e-06,2.931555e-06,3.000491e-06,3.371286e-06,3.589281e-06,3.829863e-06,4.207799e-06,4.303578e-06,4.788816e-06,4.847652e-06,5.282088e-06,5.500807e-06,5.780062e-06,6.159731e-06,6.279604e-06,6.777802e-06,6.817518e-06,7.271996e-06,7.468007e-06,7.759794e-06,8.105849e-06,8.239080e-06,8.708017e-06,8.726536e-06,9.165041e-06,9.326395e-06,9.608850e-06,9.902543e-06,1.003839e-05,1.045283e-05,1.085155e-05,1.097574e-05,1.123411e-05,1.147035e-05,1.160026e-05,1.193620e-05,1.194986e-05,1.228292e-05,1.237322e-05,1.259954e-05,1.278170e-05,1.289992e-05,1.316215e-05,1.318433e-05,1.345310e-05,1.351532e-05,1.370661e-05,1.384207e-05,1.394529e-05,1.414340e-05,1.416957e-05,1.437993e-05,1.442038e-05,1.457685e-05,1.467410e-05,1.476082e-05,1.490571e-05,1.493233e-05,1.509188e-05,1.511633e-05,1.523996e-05,1.530710e-05,1.537704e-05,1.547912e-05,1.550362e-05,1.562015e-05,1.563348e-05,1.572709e-05,1.577122e-05,1.582488e-05,1.589335e-05,1.591396e-05,1.599473e-05,1.600084e-05,1.606760e-05,1.609462e-05,1.613295e-05,1.617557e-05,1.619117e-05,1.624261e-05,1.624453e-05,1.628761e-05,1.630231e-05,1.632652e-05,1.634965e-05,1.635964e-05,1.638729e-05,1.640975e-05,1.641589e-05,1.642731e-05,1.643610e-05,1.644023e-05,1.644852e-05,1.644878e-05,1.645319e-05,1.645372e-05,1.645371e-05,1.645224e-05,1.645055e-05,1.644459e-05,1.644393e-05,1.643406e-05,1.643123e-05,1.642112e-05,1.641261e-05,1.640531e-05,1.638916e-05,1.638680e-05,1.636575e-05,1.636126e-05,1.634234e-05,1.632928e-05,1.631671e-05,1.629357e-05,1.628901e-05,1.625937e-05,1.625446e-05,1.622793e-05,1.621224e-05,1.619482e-05,1.616721e-05,1.616015e-05,1.612404e-05,1.611961e-05,1.608659e-05,1.606972e-05,1.604791e-05,1.601775e-05,1.600810e-05,1.596724e-05,1.596393e-05,1.592542e-05,1.590845e-05,1.588274e-05,1.585151e-05,1.583926e-05,1.579506e-05,1.579328e-05,1.575021e-05,1.573392e-05,1.570479e-05,1.567360e-05,1.565885e-05,1.561245e-05,1.555060e-05,1.548819e-05,1.542531e-05,1.536209e-05,1.529861e-05,1.523497e-05,1.517125e-05,1.510754e-05,1.504390e-05,1.498040e-05,1.491710e-05,1.485406e-05,1.479134e-05,1.472897e-05,1.466700e-05,1.460547e-05,1.454442e-05,1.448388e-05,1.442389e-05,1.436446e-05,1.430562e-05,1.424740e-05,1.418981e-05,1.413287e-05
0.000000e+00,1.242413e-11,6.417775e-11,7.384962e-10,3.728656e-09,7.823459e-09,3.866785e-08,4.095702e-08,1.459034e-07,1.985754e-07,4.079198e-07,6.956433e-07,9.659235e-07,1.917451e-06,2.027112e-06,3.880936e-06,4.484197e-06,6.909094e-06,9.291318e-06,1.158681e-05,1.751005e-05,1.847323e-05,2.819334e-05,3.053572e-05,4.141555e-05,4.990353e-05,5.882841e-05,7.719651e-05,8.111842e-05,1.089499e-04,1.139596e-04,1.429471e-04,1.616254e-04,1.836792e-04,2.214533e-04,2.316474e-04,2.872746e-04,2.944815e-04,3.508980e-04,3.814923e-04,4.227636e-04,4.829907e-04,5.030231e-04,5.917332e-04,5.991946e-04,6.888569e-04,7.300365e-04,7.942664e-04,8.751753e-04,9.077484e-04,1.029009e-03,1.034017e-03,1.157684e-03,1.205741e-03,1.293342e-03,1.389332e-03,1.435497e-03,1.583618e-03,1.737133e-03,1.787300e-03,1.895445e-03,1.998996e-03,2.057934e-03,2.217269e-03,2.223971e-03,2.392920e-03,2.440661e-03,2.564150e-03,2.667724e-03,2.737040e-03,2.897042e-03,2.910982e-03,3.085389e-03,3.127253e-03,3.259698e-03,3.357067e-03,3.433372e-03,3.585278e-03,3.605906e-03,3.776827e-03,3.810778e-03,3.945694e-03,4.032556e-03,4.112101e-03,4.249710e-03,4.275678e-03,4.436091e-03,4.461443e-03,4.593038e-03,4.667063e-03,4.746254e-03,4.865981e-03,4.895504e-03,5.040587e-03,5.057708e-03,5.181332e-03,5.241848e-03,5.317597e-03,5.418090e-03,5.449267e-03,5.576255e-03,5.586209e-03,5.698495e-03,5.746051e-03,5.815945e-03,5.897531e-03,5.928585e-03,6.036411e-03,6.040624e-03,6.139439e-03,6.175360e-03,6.237699e-03,6.301815e-03,6.331236e-03,6.420107e-03,6.504381e-03,6.530390e-03,6.584136e-03,6.632848e-03,6.659460e-03,6.727690e-03,6.730448e-03,6.797200e-03,6.815146e-03,6.859822e-03,6.895460e-03,6.918427e-03,6.968892e-03,6.973127e-03,7.024040e-03,7.035709e-03,7.071285e-03,7.096185e-03,7.114982e-03,7.150597e-03,7.155253e-03,7.192218e-03,7.199225e-03,7.225999e-03,7.242346e-03,7.256716e-03,7.280238e-03,7.284489e-03,7.309435e-03,7.313172e-03,7.331671e-03,7.341415e-03,7.351311e-03,7.365230e-03,7.368468e-03,7.383250e-03,7.384870e-03,7.395766e-03,7.400582e-03,7.406120e-03,7.412606e-03,7.414414e-03,7.420748e-03,7.421173e-03,7.425216e-03,7.426503e-03,7.427914e-03,7.428810e-03,7.428931e-03,7.428354e-03,7.428299e-03,7.426270e-03,7.425165e-03,7.422758e-03,7.419595e-03,7.417898e-03,7.411765e-03,7.401846e-03,7.389997e-03,7.376372e-03,7.361114e-03,7.344360e-03,7.326239e-03,7.306872e-03,7.286375e-03,7.264856e-03,7.242416e-03,7.219152e-03,7.195153e-03,7.170503e-03,7.145282e-03,7.119563e-03,7.093415e-03,7.066904e-03,7.040088e-03,7.013025e-03,6.985767e-03,6.958361e-03,6.930854e-03,6.903287e-03,6.875699e-03
0.000000e+00,2.163741e-09,5.061416e-09,1.781186e-08,4.112898e-08,6.053166e-08,1.415281e-07,1.460089e-07,2.949086e-07,3.511704e-07,5.289178e-07,7.129982e-07,8.523259e-07,1.216647e-06,1.250956e-06,1.711846e-06,1.830853e-06,2.227869e-06,2.539241e-06,2.794604e-06,3.332146e-06,3.408094e-06,4.063898e-06,4.199691e-06,4.756804e-06,5.129826e-06,5.480847e-06,6.108297e-06,6.229437e-06,6.995631e-06,7.119385e-06,7.772386e-06,8.146942e-06,8.552804e-06,9.175365e-06,9.330347e-06,1.009900e-05,1.019038e-05,1.085340e-05,1.117959e-05,1.158889e-05,1.213280e-05,1.230158e-05,1.298831e-05,1.304205e-05,1.364664e-05,1.390159e-05,1.427478e-05,1.470767e-05,1.487156e-05,1.543631e-05,1.545823e-05,1.596883e-05,1.615267e-05,1.646928e-05,1.679151e-05,1.693815e-05,1.737616e-05,1.778423e-05,1.790866e-05,1.816343e-05,1.839149e-05,1.851491e-05,1.882741e-05,1.883992e-05,1.913972e-05,1.921933e-05,1.941561e-05,1.957019e-05,1.966885e-05,1.988292e-05,1.990071e-05,2.011242e-05,2.016037e-05,2.030518e-05,2.040528e-05,2.048013e-05,2.062023e-05,2.063837e-05,2.078095e-05,2.080768e-05,2.090887e-05,2.096990e-05,2.102305e-05,2.110902e-05,2.112441e-05,2.121377e-05,2.122701e-05,2.129192e-05,2.132568e-05,2.135962e-05,2.140672e-05,2.141755e-05,2.146638e-05,2.147166e-05,2.150671e-05,2.152192e-05,2.153913e-05,2.155880e-05,2.156416e-05,2.158231e-05,2.158348e-05,2.159407e-05,2.159707e-05,2.159985e-05,2.160056e-05,2.160009e-05,2.159516e-05,2.159486e-05,2.158543e-05,2.158082e-05,2.157124e-05,2.155920e-05,2.155290e-05,2.153070e-05,2.150493e-05,2.149597e-05,2.147585e-05,2.145561e-05,2.144369e-05,2.141014e-05,2.140869e-05,2.137105e-05,2.136007e-05,2.133098e-05,2.130586e-05,2.128867e-05,2.124791e-05,2.124429e-05,2.119800e-05,2.118663e-05,2.114996e-05,2.112235e-05,2.110031e-05,2.105540e-05,2.104920e-05,2.099673e-05,2.098609e-05,2.094304e-05,2.091468e-05,2.088824e-05,2.084143e-05,2.083243e-05,2.077571e-05,2.076656e-05,2.071818e-05,2.069030e-05,2.065991e-05,2.061283e-05,2.060100e-05,2.054151e-05,2.053434e-05,2.048153e-05,2.045499e-05,2.042111e-05,2.037494e-05,2.036032e-05,2.029923e-05,2.029433e-05,2.023788e-05,2.021329e-05,2.017634e-05,2.013193e-05,2.011464e-05,2.005284e-05,2.005037e-05,1.999098e-05,1.996870e-05,1.992910e-05,1.988703e-05,1.986724e-05,1.980543e-05,1.972399e-05,1.964278e-05,1.956185e-05,1.948129e-05,1.940113e-05,1.932143e-05,1.924224e-05,1.916360e-05,1.908554e-05,1.900811e-05,1.893133e-05,1.885524e-05,1.877985e-05,1.870520e-05,1.863130e-05,1.855817e-05,1.848583e-05,1.841430e-05,1.834358e-05,1.827368e-05,1.820463e-05,1.813641e-05,1.806905e-05,1.800254e-05
0.000000e+00,7.705273e-12,3.986843e-11,4.604314e-10,2.333045e-09,4.905545e-09,2.439399e-08,2.584512e-08,9.273910e-08,1.264979e-07,2.614418e-07,4.483152e-07,6.249361e-07,1.252566e-06,1.325363e-06,2.566533e-06,2.973898e-06,4.624044e-06,6.260577e-06,7.848574e-06,1.198328e-05,1.265966e-05,1.953136e-05,2.119744e-05,2.897352e-05,3.507371e-05,4.151181e-05,5.481945e-05,5.766881e-05,7.794717e-05,8.160605e-05,1.028151e-04,1.165078e-04,1.326944e-04,1.604542e-04,1.679512e-04,2.088885e-04,2.141946e-04,2.557414e-04,2.782756e-04,3.086740e-04,3.530283e-04,3.677785e-04,4.330754e-04,4.385657e-04,5.045156e-04,5.347881e-04,5.819837e-04,6.413958e-04,6.653021e-04,7.542363e-04,7.579066e-04,8.485008e-04,8.836784e-04,9.477650e-04,1.017934e-03,1.051660e-03,1.159786e-03,1.271716e-03,1.308266e-03,1.387008e-03,1.462347e-03,1.505203e-03,1.620972e-03,1.625838e-03,1.748449e-03,1.783072e-03,1.872575e-03,1.947588e-03,1.997762e-03,2.113491e-03,2.123569e-03,2.249569e-03,2.279791e-03,2.375354e-03,2.445554e-03,2.500535e-03,2.609905e-03,2.624748e-03,2.747649e-03,2.772044e-03,2.868921e-03,2.931241e-03,2.988271e-03,3.086844e-03,3.105433e-03,3.220163e-03,3.238279e-03,3.332246e-03,3.385049e-03,3.441490e-03,3.526729e-03,3.547728e-03,3.650815e-03,3.662968e-03,3.750630e-03,3.793485e-03,3.847071e-03,3.918059e-03,3.940057e-03,4.029528e-03,4.036532e-03,4.115439e-03,4.148800e-03,4.197762e-03,4.254807e-03,4.276487e-03,4.351613e-03,4.354543e-03,4.423156e-03,4.448039e-03,4.491142e-03,4.535359e-03,4.555607e-03,4.616599e-03,4.674171e-03,4.691882e-03,4.728386e-03,4.761352e-03,4.779310e-03,4.825172e-03,4.827020e-03,4.871592e-03,4.883521e-03,4.913109e-03,4.936589e-03,4.951658e-03,4.984576e-03,4.987326e-03,5.020204e-03,5.027690e-03,5.050383e-03,5.066140e-03,5.077957e-03,5.100141e-03,5.103018e-03,5.125660e-03,5.129906e-03,5.145975e-03,5.155650e-03,5.164056e-03,5.177584e-03,5.179994e-03,5.193879e-03,5.195916e-03,5.205799e-03,5.210849e-03,5.215843e-03,5.222583e-03,5.224094e-03,5.230637e-03,5.231311e-03,5.235553e-03,5.237221e-03,5.238921e-03,5.240492e-03,5.240817e-03,5.241318e-03,5.241300e-03,5.240494e-03,5.239810e-03,5.238417e-03,5.236183e-03,5.235153e-03,5.230769e-03,5.230572e-03,5.225328e-03,5.223121e-03,5.218889e-03,5.213971e-03,5.211512e-03,5.203252e-03,5.191089e-03,5.177600e-03,5.162897e-03,5.147086e-03,5.130264e-03,5.112527e-03,5.093962e-03,5.074650e-03,5.054671e-03,5.034095e-03,5.012992e-03,4.991424e-03,4.969450e-03,4.947127e-03,4.924505e-03,4.901632e-03,4.878553e-03,4.855309e-03,4.831939e-03,4.808477e-03,4.784957e-03,4.761410e-03,4.737863e-03,4.714342e-03
0.000000e+00,7.359290e-09,1.690280e-08,5.831308e-08,1.329023e-07,1.940748e-07,4.416419e-07,4.550015e-07,8.834617e-07,1.039712e-06,1.526482e-06,2.037100e-06,2.437062e-06,3.560419e-06,3.672567e-06,5.287800e-06,5.736782e-06,7.320530e-06,8.643768e-06,9.772448e-06,1.224268e-05,1.259929e-05,1.572318e-05,1.637591e-05,1.905809e-05,2.084995e-05,2.252857e-05,2.550454e-05,2.607507e-05,2.965201e-05,3.022467e-05,3.322412e-05,3.492859e-05,3.676343e-05,3.955585e-05,4.024722e-05,4.365689e-05,4.406031e-05,4.697718e-05,4.840651e-05,5.019573e-05,5.256767e-05,5.330275e-05,5.629073e-05,5.652445e-05,5.915417e-05,6.026380e-05,6.188939e-05,6.377807e-05,6.449421e-05,6.696780e-05,6.706402e-05,6.931045e-05,7.012195e-05,7.152335e-05,7.295498e-05,7.360846e-05,7.556838e-05,7.740615e-05,7.796899e-05,7.912520e-05,8.016479e-05,8.072923e-05,8.216450e-05,8.222214e-05,8.360794e-05,8.397733e-05,8.489073e-05,8.561269e-05,8.607466e-05,8.708009e-05,8.716383e-05,8.816235e-05,8.838895e-05,8.907425e-05,8.954857e-05,8.990351e-05,9.056798e-05,9.065401e-05,9.132952e-05,9.145595e-05,9.193373e-05,9.222093e-05,9.247020e-05,9.287104e-05,9.294241e-05,9.335368e-05,9.341405e-05,9.370725e-05,9.385738e-05,9.400622e-05,9.420810e-05,9.425358e-05,9.445222e-05,9.447291e-05,9.460488e-05,9.465818e-05,9.471423e-05,9.476993e-05,9.478280e-05,9.481303e-05,9.481386e-05,9.480725e-05,9.479536e-05,9.476769e-05,9.471949e-05,9.469648e-05,9.459565e-05,9.459103e-05,9.446715e-05,9.441448e-05,9.431284e-05,9.419407e-05,9.413448e-05,9.393375e-05,9.371227e-05,9.363726e-05,9.347155e-05,9.330807e-05,9.321305e-05,9.294944e-05,9.293815e-05,9.264816e-05,9.256444e-05,9.234434e-05,9.215589e-05,9.202785e-05,9.172646e-05,9.169982e-05,9.136132e-05,9.127863e-05,9.101335e-05,9.081471e-05,9.065687e-05,9.033683e-05,9.029277e-05,8.992191e-05,8.984700e-05,8.954510e-05,8.934705e-05,8.916309e-05,8.883871e-05,8.877660e-05,8.838632e-05,8.832356e-05,8.799287e-05,8.780306e-05,8.759685e-05,8.727857e-05,8.719884e-05,8.679935e-05,8.675134e-05,8.639889e-05,8.622250e-05,8.599793e-05,8.569312e-05,8.559689e-05,8.519619e-05,8.516416e-05,8.479622e-05,8.463651e-05,8.439733e-05,8.411098e-05,8.399984e-05,8.360408e-05,8.358829e-05,8.321032e-05,8.306911e-05,8.281884e-05,8.255406e-05,8.242988e-05,8.204368e-05,8.153845e-05,8.103882e-05,8.054518e-05,8.005788e-05,7.957723e-05,7.910349e-05,7.863690e-05,7.817766e-05,7.772595e-05,7.728189e-05,7.684562e-05,7.641722e-05,7.599676e-05,7.558430e-05,7.517985e-05,7.478345e-05,7.439508e-05,7.401473e-05,7.364238e-05,7.327797e-05,7.292146e-05,7.257279e-05,7.223189e-05,7.189868e-05
0.000000e+00,4.313029e-09,1.038456e-08,3.773257e-08,8.840614e-08,1.306913e-07,3.062400e-07,3.158825e-07,6.326759e-07,7.514187e-07,1.130244e-06,1.538735e-06,1.863731e-06,2.781608e-06,2.872630e-06,4.149276e-06,4.490359e-06,5.644294e-06,6.556341e-06,7.304010e-06,8.868710e-06,9.088403e-06,1.096903e-05,1.135470e-05,1.292378e-05,1.396315e-05,1.493363e-05,1.665180e-05,1.698129e-05,1.905075e-05,1.938289e-05,2.112732e-05,2.212265e-05,2.319773e-05,2.484169e-05,2.525025e-05,2.727475e-05,2.751538e-05,2.926267e-05,3.012389e-05,3.120695e-05,3.265187e-05,3.310191e-05,3.494313e-05,3.508799e-05,3.672724e-05,3.742433e-05,3.845184e-05,3.965575e-05,4.011529e-05,4.171665e-05,4.177941e-05,4.325551e-05,4.379420e-05,4.473190e-05,4.570036e-05,4.614624e-05,4.749919e-05,4.879170e-05,4.919271e-05,5.002485e-05,5.078350e-05,5.119991e-05,5.227456e-05,5.231822e-05,5.338121e-05,5.366914e-05,5.439037e-05,5.497067e-05,5.534724e-05,5.618273e-05,5.625339e-05,5.711041e-05,5.730896e-05,5.791987e-05,5.835297e-05,5.868333e-05,5.931836e-05,5.940234e-05,6.007846e-05,6.020867e-05,6.071320e-05,6.102741e-05,6.130807e-05,6.177801e-05,6.186452e-05,6.238401e-05,6.246379e-05,6.286793e-05,6.308799e-05,6.331767e-05,6.365376e-05,6.373457e-05,6.411995e-05,6.416413e-05,6.447506e-05,6.462205e-05,6.480116e-05,6.503034e-05,6.509945e-05,6.537110e-05,6.539172e-05,6.561724e-05,6.570880e-05,6.583897e-05,6.598411e-05,6.603737e-05,6.621345e-05,6.622004e-05,6.636822e-05,6.641891e-05,6.650264e-05,6.658291e-05,6.661765e-05,6.671415e-05,6.679300e-05,6.681464e-05,6.685505e-05,6.688632e-05,6.690110e-05,6.693100e-05,6.693195e-05,6.694833e-05,6.695042e-05,6.695098e-05,6.694626e-05,6.694059e-05,6.692009e-05,6.691783e-05,6.688336e-05,6.687341e-05,6.683779e-05,6.680765e-05,6.678173e-05,6.672416e-05,6.671574e-05,6.664038e-05,6.662423e-05,6.655618e-05,6.650908e-05,6.646366e-05,6.637986e-05,6.636329e-05,6.625556e-05,6.623766e-05,6.614090e-05,6.608353e-05,6.601975e-05,6.591844e-05,6.589253e-05,6.575963e-05,6.574332e-05,6.562144e-05,6.555905e-05,6.547831e-05,6.536644e-05,6.533059e-05,6.517862e-05,6.516629e-05,6.502272e-05,6.495933e-05,6.486319e-05,6.474624e-05,6.470032e-05,6.453439e-05,6.452770e-05,6.436567e-05,6.430430e-05,6.419441e-05,6.407663e-05,6.402085e-05,6.384523e-05,6.361061e-05,6.337326e-05,6.313361e-05,6.289210e-05,6.264912e-05,6.240504e-05,6.216019e-05,6.191491e-05,6.166949e-05,6.142421e-05,6.117934e-05,6.093511e-05,6.069175e-05,6.044946e-05,6.020844e-05,5.996886e-05,5.973089e-05,5.949468e-05,5.926036e-05,5.902807e-05,5.879791e-05,5.856999e-05,5.834440e-05,5.812124e-05
0.000000e+00,2.170443e-09,4.966260e-09,1.699551e-08,3.843217e-08,5.586618e-08,1.255143e-07,1.292396e-07,2.473812e-07,2.899322e-07,4.210958e-07,5.568516e-07,6.621208e-07,9.536136e-07,9.824037e-07,1.391057e-06,1.502654e-06,1.889458e-06,2.204930e-06,2.469146e-06,3.035053e-06,3.115647e-06,3.813875e-06,3.958538e-06,4.550783e-06,4.945608e-06,5.315594e-06,5.972934e-06,6.099248e-06,6.893840e-06,7.021506e-06,7.692266e-06,8.074948e-06,8.488048e-06,9.118780e-06,9.275277e-06,1.004861e-05,1.014025e-05,1.080331e-05,1.112840e-05,1.153527e-05,1.207419e-05,1.224101e-05,1.291771e-05,1.297052e-05,1.356317e-05,1.381223e-05,1.417578e-05,1.459589e-05,1.475446e-05,1.529867e-05,1.531972e-05,1.580831e-05,1.598334e-05,1.628357e-05,1.658737e-05,1.672498e-05,1.713336e-05,1.750971e-05,1.762356e-05,1.785519e-05,1.806069e-05,1.817109e-05,1.844778e-05,1.845877e-05,1.871962e-05,1.878804e-05,1.895507e-05,1.908475e-05,1.916657e-05,1.934120e-05,1.935552e-05,1.952331e-05,1.956058e-05,1.967129e-05,1.974599e-05,1.980075e-05,1.990036e-05,1.991295e-05,2.000908e-05,2.002647e-05,2.009025e-05,2.012692e-05,2.015756e-05,2.020412e-05,2.021201e-05,2.025456e-05,2.026032e-05,2.028611e-05,2.029759e-05,2.030749e-05,2.031782e-05,2.031950e-05,2.032289e-05,2.032275e-05,2.031833e-05,2.031397e-05,2.030647e-05,2.029295e-05,2.028792e-05,2.026323e-05,2.026101e-05,2.023293e-05,2.021935e-05,2.019750e-05,2.016907e-05,2.015739e-05,2.011302e-05,2.011117e-05,2.006479e-05,2.004655e-05,2.001304e-05,1.997603e-05,1.995813e-05,1.990036e-05,1.984002e-05,1.982021e-05,1.977738e-05,1.973620e-05,1.971269e-05,1.964887e-05,1.964618e-05,1.957806e-05,1.955873e-05,1.950854e-05,1.946622e-05,1.943779e-05,1.937176e-05,1.936598e-05,1.929328e-05,1.927572e-05,1.921983e-05,1.917842e-05,1.914577e-05,1.908018e-05,1.907121e-05,1.899628e-05,1.898125e-05,1.892107e-05,1.888189e-05,1.884570e-05,1.878232e-05,1.877025e-05,1.869479e-05,1.868273e-05,1.861942e-05,1.858329e-05,1.854420e-05,1.848418e-05,1.846920e-05,1.839447e-05,1.838552e-05,1.832007e-05,1.828745e-05,1.824605e-05,1.819009e-05,1.817247e-05,1.809935e-05,1.809352e-05,1.802673e-05,1.799784e-05,1.795466e-05,1.790313e-05,1.788317e-05,1.781228e-05,1.780945e-05,1.774202e-05,1.771688e-05,1.767241e-05,1.762546e-05,1.760347e-05,1.753523e-05,1.744624e-05,1.735851e-05,1.727209e-05,1.718698e-05,1.710322e-05,1.702080e-05,1.693976e-05,1.686008e-05,1.678178e-05,1.670487e-05,1.662933e-05,1.655517e-05,1.648238e-05,1.641095e-05,1.634088e-05,1.627217e-05,1.620478e-05,1.613873e-05,1.607398e-05,1.601054e-05,1.594838e-05,1.588748e-05,1.582784e-05,1.576943e-05
0.000000e+00,4.959527e-09,1.159602e-08,4.095716e-08,9.501897e-08,1.401856e-07,3.292493e-07,3.397131e-07,6.878241e-07,8.202848e-07,1.248967e-06,1.720052e-06,2.100417e-06,3.197477e-06,3.307935e-06,4.883944e-06,5.312222e-06,6.777516e-06,7.948582e-06,8.914146e-06,1.094468e-05,1.123048e-05,1.368110e-05,1.418432e-05,1.623352e-05,1.759253e-05,1.886276e-05,2.111534e-05,2.154796e-05,2.427076e-05,2.470877e-05,2.701452e-05,2.833447e-05,2.976411e-05,3.195875e-05,3.250587e-05,3.522768e-05,3.555243e-05,3.791890e-05,3.909095e-05,4.057043e-05,4.255432e-05,4.317467e-05,4.572541e-05,4.592700e-05,4.821763e-05,4.919722e-05,5.064741e-05,5.235651e-05,5.301181e-05,5.530880e-05,5.539926e-05,5.753697e-05,5.832206e-05,5.969538e-05,6.112308e-05,6.178371e-05,6.380202e-05,6.575074e-05,6.635973e-05,6.763055e-05,6.879787e-05,6.944235e-05,7.111869e-05,7.118722e-05,7.286636e-05,7.332492e-05,7.448110e-05,7.541961e-05,7.603283e-05,7.740603e-05,7.752301e-05,7.895314e-05,7.928760e-05,8.032474e-05,8.106785e-05,8.163937e-05,8.275035e-05,8.289858e-05,8.410392e-05,8.433866e-05,8.525696e-05,8.583637e-05,8.635922e-05,8.724699e-05,8.741223e-05,8.841749e-05,8.857400e-05,8.937650e-05,8.982082e-05,9.029071e-05,9.099078e-05,9.116155e-05,9.199043e-05,9.208715e-05,9.277874e-05,9.311309e-05,9.352782e-05,9.407169e-05,9.423898e-05,9.491353e-05,9.496595e-05,9.555271e-05,9.579876e-05,9.615776e-05,9.657292e-05,9.672986e-05,9.727019e-05,9.729116e-05,9.777988e-05,9.795608e-05,9.826003e-05,9.857021e-05,9.871172e-05,9.913598e-05,9.953383e-05,9.965573e-05,9.990627e-05,1.001317e-04,1.002542e-04,1.005661e-04,1.005787e-04,1.008804e-04,1.009610e-04,1.011604e-04,1.013184e-04,1.014195e-04,1.016401e-04,1.016585e-04,1.018782e-04,1.019281e-04,1.020793e-04,1.021841e-04,1.022626e-04,1.024098e-04,1.024289e-04,1.025788e-04,1.026068e-04,1.027130e-04,1.027767e-04,1.028321e-04,1.029210e-04,1.029368e-04,1.030277e-04,1.030410e-04,1.031053e-04,1.031381e-04,1.031704e-04,1.032136e-04,1.032233e-04,1.032646e-04,1.032688e-04,1.032949e-04,1.033049e-04,1.033147e-04,1.033229e-04,1.033244e-04,1.033244e-04,1.033240e-04,1.033153e-04,1.033092e-04,1.032974e-04,1.032794e-04,1.032712e-04,1.032371e-04,1.032356e-04,1.031955e-04,1.031787e-04,1.031467e-04,1.031096e-04,1.030911e-04,1.030290e-04,1.029377e-04,1.028365e-04,1.027261e-04,1.026070e-04,1.024800e-04,1.023456e-04,1.022045e-04,1.020571e-04,1.019040e-04,1.017457e-04,1.015825e-04,1.014150e-04,1.012436e-04,1.010687e-04,1.008906e-04,1.007097e-04,1.005263e-04,1.003408e-04,1.001534e-04,9.996442e-05,9.977412e-05,9.958276e-05,9.939057e-05,9.919778e-05
0.000000e+00,3.530647e-09,9.371638e-09,3.770969e-08,9.239972e-08,1.386606e-07,3.314582e-07,3.420211e-07,6.856714e-07,8.127080e-07,1.212366e-06,1.636247e-06,1.970610e-06,2.916048e-06,3.010691e-06,4.371609e-06,4.747733e-06,6.061519e-06,7.141569e-06,8.050379e-06,1.000667e-05,1.028620e-05,1.271637e-05,1.322169e-05,1.529698e-05,1.668640e-05,1.799286e-05,2.032514e-05,2.077502e-05,2.361844e-05,2.407755e-05,2.650087e-05,2.789230e-05,2.940216e-05,3.172448e-05,3.230412e-05,3.519041e-05,3.553501e-05,3.804662e-05,3.929052e-05,4.086020e-05,4.296335e-05,4.362045e-05,4.631848e-05,4.653139e-05,4.894677e-05,4.997722e-05,5.149955e-05,5.328819e-05,5.397227e-05,5.636161e-05,5.645541e-05,5.866526e-05,5.947330e-05,6.088179e-05,6.233886e-05,6.301045e-05,6.505114e-05,6.700428e-05,6.761092e-05,6.887070e-05,7.002022e-05,7.065156e-05,7.228202e-05,7.234829e-05,7.396257e-05,7.440004e-05,7.549621e-05,7.637849e-05,7.695115e-05,7.822196e-05,7.832946e-05,7.963323e-05,7.993529e-05,8.086464e-05,8.152343e-05,8.202586e-05,8.299143e-05,8.311910e-05,8.414656e-05,8.434435e-05,8.511042e-05,8.558722e-05,8.601286e-05,8.672501e-05,8.685602e-05,8.764201e-05,8.776260e-05,8.837291e-05,8.870478e-05,8.905076e-05,8.955620e-05,8.967757e-05,9.025527e-05,9.032139e-05,9.078578e-05,9.100474e-05,9.127096e-05,9.161050e-05,9.171262e-05,9.211252e-05,9.214276e-05,9.247239e-05,9.260550e-05,9.279387e-05,9.300249e-05,9.307861e-05,9.332815e-05,9.333742e-05,9.354402e-05,9.361378e-05,9.372770e-05,9.383494e-05,9.388061e-05,9.400413e-05,9.409960e-05,9.412443e-05,9.416830e-05,9.419880e-05,9.421148e-05,9.423005e-05,9.423035e-05,9.422607e-05,9.422087e-05,9.419975e-05,9.417383e-05,9.415248e-05,9.409138e-05,9.408530e-05,9.399921e-05,9.397584e-05,9.389518e-05,9.382944e-05,9.377415e-05,9.365428e-05,9.363700e-05,9.348461e-05,9.345237e-05,9.331779e-05,9.322561e-05,9.313735e-05,9.297582e-05,9.294406e-05,9.273865e-05,9.270470e-05,9.252182e-05,9.241390e-05,9.229427e-05,9.210494e-05,9.205664e-05,9.180956e-05,9.177930e-05,9.155363e-05,9.143836e-05,9.128942e-05,9.108342e-05,9.101749e-05,9.073836e-05,9.071574e-05,9.045255e-05,9.033646e-05,9.016054e-05,8.994672e-05,8.986280e-05,8.955976e-05,8.954753e-05,8.925186e-05,8.913991e-05,8.893951e-05,8.872476e-05,8.862308e-05,8.830297e-05,8.787535e-05,8.744270e-05,8.700573e-05,8.656512e-05,8.612154e-05,8.567557e-05,8.522778e-05,8.477870e-05,8.432883e-05,8.387864e-05,8.342855e-05,8.297897e-05,8.253028e-05,8.208282e-05,8.163692e-05,8.119289e-05,8.075101e-05,8.031152e-05,7.987468e-05,7.944071e-05,7.900980e-05,7.858214e-05,7.815790e-05,7.773725e-05
0.000000e+00,2.145140e-09,4.922349e-09,1.694001e-08,3.850798e-08,5.614526e-08,1.272008e-07,1.310233e-07,2.531167e-07,2.974370e-07,4.349387e-07,5.783643e-07,6.901752e-07,1.001706e-06,1.032593e-06,1.472513e-06,1.593016e-06,2.011430e-06,2.353216e-06,2.639645e-06,3.253194e-06,3.340552e-06,4.096906e-06,4.253482e-06,4.893982e-06,5.320492e-06,5.719821e-06,6.428492e-06,6.564559e-06,7.419779e-06,7.557082e-06,8.278108e-06,8.689264e-06,9.133021e-06,9.810601e-06,9.978764e-06,1.081030e-05,1.090892e-05,1.162333e-05,1.197425e-05,1.241426e-05,1.299876e-05,1.318016e-05,1.391876e-05,1.397661e-05,1.462834e-05,1.490377e-05,1.530774e-05,1.577779e-05,1.595622e-05,1.657345e-05,1.659749e-05,1.715943e-05,1.736278e-05,1.771443e-05,1.807438e-05,1.823894e-05,1.873363e-05,1.919931e-05,1.934235e-05,1.963688e-05,1.990262e-05,2.004732e-05,2.041676e-05,2.043165e-05,2.079092e-05,2.088717e-05,2.112620e-05,2.131630e-05,2.143856e-05,2.170659e-05,2.172905e-05,2.199872e-05,2.206045e-05,2.224857e-05,2.238020e-05,2.247959e-05,2.266808e-05,2.269274e-05,2.288895e-05,2.292623e-05,2.306909e-05,2.315670e-05,2.323403e-05,2.336142e-05,2.338457e-05,2.352151e-05,2.354221e-05,2.364559e-05,2.370078e-05,2.375751e-05,2.383876e-05,2.385797e-05,2.394760e-05,2.395766e-05,2.402702e-05,2.405889e-05,2.409682e-05,2.414378e-05,2.415756e-05,2.420975e-05,2.421358e-05,2.425391e-05,2.426943e-05,2.429051e-05,2.431243e-05,2.432000e-05,2.434280e-05,2.434358e-05,2.435933e-05,2.436382e-05,2.436997e-05,2.437403e-05,2.437508e-05,2.437501e-05,2.437009e-05,2.436754e-05,2.436062e-05,2.435230e-05,2.434689e-05,2.432998e-05,2.432920e-05,2.430779e-05,2.430116e-05,2.428291e-05,2.426643e-05,2.425481e-05,2.422630e-05,2.422370e-05,2.418980e-05,2.418127e-05,2.415330e-05,2.413180e-05,2.411439e-05,2.407830e-05,2.407325e-05,2.403005e-05,2.402117e-05,2.398494e-05,2.396078e-05,2.393808e-05,2.389747e-05,2.388961e-05,2.383966e-05,2.383153e-05,2.378835e-05,2.376328e-05,2.373582e-05,2.369298e-05,2.368216e-05,2.362749e-05,2.362087e-05,2.357191e-05,2.354719e-05,2.351551e-05,2.347216e-05,2.345839e-05,2.340062e-05,2.339597e-05,2.334228e-05,2.331881e-05,2.328346e-05,2.324084e-05,2.322421e-05,2.316462e-05,2.316223e-05,2.310473e-05,2.308311e-05,2.304462e-05,2.300364e-05,2.298433e-05,2.292391e-05,2.284406e-05,2.276419e-05,2.268439e-05,2.260475e-05,2.252535e-05,2.244628e-05,2.236758e-05,2.228934e-05,2.221160e-05,2.213442e-05,2.205785e-05,2.198193e-05,2.190669e-05,2.183217e-05,2.175841e-05,2.168544e-05,2.161327e-05,2.154192e-05,2.147143e-05,2.140181e-05,2.133306e-05,2.126521e-05,2.119827e-05,2.113224e-05
0.000000e+00,5.318475e-12,2.609699e-11,2.698146e-10,1.235031e-09,2.455078e-09,1.054953e-08,1.111054e-08,3.443919e-08,4.513468e-08,8.433694e-08,1.332509e-07,1.760630e-07,3.128793e-07,3.276713e-07,5.588018e-07,6.282604e-07,8.883275e-07,1.121717e-06,1.331405e-06,1.822754e-06,1.897294e-06,2.588702e-06,2.741850e-06,3.402356e-06,3.871245e-06,4.330194e-06,5.189441e-06,5.360659e-06,6.479830e-06,6.666116e-06,7.672340e-06,8.266080e-06,8.922093e-06,9.952179e-06,1.021283e-05,1.152861e-05,1.168745e-05,1.285416e-05,1.343678e-05,1.417524e-05,1.516825e-05,1.547889e-05,1.675361e-05,1.685403e-05,1.798950e-05,1.847107e-05,1.917829e-05,2.000129e-05,2.031339e-05,2.138980e-05,2.143158e-05,2.240399e-05,2.275341e-05,2.335379e-05,2.396234e-05,2.423824e-05,2.505741e-05,2.581223e-05,2.604043e-05,2.650434e-05,2.691538e-05,2.713594e-05,2.768774e-05,2.770961e-05,2.822825e-05,2.836402e-05,2.869492e-05,2.895129e-05,2.911279e-05,2.945688e-05,2.948505e-05,2.981488e-05,2.988807e-05,3.010537e-05,3.025198e-05,3.035951e-05,3.055535e-05,3.058015e-05,3.076999e-05,3.080448e-05,3.093156e-05,3.100520e-05,3.106725e-05,3.116286e-05,3.117928e-05,3.126972e-05,3.128231e-05,3.134046e-05,3.136794e-05,3.139327e-05,3.142369e-05,3.142975e-05,3.145138e-05,3.145305e-05,3.145953e-05,3.145917e-05,3.145545e-05,3.144487e-05,3.144027e-05,3.141506e-05,3.141264e-05,3.138075e-05,3.136467e-05,3.133821e-05,3.130295e-05,3.128825e-05,3.123159e-05,3.122920e-05,3.116890e-05,3.114497e-05,3.110078e-05,3.105164e-05,3.102779e-05,3.095044e-05,3.086919e-05,3.084244e-05,3.078447e-05,3.072861e-05,3.069667e-05,3.060982e-05,3.060615e-05,3.051324e-05,3.048683e-05,3.041822e-05,3.036033e-05,3.032139e-05,3.023092e-05,3.022299e-05,3.012326e-05,3.009915e-05,3.002240e-05,2.996551e-05,2.992062e-05,2.983043e-05,2.981810e-05,2.971499e-05,2.969431e-05,2.961145e-05,2.955749e-05,2.950763e-05,2.942029e-05,2.940365e-05,2.929963e-05,2.928299e-05,2.919567e-05,2.914583e-05,2.909188e-05,2.900904e-05,2.898835e-05,2.888517e-05,2.887281e-05,2.878240e-05,2.873734e-05,2.868013e-05,2.860276e-05,2.857841e-05,2.847730e-05,2.846924e-05,2.837687e-05,2.833689e-05,2.827715e-05,2.820583e-05,2.817820e-05,2.808006e-05,2.807615e-05,2.798276e-05,2.794794e-05,2.788633e-05,2.782128e-05,2.779081e-05,2.769623e-05,2.757285e-05,2.745119e-05,2.733129e-05,2.721318e-05,2.709690e-05,2.698247e-05,2.686991e-05,2.675923e-05,2.665044e-05,2.654355e-05,2.643856e-05,2.633547e-05,2.623427e-05,2.613497e-05,2.603755e-05,2.594200e-05,2.584830e-05,2.575645e-05,2.566644e-05,2.557823e-05,2.549181e-05,2.540717e-05,2.532429e-05,2.524313e-05
0.000000e+00,6.722074e-12,3.187729e-11,3.076483e-10,1.325525e-09,2.551112e-09,1.011059e-08,1.061410e-08,3.046864e-08,3.912494e-08,6.950393e-08,1.054800e-07,1.357916e-07,2.278743e-07,2.375031e-07,3.825003e-07,4.245626e-07,5.780305e-07,7.120063e-07,8.304170e-07,1.103546e-06,1.144641e-06,1.523830e-06,1.607582e-06,1.968851e-06,2.225879e-06,2.478241e-06,2.953365e-06,3.048505e-06,3.674607e-06,3.779570e-06,4.350475e-06,4.690621e-06,5.069425e-06,5.670906e-06,5.824460e-06,6.608507e-06,6.704208e-06,7.414585e-06,7.774489e-06,8.235945e-06,8.866444e-06,9.066184e-06,9.899333e-06,9.965944e-06,1.072993e-05,1.106034e-05,1.155308e-05,1.213867e-05,1.236444e-05,1.316028e-05,1.319175e-05,1.393744e-05,1.421212e-05,1.469328e-05,1.519400e-05,1.542572e-05,1.613310e-05,1.681422e-05,1.702648e-05,1.746823e-05,1.787231e-05,1.809460e-05,1.866970e-05,1.869311e-05,1.926374e-05,1.941855e-05,1.980670e-05,2.011934e-05,2.032235e-05,2.077303e-05,2.081116e-05,2.127375e-05,2.138094e-05,2.171079e-05,2.194465e-05,2.212302e-05,2.246588e-05,2.251123e-05,2.287623e-05,2.294651e-05,2.321886e-05,2.338847e-05,2.353996e-05,2.379368e-05,2.384040e-05,2.412100e-05,2.416411e-05,2.438261e-05,2.450167e-05,2.462604e-05,2.480823e-05,2.485209e-05,2.506156e-05,2.508562e-05,2.525521e-05,2.533559e-05,2.543377e-05,2.555982e-05,2.559795e-05,2.574847e-05,2.575994e-05,2.588597e-05,2.593748e-05,2.601112e-05,2.609392e-05,2.612452e-05,2.622677e-05,2.623064e-05,2.631845e-05,2.634897e-05,2.640010e-05,2.645017e-05,2.647225e-05,2.653541e-05,2.659006e-05,2.660582e-05,2.663665e-05,2.666245e-05,2.667564e-05,2.670630e-05,2.670744e-05,2.673246e-05,2.673830e-05,2.675108e-05,2.675934e-05,2.676368e-05,2.677024e-05,2.677059e-05,2.677217e-05,2.677179e-05,2.676872e-05,2.676470e-05,2.676055e-05,2.674968e-05,2.674795e-05,2.673120e-05,2.672737e-05,2.671055e-05,2.669836e-05,2.668627e-05,2.666323e-05,2.665858e-05,2.662772e-05,2.662251e-05,2.659390e-05,2.657668e-05,2.655733e-05,2.652622e-05,2.651820e-05,2.647669e-05,2.647155e-05,2.643298e-05,2.641309e-05,2.638723e-05,2.635121e-05,2.633962e-05,2.629028e-05,2.628626e-05,2.623935e-05,2.621857e-05,2.618699e-05,2.614846e-05,2.613330e-05,2.607841e-05,2.607620e-05,2.602245e-05,2.600206e-05,2.596551e-05,2.592628e-05,2.590770e-05,2.584911e-05,2.577076e-05,2.569141e-05,2.561126e-05,2.553048e-05,2.544922e-05,2.536763e-05,2.528585e-05,2.520400e-05,2.512219e-05,2.504054e-05,2.495913e-05,2.487806e-05,2.479741e-05,2.471725e-05,2.463766e-05,2.455869e-05,2.448040e-05,2.440284e-05,2.432606e-05,2.425010e-05,2.417500e-05,2.410078e-05,2.402748e-05,2.395513e-05
0.000000e+00,1.891312e-12,9.242391e-12,9.477409e-11,4.306651e-10,8.527065e-10,3.625764e-09,3.816888e-09,1.169632e-08,1.527665e-08,2.828112e-08,4.430826e-08,5.819503e-08,1.019196e-07,1.065993e-07,1.789131e-07,2.004326e-07,2.805694e-07,3.522759e-07,4.167914e-07,5.690680e-07,5.923556e-07,8.113320e-07,8.606303e-07,1.076843e-06,1.234014e-06,1.390903e-06,1.692894e-06,1.754371e-06,2.167002e-06,2.237515e-06,2.627552e-06,2.865047e-06,3.133910e-06,3.570089e-06,3.683233e-06,4.272072e-06,4.345205e-06,4.896492e-06,5.181411e-06,5.552189e-06,6.068630e-06,6.234591e-06,6.938969e-06,6.996125e-06,7.660533e-06,7.952902e-06,8.394524e-06,8.928081e-06,9.136302e-06,9.881413e-06,9.911226e-06,1.062566e-05,1.089261e-05,1.136513e-05,1.186342e-05,1.209628e-05,1.281589e-05,1.352114e-05,1.374337e-05,1.420955e-05,1.464033e-05,1.487905e-05,1.550236e-05,1.552790e-05,1.615469e-05,1.632608e-05,1.675833e-05,1.710905e-05,1.733801e-05,1.784968e-05,1.789318e-05,1.842352e-05,1.854709e-05,1.892892e-05,1.920106e-05,1.940943e-05,1.981185e-05,1.986526e-05,2.029676e-05,2.038018e-05,2.070437e-05,2.090706e-05,2.108862e-05,2.139378e-05,2.145012e-05,2.178954e-05,2.184184e-05,2.210756e-05,2.225283e-05,2.240494e-05,2.262847e-05,2.268241e-05,2.294076e-05,2.297051e-05,2.318074e-05,2.328072e-05,2.340313e-05,2.356086e-05,2.360870e-05,2.379818e-05,2.381267e-05,2.397233e-05,2.403786e-05,2.413186e-05,2.423806e-05,2.427747e-05,2.440985e-05,2.441488e-05,2.452966e-05,2.456984e-05,2.463753e-05,2.470438e-05,2.473409e-05,2.481991e-05,2.489558e-05,2.491774e-05,2.496164e-05,2.499912e-05,2.501862e-05,2.506523e-05,2.506700e-05,2.510729e-05,2.511718e-05,2.513992e-05,2.515602e-05,2.516535e-05,2.518274e-05,2.518399e-05,2.519624e-05,2.519827e-05,2.520247e-05,2.520347e-05,2.520306e-05,2.519918e-05,2.519834e-05,2.518865e-05,2.518614e-05,2.517429e-05,2.516508e-05,2.515557e-05,2.513667e-05,2.513276e-05,2.510613e-05,2.510154e-05,2.507595e-05,2.506027e-05,2.504244e-05,2.501341e-05,2.500585e-05,2.496638e-05,2.496147e-05,2.492425e-05,2.490492e-05,2.487965e-05,2.484422e-05,2.483277e-05,2.478378e-05,2.477978e-05,2.473285e-05,2.471198e-05,2.468014e-05,2.464117e-05,2.462580e-05,2.456997e-05,2.456771e-05,2.451278e-05,2.449189e-05,2.445437e-05,2.441400e-05,2.439484e-05,2.433432e-05,2.425309e-05,2.417054e-05,2.408688e-05,2.400232e-05,2.391704e-05,2.383120e-05,2.374496e-05,2.365847e-05,2.357186e-05,2.348525e-05,2.339875e-05,2.331247e-05,2.322650e-05,2.314094e-05,2.305585e-05,2.297131e-05,2.288738e-05,2.280414e-05,2.272162e-05,2.263988e-05,2.255897e-05,2.247892e-05,2.239977e-05,2.232154e-05
0.000000e+00,1.475181e-09,3.371135e-09,1.154255e-08,2.614031e-08,3.802850e-08,8.553403e-08,8.807301e-08,1.683593e-07,1.971401e-07,2.853404e-07,3.758023e-07,4.454096e-07,6.362011e-07,6.549294e-07,9.199768e-07,9.924487e-07,1.245587e-06,1.455507e-06,1.634382e-06,2.027847e-06,2.085039e-06,2.591791e-06,2.699117e-06,3.145684e-06,3.448998e-06,3.736676e-06,4.254754e-06,4.355206e-06,4.992813e-06,5.096095e-06,5.642149e-06,5.956087e-06,6.296817e-06,6.820587e-06,6.951190e-06,7.600292e-06,7.677616e-06,8.239728e-06,8.517006e-06,8.865645e-06,9.330236e-06,9.474718e-06,1.006413e-05,1.011036e-05,1.063154e-05,1.085192e-05,1.117510e-05,1.155088e-05,1.169339e-05,1.218538e-05,1.220450e-05,1.265042e-05,1.281117e-05,1.308818e-05,1.337025e-05,1.349862e-05,1.388193e-05,1.423851e-05,1.434707e-05,1.456894e-05,1.476701e-05,1.487392e-05,1.514352e-05,1.515427e-05,1.541089e-05,1.547862e-05,1.564473e-05,1.577452e-05,1.585679e-05,1.603353e-05,1.604810e-05,1.621967e-05,1.625803e-05,1.637255e-05,1.645038e-05,1.650776e-05,1.661291e-05,1.662628e-05,1.672911e-05,1.674787e-05,1.681719e-05,1.685747e-05,1.689144e-05,1.694377e-05,1.695274e-05,1.700195e-05,1.700875e-05,1.703987e-05,1.705430e-05,1.706729e-05,1.708215e-05,1.708493e-05,1.709351e-05,1.709397e-05,1.709369e-05,1.709127e-05,1.708610e-05,1.707550e-05,1.707133e-05,1.704995e-05,1.704798e-05,1.702250e-05,1.700993e-05,1.698947e-05,1.696251e-05,1.695134e-05,1.690855e-05,1.690675e-05,1.686152e-05,1.684363e-05,1.681064e-05,1.677402e-05,1.675627e-05,1.669876e-05,1.663844e-05,1.661859e-05,1.657560e-05,1.653420e-05,1.651053e-05,1.644621e-05,1.644349e-05,1.637472e-05,1.635519e-05,1.630446e-05,1.626168e-05,1.623292e-05,1.616614e-05,1.616029e-05,1.608676e-05,1.606900e-05,1.601251e-05,1.597067e-05,1.593768e-05,1.587149e-05,1.586244e-05,1.578691e-05,1.577178e-05,1.571122e-05,1.567183e-05,1.563548e-05,1.557191e-05,1.555981e-05,1.548431e-05,1.547225e-05,1.540906e-05,1.537305e-05,1.533414e-05,1.527451e-05,1.525964e-05,1.518563e-05,1.517678e-05,1.511216e-05,1.508002e-05,1.503929e-05,1.498435e-05,1.496708e-05,1.489557e-05,1.488988e-05,1.482481e-05,1.479673e-05,1.475484e-05,1.470496e-05,1.468568e-05,1.461737e-05,1.461466e-05,1.454994e-05,1.452588e-05,1.448340e-05,1.443868e-05,1.441779e-05,1.435311e-05,1.426918e-05,1.418694e-05,1.410641e-05,1.402759e-05,1.395049e-05,1.387512e-05,1.380148e-05,1.372957e-05,1.365936e-05,1.359086e-05,1.352404e-05,1.345890e-05,1.339540e-05,1.333353e-05,1.327327e-05,1.321459e-05,1.315747e-05,1.310187e-05,1.304778e-05,1.299516e-05,1.294398e-05,1.289422e-05,1.284584e-05,1.279882e-05
0.000000e+00,2.404809e-09,5.616510e-09,1.967570e-08,4.503816e-08,6.578593e-08,1.490770e-07,1.535403e-07,2.950891e-07,3.459935e-07,5.024285e-07,6.634683e-07,7.877376e-07,1.129645e-06,1.163290e-06,1.640443e-06,1.771078e-06,2.227078e-06,2.604059e-06,2.923893e-06,3.621643e-06,3.722353e-06,4.607034e-06,4.792763e-06,5.560392e-06,6.077776e-06,6.566118e-06,7.441050e-06,7.610152e-06,8.680447e-06,8.853411e-06,9.766504e-06,1.029064e-05,1.085901e-05,1.173201e-05,1.194960e-05,1.303082e-05,1.315961e-05,1.409602e-05,1.455811e-05,1.513941e-05,1.591471e-05,1.615602e-05,1.714169e-05,1.721910e-05,1.809305e-05,1.846337e-05,1.900745e-05,1.964180e-05,1.988292e-05,2.071810e-05,2.075065e-05,2.151216e-05,2.178788e-05,2.226477e-05,2.275287e-05,2.297596e-05,2.364612e-05,2.427592e-05,2.446907e-05,2.486624e-05,2.522380e-05,2.541814e-05,2.591292e-05,2.593281e-05,2.641155e-05,2.653935e-05,2.685573e-05,2.710622e-05,2.726674e-05,2.761680e-05,2.764601e-05,2.799496e-05,2.807435e-05,2.831501e-05,2.848213e-05,2.860755e-05,2.884334e-05,2.887397e-05,2.911561e-05,2.916108e-05,2.933376e-05,2.943834e-05,2.952968e-05,2.967795e-05,2.970457e-05,2.985959e-05,2.988262e-05,2.999586e-05,3.005493e-05,3.011445e-05,3.019727e-05,3.021637e-05,3.030260e-05,3.031193e-05,3.037405e-05,3.040104e-05,3.043162e-05,3.046660e-05,3.047614e-05,3.050841e-05,3.051048e-05,3.052917e-05,3.053442e-05,3.053916e-05,3.054005e-05,3.053904e-05,3.052946e-05,3.052889e-05,3.051103e-05,3.050234e-05,3.048433e-05,3.046173e-05,3.044991e-05,3.040827e-05,3.035992e-05,3.034311e-05,3.030532e-05,3.026729e-05,3.024489e-05,3.018180e-05,3.017907e-05,3.010823e-05,3.008754e-05,3.003275e-05,2.998537e-05,2.995297e-05,2.987607e-05,2.986923e-05,2.978184e-05,2.976035e-05,2.969108e-05,2.963890e-05,2.959724e-05,2.951233e-05,2.950059e-05,2.940135e-05,2.938122e-05,2.929978e-05,2.924610e-05,2.919608e-05,2.910748e-05,2.909046e-05,2.898311e-05,2.896579e-05,2.887423e-05,2.882147e-05,2.876398e-05,2.867490e-05,2.865252e-05,2.854001e-05,2.852644e-05,2.842658e-05,2.837642e-05,2.831238e-05,2.822515e-05,2.819754e-05,2.808216e-05,2.807291e-05,2.796637e-05,2.791996e-05,2.785027e-05,2.776653e-05,2.773395e-05,2.761751e-05,2.761285e-05,2.750103e-05,2.745911e-05,2.738460e-05,2.730550e-05,2.726830e-05,2.715218e-05,2.699932e-05,2.684705e-05,2.669550e-05,2.654479e-05,2.639502e-05,2.624630e-05,2.609870e-05,2.595231e-05,2.580720e-05,2.566343e-05,2.552107e-05,2.538015e-05,2.524073e-05,2.510284e-05,2.496652e-05,2.483180e-05,2.469870e-05,2.456725e-05,2.443747e-05,2.430936e-05,2.418293e-05,2.405821e-05,2.393519e-05,2.381388e-05
0.000000e+00,7.589565e-09,1.799454e-08,6.415733e-08,1.484128e-07,2.178899e-07,5.002268e-07,5.154852e-07,1.004769e-06,1.182912e-06,1.736044e-06,2.312570e-06,2.761193e-06,4.006915e-06,4.130153e-06,5.885138e-06,6.367246e-06,8.053775e-06,9.452381e-06,1.064271e-05,1.325443e-05,1.363325e-05,1.698021e-05,1.768668e-05,2.061493e-05,2.259090e-05,2.445260e-05,2.776709e-05,2.840317e-05,3.238277e-05,3.301731e-05,3.632191e-05,3.818238e-05,4.016847e-05,4.315430e-05,4.388628e-05,4.745180e-05,4.786867e-05,5.085066e-05,5.229113e-05,5.407489e-05,5.640624e-05,5.712100e-05,5.998864e-05,6.021039e-05,6.267970e-05,6.370742e-05,6.519765e-05,6.690594e-05,6.754711e-05,6.973348e-05,6.981762e-05,7.176271e-05,7.245597e-05,7.364109e-05,7.483553e-05,7.537510e-05,7.697131e-05,7.843626e-05,7.887838e-05,7.977641e-05,8.057156e-05,8.099812e-05,8.206527e-05,8.210757e-05,8.311073e-05,8.337336e-05,8.401340e-05,8.450910e-05,8.482115e-05,8.548505e-05,8.553933e-05,8.617305e-05,8.631313e-05,8.672723e-05,8.700457e-05,8.720653e-05,8.756992e-05,8.761541e-05,8.795814e-05,8.801910e-05,8.823874e-05,8.836139e-05,8.846107e-05,8.860548e-05,8.862878e-05,8.874534e-05,8.875947e-05,8.881404e-05,8.883093e-05,8.883799e-05,8.882693e-05,8.882015e-05,8.876334e-05,8.875402e-05,8.867018e-05,8.861834e-05,8.854320e-05,8.842554e-05,8.838478e-05,8.819714e-05,8.818093e-05,8.798242e-05,8.788939e-05,8.774261e-05,8.755548e-05,8.747961e-05,8.719521e-05,8.718341e-05,8.689109e-05,8.677709e-05,8.656884e-05,8.634012e-05,8.622996e-05,8.587586e-05,8.550787e-05,8.538739e-05,8.512725e-05,8.487757e-05,8.473517e-05,8.434903e-05,8.433275e-05,8.392103e-05,8.380422e-05,8.350099e-05,8.324536e-05,8.307355e-05,8.267452e-05,8.263959e-05,8.219990e-05,8.209361e-05,8.175526e-05,8.150436e-05,8.130638e-05,8.090839e-05,8.085393e-05,8.039854e-05,8.030716e-05,7.994079e-05,7.970201e-05,7.948124e-05,7.909420e-05,7.902040e-05,7.855874e-05,7.848483e-05,7.809673e-05,7.787496e-05,7.763477e-05,7.726550e-05,7.717325e-05,7.671253e-05,7.665732e-05,7.625296e-05,7.605120e-05,7.579485e-05,7.544783e-05,7.533847e-05,7.488411e-05,7.484786e-05,7.443201e-05,7.425186e-05,7.398241e-05,7.366035e-05,7.353550e-05,7.309149e-05,7.307379e-05,7.265055e-05,7.249260e-05,7.221286e-05,7.191715e-05,7.177855e-05,7.134777e-05,7.078475e-05,7.022833e-05,6.967876e-05,6.913620e-05,6.860083e-05,6.807279e-05,6.755220e-05,6.703913e-05,6.653367e-05,6.603587e-05,6.554578e-05,6.506340e-05,6.458876e-05,6.412185e-05,6.366266e-05,6.321115e-05,6.276731e-05,6.233107e-05,6.190239e-05,6.148122e-05,6.106749e-05,6.066113e-05,6.026206e-05,5.987021e-05
0.000000e+00,2.434569e-09,6.291853e-09,2.456792e-08,5.924533e-08,8.829067e-08,2.076808e-07,2.141606e-07,4.222598e-07,4.980237e-07,7.329750e-07,9.773850e-07,1.167326e-06,1.694330e-06,1.746471e-06,2.489970e-06,2.694653e-06,3.412399e-06,4.009423e-06,4.518448e-06,5.636260e-06,5.798321e-06,7.227193e-06,7.527900e-06,8.770775e-06,9.606825e-06,1.039350e-05,1.179473e-05,1.206414e-05,1.375757e-05,1.402925e-05,1.545408e-05,1.626483e-05,1.713823e-05,1.846834e-05,1.879779e-05,2.042300e-05,2.061532e-05,2.200609e-05,2.268769e-05,2.354099e-05,2.467236e-05,2.502303e-05,2.644879e-05,2.656034e-05,2.781591e-05,2.834598e-05,2.912292e-05,3.002633e-05,3.036912e-05,3.155445e-05,3.160060e-05,3.267935e-05,3.306968e-05,3.374471e-05,3.443573e-05,3.475170e-05,3.570178e-05,3.659659e-05,3.687154e-05,3.743789e-05,3.794910e-05,3.822755e-05,3.893883e-05,3.896750e-05,3.965968e-05,3.984520e-05,4.030605e-05,4.067270e-05,4.090856e-05,4.142579e-05,4.146914e-05,4.198967e-05,4.210884e-05,4.247198e-05,4.272606e-05,4.291788e-05,4.328154e-05,4.332911e-05,4.370735e-05,4.377918e-05,4.405422e-05,4.422272e-05,4.437129e-05,4.461570e-05,4.466007e-05,4.492200e-05,4.496151e-05,4.515848e-05,4.526334e-05,4.537083e-05,4.552421e-05,4.556034e-05,4.572822e-05,4.574697e-05,4.587564e-05,4.593431e-05,4.600371e-05,4.608877e-05,4.611351e-05,4.620604e-05,4.621273e-05,4.628229e-05,4.630843e-05,4.634316e-05,4.637798e-05,4.638956e-05,4.642231e-05,4.642334e-05,4.644221e-05,4.644638e-05,4.645004e-05,4.644883e-05,4.644651e-05,4.643232e-05,4.640813e-05,4.639837e-05,4.637455e-05,4.634841e-05,4.633218e-05,4.628377e-05,4.628159e-05,4.622332e-05,4.620569e-05,4.615786e-05,4.611535e-05,4.608572e-05,4.601383e-05,4.600734e-05,4.592316e-05,4.590214e-05,4.583360e-05,4.578124e-05,4.573904e-05,4.565200e-05,4.563987e-05,4.553643e-05,4.551526e-05,4.542906e-05,4.537178e-05,4.531807e-05,4.522227e-05,4.520377e-05,4.508643e-05,4.506740e-05,4.496634e-05,4.490779e-05,4.484374e-05,4.474401e-05,4.471887e-05,4.459196e-05,4.457661e-05,4.446324e-05,4.440607e-05,4.433289e-05,4.423287e-05,4.420112e-05,4.406811e-05,4.405742e-05,4.393402e-05,4.388012e-05,4.379902e-05,4.370134e-05,4.366326e-05,4.352689e-05,4.352142e-05,4.339004e-05,4.334068e-05,4.325284e-05,4.315940e-05,4.311540e-05,4.297785e-05,4.279628e-05,4.261492e-05,4.243397e-05,4.225363e-05,4.207407e-05,4.189545e-05,4.171793e-05,4.154163e-05,4.136668e-05,4.119319e-05,4.102126e-05,4.085097e-05,4.068242e-05,4.051567e-05,4.035079e-05,4.018783e-05,4.002685e-05,3.986790e-05,3.971100e-05,3.955620e-05,3.940351e-05,3.925297e-05,3.910460e-05,3.895840e-05
0.000000e+00,4.205174e-09,1.023778e-08,3.760897e-08,8.835824e-08,1.305368e-07,3.033707e-07,3.127551e-07,6.152846e-07,7.260903e-07,1.072045e-06,1.435210e-06,1.719096e-06,2.508892e-06,2.586866e-06,3.687351e-06,3.985515e-06,5.013096e-06,5.848389e-06,6.549295e-06,8.064013e-06,8.281870e-06,1.019834e-05,1.060264e-05,1.228651e-05,1.343591e-05,1.453326e-05,1.653250e-05,1.692407e-05,1.944291e-05,1.985667e-05,2.207247e-05,2.336865e-05,2.479450e-05,2.702613e-05,2.759029e-05,3.044114e-05,3.078607e-05,3.332886e-05,3.460662e-05,3.623605e-05,3.844841e-05,3.914633e-05,4.204465e-05,4.227558e-05,4.491737e-05,4.605652e-05,4.775234e-05,4.976413e-05,5.053894e-05,5.326801e-05,5.337586e-05,5.593181e-05,5.687353e-05,5.852393e-05,6.024288e-05,6.103904e-05,6.347252e-05,6.582124e-05,6.655456e-05,6.808307e-05,6.948436e-05,7.025661e-05,7.225951e-05,7.234118e-05,7.433659e-05,7.487936e-05,7.624318e-05,7.734480e-05,7.806170e-05,7.965790e-05,7.979325e-05,8.143917e-05,8.182163e-05,8.300105e-05,8.383965e-05,8.448066e-05,8.571617e-05,8.587990e-05,8.720079e-05,8.745575e-05,8.844544e-05,8.906323e-05,8.961599e-05,9.054361e-05,9.071465e-05,9.174365e-05,9.190198e-05,9.270522e-05,9.314348e-05,9.360159e-05,9.427323e-05,9.443497e-05,9.520757e-05,9.529630e-05,9.592155e-05,9.621769e-05,9.657907e-05,9.704230e-05,9.718221e-05,9.773305e-05,9.777492e-05,9.823361e-05,9.842019e-05,9.868586e-05,9.898266e-05,9.909174e-05,9.945313e-05,9.946668e-05,9.977186e-05,9.987650e-05,1.000497e-04,1.002162e-04,1.002884e-04,1.004897e-04,1.006552e-04,1.007009e-04,1.007865e-04,1.008532e-04,1.008850e-04,1.009503e-04,1.009524e-04,1.009900e-04,1.009954e-04,1.009993e-04,1.009919e-04,1.009816e-04,1.009426e-04,1.009382e-04,1.008704e-04,1.008506e-04,1.007794e-04,1.007187e-04,1.006663e-04,1.005495e-04,1.005324e-04,1.003786e-04,1.003456e-04,1.002061e-04,1.001093e-04,1.000159e-04,9.984306e-05,9.980885e-05,9.958603e-05,9.954898e-05,9.934831e-05,9.922916e-05,9.909655e-05,9.888560e-05,9.883159e-05,9.855424e-05,9.852016e-05,9.826527e-05,9.813463e-05,9.796542e-05,9.773070e-05,9.765541e-05,9.733592e-05,9.730997e-05,9.700760e-05,9.687395e-05,9.667110e-05,9.642408e-05,9.632700e-05,9.597589e-05,9.596171e-05,9.561832e-05,9.548812e-05,9.525483e-05,9.500452e-05,9.488591e-05,9.451205e-05,9.401179e-05,9.350473e-05,9.299184e-05,9.247401e-05,9.195208e-05,9.142684e-05,9.089903e-05,9.036933e-05,8.983841e-05,8.930687e-05,8.877526e-05,8.824413e-05,8.771395e-05,8.718520e-05,8.665829e-05,8.613361e-05,8.561154e-05,8.509241e-05,8.457652e-05,8.406417e-05,8.355562e-05,8.305111e-05,8.255086e-05,8.205506e-05
0.000000e+00,1.035976e-09,2.403295e-09,8.373991e-09,1.914933e-08,2.797521e-08,6.348901e-08,6.539508e-08,1.259534e-07,1.477708e-07,2.149002e-07,2.840833e-07,3.374893e-07,4.843232e-07,4.987527e-07,7.026579e-07,7.581786e-07,9.507429e-07,1.108484e-06,1.241410e-06,1.529383e-06,1.570803e-06,1.934266e-06,2.010635e-06,2.327169e-06,2.541643e-06,2.745109e-06,3.112438e-06,3.183869e-06,3.639365e-06,3.713532e-06,4.107643e-06,4.335831e-06,4.584897e-06,4.970735e-06,5.067526e-06,5.552176e-06,5.610322e-06,6.035791e-06,6.247538e-06,6.515639e-06,6.876318e-06,6.989325e-06,7.454783e-06,7.491611e-06,7.910286e-06,8.089373e-06,8.354419e-06,8.666510e-06,8.786053e-06,9.204322e-06,9.220765e-06,9.608590e-06,9.750610e-06,9.998423e-06,1.025512e-05,1.037356e-05,1.073389e-05,1.107941e-05,1.118687e-05,1.141024e-05,1.161435e-05,1.172657e-05,1.201684e-05,1.202866e-05,1.231680e-05,1.239503e-05,1.259135e-05,1.274971e-05,1.285268e-05,1.308176e-05,1.310118e-05,1.333726e-05,1.339212e-05,1.356134e-05,1.368173e-05,1.377383e-05,1.395157e-05,1.397515e-05,1.416572e-05,1.420258e-05,1.434594e-05,1.443571e-05,1.451623e-05,1.465187e-05,1.467696e-05,1.482854e-05,1.485196e-05,1.497132e-05,1.503683e-05,1.510567e-05,1.520731e-05,1.523194e-05,1.535047e-05,1.536419e-05,1.546159e-05,1.550822e-05,1.556562e-05,1.564012e-05,1.566285e-05,1.575359e-05,1.576058e-05,1.583811e-05,1.587024e-05,1.591669e-05,1.596974e-05,1.598959e-05,1.605706e-05,1.605965e-05,1.611934e-05,1.614054e-05,1.617667e-05,1.621293e-05,1.622925e-05,1.627731e-05,1.632105e-05,1.633417e-05,1.636067e-05,1.638395e-05,1.639635e-05,1.642707e-05,1.642828e-05,1.645662e-05,1.646394e-05,1.648154e-05,1.649492e-05,1.650320e-05,1.652038e-05,1.652176e-05,1.653734e-05,1.654066e-05,1.655010e-05,1.655607e-05,1.656017e-05,1.656691e-05,1.656768e-05,1.657274e-05,1.657347e-05,1.657547e-05,1.657601e-05,1.657599e-05,1.657479e-05,1.657440e-05,1.657080e-05,1.657005e-05,1.656530e-05,1.656201e-05,1.655799e-05,1.655089e-05,1.654895e-05,1.653827e-05,1.653688e-05,1.652603e-05,1.652018e-05,1.651233e-05,1.650097e-05,1.649721e-05,1.648078e-05,1.647940e-05,1.646308e-05,1.645566e-05,1.644418e-05,1.642988e-05,1.642416e-05,1.640307e-05,1.640220e-05,1.638096e-05,1.637277e-05,1.635790e-05,1.634170e-05,1.633394e-05,1.630912e-05,1.627514e-05,1.623987e-05,1.620341e-05,1.616584e-05,1.612727e-05,1.608778e-05,1.604744e-05,1.600634e-05,1.596454e-05,1.592211e-05,1.587911e-05,1.583561e-05,1.579165e-05,1.574730e-05,1.570261e-05,1.565761e-05,1.561236e-05,1.556690e-05,1.552126e-05,1.547549e-05,1.542962e-05,1.538368e-05,1.533771e-05,1.529173e-05
0.000000e+00,1.321044e-09,3.430869e-09,1.350676e-08,3.283169e-08,4.918199e-08,1.177529e-07,1.215338e-07,2.459885e-07,2.926764e-07,4.415324e-07,6.015683e-07,7.283053e-07,1.083144e-06,1.118138e-06,1.608504e-06,1.740101e-06,2.189864e-06,2.551817e-06,2.853498e-06,3.500443e-06,3.593019e-06,4.403406e-06,4.573580e-06,5.280005e-06,5.760400e-06,6.217929e-06,7.049250e-06,7.211786e-06,8.255616e-06,8.426841e-06,9.342955e-06,9.878328e-06,1.046694e-05,1.138776e-05,1.162050e-05,1.279649e-05,1.293878e-05,1.398788e-05,1.451522e-05,1.518790e-05,1.610171e-05,1.639011e-05,1.758858e-05,1.768413e-05,1.877793e-05,1.925001e-05,1.995333e-05,2.078858e-05,2.111054e-05,2.224589e-05,2.229081e-05,2.335627e-05,2.374939e-05,2.443910e-05,2.515859e-05,2.549227e-05,2.651414e-05,2.750344e-05,2.781299e-05,2.845929e-05,2.905319e-05,2.938110e-05,3.023371e-05,3.026855e-05,3.112156e-05,3.135424e-05,3.194025e-05,3.241511e-05,3.272492e-05,3.341711e-05,3.347597e-05,3.419396e-05,3.436142e-05,3.487950e-05,3.524950e-05,3.553331e-05,3.608301e-05,3.615615e-05,3.674881e-05,3.686380e-05,3.731215e-05,3.759378e-05,3.784702e-05,3.827494e-05,3.835429e-05,3.883484e-05,3.890931e-05,3.928955e-05,3.949889e-05,3.971930e-05,4.004572e-05,4.012496e-05,4.050738e-05,4.055175e-05,4.086741e-05,4.101895e-05,4.120588e-05,4.144919e-05,4.152359e-05,4.182134e-05,4.184432e-05,4.209989e-05,4.220611e-05,4.236001e-05,4.253629e-05,4.260242e-05,4.282783e-05,4.283650e-05,4.303692e-05,4.310834e-05,4.323038e-05,4.335333e-05,4.340884e-05,4.357293e-05,4.372325e-05,4.376855e-05,4.386040e-05,4.394152e-05,4.398493e-05,4.409312e-05,4.409739e-05,4.419831e-05,4.422457e-05,4.428820e-05,4.433704e-05,4.436755e-05,4.443164e-05,4.443682e-05,4.449647e-05,4.450941e-05,4.454695e-05,4.457137e-05,4.458867e-05,4.461847e-05,4.462204e-05,4.464746e-05,4.465162e-05,4.466529e-05,4.467169e-05,4.467590e-05,4.467949e-05,4.467964e-05,4.467684e-05,4.467581e-05,4.466783e-05,4.466139e-05,4.465291e-05,4.463692e-05,4.463238e-05,4.460653e-05,4.460308e-05,4.457562e-05,4.456049e-05,4.453993e-05,4.450976e-05,4.449970e-05,4.445519e-05,4.445145e-05,4.440661e-05,4.438609e-05,4.435420e-05,4.431420e-05,4.429816e-05,4.423871e-05,4.423626e-05,4.417604e-05,4.415272e-05,4.411033e-05,4.406402e-05,4.404178e-05,4.397055e-05,4.387271e-05,4.377086e-05,4.366534e-05,4.355648e-05,4.344459e-05,4.332994e-05,4.321283e-05,4.309349e-05,4.297218e-05,4.284912e-05,4.272454e-05,4.259862e-05,4.247156e-05,4.234354e-05,4.221473e-05,4.208528e-05,4.195535e-05,4.182507e-05,4.169458e-05,4.156400e-05,4.143343e-05,4.130299e-05,4.117278e-05,4.104290e-05
0.000000e+00,2.096454e-09,4.815248e-09,1.664650e-08,3.803578e-08,5.561975e-08,1.269586e-07,1.308126e-07,2.544821e-07,2.995854e-07,4.400460e-07,5.872919e-07,7.025642e-07,1.026008e-06,1.058266e-06,1.521837e-06,1.650255e-06,2.101462e-06,2.476593e-06,2.795806e-06,3.495234e-06,3.596608e-06,4.493522e-06,4.683566e-06,5.476880e-06,6.019530e-06,6.538189e-06,7.484318e-06,7.669800e-06,8.864472e-06,9.060996e-06,1.011508e-05,1.073315e-05,1.141449e-05,1.248432e-05,1.275551e-05,1.413096e-05,1.429799e-05,1.553375e-05,1.615784e-05,1.695695e-05,1.804815e-05,1.839394e-05,1.983842e-05,1.995413e-05,2.128454e-05,2.186221e-05,2.272689e-05,2.376028e-05,2.416057e-05,2.558119e-05,2.563769e-05,2.698486e-05,2.748535e-05,2.836817e-05,2.929567e-05,2.972818e-05,3.106239e-05,3.236867e-05,3.278049e-05,3.364530e-05,3.444611e-05,3.489086e-05,3.605634e-05,3.610425e-05,3.728462e-05,3.760912e-05,3.843136e-05,3.910309e-05,3.954407e-05,4.053751e-05,4.062253e-05,4.166664e-05,4.191213e-05,4.267649e-05,4.322709e-05,4.365223e-05,4.448289e-05,4.459414e-05,4.550257e-05,4.568028e-05,4.637796e-05,4.682025e-05,4.722077e-05,4.790393e-05,4.803151e-05,4.881076e-05,4.893256e-05,4.955911e-05,4.990752e-05,5.027717e-05,5.083023e-05,5.096558e-05,5.162499e-05,5.170220e-05,5.225606e-05,5.252493e-05,5.285946e-05,5.329996e-05,5.343587e-05,5.398595e-05,5.402884e-05,5.451039e-05,5.471313e-05,5.500985e-05,5.535438e-05,5.548502e-05,5.593654e-05,5.595412e-05,5.636509e-05,5.651386e-05,5.677130e-05,5.703510e-05,5.715583e-05,5.751930e-05,5.786234e-05,5.796790e-05,5.818556e-05,5.838230e-05,5.848957e-05,5.876389e-05,5.877496e-05,5.904231e-05,5.911401e-05,5.929219e-05,5.943397e-05,5.952516e-05,5.972503e-05,5.974177e-05,5.994255e-05,5.998844e-05,6.012803e-05,6.022540e-05,6.029872e-05,6.043708e-05,6.045511e-05,6.059771e-05,6.062461e-05,6.072698e-05,6.078909e-05,6.084339e-05,6.093157e-05,6.094740e-05,6.103944e-05,6.105309e-05,6.111996e-05,6.115463e-05,6.118936e-05,6.123716e-05,6.124807e-05,6.129647e-05,6.130161e-05,6.133497e-05,6.134886e-05,6.136392e-05,6.137978e-05,6.138371e-05,6.139470e-05,6.139520e-05,6.139721e-05,6.139593e-05,6.139161e-05,6.138272e-05,6.137820e-05,6.135732e-05,6.135633e-05,6.132927e-05,6.131747e-05,6.129434e-05,6.126682e-05,6.125285e-05,6.120505e-05,6.113279e-05,6.105065e-05,6.095922e-05,6.085904e-05,6.075067e-05,6.063462e-05,6.051139e-05,6.038144e-05,6.024523e-05,6.010320e-05,5.995575e-05,5.980330e-05,5.964621e-05,5.948485e-05,5.931957e-05,5.915070e-05,5.897855e-05,5.880343e-05,5.862561e-05,5.844538e-05,5.826299e-05,5.807870e-05,5.789274e-05,5.770533e-05
0.000000e+00,6.051631e-10,2.231173e-09,1.371592e-08,4.209938e-08,6.893699e-08,1.923228e-07,1.993892e-07,4.369532e-07,5.268991e-07,8.126763e-07,1.117333e-06,1.357610e-06,2.034995e-06,2.102657e-06,3.075425e-06,3.345020e-06,4.293246e-06,5.083536e-06,5.757919e-06,7.242704e-06,7.458765e-06,9.379816e-06,9.788962e-06,1.150414e-05,1.268348e-05,1.381467e-05,1.588652e-05,1.629374e-05,1.892269e-05,1.935592e-05,2.168174e-05,2.304626e-05,2.455023e-05,2.690954e-05,2.750691e-05,3.053048e-05,3.089680e-05,3.359999e-05,3.495989e-05,3.669527e-05,3.905316e-05,3.979730e-05,4.288847e-05,4.313481e-05,4.595280e-05,4.716775e-05,4.897598e-05,5.112011e-05,5.194551e-05,5.485061e-05,5.496534e-05,5.768219e-05,5.868207e-05,6.043276e-05,6.225375e-05,6.309630e-05,6.566816e-05,6.814484e-05,6.891685e-05,7.052392e-05,7.199459e-05,7.280392e-05,7.489890e-05,7.498419e-05,7.706477e-05,7.762954e-05,7.904626e-05,8.018805e-05,8.092979e-05,8.257742e-05,8.271688e-05,8.440939e-05,8.480175e-05,8.600944e-05,8.686595e-05,8.751937e-05,8.877554e-05,8.894168e-05,9.027900e-05,9.053650e-05,9.153404e-05,9.215506e-05,9.270957e-05,9.363762e-05,9.380840e-05,9.483331e-05,9.499062e-05,9.578710e-05,9.622047e-05,9.667254e-05,9.733353e-05,9.749238e-05,9.824931e-05,9.833604e-05,9.894597e-05,9.923408e-05,9.958496e-05,1.000336e-04,1.001688e-04,1.006999e-04,1.007402e-04,1.011808e-04,1.013596e-04,1.016137e-04,1.018969e-04,1.020008e-04,1.023444e-04,1.023573e-04,1.026466e-04,1.027456e-04,1.029093e-04,1.030665e-04,1.031347e-04,1.033245e-04,1.034805e-04,1.035236e-04,1.036047e-04,1.036681e-04,1.036985e-04,1.037617e-04,1.037638e-04,1.038020e-04,1.038080e-04,1.038146e-04,1.038105e-04,1.038031e-04,1.037724e-04,1.037689e-04,1.037132e-04,1.036968e-04,1.036374e-04,1.035867e-04,1.035427e-04,1.034447e-04,1.034303e-04,1.033012e-04,1.032735e-04,1.031566e-04,1.030755e-04,1.029974e-04,1.028531e-04,1.028246e-04,1.026392e-04,1.026084e-04,1.024421e-04,1.023435e-04,1.022340e-04,1.020603e-04,1.020159e-04,1.017884e-04,1.017605e-04,1.015524e-04,1.014460e-04,1.013085e-04,1.011182e-04,1.010573e-04,1.007996e-04,1.007788e-04,1.005359e-04,1.004289e-04,1.002669e-04,1.000701e-04,9.999292e-05,9.971464e-05,9.970343e-05,9.943251e-05,9.933009e-05,9.914700e-05,9.895115e-05,9.885855e-05,9.856758e-05,9.818031e-05,9.779018e-05,9.739800e-05,9.700450e-05,9.661035e-05,9.621619e-05,9.582259e-05,9.543009e-05,9.503919e-05,9.465033e-05,9.426393e-05,9.388035e-05,9.349996e-05,9.312305e-05,9.274992e-05,9.238081e-05,9.201596e-05,9.165557e-05,9.129982e-05,9.094888e-05,9.060288e-05,9.026195e-05,8.992619e-05,8.959570e-05
0.000000e+00,3.987537e-10,1.272006e-09,6.350777e-09,1.728344e-08,2.696117e-08,6.876786e-08,7.109171e-08,1.472322e-07,1.754362e-07,2.638532e-07,3.568771e-07,4.296857e-07,6.332840e-07,6.535177e-07,9.428058e-07,1.022500e-06,1.301391e-06,1.532415e-06,1.728775e-06,2.159381e-06,2.221907e-06,2.777095e-06,2.895259e-06,3.390726e-06,3.731726e-06,4.059218e-06,4.660416e-06,4.778826e-06,5.545486e-06,5.672227e-06,6.354759e-06,6.756945e-06,7.201832e-06,7.903270e-06,8.081580e-06,8.988649e-06,9.099074e-06,9.917561e-06,1.033178e-05,1.086281e-05,1.158879e-05,1.181898e-05,1.278083e-05,1.285787e-05,1.374335e-05,1.412750e-05,1.470189e-05,1.538714e-05,1.565213e-05,1.659018e-05,1.662740e-05,1.751254e-05,1.784015e-05,1.841617e-05,1.901858e-05,1.929844e-05,2.015711e-05,2.099035e-05,2.125137e-05,2.179669e-05,2.229808e-05,2.257498e-05,2.329497e-05,2.332439e-05,2.404435e-05,2.424061e-05,2.473455e-05,2.513433e-05,2.539487e-05,2.597605e-05,2.602540e-05,2.662638e-05,2.676625e-05,2.719817e-05,2.750580e-05,2.774126e-05,2.819588e-05,2.825622e-05,2.874370e-05,2.883796e-05,2.920442e-05,2.943367e-05,2.963914e-05,2.998478e-05,3.004864e-05,3.043374e-05,3.049314e-05,3.079526e-05,3.096066e-05,3.113404e-05,3.138925e-05,3.145091e-05,3.174671e-05,3.178083e-05,3.202226e-05,3.213730e-05,3.227837e-05,3.246051e-05,3.251584e-05,3.273545e-05,3.275227e-05,3.293795e-05,3.301433e-05,3.312409e-05,3.324838e-05,3.329458e-05,3.345012e-05,3.345604e-05,3.359140e-05,3.363889e-05,3.371905e-05,3.379839e-05,3.383371e-05,3.393598e-05,3.402646e-05,3.405301e-05,3.410570e-05,3.415077e-05,3.417424e-05,3.423046e-05,3.423261e-05,3.428130e-05,3.429327e-05,3.432079e-05,3.434027e-05,3.435155e-05,3.437251e-05,3.437402e-05,3.438861e-05,3.439098e-05,3.439573e-05,3.439660e-05,3.439578e-05,3.439026e-05,3.438911e-05,3.437610e-05,3.437277e-05,3.435708e-05,3.434492e-05,3.433237e-05,3.430745e-05,3.430229e-05,3.426713e-05,3.426105e-05,3.422718e-05,3.420639e-05,3.418272e-05,3.414407e-05,3.413400e-05,3.408126e-05,3.407468e-05,3.402476e-05,3.399876e-05,3.396471e-05,3.391683e-05,3.390133e-05,3.383483e-05,3.382938e-05,3.376540e-05,3.373685e-05,3.369324e-05,3.363969e-05,3.361852e-05,3.354141e-05,3.353828e-05,3.346209e-05,3.343302e-05,3.338069e-05,3.332424e-05,3.329738e-05,3.321230e-05,3.309749e-05,3.298012e-05,3.286046e-05,3.273876e-05,3.261527e-05,3.249022e-05,3.236382e-05,3.223627e-05,3.210775e-05,3.197844e-05,3.184850e-05,3.171809e-05,3.158733e-05,3.145638e-05,3.132534e-05,3.119434e-05,3.106348e-05,3.093285e-05,3.080257e-05,3.067270e-05,3.054333e-05,3.041454e-05,3.028638e-05,3.015893e-05
0.000000e+00,4.442858e-12,2.279908e-11,2.588359e-10,1.291481e-09,2.693019e-09,1.311742e-08,1.388649e-08,4.890495e-08,6.639571e-08,1.357330e-07,2.308862e-07,3.202369e-07,6.345069e-07,6.706735e-07,1.279318e-06,1.476055e-06,2.259733e-06,3.018808e-06,3.740931e-06,5.567871e-06,5.860579e-06,8.758605e-06,9.443757e-06,1.257173e-05,1.495944e-05,1.742898e-05,2.240249e-05,2.344807e-05,3.073256e-05,3.202157e-05,3.936953e-05,4.401665e-05,4.942792e-05,5.853202e-05,6.095727e-05,7.398697e-05,7.565200e-05,8.852598e-05,9.539910e-05,1.045630e-04,1.177346e-04,1.220670e-04,1.409884e-04,1.425615e-04,1.612604e-04,1.697293e-04,1.828003e-04,1.990407e-04,2.055121e-04,2.292882e-04,2.302598e-04,2.540116e-04,2.631201e-04,2.795581e-04,2.973343e-04,3.057989e-04,3.326025e-04,3.598366e-04,3.686210e-04,3.873702e-04,4.050896e-04,4.150751e-04,4.417179e-04,4.428274e-04,4.705088e-04,4.782315e-04,4.980074e-04,5.143751e-04,5.252189e-04,5.499167e-04,5.520467e-04,5.784026e-04,5.846488e-04,6.042072e-04,6.183900e-04,6.293893e-04,6.509851e-04,6.538868e-04,6.776456e-04,6.823046e-04,7.006200e-04,7.122437e-04,7.227718e-04,7.407212e-04,7.440707e-04,7.644928e-04,7.676777e-04,7.840209e-04,7.930734e-04,8.026439e-04,8.168864e-04,8.203558e-04,8.371557e-04,8.391106e-04,8.530473e-04,8.597537e-04,8.680381e-04,8.788352e-04,8.821390e-04,8.953643e-04,8.963850e-04,9.077306e-04,9.124408e-04,9.192570e-04,9.270476e-04,9.299644e-04,9.398752e-04,9.402554e-04,9.490133e-04,9.521186e-04,9.574034e-04,9.626944e-04,9.650710e-04,9.720421e-04,9.783432e-04,9.802224e-04,9.840008e-04,9.872961e-04,9.890413e-04,9.933243e-04,9.934913e-04,9.973768e-04,9.983671e-04,1.000724e-03,1.002484e-03,1.003557e-03,1.005732e-03,1.005902e-03,1.007783e-03,1.008168e-03,1.009223e-03,1.009845e-03,1.010245e-03,1.010817e-03,1.010872e-03,1.011126e-03,1.011134e-03,1.011027e-03,1.010842e-03,1.010595e-03,1.009989e-03,1.009850e-03,1.008810e-03,1.008618e-03,1.007494e-03,1.006769e-03,1.005918e-03,1.004482e-03,1.004100e-03,1.002054e-03,1.001794e-03,9.997969e-04,9.987402e-04,9.973420e-04,9.953527e-04,9.947034e-04,9.918943e-04,9.916626e-04,9.889272e-04,9.876988e-04,9.858141e-04,9.834886e-04,9.825662e-04,9.791945e-04,9.790572e-04,9.757092e-04,9.744286e-04,9.721200e-04,9.696248e-04,9.684362e-04,9.646665e-04,9.595731e-04,9.543625e-04,9.490515e-04,9.436555e-04,9.381888e-04,9.326649e-04,9.270960e-04,9.214934e-04,9.158677e-04,9.102284e-04,9.045846e-04,8.989444e-04,8.933152e-04,8.877040e-04,8.821169e-04,8.765597e-04,8.710375e-04,8.655551e-04,8.601166e-04,8.547261e-04,8.493868e-04,8.441018e-04,8.388739e-04,8.337055e-04
0.000000e+00,5.011424e-10,1.621402e-09,8.242506e-09,2.263562e-08,3.542899e-08,9.089904e-08,9.398816e-08,1.954026e-07,2.330466e-07,3.512713e-07,4.759656e-07,5.737742e-07,8.484029e-07,8.758023e-07,1.270367e-06,1.380160e-06,1.768699e-06,2.095645e-06,2.376751e-06,3.000509e-06,3.091596e-06,3.901016e-06,4.072733e-06,4.787387e-06,5.272605e-06,5.732536e-06,6.560108e-06,6.720477e-06,7.737960e-06,7.902739e-06,8.774011e-06,9.275141e-06,9.819376e-06,1.065698e-05,1.086608e-05,1.190718e-05,1.203143e-05,1.293658e-05,1.338443e-05,1.394902e-05,1.470431e-05,1.493996e-05,1.590562e-05,1.598168e-05,1.684285e-05,1.720920e-05,1.774916e-05,1.838147e-05,1.862265e-05,1.946191e-05,1.949476e-05,2.026604e-05,2.054681e-05,2.103450e-05,2.153658e-05,2.176713e-05,2.246404e-05,2.312561e-05,2.332993e-05,2.375240e-05,2.413562e-05,2.434513e-05,2.488291e-05,2.490467e-05,2.543194e-05,2.557393e-05,2.592797e-05,2.621104e-05,2.639382e-05,2.679670e-05,2.683059e-05,2.723939e-05,2.733346e-05,2.762132e-05,2.782388e-05,2.797750e-05,2.827050e-05,2.830902e-05,2.861698e-05,2.867583e-05,2.890242e-05,2.904229e-05,2.916637e-05,2.937222e-05,2.940983e-05,2.963378e-05,2.966786e-05,2.983914e-05,2.993138e-05,3.002682e-05,3.016482e-05,3.019769e-05,3.035258e-05,3.037013e-05,3.049230e-05,3.054917e-05,3.061762e-05,3.070368e-05,3.072927e-05,3.082797e-05,3.083532e-05,3.091438e-05,3.094565e-05,3.098916e-05,3.103614e-05,3.105292e-05,3.110626e-05,3.110818e-05,3.114973e-05,3.116307e-05,3.118387e-05,3.120203e-05,3.120921e-05,3.122622e-05,3.123537e-05,3.123672e-05,3.123712e-05,3.123454e-05,3.123187e-05,3.122064e-05,3.122004e-05,3.120201e-05,3.119591e-05,3.117815e-05,3.116118e-05,3.114881e-05,3.111725e-05,3.111431e-05,3.107497e-05,3.106484e-05,3.103110e-05,3.100465e-05,3.098297e-05,3.093732e-05,3.093086e-05,3.087503e-05,3.086344e-05,3.081573e-05,3.078359e-05,3.075318e-05,3.069829e-05,3.068761e-05,3.061923e-05,3.060804e-05,3.054824e-05,3.051329e-05,3.047482e-05,3.041447e-05,3.039917e-05,3.032145e-05,3.031199e-05,3.024182e-05,3.020622e-05,3.016044e-05,3.009751e-05,3.007745e-05,2.999300e-05,2.998619e-05,2.990721e-05,2.987255e-05,2.982022e-05,2.975690e-05,2.973213e-05,2.964306e-05,2.963948e-05,2.955312e-05,2.952055e-05,2.946241e-05,2.940034e-05,2.937102e-05,2.927905e-05,2.915689e-05,2.903404e-05,2.891068e-05,2.878696e-05,2.866303e-05,2.853903e-05,2.841508e-05,2.829130e-05,2.816780e-05,2.804468e-05,2.792203e-05,2.779995e-05,2.767849e-05,2.755775e-05,2.743778e-05,2.731864e-05,2.720039e-05,2.708308e-05,2.696676e-05,2.685146e-05,2.673723e-05,2.662410e-05,2.651209e-05,2.640124e-05
0.000000e+00,1.384176e-09,4.913082e-09,2.851483e-08,8.458324e-08,1.366496e-07,3.727787e-07,3.862432e-07,8.391937e-07,1.011424e-06,1.562684e-06,2.157347e-06,2.630851e-06,3.979692e-06,4.115027e-06,6.057947e-06,6.593114e-06,8.457844e-06,9.990673e-06,1.128497e-05,1.409864e-05,1.450466e-05,1.808570e-05,1.884273e-05,2.199932e-05,2.415630e-05,2.621663e-05,2.997159e-05,3.070710e-05,3.543799e-05,3.621495e-05,4.037466e-05,4.280685e-05,4.548124e-05,4.966445e-05,5.072145e-05,5.605952e-05,5.670500e-05,6.146094e-05,6.384918e-05,6.689321e-05,7.102375e-05,7.232622e-05,7.773257e-05,7.816318e-05,8.308784e-05,8.521075e-05,8.837064e-05,9.211892e-05,9.356254e-05,9.864790e-05,9.884890e-05,1.036138e-04,1.053702e-04,1.084497e-04,1.116596e-04,1.131474e-04,1.177005e-04,1.221044e-04,1.234816e-04,1.263561e-04,1.289964e-04,1.304537e-04,1.342419e-04,1.343967e-04,1.381852e-04,1.392185e-04,1.418205e-04,1.439287e-04,1.453042e-04,1.483772e-04,1.486385e-04,1.518263e-04,1.525700e-04,1.548707e-04,1.565141e-04,1.577749e-04,1.602174e-04,1.605424e-04,1.631770e-04,1.636884e-04,1.656826e-04,1.669357e-04,1.680629e-04,1.699685e-04,1.703219e-04,1.724636e-04,1.727957e-04,1.744919e-04,1.754263e-04,1.764107e-04,1.778695e-04,1.782238e-04,1.799352e-04,1.801339e-04,1.815485e-04,1.822282e-04,1.830674e-04,1.841609e-04,1.844955e-04,1.858365e-04,1.859401e-04,1.870936e-04,1.875737e-04,1.882703e-04,1.890695e-04,1.893698e-04,1.903953e-04,1.904349e-04,1.913500e-04,1.916769e-04,1.922367e-04,1.928024e-04,1.930584e-04,1.938179e-04,1.945179e-04,1.947298e-04,1.951611e-04,1.955441e-04,1.957500e-04,1.962665e-04,1.962871e-04,1.967746e-04,1.969026e-04,1.972151e-04,1.974576e-04,1.976105e-04,1.979365e-04,1.979632e-04,1.982751e-04,1.983441e-04,1.985482e-04,1.986849e-04,1.987844e-04,1.989633e-04,1.989856e-04,1.991536e-04,1.991833e-04,1.992900e-04,1.993490e-04,1.993964e-04,1.994639e-04,1.994745e-04,1.995258e-04,1.995316e-04,1.995516e-04,1.995554e-04,1.995535e-04,1.995386e-04,1.995327e-04,1.994905e-04,1.994841e-04,1.994282e-04,1.993947e-04,1.993469e-04,1.992731e-04,1.992477e-04,1.991318e-04,1.991218e-04,1.990002e-04,1.989434e-04,1.988538e-04,1.987399e-04,1.986937e-04,1.985207e-04,1.985135e-04,1.983357e-04,1.982663e-04,1.981395e-04,1.980002e-04,1.979330e-04,1.977168e-04,1.974180e-04,1.971053e-04,1.967801e-04,1.964439e-04,1.960979e-04,1.957434e-04,1.953816e-04,1.950135e-04,1.946400e-04,1.942622e-04,1.938810e-04,1.934970e-04,1.931112e-04,1.927241e-04,1.923365e-04,1.919489e-04,1.915620e-04,1.911762e-04,1.907919e-04,1.904098e-04,1.900301e-04,1.896532e-04,1.892794e-04,1.889091e-04
0.000000e+00,1.235116e-09,3.573503e-09,1.584110e-08,4.064294e-08,6.202281e-08,1.523306e-07,1.572999e-07,3.188823e-07,3.783849e-07,5.643786e-07,7.596344e-07,9.123564e-07,1.339659e-06,1.382178e-06,1.991934e-06,2.160652e-06,2.753838e-06,3.248193e-06,3.670057e-06,4.598670e-06,4.733750e-06,5.933948e-06,6.189354e-06,7.259261e-06,7.994295e-06,8.699003e-06,9.989393e-06,1.024303e-05,1.188134e-05,1.215154e-05,1.360372e-05,1.445727e-05,1.539972e-05,1.688232e-05,1.725861e-05,1.916951e-05,1.940179e-05,2.112156e-05,2.199074e-05,2.310410e-05,2.462486e-05,2.510683e-05,2.711994e-05,2.728116e-05,2.913428e-05,2.993843e-05,3.114139e-05,3.257774e-05,3.313367e-05,3.510412e-05,3.518240e-05,3.704670e-05,3.773816e-05,3.895611e-05,4.023324e-05,4.082784e-05,4.265809e-05,4.444371e-05,4.500526e-05,4.618218e-05,4.726912e-05,4.787152e-05,4.944567e-05,4.951023e-05,5.109725e-05,5.153225e-05,5.263191e-05,5.352741e-05,5.411386e-05,5.543064e-05,5.554304e-05,5.691963e-05,5.724223e-05,5.824403e-05,5.896309e-05,5.951679e-05,6.059467e-05,6.073862e-05,6.191035e-05,6.213877e-05,6.303291e-05,6.359753e-05,6.410728e-05,6.497329e-05,6.513453e-05,6.611577e-05,6.626858e-05,6.705214e-05,6.748601e-05,6.794481e-05,6.862827e-05,6.879495e-05,6.960376e-05,6.969810e-05,7.037242e-05,7.069822e-05,7.110212e-05,7.163136e-05,7.179404e-05,7.244933e-05,7.250021e-05,7.306917e-05,7.330743e-05,7.365467e-05,7.405561e-05,7.420697e-05,7.472714e-05,7.474730e-05,7.521627e-05,7.538496e-05,7.567541e-05,7.597101e-05,7.610558e-05,7.650779e-05,7.688301e-05,7.699754e-05,7.723220e-05,7.744246e-05,7.755629e-05,7.784465e-05,7.785619e-05,7.813277e-05,7.820615e-05,7.838689e-05,7.852893e-05,7.861938e-05,7.881487e-05,7.883105e-05,7.902268e-05,7.906578e-05,7.919504e-05,7.928342e-05,7.934886e-05,7.946945e-05,7.948485e-05,7.960371e-05,7.962549e-05,7.970612e-05,7.975308e-05,7.979271e-05,7.985370e-05,7.986413e-05,7.992098e-05,7.992877e-05,7.996386e-05,7.997964e-05,7.999333e-05,8.000762e-05,8.000994e-05,8.001424e-05,8.001395e-05,8.000674e-05,7.999983e-05,7.998793e-05,7.996638e-05,7.995831e-05,7.991833e-05,7.991470e-05,7.986846e-05,7.984583e-05,7.980912e-05,7.976076e-05,7.974073e-05,7.966370e-05,7.966045e-05,7.957843e-05,7.954579e-05,7.948529e-05,7.941764e-05,7.938464e-05,7.927685e-05,7.912419e-05,7.896041e-05,7.878622e-05,7.860232e-05,7.840935e-05,7.820792e-05,7.799863e-05,7.778204e-05,7.755868e-05,7.732906e-05,7.709366e-05,7.685295e-05,7.660736e-05,7.635730e-05,7.610317e-05,7.584535e-05,7.558418e-05,7.532002e-05,7.505317e-05,7.478395e-05,7.451264e-05,7.423952e-05,7.396484e-05,7.368885e-05
0.000000e+00,7.340322e-12,3.671723e-11,3.951516e-10,1.876763e-09,3.807882e-09,1.726542e-08,1.822391e-08,5.968117e-08,7.942121e-08,1.543418e-07,2.519616e-07,3.402662e-07,6.360210e-07,6.690389e-07,1.206066e-06,1.374223e-06,2.026885e-06,2.639472e-06,3.208549e-06,4.601562e-06,4.819432e-06,6.911705e-06,7.391153e-06,9.518074e-06,1.108174e-05,1.265203e-05,1.569020e-05,1.631016e-05,2.047521e-05,2.118691e-05,2.511917e-05,2.750803e-05,3.020597e-05,3.456627e-05,3.569375e-05,4.153658e-05,4.225930e-05,4.768598e-05,5.047600e-05,5.409206e-05,5.910141e-05,6.070456e-05,6.747374e-05,6.802058e-05,7.435114e-05,7.712190e-05,8.129025e-05,8.629984e-05,8.824713e-05,9.518079e-05,9.545711e-05,1.020537e-04,1.045063e-04,1.088317e-04,1.133711e-04,1.154848e-04,1.219864e-04,1.283139e-04,1.302987e-04,1.344483e-04,1.382656e-04,1.403740e-04,1.458549e-04,1.460787e-04,1.515533e-04,1.530439e-04,1.567909e-04,1.598181e-04,1.617877e-04,1.661701e-04,1.665415e-04,1.710523e-04,1.720989e-04,1.753216e-04,1.776080e-04,1.793524e-04,1.827054e-04,1.831488e-04,1.867157e-04,1.874020e-04,1.900590e-04,1.917112e-04,1.931851e-04,1.956481e-04,1.961007e-04,1.988133e-04,1.992289e-04,2.013300e-04,2.024707e-04,2.036586e-04,2.053910e-04,2.058065e-04,2.077815e-04,2.080073e-04,2.095912e-04,2.103369e-04,2.112428e-04,2.123970e-04,2.127439e-04,2.141015e-04,2.142041e-04,2.153226e-04,2.157744e-04,2.164140e-04,2.171232e-04,2.173823e-04,2.182338e-04,2.182655e-04,2.189745e-04,2.192152e-04,2.196105e-04,2.199860e-04,2.201473e-04,2.205904e-04,2.209450e-04,2.210406e-04,2.212161e-04,2.213480e-04,2.214085e-04,2.215234e-04,2.215267e-04,2.215752e-04,2.215768e-04,2.215580e-04,2.215178e-04,2.214791e-04,2.213554e-04,2.213424e-04,2.211514e-04,2.210979e-04,2.209096e-04,2.207532e-04,2.206202e-04,2.203287e-04,2.202864e-04,2.199111e-04,2.198313e-04,2.194972e-04,2.192675e-04,2.190472e-04,2.186434e-04,2.185639e-04,2.180495e-04,2.179644e-04,2.175063e-04,2.172360e-04,2.169366e-04,2.164630e-04,2.163423e-04,2.157255e-04,2.156501e-04,2.150880e-04,2.148014e-04,2.144315e-04,2.139209e-04,2.137577e-04,2.130682e-04,2.130124e-04,2.123645e-04,2.120793e-04,2.116479e-04,2.111247e-04,2.109198e-04,2.101814e-04,2.101517e-04,2.094340e-04,2.091629e-04,2.086786e-04,2.081609e-04,2.079163e-04,2.071482e-04,2.061267e-04,2.050987e-04,2.040659e-04,2.030300e-04,2.019927e-04,2.009554e-04,1.999194e-04,1.988860e-04,1.978563e-04,1.968313e-04,1.958119e-04,1.947991e-04,1.937936e-04,1.927961e-04,1.918072e-04,1.908276e-04,1.898576e-04,1.888979e-04,1.879488e-04,1.870107e-04,1.860839e-04,1.851687e-04,1.842653e-04,1.833739e-04
0.000000e+00,1.124053e-09,2.645483e-09,9.258103e-09,2.101828e-08,3.052860e-08,6.811361e-08,7.010852e-08,1.327574e-07,1.550738e-07,2.231948e-07,2.927816e-07,3.461842e-07,4.919705e-07,5.062307e-07,7.068401e-07,7.612356e-07,9.493467e-07,1.102794e-06,1.231489e-06,1.507166e-06,1.546331e-06,1.882560e-06,1.951192e-06,2.226751e-06,2.404646e-06,2.566501e-06,2.841583e-06,2.892556e-06,3.199186e-06,3.246219e-06,3.483502e-06,3.611713e-06,3.744539e-06,3.936719e-06,3.982501e-06,4.198266e-06,4.222723e-06,4.393077e-06,4.472520e-06,4.568360e-06,4.689436e-06,4.725613e-06,4.866342e-06,4.876930e-06,4.992013e-06,5.038383e-06,5.104033e-06,5.176979e-06,5.203722e-06,5.292310e-06,5.295639e-06,5.370929e-06,5.396992e-06,5.440609e-06,5.483367e-06,5.502286e-06,5.556799e-06,5.604903e-06,5.619054e-06,5.647268e-06,5.671647e-06,5.684489e-06,5.715873e-06,5.717095e-06,5.745551e-06,5.752832e-06,5.770270e-06,5.783461e-06,5.791617e-06,5.808553e-06,5.809912e-06,5.825439e-06,5.828782e-06,5.838450e-06,5.844721e-06,5.849167e-06,5.856858e-06,5.857788e-06,5.864489e-06,5.865613e-06,5.869427e-06,5.871346e-06,5.872743e-06,5.874367e-06,5.874562e-06,5.874999e-06,5.874947e-06,5.874155e-06,5.873324e-06,5.872125e-06,5.869703e-06,5.868992e-06,5.864834e-06,5.864270e-06,5.859721e-06,5.857186e-06,5.853719e-06,5.848598e-06,5.846886e-06,5.839277e-06,5.838636e-06,5.830944e-06,5.827418e-06,5.821933e-06,5.815051e-06,5.812289e-06,5.802053e-06,5.801631e-06,5.791262e-06,5.787248e-06,5.779952e-06,5.771982e-06,5.768156e-06,5.755907e-06,5.743234e-06,5.739093e-06,5.730163e-06,5.721602e-06,5.716723e-06,5.703494e-06,5.702936e-06,5.688828e-06,5.684822e-06,5.674419e-06,5.665638e-06,5.659730e-06,5.645986e-06,5.644781e-06,5.629592e-06,5.625912e-06,5.614179e-06,5.605456e-06,5.598560e-06,5.584656e-06,5.582750e-06,5.566765e-06,5.563548e-06,5.550618e-06,5.542164e-06,5.534325e-06,5.520535e-06,5.517898e-06,5.501349e-06,5.498691e-06,5.484691e-06,5.476659e-06,5.467933e-06,5.454464e-06,5.451088e-06,5.434165e-06,5.432130e-06,5.417175e-06,5.409680e-06,5.400125e-06,5.387134e-06,5.383026e-06,5.365885e-06,5.364512e-06,5.348710e-06,5.341833e-06,5.331510e-06,5.319114e-06,5.314291e-06,5.297060e-06,5.296371e-06,5.279824e-06,5.273619e-06,5.262589e-06,5.250874e-06,5.245362e-06,5.228147e-06,5.205452e-06,5.182800e-06,5.160203e-06,5.137671e-06,5.115213e-06,5.092838e-06,5.070555e-06,5.048372e-06,5.026297e-06,5.004335e-06,4.982493e-06,4.960777e-06,4.939193e-06,4.917746e-06,4.896441e-06,4.875281e-06,4.854271e-06,4.833415e-06,4.812716e-06,4.792177e-06,4.771800e-06,4.751590e-06,4.731547e-06,4.711675e-06
0.000000e+00,3.571778e-11,1.577700e-10,1.326270e-09,5.094111e-09,9.246111e-09,3.196215e-08,3.338274e-08,8.550528e-08,1.068277e-07,1.782978e-07,2.589591e-07,3.248917e-07,5.180625e-07,5.377822e-07,8.261442e-07,9.071018e-07,1.193574e-06,1.433479e-06,1.638633e-06,2.091087e-06,2.156979e-06,2.742985e-06,2.867763e-06,3.390375e-06,3.749030e-06,4.092312e-06,4.718685e-06,4.841382e-06,5.629663e-06,5.758876e-06,6.448886e-06,6.850642e-06,7.290677e-06,7.974821e-06,8.146811e-06,9.009448e-06,9.113050e-06,9.871332e-06,1.024861e-05,1.072593e-05,1.136701e-05,1.156753e-05,1.239126e-05,1.245626e-05,1.319309e-05,1.350695e-05,1.396981e-05,1.451209e-05,1.471895e-05,1.543871e-05,1.546687e-05,1.612789e-05,1.636835e-05,1.678578e-05,1.721512e-05,1.741211e-05,1.800696e-05,1.857071e-05,1.874463e-05,1.910393e-05,1.942953e-05,1.960740e-05,2.006358e-05,2.008202e-05,2.052877e-05,2.064901e-05,2.094871e-05,2.118826e-05,2.134293e-05,2.168385e-05,2.171254e-05,2.205867e-05,2.213836e-05,2.238241e-05,2.255433e-05,2.268485e-05,2.293421e-05,2.296704e-05,2.323003e-05,2.328041e-05,2.347480e-05,2.359520e-05,2.370231e-05,2.388075e-05,2.391348e-05,2.410917e-05,2.413911e-05,2.429024e-05,2.437220e-05,2.445748e-05,2.458183e-05,2.461165e-05,2.475347e-05,2.476970e-05,2.488364e-05,2.493739e-05,2.500279e-05,2.508637e-05,2.511156e-05,2.521052e-05,2.521803e-05,2.530024e-05,2.533365e-05,2.538123e-05,2.543442e-05,2.545399e-05,2.551900e-05,2.552145e-05,2.557670e-05,2.559577e-05,2.562752e-05,2.565834e-05,2.567184e-05,2.571005e-05,2.574250e-05,2.575173e-05,2.576954e-05,2.578414e-05,2.579147e-05,2.580801e-05,2.580861e-05,2.582123e-05,2.582399e-05,2.582961e-05,2.583270e-05,2.583399e-05,2.583471e-05,2.583463e-05,2.583175e-05,2.583056e-05,2.582557e-05,2.582074e-05,2.581628e-05,2.580570e-05,2.580409e-05,2.578917e-05,2.578587e-05,2.577170e-05,2.576166e-05,2.575184e-05,2.573342e-05,2.572974e-05,2.570556e-05,2.570150e-05,2.567942e-05,2.566623e-05,2.565147e-05,2.562788e-05,2.562182e-05,2.559060e-05,2.558675e-05,2.555791e-05,2.554308e-05,2.552385e-05,2.549712e-05,2.548854e-05,2.545205e-05,2.544909e-05,2.541449e-05,2.539918e-05,2.537593e-05,2.534760e-05,2.533646e-05,2.529616e-05,2.529453e-05,2.525508e-05,2.524012e-05,2.521330e-05,2.518453e-05,2.517090e-05,2.512791e-05,2.507039e-05,2.501209e-05,2.495314e-05,2.489363e-05,2.483366e-05,2.477334e-05,2.471275e-05,2.465196e-05,2.459105e-05,2.453009e-05,2.446914e-05,2.440826e-05,2.434752e-05,2.428695e-05,2.422660e-05,2.416652e-05,2.410676e-05,2.404733e-05,2.398829e-05,2.392965e-05,2.387146e-05,2.381373e-05,2.375648e-05,2.369975e-05
0.000000e+00,3.590817e-10,1.438222e-09,1.014232e-08,3.422985e-08,5.856401e-08,1.803585e-07,1.876973e-07,4.515219e-07,5.589571e-07,9.228084e-07,1.339851e-06,1.682373e-06,2.670010e-06,2.768526e-06,4.151001e-06,4.520521e-06,5.773823e-06,6.770663e-06,7.593707e-06,9.337259e-06,9.584600e-06,1.172991e-05,1.217630e-05,1.401597e-05,1.525569e-05,1.642856e-05,1.854123e-05,1.895163e-05,2.156704e-05,2.199276e-05,2.425492e-05,2.556470e-05,2.699425e-05,2.920834e-05,2.976357e-05,3.254164e-05,3.287461e-05,3.530807e-05,3.651666e-05,3.804386e-05,4.009187e-05,4.073175e-05,4.335651e-05,4.356336e-05,4.590509e-05,4.690068e-05,4.836663e-05,5.008009e-05,5.073245e-05,5.299594e-05,5.308428e-05,5.515237e-05,5.590184e-05,5.719873e-05,5.852656e-05,5.913352e-05,6.095655e-05,6.266872e-05,6.319347e-05,6.427183e-05,6.524172e-05,6.576840e-05,6.710777e-05,6.716155e-05,6.845480e-05,6.879952e-05,6.965199e-05,7.032587e-05,7.075716e-05,7.169624e-05,7.177450e-05,7.270820e-05,7.292032e-05,7.356250e-05,7.400777e-05,7.434154e-05,7.496809e-05,7.504940e-05,7.569005e-05,7.581045e-05,7.626729e-05,7.654363e-05,7.678481e-05,7.717595e-05,7.724612e-05,7.765459e-05,7.771525e-05,7.801340e-05,7.816889e-05,7.832559e-05,7.854370e-05,7.859402e-05,7.882142e-05,7.884608e-05,7.901035e-05,7.908193e-05,7.916324e-05,7.925673e-05,7.928235e-05,7.936985e-05,7.937554e-05,7.942774e-05,7.944304e-05,7.945793e-05,7.946353e-05,7.946222e-05,7.944228e-05,7.944100e-05,7.939968e-05,7.937909e-05,7.933592e-05,7.928119e-05,7.925239e-05,7.915040e-05,7.903117e-05,7.898958e-05,7.889588e-05,7.880136e-05,7.874560e-05,7.858819e-05,7.858136e-05,7.840412e-05,7.835228e-05,7.821477e-05,7.809571e-05,7.801417e-05,7.782037e-05,7.780312e-05,7.758236e-05,7.752802e-05,7.735261e-05,7.722026e-05,7.711451e-05,7.689859e-05,7.686871e-05,7.661578e-05,7.656439e-05,7.635629e-05,7.621892e-05,7.609074e-05,7.586336e-05,7.581963e-05,7.554342e-05,7.549879e-05,7.526256e-05,7.512621e-05,7.497744e-05,7.474654e-05,7.468845e-05,7.439596e-05,7.436064e-05,7.410031e-05,7.396931e-05,7.380182e-05,7.357326e-05,7.350080e-05,7.319753e-05,7.317318e-05,7.289229e-05,7.276969e-05,7.258532e-05,7.236337e-05,7.227687e-05,7.196716e-05,7.195475e-05,7.165642e-05,7.154433e-05,7.134483e-05,7.113257e-05,7.103259e-05,7.071988e-05,7.030667e-05,6.989329e-05,6.948008e-05,6.906735e-05,6.865538e-05,6.824443e-05,6.783475e-05,6.742657e-05,6.702009e-05,6.661550e-05,6.621297e-05,6.581267e-05,6.541474e-05,6.501932e-05,6.462653e-05,6.423648e-05,6.384927e-05,6.346500e-05,6.308376e-05,6.270561e-05,6.233062e-05,6.195886e-05,6.159038e-05,6.122522e-05
0.000000e+00,3.400781e-09,8.015761e-09,2.854524e-08,6.640519e-08,9.799545e-08,2.295596e-07,2.368091e-07,4.763405e-07,5.667451e-07,8.567536e-07,1.170473e-06,1.419365e-06,2.114113e-06,2.182337e-06,3.132623e-06,3.386098e-06,4.249005e-06,4.940860e-06,5.516485e-06,6.749472e-06,6.925860e-06,8.470489e-06,8.795101e-06,1.014409e-05,1.106305e-05,1.193964e-05,1.353616e-05,1.384891e-05,1.586242e-05,1.619356e-05,1.796956e-05,1.901091e-05,2.015887e-05,2.196139e-05,2.241830e-05,2.473557e-05,2.501694e-05,2.709842e-05,2.814943e-05,2.949493e-05,3.133172e-05,3.191365e-05,3.434384e-05,3.453845e-05,3.677557e-05,3.774661e-05,3.919971e-05,4.093578e-05,4.160810e-05,4.399350e-05,4.408835e-05,4.634959e-05,4.718953e-05,4.867087e-05,5.022704e-05,5.095265e-05,5.319097e-05,5.538257e-05,5.607357e-05,5.752483e-05,5.886900e-05,5.961564e-05,6.157273e-05,6.165319e-05,6.363627e-05,6.418165e-05,6.556401e-05,6.669383e-05,6.743582e-05,6.910824e-05,6.925141e-05,7.101075e-05,7.142463e-05,7.271397e-05,7.364337e-05,7.436137e-05,7.576526e-05,7.595340e-05,7.749061e-05,7.779153e-05,7.897369e-05,7.972374e-05,8.040339e-05,8.156369e-05,8.178054e-05,8.310601e-05,8.331335e-05,8.438074e-05,8.497487e-05,8.560570e-05,8.655049e-05,8.678187e-05,8.791028e-05,8.804253e-05,8.899196e-05,8.945337e-05,9.002796e-05,9.078540e-05,9.101932e-05,9.196709e-05,9.204106e-05,9.287235e-05,9.322278e-05,9.373613e-05,9.433296e-05,9.455949e-05,9.534347e-05,9.537403e-05,9.608910e-05,9.634834e-05,9.679740e-05,9.725824e-05,9.746939e-05,9.810605e-05,9.870838e-05,9.889404e-05,9.927735e-05,9.962442e-05,9.981390e-05,1.002994e-04,1.003190e-04,1.007935e-04,1.009210e-04,1.012384e-04,1.014915e-04,1.016545e-04,1.020127e-04,1.020428e-04,1.024040e-04,1.024868e-04,1.027391e-04,1.029155e-04,1.030487e-04,1.033009e-04,1.033338e-04,1.035951e-04,1.036446e-04,1.038334e-04,1.039485e-04,1.040495e-04,1.042143e-04,1.042440e-04,1.044177e-04,1.044436e-04,1.045712e-04,1.046380e-04,1.047053e-04,1.047991e-04,1.048207e-04,1.049179e-04,1.049284e-04,1.049976e-04,1.050273e-04,1.050605e-04,1.050973e-04,1.051071e-04,1.051379e-04,1.051397e-04,1.051537e-04,1.051559e-04,1.051549e-04,1.051470e-04,1.051420e-04,1.051157e-04,1.051144e-04,1.050763e-04,1.050591e-04,1.050245e-04,1.049823e-04,1.049606e-04,1.048852e-04,1.047688e-04,1.046340e-04,1.044819e-04,1.043134e-04,1.041295e-04,1.039309e-04,1.037185e-04,1.034931e-04,1.032555e-04,1.030064e-04,1.027466e-04,1.024767e-04,1.021974e-04,1.019092e-04,1.016128e-04,1.013089e-04,1.009978e-04,1.006802e-04,1.003565e-04,1.000273e-04,9.969293e-05,9.935393e-05,9.901069e-05,9.866361e-05
0.000000e+00,4.805694e-12,2.308251e-11,2.284386e-10,1.005459e-09,1.956689e-09,7.965034e-09,8.370348e-09,2.461421e-08,3.180463e-08,5.736412e-08,8.810170e-08,1.142944e-07,1.951076e-07,2.036483e-07,3.338712e-07,3.721239e-07,5.130478e-07,6.373623e-07,7.478776e-07,1.003845e-06,1.042389e-06,1.397081e-06,1.475031e-06,1.808954e-06,2.043903e-06,2.272275e-06,2.695801e-06,2.779592e-06,3.322637e-06,3.412275e-06,3.892978e-06,4.174012e-06,4.482410e-06,4.962463e-06,5.083165e-06,5.688024e-06,5.760563e-06,6.290380e-06,6.553063e-06,6.884271e-06,7.326694e-06,7.464419e-06,8.026250e-06,8.070285e-06,8.565910e-06,8.774840e-06,9.080264e-06,9.433539e-06,9.566882e-06,1.002400e-05,1.004166e-05,1.045049e-05,1.059641e-05,1.084578e-05,1.109670e-05,1.120979e-05,1.154288e-05,1.184576e-05,1.193646e-05,1.211944e-05,1.227984e-05,1.236515e-05,1.257599e-05,1.258426e-05,1.277827e-05,1.282831e-05,1.294873e-05,1.304037e-05,1.309723e-05,1.321581e-05,1.322534e-05,1.333461e-05,1.335820e-05,1.342654e-05,1.347099e-05,1.350257e-05,1.355741e-05,1.356406e-05,1.361230e-05,1.362047e-05,1.364849e-05,1.366292e-05,1.367375e-05,1.368728e-05,1.368912e-05,1.369555e-05,1.369581e-05,1.369393e-05,1.369053e-05,1.368506e-05,1.367324e-05,1.366967e-05,1.364845e-05,1.364555e-05,1.362201e-05,1.360887e-05,1.359090e-05,1.356446e-05,1.355564e-05,1.351668e-05,1.351341e-05,1.347444e-05,1.345671e-05,1.342930e-05,1.339519e-05,1.338160e-05,1.333165e-05,1.332961e-05,1.327975e-05,1.326063e-05,1.322613e-05,1.318882e-05,1.317104e-05,1.311469e-05,1.305726e-05,1.303868e-05,1.299892e-05,1.296119e-05,1.293984e-05,1.288255e-05,1.288016e-05,1.282000e-05,1.280308e-05,1.275948e-05,1.272304e-05,1.269871e-05,1.264266e-05,1.263778e-05,1.257678e-05,1.256214e-05,1.251580e-05,1.248168e-05,1.245489e-05,1.240142e-05,1.239414e-05,1.233359e-05,1.232151e-05,1.227330e-05,1.224207e-05,1.221332e-05,1.216320e-05,1.215369e-05,1.209445e-05,1.208501e-05,1.203564e-05,1.200757e-05,1.197728e-05,1.193095e-05,1.191942e-05,1.186207e-05,1.185522e-05,1.180525e-05,1.178043e-05,1.174900e-05,1.170662e-05,1.169331e-05,1.163822e-05,1.163384e-05,1.158374e-05,1.156211e-05,1.152987e-05,1.149147e-05,1.147663e-05,1.142402e-05,1.142193e-05,1.137206e-05,1.135352e-05,1.132076e-05,1.128624e-05,1.127011e-05,1.122011e-05,1.115514e-05,1.109133e-05,1.102868e-05,1.096720e-05,1.090687e-05,1.084770e-05,1.078968e-05,1.073280e-05,1.067706e-05,1.062244e-05,1.056893e-05,1.051652e-05,1.046520e-05,1.041496e-05,1.036578e-05,1.031764e-05,1.027054e-05,1.022445e-05,1.017937e-05,1.013527e-05,1.009214e-05,1.004996e-05,1.000872e-05,9.968400e-06
0.000000e+00,2.779909e-12,1.413129e-11,1.573257e-10,7.713004e-10,1.593132e-09,7.578051e-09,8.014849e-09,2.761436e-08,3.728034e-08,7.520008e-08,1.266690e-07,1.746839e-07,3.426499e-07,3.619521e-07,6.875876e-07,7.933834e-07,1.217902e-06,1.633467e-06,2.032095e-06,3.050597e-06,3.214695e-06,4.845244e-06,5.231165e-06,6.988655e-06,8.321366e-06,9.688616e-06,1.240169e-05,1.296466e-05,1.681239e-05,1.747962e-05,2.120592e-05,2.349640e-05,2.610147e-05,3.034109e-05,3.144156e-05,3.715906e-05,3.786710e-05,4.318110e-05,4.590787e-05,4.943230e-05,5.429021e-05,5.583759e-05,6.232441e-05,6.284480e-05,6.882440e-05,7.141378e-05,7.527462e-05,7.985590e-05,8.161842e-05,8.780589e-05,8.804951e-05,9.379407e-05,9.589387e-05,9.954690e-05,1.033092e-04,1.050351e-04,1.102356e-04,1.151316e-04,1.166319e-04,1.197113e-04,1.224730e-04,1.239679e-04,1.277482e-04,1.278992e-04,1.315063e-04,1.324587e-04,1.347936e-04,1.366155e-04,1.377684e-04,1.402372e-04,1.404400e-04,1.428193e-04,1.433482e-04,1.449189e-04,1.459774e-04,1.467521e-04,1.481562e-04,1.483330e-04,1.496762e-04,1.499176e-04,1.507964e-04,1.512955e-04,1.517081e-04,1.523234e-04,1.524258e-04,1.529636e-04,1.530339e-04,1.533352e-04,1.534584e-04,1.535537e-04,1.536268e-04,1.536317e-04,1.535811e-04,1.535670e-04,1.534133e-04,1.533050e-04,1.531387e-04,1.528648e-04,1.527674e-04,1.523086e-04,1.522684e-04,1.517711e-04,1.515359e-04,1.511630e-04,1.506855e-04,1.504916e-04,1.497639e-04,1.497337e-04,1.489862e-04,1.486951e-04,1.481643e-04,1.475831e-04,1.473038e-04,1.464094e-04,1.454857e-04,1.451846e-04,1.445369e-04,1.439181e-04,1.435666e-04,1.426182e-04,1.425783e-04,1.415752e-04,1.412921e-04,1.405601e-04,1.399463e-04,1.395355e-04,1.385866e-04,1.385039e-04,1.374673e-04,1.372180e-04,1.364276e-04,1.358447e-04,1.353866e-04,1.344707e-04,1.343459e-04,1.333068e-04,1.330993e-04,1.322707e-04,1.317334e-04,1.312386e-04,1.303755e-04,1.302116e-04,1.291905e-04,1.290278e-04,1.281763e-04,1.276921e-04,1.271696e-04,1.263702e-04,1.261711e-04,1.251814e-04,1.250632e-04,1.242009e-04,1.237725e-04,1.232301e-04,1.224990e-04,1.222694e-04,1.213191e-04,1.212435e-04,1.203795e-04,1.200067e-04,1.194508e-04,1.187891e-04,1.185333e-04,1.176271e-04,1.175911e-04,1.167324e-04,1.164132e-04,1.158493e-04,1.152555e-04,1.149779e-04,1.141182e-04,1.130014e-04,1.119052e-04,1.108295e-04,1.097743e-04,1.087396e-04,1.077251e-04,1.067307e-04,1.057563e-04,1.048016e-04,1.038664e-04,1.029504e-04,1.020534e-04,1.011752e-04,1.003154e-04,9.947374e-05,9.864994e-05,9.784369e-05,9.705468e-05,9.628261e-05,9.552716e-05,9.478802e-05,9.406487e-05,9.335741e-05,9.266532e-05
0.000000e+00,6.043242e-10,1.400441e-09,4.879803e-09,1.117293e-08,1.633892e-08,3.721026e-08,3.833385e-08,7.418885e-08,8.717541e-08,1.273427e-07,1.690507e-07,2.014532e-07,2.914231e-07,3.003321e-07,4.274443e-07,4.624275e-07,5.848644e-07,6.863015e-07,7.724828e-07,9.611364e-07,9.884742e-07,1.230433e-06,1.281734e-06,1.496058e-06,1.642842e-06,1.783279e-06,2.039817e-06,2.090162e-06,2.414805e-06,2.468267e-06,2.755268e-06,2.923725e-06,3.109550e-06,3.401540e-06,3.475588e-06,3.851288e-06,3.896921e-06,4.234547e-06,4.405040e-06,4.623295e-06,4.921177e-06,5.015526e-06,5.409329e-06,5.440846e-06,5.802910e-06,5.959905e-06,6.194615e-06,6.474632e-06,6.582943e-06,6.966548e-06,6.981776e-06,7.344246e-06,7.478569e-06,7.715011e-06,7.962721e-06,8.077972e-06,8.432399e-06,8.777699e-06,8.886187e-06,9.113401e-06,9.323045e-06,9.439150e-06,9.742264e-06,9.754687e-06,1.005984e-05,1.014341e-05,1.035453e-05,1.052631e-05,1.063873e-05,1.089095e-05,1.091246e-05,1.117583e-05,1.123751e-05,1.142895e-05,1.156627e-05,1.167198e-05,1.187765e-05,1.190511e-05,1.212855e-05,1.217209e-05,1.234253e-05,1.245013e-05,1.254728e-05,1.271234e-05,1.274307e-05,1.293015e-05,1.295929e-05,1.310878e-05,1.319159e-05,1.327922e-05,1.340986e-05,1.344174e-05,1.359660e-05,1.361469e-05,1.374407e-05,1.380668e-05,1.388440e-05,1.398642e-05,1.401783e-05,1.414463e-05,1.415449e-05,1.426503e-05,1.431145e-05,1.437927e-05,1.445784e-05,1.448758e-05,1.459018e-05,1.459417e-05,1.468729e-05,1.472095e-05,1.477912e-05,1.483866e-05,1.486588e-05,1.494776e-05,1.502496e-05,1.504870e-05,1.509765e-05,1.514190e-05,1.516602e-05,1.522775e-05,1.523025e-05,1.529048e-05,1.530666e-05,1.534689e-05,1.537897e-05,1.539964e-05,1.544505e-05,1.544886e-05,1.549470e-05,1.550522e-05,1.553730e-05,1.555980e-05,1.557680e-05,1.560909e-05,1.561332e-05,1.564698e-05,1.565338e-05,1.567790e-05,1.569294e-05,1.570621e-05,1.572803e-05,1.573199e-05,1.575537e-05,1.575890e-05,1.577645e-05,1.578577e-05,1.579531e-05,1.580887e-05,1.581206e-05,1.582678e-05,1.582842e-05,1.583957e-05,1.584460e-05,1.585050e-05,1.585761e-05,1.585965e-05,1.586711e-05,1.586763e-05,1.587294e-05,1.587484e-05,1.587723e-05,1.587939e-05,1.588002e-05,1.588140e-05,1.588143e-05,1.588143e-05,1.588112e-05,1.588016e-05,1.587859e-05,1.587765e-05,1.587397e-05,1.586739e-05,1.585897e-05,1.584881e-05,1.583704e-05,1.582374e-05,1.580901e-05,1.579295e-05,1.577564e-05,1.575716e-05,1.573759e-05,1.571700e-05,1.569547e-05,1.567306e-05,1.564984e-05,1.562586e-05,1.560118e-05,1.557585e-05,1.554993e-05,1.552346e-05,1.549649e-05,1.546906e-05,1.544122e-05,1.541300e-05,1.538444e-05
0.000000e+00,1.255194e-08,2.894946e-08,1.005540e-07,2.305045e-07,3.377182e-07,7.759036e-07,7.997167e-07,1.570823e-06,1.855110e-06,2.748665e-06,3.694036e-06,4.435887e-06,6.498849e-06,6.701801e-06,9.543170e-06,1.030519e-05,1.290758e-05,1.499883e-05,1.673915e-05,2.046133e-05,2.099275e-05,2.563034e-05,2.660077e-05,3.061595e-05,3.333396e-05,3.591315e-05,4.057609e-05,4.148430e-05,4.729089e-05,4.823921e-05,5.329438e-05,5.623486e-05,5.945703e-05,6.447741e-05,6.574273e-05,7.211772e-05,7.288721e-05,7.855093e-05,8.139264e-05,8.501426e-05,8.993103e-05,9.148269e-05,9.793418e-05,9.844897e-05,1.043495e-04,1.069018e-04,1.107123e-04,1.152529e-04,1.170083e-04,1.232257e-04,1.234726e-04,1.293544e-04,1.315374e-04,1.353862e-04,1.394289e-04,1.413141e-04,1.471327e-04,1.528373e-04,1.546382e-04,1.584245e-04,1.619374e-04,1.638915e-04,1.690247e-04,1.692361e-04,1.744569e-04,1.758964e-04,1.795530e-04,1.825504e-04,1.845236e-04,1.889857e-04,1.893687e-04,1.940883e-04,1.952024e-04,1.986829e-04,2.012015e-04,2.031531e-04,2.069846e-04,2.074997e-04,2.117237e-04,2.125539e-04,2.158263e-04,2.179122e-04,2.198089e-04,2.230625e-04,2.236728e-04,2.274195e-04,2.280083e-04,2.310507e-04,2.327532e-04,2.345681e-04,2.373011e-04,2.379733e-04,2.412682e-04,2.416562e-04,2.444546e-04,2.458227e-04,2.475344e-04,2.498049e-04,2.505095e-04,2.533818e-04,2.536072e-04,2.561534e-04,2.572342e-04,2.588261e-04,2.606903e-04,2.614019e-04,2.638829e-04,2.639802e-04,2.662710e-04,2.671083e-04,2.685682e-04,2.700793e-04,2.707764e-04,2.728977e-04,2.749340e-04,2.755680e-04,2.768873e-04,2.780947e-04,2.787594e-04,2.804822e-04,2.805524e-04,2.822680e-04,2.827348e-04,2.839083e-04,2.848570e-04,2.854750e-04,2.868530e-04,2.869700e-04,2.883951e-04,2.887269e-04,2.897521e-04,2.904829e-04,2.910427e-04,2.921250e-04,2.922688e-04,2.934320e-04,2.936572e-04,2.945340e-04,2.950834e-04,2.955765e-04,2.964074e-04,2.965611e-04,2.974894e-04,2.976328e-04,2.983630e-04,2.987634e-04,2.991835e-04,2.998026e-04,2.999523e-04,3.006711e-04,3.007540e-04,3.013411e-04,3.016209e-04,3.019640e-04,3.024067e-04,3.025410e-04,3.030737e-04,3.031144e-04,3.035632e-04,3.037473e-04,3.040110e-04,3.043083e-04,3.044184e-04,3.047866e-04,3.048005e-04,3.051168e-04,3.052266e-04,3.054103e-04,3.055896e-04,3.056684e-04,3.058920e-04,3.061366e-04,3.063258e-04,3.064621e-04,3.065480e-04,3.065857e-04,3.065775e-04,3.065256e-04,3.064320e-04,3.062989e-04,3.061281e-04,3.059215e-04,3.056811e-04,3.054085e-04,3.051056e-04,3.047738e-04,3.044149e-04,3.040303e-04,3.036216e-04,3.031902e-04,3.027374e-04,3.022645e-04,3.017730e-04,3.012638e-04,3.007383e-04
0.000000e+00,4.196718e-10,9.921807e-10,3.525418e-09,8.133901e-09,1.192227e-08,2.722469e-08,2.804790e-08,5.427907e-08,6.376233e-08,9.303906e-08,1.233497e-07,1.468263e-07,2.115721e-07,2.179400e-07,3.077424e-07,3.320947e-07,4.161710e-07,4.846812e-07,5.422671e-07,6.669587e-07,6.849157e-07,8.430872e-07,8.764974e-07,1.015790e-06,1.110995e-06,1.201979e-06,1.367963e-06,1.400505e-06,1.610093e-06,1.644562e-06,1.829351e-06,1.937595e-06,2.056792e-06,2.243598e-06,2.290868e-06,2.530004e-06,2.558966e-06,2.772635e-06,2.880105e-06,3.017239e-06,3.203561e-06,3.262365e-06,3.506659e-06,3.526129e-06,3.748881e-06,3.844935e-06,3.987914e-06,4.157487e-06,4.222776e-06,4.452618e-06,4.461697e-06,4.676723e-06,4.755879e-06,4.894502e-06,5.038733e-06,5.105484e-06,5.309310e-06,5.505720e-06,5.566975e-06,5.694545e-06,5.811366e-06,5.875691e-06,6.042345e-06,6.049135e-06,6.214913e-06,6.259967e-06,6.373106e-06,6.464431e-06,6.523839e-06,6.656058e-06,6.667267e-06,6.803574e-06,6.835251e-06,6.932963e-06,7.002478e-06,7.055649e-06,7.158250e-06,7.171861e-06,7.281835e-06,7.303102e-06,7.385807e-06,7.437581e-06,7.484018e-06,7.562235e-06,7.576704e-06,7.664101e-06,7.677609e-06,7.746439e-06,7.784231e-06,7.823944e-06,7.882615e-06,7.896834e-06,7.965322e-06,7.973254e-06,8.029612e-06,8.056620e-06,8.089901e-06,8.133163e-06,8.146380e-06,8.199230e-06,8.203306e-06,8.248625e-06,8.267453e-06,8.294731e-06,8.325982e-06,8.337709e-06,8.377709e-06,8.379249e-06,8.414877e-06,8.427591e-06,8.449351e-06,8.471322e-06,8.481262e-06,8.510735e-06,8.537890e-06,8.546108e-06,8.562838e-06,8.577698e-06,8.585689e-06,8.605748e-06,8.606545e-06,8.625503e-06,8.630483e-06,8.642655e-06,8.652116e-06,8.658089e-06,8.670844e-06,8.671890e-06,8.684137e-06,8.686853e-06,8.694904e-06,8.700315e-06,8.704265e-06,8.711394e-06,8.712288e-06,8.719037e-06,8.720239e-06,8.724574e-06,8.726995e-06,8.728959e-06,8.731793e-06,8.732247e-06,8.734492e-06,8.734758e-06,8.735744e-06,8.736007e-06,8.736052e-06,8.735649e-06,8.735462e-06,8.734017e-06,8.733788e-06,8.731759e-06,8.730518e-06,8.728728e-06,8.725931e-06,8.724962e-06,8.720497e-06,8.720111e-06,8.715368e-06,8.713138e-06,8.709608e-06,8.705087e-06,8.703247e-06,8.696316e-06,8.696027e-06,8.688843e-06,8.686026e-06,8.680857e-06,8.675145e-06,8.672382e-06,8.663444e-06,8.650976e-06,8.637795e-06,8.623949e-06,8.609484e-06,8.594444e-06,8.578870e-06,8.562800e-06,8.546271e-06,8.529318e-06,8.511973e-06,8.494267e-06,8.476230e-06,8.457888e-06,8.439268e-06,8.420395e-06,8.401291e-06,8.381979e-06,8.362480e-06,8.342813e-06,8.322998e-06,8.303052e-06,8.282991e-06,8.262833e-06,8.242591e-06
0.000000e+00,1.438688e-10,6.143873e-10,4.850371e-09,1.773602e-08,3.143008e-08,1.030535e-07,1.074298e-07,2.641435e-07,3.269056e-07,5.342792e-07,7.650384e-07,9.522352e-07,1.497642e-06,1.553233e-06,2.367223e-06,2.596413e-06,3.410291e-06,4.095349e-06,4.683665e-06,5.989457e-06,6.180617e-06,7.892840e-06,8.260433e-06,9.812715e-06,1.089073e-05,1.193303e-05,1.386333e-05,1.424599e-05,1.674243e-05,1.715818e-05,1.941136e-05,2.074997e-05,2.223979e-05,2.460743e-05,2.521284e-05,2.831391e-05,2.869379e-05,3.152494e-05,3.296773e-05,3.482679e-05,3.738472e-05,3.819958e-05,4.162312e-05,4.189858e-05,4.507724e-05,4.646301e-05,4.854218e-05,5.103286e-05,5.199882e-05,5.542903e-05,5.556544e-05,5.881586e-05,6.002145e-05,6.214369e-05,6.436564e-05,6.539838e-05,6.856735e-05,7.163958e-05,7.260069e-05,7.460567e-05,7.644457e-05,7.745775e-05,8.008255e-05,8.018944e-05,8.279578e-05,8.350257e-05,8.527314e-05,8.669659e-05,8.761910e-05,8.966019e-05,8.983235e-05,9.191256e-05,9.239206e-05,9.386029e-05,9.489362e-05,9.567687e-05,9.716854e-05,9.736429e-05,9.892513e-05,9.922237e-05,1.003624e-04,1.010621e-04,1.016796e-04,1.026959e-04,1.028804e-04,1.039688e-04,1.041328e-04,1.049490e-04,1.053823e-04,1.058253e-04,1.064545e-04,1.066021e-04,1.072838e-04,1.073594e-04,1.078748e-04,1.081073e-04,1.083796e-04,1.087082e-04,1.088024e-04,1.091476e-04,1.091720e-04,1.094193e-04,1.095084e-04,1.096217e-04,1.097266e-04,1.097586e-04,1.098339e-04,1.098357e-04,1.098514e-04,1.098442e-04,1.098146e-04,1.097602e-04,1.097269e-04,1.095916e-04,1.094119e-04,1.093455e-04,1.091908e-04,1.090289e-04,1.089312e-04,1.086483e-04,1.086359e-04,1.083074e-04,1.082098e-04,1.079482e-04,1.077190e-04,1.075608e-04,1.071813e-04,1.071474e-04,1.067100e-04,1.066017e-04,1.062507e-04,1.059847e-04,1.057715e-04,1.053347e-04,1.052741e-04,1.047602e-04,1.046556e-04,1.042314e-04,1.039511e-04,1.036893e-04,1.032247e-04,1.031353e-04,1.025707e-04,1.024795e-04,1.019968e-04,1.017184e-04,1.014148e-04,1.009441e-04,1.008258e-04,1.002308e-04,1.001590e-04,9.963087e-05,9.936557e-05,9.902690e-05,9.856571e-05,9.841975e-05,9.781022e-05,9.776138e-05,9.719908e-05,9.695433e-05,9.658702e-05,9.614613e-05,9.597469e-05,9.536271e-05,9.533825e-05,9.475164e-05,9.453199e-05,9.414202e-05,9.372855e-05,9.353432e-05,9.292900e-05,9.213433e-05,9.134541e-05,9.056301e-05,8.978785e-05,8.902053e-05,8.826162e-05,8.751158e-05,8.677086e-05,8.603981e-05,8.531875e-05,8.460794e-05,8.390761e-05,8.321794e-05,8.253907e-05,8.187112e-05,8.121417e-05,8.056828e-05,7.993346e-05,7.930973e-05,7.869707e-05,7.809545e-05,7.750480e-05,7.692508e-05,7.635618e-05
0.000000e+00,1.375272e-09,4.281506e-09,2.069015e-08,5.528938e-08,8.560890e-08,2.152687e-07,2.224390e-07,4.562785e-07,5.425378e-07,8.122117e-07,1.095119e-06,1.316176e-06,1.933731e-06,1.995131e-06,2.876167e-06,3.120549e-06,3.984230e-06,4.711349e-06,5.338206e-06,6.739425e-06,6.945552e-06,8.796840e-06,9.194158e-06,1.086320e-05,1.200819e-05,1.309966e-05,1.507133e-05,1.545372e-05,1.787472e-05,1.826528e-05,2.031956e-05,2.149126e-05,2.275434e-05,2.467747e-05,2.515344e-05,2.749781e-05,2.777474e-05,2.977332e-05,3.074994e-05,3.196958e-05,3.358101e-05,3.407905e-05,3.609640e-05,3.625369e-05,3.801812e-05,3.875953e-05,3.984215e-05,4.109446e-05,4.156767e-05,4.319483e-05,4.325789e-05,4.472464e-05,4.525184e-05,4.615874e-05,4.708037e-05,4.749934e-05,4.874903e-05,4.991074e-05,5.026441e-05,5.098762e-05,5.163383e-05,5.198298e-05,5.286501e-05,5.290024e-05,5.374285e-05,5.396588e-05,5.451429e-05,5.494442e-05,5.521799e-05,5.580850e-05,5.585736e-05,5.643572e-05,5.656581e-05,5.695631e-05,5.722379e-05,5.742229e-05,5.778959e-05,5.783669e-05,5.820244e-05,5.827001e-05,5.852237e-05,5.867153e-05,5.879919e-05,5.900029e-05,5.903547e-05,5.923371e-05,5.926205e-05,5.939625e-05,5.946226e-05,5.952536e-05,5.960602e-05,5.962318e-05,5.969174e-05,5.969810e-05,5.973300e-05,5.974297e-05,5.974877e-05,5.974481e-05,5.974083e-05,5.971080e-05,5.970750e-05,5.966028e-05,5.963466e-05,5.959073e-05,5.952966e-05,5.950356e-05,5.940010e-05,5.939564e-05,5.928160e-05,5.923549e-05,5.914925e-05,5.905191e-05,5.900416e-05,5.884739e-05,5.867994e-05,5.862425e-05,5.850273e-05,5.838461e-05,5.831666e-05,5.813046e-05,5.812255e-05,5.792118e-05,5.786360e-05,5.771329e-05,5.758571e-05,5.749957e-05,5.729835e-05,5.728066e-05,5.705718e-05,5.700292e-05,5.682969e-05,5.670074e-05,5.659872e-05,5.639300e-05,5.636479e-05,5.612835e-05,5.608080e-05,5.588985e-05,5.576515e-05,5.564969e-05,5.544695e-05,5.540825e-05,5.516590e-05,5.512706e-05,5.492297e-05,5.480624e-05,5.467975e-05,5.448518e-05,5.443655e-05,5.419363e-05,5.416451e-05,5.395124e-05,5.384481e-05,5.370959e-05,5.352658e-05,5.346892e-05,5.322941e-05,5.321030e-05,5.299124e-05,5.289638e-05,5.275458e-05,5.258520e-05,5.251958e-05,5.228639e-05,5.227710e-05,5.205512e-05,5.197236e-05,5.182591e-05,5.167126e-05,5.159884e-05,5.137403e-05,5.108087e-05,5.079196e-05,5.050744e-05,5.022745e-05,4.995210e-05,4.968147e-05,4.941565e-05,4.915467e-05,4.889860e-05,4.864745e-05,4.840124e-05,4.815998e-05,4.792366e-05,4.769227e-05,4.746579e-05,4.724419e-05,4.702744e-05,4.681549e-05,4.660829e-05,4.640580e-05,4.620796e-05,4.601472e-05,4.582599e-05,4.564174e-05
0.000000e+00,4.736192e-10,1.270760e-09,5.156908e-09,1.263529e-08,1.892289e-08,4.475137e-08,4.614988e-08,9.081666e-08,1.069574e-07,1.566230e-07,2.077262e-07,2.470972e-07,3.550660e-07,3.656640e-07,5.156157e-07,5.566126e-07,6.998684e-07,8.188231e-07,9.203699e-07,1.144578e-06,1.177283e-06,1.468595e-06,1.530684e-06,1.790686e-06,1.968942e-06,2.139356e-06,2.449794e-06,2.510539e-06,2.900520e-06,2.964430e-06,3.305896e-06,3.505001e-06,3.723475e-06,4.064266e-06,4.150199e-06,4.583111e-06,4.635339e-06,5.019345e-06,5.211626e-06,5.456145e-06,5.786870e-06,5.890885e-06,6.321105e-06,6.355257e-06,6.744528e-06,6.911525e-06,7.159092e-06,7.451053e-06,7.562961e-06,7.954537e-06,7.969924e-06,8.332462e-06,8.464950e-06,8.695614e-06,8.933656e-06,9.043102e-06,9.374254e-06,9.688597e-06,9.785586e-06,9.985847e-06,1.016706e-05,1.026589e-05,1.051856e-05,1.052874e-05,1.077457e-05,1.084039e-05,1.100365e-05,1.113320e-05,1.121633e-05,1.139789e-05,1.141306e-05,1.159433e-05,1.163559e-05,1.176069e-05,1.184755e-05,1.191272e-05,1.203515e-05,1.205105e-05,1.217628e-05,1.219981e-05,1.228905e-05,1.234299e-05,1.239001e-05,1.246613e-05,1.247977e-05,1.255895e-05,1.257068e-05,1.262817e-05,1.265803e-05,1.268802e-05,1.272952e-05,1.273905e-05,1.278184e-05,1.278645e-05,1.281691e-05,1.283003e-05,1.284477e-05,1.286143e-05,1.286591e-05,1.288079e-05,1.288172e-05,1.288984e-05,1.289193e-05,1.289350e-05,1.289300e-05,1.289214e-05,1.288615e-05,1.288582e-05,1.287588e-05,1.287120e-05,1.286166e-05,1.284989e-05,1.284380e-05,1.282259e-05,1.279832e-05,1.278995e-05,1.277124e-05,1.275255e-05,1.274159e-05,1.271093e-05,1.270960e-05,1.267549e-05,1.266559e-05,1.263945e-05,1.261698e-05,1.260167e-05,1.256552e-05,1.256232e-05,1.252156e-05,1.251159e-05,1.247955e-05,1.245553e-05,1.243642e-05,1.239766e-05,1.239232e-05,1.234735e-05,1.233826e-05,1.230163e-05,1.227760e-05,1.225528e-05,1.221592e-05,1.220838e-05,1.216104e-05,1.215342e-05,1.211332e-05,1.209031e-05,1.206532e-05,1.202676e-05,1.201711e-05,1.196874e-05,1.196293e-05,1.192030e-05,1.189897e-05,1.187182e-05,1.183500e-05,1.182338e-05,1.177501e-05,1.177114e-05,1.172676e-05,1.170750e-05,1.167867e-05,1.164417e-05,1.163079e-05,1.158314e-05,1.158124e-05,1.153576e-05,1.151878e-05,1.148868e-05,1.145685e-05,1.144193e-05,1.139552e-05,1.133485e-05,1.127486e-05,1.121561e-05,1.115713e-05,1.109945e-05,1.104260e-05,1.098660e-05,1.093146e-05,1.087720e-05,1.082383e-05,1.077136e-05,1.071980e-05,1.066915e-05,1.061942e-05,1.057060e-05,1.052270e-05,1.047570e-05,1.042962e-05,1.038443e-05,1.034014e-05,1.029674e-05,1.025422e-05,1.021257e-05,1.017178e-05
0.000000e+00,3.168773e-09,7.281326e-09,2.521168e-08,5.777959e-08,8.470288e-08,1.952640e-07,2.012952e-07,3.976908e-07,4.705781e-07,7.011989e-07,9.477984e-07,1.143454e-06,1.699494e-06,1.755222e-06,2.553439e-06,2.772301e-06,3.529060e-06,4.142402e-06,4.653211e-06,5.740294e-06,5.894550e-06,7.228119e-06,7.504174e-06,8.635240e-06,9.391005e-06,1.010114e-05,1.136863e-05,1.161318e-05,1.315998e-05,1.340998e-05,1.473103e-05,1.549087e-05,1.631663e-05,1.758961e-05,1.790793e-05,1.949696e-05,1.968715e-05,2.107669e-05,2.176722e-05,2.264100e-05,2.381632e-05,2.418468e-05,2.570334e-05,2.582364e-05,2.719338e-05,2.778071e-05,2.865189e-05,2.968118e-05,3.007656e-05,3.146562e-05,3.152042e-05,3.281774e-05,3.329526e-05,3.413197e-05,3.500368e-05,3.540770e-05,3.664459e-05,3.784250e-05,3.821761e-05,3.900150e-05,3.972293e-05,4.012180e-05,4.116119e-05,4.120374e-05,4.224775e-05,4.253335e-05,4.325436e-05,4.384061e-05,4.422415e-05,4.508439e-05,4.515776e-05,4.605588e-05,4.626622e-05,4.691920e-05,4.738774e-05,4.774847e-05,4.845067e-05,4.854446e-05,4.930792e-05,4.945678e-05,5.003964e-05,5.040785e-05,5.074041e-05,5.130571e-05,5.141101e-05,5.205222e-05,5.215214e-05,5.266483e-05,5.294896e-05,5.324963e-05,5.369795e-05,5.380737e-05,5.433884e-05,5.440088e-05,5.484477e-05,5.505948e-05,5.532592e-05,5.567547e-05,5.578302e-05,5.621679e-05,5.625051e-05,5.662795e-05,5.678624e-05,5.701719e-05,5.728426e-05,5.738520e-05,5.773264e-05,5.774612e-05,5.806019e-05,5.817336e-05,5.836847e-05,5.856743e-05,5.865813e-05,5.892977e-05,5.918399e-05,5.926177e-05,5.942140e-05,5.956478e-05,5.964255e-05,5.984009e-05,5.984802e-05,6.003834e-05,6.008899e-05,6.021405e-05,6.031267e-05,6.037566e-05,6.051233e-05,6.052368e-05,6.065861e-05,6.068909e-05,6.078091e-05,6.084407e-05,6.089106e-05,6.097830e-05,6.098951e-05,6.107670e-05,6.109282e-05,6.115305e-05,6.118861e-05,6.121898e-05,6.126661e-05,6.127490e-05,6.132119e-05,6.132773e-05,6.135824e-05,6.137285e-05,6.138641e-05,6.140280e-05,6.140607e-05,6.141755e-05,6.141840e-05,6.142121e-05,6.142042e-05,6.141735e-05,6.140960e-05,6.140631e-05,6.138838e-05,6.138666e-05,6.136387e-05,6.135228e-05,6.133306e-05,6.130713e-05,6.129622e-05,6.125364e-05,6.125182e-05,6.120557e-05,6.118697e-05,6.115227e-05,6.111315e-05,6.109397e-05,6.103091e-05,6.094079e-05,6.084328e-05,6.073888e-05,6.062803e-05,6.051120e-05,6.038879e-05,6.026121e-05,6.012885e-05,5.999206e-05,5.985121e-05,5.970662e-05,5.955861e-05,5.940748e-05,5.925352e-05,5.909701e-05,5.893819e-05,5.877734e-05,5.861467e-05,5.845040e-05,5.828477e-05,5.811795e-05,5.795015e-05,5.778154e-05,5.761230e-05
0.000000e+00,1.216568e-09,2.928359e-09,1.060199e-08,2.467073e-08,3.627296e-08,8.325525e-08,8.578525e-08,1.664342e-07,1.955897e-07,2.855582e-07,3.786547e-07,4.507777e-07,6.503532e-07,6.700801e-07,9.515821e-07,1.029254e-06,1.302665e-06,1.531646e-06,1.728176e-06,2.164323e-06,2.228096e-06,2.796454e-06,2.917472e-06,3.422959e-06,3.767881e-06,4.096118e-06,4.689881e-06,4.805410e-06,5.541945e-06,5.661804e-06,6.298277e-06,6.666443e-06,7.068021e-06,7.689652e-06,7.845520e-06,8.625662e-06,8.719230e-06,9.403768e-06,9.744374e-06,1.017556e-05,1.075549e-05,1.093715e-05,1.168503e-05,1.174418e-05,1.241613e-05,1.270326e-05,1.312778e-05,1.362682e-05,1.381769e-05,1.448401e-05,1.451015e-05,1.512525e-05,1.534972e-05,1.574026e-05,1.614307e-05,1.632825e-05,1.688871e-05,1.742138e-05,1.758596e-05,1.792626e-05,1.823486e-05,1.840352e-05,1.883603e-05,1.885351e-05,1.927675e-05,1.939054e-05,1.967382e-05,1.989981e-05,2.004545e-05,2.036555e-05,2.039242e-05,2.071554e-05,2.078964e-05,2.101570e-05,2.117409e-05,2.129380e-05,2.152099e-05,2.155074e-05,2.178745e-05,2.183245e-05,2.200485e-05,2.211056e-05,2.220383e-05,2.235739e-05,2.238528e-05,2.255008e-05,2.257496e-05,2.269907e-05,2.276522e-05,2.283309e-05,2.293006e-05,2.295294e-05,2.305938e-05,2.307128e-05,2.315315e-05,2.319059e-05,2.323498e-05,2.328959e-05,2.330553e-05,2.336548e-05,2.336983e-05,2.341544e-05,2.343276e-05,2.345600e-05,2.347972e-05,2.348775e-05,2.351122e-05,2.351199e-05,2.352693e-05,2.353077e-05,2.353536e-05,2.353718e-05,2.353699e-05,2.353225e-05,2.352158e-05,2.351697e-05,2.350536e-05,2.349224e-05,2.348397e-05,2.345891e-05,2.345777e-05,2.342710e-05,2.341776e-05,2.339228e-05,2.336952e-05,2.335361e-05,2.331489e-05,2.331138e-05,2.326587e-05,2.325448e-05,2.321731e-05,2.318889e-05,2.316597e-05,2.311866e-05,2.311206e-05,2.305581e-05,2.304430e-05,2.299741e-05,2.296626e-05,2.293707e-05,2.288500e-05,2.287495e-05,2.281123e-05,2.280089e-05,2.274607e-05,2.271432e-05,2.267962e-05,2.262563e-05,2.261202e-05,2.254342e-05,2.253512e-05,2.247393e-05,2.244310e-05,2.240367e-05,2.234982e-05,2.233275e-05,2.226128e-05,2.225554e-05,2.218936e-05,2.216049e-05,2.211708e-05,2.206486e-05,2.204452e-05,2.197177e-05,2.196885e-05,2.189889e-05,2.187264e-05,2.182597e-05,2.177639e-05,2.175306e-05,2.168024e-05,2.158432e-05,2.148877e-05,2.139368e-05,2.129916e-05,2.120531e-05,2.111220e-05,2.101990e-05,2.092849e-05,2.083803e-05,2.074856e-05,2.066014e-05,2.057280e-05,2.048658e-05,2.040152e-05,2.031764e-05,2.023496e-05,2.015350e-05,2.007329e-05,1.999433e-05,1.991663e-05,1.984020e-05,1.976505e-05,1.969118e-05,1.961858e-05
0.000000e+00,5.584561e-11,2.520033e-10,2.204719e-09,8.737531e-09,1.610175e-08,5.752280e-08,6.014872e-08,1.577826e-07,1.981443e-07,3.342426e-07,4.886559e-07,6.152913e-07,9.887325e-07,1.027114e-06,1.596023e-06,1.758738e-06,2.346347e-06,2.852683e-06,3.295288e-06,4.297593e-06,4.446007e-06,5.783617e-06,6.071089e-06,7.277725e-06,8.103795e-06,8.889732e-06,1.030605e-05,1.058030e-05,1.231393e-05,1.259323e-05,1.406071e-05,1.489646e-05,1.579618e-05,1.716299e-05,1.750056e-05,1.915788e-05,1.935296e-05,2.075533e-05,2.143654e-05,2.228277e-05,2.339196e-05,2.373245e-05,2.509874e-05,2.520432e-05,2.637793e-05,2.686472e-05,2.756802e-05,2.836937e-05,2.866850e-05,2.968014e-05,2.971878e-05,3.060478e-05,3.091685e-05,3.144512e-05,3.197009e-05,3.220451e-05,3.288679e-05,3.349613e-05,3.367642e-05,3.403689e-05,3.434905e-05,3.451353e-05,3.491490e-05,3.493049e-05,3.529212e-05,3.538404e-05,3.560266e-05,3.576615e-05,3.586616e-05,3.607035e-05,3.608647e-05,3.626725e-05,3.630514e-05,3.641189e-05,3.647831e-05,3.652359e-05,3.659699e-05,3.660531e-05,3.665978e-05,3.666763e-05,3.668953e-05,3.669601e-05,3.669688e-05,3.668732e-05,3.668398e-05,3.665279e-05,3.664622e-05,3.660510e-05,3.657683e-05,3.654255e-05,3.648283e-05,3.646664e-05,3.637875e-05,3.636746e-05,3.628013e-05,3.623363e-05,3.617190e-05,3.608388e-05,3.605512e-05,3.593073e-05,3.592048e-05,3.579960e-05,3.574543e-05,3.566250e-05,3.556051e-05,3.552017e-05,3.537326e-05,3.536729e-05,3.522235e-05,3.516716e-05,3.506800e-05,3.496133e-05,3.491071e-05,3.475091e-05,3.458903e-05,3.453685e-05,3.442545e-05,3.432001e-05,3.426049e-05,3.410114e-05,3.409448e-05,3.392771e-05,3.388091e-05,3.376042e-05,3.365990e-05,3.359286e-05,3.343865e-05,3.342525e-05,3.325777e-05,3.321762e-05,3.309062e-05,3.299721e-05,3.292394e-05,3.277778e-05,3.275789e-05,3.259261e-05,3.255965e-05,3.242820e-05,3.234310e-05,3.226480e-05,3.212837e-05,3.210248e-05,3.194135e-05,3.191568e-05,3.178148e-05,3.170521e-05,3.162295e-05,3.149713e-05,3.146582e-05,3.131015e-05,3.129157e-05,3.115600e-05,3.108866e-05,3.100340e-05,3.088850e-05,3.085241e-05,3.070305e-05,3.069117e-05,3.055536e-05,3.049676e-05,3.040937e-05,3.030531e-05,3.026509e-05,3.012255e-05,3.011688e-05,2.998176e-05,2.993151e-05,2.984274e-05,2.974923e-05,2.970550e-05,2.957004e-05,2.939398e-05,2.922104e-05,2.905122e-05,2.888452e-05,2.872094e-05,2.856044e-05,2.840302e-05,2.824865e-05,2.809731e-05,2.794897e-05,2.780360e-05,2.766117e-05,2.752163e-05,2.738496e-05,2.725112e-05,2.712007e-05,2.699177e-05,2.686617e-05,2.674325e-05,2.662295e-05,2.650523e-05,2.639005e-05,2.627737e-05,2.616714e-05
0.000000e+00,1.434449e-12,7.331333e-12,8.248223e-11,4.077349e-10,8.453945e-10,4.047769e-09,4.281717e-09,1.475354e-08,1.989224e-08,3.988425e-08,6.664464e-08,9.128216e-08,1.755584e-07,1.850868e-07,3.423310e-07,3.922984e-07,5.890466e-07,7.775608e-07,9.559223e-07,1.405359e-06,1.477267e-06,2.189196e-06,2.357620e-06,3.127296e-06,3.715509e-06,4.324222e-06,5.550088e-06,5.807647e-06,7.598746e-06,7.914904e-06,9.711318e-06,1.084162e-05,1.215144e-05,1.433858e-05,1.491757e-05,1.800104e-05,1.839173e-05,2.138674e-05,2.296703e-05,2.505397e-05,2.801395e-05,2.897746e-05,3.312834e-05,3.346930e-05,3.747509e-05,3.926124e-05,4.198455e-05,4.531305e-05,4.662275e-05,5.135570e-05,5.154651e-05,5.615004e-05,5.788480e-05,6.097366e-05,6.425486e-05,6.579617e-05,7.058919e-05,7.532672e-05,7.682709e-05,7.998523e-05,8.291546e-05,8.454384e-05,8.880914e-05,8.898428e-05,9.329092e-05,9.447095e-05,9.745064e-05,9.987142e-05,1.014528e-04,1.049883e-04,1.052889e-04,1.089529e-04,1.098061e-04,1.124403e-04,1.143151e-04,1.157486e-04,1.185109e-04,1.188768e-04,1.218254e-04,1.223937e-04,1.245961e-04,1.259674e-04,1.271915e-04,1.292388e-04,1.296152e-04,1.318715e-04,1.322174e-04,1.339655e-04,1.349145e-04,1.359024e-04,1.373428e-04,1.376882e-04,1.393287e-04,1.395161e-04,1.408304e-04,1.414487e-04,1.421994e-04,1.431552e-04,1.434423e-04,1.445653e-04,1.446502e-04,1.455748e-04,1.459482e-04,1.464769e-04,1.470633e-04,1.472777e-04,1.479831e-04,1.480094e-04,1.485987e-04,1.487994e-04,1.491301e-04,1.494461e-04,1.495826e-04,1.499612e-04,1.502707e-04,1.503559e-04,1.505158e-04,1.506409e-04,1.507009e-04,1.508259e-04,1.508300e-04,1.509073e-04,1.509201e-04,1.509363e-04,1.509320e-04,1.509206e-04,1.508696e-04,1.508636e-04,1.507683e-04,1.507401e-04,1.506377e-04,1.505502e-04,1.504747e-04,1.503063e-04,1.502817e-04,1.500612e-04,1.500140e-04,1.498155e-04,1.496785e-04,1.495467e-04,1.493046e-04,1.492569e-04,1.489479e-04,1.488968e-04,1.486214e-04,1.484590e-04,1.482791e-04,1.479949e-04,1.479225e-04,1.475531e-04,1.475080e-04,1.471721e-04,1.470012e-04,1.467809e-04,1.464774e-04,1.463805e-04,1.459720e-04,1.459390e-04,1.455565e-04,1.453885e-04,1.451348e-04,1.448279e-04,1.447079e-04,1.442765e-04,1.442592e-04,1.438414e-04,1.436840e-04,1.434033e-04,1.431040e-04,1.429628e-04,1.425206e-04,1.419351e-04,1.413487e-04,1.407625e-04,1.401773e-04,1.395941e-04,1.390137e-04,1.384366e-04,1.378637e-04,1.372954e-04,1.367322e-04,1.361746e-04,1.356230e-04,1.350777e-04,1.345391e-04,1.340073e-04,1.334827e-04,1.329654e-04,1.324556e-04,1.319535e-04,1.314591e-04,1.309726e-04,1.304941e-04,1.300235e-04,1.295610e-04
0.000000e+00,4.430964e-09,1.015271e-08,3.485228e-08,7.904559e-08,1.150939e-07,2.597035e-07,2.674585e-07,5.141100e-07,6.032011e-07,8.783639e-07,1.163701e-06,1.385149e-06,1.998383e-06,2.058915e-06,2.916579e-06,3.150190e-06,3.957809e-06,4.614445e-06,5.163427e-06,6.338000e-06,6.505272e-06,7.955943e-06,8.257010e-06,9.492085e-06,1.031798e-05,1.109391e-05,1.247738e-05,1.274396e-05,1.442629e-05,1.469746e-05,1.612606e-05,1.694403e-05,1.782941e-05,1.918601e-05,1.952352e-05,2.119679e-05,2.139568e-05,2.283888e-05,2.354916e-05,2.444082e-05,2.562675e-05,2.599506e-05,2.749541e-05,2.761296e-05,2.893703e-05,2.949639e-05,3.031631e-05,3.126934e-05,3.163074e-05,3.287882e-05,3.292736e-05,3.405994e-05,3.446875e-05,3.517419e-05,3.589403e-05,3.622229e-05,3.720547e-05,3.812534e-05,3.840664e-05,3.898383e-05,3.950204e-05,3.978310e-05,4.049684e-05,4.052547e-05,4.121335e-05,4.139654e-05,4.184924e-05,4.220685e-05,4.243563e-05,4.293355e-05,4.297503e-05,4.346990e-05,4.358232e-05,4.392266e-05,4.415869e-05,4.433565e-05,4.466797e-05,4.471112e-05,4.505128e-05,4.511526e-05,4.535821e-05,4.550535e-05,4.563392e-05,4.584279e-05,4.588032e-05,4.609920e-05,4.613179e-05,4.629230e-05,4.637631e-05,4.646124e-05,4.658003e-05,4.660755e-05,4.673271e-05,4.674637e-05,4.683808e-05,4.687851e-05,4.692497e-05,4.697939e-05,4.699459e-05,4.704811e-05,4.705173e-05,4.708661e-05,4.709804e-05,4.711111e-05,4.712063e-05,4.712258e-05,4.712191e-05,4.712164e-05,4.710996e-05,4.710306e-05,4.708754e-05,4.706669e-05,4.705538e-05,4.701420e-05,4.696466e-05,4.694714e-05,4.690738e-05,4.686694e-05,4.684295e-05,4.677488e-05,4.677192e-05,4.669480e-05,4.667219e-05,4.661208e-05,4.655995e-05,4.652421e-05,4.643919e-05,4.643162e-05,4.633471e-05,4.631085e-05,4.623385e-05,4.617578e-05,4.612940e-05,4.603477e-05,4.602168e-05,4.591101e-05,4.588855e-05,4.579767e-05,4.573778e-05,4.568195e-05,4.558308e-05,4.556409e-05,4.544433e-05,4.542501e-05,4.532290e-05,4.526409e-05,4.520001e-05,4.510078e-05,4.507586e-05,4.495062e-05,4.493553e-05,4.482448e-05,4.476873e-05,4.469759e-05,4.460074e-05,4.457010e-05,4.444216e-05,4.443190e-05,4.431389e-05,4.426252e-05,4.418543e-05,4.409287e-05,4.405688e-05,4.392835e-05,4.392321e-05,4.379995e-05,4.375377e-05,4.367176e-05,4.358476e-05,4.354387e-05,4.341638e-05,4.324879e-05,4.308217e-05,4.291666e-05,4.275238e-05,4.258945e-05,4.242798e-05,4.226807e-05,4.210979e-05,4.195323e-05,4.179845e-05,4.164552e-05,4.149447e-05,4.134536e-05,4.119824e-05,4.105312e-05,4.091003e-05,4.076901e-05,4.063007e-05,4.049323e-05,4.035849e-05,4.022586e-05,4.009534e-05,3.996694e-05,3.984066e-05
0.000000e+00,2.240917e-12,1.108779e-11,1.166158e-10,5.421442e-10,1.086952e-09,4.775900e-09,5.034495e-09,1.596561e-08,2.105794e-08,4.000341e-08,6.409470e-08,8.549672e-08,1.554440e-07,1.631310e-07,2.860209e-07,3.239169e-07,4.695369e-07,6.050116e-07,7.303837e-07,1.036642e-06,1.084520e-06,1.544203e-06,1.649452e-06,2.115262e-06,2.455895e-06,2.795760e-06,3.445296e-06,3.576347e-06,4.441899e-06,4.587052e-06,5.373701e-06,5.838584e-06,6.351595e-06,7.153703e-06,7.355714e-06,8.367694e-06,8.488868e-06,9.371396e-06,9.806806e-06,1.035322e-05,1.107791e-05,1.130216e-05,1.220963e-05,1.228023e-05,1.306926e-05,1.339865e-05,1.387657e-05,1.442381e-05,1.462875e-05,1.532433e-05,1.535097e-05,1.596298e-05,1.617904e-05,1.654526e-05,1.690966e-05,1.707248e-05,1.754650e-05,1.796961e-05,1.809467e-05,1.834439e-05,1.856018e-05,1.867364e-05,1.894960e-05,1.896029e-05,1.920729e-05,1.926976e-05,1.941762e-05,1.952742e-05,1.959418e-05,1.972921e-05,1.973978e-05,1.985714e-05,1.988138e-05,1.994880e-05,1.998981e-05,2.001718e-05,2.005988e-05,2.006452e-05,2.009293e-05,2.009652e-05,2.010433e-05,2.010413e-05,2.010049e-05,2.008667e-05,2.008302e-05,2.005340e-05,2.004763e-05,2.001297e-05,1.999008e-05,1.996293e-05,1.991672e-05,1.990438e-05,1.983829e-05,1.982990e-05,1.976556e-05,1.973166e-05,1.968697e-05,1.962377e-05,1.960324e-05,1.951501e-05,1.950778e-05,1.942285e-05,1.938500e-05,1.932726e-05,1.925659e-05,1.922872e-05,1.912763e-05,1.912354e-05,1.902435e-05,1.898671e-05,1.891923e-05,1.884685e-05,1.881256e-05,1.870460e-05,1.859560e-05,1.856054e-05,1.848577e-05,1.841514e-05,1.837531e-05,1.826883e-05,1.826439e-05,1.815317e-05,1.812199e-05,1.804179e-05,1.797494e-05,1.793038e-05,1.782797e-05,1.781907e-05,1.770795e-05,1.768132e-05,1.759712e-05,1.753521e-05,1.748666e-05,1.738984e-05,1.737667e-05,1.726720e-05,1.724537e-05,1.715831e-05,1.710195e-05,1.705008e-05,1.695971e-05,1.694255e-05,1.683577e-05,1.681876e-05,1.672978e-05,1.667920e-05,1.662462e-05,1.654111e-05,1.652032e-05,1.641692e-05,1.640457e-05,1.631444e-05,1.626965e-05,1.621291e-05,1.613639e-05,1.611235e-05,1.601277e-05,1.600485e-05,1.591420e-05,1.587506e-05,1.581665e-05,1.574705e-05,1.572013e-05,1.562465e-05,1.562085e-05,1.553022e-05,1.549649e-05,1.543686e-05,1.537397e-05,1.534455e-05,1.525332e-05,1.513452e-05,1.501761e-05,1.490256e-05,1.478938e-05,1.467806e-05,1.456861e-05,1.446100e-05,1.435522e-05,1.425127e-05,1.414913e-05,1.404878e-05,1.395020e-05,1.385338e-05,1.375830e-05,1.366494e-05,1.357327e-05,1.348327e-05,1.339493e-05,1.330821e-05,1.322311e-05,1.313958e-05,1.305762e-05,1.297719e-05,1.289827e-05
0.000000e+00,1.173011e-11,5.514589e-11,5.226560e-10,2.214781e-09,4.223781e-09,1.634999e-08,1.714786e-08,4.810428e-08,6.139244e-08,1.074207e-07,1.610976e-07,2.058365e-07,3.399053e-07,3.538016e-07,5.611040e-07,6.206959e-07,8.366305e-07,1.023649e-06,1.188052e-06,1.564811e-06,1.621248e-06,2.139346e-06,2.253162e-06,2.741484e-06,3.086061e-06,3.421751e-06,4.045544e-06,4.169016e-06,4.967989e-06,5.099467e-06,5.801206e-06,6.208127e-06,6.651156e-06,7.332361e-06,7.501881e-06,8.339891e-06,8.439058e-06,9.154424e-06,9.503193e-06,9.937323e-06,1.050747e-05,1.068270e-05,1.138655e-05,1.144099e-05,1.204642e-05,1.229774e-05,1.266106e-05,1.307541e-05,1.323020e-05,1.375432e-05,1.377437e-05,1.423454e-05,1.439695e-05,1.467237e-05,1.494685e-05,1.506972e-05,1.542868e-05,1.575152e-05,1.584758e-05,1.604057e-05,1.620893e-05,1.629821e-05,1.651815e-05,1.652676e-05,1.672851e-05,1.678049e-05,1.690562e-05,1.700095e-05,1.706020e-05,1.718418e-05,1.719419e-05,1.730943e-05,1.733449e-05,1.740761e-05,1.745574e-05,1.749031e-05,1.755143e-05,1.755897e-05,1.761492e-05,1.762469e-05,1.765935e-05,1.767828e-05,1.769339e-05,1.771467e-05,1.771802e-05,1.773417e-05,1.773602e-05,1.774265e-05,1.774421e-05,1.774421e-05,1.774093e-05,1.773952e-05,1.772921e-05,1.772762e-05,1.771382e-05,1.770557e-05,1.769385e-05,1.767589e-05,1.766976e-05,1.764195e-05,1.763957e-05,1.761079e-05,1.759747e-05,1.757662e-05,1.755033e-05,1.753976e-05,1.750046e-05,1.749884e-05,1.745899e-05,1.744358e-05,1.741558e-05,1.738505e-05,1.737042e-05,1.732371e-05,1.727562e-05,1.725997e-05,1.722631e-05,1.719418e-05,1.717593e-05,1.712667e-05,1.712460e-05,1.707245e-05,1.705772e-05,1.701959e-05,1.698758e-05,1.696612e-05,1.691648e-05,1.691214e-05,1.685774e-05,1.684463e-05,1.680299e-05,1.677220e-05,1.674797e-05,1.669938e-05,1.669274e-05,1.663738e-05,1.662629e-05,1.658193e-05,1.655308e-05,1.652646e-05,1.647988e-05,1.647101e-05,1.641563e-05,1.640678e-05,1.636036e-05,1.633388e-05,1.630524e-05,1.626128e-05,1.625031e-05,1.619560e-05,1.618905e-05,1.614114e-05,1.611727e-05,1.608696e-05,1.604599e-05,1.603309e-05,1.597954e-05,1.597527e-05,1.592635e-05,1.590518e-05,1.587353e-05,1.583574e-05,1.582110e-05,1.576909e-05,1.576701e-05,1.571749e-05,1.569903e-05,1.566634e-05,1.563181e-05,1.561564e-05,1.556540e-05,1.549981e-05,1.543507e-05,1.537120e-05,1.530821e-05,1.524611e-05,1.518493e-05,1.512466e-05,1.506531e-05,1.500690e-05,1.494941e-05,1.489287e-05,1.483725e-05,1.478257e-05,1.472883e-05,1.467602e-05,1.462413e-05,1.457316e-05,1.452311e-05,1.447398e-05,1.442574e-05,1.437841e-05,1.433196e-05,1.428639e-05,1.424169e-05
0.000000e+00,1.440079e-09,3.272048e-09,1.106704e-08,2.483565e-08,3.600143e-08,8.074978e-08,8.315635e-08,1.604153e-07,1.887037e-07,2.772808e-07,3.705418e-07,4.433336e-07,6.430106e-07,6.623766e-07,9.268543e-07,9.954787e-07,1.222110e-06,1.395715e-06,1.534703e-06,1.816620e-06,1.855286e-06,2.177698e-06,2.241997e-06,2.497599e-06,2.661810e-06,2.811615e-06,3.068765e-06,3.116925e-06,3.411111e-06,3.457007e-06,3.692137e-06,3.821855e-06,3.958353e-06,4.159816e-06,4.208519e-06,4.441802e-06,4.468636e-06,4.657760e-06,4.747261e-06,4.856312e-06,4.995698e-06,5.037681e-06,5.202345e-06,5.214815e-06,5.350966e-06,5.406097e-06,5.484346e-06,5.571459e-06,5.603411e-06,5.709149e-06,5.713115e-06,5.802555e-06,5.833353e-06,5.884616e-06,5.934430e-06,5.956295e-06,6.018526e-06,6.072177e-06,6.087660e-06,6.118010e-06,6.143561e-06,6.156715e-06,6.187770e-06,6.188943e-06,6.215299e-06,6.221704e-06,6.236341e-06,6.246648e-06,6.252648e-06,6.264011e-06,6.264845e-06,6.273319e-06,6.274842e-06,6.278440e-06,6.279960e-06,6.280522e-06,6.280072e-06,6.279856e-06,6.276695e-06,6.275785e-06,6.271276e-06,6.267637e-06,6.263811e-06,6.256100e-06,6.254491e-06,6.243485e-06,6.241578e-06,6.230947e-06,6.224426e-06,6.217017e-06,6.204957e-06,6.201823e-06,6.185479e-06,6.183446e-06,6.168091e-06,6.160134e-06,6.149753e-06,6.135237e-06,6.130555e-06,6.110575e-06,6.108945e-06,6.089887e-06,6.081429e-06,6.068559e-06,6.052841e-06,6.046652e-06,6.024224e-06,6.023317e-06,6.001328e-06,5.992980e-06,5.978011e-06,5.961940e-06,5.954321e-06,5.930298e-06,5.905981e-06,5.898143e-06,5.881406e-06,5.865558e-06,5.856607e-06,5.832617e-06,5.831614e-06,5.806458e-06,5.799388e-06,5.781164e-06,5.765932e-06,5.755758e-06,5.732307e-06,5.730264e-06,5.704704e-06,5.698562e-06,5.679098e-06,5.664745e-06,5.653465e-06,5.630899e-06,5.627823e-06,5.602188e-06,5.597063e-06,5.576576e-06,5.563272e-06,5.551002e-06,5.529559e-06,5.525479e-06,5.500020e-06,5.495954e-06,5.474637e-06,5.462483e-06,5.449340e-06,5.429171e-06,5.424139e-06,5.399045e-06,5.396042e-06,5.374066e-06,5.363114e-06,5.349211e-06,5.330408e-06,5.324487e-06,5.299901e-06,5.297940e-06,5.275460e-06,5.265725e-06,5.251170e-06,5.233777e-06,5.227036e-06,5.203064e-06,5.202109e-06,5.179259e-06,5.170731e-06,5.155625e-06,5.139654e-06,5.132166e-06,5.108886e-06,5.078435e-06,5.048309e-06,5.018512e-06,4.989052e-06,4.959931e-06,4.931155e-06,4.902725e-06,4.874645e-06,4.846917e-06,4.819541e-06,4.792520e-06,4.765854e-06,4.739542e-06,4.713586e-06,4.687983e-06,4.662734e-06,4.637836e-06,4.613290e-06,4.589092e-06,4.565242e-06,4.541737e-06,4.518574e-06,4.495751e-06,4.473266e-06
0.000000e+00,2.849113e-11,1.336878e-10,1.263976e-09,5.355011e-09,1.022052e-08,3.977735e-08,4.173234e-08,1.183860e-07,1.517154e-07,2.688627e-07,4.084502e-07,5.270030e-07,8.930016e-07,9.317878e-07,1.527049e-06,1.703380e-06,2.358533e-06,2.942903e-06,3.466641e-06,4.691766e-06,4.877455e-06,6.597953e-06,6.978555e-06,8.617903e-06,9.779749e-06,1.091580e-05,1.304138e-05,1.346498e-05,1.623771e-05,1.670028e-05,1.920722e-05,2.069502e-05,2.234828e-05,2.496855e-05,2.563699e-05,2.905038e-05,2.946730e-05,3.256614e-05,3.413986e-05,3.616243e-05,3.893630e-05,3.981789e-05,4.351179e-05,4.380836e-05,4.722420e-05,4.871006e-05,5.093618e-05,5.359854e-05,5.463001e-05,5.828937e-05,5.843482e-05,6.189943e-05,6.318437e-05,6.544691e-05,6.781744e-05,6.892016e-05,7.230912e-05,7.560528e-05,7.663927e-05,7.880162e-05,8.079222e-05,8.189247e-05,8.475637e-05,8.487345e-05,8.774131e-05,8.852371e-05,9.049384e-05,9.208942e-05,9.312974e-05,9.545132e-05,9.564851e-05,9.805035e-05,9.860947e-05,1.003360e-04,1.015658e-04,1.025069e-04,1.043236e-04,1.045646e-04,1.065113e-04,1.068876e-04,1.083493e-04,1.092630e-04,1.100813e-04,1.114561e-04,1.117099e-04,1.132380e-04,1.134734e-04,1.146688e-04,1.153219e-04,1.160053e-04,1.170086e-04,1.172506e-04,1.184078e-04,1.185409e-04,1.194801e-04,1.199258e-04,1.204706e-04,1.211707e-04,1.213825e-04,1.222188e-04,1.222825e-04,1.229825e-04,1.232683e-04,1.236765e-04,1.241347e-04,1.243038e-04,1.248672e-04,1.248884e-04,1.253694e-04,1.255358e-04,1.258132e-04,1.260829e-04,1.262012e-04,1.265358e-04,1.268197e-04,1.269001e-04,1.270550e-04,1.271813e-04,1.272443e-04,1.273846e-04,1.273896e-04,1.274933e-04,1.275151e-04,1.275573e-04,1.275775e-04,1.275836e-04,1.275763e-04,1.275743e-04,1.275312e-04,1.275160e-04,1.274561e-04,1.274007e-04,1.273507e-04,1.272342e-04,1.272167e-04,1.270558e-04,1.270205e-04,1.268694e-04,1.267629e-04,1.266591e-04,1.264649e-04,1.264262e-04,1.261722e-04,1.261297e-04,1.258984e-04,1.257603e-04,1.256060e-04,1.253595e-04,1.252962e-04,1.249703e-04,1.249301e-04,1.246292e-04,1.244746e-04,1.242740e-04,1.239954e-04,1.239059e-04,1.235257e-04,1.234948e-04,1.231343e-04,1.229749e-04,1.227327e-04,1.224377e-04,1.223218e-04,1.219022e-04,1.218852e-04,1.214748e-04,1.213192e-04,1.210403e-04,1.207412e-04,1.205994e-04,1.201529e-04,1.195557e-04,1.189510e-04,1.183402e-04,1.177243e-04,1.171046e-04,1.164821e-04,1.158578e-04,1.152325e-04,1.146071e-04,1.139825e-04,1.133592e-04,1.127381e-04,1.121197e-04,1.115046e-04,1.108932e-04,1.102862e-04,1.096839e-04,1.090868e-04,1.084951e-04,1.079093e-04,1.073296e-04,1.067564e-04,1.061897e-04,1.056300e-04
0.000000e+00,2.356226e-09,5.412977e-09,1.869967e-08,4.270174e-08,6.243965e-08,1.427103e-07,1.470577e-07,2.872125e-07,3.386393e-07,4.997733e-07,6.700911e-07,8.042577e-07,1.183603e-06,1.221612e-06,1.769667e-06,1.921753e-06,2.455377e-06,2.896795e-06,3.269936e-06,4.077445e-06,4.193219e-06,5.202782e-06,5.413271e-06,6.279248e-06,6.860185e-06,7.407163e-06,8.385219e-06,8.574104e-06,9.769632e-06,9.962943e-06,1.098458e-05,1.157220e-05,1.221068e-05,1.319449e-05,1.344039e-05,1.466684e-05,1.481350e-05,1.588387e-05,1.641494e-05,1.708599e-05,1.798665e-05,1.826840e-05,1.942704e-05,1.951859e-05,2.055846e-05,2.100277e-05,2.165990e-05,2.243311e-05,2.272914e-05,2.376452e-05,2.380521e-05,2.476481e-05,2.511616e-05,2.572922e-05,2.636428e-05,2.665731e-05,2.754892e-05,2.840416e-05,2.867020e-05,2.922334e-05,2.972892e-05,3.000695e-05,3.072632e-05,3.075560e-05,3.147002e-05,3.166403e-05,3.215100e-05,3.254391e-05,3.279943e-05,3.336802e-05,3.341622e-05,3.400230e-05,3.413850e-05,3.455866e-05,3.485759e-05,3.508625e-05,3.552752e-05,3.558606e-05,3.605905e-05,3.615052e-05,3.650619e-05,3.672880e-05,3.692842e-05,3.726452e-05,3.732667e-05,3.770184e-05,3.775979e-05,3.805484e-05,3.821666e-05,3.838653e-05,3.863710e-05,3.869775e-05,3.898932e-05,3.902303e-05,3.926204e-05,3.937626e-05,3.951667e-05,3.969856e-05,3.975397e-05,3.997465e-05,3.999161e-05,4.017941e-05,4.025700e-05,4.036892e-05,4.049629e-05,4.054383e-05,4.070477e-05,4.071093e-05,4.085234e-05,4.090231e-05,4.098712e-05,4.107176e-05,4.110968e-05,4.122054e-05,4.132024e-05,4.134987e-05,4.140926e-05,4.146086e-05,4.148810e-05,4.155462e-05,4.155720e-05,4.161702e-05,4.163216e-05,4.166798e-05,4.169447e-05,4.171049e-05,4.174247e-05,4.174494e-05,4.177171e-05,4.177703e-05,4.179116e-05,4.179899e-05,4.180365e-05,4.180914e-05,4.180951e-05,4.180905e-05,4.180823e-05,4.180259e-05,4.179696e-05,4.179042e-05,4.177599e-05,4.177282e-05,4.175008e-05,4.174598e-05,4.172244e-05,4.170750e-05,4.169015e-05,4.166115e-05,4.165347e-05,4.161261e-05,4.160744e-05,4.156780e-05,4.154689e-05,4.151926e-05,4.147998e-05,4.146717e-05,4.141174e-05,4.140716e-05,4.135315e-05,4.132887e-05,4.129158e-05,4.124550e-05,4.122721e-05,4.116018e-05,4.115745e-05,4.109067e-05,4.106507e-05,4.101882e-05,4.096870e-05,4.094477e-05,4.086867e-05,4.076528e-05,4.065882e-05,4.054956e-05,4.043776e-05,4.032366e-05,4.020749e-05,4.008945e-05,3.996976e-05,3.984860e-05,3.972616e-05,3.960260e-05,3.947808e-05,3.935275e-05,3.922675e-05,3.910022e-05,3.897327e-05,3.884603e-05,3.871861e-05,3.859110e-05,3.846361e-05,3.833622e-05,3.820902e-05,3.808209e-05,3.795550e-05
0.000000e+00,1.910469e-09,4.376327e-09,1.502762e-08,3.410432e-08,4.967669e-08,1.122031e-07,1.155579e-07,2.222986e-07,2.608627e-07,3.799703e-07,5.034700e-07,5.993161e-07,8.648902e-07,8.911310e-07,1.263913e-06,1.365861e-06,1.719943e-06,2.009715e-06,2.253162e-06,2.776983e-06,2.851851e-06,3.503219e-06,3.638780e-06,4.195887e-06,4.569146e-06,4.920242e-06,5.547110e-06,5.668015e-06,6.431837e-06,6.555080e-06,7.204984e-06,7.577569e-06,7.981263e-06,8.600705e-06,8.754992e-06,9.521023e-06,9.612206e-06,1.027478e-05,1.060149e-05,1.101226e-05,1.155977e-05,1.173010e-05,1.242549e-05,1.248008e-05,1.309620e-05,1.335718e-05,1.374053e-05,1.418743e-05,1.435728e-05,1.494564e-05,1.496857e-05,1.550517e-05,1.569951e-05,1.603577e-05,1.638014e-05,1.653762e-05,1.701110e-05,1.745678e-05,1.759364e-05,1.787537e-05,1.812943e-05,1.826769e-05,1.862044e-05,1.863465e-05,1.897719e-05,1.906886e-05,1.929632e-05,1.947698e-05,1.959305e-05,1.984715e-05,1.986842e-05,2.012343e-05,2.018172e-05,2.035910e-05,2.048299e-05,2.057640e-05,2.075319e-05,2.077629e-05,2.095969e-05,2.099447e-05,2.112750e-05,2.120889e-05,2.128058e-05,2.139839e-05,2.141976e-05,2.154582e-05,2.156482e-05,2.165951e-05,2.170991e-05,2.176157e-05,2.183529e-05,2.185266e-05,2.193345e-05,2.194248e-05,2.200454e-05,2.203291e-05,2.206653e-05,2.210790e-05,2.211998e-05,2.216540e-05,2.216870e-05,2.220330e-05,2.221646e-05,2.223415e-05,2.225224e-05,2.225839e-05,2.227645e-05,2.227705e-05,2.228873e-05,2.229180e-05,2.229560e-05,2.229736e-05,2.229741e-05,2.229452e-05,2.228722e-05,2.228400e-05,2.227582e-05,2.226651e-05,2.226061e-05,2.224267e-05,2.224185e-05,2.221979e-05,2.221305e-05,2.219467e-05,2.217822e-05,2.216671e-05,2.213866e-05,2.213612e-05,2.210310e-05,2.209483e-05,2.206784e-05,2.204718e-05,2.203051e-05,2.199609e-05,2.199128e-05,2.195031e-05,2.194192e-05,2.190775e-05,2.188503e-05,2.186372e-05,2.182571e-05,2.181837e-05,2.177181e-05,2.176426e-05,2.172417e-05,2.170095e-05,2.167555e-05,2.163601e-05,2.162605e-05,2.157576e-05,2.156968e-05,2.152479e-05,2.150216e-05,2.147321e-05,2.143365e-05,2.142110e-05,2.136855e-05,2.136433e-05,2.131561e-05,2.129434e-05,2.126236e-05,2.122386e-05,2.120885e-05,2.115515e-05,2.115300e-05,2.110131e-05,2.108191e-05,2.104738e-05,2.101069e-05,2.099341e-05,2.093945e-05,2.086828e-05,2.079729e-05,2.072654e-05,2.065612e-05,2.058609e-05,2.051651e-05,2.044743e-05,2.037891e-05,2.031100e-05,2.024373e-05,2.017714e-05,2.011126e-05,2.004612e-05,1.998175e-05,1.991817e-05,1.985541e-05,1.979347e-05,1.973237e-05,1.967213e-05,1.961276e-05,1.955426e-05,1.949665e-05,1.943991e-05,1.938407e-05
0.000000e+00,3.375350e-09,7.745291e-09,2.679343e-08,6.151341e-08,9.038090e-08,2.106291e-07,2.172659e-07,4.370587e-07,5.200265e-07,7.843530e-07,1.064500e-06,1.281413e-06,1.863899e-06,1.919563e-06,2.674210e-06,2.870203e-06,3.524596e-06,4.036988e-06,4.455981e-06,5.333140e-06,5.456481e-06,6.514991e-06,6.732679e-06,7.620409e-06,8.210061e-06,8.761595e-06,9.739834e-06,9.927634e-06,1.110814e-05,1.129771e-05,1.229353e-05,1.286170e-05,1.347526e-05,1.441297e-05,1.464589e-05,1.579913e-05,1.593609e-05,1.692977e-05,1.741898e-05,1.803363e-05,1.885260e-05,1.910743e-05,2.014876e-05,2.023061e-05,2.115587e-05,2.154885e-05,2.212757e-05,2.280486e-05,2.306316e-05,2.396233e-05,2.399753e-05,2.482511e-05,2.512684e-05,2.565170e-05,2.619330e-05,2.644250e-05,2.719810e-05,2.791919e-05,2.814277e-05,2.860655e-05,2.902916e-05,2.926106e-05,2.985929e-05,2.988359e-05,3.047505e-05,3.063523e-05,3.103640e-05,3.135915e-05,3.156859e-05,3.203327e-05,3.207258e-05,3.254931e-05,3.265978e-05,3.299974e-05,3.324085e-05,3.342481e-05,3.377862e-05,3.382543e-05,3.420251e-05,3.427518e-05,3.455694e-05,3.473257e-05,3.488958e-05,3.515277e-05,3.520127e-05,3.549285e-05,3.553769e-05,3.576511e-05,3.588916e-05,3.601883e-05,3.620897e-05,3.625477e-05,3.647366e-05,3.649882e-05,3.667622e-05,3.676034e-05,3.686312e-05,3.699512e-05,3.703505e-05,3.719263e-05,3.720463e-05,3.733649e-05,3.739033e-05,3.746724e-05,3.755358e-05,3.758545e-05,3.769168e-05,3.769568e-05,3.778646e-05,3.781789e-05,3.787033e-05,3.792138e-05,3.794377e-05,3.800728e-05,3.806131e-05,3.807667e-05,3.810632e-05,3.813058e-05,3.814272e-05,3.816996e-05,3.817094e-05,3.819136e-05,3.819574e-05,3.820438e-05,3.820879e-05,3.821036e-05,3.820994e-05,3.820965e-05,3.820258e-05,3.819998e-05,3.818949e-05,3.817965e-05,3.817069e-05,3.814965e-05,3.814646e-05,3.811711e-05,3.811065e-05,3.808290e-05,3.806328e-05,3.804410e-05,3.800815e-05,3.800097e-05,3.795373e-05,3.794581e-05,3.790264e-05,3.787680e-05,3.784790e-05,3.780163e-05,3.778973e-05,3.772834e-05,3.772077e-05,3.766392e-05,3.763467e-05,3.759666e-05,3.754376e-05,3.752674e-05,3.745433e-05,3.744843e-05,3.737959e-05,3.734908e-05,3.730268e-05,3.724604e-05,3.722375e-05,3.714294e-05,3.713967e-05,3.706039e-05,3.703028e-05,3.697624e-05,3.691815e-05,3.689060e-05,3.680359e-05,3.668684e-05,3.656817e-05,3.644779e-05,3.632594e-05,3.620281e-05,3.607861e-05,3.595351e-05,3.582768e-05,3.570129e-05,3.557447e-05,3.544738e-05,3.532014e-05,3.519288e-05,3.506570e-05,3.493872e-05,3.481203e-05,3.468573e-05,3.455990e-05,3.443462e-05,3.430996e-05,3.418600e-05,3.406279e-05,3.394039e-05,3.381886e-05
0.000000e+00,1.339664e-12,6.794676e-12,7.523457e-11,3.665254e-10,7.539025e-10,3.536531e-09,3.737845e-09,1.262674e-08,1.693541e-08,3.352087e-08,5.545222e-08,7.547162e-08,1.431794e-07,1.507784e-07,2.750116e-07,3.140994e-07,4.664953e-07,6.104989e-07,7.451291e-07,1.078260e-06,1.130828e-06,1.642012e-06,1.760751e-06,2.294434e-06,2.693745e-06,3.100393e-06,3.902336e-06,4.068318e-06,5.202612e-06,5.399622e-06,6.503713e-06,7.186647e-06,7.968281e-06,9.253162e-06,9.589504e-06,1.135746e-05,1.157890e-05,1.325955e-05,1.413522e-05,1.528096e-05,1.688691e-05,1.740515e-05,1.961430e-05,1.979415e-05,2.188989e-05,2.281449e-05,2.421304e-05,2.590464e-05,2.656505e-05,2.892770e-05,2.902217e-05,3.128361e-05,3.212692e-05,3.361654e-05,3.518213e-05,3.591156e-05,3.815525e-05,4.033574e-05,4.101845e-05,4.244285e-05,4.374887e-05,4.446801e-05,4.632860e-05,4.640427e-05,4.824621e-05,4.874448e-05,4.998988e-05,5.098776e-05,5.163264e-05,5.305363e-05,5.317308e-05,5.461087e-05,5.494072e-05,5.594662e-05,5.665058e-05,5.718177e-05,5.818717e-05,5.831846e-05,5.935943e-05,5.955641e-05,6.030784e-05,6.076560e-05,6.116723e-05,6.182307e-05,6.194137e-05,6.263425e-05,6.273785e-05,6.324999e-05,6.351937e-05,6.379274e-05,6.417719e-05,6.426666e-05,6.467586e-05,6.472081e-05,6.502438e-05,6.515953e-05,6.531615e-05,6.550229e-05,6.555497e-05,6.574450e-05,6.575764e-05,6.588823e-05,6.593366e-05,6.598950e-05,6.603790e-05,6.605146e-05,6.607711e-05,6.607742e-05,6.606925e-05,6.605874e-05,6.603055e-05,6.598788e-05,6.596347e-05,6.587035e-05,6.575335e-05,6.571121e-05,6.561451e-05,6.551505e-05,6.545569e-05,6.528606e-05,6.527865e-05,6.508503e-05,6.502805e-05,6.487633e-05,6.474446e-05,6.465396e-05,6.443841e-05,6.441920e-05,6.417328e-05,6.411272e-05,6.391729e-05,6.376993e-05,6.365227e-05,6.341234e-05,6.337917e-05,6.309886e-05,6.304201e-05,6.281217e-05,6.266081e-05,6.251984e-05,6.227043e-05,6.222256e-05,6.192097e-05,6.187236e-05,6.161567e-05,6.146797e-05,6.130720e-05,6.105849e-05,6.099607e-05,6.068275e-05,6.064503e-05,6.036766e-05,6.022857e-05,6.005121e-05,5.981002e-05,5.973375e-05,5.941563e-05,5.939016e-05,5.909717e-05,5.896975e-05,5.877863e-05,5.854940e-05,5.846030e-05,5.814242e-05,5.812971e-05,5.782520e-05,5.771120e-05,5.750886e-05,5.729434e-05,5.719358e-05,5.687954e-05,5.646719e-05,5.605760e-05,5.565109e-05,5.524792e-05,5.484832e-05,5.445250e-05,5.406065e-05,5.367292e-05,5.328945e-05,5.291036e-05,5.253576e-05,5.216573e-05,5.180035e-05,5.143968e-05,5.108376e-05,5.073264e-05,5.038635e-05,5.004489e-05,4.970829e-05,4.937654e-05,4.904965e-05,4.872760e-05,4.841038e-05,4.809797e-05
0.000000e+00,4.853214e-10,1.451913e-09,6.687789e-09,1.746332e-08,2.681350e-08,6.647374e-08,6.865871e-08,1.396854e-07,1.658083e-07,2.473028e-07,3.325821e-07,3.990980e-07,5.844726e-07,6.028703e-07,8.661733e-07,9.389486e-07,1.194976e-06,1.408786e-06,1.591614e-06,1.994868e-06,2.053564e-06,2.574487e-06,2.685062e-06,3.146541e-06,3.461636e-06,3.762036e-06,4.307487e-06,4.413980e-06,5.096037e-06,5.207564e-06,5.802340e-06,6.148341e-06,6.527353e-06,7.117291e-06,7.265816e-06,8.012731e-06,8.102702e-06,8.763395e-06,9.093735e-06,9.513435e-06,1.008057e-05,1.025885e-05,1.099603e-05,1.105455e-05,1.172180e-05,1.200828e-05,1.243338e-05,1.293560e-05,1.312843e-05,1.380498e-05,1.383163e-05,1.446145e-05,1.469262e-05,1.509659e-05,1.551582e-05,1.570947e-05,1.629943e-05,1.686605e-05,1.704240e-05,1.740913e-05,1.774433e-05,1.792865e-05,1.840535e-05,1.842474e-05,1.889767e-05,1.902599e-05,1.934780e-05,1.960712e-05,1.977558e-05,2.014985e-05,2.018153e-05,2.056623e-05,2.065546e-05,2.093028e-05,2.112536e-05,2.127431e-05,2.156103e-05,2.159899e-05,2.190499e-05,2.196400e-05,2.219296e-05,2.233581e-05,2.246359e-05,2.267800e-05,2.271754e-05,2.295547e-05,2.299210e-05,2.317802e-05,2.327957e-05,2.338583e-05,2.354187e-05,2.357950e-05,2.375965e-05,2.378039e-05,2.392686e-05,2.399648e-05,2.408169e-05,2.419143e-05,2.422470e-05,2.435640e-05,2.436647e-05,2.447732e-05,2.452278e-05,2.458795e-05,2.466149e-05,2.468875e-05,2.478019e-05,2.478366e-05,2.486271e-05,2.489032e-05,2.493674e-05,2.498242e-05,2.500266e-05,2.506089e-05,2.511178e-05,2.512658e-05,2.515571e-05,2.518032e-05,2.519300e-05,2.522288e-05,2.522400e-05,2.524902e-05,2.525499e-05,2.526836e-05,2.527736e-05,2.528231e-05,2.529062e-05,2.529114e-05,2.529514e-05,2.529540e-05,2.529453e-05,2.529228e-05,2.528958e-05,2.528181e-05,2.528052e-05,2.526755e-05,2.526451e-05,2.525091e-05,2.524086e-05,2.523078e-05,2.521133e-05,2.520737e-05,2.518086e-05,2.517634e-05,2.515142e-05,2.513630e-05,2.511923e-05,2.509160e-05,2.508445e-05,2.504723e-05,2.504260e-05,2.500771e-05,2.498964e-05,2.496605e-05,2.493303e-05,2.492237e-05,2.487681e-05,2.487308e-05,2.482947e-05,2.481007e-05,2.478049e-05,2.474427e-05,2.472997e-05,2.467802e-05,2.467591e-05,2.462474e-05,2.460525e-05,2.457022e-05,2.453249e-05,2.451456e-05,2.445784e-05,2.438150e-05,2.430365e-05,2.422446e-05,2.414408e-05,2.406268e-05,2.398038e-05,2.389732e-05,2.381362e-05,2.372939e-05,2.364475e-05,2.355980e-05,2.347462e-05,2.338931e-05,2.330394e-05,2.321860e-05,2.313335e-05,2.304826e-05,2.296340e-05,2.287881e-05,2.279455e-05,2.271067e-05,2.262721e-05,2.254422e-05,2.246174e-05
0.000000e+00,9.524293e-10,2.274797e-09,8.174166e-09,1.896671e-08,2.786320e-08,6.389951e-08,6.584096e-08,1.277838e-07,1.502024e-07,2.194575e-07,2.912157e-07,3.468472e-07,5.007377e-07,5.159277e-07,7.316471e-07,7.906804e-07,9.961638e-07,1.165134e-06,1.307843e-06,1.617707e-06,1.662335e-06,2.054465e-06,2.136965e-06,2.479283e-06,2.711588e-06,2.932254e-06,3.331402e-06,3.409141e-06,3.905871e-06,3.986923e-06,4.418473e-06,4.669017e-06,4.943070e-06,5.368859e-06,5.475913e-06,6.013431e-06,6.078086e-06,6.552286e-06,6.789004e-06,7.089404e-06,7.494729e-06,7.622004e-06,8.147630e-06,8.189312e-06,8.664152e-06,8.867797e-06,9.169762e-06,9.526189e-06,9.662957e-06,1.014253e-05,1.016141e-05,1.060752e-05,1.077121e-05,1.105724e-05,1.135405e-05,1.149117e-05,1.190901e-05,1.231059e-05,1.243566e-05,1.269591e-05,1.293401e-05,1.306505e-05,1.340437e-05,1.341820e-05,1.375562e-05,1.384732e-05,1.407764e-05,1.426361e-05,1.438462e-05,1.465411e-05,1.467697e-05,1.495512e-05,1.501981e-05,1.521952e-05,1.536174e-05,1.547061e-05,1.568095e-05,1.570888e-05,1.593478e-05,1.597852e-05,1.614878e-05,1.625551e-05,1.635133e-05,1.651297e-05,1.654290e-05,1.672391e-05,1.675192e-05,1.689480e-05,1.697335e-05,1.705599e-05,1.717823e-05,1.720788e-05,1.735088e-05,1.736746e-05,1.748535e-05,1.754192e-05,1.761168e-05,1.770245e-05,1.773021e-05,1.784128e-05,1.784986e-05,1.794523e-05,1.798489e-05,1.804237e-05,1.810827e-05,1.813301e-05,1.821743e-05,1.822068e-05,1.829592e-05,1.832278e-05,1.836874e-05,1.841516e-05,1.843616e-05,1.849841e-05,1.855574e-05,1.857308e-05,1.860836e-05,1.863968e-05,1.865651e-05,1.869870e-05,1.870038e-05,1.874017e-05,1.875060e-05,1.877607e-05,1.879582e-05,1.880827e-05,1.883476e-05,1.883693e-05,1.886223e-05,1.886782e-05,1.888432e-05,1.889535e-05,1.890336e-05,1.891771e-05,1.891949e-05,1.893286e-05,1.893521e-05,1.894358e-05,1.894816e-05,1.895180e-05,1.895685e-05,1.895762e-05,1.896118e-05,1.896155e-05,1.896258e-05,1.896251e-05,1.896192e-05,1.895999e-05,1.895932e-05,1.895486e-05,1.895420e-05,1.894864e-05,1.894537e-05,1.894075e-05,1.893369e-05,1.893127e-05,1.892029e-05,1.891935e-05,1.890788e-05,1.890253e-05,1.889412e-05,1.888341e-05,1.887907e-05,1.886282e-05,1.886214e-05,1.884541e-05,1.883888e-05,1.882692e-05,1.881376e-05,1.880741e-05,1.878693e-05,1.875850e-05,1.872859e-05,1.869733e-05,1.866480e-05,1.863113e-05,1.859639e-05,1.856068e-05,1.852408e-05,1.848667e-05,1.844853e-05,1.840972e-05,1.837032e-05,1.833037e-05,1.828996e-05,1.824912e-05,1.820791e-05,1.816638e-05,1.812458e-05,1.808255e-05,1.804033e-05,1.799797e-05,1.795549e-05,1.791294e-05,1.787033e-05
0.000000e+00,1.716216e-09,3.943296e-09,1.361960e-08,3.106536e-08,4.537282e-08,1.031827e-07,1.062967e-07,2.058162e-07,2.419376e-07,3.539006e-07,4.704644e-07,5.611463e-07,8.127853e-07,8.376451e-07,1.190028e-06,1.286091e-06,1.618993e-06,1.891286e-06,2.120595e-06,2.617737e-06,2.689352e-06,3.319899e-06,3.452977e-06,4.007196e-06,4.385372e-06,4.746272e-06,5.403372e-06,5.532006e-06,6.359013e-06,6.494791e-06,7.221654e-06,7.646672e-06,8.114102e-06,8.845551e-06,9.030450e-06,9.964831e-06,1.007790e-05,1.091154e-05,1.133058e-05,1.186513e-05,1.259131e-05,1.282050e-05,1.377296e-05,1.384891e-05,1.471828e-05,1.509355e-05,1.565269e-05,1.631683e-05,1.657288e-05,1.747603e-05,1.751177e-05,1.835975e-05,1.867274e-05,1.922208e-05,1.979541e-05,2.006141e-05,2.087651e-05,2.166643e-05,2.191377e-05,2.243050e-05,2.290574e-05,2.316830e-05,2.385164e-05,2.387959e-05,2.456430e-05,2.475127e-05,2.522254e-05,2.560485e-05,2.585451e-05,2.641299e-05,2.646052e-05,2.704098e-05,2.717654e-05,2.759634e-05,2.789658e-05,2.812713e-05,2.857433e-05,2.863390e-05,2.911724e-05,2.921115e-05,2.957776e-05,2.980843e-05,3.001610e-05,3.036763e-05,3.043289e-05,3.082878e-05,3.089023e-05,3.120441e-05,3.137771e-05,3.156043e-05,3.183154e-05,3.189746e-05,3.221615e-05,3.225319e-05,3.251711e-05,3.264408e-05,3.280096e-05,3.300560e-05,3.306828e-05,3.331967e-05,3.333911e-05,3.355570e-05,3.364593e-05,3.377692e-05,3.392734e-05,3.398388e-05,3.417712e-05,3.418457e-05,3.435713e-05,3.441880e-05,3.452443e-05,3.463118e-05,3.467950e-05,3.482280e-05,3.495481e-05,3.499473e-05,3.507595e-05,3.514798e-05,3.518665e-05,3.528350e-05,3.528734e-05,3.537841e-05,3.540224e-05,3.546026e-05,3.550509e-05,3.553324e-05,3.559288e-05,3.559773e-05,3.565409e-05,3.566644e-05,3.570263e-05,3.572653e-05,3.574370e-05,3.577391e-05,3.577761e-05,3.580465e-05,3.580927e-05,3.582513e-05,3.583328e-05,3.583933e-05,3.584661e-05,3.584752e-05,3.584997e-05,3.584984e-05,3.584692e-05,3.584357e-05,3.583862e-05,3.582836e-05,3.582531e-05,3.580721e-05,3.580473e-05,3.578454e-05,3.577318e-05,3.575752e-05,3.573420e-05,3.572635e-05,3.569121e-05,3.568824e-05,3.565231e-05,3.563573e-05,3.560981e-05,3.557709e-05,3.556390e-05,3.551474e-05,3.551271e-05,3.546250e-05,3.544296e-05,3.540732e-05,3.536820e-05,3.534936e-05,3.528875e-05,3.520495e-05,3.511710e-05,3.502547e-05,3.493036e-05,3.483200e-05,3.473066e-05,3.462657e-05,3.451994e-05,3.441099e-05,3.429992e-05,3.418691e-05,3.407214e-05,3.395579e-05,3.383801e-05,3.371896e-05,3.359877e-05,3.347759e-05,3.335554e-05,3.323274e-05,3.310931e-05,3.298536e-05,3.286099e-05,3.273629e-05,3.261137e-05
0.000000e+00,2.112333e-09,4.878200e-09,1.688165e-08,3.840862e-08,5.596666e-08,1.262220e-07,1.299795e-07,2.488940e-07,2.915624e-07,4.224353e-07,5.568005e-07,6.602341e-07,9.434659e-07,9.712102e-07,1.361483e-06,1.467149e-06,1.831631e-06,2.128016e-06,2.376416e-06,2.910990e-06,2.987533e-06,3.656205e-06,3.796105e-06,4.374105e-06,4.764233e-06,5.133327e-06,5.797388e-06,5.926195e-06,6.745152e-06,6.878108e-06,7.582769e-06,7.989319e-06,8.431817e-06,9.114632e-06,9.285391e-06,1.013702e-05,1.023880e-05,1.098077e-05,1.134813e-05,1.181132e-05,1.243083e-05,1.262403e-05,1.341492e-05,1.347715e-05,1.418072e-05,1.447940e-05,1.491878e-05,1.543185e-05,1.562709e-05,1.630417e-05,1.633059e-05,1.694905e-05,1.717321e-05,1.756121e-05,1.795869e-05,1.814049e-05,1.868706e-05,1.920136e-05,1.935922e-05,1.968403e-05,1.997671e-05,2.013588e-05,2.054154e-05,2.055786e-05,2.095101e-05,2.105607e-05,2.131644e-05,2.152288e-05,2.165531e-05,2.194463e-05,2.196880e-05,2.225809e-05,2.232405e-05,2.252436e-05,2.266385e-05,2.276878e-05,2.296671e-05,2.299250e-05,2.319661e-05,2.323518e-05,2.338220e-05,2.347173e-05,2.355031e-05,2.367873e-05,2.370192e-05,2.383801e-05,2.385840e-05,2.395947e-05,2.401283e-05,2.406718e-05,2.414401e-05,2.416197e-05,2.424462e-05,2.425376e-05,2.431589e-05,2.434382e-05,2.437648e-05,2.441580e-05,2.442706e-05,2.446826e-05,2.447117e-05,2.450069e-05,2.451133e-05,2.452491e-05,2.453757e-05,2.454146e-05,2.455085e-05,2.455108e-05,2.455354e-05,2.455296e-05,2.455000e-05,2.454424e-05,2.454063e-05,2.452586e-05,2.450604e-05,2.449869e-05,2.448153e-05,2.446354e-05,2.445267e-05,2.442117e-05,2.441978e-05,2.438314e-05,2.437225e-05,2.434304e-05,2.431743e-05,2.429974e-05,2.425729e-05,2.425349e-05,2.420452e-05,2.419238e-05,2.415304e-05,2.412320e-05,2.409926e-05,2.405020e-05,2.404339e-05,2.398559e-05,2.397381e-05,2.392604e-05,2.389443e-05,2.386489e-05,2.381242e-05,2.380231e-05,2.373843e-05,2.372810e-05,2.367339e-05,2.364179e-05,2.360731e-05,2.355378e-05,2.354031e-05,2.347249e-05,2.346431e-05,2.340397e-05,2.337362e-05,2.333484e-05,2.328195e-05,2.326519e-05,2.319510e-05,2.318948e-05,2.312467e-05,2.309641e-05,2.305395e-05,2.300291e-05,2.298303e-05,2.291197e-05,2.290912e-05,2.284082e-05,2.281520e-05,2.276966e-05,2.272128e-05,2.269853e-05,2.262748e-05,2.253389e-05,2.244064e-05,2.234780e-05,2.225547e-05,2.216371e-05,2.207259e-05,2.198218e-05,2.189253e-05,2.180369e-05,2.171571e-05,2.162863e-05,2.154249e-05,2.145731e-05,2.137312e-05,2.128996e-05,2.120783e-05,2.112676e-05,2.104677e-05,2.096786e-05,2.089006e-05,2.081335e-05,2.073777e-05,2.066330e-05,2.058995e-05
0.000000e+00,1.115640e-09,2.988907e-09,1.215391e-08,2.991220e-08,4.493152e-08,1.072046e-07,1.105975e-07,2.198054e-07,2.596021e-07,3.829151e-07,5.108944e-07,6.101010e-07,8.842424e-07,9.112861e-07,1.295819e-06,1.401450e-06,1.771823e-06,2.080661e-06,2.345179e-06,2.932209e-06,3.018201e-06,3.788349e-06,3.953425e-06,4.647658e-06,5.125688e-06,5.583547e-06,6.417843e-06,6.580911e-06,7.624454e-06,7.794750e-06,8.700280e-06,9.224573e-06,9.796492e-06,1.068140e-05,1.090315e-05,1.201202e-05,1.214490e-05,1.311625e-05,1.359914e-05,1.421014e-05,1.503164e-05,1.528897e-05,1.634882e-05,1.643269e-05,1.738653e-05,1.779482e-05,1.839954e-05,1.911247e-05,1.938585e-05,2.034393e-05,2.038165e-05,2.127266e-05,2.159966e-05,2.217128e-05,2.276489e-05,2.303932e-05,2.387655e-05,2.468297e-05,2.493453e-05,2.545873e-05,2.593926e-05,2.620413e-05,2.689153e-05,2.691958e-05,2.760559e-05,2.779247e-05,2.826272e-05,2.864341e-05,2.889162e-05,2.944583e-05,2.949294e-05,3.006739e-05,3.020134e-05,3.061569e-05,3.091159e-05,3.113858e-05,3.157830e-05,3.163680e-05,3.211110e-05,3.220315e-05,3.256222e-05,3.278788e-05,3.299089e-05,3.333418e-05,3.339787e-05,3.378385e-05,3.384371e-05,3.414957e-05,3.431812e-05,3.449571e-05,3.475900e-05,3.482297e-05,3.513201e-05,3.516790e-05,3.542349e-05,3.554634e-05,3.569805e-05,3.589578e-05,3.595631e-05,3.619888e-05,3.621763e-05,3.642635e-05,3.651325e-05,3.663931e-05,3.678395e-05,3.683829e-05,3.702386e-05,3.703101e-05,3.719653e-05,3.725563e-05,3.735681e-05,3.745898e-05,3.750520e-05,3.764219e-05,3.776822e-05,3.780632e-05,3.788376e-05,3.795240e-05,3.798924e-05,3.808142e-05,3.808508e-05,3.817168e-05,3.819432e-05,3.824943e-05,3.829200e-05,3.831873e-05,3.837532e-05,3.837993e-05,3.843338e-05,3.844510e-05,3.847944e-05,3.850212e-05,3.851842e-05,3.854713e-05,3.855066e-05,3.857644e-05,3.858085e-05,3.859608e-05,3.860396e-05,3.860985e-05,3.861709e-05,3.861803e-05,3.862089e-05,3.862087e-05,3.861868e-05,3.861589e-05,3.861165e-05,3.860270e-05,3.860002e-05,3.858404e-05,3.858184e-05,3.856392e-05,3.855381e-05,3.853986e-05,3.851908e-05,3.851208e-05,3.848077e-05,3.847812e-05,3.844612e-05,3.843136e-05,3.840830e-05,3.837921e-05,3.836749e-05,3.832385e-05,3.832205e-05,3.827756e-05,3.826027e-05,3.822875e-05,3.819420e-05,3.817758e-05,3.812419e-05,3.805055e-05,3.797357e-05,3.789354e-05,3.781072e-05,3.772537e-05,3.763773e-05,3.754803e-05,3.745647e-05,3.736325e-05,3.726858e-05,3.717262e-05,3.707555e-05,3.697753e-05,3.687870e-05,3.677921e-05,3.667919e-05,3.657876e-05,3.647804e-05,3.637714e-05,3.627617e-05,3.617522e-05,3.607438e-05,3.597374e-05,3.587337e-05
0.000000e+00,4.418721e-09,1.014249e-08,3.496732e-08,7.961725e-08,1.161560e-07,2.631845e-07,2.710786e-07,5.220795e-07,6.125898e-07,8.912622e-07,1.178609e-06,1.400431e-06,2.009867e-06,2.069701e-06,2.913763e-06,3.143065e-06,3.936456e-06,4.584098e-06,5.128231e-06,6.301926e-06,6.470164e-06,7.940462e-06,8.248055e-06,9.518215e-06,1.037468e-05,1.118424e-05,1.263896e-05,1.292087e-05,1.471167e-05,1.500218e-05,1.654131e-05,1.742914e-05,1.839566e-05,1.988822e-05,2.026182e-05,2.212824e-05,2.235174e-05,2.398479e-05,2.479622e-05,2.582268e-05,2.720238e-05,2.763449e-05,2.941406e-05,2.955487e-05,3.115636e-05,3.184192e-05,3.285741e-05,3.405485e-05,3.451411e-05,3.612416e-05,3.618757e-05,3.768593e-05,3.823613e-05,3.919835e-05,4.019829e-05,4.066083e-05,4.207314e-05,4.343541e-05,4.386082e-05,4.474800e-05,4.556225e-05,4.601149e-05,4.717892e-05,4.722661e-05,4.839423e-05,4.871278e-05,4.951533e-05,5.016609e-05,5.059095e-05,5.154130e-05,5.162219e-05,5.261020e-05,5.284101e-05,5.355614e-05,5.406793e-05,5.446120e-05,5.522479e-05,5.532658e-05,5.615345e-05,5.631432e-05,5.694303e-05,5.733925e-05,5.769647e-05,5.830229e-05,5.841495e-05,5.909960e-05,5.920609e-05,5.975157e-05,6.005322e-05,6.037194e-05,6.084622e-05,6.096181e-05,6.152223e-05,6.158755e-05,6.205423e-05,6.227957e-05,6.255882e-05,6.292459e-05,6.303699e-05,6.348969e-05,6.352483e-05,6.391784e-05,6.408244e-05,6.432236e-05,6.459946e-05,6.470411e-05,6.506395e-05,6.507790e-05,6.540270e-05,6.551965e-05,6.572117e-05,6.592653e-05,6.602012e-05,6.630031e-05,6.656246e-05,6.664266e-05,6.680728e-05,6.695519e-05,6.703545e-05,6.723943e-05,6.724762e-05,6.744443e-05,6.749687e-05,6.762649e-05,6.772890e-05,6.779440e-05,6.793687e-05,6.794873e-05,6.809003e-05,6.812206e-05,6.821883e-05,6.828570e-05,6.833565e-05,6.842895e-05,6.844100e-05,6.853534e-05,6.855293e-05,6.861914e-05,6.865870e-05,6.869285e-05,6.874727e-05,6.875689e-05,6.881168e-05,6.881962e-05,6.885763e-05,6.887665e-05,6.889511e-05,6.891925e-05,6.892450e-05,6.894615e-05,6.894824e-05,6.896041e-05,6.896443e-05,6.896761e-05,6.896856e-05,6.896808e-05,6.896211e-05,6.896136e-05,6.895000e-05,6.894351e-05,6.893205e-05,6.891565e-05,6.890852e-05,6.887967e-05,6.887841e-05,6.884577e-05,6.883238e-05,6.880706e-05,6.877811e-05,6.876377e-05,6.871613e-05,6.864695e-05,6.857105e-05,6.848888e-05,6.840087e-05,6.830744e-05,6.820898e-05,6.810585e-05,6.799840e-05,6.788697e-05,6.777188e-05,6.765341e-05,6.753186e-05,6.740749e-05,6.728055e-05,6.715130e-05,6.701996e-05,6.688674e-05,6.675184e-05,6.661548e-05,6.647782e-05,6.633903e-05,6.619929e-05,6.605876e-05,6.591756e-05
0.000000e+00,2.095116e-10,7.842783e-10,4.938387e-09,1.538898e-08,2.535826e-08,7.156115e-08,7.421626e-08,1.636540e-07,1.975427e-07,3.051329e-07,4.195884e-07,5.096526e-07,7.627251e-07,7.879546e-07,1.150595e-06,1.251321e-06,1.607698e-06,1.908329e-06,2.168110e-06,2.751600e-06,2.837835e-06,3.618304e-06,3.787439e-06,4.505740e-06,5.006961e-06,5.492220e-06,6.390023e-06,6.567620e-06,7.721219e-06,7.912341e-06,8.942478e-06,9.549730e-06,1.022128e-05,1.127921e-05,1.154791e-05,1.291298e-05,1.307893e-05,1.430740e-05,1.492797e-05,1.572240e-05,1.680638e-05,1.714957e-05,1.858095e-05,1.869541e-05,2.000903e-05,2.057777e-05,2.142690e-05,2.243786e-05,2.282822e-05,2.420731e-05,2.426194e-05,2.555913e-05,2.603824e-05,2.687928e-05,2.775696e-05,2.816403e-05,2.941021e-05,3.061527e-05,3.099186e-05,3.177718e-05,3.249743e-05,3.289440e-05,3.392386e-05,3.396582e-05,3.499076e-05,3.526936e-05,3.596887e-05,3.653323e-05,3.690012e-05,3.771567e-05,3.778473e-05,3.862316e-05,3.881759e-05,3.941608e-05,3.984053e-05,4.016429e-05,4.078649e-05,4.086875e-05,4.153051e-05,4.165784e-05,4.215071e-05,4.245720e-05,4.273058e-05,4.318740e-05,4.327136e-05,4.377434e-05,4.385140e-05,4.424085e-05,4.445221e-05,4.467221e-05,4.499288e-05,4.506974e-05,4.543478e-05,4.547646e-05,4.576863e-05,4.590598e-05,4.607258e-05,4.628438e-05,4.634791e-05,4.659587e-05,4.661456e-05,4.681767e-05,4.689933e-05,4.701450e-05,4.714142e-05,4.718753e-05,4.733787e-05,4.734343e-05,4.746663e-05,4.750790e-05,4.757485e-05,4.763723e-05,4.766356e-05,4.773375e-05,4.778638e-05,4.779966e-05,4.782237e-05,4.783707e-05,4.784259e-05,4.784798e-05,4.784792e-05,4.783916e-05,4.783429e-05,4.781711e-05,4.779781e-05,4.778252e-05,4.774026e-05,4.773613e-05,4.767864e-05,4.766326e-05,4.761070e-05,4.756834e-05,4.753298e-05,4.745696e-05,4.744607e-05,4.735057e-05,4.733049e-05,4.724704e-05,4.719021e-05,4.713602e-05,4.703734e-05,4.701802e-05,4.689353e-05,4.687305e-05,4.676303e-05,4.669839e-05,4.662697e-05,4.651439e-05,4.648576e-05,4.633981e-05,4.632200e-05,4.618952e-05,4.612211e-05,4.603525e-05,4.591556e-05,4.587736e-05,4.571617e-05,4.570314e-05,4.555201e-05,4.548558e-05,4.538518e-05,4.526357e-05,4.521597e-05,4.504464e-05,4.503775e-05,4.487146e-05,4.480871e-05,4.469667e-05,4.457702e-05,4.452051e-05,4.434319e-05,4.410770e-05,4.387102e-05,4.363354e-05,4.339566e-05,4.315773e-05,4.292008e-05,4.268302e-05,4.244683e-05,4.221175e-05,4.197803e-05,4.174589e-05,4.151551e-05,4.128708e-05,4.106076e-05,4.083669e-05,4.061500e-05,4.039582e-05,4.017925e-05,3.996538e-05,3.975430e-05,3.954607e-05,3.934076e-05,3.913843e-05,3.893910e-05
0.000000e+00,1.893927e-09,4.401140e-09,1.535873e-08,3.513706e-08,5.133400e-08,1.164682e-07,1.199622e-07,2.308784e-07,2.707963e-07,3.934938e-07,5.197806e-07,6.171868e-07,8.849035e-07,9.112246e-07,1.284077e-06,1.386043e-06,1.741793e-06,2.035986e-06,2.285927e-06,2.833412e-06,2.912777e-06,3.614907e-06,3.763593e-06,4.383482e-06,4.806467e-06,5.209723e-06,5.942251e-06,6.085339e-06,7.002486e-06,7.152577e-06,7.953630e-06,8.420099e-06,8.931457e-06,9.728153e-06,9.928869e-06,1.093902e-05,1.106077e-05,1.195536e-05,1.240292e-05,1.297177e-05,1.374076e-05,1.398255e-05,1.498253e-05,1.506192e-05,1.596710e-05,1.635568e-05,1.693219e-05,1.761301e-05,1.787431e-05,1.879054e-05,1.882661e-05,1.967847e-05,1.999081e-05,2.053617e-05,2.110139e-05,2.136220e-05,2.215551e-05,2.291539e-05,2.315143e-05,2.364150e-05,2.408842e-05,2.433373e-05,2.496653e-05,2.499222e-05,2.561734e-05,2.578646e-05,2.620959e-05,2.654942e-05,2.676961e-05,2.725701e-05,2.729816e-05,2.779608e-05,2.791112e-05,2.826428e-05,2.851385e-05,2.870372e-05,2.906741e-05,2.911538e-05,2.950026e-05,2.957411e-05,2.985939e-05,3.003630e-05,3.019378e-05,3.045630e-05,3.050445e-05,3.079239e-05,3.083642e-05,3.105859e-05,3.117893e-05,3.130401e-05,3.148602e-05,3.152960e-05,3.173626e-05,3.175983e-05,3.192488e-05,3.200238e-05,3.209632e-05,3.221565e-05,3.225143e-05,3.239098e-05,3.240150e-05,3.251577e-05,3.256171e-05,3.262652e-05,3.269799e-05,3.272397e-05,3.280878e-05,3.281192e-05,3.288163e-05,3.290505e-05,3.294314e-05,3.297880e-05,3.299392e-05,3.303454e-05,3.306557e-05,3.307355e-05,3.308752e-05,3.309704e-05,3.310091e-05,3.310615e-05,3.310622e-05,3.310390e-05,3.310195e-05,3.309441e-05,3.308545e-05,3.307816e-05,3.305759e-05,3.305556e-05,3.302698e-05,3.301927e-05,3.299279e-05,3.297132e-05,3.295334e-05,3.291453e-05,3.290895e-05,3.285995e-05,3.284962e-05,3.280664e-05,3.277730e-05,3.274929e-05,3.269820e-05,3.268818e-05,3.262358e-05,3.261293e-05,3.255572e-05,3.252206e-05,3.248484e-05,3.242611e-05,3.241116e-05,3.233489e-05,3.232557e-05,3.225624e-05,3.222092e-05,3.217539e-05,3.211258e-05,3.209252e-05,3.200781e-05,3.200096e-05,3.192142e-05,3.188642e-05,3.183350e-05,3.176933e-05,3.174420e-05,3.165365e-05,3.165001e-05,3.156200e-05,3.152876e-05,3.146936e-05,3.140586e-05,3.137586e-05,3.128159e-05,3.115618e-05,3.102987e-05,3.090286e-05,3.077535e-05,3.064753e-05,3.051955e-05,3.039159e-05,3.026377e-05,3.013623e-05,3.000910e-05,2.988248e-05,2.975648e-05,2.963119e-05,2.950671e-05,2.938310e-05,2.926045e-05,2.913882e-05,2.901826e-05,2.889884e-05,2.878060e-05,2.866358e-05,2.854782e-05,2.843336e-05,2.832024e-05
0.000000e+00,1.294223e-11,6.238628e-11,6.224770e-10,2.763272e-09,5.405668e-09,2.235300e-08,2.350732e-08,7.050774e-08,9.167435e-08,1.682751e-07,2.627104e-07,3.448655e-07,6.064774e-07,6.347605e-07,1.078418e-06,1.212592e-06,1.718905e-06,2.178334e-06,2.594705e-06,3.581129e-06,3.731861e-06,5.140038e-06,5.453932e-06,6.813668e-06,7.783647e-06,8.736125e-06,1.052655e-05,1.088440e-05,1.323274e-05,1.362529e-05,1.575494e-05,1.701981e-05,1.842545e-05,2.065215e-05,2.121978e-05,2.411450e-05,2.446754e-05,2.708715e-05,2.841423e-05,3.011621e-05,3.244329e-05,3.318105e-05,3.626205e-05,3.650866e-05,3.934070e-05,4.056759e-05,4.239974e-05,4.458117e-05,4.542335e-05,4.839721e-05,4.851494e-05,5.130863e-05,5.233929e-05,5.414658e-05,5.602956e-05,5.690166e-05,5.956610e-05,6.213371e-05,6.293408e-05,6.459972e-05,6.612302e-05,6.696071e-05,6.912639e-05,6.921446e-05,7.135980e-05,7.194102e-05,7.339653e-05,7.456664e-05,7.532521e-05,7.700526e-05,7.714712e-05,7.886406e-05,7.926075e-05,8.047832e-05,8.133842e-05,8.199253e-05,8.324461e-05,8.340964e-05,8.473277e-05,8.498641e-05,8.596523e-05,8.657140e-05,8.711042e-05,8.800746e-05,8.817179e-05,8.915281e-05,8.930255e-05,9.005695e-05,9.046464e-05,9.088763e-05,9.150156e-05,9.164823e-05,9.234204e-05,9.242096e-05,9.297229e-05,9.323028e-05,9.354211e-05,9.393663e-05,9.405453e-05,9.451248e-05,9.454684e-05,9.491877e-05,9.506744e-05,9.527612e-05,9.550459e-05,9.558715e-05,9.585435e-05,9.586416e-05,9.608011e-05,9.615168e-05,9.626673e-05,9.637239e-05,9.641639e-05,9.653120e-05,9.661314e-05,9.663273e-05,9.666412e-05,9.668134e-05,9.668596e-05,9.668110e-05,9.668037e-05,9.664901e-05,9.663583e-05,9.659345e-05,9.654911e-05,9.651516e-05,9.642429e-05,9.641557e-05,9.629602e-05,9.626450e-05,9.615779e-05,9.607268e-05,9.600210e-05,9.585156e-05,9.583009e-05,9.564287e-05,9.560369e-05,9.544146e-05,9.533146e-05,9.522686e-05,9.503709e-05,9.500000e-05,9.476177e-05,9.472266e-05,9.451301e-05,9.439009e-05,9.425451e-05,9.404120e-05,9.398702e-05,9.371127e-05,9.367765e-05,9.342792e-05,9.330101e-05,9.313763e-05,9.291273e-05,9.284098e-05,9.253857e-05,9.251415e-05,9.223093e-05,9.210653e-05,9.191857e-05,9.169103e-05,9.160198e-05,9.128162e-05,9.126874e-05,9.095792e-05,9.084065e-05,9.063129e-05,9.040771e-05,9.030212e-05,8.997077e-05,8.953062e-05,8.908801e-05,8.864363e-05,8.819809e-05,8.775199e-05,8.730587e-05,8.686020e-05,8.641547e-05,8.597207e-05,8.553040e-05,8.509080e-05,8.465361e-05,8.421911e-05,8.378758e-05,8.335925e-05,8.293435e-05,8.251308e-05,8.209562e-05,8.168213e-05,8.127277e-05,8.086765e-05,8.046690e-05,8.007062e-05,7.967889e-05
0.000000e+00,1.998511e-11,9.402301e-11,8.931579e-10,3.796769e-09,7.257100e-09,2.831433e-08,2.970774e-08,8.431807e-08,1.080364e-07,1.912518e-07,2.901054e-07,3.738144e-07,6.308418e-07,6.579551e-07,1.070917e-06,1.192070e-06,1.637396e-06,2.028374e-06,2.374137e-06,3.167949e-06,3.286651e-06,4.370077e-06,4.606308e-06,5.612558e-06,6.316480e-06,6.998769e-06,8.262269e-06,8.512316e-06,1.013687e-05,1.040603e-05,1.185650e-05,1.271112e-05,1.365563e-05,1.514181e-05,1.551884e-05,1.743082e-05,1.766282e-05,1.937637e-05,2.023917e-05,2.134049e-05,2.283666e-05,2.330861e-05,2.526676e-05,2.542258e-05,2.720184e-05,2.796668e-05,2.910180e-05,3.044187e-05,3.095577e-05,3.275421e-05,3.282488e-05,3.448895e-05,3.509651e-05,3.615319e-05,3.724178e-05,3.774150e-05,3.924976e-05,4.067505e-05,4.111330e-05,4.201557e-05,4.282862e-05,4.327053e-05,4.439486e-05,4.444000e-05,4.552483e-05,4.581359e-05,4.652648e-05,4.708838e-05,4.744699e-05,4.822427e-05,4.828878e-05,4.905463e-05,4.922747e-05,4.974758e-05,5.010497e-05,5.037083e-05,5.086427e-05,5.092770e-05,5.142159e-05,5.151311e-05,5.185589e-05,5.205930e-05,5.223398e-05,5.251059e-05,5.255921e-05,5.283481e-05,5.287452e-05,5.306396e-05,5.315834e-05,5.324969e-05,5.336901e-05,5.339496e-05,5.350255e-05,5.351306e-05,5.357515e-05,5.359667e-05,5.361530e-05,5.362559e-05,5.362540e-05,5.360774e-05,5.360520e-05,5.356448e-05,5.354046e-05,5.349763e-05,5.343598e-05,5.340911e-05,5.330071e-05,5.329598e-05,5.317410e-05,5.312437e-05,5.303085e-05,5.292470e-05,5.287244e-05,5.270025e-05,5.251554e-05,5.245399e-05,5.231953e-05,5.218866e-05,5.211332e-05,5.190674e-05,5.189797e-05,5.167442e-05,5.161049e-05,5.144359e-05,5.130195e-05,5.120632e-05,5.098299e-05,5.096337e-05,5.071547e-05,5.065531e-05,5.046329e-05,5.032043e-05,5.020745e-05,4.997974e-05,4.994853e-05,4.968705e-05,4.963449e-05,4.942352e-05,4.928581e-05,4.915837e-05,4.893472e-05,4.889204e-05,4.862492e-05,4.858213e-05,4.835736e-05,4.822887e-05,4.808968e-05,4.787567e-05,4.782220e-05,4.755520e-05,4.752320e-05,4.728892e-05,4.717204e-05,4.702360e-05,4.682273e-05,4.675946e-05,4.649669e-05,4.647573e-05,4.623547e-05,4.613145e-05,4.597596e-05,4.579027e-05,4.571832e-05,4.546267e-05,4.545249e-05,4.520914e-05,4.511841e-05,4.495783e-05,4.478827e-05,4.470885e-05,4.446227e-05,4.414062e-05,4.382345e-05,4.351090e-05,4.320308e-05,4.290007e-05,4.260195e-05,4.230876e-05,4.202055e-05,4.173734e-05,4.145915e-05,4.118597e-05,4.091779e-05,4.065461e-05,4.039639e-05,4.014310e-05,3.989472e-05,3.965118e-05,3.941245e-05,3.917848e-05,3.894921e-05,3.872457e-05,3.850451e-05,3.828896e-05,3.807785e-05
0.000000e+00,3.344205e-09,7.667367e-09,2.638672e-08,6.000182e-08,8.748470e-08,1.979792e-07,2.039100e-07,3.925201e-07,4.605786e-07,6.703848e-07,8.872429e-07,1.055076e-06,1.518386e-06,1.564061e-06,2.212234e-06,2.389576e-06,3.007134e-06,3.515279e-06,3.944471e-06,4.875161e-06,5.008949e-06,6.180152e-06,6.425386e-06,7.437875e-06,8.120021e-06,8.764142e-06,9.919612e-06,1.014322e-05,1.156110e-05,1.179069e-05,1.300506e-05,1.370399e-05,1.446352e-05,1.563358e-05,1.592589e-05,1.738265e-05,1.755667e-05,1.882533e-05,1.945371e-05,2.024654e-05,2.130837e-05,2.163996e-05,2.300029e-05,2.310755e-05,2.432321e-05,2.484111e-05,2.560528e-05,2.650157e-05,2.684387e-05,2.803704e-05,2.808380e-05,2.918350e-05,2.958463e-05,3.028249e-05,3.100251e-05,3.133369e-05,3.233713e-05,3.329316e-05,3.358917e-05,3.420239e-05,3.476010e-05,3.506563e-05,3.585197e-05,3.588385e-05,3.665814e-05,3.686723e-05,3.738968e-05,3.780861e-05,3.807973e-05,3.867904e-05,3.872958e-05,3.934056e-05,3.948157e-05,3.991403e-05,4.021928e-05,4.045133e-05,4.089531e-05,4.095381e-05,4.142282e-05,4.151272e-05,4.185967e-05,4.207455e-05,4.226564e-05,4.258371e-05,4.264198e-05,4.298994e-05,4.304306e-05,4.331072e-05,4.345538e-05,4.360548e-05,4.382333e-05,4.387537e-05,4.412149e-05,4.414948e-05,4.434489e-05,4.443627e-05,4.454662e-05,4.468605e-05,4.472767e-05,4.488901e-05,4.490109e-05,4.503156e-05,4.508352e-05,4.515621e-05,4.523538e-05,4.526384e-05,4.535528e-05,4.535861e-05,4.543132e-05,4.545507e-05,4.549273e-05,4.552651e-05,4.554025e-05,4.557459e-05,4.559643e-05,4.560089e-05,4.560643e-05,4.560691e-05,4.560522e-05,4.559407e-05,4.559340e-05,4.557153e-05,4.556369e-05,4.554019e-05,4.551705e-05,4.549989e-05,4.545535e-05,4.545115e-05,4.539445e-05,4.537971e-05,4.533026e-05,4.529120e-05,4.525901e-05,4.519082e-05,4.518114e-05,4.509706e-05,4.507953e-05,4.500714e-05,4.495821e-05,4.491177e-05,4.482770e-05,4.481130e-05,4.470606e-05,4.468880e-05,4.459638e-05,4.454225e-05,4.448257e-05,4.438875e-05,4.436493e-05,4.424372e-05,4.422895e-05,4.411923e-05,4.406348e-05,4.399171e-05,4.389291e-05,4.386139e-05,4.372852e-05,4.371778e-05,4.359331e-05,4.353861e-05,4.345597e-05,4.335588e-05,4.331670e-05,4.317569e-05,4.317002e-05,4.303312e-05,4.298145e-05,4.288917e-05,4.279058e-05,4.274400e-05,4.259775e-05,4.240332e-05,4.220760e-05,4.201089e-05,4.181346e-05,4.161557e-05,4.141746e-05,4.121935e-05,4.102145e-05,4.082394e-05,4.062701e-05,4.043082e-05,4.023551e-05,4.004124e-05,3.984811e-05,3.965625e-05,3.946578e-05,3.927677e-05,3.908934e-05,3.890354e-05,3.871947e-05,3.853718e-05,3.835674e-05,3.817820e-05,3.800160e-05
0.000000e+00,1.499547e-10,6.316857e-10,4.862364e-09,1.743076e-08,3.058934e-08,9.809693e-08,1.021784e-07,2.465602e-07,3.036997e-07,4.906855e-07,6.963904e-07,8.619747e-07,1.340770e-06,1.389436e-06,2.104218e-06,2.307210e-06,3.038085e-06,3.667274e-06,4.218102e-06,5.471570e-06,5.658096e-06,7.352321e-06,7.719818e-06,9.277008e-06,1.035785e-05,1.139837e-05,1.330624e-05,1.368088e-05,1.609192e-05,1.648766e-05,1.860309e-05,1.983666e-05,2.118974e-05,2.329864e-05,2.383000e-05,2.650396e-05,2.682621e-05,2.919311e-05,3.037666e-05,3.188015e-05,3.391082e-05,3.454878e-05,3.718385e-05,3.739278e-05,3.977137e-05,4.079018e-05,4.229866e-05,4.407459e-05,4.475439e-05,4.712868e-05,4.722183e-05,4.941311e-05,5.021213e-05,5.160073e-05,5.303013e-05,5.368600e-05,5.566471e-05,5.753396e-05,5.810868e-05,5.929200e-05,6.035846e-05,6.093821e-05,6.241365e-05,6.247290e-05,6.389715e-05,6.427637e-05,6.521268e-05,6.595076e-05,6.642185e-05,6.744285e-05,6.752758e-05,6.853314e-05,6.875995e-05,6.944208e-05,6.991032e-05,7.025827e-05,7.090297e-05,7.098571e-05,7.162847e-05,7.174722e-05,7.219069e-05,7.245260e-05,7.267654e-05,7.302867e-05,7.309016e-05,7.343566e-05,7.348488e-05,7.371701e-05,7.383043e-05,7.393812e-05,7.407419e-05,7.410279e-05,7.421466e-05,7.422470e-05,7.427726e-05,7.429007e-05,7.429398e-05,7.427798e-05,7.426803e-05,7.420252e-05,7.419566e-05,7.410037e-05,7.404989e-05,7.396439e-05,7.384703e-05,7.379723e-05,7.360139e-05,7.359299e-05,7.337925e-05,7.329327e-05,7.313304e-05,7.295297e-05,7.286489e-05,7.257679e-05,7.227058e-05,7.216907e-05,7.194805e-05,7.173382e-05,7.161083e-05,7.127472e-05,7.126047e-05,7.089841e-05,7.079513e-05,7.052602e-05,7.029814e-05,7.014454e-05,6.978659e-05,6.975518e-05,6.935901e-05,6.926304e-05,6.895708e-05,6.872983e-05,6.855033e-05,6.818911e-05,6.813965e-05,6.772587e-05,6.764281e-05,6.730975e-05,6.709267e-05,6.689199e-05,6.654030e-05,6.647326e-05,6.605416e-05,6.598710e-05,6.563524e-05,6.543438e-05,6.521702e-05,6.488327e-05,6.479998e-05,6.438454e-05,6.433482e-05,6.397112e-05,6.378994e-05,6.356006e-05,6.324945e-05,6.315171e-05,6.274637e-05,6.271408e-05,6.234430e-05,6.218445e-05,6.194577e-05,6.166113e-05,6.155099e-05,6.116016e-05,6.114461e-05,6.077347e-05,6.063530e-05,6.039107e-05,6.013356e-05,6.001310e-05,5.963970e-05,5.915398e-05,5.867659e-05,5.820773e-05,5.774750e-05,5.729602e-05,5.685335e-05,5.641953e-05,5.599457e-05,5.557848e-05,5.517122e-05,5.477275e-05,5.438301e-05,5.400193e-05,5.362942e-05,5.326538e-05,5.290971e-05,5.256230e-05,5.222302e-05,5.189176e-05,5.156836e-05,5.125271e-05,5.094466e-05,5.064406e-05,5.035078e-05
0.000000e+00,1.069532e-10,4.657575e-10,3.813739e-09,1.435421e-08,2.580237e-08,8.737812e-08,9.119730e-08,2.302784e-07,2.868582e-07,4.760654e-07,6.895799e-07,8.645695e-07,1.382346e-06,1.435782e-06,2.233594e-06,2.463824e-06,3.302709e-06,4.034566e-06,4.680738e-06,6.164505e-06,6.386471e-06,8.410864e-06,8.851212e-06,1.071834e-05,1.201335e-05,1.325772e-05,1.553030e-05,1.597489e-05,1.882091e-05,1.928539e-05,2.175491e-05,2.318445e-05,2.474359e-05,2.715551e-05,2.775983e-05,3.078116e-05,3.114313e-05,3.378867e-05,3.510337e-05,3.676629e-05,3.900080e-05,3.970035e-05,4.257924e-05,4.280687e-05,4.539330e-05,4.649892e-05,4.813455e-05,5.005953e-05,5.079661e-05,5.337448e-05,5.347578e-05,5.586439e-05,5.673869e-05,5.826372e-05,5.984262e-05,6.057077e-05,6.278469e-05,6.490530e-05,6.556425e-05,6.693305e-05,6.818247e-05,6.886882e-05,7.064185e-05,7.071393e-05,7.247000e-05,7.294599e-05,7.413891e-05,7.509928e-05,7.572274e-05,7.710661e-05,7.722369e-05,7.864408e-05,7.897324e-05,7.998627e-05,8.070465e-05,8.125271e-05,8.230647e-05,8.244586e-05,8.356819e-05,8.378438e-05,8.462215e-05,8.514399e-05,8.561015e-05,8.639087e-05,8.653461e-05,8.739791e-05,8.753051e-05,8.820237e-05,8.856830e-05,8.895030e-05,8.950942e-05,8.964390e-05,9.028537e-05,9.035895e-05,9.087683e-05,9.112176e-05,9.142035e-05,9.180260e-05,9.191793e-05,9.237154e-05,9.240599e-05,9.278306e-05,9.293629e-05,9.315432e-05,9.339771e-05,9.348711e-05,9.378314e-05,9.379424e-05,9.404407e-05,9.412973e-05,9.427152e-05,9.440784e-05,9.446702e-05,9.463208e-05,9.476815e-05,9.480579e-05,9.487661e-05,9.493215e-05,9.495880e-05,9.501420e-05,9.501602e-05,9.504952e-05,9.505481e-05,9.506048e-05,9.505673e-05,9.505007e-05,9.502257e-05,9.501940e-05,9.496952e-05,9.495481e-05,9.490147e-05,9.485578e-05,9.481622e-05,9.472773e-05,9.471472e-05,9.459788e-05,9.457275e-05,9.446657e-05,9.439285e-05,9.432163e-05,9.418992e-05,9.416385e-05,9.399400e-05,9.396575e-05,9.381282e-05,9.372204e-05,9.362102e-05,9.346038e-05,9.341926e-05,9.320820e-05,9.318228e-05,9.298846e-05,9.288917e-05,9.276062e-05,9.258241e-05,9.252526e-05,9.228291e-05,9.226324e-05,9.203410e-05,9.193288e-05,9.177932e-05,9.159244e-05,9.151904e-05,9.125371e-05,9.124299e-05,9.098376e-05,9.088553e-05,9.070960e-05,9.052098e-05,9.043164e-05,9.015023e-05,8.977411e-05,8.939338e-05,8.900878e-05,8.862099e-05,8.823064e-05,8.783832e-05,8.744459e-05,8.704998e-05,8.665496e-05,8.625998e-05,8.586546e-05,8.547179e-05,8.507934e-05,8.468843e-05,8.429937e-05,8.391245e-05,8.352794e-05,8.314608e-05,8.276708e-05,8.239115e-05,8.201848e-05,8.164923e-05,8.128357e-05,8.092162e-05
0.000000e+00,3.183089e-12,1.631537e-11,1.848566e-10,9.213334e-10,1.920745e-09,9.365052e-09,9.915060e-09,3.505183e-08,4.766264e-08,9.792886e-08,1.674744e-07,2.332653e-07,4.677043e-07,4.949489e-07,9.600165e-07,1.112581e-06,1.728454e-06,2.334478e-06,2.917270e-06,4.409971e-06,4.650869e-06,7.051031e-06,7.621074e-06,1.022864e-05,1.222029e-05,1.427789e-05,1.840761e-05,1.927275e-05,2.526541e-05,2.631915e-05,3.228600e-05,3.602440e-05,4.034341e-05,4.752907e-05,4.942663e-05,5.950662e-05,6.078122e-05,7.053836e-05,7.567913e-05,8.246306e-05,9.208016e-05,9.521043e-05,1.087009e-04,1.098096e-04,1.228477e-04,1.286698e-04,1.375593e-04,1.484482e-04,1.527409e-04,1.682967e-04,1.689253e-04,1.841310e-04,1.898815e-04,2.001504e-04,2.111028e-04,2.162642e-04,2.323861e-04,2.484348e-04,2.535424e-04,2.643345e-04,2.743999e-04,2.800159e-04,2.948060e-04,2.954158e-04,3.104779e-04,3.146278e-04,3.251524e-04,3.337529e-04,3.393962e-04,3.520884e-04,3.531726e-04,3.664509e-04,3.695608e-04,3.792066e-04,3.861141e-04,3.914204e-04,4.017090e-04,4.030782e-04,4.141706e-04,4.163207e-04,4.246925e-04,4.299378e-04,4.346426e-04,4.425603e-04,4.440231e-04,4.528392e-04,4.541979e-04,4.610988e-04,4.648686e-04,4.688120e-04,4.745972e-04,4.759909e-04,4.826492e-04,4.834139e-04,4.888021e-04,4.913533e-04,4.944656e-04,4.984529e-04,4.996566e-04,5.043929e-04,5.047527e-04,5.086924e-04,5.102940e-04,5.125733e-04,5.151187e-04,5.160540e-04,5.191529e-04,5.192692e-04,5.218880e-04,5.227871e-04,5.242774e-04,5.257137e-04,5.263387e-04,5.280890e-04,5.295453e-04,5.299520e-04,5.307240e-04,5.313398e-04,5.316406e-04,5.322885e-04,5.323107e-04,5.327489e-04,5.328319e-04,5.329692e-04,5.330026e-04,5.329853e-04,5.328310e-04,5.328102e-04,5.324563e-04,5.323461e-04,5.319354e-04,5.315751e-04,5.312589e-04,5.305434e-04,5.304375e-04,5.294815e-04,5.292750e-04,5.284006e-04,5.277923e-04,5.272040e-04,5.261158e-04,5.259004e-04,5.244981e-04,5.242651e-04,5.230049e-04,5.222581e-04,5.214282e-04,5.201114e-04,5.197749e-04,5.180517e-04,5.178405e-04,5.162648e-04,5.154598e-04,5.144199e-04,5.129825e-04,5.125227e-04,5.105782e-04,5.104208e-04,5.085914e-04,5.077859e-04,5.065669e-04,5.050883e-04,5.045089e-04,5.024215e-04,5.023374e-04,5.003084e-04,4.995422e-04,4.981733e-04,4.967105e-04,4.960194e-04,4.938499e-04,4.909672e-04,4.880684e-04,4.851594e-04,4.822452e-04,4.793307e-04,4.764200e-04,4.735171e-04,4.706256e-04,4.677487e-04,4.648892e-04,4.620497e-04,4.592327e-04,4.564403e-04,4.536742e-04,4.509362e-04,4.482277e-04,4.455501e-04,4.429046e-04,4.402920e-04,4.377133e-04,4.351692e-04,4.326603e-04,4.301872e-04,4.277502e-04
0.000000e+00,1.514702e-11,7.271034e-11,7.190393e-10,3.164896e-09,6.161487e-09,2.514649e-08,2.643041e-08,7.816469e-08,1.012195e-07,1.838325e-07,2.843968e-07,3.710283e-07,6.430762e-07,6.722096e-07,1.124148e-06,1.259347e-06,1.765198e-06,2.219733e-06,2.628886e-06,3.589844e-06,3.735770e-06,5.088421e-06,5.387404e-06,6.672097e-06,7.578200e-06,8.459584e-06,1.009397e-05,1.041715e-05,1.250940e-05,1.285435e-05,1.470231e-05,1.578139e-05,1.696474e-05,1.880587e-05,1.926877e-05,2.158954e-05,2.186808e-05,2.390491e-05,2.491679e-05,2.619512e-05,2.790793e-05,2.844254e-05,3.063153e-05,3.080370e-05,3.274837e-05,3.357219e-05,3.478124e-05,3.618729e-05,3.672025e-05,3.855738e-05,3.862865e-05,4.028645e-05,4.088157e-05,4.190309e-05,4.293670e-05,4.340452e-05,4.478954e-05,4.605831e-05,4.643995e-05,4.721221e-05,4.789151e-05,4.825368e-05,4.915075e-05,4.918600e-05,5.001315e-05,5.022651e-05,5.073964e-05,5.112927e-05,5.137042e-05,5.187063e-05,5.191064e-05,5.236561e-05,5.246271e-05,5.274068e-05,5.291782e-05,5.304121e-05,5.324818e-05,5.327243e-05,5.343948e-05,5.346563e-05,5.354730e-05,5.358154e-05,5.360063e-05,5.360664e-05,5.360401e-05,5.356172e-05,5.355099e-05,5.347779e-05,5.342385e-05,5.335603e-05,5.323376e-05,5.319997e-05,5.301294e-05,5.298856e-05,5.279800e-05,5.269534e-05,5.255803e-05,5.236054e-05,5.229567e-05,5.201335e-05,5.198997e-05,5.171334e-05,5.158885e-05,5.139772e-05,5.116188e-05,5.106839e-05,5.072711e-05,5.071323e-05,5.037548e-05,5.024665e-05,5.001498e-05,4.976547e-05,4.964696e-05,4.927263e-05,4.889313e-05,4.877077e-05,4.850949e-05,4.826221e-05,4.812263e-05,4.774900e-05,4.773340e-05,4.734258e-05,4.723296e-05,4.695086e-05,4.671566e-05,4.655887e-05,4.619851e-05,4.616720e-05,4.577636e-05,4.568274e-05,4.538682e-05,4.516940e-05,4.499899e-05,4.465942e-05,4.461326e-05,4.422996e-05,4.415362e-05,4.384939e-05,4.365268e-05,4.347184e-05,4.315719e-05,4.309753e-05,4.272668e-05,4.266768e-05,4.235948e-05,4.218457e-05,4.199609e-05,4.170821e-05,4.163665e-05,4.128129e-05,4.123892e-05,4.093011e-05,4.077694e-05,4.058320e-05,4.032245e-05,4.024063e-05,3.990247e-05,3.987561e-05,3.956876e-05,3.943654e-05,3.923955e-05,3.900531e-05,3.891485e-05,3.859469e-05,3.858198e-05,3.827908e-05,3.816657e-05,3.796801e-05,3.775909e-05,3.766149e-05,3.735951e-05,3.696779e-05,3.658390e-05,3.620775e-05,3.583927e-05,3.547838e-05,3.512498e-05,3.477897e-05,3.444023e-05,3.410865e-05,3.378411e-05,3.346650e-05,3.315567e-05,3.285152e-05,3.255390e-05,3.226269e-05,3.197775e-05,3.169896e-05,3.142619e-05,3.115930e-05,3.089816e-05,3.064266e-05,3.039265e-05,3.014801e-05,2.990863e-05
0.000000e+00,2.029911e-10,8.511594e-10,6.502409e-09,2.320289e-08,4.065158e-08,1.301571e-07,1.355742e-07,3.278028e-07,4.042042e-07,6.554051e-07,9.335746e-07,1.158648e-06,1.813899e-06,1.880793e-06,2.867293e-06,3.148364e-06,4.161612e-06,5.033768e-06,5.796121e-06,7.523956e-06,7.780066e-06,1.009268e-05,1.059093e-05,1.268856e-05,1.413178e-05,1.551158e-05,1.801827e-05,1.850709e-05,2.162775e-05,2.213594e-05,2.483418e-05,2.639387e-05,2.809349e-05,3.072007e-05,3.137769e-05,3.466250e-05,3.505568e-05,3.792670e-05,3.935155e-05,4.115174e-05,4.356660e-05,4.432155e-05,4.742242e-05,4.766715e-05,5.044288e-05,5.162638e-05,5.337355e-05,5.542380e-05,5.620702e-05,5.893760e-05,5.904462e-05,6.156111e-05,6.247877e-05,6.407471e-05,6.572034e-05,6.647684e-05,6.876689e-05,7.094510e-05,7.161866e-05,7.301247e-05,7.427812e-05,7.497055e-05,7.674931e-05,7.682130e-05,7.856707e-05,7.903743e-05,8.021052e-05,8.114865e-05,8.175449e-05,8.308967e-05,8.320199e-05,8.455614e-05,8.486760e-05,8.582014e-05,8.648979e-05,8.699720e-05,8.796367e-05,8.809056e-05,8.910344e-05,8.929664e-05,9.003903e-05,9.049604e-05,9.090048e-05,9.156907e-05,9.169089e-05,9.241330e-05,9.252277e-05,9.307066e-05,9.336395e-05,9.366588e-05,9.409920e-05,9.420177e-05,9.468105e-05,9.473489e-05,9.510640e-05,9.527712e-05,9.548037e-05,9.573176e-05,9.580545e-05,9.608405e-05,9.610440e-05,9.631850e-05,9.640042e-05,9.651103e-05,9.662491e-05,9.666380e-05,9.677889e-05,9.678274e-05,9.685831e-05,9.687855e-05,9.690399e-05,9.691672e-05,9.691777e-05,9.690144e-05,9.685670e-05,9.683665e-05,9.678519e-05,9.672611e-05,9.668849e-05,9.657336e-05,9.656810e-05,9.642547e-05,9.638174e-05,9.626198e-05,9.615443e-05,9.607896e-05,9.589441e-05,9.587766e-05,9.565931e-05,9.560449e-05,9.542505e-05,9.528733e-05,9.517599e-05,9.494541e-05,9.491318e-05,9.463764e-05,9.458109e-05,9.435033e-05,9.419657e-05,9.405215e-05,9.379392e-05,9.374398e-05,9.342665e-05,9.337509e-05,9.310096e-05,9.294188e-05,9.276765e-05,9.249600e-05,9.242744e-05,9.208100e-05,9.203905e-05,9.172900e-05,9.157251e-05,9.137203e-05,9.109777e-05,9.101068e-05,9.064549e-05,9.061613e-05,9.027701e-05,9.012880e-05,8.990571e-05,8.963689e-05,8.953206e-05,8.915652e-05,8.914146e-05,8.877949e-05,8.864348e-05,8.840138e-05,8.814383e-05,8.802255e-05,8.764336e-05,8.714283e-05,8.664295e-05,8.614437e-05,8.564770e-05,8.515349e-05,8.466225e-05,8.417443e-05,8.369046e-05,8.321071e-05,8.273554e-05,8.226526e-05,8.180016e-05,8.134047e-05,8.088643e-05,8.043824e-05,7.999606e-05,7.956005e-05,7.913034e-05,7.870704e-05,7.829024e-05,7.788002e-05,7.747644e-05,7.707954e-05,7.668936e-05
0.000000e+00,1.749809e-12,9.023649e-12,1.034685e-10,5.206746e-10,1.090430e-09,5.362374e-09,5.678627e-09,2.012106e-08,2.734312e-08,5.594586e-08,9.508424e-08,1.317245e-07,2.600684e-07,2.748088e-07,5.228480e-07,6.031799e-07,9.246463e-07,1.238662e-06,1.539929e-06,2.312830e-06,2.438019e-06,3.695796e-06,3.997674e-06,5.395360e-06,6.481876e-06,7.621651e-06,9.961381e-06,1.046018e-05,1.399492e-05,1.463053e-05,1.830639e-05,2.067415e-05,2.346992e-05,2.826058e-05,2.955410e-05,3.661950e-05,3.753583e-05,4.471753e-05,4.861883e-05,5.388954e-05,6.159783e-05,6.416620e-05,7.556703e-05,7.652799e-05,8.810027e-05,9.343035e-05,1.017629e-04,1.122919e-04,1.165410e-04,1.324098e-04,1.330668e-04,1.493352e-04,1.556788e-04,1.672733e-04,1.800238e-04,1.861726e-04,2.059741e-04,2.266126e-04,2.333823e-04,2.480178e-04,2.620854e-04,2.701156e-04,2.919094e-04,2.928287e-04,3.160781e-04,3.226732e-04,3.397838e-04,3.541928e-04,3.638655e-04,3.862847e-04,3.882441e-04,4.128417e-04,4.187692e-04,4.375825e-04,4.514727e-04,4.623937e-04,4.842303e-04,4.872055e-04,5.119515e-04,5.168873e-04,5.365694e-04,5.493005e-04,5.610008e-04,5.813392e-04,5.851914e-04,6.090915e-04,6.128854e-04,6.326554e-04,6.438343e-04,6.558417e-04,6.740940e-04,6.786135e-04,7.009378e-04,7.035852e-04,7.227855e-04,7.322408e-04,7.441314e-04,7.600054e-04,7.649541e-04,7.852353e-04,7.868340e-04,8.049604e-04,8.126919e-04,8.241174e-04,8.375536e-04,8.426974e-04,8.606941e-04,8.614017e-04,8.781034e-04,8.842266e-04,8.949236e-04,9.060250e-04,9.111551e-04,9.267997e-04,9.418614e-04,9.465588e-04,9.563452e-04,9.653145e-04,9.702575e-04,9.830829e-04,9.836061e-04,9.963995e-04,9.998834e-04,1.008647e-03,1.015738e-03,1.020359e-03,1.030671e-03,1.031547e-03,1.042221e-03,1.044708e-03,1.052394e-03,1.057876e-03,1.062077e-03,1.070203e-03,1.071283e-03,1.080025e-03,1.081719e-03,1.088316e-03,1.092453e-03,1.096167e-03,1.102433e-03,1.103593e-03,1.110605e-03,1.111689e-03,1.117216e-03,1.120251e-03,1.123440e-03,1.128147e-03,1.129287e-03,1.134772e-03,1.135406e-03,1.139905e-03,1.142055e-03,1.144699e-03,1.148122e-03,1.149164e-03,1.153314e-03,1.153632e-03,1.157158e-03,1.158613e-03,1.160708e-03,1.163088e-03,1.163975e-03,1.166968e-03,1.167082e-03,1.169698e-03,1.170618e-03,1.172174e-03,1.173719e-03,1.174407e-03,1.176406e-03,1.178700e-03,1.180621e-03,1.182188e-03,1.183420e-03,1.184334e-03,1.184947e-03,1.185275e-03,1.185334e-03,1.185138e-03,1.184701e-03,1.184037e-03,1.183158e-03,1.182077e-03,1.180805e-03,1.179353e-03,1.177732e-03,1.175952e-03,1.174022e-03,1.171951e-03,1.169749e-03,1.167423e-03,1.164981e-03,1.162430e-03,1.159778e-03
0.000000e+00,6.290465e-10,1.978939e-09,9.698839e-09,2.613010e-08,4.060155e-08,1.028653e-07,1.063213e-07,2.195445e-07,2.615236e-07,3.933654e-07,5.324880e-07,6.416263e-07,9.473463e-07,9.777222e-07,1.410193e-06,1.528391e-06,1.937588e-06,2.270835e-06,2.549957e-06,3.149496e-06,3.235200e-06,3.982518e-06,4.138589e-06,4.782540e-06,5.216496e-06,5.626621e-06,6.363567e-06,6.506385e-06,7.413581e-06,7.560735e-06,8.340134e-06,8.789458e-06,9.278279e-06,1.003222e-05,1.022072e-05,1.116076e-05,1.127311e-05,1.209240e-05,1.249827e-05,1.301038e-05,1.369612e-05,1.391022e-05,1.478818e-05,1.485738e-05,1.564125e-05,1.597495e-05,1.646705e-05,1.704372e-05,1.726381e-05,1.803026e-05,1.806028e-05,1.876562e-05,1.902264e-05,1.946944e-05,1.992996e-05,2.014163e-05,2.078234e-05,2.139195e-05,2.158054e-05,2.197099e-05,2.232586e-05,2.252016e-05,2.301997e-05,2.304022e-05,2.353205e-05,2.366482e-05,2.399653e-05,2.426250e-05,2.443464e-05,2.481523e-05,2.484733e-05,2.523558e-05,2.532524e-05,2.560038e-05,2.579479e-05,2.594270e-05,2.622610e-05,2.626349e-05,2.656369e-05,2.662135e-05,2.684423e-05,2.698264e-05,2.710600e-05,2.731200e-05,2.734985e-05,2.757663e-05,2.761138e-05,2.778715e-05,2.788265e-05,2.798218e-05,2.812758e-05,2.816250e-05,2.832880e-05,2.834785e-05,2.848180e-05,2.854507e-05,2.862215e-05,2.872076e-05,2.875050e-05,2.886746e-05,2.887634e-05,2.897361e-05,2.901317e-05,2.906952e-05,2.913253e-05,2.915572e-05,2.923272e-05,2.923562e-05,2.930102e-05,2.932357e-05,2.936109e-05,2.939745e-05,2.941336e-05,2.945826e-05,2.949621e-05,2.950695e-05,2.952759e-05,2.954439e-05,2.955276e-05,2.957142e-05,2.957208e-05,2.958589e-05,2.958881e-05,2.959450e-05,2.959730e-05,2.959822e-05,2.959757e-05,2.959733e-05,2.959212e-05,2.959026e-05,2.958285e-05,2.957597e-05,2.956976e-05,2.955527e-05,2.955309e-05,2.953307e-05,2.952868e-05,2.950991e-05,2.949670e-05,2.948382e-05,2.945978e-05,2.945499e-05,2.942360e-05,2.941835e-05,2.938983e-05,2.937282e-05,2.935385e-05,2.932357e-05,2.931580e-05,2.927586e-05,2.927094e-05,2.923414e-05,2.921526e-05,2.919080e-05,2.915684e-05,2.914595e-05,2.909972e-05,2.909597e-05,2.905223e-05,2.903290e-05,2.900358e-05,2.896790e-05,2.895388e-05,2.890322e-05,2.890118e-05,2.885170e-05,2.883296e-05,2.879941e-05,2.876345e-05,2.874642e-05,2.869283e-05,2.862126e-05,2.854893e-05,2.847596e-05,2.840250e-05,2.832869e-05,2.825463e-05,2.818043e-05,2.810621e-05,2.803204e-05,2.795803e-05,2.788424e-05,2.781076e-05,2.773764e-05,2.766495e-05,2.759275e-05,2.752109e-05,2.745001e-05,2.737955e-05,2.730977e-05,2.724068e-05,2.717233e-05,2.710474e-05,2.703794e-05,2.697195e-05
0.000000e+00,2.457625e-12,1.263722e-11,1.439992e-10,7.202358e-10,1.503037e-09,7.318310e-09,7.746562e-09,2.713711e-08,3.675175e-08,7.450214e-08,1.255733e-07,1.729475e-07,3.365944e-07,3.552102e-07,6.645967e-07,7.635686e-07,1.155440e-06,1.533451e-06,1.892936e-06,2.805353e-06,2.952124e-06,4.415824e-06,4.764764e-06,6.371540e-06,7.612388e-06,8.907705e-06,1.154933e-05,1.210975e-05,1.605643e-05,1.676177e-05,2.081669e-05,2.340778e-05,2.644725e-05,3.160751e-05,3.299082e-05,4.047505e-05,4.143711e-05,4.891212e-05,5.292600e-05,5.829882e-05,6.605726e-05,6.861714e-05,7.983524e-05,8.077031e-05,9.190870e-05,9.696549e-05,1.047820e-04,1.145100e-04,1.183903e-04,1.326608e-04,1.332443e-04,1.475149e-04,1.529894e-04,1.628698e-04,1.735534e-04,1.786397e-04,1.947381e-04,2.110783e-04,2.163443e-04,2.275754e-04,2.381777e-04,2.441470e-04,2.600523e-04,2.607139e-04,2.772013e-04,2.817939e-04,2.935391e-04,3.032427e-04,3.096623e-04,3.242549e-04,3.255115e-04,3.410328e-04,3.447037e-04,3.561783e-04,3.644795e-04,3.709054e-04,3.834899e-04,3.851774e-04,3.989630e-04,4.016594e-04,4.122361e-04,4.189283e-04,4.249753e-04,4.352516e-04,4.371643e-04,4.487907e-04,4.505981e-04,4.598464e-04,4.649489e-04,4.703268e-04,4.782960e-04,4.802307e-04,4.895599e-04,4.906410e-04,4.983190e-04,5.019941e-04,5.065149e-04,5.123725e-04,5.141565e-04,5.212545e-04,5.217993e-04,5.278215e-04,5.303026e-04,5.338709e-04,5.379144e-04,5.394177e-04,5.444773e-04,5.446698e-04,5.490662e-04,5.506062e-04,5.532012e-04,5.557625e-04,5.568995e-04,5.601787e-04,5.630562e-04,5.638950e-04,5.655497e-04,5.669521e-04,5.676766e-04,5.693899e-04,5.694545e-04,5.709003e-04,5.712479e-04,5.720309e-04,5.725649e-04,5.728628e-04,5.733782e-04,5.734121e-04,5.736945e-04,5.737242e-04,5.737251e-04,5.736378e-04,5.735187e-04,5.731523e-04,5.730895e-04,5.724514e-04,5.722999e-04,5.716175e-04,5.711108e-04,5.706006e-04,5.696139e-04,5.694129e-04,5.680662e-04,5.678367e-04,5.665716e-04,5.658048e-04,5.649398e-04,5.635425e-04,5.631811e-04,5.613052e-04,5.610726e-04,5.593213e-04,5.584165e-04,5.572383e-04,5.555942e-04,5.550646e-04,5.528082e-04,5.526243e-04,5.504765e-04,5.495243e-04,5.480767e-04,5.463106e-04,5.456157e-04,5.430997e-04,5.429980e-04,5.405349e-04,5.396007e-04,5.379269e-04,5.361315e-04,5.352810e-04,5.326025e-04,5.290246e-04,5.254080e-04,5.217622e-04,5.180957e-04,5.144163e-04,5.107314e-04,5.070474e-04,5.033704e-04,4.997058e-04,4.960585e-04,4.924331e-04,4.888334e-04,4.852633e-04,4.817258e-04,4.782239e-04,4.747601e-04,4.713367e-04,4.679557e-04,4.646188e-04,4.613274e-04,4.580829e-04,4.548863e-04,4.517385e-04,4.486403e-04
0.000000e+00,4.838423e-13,2.444658e-12,2.686212e-11,1.300264e-10,2.665958e-10,1.242272e-09,1.312710e-09,4.419776e-09,5.926763e-09,1.174279e-08,1.947272e-08,2.656348e-08,5.071980e-08,5.344275e-08,9.810209e-08,1.121688e-07,1.668940e-07,2.183029e-07,2.660340e-07,3.826812e-07,4.008999e-07,5.755667e-07,6.155287e-07,7.925899e-07,9.225754e-07,1.052977e-06,1.304927e-06,1.356283e-06,1.700773e-06,1.759537e-06,2.083617e-06,2.279944e-06,2.501101e-06,2.857091e-06,2.948827e-06,3.421913e-06,3.480144e-06,3.915181e-06,4.137246e-06,4.423326e-06,4.816214e-06,4.941070e-06,5.463299e-06,5.505124e-06,5.985172e-06,6.192805e-06,6.502213e-06,6.869205e-06,7.010383e-06,7.506121e-06,7.525647e-06,7.986370e-06,8.154963e-06,8.448589e-06,8.751540e-06,8.890741e-06,9.311272e-06,9.709077e-06,9.831452e-06,1.008347e-05,1.031062e-05,1.043412e-05,1.074841e-05,1.076103e-05,1.106448e-05,1.114530e-05,1.134497e-05,1.150252e-05,1.160319e-05,1.182180e-05,1.183997e-05,1.205626e-05,1.210524e-05,1.225308e-05,1.235519e-05,1.243150e-05,1.257414e-05,1.259260e-05,1.273748e-05,1.276460e-05,1.286722e-05,1.292906e-05,1.298288e-05,1.306990e-05,1.308548e-05,1.317600e-05,1.318942e-05,1.325535e-05,1.328973e-05,1.332441e-05,1.337281e-05,1.338401e-05,1.343491e-05,1.344047e-05,1.347783e-05,1.349435e-05,1.351341e-05,1.353594e-05,1.354229e-05,1.356500e-05,1.356657e-05,1.358208e-05,1.358744e-05,1.359400e-05,1.359962e-05,1.360118e-05,1.360403e-05,1.360406e-05,1.360292e-05,1.360161e-05,1.359817e-05,1.359303e-05,1.359010e-05,1.357897e-05,1.356504e-05,1.356004e-05,1.354856e-05,1.353676e-05,1.352972e-05,1.350961e-05,1.350873e-05,1.348576e-05,1.347900e-05,1.346099e-05,1.344532e-05,1.343455e-05,1.340889e-05,1.340660e-05,1.337726e-05,1.337003e-05,1.334665e-05,1.332899e-05,1.331487e-05,1.328603e-05,1.328204e-05,1.324824e-05,1.324137e-05,1.321356e-05,1.319521e-05,1.317809e-05,1.314773e-05,1.314189e-05,1.310505e-05,1.309910e-05,1.306762e-05,1.304946e-05,1.302966e-05,1.299895e-05,1.299123e-05,1.295239e-05,1.294771e-05,1.291318e-05,1.289583e-05,1.287366e-05,1.284343e-05,1.283386e-05,1.279382e-05,1.279061e-05,1.275359e-05,1.273745e-05,1.271320e-05,1.268404e-05,1.267269e-05,1.263207e-05,1.263045e-05,1.259140e-05,1.257674e-05,1.255068e-05,1.252299e-05,1.250996e-05,1.246925e-05,1.241557e-05,1.236201e-05,1.230861e-05,1.225540e-05,1.220244e-05,1.214975e-05,1.209737e-05,1.204532e-05,1.199364e-05,1.194234e-05,1.189146e-05,1.184101e-05,1.179100e-05,1.174147e-05,1.169241e-05,1.164385e-05,1.159579e-05,1.154826e-05,1.150125e-05,1.145477e-05,1.140884e-05,1.136346e-05,1.131863e-05,1.127436e-05
0.000000e+00,2.141947e-09,4.980196e-09,1.740042e-08,3.992427e-08,5.849195e-08,1.343932e-07,1.385223e-07,2.726566e-07,3.223546e-07,4.795614e-07,6.477398e-07,7.812363e-07,1.160372e-06,1.198308e-06,1.739393e-06,1.886884e-06,2.393850e-06,2.801448e-06,3.138794e-06,3.850700e-06,3.951077e-06,4.812467e-06,4.989379e-06,5.709390e-06,6.186269e-06,6.631367e-06,7.418842e-06,7.569771e-06,8.517119e-06,8.669068e-06,9.466712e-06,9.921516e-06,1.041251e-05,1.116274e-05,1.134908e-05,1.227163e-05,1.238119e-05,1.317599e-05,1.356722e-05,1.405864e-05,1.471313e-05,1.491669e-05,1.574781e-05,1.581308e-05,1.655025e-05,1.686290e-05,1.732277e-05,1.785998e-05,1.806453e-05,1.877498e-05,1.880275e-05,1.945401e-05,1.969078e-05,2.010172e-05,2.052443e-05,2.071843e-05,2.130469e-05,2.186113e-05,2.203302e-05,2.238850e-05,2.271114e-05,2.288763e-05,2.334106e-05,2.335942e-05,2.380479e-05,2.392489e-05,2.422471e-05,2.446484e-05,2.462013e-05,2.496311e-05,2.499202e-05,2.534134e-05,2.542193e-05,2.566904e-05,2.584345e-05,2.597604e-05,2.622979e-05,2.626324e-05,2.653153e-05,2.658299e-05,2.678175e-05,2.690501e-05,2.701474e-05,2.719772e-05,2.723129e-05,2.743217e-05,2.746291e-05,2.761812e-05,2.770228e-05,2.778985e-05,2.791745e-05,2.794804e-05,2.809335e-05,2.810995e-05,2.822639e-05,2.828121e-05,2.834779e-05,2.843260e-05,2.845810e-05,2.855788e-05,2.856542e-05,2.864765e-05,2.868087e-05,2.872792e-05,2.878010e-05,2.879916e-05,2.886184e-05,2.886418e-05,2.891639e-05,2.893412e-05,2.896323e-05,2.899088e-05,2.900276e-05,2.903536e-05,2.906138e-05,2.906838e-05,2.908118e-05,2.909074e-05,2.909509e-05,2.910318e-05,2.910341e-05,2.910646e-05,2.910640e-05,2.910451e-05,2.910106e-05,2.909784e-05,2.908775e-05,2.908670e-05,2.907134e-05,2.906706e-05,2.905201e-05,2.903952e-05,2.902891e-05,2.900565e-05,2.900228e-05,2.897230e-05,2.896592e-05,2.893918e-05,2.892077e-05,2.890309e-05,2.887062e-05,2.886422e-05,2.882273e-05,2.881586e-05,2.877878e-05,2.875685e-05,2.873252e-05,2.869395e-05,2.868410e-05,2.863365e-05,2.862747e-05,2.858131e-05,2.855772e-05,2.852721e-05,2.848498e-05,2.847145e-05,2.841415e-05,2.840951e-05,2.835543e-05,2.833156e-05,2.829538e-05,2.825137e-05,2.823410e-05,2.817168e-05,2.816916e-05,2.810821e-05,2.808513e-05,2.804379e-05,2.799946e-05,2.797847e-05,2.791235e-05,2.782396e-05,2.773444e-05,2.764395e-05,2.755261e-05,2.746057e-05,2.736793e-05,2.727482e-05,2.718134e-05,2.708758e-05,2.699364e-05,2.689961e-05,2.680556e-05,2.671157e-05,2.661771e-05,2.652404e-05,2.643063e-05,2.633752e-05,2.624478e-05,2.615245e-05,2.606057e-05,2.596919e-05,2.587834e-05,2.578806e-05,2.569839e-05
0.000000e+00,1.580004e-12,7.749355e-12,8.006211e-11,3.662812e-10,7.279162e-10,3.124959e-09,3.290976e-09,1.018320e-08,1.333637e-08,2.486198e-08,3.918131e-08,5.166646e-08,9.134038e-08,9.561428e-08,1.622102e-07,1.822055e-07,2.572722e-07,3.251550e-07,3.867321e-07,5.336832e-07,5.563319e-07,7.711582e-07,8.199181e-07,1.035072e-06,1.192498e-06,1.350228e-06,1.654781e-06,1.716854e-06,2.133342e-06,2.204415e-06,2.596546e-06,2.834255e-06,3.102189e-06,3.533894e-06,3.645239e-06,4.220247e-06,4.291129e-06,4.821590e-06,5.093076e-06,5.443664e-06,5.926937e-06,6.081009e-06,6.728403e-06,6.780479e-06,7.380933e-06,7.642349e-06,8.034040e-06,8.502277e-06,8.683553e-06,9.325713e-06,9.351197e-06,9.957182e-06,1.018132e-05,1.057505e-05,1.098615e-05,1.117684e-05,1.176045e-05,1.232419e-05,1.250017e-05,1.286673e-05,1.320235e-05,1.338706e-05,1.386503e-05,1.388448e-05,1.435856e-05,1.448708e-05,1.480908e-05,1.506809e-05,1.523606e-05,1.560824e-05,1.563967e-05,1.602024e-05,1.610820e-05,1.637821e-05,1.656900e-05,1.671412e-05,1.699196e-05,1.702858e-05,1.732228e-05,1.737859e-05,1.759593e-05,1.773055e-05,1.785027e-05,1.804956e-05,1.808608e-05,1.830412e-05,1.833740e-05,1.850516e-05,1.859586e-05,1.868999e-05,1.882668e-05,1.885935e-05,1.901399e-05,1.903159e-05,1.915463e-05,1.921226e-05,1.928198e-05,1.937029e-05,1.939671e-05,1.949948e-05,1.950721e-05,1.959093e-05,1.962448e-05,1.967166e-05,1.972348e-05,1.974226e-05,1.980329e-05,1.980554e-05,1.985527e-05,1.987187e-05,1.989873e-05,1.992365e-05,1.993414e-05,1.996197e-05,1.998266e-05,1.998784e-05,1.999663e-05,2.000223e-05,2.000429e-05,2.000604e-05,2.000600e-05,2.000214e-05,2.000011e-05,1.999305e-05,1.998522e-05,1.997905e-05,1.996210e-05,1.996045e-05,1.993755e-05,1.993144e-05,1.991062e-05,1.989387e-05,1.987992e-05,1.984999e-05,1.984571e-05,1.980822e-05,1.980035e-05,1.976768e-05,1.974547e-05,1.972430e-05,1.968582e-05,1.967829e-05,1.962982e-05,1.962185e-05,1.957908e-05,1.955397e-05,1.952625e-05,1.948258e-05,1.947148e-05,1.941493e-05,1.940803e-05,1.935673e-05,1.933064e-05,1.929704e-05,1.925074e-05,1.923597e-05,1.917364e-05,1.916861e-05,1.911019e-05,1.908451e-05,1.904570e-05,1.899869e-05,1.898029e-05,1.891405e-05,1.891138e-05,1.884707e-05,1.882280e-05,1.877944e-05,1.873313e-05,1.871125e-05,1.864256e-05,1.855126e-05,1.845939e-05,1.836709e-05,1.827448e-05,1.818171e-05,1.808886e-05,1.799606e-05,1.790340e-05,1.781096e-05,1.771882e-05,1.762707e-05,1.753576e-05,1.744496e-05,1.735473e-05,1.726512e-05,1.717617e-05,1.708793e-05,1.700043e-05,1.691371e-05,1.682781e-05,1.674274e-05,1.665854e-05,1.657522e-05,1.649281e-05
0.000000e+00,1.771982e-11,8.137970e-11,7.370968e-10,3.008206e-09,5.628167e-09,2.083633e-08,2.181671e-08,5.895963e-08,7.456793e-08,1.277832e-07,1.887901e-07,2.390838e-07,3.879146e-07,4.032237e-07,6.299167e-07,6.946410e-07,9.280709e-07,1.129211e-06,1.305455e-06,1.707867e-06,1.768004e-06,2.318819e-06,2.439592e-06,2.957308e-06,3.322636e-06,3.679032e-06,4.344116e-06,4.476398e-06,5.339790e-06,5.483360e-06,6.258667e-06,6.716290e-06,7.222340e-06,8.018527e-06,8.220410e-06,9.242999e-06,9.366910e-06,1.028085e-05,1.074009e-05,1.132536e-05,1.211878e-05,1.236867e-05,1.340364e-05,1.348588e-05,1.442392e-05,1.482665e-05,1.542394e-05,1.612870e-05,1.639893e-05,1.734490e-05,1.738208e-05,1.825860e-05,1.857913e-05,1.913750e-05,1.971429e-05,1.997972e-05,2.078395e-05,2.154940e-05,2.178609e-05,2.227575e-05,2.272010e-05,2.296305e-05,2.358649e-05,2.361170e-05,2.422237e-05,2.438667e-05,2.479594e-05,2.512270e-05,2.533346e-05,2.579718e-05,2.583614e-05,2.630526e-05,2.641301e-05,2.674219e-05,2.697332e-05,2.714832e-05,2.748137e-05,2.752508e-05,2.787389e-05,2.794043e-05,2.819618e-05,2.835374e-05,2.849332e-05,2.872448e-05,2.876667e-05,2.901756e-05,2.905570e-05,2.924725e-05,2.935033e-05,2.945697e-05,2.961115e-05,2.964789e-05,2.982113e-05,2.984079e-05,2.997778e-05,3.004170e-05,3.011883e-05,3.021621e-05,3.024527e-05,3.035800e-05,3.036646e-05,3.045791e-05,3.049446e-05,3.054580e-05,3.060209e-05,3.062247e-05,3.068863e-05,3.069107e-05,3.074499e-05,3.076300e-05,3.079219e-05,3.081937e-05,3.083085e-05,3.086154e-05,3.088481e-05,3.089078e-05,3.090118e-05,3.090825e-05,3.091112e-05,3.091503e-05,3.091508e-05,3.091350e-05,3.091211e-05,3.090676e-05,3.090040e-05,3.089525e-05,3.088074e-05,3.087931e-05,3.085928e-05,3.085390e-05,3.083547e-05,3.082059e-05,3.080816e-05,3.078146e-05,3.077764e-05,3.074416e-05,3.073713e-05,3.070796e-05,3.068813e-05,3.066926e-05,3.063498e-05,3.062828e-05,3.058521e-05,3.057814e-05,3.054025e-05,3.051805e-05,3.049357e-05,3.045509e-05,3.044532e-05,3.039567e-05,3.038962e-05,3.034475e-05,3.032199e-05,3.029271e-05,3.025248e-05,3.023967e-05,3.018574e-05,3.018139e-05,3.013103e-05,3.010896e-05,3.007566e-05,3.003543e-05,3.001971e-05,2.996328e-05,2.996101e-05,2.990645e-05,2.988591e-05,2.984930e-05,2.981029e-05,2.979190e-05,2.973432e-05,2.965816e-05,2.958193e-05,2.950577e-05,2.942978e-05,2.935407e-05,2.927874e-05,2.920385e-05,2.912950e-05,2.905574e-05,2.898265e-05,2.891027e-05,2.883866e-05,2.876785e-05,2.869790e-05,2.862882e-05,2.856066e-05,2.849344e-05,2.842718e-05,2.836190e-05,2.829761e-05,2.823434e-05,2.817208e-05,2.811086e-05,2.805066e-05
0.000000e+00,4.281350e-12,2.207643e-11,2.532706e-10,1.276807e-09,2.678597e-09,1.327492e-08,1.406393e-08,5.054111e-08,6.903437e-08,1.434485e-07,2.474917e-07,3.465619e-07,7.015987e-07,7.429306e-07,1.447581e-06,1.678037e-06,2.604444e-06,3.511004e-06,4.379475e-06,6.595530e-06,6.952578e-06,1.050980e-05,1.135572e-05,1.523638e-05,1.821599e-05,2.131077e-05,2.757717e-05,2.889956e-05,3.815320e-05,3.979732e-05,4.920251e-05,5.517674e-05,6.215588e-05,7.394668e-05,7.709712e-05,9.408406e-05,9.626172e-05,1.131478e-04,1.221957e-04,1.342924e-04,1.517413e-04,1.574957e-04,1.827101e-04,1.848121e-04,2.098642e-04,2.212488e-04,2.388650e-04,2.608265e-04,2.695998e-04,3.019392e-04,3.032642e-04,3.357396e-04,3.482359e-04,3.708461e-04,3.953814e-04,4.070952e-04,4.443177e-04,4.823414e-04,4.946498e-04,5.209930e-04,5.459802e-04,5.601009e-04,5.979177e-04,5.994971e-04,6.390184e-04,6.500853e-04,6.785086e-04,7.021257e-04,7.178193e-04,7.537065e-04,7.568109e-04,7.953536e-04,8.045234e-04,8.333274e-04,8.543032e-04,8.706232e-04,9.028041e-04,9.071424e-04,9.427968e-04,9.498169e-04,9.775090e-04,9.951643e-04,1.011212e-03,1.038700e-03,1.043848e-03,1.075369e-03,1.080306e-03,1.105737e-03,1.119895e-03,1.134922e-03,1.157402e-03,1.162900e-03,1.189657e-03,1.192786e-03,1.215185e-03,1.226028e-03,1.239482e-03,1.257127e-03,1.262552e-03,1.284402e-03,1.286098e-03,1.305047e-03,1.312971e-03,1.324503e-03,1.337787e-03,1.342791e-03,1.359936e-03,1.360598e-03,1.375962e-03,1.381464e-03,1.390900e-03,1.400451e-03,1.404779e-03,1.417631e-03,1.429490e-03,1.433080e-03,1.440388e-03,1.446875e-03,1.450361e-03,1.459097e-03,1.459443e-03,1.467670e-03,1.469825e-03,1.475077e-03,1.479141e-03,1.481697e-03,1.487124e-03,1.487567e-03,1.492719e-03,1.493852e-03,1.497187e-03,1.499403e-03,1.501004e-03,1.503850e-03,1.504203e-03,1.506813e-03,1.507268e-03,1.508867e-03,1.509724e-03,1.510392e-03,1.511287e-03,1.511419e-03,1.511973e-03,1.512020e-03,1.512083e-03,1.511985e-03,1.511773e-03,1.511240e-03,1.511068e-03,1.509993e-03,1.509840e-03,1.508570e-03,1.507839e-03,1.506821e-03,1.505286e-03,1.504767e-03,1.502427e-03,1.502228e-03,1.499821e-03,1.498709e-03,1.496968e-03,1.494770e-03,1.493884e-03,1.490587e-03,1.490451e-03,1.487091e-03,1.485787e-03,1.483412e-03,1.480814e-03,1.479565e-03,1.475562e-03,1.470062e-03,1.464342e-03,1.458427e-03,1.452341e-03,1.446107e-03,1.439745e-03,1.433275e-03,1.426715e-03,1.420080e-03,1.413385e-03,1.406646e-03,1.399875e-03,1.393083e-03,1.386282e-03,1.379481e-03,1.372690e-03,1.365917e-03,1.359170e-03,1.352455e-03,1.345779e-03,1.339148e-03,1.332567e-03,1.326040e-03,1.319572e-03
0.000000e+00,1.024214e-11,5.007786e-11,5.143513e-10,2.343187e-09,4.648823e-09,1.993028e-08,2.099027e-08,6.526420e-08,8.569819e-08,1.612931e-07,2.570106e-07,3.419095e-07,6.190059e-07,6.494144e-07,1.133114e-06,1.280983e-06,1.841654e-06,2.351422e-06,2.812826e-06,3.901075e-06,4.066664e-06,5.604443e-06,5.945041e-06,7.411980e-06,8.450578e-06,9.464523e-06,1.135557e-05,1.173128e-05,1.417884e-05,1.458496e-05,1.677338e-05,1.806126e-05,1.948202e-05,2.170999e-05,2.227347e-05,2.511848e-05,2.546217e-05,2.799002e-05,2.925545e-05,3.086342e-05,3.303473e-05,3.371653e-05,3.652970e-05,3.675250e-05,3.928588e-05,4.036906e-05,4.197057e-05,4.385243e-05,4.457174e-05,4.707975e-05,4.717802e-05,4.948715e-05,5.032808e-05,5.178851e-05,5.329096e-05,5.398022e-05,5.606024e-05,5.802791e-05,5.863388e-05,5.988369e-05,6.101332e-05,6.162905e-05,6.320272e-05,6.326616e-05,6.479784e-05,6.520826e-05,6.622737e-05,6.703754e-05,6.755834e-05,6.869911e-05,6.879462e-05,6.994018e-05,7.020206e-05,7.099909e-05,7.155576e-05,7.197544e-05,7.276955e-05,7.287328e-05,7.369660e-05,7.385267e-05,7.444930e-05,7.481406e-05,7.513517e-05,7.566233e-05,7.575786e-05,7.632089e-05,7.640567e-05,7.682764e-05,7.705184e-05,7.728134e-05,7.760817e-05,7.768507e-05,7.804176e-05,7.808154e-05,7.835422e-05,7.847837e-05,7.862508e-05,7.880468e-05,7.885687e-05,7.905197e-05,7.906606e-05,7.921264e-05,7.926774e-05,7.934100e-05,7.941456e-05,7.943908e-05,7.950880e-05,7.951102e-05,7.955193e-05,7.956129e-05,7.957020e-05,7.956924e-05,7.956521e-05,7.953846e-05,7.949140e-05,7.947227e-05,7.942537e-05,7.937374e-05,7.934164e-05,7.924573e-05,7.924142e-05,7.912583e-05,7.909086e-05,7.899594e-05,7.891157e-05,7.885276e-05,7.871011e-05,7.869723e-05,7.853025e-05,7.848856e-05,7.835265e-05,7.824886e-05,7.816524e-05,7.799278e-05,7.796875e-05,7.776388e-05,7.772197e-05,7.755131e-05,7.743794e-05,7.733166e-05,7.714211e-05,7.710551e-05,7.687342e-05,7.683577e-05,7.663590e-05,7.652011e-05,7.639346e-05,7.619626e-05,7.614654e-05,7.589560e-05,7.586523e-05,7.564103e-05,7.552797e-05,7.538322e-05,7.518534e-05,7.512253e-05,7.485931e-05,7.483816e-05,7.459388e-05,7.448716e-05,7.432654e-05,7.413303e-05,7.405757e-05,7.378724e-05,7.377640e-05,7.351580e-05,7.341785e-05,7.324349e-05,7.305793e-05,7.297052e-05,7.269711e-05,7.233586e-05,7.197459e-05,7.161369e-05,7.125350e-05,7.089436e-05,7.053655e-05,7.018035e-05,6.982600e-05,6.947374e-05,6.912376e-05,6.877625e-05,6.843139e-05,6.808932e-05,6.775019e-05,6.741412e-05,6.708122e-05,6.675159e-05,6.642533e-05,6.610251e-05,6.578320e-05,6.546745e-05,6.515533e-05,6.484688e-05,6.454214e-05
0.000000e+00,5.726573e-09,1.316288e-08,4.563972e-08,1.048197e-07,1.539090e-07,3.569200e-07,3.680561e-07,7.336364e-07,8.704939e-07,1.305581e-06,1.770006e-06,2.134612e-06,3.140265e-06,3.238369e-06,4.598285e-06,4.959586e-06,6.186391e-06,7.166713e-06,7.980036e-06,9.714442e-06,9.961636e-06,1.211551e-05,1.256558e-05,1.442582e-05,1.568347e-05,1.687575e-05,1.902853e-05,1.944741e-05,2.212223e-05,2.255852e-05,2.488139e-05,2.623029e-05,2.770638e-05,3.000182e-05,3.057946e-05,3.348401e-05,3.383393e-05,3.640478e-05,3.769147e-05,3.932805e-05,4.154388e-05,4.224167e-05,4.513505e-05,4.536536e-05,4.799903e-05,4.913462e-05,5.082589e-05,5.283458e-05,5.360918e-05,5.634364e-05,5.645194e-05,5.902489e-05,5.997639e-05,6.164933e-05,6.340008e-05,6.421423e-05,6.671746e-05,6.915744e-05,6.992467e-05,7.153303e-05,7.301928e-05,7.384351e-05,7.599991e-05,7.608845e-05,7.826770e-05,7.886613e-05,8.038136e-05,8.161819e-05,8.242972e-05,8.425692e-05,8.441322e-05,8.633244e-05,8.678357e-05,8.818808e-05,8.919975e-05,8.998092e-05,9.150736e-05,9.171183e-05,9.338175e-05,9.370850e-05,9.499167e-05,9.580545e-05,9.654262e-05,9.780062e-05,9.803566e-05,9.947191e-05,9.969652e-05,1.008525e-04,1.014957e-04,1.021785e-04,1.032009e-04,1.034512e-04,1.046717e-04,1.048147e-04,1.058411e-04,1.063398e-04,1.069607e-04,1.077789e-04,1.080315e-04,1.090549e-04,1.091348e-04,1.100319e-04,1.104100e-04,1.109637e-04,1.116073e-04,1.118515e-04,1.126964e-04,1.127293e-04,1.134995e-04,1.137786e-04,1.142619e-04,1.147577e-04,1.149848e-04,1.156692e-04,1.163163e-04,1.165156e-04,1.169270e-04,1.172993e-04,1.175024e-04,1.180225e-04,1.180435e-04,1.185514e-04,1.186878e-04,1.190270e-04,1.192973e-04,1.194713e-04,1.198532e-04,1.198853e-04,1.202698e-04,1.203578e-04,1.206258e-04,1.208130e-04,1.209542e-04,1.212211e-04,1.212559e-04,1.215317e-04,1.215838e-04,1.217825e-04,1.219033e-04,1.220091e-04,1.221813e-04,1.222122e-04,1.223928e-04,1.224196e-04,1.225515e-04,1.226201e-04,1.226891e-04,1.227844e-04,1.228063e-04,1.229038e-04,1.229142e-04,1.229824e-04,1.230112e-04,1.230427e-04,1.230767e-04,1.230854e-04,1.231111e-04,1.231125e-04,1.231205e-04,1.231198e-04,1.231141e-04,1.231001e-04,1.230926e-04,1.230565e-04,1.230548e-04,1.230064e-04,1.229851e-04,1.229429e-04,1.228923e-04,1.228664e-04,1.227776e-04,1.226422e-04,1.224872e-04,1.223137e-04,1.221228e-04,1.219154e-04,1.216925e-04,1.214550e-04,1.212038e-04,1.209398e-04,1.206638e-04,1.203766e-04,1.200790e-04,1.197716e-04,1.194552e-04,1.191304e-04,1.187979e-04,1.184582e-04,1.181120e-04,1.177599e-04,1.174023e-04,1.170398e-04,1.166728e-04,1.163019e-04,1.159274e-04
0.000000e+00,2.675235e-09,6.171784e-09,2.144065e-08,4.916299e-08,7.205437e-08,1.658512e-07,1.709605e-07,3.371096e-07,3.987056e-07,5.934291e-07,8.010450e-07,9.648583e-07,1.422887e-06,1.468063e-06,2.101268e-06,2.271155e-06,2.851236e-06,3.317258e-06,3.705064e-06,4.534794e-06,4.653319e-06,5.688722e-06,5.905678e-06,6.804648e-06,7.414499e-06,7.994244e-06,9.045002e-06,9.250054e-06,1.056396e-05,1.077901e-05,1.192730e-05,1.259662e-05,1.333103e-05,1.447695e-05,1.476601e-05,1.622316e-05,1.639909e-05,1.769373e-05,1.834289e-05,1.916946e-05,2.028971e-05,2.064266e-05,2.210636e-05,2.222286e-05,2.355434e-05,2.412788e-05,2.498112e-05,2.599261e-05,2.638200e-05,2.775299e-05,2.780716e-05,2.909081e-05,2.956377e-05,3.039277e-05,3.125654e-05,3.165679e-05,3.288126e-05,3.406506e-05,3.443515e-05,3.520743e-05,3.591660e-05,3.630796e-05,3.732498e-05,3.736651e-05,3.838321e-05,3.866043e-05,3.935837e-05,3.992373e-05,4.029248e-05,4.111614e-05,4.118616e-05,4.204013e-05,4.223927e-05,4.285522e-05,4.329502e-05,4.363232e-05,4.428549e-05,4.437237e-05,4.507634e-05,4.521289e-05,4.574524e-05,4.607954e-05,4.638008e-05,4.688779e-05,4.698191e-05,4.755175e-05,4.764003e-05,4.809064e-05,4.833861e-05,4.859959e-05,4.898587e-05,4.907961e-05,4.953170e-05,4.958412e-05,4.995683e-05,5.013560e-05,5.035596e-05,5.064250e-05,5.073004e-05,5.107997e-05,5.110695e-05,5.140666e-05,5.153102e-05,5.171097e-05,5.191670e-05,5.199376e-05,5.225585e-05,5.226592e-05,5.249805e-05,5.258052e-05,5.272113e-05,5.286230e-05,5.292586e-05,5.311295e-05,5.328314e-05,5.333414e-05,5.343710e-05,5.352742e-05,5.357549e-05,5.369431e-05,5.369898e-05,5.380817e-05,5.383626e-05,5.390367e-05,5.395464e-05,5.398606e-05,5.405077e-05,5.405591e-05,5.411376e-05,5.412591e-05,5.416013e-05,5.418127e-05,5.419552e-05,5.421799e-05,5.422044e-05,5.423534e-05,5.423716e-05,5.424069e-05,5.423983e-05,5.423691e-05,5.422700e-05,5.422443e-05,5.420366e-05,5.419960e-05,5.417499e-05,5.415854e-05,5.413880e-05,5.410467e-05,5.409544e-05,5.404527e-05,5.403881e-05,5.398862e-05,5.396173e-05,5.392582e-05,5.387417e-05,5.385718e-05,5.378299e-05,5.377683e-05,5.370356e-05,5.367037e-05,5.361914e-05,5.355543e-05,5.353001e-05,5.343643e-05,5.343259e-05,5.333863e-05,5.330244e-05,5.323687e-05,5.316551e-05,5.313135e-05,5.302231e-05,5.287332e-05,5.271901e-05,5.255981e-05,5.239613e-05,5.222835e-05,5.205686e-05,5.188200e-05,5.170410e-05,5.152346e-05,5.134039e-05,5.115517e-05,5.096806e-05,5.077930e-05,5.058913e-05,5.039777e-05,5.020543e-05,5.001230e-05,4.981857e-05,4.962442e-05,4.943000e-05,4.923547e-05,4.904098e-05,4.884665e-05,4.865262e-05
0.000000e+00,1.481467e-09,3.402562e-09,1.177782e-08,2.699224e-08,3.957175e-08,9.125014e-08,9.407028e-08,1.859697e-07,2.201088e-07,3.282174e-07,4.438624e-07,5.355326e-07,7.948629e-07,8.207200e-07,1.188128e-06,1.288011e-06,1.631566e-06,1.908989e-06,2.139988e-06,2.632874e-06,2.703034e-06,3.312471e-06,3.439322e-06,3.961652e-06,4.312993e-06,4.644795e-06,5.240952e-06,5.356539e-06,6.091747e-06,6.211224e-06,6.845470e-06,7.212433e-06,7.612973e-06,8.233894e-06,8.389802e-06,9.171834e-06,9.265845e-06,9.955321e-06,1.029964e-05,1.073692e-05,1.132785e-05,1.151369e-05,1.228309e-05,1.234426e-05,1.304295e-05,1.334381e-05,1.379146e-05,1.432250e-05,1.452710e-05,1.524865e-05,1.527721e-05,1.595512e-05,1.620559e-05,1.664572e-05,1.710595e-05,1.731986e-05,1.797711e-05,1.861715e-05,1.881830e-05,1.923980e-05,1.962911e-05,1.984494e-05,2.040939e-05,2.043256e-05,2.100268e-05,2.115920e-05,2.155542e-05,2.187877e-05,2.209090e-05,2.256847e-05,2.260932e-05,2.311087e-05,2.322875e-05,2.359578e-05,2.386016e-05,2.406431e-05,2.446328e-05,2.451673e-05,2.495332e-05,2.503876e-05,2.537437e-05,2.558728e-05,2.578020e-05,2.610954e-05,2.617109e-05,2.654738e-05,2.660625e-05,2.690937e-05,2.707815e-05,2.725740e-05,2.752597e-05,2.759176e-05,2.791280e-05,2.795045e-05,2.822083e-05,2.835232e-05,2.851616e-05,2.873232e-05,2.879912e-05,2.907002e-05,2.909118e-05,2.932916e-05,2.942960e-05,2.957687e-05,2.974831e-05,2.981344e-05,3.003918e-05,3.004799e-05,3.025438e-05,3.032933e-05,3.045933e-05,3.059299e-05,3.065433e-05,3.083964e-05,3.101556e-05,3.106992e-05,3.118236e-05,3.128444e-05,3.134030e-05,3.148383e-05,3.148964e-05,3.163065e-05,3.166867e-05,3.176357e-05,3.183954e-05,3.188865e-05,3.199702e-05,3.200614e-05,3.211627e-05,3.214163e-05,3.221927e-05,3.227392e-05,3.231537e-05,3.239440e-05,3.240479e-05,3.248774e-05,3.250357e-05,3.256443e-05,3.260191e-05,3.263508e-05,3.268990e-05,3.269988e-05,3.275902e-05,3.276797e-05,3.281271e-05,3.283659e-05,3.286111e-05,3.289616e-05,3.290442e-05,3.294281e-05,3.294710e-05,3.297646e-05,3.298980e-05,3.300553e-05,3.302465e-05,3.303018e-05,3.305057e-05,3.305202e-05,3.306686e-05,3.307226e-05,3.307919e-05,3.308571e-05,3.308772e-05,3.309259e-05,3.309271e-05,3.309393e-05,3.309357e-05,3.309187e-05,3.308861e-05,3.308656e-05,3.307811e-05,3.306236e-05,3.304164e-05,3.301621e-05,3.298633e-05,3.295223e-05,3.291415e-05,3.287231e-05,3.282694e-05,3.277823e-05,3.272640e-05,3.267162e-05,3.261408e-05,3.255396e-05,3.249142e-05,3.242664e-05,3.235975e-05,3.229091e-05,3.222026e-05,3.214794e-05,3.207407e-05,3.199879e-05,3.192220e-05,3.184442e-05,3.176557e-05
0.000000e+00,1.987367e-11,9.411032e-11,9.049516e-10,3.883777e-09,7.457669e-09,2.938564e-08,3.084232e-08,8.815038e-08,1.131120e-07,2.008265e-07,3.051479e-07,3.935322e-07,6.651274e-07,6.938039e-07,1.131737e-06,1.260775e-06,1.737928e-06,2.160819e-06,2.537784e-06,3.411666e-06,3.543075e-06,4.745661e-06,5.007705e-06,6.117916e-06,6.885333e-06,7.619215e-06,8.946901e-06,9.204312e-06,1.083012e-05,1.109145e-05,1.245959e-05,1.323403e-05,1.406298e-05,1.531139e-05,1.561750e-05,1.710630e-05,1.727992e-05,1.851723e-05,1.911108e-05,1.984183e-05,2.078724e-05,2.107448e-05,2.221185e-05,2.229866e-05,2.325244e-05,2.364155e-05,2.419632e-05,2.481675e-05,2.504486e-05,2.580055e-05,2.582889e-05,2.646679e-05,2.668553e-05,2.704775e-05,2.739646e-05,2.754811e-05,2.797299e-05,2.832772e-05,2.842730e-05,2.861774e-05,2.877192e-05,2.884851e-05,2.901923e-05,2.902533e-05,2.915336e-05,2.918113e-05,2.923749e-05,2.926884e-05,2.928236e-05,2.929267e-05,2.929228e-05,2.927124e-05,2.926199e-05,2.922290e-05,2.918518e-05,2.915063e-05,2.906964e-05,2.905745e-05,2.894611e-05,2.892189e-05,2.881908e-05,2.874757e-05,2.867857e-05,2.855156e-05,2.852654e-05,2.836475e-05,2.833807e-05,2.819477e-05,2.811067e-05,2.801796e-05,2.787242e-05,2.783554e-05,2.764859e-05,2.762590e-05,2.745806e-05,2.737330e-05,2.726477e-05,2.711649e-05,2.706947e-05,2.687279e-05,2.685701e-05,2.667529e-05,2.659618e-05,2.647748e-05,2.633510e-05,2.627978e-05,2.608257e-05,2.607470e-05,2.588618e-05,2.581574e-05,2.569090e-05,2.555887e-05,2.549698e-05,2.530464e-05,2.511406e-05,2.505347e-05,2.492541e-05,2.480575e-05,2.473883e-05,2.456177e-05,2.455444e-05,2.437234e-05,2.432177e-05,2.419261e-05,2.408595e-05,2.401533e-05,2.385445e-05,2.384056e-05,2.366835e-05,2.362740e-05,2.349873e-05,2.340489e-05,2.333174e-05,2.318697e-05,2.316739e-05,2.300571e-05,2.297369e-05,2.284670e-05,2.276506e-05,2.269036e-05,2.256110e-05,2.253669e-05,2.238569e-05,2.236178e-05,2.223735e-05,2.216709e-05,2.209166e-05,2.197699e-05,2.194859e-05,2.180813e-05,2.179145e-05,2.167026e-05,2.161041e-05,2.153495e-05,2.143381e-05,2.140218e-05,2.127191e-05,2.126160e-05,2.114413e-05,2.109371e-05,2.101880e-05,2.093006e-05,2.089588e-05,2.077536e-05,2.077059e-05,2.065718e-05,2.061521e-05,2.054133e-05,2.046386e-05,2.042776e-05,2.031644e-05,2.017289e-05,2.003312e-05,1.989705e-05,1.976459e-05,1.963566e-05,1.951019e-05,1.938809e-05,1.926928e-05,1.915367e-05,1.904120e-05,1.893178e-05,1.882534e-05,1.872180e-05,1.862108e-05,1.852312e-05,1.842783e-05,1.833515e-05,1.824502e-05,1.815735e-05,1.807209e-05,1.798916e-05,1.790852e-05,1.783009e-05,1.775381e-05
0.000000e+00,1.153158e-12,5.929753e-12,6.761068e-11,3.386679e-10,7.076823e-10,3.464890e-09,3.668763e-09,1.297824e-08,1.763858e-08,3.614364e-08,6.158086e-08,8.549439e-08,1.697601e-07,1.794713e-07,3.432758e-07,3.963620e-07,6.084054e-07,8.145712e-07,1.011319e-06,1.511386e-06,1.591779e-06,2.391214e-06,2.581052e-06,3.451246e-06,4.118978e-06,4.812394e-06,6.216555e-06,6.512939e-06,8.587945e-06,8.956831e-06,1.106841e-05,1.241095e-05,1.398055e-05,1.663529e-05,1.734524e-05,2.117758e-05,2.166938e-05,2.548664e-05,2.753462e-05,3.027532e-05,3.423373e-05,3.554041e-05,4.127274e-05,4.175111e-05,4.745753e-05,5.005382e-05,5.407478e-05,5.909326e-05,6.109976e-05,6.850367e-05,6.880726e-05,7.625416e-05,7.912248e-05,8.431608e-05,8.995708e-05,9.265208e-05,1.012233e-04,1.099899e-04,1.128299e-04,1.189118e-04,1.246849e-04,1.279491e-04,1.366969e-04,1.370624e-04,1.462137e-04,1.487779e-04,1.553663e-04,1.608438e-04,1.644852e-04,1.728164e-04,1.735374e-04,1.824922e-04,1.846237e-04,1.913212e-04,1.962006e-04,1.999983e-04,2.074897e-04,2.084999e-04,2.168049e-04,2.184406e-04,2.248946e-04,2.290106e-04,2.327527e-04,2.391642e-04,2.403652e-04,2.477203e-04,2.488725e-04,2.548083e-04,2.581134e-04,2.616217e-04,2.668706e-04,2.681545e-04,2.744028e-04,2.751334e-04,2.803641e-04,2.828958e-04,2.860373e-04,2.901564e-04,2.914228e-04,2.965222e-04,2.969179e-04,3.013382e-04,3.031860e-04,3.058743e-04,3.089695e-04,3.101350e-04,3.141256e-04,3.142797e-04,3.178519e-04,3.191298e-04,3.213202e-04,3.235349e-04,3.245375e-04,3.275110e-04,3.302482e-04,3.310754e-04,3.327568e-04,3.342460e-04,3.350448e-04,3.370413e-04,3.371203e-04,3.389914e-04,3.394798e-04,3.406661e-04,3.415801e-04,3.421527e-04,3.433610e-04,3.434591e-04,3.445933e-04,3.448408e-04,3.455632e-04,3.460375e-04,3.463765e-04,3.469685e-04,3.470406e-04,3.475630e-04,3.476511e-04,3.479509e-04,3.481017e-04,3.482112e-04,3.483362e-04,3.483507e-04,3.483760e-04,3.483699e-04,3.482935e-04,3.482173e-04,3.481092e-04,3.478925e-04,3.478290e-04,3.474588e-04,3.474085e-04,3.470038e-04,3.467781e-04,3.464693e-04,3.460130e-04,3.458603e-04,3.451817e-04,3.451246e-04,3.444380e-04,3.441233e-04,3.436337e-04,3.430193e-04,3.427728e-04,3.418594e-04,3.418218e-04,3.408973e-04,3.405397e-04,3.398900e-04,3.391811e-04,3.388412e-04,3.377539e-04,3.362651e-04,3.347215e-04,3.331293e-04,3.314943e-04,3.298221e-04,3.281175e-04,3.263852e-04,3.246295e-04,3.228545e-04,3.210638e-04,3.192608e-04,3.174486e-04,3.156302e-04,3.138082e-04,3.119850e-04,3.101629e-04,3.083439e-04,3.065299e-04,3.047227e-04,3.029237e-04,3.011345e-04,2.993562e-04,2.975900e-04,2.958371e-04
0.000000e+00,8.547129e-09,2.162166e-08,8.266952e-08,1.985792e-07,2.967507e-07,7.142450e-07,7.375825e-07,1.524087e-06,1.827648e-06,2.822559e-06,3.934066e-06,4.843556e-06,7.521973e-06,7.795974e-06,1.177756e-05,1.287747e-05,1.666425e-05,1.968396e-05,2.214786e-05,2.720459e-05,2.790009e-05,3.367926e-05,3.482396e-05,3.933724e-05,4.220187e-05,4.479001e-05,4.917696e-05,4.999096e-05,5.491457e-05,5.567559e-05,5.954735e-05,6.166582e-05,6.388335e-05,6.713780e-05,6.792179e-05,7.166573e-05,7.209548e-05,7.512122e-05,7.655235e-05,7.829674e-05,8.052933e-05,8.120284e-05,8.385141e-05,8.405255e-05,8.625529e-05,8.715134e-05,8.842796e-05,8.985684e-05,9.038318e-05,9.213470e-05,9.220072e-05,9.369610e-05,9.421422e-05,9.508059e-05,9.592751e-05,9.630090e-05,9.736922e-05,9.829710e-05,9.856617e-05,9.909547e-05,9.954321e-05,9.977457e-05,1.003232e-04,1.003440e-04,1.008128e-04,1.009271e-04,1.011892e-04,1.013739e-04,1.014810e-04,1.016809e-04,1.016954e-04,1.018390e-04,1.018637e-04,1.019181e-04,1.019362e-04,1.019382e-04,1.019113e-04,1.019046e-04,1.018222e-04,1.018003e-04,1.016955e-04,1.016134e-04,1.015285e-04,1.013599e-04,1.013250e-04,1.010885e-04,1.010478e-04,1.008222e-04,1.006847e-04,1.005291e-04,1.002772e-04,1.002119e-04,9.987311e-05,9.983111e-05,9.951496e-05,9.935180e-05,9.913960e-05,9.884402e-05,9.874898e-05,9.834487e-05,9.831201e-05,9.792892e-05,9.775956e-05,9.750263e-05,9.719008e-05,9.706739e-05,9.662446e-05,9.660660e-05,9.617501e-05,9.601183e-05,9.572012e-05,9.540818e-05,9.526076e-05,9.479783e-05,9.433216e-05,9.418270e-05,9.386451e-05,9.356450e-05,9.339557e-05,9.294477e-05,9.292598e-05,9.245632e-05,9.232487e-05,9.198711e-05,9.170601e-05,9.151885e-05,9.108926e-05,9.105197e-05,9.058687e-05,9.047555e-05,9.012392e-05,8.986574e-05,8.966346e-05,8.926054e-05,8.920578e-05,8.875116e-05,8.866063e-05,8.829986e-05,8.806656e-05,8.785208e-05,8.747883e-05,8.740805e-05,8.696793e-05,8.689788e-05,8.653188e-05,8.632408e-05,8.610007e-05,8.575774e-05,8.567260e-05,8.524960e-05,8.519914e-05,8.483116e-05,8.464852e-05,8.441738e-05,8.410606e-05,8.400832e-05,8.360406e-05,8.357193e-05,8.320464e-05,8.304625e-05,8.281012e-05,8.252912e-05,8.242053e-05,8.203589e-05,8.202061e-05,8.165624e-05,8.152078e-05,8.128157e-05,8.102966e-05,8.091191e-05,8.054726e-05,8.007358e-05,7.960860e-05,7.915228e-05,7.870460e-05,7.826548e-05,7.783488e-05,7.741272e-05,7.699892e-05,7.659340e-05,7.619606e-05,7.580682e-05,7.542557e-05,7.505222e-05,7.468664e-05,7.432874e-05,7.397840e-05,7.363551e-05,7.329995e-05,7.297161e-05,7.265037e-05,7.233611e-05,7.202872e-05,7.172807e-05,7.143404e-05
0.000000e+00,4.328034e-09,9.913158e-09,3.406470e-08,7.743801e-08,1.129550e-07,2.565427e-07,2.642901e-07,5.129753e-07,6.038168e-07,8.874359e-07,1.185886e-06,1.420157e-06,2.078627e-06,2.144264e-06,3.082874e-06,3.340558e-06,4.234797e-06,4.963339e-06,5.572016e-06,6.869776e-06,7.053902e-06,8.641908e-06,8.969368e-06,1.030482e-05,1.119077e-05,1.201804e-05,1.348127e-05,1.376154e-05,1.551834e-05,1.579964e-05,1.727354e-05,1.811153e-05,1.901394e-05,2.038769e-05,2.072784e-05,2.240503e-05,2.260340e-05,2.403678e-05,2.473843e-05,2.561581e-05,2.677696e-05,2.713627e-05,2.859362e-05,2.870738e-05,2.998458e-05,3.052184e-05,3.130695e-05,3.221587e-05,3.255952e-05,3.374194e-05,3.378778e-05,3.485455e-05,3.523816e-05,3.589827e-05,3.656935e-05,3.687451e-05,3.778504e-05,3.863192e-05,3.888985e-05,3.941741e-05,3.988901e-05,4.014392e-05,4.078819e-05,4.081394e-05,4.143002e-05,4.159321e-05,4.199472e-05,4.230994e-05,4.251059e-05,4.294422e-05,4.298014e-05,4.340581e-05,4.350171e-05,4.378999e-05,4.398788e-05,4.413500e-05,4.440798e-05,4.444307e-05,4.471633e-05,4.476699e-05,4.495685e-05,4.506963e-05,4.516658e-05,4.532033e-05,4.534739e-05,4.550109e-05,4.552327e-05,4.562935e-05,4.568237e-05,4.573381e-05,4.580126e-05,4.581598e-05,4.587733e-05,4.588336e-05,4.591923e-05,4.593184e-05,4.594298e-05,4.594964e-05,4.594980e-05,4.594088e-05,4.593952e-05,4.591730e-05,4.590400e-05,4.588011e-05,4.584545e-05,4.583028e-05,4.576875e-05,4.576605e-05,4.569637e-05,4.566782e-05,4.561398e-05,4.555263e-05,4.552235e-05,4.542220e-05,4.531423e-05,4.527813e-05,4.519908e-05,4.512189e-05,4.507735e-05,4.495484e-05,4.494962e-05,4.481643e-05,4.477823e-05,4.467828e-05,4.459320e-05,4.453564e-05,4.440083e-05,4.438896e-05,4.423865e-05,4.420208e-05,4.408511e-05,4.399786e-05,4.392871e-05,4.378898e-05,4.376978e-05,4.360866e-05,4.357620e-05,4.344564e-05,4.336021e-05,4.328100e-05,4.314166e-05,4.311502e-05,4.294793e-05,4.292111e-05,4.277996e-05,4.269910e-05,4.261134e-05,4.247611e-05,4.244227e-05,4.227292e-05,4.225259e-05,4.210348e-05,4.202894e-05,4.193411e-05,4.180552e-05,4.176495e-05,4.159615e-05,4.158267e-05,4.142784e-05,4.136069e-05,4.126015e-05,4.113984e-05,4.109317e-05,4.092701e-05,4.092039e-05,4.076178e-05,4.070254e-05,4.059755e-05,4.048650e-05,4.043442e-05,4.027244e-05,4.006053e-05,3.985090e-05,3.964368e-05,3.943898e-05,3.923690e-05,3.903751e-05,3.884090e-05,3.864711e-05,3.845621e-05,3.826822e-05,3.808320e-05,3.790116e-05,3.772212e-05,3.754609e-05,3.737309e-05,3.720311e-05,3.703615e-05,3.687220e-05,3.671125e-05,3.655329e-05,3.639830e-05,3.624625e-05,3.609713e-05,3.595089e-05
0.000000e+00,4.816030e-11,2.022849e-10,1.550198e-09,5.544850e-09,9.725490e-09,3.121015e-08,3.251153e-08,7.872185e-08,9.709562e-08,1.575152e-07,2.244300e-07,2.785832e-07,4.363598e-07,4.524823e-07,6.907714e-07,7.588944e-07,1.005615e-06,1.219720e-06,1.408434e-06,1.842324e-06,1.907417e-06,2.504664e-06,2.635558e-06,3.194805e-06,3.586739e-06,3.966369e-06,4.666870e-06,4.804932e-06,5.696033e-06,5.842596e-06,6.626793e-06,7.084378e-06,7.586338e-06,8.368551e-06,8.565594e-06,9.556898e-06,9.676342e-06,1.055368e-05,1.099249e-05,1.155020e-05,1.230426e-05,1.254143e-05,1.352295e-05,1.360093e-05,1.449089e-05,1.487350e-05,1.544192e-05,1.611458e-05,1.637320e-05,1.728237e-05,1.731825e-05,1.816751e-05,1.847997e-05,1.902710e-05,1.959643e-05,1.986000e-05,2.066538e-05,2.144271e-05,2.168548e-05,2.219171e-05,2.265617e-05,2.291233e-05,2.357753e-05,2.360468e-05,2.426905e-05,2.445011e-05,2.490584e-05,2.527488e-05,2.551556e-05,2.605311e-05,2.609881e-05,2.665625e-05,2.678627e-05,2.718858e-05,2.747599e-05,2.769654e-05,2.812401e-05,2.818092e-05,2.864249e-05,2.873213e-05,2.908203e-05,2.930214e-05,2.950032e-05,2.983583e-05,2.989813e-05,3.027623e-05,3.033495e-05,3.063538e-05,3.080125e-05,3.097630e-05,3.123641e-05,3.129973e-05,3.160633e-05,3.164203e-05,3.189680e-05,3.201966e-05,3.217179e-05,3.237081e-05,3.243193e-05,3.267784e-05,3.269691e-05,3.291011e-05,3.299933e-05,3.312931e-05,3.327936e-05,3.333600e-05,3.353070e-05,3.353825e-05,3.371392e-05,3.377717e-05,3.388616e-05,3.399724e-05,3.404787e-05,3.419953e-05,3.434155e-05,3.438503e-05,3.447436e-05,3.455471e-05,3.459836e-05,3.470946e-05,3.471393e-05,3.482144e-05,3.485014e-05,3.492124e-05,3.497756e-05,3.501367e-05,3.509248e-05,3.509906e-05,3.517771e-05,3.519562e-05,3.524993e-05,3.528766e-05,3.531599e-05,3.536926e-05,3.537618e-05,3.543076e-05,3.544103e-05,3.547998e-05,3.550353e-05,3.552407e-05,3.555732e-05,3.556327e-05,3.559780e-05,3.560291e-05,3.562788e-05,3.564079e-05,3.565369e-05,3.567142e-05,3.567545e-05,3.569333e-05,3.569523e-05,3.570752e-05,3.571264e-05,3.571818e-05,3.572403e-05,3.572548e-05,3.572957e-05,3.572977e-05,3.573061e-05,3.573020e-05,3.572874e-05,3.572567e-05,3.572410e-05,3.571681e-05,3.571647e-05,3.570701e-05,3.570289e-05,3.569482e-05,3.568522e-05,3.568035e-05,3.566372e-05,3.563863e-05,3.561018e-05,3.557861e-05,3.554411e-05,3.550689e-05,3.546713e-05,3.542500e-05,3.538069e-05,3.533433e-05,3.528609e-05,3.523610e-05,3.518450e-05,3.513142e-05,3.507696e-05,3.502126e-05,3.496440e-05,3.490650e-05,3.484765e-05,3.478795e-05,3.472746e-05,3.466629e-05,3.460450e-05,3.454216e-05,3.447936e-05
0.000000e+00,1.338146e-12,6.599662e-12,6.896844e-11,3.188177e-10,6.372037e-10,2.776083e-09,2.925323e-09,9.186446e-09,1.207996e-08,2.275395e-08,3.616683e-08,4.796276e-08,8.590440e-08,9.002588e-08,1.549110e-07,1.746009e-07,2.492133e-07,3.174847e-07,3.799678e-07,5.308538e-07,5.543034e-07,7.788656e-07,8.303120e-07,1.059069e-06,1.228014e-06,1.398403e-06,1.730055e-06,1.798023e-06,2.256742e-06,2.335430e-06,2.771335e-06,3.036830e-06,3.337027e-06,3.822485e-06,3.948001e-06,4.597873e-06,4.678159e-06,5.280050e-06,5.588752e-06,5.988000e-06,6.539398e-06,6.715436e-06,7.456433e-06,7.516131e-06,8.205499e-06,8.506243e-06,8.957611e-06,9.498457e-06,9.708242e-06,1.045335e-05,1.048299e-05,1.118940e-05,1.145155e-05,1.191330e-05,1.239727e-05,1.262245e-05,1.331466e-05,1.398813e-05,1.419944e-05,1.464146e-05,1.504850e-05,1.527356e-05,1.585970e-05,1.588367e-05,1.647128e-05,1.663174e-05,1.703612e-05,1.736406e-05,1.757812e-05,1.805667e-05,1.809738e-05,1.859415e-05,1.871006e-05,1.906880e-05,1.932511e-05,1.952179e-05,1.990294e-05,1.995367e-05,2.036503e-05,2.044490e-05,2.075652e-05,2.095246e-05,2.112880e-05,2.142718e-05,2.148257e-05,2.181853e-05,2.187067e-05,2.213737e-05,2.228454e-05,2.243980e-05,2.267039e-05,2.272651e-05,2.299816e-05,2.302978e-05,2.325543e-05,2.336423e-05,2.349893e-05,2.367518e-05,2.372930e-05,2.394713e-05,2.396403e-05,2.415298e-05,2.423210e-05,2.434742e-05,2.448063e-05,2.453096e-05,2.470411e-05,2.471083e-05,2.486736e-05,2.492379e-05,2.502116e-05,2.512058e-05,2.516596e-05,2.530217e-05,2.543020e-05,2.546950e-05,2.555042e-05,2.562343e-05,2.566320e-05,2.576479e-05,2.576888e-05,2.586780e-05,2.589432e-05,2.596025e-05,2.601276e-05,2.604655e-05,2.612075e-05,2.612698e-05,2.620180e-05,2.621895e-05,2.627126e-05,2.630792e-05,2.633563e-05,2.638823e-05,2.639511e-05,2.644995e-05,2.646038e-05,2.650034e-05,2.652486e-05,2.654649e-05,2.658212e-05,2.658859e-05,2.662681e-05,2.663258e-05,2.666134e-05,2.667665e-05,2.669233e-05,2.671469e-05,2.671995e-05,2.674434e-05,2.674705e-05,2.676564e-05,2.677407e-05,2.678400e-05,2.679606e-05,2.679954e-05,2.681238e-05,2.681329e-05,2.682264e-05,2.682605e-05,2.683045e-05,2.683460e-05,2.683589e-05,2.683908e-05,2.683916e-05,2.684012e-05,2.683998e-05,2.683909e-05,2.683726e-05,2.683610e-05,2.683121e-05,2.682202e-05,2.680986e-05,2.679491e-05,2.677733e-05,2.675727e-05,2.673486e-05,2.671026e-05,2.668358e-05,2.665494e-05,2.662447e-05,2.659227e-05,2.655844e-05,2.652308e-05,2.648629e-05,2.644815e-05,2.640874e-05,2.636815e-05,2.632645e-05,2.628372e-05,2.624001e-05,2.619540e-05,2.614995e-05,2.610372e-05,2.605676e-05
0.000000e+00,1.164825e-09,3.617201e-09,1.755920e-08,4.758205e-08,7.454459e-08,1.961497e-07,2.031587e-07,4.469065e-07,5.438092e-07,8.679815e-07,1.236048e-06,1.537334e-06,2.404855e-06,2.491347e-06,3.704245e-06,4.028164e-06,5.126014e-06,5.998372e-06,6.718030e-06,8.240437e-06,8.456148e-06,1.032423e-05,1.071227e-05,1.230932e-05,1.338380e-05,1.439932e-05,1.622704e-05,1.658198e-05,1.884480e-05,1.921344e-05,2.117513e-05,2.231400e-05,2.356050e-05,2.550029e-05,2.598884e-05,2.844882e-05,2.874563e-05,3.092994e-05,3.202586e-05,3.342274e-05,3.531979e-05,3.591869e-05,3.841029e-05,3.860922e-05,4.089101e-05,4.187897e-05,4.335523e-05,4.511651e-05,4.579813e-05,4.821563e-05,4.831175e-05,5.060431e-05,5.145660e-05,5.296129e-05,5.454471e-05,5.528421e-05,5.757112e-05,5.982042e-05,6.053204e-05,6.203085e-05,6.342463e-05,6.420137e-05,6.624680e-05,6.633120e-05,6.841975e-05,6.899709e-05,7.046660e-05,7.167456e-05,7.247144e-05,7.427864e-05,7.443410e-05,7.635452e-05,7.680913e-05,7.823271e-05,7.926608e-05,8.006877e-05,8.164978e-05,8.186287e-05,8.361522e-05,8.396071e-05,8.532611e-05,8.619949e-05,8.699586e-05,8.836691e-05,8.862482e-05,9.021338e-05,9.046383e-05,9.176197e-05,9.249122e-05,9.327103e-05,9.445015e-05,9.474105e-05,9.617251e-05,9.634172e-05,9.756593e-05,9.816711e-05,9.892182e-05,9.992754e-05,1.002407e-04,1.015232e-04,1.016243e-04,1.027698e-04,1.032585e-04,1.039811e-04,1.048317e-04,1.051577e-04,1.063000e-04,1.063450e-04,1.074089e-04,1.077999e-04,1.084847e-04,1.091977e-04,1.095281e-04,1.105397e-04,1.115200e-04,1.118272e-04,1.124697e-04,1.130617e-04,1.133893e-04,1.142444e-04,1.142794e-04,1.151406e-04,1.153767e-04,1.159735e-04,1.164598e-04,1.167786e-04,1.174952e-04,1.175565e-04,1.183078e-04,1.184842e-04,1.190329e-04,1.194278e-04,1.197326e-04,1.203276e-04,1.204073e-04,1.210575e-04,1.211846e-04,1.216838e-04,1.220002e-04,1.222867e-04,1.227755e-04,1.228668e-04,1.234245e-04,1.235117e-04,1.239604e-04,1.242100e-04,1.244750e-04,1.248716e-04,1.249687e-04,1.254421e-04,1.254975e-04,1.258956e-04,1.260889e-04,1.263296e-04,1.266469e-04,1.267448e-04,1.271415e-04,1.271724e-04,1.275201e-04,1.276666e-04,1.278812e-04,1.281305e-04,1.282251e-04,1.285523e-04,1.285650e-04,1.288632e-04,1.289712e-04,1.291582e-04,1.293499e-04,1.294377e-04,1.297022e-04,1.300289e-04,1.303308e-04,1.306089e-04,1.308640e-04,1.310969e-04,1.313084e-04,1.314993e-04,1.316704e-04,1.318223e-04,1.319558e-04,1.320716e-04,1.321704e-04,1.322528e-04,1.323194e-04,1.323710e-04,1.324080e-04,1.324312e-04,1.324410e-04,1.324380e-04,1.324227e-04,1.323957e-04,1.323575e-04,1.323086e-04,1.322494e-04
0.000000e+00,1.555416e-11,7.106945e-11,6.372137e-10,2.578335e-09,4.802810e-09,1.760471e-08,1.842648e-08,4.943835e-08,6.243705e-08,1.067408e-07,1.576191e-07,1.996890e-07,3.250253e-07,3.379940e-07,5.317088e-07,5.875720e-07,7.908594e-07,9.679510e-07,1.124230e-06,1.483353e-06,1.537151e-06,2.029188e-06,2.136580e-06,2.593365e-06,2.911381e-06,3.217653e-06,3.777987e-06,3.887656e-06,4.589046e-06,4.703297e-06,5.309002e-06,5.657917e-06,6.036683e-06,6.618332e-06,6.763160e-06,7.481141e-06,7.566432e-06,8.184665e-06,8.488347e-06,8.868866e-06,9.373482e-06,9.529806e-06,1.016435e-05,1.021390e-05,1.077009e-05,1.100391e-05,1.134527e-05,1.173980e-05,1.188872e-05,1.239980e-05,1.241957e-05,1.287831e-05,1.304263e-05,1.332445e-05,1.360960e-05,1.373875e-05,1.412200e-05,1.447518e-05,1.458204e-05,1.479946e-05,1.499241e-05,1.509610e-05,1.535611e-05,1.536644e-05,1.561186e-05,1.567630e-05,1.583375e-05,1.595618e-05,1.603351e-05,1.619891e-05,1.621250e-05,1.637204e-05,1.640758e-05,1.651342e-05,1.658511e-05,1.663786e-05,1.673429e-05,1.674654e-05,1.684056e-05,1.685770e-05,1.692098e-05,1.695775e-05,1.698878e-05,1.703667e-05,1.704490e-05,1.709020e-05,1.709650e-05,1.712549e-05,1.713911e-05,1.715155e-05,1.716621e-05,1.716907e-05,1.717872e-05,1.717938e-05,1.718111e-05,1.718002e-05,1.717683e-05,1.716943e-05,1.716639e-05,1.715029e-05,1.714877e-05,1.712900e-05,1.711912e-05,1.710293e-05,1.708144e-05,1.707249e-05,1.703804e-05,1.703659e-05,1.699993e-05,1.698537e-05,1.695846e-05,1.692850e-05,1.691394e-05,1.686663e-05,1.681679e-05,1.680035e-05,1.676466e-05,1.673019e-05,1.671044e-05,1.665663e-05,1.665435e-05,1.659657e-05,1.658011e-05,1.653727e-05,1.650104e-05,1.647662e-05,1.641976e-05,1.641477e-05,1.635185e-05,1.633661e-05,1.628800e-05,1.625188e-05,1.622333e-05,1.616584e-05,1.615796e-05,1.609199e-05,1.607874e-05,1.602552e-05,1.599079e-05,1.595864e-05,1.590220e-05,1.589142e-05,1.582395e-05,1.581314e-05,1.575630e-05,1.572378e-05,1.568853e-05,1.563428e-05,1.562071e-05,1.555289e-05,1.554476e-05,1.548513e-05,1.545534e-05,1.541747e-05,1.536615e-05,1.534996e-05,1.528265e-05,1.527727e-05,1.521556e-05,1.518880e-05,1.514875e-05,1.510082e-05,1.508223e-05,1.501604e-05,1.501340e-05,1.495021e-05,1.492660e-05,1.488476e-05,1.484049e-05,1.481972e-05,1.475511e-05,1.467052e-05,1.458676e-05,1.450385e-05,1.442184e-05,1.434076e-05,1.426062e-05,1.418145e-05,1.410326e-05,1.402608e-05,1.394992e-05,1.387478e-05,1.380067e-05,1.372761e-05,1.365559e-05,1.358462e-05,1.351469e-05,1.344582e-05,1.337799e-05,1.331121e-05,1.324547e-05,1.318077e-05,1.311710e-05,1.305445e-05,1.299282e-05
0.000000e+00,2.325554e-09,5.424474e-09,1.899823e-08,4.356027e-08,6.373297e-08,1.454514e-07,1.498635e-07,2.914993e-07,3.432178e-07,5.045172e-07,6.737296e-07,8.059188e-07,1.172749e-06,1.208856e-06,1.715702e-06,1.852087e-06,2.319067e-06,2.695380e-06,3.009074e-06,3.681254e-06,3.777346e-06,4.617179e-06,4.793209e-06,5.522677e-06,6.017573e-06,6.488046e-06,7.340774e-06,7.507184e-06,8.573521e-06,8.748049e-06,9.680001e-06,1.022319e-05,1.081917e-05,1.174886e-05,1.198331e-05,1.316458e-05,1.330712e-05,1.435524e-05,1.488014e-05,1.554773e-05,1.645082e-05,1.673489e-05,1.791002e-05,1.800332e-05,1.906698e-05,1.952341e-05,2.020025e-05,2.099881e-05,2.130502e-05,2.237712e-05,2.241928e-05,2.341309e-05,2.377662e-05,2.441008e-05,2.506464e-05,2.536592e-05,2.627895e-05,2.714807e-05,2.741680e-05,2.797265e-05,2.847688e-05,2.875246e-05,2.945907e-05,2.948763e-05,3.017860e-05,3.036424e-05,3.082608e-05,3.119407e-05,3.143099e-05,3.195083e-05,3.199440e-05,3.251756e-05,3.263727e-05,3.300178e-05,3.325647e-05,3.344848e-05,3.381170e-05,3.385912e-05,3.423520e-05,3.430640e-05,3.457821e-05,3.474401e-05,3.488967e-05,3.512799e-05,3.517105e-05,3.542382e-05,3.546170e-05,3.564941e-05,3.574846e-05,3.584923e-05,3.599144e-05,3.602463e-05,3.617692e-05,3.619371e-05,3.630737e-05,3.635815e-05,3.641718e-05,3.648755e-05,3.650752e-05,3.657952e-05,3.658452e-05,3.663423e-05,3.665151e-05,3.667268e-05,3.669084e-05,3.669584e-05,3.670463e-05,3.670470e-05,3.669993e-05,3.669510e-05,3.668257e-05,3.666395e-05,3.665336e-05,3.661303e-05,3.656232e-05,3.654400e-05,3.650188e-05,3.645841e-05,3.643238e-05,3.635767e-05,3.635440e-05,3.626853e-05,3.624315e-05,3.617531e-05,3.611607e-05,3.607526e-05,3.597759e-05,3.596885e-05,3.585656e-05,3.582879e-05,3.573882e-05,3.567065e-05,3.561603e-05,3.550411e-05,3.548859e-05,3.535685e-05,3.533002e-05,3.522118e-05,3.514918e-05,3.508188e-05,3.496231e-05,3.493928e-05,3.479366e-05,3.477010e-05,3.464530e-05,3.457318e-05,3.449445e-05,3.437214e-05,3.434135e-05,3.418625e-05,3.416751e-05,3.402934e-05,3.395979e-05,3.387085e-05,3.374944e-05,3.371095e-05,3.354983e-05,3.353690e-05,3.338767e-05,3.332255e-05,3.322461e-05,3.310675e-05,3.306082e-05,3.289643e-05,3.288984e-05,3.273157e-05,3.267214e-05,3.256638e-05,3.245391e-05,3.240096e-05,3.223543e-05,3.201694e-05,3.179865e-05,3.158077e-05,3.136348e-05,3.114695e-05,3.093134e-05,3.071679e-05,3.050343e-05,3.029137e-05,3.008073e-05,2.987159e-05,2.966405e-05,2.945819e-05,2.925407e-05,2.905176e-05,2.885131e-05,2.865278e-05,2.845621e-05,2.826162e-05,2.806907e-05,2.787857e-05,2.769016e-05,2.750384e-05,2.731964e-05
0.000000e+00,6.826680e-12,3.525277e-11,4.053975e-10,2.045751e-09,4.291261e-09,2.119856e-08,2.245318e-08,7.997024e-08,1.088417e-07,2.236305e-07,3.814967e-07,5.298859e-07,1.052848e-06,1.113162e-06,2.133601e-06,2.465874e-06,3.801768e-06,5.113889e-06,6.377533e-06,9.633872e-06,1.016274e-05,1.548980e-05,1.677087e-05,2.270871e-05,2.732814e-05,3.217429e-05,4.211644e-05,4.423427e-05,5.921884e-05,6.190851e-05,7.743163e-05,8.740102e-05,9.914206e-05,1.191842e-04,1.245793e-04,1.539274e-04,1.577190e-04,1.873223e-04,2.033219e-04,2.248493e-04,2.561564e-04,2.665428e-04,3.123865e-04,3.162316e-04,3.623150e-04,3.834066e-04,4.162165e-04,4.574001e-04,4.739357e-04,5.352783e-04,5.378042e-04,6.000149e-04,6.241018e-04,6.678863e-04,7.156854e-04,7.386085e-04,8.118776e-04,8.873748e-04,9.119511e-04,9.647718e-04,1.015149e-03,1.043735e-03,1.120702e-03,1.123929e-03,1.205022e-03,1.227845e-03,1.286690e-03,1.335834e-03,1.368616e-03,1.443955e-03,1.450497e-03,1.532043e-03,1.551534e-03,1.612982e-03,1.657947e-03,1.693059e-03,1.762625e-03,1.772037e-03,1.849698e-03,1.865055e-03,1.925845e-03,1.964784e-03,2.000301e-03,2.061420e-03,2.072906e-03,2.143523e-03,2.154629e-03,2.212031e-03,2.244136e-03,2.278329e-03,2.329718e-03,2.342332e-03,2.403971e-03,2.411206e-03,2.463194e-03,2.488477e-03,2.519963e-03,2.561451e-03,2.574254e-03,2.626053e-03,2.630089e-03,2.675360e-03,2.694386e-03,2.722184e-03,2.754370e-03,2.766544e-03,2.808467e-03,2.810094e-03,2.847988e-03,2.861635e-03,2.885147e-03,2.909090e-03,2.919992e-03,2.952574e-03,2.982949e-03,2.992212e-03,3.011176e-03,3.028144e-03,3.037319e-03,3.060514e-03,3.061441e-03,3.083609e-03,3.089475e-03,3.103889e-03,3.115181e-03,3.122352e-03,3.137790e-03,3.139064e-03,3.154095e-03,3.157460e-03,3.167513e-03,3.174349e-03,3.179387e-03,3.188612e-03,3.189784e-03,3.198769e-03,3.200402e-03,3.206408e-03,3.209869e-03,3.212764e-03,3.217158e-03,3.217900e-03,3.221876e-03,3.222408e-03,3.224751e-03,3.225756e-03,3.226582e-03,3.227332e-03,3.227424e-03,3.227332e-03,3.227260e-03,3.226356e-03,3.225660e-03,3.224548e-03,3.222646e-03,3.221954e-03,3.218621e-03,3.218324e-03,3.214593e-03,3.212797e-03,3.209913e-03,3.206163e-03,3.204622e-03,3.198757e-03,3.198511e-03,3.192358e-03,3.189930e-03,3.185459e-03,3.180499e-03,3.178094e-03,3.170296e-03,3.159391e-03,3.147852e-03,3.135741e-03,3.123117e-03,3.110035e-03,3.096547e-03,3.082699e-03,3.068536e-03,3.054100e-03,3.039428e-03,3.024556e-03,3.009518e-03,2.994342e-03,2.979059e-03,2.963693e-03,2.948269e-03,2.932810e-03,2.917335e-03,2.901863e-03,2.886412e-03,2.870998e-03,2.855635e-03,2.840336e-03,2.825113e-03
0.000000e+00,3.916683e-10,1.428902e-09,8.635872e-09,2.621945e-08,4.274370e-08,1.184137e-07,1.227454e-07,2.688056e-07,3.244127e-07,5.023895e-07,6.942541e-07,8.469342e-07,1.281705e-06,1.325328e-06,1.951469e-06,2.123721e-06,2.722016e-06,3.210597e-06,3.620302e-06,4.501012e-06,4.626947e-06,5.725173e-06,5.954531e-06,6.900806e-06,7.538423e-06,8.140950e-06,9.223377e-06,9.433103e-06,1.076482e-05,1.098074e-05,1.212375e-05,1.278215e-05,1.349786e-05,1.460034e-05,1.487567e-05,1.624657e-05,1.641014e-05,1.760092e-05,1.818937e-05,1.893028e-05,1.991937e-05,2.022739e-05,2.148623e-05,2.158514e-05,2.270197e-05,2.317531e-05,2.387084e-05,2.468183e-05,2.499010e-05,2.605789e-05,2.609951e-05,2.707312e-05,2.742564e-05,2.803536e-05,2.865945e-05,2.894472e-05,2.980177e-05,3.060744e-05,3.085459e-05,3.136293e-05,3.182077e-05,3.206969e-05,3.270379e-05,3.272929e-05,3.334346e-05,3.350752e-05,3.391396e-05,3.423606e-05,3.444262e-05,3.489362e-05,3.493128e-05,3.538178e-05,3.548442e-05,3.579592e-05,3.601263e-05,3.617550e-05,3.648231e-05,3.652224e-05,3.683785e-05,3.689737e-05,3.712394e-05,3.726158e-05,3.738211e-05,3.757851e-05,3.761387e-05,3.782068e-05,3.785155e-05,3.800394e-05,3.808393e-05,3.816497e-05,3.827865e-05,3.830505e-05,3.842541e-05,3.843858e-05,3.852719e-05,3.856638e-05,3.861151e-05,3.866455e-05,3.867941e-05,3.873188e-05,3.873544e-05,3.876988e-05,3.878122e-05,3.879430e-05,3.880395e-05,3.880599e-05,3.880577e-05,3.880553e-05,3.879441e-05,3.878773e-05,3.877262e-05,3.875220e-05,3.874109e-05,3.870049e-05,3.865141e-05,3.863402e-05,3.859445e-05,3.855412e-05,3.853016e-05,3.846203e-05,3.845906e-05,3.838164e-05,3.835890e-05,3.829837e-05,3.824579e-05,3.820969e-05,3.812368e-05,3.811602e-05,3.801774e-05,3.799351e-05,3.791522e-05,3.785610e-05,3.780883e-05,3.771225e-05,3.769888e-05,3.758569e-05,3.756269e-05,3.746956e-05,3.740809e-05,3.735075e-05,3.724908e-05,3.722953e-05,3.710615e-05,3.708622e-05,3.698083e-05,3.692006e-05,3.685380e-05,3.675107e-05,3.672525e-05,3.659539e-05,3.657973e-05,3.646439e-05,3.640644e-05,3.633243e-05,3.623159e-05,3.619965e-05,3.606623e-05,3.605553e-05,3.593228e-05,3.587859e-05,3.579796e-05,3.570108e-05,3.566338e-05,3.552865e-05,3.552326e-05,3.539389e-05,3.534539e-05,3.525920e-05,3.516770e-05,3.512468e-05,3.499040e-05,3.481369e-05,3.463774e-05,3.446271e-05,3.428876e-05,3.411600e-05,3.394456e-05,3.377456e-05,3.360608e-05,3.343922e-05,3.327406e-05,3.311065e-05,3.294907e-05,3.278937e-05,3.263160e-05,3.247579e-05,3.232198e-05,3.217021e-05,3.202050e-05,3.187286e-05,3.172731e-05,3.158387e-05,3.144254e-05,3.130334e-05,3.116625e-05
0.000000e+00,1.678847e-12,8.575833e-12,9.636273e-11,4.756894e-10,9.854121e-10,4.704732e-09,4.975975e-09,1.707884e-08,2.299785e-08,4.593906e-08,7.648490e-08,1.044802e-07,1.995431e-07,2.102340e-07,3.853740e-07,4.405980e-07,6.564792e-07,8.614403e-07,1.054038e-06,1.535119e-06,1.611649e-06,2.364858e-06,2.542146e-06,3.349585e-06,3.964685e-06,4.600271e-06,5.879235e-06,6.147966e-06,8.018620e-06,8.349299e-06,1.023177e-05,1.141962e-05,1.279966e-05,1.511273e-05,1.572688e-05,1.901029e-05,1.942781e-05,2.263941e-05,2.434152e-05,2.659697e-05,2.981026e-05,3.085971e-05,3.539925e-05,3.577342e-05,4.018309e-05,4.215713e-05,4.517560e-05,4.887827e-05,5.033902e-05,5.563442e-05,5.584842e-05,6.102254e-05,6.297748e-05,6.646466e-05,7.017690e-05,7.192320e-05,7.736240e-05,8.274878e-05,8.445614e-05,8.805146e-05,9.138822e-05,9.324250e-05,9.809777e-05,9.829705e-05,1.031934e-04,1.045335e-04,1.079132e-04,1.106538e-04,1.124410e-04,1.164263e-04,1.167645e-04,1.208742e-04,1.218279e-04,1.247634e-04,1.268434e-04,1.284279e-04,1.314651e-04,1.318656e-04,1.350766e-04,1.356917e-04,1.380625e-04,1.395274e-04,1.408269e-04,1.429810e-04,1.433742e-04,1.457104e-04,1.460651e-04,1.478422e-04,1.487949e-04,1.497769e-04,1.511881e-04,1.515225e-04,1.530875e-04,1.532635e-04,1.544805e-04,1.550412e-04,1.557103e-04,1.565414e-04,1.567859e-04,1.577161e-04,1.577844e-04,1.585095e-04,1.587905e-04,1.591747e-04,1.595790e-04,1.597201e-04,1.601537e-04,1.601688e-04,1.604832e-04,1.605777e-04,1.607160e-04,1.608228e-04,1.608593e-04,1.609198e-04,1.609038e-04,1.608835e-04,1.608174e-04,1.607278e-04,1.606663e-04,1.604653e-04,1.604558e-04,1.601910e-04,1.601077e-04,1.598764e-04,1.596657e-04,1.595166e-04,1.591491e-04,1.591156e-04,1.586772e-04,1.585669e-04,1.582050e-04,1.579269e-04,1.577021e-04,1.572367e-04,1.571717e-04,1.566166e-04,1.565029e-04,1.560395e-04,1.557314e-04,1.554426e-04,1.549277e-04,1.548283e-04,1.541986e-04,1.540966e-04,1.535555e-04,1.532425e-04,1.529006e-04,1.523694e-04,1.522357e-04,1.515621e-04,1.514808e-04,1.508814e-04,1.505798e-04,1.501946e-04,1.496694e-04,1.495030e-04,1.488078e-04,1.487520e-04,1.481097e-04,1.478300e-04,1.474099e-04,1.469053e-04,1.467090e-04,1.460078e-04,1.459798e-04,1.453071e-04,1.450551e-04,1.446075e-04,1.441327e-04,1.439096e-04,1.432138e-04,1.422997e-04,1.413913e-04,1.404895e-04,1.395951e-04,1.387089e-04,1.378314e-04,1.369632e-04,1.361048e-04,1.352566e-04,1.344189e-04,1.335920e-04,1.327763e-04,1.319719e-04,1.311789e-04,1.303976e-04,1.296280e-04,1.288702e-04,1.281243e-04,1.273903e-04,1.266682e-04,1.259580e-04,1.252597e-04,1.245732e-04,1.238985e-04
0.000000e+00,2.826324e-09,6.760096e-09,2.432675e-08,5.652601e-08,8.313756e-08,1.916380e-07,1.975165e-07,3.868264e-07,4.561529e-07,6.728253e-07,9.009151e-07,1.079891e-06,1.582322e-06,1.632349e-06,2.346757e-06,2.542648e-06,3.222164e-06,3.775985e-06,4.239221e-06,5.229571e-06,5.370448e-06,6.589957e-06,6.842509e-06,7.876575e-06,8.566337e-06,9.213196e-06,1.036401e-05,1.058542e-05,1.198059e-05,1.220516e-05,1.338721e-05,1.406334e-05,1.479480e-05,1.591512e-05,1.619381e-05,1.757566e-05,1.773996e-05,1.893280e-05,1.952039e-05,2.025869e-05,2.124206e-05,2.154785e-05,2.279579e-05,2.289374e-05,2.399898e-05,2.446709e-05,2.515473e-05,2.595641e-05,2.626115e-05,2.731705e-05,2.735822e-05,2.832181e-05,2.867097e-05,2.927534e-05,2.989462e-05,3.017795e-05,3.103032e-05,3.183340e-05,3.208016e-05,3.258835e-05,3.304688e-05,3.329652e-05,3.393372e-05,3.395938e-05,3.457847e-05,3.474420e-05,3.515542e-05,3.548205e-05,3.569187e-05,3.615107e-05,3.618948e-05,3.664991e-05,3.675507e-05,3.707481e-05,3.729785e-05,3.746581e-05,3.778311e-05,3.782449e-05,3.815241e-05,3.821444e-05,3.845107e-05,3.859529e-05,3.872192e-05,3.892899e-05,3.896639e-05,3.918583e-05,3.921870e-05,3.938155e-05,3.946744e-05,3.955481e-05,3.967806e-05,3.970682e-05,3.983873e-05,3.985326e-05,3.995166e-05,3.999560e-05,4.004666e-05,4.010750e-05,4.012475e-05,4.018690e-05,4.019121e-05,4.023402e-05,4.024887e-05,4.026701e-05,4.028247e-05,4.028669e-05,4.029387e-05,4.029391e-05,4.028931e-05,4.028493e-05,4.027373e-05,4.025720e-05,4.024783e-05,4.021225e-05,4.016763e-05,4.015154e-05,4.011456e-05,4.007641e-05,4.005359e-05,3.998813e-05,3.998526e-05,3.991008e-05,3.988787e-05,3.982854e-05,3.977674e-05,3.974108e-05,3.965577e-05,3.964814e-05,3.955013e-05,3.952590e-05,3.944744e-05,3.938803e-05,3.934044e-05,3.924298e-05,3.922947e-05,3.911487e-05,3.909154e-05,3.899694e-05,3.893441e-05,3.887600e-05,3.877227e-05,3.875230e-05,3.862612e-05,3.860572e-05,3.849771e-05,3.843535e-05,3.836730e-05,3.826169e-05,3.823512e-05,3.810137e-05,3.808522e-05,3.796625e-05,3.790641e-05,3.782995e-05,3.772568e-05,3.769265e-05,3.755451e-05,3.754342e-05,3.741568e-05,3.735999e-05,3.727632e-05,3.717573e-05,3.713656e-05,3.699653e-05,3.699093e-05,3.685636e-05,3.680588e-05,3.671615e-05,3.662084e-05,3.657601e-05,3.643605e-05,3.625173e-05,3.606808e-05,3.588528e-05,3.570349e-05,3.552287e-05,3.534356e-05,3.516568e-05,3.498935e-05,3.481466e-05,3.464172e-05,3.447059e-05,3.430136e-05,3.413409e-05,3.396882e-05,3.380563e-05,3.364453e-05,3.348558e-05,3.332881e-05,3.317423e-05,3.302187e-05,3.287174e-05,3.272387e-05,3.257825e-05,3.243488e-05
0.000000e+00,1.204042e-09,2.895522e-09,1.045959e-08,2.429497e-08,3.569271e-08,8.184917e-08,8.433674e-08,1.638320e-07,1.926801e-07,2.820938e-07,3.752113e-07,4.477071e-07,6.493304e-07,6.692948e-07,9.532315e-07,1.030886e-06,1.300229e-06,1.520062e-06,1.704308e-06,2.099531e-06,2.155904e-06,2.645488e-06,2.747226e-06,3.164984e-06,3.444677e-06,3.707687e-06,4.177230e-06,4.267795e-06,4.840048e-06,4.932403e-06,5.419536e-06,5.698890e-06,6.001629e-06,6.466251e-06,6.581986e-06,7.156592e-06,7.224981e-06,7.721809e-06,7.966685e-06,8.274420e-06,8.684244e-06,8.811642e-06,9.331156e-06,9.371894e-06,9.831100e-06,1.002526e-05,1.031003e-05,1.064124e-05,1.076689e-05,1.120101e-05,1.121789e-05,1.161202e-05,1.175430e-05,1.199985e-05,1.225040e-05,1.236465e-05,1.270678e-05,1.302676e-05,1.312457e-05,1.332522e-05,1.350528e-05,1.360291e-05,1.385069e-05,1.386063e-05,1.409923e-05,1.416273e-05,1.431960e-05,1.444345e-05,1.452265e-05,1.469492e-05,1.470926e-05,1.488033e-05,1.491917e-05,1.503673e-05,1.511822e-05,1.517930e-05,1.529398e-05,1.530887e-05,1.542621e-05,1.544827e-05,1.553207e-05,1.558283e-05,1.562719e-05,1.569927e-05,1.571223e-05,1.578784e-05,1.579910e-05,1.585463e-05,1.588374e-05,1.591319e-05,1.595447e-05,1.596405e-05,1.600772e-05,1.601250e-05,1.604469e-05,1.605895e-05,1.607541e-05,1.609483e-05,1.610029e-05,1.611975e-05,1.612109e-05,1.613416e-05,1.613858e-05,1.614385e-05,1.614811e-05,1.614917e-05,1.615042e-05,1.615039e-05,1.614788e-05,1.614609e-05,1.614182e-05,1.613582e-05,1.613250e-05,1.612015e-05,1.610500e-05,1.609959e-05,1.608724e-05,1.607460e-05,1.606707e-05,1.604562e-05,1.604468e-05,1.602023e-05,1.601304e-05,1.599389e-05,1.597723e-05,1.596579e-05,1.593852e-05,1.593609e-05,1.590490e-05,1.589721e-05,1.587236e-05,1.585358e-05,1.583857e-05,1.580790e-05,1.580365e-05,1.576769e-05,1.576038e-05,1.573079e-05,1.571126e-05,1.569304e-05,1.566072e-05,1.565451e-05,1.561529e-05,1.560896e-05,1.557546e-05,1.555613e-05,1.553507e-05,1.550240e-05,1.549419e-05,1.545288e-05,1.544789e-05,1.541120e-05,1.539275e-05,1.536919e-05,1.533709e-05,1.532692e-05,1.528442e-05,1.528101e-05,1.524174e-05,1.522462e-05,1.519892e-05,1.516802e-05,1.515599e-05,1.511299e-05,1.511127e-05,1.506996e-05,1.505447e-05,1.502693e-05,1.499768e-05,1.498392e-05,1.494096e-05,1.488438e-05,1.482799e-05,1.477183e-05,1.471597e-05,1.466042e-05,1.460524e-05,1.455045e-05,1.449609e-05,1.444219e-05,1.438877e-05,1.433584e-05,1.428345e-05,1.423159e-05,1.418029e-05,1.412956e-05,1.407942e-05,1.402988e-05,1.398093e-05,1.393261e-05,1.388490e-05,1.383782e-05,1.379137e-05,1.374555e-05,1.370038e-05
0.000000e+00,1.013500e-09,2.450275e-09,8.922345e-09,2.083229e-08,3.067015e-08,7.052695e-08,7.267209e-08,1.409003e-07,1.654764e-07,2.409720e-07,3.185289e-07,3.782192e-07,5.416696e-07,5.576942e-07,7.840003e-07,8.457173e-07,1.060764e-06,1.238555e-06,1.389771e-06,1.722093e-06,1.770429e-06,2.200252e-06,2.291825e-06,2.675850e-06,2.940041e-06,3.193564e-06,3.658243e-06,3.749634e-06,4.340180e-06,4.437599e-06,4.961164e-06,5.268824e-06,5.608398e-06,6.142195e-06,6.277578e-06,6.964354e-06,7.047743e-06,7.664400e-06,7.975532e-06,8.373495e-06,8.915958e-06,9.087587e-06,9.802852e-06,9.860015e-06,1.051574e-05,1.079949e-05,1.122301e-05,1.172712e-05,1.192175e-05,1.260937e-05,1.263661e-05,1.328362e-05,1.352270e-05,1.394257e-05,1.438109e-05,1.458461e-05,1.520840e-05,1.581288e-05,1.600209e-05,1.639721e-05,1.676032e-05,1.696079e-05,1.748191e-05,1.750320e-05,1.802419e-05,1.816621e-05,1.852367e-05,1.881303e-05,1.900165e-05,1.942253e-05,1.945828e-05,1.989377e-05,1.999518e-05,2.030844e-05,2.053170e-05,2.070265e-05,2.103296e-05,2.107682e-05,2.143139e-05,2.150000e-05,2.176688e-05,2.193395e-05,2.208378e-05,2.233601e-05,2.238264e-05,2.266399e-05,2.270742e-05,2.292840e-05,2.304946e-05,2.317641e-05,2.336340e-05,2.340860e-05,2.362550e-05,2.365052e-05,2.382767e-05,2.391210e-05,2.401565e-05,2.414936e-05,2.418998e-05,2.435118e-05,2.436353e-05,2.449977e-05,2.455578e-05,2.463624e-05,2.472727e-05,2.476108e-05,2.487478e-05,2.487911e-05,2.497780e-05,2.501236e-05,2.507059e-05,2.512807e-05,2.515359e-05,2.522723e-05,2.529190e-05,2.531078e-05,2.534803e-05,2.537964e-05,2.539599e-05,2.543469e-05,2.543615e-05,2.546887e-05,2.547675e-05,2.549451e-05,2.550663e-05,2.551340e-05,2.552509e-05,2.552586e-05,2.553221e-05,2.553286e-05,2.553275e-05,2.553062e-05,2.552776e-05,2.551902e-05,2.551753e-05,2.550232e-05,2.549871e-05,2.548240e-05,2.547026e-05,2.545801e-05,2.543425e-05,2.542940e-05,2.539678e-05,2.539121e-05,2.536039e-05,2.534164e-05,2.532043e-05,2.528604e-05,2.527711e-05,2.523063e-05,2.522484e-05,2.518116e-05,2.515850e-05,2.512889e-05,2.508741e-05,2.507400e-05,2.501664e-05,2.501195e-05,2.495698e-05,2.493251e-05,2.489517e-05,2.484941e-05,2.483135e-05,2.476566e-05,2.476300e-05,2.469824e-05,2.467356e-05,2.462920e-05,2.458140e-05,2.455868e-05,2.448679e-05,2.438998e-05,2.429122e-05,2.419074e-05,2.408874e-05,2.398543e-05,2.388100e-05,2.377563e-05,2.366948e-05,2.356271e-05,2.345546e-05,2.334788e-05,2.324008e-05,2.313219e-05,2.302431e-05,2.291656e-05,2.280902e-05,2.270179e-05,2.259495e-05,2.248857e-05,2.238273e-05,2.227749e-05,2.217291e-05,2.206905e-05,2.196596e-05
0.000000e+00,1.286795e-09,3.686733e-09,1.606339e-08,4.067766e-08,6.169698e-08,1.497563e-07,1.545887e-07,3.119479e-07,3.701662e-07,5.533911e-07,7.474989e-07,9.000195e-07,1.324883e-06,1.366684e-06,1.948896e-06,2.103344e-06,2.622499e-06,3.028888e-06,3.359232e-06,4.041920e-06,4.136810e-06,4.939148e-06,5.101463e-06,5.753994e-06,6.179247e-06,6.571254e-06,7.253196e-06,7.382196e-06,8.179208e-06,8.304985e-06,8.955756e-06,9.319595e-06,9.706417e-06,1.028538e-05,1.042689e-05,1.111398e-05,1.119407e-05,1.176550e-05,1.204054e-05,1.238018e-05,1.282240e-05,1.295757e-05,1.349784e-05,1.353947e-05,1.400171e-05,1.419331e-05,1.447030e-05,1.478660e-05,1.490498e-05,1.530736e-05,1.532281e-05,1.567916e-05,1.580586e-05,1.602215e-05,1.623984e-05,1.633812e-05,1.662884e-05,1.689601e-05,1.697681e-05,1.714129e-05,1.728751e-05,1.736624e-05,1.756443e-05,1.757233e-05,1.776094e-05,1.781080e-05,1.793336e-05,1.802956e-05,1.809081e-05,1.822337e-05,1.823437e-05,1.836509e-05,1.839465e-05,1.848390e-05,1.854556e-05,1.859168e-05,1.867805e-05,1.868924e-05,1.877731e-05,1.879385e-05,1.885659e-05,1.889454e-05,1.892769e-05,1.898153e-05,1.899120e-05,1.904765e-05,1.905606e-05,1.909753e-05,1.911927e-05,1.914129e-05,1.917218e-05,1.917936e-05,1.921212e-05,1.921571e-05,1.923992e-05,1.925067e-05,1.926309e-05,1.927781e-05,1.928195e-05,1.929678e-05,1.929780e-05,1.930783e-05,1.931125e-05,1.931536e-05,1.931873e-05,1.931959e-05,1.932073e-05,1.932072e-05,1.931899e-05,1.931769e-05,1.931453e-05,1.931005e-05,1.930755e-05,1.929819e-05,1.928660e-05,1.928245e-05,1.927294e-05,1.926316e-05,1.925733e-05,1.924062e-05,1.923989e-05,1.922073e-05,1.921508e-05,1.919998e-05,1.918681e-05,1.917773e-05,1.915602e-05,1.915408e-05,1.912912e-05,1.912294e-05,1.910294e-05,1.908777e-05,1.907561e-05,1.905067e-05,1.904721e-05,1.901783e-05,1.901183e-05,1.898751e-05,1.897141e-05,1.895634e-05,1.892953e-05,1.892437e-05,1.889165e-05,1.888635e-05,1.885825e-05,1.884199e-05,1.882421e-05,1.879656e-05,1.878959e-05,1.875443e-05,1.875018e-05,1.871878e-05,1.870295e-05,1.868267e-05,1.865496e-05,1.864616e-05,1.860927e-05,1.860630e-05,1.857204e-05,1.855706e-05,1.853451e-05,1.850732e-05,1.849671e-05,1.845866e-05,1.845714e-05,1.842041e-05,1.840660e-05,1.838198e-05,1.835575e-05,1.834339e-05,1.830467e-05,1.825340e-05,1.820199e-05,1.815050e-05,1.809898e-05,1.804745e-05,1.799597e-05,1.794457e-05,1.789328e-05,1.784214e-05,1.779118e-05,1.774043e-05,1.768990e-05,1.763963e-05,1.758965e-05,1.753996e-05,1.749058e-05,1.744155e-05,1.739287e-05,1.734456e-05,1.729663e-05,1.724910e-05,1.720198e-05,1.715528e-05,1.710900e-05
0.000000e+00,4.443232e-12,2.194494e-11,2.299599e-10,1.065425e-09,2.131844e-09,9.312518e-09,9.814135e-09,3.088976e-08,4.064246e-08,7.665895e-08,1.219753e-07,1.618659e-07,2.903335e-07,3.042996e-07,5.243346e-07,5.911387e-07,8.442357e-07,1.075538e-06,1.286799e-06,1.794516e-06,1.873056e-06,2.619485e-06,2.788978e-06,3.535750e-06,4.080258e-06,4.623731e-06,5.666479e-06,5.877893e-06,7.286533e-06,7.525213e-06,8.833386e-06,9.619394e-06,1.049921e-05,1.190352e-05,1.226312e-05,1.410365e-05,1.432865e-05,1.599952e-05,1.684591e-05,1.793021e-05,1.940883e-05,1.987632e-05,2.181989e-05,2.197476e-05,2.374454e-05,2.450576e-05,2.563561e-05,2.696911e-05,2.748025e-05,2.926738e-05,2.933753e-05,3.098772e-05,3.158919e-05,3.263371e-05,3.370744e-05,3.419944e-05,3.568052e-05,3.707398e-05,3.750107e-05,3.837811e-05,3.916556e-05,3.959233e-05,4.067373e-05,4.071701e-05,4.175338e-05,4.202799e-05,4.270334e-05,4.323283e-05,4.356933e-05,4.429439e-05,4.435428e-05,4.506142e-05,4.521994e-05,4.569424e-05,4.601752e-05,4.625641e-05,4.669563e-05,4.675166e-05,4.718377e-05,4.726295e-05,4.755651e-05,4.772811e-05,4.787360e-05,4.809961e-05,4.813867e-05,4.835523e-05,4.838560e-05,4.852668e-05,4.859391e-05,4.865627e-05,4.873189e-05,4.874710e-05,4.880214e-05,4.880647e-05,4.882416e-05,4.882408e-05,4.881582e-05,4.879071e-05,4.877961e-05,4.871785e-05,4.871188e-05,4.863275e-05,4.859264e-05,4.852636e-05,4.843766e-05,4.840059e-05,4.825724e-05,4.825117e-05,4.809797e-05,4.803704e-05,4.792433e-05,4.779879e-05,4.773777e-05,4.753963e-05,4.733115e-05,4.726244e-05,4.711348e-05,4.696986e-05,4.688770e-05,4.666423e-05,4.665479e-05,4.641567e-05,4.634772e-05,4.617117e-05,4.602223e-05,4.592209e-05,4.568950e-05,4.566913e-05,4.541297e-05,4.535108e-05,4.515420e-05,4.500837e-05,4.489340e-05,4.466262e-05,4.463107e-05,4.436770e-05,4.431494e-05,4.410372e-05,4.396634e-05,4.383952e-05,4.361769e-05,4.357546e-05,4.331189e-05,4.326978e-05,4.304909e-05,4.292331e-05,4.278736e-05,4.257890e-05,4.252693e-05,4.226805e-05,4.223709e-05,4.201090e-05,4.189835e-05,4.175568e-05,4.156311e-05,4.150256e-05,4.125168e-05,4.123171e-05,4.100318e-05,4.090448e-05,4.075718e-05,4.058167e-05,4.051379e-05,4.027310e-05,4.026352e-05,4.003518e-05,3.995023e-05,3.980012e-05,3.964194e-05,3.956797e-05,3.933879e-05,3.904088e-05,3.874830e-05,3.846110e-05,3.817932e-05,3.790299e-05,3.763212e-05,3.736670e-05,3.710671e-05,3.685212e-05,3.660291e-05,3.635903e-05,3.612042e-05,3.588703e-05,3.565879e-05,3.543563e-05,3.521749e-05,3.500429e-05,3.479595e-05,3.459238e-05,3.439351e-05,3.419925e-05,3.400952e-05,3.382422e-05,3.364328e-05
0.000000e+00,4.542453e-09,1.065129e-08,3.748524e-08,8.614371e-08,1.261824e-07,2.891002e-07,2.979299e-07,5.831233e-07,6.880600e-07,1.017842e-06,1.367748e-06,1.644006e-06,2.425522e-06,2.503699e-06,3.623506e-06,3.930834e-06,4.993797e-06,5.853265e-06,6.565374e-06,8.062596e-06,8.272553e-06,1.005718e-05,1.041936e-05,1.187624e-05,1.282532e-05,1.369943e-05,1.521800e-05,1.550498e-05,1.727648e-05,1.755587e-05,1.900119e-05,1.980938e-05,2.066905e-05,2.195705e-05,2.227219e-05,2.380463e-05,2.398355e-05,2.526208e-05,2.587883e-05,2.664174e-05,2.763729e-05,2.794211e-05,2.916280e-05,2.925702e-05,3.030438e-05,3.073913e-05,3.136817e-05,3.208699e-05,3.235610e-05,3.327058e-05,3.330566e-05,3.411429e-05,3.440126e-05,3.489020e-05,3.538070e-05,3.560145e-05,3.625118e-05,3.684258e-05,3.702003e-05,3.737883e-05,3.769453e-05,3.786304e-05,3.828176e-05,3.829826e-05,3.868742e-05,3.878853e-05,3.903337e-05,3.922134e-05,3.933884e-05,3.958635e-05,3.960643e-05,3.983860e-05,3.988932e-05,4.003770e-05,4.013557e-05,4.020592e-05,4.033008e-05,4.034536e-05,4.045801e-05,4.047749e-05,4.054572e-05,4.058206e-05,4.061025e-05,4.064775e-05,4.065325e-05,4.067626e-05,4.067818e-05,4.068074e-05,4.067672e-05,4.066807e-05,4.064645e-05,4.063953e-05,4.059631e-05,4.059019e-05,4.053954e-05,4.051055e-05,4.047030e-05,4.040993e-05,4.038955e-05,4.029823e-05,4.029050e-05,4.019721e-05,4.015427e-05,4.008731e-05,4.000309e-05,3.996927e-05,3.984381e-05,3.983864e-05,3.971159e-05,3.966246e-05,3.957323e-05,3.947594e-05,3.942932e-05,3.928040e-05,3.912696e-05,3.907699e-05,3.896949e-05,3.886679e-05,3.880842e-05,3.865079e-05,3.864416e-05,3.847711e-05,3.842988e-05,3.830760e-05,3.820487e-05,3.813599e-05,3.797650e-05,3.796257e-05,3.778763e-05,3.774545e-05,3.761145e-05,3.751234e-05,3.743428e-05,3.727772e-05,3.725634e-05,3.707785e-05,3.704210e-05,3.689901e-05,3.680594e-05,3.672002e-05,3.656966e-05,3.654103e-05,3.636221e-05,3.633363e-05,3.618372e-05,3.609819e-05,3.600567e-05,3.586365e-05,3.582822e-05,3.565145e-05,3.563029e-05,3.547550e-05,3.539836e-05,3.530045e-05,3.516807e-05,3.512639e-05,3.495341e-05,3.493963e-05,3.478159e-05,3.471320e-05,3.461099e-05,3.448896e-05,3.444169e-05,3.427372e-05,3.426703e-05,3.410716e-05,3.404755e-05,3.394204e-05,3.383061e-05,3.377842e-05,3.361632e-05,3.340474e-05,3.319596e-05,3.299003e-05,3.278699e-05,3.258689e-05,3.238976e-05,3.219563e-05,3.200450e-05,3.181640e-05,3.163133e-05,3.144928e-05,3.127026e-05,3.109425e-05,3.092125e-05,3.075123e-05,3.058419e-05,3.042010e-05,3.025893e-05,3.010066e-05,2.994526e-05,2.979270e-05,2.964296e-05,2.949599e-05,2.935177e-05
0.000000e+00,6.837717e-11,2.990433e-10,2.467158e-09,9.334115e-09,1.681363e-08,5.708930e-08,5.958561e-08,1.501513e-07,1.867787e-07,3.083260e-07,4.438268e-07,5.536582e-07,8.729200e-07,9.054255e-07,1.382256e-06,1.517187e-06,2.000165e-06,2.411810e-06,2.768909e-06,3.571114e-06,3.689418e-06,4.754898e-06,4.984451e-06,5.954216e-06,6.626563e-06,7.274702e-06,8.468090e-06,8.703425e-06,1.022740e-05,1.047920e-05,1.183346e-05,1.262960e-05,1.350820e-05,1.488829e-05,1.523799e-05,1.700914e-05,1.722381e-05,1.880817e-05,1.960519e-05,2.062204e-05,2.200288e-05,2.243841e-05,2.424579e-05,2.438968e-05,2.603377e-05,2.674140e-05,2.779302e-05,2.903728e-05,2.951542e-05,3.119402e-05,3.126016e-05,3.282302e-05,3.339638e-05,3.439773e-05,3.543560e-05,3.591445e-05,3.737043e-05,3.876372e-05,3.919612e-05,4.009313e-05,4.091014e-05,4.135809e-05,4.251180e-05,4.255858e-05,4.369504e-05,4.400188e-05,4.476829e-05,4.538236e-05,4.577946e-05,4.665611e-05,4.672995e-05,4.762134e-05,4.782668e-05,4.845538e-05,4.889808e-05,4.923392e-05,4.987465e-05,4.995888e-05,5.063227e-05,5.076093e-05,5.125608e-05,5.156154e-05,5.183234e-05,5.228112e-05,5.236306e-05,5.285023e-05,5.292427e-05,5.329581e-05,5.349548e-05,5.370172e-05,5.399915e-05,5.406984e-05,5.440198e-05,5.443950e-05,5.469991e-05,5.482061e-05,5.496536e-05,5.514638e-05,5.519996e-05,5.540531e-05,5.542053e-05,5.558296e-05,5.564660e-05,5.573438e-05,5.582796e-05,5.586099e-05,5.596415e-05,5.596780e-05,5.604516e-05,5.606914e-05,5.610526e-05,5.613481e-05,5.614567e-05,5.616751e-05,5.617188e-05,5.616976e-05,5.615981e-05,5.614393e-05,5.613232e-05,5.609228e-05,5.609033e-05,5.603476e-05,5.601688e-05,5.596646e-05,5.591972e-05,5.588626e-05,5.580264e-05,5.579494e-05,5.569324e-05,5.566736e-05,5.558186e-05,5.551551e-05,5.546148e-05,5.534860e-05,5.533273e-05,5.519622e-05,5.516804e-05,5.505253e-05,5.497515e-05,5.490220e-05,5.477117e-05,5.474575e-05,5.458368e-05,5.455725e-05,5.441644e-05,5.433446e-05,5.424448e-05,5.410379e-05,5.406821e-05,5.388804e-05,5.386618e-05,5.370434e-05,5.362249e-05,5.351746e-05,5.337352e-05,5.332774e-05,5.313550e-05,5.312002e-05,5.294103e-05,5.286268e-05,5.274461e-05,5.260214e-05,5.254653e-05,5.234701e-05,5.233901e-05,5.214631e-05,5.207382e-05,5.194465e-05,5.180708e-05,5.174224e-05,5.153927e-05,5.127081e-05,5.100211e-05,5.073353e-05,5.046542e-05,5.019807e-05,4.993177e-05,4.966678e-05,4.940334e-05,4.914166e-05,4.888193e-05,4.862434e-05,4.836904e-05,4.811618e-05,4.786588e-05,4.761827e-05,4.737344e-05,4.713148e-05,4.689247e-05,4.665648e-05,4.642357e-05,4.619379e-05,4.596719e-05,4.574378e-05,4.552362e-05
0.000000e+00,1.431412e-10,5.977863e-10,4.530247e-09,1.605214e-08,2.801668e-08,8.882482e-08,9.248416e-08,2.213613e-07,2.721733e-07,4.380348e-07,6.199827e-07,7.661250e-07,1.187124e-06,1.229773e-06,1.852521e-06,2.027939e-06,2.653223e-06,3.182708e-06,3.639100e-06,4.652782e-06,4.800783e-06,6.114934e-06,6.393499e-06,7.552276e-06,8.338782e-06,9.084291e-06,1.042592e-05,1.068594e-05,1.233574e-05,1.260289e-05,1.401498e-05,1.482654e-05,1.570710e-05,1.706009e-05,1.739734e-05,1.907259e-05,1.927205e-05,2.072138e-05,2.143589e-05,2.233391e-05,2.353009e-05,2.390200e-05,2.541902e-05,2.553802e-05,2.687986e-05,2.744756e-05,2.828071e-05,2.925069e-05,2.961899e-05,3.089319e-05,3.094282e-05,3.210265e-05,3.252219e-05,3.324742e-05,3.398925e-05,3.432820e-05,3.534617e-05,3.630284e-05,3.659633e-05,3.720006e-05,3.774400e-05,3.803984e-05,3.879402e-05,3.882437e-05,3.955588e-05,3.975152e-05,4.023671e-05,4.062183e-05,4.086916e-05,4.141027e-05,4.145554e-05,4.199813e-05,4.212208e-05,4.249912e-05,4.276231e-05,4.296067e-05,4.333585e-05,4.338484e-05,4.377365e-05,4.384734e-05,4.412901e-05,4.430119e-05,4.445275e-05,4.470154e-05,4.474662e-05,4.501230e-05,4.505230e-05,4.525138e-05,4.535713e-05,4.546537e-05,4.561947e-05,4.565571e-05,4.582378e-05,4.584252e-05,4.597087e-05,4.602926e-05,4.609821e-05,4.618250e-05,4.620696e-05,4.629823e-05,4.630481e-05,4.637306e-05,4.639862e-05,4.643245e-05,4.646617e-05,4.647732e-05,4.650856e-05,4.650954e-05,4.652701e-05,4.653067e-05,4.653345e-05,4.653136e-05,4.652864e-05,4.651329e-05,4.648805e-05,4.647799e-05,4.645357e-05,4.642692e-05,4.641043e-05,4.636140e-05,4.635921e-05,4.630042e-05,4.628268e-05,4.623459e-05,4.619190e-05,4.616217e-05,4.609012e-05,4.608363e-05,4.599937e-05,4.597835e-05,4.590981e-05,4.585748e-05,4.581533e-05,4.572838e-05,4.571627e-05,4.561297e-05,4.559184e-05,4.550577e-05,4.544857e-05,4.539495e-05,4.529927e-05,4.528079e-05,4.516358e-05,4.514456e-05,4.504356e-05,4.498502e-05,4.492097e-05,4.482120e-05,4.479603e-05,4.466897e-05,4.465358e-05,4.453997e-05,4.448265e-05,4.440924e-05,4.430883e-05,4.427694e-05,4.414326e-05,4.413251e-05,4.400834e-05,4.395407e-05,4.387235e-05,4.377384e-05,4.373542e-05,4.359768e-05,4.359215e-05,4.345927e-05,4.340929e-05,4.332030e-05,4.322553e-05,4.318088e-05,4.304112e-05,4.285629e-05,4.267126e-05,4.248621e-05,4.230135e-05,4.211682e-05,4.193280e-05,4.174941e-05,4.156680e-05,4.138507e-05,4.120435e-05,4.102474e-05,4.084632e-05,4.066918e-05,4.049340e-05,4.031905e-05,4.014618e-05,3.997487e-05,3.980515e-05,3.963709e-05,3.947071e-05,3.930605e-05,3.914315e-05,3.898204e-05,3.882274e-05
0.000000e+00,4.617594e-13,2.300859e-12,2.455613e-11,1.156785e-10,2.335785e-10,1.044390e-09,1.101682e-09,3.547273e-09,4.695799e-09,8.992412e-09,1.448193e-08,1.936797e-08,3.533800e-08,3.709106e-08,6.502646e-08,7.360406e-08,1.064105e-07,1.367411e-07,1.646816e-07,2.325932e-07,2.431829e-07,3.447877e-07,3.680804e-07,4.715696e-07,5.478463e-07,6.246087e-07,7.735173e-07,8.039535e-07,1.008703e-06,1.043717e-06,1.237162e-06,1.354583e-06,1.487017e-06,1.700468e-06,1.755516e-06,2.039621e-06,2.074611e-06,2.336138e-06,2.469704e-06,2.641831e-06,2.878323e-06,2.953501e-06,3.268056e-06,3.293256e-06,3.582565e-06,3.707737e-06,3.894300e-06,4.115621e-06,4.200766e-06,4.499728e-06,4.511501e-06,4.789219e-06,4.890785e-06,5.067557e-06,5.249729e-06,5.333339e-06,5.585441e-06,5.823003e-06,5.895847e-06,6.045422e-06,6.179641e-06,6.252324e-06,6.436204e-06,6.443552e-06,6.619138e-06,6.665523e-06,6.779281e-06,6.868089e-06,6.924319e-06,7.044809e-06,7.054714e-06,7.171018e-06,7.196903e-06,7.273861e-06,7.325827e-06,7.363928e-06,7.433189e-06,7.441939e-06,7.508636e-06,7.520685e-06,7.564772e-06,7.590038e-06,7.611094e-06,7.642959e-06,7.648338e-06,7.677219e-06,7.681110e-06,7.698426e-06,7.706074e-06,7.712617e-06,7.719339e-06,7.720417e-06,7.722412e-06,7.722288e-06,7.719154e-06,7.716191e-06,7.711157e-06,7.702204e-06,7.698896e-06,7.682812e-06,7.681373e-06,7.663310e-06,7.654636e-06,7.640760e-06,7.622830e-06,7.615504e-06,7.587851e-06,7.586700e-06,7.558085e-06,7.546902e-06,7.526461e-06,7.504015e-06,7.493212e-06,7.458550e-06,7.422664e-06,7.410951e-06,7.385728e-06,7.361610e-06,7.347896e-06,7.310866e-06,7.309309e-06,7.270094e-06,7.259017e-06,7.230363e-06,7.206321e-06,7.190220e-06,7.153004e-06,7.149757e-06,7.109057e-06,7.099262e-06,7.068194e-06,7.045265e-06,7.027236e-06,6.991162e-06,6.986243e-06,6.945269e-06,6.937080e-06,6.904363e-06,6.883133e-06,6.863568e-06,6.829416e-06,6.822925e-06,6.782468e-06,6.776014e-06,6.742228e-06,6.723000e-06,6.702236e-06,6.670436e-06,6.662515e-06,6.623089e-06,6.618379e-06,6.583978e-06,6.566874e-06,6.545200e-06,6.515962e-06,6.506771e-06,6.468706e-06,6.465677e-06,6.431016e-06,6.416048e-06,6.393712e-06,6.367099e-06,6.356805e-06,6.320302e-06,6.318850e-06,6.284210e-06,6.271319e-06,6.248536e-06,6.224519e-06,6.213284e-06,6.178460e-06,6.133150e-06,6.088597e-06,6.044802e-06,6.001769e-06,5.959498e-06,5.917988e-06,5.877236e-06,5.837239e-06,5.797992e-06,5.759491e-06,5.721728e-06,5.684698e-06,5.648392e-06,5.612803e-06,5.577921e-06,5.543739e-06,5.510245e-06,5.477432e-06,5.445289e-06,5.413806e-06,5.382972e-06,5.352778e-06,5.323212e-06,5.294264e-06
0.000000e+00,8.746874e-10,2.825675e-09,1.434112e-08,3.936266e-08,6.160291e-08,1.580330e-07,1.634027e-07,3.396179e-07,4.049834e-07,6.100787e-07,8.260390e-07,9.951370e-07,1.468149e-06,1.515166e-06,2.187516e-06,2.372757e-06,3.020690e-06,3.556393e-06,4.010393e-06,4.999745e-06,5.142551e-06,6.399658e-06,6.664547e-06,7.764621e-06,8.511710e-06,9.221548e-06,1.050543e-05,1.075542e-05,1.235170e-05,1.261194e-05,1.399617e-05,1.479854e-05,1.567496e-05,1.703374e-05,1.737476e-05,1.908298e-05,1.928796e-05,2.078794e-05,2.153433e-05,2.247908e-05,2.374928e-05,2.414701e-05,2.578359e-05,2.591294e-05,2.738189e-05,2.800918e-05,2.893622e-05,3.002550e-05,3.044200e-05,3.189567e-05,3.195269e-05,3.329461e-05,3.378447e-05,3.463704e-05,3.551703e-05,3.592186e-05,3.714861e-05,3.831730e-05,3.867909e-05,3.942841e-05,4.010966e-05,4.048274e-05,4.144246e-05,4.148135e-05,4.242556e-05,4.268038e-05,4.331681e-05,4.382679e-05,4.415668e-05,4.488542e-05,4.494684e-05,4.568901e-05,4.586018e-05,4.638493e-05,4.675510e-05,4.703637e-05,4.757423e-05,4.764508e-05,4.821281e-05,4.832159e-05,4.874127e-05,4.900111e-05,4.923215e-05,4.961663e-05,4.968707e-05,5.010763e-05,5.017184e-05,5.049539e-05,5.067031e-05,5.085184e-05,5.111543e-05,5.117843e-05,5.147656e-05,5.151048e-05,5.174756e-05,5.185855e-05,5.199274e-05,5.216257e-05,5.221334e-05,5.241055e-05,5.242535e-05,5.258552e-05,5.264953e-05,5.273935e-05,5.283761e-05,5.287309e-05,5.298774e-05,5.299194e-05,5.308427e-05,5.311477e-05,5.316361e-05,5.320819e-05,5.322663e-05,5.327419e-05,5.330707e-05,5.331463e-05,5.332607e-05,5.333127e-05,5.333190e-05,5.332577e-05,5.332527e-05,5.330686e-05,5.329969e-05,5.327731e-05,5.325448e-05,5.323721e-05,5.319152e-05,5.318717e-05,5.312772e-05,5.311212e-05,5.305941e-05,5.301747e-05,5.298273e-05,5.290873e-05,5.289818e-05,5.280620e-05,5.278695e-05,5.270724e-05,5.265316e-05,5.260172e-05,5.250829e-05,5.249002e-05,5.237254e-05,5.235323e-05,5.224963e-05,5.218880e-05,5.212163e-05,5.201580e-05,5.198888e-05,5.185169e-05,5.183494e-05,5.171035e-05,5.164692e-05,5.156514e-05,5.145237e-05,5.141634e-05,5.126420e-05,5.125190e-05,5.110897e-05,5.104607e-05,5.095088e-05,5.083541e-05,5.079015e-05,5.062699e-05,5.062041e-05,5.046160e-05,5.040155e-05,5.029417e-05,5.017924e-05,5.012488e-05,4.995391e-05,4.972592e-05,4.949564e-05,4.926339e-05,4.902948e-05,4.879421e-05,4.855785e-05,4.832065e-05,4.808285e-05,4.784466e-05,4.760629e-05,4.736793e-05,4.712976e-05,4.689195e-05,4.665465e-05,4.641801e-05,4.618214e-05,4.594719e-05,4.571326e-05,4.548046e-05,4.524888e-05,4.501861e-05,4.478975e-05,4.456235e-05,4.433651e-05
0.000000e+00,1.520731e-09,3.598607e-09,1.275055e-08,2.926895e-08,4.275467e-08,9.661134e-08,9.948523e-08,1.900674e-07,2.224016e-07,3.210749e-07,4.216868e-07,4.987383e-07,7.084850e-07,7.289673e-07,1.016907e-06,1.095013e-06,1.365635e-06,1.587344e-06,1.774263e-06,2.179126e-06,2.237301e-06,2.746482e-06,2.853086e-06,3.293200e-06,3.589710e-06,3.869686e-06,4.371899e-06,4.469080e-06,5.085195e-06,5.184937e-06,5.712295e-06,6.015611e-06,6.344995e-06,6.851782e-06,6.978245e-06,7.607358e-06,7.682365e-06,8.228054e-06,8.497491e-06,8.836509e-06,9.288676e-06,9.429386e-06,1.000386e-05,1.004894e-05,1.055759e-05,1.077286e-05,1.108876e-05,1.145645e-05,1.159601e-05,1.207838e-05,1.209714e-05,1.253532e-05,1.269355e-05,1.296663e-05,1.324531e-05,1.337239e-05,1.375291e-05,1.410873e-05,1.421749e-05,1.444054e-05,1.464067e-05,1.474916e-05,1.502445e-05,1.503549e-05,1.530051e-05,1.537104e-05,1.554524e-05,1.568277e-05,1.577072e-05,1.596206e-05,1.597800e-05,1.616810e-05,1.621128e-05,1.634205e-05,1.643277e-05,1.650082e-05,1.662876e-05,1.664539e-05,1.677666e-05,1.680140e-05,1.689551e-05,1.695268e-05,1.700277e-05,1.708449e-05,1.709923e-05,1.718563e-05,1.719856e-05,1.726267e-05,1.729652e-05,1.733100e-05,1.737983e-05,1.739126e-05,1.744401e-05,1.744986e-05,1.748979e-05,1.750786e-05,1.752911e-05,1.755497e-05,1.756244e-05,1.759022e-05,1.759222e-05,1.761285e-05,1.762055e-05,1.763072e-05,1.764083e-05,1.764417e-05,1.765354e-05,1.765383e-05,1.765912e-05,1.766027e-05,1.766122e-05,1.766078e-05,1.766008e-05,1.765596e-05,1.764908e-05,1.764633e-05,1.763966e-05,1.763239e-05,1.762789e-05,1.761456e-05,1.761396e-05,1.759803e-05,1.759324e-05,1.758028e-05,1.756881e-05,1.756084e-05,1.754158e-05,1.753985e-05,1.751744e-05,1.751186e-05,1.749373e-05,1.747993e-05,1.746884e-05,1.744604e-05,1.744287e-05,1.741591e-05,1.741040e-05,1.738805e-05,1.737324e-05,1.735939e-05,1.733474e-05,1.732999e-05,1.729993e-05,1.729507e-05,1.726929e-05,1.725439e-05,1.723812e-05,1.721285e-05,1.720649e-05,1.717445e-05,1.717058e-05,1.714205e-05,1.712769e-05,1.710934e-05,1.708431e-05,1.707637e-05,1.704319e-05,1.704053e-05,1.700982e-05,1.699644e-05,1.697632e-05,1.695213e-05,1.694271e-05,1.690902e-05,1.690767e-05,1.687529e-05,1.686314e-05,1.684155e-05,1.681861e-05,1.680782e-05,1.677412e-05,1.672974e-05,1.668551e-05,1.664148e-05,1.659769e-05,1.655418e-05,1.651097e-05,1.646811e-05,1.642561e-05,1.638350e-05,1.634181e-05,1.630056e-05,1.625975e-05,1.621942e-05,1.617957e-05,1.614021e-05,1.610136e-05,1.606303e-05,1.602522e-05,1.598794e-05,1.595120e-05,1.591500e-05,1.587934e-05,1.584423e-05,1.580967e-05
0.000000e+00,5.548077e-11,2.409730e-10,1.962226e-09,7.345220e-09,1.315983e-08,4.411384e-08,4.601996e-08,1.146094e-07,1.421164e-07,2.327104e-07,3.326961e-07,4.130876e-07,6.439930e-07,6.672973e-07,1.005610e-06,1.100333e-06,1.436827e-06,1.721558e-06,1.967843e-06,2.521112e-06,2.602861e-06,3.342356e-06,3.502515e-06,4.182224e-06,4.655899e-06,5.113780e-06,5.958276e-06,6.124813e-06,7.201243e-06,7.378570e-06,8.328640e-06,8.883804e-06,9.493208e-06,1.044304e-05,1.068223e-05,1.188425e-05,1.202886e-05,1.308902e-05,1.361763e-05,1.428754e-05,1.518934e-05,1.547192e-05,1.663540e-05,1.672739e-05,1.777225e-05,1.821845e-05,1.887776e-05,1.965214e-05,1.994810e-05,2.098031e-05,2.102077e-05,2.197217e-05,2.231904e-05,2.292212e-05,2.354363e-05,2.382919e-05,2.469290e-05,2.551319e-05,2.576655e-05,2.629034e-05,2.676533e-05,2.702492e-05,2.769082e-05,2.771774e-05,2.836977e-05,2.854519e-05,2.898215e-05,2.933104e-05,2.955608e-05,3.005127e-05,3.009288e-05,3.059389e-05,3.070896e-05,3.106049e-05,3.130727e-05,3.149407e-05,3.184941e-05,3.189602e-05,3.226773e-05,3.233857e-05,3.261056e-05,3.277786e-05,3.292584e-05,3.317033e-05,3.321487e-05,3.347891e-05,3.351892e-05,3.371920e-05,3.382645e-05,3.393691e-05,3.409561e-05,3.413321e-05,3.430919e-05,3.432900e-05,3.446593e-05,3.452905e-05,3.460443e-05,3.469811e-05,3.472568e-05,3.483063e-05,3.483835e-05,3.492017e-05,3.495186e-05,3.499516e-05,3.504060e-05,3.505642e-05,3.510474e-05,3.510642e-05,3.514088e-05,3.515105e-05,3.516555e-05,3.517611e-05,3.517942e-05,3.518316e-05,3.517738e-05,3.517361e-05,3.516267e-05,3.514883e-05,3.513959e-05,3.511006e-05,3.510868e-05,3.507045e-05,3.505850e-05,3.502538e-05,3.499524e-05,3.497392e-05,3.492132e-05,3.491652e-05,3.485359e-05,3.483771e-05,3.478552e-05,3.474529e-05,3.471268e-05,3.464492e-05,3.463543e-05,3.455410e-05,3.453737e-05,3.446901e-05,3.442338e-05,3.438046e-05,3.430362e-05,3.428874e-05,3.419411e-05,3.417872e-05,3.409684e-05,3.404927e-05,3.399715e-05,3.391582e-05,3.389529e-05,3.379146e-05,3.377888e-05,3.368588e-05,3.363891e-05,3.357872e-05,3.349635e-05,3.347018e-05,3.336043e-05,3.335160e-05,3.324962e-05,3.320504e-05,3.313792e-05,3.305702e-05,3.302546e-05,3.291238e-05,3.290784e-05,3.279880e-05,3.275782e-05,3.268485e-05,3.260721e-05,3.257064e-05,3.245627e-05,3.230524e-05,3.215431e-05,3.200370e-05,3.185357e-05,3.170408e-05,3.155539e-05,3.140764e-05,3.126093e-05,3.111539e-05,3.097112e-05,3.082820e-05,3.068672e-05,3.054675e-05,3.040836e-05,3.027160e-05,3.013652e-05,3.000317e-05,2.987159e-05,2.974181e-05,2.961385e-05,2.948774e-05,2.936350e-05,2.924115e-05,2.912068e-05
0.000000e+00,2.923844e-12,1.497070e-11,1.691002e-10,8.391901e-10,1.743969e-09,8.404975e-09,8.893315e-09,3.087969e-08,4.173219e-08,8.421017e-08,1.415292e-07,1.946472e-07,3.781384e-07,3.990229e-07,7.465135e-07,8.577986e-07,1.298641e-06,1.723754e-06,2.127539e-06,3.149062e-06,3.312870e-06,4.938236e-06,5.323541e-06,7.087732e-06,8.439866e-06,9.842958e-06,1.268174e-05,1.328058e-05,1.747042e-05,1.821483e-05,2.247390e-05,2.518022e-05,2.834297e-05,3.368973e-05,3.511917e-05,4.283308e-05,4.382280e-05,5.150391e-05,5.562462e-05,6.113931e-05,6.910534e-05,7.173539e-05,8.327694e-05,8.424040e-05,9.573782e-05,1.009717e-04,1.090815e-04,1.192101e-04,1.232620e-04,1.382244e-04,1.388383e-04,1.539063e-04,1.597147e-04,1.702385e-04,1.816780e-04,1.871465e-04,2.045516e-04,2.223720e-04,2.281487e-04,2.405243e-04,2.522771e-04,2.589243e-04,2.767436e-04,2.774883e-04,2.961340e-04,3.013585e-04,3.147816e-04,3.259389e-04,3.333541e-04,3.503118e-04,3.517787e-04,3.699866e-04,3.743171e-04,3.879141e-04,3.978089e-04,4.055025e-04,4.206572e-04,4.226983e-04,4.394538e-04,4.427483e-04,4.557267e-04,4.639853e-04,4.714799e-04,4.842880e-04,4.866821e-04,5.013070e-04,5.035919e-04,5.153332e-04,5.218481e-04,5.287442e-04,5.390217e-04,5.415278e-04,5.536761e-04,5.550909e-04,5.651848e-04,5.700458e-04,5.760534e-04,5.838869e-04,5.862844e-04,5.958831e-04,5.966239e-04,6.048574e-04,6.082746e-04,6.132176e-04,6.188633e-04,6.209756e-04,6.281454e-04,6.284201e-04,6.347419e-04,6.369795e-04,6.407817e-04,6.445795e-04,6.462820e-04,6.512608e-04,6.557369e-04,6.570662e-04,6.597292e-04,6.620394e-04,6.632571e-04,6.662250e-04,6.663400e-04,6.689972e-04,6.696676e-04,6.712481e-04,6.724115e-04,6.731117e-04,6.745005e-04,6.746070e-04,6.757524e-04,6.759772e-04,6.765660e-04,6.768833e-04,6.770655e-04,6.772589e-04,6.772681e-04,6.771905e-04,6.771428e-04,6.768488e-04,6.765720e-04,6.762588e-04,6.755821e-04,6.754353e-04,6.743930e-04,6.742069e-04,6.731458e-04,6.724784e-04,6.717071e-04,6.704269e-04,6.700897e-04,6.683057e-04,6.680810e-04,6.663670e-04,6.654679e-04,6.642847e-04,6.626127e-04,6.620695e-04,6.597315e-04,6.595395e-04,6.572804e-04,6.562704e-04,6.547254e-04,6.528263e-04,6.520751e-04,6.493380e-04,6.492268e-04,6.465217e-04,6.454899e-04,6.436338e-04,6.416326e-04,6.406812e-04,6.376705e-04,6.336183e-04,6.294893e-04,6.252962e-04,6.210503e-04,6.167625e-04,6.124424e-04,6.080992e-04,6.037411e-04,5.993757e-04,5.950099e-04,5.906502e-04,5.863023e-04,5.819716e-04,5.776627e-04,5.733801e-04,5.691277e-04,5.649090e-04,5.607272e-04,5.565851e-04,5.524853e-04,5.484299e-04,5.444210e-04,5.404603e-04,5.365492e-04
0.000000e+00,4.772115e-11,2.115165e-10,1.790914e-09,6.925017e-09,1.261685e-08,4.406323e-08,4.604171e-08,1.192643e-07,1.494998e-07,2.517775e-07,3.687386e-07,4.655021e-07,7.554044e-07,7.855783e-07,1.240523e-06,1.373111e-06,1.859901e-06,2.288127e-06,2.668108e-06,3.544982e-06,3.676542e-06,4.880089e-06,5.142772e-06,6.260689e-06,7.040651e-06,7.794306e-06,9.182937e-06,9.456620e-06,1.122580e-05,1.151749e-05,1.308300e-05,1.400084e-05,1.501186e-05,1.659673e-05,1.699784e-05,1.902759e-05,1.927351e-05,2.108871e-05,2.200250e-05,2.316950e-05,2.475727e-05,2.525898e-05,2.734694e-05,2.751362e-05,2.942394e-05,3.024973e-05,3.148143e-05,3.294640e-05,3.351173e-05,3.550810e-05,3.558716e-05,3.746468e-05,3.815832e-05,3.937650e-05,4.064883e-05,4.123943e-05,4.305010e-05,4.480588e-05,4.535580e-05,4.650478e-05,4.756153e-05,4.814535e-05,4.966459e-05,4.972670e-05,5.124834e-05,5.166368e-05,5.271018e-05,5.355866e-05,5.411244e-05,5.535034e-05,5.545564e-05,5.674049e-05,5.704027e-05,5.796791e-05,5.863058e-05,5.913897e-05,6.012383e-05,6.025486e-05,6.131686e-05,6.152292e-05,6.232633e-05,6.283096e-05,6.328467e-05,6.405124e-05,6.419335e-05,6.505382e-05,6.518713e-05,6.586759e-05,6.624205e-05,6.663615e-05,6.721942e-05,6.736096e-05,6.804351e-05,6.812265e-05,6.868526e-05,6.895508e-05,6.928765e-05,6.972000e-05,6.985207e-05,7.037993e-05,7.042062e-05,7.087257e-05,7.106007e-05,7.133132e-05,7.164136e-05,7.175747e-05,7.215229e-05,7.216745e-05,7.251699e-05,7.264114e-05,7.285277e-05,7.306518e-05,7.316079e-05,7.344217e-05,7.369801e-05,7.377465e-05,7.392935e-05,7.406503e-05,7.413723e-05,7.431564e-05,7.432263e-05,7.448652e-05,7.452869e-05,7.462983e-05,7.470630e-05,7.475344e-05,7.485052e-05,7.485823e-05,7.494504e-05,7.496328e-05,7.501466e-05,7.504644e-05,7.506789e-05,7.510177e-05,7.510548e-05,7.512814e-05,7.513095e-05,7.513659e-05,7.513559e-05,7.513150e-05,7.511722e-05,7.511351e-05,7.508325e-05,7.507731e-05,7.504133e-05,7.501723e-05,7.498832e-05,7.493832e-05,7.492480e-05,7.485128e-05,7.484181e-05,7.476830e-05,7.472891e-05,7.467634e-05,7.460075e-05,7.457590e-05,7.446742e-05,7.445841e-05,7.435135e-05,7.430289e-05,7.422811e-05,7.413518e-05,7.409812e-05,7.396176e-05,7.395618e-05,7.381941e-05,7.376677e-05,7.367144e-05,7.356778e-05,7.351818e-05,7.335998e-05,7.314411e-05,7.292087e-05,7.269092e-05,7.245489e-05,7.221336e-05,7.196690e-05,7.171603e-05,7.146124e-05,7.120301e-05,7.094178e-05,7.067795e-05,7.041194e-05,7.014409e-05,6.987476e-05,6.960428e-05,6.933294e-05,6.906104e-05,6.878885e-05,6.851661e-05,6.824457e-05,6.797294e-05,6.770192e-05,6.743171e-05,6.716249e-05
0.000000e+00,3.618337e-10,1.247068e-09,6.915324e-09,1.991571e-08,3.175358e-08,8.420875e-08,8.716029e-08,1.849423e-07,2.215375e-07,3.371425e-07,4.599062e-07,5.566543e-07,8.297351e-07,8.570528e-07,1.250405e-06,1.359491e-06,1.742545e-06,2.060153e-06,2.329370e-06,2.914649e-06,2.998874e-06,3.736624e-06,3.891159e-06,4.529331e-06,4.959420e-06,5.365636e-06,6.094573e-06,6.235669e-06,7.130503e-06,7.275415e-06,8.041807e-06,8.482754e-06,8.961705e-06,9.698799e-06,9.882763e-06,1.079805e-05,1.090718e-05,1.170120e-05,1.209325e-05,1.258652e-05,1.324435e-05,1.344903e-05,1.428448e-05,1.435003e-05,1.508935e-05,1.540209e-05,1.586085e-05,1.639447e-05,1.659689e-05,1.729598e-05,1.732317e-05,1.795725e-05,1.818596e-05,1.858030e-05,1.898210e-05,1.916508e-05,1.971196e-05,2.022160e-05,2.037695e-05,2.069489e-05,2.097924e-05,2.113296e-05,2.152151e-05,2.153704e-05,2.190846e-05,2.200680e-05,2.224864e-05,2.243836e-05,2.255904e-05,2.281957e-05,2.284113e-05,2.309638e-05,2.315381e-05,2.332625e-05,2.344442e-05,2.353217e-05,2.369466e-05,2.371552e-05,2.387766e-05,2.390766e-05,2.401989e-05,2.408640e-05,2.414346e-05,2.423370e-05,2.424954e-05,2.433929e-05,2.435221e-05,2.441378e-05,2.444442e-05,2.447404e-05,2.451265e-05,2.452103e-05,2.455569e-05,2.455906e-05,2.457887e-05,2.458565e-05,2.459140e-05,2.459427e-05,2.459405e-05,2.458753e-05,2.458664e-05,2.457254e-05,2.456432e-05,2.454972e-05,2.452877e-05,2.451966e-05,2.448294e-05,2.448134e-05,2.444007e-05,2.442324e-05,2.439157e-05,2.435560e-05,2.433789e-05,2.427947e-05,2.421672e-05,2.419579e-05,2.415002e-05,2.410542e-05,2.407972e-05,2.400917e-05,2.400617e-05,2.392968e-05,2.390777e-05,2.385053e-05,2.380188e-05,2.376900e-05,2.369210e-05,2.368534e-05,2.359979e-05,2.357901e-05,2.351258e-05,2.346309e-05,2.342391e-05,2.334482e-05,2.333397e-05,2.324294e-05,2.322462e-05,2.315099e-05,2.310287e-05,2.305828e-05,2.297992e-05,2.296495e-05,2.287113e-05,2.285609e-05,2.277696e-05,2.273166e-05,2.268254e-05,2.260691e-05,2.258799e-05,2.249340e-05,2.248205e-05,2.239887e-05,2.235732e-05,2.230449e-05,2.223290e-05,2.221033e-05,2.211646e-05,2.210897e-05,2.202296e-05,2.198567e-05,2.192988e-05,2.186317e-05,2.183729e-05,2.174524e-05,2.174157e-05,2.165377e-05,2.162099e-05,2.156293e-05,2.150154e-05,2.147276e-05,2.138330e-05,2.126635e-05,2.115076e-05,2.103659e-05,2.092389e-05,2.081270e-05,2.070308e-05,2.059504e-05,2.048861e-05,2.038382e-05,2.028068e-05,2.017921e-05,2.007942e-05,1.998131e-05,1.988487e-05,1.979013e-05,1.969706e-05,1.960566e-05,1.951593e-05,1.942786e-05,1.934143e-05,1.925663e-05,1.917345e-05,1.909188e-05,1.901188e-05
0.000000e+00,2.193064e-09,5.064081e-09,1.757661e-08,4.018773e-08,5.876432e-08,1.341005e-07,1.381710e-07,2.689063e-07,3.166557e-07,4.655798e-07,6.219285e-07,7.443303e-07,1.086489e-06,1.120426e-06,1.602117e-06,1.733252e-06,2.185592e-06,2.552304e-06,2.858487e-06,3.513721e-06,3.607157e-06,4.419986e-06,4.589377e-06,5.287327e-06,5.757034e-06,6.200659e-06,6.997527e-06,7.151966e-06,8.133465e-06,8.292795e-06,9.137542e-06,9.625340e-06,1.015682e-05,1.097844e-05,1.118426e-05,1.221330e-05,1.233660e-05,1.323792e-05,1.368595e-05,1.425274e-05,1.501450e-05,1.525300e-05,1.623466e-05,1.631228e-05,1.719427e-05,1.757130e-05,1.812905e-05,1.878543e-05,1.903675e-05,1.991566e-05,1.995020e-05,2.076452e-05,2.106257e-05,2.158245e-05,2.212070e-05,2.236893e-05,2.312374e-05,2.384688e-05,2.407163e-05,2.453858e-05,2.496493e-05,2.519921e-05,2.580465e-05,2.582928e-05,2.642941e-05,2.659218e-05,2.700032e-05,2.732914e-05,2.754275e-05,2.801734e-05,2.805752e-05,2.854546e-05,2.865867e-05,2.900743e-05,2.925511e-05,2.944429e-05,2.980865e-05,2.985691e-05,3.024617e-05,3.032129e-05,3.061291e-05,3.079500e-05,3.095798e-05,3.123171e-05,3.128222e-05,3.158643e-05,3.163330e-05,3.187142e-05,3.200161e-05,3.213795e-05,3.233840e-05,3.238679e-05,3.261865e-05,3.264537e-05,3.283426e-05,3.292415e-05,3.303429e-05,3.317631e-05,3.321942e-05,3.339028e-05,3.340335e-05,3.354749e-05,3.360669e-05,3.369166e-05,3.378770e-05,3.382335e-05,3.394313e-05,3.394768e-05,3.405153e-05,3.408787e-05,3.414907e-05,3.420944e-05,3.423623e-05,3.431351e-05,3.438135e-05,3.440114e-05,3.444020e-05,3.447334e-05,3.449048e-05,3.453106e-05,3.453259e-05,3.456694e-05,3.457521e-05,3.459388e-05,3.460665e-05,3.461379e-05,3.462619e-05,3.462701e-05,3.463386e-05,3.463460e-05,3.463467e-05,3.463260e-05,3.462974e-05,3.462089e-05,3.461936e-05,3.460381e-05,3.460011e-05,3.458336e-05,3.457088e-05,3.455827e-05,3.453378e-05,3.452878e-05,3.449513e-05,3.448937e-05,3.445754e-05,3.443816e-05,3.441622e-05,3.438063e-05,3.437140e-05,3.432325e-05,3.431726e-05,3.427198e-05,3.424848e-05,3.421776e-05,3.417469e-05,3.416077e-05,3.410117e-05,3.409630e-05,3.403913e-05,3.401366e-05,3.397479e-05,3.392712e-05,3.390829e-05,3.383979e-05,3.383701e-05,3.376940e-05,3.374362e-05,3.369726e-05,3.364726e-05,3.362348e-05,3.354819e-05,3.344668e-05,3.334295e-05,3.323723e-05,3.312975e-05,3.302070e-05,3.291026e-05,3.279863e-05,3.268595e-05,3.257240e-05,3.245810e-05,3.234322e-05,3.222786e-05,3.211216e-05,3.199622e-05,3.188016e-05,3.176406e-05,3.164803e-05,3.153215e-05,3.141649e-05,3.130115e-05,3.118617e-05,3.107164e-05,3.095761e-05,3.084414e-05
0.000000e+00,2.628390e-12,1.329343e-11,1.463124e-10,7.087221e-10,1.452948e-09,6.752703e-09,7.134202e-09,2.384197e-08,3.187371e-08,6.252738e-08,1.026010e-07,1.388420e-07,2.597074e-07,2.731421e-07,4.901914e-07,5.577060e-07,8.186307e-07,1.062946e-06,1.290204e-06,1.850357e-06,1.938645e-06,2.798130e-06,2.998279e-06,3.901371e-06,4.581295e-06,5.277640e-06,6.662519e-06,6.951043e-06,8.939297e-06,9.287450e-06,1.125304e-05,1.248052e-05,1.389565e-05,1.624428e-05,1.686345e-05,2.014620e-05,2.056059e-05,2.372776e-05,2.539300e-05,2.758688e-05,3.068986e-05,3.169802e-05,3.603226e-05,3.638770e-05,4.055808e-05,4.241466e-05,4.524227e-05,4.869375e-05,5.005060e-05,5.494866e-05,5.514597e-05,5.990242e-05,6.169301e-05,6.487884e-05,6.825959e-05,6.984638e-05,7.477535e-05,7.963829e-05,8.117633e-05,8.441017e-05,8.740592e-05,8.906857e-05,9.341552e-05,9.359375e-05,9.796867e-05,9.916470e-05,1.021790e-04,1.046212e-04,1.062129e-04,1.097603e-04,1.100612e-04,1.137168e-04,1.145649e-04,1.171750e-04,1.190242e-04,1.204329e-04,1.231333e-04,1.234894e-04,1.263451e-04,1.268922e-04,1.290018e-04,1.303056e-04,1.314626e-04,1.333814e-04,1.337318e-04,1.358142e-04,1.361304e-04,1.377156e-04,1.385658e-04,1.394423e-04,1.407023e-04,1.410009e-04,1.423984e-04,1.425556e-04,1.436421e-04,1.441425e-04,1.447393e-04,1.454796e-04,1.456973e-04,1.465236e-04,1.465842e-04,1.472254e-04,1.474728e-04,1.478099e-04,1.481620e-04,1.482841e-04,1.486548e-04,1.486675e-04,1.489286e-04,1.490047e-04,1.491119e-04,1.491880e-04,1.492109e-04,1.492313e-04,1.491787e-04,1.491474e-04,1.490587e-04,1.489487e-04,1.488761e-04,1.486465e-04,1.486359e-04,1.483426e-04,1.482515e-04,1.480005e-04,1.477735e-04,1.476137e-04,1.472218e-04,1.471862e-04,1.467214e-04,1.466047e-04,1.462228e-04,1.459301e-04,1.456937e-04,1.452051e-04,1.451369e-04,1.445554e-04,1.444363e-04,1.439517e-04,1.436298e-04,1.433283e-04,1.427911e-04,1.426875e-04,1.420315e-04,1.419253e-04,1.413623e-04,1.410369e-04,1.406817e-04,1.401301e-04,1.399914e-04,1.392931e-04,1.392088e-04,1.385882e-04,1.382764e-04,1.378782e-04,1.373359e-04,1.371643e-04,1.364478e-04,1.363904e-04,1.357296e-04,1.354421e-04,1.350109e-04,1.344936e-04,1.342925e-04,1.335754e-04,1.335468e-04,1.328603e-04,1.326035e-04,1.321479e-04,1.316654e-04,1.314390e-04,1.307340e-04,1.298105e-04,1.288962e-04,1.279919e-04,1.270986e-04,1.262171e-04,1.253480e-04,1.244919e-04,1.236492e-04,1.228203e-04,1.220056e-04,1.212054e-04,1.204198e-04,1.196490e-04,1.188930e-04,1.181520e-04,1.174260e-04,1.167149e-04,1.160187e-04,1.153373e-04,1.146707e-04,1.140187e-04,1.133811e-04,1.127579e-04,1.121487e-04
0.000000e+00,9.934276e-10,2.993001e-09,1.391965e-08,3.660259e-08,5.642918e-08,1.417717e-07,1.465288e-07,3.041403e-07,3.635004e-07,5.530730e-07,7.575740e-07,9.203579e-07,1.381117e-06,1.426937e-06,2.073653e-06,2.248076e-06,2.844672e-06,3.324075e-06,3.722602e-06,4.573168e-06,4.694394e-06,5.750127e-06,5.970570e-06,6.881038e-06,7.495937e-06,8.078391e-06,9.128833e-06,9.333034e-06,1.063535e-05,1.084749e-05,1.197544e-05,1.262917e-05,1.334333e-05,1.445108e-05,1.472925e-05,1.612388e-05,1.629140e-05,1.751851e-05,1.813007e-05,1.890521e-05,1.994941e-05,2.027690e-05,2.162740e-05,2.173436e-05,2.295142e-05,2.347260e-05,2.424456e-05,2.515444e-05,2.550320e-05,2.672451e-05,2.677256e-05,2.790630e-05,2.832174e-05,2.904697e-05,2.979860e-05,3.014549e-05,3.120123e-05,3.221397e-05,3.252897e-05,3.318380e-05,3.378212e-05,3.411107e-05,3.496174e-05,3.499635e-05,3.584040e-05,3.606946e-05,3.664408e-05,3.710733e-05,3.740840e-05,3.807773e-05,3.813443e-05,3.882330e-05,3.898323e-05,3.947617e-05,3.982650e-05,4.009424e-05,4.061031e-05,4.067871e-05,4.123079e-05,4.133743e-05,4.175168e-05,4.201062e-05,4.224258e-05,4.263260e-05,4.270464e-05,4.313902e-05,4.320603e-05,4.354685e-05,4.373350e-05,4.392922e-05,4.421750e-05,4.428720e-05,4.462182e-05,4.466045e-05,4.493409e-05,4.506467e-05,4.522499e-05,4.543236e-05,4.549546e-05,4.574640e-05,4.576566e-05,4.597869e-05,4.606658e-05,4.619319e-05,4.633706e-05,4.639070e-05,4.657202e-05,4.657895e-05,4.673790e-05,4.679397e-05,4.688906e-05,4.698380e-05,4.702621e-05,4.715001e-05,4.726112e-05,4.729409e-05,4.736014e-05,4.741746e-05,4.744768e-05,4.752144e-05,4.752431e-05,4.759056e-05,4.760733e-05,4.764697e-05,4.767630e-05,4.769403e-05,4.772949e-05,4.773223e-05,4.776203e-05,4.776798e-05,4.778386e-05,4.779276e-05,4.779815e-05,4.780481e-05,4.780530e-05,4.780571e-05,4.780501e-05,4.779973e-05,4.779421e-05,4.778772e-05,4.777322e-05,4.777002e-05,4.774695e-05,4.774279e-05,4.771883e-05,4.770362e-05,4.768594e-05,4.765639e-05,4.764857e-05,4.760699e-05,4.760173e-05,4.756145e-05,4.754022e-05,4.751220e-05,4.747243e-05,4.745947e-05,4.740349e-05,4.739888e-05,4.734447e-05,4.732006e-05,4.728261e-05,4.723643e-05,4.721811e-05,4.715116e-05,4.714843e-05,4.708192e-05,4.705647e-05,4.701057e-05,4.696092e-05,4.693726e-05,4.686216e-05,4.676051e-05,4.665629e-05,4.654980e-05,4.644131e-05,4.633108e-05,4.621936e-05,4.610636e-05,4.599231e-05,4.587741e-05,4.576182e-05,4.564573e-05,4.552930e-05,4.541268e-05,4.529599e-05,4.517939e-05,4.506297e-05,4.494686e-05,4.483115e-05,4.471595e-05,4.460134e-05,4.448739e-05,4.437419e-05,4.426181e-05,4.415030e-05
0.000000e+00,2.577942e-11,1.188633e-10,1.085287e-09,4.461570e-09,8.381276e-09,3.137511e-08,3.286714e-08,8.996784e-08,1.142336e-07,1.979290e-07,2.954698e-07,3.770165e-07,6.236220e-07,6.493970e-07,1.038602e-06,1.151964e-06,1.566969e-06,1.930113e-06,2.250810e-06,2.986327e-06,3.096253e-06,4.098923e-06,4.317370e-06,5.247023e-06,5.896467e-06,6.525202e-06,7.687569e-06,7.917306e-06,9.407703e-06,9.654290e-06,1.098163e-05,1.176263e-05,1.262503e-05,1.398067e-05,1.432437e-05,1.606648e-05,1.627779e-05,1.783846e-05,1.862436e-05,1.962782e-05,2.099194e-05,2.142254e-05,2.321122e-05,2.335374e-05,2.498328e-05,2.568523e-05,2.672899e-05,2.796467e-05,2.843966e-05,3.010763e-05,3.017336e-05,3.172633e-05,3.229591e-05,3.329026e-05,3.432014e-05,3.479497e-05,3.623697e-05,3.761370e-05,3.804016e-05,3.892341e-05,3.972596e-05,4.016510e-05,4.129280e-05,4.133842e-05,4.244358e-05,4.274090e-05,4.348128e-05,4.407195e-05,4.445261e-05,4.528884e-05,4.535900e-05,4.620216e-05,4.639532e-05,4.698399e-05,4.739579e-05,4.770656e-05,4.829514e-05,4.837206e-05,4.898276e-05,4.909853e-05,4.954097e-05,4.981127e-05,5.004903e-05,5.043875e-05,5.050928e-05,5.092401e-05,5.098630e-05,5.129553e-05,5.145916e-05,5.162605e-05,5.186242e-05,5.191776e-05,5.217278e-05,5.220101e-05,5.239314e-05,5.247963e-05,5.258083e-05,5.270279e-05,5.273774e-05,5.286570e-05,5.287474e-05,5.296647e-05,5.299954e-05,5.304171e-05,5.308098e-05,5.309302e-05,5.312194e-05,5.312265e-05,5.312990e-05,5.312791e-05,5.311831e-05,5.309992e-05,5.308846e-05,5.304162e-05,5.297896e-05,5.295575e-05,5.290161e-05,5.284489e-05,5.281063e-05,5.271141e-05,5.270704e-05,5.259179e-05,5.255755e-05,5.246577e-05,5.238536e-05,5.232985e-05,5.219675e-05,5.218483e-05,5.203147e-05,5.199350e-05,5.187048e-05,5.177725e-05,5.170255e-05,5.154953e-05,5.152830e-05,5.134835e-05,5.131173e-05,5.116326e-05,5.106516e-05,5.097355e-05,5.081101e-05,5.077974e-05,5.058228e-05,5.055038e-05,5.038162e-05,5.028429e-05,5.017818e-05,5.001368e-05,4.997234e-05,4.976447e-05,4.973940e-05,4.955490e-05,4.946224e-05,4.934396e-05,4.918292e-05,4.913195e-05,4.891914e-05,4.890209e-05,4.870580e-05,4.862037e-05,4.849217e-05,4.833830e-05,4.827847e-05,4.806492e-05,4.805638e-05,4.785171e-05,4.777507e-05,4.763903e-05,4.749479e-05,4.742704e-05,4.721590e-05,4.693875e-05,4.666364e-05,4.639083e-05,4.612059e-05,4.585312e-05,4.558861e-05,4.532724e-05,4.506917e-05,4.481451e-05,4.456338e-05,4.431588e-05,4.407210e-05,4.383209e-05,4.359592e-05,4.336362e-05,4.313524e-05,4.291080e-05,4.269030e-05,4.247376e-05,4.226118e-05,4.205255e-05,4.184786e-05,4.164709e-05,4.145021e-05
0.000000e+00,1.099649e-09,3.471437e-09,1.715913e-08,4.674980e-08,7.324417e-08,1.913745e-07,1.981183e-07,4.290158e-07,5.190793e-07,8.137940e-07,1.136265e-06,1.391344e-06,2.093367e-06,2.161543e-06,3.101902e-06,3.350821e-06,4.195583e-06,4.871723e-06,5.434295e-06,6.640675e-06,6.813459e-06,8.328874e-06,8.647865e-06,9.975180e-06,1.088070e-05,1.174524e-05,1.332116e-05,1.363001e-05,1.561869e-05,1.594573e-05,1.769907e-05,1.872635e-05,1.985786e-05,2.163202e-05,2.208116e-05,2.435484e-05,2.463039e-05,2.666488e-05,2.768931e-05,2.899776e-05,3.077809e-05,3.134064e-05,3.368161e-05,3.386847e-05,3.600978e-05,3.693524e-05,3.831541e-05,3.995662e-05,4.058989e-05,4.282576e-05,4.291430e-05,4.501668e-05,4.579336e-05,4.715734e-05,4.858203e-05,4.924340e-05,5.127140e-05,5.323868e-05,5.385505e-05,5.514330e-05,5.632872e-05,5.698391e-05,5.868993e-05,5.875971e-05,6.047038e-05,6.093770e-05,6.211597e-05,6.307224e-05,6.369687e-05,6.509474e-05,6.521375e-05,6.666750e-05,6.700713e-05,6.805921e-05,6.881192e-05,6.939010e-05,7.051204e-05,7.066152e-05,7.187491e-05,7.211075e-05,7.303177e-05,7.361151e-05,7.413366e-05,7.501792e-05,7.518216e-05,7.617888e-05,7.633366e-05,7.712544e-05,7.756244e-05,7.802343e-05,7.870794e-05,7.887446e-05,7.968012e-05,7.977383e-05,8.044196e-05,8.076369e-05,8.116152e-05,8.168104e-05,8.184031e-05,8.247979e-05,8.252930e-05,8.308142e-05,8.331179e-05,8.364659e-05,8.403172e-05,8.417669e-05,8.467304e-05,8.469221e-05,8.513693e-05,8.529624e-05,8.556964e-05,8.584669e-05,8.597238e-05,8.634633e-05,8.669265e-05,8.679782e-05,8.701245e-05,8.720369e-05,8.730679e-05,8.756639e-05,8.757674e-05,8.782328e-05,8.788825e-05,8.804739e-05,8.817149e-05,8.825002e-05,8.841824e-05,8.843207e-05,8.859442e-05,8.863054e-05,8.873791e-05,8.881033e-05,8.886335e-05,8.895945e-05,8.897154e-05,8.906324e-05,8.907966e-05,8.913916e-05,8.917265e-05,8.920003e-05,8.924001e-05,8.924651e-05,8.927926e-05,8.928327e-05,8.929891e-05,8.930387e-05,8.930607e-05,8.930320e-05,8.930132e-05,8.928522e-05,8.928255e-05,8.925831e-05,8.924318e-05,8.922112e-05,8.918628e-05,8.917413e-05,8.911784e-05,8.911295e-05,8.905271e-05,8.902428e-05,8.897918e-05,8.892127e-05,8.889767e-05,8.880861e-05,8.880489e-05,8.871238e-05,8.867605e-05,8.860936e-05,8.853562e-05,8.849992e-05,8.838441e-05,8.822320e-05,8.805274e-05,8.787371e-05,8.768679e-05,8.749261e-05,8.729174e-05,8.708476e-05,8.687220e-05,8.665456e-05,8.643231e-05,8.620591e-05,8.597579e-05,8.574233e-05,8.550593e-05,8.526694e-05,8.502569e-05,8.478251e-05,8.453770e-05,8.429153e-05,8.404428e-05,8.379619e-05,8.354750e-05,8.329844e-05,8.304921e-05
0.000000e+00,5.154853e-09,1.234039e-08,4.451833e-08,1.039851e-07,1.536536e-07,3.611637e-07,3.726328e-07,7.536584e-07,8.984828e-07,1.366925e-06,1.881339e-06,2.296205e-06,3.487607e-06,3.606962e-06,5.294067e-06,5.747041e-06,7.279029e-06,8.484670e-06,9.467262e-06,1.150312e-05,1.178661e-05,1.418963e-05,1.467731e-05,1.664476e-05,1.793417e-05,1.912892e-05,2.122411e-05,2.162315e-05,2.411043e-05,2.450667e-05,2.657484e-05,2.774518e-05,2.900135e-05,3.090581e-05,3.137594e-05,3.368585e-05,3.395814e-05,3.591975e-05,3.687604e-05,3.806801e-05,3.963849e-05,4.012273e-05,4.207770e-05,4.222964e-05,4.392844e-05,4.463886e-05,4.567208e-05,4.686033e-05,4.730719e-05,4.883363e-05,4.889244e-05,5.025239e-05,5.073712e-05,5.156539e-05,5.239924e-05,5.277547e-05,5.388586e-05,5.490014e-05,5.520510e-05,5.582248e-05,5.636647e-05,5.665712e-05,5.738003e-05,5.740854e-05,5.808121e-05,5.825605e-05,5.867958e-05,5.900478e-05,5.920808e-05,5.963632e-05,5.967104e-05,6.007263e-05,6.016033e-05,6.041686e-05,6.058602e-05,6.070759e-05,6.092211e-05,6.094850e-05,6.114310e-05,6.117676e-05,6.129470e-05,6.135759e-05,6.140643e-05,6.147164e-05,6.148124e-05,6.152191e-05,6.152542e-05,6.153104e-05,6.152495e-05,6.151109e-05,6.147572e-05,6.146433e-05,6.139291e-05,6.138278e-05,6.129884e-05,6.125076e-05,6.118399e-05,6.108387e-05,6.105009e-05,6.089878e-05,6.088597e-05,6.073157e-05,6.066055e-05,6.054988e-05,6.041083e-05,6.035501e-05,6.014820e-05,6.013970e-05,5.993059e-05,5.984981e-05,5.970323e-05,5.954356e-05,5.946711e-05,5.922314e-05,5.897218e-05,5.889052e-05,5.871501e-05,5.854750e-05,5.845236e-05,5.819571e-05,5.818493e-05,5.791333e-05,5.783662e-05,5.763815e-05,5.747156e-05,5.735995e-05,5.710175e-05,5.707921e-05,5.679640e-05,5.672827e-05,5.651196e-05,5.635211e-05,5.622629e-05,5.597416e-05,5.593974e-05,5.565267e-05,5.559522e-05,5.536539e-05,5.521602e-05,5.507819e-05,5.483719e-05,5.479133e-05,5.450507e-05,5.445934e-05,5.421963e-05,5.408297e-05,5.393521e-05,5.370856e-05,5.365202e-05,5.337023e-05,5.333652e-05,5.308999e-05,5.296722e-05,5.281146e-05,5.260100e-05,5.253477e-05,5.226004e-05,5.223814e-05,5.198737e-05,5.187891e-05,5.171689e-05,5.152353e-05,5.144866e-05,5.118279e-05,5.117220e-05,5.091933e-05,5.082509e-05,5.065836e-05,5.048235e-05,5.039993e-05,5.014410e-05,4.981046e-05,4.948151e-05,4.915732e-05,4.883796e-05,4.852347e-05,4.821388e-05,4.790922e-05,4.760949e-05,4.731471e-05,4.702486e-05,4.673993e-05,4.645991e-05,4.618477e-05,4.591448e-05,4.564901e-05,4.538831e-05,4.513235e-05,4.488107e-05,4.463444e-05,4.439238e-05,4.415487e-05,4.392182e-05,4.369320e-05,4.346894e-05
0.000000e+00,3.250057e-12,1.679045e-11,1.932463e-10,9.757737e-10,2.047343e-09,1.011644e-08,1.071513e-08,3.814385e-08,5.189914e-08,1.065151e-07,1.814697e-07,2.517903e-07,4.988514e-07,5.272843e-07,1.007083e-06,1.162953e-06,1.788694e-06,2.402662e-06,2.993922e-06,4.519233e-06,4.767296e-06,7.272357e-06,7.876610e-06,1.068664e-05,1.288296e-05,1.519617e-05,1.996893e-05,2.099002e-05,2.825519e-05,2.956633e-05,3.717193e-05,4.208885e-05,4.790960e-05,5.791540e-05,6.062300e-05,7.544926e-05,7.737617e-05,9.250525e-05,1.007415e-04,1.118855e-04,1.282133e-04,1.336606e-04,1.578762e-04,1.599197e-04,1.845527e-04,1.959119e-04,2.136846e-04,2.361641e-04,2.452419e-04,2.791701e-04,2.805755e-04,3.153919e-04,3.289748e-04,3.538088e-04,3.811268e-04,3.943031e-04,4.367396e-04,4.809683e-04,4.954738e-04,5.268267e-04,5.569520e-04,5.741421e-04,6.207682e-04,6.227341e-04,6.724167e-04,6.864977e-04,7.230013e-04,7.537059e-04,7.742978e-04,8.219572e-04,8.261177e-04,8.782749e-04,8.908225e-04,9.305880e-04,9.598857e-04,9.828815e-04,1.028750e-03,1.034987e-03,1.086745e-03,1.097041e-03,1.138003e-03,1.164413e-03,1.188621e-03,1.230548e-03,1.238467e-03,1.287420e-03,1.295163e-03,1.335371e-03,1.358002e-03,1.382221e-03,1.418848e-03,1.427880e-03,1.472272e-03,1.477510e-03,1.515327e-03,1.533833e-03,1.556989e-03,1.587690e-03,1.597210e-03,1.635949e-03,1.638983e-03,1.673177e-03,1.687640e-03,1.708871e-03,1.733612e-03,1.743016e-03,1.775605e-03,1.776876e-03,1.806636e-03,1.817426e-03,1.836114e-03,1.855276e-03,1.864048e-03,1.890454e-03,1.915352e-03,1.923004e-03,1.938764e-03,1.952981e-03,1.960718e-03,1.980449e-03,1.981243e-03,2.000372e-03,2.005482e-03,2.018139e-03,2.028160e-03,2.034581e-03,2.048570e-03,2.049736e-03,2.063643e-03,2.066800e-03,2.076344e-03,2.082944e-03,2.087878e-03,2.097096e-03,2.098287e-03,2.107613e-03,2.109352e-03,2.115898e-03,2.119808e-03,2.123183e-03,2.128559e-03,2.129509e-03,2.134917e-03,2.135700e-03,2.139447e-03,2.141322e-03,2.143140e-03,2.145517e-03,2.146033e-03,2.148166e-03,2.148372e-03,2.149575e-03,2.149975e-03,2.150296e-03,2.150406e-03,2.150365e-03,2.149815e-03,2.149746e-03,2.148681e-03,2.148071e-03,2.146995e-03,2.145455e-03,2.144786e-03,2.142086e-03,2.141968e-03,2.138923e-03,2.137677e-03,2.135326e-03,2.132645e-03,2.131320e-03,2.126932e-03,2.120595e-03,2.113689e-03,2.106265e-03,2.098371e-03,2.090052e-03,2.081350e-03,2.072305e-03,2.062955e-03,2.053335e-03,2.043478e-03,2.033414e-03,2.023172e-03,2.012778e-03,2.002257e-03,1.991632e-03,1.980925e-03,1.970154e-03,1.959339e-03,1.948496e-03,1.937641e-03,1.926787e-03,1.915949e-03,1.905139e-03,1.894367e-03
0.000000e+00,3.565882e-09,8.350784e-09,2.953630e-08,6.850961e-08,1.010051e-07,2.362651e-07,2.437145e-07,4.894975e-07,5.820616e-07,8.785264e-07,1.199634e-06,1.455880e-06,2.182976e-06,2.255387e-06,3.278575e-06,3.554642e-06,4.497802e-06,5.253334e-06,5.879188e-06,7.207197e-06,7.395580e-06,9.027011e-06,9.365675e-06,1.075778e-05,1.169245e-05,1.257415e-05,1.415650e-05,1.446307e-05,1.641169e-05,1.672816e-05,1.840728e-05,1.937817e-05,2.043737e-05,2.207820e-05,2.248997e-05,2.455374e-05,2.480164e-05,2.661823e-05,2.752436e-05,2.867399e-05,3.022527e-05,3.071254e-05,3.272652e-05,3.288638e-05,3.470961e-05,3.549296e-05,3.665646e-05,3.803325e-05,3.856267e-05,4.042467e-05,4.049819e-05,4.223965e-05,4.288109e-05,4.400544e-05,4.517725e-05,4.572045e-05,4.738361e-05,4.899423e-05,4.949848e-05,5.055202e-05,5.152125e-05,5.205695e-05,5.345214e-05,5.350922e-05,5.490927e-05,5.529201e-05,5.625769e-05,5.704225e-05,5.755519e-05,5.870462e-05,5.880259e-05,6.000082e-05,6.028118e-05,6.115085e-05,6.177419e-05,6.225371e-05,6.318605e-05,6.331046e-05,6.432221e-05,6.451926e-05,6.529007e-05,6.577638e-05,6.621516e-05,6.696002e-05,6.709862e-05,6.794158e-05,6.807277e-05,6.874516e-05,6.911722e-05,6.951049e-05,7.009596e-05,7.023868e-05,7.093082e-05,7.101150e-05,7.158800e-05,7.186635e-05,7.221128e-05,7.266295e-05,7.280171e-05,7.336032e-05,7.340367e-05,7.388813e-05,7.409084e-05,7.438611e-05,7.472674e-05,7.485524e-05,7.529647e-05,7.531355e-05,7.571072e-05,7.585342e-05,7.609889e-05,7.634840e-05,7.646187e-05,7.680052e-05,7.711567e-05,7.721169e-05,7.740814e-05,7.758379e-05,7.767873e-05,7.791863e-05,7.792821e-05,7.815734e-05,7.821795e-05,7.836684e-05,7.848342e-05,7.855743e-05,7.871666e-05,7.872979e-05,7.888461e-05,7.891923e-05,7.902253e-05,7.909262e-05,7.914418e-05,7.923827e-05,7.925019e-05,7.934113e-05,7.935757e-05,7.941761e-05,7.945184e-05,7.948016e-05,7.952236e-05,7.952935e-05,7.956569e-05,7.957034e-05,7.958969e-05,7.959697e-05,7.960185e-05,7.960337e-05,7.960265e-05,7.959254e-05,7.959062e-05,7.957199e-05,7.955975e-05,7.954142e-05,7.951175e-05,7.950125e-05,7.945190e-05,7.944757e-05,7.939375e-05,7.936811e-05,7.932718e-05,7.927425e-05,7.925257e-05,7.917026e-05,7.916681e-05,7.908061e-05,7.904660e-05,7.898394e-05,7.891436e-05,7.888058e-05,7.877083e-05,7.861670e-05,7.845263e-05,7.827926e-05,7.809718e-05,7.790698e-05,7.770921e-05,7.750439e-05,7.729302e-05,7.707558e-05,7.685252e-05,7.662429e-05,7.639129e-05,7.615391e-05,7.591254e-05,7.566752e-05,7.541920e-05,7.516789e-05,7.491391e-05,7.465755e-05,7.439908e-05,7.413876e-05,7.387685e-05,7.361359e-05,7.334919e-05
0.000000e+00,8.725223e-12,4.505510e-11,5.182236e-10,2.616769e-09,5.492352e-09,2.720364e-08,2.881789e-08,1.031229e-07,1.405906e-07,2.903440e-07,4.978246e-07,6.940623e-07,1.392224e-06,1.473253e-06,2.854723e-06,3.307697e-06,5.138105e-06,6.944657e-06,8.688596e-06,1.318850e-05,1.391931e-05,2.126909e-05,2.303245e-05,3.118050e-05,3.748952e-05,4.408015e-05,5.751493e-05,6.036240e-05,8.037629e-05,8.394528e-05,1.044156e-04,1.174548e-04,1.327120e-04,1.585273e-04,1.654303e-04,2.026671e-04,2.074412e-04,2.444503e-04,2.642677e-04,2.907416e-04,3.288778e-04,3.414396e-04,3.963850e-04,4.009581e-04,4.553662e-04,4.800325e-04,5.181258e-04,5.654873e-04,5.843676e-04,6.537635e-04,6.566000e-04,7.259608e-04,7.525668e-04,8.005893e-04,8.525309e-04,8.772673e-04,9.556080e-04,1.035225e-03,1.060910e-03,1.115738e-03,1.167564e-03,1.196775e-03,1.274733e-03,1.277980e-03,1.359010e-03,1.381623e-03,1.439544e-03,1.487500e-03,1.519281e-03,1.591696e-03,1.597943e-03,1.675274e-03,1.693609e-03,1.751044e-03,1.792715e-03,1.825045e-03,1.888558e-03,1.897096e-03,1.967035e-03,1.980757e-03,2.034726e-03,2.068998e-03,2.100055e-03,2.153036e-03,2.162927e-03,2.223268e-03,2.232683e-03,2.281022e-03,2.307813e-03,2.336151e-03,2.378347e-03,2.388631e-03,2.438455e-03,2.444255e-03,2.485627e-03,2.505547e-03,2.530165e-03,2.562268e-03,2.572095e-03,2.611456e-03,2.614495e-03,2.648293e-03,2.662332e-03,2.682657e-03,2.705903e-03,2.714610e-03,2.744213e-03,2.745350e-03,2.771537e-03,2.780829e-03,2.796653e-03,2.812509e-03,2.819636e-03,2.840563e-03,2.859512e-03,2.865171e-03,2.876563e-03,2.886516e-03,2.891795e-03,2.904781e-03,2.905288e-03,2.917122e-03,2.920149e-03,2.927374e-03,2.932799e-03,2.936122e-03,2.942908e-03,2.943442e-03,2.949409e-03,2.950647e-03,2.954094e-03,2.956184e-03,2.957569e-03,2.959679e-03,2.959901e-03,2.961158e-03,2.961286e-03,2.961403e-03,2.961152e-03,2.960699e-03,2.959417e-03,2.959105e-03,2.956678e-03,2.956216e-03,2.953473e-03,2.951674e-03,2.949542e-03,2.945910e-03,2.944937e-03,2.939704e-03,2.939036e-03,2.933890e-03,2.931159e-03,2.927538e-03,2.922377e-03,2.920690e-03,2.913385e-03,2.912782e-03,2.905660e-03,2.902460e-03,2.897550e-03,2.891492e-03,2.889090e-03,2.880311e-03,2.879953e-03,2.871242e-03,2.867912e-03,2.861913e-03,2.855434e-03,2.852349e-03,2.842577e-03,2.829397e-03,2.815944e-03,2.802265e-03,2.788404e-03,2.774398e-03,2.760285e-03,2.746097e-03,2.731864e-03,2.717615e-03,2.703373e-03,2.689162e-03,2.675002e-03,2.660912e-03,2.646909e-03,2.633007e-03,2.619219e-03,2.605560e-03,2.592037e-03,2.578663e-03,2.565444e-03,2.552388e-03,2.539502e-03,2.526790e-03,2.514259e-03
0.000000e+00,3.827330e-12,1.856881e-11,1.876633e-10,8.421342e-10,1.656603e-09,6.938921e-09,7.300706e-09,2.212193e-08,2.882852e-08,5.316409e-08,8.320710e-08,1.093241e-07,1.920879e-07,2.009858e-07,3.390080e-07,3.801558e-07,5.330970e-07,6.691016e-07,7.905196e-07,1.073065e-06,1.115763e-06,1.510909e-06,1.598376e-06,1.976225e-06,2.245619e-06,2.510679e-06,3.011608e-06,3.112267e-06,3.778183e-06,3.890473e-06,4.504886e-06,4.874074e-06,5.288130e-06,5.952151e-06,6.122996e-06,7.003937e-06,7.112462e-06,7.924864e-06,8.341070e-06,8.879250e-06,9.622762e-06,9.860259e-06,1.086090e-05,1.094159e-05,1.187415e-05,1.228144e-05,1.289315e-05,1.362666e-05,1.391128e-05,1.492230e-05,1.496251e-05,1.592044e-05,1.627560e-05,1.690050e-05,1.755421e-05,1.785782e-05,1.878840e-05,1.968883e-05,1.997013e-05,2.055634e-05,2.109323e-05,2.138873e-05,2.215325e-05,2.218435e-05,2.294207e-05,2.314734e-05,2.366121e-05,2.407405e-05,2.434151e-05,2.493315e-05,2.498306e-05,2.558626e-05,2.572540e-05,2.615179e-05,2.645234e-05,2.668050e-05,2.711615e-05,2.717345e-05,2.763183e-05,2.771947e-05,2.805691e-05,2.826524e-05,2.845004e-05,2.875661e-05,2.881263e-05,2.914609e-05,2.919684e-05,2.945186e-05,2.958920e-05,2.973134e-05,2.993694e-05,2.998594e-05,3.021701e-05,3.024322e-05,3.042587e-05,3.051107e-05,3.061381e-05,3.074340e-05,3.078205e-05,3.093176e-05,3.094297e-05,3.106406e-05,3.111235e-05,3.118003e-05,3.125398e-05,3.128067e-05,3.136695e-05,3.137012e-05,3.143977e-05,3.146286e-05,3.149999e-05,3.153415e-05,3.154841e-05,3.158580e-05,3.161287e-05,3.161946e-05,3.163029e-05,3.163666e-05,3.163869e-05,3.163882e-05,3.163866e-05,3.163077e-05,3.162723e-05,3.161554e-05,3.160307e-05,3.159344e-05,3.156745e-05,3.156495e-05,3.153049e-05,3.152138e-05,3.149047e-05,3.146577e-05,3.144526e-05,3.140148e-05,3.139523e-05,3.134070e-05,3.132928e-05,3.128198e-05,3.124990e-05,3.121938e-05,3.116399e-05,3.115317e-05,3.108360e-05,3.107217e-05,3.101091e-05,3.097499e-05,3.093535e-05,3.087296e-05,3.085711e-05,3.077641e-05,3.076657e-05,3.069343e-05,3.065624e-05,3.060835e-05,3.054239e-05,3.052134e-05,3.043255e-05,3.042537e-05,3.034214e-05,3.030555e-05,3.025024e-05,3.018322e-05,3.015698e-05,3.006249e-05,3.005869e-05,2.996689e-05,2.993222e-05,2.987028e-05,2.980407e-05,2.977278e-05,2.967446e-05,2.954362e-05,2.941173e-05,2.927898e-05,2.914554e-05,2.901157e-05,2.887721e-05,2.874259e-05,2.860785e-05,2.847309e-05,2.833843e-05,2.820395e-05,2.806976e-05,2.793594e-05,2.780256e-05,2.766970e-05,2.753742e-05,2.740579e-05,2.727486e-05,2.714469e-05,2.701531e-05,2.688678e-05,2.675914e-05,2.663242e-05,2.650665e-05
0.000000e+00,1.559774e-11,7.522446e-11,7.513614e-10,3.338536e-09,6.534238e-09,2.704972e-08,2.844766e-08,8.538209e-08,1.110206e-07,2.037433e-07,3.178422e-07,4.168411e-07,7.298724e-07,7.634793e-07,1.283874e-06,1.438724e-06,2.013231e-06,2.522815e-06,2.976774e-06,4.029837e-06,4.188589e-06,5.653219e-06,5.976355e-06,7.368075e-06,8.356295e-06,9.325455e-06,1.114876e-05,1.151386e-05,1.391877e-05,1.432254e-05,1.652308e-05,1.783837e-05,1.930746e-05,2.165046e-05,2.225078e-05,2.533055e-05,2.570819e-05,2.852346e-05,2.995810e-05,3.180592e-05,3.434612e-05,3.515463e-05,3.854704e-05,3.881967e-05,4.196179e-05,4.332945e-05,4.537906e-05,4.783082e-05,4.878075e-05,5.215067e-05,5.228460e-05,5.547456e-05,5.665747e-05,5.874011e-05,6.092195e-05,6.193687e-05,6.505616e-05,6.809093e-05,6.904326e-05,7.103560e-05,7.287091e-05,7.388594e-05,7.653064e-05,7.663886e-05,7.929229e-05,8.001725e-05,8.184505e-05,8.332818e-05,8.429670e-05,8.646306e-05,8.664742e-05,8.889791e-05,8.942323e-05,9.104932e-05,9.221137e-05,9.310314e-05,9.483119e-05,9.506115e-05,9.692536e-05,9.728713e-05,9.869794e-05,9.958423e-05,1.003812e-04,1.017279e-04,1.019775e-04,1.034894e-04,1.037237e-04,1.049194e-04,1.055775e-04,1.062700e-04,1.072951e-04,1.075438e-04,1.087433e-04,1.088824e-04,1.098710e-04,1.103452e-04,1.109295e-04,1.116891e-04,1.119211e-04,1.128484e-04,1.129198e-04,1.137136e-04,1.140428e-04,1.145190e-04,1.150633e-04,1.152671e-04,1.159598e-04,1.159864e-04,1.165995e-04,1.168172e-04,1.171882e-04,1.175605e-04,1.177280e-04,1.182207e-04,1.186685e-04,1.188025e-04,1.190730e-04,1.193101e-04,1.194362e-04,1.197475e-04,1.197597e-04,1.200453e-04,1.201186e-04,1.202945e-04,1.204273e-04,1.205091e-04,1.206771e-04,1.206904e-04,1.208401e-04,1.208715e-04,1.209595e-04,1.210136e-04,1.210499e-04,1.211066e-04,1.211128e-04,1.211493e-04,1.211536e-04,1.211608e-04,1.211573e-04,1.211485e-04,1.211205e-04,1.211134e-04,1.210566e-04,1.210456e-04,1.209793e-04,1.209352e-04,1.208825e-04,1.207916e-04,1.207671e-04,1.206341e-04,1.206170e-04,1.204843e-04,1.204134e-04,1.203188e-04,1.201829e-04,1.201383e-04,1.199435e-04,1.199274e-04,1.197354e-04,1.196486e-04,1.195147e-04,1.193483e-04,1.192820e-04,1.190380e-04,1.190280e-04,1.187834e-04,1.186893e-04,1.185189e-04,1.183337e-04,1.182451e-04,1.179624e-04,1.175768e-04,1.171782e-04,1.167676e-04,1.163462e-04,1.159149e-04,1.154748e-04,1.150268e-04,1.145718e-04,1.141105e-04,1.136437e-04,1.131722e-04,1.126967e-04,1.122177e-04,1.117359e-04,1.112518e-04,1.107661e-04,1.102791e-04,1.097913e-04,1.093033e-04,1.088153e-04,1.083278e-04,1.078412e-04,1.073557e-04,1.068717e-04
0.000000e+00,4.650731e-12,2.379373e-11,2.682929e-10,1.329128e-09,2.759220e-09,1.325564e-08,1.402376e-08,4.849306e-08,6.544824e-08,1.315594e-07,2.202952e-07,3.021609e-07,5.830314e-07,6.148517e-07,1.141418e-06,1.309237e-06,1.972006e-06,2.609754e-06,3.215459e-06,4.751242e-06,4.998194e-06,7.460940e-06,8.048173e-06,1.075329e-05,1.284361e-05,1.502682e-05,1.948232e-05,2.042803e-05,2.709205e-05,2.828367e-05,3.513758e-05,3.951999e-05,4.466344e-05,5.340226e-05,5.574630e-05,6.843973e-05,7.007285e-05,8.277406e-05,8.960377e-05,9.875695e-05,1.119987e-04,1.163745e-04,1.355926e-04,1.371978e-04,1.563590e-04,1.650841e-04,1.786047e-04,1.954915e-04,2.022466e-04,2.271891e-04,2.282124e-04,2.533262e-04,2.630064e-04,2.805443e-04,2.996088e-04,3.087231e-04,3.377386e-04,3.674644e-04,3.771059e-04,3.977733e-04,4.174187e-04,4.285393e-04,4.583896e-04,4.596385e-04,4.909507e-04,4.997404e-04,5.223602e-04,5.412066e-04,5.537569e-04,5.825410e-04,5.850367e-04,6.161021e-04,6.235157e-04,6.468628e-04,6.639244e-04,6.772358e-04,7.035829e-04,7.071453e-04,7.365232e-04,7.423295e-04,7.653086e-04,7.800246e-04,7.934476e-04,8.165505e-04,8.208935e-04,8.476061e-04,8.518097e-04,8.735515e-04,8.857243e-04,8.987016e-04,9.182338e-04,9.230340e-04,9.465314e-04,9.492944e-04,9.691814e-04,9.788766e-04,9.909757e-04,1.006964e-03,1.011910e-03,1.031984e-03,1.033553e-03,1.051200e-03,1.058647e-03,1.069563e-03,1.082261e-03,1.087082e-03,1.103767e-03,1.104417e-03,1.119629e-03,1.125141e-03,1.134684e-03,1.144467e-03,1.148945e-03,1.162431e-03,1.175157e-03,1.179073e-03,1.187144e-03,1.194435e-03,1.198409e-03,1.208563e-03,1.208972e-03,1.218854e-03,1.221502e-03,1.228074e-03,1.233298e-03,1.236654e-03,1.243998e-03,1.244612e-03,1.251971e-03,1.253649e-03,1.258749e-03,1.262299e-03,1.264968e-03,1.269993e-03,1.270646e-03,1.275805e-03,1.276776e-03,1.280463e-03,1.282693e-03,1.284639e-03,1.287789e-03,1.288352e-03,1.291621e-03,1.292104e-03,1.294462e-03,1.295680e-03,1.296895e-03,1.298557e-03,1.298935e-03,1.300599e-03,1.300774e-03,1.301904e-03,1.302368e-03,1.302865e-03,1.303375e-03,1.303498e-03,1.303816e-03,1.303829e-03,1.303836e-03,1.303763e-03,1.303570e-03,1.303210e-03,1.303033e-03,1.302237e-03,1.302199e-03,1.301194e-03,1.300761e-03,1.299918e-03,1.298923e-03,1.298420e-03,1.296711e-03,1.294151e-03,1.291267e-03,1.288084e-03,1.284621e-03,1.280902e-03,1.276945e-03,1.272769e-03,1.268393e-03,1.263834e-03,1.259107e-03,1.254229e-03,1.249213e-03,1.244073e-03,1.238823e-03,1.233475e-03,1.228039e-03,1.222528e-03,1.216952e-03,1.211319e-03,1.205640e-03,1.199923e-03,1.194176e-03,1.188406e-03,1.182622e-03
0.000000e+00,6.129838e-12,2.963350e-11,2.972833e-10,1.324963e-09,2.596305e-09,1.075751e-08,1.131299e-08,3.383895e-08,4.391989e-08,8.007476e-08,1.239876e-07,1.616516e-07,2.787222e-07,2.911484e-07,4.813870e-07,5.374745e-07,7.446957e-07,9.282204e-07,1.091981e-06,1.473826e-06,1.531671e-06,2.068910e-06,2.188265e-06,2.705291e-06,3.074939e-06,3.439101e-06,4.127580e-06,4.265854e-06,5.178872e-06,5.332424e-06,6.169840e-06,6.670440e-06,7.229269e-06,8.119230e-06,8.346904e-06,9.512067e-06,9.654568e-06,1.071398e-05,1.125172e-05,1.194203e-05,1.288654e-05,1.318603e-05,1.443638e-05,1.453641e-05,1.568425e-05,1.618088e-05,1.692165e-05,1.780212e-05,1.814155e-05,1.933784e-05,1.938512e-05,2.050534e-05,2.091775e-05,2.163979e-05,2.239056e-05,2.273776e-05,2.379659e-05,2.481433e-05,2.513109e-05,2.578962e-05,2.639114e-05,2.672167e-05,2.757542e-05,2.761012e-05,2.845502e-05,2.868383e-05,2.925673e-05,2.971729e-05,3.001590e-05,3.067747e-05,3.073335e-05,3.141012e-05,3.156662e-05,3.204735e-05,3.238739e-05,3.264628e-05,3.314271e-05,3.320824e-05,3.373458e-05,3.383569e-05,3.422669e-05,3.446953e-05,3.468597e-05,3.504743e-05,3.511383e-05,3.551165e-05,3.557260e-05,3.588079e-05,3.604819e-05,3.622260e-05,3.647725e-05,3.653839e-05,3.682943e-05,3.686275e-05,3.709695e-05,3.720752e-05,3.734215e-05,3.751428e-05,3.756618e-05,3.777015e-05,3.778563e-05,3.795513e-05,3.802404e-05,3.812215e-05,3.823183e-05,3.827219e-05,3.840619e-05,3.841123e-05,3.852505e-05,3.856430e-05,3.862964e-05,3.869303e-05,3.872078e-05,3.879926e-05,3.886584e-05,3.888474e-05,3.892121e-05,3.895110e-05,3.896608e-05,3.899986e-05,3.900108e-05,3.902684e-05,3.903247e-05,3.904394e-05,3.905027e-05,3.905294e-05,3.905453e-05,3.905437e-05,3.904875e-05,3.904640e-05,3.903654e-05,3.902699e-05,3.901820e-05,3.899733e-05,3.899416e-05,3.896484e-05,3.895837e-05,3.893061e-05,3.891100e-05,3.889185e-05,3.885604e-05,3.884890e-05,3.880209e-05,3.879426e-05,3.875173e-05,3.872639e-05,3.869812e-05,3.865308e-05,3.864154e-05,3.858224e-05,3.857495e-05,3.852047e-05,3.849257e-05,3.845647e-05,3.840647e-05,3.839046e-05,3.832264e-05,3.831714e-05,3.825321e-05,3.822504e-05,3.818236e-05,3.813057e-05,3.811026e-05,3.803707e-05,3.803413e-05,3.796295e-05,3.793607e-05,3.788804e-05,3.783671e-05,3.781247e-05,3.773637e-05,3.763531e-05,3.753378e-05,3.743203e-05,3.733025e-05,3.722865e-05,3.712739e-05,3.702664e-05,3.692654e-05,3.682722e-05,3.672879e-05,3.663137e-05,3.653505e-05,3.643990e-05,3.634601e-05,3.625344e-05,3.616224e-05,3.607247e-05,3.598417e-05,3.589737e-05,3.581210e-05,3.572839e-05,3.564626e-05,3.556571e-05,3.548677e-05
0.000000e+00,2.911293e-12,1.496023e-11,1.702623e-10,8.508607e-10,1.775049e-09,8.641094e-09,9.146907e-09,3.208051e-08,4.347331e-08,8.832345e-08,1.492551e-07,2.059995e-07,4.033579e-07,4.259228e-07,8.036430e-07,9.253811e-07,1.410649e-06,1.882524e-06,2.333739e-06,3.485937e-06,3.671909e-06,5.531228e-06,5.975111e-06,8.018914e-06,9.595258e-06,1.123767e-05,1.457510e-05,1.528091e-05,2.022900e-05,2.110923e-05,2.614665e-05,2.934610e-05,3.308118e-05,3.938114e-05,4.106171e-05,5.009897e-05,5.125430e-05,6.018581e-05,6.495089e-05,7.129811e-05,8.040536e-05,8.339612e-05,9.642612e-05,9.750688e-05,1.103222e-04,1.161064e-04,1.250084e-04,1.360246e-04,1.404003e-04,1.564078e-04,1.570595e-04,1.729361e-04,1.789952e-04,1.898885e-04,2.016087e-04,2.071675e-04,2.246765e-04,2.423211e-04,2.479811e-04,2.600104e-04,2.713149e-04,2.776579e-04,2.944845e-04,2.951822e-04,3.125075e-04,3.173134e-04,3.295646e-04,3.396435e-04,3.462902e-04,3.613365e-04,3.626280e-04,3.785282e-04,3.822741e-04,3.939473e-04,4.023578e-04,4.088484e-04,4.215081e-04,4.232005e-04,4.369786e-04,4.396635e-04,4.501630e-04,4.567792e-04,4.627391e-04,4.728257e-04,4.746972e-04,4.860316e-04,4.877871e-04,4.967409e-04,5.016597e-04,5.068269e-04,5.144502e-04,5.162947e-04,5.251521e-04,5.261745e-04,5.334095e-04,5.368557e-04,5.410791e-04,5.465237e-04,5.481752e-04,5.547134e-04,5.552129e-04,5.607105e-04,5.629618e-04,5.661844e-04,5.698121e-04,5.711537e-04,5.756376e-04,5.758072e-04,5.796557e-04,5.809920e-04,5.832277e-04,5.854121e-04,5.863736e-04,5.891131e-04,5.914660e-04,5.921404e-04,5.934516e-04,5.945385e-04,5.950891e-04,5.963511e-04,5.963973e-04,5.973944e-04,5.976203e-04,5.980983e-04,5.983870e-04,5.985261e-04,5.986903e-04,5.986946e-04,5.986199e-04,5.985676e-04,5.983176e-04,5.980544e-04,5.978025e-04,5.971847e-04,5.970891e-04,5.961910e-04,5.959904e-04,5.951214e-04,5.945017e-04,5.938929e-04,5.927469e-04,5.925174e-04,5.910063e-04,5.907527e-04,5.893704e-04,5.885438e-04,5.876199e-04,5.861436e-04,5.857646e-04,5.838137e-04,5.835736e-04,5.817760e-04,5.808540e-04,5.796597e-04,5.780035e-04,5.774725e-04,5.752218e-04,5.750392e-04,5.729145e-04,5.719772e-04,5.705571e-04,5.688323e-04,5.681558e-04,5.657162e-04,5.656179e-04,5.632439e-04,5.623467e-04,5.607437e-04,5.590301e-04,5.582204e-04,5.556785e-04,5.523017e-04,5.489082e-04,5.455063e-04,5.421030e-04,5.387050e-04,5.353182e-04,5.319481e-04,5.285994e-04,5.252765e-04,5.219832e-04,5.187231e-04,5.154991e-04,5.123139e-04,5.091700e-04,5.060694e-04,5.030138e-04,5.000049e-04,4.970437e-04,4.941315e-04,4.912690e-04,4.884570e-04,4.856959e-04,4.829862e-04,4.803280e-04
0.000000e+00,3.024398e-10,1.210413e-09,8.510652e-09,2.856538e-08,4.864063e-08,1.467714e-07,1.525715e-07,3.540798e-07,4.328594e-07,6.897488e-07,9.726385e-07,1.201204e-06,1.866115e-06,1.933894e-06,2.926461e-06,3.205522e-06,4.191525e-06,5.011752e-06,5.706567e-06,7.211418e-06,7.427134e-06,9.306257e-06,9.697449e-06,1.130405e-05,1.237889e-05,1.338840e-05,1.518652e-05,1.553263e-05,1.771337e-05,1.806423e-05,1.990933e-05,2.096298e-05,2.210088e-05,2.383875e-05,2.426996e-05,2.640025e-05,2.665257e-05,2.847734e-05,2.937115e-05,3.048888e-05,3.196740e-05,3.242458e-05,3.427628e-05,3.442059e-05,3.603778e-05,3.671609e-05,3.770473e-05,3.884479e-05,3.927439e-05,4.074551e-05,4.080231e-05,4.211811e-05,4.258829e-05,4.339316e-05,4.420537e-05,4.457248e-05,4.565864e-05,4.665466e-05,4.695490e-05,4.756396e-05,4.810211e-05,4.839025e-05,4.910899e-05,4.913741e-05,4.980940e-05,4.998464e-05,5.041025e-05,5.073826e-05,5.094393e-05,5.137897e-05,5.141437e-05,5.182539e-05,5.191561e-05,5.218071e-05,5.235670e-05,5.248391e-05,5.271034e-05,5.273842e-05,5.294752e-05,5.298417e-05,5.311435e-05,5.318539e-05,5.324188e-05,5.332070e-05,5.333293e-05,5.339016e-05,5.339635e-05,5.341609e-05,5.341813e-05,5.341310e-05,5.339139e-05,5.338343e-05,5.332916e-05,5.332110e-05,5.325229e-05,5.321179e-05,5.315466e-05,5.306766e-05,5.303802e-05,5.290398e-05,5.289255e-05,5.275407e-05,5.268999e-05,5.258973e-05,5.246321e-05,5.241227e-05,5.222296e-05,5.221515e-05,5.202294e-05,5.194852e-05,5.181330e-05,5.166578e-05,5.159506e-05,5.136916e-05,5.113646e-05,5.106070e-05,5.089780e-05,5.074227e-05,5.065392e-05,5.041555e-05,5.040554e-05,5.015330e-05,5.008207e-05,4.989782e-05,4.974321e-05,4.963966e-05,4.940023e-05,4.937933e-05,4.911733e-05,4.905425e-05,4.885410e-05,4.870630e-05,4.859004e-05,4.835730e-05,4.832555e-05,4.806098e-05,4.800808e-05,4.779663e-05,4.765937e-05,4.753282e-05,4.731184e-05,4.726982e-05,4.700787e-05,4.696607e-05,4.674721e-05,4.662261e-05,4.648804e-05,4.628191e-05,4.623056e-05,4.597493e-05,4.594438e-05,4.572131e-05,4.561040e-05,4.546985e-05,4.528027e-05,4.522068e-05,4.497390e-05,4.495427e-05,4.472963e-05,4.463264e-05,4.448795e-05,4.431559e-05,4.424895e-05,4.401269e-05,4.400329e-05,4.377924e-05,4.369590e-05,4.354865e-05,4.339352e-05,4.332098e-05,4.309625e-05,4.280419e-05,4.251737e-05,4.223585e-05,4.195964e-05,4.168877e-05,4.142323e-05,4.116301e-05,4.090809e-05,4.065844e-05,4.041401e-05,4.017478e-05,3.994067e-05,3.971165e-05,3.948764e-05,3.926858e-05,3.905440e-05,3.884504e-05,3.864041e-05,3.844044e-05,3.824505e-05,3.805416e-05,3.786769e-05,3.768556e-05,3.750769e-05
0.000000e+00,2.500759e-09,7.013624e-09,2.996277e-08,7.542058e-08,1.142256e-07,2.765669e-07,2.854564e-07,5.733000e-07,6.789215e-07,1.008370e-06,1.353356e-06,1.622507e-06,2.370351e-06,2.444186e-06,3.487499e-06,3.770606e-06,4.747341e-06,5.542009e-06,6.208985e-06,7.650068e-06,7.857246e-06,9.678257e-06,1.006200e-05,1.165834e-05,1.274608e-05,1.378296e-05,1.566775e-05,1.603622e-05,1.840089e-05,1.878837e-05,2.085869e-05,2.206597e-05,2.339071e-05,2.545692e-05,2.597785e-05,2.860136e-05,2.891776e-05,3.124319e-05,3.240697e-05,3.388634e-05,3.588632e-05,3.651513e-05,3.911539e-05,3.932179e-05,4.167454e-05,4.268419e-05,4.418164e-05,4.594923e-05,4.662737e-05,4.900395e-05,4.909749e-05,5.130509e-05,5.211403e-05,5.352580e-05,5.498800e-05,5.566236e-05,5.771210e-05,5.967333e-05,6.028207e-05,6.154519e-05,6.269617e-05,6.332752e-05,6.495474e-05,6.502077e-05,6.662593e-05,6.705976e-05,6.814435e-05,6.901449e-05,6.957778e-05,7.082316e-05,7.092819e-05,7.219779e-05,7.249073e-05,7.338895e-05,7.402266e-05,7.450414e-05,7.542471e-05,7.554594e-05,7.651694e-05,7.670287e-05,7.741978e-05,7.786321e-05,7.825712e-05,7.891177e-05,7.903156e-05,7.974571e-05,7.985455e-05,8.040213e-05,8.069744e-05,8.100332e-05,8.144616e-05,8.155174e-05,8.204978e-05,8.210627e-05,8.249976e-05,8.268311e-05,8.290395e-05,8.318185e-05,8.326452e-05,8.358361e-05,8.360740e-05,8.386324e-05,8.396450e-05,8.410541e-05,8.425763e-05,8.431199e-05,8.448484e-05,8.449108e-05,8.462570e-05,8.466891e-05,8.473627e-05,8.479499e-05,8.481818e-05,8.487297e-05,8.490216e-05,8.490632e-05,8.490716e-05,8.489831e-05,8.488935e-05,8.485203e-05,8.485006e-05,8.479052e-05,8.477039e-05,8.471196e-05,8.465616e-05,8.461550e-05,8.451192e-05,8.450226e-05,8.437329e-05,8.434010e-05,8.422957e-05,8.414301e-05,8.407208e-05,8.392281e-05,8.390171e-05,8.371934e-05,8.368150e-05,8.352580e-05,8.342101e-05,8.332188e-05,8.314310e-05,8.310832e-05,8.288584e-05,8.284946e-05,8.265512e-05,8.254164e-05,8.241681e-05,8.222111e-05,8.217152e-05,8.191984e-05,8.188924e-05,8.166233e-05,8.154731e-05,8.139950e-05,8.119651e-05,8.113187e-05,8.085990e-05,8.083797e-05,8.058405e-05,8.047271e-05,8.030474e-05,8.010172e-05,8.002237e-05,7.973734e-05,7.972589e-05,7.945000e-05,7.934605e-05,7.916069e-05,7.896300e-05,7.886973e-05,7.857745e-05,7.819007e-05,7.780148e-05,7.741227e-05,7.702295e-05,7.663403e-05,7.624594e-05,7.585912e-05,7.547392e-05,7.509072e-05,7.470982e-05,7.433152e-05,7.395609e-05,7.358376e-05,7.321476e-05,7.284929e-05,7.248751e-05,7.212959e-05,7.177568e-05,7.142589e-05,7.108033e-05,7.073911e-05,7.040230e-05,7.006998e-05,6.974220e-05
0.000000e+00,3.737872e-09,8.585765e-09,2.955216e-08,6.709272e-08,9.770471e-08,2.202810e-07,2.268426e-07,4.348548e-07,5.096699e-07,7.397492e-07,9.769475e-07,1.160248e-06,1.665601e-06,1.715392e-06,2.421768e-06,2.614986e-06,3.287609e-06,3.840676e-06,4.307474e-06,5.318654e-06,5.463906e-06,6.734645e-06,7.000579e-06,8.098254e-06,8.837666e-06,9.535849e-06,1.078840e-05,1.103082e-05,1.256812e-05,1.281708e-05,1.413382e-05,1.489155e-05,1.571479e-05,1.698225e-05,1.729871e-05,1.887412e-05,1.906208e-05,2.043047e-05,2.110675e-05,2.195828e-05,2.309513e-05,2.344918e-05,2.489593e-05,2.500957e-05,2.629248e-05,2.683591e-05,2.763392e-05,2.856342e-05,2.891639e-05,3.013707e-05,3.018458e-05,3.129404e-05,3.169473e-05,3.238622e-05,3.309167e-05,3.341321e-05,3.437521e-05,3.527297e-05,3.554687e-05,3.610767e-05,3.660948e-05,3.688084e-05,3.756686e-05,3.759428e-05,3.825000e-05,3.842356e-05,3.885020e-05,3.918461e-05,3.939715e-05,3.985534e-05,3.989321e-05,4.034078e-05,4.044125e-05,4.074226e-05,4.094786e-05,4.110005e-05,4.138064e-05,4.141650e-05,4.169390e-05,4.174490e-05,4.193449e-05,4.204576e-05,4.214042e-05,4.228816e-05,4.231380e-05,4.245663e-05,4.247678e-05,4.257084e-05,4.261603e-05,4.265826e-05,4.271009e-05,4.272065e-05,4.275969e-05,4.276288e-05,4.277696e-05,4.277806e-05,4.277399e-05,4.275906e-05,4.275219e-05,4.271293e-05,4.270908e-05,4.265749e-05,4.263106e-05,4.258709e-05,4.252777e-05,4.250286e-05,4.240588e-05,4.240175e-05,4.229719e-05,4.225537e-05,4.217772e-05,4.209080e-05,4.204839e-05,4.191005e-05,4.176348e-05,4.171497e-05,4.160945e-05,4.150727e-05,4.144865e-05,4.128852e-05,4.128174e-05,4.110934e-05,4.106017e-05,4.093204e-05,4.082352e-05,4.075036e-05,4.057980e-05,4.056483e-05,4.037592e-05,4.033012e-05,4.018406e-05,4.007549e-05,3.998968e-05,3.981685e-05,3.979316e-05,3.959487e-05,3.955502e-05,3.939513e-05,3.929080e-05,3.919426e-05,3.902487e-05,3.899256e-05,3.879029e-05,3.875789e-05,3.858770e-05,3.849041e-05,3.838503e-05,3.822298e-05,3.818249e-05,3.798029e-05,3.795606e-05,3.777861e-05,3.769008e-05,3.757761e-05,3.742541e-05,3.737746e-05,3.717830e-05,3.716242e-05,3.698026e-05,3.690139e-05,3.678347e-05,3.664261e-05,3.658803e-05,3.639406e-05,3.638633e-05,3.620163e-05,3.613275e-05,3.601083e-05,3.588207e-05,3.582175e-05,3.563445e-05,3.539003e-05,3.514895e-05,3.491131e-05,3.467719e-05,3.444667e-05,3.421982e-05,3.399667e-05,3.377727e-05,3.356164e-05,3.334980e-05,3.314175e-05,3.293750e-05,3.273703e-05,3.254034e-05,3.234741e-05,3.215821e-05,3.197271e-05,3.179088e-05,3.161268e-05,3.143808e-05,3.126703e-05,3.109949e-05,3.093541e-05,3.077474e-05
0.000000e+00,3.553417e-11,1.586046e-10,1.359706e-09,5.303595e-09,9.697759e-09,3.404177e-08,3.557268e-08,9.194698e-08,1.150324e-07,1.922308e-07,2.788636e-07,3.492832e-07,5.541826e-07,5.750335e-07,8.803293e-07,9.665327e-07,1.274765e-06,1.537653e-06,1.766359e-06,2.284070e-06,2.360998e-06,3.061663e-06,3.214521e-06,3.867505e-06,4.326497e-06,4.773082e-06,5.603471e-06,5.768143e-06,6.838337e-06,7.015429e-06,7.966734e-06,8.523834e-06,9.135671e-06,1.008865e-05,1.032832e-05,1.152969e-05,1.167381e-05,1.272698e-05,1.324971e-05,1.390965e-05,1.479338e-05,1.506916e-05,1.619872e-05,1.628762e-05,1.729305e-05,1.771999e-05,1.834815e-05,1.908184e-05,1.936107e-05,2.032981e-05,2.036762e-05,2.125309e-05,2.157422e-05,2.213032e-05,2.270048e-05,2.296142e-05,2.374675e-05,2.448703e-05,2.471456e-05,2.518324e-05,2.560624e-05,2.583660e-05,2.642477e-05,2.644846e-05,2.702032e-05,2.717349e-05,2.755374e-05,2.785600e-05,2.805031e-05,2.847603e-05,2.851168e-05,2.893946e-05,2.903731e-05,2.933527e-05,2.954354e-05,2.970068e-05,2.999834e-05,3.003726e-05,3.034650e-05,3.040520e-05,3.062988e-05,3.076748e-05,3.088879e-05,3.108836e-05,3.112459e-05,3.133857e-05,3.137086e-05,3.153198e-05,3.161786e-05,3.170600e-05,3.183202e-05,3.186177e-05,3.200036e-05,3.201589e-05,3.212279e-05,3.217180e-05,3.223005e-05,3.230198e-05,3.232305e-05,3.240266e-05,3.240848e-05,3.246974e-05,3.249323e-05,3.252505e-05,3.255801e-05,3.256935e-05,3.260333e-05,3.260449e-05,3.262768e-05,3.263421e-05,3.264302e-05,3.264861e-05,3.264995e-05,3.264903e-05,3.264078e-05,3.263668e-05,3.262573e-05,3.261274e-05,3.260433e-05,3.257824e-05,3.257705e-05,3.254429e-05,3.253420e-05,3.250647e-05,3.248150e-05,3.246396e-05,3.242101e-05,3.241711e-05,3.236626e-05,3.235349e-05,3.231172e-05,3.227968e-05,3.225379e-05,3.220023e-05,3.219275e-05,3.212887e-05,3.211577e-05,3.206239e-05,3.202687e-05,3.199355e-05,3.193405e-05,3.192256e-05,3.184964e-05,3.183781e-05,3.177498e-05,3.173858e-05,3.169876e-05,3.163677e-05,3.162115e-05,3.154232e-05,3.153278e-05,3.146241e-05,3.142694e-05,3.138157e-05,3.131959e-05,3.129993e-05,3.121762e-05,3.121101e-05,3.113475e-05,3.110147e-05,3.105144e-05,3.099123e-05,3.096778e-05,3.088388e-05,3.088052e-05,3.079982e-05,3.076953e-05,3.071568e-05,3.065847e-05,3.063155e-05,3.054751e-05,3.043680e-05,3.032649e-05,3.021672e-05,3.010759e-05,2.999923e-05,2.989173e-05,2.978517e-05,2.967963e-05,2.957519e-05,2.947191e-05,2.936984e-05,2.926904e-05,2.916955e-05,2.907140e-05,2.897463e-05,2.887926e-05,2.878532e-05,2.869283e-05,2.860181e-05,2.851226e-05,2.842419e-05,2.833762e-05,2.825253e-05,2.816895e-05
0.000000e+00,5.904212e-13,3.012949e-12,3.379161e-11,1.665795e-10,3.448735e-10,1.645253e-09,1.740096e-09,5.976289e-09,8.051279e-09,1.611255e-08,2.688765e-08,3.679987e-08,7.068226e-08,7.451209e-08,1.377214e-07,1.578150e-07,2.369884e-07,3.129372e-07,3.848763e-07,5.664774e-07,5.955735e-07,8.841931e-07,9.526098e-07,1.265869e-06,1.505901e-06,1.754837e-06,2.257741e-06,2.363663e-06,3.102670e-06,3.233547e-06,3.979594e-06,4.451077e-06,4.999424e-06,5.919765e-06,6.164383e-06,7.474028e-06,7.640794e-06,8.925429e-06,9.607691e-06,1.051339e-05,1.180721e-05,1.223071e-05,1.406846e-05,1.422038e-05,1.601627e-05,1.682366e-05,1.806263e-05,1.959011e-05,2.019516e-05,2.240090e-05,2.249046e-05,2.466655e-05,2.549426e-05,2.697871e-05,2.857079e-05,2.932415e-05,3.168990e-05,3.406353e-05,3.482280e-05,3.643320e-05,3.794256e-05,3.878783e-05,4.102460e-05,4.111717e-05,4.341184e-05,4.404697e-05,4.566341e-05,4.699051e-05,4.786439e-05,4.983895e-05,5.000822e-05,5.208929e-05,5.257887e-05,5.410289e-05,5.519956e-05,5.604517e-05,5.769294e-05,5.791308e-05,5.970436e-05,6.005327e-05,6.141742e-05,6.227696e-05,6.305132e-05,6.436234e-05,6.460570e-05,6.608071e-05,6.630938e-05,6.747696e-05,6.811946e-05,6.879545e-05,6.979515e-05,7.003753e-05,7.120484e-05,7.133998e-05,7.229924e-05,7.275821e-05,7.332280e-05,7.405470e-05,7.427776e-05,7.516644e-05,7.523475e-05,7.599129e-05,7.630391e-05,7.675479e-05,7.726794e-05,7.745946e-05,7.810784e-05,7.813264e-05,7.870244e-05,7.890381e-05,7.924575e-05,7.958718e-05,7.974025e-05,8.018834e-05,8.059236e-05,8.071271e-05,8.095460e-05,8.116554e-05,8.127728e-05,8.155182e-05,8.156254e-05,8.181243e-05,8.187633e-05,8.202893e-05,8.214360e-05,8.221394e-05,8.235790e-05,8.236928e-05,8.249668e-05,8.252328e-05,8.259780e-05,8.264354e-05,8.267422e-05,8.272222e-05,8.272743e-05,8.275887e-05,8.276267e-05,8.276989e-05,8.276798e-05,8.276178e-05,8.274106e-05,8.273574e-05,8.269294e-05,8.268461e-05,8.263447e-05,8.260114e-05,8.256135e-05,8.249298e-05,8.247457e-05,8.237506e-05,8.236230e-05,8.226368e-05,8.221112e-05,8.214125e-05,8.204130e-05,8.200856e-05,8.186634e-05,8.185458e-05,8.171529e-05,8.165254e-05,8.155604e-05,8.143667e-05,8.138923e-05,8.121543e-05,8.120834e-05,8.103518e-05,8.096882e-05,8.084901e-05,8.071928e-05,8.065740e-05,8.046081e-05,8.019441e-05,7.992101e-05,7.964147e-05,7.935657e-05,7.906706e-05,7.877359e-05,7.847681e-05,7.817728e-05,7.787552e-05,7.757205e-05,7.726730e-05,7.696170e-05,7.665563e-05,7.634945e-05,7.604347e-05,7.573801e-05,7.543333e-05,7.512969e-05,7.482732e-05,7.452643e-05,7.422722e-05,7.392986e-05,7.363451e-05,7.334133e-05
0.000000e+00,2.543419e-12,1.314263e-11,1.513153e-10,7.640929e-10,1.603007e-09,7.912838e-09,8.380560e-09,2.975973e-08,4.045163e-08,8.275453e-08,1.404991e-07,1.944076e-07,3.822151e-07,4.036942e-07,7.629214e-07,8.785268e-07,1.338546e-06,1.784956e-06,2.211366e-06,3.300153e-06,3.476049e-06,5.239956e-06,5.662880e-06,7.621247e-06,9.145202e-06,1.074623e-05,1.404180e-05,1.474601e-05,1.975266e-05,2.065585e-05,2.589502e-05,2.928284e-05,3.329467e-05,4.019437e-05,4.206214e-05,5.229374e-05,5.362389e-05,6.406903e-05,6.975563e-05,7.744903e-05,8.871722e-05,9.247506e-05,1.091684e-04,1.105760e-04,1.275302e-04,1.353387e-04,1.475425e-04,1.629537e-04,1.691691e-04,1.923566e-04,1.933157e-04,2.170370e-04,2.262720e-04,2.431286e-04,2.616298e-04,2.705383e-04,2.991637e-04,3.288950e-04,3.386238e-04,3.596165e-04,3.797430e-04,3.912091e-04,4.222447e-04,4.235512e-04,4.565210e-04,4.658485e-04,4.899973e-04,5.102764e-04,5.238608e-04,5.552575e-04,5.579956e-04,5.922895e-04,6.005316e-04,6.266351e-04,6.458529e-04,6.609304e-04,6.909921e-04,6.950791e-04,7.289913e-04,7.357379e-04,7.625831e-04,7.798983e-04,7.957773e-04,8.233012e-04,8.285031e-04,8.606964e-04,8.657940e-04,8.922995e-04,9.072440e-04,9.232608e-04,9.475370e-04,9.535349e-04,9.830821e-04,9.865772e-04,1.011868e-03,1.024286e-03,1.039865e-03,1.060600e-03,1.067048e-03,1.093399e-03,1.095471e-03,1.118903e-03,1.128865e-03,1.143549e-03,1.160759e-03,1.167330e-03,1.190244e-03,1.191142e-03,1.212289e-03,1.220013e-03,1.233468e-03,1.247378e-03,1.253786e-03,1.273252e-03,1.291874e-03,1.297657e-03,1.309665e-03,1.320620e-03,1.326637e-03,1.342173e-03,1.342804e-03,1.358183e-03,1.362350e-03,1.372791e-03,1.381192e-03,1.386645e-03,1.398740e-03,1.399763e-03,1.412165e-03,1.415037e-03,1.423871e-03,1.430129e-03,1.434900e-03,1.444062e-03,1.445272e-03,1.455009e-03,1.456881e-03,1.464129e-03,1.468635e-03,1.472654e-03,1.479370e-03,1.480605e-03,1.488000e-03,1.489133e-03,1.494861e-03,1.497970e-03,1.501206e-03,1.505925e-03,1.507056e-03,1.512429e-03,1.513043e-03,1.517345e-03,1.519368e-03,1.521821e-03,1.524941e-03,1.525877e-03,1.529529e-03,1.529804e-03,1.532794e-03,1.533996e-03,1.535690e-03,1.537556e-03,1.538233e-03,1.540439e-03,1.540521e-03,1.542323e-03,1.542925e-03,1.543900e-03,1.544805e-03,1.545185e-03,1.546191e-03,1.547116e-03,1.547609e-03,1.547700e-03,1.547415e-03,1.546781e-03,1.545823e-03,1.544564e-03,1.543026e-03,1.541231e-03,1.539198e-03,1.536948e-03,1.534498e-03,1.531865e-03,1.529065e-03,1.526114e-03,1.523025e-03,1.519813e-03,1.516490e-03,1.513069e-03,1.509559e-03,1.505973e-03,1.502319e-03,1.498608e-03,1.494847e-03
0.000000e+00,1.036981e-09,3.092591e-09,1.415689e-08,3.677019e-08,5.630145e-08,1.386763e-07,1.432002e-07,2.898425e-07,3.436511e-07,5.113336e-07,6.866992e-07,8.234870e-07,1.204905e-06,1.242777e-06,1.785028e-06,1.934928e-06,2.462019e-06,2.901424e-06,3.276157e-06,4.097569e-06,4.216374e-06,5.259929e-06,5.478628e-06,6.379446e-06,6.982960e-06,7.549372e-06,8.555503e-06,8.748615e-06,9.960430e-06,1.015456e-05,1.117147e-05,1.174923e-05,1.237089e-05,1.331597e-05,1.354971e-05,1.470045e-05,1.483635e-05,1.581696e-05,1.629605e-05,1.689424e-05,1.768427e-05,1.792834e-05,1.891633e-05,1.899331e-05,1.985615e-05,2.021828e-05,2.074653e-05,2.135666e-05,2.158693e-05,2.237737e-05,2.240795e-05,2.311840e-05,2.337325e-05,2.381097e-05,2.425488e-05,2.445636e-05,2.505608e-05,2.561185e-05,2.578071e-05,2.612550e-05,2.643303e-05,2.659897e-05,2.701749e-05,2.703419e-05,2.743315e-05,2.753863e-05,2.779781e-05,2.800094e-05,2.813008e-05,2.840877e-05,2.843183e-05,2.870486e-05,2.876631e-05,2.895092e-05,2.907754e-05,2.917165e-05,2.934621e-05,2.936865e-05,2.954342e-05,2.957583e-05,2.969738e-05,2.976967e-05,2.983189e-05,2.993077e-05,2.994821e-05,3.004755e-05,3.006194e-05,3.013103e-05,3.016578e-05,3.019972e-05,3.024469e-05,3.025461e-05,3.029664e-05,3.030087e-05,3.032670e-05,3.033634e-05,3.034559e-05,3.035297e-05,3.035410e-05,3.035295e-05,3.035246e-05,3.034282e-05,3.033639e-05,3.032434e-05,3.030620e-05,3.029810e-05,3.026467e-05,3.026319e-05,3.022457e-05,3.020859e-05,3.017828e-05,3.014350e-05,3.012626e-05,3.006894e-05,3.000673e-05,2.998585e-05,2.993999e-05,2.989507e-05,2.986909e-05,2.979740e-05,2.979434e-05,2.971606e-05,2.969354e-05,2.963453e-05,2.958418e-05,2.955004e-05,2.946990e-05,2.946283e-05,2.937313e-05,2.935126e-05,2.928118e-05,2.922878e-05,2.918719e-05,2.910293e-05,2.909134e-05,2.899382e-05,2.897413e-05,2.889480e-05,2.884277e-05,2.879445e-05,2.870923e-05,2.869291e-05,2.859033e-05,2.857383e-05,2.848683e-05,2.843687e-05,2.838255e-05,2.829864e-05,2.827760e-05,2.817209e-05,2.815939e-05,2.806611e-05,2.801937e-05,2.795978e-05,2.787877e-05,2.785317e-05,2.774637e-05,2.773782e-05,2.763945e-05,2.759667e-05,2.753250e-05,2.745551e-05,2.742558e-05,2.731875e-05,2.731448e-05,2.721208e-05,2.717373e-05,2.710562e-05,2.703338e-05,2.699943e-05,2.689354e-05,2.675433e-05,2.661584e-05,2.647816e-05,2.634137e-05,2.620555e-05,2.607075e-05,2.593704e-05,2.580447e-05,2.567309e-05,2.554295e-05,2.541408e-05,2.528651e-05,2.516028e-05,2.503542e-05,2.491194e-05,2.478988e-05,2.466923e-05,2.455002e-05,2.443227e-05,2.431597e-05,2.420114e-05,2.408778e-05,2.397590e-05,2.386550e-05
0.000000e+00,1.935651e-11,9.322724e-11,9.282353e-10,4.109944e-09,8.025745e-09,3.297877e-08,3.467074e-08,1.029812e-07,1.334401e-07,2.424237e-07,3.745494e-07,4.878171e-07,8.401683e-07,8.776161e-07,1.452550e-06,1.622694e-06,2.253920e-06,2.816244e-06,3.320351e-06,4.502793e-06,4.682612e-06,6.358432e-06,6.731695e-06,8.350138e-06,9.507209e-06,1.064590e-05,1.279304e-05,1.322316e-05,1.605250e-05,1.652640e-05,1.910072e-05,2.063142e-05,2.233301e-05,2.502774e-05,2.571422e-05,2.920969e-05,2.963522e-05,3.278575e-05,3.437637e-05,3.641012e-05,3.917809e-05,4.005227e-05,4.368372e-05,4.397298e-05,4.727839e-05,4.870060e-05,5.081277e-05,5.330842e-05,5.426610e-05,5.762047e-05,5.775236e-05,6.086080e-05,6.199694e-05,6.397475e-05,6.601501e-05,6.695265e-05,6.978722e-05,7.247346e-05,7.330118e-05,7.500833e-05,7.655056e-05,7.739057e-05,7.953413e-05,7.962042e-05,8.169940e-05,8.225482e-05,8.363013e-05,8.471881e-05,8.541606e-05,8.693482e-05,8.706137e-05,8.857076e-05,8.891335e-05,8.994932e-05,9.066617e-05,9.120244e-05,9.220582e-05,9.233567e-05,9.335466e-05,9.354525e-05,9.426511e-05,9.469752e-05,9.507265e-05,9.567555e-05,9.578288e-05,9.640124e-05,9.649201e-05,9.693306e-05,9.715912e-05,9.738351e-05,9.768864e-05,9.775757e-05,9.806004e-05,9.809174e-05,9.829551e-05,9.837904e-05,9.846840e-05,9.856053e-05,9.858291e-05,9.864304e-05,9.864562e-05,9.865262e-05,9.864310e-05,9.861524e-05,9.856120e-05,9.853436e-05,9.841322e-05,9.840758e-05,9.825489e-05,9.818936e-05,9.806229e-05,9.791314e-05,9.783815e-05,9.758505e-05,9.730544e-05,9.721075e-05,9.700161e-05,9.679545e-05,9.667571e-05,9.634397e-05,9.632978e-05,9.596570e-05,9.586076e-05,9.558529e-05,9.534989e-05,9.519020e-05,9.481512e-05,9.478202e-05,9.436220e-05,9.425987e-05,9.393213e-05,9.368730e-05,9.349309e-05,9.310028e-05,9.304629e-05,9.259284e-05,9.250144e-05,9.213379e-05,9.189320e-05,9.167012e-05,9.127773e-05,9.120273e-05,9.073248e-05,9.065702e-05,9.026013e-05,9.003288e-05,8.978642e-05,8.940693e-05,8.931203e-05,8.883757e-05,8.878065e-05,8.836362e-05,8.815538e-05,8.789071e-05,8.753230e-05,8.741934e-05,8.694995e-05,8.691250e-05,8.648296e-05,8.629693e-05,8.601876e-05,8.568644e-05,8.555768e-05,8.510004e-05,8.508181e-05,8.464614e-05,8.448370e-05,8.419624e-05,8.389271e-05,8.375057e-05,8.330934e-05,8.273405e-05,8.216723e-05,8.160920e-05,8.106024e-05,8.052060e-05,7.999044e-05,7.946992e-05,7.895916e-05,7.845823e-05,7.796718e-05,7.748605e-05,7.701482e-05,7.655348e-05,7.610200e-05,7.566031e-05,7.522834e-05,7.480601e-05,7.439323e-05,7.398987e-05,7.359583e-05,7.321098e-05,7.283519e-05,7.246831e-05,7.211020e-05
0.000000e+00,9.322774e-11,4.126607e-10,3.478591e-09,1.337255e-08,2.426942e-08,8.375122e-08,8.746461e-08,2.233784e-07,2.788534e-07,4.645842e-07,6.742474e-07,8.460142e-07,1.353495e-06,1.405779e-06,2.183208e-06,2.406080e-06,3.210271e-06,3.899506e-06,4.497025e-06,5.827430e-06,6.021451e-06,7.734056e-06,8.093781e-06,9.573482e-06,1.056028e-05,1.148114e-05,1.310058e-05,1.340867e-05,1.531920e-05,1.562137e-05,1.718541e-05,1.805932e-05,1.898717e-05,2.037199e-05,2.070953e-05,2.234140e-05,2.253074e-05,2.387474e-05,2.451668e-05,2.530402e-05,2.631860e-05,2.662599e-05,2.783929e-05,2.793166e-05,2.894433e-05,2.935640e-05,2.994296e-05,3.059781e-05,3.083832e-05,3.163451e-05,3.166436e-05,3.233635e-05,3.256693e-05,3.294916e-05,3.331789e-05,3.347860e-05,3.393048e-05,3.431071e-05,3.441820e-05,3.462509e-05,3.479434e-05,3.487925e-05,3.507163e-05,3.507862e-05,3.522833e-05,3.526202e-05,3.533322e-05,3.537653e-05,3.539780e-05,3.542521e-05,3.542625e-05,3.542245e-05,3.541714e-05,3.538995e-05,3.536043e-05,3.533199e-05,3.526229e-05,3.525154e-05,3.515128e-05,3.512907e-05,3.503366e-05,3.496637e-05,3.490088e-05,3.477909e-05,3.475493e-05,3.459761e-05,3.457149e-05,3.443053e-05,3.434730e-05,3.425515e-05,3.410975e-05,3.407277e-05,3.388454e-05,3.386161e-05,3.369152e-05,3.360532e-05,3.349464e-05,3.334294e-05,3.329473e-05,3.309253e-05,3.307628e-05,3.288872e-05,3.280687e-05,3.268387e-05,3.253605e-05,3.247853e-05,3.227314e-05,3.226493e-05,3.206813e-05,3.199449e-05,3.186386e-05,3.172555e-05,3.166066e-05,3.145881e-05,3.125857e-05,3.119486e-05,3.106014e-05,3.093420e-05,3.086374e-05,3.067723e-05,3.066951e-05,3.047761e-05,3.042431e-05,3.028816e-05,3.017571e-05,3.010127e-05,2.993166e-05,2.991702e-05,2.973550e-05,2.969235e-05,2.955676e-05,2.945791e-05,2.938087e-05,2.922845e-05,2.920784e-05,2.903773e-05,2.900406e-05,2.887054e-05,2.878477e-05,2.870630e-05,2.857061e-05,2.854500e-05,2.838666e-05,2.836160e-05,2.823126e-05,2.815771e-05,2.807880e-05,2.795893e-05,2.792926e-05,2.778262e-05,2.776522e-05,2.763887e-05,2.757652e-05,2.749798e-05,2.739279e-05,2.735992e-05,2.722466e-05,2.721396e-05,2.709218e-05,2.703995e-05,2.696243e-05,2.687069e-05,2.683539e-05,2.671101e-05,2.670609e-05,2.658927e-05,2.654608e-05,2.647012e-05,2.639056e-05,2.635352e-05,2.623943e-05,2.609262e-05,2.595002e-05,2.581154e-05,2.567708e-05,2.554655e-05,2.541985e-05,2.529689e-05,2.517758e-05,2.506181e-05,2.494951e-05,2.484056e-05,2.473490e-05,2.463242e-05,2.453304e-05,2.443668e-05,2.434325e-05,2.425266e-05,2.416485e-05,2.407972e-05,2.399719e-05,2.391721e-05,2.383968e-05,2.376454e-05,2.369172e-05
0.000000e+00,9.543406e-13,4.929543e-12,5.671283e-11,2.862256e-10,6.003500e-10,2.962988e-09,3.138153e-09,1.115098e-08,1.516258e-08,3.105908e-08,5.281170e-08,7.316629e-08,1.443626e-07,1.525293e-07,2.896783e-07,3.340027e-07,5.110373e-07,6.835759e-07,8.488480e-07,1.272048e-06,1.340512e-06,2.027461e-06,2.192133e-06,2.953756e-06,3.545017e-06,4.164583e-06,5.434395e-06,5.704760e-06,7.617340e-06,7.960638e-06,9.942335e-06,1.121554e-05,1.271562e-05,1.527791e-05,1.596800e-05,1.972454e-05,2.021017e-05,2.400402e-05,2.605603e-05,2.881862e-05,3.283926e-05,3.417389e-05,4.006875e-05,4.056346e-05,4.649576e-05,4.921276e-05,5.344151e-05,5.875322e-05,6.088706e-05,6.880852e-05,6.913489e-05,7.717768e-05,8.029415e-05,8.596269e-05,9.215632e-05,9.512864e-05,1.046383e-04,1.144528e-04,1.176513e-04,1.245321e-04,1.311031e-04,1.348356e-04,1.449003e-04,1.453228e-04,1.559535e-04,1.589505e-04,1.666885e-04,1.731636e-04,1.774896e-04,1.874534e-04,1.883201e-04,1.991452e-04,2.017388e-04,2.099319e-04,2.159441e-04,2.206493e-04,2.300002e-04,2.312684e-04,2.417627e-04,2.438444e-04,2.521079e-04,2.574210e-04,2.622817e-04,2.706808e-04,2.722644e-04,2.820382e-04,2.835815e-04,2.915874e-04,2.960872e-04,3.008984e-04,3.081678e-04,3.099596e-04,3.187611e-04,3.197994e-04,3.272948e-04,3.309631e-04,3.355543e-04,3.416450e-04,3.435346e-04,3.512322e-04,3.518357e-04,3.586448e-04,3.615298e-04,3.657713e-04,3.707253e-04,3.726119e-04,3.791675e-04,3.794238e-04,3.854400e-04,3.876293e-04,3.914321e-04,3.953483e-04,3.971472e-04,4.025894e-04,4.077632e-04,4.093630e-04,4.126737e-04,4.156808e-04,4.173264e-04,4.215556e-04,4.217269e-04,4.258814e-04,4.270015e-04,4.297963e-04,4.320329e-04,4.334780e-04,4.366649e-04,4.369331e-04,4.401684e-04,4.409130e-04,4.431908e-04,4.447928e-04,4.460069e-04,4.483201e-04,4.486238e-04,4.510482e-04,4.515105e-04,4.532868e-04,4.543797e-04,4.553464e-04,4.569430e-04,4.572336e-04,4.589550e-04,4.592154e-04,4.605169e-04,4.612118e-04,4.619256e-04,4.629464e-04,4.631873e-04,4.643081e-04,4.644334e-04,4.652938e-04,4.656861e-04,4.661500e-04,4.667177e-04,4.668825e-04,4.674966e-04,4.675407e-04,4.679975e-04,4.681673e-04,4.683903e-04,4.686090e-04,4.686800e-04,4.688713e-04,4.688770e-04,4.689689e-04,4.689819e-04,4.689772e-04,4.689340e-04,4.689005e-04,4.687429e-04,4.684180e-04,4.679680e-04,4.674014e-04,4.667259e-04,4.659494e-04,4.650787e-04,4.641209e-04,4.630821e-04,4.619687e-04,4.607862e-04,4.595402e-04,4.582357e-04,4.568776e-04,4.554705e-04,4.540186e-04,4.525260e-04,4.509965e-04,4.494338e-04,4.478411e-04,4.462217e-04,4.445787e-04,4.429147e-04,4.412324e-04,4.395343e-04
0.000000e+00,3.597254e-09,8.372143e-09,2.938360e-08,6.790930e-08,1.000423e-07,2.345919e-07,2.420499e-07,4.911944e-07,5.865059e-07,8.960530e-07,1.235660e-06,1.507252e-06,2.269004e-06,2.343803e-06,3.380080e-06,3.654046e-06,4.577342e-06,5.306871e-06,5.906752e-06,7.171654e-06,7.350536e-06,8.897437e-06,9.218435e-06,1.053914e-05,1.142782e-05,1.226820e-05,1.378254e-05,1.407696e-05,1.595710e-05,1.626394e-05,1.789945e-05,1.885098e-05,1.989408e-05,2.152034e-05,2.193042e-05,2.399754e-05,2.424714e-05,2.608432e-05,2.700589e-05,2.817975e-05,2.977144e-05,3.027310e-05,3.235417e-05,3.251983e-05,3.441339e-05,3.522896e-05,3.644198e-05,3.787913e-05,3.843204e-05,4.037655e-05,4.045329e-05,4.226945e-05,4.293725e-05,4.410561e-05,4.531958e-05,4.588077e-05,4.759155e-05,4.923535e-05,4.974690e-05,5.081033e-05,5.178161e-05,5.231528e-05,5.369358e-05,5.374959e-05,5.511319e-05,5.548236e-05,5.640643e-05,5.714892e-05,5.763009e-05,5.869533e-05,5.878525e-05,5.987327e-05,6.012457e-05,6.089573e-05,6.144032e-05,6.185439e-05,6.264676e-05,6.275117e-05,6.358806e-05,6.374844e-05,6.436715e-05,6.475014e-05,6.509056e-05,6.565677e-05,6.576044e-05,6.637896e-05,6.647330e-05,6.694826e-05,6.720467e-05,6.747048e-05,6.785576e-05,6.794770e-05,6.838199e-05,6.843131e-05,6.877533e-05,6.893594e-05,6.912970e-05,6.937410e-05,6.944696e-05,6.972896e-05,6.975005e-05,6.997747e-05,7.006788e-05,7.019419e-05,7.033147e-05,7.038076e-05,7.053878e-05,7.054453e-05,7.066975e-05,7.071056e-05,7.077512e-05,7.083287e-05,7.085630e-05,7.091460e-05,7.095131e-05,7.095870e-05,7.096765e-05,7.096795e-05,7.096478e-05,7.094498e-05,7.094380e-05,7.090579e-05,7.089223e-05,7.085174e-05,7.081201e-05,7.078262e-05,7.070650e-05,7.069934e-05,7.060279e-05,7.057773e-05,7.049378e-05,7.042760e-05,7.037312e-05,7.025788e-05,7.024154e-05,7.009978e-05,7.007026e-05,6.994850e-05,6.986629e-05,6.978835e-05,6.964743e-05,6.961995e-05,6.944388e-05,6.941504e-05,6.926070e-05,6.917040e-05,6.907092e-05,6.891469e-05,6.887505e-05,6.867356e-05,6.864902e-05,6.846690e-05,6.837444e-05,6.825550e-05,6.809190e-05,6.803975e-05,6.782005e-05,6.780231e-05,6.759675e-05,6.750650e-05,6.737019e-05,6.720525e-05,6.714071e-05,6.690861e-05,6.689928e-05,6.667419e-05,6.658928e-05,6.643771e-05,6.627586e-05,6.619944e-05,6.595962e-05,6.564109e-05,6.532077e-05,6.499913e-05,6.467660e-05,6.435358e-05,6.403043e-05,6.370750e-05,6.338511e-05,6.306353e-05,6.274305e-05,6.242390e-05,6.210631e-05,6.179049e-05,6.147663e-05,6.116489e-05,6.085544e-05,6.054842e-05,6.024396e-05,5.994218e-05,5.964317e-05,5.934705e-05,5.905388e-05,5.876376e-05,5.847673e-05
0.000000e+00,3.139518e-12,1.556406e-11,1.644318e-10,7.680529e-10,1.544306e-09,6.843170e-09,7.216439e-09,2.312037e-08,3.058993e-08,5.860486e-08,9.459297e-08,1.267976e-07,2.328748e-07,2.445705e-07,4.313285e-07,4.886073e-07,7.064166e-07,9.053711e-07,1.086317e-06,1.516852e-06,1.582863e-06,2.202703e-06,2.341702e-06,2.947628e-06,3.383786e-06,3.815291e-06,4.634894e-06,4.799996e-06,5.893425e-06,6.077796e-06,7.085243e-06,7.688834e-06,8.363618e-06,9.440009e-06,9.715670e-06,1.112787e-05,1.130072e-05,1.258642e-05,1.323932e-05,1.407759e-05,1.522446e-05,1.558803e-05,1.710505e-05,1.722633e-05,1.861681e-05,1.921759e-05,2.011255e-05,2.117411e-05,2.158264e-05,2.301869e-05,2.307532e-05,2.441357e-05,2.490447e-05,2.576135e-05,2.664849e-05,2.705731e-05,2.829782e-05,2.948024e-05,2.984605e-05,3.060287e-05,3.128950e-05,3.166475e-05,3.262677e-05,3.266564e-05,3.360585e-05,3.385833e-05,3.448616e-05,3.498608e-05,3.530777e-05,3.601310e-05,3.607219e-05,3.678120e-05,3.694333e-05,3.743676e-05,3.778131e-05,3.804098e-05,3.853197e-05,3.859606e-05,3.910423e-05,3.920044e-05,3.956775e-05,3.979187e-05,3.998884e-05,4.031140e-05,4.036973e-05,4.071257e-05,4.076403e-05,4.101947e-05,4.115461e-05,4.129246e-05,4.148776e-05,4.153351e-05,4.174451e-05,4.176790e-05,4.192727e-05,4.199919e-05,4.208352e-05,4.218556e-05,4.221491e-05,4.232302e-05,4.233070e-05,4.240933e-05,4.243808e-05,4.247529e-05,4.251092e-05,4.252222e-05,4.255142e-05,4.255224e-05,4.256409e-05,4.256483e-05,4.256138e-05,4.255130e-05,4.254436e-05,4.251407e-05,4.247145e-05,4.245536e-05,4.241743e-05,4.237726e-05,4.235285e-05,4.228168e-05,4.227853e-05,4.219523e-05,4.217039e-05,4.210366e-05,4.204503e-05,4.200449e-05,4.190710e-05,4.189837e-05,4.178587e-05,4.175799e-05,4.166757e-05,4.159898e-05,4.154399e-05,4.143126e-05,4.141562e-05,4.128293e-05,4.125591e-05,4.114634e-05,4.107392e-05,4.100628e-05,4.088621e-05,4.086311e-05,4.071720e-05,4.069362e-05,4.056888e-05,4.049692e-05,4.041846e-05,4.029681e-05,4.026624e-05,4.011249e-05,4.009394e-05,3.995746e-05,3.988891e-05,3.980140e-05,3.968223e-05,3.964452e-05,3.948704e-05,3.947442e-05,3.932915e-05,3.926592e-05,3.917103e-05,3.905713e-05,3.901284e-05,3.885474e-05,3.884842e-05,3.869688e-05,3.864013e-05,3.853939e-05,3.843257e-05,3.838239e-05,3.822601e-05,3.802069e-05,3.781684e-05,3.761465e-05,3.741431e-05,3.721598e-05,3.701979e-05,3.682588e-05,3.663434e-05,3.644528e-05,3.625878e-05,3.607490e-05,3.589371e-05,3.571527e-05,3.553960e-05,3.536675e-05,3.519674e-05,3.502958e-05,3.486530e-05,3.470389e-05,3.454536e-05,3.438971e-05,3.423692e-05,3.408698e-05,3.393989e-05
0.000000e+00,2.660586e-11,1.210776e-10,1.077756e-09,4.338116e-09,8.062303e-09,2.943570e-08,3.080670e-08,8.258841e-08,1.043377e-07,1.787124e-07,2.645940e-07,3.359548e-07,5.499886e-07,5.722230e-07,9.049193e-07,1.000733e-06,1.347326e-06,1.645537e-06,1.905388e-06,2.491157e-06,2.577685e-06,3.357924e-06,3.526192e-06,4.237588e-06,4.731270e-06,5.207513e-06,6.085232e-06,6.258442e-06,7.381068e-06,7.566712e-06,8.565920e-06,9.153913e-06,9.803303e-06,1.082439e-05,1.108333e-05,1.239607e-05,1.255533e-05,1.373168e-05,1.432412e-05,1.508063e-05,1.610914e-05,1.643384e-05,1.778289e-05,1.789040e-05,1.912007e-05,1.965006e-05,2.043852e-05,2.137280e-05,2.173222e-05,2.299602e-05,2.304589e-05,2.422562e-05,2.465920e-05,2.541750e-05,2.620500e-05,2.656891e-05,2.767777e-05,2.874262e-05,2.907391e-05,2.976252e-05,3.039143e-05,3.073700e-05,3.162970e-05,3.166599e-05,3.254974e-05,3.278914e-05,3.338876e-05,3.387101e-05,3.418381e-05,3.487724e-05,3.493584e-05,3.564592e-05,3.581022e-05,3.631524e-05,3.667273e-05,3.694507e-05,3.746773e-05,3.753676e-05,3.809165e-05,3.819833e-05,3.861112e-05,3.886770e-05,3.909655e-05,3.947904e-05,3.954935e-05,3.997086e-05,4.003548e-05,4.036242e-05,4.054013e-05,4.072537e-05,4.099597e-05,4.106096e-05,4.137046e-05,4.140591e-05,4.165508e-05,4.177273e-05,4.191598e-05,4.209910e-05,4.215429e-05,4.237111e-05,4.238756e-05,4.256749e-05,4.264054e-05,4.274442e-05,4.286033e-05,4.290290e-05,4.304383e-05,4.304912e-05,4.316813e-05,4.320897e-05,4.327664e-05,4.334183e-05,4.337019e-05,4.344954e-05,4.351547e-05,4.353384e-05,4.356867e-05,4.359637e-05,4.360984e-05,4.363866e-05,4.363964e-05,4.365867e-05,4.366216e-05,4.366755e-05,4.366824e-05,4.366683e-05,4.365817e-05,4.365707e-05,4.363878e-05,4.363317e-05,4.361244e-05,4.359436e-05,4.357854e-05,4.354280e-05,4.353751e-05,4.348979e-05,4.347948e-05,4.343579e-05,4.340535e-05,4.337588e-05,4.332126e-05,4.331043e-05,4.323981e-05,4.322805e-05,4.316433e-05,4.312647e-05,4.308432e-05,4.301726e-05,4.300009e-05,4.291191e-05,4.290107e-05,4.282006e-05,4.277855e-05,4.272480e-05,4.265028e-05,4.262638e-05,4.252503e-05,4.251681e-05,4.242098e-05,4.237865e-05,4.231444e-05,4.223629e-05,4.220560e-05,4.209466e-05,4.209018e-05,4.198180e-05,4.194074e-05,4.186720e-05,4.178835e-05,4.175101e-05,4.163339e-05,4.147620e-05,4.131709e-05,4.115636e-05,4.099429e-05,4.083113e-05,4.066712e-05,4.050249e-05,4.033745e-05,4.017217e-05,4.000685e-05,3.984164e-05,3.967671e-05,3.951218e-05,3.934819e-05,3.918487e-05,3.902231e-05,3.886063e-05,3.869992e-05,3.854027e-05,3.838174e-05,3.822443e-05,3.806838e-05,3.791367e-05,3.776034e-05
0.000000e+00,3.648360e-09,8.951913e-09,3.308222e-08,7.778606e-08,1.148767e-07,2.664154e-07,2.746279e-07,5.388370e-07,6.354247e-07,9.367003e-07,1.252990e-06,1.500671e-06,2.194284e-06,2.263244e-06,3.246717e-06,3.516086e-06,4.449988e-06,5.210960e-06,5.847605e-06,7.209795e-06,7.403733e-06,9.084683e-06,9.433301e-06,1.086257e-05,1.181759e-05,1.271435e-05,1.431231e-05,1.462010e-05,1.656191e-05,1.687482e-05,1.852327e-05,1.946715e-05,2.048896e-05,2.205519e-05,2.244500e-05,2.437881e-05,2.460883e-05,2.627927e-05,2.710237e-05,2.813677e-05,2.951472e-05,2.994323e-05,3.169201e-05,3.182926e-05,3.337792e-05,3.403377e-05,3.499706e-05,3.611991e-05,3.654668e-05,3.802503e-05,3.808266e-05,3.943126e-05,3.991981e-05,4.076528e-05,4.163139e-05,4.202757e-05,4.321917e-05,4.434150e-05,4.468629e-05,4.539629e-05,4.603682e-05,4.638552e-05,4.727551e-05,4.731136e-05,4.817608e-05,4.840757e-05,4.898204e-05,4.943841e-05,4.973164e-05,5.037358e-05,5.042731e-05,5.107143e-05,5.121862e-05,5.166639e-05,5.197896e-05,5.221451e-05,5.265991e-05,5.271806e-05,5.317926e-05,5.326661e-05,5.360026e-05,5.380397e-05,5.398311e-05,5.427668e-05,5.432980e-05,5.464227e-05,5.468921e-05,5.492234e-05,5.504579e-05,5.517178e-05,5.535042e-05,5.539228e-05,5.558544e-05,5.560685e-05,5.575280e-05,5.581865e-05,5.589584e-05,5.598914e-05,5.601594e-05,5.611446e-05,5.612144e-05,5.619264e-05,5.621850e-05,5.625171e-05,5.628304e-05,5.629280e-05,5.631702e-05,5.631765e-05,5.632539e-05,5.632472e-05,5.631890e-05,5.630649e-05,5.629850e-05,5.626505e-05,5.621941e-05,5.620236e-05,5.616237e-05,5.612024e-05,5.609469e-05,5.602038e-05,5.601710e-05,5.593025e-05,5.590437e-05,5.583481e-05,5.577367e-05,5.573138e-05,5.562967e-05,5.562054e-05,5.550283e-05,5.547362e-05,5.537878e-05,5.530672e-05,5.524886e-05,5.513006e-05,5.511355e-05,5.497329e-05,5.494468e-05,5.482847e-05,5.475151e-05,5.467951e-05,5.455143e-05,5.452675e-05,5.437057e-05,5.434528e-05,5.421127e-05,5.413380e-05,5.404918e-05,5.391769e-05,5.388458e-05,5.371776e-05,5.369760e-05,5.354897e-05,5.347414e-05,5.337846e-05,5.324787e-05,5.320646e-05,5.303320e-05,5.301928e-05,5.285886e-05,5.278887e-05,5.268366e-05,5.255707e-05,5.250776e-05,5.233135e-05,5.232428e-05,5.215457e-05,5.209088e-05,5.197759e-05,5.185720e-05,5.180054e-05,5.162356e-05,5.139025e-05,5.115754e-05,5.092567e-05,5.069486e-05,5.046531e-05,5.023720e-05,5.001071e-05,4.978599e-05,4.956318e-05,4.934239e-05,4.912374e-05,4.890733e-05,4.869326e-05,4.848159e-05,4.827241e-05,4.806576e-05,4.786171e-05,4.766030e-05,4.746157e-05,4.726556e-05,4.707228e-05,4.688176e-05,4.669402e-05,4.650906e-05
0.000000e+00,8.494354e-10,2.914536e-09,1.605272e-08,4.607303e-08,7.340695e-08,1.951822e-07,2.020755e-07,4.332874e-07,5.212538e-07,8.039417e-07,1.110894e-06,1.356329e-06,2.055405e-06,2.125227e-06,3.113760e-06,3.380491e-06,4.288960e-06,5.011588e-06,5.605666e-06,6.850641e-06,7.025423e-06,8.519293e-06,8.824896e-06,1.006466e-05,1.088214e-05,1.164233e-05,1.297986e-05,1.323504e-05,1.482688e-05,1.508050e-05,1.640330e-05,1.715061e-05,1.795124e-05,1.916138e-05,1.945932e-05,2.091800e-05,2.108934e-05,2.231958e-05,2.291661e-05,2.365819e-05,2.463080e-05,2.492966e-05,2.613135e-05,2.622442e-05,2.726196e-05,2.769423e-05,2.832134e-05,2.904040e-05,2.931028e-05,3.023025e-05,3.026565e-05,3.108333e-05,3.137454e-05,3.187202e-05,3.237297e-05,3.259911e-05,3.326755e-05,3.388043e-05,3.406533e-05,3.444086e-05,3.477343e-05,3.495192e-05,3.539888e-05,3.541662e-05,3.583791e-05,3.594848e-05,3.621861e-05,3.642868e-05,3.656142e-05,3.684556e-05,3.686892e-05,3.714351e-05,3.720477e-05,3.738749e-05,3.751154e-05,3.760299e-05,3.777069e-05,3.779204e-05,3.795652e-05,3.798663e-05,3.809821e-05,3.816342e-05,3.821873e-05,3.830475e-05,3.831964e-05,3.840235e-05,3.841398e-05,3.846820e-05,3.849418e-05,3.851843e-05,3.854814e-05,3.855419e-05,3.857656e-05,3.857839e-05,3.858653e-05,3.858723e-05,3.858504e-05,3.857677e-05,3.857294e-05,3.855105e-05,3.854890e-05,3.852011e-05,3.850536e-05,3.848081e-05,3.844772e-05,3.843381e-05,3.837971e-05,3.837741e-05,3.831907e-05,3.829574e-05,3.825241e-05,3.820389e-05,3.818022e-05,3.810295e-05,3.802103e-05,3.799389e-05,3.793484e-05,3.787762e-05,3.784477e-05,3.775495e-05,3.775114e-05,3.765429e-05,3.762663e-05,3.755450e-05,3.749333e-05,3.745205e-05,3.735568e-05,3.734721e-05,3.724022e-05,3.721425e-05,3.713130e-05,3.706955e-05,3.702067e-05,3.692205e-05,3.690852e-05,3.679504e-05,3.677220e-05,3.668040e-05,3.662038e-05,3.656475e-05,3.646695e-05,3.644826e-05,3.633105e-05,3.631225e-05,3.621327e-05,3.615657e-05,3.609503e-05,3.600019e-05,3.597645e-05,3.585763e-05,3.584336e-05,3.573868e-05,3.568632e-05,3.561968e-05,3.552926e-05,3.550072e-05,3.538190e-05,3.537240e-05,3.526327e-05,3.521589e-05,3.514491e-05,3.505989e-05,3.502688e-05,3.490926e-05,3.490456e-05,3.479209e-05,3.475003e-05,3.467542e-05,3.459640e-05,3.455931e-05,3.444380e-05,3.429233e-05,3.414206e-05,3.399308e-05,3.384546e-05,3.369928e-05,3.355457e-05,3.341141e-05,3.326982e-05,3.312986e-05,3.299156e-05,3.285495e-05,3.272005e-05,3.258688e-05,3.245548e-05,3.232584e-05,3.219799e-05,3.207193e-05,3.194766e-05,3.182521e-05,3.170455e-05,3.158570e-05,3.146865e-05,3.135340e-05,3.123994e-05
0.000000e+00,2.682016e-12,1.366224e-11,1.529229e-10,7.546874e-10,1.565939e-09,7.567127e-09,8.009567e-09,2.823968e-08,3.841455e-08,7.913189e-08,1.356783e-07,1.891672e-07,3.781459e-07,3.998845e-07,7.632684e-07,8.795198e-07,1.336541e-06,1.770720e-06,2.176966e-06,3.180067e-06,3.337931e-06,4.866435e-06,5.219836e-06,6.801672e-06,7.979280e-06,9.174364e-06,1.152187e-05,1.200656e-05,1.531170e-05,1.588487e-05,1.909495e-05,2.108022e-05,2.335356e-05,2.709615e-05,2.807744e-05,3.324981e-05,3.389961e-05,3.884794e-05,4.143899e-05,4.484398e-05,4.964747e-05,5.120582e-05,5.789799e-05,5.844651e-05,6.488261e-05,6.774955e-05,7.212025e-05,7.746548e-05,7.957074e-05,8.719395e-05,8.750191e-05,9.495046e-05,9.776803e-05,1.028021e-04,1.081769e-04,1.107124e-04,1.186471e-04,1.265742e-04,1.291044e-04,1.344642e-04,1.394820e-04,1.422905e-04,1.497214e-04,1.500290e-04,1.576582e-04,1.597722e-04,1.651594e-04,1.695917e-04,1.725162e-04,1.791451e-04,1.797149e-04,1.867435e-04,1.884040e-04,1.935926e-04,1.973466e-04,2.002543e-04,2.059567e-04,2.067225e-04,2.129929e-04,2.142229e-04,2.190622e-04,2.221381e-04,2.249286e-04,2.296990e-04,2.305913e-04,2.360505e-04,2.369052e-04,2.413072e-04,2.437590e-04,2.463632e-04,2.502649e-04,2.512206e-04,2.558825e-04,2.564289e-04,2.603520e-04,2.622586e-04,2.646328e-04,2.677625e-04,2.687290e-04,2.726446e-04,2.729502e-04,2.763840e-04,2.778315e-04,2.799518e-04,2.824170e-04,2.833526e-04,2.865911e-04,2.867173e-04,2.896720e-04,2.907435e-04,2.926000e-04,2.945062e-04,2.953800e-04,2.980166e-04,3.005145e-04,3.012853e-04,3.028784e-04,3.043230e-04,3.051127e-04,3.071401e-04,3.072221e-04,3.092109e-04,3.097467e-04,3.110834e-04,3.121529e-04,3.128439e-04,3.143682e-04,3.144965e-04,3.160453e-04,3.164020e-04,3.174941e-04,3.182633e-04,3.188469e-04,3.199608e-04,3.201073e-04,3.212791e-04,3.215031e-04,3.223657e-04,3.228983e-04,3.233707e-04,3.241541e-04,3.242972e-04,3.251486e-04,3.252780e-04,3.259279e-04,3.262773e-04,3.266383e-04,3.271589e-04,3.272826e-04,3.278637e-04,3.279293e-04,3.283843e-04,3.285949e-04,3.288471e-04,3.291618e-04,3.292547e-04,3.296096e-04,3.296358e-04,3.299141e-04,3.300224e-04,3.301706e-04,3.303268e-04,3.303814e-04,3.305484e-04,3.305542e-04,3.306740e-04,3.307094e-04,3.307599e-04,3.307968e-04,3.308083e-04,3.308209e-04,3.307859e-04,3.306956e-04,3.305539e-04,3.303643e-04,3.301302e-04,3.298549e-04,3.295413e-04,3.291925e-04,3.288111e-04,3.283998e-04,3.279610e-04,3.274970e-04,3.270102e-04,3.265025e-04,3.259760e-04,3.254324e-04,3.248737e-04,3.243013e-04,3.237170e-04,3.231222e-04,3.225182e-04,3.219064e-04,3.212879e-04,3.206641e-04
0.000000e+00,3.185477e-09,7.703681e-09,2.808573e-08,6.575800e-08,9.705668e-08,2.256413e-07,2.326445e-07,4.597898e-07,5.436597e-07,8.076490e-07,1.087639e-06,1.307946e-06,1.923727e-06,1.984557e-06,2.840009e-06,3.070356e-06,3.858609e-06,4.492898e-06,5.020848e-06,6.149456e-06,6.310488e-06,7.714482e-06,8.007979e-06,9.221308e-06,1.004177e-05,1.081972e-05,1.222474e-05,1.249818e-05,1.424467e-05,1.452959e-05,1.604680e-05,1.692791e-05,1.789204e-05,1.939091e-05,1.976796e-05,2.166250e-05,2.189055e-05,2.356425e-05,2.440055e-05,2.546264e-05,2.689721e-05,2.734804e-05,2.921187e-05,2.935982e-05,3.104663e-05,3.177092e-05,3.284589e-05,3.411629e-05,3.460422e-05,3.631721e-05,3.638473e-05,3.798131e-05,3.856787e-05,3.959379e-05,4.065974e-05,4.115265e-05,4.265650e-05,4.410453e-05,4.455603e-05,4.549636e-05,4.635766e-05,4.683206e-05,4.806185e-05,4.811198e-05,4.933678e-05,4.966996e-05,5.050732e-05,5.118403e-05,5.162465e-05,5.260662e-05,5.268996e-05,5.370454e-05,5.394064e-05,5.466977e-05,5.518927e-05,5.558708e-05,5.635584e-05,5.645794e-05,5.728384e-05,5.744376e-05,5.806629e-05,5.845648e-05,5.880678e-05,5.939745e-05,5.950680e-05,6.016783e-05,6.027007e-05,6.079131e-05,6.107766e-05,6.137866e-05,6.182346e-05,6.193127e-05,6.245050e-05,6.251063e-05,6.293766e-05,6.314219e-05,6.339404e-05,6.372108e-05,6.382089e-05,6.421941e-05,6.425010e-05,6.459077e-05,6.473197e-05,6.493611e-05,6.516925e-05,6.525651e-05,6.555304e-05,6.556442e-05,6.582671e-05,6.591982e-05,6.607849e-05,6.623770e-05,6.630935e-05,6.652020e-05,6.671190e-05,6.676934e-05,6.688531e-05,6.698707e-05,6.704124e-05,6.717522e-05,6.718048e-05,6.730377e-05,6.733554e-05,6.741184e-05,6.746967e-05,6.750539e-05,6.757920e-05,6.758508e-05,6.765155e-05,6.766561e-05,6.770543e-05,6.773031e-05,6.774729e-05,6.777465e-05,6.777772e-05,6.779725e-05,6.779990e-05,6.780641e-05,6.780725e-05,6.780570e-05,6.779783e-05,6.779561e-05,6.777659e-05,6.777274e-05,6.774908e-05,6.773299e-05,6.771352e-05,6.767954e-05,6.767030e-05,6.761983e-05,6.761330e-05,6.756247e-05,6.753514e-05,6.749858e-05,6.744587e-05,6.742851e-05,6.735259e-05,6.734627e-05,6.727113e-05,6.723706e-05,6.718443e-05,6.711893e-05,6.709279e-05,6.699648e-05,6.699253e-05,6.689577e-05,6.685849e-05,6.679091e-05,6.671737e-05,6.668215e-05,6.656972e-05,6.641608e-05,6.625692e-05,6.609270e-05,6.592387e-05,6.575082e-05,6.557396e-05,6.539365e-05,6.521023e-05,6.502402e-05,6.483534e-05,6.464447e-05,6.445168e-05,6.425723e-05,6.406136e-05,6.386430e-05,6.366625e-05,6.346743e-05,6.326802e-05,6.306820e-05,6.286813e-05,6.266797e-05,6.246786e-05,6.226795e-05,6.206836e-05
0.000000e+00,1.458379e-12,7.521423e-12,8.626803e-11,4.343247e-10,9.099451e-10,4.482050e-09,4.746805e-09,1.686775e-08,2.294628e-08,4.710353e-08,8.032754e-08,1.115720e-07,2.218513e-07,2.345879e-07,4.506440e-07,5.212199e-07,8.059803e-07,1.087073e-06,1.358894e-06,2.063335e-06,2.178187e-06,3.339990e-06,3.620431e-06,4.923747e-06,5.940321e-06,7.008168e-06,9.200595e-06,9.667617e-06,1.296915e-05,1.356098e-05,1.697028e-05,1.915338e-05,2.171735e-05,2.607550e-05,2.724458e-05,3.357357e-05,3.438747e-05,4.071321e-05,4.411100e-05,4.866004e-05,5.523053e-05,5.739884e-05,6.690347e-05,6.769591e-05,7.713791e-05,8.142627e-05,8.805739e-05,9.631452e-05,9.960967e-05,1.117364e-04,1.122325e-04,1.243742e-04,1.290361e-04,1.374562e-04,1.465705e-04,1.509132e-04,1.646748e-04,1.786703e-04,1.831869e-04,1.928300e-04,2.019469e-04,2.070858e-04,2.208008e-04,2.213721e-04,2.356261e-04,2.396033e-04,2.497888e-04,2.582195e-04,2.638051e-04,2.765268e-04,2.776239e-04,2.911989e-04,2.944158e-04,3.044879e-04,3.117908e-04,3.174537e-04,3.285700e-04,3.300634e-04,3.422887e-04,3.446854e-04,3.541054e-04,3.600819e-04,3.654937e-04,3.747170e-04,3.764377e-04,3.869251e-04,3.885600e-04,3.969471e-04,4.015907e-04,4.064984e-04,4.137985e-04,4.155762e-04,4.241806e-04,4.251814e-04,4.323141e-04,4.357448e-04,4.399815e-04,4.455009e-04,4.471892e-04,4.539457e-04,4.544670e-04,4.602605e-04,4.626652e-04,4.661447e-04,4.701214e-04,4.716103e-04,4.766701e-04,4.768642e-04,4.813376e-04,4.829246e-04,4.856270e-04,4.883350e-04,4.895526e-04,4.931291e-04,4.963715e-04,4.973409e-04,4.992946e-04,5.010046e-04,5.019132e-04,5.041543e-04,5.042421e-04,5.062958e-04,5.068235e-04,5.080885e-04,5.090448e-04,5.096343e-04,5.108499e-04,5.109467e-04,5.120389e-04,5.122697e-04,5.129237e-04,5.133333e-04,5.136136e-04,5.140689e-04,5.141204e-04,5.144557e-04,5.145032e-04,5.146306e-04,5.146616e-04,5.146555e-04,5.145681e-04,5.145407e-04,5.142958e-04,5.142451e-04,5.139298e-04,5.137138e-04,5.134517e-04,5.129941e-04,5.128698e-04,5.121918e-04,5.121043e-04,5.114252e-04,5.110617e-04,5.105772e-04,5.098823e-04,5.096544e-04,5.086631e-04,5.085810e-04,5.076093e-04,5.071715e-04,5.064985e-04,5.056664e-04,5.053360e-04,5.041269e-04,5.040776e-04,5.028757e-04,5.024158e-04,5.015867e-04,5.006909e-04,5.002642e-04,4.989119e-04,4.970874e-04,4.952249e-04,4.933313e-04,4.914131e-04,4.894760e-04,4.875253e-04,4.855659e-04,4.836020e-04,4.816375e-04,4.796762e-04,4.777211e-04,4.757751e-04,4.738409e-04,4.719207e-04,4.700166e-04,4.681305e-04,4.662639e-04,4.644183e-04,4.625950e-04,4.607950e-04,4.590194e-04,4.572689e-04,4.555443e-04,4.538461e-04
0.000000e+00,5.390458e-11,2.478544e-10,2.251251e-09,9.217681e-09,1.728396e-08,6.448807e-08,6.754905e-08,1.847832e-07,2.346996e-07,4.074049e-07,6.096855e-07,7.794916e-07,1.295263e-06,1.349254e-06,2.162400e-06,2.397706e-06,3.250280e-06,3.983791e-06,4.621993e-06,6.055653e-06,6.266763e-06,8.162128e-06,8.568931e-06,1.028122e-05,1.146244e-05,1.259662e-05,1.467365e-05,1.508155e-05,1.770972e-05,1.814177e-05,2.045502e-05,2.180670e-05,2.329135e-05,2.560851e-05,2.619277e-05,2.913385e-05,2.948827e-05,3.209013e-05,3.338972e-05,3.503862e-05,3.726117e-05,3.795817e-05,4.082985e-05,4.105700e-05,4.363705e-05,4.473864e-05,4.636566e-05,4.827494e-05,4.900398e-05,5.154264e-05,5.164200e-05,5.397446e-05,5.482271e-05,5.629431e-05,5.780608e-05,5.849884e-05,6.058623e-05,6.255600e-05,6.316156e-05,6.440878e-05,6.553385e-05,6.614613e-05,6.770751e-05,6.777034e-05,6.928431e-05,6.968891e-05,7.069131e-05,7.148562e-05,7.199485e-05,7.310591e-05,7.319864e-05,7.430665e-05,7.455879e-05,7.532309e-05,7.585390e-05,7.625224e-05,7.700102e-05,7.709829e-05,7.786539e-05,7.800969e-05,7.855757e-05,7.888919e-05,7.917872e-05,7.964836e-05,7.973262e-05,8.022294e-05,8.029573e-05,8.065321e-05,8.083941e-05,8.102681e-05,8.128706e-05,8.134697e-05,8.161679e-05,8.164593e-05,8.183928e-05,8.192293e-05,8.201731e-05,8.212454e-05,8.215358e-05,8.225067e-05,8.225682e-05,8.231104e-05,8.232543e-05,8.233702e-05,8.233568e-05,8.233083e-05,8.229460e-05,8.229255e-05,8.223030e-05,8.220065e-05,8.213983e-05,8.206427e-05,8.202497e-05,8.188743e-05,8.172879e-05,8.167383e-05,8.155060e-05,8.142696e-05,8.135428e-05,8.115003e-05,8.114120e-05,8.091263e-05,8.084603e-05,8.066979e-05,8.051772e-05,8.041382e-05,8.016765e-05,8.014579e-05,7.986672e-05,7.979821e-05,7.957757e-05,7.941159e-05,7.927925e-05,7.900981e-05,7.897260e-05,7.865843e-05,7.859476e-05,7.833748e-05,7.816815e-05,7.801047e-05,7.773159e-05,7.767807e-05,7.734089e-05,7.728654e-05,7.699953e-05,7.683436e-05,7.665455e-05,7.637630e-05,7.630645e-05,7.595574e-05,7.591350e-05,7.560286e-05,7.544702e-05,7.524824e-05,7.497782e-05,7.489229e-05,7.453537e-05,7.450679e-05,7.417784e-05,7.403473e-05,7.382003e-05,7.356240e-05,7.346224e-05,7.310475e-05,7.309046e-05,7.274784e-05,7.261953e-05,7.239174e-05,7.215018e-05,7.203669e-05,7.168291e-05,7.121818e-05,7.075641e-05,7.029799e-05,6.984324e-05,6.939248e-05,6.894598e-05,6.850397e-05,6.806668e-05,6.763429e-05,6.720697e-05,6.678486e-05,6.636809e-05,6.595676e-05,6.555096e-05,6.515077e-05,6.475624e-05,6.436741e-05,6.398433e-05,6.360701e-05,6.323547e-05,6.286971e-05,6.250972e-05,6.215549e-05,6.180700e-05
0.000000e+00,6.994714e-10,2.385550e-09,1.305278e-08,3.738148e-08,5.952399e-08,1.579716e-07,1.635303e-07,3.488556e-07,4.187677e-07,6.413865e-07,8.802982e-07,1.069987e-06,1.609021e-06,1.663048e-06,2.438352e-06,2.651866e-06,3.395772e-06,4.007144e-06,4.523247e-06,5.644806e-06,5.806615e-06,7.233576e-06,7.535246e-06,8.793458e-06,9.653745e-06,1.047605e-05,1.197651e-05,1.227073e-05,1.416607e-05,1.447786e-05,1.614973e-05,1.712941e-05,1.820852e-05,1.990041e-05,2.032867e-05,2.249613e-05,2.275873e-05,2.469679e-05,2.567203e-05,2.691688e-05,2.860900e-05,2.914321e-05,3.136337e-05,3.154036e-05,3.356588e-05,3.443958e-05,3.574035e-05,3.728338e-05,3.787754e-05,3.996935e-05,4.005198e-05,4.200885e-05,4.272912e-05,4.399025e-05,4.530195e-05,4.590881e-05,4.776086e-05,4.954357e-05,5.009900e-05,5.125475e-05,5.231177e-05,5.289318e-05,5.439697e-05,5.445815e-05,5.594957e-05,5.635403e-05,5.736781e-05,5.818391e-05,5.871361e-05,5.988873e-05,5.998810e-05,6.119264e-05,6.147150e-05,6.232883e-05,6.293590e-05,6.339844e-05,6.428613e-05,6.440337e-05,6.534564e-05,6.552675e-05,6.622731e-05,6.666254e-05,6.705052e-05,6.769840e-05,6.781741e-05,6.853013e-05,6.863928e-05,6.919083e-05,6.949011e-05,6.980163e-05,7.025576e-05,7.036463e-05,7.088188e-05,7.094097e-05,7.135540e-05,7.155039e-05,7.178713e-05,7.208848e-05,7.217900e-05,7.253284e-05,7.255956e-05,7.285047e-05,7.296777e-05,7.313361e-05,7.331705e-05,7.338393e-05,7.360306e-05,7.361120e-05,7.379255e-05,7.385381e-05,7.395391e-05,7.404830e-05,7.408857e-05,7.419792e-05,7.428328e-05,7.430575e-05,7.434594e-05,7.437470e-05,7.438712e-05,7.440753e-05,7.440799e-05,7.440967e-05,7.440685e-05,7.439324e-05,7.437512e-05,7.435972e-05,7.431464e-05,7.431010e-05,7.424532e-05,7.422761e-05,7.416627e-05,7.411609e-05,7.407381e-05,7.398200e-05,7.396876e-05,7.385191e-05,7.382719e-05,7.372399e-05,7.365334e-05,7.358573e-05,7.346208e-05,7.343779e-05,7.328082e-05,7.325491e-05,7.311545e-05,7.303326e-05,7.294225e-05,7.279844e-05,7.276179e-05,7.257460e-05,7.255171e-05,7.238118e-05,7.229423e-05,7.218201e-05,7.202709e-05,7.197756e-05,7.176825e-05,7.175131e-05,7.155451e-05,7.146786e-05,7.133672e-05,7.117761e-05,7.111525e-05,7.089047e-05,7.088142e-05,7.066271e-05,7.058004e-05,7.043228e-05,7.027422e-05,7.019949e-05,6.996462e-05,6.965188e-05,6.933658e-05,6.901927e-05,6.870046e-05,6.838060e-05,6.806015e-05,6.773950e-05,6.741902e-05,6.709907e-05,6.677996e-05,6.646197e-05,6.614540e-05,6.583047e-05,6.551742e-05,6.520646e-05,6.489777e-05,6.459154e-05,6.428791e-05,6.398703e-05,6.368903e-05,6.339403e-05,6.310212e-05,6.281340e-05,6.252795e-05
0.000000e+00,3.546037e-09,8.258744e-09,2.889379e-08,6.636859e-08,9.733267e-08,2.246814e-07,2.316446e-07,4.594309e-07,5.443380e-07,8.125018e-07,1.094403e-06,1.311636e-06,1.891080e-06,1.946153e-06,2.687635e-06,2.878692e-06,3.512376e-06,4.004278e-06,4.403901e-06,5.233318e-06,5.349194e-06,6.336342e-06,6.537769e-06,7.353739e-06,7.890964e-06,8.390064e-06,9.267293e-06,9.434534e-06,1.047723e-05,1.064328e-05,1.150931e-05,1.199868e-05,1.252323e-05,1.331702e-05,1.351270e-05,1.447274e-05,1.458577e-05,1.539954e-05,1.579606e-05,1.629035e-05,1.694215e-05,1.714336e-05,1.795751e-05,1.802095e-05,1.873238e-05,1.903134e-05,1.946808e-05,1.997378e-05,2.016508e-05,2.082419e-05,2.084978e-05,2.144643e-05,2.166164e-05,2.203298e-05,2.241210e-05,2.258512e-05,2.310420e-05,2.359162e-05,2.374113e-05,2.404877e-05,2.432610e-05,2.447704e-05,2.486229e-05,2.487781e-05,2.525241e-05,2.535279e-05,2.560215e-05,2.580058e-05,2.592827e-05,2.620849e-05,2.623199e-05,2.651447e-05,2.657922e-05,2.677680e-05,2.691531e-05,2.702006e-05,2.721914e-05,2.724524e-05,2.745332e-05,2.749297e-05,2.764521e-05,2.773888e-05,2.782176e-05,2.795883e-05,2.798382e-05,2.813216e-05,2.815468e-05,2.826753e-05,2.832811e-05,2.839063e-05,2.848072e-05,2.850212e-05,2.860264e-05,2.861400e-05,2.869280e-05,2.872932e-05,2.877314e-05,2.882798e-05,2.884422e-05,2.890654e-05,2.891116e-05,2.896058e-05,2.897998e-05,2.900680e-05,2.903547e-05,2.904563e-05,2.907747e-05,2.907861e-05,2.910272e-05,2.911027e-05,2.912174e-05,2.913130e-05,2.913488e-05,2.914247e-05,2.914481e-05,2.914450e-05,2.914221e-05,2.913807e-05,2.913493e-05,2.912381e-05,2.912326e-05,2.910743e-05,2.910228e-05,2.908768e-05,2.907405e-05,2.906425e-05,2.903961e-05,2.903734e-05,2.900715e-05,2.899944e-05,2.897389e-05,2.895398e-05,2.893772e-05,2.890364e-05,2.889883e-05,2.885738e-05,2.884880e-05,2.881352e-05,2.878981e-05,2.876740e-05,2.872702e-05,2.871917e-05,2.866895e-05,2.866074e-05,2.861687e-05,2.859125e-05,2.856306e-05,2.851883e-05,2.850762e-05,2.845067e-05,2.844373e-05,2.839230e-05,2.836620e-05,2.833262e-05,2.828645e-05,2.827173e-05,2.820970e-05,2.820469e-05,2.814662e-05,2.812112e-05,2.808258e-05,2.803591e-05,2.801765e-05,2.795189e-05,2.794925e-05,2.788539e-05,2.786128e-05,2.781821e-05,2.777217e-05,2.775040e-05,2.768204e-05,2.759103e-05,2.749926e-05,2.740685e-05,2.731390e-05,2.722051e-05,2.712679e-05,2.703281e-05,2.693866e-05,2.684442e-05,2.675015e-05,2.665594e-05,2.656183e-05,2.646788e-05,2.637416e-05,2.628072e-05,2.618759e-05,2.609483e-05,2.600248e-05,2.591058e-05,2.581916e-05,2.572825e-05,2.563789e-05,2.554811e-05,2.545892e-05
0.000000e+00,2.307408e-09,5.287447e-09,1.819500e-08,4.139524e-08,6.038158e-08,1.368556e-07,1.409661e-07,2.719569e-07,3.193443e-07,4.657961e-07,6.177123e-07,7.356256e-07,1.062389e-06,1.094684e-06,1.553901e-06,1.679721e-06,2.118058e-06,2.478920e-06,2.784010e-06,3.447580e-06,3.543291e-06,4.385961e-06,4.563654e-06,5.302565e-06,5.805515e-06,6.284430e-06,7.153638e-06,7.323374e-06,8.411404e-06,8.589512e-06,9.540554e-06,1.009481e-05,1.070286e-05,1.165125e-05,1.189041e-05,1.309543e-05,1.324085e-05,1.431046e-05,1.484639e-05,1.552839e-05,1.645186e-05,1.674261e-05,1.794708e-05,1.804285e-05,1.913639e-05,1.960678e-05,2.030576e-05,2.113300e-05,2.145102e-05,2.256864e-05,2.261272e-05,2.365572e-05,2.403913e-05,2.470991e-05,2.540702e-05,2.572939e-05,2.671278e-05,2.765915e-05,2.795406e-05,2.856792e-05,2.912967e-05,2.943883e-05,3.023931e-05,3.027191e-05,3.106740e-05,3.128345e-05,3.182573e-05,3.226313e-05,3.254749e-05,3.317983e-05,3.323341e-05,3.388431e-05,3.403542e-05,3.450111e-05,3.483197e-05,3.508476e-05,3.557175e-05,3.563627e-05,3.615668e-05,3.625713e-05,3.664705e-05,3.689052e-05,3.710843e-05,3.747436e-05,3.754188e-05,3.794846e-05,3.801109e-05,3.832920e-05,3.850309e-05,3.868514e-05,3.895270e-05,3.901727e-05,3.932657e-05,3.936220e-05,3.961399e-05,3.973377e-05,3.988047e-05,4.006954e-05,4.012691e-05,4.035417e-05,4.037155e-05,4.056310e-05,4.064173e-05,4.075453e-05,4.088195e-05,4.092923e-05,4.108796e-05,4.109399e-05,4.123146e-05,4.127953e-05,4.136044e-05,4.144019e-05,4.147556e-05,4.157748e-05,4.166682e-05,4.169286e-05,4.174420e-05,4.178770e-05,4.181018e-05,4.186331e-05,4.186531e-05,4.191014e-05,4.192091e-05,4.194516e-05,4.196168e-05,4.197088e-05,4.198671e-05,4.198775e-05,4.199622e-05,4.199706e-05,4.199673e-05,4.199369e-05,4.198969e-05,4.197755e-05,4.197548e-05,4.195449e-05,4.194951e-05,4.192708e-05,4.191041e-05,4.189360e-05,4.186101e-05,4.185436e-05,4.180970e-05,4.180207e-05,4.175991e-05,4.173428e-05,4.170529e-05,4.165829e-05,4.164610e-05,4.158261e-05,4.157471e-05,4.151508e-05,4.148414e-05,4.144374e-05,4.138712e-05,4.136883e-05,4.129056e-05,4.128416e-05,4.120915e-05,4.117576e-05,4.112480e-05,4.106236e-05,4.103770e-05,4.094804e-05,4.094440e-05,4.085598e-05,4.082228e-05,4.076169e-05,4.069638e-05,4.066534e-05,4.056707e-05,4.043467e-05,4.029949e-05,4.016185e-05,4.002201e-05,3.988024e-05,3.973678e-05,3.959185e-05,3.944569e-05,3.929848e-05,3.915041e-05,3.900167e-05,3.885242e-05,3.870280e-05,3.855298e-05,3.840308e-05,3.825322e-05,3.810353e-05,3.795411e-05,3.780507e-05,3.765651e-05,3.750850e-05,3.736113e-05,3.721448e-05,3.706861e-05
0.000000e+00,4.609252e-11,2.059089e-10,1.767785e-09,6.902223e-09,1.262688e-08,4.437834e-08,4.637670e-08,1.200804e-07,1.503257e-07,2.517297e-07,3.660007e-07,4.592464e-07,7.323022e-07,7.602263e-07,1.171665e-06,1.288620e-06,1.709012e-06,2.069553e-06,2.384041e-06,3.096047e-06,3.201618e-06,4.156743e-06,4.363084e-06,5.234079e-06,5.835176e-06,6.410772e-06,7.457057e-06,7.660966e-06,8.959625e-06,9.170382e-06,1.028466e-05,1.092448e-05,1.161756e-05,1.267927e-05,1.294319e-05,1.424929e-05,1.440422e-05,1.552604e-05,1.607643e-05,1.676563e-05,1.767908e-05,1.796201e-05,1.911062e-05,1.920035e-05,2.020824e-05,2.063250e-05,2.125274e-05,2.197121e-05,2.224297e-05,2.317861e-05,2.321490e-05,2.405997e-05,2.436412e-05,2.488791e-05,2.542104e-05,2.566371e-05,2.638897e-05,2.706550e-05,2.727202e-05,2.769530e-05,2.807480e-05,2.828043e-05,2.880213e-05,2.882304e-05,2.932526e-05,2.945894e-05,2.978922e-05,3.005011e-05,3.021701e-05,3.058037e-05,3.061065e-05,3.097210e-05,3.105428e-05,3.130326e-05,3.147614e-05,3.160590e-05,3.185002e-05,3.188176e-05,3.213246e-05,3.217972e-05,3.235956e-05,3.246880e-05,3.256450e-05,3.272056e-05,3.274869e-05,3.291341e-05,3.293805e-05,3.305991e-05,3.312409e-05,3.318933e-05,3.328131e-05,3.330277e-05,3.340124e-05,3.341210e-05,3.348572e-05,3.351869e-05,3.355710e-05,3.360312e-05,3.361624e-05,3.366392e-05,3.366727e-05,3.370091e-05,3.371287e-05,3.372790e-05,3.374152e-05,3.374556e-05,3.375449e-05,3.375468e-05,3.375529e-05,3.375370e-05,3.374850e-05,3.373981e-05,3.373464e-05,3.371417e-05,3.368756e-05,3.367782e-05,3.365523e-05,3.363172e-05,3.361757e-05,3.357676e-05,3.357497e-05,3.352777e-05,3.351377e-05,3.347630e-05,3.344350e-05,3.342087e-05,3.336664e-05,3.336178e-05,3.329930e-05,3.328383e-05,3.323368e-05,3.319565e-05,3.316517e-05,3.310266e-05,3.309399e-05,3.302036e-05,3.300536e-05,3.294448e-05,3.290420e-05,3.286654e-05,3.279961e-05,3.278672e-05,3.270518e-05,3.269198e-05,3.262208e-05,3.258168e-05,3.253757e-05,3.246903e-05,3.245178e-05,3.236486e-05,3.235436e-05,3.227692e-05,3.223793e-05,3.218808e-05,3.212002e-05,3.209845e-05,3.200812e-05,3.200087e-05,3.191721e-05,3.188069e-05,3.182579e-05,3.175970e-05,3.173395e-05,3.164178e-05,3.163809e-05,3.154935e-05,3.151602e-05,3.145673e-05,3.139367e-05,3.136398e-05,3.127118e-05,3.114869e-05,3.102631e-05,3.090418e-05,3.078240e-05,3.066106e-05,3.054026e-05,3.042007e-05,3.030058e-05,3.018185e-05,3.006394e-05,2.994692e-05,2.983083e-05,2.971573e-05,2.960165e-05,2.948864e-05,2.937672e-05,2.926594e-05,2.915632e-05,2.904788e-05,2.894065e-05,2.883464e-05,2.872987e-05,2.862636e-05,2.852411e-05
0.000000e+00,1.216134e-11,5.800276e-11,5.659215e-10,2.459885e-09,4.755198e-09,1.903739e-08,1.999300e-08,5.788506e-08,7.449149e-08,1.330328e-07,2.027538e-07,2.617604e-07,4.422010e-07,4.611579e-07,7.481518e-07,8.318142e-07,1.137831e-06,1.405129e-06,1.640840e-06,2.180607e-06,2.261211e-06,2.996071e-06,3.156117e-06,3.837025e-06,4.312375e-06,4.772128e-06,5.620288e-06,5.787558e-06,6.868733e-06,7.046838e-06,8.000939e-06,8.558251e-06,9.169671e-06,1.012147e-05,1.036084e-05,1.156098e-05,1.170498e-05,1.275737e-05,1.327954e-05,1.393829e-05,1.481889e-05,1.509317e-05,1.621271e-05,1.630050e-05,1.728902e-05,1.770594e-05,1.831563e-05,1.902115e-05,1.928754e-05,2.020108e-05,2.023637e-05,2.105391e-05,2.134580e-05,2.184483e-05,2.234717e-05,2.257367e-05,2.324113e-05,2.384865e-05,2.403070e-05,2.439821e-05,2.472064e-05,2.489228e-05,2.531693e-05,2.533361e-05,2.572518e-05,2.582633e-05,2.607010e-05,2.625596e-05,2.637150e-05,2.661305e-05,2.663252e-05,2.685622e-05,2.690468e-05,2.704556e-05,2.713765e-05,2.720338e-05,2.731833e-05,2.733237e-05,2.743507e-05,2.745266e-05,2.751383e-05,2.754606e-05,2.757086e-05,2.760347e-05,2.760820e-05,2.762773e-05,2.762932e-05,2.763119e-05,2.762760e-05,2.762015e-05,2.760186e-05,2.759606e-05,2.756026e-05,2.755524e-05,2.751395e-05,2.749053e-05,2.745823e-05,2.741020e-05,2.739409e-05,2.732245e-05,2.731642e-05,2.724413e-05,2.721110e-05,2.715988e-05,2.709592e-05,2.707037e-05,2.697622e-05,2.697237e-05,2.687800e-05,2.684174e-05,2.677620e-05,2.670518e-05,2.667130e-05,2.656370e-05,2.645380e-05,2.641819e-05,2.634192e-05,2.626943e-05,2.622839e-05,2.611812e-05,2.611350e-05,2.599749e-05,2.596484e-05,2.588061e-05,2.581016e-05,2.576308e-05,2.565453e-05,2.564507e-05,2.552678e-05,2.549837e-05,2.540837e-05,2.534206e-05,2.528997e-05,2.518591e-05,2.517174e-05,2.505377e-05,2.503022e-05,2.493620e-05,2.487525e-05,2.481911e-05,2.472120e-05,2.470260e-05,2.458675e-05,2.456828e-05,2.447163e-05,2.441666e-05,2.435732e-05,2.426648e-05,2.424386e-05,2.413133e-05,2.411789e-05,2.401976e-05,2.397099e-05,2.390920e-05,2.382588e-05,2.379970e-05,2.369128e-05,2.368265e-05,2.358398e-05,2.354137e-05,2.347782e-05,2.340211e-05,2.337283e-05,2.326903e-05,2.326491e-05,2.316644e-05,2.312981e-05,2.306508e-05,2.299686e-05,2.296495e-05,2.286607e-05,2.273747e-05,2.261108e-05,2.248690e-05,2.236494e-05,2.224520e-05,2.212767e-05,2.201235e-05,2.189923e-05,2.178829e-05,2.167953e-05,2.157291e-05,2.146844e-05,2.136607e-05,2.126579e-05,2.116757e-05,2.107139e-05,2.097722e-05,2.088504e-05,2.079481e-05,2.070651e-05,2.062011e-05,2.053557e-05,2.045287e-05,2.037198e-05
0.000000e+00,1.346968e-11,6.330795e-11,5.995299e-10,2.537907e-09,4.836763e-09,1.868570e-08,1.959588e-08,5.485548e-08,6.996978e-08,1.222735e-07,1.832217e-07,2.340123e-07,3.862849e-07,4.020782e-07,6.379453e-07,7.058275e-07,9.519068e-07,1.164833e-06,1.351515e-06,1.776113e-06,1.839207e-06,2.410562e-06,2.534004e-06,3.054649e-06,3.413361e-06,3.756263e-06,4.377811e-06,4.498648e-06,5.265600e-06,5.389595e-06,6.042636e-06,6.415483e-06,6.817387e-06,7.428554e-06,7.579550e-06,8.320694e-06,8.407880e-06,9.034023e-06,9.337648e-06,9.714179e-06,1.020636e-05,1.035708e-05,1.095981e-05,1.100623e-05,1.152047e-05,1.173271e-05,1.203811e-05,1.238407e-05,1.251259e-05,1.294446e-05,1.296086e-05,1.333485e-05,1.346553e-05,1.368535e-05,1.390188e-05,1.399790e-05,1.427466e-05,1.451795e-05,1.458913e-05,1.473018e-05,1.485082e-05,1.491376e-05,1.506522e-05,1.507103e-05,1.520430e-05,1.523762e-05,1.531575e-05,1.537300e-05,1.540742e-05,1.547596e-05,1.548125e-05,1.553900e-05,1.555066e-05,1.558232e-05,1.560083e-05,1.561270e-05,1.562981e-05,1.563150e-05,1.563996e-05,1.564051e-05,1.563919e-05,1.563549e-05,1.563021e-05,1.561697e-05,1.561390e-05,1.559108e-05,1.558687e-05,1.556246e-05,1.554687e-05,1.552871e-05,1.549840e-05,1.549040e-05,1.544805e-05,1.544272e-05,1.540213e-05,1.538090e-05,1.535305e-05,1.531386e-05,1.530118e-05,1.524686e-05,1.524242e-05,1.519040e-05,1.516728e-05,1.513207e-05,1.508905e-05,1.507212e-05,1.501075e-05,1.500827e-05,1.494818e-05,1.492540e-05,1.488459e-05,1.484085e-05,1.482014e-05,1.475497e-05,1.468923e-05,1.466810e-05,1.462304e-05,1.458049e-05,1.455650e-05,1.449240e-05,1.448973e-05,1.442280e-05,1.440405e-05,1.435581e-05,1.431562e-05,1.428884e-05,1.422730e-05,1.422195e-05,1.415521e-05,1.413922e-05,1.408867e-05,1.405152e-05,1.402239e-05,1.396432e-05,1.395643e-05,1.389081e-05,1.387773e-05,1.382559e-05,1.379184e-05,1.376079e-05,1.370672e-05,1.369646e-05,1.363262e-05,1.362245e-05,1.356930e-05,1.353910e-05,1.350652e-05,1.345671e-05,1.344431e-05,1.338269e-05,1.337534e-05,1.332167e-05,1.329502e-05,1.326128e-05,1.321580e-05,1.320151e-05,1.314240e-05,1.313770e-05,1.308394e-05,1.306074e-05,1.302615e-05,1.298496e-05,1.296903e-05,1.291260e-05,1.291036e-05,1.285686e-05,1.283696e-05,1.280180e-05,1.276477e-05,1.274745e-05,1.269379e-05,1.262404e-05,1.255551e-05,1.248820e-05,1.242211e-05,1.235725e-05,1.229359e-05,1.223114e-05,1.216989e-05,1.210982e-05,1.205093e-05,1.199321e-05,1.193664e-05,1.188120e-05,1.182690e-05,1.177371e-05,1.172162e-05,1.167061e-05,1.162066e-05,1.157177e-05,1.152391e-05,1.147708e-05,1.143124e-05,1.138639e-05,1.134251e-05
0.000000e+00,5.397232e-09,1.238729e-08,4.282530e-08,9.798334e-08,1.434576e-07,3.290717e-07,3.391478e-07,6.648295e-07,7.846390e-07,1.160692e-06,1.558745e-06,1.872316e-06,2.756478e-06,2.844731e-06,4.107508e-06,4.454481e-06,5.661398e-06,6.650712e-06,7.483647e-06,9.285497e-06,9.544453e-06,1.181681e-05,1.229461e-05,1.427805e-05,1.562590e-05,1.690838e-05,1.923501e-05,1.968934e-05,2.260289e-05,2.308016e-05,2.563103e-05,2.711996e-05,2.875579e-05,3.131319e-05,3.195937e-05,3.522445e-05,3.561960e-05,3.853443e-05,4.000097e-05,4.187365e-05,4.442203e-05,4.522759e-05,4.858300e-05,4.885113e-05,5.192792e-05,5.326052e-05,5.525171e-05,5.762648e-05,5.854505e-05,6.179985e-05,6.192914e-05,6.500916e-05,6.615222e-05,6.816712e-05,7.028265e-05,7.126881e-05,7.431018e-05,7.728796e-05,7.822697e-05,8.019954e-05,8.202725e-05,8.304289e-05,8.570693e-05,8.581652e-05,8.851934e-05,8.926334e-05,9.115068e-05,9.269500e-05,9.371016e-05,9.600133e-05,9.619769e-05,9.861341e-05,9.918254e-05,1.009577e-04,1.022394e-04,1.032310e-04,1.051733e-04,1.054339e-04,1.075674e-04,1.079858e-04,1.096322e-04,1.106790e-04,1.116292e-04,1.132552e-04,1.135596e-04,1.154244e-04,1.157167e-04,1.172247e-04,1.180663e-04,1.189617e-04,1.203065e-04,1.206365e-04,1.222505e-04,1.224401e-04,1.238048e-04,1.244701e-04,1.253007e-04,1.263993e-04,1.267394e-04,1.281223e-04,1.282305e-04,1.294505e-04,1.299667e-04,1.307253e-04,1.316108e-04,1.319480e-04,1.331198e-04,1.331656e-04,1.342420e-04,1.346340e-04,1.353157e-04,1.360189e-04,1.363423e-04,1.373229e-04,1.382587e-04,1.385489e-04,1.391509e-04,1.396995e-04,1.400006e-04,1.407775e-04,1.408090e-04,1.415773e-04,1.417853e-04,1.423064e-04,1.427256e-04,1.429976e-04,1.436008e-04,1.436518e-04,1.442702e-04,1.444133e-04,1.448537e-04,1.451656e-04,1.454034e-04,1.458599e-04,1.459203e-04,1.464053e-04,1.464986e-04,1.468594e-04,1.470837e-04,1.472836e-04,1.476174e-04,1.476787e-04,1.480457e-04,1.481019e-04,1.483854e-04,1.485390e-04,1.486987e-04,1.489309e-04,1.489864e-04,1.492494e-04,1.492793e-04,1.494884e-04,1.495862e-04,1.497042e-04,1.498532e-04,1.498977e-04,1.500694e-04,1.500822e-04,1.502202e-04,1.502749e-04,1.503509e-04,1.504328e-04,1.504619e-04,1.505541e-04,1.505574e-04,1.506282e-04,1.506505e-04,1.506846e-04,1.507133e-04,1.507242e-04,1.507474e-04,1.507540e-04,1.507346e-04,1.506904e-04,1.506226e-04,1.505324e-04,1.504210e-04,1.502894e-04,1.501388e-04,1.499702e-04,1.497845e-04,1.495827e-04,1.493657e-04,1.491344e-04,1.488897e-04,1.486323e-04,1.483630e-04,1.480826e-04,1.477918e-04,1.474914e-04,1.471819e-04,1.468639e-04,1.465382e-04,1.462053e-04,1.458658e-04
0.000000e+00,3.490206e-09,8.935080e-09,3.455504e-08,8.308531e-08,1.238251e-07,2.928283e-07,3.020808e-07,6.039133e-07,7.160672e-07,1.071152e-06,1.450731e-06,1.751124e-06,2.595307e-06,2.678834e-06,3.850332e-06,4.163952e-06,5.229234e-06,6.077119e-06,6.776645e-06,8.254355e-06,8.463349e-06,1.026758e-05,1.064089e-05,1.217102e-05,1.319427e-05,1.415638e-05,1.587477e-05,1.620641e-05,1.830364e-05,1.864241e-05,2.043061e-05,2.145708e-05,2.257022e-05,2.427998e-05,2.470611e-05,2.682310e-05,2.707520e-05,2.890743e-05,2.981099e-05,3.094693e-05,3.246051e-05,3.293120e-05,3.485154e-05,3.500219e-05,3.670096e-05,3.741961e-05,3.847405e-05,3.970115e-05,4.016687e-05,4.177679e-05,4.183944e-05,4.330231e-05,4.383072e-05,4.474294e-05,4.567422e-05,4.609901e-05,4.737155e-05,4.856213e-05,4.892613e-05,4.967280e-05,5.034277e-05,5.070592e-05,5.162721e-05,5.166414e-05,5.255026e-05,5.278585e-05,5.336723e-05,5.382546e-05,5.411805e-05,5.475300e-05,5.480577e-05,5.543342e-05,5.557545e-05,5.600399e-05,5.629968e-05,5.652044e-05,5.693243e-05,5.698565e-05,5.740240e-05,5.748018e-05,5.777341e-05,5.794913e-05,5.810129e-05,5.834521e-05,5.838854e-05,5.863756e-05,5.867401e-05,5.885066e-05,5.894084e-05,5.903003e-05,5.915066e-05,5.917778e-05,5.929589e-05,5.930817e-05,5.938627e-05,5.941772e-05,5.945072e-05,5.948341e-05,5.949095e-05,5.950858e-05,5.950906e-05,5.950515e-05,5.949820e-05,5.948211e-05,5.945416e-05,5.944085e-05,5.938266e-05,5.938000e-05,5.930879e-05,5.927857e-05,5.922037e-05,5.915252e-05,5.911853e-05,5.900428e-05,5.887862e-05,5.883614e-05,5.874244e-05,5.865019e-05,5.859664e-05,5.844835e-05,5.844201e-05,5.827933e-05,5.823244e-05,5.810932e-05,5.800408e-05,5.793266e-05,5.776482e-05,5.775000e-05,5.756192e-05,5.751604e-05,5.736899e-05,5.725903e-05,5.717175e-05,5.699500e-05,5.697068e-05,5.676626e-05,5.672502e-05,5.655893e-05,5.645009e-05,5.634907e-05,5.617114e-05,5.613709e-05,5.592334e-05,5.588900e-05,5.570815e-05,5.560444e-05,5.549183e-05,5.531817e-05,5.527468e-05,5.505697e-05,5.503082e-05,5.483894e-05,5.474297e-05,5.462084e-05,5.445517e-05,5.440288e-05,5.418527e-05,5.416789e-05,5.396820e-05,5.388156e-05,5.375184e-05,5.359659e-05,5.353635e-05,5.332189e-05,5.331333e-05,5.310859e-05,5.303211e-05,5.289657e-05,5.275320e-05,5.268596e-05,5.247687e-05,5.220335e-05,5.193284e-05,5.166553e-05,5.140157e-05,5.114111e-05,5.088425e-05,5.063111e-05,5.038177e-05,5.013631e-05,4.989478e-05,4.965723e-05,4.942370e-05,4.919421e-05,4.896879e-05,4.874744e-05,4.853016e-05,4.831695e-05,4.810780e-05,4.790268e-05,4.770158e-05,4.750447e-05,4.731131e-05,4.712208e-05,4.693673e-05
0.000000e+00,3.011326e-09,7.151043e-09,2.558017e-08,5.932993e-08,8.721249e-08,2.007281e-07,2.068685e-07,4.039877e-07,4.758618e-07,6.994569e-07,9.332670e-07,1.115725e-06,1.623902e-06,1.674215e-06,2.388394e-06,2.583153e-06,3.257087e-06,3.806267e-06,4.266791e-06,5.258018e-06,5.399950e-06,6.640046e-06,6.899584e-06,7.972469e-06,8.697364e-06,9.383903e-06,1.062132e-05,1.086172e-05,1.239370e-05,1.264305e-05,1.396799e-05,1.473532e-05,1.557323e-05,1.687246e-05,1.719867e-05,1.883435e-05,1.903087e-05,2.047116e-05,2.118958e-05,2.210097e-05,2.333052e-05,2.371664e-05,2.531198e-05,2.543856e-05,2.688174e-05,2.750148e-05,2.842155e-05,2.950963e-05,2.992783e-05,3.139772e-05,3.145573e-05,3.282899e-05,3.333445e-05,3.421997e-05,3.514219e-05,3.556946e-05,3.687668e-05,3.814120e-05,3.853679e-05,3.936287e-05,4.012229e-05,4.054180e-05,4.163365e-05,4.167830e-05,4.277284e-05,4.307188e-05,4.382604e-05,4.443840e-05,4.483860e-05,4.573495e-05,4.581132e-05,4.674507e-05,4.696347e-05,4.764076e-05,4.812608e-05,4.849935e-05,4.922499e-05,4.932181e-05,5.010916e-05,5.026250e-05,5.086238e-05,5.124091e-05,5.158251e-05,5.216256e-05,5.227053e-05,5.292747e-05,5.302976e-05,5.355431e-05,5.384480e-05,5.415205e-05,5.460993e-05,5.472165e-05,5.526406e-05,5.532737e-05,5.578022e-05,5.599926e-05,5.627106e-05,5.662770e-05,5.673746e-05,5.718030e-05,5.721474e-05,5.760045e-05,5.776235e-05,5.799874e-05,5.827243e-05,5.837598e-05,5.873297e-05,5.874684e-05,5.907047e-05,5.918734e-05,5.938923e-05,5.959566e-05,5.968998e-05,5.997343e-05,6.024027e-05,6.032226e-05,6.049115e-05,6.064364e-05,6.072672e-05,6.093905e-05,6.094761e-05,6.115441e-05,6.120987e-05,6.134772e-05,6.145746e-05,6.152809e-05,6.168307e-05,6.169607e-05,6.185219e-05,6.188796e-05,6.199697e-05,6.207327e-05,6.213089e-05,6.224013e-05,6.225442e-05,6.236804e-05,6.238961e-05,6.247218e-05,6.252272e-05,6.256726e-05,6.264044e-05,6.265371e-05,6.273191e-05,6.274368e-05,6.280225e-05,6.283334e-05,6.286511e-05,6.291023e-05,6.292082e-05,6.296975e-05,6.297518e-05,6.301220e-05,6.302892e-05,6.304851e-05,6.307218e-05,6.307898e-05,6.310389e-05,6.310565e-05,6.312353e-05,6.312998e-05,6.313818e-05,6.314578e-05,6.314809e-05,6.315350e-05,6.315363e-05,6.315467e-05,6.315410e-05,6.315182e-05,6.314770e-05,6.314518e-05,6.313494e-05,6.311629e-05,6.309219e-05,6.306306e-05,6.302931e-05,6.299130e-05,6.294940e-05,6.290394e-05,6.285524e-05,6.280359e-05,6.274928e-05,6.269256e-05,6.263370e-05,6.257292e-05,6.251044e-05,6.244647e-05,6.238120e-05,6.231481e-05,6.224748e-05,6.217936e-05,6.211061e-05,6.204135e-05,6.197172e-05,6.190183e-05,6.183181e-05
0.000000e+00,3.598760e-09,8.257919e-09,2.852103e-08,6.521365e-08,9.547641e-08,2.193545e-07,2.260995e-07,4.453765e-07,5.266505e-07,7.835559e-07,1.057517e-06,1.273830e-06,1.880128e-06,1.940073e-06,2.782648e-06,3.009242e-06,3.783421e-06,4.404944e-06,4.921301e-06,6.022312e-06,6.179107e-06,7.543205e-06,7.827719e-06,9.001695e-06,9.793622e-06,1.054315e-05,1.189362e-05,1.215598e-05,1.382828e-05,1.410056e-05,1.554793e-05,1.638661e-05,1.730280e-05,1.872407e-05,1.908102e-05,2.087114e-05,2.108625e-05,2.266257e-05,2.344865e-05,2.444551e-05,2.578943e-05,2.621119e-05,2.795185e-05,2.808982e-05,2.966079e-05,3.033418e-05,3.133235e-05,3.251007e-05,3.296186e-05,3.454553e-05,3.460788e-05,3.608039e-05,3.662054e-05,3.756421e-05,3.854320e-05,3.899538e-05,4.037286e-05,4.169608e-05,4.210801e-05,4.296488e-05,4.374842e-05,4.417943e-05,4.529478e-05,4.534019e-05,4.644785e-05,4.674859e-05,4.750328e-05,4.811189e-05,4.850751e-05,4.938717e-05,4.946169e-05,5.036704e-05,5.057720e-05,5.122486e-05,5.168499e-05,5.203651e-05,5.271367e-05,5.280337e-05,5.352685e-05,5.366646e-05,5.420834e-05,5.454660e-05,5.484928e-05,5.535734e-05,5.545105e-05,5.601505e-05,5.610188e-05,5.654266e-05,5.678338e-05,5.703522e-05,5.740493e-05,5.749406e-05,5.792048e-05,5.796954e-05,5.831576e-05,5.848013e-05,5.868112e-05,5.893953e-05,5.901777e-05,5.932690e-05,5.935047e-05,5.960964e-05,5.971559e-05,5.986710e-05,6.003742e-05,6.010036e-05,6.031046e-05,6.031839e-05,6.049841e-05,6.056084e-05,6.066519e-05,6.076699e-05,6.081175e-05,6.093899e-05,6.104782e-05,6.107889e-05,6.113906e-05,6.118862e-05,6.121357e-05,6.127007e-05,6.127211e-05,6.131547e-05,6.132499e-05,6.134438e-05,6.135508e-05,6.135954e-05,6.136195e-05,6.136166e-05,6.135138e-05,6.134714e-05,6.132934e-05,6.131209e-05,6.129615e-05,6.125818e-05,6.125240e-05,6.119865e-05,6.118674e-05,6.113544e-05,6.109901e-05,6.106330e-05,6.099616e-05,6.098272e-05,6.089419e-05,6.087932e-05,6.079817e-05,6.074954e-05,6.069509e-05,6.060784e-05,6.058539e-05,6.046946e-05,6.045515e-05,6.034770e-05,6.029238e-05,6.022049e-05,6.012037e-05,6.008817e-05,5.995109e-05,5.993993e-05,5.980959e-05,5.975181e-05,5.966396e-05,5.955673e-05,5.951452e-05,5.936154e-05,5.935536e-05,5.920531e-05,5.914832e-05,5.904609e-05,5.893623e-05,5.888412e-05,5.871965e-05,5.849909e-05,5.827506e-05,5.804803e-05,5.781843e-05,5.758667e-05,5.735315e-05,5.711822e-05,5.688221e-05,5.664545e-05,5.640823e-05,5.617082e-05,5.593348e-05,5.569645e-05,5.545995e-05,5.522419e-05,5.498936e-05,5.475563e-05,5.452317e-05,5.429213e-05,5.406265e-05,5.383486e-05,5.360887e-05,5.338479e-05,5.316271e-05
0.000000e+00,3.046010e-11,1.384618e-10,1.229706e-09,4.940097e-09,9.171881e-09,3.341014e-08,3.496335e-08,9.356845e-08,1.181646e-07,2.022426e-07,2.993198e-07,3.800164e-07,6.225761e-07,6.478448e-07,1.028582e-06,1.139391e-06,1.545661e-06,1.902636e-06,2.219370e-06,2.951125e-06,3.061059e-06,4.068441e-06,4.288599e-06,5.225621e-06,5.878489e-06,6.507750e-06,7.660903e-06,7.886978e-06,9.336831e-06,9.573764e-06,1.083420e-05,1.156398e-05,1.235966e-05,1.358928e-05,1.389701e-05,1.543255e-05,1.561612e-05,1.695456e-05,1.761729e-05,1.845289e-05,1.957034e-05,1.991877e-05,2.134464e-05,2.145679e-05,2.272414e-05,2.326175e-05,2.405202e-05,2.497374e-05,2.532409e-05,2.653716e-05,2.658442e-05,2.768898e-05,2.808835e-05,2.877814e-05,2.948261e-05,2.980398e-05,3.076650e-05,3.166627e-05,3.194110e-05,3.250432e-05,3.300894e-05,3.328209e-05,3.397364e-05,3.400131e-05,3.466394e-05,3.483963e-05,3.527213e-05,3.561186e-05,3.582815e-05,3.629563e-05,3.633435e-05,3.679311e-05,3.689642e-05,3.720682e-05,3.741970e-05,3.757785e-05,3.787091e-05,3.790854e-05,3.820116e-05,3.825531e-05,3.845792e-05,3.857798e-05,3.868096e-05,3.884376e-05,3.887234e-05,3.903401e-05,3.905724e-05,3.916785e-05,3.922275e-05,3.927567e-05,3.934433e-05,3.935916e-05,3.941994e-05,3.942578e-05,3.945956e-05,3.947066e-05,3.947945e-05,3.948223e-05,3.948100e-05,3.946550e-05,3.946356e-05,3.943417e-05,3.941747e-05,3.938817e-05,3.934657e-05,3.932857e-05,3.925641e-05,3.925327e-05,3.917264e-05,3.913981e-05,3.907816e-05,3.900824e-05,3.897383e-05,3.886045e-05,3.873875e-05,3.869817e-05,3.860945e-05,3.852301e-05,3.847320e-05,3.833644e-05,3.833063e-05,3.818230e-05,3.813981e-05,3.802876e-05,3.793435e-05,3.787052e-05,3.772120e-05,3.770806e-05,3.754182e-05,3.750140e-05,3.737221e-05,3.727591e-05,3.719963e-05,3.704558e-05,3.702444e-05,3.684697e-05,3.681124e-05,3.666756e-05,3.657359e-05,3.648648e-05,3.633330e-05,3.630403e-05,3.612045e-05,3.609099e-05,3.593599e-05,3.584720e-05,3.575086e-05,3.560243e-05,3.556529e-05,3.537945e-05,3.535714e-05,3.519353e-05,3.511175e-05,3.500770e-05,3.486663e-05,3.482211e-05,3.463691e-05,3.462211e-05,3.445222e-05,3.437852e-05,3.426817e-05,3.413612e-05,3.408488e-05,3.390244e-05,3.389516e-05,3.372096e-05,3.365588e-05,3.354052e-05,3.341846e-05,3.336120e-05,3.318308e-05,3.294992e-05,3.271910e-05,3.249075e-05,3.226498e-05,3.204189e-05,3.182155e-05,3.160405e-05,3.138943e-05,3.117775e-05,3.096905e-05,3.076336e-05,3.056070e-05,3.036110e-05,3.016457e-05,2.997111e-05,2.978072e-05,2.959340e-05,2.940914e-05,2.922793e-05,2.904976e-05,2.887460e-05,2.870244e-05,2.853325e-05,2.836701e-05
0.000000e+00,3.837319e-13,1.943310e-12,2.144716e-11,1.041560e-10,2.138462e-10,9.980358e-10,1.054615e-09,3.542034e-09,4.742569e-09,9.344069e-09,1.539522e-08,2.089505e-08,3.938251e-08,4.144912e-08,7.508420e-08,8.562459e-08,1.266079e-07,1.652356e-07,2.013027e-07,2.904615e-07,3.045252e-07,4.412702e-07,4.730335e-07,6.158062e-07,7.226376e-07,8.314311e-07,1.045952e-06,1.090345e-06,1.393615e-06,1.446267e-06,1.741205e-06,1.923517e-06,2.132055e-06,2.474572e-06,2.564174e-06,3.034763e-06,3.093660e-06,3.540340e-06,3.772856e-06,4.076871e-06,4.502608e-06,4.639902e-06,5.224687e-06,5.272264e-06,5.826317e-06,6.070573e-06,6.439831e-06,6.886165e-06,7.060332e-06,7.683073e-06,7.707965e-06,8.303549e-06,8.525545e-06,8.917554e-06,9.329403e-06,9.521242e-06,1.011116e-05,1.068428e-05,1.086369e-05,1.123798e-05,1.158115e-05,1.177011e-05,1.225901e-05,1.227890e-05,1.276300e-05,1.289398e-05,1.322142e-05,1.348387e-05,1.365354e-05,1.402757e-05,1.405903e-05,1.443786e-05,1.452483e-05,1.479023e-05,1.497614e-05,1.511655e-05,1.538264e-05,1.541743e-05,1.569360e-05,1.574594e-05,1.594592e-05,1.606802e-05,1.617534e-05,1.635109e-05,1.638287e-05,1.656956e-05,1.659757e-05,1.673651e-05,1.680995e-05,1.688480e-05,1.699075e-05,1.701554e-05,1.712980e-05,1.714245e-05,1.722862e-05,1.726748e-05,1.731304e-05,1.736817e-05,1.738403e-05,1.744255e-05,1.744672e-05,1.748950e-05,1.750523e-05,1.752574e-05,1.754565e-05,1.755206e-05,1.756925e-05,1.756976e-05,1.757802e-05,1.757925e-05,1.757904e-05,1.757563e-05,1.757294e-05,1.756031e-05,1.754170e-05,1.753456e-05,1.751761e-05,1.749954e-05,1.748852e-05,1.745630e-05,1.745487e-05,1.741706e-05,1.740578e-05,1.737547e-05,1.734885e-05,1.733044e-05,1.728627e-05,1.728231e-05,1.723136e-05,1.721874e-05,1.717786e-05,1.714689e-05,1.712208e-05,1.707129e-05,1.706425e-05,1.700458e-05,1.699244e-05,1.694326e-05,1.691079e-05,1.688049e-05,1.682677e-05,1.681644e-05,1.675126e-05,1.674073e-05,1.668509e-05,1.665302e-05,1.661807e-05,1.656392e-05,1.655032e-05,1.648195e-05,1.647371e-05,1.641308e-05,1.638264e-05,1.634379e-05,1.629091e-05,1.627418e-05,1.620433e-05,1.619873e-05,1.613431e-05,1.610627e-05,1.606419e-05,1.601369e-05,1.599405e-05,1.592393e-05,1.592113e-05,1.585390e-05,1.582872e-05,1.578400e-05,1.573657e-05,1.571429e-05,1.564480e-05,1.555349e-05,1.546273e-05,1.537258e-05,1.528313e-05,1.519442e-05,1.510651e-05,1.501945e-05,1.493328e-05,1.484803e-05,1.476375e-05,1.468044e-05,1.459815e-05,1.451689e-05,1.443667e-05,1.435752e-05,1.427944e-05,1.420244e-05,1.412654e-05,1.405173e-05,1.397802e-05,1.390542e-05,1.383391e-05,1.376351e-05,1.369420e-05
0.000000e+00,1.657650e-09,3.819856e-09,1.322406e-08,3.016138e-08,4.402315e-08,9.974167e-08,1.027297e-07,1.975243e-07,2.316062e-07,3.362207e-07,4.436135e-07,5.262014e-07,7.517378e-07,7.737752e-07,1.082825e-06,1.166279e-06,1.454006e-06,1.688422e-06,1.885603e-06,2.313144e-06,2.374775e-06,2.918076e-06,3.032889e-06,3.511496e-06,3.838382e-06,4.150450e-06,4.718629e-06,4.829819e-06,5.544056e-06,5.661183e-06,6.287340e-06,6.652693e-06,7.053743e-06,7.679556e-06,7.837388e-06,8.632591e-06,8.728534e-06,9.433986e-06,9.787266e-06,1.023661e-05,1.084463e-05,1.103595e-05,1.182800e-05,1.189094e-05,1.260926e-05,1.291805e-05,1.337672e-05,1.391930e-05,1.412784e-05,1.486056e-05,1.488946e-05,1.557317e-05,1.582453e-05,1.626435e-05,1.672160e-05,1.693311e-05,1.757875e-05,1.820079e-05,1.839482e-05,1.879899e-05,1.916929e-05,1.937328e-05,1.990216e-05,1.992372e-05,2.045052e-05,2.059383e-05,2.095398e-05,2.124500e-05,2.143447e-05,2.185664e-05,2.189246e-05,2.232843e-05,2.242985e-05,2.274294e-05,2.296589e-05,2.313654e-05,2.346609e-05,2.350983e-05,2.386343e-05,2.393183e-05,2.419793e-05,2.436454e-05,2.451397e-05,2.476563e-05,2.481217e-05,2.509313e-05,2.513653e-05,2.535748e-05,2.547864e-05,2.560581e-05,2.579334e-05,2.583871e-05,2.605677e-05,2.608197e-05,2.626057e-05,2.634586e-05,2.645064e-05,2.658626e-05,2.662755e-05,2.679181e-05,2.680442e-05,2.694395e-05,2.700152e-05,2.708446e-05,2.717870e-05,2.721382e-05,2.733252e-05,2.733706e-05,2.744101e-05,2.747765e-05,2.753973e-05,2.760149e-05,2.762910e-05,2.770954e-05,2.778145e-05,2.780273e-05,2.784522e-05,2.788194e-05,2.790122e-05,2.794801e-05,2.794981e-05,2.799134e-05,2.800174e-05,2.802613e-05,2.804391e-05,2.805452e-05,2.807524e-05,2.807681e-05,2.809330e-05,2.809642e-05,2.810427e-05,2.810812e-05,2.811002e-05,2.811095e-05,2.811079e-05,2.810685e-05,2.810552e-05,2.809844e-05,2.809238e-05,2.808580e-05,2.807208e-05,2.806916e-05,2.804872e-05,2.804512e-05,2.802471e-05,2.801198e-05,2.799732e-05,2.797311e-05,2.796675e-05,2.793317e-05,2.792895e-05,2.789677e-05,2.787991e-05,2.785772e-05,2.782636e-05,2.781617e-05,2.777229e-05,2.776868e-05,2.772622e-05,2.770721e-05,2.767810e-05,2.764226e-05,2.762807e-05,2.757627e-05,2.757416e-05,2.752281e-05,2.750318e-05,2.746781e-05,2.742960e-05,2.741140e-05,2.735367e-05,2.727564e-05,2.719574e-05,2.711417e-05,2.703114e-05,2.694683e-05,2.686142e-05,2.677509e-05,2.668797e-05,2.660023e-05,2.651199e-05,2.642338e-05,2.633453e-05,2.624553e-05,2.615650e-05,2.606754e-05,2.597872e-05,2.589014e-05,2.580187e-05,2.571398e-05,2.562654e-05,2.553962e-05,2.545325e-05,2.536751e-05,2.528243e-05
0.000000e+00,6.679361e-12,3.140630e-11,2.981053e-10,1.267117e-09,2.422651e-09,9.473375e-09,9.941025e-09,2.836059e-08,3.640976e-08,6.483546e-08,9.886317e-08,1.277852e-07,2.164146e-07,2.257088e-07,3.651501e-07,4.052368e-07,5.494990e-07,6.726513e-07,7.793311e-07,1.018226e-06,1.053376e-06,1.369288e-06,1.437238e-06,1.724035e-06,1.922682e-06,2.114032e-06,2.465885e-06,2.535179e-06,2.982914e-06,3.056693e-06,3.452304e-06,3.683791e-06,3.938187e-06,4.335254e-06,4.435338e-06,4.938639e-06,4.999214e-06,5.443234e-06,5.664499e-06,5.944657e-06,6.321143e-06,6.438919e-06,6.922568e-06,6.960711e-06,7.392713e-06,7.576447e-06,7.847012e-06,8.163258e-06,8.283651e-06,8.701297e-06,8.717594e-06,9.099050e-06,9.237259e-06,9.476384e-06,9.721190e-06,9.833091e-06,1.016923e-05,1.048507e-05,1.058192e-05,1.078104e-05,1.096030e-05,1.105773e-05,1.130580e-05,1.131577e-05,1.155591e-05,1.162004e-05,1.177891e-05,1.190481e-05,1.198556e-05,1.216193e-05,1.217667e-05,1.235303e-05,1.239325e-05,1.251542e-05,1.260055e-05,1.266461e-05,1.278557e-05,1.280135e-05,1.292634e-05,1.294999e-05,1.304026e-05,1.309535e-05,1.314378e-05,1.322314e-05,1.323751e-05,1.332204e-05,1.333475e-05,1.339793e-05,1.343144e-05,1.346570e-05,1.351442e-05,1.352586e-05,1.357888e-05,1.358479e-05,1.362520e-05,1.364357e-05,1.366524e-05,1.369171e-05,1.369939e-05,1.372802e-05,1.373008e-05,1.375148e-05,1.375949e-05,1.377010e-05,1.378068e-05,1.378419e-05,1.379402e-05,1.379433e-05,1.379989e-05,1.380107e-05,1.380203e-05,1.380149e-05,1.380070e-05,1.379612e-05,1.378849e-05,1.378544e-05,1.377803e-05,1.376993e-05,1.376491e-05,1.374998e-05,1.374931e-05,1.373141e-05,1.372601e-05,1.371135e-05,1.369834e-05,1.368929e-05,1.366733e-05,1.366535e-05,1.363968e-05,1.363327e-05,1.361238e-05,1.359644e-05,1.358359e-05,1.355709e-05,1.355340e-05,1.352192e-05,1.351548e-05,1.348925e-05,1.347181e-05,1.345547e-05,1.342630e-05,1.342067e-05,1.338493e-05,1.337913e-05,1.334833e-05,1.333048e-05,1.331094e-05,1.328050e-05,1.327282e-05,1.323404e-05,1.322935e-05,1.319466e-05,1.317716e-05,1.315474e-05,1.312406e-05,1.311432e-05,1.307346e-05,1.307018e-05,1.303221e-05,1.301561e-05,1.299061e-05,1.296046e-05,1.294870e-05,1.290652e-05,1.290483e-05,1.286411e-05,1.284879e-05,1.282151e-05,1.279244e-05,1.277874e-05,1.273585e-05,1.267907e-05,1.262219e-05,1.256525e-05,1.250831e-05,1.245142e-05,1.239463e-05,1.233799e-05,1.228152e-05,1.222526e-05,1.216926e-05,1.211354e-05,1.205812e-05,1.200304e-05,1.194832e-05,1.189399e-05,1.184005e-05,1.178653e-05,1.173345e-05,1.168082e-05,1.162865e-05,1.157696e-05,1.152576e-05,1.147506e-05,1.142486e-05
0.000000e+00,2.786870e-10,1.043724e-09,6.582469e-09,2.055314e-08,3.391048e-08,9.604269e-08,9.962164e-08,2.205382e-07,2.664962e-07,4.127699e-07,5.688369e-07,6.918917e-07,1.038462e-06,1.073060e-06,1.570861e-06,1.709209e-06,2.198558e-06,2.610827e-06,2.966436e-06,3.762432e-06,3.879735e-06,4.937752e-06,5.166299e-06,6.134997e-06,6.809921e-06,7.463264e-06,8.673417e-06,8.913172e-06,1.047478e-05,1.073432e-05,1.213774e-05,1.296882e-05,1.389130e-05,1.535193e-05,1.572436e-05,1.762555e-05,1.785773e-05,1.958344e-05,2.045994e-05,2.158667e-05,2.313261e-05,2.362416e-05,2.568528e-05,2.585089e-05,2.775999e-05,2.859156e-05,2.983893e-05,3.133351e-05,3.191348e-05,3.397586e-05,3.405800e-05,3.601912e-05,3.674880e-05,3.803710e-05,3.939213e-05,4.002446e-05,4.197660e-05,4.388961e-05,4.449297e-05,4.576027e-05,4.693402e-05,4.758593e-05,4.929424e-05,4.936445e-05,5.109421e-05,5.156962e-05,5.277398e-05,5.375748e-05,5.440291e-05,5.585618e-05,5.598049e-05,5.750647e-05,5.786502e-05,5.898084e-05,5.978402e-05,6.040382e-05,6.161382e-05,6.177578e-05,6.309726e-05,6.335555e-05,6.436890e-05,6.501070e-05,6.559145e-05,6.658108e-05,6.676576e-05,6.789272e-05,6.806871e-05,6.897330e-05,6.947580e-05,7.000851e-05,7.080469e-05,7.099937e-05,7.194695e-05,7.205780e-05,7.285233e-05,7.323761e-05,7.371660e-05,7.434662e-05,7.454085e-05,7.532619e-05,7.538737e-05,7.607370e-05,7.636235e-05,7.678447e-05,7.727409e-05,7.745959e-05,7.810012e-05,7.812503e-05,7.870711e-05,7.891762e-05,7.928161e-05,7.965424e-05,7.982465e-05,8.033722e-05,8.082032e-05,8.096884e-05,8.127491e-05,8.155134e-05,8.170196e-05,8.208686e-05,8.210238e-05,8.247709e-05,8.257752e-05,8.282698e-05,8.302536e-05,8.315291e-05,8.343235e-05,8.345574e-05,8.373630e-05,8.380041e-05,8.399539e-05,8.413140e-05,8.423380e-05,8.442710e-05,8.445229e-05,8.465161e-05,8.468924e-05,8.483249e-05,8.491950e-05,8.499564e-05,8.511947e-05,8.514173e-05,8.527144e-05,8.529072e-05,8.538542e-05,8.543472e-05,8.548429e-05,8.555292e-05,8.556867e-05,8.563914e-05,8.564669e-05,8.569630e-05,8.571737e-05,8.574068e-05,8.576621e-05,8.577285e-05,8.579331e-05,8.579446e-05,8.580258e-05,8.580326e-05,8.580115e-05,8.579376e-05,8.578950e-05,8.576809e-05,8.576703e-05,8.573736e-05,8.572411e-05,8.569776e-05,8.566597e-05,8.564969e-05,8.559356e-05,8.550780e-05,8.540953e-05,8.529960e-05,8.517879e-05,8.504785e-05,8.490750e-05,8.475842e-05,8.460128e-05,8.443669e-05,8.426525e-05,8.408751e-05,8.390402e-05,8.371529e-05,8.352181e-05,8.332402e-05,8.312239e-05,8.291730e-05,8.270917e-05,8.249837e-05,8.228524e-05,8.207012e-05,8.185334e-05,8.163518e-05,8.141593e-05
0.000000e+00,3.486149e-09,8.623371e-09,3.217499e-08,7.607402e-08,1.126321e-07,2.627390e-07,2.709001e-07,5.345051e-07,6.312944e-07,9.342998e-07,1.253716e-06,1.504376e-06,2.205948e-06,2.275494e-06,3.259270e-06,3.525671e-06,4.439531e-06,5.175188e-06,5.786471e-06,7.087659e-06,7.272576e-06,8.876096e-06,9.209260e-06,1.057894e-05,1.149817e-05,1.236460e-05,1.391685e-05,1.421709e-05,1.612063e-05,1.642889e-05,1.805974e-05,1.899876e-05,2.001955e-05,2.159281e-05,2.198600e-05,2.394615e-05,2.418038e-05,2.588835e-05,2.673454e-05,2.780235e-05,2.923263e-05,2.967930e-05,3.151177e-05,3.165625e-05,3.329366e-05,3.399113e-05,3.502012e-05,3.622669e-05,3.668738e-05,3.829269e-05,3.835559e-05,3.983417e-05,4.037323e-05,4.131065e-05,4.227725e-05,4.272163e-05,4.406712e-05,4.534757e-05,4.574371e-05,4.656379e-05,4.730896e-05,4.771688e-05,4.876566e-05,4.880815e-05,4.983910e-05,5.011718e-05,5.081137e-05,5.136728e-05,5.172669e-05,5.252004e-05,5.258686e-05,5.339373e-05,5.357966e-05,5.414918e-05,5.455046e-05,5.485507e-05,5.543675e-05,5.551328e-05,5.612569e-05,5.624283e-05,5.669412e-05,5.697293e-05,5.722039e-05,5.763117e-05,5.770627e-05,5.815349e-05,5.822157e-05,5.856375e-05,5.874802e-05,5.893868e-05,5.921428e-05,5.927990e-05,5.958896e-05,5.962395e-05,5.986735e-05,5.998050e-05,6.011653e-05,6.028724e-05,6.033791e-05,6.053285e-05,6.054734e-05,6.070266e-05,6.076383e-05,6.084860e-05,6.093958e-05,6.097188e-05,6.107369e-05,6.107733e-05,6.115513e-05,6.117968e-05,6.121731e-05,6.124911e-05,6.126125e-05,6.128795e-05,6.129838e-05,6.129843e-05,6.129344e-05,6.128263e-05,6.127402e-05,6.124254e-05,6.124096e-05,6.119507e-05,6.118003e-05,6.113712e-05,6.109687e-05,6.106785e-05,6.099474e-05,6.098797e-05,6.089815e-05,6.087519e-05,6.079904e-05,6.073970e-05,6.069125e-05,6.058968e-05,6.057537e-05,6.045196e-05,6.042642e-05,6.032156e-05,6.025116e-05,6.018468e-05,6.006505e-05,6.004181e-05,5.989340e-05,5.986917e-05,5.973990e-05,5.966453e-05,5.958173e-05,5.945209e-05,5.941928e-05,5.925294e-05,5.923274e-05,5.908307e-05,5.900730e-05,5.891001e-05,5.877655e-05,5.873408e-05,5.855559e-05,5.854121e-05,5.837484e-05,5.830197e-05,5.819210e-05,5.805945e-05,5.800764e-05,5.782169e-05,5.781423e-05,5.763451e-05,5.756686e-05,5.744631e-05,5.731785e-05,5.725729e-05,5.706767e-05,5.681674e-05,5.656548e-05,5.631425e-05,5.606340e-05,5.581324e-05,5.556407e-05,5.531614e-05,5.506970e-05,5.482498e-05,5.458218e-05,5.434148e-05,5.410305e-05,5.386704e-05,5.363359e-05,5.340282e-05,5.317483e-05,5.294972e-05,5.272759e-05,5.250849e-05,5.229250e-05,5.207967e-05,5.187004e-05,5.166366e-05,5.146055e-05
0.000000e+00,2.007356e-09,4.664095e-09,1.623686e-08,3.705073e-08,5.406710e-08,1.225052e-07,1.261816e-07,2.433860e-07,2.858452e-07,4.173844e-07,5.544347e-07,6.612796e-07,9.597147e-07,9.894079e-07,1.415810e-06,1.534044e-06,1.950547e-06,2.298142e-06,2.594473e-06,3.242721e-06,3.336279e-06,4.155550e-06,4.326666e-06,5.029472e-06,5.498636e-06,5.937842e-06,6.715646e-06,6.864623e-06,7.797517e-06,7.946679e-06,8.726999e-06,9.169656e-06,9.645490e-06,1.036816e-05,1.054678e-05,1.142570e-05,1.152945e-05,1.227791e-05,1.264348e-05,1.309984e-05,1.370243e-05,1.388857e-05,1.464183e-05,1.470051e-05,1.535796e-05,1.563375e-05,1.603585e-05,1.649989e-05,1.667489e-05,1.727493e-05,1.729812e-05,1.783622e-05,1.802890e-05,1.835934e-05,1.869369e-05,1.884515e-05,1.929477e-05,1.970944e-05,1.983498e-05,2.009058e-05,2.031760e-05,2.043969e-05,2.074614e-05,2.075832e-05,2.104805e-05,2.112421e-05,2.131047e-05,2.145548e-05,2.154717e-05,2.174354e-05,2.175968e-05,2.194952e-05,2.199186e-05,2.211812e-05,2.220378e-05,2.226688e-05,2.238244e-05,2.239713e-05,2.251015e-05,2.253079e-05,2.260712e-05,2.265159e-05,2.268918e-05,2.274738e-05,2.275740e-05,2.281278e-05,2.282051e-05,2.285626e-05,2.287317e-05,2.288872e-05,2.290731e-05,2.291099e-05,2.292383e-05,2.292478e-05,2.292797e-05,2.292721e-05,2.292408e-05,2.291613e-05,2.291277e-05,2.289463e-05,2.289291e-05,2.287021e-05,2.285879e-05,2.284000e-05,2.281493e-05,2.280448e-05,2.276407e-05,2.276236e-05,2.271919e-05,2.270201e-05,2.267021e-05,2.263474e-05,2.261748e-05,2.256134e-05,2.250207e-05,2.248249e-05,2.243996e-05,2.239884e-05,2.237527e-05,2.231098e-05,2.230826e-05,2.223913e-05,2.221943e-05,2.216811e-05,2.212466e-05,2.209538e-05,2.202713e-05,2.202114e-05,2.194554e-05,2.192722e-05,2.186875e-05,2.182529e-05,2.179092e-05,2.172166e-05,2.171217e-05,2.163264e-05,2.161665e-05,2.155244e-05,2.151050e-05,2.147168e-05,2.140348e-05,2.139046e-05,2.130888e-05,2.129580e-05,2.122703e-05,2.118766e-05,2.114498e-05,2.107926e-05,2.106282e-05,2.098061e-05,2.097074e-05,2.089841e-05,2.086227e-05,2.081630e-05,2.075398e-05,2.073432e-05,2.065253e-05,2.064600e-05,2.057098e-05,2.053843e-05,2.048970e-05,2.043138e-05,2.040875e-05,2.032816e-05,2.032494e-05,2.024796e-05,2.021920e-05,2.016820e-05,2.011422e-05,2.008889e-05,2.001007e-05,1.990682e-05,1.980451e-05,1.970319e-05,1.960291e-05,1.950370e-05,1.940560e-05,1.930863e-05,1.921282e-05,1.911819e-05,1.902476e-05,1.893254e-05,1.884155e-05,1.875179e-05,1.866328e-05,1.857602e-05,1.849000e-05,1.840524e-05,1.832174e-05,1.823949e-05,1.815849e-05,1.807874e-05,1.800024e-05,1.792297e-05,1.784694e-05
0.000000e+00,1.044630e-09,2.880891e-09,1.196521e-08,2.943814e-08,4.404111e-08,1.032456e-07,1.064199e-07,2.064645e-07,2.420661e-07,3.501146e-07,4.592565e-07,5.421172e-07,7.645938e-07,7.860884e-07,1.084383e-06,1.164183e-06,1.437771e-06,1.659344e-06,1.844933e-06,2.244614e-06,2.301867e-06,2.801354e-06,2.905485e-06,3.332872e-06,3.617640e-06,3.883350e-06,4.350168e-06,4.438823e-06,4.986371e-06,5.072501e-06,5.515489e-06,5.760568e-06,6.018528e-06,6.398714e-06,6.490438e-06,6.928255e-06,6.978423e-06,7.330583e-06,7.496264e-06,7.697161e-06,7.952171e-06,8.028548e-06,8.325887e-06,8.348248e-06,8.590726e-06,8.687963e-06,8.824885e-06,8.975596e-06,9.030354e-06,9.209207e-06,9.215837e-06,9.363543e-06,9.413503e-06,9.495431e-06,9.573317e-06,9.606872e-06,9.699776e-06,9.775952e-06,9.797074e-06,9.837085e-06,9.869042e-06,9.884736e-06,9.919131e-06,9.920341e-06,9.945214e-06,9.950420e-06,9.960547e-06,9.965622e-06,9.967422e-06,9.967118e-06,9.966815e-06,9.959605e-06,9.956982e-06,9.946581e-06,9.937014e-06,9.928449e-06,9.908770e-06,9.905839e-06,9.879314e-06,9.873584e-06,9.849374e-06,9.832607e-06,9.816467e-06,9.786826e-06,9.780992e-06,9.743305e-06,9.737091e-06,9.703721e-06,9.684130e-06,9.662521e-06,9.628567e-06,9.619956e-06,9.576250e-06,9.570938e-06,9.531602e-06,9.511704e-06,9.486188e-06,9.451261e-06,9.440169e-06,9.393683e-06,9.389948e-06,9.346857e-06,9.328057e-06,9.299804e-06,9.265841e-06,9.252623e-06,9.205405e-06,9.203516e-06,9.158227e-06,9.141268e-06,9.111163e-06,9.079255e-06,9.064274e-06,9.017618e-06,8.971244e-06,8.956472e-06,8.925198e-06,8.895919e-06,8.879520e-06,8.836046e-06,8.834243e-06,8.789400e-06,8.776926e-06,8.745018e-06,8.718619e-06,8.701119e-06,8.661179e-06,8.657726e-06,8.614857e-06,8.604648e-06,8.572527e-06,8.549063e-06,8.530750e-06,8.494453e-06,8.489537e-06,8.448898e-06,8.440840e-06,8.408841e-06,8.388244e-06,8.369372e-06,8.336677e-06,8.330497e-06,8.292218e-06,8.286149e-06,8.254539e-06,8.236666e-06,8.217461e-06,8.188231e-06,8.180984e-06,8.145108e-06,8.140843e-06,8.109832e-06,8.094501e-06,8.075155e-06,8.049199e-06,8.041073e-06,8.007585e-06,8.004931e-06,7.974685e-06,7.961689e-06,7.942371e-06,7.919464e-06,7.910637e-06,7.879479e-06,7.878244e-06,7.848891e-06,7.838018e-06,7.818868e-06,7.798772e-06,7.789404e-06,7.760493e-06,7.723165e-06,7.686775e-06,7.651306e-06,7.616742e-06,7.583067e-06,7.550264e-06,7.518317e-06,7.487208e-06,7.456921e-06,7.427438e-06,7.398742e-06,7.370817e-06,7.343644e-06,7.317208e-06,7.291491e-06,7.266477e-06,7.242150e-06,7.218492e-06,7.195488e-06,7.173122e-06,7.151378e-06,7.130242e-06,7.109697e-06,7.089729e-06
0.000000e+00,2.549951e-09,5.903146e-09,2.062557e-08,4.753635e-08,6.988240e-08,1.623418e-07,1.674144e-07,3.340394e-07,3.965210e-07,5.959099e-07,8.105585e-07,9.806661e-07,1.457165e-06,1.504174e-06,2.163550e-06,2.340803e-06,2.947923e-06,3.438231e-06,3.848181e-06,4.731496e-06,4.858378e-06,5.974330e-06,6.209884e-06,7.192287e-06,7.864598e-06,8.508130e-06,9.685534e-06,9.916969e-06,1.141299e-05,1.166001e-05,1.298949e-05,1.377261e-05,1.463894e-05,1.600558e-05,1.635321e-05,1.812373e-05,1.833956e-05,1.994169e-05,2.075433e-05,2.179823e-05,2.322965e-05,2.368466e-05,2.559253e-05,2.574585e-05,2.751385e-05,2.828443e-05,2.944108e-05,3.082843e-05,3.136728e-05,3.328610e-05,3.336262e-05,3.519181e-05,3.587366e-05,3.707931e-05,3.835008e-05,3.894409e-05,4.078224e-05,4.259038e-05,4.316216e-05,4.436563e-05,4.548340e-05,4.610559e-05,4.774089e-05,4.780826e-05,4.947203e-05,4.993074e-05,5.109564e-05,5.205010e-05,5.267810e-05,5.409702e-05,5.421872e-05,5.571701e-05,5.607026e-05,5.717269e-05,5.796922e-05,5.858567e-05,5.979380e-05,5.995600e-05,6.128384e-05,6.154434e-05,6.256949e-05,6.322148e-05,6.381334e-05,6.482620e-05,6.501584e-05,6.617752e-05,6.635964e-05,6.729897e-05,6.782316e-05,6.838082e-05,6.921822e-05,6.942372e-05,7.042838e-05,7.054641e-05,7.139552e-05,7.180937e-05,7.232588e-05,7.300882e-05,7.322021e-05,7.407929e-05,7.414651e-05,7.490388e-05,7.522423e-05,7.569476e-05,7.624377e-05,7.645272e-05,7.717854e-05,7.720691e-05,7.787298e-05,7.811545e-05,7.853682e-05,7.897116e-05,7.917084e-05,7.977579e-05,8.035243e-05,8.053109e-05,8.090150e-05,8.123877e-05,8.142373e-05,8.190051e-05,8.191986e-05,8.239060e-05,8.251795e-05,8.283665e-05,8.309271e-05,8.325870e-05,8.362639e-05,8.365744e-05,8.403354e-05,8.412051e-05,8.438765e-05,8.457659e-05,8.472042e-05,8.499611e-05,8.503248e-05,8.532445e-05,8.538049e-05,8.559694e-05,8.573113e-05,8.585054e-05,8.604939e-05,8.608583e-05,8.630339e-05,8.633659e-05,8.650376e-05,8.659400e-05,8.668750e-05,8.682288e-05,8.685514e-05,8.700720e-05,8.702442e-05,8.714417e-05,8.719980e-05,8.726657e-05,8.735014e-05,8.737488e-05,8.746955e-05,8.747655e-05,8.755107e-05,8.758009e-05,8.761987e-05,8.766178e-05,8.767639e-05,8.772107e-05,8.772261e-05,8.775431e-05,8.776355e-05,8.777652e-05,8.778552e-05,8.778809e-05,8.778942e-05,8.777610e-05,8.774642e-05,8.770116e-05,8.764110e-05,8.756700e-05,8.747957e-05,8.737951e-05,8.726749e-05,8.714414e-05,8.701010e-05,8.686595e-05,8.671226e-05,8.654959e-05,8.637847e-05,8.619940e-05,8.601288e-05,8.581937e-05,8.561932e-05,8.541317e-05,8.520133e-05,8.498419e-05,8.476214e-05,8.453554e-05,8.430474e-05
0.000000e+00,6.778361e-11,2.899625e-10,2.297282e-09,8.430455e-09,1.497370e-08,4.947269e-08,5.159328e-08,1.283347e-07,1.594695e-07,2.638039e-07,3.823305e-07,4.802235e-07,7.737322e-07,8.043150e-07,1.265381e-06,1.399393e-06,1.887877e-06,2.311133e-06,2.680612e-06,3.510317e-06,3.632108e-06,4.716919e-06,4.947292e-06,5.906001e-06,6.556741e-06,7.173489e-06,8.283435e-06,8.498611e-06,9.865048e-06,1.008660e-05,1.125961e-05,1.193567e-05,1.267116e-05,1.380600e-05,1.408989e-05,1.550698e-05,1.567654e-05,1.691447e-05,1.752885e-05,1.830517e-05,1.934688e-05,1.967265e-05,2.101132e-05,2.111702e-05,2.231636e-05,2.282803e-05,2.358373e-05,2.447104e-05,2.481016e-05,2.599308e-05,2.603946e-05,2.713060e-05,2.752872e-05,2.822140e-05,2.893605e-05,2.926471e-05,3.026020e-05,3.120794e-05,3.150119e-05,3.210831e-05,3.265997e-05,3.296195e-05,3.373829e-05,3.376974e-05,3.453271e-05,3.473847e-05,3.525205e-05,3.566323e-05,3.592902e-05,3.651558e-05,3.656498e-05,3.716134e-05,3.729874e-05,3.771953e-05,3.801597e-05,3.824098e-05,3.867062e-05,3.872715e-05,3.917947e-05,3.926600e-05,3.959937e-05,3.980536e-05,3.998823e-05,4.029188e-05,4.034741e-05,4.067825e-05,4.072864e-05,4.098204e-05,4.111861e-05,4.126002e-05,4.146464e-05,4.151341e-05,4.174339e-05,4.176947e-05,4.195108e-05,4.203568e-05,4.213756e-05,4.226576e-05,4.230389e-05,4.245107e-05,4.246205e-05,4.258007e-05,4.262678e-05,4.269181e-05,4.276208e-05,4.278718e-05,4.286703e-05,4.286992e-05,4.293218e-05,4.295219e-05,4.298341e-05,4.301068e-05,4.302146e-05,4.304705e-05,4.306086e-05,4.306290e-05,4.306354e-05,4.305971e-05,4.305572e-05,4.303887e-05,4.303798e-05,4.301089e-05,4.300171e-05,4.297500e-05,4.294946e-05,4.293082e-05,4.288328e-05,4.287885e-05,4.281954e-05,4.280427e-05,4.275336e-05,4.271346e-05,4.268073e-05,4.261179e-05,4.260204e-05,4.251770e-05,4.250018e-05,4.242806e-05,4.237948e-05,4.233348e-05,4.225046e-05,4.223429e-05,4.213081e-05,4.211388e-05,4.202334e-05,4.197042e-05,4.191217e-05,4.182075e-05,4.179757e-05,4.167979e-05,4.166546e-05,4.155910e-05,4.150513e-05,4.143571e-05,4.134028e-05,4.130986e-05,4.118176e-05,4.117142e-05,4.105160e-05,4.099900e-05,4.091958e-05,4.082347e-05,4.078587e-05,4.065066e-05,4.064522e-05,4.051409e-05,4.046463e-05,4.037633e-05,4.028205e-05,4.023753e-05,4.009781e-05,3.991221e-05,3.972554e-05,3.953806e-05,3.935002e-05,3.916163e-05,3.897312e-05,3.878467e-05,3.859647e-05,3.840869e-05,3.822148e-05,3.803497e-05,3.784931e-05,3.766461e-05,3.748099e-05,3.729854e-05,3.711737e-05,3.693754e-05,3.675915e-05,3.658226e-05,3.640694e-05,3.623324e-05,3.606121e-05,3.589090e-05,3.572236e-05
0.000000e+00,9.583528e-09,2.195446e-08,7.570893e-08,1.731621e-07,2.537369e-07,5.856734e-07,6.038431e-07,1.199364e-06,1.422193e-06,2.132286e-06,2.896332e-06,3.502479e-06,5.204977e-06,5.373158e-06,7.727362e-06,8.356699e-06,1.049375e-05,1.219509e-05,1.359945e-05,1.656894e-05,1.698927e-05,2.062213e-05,2.137482e-05,2.446424e-05,2.653448e-05,2.848448e-05,3.197663e-05,3.265206e-05,3.693574e-05,3.762979e-05,4.130390e-05,4.342133e-05,4.572497e-05,4.927916e-05,5.016812e-05,5.460390e-05,5.513437e-05,5.900484e-05,6.092365e-05,6.334584e-05,6.659105e-05,6.760454e-05,7.176143e-05,7.208906e-05,7.579988e-05,7.737892e-05,7.970611e-05,8.243041e-05,8.346904e-05,8.708008e-05,8.722126e-05,9.053288e-05,9.173627e-05,9.382315e-05,9.596634e-05,9.694836e-05,9.990749e-05,1.027009e-04,1.035599e-04,1.053299e-04,1.069272e-04,1.077969e-04,1.100155e-04,1.101048e-04,1.122575e-04,1.128329e-04,1.142589e-04,1.153890e-04,1.161136e-04,1.176943e-04,1.178262e-04,1.194017e-04,1.197600e-04,1.208451e-04,1.215977e-04,1.221616e-04,1.232191e-04,1.233562e-04,1.244341e-04,1.246361e-04,1.254003e-04,1.258603e-04,1.262599e-04,1.269030e-04,1.270176e-04,1.276784e-04,1.277755e-04,1.282470e-04,1.284884e-04,1.287278e-04,1.290522e-04,1.291253e-04,1.294438e-04,1.294769e-04,1.296875e-04,1.297720e-04,1.298603e-04,1.299467e-04,1.299662e-04,1.300089e-04,1.300097e-04,1.299920e-04,1.299693e-04,1.299189e-04,1.298334e-04,1.297930e-04,1.296174e-04,1.296094e-04,1.293952e-04,1.293044e-04,1.291294e-04,1.289251e-04,1.288226e-04,1.284778e-04,1.280973e-04,1.279684e-04,1.276836e-04,1.274026e-04,1.272392e-04,1.267856e-04,1.267661e-04,1.262666e-04,1.261223e-04,1.257427e-04,1.254174e-04,1.251963e-04,1.246753e-04,1.246292e-04,1.240433e-04,1.239000e-04,1.234401e-04,1.230954e-04,1.228213e-04,1.222649e-04,1.221883e-04,1.215425e-04,1.214120e-04,1.208854e-04,1.205397e-04,1.202182e-04,1.196508e-04,1.195421e-04,1.188582e-04,1.187482e-04,1.181677e-04,1.178342e-04,1.174715e-04,1.169111e-04,1.167706e-04,1.160660e-04,1.159812e-04,1.153584e-04,1.150463e-04,1.146487e-04,1.141083e-04,1.139376e-04,1.132259e-04,1.131689e-04,1.125142e-04,1.122296e-04,1.118031e-04,1.112918e-04,1.110932e-04,1.103852e-04,1.103569e-04,1.096794e-04,1.094260e-04,1.089764e-04,1.085001e-04,1.082765e-04,1.075803e-04,1.066675e-04,1.057625e-04,1.048660e-04,1.039786e-04,1.031009e-04,1.022335e-04,1.013768e-04,1.005311e-04,9.969696e-05,9.887452e-05,9.806407e-05,9.726582e-05,9.647995e-05,9.570658e-05,9.494583e-05,9.419777e-05,9.346244e-05,9.273987e-05,9.203005e-05,9.133294e-05,9.064852e-05,8.997671e-05,8.931743e-05,8.867059e-05
0.000000e+00,6.062779e-12,2.928359e-11,2.931768e-10,1.304272e-09,2.553560e-09,1.056854e-08,1.111430e-08,3.330759e-08,4.328478e-08,7.931323e-08,1.235866e-07,1.619931e-07,2.837123e-07,2.968225e-07,5.012963e-07,5.627076e-07,7.926844e-07,9.990026e-07,1.184103e-06,1.615837e-06,1.681005e-06,2.280202e-06,2.411508e-06,2.971416e-06,3.362445e-06,3.739996e-06,4.433395e-06,4.569535e-06,5.443731e-06,5.586714e-06,6.347448e-06,6.787680e-06,7.267154e-06,8.006405e-06,8.190986e-06,9.108636e-06,9.217902e-06,1.001119e-05,1.040152e-05,1.089098e-05,1.154035e-05,1.174149e-05,1.255724e-05,1.262086e-05,1.333382e-05,1.363268e-05,1.406777e-05,1.456837e-05,1.475657e-05,1.539859e-05,1.542328e-05,1.599299e-05,1.619527e-05,1.653966e-05,1.688440e-05,1.703916e-05,1.749253e-05,1.790129e-05,1.802298e-05,1.826733e-05,1.848013e-05,1.859274e-05,1.886905e-05,1.887983e-05,1.913098e-05,1.919520e-05,1.934865e-05,1.946419e-05,1.953527e-05,1.968160e-05,1.969324e-05,1.982488e-05,1.985280e-05,1.993241e-05,1.998289e-05,2.001795e-05,2.007659e-05,2.008346e-05,2.013080e-05,2.013824e-05,2.016169e-05,2.017178e-05,2.017771e-05,2.018074e-05,2.018031e-05,2.017083e-05,2.016828e-05,2.015049e-05,2.013720e-05,2.012039e-05,2.008997e-05,2.008154e-05,2.003485e-05,2.002877e-05,1.998116e-05,1.995551e-05,1.992121e-05,1.987188e-05,1.985567e-05,1.978517e-05,1.977933e-05,1.971025e-05,1.967916e-05,1.963142e-05,1.957249e-05,1.954913e-05,1.946378e-05,1.946031e-05,1.937576e-05,1.934348e-05,1.928539e-05,1.922276e-05,1.919298e-05,1.909881e-05,1.900313e-05,1.897223e-05,1.890616e-05,1.884352e-05,1.880811e-05,1.871315e-05,1.870918e-05,1.860953e-05,1.858152e-05,1.850932e-05,1.844898e-05,1.840868e-05,1.831585e-05,1.830776e-05,1.820668e-05,1.818240e-05,1.810552e-05,1.804889e-05,1.800441e-05,1.791554e-05,1.790343e-05,1.780265e-05,1.778253e-05,1.770216e-05,1.765004e-05,1.760203e-05,1.751824e-05,1.750231e-05,1.740307e-05,1.738724e-05,1.730436e-05,1.725718e-05,1.720622e-05,1.712816e-05,1.710870e-05,1.701185e-05,1.700027e-05,1.691568e-05,1.687360e-05,1.682025e-05,1.674822e-05,1.672557e-05,1.663168e-05,1.662420e-05,1.653859e-05,1.650158e-05,1.644633e-05,1.638042e-05,1.635491e-05,1.626437e-05,1.626076e-05,1.617470e-05,1.614263e-05,1.608592e-05,1.602606e-05,1.599804e-05,1.591108e-05,1.579771e-05,1.568595e-05,1.557583e-05,1.546735e-05,1.536052e-05,1.525533e-05,1.515180e-05,1.504990e-05,1.494965e-05,1.485104e-05,1.475404e-05,1.465867e-05,1.456489e-05,1.447271e-05,1.438211e-05,1.429306e-05,1.420557e-05,1.411960e-05,1.403515e-05,1.395219e-05,1.387070e-05,1.379068e-05,1.371209e-05,1.363491e-05
0.000000e+00,5.163621e-10,2.185080e-09,1.699469e-08,6.162304e-08,1.089568e-07,3.583338e-07,3.737069e-07,9.356195e-07,1.166838e-06,1.954618e-06,2.871109e-06,3.642721e-06,6.016841e-06,6.268316e-06,1.011714e-05,1.124876e-05,1.539068e-05,1.897965e-05,2.210182e-05,2.905992e-05,3.007472e-05,3.904363e-05,4.093343e-05,4.875071e-05,5.401921e-05,5.898906e-05,6.788552e-05,6.960410e-05,8.047987e-05,8.223784e-05,9.152520e-05,9.686447e-05,1.026642e-04,1.115982e-04,1.138309e-04,1.249665e-04,1.262981e-04,1.360184e-04,1.408425e-04,1.469398e-04,1.551271e-04,1.576892e-04,1.682306e-04,1.690640e-04,1.785335e-04,1.825820e-04,1.885725e-04,1.956253e-04,1.983269e-04,2.077805e-04,2.081522e-04,2.169212e-04,2.201335e-04,2.257404e-04,2.315508e-04,2.342324e-04,2.423943e-04,2.502254e-04,2.526615e-04,2.577267e-04,2.623557e-04,2.649010e-04,2.714842e-04,2.717521e-04,2.782851e-04,2.800581e-04,2.845057e-04,2.880907e-04,2.904203e-04,2.955974e-04,2.960358e-04,3.013596e-04,3.025947e-04,3.063991e-04,3.091000e-04,3.111623e-04,3.151314e-04,3.156569e-04,3.198909e-04,3.207071e-04,3.238722e-04,3.258454e-04,3.276090e-04,3.305646e-04,3.311090e-04,3.343801e-04,3.348827e-04,3.374300e-04,3.388177e-04,3.402665e-04,3.423869e-04,3.428969e-04,3.453286e-04,3.456075e-04,3.475690e-04,3.484959e-04,3.496249e-04,3.510684e-04,3.515034e-04,3.532112e-04,3.533407e-04,3.547549e-04,3.553278e-04,3.561408e-04,3.570446e-04,3.573753e-04,3.584644e-04,3.585050e-04,3.594140e-04,3.597228e-04,3.602299e-04,3.607112e-04,3.609176e-04,3.614826e-04,3.619301e-04,3.620493e-04,3.622652e-04,3.624230e-04,3.624929e-04,3.626148e-04,3.626179e-04,3.626448e-04,3.626354e-04,3.625782e-04,3.624951e-04,3.624223e-04,3.622037e-04,3.621814e-04,3.618595e-04,3.617706e-04,3.614605e-04,3.612049e-04,3.609883e-04,3.605149e-04,3.604463e-04,3.598383e-04,3.597090e-04,3.591675e-04,3.587950e-04,3.584373e-04,3.577802e-04,3.576507e-04,3.568110e-04,3.566719e-04,3.559209e-04,3.554766e-04,3.549833e-04,3.542009e-04,3.540009e-04,3.529764e-04,3.528508e-04,3.519123e-04,3.514322e-04,3.508110e-04,3.499505e-04,3.496748e-04,3.485059e-04,3.484111e-04,3.473066e-04,3.468188e-04,3.460789e-04,3.451784e-04,3.448247e-04,3.435460e-04,3.434944e-04,3.422447e-04,3.417710e-04,3.409224e-04,3.400121e-04,3.395808e-04,3.382216e-04,3.364031e-04,3.345599e-04,3.326952e-04,3.308121e-04,3.289133e-04,3.270016e-04,3.250795e-04,3.231493e-04,3.212133e-04,3.192736e-04,3.173321e-04,3.153906e-04,3.134509e-04,3.115146e-04,3.095832e-04,3.076581e-04,3.057406e-04,3.038318e-04,3.019330e-04,3.000452e-04,2.981693e-04,2.963062e-04,2.944568e-04,2.926217e-04
0.000000e+00,2.727939e-12,1.365255e-11,1.470079e-10,6.979569e-10,1.415203e-09,6.393240e-09,6.746671e-09,2.192825e-08,2.909745e-08,5.603609e-08,9.061679e-08,1.214868e-07,2.226911e-07,2.338165e-07,4.111990e-07,4.656437e-07,6.735444e-07,8.651453e-07,1.041080e-06,1.466568e-06,1.532673e-06,2.164359e-06,2.308658e-06,2.948369e-06,3.419071e-06,3.892671e-06,4.812557e-06,5.000923e-06,6.272675e-06,6.491097e-06,7.703723e-06,8.445105e-06,9.286512e-06,1.065505e-05,1.101058e-05,1.286299e-05,1.309321e-05,1.482878e-05,1.572544e-05,1.689143e-05,1.851298e-05,1.903326e-05,2.123589e-05,2.141417e-05,2.348066e-05,2.438620e-05,2.574902e-05,2.738668e-05,2.802291e-05,3.028507e-05,3.037508e-05,3.251931e-05,3.331389e-05,3.471076e-05,3.616960e-05,3.684602e-05,3.891329e-05,4.090241e-05,4.152099e-05,4.280491e-05,4.397383e-05,4.461396e-05,4.625784e-05,4.632431e-05,4.793220e-05,4.836369e-05,4.943526e-05,5.028626e-05,5.083237e-05,5.202412e-05,5.212353e-05,5.330972e-05,5.357897e-05,5.439277e-05,5.495515e-05,5.537523e-05,5.615905e-05,5.626021e-05,5.705131e-05,5.719861e-05,5.775247e-05,5.808291e-05,5.836789e-05,5.882178e-05,5.890194e-05,5.935911e-05,5.942542e-05,5.974389e-05,5.990420e-05,6.006078e-05,6.026839e-05,6.031420e-05,6.050846e-05,6.052800e-05,6.064776e-05,6.069267e-05,6.073611e-05,6.077158e-05,6.077740e-05,6.077530e-05,6.077337e-05,6.073333e-05,6.070612e-05,6.065478e-05,6.057735e-05,6.054279e-05,6.040028e-05,6.039399e-05,6.023000e-05,6.016240e-05,6.003452e-05,5.988842e-05,5.981623e-05,5.957736e-05,5.931998e-05,5.923403e-05,5.904602e-05,5.886280e-05,5.875725e-05,5.846763e-05,5.845532e-05,5.814175e-05,5.805206e-05,5.781795e-05,5.761931e-05,5.748522e-05,5.717223e-05,5.714473e-05,5.679760e-05,5.671341e-05,5.644482e-05,5.624515e-05,5.608733e-05,5.576951e-05,5.572597e-05,5.536152e-05,5.528833e-05,5.499470e-05,5.480324e-05,5.462616e-05,5.431569e-05,5.425649e-05,5.388624e-05,5.382698e-05,5.351591e-05,5.333825e-05,5.314594e-05,5.285052e-05,5.277676e-05,5.240873e-05,5.236466e-05,5.204219e-05,5.188147e-05,5.167746e-05,5.140164e-05,5.131480e-05,5.095447e-05,5.092576e-05,5.059670e-05,5.045435e-05,5.024168e-05,4.998788e-05,4.988961e-05,4.954062e-05,4.952673e-05,4.919489e-05,4.907124e-05,4.885252e-05,4.862169e-05,4.851363e-05,4.817832e-05,4.774133e-05,4.731088e-05,4.688711e-05,4.647011e-05,4.605996e-05,4.565671e-05,4.526039e-05,4.487102e-05,4.448859e-05,4.411309e-05,4.374449e-05,4.338274e-05,4.302780e-05,4.267960e-05,4.233808e-05,4.200316e-05,4.167476e-05,4.135280e-05,4.103719e-05,4.072783e-05,4.042462e-05,4.012748e-05,3.983630e-05,3.955097e-05
0.000000e+00,2.530070e-09,5.921269e-09,2.081598e-08,4.784784e-08,7.010825e-08,1.607608e-07,1.656755e-07,3.244098e-07,3.827968e-07,5.661980e-07,7.606731e-07,9.141732e-07,1.348518e-06,1.391993e-06,2.015784e-06,2.187454e-06,2.783465e-06,3.268591e-06,3.673191e-06,4.532983e-06,4.654627e-06,5.700158e-06,5.914971e-06,6.788441e-06,7.365765e-06,7.903449e-06,8.851477e-06,9.032658e-06,1.016571e-05,1.034674e-05,1.129366e-05,1.183090e-05,1.240859e-05,1.328644e-05,1.350351e-05,1.457227e-05,1.469851e-05,1.560960e-05,1.605490e-05,1.661109e-05,1.734604e-05,1.757319e-05,1.849316e-05,1.856488e-05,1.936904e-05,1.970672e-05,2.019951e-05,2.076894e-05,2.098392e-05,2.172214e-05,2.175072e-05,2.241446e-05,2.265258e-05,2.306155e-05,2.347623e-05,2.366439e-05,2.422421e-05,2.474240e-05,2.489968e-05,2.522051e-05,2.550621e-05,2.566016e-05,2.604761e-05,2.606304e-05,2.643087e-05,2.652782e-05,2.676538e-05,2.695081e-05,2.706830e-05,2.732053e-05,2.734131e-05,2.758605e-05,2.764077e-05,2.780413e-05,2.791518e-05,2.799708e-05,2.814727e-05,2.816639e-05,2.831348e-05,2.834036e-05,2.843972e-05,2.849756e-05,2.854641e-05,2.862183e-05,2.863478e-05,2.870602e-05,2.871590e-05,2.876123e-05,2.878235e-05,2.880147e-05,2.882357e-05,2.882776e-05,2.884103e-05,2.884179e-05,2.884219e-05,2.883907e-05,2.883207e-05,2.881733e-05,2.881148e-05,2.878117e-05,2.877835e-05,2.874185e-05,2.872375e-05,2.869418e-05,2.865506e-05,2.863881e-05,2.857631e-05,2.857367e-05,2.850725e-05,2.848089e-05,2.843215e-05,2.837789e-05,2.835151e-05,2.826578e-05,2.817540e-05,2.814557e-05,2.808078e-05,2.801818e-05,2.798230e-05,2.788447e-05,2.788032e-05,2.777519e-05,2.774522e-05,2.766720e-05,2.760117e-05,2.755666e-05,2.745296e-05,2.744385e-05,2.732903e-05,2.730120e-05,2.721244e-05,2.714646e-05,2.709430e-05,2.698923e-05,2.697483e-05,2.685424e-05,2.683000e-05,2.673269e-05,2.666917e-05,2.661038e-05,2.650715e-05,2.648745e-05,2.636406e-05,2.634429e-05,2.624035e-05,2.618090e-05,2.611646e-05,2.601729e-05,2.599249e-05,2.586858e-05,2.585371e-05,2.574481e-05,2.569042e-05,2.562129e-05,2.552764e-05,2.549811e-05,2.537535e-05,2.536555e-05,2.525310e-05,2.520435e-05,2.513141e-05,2.504419e-05,2.501036e-05,2.489002e-05,2.488522e-05,2.477042e-05,2.472756e-05,2.465163e-05,2.457134e-05,2.453370e-05,2.441666e-05,2.426361e-05,2.411227e-05,2.396271e-05,2.381499e-05,2.366917e-05,2.352529e-05,2.338339e-05,2.324351e-05,2.310566e-05,2.296987e-05,2.283616e-05,2.270453e-05,2.257500e-05,2.244756e-05,2.232222e-05,2.219898e-05,2.207782e-05,2.195874e-05,2.184173e-05,2.172677e-05,2.161385e-05,2.150296e-05,2.139407e-05,2.128717e-05
0.000000e+00,2.588235e-12,1.337514e-11,1.540515e-10,7.785812e-10,1.634647e-09,8.095325e-09,8.575373e-09,3.062921e-08,4.172215e-08,8.591690e-08,1.468587e-07,2.042643e-07,4.072468e-07,4.307119e-07,8.290675e-07,9.592604e-07,1.484687e-06,2.003448e-06,2.505183e-06,3.806085e-06,4.018298e-06,6.167400e-06,6.686919e-06,9.105749e-06,1.099779e-05,1.299054e-05,1.709910e-05,1.797728e-05,2.421489e-05,2.533839e-05,3.184145e-05,3.603254e-05,4.098079e-05,4.945386e-05,5.173970e-05,6.420588e-05,6.581996e-05,7.844646e-05,8.528701e-05,9.450717e-05,1.079462e-04,1.124120e-04,1.321634e-04,1.338229e-04,1.537428e-04,1.628784e-04,1.771117e-04,1.950140e-04,2.022130e-04,2.289724e-04,2.300761e-04,2.573006e-04,2.678634e-04,2.870948e-04,3.081343e-04,3.182408e-04,3.506153e-04,3.840878e-04,3.950087e-04,4.185222e-04,4.410010e-04,4.537795e-04,4.882698e-04,4.897187e-04,5.261990e-04,5.364914e-04,5.630810e-04,5.853460e-04,6.002280e-04,6.345233e-04,6.375075e-04,6.747917e-04,6.837270e-04,7.119587e-04,7.326775e-04,7.488927e-04,7.811154e-04,7.854851e-04,8.216345e-04,8.288028e-04,8.572470e-04,8.755245e-04,8.922367e-04,9.210890e-04,9.265251e-04,9.600415e-04,9.653281e-04,9.927229e-04,1.008097e-03,1.024514e-03,1.049273e-03,1.055366e-03,1.085237e-03,1.088754e-03,1.114094e-03,1.126461e-03,1.141906e-03,1.162331e-03,1.168652e-03,1.194315e-03,1.196320e-03,1.218882e-03,1.228400e-03,1.242346e-03,1.258557e-03,1.264706e-03,1.285962e-03,1.286790e-03,1.306120e-03,1.313110e-03,1.325188e-03,1.337538e-03,1.343178e-03,1.360105e-03,1.375984e-03,1.380847e-03,1.390835e-03,1.399810e-03,1.404679e-03,1.417043e-03,1.417538e-03,1.429437e-03,1.432599e-03,1.440399e-03,1.446538e-03,1.450451e-03,1.458918e-03,1.459620e-03,1.467933e-03,1.469803e-03,1.475417e-03,1.479257e-03,1.482101e-03,1.487343e-03,1.488012e-03,1.493180e-03,1.494126e-03,1.497631e-03,1.499673e-03,1.501395e-03,1.504045e-03,1.504499e-03,1.506970e-03,1.507309e-03,1.508836e-03,1.509524e-03,1.510123e-03,1.510754e-03,1.510858e-03,1.511065e-03,1.511056e-03,1.510771e-03,1.510489e-03,1.510000e-03,1.509109e-03,1.508775e-03,1.507120e-03,1.506970e-03,1.505057e-03,1.504123e-03,1.502609e-03,1.500620e-03,1.499797e-03,1.496641e-03,1.496508e-03,1.493161e-03,1.491833e-03,1.489377e-03,1.486639e-03,1.485307e-03,1.480969e-03,1.474861e-03,1.468354e-03,1.461484e-03,1.454286e-03,1.446791e-03,1.439029e-03,1.431031e-03,1.422822e-03,1.414429e-03,1.405875e-03,1.397184e-03,1.388375e-03,1.379469e-03,1.370485e-03,1.361439e-03,1.352348e-03,1.343227e-03,1.334089e-03,1.324947e-03,1.315814e-03,1.306701e-03,1.297617e-03,1.288572e-03,1.279575e-03
0.000000e+00,1.957942e-09,4.502317e-09,1.554678e-08,3.546133e-08,5.182260e-08,1.183558e-07,1.219611e-07,2.383347e-07,2.810747e-07,4.147305e-07,5.545858e-07,6.628647e-07,9.562833e-07,9.845565e-07,1.371179e-06,1.472412e-06,1.812146e-06,2.079580e-06,2.298957e-06,2.759710e-06,2.824626e-06,3.382685e-06,3.497621e-06,3.966745e-06,4.278618e-06,4.570454e-06,5.088222e-06,5.187629e-06,5.812425e-06,5.912734e-06,6.439496e-06,6.739883e-06,7.064107e-06,7.559267e-06,7.682188e-06,8.290346e-06,8.362522e-06,8.885839e-06,9.143271e-06,9.466524e-06,9.896932e-06,1.003079e-05,1.057749e-05,1.062044e-05,1.110587e-05,1.131199e-05,1.161549e-05,1.197070e-05,1.210618e-05,1.257798e-05,1.259646e-05,1.303108e-05,1.318967e-05,1.346579e-05,1.375111e-05,1.388255e-05,1.428182e-05,1.466414e-05,1.478299e-05,1.503006e-05,1.525591e-05,1.538016e-05,1.570191e-05,1.571502e-05,1.603523e-05,1.612234e-05,1.634136e-05,1.651852e-05,1.663399e-05,1.689175e-05,1.691366e-05,1.718092e-05,1.724327e-05,1.743629e-05,1.757430e-05,1.768028e-05,1.788597e-05,1.791338e-05,1.813605e-05,1.817938e-05,1.834875e-05,1.845556e-05,1.855191e-05,1.871549e-05,1.874594e-05,1.893124e-05,1.896010e-05,1.910819e-05,1.919026e-05,1.927714e-05,1.940679e-05,1.943846e-05,1.959246e-05,1.961046e-05,1.973946e-05,1.980201e-05,1.987977e-05,1.998210e-05,2.001367e-05,2.014143e-05,2.015139e-05,2.026332e-05,2.031048e-05,2.037958e-05,2.045994e-05,2.049046e-05,2.059617e-05,2.060029e-05,2.069694e-05,2.073204e-05,2.079297e-05,2.085566e-05,2.088446e-05,2.097159e-05,2.105455e-05,2.108024e-05,2.113350e-05,2.118200e-05,2.120861e-05,2.127724e-05,2.128003e-05,2.134791e-05,2.136631e-05,2.141240e-05,2.144952e-05,2.147363e-05,2.152719e-05,2.153172e-05,2.158681e-05,2.159959e-05,2.163900e-05,2.166701e-05,2.168842e-05,2.172970e-05,2.173517e-05,2.177936e-05,2.178790e-05,2.182108e-05,2.184183e-05,2.186042e-05,2.189170e-05,2.189749e-05,2.193235e-05,2.193774e-05,2.196511e-05,2.198011e-05,2.199584e-05,2.201901e-05,2.202461e-05,2.205150e-05,2.205460e-05,2.207658e-05,2.208705e-05,2.209991e-05,2.211652e-05,2.212156e-05,2.214160e-05,2.214313e-05,2.216008e-05,2.216705e-05,2.217706e-05,2.218838e-05,2.219259e-05,2.220673e-05,2.220727e-05,2.221953e-05,2.222382e-05,2.223104e-05,2.223815e-05,2.224130e-05,2.225036e-05,2.226056e-05,2.226884e-05,2.227529e-05,2.228000e-05,2.228306e-05,2.228454e-05,2.228451e-05,2.228306e-05,2.228024e-05,2.227613e-05,2.227079e-05,2.226427e-05,2.225663e-05,2.224793e-05,2.223823e-05,2.222756e-05,2.221598e-05,2.220354e-05,2.219027e-05,2.217623e-05,2.216144e-05,2.214596e-05,2.212981e-05,2.211304e-05
0.000000e+00,2.115264e-09,5.518835e-09,2.176651e-08,5.275908e-08,7.880990e-08,1.865856e-07,1.924653e-07,3.828825e-07,4.529440e-07,6.724065e-07,9.033857e-07,1.083853e-06,1.582505e-06,1.631328e-06,2.311087e-06,2.492337e-06,3.108598e-06,3.601224e-06,4.009683e-06,4.879263e-06,5.002996e-06,6.078595e-06,6.302730e-06,7.226649e-06,7.848882e-06,8.436878e-06,9.493619e-06,9.698468e-06,1.100026e-05,1.121153e-05,1.233104e-05,1.297688e-05,1.367985e-05,1.476486e-05,1.503627e-05,1.639064e-05,1.655260e-05,1.773424e-05,1.831999e-05,1.905937e-05,2.005000e-05,2.035940e-05,2.162878e-05,2.172886e-05,2.286295e-05,2.334593e-05,2.405832e-05,2.489339e-05,2.521214e-05,2.632243e-05,2.636592e-05,2.738789e-05,2.776031e-05,2.840776e-05,2.907509e-05,2.938179e-05,3.031013e-05,3.119323e-05,3.146638e-05,3.203183e-05,3.254560e-05,3.282686e-05,3.355012e-05,3.357942e-05,3.429073e-05,3.448268e-05,3.496208e-05,3.534627e-05,3.559483e-05,3.614407e-05,3.619038e-05,3.675013e-05,3.687931e-05,3.727551e-05,3.755522e-05,3.776790e-05,3.817503e-05,3.822870e-05,3.865926e-05,3.874186e-05,3.906092e-05,3.925878e-05,3.943496e-05,3.972872e-05,3.978263e-05,4.010516e-05,4.015451e-05,4.040371e-05,4.053883e-05,4.067941e-05,4.088426e-05,4.093335e-05,4.116658e-05,4.119322e-05,4.138010e-05,4.146805e-05,4.157486e-05,4.171091e-05,4.175180e-05,4.191180e-05,4.192389e-05,4.205570e-05,4.210894e-05,4.218432e-05,4.226789e-05,4.229842e-05,4.239875e-05,4.240249e-05,4.248601e-05,4.251436e-05,4.256088e-05,4.260504e-05,4.262400e-05,4.267598e-05,4.271742e-05,4.272855e-05,4.274887e-05,4.276400e-05,4.277086e-05,4.278355e-05,4.278391e-05,4.278849e-05,4.278832e-05,4.278507e-05,4.277937e-05,4.277409e-05,4.275768e-05,4.275598e-05,4.273112e-05,4.272419e-05,4.269990e-05,4.267977e-05,4.266268e-05,4.262525e-05,4.261982e-05,4.257163e-05,4.256138e-05,4.251843e-05,4.248889e-05,4.246052e-05,4.240845e-05,4.239819e-05,4.233170e-05,4.232069e-05,4.226131e-05,4.222621e-05,4.218727e-05,4.212557e-05,4.210981e-05,4.202916e-05,4.201927e-05,4.194551e-05,4.190782e-05,4.185909e-05,4.179166e-05,4.177007e-05,4.167863e-05,4.167122e-05,4.158497e-05,4.154691e-05,4.148922e-05,4.141909e-05,4.139157e-05,4.129214e-05,4.128813e-05,4.119109e-05,4.115434e-05,4.108855e-05,4.101804e-05,4.098465e-05,4.087951e-05,4.073902e-05,4.059683e-05,4.045316e-05,4.030825e-05,4.016228e-05,4.001547e-05,3.986797e-05,3.971997e-05,3.957162e-05,3.942306e-05,3.927443e-05,3.912586e-05,3.897745e-05,3.882933e-05,3.868159e-05,3.853433e-05,3.838763e-05,3.824158e-05,3.809625e-05,3.795171e-05,3.780802e-05,3.766525e-05,3.752345e-05,3.738266e-05
0.000000e+00,7.687083e-12,3.792941e-11,3.967387e-10,1.835740e-09,3.671337e-09,1.603227e-08,1.689625e-08,5.327380e-08,7.015903e-08,1.327815e-07,2.121146e-07,2.823936e-07,5.110766e-07,5.361213e-07,9.341154e-07,1.055886e-06,1.519289e-06,1.943866e-06,2.331341e-06,3.258093e-06,3.400717e-06,4.745145e-06,5.047662e-06,6.369295e-06,7.322588e-06,8.266581e-06,1.006045e-05,1.042180e-05,1.281375e-05,1.321679e-05,1.541733e-05,1.673424e-05,1.820515e-05,2.054884e-05,2.114857e-05,2.421846e-05,2.459396e-05,2.738572e-05,2.880276e-05,3.062172e-05,3.310988e-05,3.389862e-05,3.718977e-05,3.745291e-05,4.046997e-05,4.177367e-05,4.371581e-05,4.601944e-05,4.690589e-05,5.002104e-05,5.014384e-05,5.304446e-05,5.410759e-05,5.596178e-05,5.787878e-05,5.876109e-05,6.143285e-05,6.396983e-05,6.475232e-05,6.636695e-05,6.782618e-05,6.862107e-05,7.064923e-05,7.073084e-05,7.269647e-05,7.322120e-05,7.451952e-05,7.554598e-05,7.620266e-05,7.763071e-05,7.774954e-05,7.916455e-05,7.948507e-05,8.045265e-05,8.112056e-05,8.161925e-05,8.254987e-05,8.267005e-05,8.361093e-05,8.378644e-05,8.444785e-05,8.484396e-05,8.518680e-05,8.573611e-05,8.583367e-05,8.639423e-05,8.647629e-05,8.687411e-05,8.707739e-05,8.727871e-05,8.755169e-05,8.761323e-05,8.788262e-05,8.791080e-05,8.809160e-05,8.816558e-05,8.824465e-05,8.832615e-05,8.834596e-05,8.839950e-05,8.840184e-05,8.840901e-05,8.840127e-05,8.837796e-05,8.833234e-05,8.830962e-05,8.820705e-05,8.820227e-05,8.807307e-05,8.801767e-05,8.791034e-05,8.778453e-05,8.772133e-05,8.750833e-05,8.727346e-05,8.719401e-05,8.701871e-05,8.684608e-05,8.674590e-05,8.646860e-05,8.645674e-05,8.615281e-05,8.606527e-05,8.583557e-05,8.563941e-05,8.550638e-05,8.519406e-05,8.516650e-05,8.481708e-05,8.473192e-05,8.445921e-05,8.425548e-05,8.409388e-05,8.376696e-05,8.372202e-05,8.334448e-05,8.326836e-05,8.296205e-05,8.276150e-05,8.257546e-05,8.224801e-05,8.218539e-05,8.179246e-05,8.172937e-05,8.139726e-05,8.120691e-05,8.100031e-05,8.068183e-05,8.060211e-05,8.020312e-05,8.015521e-05,7.980375e-05,7.962801e-05,7.940439e-05,7.910111e-05,7.900540e-05,7.860711e-05,7.857529e-05,7.820982e-05,7.805125e-05,7.781381e-05,7.752962e-05,7.741933e-05,7.702663e-05,7.701096e-05,7.663591e-05,7.649578e-05,7.624738e-05,7.598453e-05,7.586122e-05,7.547759e-05,7.497533e-05,7.447805e-05,7.398603e-05,7.349949e-05,7.301866e-05,7.254370e-05,7.207477e-05,7.161200e-05,7.115550e-05,7.070535e-05,7.026163e-05,6.982440e-05,6.939368e-05,6.896951e-05,6.855191e-05,6.814087e-05,6.773640e-05,6.733847e-05,6.694706e-05,6.656215e-05,6.618369e-05,6.581164e-05,6.544596e-05,6.508658e-05
0.000000e+00,2.420775e-11,1.160732e-10,1.145568e-09,5.035681e-09,9.798958e-09,3.998288e-08,4.202535e-08,1.244755e-07,1.613096e-07,2.937010e-07,4.555788e-07,5.955447e-07,1.037329e-06,1.084791e-06,1.823066e-06,2.044276e-06,2.871478e-06,3.612672e-06,4.277314e-06,5.827207e-06,6.061152e-06,8.212473e-06,8.683980e-06,1.069488e-05,1.209957e-05,1.345611e-05,1.594824e-05,1.643767e-05,1.958168e-05,2.009614e-05,2.283461e-05,2.442048e-05,2.614880e-05,2.881610e-05,2.948264e-05,3.280028e-05,3.319579e-05,3.607101e-05,3.748843e-05,3.926888e-05,4.163706e-05,4.237224e-05,4.536339e-05,4.559740e-05,4.822838e-05,4.933657e-05,5.095660e-05,5.283192e-05,5.354057e-05,5.597554e-05,5.606980e-05,5.825923e-05,5.904423e-05,6.039143e-05,6.175550e-05,6.237364e-05,6.420882e-05,6.590101e-05,6.641311e-05,6.745518e-05,6.837996e-05,6.887689e-05,7.012273e-05,7.017220e-05,7.134740e-05,7.165582e-05,7.240896e-05,7.299404e-05,7.336333e-05,7.415216e-05,7.421688e-05,7.497587e-05,7.514463e-05,7.564636e-05,7.598536e-05,7.623419e-05,7.668755e-05,7.674495e-05,7.718396e-05,7.726360e-05,7.755626e-05,7.772508e-05,7.786661e-05,7.808273e-05,7.811951e-05,7.831919e-05,7.834646e-05,7.846961e-05,7.852543e-05,7.857451e-05,7.862799e-05,7.863736e-05,7.866140e-05,7.866183e-05,7.864969e-05,7.863394e-05,7.860504e-05,7.855071e-05,7.853009e-05,7.842732e-05,7.841797e-05,7.829901e-05,7.824102e-05,7.814730e-05,7.802470e-05,7.797417e-05,7.778147e-05,7.777338e-05,7.757091e-05,7.749105e-05,7.734410e-05,7.718135e-05,7.710252e-05,7.684755e-05,7.658047e-05,7.649264e-05,7.630247e-05,7.611933e-05,7.601466e-05,7.573009e-05,7.571807e-05,7.541365e-05,7.532714e-05,7.510230e-05,7.491250e-05,7.478483e-05,7.448801e-05,7.446201e-05,7.413454e-05,7.405534e-05,7.380309e-05,7.361597e-05,7.346827e-05,7.317128e-05,7.313063e-05,7.279070e-05,7.272248e-05,7.244897e-05,7.227071e-05,7.210589e-05,7.181696e-05,7.176186e-05,7.141729e-05,7.136213e-05,7.107252e-05,7.090705e-05,7.072788e-05,7.045246e-05,7.038367e-05,7.004018e-05,6.999902e-05,6.969766e-05,6.954732e-05,6.935635e-05,6.909790e-05,6.901647e-05,6.867823e-05,6.865124e-05,6.834179e-05,6.820777e-05,6.800735e-05,6.776786e-05,6.767504e-05,6.734501e-05,6.733186e-05,6.701740e-05,6.690007e-05,6.669231e-05,6.647274e-05,6.636985e-05,6.605013e-05,6.563242e-05,6.521979e-05,6.481240e-05,6.441038e-05,6.401384e-05,6.362287e-05,6.323754e-05,6.285791e-05,6.248402e-05,6.211592e-05,6.175362e-05,6.139713e-05,6.104645e-05,6.070157e-05,6.036248e-05,6.002916e-05,5.970157e-05,5.937968e-05,5.906345e-05,5.875284e-05,5.844779e-05,5.814826e-05,5.785418e-05,5.756550e-05
0.000000e+00,3.191794e-09,7.370714e-09,2.557528e-08,5.843070e-08,8.538198e-08,1.943025e-07,2.001707e-07,3.877726e-07,4.558785e-07,6.668354e-07,8.856934e-07,1.054905e-06,1.517178e-06,1.562191e-06,2.188344e-06,2.355730e-06,2.927992e-06,3.389646e-06,3.775482e-06,4.606142e-06,4.725338e-06,5.771497e-06,5.991677e-06,6.906800e-06,7.529647e-06,8.122850e-06,9.199796e-06,9.410127e-06,1.075823e-05,1.097885e-05,1.215622e-05,1.284170e-05,1.359294e-05,1.476276e-05,1.505733e-05,1.653876e-05,1.671719e-05,1.802718e-05,1.868188e-05,1.951335e-05,2.063616e-05,2.098892e-05,2.244652e-05,2.256215e-05,2.387975e-05,2.444496e-05,2.528315e-05,2.627257e-05,2.665222e-05,2.798326e-05,2.803567e-05,2.927338e-05,2.972736e-05,3.052038e-05,3.134286e-05,3.172265e-05,3.287914e-05,3.398923e-05,3.433462e-05,3.505272e-05,3.570893e-05,3.606971e-05,3.700263e-05,3.704059e-05,3.796595e-05,3.821700e-05,3.884659e-05,3.935388e-05,3.968342e-05,4.041551e-05,4.047749e-05,4.122991e-05,4.140442e-05,4.194186e-05,4.232333e-05,4.261457e-05,4.317510e-05,4.324930e-05,4.384733e-05,4.396264e-05,4.440991e-05,4.468887e-05,4.493833e-05,4.535672e-05,4.543384e-05,4.589769e-05,4.596905e-05,4.633109e-05,4.652867e-05,4.673526e-05,4.703832e-05,4.711135e-05,4.746053e-05,4.750067e-05,4.778389e-05,4.791828e-05,4.808253e-05,4.829361e-05,4.835750e-05,4.860981e-05,4.862904e-05,4.884045e-05,4.892686e-05,4.905038e-05,4.918922e-05,4.924052e-05,4.941176e-05,4.941823e-05,4.956497e-05,4.961586e-05,4.970096e-05,4.978401e-05,4.982054e-05,4.992448e-05,5.001352e-05,5.003898e-05,5.008837e-05,5.012915e-05,5.014972e-05,5.019653e-05,5.019823e-05,5.023453e-05,5.024259e-05,5.025923e-05,5.026872e-05,5.027291e-05,5.027624e-05,5.027613e-05,5.026944e-05,5.026641e-05,5.025334e-05,5.024041e-05,5.022834e-05,5.019935e-05,5.019490e-05,5.015349e-05,5.014429e-05,5.010454e-05,5.007625e-05,5.004847e-05,4.999615e-05,4.998567e-05,4.991653e-05,4.990491e-05,4.984142e-05,4.980335e-05,4.976069e-05,4.969228e-05,4.967467e-05,4.958368e-05,4.957245e-05,4.948804e-05,4.944456e-05,4.938803e-05,4.930928e-05,4.928394e-05,4.917603e-05,4.916724e-05,4.906457e-05,4.901904e-05,4.894978e-05,4.886522e-05,4.883192e-05,4.871121e-05,4.870632e-05,4.858784e-05,4.854282e-05,4.846204e-05,4.837520e-05,4.833399e-05,4.820388e-05,4.802927e-05,4.785176e-05,4.767171e-05,4.748946e-05,4.730532e-05,4.711959e-05,4.693254e-05,4.674444e-05,4.655553e-05,4.636603e-05,4.617616e-05,4.598611e-05,4.579608e-05,4.560622e-05,4.541670e-05,4.522767e-05,4.503927e-05,4.485161e-05,4.466483e-05,4.447903e-05,4.429430e-05,4.411075e-05,4.392846e-05,4.374750e-05
0.000000e+00,1.832509e-08,4.215474e-08,1.487186e-07,3.550649e-07,5.382093e-07,1.401142e-06,1.452959e-06,3.359011e-06,4.152494e-06,6.833310e-06,9.783464e-06,1.206869e-05,1.802248e-05,1.857320e-05,2.570793e-05,2.746427e-05,3.307048e-05,3.721214e-05,4.045717e-05,4.689388e-05,4.776431e-05,5.493177e-05,5.634464e-05,6.191767e-05,6.546727e-05,6.868855e-05,7.418858e-05,7.521545e-05,8.147405e-05,8.244911e-05,8.744426e-05,9.020282e-05,9.311059e-05,9.741736e-05,9.846214e-05,1.034931e-04,1.040751e-04,1.082015e-04,1.101715e-04,1.125894e-04,1.157128e-04,1.166618e-04,1.204261e-04,1.207142e-04,1.238917e-04,1.251968e-04,1.270696e-04,1.291862e-04,1.299717e-04,1.326106e-04,1.327109e-04,1.349991e-04,1.358002e-04,1.371503e-04,1.384842e-04,1.390772e-04,1.407924e-04,1.423084e-04,1.427535e-04,1.436373e-04,1.443949e-04,1.447906e-04,1.457428e-04,1.457793e-04,1.466142e-04,1.468218e-04,1.473054e-04,1.476550e-04,1.478623e-04,1.482640e-04,1.482941e-04,1.486095e-04,1.486688e-04,1.488166e-04,1.488881e-04,1.489230e-04,1.489391e-04,1.489360e-04,1.488624e-04,1.488379e-04,1.487087e-04,1.485991e-04,1.484809e-04,1.482364e-04,1.481847e-04,1.478253e-04,1.477623e-04,1.474080e-04,1.471884e-04,1.469372e-04,1.465252e-04,1.464175e-04,1.458530e-04,1.457824e-04,1.452475e-04,1.449690e-04,1.446047e-04,1.440932e-04,1.439279e-04,1.432204e-04,1.431625e-04,1.424850e-04,1.421837e-04,1.417246e-04,1.411631e-04,1.409418e-04,1.401389e-04,1.401064e-04,1.393183e-04,1.390190e-04,1.384820e-04,1.379054e-04,1.376321e-04,1.367702e-04,1.358982e-04,1.356173e-04,1.350176e-04,1.344502e-04,1.341299e-04,1.332722e-04,1.332364e-04,1.323385e-04,1.320864e-04,1.314373e-04,1.308954e-04,1.305338e-04,1.297016e-04,1.296292e-04,1.287244e-04,1.285073e-04,1.278202e-04,1.273144e-04,1.269174e-04,1.261247e-04,1.260168e-04,1.251190e-04,1.249399e-04,1.242248e-04,1.237613e-04,1.233346e-04,1.225903e-04,1.224489e-04,1.215684e-04,1.214280e-04,1.206933e-04,1.202754e-04,1.198242e-04,1.191335e-04,1.189614e-04,1.181052e-04,1.180029e-04,1.172560e-04,1.168846e-04,1.164139e-04,1.157789e-04,1.155793e-04,1.147524e-04,1.146865e-04,1.139333e-04,1.136079e-04,1.131223e-04,1.125434e-04,1.123194e-04,1.115249e-04,1.114933e-04,1.107388e-04,1.104579e-04,1.099612e-04,1.094374e-04,1.091923e-04,1.084321e-04,1.074419e-04,1.064671e-04,1.055076e-04,1.045636e-04,1.036349e-04,1.027216e-04,1.018236e-04,1.009408e-04,1.000731e-04,9.922050e-05,9.838279e-05,9.755984e-05,9.675151e-05,9.595764e-05,9.517805e-05,9.441259e-05,9.366105e-05,9.292325e-05,9.219900e-05,9.148810e-05,9.079034e-05,9.010554e-05,8.943347e-05,8.877393e-05
0.000000e+00,4.359387e-09,9.996872e-09,3.445113e-08,7.854862e-08,1.147766e-07,2.619885e-07,2.699592e-07,5.269463e-07,6.212567e-07,9.165963e-07,1.227728e-06,1.471225e-06,2.146734e-06,2.213122e-06,3.142088e-06,3.391105e-06,4.240959e-06,4.923017e-06,5.489880e-06,6.699735e-06,6.872173e-06,8.373810e-06,8.687310e-06,9.981770e-06,1.085560e-05,1.168296e-05,1.317407e-05,1.346377e-05,1.531006e-05,1.561058e-05,1.720737e-05,1.813193e-05,1.914120e-05,2.070505e-05,2.109743e-05,2.306256e-05,2.329836e-05,2.502399e-05,2.588283e-05,2.697020e-05,2.843278e-05,2.889092e-05,3.077714e-05,3.092630e-05,3.262112e-05,3.334541e-05,3.441642e-05,3.567586e-05,3.615773e-05,3.784086e-05,3.790693e-05,3.946262e-05,4.003096e-05,4.102069e-05,4.204297e-05,4.251351e-05,4.394023e-05,4.530053e-05,4.572182e-05,4.659460e-05,4.738831e-05,4.782303e-05,4.894141e-05,4.898672e-05,5.008688e-05,5.038372e-05,5.112489e-05,5.171852e-05,5.210233e-05,5.294953e-05,5.302089e-05,5.388236e-05,5.408082e-05,5.468858e-05,5.511664e-05,5.544145e-05,5.606137e-05,5.614289e-05,5.679480e-05,5.691941e-05,5.739912e-05,5.769518e-05,5.795772e-05,5.839300e-05,5.847249e-05,5.894526e-05,5.901713e-05,5.937783e-05,5.957170e-05,5.977195e-05,6.006073e-05,6.012935e-05,6.045169e-05,6.048810e-05,6.074059e-05,6.085752e-05,6.099762e-05,6.117258e-05,6.122429e-05,6.142208e-05,6.143670e-05,6.159240e-05,6.165314e-05,6.173662e-05,6.182504e-05,6.185606e-05,6.195198e-05,6.195535e-05,6.202562e-05,6.204690e-05,6.207814e-05,6.210237e-05,6.211068e-05,6.212431e-05,6.212009e-05,6.211513e-05,6.209901e-05,6.207711e-05,6.206202e-05,6.201241e-05,6.201005e-05,6.194397e-05,6.192306e-05,6.186463e-05,6.181100e-05,6.177283e-05,6.167804e-05,6.166935e-05,6.155491e-05,6.152589e-05,6.143022e-05,6.135617e-05,6.129595e-05,6.117039e-05,6.115275e-05,6.100123e-05,6.096998e-05,6.084197e-05,6.075628e-05,6.067553e-05,6.053056e-05,6.050244e-05,6.032321e-05,6.029400e-05,6.013832e-05,6.004770e-05,5.994823e-05,5.979270e-05,5.975337e-05,5.955416e-05,5.952998e-05,5.935100e-05,5.926045e-05,5.914425e-05,5.898495e-05,5.893429e-05,5.872143e-05,5.870429e-05,5.850601e-05,5.841920e-05,5.828834e-05,5.813037e-05,5.806869e-05,5.784734e-05,5.783845e-05,5.762455e-05,5.754404e-05,5.740056e-05,5.724769e-05,5.717561e-05,5.694992e-05,5.665121e-05,5.635201e-05,5.605272e-05,5.575373e-05,5.545539e-05,5.515801e-05,5.486190e-05,5.456733e-05,5.427454e-05,5.398378e-05,5.369523e-05,5.340910e-05,5.312555e-05,5.284474e-05,5.256681e-05,5.229188e-05,5.202006e-05,5.175145e-05,5.148615e-05,5.122421e-05,5.096572e-05,5.071072e-05,5.045926e-05,5.021138e-05
0.000000e+00,4.227773e-09,9.671000e-09,3.322395e-08,7.565409e-08,1.105333e-07,2.526963e-07,2.604157e-07,5.104582e-07,6.027444e-07,8.934104e-07,1.202419e-06,1.446527e-06,2.136269e-06,2.205125e-06,3.186845e-06,3.454565e-06,4.374780e-06,5.113297e-06,5.722586e-06,7.000052e-06,7.179121e-06,8.704041e-06,9.014546e-06,1.026868e-05,1.109086e-05,1.185218e-05,1.318494e-05,1.343832e-05,1.501373e-05,1.526403e-05,1.656715e-05,1.730211e-05,1.808900e-05,1.927833e-05,1.957129e-05,2.100752e-05,2.117651e-05,2.239255e-05,2.298471e-05,2.372253e-05,2.469477e-05,2.499472e-05,2.620741e-05,2.630182e-05,2.735969e-05,2.780363e-05,2.845139e-05,2.920011e-05,2.948291e-05,3.045508e-05,3.049275e-05,3.136914e-05,3.168425e-05,3.222656e-05,3.277812e-05,3.302905e-05,3.377844e-05,3.447667e-05,3.468962e-05,3.512571e-05,3.551623e-05,3.572760e-05,3.626293e-05,3.628436e-05,3.679799e-05,3.693434e-05,3.727047e-05,3.753502e-05,3.770375e-05,3.806936e-05,3.809971e-05,3.846020e-05,3.854164e-05,3.878700e-05,3.895593e-05,3.908183e-05,3.931615e-05,3.934635e-05,3.958216e-05,3.962602e-05,3.979080e-05,3.988905e-05,3.997374e-05,4.010856e-05,4.013237e-05,4.026805e-05,4.028771e-05,4.038206e-05,4.042946e-05,4.047564e-05,4.053659e-05,4.054997e-05,4.060616e-05,4.061174e-05,4.064529e-05,4.065737e-05,4.066838e-05,4.067579e-05,4.067638e-05,4.067024e-05,4.066916e-05,4.065083e-05,4.063953e-05,4.061898e-05,4.058880e-05,4.057549e-05,4.052112e-05,4.051873e-05,4.045658e-05,4.043099e-05,4.038255e-05,4.032713e-05,4.029968e-05,4.020859e-05,4.010985e-05,4.007674e-05,4.000402e-05,3.993281e-05,3.989162e-05,3.977800e-05,3.977315e-05,3.964906e-05,3.961338e-05,3.951982e-05,3.943997e-05,3.938583e-05,3.925871e-05,3.924749e-05,3.910519e-05,3.907048e-05,3.895927e-05,3.887610e-05,3.881007e-05,3.867632e-05,3.865791e-05,3.850309e-05,3.847183e-05,3.834589e-05,3.826329e-05,3.818657e-05,3.805130e-05,3.802539e-05,3.786259e-05,3.783641e-05,3.769838e-05,3.761913e-05,3.753299e-05,3.739994e-05,3.736659e-05,3.719939e-05,3.717928e-05,3.703156e-05,3.695756e-05,3.686326e-05,3.673513e-05,3.669464e-05,3.652586e-05,3.651235e-05,3.635704e-05,3.628953e-05,3.618831e-05,3.606695e-05,3.601979e-05,3.585160e-05,3.584488e-05,3.568383e-05,3.562356e-05,3.551659e-05,3.540321e-05,3.534996e-05,3.518403e-05,3.496621e-05,3.474991e-05,3.453527e-05,3.432244e-05,3.411154e-05,3.390267e-05,3.369594e-05,3.349143e-05,3.328921e-05,3.308936e-05,3.289194e-05,3.269698e-05,3.250455e-05,3.231466e-05,3.212736e-05,3.194267e-05,3.176060e-05,3.158117e-05,3.140440e-05,3.123027e-05,3.105880e-05,3.088999e-05,3.072382e-05,3.056029e-05
0.000000e+00,3.636600e-09,8.314281e-09,2.849359e-08,6.463520e-08,9.416678e-08,2.131197e-07,2.195205e-07,4.241694e-07,4.985635e-07,7.296968e-07,9.711389e-07,1.159394e-06,1.682357e-06,1.733973e-06,2.461984e-06,2.658742e-06,3.332984e-06,3.874657e-06,4.323596e-06,5.274285e-06,5.408747e-06,6.567030e-06,6.805858e-06,7.780820e-06,8.428858e-06,9.035063e-06,1.011001e-05,1.031631e-05,1.161221e-05,1.182014e-05,1.291143e-05,1.353315e-05,1.420360e-05,1.522600e-05,1.547945e-05,1.673087e-05,1.687906e-05,1.795094e-05,1.847633e-05,1.913395e-05,2.000541e-05,2.027535e-05,2.137166e-05,2.145734e-05,2.242038e-05,2.282615e-05,2.341987e-05,2.410850e-05,2.436925e-05,2.526830e-05,2.530322e-05,2.611737e-05,2.641092e-05,2.691713e-05,2.743328e-05,2.766856e-05,2.837302e-05,2.903197e-05,2.923349e-05,2.964706e-05,3.001850e-05,3.022003e-05,3.073210e-05,3.075265e-05,3.124673e-05,3.137841e-05,3.170406e-05,3.196156e-05,3.212643e-05,3.248563e-05,3.251558e-05,3.287324e-05,3.295457e-05,3.320103e-05,3.337216e-05,3.350058e-05,3.374203e-05,3.377341e-05,3.402100e-05,3.406762e-05,3.424477e-05,3.435216e-05,3.444605e-05,3.459869e-05,3.462613e-05,3.478624e-05,3.481008e-05,3.492754e-05,3.498901e-05,3.505113e-05,3.513797e-05,3.515807e-05,3.524934e-05,3.525928e-05,3.532589e-05,3.535514e-05,3.538861e-05,3.542754e-05,3.543834e-05,3.547588e-05,3.547838e-05,3.550200e-05,3.550941e-05,3.551740e-05,3.552224e-05,3.552276e-05,3.551872e-05,3.551837e-05,3.550589e-05,3.549922e-05,3.548482e-05,3.546608e-05,3.545607e-05,3.542014e-05,3.537751e-05,3.536252e-05,3.532863e-05,3.529427e-05,3.527393e-05,3.521633e-05,3.521383e-05,3.514869e-05,3.512959e-05,3.507887e-05,3.503489e-05,3.500473e-05,3.493297e-05,3.492657e-05,3.484471e-05,3.482454e-05,3.475942e-05,3.471027e-05,3.467098e-05,3.459075e-05,3.457964e-05,3.448564e-05,3.446654e-05,3.438920e-05,3.433816e-05,3.429054e-05,3.420609e-05,3.418985e-05,3.408734e-05,3.407078e-05,3.398317e-05,3.393263e-05,3.387752e-05,3.379203e-05,3.377054e-05,3.366238e-05,3.364932e-05,3.355318e-05,3.350484e-05,3.344308e-05,3.335887e-05,3.333219e-05,3.322065e-05,3.321170e-05,3.310855e-05,3.306358e-05,3.299600e-05,3.291475e-05,3.288310e-05,3.276995e-05,3.276542e-05,3.265662e-05,3.261579e-05,3.254319e-05,3.246605e-05,3.242975e-05,3.231637e-05,3.216691e-05,3.201780e-05,3.186918e-05,3.172117e-05,3.157387e-05,3.142740e-05,3.128184e-05,3.113728e-05,3.099379e-05,3.085144e-05,3.071030e-05,3.057041e-05,3.043184e-05,3.029463e-05,3.015881e-05,3.002443e-05,2.989151e-05,2.976009e-05,2.963019e-05,2.950183e-05,2.937502e-05,2.924979e-05,2.912614e-05,2.900408e-05
0.000000e+00,1.242580e-09,3.091171e-09,1.152277e-08,2.703619e-08,3.979278e-08,9.099959e-08,9.373772e-08,1.801478e-07,2.110194e-07,3.052665e-07,4.013947e-07,4.750174e-07,6.753464e-07,6.948943e-07,9.691153e-07,1.043238e-06,1.298884e-06,1.506793e-06,1.680981e-06,2.055106e-06,2.108543e-06,2.573382e-06,2.670120e-06,3.067674e-06,3.333997e-06,3.584438e-06,4.031296e-06,4.117421e-06,4.660882e-06,4.748445e-06,5.209460e-06,5.473107e-06,5.758133e-06,6.193987e-06,6.302230e-06,6.837483e-06,6.900933e-06,7.360077e-06,7.585135e-06,7.866696e-06,8.239305e-06,8.354548e-06,8.821382e-06,8.857766e-06,9.265473e-06,9.436445e-06,9.685573e-06,9.972743e-06,1.008092e-05,1.045116e-05,1.046545e-05,1.079628e-05,1.091442e-05,1.111657e-05,1.132045e-05,1.141257e-05,1.168505e-05,1.193490e-05,1.201023e-05,1.216312e-05,1.229835e-05,1.237083e-05,1.255196e-05,1.255914e-05,1.272922e-05,1.277373e-05,1.288222e-05,1.296630e-05,1.301928e-05,1.313225e-05,1.314151e-05,1.324997e-05,1.327407e-05,1.334568e-05,1.339406e-05,1.342959e-05,1.349439e-05,1.350261e-05,1.356559e-05,1.357705e-05,1.361932e-05,1.364386e-05,1.366454e-05,1.369645e-05,1.370194e-05,1.373213e-05,1.373634e-05,1.375572e-05,1.376485e-05,1.377323e-05,1.378321e-05,1.378517e-05,1.379199e-05,1.379248e-05,1.379410e-05,1.379364e-05,1.379190e-05,1.378756e-05,1.378574e-05,1.377594e-05,1.377501e-05,1.376280e-05,1.375668e-05,1.374660e-05,1.373319e-05,1.372760e-05,1.370601e-05,1.370509e-05,1.368206e-05,1.367289e-05,1.365594e-05,1.363703e-05,1.362783e-05,1.359790e-05,1.356632e-05,1.355588e-05,1.353320e-05,1.351128e-05,1.349870e-05,1.346439e-05,1.346293e-05,1.342601e-05,1.341548e-05,1.338804e-05,1.336479e-05,1.334911e-05,1.331253e-05,1.330932e-05,1.326876e-05,1.325891e-05,1.322749e-05,1.320410e-05,1.318559e-05,1.314826e-05,1.314314e-05,1.310019e-05,1.309154e-05,1.305680e-05,1.303408e-05,1.301302e-05,1.297600e-05,1.296892e-05,1.292453e-05,1.291740e-05,1.287990e-05,1.285841e-05,1.283508e-05,1.279910e-05,1.279009e-05,1.274499e-05,1.273957e-05,1.269980e-05,1.267990e-05,1.265455e-05,1.262015e-05,1.260928e-05,1.256402e-05,1.256040e-05,1.251878e-05,1.250070e-05,1.247359e-05,1.244111e-05,1.242849e-05,1.238348e-05,1.238168e-05,1.233859e-05,1.232247e-05,1.229384e-05,1.226350e-05,1.224925e-05,1.220483e-05,1.214648e-05,1.208849e-05,1.203089e-05,1.197371e-05,1.191697e-05,1.186070e-05,1.180491e-05,1.174962e-05,1.169485e-05,1.164062e-05,1.158693e-05,1.153380e-05,1.148124e-05,1.142926e-05,1.137786e-05,1.132706e-05,1.127686e-05,1.122726e-05,1.117827e-05,1.112988e-05,1.108211e-05,1.103496e-05,1.098841e-05,1.094249e-05
0.000000e+00,4.155170e-09,9.582862e-09,3.328393e-08,7.643116e-08,1.122161e-07,2.604437e-07,2.685901e-07,5.370438e-07,6.380747e-07,9.614457e-07,1.310924e-06,1.588784e-06,2.369754e-06,2.446826e-06,3.521264e-06,3.806569e-06,4.767616e-06,5.523316e-06,6.140543e-06,7.426044e-06,7.605882e-06,9.138979e-06,9.451991e-06,1.072083e-05,1.155729e-05,1.233552e-05,1.370695e-05,1.396904e-05,1.560881e-05,1.587098e-05,1.724355e-05,1.802348e-05,1.886335e-05,2.014264e-05,2.045966e-05,2.202526e-05,2.221078e-05,2.355426e-05,2.421418e-05,2.504197e-05,2.614275e-05,2.648477e-05,2.788000e-05,2.798950e-05,2.922583e-05,2.975006e-05,3.052112e-05,3.142210e-05,3.176530e-05,3.295827e-05,3.300492e-05,3.410030e-05,3.449907e-05,3.519199e-05,3.590598e-05,3.623413e-05,3.722774e-05,3.817393e-05,3.846690e-05,3.907395e-05,3.962632e-05,3.992909e-05,4.070906e-05,4.074070e-05,4.151018e-05,4.171827e-05,4.223890e-05,4.265716e-05,4.292828e-05,4.352895e-05,4.357970e-05,4.419454e-05,4.433681e-05,4.477416e-05,4.508387e-05,4.531990e-05,4.577317e-05,4.583307e-05,4.631493e-05,4.640766e-05,4.676675e-05,4.699022e-05,4.718972e-05,4.752360e-05,4.758504e-05,4.795384e-05,4.801046e-05,4.829723e-05,4.845335e-05,4.861629e-05,4.885471e-05,4.891205e-05,4.918553e-05,4.921689e-05,4.943768e-05,4.954212e-05,4.966945e-05,4.983252e-05,4.988174e-05,5.007542e-05,5.009014e-05,5.025133e-05,5.031690e-05,5.041028e-05,5.051465e-05,5.055303e-05,5.068035e-05,5.068513e-05,5.079295e-05,5.083001e-05,5.089151e-05,5.095087e-05,5.097672e-05,5.104920e-05,5.110957e-05,5.112643e-05,5.115842e-05,5.118390e-05,5.119631e-05,5.122288e-05,5.122379e-05,5.124137e-05,5.124459e-05,5.124957e-05,5.125017e-05,5.124884e-05,5.124070e-05,5.123966e-05,5.122246e-05,5.121719e-05,5.119768e-05,5.118063e-05,5.116570e-05,5.113191e-05,5.112691e-05,5.108170e-05,5.107192e-05,5.103041e-05,5.100145e-05,5.097338e-05,5.092128e-05,5.091094e-05,5.084340e-05,5.083214e-05,5.077106e-05,5.073472e-05,5.069420e-05,5.062965e-05,5.061310e-05,5.052801e-05,5.051755e-05,5.043919e-05,5.039899e-05,5.034687e-05,5.027451e-05,5.025129e-05,5.015265e-05,5.014463e-05,5.005117e-05,5.000982e-05,4.994704e-05,4.987054e-05,4.984046e-05,4.973161e-05,4.972721e-05,4.962065e-05,4.958023e-05,4.950776e-05,4.942997e-05,4.939309e-05,4.927680e-05,4.912104e-05,4.896300e-05,4.880298e-05,4.864125e-05,4.847807e-05,4.831368e-05,4.814831e-05,4.798216e-05,4.781545e-05,4.764834e-05,4.748102e-05,4.731365e-05,4.714638e-05,4.697934e-05,4.681268e-05,4.664651e-05,4.648094e-05,4.631609e-05,4.615204e-05,4.598889e-05,4.582672e-05,4.566561e-05,4.550562e-05,4.534684e-05
0.000000e+00,2.015317e-09,6.292538e-09,3.066626e-08,8.294686e-08,1.296115e-07,3.372461e-07,3.490924e-07,7.549201e-07,9.136469e-07,1.437683e-06,2.025014e-06,2.503054e-06,3.876357e-06,4.013238e-06,5.931062e-06,6.442086e-06,8.168175e-06,9.532203e-06,1.065213e-05,1.300548e-05,1.333722e-05,1.619323e-05,1.678280e-05,1.919624e-05,2.080851e-05,2.232400e-05,2.503136e-05,2.555412e-05,2.886365e-05,2.939900e-05,3.222945e-05,3.385827e-05,3.562864e-05,3.835722e-05,3.903924e-05,4.244068e-05,4.284733e-05,4.581416e-05,4.728523e-05,4.914290e-05,5.163377e-05,5.241232e-05,5.561000e-05,5.586239e-05,5.872563e-05,5.994699e-05,6.175090e-05,6.386942e-05,6.467929e-05,6.750585e-05,6.761674e-05,7.022711e-05,7.118052e-05,7.284083e-05,7.455607e-05,7.534579e-05,7.774167e-05,8.002890e-05,8.073802e-05,8.220850e-05,8.354764e-05,8.428198e-05,8.617445e-05,8.625125e-05,8.811850e-05,8.862338e-05,8.988620e-05,9.090011e-05,9.155696e-05,9.301083e-05,9.313356e-05,9.461884e-05,9.496204e-05,9.601571e-05,9.676043e-05,9.732709e-05,9.841272e-05,9.855591e-05,9.970510e-05,9.992564e-05,1.007776e-04,1.013059e-04,1.017762e-04,1.025600e-04,1.027037e-04,1.035630e-04,1.036943e-04,1.043566e-04,1.047151e-04,1.050874e-04,1.056284e-04,1.057578e-04,1.063703e-04,1.064400e-04,1.069274e-04,1.071556e-04,1.074315e-04,1.077805e-04,1.078848e-04,1.082896e-04,1.083200e-04,1.086481e-04,1.087789e-04,1.089623e-04,1.091622e-04,1.092342e-04,1.094658e-04,1.094742e-04,1.096590e-04,1.097194e-04,1.098155e-04,1.099019e-04,1.099372e-04,1.100257e-04,1.100827e-04,1.100945e-04,1.101096e-04,1.101118e-04,1.101081e-04,1.100812e-04,1.100795e-04,1.100253e-04,1.100057e-04,1.099468e-04,1.098885e-04,1.098452e-04,1.097325e-04,1.097219e-04,1.095780e-04,1.095405e-04,1.094145e-04,1.093149e-04,1.092328e-04,1.090584e-04,1.090337e-04,1.088183e-04,1.087733e-04,1.085875e-04,1.084617e-04,1.083423e-04,1.081258e-04,1.080835e-04,1.078120e-04,1.077675e-04,1.075287e-04,1.073887e-04,1.072342e-04,1.069911e-04,1.069293e-04,1.066148e-04,1.065765e-04,1.062913e-04,1.061463e-04,1.059595e-04,1.057021e-04,1.056199e-04,1.052732e-04,1.052452e-04,1.049199e-04,1.047769e-04,1.045606e-04,1.042985e-04,1.041958e-04,1.038260e-04,1.038111e-04,1.034517e-04,1.033159e-04,1.030732e-04,1.028137e-04,1.026910e-04,1.023056e-04,1.017925e-04,1.012752e-04,1.007544e-04,1.002310e-04,9.970558e-05,9.917880e-05,9.865126e-05,9.812352e-05,9.759609e-05,9.706945e-05,9.654405e-05,9.602031e-05,9.549860e-05,9.497929e-05,9.446270e-05,9.394913e-05,9.343886e-05,9.293215e-05,9.242923e-05,9.193032e-05,9.143561e-05,9.094527e-05,9.045947e-05,8.997835e-05
0.000000e+00,6.884914e-11,3.046953e-10,2.573367e-09,9.939364e-09,1.810972e-08,6.345020e-08,6.631541e-08,1.734043e-07,2.181960e-07,3.719341e-07,5.512710e-07,7.017520e-07,1.157962e-06,1.205533e-06,1.914046e-06,2.115783e-06,2.833663e-06,3.436070e-06,3.950291e-06,5.078330e-06,5.241804e-06,6.686593e-06,6.992256e-06,8.266035e-06,9.135093e-06,9.963824e-06,1.147022e-05,1.176465e-05,1.365330e-05,1.396261e-05,1.561428e-05,1.657663e-05,1.763187e-05,1.927616e-05,1.969040e-05,2.177460e-05,2.202573e-05,2.386996e-05,2.479194e-05,2.596301e-05,2.754462e-05,2.804154e-05,3.009473e-05,3.025760e-05,3.211321e-05,3.290904e-05,3.408900e-05,3.548139e-05,3.601552e-05,3.788745e-05,3.796113e-05,3.970064e-05,4.033838e-05,4.145196e-05,4.260635e-05,4.313919e-05,4.476091e-05,4.631634e-05,4.680003e-05,4.780528e-05,4.872341e-05,4.922799e-05,5.053209e-05,5.058513e-05,5.187764e-05,5.222812e-05,5.310673e-05,5.381431e-05,5.427379e-05,5.529404e-05,5.538038e-05,5.642814e-05,5.667105e-05,5.741883e-05,5.794935e-05,5.835423e-05,5.913311e-05,5.923619e-05,6.006653e-05,6.022657e-05,6.084712e-05,6.123397e-05,6.157978e-05,6.215953e-05,6.226636e-05,6.290863e-05,6.300740e-05,6.350837e-05,6.378165e-05,6.406731e-05,6.448622e-05,6.458714e-05,6.506950e-05,6.512494e-05,6.551600e-05,6.570151e-05,6.592821e-05,6.621947e-05,6.630762e-05,6.665573e-05,6.668226e-05,6.697393e-05,6.709315e-05,6.726361e-05,6.745527e-05,6.752610e-05,6.776268e-05,6.777162e-05,6.797457e-05,6.804505e-05,6.816299e-05,6.827828e-05,6.832906e-05,6.847391e-05,6.859859e-05,6.863440e-05,6.870414e-05,6.876210e-05,6.879152e-05,6.885921e-05,6.886170e-05,6.891557e-05,6.892785e-05,6.895401e-05,6.897001e-05,6.897785e-05,6.898759e-05,6.898790e-05,6.898493e-05,6.898236e-05,6.896967e-05,6.895602e-05,6.894283e-05,6.891017e-05,6.890508e-05,6.885708e-05,6.884631e-05,6.879944e-05,6.876586e-05,6.873276e-05,6.867016e-05,6.865759e-05,6.857449e-05,6.856049e-05,6.848396e-05,6.843802e-05,6.838651e-05,6.830387e-05,6.828260e-05,6.817268e-05,6.815911e-05,6.805719e-05,6.800471e-05,6.793652e-05,6.784161e-05,6.781109e-05,6.768124e-05,6.767067e-05,6.754734e-05,6.749273e-05,6.740973e-05,6.730853e-05,6.726873e-05,6.712463e-05,6.711881e-05,6.697774e-05,6.692423e-05,6.682832e-05,6.672542e-05,6.667665e-05,6.652296e-05,6.631741e-05,6.610927e-05,6.589903e-05,6.568711e-05,6.547395e-05,6.525991e-05,6.504535e-05,6.483061e-05,6.461599e-05,6.440176e-05,6.418819e-05,6.397552e-05,6.376397e-05,6.355373e-05,6.334500e-05,6.313794e-05,6.293270e-05,6.272942e-05,6.252823e-05,6.232925e-05,6.213257e-05,6.193829e-05,6.174649e-05,6.155724e-05
0.000000e+00,1.280648e-09,2.951411e-09,1.020453e-08,2.324210e-08,3.390443e-08,7.679820e-08,7.910200e-08,1.524700e-07,1.789990e-07,2.609815e-07,3.460480e-07,4.121138e-07,5.955006e-07,6.136568e-07,8.726540e-07,9.439078e-07,1.193046e-06,1.398862e-06,1.572978e-06,1.950460e-06,2.004645e-06,2.477405e-06,2.575959e-06,2.981017e-06,3.252180e-06,3.506928e-06,3.960798e-06,4.048179e-06,4.598981e-06,4.687654e-06,5.154359e-06,5.421264e-06,5.709946e-06,6.151950e-06,6.261873e-06,6.806742e-06,6.871507e-06,7.341598e-06,7.573099e-06,7.863927e-06,8.251217e-06,8.371638e-06,8.863045e-06,8.901612e-06,9.336839e-06,9.521197e-06,9.792052e-06,1.010792e-05,1.022802e-05,1.064436e-05,1.066061e-05,1.104091e-05,1.117882e-05,1.141769e-05,1.166270e-05,1.177489e-05,1.211285e-05,1.243197e-05,1.253020e-05,1.273278e-05,1.291594e-05,1.301583e-05,1.327142e-05,1.328174e-05,1.353113e-05,1.359809e-05,1.376467e-05,1.389746e-05,1.398302e-05,1.417104e-05,1.418683e-05,1.437677e-05,1.442037e-05,1.455349e-05,1.464691e-05,1.471761e-05,1.485210e-05,1.486975e-05,1.501051e-05,1.503734e-05,1.514046e-05,1.520395e-05,1.526016e-05,1.535317e-05,1.537014e-05,1.547091e-05,1.548621e-05,1.556297e-05,1.560420e-05,1.564678e-05,1.570820e-05,1.572280e-05,1.579144e-05,1.579920e-05,1.585312e-05,1.587815e-05,1.590822e-05,1.594592e-05,1.595711e-05,1.600015e-05,1.600335e-05,1.603766e-05,1.605119e-05,1.606997e-05,1.609018e-05,1.609738e-05,1.612017e-05,1.612099e-05,1.613861e-05,1.614424e-05,1.615296e-05,1.616051e-05,1.616347e-05,1.617037e-05,1.617387e-05,1.617431e-05,1.617420e-05,1.617282e-05,1.617153e-05,1.616633e-05,1.616606e-05,1.615798e-05,1.615527e-05,1.614744e-05,1.614000e-05,1.613460e-05,1.612089e-05,1.611962e-05,1.610264e-05,1.609828e-05,1.608379e-05,1.607247e-05,1.606320e-05,1.604375e-05,1.604100e-05,1.601730e-05,1.601239e-05,1.599220e-05,1.597863e-05,1.596581e-05,1.594272e-05,1.593823e-05,1.590954e-05,1.590486e-05,1.587984e-05,1.586525e-05,1.584921e-05,1.582408e-05,1.581772e-05,1.578545e-05,1.578153e-05,1.575247e-05,1.573775e-05,1.571884e-05,1.569289e-05,1.568462e-05,1.564988e-05,1.564708e-05,1.561467e-05,1.560047e-05,1.557904e-05,1.555316e-05,1.554304e-05,1.550672e-05,1.550526e-05,1.547012e-05,1.545688e-05,1.543328e-05,1.540812e-05,1.539624e-05,1.535905e-05,1.530975e-05,1.526031e-05,1.521080e-05,1.516126e-05,1.511177e-05,1.506238e-05,1.501313e-05,1.496407e-05,1.491525e-05,1.486670e-05,1.481845e-05,1.477055e-05,1.472301e-05,1.467586e-05,1.462913e-05,1.458284e-05,1.453701e-05,1.449165e-05,1.444679e-05,1.440243e-05,1.435859e-05,1.431527e-05,1.427250e-05,1.423027e-05
0.000000e+00,5.237777e-09,1.553558e-08,7.162773e-08,1.909029e-07,2.989101e-07,8.031386e-07,8.330377e-07,1.917048e-06,2.365378e-06,3.892935e-06,5.614697e-06,6.982634e-06,1.069331e-05,1.104758e-05,1.581715e-05,1.704493e-05,2.111593e-05,2.427970e-05,2.685632e-05,3.223501e-05,3.299077e-05,3.948470e-05,4.082374e-05,4.630498e-05,4.996868e-05,5.341558e-05,5.958396e-05,6.077688e-05,6.834601e-05,6.957337e-05,7.607788e-05,7.983357e-05,8.392700e-05,9.026114e-05,9.184943e-05,9.980313e-05,1.007578e-04,1.077493e-04,1.112340e-04,1.156526e-04,1.216110e-04,1.234817e-04,1.312092e-04,1.318223e-04,1.388116e-04,1.418130e-04,1.462692e-04,1.515395e-04,1.535654e-04,1.606871e-04,1.609682e-04,1.676238e-04,1.700741e-04,1.743673e-04,1.788394e-04,1.809117e-04,1.872527e-04,1.933877e-04,1.953072e-04,1.993154e-04,2.030001e-04,2.050354e-04,2.103319e-04,2.105485e-04,2.158559e-04,2.173055e-04,2.209599e-04,2.239255e-04,2.258627e-04,2.301984e-04,2.305675e-04,2.350776e-04,2.361314e-04,2.393963e-04,2.417327e-04,2.435277e-04,2.470113e-04,2.474755e-04,2.512438e-04,2.519764e-04,2.548370e-04,2.566375e-04,2.582591e-04,2.610046e-04,2.615144e-04,2.646074e-04,2.650875e-04,2.675422e-04,2.688960e-04,2.703233e-04,2.724403e-04,2.729548e-04,2.754412e-04,2.757300e-04,2.777866e-04,2.787750e-04,2.799952e-04,2.815847e-04,2.820711e-04,2.840184e-04,2.841688e-04,2.858412e-04,2.865363e-04,2.875434e-04,2.886964e-04,2.891288e-04,2.906014e-04,2.906580e-04,2.919648e-04,2.924296e-04,2.932227e-04,2.940197e-04,2.943787e-04,2.954364e-04,2.963991e-04,2.966876e-04,2.972702e-04,2.977811e-04,2.980530e-04,2.987244e-04,2.987507e-04,2.993664e-04,2.995246e-04,2.999033e-04,3.001887e-04,3.003641e-04,3.007235e-04,3.007519e-04,3.010695e-04,3.011356e-04,3.013196e-04,3.014311e-04,3.015048e-04,3.016162e-04,3.016277e-04,3.016910e-04,3.016967e-04,3.016970e-04,3.016782e-04,3.016480e-04,3.015662e-04,3.015465e-04,3.013947e-04,3.013659e-04,3.011947e-04,3.010822e-04,3.009486e-04,3.007200e-04,3.006586e-04,3.003265e-04,3.002839e-04,2.999543e-04,2.997783e-04,2.995439e-04,2.992075e-04,2.990970e-04,2.986155e-04,2.985755e-04,2.981010e-04,2.978863e-04,2.975551e-04,2.971435e-04,2.969794e-04,2.963755e-04,2.963508e-04,2.957449e-04,2.955115e-04,2.950889e-04,2.946290e-04,2.944089e-04,2.937064e-04,2.927466e-04,2.917524e-04,2.907267e-04,2.896720e-04,2.885907e-04,2.874852e-04,2.863578e-04,2.852106e-04,2.840455e-04,2.828646e-04,2.816697e-04,2.804624e-04,2.792445e-04,2.780175e-04,2.767829e-04,2.755420e-04,2.742963e-04,2.730470e-04,2.717952e-04,2.705421e-04,2.692887e-04,2.680361e-04,2.667852e-04,2.655368e-04
0.000000e+00,7.609485e-12,3.922250e-11,4.492464e-10,2.258161e-09,4.725977e-09,2.319432e-08,2.456002e-08,8.681027e-08,1.178794e-07,2.406802e-07,4.082640e-07,5.648133e-07,1.111458e-06,1.174114e-06,2.226147e-06,2.566288e-06,3.926518e-06,5.255447e-06,6.531712e-06,9.814350e-06,1.034728e-05,1.572020e-05,1.701439e-05,2.302620e-05,2.771836e-05,3.265439e-05,4.281997e-05,4.499148e-05,6.040721e-05,6.318267e-05,7.924189e-05,8.958700e-05,1.017963e-04,1.226904e-04,1.283243e-04,1.590267e-04,1.629990e-04,1.940490e-04,2.108520e-04,2.334788e-04,2.664142e-04,2.773468e-04,3.256273e-04,3.296783e-04,3.782414e-04,4.004732e-04,4.350604e-04,4.784773e-04,4.959097e-04,5.605741e-04,5.632366e-04,6.288028e-04,6.541843e-04,7.003148e-04,7.506635e-04,7.748048e-04,8.519483e-04,9.314072e-04,9.572667e-04,1.012835e-03,1.065820e-03,1.095881e-03,1.176804e-03,1.180196e-03,1.265435e-03,1.289421e-03,1.351261e-03,1.402901e-03,1.437346e-03,1.516507e-03,1.523380e-03,1.609066e-03,1.629547e-03,1.694124e-03,1.741384e-03,1.778293e-03,1.851436e-03,1.861333e-03,1.943024e-03,1.959182e-03,2.023164e-03,2.064164e-03,2.101575e-03,2.165985e-03,2.178095e-03,2.252585e-03,2.264307e-03,2.324924e-03,2.358852e-03,2.395010e-03,2.449398e-03,2.462756e-03,2.528095e-03,2.535771e-03,2.590973e-03,2.617849e-03,2.651350e-03,2.695549e-03,2.709203e-03,2.764516e-03,2.768832e-03,2.817289e-03,2.837688e-03,2.867529e-03,2.902143e-03,2.915253e-03,2.960488e-03,2.962246e-03,3.003264e-03,3.018069e-03,3.043622e-03,3.069707e-03,3.081606e-03,3.117266e-03,3.150655e-03,3.160869e-03,3.181830e-03,3.200648e-03,3.210851e-03,3.236742e-03,3.237780e-03,3.262681e-03,3.269299e-03,3.285619e-03,3.298467e-03,3.306660e-03,3.324399e-03,3.325870e-03,3.343318e-03,3.347250e-03,3.359068e-03,3.367171e-03,3.373187e-03,3.384316e-03,3.385742e-03,3.396796e-03,3.398832e-03,3.406413e-03,3.410867e-03,3.414657e-03,3.420564e-03,3.421588e-03,3.427266e-03,3.428062e-03,3.431750e-03,3.433495e-03,3.435098e-03,3.436995e-03,3.437364e-03,3.438603e-03,3.438685e-03,3.438866e-03,3.438686e-03,3.438205e-03,3.437114e-03,3.436668e-03,3.434302e-03,3.434079e-03,3.431154e-03,3.429685e-03,3.427265e-03,3.424032e-03,3.422680e-03,3.417438e-03,3.417216e-03,3.411579e-03,3.409326e-03,3.405140e-03,3.400448e-03,3.398157e-03,3.390664e-03,3.380048e-03,3.368674e-03,3.356609e-03,3.343918e-03,3.330660e-03,3.316892e-03,3.302667e-03,3.288036e-03,3.273044e-03,3.257736e-03,3.242151e-03,3.226330e-03,3.210306e-03,3.194113e-03,3.177783e-03,3.161344e-03,3.144822e-03,3.128243e-03,3.111630e-03,3.095003e-03,3.078383e-03,3.061788e-03,3.045235e-03,3.028739e-03
0.000000e+00,1.722370e-11,8.169807e-11,7.889864e-10,3.402765e-09,6.554292e-09,2.606698e-08,2.737054e-08,7.909566e-08,1.018264e-07,1.823696e-07,2.791718e-07,3.618207e-07,6.181878e-07,6.453988e-07,1.062119e-06,1.184875e-06,1.636747e-06,2.033513e-06,2.384033e-06,3.186959e-06,3.306799e-06,4.398182e-06,4.635631e-06,5.645366e-06,6.350311e-06,7.032624e-06,8.293859e-06,8.543111e-06,1.015963e-05,1.042696e-05,1.186487e-05,1.270980e-05,1.364147e-05,1.510248e-05,1.547210e-05,1.733966e-05,1.756545e-05,1.922750e-05,2.006044e-05,2.111972e-05,2.255156e-05,2.300147e-05,2.485917e-05,2.500637e-05,2.668069e-05,2.739675e-05,2.845550e-05,2.969938e-05,3.017470e-05,3.183097e-05,3.189583e-05,3.341857e-05,3.397241e-05,3.493316e-05,3.591980e-05,3.637174e-05,3.773247e-05,3.901452e-05,3.940815e-05,4.021794e-05,4.094720e-05,4.134351e-05,4.235207e-05,4.239259e-05,4.336703e-05,4.362679e-05,4.426905e-05,4.477653e-05,4.510115e-05,4.580726e-05,4.586604e-05,4.656655e-05,4.672541e-05,4.720559e-05,4.753771e-05,4.778612e-05,4.825093e-05,4.831109e-05,4.878342e-05,4.887182e-05,4.920597e-05,4.940695e-05,4.958153e-05,4.986267e-05,4.991280e-05,5.020240e-05,5.024504e-05,5.045283e-05,5.055984e-05,5.066650e-05,5.081251e-05,5.084569e-05,5.099261e-05,5.100817e-05,5.110933e-05,5.115164e-05,5.119784e-05,5.124739e-05,5.126001e-05,5.129762e-05,5.129961e-05,5.131235e-05,5.131219e-05,5.130579e-05,5.128873e-05,5.127945e-05,5.123474e-05,5.123259e-05,5.117300e-05,5.114685e-05,5.109550e-05,5.103440e-05,5.100341e-05,5.089786e-05,5.077990e-05,5.073969e-05,5.065051e-05,5.056214e-05,5.051063e-05,5.036728e-05,5.036112e-05,5.020282e-05,5.015702e-05,5.003649e-05,4.993314e-05,4.986285e-05,4.969723e-05,4.968258e-05,4.949631e-05,4.945078e-05,4.930465e-05,4.919517e-05,4.910815e-05,4.893164e-05,4.890733e-05,4.870268e-05,4.866133e-05,4.849465e-05,4.838530e-05,4.828369e-05,4.810450e-05,4.807019e-05,4.785451e-05,4.781983e-05,4.763702e-05,4.753207e-05,4.741804e-05,4.724198e-05,4.719786e-05,4.697678e-05,4.695020e-05,4.675505e-05,4.665735e-05,4.653293e-05,4.636399e-05,4.631064e-05,4.608839e-05,4.607062e-05,4.586638e-05,4.577768e-05,4.564479e-05,4.548560e-05,4.542379e-05,4.520354e-05,4.519475e-05,4.498418e-05,4.490545e-05,4.476584e-05,4.461803e-05,4.454866e-05,4.433274e-05,4.404982e-05,4.376951e-05,4.349198e-05,4.321741e-05,4.294595e-05,4.267772e-05,4.241285e-05,4.215143e-05,4.189355e-05,4.163926e-05,4.138865e-05,4.114174e-05,4.089858e-05,4.065920e-05,4.042361e-05,4.019182e-05,3.996385e-05,3.973969e-05,3.951933e-05,3.930276e-05,3.908996e-05,3.888091e-05,3.867559e-05,3.847396e-05
0.000000e+00,7.073897e-12,3.467135e-11,3.578937e-10,1.637616e-09,3.256496e-09,1.403674e-08,1.478620e-08,4.616231e-08,6.066542e-08,1.143387e-07,1.822546e-07,2.424144e-07,4.381821e-07,4.596141e-07,7.994474e-07,9.030221e-07,1.294973e-06,1.650838e-06,1.972938e-06,2.733893e-06,2.849924e-06,3.931652e-06,4.172386e-06,5.214509e-06,5.957779e-06,6.687915e-06,8.061745e-06,8.336584e-06,1.014231e-05,1.044449e-05,1.208526e-05,1.306057e-05,1.414481e-05,1.586247e-05,1.630023e-05,1.853111e-05,1.880294e-05,2.081772e-05,2.183663e-05,2.314136e-05,2.492130e-05,2.548457e-05,2.783137e-05,2.801883e-05,3.016737e-05,3.109584e-05,3.247985e-05,3.412401e-05,3.475777e-05,3.699176e-05,3.708009e-05,3.917400e-05,3.994568e-05,4.129818e-05,4.270684e-05,4.335927e-05,4.535350e-05,4.727812e-05,4.787897e-05,4.913130e-05,5.027934e-05,5.091201e-05,5.255295e-05,5.261987e-05,5.425503e-05,5.469993e-05,5.581812e-05,5.672178e-05,5.731012e-05,5.862105e-05,5.873229e-05,6.008611e-05,6.040105e-05,6.137327e-05,6.206561e-05,6.259553e-05,6.361894e-05,6.375479e-05,6.485299e-05,6.506547e-05,6.589210e-05,6.640974e-05,6.687411e-05,6.765632e-05,6.780101e-05,6.867478e-05,6.880979e-05,6.949738e-05,6.987462e-05,7.027073e-05,7.085522e-05,7.099672e-05,7.167718e-05,7.175586e-05,7.231392e-05,7.258069e-05,7.290869e-05,7.333370e-05,7.346320e-05,7.397908e-05,7.401873e-05,7.445795e-05,7.463948e-05,7.490134e-05,7.519947e-05,7.531076e-05,7.568766e-05,7.570208e-05,7.603342e-05,7.615053e-05,7.634939e-05,7.654791e-05,7.663688e-05,7.689712e-05,7.713133e-05,7.720097e-05,7.734067e-05,7.746210e-05,7.752624e-05,7.768303e-05,7.768912e-05,7.783034e-05,7.786614e-05,7.795090e-05,7.801370e-05,7.805173e-05,7.812787e-05,7.813376e-05,7.819786e-05,7.821067e-05,7.824488e-05,7.826405e-05,7.827562e-05,7.828983e-05,7.829086e-05,7.829135e-05,7.828974e-05,7.827779e-05,7.826542e-05,7.825088e-05,7.821843e-05,7.821127e-05,7.815958e-05,7.815024e-05,7.809643e-05,7.806222e-05,7.802240e-05,7.795570e-05,7.793802e-05,7.784385e-05,7.783192e-05,7.774038e-05,7.769204e-05,7.762811e-05,7.753718e-05,7.750750e-05,7.737900e-05,7.736839e-05,7.724304e-05,7.718666e-05,7.710003e-05,7.699291e-05,7.695036e-05,7.679441e-05,7.678804e-05,7.663254e-05,7.657288e-05,7.646509e-05,7.634821e-05,7.629240e-05,7.611478e-05,7.587328e-05,7.562438e-05,7.536871e-05,7.510684e-05,7.483935e-05,7.456674e-05,7.428952e-05,7.400815e-05,7.372307e-05,7.343468e-05,7.314339e-05,7.284955e-05,7.255351e-05,7.225560e-05,7.195611e-05,7.165535e-05,7.135357e-05,7.105102e-05,7.074796e-05,7.044460e-05,7.014115e-05,6.983781e-05,6.953476e-05,6.923218e-05
0.000000e+00,9.216000e-12,4.453283e-11,4.459926e-10,1.983133e-09,3.880108e-09,1.600649e-08,1.682992e-08,5.012815e-08,6.499817e-08,1.182867e-07,1.830473e-07,2.386941e-07,4.125001e-07,4.310285e-07,7.164936e-07,8.012210e-07,1.115811e-06,1.395634e-06,1.645585e-06,2.226960e-06,2.314679e-06,3.122751e-06,3.300418e-06,4.061406e-06,4.596665e-06,5.116844e-06,6.081676e-06,6.272648e-06,7.511933e-06,7.716874e-06,8.818629e-06,9.465405e-06,1.017800e-05,1.129440e-05,1.157668e-05,1.300251e-05,1.317490e-05,1.444422e-05,1.508085e-05,1.589120e-05,1.698818e-05,1.733332e-05,1.876088e-05,1.887418e-05,2.016461e-05,2.071744e-05,2.153572e-05,2.249811e-05,2.286604e-05,2.414813e-05,2.419831e-05,2.537535e-05,2.580260e-05,2.654203e-05,2.729834e-05,2.764345e-05,2.867592e-05,2.963678e-05,2.992883e-05,3.052436e-05,3.105358e-05,3.133793e-05,3.204947e-05,3.207765e-05,3.274445e-05,3.291830e-05,3.333995e-05,3.366391e-05,3.386633e-05,3.429182e-05,3.432623e-05,3.472271e-05,3.480879e-05,3.505909e-05,3.522251e-05,3.533888e-05,3.554118e-05,3.556573e-05,3.574333e-05,3.577327e-05,3.587537e-05,3.592722e-05,3.596544e-05,3.601123e-05,3.601704e-05,3.603357e-05,3.603318e-05,3.601823e-05,3.600045e-05,3.597407e-05,3.591991e-05,3.590394e-05,3.581051e-05,3.579785e-05,3.569626e-05,3.563999e-05,3.556347e-05,3.545145e-05,3.541424e-05,3.525050e-05,3.523683e-05,3.507400e-05,3.500020e-05,3.488635e-05,3.474515e-05,3.468898e-05,3.448322e-05,3.447483e-05,3.427024e-05,3.419201e-05,3.405111e-05,3.389908e-05,3.382679e-05,3.359814e-05,3.336593e-05,3.329098e-05,3.313085e-05,3.297918e-05,3.289352e-05,3.266407e-05,3.265449e-05,3.241425e-05,3.234683e-05,3.217325e-05,3.202845e-05,3.193188e-05,3.170979e-05,3.169049e-05,3.144939e-05,3.139160e-05,3.120886e-05,3.107451e-05,3.096915e-05,3.075906e-05,3.073048e-05,3.049304e-05,3.044571e-05,3.025701e-05,3.013488e-05,3.002254e-05,2.982689e-05,2.978977e-05,2.955882e-05,2.952204e-05,2.932979e-05,2.922057e-05,2.910279e-05,2.892270e-05,2.887789e-05,2.865516e-05,2.862858e-05,2.843467e-05,2.833837e-05,2.821647e-05,2.805219e-05,2.800060e-05,2.778710e-05,2.777012e-05,2.757601e-05,2.749225e-05,2.736735e-05,2.721863e-05,2.716114e-05,2.695740e-05,2.694931e-05,2.675615e-05,2.668431e-05,2.655739e-05,2.642365e-05,2.636112e-05,2.616735e-05,2.591539e-05,2.566776e-05,2.542446e-05,2.518544e-05,2.495069e-05,2.472017e-05,2.449384e-05,2.427165e-05,2.405356e-05,2.383951e-05,2.362947e-05,2.342336e-05,2.322113e-05,2.302274e-05,2.282810e-05,2.263718e-05,2.244990e-05,2.226621e-05,2.208604e-05,2.190933e-05,2.173602e-05,2.156604e-05,2.139933e-05,2.123583e-05
0.000000e+00,1.284088e-09,2.991024e-09,1.045733e-08,2.392549e-08,3.494103e-08,7.910661e-08,8.146993e-08,1.561999e-07,1.829623e-07,2.648184e-07,3.484796e-07,4.126373e-07,5.875319e-07,6.046267e-07,8.452957e-07,9.107314e-07,1.138278e-06,1.326035e-06,1.485574e-06,1.835899e-06,1.886827e-06,2.339289e-06,2.435558e-06,2.838580e-06,3.115032e-06,3.379587e-06,3.862399e-06,3.957018e-06,4.565598e-06,4.665512e-06,5.200111e-06,5.512373e-06,5.855405e-06,6.391189e-06,6.526405e-06,7.208155e-06,7.290458e-06,7.895865e-06,8.199160e-06,8.584970e-06,9.106976e-06,9.271188e-06,9.950562e-06,1.000451e-05,1.061950e-05,1.088342e-05,1.127480e-05,1.173658e-05,1.191365e-05,1.253366e-05,1.255803e-05,1.313280e-05,1.334306e-05,1.370946e-05,1.408806e-05,1.426233e-05,1.479048e-05,1.529323e-05,1.544867e-05,1.577018e-05,1.606182e-05,1.622119e-05,1.662977e-05,1.664627e-05,1.704567e-05,1.715294e-05,1.741973e-05,1.763221e-05,1.776896e-05,1.806881e-05,1.809393e-05,1.839534e-05,1.846425e-05,1.867391e-05,1.882023e-05,1.893044e-05,1.913859e-05,1.916574e-05,1.938066e-05,1.942127e-05,1.957605e-05,1.967023e-05,1.975279e-05,1.988746e-05,1.991173e-05,2.005373e-05,2.007494e-05,2.017963e-05,2.023458e-05,2.029025e-05,2.036828e-05,2.038639e-05,2.046885e-05,2.047786e-05,2.053838e-05,2.056506e-05,2.059571e-05,2.063156e-05,2.064155e-05,2.067659e-05,2.067894e-05,2.070147e-05,2.070873e-05,2.071684e-05,2.072234e-05,2.072328e-05,2.072138e-05,2.072113e-05,2.071167e-05,2.070637e-05,2.069470e-05,2.067926e-05,2.067095e-05,2.064090e-05,2.060501e-05,2.059235e-05,2.056369e-05,2.053460e-05,2.051737e-05,2.046854e-05,2.046642e-05,2.041122e-05,2.039504e-05,2.035210e-05,2.031489e-05,2.028940e-05,2.022882e-05,2.022343e-05,2.015448e-05,2.013752e-05,2.008283e-05,2.004163e-05,2.000875e-05,1.994173e-05,1.993246e-05,1.985422e-05,1.983836e-05,1.977424e-05,1.973202e-05,1.969272e-05,1.962319e-05,1.960985e-05,1.952583e-05,1.951229e-05,1.944082e-05,1.939970e-05,1.935497e-05,1.928580e-05,1.926845e-05,1.918139e-05,1.917091e-05,1.909392e-05,1.905533e-05,1.900616e-05,1.893935e-05,1.891824e-05,1.883025e-05,1.882321e-05,1.874229e-05,1.870714e-05,1.865447e-05,1.859136e-05,1.856686e-05,1.847954e-05,1.847606e-05,1.839260e-05,1.836140e-05,1.830609e-05,1.824754e-05,1.822008e-05,1.813462e-05,1.802277e-05,1.791209e-05,1.780269e-05,1.769465e-05,1.758804e-05,1.748294e-05,1.737941e-05,1.727748e-05,1.717721e-05,1.707863e-05,1.698176e-05,1.688663e-05,1.679325e-05,1.670165e-05,1.661181e-05,1.652376e-05,1.643748e-05,1.635297e-05,1.627023e-05,1.618924e-05,1.611000e-05,1.603249e-05,1.595669e-05,1.588258e-05
0.000000e+00,1.452747e-10,5.495902e-10,3.517812e-09,1.107180e-08,1.831685e-08,5.204259e-08,5.398397e-08,1.194318e-07,1.442352e-07,2.229453e-07,3.065886e-07,3.723322e-07,5.566891e-07,5.750367e-07,8.380904e-07,9.109206e-07,1.167690e-06,1.383072e-06,1.568186e-06,1.980263e-06,2.040713e-06,2.582503e-06,2.698691e-06,3.187669e-06,3.524962e-06,3.848801e-06,4.441769e-06,4.558206e-06,5.308412e-06,5.431748e-06,6.092248e-06,6.478394e-06,6.902794e-06,7.565945e-06,7.733339e-06,8.577398e-06,8.679295e-06,9.428760e-06,9.804147e-06,1.028155e-05,1.092726e-05,1.113032e-05,1.197007e-05,1.203672e-05,1.279632e-05,1.312214e-05,1.360513e-05,1.417475e-05,1.439311e-05,1.515739e-05,1.518743e-05,1.589564e-05,1.615466e-05,1.660600e-05,1.707238e-05,1.728706e-05,1.793783e-05,1.855766e-05,1.874941e-05,1.914624e-05,1.950650e-05,1.970352e-05,2.020923e-05,2.022969e-05,2.072512e-05,2.085841e-05,2.119037e-05,2.145531e-05,2.162612e-05,2.200163e-05,2.203316e-05,2.241235e-05,2.249932e-05,2.276462e-05,2.295050e-05,2.309095e-05,2.335746e-05,2.339234e-05,2.366981e-05,2.372252e-05,2.392438e-05,2.404804e-05,2.415707e-05,2.433636e-05,2.436889e-05,2.456084e-05,2.458978e-05,2.473390e-05,2.481054e-05,2.488902e-05,2.500082e-05,2.502712e-05,2.514910e-05,2.516270e-05,2.525582e-05,2.529816e-05,2.534812e-05,2.540911e-05,2.542679e-05,2.549261e-05,2.549734e-05,2.554631e-05,2.556456e-05,2.558860e-05,2.561237e-05,2.562017e-05,2.564165e-05,2.564231e-05,2.565366e-05,2.565578e-05,2.565680e-05,2.565415e-05,2.565162e-05,2.563866e-05,2.561842e-05,2.561049e-05,2.559140e-05,2.557076e-05,2.555806e-05,2.552049e-05,2.551882e-05,2.547410e-05,2.546065e-05,2.542430e-05,2.539213e-05,2.536979e-05,2.531578e-05,2.531092e-05,2.524803e-05,2.523238e-05,2.518144e-05,2.514265e-05,2.511145e-05,2.504726e-05,2.503833e-05,2.496237e-05,2.494685e-05,2.488380e-05,2.484200e-05,2.480288e-05,2.473325e-05,2.471983e-05,2.463486e-05,2.462110e-05,2.454818e-05,2.450601e-05,2.445996e-05,2.438842e-05,2.437040e-05,2.427967e-05,2.426871e-05,2.418791e-05,2.414725e-05,2.409528e-05,2.402438e-05,2.400192e-05,2.390795e-05,2.390042e-05,2.381352e-05,2.377563e-05,2.371872e-05,2.365030e-05,2.362367e-05,2.352846e-05,2.352465e-05,2.343320e-05,2.339892e-05,2.333798e-05,2.327329e-05,2.324287e-05,2.314795e-05,2.302308e-05,2.289882e-05,2.277532e-05,2.265269e-05,2.253105e-05,2.241050e-05,2.229114e-05,2.217304e-05,2.205628e-05,2.194092e-05,2.182702e-05,2.171463e-05,2.160378e-05,2.149453e-05,2.138688e-05,2.128088e-05,2.117654e-05,2.107388e-05,2.097292e-05,2.087365e-05,2.077608e-05,2.068023e-05,2.058608e-05,2.049363e-05
0.000000e+00,4.908093e-12,2.415896e-11,2.514305e-10,1.157887e-09,2.309403e-09,1.000812e-08,1.054391e-08,3.294615e-08,4.326789e-08,8.125428e-08,1.288716e-07,1.706885e-07,3.050034e-07,3.195828e-07,5.489186e-07,6.184344e-07,8.813718e-07,1.121046e-06,1.339412e-06,1.862092e-06,1.942691e-06,2.705735e-06,2.878353e-06,3.636765e-06,4.188165e-06,4.737727e-06,5.791437e-06,6.005128e-06,7.431184e-06,7.673379e-06,9.004933e-06,9.808984e-06,1.071318e-05,1.216676e-05,1.254121e-05,1.447331e-05,1.471139e-05,1.649321e-05,1.740551e-05,1.858434e-05,2.021103e-05,2.073012e-05,2.291424e-05,2.309014e-05,2.512080e-05,2.600628e-05,2.733461e-05,2.892492e-05,2.954127e-05,3.172744e-05,3.181428e-05,3.388088e-05,3.464595e-05,3.599060e-05,3.739524e-05,3.804691e-05,4.004143e-05,4.196708e-05,4.256777e-05,4.381808e-05,4.496139e-05,4.558986e-05,4.721302e-05,4.727897e-05,4.888302e-05,4.931669e-05,5.040058e-05,5.126933e-05,5.183107e-05,5.307035e-05,5.317466e-05,5.443214e-05,5.472127e-05,5.560489e-05,5.622528e-05,5.669472e-05,5.758693e-05,5.770384e-05,5.863475e-05,5.881178e-05,5.949017e-05,5.990611e-05,6.027301e-05,6.087671e-05,6.098629e-05,6.163312e-05,6.173065e-05,6.221662e-05,6.247514e-05,6.273995e-05,6.311737e-05,6.320620e-05,6.361845e-05,6.366444e-05,6.397971e-05,6.412326e-05,6.429289e-05,6.450050e-05,6.456082e-05,6.478626e-05,6.480253e-05,6.497182e-05,6.503546e-05,6.512005e-05,6.520502e-05,6.523336e-05,6.531407e-05,6.531665e-05,6.536437e-05,6.537544e-05,6.538635e-05,6.538615e-05,6.538202e-05,6.535324e-05,6.530180e-05,6.528084e-05,6.522940e-05,6.517280e-05,6.513762e-05,6.503269e-05,6.502798e-05,6.490188e-05,6.486380e-05,6.476066e-05,6.466920e-05,6.460559e-05,6.445169e-05,6.443783e-05,6.425852e-05,6.421388e-05,6.406868e-05,6.395814e-05,6.386930e-05,6.368668e-05,6.366130e-05,6.344553e-05,6.340152e-05,6.322282e-05,6.310451e-05,6.299390e-05,6.279733e-05,6.275948e-05,6.252024e-05,6.248155e-05,6.227678e-05,6.215859e-05,6.202968e-05,6.182974e-05,6.177948e-05,6.152668e-05,6.149619e-05,6.127175e-05,6.115901e-05,6.101511e-05,6.081919e-05,6.075719e-05,6.049834e-05,6.047761e-05,6.023893e-05,6.013508e-05,5.997927e-05,5.979233e-05,5.971966e-05,5.946039e-05,5.945003e-05,5.920170e-05,5.910876e-05,5.894384e-05,5.876908e-05,5.868702e-05,5.843144e-05,5.809630e-05,5.776402e-05,5.743496e-05,5.710942e-05,5.678765e-05,5.646990e-05,5.615637e-05,5.584723e-05,5.554264e-05,5.524272e-05,5.494758e-05,5.465731e-05,5.437197e-05,5.409163e-05,5.381631e-05,5.354606e-05,5.328087e-05,5.302076e-05,5.276571e-05,5.251572e-05,5.227075e-05,5.203079e-05,5.179578e-05,5.156570e-05
0.000000e+00,1.962211e-09,4.620271e-09,1.636212e-08,3.774728e-08,5.537144e-08,1.270186e-07,1.308938e-07,2.554484e-07,3.009633e-07,4.429185e-07,5.918209e-07,7.081767e-07,1.031671e-06,1.063582e-06,1.512993e-06,1.634342e-06,2.050767e-06,2.386981e-06,2.667426e-06,3.268256e-06,3.354095e-06,4.103272e-06,4.260010e-06,4.908227e-06,5.346671e-06,5.762392e-06,6.513003e-06,6.659035e-06,7.591174e-06,7.743131e-06,8.551615e-06,9.020544e-06,9.533091e-06,1.032858e-05,1.052842e-05,1.153066e-05,1.165108e-05,1.253329e-05,1.297296e-05,1.353018e-05,1.428060e-05,1.451587e-05,1.548551e-05,1.556226e-05,1.643491e-05,1.680819e-05,1.736053e-05,1.801059e-05,1.825945e-05,1.912934e-05,1.916350e-05,1.996842e-05,2.026268e-05,2.077539e-05,2.130532e-05,2.154937e-05,2.228989e-05,2.299676e-05,2.321586e-05,2.367009e-05,2.408356e-05,2.431021e-05,2.489396e-05,2.491763e-05,2.549303e-05,2.564850e-05,2.603718e-05,2.634903e-05,2.655095e-05,2.699761e-05,2.703530e-05,2.749120e-05,2.759650e-05,2.791968e-05,2.814804e-05,2.832178e-05,2.865463e-05,2.869853e-05,2.905098e-05,2.911865e-05,2.938016e-05,2.954246e-05,2.968707e-05,2.992839e-05,2.997270e-05,3.023803e-05,3.027866e-05,3.048398e-05,3.059543e-05,3.071148e-05,3.088077e-05,3.092139e-05,3.111457e-05,3.113667e-05,3.129184e-05,3.136500e-05,3.145397e-05,3.156754e-05,3.160173e-05,3.173584e-05,3.174600e-05,3.185699e-05,3.190197e-05,3.196584e-05,3.203695e-05,3.206303e-05,3.214917e-05,3.215239e-05,3.222483e-05,3.224961e-05,3.229058e-05,3.232989e-05,3.234693e-05,3.239440e-05,3.243347e-05,3.244427e-05,3.246459e-05,3.248054e-05,3.248820e-05,3.250419e-05,3.250472e-05,3.251455e-05,3.251616e-05,3.251807e-05,3.251729e-05,3.251563e-05,3.250842e-05,3.250757e-05,3.249424e-05,3.249028e-05,3.247592e-05,3.246361e-05,3.245293e-05,3.242906e-05,3.242555e-05,3.239403e-05,3.238725e-05,3.235864e-05,3.233878e-05,3.231961e-05,3.228419e-05,3.227718e-05,3.223157e-05,3.222399e-05,3.218298e-05,3.215866e-05,3.213162e-05,3.208865e-05,3.207766e-05,3.202129e-05,3.201437e-05,3.196268e-05,3.193623e-05,3.190199e-05,3.185457e-05,3.183937e-05,3.177497e-05,3.176975e-05,3.170893e-05,3.168208e-05,3.164137e-05,3.159186e-05,3.157242e-05,3.150220e-05,3.149937e-05,3.143083e-05,3.140487e-05,3.135840e-05,3.130860e-05,3.128502e-05,3.121078e-05,3.111163e-05,3.101134e-05,3.091009e-05,3.080806e-05,3.070540e-05,3.060226e-05,3.049877e-05,3.039507e-05,3.029127e-05,3.018748e-05,3.008379e-05,2.998032e-05,2.987713e-05,2.977432e-05,2.967195e-05,2.957009e-05,2.946882e-05,2.936817e-05,2.926822e-05,2.916900e-05,2.907056e-05,2.897294e-05,2.887618e-05,2.878031e-05
0.000000e+00,1.816344e-09,5.221762e-09,2.296246e-08,5.874815e-08,8.967173e-08,2.217969e-07,2.291474e-07,4.729452e-07,5.650121e-07,8.599661e-07,1.179247e-06,1.433731e-06,2.152903e-06,2.224189e-06,3.222966e-06,3.489569e-06,4.391504e-06,5.104920e-06,5.690421e-06,6.918163e-06,7.090826e-06,8.571662e-06,8.875928e-06,1.011569e-05,1.093833e-05,1.170724e-05,1.306986e-05,1.333129e-05,1.497339e-05,1.523688e-05,1.661981e-05,1.740783e-05,1.825779e-05,1.955432e-05,1.987583e-05,2.146383e-05,2.165195e-05,2.301323e-05,2.368086e-05,2.451694e-05,2.562569e-05,2.596932e-05,2.736603e-05,2.747526e-05,2.870399e-05,2.922223e-05,2.998114e-05,3.086237e-05,3.119635e-05,3.234925e-05,3.239407e-05,3.344010e-05,3.381776e-05,3.446968e-05,3.513538e-05,3.543916e-05,3.635004e-05,3.720403e-05,3.746561e-05,3.800305e-05,3.848650e-05,3.874912e-05,3.941747e-05,3.944432e-05,4.009081e-05,4.026338e-05,4.069071e-05,4.102918e-05,4.124616e-05,4.171972e-05,4.175926e-05,4.223207e-05,4.233978e-05,4.266660e-05,4.289395e-05,4.306481e-05,4.338668e-05,4.342857e-05,4.375971e-05,4.382218e-05,4.405998e-05,4.420448e-05,4.433106e-05,4.453739e-05,4.457457e-05,4.479204e-05,4.482451e-05,4.498494e-05,4.506923e-05,4.515470e-05,4.527474e-05,4.530265e-05,4.543006e-05,4.544403e-05,4.553816e-05,4.557991e-05,4.562811e-05,4.568501e-05,4.570101e-05,4.575790e-05,4.576179e-05,4.579979e-05,4.581255e-05,4.582761e-05,4.583943e-05,4.584226e-05,4.584459e-05,4.584444e-05,4.583541e-05,4.582943e-05,4.581547e-05,4.579615e-05,4.578552e-05,4.574621e-05,4.569822e-05,4.568113e-05,4.564215e-05,4.560229e-05,4.557857e-05,4.551100e-05,4.550805e-05,4.543109e-05,4.540846e-05,4.534820e-05,4.529580e-05,4.525982e-05,4.517406e-05,4.516641e-05,4.506837e-05,4.504420e-05,4.496610e-05,4.490711e-05,4.485995e-05,4.476362e-05,4.475028e-05,4.463742e-05,4.461449e-05,4.452167e-05,4.446044e-05,4.440333e-05,4.430211e-05,4.428266e-05,4.415993e-05,4.414012e-05,4.403537e-05,4.397501e-05,4.390922e-05,4.380730e-05,4.378169e-05,4.365298e-05,4.363747e-05,4.352328e-05,4.346595e-05,4.339277e-05,4.329314e-05,4.326161e-05,4.312995e-05,4.311941e-05,4.299796e-05,4.294509e-05,4.286575e-05,4.277051e-05,4.273347e-05,4.260122e-05,4.259594e-05,4.246913e-05,4.242163e-05,4.233729e-05,4.224784e-05,4.220581e-05,4.207477e-05,4.190262e-05,4.173156e-05,4.156176e-05,4.139337e-05,4.122651e-05,4.106130e-05,4.089785e-05,4.073625e-05,4.057659e-05,4.041893e-05,4.026335e-05,4.010990e-05,3.995862e-05,3.980956e-05,3.966275e-05,3.951822e-05,3.937598e-05,3.923607e-05,3.909848e-05,3.896323e-05,3.883032e-05,3.869976e-05,3.857153e-05,3.844563e-05
0.000000e+00,2.219639e-12,1.144950e-11,1.313387e-10,6.610315e-10,1.384344e-09,6.804118e-09,7.205120e-09,2.549262e-08,3.462220e-08,7.070342e-08,1.199186e-07,1.658623e-07,3.260537e-07,3.443924e-07,6.517163e-07,7.508671e-07,1.146535e-06,1.532057e-06,1.901558e-06,2.849573e-06,3.003241e-06,4.550081e-06,4.922199e-06,6.649336e-06,7.996280e-06,9.412628e-06,1.232840e-05,1.295111e-05,1.737082e-05,1.816639e-05,2.276867e-05,2.573240e-05,2.922906e-05,3.520965e-05,3.682148e-05,4.559869e-05,4.673342e-05,5.559571e-05,6.038584e-05,6.682943e-05,7.619412e-05,7.929873e-05,9.298512e-05,9.413167e-05,1.078537e-04,1.141214e-04,1.238545e-04,1.360410e-04,1.409240e-04,1.589869e-04,1.597289e-04,1.779579e-04,1.849920e-04,1.977436e-04,2.116124e-04,2.182441e-04,2.393555e-04,2.609709e-04,2.679766e-04,2.829824e-04,2.972280e-04,3.052826e-04,3.268643e-04,3.277658e-04,3.503292e-04,3.566478e-04,3.728742e-04,3.863530e-04,3.953068e-04,4.157693e-04,4.175385e-04,4.394870e-04,4.447039e-04,4.610764e-04,4.729835e-04,4.822374e-04,5.004551e-04,5.029077e-04,5.230318e-04,5.269867e-04,5.425611e-04,5.524671e-04,5.614537e-04,5.768053e-04,5.796741e-04,5.971932e-04,5.999296e-04,6.139878e-04,6.217864e-04,6.300401e-04,6.423391e-04,6.453378e-04,6.598732e-04,6.615661e-04,6.736433e-04,6.794597e-04,6.866489e-04,6.960246e-04,6.988947e-04,7.103887e-04,7.112761e-04,7.211418e-04,7.252385e-04,7.311674e-04,7.379441e-04,7.404813e-04,7.491010e-04,7.494316e-04,7.570458e-04,7.597447e-04,7.643365e-04,7.689314e-04,7.709946e-04,7.770427e-04,7.825040e-04,7.841316e-04,7.874021e-04,7.902524e-04,7.917610e-04,7.954604e-04,7.956045e-04,7.989567e-04,7.998105e-04,8.018412e-04,8.033573e-04,8.042817e-04,8.061546e-04,8.063012e-04,8.079224e-04,8.082547e-04,8.091674e-04,8.097083e-04,8.100577e-04,8.105645e-04,8.106144e-04,8.108576e-04,8.108703e-04,8.108070e-04,8.106708e-04,8.104814e-04,8.100088e-04,8.098991e-04,8.090775e-04,8.089250e-04,8.080333e-04,8.074577e-04,8.067824e-04,8.056432e-04,8.053401e-04,8.037209e-04,8.035154e-04,8.019386e-04,8.011061e-04,8.000063e-04,7.984452e-04,7.979365e-04,7.957410e-04,7.955602e-04,7.934309e-04,7.924771e-04,7.910167e-04,7.892198e-04,7.885085e-04,7.859156e-04,7.858103e-04,7.832469e-04,7.822692e-04,7.805105e-04,7.786153e-04,7.777145e-04,7.748660e-04,7.710373e-04,7.671438e-04,7.631989e-04,7.592148e-04,7.552027e-04,7.511727e-04,7.471341e-04,7.430951e-04,7.390633e-04,7.350455e-04,7.310479e-04,7.270759e-04,7.231344e-04,7.192278e-04,7.153600e-04,7.115343e-04,7.077539e-04,7.040213e-04,7.003388e-04,6.967083e-04,6.931316e-04,6.896100e-04,6.861447e-04,6.827366e-04
0.000000e+00,5.722855e-12,2.953120e-11,3.391208e-10,1.709336e-09,3.583618e-09,1.768440e-08,1.873050e-08,6.669165e-08,9.077520e-08,1.865932e-07,3.184987e-07,4.425606e-07,8.797129e-07,9.300840e-07,1.779603e-06,2.054944e-06,3.155318e-06,4.226413e-06,5.249877e-06,7.856997e-06,8.276887e-06,1.246271e-05,1.345926e-05,1.803824e-05,2.156264e-05,2.523111e-05,3.268222e-05,3.425833e-05,4.531984e-05,4.729066e-05,5.859276e-05,6.579436e-05,7.422677e-05,8.851477e-05,9.234047e-05,1.130189e-04,1.156755e-04,1.363125e-04,1.473952e-04,1.622361e-04,1.836866e-04,1.907708e-04,2.218643e-04,2.244601e-04,2.554344e-04,2.695320e-04,2.913709e-04,3.186358e-04,3.295394e-04,3.697848e-04,3.714354e-04,4.119349e-04,4.275398e-04,4.558040e-04,4.865175e-04,5.011967e-04,5.479109e-04,5.957414e-04,6.112493e-04,6.444826e-04,6.760607e-04,6.939310e-04,7.418820e-04,7.438876e-04,7.941599e-04,8.082673e-04,8.445630e-04,8.747944e-04,8.949217e-04,9.410702e-04,9.450708e-04,9.948562e-04,1.006734e-03,1.044135e-03,1.071462e-03,1.092778e-03,1.134962e-03,1.140665e-03,1.187689e-03,1.196982e-03,1.233756e-03,1.257304e-03,1.278782e-03,1.315745e-03,1.322693e-03,1.365429e-03,1.372154e-03,1.406936e-03,1.426410e-03,1.447172e-03,1.478422e-03,1.486103e-03,1.523702e-03,1.528124e-03,1.559953e-03,1.575472e-03,1.594843e-03,1.620446e-03,1.628367e-03,1.660527e-03,1.663041e-03,1.691329e-03,1.703271e-03,1.720782e-03,1.741162e-03,1.748903e-03,1.775709e-03,1.776754e-03,1.801223e-03,1.810096e-03,1.825468e-03,1.841244e-03,1.848471e-03,1.870262e-03,1.890871e-03,1.897221e-03,1.910329e-03,1.922193e-03,1.928668e-03,1.945254e-03,1.945924e-03,1.962129e-03,1.966483e-03,1.977319e-03,1.985960e-03,1.991528e-03,2.003763e-03,2.004790e-03,2.017141e-03,2.019973e-03,2.028614e-03,2.034669e-03,2.039244e-03,2.047926e-03,2.049063e-03,2.058105e-03,2.059823e-03,2.066402e-03,2.070432e-03,2.073985e-03,2.079826e-03,2.080885e-03,2.087132e-03,2.088073e-03,2.092756e-03,2.095242e-03,2.097784e-03,2.101396e-03,2.102244e-03,2.106163e-03,2.106598e-03,2.109566e-03,2.110906e-03,2.112478e-03,2.114379e-03,2.114924e-03,2.116927e-03,2.117068e-03,2.118508e-03,2.119027e-03,2.119689e-03,2.120304e-03,2.120491e-03,2.120934e-03,2.120945e-03,2.121037e-03,2.120995e-03,2.120818e-03,2.120494e-03,2.120295e-03,2.119484e-03,2.118000e-03,2.116079e-03,2.113753e-03,2.111053e-03,2.108010e-03,2.104650e-03,2.101000e-03,2.097085e-03,2.092927e-03,2.088549e-03,2.083970e-03,2.079209e-03,2.074285e-03,2.069214e-03,2.064011e-03,2.058692e-03,2.053270e-03,2.047758e-03,2.042168e-03,2.036510e-03,2.030797e-03,2.025036e-03,2.019238e-03,2.013410e-03
0.000000e+00,1.284453e-09,3.707484e-09,1.635487e-08,4.177851e-08,6.360792e-08,1.553435e-07,1.603762e-07,3.234966e-07,3.833724e-07,5.700240e-07,7.651679e-07,9.171535e-07,1.338371e-06,1.379887e-06,1.965270e-06,2.123623e-06,2.667399e-06,3.105855e-06,3.470439e-06,4.246044e-06,4.356116e-06,5.307719e-06,5.504624e-06,6.310490e-06,6.847666e-06,7.351038e-06,8.245189e-06,8.416955e-06,9.496724e-06,9.670053e-06,1.057979e-05,1.109802e-05,1.165671e-05,1.250820e-05,1.271919e-05,1.376020e-05,1.388340e-05,1.477395e-05,1.521012e-05,1.575577e-05,1.647836e-05,1.670208e-05,1.761024e-05,1.768119e-05,1.847845e-05,1.881429e-05,1.930562e-05,1.987547e-05,2.009124e-05,2.083529e-05,2.086419e-05,2.153813e-05,2.178118e-05,2.220043e-05,2.262809e-05,2.282310e-05,2.340723e-05,2.395403e-05,2.412134e-05,2.446482e-05,2.477344e-05,2.494094e-05,2.536672e-05,2.538381e-05,2.579485e-05,2.590443e-05,2.617548e-05,2.638985e-05,2.652710e-05,2.682616e-05,2.685109e-05,2.714880e-05,2.721649e-05,2.742154e-05,2.756385e-05,2.767059e-05,2.787114e-05,2.789718e-05,2.810250e-05,2.814111e-05,2.828769e-05,2.837641e-05,2.845386e-05,2.857951e-05,2.860205e-05,2.873329e-05,2.875278e-05,2.884853e-05,2.889844e-05,2.894870e-05,2.901858e-05,2.903469e-05,2.910733e-05,2.911519e-05,2.916743e-05,2.919009e-05,2.921575e-05,2.924504e-05,2.925302e-05,2.927993e-05,2.928166e-05,2.929715e-05,2.930146e-05,2.930529e-05,2.930587e-05,2.930496e-05,2.929671e-05,2.929622e-05,2.928108e-05,2.927374e-05,2.925857e-05,2.923959e-05,2.922967e-05,2.919484e-05,2.915450e-05,2.914050e-05,2.910906e-05,2.907749e-05,2.905891e-05,2.900668e-05,2.900442e-05,2.894592e-05,2.892887e-05,2.888375e-05,2.884481e-05,2.881821e-05,2.875519e-05,2.874960e-05,2.867818e-05,2.866065e-05,2.860422e-05,2.856179e-05,2.852796e-05,2.845914e-05,2.844964e-05,2.836946e-05,2.835322e-05,2.828763e-05,2.824449e-05,2.820434e-05,2.813338e-05,2.811977e-05,2.803410e-05,2.802030e-05,2.794748e-05,2.790560e-05,2.786005e-05,2.778963e-05,2.777197e-05,2.768335e-05,2.767269e-05,2.759433e-05,2.755506e-05,2.750502e-05,2.743701e-05,2.741552e-05,2.732593e-05,2.731877e-05,2.723636e-05,2.720055e-05,2.714688e-05,2.708256e-05,2.705758e-05,2.696853e-05,2.696497e-05,2.687981e-05,2.684796e-05,2.679147e-05,2.673165e-05,2.670358e-05,2.661620e-05,2.650172e-05,2.638831e-05,2.627607e-05,2.616510e-05,2.605546e-05,2.594722e-05,2.584045e-05,2.573519e-05,2.563148e-05,2.552938e-05,2.542889e-05,2.533007e-05,2.523291e-05,2.513745e-05,2.504369e-05,2.495164e-05,2.486131e-05,2.477270e-05,2.468580e-05,2.460061e-05,2.451713e-05,2.443534e-05,2.435524e-05,2.427680e-05
0.000000e+00,6.689766e-12,3.295959e-11,3.453480e-10,1.614579e-09,3.263623e-09,1.496739e-08,1.581726e-08,5.437418e-08,7.376259e-08,1.515940e-07,2.594334e-07,3.602693e-07,7.033671e-07,7.414707e-07,1.341414e-06,1.520468e-06,2.176722e-06,2.743480e-06,3.234523e-06,4.323103e-06,4.481293e-06,5.873426e-06,6.165274e-06,7.365689e-06,8.167208e-06,8.916513e-06,1.023833e-05,1.049045e-05,1.205872e-05,1.230752e-05,1.359869e-05,1.432252e-05,1.509290e-05,1.624626e-05,1.652805e-05,1.789414e-05,1.805305e-05,1.918380e-05,1.972564e-05,2.039186e-05,2.125329e-05,2.151498e-05,2.255148e-05,2.263065e-05,2.350114e-05,2.385688e-05,2.436499e-05,2.493501e-05,2.514520e-05,2.584486e-05,2.587123e-05,2.646782e-05,2.667414e-05,2.701848e-05,2.735407e-05,2.750164e-05,2.792229e-05,2.828551e-05,2.839044e-05,2.859634e-05,2.877003e-05,2.885964e-05,2.907201e-05,2.908006e-05,2.926197e-05,2.930656e-05,2.940940e-05,2.948288e-05,2.952608e-05,2.960917e-05,2.961538e-05,2.968035e-05,2.969263e-05,2.972372e-05,2.973949e-05,2.974791e-05,2.975506e-05,2.975509e-05,2.974716e-05,2.974392e-05,2.972581e-05,2.970990e-05,2.969251e-05,2.965627e-05,2.964858e-05,2.959515e-05,2.958579e-05,2.953324e-05,2.950078e-05,2.946374e-05,2.940322e-05,2.938745e-05,2.930506e-05,2.929479e-05,2.921720e-05,2.917695e-05,2.912441e-05,2.905092e-05,2.902721e-05,2.892603e-05,2.891778e-05,2.882128e-05,2.877846e-05,2.871332e-05,2.863379e-05,2.860249e-05,2.848908e-05,2.848449e-05,2.837337e-05,2.833120e-05,2.825561e-05,2.817449e-05,2.813604e-05,2.801486e-05,2.789227e-05,2.785278e-05,2.776847e-05,2.768866e-05,2.764360e-05,2.752287e-05,2.751783e-05,2.739130e-05,2.735576e-05,2.726416e-05,2.718763e-05,2.713652e-05,2.701875e-05,2.700850e-05,2.688021e-05,2.684939e-05,2.675175e-05,2.667978e-05,2.662322e-05,2.651012e-05,2.649470e-05,2.636627e-05,2.634060e-05,2.623801e-05,2.617141e-05,2.611000e-05,2.600270e-05,2.598229e-05,2.585495e-05,2.583461e-05,2.572804e-05,2.566729e-05,2.560160e-05,2.550084e-05,2.547570e-05,2.535038e-05,2.533538e-05,2.522568e-05,2.517102e-05,2.510164e-05,2.500783e-05,2.497829e-05,2.485568e-05,2.484590e-05,2.473382e-05,2.468530e-05,2.461277e-05,2.452611e-05,2.449253e-05,2.437313e-05,2.436838e-05,2.425461e-05,2.421215e-05,2.413697e-05,2.405749e-05,2.402024e-05,2.390444e-05,2.375302e-05,2.360327e-05,2.345522e-05,2.330890e-05,2.316432e-05,2.302150e-05,2.288045e-05,2.274120e-05,2.260374e-05,2.246808e-05,2.233422e-05,2.220217e-05,2.207192e-05,2.194348e-05,2.181683e-05,2.169198e-05,2.156891e-05,2.144762e-05,2.132810e-05,2.121034e-05,2.109432e-05,2.098004e-05,2.086747e-05,2.075661e-05
0.000000e+00,3.639399e-12,1.885210e-11,2.183032e-10,1.109478e-09,2.337356e-09,1.169638e-08,1.239590e-08,4.486892e-08,6.137728e-08,1.278930e-07,2.209680e-07,3.096324e-07,6.278113e-07,6.649089e-07,1.299552e-06,1.508030e-06,2.350493e-06,3.181215e-06,3.982298e-06,6.046761e-06,6.381849e-06,9.752354e-06,1.056164e-05,1.430725e-05,1.721611e-05,2.026420e-05,2.650986e-05,2.783937e-05,3.724201e-05,3.892942e-05,4.866946e-05,5.492770e-05,6.230263e-05,7.490603e-05,7.830220e-05,9.680532e-05,9.919949e-05,1.179232e-04,1.280660e-04,1.417393e-04,1.616790e-04,1.683086e-04,1.976568e-04,2.001248e-04,2.297812e-04,2.434024e-04,2.646515e-04,2.914276e-04,3.022111e-04,3.423794e-04,3.440390e-04,3.850534e-04,4.010063e-04,4.301105e-04,4.620400e-04,4.774111e-04,5.268011e-04,5.781144e-04,5.949124e-04,6.311757e-04,6.659684e-04,6.858030e-04,7.395452e-04,7.418096e-04,7.990067e-04,8.152094e-04,8.572051e-04,8.925266e-04,9.162173e-04,9.710683e-04,9.758585e-04,1.035949e-03,1.050418e-03,1.096314e-03,1.130176e-03,1.156786e-03,1.209963e-03,1.217206e-03,1.277420e-03,1.289426e-03,1.337287e-03,1.368235e-03,1.396671e-03,1.446090e-03,1.455448e-03,1.513503e-03,1.522718e-03,1.570730e-03,1.597876e-03,1.627032e-03,1.671348e-03,1.682321e-03,1.736519e-03,1.742947e-03,1.789557e-03,1.812510e-03,1.841374e-03,1.879904e-03,1.891915e-03,1.941136e-03,1.945015e-03,1.988998e-03,2.007756e-03,2.035471e-03,2.068056e-03,2.080529e-03,2.124153e-03,2.125868e-03,2.166331e-03,2.181159e-03,2.207055e-03,2.233914e-03,2.246321e-03,2.284132e-03,2.320492e-03,2.331822e-03,2.355411e-03,2.377009e-03,2.388902e-03,2.419724e-03,2.420980e-03,2.451664e-03,2.460008e-03,2.480974e-03,2.497910e-03,2.508933e-03,2.533483e-03,2.535566e-03,2.560899e-03,2.566789e-03,2.584960e-03,2.597890e-03,2.607778e-03,2.626853e-03,2.629383e-03,2.649805e-03,2.653750e-03,2.669076e-03,2.678652e-03,2.687227e-03,2.701631e-03,2.704290e-03,2.720297e-03,2.722763e-03,2.735281e-03,2.742120e-03,2.749274e-03,2.759776e-03,2.762308e-03,2.774415e-03,2.775807e-03,2.785626e-03,2.790283e-03,2.795973e-03,2.803277e-03,2.805486e-03,2.814197e-03,2.814860e-03,2.822134e-03,2.825099e-03,2.829327e-03,2.834061e-03,2.835805e-03,2.841595e-03,2.841813e-03,2.846726e-03,2.848417e-03,2.851224e-03,2.853935e-03,2.855115e-03,2.858425e-03,2.861945e-03,2.864550e-03,2.866294e-03,2.867226e-03,2.867396e-03,2.866851e-03,2.865635e-03,2.863790e-03,2.861359e-03,2.858379e-03,2.854889e-03,2.850922e-03,2.846514e-03,2.841695e-03,2.836497e-03,2.830947e-03,2.825074e-03,2.818904e-03,2.812460e-03,2.805767e-03,2.798845e-03,2.791717e-03,2.784401e-03,2.776916e-03
0.000000e+00,2.528980e-12,1.291220e-11,1.451601e-10,7.187665e-10,1.493604e-09,7.234322e-09,7.657632e-09,2.699244e-08,3.670225e-08,7.551182e-08,1.294328e-07,1.805807e-07,3.628831e-07,3.840182e-07,7.417253e-07,8.576788e-07,1.319032e-06,1.763740e-06,2.184165e-06,3.235501e-06,3.402317e-06,5.031321e-06,5.410825e-06,7.118965e-06,8.398340e-06,9.701612e-06,1.227181e-05,1.280372e-05,1.643797e-05,1.706908e-05,2.060580e-05,2.279359e-05,2.529810e-05,2.941729e-05,3.049616e-05,3.617264e-05,3.688438e-05,4.229266e-05,4.511555e-05,4.881496e-05,5.401252e-05,5.569307e-05,6.287647e-05,6.346275e-05,7.031186e-05,7.334427e-05,7.794421e-05,8.353027e-05,8.571797e-05,9.357801e-05,9.389344e-05,1.014706e-04,1.043099e-04,1.093441e-04,1.146623e-04,1.171499e-04,1.248427e-04,1.323810e-04,1.347544e-04,1.397275e-04,1.443132e-04,1.468492e-04,1.534480e-04,1.537175e-04,1.603082e-04,1.621010e-04,1.666012e-04,1.702274e-04,1.725807e-04,1.777947e-04,1.782349e-04,1.835553e-04,1.847819e-04,1.885369e-04,1.911779e-04,1.931780e-04,1.969810e-04,1.974793e-04,2.014441e-04,2.021971e-04,2.050778e-04,2.068388e-04,2.083875e-04,2.109237e-04,2.113821e-04,2.140715e-04,2.144742e-04,2.164667e-04,2.175154e-04,2.185796e-04,2.200750e-04,2.204226e-04,2.220086e-04,2.221823e-04,2.233506e-04,2.238672e-04,2.244618e-04,2.251600e-04,2.253553e-04,2.260442e-04,2.260909e-04,2.265414e-04,2.266894e-04,2.268593e-04,2.269841e-04,2.270101e-04,2.270057e-04,2.270025e-04,2.268573e-04,2.267708e-04,2.265759e-04,2.263139e-04,2.261718e-04,2.256550e-04,2.250348e-04,2.248159e-04,2.243201e-04,2.238170e-04,2.235194e-04,2.226771e-04,2.226405e-04,2.216909e-04,2.214133e-04,2.206776e-04,2.200418e-04,2.196072e-04,2.185771e-04,2.184856e-04,2.173186e-04,2.170324e-04,2.161116e-04,2.154200e-04,2.148693e-04,2.137507e-04,2.135965e-04,2.122972e-04,2.120346e-04,2.109755e-04,2.102805e-04,2.096349e-04,2.084967e-04,2.082788e-04,2.069103e-04,2.066904e-04,2.055321e-04,2.048680e-04,2.041469e-04,2.030353e-04,2.027571e-04,2.013648e-04,2.011976e-04,1.999720e-04,1.993595e-04,1.985806e-04,1.975251e-04,1.971922e-04,1.958084e-04,1.956979e-04,1.944304e-04,1.938812e-04,1.930596e-04,1.920777e-04,1.916970e-04,1.903438e-04,1.902898e-04,1.890007e-04,1.885198e-04,1.876686e-04,1.867694e-04,1.863482e-04,1.850402e-04,1.833336e-04,1.816507e-04,1.799925e-04,1.783598e-04,1.767532e-04,1.751732e-04,1.736202e-04,1.720945e-04,1.705963e-04,1.691258e-04,1.676828e-04,1.662675e-04,1.648797e-04,1.635193e-04,1.621861e-04,1.608798e-04,1.596002e-04,1.583470e-04,1.571199e-04,1.559186e-04,1.547426e-04,1.535916e-04,1.524652e-04,1.513630e-04
0.000000e+00,1.536467e-09,3.520840e-09,1.207229e-08,2.732967e-08,3.974435e-08,8.934251e-08,9.199461e-08,1.760213e-07,2.062394e-07,2.992134e-07,3.951549e-07,4.693467e-07,6.738617e-07,6.939884e-07,9.783043e-07,1.055522e-06,1.321911e-06,1.537962e-06,1.718270e-06,2.103131e-06,2.157841e-06,2.631284e-06,2.729308e-06,3.130575e-06,3.398109e-06,3.648858e-06,4.094443e-06,4.180073e-06,4.718680e-06,4.805194e-06,5.259530e-06,5.518518e-06,5.797848e-06,6.223720e-06,6.329252e-06,6.849801e-06,6.911367e-06,7.356031e-06,7.573457e-06,7.844989e-06,8.203527e-06,8.314237e-06,8.761843e-06,8.796670e-06,9.186360e-06,9.349465e-06,9.586790e-06,9.859837e-06,9.962538e-06,1.031336e-05,1.032688e-05,1.063934e-05,1.075066e-05,1.094078e-05,1.113202e-05,1.121823e-05,1.147236e-05,1.170401e-05,1.177354e-05,1.191409e-05,1.203768e-05,1.210360e-05,1.226711e-05,1.227355e-05,1.242499e-05,1.246422e-05,1.255897e-05,1.263142e-05,1.267655e-05,1.277110e-05,1.277873e-05,1.286653e-05,1.288557e-05,1.294090e-05,1.297703e-05,1.300278e-05,1.304760e-05,1.305305e-05,1.309255e-05,1.309923e-05,1.312208e-05,1.313375e-05,1.314239e-05,1.315285e-05,1.315420e-05,1.315817e-05,1.315812e-05,1.315494e-05,1.315100e-05,1.314509e-05,1.313282e-05,1.312918e-05,1.310771e-05,1.310479e-05,1.308118e-05,1.306801e-05,1.305002e-05,1.302351e-05,1.301467e-05,1.297550e-05,1.297222e-05,1.293289e-05,1.291496e-05,1.288717e-05,1.285251e-05,1.283866e-05,1.278764e-05,1.278555e-05,1.273439e-05,1.271472e-05,1.267916e-05,1.264058e-05,1.262217e-05,1.256365e-05,1.250379e-05,1.248439e-05,1.244278e-05,1.240321e-05,1.238079e-05,1.232050e-05,1.231798e-05,1.225448e-05,1.223660e-05,1.219044e-05,1.215180e-05,1.212597e-05,1.206639e-05,1.206120e-05,1.199622e-05,1.198061e-05,1.193114e-05,1.189467e-05,1.186603e-05,1.180878e-05,1.180098e-05,1.173607e-05,1.172311e-05,1.167137e-05,1.163782e-05,1.160692e-05,1.155304e-05,1.154280e-05,1.147905e-05,1.146889e-05,1.141572e-05,1.138548e-05,1.135285e-05,1.130291e-05,1.129048e-05,1.122864e-05,1.122126e-05,1.116737e-05,1.114059e-05,1.110668e-05,1.106098e-05,1.104662e-05,1.098719e-05,1.098247e-05,1.092842e-05,1.090510e-05,1.087033e-05,1.082893e-05,1.081293e-05,1.075622e-05,1.075397e-05,1.070023e-05,1.068025e-05,1.064497e-05,1.060780e-05,1.059043e-05,1.053662e-05,1.046673e-05,1.039814e-05,1.033085e-05,1.026485e-05,1.020015e-05,1.013675e-05,1.007463e-05,1.001379e-05,9.954210e-06,9.895889e-06,9.838807e-06,9.782952e-06,9.728307e-06,9.674856e-06,9.622582e-06,9.571467e-06,9.521492e-06,9.472639e-06,9.424889e-06,9.378223e-06,9.332619e-06,9.288060e-06,9.244525e-06,9.201993e-06
0.000000e+00,3.148445e-09,9.063677e-09,3.996678e-08,1.024775e-07,1.565779e-07,3.879994e-07,4.008779e-07,8.279157e-07,9.891040e-07,1.505466e-06,2.065325e-06,2.513328e-06,3.795218e-06,3.923918e-06,5.762344e-06,6.263858e-06,7.989035e-06,9.379007e-06,1.053258e-05,1.297944e-05,1.332599e-05,1.631692e-05,1.693506e-05,1.946448e-05,2.115160e-05,2.273449e-05,2.555347e-05,2.609635e-05,2.952174e-05,3.007390e-05,3.298409e-05,3.465181e-05,3.645867e-05,3.923182e-05,3.992280e-05,4.335608e-05,4.376512e-05,4.674054e-05,4.821016e-05,5.006071e-05,5.253295e-05,5.330358e-05,5.645847e-05,5.670679e-05,5.951690e-05,6.071174e-05,6.247233e-05,6.453370e-05,6.531995e-05,6.805646e-05,6.816358e-05,7.067987e-05,7.159640e-05,7.318925e-05,7.483047e-05,7.558460e-05,7.786666e-05,8.003677e-05,8.070785e-05,8.209677e-05,8.335839e-05,8.404887e-05,8.582371e-05,8.589559e-05,8.763967e-05,8.811001e-05,8.928402e-05,9.022401e-05,9.083167e-05,9.217276e-05,9.228572e-05,9.364932e-05,9.396348e-05,9.492565e-05,9.560345e-05,9.611787e-05,9.709994e-05,9.722912e-05,9.826252e-05,9.846013e-05,9.922113e-05,9.969106e-05,1.001080e-04,1.007996e-04,1.009260e-04,1.016781e-04,1.017925e-04,1.023670e-04,1.026761e-04,1.029956e-04,1.034567e-04,1.035664e-04,1.040821e-04,1.041404e-04,1.045452e-04,1.047329e-04,1.049581e-04,1.052398e-04,1.053232e-04,1.056427e-04,1.056663e-04,1.059188e-04,1.060176e-04,1.061537e-04,1.062985e-04,1.063494e-04,1.065079e-04,1.065135e-04,1.066311e-04,1.066672e-04,1.067209e-04,1.067637e-04,1.067789e-04,1.068069e-04,1.068065e-04,1.068006e-04,1.067792e-04,1.067485e-04,1.067267e-04,1.066538e-04,1.066503e-04,1.065514e-04,1.065199e-04,1.064314e-04,1.063497e-04,1.062914e-04,1.061462e-04,1.061328e-04,1.059567e-04,1.059120e-04,1.057642e-04,1.056497e-04,1.055564e-04,1.053617e-04,1.053343e-04,1.050989e-04,1.050503e-04,1.048511e-04,1.047177e-04,1.045919e-04,1.043658e-04,1.043220e-04,1.040422e-04,1.039966e-04,1.037534e-04,1.036118e-04,1.034563e-04,1.032131e-04,1.031516e-04,1.028400e-04,1.028022e-04,1.025220e-04,1.023803e-04,1.021984e-04,1.019490e-04,1.018696e-04,1.015363e-04,1.015095e-04,1.011990e-04,1.010630e-04,1.008580e-04,1.006106e-04,1.005140e-04,1.001674e-04,1.001535e-04,9.981854e-05,9.969249e-05,9.946787e-05,9.922857e-05,9.911576e-05,9.876257e-05,9.829528e-05,9.782741e-05,9.735965e-05,9.689262e-05,9.642689e-05,9.596300e-05,9.550142e-05,9.504261e-05,9.458698e-05,9.413489e-05,9.368669e-05,9.324269e-05,9.280317e-05,9.236839e-05,9.193856e-05,9.151389e-05,9.109458e-05,9.068076e-05,9.027258e-05,8.987017e-05,8.947362e-05,8.908302e-05,8.869846e-05,8.831997e-05
0.000000e+00,6.564456e-09,1.648487e-08,6.244080e-08,1.485602e-07,2.204113e-07,5.158157e-07,5.318860e-07,1.051329e-06,1.242244e-06,1.840754e-06,2.473598e-06,2.972228e-06,4.382800e-06,4.524206e-06,6.564668e-06,7.131300e-06,9.119816e-06,1.076373e-05,1.215145e-05,1.514460e-05,1.557233e-05,1.928389e-05,2.005324e-05,2.320078e-05,2.529575e-05,2.725575e-05,3.072974e-05,3.139608e-05,3.557897e-05,3.624970e-05,3.976830e-05,4.177212e-05,4.393276e-05,4.722782e-05,4.804484e-05,5.208050e-05,5.255862e-05,5.601894e-05,5.771639e-05,5.984252e-05,6.266256e-05,6.353669e-05,6.708982e-05,6.736769e-05,7.049301e-05,7.181078e-05,7.373985e-05,7.597840e-05,7.682627e-05,7.975016e-05,7.986372e-05,8.251111e-05,8.346533e-05,8.511016e-05,8.678614e-05,8.754955e-05,8.983249e-05,9.196295e-05,9.261322e-05,9.394549e-05,9.513900e-05,9.578515e-05,9.742171e-05,9.748722e-05,9.905725e-05,9.947397e-05,1.005009e-04,1.013087e-04,1.018238e-04,1.029391e-04,1.030316e-04,1.041301e-04,1.043780e-04,1.051245e-04,1.056380e-04,1.060204e-04,1.067314e-04,1.068229e-04,1.075372e-04,1.076699e-04,1.081680e-04,1.084647e-04,1.087201e-04,1.091264e-04,1.091981e-04,1.096061e-04,1.096652e-04,1.099484e-04,1.100905e-04,1.102289e-04,1.104114e-04,1.104514e-04,1.106195e-04,1.106362e-04,1.107366e-04,1.107728e-04,1.108059e-04,1.108286e-04,1.108306e-04,1.108136e-04,1.108105e-04,1.107576e-04,1.107249e-04,1.106653e-04,1.105778e-04,1.105393e-04,1.103818e-04,1.103749e-04,1.101952e-04,1.101212e-04,1.099815e-04,1.098217e-04,1.097427e-04,1.094808e-04,1.091976e-04,1.091028e-04,1.088947e-04,1.086913e-04,1.085738e-04,1.082501e-04,1.082363e-04,1.078838e-04,1.077825e-04,1.075174e-04,1.072915e-04,1.071385e-04,1.067799e-04,1.067483e-04,1.063479e-04,1.062504e-04,1.059383e-04,1.057054e-04,1.055206e-04,1.051470e-04,1.050957e-04,1.046644e-04,1.045774e-04,1.042276e-04,1.039985e-04,1.037860e-04,1.034120e-04,1.033404e-04,1.028915e-04,1.028194e-04,1.024398e-04,1.022222e-04,1.019860e-04,1.016219e-04,1.015307e-04,1.010743e-04,1.010195e-04,1.006174e-04,1.004162e-04,1.001603e-04,9.981313e-05,9.970356e-05,9.924753e-05,9.921109e-05,9.879258e-05,9.861097e-05,9.833904e-05,9.801354e-05,9.788723e-05,9.743744e-05,9.741949e-05,9.698995e-05,9.682946e-05,9.654499e-05,9.624400e-05,9.610282e-05,9.566362e-05,9.508879e-05,9.451991e-05,9.395733e-05,9.340138e-05,9.285234e-05,9.231044e-05,9.177591e-05,9.124892e-05,9.072962e-05,9.021814e-05,8.971459e-05,8.921905e-05,8.873157e-05,8.825220e-05,8.778097e-05,8.731789e-05,8.686296e-05,8.641616e-05,8.597747e-05,8.554685e-05,8.512424e-05,8.470962e-05,8.430290e-05,8.390402e-05
0.000000e+00,1.448077e-09,4.045359e-09,1.724263e-08,4.346948e-08,6.595758e-08,1.609323e-07,1.661715e-07,3.377288e-07,4.015362e-07,6.031878e-07,8.182606e-07,9.886601e-07,1.473848e-06,1.522694e-06,2.230976e-06,2.428746e-06,3.126553e-06,3.708170e-06,4.202789e-06,5.282015e-06,5.437697e-06,6.804790e-06,7.091893e-06,8.280199e-06,9.083552e-06,9.844295e-06,1.121474e-05,1.148087e-05,1.317596e-05,1.345175e-05,1.491706e-05,1.576572e-05,1.669265e-05,1.813073e-05,1.849201e-05,2.030518e-05,2.052324e-05,2.212297e-05,2.292208e-05,2.393703e-05,2.530858e-05,2.573987e-05,2.752486e-05,2.766671e-05,2.928624e-05,2.998305e-05,3.101908e-05,3.224671e-05,3.271926e-05,3.438334e-05,3.444911e-05,3.600847e-05,3.658356e-05,3.759252e-05,3.864533e-05,3.913381e-05,4.063113e-05,4.208368e-05,4.253896e-05,4.349100e-05,4.436785e-05,4.485289e-05,4.611759e-05,4.616938e-05,4.744073e-05,4.778868e-05,4.866736e-05,4.938210e-05,4.984982e-05,5.089924e-05,5.098877e-05,5.208497e-05,5.234178e-05,5.313923e-05,5.371162e-05,5.415243e-05,5.501082e-05,5.512550e-05,5.605939e-05,5.624155e-05,5.695506e-05,5.740603e-05,5.781350e-05,5.850656e-05,5.863572e-05,5.942270e-05,5.954542e-05,6.017545e-05,6.052490e-05,6.089495e-05,6.144728e-05,6.158219e-05,6.223814e-05,6.231480e-05,6.286375e-05,6.312966e-05,6.345998e-05,6.389402e-05,6.402774e-05,6.456795e-05,6.461000e-05,6.508150e-05,6.527965e-05,6.556926e-05,6.590497e-05,6.603210e-05,6.647084e-05,6.648790e-05,6.688631e-05,6.703033e-05,6.727929e-05,6.753407e-05,6.765056e-05,6.800089e-05,6.833100e-05,6.843248e-05,6.864162e-05,6.883050e-05,6.893343e-05,6.919652e-05,6.920713e-05,6.946336e-05,6.953206e-05,6.970277e-05,6.983860e-05,6.992597e-05,7.011753e-05,7.013358e-05,7.032618e-05,7.037023e-05,7.050433e-05,7.059799e-05,7.066859e-05,7.080207e-05,7.081949e-05,7.095754e-05,7.098365e-05,7.108325e-05,7.114391e-05,7.119711e-05,7.128393e-05,7.129958e-05,7.139112e-05,7.140478e-05,7.147217e-05,7.150748e-05,7.154316e-05,7.159298e-05,7.160449e-05,7.165658e-05,7.166222e-05,7.169980e-05,7.171610e-05,7.173452e-05,7.175545e-05,7.176111e-05,7.177992e-05,7.178110e-05,7.179129e-05,7.179382e-05,7.179553e-05,7.179435e-05,7.179297e-05,7.178390e-05,7.178340e-05,7.176862e-05,7.176166e-05,7.174742e-05,7.172976e-05,7.172056e-05,7.168832e-05,7.163793e-05,7.157916e-05,7.151253e-05,7.143857e-05,7.135775e-05,7.127054e-05,7.117738e-05,7.107869e-05,7.097486e-05,7.086629e-05,7.075333e-05,7.063633e-05,7.051561e-05,7.039149e-05,7.026425e-05,7.013418e-05,7.000155e-05,6.986660e-05,6.972958e-05,6.959071e-05,6.945021e-05,6.930829e-05,6.916513e-05,6.902091e-05
0.000000e+00,1.135984e-09,2.741826e-09,9.948312e-09,2.315001e-08,3.401880e-08,7.784545e-08,8.019710e-08,1.547267e-07,1.814706e-07,2.633728e-07,3.471915e-07,4.115211e-07,5.870098e-07,6.041669e-07,8.456032e-07,9.111638e-07,1.138615e-06,1.325476e-06,1.483572e-06,1.828534e-06,1.878450e-06,2.319846e-06,2.413369e-06,2.803885e-06,3.071109e-06,3.326552e-06,3.792421e-06,3.883709e-06,4.471044e-06,4.567520e-06,5.084065e-06,5.386080e-06,5.718132e-06,6.237367e-06,6.368525e-06,7.030529e-06,7.110528e-06,7.699521e-06,7.994938e-06,8.371058e-06,8.880537e-06,9.040946e-06,9.705306e-06,9.758107e-06,1.036061e-05,1.061948e-05,1.100372e-05,1.145765e-05,1.163189e-05,1.224278e-05,1.226683e-05,1.283443e-05,1.304240e-05,1.340527e-05,1.378091e-05,1.395407e-05,1.447991e-05,1.498219e-05,1.513787e-05,1.546053e-05,1.575403e-05,1.591480e-05,1.632830e-05,1.634505e-05,1.675153e-05,1.686113e-05,1.713459e-05,1.735339e-05,1.749473e-05,1.780630e-05,1.783251e-05,1.814860e-05,1.822131e-05,1.844370e-05,1.860008e-05,1.871858e-05,1.894435e-05,1.897400e-05,1.921076e-05,1.925595e-05,1.942968e-05,1.953673e-05,1.963156e-05,1.978856e-05,1.981720e-05,1.998740e-05,2.001325e-05,2.014293e-05,2.021259e-05,2.028453e-05,2.038829e-05,2.041296e-05,2.052890e-05,2.054201e-05,2.063306e-05,2.067533e-05,2.072609e-05,2.078973e-05,2.080861e-05,2.088124e-05,2.088664e-05,2.094456e-05,2.096740e-05,2.099911e-05,2.103326e-05,2.104543e-05,2.108402e-05,2.108541e-05,2.111536e-05,2.112495e-05,2.113989e-05,2.115291e-05,2.115806e-05,2.117027e-05,2.117690e-05,2.117791e-05,2.117834e-05,2.117669e-05,2.117492e-05,2.116738e-05,2.116698e-05,2.115483e-05,2.115071e-05,2.113876e-05,2.112735e-05,2.111905e-05,2.109792e-05,2.109596e-05,2.106975e-05,2.106302e-05,2.104064e-05,2.102316e-05,2.100886e-05,2.097885e-05,2.097462e-05,2.093812e-05,2.093056e-05,2.089953e-05,2.087870e-05,2.085904e-05,2.082367e-05,2.081681e-05,2.077299e-05,2.076584e-05,2.072773e-05,2.070554e-05,2.068117e-05,2.064307e-05,2.063344e-05,2.058465e-05,2.057874e-05,2.053493e-05,2.051279e-05,2.048438e-05,2.044547e-05,2.043310e-05,2.038118e-05,2.037701e-05,2.032872e-05,2.030760e-05,2.027580e-05,2.023745e-05,2.022249e-05,2.016887e-05,2.016672e-05,2.011500e-05,2.009557e-05,2.006096e-05,2.002414e-05,2.000680e-05,1.995257e-05,1.988098e-05,1.980948e-05,1.973818e-05,1.966715e-05,1.959650e-05,1.952628e-05,1.945658e-05,1.938745e-05,1.931895e-05,1.925113e-05,1.918403e-05,1.911769e-05,1.905215e-05,1.898743e-05,1.892357e-05,1.886059e-05,1.879851e-05,1.873734e-05,1.867710e-05,1.861780e-05,1.855945e-05,1.850206e-05,1.844563e-05,1.839016e-05
0.000000e+00,4.522416e-11,2.082894e-10,1.897585e-09,7.785584e-09,1.460999e-08,5.454047e-08,5.712756e-08,1.559245e-07,1.978161e-07,3.420018e-07,5.095774e-07,6.493725e-07,1.070842e-06,1.114802e-06,1.777080e-06,1.969562e-06,2.673201e-06,3.288080e-06,3.830763e-06,5.075084e-06,5.261066e-06,6.958192e-06,7.328163e-06,8.903751e-06,1.000555e-05,1.107311e-05,1.304907e-05,1.343996e-05,1.597853e-05,1.639898e-05,1.866424e-05,1.999870e-05,2.147352e-05,2.379451e-05,2.438346e-05,2.737159e-05,2.773436e-05,3.041579e-05,3.176742e-05,3.349447e-05,3.584442e-05,3.658671e-05,3.967255e-05,3.991857e-05,4.273328e-05,4.394663e-05,4.575165e-05,4.788981e-05,4.871204e-05,5.160064e-05,5.171451e-05,5.440544e-05,5.539265e-05,5.711632e-05,5.890174e-05,5.972494e-05,6.222467e-05,6.461049e-05,6.534929e-05,6.687889e-05,6.826797e-05,6.902766e-05,7.097701e-05,7.105582e-05,7.296339e-05,7.347601e-05,7.475131e-05,7.576732e-05,7.642130e-05,7.785551e-05,7.797566e-05,7.941727e-05,7.974682e-05,8.074936e-05,8.144883e-05,8.197553e-05,8.296998e-05,8.309961e-05,8.412560e-05,8.431938e-05,8.505758e-05,8.550644e-05,8.589972e-05,8.654073e-05,8.665617e-05,8.733110e-05,8.743179e-05,8.792858e-05,8.818904e-05,8.845263e-05,8.882165e-05,8.890719e-05,8.929606e-05,8.933849e-05,8.962294e-05,8.974806e-05,8.989142e-05,9.005852e-05,9.010493e-05,9.026678e-05,9.027760e-05,9.038016e-05,9.041263e-05,9.044810e-05,9.047051e-05,9.047350e-05,9.045913e-05,9.045776e-05,9.040763e-05,9.038049e-05,9.032151e-05,9.024441e-05,9.020317e-05,9.005487e-05,8.987876e-05,8.981687e-05,8.967688e-05,8.953505e-05,8.945117e-05,8.921375e-05,8.920344e-05,8.893544e-05,8.885700e-05,8.864880e-05,8.846852e-05,8.834506e-05,8.805177e-05,8.802568e-05,8.769203e-05,8.760998e-05,8.734542e-05,8.714610e-05,8.698705e-05,8.666288e-05,8.661808e-05,8.623960e-05,8.616285e-05,8.585262e-05,8.564835e-05,8.545809e-05,8.512151e-05,8.505692e-05,8.464994e-05,8.458434e-05,8.423795e-05,8.403863e-05,8.382169e-05,8.348607e-05,8.340184e-05,8.297907e-05,8.292817e-05,8.255398e-05,8.236635e-05,8.212713e-05,8.180188e-05,8.169905e-05,8.127024e-05,8.123592e-05,8.084116e-05,8.066955e-05,8.041223e-05,8.010373e-05,7.998386e-05,7.955641e-05,7.953933e-05,7.913022e-05,7.897716e-05,7.870562e-05,7.841794e-05,7.828289e-05,7.786231e-05,7.731085e-05,7.676410e-05,7.622250e-05,7.568649e-05,7.515642e-05,7.463261e-05,7.411535e-05,7.360489e-05,7.310142e-05,7.260513e-05,7.211617e-05,7.163467e-05,7.116071e-05,7.069439e-05,7.023574e-05,6.978482e-05,6.934164e-05,6.890620e-05,6.847850e-05,6.805852e-05,6.764623e-05,6.724157e-05,6.684451e-05,6.645498e-05
0.000000e+00,3.242892e-09,8.345081e-09,3.247346e-08,7.825018e-08,1.166053e-07,2.743190e-07,2.828792e-07,5.577035e-07,6.576982e-07,9.675215e-07,1.289278e-06,1.538797e-06,2.227039e-06,2.294687e-06,3.247227e-06,3.505044e-06,4.393823e-06,5.116892e-06,5.724087e-06,7.037407e-06,7.226384e-06,8.889063e-06,9.239773e-06,1.069970e-05,1.169518e-05,1.264450e-05,1.437066e-05,1.470816e-05,1.687415e-05,1.722905e-05,1.912506e-05,2.023046e-05,2.144316e-05,2.333414e-05,2.381081e-05,2.621099e-05,2.650042e-05,2.862760e-05,2.969222e-05,3.104572e-05,3.287614e-05,3.345185e-05,3.583394e-05,3.602315e-05,3.818150e-05,3.910878e-05,4.048551e-05,4.211312e-05,4.273839e-05,4.493391e-05,4.502046e-05,4.706706e-05,4.781895e-05,4.913395e-05,5.050005e-05,5.113164e-05,5.305810e-05,5.491200e-05,5.548980e-05,5.669267e-05,5.779378e-05,5.839996e-05,5.997023e-05,6.003421e-05,6.159611e-05,6.202062e-05,6.308670e-05,6.394734e-05,6.450724e-05,6.575351e-05,6.585918e-05,6.714415e-05,6.744277e-05,6.836390e-05,6.901915e-05,6.952025e-05,7.048690e-05,7.061510e-05,7.165038e-05,7.185046e-05,7.262805e-05,7.311432e-05,7.355008e-05,7.428302e-05,7.441843e-05,7.523505e-05,7.536104e-05,7.600187e-05,7.635281e-05,7.672078e-05,7.726267e-05,7.739365e-05,7.802232e-05,7.809487e-05,7.860856e-05,7.885351e-05,7.915411e-05,7.954257e-05,7.966068e-05,8.012992e-05,8.016590e-05,8.056343e-05,8.072718e-05,8.096277e-05,8.122997e-05,8.132943e-05,8.166489e-05,8.167768e-05,8.197055e-05,8.207356e-05,8.224778e-05,8.242074e-05,8.249790e-05,8.272218e-05,8.292184e-05,8.298073e-05,8.309807e-05,8.319909e-05,8.325201e-05,8.337984e-05,8.338475e-05,8.349736e-05,8.352542e-05,8.359084e-05,8.363816e-05,8.366618e-05,8.372028e-05,8.372431e-05,8.376615e-05,8.377386e-05,8.379254e-05,8.380089e-05,8.380433e-05,8.380326e-05,8.380232e-05,8.378726e-05,8.378275e-05,8.375990e-05,8.374105e-05,8.372094e-05,8.367974e-05,8.367105e-05,8.361088e-05,8.360034e-05,8.354105e-05,8.350427e-05,8.346215e-05,8.339288e-05,8.337474e-05,8.327937e-05,8.326742e-05,8.317656e-05,8.312910e-05,8.306680e-05,8.297903e-05,8.295057e-05,8.282831e-05,8.281828e-05,8.270046e-05,8.264785e-05,8.256743e-05,8.246866e-05,8.242961e-05,8.228738e-05,8.228160e-05,8.214109e-05,8.208750e-05,8.199109e-05,8.188713e-05,8.183770e-05,8.168122e-05,8.147044e-05,8.125544e-05,8.103681e-05,8.081512e-05,8.059087e-05,8.036455e-05,8.013662e-05,7.990750e-05,7.967758e-05,7.944722e-05,7.921676e-05,7.898652e-05,7.875677e-05,7.852779e-05,7.829983e-05,7.807311e-05,7.784783e-05,7.762420e-05,7.740237e-05,7.718253e-05,7.696479e-05,7.674931e-05,7.653619e-05,7.632554e-05
0.000000e+00,1.695676e-11,8.095221e-11,7.920247e-10,3.455207e-09,6.696208e-09,2.704364e-08,2.841341e-08,8.332437e-08,1.076928e-07,1.947825e-07,3.005668e-07,3.916182e-07,6.774514e-07,7.080593e-07,1.182636e-06,1.324429e-06,1.853671e-06,2.327133e-06,2.751543e-06,3.742416e-06,3.892273e-06,5.276293e-06,5.581407e-06,6.891703e-06,7.816897e-06,8.719109e-06,1.040132e-05,1.073572e-05,1.291798e-05,1.328096e-05,1.524279e-05,1.640278e-05,1.768796e-05,1.971636e-05,2.023210e-05,2.285453e-05,2.317352e-05,2.553513e-05,2.672795e-05,2.825433e-05,3.033508e-05,3.099323e-05,3.373372e-05,3.395251e-05,3.645867e-05,3.754069e-05,3.915214e-05,4.106369e-05,4.179953e-05,4.438771e-05,4.448984e-05,4.690514e-05,4.779213e-05,4.934188e-05,5.094846e-05,5.168960e-05,5.394155e-05,5.609242e-05,5.675867e-05,5.813830e-05,5.939131e-05,6.007657e-05,6.183464e-05,6.190570e-05,6.362522e-05,6.408708e-05,6.523552e-05,6.614971e-05,6.673773e-05,6.802584e-05,6.813365e-05,6.942561e-05,6.972050e-05,7.061635e-05,7.124009e-05,7.170896e-05,7.259197e-05,7.270682e-05,7.361348e-05,7.378419e-05,7.443263e-05,7.482526e-05,7.516805e-05,7.572388e-05,7.582355e-05,7.640296e-05,7.648886e-05,7.691007e-05,7.712891e-05,7.734864e-05,7.765260e-05,7.772232e-05,7.803472e-05,7.806826e-05,7.828932e-05,7.838391e-05,7.848950e-05,7.860725e-05,7.863852e-05,7.873953e-05,7.874563e-05,7.879556e-05,7.880603e-05,7.880951e-05,7.879506e-05,7.878416e-05,7.872215e-05,7.871895e-05,7.862603e-05,7.858354e-05,7.849819e-05,7.839433e-05,7.834095e-05,7.815647e-05,7.794684e-05,7.787476e-05,7.771401e-05,7.755369e-05,7.745985e-05,7.719742e-05,7.718612e-05,7.689448e-05,7.680983e-05,7.658651e-05,7.639451e-05,7.626370e-05,7.595481e-05,7.592745e-05,7.557907e-05,7.549380e-05,7.521982e-05,7.501433e-05,7.485086e-05,7.451903e-05,7.447330e-05,7.408817e-05,7.401032e-05,7.369644e-05,7.349044e-05,7.329902e-05,7.296141e-05,7.289676e-05,7.249046e-05,7.242513e-05,7.208086e-05,7.188330e-05,7.166868e-05,7.133749e-05,7.125454e-05,7.083907e-05,7.078915e-05,7.042282e-05,7.023956e-05,7.000632e-05,6.968991e-05,6.959005e-05,6.917448e-05,6.914128e-05,6.876002e-05,6.859463e-05,6.834704e-05,6.805083e-05,6.793592e-05,6.752699e-05,6.751068e-05,6.712053e-05,6.697487e-05,6.671683e-05,6.644403e-05,6.631615e-05,6.591872e-05,6.539943e-05,6.488659e-05,6.438059e-05,6.388174e-05,6.339034e-05,6.290662e-05,6.243078e-05,6.196298e-05,6.150335e-05,6.105200e-05,6.060901e-05,6.017441e-05,5.974824e-05,5.933050e-05,5.892119e-05,5.852028e-05,5.812772e-05,5.774346e-05,5.736743e-05,5.699955e-05,5.663974e-05,5.628789e-05,5.594390e-05,5.560767e-05
0.000000e+00,8.253474e-09,1.882107e-08,6.418508e-08,1.450068e-07,2.108264e-07,4.749663e-07,4.891527e-07,9.421429e-07,1.106705e-06,1.618174e-06,2.153312e-06,2.571534e-06,3.739783e-06,3.855708e-06,5.503991e-06,5.953499e-06,7.503059e-06,8.752770e-06,9.787374e-06,1.196230e-05,1.226733e-05,1.486062e-05,1.538698e-05,1.750387e-05,1.888213e-05,2.015055e-05,2.235079e-05,2.276598e-05,2.532333e-05,2.572563e-05,2.780126e-05,2.895729e-05,3.018266e-05,3.200909e-05,3.245401e-05,3.460498e-05,3.485462e-05,3.662815e-05,3.747654e-05,3.851877e-05,3.986546e-05,4.027447e-05,4.189497e-05,4.201880e-05,4.338172e-05,4.393958e-05,4.473762e-05,4.563506e-05,4.596669e-05,4.707392e-05,4.711576e-05,4.806497e-05,4.839447e-05,4.894592e-05,4.948530e-05,4.972309e-05,5.040294e-05,5.099192e-05,5.116225e-05,5.149639e-05,5.177776e-05,5.192253e-05,5.226347e-05,5.227631e-05,5.256345e-05,5.263265e-05,5.278937e-05,5.289770e-05,5.295923e-05,5.307014e-05,5.307786e-05,5.314980e-05,5.316059e-05,5.317928e-05,5.317874e-05,5.317027e-05,5.313343e-05,5.312645e-05,5.305121e-05,5.303267e-05,5.294772e-05,5.288371e-05,5.281889e-05,5.269308e-05,5.266743e-05,5.249580e-05,5.246662e-05,5.230629e-05,5.220961e-05,5.210101e-05,5.192673e-05,5.188188e-05,5.165067e-05,5.162219e-05,5.140899e-05,5.129972e-05,5.115833e-05,5.096266e-05,5.090004e-05,5.063536e-05,5.061394e-05,5.036542e-05,5.025620e-05,5.009124e-05,4.989173e-05,4.981376e-05,4.953383e-05,4.952259e-05,4.925222e-05,4.915056e-05,4.896963e-05,4.877723e-05,4.868669e-05,4.840397e-05,4.812198e-05,4.803198e-05,4.784120e-05,4.766231e-05,4.756202e-05,4.729588e-05,4.728483e-05,4.700995e-05,4.693344e-05,4.673769e-05,4.657568e-05,4.646828e-05,4.622317e-05,4.620198e-05,4.593898e-05,4.587637e-05,4.567945e-05,4.553569e-05,4.542354e-05,4.520145e-05,4.517140e-05,4.492311e-05,4.487393e-05,4.467879e-05,4.455333e-05,4.443850e-05,4.423982e-05,4.420231e-05,4.397026e-05,4.393352e-05,4.374238e-05,4.363450e-05,4.351871e-05,4.334281e-05,4.329926e-05,4.308402e-05,4.305847e-05,4.287300e-05,4.278148e-05,4.266619e-05,4.251181e-05,4.246356e-05,4.226510e-05,4.224940e-05,4.207077e-05,4.199419e-05,4.188054e-05,4.174610e-05,4.169438e-05,4.151223e-05,4.150503e-05,4.133406e-05,4.127088e-05,4.115980e-05,4.104353e-05,4.098943e-05,4.082287e-05,4.060876e-05,4.040108e-05,4.019969e-05,4.000445e-05,3.981522e-05,3.963186e-05,3.945422e-05,3.928216e-05,3.911553e-05,3.895420e-05,3.879802e-05,3.864685e-05,3.850055e-05,3.835899e-05,3.822202e-05,3.808952e-05,3.796135e-05,3.783739e-05,3.771751e-05,3.760159e-05,3.748950e-05,3.738113e-05,3.727636e-05,3.717509e-05
0.000000e+00,3.483393e-10,1.388403e-09,9.717624e-09,3.262442e-08,5.565550e-08,1.696933e-07,1.765043e-07,4.173822e-07,5.135709e-07,8.337694e-07,1.195580e-06,1.492849e-06,2.369334e-06,2.458979e-06,3.764954e-06,4.128785e-06,5.403928e-06,6.457787e-06,7.350371e-06,9.297622e-06,9.579334e-06,1.207169e-05,1.260039e-05,1.481225e-05,1.633080e-05,1.778703e-05,2.045616e-05,2.098135e-05,2.437897e-05,2.494027e-05,2.796190e-05,2.974186e-05,3.171067e-05,3.481524e-05,3.560463e-05,3.962252e-05,4.011199e-05,4.374302e-05,4.558310e-05,4.794512e-05,5.118087e-05,5.220868e-05,5.651460e-05,5.686036e-05,6.084513e-05,6.258054e-05,6.518399e-05,6.830477e-05,6.951641e-05,7.382925e-05,7.400119e-05,7.811090e-05,7.964265e-05,8.235117e-05,8.520638e-05,8.654127e-05,9.067368e-05,9.474200e-05,9.602943e-05,9.874087e-05,1.012616e-04,1.026658e-04,1.063609e-04,1.065133e-04,1.102802e-04,1.113202e-04,1.139644e-04,1.161344e-04,1.175640e-04,1.207999e-04,1.210778e-04,1.245048e-04,1.253143e-04,1.278446e-04,1.296766e-04,1.310968e-04,1.338863e-04,1.342614e-04,1.373388e-04,1.379439e-04,1.403294e-04,1.418503e-04,1.432336e-04,1.456070e-04,1.460523e-04,1.487863e-04,1.492159e-04,1.514365e-04,1.526792e-04,1.540040e-04,1.559992e-04,1.564899e-04,1.588954e-04,1.591787e-04,1.612216e-04,1.622203e-04,1.634698e-04,1.651272e-04,1.656414e-04,1.677377e-04,1.679022e-04,1.697600e-04,1.705485e-04,1.717097e-04,1.730694e-04,1.735883e-04,1.753970e-04,1.754679e-04,1.771373e-04,1.777474e-04,1.788106e-04,1.799110e-04,1.804184e-04,1.819620e-04,1.834429e-04,1.839037e-04,1.848624e-04,1.857393e-04,1.862219e-04,1.874719e-04,1.875228e-04,1.887665e-04,1.891047e-04,1.899544e-04,1.906408e-04,1.910877e-04,1.920834e-04,1.921679e-04,1.931961e-04,1.934354e-04,1.941738e-04,1.946997e-04,1.951022e-04,1.958795e-04,1.959826e-04,1.968162e-04,1.969774e-04,1.976042e-04,1.979964e-04,1.983479e-04,1.989392e-04,1.990484e-04,1.997069e-04,1.998084e-04,2.003246e-04,2.006069e-04,2.009025e-04,2.013370e-04,2.014418e-04,2.019436e-04,2.020014e-04,2.024090e-04,2.026024e-04,2.028389e-04,2.031426e-04,2.032345e-04,2.035967e-04,2.036242e-04,2.039265e-04,2.040495e-04,2.042249e-04,2.044208e-04,2.044928e-04,2.047312e-04,2.047401e-04,2.049409e-04,2.050096e-04,2.051229e-04,2.052313e-04,2.052781e-04,2.054072e-04,2.055392e-04,2.056291e-04,2.056788e-04,2.056901e-04,2.056646e-04,2.056039e-04,2.055097e-04,2.053835e-04,2.052269e-04,2.050411e-04,2.048277e-04,2.045880e-04,2.043234e-04,2.040349e-04,2.037240e-04,2.033917e-04,2.030392e-04,2.026677e-04,2.022780e-04,2.018714e-04,2.014487e-04,2.010109e-04,2.005589e-04,2.000936e-04
0.000000e+00,2.802799e-12,1.436592e-11,1.627510e-10,8.109835e-10,1.690429e-09,8.238349e-09,8.722031e-09,3.082378e-08,4.191077e-08,8.608750e-08,1.471074e-07,2.046529e-07,4.077624e-07,4.311527e-07,8.239094e-07,9.503429e-07,1.451091e-06,1.931903e-06,2.385834e-06,3.521328e-06,3.701737e-06,5.469175e-06,5.882637e-06,7.752434e-06,9.162555e-06,1.060753e-05,1.348180e-05,1.408060e-05,1.820673e-05,1.892924e-05,2.300924e-05,2.555844e-05,2.849932e-05,3.338620e-05,3.467603e-05,4.152666e-05,4.239300e-05,4.902737e-05,5.252518e-05,5.714409e-05,6.369856e-05,6.583371e-05,7.504539e-05,7.580321e-05,8.472198e-05,8.870903e-05,9.480150e-05,1.022717e-04,1.052186e-04,1.159062e-04,1.163384e-04,1.267965e-04,1.307536e-04,1.378224e-04,1.453640e-04,1.489186e-04,1.600226e-04,1.710751e-04,1.745920e-04,1.820212e-04,1.889473e-04,1.928103e-04,2.029775e-04,2.033966e-04,2.137393e-04,2.165866e-04,2.238027e-04,2.296938e-04,2.335562e-04,2.422333e-04,2.429738e-04,2.520344e-04,2.541539e-04,2.607213e-04,2.654178e-04,2.690217e-04,2.759994e-04,2.769269e-04,2.844316e-04,2.858843e-04,2.915336e-04,2.950677e-04,2.982336e-04,3.035530e-04,3.045346e-04,3.104419e-04,3.113510e-04,3.159627e-04,3.184779e-04,3.211057e-04,3.249547e-04,3.258808e-04,3.302992e-04,3.308060e-04,3.343727e-04,3.360590e-04,3.381139e-04,3.407430e-04,3.415359e-04,3.446519e-04,3.448884e-04,3.474755e-04,3.485260e-04,3.500200e-04,3.516869e-04,3.522991e-04,3.543260e-04,3.544020e-04,3.561138e-04,3.567014e-04,3.576754e-04,3.586144e-04,3.590231e-04,3.601691e-04,3.611251e-04,3.613927e-04,3.619022e-04,3.623108e-04,3.625115e-04,3.629479e-04,3.629631e-04,3.632671e-04,3.633270e-04,3.634328e-04,3.634697e-04,3.634694e-04,3.633963e-04,3.633853e-04,3.631888e-04,3.631257e-04,3.628874e-04,3.626755e-04,3.624884e-04,3.620622e-04,3.619989e-04,3.614252e-04,3.613009e-04,3.607735e-04,3.604057e-04,3.600496e-04,3.593897e-04,3.592589e-04,3.584066e-04,3.582649e-04,3.574975e-04,3.570423e-04,3.565361e-04,3.557322e-04,3.555267e-04,3.544733e-04,3.543441e-04,3.533795e-04,3.528864e-04,3.522490e-04,3.513673e-04,3.510850e-04,3.498907e-04,3.497939e-04,3.486689e-04,3.481731e-04,3.474224e-04,3.465110e-04,3.461537e-04,3.448651e-04,3.448132e-04,3.435590e-04,3.430849e-04,3.422374e-04,3.413308e-04,3.409022e-04,3.395553e-04,3.377623e-04,3.359555e-04,3.341382e-04,3.323134e-04,3.304839e-04,3.286523e-04,3.268209e-04,3.249918e-04,3.231668e-04,3.213478e-04,3.195364e-04,3.177339e-04,3.159418e-04,3.141611e-04,3.123929e-04,3.106383e-04,3.088981e-04,3.071730e-04,3.054637e-04,3.037710e-04,3.020953e-04,3.004371e-04,2.987969e-04,2.971749e-04
0.000000e+00,4.715495e-13,2.409799e-12,2.711234e-11,1.340466e-10,2.779645e-10,1.331265e-09,1.408218e-09,4.852032e-09,6.541231e-09,1.310763e-08,2.188378e-08,2.995094e-08,5.746292e-08,6.056608e-08,1.115931e-07,1.277439e-07,1.910951e-07,2.514985e-07,3.084422e-07,4.513051e-07,4.741025e-07,6.993408e-07,7.525634e-07,9.958452e-07,1.182089e-06,1.375322e-06,1.766507e-06,1.849094e-06,2.427725e-06,2.530688e-06,3.120690e-06,3.496362e-06,3.936091e-06,4.680997e-06,4.880435e-06,5.958458e-06,6.096960e-06,7.173014e-06,7.750980e-06,8.525022e-06,9.643916e-06,1.001346e-05,1.163541e-05,1.177081e-05,1.338618e-05,1.412118e-05,1.525939e-05,1.667956e-05,1.724719e-05,1.934043e-05,1.942621e-05,2.152885e-05,2.233786e-05,2.380134e-05,2.538866e-05,2.614612e-05,2.855099e-05,3.100351e-05,3.179635e-05,3.349121e-05,3.509609e-05,3.600175e-05,3.842217e-05,3.852309e-05,4.104362e-05,4.174771e-05,4.355229e-05,4.504744e-05,4.603868e-05,4.829813e-05,4.849309e-05,5.090657e-05,5.147880e-05,5.327101e-05,5.457091e-05,5.557908e-05,5.755841e-05,5.782432e-05,6.000108e-05,6.042777e-05,6.210451e-05,6.316793e-05,6.413053e-05,6.577014e-05,6.607585e-05,6.793784e-05,6.822788e-05,6.971456e-05,7.053668e-05,7.140468e-05,7.269391e-05,7.300745e-05,7.452264e-05,7.469858e-05,7.595047e-05,7.655120e-05,7.729162e-05,7.825354e-05,7.854712e-05,7.971835e-05,7.980845e-05,8.080697e-05,8.121972e-05,8.181491e-05,8.249185e-05,8.274429e-05,8.359741e-05,8.362998e-05,8.437672e-05,8.463970e-05,8.508479e-05,8.552692e-05,8.572425e-05,8.629783e-05,8.680826e-05,8.695871e-05,8.725832e-05,8.751595e-05,8.765076e-05,8.797587e-05,8.798836e-05,8.827382e-05,8.834478e-05,8.850985e-05,8.862883e-05,8.869907e-05,8.883403e-05,8.884406e-05,8.894733e-05,8.896618e-05,8.901133e-05,8.903089e-05,8.903841e-05,8.903352e-05,8.903086e-05,8.899089e-05,8.897920e-05,8.892062e-05,8.887279e-05,8.882209e-05,8.871891e-05,8.869724e-05,8.854794e-05,8.852191e-05,8.837598e-05,8.828588e-05,8.818304e-05,8.801468e-05,8.797075e-05,8.774064e-05,8.771190e-05,8.749416e-05,8.738089e-05,8.723271e-05,8.702479e-05,8.695758e-05,8.667000e-05,8.664650e-05,8.637116e-05,8.624871e-05,8.606214e-05,8.583393e-05,8.574398e-05,8.541766e-05,8.540446e-05,8.508410e-05,8.496241e-05,8.474415e-05,8.450975e-05,8.439862e-05,8.404826e-05,8.357960e-05,8.310527e-05,8.262664e-05,8.214497e-05,8.166139e-05,8.117695e-05,8.069258e-05,8.020912e-05,7.972734e-05,7.924793e-05,7.877150e-05,7.829860e-05,7.782973e-05,7.736532e-05,7.690574e-05,7.645136e-05,7.600245e-05,7.555928e-05,7.512206e-05,7.469099e-05,7.426623e-05,7.384791e-05,7.343613e-05,7.303099e-05
0.000000e+00,6.417581e-13,3.217776e-12,3.477463e-11,1.656072e-10,3.363191e-10,1.524932e-09,1.609454e-09,5.247035e-09,6.967500e-09,1.343945e-08,2.175622e-08,2.918495e-08,5.355504e-08,5.623524e-08,9.900557e-08,1.121513e-07,1.624571e-07,2.090043e-07,2.519263e-07,3.565012e-07,3.728469e-07,5.303181e-07,5.665910e-07,7.285492e-07,8.487270e-07,9.703093e-07,1.207771e-06,1.256537e-06,1.586202e-06,1.642811e-06,1.956421e-06,2.147274e-06,2.362746e-06,2.710059e-06,2.799564e-06,3.260523e-06,3.317144e-06,3.738918e-06,3.953197e-06,4.228031e-06,4.602935e-06,4.721402e-06,5.213030e-06,5.252118e-06,5.697505e-06,5.888208e-06,6.170094e-06,6.500716e-06,6.626781e-06,7.064268e-06,7.081329e-06,7.479955e-06,7.623873e-06,7.871901e-06,8.124158e-06,8.238769e-06,8.579760e-06,8.894556e-06,8.989762e-06,9.183245e-06,9.354492e-06,9.446260e-06,9.675260e-06,9.684314e-06,9.898345e-06,9.954115e-06,1.008946e-05,1.019363e-05,1.025887e-05,1.039670e-05,1.040790e-05,1.053790e-05,1.056641e-05,1.065021e-05,1.070590e-05,1.074621e-05,1.081823e-05,1.082720e-05,1.089447e-05,1.090639e-05,1.094923e-05,1.097315e-05,1.099263e-05,1.102110e-05,1.102576e-05,1.104961e-05,1.105263e-05,1.106512e-05,1.106986e-05,1.107315e-05,1.107472e-05,1.107449e-05,1.106986e-05,1.106893e-05,1.105991e-05,1.105400e-05,1.104523e-05,1.103124e-05,1.102636e-05,1.100378e-05,1.100182e-05,1.097793e-05,1.096676e-05,1.094919e-05,1.092692e-05,1.091793e-05,1.088444e-05,1.088306e-05,1.084903e-05,1.083585e-05,1.081193e-05,1.078586e-05,1.077337e-05,1.073356e-05,1.069268e-05,1.067940e-05,1.065089e-05,1.062373e-05,1.060833e-05,1.056688e-05,1.056514e-05,1.052143e-05,1.050911e-05,1.047731e-05,1.045068e-05,1.043287e-05,1.039178e-05,1.038820e-05,1.034337e-05,1.033260e-05,1.029846e-05,1.027329e-05,1.025352e-05,1.021400e-05,1.020862e-05,1.016380e-05,1.015485e-05,1.011910e-05,1.009593e-05,1.007458e-05,1.003734e-05,1.003027e-05,9.986191e-06,9.979163e-06,9.942388e-06,9.921467e-06,9.898884e-06,9.864313e-06,9.855704e-06,9.812870e-06,9.807754e-06,9.770402e-06,9.751837e-06,9.728318e-06,9.696601e-06,9.686634e-06,9.645365e-06,9.642082e-06,9.604524e-06,9.588309e-06,9.564121e-06,9.535308e-06,9.524166e-06,9.484669e-06,9.483099e-06,9.445637e-06,9.431701e-06,9.407077e-06,9.381128e-06,9.368994e-06,9.331392e-06,9.282503e-06,9.234465e-06,9.187284e-06,9.140963e-06,9.095501e-06,9.050899e-06,9.007155e-06,8.964264e-06,8.922223e-06,8.881026e-06,8.840667e-06,8.801137e-06,8.762431e-06,8.724538e-06,8.687449e-06,8.651155e-06,8.615645e-06,8.580910e-06,8.546938e-06,8.513718e-06,8.481238e-06,8.449487e-06,8.418454e-06,8.388126e-06
0.000000e+00,5.751680e-11,2.507721e-10,2.056748e-09,7.747126e-09,1.392941e-08,4.720656e-08,4.927225e-08,1.246793e-07,1.554703e-07,2.589640e-07,3.767371e-07,4.740074e-07,7.652424e-07,7.955446e-07,1.251411e-06,1.383610e-06,1.864575e-06,2.280337e-06,2.642591e-06,3.453532e-06,3.572234e-06,4.624887e-06,4.847217e-06,5.767144e-06,6.386226e-06,6.968668e-06,8.005748e-06,8.205090e-06,9.457685e-06,9.658587e-06,1.071197e-05,1.131113e-05,1.195634e-05,1.293821e-05,1.318121e-05,1.437843e-05,1.451989e-05,1.554103e-05,1.604007e-05,1.666317e-05,1.748591e-05,1.773999e-05,1.876767e-05,1.884767e-05,1.974334e-05,2.011857e-05,2.066502e-05,2.129452e-05,2.153156e-05,2.234260e-05,2.237389e-05,2.309841e-05,2.335713e-05,2.379984e-05,2.424637e-05,2.444814e-05,2.504498e-05,2.559228e-05,2.575731e-05,2.609220e-05,2.638831e-05,2.654697e-05,2.694320e-05,2.695889e-05,2.733033e-05,2.742739e-05,2.766363e-05,2.784629e-05,2.796115e-05,2.820520e-05,2.822514e-05,2.845782e-05,2.850924e-05,2.866130e-05,2.876326e-05,2.883761e-05,2.897181e-05,2.898866e-05,2.911628e-05,2.913914e-05,2.922218e-05,2.926921e-05,2.930798e-05,2.936563e-05,2.937519e-05,2.942524e-05,2.943175e-05,2.945946e-05,2.947062e-05,2.947908e-05,2.948505e-05,2.948526e-05,2.947908e-05,2.947756e-05,2.946155e-05,2.945048e-05,2.943360e-05,2.940591e-05,2.939608e-05,2.934982e-05,2.934577e-05,2.929556e-05,2.927178e-05,2.923399e-05,2.918551e-05,2.916577e-05,2.909147e-05,2.908838e-05,2.901167e-05,2.898170e-05,2.892688e-05,2.886661e-05,2.883757e-05,2.874418e-05,2.864714e-05,2.861537e-05,2.854681e-05,2.848104e-05,2.844355e-05,2.834196e-05,2.833768e-05,2.822951e-05,2.819885e-05,2.811933e-05,2.805235e-05,2.800738e-05,2.790304e-05,2.789391e-05,2.777914e-05,2.775143e-05,2.766329e-05,2.759800e-05,2.754653e-05,2.744318e-05,2.742905e-05,2.731100e-05,2.728734e-05,2.719255e-05,2.713084e-05,2.707383e-05,2.697398e-05,2.695496e-05,2.683607e-05,2.681706e-05,2.671728e-05,2.666031e-05,2.659867e-05,2.650398e-05,2.648034e-05,2.636238e-05,2.634826e-05,2.624488e-05,2.619333e-05,2.612789e-05,2.603937e-05,2.601149e-05,2.589574e-05,2.588651e-05,2.578070e-05,2.573490e-05,2.566642e-05,2.558463e-05,2.555294e-05,2.544031e-05,2.543582e-05,2.532856e-05,2.528855e-05,2.521773e-05,2.514291e-05,2.510786e-05,2.499897e-05,2.485678e-05,2.471639e-05,2.457786e-05,2.444122e-05,2.430649e-05,2.417372e-05,2.404291e-05,2.391408e-05,2.378725e-05,2.366242e-05,2.353959e-05,2.341877e-05,2.329995e-05,2.318313e-05,2.306830e-05,2.295545e-05,2.284458e-05,2.273566e-05,2.262868e-05,2.252363e-05,2.242048e-05,2.231922e-05,2.221984e-05,2.212230e-05
0.000000e+00,4.400241e-12,2.106648e-11,2.070636e-10,9.056420e-10,1.756342e-09,7.086843e-09,7.444866e-09,2.171435e-08,2.799971e-08,5.026047e-08,7.693574e-08,9.962562e-08,1.695691e-07,1.769632e-07,2.899512e-07,3.232657e-07,4.466549e-07,5.564930e-07,6.549948e-07,8.863079e-07,9.215132e-07,1.249619e-06,1.322617e-06,1.638156e-06,1.862264e-06,2.081150e-06,2.488284e-06,2.568845e-06,3.089434e-06,3.174961e-06,3.630758e-06,3.894593e-06,4.181546e-06,4.622414e-06,4.732100e-06,5.274512e-06,5.338743e-06,5.802588e-06,6.029140e-06,6.311619e-06,6.683559e-06,6.798114e-06,7.259564e-06,7.295342e-06,7.694241e-06,7.860348e-06,8.101035e-06,8.376310e-06,8.479351e-06,8.829014e-06,8.842406e-06,9.150212e-06,9.258961e-06,9.443435e-06,9.627219e-06,9.709430e-06,9.949159e-06,1.016375e-05,1.022732e-05,1.035448e-05,1.046463e-05,1.052268e-05,1.066429e-05,1.066979e-05,1.079724e-05,1.082960e-05,1.090648e-05,1.096387e-05,1.099892e-05,1.107032e-05,1.107595e-05,1.113890e-05,1.115205e-05,1.118902e-05,1.121193e-05,1.122751e-05,1.125264e-05,1.125548e-05,1.127396e-05,1.127660e-05,1.128390e-05,1.128599e-05,1.128617e-05,1.128275e-05,1.128159e-05,1.127086e-05,1.126862e-05,1.125466e-05,1.124512e-05,1.123358e-05,1.121357e-05,1.120816e-05,1.117888e-05,1.117513e-05,1.114619e-05,1.113082e-05,1.111046e-05,1.108150e-05,1.107206e-05,1.103129e-05,1.102793e-05,1.098843e-05,1.097076e-05,1.094373e-05,1.091054e-05,1.089743e-05,1.084972e-05,1.084779e-05,1.080079e-05,1.078291e-05,1.075081e-05,1.071629e-05,1.069991e-05,1.064823e-05,1.059590e-05,1.057903e-05,1.054301e-05,1.050893e-05,1.048968e-05,1.043815e-05,1.043599e-05,1.038203e-05,1.036687e-05,1.032785e-05,1.029528e-05,1.027354e-05,1.022351e-05,1.021915e-05,1.016474e-05,1.015169e-05,1.011037e-05,1.007994e-05,1.005606e-05,1.000838e-05,1.000188e-05,9.947860e-06,9.937077e-06,9.894030e-06,9.866126e-06,9.840427e-06,9.795596e-06,9.787078e-06,9.734012e-06,9.725549e-06,9.681252e-06,9.656043e-06,9.628822e-06,9.587129e-06,9.576741e-06,9.525029e-06,9.518850e-06,9.473703e-06,9.451246e-06,9.422778e-06,9.384351e-06,9.372267e-06,9.322183e-06,9.318195e-06,9.272538e-06,9.252805e-06,9.223341e-06,9.188202e-06,9.174601e-06,9.126327e-06,9.124406e-06,9.078525e-06,9.061434e-06,9.031202e-06,8.999299e-06,8.984364e-06,8.938013e-06,8.877585e-06,8.818022e-06,8.759329e-06,8.701510e-06,8.644566e-06,8.588500e-06,8.533309e-06,8.478993e-06,8.425549e-06,8.372973e-06,8.321260e-06,8.270406e-06,8.220403e-06,8.171245e-06,8.122926e-06,8.075436e-06,8.028768e-06,7.982914e-06,7.937864e-06,7.893609e-06,7.850139e-06,7.807445e-06,7.765516e-06,7.724342e-06
0.000000e+00,2.100665e-09,4.813060e-09,1.653287e-08,3.754026e-08,5.470670e-08,1.238040e-07,1.275190e-07,2.461072e-07,2.891246e-07,4.224976e-07,5.614889e-07,6.697557e-07,9.709966e-07,1.000828e-06,1.424959e-06,1.540874e-06,1.942474e-06,2.269555e-06,2.543070e-06,3.127512e-06,3.210597e-06,3.929033e-06,4.077602e-06,4.684993e-06,5.089250e-06,5.467659e-06,6.139104e-06,6.268017e-06,7.078255e-06,7.208336e-06,7.891427e-06,8.280937e-06,8.701306e-06,9.343094e-06,9.502355e-06,1.028973e-05,1.038309e-05,1.105928e-05,1.139133e-05,1.180756e-05,1.236027e-05,1.253176e-05,1.322972e-05,1.328437e-05,1.389987e-05,1.415988e-05,1.454112e-05,1.498458e-05,1.515288e-05,1.573489e-05,1.575755e-05,1.628725e-05,1.647890e-05,1.681030e-05,1.714952e-05,1.730461e-05,1.777089e-05,1.820999e-05,1.834491e-05,1.862283e-05,1.887373e-05,1.901041e-05,1.935967e-05,1.937375e-05,1.971390e-05,1.980513e-05,2.003190e-05,2.021252e-05,2.032881e-05,2.058421e-05,2.060564e-05,2.086339e-05,2.092251e-05,2.110301e-05,2.122964e-05,2.132546e-05,2.150770e-05,2.153161e-05,2.172234e-05,2.175870e-05,2.189845e-05,2.198452e-05,2.206074e-05,2.218693e-05,2.220995e-05,2.234680e-05,2.236759e-05,2.247194e-05,2.252805e-05,2.258604e-05,2.266976e-05,2.268968e-05,2.278345e-05,2.279407e-05,2.286789e-05,2.290223e-05,2.294352e-05,2.299541e-05,2.301083e-05,2.307027e-05,2.307470e-05,2.312229e-05,2.314111e-05,2.316730e-05,2.319558e-05,2.320568e-05,2.323781e-05,2.323897e-05,2.326405e-05,2.327211e-05,2.328471e-05,2.329574e-05,2.330011e-05,2.331055e-05,2.331631e-05,2.331721e-05,2.331765e-05,2.331631e-05,2.331483e-05,2.330842e-05,2.330807e-05,2.329761e-05,2.329405e-05,2.328366e-05,2.327370e-05,2.326642e-05,2.324781e-05,2.324607e-05,2.322281e-05,2.321681e-05,2.319679e-05,2.318108e-05,2.316819e-05,2.314100e-05,2.313715e-05,2.310382e-05,2.309689e-05,2.306834e-05,2.304908e-05,2.303083e-05,2.299786e-05,2.299143e-05,2.295025e-05,2.294351e-05,2.290740e-05,2.288627e-05,2.286299e-05,2.282640e-05,2.281712e-05,2.276987e-05,2.276412e-05,2.272135e-05,2.269962e-05,2.267164e-05,2.263312e-05,2.262082e-05,2.256897e-05,2.256478e-05,2.251616e-05,2.249478e-05,2.246246e-05,2.242328e-05,2.240793e-05,2.235265e-05,2.235042e-05,2.229667e-05,2.227635e-05,2.224004e-05,2.220120e-05,2.218283e-05,2.212508e-05,2.204811e-05,2.197040e-05,2.189205e-05,2.181314e-05,2.173377e-05,2.165402e-05,2.157397e-05,2.149368e-05,2.141322e-05,2.133266e-05,2.125205e-05,2.117146e-05,2.109092e-05,2.101050e-05,2.093022e-05,2.085014e-05,2.077030e-05,2.069073e-05,2.061146e-05,2.053253e-05,2.045396e-05,2.037579e-05,2.029804e-05,2.022073e-05
0.000000e+00,2.132293e-09,4.879752e-09,1.672304e-08,3.788123e-08,5.511921e-08,1.241221e-07,1.278164e-07,2.450050e-07,2.871909e-07,4.170284e-07,5.509881e-07,6.545311e-07,9.397934e-07,9.678666e-07,1.365039e-06,1.473238e-06,1.848098e-06,2.154068e-06,2.410673e-06,2.961485e-06,3.040059e-06,3.721965e-06,3.863481e-06,4.443537e-06,4.830759e-06,5.193926e-06,5.839706e-06,5.963860e-06,6.745144e-06,6.870697e-06,7.530355e-06,7.906640e-06,8.312726e-06,8.932430e-06,9.086117e-06,9.845049e-06,9.934915e-06,1.058474e-05,1.090302e-05,1.130110e-05,1.182785e-05,1.199079e-05,1.265115e-05,1.270265e-05,1.328020e-05,1.352271e-05,1.387651e-05,1.428509e-05,1.443924e-05,1.496800e-05,1.498844e-05,1.546283e-05,1.563273e-05,1.592411e-05,1.621893e-05,1.635247e-05,1.674880e-05,1.711413e-05,1.722468e-05,1.744963e-05,1.764928e-05,1.775656e-05,1.802556e-05,1.803624e-05,1.829000e-05,1.835660e-05,1.851921e-05,1.864551e-05,1.872521e-05,1.889537e-05,1.890933e-05,1.907286e-05,1.910918e-05,1.921706e-05,1.928982e-05,1.934313e-05,1.944001e-05,1.945224e-05,1.954551e-05,1.956235e-05,1.962397e-05,1.965926e-05,1.968865e-05,1.973302e-05,1.974049e-05,1.978040e-05,1.978573e-05,1.980922e-05,1.981935e-05,1.982775e-05,1.983568e-05,1.983675e-05,1.983694e-05,1.983640e-05,1.982897e-05,1.982304e-05,1.981347e-05,1.979703e-05,1.979104e-05,1.976221e-05,1.975965e-05,1.972751e-05,1.971210e-05,1.968742e-05,1.965547e-05,1.964239e-05,1.959284e-05,1.959077e-05,1.953916e-05,1.951890e-05,1.948173e-05,1.944071e-05,1.942090e-05,1.935697e-05,1.929025e-05,1.926836e-05,1.922103e-05,1.917553e-05,1.914955e-05,1.907905e-05,1.907608e-05,1.900082e-05,1.897946e-05,1.892400e-05,1.887724e-05,1.884581e-05,1.877282e-05,1.876643e-05,1.868603e-05,1.866661e-05,1.860478e-05,1.855896e-05,1.852281e-05,1.845020e-05,1.844027e-05,1.835728e-05,1.834063e-05,1.827395e-05,1.823053e-05,1.819040e-05,1.812012e-05,1.810673e-05,1.802303e-05,1.800964e-05,1.793939e-05,1.789929e-05,1.785588e-05,1.778923e-05,1.777259e-05,1.768957e-05,1.767963e-05,1.760689e-05,1.757063e-05,1.752460e-05,1.746237e-05,1.744277e-05,1.736143e-05,1.735495e-05,1.728064e-05,1.724848e-05,1.720042e-05,1.714305e-05,1.712082e-05,1.704188e-05,1.703873e-05,1.696361e-05,1.693561e-05,1.688605e-05,1.683373e-05,1.680923e-05,1.673316e-05,1.663393e-05,1.653609e-05,1.643967e-05,1.634470e-05,1.625119e-05,1.615917e-05,1.606866e-05,1.597965e-05,1.589216e-05,1.580618e-05,1.572173e-05,1.563879e-05,1.555737e-05,1.547745e-05,1.539902e-05,1.532208e-05,1.524662e-05,1.517261e-05,1.510005e-05,1.502892e-05,1.495921e-05,1.489089e-05,1.482395e-05,1.475838e-05
0.000000e+00,1.173169e-09,2.689581e-09,9.232945e-09,2.091564e-08,3.041735e-08,6.826696e-08,7.028456e-08,1.338193e-07,1.564743e-07,2.255267e-07,2.957910e-07,3.494935e-07,4.951911e-07,5.093816e-07,7.082898e-07,7.621028e-07,9.483940e-07,1.101170e-06,1.230339e-06,1.511942e-06,1.552647e-06,1.911682e-06,1.987462e-06,2.302347e-06,2.516128e-06,2.719019e-06,3.085060e-06,3.156158e-06,3.608558e-06,3.682029e-06,4.071375e-06,4.295897e-06,4.540125e-06,4.916605e-06,5.010672e-06,5.479237e-06,5.535167e-06,5.942419e-06,6.143722e-06,6.397203e-06,6.735604e-06,6.840983e-06,7.271553e-06,7.305371e-06,7.687105e-06,7.848789e-06,8.086210e-06,8.362765e-06,8.467792e-06,8.831090e-06,8.845234e-06,9.175627e-06,9.295018e-06,9.501180e-06,9.711700e-06,9.807740e-06,1.009548e-05,1.036471e-05,1.044702e-05,1.061588e-05,1.076739e-05,1.084951e-05,1.105787e-05,1.106622e-05,1.126666e-05,1.131996e-05,1.145151e-05,1.155524e-05,1.162150e-05,1.176538e-05,1.177734e-05,1.191975e-05,1.195201e-05,1.204945e-05,1.211680e-05,1.216714e-05,1.226131e-05,1.227350e-05,1.236918e-05,1.238710e-05,1.245483e-05,1.249561e-05,1.253105e-05,1.258822e-05,1.259843e-05,1.265752e-05,1.266625e-05,1.270886e-05,1.273089e-05,1.275294e-05,1.278330e-05,1.279023e-05,1.282120e-05,1.282451e-05,1.284626e-05,1.285552e-05,1.286581e-05,1.287723e-05,1.288024e-05,1.288989e-05,1.289047e-05,1.289511e-05,1.289603e-05,1.289620e-05,1.289460e-05,1.289347e-05,1.288718e-05,1.288686e-05,1.287760e-05,1.287340e-05,1.286498e-05,1.285478e-05,1.284955e-05,1.283151e-05,1.281107e-05,1.280406e-05,1.278843e-05,1.277286e-05,1.276375e-05,1.273830e-05,1.273721e-05,1.270895e-05,1.270076e-05,1.267914e-05,1.266055e-05,1.264789e-05,1.261800e-05,1.261535e-05,1.258162e-05,1.257337e-05,1.254683e-05,1.252692e-05,1.251107e-05,1.247889e-05,1.247445e-05,1.243706e-05,1.242949e-05,1.239897e-05,1.237893e-05,1.236028e-05,1.232737e-05,1.232106e-05,1.228138e-05,1.227499e-05,1.224130e-05,1.222194e-05,1.220088e-05,1.216834e-05,1.216019e-05,1.211926e-05,1.211434e-05,1.207817e-05,1.206004e-05,1.203694e-05,1.200555e-05,1.199563e-05,1.195427e-05,1.195096e-05,1.191290e-05,1.189636e-05,1.187156e-05,1.184183e-05,1.183028e-05,1.178909e-05,1.178745e-05,1.174802e-05,1.173326e-05,1.170708e-05,1.167934e-05,1.166632e-05,1.162574e-05,1.157251e-05,1.151968e-05,1.146730e-05,1.141540e-05,1.136401e-05,1.131316e-05,1.126288e-05,1.121318e-05,1.116409e-05,1.111562e-05,1.106778e-05,1.102060e-05,1.097406e-05,1.092820e-05,1.088301e-05,1.083849e-05,1.079466e-05,1.075150e-05,1.070904e-05,1.066726e-05,1.062617e-05,1.058576e-05,1.054603e-05,1.050698e-05
0.000000e+00,1.057244e-08,2.460978e-08,8.609703e-08,1.973914e-07,2.887551e-07,6.578099e-07,6.776747e-07,1.311426e-06,1.540878e-06,2.250106e-06,2.985491e-06,3.555829e-06,5.133849e-06,5.289612e-06,7.501602e-06,8.106925e-06,1.021360e-05,1.194438e-05,1.340365e-05,1.655821e-05,1.701049e-05,2.095632e-05,2.177945e-05,2.516679e-05,2.743917e-05,2.957792e-05,3.339843e-05,3.413547e-05,3.879256e-05,3.954411e-05,4.350788e-05,4.578095e-05,4.824465e-05,5.202747e-05,5.297028e-05,5.765611e-05,5.821451e-05,6.227734e-05,6.428466e-05,6.681289e-05,7.019167e-05,7.124518e-05,7.555988e-05,7.589962e-05,7.974563e-05,8.138178e-05,8.379368e-05,8.661931e-05,8.769759e-05,9.145290e-05,9.159998e-05,9.505686e-05,9.631694e-05,9.850811e-05,1.007676e-04,1.018065e-04,1.049528e-04,1.079486e-04,1.088758e-04,1.107961e-04,1.125419e-04,1.134980e-04,1.159578e-04,1.160575e-04,1.184778e-04,1.191311e-04,1.207627e-04,1.220702e-04,1.229159e-04,1.247840e-04,1.249414e-04,1.268432e-04,1.272816e-04,1.286253e-04,1.295725e-04,1.302918e-04,1.316659e-04,1.318468e-04,1.332942e-04,1.335711e-04,1.346380e-04,1.352971e-04,1.358820e-04,1.368528e-04,1.370302e-04,1.380863e-04,1.382470e-04,1.390541e-04,1.394882e-04,1.399370e-04,1.405847e-04,1.407387e-04,1.414625e-04,1.415443e-04,1.421118e-04,1.423747e-04,1.426898e-04,1.430834e-04,1.431998e-04,1.436446e-04,1.436775e-04,1.440274e-04,1.441638e-04,1.443510e-04,1.445489e-04,1.446182e-04,1.448316e-04,1.448390e-04,1.449938e-04,1.450402e-04,1.451074e-04,1.451581e-04,1.451747e-04,1.451982e-04,1.451801e-04,1.451658e-04,1.451224e-04,1.450658e-04,1.450274e-04,1.449029e-04,1.448970e-04,1.447332e-04,1.446815e-04,1.445377e-04,1.444061e-04,1.443125e-04,1.440805e-04,1.440593e-04,1.437796e-04,1.437087e-04,1.434750e-04,1.432942e-04,1.431471e-04,1.428405e-04,1.427974e-04,1.424272e-04,1.423508e-04,1.420379e-04,1.418283e-04,1.416307e-04,1.412758e-04,1.412069e-04,1.407677e-04,1.406960e-04,1.403141e-04,1.400916e-04,1.398472e-04,1.394649e-04,1.393682e-04,1.388779e-04,1.388183e-04,1.383773e-04,1.381540e-04,1.378672e-04,1.374738e-04,1.373486e-04,1.368223e-04,1.367799e-04,1.362890e-04,1.360738e-04,1.357494e-04,1.353574e-04,1.352043e-04,1.346543e-04,1.346322e-04,1.341000e-04,1.338996e-04,1.335422e-04,1.331611e-04,1.329813e-04,1.324178e-04,1.316711e-04,1.309220e-04,1.301716e-04,1.294208e-04,1.286705e-04,1.279216e-04,1.271749e-04,1.264310e-04,1.256906e-04,1.249543e-04,1.242226e-04,1.234962e-04,1.227753e-04,1.220606e-04,1.213523e-04,1.206508e-04,1.199564e-04,1.192694e-04,1.185901e-04,1.179187e-04,1.172553e-04,1.166002e-04,1.159535e-04,1.153154e-04
0.000000e+00,9.802910e-13,4.969215e-12,5.495632e-11,2.674285e-10,5.497140e-10,2.574207e-09,2.720545e-09,9.173823e-09,1.229827e-08,2.431335e-08,4.018445e-08,5.466326e-08,1.036187e-07,1.091142e-07,1.990726e-07,2.274366e-07,3.383618e-07,4.437010e-07,5.426343e-07,7.891340e-07,8.282299e-07,1.210748e-06,1.300122e-06,1.703726e-06,2.007357e-06,2.317679e-06,2.932094e-06,3.059573e-06,3.932661e-06,4.084556e-06,4.936607e-06,5.464029e-06,6.067773e-06,7.059998e-06,7.319622e-06,8.683161e-06,8.853787e-06,1.014740e-05,1.082038e-05,1.169979e-05,1.293019e-05,1.332668e-05,1.501367e-05,1.515079e-05,1.674604e-05,1.744838e-05,1.850902e-05,1.978918e-05,2.028814e-05,2.206947e-05,2.214058e-05,2.383982e-05,2.447206e-05,2.558694e-05,2.675596e-05,2.729966e-05,2.896797e-05,3.058310e-05,3.108745e-05,3.213754e-05,3.309758e-05,3.362501e-05,3.498530e-05,3.504048e-05,3.638009e-05,3.674118e-05,3.764108e-05,3.835917e-05,3.882171e-05,3.983621e-05,3.992118e-05,4.093951e-05,4.117191e-05,4.187748e-05,4.236813e-05,4.273646e-05,4.342855e-05,4.351839e-05,4.422563e-05,4.435835e-05,4.486090e-05,4.516379e-05,4.542721e-05,4.585194e-05,4.592775e-05,4.636587e-05,4.643040e-05,4.674498e-05,4.690701e-05,4.706855e-05,4.728972e-05,4.734001e-05,4.756276e-05,4.758637e-05,4.774012e-05,4.780462e-05,4.787533e-05,4.795181e-05,4.797149e-05,4.803157e-05,4.803491e-05,4.805843e-05,4.806048e-05,4.805475e-05,4.803464e-05,4.802309e-05,4.796585e-05,4.796306e-05,4.788527e-05,4.785095e-05,4.778345e-05,4.770310e-05,4.766237e-05,4.752385e-05,4.736958e-05,4.731715e-05,4.720114e-05,4.708658e-05,4.701999e-05,4.683536e-05,4.682746e-05,4.662479e-05,4.656639e-05,4.641313e-05,4.628225e-05,4.619352e-05,4.598529e-05,4.596692e-05,4.573422e-05,4.567756e-05,4.549624e-05,4.536093e-05,4.525370e-05,4.503705e-05,4.500730e-05,4.475765e-05,4.470738e-05,4.450532e-05,4.437322e-05,4.425083e-05,4.403574e-05,4.399466e-05,4.373724e-05,4.369596e-05,4.347896e-05,4.335479e-05,4.322019e-05,4.301304e-05,4.296125e-05,4.270245e-05,4.267141e-05,4.244404e-05,4.233054e-05,4.218629e-05,4.199096e-05,4.192940e-05,4.167359e-05,4.165318e-05,4.141904e-05,4.131761e-05,4.116592e-05,4.098464e-05,4.091437e-05,4.066453e-05,4.065457e-05,4.041652e-05,4.032770e-05,4.017045e-05,4.000428e-05,3.992642e-05,3.968452e-05,3.936859e-05,3.905666e-05,3.874886e-05,3.844529e-05,3.814604e-05,3.785119e-05,3.756079e-05,3.727490e-05,3.699353e-05,3.671671e-05,3.644444e-05,3.617673e-05,3.591358e-05,3.565495e-05,3.540084e-05,3.515122e-05,3.490605e-05,3.466530e-05,3.442892e-05,3.419688e-05,3.396912e-05,3.374560e-05,3.352627e-05,3.331106e-05
0.000000e+00,9.552894e-14,4.885386e-13,5.505173e-12,2.725782e-11,5.656764e-11,2.714673e-10,2.871824e-10,9.914059e-10,1.337240e-09,2.682988e-09,4.483744e-09,6.140396e-09,1.179627e-08,1.243464e-08,2.293998e-08,2.626761e-08,3.932904e-08,5.179402e-08,6.355434e-08,9.309853e-08,9.781838e-08,1.445335e-07,1.555949e-07,2.062729e-07,2.452012e-07,2.857133e-07,3.681107e-07,3.855719e-07,5.085401e-07,5.305352e-07,6.572183e-07,7.384419e-07,8.340532e-07,9.973052e-07,1.041281e-06,1.280878e-06,1.311888e-06,1.554516e-06,1.686058e-06,1.863530e-06,2.122649e-06,2.208888e-06,2.591175e-06,2.623362e-06,3.010582e-06,3.188706e-06,3.466904e-06,3.817992e-06,3.959542e-06,4.487520e-06,4.509357e-06,5.049502e-06,5.259827e-06,5.643813e-06,6.065414e-06,6.268476e-06,6.921239e-06,7.599615e-06,7.821672e-06,8.300922e-06,8.760486e-06,9.022320e-06,9.731019e-06,9.760852e-06,1.051349e-05,1.072633e-05,1.127715e-05,1.173937e-05,1.204878e-05,1.276309e-05,1.282532e-05,1.360381e-05,1.379061e-05,1.438134e-05,1.481531e-05,1.515516e-05,1.583095e-05,1.592262e-05,1.668125e-05,1.683170e-05,1.742871e-05,1.781226e-05,1.816287e-05,1.876785e-05,1.888178e-05,1.958366e-05,1.969427e-05,2.026692e-05,2.058787e-05,2.093019e-05,2.144560e-05,2.157226e-05,2.219210e-05,2.226495e-05,2.278887e-05,2.304396e-05,2.336188e-05,2.378116e-05,2.391062e-05,2.443472e-05,2.447557e-05,2.493394e-05,2.512663e-05,2.540818e-05,2.573418e-05,2.585747e-05,2.628193e-05,2.629839e-05,2.668179e-05,2.681977e-05,2.705736e-05,2.729907e-05,2.740904e-05,2.773729e-05,2.804264e-05,2.813560e-05,2.832565e-05,2.849534e-05,2.858695e-05,2.881797e-05,2.882718e-05,2.904704e-05,2.910504e-05,2.924721e-05,2.935817e-05,2.942843e-05,2.957904e-05,2.959142e-05,2.973692e-05,2.976932e-05,2.986567e-05,2.993073e-05,2.997841e-05,3.006495e-05,3.007586e-05,3.015875e-05,3.017364e-05,3.022779e-05,3.025844e-05,3.028367e-05,3.032094e-05,3.032708e-05,3.035867e-05,3.036268e-05,3.037911e-05,3.038514e-05,3.038901e-05,3.038975e-05,3.038897e-05,3.037960e-05,3.037787e-05,3.036144e-05,3.035080e-05,3.033504e-05,3.030979e-05,3.030092e-05,3.025958e-05,3.025598e-05,3.021151e-05,3.019049e-05,3.015715e-05,3.011436e-05,3.009694e-05,3.003130e-05,3.002857e-05,2.996062e-05,2.993402e-05,2.988528e-05,2.983157e-05,2.980564e-05,2.972203e-05,2.960614e-05,2.948458e-05,2.935802e-05,2.922704e-05,2.909220e-05,2.895401e-05,2.881293e-05,2.866942e-05,2.852387e-05,2.837664e-05,2.822809e-05,2.807851e-05,2.792820e-05,2.777742e-05,2.762640e-05,2.747537e-05,2.732451e-05,2.717402e-05,2.702405e-05,2.687476e-05,2.672627e-05,2.657872e-05,2.643220e-05,2.628682e-05
0.000000e+00,1.106426e-09,3.393276e-09,1.613655e-08,4.288530e-08,6.633122e-08,1.669019e-07,1.724778e-07,3.549927e-07,4.225991e-07,6.347268e-07,8.582816e-07,1.033518e-06,1.524522e-06,1.573378e-06,2.272363e-06,2.464935e-06,3.138303e-06,3.695170e-06,4.167729e-06,5.201661e-06,5.351538e-06,6.679842e-06,6.962006e-06,8.143186e-06,8.954378e-06,9.732142e-06,1.115670e-05,1.143679e-05,1.324645e-05,1.354499e-05,1.514970e-05,1.609299e-05,1.713453e-05,1.877280e-05,1.918854e-05,2.129930e-05,2.155582e-05,2.345453e-05,2.441384e-05,2.564236e-05,2.731998e-05,2.785156e-05,3.007163e-05,3.024942e-05,3.229296e-05,3.317986e-05,3.450682e-05,3.609178e-05,3.670545e-05,3.888199e-05,3.896851e-05,4.103051e-05,4.179609e-05,4.314585e-05,4.456311e-05,4.522371e-05,4.726046e-05,4.925316e-05,4.988111e-05,5.119941e-05,5.241977e-05,5.309737e-05,5.487265e-05,5.494561e-05,5.674313e-05,5.723725e-05,5.848926e-05,5.951210e-05,6.018363e-05,6.169662e-05,6.182611e-05,6.341680e-05,6.379089e-05,6.495599e-05,6.579560e-05,6.644412e-05,6.771186e-05,6.788173e-05,6.926949e-05,6.954113e-05,7.060816e-05,7.128514e-05,7.189856e-05,7.294585e-05,7.314159e-05,7.433816e-05,7.452536e-05,7.548925e-05,7.602590e-05,7.659584e-05,7.744976e-05,7.765896e-05,7.867963e-05,7.879931e-05,7.965890e-05,8.007693e-05,8.059781e-05,8.128502e-05,8.149739e-05,8.235870e-05,8.242598e-05,8.318276e-05,8.350219e-05,8.397061e-05,8.451600e-05,8.472325e-05,8.544170e-05,8.546974e-05,8.612695e-05,8.636570e-05,8.677997e-05,8.720611e-05,8.740173e-05,8.799317e-05,8.855522e-05,8.872902e-05,8.908880e-05,8.941575e-05,8.959479e-05,9.005540e-05,9.007407e-05,9.052750e-05,9.064994e-05,9.095591e-05,9.120129e-05,9.136013e-05,9.171133e-05,9.174095e-05,9.209916e-05,9.218185e-05,9.243552e-05,9.261462e-05,9.275078e-05,9.301132e-05,9.304565e-05,9.332084e-05,9.337358e-05,9.357706e-05,9.370301e-05,9.381495e-05,9.400111e-05,9.403519e-05,9.423840e-05,9.426937e-05,9.442520e-05,9.450921e-05,9.459619e-05,9.472200e-05,9.475197e-05,9.489308e-05,9.490906e-05,9.502010e-05,9.507166e-05,9.513355e-05,9.521102e-05,9.523395e-05,9.532181e-05,9.532832e-05,9.539763e-05,9.542468e-05,9.546186e-05,9.550121e-05,9.551499e-05,9.555745e-05,9.555893e-05,9.558968e-05,9.559886e-05,9.561210e-05,9.562195e-05,9.562512e-05,9.562913e-05,9.562128e-05,9.559925e-05,9.556385e-05,9.551587e-05,9.545604e-05,9.538508e-05,9.530368e-05,9.521248e-05,9.511212e-05,9.500318e-05,9.488624e-05,9.476185e-05,9.463051e-05,9.449274e-05,9.434900e-05,9.419975e-05,9.404541e-05,9.388639e-05,9.372309e-05,9.355587e-05,9.338510e-05,9.321111e-05,9.303421e-05,9.285472e-05
0.000000e+00,3.955238e-10,1.498906e-09,9.631522e-09,3.043357e-08,5.046755e-08,1.443878e-07,1.498206e-07,3.342704e-07,4.047491e-07,6.301884e-07,8.724054e-07,1.064489e-06,1.609904e-06,1.664656e-06,2.456449e-06,2.677291e-06,3.458369e-06,4.114041e-06,4.676555e-06,5.923452e-06,6.105753e-06,7.734798e-06,8.083469e-06,9.550900e-06,1.056489e-05,1.154106e-05,1.333759e-05,1.369197e-05,1.598958e-05,1.636983e-05,1.841892e-05,1.962713e-05,2.096402e-05,2.307225e-05,2.360819e-05,2.633425e-05,2.666606e-05,2.912491e-05,3.036885e-05,3.196310e-05,3.414172e-05,3.483229e-05,3.771678e-05,3.794775e-05,4.060186e-05,4.175300e-05,4.347405e-05,4.552713e-05,4.632112e-05,4.913222e-05,4.924378e-05,5.189780e-05,5.288063e-05,5.460959e-05,5.641925e-05,5.726057e-05,5.984487e-05,6.235774e-05,6.314613e-05,6.479538e-05,6.631459e-05,6.715485e-05,6.934441e-05,6.943401e-05,7.163144e-05,7.223195e-05,7.374628e-05,7.497538e-05,7.577819e-05,7.757440e-05,7.772729e-05,7.959408e-05,8.002995e-05,8.137939e-05,8.234396e-05,8.308429e-05,8.451914e-05,8.471010e-05,8.625829e-05,8.655875e-05,8.773046e-05,8.846653e-05,8.912837e-05,9.024655e-05,9.045383e-05,9.170874e-05,9.190310e-05,9.289502e-05,9.344063e-05,9.401464e-05,9.486367e-05,9.506958e-05,9.606184e-05,9.617679e-05,9.699340e-05,9.738457e-05,9.786624e-05,9.849154e-05,9.868233e-05,9.944359e-05,9.950218e-05,1.001519e-04,1.004209e-04,1.008093e-04,1.012520e-04,1.014174e-04,1.019782e-04,1.019996e-04,1.024933e-04,1.026680e-04,1.029646e-04,1.032609e-04,1.033937e-04,1.037823e-04,1.041319e-04,1.042358e-04,1.044442e-04,1.046251e-04,1.047206e-04,1.049536e-04,1.049626e-04,1.051718e-04,1.052246e-04,1.053493e-04,1.054413e-04,1.054967e-04,1.056068e-04,1.056152e-04,1.057062e-04,1.057240e-04,1.057707e-04,1.057958e-04,1.058101e-04,1.058248e-04,1.058254e-04,1.058178e-04,1.058136e-04,1.057884e-04,1.057648e-04,1.057381e-04,1.056806e-04,1.056681e-04,1.055793e-04,1.055634e-04,1.054726e-04,1.054153e-04,1.053489e-04,1.052383e-04,1.052091e-04,1.050540e-04,1.050344e-04,1.048845e-04,1.048055e-04,1.047013e-04,1.045534e-04,1.045052e-04,1.042969e-04,1.042797e-04,1.040771e-04,1.039861e-04,1.038465e-04,1.036741e-04,1.036057e-04,1.033553e-04,1.033451e-04,1.030960e-04,1.030005e-04,1.028282e-04,1.026417e-04,1.025527e-04,1.022698e-04,1.018860e-04,1.014915e-04,1.010873e-04,1.006744e-04,1.002538e-04,9.982625e-05,9.939268e-05,9.895386e-05,9.851055e-05,9.806344e-05,9.761319e-05,9.716043e-05,9.670574e-05,9.624967e-05,9.579272e-05,9.533539e-05,9.487813e-05,9.442134e-05,9.396544e-05,9.351078e-05,9.305770e-05,9.260653e-05,9.215756e-05,9.171107e-05
0.000000e+00,5.183245e-11,2.263040e-10,1.859809e-09,7.009677e-09,1.260041e-08,4.257570e-08,4.442972e-08,1.116039e-07,1.387669e-07,2.290502e-07,3.300918e-07,4.123573e-07,6.535020e-07,6.782256e-07,1.044574e-06,1.149494e-06,1.529605e-06,1.859184e-06,2.149149e-06,2.812969e-06,2.912136e-06,3.815700e-06,4.012038e-06,4.843144e-06,5.417493e-06,5.966938e-06,6.961944e-06,7.155062e-06,8.377034e-06,8.573903e-06,9.607349e-06,1.019488e-05,1.082634e-05,1.178350e-05,1.201953e-05,1.317651e-05,1.331254e-05,1.428987e-05,1.476452e-05,1.535439e-05,1.612851e-05,1.636649e-05,1.732385e-05,1.739803e-05,1.822519e-05,1.856991e-05,1.907005e-05,1.964351e-05,1.985870e-05,2.059197e-05,2.062017e-05,2.127120e-05,2.150281e-05,2.189810e-05,2.229553e-05,2.247470e-05,2.300322e-05,2.348606e-05,2.363133e-05,2.392570e-05,2.418555e-05,2.432465e-05,2.467169e-05,2.468541e-05,2.501047e-05,2.509542e-05,2.530222e-05,2.546226e-05,2.556299e-05,2.577742e-05,2.579497e-05,2.600029e-05,2.604582e-05,2.618091e-05,2.627198e-05,2.633872e-05,2.646011e-05,2.647546e-05,2.659276e-05,2.661402e-05,2.669213e-05,2.673720e-05,2.677499e-05,2.683279e-05,2.684264e-05,2.689629e-05,2.690365e-05,2.693705e-05,2.695234e-05,2.696595e-05,2.698118e-05,2.698395e-05,2.699191e-05,2.699223e-05,2.699065e-05,2.698736e-05,2.698090e-05,2.696824e-05,2.696335e-05,2.693864e-05,2.693637e-05,2.690733e-05,2.689309e-05,2.686998e-05,2.683962e-05,2.682707e-05,2.677905e-05,2.677703e-05,2.672635e-05,2.670631e-05,2.666936e-05,2.662834e-05,2.660843e-05,2.654390e-05,2.647607e-05,2.645371e-05,2.640522e-05,2.635842e-05,2.633162e-05,2.625861e-05,2.625552e-05,2.617713e-05,2.615480e-05,2.609667e-05,2.604748e-05,2.601433e-05,2.593708e-05,2.593030e-05,2.584473e-05,2.582399e-05,2.575780e-05,2.570857e-05,2.566963e-05,2.559114e-05,2.558038e-05,2.549016e-05,2.547201e-05,2.539909e-05,2.535143e-05,2.530728e-05,2.522967e-05,2.521484e-05,2.512185e-05,2.510693e-05,2.502842e-05,2.498344e-05,2.493462e-05,2.485937e-05,2.484053e-05,2.474622e-05,2.473489e-05,2.465176e-05,2.461017e-05,2.455722e-05,2.448535e-05,2.446266e-05,2.436812e-05,2.436056e-05,2.427366e-05,2.423591e-05,2.417934e-05,2.411153e-05,2.408519e-05,2.399126e-05,2.398751e-05,2.389759e-05,2.386394e-05,2.380421e-05,2.374090e-05,2.371117e-05,2.361848e-05,2.349675e-05,2.337576e-05,2.325558e-05,2.313626e-05,2.301784e-05,2.290038e-05,2.278391e-05,2.266846e-05,2.255408e-05,2.244078e-05,2.232859e-05,2.221754e-05,2.210764e-05,2.199892e-05,2.189139e-05,2.178505e-05,2.167993e-05,2.157603e-05,2.147337e-05,2.137193e-05,2.127174e-05,2.117278e-05,2.107507e-05,2.097861e-05
0.000000e+00,1.220694e-12,6.128194e-12,6.640411e-11,3.170162e-10,6.446718e-10,2.932932e-09,3.095903e-09,1.012328e-08,1.345227e-08,2.598813e-08,4.210988e-08,5.651244e-08,1.037343e-07,1.089237e-07,1.915994e-07,2.169549e-07,3.137389e-07,4.029526e-07,4.849443e-07,6.837081e-07,7.146590e-07,1.011462e-06,1.079522e-06,1.382331e-06,1.606142e-06,1.832051e-06,2.272467e-06,2.362861e-06,2.974377e-06,3.079550e-06,3.663721e-06,4.020828e-06,4.425791e-06,5.083179e-06,5.253617e-06,6.138743e-06,6.248363e-06,7.071613e-06,7.494571e-06,8.041948e-06,8.797902e-06,9.039082e-06,1.005228e-05,1.013371e-05,1.107099e-05,1.147775e-05,1.208514e-05,1.280715e-05,1.308525e-05,1.406267e-05,1.410118e-05,1.500964e-05,1.534176e-05,1.591940e-05,1.651382e-05,1.678623e-05,1.760546e-05,1.837346e-05,1.860794e-05,1.908758e-05,1.951551e-05,1.974611e-05,2.032520e-05,2.034819e-05,2.089375e-05,2.103644e-05,2.138337e-05,2.165076e-05,2.181822e-05,2.217135e-05,2.219998e-05,2.253070e-05,2.260274e-05,2.281275e-05,2.295041e-05,2.304874e-05,2.322049e-05,2.324142e-05,2.339365e-05,2.341950e-05,2.350833e-05,2.355408e-05,2.358835e-05,2.363086e-05,2.363655e-05,2.365570e-05,2.365625e-05,2.364847e-05,2.363638e-05,2.361740e-05,2.357699e-05,2.356489e-05,2.349321e-05,2.348342e-05,2.340448e-05,2.336055e-05,2.330067e-05,2.321281e-05,2.318360e-05,2.305494e-05,2.304419e-05,2.291623e-05,2.285824e-05,2.276886e-05,2.265812e-05,2.261411e-05,2.245313e-05,2.244658e-05,2.228697e-05,2.222606e-05,2.211655e-05,2.199867e-05,2.194272e-05,2.176623e-05,2.158776e-05,2.153033e-05,2.140790e-05,2.129230e-05,2.122718e-05,2.105332e-05,2.104608e-05,2.086500e-05,2.081436e-05,2.068433e-05,2.057625e-05,2.050438e-05,2.033970e-05,2.032543e-05,2.014773e-05,2.010529e-05,1.997149e-05,1.987350e-05,1.979690e-05,1.964475e-05,1.962412e-05,1.945328e-05,1.941936e-05,1.928451e-05,1.919760e-05,1.911790e-05,1.897968e-05,1.895354e-05,1.879149e-05,1.876578e-05,1.863181e-05,1.855602e-05,1.847454e-05,1.835049e-05,1.831972e-05,1.816737e-05,1.814926e-05,1.801751e-05,1.795236e-05,1.787015e-05,1.775983e-05,1.772529e-05,1.758293e-05,1.757164e-05,1.744306e-05,1.738781e-05,1.730568e-05,1.720829e-05,1.717076e-05,1.703830e-05,1.703305e-05,1.690826e-05,1.686204e-05,1.678063e-05,1.669521e-05,1.665538e-05,1.653249e-05,1.637382e-05,1.621913e-05,1.606835e-05,1.592139e-05,1.577818e-05,1.563864e-05,1.550269e-05,1.537025e-05,1.524123e-05,1.511555e-05,1.499312e-05,1.487388e-05,1.475773e-05,1.464460e-05,1.453441e-05,1.442708e-05,1.432253e-05,1.422069e-05,1.412148e-05,1.402484e-05,1.393068e-05,1.383895e-05,1.374957e-05,1.366248e-05
0.000000e+00,8.653863e-12,4.192519e-11,4.225116e-10,1.891338e-09,3.715541e-09,1.550653e-08,1.631245e-08,4.921694e-08,6.405085e-08,1.176613e-07,1.834780e-07,2.404449e-07,4.200559e-07,4.393206e-07,7.382440e-07,8.276220e-07,1.161739e-06,1.461745e-06,1.731885e-06,2.367980e-06,2.464890e-06,3.369042e-06,3.570568e-06,4.444701e-06,5.069988e-06,5.685718e-06,6.848151e-06,7.081284e-06,8.617568e-06,8.875406e-06,1.027895e-05,1.111600e-05,1.204884e-05,1.353149e-05,1.391028e-05,1.584628e-05,1.608281e-05,1.784019e-05,1.873169e-05,1.987595e-05,2.144169e-05,2.193830e-05,2.401303e-05,2.417914e-05,2.608707e-05,2.691381e-05,2.814865e-05,2.961937e-05,3.018735e-05,3.219409e-05,3.227358e-05,3.416113e-05,3.485827e-05,3.608201e-05,3.735910e-05,3.795145e-05,3.976528e-05,4.152030e-05,4.206909e-05,4.321419e-05,4.426544e-05,4.484538e-05,4.635150e-05,4.641298e-05,4.791663e-05,4.832620e-05,4.935646e-05,5.018992e-05,5.073297e-05,5.194417e-05,5.204701e-05,5.329965e-05,5.359129e-05,5.449218e-05,5.513427e-05,5.562604e-05,5.657654e-05,5.670279e-05,5.772407e-05,5.792182e-05,5.869159e-05,5.917403e-05,5.960709e-05,6.033719e-05,6.047232e-05,6.128905e-05,6.141534e-05,6.205903e-05,6.241253e-05,6.278401e-05,6.333273e-05,6.346569e-05,6.410576e-05,6.417985e-05,6.470586e-05,6.495766e-05,6.526761e-05,6.566985e-05,6.579257e-05,6.628226e-05,6.631996e-05,6.673818e-05,6.691141e-05,6.716174e-05,6.744746e-05,6.755435e-05,6.791734e-05,6.793126e-05,6.825202e-05,6.836581e-05,6.855964e-05,6.875398e-05,6.884140e-05,6.909848e-05,6.933200e-05,6.940193e-05,6.954305e-05,6.966680e-05,6.973266e-05,6.989545e-05,6.990183e-05,7.005154e-05,7.009010e-05,7.018270e-05,7.025287e-05,7.029621e-05,7.038579e-05,7.039293e-05,7.047366e-05,7.049075e-05,7.053921e-05,7.056956e-05,7.059032e-05,7.062394e-05,7.062772e-05,7.065212e-05,7.065549e-05,7.066416e-05,7.066576e-05,7.066450e-05,7.065619e-05,7.065375e-05,7.063249e-05,7.062815e-05,7.060128e-05,7.058292e-05,7.056066e-05,7.052174e-05,7.051116e-05,7.045325e-05,7.044576e-05,7.038742e-05,7.035606e-05,7.031411e-05,7.025366e-05,7.023376e-05,7.014678e-05,7.013955e-05,7.005357e-05,7.001462e-05,6.995450e-05,6.987975e-05,6.984993e-05,6.974022e-05,6.973573e-05,6.962569e-05,6.958334e-05,6.950665e-05,6.942328e-05,6.938341e-05,6.925625e-05,6.908287e-05,6.890374e-05,6.871942e-05,6.853044e-05,6.833730e-05,6.814047e-05,6.794038e-05,6.773743e-05,6.753203e-05,6.732452e-05,6.711524e-05,6.690451e-05,6.669263e-05,6.647987e-05,6.626649e-05,6.605273e-05,6.583881e-05,6.562496e-05,6.541135e-05,6.519817e-05,6.498560e-05,6.477379e-05,6.456288e-05,6.435300e-05
0.000000e+00,3.174403e-11,1.371082e-10,1.104182e-09,4.096046e-09,7.306752e-09,2.429309e-08,2.533718e-08,6.298350e-08,7.816291e-08,1.285889e-07,1.849895e-07,2.307930e-07,3.634158e-07,3.768108e-07,5.693822e-07,6.223316e-07,8.059986e-07,9.557604e-07,1.081238e-06,1.350677e-06,1.389167e-06,1.724276e-06,1.794106e-06,2.081467e-06,2.274301e-06,2.455829e-06,2.780002e-06,2.842497e-06,3.236670e-06,3.300120e-06,3.633705e-06,3.824006e-06,4.029251e-06,4.341954e-06,4.419372e-06,4.800642e-06,4.845657e-06,5.170197e-06,5.328483e-06,5.525759e-06,5.785552e-06,5.865612e-06,6.188568e-06,6.213650e-06,6.493906e-06,6.611025e-06,6.781307e-06,6.977128e-06,7.050789e-06,7.302635e-06,7.312348e-06,7.537337e-06,7.617753e-06,7.755538e-06,7.894868e-06,7.957987e-06,8.145501e-06,8.318930e-06,8.371594e-06,8.479137e-06,8.575124e-06,8.626973e-06,8.758030e-06,8.763271e-06,8.888828e-06,8.922164e-06,9.004405e-06,9.069260e-06,9.110717e-06,9.200921e-06,9.208437e-06,9.298192e-06,9.318613e-06,9.380564e-06,9.423670e-06,9.456092e-06,9.517292e-06,9.525275e-06,9.588571e-06,9.600562e-06,9.646406e-06,9.674451e-06,9.699166e-06,9.739828e-06,9.747212e-06,9.790872e-06,9.797472e-06,9.830450e-06,9.848080e-06,9.866223e-06,9.892276e-06,9.898449e-06,9.927365e-06,9.930622e-06,9.953186e-06,9.963621e-06,9.976116e-06,9.991724e-06,9.996340e-06,1.001403e-05,1.001534e-05,1.002934e-05,1.003484e-05,1.004243e-05,1.005055e-05,1.005342e-05,1.006245e-05,1.006277e-05,1.006964e-05,1.007179e-05,1.007508e-05,1.007785e-05,1.007889e-05,1.008117e-05,1.008200e-05,1.008197e-05,1.008146e-05,1.008043e-05,1.007963e-05,1.007674e-05,1.007660e-05,1.007241e-05,1.007105e-05,1.006716e-05,1.006351e-05,1.006088e-05,1.005426e-05,1.005364e-05,1.004550e-05,1.004342e-05,1.003651e-05,1.003112e-05,1.002671e-05,1.001746e-05,1.001616e-05,1.000488e-05,1.000255e-05,9.992936e-06,9.986471e-06,9.980355e-06,9.969322e-06,9.967175e-06,9.953432e-06,9.951183e-06,9.939159e-06,9.932130e-06,9.924388e-06,9.912233e-06,9.909150e-06,9.893472e-06,9.891562e-06,9.877381e-06,9.870178e-06,9.860906e-06,9.848141e-06,9.844069e-06,9.826894e-06,9.825506e-06,9.809405e-06,9.802325e-06,9.791622e-06,9.778647e-06,9.773565e-06,9.755256e-06,9.754518e-06,9.736711e-06,9.729981e-06,9.717949e-06,9.705076e-06,9.698988e-06,9.679842e-06,9.654315e-06,9.628528e-06,9.602514e-06,9.576302e-06,9.549921e-06,9.523397e-06,9.496756e-06,9.470021e-06,9.443214e-06,9.416357e-06,9.389469e-06,9.362569e-06,9.335674e-06,9.308800e-06,9.281964e-06,9.255180e-06,9.228462e-06,9.201821e-06,9.175272e-06,9.148823e-06,9.122488e-06,9.096274e-06,9.070192e-06,9.044250e-06
0.000000e+00,5.358471e-10,1.509702e-09,6.468351e-09,1.628276e-08,2.465858e-08,5.976540e-08,6.169249e-08,1.244140e-07,1.475873e-07,2.203729e-07,2.973218e-07,3.578206e-07,5.279744e-07,5.449419e-07,7.880144e-07,8.549854e-07,1.088500e-06,1.279935e-06,1.440381e-06,1.782248e-06,1.830565e-06,2.243222e-06,2.327160e-06,2.664426e-06,2.883310e-06,3.084015e-06,3.430177e-06,3.495198e-06,3.893554e-06,3.955893e-06,4.276211e-06,4.453740e-06,4.641328e-06,4.920024e-06,4.987789e-06,5.315012e-06,5.352974e-06,5.622831e-06,5.752153e-06,5.911397e-06,6.118069e-06,6.181109e-06,6.432545e-06,6.451891e-06,6.666418e-06,6.755227e-06,6.883529e-06,7.029947e-06,7.084730e-06,7.270902e-06,7.278049e-06,7.442928e-06,7.501564e-06,7.601682e-06,7.702487e-06,7.748011e-06,7.882733e-06,8.006628e-06,8.044109e-06,8.120435e-06,8.188302e-06,8.224852e-06,8.316867e-06,8.320535e-06,8.408096e-06,8.431237e-06,8.488109e-06,8.532718e-06,8.561109e-06,8.622503e-06,8.627593e-06,8.688024e-06,8.701675e-06,8.742832e-06,8.771218e-06,8.792415e-06,8.832020e-06,8.837143e-06,8.877360e-06,8.884890e-06,8.913383e-06,8.930557e-06,8.945509e-06,8.969683e-06,8.974011e-06,8.999141e-06,9.002865e-06,9.021137e-06,9.030646e-06,9.040216e-06,9.053516e-06,9.056581e-06,9.070421e-06,9.071920e-06,9.081910e-06,9.086262e-06,9.091210e-06,9.096907e-06,9.098471e-06,9.103834e-06,9.104185e-06,9.107429e-06,9.108399e-06,9.109376e-06,9.109822e-06,9.109790e-06,9.108774e-06,9.108706e-06,9.106429e-06,9.105276e-06,9.102843e-06,9.099741e-06,9.098104e-06,9.092290e-06,9.085476e-06,9.083096e-06,9.077732e-06,9.072317e-06,9.069122e-06,9.060099e-06,9.059707e-06,9.049545e-06,9.046573e-06,9.038689e-06,9.031864e-06,9.027190e-06,9.016081e-06,9.015093e-06,9.002443e-06,8.999329e-06,8.989281e-06,8.981702e-06,8.975647e-06,8.963286e-06,8.961575e-06,8.947102e-06,8.944161e-06,8.932258e-06,8.924403e-06,8.917074e-06,8.904078e-06,8.901579e-06,8.885799e-06,8.883249e-06,8.869760e-06,8.861976e-06,8.853485e-06,8.840312e-06,8.836998e-06,8.820319e-06,8.818306e-06,8.803468e-06,8.796004e-06,8.786464e-06,8.773449e-06,8.769325e-06,8.752067e-06,8.750682e-06,8.734706e-06,8.727737e-06,8.717258e-06,8.704649e-06,8.699736e-06,8.682154e-06,8.681449e-06,8.664524e-06,8.658167e-06,8.646858e-06,8.634830e-06,8.629167e-06,8.611462e-06,8.588087e-06,8.564726e-06,8.541399e-06,8.518124e-06,8.494919e-06,8.471800e-06,8.448781e-06,8.425875e-06,8.403095e-06,8.380453e-06,8.357959e-06,8.335623e-06,8.313454e-06,8.291460e-06,8.269649e-06,8.248027e-06,8.226600e-06,8.205375e-06,8.184357e-06,8.163549e-06,8.142957e-06,8.122584e-06,8.102433e-06,8.082507e-06
0.000000e+00,5.909526e-11,2.506408e-10,1.952736e-09,7.064989e-09,1.245582e-08,4.041687e-08,4.211950e-08,1.030278e-07,1.274556e-07,2.085070e-07,2.993975e-07,3.736498e-07,5.920350e-07,6.144167e-07,9.430011e-07,1.035429e-06,1.361617e-06,1.632499e-06,1.861783e-06,2.358509e-06,2.429784e-06,3.052097e-06,3.182049e-06,3.717528e-06,4.077540e-06,4.417076e-06,5.025460e-06,5.143116e-06,5.888709e-06,6.009373e-06,6.647230e-06,7.014015e-06,7.412245e-06,8.024746e-06,8.177537e-06,8.937201e-06,9.027717e-06,9.685761e-06,1.001032e-05,1.041829e-05,1.096162e-05,1.113048e-05,1.181871e-05,1.187264e-05,1.248005e-05,1.273652e-05,1.311223e-05,1.354841e-05,1.371363e-05,1.428322e-05,1.430533e-05,1.482052e-05,1.500603e-05,1.532553e-05,1.565065e-05,1.579859e-05,1.624038e-05,1.665183e-05,1.677727e-05,1.703408e-05,1.726396e-05,1.738836e-05,1.770337e-05,1.771598e-05,1.801832e-05,1.809864e-05,1.829681e-05,1.845302e-05,1.855282e-05,1.876969e-05,1.878774e-05,1.900294e-05,1.905180e-05,1.919971e-05,1.930231e-05,1.937927e-05,1.952399e-05,1.954281e-05,1.969143e-05,1.971945e-05,1.982618e-05,1.989109e-05,1.994804e-05,2.004110e-05,2.005791e-05,2.015665e-05,2.017147e-05,2.024506e-05,2.028405e-05,2.032388e-05,2.038048e-05,2.039378e-05,2.045540e-05,2.046226e-05,2.050932e-05,2.053075e-05,2.055610e-05,2.058717e-05,2.059622e-05,2.063016e-05,2.063262e-05,2.065834e-05,2.066809e-05,2.068116e-05,2.069448e-05,2.069899e-05,2.071218e-05,2.071261e-05,2.072103e-05,2.072322e-05,2.072585e-05,2.072695e-05,2.072689e-05,2.072443e-05,2.071869e-05,2.071619e-05,2.070988e-05,2.070274e-05,2.069822e-05,2.068452e-05,2.068390e-05,2.066709e-05,2.066195e-05,2.064795e-05,2.063541e-05,2.062664e-05,2.060525e-05,2.060331e-05,2.057809e-05,2.057177e-05,2.055110e-05,2.053527e-05,2.052248e-05,2.049601e-05,2.049231e-05,2.046072e-05,2.045424e-05,2.042780e-05,2.041019e-05,2.039364e-05,2.036405e-05,2.035833e-05,2.032195e-05,2.031603e-05,2.028458e-05,2.026631e-05,2.024629e-05,2.021504e-05,2.020714e-05,2.016721e-05,2.016237e-05,2.012656e-05,2.010846e-05,2.008524e-05,2.005343e-05,2.004331e-05,2.000082e-05,1.999740e-05,1.995782e-05,1.994049e-05,1.991436e-05,1.988280e-05,1.987047e-05,1.982621e-05,1.982443e-05,1.978161e-05,1.976547e-05,1.973670e-05,1.970601e-05,1.969153e-05,1.964613e-05,1.958589e-05,1.952538e-05,1.946465e-05,1.940377e-05,1.934278e-05,1.928175e-05,1.922072e-05,1.915974e-05,1.909886e-05,1.903810e-05,1.897751e-05,1.891712e-05,1.885696e-05,1.879707e-05,1.873747e-05,1.867819e-05,1.861925e-05,1.856068e-05,1.850249e-05,1.844470e-05,1.838734e-05,1.833041e-05,1.827393e-05,1.821792e-05
0.000000e+00,2.001379e-10,7.909788e-10,5.446812e-09,1.802168e-08,3.048449e-08,9.058387e-08,9.410540e-08,2.148469e-07,2.612977e-07,4.102033e-07,5.701568e-07,6.967425e-07,1.054495e-06,1.090274e-06,1.605726e-06,1.749102e-06,2.256310e-06,2.683470e-06,3.051660e-06,3.874532e-06,3.995619e-06,5.085456e-06,5.320299e-06,6.313292e-06,7.002806e-06,7.668415e-06,8.896410e-06,9.138945e-06,1.071254e-05,1.097304e-05,1.237660e-05,1.320372e-05,1.411830e-05,1.555885e-05,1.592467e-05,1.778274e-05,1.800857e-05,1.967967e-05,2.052340e-05,2.160301e-05,2.307507e-05,2.354087e-05,2.548203e-05,2.563715e-05,2.741616e-05,2.818571e-05,2.933385e-05,3.069963e-05,3.122667e-05,3.308722e-05,3.316087e-05,3.490908e-05,3.555440e-05,3.668681e-05,3.786811e-05,3.841588e-05,4.009261e-05,4.171409e-05,4.222093e-05,4.327814e-05,4.424824e-05,4.478318e-05,4.617155e-05,4.622819e-05,4.761264e-05,4.798940e-05,4.893641e-05,4.970163e-05,5.019975e-05,5.130910e-05,5.140319e-05,5.254755e-05,5.281352e-05,5.363383e-05,5.421721e-05,5.466321e-05,5.552303e-05,5.563699e-05,5.655661e-05,5.673417e-05,5.742356e-05,5.785409e-05,5.823942e-05,5.888643e-05,5.900579e-05,5.972431e-05,5.983494e-05,6.039662e-05,6.070340e-05,6.102438e-05,6.149562e-05,6.160924e-05,6.215283e-05,6.221536e-05,6.265677e-05,6.286634e-05,6.312263e-05,6.345219e-05,6.355199e-05,6.394636e-05,6.397644e-05,6.430723e-05,6.444253e-05,6.463607e-05,6.485380e-05,6.493429e-05,6.520326e-05,6.521343e-05,6.544432e-05,6.552452e-05,6.565877e-05,6.579003e-05,6.584785e-05,6.601279e-05,6.615475e-05,6.619552e-05,6.627488e-05,6.634080e-05,6.637426e-05,6.645112e-05,6.645394e-05,6.651495e-05,6.652882e-05,6.655826e-05,6.657615e-05,6.658482e-05,6.659523e-05,6.659552e-05,6.659125e-05,6.658809e-05,6.657284e-05,6.655666e-05,6.654110e-05,6.650274e-05,6.649679e-05,6.644065e-05,6.642807e-05,6.637340e-05,6.633427e-05,6.629572e-05,6.622288e-05,6.620825e-05,6.611163e-05,6.609536e-05,6.600644e-05,6.595308e-05,6.589327e-05,6.579735e-05,6.577266e-05,6.564512e-05,6.562938e-05,6.551117e-05,6.545032e-05,6.537127e-05,6.526125e-05,6.522588e-05,6.507544e-05,6.506320e-05,6.492035e-05,6.485711e-05,6.476102e-05,6.464388e-05,6.459782e-05,6.443110e-05,6.442436e-05,6.426121e-05,6.419934e-05,6.408847e-05,6.396954e-05,6.391319e-05,6.373566e-05,6.349834e-05,6.325818e-05,6.301574e-05,6.277155e-05,6.252608e-05,6.227979e-05,6.203310e-05,6.178638e-05,6.154001e-05,6.129430e-05,6.104956e-05,6.080607e-05,6.056408e-05,6.032384e-05,6.008556e-05,5.984942e-05,5.961561e-05,5.938428e-05,5.915559e-05,5.892965e-05,5.870659e-05,5.848651e-05,5.826949e-05,5.805562e-05
0.000000e+00,2.511088e-11,1.159500e-10,1.061896e-09,4.377595e-09,8.236337e-09,3.096040e-08,3.243829e-08,8.917187e-08,1.133536e-07,1.969583e-07,2.946383e-07,3.764170e-07,6.239956e-07,6.498823e-07,1.040844e-06,1.154759e-06,1.572207e-06,1.938328e-06,2.262471e-06,3.008697e-06,3.120503e-06,4.141997e-06,4.364629e-06,5.310467e-06,5.968338e-06,6.601928e-06,7.762541e-06,7.990080e-06,9.449841e-06,9.688515e-06,1.095893e-05,1.169505e-05,1.249812e-05,1.373999e-05,1.405094e-05,1.560325e-05,1.578890e-05,1.714290e-05,1.781360e-05,1.865949e-05,1.979120e-05,2.014421e-05,2.158973e-05,2.170349e-05,2.299009e-05,2.353650e-05,2.434060e-05,2.528008e-05,2.563774e-05,2.687900e-05,2.692746e-05,2.806280e-05,2.847472e-05,2.918831e-05,2.992027e-05,3.025538e-05,3.126438e-05,3.221612e-05,3.250877e-05,3.311177e-05,3.365620e-05,3.395276e-05,3.471021e-05,3.474073e-05,3.547745e-05,3.567480e-05,3.616480e-05,3.655432e-05,3.680472e-05,3.735324e-05,3.739917e-05,3.795013e-05,3.807611e-05,3.845956e-05,3.872742e-05,3.892939e-05,3.931158e-05,3.936151e-05,3.975776e-05,3.983287e-05,4.011994e-05,4.029538e-05,4.044976e-05,4.070305e-05,4.074892e-05,4.101900e-05,4.105962e-05,4.126155e-05,4.136864e-05,4.147806e-05,4.163347e-05,4.166994e-05,4.183855e-05,4.185728e-05,4.198518e-05,4.204305e-05,4.211106e-05,4.219359e-05,4.221738e-05,4.230526e-05,4.231153e-05,4.237577e-05,4.239934e-05,4.242992e-05,4.245933e-05,4.246869e-05,4.249300e-05,4.249368e-05,4.250372e-05,4.250441e-05,4.250168e-05,4.249341e-05,4.248767e-05,4.246245e-05,4.242673e-05,4.241319e-05,4.238118e-05,4.234716e-05,4.232643e-05,4.226580e-05,4.226311e-05,4.219178e-05,4.217045e-05,4.211300e-05,4.206236e-05,4.202727e-05,4.194268e-05,4.193508e-05,4.183691e-05,4.181251e-05,4.173319e-05,4.167284e-05,4.162433e-05,4.152461e-05,4.151074e-05,4.139277e-05,4.136868e-05,4.127079e-05,4.120588e-05,4.114512e-05,4.103694e-05,4.101608e-05,4.088397e-05,4.086256e-05,4.074906e-05,4.068340e-05,4.061163e-05,4.050004e-05,4.047192e-05,4.033018e-05,4.031304e-05,4.018661e-05,4.012292e-05,4.004144e-05,3.993016e-05,3.989486e-05,3.974706e-05,3.973519e-05,3.959822e-05,3.953843e-05,3.944850e-05,3.934024e-05,3.929805e-05,3.914703e-05,3.914098e-05,3.899557e-05,3.894096e-05,3.884380e-05,3.874048e-05,3.869184e-05,3.853982e-05,3.833922e-05,3.813891e-05,3.793911e-05,3.774001e-05,3.754178e-05,3.734458e-05,3.714858e-05,3.695388e-05,3.676063e-05,3.656893e-05,3.637888e-05,3.619057e-05,3.600408e-05,3.581948e-05,3.563683e-05,3.545621e-05,3.527764e-05,3.510118e-05,3.492687e-05,3.475474e-05,3.458481e-05,3.441712e-05,3.425166e-05,3.408847e-05
0.000000e+00,1.357481e-11,6.722486e-11,7.085218e-10,3.301163e-09,6.627135e-09,2.922113e-08,3.080780e-08,9.803959e-08,1.294266e-07,2.463893e-07,3.953536e-07,5.277853e-07,9.605549e-07,1.008074e-06,1.765429e-06,1.997834e-06,2.884700e-06,3.700421e-06,4.447386e-06,6.243430e-06,6.520994e-06,9.152068e-06,9.747644e-06,1.236413e-05,1.426549e-05,1.615934e-05,1.978691e-05,2.052199e-05,2.542244e-05,2.625387e-05,3.082069e-05,3.357496e-05,3.666929e-05,4.163719e-05,4.291563e-05,4.950377e-05,5.031458e-05,5.637587e-05,5.947447e-05,6.347342e-05,6.898255e-05,7.073833e-05,7.811391e-05,7.870709e-05,8.554571e-05,8.852254e-05,9.298230e-05,9.831261e-05,1.003759e-04,1.076827e-04,1.079726e-04,1.148635e-04,1.174109e-04,1.218835e-04,1.265499e-04,1.287130e-04,1.353264e-04,1.417028e-04,1.436904e-04,1.478257e-04,1.516053e-04,1.536823e-04,1.590456e-04,1.592635e-04,1.645633e-04,1.659963e-04,1.695787e-04,1.724512e-04,1.743093e-04,1.784113e-04,1.787567e-04,1.829244e-04,1.838836e-04,1.868175e-04,1.888799e-04,1.904422e-04,1.934157e-04,1.938059e-04,1.969165e-04,1.975091e-04,1.997830e-04,2.011800e-04,2.024142e-04,2.044497e-04,2.048198e-04,2.070091e-04,2.073400e-04,2.089920e-04,2.098732e-04,2.107779e-04,2.120713e-04,2.123764e-04,2.137969e-04,2.139558e-04,2.150485e-04,2.155481e-04,2.161403e-04,2.168684e-04,2.170808e-04,2.178786e-04,2.179365e-04,2.185418e-04,2.187711e-04,2.190781e-04,2.193901e-04,2.194953e-04,2.198004e-04,2.198103e-04,2.200004e-04,2.200480e-04,2.201020e-04,2.201180e-04,2.201114e-04,2.200347e-04,2.198778e-04,2.198115e-04,2.196459e-04,2.194607e-04,2.193444e-04,2.189941e-04,2.189783e-04,2.185521e-04,2.184226e-04,2.180704e-04,2.177565e-04,2.175374e-04,2.170052e-04,2.169572e-04,2.163334e-04,2.161776e-04,2.156697e-04,2.152819e-04,2.149695e-04,2.143257e-04,2.142360e-04,2.134723e-04,2.133161e-04,2.126811e-04,2.122597e-04,2.118651e-04,2.111625e-04,2.110270e-04,2.101690e-04,2.100301e-04,2.092935e-04,2.088677e-04,2.084026e-04,2.076800e-04,2.074981e-04,2.065821e-04,2.064715e-04,2.056562e-04,2.052462e-04,2.047222e-04,2.040077e-04,2.037814e-04,2.028354e-04,2.027595e-04,2.018855e-04,2.015048e-04,2.009330e-04,2.002462e-04,1.999790e-04,1.990246e-04,1.989865e-04,1.980709e-04,1.977279e-04,1.971188e-04,1.964727e-04,1.961691e-04,1.952228e-04,1.939798e-04,1.927455e-04,1.915212e-04,1.903083e-04,1.891077e-04,1.879206e-04,1.867479e-04,1.855903e-04,1.844486e-04,1.833232e-04,1.822148e-04,1.811238e-04,1.800505e-04,1.789951e-04,1.779581e-04,1.769394e-04,1.759393e-04,1.749578e-04,1.739950e-04,1.730508e-04,1.721253e-04,1.712184e-04,1.703299e-04,1.694597e-04
0.000000e+00,3.780341e-09,9.505337e-09,3.616710e-08,8.665121e-08,1.292401e-07,3.083714e-07,3.182904e-07,6.474546e-07,7.721654e-07,1.173373e-06,1.609391e-06,1.957077e-06,2.935839e-06,3.032460e-06,4.380601e-06,4.739448e-06,5.953431e-06,6.915526e-06,7.707261e-06,9.375445e-06,9.611014e-06,1.164216e-05,1.206201e-05,1.378223e-05,1.493243e-05,1.601416e-05,1.794768e-05,1.832114e-05,2.068624e-05,2.106891e-05,2.309261e-05,2.425748e-05,2.552379e-05,2.747592e-05,2.796394e-05,3.039825e-05,3.068932e-05,3.281316e-05,3.386639e-05,3.519653e-05,3.698022e-05,3.753776e-05,3.982775e-05,4.000850e-05,4.205885e-05,4.293334e-05,4.422475e-05,4.574107e-05,4.632064e-05,4.834293e-05,4.842225e-05,5.028901e-05,5.097059e-05,5.215718e-05,5.338255e-05,5.394655e-05,5.565691e-05,5.728856e-05,5.779418e-05,5.884228e-05,5.979628e-05,6.031921e-05,6.166619e-05,6.172083e-05,6.304883e-05,6.340772e-05,6.430497e-05,6.502485e-05,6.549094e-05,6.652197e-05,6.660898e-05,6.766154e-05,6.790463e-05,6.865066e-05,6.917772e-05,6.957865e-05,7.034648e-05,7.044772e-05,7.125998e-05,7.141582e-05,7.201764e-05,7.239075e-05,7.272282e-05,7.327615e-05,7.337761e-05,7.398402e-05,7.407669e-05,7.454406e-05,7.479699e-05,7.505971e-05,7.544154e-05,7.553286e-05,7.596536e-05,7.601462e-05,7.635898e-05,7.652030e-05,7.671544e-05,7.696252e-05,7.703640e-05,7.732347e-05,7.734502e-05,7.757822e-05,7.767141e-05,7.780215e-05,7.794512e-05,7.799672e-05,7.816332e-05,7.816942e-05,7.830329e-05,7.834742e-05,7.841793e-05,7.848205e-05,7.850847e-05,7.857611e-05,7.862200e-05,7.863227e-05,7.864723e-05,7.865303e-05,7.865287e-05,7.864080e-05,7.863994e-05,7.860940e-05,7.859782e-05,7.856218e-05,7.852623e-05,7.849920e-05,7.842805e-05,7.842129e-05,7.832929e-05,7.830519e-05,7.822397e-05,7.815946e-05,7.810610e-05,7.799256e-05,7.797639e-05,7.783554e-05,7.780610e-05,7.768421e-05,7.760159e-05,7.752303e-05,7.738047e-05,7.735261e-05,7.717351e-05,7.714409e-05,7.698630e-05,7.689372e-05,7.679150e-05,7.663054e-05,7.658962e-05,7.638112e-05,7.635568e-05,7.616649e-05,7.607021e-05,7.594614e-05,7.577512e-05,7.572051e-05,7.548998e-05,7.547134e-05,7.525495e-05,7.515975e-05,7.501577e-05,7.484118e-05,7.477278e-05,7.452633e-05,7.451640e-05,7.427671e-05,7.418614e-05,7.402424e-05,7.385107e-05,7.376919e-05,7.351184e-05,7.316903e-05,7.282322e-05,7.247492e-05,7.212463e-05,7.177279e-05,7.141983e-05,7.106615e-05,7.071212e-05,7.035809e-05,7.000437e-05,6.965126e-05,6.929904e-05,6.894796e-05,6.859827e-05,6.825017e-05,6.790388e-05,6.755957e-05,6.721743e-05,6.687760e-05,6.654023e-05,6.620546e-05,6.587340e-05,6.554416e-05,6.521784e-05
0.000000e+00,4.842618e-13,2.494336e-12,2.852793e-11,1.431758e-10,2.993533e-10,1.464673e-09,1.550688e-09,5.458224e-09,7.401507e-09,1.505156e-08,2.543257e-08,3.508299e-08,6.851472e-08,7.232474e-08,1.357842e-07,1.561283e-07,2.368316e-07,3.148688e-07,3.892251e-07,5.784941e-07,6.090069e-07,9.142364e-07,9.872433e-07,1.324565e-06,1.586317e-06,1.860689e-06,2.423707e-06,2.543738e-06,3.394663e-06,3.547754e-06,4.433638e-06,5.004742e-06,5.679521e-06,6.836733e-06,7.149366e-06,8.858012e-06,9.079709e-06,1.081773e-05,1.176209e-05,1.303797e-05,1.490365e-05,1.552514e-05,1.828250e-05,1.851479e-05,2.131011e-05,2.259624e-05,2.460486e-05,2.713912e-05,2.816053e-05,3.196797e-05,3.212534e-05,3.601525e-05,3.752828e-05,4.028797e-05,4.331376e-05,4.476945e-05,4.944112e-05,5.428277e-05,5.586451e-05,5.927290e-05,6.253417e-05,6.438906e-05,6.939774e-05,6.960818e-05,7.490686e-05,7.640155e-05,8.026166e-05,8.349181e-05,8.564939e-05,9.061567e-05,9.104736e-05,9.643358e-05,9.772216e-05,1.017870e-04,1.047630e-04,1.070875e-04,1.116933e-04,1.123163e-04,1.174560e-04,1.184718e-04,1.224904e-04,1.250617e-04,1.274047e-04,1.314303e-04,1.321858e-04,1.368219e-04,1.375496e-04,1.413029e-04,1.433960e-04,1.456198e-04,1.489503e-04,1.497654e-04,1.537335e-04,1.541975e-04,1.575194e-04,1.591266e-04,1.611197e-04,1.637303e-04,1.645321e-04,1.677553e-04,1.680049e-04,1.707890e-04,1.719496e-04,1.736340e-04,1.755664e-04,1.762918e-04,1.787648e-04,1.788599e-04,1.810557e-04,1.818366e-04,1.831684e-04,1.845052e-04,1.851068e-04,1.868754e-04,1.884794e-04,1.889587e-04,1.899238e-04,1.907671e-04,1.912143e-04,1.923136e-04,1.923565e-04,1.933564e-04,1.936117e-04,1.942200e-04,1.946752e-04,1.949533e-04,1.955181e-04,1.955625e-04,1.960536e-04,1.961546e-04,1.964327e-04,1.965983e-04,1.967058e-04,1.968632e-04,1.968789e-04,1.969577e-04,1.969626e-04,1.969478e-04,1.969095e-04,1.968549e-04,1.967166e-04,1.966843e-04,1.964412e-04,1.963959e-04,1.961306e-04,1.959590e-04,1.957575e-04,1.954170e-04,1.953264e-04,1.948419e-04,1.947803e-04,1.943082e-04,1.940589e-04,1.937295e-04,1.932620e-04,1.931097e-04,1.924525e-04,1.923985e-04,1.917615e-04,1.914764e-04,1.910400e-04,1.905034e-04,1.902912e-04,1.895181e-04,1.894867e-04,1.887235e-04,1.884328e-04,1.879102e-04,1.873477e-04,1.870806e-04,1.862371e-04,1.851061e-04,1.839595e-04,1.828015e-04,1.816362e-04,1.804670e-04,1.792972e-04,1.781297e-04,1.769671e-04,1.758118e-04,1.746658e-04,1.735310e-04,1.724090e-04,1.713013e-04,1.702090e-04,1.691334e-04,1.680752e-04,1.670353e-04,1.660143e-04,1.650128e-04,1.640311e-04,1.630696e-04,1.621286e-04,1.612081e-04,1.603083e-04
0.000000e+00,3.735584e-09,9.346644e-09,3.571208e-08,8.715063e-08,1.321263e-07,3.358853e-07,3.477944e-07,7.708880e-07,9.408509e-07,1.496802e-06,2.086539e-06,2.535365e-06,3.703542e-06,3.812731e-06,5.261988e-06,5.630765e-06,6.845589e-06,7.782951e-06,8.542609e-06,1.011816e-05,1.033844e-05,1.221990e-05,1.260529e-05,1.417335e-05,1.521278e-05,1.618420e-05,1.790649e-05,1.823715e-05,2.031672e-05,2.065090e-05,2.240771e-05,2.341117e-05,2.449572e-05,2.615505e-05,2.656753e-05,2.861132e-05,2.885419e-05,3.061687e-05,3.148491e-05,3.257553e-05,3.402831e-05,3.448016e-05,3.632512e-05,3.647000e-05,3.810614e-05,3.879993e-05,3.982017e-05,4.101158e-05,4.146513e-05,4.303986e-05,4.310138e-05,4.454392e-05,4.506810e-05,4.597749e-05,4.691237e-05,4.734122e-05,4.863617e-05,4.986374e-05,5.024260e-05,5.102559e-05,5.173545e-05,5.212339e-05,5.311877e-05,5.315902e-05,5.413450e-05,5.439713e-05,5.505185e-05,5.557523e-05,5.591316e-05,5.665786e-05,5.672051e-05,5.747597e-05,5.764978e-05,5.818157e-05,5.855570e-05,5.883937e-05,5.938026e-05,5.945135e-05,6.001944e-05,6.012796e-05,6.054554e-05,6.080313e-05,6.103149e-05,6.140996e-05,6.147907e-05,6.189000e-05,6.195246e-05,6.226597e-05,6.243448e-05,6.260857e-05,6.285969e-05,6.291938e-05,6.319988e-05,6.323157e-05,6.345153e-05,6.355348e-05,6.367572e-05,6.382856e-05,6.387378e-05,6.404700e-05,6.405983e-05,6.419662e-05,6.425013e-05,6.432382e-05,6.440216e-05,6.442973e-05,6.451545e-05,6.451848e-05,6.458202e-05,6.460150e-05,6.463045e-05,6.465350e-05,6.466168e-05,6.467664e-05,6.467621e-05,6.467296e-05,6.466122e-05,6.464436e-05,6.463248e-05,6.459267e-05,6.459076e-05,6.453679e-05,6.451959e-05,6.447128e-05,6.442671e-05,6.439489e-05,6.431555e-05,6.430826e-05,6.421201e-05,6.418754e-05,6.410671e-05,6.404400e-05,6.399293e-05,6.388621e-05,6.387119e-05,6.374201e-05,6.371532e-05,6.360586e-05,6.353247e-05,6.346321e-05,6.333868e-05,6.331449e-05,6.316013e-05,6.313493e-05,6.300051e-05,6.292215e-05,6.283603e-05,6.270118e-05,6.266704e-05,6.249389e-05,6.247284e-05,6.231690e-05,6.223788e-05,6.213638e-05,6.199702e-05,6.195264e-05,6.176595e-05,6.175090e-05,6.157658e-05,6.150014e-05,6.138479e-05,6.124534e-05,6.119082e-05,6.099490e-05,6.098703e-05,6.079724e-05,6.072570e-05,6.059806e-05,6.046185e-05,6.039755e-05,6.019590e-05,5.992826e-05,5.965932e-05,5.938943e-05,5.911893e-05,5.884812e-05,5.857728e-05,5.830669e-05,5.803659e-05,5.776720e-05,5.749874e-05,5.723140e-05,5.696536e-05,5.670079e-05,5.643783e-05,5.617663e-05,5.591732e-05,5.566000e-05,5.540479e-05,5.515178e-05,5.490107e-05,5.465272e-05,5.440682e-05,5.416342e-05,5.392258e-05
0.000000e+00,8.055415e-10,1.930053e-09,6.964874e-09,1.620982e-08,2.385176e-08,5.494892e-08,5.662995e-08,1.105279e-07,1.301523e-07,1.911327e-07,2.548285e-07,3.045148e-07,4.429603e-07,4.566805e-07,6.519318e-07,7.053957e-07,8.914038e-07,1.044359e-06,1.173720e-06,1.455883e-06,1.496722e-06,1.858409e-06,1.935234e-06,2.257057e-06,2.478428e-06,2.691059e-06,3.081728e-06,3.158749e-06,3.658293e-06,3.741042e-06,4.187626e-06,4.451617e-06,4.744435e-06,5.207959e-06,5.326170e-06,5.930076e-06,6.003898e-06,6.553234e-06,6.832742e-06,7.192604e-06,7.687460e-06,7.845085e-06,8.507573e-06,8.560912e-06,9.177003e-06,9.446047e-06,9.850396e-06,1.033609e-05,1.052490e-05,1.119784e-05,1.122468e-05,1.186669e-05,1.210603e-05,1.252916e-05,1.297492e-05,1.318317e-05,1.382686e-05,1.445859e-05,1.465798e-05,1.507694e-05,1.546510e-05,1.568072e-05,1.624571e-05,1.626893e-05,1.684073e-05,1.699780e-05,1.739547e-05,1.771991e-05,1.793265e-05,1.841106e-05,1.845194e-05,1.895313e-05,1.907071e-05,1.943613e-05,1.969866e-05,1.990094e-05,2.029500e-05,2.034766e-05,2.077647e-05,2.086010e-05,2.118762e-05,2.139454e-05,2.158141e-05,2.189902e-05,2.195817e-05,2.231830e-05,2.237440e-05,2.266219e-05,2.282163e-05,2.299030e-05,2.324175e-05,2.330311e-05,2.360110e-05,2.363589e-05,2.388473e-05,2.400510e-05,2.415445e-05,2.435042e-05,2.441072e-05,2.465399e-05,2.467291e-05,2.488474e-05,2.497363e-05,2.510341e-05,2.525361e-05,2.531043e-05,2.550624e-05,2.551384e-05,2.569125e-05,2.575529e-05,2.586588e-05,2.597890e-05,2.603053e-05,2.618558e-05,2.633142e-05,2.637620e-05,2.646840e-05,2.655158e-05,2.659687e-05,2.671251e-05,2.671717e-05,2.682963e-05,2.685976e-05,2.693456e-05,2.699403e-05,2.703227e-05,2.711603e-05,2.712304e-05,2.720716e-05,2.722639e-05,2.728490e-05,2.732575e-05,2.735653e-05,2.741469e-05,2.742228e-05,2.748240e-05,2.749377e-05,2.753713e-05,2.756353e-05,2.758668e-05,2.762445e-05,2.763126e-05,2.767109e-05,2.767704e-05,2.770636e-05,2.772172e-05,2.773725e-05,2.775894e-05,2.776396e-05,2.778664e-05,2.778910e-05,2.780548e-05,2.781259e-05,2.782062e-05,2.782976e-05,2.783223e-05,2.784045e-05,2.784097e-05,2.784543e-05,2.784654e-05,2.784729e-05,2.784678e-05,2.784618e-05,2.784221e-05,2.784200e-05,2.783551e-05,2.783245e-05,2.782619e-05,2.781842e-05,2.781437e-05,2.780015e-05,2.777788e-05,2.775183e-05,2.772221e-05,2.768924e-05,2.765310e-05,2.761397e-05,2.757203e-05,2.752745e-05,2.748037e-05,2.743094e-05,2.737932e-05,2.732562e-05,2.726999e-05,2.721253e-05,2.715336e-05,2.709260e-05,2.703035e-05,2.696669e-05,2.690174e-05,2.683558e-05,2.676829e-05,2.669995e-05,2.663065e-05,2.656045e-05
0.000000e+00,9.470529e-11,4.867623e-10,5.541915e-09,2.769994e-08,5.778633e-08,2.811370e-07,2.975795e-07,1.041723e-06,1.410550e-06,2.858168e-06,4.815773e-06,6.631122e-06,1.289948e-05,1.361237e-05,2.545754e-05,2.924614e-05,4.424645e-05,5.871826e-05,7.248491e-05,1.074528e-04,1.130820e-04,1.692958e-04,1.827189e-04,2.446465e-04,2.926077e-04,3.428047e-04,4.455908e-04,4.674687e-04,6.222425e-04,6.500313e-04,8.105230e-04,9.137210e-04,1.035402e-03,1.243486e-03,1.299581e-03,1.605309e-03,1.644876e-03,1.954327e-03,2.121939e-03,2.347838e-03,2.677081e-03,2.786487e-03,3.270353e-03,3.311006e-03,3.798961e-03,4.022722e-03,4.371296e-03,4.809620e-03,4.985840e-03,5.640605e-03,5.667599e-03,6.333179e-03,6.591236e-03,7.060781e-03,7.573989e-03,7.820313e-03,8.608415e-03,9.421527e-03,9.686403e-03,1.025594e-02,1.079939e-02,1.110786e-02,1.193861e-02,1.197344e-02,1.284887e-02,1.309523e-02,1.373035e-02,1.426061e-02,1.461421e-02,1.542639e-02,1.549688e-02,1.637497e-02,1.658466e-02,1.724524e-02,1.772804e-02,1.810468e-02,1.884978e-02,1.895046e-02,1.978001e-02,1.994377e-02,2.059098e-02,2.100462e-02,2.138123e-02,2.202766e-02,2.214890e-02,2.289232e-02,2.300892e-02,2.361008e-02,2.394512e-02,2.430097e-02,2.483367e-02,2.496401e-02,2.559840e-02,2.567258e-02,2.620357e-02,2.646046e-02,2.677908e-02,2.719648e-02,2.732469e-02,2.784032e-02,2.788027e-02,2.832600e-02,2.851192e-02,2.878191e-02,2.909191e-02,2.920836e-02,2.960575e-02,2.962105e-02,2.997457e-02,3.010046e-02,3.031539e-02,3.053150e-02,3.062888e-02,3.091574e-02,3.117673e-02,3.125491e-02,3.141266e-02,3.155090e-02,3.162438e-02,3.180565e-02,3.181275e-02,3.197867e-02,3.202122e-02,3.212303e-02,3.219969e-02,3.224676e-02,3.234315e-02,3.235077e-02,3.243597e-02,3.245372e-02,3.250327e-02,3.253348e-02,3.255358e-02,3.258450e-02,3.258778e-02,3.260674e-02,3.260878e-02,3.261131e-02,3.260829e-02,3.260234e-02,3.258492e-02,3.258062e-02,3.254694e-02,3.254050e-02,3.250208e-02,3.247679e-02,3.244677e-02,3.239548e-02,3.238172e-02,3.230763e-02,3.229816e-02,3.222514e-02,3.218635e-02,3.213489e-02,3.206149e-02,3.203750e-02,3.193353e-02,3.192494e-02,3.182354e-02,3.177798e-02,3.170807e-02,3.162180e-02,3.158760e-02,3.146262e-02,3.145753e-02,3.133358e-02,3.128621e-02,3.120090e-02,3.110882e-02,3.106500e-02,3.092625e-02,3.073936e-02,3.054892e-02,3.035563e-02,3.016017e-02,2.996312e-02,2.976505e-02,2.956645e-02,2.936779e-02,2.916948e-02,2.897189e-02,2.877537e-02,2.858022e-02,2.838671e-02,2.819509e-02,2.800556e-02,2.781833e-02,2.763355e-02,2.745137e-02,2.727192e-02,2.709529e-02,2.692158e-02,2.675086e-02,2.658320e-02,2.641863e-02
0.000000e+00,1.286956e-11,6.070573e-11,5.797688e-10,2.476109e-09,4.744217e-09,1.861008e-08,1.952956e-08,5.561994e-08,7.130035e-08,1.262418e-07,1.912808e-07,2.461349e-07,4.133544e-07,4.308998e-07,6.966103e-07,7.742225e-07,1.059343e-06,1.310550e-06,1.534133e-06,2.054349e-06,2.133060e-06,2.862959e-06,3.024788e-06,3.723969e-06,4.221627e-06,4.709761e-06,5.626145e-06,5.809113e-06,7.007933e-06,7.207961e-06,8.290965e-06,8.932222e-06,9.642908e-06,1.076416e-05,1.104904e-05,1.249549e-05,1.267115e-05,1.396935e-05,1.462342e-05,1.545870e-05,1.659422e-05,1.695263e-05,1.844128e-05,1.855987e-05,1.991581e-05,2.049990e-05,2.136846e-05,2.239700e-05,2.279249e-05,2.418220e-05,2.423700e-05,2.553285e-05,2.600876e-05,2.684062e-05,2.770386e-05,2.810254e-05,2.931638e-05,3.048062e-05,3.084254e-05,3.159433e-05,3.228036e-05,3.265707e-05,3.362938e-05,3.366888e-05,3.463012e-05,3.489030e-05,3.554150e-05,3.606477e-05,3.640395e-05,3.715515e-05,3.721860e-05,3.798673e-05,3.816431e-05,3.870974e-05,3.909547e-05,3.938911e-05,3.995209e-05,4.002639e-05,4.062313e-05,4.073776e-05,4.118094e-05,4.145614e-05,4.170139e-05,4.211087e-05,4.218608e-05,4.263654e-05,4.270555e-05,4.305433e-05,4.324369e-05,4.344092e-05,4.372872e-05,4.379778e-05,4.412632e-05,4.416391e-05,4.442791e-05,4.455242e-05,4.470388e-05,4.489727e-05,4.495550e-05,4.518400e-05,4.520132e-05,4.539057e-05,4.546731e-05,4.557633e-05,4.569782e-05,4.574239e-05,4.588978e-05,4.589530e-05,4.601951e-05,4.606207e-05,4.613253e-05,4.620031e-05,4.622975e-05,4.631206e-05,4.638028e-05,4.639927e-05,4.643522e-05,4.646376e-05,4.647764e-05,4.650725e-05,4.650825e-05,4.652776e-05,4.653133e-05,4.653682e-05,4.653751e-05,4.653606e-05,4.652721e-05,4.652608e-05,4.650745e-05,4.650175e-05,4.648071e-05,4.646239e-05,4.644638e-05,4.641027e-05,4.640494e-05,4.635686e-05,4.634649e-05,4.630259e-05,4.627206e-05,4.624254e-05,4.618793e-05,4.617712e-05,4.610671e-05,4.609500e-05,4.603166e-05,4.599409e-05,4.595231e-05,4.588597e-05,4.586900e-05,4.578203e-05,4.577137e-05,4.569170e-05,4.565095e-05,4.559827e-05,4.552535e-05,4.550201e-05,4.540317e-05,4.539515e-05,4.530198e-05,4.526090e-05,4.519866e-05,4.512308e-05,4.509344e-05,4.498649e-05,4.498218e-05,4.487802e-05,4.483864e-05,4.476820e-05,4.469284e-05,4.465720e-05,4.454518e-05,4.439599e-05,4.424561e-05,4.409432e-05,4.394240e-05,4.379010e-05,4.363766e-05,4.348530e-05,4.333321e-05,4.318157e-05,4.303055e-05,4.288031e-05,4.273098e-05,4.258269e-05,4.243556e-05,4.228969e-05,4.214518e-05,4.200210e-05,4.186055e-05,4.172058e-05,4.158226e-05,4.144565e-05,4.131078e-05,4.117771e-05,4.104646e-05
0.000000e+00,1.148794e-12,5.894121e-12,6.684982e-11,3.328959e-10,6.929948e-10,3.351944e-09,3.547111e-09,1.233982e-08,1.667906e-08,3.364041e-08,5.646026e-08,7.753952e-08,1.499189e-07,1.581196e-07,2.937182e-07,3.368738e-07,5.069544e-07,6.700514e-07,8.244408e-07,1.213768e-06,1.276102e-06,1.894114e-06,2.040593e-06,2.711613e-06,3.226473e-06,3.761345e-06,4.845400e-06,5.074387e-06,6.679012e-06,6.964509e-06,8.599742e-06,9.640037e-06,1.085659e-05,1.291428e-05,1.346448e-05,1.643291e-05,1.681359e-05,1.976571e-05,2.134731e-05,2.346109e-05,2.650778e-05,2.751176e-05,3.190521e-05,3.227101e-05,3.662413e-05,3.859813e-05,4.164694e-05,4.543744e-05,4.694832e-05,5.249992e-05,5.272676e-05,5.827092e-05,6.039597e-05,6.422879e-05,6.836972e-05,7.033985e-05,7.656993e-05,8.288494e-05,8.491817e-05,8.925133e-05,9.333772e-05,9.563661e-05,1.017554e-04,1.020097e-04,1.083412e-04,1.101027e-04,1.146037e-04,1.183175e-04,1.207720e-04,1.263439e-04,1.268232e-04,1.327367e-04,1.341334e-04,1.384943e-04,1.416446e-04,1.440804e-04,1.488434e-04,1.494813e-04,1.546860e-04,1.557026e-04,1.596854e-04,1.622015e-04,1.644724e-04,1.683257e-04,1.690421e-04,1.733909e-04,1.740661e-04,1.775172e-04,1.794186e-04,1.814206e-04,1.843835e-04,1.851021e-04,1.885639e-04,1.889647e-04,1.918091e-04,1.931694e-04,1.948418e-04,1.970073e-04,1.976666e-04,2.002891e-04,2.004903e-04,2.027151e-04,2.036319e-04,2.049509e-04,2.064468e-04,2.070034e-04,2.088792e-04,2.089507e-04,2.105856e-04,2.111598e-04,2.121297e-04,2.130907e-04,2.135187e-04,2.147598e-04,2.158601e-04,2.161836e-04,2.168267e-04,2.173784e-04,2.176666e-04,2.183598e-04,2.183864e-04,2.189929e-04,2.191432e-04,2.194923e-04,2.197432e-04,2.198910e-04,2.201739e-04,2.201949e-04,2.204097e-04,2.204487e-04,2.205411e-04,2.205802e-04,2.205943e-04,2.205804e-04,2.205744e-04,2.204862e-04,2.204608e-04,2.203343e-04,2.202317e-04,2.201233e-04,2.199033e-04,2.198571e-04,2.195399e-04,2.194847e-04,2.191753e-04,2.189846e-04,2.187670e-04,2.184111e-04,2.183183e-04,2.178323e-04,2.177717e-04,2.173122e-04,2.170732e-04,2.167606e-04,2.163221e-04,2.161803e-04,2.155739e-04,2.155243e-04,2.149436e-04,2.146853e-04,2.142917e-04,2.138101e-04,2.136202e-04,2.129312e-04,2.129033e-04,2.122265e-04,2.119692e-04,2.115077e-04,2.110118e-04,2.107766e-04,2.100346e-04,2.090409e-04,2.080338e-04,2.070159e-04,2.059898e-04,2.049578e-04,2.039220e-04,2.028843e-04,2.018464e-04,2.008099e-04,1.997763e-04,1.987468e-04,1.977226e-04,1.967047e-04,1.956941e-04,1.946916e-04,1.936979e-04,1.927138e-04,1.917399e-04,1.907766e-04,1.898245e-04,1.888839e-04,1.879552e-04,1.870387e-04,1.861347e-04
0.000000e+00,1.775328e-09,4.334064e-09,1.595304e-08,3.752227e-08,5.548853e-08,1.295993e-07,1.336476e-07,2.655298e-07,3.144891e-07,4.695068e-07,6.356128e-07,7.678036e-07,1.146303e-06,1.184516e-06,1.738514e-06,1.892670e-06,2.432675e-06,2.876959e-06,3.250226e-06,4.050297e-06,4.164153e-06,5.148595e-06,5.352064e-06,6.183334e-06,6.736133e-06,7.253358e-06,8.170965e-06,8.347168e-06,9.455392e-06,9.633491e-06,1.056992e-05,1.110498e-05,1.168348e-05,1.256912e-05,1.278939e-05,1.388159e-05,1.401146e-05,1.495457e-05,1.541931e-05,1.600345e-05,1.678190e-05,1.702406e-05,1.801277e-05,1.809040e-05,1.896667e-05,1.933794e-05,1.988345e-05,2.051956e-05,2.076139e-05,2.159934e-05,2.163202e-05,2.239660e-05,2.267359e-05,2.315290e-05,2.364383e-05,2.386835e-05,2.454340e-05,2.517876e-05,2.537383e-05,2.577534e-05,2.613729e-05,2.633421e-05,2.683639e-05,2.685660e-05,2.734382e-05,2.747412e-05,2.779723e-05,2.805363e-05,2.821824e-05,2.857819e-05,2.860829e-05,2.896879e-05,2.905108e-05,2.930119e-05,2.947557e-05,2.960687e-05,2.985485e-05,2.988720e-05,3.014352e-05,3.019202e-05,3.037712e-05,3.049003e-05,3.058925e-05,3.075171e-05,3.078110e-05,3.095382e-05,3.097976e-05,3.110853e-05,3.117670e-05,3.124626e-05,3.134491e-05,3.136804e-05,3.147480e-05,3.148665e-05,3.156747e-05,3.160400e-05,3.164690e-05,3.169892e-05,3.171392e-05,3.176929e-05,3.177324e-05,3.181377e-05,3.182866e-05,3.184804e-05,3.186677e-05,3.187277e-05,3.188857e-05,3.188903e-05,3.189605e-05,3.189681e-05,3.189575e-05,3.189137e-05,3.188820e-05,3.187390e-05,3.185332e-05,3.184549e-05,3.182691e-05,3.180713e-05,3.179507e-05,3.175977e-05,3.175820e-05,3.171668e-05,3.170427e-05,3.167085e-05,3.164142e-05,3.162104e-05,3.157197e-05,3.156757e-05,3.151072e-05,3.149661e-05,3.145078e-05,3.141595e-05,3.138799e-05,3.133059e-05,3.132261e-05,3.125487e-05,3.124105e-05,3.118497e-05,3.114784e-05,3.111313e-05,3.105142e-05,3.103953e-05,3.096436e-05,3.095219e-05,3.088777e-05,3.085056e-05,3.080994e-05,3.074688e-05,3.073101e-05,3.065111e-05,3.064147e-05,3.057039e-05,3.053464e-05,3.048896e-05,3.042667e-05,3.040693e-05,3.032442e-05,3.031781e-05,3.024153e-05,3.020829e-05,3.015835e-05,3.009833e-05,3.007497e-05,2.999146e-05,2.998812e-05,2.990792e-05,2.987785e-05,2.982441e-05,2.976768e-05,2.974100e-05,2.965775e-05,2.954821e-05,2.943917e-05,2.933075e-05,2.922306e-05,2.911618e-05,2.901019e-05,2.890518e-05,2.880121e-05,2.869834e-05,2.859662e-05,2.849609e-05,2.839681e-05,2.829881e-05,2.820211e-05,2.810675e-05,2.801275e-05,2.792013e-05,2.782890e-05,2.773908e-05,2.765067e-05,2.756369e-05,2.747813e-05,2.739401e-05,2.731131e-05
0.000000e+00,3.704224e-09,8.468991e-09,2.892359e-08,6.525910e-08,9.472930e-08,2.118952e-07,2.181393e-07,4.150985e-07,4.855659e-07,7.013548e-07,9.226394e-07,1.092969e-06,1.560165e-06,1.606041e-06,2.254871e-06,2.431912e-06,3.047637e-06,3.553621e-06,3.980398e-06,4.902316e-06,5.034260e-06,6.180238e-06,6.417758e-06,7.387932e-06,8.031387e-06,8.631080e-06,9.687266e-06,9.888743e-06,1.114438e-05,1.134417e-05,1.238466e-05,1.297124e-05,1.359858e-05,1.454452e-05,1.477697e-05,1.591218e-05,1.604520e-05,1.699800e-05,1.745880e-05,1.802951e-05,1.877483e-05,1.900303e-05,1.991600e-05,1.998637e-05,2.076696e-05,2.108983e-05,2.155536e-05,2.208439e-05,2.228147e-05,2.294629e-05,2.297163e-05,2.355135e-05,2.375492e-05,2.409867e-05,2.443907e-05,2.459062e-05,2.502980e-05,2.541902e-05,2.553349e-05,2.576116e-05,2.595678e-05,2.605916e-05,2.630642e-05,2.631593e-05,2.653437e-05,2.658905e-05,2.671727e-05,2.681109e-05,2.686735e-05,2.697865e-05,2.698719e-05,2.707925e-05,2.709747e-05,2.714586e-05,2.717287e-05,2.718921e-05,2.720975e-05,2.721135e-05,2.721420e-05,2.721261e-05,2.719954e-05,2.718556e-05,2.716903e-05,2.713228e-05,2.712420e-05,2.706648e-05,2.705613e-05,2.699716e-05,2.696013e-05,2.691746e-05,2.684698e-05,2.682850e-05,2.673128e-05,2.671911e-05,2.662675e-05,2.657867e-05,2.651577e-05,2.642760e-05,2.639913e-05,2.627755e-05,2.626763e-05,2.615168e-05,2.610027e-05,2.602213e-05,2.592689e-05,2.588946e-05,2.575416e-05,2.574870e-05,2.561669e-05,2.556675e-05,2.547747e-05,2.538199e-05,2.533688e-05,2.519526e-05,2.505293e-05,2.500729e-05,2.491018e-05,2.481871e-05,2.476726e-05,2.463011e-05,2.462440e-05,2.448182e-05,2.444197e-05,2.433971e-05,2.425474e-05,2.419823e-05,2.406877e-05,2.405755e-05,2.391780e-05,2.388442e-05,2.377911e-05,2.370195e-05,2.364159e-05,2.352162e-05,2.350534e-05,2.337043e-05,2.334362e-05,2.323697e-05,2.316815e-05,2.310500e-05,2.299535e-05,2.297459e-05,2.284579e-05,2.282533e-05,2.271864e-05,2.265821e-05,2.259319e-05,2.249407e-05,2.246946e-05,2.234749e-05,2.233297e-05,2.222728e-05,2.217496e-05,2.210887e-05,2.202008e-05,2.199226e-05,2.187745e-05,2.186835e-05,2.176447e-05,2.171978e-05,2.165330e-05,2.157438e-05,2.154395e-05,2.143641e-05,2.143215e-05,2.133069e-05,2.129307e-05,2.122676e-05,2.115711e-05,2.112463e-05,2.102427e-05,2.089451e-05,2.076779e-05,2.064408e-05,2.052334e-05,2.040553e-05,2.029060e-05,2.017850e-05,2.006918e-05,1.996260e-05,1.985871e-05,1.975745e-05,1.965876e-05,1.956261e-05,1.946893e-05,1.937768e-05,1.928879e-05,1.920222e-05,1.911792e-05,1.903583e-05,1.895591e-05,1.887809e-05,1.880233e-05,1.872859e-05,1.865681e-05
0.000000e+00,3.236828e-09,7.405923e-09,2.540270e-08,5.761385e-08,8.388827e-08,1.891858e-07,1.948260e-07,3.737492e-07,4.381385e-07,6.361761e-07,8.402440e-07,9.977829e-07,1.430914e-06,1.473470e-06,2.074246e-06,2.237529e-06,2.802227e-06,3.262376e-06,3.648087e-06,4.476511e-06,4.594820e-06,5.623825e-06,5.837967e-06,6.718146e-06,7.308010e-06,7.862952e-06,8.853933e-06,9.045075e-06,1.025257e-05,1.044738e-05,1.147451e-05,1.206320e-05,1.270091e-05,1.367917e-05,1.392278e-05,1.513215e-05,1.527609e-05,1.632209e-05,1.683797e-05,1.748676e-05,1.835197e-05,1.862129e-05,1.972180e-05,1.980828e-05,2.078531e-05,2.119983e-05,2.180959e-05,2.252190e-05,2.279311e-05,2.373493e-05,2.377173e-05,2.463462e-05,2.494818e-05,2.549217e-05,2.605138e-05,2.630789e-05,2.708241e-05,2.781654e-05,2.804310e-05,2.851128e-05,2.893575e-05,2.916775e-05,2.976307e-05,2.978715e-05,3.037076e-05,3.052793e-05,3.091990e-05,3.123339e-05,3.143589e-05,3.188249e-05,3.192009e-05,3.237381e-05,3.247831e-05,3.279836e-05,3.302386e-05,3.319504e-05,3.352206e-05,3.356510e-05,3.390977e-05,3.397576e-05,3.423023e-05,3.438768e-05,3.452763e-05,3.476043e-05,3.480307e-05,3.505762e-05,3.509648e-05,3.529232e-05,3.539821e-05,3.550814e-05,3.566784e-05,3.570602e-05,3.588689e-05,3.590749e-05,3.605159e-05,3.611916e-05,3.620097e-05,3.630473e-05,3.633581e-05,3.645688e-05,3.646599e-05,3.656489e-05,3.660460e-05,3.666054e-05,3.672213e-05,3.674449e-05,3.681737e-05,3.682006e-05,3.687977e-05,3.689978e-05,3.693227e-05,3.696259e-05,3.697541e-05,3.700970e-05,3.703566e-05,3.704228e-05,3.705373e-05,3.706138e-05,3.706438e-05,3.706801e-05,3.706803e-05,3.706508e-05,3.706312e-05,3.705591e-05,3.704759e-05,3.704090e-05,3.702223e-05,3.702040e-05,3.699473e-05,3.698784e-05,3.696421e-05,3.694511e-05,3.692914e-05,3.689475e-05,3.688981e-05,3.684648e-05,3.683736e-05,3.679942e-05,3.677355e-05,3.674887e-05,3.670387e-05,3.669505e-05,3.663820e-05,3.662884e-05,3.657852e-05,3.654893e-05,3.651621e-05,3.646460e-05,3.645146e-05,3.638445e-05,3.637626e-05,3.631534e-05,3.628431e-05,3.624431e-05,3.618912e-05,3.617149e-05,3.609705e-05,3.609103e-05,3.602112e-05,3.599036e-05,3.594382e-05,3.588739e-05,3.586529e-05,3.578563e-05,3.578242e-05,3.570497e-05,3.567570e-05,3.562340e-05,3.556747e-05,3.554103e-05,3.545795e-05,3.534736e-05,3.523588e-05,3.512370e-05,3.501098e-05,3.489789e-05,3.478455e-05,3.467112e-05,3.455771e-05,3.444443e-05,3.433140e-05,3.421872e-05,3.410646e-05,3.399472e-05,3.388357e-05,3.377309e-05,3.366334e-05,3.355437e-05,3.344625e-05,3.333902e-05,3.323273e-05,3.312741e-05,3.302312e-05,3.291987e-05,3.281770e-05
0.000000e+00,5.097423e-11,2.620096e-10,2.983636e-09,1.491711e-08,3.112536e-08,1.515243e-07,1.603912e-07,5.619460e-07,7.611064e-07,1.543347e-06,2.602149e-06,3.584747e-06,6.981534e-06,7.368157e-06,1.379918e-05,1.585849e-05,2.402128e-05,3.190892e-05,3.942248e-05,5.854928e-05,6.163378e-05,9.251693e-05,9.991285e-05,1.341384e-04,1.607603e-04,1.887267e-04,2.463055e-04,2.586128e-04,3.461587e-04,3.619609e-04,4.536794e-04,5.130349e-04,5.833679e-04,7.044332e-04,7.372268e-04,9.170115e-04,9.404007e-04,1.124185e-03,1.224324e-03,1.359886e-03,1.558600e-03,1.624909e-03,1.919691e-03,1.944564e-03,2.244316e-03,2.382473e-03,2.598516e-03,2.871531e-03,2.981694e-03,3.392936e-03,3.409953e-03,3.831041e-03,3.995060e-03,4.294545e-03,4.623381e-03,4.781757e-03,5.290787e-03,5.819581e-03,5.992616e-03,6.365955e-03,6.723808e-03,6.927625e-03,7.479039e-03,7.502243e-03,8.087422e-03,8.252839e-03,8.680769e-03,9.039707e-03,9.279906e-03,9.834216e-03,9.882496e-03,1.048626e-02,1.063110e-02,1.108901e-02,1.142532e-02,1.168864e-02,1.221213e-02,1.228314e-02,1.287065e-02,1.298716e-02,1.344941e-02,1.374636e-02,1.401780e-02,1.448613e-02,1.457432e-02,1.511764e-02,1.520326e-02,1.564653e-02,1.589496e-02,1.615993e-02,1.655884e-02,1.665687e-02,1.713656e-02,1.719293e-02,1.759830e-02,1.779563e-02,1.804152e-02,1.836571e-02,1.846578e-02,1.887072e-02,1.890227e-02,1.925611e-02,1.940476e-02,1.962180e-02,1.987287e-02,1.996774e-02,2.029394e-02,2.030658e-02,2.060052e-02,2.070611e-02,2.088764e-02,2.107188e-02,2.115553e-02,2.140449e-02,2.163485e-02,2.170469e-02,2.184698e-02,2.197339e-02,2.204133e-02,2.221157e-02,2.221833e-02,2.237846e-02,2.242035e-02,2.252225e-02,2.260089e-02,2.265020e-02,2.275441e-02,2.276287e-02,2.286080e-02,2.288217e-02,2.294455e-02,2.298548e-02,2.301470e-02,2.306562e-02,2.307181e-02,2.311644e-02,2.312392e-02,2.314916e-02,2.316166e-02,2.317054e-02,2.318014e-02,2.318113e-02,2.318147e-02,2.318061e-02,2.317211e-02,2.316432e-02,2.315356e-02,2.313245e-02,2.312634e-02,2.309096e-02,2.308619e-02,2.304790e-02,2.302664e-02,2.299764e-02,2.295490e-02,2.294063e-02,2.287732e-02,2.287200e-02,2.280814e-02,2.277892e-02,2.273351e-02,2.267661e-02,2.265381e-02,2.256943e-02,2.256597e-02,2.248075e-02,2.244783e-02,2.238810e-02,2.232301e-02,2.229183e-02,2.219227e-02,2.205631e-02,2.191579e-02,2.177136e-02,2.162358e-02,2.147300e-02,2.132012e-02,2.116542e-02,2.100933e-02,2.085224e-02,2.069453e-02,2.053653e-02,2.037855e-02,2.022089e-02,2.006378e-02,1.990748e-02,1.975218e-02,1.959809e-02,1.944537e-02,1.929417e-02,1.914464e-02,1.899689e-02,1.885103e-02,1.870716e-02,1.856534e-02
0.000000e+00,1.255699e-10,4.650359e-10,2.875515e-09,8.846862e-09,1.449310e-08,4.040787e-08,4.188985e-08,9.160506e-08,1.103855e-07,1.699517e-07,2.333387e-07,2.832824e-07,4.239990e-07,4.380540e-07,6.401994e-07,6.962504e-07,8.934184e-07,1.057636e-06,1.197573e-06,1.504685e-06,1.549241e-06,1.943743e-06,2.027373e-06,2.376496e-06,2.615240e-06,2.843302e-06,3.258815e-06,3.340172e-06,3.863130e-06,3.948955e-06,4.408109e-06,4.676294e-06,4.970921e-06,5.431149e-06,5.547306e-06,6.132993e-06,6.203700e-06,6.723786e-06,6.984303e-06,7.315642e-06,7.763809e-06,7.904751e-06,8.487590e-06,8.533849e-06,9.060976e-06,9.287039e-06,9.622089e-06,1.001711e-05,1.016849e-05,1.069813e-05,1.071894e-05,1.120931e-05,1.138856e-05,1.170072e-05,1.202306e-05,1.217135e-05,1.262051e-05,1.304778e-05,1.317984e-05,1.345295e-05,1.370066e-05,1.383604e-05,1.418322e-05,1.419725e-05,1.453691e-05,1.462821e-05,1.485548e-05,1.503672e-05,1.515351e-05,1.541009e-05,1.543162e-05,1.569051e-05,1.574986e-05,1.593090e-05,1.605771e-05,1.615352e-05,1.633536e-05,1.635917e-05,1.654859e-05,1.658459e-05,1.672256e-05,1.680717e-05,1.688184e-05,1.700483e-05,1.702718e-05,1.715930e-05,1.717926e-05,1.727890e-05,1.733207e-05,1.738667e-05,1.746481e-05,1.748327e-05,1.756931e-05,1.757896e-05,1.764541e-05,1.767590e-05,1.771215e-05,1.775695e-05,1.777007e-05,1.781970e-05,1.782332e-05,1.786153e-05,1.787619e-05,1.789604e-05,1.791660e-05,1.792367e-05,1.794486e-05,1.794558e-05,1.796000e-05,1.796404e-05,1.796947e-05,1.797286e-05,1.797364e-05,1.797284e-05,1.796739e-05,1.796472e-05,1.795761e-05,1.794920e-05,1.794377e-05,1.792692e-05,1.792614e-05,1.790499e-05,1.789846e-05,1.788054e-05,1.786439e-05,1.785304e-05,1.782521e-05,1.782268e-05,1.778969e-05,1.778139e-05,1.775423e-05,1.773337e-05,1.771650e-05,1.768154e-05,1.767666e-05,1.763487e-05,1.762629e-05,1.759128e-05,1.756795e-05,1.754604e-05,1.750685e-05,1.749927e-05,1.745110e-05,1.744327e-05,1.740165e-05,1.737750e-05,1.735104e-05,1.730978e-05,1.729936e-05,1.724672e-05,1.724034e-05,1.719320e-05,1.716940e-05,1.713890e-05,1.709716e-05,1.708390e-05,1.702827e-05,1.702380e-05,1.697209e-05,1.694948e-05,1.691543e-05,1.687437e-05,1.685835e-05,1.680092e-05,1.679861e-05,1.674318e-05,1.672233e-05,1.668520e-05,1.664566e-05,1.662702e-05,1.656869e-05,1.649155e-05,1.641432e-05,1.633710e-05,1.625995e-05,1.618297e-05,1.610621e-05,1.602974e-05,1.595361e-05,1.587788e-05,1.580259e-05,1.572779e-05,1.565352e-05,1.557981e-05,1.550669e-05,1.543420e-05,1.536237e-05,1.529120e-05,1.522073e-05,1.515098e-05,1.508196e-05,1.501369e-05,1.494617e-05,1.487942e-05,1.481346e-05
0.000000e+00,5.077923e-12,2.488955e-11,2.569031e-10,1.175123e-09,2.336047e-09,1.005501e-08,1.059105e-08,3.298397e-08,4.330940e-08,8.141952e-08,1.294636e-07,1.718886e-07,3.092630e-07,3.242472e-07,5.606670e-07,6.323508e-07,9.024581e-07,1.146543e-06,1.366868e-06,1.886296e-06,1.965454e-06,2.704100e-06,2.868806e-06,3.583931e-06,4.096516e-06,4.602414e-06,5.561306e-06,5.754290e-06,7.032243e-06,7.247838e-06,8.427334e-06,9.135615e-06,9.929298e-06,1.120022e-05,1.152678e-05,1.320757e-05,1.341426e-05,1.495882e-05,1.574830e-05,1.676732e-05,1.817187e-05,1.861976e-05,2.050298e-05,2.065459e-05,2.240428e-05,2.316712e-05,2.431154e-05,2.568211e-05,2.621352e-05,2.809989e-05,2.817488e-05,2.996139e-05,3.062383e-05,3.178985e-05,3.301070e-05,3.357824e-05,3.532060e-05,3.701205e-05,3.754189e-05,3.864867e-05,3.966593e-05,4.022748e-05,4.168672e-05,4.174630e-05,4.320370e-05,4.360064e-05,4.459888e-05,4.540600e-05,4.593160e-05,4.710271e-05,4.720207e-05,4.841093e-05,4.869198e-05,4.955911e-05,5.017603e-05,5.064782e-05,5.155782e-05,5.167849e-05,5.265271e-05,5.284093e-05,5.357219e-05,5.402928e-05,5.443873e-05,5.512708e-05,5.525420e-05,5.602048e-05,5.613865e-05,5.673947e-05,5.706835e-05,5.741308e-05,5.792056e-05,5.804319e-05,5.863166e-05,5.869956e-05,5.918031e-05,5.940956e-05,5.969092e-05,6.005461e-05,6.016522e-05,6.060488e-05,6.063861e-05,6.101153e-05,6.116530e-05,6.138673e-05,6.163826e-05,6.173200e-05,6.204879e-05,6.206089e-05,6.233849e-05,6.243642e-05,6.260246e-05,6.276791e-05,6.284197e-05,6.305826e-05,6.325250e-05,6.331019e-05,6.342583e-05,6.352629e-05,6.357933e-05,6.370900e-05,6.371403e-05,6.383092e-05,6.386059e-05,6.393093e-05,6.398322e-05,6.401497e-05,6.407891e-05,6.408389e-05,6.413850e-05,6.414957e-05,6.417960e-05,6.419698e-05,6.420791e-05,6.422282e-05,6.422416e-05,6.422901e-05,6.422867e-05,6.422311e-05,6.421599e-05,6.420706e-05,6.418618e-05,6.418147e-05,6.414686e-05,6.414053e-05,6.410379e-05,6.408026e-05,6.405275e-05,6.400650e-05,6.399422e-05,6.392865e-05,6.392033e-05,6.385648e-05,6.382274e-05,6.377812e-05,6.371468e-05,6.369397e-05,6.360440e-05,6.359701e-05,6.350976e-05,6.347056e-05,6.341039e-05,6.333610e-05,6.330661e-05,6.319874e-05,6.319434e-05,6.308704e-05,6.304596e-05,6.297182e-05,6.289158e-05,6.285332e-05,6.273179e-05,6.256715e-05,6.239816e-05,6.222531e-05,6.204904e-05,6.186977e-05,6.168789e-05,6.150377e-05,6.131774e-05,6.113012e-05,6.094120e-05,6.075126e-05,6.056056e-05,6.036934e-05,6.017780e-05,5.998617e-05,5.979463e-05,5.960336e-05,5.941252e-05,5.922226e-05,5.903273e-05,5.884405e-05,5.865635e-05,5.846973e-05,5.828429e-05
0.000000e+00,8.624571e-12,4.312186e-11,4.634808e-10,2.197319e-09,4.452256e-09,2.008354e-08,2.119275e-08,6.881557e-08,9.129843e-08,1.757781e-07,2.842476e-07,3.811124e-07,6.989409e-07,7.339064e-07,1.292147e-06,1.463785e-06,2.120492e-06,2.727503e-06,3.286319e-06,4.642939e-06,4.854300e-06,6.880924e-06,7.345423e-06,9.410406e-06,1.093495e-05,1.247253e-05,1.546763e-05,1.608215e-05,2.023986e-05,2.095529e-05,2.493331e-05,2.736990e-05,3.013883e-05,3.464980e-05,3.582306e-05,4.194472e-05,4.270651e-05,4.845619e-05,5.143137e-05,5.530512e-05,6.070190e-05,6.243596e-05,6.979133e-05,7.038773e-05,7.731344e-05,8.035613e-05,8.494520e-05,9.047685e-05,9.263136e-05,1.003194e-04,1.006262e-04,1.079601e-04,1.106904e-04,1.155085e-04,1.205677e-04,1.229239e-04,1.301700e-04,1.372157e-04,1.394235e-04,1.440342e-04,1.482683e-04,1.506033e-04,1.566585e-04,1.569052e-04,1.629263e-04,1.645604e-04,1.686563e-04,1.719518e-04,1.740888e-04,1.788206e-04,1.792200e-04,1.840489e-04,1.851629e-04,1.885769e-04,1.909823e-04,1.928073e-04,1.962879e-04,1.967452e-04,2.003968e-04,2.010934e-04,2.037697e-04,2.054163e-04,2.068724e-04,2.092764e-04,2.097139e-04,2.123039e-04,2.126956e-04,2.146524e-04,2.156968e-04,2.167695e-04,2.183035e-04,2.186655e-04,2.203509e-04,2.205395e-04,2.218359e-04,2.224284e-04,2.231306e-04,2.239935e-04,2.242450e-04,2.251888e-04,2.252572e-04,2.259714e-04,2.262414e-04,2.266022e-04,2.269672e-04,2.270898e-04,2.274430e-04,2.274545e-04,2.276700e-04,2.277223e-04,2.277786e-04,2.277888e-04,2.277765e-04,2.276709e-04,2.274688e-04,2.273848e-04,2.271768e-04,2.269456e-04,2.268011e-04,2.263674e-04,2.263479e-04,2.258227e-04,2.256635e-04,2.252310e-04,2.248463e-04,2.245780e-04,2.239272e-04,2.238685e-04,2.231072e-04,2.229172e-04,2.222983e-04,2.218261e-04,2.214461e-04,2.206634e-04,2.205544e-04,2.196269e-04,2.194375e-04,2.186672e-04,2.181564e-04,2.176783e-04,2.168276e-04,2.166636e-04,2.156258e-04,2.154578e-04,2.145677e-04,2.140533e-04,2.134918e-04,2.126199e-04,2.124006e-04,2.112963e-04,2.111630e-04,2.101810e-04,2.096874e-04,2.090568e-04,2.081975e-04,2.079254e-04,2.067886e-04,2.066975e-04,2.056481e-04,2.051911e-04,2.045052e-04,2.036818e-04,2.033615e-04,2.022183e-04,2.021726e-04,2.010767e-04,2.006663e-04,1.999378e-04,1.991655e-04,1.988028e-04,1.976726e-04,1.961895e-04,1.947181e-04,1.932602e-04,1.918171e-04,1.903902e-04,1.889807e-04,1.875896e-04,1.862178e-04,1.848660e-04,1.835349e-04,1.822250e-04,1.809367e-04,1.796706e-04,1.784268e-04,1.772055e-04,1.760069e-04,1.748312e-04,1.736782e-04,1.725481e-04,1.714408e-04,1.703561e-04,1.692939e-04,1.682542e-04,1.672366e-04
0.000000e+00,2.097369e-11,1.026139e-10,1.056862e-09,4.838448e-09,9.638124e-09,4.199586e-08,4.426786e-08,1.414474e-07,1.875222e-07,3.630150e-07,5.938406e-07,8.043718e-07,1.514243e-06,1.593493e-06,2.868921e-06,3.261156e-06,4.747074e-06,6.091368e-06,7.301236e-06,1.013114e-05,1.055926e-05,1.451306e-05,1.538482e-05,1.913108e-05,2.178051e-05,2.436893e-05,2.921110e-05,3.017645e-05,3.650157e-05,3.755813e-05,4.329216e-05,4.670177e-05,5.049653e-05,5.652359e-05,5.806358e-05,6.594279e-05,6.690690e-05,7.408441e-05,7.773727e-05,8.243978e-05,8.890374e-05,9.096176e-05,9.960526e-05,1.003007e-04,1.083277e-04,1.118298e-04,1.170895e-04,1.234019e-04,1.258543e-04,1.345892e-04,1.349376e-04,1.432648e-04,1.463684e-04,1.518552e-04,1.576364e-04,1.603380e-04,1.686940e-04,1.769069e-04,1.795025e-04,1.849633e-04,1.900321e-04,1.928522e-04,2.002599e-04,2.005649e-04,2.080946e-04,2.101693e-04,2.154360e-04,2.197490e-04,2.225857e-04,2.289919e-04,2.295411e-04,2.363011e-04,2.378943e-04,2.428651e-04,2.464556e-04,2.492337e-04,2.546772e-04,2.554078e-04,2.613891e-04,2.625624e-04,2.671796e-04,2.701160e-04,2.727816e-04,2.773436e-04,2.781979e-04,2.834315e-04,2.842521e-04,2.884854e-04,2.908485e-04,2.933632e-04,2.971407e-04,2.980681e-04,3.026037e-04,3.031368e-04,3.069737e-04,3.088449e-04,3.111816e-04,3.142736e-04,3.152313e-04,3.191264e-04,3.194315e-04,3.228707e-04,3.243270e-04,3.264678e-04,3.289687e-04,3.299215e-04,3.332354e-04,3.333651e-04,3.364131e-04,3.375245e-04,3.394584e-04,3.414553e-04,3.423747e-04,3.451656e-04,3.478345e-04,3.486633e-04,3.503848e-04,3.519564e-04,3.528200e-04,3.550525e-04,3.551434e-04,3.573581e-04,3.579592e-04,3.594674e-04,3.606836e-04,3.614744e-04,3.632331e-04,3.633821e-04,3.651936e-04,3.656144e-04,3.669118e-04,3.678343e-04,3.685396e-04,3.698995e-04,3.700798e-04,3.715352e-04,3.718163e-04,3.729084e-04,3.735909e-04,3.742021e-04,3.752292e-04,3.754189e-04,3.765611e-04,3.767372e-04,3.776314e-04,3.781203e-04,3.786320e-04,3.793840e-04,3.795654e-04,3.804337e-04,3.805336e-04,3.812391e-04,3.815742e-04,3.819839e-04,3.825107e-04,3.826701e-04,3.832998e-04,3.833478e-04,3.838748e-04,3.840900e-04,3.843973e-04,3.847419e-04,3.848690e-04,3.852917e-04,3.853077e-04,3.856674e-04,3.857914e-04,3.859975e-04,3.861970e-04,3.862840e-04,3.865283e-04,3.867891e-04,3.869827e-04,3.871126e-04,3.871822e-04,3.871944e-04,3.871523e-04,3.870589e-04,3.869169e-04,3.867289e-04,3.864976e-04,3.862254e-04,3.859147e-04,3.855677e-04,3.851866e-04,3.847735e-04,3.843304e-04,3.838591e-04,3.833616e-04,3.828396e-04,3.822947e-04,3.817285e-04,3.811427e-04,3.805386e-04,3.799176e-04
0.000000e+00,1.931677e-09,5.190851e-09,2.112100e-08,5.187750e-08,7.781107e-08,1.849138e-07,1.907368e-07,3.778749e-07,4.460176e-07,6.572702e-07,8.769076e-07,1.047520e-06,1.520524e-06,1.567284e-06,2.232602e-06,2.415056e-06,3.051035e-06,3.574274e-06,4.015606e-06,4.969211e-06,5.105819e-06,6.295882e-06,6.543691e-06,7.561708e-06,8.242994e-06,8.882985e-06,1.002316e-05,1.024265e-05,1.162598e-05,1.184861e-05,1.301989e-05,1.368924e-05,1.441269e-05,1.551911e-05,1.579399e-05,1.715459e-05,1.731608e-05,1.848657e-05,1.906181e-05,1.978324e-05,2.074166e-05,2.103909e-05,2.224974e-05,2.234453e-05,2.341185e-05,2.386253e-05,2.452300e-05,2.529056e-05,2.558161e-05,2.658680e-05,2.662589e-05,2.753833e-05,2.786779e-05,2.843650e-05,2.901710e-05,2.928196e-05,3.007563e-05,3.081881e-05,3.104620e-05,3.151295e-05,3.193220e-05,3.215966e-05,3.273748e-05,3.276066e-05,3.331776e-05,3.346613e-05,3.383278e-05,3.412235e-05,3.430755e-05,3.471037e-05,3.474391e-05,3.514370e-05,3.523440e-05,3.550870e-05,3.569856e-05,3.584067e-05,3.610683e-05,3.614131e-05,3.641229e-05,3.646306e-05,3.665519e-05,3.677093e-05,3.687158e-05,3.703393e-05,3.706292e-05,3.723066e-05,3.725540e-05,3.737615e-05,3.743847e-05,3.750070e-05,3.758610e-05,3.760556e-05,3.769193e-05,3.770110e-05,3.776094e-05,3.778608e-05,3.781367e-05,3.784351e-05,3.785117e-05,3.787440e-05,3.787567e-05,3.788431e-05,3.788474e-05,3.788178e-05,3.787272e-05,3.786764e-05,3.784270e-05,3.784149e-05,3.780771e-05,3.779280e-05,3.776339e-05,3.772827e-05,3.771042e-05,3.764944e-05,3.758105e-05,3.755769e-05,3.750583e-05,3.745435e-05,3.742432e-05,3.734063e-05,3.733703e-05,3.724445e-05,3.721765e-05,3.714704e-05,3.708645e-05,3.704522e-05,3.694801e-05,3.693940e-05,3.682997e-05,3.680321e-05,3.671727e-05,3.665287e-05,3.660166e-05,3.649776e-05,3.648345e-05,3.636293e-05,3.633857e-05,3.624039e-05,3.617596e-05,3.611610e-05,3.601052e-05,3.599030e-05,3.586322e-05,3.584278e-05,3.573508e-05,3.567326e-05,3.560609e-05,3.550241e-05,3.547643e-05,3.534628e-05,3.533064e-05,3.521582e-05,3.515835e-05,3.508519e-05,3.498589e-05,3.495454e-05,3.482400e-05,3.481357e-05,3.469370e-05,3.464167e-05,3.456376e-05,3.447048e-05,3.443428e-05,3.430536e-05,3.430022e-05,3.417710e-05,3.413110e-05,3.404958e-05,3.396333e-05,3.392288e-05,3.379707e-05,3.363248e-05,3.346970e-05,3.330885e-05,3.315004e-05,3.299337e-05,3.283891e-05,3.268674e-05,3.253691e-05,3.238948e-05,3.224450e-05,3.210198e-05,3.196197e-05,3.182448e-05,3.168952e-05,3.155711e-05,3.142724e-05,3.129991e-05,3.117512e-05,3.105285e-05,3.093309e-05,3.081583e-05,3.070105e-05,3.058871e-05,3.047881e-05
0.000000e+00,1.101550e-12,5.504076e-12,5.905369e-11,2.793555e-10,5.652127e-10,2.537694e-09,2.677259e-09,8.639834e-09,1.144010e-08,2.190469e-08,3.524151e-08,4.707891e-08,8.555918e-08,8.976469e-08,1.563413e-07,1.766334e-07,2.536931e-07,3.242760e-07,3.888340e-07,5.442978e-07,5.683880e-07,7.979903e-07,8.503107e-07,1.081767e-06,1.251581e-06,1.422018e-06,1.751812e-06,1.819133e-06,2.271699e-06,2.349076e-06,2.776721e-06,3.036544e-06,3.329899e-06,3.803567e-06,3.925914e-06,4.558705e-06,4.636803e-06,5.221707e-06,5.521241e-06,5.908077e-06,6.441078e-06,6.610879e-06,7.323252e-06,7.380454e-06,8.038554e-06,8.324069e-06,8.750484e-06,9.257676e-06,9.453182e-06,1.014132e-05,1.016847e-05,1.081013e-05,1.104536e-05,1.145551e-05,1.187918e-05,1.207397e-05,1.266269e-05,1.321948e-05,1.339063e-05,1.374275e-05,1.405956e-05,1.423148e-05,1.466772e-05,1.468520e-05,1.510386e-05,1.521485e-05,1.548786e-05,1.570190e-05,1.583791e-05,1.613086e-05,1.615504e-05,1.644051e-05,1.650446e-05,1.669573e-05,1.682603e-05,1.692229e-05,1.709924e-05,1.712182e-05,1.729602e-05,1.732797e-05,1.744661e-05,1.751616e-05,1.757531e-05,1.766770e-05,1.768376e-05,1.777360e-05,1.778636e-05,1.784638e-05,1.787569e-05,1.790358e-05,1.793905e-05,1.794658e-05,1.797670e-05,1.797951e-05,1.799516e-05,1.799987e-05,1.800307e-05,1.800269e-05,1.800150e-05,1.799139e-05,1.799024e-05,1.797363e-05,1.796456e-05,1.794901e-05,1.792746e-05,1.791828e-05,1.788210e-05,1.788054e-05,1.784106e-05,1.782520e-05,1.779571e-05,1.776267e-05,1.774655e-05,1.769402e-05,1.763853e-05,1.762021e-05,1.758044e-05,1.754205e-05,1.752007e-05,1.746025e-05,1.745772e-05,1.739366e-05,1.737544e-05,1.732812e-05,1.728818e-05,1.726132e-05,1.719892e-05,1.719346e-05,1.712472e-05,1.710810e-05,1.705524e-05,1.701607e-05,1.698519e-05,1.692316e-05,1.691468e-05,1.684384e-05,1.682964e-05,1.677278e-05,1.673576e-05,1.670158e-05,1.664174e-05,1.663035e-05,1.655915e-05,1.654777e-05,1.648807e-05,1.645401e-05,1.641716e-05,1.636061e-05,1.634650e-05,1.627612e-05,1.626770e-05,1.620609e-05,1.617540e-05,1.613645e-05,1.608380e-05,1.606723e-05,1.599848e-05,1.599300e-05,1.593023e-05,1.590307e-05,1.586251e-05,1.581409e-05,1.579534e-05,1.572876e-05,1.572610e-05,1.566277e-05,1.563917e-05,1.559742e-05,1.555334e-05,1.553270e-05,1.546864e-05,1.538512e-05,1.530279e-05,1.522168e-05,1.514181e-05,1.506320e-05,1.498586e-05,1.490979e-05,1.483501e-05,1.476151e-05,1.468930e-05,1.461837e-05,1.454873e-05,1.448036e-05,1.441327e-05,1.434744e-05,1.428286e-05,1.421953e-05,1.415744e-05,1.409656e-05,1.403690e-05,1.397843e-05,1.392114e-05,1.386502e-05,1.381005e-05
0.000000e+00,6.894441e-12,3.243678e-11,3.082023e-10,1.310928e-09,2.507087e-09,9.806559e-09,1.029066e-08,2.934962e-08,3.767392e-08,6.707007e-08,1.023229e-07,1.324117e-07,2.258087e-07,2.357275e-07,3.875945e-07,4.322688e-07,5.962277e-07,7.393847e-07,8.651473e-07,1.150649e-06,1.192959e-06,1.574884e-06,1.657216e-06,2.004597e-06,2.244732e-06,2.475491e-06,2.898233e-06,2.981249e-06,3.515976e-06,3.603846e-06,4.074115e-06,4.348763e-06,4.650329e-06,5.120830e-06,5.239441e-06,5.836417e-06,5.908350e-06,6.436407e-06,6.700161e-06,7.034811e-06,7.485893e-06,7.627354e-06,8.210163e-06,8.256261e-06,8.779815e-06,9.003317e-06,9.333375e-06,9.720590e-06,9.868413e-06,1.038299e-05,1.040313e-05,1.087565e-05,1.104744e-05,1.134537e-05,1.165135e-05,1.179153e-05,1.221385e-05,1.261234e-05,1.273487e-05,1.298729e-05,1.321512e-05,1.333918e-05,1.365588e-05,1.366864e-05,1.397644e-05,1.405886e-05,1.426343e-05,1.442602e-05,1.453053e-05,1.475951e-05,1.477869e-05,1.500887e-05,1.506154e-05,1.522204e-05,1.533435e-05,1.541917e-05,1.558010e-05,1.560117e-05,1.576896e-05,1.580089e-05,1.592341e-05,1.599872e-05,1.606533e-05,1.617545e-05,1.619553e-05,1.631473e-05,1.633283e-05,1.642366e-05,1.647248e-05,1.652296e-05,1.659589e-05,1.661326e-05,1.669515e-05,1.670444e-05,1.676916e-05,1.679936e-05,1.683581e-05,1.688183e-05,1.689557e-05,1.694888e-05,1.695288e-05,1.699616e-05,1.701347e-05,1.703779e-05,1.706447e-05,1.707414e-05,1.710553e-05,1.710669e-05,1.713229e-05,1.714084e-05,1.715470e-05,1.716759e-05,1.717303e-05,1.718753e-05,1.719846e-05,1.720123e-05,1.720601e-05,1.720918e-05,1.721042e-05,1.721185e-05,1.721185e-05,1.721051e-05,1.720965e-05,1.720655e-05,1.720298e-05,1.720013e-05,1.719219e-05,1.719141e-05,1.718052e-05,1.717760e-05,1.716760e-05,1.715952e-05,1.715276e-05,1.713821e-05,1.713613e-05,1.711780e-05,1.711395e-05,1.709790e-05,1.708695e-05,1.707650e-05,1.705744e-05,1.705370e-05,1.702960e-05,1.702562e-05,1.700425e-05,1.699168e-05,1.697776e-05,1.695578e-05,1.695018e-05,1.692159e-05,1.691809e-05,1.689204e-05,1.687876e-05,1.686161e-05,1.683792e-05,1.683035e-05,1.679831e-05,1.679571e-05,1.676554e-05,1.675225e-05,1.673211e-05,1.670764e-05,1.669804e-05,1.666339e-05,1.666199e-05,1.662820e-05,1.661541e-05,1.659251e-05,1.656797e-05,1.655635e-05,1.651977e-05,1.647088e-05,1.642138e-05,1.637135e-05,1.632084e-05,1.626992e-05,1.621864e-05,1.616707e-05,1.611524e-05,1.606321e-05,1.601103e-05,1.595873e-05,1.590635e-05,1.585393e-05,1.580151e-05,1.574912e-05,1.569679e-05,1.564454e-05,1.559241e-05,1.554042e-05,1.548860e-05,1.543695e-05,1.538552e-05,1.533431e-05,1.528334e-05
0.000000e+00,1.093464e-09,2.497408e-09,8.511526e-09,1.919566e-08,2.788387e-08,6.274732e-08,6.462159e-08,1.246523e-07,1.465602e-07,2.150023e-07,2.871365e-07,3.438276e-07,5.032088e-07,5.190771e-07,7.448656e-07,8.063252e-07,1.017171e-06,1.185729e-06,1.324145e-06,1.611743e-06,1.651723e-06,1.988316e-06,2.055951e-06,2.325851e-06,2.499886e-06,2.658974e-06,2.932700e-06,2.984058e-06,3.298516e-06,3.347707e-06,3.600411e-06,3.740407e-06,3.888256e-06,4.107645e-06,4.160920e-06,4.417587e-06,4.447285e-06,4.657745e-06,4.758111e-06,4.881139e-06,5.039687e-06,5.087751e-06,5.277784e-06,5.292281e-06,5.451624e-06,5.516743e-06,5.609809e-06,5.714374e-06,5.752995e-06,5.881924e-06,5.886796e-06,5.997397e-06,6.035834e-06,6.100249e-06,6.163409e-06,6.191322e-06,6.271454e-06,6.341470e-06,6.361871e-06,6.402175e-06,6.436496e-06,6.454337e-06,6.497043e-06,6.498675e-06,6.535868e-06,6.545089e-06,6.566550e-06,6.582080e-06,6.591308e-06,6.609320e-06,6.610684e-06,6.625177e-06,6.627980e-06,6.635244e-06,6.639106e-06,6.641304e-06,6.643627e-06,6.643740e-06,6.642900e-06,6.642367e-06,6.639101e-06,6.636054e-06,6.632632e-06,6.625327e-06,6.623755e-06,6.612707e-06,6.610752e-06,6.599705e-06,6.592828e-06,6.584946e-06,6.571994e-06,6.568608e-06,6.550855e-06,6.548636e-06,6.531832e-06,6.523095e-06,6.511675e-06,6.495673e-06,6.490506e-06,6.468435e-06,6.466634e-06,6.445565e-06,6.436213e-06,6.421986e-06,6.404619e-06,6.397785e-06,6.373037e-06,6.372037e-06,6.347813e-06,6.338628e-06,6.322177e-06,6.304539e-06,6.296188e-06,6.269899e-06,6.243361e-06,6.234823e-06,6.216617e-06,6.199413e-06,6.189711e-06,6.163762e-06,6.162678e-06,6.135556e-06,6.127950e-06,6.108375e-06,6.092050e-06,6.081164e-06,6.056129e-06,6.053952e-06,6.026762e-06,6.020243e-06,5.999618e-06,5.984445e-06,5.972540e-06,5.948781e-06,5.945547e-06,5.918657e-06,5.913293e-06,5.891887e-06,5.878018e-06,5.865250e-06,5.842989e-06,5.838761e-06,5.812432e-06,5.808235e-06,5.786273e-06,5.773781e-06,5.760297e-06,5.739653e-06,5.734511e-06,5.708925e-06,5.705869e-06,5.683546e-06,5.672447e-06,5.658382e-06,5.639404e-06,5.633438e-06,5.608721e-06,5.606753e-06,5.584235e-06,5.574507e-06,5.559986e-06,5.542675e-06,5.535976e-06,5.512211e-06,5.511265e-06,5.488693e-06,5.480287e-06,5.465424e-06,5.449745e-06,5.442407e-06,5.419645e-06,5.389990e-06,5.360783e-06,5.332027e-06,5.303723e-06,5.275871e-06,5.248471e-06,5.221523e-06,5.195024e-06,5.168974e-06,5.143371e-06,5.118211e-06,5.093491e-06,5.069208e-06,5.045359e-06,5.021940e-06,4.998946e-06,4.976373e-06,4.954216e-06,4.932472e-06,4.911133e-06,4.890197e-06,4.869657e-06,4.849509e-06,4.829746e-06
0.000000e+00,6.542569e-10,1.839668e-09,7.881425e-09,1.985478e-08,3.006627e-08,7.262548e-08,7.494755e-08,1.496359e-07,1.767976e-07,2.607100e-07,3.473850e-07,4.142944e-07,5.980423e-07,6.160858e-07,8.712729e-07,9.409746e-07,1.184246e-06,1.385949e-06,1.557997e-06,1.937859e-06,1.993307e-06,2.488215e-06,2.593994e-06,3.038324e-06,3.344277e-06,3.637766e-06,4.174751e-06,4.280154e-06,4.959105e-06,5.070714e-06,5.668435e-06,6.017947e-06,6.402192e-06,7.002938e-06,7.154664e-06,7.920388e-06,8.012917e-06,8.694191e-06,9.035960e-06,9.471219e-06,1.006114e-05,1.024698e-05,1.101740e-05,1.107869e-05,1.177879e-05,1.208007e-05,1.252791e-05,1.305808e-05,1.326194e-05,1.397849e-05,1.400676e-05,1.467556e-05,1.492141e-05,1.535151e-05,1.579842e-05,1.600505e-05,1.663521e-05,1.724128e-05,1.743006e-05,1.782282e-05,1.818200e-05,1.837957e-05,1.889069e-05,1.891149e-05,1.941867e-05,1.955628e-05,1.990135e-05,2.017934e-05,2.035987e-05,2.076076e-05,2.079468e-05,2.120628e-05,2.130168e-05,2.159525e-05,2.180342e-05,2.196220e-05,2.226743e-05,2.230779e-05,2.263269e-05,2.269525e-05,2.293760e-05,2.308849e-05,2.322322e-05,2.344875e-05,2.349026e-05,2.373942e-05,2.377767e-05,2.397140e-05,2.407686e-05,2.418691e-05,2.434792e-05,2.438663e-05,2.457122e-05,2.459239e-05,2.474135e-05,2.481179e-05,2.489765e-05,2.500756e-05,2.504073e-05,2.517121e-05,2.518112e-05,2.528967e-05,2.533381e-05,2.539667e-05,2.546693e-05,2.549277e-05,2.557849e-05,2.558171e-05,2.565436e-05,2.567935e-05,2.572085e-05,2.576095e-05,2.577845e-05,2.582761e-05,2.586877e-05,2.588032e-05,2.590235e-05,2.592006e-05,2.592877e-05,2.594775e-05,2.594841e-05,2.596164e-05,2.596425e-05,2.596883e-05,2.597038e-05,2.597031e-05,2.596692e-05,2.596642e-05,2.595747e-05,2.595460e-05,2.594376e-05,2.593411e-05,2.592558e-05,2.590610e-05,2.590320e-05,2.587689e-05,2.587118e-05,2.584691e-05,2.582994e-05,2.581349e-05,2.578292e-05,2.577685e-05,2.573723e-05,2.573062e-05,2.569482e-05,2.567353e-05,2.564983e-05,2.561210e-05,2.560244e-05,2.555284e-05,2.554675e-05,2.550120e-05,2.547787e-05,2.544768e-05,2.540585e-05,2.539244e-05,2.533562e-05,2.533101e-05,2.527737e-05,2.525369e-05,2.521781e-05,2.517420e-05,2.515709e-05,2.509530e-05,2.509281e-05,2.503258e-05,2.500979e-05,2.496902e-05,2.492538e-05,2.490474e-05,2.483982e-05,2.475331e-05,2.466606e-05,2.457824e-05,2.449003e-05,2.440159e-05,2.431306e-05,2.422457e-05,2.413625e-05,2.404821e-05,2.396056e-05,2.387340e-05,2.378680e-05,2.370086e-05,2.361564e-05,2.353121e-05,2.344763e-05,2.336495e-05,2.328322e-05,2.320249e-05,2.312279e-05,2.304416e-05,2.296662e-05,2.289021e-05,2.281494e-05
0.000000e+00,2.939566e-12,1.472325e-11,1.588428e-10,7.558573e-10,1.534950e-09,6.970576e-09,7.357836e-09,2.410188e-08,3.206728e-08,6.224876e-08,1.014600e-07,1.368281e-07,2.546964e-07,2.678066e-07,4.800041e-07,5.461251e-07,8.017336e-07,1.040556e-06,1.261738e-06,1.801172e-06,1.885334e-06,2.691282e-06,2.875435e-06,3.690159e-06,4.286873e-06,4.884188e-06,6.034280e-06,6.268039e-06,7.830104e-06,8.095528e-06,9.553921e-06,1.043305e-05,1.141953e-05,1.299921e-05,1.340469e-05,1.548587e-05,1.574092e-05,1.763914e-05,1.860330e-05,1.984087e-05,2.153253e-05,2.206827e-05,2.429988e-05,2.447799e-05,2.651589e-05,2.739385e-05,2.869839e-05,3.024007e-05,3.083155e-05,3.290170e-05,3.298302e-05,3.489732e-05,3.559563e-05,3.680904e-05,3.805725e-05,3.862951e-05,4.035329e-05,4.197669e-05,4.247458e-05,4.349757e-05,4.441673e-05,4.491518e-05,4.617936e-05,4.622999e-05,4.744345e-05,4.776535e-05,4.855786e-05,4.918018e-05,4.957620e-05,5.043123e-05,5.050197e-05,5.133909e-05,5.152726e-05,5.209172e-05,5.247792e-05,5.276425e-05,5.329335e-05,5.336113e-05,5.388682e-05,5.398381e-05,5.434578e-05,5.455951e-05,5.474235e-05,5.503036e-05,5.508078e-05,5.536515e-05,5.540590e-05,5.559940e-05,5.569514e-05,5.578726e-05,5.590654e-05,5.593228e-05,5.603781e-05,5.604797e-05,5.610702e-05,5.612674e-05,5.614288e-05,5.614953e-05,5.614815e-05,5.612545e-05,5.612250e-05,5.607719e-05,5.605124e-05,5.600563e-05,5.594086e-05,5.591286e-05,5.580082e-05,5.579596e-05,5.567132e-05,5.562075e-05,5.552602e-05,5.541899e-05,5.536647e-05,5.519410e-05,5.501023e-05,5.494916e-05,5.481606e-05,5.468693e-05,5.461274e-05,5.440989e-05,5.440128e-05,5.418266e-05,5.412028e-05,5.395774e-05,5.382011e-05,5.372734e-05,5.351116e-05,5.349220e-05,5.325301e-05,5.319507e-05,5.301039e-05,5.287326e-05,5.276494e-05,5.254702e-05,5.251718e-05,5.226760e-05,5.221751e-05,5.201665e-05,5.188576e-05,5.176475e-05,5.155268e-05,5.151226e-05,5.125953e-05,5.121909e-05,5.100689e-05,5.088573e-05,5.075461e-05,5.055323e-05,5.050297e-05,5.025220e-05,5.022218e-05,5.000253e-05,4.989307e-05,4.975414e-05,4.956635e-05,4.950724e-05,4.926197e-05,4.924242e-05,4.901849e-05,4.892163e-05,4.877693e-05,4.860427e-05,4.853741e-05,4.830005e-05,4.829060e-05,4.806493e-05,4.798086e-05,4.783215e-05,4.767524e-05,4.760179e-05,4.737390e-05,4.707699e-05,4.678463e-05,4.649691e-05,4.621391e-05,4.593569e-05,4.566229e-05,4.539375e-05,4.513007e-05,4.487128e-05,4.461736e-05,4.436830e-05,4.412409e-05,4.388470e-05,4.365010e-05,4.342024e-05,4.319509e-05,4.297460e-05,4.275871e-05,4.254736e-05,4.234051e-05,4.213809e-05,4.194004e-05,4.174629e-05,4.155678e-05
0.000000e+00,4.234836e-11,1.882108e-10,1.599782e-09,6.195329e-09,1.128765e-08,3.932012e-08,4.107811e-08,1.057325e-07,1.322260e-07,2.211122e-07,3.215723e-07,4.038640e-07,6.466823e-07,6.716707e-07,1.042943e-06,1.149408e-06,1.534494e-06,1.866491e-06,2.156319e-06,2.809713e-06,2.906015e-06,3.768056e-06,3.951938e-06,4.718938e-06,5.240150e-06,5.733734e-06,6.619185e-06,6.790224e-06,7.870095e-06,8.044014e-06,8.958559e-06,9.480441e-06,1.004352e-05,1.090211e-05,1.111486e-05,1.216396e-05,1.228800e-05,1.318352e-05,1.362114e-05,1.416740e-05,1.488816e-05,1.511059e-05,1.600919e-05,1.607906e-05,1.686032e-05,1.718703e-05,1.766208e-05,1.820815e-05,1.841341e-05,1.911407e-05,1.914105e-05,1.976443e-05,1.998642e-05,2.036544e-05,2.074661e-05,2.091845e-05,2.142519e-05,2.188762e-05,2.202658e-05,2.230787e-05,2.255573e-05,2.268819e-05,2.301785e-05,2.303086e-05,2.333819e-05,2.341822e-05,2.361246e-05,2.376207e-05,2.385588e-05,2.405443e-05,2.407060e-05,2.425868e-05,2.430007e-05,2.442206e-05,2.450346e-05,2.456261e-05,2.466879e-05,2.468207e-05,2.478208e-05,2.479988e-05,2.486418e-05,2.490027e-05,2.492980e-05,2.497317e-05,2.498028e-05,2.501685e-05,2.502149e-05,2.504067e-05,2.504789e-05,2.505280e-05,2.505474e-05,2.505421e-05,2.504581e-05,2.504419e-05,2.502843e-05,2.501814e-05,2.500284e-05,2.497837e-05,2.496980e-05,2.492996e-05,2.492650e-05,2.488395e-05,2.486394e-05,2.483232e-05,2.479196e-05,2.477559e-05,2.471427e-05,2.471173e-05,2.464878e-05,2.462427e-05,2.457954e-05,2.453050e-05,2.450691e-05,2.443123e-05,2.435284e-05,2.432723e-05,2.427203e-05,2.421917e-05,2.418908e-05,2.410765e-05,2.410423e-05,2.401771e-05,2.399322e-05,2.392975e-05,2.387636e-05,2.384054e-05,2.375751e-05,2.375026e-05,2.365908e-05,2.363708e-05,2.356717e-05,2.351543e-05,2.347466e-05,2.339286e-05,2.338168e-05,2.328837e-05,2.326968e-05,2.319483e-05,2.314613e-05,2.310117e-05,2.302247e-05,2.300748e-05,2.291386e-05,2.289889e-05,2.282038e-05,2.277558e-05,2.272712e-05,2.265272e-05,2.263415e-05,2.254154e-05,2.253045e-05,2.244934e-05,2.240892e-05,2.235761e-05,2.228823e-05,2.226639e-05,2.217574e-05,2.216851e-05,2.208568e-05,2.204984e-05,2.199627e-05,2.193231e-05,2.190753e-05,2.181950e-05,2.181599e-05,2.173220e-05,2.170096e-05,2.164566e-05,2.158726e-05,2.155991e-05,2.147495e-05,2.136408e-05,2.125467e-05,2.114677e-05,2.104040e-05,2.093557e-05,2.083232e-05,2.073065e-05,2.063057e-05,2.053209e-05,2.043521e-05,2.033994e-05,2.024627e-05,2.015420e-05,2.006373e-05,1.997485e-05,1.988754e-05,1.980181e-05,1.971764e-05,1.963501e-05,1.955391e-05,1.947434e-05,1.939626e-05,1.931967e-05,1.924455e-05
0.000000e+00,2.411145e-09,6.006999e-09,2.258848e-08,5.366857e-08,7.967851e-08,1.875671e-07,1.934814e-07,3.870147e-07,4.592002e-07,6.883704e-07,9.336519e-07,1.127402e-06,1.668066e-06,1.721221e-06,2.461575e-06,2.658572e-06,3.325712e-06,3.855540e-06,4.292383e-06,5.215200e-06,5.345755e-06,6.473526e-06,6.707045e-06,7.664855e-06,8.305970e-06,8.909206e-06,9.987635e-06,1.019591e-05,1.151411e-05,1.172722e-05,1.285296e-05,1.349981e-05,1.420185e-05,1.528139e-05,1.555069e-05,1.689010e-05,1.704978e-05,1.821163e-05,1.878547e-05,1.950782e-05,2.047203e-05,2.077231e-05,2.199979e-05,2.209625e-05,2.318598e-05,2.364813e-05,2.432758e-05,2.512053e-05,2.542217e-05,2.646810e-05,2.650891e-05,2.746440e-05,2.781084e-05,2.841071e-05,2.902568e-05,2.930713e-05,3.015417e-05,3.095269e-05,3.119814e-05,3.170377e-05,3.216016e-05,3.240872e-05,3.304339e-05,3.306897e-05,3.368607e-05,3.385134e-05,3.426163e-05,3.458773e-05,3.479733e-05,3.525639e-05,3.529482e-05,3.575580e-05,3.586118e-05,3.618191e-05,3.640591e-05,3.657479e-05,3.689429e-05,3.693602e-05,3.726717e-05,3.732993e-05,3.756975e-05,3.771627e-05,3.784519e-05,3.805663e-05,3.809491e-05,3.832024e-05,3.835411e-05,3.852247e-05,3.861170e-05,3.870283e-05,3.883218e-05,3.886252e-05,3.900265e-05,3.901820e-05,3.912430e-05,3.917224e-05,3.922850e-05,3.929663e-05,3.931623e-05,3.938841e-05,3.939354e-05,3.944594e-05,3.946504e-05,3.948966e-05,3.951303e-05,3.952036e-05,3.953880e-05,3.953930e-05,3.954572e-05,3.954552e-05,3.954180e-05,3.953327e-05,3.952768e-05,3.950399e-05,3.947132e-05,3.945905e-05,3.943021e-05,3.939973e-05,3.938121e-05,3.932719e-05,3.932480e-05,3.926147e-05,3.924256e-05,3.919166e-05,3.914685e-05,3.911580e-05,3.904102e-05,3.903430e-05,3.894754e-05,3.892597e-05,3.885587e-05,3.880253e-05,3.875965e-05,3.867147e-05,3.865920e-05,3.855482e-05,3.853350e-05,3.844682e-05,3.838931e-05,3.833546e-05,3.823951e-05,3.822100e-05,3.810371e-05,3.808469e-05,3.798379e-05,3.792537e-05,3.786149e-05,3.776207e-05,3.773701e-05,3.761054e-05,3.759524e-05,3.748228e-05,3.742533e-05,3.735240e-05,3.725272e-05,3.722107e-05,3.708845e-05,3.707779e-05,3.695469e-05,3.690089e-05,3.681992e-05,3.672234e-05,3.668429e-05,3.654791e-05,3.654244e-05,3.641091e-05,3.636146e-05,3.627340e-05,3.617966e-05,3.613549e-05,3.599727e-05,3.581452e-05,3.563160e-05,3.544871e-05,3.526600e-05,3.508365e-05,3.490181e-05,3.472059e-05,3.454014e-05,3.436056e-05,3.418196e-05,3.400443e-05,3.382806e-05,3.365294e-05,3.347913e-05,3.330670e-05,3.313570e-05,3.296621e-05,3.279825e-05,3.263188e-05,3.246713e-05,3.230405e-05,3.214265e-05,3.198296e-05,3.182502e-05
0.000000e+00,7.546060e-11,3.035507e-10,2.153308e-09,7.270210e-09,1.240781e-08,3.752444e-08,3.900611e-08,9.014415e-08,1.099390e-07,1.737020e-07,2.426173e-07,2.974219e-07,4.534403e-07,4.691301e-07,6.967684e-07,7.605879e-07,9.879106e-07,1.180997e-06,1.348403e-06,1.724846e-06,1.780424e-06,2.281455e-06,2.389438e-06,2.845301e-06,3.160766e-06,3.464227e-06,4.021067e-06,4.130573e-06,4.837367e-06,4.953779e-06,5.578316e-06,5.944383e-06,6.347600e-06,6.979705e-06,7.139689e-06,7.949251e-06,8.047326e-06,8.771124e-06,9.135358e-06,9.600333e-06,1.023251e-05,1.043214e-05,1.126207e-05,1.132826e-05,1.208602e-05,1.241307e-05,1.290022e-05,1.347852e-05,1.370133e-05,1.448640e-05,1.451744e-05,1.525292e-05,1.552390e-05,1.599876e-05,1.649323e-05,1.672221e-05,1.742192e-05,1.809687e-05,1.830750e-05,1.874636e-05,1.914845e-05,1.936995e-05,1.994406e-05,1.996746e-05,2.053890e-05,2.069426e-05,2.108449e-05,2.139957e-05,2.160456e-05,2.206091e-05,2.209960e-05,2.257018e-05,2.267955e-05,2.301696e-05,2.325702e-05,2.344064e-05,2.379499e-05,2.384200e-05,2.422182e-05,2.429528e-05,2.458093e-05,2.475974e-05,2.492012e-05,2.519026e-05,2.524023e-05,2.554207e-05,2.558873e-05,2.582645e-05,2.595697e-05,2.609414e-05,2.629680e-05,2.634592e-05,2.658254e-05,2.660995e-05,2.680472e-05,2.689808e-05,2.701315e-05,2.716278e-05,2.720851e-05,2.739144e-05,2.740556e-05,2.756256e-05,2.762783e-05,2.772245e-05,2.783095e-05,2.787169e-05,2.801082e-05,2.801618e-05,2.814034e-05,2.818471e-05,2.826074e-05,2.833765e-05,2.837250e-05,2.847606e-05,2.857183e-05,2.860090e-05,2.866022e-05,2.871309e-05,2.874161e-05,2.881349e-05,2.881636e-05,2.888481e-05,2.890289e-05,2.894728e-05,2.898203e-05,2.900410e-05,2.905161e-05,2.905554e-05,2.910189e-05,2.911229e-05,2.914341e-05,2.916465e-05,2.918036e-05,2.920928e-05,2.921297e-05,2.924147e-05,2.924669e-05,2.926607e-05,2.927738e-05,2.928697e-05,2.930181e-05,2.930437e-05,2.931846e-05,2.932041e-05,2.932940e-05,2.933358e-05,2.933736e-05,2.934169e-05,2.934250e-05,2.934497e-05,2.934510e-05,2.934491e-05,2.934412e-05,2.934246e-05,2.933907e-05,2.933774e-05,2.933088e-05,2.933024e-05,2.932199e-05,2.931789e-05,2.931118e-05,2.930227e-05,2.929856e-05,2.928423e-05,2.928362e-05,2.926828e-05,2.926216e-05,2.925080e-05,2.923809e-05,2.923188e-05,2.921160e-05,2.918289e-05,2.915211e-05,2.911943e-05,2.908500e-05,2.904895e-05,2.901142e-05,2.897253e-05,2.893240e-05,2.889114e-05,2.884885e-05,2.880562e-05,2.876155e-05,2.871672e-05,2.867122e-05,2.862510e-05,2.857846e-05,2.853135e-05,2.848384e-05,2.843598e-05,2.838783e-05,2.833945e-05,2.829087e-05,2.824215e-05,2.819334e-05
0.000000e+00,2.426054e-09,5.610758e-09,1.948189e-08,4.445844e-08,6.488176e-08,1.468121e-07,1.511989e-07,2.900522e-07,3.398380e-07,4.922732e-07,6.482724e-07,7.680129e-07,1.094783e-06,1.126746e-06,1.577129e-06,1.699724e-06,2.126672e-06,2.479981e-06,2.781171e-06,3.446621e-06,3.543890e-06,4.414528e-06,4.601268e-06,5.388252e-06,5.932283e-06,6.455340e-06,7.413787e-06,7.601928e-06,8.811782e-06,9.010112e-06,1.006834e-05,1.068349e-05,1.135619e-05,1.239975e-05,1.266167e-05,1.397306e-05,1.413033e-05,1.528033e-05,1.585198e-05,1.657497e-05,1.754594e-05,1.784973e-05,1.909852e-05,1.919714e-05,2.031625e-05,2.079367e-05,2.149871e-05,2.232632e-05,2.264253e-05,2.374506e-05,2.378827e-05,2.480431e-05,2.517475e-05,2.581885e-05,2.648273e-05,2.678779e-05,2.771066e-05,2.858737e-05,2.885820e-05,2.941816e-05,2.992599e-05,3.020354e-05,3.091545e-05,3.094423e-05,3.164113e-05,3.182856e-05,3.229531e-05,3.266778e-05,3.290791e-05,3.343586e-05,3.348019e-05,3.401345e-05,3.413578e-05,3.450905e-05,3.477064e-05,3.496835e-05,3.534362e-05,3.539275e-05,3.578364e-05,3.585792e-05,3.614240e-05,3.631670e-05,3.647038e-05,3.672309e-05,3.676894e-05,3.703938e-05,3.708013e-05,3.728300e-05,3.739079e-05,3.750106e-05,3.765791e-05,3.769476e-05,3.786529e-05,3.788425e-05,3.801379e-05,3.807244e-05,3.814138e-05,3.822501e-05,3.824911e-05,3.833803e-05,3.834436e-05,3.840912e-05,3.843277e-05,3.846333e-05,3.849244e-05,3.850159e-05,3.852478e-05,3.852541e-05,3.853374e-05,3.853364e-05,3.852928e-05,3.851899e-05,3.851219e-05,3.848321e-05,3.844304e-05,3.842794e-05,3.839237e-05,3.835474e-05,3.833186e-05,3.826509e-05,3.826213e-05,3.818377e-05,3.816036e-05,3.809735e-05,3.804186e-05,3.800341e-05,3.791080e-05,3.790248e-05,3.779503e-05,3.776833e-05,3.768155e-05,3.761552e-05,3.756247e-05,3.745340e-05,3.743823e-05,3.730922e-05,3.728289e-05,3.717584e-05,3.710488e-05,3.703845e-05,3.692020e-05,3.689740e-05,3.675301e-05,3.672962e-05,3.660560e-05,3.653386e-05,3.645547e-05,3.633360e-05,3.630290e-05,3.614815e-05,3.612945e-05,3.599148e-05,3.592199e-05,3.583312e-05,3.571178e-05,3.567331e-05,3.551225e-05,3.549932e-05,3.535015e-05,3.528506e-05,3.518720e-05,3.506944e-05,3.502357e-05,3.485944e-05,3.485287e-05,3.469497e-05,3.463571e-05,3.453031e-05,3.441830e-05,3.436559e-05,3.420096e-05,3.398397e-05,3.376761e-05,3.355212e-05,3.333772e-05,3.312461e-05,3.291297e-05,3.270299e-05,3.249480e-05,3.228855e-05,3.208436e-05,3.188234e-05,3.168260e-05,3.148521e-05,3.129026e-05,3.109781e-05,3.090793e-05,3.072066e-05,3.053604e-05,3.035410e-05,3.017489e-05,2.999841e-05,2.982468e-05,2.965372e-05,2.948554e-05
0.000000e+00,1.344727e-12,6.771957e-12,7.391846e-11,3.557466e-10,7.271946e-10,3.364217e-09,3.554003e-09,1.189429e-08,1.592742e-08,3.146000e-08,5.205822e-08,7.091982e-08,1.349414e-07,1.421344e-07,2.594420e-07,2.961503e-07,4.380488e-07,5.702780e-07,6.923381e-07,9.886036e-07,1.034683e-06,1.474838e-06,1.575268e-06,2.019758e-06,2.346023e-06,2.673654e-06,3.308412e-06,3.438164e-06,4.312563e-06,4.462502e-06,5.293981e-06,5.801729e-06,6.377604e-06,7.313751e-06,7.556897e-06,8.823817e-06,8.981305e-06,1.016905e-05,1.078313e-05,1.158227e-05,1.269498e-05,1.305238e-05,1.456781e-05,1.469065e-05,1.611678e-05,1.674312e-05,1.768754e-05,1.882551e-05,1.926861e-05,2.084902e-05,2.091207e-05,2.241845e-05,2.297890e-05,2.396740e-05,2.500457e-05,2.548729e-05,2.697050e-05,2.841046e-05,2.886118e-05,2.980162e-05,3.066420e-05,3.113941e-05,3.237016e-05,3.242027e-05,3.364150e-05,3.397250e-05,3.480128e-05,3.546717e-05,3.589852e-05,3.685238e-05,3.693281e-05,3.790434e-05,3.812824e-05,3.881381e-05,3.929641e-05,3.966235e-05,4.035982e-05,4.045142e-05,4.118281e-05,4.132234e-05,4.185850e-05,4.218855e-05,4.248064e-05,4.296353e-05,4.305152e-05,4.357348e-05,4.365261e-05,4.404891e-05,4.426130e-05,4.448021e-05,4.479508e-05,4.486976e-05,4.521989e-05,4.525937e-05,4.553289e-05,4.565942e-05,4.581097e-05,4.600028e-05,4.605627e-05,4.627083e-05,4.628673e-05,4.645662e-05,4.652331e-05,4.661551e-05,4.671424e-05,4.674926e-05,4.685956e-05,4.686351e-05,4.694799e-05,4.697477e-05,4.701606e-05,4.705143e-05,4.706516e-05,4.709663e-05,4.711171e-05,4.711326e-05,4.711156e-05,4.710399e-05,4.709729e-05,4.707125e-05,4.706992e-05,4.703040e-05,4.701728e-05,4.697964e-05,4.694413e-05,4.691846e-05,4.685366e-05,4.684766e-05,4.676796e-05,4.674759e-05,4.668006e-05,4.662748e-05,4.658458e-05,4.649477e-05,4.648212e-05,4.637325e-05,4.635076e-05,4.625849e-05,4.619664e-05,4.613831e-05,4.603351e-05,4.601318e-05,4.588352e-05,4.586238e-05,4.574972e-05,4.568414e-05,4.561216e-05,4.549964e-05,4.547119e-05,4.532712e-05,4.530964e-05,4.518027e-05,4.511484e-05,4.503090e-05,4.491588e-05,4.487930e-05,4.472570e-05,4.471333e-05,4.457034e-05,4.450775e-05,4.441343e-05,4.429961e-05,4.425518e-05,4.409577e-05,4.408937e-05,4.393539e-05,4.387744e-05,4.377419e-05,4.366420e-05,4.361234e-05,4.344998e-05,4.323512e-05,4.301988e-05,4.280455e-05,4.258936e-05,4.237453e-05,4.216026e-05,4.194675e-05,4.173415e-05,4.152263e-05,4.131231e-05,4.110334e-05,4.089582e-05,4.068985e-05,4.048554e-05,4.028297e-05,4.008221e-05,3.988334e-05,3.968642e-05,3.949149e-05,3.929862e-05,3.910784e-05,3.891918e-05,3.873269e-05,3.854838e-05
0.000000e+00,3.886323e-09,1.009580e-08,3.973320e-08,9.655623e-08,1.446422e-07,3.464750e-07,3.576103e-07,7.242489e-07,8.617927e-07,1.300601e-06,1.774492e-06,2.153231e-06,3.240764e-06,3.350610e-06,4.939947e-06,5.380582e-06,6.917036e-06,8.172430e-06,9.221102e-06,1.145105e-05,1.176651e-05,1.447573e-05,1.503176e-05,1.729018e-05,1.878067e-05,2.016727e-05,2.260874e-05,2.307490e-05,2.598748e-05,2.645247e-05,2.888363e-05,3.026247e-05,3.174504e-05,3.399847e-05,3.455594e-05,3.730290e-05,3.762768e-05,3.997470e-05,4.112407e-05,4.256224e-05,4.446793e-05,4.505834e-05,4.745763e-05,4.764526e-05,4.975631e-05,5.064705e-05,5.195206e-05,5.346862e-05,5.404380e-05,5.603149e-05,5.610885e-05,5.791598e-05,5.856935e-05,5.969851e-05,6.085337e-05,6.138105e-05,6.296604e-05,6.445613e-05,6.491340e-05,6.585429e-05,6.670229e-05,6.716362e-05,6.833997e-05,6.838732e-05,6.952861e-05,6.983385e-05,7.059074e-05,7.119138e-05,7.157698e-05,7.242004e-05,7.249052e-05,7.333454e-05,7.352711e-05,7.411212e-05,7.451967e-05,7.482627e-05,7.540457e-05,7.547991e-05,7.607588e-05,7.618840e-05,7.661694e-05,7.687748e-05,7.710574e-05,7.747782e-05,7.754484e-05,7.793670e-05,7.799517e-05,7.828368e-05,7.843496e-05,7.858806e-05,7.880236e-05,7.885202e-05,7.907765e-05,7.910225e-05,7.926696e-05,7.933925e-05,7.942187e-05,7.951773e-05,7.954422e-05,7.963576e-05,7.964180e-05,7.969818e-05,7.971535e-05,7.973307e-05,7.974203e-05,7.974199e-05,7.972639e-05,7.972527e-05,7.968767e-05,7.966832e-05,7.962716e-05,7.957422e-05,7.954614e-05,7.944582e-05,7.932736e-05,7.928580e-05,7.919186e-05,7.909668e-05,7.904037e-05,7.888083e-05,7.887389e-05,7.869338e-05,7.864044e-05,7.849973e-05,7.837760e-05,7.829382e-05,7.809425e-05,7.807646e-05,7.784843e-05,7.779220e-05,7.761048e-05,7.747316e-05,7.736332e-05,7.713872e-05,7.710760e-05,7.684397e-05,7.679035e-05,7.657304e-05,7.642946e-05,7.629537e-05,7.605733e-05,7.601152e-05,7.572201e-05,7.567519e-05,7.542731e-05,7.528416e-05,7.512791e-05,7.488529e-05,7.482424e-05,7.451671e-05,7.447957e-05,7.420574e-05,7.406791e-05,7.389169e-05,7.365117e-05,7.357492e-05,7.325577e-05,7.323014e-05,7.293455e-05,7.280556e-05,7.261158e-05,7.237810e-05,7.228712e-05,7.196147e-05,7.194842e-05,7.163486e-05,7.151709e-05,7.130754e-05,7.108467e-05,7.097974e-05,7.065167e-05,7.021855e-05,6.978575e-05,6.935367e-05,6.892268e-05,6.849312e-05,6.806530e-05,6.763952e-05,6.721604e-05,6.679510e-05,6.637692e-05,6.596170e-05,6.554964e-05,6.514088e-05,6.473559e-05,6.433390e-05,6.393594e-05,6.354180e-05,6.315160e-05,6.276541e-05,6.238330e-05,6.200535e-05,6.163162e-05,6.126214e-05,6.089695e-05
0.000000e+00,7.446987e-13,3.772068e-12,4.164533e-11,2.022967e-10,4.153829e-10,1.938802e-09,2.048710e-09,6.879322e-09,9.209867e-09,1.813752e-08,2.986684e-08,4.051777e-08,7.625926e-08,8.024904e-08,1.450378e-07,1.652867e-07,2.437948e-07,3.174982e-07,3.860957e-07,5.549306e-07,5.814818e-07,8.387849e-07,8.983700e-07,1.165596e-06,1.365066e-06,1.567905e-06,1.967307e-06,2.049898e-06,2.613877e-06,2.711775e-06,3.260256e-06,3.599444e-06,3.987640e-06,4.625845e-06,4.792935e-06,5.671507e-06,5.781588e-06,6.617364e-06,7.053053e-06,7.623365e-06,8.423215e-06,8.681444e-06,9.782845e-06,9.872555e-06,1.091835e-05,1.138000e-05,1.207854e-05,1.292385e-05,1.325396e-05,1.443539e-05,1.448264e-05,1.561396e-05,1.603592e-05,1.678134e-05,1.756483e-05,1.792987e-05,1.905262e-05,2.014348e-05,2.048494e-05,2.119719e-05,2.184999e-05,2.220934e-05,2.313859e-05,2.317637e-05,2.409554e-05,2.434405e-05,2.496489e-05,2.546204e-05,2.578317e-05,2.649036e-05,2.654978e-05,2.726470e-05,2.742863e-05,2.792840e-05,2.827804e-05,2.854183e-05,2.904106e-05,2.910625e-05,2.962326e-05,2.972113e-05,3.009467e-05,3.032245e-05,3.052249e-05,3.084971e-05,3.090883e-05,3.125591e-05,3.130795e-05,3.156596e-05,3.170230e-05,3.184124e-05,3.203793e-05,3.208397e-05,3.229635e-05,3.231990e-05,3.248049e-05,3.255310e-05,3.263844e-05,3.274218e-05,3.277216e-05,3.288352e-05,3.289151e-05,3.297426e-05,3.300517e-05,3.304606e-05,3.308690e-05,3.310046e-05,3.313892e-05,3.314015e-05,3.316279e-05,3.316805e-05,3.317332e-05,3.317346e-05,3.317167e-05,3.315893e-05,3.313608e-05,3.312678e-05,3.310403e-05,3.307908e-05,3.306362e-05,3.301768e-05,3.301562e-05,3.296074e-05,3.294423e-05,3.289962e-05,3.286020e-05,3.283286e-05,3.276692e-05,3.276099e-05,3.268453e-05,3.266555e-05,3.260392e-05,3.255713e-05,3.251959e-05,3.244260e-05,3.243191e-05,3.234124e-05,3.232277e-05,3.224789e-05,3.219840e-05,3.215217e-05,3.207013e-05,3.205435e-05,3.195467e-05,3.193856e-05,3.185336e-05,3.180422e-05,3.175064e-05,3.166757e-05,3.164669e-05,3.154170e-05,3.152904e-05,3.143583e-05,3.138901e-05,3.132923e-05,3.124782e-05,3.122204e-05,3.111440e-05,3.110577e-05,3.100641e-05,3.096314e-05,3.089819e-05,3.082019e-05,3.078984e-05,3.068147e-05,3.067713e-05,3.057314e-05,3.053417e-05,3.046495e-05,3.039150e-05,3.035697e-05,3.024927e-05,3.010764e-05,2.996674e-05,2.982670e-05,2.968762e-05,2.954960e-05,2.941273e-05,2.927708e-05,2.914274e-05,2.900977e-05,2.887821e-05,2.874813e-05,2.861956e-05,2.849254e-05,2.836711e-05,2.824329e-05,2.812112e-05,2.800060e-05,2.788176e-05,2.776461e-05,2.764916e-05,2.753542e-05,2.742339e-05,2.731308e-05,2.720448e-05
0.000000e+00,5.144928e-10,2.109977e-09,1.548560e-08,5.361213e-08,9.259132e-08,2.874887e-07,2.991312e-07,7.069823e-07,8.672881e-07,1.390533e-06,1.965715e-06,2.429057e-06,3.771164e-06,3.907721e-06,5.912875e-06,6.481091e-06,8.516339e-06,1.024925e-05,1.174778e-05,1.508442e-05,1.557191e-05,1.989614e-05,2.081080e-05,2.460444e-05,2.716767e-05,2.958798e-05,3.392063e-05,3.475701e-05,4.003987e-05,4.089164e-05,4.537812e-05,4.794538e-05,5.072237e-05,5.497319e-05,5.602989e-05,6.126346e-05,6.188493e-05,6.639080e-05,6.860592e-05,7.138440e-05,7.507582e-05,7.622134e-05,8.088308e-05,8.124799e-05,8.535519e-05,8.708843e-05,8.962700e-05,9.257444e-05,9.369119e-05,9.754340e-05,9.769305e-05,1.011818e-04,1.024393e-04,1.046067e-04,1.068147e-04,1.078202e-04,1.108257e-04,1.136277e-04,1.144823e-04,1.162319e-04,1.177976e-04,1.186444e-04,1.207862e-04,1.208719e-04,1.229214e-04,1.234643e-04,1.248000e-04,1.258483e-04,1.265152e-04,1.279550e-04,1.280742e-04,1.294842e-04,1.298012e-04,1.307524e-04,1.314033e-04,1.318858e-04,1.327771e-04,1.328912e-04,1.337754e-04,1.339382e-04,1.345447e-04,1.349014e-04,1.352054e-04,1.356808e-04,1.357635e-04,1.362247e-04,1.362899e-04,1.365946e-04,1.367414e-04,1.368786e-04,1.370474e-04,1.370817e-04,1.372089e-04,1.372192e-04,1.372647e-04,1.372678e-04,1.372536e-04,1.372030e-04,1.371798e-04,1.370475e-04,1.370344e-04,1.368603e-04,1.367710e-04,1.366221e-04,1.364210e-04,1.363363e-04,1.360062e-04,1.359921e-04,1.356349e-04,1.354918e-04,1.352255e-04,1.349267e-04,1.347807e-04,1.343032e-04,1.337957e-04,1.336273e-04,1.332603e-04,1.329043e-04,1.326996e-04,1.321393e-04,1.321156e-04,1.315103e-04,1.313372e-04,1.308856e-04,1.305024e-04,1.302435e-04,1.296388e-04,1.295856e-04,1.289134e-04,1.287502e-04,1.282287e-04,1.278402e-04,1.275326e-04,1.269119e-04,1.268268e-04,1.261123e-04,1.259684e-04,1.253903e-04,1.250124e-04,1.246621e-04,1.240464e-04,1.239287e-04,1.231910e-04,1.230727e-04,1.224500e-04,1.220934e-04,1.217066e-04,1.211106e-04,1.209615e-04,1.202155e-04,1.201260e-04,1.194694e-04,1.191412e-04,1.187237e-04,1.181577e-04,1.179792e-04,1.172363e-04,1.171770e-04,1.164956e-04,1.162001e-04,1.157577e-04,1.152283e-04,1.150229e-04,1.142918e-04,1.142626e-04,1.135646e-04,1.133039e-04,1.128418e-04,1.123529e-04,1.121236e-04,1.114105e-04,1.104773e-04,1.095539e-04,1.086407e-04,1.077383e-04,1.068471e-04,1.059673e-04,1.050993e-04,1.042434e-04,1.033996e-04,1.025683e-04,1.017495e-04,1.009433e-04,1.001498e-04,9.936910e-05,9.860111e-05,9.784588e-05,9.710338e-05,9.637356e-05,9.565636e-05,9.495170e-05,9.425949e-05,9.357964e-05,9.291203e-05,9.225654e-05
0.000000e+00,2.632651e-09,6.605256e-09,2.498252e-08,5.932522e-08,8.788244e-08,2.043730e-07,2.106682e-07,4.119263e-07,4.848637e-07,7.102602e-07,9.437861e-07,1.124777e-06,1.625264e-06,1.674663e-06,2.376657e-06,2.569022e-06,3.239852e-06,3.793000e-06,4.261130e-06,5.279738e-06,5.426608e-06,6.717786e-06,6.989461e-06,8.116294e-06,8.880318e-06,9.605406e-06,1.091507e-05,1.116984e-05,1.279524e-05,1.306003e-05,1.446780e-05,1.528344e-05,1.617415e-05,1.755486e-05,1.790138e-05,1.963713e-05,1.984543e-05,2.136982e-05,2.212843e-05,2.308872e-05,2.437981e-05,2.478407e-05,2.644719e-05,2.657861e-05,2.807053e-05,2.870726e-05,2.964768e-05,3.075157e-05,3.117328e-05,3.264305e-05,3.270063e-05,3.405368e-05,3.454653e-05,3.540272e-05,3.628403e-05,3.668855e-05,3.791021e-05,3.906739e-05,3.942409e-05,4.016028e-05,4.082626e-05,4.118951e-05,4.211859e-05,4.215607e-05,4.306125e-05,4.330391e-05,4.390660e-05,4.438580e-05,4.469383e-05,4.536835e-05,4.542481e-05,4.610149e-05,4.625604e-05,4.672590e-05,4.705350e-05,4.730010e-05,4.776550e-05,4.782616e-05,4.830617e-05,4.839682e-05,4.874218e-05,4.895220e-05,4.913624e-05,4.943628e-05,4.949033e-05,4.980640e-05,4.985357e-05,5.008634e-05,5.020843e-05,5.033200e-05,5.050504e-05,5.054515e-05,5.072751e-05,5.074741e-05,5.088074e-05,5.093934e-05,5.100642e-05,5.108447e-05,5.110609e-05,5.118122e-05,5.118621e-05,5.123320e-05,5.124782e-05,5.126339e-05,5.127236e-05,5.127308e-05,5.126349e-05,5.126272e-05,5.123579e-05,5.122160e-05,5.119111e-05,5.115157e-05,5.113051e-05,5.105501e-05,5.096558e-05,5.093417e-05,5.086313e-05,5.079115e-05,5.074855e-05,5.062792e-05,5.062267e-05,5.048628e-05,5.044631e-05,5.034013e-05,5.024806e-05,5.018494e-05,5.003475e-05,5.002137e-05,4.985008e-05,4.980788e-05,4.967166e-05,4.956886e-05,4.948671e-05,4.931897e-05,4.929576e-05,4.909933e-05,4.905943e-05,4.889791e-05,4.879136e-05,4.869196e-05,4.851579e-05,4.848193e-05,4.826821e-05,4.823371e-05,4.805122e-05,4.794600e-05,4.783130e-05,4.765350e-05,4.760881e-05,4.738408e-05,4.735698e-05,4.715742e-05,4.705715e-05,4.692912e-05,4.675467e-05,4.669944e-05,4.646866e-05,4.645016e-05,4.623701e-05,4.614416e-05,4.600472e-05,4.583719e-05,4.577200e-05,4.553906e-05,4.552974e-05,4.530608e-05,4.522223e-05,4.507323e-05,4.491506e-05,4.484069e-05,4.460861e-05,4.430321e-05,4.399916e-05,4.369673e-05,4.339620e-05,4.309777e-05,4.280167e-05,4.250807e-05,4.221715e-05,4.192905e-05,4.164392e-05,4.136185e-05,4.108297e-05,4.080736e-05,4.053511e-05,4.026627e-05,4.000091e-05,3.973907e-05,3.948079e-05,3.922611e-05,3.897505e-05,3.872761e-05,3.848383e-05,3.824369e-05,3.800719e-05
0.000000e+00,3.781531e-09,9.005742e-09,3.227102e-08,7.479820e-08,1.098452e-07,2.517796e-07,2.594253e-07,5.033063e-07,5.915403e-07,8.639942e-07,1.146121e-06,1.364756e-06,1.969568e-06,2.029301e-06,2.879497e-06,3.113060e-06,3.930197e-06,4.607447e-06,5.183127e-06,6.443099e-06,6.625509e-06,8.235521e-06,8.575510e-06,9.989148e-06,1.095022e-05,1.186385e-05,1.351724e-05,1.383930e-05,1.589701e-05,1.623272e-05,1.801980e-05,1.905706e-05,2.019146e-05,2.195363e-05,2.239665e-05,2.462093e-05,2.488847e-05,2.685081e-05,2.783050e-05,2.907389e-05,3.075190e-05,3.127890e-05,3.345577e-05,3.362843e-05,3.559566e-05,3.643952e-05,3.769097e-05,3.916830e-05,3.973522e-05,4.172304e-05,4.180131e-05,4.365008e-05,4.432826e-05,4.551294e-05,4.674168e-05,4.730905e-05,4.903656e-05,5.069430e-05,5.120992e-05,5.228164e-05,5.326051e-05,5.379845e-05,5.518848e-05,5.524500e-05,5.662192e-05,5.699509e-05,5.793009e-05,5.868247e-05,5.917066e-05,6.025341e-05,6.034495e-05,6.145442e-05,6.171122e-05,6.250066e-05,6.305956e-05,6.348535e-05,6.430236e-05,6.441024e-05,6.527712e-05,6.544369e-05,6.608780e-05,6.648776e-05,6.684413e-05,6.743878e-05,6.754794e-05,6.820106e-05,6.830098e-05,6.880532e-05,6.907854e-05,6.936252e-05,6.977558e-05,6.987443e-05,7.034279e-05,7.039615e-05,7.076933e-05,7.094418e-05,7.115571e-05,7.142351e-05,7.150357e-05,7.181451e-05,7.183784e-05,7.209010e-05,7.219077e-05,7.233184e-05,7.248576e-05,7.254120e-05,7.271963e-05,7.272615e-05,7.286851e-05,7.291513e-05,7.298918e-05,7.305580e-05,7.308296e-05,7.315109e-05,7.319480e-05,7.320382e-05,7.321527e-05,7.321670e-05,7.321364e-05,7.319231e-05,7.319101e-05,7.314844e-05,7.313309e-05,7.308696e-05,7.304140e-05,7.300755e-05,7.291947e-05,7.291116e-05,7.279870e-05,7.276942e-05,7.267106e-05,7.259326e-05,7.252908e-05,7.239293e-05,7.237358e-05,7.220534e-05,7.217023e-05,7.202511e-05,7.192690e-05,7.183362e-05,7.166456e-05,7.163155e-05,7.141957e-05,7.138478e-05,7.119832e-05,7.108901e-05,7.096841e-05,7.077865e-05,7.073043e-05,7.048493e-05,7.045500e-05,7.023246e-05,7.011930e-05,6.997353e-05,6.977272e-05,6.970862e-05,6.943822e-05,6.941636e-05,6.916277e-05,6.905127e-05,6.888269e-05,6.867840e-05,6.859840e-05,6.831030e-05,6.829870e-05,6.801874e-05,6.791301e-05,6.772410e-05,6.752215e-05,6.742670e-05,6.712688e-05,6.672792e-05,6.632593e-05,6.592154e-05,6.551533e-05,6.510786e-05,6.469962e-05,6.429111e-05,6.388275e-05,6.347496e-05,6.306811e-05,6.266257e-05,6.225867e-05,6.185669e-05,6.145692e-05,6.105963e-05,6.066503e-05,6.027335e-05,5.988479e-05,5.949951e-05,5.911770e-05,5.873948e-05,5.836501e-05,5.799438e-05,5.762772e-05
0.000000e+00,9.268606e-11,3.726937e-10,2.636312e-09,8.867693e-09,1.510415e-08,4.555078e-08,4.734934e-08,1.098680e-07,1.343521e-07,2.144262e-07,3.030277e-07,3.749007e-07,5.849853e-07,6.064523e-07,9.207653e-07,1.008853e-06,1.317801e-06,1.571037e-06,1.782245e-06,2.228010e-06,2.290545e-06,2.820768e-06,2.927939e-06,3.357078e-06,3.634804e-06,3.889262e-06,4.328268e-06,4.410798e-06,4.917228e-06,4.996621e-06,5.405200e-06,5.632059e-06,5.872020e-06,6.228761e-06,6.315500e-06,6.733909e-06,6.782368e-06,7.125984e-06,7.289936e-06,7.490942e-06,7.749961e-06,7.828463e-06,8.138661e-06,8.162309e-06,8.422034e-06,8.528048e-06,8.679407e-06,8.849214e-06,8.911859e-06,9.120663e-06,9.128542e-06,9.307219e-06,9.369217e-06,9.473006e-06,9.574646e-06,9.619529e-06,9.748285e-06,9.860733e-06,9.893502e-06,9.958270e-06,1.001348e-05,1.004222e-05,1.011118e-05,1.011382e-05,1.017421e-05,1.018926e-05,1.022446e-05,1.025014e-05,1.026552e-05,1.029595e-05,1.029828e-05,1.032353e-05,1.032856e-05,1.034200e-05,1.034962e-05,1.035433e-05,1.036056e-05,1.036110e-05,1.036285e-05,1.036264e-05,1.036004e-05,1.035692e-05,1.035310e-05,1.034435e-05,1.034240e-05,1.032831e-05,1.032576e-05,1.031111e-05,1.030184e-05,1.029110e-05,1.027323e-05,1.026852e-05,1.024360e-05,1.024046e-05,1.021655e-05,1.020402e-05,1.018755e-05,1.016432e-05,1.015678e-05,1.012439e-05,1.012174e-05,1.009053e-05,1.007660e-05,1.005532e-05,1.002920e-05,1.001888e-05,9.981321e-06,9.979797e-06,9.942749e-06,9.928633e-06,9.903255e-06,9.875916e-06,9.862923e-06,9.821835e-06,9.780063e-06,9.766563e-06,9.737676e-06,9.710256e-06,9.694739e-06,9.653055e-06,9.651309e-06,9.607443e-06,9.595090e-06,9.563193e-06,9.536479e-06,9.518606e-06,9.477328e-06,9.473728e-06,9.428601e-06,9.417738e-06,9.383264e-06,9.357797e-06,9.337754e-06,9.297589e-06,9.292105e-06,9.246349e-06,9.237188e-06,9.200518e-06,9.176665e-06,9.154639e-06,9.116083e-06,9.108739e-06,9.062842e-06,9.055501e-06,9.016974e-06,8.994973e-06,8.971154e-06,8.934548e-06,8.925405e-06,8.879744e-06,8.874272e-06,8.834191e-06,8.814186e-06,8.788763e-06,8.754330e-06,8.743474e-06,8.698341e-06,8.694737e-06,8.653376e-06,8.635441e-06,8.608594e-06,8.576470e-06,8.564005e-06,8.519622e-06,8.517851e-06,8.475456e-06,8.459610e-06,8.431515e-06,8.401769e-06,8.387809e-06,8.344347e-06,8.287364e-06,8.230836e-06,8.174778e-06,8.119205e-06,8.064127e-06,8.009556e-06,7.955502e-06,7.901972e-06,7.848975e-06,7.796516e-06,7.744602e-06,7.693235e-06,7.642421e-06,7.592163e-06,7.542462e-06,7.493321e-06,7.444739e-06,7.396719e-06,7.349259e-06,7.302360e-06,7.256020e-06,7.210237e-06,7.165011e-06,7.120338e-06
0.000000e+00,2.661162e-10,1.045464e-09,7.112522e-09,2.327935e-08,3.914564e-08,1.145419e-07,1.189193e-07,2.672431e-07,3.235859e-07,5.021940e-07,6.912777e-07,8.392240e-07,1.250627e-06,1.291286e-06,1.868686e-06,2.026774e-06,2.578390e-06,3.034662e-06,3.422508e-06,4.272919e-06,4.396267e-06,5.487108e-06,5.717760e-06,6.676459e-06,7.326848e-06,7.943186e-06,9.051713e-06,9.266403e-06,1.062671e-05,1.084660e-05,1.200647e-05,1.267092e-05,1.338976e-05,1.448932e-05,1.476236e-05,1.611172e-05,1.627155e-05,1.742702e-05,1.799256e-05,1.869919e-05,1.963259e-05,1.992084e-05,2.108623e-05,2.117690e-05,2.219113e-05,2.261546e-05,2.323266e-05,2.394235e-05,2.420917e-05,2.512004e-05,2.515511e-05,2.596552e-05,2.625406e-05,2.674659e-05,2.724170e-05,2.746479e-05,2.812210e-05,2.872084e-05,2.890048e-05,2.926356e-05,2.958275e-05,2.975297e-05,3.017522e-05,3.019184e-05,3.058302e-05,3.068438e-05,3.092931e-05,3.111669e-05,3.123348e-05,3.147845e-05,3.149824e-05,3.172619e-05,3.177570e-05,3.191985e-05,3.201423e-05,3.208163e-05,3.219944e-05,3.221381e-05,3.231857e-05,3.233642e-05,3.239797e-05,3.242988e-05,3.245394e-05,3.248419e-05,3.248831e-05,3.250280e-05,3.250338e-05,3.249902e-05,3.249117e-05,3.247849e-05,3.245094e-05,3.244260e-05,3.239267e-05,3.238579e-05,3.232992e-05,3.229854e-05,3.225549e-05,3.219177e-05,3.217045e-05,3.207580e-05,3.206784e-05,3.197245e-05,3.192887e-05,3.186126e-05,3.177680e-05,3.174302e-05,3.161848e-05,3.161338e-05,3.148831e-05,3.144020e-05,3.135316e-05,3.125871e-05,3.121361e-05,3.107020e-05,3.092344e-05,3.087585e-05,3.077380e-05,3.067672e-05,3.062171e-05,3.047375e-05,3.046755e-05,3.031171e-05,3.026782e-05,3.015452e-05,3.005968e-05,2.999628e-05,2.985004e-05,2.983730e-05,2.967782e-05,2.963950e-05,2.951810e-05,2.942863e-05,2.935835e-05,2.921791e-05,2.919878e-05,2.903957e-05,2.900779e-05,2.888090e-05,2.879865e-05,2.872292e-05,2.859085e-05,2.856577e-05,2.840957e-05,2.838468e-05,2.825446e-05,2.818041e-05,2.810052e-05,2.797829e-05,2.794786e-05,2.779656e-05,2.777850e-05,2.764670e-05,2.758124e-05,2.749835e-05,2.738665e-05,2.735157e-05,2.720640e-05,2.719486e-05,2.706290e-05,2.700598e-05,2.692111e-05,2.682010e-05,2.678107e-05,2.664280e-05,2.663731e-05,2.650633e-05,2.645765e-05,2.637169e-05,2.628118e-05,2.623888e-05,2.610793e-05,2.593793e-05,2.577119e-05,2.560771e-05,2.544750e-05,2.529054e-05,2.513682e-05,2.498633e-05,2.483902e-05,2.469489e-05,2.455388e-05,2.441597e-05,2.428112e-05,2.414928e-05,2.402041e-05,2.389447e-05,2.377140e-05,2.365117e-05,2.353372e-05,2.341899e-05,2.330695e-05,2.319754e-05,2.309071e-05,2.298640e-05,2.288457e-05
0.000000e+00,8.727946e-09,2.003099e-08,6.930512e-08,1.589104e-07,2.331191e-07,5.392556e-07,5.560219e-07,1.105724e-06,1.311514e-06,1.968338e-06,2.678591e-06,3.246300e-06,4.868888e-06,5.031668e-06,7.354982e-06,7.988342e-06,1.016687e-05,1.192298e-05,1.338171e-05,1.648151e-05,1.692126e-05,2.072565e-05,2.151409e-05,2.474895e-05,2.691479e-05,2.895321e-05,3.259978e-05,3.330457e-05,3.777145e-05,3.849484e-05,4.232386e-05,4.453099e-05,4.693338e-05,5.064415e-05,5.157338e-05,5.621932e-05,5.677615e-05,6.084897e-05,6.287568e-05,6.544257e-05,6.889889e-05,6.998287e-05,7.445503e-05,7.480947e-05,7.884660e-05,8.057826e-05,8.314715e-05,8.618238e-05,8.734826e-05,9.144330e-05,9.160482e-05,9.542701e-05,9.683311e-05,9.929549e-05,1.018588e-04,1.030460e-04,1.066767e-04,1.101867e-04,1.112843e-04,1.135756e-04,1.156810e-04,1.168437e-04,1.198681e-04,1.199918e-04,1.230210e-04,1.238481e-04,1.259328e-04,1.276242e-04,1.287289e-04,1.312008e-04,1.314113e-04,1.339820e-04,1.345826e-04,1.364432e-04,1.377745e-04,1.387973e-04,1.407822e-04,1.410467e-04,1.431938e-04,1.436111e-04,1.452411e-04,1.462671e-04,1.471912e-04,1.487560e-04,1.490466e-04,1.508099e-04,1.510836e-04,1.524835e-04,1.532558e-04,1.540701e-04,1.552784e-04,1.555722e-04,1.569922e-04,1.571573e-04,1.583327e-04,1.588979e-04,1.595960e-04,1.605060e-04,1.607846e-04,1.619008e-04,1.619871e-04,1.629470e-04,1.633464e-04,1.639255e-04,1.645893e-04,1.648384e-04,1.656881e-04,1.657208e-04,1.664766e-04,1.667459e-04,1.672061e-04,1.676695e-04,1.678786e-04,1.684962e-04,1.690609e-04,1.692307e-04,1.695745e-04,1.698773e-04,1.700389e-04,1.704402e-04,1.704560e-04,1.708276e-04,1.709237e-04,1.711554e-04,1.713317e-04,1.714411e-04,1.716682e-04,1.716863e-04,1.718927e-04,1.719367e-04,1.720619e-04,1.721409e-04,1.721952e-04,1.722842e-04,1.722943e-04,1.723605e-04,1.723700e-04,1.723953e-04,1.724014e-04,1.724000e-04,1.723816e-04,1.723758e-04,1.723242e-04,1.723134e-04,1.722462e-04,1.721998e-04,1.721431e-04,1.720434e-04,1.720161e-04,1.718663e-04,1.718468e-04,1.716947e-04,1.716126e-04,1.715024e-04,1.713431e-04,1.712905e-04,1.710598e-04,1.710406e-04,1.708114e-04,1.707073e-04,1.705462e-04,1.703454e-04,1.702651e-04,1.699689e-04,1.699567e-04,1.696584e-04,1.695433e-04,1.693345e-04,1.691069e-04,1.689979e-04,1.686494e-04,1.681722e-04,1.676772e-04,1.671657e-04,1.666391e-04,1.660990e-04,1.655465e-04,1.649829e-04,1.644093e-04,1.638270e-04,1.632368e-04,1.626400e-04,1.620373e-04,1.614296e-04,1.608180e-04,1.602030e-04,1.595856e-04,1.589663e-04,1.583460e-04,1.577252e-04,1.571044e-04,1.564844e-04,1.558656e-04,1.552484e-04,1.546334e-04
0.000000e+00,2.255325e-09,5.263095e-09,1.848360e-08,4.249691e-08,6.225602e-08,1.423271e-07,1.466461e-07,2.848050e-07,3.349825e-07,4.905326e-07,6.524233e-07,7.782735e-07,1.126698e-06,1.161035e-06,1.645848e-06,1.777434e-06,2.232059e-06,2.602995e-06,2.915207e-06,3.592769e-06,3.690528e-06,4.553633e-06,4.736403e-06,5.500067e-06,6.023529e-06,6.524880e-06,7.442172e-06,7.622408e-06,8.786242e-06,8.978144e-06,1.000931e-05,1.061521e-05,1.128403e-05,1.233569e-05,1.260250e-05,1.395666e-05,1.412118e-05,1.533852e-05,1.595329e-05,1.674027e-05,1.781431e-05,1.815447e-05,1.957412e-05,1.968772e-05,2.099273e-05,2.155855e-05,2.240443e-05,2.341357e-05,2.380391e-05,2.518650e-05,2.524139e-05,2.654811e-05,2.703246e-05,2.788523e-05,2.877895e-05,2.919489e-05,3.047461e-05,3.172238e-05,3.211464e-05,3.293658e-05,3.369546e-05,3.411597e-05,3.521460e-05,3.525965e-05,3.636698e-05,3.667046e-05,3.743758e-05,3.806223e-05,3.847129e-05,3.938973e-05,3.946812e-05,4.042826e-05,4.065326e-05,4.135201e-05,4.185356e-05,4.223978e-05,4.299167e-05,4.309209e-05,4.390953e-05,4.406889e-05,4.469274e-05,4.508672e-05,4.544243e-05,4.604679e-05,4.615932e-05,4.684419e-05,4.695085e-05,4.749783e-05,4.780071e-05,4.812103e-05,4.859823e-05,4.871462e-05,4.927941e-05,4.934529e-05,4.981623e-05,5.004378e-05,5.032590e-05,5.069560e-05,5.080924e-05,5.126705e-05,5.130259e-05,5.170013e-05,5.186662e-05,5.210927e-05,5.238947e-05,5.249526e-05,5.285885e-05,5.287293e-05,5.320079e-05,5.331873e-05,5.352182e-05,5.372854e-05,5.382266e-05,5.410401e-05,5.436656e-05,5.444672e-05,5.461099e-05,5.475821e-05,5.483794e-05,5.503998e-05,5.504806e-05,5.524198e-05,5.529345e-05,5.542028e-05,5.552002e-05,5.558357e-05,5.572104e-05,5.573243e-05,5.586739e-05,5.589778e-05,5.598902e-05,5.605149e-05,5.609782e-05,5.618338e-05,5.619433e-05,5.627902e-05,5.629458e-05,5.635237e-05,5.638620e-05,5.641487e-05,5.645930e-05,5.646695e-05,5.650905e-05,5.651489e-05,5.654160e-05,5.655395e-05,5.656500e-05,5.657741e-05,5.657966e-05,5.658595e-05,5.658616e-05,5.658425e-05,5.658107e-05,5.657492e-05,5.656294e-05,5.655830e-05,5.653473e-05,5.653256e-05,5.650454e-05,5.649067e-05,5.646803e-05,5.643800e-05,5.642550e-05,5.637726e-05,5.637522e-05,5.632358e-05,5.630298e-05,5.626474e-05,5.622191e-05,5.620099e-05,5.613259e-05,5.603559e-05,5.593145e-05,5.582068e-05,5.570377e-05,5.558117e-05,5.545334e-05,5.532069e-05,5.518362e-05,5.504250e-05,5.489770e-05,5.474956e-05,5.459840e-05,5.444452e-05,5.428822e-05,5.412978e-05,5.396944e-05,5.380747e-05,5.364408e-05,5.347950e-05,5.331394e-05,5.314760e-05,5.298065e-05,5.281328e-05,5.264564e-05
0.000000e+00,1.346442e-09,4.272075e-09,2.119647e-08,5.753595e-08,8.968269e-08,2.285119e-07,2.362277e-07,4.889275e-07,5.824612e-07,8.753498e-07,1.182901e-06,1.423191e-06,2.093491e-06,2.160008e-06,3.110327e-06,3.372155e-06,4.289429e-06,5.050796e-06,5.699012e-06,7.123410e-06,7.330506e-06,9.171492e-06,9.563685e-06,1.120898e-05,1.234177e-05,1.342976e-05,1.542671e-05,1.581991e-05,1.836435e-05,1.878471e-05,2.104680e-05,2.237832e-05,2.384987e-05,2.616700e-05,2.675541e-05,2.974484e-05,3.010832e-05,3.279954e-05,3.415956e-05,3.590127e-05,3.827918e-05,3.903244e-05,4.217645e-05,4.242806e-05,4.531784e-05,4.657044e-05,4.844245e-05,5.067456e-05,5.153752e-05,5.459174e-05,5.471292e-05,5.759521e-05,5.866235e-05,6.053939e-05,6.250383e-05,6.341707e-05,6.622226e-05,6.895010e-05,6.980601e-05,7.159673e-05,7.324657e-05,7.415923e-05,7.653812e-05,7.663549e-05,7.902411e-05,7.967709e-05,8.132430e-05,8.266186e-05,8.353584e-05,8.549233e-05,8.565894e-05,8.769422e-05,8.816972e-05,8.964264e-05,9.069624e-05,9.150539e-05,9.307490e-05,9.328393e-05,9.497988e-05,9.530931e-05,9.659501e-05,9.740357e-05,9.813122e-05,9.936210e-05,9.959049e-05,1.009749e-04,1.011896e-04,1.022865e-04,1.028908e-04,1.035274e-04,1.044706e-04,1.046997e-04,1.058057e-04,1.059341e-04,1.068474e-04,1.072860e-04,1.078270e-04,1.085312e-04,1.087465e-04,1.096081e-04,1.096746e-04,1.104138e-04,1.107208e-04,1.111655e-04,1.116745e-04,1.118653e-04,1.125150e-04,1.125400e-04,1.131166e-04,1.133218e-04,1.136719e-04,1.140239e-04,1.141826e-04,1.146506e-04,1.150775e-04,1.152057e-04,1.154649e-04,1.156929e-04,1.158145e-04,1.161160e-04,1.161279e-04,1.164065e-04,1.164784e-04,1.166518e-04,1.167835e-04,1.168652e-04,1.170346e-04,1.170481e-04,1.172019e-04,1.172346e-04,1.173278e-04,1.173866e-04,1.174271e-04,1.174933e-04,1.175009e-04,1.175505e-04,1.175576e-04,1.175770e-04,1.175820e-04,1.175814e-04,1.175689e-04,1.175649e-04,1.175283e-04,1.175207e-04,1.174728e-04,1.174397e-04,1.173992e-04,1.173280e-04,1.173085e-04,1.172015e-04,1.171876e-04,1.170790e-04,1.170205e-04,1.169420e-04,1.168285e-04,1.167911e-04,1.166271e-04,1.166134e-04,1.164508e-04,1.163769e-04,1.162628e-04,1.161205e-04,1.160637e-04,1.158544e-04,1.158458e-04,1.156353e-04,1.155542e-04,1.154071e-04,1.152470e-04,1.151703e-04,1.149255e-04,1.145909e-04,1.142444e-04,1.138872e-04,1.135201e-04,1.131442e-04,1.127604e-04,1.123696e-04,1.119726e-04,1.115702e-04,1.111631e-04,1.107519e-04,1.103375e-04,1.099202e-04,1.095008e-04,1.090797e-04,1.086574e-04,1.082345e-04,1.078114e-04,1.073885e-04,1.069661e-04,1.065446e-04,1.061244e-04,1.057058e-04,1.052890e-04
0.000000e+00,3.856190e-09,9.558899e-09,3.570601e-08,8.451713e-08,1.253047e-07,2.944862e-07,3.037674e-07,6.080417e-07,7.218194e-07,1.084221e-06,1.474924e-06,1.786629e-06,2.677077e-06,2.766482e-06,4.043973e-06,4.391924e-06,5.581868e-06,6.527862e-06,7.301510e-06,8.903272e-06,9.125644e-06,1.099891e-05,1.137604e-05,1.288529e-05,1.386307e-05,1.476065e-05,1.631454e-05,1.660753e-05,1.841237e-05,1.869648e-05,2.016431e-05,2.098382e-05,2.185465e-05,2.315794e-05,2.347659e-05,2.502513e-05,2.520585e-05,2.649687e-05,2.711957e-05,2.788990e-05,2.889551e-05,2.920356e-05,3.043827e-05,3.053367e-05,3.159534e-05,3.203685e-05,3.267676e-05,3.340993e-05,3.368504e-05,3.462310e-05,3.465920e-05,3.549406e-05,3.579181e-05,3.630123e-05,3.681539e-05,3.704799e-05,3.773769e-05,3.837366e-05,3.856636e-05,3.895915e-05,3.930880e-05,3.949726e-05,3.997207e-05,3.999100e-05,4.044322e-05,4.056278e-05,4.085664e-05,4.108715e-05,4.123383e-05,4.155091e-05,4.157719e-05,4.188900e-05,4.195938e-05,4.217139e-05,4.231742e-05,4.242635e-05,4.262952e-05,4.265576e-05,4.286136e-05,4.289976e-05,4.304477e-05,4.313189e-05,4.320752e-05,4.332931e-05,4.335104e-05,4.347664e-05,4.349515e-05,4.358555e-05,4.363225e-05,4.367893e-05,4.374318e-05,4.375785e-05,4.382330e-05,4.383030e-05,4.387621e-05,4.389574e-05,4.391745e-05,4.394148e-05,4.394782e-05,4.396808e-05,4.396929e-05,4.397894e-05,4.398079e-05,4.398104e-05,4.397748e-05,4.397501e-05,4.396140e-05,4.396071e-05,4.394076e-05,4.393171e-05,4.391358e-05,4.389161e-05,4.388034e-05,4.384145e-05,4.379734e-05,4.378219e-05,4.374839e-05,4.371468e-05,4.369494e-05,4.363971e-05,4.363733e-05,4.357588e-05,4.355803e-05,4.351088e-05,4.347028e-05,4.344259e-05,4.337709e-05,4.337128e-05,4.329719e-05,4.327902e-05,4.322054e-05,4.317658e-05,4.314155e-05,4.307025e-05,4.306040e-05,4.297730e-05,4.296046e-05,4.289241e-05,4.284762e-05,4.280590e-05,4.273209e-05,4.271792e-05,4.262861e-05,4.261421e-05,4.253812e-05,4.249430e-05,4.244657e-05,4.237265e-05,4.235409e-05,4.226077e-05,4.224952e-05,4.216674e-05,4.212516e-05,4.207208e-05,4.199979e-05,4.197691e-05,4.188129e-05,4.187362e-05,4.178532e-05,4.174685e-05,4.168907e-05,4.161964e-05,4.159262e-05,4.149604e-05,4.149217e-05,4.139939e-05,4.136459e-05,4.130273e-05,4.123702e-05,4.120612e-05,4.110961e-05,4.098247e-05,4.085570e-05,4.072941e-05,4.060370e-05,4.047863e-05,4.035430e-05,4.023076e-05,4.010809e-05,3.998635e-05,3.986559e-05,3.974585e-05,3.962719e-05,3.950963e-05,3.939323e-05,3.927801e-05,3.916401e-05,3.905124e-05,3.893973e-05,3.882950e-05,3.872057e-05,3.861296e-05,3.850667e-05,3.840172e-05,3.829813e-05
0.000000e+00,3.416007e-12,1.729846e-11,1.908805e-10,9.267674e-10,1.902440e-09,8.872931e-09,9.375616e-09,3.145387e-08,4.209754e-08,8.283498e-08,1.362875e-07,1.847694e-07,3.471547e-07,3.652579e-07,6.588089e-07,7.504577e-07,1.105766e-06,1.439706e-06,1.751157e-06,2.521346e-06,2.642999e-06,3.830036e-06,4.107045e-06,5.358951e-06,6.303178e-06,7.271267e-06,9.198489e-06,9.600164e-06,1.236761e-05,1.285187e-05,1.558209e-05,1.728256e-05,1.923730e-05,2.246489e-05,2.331182e-05,2.777002e-05,2.832862e-05,3.256387e-05,3.476487e-05,3.763550e-05,4.163611e-05,4.292027e-05,4.834989e-05,4.878844e-05,5.385543e-05,5.606379e-05,5.936995e-05,6.331049e-05,6.483064e-05,7.018046e-05,7.039141e-05,7.536919e-05,7.718923e-05,8.035410e-05,8.360920e-05,8.510011e-05,8.957968e-05,9.377245e-05,9.505114e-05,9.766464e-05,9.999406e-05,1.012484e-04,1.043963e-04,1.045212e-04,1.074849e-04,1.082600e-04,1.101449e-04,1.115987e-04,1.125100e-04,1.144348e-04,1.145912e-04,1.164013e-04,1.167969e-04,1.179545e-04,1.187177e-04,1.192658e-04,1.202321e-04,1.203509e-04,1.212253e-04,1.213763e-04,1.219048e-04,1.221862e-04,1.224047e-04,1.226967e-04,1.227399e-04,1.229247e-04,1.229413e-04,1.229729e-04,1.229513e-04,1.228974e-04,1.227562e-04,1.227104e-04,1.224234e-04,1.223827e-04,1.220469e-04,1.218555e-04,1.215909e-04,1.211968e-04,1.210645e-04,1.204762e-04,1.204267e-04,1.198337e-04,1.195632e-04,1.191441e-04,1.186221e-04,1.184138e-04,1.176488e-04,1.176176e-04,1.168544e-04,1.165621e-04,1.160354e-04,1.154667e-04,1.151962e-04,1.143408e-04,1.134728e-04,1.131929e-04,1.125954e-04,1.120302e-04,1.117114e-04,1.108590e-04,1.108234e-04,1.099338e-04,1.096847e-04,1.090445e-04,1.085119e-04,1.081574e-04,1.073446e-04,1.072742e-04,1.063961e-04,1.061863e-04,1.055246e-04,1.050398e-04,1.046606e-04,1.039074e-04,1.038053e-04,1.029593e-04,1.027912e-04,1.021234e-04,1.016929e-04,1.012982e-04,1.006138e-04,1.004844e-04,9.968220e-05,9.955496e-05,9.889212e-05,9.851728e-05,9.811445e-05,9.750140e-05,9.734941e-05,9.659721e-05,9.650782e-05,9.585799e-05,9.553688e-05,9.513186e-05,9.458878e-05,9.441887e-05,9.371905e-05,9.366364e-05,9.303242e-05,9.276144e-05,9.235893e-05,9.188213e-05,9.169853e-05,9.105117e-05,9.102554e-05,9.041673e-05,9.019148e-05,8.979512e-05,8.937969e-05,8.918622e-05,8.858989e-05,8.782172e-05,8.707485e-05,8.634887e-05,8.564341e-05,8.495802e-05,8.429230e-05,8.364580e-05,8.301808e-05,8.240870e-05,8.181721e-05,8.124316e-05,8.068611e-05,8.014561e-05,7.962123e-05,7.911254e-05,7.861911e-05,7.814052e-05,7.767635e-05,7.722620e-05,7.678967e-05,7.636637e-05,7.595591e-05,7.555792e-05,7.517204e-05
0.000000e+00,2.926734e-09,7.884066e-09,3.238832e-08,8.090968e-08,1.230290e-07,3.082865e-07,3.188674e-07,6.852302e-07,8.305639e-07,1.316300e-06,1.866910e-06,2.316822e-06,3.607044e-06,3.735103e-06,5.513998e-06,5.982534e-06,7.546073e-06,8.759938e-06,9.742019e-06,1.176365e-05,1.204419e-05,1.441630e-05,1.489680e-05,1.683342e-05,1.810154e-05,1.927613e-05,2.133556e-05,2.172779e-05,2.417329e-05,2.456306e-05,2.659871e-05,2.775198e-05,2.899130e-05,3.087404e-05,3.133968e-05,3.363388e-05,3.390513e-05,3.586533e-05,3.682539e-05,3.802693e-05,3.961972e-05,4.011339e-05,4.212079e-05,4.227788e-05,4.404634e-05,4.479324e-05,4.588842e-05,4.716264e-05,4.764638e-05,4.932030e-05,4.938552e-05,5.091094e-05,5.146343e-05,5.241960e-05,5.339942e-05,5.384779e-05,5.519767e-05,5.647151e-05,5.686349e-05,5.767180e-05,5.840254e-05,5.880104e-05,5.982067e-05,5.986182e-05,6.085677e-05,6.112392e-05,6.178853e-05,6.231834e-05,6.265971e-05,6.340990e-05,6.347288e-05,6.423055e-05,6.440441e-05,6.493520e-05,6.530754e-05,6.558922e-05,6.612470e-05,6.619491e-05,6.675452e-05,6.686110e-05,6.727021e-05,6.752171e-05,6.774406e-05,6.811123e-05,6.817808e-05,6.857417e-05,6.863415e-05,6.893420e-05,6.909472e-05,6.925992e-05,6.949693e-05,6.955302e-05,6.981514e-05,6.984459e-05,7.004782e-05,7.014125e-05,7.025253e-05,7.039029e-05,7.043070e-05,7.058368e-05,7.059487e-05,7.071276e-05,7.075797e-05,7.081916e-05,7.088240e-05,7.090408e-05,7.096863e-05,7.097080e-05,7.101387e-05,7.102563e-05,7.104084e-05,7.104923e-05,7.105049e-05,7.104377e-05,7.102155e-05,7.101131e-05,7.098468e-05,7.095376e-05,7.093395e-05,7.087293e-05,7.087014e-05,7.079397e-05,7.077052e-05,7.070613e-05,7.064810e-05,7.060728e-05,7.050716e-05,7.049805e-05,7.037905e-05,7.034910e-05,7.025084e-05,7.017522e-05,7.011397e-05,6.998676e-05,6.996894e-05,6.981626e-05,6.978485e-05,6.965639e-05,6.957057e-05,6.948979e-05,6.934494e-05,6.931686e-05,6.913802e-05,6.910888e-05,6.895365e-05,6.886330e-05,6.876412e-05,6.860902e-05,6.856978e-05,6.837095e-05,6.834681e-05,6.816796e-05,6.807740e-05,6.796110e-05,6.780148e-05,6.775066e-05,6.753691e-05,6.751967e-05,6.732011e-05,6.723259e-05,6.710050e-05,6.694078e-05,6.687832e-05,6.665379e-05,6.664477e-05,6.642713e-05,6.634505e-05,6.619853e-05,6.604207e-05,6.596819e-05,6.573628e-05,6.542806e-05,6.511780e-05,6.480584e-05,6.449251e-05,6.417812e-05,6.386295e-05,6.354727e-05,6.323134e-05,6.291537e-05,6.259960e-05,6.228422e-05,6.196943e-05,6.165539e-05,6.134227e-05,6.103022e-05,6.071938e-05,6.040988e-05,6.010185e-05,5.979540e-05,5.949062e-05,5.918763e-05,5.888649e-05,5.858730e-05,5.829013e-05
0.000000e+00,1.442628e-10,6.027362e-10,4.577098e-09,1.628708e-08,2.853530e-08,9.201344e-08,9.589543e-08,2.367890e-07,2.944654e-07,4.904692e-07,7.179335e-07,9.089742e-07,1.492430e-06,1.553717e-06,2.475358e-06,2.739952e-06,3.683350e-06,4.471353e-06,5.137482e-06,6.568600e-06,6.772073e-06,8.524107e-06,8.884087e-06,1.034537e-05,1.130809e-05,1.220199e-05,1.377124e-05,1.407014e-05,1.593212e-05,1.622849e-05,1.777397e-05,1.864747e-05,1.958423e-05,2.100317e-05,2.135327e-05,2.307306e-05,2.327579e-05,2.473703e-05,2.545012e-05,2.634004e-05,2.751513e-05,2.787822e-05,2.934888e-05,2.946356e-05,3.075035e-05,3.129136e-05,3.208188e-05,3.299728e-05,3.334353e-05,3.453598e-05,3.458225e-05,3.566038e-05,3.604880e-05,3.671833e-05,3.740073e-05,3.771171e-05,3.864261e-05,3.951330e-05,3.977958e-05,4.032612e-05,4.081706e-05,4.108347e-05,4.176060e-05,4.178779e-05,4.244146e-05,4.261575e-05,4.304688e-05,4.338794e-05,4.360637e-05,4.408247e-05,4.412218e-05,4.459652e-05,4.470443e-05,4.503150e-05,4.525866e-05,4.542917e-05,4.574980e-05,4.579147e-05,4.612030e-05,4.618220e-05,4.641744e-05,4.656000e-05,4.668461e-05,4.688706e-05,4.692344e-05,4.713549e-05,4.716704e-05,4.732226e-05,4.740334e-05,4.748514e-05,4.759916e-05,4.762549e-05,4.774457e-05,4.775749e-05,4.784361e-05,4.788113e-05,4.792375e-05,4.797268e-05,4.798608e-05,4.803164e-05,4.803459e-05,4.806141e-05,4.806910e-05,4.807632e-05,4.807836e-05,4.807726e-05,4.806506e-05,4.806432e-05,4.804052e-05,4.802881e-05,4.800439e-05,4.797356e-05,4.795737e-05,4.790015e-05,4.783336e-05,4.781007e-05,4.775760e-05,4.770468e-05,4.767346e-05,4.758528e-05,4.758146e-05,4.748212e-05,4.745306e-05,4.737593e-05,4.730912e-05,4.726335e-05,4.715450e-05,4.714481e-05,4.702073e-05,4.699016e-05,4.689149e-05,4.681700e-05,4.675746e-05,4.663583e-05,4.661899e-05,4.647641e-05,4.644743e-05,4.633004e-05,4.625252e-05,4.618016e-05,4.605177e-05,4.602707e-05,4.587101e-05,4.584578e-05,4.571225e-05,4.563515e-05,4.555102e-05,4.542040e-05,4.538754e-05,4.522202e-05,4.520203e-05,4.505467e-05,4.498050e-05,4.488567e-05,4.475624e-05,4.471520e-05,4.454343e-05,4.452964e-05,4.437052e-05,4.430107e-05,4.419663e-05,4.407089e-05,4.402188e-05,4.384643e-05,4.383940e-05,4.367039e-05,4.360689e-05,4.349388e-05,4.337366e-05,4.331704e-05,4.313994e-05,4.290596e-05,4.267195e-05,4.243810e-05,4.220459e-05,4.197160e-05,4.173929e-05,4.150780e-05,4.127727e-05,4.104782e-05,4.081957e-05,4.059261e-05,4.036705e-05,4.014296e-05,3.992044e-05,3.969955e-05,3.948035e-05,3.926292e-05,3.904729e-05,3.883352e-05,3.862165e-05,3.841173e-05,3.820377e-05,3.799783e-05,3.779392e-05
0.000000e+00,8.340249e-11,3.731140e-10,3.214560e-09,1.260829e-08,2.314382e-08,8.242519e-08,8.619811e-08,2.283406e-07,2.882278e-07,4.949795e-07,7.379535e-07,9.431453e-07,1.572641e-06,1.638937e-06,2.640090e-06,2.929241e-06,3.968057e-06,4.846212e-06,5.596312e-06,7.231224e-06,7.466119e-06,9.510945e-06,9.935517e-06,1.167190e-05,1.282551e-05,1.390223e-05,1.580278e-05,1.616599e-05,1.843506e-05,1.879703e-05,2.068677e-05,2.175581e-05,2.290241e-05,2.463837e-05,2.506638e-05,2.716583e-05,2.741292e-05,2.919045e-05,3.005543e-05,3.113225e-05,3.254900e-05,3.298546e-05,3.474624e-05,3.488303e-05,3.641245e-05,3.705225e-05,3.798339e-05,3.905575e-05,3.945963e-05,4.084276e-05,4.089617e-05,4.213513e-05,4.257873e-05,4.333972e-05,4.411040e-05,4.445988e-05,4.549923e-05,4.646156e-05,4.675388e-05,4.735075e-05,4.788322e-05,4.817064e-05,4.889607e-05,4.892504e-05,4.961766e-05,4.980102e-05,5.025211e-05,5.060630e-05,5.083184e-05,5.131969e-05,5.136014e-05,5.184017e-05,5.194853e-05,5.227492e-05,5.249966e-05,5.266722e-05,5.297945e-05,5.301973e-05,5.333499e-05,5.339378e-05,5.361536e-05,5.374812e-05,5.386308e-05,5.404747e-05,5.408025e-05,5.426883e-05,5.429648e-05,5.443068e-05,5.449939e-05,5.456754e-05,5.466012e-05,5.468102e-05,5.477265e-05,5.478225e-05,5.484387e-05,5.486909e-05,5.489602e-05,5.492366e-05,5.493034e-05,5.494803e-05,5.494876e-05,5.495018e-05,5.494692e-05,5.493782e-05,5.492049e-05,5.491193e-05,5.487342e-05,5.487163e-05,5.482314e-05,5.480232e-05,5.476189e-05,5.471436e-05,5.469042e-05,5.460943e-05,5.451958e-05,5.448906e-05,5.442150e-05,5.435467e-05,5.431576e-05,5.420755e-05,5.420290e-05,5.408345e-05,5.404889e-05,5.395788e-05,5.387980e-05,5.382665e-05,5.370128e-05,5.369018e-05,5.354887e-05,5.351428e-05,5.340310e-05,5.331965e-05,5.325322e-05,5.311818e-05,5.309955e-05,5.294243e-05,5.291061e-05,5.278213e-05,5.269761e-05,5.261893e-05,5.247980e-05,5.245310e-05,5.228489e-05,5.225776e-05,5.211451e-05,5.203203e-05,5.194219e-05,5.180308e-05,5.176814e-05,5.159254e-05,5.157137e-05,5.141557e-05,5.133732e-05,5.123742e-05,5.110133e-05,5.105824e-05,5.087817e-05,5.086373e-05,5.069737e-05,5.062488e-05,5.051597e-05,5.038506e-05,5.033410e-05,5.015187e-05,5.014457e-05,4.996939e-05,4.990367e-05,4.978679e-05,4.966258e-05,4.960414e-05,4.942155e-05,4.918077e-05,4.894043e-05,4.870070e-05,4.846176e-05,4.822374e-05,4.798678e-05,4.775101e-05,4.751654e-05,4.728349e-05,4.705194e-05,4.682198e-05,4.659370e-05,4.636716e-05,4.614245e-05,4.591961e-05,4.569870e-05,4.547977e-05,4.526287e-05,4.504803e-05,4.483529e-05,4.462468e-05,4.441623e-05,4.420996e-05,4.400589e-05
0.000000e+00,1.757283e-09,4.733045e-09,1.936370e-08,4.782678e-08,7.197143e-08,1.726402e-07,1.781495e-07,3.567731e-07,4.224775e-07,6.280523e-07,8.443400e-07,1.013778e-06,1.487655e-06,1.534687e-06,2.203928e-06,2.386983e-06,3.022814e-06,3.544419e-06,3.984736e-06,4.942714e-06,5.081101e-06,6.303764e-06,6.562771e-06,7.644989e-06,8.386675e-06,9.096858e-06,1.039571e-05,1.065083e-05,1.229754e-05,1.256895e-05,1.402680e-05,1.488300e-05,1.582775e-05,1.731251e-05,1.768903e-05,1.959904e-05,1.983097e-05,2.154619e-05,2.241176e-05,2.351913e-05,2.502908e-05,2.550696e-05,2.749940e-05,2.765871e-05,2.948694e-05,3.027859e-05,3.146085e-05,3.286922e-05,3.341334e-05,3.533747e-05,3.541376e-05,3.722724e-05,3.789813e-05,3.907750e-05,4.031087e-05,4.088393e-05,4.264297e-05,4.435176e-05,4.488758e-05,4.600808e-05,4.703980e-05,4.761028e-05,4.909638e-05,4.915719e-05,5.064810e-05,5.105547e-05,5.208268e-05,5.291637e-05,5.346092e-05,5.467937e-05,5.478309e-05,5.604970e-05,5.634550e-05,5.726146e-05,5.791639e-05,5.841922e-05,5.939418e-05,5.952399e-05,6.057688e-05,6.078133e-05,6.157906e-05,6.208058e-05,6.253181e-05,6.329486e-05,6.343641e-05,6.429421e-05,6.442720e-05,6.510656e-05,6.548075e-05,6.587483e-05,6.645864e-05,6.660041e-05,6.728465e-05,6.736404e-05,6.792892e-05,6.820008e-05,6.853457e-05,6.896985e-05,6.910292e-05,6.963530e-05,6.967637e-05,7.013298e-05,7.032262e-05,7.059722e-05,7.091147e-05,7.102926e-05,7.143031e-05,7.144572e-05,7.180153e-05,7.192809e-05,7.214407e-05,7.236119e-05,7.245906e-05,7.274756e-05,7.301064e-05,7.308963e-05,7.324932e-05,7.338973e-05,7.346459e-05,7.365012e-05,7.365742e-05,7.382873e-05,7.387297e-05,7.397944e-05,7.406033e-05,7.411041e-05,7.421420e-05,7.422249e-05,7.431650e-05,7.433646e-05,7.439323e-05,7.442894e-05,7.445345e-05,7.449337e-05,7.449789e-05,7.452727e-05,7.453140e-05,7.454228e-05,7.454462e-05,7.454358e-05,7.453454e-05,7.453181e-05,7.450758e-05,7.450259e-05,7.447151e-05,7.445015e-05,7.442415e-05,7.437851e-05,7.436606e-05,7.429778e-05,7.428893e-05,7.421982e-05,7.418258e-05,7.413267e-05,7.406059e-05,7.403681e-05,7.393270e-05,7.392403e-05,7.382077e-05,7.377391e-05,7.370146e-05,7.361120e-05,7.357516e-05,7.344226e-05,7.343682e-05,7.330316e-05,7.325163e-05,7.315819e-05,7.305645e-05,7.300773e-05,7.285208e-05,7.263925e-05,7.241867e-05,7.219099e-05,7.195685e-05,7.171685e-05,7.147154e-05,7.122146e-05,7.096711e-05,7.070897e-05,7.044749e-05,7.018308e-05,6.991615e-05,6.964707e-05,6.937620e-05,6.910387e-05,6.883039e-05,6.855605e-05,6.828114e-05,6.800591e-05,6.773059e-05,6.745543e-05,6.718064e-05,6.690640e-05,6.663292e-05
0.000000e+00,1.729404e-10,7.629034e-10,6.402537e-09,2.458628e-08,4.464515e-08,1.548126e-07,1.617243e-07,4.168749e-07,5.220412e-07,8.774588e-07,1.283368e-06,1.618452e-06,2.614069e-06,2.716681e-06,4.232355e-06,4.662013e-06,6.193302e-06,7.486759e-06,8.599974e-06,1.107717e-05,1.144045e-05,1.470003e-05,1.540090e-05,1.836337e-05,2.042233e-05,2.241338e-05,2.609926e-05,2.682946e-05,3.158668e-05,3.237760e-05,3.665565e-05,3.918981e-05,4.200298e-05,4.645683e-05,4.759219e-05,5.338482e-05,5.409174e-05,5.934146e-05,6.200420e-05,6.542284e-05,7.010453e-05,7.159072e-05,7.780871e-05,7.830727e-05,8.404278e-05,8.653382e-05,9.026174e-05,9.471413e-05,9.643747e-05,1.025450e-04,1.027876e-04,1.085627e-04,1.107033e-04,1.144717e-04,1.184196e-04,1.202563e-04,1.259036e-04,1.314029e-04,1.331300e-04,1.367458e-04,1.400802e-04,1.419260e-04,1.467417e-04,1.469390e-04,1.517816e-04,1.531067e-04,1.564521e-04,1.591715e-04,1.609499e-04,1.649356e-04,1.652753e-04,1.694295e-04,1.704012e-04,1.734142e-04,1.755724e-04,1.772317e-04,1.804550e-04,1.808848e-04,1.843766e-04,1.850559e-04,1.877106e-04,1.893832e-04,1.908905e-04,1.934452e-04,1.939199e-04,1.968029e-04,1.972508e-04,1.995434e-04,2.008095e-04,2.021456e-04,2.041304e-04,2.046134e-04,2.069510e-04,2.072230e-04,2.091625e-04,2.100967e-04,2.112520e-04,2.127608e-04,2.132233e-04,2.150805e-04,2.152243e-04,2.168275e-04,2.174963e-04,2.184681e-04,2.195855e-04,2.200059e-04,2.214448e-04,2.215003e-04,2.227882e-04,2.232492e-04,2.240398e-04,2.248400e-04,2.252028e-04,2.262806e-04,2.272765e-04,2.275784e-04,2.281936e-04,2.287407e-04,2.290351e-04,2.297743e-04,2.298037e-04,2.305026e-04,2.306861e-04,2.311344e-04,2.314825e-04,2.317019e-04,2.321695e-04,2.322078e-04,2.326545e-04,2.327532e-04,2.330446e-04,2.332393e-04,2.333805e-04,2.336331e-04,2.336645e-04,2.338988e-04,2.339399e-04,2.340857e-04,2.341647e-04,2.342271e-04,2.343123e-04,2.343252e-04,2.343819e-04,2.343872e-04,2.343990e-04,2.343938e-04,2.343785e-04,2.343362e-04,2.343221e-04,2.342315e-04,2.342184e-04,2.341082e-04,2.340441e-04,2.339540e-04,2.338170e-04,2.337703e-04,2.335587e-04,2.335406e-04,2.333204e-04,2.332180e-04,2.330569e-04,2.328524e-04,2.327696e-04,2.324596e-04,2.324467e-04,2.321281e-04,2.320038e-04,2.317765e-04,2.315263e-04,2.314057e-04,2.310169e-04,2.304778e-04,2.299113e-04,2.293198e-04,2.287052e-04,2.280694e-04,2.274144e-04,2.267418e-04,2.260534e-04,2.253508e-04,2.246353e-04,2.239084e-04,2.231715e-04,2.224258e-04,2.216724e-04,2.209125e-04,2.201472e-04,2.193774e-04,2.186041e-04,2.178281e-04,2.170503e-04,2.162714e-04,2.154922e-04,2.147134e-04,2.139355e-04
0.000000e+00,6.037853e-11,2.498259e-10,1.863003e-09,6.525394e-09,1.132875e-08,3.551282e-08,3.696082e-08,8.764898e-08,1.075060e-07,1.719353e-07,2.420269e-07,2.979376e-07,4.573799e-07,4.734162e-07,7.058108e-07,7.708484e-07,1.002171e-06,1.198507e-06,1.368927e-06,1.754190e-06,1.811429e-06,2.333242e-06,2.447257e-06,2.935261e-06,3.279322e-06,3.614981e-06,4.241654e-06,4.366346e-06,5.180442e-06,5.315827e-06,6.046755e-06,6.477930e-06,6.954422e-06,7.703355e-06,7.893108e-06,8.853411e-06,8.969692e-06,9.826959e-06,1.025758e-05,1.080635e-05,1.155054e-05,1.178505e-05,1.275728e-05,1.283462e-05,1.371798e-05,1.409802e-05,1.466274e-05,1.533093e-05,1.558775e-05,1.648976e-05,1.652533e-05,1.736610e-05,1.767485e-05,1.821454e-05,1.877465e-05,1.903336e-05,1.982123e-05,2.057720e-05,2.081226e-05,2.130066e-05,2.174645e-05,2.199128e-05,2.262332e-05,2.264900e-05,2.327397e-05,2.344313e-05,2.386651e-05,2.420666e-05,2.442711e-05,2.491518e-05,2.495638e-05,2.545503e-05,2.557024e-05,2.592386e-05,2.617369e-05,2.636371e-05,2.672752e-05,2.677548e-05,2.716010e-05,2.723385e-05,2.751853e-05,2.769488e-05,2.785173e-05,2.811282e-05,2.816066e-05,2.844628e-05,2.848988e-05,2.870955e-05,2.882826e-05,2.895142e-05,2.913011e-05,2.917279e-05,2.937458e-05,2.939752e-05,2.955767e-05,2.963252e-05,2.972291e-05,2.983707e-05,2.987114e-05,3.000317e-05,3.001305e-05,3.011978e-05,3.016228e-05,3.022173e-05,3.028646e-05,3.030974e-05,3.038452e-05,3.038725e-05,3.044676e-05,3.046621e-05,3.049709e-05,3.052484e-05,3.053615e-05,3.056455e-05,3.058285e-05,3.058667e-05,3.059162e-05,3.059247e-05,3.059138e-05,3.058315e-05,3.058265e-05,3.056591e-05,3.055985e-05,3.054164e-05,3.052364e-05,3.051027e-05,3.047552e-05,3.047224e-05,3.042795e-05,3.041644e-05,3.037780e-05,3.034730e-05,3.032216e-05,3.026894e-05,3.026139e-05,3.019581e-05,3.018215e-05,3.012577e-05,3.008768e-05,3.005156e-05,2.998623e-05,2.997349e-05,2.989182e-05,2.987844e-05,2.980684e-05,2.976494e-05,2.971879e-05,2.964630e-05,2.962791e-05,2.953444e-05,2.952306e-05,2.943860e-05,2.939573e-05,2.934058e-05,2.926477e-05,2.924060e-05,2.913883e-05,2.913062e-05,2.903546e-05,2.899370e-05,2.893066e-05,2.885440e-05,2.882457e-05,2.871737e-05,2.871306e-05,2.860918e-05,2.857002e-05,2.850015e-05,2.842559e-05,2.839040e-05,2.828006e-05,2.813369e-05,2.798673e-05,2.783942e-05,2.769196e-05,2.754454e-05,2.739736e-05,2.725058e-05,2.710434e-05,2.695880e-05,2.681407e-05,2.667029e-05,2.652754e-05,2.638594e-05,2.624558e-05,2.610652e-05,2.596885e-05,2.583263e-05,2.569791e-05,2.556475e-05,2.543320e-05,2.530330e-05,2.517507e-05,2.504855e-05,2.492377e-05
0.000000e+00,8.223151e-11,3.628062e-10,3.042126e-09,1.165722e-08,2.113244e-08,7.285247e-08,7.608362e-08,1.945979e-07,2.431058e-07,4.060005e-07,5.906497e-07,7.424235e-07,1.192903e-06,1.239460e-06,1.934115e-06,2.133901e-06,2.856347e-06,3.476917e-06,4.015759e-06,5.218877e-06,5.394837e-06,6.956158e-06,7.286424e-06,8.656040e-06,9.581131e-06,1.045431e-05,1.201634e-05,1.231768e-05,1.421932e-05,1.452561e-05,1.613716e-05,1.705786e-05,1.805243e-05,1.957177e-05,1.994882e-05,2.181201e-05,2.203275e-05,2.362954e-05,2.441199e-05,2.539078e-05,2.668620e-05,2.708693e-05,2.871099e-05,2.883763e-05,3.025769e-05,3.085384e-05,3.172339e-05,3.272727e-05,3.310592e-05,3.440439e-05,3.445458e-05,3.561901e-05,3.603595e-05,3.675092e-05,3.747429e-05,3.780198e-05,3.877466e-05,3.967186e-05,3.994354e-05,4.049680e-05,4.098843e-05,4.125292e-05,4.191735e-05,4.194378e-05,4.257296e-05,4.273857e-05,4.314406e-05,4.346033e-05,4.366063e-05,4.409067e-05,4.412610e-05,4.454382e-05,4.463732e-05,4.491697e-05,4.510762e-05,4.524862e-05,4.550845e-05,4.554167e-05,4.579883e-05,4.584618e-05,4.602268e-05,4.612673e-05,4.621565e-05,4.635554e-05,4.638000e-05,4.651788e-05,4.653761e-05,4.663125e-05,4.667752e-05,4.672198e-05,4.677942e-05,4.679179e-05,4.684230e-05,4.684713e-05,4.687500e-05,4.688411e-05,4.689130e-05,4.689351e-05,4.689248e-05,4.687975e-05,4.687817e-05,4.685424e-05,4.684069e-05,4.681698e-05,4.678344e-05,4.676895e-05,4.671104e-05,4.670853e-05,4.664409e-05,4.661792e-05,4.656887e-05,4.651336e-05,4.648609e-05,4.639644e-05,4.630052e-05,4.626860e-05,4.619891e-05,4.613115e-05,4.609216e-05,4.598529e-05,4.598075e-05,4.586515e-05,4.583209e-05,4.574578e-05,4.567252e-05,4.562305e-05,4.550749e-05,4.549732e-05,4.536894e-05,4.533777e-05,4.523823e-05,4.516412e-05,4.510548e-05,4.498719e-05,4.497096e-05,4.483493e-05,4.480757e-05,4.469763e-05,4.462581e-05,4.455929e-05,4.444241e-05,4.442009e-05,4.428023e-05,4.425781e-05,4.413990e-05,4.407241e-05,4.399924e-05,4.388659e-05,4.385842e-05,4.371757e-05,4.370067e-05,4.357681e-05,4.351495e-05,4.343629e-05,4.332970e-05,4.329609e-05,4.315632e-05,4.314516e-05,4.301709e-05,4.296156e-05,4.287847e-05,4.277909e-05,4.274054e-05,4.260339e-05,4.259792e-05,4.246707e-05,4.241822e-05,4.233166e-05,4.224012e-05,4.219721e-05,4.206376e-05,4.188925e-05,4.171668e-05,4.154614e-05,4.137770e-05,4.121145e-05,4.104742e-05,4.088568e-05,4.072626e-05,4.056919e-05,4.041451e-05,4.026225e-05,4.011240e-05,3.996499e-05,3.982003e-05,3.967752e-05,3.953745e-05,3.939984e-05,3.926466e-05,3.913191e-05,3.900158e-05,3.887365e-05,3.874811e-05,3.862494e-05,3.850411e-05
0.000000e+00,4.681618e-12,2.303287e-11,2.395528e-10,1.103172e-09,2.200952e-09,9.558673e-09,1.007178e-08,3.162027e-08,4.160179e-08,7.856873e-08,1.253402e-07,1.667485e-07,3.014879e-07,3.162534e-07,5.515112e-07,6.238090e-07,9.007515e-07,1.157320e-06,1.393937e-06,1.969038e-06,2.058610e-06,2.914780e-06,3.109984e-06,3.971242e-06,4.599136e-06,5.224799e-06,6.420525e-06,6.662042e-06,8.262387e-06,8.531964e-06,1.000120e-05,1.087735e-05,1.185236e-05,1.339678e-05,1.379003e-05,1.578973e-05,1.603277e-05,1.782892e-05,1.873334e-05,1.988722e-05,2.145305e-05,2.194645e-05,2.399057e-05,2.415301e-05,2.600555e-05,2.680060e-05,2.797928e-05,2.936898e-05,2.990148e-05,3.176354e-05,3.183667e-05,3.355847e-05,3.418709e-05,3.528071e-05,3.640812e-05,3.692607e-05,3.849158e-05,3.997538e-05,4.043277e-05,4.137656e-05,4.222990e-05,4.269507e-05,4.388367e-05,4.393157e-05,4.508734e-05,4.539672e-05,4.616415e-05,4.677322e-05,4.716416e-05,4.801849e-05,4.808988e-05,4.894401e-05,4.913867e-05,4.972946e-05,5.014042e-05,5.044921e-05,5.103067e-05,5.110632e-05,5.170387e-05,5.181651e-05,5.224493e-05,5.250496e-05,5.273251e-05,5.310291e-05,5.316957e-05,5.355898e-05,5.361705e-05,5.390354e-05,5.405378e-05,5.420592e-05,5.441920e-05,5.446871e-05,5.469436e-05,5.471906e-05,5.488524e-05,5.495880e-05,5.504359e-05,5.514349e-05,5.517153e-05,5.527109e-05,5.527789e-05,5.534418e-05,5.536641e-05,5.539261e-05,5.541318e-05,5.541810e-05,5.542225e-05,5.542200e-05,5.540660e-05,5.539639e-05,5.537256e-05,5.533961e-05,5.532149e-05,5.525467e-05,5.517327e-05,5.514434e-05,5.507844e-05,5.501118e-05,5.497122e-05,5.485755e-05,5.485259e-05,5.472350e-05,5.468560e-05,5.458481e-05,5.449733e-05,5.443734e-05,5.429458e-05,5.428186e-05,5.411908e-05,5.407901e-05,5.394968e-05,5.385216e-05,5.377429e-05,5.361547e-05,5.359351e-05,5.340788e-05,5.337022e-05,5.321792e-05,5.311759e-05,5.302411e-05,5.285868e-05,5.282692e-05,5.262675e-05,5.259447e-05,5.242400e-05,5.232588e-05,5.221905e-05,5.205373e-05,5.201224e-05,5.180388e-05,5.177879e-05,5.159428e-05,5.150174e-05,5.138372e-05,5.122320e-05,5.117245e-05,5.096072e-05,5.094377e-05,5.074875e-05,5.066394e-05,5.053675e-05,5.038420e-05,5.032492e-05,5.011343e-05,5.010498e-05,4.990245e-05,4.982665e-05,4.969213e-05,4.954957e-05,4.948262e-05,4.927406e-05,4.900040e-05,4.872884e-05,4.845961e-05,4.819292e-05,4.792894e-05,4.766784e-05,4.740976e-05,4.715482e-05,4.690312e-05,4.665477e-05,4.640983e-05,4.616839e-05,4.593048e-05,4.569617e-05,4.546548e-05,4.523844e-05,4.501507e-05,4.479539e-05,4.457940e-05,4.436709e-05,4.415846e-05,4.395351e-05,4.375220e-05,4.355454e-05
0.000000e+00,3.257307e-09,7.441103e-09,2.546482e-08,5.768430e-08,8.396582e-08,1.894890e-07,1.951533e-07,3.756062e-07,4.409280e-07,6.431325e-07,8.535193e-07,1.017305e-06,1.473518e-06,1.518795e-06,2.166325e-06,2.344907e-06,2.970289e-06,3.487603e-06,3.925338e-06,4.873211e-06,5.009023e-06,6.189629e-06,6.434555e-06,7.435992e-06,8.101296e-06,8.722361e-06,9.819074e-06,1.002876e-05,1.133969e-05,1.154900e-05,1.264280e-05,1.326247e-05,1.392796e-05,1.493747e-05,1.518677e-05,1.641223e-05,1.655676e-05,1.759859e-05,1.810698e-05,1.874124e-05,1.957820e-05,1.983663e-05,2.088217e-05,2.096361e-05,2.187616e-05,2.225909e-05,2.281764e-05,2.346282e-05,2.370635e-05,2.454261e-05,2.457497e-05,2.532715e-05,2.559712e-05,2.606109e-05,2.653200e-05,2.674588e-05,2.738318e-05,2.797481e-05,2.815480e-05,2.852271e-05,2.885133e-05,2.902888e-05,2.947743e-05,2.949535e-05,2.992417e-05,3.003777e-05,3.031737e-05,3.053703e-05,3.067694e-05,3.097971e-05,3.100481e-05,3.130285e-05,3.137014e-05,3.157285e-05,3.171245e-05,3.181654e-05,3.201052e-05,3.203555e-05,3.223145e-05,3.226799e-05,3.240573e-05,3.248827e-05,3.255978e-05,3.267452e-05,3.269493e-05,3.281243e-05,3.282967e-05,3.291346e-05,3.295644e-05,3.299914e-05,3.305733e-05,3.307051e-05,3.312855e-05,3.313466e-05,3.317418e-05,3.319055e-05,3.320827e-05,3.322696e-05,3.323163e-05,3.324503e-05,3.324569e-05,3.324918e-05,3.324840e-05,3.324475e-05,3.323660e-05,3.323237e-05,3.321262e-05,3.321169e-05,3.318606e-05,3.317494e-05,3.315321e-05,3.312752e-05,3.311455e-05,3.307052e-05,3.302157e-05,3.300492e-05,3.296807e-05,3.293162e-05,3.291041e-05,3.285146e-05,3.284893e-05,3.278395e-05,3.276518e-05,3.271579e-05,3.267348e-05,3.264472e-05,3.257701e-05,3.257102e-05,3.249493e-05,3.247634e-05,3.241668e-05,3.237200e-05,3.233650e-05,3.226450e-05,3.225458e-05,3.217112e-05,3.215426e-05,3.208630e-05,3.204171e-05,3.200028e-05,3.192721e-05,3.191322e-05,3.182526e-05,3.181112e-05,3.173655e-05,3.169373e-05,3.164720e-05,3.157534e-05,3.155734e-05,3.146707e-05,3.145622e-05,3.137650e-05,3.133658e-05,3.128573e-05,3.121666e-05,3.119484e-05,3.110392e-05,3.109665e-05,3.101305e-05,3.097673e-05,3.092229e-05,3.085706e-05,3.083172e-05,3.074140e-05,3.073779e-05,3.065138e-05,3.061906e-05,3.056172e-05,3.050098e-05,3.047247e-05,3.038367e-05,3.026723e-05,3.015174e-05,3.003729e-05,2.992395e-05,2.981178e-05,2.970083e-05,2.959117e-05,2.948283e-05,2.937585e-05,2.927027e-05,2.916611e-05,2.906340e-05,2.896217e-05,2.886242e-05,2.876416e-05,2.866742e-05,2.857220e-05,2.847850e-05,2.838633e-05,2.829569e-05,2.820656e-05,2.811896e-05,2.803288e-05,2.794830e-05
0.000000e+00,4.194827e-09,9.603795e-09,3.308046e-08,7.569755e-08,1.110596e-07,2.583104e-07,2.664479e-07,5.375400e-07,6.410597e-07,9.778065e-07,1.350662e-06,1.653357e-06,2.530381e-06,2.618768e-06,3.875876e-06,4.215431e-06,5.368448e-06,6.279617e-06,7.023913e-06,8.569093e-06,8.784472e-06,1.061113e-05,1.098196e-05,1.247798e-05,1.345831e-05,1.436658e-05,1.595921e-05,1.626253e-05,1.815345e-05,1.845478e-05,2.002817e-05,2.091921e-05,2.187631e-05,2.332919e-05,2.368824e-05,2.545523e-05,2.566386e-05,2.716933e-05,2.790498e-05,2.882372e-05,3.003757e-05,3.041268e-05,3.193157e-05,3.204994e-05,3.337687e-05,3.393379e-05,3.474607e-05,3.568389e-05,3.603766e-05,3.725105e-05,3.729796e-05,3.838646e-05,3.877622e-05,3.944454e-05,4.012055e-05,4.042668e-05,4.133470e-05,4.217072e-05,4.242345e-05,4.293724e-05,4.339254e-05,4.363688e-05,4.424824e-05,4.427247e-05,4.484691e-05,4.499720e-05,4.536317e-05,4.564622e-05,4.582418e-05,4.620203e-05,4.623287e-05,4.659214e-05,4.667132e-05,4.690479e-05,4.706055e-05,4.717358e-05,4.737593e-05,4.740114e-05,4.759004e-05,4.762339e-05,4.774271e-05,4.780857e-05,4.786150e-05,4.793674e-05,4.794864e-05,4.800626e-05,4.801288e-05,4.803638e-05,4.804163e-05,4.804090e-05,4.802732e-05,4.802166e-05,4.798035e-05,4.797399e-05,4.791862e-05,4.788537e-05,4.783797e-05,4.776493e-05,4.773987e-05,4.762567e-05,4.761587e-05,4.749664e-05,4.744115e-05,4.735400e-05,4.724350e-05,4.719887e-05,4.703232e-05,4.702543e-05,4.685534e-05,4.678926e-05,4.666888e-05,4.653712e-05,4.647381e-05,4.627095e-05,4.606108e-05,4.599256e-05,4.584492e-05,4.570359e-05,4.562314e-05,4.540553e-05,4.539637e-05,4.516521e-05,4.509977e-05,4.493020e-05,4.478757e-05,4.469187e-05,4.447007e-05,4.445068e-05,4.420710e-05,4.414832e-05,4.396152e-05,4.382328e-05,4.371436e-05,4.349582e-05,4.346596e-05,4.321665e-05,4.316671e-05,4.296676e-05,4.283668e-05,4.271657e-05,4.250638e-05,4.246635e-05,4.221635e-05,4.217638e-05,4.196679e-05,4.184723e-05,4.171790e-05,4.151939e-05,4.146986e-05,4.122285e-05,4.119329e-05,4.097705e-05,4.086932e-05,4.073261e-05,4.054782e-05,4.048965e-05,4.024832e-05,4.022909e-05,4.000873e-05,3.991341e-05,3.977099e-05,3.960101e-05,3.953518e-05,3.930141e-05,3.929210e-05,3.906974e-05,3.898687e-05,3.884025e-05,3.868547e-05,3.861300e-05,3.838805e-05,3.809471e-05,3.780557e-05,3.752070e-05,3.724016e-05,3.696402e-05,3.669230e-05,3.642505e-05,3.616227e-05,3.590397e-05,3.565015e-05,3.540081e-05,3.515593e-05,3.491549e-05,3.467946e-05,3.444781e-05,3.422049e-05,3.399748e-05,3.377873e-05,3.356418e-05,3.335380e-05,3.314751e-05,3.294528e-05,3.274705e-05,3.255275e-05
0.000000e+00,4.458553e-09,1.020448e-08,3.516646e-08,8.069353e-08,1.187029e-07,2.789595e-07,2.878944e-07,5.886892e-07,7.046524e-07,1.083882e-06,1.505298e-06,1.847764e-06,2.840504e-06,2.940554e-06,4.360270e-06,4.741455e-06,6.022204e-06,7.015003e-06,7.811229e-06,9.419256e-06,9.638529e-06,1.145124e-05,1.180920e-05,1.322035e-05,1.411735e-05,1.492958e-05,1.631177e-05,1.656912e-05,1.813262e-05,1.837542e-05,1.961587e-05,2.029852e-05,2.101630e-05,2.207611e-05,2.233263e-05,2.356475e-05,2.370698e-05,2.471357e-05,2.519308e-05,2.578083e-05,2.653886e-05,2.676893e-05,2.768085e-05,2.775061e-05,2.851990e-05,2.883591e-05,2.928967e-05,2.980310e-05,2.999389e-05,3.063634e-05,3.066081e-05,3.122078e-05,3.141769e-05,3.175090e-05,3.208217e-05,3.223026e-05,3.266229e-05,3.305026e-05,3.316562e-05,3.339727e-05,3.359920e-05,3.370622e-05,3.396955e-05,3.397985e-05,3.422073e-05,3.428264e-05,3.443125e-05,3.454392e-05,3.461364e-05,3.475838e-05,3.476997e-05,3.490218e-05,3.493052e-05,3.501206e-05,3.506446e-05,3.510127e-05,3.516390e-05,3.517135e-05,3.522374e-05,3.523221e-05,3.525976e-05,3.527243e-05,3.528063e-05,3.528731e-05,3.528751e-05,3.528144e-05,3.527933e-05,3.526340e-05,3.525076e-05,3.523430e-05,3.520362e-05,3.519498e-05,3.514622e-05,3.513977e-05,3.508874e-05,3.506086e-05,3.502322e-05,3.496842e-05,3.495027e-05,3.487048e-05,3.486381e-05,3.478438e-05,3.474828e-05,3.469246e-05,3.462295e-05,3.459521e-05,3.449303e-05,3.448885e-05,3.438634e-05,3.434690e-05,3.427551e-05,3.419796e-05,3.416089e-05,3.404279e-05,3.392152e-05,3.388210e-05,3.379737e-05,3.371651e-05,3.367058e-05,3.354662e-05,3.354141e-05,3.341008e-05,3.337296e-05,3.327681e-05,3.319600e-05,3.314179e-05,3.301619e-05,3.300521e-05,3.286725e-05,3.283395e-05,3.272805e-05,3.264962e-05,3.258778e-05,3.246356e-05,3.244657e-05,3.230456e-05,3.227607e-05,3.216187e-05,3.208744e-05,3.201862e-05,3.189793e-05,3.187491e-05,3.173085e-05,3.170777e-05,3.158653e-05,3.151719e-05,3.144204e-05,3.132638e-05,3.129746e-05,3.115287e-05,3.113552e-05,3.100835e-05,3.094479e-05,3.086395e-05,3.075434e-05,3.071975e-05,3.057581e-05,3.056431e-05,3.043217e-05,3.037482e-05,3.028890e-05,3.018600e-05,3.014604e-05,3.000364e-05,2.999795e-05,2.986174e-05,2.981078e-05,2.972038e-05,2.962458e-05,2.957959e-05,2.943942e-05,2.925538e-05,2.907254e-05,2.889095e-05,2.871067e-05,2.853176e-05,2.835425e-05,2.817820e-05,2.800363e-05,2.783059e-05,2.765910e-05,2.748919e-05,2.732088e-05,2.715419e-05,2.698915e-05,2.682576e-05,2.666404e-05,2.650400e-05,2.634565e-05,2.618899e-05,2.603404e-05,2.588078e-05,2.572923e-05,2.557939e-05,2.543124e-05
0.000000e+00,6.090061e-10,2.150414e-09,1.238052e-08,3.654256e-08,5.891865e-08,1.601843e-07,1.659547e-07,3.600604e-07,4.338930e-07,6.703924e-07,9.259971e-07,1.130125e-06,1.716970e-06,1.776459e-06,2.647552e-06,2.893807e-06,3.774207e-06,4.521926e-06,5.167186e-06,6.600112e-06,6.809110e-06,8.660662e-06,9.052044e-06,1.067592e-05,1.177454e-05,1.281365e-05,1.467946e-05,1.504061e-05,1.733034e-05,1.770102e-05,1.966112e-05,2.078893e-05,2.201435e-05,2.390196e-05,2.437354e-05,2.672393e-05,2.700474e-05,2.905219e-05,3.006649e-05,3.134642e-05,3.306080e-05,3.359617e-05,3.579236e-05,3.596551e-05,3.792734e-05,3.876273e-05,3.999477e-05,4.143860e-05,4.198958e-05,4.390791e-05,4.398301e-05,4.574693e-05,4.638917e-05,4.750472e-05,4.865306e-05,4.918025e-05,5.077318e-05,5.228368e-05,5.274974e-05,5.371250e-05,5.458463e-05,5.506085e-05,5.628090e-05,5.633018e-05,5.752228e-05,5.784249e-05,5.863915e-05,5.927405e-05,5.968295e-05,6.058068e-05,6.065597e-05,6.156059e-05,6.176779e-05,6.239923e-05,6.284095e-05,6.317432e-05,6.380578e-05,6.388831e-05,6.454366e-05,6.466790e-05,6.514278e-05,6.543290e-05,6.568807e-05,6.610622e-05,6.618186e-05,6.662646e-05,6.669318e-05,6.702409e-05,6.719892e-05,6.737694e-05,6.762841e-05,6.768713e-05,6.795672e-05,6.798643e-05,6.818768e-05,6.827758e-05,6.838196e-05,6.850622e-05,6.854141e-05,6.866782e-05,6.867656e-05,6.876293e-05,6.879259e-05,6.882841e-05,6.885810e-05,6.886584e-05,6.887679e-05,6.887670e-05,6.886272e-05,6.885181e-05,6.882507e-05,6.878669e-05,6.876519e-05,6.868440e-05,6.858394e-05,6.854784e-05,6.846503e-05,6.837977e-05,6.832880e-05,6.818276e-05,6.817636e-05,6.800876e-05,6.795926e-05,6.782701e-05,6.771157e-05,6.763206e-05,6.744185e-05,6.742484e-05,6.720621e-05,6.715213e-05,6.697700e-05,6.684433e-05,6.673803e-05,6.652024e-05,6.649003e-05,6.623374e-05,6.618155e-05,6.596983e-05,6.582981e-05,6.569897e-05,6.546653e-05,6.542177e-05,6.513882e-05,6.509306e-05,6.485069e-05,6.471070e-05,6.455790e-05,6.432066e-05,6.426096e-05,6.396035e-05,6.392405e-05,6.365652e-05,6.352192e-05,6.334989e-05,6.311525e-05,6.304089e-05,6.272989e-05,6.270493e-05,6.241725e-05,6.229181e-05,6.210331e-05,6.187666e-05,6.178841e-05,6.147284e-05,6.146021e-05,6.115690e-05,6.104312e-05,6.084085e-05,6.062600e-05,6.052494e-05,6.020943e-05,5.979391e-05,5.937995e-05,5.896796e-05,5.855836e-05,5.815151e-05,5.774775e-05,5.734737e-05,5.695066e-05,5.655785e-05,5.616917e-05,5.578483e-05,5.540498e-05,5.502980e-05,5.465941e-05,5.429394e-05,5.393348e-05,5.357812e-05,5.322794e-05,5.288299e-05,5.254332e-05,5.220896e-05,5.187994e-05,5.155627e-05,5.123796e-05
0.000000e+00,4.058511e-09,9.338416e-09,3.231796e-08,7.381852e-08,1.078926e-07,2.457900e-07,2.532256e-07,4.911411e-07,5.775964e-07,8.457602e-07,1.124974e-06,1.341982e-06,1.941858e-06,2.000872e-06,2.831879e-06,3.056732e-06,3.831555e-06,4.461609e-06,4.990538e-06,6.134291e-06,6.298854e-06,7.746861e-06,8.052363e-06,9.324616e-06,1.019278e-05,1.102130e-05,1.252973e-05,1.282499e-05,1.472272e-05,1.503418e-05,1.670075e-05,1.767456e-05,1.874488e-05,2.041817e-05,2.084082e-05,2.297457e-05,2.323252e-05,2.513267e-05,2.608665e-05,2.730247e-05,2.895213e-05,2.947231e-05,3.163162e-05,3.180363e-05,3.377101e-05,3.461930e-05,3.588222e-05,3.738081e-05,3.795815e-05,3.999278e-05,4.007323e-05,4.198111e-05,4.268476e-05,4.391907e-05,4.520641e-05,4.580338e-05,4.763154e-05,4.940166e-05,4.995561e-05,5.111245e-05,5.217584e-05,5.276311e-05,5.429079e-05,5.435324e-05,5.588279e-05,5.630023e-05,5.735202e-05,5.820481e-05,5.876145e-05,6.000591e-05,6.011178e-05,6.140390e-05,6.170545e-05,6.263881e-05,6.330580e-05,6.381767e-05,6.480964e-05,6.494167e-05,6.601211e-05,6.621989e-05,6.703032e-05,6.753960e-05,6.799767e-05,6.877194e-05,6.891553e-05,6.978534e-05,6.992014e-05,7.060848e-05,7.098744e-05,7.138639e-05,7.197710e-05,7.212048e-05,7.281213e-05,7.289234e-05,7.346274e-05,7.373635e-05,7.407366e-05,7.451225e-05,7.464625e-05,7.518182e-05,7.522311e-05,7.568169e-05,7.587191e-05,7.614710e-05,7.646158e-05,7.657932e-05,7.697957e-05,7.699493e-05,7.734902e-05,7.747471e-05,7.768885e-05,7.790358e-05,7.800018e-05,7.828411e-05,7.854173e-05,7.861878e-05,7.877407e-05,7.890997e-05,7.898215e-05,7.916000e-05,7.916695e-05,7.932944e-05,7.937107e-05,7.947054e-05,7.954531e-05,7.959115e-05,7.968477e-05,7.969215e-05,7.977438e-05,7.979141e-05,7.983866e-05,7.986712e-05,7.988579e-05,7.991368e-05,7.991653e-05,7.993164e-05,7.993285e-05,7.993182e-05,7.992625e-05,7.991777e-05,7.989547e-05,7.989017e-05,7.984966e-05,7.984202e-05,7.979687e-05,7.976734e-05,7.973240e-05,7.967281e-05,7.965684e-05,7.957075e-05,7.955973e-05,7.947467e-05,7.942936e-05,7.936912e-05,7.928289e-05,7.925462e-05,7.913163e-05,7.912144e-05,7.900065e-05,7.894611e-05,7.886210e-05,7.875792e-05,7.871644e-05,7.856407e-05,7.855784e-05,7.840539e-05,7.834680e-05,7.824080e-05,7.812568e-05,7.807066e-05,7.789533e-05,7.765652e-05,7.741002e-05,7.715653e-05,7.689674e-05,7.663127e-05,7.636074e-05,7.608571e-05,7.580672e-05,7.552428e-05,7.523888e-05,7.495097e-05,7.466096e-05,7.436927e-05,7.407627e-05,7.378231e-05,7.348774e-05,7.319285e-05,7.289795e-05,7.260331e-05,7.230918e-05,7.201581e-05,7.172341e-05,7.143220e-05,7.114237e-05
0.000000e+00,1.234410e-11,5.356167e-11,4.347342e-10,1.620661e-09,2.896055e-09,9.637582e-09,1.005100e-08,2.485984e-08,3.077699e-08,5.023531e-08,7.171255e-08,8.900788e-08,1.388576e-07,1.439007e-07,2.171510e-07,2.376093e-07,3.097685e-07,3.699341e-07,4.211762e-07,5.334245e-07,5.496792e-07,6.932043e-07,7.235321e-07,8.497417e-07,9.356651e-07,1.017444e-06,1.165665e-06,1.194568e-06,1.379396e-06,1.409567e-06,1.570188e-06,1.663366e-06,1.765170e-06,1.922973e-06,1.962558e-06,2.160585e-06,2.184309e-06,2.357548e-06,2.443457e-06,2.551845e-06,2.696821e-06,2.742011e-06,2.926747e-06,2.941257e-06,3.104935e-06,3.174164e-06,3.275652e-06,3.393524e-06,3.438167e-06,3.591940e-06,3.597903e-06,3.736609e-06,3.786418e-06,3.871974e-06,3.958675e-06,3.997980e-06,4.114695e-06,4.222294e-06,4.254840e-06,4.321034e-06,4.379727e-06,4.411241e-06,4.490161e-06,4.493291e-06,4.567595e-06,4.587071e-06,4.634585e-06,4.671453e-06,4.694705e-06,4.744332e-06,4.748402e-06,4.796114e-06,4.806723e-06,4.838272e-06,4.859609e-06,4.875289e-06,4.903926e-06,4.907561e-06,4.935462e-06,4.940549e-06,4.959343e-06,4.970284e-06,4.979536e-06,4.993871e-06,4.996346e-06,5.010058e-06,5.011983e-06,5.020936e-06,5.025222e-06,5.029221e-06,5.034134e-06,5.035137e-06,5.038888e-06,5.039201e-06,5.040661e-06,5.040859e-06,5.040627e-06,5.039490e-06,5.038943e-06,5.035752e-06,5.035436e-06,5.031185e-06,5.029000e-06,5.025361e-06,5.020451e-06,5.018389e-06,5.010369e-06,5.010028e-06,5.001391e-06,4.997941e-06,4.991540e-06,4.984380e-06,4.980890e-06,4.969512e-06,4.957470e-06,4.953486e-06,4.944823e-06,4.936437e-06,4.931625e-06,4.918483e-06,4.917926e-06,4.903771e-06,4.899731e-06,4.889202e-06,4.880279e-06,4.874260e-06,4.860213e-06,4.858979e-06,4.843394e-06,4.839612e-06,4.827535e-06,4.818546e-06,4.811432e-06,4.797079e-06,4.795110e-06,4.778594e-06,4.775270e-06,4.761909e-06,4.753172e-06,4.745074e-06,4.730833e-06,4.728111e-06,4.711037e-06,4.708297e-06,4.693871e-06,4.685603e-06,4.676628e-06,4.662790e-06,4.659325e-06,4.641974e-06,4.639889e-06,4.624589e-06,4.616932e-06,4.607183e-06,4.593947e-06,4.589767e-06,4.572353e-06,4.570960e-06,4.554950e-06,4.547994e-06,4.537567e-06,4.525070e-06,4.520215e-06,4.502900e-06,4.502208e-06,4.485632e-06,4.479428e-06,4.468416e-06,4.456744e-06,4.451261e-06,4.434172e-06,4.411727e-06,4.389420e-06,4.367263e-06,4.345267e-06,4.323441e-06,4.301794e-06,4.280333e-06,4.259066e-06,4.237998e-06,4.217136e-06,4.196485e-06,4.176048e-06,4.155831e-06,4.135836e-06,4.116066e-06,4.096524e-06,4.077212e-06,4.058132e-06,4.039285e-06,4.020673e-06,4.002295e-06,3.984153e-06,3.966247e-06,3.948577e-06
0.000000e+00,1.145440e-09,2.684116e-09,9.470412e-09,2.183887e-08,3.204611e-08,7.365596e-08,7.591118e-08,1.486102e-07,1.752704e-07,2.587200e-07,3.467405e-07,4.158843e-07,6.099127e-07,6.291987e-07,9.034071e-07,9.781810e-07,1.236552e-06,1.446639e-06,1.622563e-06,2.000811e-06,2.054955e-06,2.528199e-06,2.627326e-06,3.037588e-06,3.315319e-06,3.578817e-06,4.054978e-06,4.147679e-06,4.739937e-06,4.836583e-06,5.351296e-06,5.650265e-06,5.977444e-06,6.486151e-06,6.614131e-06,7.257246e-06,7.334664e-06,7.902893e-06,8.186837e-06,8.547455e-06,9.034558e-06,9.187640e-06,9.820503e-06,9.870736e-06,1.044347e-05,1.068937e-05,1.105431e-05,1.148556e-05,1.165118e-05,1.223252e-05,1.225543e-05,1.279711e-05,1.299606e-05,1.334398e-05,1.370536e-05,1.387242e-05,1.438195e-05,1.487224e-05,1.502505e-05,1.534316e-05,1.563438e-05,1.579470e-05,1.621004e-05,1.622696e-05,1.664014e-05,1.675245e-05,1.703453e-05,1.726228e-05,1.741046e-05,1.774036e-05,1.776834e-05,1.810858e-05,1.818767e-05,1.843166e-05,1.860526e-05,1.873805e-05,1.899427e-05,1.902826e-05,1.930279e-05,1.935586e-05,1.956217e-05,1.969122e-05,1.980689e-05,2.000152e-05,2.003748e-05,2.025445e-05,2.028794e-05,2.045830e-05,2.055163e-05,2.064952e-05,2.079373e-05,2.082860e-05,2.099601e-05,2.101534e-05,2.115222e-05,2.121752e-05,2.129768e-05,2.140131e-05,2.143283e-05,2.155810e-05,2.156771e-05,2.167390e-05,2.171766e-05,2.178064e-05,2.185209e-05,2.187870e-05,2.196846e-05,2.197188e-05,2.205028e-05,2.207787e-05,2.212453e-05,2.217085e-05,2.219153e-05,2.225161e-05,2.230510e-05,2.232088e-05,2.235230e-05,2.237934e-05,2.239350e-05,2.242767e-05,2.242899e-05,2.245903e-05,2.246650e-05,2.248389e-05,2.249643e-05,2.250383e-05,2.251803e-05,2.251909e-05,2.252989e-05,2.253185e-05,2.253647e-05,2.253839e-05,2.253904e-05,2.253815e-05,2.253780e-05,2.253297e-05,2.253158e-05,2.252471e-05,2.251913e-05,2.251323e-05,2.250122e-05,2.249869e-05,2.248127e-05,2.247823e-05,2.246112e-05,2.245053e-05,2.243841e-05,2.241848e-05,2.241327e-05,2.238585e-05,2.238241e-05,2.235629e-05,2.234264e-05,2.232472e-05,2.229945e-05,2.229125e-05,2.225602e-05,2.225313e-05,2.221914e-05,2.220395e-05,2.218071e-05,2.215214e-05,2.214084e-05,2.209962e-05,2.209795e-05,2.205717e-05,2.204159e-05,2.201355e-05,2.198328e-05,2.196887e-05,2.192321e-05,2.186156e-05,2.179850e-05,2.173421e-05,2.166882e-05,2.160249e-05,2.153535e-05,2.146752e-05,2.139912e-05,2.133026e-05,2.126105e-05,2.119158e-05,2.112193e-05,2.105221e-05,2.098248e-05,2.091281e-05,2.084327e-05,2.077393e-05,2.070485e-05,2.063607e-05,2.056766e-05,2.049964e-05,2.043208e-05,2.036499e-05,2.029843e-05
0.000000e+00,2.255798e-09,6.689549e-09,3.058298e-08,7.994513e-08,1.231368e-07,3.103476e-07,3.208496e-07,6.725925e-07,8.068390e-07,1.241339e-06,1.719210e-06,2.106256e-06,3.235216e-06,3.350251e-06,5.023751e-06,5.488983e-06,7.111423e-06,8.437752e-06,9.547793e-06,1.192162e-05,1.225943e-05,1.518706e-05,1.579442e-05,1.828667e-05,1.995494e-05,2.152447e-05,2.433047e-05,2.487252e-05,2.830608e-05,2.886184e-05,3.180233e-05,3.349646e-05,3.533989e-05,3.818623e-05,3.889880e-05,4.246045e-05,4.288721e-05,4.600795e-05,4.756040e-05,4.952612e-05,5.217201e-05,5.300157e-05,5.642274e-05,5.669378e-05,5.977985e-05,6.110289e-05,6.306478e-05,6.538138e-05,6.627076e-05,6.939244e-05,6.951550e-05,7.242577e-05,7.349554e-05,7.536776e-05,7.731505e-05,7.821633e-05,8.097021e-05,8.362878e-05,8.445938e-05,8.619202e-05,8.778263e-05,8.866034e-05,9.094136e-05,9.103453e-05,9.331573e-05,9.393798e-05,9.550530e-05,9.677570e-05,9.760481e-05,9.945831e-05,9.961600e-05,1.015407e-04,1.019900e-04,1.033810e-04,1.043754e-04,1.051387e-04,1.066190e-04,1.068161e-04,1.084152e-04,1.087258e-04,1.099382e-04,1.107007e-04,1.113871e-04,1.125486e-04,1.127642e-04,1.140715e-04,1.142743e-04,1.153111e-04,1.158828e-04,1.164853e-04,1.173787e-04,1.175959e-04,1.186450e-04,1.187669e-04,1.196347e-04,1.200519e-04,1.205669e-04,1.212381e-04,1.214435e-04,1.222664e-04,1.223300e-04,1.230375e-04,1.233318e-04,1.237585e-04,1.242476e-04,1.244312e-04,1.250573e-04,1.250814e-04,1.256385e-04,1.258370e-04,1.261764e-04,1.265183e-04,1.266727e-04,1.271288e-04,1.275462e-04,1.276719e-04,1.279265e-04,1.281511e-04,1.282711e-04,1.285695e-04,1.285812e-04,1.288584e-04,1.289302e-04,1.291038e-04,1.292363e-04,1.293187e-04,1.294906e-04,1.295044e-04,1.296620e-04,1.296958e-04,1.297928e-04,1.298546e-04,1.298977e-04,1.299696e-04,1.299779e-04,1.300345e-04,1.300430e-04,1.300684e-04,1.300774e-04,1.300806e-04,1.300748e-04,1.300721e-04,1.300437e-04,1.300374e-04,1.299965e-04,1.299673e-04,1.299311e-04,1.298664e-04,1.298485e-04,1.297495e-04,1.297365e-04,1.296347e-04,1.295795e-04,1.295051e-04,1.293970e-04,1.293612e-04,1.292038e-04,1.291906e-04,1.290336e-04,1.289620e-04,1.288511e-04,1.287125e-04,1.286571e-04,1.284521e-04,1.284436e-04,1.282366e-04,1.281567e-04,1.280114e-04,1.278529e-04,1.277768e-04,1.275335e-04,1.271997e-04,1.268525e-04,1.264931e-04,1.261223e-04,1.257412e-04,1.253507e-04,1.249515e-04,1.245446e-04,1.241306e-04,1.237103e-04,1.232845e-04,1.228536e-04,1.224185e-04,1.219796e-04,1.215375e-04,1.210927e-04,1.206458e-04,1.201971e-04,1.197472e-04,1.192964e-04,1.188451e-04,1.183938e-04,1.179427e-04,1.174922e-04
0.000000e+00,2.959811e-09,6.848265e-09,2.371135e-08,5.389516e-08,7.847585e-08,1.766503e-07,1.818962e-07,3.478434e-07,4.073954e-07,5.902240e-07,7.783365e-07,9.235023e-07,1.322908e-06,1.362195e-06,1.918053e-06,2.069560e-06,2.595040e-06,3.024992e-06,3.386626e-06,4.167231e-06,4.279152e-06,5.257374e-06,5.462046e-06,6.307409e-06,6.877733e-06,7.417157e-06,8.387546e-06,8.575789e-06,9.773181e-06,9.967704e-06,1.099956e-05,1.159570e-05,1.224535e-05,1.324965e-05,1.350117e-05,1.475787e-05,1.490831e-05,1.600670e-05,1.655155e-05,1.723943e-05,1.816083e-05,1.844845e-05,1.962690e-05,1.971966e-05,2.076870e-05,2.121398e-05,2.186871e-05,2.263238e-05,2.292261e-05,2.392696e-05,2.396606e-05,2.487915e-05,2.520879e-05,2.577737e-05,2.635675e-05,2.662053e-05,2.740819e-05,2.814051e-05,2.836325e-05,2.881810e-05,2.922353e-05,2.944205e-05,2.999185e-05,3.001374e-05,3.053486e-05,3.067197e-05,3.100733e-05,3.126831e-05,3.143321e-05,3.178573e-05,3.181467e-05,3.215396e-05,3.222937e-05,3.245336e-05,3.260447e-05,3.271518e-05,3.291628e-05,3.294167e-05,3.313505e-05,3.316995e-05,3.329747e-05,3.337039e-05,3.343101e-05,3.352233e-05,3.353767e-05,3.361936e-05,3.363024e-05,3.367791e-05,3.369830e-05,3.371504e-05,3.373043e-05,3.373240e-05,3.373150e-05,3.373024e-05,3.371382e-05,3.370108e-05,3.368071e-05,3.364601e-05,3.363343e-05,3.357319e-05,3.356785e-05,3.350109e-05,3.346917e-05,3.341817e-05,3.335231e-05,3.332539e-05,3.322365e-05,3.321941e-05,3.311378e-05,3.307239e-05,3.299656e-05,3.291302e-05,3.287270e-05,3.274288e-05,3.260770e-05,3.256341e-05,3.246775e-05,3.237591e-05,3.232354e-05,3.218156e-05,3.217557e-05,3.202429e-05,3.198140e-05,3.187013e-05,3.177640e-05,3.171345e-05,3.156741e-05,3.155463e-05,3.139400e-05,3.135521e-05,3.123184e-05,3.114048e-05,3.106846e-05,3.092387e-05,3.090410e-05,3.073901e-05,3.070592e-05,3.057340e-05,3.048715e-05,3.040748e-05,3.026800e-05,3.024143e-05,3.007542e-05,3.004888e-05,2.990961e-05,2.983014e-05,2.974415e-05,2.961212e-05,2.957916e-05,2.941477e-05,2.939509e-05,2.925109e-05,2.917932e-05,2.908821e-05,2.896503e-05,2.892624e-05,2.876525e-05,2.875241e-05,2.860532e-05,2.854166e-05,2.844653e-05,2.833293e-05,2.828892e-05,2.813257e-05,2.812635e-05,2.797753e-05,2.792204e-05,2.782382e-05,2.772010e-05,2.767151e-05,2.752062e-05,2.732369e-05,2.712936e-05,2.693768e-05,2.674870e-05,2.656246e-05,2.637898e-05,2.619828e-05,2.602038e-05,2.584528e-05,2.567298e-05,2.550349e-05,2.533680e-05,2.517288e-05,2.501175e-05,2.485336e-05,2.469771e-05,2.454477e-05,2.439452e-05,2.424694e-05,2.410198e-05,2.395963e-05,2.381986e-05,2.368262e-05,2.354789e-05
0.000000e+00,9.071108e-09,2.078179e-08,7.157897e-08,1.633119e-07,2.388361e-07,5.473114e-07,5.640860e-07,1.108694e-06,1.310314e-06,1.947479e-06,2.628050e-06,3.167459e-06,4.695312e-06,4.847854e-06,7.018220e-06,7.608557e-06,9.636573e-06,1.126861e-05,1.262215e-05,1.549092e-05,1.589700e-05,1.940002e-05,2.012368e-05,2.308419e-05,2.505862e-05,2.691125e-05,3.021202e-05,3.084799e-05,3.486431e-05,3.551242e-05,3.893239e-05,4.089582e-05,4.302654e-05,4.630475e-05,4.712325e-05,5.120130e-05,5.168850e-05,5.524189e-05,5.700356e-05,5.922860e-05,6.221377e-05,6.314743e-05,6.698661e-05,6.729000e-05,7.073648e-05,7.220963e-05,7.438930e-05,7.695577e-05,7.793901e-05,8.138110e-05,8.151649e-05,8.471231e-05,8.588396e-05,8.793051e-05,9.005369e-05,9.103451e-05,9.402391e-05,9.689896e-05,9.779495e-05,9.966049e-05,1.013688e-04,1.023097e-04,1.047488e-04,1.048483e-04,1.072781e-04,1.079392e-04,1.096012e-04,1.109448e-04,1.118200e-04,1.137712e-04,1.139369e-04,1.159544e-04,1.164241e-04,1.178752e-04,1.189096e-04,1.197019e-04,1.212338e-04,1.214373e-04,1.230840e-04,1.234030e-04,1.246448e-04,1.254233e-04,1.261222e-04,1.273009e-04,1.275191e-04,1.288380e-04,1.290420e-04,1.300816e-04,1.306524e-04,1.312523e-04,1.321382e-04,1.323528e-04,1.333854e-04,1.335049e-04,1.343527e-04,1.347582e-04,1.352569e-04,1.359034e-04,1.361004e-04,1.368855e-04,1.369459e-04,1.376144e-04,1.378906e-04,1.382891e-04,1.387426e-04,1.389118e-04,1.394845e-04,1.395064e-04,1.400093e-04,1.401868e-04,1.404879e-04,1.407880e-04,1.409223e-04,1.413143e-04,1.416656e-04,1.417697e-04,1.419779e-04,1.421581e-04,1.422529e-04,1.424832e-04,1.424921e-04,1.426972e-04,1.427487e-04,1.428695e-04,1.429578e-04,1.430106e-04,1.431140e-04,1.431218e-04,1.432045e-04,1.432203e-04,1.432600e-04,1.432796e-04,1.432895e-04,1.432949e-04,1.432942e-04,1.432754e-04,1.432689e-04,1.432341e-04,1.432042e-04,1.431715e-04,1.431031e-04,1.430885e-04,1.429863e-04,1.429682e-04,1.428657e-04,1.428016e-04,1.427277e-04,1.426054e-04,1.425733e-04,1.424032e-04,1.423818e-04,1.422184e-04,1.421326e-04,1.420196e-04,1.418596e-04,1.418076e-04,1.415831e-04,1.415647e-04,1.413470e-04,1.412494e-04,1.410998e-04,1.409154e-04,1.408422e-04,1.405749e-04,1.405641e-04,1.402985e-04,1.401969e-04,1.400136e-04,1.398152e-04,1.397206e-04,1.394202e-04,1.390133e-04,1.385953e-04,1.381676e-04,1.377310e-04,1.372866e-04,1.368352e-04,1.363776e-04,1.359148e-04,1.354475e-04,1.349763e-04,1.345020e-04,1.340251e-04,1.335464e-04,1.330662e-04,1.325852e-04,1.321039e-04,1.316227e-04,1.311420e-04,1.306623e-04,1.301839e-04,1.297071e-04,1.292324e-04,1.287600e-04,1.282901e-04
0.000000e+00,3.179206e-10,1.053617e-09,5.526230e-09,1.541366e-08,2.425642e-08,6.271601e-08,6.485829e-08,1.350407e-07,1.609961e-07,2.421247e-07,3.270428e-07,3.931893e-07,5.768455e-07,5.950094e-07,8.537127e-07,9.248407e-07,1.174113e-06,1.381552e-06,1.558724e-06,1.949649e-06,2.006602e-06,2.512447e-06,2.619791e-06,3.066655e-06,3.369858e-06,3.656718e-06,4.170392e-06,4.269430e-06,4.892788e-06,4.992821e-06,5.516899e-06,5.814396e-06,6.134042e-06,6.618752e-06,6.738361e-06,7.325465e-06,7.394596e-06,7.892104e-06,8.134308e-06,8.435924e-06,8.832936e-06,8.955288e-06,9.449145e-06,9.487531e-06,9.916923e-06,1.009668e-05,1.035845e-05,1.066015e-05,1.077386e-05,1.116355e-05,1.117861e-05,1.152811e-05,1.165335e-05,1.186830e-05,1.208614e-05,1.218497e-05,1.247905e-05,1.275152e-05,1.283431e-05,1.300339e-05,1.315425e-05,1.323568e-05,1.344120e-05,1.344940e-05,1.364555e-05,1.369745e-05,1.382508e-05,1.392522e-05,1.398894e-05,1.412664e-05,1.413804e-05,1.427324e-05,1.430372e-05,1.439538e-05,1.445836e-05,1.450523e-05,1.459235e-05,1.460356e-05,1.469108e-05,1.470734e-05,1.476846e-05,1.480490e-05,1.483633e-05,1.488645e-05,1.489531e-05,1.494597e-05,1.495333e-05,1.498882e-05,1.500678e-05,1.502439e-05,1.504792e-05,1.505315e-05,1.507554e-05,1.507782e-05,1.509198e-05,1.509743e-05,1.510287e-05,1.510767e-05,1.510858e-05,1.510946e-05,1.510934e-05,1.510584e-05,1.510320e-05,1.509803e-05,1.508997e-05,1.508631e-05,1.507096e-05,1.507027e-05,1.505223e-05,1.504470e-05,1.503036e-05,1.501381e-05,1.500558e-05,1.497810e-05,1.494812e-05,1.493803e-05,1.491583e-05,1.489402e-05,1.488139e-05,1.484648e-05,1.484498e-05,1.480675e-05,1.479574e-05,1.476685e-05,1.474216e-05,1.472541e-05,1.468603e-05,1.468256e-05,1.463841e-05,1.462764e-05,1.459310e-05,1.456724e-05,1.454671e-05,1.450508e-05,1.449934e-05,1.445111e-05,1.444136e-05,1.440208e-05,1.437630e-05,1.435234e-05,1.431007e-05,1.430197e-05,1.425105e-05,1.424286e-05,1.419964e-05,1.417481e-05,1.414780e-05,1.410606e-05,1.409560e-05,1.404308e-05,1.403676e-05,1.399031e-05,1.396703e-05,1.393734e-05,1.389697e-05,1.388420e-05,1.383095e-05,1.382669e-05,1.377762e-05,1.375628e-05,1.372426e-05,1.368583e-05,1.367089e-05,1.361756e-05,1.361542e-05,1.356428e-05,1.354513e-05,1.351110e-05,1.347501e-05,1.345804e-05,1.340513e-05,1.333555e-05,1.326631e-05,1.319746e-05,1.312905e-05,1.306111e-05,1.299368e-05,1.292678e-05,1.286046e-05,1.279472e-05,1.272960e-05,1.266511e-05,1.260128e-05,1.253812e-05,1.247564e-05,1.241386e-05,1.235278e-05,1.229242e-05,1.223279e-05,1.217388e-05,1.211571e-05,1.205827e-05,1.200158e-05,1.194563e-05,1.189042e-05
0.000000e+00,7.493548e-10,2.049817e-09,8.502981e-09,2.106967e-08,3.170075e-08,7.569711e-08,7.809038e-08,1.549703e-07,1.829343e-07,2.694993e-07,3.593047e-07,4.289501e-07,6.217247e-07,6.407725e-07,9.121682e-07,9.868516e-07,1.248713e-06,1.466481e-06,1.652089e-06,2.059560e-06,2.118651e-06,2.640701e-06,2.750975e-06,3.209258e-06,3.520457e-06,3.815924e-06,4.349566e-06,4.453344e-06,5.115030e-06,5.222750e-06,5.795069e-06,6.126371e-06,6.487929e-06,7.047911e-06,7.188359e-06,7.891377e-06,7.975687e-06,8.592287e-06,8.898881e-06,9.286723e-06,9.807695e-06,9.970696e-06,1.064063e-05,1.069352e-05,1.129338e-05,1.154905e-05,1.192626e-05,1.236836e-05,1.253704e-05,1.312389e-05,1.314685e-05,1.368544e-05,1.388119e-05,1.422067e-05,1.456924e-05,1.472891e-05,1.520982e-05,1.566333e-05,1.580268e-05,1.608958e-05,1.634824e-05,1.648894e-05,1.684750e-05,1.686192e-05,1.720920e-05,1.730193e-05,1.753152e-05,1.771330e-05,1.782976e-05,1.808363e-05,1.810481e-05,1.835762e-05,1.841510e-05,1.858918e-05,1.870994e-05,1.880048e-05,1.897045e-05,1.899250e-05,1.916625e-05,1.919889e-05,1.932268e-05,1.939750e-05,1.946274e-05,1.956843e-05,1.958737e-05,1.969744e-05,1.971376e-05,1.979384e-05,1.983549e-05,1.987737e-05,1.993548e-05,1.994884e-05,2.000902e-05,2.001551e-05,2.005861e-05,2.007726e-05,2.009831e-05,2.012228e-05,2.012878e-05,2.015064e-05,2.015204e-05,2.016447e-05,2.016789e-05,2.017084e-05,2.017110e-05,2.017026e-05,2.016324e-05,2.016284e-05,2.015025e-05,2.014419e-05,2.013172e-05,2.011617e-05,2.010807e-05,2.007970e-05,2.004698e-05,2.003564e-05,2.001024e-05,1.998477e-05,1.996982e-05,1.992783e-05,1.992602e-05,1.987913e-05,1.986549e-05,1.982942e-05,1.979835e-05,1.977715e-05,1.972699e-05,1.972254e-05,1.966583e-05,1.965193e-05,1.960722e-05,1.957364e-05,1.954690e-05,1.949256e-05,1.948506e-05,1.942187e-05,1.940908e-05,1.935749e-05,1.932359e-05,1.929206e-05,1.923640e-05,1.922574e-05,1.915864e-05,1.914784e-05,1.909089e-05,1.905817e-05,1.902260e-05,1.896765e-05,1.895388e-05,1.888482e-05,1.887651e-05,1.881552e-05,1.878497e-05,1.874606e-05,1.869322e-05,1.867653e-05,1.860699e-05,1.860143e-05,1.853751e-05,1.850976e-05,1.846816e-05,1.841834e-05,1.839900e-05,1.833008e-05,1.832732e-05,1.826144e-05,1.823681e-05,1.819314e-05,1.814691e-05,1.812522e-05,1.805772e-05,1.796931e-05,1.788177e-05,1.779515e-05,1.770952e-05,1.762494e-05,1.754143e-05,1.745905e-05,1.737783e-05,1.729779e-05,1.721897e-05,1.714137e-05,1.706501e-05,1.698991e-05,1.691608e-05,1.684352e-05,1.677224e-05,1.670224e-05,1.663351e-05,1.656606e-05,1.649987e-05,1.643495e-05,1.637128e-05,1.630886e-05,1.624768e-05
0.000000e+00,2.442127e-09,5.811554e-09,2.073115e-08,4.785248e-08,7.016103e-08,1.607505e-07,1.656525e-07,3.236958e-07,3.817536e-07,5.640452e-07,7.572452e-07,9.095394e-07,1.337897e-06,1.380455e-06,1.982177e-06,2.144618e-06,2.698480e-06,3.139317e-06,3.501547e-06,4.259148e-06,4.365290e-06,5.269971e-06,5.454483e-06,6.201196e-06,6.692167e-06,7.147916e-06,7.948399e-06,8.100971e-06,9.052312e-06,9.203871e-06,9.994642e-06,1.044178e-05,1.092131e-05,1.164734e-05,1.182635e-05,1.270453e-05,1.280789e-05,1.355143e-05,1.391319e-05,1.436342e-05,1.495546e-05,1.513774e-05,1.587243e-05,1.592945e-05,1.656631e-05,1.683230e-05,1.721885e-05,1.766310e-05,1.783012e-05,1.840067e-05,1.842265e-05,1.893150e-05,1.911313e-05,1.942394e-05,1.973758e-05,1.987941e-05,2.029961e-05,2.068634e-05,2.080332e-05,2.104145e-05,2.125302e-05,2.136686e-05,2.165302e-05,2.166441e-05,2.193594e-05,2.200755e-05,2.218322e-05,2.232066e-05,2.240794e-05,2.259615e-05,2.261172e-05,2.279608e-05,2.283759e-05,2.296245e-05,2.304826e-05,2.311217e-05,2.323114e-05,2.324649e-05,2.336657e-05,2.338898e-05,2.347350e-05,2.352424e-05,2.356827e-05,2.363916e-05,2.365180e-05,2.372495e-05,2.373574e-05,2.378849e-05,2.381579e-05,2.384315e-05,2.388094e-05,2.388960e-05,2.392846e-05,2.393263e-05,2.396027e-05,2.397218e-05,2.398558e-05,2.400075e-05,2.400485e-05,2.401853e-05,2.401939e-05,2.402702e-05,2.402905e-05,2.403071e-05,2.403058e-05,2.402993e-05,2.402502e-05,2.402474e-05,2.401626e-05,2.401223e-05,2.400394e-05,2.399365e-05,2.398830e-05,2.396959e-05,2.394802e-05,2.394055e-05,2.392379e-05,2.390699e-05,2.389710e-05,2.386933e-05,2.386813e-05,2.383703e-05,2.382796e-05,2.380396e-05,2.378323e-05,2.376906e-05,2.373545e-05,2.373247e-05,2.369431e-05,2.368493e-05,2.365470e-05,2.363192e-05,2.361374e-05,2.357668e-05,2.357155e-05,2.352822e-05,2.351942e-05,2.348383e-05,2.346037e-05,2.343848e-05,2.339970e-05,2.339224e-05,2.334520e-05,2.333760e-05,2.329741e-05,2.327423e-05,2.324895e-05,2.320973e-05,2.319987e-05,2.315025e-05,2.314426e-05,2.310013e-05,2.307794e-05,2.304957e-05,2.301088e-05,2.299862e-05,2.294732e-05,2.294320e-05,2.289572e-05,2.287500e-05,2.284386e-05,2.280638e-05,2.279178e-05,2.273952e-05,2.273743e-05,2.268712e-05,2.266822e-05,2.263460e-05,2.259884e-05,2.258200e-05,2.252935e-05,2.245983e-05,2.239033e-05,2.232091e-05,2.225162e-05,2.218251e-05,2.211363e-05,2.204502e-05,2.197672e-05,2.190876e-05,2.184118e-05,2.177401e-05,2.170728e-05,2.164101e-05,2.157523e-05,2.150997e-05,2.144523e-05,2.138105e-05,2.131743e-05,2.125439e-05,2.119195e-05,2.113012e-05,2.106891e-05,2.100833e-05,2.094840e-05
0.000000e+00,1.032894e-11,5.300163e-11,6.013956e-10,2.996805e-09,6.241653e-09,3.024730e-08,3.201156e-08,1.116962e-07,1.511308e-07,3.057716e-07,5.147905e-07,7.086437e-07,1.378633e-06,1.454902e-06,2.724139e-06,3.130777e-06,4.743003e-06,6.300395e-06,7.782457e-06,1.154443e-05,1.214931e-05,1.817337e-05,1.960682e-05,2.619271e-05,3.126211e-05,3.653928e-05,4.725863e-05,4.952602e-05,6.543612e-05,6.826998e-05,8.451437e-05,9.485781e-05,1.069607e-04,1.274456e-04,1.329256e-04,1.625075e-04,1.663031e-04,1.957516e-04,2.115391e-04,2.326503e-04,2.631034e-04,2.731451e-04,3.171295e-04,3.207947e-04,3.644525e-04,3.842751e-04,4.149238e-04,4.530875e-04,4.683186e-04,5.243831e-04,5.266774e-04,5.828407e-04,6.044150e-04,6.433972e-04,6.856186e-04,7.057465e-04,7.695762e-04,8.345723e-04,8.555664e-04,9.004236e-04,9.428763e-04,9.668258e-04,1.030817e-03,1.033485e-03,1.100121e-03,1.118738e-03,1.166468e-03,1.206034e-03,1.232279e-03,1.292154e-03,1.297325e-03,1.361396e-03,1.376607e-03,1.424305e-03,1.458962e-03,1.485881e-03,1.538849e-03,1.545978e-03,1.604467e-03,1.615961e-03,1.661237e-03,1.690048e-03,1.716198e-03,1.760913e-03,1.769276e-03,1.820414e-03,1.828413e-03,1.869569e-03,1.892450e-03,1.916712e-03,1.952967e-03,1.961828e-03,2.004912e-03,2.009946e-03,2.045971e-03,2.063400e-03,2.085021e-03,2.113369e-03,2.122085e-03,2.157194e-03,2.159920e-03,2.190386e-03,2.203135e-03,2.221702e-03,2.243114e-03,2.251189e-03,2.278898e-03,2.279970e-03,2.304882e-03,2.313824e-03,2.329197e-03,2.344806e-03,2.351899e-03,2.373049e-03,2.392704e-03,2.398688e-03,2.410924e-03,2.421860e-03,2.427769e-03,2.442701e-03,2.443298e-03,2.457568e-03,2.461346e-03,2.470637e-03,2.477926e-03,2.482562e-03,2.492569e-03,2.493397e-03,2.503196e-03,2.505399e-03,2.512011e-03,2.516536e-03,2.519892e-03,2.526094e-03,2.526889e-03,2.533047e-03,2.534182e-03,2.538413e-03,2.540905e-03,2.543030e-03,2.546360e-03,2.546940e-03,2.550182e-03,2.550642e-03,2.552796e-03,2.553838e-03,2.554817e-03,2.556032e-03,2.556282e-03,2.557222e-03,2.557301e-03,2.557671e-03,2.557720e-03,2.557658e-03,2.557357e-03,2.557212e-03,2.556360e-03,2.556276e-03,2.555129e-03,2.554536e-03,2.553543e-03,2.552195e-03,2.551626e-03,2.549399e-03,2.549303e-03,2.546883e-03,2.545911e-03,2.544099e-03,2.542063e-03,2.541066e-03,2.537800e-03,2.533163e-03,2.528187e-03,2.522906e-03,2.517351e-03,2.511551e-03,2.505533e-03,2.499322e-03,2.492940e-03,2.486410e-03,2.479749e-03,2.472978e-03,2.466112e-03,2.459167e-03,2.452157e-03,2.445096e-03,2.437995e-03,2.430866e-03,2.423720e-03,2.416565e-03,2.409411e-03,2.402265e-03,2.395136e-03,2.388029e-03,2.380951e-03
0.000000e+00,1.253464e-12,6.463250e-12,7.410547e-11,3.730156e-10,7.814485e-10,3.849099e-09,4.076483e-09,1.448853e-08,1.971113e-08,4.047074e-08,6.902734e-08,9.588494e-08,1.906852e-07,2.016341e-07,3.873811e-07,4.480696e-07,6.930619e-07,9.351662e-07,1.169585e-06,1.778577e-06,1.878069e-06,2.887489e-06,3.131911e-06,4.271260e-06,5.163440e-06,6.103490e-06,8.041457e-06,8.455496e-06,1.139287e-05,1.192115e-05,1.497322e-05,1.693466e-05,1.924451e-05,2.318445e-05,2.424402e-05,2.999776e-05,3.073970e-05,3.652032e-05,3.963508e-05,4.381508e-05,4.987136e-05,5.187461e-05,6.068137e-05,6.141745e-05,7.020853e-05,7.421349e-05,8.042095e-05,8.817464e-05,9.127620e-05,1.027257e-04,1.031952e-04,1.147156e-04,1.191532e-04,1.271882e-04,1.359144e-04,1.400829e-04,1.533370e-04,1.668868e-04,1.712748e-04,1.806687e-04,1.895817e-04,1.946195e-04,2.081137e-04,2.086773e-04,2.227823e-04,2.267323e-04,2.368771e-04,2.453062e-04,2.509070e-04,2.637130e-04,2.648207e-04,2.785700e-04,2.818404e-04,2.921106e-04,2.995869e-04,3.054019e-04,3.168626e-04,3.184070e-04,3.310927e-04,3.335888e-04,3.434298e-04,3.496987e-04,3.553927e-04,3.651362e-04,3.669595e-04,3.781116e-04,3.798564e-04,3.888339e-04,3.938243e-04,3.991143e-04,4.070142e-04,4.089436e-04,4.183155e-04,4.194092e-04,4.272262e-04,4.310003e-04,4.356742e-04,4.417855e-04,4.436601e-04,4.511866e-04,4.517690e-04,4.582580e-04,4.609605e-04,4.648804e-04,4.693745e-04,4.710610e-04,4.768084e-04,4.770294e-04,4.821323e-04,4.839472e-04,4.870432e-04,4.901525e-04,4.915525e-04,4.956721e-04,4.994145e-04,5.005346e-04,5.027927e-04,5.047697e-04,5.058199e-04,5.084082e-04,5.085095e-04,5.108751e-04,5.114813e-04,5.129303e-04,5.140202e-04,5.146888e-04,5.160562e-04,5.161641e-04,5.173696e-04,5.176202e-04,5.183184e-04,5.187426e-04,5.190238e-04,5.194532e-04,5.194983e-04,5.197546e-04,5.197807e-04,5.198047e-04,5.197533e-04,5.196606e-04,5.193978e-04,5.193337e-04,5.188353e-04,5.187403e-04,5.181760e-04,5.178055e-04,5.173663e-04,5.166171e-04,5.164163e-04,5.153355e-04,5.151975e-04,5.141332e-04,5.135680e-04,5.128182e-04,5.117488e-04,5.113991e-04,5.098839e-04,5.097588e-04,5.082805e-04,5.076160e-04,5.065961e-04,5.053372e-04,5.048378e-04,5.030123e-04,5.029380e-04,5.011260e-04,5.004332e-04,4.991848e-04,4.978363e-04,4.971944e-04,4.951602e-04,4.924167e-04,4.896167e-04,4.867704e-04,4.838870e-04,4.809754e-04,4.780432e-04,4.750979e-04,4.721459e-04,4.691935e-04,4.662461e-04,4.633086e-04,4.603857e-04,4.574815e-04,4.545995e-04,4.517431e-04,4.489153e-04,4.461186e-04,4.433554e-04,4.406277e-04,4.379373e-04,4.352856e-04,4.326740e-04,4.301037e-04,4.275754e-04
0.000000e+00,2.574688e-09,6.945370e-09,2.826298e-08,6.919855e-08,1.035747e-07,2.449472e-07,2.526204e-07,4.992419e-07,5.891972e-07,8.689904e-07,1.161567e-06,1.390038e-06,2.028398e-06,2.091852e-06,2.999742e-06,3.249939e-06,4.123921e-06,4.842965e-06,5.447718e-06,6.743338e-06,6.927267e-06,8.506719e-06,8.829904e-06,1.013499e-05,1.098749e-05,1.177289e-05,1.313548e-05,1.339250e-05,1.497420e-05,1.522275e-05,1.650390e-05,1.721656e-05,1.797133e-05,1.909526e-05,1.936890e-05,2.069115e-05,2.084457e-05,2.193436e-05,2.245570e-05,2.309629e-05,2.392442e-05,2.417607e-05,2.517389e-05,2.525020e-05,2.609094e-05,2.643559e-05,2.692927e-05,2.748556e-05,2.769146e-05,2.838061e-05,2.840671e-05,2.900020e-05,2.920694e-05,2.955394e-05,2.989483e-05,3.004567e-05,3.047930e-05,3.085873e-05,3.096933e-05,3.118779e-05,3.137367e-05,3.147019e-05,3.170070e-05,3.170948e-05,3.190907e-05,3.195829e-05,3.207217e-05,3.215378e-05,3.220181e-05,3.229394e-05,3.230080e-05,3.237179e-05,3.238494e-05,3.241723e-05,3.243238e-05,3.243941e-05,3.244135e-05,3.244042e-05,3.242221e-05,3.241642e-05,3.238657e-05,3.236170e-05,3.233515e-05,3.228087e-05,3.226946e-05,3.219090e-05,3.217722e-05,3.210075e-05,3.205370e-05,3.200017e-05,3.191293e-05,3.189024e-05,3.177195e-05,3.175723e-05,3.164619e-05,3.158871e-05,3.151379e-05,3.140920e-05,3.137551e-05,3.123204e-05,3.122036e-05,3.108402e-05,3.102366e-05,3.093202e-05,3.082041e-05,3.077657e-05,3.061816e-05,3.061176e-05,3.045723e-05,3.039876e-05,3.029419e-05,3.018230e-05,3.012940e-05,2.996322e-05,2.979595e-05,2.974224e-05,2.962786e-05,2.951999e-05,2.945923e-05,2.929705e-05,2.929029e-05,2.912124e-05,2.907392e-05,2.895230e-05,2.885105e-05,2.878363e-05,2.862884e-05,2.861541e-05,2.844777e-05,2.840764e-05,2.828086e-05,2.818775e-05,2.811480e-05,2.796945e-05,2.794969e-05,2.778564e-05,2.775297e-05,2.762275e-05,2.753852e-05,2.746108e-05,2.732629e-05,2.730072e-05,2.714173e-05,2.711642e-05,2.698417e-05,2.690906e-05,2.682809e-05,2.670433e-05,2.667354e-05,2.652056e-05,2.650231e-05,2.636919e-05,2.630310e-05,2.621945e-05,2.610676e-05,2.607138e-05,2.592499e-05,2.591336e-05,2.578032e-05,2.572293e-05,2.563736e-05,2.553551e-05,2.549615e-05,2.535668e-05,2.535113e-05,2.521896e-05,2.516981e-05,2.508300e-05,2.499156e-05,2.494881e-05,2.481638e-05,2.464427e-05,2.447522e-05,2.430922e-05,2.414626e-05,2.398631e-05,2.382936e-05,2.367537e-05,2.352432e-05,2.337618e-05,2.323091e-05,2.308849e-05,2.294886e-05,2.281200e-05,2.267787e-05,2.254642e-05,2.241762e-05,2.229142e-05,2.216779e-05,2.204668e-05,2.192805e-05,2.181186e-05,2.169806e-05,2.158661e-05,2.147748e-05
0.000000e+00,9.548914e-10,2.250512e-09,7.968936e-09,1.834485e-08,2.685397e-08,6.105005e-08,6.288179e-08,1.208348e-07,1.415918e-07,2.050516e-07,2.698383e-07,3.194583e-07,4.544039e-07,4.675678e-07,6.523967e-07,7.024931e-07,8.762171e-07,1.019060e-06,1.140136e-06,1.405297e-06,1.443788e-06,1.785505e-06,1.858208e-06,2.162826e-06,2.372163e-06,2.572885e-06,2.940363e-06,3.012569e-06,3.478558e-06,3.555325e-06,3.967345e-06,4.208990e-06,4.475272e-06,4.892877e-06,4.998591e-06,5.533531e-06,5.598327e-06,6.076372e-06,6.316793e-06,6.623517e-06,7.040116e-06,7.171550e-06,7.717287e-06,7.760758e-06,8.257817e-06,8.471974e-06,8.790523e-06,9.167919e-06,9.313099e-06,9.823552e-06,9.843693e-06,1.032020e-05,1.049533e-05,1.080165e-05,1.111977e-05,1.126678e-05,1.171475e-05,1.214493e-05,1.227876e-05,1.255690e-05,1.281090e-05,1.295044e-05,1.331082e-05,1.332546e-05,1.368205e-05,1.377862e-05,1.402039e-05,1.421474e-05,1.434075e-05,1.461992e-05,1.464351e-05,1.492908e-05,1.499511e-05,1.519795e-05,1.534142e-05,1.545064e-05,1.566005e-05,1.568769e-05,1.590967e-05,1.595230e-05,1.611715e-05,1.621951e-05,1.631072e-05,1.646300e-05,1.649097e-05,1.665847e-05,1.668412e-05,1.681379e-05,1.688419e-05,1.695750e-05,1.706448e-05,1.709015e-05,1.721226e-05,1.722623e-05,1.732436e-05,1.737065e-05,1.742696e-05,1.749887e-05,1.752052e-05,1.760553e-05,1.761197e-05,1.768243e-05,1.771101e-05,1.775164e-05,1.779695e-05,1.781358e-05,1.786866e-05,1.787072e-05,1.791723e-05,1.793320e-05,1.795967e-05,1.798520e-05,1.799632e-05,1.802750e-05,1.805354e-05,1.806083e-05,1.807472e-05,1.808586e-05,1.809133e-05,1.810324e-05,1.810365e-05,1.811192e-05,1.811355e-05,1.811640e-05,1.811736e-05,1.811731e-05,1.811518e-05,1.811487e-05,1.810930e-05,1.810751e-05,1.810078e-05,1.809480e-05,1.808952e-05,1.807748e-05,1.807569e-05,1.805946e-05,1.805594e-05,1.804098e-05,1.803054e-05,1.802042e-05,1.800164e-05,1.799792e-05,1.797360e-05,1.796956e-05,1.794762e-05,1.793458e-05,1.792007e-05,1.789700e-05,1.789109e-05,1.786079e-05,1.785706e-05,1.782926e-05,1.781502e-05,1.779660e-05,1.777109e-05,1.776291e-05,1.772828e-05,1.772548e-05,1.769280e-05,1.767838e-05,1.765653e-05,1.762997e-05,1.761955e-05,1.758194e-05,1.758043e-05,1.754377e-05,1.752989e-05,1.750508e-05,1.747852e-05,1.746595e-05,1.742643e-05,1.737375e-05,1.732060e-05,1.726707e-05,1.721328e-05,1.715929e-05,1.710521e-05,1.705110e-05,1.699703e-05,1.694307e-05,1.688928e-05,1.683571e-05,1.678242e-05,1.672943e-05,1.667681e-05,1.662458e-05,1.657278e-05,1.652144e-05,1.647058e-05,1.642024e-05,1.637044e-05,1.632119e-05,1.627252e-05,1.622443e-05,1.617695e-05
0.000000e+00,1.508007e-09,3.473608e-09,1.199158e-08,2.726025e-08,3.971492e-08,8.957691e-08,9.224497e-08,1.767390e-07,2.070798e-07,3.001972e-07,3.958658e-07,4.695477e-07,6.714779e-07,6.912736e-07,9.700935e-07,1.045700e-06,1.306752e-06,1.519093e-06,1.696886e-06,2.078331e-06,2.132772e-06,2.606073e-06,2.704538e-06,3.109194e-06,3.380345e-06,3.635422e-06,4.090858e-06,4.178691e-06,4.733409e-06,4.822875e-06,5.294388e-06,5.564460e-06,5.856843e-06,6.304937e-06,6.416434e-06,6.969296e-06,7.035023e-06,7.512072e-06,7.746946e-06,8.041914e-06,8.434482e-06,8.556476e-06,9.053889e-06,9.092896e-06,9.532722e-06,9.718808e-06,9.991936e-06,1.031002e-05,1.043084e-05,1.084905e-05,1.086534e-05,1.124641e-05,1.138437e-05,1.162301e-05,1.186734e-05,1.197907e-05,1.231498e-05,1.263122e-05,1.272834e-05,1.292834e-05,1.310875e-05,1.320696e-05,1.345765e-05,1.346775e-05,1.371139e-05,1.377663e-05,1.393858e-05,1.406728e-05,1.415001e-05,1.433123e-05,1.434640e-05,1.452843e-05,1.457005e-05,1.469677e-05,1.478531e-05,1.485209e-05,1.497851e-05,1.499503e-05,1.512621e-05,1.515109e-05,1.524622e-05,1.530441e-05,1.535565e-05,1.543978e-05,1.545503e-05,1.554491e-05,1.555844e-05,1.562578e-05,1.566154e-05,1.569813e-05,1.575018e-05,1.576242e-05,1.581909e-05,1.582540e-05,1.586856e-05,1.588815e-05,1.591123e-05,1.593934e-05,1.594747e-05,1.597766e-05,1.597982e-05,1.600212e-05,1.601038e-05,1.602120e-05,1.603177e-05,1.603519e-05,1.604440e-05,1.604467e-05,1.604910e-05,1.604974e-05,1.604955e-05,1.604757e-05,1.604601e-05,1.603873e-05,1.602791e-05,1.602374e-05,1.601379e-05,1.600310e-05,1.599655e-05,1.597726e-05,1.597640e-05,1.595352e-05,1.594665e-05,1.592809e-05,1.591166e-05,1.590026e-05,1.587267e-05,1.587019e-05,1.583803e-05,1.583002e-05,1.580392e-05,1.578402e-05,1.576800e-05,1.573498e-05,1.573038e-05,1.569119e-05,1.568318e-05,1.565054e-05,1.562887e-05,1.560854e-05,1.557229e-05,1.556529e-05,1.552088e-05,1.551368e-05,1.547541e-05,1.545323e-05,1.542895e-05,1.539114e-05,1.538160e-05,1.533343e-05,1.532760e-05,1.528451e-05,1.526277e-05,1.523491e-05,1.519680e-05,1.518470e-05,1.513393e-05,1.512985e-05,1.508267e-05,1.506204e-05,1.503097e-05,1.499351e-05,1.497889e-05,1.492647e-05,1.492436e-05,1.487376e-05,1.485472e-05,1.482080e-05,1.478467e-05,1.476764e-05,1.471431e-05,1.464373e-05,1.457301e-05,1.450222e-05,1.443142e-05,1.436069e-05,1.429009e-05,1.421965e-05,1.414945e-05,1.407951e-05,1.400989e-05,1.394062e-05,1.387175e-05,1.380329e-05,1.373529e-05,1.366777e-05,1.360076e-05,1.353427e-05,1.346833e-05,1.340297e-05,1.333818e-05,1.327399e-05,1.321042e-05,1.314747e-05,1.308516e-05
0.000000e+00,8.429643e-12,3.987647e-11,3.830266e-10,1.644148e-09,3.158851e-09,1.248043e-08,1.310097e-08,3.759584e-08,4.830118e-08,8.602603e-08,1.310270e-07,1.692152e-07,2.866775e-07,2.990795e-07,4.882505e-07,5.438840e-07,7.491689e-07,9.306564e-07,1.092244e-06,1.467048e-06,1.523521e-06,2.043194e-06,2.157344e-06,2.645868e-06,2.989051e-06,3.322170e-06,3.938834e-06,4.060684e-06,4.849490e-06,4.979588e-06,5.677108e-06,6.085003e-06,6.532951e-06,7.231496e-06,7.407473e-06,8.292185e-06,8.398670e-06,9.179609e-06,9.569223e-06,1.006323e-05,1.072877e-05,1.093746e-05,1.179755e-05,1.186562e-05,1.263958e-05,1.297061e-05,1.346039e-05,1.403680e-05,1.425748e-05,1.502899e-05,1.505930e-05,1.577360e-05,1.603490e-05,1.649045e-05,1.696181e-05,1.717909e-05,1.783938e-05,1.847147e-05,1.866784e-05,1.907573e-05,1.944809e-05,1.965268e-05,2.018149e-05,2.020300e-05,2.072744e-05,2.086976e-05,2.122684e-05,2.151482e-05,2.170207e-05,2.211871e-05,2.215403e-05,2.258364e-05,2.268352e-05,2.299181e-05,2.321135e-05,2.337944e-05,2.370427e-05,2.374742e-05,2.409662e-05,2.416428e-05,2.442787e-05,2.459331e-05,2.474201e-05,2.499322e-05,2.503980e-05,2.532201e-05,2.536577e-05,2.558937e-05,2.571262e-05,2.584256e-05,2.603536e-05,2.608225e-05,2.630909e-05,2.633547e-05,2.652367e-05,2.661435e-05,2.672657e-05,2.687332e-05,2.691836e-05,2.709955e-05,2.711360e-05,2.727064e-05,2.733636e-05,2.743211e-05,2.754267e-05,2.758442e-05,2.772800e-05,2.773356e-05,2.786325e-05,2.790998e-05,2.799057e-05,2.807281e-05,2.811033e-05,2.822289e-05,2.832857e-05,2.836099e-05,2.842771e-05,2.848786e-05,2.852060e-05,2.860416e-05,2.860753e-05,2.868878e-05,2.871055e-05,2.876461e-05,2.880761e-05,2.883527e-05,2.889592e-05,2.890100e-05,2.896203e-05,2.897599e-05,2.901856e-05,2.904833e-05,2.907080e-05,2.911338e-05,2.911895e-05,2.916320e-05,2.917159e-05,2.920371e-05,2.922336e-05,2.924067e-05,2.926907e-05,2.927422e-05,2.930453e-05,2.930909e-05,2.933174e-05,2.934374e-05,2.935598e-05,2.937334e-05,2.937740e-05,2.939612e-05,2.939819e-05,2.941226e-05,2.941857e-05,2.942593e-05,2.943474e-05,2.943725e-05,2.944632e-05,2.944696e-05,2.945325e-05,2.945544e-05,2.945812e-05,2.946042e-05,2.946104e-05,2.946209e-05,2.946209e-05,2.946135e-05,2.946066e-05,2.945891e-05,2.945631e-05,2.945484e-05,2.944922e-05,2.943953e-05,2.942742e-05,2.941303e-05,2.939649e-05,2.937794e-05,2.935751e-05,2.933530e-05,2.931143e-05,2.928600e-05,2.925912e-05,2.923088e-05,2.920137e-05,2.917067e-05,2.913887e-05,2.910603e-05,2.907224e-05,2.903756e-05,2.900206e-05,2.896580e-05,2.892884e-05,2.889123e-05,2.885303e-05,2.881429e-05,2.877505e-05
0.000000e+00,4.385200e-11,1.893281e-10,1.525351e-09,5.666229e-09,1.011721e-08,3.370405e-08,3.515419e-08,8.733698e-08,1.082946e-07,1.775255e-07,2.543574e-07,3.164734e-07,4.965736e-07,5.148855e-07,7.832575e-07,8.591634e-07,1.130952e-06,1.362890e-06,1.564436e-06,2.018658e-06,2.085831e-06,2.693058e-06,2.824408e-06,3.381287e-06,3.769176e-06,4.144418e-06,4.838551e-06,4.975908e-06,5.869041e-06,6.017207e-06,6.816950e-06,7.289338e-06,7.812578e-06,8.638583e-06,8.848694e-06,9.917961e-06,1.004815e-05,1.101304e-05,1.150118e-05,1.212669e-05,1.298119e-05,1.325195e-05,1.438218e-05,1.447263e-05,1.551120e-05,1.596118e-05,1.663334e-05,1.743413e-05,1.774349e-05,1.883712e-05,1.888046e-05,1.991030e-05,2.029097e-05,2.095966e-05,2.165818e-05,2.198241e-05,2.297622e-05,2.393927e-05,2.424070e-05,2.487015e-05,2.544857e-05,2.576788e-05,2.659789e-05,2.663179e-05,2.746152e-05,2.768769e-05,2.825694e-05,2.871778e-05,2.901819e-05,2.968861e-05,2.974556e-05,3.043951e-05,3.060114e-05,3.110061e-05,3.145673e-05,3.172955e-05,3.225703e-05,3.232711e-05,3.289411e-05,3.300392e-05,3.343144e-05,3.369942e-05,3.394000e-05,3.434566e-05,3.442075e-05,3.487462e-05,3.494481e-05,3.530257e-05,3.549906e-05,3.570556e-05,3.601062e-05,3.608454e-05,3.644045e-05,3.648165e-05,3.677420e-05,3.691426e-05,3.708670e-05,3.731053e-05,3.737883e-05,3.765146e-05,3.767245e-05,3.790542e-05,3.800196e-05,3.814153e-05,3.830093e-05,3.836059e-05,3.856334e-05,3.857112e-05,3.875054e-05,3.881426e-05,3.892290e-05,3.903197e-05,3.908110e-05,3.922581e-05,3.935767e-05,3.939725e-05,3.947730e-05,3.954771e-05,3.958528e-05,3.967852e-05,3.968219e-05,3.976858e-05,3.979095e-05,3.984496e-05,3.988620e-05,3.991185e-05,3.996541e-05,3.996972e-05,4.001905e-05,4.002966e-05,4.006026e-05,4.007996e-05,4.009380e-05,4.011728e-05,4.012006e-05,4.013944e-05,4.014252e-05,4.015231e-05,4.015655e-05,4.015904e-05,4.016018e-05,4.015995e-05,4.015538e-05,4.015416e-05,4.014564e-05,4.013922e-05,4.013104e-05,4.011604e-05,4.011185e-05,4.008834e-05,4.008525e-05,4.006079e-05,4.004745e-05,4.002944e-05,4.000321e-05,3.999452e-05,3.995627e-05,3.995307e-05,3.991489e-05,3.989751e-05,3.987060e-05,3.983702e-05,3.982359e-05,3.977405e-05,3.977202e-05,3.972216e-05,3.970294e-05,3.966809e-05,3.963015e-05,3.961199e-05,3.955403e-05,3.947492e-05,3.939313e-05,3.930896e-05,3.922270e-05,3.913459e-05,3.904490e-05,3.895383e-05,3.886162e-05,3.876845e-05,3.867451e-05,3.857997e-05,3.848500e-05,3.838973e-05,3.829431e-05,3.819887e-05,3.810352e-05,3.800838e-05,3.791354e-05,3.781909e-05,3.772513e-05,3.763173e-05,3.753897e-05,3.744691e-05,3.735560e-05
0.000000e+00,2.612428e-09,7.199649e-09,3.020741e-08,7.546513e-08,1.139931e-07,2.746324e-07,2.834068e-07,5.663059e-07,6.695120e-07,9.893797e-07,1.321267e-06,1.578386e-06,2.287751e-06,2.357608e-06,3.347316e-06,3.617706e-06,4.559300e-06,5.335963e-06,5.994936e-06,7.438858e-06,7.648522e-06,9.511278e-06,9.908045e-06,1.157284e-05,1.271951e-05,1.382122e-05,1.584422e-05,1.624266e-05,1.882162e-05,1.924774e-05,2.154098e-05,2.289082e-05,2.438250e-05,2.673097e-05,2.732726e-05,3.035606e-05,3.072426e-05,3.344996e-05,3.482713e-05,3.659059e-05,3.899797e-05,3.976053e-05,4.294349e-05,4.319823e-05,4.612451e-05,4.739329e-05,4.929005e-05,5.155281e-05,5.242803e-05,5.552783e-05,5.565090e-05,5.858023e-05,5.966594e-05,6.157738e-05,6.358046e-05,6.451267e-05,6.738072e-05,7.017708e-05,7.105617e-05,7.289821e-05,7.459899e-05,7.554144e-05,7.800387e-05,7.810485e-05,8.058706e-05,8.126741e-05,8.298728e-05,8.438791e-05,8.530521e-05,8.736513e-05,8.754098e-05,8.969501e-05,9.019990e-05,9.176808e-05,9.289401e-05,9.376122e-05,9.545010e-05,9.567574e-05,9.751318e-05,9.787155e-05,9.927505e-05,1.001619e-04,1.009629e-04,1.023247e-04,1.025784e-04,1.041233e-04,1.043641e-04,1.055995e-04,1.062842e-04,1.070088e-04,1.080893e-04,1.083530e-04,1.096340e-04,1.097836e-04,1.108537e-04,1.113714e-04,1.120138e-04,1.128569e-04,1.131164e-04,1.141631e-04,1.142445e-04,1.151559e-04,1.155383e-04,1.160964e-04,1.167422e-04,1.169864e-04,1.178277e-04,1.178604e-04,1.186219e-04,1.188966e-04,1.193707e-04,1.198548e-04,1.200757e-04,1.207385e-04,1.213606e-04,1.215514e-04,1.219436e-04,1.222968e-04,1.224888e-04,1.229782e-04,1.229979e-04,1.234720e-04,1.235987e-04,1.239127e-04,1.241615e-04,1.243211e-04,1.246696e-04,1.246987e-04,1.250466e-04,1.251258e-04,1.253661e-04,1.255330e-04,1.256582e-04,1.258937e-04,1.259242e-04,1.261652e-04,1.262105e-04,1.263823e-04,1.264860e-04,1.265763e-04,1.267224e-04,1.267485e-04,1.268996e-04,1.269219e-04,1.270308e-04,1.270869e-04,1.271428e-04,1.272192e-04,1.272366e-04,1.273129e-04,1.273210e-04,1.273727e-04,1.273940e-04,1.274167e-04,1.274401e-04,1.274457e-04,1.274604e-04,1.274609e-04,1.274614e-04,1.274582e-04,1.274496e-04,1.274335e-04,1.274256e-04,1.273899e-04,1.273883e-04,1.273433e-04,1.273239e-04,1.272862e-04,1.272418e-04,1.272194e-04,1.271432e-04,1.270294e-04,1.269014e-04,1.267604e-04,1.266075e-04,1.264436e-04,1.262696e-04,1.260866e-04,1.258951e-04,1.256962e-04,1.254905e-04,1.252788e-04,1.250617e-04,1.248398e-04,1.246138e-04,1.243841e-04,1.241514e-04,1.239161e-04,1.236787e-04,1.234397e-04,1.231993e-04,1.229581e-04,1.227164e-04,1.224745e-04,1.222327e-04
0.000000e+00,7.653982e-10,2.413252e-09,1.185962e-08,3.198078e-08,4.969064e-08,1.256502e-07,1.298536e-07,2.667840e-07,3.171704e-07,4.741389e-07,6.378643e-07,7.651295e-07,1.117760e-06,1.152598e-06,1.648395e-06,1.784600e-06,2.261473e-06,2.657535e-06,2.995085e-06,3.737485e-06,3.845419e-06,4.803368e-06,5.006886e-06,5.857606e-06,6.440003e-06,6.996539e-06,8.010435e-06,8.208889e-06,9.483663e-06,9.692693e-06,1.081002e-05,1.146183e-05,1.217720e-05,1.329322e-05,1.357462e-05,1.499192e-05,1.516286e-05,1.641915e-05,1.704783e-05,1.784688e-05,1.892688e-05,1.926636e-05,2.066958e-05,2.078091e-05,2.204937e-05,2.259328e-05,2.339943e-05,2.435000e-05,2.471435e-05,2.598955e-05,2.603968e-05,2.722132e-05,2.765353e-05,2.840670e-05,2.918506e-05,2.954339e-05,3.062980e-05,3.166492e-05,3.198524e-05,3.264824e-05,3.325028e-05,3.357959e-05,3.442509e-05,3.445929e-05,3.528797e-05,3.551096e-05,3.606646e-05,3.650991e-05,3.679586e-05,3.742464e-05,3.747744e-05,3.811261e-05,3.825830e-05,3.870287e-05,3.901440e-05,3.924984e-05,3.969667e-05,3.975517e-05,4.022052e-05,4.030894e-05,4.064758e-05,4.085506e-05,4.103801e-05,4.133890e-05,4.139350e-05,4.171569e-05,4.176426e-05,4.200619e-05,4.213484e-05,4.226657e-05,4.245424e-05,4.249839e-05,4.270312e-05,4.272593e-05,4.288222e-05,4.295326e-05,4.303708e-05,4.313939e-05,4.316905e-05,4.327943e-05,4.328736e-05,4.336946e-05,4.340004e-05,4.344033e-05,4.348015e-05,4.349320e-05,4.352914e-05,4.353024e-05,4.354922e-05,4.355276e-05,4.355443e-05,4.354996e-05,4.354572e-05,4.352400e-05,4.349013e-05,4.347687e-05,4.344495e-05,4.341046e-05,4.338924e-05,4.332653e-05,4.332373e-05,4.324914e-05,4.322672e-05,4.316613e-05,4.311256e-05,4.307536e-05,4.298549e-05,4.297741e-05,4.287286e-05,4.284685e-05,4.276225e-05,4.269786e-05,4.264610e-05,4.253969e-05,4.252489e-05,4.239908e-05,4.237341e-05,4.226910e-05,4.220001e-05,4.213537e-05,4.202041e-05,4.199826e-05,4.185814e-05,4.183547e-05,4.171536e-05,4.164597e-05,4.157023e-05,4.145265e-05,4.142307e-05,4.127415e-05,4.125617e-05,4.112374e-05,4.105716e-05,4.097211e-05,4.085619e-05,4.081947e-05,4.066607e-05,4.065377e-05,4.051210e-05,4.045039e-05,4.035775e-05,4.024650e-05,4.020322e-05,4.004867e-05,4.004249e-05,3.989425e-05,3.983873e-05,3.974012e-05,3.963555e-05,3.958642e-05,3.943327e-05,3.923215e-05,3.903245e-05,3.883439e-05,3.863817e-05,3.844398e-05,3.825197e-05,3.806229e-05,3.787507e-05,3.769042e-05,3.750842e-05,3.732918e-05,3.715275e-05,3.697920e-05,3.680857e-05,3.664091e-05,3.647624e-05,3.631459e-05,3.615597e-05,3.600040e-05,3.584787e-05,3.569838e-05,3.555192e-05,3.540848e-05,3.526804e-05
0.000000e+00,1.648157e-09,3.819284e-09,1.328618e-08,3.034617e-08,4.430608e-08,1.004061e-07,1.034146e-07,1.989128e-07,2.332856e-07,3.389711e-07,4.478134e-07,5.318159e-07,7.629482e-07,7.856941e-07,1.108375e-06,1.196787e-06,1.505852e-06,1.762108e-06,1.980195e-06,2.458406e-06,2.527709e-06,3.139358e-06,3.268368e-06,3.803476e-06,4.165661e-06,4.508483e-06,5.124747e-06,5.244132e-06,6.001650e-06,6.124363e-06,6.773477e-06,7.147063e-06,7.552996e-06,8.178193e-06,8.334354e-06,9.112371e-06,9.205285e-06,9.882481e-06,1.021778e-05,1.064071e-05,1.120692e-05,1.138367e-05,1.210849e-05,1.216562e-05,1.281284e-05,1.308842e-05,1.349485e-05,1.397124e-05,1.415308e-05,1.478648e-05,1.481129e-05,1.539434e-05,1.560683e-05,1.597626e-05,1.635704e-05,1.653205e-05,1.706178e-05,1.756567e-05,1.772151e-05,1.804407e-05,1.833709e-05,1.849747e-05,1.890975e-05,1.892644e-05,1.933163e-05,1.944091e-05,1.971372e-05,1.993219e-05,2.007345e-05,2.038530e-05,2.041157e-05,2.072886e-05,2.080199e-05,2.102609e-05,2.118407e-05,2.130404e-05,2.153330e-05,2.156348e-05,2.180518e-05,2.185146e-05,2.202989e-05,2.214026e-05,2.223833e-05,2.240137e-05,2.243122e-05,2.260927e-05,2.263642e-05,2.277314e-05,2.284695e-05,2.292349e-05,2.303447e-05,2.306096e-05,2.318616e-05,2.320039e-05,2.329968e-05,2.334608e-05,2.340209e-05,2.347283e-05,2.349394e-05,2.357575e-05,2.358187e-05,2.364802e-05,2.367437e-05,2.371125e-05,2.375144e-05,2.376591e-05,2.381242e-05,2.381412e-05,2.385124e-05,2.386340e-05,2.388276e-05,2.390022e-05,2.390737e-05,2.392546e-05,2.393738e-05,2.393995e-05,2.394348e-05,2.394448e-05,2.394408e-05,2.393978e-05,2.393950e-05,2.393003e-05,2.392655e-05,2.391597e-05,2.390544e-05,2.389759e-05,2.387708e-05,2.387514e-05,2.384888e-05,2.384203e-05,2.381904e-05,2.380085e-05,2.378584e-05,2.375404e-05,2.374952e-05,2.371026e-05,2.370207e-05,2.366827e-05,2.364541e-05,2.362372e-05,2.358447e-05,2.357681e-05,2.352769e-05,2.351964e-05,2.347653e-05,2.345129e-05,2.342348e-05,2.337977e-05,2.336868e-05,2.331228e-05,2.330541e-05,2.325439e-05,2.322849e-05,2.319516e-05,2.314931e-05,2.313469e-05,2.307310e-05,2.306813e-05,2.301050e-05,2.298519e-05,2.294697e-05,2.290073e-05,2.288264e-05,2.281757e-05,2.281495e-05,2.275186e-05,2.272806e-05,2.268559e-05,2.264024e-05,2.261883e-05,2.255167e-05,2.246250e-05,2.237288e-05,2.228296e-05,2.219285e-05,2.210268e-05,2.201256e-05,2.192258e-05,2.183285e-05,2.174344e-05,2.165444e-05,2.156591e-05,2.147794e-05,2.139057e-05,2.130386e-05,2.121786e-05,2.113262e-05,2.104818e-05,2.096458e-05,2.088184e-05,2.080001e-05,2.071911e-05,2.063916e-05,2.056018e-05,2.048220e-05
0.000000e+00,1.739670e-11,8.956673e-11,1.023422e-09,5.133012e-09,1.072964e-08,5.249573e-08,5.557972e-08,1.958550e-07,2.657343e-07,5.414741e-07,9.170564e-07,1.267442e-06,2.488772e-06,2.628599e-06,4.972819e-06,5.729476e-06,8.749728e-06,1.169213e-05,1.451049e-05,2.172846e-05,2.289638e-05,3.461834e-05,3.742907e-05,5.043204e-05,6.052931e-05,7.111211e-05,9.280765e-05,9.742797e-05,1.301221e-04,1.359924e-04,1.698912e-04,1.916824e-04,2.173699e-04,2.612825e-04,2.731176e-04,3.376071e-04,3.459523e-04,4.112159e-04,4.465675e-04,4.942194e-04,5.636933e-04,5.867867e-04,6.889782e-04,6.975686e-04,8.007452e-04,8.481017e-04,9.219316e-04,1.014876e-03,1.052277e-03,1.191423e-03,1.197166e-03,1.338919e-03,1.393961e-03,1.494230e-03,1.603997e-03,1.656746e-03,1.825796e-03,2.000650e-03,2.057704e-03,2.180539e-03,2.297940e-03,2.364660e-03,2.544634e-03,2.552190e-03,2.742297e-03,2.795875e-03,2.934146e-03,3.049747e-03,3.126912e-03,3.304372e-03,3.319787e-03,3.511991e-03,3.557936e-03,3.702773e-03,3.808722e-03,3.891419e-03,4.055129e-03,4.077261e-03,4.259673e-03,4.295693e-03,4.438082e-03,4.529097e-03,4.611964e-03,4.754180e-03,4.780847e-03,4.944314e-03,4.969941e-03,5.101999e-03,5.175539e-03,5.253588e-03,5.370292e-03,5.398818e-03,5.537477e-03,5.553666e-03,5.669397e-03,5.725273e-03,5.794455e-03,5.884859e-03,5.912571e-03,6.023705e-03,6.032293e-03,6.127850e-03,6.167557e-03,6.225037e-03,6.290734e-03,6.315324e-03,6.398797e-03,6.401996e-03,6.475568e-03,6.501590e-03,6.545771e-03,6.589833e-03,6.609556e-03,6.667093e-03,6.718564e-03,6.733786e-03,6.764165e-03,6.790362e-03,6.804099e-03,6.837300e-03,6.838577e-03,6.867819e-03,6.875098e-03,6.892044e-03,6.904265e-03,6.911478e-03,6.925318e-03,6.926345e-03,6.936869e-03,6.938774e-03,6.943276e-03,6.945147e-03,6.945785e-03,6.944942e-03,6.944614e-03,6.939978e-03,6.938654e-03,6.932086e-03,6.926763e-03,6.921142e-03,6.909735e-03,6.907343e-03,6.890883e-03,6.888015e-03,6.871947e-03,6.862032e-03,6.850715e-03,6.832192e-03,6.827359e-03,6.802045e-03,6.798883e-03,6.774931e-03,6.762470e-03,6.746169e-03,6.723297e-03,6.715904e-03,6.684274e-03,6.681688e-03,6.651409e-03,6.637946e-03,6.617435e-03,6.592353e-03,6.582470e-03,6.546624e-03,6.545173e-03,6.510002e-03,6.496648e-03,6.472706e-03,6.447006e-03,6.434826e-03,6.396452e-03,6.345180e-03,6.293363e-03,6.241163e-03,6.188725e-03,6.136184e-03,6.083659e-03,6.031260e-03,5.979084e-03,5.927220e-03,5.875746e-03,5.824731e-03,5.774238e-03,5.724320e-03,5.675025e-03,5.626393e-03,5.578460e-03,5.531256e-03,5.484806e-03,5.439131e-03,5.394247e-03,5.350168e-03,5.306903e-03,5.264459e-03,5.222840e-03
0.000000e+00,5.167486e-12,2.656112e-11,3.024677e-10,1.512376e-09,3.156045e-09,1.537506e-08,1.627548e-08,5.711228e-08,7.740177e-08,1.572711e-07,2.657480e-07,3.667326e-07,7.177029e-07,7.578095e-07,1.428773e-06,1.644945e-06,2.506846e-06,3.345941e-06,4.149750e-06,6.210608e-06,6.544476e-06,9.902172e-06,1.070905e-05,1.444926e-05,1.736048e-05,2.041625e-05,2.668941e-05,2.802613e-05,3.748404e-05,3.918118e-05,4.896884e-05,5.524586e-05,6.262700e-05,7.519365e-05,7.856867e-05,9.686558e-05,9.922145e-05,1.175507e-04,1.274087e-04,1.406190e-04,1.597210e-04,1.660297e-04,1.937085e-04,1.960179e-04,2.235513e-04,2.360658e-04,2.554275e-04,2.795524e-04,2.891842e-04,3.246502e-04,3.261018e-04,3.616398e-04,3.752915e-04,3.999567e-04,4.266668e-04,4.393978e-04,4.797566e-04,5.208265e-04,5.340855e-04,5.624031e-04,5.891859e-04,6.042874e-04,6.446074e-04,6.462873e-04,6.882195e-04,6.999246e-04,7.299112e-04,7.547431e-04,7.712009e-04,8.087040e-04,8.119395e-04,8.519904e-04,8.614863e-04,8.912302e-04,9.128085e-04,9.295485e-04,9.624290e-04,9.668482e-04,1.003045e-03,1.010145e-03,1.038066e-03,1.055792e-03,1.071851e-03,1.099240e-03,1.104352e-03,1.135529e-03,1.140393e-03,1.165355e-03,1.179185e-03,1.193809e-03,1.215578e-03,1.220882e-03,1.246569e-03,1.249558e-03,1.270874e-03,1.281133e-03,1.293808e-03,1.310330e-03,1.315386e-03,1.335628e-03,1.337190e-03,1.354559e-03,1.361771e-03,1.372208e-03,1.384140e-03,1.388607e-03,1.403789e-03,1.404372e-03,1.417792e-03,1.422551e-03,1.430653e-03,1.438766e-03,1.442411e-03,1.453108e-03,1.462784e-03,1.465671e-03,1.471481e-03,1.476552e-03,1.479240e-03,1.485846e-03,1.486104e-03,1.492112e-03,1.493647e-03,1.497306e-03,1.500048e-03,1.501725e-03,1.505141e-03,1.505409e-03,1.508396e-03,1.509014e-03,1.510723e-03,1.511752e-03,1.512427e-03,1.513438e-03,1.513542e-03,1.514103e-03,1.514151e-03,1.514142e-03,1.513967e-03,1.513691e-03,1.512956e-03,1.512781e-03,1.511440e-03,1.511188e-03,1.509697e-03,1.508725e-03,1.507578e-03,1.505630e-03,1.505109e-03,1.502314e-03,1.501958e-03,1.499217e-03,1.497764e-03,1.495839e-03,1.493097e-03,1.492202e-03,1.488325e-03,1.488005e-03,1.484228e-03,1.482532e-03,1.479929e-03,1.476717e-03,1.475444e-03,1.470790e-03,1.470600e-03,1.465981e-03,1.464216e-03,1.461033e-03,1.457596e-03,1.455959e-03,1.450772e-03,1.443771e-03,1.436619e-03,1.429340e-03,1.421955e-03,1.414486e-03,1.406950e-03,1.399365e-03,1.391745e-03,1.384106e-03,1.376459e-03,1.368818e-03,1.361191e-03,1.353590e-03,1.346024e-03,1.338499e-03,1.331023e-03,1.323603e-03,1.316244e-03,1.308953e-03,1.301732e-03,1.294587e-03,1.287521e-03,1.280537e-03,1.273638e-03
0.000000e+00,1.090696e-11,5.334182e-11,5.481928e-10,2.498621e-09,4.958310e-09,2.126108e-08,2.239164e-08,6.956364e-08,9.130116e-08,1.715413e-07,2.727838e-07,3.622980e-07,6.530165e-07,6.848123e-07,1.188728e-06,1.342308e-06,1.923831e-06,2.452496e-06,2.931681e-06,4.066585e-06,4.240003e-06,5.861617e-06,6.223729e-06,7.796607e-06,8.923829e-06,1.003562e-05,1.213997e-05,1.256293e-05,1.535872e-05,1.582949e-05,1.840052e-05,1.994090e-05,2.166410e-05,2.441758e-05,2.512403e-05,2.875405e-05,2.919982e-05,3.252744e-05,3.422622e-05,3.641734e-05,3.943521e-05,4.039717e-05,4.444103e-05,4.476655e-05,4.852404e-05,5.016288e-05,5.262268e-05,5.557103e-05,5.671509e-05,6.078130e-05,6.094314e-05,6.480332e-05,6.623730e-05,6.876526e-05,7.141792e-05,7.265329e-05,7.645563e-05,8.016242e-05,8.132704e-05,8.376559e-05,8.601422e-05,8.725875e-05,9.050413e-05,9.063701e-05,9.389683e-05,9.478801e-05,9.703587e-05,9.886072e-05,1.000528e-04,1.027201e-04,1.029471e-04,1.057192e-04,1.063664e-04,1.083699e-04,1.098018e-04,1.109007e-04,1.130301e-04,1.133135e-04,1.156105e-04,1.160562e-04,1.177943e-04,1.188860e-04,1.198676e-04,1.215260e-04,1.218334e-04,1.236947e-04,1.239830e-04,1.254545e-04,1.262642e-04,1.271161e-04,1.283768e-04,1.286827e-04,1.301574e-04,1.303283e-04,1.315435e-04,1.321261e-04,1.328441e-04,1.337773e-04,1.340623e-04,1.352013e-04,1.352891e-04,1.362640e-04,1.366684e-04,1.372534e-04,1.379220e-04,1.381723e-04,1.390237e-04,1.390564e-04,1.398101e-04,1.400779e-04,1.405344e-04,1.409927e-04,1.411990e-04,1.418066e-04,1.423594e-04,1.425252e-04,1.428600e-04,1.431539e-04,1.433105e-04,1.436980e-04,1.437132e-04,1.440703e-04,1.441623e-04,1.443837e-04,1.445517e-04,1.446555e-04,1.448705e-04,1.448876e-04,1.450819e-04,1.451231e-04,1.452401e-04,1.453135e-04,1.453639e-04,1.454458e-04,1.454550e-04,1.455151e-04,1.455235e-04,1.455456e-04,1.455502e-04,1.455480e-04,1.455293e-04,1.455237e-04,1.454742e-04,1.454640e-04,1.454006e-04,1.453572e-04,1.453043e-04,1.452118e-04,1.451866e-04,1.450484e-04,1.450305e-04,1.448910e-04,1.448160e-04,1.447155e-04,1.445705e-04,1.445228e-04,1.443139e-04,1.442965e-04,1.440899e-04,1.439962e-04,1.438515e-04,1.436715e-04,1.435997e-04,1.433352e-04,1.433244e-04,1.430590e-04,1.429568e-04,1.427717e-04,1.425704e-04,1.424741e-04,1.421668e-04,1.417477e-04,1.413143e-04,1.408682e-04,1.404106e-04,1.399428e-04,1.394658e-04,1.389808e-04,1.384888e-04,1.379906e-04,1.374873e-04,1.369797e-04,1.364685e-04,1.359544e-04,1.354382e-04,1.349206e-04,1.344020e-04,1.338831e-04,1.333644e-04,1.328464e-04,1.323295e-04,1.318142e-04,1.313009e-04,1.307898e-04,1.302814e-04
0.000000e+00,4.771382e-09,1.392102e-08,6.230161e-08,1.608138e-07,2.463056e-07,6.131268e-07,6.335810e-07,1.313888e-06,1.571651e-06,2.400588e-06,3.303955e-06,4.029336e-06,6.110276e-06,6.319246e-06,9.296679e-06,1.010540e-05,1.287414e-05,1.509066e-05,1.692152e-05,2.078243e-05,2.132703e-05,2.600780e-05,2.697121e-05,3.090088e-05,3.351165e-05,3.595427e-05,4.028904e-05,4.112169e-05,4.636023e-05,4.720226e-05,5.162956e-05,5.415862e-05,5.689205e-05,6.107376e-05,6.211311e-05,6.726174e-05,6.787337e-05,7.231068e-05,7.449447e-05,7.723657e-05,8.088584e-05,8.201996e-05,8.664510e-05,8.700789e-05,9.109974e-05,9.283171e-05,9.537475e-05,9.833795e-05,9.946395e-05,1.033636e-04,1.035156e-04,1.070718e-04,1.083598e-04,1.105883e-04,1.128708e-04,1.139147e-04,1.170538e-04,1.200091e-04,1.209166e-04,1.227850e-04,1.244697e-04,1.253865e-04,1.277249e-04,1.278190e-04,1.300883e-04,1.306952e-04,1.322002e-04,1.333944e-04,1.341609e-04,1.358363e-04,1.359764e-04,1.376528e-04,1.380351e-04,1.391962e-04,1.400047e-04,1.406126e-04,1.417586e-04,1.419079e-04,1.430877e-04,1.433104e-04,1.441578e-04,1.446727e-04,1.451235e-04,1.458580e-04,1.459902e-04,1.467629e-04,1.468782e-04,1.474466e-04,1.477446e-04,1.480461e-04,1.484681e-04,1.485659e-04,1.490104e-04,1.490589e-04,1.493839e-04,1.495267e-04,1.496904e-04,1.498809e-04,1.499338e-04,1.501179e-04,1.501302e-04,1.502462e-04,1.502827e-04,1.503221e-04,1.503462e-04,1.503490e-04,1.503298e-04,1.503281e-04,1.502676e-04,1.502352e-04,1.501651e-04,1.500739e-04,1.500252e-04,1.498503e-04,1.496430e-04,1.495701e-04,1.494054e-04,1.492386e-04,1.491399e-04,1.488607e-04,1.488486e-04,1.485333e-04,1.484410e-04,1.481961e-04,1.479840e-04,1.478387e-04,1.474936e-04,1.474629e-04,1.470701e-04,1.469735e-04,1.466620e-04,1.464274e-04,1.462401e-04,1.458583e-04,1.458055e-04,1.453598e-04,1.452694e-04,1.449040e-04,1.446634e-04,1.444393e-04,1.440429e-04,1.439669e-04,1.434876e-04,1.434104e-04,1.430026e-04,1.427679e-04,1.425126e-04,1.421177e-04,1.420186e-04,1.415213e-04,1.414614e-04,1.410215e-04,1.408010e-04,1.405199e-04,1.401379e-04,1.400172e-04,1.395139e-04,1.394737e-04,1.390107e-04,1.388096e-04,1.385081e-04,1.381468e-04,1.380065e-04,1.375065e-04,1.374866e-04,1.370085e-04,1.368298e-04,1.365129e-04,1.361775e-04,1.360201e-04,1.355304e-04,1.348892e-04,1.342548e-04,1.336275e-04,1.330081e-04,1.323968e-04,1.317943e-04,1.312008e-04,1.306166e-04,1.300420e-04,1.294773e-04,1.289226e-04,1.283781e-04,1.278438e-04,1.273200e-04,1.268066e-04,1.263037e-04,1.258113e-04,1.253294e-04,1.248580e-04,1.243970e-04,1.239464e-04,1.235061e-04,1.230760e-04,1.226560e-04
0.000000e+00,4.558050e-12,2.346166e-11,2.679561e-10,1.343363e-09,2.807357e-09,1.372526e-08,1.453110e-08,5.115746e-08,6.938856e-08,1.412614e-07,2.390292e-07,3.301322e-07,6.470881e-07,6.833269e-07,1.289801e-06,1.485221e-06,2.264203e-06,3.022065e-06,3.747447e-06,5.604251e-06,5.904663e-06,8.920450e-06,9.643869e-06,1.299228e-05,1.559436e-05,1.832318e-05,2.392171e-05,2.511459e-05,3.355986e-05,3.507682e-05,4.383857e-05,4.947170e-05,5.611180e-05,6.746052e-05,7.051831e-05,8.717158e-05,8.932533e-05,1.061576e-04,1.152663e-04,1.275336e-04,1.453959e-04,1.513272e-04,1.775368e-04,1.797372e-04,2.061317e-04,2.182254e-04,2.370538e-04,2.607125e-04,2.702190e-04,3.055196e-04,3.069742e-04,3.428262e-04,3.567197e-04,3.819910e-04,4.096015e-04,4.228503e-04,4.652275e-04,5.089358e-04,5.231722e-04,5.537817e-04,5.829887e-04,5.995672e-04,6.442197e-04,6.460924e-04,6.931584e-04,7.064070e-04,7.405692e-04,7.691013e-04,7.881335e-04,8.318694e-04,8.356667e-04,8.829921e-04,8.943005e-04,9.299425e-04,9.560119e-04,9.763607e-04,1.016652e-03,1.022101e-03,1.067027e-03,1.075904e-03,1.111018e-03,1.133486e-03,1.153961e-03,1.189152e-03,1.195759e-03,1.236323e-03,1.242694e-03,1.275579e-03,1.293937e-03,1.313461e-03,1.342742e-03,1.349917e-03,1.384902e-03,1.389000e-03,1.418384e-03,1.432633e-03,1.450338e-03,1.473591e-03,1.480748e-03,1.509605e-03,1.511846e-03,1.536909e-03,1.547398e-03,1.562667e-03,1.580261e-03,1.586889e-03,1.609594e-03,1.610471e-03,1.630804e-03,1.638078e-03,1.650544e-03,1.663144e-03,1.668846e-03,1.685743e-03,1.701271e-03,1.705957e-03,1.715469e-03,1.723876e-03,1.728377e-03,1.739595e-03,1.740038e-03,1.750495e-03,1.753213e-03,1.759792e-03,1.764833e-03,1.767975e-03,1.774556e-03,1.775087e-03,1.781175e-03,1.782489e-03,1.786283e-03,1.788733e-03,1.790457e-03,1.793392e-03,1.793741e-03,1.796177e-03,1.796567e-03,1.797810e-03,1.798355e-03,1.798681e-03,1.798853e-03,1.798830e-03,1.798299e-03,1.798154e-03,1.797126e-03,1.796346e-03,1.795349e-03,1.793517e-03,1.793004e-03,1.790127e-03,1.789748e-03,1.786751e-03,1.785117e-03,1.782911e-03,1.779700e-03,1.778636e-03,1.773957e-03,1.773566e-03,1.768904e-03,1.766784e-03,1.763504e-03,1.759417e-03,1.757784e-03,1.751769e-03,1.751523e-03,1.745483e-03,1.743159e-03,1.738950e-03,1.734377e-03,1.732191e-03,1.725226e-03,1.715753e-03,1.705999e-03,1.696004e-03,1.685806e-03,1.675438e-03,1.664931e-03,1.654316e-03,1.643618e-03,1.632863e-03,1.622073e-03,1.611268e-03,1.600468e-03,1.589690e-03,1.578949e-03,1.568260e-03,1.557635e-03,1.547087e-03,1.536624e-03,1.526258e-03,1.515996e-03,1.505845e-03,1.495812e-03,1.485902e-03,1.476121e-03
0.000000e+00,1.870966e-12,9.568470e-12,1.078287e-10,5.340758e-10,1.108795e-09,5.331840e-09,5.641175e-09,1.955512e-08,2.641861e-08,5.327520e-08,8.951397e-08,1.231057e-07,2.392621e-07,2.524968e-07,4.732156e-07,5.441229e-07,8.261234e-07,1.099704e-06,1.360948e-06,2.027060e-06,2.134477e-06,3.207243e-06,3.463054e-06,4.639435e-06,5.545046e-06,6.486958e-06,8.395541e-06,8.798230e-06,1.161193e-05,1.211075e-05,1.495567e-05,1.675408e-05,1.884548e-05,2.235392e-05,2.328590e-05,2.827052e-05,2.890456e-05,3.378288e-05,3.636924e-05,3.979754e-05,4.468445e-05,4.628131e-05,5.319457e-05,5.376487e-05,6.049253e-05,6.350864e-05,6.812656e-05,7.380244e-05,7.604538e-05,8.419624e-05,8.452635e-05,9.252593e-05,9.555820e-05,1.009817e-04,1.067773e-04,1.095122e-04,1.180678e-04,1.266018e-04,1.293208e-04,1.350702e-04,1.404366e-04,1.434324e-04,1.513259e-04,1.516515e-04,1.596941e-04,1.619103e-04,1.675309e-04,1.721232e-04,1.751359e-04,1.819090e-04,1.824873e-04,1.895665e-04,1.912233e-04,1.963585e-04,2.000320e-04,2.028514e-04,2.083108e-04,2.090365e-04,2.149076e-04,2.160438e-04,2.204614e-04,2.232234e-04,2.256965e-04,2.298484e-04,2.306140e-04,2.352164e-04,2.359239e-04,2.395082e-04,2.414596e-04,2.434951e-04,2.464697e-04,2.471840e-04,2.505828e-04,2.509715e-04,2.537002e-04,2.549852e-04,2.565458e-04,2.585327e-04,2.591294e-04,2.614614e-04,2.616374e-04,2.635524e-04,2.643237e-04,2.654131e-04,2.666164e-04,2.670545e-04,2.684873e-04,2.685405e-04,2.697224e-04,2.701207e-04,2.707703e-04,2.713813e-04,2.716415e-04,2.723461e-04,2.728941e-04,2.730380e-04,2.732951e-04,2.734789e-04,2.735583e-04,2.736899e-04,2.736929e-04,2.737073e-04,2.736910e-04,2.736099e-04,2.735011e-04,2.734085e-04,2.731380e-04,2.731108e-04,2.727238e-04,2.726184e-04,2.722543e-04,2.719579e-04,2.717090e-04,2.711712e-04,2.710939e-04,2.704147e-04,2.702717e-04,2.696770e-04,2.692721e-04,2.688860e-04,2.681839e-04,2.680465e-04,2.671630e-04,2.670179e-04,2.662399e-04,2.657839e-04,2.652812e-04,2.644912e-04,2.642907e-04,2.632718e-04,2.631478e-04,2.622280e-04,2.617616e-04,2.611622e-04,2.603394e-04,2.600774e-04,2.589763e-04,2.588876e-04,2.578613e-04,2.574119e-04,2.567347e-04,2.559177e-04,2.555988e-04,2.544555e-04,2.544097e-04,2.533067e-04,2.528921e-04,2.521541e-04,2.513690e-04,2.509993e-04,2.498438e-04,2.483197e-04,2.467994e-04,2.452857e-04,2.437807e-04,2.422864e-04,2.408047e-04,2.393371e-04,2.378851e-04,2.364498e-04,2.350324e-04,2.336337e-04,2.322546e-04,2.308957e-04,2.295576e-04,2.282408e-04,2.269456e-04,2.256724e-04,2.244213e-04,2.231926e-04,2.219863e-04,2.208026e-04,2.196413e-04,2.185025e-04,2.173861e-04
0.000000e+00,4.410375e-10,1.558757e-09,8.963470e-09,2.634632e-08,4.233359e-08,1.136611e-07,1.176820e-07,2.507118e-07,3.003158e-07,4.561189e-07,6.199663e-07,7.479310e-07,1.104144e-06,1.139424e-06,1.642462e-06,1.780890e-06,2.266234e-06,2.670283e-06,3.015454e-06,3.777301e-06,3.888325e-06,4.874812e-06,5.084238e-06,5.956221e-06,6.547774e-06,7.107070e-06,8.106758e-06,8.299113e-06,9.505780e-06,9.698658e-06,1.070507e-05,1.127303e-05,1.188034e-05,1.279514e-05,1.301970e-05,1.411500e-05,1.424319e-05,1.516082e-05,1.560438e-05,1.615378e-05,1.687188e-05,1.709201e-05,1.797474e-05,1.804296e-05,1.880210e-05,1.911769e-05,1.957485e-05,2.009811e-05,2.029426e-05,2.096198e-05,2.098764e-05,2.157990e-05,2.179056e-05,2.215012e-05,2.251173e-05,2.267482e-05,2.315628e-05,2.359676e-05,2.372944e-05,2.399854e-05,2.423638e-05,2.436381e-05,2.468212e-05,2.469472e-05,2.499337e-05,2.507149e-05,2.526176e-05,2.540907e-05,2.550180e-05,2.569917e-05,2.571532e-05,2.590406e-05,2.594586e-05,2.606967e-05,2.615290e-05,2.621372e-05,2.632382e-05,2.633768e-05,2.644293e-05,2.646185e-05,2.653077e-05,2.656998e-05,2.660244e-05,2.665099e-05,2.665909e-05,2.670181e-05,2.670742e-05,2.673161e-05,2.674162e-05,2.674946e-05,2.675573e-05,2.675624e-05,2.675280e-05,2.675173e-05,2.673991e-05,2.673144e-05,2.671832e-05,2.669652e-05,2.668872e-05,2.665174e-05,2.664848e-05,2.660799e-05,2.658872e-05,2.655803e-05,2.651851e-05,2.650239e-05,2.644156e-05,2.643902e-05,2.637599e-05,2.635131e-05,2.630612e-05,2.625636e-05,2.623235e-05,2.615505e-05,2.607457e-05,2.604819e-05,2.599122e-05,2.593653e-05,2.590533e-05,2.582073e-05,2.581716e-05,2.572698e-05,2.570140e-05,2.563504e-05,2.557912e-05,2.554156e-05,2.545438e-05,2.544675e-05,2.535082e-05,2.532765e-05,2.525394e-05,2.519934e-05,2.515629e-05,2.506984e-05,2.505802e-05,2.495929e-05,2.493950e-05,2.486022e-05,2.480861e-05,2.476094e-05,2.467747e-05,2.466157e-05,2.456223e-05,2.454634e-05,2.446300e-05,2.441543e-05,2.436398e-05,2.428497e-05,2.426525e-05,2.416690e-05,2.415513e-05,2.406900e-05,2.402608e-05,2.397161e-05,2.389798e-05,2.387480e-05,2.377862e-05,2.377095e-05,2.368311e-05,2.364511e-05,2.358834e-05,2.352058e-05,2.349433e-05,2.340114e-05,2.339743e-05,2.330879e-05,2.327575e-05,2.321731e-05,2.315562e-05,2.312674e-05,2.303709e-05,2.292022e-05,2.280505e-05,2.269162e-05,2.257997e-05,2.247011e-05,2.236207e-05,2.225586e-05,2.215150e-05,2.204898e-05,2.194832e-05,2.184951e-05,2.175255e-05,2.165743e-05,2.156414e-05,2.147268e-05,2.138303e-05,2.129517e-05,2.120909e-05,2.112476e-05,2.104218e-05,2.096133e-05,2.088217e-05,2.080469e-05,2.072886e-05
0.000000e+00,1.608649e-12,8.190353e-12,9.147684e-11,4.495543e-10,9.294321e-10,4.422933e-09,4.677594e-09,1.605432e-08,2.163160e-08,4.333444e-08,7.242591e-08,9.926150e-08,1.914310e-07,2.018861e-07,3.752868e-07,4.306875e-07,6.499527e-07,8.614029e-07,1.062422e-06,1.572020e-06,1.653879e-06,2.467898e-06,2.661259e-06,3.547860e-06,4.228251e-06,4.934587e-06,6.363283e-06,6.664459e-06,8.768069e-06,9.141029e-06,1.126939e-05,1.261653e-05,1.418533e-05,1.682337e-05,1.752560e-05,2.129285e-05,2.177349e-05,2.548297e-05,2.745811e-05,3.008551e-05,3.384951e-05,3.508429e-05,4.045800e-05,4.090335e-05,4.618089e-05,4.856133e-05,5.222352e-05,5.675410e-05,5.855348e-05,6.513610e-05,6.540416e-05,7.193517e-05,7.442869e-05,7.891357e-05,8.374222e-05,8.603389e-05,9.325898e-05,1.005524e-04,1.028950e-04,1.078789e-04,1.125696e-04,1.152048e-04,1.222072e-04,1.224979e-04,1.297284e-04,1.317379e-04,1.368685e-04,1.410984e-04,1.438926e-04,1.502323e-04,1.507775e-04,1.575026e-04,1.590907e-04,1.640494e-04,1.676316e-04,1.704017e-04,1.758200e-04,1.765459e-04,1.824702e-04,1.836278e-04,1.881651e-04,1.910332e-04,1.936230e-04,1.980202e-04,1.988381e-04,2.038063e-04,2.045781e-04,2.085251e-04,2.107011e-04,2.129933e-04,2.163878e-04,2.172114e-04,2.211806e-04,2.216403e-04,2.249034e-04,2.264642e-04,2.283832e-04,2.308680e-04,2.316243e-04,2.346315e-04,2.348621e-04,2.374104e-04,2.384594e-04,2.399670e-04,2.416738e-04,2.423079e-04,2.444398e-04,2.445209e-04,2.463700e-04,2.470168e-04,2.481056e-04,2.491785e-04,2.496542e-04,2.510233e-04,2.522205e-04,2.525686e-04,2.532535e-04,2.538320e-04,2.541299e-04,2.548307e-04,2.548570e-04,2.554424e-04,2.555819e-04,2.558932e-04,2.561022e-04,2.562167e-04,2.564078e-04,2.564198e-04,2.565093e-04,2.565146e-04,2.564918e-04,2.564376e-04,2.563736e-04,2.561913e-04,2.561609e-04,2.558598e-04,2.557895e-04,2.554759e-04,2.552454e-04,2.550148e-04,2.545716e-04,2.544817e-04,2.538817e-04,2.537799e-04,2.532198e-04,2.528814e-04,2.525005e-04,2.518867e-04,2.517283e-04,2.509073e-04,2.508057e-04,2.500416e-04,2.496475e-04,2.491350e-04,2.484209e-04,2.481911e-04,2.472133e-04,2.471337e-04,2.462049e-04,2.457937e-04,2.451689e-04,2.444076e-04,2.441083e-04,2.430257e-04,2.429820e-04,2.419238e-04,2.415228e-04,2.408049e-04,2.400356e-04,2.396714e-04,2.385254e-04,2.369970e-04,2.354545e-04,2.339020e-04,2.323430e-04,2.307808e-04,2.292184e-04,2.276585e-04,2.261036e-04,2.245558e-04,2.230173e-04,2.214898e-04,2.199748e-04,2.184739e-04,2.169883e-04,2.155191e-04,2.140673e-04,2.126339e-04,2.112194e-04,2.098246e-04,2.084501e-04,2.070962e-04,2.057634e-04,2.044519e-04,2.031620e-04
0.000000e+00,9.711934e-11,3.536700e-10,2.129418e-09,6.439342e-09,1.046966e-08,2.873510e-08,2.977221e-08,6.427062e-08,7.718369e-08,1.177977e-07,1.605223e-07,1.938725e-07,2.865939e-07,2.957691e-07,4.265214e-07,4.625015e-07,5.887633e-07,6.940956e-07,7.842887e-07,9.841825e-07,1.013420e-06,1.274706e-06,1.330590e-06,1.565339e-06,1.726945e-06,1.881924e-06,2.165376e-06,2.221000e-06,2.579224e-06,2.638100e-06,2.953368e-06,3.137684e-06,3.340277e-06,3.656911e-06,3.736853e-06,4.140065e-06,4.188756e-06,4.546977e-06,4.726463e-06,4.954786e-06,5.263692e-06,5.360857e-06,5.762763e-06,5.794668e-06,6.158309e-06,6.314301e-06,6.545548e-06,6.818261e-06,6.922797e-06,7.288632e-06,7.303011e-06,7.641888e-06,7.765795e-06,7.981639e-06,8.204592e-06,8.307190e-06,8.618053e-06,8.913930e-06,9.005420e-06,9.194686e-06,9.366433e-06,9.460331e-06,9.701256e-06,9.710997e-06,9.946922e-06,1.001038e-05,1.016843e-05,1.029457e-05,1.037590e-05,1.055477e-05,1.056979e-05,1.075057e-05,1.079207e-05,1.091876e-05,1.100764e-05,1.107489e-05,1.120274e-05,1.121950e-05,1.135313e-05,1.137859e-05,1.147634e-05,1.153646e-05,1.158965e-05,1.167756e-05,1.169359e-05,1.178867e-05,1.180309e-05,1.187539e-05,1.191418e-05,1.195422e-05,1.201192e-05,1.202564e-05,1.209007e-05,1.209735e-05,1.214793e-05,1.217142e-05,1.219964e-05,1.223506e-05,1.224557e-05,1.228608e-05,1.228910e-05,1.232152e-05,1.233435e-05,1.235221e-05,1.237154e-05,1.237845e-05,1.240055e-05,1.240135e-05,1.241876e-05,1.242441e-05,1.243334e-05,1.244131e-05,1.244455e-05,1.245260e-05,1.245771e-05,1.245876e-05,1.246009e-05,1.246026e-05,1.245991e-05,1.245752e-05,1.245737e-05,1.245263e-05,1.245093e-05,1.244584e-05,1.244085e-05,1.243716e-05,1.242761e-05,1.242671e-05,1.241464e-05,1.241151e-05,1.240106e-05,1.239284e-05,1.238609e-05,1.237185e-05,1.236983e-05,1.235239e-05,1.234877e-05,1.233386e-05,1.232383e-05,1.231433e-05,1.229722e-05,1.229389e-05,1.227260e-05,1.226913e-05,1.225055e-05,1.223972e-05,1.222781e-05,1.220915e-05,1.220443e-05,1.218048e-05,1.217757e-05,1.215602e-05,1.214510e-05,1.213109e-05,1.211187e-05,1.210575e-05,1.208005e-05,1.207798e-05,1.205402e-05,1.204353e-05,1.202772e-05,1.200863e-05,1.200117e-05,1.197442e-05,1.197335e-05,1.194750e-05,1.193777e-05,1.192044e-05,1.190197e-05,1.189327e-05,1.186601e-05,1.182995e-05,1.179385e-05,1.175776e-05,1.172172e-05,1.168577e-05,1.164996e-05,1.161432e-05,1.157888e-05,1.154367e-05,1.150872e-05,1.147404e-05,1.143967e-05,1.140562e-05,1.137191e-05,1.133855e-05,1.130556e-05,1.127295e-05,1.124073e-05,1.120891e-05,1.117750e-05,1.114650e-05,1.111593e-05,1.108578e-05,1.105607e-05
0.000000e+00,2.267431e-09,6.241340e-09,2.605365e-08,6.475343e-08,9.756729e-08,2.340658e-07,2.415241e-07,4.829926e-07,5.717314e-07,8.494196e-07,1.142006e-06,1.371769e-06,2.018320e-06,2.082876e-06,3.009791e-06,3.265789e-06,4.160002e-06,4.895006e-06,5.513010e-06,6.840128e-06,7.029260e-06,8.666666e-06,9.005417e-06,1.038970e-05,1.131000e-05,1.217044e-05,1.369444e-05,1.398661e-05,1.581968e-05,1.611344e-05,1.765359e-05,1.852993e-05,1.947413e-05,2.091237e-05,2.126863e-05,2.302594e-05,2.323384e-05,2.473633e-05,2.547186e-05,2.639155e-05,2.760840e-05,2.798483e-05,2.951083e-05,2.962987e-05,3.096554e-05,3.152681e-05,3.234621e-05,3.329348e-05,3.365119e-05,3.487984e-05,3.492740e-05,3.603232e-05,3.642872e-05,3.710952e-05,3.779972e-05,3.811287e-05,3.904434e-05,3.990623e-05,4.016775e-05,4.070110e-05,4.117593e-05,4.143173e-05,4.207534e-05,4.210097e-05,4.271176e-05,4.287271e-05,4.326705e-05,4.357481e-05,4.376978e-05,4.418836e-05,4.422284e-05,4.462904e-05,4.471986e-05,4.499112e-05,4.517560e-05,4.531171e-05,4.556152e-05,4.559334e-05,4.583844e-05,4.588328e-05,4.604931e-05,4.614617e-05,4.622815e-05,4.635514e-05,4.637704e-05,4.649794e-05,4.651482e-05,4.659274e-05,4.662948e-05,4.666318e-05,4.670311e-05,4.671092e-05,4.673754e-05,4.673939e-05,4.674451e-05,4.674171e-05,4.673321e-05,4.671321e-05,4.670494e-05,4.666094e-05,4.665677e-05,4.660234e-05,4.657505e-05,4.653022e-05,4.647051e-05,4.644561e-05,4.634945e-05,4.634537e-05,4.624262e-05,4.620172e-05,4.612598e-05,4.604145e-05,4.600029e-05,4.586629e-05,4.572468e-05,4.567786e-05,4.557608e-05,4.547760e-05,4.542112e-05,4.526688e-05,4.526035e-05,4.509430e-05,4.504693e-05,4.492346e-05,4.481886e-05,4.474831e-05,4.458372e-05,4.456926e-05,4.438674e-05,4.434246e-05,4.420111e-05,4.409594e-05,4.401274e-05,4.384496e-05,4.382195e-05,4.362906e-05,4.359026e-05,4.343435e-05,4.333248e-05,4.323810e-05,4.307224e-05,4.304056e-05,4.284196e-05,4.281010e-05,4.264252e-05,4.254656e-05,4.244246e-05,4.228208e-05,4.224195e-05,4.204119e-05,4.201709e-05,4.184033e-05,4.175197e-05,4.163954e-05,4.148706e-05,4.143895e-05,4.123870e-05,4.122270e-05,4.103891e-05,4.095915e-05,4.083971e-05,4.069670e-05,4.064119e-05,4.044345e-05,4.043556e-05,4.024660e-05,4.017596e-05,4.005071e-05,3.991809e-05,3.985586e-05,3.966212e-05,3.940821e-05,3.915650e-05,3.890711e-05,3.866015e-05,3.841573e-05,3.817392e-05,3.793480e-05,3.769843e-05,3.746488e-05,3.723419e-05,3.700641e-05,3.678155e-05,3.655966e-05,3.634075e-05,3.612483e-05,3.591192e-05,3.570202e-05,3.549514e-05,3.529127e-05,3.509040e-05,3.489252e-05,3.469763e-05,3.450571e-05,3.431673e-05
0.000000e+00,4.049410e-12,2.086954e-11,2.389945e-10,1.201342e-09,2.514479e-09,1.234888e-08,1.307653e-08,4.628717e-08,6.288795e-08,1.286256e-07,2.185840e-07,3.028229e-07,5.981243e-07,6.320643e-07,1.203948e-06,1.389466e-06,2.133201e-06,2.861509e-06,3.561629e-06,5.362373e-06,5.654520e-06,8.594232e-06,9.300587e-06,1.257244e-05,1.511580e-05,1.778231e-05,2.324790e-05,2.441132e-05,3.263505e-05,3.410970e-05,4.261205e-05,4.806503e-05,5.447976e-05,6.541216e-05,6.835134e-05,8.431353e-05,8.637257e-05,1.024252e-04,1.110842e-04,1.227170e-04,1.395991e-04,1.451910e-04,1.698220e-04,1.718843e-04,1.965586e-04,2.078266e-04,2.253250e-04,2.472395e-04,2.560233e-04,2.885356e-04,2.898720e-04,3.227274e-04,3.354192e-04,3.584497e-04,3.835337e-04,3.955423e-04,4.338364e-04,4.731577e-04,4.859284e-04,5.133283e-04,5.394009e-04,5.541699e-04,5.938448e-04,5.955055e-04,6.371616e-04,6.488596e-04,6.789697e-04,7.040600e-04,7.207681e-04,7.590816e-04,7.624029e-04,8.037289e-04,8.135860e-04,8.446107e-04,8.672634e-04,8.849230e-04,9.198352e-04,9.245509e-04,9.633902e-04,9.710550e-04,1.001348e-03,1.020709e-03,1.038340e-03,1.068615e-03,1.074296e-03,1.109152e-03,1.114624e-03,1.142857e-03,1.158613e-03,1.175367e-03,1.200491e-03,1.206647e-03,1.236671e-03,1.240189e-03,1.265421e-03,1.277664e-03,1.292885e-03,1.312894e-03,1.319057e-03,1.343940e-03,1.345875e-03,1.367539e-03,1.376621e-03,1.389865e-03,1.405160e-03,1.410934e-03,1.430766e-03,1.431534e-03,1.449383e-03,1.455792e-03,1.466810e-03,1.477996e-03,1.483077e-03,1.498213e-03,1.512249e-03,1.516514e-03,1.525221e-03,1.532979e-03,1.537161e-03,1.547686e-03,1.548105e-03,1.558090e-03,1.560718e-03,1.567151e-03,1.572159e-03,1.575324e-03,1.582091e-03,1.582646e-03,1.589153e-03,1.590597e-03,1.594880e-03,1.597760e-03,1.599863e-03,1.603660e-03,1.604136e-03,1.607733e-03,1.608374e-03,1.610687e-03,1.611980e-03,1.613031e-03,1.614552e-03,1.614796e-03,1.616013e-03,1.616159e-03,1.616711e-03,1.616870e-03,1.616919e-03,1.616750e-03,1.616664e-03,1.615973e-03,1.615862e-03,1.614872e-03,1.614264e-03,1.613386e-03,1.612013e-03,1.611537e-03,1.609350e-03,1.609161e-03,1.606845e-03,1.605758e-03,1.604043e-03,1.601853e-03,1.600964e-03,1.597628e-03,1.597489e-03,1.594051e-03,1.592708e-03,1.590252e-03,1.587550e-03,1.586247e-03,1.582051e-03,1.576246e-03,1.570166e-03,1.563842e-03,1.557301e-03,1.550570e-03,1.543671e-03,1.536629e-03,1.529463e-03,1.522193e-03,1.514836e-03,1.507410e-03,1.499928e-03,1.492405e-03,1.484853e-03,1.477286e-03,1.469712e-03,1.462143e-03,1.454588e-03,1.447054e-03,1.439549e-03,1.432081e-03,1.424655e-03,1.417277e-03,1.409953e-03
0.000000e+00,1.787664e-12,9.205306e-12,1.052122e-10,5.277582e-10,1.103167e-09,5.395113e-09,5.711884e-09,2.010365e-08,2.726276e-08,5.545929e-08,9.375416e-08,1.293842e-07,2.530088e-07,2.671144e-07,5.024755e-07,5.780752e-07,8.785492e-07,1.169833e-06,1.447933e-06,2.157740e-06,2.272385e-06,3.421601e-06,3.696985e-06,4.971025e-06,5.960835e-06,6.998868e-06,9.128846e-06,9.582734e-06,1.279629e-05,1.337348e-05,1.670631e-05,1.884778e-05,2.137023e-05,2.567571e-05,2.683437e-05,3.313267e-05,3.394565e-05,4.028607e-05,4.370693e-05,4.830232e-05,5.496905e-05,5.717629e-05,6.689050e-05,6.770315e-05,7.741610e-05,8.184507e-05,8.871391e-05,9.729974e-05,1.007357e-04,1.134257e-04,1.139463e-04,1.267215e-04,1.316435e-04,1.405561e-04,1.502354e-04,1.548588e-04,1.695568e-04,1.845759e-04,1.894378e-04,1.998423e-04,2.097088e-04,2.152830e-04,2.302042e-04,2.308271e-04,2.464060e-04,2.507653e-04,2.619545e-04,2.712433e-04,2.774111e-04,2.915007e-04,2.927185e-04,3.078235e-04,3.114131e-04,3.226777e-04,3.308700e-04,3.372372e-04,3.497747e-04,3.514629e-04,3.653203e-04,3.680448e-04,3.787792e-04,3.856118e-04,3.918142e-04,4.024201e-04,4.044037e-04,4.165304e-04,4.184268e-04,4.281807e-04,4.336005e-04,4.393445e-04,4.479205e-04,4.500149e-04,4.601881e-04,4.613754e-04,4.698632e-04,4.739627e-04,4.790416e-04,4.856872e-04,4.877270e-04,4.959251e-04,4.965602e-04,5.036435e-04,5.065985e-04,5.108911e-04,5.158237e-04,5.176784e-04,5.240169e-04,5.242613e-04,5.299191e-04,5.319397e-04,5.353983e-04,5.388896e-04,5.404684e-04,5.451437e-04,5.494391e-04,5.507358e-04,5.533695e-04,5.557005e-04,5.569502e-04,5.600726e-04,5.601962e-04,5.631228e-04,5.638870e-04,5.657449e-04,5.671783e-04,5.680775e-04,5.699803e-04,5.701351e-04,5.719321e-04,5.723261e-04,5.734824e-04,5.742480e-04,5.747998e-04,5.757769e-04,5.758975e-04,5.767883e-04,5.769427e-04,5.774847e-04,5.777740e-04,5.779987e-04,5.782980e-04,5.783418e-04,5.785252e-04,5.785404e-04,5.785593e-04,5.785257e-04,5.784545e-04,5.782771e-04,5.782204e-04,5.778664e-04,5.778162e-04,5.774013e-04,5.771636e-04,5.768335e-04,5.763383e-04,5.761712e-04,5.754218e-04,5.753583e-04,5.745927e-04,5.742402e-04,5.736906e-04,5.729996e-04,5.727221e-04,5.716931e-04,5.716508e-04,5.706095e-04,5.702071e-04,5.694767e-04,5.686809e-04,5.682997e-04,5.670835e-04,5.654254e-04,5.637162e-04,5.619649e-04,5.601794e-04,5.583671e-04,5.565349e-04,5.546887e-04,5.528343e-04,5.509766e-04,5.491202e-04,5.472692e-04,5.454273e-04,5.435978e-04,5.417836e-04,5.399874e-04,5.382115e-04,5.364579e-04,5.347284e-04,5.330246e-04,5.313477e-04,5.296990e-04,5.280794e-04,5.264897e-04,5.249306e-04
0.000000e+00,3.506481e-09,8.056968e-09,2.776395e-08,6.312372e-08,9.201171e-08,2.080684e-07,2.142962e-07,4.123941e-07,4.839224e-07,7.046337e-07,9.330469e-07,1.109907e-06,1.597324e-06,1.645228e-06,2.319763e-06,2.502246e-06,3.130184e-06,3.638870e-06,4.063979e-06,4.975922e-06,5.106248e-06,6.243075e-06,6.480655e-06,7.461762e-06,8.123804e-06,8.750207e-06,9.877652e-06,1.009644e-05,1.148842e-05,1.171458e-05,1.291413e-05,1.360695e-05,1.436169e-05,1.552775e-05,1.581964e-05,1.727711e-05,1.745149e-05,1.872406e-05,1.935499e-05,2.015136e-05,2.121798e-05,2.155097e-05,2.291592e-05,2.302344e-05,2.424034e-05,2.475764e-05,2.551942e-05,2.641010e-05,2.674934e-05,2.792722e-05,2.797322e-05,2.905104e-05,2.944211e-05,3.011949e-05,3.081407e-05,3.113195e-05,3.208831e-05,3.298896e-05,3.326551e-05,3.383466e-05,3.434756e-05,3.462650e-05,3.533721e-05,3.536579e-05,3.605408e-05,3.623788e-05,3.669301e-05,3.705342e-05,3.728438e-05,3.778800e-05,3.783002e-05,3.833181e-05,3.844593e-05,3.879168e-05,3.903160e-05,3.921151e-05,3.954935e-05,3.959320e-05,3.993861e-05,4.000350e-05,4.024955e-05,4.039821e-05,4.052780e-05,4.073753e-05,4.077508e-05,4.099306e-05,4.102532e-05,4.118334e-05,4.126529e-05,4.134746e-05,4.146094e-05,4.148692e-05,4.160315e-05,4.161560e-05,4.169749e-05,4.173242e-05,4.177127e-05,4.181435e-05,4.182572e-05,4.186203e-05,4.186419e-05,4.188134e-05,4.188454e-05,4.188471e-05,4.187785e-05,4.187318e-05,4.184771e-05,4.184642e-05,4.180925e-05,4.179238e-05,4.175865e-05,4.171774e-05,4.169676e-05,4.162436e-05,4.154221e-05,4.151397e-05,4.145100e-05,4.138820e-05,4.135143e-05,4.124854e-05,4.124411e-05,4.112965e-05,4.109640e-05,4.100862e-05,4.093307e-05,4.088155e-05,4.075975e-05,4.074895e-05,4.061130e-05,4.057757e-05,4.046906e-05,4.038755e-05,4.032263e-05,4.019065e-05,4.017244e-05,4.001885e-05,3.998776e-05,3.986223e-05,3.977969e-05,3.970290e-05,3.956720e-05,3.954118e-05,3.937737e-05,3.935099e-05,3.921175e-05,3.913169e-05,3.904458e-05,3.890990e-05,3.887611e-05,3.870656e-05,3.868616e-05,3.853616e-05,3.846096e-05,3.836510e-05,3.823477e-05,3.819357e-05,3.802176e-05,3.800800e-05,3.784982e-05,3.778104e-05,3.767791e-05,3.755424e-05,3.750618e-05,3.733476e-05,3.732792e-05,3.716378e-05,3.710236e-05,3.699335e-05,3.687783e-05,3.682359e-05,3.665458e-05,3.643281e-05,3.621273e-05,3.599451e-05,3.577830e-05,3.556425e-05,3.535249e-05,3.514311e-05,3.493623e-05,3.473193e-05,3.453027e-05,3.433133e-05,3.413516e-05,3.394180e-05,3.375128e-05,3.356365e-05,3.337891e-05,3.319709e-05,3.301819e-05,3.284223e-05,3.266919e-05,3.249908e-05,3.233189e-05,3.216760e-05,3.200620e-05
0.000000e+00,2.808563e-11,1.275491e-10,1.131934e-09,4.552422e-09,8.465218e-09,3.107986e-08,3.253958e-08,8.839556e-08,1.122409e-07,1.952842e-07,2.937142e-07,3.772988e-07,6.360823e-07,6.635639e-07,1.085071e-06,1.209326e-06,1.665777e-06,2.063880e-06,2.412467e-06,3.197452e-06,3.312883e-06,4.343116e-06,4.562379e-06,5.476665e-06,6.098890e-06,6.689790e-06,7.755942e-06,7.963008e-06,9.280559e-06,9.494577e-06,1.062935e-05,1.128449e-05,1.199807e-05,1.310060e-05,1.337666e-05,1.475609e-05,1.492128e-05,1.612823e-05,1.672777e-05,1.748586e-05,1.850406e-05,1.882270e-05,2.013335e-05,2.023693e-05,2.141334e-05,2.191590e-05,2.265901e-05,2.353301e-05,2.386751e-05,2.503665e-05,2.508257e-05,2.616488e-05,2.656081e-05,2.725117e-05,2.796558e-05,2.829494e-05,2.929600e-05,3.025446e-05,3.055222e-05,3.117068e-05,3.173515e-05,3.204524e-05,3.284631e-05,3.287888e-05,3.367245e-05,3.388760e-05,3.442692e-05,3.486126e-05,3.514332e-05,3.576969e-05,3.582271e-05,3.646621e-05,3.661544e-05,3.707497e-05,3.740112e-05,3.765013e-05,3.812940e-05,3.819285e-05,3.870426e-05,3.880289e-05,3.918550e-05,3.942418e-05,3.963766e-05,3.999581e-05,4.006184e-05,4.045912e-05,4.052026e-05,4.083055e-05,4.099995e-05,4.117714e-05,4.143720e-05,4.149989e-05,4.179976e-05,4.183425e-05,4.207770e-05,4.219328e-05,4.233462e-05,4.251636e-05,4.257140e-05,4.278890e-05,4.280549e-05,4.298794e-05,4.306257e-05,4.316933e-05,4.328943e-05,4.333384e-05,4.348221e-05,4.348782e-05,4.361516e-05,4.365939e-05,4.373340e-05,4.380573e-05,4.383759e-05,4.392837e-05,4.400637e-05,4.402873e-05,4.407219e-05,4.410819e-05,4.412641e-05,4.416804e-05,4.416957e-05,4.420220e-05,4.420953e-05,4.422484e-05,4.423381e-05,4.423795e-05,4.424202e-05,4.424202e-05,4.423751e-05,4.423519e-05,4.422484e-05,4.421434e-05,4.420444e-05,4.418041e-05,4.417671e-05,4.414204e-05,4.413430e-05,4.410079e-05,4.407686e-05,4.405332e-05,4.400889e-05,4.399997e-05,4.394107e-05,4.393115e-05,4.387693e-05,4.384437e-05,4.380784e-05,4.374921e-05,4.373411e-05,4.365599e-05,4.364634e-05,4.357376e-05,4.353634e-05,4.348766e-05,4.341979e-05,4.339794e-05,4.330483e-05,4.329724e-05,4.320855e-05,4.316919e-05,4.310930e-05,4.303613e-05,4.300730e-05,4.290273e-05,4.289849e-05,4.279578e-05,4.275673e-05,4.268662e-05,4.261122e-05,4.257543e-05,4.246236e-05,4.231049e-05,4.215596e-05,4.199907e-05,4.184012e-05,4.167939e-05,4.151715e-05,4.135363e-05,4.118906e-05,4.102365e-05,4.085762e-05,4.069114e-05,4.052440e-05,4.035755e-05,4.019075e-05,4.002415e-05,3.985786e-05,3.969203e-05,3.952677e-05,3.936218e-05,3.919835e-05,3.903540e-05,3.887339e-05,3.871240e-05,3.855251e-05
0.000000e+00,1.861065e-12,9.575938e-12,1.092806e-10,5.474791e-10,1.143718e-09,5.587833e-09,5.915798e-09,2.082449e-08,2.824871e-08,5.754265e-08,9.745328e-08,1.347021e-07,2.646653e-07,2.795563e-07,5.295071e-07,6.102870e-07,9.330750e-07,1.247896e-06,1.549604e-06,2.322295e-06,2.447264e-06,3.699673e-06,3.999350e-06,5.381909e-06,6.450857e-06,7.566635e-06,9.839277e-06,1.032071e-05,1.370249e-05,1.430518e-05,1.775977e-05,1.995823e-05,2.252846e-05,2.687164e-05,2.803174e-05,3.427977e-05,3.507958e-05,4.126986e-05,4.457712e-05,4.898692e-05,5.532212e-05,5.740435e-05,6.648500e-05,6.723877e-05,7.618247e-05,8.022224e-05,8.644247e-05,9.414408e-05,9.720423e-05,1.084020e-04,1.088580e-04,1.199665e-04,1.242057e-04,1.318262e-04,1.400226e-04,1.439090e-04,1.561428e-04,1.684572e-04,1.724036e-04,1.807842e-04,1.886499e-04,1.930588e-04,2.047364e-04,2.052200e-04,2.172111e-04,2.205309e-04,2.289802e-04,2.359153e-04,2.404802e-04,2.507867e-04,2.516695e-04,2.625114e-04,2.650582e-04,2.729745e-04,2.786583e-04,2.830323e-04,2.915306e-04,2.926632e-04,3.018504e-04,3.036334e-04,3.105813e-04,3.149380e-04,3.188473e-04,3.254279e-04,3.266437e-04,3.339691e-04,3.350975e-04,3.408252e-04,3.439508e-04,3.472167e-04,3.519998e-04,3.531503e-04,3.586352e-04,3.592637e-04,3.636821e-04,3.657672e-04,3.683036e-04,3.715397e-04,3.725132e-04,3.763257e-04,3.766141e-04,3.797567e-04,3.810259e-04,3.828222e-04,3.848123e-04,3.855388e-04,3.879232e-04,3.880119e-04,3.899923e-04,3.906633e-04,3.917630e-04,3.928052e-04,3.932520e-04,3.944758e-04,3.954503e-04,3.957122e-04,3.961915e-04,3.965504e-04,3.967146e-04,3.970252e-04,3.970343e-04,3.971650e-04,3.971696e-04,3.971204e-04,3.970150e-04,3.969137e-04,3.965910e-04,3.965573e-04,3.960632e-04,3.959255e-04,3.954429e-04,3.950444e-04,3.947070e-04,3.939719e-04,3.938657e-04,3.929288e-04,3.927307e-04,3.919051e-04,3.913414e-04,3.908033e-04,3.898233e-04,3.896314e-04,3.883968e-04,3.881939e-04,3.871066e-04,3.864695e-04,3.857673e-04,3.846645e-04,3.843849e-04,3.829652e-04,3.827926e-04,3.815135e-04,3.808658e-04,3.800345e-04,3.788952e-04,3.785330e-04,3.770130e-04,3.768907e-04,3.754784e-04,3.748614e-04,3.739329e-04,3.728152e-04,3.723798e-04,3.708219e-04,3.707595e-04,3.692622e-04,3.687008e-04,3.677032e-04,3.666446e-04,3.661471e-04,3.645962e-04,3.625601e-04,3.605402e-04,3.585400e-04,3.565626e-04,3.546106e-04,3.526862e-04,3.507915e-04,3.489281e-04,3.470974e-04,3.453004e-04,3.435382e-04,3.418115e-04,3.401208e-04,3.384665e-04,3.368489e-04,3.352681e-04,3.337242e-04,3.322171e-04,3.307466e-04,3.293125e-04,3.279145e-04,3.265523e-04,3.252253e-04,3.239333e-04
0.000000e+00,2.027145e-12,1.017664e-11,1.103029e-10,5.269929e-10,1.072416e-09,4.893519e-09,5.166281e-09,1.698305e-08,2.261148e-08,4.394355e-08,7.164093e-08,9.659579e-08,1.795767e-07,1.887923e-07,3.377925e-07,3.842274e-07,5.641924e-07,7.334218e-07,8.913812e-07,1.282362e-06,1.344133e-06,1.946228e-06,2.086422e-06,2.717618e-06,3.190489e-06,3.671996e-06,4.619737e-06,4.815399e-06,6.145979e-06,6.375729e-06,7.654721e-06,8.438010e-06,9.326722e-06,1.076901e-05,1.114269e-05,1.308041e-05,1.332000e-05,1.511609e-05,1.603655e-05,1.722541e-05,1.886299e-05,1.938444e-05,2.157019e-05,2.174555e-05,2.376115e-05,2.463451e-05,2.593757e-05,2.748550e-05,2.808163e-05,3.017759e-05,3.026023e-05,3.221180e-05,3.292670e-05,3.417267e-05,3.545922e-05,3.605065e-05,3.783808e-05,3.952911e-05,4.004916e-05,4.111958e-05,4.208341e-05,4.260682e-05,4.393624e-05,4.398954e-05,4.526767e-05,4.560692e-05,4.644219e-05,4.709791e-05,4.751496e-05,4.841432e-05,4.848864e-05,4.936645e-05,4.956327e-05,5.015216e-05,5.055344e-05,5.084986e-05,5.139452e-05,5.146394e-05,5.199896e-05,5.209688e-05,5.245957e-05,5.267123e-05,5.285044e-05,5.312828e-05,5.317623e-05,5.344149e-05,5.347862e-05,5.365068e-05,5.373244e-05,5.380808e-05,5.389947e-05,5.391780e-05,5.398377e-05,5.398893e-05,5.400973e-05,5.400939e-05,5.399919e-05,5.396882e-05,5.395548e-05,5.388169e-05,5.387457e-05,5.378072e-05,5.373333e-05,5.365526e-05,5.355118e-05,5.350782e-05,5.334071e-05,5.333365e-05,5.315608e-05,5.308570e-05,5.295588e-05,5.281179e-05,5.274194e-05,5.251593e-05,5.227936e-05,5.220166e-05,5.203364e-05,5.187216e-05,5.178004e-05,5.153025e-05,5.151972e-05,5.125376e-05,5.117842e-05,5.098312e-05,5.081886e-05,5.070868e-05,5.045353e-05,5.043124e-05,5.015152e-05,5.008412e-05,4.987018e-05,4.971214e-05,4.958781e-05,4.933891e-05,4.930496e-05,4.902211e-05,4.896557e-05,4.873969e-05,4.859314e-05,4.845811e-05,4.822248e-05,4.817770e-05,4.789881e-05,4.785434e-05,4.762170e-05,4.748940e-05,4.734663e-05,4.712820e-05,4.707383e-05,4.680349e-05,4.677122e-05,4.653579e-05,4.641888e-05,4.627089e-05,4.607152e-05,4.600892e-05,4.575001e-05,4.572943e-05,4.549425e-05,4.539286e-05,4.524174e-05,4.506199e-05,4.499256e-05,4.474675e-05,4.473699e-05,4.450439e-05,4.441798e-05,4.426550e-05,4.410506e-05,4.403013e-05,4.379829e-05,4.349771e-05,4.320336e-05,4.291522e-05,4.263329e-05,4.235756e-05,4.208796e-05,4.182447e-05,4.156703e-05,4.131556e-05,4.106999e-05,4.083025e-05,4.059625e-05,4.036791e-05,4.014514e-05,3.992783e-05,3.971590e-05,3.950925e-05,3.930778e-05,3.911138e-05,3.891996e-05,3.873341e-05,3.855164e-05,3.837453e-05,3.820200e-05
0.000000e+00,6.732831e-10,1.934826e-09,8.483733e-09,2.158045e-08,3.278212e-08,7.954116e-08,8.209362e-08,1.642211e-07,1.941035e-07,2.864954e-07,3.820800e-07,4.559890e-07,6.595168e-07,6.795431e-07,9.632758e-07,1.040846e-06,1.311271e-06,1.534595e-06,1.724111e-06,2.138758e-06,2.198837e-06,2.730463e-06,2.843128e-06,3.313428e-06,3.635018e-06,3.942201e-06,4.501790e-06,4.611341e-06,5.315391e-06,5.430910e-06,6.048810e-06,6.409631e-06,6.805960e-06,7.424937e-06,7.581143e-06,8.368675e-06,8.463742e-06,9.162983e-06,9.513232e-06,9.958695e-06,1.056123e-05,1.075072e-05,1.153432e-05,1.159651e-05,1.230520e-05,1.260910e-05,1.305949e-05,1.359041e-05,1.379385e-05,1.450538e-05,1.453333e-05,1.519171e-05,1.543223e-05,1.585091e-05,1.628290e-05,1.648151e-05,1.708243e-05,1.765297e-05,1.782905e-05,1.819275e-05,1.852203e-05,1.870171e-05,1.916149e-05,1.918004e-05,1.962812e-05,1.974823e-05,2.004653e-05,2.028363e-05,2.043599e-05,2.076946e-05,2.079736e-05,2.113156e-05,2.120783e-05,2.143960e-05,2.160106e-05,2.172253e-05,2.195160e-05,2.198144e-05,2.221743e-05,2.226197e-05,2.243160e-05,2.253471e-05,2.262505e-05,2.277233e-05,2.279887e-05,2.295411e-05,2.297730e-05,2.309182e-05,2.315199e-05,2.321299e-05,2.329868e-05,2.331860e-05,2.340958e-05,2.341955e-05,2.348682e-05,2.351667e-05,2.355118e-05,2.359199e-05,2.360348e-05,2.364450e-05,2.364732e-05,2.367499e-05,2.368439e-05,2.369563e-05,2.370478e-05,2.370711e-05,2.371005e-05,2.370999e-05,2.370504e-05,2.370141e-05,2.369266e-05,2.368030e-05,2.367343e-05,2.364787e-05,2.361643e-05,2.360520e-05,2.357957e-05,2.355332e-05,2.353770e-05,2.349316e-05,2.349122e-05,2.344050e-05,2.342559e-05,2.338589e-05,2.335139e-05,2.332771e-05,2.327131e-05,2.326628e-05,2.320187e-05,2.318600e-05,2.313477e-05,2.309611e-05,2.306522e-05,2.300218e-05,2.299345e-05,2.291971e-05,2.290474e-05,2.284418e-05,2.280426e-05,2.276706e-05,2.270120e-05,2.268855e-05,2.260880e-05,2.259594e-05,2.252798e-05,2.248885e-05,2.244624e-05,2.238027e-05,2.236371e-05,2.228053e-05,2.227051e-05,2.219681e-05,2.215984e-05,2.211268e-05,2.204852e-05,2.202822e-05,2.194355e-05,2.193677e-05,2.185876e-05,2.182482e-05,2.177392e-05,2.171285e-05,2.168912e-05,2.160442e-05,2.160104e-05,2.151991e-05,2.148954e-05,2.143564e-05,2.137850e-05,2.135167e-05,2.126805e-05,2.115830e-05,2.104935e-05,2.094130e-05,2.083424e-05,2.072823e-05,2.062334e-05,2.051964e-05,2.041716e-05,2.031596e-05,2.021608e-05,2.011755e-05,2.002039e-05,1.992463e-05,1.983029e-05,1.973738e-05,1.964592e-05,1.955592e-05,1.946737e-05,1.938029e-05,1.929467e-05,1.921052e-05,1.912782e-05,1.904658e-05,1.896678e-05
0.000000e+00,6.585987e-09,1.513153e-08,5.271421e-08,1.225527e-07,1.818469e-07,4.393630e-07,4.540186e-07,9.594137e-07,1.157776e-06,1.803292e-06,2.493841e-06,3.026361e-06,4.439285e-06,4.573090e-06,6.371635e-06,6.835116e-06,8.375769e-06,9.577392e-06,1.055851e-05,1.261221e-05,1.290124e-05,1.538757e-05,1.590061e-05,1.800072e-05,1.940375e-05,2.072269e-05,2.307925e-05,2.353432e-05,2.641566e-05,2.688180e-05,2.934667e-05,3.076541e-05,3.230774e-05,3.468570e-05,3.528027e-05,3.824688e-05,3.860170e-05,4.119177e-05,4.247706e-05,4.410131e-05,4.628161e-05,4.696372e-05,4.976895e-05,4.999064e-05,5.250873e-05,5.358477e-05,5.517639e-05,5.704945e-05,5.776667e-05,6.027559e-05,6.037421e-05,6.270027e-05,6.355215e-05,6.503887e-05,6.657930e-05,6.729014e-05,6.945321e-05,7.152855e-05,7.217427e-05,7.351691e-05,7.474421e-05,7.541921e-05,7.716572e-05,7.723682e-05,7.897113e-05,7.944205e-05,8.062389e-05,8.157717e-05,8.219695e-05,8.357541e-05,8.369221e-05,8.511174e-05,8.544139e-05,8.645766e-05,8.718003e-05,8.773212e-05,8.879626e-05,8.893729e-05,9.007532e-05,9.029506e-05,9.114836e-05,9.168138e-05,9.215857e-05,9.296014e-05,9.310807e-05,9.399899e-05,9.413624e-05,9.483340e-05,9.521444e-05,9.561334e-05,9.619941e-05,9.634080e-05,9.701773e-05,9.709566e-05,9.764604e-05,9.790758e-05,9.822760e-05,9.863945e-05,9.876424e-05,9.925771e-05,9.929538e-05,9.970976e-05,9.987935e-05,1.001220e-04,1.003952e-04,1.004962e-04,1.008338e-04,1.008466e-04,1.011364e-04,1.012371e-04,1.014055e-04,1.015701e-04,1.016425e-04,1.018488e-04,1.020258e-04,1.020765e-04,1.021748e-04,1.022560e-04,1.022970e-04,1.023902e-04,1.023936e-04,1.024659e-04,1.024820e-04,1.025150e-04,1.025338e-04,1.025420e-04,1.025482e-04,1.025479e-04,1.025338e-04,1.025276e-04,1.025007e-04,1.024741e-04,1.024494e-04,1.023901e-04,1.023810e-04,1.022963e-04,1.022775e-04,1.021961e-04,1.021382e-04,1.020814e-04,1.019742e-04,1.019527e-04,1.018110e-04,1.017872e-04,1.016570e-04,1.015789e-04,1.014913e-04,1.013508e-04,1.013146e-04,1.011276e-04,1.011045e-04,1.009309e-04,1.008414e-04,1.007251e-04,1.005629e-04,1.005107e-04,1.002883e-04,1.002702e-04,1.000585e-04,9.996455e-05,9.982166e-05,9.964711e-05,9.957835e-05,9.932903e-05,9.931894e-05,9.907413e-05,9.898109e-05,9.881408e-05,9.863451e-05,9.854928e-05,9.828013e-05,9.791880e-05,9.755133e-05,9.717850e-05,9.680103e-05,9.641958e-05,9.603480e-05,9.564728e-05,9.525759e-05,9.486626e-05,9.447377e-05,9.408059e-05,9.368714e-05,9.329384e-05,9.290106e-05,9.250914e-05,9.211842e-05,9.172921e-05,9.134177e-05,9.095638e-05,9.057328e-05,9.019268e-05,8.981480e-05,8.943982e-05,8.906792e-05
0.000000e+00,3.880038e-09,8.912991e-09,3.094643e-08,7.152815e-08,1.056843e-07,2.517655e-07,2.599944e-07,5.406427e-07,6.499343e-07,1.005801e-06,1.389493e-06,1.687862e-06,2.486738e-06,2.562731e-06,3.586230e-06,3.850137e-06,4.726613e-06,5.408881e-06,5.964885e-06,7.125421e-06,7.288389e-06,8.686676e-06,8.974418e-06,1.014958e-05,1.093232e-05,1.166647e-05,1.297426e-05,1.322623e-05,1.481738e-05,1.507410e-05,1.642843e-05,1.720551e-05,1.804823e-05,1.934324e-05,1.966621e-05,2.127267e-05,2.146424e-05,2.285891e-05,2.354845e-05,2.441733e-05,2.557910e-05,2.594146e-05,2.742592e-05,2.754283e-05,2.886637e-05,2.942945e-05,3.025944e-05,3.123167e-05,3.160261e-05,3.289419e-05,3.294477e-05,3.413315e-05,3.456617e-05,3.531892e-05,3.609480e-05,3.645141e-05,3.753094e-05,3.855810e-05,3.887587e-05,3.953378e-05,4.013170e-05,4.045907e-05,4.130112e-05,4.133524e-05,4.216366e-05,4.238725e-05,4.294577e-05,4.339346e-05,4.368313e-05,4.432339e-05,4.437739e-05,4.503029e-05,4.518101e-05,4.564341e-05,4.596994e-05,4.621826e-05,4.669372e-05,4.675641e-05,4.725934e-05,4.735583e-05,4.772853e-05,4.795965e-05,4.816541e-05,4.850847e-05,4.857140e-05,4.894787e-05,4.900545e-05,4.929610e-05,4.945360e-05,4.961738e-05,4.985581e-05,4.991292e-05,5.018391e-05,5.021484e-05,5.043151e-05,5.053332e-05,5.065681e-05,5.081378e-05,5.086087e-05,5.104471e-05,5.105857e-05,5.120931e-05,5.126997e-05,5.135560e-05,5.145011e-05,5.148450e-05,5.159687e-05,5.160103e-05,5.169353e-05,5.172464e-05,5.177528e-05,5.182274e-05,5.184288e-05,5.189706e-05,5.193851e-05,5.194919e-05,5.196790e-05,5.198068e-05,5.198587e-05,5.199294e-05,5.199303e-05,5.198996e-05,5.198735e-05,5.197723e-05,5.196517e-05,5.195536e-05,5.192760e-05,5.192486e-05,5.188622e-05,5.187578e-05,5.183990e-05,5.181077e-05,5.178635e-05,5.173357e-05,5.172598e-05,5.165921e-05,5.164513e-05,5.158642e-05,5.154631e-05,5.150798e-05,5.143797e-05,5.142423e-05,5.133551e-05,5.132088e-05,5.124214e-05,5.119576e-05,5.114443e-05,5.106332e-05,5.104266e-05,5.093711e-05,5.092420e-05,5.082804e-05,5.077900e-05,5.071570e-05,5.062828e-05,5.060033e-05,5.048216e-05,5.047259e-05,5.036141e-05,5.031243e-05,5.023827e-05,5.014825e-05,5.011295e-05,4.998563e-05,4.998050e-05,4.985649e-05,4.980959e-05,4.972570e-05,4.963590e-05,4.959342e-05,4.945980e-05,4.928161e-05,4.910164e-05,4.892021e-05,4.873756e-05,4.855397e-05,4.836967e-05,4.818488e-05,4.799981e-05,4.781464e-05,4.762956e-05,4.744474e-05,4.726032e-05,4.707645e-05,4.689326e-05,4.671088e-05,4.652941e-05,4.634896e-05,4.616963e-05,4.599150e-05,4.581466e-05,4.563918e-05,4.546513e-05,4.529256e-05,4.512154e-05
0.000000e+00,5.265200e-09,1.230611e-08,4.316319e-08,9.891328e-08,1.445800e-07,3.283319e-07,3.381951e-07,6.516960e-07,7.647161e-07,1.112710e-06,1.471690e-06,1.749006e-06,2.512418e-06,2.587533e-06,3.651894e-06,3.942953e-06,4.958021e-06,5.796711e-06,6.508421e-06,8.062580e-06,8.287061e-06,1.025880e-05,1.067223e-05,1.237588e-05,1.351738e-05,1.458814e-05,1.648713e-05,1.685100e-05,1.912851e-05,1.949231e-05,2.139287e-05,2.246866e-05,2.362287e-05,2.537109e-05,2.580228e-05,2.791870e-05,2.816797e-05,2.996276e-05,3.083735e-05,3.192751e-05,3.336460e-05,3.380806e-05,3.560118e-05,3.574079e-05,3.730509e-05,3.796150e-05,3.891915e-05,4.002578e-05,4.044368e-05,4.187976e-05,4.193539e-05,4.322908e-05,4.369400e-05,4.449380e-05,4.530674e-05,4.567640e-05,4.677963e-05,4.780641e-05,4.811932e-05,4.875975e-05,4.933276e-05,4.964271e-05,5.042702e-05,5.045839e-05,5.120984e-05,5.140915e-05,5.190008e-05,5.228607e-05,5.253206e-05,5.306450e-05,5.310865e-05,5.363265e-05,5.375089e-05,5.410676e-05,5.435144e-05,5.453357e-05,5.487204e-05,5.491559e-05,5.525524e-05,5.531828e-05,5.555480e-05,5.569548e-05,5.581650e-05,5.600861e-05,5.604244e-05,5.623463e-05,5.626237e-05,5.639499e-05,5.646120e-05,5.652535e-05,5.660923e-05,5.662747e-05,5.670300e-05,5.671036e-05,5.675353e-05,5.676822e-05,5.678054e-05,5.678624e-05,5.678548e-05,5.676970e-05,5.676758e-05,5.673448e-05,5.671523e-05,5.668106e-05,5.663197e-05,5.661058e-05,5.652415e-05,5.652038e-05,5.642282e-05,5.638288e-05,5.630756e-05,5.622172e-05,5.617932e-05,5.603899e-05,5.588740e-05,5.583665e-05,5.572536e-05,5.561651e-05,5.555361e-05,5.538027e-05,5.537287e-05,5.518382e-05,5.512948e-05,5.498709e-05,5.486562e-05,5.478328e-05,5.459003e-05,5.457297e-05,5.435670e-05,5.430397e-05,5.413498e-05,5.400861e-05,5.390828e-05,5.370503e-05,5.367706e-05,5.344175e-05,5.339423e-05,5.320276e-05,5.307715e-05,5.296046e-05,5.275464e-05,5.271522e-05,5.246737e-05,5.242750e-05,5.221725e-05,5.209646e-05,5.196514e-05,5.176221e-05,5.171133e-05,5.145609e-05,5.142537e-05,5.119967e-05,5.108653e-05,5.094230e-05,5.074621e-05,5.068422e-05,5.042562e-05,5.040492e-05,5.016671e-05,5.006310e-05,4.990766e-05,4.972117e-05,4.964866e-05,4.938986e-05,4.937951e-05,4.913141e-05,4.903849e-05,4.887347e-05,4.869841e-05,4.861615e-05,4.835958e-05,4.802226e-05,4.768670e-05,4.735313e-05,4.702174e-05,4.669272e-05,4.636624e-05,4.604244e-05,4.572147e-05,4.540344e-05,4.508846e-05,4.477663e-05,4.446803e-05,4.416273e-05,4.386080e-05,4.356229e-05,4.326725e-05,4.297572e-05,4.268773e-05,4.240331e-05,4.212246e-05,4.184522e-05,4.157158e-05,4.130155e-05,4.103513e-05
0.000000e+00,1.158466e-11,5.969966e-11,6.849830e-10,3.461603e-09,7.280947e-09,3.652155e-08,3.871848e-08,1.421980e-07,1.957351e-07,4.161454e-07,7.338737e-07,1.043788e-06,2.192366e-06,2.328866e-06,4.709055e-06,5.502457e-06,8.733049e-06,1.193224e-05,1.501521e-05,2.291376e-05,2.418761e-05,3.685984e-05,3.986447e-05,5.358903e-05,6.405559e-05,7.485943e-05,9.653026e-05,1.010696e-04,1.325255e-04,1.380607e-04,1.694383e-04,1.891326e-04,2.119249e-04,2.499481e-04,2.600118e-04,3.136400e-04,3.204420e-04,3.726719e-04,4.003065e-04,4.368991e-04,4.890218e-04,5.060508e-04,5.798029e-04,5.858910e-04,6.577867e-04,6.900757e-04,7.395986e-04,8.006326e-04,8.248081e-04,9.129668e-04,9.165480e-04,1.003616e-03,1.036770e-03,1.096293e-03,1.160238e-03,1.190540e-03,1.285906e-03,1.381955e-03,1.412766e-03,1.478269e-03,1.539864e-03,1.574449e-03,1.666309e-03,1.670122e-03,1.764938e-03,1.791289e-03,1.858577e-03,1.914072e-03,1.950745e-03,2.034009e-03,2.041174e-03,2.129627e-03,2.150537e-03,2.215892e-03,2.263175e-03,2.299785e-03,2.371523e-03,2.381148e-03,2.459846e-03,2.475255e-03,2.535767e-03,2.574118e-03,2.608822e-03,2.667923e-03,2.678943e-03,2.746079e-03,2.756541e-03,2.810197e-03,2.839895e-03,2.871279e-03,2.917958e-03,2.929324e-03,2.984342e-03,2.990742e-03,3.036355e-03,3.058297e-03,3.085395e-03,3.120703e-03,3.131504e-03,3.174732e-03,3.178067e-03,3.215134e-03,3.230518e-03,3.252774e-03,3.278202e-03,3.287719e-03,3.320040e-03,3.321280e-03,3.349814e-03,3.359924e-03,3.377118e-03,3.394314e-03,3.402032e-03,3.424637e-03,3.445017e-03,3.451081e-03,3.463253e-03,3.473839e-03,3.479431e-03,3.493100e-03,3.493632e-03,3.505939e-03,3.509056e-03,3.516433e-03,3.521893e-03,3.525195e-03,3.531795e-03,3.532305e-03,3.537839e-03,3.538941e-03,3.541874e-03,3.543507e-03,3.544485e-03,3.545661e-03,3.545742e-03,3.545719e-03,3.545566e-03,3.544482e-03,3.543381e-03,3.542098e-03,3.539257e-03,3.538633e-03,3.534147e-03,3.533339e-03,3.528702e-03,3.525765e-03,3.522356e-03,3.516668e-03,3.515164e-03,3.507181e-03,3.506172e-03,3.498458e-03,3.494398e-03,3.489045e-03,3.481459e-03,3.478990e-03,3.468338e-03,3.467462e-03,3.457135e-03,3.452508e-03,3.445420e-03,3.436693e-03,3.433236e-03,3.420620e-03,3.420107e-03,3.407609e-03,3.402835e-03,3.394237e-03,3.384956e-03,3.380539e-03,3.366546e-03,3.347674e-03,3.328405e-03,3.308802e-03,3.288921e-03,3.268816e-03,3.248535e-03,3.228125e-03,3.207629e-03,3.187085e-03,3.166531e-03,3.146000e-03,3.125522e-03,3.105126e-03,3.084839e-03,3.064684e-03,3.044682e-03,3.024853e-03,3.005215e-03,2.985784e-03,2.966575e-03,2.947600e-03,2.928871e-03,2.910397e-03,2.892189e-03
0.000000e+00,9.974348e-12,5.131938e-11,5.867654e-10,2.954831e-09,6.202052e-09,3.092427e-08,3.277592e-08,1.195603e-07,1.642541e-07,3.474825e-07,6.103864e-07,8.660766e-07,1.810939e-06,1.923085e-06,3.877200e-06,4.528408e-06,7.180344e-06,9.807285e-06,1.233940e-05,1.882817e-05,1.987474e-05,3.028554e-05,3.275361e-05,4.402437e-05,5.261590e-05,6.148066e-05,7.925071e-05,8.297108e-05,1.087352e-04,1.132659e-04,1.389347e-04,1.550340e-04,1.736555e-04,2.046992e-04,2.129115e-04,2.566494e-04,2.621943e-04,3.047546e-04,3.272627e-04,3.570579e-04,3.994841e-04,4.133421e-04,4.733491e-04,4.783019e-04,5.367866e-04,5.630515e-04,6.033357e-04,6.529878e-04,6.726570e-04,7.443971e-04,7.473120e-04,8.181950e-04,8.451959e-04,8.936869e-04,9.458044e-04,9.705116e-04,1.048315e-03,1.126752e-03,1.151931e-03,1.205493e-03,1.255901e-03,1.284224e-03,1.359521e-03,1.362649e-03,1.440491e-03,1.462147e-03,1.517496e-03,1.563198e-03,1.593429e-03,1.662158e-03,1.668078e-03,1.741252e-03,1.758576e-03,1.812784e-03,1.852067e-03,1.882523e-03,1.942310e-03,1.950343e-03,2.016135e-03,2.029042e-03,2.079807e-03,2.112055e-03,2.141287e-03,2.191194e-03,2.200518e-03,2.257455e-03,2.266351e-03,2.312072e-03,2.337459e-03,2.364351e-03,2.404488e-03,2.414288e-03,2.461887e-03,2.467442e-03,2.507162e-03,2.526352e-03,2.550135e-03,2.581273e-03,2.590836e-03,2.629299e-03,2.632281e-03,2.665567e-03,2.679468e-03,2.699682e-03,2.722941e-03,2.731696e-03,2.761659e-03,2.762816e-03,2.789627e-03,2.799218e-03,2.815656e-03,2.832279e-03,2.839806e-03,2.862135e-03,2.882705e-03,2.888926e-03,2.901577e-03,2.912791e-03,2.918811e-03,2.933871e-03,2.934468e-03,2.948609e-03,2.952305e-03,2.961294e-03,2.968230e-03,2.972582e-03,2.981783e-03,2.982531e-03,2.991200e-03,2.993096e-03,2.998644e-03,3.002298e-03,3.004918e-03,3.009514e-03,3.010076e-03,3.014171e-03,3.014866e-03,3.017252e-03,3.018471e-03,3.019370e-03,3.020441e-03,3.020574e-03,3.020908e-03,3.020884e-03,3.020419e-03,3.019904e-03,3.019149e-03,3.017601e-03,3.017142e-03,3.014438e-03,3.014069e-03,3.011077e-03,3.009399e-03,3.007095e-03,3.003677e-03,3.002530e-03,2.997416e-03,2.996985e-03,2.991788e-03,2.989400e-03,2.985678e-03,2.980997e-03,2.979116e-03,2.972133e-03,2.971846e-03,2.964757e-03,2.962011e-03,2.957016e-03,2.951556e-03,2.948935e-03,2.940540e-03,2.929018e-03,2.917042e-03,2.904663e-03,2.891925e-03,2.878874e-03,2.865549e-03,2.851988e-03,2.838228e-03,2.824302e-03,2.810242e-03,2.796076e-03,2.781831e-03,2.767533e-03,2.753206e-03,2.738870e-03,2.724547e-03,2.710255e-03,2.696012e-03,2.681832e-03,2.667731e-03,2.653722e-03,2.639817e-03,2.626028e-03,2.612365e-03
0.000000e+00,9.123627e-13,4.578011e-12,4.957203e-11,2.366289e-10,4.812884e-10,2.192984e-09,2.315071e-09,7.597057e-09,1.010938e-08,1.961743e-08,3.193858e-08,4.302213e-08,7.978707e-08,8.386277e-08,1.495845e-07,1.700022e-07,2.488529e-07,3.225912e-07,3.910642e-07,5.591430e-07,5.855254e-07,8.405257e-07,8.994012e-07,1.162580e-06,1.358070e-06,1.555990e-06,1.943102e-06,2.022721e-06,2.562511e-06,2.655533e-06,3.173124e-06,3.490282e-06,3.850652e-06,4.437357e-06,4.589837e-06,5.384369e-06,5.483102e-06,6.227154e-06,6.611312e-06,7.110549e-06,7.804181e-06,8.026565e-06,8.967051e-06,9.043102e-06,9.923854e-06,1.030934e-05,1.088896e-05,1.158461e-05,1.185462e-05,1.281347e-05,1.285158e-05,1.375861e-05,1.409426e-05,1.468370e-05,1.529837e-05,1.558303e-05,1.645153e-05,1.728483e-05,1.754343e-05,1.807926e-05,1.856590e-05,1.883185e-05,1.951284e-05,1.954031e-05,2.020300e-05,2.038020e-05,2.081889e-05,2.116575e-05,2.138752e-05,2.186894e-05,2.190892e-05,2.238360e-05,2.249066e-05,2.281244e-05,2.303302e-05,2.319668e-05,2.349910e-05,2.353781e-05,2.383757e-05,2.389272e-05,2.409786e-05,2.421828e-05,2.432071e-05,2.448051e-05,2.450823e-05,2.466259e-05,2.468435e-05,2.478596e-05,2.483482e-05,2.488052e-05,2.493685e-05,2.494839e-05,2.499164e-05,2.499527e-05,2.501228e-05,2.501469e-05,2.501222e-05,2.499946e-05,2.499329e-05,2.495723e-05,2.495366e-05,2.490567e-05,2.488105e-05,2.484014e-05,2.478511e-05,2.476206e-05,2.467276e-05,2.466897e-05,2.457348e-05,2.453551e-05,2.446534e-05,2.438728e-05,2.434939e-05,2.422659e-05,2.409781e-05,2.405548e-05,2.396387e-05,2.387576e-05,2.382547e-05,2.368905e-05,2.368330e-05,2.353795e-05,2.349676e-05,2.338997e-05,2.330012e-05,2.323985e-05,2.310023e-05,2.308803e-05,2.293492e-05,2.289802e-05,2.278087e-05,2.269433e-05,2.262622e-05,2.248986e-05,2.247126e-05,2.231623e-05,2.228524e-05,2.216139e-05,2.208101e-05,2.200693e-05,2.187762e-05,2.185304e-05,2.169990e-05,2.167547e-05,2.154764e-05,2.147491e-05,2.139640e-05,2.127622e-05,2.124629e-05,2.109742e-05,2.107964e-05,2.094988e-05,2.088540e-05,2.080373e-05,2.069365e-05,2.065906e-05,2.051593e-05,2.050454e-05,2.037437e-05,2.031821e-05,2.023445e-05,2.013473e-05,2.009618e-05,1.995962e-05,1.995419e-05,1.982478e-05,1.977666e-05,1.969167e-05,1.960217e-05,1.956033e-05,1.943076e-05,1.926246e-05,1.909727e-05,1.893519e-05,1.877623e-05,1.862037e-05,1.846759e-05,1.831788e-05,1.817120e-05,1.802752e-05,1.788682e-05,1.774905e-05,1.761417e-05,1.748215e-05,1.735294e-05,1.722650e-05,1.710279e-05,1.698175e-05,1.686333e-05,1.674750e-05,1.663421e-05,1.652340e-05,1.641502e-05,1.630904e-05,1.620540e-05
0.000000e+00,2.380060e-12,1.222331e-11,1.389542e-10,6.937443e-10,1.446604e-09,7.035623e-09,7.447252e-09,2.611006e-08,3.538356e-08,7.191327e-08,1.215978e-07,1.679185e-07,3.292779e-07,3.477429e-07,6.569028e-07,7.564782e-07,1.152615e-06,1.536317e-06,1.901740e-06,2.828684e-06,2.977538e-06,4.456130e-06,4.806885e-06,6.413178e-06,7.644136e-06,8.920986e-06,1.150205e-05,1.204607e-05,1.584712e-05,1.652145e-05,2.037342e-05,2.281543e-05,2.566360e-05,3.046430e-05,3.174469e-05,3.863166e-05,3.951251e-05,4.632716e-05,4.996730e-05,5.482166e-05,6.179917e-05,6.409387e-05,7.411146e-05,7.494386e-05,8.483199e-05,8.930579e-05,9.620406e-05,1.047625e-04,1.081686e-04,1.206602e-04,1.211698e-04,1.336085e-04,1.383676e-04,1.469400e-04,1.561856e-04,1.605788e-04,1.744484e-04,1.884728e-04,1.929811e-04,2.025776e-04,2.116135e-04,2.166909e-04,2.301838e-04,2.307439e-04,2.446722e-04,2.485415e-04,2.584157e-04,2.665499e-04,2.719192e-04,2.840875e-04,2.851328e-04,2.980117e-04,3.010484e-04,3.105167e-04,3.173433e-04,3.226138e-04,3.328987e-04,3.342741e-04,3.454737e-04,3.476566e-04,3.561937e-04,3.615735e-04,3.664194e-04,3.746192e-04,3.761403e-04,3.853500e-04,3.867759e-04,3.940454e-04,3.980365e-04,4.022267e-04,4.084035e-04,4.098969e-04,4.170615e-04,4.178876e-04,4.237283e-04,4.265064e-04,4.299069e-04,4.342831e-04,4.356088e-04,4.408465e-04,4.412459e-04,4.456340e-04,4.474262e-04,4.499860e-04,4.528585e-04,4.539180e-04,4.574460e-04,4.575789e-04,4.605862e-04,4.616250e-04,4.633554e-04,4.650349e-04,4.657700e-04,4.678468e-04,4.696022e-04,4.700987e-04,4.710525e-04,4.718280e-04,4.722137e-04,4.730709e-04,4.731014e-04,4.737308e-04,4.738628e-04,4.741168e-04,4.742376e-04,4.742737e-04,4.742277e-04,4.742155e-04,4.739553e-04,4.738643e-04,4.735061e-04,4.731766e-04,4.728802e-04,4.721925e-04,4.720892e-04,4.711446e-04,4.709381e-04,4.700569e-04,4.694382e-04,4.688365e-04,4.677159e-04,4.674930e-04,4.660358e-04,4.657927e-04,4.644736e-04,4.636888e-04,4.628146e-04,4.614230e-04,4.610667e-04,4.592374e-04,4.590127e-04,4.573336e-04,4.564741e-04,4.553621e-04,4.538221e-04,4.533289e-04,4.512400e-04,4.510706e-04,4.491009e-04,4.482323e-04,4.469167e-04,4.453190e-04,4.446925e-04,4.424327e-04,4.423416e-04,4.401416e-04,4.393100e-04,4.378233e-04,4.362332e-04,4.354815e-04,4.331198e-04,4.299774e-04,4.268130e-04,4.236329e-04,4.204431e-04,4.172488e-04,4.140549e-04,4.108657e-04,4.076853e-04,4.045172e-04,4.013648e-04,3.982308e-04,3.951179e-04,3.920285e-04,3.889647e-04,3.859282e-04,3.829208e-04,3.799440e-04,3.769989e-04,3.740867e-04,3.712083e-04,3.683646e-04,3.655563e-04,3.627839e-04,3.600479e-04
0.000000e+00,1.306590e-09,3.000354e-09,1.036336e-08,2.366280e-08,3.459392e-08,7.897396e-08,8.137386e-08,1.585408e-07,1.867626e-07,2.749061e-07,3.676723e-07,4.405052e-07,6.455057e-07,6.659812e-07,9.601839e-07,1.041541e-06,1.326367e-06,1.561620e-06,1.760544e-06,2.192189e-06,2.254273e-06,2.798510e-06,2.912703e-06,3.385414e-06,3.705260e-06,4.008464e-06,4.555650e-06,4.662067e-06,5.341184e-06,5.451893e-06,6.041113e-06,6.383152e-06,6.757387e-06,7.339308e-06,7.485752e-06,8.222179e-06,8.310910e-06,8.962902e-06,9.289274e-06,9.704444e-06,1.026661e-05,1.044365e-05,1.117768e-05,1.123610e-05,1.190405e-05,1.219196e-05,1.262060e-05,1.312938e-05,1.332546e-05,1.401708e-05,1.404445e-05,1.469417e-05,1.493416e-05,1.535568e-05,1.579618e-05,1.600078e-05,1.662882e-05,1.723934e-05,1.743095e-05,1.783202e-05,1.820187e-05,1.840665e-05,1.894125e-05,1.896316e-05,1.950153e-05,1.964904e-05,2.002185e-05,2.032543e-05,2.052426e-05,2.097082e-05,2.100895e-05,2.147616e-05,2.158572e-05,2.192617e-05,2.217077e-05,2.235928e-05,2.272670e-05,2.277583e-05,2.317614e-05,2.325429e-05,2.356059e-05,2.375435e-05,2.392952e-05,2.422772e-05,2.428332e-05,2.462236e-05,2.467527e-05,2.494703e-05,2.509787e-05,2.525770e-05,2.549641e-05,2.555475e-05,2.583855e-05,2.587174e-05,2.610950e-05,2.622474e-05,2.636795e-05,2.655625e-05,2.661428e-05,2.684884e-05,2.686711e-05,2.707199e-05,2.715814e-05,2.728408e-05,2.743014e-05,2.748546e-05,2.767647e-05,2.768390e-05,2.785742e-05,2.792017e-05,2.802866e-05,2.813970e-05,2.819048e-05,2.834321e-05,2.848715e-05,2.853140e-05,2.862258e-05,2.870493e-05,2.874980e-05,2.886447e-05,2.886909e-05,2.898073e-05,2.901065e-05,2.908497e-05,2.914407e-05,2.918208e-05,2.926533e-05,2.927230e-05,2.935590e-05,2.937500e-05,2.943309e-05,2.947362e-05,2.950413e-05,2.956172e-05,2.956922e-05,2.962860e-05,2.963980e-05,2.968247e-05,2.970837e-05,2.973103e-05,2.976788e-05,2.977450e-05,2.981307e-05,2.981879e-05,2.984691e-05,2.986154e-05,2.987623e-05,2.989653e-05,2.990118e-05,2.992196e-05,2.992418e-05,2.993871e-05,2.994485e-05,2.995161e-05,2.995893e-05,2.996081e-05,2.996646e-05,2.996677e-05,2.996871e-05,2.996869e-05,2.996770e-05,2.996504e-05,2.996357e-05,2.995645e-05,2.995611e-05,2.994647e-05,2.994220e-05,2.993375e-05,2.992360e-05,2.991842e-05,2.990059e-05,2.987341e-05,2.984233e-05,2.980757e-05,2.976936e-05,2.972793e-05,2.968348e-05,2.963621e-05,2.958630e-05,2.953394e-05,2.947930e-05,2.942254e-05,2.936382e-05,2.930329e-05,2.924109e-05,2.917736e-05,2.911222e-05,2.904579e-05,2.897820e-05,2.890956e-05,2.883996e-05,2.876951e-05,2.869831e-05,2.862644e-05,2.855399e-05
0.000000e+00,3.437648e-13,1.750963e-12,1.955639e-11,9.600123e-11,1.982540e-10,9.388353e-10,9.926271e-10,3.378576e-09,4.538941e-09,9.013087e-09,1.493261e-08,2.033197e-08,3.854318e-08,4.058205e-08,7.379548e-08,8.420912e-08,1.247166e-07,1.629385e-07,1.986892e-07,2.874461e-07,3.015061e-07,4.392176e-07,4.714843e-07,6.178999e-07,7.289633e-07,8.433983e-07,1.072936e-06,1.121071e-06,1.455559e-06,1.514614e-06,1.850605e-06,2.062574e-06,2.308917e-06,2.722227e-06,2.832089e-06,3.420570e-06,3.495556e-06,4.073672e-06,4.381087e-06,4.789611e-06,5.374055e-06,5.565575e-06,6.397825e-06,6.466705e-06,7.281797e-06,7.648711e-06,8.212233e-06,8.907665e-06,9.183307e-06,1.018876e-05,1.022961e-05,1.122206e-05,1.159956e-05,1.227647e-05,1.300209e-05,1.334526e-05,1.442176e-05,1.549949e-05,1.584360e-05,1.657225e-05,1.725349e-05,1.763420e-05,1.863844e-05,1.867989e-05,1.970439e-05,1.998683e-05,2.070322e-05,2.128855e-05,2.167246e-05,2.253509e-05,2.260871e-05,2.350909e-05,2.371958e-05,2.437126e-05,2.483667e-05,2.519337e-05,2.588257e-05,2.597403e-05,2.671232e-05,2.685484e-05,2.740771e-05,2.775230e-05,2.806006e-05,2.857488e-05,2.866953e-05,2.923660e-05,2.932344e-05,2.976200e-05,2.999966e-05,3.024668e-05,3.060585e-05,3.069176e-05,3.109854e-05,3.114484e-05,3.146840e-05,3.161983e-05,3.180285e-05,3.203429e-05,3.210343e-05,3.237174e-05,3.239186e-05,3.260940e-05,3.269624e-05,3.281802e-05,3.295117e-05,3.299924e-05,3.315462e-05,3.316032e-05,3.328573e-05,3.332728e-05,3.339408e-05,3.345550e-05,3.348113e-05,3.354829e-05,3.359690e-05,3.360875e-05,3.362826e-05,3.363984e-05,3.364359e-05,3.364430e-05,3.364405e-05,3.363074e-05,3.362469e-05,3.360471e-05,3.358338e-05,3.356691e-05,3.352254e-05,3.351827e-05,3.345965e-05,3.344418e-05,3.339184e-05,3.335015e-05,3.331561e-05,3.324212e-05,3.323165e-05,3.314062e-05,3.312162e-05,3.304311e-05,3.299004e-05,3.293971e-05,3.284867e-05,3.283092e-05,3.271725e-05,3.269864e-05,3.259914e-05,3.254099e-05,3.247701e-05,3.237668e-05,3.235126e-05,3.222224e-05,3.220656e-05,3.209030e-05,3.203139e-05,3.195573e-05,3.185189e-05,3.181884e-05,3.167988e-05,3.166868e-05,3.153911e-05,3.148234e-05,3.139675e-05,3.129339e-05,3.125301e-05,3.110810e-05,3.110228e-05,3.096219e-05,3.090945e-05,3.081546e-05,3.071529e-05,3.066805e-05,3.052012e-05,3.032428e-05,3.012804e-05,2.993166e-05,2.973538e-05,2.953939e-05,2.934390e-05,2.914908e-05,2.895507e-05,2.876203e-05,2.857007e-05,2.837932e-05,2.818987e-05,2.800182e-05,2.781526e-05,2.763025e-05,2.744686e-05,2.726515e-05,2.708517e-05,2.690697e-05,2.673059e-05,2.655605e-05,2.638340e-05,2.621266e-05,2.604385e-05
0.000000e+00,1.074185e-08,2.473780e-08,8.566816e-08,1.959139e-07,2.867219e-07,6.574126e-07,6.775525e-07,1.330153e-06,1.571119e-06,2.330648e-06,3.139566e-06,3.780028e-06,5.598584e-06,5.780958e-06,8.400966e-06,9.122567e-06,1.162887e-05,1.367066e-05,1.537560e-05,1.900799e-05,1.952314e-05,2.396577e-05,2.488206e-05,2.862084e-05,3.110366e-05,3.342442e-05,3.753608e-05,3.832474e-05,4.327753e-05,4.407217e-05,4.824356e-05,5.062142e-05,5.318742e-05,5.710500e-05,5.807722e-05,6.288451e-05,6.345462e-05,6.758437e-05,6.961266e-05,7.215549e-05,7.553234e-05,7.658004e-05,8.084360e-05,8.117737e-05,8.493495e-05,8.652134e-05,8.884590e-05,9.154695e-05,9.257105e-05,9.610714e-05,9.624462e-05,9.945264e-05,1.006104e-04,1.026081e-04,1.046461e-04,1.055753e-04,1.083573e-04,1.109580e-04,1.117527e-04,1.133822e-04,1.148435e-04,1.156351e-04,1.176420e-04,1.177223e-04,1.196498e-04,1.201617e-04,1.214237e-04,1.224169e-04,1.230502e-04,1.244219e-04,1.245356e-04,1.258863e-04,1.261911e-04,1.271084e-04,1.277389e-04,1.282080e-04,1.290791e-04,1.291912e-04,1.300637e-04,1.302254e-04,1.308312e-04,1.311907e-04,1.314993e-04,1.319876e-04,1.320733e-04,1.325583e-04,1.326280e-04,1.329593e-04,1.331233e-04,1.332810e-04,1.334845e-04,1.335281e-04,1.337050e-04,1.337217e-04,1.338158e-04,1.338447e-04,1.338646e-04,1.338626e-04,1.338552e-04,1.337914e-04,1.337841e-04,1.336767e-04,1.336173e-04,1.335144e-04,1.333698e-04,1.333077e-04,1.330597e-04,1.330489e-04,1.327732e-04,1.326612e-04,1.324511e-04,1.322130e-04,1.320960e-04,1.317103e-04,1.312964e-04,1.311584e-04,1.308567e-04,1.305626e-04,1.303931e-04,1.299276e-04,1.299078e-04,1.294026e-04,1.292578e-04,1.288793e-04,1.285574e-04,1.283397e-04,1.278303e-04,1.277855e-04,1.272180e-04,1.270800e-04,1.266388e-04,1.263098e-04,1.260491e-04,1.255227e-04,1.254504e-04,1.248439e-04,1.247217e-04,1.242305e-04,1.239093e-04,1.236115e-04,1.230879e-04,1.229878e-04,1.223604e-04,1.222597e-04,1.217301e-04,1.214268e-04,1.210978e-04,1.205910e-04,1.204642e-04,1.198302e-04,1.197541e-04,1.191963e-04,1.189176e-04,1.185633e-04,1.180830e-04,1.179316e-04,1.173018e-04,1.172515e-04,1.166745e-04,1.164244e-04,1.160502e-04,1.156027e-04,1.154292e-04,1.148119e-04,1.147873e-04,1.141988e-04,1.139792e-04,1.135902e-04,1.131791e-04,1.129864e-04,1.123877e-04,1.116057e-04,1.108336e-04,1.100718e-04,1.093208e-04,1.085809e-04,1.078526e-04,1.071359e-04,1.064312e-04,1.057386e-04,1.050582e-04,1.043902e-04,1.037346e-04,1.030914e-04,1.024608e-04,1.018426e-04,1.012369e-04,1.006435e-04,1.000625e-04,9.949373e-05,9.893706e-05,9.839241e-05,9.785964e-05,9.733863e-05,9.682922e-05
0.000000e+00,1.206453e-09,2.769400e-09,9.530912e-09,2.164005e-08,3.151103e-08,7.096376e-08,7.307159e-08,1.396385e-07,1.634530e-07,2.362571e-07,3.106460e-07,3.676951e-07,5.232685e-07,5.384806e-07,7.527582e-07,8.110491e-07,1.013802e-06,1.181110e-06,1.323246e-06,1.635262e-06,1.680615e-06,2.083709e-06,2.169549e-06,2.529425e-06,2.776916e-06,3.014362e-06,3.449473e-06,3.535038e-06,4.087907e-06,4.179112e-06,4.669325e-06,4.957445e-06,5.275528e-06,5.775738e-06,5.902645e-06,6.546731e-06,6.624972e-06,7.203812e-06,7.496027e-06,7.869950e-06,8.379899e-06,8.541297e-06,9.214154e-06,9.267942e-06,9.885022e-06,1.015207e-05,1.055064e-05,1.102495e-05,1.120802e-05,1.185447e-05,1.188007e-05,1.248761e-05,1.271187e-05,1.310536e-05,1.351572e-05,1.370595e-05,1.428791e-05,1.485004e-05,1.502557e-05,1.539142e-05,1.572668e-05,1.591136e-05,1.638991e-05,1.640941e-05,1.688530e-05,1.701456e-05,1.733895e-05,1.760048e-05,1.777041e-05,1.814794e-05,1.817989e-05,1.856771e-05,1.865760e-05,1.893426e-05,1.913041e-05,1.928002e-05,1.956754e-05,1.960556e-05,1.991145e-05,1.997033e-05,2.019833e-05,2.034022e-05,2.046686e-05,2.067874e-05,2.071772e-05,2.095159e-05,2.098747e-05,2.116915e-05,2.126799e-05,2.137110e-05,2.152187e-05,2.155811e-05,2.173087e-05,2.175067e-05,2.189002e-05,2.195590e-05,2.203620e-05,2.213902e-05,2.217005e-05,2.229215e-05,2.230143e-05,2.240310e-05,2.244448e-05,2.250345e-05,2.256944e-05,2.259374e-05,2.267450e-05,2.267754e-05,2.274622e-05,2.276992e-05,2.280938e-05,2.284767e-05,2.286443e-05,2.291182e-05,2.295195e-05,2.296332e-05,2.298522e-05,2.300309e-05,2.301201e-05,2.303197e-05,2.303269e-05,2.304759e-05,2.305077e-05,2.305704e-05,2.306023e-05,2.306136e-05,2.306104e-05,2.306083e-05,2.305574e-05,2.305387e-05,2.304636e-05,2.303932e-05,2.303293e-05,2.301796e-05,2.301570e-05,2.299490e-05,2.299033e-05,2.297075e-05,2.295693e-05,2.294344e-05,2.291821e-05,2.291318e-05,2.288015e-05,2.287462e-05,2.284453e-05,2.282655e-05,2.280648e-05,2.277440e-05,2.276616e-05,2.272372e-05,2.271850e-05,2.267932e-05,2.265918e-05,2.263307e-05,2.259677e-05,2.258511e-05,2.253555e-05,2.253152e-05,2.248453e-05,2.246373e-05,2.243214e-05,2.239363e-05,2.237848e-05,2.232367e-05,2.232145e-05,2.226778e-05,2.224742e-05,2.221091e-05,2.217172e-05,2.215315e-05,2.209456e-05,2.201610e-05,2.193650e-05,2.185592e-05,2.177451e-05,2.169237e-05,2.160966e-05,2.152646e-05,2.144290e-05,2.135906e-05,2.127505e-05,2.119094e-05,2.110681e-05,2.102274e-05,2.093879e-05,2.085503e-05,2.077151e-05,2.068829e-05,2.060541e-05,2.052293e-05,2.044089e-05,2.035931e-05,2.027825e-05,2.019773e-05,2.011778e-05
0.000000e+00,1.189071e-12,6.141500e-12,7.065699e-11,3.567294e-10,7.485289e-10,3.701559e-09,3.920834e-09,1.398591e-08,1.904515e-08,3.919218e-08,6.696445e-08,9.312341e-08,1.856380e-07,1.963354e-07,3.780209e-07,4.374270e-07,6.772544e-07,9.140951e-07,1.143160e-06,1.736878e-06,1.833689e-06,2.813316e-06,3.049901e-06,4.150227e-06,5.009583e-06,5.913474e-06,7.773419e-06,8.170366e-06,1.098421e-05,1.149004e-05,1.441241e-05,1.629118e-05,1.850502e-05,2.228565e-05,2.330349e-05,2.883992e-05,2.955505e-05,3.513647e-05,3.815119e-05,4.220505e-05,4.809492e-05,5.004736e-05,5.865501e-05,5.937621e-05,6.800997e-05,7.195541e-05,7.808509e-05,8.576545e-05,8.884482e-05,1.002461e-04,1.007148e-04,1.122391e-04,1.166909e-04,1.247685e-04,1.335644e-04,1.377742e-04,1.511927e-04,1.649577e-04,1.694247e-04,1.790015e-04,1.881043e-04,1.932557e-04,2.070743e-04,2.076520e-04,2.221232e-04,2.261797e-04,2.366040e-04,2.452707e-04,2.510312e-04,2.642051e-04,2.653446e-04,2.794875e-04,2.828504e-04,2.934066e-04,3.010851e-04,3.070528e-04,3.188000e-04,3.203813e-04,3.333513e-04,3.358990e-04,3.459265e-04,3.522989e-04,3.580752e-04,3.679301e-04,3.697697e-04,3.809867e-04,3.827358e-04,3.917070e-04,3.966717e-04,4.019153e-04,4.097054e-04,4.116000e-04,4.207531e-04,4.218154e-04,4.293697e-04,4.329905e-04,4.374481e-04,4.432284e-04,4.449896e-04,4.519976e-04,4.525354e-04,4.584784e-04,4.609248e-04,4.644398e-04,4.684161e-04,4.698920e-04,4.748463e-04,4.750343e-04,4.793159e-04,4.808090e-04,4.833149e-04,4.857731e-04,4.868584e-04,4.899626e-04,4.926441e-04,4.934157e-04,4.949200e-04,4.961719e-04,4.968080e-04,4.982721e-04,4.983259e-04,4.994915e-04,4.997571e-04,5.003227e-04,5.006683e-04,5.008374e-04,5.010465e-04,5.010532e-04,5.009875e-04,5.009318e-04,5.006574e-04,5.003633e-04,5.000797e-04,4.993793e-04,4.992705e-04,4.982457e-04,4.980162e-04,4.970206e-04,4.963094e-04,4.956101e-04,4.942925e-04,4.940285e-04,4.922894e-04,4.919975e-04,4.904062e-04,4.894547e-04,4.883914e-04,4.866928e-04,4.862570e-04,4.840145e-04,4.837386e-04,4.816748e-04,4.806173e-04,4.792483e-04,4.773521e-04,4.767447e-04,4.741734e-04,4.739651e-04,4.715430e-04,4.704762e-04,4.688619e-04,4.669043e-04,4.661376e-04,4.633775e-04,4.632665e-04,4.605884e-04,4.595785e-04,4.577766e-04,4.558547e-04,4.549480e-04,4.521082e-04,4.483510e-04,4.445939e-04,4.408465e-04,4.371176e-04,4.334149e-04,4.297454e-04,4.261151e-04,4.225296e-04,4.189934e-04,4.155106e-04,4.120847e-04,4.087186e-04,4.054148e-04,4.021754e-04,3.990019e-04,3.958957e-04,3.928576e-04,3.898883e-04,3.869882e-04,3.841573e-04,3.813957e-04,3.787030e-04,3.760787e-04,3.735224e-04
0.000000e+00,3.087463e-12,1.596203e-11,1.839948e-10,9.304122e-10,1.953765e-09,9.674996e-09,1.024849e-08,3.656279e-08,4.977747e-08,1.023104e-07,1.745040e-07,2.422954e-07,4.807280e-07,5.081849e-07,9.718342e-07,1.122559e-06,1.728059e-06,2.322776e-06,2.896055e-06,4.377356e-06,4.618565e-06,7.058503e-06,7.648031e-06,1.039357e-05,1.254318e-05,1.480983e-05,1.949252e-05,2.049508e-05,2.763258e-05,2.892111e-05,3.639550e-05,4.122619e-05,4.694209e-05,5.675801e-05,5.941178e-05,7.392215e-05,7.580524e-05,9.056671e-05,9.858488e-05,1.094134e-04,1.252364e-04,1.305041e-04,1.538544e-04,1.558199e-04,1.794542e-04,1.903170e-04,2.072690e-04,2.286357e-04,2.372412e-04,2.692922e-04,2.706161e-04,3.033242e-04,3.160392e-04,3.392230e-04,3.646354e-04,3.768600e-04,4.160946e-04,4.567773e-04,4.700762e-04,4.987514e-04,5.262180e-04,5.418553e-04,5.841458e-04,5.859251e-04,6.307960e-04,6.434811e-04,6.763045e-04,7.038486e-04,7.222897e-04,7.648821e-04,7.685946e-04,8.150677e-04,8.262300e-04,8.615634e-04,8.875590e-04,9.079434e-04,9.485579e-04,9.540767e-04,9.998408e-04,1.008939e-03,1.045122e-03,1.068441e-03,1.089813e-03,1.126828e-03,1.133819e-03,1.177051e-03,1.183891e-03,1.219430e-03,1.239448e-03,1.260885e-03,1.293341e-03,1.301353e-03,1.340779e-03,1.345437e-03,1.379116e-03,1.395628e-03,1.416324e-03,1.443826e-03,1.452370e-03,1.487227e-03,1.489963e-03,1.520875e-03,1.533992e-03,1.553299e-03,1.575881e-03,1.584489e-03,1.614441e-03,1.615613e-03,1.643153e-03,1.653187e-03,1.670631e-03,1.688613e-03,1.696880e-03,1.721911e-03,1.745739e-03,1.753113e-03,1.768380e-03,1.782255e-03,1.789852e-03,1.809384e-03,1.810175e-03,1.829373e-03,1.834550e-03,1.847469e-03,1.857809e-03,1.864490e-03,1.879221e-03,1.880460e-03,1.895409e-03,1.898847e-03,1.909363e-03,1.916754e-03,1.922352e-03,1.933006e-03,1.934404e-03,1.945549e-03,1.947672e-03,1.955817e-03,1.960820e-03,1.965237e-03,1.972516e-03,1.973838e-03,1.981650e-03,1.982829e-03,1.988702e-03,1.991825e-03,1.995022e-03,1.999570e-03,2.000638e-03,2.005579e-03,2.006128e-03,2.009872e-03,2.011563e-03,2.013544e-03,2.015936e-03,2.016622e-03,2.019130e-03,2.019306e-03,2.021094e-03,2.021732e-03,2.022538e-03,2.023270e-03,2.023487e-03,2.023963e-03,2.023973e-03,2.023990e-03,2.023893e-03,2.023588e-03,2.023081e-03,2.022780e-03,2.021585e-03,2.019450e-03,2.016720e-03,2.013438e-03,2.009642e-03,2.005373e-03,2.000665e-03,1.995553e-03,1.990071e-03,1.984248e-03,1.978115e-03,1.971699e-03,1.965028e-03,1.958124e-03,1.951013e-03,1.943716e-03,1.936253e-03,1.928646e-03,1.920912e-03,1.913068e-03,1.905131e-03,1.897116e-03,1.889037e-03,1.880908e-03,1.872741e-03
0.000000e+00,1.536861e-12,7.832970e-12,8.763131e-11,4.310848e-10,8.915647e-10,4.244440e-09,4.488838e-09,1.540456e-08,2.075454e-08,4.156957e-08,6.946900e-08,9.520562e-08,1.835926e-07,1.936157e-07,3.596296e-07,4.125462e-07,6.211930e-07,8.210739e-07,1.009835e-06,1.483055e-06,1.558401e-06,2.298713e-06,2.472393e-06,3.259604e-06,3.854748e-06,4.465483e-06,5.681866e-06,5.935417e-06,7.682629e-06,7.988481e-06,9.714331e-06,1.079119e-05,1.203179e-05,1.408872e-05,1.463059e-05,1.750103e-05,1.786309e-05,2.062859e-05,2.208149e-05,2.399456e-05,2.669853e-05,2.757663e-05,3.134961e-05,3.165888e-05,3.528606e-05,3.689996e-05,3.935704e-05,4.235472e-05,4.353273e-05,4.778310e-05,4.795424e-05,5.207843e-05,5.363017e-05,5.638988e-05,5.931674e-05,6.068988e-05,6.495254e-05,6.915392e-05,7.048179e-05,7.327221e-05,7.585522e-05,7.728794e-05,8.103065e-05,8.118400e-05,8.494568e-05,8.597314e-05,8.856066e-05,9.065497e-05,9.201891e-05,9.505529e-05,9.531258e-05,9.843589e-05,9.915966e-05,1.013849e-04,1.029594e-04,1.041576e-04,1.064512e-04,1.067533e-04,1.091728e-04,1.096358e-04,1.114182e-04,1.125180e-04,1.134925e-04,1.151056e-04,1.153997e-04,1.171445e-04,1.174090e-04,1.187323e-04,1.194402e-04,1.201686e-04,1.212129e-04,1.214599e-04,1.226123e-04,1.227416e-04,1.236325e-04,1.240412e-04,1.245272e-04,1.251272e-04,1.253029e-04,1.259664e-04,1.260148e-04,1.265241e-04,1.267190e-04,1.269825e-04,1.272545e-04,1.273478e-04,1.276260e-04,1.276354e-04,1.278230e-04,1.278751e-04,1.279444e-04,1.279865e-04,1.279955e-04,1.279815e-04,1.279073e-04,1.278716e-04,1.277774e-04,1.276672e-04,1.275964e-04,1.273782e-04,1.273682e-04,1.270969e-04,1.270137e-04,1.267862e-04,1.265822e-04,1.264393e-04,1.260912e-04,1.260597e-04,1.256504e-04,1.255480e-04,1.252141e-04,1.249591e-04,1.247536e-04,1.243303e-04,1.242713e-04,1.237696e-04,1.236671e-04,1.232506e-04,1.229745e-04,1.227162e-04,1.222568e-04,1.221684e-04,1.216088e-04,1.215183e-04,1.210391e-04,1.207625e-04,1.204608e-04,1.199928e-04,1.198752e-04,1.192836e-04,1.192123e-04,1.186872e-04,1.184235e-04,1.180870e-04,1.176290e-04,1.174841e-04,1.168793e-04,1.168309e-04,1.162736e-04,1.160312e-04,1.156677e-04,1.152317e-04,1.150622e-04,1.144580e-04,1.144338e-04,1.138555e-04,1.136391e-04,1.132553e-04,1.128487e-04,1.126579e-04,1.120638e-04,1.112853e-04,1.105141e-04,1.097509e-04,1.089963e-04,1.082511e-04,1.075155e-04,1.067901e-04,1.060752e-04,1.053711e-04,1.046780e-04,1.039961e-04,1.033257e-04,1.026667e-04,1.020193e-04,1.013836e-04,1.007595e-04,1.001470e-04,9.954616e-05,9.895688e-05,9.837911e-05,9.781277e-05,9.725776e-05,9.671398e-05,9.618131e-05
0.000000e+00,2.552548e-09,6.291398e-09,2.333770e-08,5.488191e-08,8.098089e-08,1.868339e-07,1.925346e-07,3.740636e-07,4.395685e-07,6.412578e-07,8.492504e-07,1.009902e-06,1.452298e-06,1.495855e-06,2.113818e-06,2.283071e-06,2.874062e-06,3.362934e-06,3.778039e-06,4.685554e-06,4.816842e-06,5.974706e-06,6.219007e-06,7.234011e-06,7.923342e-06,8.578089e-06,9.761532e-06,9.991829e-06,1.146139e-05,1.170082e-05,1.297378e-05,1.371130e-05,1.451665e-05,1.576492e-05,1.607817e-05,1.764707e-05,1.783533e-05,1.921275e-05,1.989806e-05,2.076536e-05,2.193103e-05,2.229591e-05,2.379634e-05,2.391485e-05,2.525959e-05,2.583309e-05,2.667961e-05,2.767238e-05,2.805134e-05,2.937068e-05,2.942231e-05,3.063445e-05,3.107532e-05,3.184029e-05,3.262633e-05,3.298661e-05,3.407245e-05,3.509752e-05,3.541272e-05,3.606199e-05,3.664772e-05,3.696649e-05,3.777931e-05,3.781201e-05,3.859985e-05,3.881031e-05,3.933155e-05,3.974433e-05,4.000883e-05,4.058548e-05,4.063357e-05,4.120774e-05,4.133825e-05,4.173341e-05,4.200737e-05,4.221266e-05,4.259767e-05,4.264760e-05,4.304032e-05,4.311398e-05,4.339291e-05,4.356107e-05,4.370740e-05,4.394360e-05,4.398580e-05,4.423007e-05,4.426611e-05,4.444208e-05,4.453293e-05,4.462367e-05,4.474822e-05,4.477659e-05,4.490253e-05,4.491591e-05,4.500313e-05,4.503977e-05,4.507994e-05,4.512331e-05,4.513443e-05,4.516804e-05,4.516987e-05,4.518212e-05,4.518257e-05,4.517794e-05,4.516433e-05,4.515674e-05,4.511968e-05,4.511788e-05,4.506786e-05,4.504579e-05,4.500232e-05,4.495042e-05,4.492405e-05,4.483400e-05,4.473305e-05,4.469859e-05,4.462204e-05,4.454609e-05,4.450177e-05,4.437828e-05,4.437297e-05,4.423636e-05,4.419680e-05,4.409260e-05,4.400318e-05,4.394232e-05,4.379882e-05,4.378612e-05,4.362454e-05,4.358503e-05,4.345812e-05,4.336299e-05,4.328735e-05,4.313383e-05,4.311268e-05,4.293456e-05,4.289856e-05,4.275340e-05,4.265811e-05,4.256957e-05,4.241336e-05,4.238344e-05,4.219534e-05,4.216509e-05,4.200560e-05,4.191402e-05,4.181450e-05,4.166083e-05,4.162232e-05,4.142932e-05,4.140612e-05,4.123575e-05,4.115045e-05,4.104181e-05,4.089432e-05,4.084774e-05,4.065371e-05,4.063820e-05,4.045992e-05,4.038250e-05,4.026652e-05,4.012761e-05,4.007368e-05,3.988154e-05,3.987388e-05,3.969024e-05,3.962160e-05,3.949990e-05,3.937107e-05,3.931063e-05,3.912254e-05,3.887622e-05,3.863233e-05,3.839104e-05,3.815252e-05,3.791689e-05,3.768427e-05,3.745479e-05,3.722852e-05,3.700554e-05,3.678591e-05,3.656970e-05,3.635693e-05,3.614765e-05,3.594187e-05,3.573961e-05,3.554088e-05,3.534568e-05,3.515401e-05,3.496585e-05,3.478119e-05,3.460002e-05,3.442229e-05,3.424800e-05,3.407711e-05
0.000000e+00,7.148783e-10,2.216033e-09,1.067774e-08,2.858507e-08,4.436417e-08,1.126932e-07,1.165097e-07,2.429701e-07,2.905399e-07,4.421630e-07,6.054341e-07,7.355028e-07,1.106530e-06,1.143774e-06,1.677532e-06,1.823975e-06,2.331371e-06,2.744784e-06,3.091270e-06,3.836873e-06,3.943670e-06,4.877978e-06,5.073896e-06,5.885651e-06,6.436064e-06,6.958968e-06,7.905694e-06,8.090279e-06,9.271680e-06,9.464807e-06,1.049495e-05,1.109451e-05,1.175163e-05,1.277533e-05,1.303323e-05,1.433138e-05,1.448788e-05,1.563801e-05,1.621364e-05,1.694555e-05,1.793556e-05,1.824700e-05,1.953606e-05,1.963848e-05,2.080715e-05,2.130944e-05,2.205542e-05,2.293770e-05,2.327675e-05,2.446773e-05,2.451470e-05,2.562561e-05,2.603390e-05,2.674821e-05,2.749059e-05,2.783392e-05,2.888160e-05,2.989052e-05,3.020512e-05,3.086032e-05,3.146041e-05,3.179093e-05,3.264763e-05,3.268255e-05,3.353559e-05,3.376761e-05,3.435064e-05,3.482172e-05,3.512840e-05,3.581174e-05,3.586972e-05,3.657551e-05,3.673971e-05,3.724673e-05,3.760790e-05,3.788442e-05,3.841868e-05,3.848962e-05,3.906341e-05,3.917449e-05,3.960685e-05,3.987781e-05,4.012102e-05,4.053109e-05,4.060699e-05,4.106580e-05,4.113676e-05,4.149850e-05,4.169721e-05,4.190609e-05,4.221475e-05,4.228956e-05,4.264987e-05,4.269160e-05,4.298796e-05,4.312992e-05,4.330475e-05,4.353180e-05,4.360110e-05,4.387788e-05,4.389920e-05,4.413590e-05,4.423404e-05,4.437597e-05,4.453812e-05,4.459884e-05,4.480525e-05,4.481318e-05,4.499593e-05,4.506085e-05,4.517154e-05,4.528270e-05,4.533276e-05,4.548021e-05,4.561451e-05,4.565480e-05,4.573624e-05,4.580781e-05,4.584596e-05,4.594050e-05,4.594422e-05,4.603153e-05,4.605408e-05,4.610839e-05,4.614969e-05,4.617528e-05,4.622840e-05,4.623265e-05,4.628095e-05,4.629124e-05,4.632060e-05,4.633918e-05,4.635200e-05,4.637312e-05,4.637554e-05,4.639160e-05,4.639394e-05,4.640052e-05,4.640245e-05,4.640265e-05,4.639943e-05,4.639832e-05,4.638783e-05,4.638561e-05,4.637150e-05,4.636167e-05,4.634961e-05,4.632829e-05,4.632244e-05,4.629025e-05,4.628606e-05,4.625329e-05,4.623558e-05,4.621181e-05,4.617740e-05,4.616603e-05,4.611619e-05,4.611203e-05,4.606249e-05,4.603997e-05,4.600514e-05,4.596169e-05,4.594433e-05,4.588025e-05,4.587762e-05,4.581308e-05,4.578818e-05,4.574300e-05,4.569376e-05,4.567016e-05,4.559473e-05,4.549143e-05,4.538421e-05,4.527337e-05,4.515920e-05,4.504199e-05,4.492199e-05,4.479944e-05,4.467459e-05,4.454765e-05,4.441883e-05,4.428833e-05,4.415632e-05,4.402299e-05,4.388850e-05,4.375301e-05,4.361665e-05,4.347957e-05,4.334190e-05,4.320375e-05,4.306525e-05,4.292650e-05,4.278760e-05,4.264865e-05,4.250973e-05
0.000000e+00,5.650517e-10,1.767362e-09,8.625939e-09,2.328276e-08,3.627256e-08,9.294690e-08,9.612718e-08,2.021038e-07,2.421999e-07,3.704580e-07,5.086011e-07,6.180479e-07,9.247947e-07,9.550996e-07,1.381800e-06,1.497155e-06,1.894719e-06,2.218650e-06,2.491415e-06,3.084675e-06,3.170468e-06,3.930516e-06,4.092088e-06,4.769594e-06,5.236230e-06,5.684816e-06,6.509624e-06,6.672286e-06,7.727155e-06,7.901819e-06,8.843720e-06,9.399731e-06,1.001559e-05,1.098830e-05,1.123589e-05,1.249743e-05,1.265123e-05,1.379286e-05,1.437173e-05,1.511500e-05,1.613338e-05,1.645686e-05,1.781178e-05,1.792054e-05,1.917351e-05,1.971881e-05,2.053633e-05,2.151527e-05,2.189500e-05,2.324484e-05,2.329859e-05,2.458171e-05,2.505909e-05,2.590199e-05,2.678868e-05,2.720254e-05,2.848071e-05,2.973426e-05,3.012988e-05,3.096134e-05,3.173207e-05,3.216045e-05,3.328417e-05,3.333039e-05,3.447027e-05,3.478394e-05,3.557938e-05,3.622989e-05,3.665728e-05,3.762112e-05,3.770367e-05,3.871841e-05,3.895724e-05,3.970152e-05,4.023827e-05,4.065309e-05,4.146457e-05,4.157335e-05,4.246258e-05,4.263673e-05,4.332113e-05,4.375559e-05,4.414942e-05,4.482214e-05,4.494791e-05,4.571709e-05,4.583747e-05,4.645749e-05,4.680282e-05,4.716965e-05,4.771944e-05,4.785416e-05,4.851159e-05,4.858869e-05,4.914253e-05,4.941191e-05,4.974760e-05,5.019051e-05,5.032739e-05,5.088251e-05,5.092587e-05,5.141358e-05,5.161941e-05,5.192120e-05,5.227250e-05,5.240597e-05,5.286850e-05,5.288655e-05,5.330938e-05,5.346291e-05,5.372919e-05,5.400293e-05,5.412852e-05,5.450794e-05,5.486801e-05,5.497924e-05,5.520929e-05,5.541810e-05,5.553232e-05,5.582576e-05,5.583764e-05,5.612577e-05,5.620344e-05,5.639724e-05,5.655233e-05,5.665254e-05,5.687357e-05,5.689218e-05,5.711663e-05,5.716829e-05,5.732637e-05,5.743758e-05,5.752187e-05,5.768248e-05,5.770358e-05,5.787193e-05,5.790404e-05,5.802737e-05,5.810324e-05,5.817032e-05,5.828105e-05,5.830119e-05,5.842038e-05,5.843839e-05,5.852828e-05,5.857617e-05,5.862527e-05,5.869526e-05,5.871173e-05,5.878802e-05,5.879651e-05,5.885449e-05,5.888072e-05,5.891149e-05,5.894868e-05,5.895935e-05,5.899840e-05,5.900115e-05,5.902895e-05,5.903886e-05,5.905131e-05,5.906251e-05,5.906578e-05,5.907266e-05,5.907278e-05,5.907222e-05,5.907033e-05,5.906475e-05,5.905578e-05,5.905050e-05,5.902974e-05,5.899280e-05,5.894551e-05,5.888841e-05,5.882202e-05,5.874684e-05,5.866334e-05,5.857200e-05,5.847323e-05,5.836748e-05,5.825515e-05,5.813662e-05,5.801226e-05,5.788245e-05,5.774752e-05,5.760780e-05,5.746360e-05,5.731523e-05,5.716298e-05,5.700712e-05,5.684791e-05,5.668561e-05,5.652046e-05,5.635269e-05,5.618252e-05
0.000000e+00,2.672708e-12,1.365096e-11,1.533666e-10,7.571244e-10,1.568618e-09,7.494908e-09,7.927384e-09,2.725293e-08,3.672077e-08,7.349608e-08,1.226212e-07,1.677769e-07,3.218769e-07,3.392717e-07,6.257386e-07,7.165746e-07,1.073536e-06,1.414674e-06,1.736776e-06,2.546081e-06,2.675300e-06,3.951577e-06,4.252832e-06,5.627117e-06,6.675411e-06,7.759046e-06,9.939313e-06,1.039724e-05,1.358219e-05,1.414467e-05,1.734360e-05,1.935961e-05,2.169960e-05,2.561716e-05,2.665654e-05,3.220913e-05,3.291480e-05,3.834103e-05,4.121609e-05,4.502566e-05,5.045390e-05,5.222718e-05,5.990173e-05,6.053466e-05,6.799869e-05,7.134334e-05,7.646202e-05,8.274889e-05,8.523169e-05,9.424498e-05,9.460968e-05,1.034379e-04,1.067789e-04,1.127461e-04,1.191093e-04,1.221066e-04,1.314580e-04,1.407422e-04,1.436899e-04,1.499043e-04,1.556804e-04,1.588937e-04,1.673182e-04,1.676643e-04,1.761751e-04,1.785065e-04,1.843899e-04,1.891635e-04,1.922775e-04,1.992229e-04,1.998121e-04,2.069725e-04,2.086334e-04,2.137424e-04,2.173583e-04,2.201097e-04,2.253737e-04,2.260667e-04,2.316095e-04,2.326683e-04,2.367376e-04,2.392410e-04,2.414536e-04,2.451004e-04,2.457628e-04,2.496731e-04,2.502624e-04,2.531944e-04,2.547497e-04,2.563381e-04,2.585900e-04,2.591174e-04,2.615464e-04,2.618150e-04,2.636401e-04,2.644592e-04,2.654143e-04,2.665588e-04,2.668850e-04,2.680686e-04,2.681514e-04,2.689815e-04,2.692746e-04,2.696402e-04,2.699662e-04,2.700609e-04,2.702593e-04,2.702629e-04,2.702511e-04,2.702005e-04,2.700513e-04,2.698134e-04,2.696744e-04,2.691345e-04,2.684449e-04,2.681947e-04,2.676184e-04,2.670232e-04,2.666672e-04,2.656474e-04,2.656028e-04,2.644362e-04,2.640926e-04,2.631776e-04,2.623824e-04,2.618368e-04,2.605383e-04,2.604227e-04,2.589440e-04,2.585803e-04,2.574084e-04,2.565265e-04,2.558236e-04,2.543935e-04,2.541962e-04,2.525327e-04,2.521962e-04,2.508390e-04,2.499481e-04,2.491205e-04,2.476616e-04,2.473823e-04,2.456291e-04,2.453475e-04,2.438650e-04,2.430156e-04,2.420940e-04,2.406746e-04,2.403197e-04,2.385452e-04,2.383324e-04,2.367737e-04,2.359958e-04,2.350077e-04,2.336708e-04,2.332498e-04,2.315020e-04,2.313627e-04,2.297665e-04,2.290761e-04,2.280450e-04,2.268150e-04,2.263390e-04,2.246500e-04,2.245828e-04,2.229792e-04,2.223824e-04,2.213278e-04,2.202164e-04,2.196967e-04,2.180867e-04,2.159951e-04,2.139430e-04,2.119315e-04,2.099613e-04,2.080332e-04,2.061474e-04,2.043042e-04,2.025036e-04,2.007456e-04,1.990299e-04,1.973563e-04,1.957243e-04,1.941335e-04,1.925832e-04,1.910730e-04,1.896020e-04,1.881698e-04,1.867754e-04,1.854181e-04,1.840972e-04,1.828119e-04,1.815614e-04,1.803448e-04,1.791613e-04
0.000000e+00,8.350629e-12,3.979328e-11,3.874744e-10,1.680669e-09,3.244697e-09,1.294012e-08,1.358729e-08,3.915133e-08,5.030829e-08,8.947053e-08,1.358345e-07,1.748786e-07,2.933813e-07,3.057644e-07,4.920784e-07,5.460738e-07,7.428577e-07,9.142859e-07,1.065421e-06,1.412205e-06,1.464117e-06,1.939136e-06,2.042994e-06,2.486184e-06,2.796558e-06,3.097221e-06,3.652338e-06,3.761798e-06,4.468387e-06,4.584559e-06,5.205373e-06,5.566638e-06,5.961664e-06,6.573660e-06,6.726984e-06,7.492001e-06,7.583376e-06,8.248372e-06,8.576508e-06,8.988752e-06,9.536805e-06,9.706796e-06,1.039716e-05,1.045105e-05,1.105547e-05,1.130904e-05,1.167835e-05,1.210345e-05,1.226330e-05,1.280871e-05,1.282969e-05,1.331373e-05,1.348560e-05,1.377822e-05,1.407112e-05,1.420261e-05,1.458786e-05,1.493530e-05,1.503876e-05,1.524658e-05,1.542769e-05,1.552358e-05,1.575912e-05,1.576831e-05,1.598289e-05,1.603785e-05,1.616944e-05,1.626880e-05,1.633008e-05,1.645678e-05,1.646689e-05,1.658187e-05,1.660643e-05,1.667692e-05,1.672212e-05,1.675384e-05,1.680786e-05,1.681430e-05,1.685987e-05,1.686732e-05,1.689199e-05,1.690383e-05,1.691200e-05,1.692033e-05,1.692110e-05,1.692042e-05,1.691947e-05,1.691095e-05,1.690356e-05,1.689362e-05,1.687465e-05,1.686926e-05,1.683861e-05,1.683454e-05,1.680236e-05,1.678480e-05,1.676112e-05,1.672678e-05,1.671544e-05,1.666583e-05,1.666170e-05,1.661272e-05,1.659059e-05,1.655653e-05,1.651436e-05,1.649761e-05,1.643631e-05,1.643381e-05,1.637292e-05,1.634964e-05,1.630770e-05,1.626244e-05,1.624091e-05,1.617276e-05,1.610345e-05,1.608106e-05,1.603317e-05,1.598775e-05,1.596207e-05,1.589319e-05,1.589031e-05,1.581802e-05,1.579770e-05,1.574532e-05,1.570156e-05,1.567234e-05,1.560502e-05,1.559917e-05,1.552590e-05,1.550831e-05,1.545262e-05,1.541160e-05,1.537940e-05,1.531508e-05,1.530632e-05,1.523345e-05,1.521890e-05,1.516083e-05,1.512319e-05,1.508853e-05,1.502807e-05,1.501658e-05,1.494505e-05,1.493364e-05,1.487396e-05,1.484001e-05,1.480336e-05,1.474724e-05,1.473327e-05,1.466373e-05,1.465542e-05,1.459476e-05,1.456460e-05,1.452639e-05,1.447484e-05,1.445864e-05,1.439153e-05,1.438619e-05,1.432508e-05,1.429869e-05,1.425931e-05,1.421237e-05,1.419422e-05,1.412983e-05,1.412727e-05,1.406615e-05,1.404340e-05,1.400319e-05,1.396079e-05,1.394095e-05,1.387945e-05,1.379941e-05,1.372066e-05,1.364321e-05,1.356708e-05,1.349225e-05,1.341873e-05,1.334652e-05,1.327561e-05,1.320599e-05,1.313766e-05,1.307061e-05,1.300482e-05,1.294030e-05,1.287701e-05,1.281496e-05,1.275413e-05,1.269450e-05,1.263606e-05,1.257879e-05,1.252268e-05,1.246770e-05,1.241386e-05,1.236111e-05,1.230946e-05
0.000000e+00,1.606231e-09,4.860121e-09,2.276790e-08,6.029026e-08,9.337781e-08,2.383798e-07,2.465748e-07,5.236858e-07,6.303274e-07,9.750419e-07,1.346441e-06,1.637193e-06,2.429745e-06,2.506379e-06,3.561598e-06,3.840802e-06,4.788963e-06,5.548730e-06,6.181421e-06,7.539250e-06,7.733794e-06,9.440007e-06,9.799034e-06,1.129191e-05,1.230907e-05,1.327896e-05,1.504326e-05,1.538841e-05,1.760562e-05,1.796932e-05,1.991462e-05,2.105064e-05,2.229866e-05,2.424849e-05,2.474074e-05,2.722407e-05,2.752407e-05,2.973253e-05,3.084026e-05,3.225094e-05,3.416294e-05,3.476533e-05,3.726309e-05,3.746184e-05,3.973300e-05,4.071094e-05,4.216533e-05,4.388859e-05,4.455173e-05,4.688519e-05,4.697734e-05,4.915995e-05,4.996358e-05,5.137141e-05,5.283715e-05,5.351594e-05,5.559087e-05,5.759427e-05,5.822003e-05,5.952493e-05,6.072205e-05,6.138220e-05,6.309600e-05,6.316594e-05,6.487643e-05,6.534231e-05,6.651427e-05,6.746247e-05,6.808037e-05,6.945879e-05,6.957586e-05,7.100205e-05,7.133419e-05,7.236040e-05,7.309204e-05,7.365250e-05,7.473605e-05,7.487999e-05,7.604461e-05,7.627015e-05,7.714813e-05,7.769841e-05,7.819234e-05,7.902497e-05,7.917905e-05,8.011008e-05,8.025400e-05,8.098722e-05,8.138964e-05,8.181227e-05,8.243600e-05,8.258701e-05,8.331318e-05,8.339713e-05,8.399249e-05,8.427698e-05,8.462664e-05,8.507941e-05,8.521728e-05,8.576602e-05,8.580816e-05,8.627444e-05,8.646687e-05,8.674408e-05,8.705905e-05,8.717644e-05,8.757297e-05,8.758811e-05,8.793509e-05,8.805730e-05,8.826418e-05,8.846978e-05,8.856158e-05,8.882858e-05,8.906644e-05,8.913660e-05,8.927638e-05,8.939663e-05,8.945957e-05,8.961133e-05,8.961716e-05,8.975025e-05,8.978327e-05,8.985990e-05,8.991487e-05,8.994715e-05,9.000849e-05,9.001300e-05,9.005839e-05,9.006635e-05,9.008428e-05,9.009058e-05,9.009154e-05,9.008321e-05,9.008104e-05,9.005362e-05,9.004617e-05,9.001007e-05,8.998132e-05,8.995118e-05,8.989040e-05,8.987769e-05,8.979031e-05,8.977509e-05,8.968975e-05,8.963698e-05,8.957665e-05,8.947758e-05,8.945167e-05,8.931541e-05,8.929834e-05,8.916848e-05,8.910060e-05,8.901145e-05,8.888568e-05,8.884485e-05,8.866922e-05,8.865479e-05,8.848506e-05,8.840912e-05,8.829286e-05,8.814976e-05,8.809309e-05,8.788619e-05,8.787777e-05,8.767260e-05,8.759415e-05,8.745272e-05,8.729982e-05,8.722696e-05,8.699569e-05,8.668261e-05,8.636136e-05,8.603271e-05,8.569736e-05,8.535600e-05,8.500926e-05,8.465774e-05,8.430201e-05,8.394261e-05,8.358003e-05,8.321475e-05,8.284723e-05,8.247787e-05,8.210708e-05,8.173522e-05,8.136265e-05,8.098969e-05,8.061665e-05,8.024381e-05,7.987145e-05,7.949981e-05,7.912913e-05,7.875964e-05,7.839152e-05
0.000000e+00,1.133893e-09,2.667761e-09,9.420570e-09,2.164752e-08,3.166609e-08,7.193636e-08,7.409529e-08,1.425628e-07,1.671751e-07,2.427470e-07,3.204182e-07,3.802569e-07,5.444348e-07,5.605550e-07,7.885527e-07,8.508034e-07,1.067723e-06,1.246828e-06,1.398777e-06,1.730598e-06,1.778541e-06,2.200104e-06,2.288652e-06,2.654445e-06,2.900571e-06,3.132371e-06,3.546024e-06,3.625691e-06,4.127533e-06,4.208225e-06,4.632238e-06,4.874110e-06,5.135136e-06,5.533535e-06,5.632365e-06,6.120732e-06,6.178610e-06,6.597622e-06,6.803260e-06,7.060933e-06,7.402935e-06,7.509012e-06,7.940612e-06,7.974399e-06,8.354842e-06,8.515531e-06,8.751121e-06,9.025140e-06,9.129133e-06,9.488791e-06,9.502796e-06,9.830189e-06,9.948667e-06,1.015358e-05,1.036338e-05,1.045933e-05,1.074791e-05,1.101986e-05,1.110347e-05,1.127577e-05,1.143141e-05,1.151625e-05,1.173322e-05,1.174197e-05,1.195358e-05,1.201039e-05,1.215173e-05,1.226444e-05,1.233709e-05,1.249688e-05,1.251030e-05,1.267199e-05,1.270915e-05,1.282277e-05,1.290266e-05,1.296323e-05,1.307876e-05,1.309395e-05,1.321545e-05,1.323870e-05,1.332828e-05,1.338369e-05,1.343293e-05,1.351487e-05,1.352988e-05,1.361957e-05,1.363328e-05,1.370245e-05,1.373992e-05,1.377890e-05,1.383571e-05,1.384934e-05,1.391411e-05,1.392152e-05,1.397357e-05,1.399813e-05,1.402803e-05,1.406629e-05,1.407782e-05,1.412323e-05,1.412668e-05,1.416452e-05,1.417994e-05,1.420196e-05,1.422667e-05,1.423579e-05,1.426624e-05,1.426739e-05,1.429354e-05,1.430263e-05,1.431788e-05,1.433284e-05,1.433946e-05,1.435846e-05,1.437505e-05,1.437987e-05,1.438939e-05,1.439746e-05,1.440164e-05,1.441155e-05,1.441193e-05,1.442040e-05,1.442246e-05,1.442718e-05,1.443048e-05,1.443238e-05,1.443587e-05,1.443612e-05,1.443850e-05,1.443888e-05,1.443962e-05,1.443973e-05,1.443957e-05,1.443863e-05,1.443844e-05,1.443631e-05,1.443578e-05,1.443326e-05,1.443133e-05,1.442936e-05,1.442547e-05,1.442467e-05,1.441926e-05,1.441833e-05,1.441319e-05,1.441006e-05,1.440652e-05,1.440077e-05,1.439929e-05,1.439156e-05,1.439060e-05,1.438337e-05,1.437963e-05,1.437476e-05,1.436797e-05,1.436578e-05,1.435647e-05,1.435571e-05,1.434685e-05,1.434292e-05,1.433696e-05,1.432969e-05,1.432684e-05,1.431650e-05,1.431609e-05,1.430599e-05,1.430216e-05,1.429531e-05,1.428798e-05,1.428451e-05,1.427359e-05,1.425904e-05,1.424438e-05,1.422964e-05,1.421486e-05,1.420008e-05,1.418531e-05,1.417059e-05,1.415595e-05,1.414139e-05,1.412695e-05,1.411264e-05,1.409847e-05,1.408446e-05,1.407062e-05,1.405697e-05,1.404350e-05,1.403023e-05,1.401717e-05,1.400432e-05,1.399168e-05,1.397927e-05,1.396707e-05,1.395511e-05,1.394337e-05
0.000000e+00,8.672068e-12,4.188848e-11,4.195287e-10,1.867302e-09,3.656774e-09,1.513627e-08,1.591757e-08,4.762865e-08,6.184268e-08,1.129505e-07,1.753041e-07,2.290268e-07,3.973923e-07,4.153814e-07,6.934260e-07,7.762884e-07,1.085528e-06,1.362965e-06,1.612882e-06,2.202369e-06,2.292331e-06,3.133668e-06,3.321664e-06,4.138827e-06,4.724845e-06,5.302906e-06,6.396464e-06,6.616088e-06,8.065516e-06,8.309115e-06,9.636721e-06,1.042971e-05,1.131451e-05,1.272313e-05,1.308348e-05,1.492821e-05,1.515394e-05,1.683345e-05,1.768705e-05,1.878421e-05,2.028823e-05,2.076589e-05,2.276442e-05,2.292462e-05,2.476639e-05,2.556530e-05,2.675926e-05,2.818194e-05,2.873144e-05,3.067246e-05,3.074931e-05,3.257299e-05,3.324568e-05,3.442496e-05,3.565300e-05,3.622149e-05,3.795692e-05,3.962677e-05,4.014668e-05,4.122761e-05,4.221478e-05,4.275702e-05,4.415665e-05,4.421350e-05,4.559631e-05,4.597028e-05,4.690544e-05,4.765577e-05,4.814146e-05,4.921496e-05,4.930546e-05,5.039892e-05,5.065106e-05,5.142368e-05,5.196830e-05,5.238181e-05,5.317167e-05,5.327561e-05,5.410750e-05,5.426666e-05,5.487999e-05,5.525907e-05,5.559566e-05,5.615481e-05,5.625710e-05,5.686690e-05,5.695984e-05,5.742760e-05,5.768004e-05,5.794171e-05,5.832110e-05,5.841167e-05,5.883983e-05,5.888851e-05,5.922848e-05,5.938753e-05,5.957980e-05,5.982313e-05,5.989589e-05,6.017877e-05,6.020003e-05,6.043035e-05,6.052264e-05,6.065246e-05,6.079511e-05,6.084684e-05,6.101511e-05,6.102132e-05,6.115885e-05,6.120488e-05,6.127954e-05,6.134915e-05,6.137856e-05,6.145725e-05,6.151684e-05,6.153207e-05,6.155852e-05,6.157631e-05,6.158340e-05,6.159246e-05,6.159254e-05,6.158691e-05,6.158282e-05,6.156746e-05,6.154952e-05,6.153506e-05,6.149454e-05,6.149056e-05,6.143472e-05,6.141971e-05,6.136829e-05,6.132673e-05,6.129197e-05,6.121714e-05,6.120640e-05,6.111222e-05,6.109240e-05,6.101000e-05,6.095385e-05,6.090029e-05,6.080273e-05,6.078362e-05,6.066046e-05,6.064019e-05,6.053129e-05,6.046728e-05,6.039653e-05,6.028498e-05,6.025660e-05,6.011188e-05,6.009420e-05,5.996273e-05,5.989579e-05,5.980951e-05,5.969053e-05,5.965253e-05,5.949210e-05,5.947912e-05,5.932851e-05,5.926225e-05,5.916203e-05,5.904052e-05,5.899292e-05,5.882142e-05,5.881452e-05,5.864777e-05,5.858476e-05,5.847217e-05,5.835175e-05,5.829483e-05,5.811594e-05,5.787774e-05,5.763756e-05,5.739574e-05,5.715263e-05,5.690854e-05,5.666375e-05,5.641852e-05,5.617312e-05,5.592775e-05,5.568264e-05,5.543798e-05,5.519394e-05,5.495068e-05,5.470838e-05,5.446715e-05,5.422714e-05,5.398846e-05,5.375122e-05,5.351551e-05,5.328144e-05,5.304909e-05,5.281853e-05,5.258983e-05,5.236305e-05
0.000000e+00,1.795682e-12,8.953849e-12,9.569007e-11,4.512424e-10,9.115697e-10,4.078653e-09,4.302432e-09,1.384778e-08,1.832498e-08,3.504146e-08,5.632733e-08,7.521001e-08,1.365559e-07,1.432581e-07,2.493293e-07,2.816546e-07,4.044358e-07,5.169887e-07,6.200641e-07,8.690252e-07,9.077175e-07,1.278348e-06,1.363318e-06,1.741700e-06,2.021997e-06,2.305674e-06,2.861336e-06,2.975859e-06,3.755298e-06,3.890215e-06,4.644484e-06,5.109803e-06,5.641519e-06,6.514152e-06,6.742370e-06,7.941174e-06,8.091276e-06,9.230539e-06,9.824363e-06,1.060184e-05,1.169295e-05,1.204549e-05,1.355120e-05,1.367402e-05,1.510823e-05,1.574294e-05,1.670556e-05,1.787440e-05,1.833217e-05,1.997714e-05,2.004317e-05,2.162991e-05,2.222485e-05,2.328034e-05,2.439640e-05,2.491889e-05,2.653670e-05,2.812568e-05,2.862686e-05,2.967856e-05,3.065046e-05,3.118892e-05,3.259370e-05,3.265120e-05,3.406070e-05,3.444535e-05,3.541355e-05,3.619675e-05,3.670666e-05,3.784157e-05,3.793773e-05,3.910512e-05,3.937569e-05,4.020784e-05,4.079693e-05,4.124547e-05,4.210481e-05,4.221811e-05,4.312631e-05,4.330029e-05,4.397098e-05,4.438552e-05,4.475341e-05,4.536365e-05,4.547512e-05,4.613787e-05,4.623857e-05,4.674361e-05,4.701472e-05,4.729442e-05,4.769698e-05,4.779248e-05,4.824005e-05,4.829047e-05,4.863941e-05,4.880045e-05,4.899287e-05,4.923222e-05,4.930273e-05,4.957128e-05,4.959105e-05,4.980076e-05,4.988210e-05,4.999336e-05,5.011040e-05,5.015122e-05,5.027643e-05,5.028078e-05,5.037097e-05,5.039788e-05,5.043679e-05,5.046608e-05,5.047572e-05,5.048954e-05,5.047994e-05,5.047219e-05,5.044854e-05,5.041771e-05,5.039686e-05,5.032953e-05,5.032637e-05,5.023844e-05,5.021088e-05,5.013439e-05,5.006474e-05,5.001545e-05,4.989389e-05,4.988280e-05,4.973753e-05,4.970091e-05,4.958069e-05,4.948817e-05,4.941326e-05,4.925789e-05,4.923615e-05,4.905025e-05,4.901208e-05,4.885635e-05,4.875263e-05,4.865524e-05,4.848125e-05,4.844762e-05,4.823417e-05,4.819952e-05,4.801552e-05,4.790890e-05,4.779227e-05,4.761072e-05,4.756495e-05,4.733410e-05,4.730619e-05,4.710019e-05,4.699642e-05,4.686368e-05,4.668245e-05,4.662498e-05,4.638450e-05,4.636519e-05,4.614258e-05,4.604549e-05,4.589958e-05,4.572412e-05,4.565581e-05,4.541156e-05,4.540178e-05,4.516711e-05,4.507911e-05,4.492271e-05,4.475666e-05,4.467859e-05,4.443497e-05,4.411450e-05,4.379567e-05,4.347886e-05,4.316440e-05,4.285260e-05,4.254372e-05,4.223799e-05,4.193564e-05,4.163683e-05,4.134173e-05,4.105048e-05,4.076319e-05,4.047995e-05,4.020086e-05,3.992598e-05,3.965536e-05,3.938904e-05,3.912706e-05,3.886943e-05,3.861616e-05,3.836725e-05,3.812271e-05,3.788250e-05,3.764662e-05
0.000000e+00,5.529862e-11,2.536224e-10,2.290148e-09,9.319145e-09,1.740849e-08,6.423478e-08,6.725029e-08,1.815294e-07,2.296376e-07,3.942710e-07,5.843227e-07,7.420480e-07,1.213270e-06,1.262017e-06,1.985375e-06,2.191359e-06,2.927136e-06,3.548602e-06,4.081803e-06,5.257712e-06,5.428574e-06,6.939623e-06,7.258969e-06,8.585799e-06,9.485814e-06,1.033896e-05,1.187467e-05,1.217233e-05,1.406028e-05,1.436575e-05,1.597818e-05,1.690247e-05,1.790257e-05,1.943193e-05,1.981148e-05,2.168487e-05,2.190643e-05,2.350504e-05,2.428507e-05,2.525689e-05,2.653490e-05,2.692806e-05,2.850900e-05,2.863135e-05,2.999278e-05,3.055802e-05,3.137495e-05,3.230585e-05,3.265324e-05,3.382729e-05,3.387209e-05,3.489829e-05,3.525908e-05,3.586875e-05,3.647296e-05,3.674213e-05,3.752267e-05,3.821510e-05,3.841890e-05,3.882451e-05,3.917337e-05,3.935613e-05,3.979821e-05,3.981525e-05,4.020712e-05,4.030549e-05,4.053685e-05,4.070691e-05,4.080936e-05,4.101359e-05,4.102937e-05,4.120133e-05,4.123593e-05,4.132945e-05,4.138353e-05,4.141767e-05,4.146520e-05,4.146963e-05,4.148876e-05,4.148892e-05,4.147819e-05,4.146193e-05,4.144083e-05,4.139072e-05,4.137937e-05,4.129626e-05,4.128111e-05,4.119377e-05,4.113830e-05,4.107396e-05,4.096692e-05,4.093872e-05,4.078980e-05,4.077108e-05,4.062876e-05,4.055445e-05,4.045707e-05,4.032026e-05,4.027602e-05,4.008682e-05,4.007137e-05,3.989057e-05,3.981032e-05,3.968826e-05,3.953935e-05,3.948079e-05,3.926899e-05,3.926044e-05,3.905360e-05,3.897532e-05,3.883531e-05,3.868553e-05,3.861473e-05,3.839242e-05,3.816889e-05,3.809717e-05,3.794459e-05,3.780083e-05,3.771993e-05,3.750429e-05,3.749531e-05,3.727104e-05,3.720836e-05,3.704745e-05,3.691372e-05,3.682479e-05,3.662099e-05,3.660332e-05,3.638327e-05,3.633068e-05,3.616482e-05,3.604325e-05,3.594815e-05,3.575909e-05,3.573343e-05,3.552078e-05,3.547851e-05,3.531034e-05,3.520181e-05,3.510220e-05,3.492923e-05,3.489647e-05,3.469323e-05,3.466095e-05,3.449254e-05,3.439714e-05,3.429447e-05,3.413794e-05,3.409907e-05,3.390638e-05,3.388344e-05,3.371643e-05,3.363373e-05,3.352926e-05,3.338887e-05,3.334487e-05,3.316329e-05,3.314889e-05,3.298453e-05,3.291382e-05,3.280859e-05,3.268366e-05,3.263547e-05,3.246516e-05,3.245841e-05,3.229767e-05,3.223805e-05,3.213296e-05,3.202256e-05,3.197105e-05,3.181189e-05,3.160601e-05,3.140485e-05,3.120838e-05,3.101652e-05,3.082920e-05,3.064637e-05,3.046795e-05,3.029385e-05,3.012402e-05,2.995836e-05,2.979680e-05,2.963926e-05,2.948566e-05,2.933590e-05,2.918993e-05,2.904764e-05,2.890896e-05,2.877381e-05,2.864211e-05,2.851378e-05,2.838875e-05,2.826692e-05,2.814823e-05,2.803260e-05
0.000000e+00,2.433555e-12,1.215888e-11,1.304782e-10,6.176497e-10,1.250470e-09,5.629924e-09,5.940459e-09,1.926505e-08,2.555452e-08,4.919741e-08,7.959095e-08,1.067725e-07,1.962223e-07,2.060867e-07,3.641424e-07,4.129322e-07,6.002974e-07,7.742571e-07,9.348714e-07,1.325799e-06,1.386759e-06,1.970696e-06,2.104203e-06,2.695219e-06,3.128317e-06,3.561867e-06,4.396122e-06,4.565535e-06,5.695577e-06,5.887168e-06,6.937199e-06,7.567732e-06,8.272864e-06,9.396339e-06,9.683538e-06,1.114971e-05,1.132846e-05,1.265217e-05,1.331999e-05,1.417261e-05,1.532965e-05,1.569402e-05,1.720102e-05,1.732053e-05,1.867995e-05,1.926097e-05,2.011905e-05,2.112491e-05,2.150842e-05,2.284000e-05,2.289196e-05,2.410750e-05,2.454717e-05,2.530628e-05,2.608054e-05,2.643320e-05,2.748649e-05,2.846556e-05,2.876323e-05,2.937083e-05,2.991206e-05,3.020362e-05,3.093672e-05,3.096589e-05,3.166020e-05,3.184282e-05,3.228950e-05,3.263722e-05,3.285704e-05,3.332761e-05,3.336629e-05,3.382077e-05,3.392210e-05,3.422408e-05,3.442891e-05,3.457976e-05,3.485612e-05,3.489129e-05,3.516199e-05,3.521152e-05,3.539507e-05,3.550242e-05,3.559356e-05,3.573566e-05,3.576032e-05,3.589801e-05,3.591752e-05,3.600914e-05,3.605373e-05,3.609601e-05,3.614947e-05,3.616075e-05,3.620534e-05,3.620942e-05,3.623158e-05,3.623774e-05,3.624113e-05,3.623816e-05,3.623550e-05,3.621609e-05,3.621398e-05,3.618414e-05,3.616812e-05,3.614082e-05,3.610318e-05,3.608717e-05,3.602414e-05,3.602143e-05,3.595259e-05,3.592491e-05,3.587333e-05,3.581539e-05,3.578707e-05,3.569446e-05,3.559609e-05,3.556349e-05,3.549253e-05,3.542375e-05,3.538426e-05,3.527633e-05,3.527175e-05,3.515542e-05,3.512222e-05,3.503566e-05,3.496230e-05,3.491282e-05,3.479736e-05,3.478722e-05,3.465917e-05,3.462810e-05,3.452893e-05,3.445515e-05,3.439677e-05,3.427906e-05,3.426292e-05,3.412759e-05,3.410036e-05,3.399098e-05,3.391951e-05,3.385329e-05,3.373692e-05,3.371469e-05,3.357533e-05,3.355297e-05,3.343537e-05,3.336802e-05,3.329495e-05,3.318236e-05,3.315418e-05,3.301321e-05,3.299628e-05,3.287213e-05,3.281004e-05,3.273104e-05,3.262387e-05,3.259005e-05,3.244923e-05,3.243798e-05,3.230868e-05,3.225255e-05,3.216847e-05,3.206776e-05,3.202866e-05,3.188934e-05,3.188377e-05,3.175055e-05,3.170073e-05,3.161236e-05,3.151876e-05,3.147482e-05,3.133797e-05,3.115849e-05,3.098041e-05,3.080380e-05,3.062876e-05,3.045535e-05,3.028363e-05,3.011366e-05,2.994549e-05,2.977916e-05,2.961471e-05,2.945217e-05,2.929157e-05,2.913294e-05,2.897630e-05,2.882165e-05,2.866902e-05,2.851841e-05,2.836984e-05,2.822329e-05,2.807879e-05,2.793632e-05,2.779588e-05,2.765748e-05,2.752109e-05
0.000000e+00,4.133756e-10,1.543872e-09,9.629092e-09,2.962323e-08,4.841536e-08,1.334795e-07,1.382955e-07,2.976642e-07,3.569798e-07,5.427420e-07,7.372892e-07,8.887446e-07,1.308286e-06,1.349659e-06,1.934587e-06,2.093420e-06,2.640298e-06,3.081547e-06,3.447428e-06,4.219044e-06,4.327568e-06,5.253499e-06,5.442173e-06,6.203535e-06,6.701381e-06,7.160961e-06,7.961050e-06,8.112393e-06,9.046642e-06,9.193870e-06,9.954188e-06,1.037792e-05,1.082703e-05,1.149592e-05,1.165870e-05,1.244423e-05,1.253521e-05,1.318015e-05,1.348766e-05,1.386441e-05,1.434936e-05,1.449620e-05,1.507581e-05,1.511996e-05,1.560443e-05,1.580200e-05,1.608393e-05,1.640009e-05,1.651671e-05,1.690554e-05,1.692022e-05,1.725336e-05,1.736913e-05,1.756323e-05,1.775383e-05,1.783821e-05,1.808127e-05,1.829526e-05,1.835804e-05,1.848287e-05,1.859027e-05,1.864662e-05,1.878352e-05,1.878882e-05,1.891160e-05,1.894276e-05,1.901688e-05,1.907238e-05,1.910641e-05,1.917624e-05,1.918178e-05,1.924440e-05,1.925767e-05,1.929554e-05,1.931959e-05,1.933634e-05,1.936451e-05,1.936783e-05,1.939092e-05,1.939460e-05,1.940642e-05,1.941172e-05,1.941505e-05,1.941747e-05,1.941746e-05,1.941423e-05,1.941323e-05,1.940590e-05,1.940022e-05,1.939292e-05,1.937948e-05,1.937572e-05,1.935469e-05,1.935193e-05,1.933017e-05,1.931835e-05,1.930247e-05,1.927947e-05,1.927188e-05,1.923865e-05,1.923589e-05,1.920303e-05,1.918816e-05,1.916523e-05,1.913678e-05,1.912546e-05,1.908388e-05,1.908218e-05,1.904068e-05,1.902476e-05,1.899600e-05,1.896485e-05,1.894999e-05,1.890279e-05,1.885451e-05,1.883885e-05,1.880526e-05,1.877329e-05,1.875516e-05,1.870635e-05,1.870430e-05,1.865278e-05,1.863825e-05,1.860067e-05,1.856917e-05,1.854807e-05,1.849929e-05,1.849503e-05,1.844164e-05,1.842877e-05,1.838794e-05,1.835777e-05,1.833402e-05,1.828641e-05,1.827991e-05,1.822568e-05,1.821483e-05,1.817137e-05,1.814312e-05,1.811703e-05,1.807139e-05,1.806270e-05,1.800842e-05,1.799975e-05,1.795423e-05,1.792826e-05,1.790016e-05,1.785702e-05,1.784625e-05,1.779252e-05,1.778609e-05,1.773900e-05,1.771553e-05,1.768573e-05,1.764541e-05,1.763272e-05,1.757999e-05,1.757578e-05,1.752757e-05,1.750669e-05,1.747548e-05,1.743819e-05,1.742373e-05,1.737235e-05,1.737030e-05,1.732134e-05,1.730307e-05,1.727072e-05,1.723654e-05,1.722051e-05,1.717072e-05,1.710564e-05,1.704134e-05,1.697782e-05,1.691510e-05,1.685320e-05,1.679214e-05,1.673192e-05,1.667255e-05,1.661405e-05,1.655640e-05,1.649963e-05,1.644373e-05,1.638871e-05,1.633456e-05,1.628128e-05,1.622888e-05,1.617735e-05,1.612669e-05,1.607689e-05,1.602795e-05,1.597986e-05,1.593262e-05,1.588622e-05,1.584065e-05
0.000000e+00,2.906827e-10,1.168647e-09,8.296460e-09,2.813780e-08,4.825009e-08,1.492658e-07,1.553616e-07,3.746926e-07,4.640823e-07,7.677519e-07,1.120065e-06,1.415156e-06,2.304565e-06,2.396583e-06,3.742849e-06,4.116735e-06,5.411359e-06,6.456177e-06,7.320489e-06,9.138240e-06,9.393644e-06,1.157517e-05,1.202091e-05,1.382711e-05,1.501662e-05,1.612220e-05,1.806759e-05,1.843894e-05,2.075887e-05,2.112923e-05,2.306553e-05,2.416362e-05,2.534414e-05,2.713791e-05,2.758151e-05,2.976623e-05,3.002438e-05,3.188864e-05,3.280068e-05,3.394089e-05,3.544981e-05,3.591680e-05,3.781188e-05,3.795989e-05,3.962305e-05,4.032359e-05,4.134855e-05,4.253743e-05,4.298767e-05,4.454059e-05,4.460092e-05,4.600833e-05,4.651615e-05,4.739246e-05,4.828692e-05,4.869499e-05,4.991833e-05,5.106509e-05,5.141633e-05,5.213807e-05,5.278740e-05,5.314018e-05,5.403829e-05,5.407439e-05,5.494366e-05,5.517582e-05,5.575095e-05,5.620678e-05,5.649916e-05,5.713781e-05,5.719117e-05,5.782972e-05,5.797533e-05,5.841752e-05,5.872549e-05,5.895716e-05,5.939419e-05,5.945114e-05,5.990186e-05,5.998701e-05,6.031161e-05,6.050923e-05,6.068260e-05,6.096583e-05,6.101694e-05,6.131663e-05,6.136149e-05,6.158358e-05,6.170063e-05,6.181962e-05,6.198736e-05,6.202648e-05,6.220582e-05,6.222556e-05,6.235919e-05,6.241884e-05,6.248810e-05,6.257057e-05,6.259395e-05,6.267809e-05,6.268392e-05,6.274180e-05,6.276183e-05,6.278628e-05,6.280704e-05,6.281268e-05,6.282209e-05,6.282213e-05,6.281554e-05,6.280946e-05,6.279400e-05,6.277127e-05,6.275841e-05,6.270963e-05,6.264851e-05,6.262647e-05,6.257582e-05,6.252358e-05,6.249231e-05,6.240262e-05,6.239869e-05,6.229562e-05,6.226516e-05,6.218374e-05,6.211264e-05,6.206365e-05,6.194639e-05,6.193590e-05,6.180104e-05,6.176768e-05,6.165958e-05,6.157765e-05,6.151198e-05,6.137740e-05,6.135872e-05,6.120021e-05,6.116791e-05,6.103686e-05,6.095013e-05,6.086906e-05,6.072493e-05,6.069716e-05,6.052152e-05,6.049309e-05,6.034245e-05,6.025537e-05,6.016027e-05,6.001247e-05,5.997526e-05,5.978769e-05,5.976503e-05,5.959783e-05,5.951363e-05,5.940593e-05,5.925885e-05,5.921220e-05,5.901687e-05,5.900118e-05,5.882014e-05,5.874111e-05,5.862222e-05,5.847907e-05,5.842328e-05,5.822349e-05,5.821548e-05,5.802302e-05,5.795071e-05,5.782202e-05,5.768512e-05,5.762065e-05,5.741902e-05,5.715272e-05,5.688649e-05,5.662058e-05,5.635524e-05,5.609067e-05,5.582708e-05,5.556465e-05,5.530356e-05,5.504394e-05,5.478595e-05,5.452971e-05,5.427534e-05,5.402295e-05,5.377263e-05,5.352448e-05,5.327857e-05,5.303497e-05,5.279376e-05,5.255497e-05,5.231868e-05,5.208491e-05,5.185371e-05,5.162512e-05,5.139916e-05
0.000000e+00,1.856725e-09,4.526711e-09,1.665382e-08,3.930854e-08,5.836613e-08,1.389320e-07,1.434230e-07,2.943983e-07,3.525208e-07,5.423603e-07,7.526090e-07,9.224636e-07,1.406910e-06,1.454995e-06,2.124482e-06,2.301119e-06,2.890105e-06,3.345737e-06,3.712667e-06,4.461868e-06,4.565102e-06,5.430225e-06,5.603702e-06,6.296628e-06,6.744822e-06,7.155984e-06,7.867504e-06,8.001650e-06,8.828051e-06,8.958160e-06,9.630453e-06,1.000589e-05,1.040488e-05,1.100208e-05,1.114810e-05,1.185759e-05,1.194037e-05,1.253159e-05,1.281661e-05,1.316900e-05,1.362861e-05,1.376929e-05,1.433243e-05,1.437588e-05,1.485882e-05,1.505924e-05,1.534921e-05,1.568056e-05,1.580462e-05,1.622627e-05,1.624246e-05,1.661555e-05,1.674805e-05,1.697396e-05,1.720083e-05,1.730303e-05,1.760427e-05,1.787921e-05,1.796189e-05,1.812940e-05,1.827720e-05,1.835629e-05,1.855353e-05,1.856133e-05,1.874591e-05,1.879410e-05,1.891133e-05,1.900190e-05,1.905883e-05,1.917972e-05,1.918959e-05,1.930474e-05,1.933018e-05,1.940534e-05,1.945568e-05,1.949236e-05,1.955846e-05,1.956675e-05,1.962938e-05,1.964057e-05,1.968108e-05,1.970389e-05,1.972260e-05,1.975015e-05,1.975467e-05,1.977797e-05,1.978093e-05,1.979313e-05,1.979768e-05,1.980072e-05,1.980172e-05,1.980131e-05,1.979540e-05,1.979428e-05,1.978348e-05,1.977645e-05,1.976600e-05,1.974925e-05,1.974337e-05,1.971598e-05,1.971360e-05,1.968421e-05,1.967035e-05,1.964838e-05,1.962026e-05,1.960883e-05,1.956585e-05,1.956406e-05,1.951971e-05,1.950237e-05,1.947067e-05,1.943579e-05,1.941898e-05,1.936486e-05,1.930853e-05,1.929007e-05,1.925018e-05,1.921186e-05,1.918999e-05,1.913064e-05,1.912814e-05,1.906479e-05,1.904680e-05,1.900009e-05,1.896067e-05,1.893417e-05,1.887257e-05,1.886718e-05,1.879923e-05,1.878279e-05,1.873043e-05,1.869157e-05,1.866089e-05,1.859917e-05,1.859072e-05,1.852001e-05,1.850581e-05,1.844883e-05,1.841167e-05,1.837728e-05,1.831695e-05,1.830543e-05,1.823335e-05,1.822180e-05,1.816110e-05,1.812639e-05,1.808876e-05,1.803084e-05,1.801636e-05,1.794398e-05,1.793529e-05,1.787165e-05,1.783985e-05,1.779942e-05,1.774463e-05,1.772734e-05,1.765545e-05,1.764971e-05,1.758379e-05,1.755519e-05,1.751238e-05,1.746115e-05,1.744127e-05,1.737047e-05,1.736765e-05,1.730003e-05,1.727476e-05,1.722996e-05,1.718254e-05,1.716029e-05,1.709104e-05,1.700031e-05,1.691039e-05,1.682132e-05,1.673313e-05,1.664585e-05,1.655951e-05,1.647413e-05,1.638973e-05,1.630633e-05,1.622395e-05,1.614259e-05,1.606227e-05,1.598299e-05,1.590477e-05,1.582760e-05,1.575149e-05,1.567645e-05,1.560247e-05,1.552955e-05,1.545769e-05,1.538689e-05,1.531715e-05,1.524845e-05,1.518080e-05
0.000000e+00,3.057958e-09,7.202081e-09,2.543715e-08,5.842217e-08,8.543489e-08,1.940075e-07,1.998303e-07,3.847043e-07,4.512816e-07,6.561460e-07,8.673996e-07,1.030625e-06,1.480498e-06,1.524827e-06,2.154769e-06,2.327750e-06,2.934067e-06,3.439209e-06,3.871293e-06,4.827143e-06,4.966692e-06,6.209244e-06,6.473577e-06,7.575902e-06,8.325133e-06,9.034478e-06,1.030470e-05,1.054946e-05,1.208774e-05,1.233410e-05,1.362183e-05,1.435027e-05,1.513061e-05,1.630880e-05,1.659852e-05,1.801438e-05,1.818038e-05,1.937026e-05,1.994638e-05,2.066073e-05,2.159548e-05,2.188220e-05,2.303257e-05,2.312150e-05,2.411090e-05,2.452203e-05,2.511718e-05,2.579748e-05,2.605216e-05,2.691720e-05,2.695037e-05,2.771415e-05,2.798480e-05,2.844522e-05,2.890598e-05,2.911290e-05,2.971989e-05,3.026901e-05,3.043298e-05,3.076316e-05,3.105192e-05,3.120526e-05,3.158342e-05,3.159823e-05,3.194495e-05,3.203413e-05,3.224823e-05,3.241048e-05,3.251080e-05,3.271868e-05,3.273530e-05,3.292427e-05,3.296461e-05,3.308014e-05,3.315384e-05,3.320522e-05,3.329157e-05,3.330171e-05,3.337170e-05,3.338269e-05,3.341715e-05,3.343171e-05,3.343993e-05,3.344284e-05,3.344180e-05,3.342442e-05,3.341995e-05,3.338933e-05,3.336663e-05,3.333799e-05,3.328614e-05,3.327177e-05,3.319196e-05,3.318153e-05,3.309975e-05,3.305554e-05,3.299626e-05,3.291072e-05,3.288255e-05,3.275958e-05,3.274937e-05,3.262828e-05,3.257361e-05,3.248948e-05,3.238536e-05,3.234399e-05,3.219254e-05,3.218637e-05,3.203582e-05,3.197824e-05,3.187447e-05,3.176240e-05,3.170907e-05,3.154018e-05,3.136830e-05,3.131274e-05,3.119391e-05,3.108118e-05,3.101744e-05,3.084645e-05,3.083930e-05,3.065986e-05,3.060943e-05,3.047947e-05,3.037091e-05,3.029844e-05,3.013158e-05,3.011706e-05,2.993561e-05,2.989208e-05,2.975434e-05,2.965298e-05,2.957346e-05,2.941478e-05,2.939318e-05,2.921370e-05,2.917791e-05,2.903519e-05,2.894279e-05,2.885780e-05,2.870976e-05,2.868168e-05,2.850695e-05,2.847913e-05,2.833374e-05,2.825117e-05,2.816215e-05,2.802610e-05,2.799227e-05,2.782418e-05,2.780414e-05,2.765797e-05,2.758545e-05,2.749370e-05,2.737019e-05,2.733143e-05,2.717120e-05,2.715847e-05,2.701307e-05,2.695041e-05,2.685706e-05,2.674607e-05,2.670321e-05,2.655155e-05,2.654553e-05,2.640210e-05,2.634884e-05,2.625486e-05,2.615602e-05,2.610987e-05,2.596711e-05,2.578212e-05,2.560104e-05,2.542386e-05,2.525058e-05,2.508116e-05,2.491558e-05,2.475380e-05,2.459578e-05,2.444147e-05,2.429083e-05,2.414380e-05,2.400033e-05,2.386036e-05,2.372384e-05,2.359069e-05,2.346087e-05,2.333430e-05,2.321093e-05,2.309068e-05,2.297350e-05,2.285932e-05,2.274807e-05,2.263969e-05,2.253412e-05
0.000000e+00,1.057296e-12,5.425349e-12,6.155500e-11,3.066856e-10,6.386771e-10,3.093689e-09,3.274066e-09,1.141678e-08,1.544432e-08,3.122913e-08,5.254853e-08,7.230932e-08,1.405493e-07,1.483135e-07,2.774609e-07,3.188256e-07,4.828417e-07,6.413622e-07,7.923270e-07,1.176075e-06,1.237850e-06,1.854020e-06,2.000861e-06,2.676323e-06,3.196920e-06,3.739242e-06,4.841418e-06,5.074578e-06,6.710095e-06,7.001230e-06,8.668507e-06,9.728459e-06,1.096681e-05,1.305773e-05,1.361594e-05,1.662059e-05,1.700504e-05,1.997941e-05,2.156782e-05,2.368517e-05,2.672602e-05,2.772527e-05,3.208220e-05,3.244382e-05,3.673417e-05,3.867199e-05,4.165578e-05,4.535047e-05,4.681866e-05,5.219223e-05,5.241111e-05,5.774432e-05,5.978042e-05,6.344186e-05,6.738223e-05,6.925146e-05,7.513998e-05,8.107500e-05,8.297888e-05,8.702524e-05,9.082758e-05,9.296096e-05,9.861961e-05,9.885419e-05,1.046790e-04,1.062943e-04,1.104115e-04,1.137977e-04,1.160303e-04,1.210825e-04,1.215161e-04,1.268522e-04,1.281089e-04,1.320239e-04,1.348436e-04,1.370190e-04,1.412604e-04,1.418272e-04,1.464406e-04,1.473393e-04,1.508528e-04,1.530662e-04,1.550595e-04,1.584322e-04,1.590578e-04,1.628465e-04,1.634332e-04,1.664255e-04,1.680693e-04,1.697962e-04,1.723441e-04,1.729607e-04,1.759222e-04,1.762642e-04,1.786848e-04,1.798386e-04,1.812532e-04,1.830784e-04,1.836325e-04,1.858284e-04,1.859964e-04,1.878471e-04,1.886063e-04,1.896947e-04,1.909229e-04,1.913780e-04,1.929035e-04,1.929613e-04,1.942780e-04,1.947371e-04,1.955083e-04,1.962659e-04,1.966011e-04,1.975632e-04,1.984011e-04,1.986440e-04,1.991213e-04,1.995234e-04,1.997301e-04,2.002156e-04,2.002338e-04,2.006382e-04,2.007344e-04,2.009491e-04,2.010932e-04,2.011722e-04,2.013044e-04,2.013128e-04,2.013760e-04,2.013802e-04,2.013668e-04,2.013318e-04,2.012899e-04,2.011699e-04,2.011499e-04,2.009510e-04,2.009045e-04,2.006973e-04,2.005450e-04,2.003927e-04,2.001002e-04,2.000409e-04,1.996454e-04,1.995783e-04,1.992096e-04,1.989870e-04,1.987365e-04,1.983332e-04,1.982291e-04,1.976903e-04,1.976237e-04,1.971226e-04,1.968644e-04,1.965286e-04,1.960610e-04,1.959106e-04,1.952708e-04,1.952188e-04,1.946113e-04,1.943424e-04,1.939340e-04,1.934364e-04,1.932408e-04,1.925333e-04,1.925048e-04,1.918133e-04,1.915513e-04,1.910821e-04,1.905793e-04,1.903413e-04,1.895921e-04,1.885925e-04,1.875830e-04,1.865663e-04,1.855443e-04,1.845192e-04,1.834928e-04,1.824667e-04,1.814423e-04,1.804212e-04,1.794045e-04,1.783933e-04,1.773887e-04,1.763914e-04,1.754025e-04,1.744224e-04,1.734520e-04,1.724917e-04,1.715421e-04,1.706036e-04,1.696766e-04,1.687614e-04,1.678584e-04,1.669676e-04,1.660894e-04
0.000000e+00,1.532580e-10,5.641202e-10,3.453751e-09,1.055374e-08,1.723431e-08,4.769349e-08,4.942796e-08,1.072681e-07,1.289642e-07,1.972918e-07,2.692631e-07,3.254850e-07,4.819191e-07,4.974064e-07,7.182193e-07,7.790162e-07,9.924982e-07,1.170795e-06,1.323664e-06,1.663352e-06,1.713160e-06,2.159961e-06,2.255950e-06,2.660942e-06,2.941454e-06,3.211784e-06,3.709550e-06,3.807735e-06,4.443963e-06,4.549175e-06,5.115645e-06,5.449224e-06,5.817932e-06,6.398506e-06,6.545925e-06,7.294679e-06,7.385689e-06,8.059233e-06,8.399370e-06,8.834660e-06,9.428280e-06,9.616132e-06,1.039899e-05,1.046154e-05,1.117879e-05,1.148892e-05,1.195140e-05,1.250108e-05,1.271301e-05,1.346018e-05,1.348972e-05,1.418983e-05,1.444769e-05,1.489931e-05,1.536907e-05,1.558637e-05,1.624914e-05,1.688612e-05,1.708432e-05,1.749619e-05,1.787213e-05,1.807855e-05,1.861106e-05,1.863268e-05,1.915834e-05,1.930042e-05,1.965554e-05,1.994028e-05,2.012449e-05,2.053130e-05,2.056558e-05,2.097933e-05,2.107463e-05,2.136641e-05,2.157181e-05,2.172759e-05,2.202466e-05,2.206370e-05,2.237564e-05,2.243521e-05,2.266437e-05,2.280565e-05,2.293084e-05,2.313820e-05,2.317605e-05,2.340100e-05,2.343517e-05,2.360667e-05,2.369883e-05,2.379404e-05,2.393140e-05,2.396406e-05,2.411767e-05,2.413505e-05,2.425578e-05,2.431186e-05,2.437925e-05,2.446383e-05,2.448894e-05,2.458566e-05,2.459286e-05,2.467017e-05,2.470073e-05,2.474323e-05,2.478914e-05,2.480554e-05,2.485777e-05,2.485966e-05,2.490056e-05,2.491377e-05,2.493451e-05,2.495284e-05,2.496019e-05,2.497816e-05,2.498891e-05,2.499091e-05,2.499294e-05,2.499219e-05,2.499069e-05,2.498303e-05,2.498260e-05,2.496907e-05,2.496436e-05,2.495048e-05,2.493705e-05,2.492719e-05,2.490190e-05,2.489953e-05,2.486783e-05,2.485966e-05,2.483238e-05,2.481099e-05,2.479346e-05,2.475654e-05,2.475133e-05,2.470624e-05,2.469688e-05,2.465841e-05,2.463254e-05,2.460808e-05,2.456400e-05,2.455543e-05,2.450067e-05,2.449173e-05,2.444398e-05,2.441612e-05,2.438551e-05,2.433757e-05,2.432544e-05,2.426390e-05,2.425642e-05,2.420104e-05,2.417299e-05,2.413699e-05,2.408758e-05,2.407186e-05,2.400579e-05,2.400047e-05,2.393887e-05,2.391189e-05,2.387120e-05,2.382207e-05,2.380289e-05,2.373401e-05,2.373124e-05,2.366465e-05,2.363958e-05,2.359489e-05,2.354727e-05,2.352481e-05,2.345447e-05,2.336133e-05,2.326798e-05,2.317456e-05,2.308118e-05,2.298794e-05,2.289494e-05,2.280227e-05,2.271000e-05,2.261821e-05,2.252697e-05,2.243633e-05,2.234635e-05,2.225708e-05,2.216857e-05,2.208084e-05,2.199395e-05,2.190793e-05,2.182279e-05,2.173857e-05,2.165529e-05,2.157297e-05,2.149162e-05,2.141127e-05,2.133192e-05
0.000000e+00,2.506453e-11,1.153026e-10,1.047787e-09,4.288827e-09,8.037681e-09,2.990485e-08,3.131913e-08,8.520383e-08,1.080003e-07,1.863073e-07,2.770843e-07,3.526556e-07,5.797665e-07,6.033976e-07,9.582987e-07,1.061100e-06,1.435808e-06,1.761983e-06,2.048900e-06,2.702968e-06,2.800212e-06,3.680153e-06,3.870003e-06,4.669556e-06,5.219477e-06,5.744695e-06,6.696480e-06,6.881605e-06,8.058514e-06,8.249234e-06,9.256652e-06,9.834540e-06,1.046016e-05,1.141778e-05,1.165569e-05,1.283206e-05,1.297148e-05,1.397997e-05,1.447400e-05,1.509175e-05,1.590872e-05,1.616127e-05,1.718379e-05,1.726344e-05,1.815581e-05,1.852992e-05,1.907500e-05,1.970332e-05,1.994002e-05,2.075037e-05,2.078165e-05,2.150628e-05,2.176522e-05,2.220857e-05,2.265613e-05,2.285851e-05,2.345774e-05,2.400818e-05,2.417435e-05,2.451191e-05,2.481081e-05,2.497116e-05,2.537230e-05,2.538820e-05,2.576533e-05,2.586409e-05,2.610484e-05,2.629143e-05,2.640898e-05,2.665943e-05,2.667993e-05,2.691980e-05,2.697297e-05,2.713062e-05,2.723671e-05,2.731432e-05,2.745501e-05,2.747274e-05,2.760764e-05,2.763194e-05,2.772066e-05,2.777131e-05,2.781337e-05,2.787661e-05,2.788722e-05,2.794360e-05,2.795109e-05,2.798381e-05,2.799773e-05,2.800906e-05,2.801926e-05,2.802049e-05,2.801917e-05,2.801820e-05,2.800609e-05,2.799685e-05,2.798218e-05,2.795731e-05,2.794832e-05,2.790532e-05,2.790150e-05,2.785393e-05,2.783119e-05,2.779486e-05,2.774796e-05,2.772878e-05,2.765630e-05,2.765328e-05,2.757800e-05,2.754848e-05,2.749440e-05,2.743478e-05,2.740600e-05,2.731328e-05,2.721665e-05,2.718497e-05,2.711652e-05,2.705078e-05,2.701327e-05,2.691154e-05,2.690725e-05,2.679876e-05,2.676799e-05,2.668812e-05,2.662082e-05,2.657561e-05,2.647066e-05,2.646147e-05,2.634596e-05,2.631805e-05,2.622929e-05,2.616353e-05,2.611167e-05,2.600753e-05,2.599329e-05,2.587433e-05,2.585049e-05,2.575496e-05,2.569277e-05,2.563532e-05,2.553472e-05,2.551555e-05,2.539579e-05,2.537664e-05,2.527616e-05,2.521881e-05,2.515676e-05,2.506148e-05,2.503770e-05,2.491906e-05,2.490486e-05,2.480094e-05,2.474915e-05,2.468342e-05,2.459454e-05,2.456656e-05,2.445044e-05,2.444118e-05,2.433511e-05,2.428921e-05,2.422062e-05,2.413875e-05,2.410704e-05,2.399440e-05,2.398991e-05,2.388274e-05,2.384279e-05,2.377210e-05,2.369747e-05,2.366252e-05,2.355403e-05,2.341252e-05,2.327299e-05,2.313550e-05,2.300007e-05,2.286675e-05,2.273554e-05,2.260647e-05,2.247955e-05,2.235479e-05,2.223219e-05,2.211176e-05,2.199347e-05,2.187734e-05,2.176335e-05,2.165148e-05,2.154172e-05,2.143405e-05,2.132845e-05,2.122492e-05,2.112341e-05,2.102391e-05,2.092639e-05,2.083083e-05,2.073720e-05
0.000000e+00,7.470957e-11,3.540676e-10,3.416023e-09,1.473918e-08,2.841713e-08,1.136443e-07,1.193674e-07,3.489221e-07,4.511377e-07,8.188497e-07,1.270563e-06,1.663385e-06,2.915178e-06,3.050507e-06,5.165939e-06,5.801138e-06,8.170644e-06,1.027898e-05,1.215485e-05,1.647613e-05,1.712252e-05,2.300924e-05,2.428822e-05,2.971294e-05,3.348390e-05,3.711971e-05,4.380343e-05,4.511877e-05,5.360838e-05,5.500595e-05,6.249627e-05,6.687887e-05,7.169792e-05,7.923209e-05,8.113462e-05,9.073217e-05,9.189131e-05,1.004202e-04,1.046944e-04,1.101323e-04,1.174912e-04,1.198064e-04,1.293852e-04,1.301458e-04,1.388172e-04,1.425384e-04,1.480566e-04,1.545673e-04,1.570639e-04,1.658055e-04,1.661493e-04,1.742540e-04,1.772193e-04,1.823875e-04,1.877297e-04,1.901895e-04,1.976482e-04,2.047560e-04,2.069558e-04,2.115093e-04,2.156448e-04,2.179072e-04,2.237169e-04,2.239520e-04,2.296479e-04,2.311811e-04,2.350012e-04,2.380518e-04,2.400194e-04,2.443478e-04,2.447114e-04,2.490867e-04,2.500908e-04,2.531558e-04,2.553047e-04,2.569293e-04,2.600143e-04,2.604183e-04,2.636341e-04,2.642454e-04,2.665876e-04,2.680236e-04,2.692903e-04,2.713746e-04,2.717529e-04,2.739865e-04,2.743233e-04,2.760015e-04,2.768941e-04,2.778083e-04,2.791107e-04,2.794171e-04,2.808375e-04,2.809958e-04,2.820790e-04,2.825710e-04,2.831508e-04,2.838571e-04,2.840615e-04,2.848197e-04,2.848740e-04,2.854334e-04,2.856403e-04,2.859106e-04,2.861738e-04,2.862587e-04,2.864848e-04,2.864915e-04,2.865960e-04,2.866091e-04,2.865986e-04,2.865417e-04,2.864991e-04,2.863035e-04,2.860175e-04,2.859078e-04,2.856466e-04,2.853670e-04,2.851960e-04,2.846931e-04,2.846707e-04,2.840755e-04,2.838970e-04,2.834150e-04,2.829891e-04,2.826934e-04,2.819791e-04,2.819148e-04,2.810833e-04,2.808762e-04,2.802024e-04,2.796889e-04,2.792757e-04,2.784251e-04,2.783067e-04,2.772984e-04,2.770923e-04,2.762540e-04,2.756975e-04,2.751762e-04,2.742472e-04,2.740679e-04,2.729317e-04,2.727474e-04,2.717699e-04,2.712038e-04,2.705849e-04,2.696217e-04,2.693790e-04,2.681541e-04,2.680060e-04,2.669124e-04,2.663611e-04,2.656556e-04,2.646915e-04,2.643855e-04,2.631039e-04,2.630009e-04,2.618122e-04,2.612931e-04,2.605120e-04,2.595714e-04,2.592047e-04,2.578916e-04,2.578389e-04,2.565739e-04,2.560987e-04,2.552529e-04,2.543532e-04,2.539296e-04,2.526051e-04,2.508566e-04,2.491097e-04,2.473664e-04,2.456286e-04,2.438977e-04,2.421753e-04,2.404628e-04,2.387613e-04,2.370720e-04,2.353960e-04,2.337340e-04,2.320870e-04,2.304557e-04,2.288408e-04,2.272427e-04,2.256622e-04,2.240995e-04,2.225552e-04,2.210295e-04,2.195227e-04,2.180352e-04,2.165670e-04,2.151183e-04,2.136893e-04
0.000000e+00,4.451399e-09,1.079383e-08,3.936982e-08,9.192026e-08,1.353230e-07,3.114231e-07,3.209186e-07,6.241160e-07,7.339230e-07,1.073205e-06,1.424648e-06,1.696928e-06,2.449157e-06,2.523348e-06,3.577254e-06,3.866212e-06,4.876243e-06,5.713467e-06,6.425973e-06,7.989102e-06,8.215756e-06,1.021653e-05,1.063827e-05,1.238348e-05,1.355842e-05,1.466358e-05,1.662801e-05,1.700476e-05,1.936259e-05,1.973895e-05,2.170254e-05,2.281159e-05,2.399915e-05,2.579283e-05,2.623425e-05,2.839504e-05,2.864889e-05,3.047267e-05,3.135887e-05,3.246122e-05,3.391060e-05,3.435700e-05,3.615802e-05,3.629798e-05,3.786363e-05,3.851922e-05,3.947424e-05,4.057571e-05,4.099107e-05,4.241597e-05,4.247108e-05,4.375127e-05,4.421055e-05,4.499966e-05,4.580041e-05,4.616408e-05,4.724762e-05,4.825352e-05,4.855954e-05,4.918503e-05,4.974367e-05,5.004543e-05,5.080754e-05,5.083798e-05,5.156588e-05,5.175854e-05,5.223229e-05,5.260390e-05,5.284027e-05,5.335058e-05,5.339281e-05,5.389279e-05,5.400528e-05,5.434300e-05,5.457439e-05,5.474613e-05,5.506398e-05,5.510475e-05,5.542134e-05,5.547983e-05,5.569828e-05,5.582738e-05,5.593784e-05,5.611177e-05,5.614219e-05,5.631341e-05,5.633786e-05,5.645348e-05,5.651021e-05,5.656429e-05,5.663307e-05,5.664763e-05,5.670522e-05,5.671048e-05,5.673870e-05,5.674619e-05,5.674960e-05,5.674370e-05,5.673941e-05,5.670953e-05,5.670632e-05,5.666127e-05,5.663711e-05,5.659591e-05,5.653894e-05,5.651465e-05,5.641860e-05,5.641447e-05,5.630885e-05,5.626619e-05,5.618642e-05,5.609641e-05,5.605227e-05,5.590730e-05,5.575238e-05,5.570084e-05,5.558833e-05,5.547890e-05,5.541591e-05,5.524319e-05,5.523585e-05,5.504884e-05,5.499532e-05,5.485552e-05,5.473675e-05,5.465650e-05,5.446887e-05,5.445236e-05,5.424364e-05,5.419292e-05,5.403085e-05,5.391009e-05,5.381447e-05,5.362144e-05,5.359495e-05,5.337271e-05,5.332798e-05,5.314816e-05,5.303060e-05,5.292166e-05,5.273016e-05,5.269357e-05,5.246421e-05,5.242742e-05,5.223390e-05,5.212309e-05,5.200292e-05,5.181783e-05,5.177153e-05,5.153999e-05,5.151221e-05,5.130854e-05,5.120679e-05,5.107740e-05,5.090205e-05,5.084675e-05,5.061681e-05,5.059845e-05,5.038774e-05,5.029639e-05,5.015970e-05,4.999624e-05,4.993285e-05,4.970732e-05,4.969833e-05,4.948325e-05,4.940296e-05,4.926074e-05,4.911039e-05,4.903992e-05,4.882088e-05,4.853462e-05,4.825182e-05,4.797263e-05,4.769720e-05,4.742565e-05,4.715811e-05,4.689466e-05,4.663537e-05,4.638031e-05,4.612954e-05,4.588308e-05,4.564097e-05,4.540322e-05,4.516985e-05,4.494084e-05,4.471620e-05,4.449592e-05,4.427997e-05,4.406833e-05,4.386098e-05,4.365787e-05,4.345897e-05,4.326424e-05,4.307362e-05
0.000000e+00,8.168498e-12,4.025650e-11,4.200236e-10,1.938627e-09,3.871112e-09,1.682082e-08,1.772300e-08,5.547658e-08,7.287646e-08,1.368769e-07,2.169706e-07,2.871613e-07,5.116494e-07,5.359311e-07,9.159339e-07,1.030488e-06,1.461777e-06,1.852930e-06,2.208310e-06,3.057390e-06,3.188292e-06,4.429305e-06,4.710706e-06,5.950698e-06,6.856091e-06,7.761614e-06,9.505784e-06,9.860640e-06,1.223683e-05,1.264159e-05,1.487152e-05,1.622099e-05,1.774029e-05,2.018494e-05,2.081488e-05,2.406471e-05,2.446497e-05,2.745820e-05,2.898868e-05,3.096375e-05,3.368389e-05,3.455051e-05,3.818900e-05,3.848147e-05,4.185154e-05,4.331750e-05,4.551262e-05,4.813459e-05,4.914908e-05,5.274028e-05,5.288273e-05,5.626814e-05,5.751960e-05,5.971711e-05,6.201055e-05,6.307407e-05,6.632827e-05,6.947108e-05,7.045212e-05,7.249588e-05,7.436752e-05,7.539783e-05,7.806510e-05,7.817369e-05,8.082158e-05,8.153995e-05,8.334086e-05,8.479079e-05,8.573187e-05,8.781936e-05,8.799584e-05,9.013472e-05,9.062970e-05,9.215100e-05,9.322767e-05,9.404768e-05,9.562046e-05,9.582808e-05,9.749583e-05,9.781619e-05,9.905473e-05,9.982365e-05,1.005087e-04,1.016520e-04,1.018619e-04,1.031182e-04,1.033105e-04,1.042818e-04,1.048086e-04,1.053568e-04,1.061555e-04,1.063470e-04,1.072565e-04,1.073604e-04,1.080890e-04,1.084319e-04,1.088483e-04,1.093787e-04,1.095381e-04,1.101619e-04,1.102090e-04,1.107230e-04,1.109306e-04,1.112247e-04,1.115510e-04,1.116702e-04,1.120626e-04,1.120773e-04,1.124048e-04,1.125162e-04,1.126995e-04,1.128742e-04,1.129495e-04,1.131574e-04,1.133255e-04,1.133714e-04,1.134564e-04,1.135215e-04,1.135521e-04,1.136130e-04,1.136149e-04,1.136468e-04,1.136504e-04,1.136497e-04,1.136384e-04,1.136256e-04,1.135810e-04,1.135761e-04,1.135030e-04,1.134822e-04,1.134079e-04,1.133456e-04,1.132923e-04,1.131748e-04,1.131577e-04,1.130054e-04,1.129729e-04,1.128367e-04,1.127429e-04,1.126529e-04,1.124876e-04,1.124551e-04,1.122445e-04,1.122097e-04,1.120221e-04,1.119115e-04,1.117889e-04,1.115952e-04,1.115459e-04,1.112939e-04,1.112631e-04,1.110338e-04,1.109170e-04,1.107665e-04,1.105588e-04,1.104925e-04,1.102127e-04,1.101901e-04,1.099278e-04,1.098125e-04,1.096383e-04,1.094274e-04,1.093449e-04,1.090481e-04,1.090362e-04,1.087485e-04,1.086400e-04,1.084465e-04,1.082400e-04,1.081426e-04,1.078372e-04,1.074326e-04,1.070271e-04,1.066214e-04,1.062163e-04,1.058125e-04,1.054105e-04,1.050109e-04,1.046142e-04,1.042209e-04,1.038314e-04,1.034461e-04,1.030651e-04,1.026890e-04,1.023178e-04,1.019519e-04,1.015915e-04,1.012366e-04,1.008875e-04,1.005442e-04,1.002070e-04,9.987576e-05,9.955066e-05,9.923174e-05,9.891902e-05
0.000000e+00,1.469437e-09,3.786030e-09,1.470697e-08,3.534259e-08,5.259939e-08,1.235837e-07,1.274436e-07,2.520004e-07,2.976632e-07,4.403567e-07,5.904403e-07,7.081086e-07,1.038327e-06,1.071232e-06,1.542772e-06,1.672829e-06,2.127051e-06,2.500428e-06,2.814178e-06,3.485640e-06,3.580906e-06,4.398846e-06,4.566244e-06,5.242657e-06,5.685045e-06,6.093124e-06,6.802528e-06,6.936570e-06,7.763280e-06,7.893500e-06,8.566216e-06,8.941606e-06,9.340207e-06,9.935976e-06,1.008147e-05,1.078732e-05,1.086955e-05,1.145601e-05,1.173819e-05,1.208659e-05,1.254014e-05,1.267876e-05,1.323276e-05,1.327545e-05,1.374933e-05,1.394570e-05,1.422951e-05,1.455343e-05,1.467460e-05,1.508613e-05,1.510191e-05,1.546570e-05,1.559486e-05,1.581503e-05,1.603618e-05,1.613584e-05,1.642985e-05,1.669876e-05,1.677978e-05,1.694421e-05,1.708972e-05,1.716779e-05,1.736325e-05,1.737100e-05,1.755529e-05,1.760368e-05,1.772198e-05,1.781408e-05,1.787234e-05,1.799728e-05,1.800757e-05,1.812877e-05,1.815588e-05,1.823696e-05,1.829223e-05,1.833311e-05,1.840846e-05,1.841810e-05,1.849276e-05,1.850652e-05,1.855786e-05,1.858817e-05,1.861410e-05,1.865498e-05,1.866214e-05,1.870259e-05,1.870840e-05,1.873601e-05,1.874971e-05,1.876292e-05,1.878009e-05,1.878381e-05,1.879912e-05,1.880060e-05,1.880926e-05,1.881219e-05,1.881462e-05,1.881571e-05,1.881555e-05,1.881239e-05,1.881197e-05,1.880543e-05,1.880165e-05,1.879497e-05,1.878541e-05,1.878126e-05,1.876454e-05,1.876382e-05,1.874506e-05,1.873740e-05,1.872301e-05,1.870665e-05,1.869859e-05,1.867199e-05,1.864337e-05,1.863382e-05,1.861290e-05,1.859249e-05,1.858072e-05,1.854834e-05,1.854697e-05,1.851177e-05,1.850167e-05,1.847525e-05,1.845275e-05,1.843752e-05,1.840182e-05,1.839868e-05,1.835883e-05,1.834912e-05,1.831806e-05,1.829486e-05,1.827646e-05,1.823923e-05,1.823411e-05,1.819107e-05,1.818239e-05,1.814743e-05,1.812452e-05,1.810325e-05,1.806576e-05,1.805858e-05,1.801349e-05,1.800624e-05,1.796803e-05,1.794609e-05,1.792225e-05,1.788543e-05,1.787620e-05,1.782992e-05,1.782435e-05,1.778345e-05,1.776296e-05,1.773684e-05,1.770133e-05,1.769011e-05,1.764331e-05,1.763957e-05,1.759647e-05,1.757773e-05,1.754961e-05,1.751589e-05,1.750277e-05,1.745598e-05,1.745410e-05,1.740925e-05,1.739244e-05,1.736261e-05,1.733095e-05,1.731608e-05,1.726969e-05,1.720869e-05,1.714799e-05,1.708765e-05,1.702768e-05,1.696813e-05,1.690902e-05,1.685037e-05,1.679222e-05,1.673458e-05,1.667747e-05,1.662092e-05,1.656493e-05,1.650952e-05,1.645470e-05,1.640049e-05,1.634690e-05,1.629393e-05,1.624159e-05,1.618988e-05,1.613882e-05,1.608841e-05,1.603865e-05,1.598954e-05,1.594109e-05
0.000000e+00,1.141971e-08,2.671434e-08,9.413056e-08,2.170661e-07,3.186231e-07,7.335989e-07,7.561330e-07,1.484595e-06,1.752625e-06,2.594082e-06,3.484939e-06,4.186625e-06,6.162412e-06,6.359251e-06,9.164064e-06,9.930248e-06,1.257853e-05,1.472969e-05,1.652754e-05,2.037756e-05,2.092667e-05,2.570298e-05,2.669800e-05,3.079597e-05,3.355190e-05,3.615329e-05,4.082259e-05,4.172705e-05,4.747194e-05,4.840408e-05,5.334467e-05,5.619681e-05,5.930404e-05,6.410782e-05,6.531135e-05,7.133083e-05,7.205241e-05,7.733012e-05,7.995583e-05,8.328030e-05,8.775395e-05,8.915618e-05,9.493618e-05,9.539386e-05,1.006020e-04,1.028329e-04,1.061386e-04,1.100379e-04,1.115337e-04,1.167780e-04,1.169845e-04,1.218640e-04,1.236552e-04,1.267866e-04,1.300386e-04,1.315421e-04,1.361285e-04,1.405450e-04,1.419223e-04,1.447916e-04,1.474208e-04,1.488695e-04,1.526269e-04,1.527802e-04,1.565261e-04,1.575458e-04,1.601100e-04,1.621839e-04,1.635350e-04,1.665485e-04,1.668044e-04,1.699217e-04,1.706476e-04,1.728907e-04,1.744900e-04,1.757153e-04,1.780846e-04,1.783994e-04,1.809469e-04,1.814404e-04,1.833620e-04,1.845667e-04,1.856485e-04,1.874727e-04,1.878104e-04,1.898519e-04,1.901676e-04,1.917766e-04,1.926602e-04,1.935887e-04,1.949597e-04,1.952917e-04,1.968896e-04,1.970745e-04,1.983860e-04,1.990132e-04,1.997845e-04,2.007840e-04,2.010886e-04,2.023018e-04,2.023950e-04,2.034275e-04,2.038540e-04,2.044689e-04,2.051683e-04,2.054293e-04,2.063117e-04,2.063455e-04,2.071193e-04,2.073923e-04,2.078550e-04,2.083157e-04,2.085217e-04,2.091221e-04,2.096589e-04,2.098177e-04,2.101349e-04,2.104087e-04,2.105525e-04,2.109007e-04,2.109142e-04,2.112223e-04,2.112994e-04,2.114794e-04,2.116099e-04,2.116874e-04,2.118375e-04,2.118487e-04,2.119654e-04,2.119870e-04,2.120394e-04,2.120630e-04,2.120727e-04,2.120699e-04,2.120673e-04,2.120249e-04,2.120121e-04,2.119473e-04,2.118936e-04,2.118362e-04,2.117183e-04,2.116933e-04,2.115202e-04,2.114898e-04,2.113184e-04,2.112117e-04,2.110893e-04,2.108873e-04,2.108343e-04,2.105550e-04,2.105199e-04,2.102525e-04,2.101124e-04,2.099281e-04,2.096677e-04,2.095831e-04,2.092186e-04,2.091887e-04,2.088358e-04,2.086778e-04,2.084357e-04,2.081376e-04,2.080195e-04,2.075880e-04,2.075705e-04,2.071423e-04,2.069786e-04,2.066833e-04,2.063640e-04,2.062119e-04,2.057289e-04,2.050750e-04,2.044042e-04,2.037181e-04,2.030185e-04,2.023067e-04,2.015842e-04,2.008525e-04,2.001126e-04,1.993660e-04,1.986136e-04,1.978566e-04,1.970959e-04,1.963326e-04,1.955674e-04,1.948013e-04,1.940349e-04,1.932690e-04,1.925044e-04,1.917416e-04,1.909812e-04,1.902238e-04,1.894698e-04,1.887199e-04,1.879743e-04
0.000000e+00,3.771486e-11,1.648644e-10,1.358786e-09,5.136365e-09,9.248522e-09,3.138487e-08,3.275709e-08,8.259187e-08,1.027814e-07,1.699436e-07,2.451145e-07,3.062616e-07,4.848855e-07,5.031269e-07,7.711400e-07,8.469507e-07,1.117396e-06,1.346246e-06,1.543314e-06,1.981009e-06,2.044997e-06,2.615467e-06,2.737114e-06,3.246713e-06,3.596300e-06,3.930687e-06,4.540221e-06,4.659533e-06,5.425542e-06,5.551041e-06,6.221081e-06,6.611210e-06,7.038616e-06,7.703539e-06,7.870806e-06,8.710629e-06,8.811603e-06,9.551503e-06,9.920249e-06,1.038742e-05,1.101606e-05,1.121300e-05,1.202359e-05,1.208767e-05,1.281524e-05,1.312585e-05,1.358471e-05,1.412352e-05,1.432942e-05,1.504741e-05,1.507555e-05,1.573729e-05,1.597857e-05,1.639815e-05,1.683070e-05,1.702951e-05,1.763125e-05,1.820353e-05,1.838050e-05,1.874677e-05,1.907948e-05,1.926158e-05,1.972975e-05,1.974871e-05,2.020902e-05,2.033322e-05,2.064344e-05,2.089208e-05,2.105297e-05,2.140863e-05,2.143863e-05,2.180145e-05,2.188525e-05,2.214247e-05,2.232429e-05,2.246270e-05,2.272810e-05,2.276314e-05,2.304478e-05,2.309894e-05,2.330856e-05,2.343896e-05,2.355537e-05,2.375024e-05,2.378611e-05,2.400160e-05,2.403472e-05,2.420265e-05,2.429425e-05,2.439002e-05,2.453055e-05,2.456443e-05,2.472658e-05,2.474524e-05,2.487711e-05,2.493983e-05,2.501666e-05,2.511573e-05,2.514580e-05,2.526510e-05,2.527424e-05,2.537509e-05,2.541659e-05,2.547626e-05,2.554391e-05,2.556908e-05,2.565401e-05,2.565725e-05,2.573147e-05,2.575760e-05,2.580185e-05,2.584586e-05,2.586553e-05,2.592288e-05,2.597422e-05,2.598944e-05,2.601988e-05,2.604627e-05,2.606017e-05,2.609405e-05,2.609537e-05,2.612574e-05,2.613342e-05,2.615155e-05,2.616495e-05,2.617304e-05,2.618919e-05,2.619044e-05,2.620397e-05,2.620666e-05,2.621382e-05,2.621782e-05,2.622021e-05,2.622310e-05,2.622331e-05,2.622330e-05,2.622294e-05,2.622034e-05,2.621769e-05,2.621460e-05,2.620773e-05,2.620622e-05,2.619534e-05,2.619338e-05,2.618211e-05,2.617496e-05,2.616664e-05,2.615275e-05,2.614907e-05,2.612950e-05,2.612702e-05,2.610805e-05,2.609804e-05,2.608482e-05,2.606603e-05,2.605991e-05,2.603341e-05,2.603123e-05,2.600542e-05,2.599383e-05,2.597602e-05,2.595403e-05,2.594530e-05,2.591332e-05,2.591202e-05,2.588017e-05,2.586796e-05,2.584591e-05,2.582202e-05,2.581062e-05,2.577435e-05,2.572508e-05,2.567436e-05,2.562230e-05,2.556902e-05,2.551464e-05,2.545926e-05,2.540297e-05,2.534587e-05,2.528804e-05,2.522956e-05,2.517052e-05,2.511097e-05,2.505100e-05,2.499066e-05,2.493001e-05,2.486911e-05,2.480802e-05,2.474677e-05,2.468543e-05,2.462403e-05,2.456262e-05,2.450123e-05,2.443990e-05,2.437867e-05
0.000000e+00,3.379255e-11,1.455204e-10,1.160673e-09,4.250479e-09,7.516166e-09,2.429421e-08,2.530491e-08,6.065188e-08,7.442492e-08,1.187423e-07,1.663547e-07,2.039523e-07,3.097203e-07,3.202599e-07,4.714245e-07,5.132597e-07,6.604815e-07,7.833747e-07,8.883100e-07,1.118664e-06,1.152003e-06,1.444660e-06,1.505873e-06,1.757139e-06,1.924423e-06,2.080460e-06,2.355023e-06,2.407318e-06,2.732428e-06,2.784023e-06,3.052160e-06,3.202949e-06,3.363980e-06,3.606448e-06,3.665985e-06,3.956620e-06,3.990666e-06,4.234538e-06,4.352480e-06,4.498549e-06,4.689262e-06,4.747634e-06,4.980967e-06,4.998934e-06,5.197945e-06,5.280066e-06,5.398199e-06,5.531948e-06,5.581605e-06,5.748265e-06,5.754587e-06,5.898495e-06,5.948646e-06,6.032792e-06,6.115340e-06,6.151807e-06,6.256319e-06,6.347196e-06,6.373546e-06,6.425353e-06,6.469124e-06,6.491714e-06,6.545189e-06,6.547212e-06,6.592768e-06,6.603862e-06,6.629262e-06,6.647165e-06,6.657548e-06,6.677022e-06,6.678439e-06,6.692678e-06,6.695183e-06,6.700958e-06,6.703234e-06,6.703921e-06,6.702587e-06,6.702140e-06,6.696138e-06,6.694474e-06,6.686388e-06,6.679982e-06,6.673319e-06,6.660054e-06,6.657309e-06,6.638695e-06,6.635496e-06,6.617779e-06,6.607003e-06,6.594833e-06,6.575177e-06,6.570097e-06,6.543782e-06,6.540528e-06,6.516079e-06,6.503494e-06,6.487156e-06,6.464451e-06,6.457163e-06,6.426237e-06,6.423726e-06,6.394497e-06,6.381597e-06,6.362050e-06,6.338306e-06,6.328993e-06,6.295413e-06,6.294060e-06,6.261386e-06,6.249041e-06,6.226983e-06,6.203408e-06,6.192269e-06,6.157301e-06,6.122130e-06,6.110841e-06,6.086805e-06,6.064136e-06,6.051368e-06,6.017280e-06,6.015859e-06,5.980315e-06,5.970360e-06,5.944767e-06,5.923449e-06,5.909246e-06,5.876615e-06,5.873780e-06,5.838394e-06,5.829916e-06,5.803111e-06,5.783406e-06,5.767953e-06,5.737132e-06,5.732938e-06,5.698085e-06,5.691135e-06,5.663410e-06,5.645454e-06,5.628928e-06,5.600122e-06,5.594652e-06,5.560595e-06,5.555168e-06,5.526769e-06,5.510618e-06,5.493184e-06,5.466496e-06,5.459849e-06,5.426773e-06,5.422822e-06,5.393964e-06,5.379614e-06,5.361428e-06,5.336887e-06,5.329172e-06,5.297201e-06,5.294656e-06,5.265520e-06,5.252930e-06,5.234134e-06,5.211721e-06,5.203047e-06,5.172261e-06,5.171036e-06,5.141780e-06,5.130882e-06,5.111606e-06,5.091265e-06,5.081742e-06,5.052188e-06,5.013655e-06,4.975668e-06,4.938228e-06,4.901335e-06,4.864989e-06,4.829188e-06,4.793932e-06,4.759217e-06,4.725040e-06,4.691398e-06,4.658288e-06,4.625705e-06,4.593644e-06,4.562101e-06,4.531071e-06,4.500548e-06,4.470526e-06,4.441000e-06,4.411964e-06,4.383411e-06,4.355336e-06,4.327731e-06,4.300592e-06,4.273910e-06
0.000000e+00,1.889592e-10,7.526966e-10,5.248984e-09,1.750809e-08,2.971815e-08,8.893356e-08,9.241476e-08,2.123323e-07,2.587277e-07,4.083557e-07,5.705264e-07,6.998513e-07,1.069504e-06,1.106774e-06,1.648405e-06,1.800279e-06,2.339814e-06,2.794911e-06,3.186116e-06,4.051752e-06,4.177752e-06,5.291588e-06,5.526424e-06,6.497845e-06,7.151773e-06,7.767303e-06,8.864038e-06,9.074935e-06,1.040042e-05,1.061302e-05,1.172734e-05,1.236072e-05,1.304223e-05,1.407793e-05,1.433396e-05,1.559331e-05,1.574189e-05,1.681279e-05,1.733512e-05,1.798639e-05,1.884478e-05,1.910953e-05,2.017888e-05,2.026203e-05,2.119219e-05,2.158152e-05,2.214823e-05,2.280084e-05,2.304655e-05,2.388741e-05,2.391986e-05,2.467160e-05,2.494026e-05,2.540037e-05,2.586508e-05,2.607531e-05,2.669826e-05,2.727122e-05,2.744435e-05,2.779633e-05,2.810830e-05,2.827579e-05,2.869520e-05,2.871184e-05,2.910670e-05,2.921018e-05,2.946257e-05,2.965827e-05,2.978160e-05,3.004439e-05,3.006590e-05,3.031750e-05,3.037323e-05,3.053835e-05,3.064929e-05,3.073032e-05,3.087679e-05,3.089521e-05,3.103473e-05,3.105974e-05,3.115052e-05,3.120187e-05,3.124413e-05,3.130669e-05,3.131702e-05,3.137058e-05,3.137745e-05,3.140615e-05,3.141719e-05,3.142495e-05,3.142873e-05,3.142818e-05,3.141694e-05,3.141467e-05,3.139228e-05,3.137743e-05,3.135519e-05,3.131926e-05,3.130659e-05,3.124737e-05,3.124220e-05,3.117835e-05,3.114817e-05,3.110030e-05,3.103893e-05,3.101395e-05,3.091999e-05,3.091608e-05,3.081905e-05,3.078112e-05,3.071174e-05,3.063542e-05,3.059863e-05,3.048024e-05,3.035707e-05,3.031672e-05,3.022958e-05,3.014593e-05,3.009822e-05,2.996885e-05,2.996339e-05,2.982547e-05,2.978635e-05,2.968482e-05,2.959926e-05,2.954177e-05,2.940831e-05,2.939663e-05,2.924970e-05,2.921420e-05,2.910124e-05,2.901753e-05,2.895150e-05,2.881887e-05,2.880073e-05,2.864914e-05,2.861875e-05,2.849694e-05,2.841762e-05,2.834432e-05,2.821591e-05,2.819144e-05,2.803849e-05,2.801402e-05,2.788560e-05,2.781228e-05,2.773292e-05,2.761101e-05,2.758058e-05,2.742870e-05,2.741051e-05,2.727738e-05,2.721101e-05,2.712674e-05,2.701276e-05,2.697687e-05,2.682785e-05,2.681596e-05,2.667976e-05,2.662080e-05,2.653267e-05,2.642743e-05,2.638665e-05,2.624177e-05,2.623600e-05,2.609807e-05,2.604664e-05,2.595561e-05,2.585947e-05,2.581443e-05,2.567457e-05,2.549204e-05,2.531195e-05,2.513436e-05,2.495932e-05,2.478687e-05,2.461704e-05,2.444987e-05,2.428538e-05,2.412357e-05,2.396445e-05,2.380803e-05,2.365430e-05,2.350326e-05,2.335489e-05,2.320918e-05,2.306611e-05,2.292567e-05,2.278783e-05,2.265257e-05,2.251986e-05,2.238966e-05,2.226196e-05,2.213672e-05,2.201390e-05
0.000000e+00,1.761341e-09,4.393496e-09,1.644586e-08,3.872515e-08,5.711807e-08,1.314851e-07,1.354838e-07,2.627383e-07,3.086805e-07,4.503993e-07,5.970754e-07,7.107364e-07,1.024831e-06,1.055786e-06,1.493298e-06,1.612052e-06,2.020883e-06,2.351112e-06,2.625643e-06,3.208386e-06,3.290886e-06,4.001716e-06,4.148258e-06,4.746211e-06,5.143359e-06,5.514629e-06,6.172383e-06,6.298521e-06,7.090189e-06,7.217091e-06,7.882455e-06,8.260972e-06,8.668633e-06,9.289040e-06,9.442575e-06,1.019876e-05,1.028807e-05,1.093235e-05,1.124690e-05,1.163929e-05,1.215668e-05,1.231628e-05,1.296077e-05,1.301087e-05,1.357097e-05,1.380517e-05,1.414573e-05,1.453731e-05,1.468454e-05,1.518739e-05,1.520676e-05,1.565468e-05,1.581435e-05,1.608721e-05,1.636200e-05,1.648604e-05,1.685248e-05,1.718797e-05,1.728904e-05,1.749407e-05,1.767530e-05,1.777240e-05,1.801501e-05,1.802462e-05,1.825235e-05,1.831195e-05,1.845722e-05,1.856982e-05,1.864079e-05,1.879217e-05,1.880458e-05,1.895004e-05,1.898237e-05,1.907852e-05,1.914354e-05,1.919132e-05,1.927859e-05,1.928967e-05,1.937469e-05,1.939019e-05,1.944745e-05,1.948076e-05,1.950892e-05,1.955251e-05,1.956003e-05,1.960160e-05,1.960743e-05,1.963443e-05,1.964730e-05,1.965924e-05,1.967375e-05,1.967668e-05,1.968736e-05,1.968822e-05,1.969186e-05,1.969201e-05,1.969068e-05,1.968628e-05,1.968431e-05,1.967317e-05,1.967209e-05,1.965769e-05,1.965036e-05,1.963822e-05,1.962193e-05,1.961511e-05,1.958868e-05,1.958756e-05,1.955921e-05,1.954791e-05,1.952697e-05,1.950359e-05,1.949220e-05,1.945515e-05,1.941600e-05,1.940307e-05,1.937496e-05,1.934779e-05,1.933221e-05,1.928971e-05,1.928791e-05,1.924222e-05,1.922919e-05,1.919527e-05,1.916656e-05,1.914720e-05,1.910209e-05,1.909813e-05,1.904817e-05,1.903606e-05,1.899743e-05,1.896871e-05,1.894600e-05,1.890024e-05,1.889397e-05,1.884143e-05,1.883086e-05,1.878845e-05,1.876075e-05,1.873510e-05,1.869006e-05,1.868146e-05,1.862759e-05,1.861895e-05,1.857353e-05,1.854754e-05,1.851936e-05,1.847596e-05,1.846510e-05,1.841082e-05,1.840431e-05,1.835656e-05,1.833270e-05,1.830235e-05,1.826122e-05,1.824824e-05,1.819426e-05,1.818995e-05,1.814043e-05,1.811896e-05,1.808680e-05,1.804832e-05,1.803339e-05,1.798022e-05,1.797810e-05,1.792732e-05,1.790834e-05,1.787470e-05,1.783910e-05,1.782240e-05,1.777043e-05,1.770236e-05,1.763493e-05,1.756818e-05,1.750213e-05,1.743680e-05,1.737223e-05,1.730843e-05,1.724542e-05,1.718321e-05,1.712182e-05,1.706126e-05,1.700154e-05,1.694266e-05,1.688464e-05,1.682747e-05,1.677116e-05,1.671571e-05,1.666113e-05,1.660740e-05,1.655454e-05,1.650253e-05,1.645138e-05,1.640108e-05,1.635162e-05
0.000000e+00,1.698733e-12,8.710769e-12,9.870789e-11,4.913927e-10,1.023057e-09,4.955987e-09,5.245110e-09,1.831933e-08,2.480048e-08,5.027540e-08,8.483016e-08,1.169743e-07,2.285363e-07,2.412671e-07,4.535128e-07,5.215555e-07,7.910135e-07,1.050475e-06,1.296460e-06,1.916694e-06,2.015887e-06,2.996564e-06,3.228179e-06,4.285047e-06,5.091491e-06,5.925462e-06,7.604968e-06,7.958053e-06,1.041797e-05,1.085325e-05,1.333432e-05,1.490312e-05,1.672943e-05,1.980063e-05,2.061840e-05,2.500885e-05,2.556949e-05,2.990093e-05,3.221077e-05,3.528750e-05,3.970364e-05,4.115456e-05,4.748178e-05,4.800709e-05,5.424319e-05,5.706256e-05,6.140794e-05,6.679687e-05,6.894117e-05,7.680482e-05,7.712567e-05,8.495850e-05,8.795678e-05,9.336030e-05,9.919350e-05,1.019676e-04,1.107376e-04,1.196284e-04,1.224922e-04,1.285989e-04,1.343637e-04,1.376099e-04,1.462638e-04,1.466240e-04,1.556061e-04,1.581109e-04,1.645238e-04,1.698309e-04,1.733470e-04,1.813577e-04,1.820487e-04,1.906044e-04,1.926336e-04,1.989925e-04,2.036093e-04,2.071938e-04,2.142434e-04,2.151920e-04,2.229731e-04,2.245022e-04,2.305255e-04,2.343592e-04,2.378398e-04,2.437942e-04,2.449084e-04,2.517259e-04,2.527931e-04,2.582884e-04,2.613471e-04,2.645936e-04,2.694518e-04,2.706405e-04,2.764296e-04,2.771070e-04,2.819621e-04,2.843157e-04,2.872405e-04,2.910841e-04,2.922681e-04,2.970487e-04,2.974206e-04,3.015870e-04,3.033356e-04,3.058881e-04,3.088410e-04,3.099574e-04,3.138008e-04,3.139499e-04,3.174245e-04,3.186765e-04,3.208349e-04,3.230354e-04,3.240385e-04,3.270419e-04,3.298518e-04,3.307112e-04,3.324748e-04,3.340587e-04,3.349178e-04,3.370998e-04,3.371873e-04,3.392900e-04,3.398497e-04,3.412322e-04,3.423232e-04,3.430205e-04,3.445350e-04,3.446609e-04,3.461598e-04,3.464991e-04,3.475230e-04,3.482294e-04,3.487565e-04,3.497390e-04,3.498658e-04,3.508565e-04,3.510408e-04,3.517338e-04,3.521470e-04,3.525031e-04,3.530694e-04,3.531693e-04,3.537371e-04,3.538192e-04,3.542114e-04,3.544072e-04,3.545966e-04,3.548435e-04,3.548970e-04,3.551168e-04,3.551380e-04,3.552601e-04,3.552999e-04,3.553307e-04,3.553380e-04,3.553322e-04,3.552684e-04,3.552606e-04,3.551426e-04,3.550757e-04,3.549582e-04,3.547908e-04,3.547182e-04,3.544257e-04,3.544129e-04,3.540835e-04,3.539488e-04,3.536946e-04,3.534047e-04,3.532615e-04,3.527868e-04,3.521005e-04,3.513513e-04,3.505442e-04,3.496839e-04,3.487748e-04,3.478212e-04,3.468269e-04,3.457958e-04,3.447313e-04,3.436366e-04,3.425149e-04,3.413691e-04,3.402018e-04,3.390157e-04,3.378130e-04,3.365961e-04,3.353670e-04,3.341277e-04,3.328799e-04,3.316255e-04,3.303660e-04,3.291029e-04,3.278375e-04,3.265713e-04
0.000000e+00,3.823984e-10,1.338569e-09,7.597822e-09,2.218938e-08,3.557751e-08,9.523452e-08,9.859631e-08,2.097903e-07,2.512344e-07,3.813264e-07,5.179921e-07,6.246328e-07,9.211767e-07,9.505324e-07,1.369175e-06,1.484489e-06,1.889611e-06,2.228241e-06,2.518797e-06,3.165128e-06,3.259963e-06,4.110830e-06,4.293520e-06,5.062858e-06,5.593513e-06,6.102468e-06,7.031703e-06,7.213618e-06,8.380139e-06,8.570897e-06,9.587029e-06,1.017667e-05,1.082084e-05,1.181920e-05,1.206963e-05,1.332280e-05,1.347302e-05,1.457094e-05,1.511635e-05,1.580574e-05,1.673078e-05,1.701997e-05,1.820738e-05,1.830105e-05,1.936271e-05,1.981485e-05,2.048160e-05,2.126267e-05,2.156059e-05,2.259699e-05,2.263753e-05,2.358884e-05,2.393473e-05,2.453483e-05,2.515151e-05,2.543422e-05,2.628675e-05,2.709258e-05,2.734066e-05,2.785223e-05,2.831452e-05,2.856648e-05,2.921041e-05,2.923637e-05,2.986309e-05,3.003102e-05,3.044799e-05,3.077946e-05,3.099252e-05,3.145912e-05,3.149818e-05,3.196654e-05,3.207357e-05,3.239917e-05,3.262643e-05,3.279766e-05,3.312135e-05,3.316359e-05,3.349850e-05,3.356190e-05,3.380393e-05,3.395159e-05,3.408136e-05,3.429381e-05,3.433222e-05,3.455793e-05,3.459180e-05,3.475983e-05,3.484867e-05,3.493922e-05,3.506737e-05,3.509735e-05,3.523541e-05,3.525068e-05,3.535455e-05,3.540126e-05,3.545587e-05,3.552159e-05,3.554041e-05,3.560917e-05,3.561401e-05,3.566309e-05,3.568071e-05,3.570309e-05,3.572375e-05,3.573002e-05,3.574470e-05,3.574504e-05,3.574790e-05,3.574639e-05,3.574037e-05,3.572947e-05,3.572280e-05,3.569585e-05,3.566016e-05,3.564699e-05,3.561632e-05,3.558425e-05,3.556489e-05,3.550888e-05,3.550642e-05,3.544139e-05,3.542208e-05,3.537030e-05,3.532492e-05,3.529359e-05,3.521843e-05,3.521169e-05,3.512501e-05,3.510354e-05,3.503393e-05,3.498114e-05,3.493881e-05,3.485203e-05,3.483998e-05,3.473778e-05,3.471696e-05,3.463249e-05,3.457663e-05,3.452442e-05,3.443168e-05,3.441382e-05,3.430096e-05,3.428271e-05,3.418607e-05,3.413026e-05,3.406937e-05,3.397485e-05,3.395108e-05,3.383140e-05,3.381695e-05,3.371051e-05,3.365698e-05,3.358859e-05,3.349535e-05,3.346581e-05,3.334232e-05,3.333241e-05,3.321826e-05,3.316852e-05,3.309378e-05,3.300397e-05,3.296901e-05,3.284405e-05,3.283905e-05,3.271903e-05,3.267403e-05,3.259405e-05,3.250913e-05,3.246920e-05,3.234458e-05,3.218058e-05,3.201731e-05,3.185493e-05,3.169359e-05,3.153343e-05,3.137456e-05,3.121711e-05,3.106117e-05,3.090682e-05,3.075414e-05,3.060321e-05,3.045409e-05,3.030683e-05,3.016147e-05,3.001806e-05,2.987663e-05,2.973720e-05,2.959981e-05,2.946447e-05,2.933119e-05,2.919998e-05,2.907086e-05,2.894382e-05,2.881886e-05
0.000000e+00,2.158622e-09,4.990222e-09,1.734165e-08,3.968434e-08,5.805904e-08,1.327396e-07,1.367819e-07,2.669844e-07,3.147127e-07,4.641476e-07,6.219920e-07,7.463109e-07,1.098024e-06,1.133299e-06,1.643094e-06,1.785029e-06,2.284894e-06,2.700606e-06,3.053502e-06,3.821286e-06,3.931769e-06,4.898719e-06,5.101027e-06,5.935501e-06,6.497057e-06,7.026955e-06,7.977133e-06,8.161015e-06,9.327677e-06,9.516771e-06,1.051820e-05,1.109578e-05,1.172465e-05,1.269629e-05,1.293962e-05,1.415619e-05,1.430197e-05,1.536786e-05,1.589788e-05,1.656865e-05,1.747059e-05,1.775310e-05,1.891635e-05,1.900836e-05,2.005409e-05,2.050121e-05,2.116267e-05,2.194104e-05,2.223900e-05,2.328059e-05,2.332150e-05,2.428545e-05,2.463792e-05,2.525215e-05,2.588715e-05,2.617965e-05,2.706734e-05,2.791498e-05,2.817776e-05,2.872260e-05,2.921861e-05,2.949051e-05,3.019081e-05,3.021922e-05,3.090943e-05,3.109590e-05,3.156198e-05,3.193583e-05,3.217783e-05,3.271290e-05,3.275802e-05,3.330366e-05,3.342960e-05,3.381589e-05,3.408859e-05,3.429590e-05,3.469259e-05,3.474487e-05,3.516402e-05,3.524437e-05,3.555452e-05,3.574665e-05,3.591755e-05,3.620212e-05,3.625428e-05,3.656584e-05,3.661342e-05,3.685334e-05,3.698312e-05,3.711787e-05,3.731366e-05,3.736047e-05,3.758216e-05,3.760741e-05,3.778392e-05,3.786662e-05,3.796669e-05,3.809345e-05,3.813138e-05,3.827887e-05,3.828995e-05,3.841001e-05,3.845806e-05,3.852559e-05,3.859962e-05,3.862640e-05,3.871317e-05,3.871636e-05,3.878663e-05,3.880994e-05,3.884744e-05,3.888191e-05,3.889627e-05,3.893373e-05,3.896043e-05,3.896679e-05,3.897693e-05,3.898238e-05,3.898377e-05,3.898174e-05,3.898148e-05,3.897054e-05,3.896600e-05,3.895144e-05,3.893626e-05,3.892463e-05,3.889352e-05,3.889054e-05,3.884957e-05,3.883876e-05,3.880213e-05,3.877287e-05,3.874858e-05,3.869670e-05,3.868929e-05,3.862459e-05,3.861102e-05,3.855480e-05,3.851660e-05,3.848024e-05,3.841413e-05,3.840119e-05,3.831795e-05,3.830426e-05,3.823077e-05,3.818760e-05,3.813991e-05,3.806474e-05,3.804561e-05,3.794811e-05,3.793621e-05,3.784762e-05,3.780251e-05,3.774435e-05,3.766413e-05,3.763850e-05,3.753026e-05,3.752150e-05,3.741981e-05,3.737505e-05,3.730732e-05,3.722515e-05,3.719295e-05,3.707686e-05,3.707218e-05,3.695919e-05,3.691647e-05,3.684009e-05,3.675835e-05,3.671969e-05,3.659811e-05,3.643602e-05,3.627235e-05,3.610735e-05,3.594123e-05,3.577422e-05,3.560650e-05,3.543827e-05,3.526969e-05,3.510092e-05,3.493211e-05,3.476340e-05,3.459492e-05,3.442679e-05,3.425912e-05,3.409201e-05,3.392555e-05,3.375984e-05,3.359495e-05,3.343097e-05,3.326795e-05,3.310596e-05,3.294506e-05,3.278531e-05,3.262675e-05
0.000000e+00,5.385526e-11,2.317162e-10,1.855092e-09,6.859606e-09,1.222431e-08,4.061646e-08,4.236302e-08,1.054452e-07,1.309347e-07,2.158407e-07,3.113649e-07,3.895801e-07,6.210784e-07,6.449856e-07,1.002123e-06,1.105134e-06,1.479397e-06,1.803591e-06,2.087422e-06,2.729638e-06,2.824578e-06,3.678533e-06,3.861833e-06,4.631884e-06,5.161015e-06,5.667115e-06,6.588694e-06,6.768893e-06,7.924338e-06,8.113434e-06,9.122427e-06,9.709744e-06,1.035335e-05,1.135562e-05,1.160804e-05,1.287792e-05,1.303093e-05,1.415479e-05,1.471681e-05,1.543087e-05,1.639564e-05,1.669884e-05,1.795192e-05,1.805133e-05,1.918397e-05,1.966965e-05,2.038950e-05,2.123836e-05,2.156374e-05,2.270265e-05,2.274742e-05,2.380288e-05,2.418897e-05,2.486178e-05,2.555715e-05,2.587730e-05,2.684802e-05,2.777303e-05,2.805929e-05,2.865189e-05,2.919011e-05,2.948456e-05,3.024080e-05,3.027140e-05,3.101300e-05,3.121266e-05,3.171025e-05,3.210774e-05,3.236420e-05,3.292864e-05,3.297607e-05,3.354721e-05,3.367838e-05,3.407904e-05,3.436026e-05,3.457307e-05,3.497775e-05,3.503082e-05,3.545384e-05,3.553442e-05,3.584369e-05,3.603380e-05,3.620188e-05,3.647940e-05,3.652992e-05,3.682930e-05,3.687464e-05,3.710145e-05,3.722283e-05,3.734778e-05,3.752716e-05,3.756964e-05,3.776832e-05,3.779067e-05,3.794508e-05,3.801623e-05,3.810114e-05,3.820660e-05,3.823763e-05,3.835567e-05,3.836435e-05,3.845630e-05,3.849191e-05,3.854054e-05,3.859157e-05,3.860933e-05,3.866358e-05,3.866546e-05,3.870417e-05,3.871560e-05,3.873192e-05,3.874386e-05,3.874761e-05,3.875198e-05,3.874573e-05,3.874160e-05,3.872954e-05,3.871425e-05,3.870403e-05,3.867134e-05,3.866981e-05,3.862744e-05,3.861419e-05,3.857746e-05,3.854404e-05,3.852038e-05,3.846201e-05,3.845669e-05,3.838683e-05,3.836919e-05,3.831123e-05,3.826655e-05,3.823032e-05,3.815502e-05,3.814447e-05,3.805404e-05,3.803544e-05,3.795938e-05,3.790860e-05,3.786082e-05,3.777524e-05,3.775866e-05,3.765320e-05,3.763604e-05,3.754471e-05,3.749163e-05,3.743344e-05,3.734259e-05,3.731964e-05,3.720355e-05,3.718947e-05,3.708538e-05,3.703277e-05,3.696533e-05,3.687296e-05,3.684360e-05,3.672038e-05,3.671046e-05,3.659582e-05,3.654567e-05,3.647011e-05,3.637896e-05,3.634338e-05,3.621579e-05,3.621067e-05,3.608746e-05,3.604111e-05,3.595853e-05,3.587058e-05,3.582912e-05,3.569933e-05,3.552763e-05,3.535568e-05,3.518371e-05,3.501191e-05,3.484045e-05,3.466949e-05,3.449918e-05,3.432966e-05,3.416105e-05,3.399347e-05,3.382701e-05,3.366177e-05,3.349784e-05,3.333529e-05,3.317420e-05,3.301461e-05,3.285660e-05,3.270021e-05,3.254548e-05,3.239245e-05,3.224116e-05,3.209163e-05,3.194390e-05,3.179798e-05
0.000000e+00,4.132373e-09,9.912453e-09,3.580728e-08,8.337234e-08,1.227016e-07,2.828575e-07,2.915204e-07,5.695440e-07,6.708896e-07,9.861404e-07,1.315932e-06,1.573593e-06,2.294339e-06,2.366065e-06,3.394633e-06,3.679037e-06,4.676898e-06,5.504323e-06,6.205944e-06,7.731101e-06,7.950422e-06,9.867639e-06,1.026809e-05,1.191658e-05,1.302246e-05,1.406305e-05,1.592100e-05,1.627930e-05,1.854243e-05,1.890754e-05,2.083287e-05,2.193688e-05,2.313353e-05,2.497126e-05,2.542938e-05,2.770718e-05,2.797874e-05,2.995539e-05,3.093262e-05,3.216412e-05,3.381114e-05,3.432500e-05,3.643116e-05,3.659711e-05,3.847704e-05,3.927750e-05,4.045831e-05,4.184296e-05,4.237173e-05,4.421501e-05,4.428726e-05,4.598669e-05,4.660680e-05,4.768600e-05,4.880010e-05,4.931279e-05,5.086736e-05,5.235045e-05,5.281011e-05,5.376312e-05,5.463086e-05,5.510668e-05,5.633288e-05,5.638264e-05,5.759268e-05,5.791992e-05,5.873860e-05,5.939616e-05,5.982230e-05,6.076601e-05,6.084571e-05,6.181082e-05,6.203399e-05,6.271963e-05,6.320472e-05,6.357414e-05,6.428279e-05,6.437636e-05,6.512828e-05,6.527279e-05,6.583184e-05,6.617922e-05,6.648897e-05,6.700646e-05,6.710155e-05,6.767140e-05,6.775873e-05,6.820031e-05,6.844016e-05,6.869003e-05,6.905473e-05,6.914226e-05,6.955864e-05,6.960627e-05,6.994078e-05,7.009847e-05,7.029022e-05,7.053484e-05,7.060845e-05,7.089694e-05,7.091878e-05,7.115707e-05,7.125349e-05,7.139020e-05,7.154207e-05,7.159764e-05,7.178063e-05,7.178746e-05,7.194040e-05,7.199245e-05,7.207810e-05,7.215971e-05,7.219486e-05,7.229175e-05,7.236982e-05,7.239099e-05,7.243006e-05,7.245970e-05,7.247343e-05,7.250004e-05,7.250084e-05,7.251318e-05,7.251406e-05,7.251130e-05,7.250368e-05,7.249600e-05,7.247075e-05,7.246807e-05,7.242824e-05,7.241699e-05,7.237723e-05,7.234403e-05,7.231571e-05,7.225342e-05,7.224436e-05,7.216378e-05,7.214661e-05,7.207457e-05,7.202496e-05,7.197730e-05,7.188977e-05,7.187253e-05,7.176076e-05,7.174226e-05,7.164249e-05,7.158356e-05,7.151821e-05,7.141475e-05,7.138835e-05,7.125335e-05,7.123682e-05,7.111362e-05,7.105074e-05,7.096955e-05,7.085738e-05,7.082151e-05,7.066986e-05,7.065758e-05,7.051492e-05,7.045211e-05,7.035703e-05,7.024169e-05,7.019648e-05,7.003357e-05,7.002701e-05,6.986856e-05,6.980870e-05,6.970172e-05,6.958735e-05,6.953330e-05,6.936352e-05,6.913771e-05,6.891040e-05,6.868204e-05,6.845303e-05,6.822376e-05,6.799457e-05,6.776579e-05,6.753773e-05,6.731065e-05,6.708481e-05,6.686044e-05,6.663775e-05,6.641694e-05,6.619818e-05,6.598163e-05,6.576744e-05,6.555573e-05,6.534662e-05,6.514020e-05,6.493659e-05,6.473584e-05,6.453804e-05,6.434324e-05,6.415150e-05
0.000000e+00,3.510121e-09,8.169289e-09,2.855591e-08,6.541005e-08,9.564168e-08,2.176971e-07,2.242668e-07,4.340150e-07,5.100631e-07,7.456128e-07,9.907415e-07,1.181539e-06,1.712740e-06,1.765443e-06,2.519141e-06,2.727091e-06,3.456231e-06,4.061083e-06,4.574582e-06,5.693255e-06,5.854387e-06,7.264912e-06,7.559806e-06,8.773793e-06,9.587582e-06,1.035241e-05,1.171481e-05,1.197698e-05,1.362789e-05,1.389334e-05,1.528865e-05,1.608509e-05,1.694514e-05,1.825901e-05,1.858517e-05,2.019819e-05,2.038949e-05,2.177518e-05,2.245563e-05,2.330854e-05,2.444081e-05,2.479201e-05,2.622061e-05,2.633240e-05,2.759051e-05,2.812137e-05,2.889892e-05,2.980185e-05,3.014403e-05,3.132479e-05,3.137067e-05,3.244090e-05,3.282690e-05,3.349262e-05,3.417139e-05,3.448073e-05,3.540639e-05,3.627107e-05,3.653516e-05,3.707650e-05,3.756175e-05,3.782458e-05,3.849069e-05,3.851737e-05,3.915697e-05,3.932683e-05,3.974559e-05,4.007520e-05,4.028543e-05,4.074088e-05,4.077868e-05,4.122755e-05,4.132892e-05,4.163419e-05,4.184426e-05,4.200072e-05,4.229171e-05,4.232919e-05,4.262160e-05,4.267592e-05,4.287988e-05,4.300133e-05,4.310592e-05,4.327217e-05,4.330149e-05,4.346834e-05,4.349248e-05,4.360812e-05,4.366606e-05,4.372241e-05,4.379653e-05,4.381275e-05,4.388058e-05,4.388727e-05,4.392729e-05,4.394149e-05,4.395419e-05,4.396217e-05,4.396255e-05,4.395357e-05,4.395213e-05,4.392838e-05,4.391401e-05,4.388807e-05,4.385026e-05,4.383366e-05,4.376614e-05,4.376318e-05,4.368643e-05,4.365492e-05,4.359541e-05,4.352748e-05,4.349391e-05,4.338272e-05,4.326260e-05,4.322238e-05,4.313423e-05,4.304807e-05,4.299830e-05,4.286128e-05,4.285543e-05,4.270623e-05,4.266339e-05,4.255125e-05,4.245571e-05,4.239103e-05,4.223942e-05,4.222606e-05,4.205683e-05,4.201563e-05,4.188377e-05,4.178535e-05,4.170731e-05,4.154953e-05,4.152784e-05,4.134574e-05,4.130903e-05,4.116134e-05,4.106466e-05,4.097498e-05,4.081715e-05,4.078697e-05,4.059760e-05,4.056719e-05,4.040713e-05,4.031539e-05,4.021582e-05,4.006232e-05,4.002390e-05,3.983161e-05,3.980852e-05,3.963913e-05,3.955444e-05,3.944668e-05,3.930054e-05,3.925443e-05,3.906254e-05,3.904720e-05,3.887117e-05,3.879480e-05,3.868047e-05,3.854365e-05,3.849057e-05,3.830159e-05,3.829406e-05,3.811366e-05,3.804628e-05,3.792688e-05,3.780057e-05,3.774134e-05,3.755714e-05,3.731617e-05,3.707785e-05,3.684232e-05,3.660972e-05,3.638017e-05,3.615376e-05,3.593058e-05,3.571072e-05,3.549422e-05,3.528114e-05,3.507152e-05,3.486539e-05,3.466277e-05,3.446368e-05,3.426813e-05,3.407611e-05,3.388763e-05,3.370266e-05,3.352120e-05,3.334322e-05,3.316871e-05,3.299762e-05,3.282994e-05,3.266563e-05
0.000000e+00,7.133767e-09,1.625199e-08,5.519922e-08,1.240189e-07,1.796276e-07,3.995191e-07,4.111944e-07,7.776681e-07,9.080094e-07,1.304808e-06,1.708157e-06,2.016219e-06,2.850682e-06,2.931813e-06,4.065014e-06,4.370006e-06,5.419295e-06,6.271248e-06,6.984931e-06,8.518091e-06,8.736987e-06,1.063554e-05,1.102843e-05,1.262898e-05,1.368420e-05,1.466050e-05,1.635660e-05,1.667603e-05,1.863088e-05,1.893570e-05,2.049279e-05,2.134709e-05,2.224131e-05,2.355085e-05,2.386545e-05,2.536099e-05,2.553180e-05,2.672827e-05,2.729001e-05,2.797058e-05,2.883426e-05,2.909304e-05,3.010193e-05,3.017794e-05,3.100412e-05,3.133672e-05,3.180678e-05,3.232710e-05,3.251710e-05,3.314213e-05,3.316545e-05,3.368869e-05,3.386751e-05,3.416327e-05,3.444801e-05,3.457199e-05,3.492057e-05,3.521434e-05,3.529758e-05,3.545822e-05,3.559023e-05,3.565675e-05,3.580856e-05,3.581411e-05,3.593412e-05,3.596151e-05,3.602027e-05,3.605705e-05,3.607576e-05,3.610224e-05,3.610350e-05,3.610612e-05,3.610329e-05,3.608606e-05,3.606574e-05,3.604551e-05,3.599447e-05,3.598647e-05,3.591078e-05,3.589380e-05,3.582010e-05,3.576752e-05,3.571593e-05,3.561901e-05,3.559965e-05,3.547251e-05,3.545124e-05,3.533566e-05,3.526683e-05,3.519014e-05,3.506811e-05,3.503688e-05,3.487677e-05,3.485713e-05,3.471057e-05,3.463571e-05,3.453902e-05,3.440546e-05,3.436277e-05,3.418240e-05,3.416781e-05,3.399848e-05,3.392403e-05,3.381150e-05,3.367523e-05,3.362191e-05,3.343014e-05,3.342242e-05,3.323654e-05,3.316647e-05,3.304148e-05,3.290816e-05,3.284527e-05,3.264819e-05,3.245051e-05,3.238717e-05,3.225247e-05,3.212565e-05,3.205430e-05,3.186412e-05,3.185620e-05,3.165834e-05,3.160301e-05,3.146090e-05,3.134270e-05,3.126404e-05,3.108355e-05,3.106788e-05,3.087257e-05,3.082583e-05,3.067821e-05,3.056982e-05,3.048491e-05,3.031576e-05,3.029277e-05,3.010187e-05,3.006385e-05,2.991230e-05,2.981427e-05,2.972413e-05,2.956719e-05,2.953741e-05,2.935222e-05,2.932273e-05,2.916860e-05,2.908103e-05,2.898659e-05,2.884218e-05,2.880624e-05,2.862760e-05,2.860627e-05,2.845067e-05,2.837338e-05,2.827551e-05,2.814357e-05,2.810212e-05,2.793054e-05,2.791689e-05,2.776078e-05,2.769338e-05,2.759285e-05,2.747308e-05,2.742676e-05,2.726254e-05,2.725601e-05,2.710018e-05,2.704218e-05,2.693968e-05,2.683162e-05,2.678106e-05,2.662432e-05,2.642028e-05,2.621949e-05,2.602196e-05,2.582765e-05,2.563657e-05,2.544867e-05,2.526395e-05,2.508238e-05,2.490392e-05,2.472854e-05,2.455623e-05,2.438693e-05,2.422061e-05,2.405725e-05,2.389680e-05,2.373922e-05,2.358447e-05,2.343252e-05,2.328332e-05,2.313684e-05,2.299302e-05,2.285184e-05,2.271325e-05,2.257720e-05
0.000000e+00,7.051687e-10,2.201114e-09,1.069581e-08,2.876319e-08,4.473172e-08,1.142335e-07,1.181302e-07,2.479691e-07,2.971229e-07,4.546613e-07,6.253672e-07,7.618490e-07,1.151968e-06,1.191110e-06,1.749626e-06,1.901692e-06,2.423400e-06,2.841971e-06,3.188125e-06,3.918881e-06,4.022020e-06,4.908890e-06,5.091488e-06,5.836368e-06,6.331220e-06,6.794101e-06,7.615143e-06,7.772775e-06,8.763756e-06,8.922910e-06,9.759044e-06,1.023614e-05,1.075135e-05,1.153867e-05,1.173420e-05,1.270194e-05,1.281682e-05,1.364984e-05,1.405959e-05,1.457400e-05,1.525857e-05,1.547135e-05,1.633953e-05,1.640767e-05,1.717686e-05,1.750288e-05,1.798219e-05,1.854184e-05,1.875488e-05,1.949465e-05,1.952355e-05,2.020155e-05,2.044805e-05,2.087591e-05,2.131613e-05,2.151822e-05,2.212915e-05,2.270949e-05,2.288888e-05,2.326010e-05,2.359731e-05,2.378189e-05,2.425661e-05,2.427585e-05,2.474293e-05,2.486904e-05,2.518415e-05,2.543687e-05,2.560048e-05,2.596237e-05,2.599291e-05,2.636240e-05,2.644777e-05,2.670989e-05,2.689523e-05,2.703632e-05,2.730687e-05,2.734258e-05,2.762955e-05,2.768470e-05,2.789805e-05,2.803065e-05,2.814892e-05,2.834659e-05,2.838293e-05,2.860085e-05,2.863428e-05,2.880341e-05,2.889538e-05,2.899129e-05,2.913150e-05,2.916519e-05,2.932573e-05,2.934413e-05,2.947356e-05,2.953472e-05,2.960924e-05,2.970461e-05,2.973337e-05,2.984648e-05,2.985507e-05,2.994909e-05,2.998731e-05,3.004171e-05,3.010248e-05,3.012482e-05,3.019886e-05,3.020164e-05,3.026428e-05,3.028580e-05,3.032149e-05,3.035592e-05,3.037090e-05,3.041289e-05,3.044782e-05,3.045756e-05,3.047604e-05,3.049073e-05,3.049788e-05,3.051315e-05,3.051367e-05,3.052371e-05,3.052552e-05,3.052828e-05,3.052851e-05,3.052766e-05,3.052274e-05,3.052213e-05,3.051192e-05,3.050881e-05,3.049729e-05,3.048725e-05,3.047846e-05,3.045860e-05,3.045566e-05,3.042909e-05,3.042334e-05,3.039896e-05,3.038194e-05,3.036545e-05,3.033483e-05,3.032875e-05,3.028903e-05,3.028241e-05,3.024646e-05,3.022506e-05,3.020120e-05,3.016316e-05,3.015341e-05,3.010321e-05,3.009704e-05,3.005077e-05,3.002701e-05,2.999620e-05,2.995338e-05,2.993963e-05,2.988118e-05,2.987643e-05,2.982097e-05,2.979642e-05,2.975911e-05,2.971361e-05,2.969570e-05,2.963085e-05,2.962822e-05,2.956464e-05,2.954049e-05,2.949717e-05,2.945062e-05,2.942853e-05,2.935880e-05,2.926521e-05,2.917004e-05,2.907344e-05,2.897556e-05,2.887656e-05,2.877655e-05,2.867568e-05,2.857406e-05,2.847180e-05,2.836900e-05,2.826577e-05,2.816221e-05,2.805838e-05,2.795439e-05,2.785030e-05,2.774619e-05,2.764212e-05,2.753815e-05,2.743436e-05,2.733078e-05,2.722748e-05,2.712451e-05,2.702190e-05,2.691969e-05
0.000000e+00,1.019297e-09,2.545399e-09,9.517673e-09,2.235086e-08,3.290510e-08,7.530948e-08,7.757930e-08,1.493675e-07,1.750936e-07,2.538785e-07,3.345479e-07,3.964526e-07,5.646496e-07,5.809902e-07,8.074796e-07,8.676138e-07,1.071063e-06,1.232226e-06,1.364648e-06,1.642490e-06,1.681555e-06,2.016116e-06,2.084701e-06,2.363366e-06,2.547423e-06,2.718738e-06,3.020377e-06,3.077937e-06,3.436949e-06,3.494124e-06,3.792108e-06,3.960244e-06,4.140165e-06,4.411620e-06,4.478352e-06,4.804411e-06,4.842635e-06,5.116601e-06,5.249232e-06,5.413672e-06,5.628828e-06,5.694826e-06,5.959661e-06,5.980139e-06,6.208113e-06,6.302946e-06,6.440393e-06,6.597852e-06,6.656926e-06,6.858300e-06,6.866049e-06,7.045217e-06,7.109115e-06,7.218450e-06,7.328848e-06,7.378815e-06,7.527139e-06,7.664242e-06,7.705876e-06,7.790922e-06,7.866882e-06,7.907944e-06,8.011871e-06,8.016032e-06,8.115865e-06,8.142427e-06,8.208076e-06,8.259989e-06,8.293249e-06,8.365857e-06,8.371924e-06,8.444597e-06,8.461197e-06,8.511721e-06,8.547042e-06,8.573710e-06,8.624313e-06,8.630941e-06,8.683759e-06,8.693821e-06,8.732477e-06,8.756286e-06,8.777382e-06,8.812345e-06,8.818732e-06,8.856767e-06,8.862559e-06,8.891703e-06,8.907431e-06,8.923740e-06,8.947404e-06,8.953058e-06,8.979824e-06,8.982871e-06,9.004188e-06,9.014185e-06,9.026293e-06,9.041660e-06,9.046266e-06,9.064228e-06,9.065582e-06,9.080290e-06,9.086206e-06,9.094554e-06,9.103764e-06,9.107114e-06,9.118061e-06,9.118466e-06,9.127476e-06,9.130505e-06,9.135437e-06,9.140056e-06,9.142016e-06,9.147280e-06,9.151295e-06,9.152326e-06,9.154120e-06,9.155329e-06,9.155810e-06,9.156415e-06,9.156420e-06,9.155999e-06,9.155703e-06,9.154595e-06,9.153301e-06,9.152255e-06,9.149310e-06,9.149019e-06,9.144930e-06,9.143826e-06,9.140025e-06,9.136936e-06,9.134342e-06,9.128725e-06,9.127915e-06,9.120778e-06,9.119269e-06,9.112963e-06,9.108642e-06,9.104500e-06,9.096912e-06,9.095419e-06,9.085746e-06,9.084145e-06,9.075509e-06,9.070402e-06,9.064732e-06,9.055740e-06,9.053442e-06,9.041660e-06,9.040214e-06,9.029409e-06,9.023876e-06,9.016712e-06,9.006775e-06,9.003587e-06,8.990056e-06,8.988957e-06,8.976138e-06,8.970466e-06,8.961850e-06,8.951344e-06,8.947210e-06,8.932236e-06,8.931630e-06,8.916943e-06,8.911362e-06,8.901347e-06,8.890577e-06,8.885463e-06,8.869307e-06,8.847585e-06,8.825443e-06,8.802908e-06,8.780011e-06,8.756775e-06,8.733228e-06,8.709394e-06,8.685294e-06,8.660952e-06,8.636388e-06,8.611622e-06,8.586674e-06,8.561560e-06,8.536299e-06,8.510906e-06,8.485398e-06,8.459790e-06,8.434095e-06,8.408328e-06,8.382502e-06,8.356628e-06,8.330719e-06,8.304786e-06,8.278839e-06
0.000000e+00,1.365337e-11,6.522907e-11,6.388872e-10,2.788202e-09,5.402984e-09,2.178598e-08,2.288687e-08,6.683546e-08,8.623489e-08,1.551101e-07,2.379255e-07,3.085597e-07,5.271142e-07,5.502762e-07,9.051514e-07,1.010045e-06,1.399216e-06,1.746274e-06,2.057863e-06,2.790565e-06,2.902193e-06,3.944115e-06,4.176371e-06,5.182725e-06,5.900378e-06,6.604173e-06,7.922361e-06,8.184795e-06,9.895570e-06,1.017933e-05,1.170607e-05,1.260187e-05,1.358711e-05,1.512473e-05,1.551206e-05,1.745735e-05,1.769114e-05,1.940235e-05,2.025334e-05,2.132910e-05,2.277158e-05,2.322207e-05,2.506790e-05,2.521317e-05,2.685521e-05,2.755156e-05,2.857449e-05,2.976583e-05,3.021798e-05,3.177958e-05,3.184027e-05,3.325472e-05,3.376396e-05,3.464029e-05,3.553033e-05,3.593447e-05,3.713661e-05,3.824711e-05,3.858330e-05,3.926722e-05,3.987355e-05,4.019894e-05,4.101264e-05,4.104487e-05,4.180808e-05,4.200742e-05,4.249202e-05,4.286586e-05,4.310037e-05,4.359664e-05,4.363703e-05,4.410594e-05,4.420885e-05,4.451111e-05,4.471165e-05,4.485652e-05,4.511416e-05,4.514609e-05,4.538363e-05,4.542522e-05,4.557284e-05,4.565331e-05,4.571727e-05,4.580648e-05,4.582033e-05,4.588524e-05,4.589229e-05,4.591508e-05,4.591780e-05,4.591274e-05,4.588955e-05,4.588097e-05,4.582231e-05,4.581358e-05,4.573918e-05,4.569543e-05,4.563381e-05,4.554016e-05,4.550831e-05,4.536462e-05,4.535240e-05,4.520456e-05,4.513634e-05,4.502982e-05,4.489579e-05,4.484195e-05,4.464240e-05,4.463420e-05,4.443252e-05,4.435467e-05,4.421353e-05,4.406001e-05,4.398659e-05,4.375274e-05,4.351296e-05,4.343512e-05,4.326813e-05,4.310918e-05,4.301909e-05,4.277673e-05,4.276657e-05,4.251128e-05,4.243939e-05,4.225384e-05,4.209860e-05,4.199485e-05,4.175564e-05,4.173481e-05,4.147423e-05,4.141166e-05,4.121355e-05,4.106767e-05,4.095315e-05,4.072454e-05,4.069342e-05,4.043467e-05,4.038307e-05,4.017722e-05,4.004394e-05,3.992132e-05,3.970774e-05,3.966722e-05,3.941514e-05,3.937501e-05,3.916528e-05,3.904619e-05,3.891782e-05,3.872167e-05,3.867290e-05,3.843067e-05,3.840178e-05,3.819124e-05,3.808681e-05,3.795472e-05,3.777697e-05,3.772121e-05,3.749078e-05,3.747248e-05,3.726350e-05,3.717348e-05,3.703943e-05,3.688011e-05,3.681861e-05,3.660108e-05,3.659245e-05,3.638687e-05,3.631057e-05,3.617600e-05,3.603452e-05,3.596848e-05,3.576433e-05,3.550000e-05,3.524152e-05,3.498887e-05,3.474202e-05,3.450091e-05,3.426550e-05,3.403571e-05,3.381148e-05,3.359273e-05,3.337937e-05,3.317132e-05,3.296849e-05,3.277079e-05,3.257811e-05,3.239036e-05,3.220744e-05,3.202925e-05,3.185569e-05,3.168666e-05,3.152205e-05,3.136177e-05,3.120572e-05,3.105378e-05,3.090588e-05
0.000000e+00,8.857573e-11,3.942635e-10,3.361290e-09,1.305190e-08,2.381628e-08,8.333380e-08,8.707754e-08,2.254704e-07,2.825311e-07,4.752642e-07,6.952050e-07,8.767758e-07,1.417687e-06,1.473631e-06,2.305336e-06,2.542814e-06,3.393196e-06,4.113375e-06,4.732123e-06,6.098033e-06,6.296579e-06,8.052946e-06,8.424296e-06,9.968438e-06,1.101769e-05,1.201438e-05,1.381553e-05,1.416593e-05,1.640069e-05,1.676455e-05,1.869750e-05,1.981593e-05,2.103569e-05,2.292231e-05,2.339485e-05,2.575496e-05,2.603731e-05,2.809665e-05,2.911640e-05,3.040164e-05,3.211846e-05,3.265309e-05,3.483594e-05,3.500720e-05,3.693712e-05,3.775220e-05,3.894568e-05,4.032949e-05,4.085286e-05,4.265200e-05,4.272164e-05,4.433849e-05,4.491747e-05,4.590960e-05,4.691144e-05,4.736426e-05,4.870290e-05,4.992720e-05,5.029525e-05,5.103990e-05,5.169507e-05,5.204456e-05,5.291132e-05,5.294542e-05,5.374721e-05,5.395463e-05,5.445496e-05,5.483667e-05,5.507396e-05,5.556965e-05,5.560956e-05,5.606713e-05,5.616592e-05,5.645197e-05,5.663764e-05,5.676925e-05,5.699657e-05,5.702400e-05,5.722102e-05,5.725390e-05,5.736489e-05,5.742015e-05,5.745996e-05,5.750512e-05,5.751034e-05,5.751988e-05,5.751786e-05,5.749217e-05,5.746664e-05,5.743059e-05,5.735903e-05,5.733825e-05,5.721805e-05,5.720188e-05,5.707268e-05,5.700139e-05,5.690463e-05,5.676314e-05,5.671617e-05,5.650943e-05,5.649216e-05,5.628635e-05,5.619294e-05,5.604870e-05,5.586951e-05,5.579814e-05,5.553615e-05,5.552546e-05,5.526413e-05,5.516399e-05,5.498333e-05,5.478797e-05,5.469491e-05,5.439993e-05,5.409936e-05,5.400214e-05,5.379408e-05,5.359660e-05,5.348490e-05,5.318509e-05,5.317255e-05,5.285771e-05,5.276919e-05,5.254099e-05,5.235029e-05,5.222295e-05,5.192963e-05,5.190410e-05,5.158491e-05,5.150830e-05,5.126579e-05,5.108726e-05,5.094712e-05,5.066735e-05,5.062926e-05,5.031252e-05,5.024933e-05,4.999718e-05,4.983384e-05,4.968350e-05,4.942146e-05,4.937171e-05,4.906202e-05,4.901268e-05,4.875462e-05,4.860793e-05,4.844968e-05,4.820759e-05,4.814734e-05,4.784775e-05,4.781199e-05,4.755102e-05,4.742139e-05,4.725725e-05,4.703603e-05,4.696654e-05,4.667897e-05,4.665610e-05,4.639460e-05,4.628177e-05,4.611350e-05,4.591316e-05,4.583572e-05,4.556130e-05,4.555039e-05,4.529028e-05,4.519354e-05,4.502267e-05,4.484267e-05,4.475852e-05,4.449782e-05,4.415902e-05,4.382627e-05,4.349958e-05,4.317892e-05,4.286428e-05,4.255562e-05,4.225290e-05,4.195606e-05,4.166506e-05,4.137982e-05,4.110028e-05,4.082638e-05,4.055803e-05,4.029515e-05,4.003768e-05,3.978552e-05,3.953859e-05,3.929680e-05,3.906008e-05,3.882832e-05,3.860145e-05,3.837937e-05,3.816199e-05,3.794923e-05
0.000000e+00,6.326264e-10,1.896440e-09,8.746275e-09,2.282375e-08,3.501745e-08,8.656874e-08,8.940214e-08,1.812146e-07,2.148605e-07,3.194817e-07,4.284720e-07,5.131546e-07,7.475199e-07,7.706311e-07,1.097789e-06,1.186905e-06,1.495766e-06,1.748605e-06,1.961777e-06,2.424933e-06,2.491778e-06,3.081774e-06,3.206627e-06,3.727795e-06,4.084475e-06,4.425595e-06,5.048329e-06,5.170460e-06,5.957157e-06,6.086536e-06,6.779988e-06,7.186012e-06,7.632893e-06,8.332657e-06,8.509598e-06,9.403760e-06,9.511934e-06,1.030912e-05,1.070946e-05,1.121963e-05,1.191153e-05,1.212957e-05,1.303364e-05,1.310557e-05,1.392703e-05,1.428042e-05,1.480545e-05,1.542651e-05,1.566514e-05,1.650292e-05,1.653594e-05,1.731612e-05,1.760243e-05,1.810260e-05,1.862126e-05,1.886067e-05,1.958909e-05,2.028700e-05,2.050380e-05,2.095391e-05,2.136434e-05,2.158959e-05,2.217053e-05,2.219412e-05,2.276776e-05,2.292290e-05,2.331097e-05,2.362253e-05,2.382435e-05,2.427093e-05,2.430862e-05,2.476462e-05,2.486995e-05,2.519322e-05,2.542161e-05,2.559536e-05,2.592813e-05,2.597202e-05,2.632418e-05,2.639177e-05,2.665286e-05,2.681482e-05,2.695904e-05,2.719958e-05,2.724372e-05,2.750788e-05,2.754830e-05,2.775245e-05,2.786316e-05,2.797837e-05,2.814629e-05,2.818654e-05,2.837783e-05,2.839969e-05,2.855308e-05,2.862532e-05,2.871309e-05,2.882499e-05,2.885865e-05,2.899049e-05,2.900046e-05,2.910931e-05,2.915336e-05,2.921582e-05,2.928523e-05,2.931063e-05,2.939439e-05,2.939752e-05,2.946767e-05,2.949160e-05,2.953105e-05,2.956875e-05,2.958504e-05,2.963016e-05,2.966689e-05,2.967695e-05,2.969570e-05,2.971018e-05,2.971701e-05,2.973081e-05,2.973125e-05,2.973880e-05,2.973977e-05,2.974004e-05,2.973790e-05,2.973533e-05,2.972602e-05,2.972499e-05,2.970936e-05,2.970486e-05,2.968874e-05,2.967511e-05,2.966340e-05,2.963744e-05,2.963364e-05,2.959970e-05,2.959243e-05,2.956184e-05,2.954067e-05,2.952028e-05,2.948268e-05,2.947525e-05,2.942697e-05,2.941895e-05,2.937563e-05,2.934995e-05,2.932141e-05,2.927610e-05,2.926451e-05,2.920509e-05,2.919780e-05,2.914332e-05,2.911543e-05,2.907935e-05,2.902935e-05,2.901332e-05,2.894538e-05,2.893987e-05,2.887566e-05,2.884730e-05,2.880428e-05,2.875193e-05,2.873136e-05,2.865702e-05,2.865402e-05,2.858137e-05,2.855383e-05,2.850450e-05,2.845158e-05,2.842651e-05,2.834750e-05,2.824178e-05,2.813461e-05,2.802618e-05,2.791664e-05,2.780616e-05,2.769487e-05,2.758292e-05,2.747042e-05,2.735749e-05,2.724425e-05,2.713079e-05,2.701722e-05,2.690361e-05,2.679006e-05,2.667663e-05,2.656341e-05,2.645046e-05,2.633783e-05,2.622560e-05,2.611381e-05,2.600251e-05,2.589175e-05,2.578158e-05,2.567202e-05
0.000000e+00,3.344591e-12,1.615051e-11,1.616504e-10,7.190263e-10,1.407497e-09,5.817914e-09,6.117801e-09,1.826728e-08,2.370126e-08,4.318952e-08,6.687312e-08,8.720569e-08,1.505431e-07,1.572789e-07,2.607140e-07,2.913192e-07,4.047954e-07,5.057783e-07,5.962251e-07,8.081820e-07,8.404043e-07,1.140842e-06,1.207841e-06,1.498942e-06,1.707829e-06,1.914159e-06,2.305560e-06,2.384363e-06,2.906238e-06,2.994263e-06,3.475609e-06,3.764394e-06,4.087701e-06,4.604649e-06,4.737312e-06,5.418958e-06,5.502640e-06,6.126978e-06,6.445387e-06,6.855649e-06,7.419750e-06,7.599288e-06,8.352345e-06,8.412835e-06,9.109500e-06,9.412376e-06,9.865744e-06,1.040706e-05,1.061645e-05,1.135741e-05,1.138679e-05,1.208489e-05,1.234284e-05,1.279563e-05,1.326794e-05,1.348687e-05,1.415630e-05,1.480208e-05,1.500349e-05,1.542279e-05,1.580639e-05,1.601738e-05,1.656299e-05,1.658518e-05,1.712580e-05,1.727229e-05,1.763914e-05,1.793410e-05,1.812533e-05,1.854891e-05,1.858468e-05,1.901768e-05,1.911774e-05,1.942493e-05,1.964200e-05,1.980714e-05,2.012341e-05,2.016511e-05,2.049969e-05,2.056388e-05,2.081177e-05,2.096546e-05,2.110226e-05,2.133026e-05,2.137208e-05,2.162217e-05,2.166042e-05,2.185345e-05,2.195805e-05,2.206682e-05,2.222521e-05,2.226316e-05,2.244335e-05,2.246392e-05,2.260821e-05,2.267610e-05,2.275856e-05,2.286359e-05,2.289517e-05,2.301879e-05,2.302814e-05,2.313014e-05,2.317140e-05,2.322990e-05,2.329491e-05,2.331872e-05,2.339722e-05,2.340015e-05,2.346599e-05,2.348847e-05,2.352560e-05,2.356117e-05,2.357657e-05,2.361942e-05,2.365463e-05,2.366435e-05,2.368264e-05,2.369700e-05,2.370390e-05,2.371832e-05,2.371880e-05,2.372774e-05,2.372923e-05,2.373109e-05,2.373055e-05,2.372917e-05,2.372306e-05,2.372234e-05,2.371088e-05,2.370748e-05,2.369510e-05,2.368448e-05,2.367527e-05,2.365469e-05,2.365166e-05,2.362451e-05,2.361867e-05,2.359404e-05,2.357697e-05,2.356050e-05,2.353009e-05,2.352407e-05,2.348497e-05,2.347848e-05,2.344337e-05,2.342257e-05,2.339946e-05,2.336277e-05,2.335339e-05,2.330532e-05,2.329943e-05,2.325541e-05,2.323290e-05,2.320380e-05,2.316351e-05,2.315061e-05,2.309596e-05,2.309153e-05,2.303999e-05,2.301726e-05,2.298280e-05,2.294093e-05,2.292449e-05,2.286517e-05,2.286278e-05,2.280493e-05,2.278304e-05,2.274386e-05,2.270190e-05,2.268204e-05,2.261955e-05,2.253616e-05,2.245191e-05,2.236692e-05,2.228135e-05,2.219531e-05,2.210894e-05,2.202233e-05,2.193560e-05,2.184882e-05,2.176210e-05,2.167550e-05,2.158911e-05,2.150299e-05,2.141720e-05,2.133180e-05,2.124684e-05,2.116237e-05,2.107844e-05,2.099509e-05,2.091235e-05,2.083026e-05,2.074885e-05,2.066814e-05,2.058816e-05
0.000000e+00,1.579256e-09,3.719222e-09,1.313382e-08,3.017326e-08,4.414478e-08,1.005071e-07,1.035400e-07,2.004022e-07,2.355524e-07,3.445412e-07,4.580461e-07,5.463055e-07,7.903297e-07,8.143188e-07,1.150753e-06,1.241077e-06,1.548816e-06,1.794283e-06,1.996707e-06,2.422798e-06,2.482812e-06,2.997525e-06,3.103183e-06,3.532948e-06,3.817260e-06,4.082268e-06,4.549948e-06,4.639372e-06,5.198679e-06,5.288027e-06,5.755126e-06,6.019856e-06,6.304196e-06,6.735480e-06,6.841960e-06,7.365102e-06,7.426762e-06,7.870922e-06,8.087432e-06,8.357314e-06,8.713005e-06,8.822726e-06,9.266104e-06,9.300602e-06,9.686831e-06,9.848713e-06,1.008466e-05,1.035694e-05,1.045966e-05,1.081214e-05,1.082578e-05,1.114262e-05,1.125633e-05,1.145176e-05,1.165016e-05,1.174030e-05,1.200911e-05,1.225907e-05,1.233522e-05,1.249109e-05,1.263059e-05,1.270608e-05,1.289732e-05,1.290498e-05,1.308867e-05,1.313750e-05,1.325803e-05,1.335311e-05,1.341389e-05,1.354607e-05,1.355708e-05,1.368835e-05,1.371817e-05,1.380846e-05,1.387110e-05,1.391810e-05,1.400644e-05,1.401792e-05,1.410854e-05,1.412562e-05,1.419056e-05,1.422999e-05,1.426452e-05,1.432079e-05,1.433093e-05,1.439030e-05,1.439917e-05,1.444306e-05,1.446617e-05,1.448966e-05,1.452276e-05,1.453049e-05,1.456592e-05,1.456983e-05,1.459631e-05,1.460817e-05,1.462199e-05,1.463855e-05,1.464327e-05,1.466043e-05,1.466163e-05,1.467375e-05,1.467806e-05,1.468348e-05,1.468840e-05,1.468987e-05,1.469312e-05,1.469319e-05,1.469346e-05,1.469290e-05,1.469107e-05,1.468798e-05,1.468614e-05,1.467885e-05,1.466934e-05,1.466586e-05,1.465779e-05,1.464938e-05,1.464432e-05,1.462972e-05,1.462907e-05,1.461217e-05,1.460716e-05,1.459373e-05,1.458198e-05,1.457387e-05,1.455442e-05,1.455268e-05,1.453027e-05,1.452472e-05,1.450673e-05,1.449308e-05,1.448214e-05,1.445969e-05,1.445658e-05,1.443013e-05,1.442474e-05,1.440286e-05,1.438838e-05,1.437485e-05,1.435078e-05,1.434614e-05,1.431681e-05,1.431206e-05,1.428691e-05,1.427237e-05,1.425649e-05,1.423181e-05,1.422560e-05,1.419428e-05,1.419050e-05,1.416260e-05,1.414854e-05,1.413057e-05,1.410603e-05,1.409825e-05,1.406567e-05,1.406306e-05,1.403287e-05,1.401969e-05,1.399987e-05,1.397601e-05,1.396672e-05,1.393343e-05,1.393209e-05,1.390004e-05,1.388800e-05,1.386657e-05,1.384377e-05,1.383304e-05,1.379949e-05,1.375518e-05,1.371091e-05,1.366671e-05,1.362262e-05,1.357867e-05,1.353491e-05,1.349136e-05,1.344805e-05,1.340501e-05,1.336225e-05,1.331981e-05,1.327770e-05,1.323594e-05,1.319454e-05,1.315352e-05,1.311290e-05,1.307268e-05,1.303288e-05,1.299351e-05,1.295457e-05,1.291608e-05,1.287803e-05,1.284044e-05,1.280331e-05
0.000000e+00,9.840016e-12,5.100258e-11,5.910157e-10,3.002699e-09,6.321219e-09,3.149580e-08,3.337065e-08,1.196956e-07,1.631685e-07,3.363427e-07,5.747730e-07,7.988686e-07,1.587452e-06,1.678263e-06,3.210984e-06,3.708901e-06,5.707733e-06,7.669569e-06,9.560291e-06,1.444846e-05,1.524518e-05,2.332249e-05,2.527985e-05,3.442878e-05,4.163145e-05,4.926421e-05,6.515333e-05,6.857568e-05,9.313764e-05,9.760713e-05,1.237323e-04,1.407877e-04,1.611302e-04,1.964463e-04,2.060725e-04,2.592538e-04,2.662200e-04,3.213083e-04,3.515707e-04,3.927969e-04,4.537349e-04,4.741971e-04,5.658947e-04,5.736847e-04,6.681785e-04,7.121015e-04,7.812357e-04,8.693594e-04,9.051512e-04,1.039908e-03,1.045522e-03,1.185388e-03,1.240347e-03,1.341378e-03,1.453303e-03,1.507573e-03,1.683585e-03,1.868947e-03,1.930152e-03,2.063123e-03,2.191748e-03,2.265517e-03,2.466946e-03,2.475481e-03,2.692325e-03,2.754176e-03,2.915325e-03,3.051769e-03,3.143731e-03,3.357981e-03,3.376778e-03,3.613691e-03,3.671039e-03,3.853694e-03,3.989159e-03,4.096018e-03,4.310581e-03,4.339905e-03,4.584614e-03,4.633591e-03,4.829428e-03,4.956541e-03,5.073654e-03,5.277865e-03,5.316632e-03,5.557734e-03,5.596096e-03,5.796367e-03,5.909871e-03,6.031979e-03,6.217943e-03,6.264051e-03,6.492109e-03,6.519185e-03,6.715716e-03,6.812590e-03,6.934476e-03,7.097272e-03,7.148034e-03,7.356071e-03,7.372466e-03,7.558308e-03,7.637524e-03,7.754504e-03,7.891908e-03,7.944453e-03,8.127982e-03,8.135188e-03,8.304952e-03,8.367034e-03,8.475255e-03,8.587211e-03,8.638811e-03,8.795569e-03,8.945503e-03,8.992040e-03,9.088611e-03,9.176626e-03,9.224912e-03,9.349394e-03,9.354447e-03,9.477273e-03,9.510472e-03,9.593466e-03,9.660035e-03,9.703117e-03,9.798306e-03,9.806329e-03,9.903218e-03,9.925544e-03,9.993911e-03,1.004204e-02,1.007854e-02,1.014812e-02,1.015726e-02,1.023021e-02,1.024413e-02,1.029756e-02,1.033041e-02,1.035945e-02,1.040736e-02,1.041607e-02,1.046757e-02,1.047534e-02,1.051412e-02,1.053476e-02,1.055590e-02,1.058600e-02,1.059308e-02,1.062582e-02,1.062946e-02,1.065431e-02,1.066553e-02,1.067869e-02,1.069459e-02,1.069916e-02,1.071586e-02,1.071704e-02,1.072896e-02,1.073323e-02,1.073863e-02,1.074354e-02,1.074501e-02,1.074826e-02,1.074833e-02,1.074854e-02,1.074794e-02,1.074599e-02,1.074271e-02,1.074075e-02,1.073295e-02,1.071899e-02,1.070112e-02,1.067962e-02,1.065477e-02,1.062683e-02,1.059605e-02,1.056266e-02,1.052689e-02,1.048896e-02,1.044906e-02,1.040738e-02,1.036410e-02,1.031939e-02,1.027341e-02,1.022631e-02,1.017823e-02,1.012930e-02,1.007963e-02,1.002936e-02,9.978572e-03,9.927380e-03,9.875872e-03,9.824134e-03,9.772247e-03
0.000000e+00,2.502974e-09,5.742292e-09,1.977639e-08,4.499366e-08,6.562266e-08,1.486652e-07,1.531272e-07,2.952880e-07,3.467119e-07,5.056704e-07,6.706618e-07,7.988277e-07,1.154631e-06,1.189854e-06,1.691971e-06,1.829967e-06,2.312024e-06,2.710129e-06,3.047314e-06,3.781643e-06,3.887594e-06,4.819896e-06,5.016274e-06,5.831701e-06,6.385487e-06,6.911788e-06,7.864379e-06,8.050002e-06,9.236826e-06,9.430613e-06,1.046310e-05,1.106308e-05,1.171987e-05,1.274136e-05,1.299839e-05,1.429020e-05,1.444572e-05,1.558716e-05,1.615747e-05,1.688163e-05,1.785937e-05,1.816651e-05,1.943535e-05,1.953598e-05,2.068233e-05,2.117385e-05,2.190242e-05,2.276175e-05,2.309124e-05,2.424512e-05,2.429050e-05,2.536104e-05,2.575300e-05,2.643663e-05,2.714405e-05,2.747008e-05,2.846010e-05,2.940587e-05,2.969909e-05,3.030698e-05,3.086022e-05,3.116338e-05,3.194369e-05,3.197532e-05,3.274330e-05,3.295056e-05,3.346804e-05,3.388249e-05,3.415042e-05,3.474169e-05,3.479148e-05,3.539233e-05,3.553069e-05,3.595421e-05,3.625232e-05,3.647840e-05,3.690954e-05,3.696620e-05,3.741897e-05,3.750544e-05,3.783806e-05,3.804313e-05,3.822484e-05,3.852573e-05,3.858064e-05,3.890679e-05,3.895632e-05,3.920462e-05,3.933790e-05,3.947540e-05,3.967340e-05,3.972039e-05,3.994080e-05,3.996565e-05,4.013781e-05,4.021738e-05,4.031258e-05,4.043120e-05,4.046620e-05,4.059975e-05,4.060960e-05,4.071425e-05,4.075495e-05,4.081071e-05,4.086951e-05,4.089006e-05,4.095324e-05,4.095544e-05,4.100111e-05,4.101476e-05,4.103452e-05,4.104939e-05,4.105427e-05,4.106114e-05,4.105587e-05,4.105174e-05,4.103917e-05,4.102279e-05,4.101170e-05,4.097581e-05,4.097412e-05,4.092704e-05,4.091224e-05,4.087105e-05,4.083341e-05,4.080671e-05,4.074060e-05,4.073455e-05,4.065508e-05,4.063498e-05,4.056879e-05,4.051766e-05,4.047614e-05,4.038970e-05,4.037757e-05,4.027350e-05,4.025206e-05,4.016432e-05,4.010566e-05,4.005042e-05,3.995135e-05,3.993214e-05,3.980985e-05,3.978993e-05,3.968385e-05,3.962214e-05,3.955445e-05,3.944869e-05,3.942196e-05,3.928664e-05,3.927023e-05,3.914877e-05,3.908735e-05,3.900858e-05,3.890063e-05,3.886631e-05,3.872219e-05,3.871059e-05,3.857643e-05,3.851771e-05,3.842923e-05,3.832246e-05,3.828077e-05,3.813124e-05,3.812524e-05,3.798081e-05,3.792647e-05,3.782964e-05,3.772649e-05,3.767786e-05,3.752564e-05,3.732423e-05,3.712256e-05,3.692088e-05,3.671944e-05,3.651846e-05,3.631816e-05,3.611871e-05,3.592030e-05,3.572307e-05,3.552718e-05,3.533276e-05,3.513993e-05,3.494879e-05,3.475944e-05,3.457197e-05,3.438646e-05,3.420298e-05,3.402158e-05,3.384233e-05,3.366527e-05,3.349043e-05,3.331787e-05,3.314759e-05,3.297964e-05
0.000000e+00,1.100997e-11,5.623217e-11,6.318660e-10,3.120885e-09,6.468783e-09,3.096610e-08,3.275625e-08,1.129718e-07,1.523923e-07,3.060612e-07,5.123878e-07,7.028784e-07,1.357515e-06,1.431778e-06,2.662860e-06,3.055840e-06,4.609146e-06,6.103857e-06,7.521889e-06,1.110448e-05,1.167841e-05,1.736425e-05,1.870949e-05,2.485392e-05,2.954474e-05,3.439383e-05,4.414355e-05,4.618952e-05,6.039753e-05,6.290235e-05,7.712143e-05,8.605924e-05,9.641126e-05,1.136912e-04,1.182655e-04,1.426351e-04,1.457245e-04,1.694282e-04,1.819531e-04,1.985167e-04,2.220623e-04,2.297418e-04,2.629208e-04,2.656537e-04,2.978533e-04,3.122700e-04,3.343267e-04,3.614186e-04,3.721216e-04,4.110167e-04,4.125923e-04,4.507929e-04,4.652866e-04,4.912364e-04,5.190141e-04,5.321421e-04,5.733152e-04,6.145734e-04,6.277660e-04,6.557477e-04,6.819830e-04,6.966831e-04,7.356259e-04,7.372392e-04,7.772900e-04,7.883981e-04,8.167235e-04,8.400460e-04,8.554418e-04,8.903573e-04,8.933595e-04,9.304040e-04,9.391578e-04,9.665141e-04,9.863082e-04,1.001639e-03,1.031701e-03,1.035738e-03,1.068779e-03,1.075258e-03,1.100739e-03,1.116924e-03,1.131600e-03,1.156666e-03,1.161352e-03,1.189992e-03,1.194471e-03,1.217519e-03,1.230338e-03,1.243939e-03,1.264283e-03,1.269260e-03,1.293495e-03,1.296331e-03,1.316658e-03,1.326515e-03,1.338767e-03,1.354877e-03,1.359842e-03,1.379903e-03,1.381465e-03,1.398972e-03,1.406328e-03,1.417074e-03,1.429522e-03,1.434232e-03,1.450472e-03,1.451103e-03,1.465819e-03,1.471131e-03,1.480299e-03,1.489663e-03,1.493938e-03,1.506761e-03,1.518795e-03,1.522483e-03,1.530065e-03,1.536889e-03,1.540597e-03,1.550037e-03,1.550416e-03,1.559547e-03,1.561984e-03,1.568015e-03,1.572787e-03,1.575843e-03,1.582501e-03,1.583056e-03,1.589675e-03,1.591178e-03,1.595725e-03,1.598871e-03,1.601226e-03,1.605630e-03,1.606200e-03,1.610668e-03,1.611503e-03,1.614652e-03,1.616538e-03,1.618170e-03,1.620779e-03,1.621241e-03,1.623886e-03,1.624270e-03,1.626121e-03,1.627054e-03,1.627965e-03,1.629169e-03,1.629434e-03,1.630546e-03,1.630656e-03,1.631316e-03,1.631551e-03,1.631760e-03,1.631888e-03,1.631893e-03,1.631729e-03,1.631703e-03,1.631283e-03,1.631028e-03,1.630568e-03,1.629894e-03,1.629597e-03,1.628383e-03,1.628330e-03,1.626939e-03,1.626365e-03,1.625275e-03,1.624025e-03,1.623404e-03,1.621336e-03,1.618323e-03,1.615010e-03,1.611417e-03,1.607567e-03,1.603479e-03,1.599172e-03,1.594664e-03,1.589973e-03,1.585114e-03,1.580103e-03,1.574955e-03,1.569683e-03,1.564300e-03,1.558819e-03,1.553250e-03,1.547606e-03,1.541896e-03,1.536130e-03,1.530318e-03,1.524467e-03,1.518587e-03,1.512684e-03,1.506765e-03,1.500839e-03
0.000000e+00,6.934159e-09,1.659328e-08,6.022017e-08,1.422229e-07,2.118902e-07,5.125667e-07,5.295859e-07,1.114121e-06,1.344315e-06,2.108977e-06,2.967804e-06,3.663556e-06,5.635223e-06,5.829618e-06,8.524195e-06,9.235374e-06,1.162387e-05,1.350017e-05,1.503504e-05,1.824740e-05,1.869907e-05,2.257901e-05,2.337850e-05,2.664868e-05,2.883256e-05,3.088618e-05,3.456000e-05,3.527046e-05,3.977980e-05,4.051138e-05,4.439134e-05,4.663420e-05,4.908120e-05,5.287298e-05,5.382482e-05,5.859752e-05,5.917104e-05,6.337503e-05,6.547260e-05,6.813401e-05,7.172488e-05,7.285252e-05,7.751032e-05,7.787976e-05,8.208912e-05,8.389482e-05,8.657274e-05,8.973405e-05,9.094714e-05,9.520045e-05,9.536791e-05,9.932281e-05,1.007732e-04,1.033064e-04,1.059327e-04,1.071450e-04,1.108344e-04,1.143714e-04,1.154708e-04,1.177545e-04,1.198385e-04,1.209830e-04,1.239374e-04,1.240575e-04,1.269791e-04,1.277701e-04,1.297499e-04,1.313410e-04,1.323723e-04,1.346565e-04,1.348494e-04,1.371844e-04,1.377241e-04,1.393810e-04,1.405522e-04,1.414432e-04,1.431498e-04,1.433749e-04,1.451802e-04,1.455265e-04,1.468634e-04,1.476918e-04,1.484287e-04,1.496555e-04,1.498803e-04,1.512225e-04,1.514274e-04,1.524594e-04,1.530169e-04,1.535951e-04,1.544335e-04,1.546337e-04,1.555790e-04,1.556864e-04,1.564351e-04,1.567845e-04,1.572057e-04,1.577363e-04,1.578943e-04,1.585047e-04,1.585502e-04,1.590402e-04,1.592342e-04,1.595042e-04,1.597958e-04,1.598999e-04,1.602306e-04,1.602425e-04,1.604992e-04,1.605813e-04,1.607086e-04,1.608187e-04,1.608618e-04,1.609613e-04,1.610099e-04,1.610151e-04,1.610100e-04,1.609858e-04,1.609642e-04,1.608791e-04,1.608747e-04,1.607438e-04,1.607000e-04,1.605736e-04,1.604536e-04,1.603663e-04,1.601445e-04,1.601239e-04,1.598481e-04,1.597772e-04,1.595410e-04,1.593560e-04,1.592043e-04,1.588848e-04,1.588396e-04,1.584486e-04,1.583674e-04,1.580328e-04,1.578073e-04,1.575937e-04,1.572080e-04,1.571328e-04,1.566515e-04,1.565726e-04,1.561509e-04,1.559042e-04,1.556324e-04,1.552055e-04,1.550972e-04,1.545464e-04,1.544793e-04,1.539811e-04,1.537280e-04,1.534023e-04,1.529541e-04,1.528111e-04,1.522085e-04,1.521598e-04,1.515952e-04,1.513471e-04,1.509722e-04,1.505181e-04,1.503403e-04,1.497004e-04,1.496746e-04,1.490530e-04,1.488184e-04,1.483991e-04,1.479510e-04,1.477392e-04,1.470740e-04,1.461889e-04,1.452970e-04,1.443996e-04,1.434978e-04,1.425928e-04,1.416855e-04,1.407769e-04,1.398680e-04,1.389595e-04,1.380523e-04,1.371470e-04,1.362442e-04,1.353447e-04,1.344490e-04,1.335577e-04,1.326711e-04,1.317898e-04,1.309141e-04,1.300445e-04,1.291813e-04,1.283247e-04,1.274752e-04,1.266329e-04,1.257981e-04
0.000000e+00,3.909229e-12,1.942274e-11,2.061298e-10,9.667435e-10,1.948096e-09,8.680896e-09,9.156463e-09,2.949502e-08,3.908069e-08,7.514454e-08,1.216538e-07,1.634049e-07,3.016435e-07,3.169464e-07,5.627501e-07,6.386337e-07,9.289828e-07,1.196303e-06,1.440859e-06,2.027085e-06,2.117417e-06,2.970091e-06,3.162228e-06,4.002810e-06,4.610336e-06,5.212964e-06,6.360969e-06,6.592662e-06,8.129958e-06,8.389586e-06,9.809905e-06,1.066200e-05,1.161543e-05,1.313786e-05,1.352803e-05,1.552837e-05,1.577338e-05,1.759682e-05,1.852347e-05,1.971387e-05,2.134364e-05,2.186056e-05,2.401881e-05,2.419146e-05,2.617174e-05,2.702789e-05,2.830384e-05,2.981819e-05,3.040122e-05,3.245165e-05,3.253253e-05,3.444461e-05,3.514626e-05,3.637131e-05,3.763992e-05,3.822462e-05,3.999897e-05,4.169022e-05,4.221338e-05,4.329559e-05,4.427714e-05,4.481342e-05,4.618763e-05,4.624313e-05,4.758497e-05,4.794506e-05,4.883996e-05,4.955192e-05,5.000972e-05,5.101244e-05,5.109637e-05,5.210243e-05,5.233220e-05,5.303070e-05,5.351767e-05,5.388420e-05,5.457595e-05,5.466611e-05,5.537967e-05,5.551448e-05,5.602819e-05,5.634081e-05,5.661496e-05,5.706250e-05,5.714322e-05,5.761620e-05,5.768695e-05,5.803700e-05,5.822134e-05,5.840865e-05,5.867256e-05,5.873409e-05,5.901611e-05,5.904717e-05,5.925742e-05,5.935137e-05,5.946059e-05,5.959100e-05,5.962807e-05,5.976219e-05,5.977155e-05,5.986518e-05,5.989813e-05,5.993913e-05,5.997551e-05,5.998603e-05,6.000776e-05,6.000813e-05,6.000610e-05,6.000010e-05,5.998273e-05,5.995524e-05,5.993922e-05,5.987706e-05,5.979766e-05,5.976883e-05,5.970234e-05,5.963355e-05,5.959232e-05,5.947398e-05,5.946879e-05,5.933284e-05,5.929269e-05,5.918549e-05,5.909201e-05,5.902770e-05,5.887411e-05,5.886039e-05,5.868441e-05,5.864097e-05,5.850054e-05,5.839442e-05,5.830954e-05,5.813611e-05,5.811210e-05,5.790888e-05,5.786760e-05,5.770049e-05,5.759027e-05,5.748750e-05,5.730542e-05,5.727044e-05,5.704983e-05,5.701423e-05,5.682611e-05,5.671776e-05,5.659973e-05,5.641699e-05,5.637111e-05,5.614060e-05,5.611283e-05,5.590858e-05,5.580610e-05,5.567537e-05,5.549752e-05,5.544127e-05,5.520658e-05,5.518778e-05,5.497155e-05,5.487750e-05,5.473643e-05,5.456722e-05,5.450146e-05,5.426684e-05,5.425746e-05,5.403277e-05,5.394867e-05,5.379943e-05,5.364126e-05,5.356699e-05,5.333561e-05,5.303205e-05,5.273087e-05,5.243234e-05,5.213671e-05,5.184417e-05,5.155492e-05,5.126912e-05,5.098691e-05,5.070842e-05,5.043375e-05,5.016299e-05,4.989622e-05,4.963350e-05,4.937487e-05,4.912039e-05,4.887007e-05,4.862394e-05,4.838201e-05,4.814428e-05,4.791074e-05,4.768139e-05,4.745621e-05,4.723518e-05,4.701828e-05
0.000000e+00,4.392382e-09,1.023921e-08,3.607703e-08,8.381693e-08,1.239472e-07,2.945177e-07,3.040763e-07,6.282679e-07,7.543886e-07,1.170514e-06,1.637709e-06,2.019297e-06,3.125402e-06,3.236535e-06,4.807688e-06,5.229483e-06,6.657328e-06,7.784163e-06,8.705635e-06,1.062601e-05,1.089475e-05,1.318710e-05,1.365563e-05,1.555779e-05,1.681529e-05,1.798857e-05,2.006586e-05,2.046446e-05,2.297180e-05,2.337501e-05,2.549747e-05,2.671250e-05,2.802857e-05,3.004885e-05,3.055246e-05,3.305685e-05,3.335551e-05,3.553022e-05,3.660592e-05,3.796199e-05,3.977634e-05,4.034252e-05,4.266334e-05,4.284620e-05,4.491718e-05,4.579856e-05,4.709798e-05,4.862015e-05,4.920088e-05,5.122224e-05,5.130135e-05,5.315924e-05,5.383551e-05,5.501003e-05,5.621886e-05,5.677374e-05,5.845012e-05,6.003964e-05,6.053010e-05,6.154331e-05,6.246124e-05,6.296253e-05,6.424713e-05,6.429903e-05,6.555488e-05,6.589237e-05,6.673237e-05,6.740226e-05,6.783394e-05,6.878254e-05,6.886216e-05,6.981967e-05,7.003925e-05,7.070916e-05,7.117857e-05,7.153333e-05,7.220670e-05,7.229487e-05,7.299644e-05,7.312979e-05,7.364067e-05,7.395386e-05,7.423013e-05,7.468478e-05,7.476732e-05,7.525468e-05,7.532819e-05,7.569458e-05,7.588955e-05,7.608931e-05,7.637405e-05,7.644107e-05,7.675199e-05,7.678666e-05,7.702412e-05,7.713208e-05,7.725943e-05,7.741480e-05,7.745981e-05,7.762706e-05,7.763906e-05,7.776292e-05,7.780885e-05,7.786905e-05,7.792795e-05,7.794705e-05,7.799842e-05,7.799994e-05,7.802463e-05,7.802817e-05,7.802705e-05,7.801579e-05,7.800702e-05,7.796579e-05,7.790457e-05,7.788094e-05,7.782451e-05,7.776389e-05,7.772670e-05,7.761707e-05,7.761218e-05,7.748196e-05,7.744281e-05,7.733698e-05,7.724328e-05,7.717813e-05,7.702049e-05,7.700629e-05,7.682226e-05,7.677636e-05,7.662682e-05,7.651267e-05,7.642071e-05,7.623107e-05,7.620464e-05,7.597927e-05,7.593314e-05,7.574525e-05,7.562033e-05,7.550317e-05,7.529402e-05,7.525361e-05,7.499711e-05,7.495546e-05,7.473420e-05,7.460587e-05,7.446537e-05,7.424635e-05,7.419108e-05,7.391178e-05,7.387795e-05,7.362790e-05,7.350164e-05,7.333982e-05,7.311831e-05,7.304793e-05,7.275260e-05,7.272883e-05,7.245416e-05,7.233398e-05,7.215293e-05,7.193450e-05,7.184923e-05,7.154334e-05,7.153106e-05,7.123554e-05,7.112431e-05,7.092609e-05,7.071484e-05,7.061523e-05,7.030321e-05,6.988992e-05,6.947546e-05,6.906026e-05,6.864474e-05,6.822928e-05,6.781423e-05,6.739992e-05,6.698665e-05,6.657470e-05,6.616432e-05,6.575576e-05,6.534922e-05,6.494492e-05,6.454303e-05,6.414373e-05,6.374716e-05,6.335346e-05,6.296277e-05,6.257520e-05,6.219085e-05,6.180982e-05,6.143219e-05,6.105803e-05,6.068742e-05
0.000000e+00,9.025823e-11,3.863869e-10,3.063668e-09,1.123817e-08,1.994370e-08,6.557250e-08,6.836291e-08,1.683240e-07,2.083509e-07,3.404885e-07,4.872434e-07,6.060452e-07,9.509330e-07,9.859894e-07,1.497506e-06,1.640938e-06,2.147958e-06,2.571432e-06,2.932265e-06,3.722354e-06,3.836673e-06,4.844341e-06,5.056782e-06,5.938599e-06,6.536593e-06,7.103777e-06,8.126500e-06,8.325095e-06,9.588464e-06,9.793598e-06,1.088046e-05,1.150706e-05,1.218849e-05,1.323862e-05,1.350095e-05,1.480742e-05,1.496335e-05,1.609877e-05,1.666012e-05,1.736722e-05,1.831189e-05,1.860629e-05,1.981077e-05,1.990550e-05,2.097659e-05,2.143138e-05,2.210071e-05,2.288301e-05,2.318098e-05,2.421600e-05,2.425645e-05,2.520503e-05,2.554976e-05,2.614783e-05,2.676262e-05,2.704461e-05,2.789589e-05,2.870249e-05,2.895132e-05,2.946539e-05,2.993125e-05,3.018576e-05,3.083848e-05,3.086487e-05,3.150405e-05,3.167606e-05,3.210471e-05,3.244719e-05,3.266825e-05,3.315515e-05,3.319610e-05,3.368970e-05,3.380322e-05,3.415046e-05,3.439466e-05,3.457976e-05,3.493262e-05,3.497899e-05,3.534945e-05,3.542021e-05,3.569247e-05,3.586041e-05,3.600929e-05,3.625607e-05,3.630114e-05,3.656919e-05,3.660995e-05,3.681459e-05,3.692466e-05,3.703843e-05,3.720269e-05,3.724177e-05,3.742562e-05,3.744641e-05,3.759095e-05,3.765807e-05,3.773870e-05,3.783979e-05,3.786977e-05,3.798501e-05,3.799357e-05,3.808526e-05,3.812133e-05,3.817129e-05,3.822486e-05,3.824386e-05,3.830370e-05,3.830584e-05,3.835148e-05,3.836587e-05,3.838788e-05,3.840644e-05,3.841351e-05,3.842898e-05,3.843486e-05,3.843481e-05,3.843170e-05,3.842517e-05,3.842001e-05,3.840123e-05,3.840029e-05,3.837302e-05,3.836410e-05,3.833865e-05,3.831480e-05,3.829761e-05,3.825430e-05,3.825030e-05,3.819711e-05,3.818352e-05,3.813842e-05,3.810329e-05,3.807459e-05,3.801441e-05,3.800593e-05,3.793278e-05,3.791764e-05,3.785544e-05,3.781366e-05,3.777419e-05,3.770313e-05,3.768931e-05,3.760107e-05,3.758665e-05,3.750970e-05,3.746481e-05,3.741545e-05,3.733812e-05,3.731854e-05,3.721917e-05,3.720710e-05,3.711756e-05,3.707219e-05,3.701389e-05,3.693384e-05,3.690835e-05,3.680110e-05,3.679245e-05,3.669231e-05,3.664840e-05,3.658213e-05,3.650203e-05,3.647072e-05,3.635820e-05,3.635368e-05,3.624472e-05,3.620365e-05,3.613039e-05,3.605223e-05,3.601533e-05,3.589966e-05,3.574621e-05,3.559210e-05,3.543753e-05,3.528271e-05,3.512781e-05,3.497300e-05,3.481844e-05,3.466427e-05,3.451061e-05,3.435760e-05,3.420534e-05,3.405393e-05,3.390348e-05,3.375406e-05,3.360575e-05,3.345863e-05,3.331275e-05,3.316819e-05,3.302498e-05,3.288318e-05,3.274284e-05,3.260398e-05,3.246665e-05,3.233087e-05
0.000000e+00,7.821761e-11,4.045612e-10,4.667433e-09,2.361817e-08,4.961162e-08,2.458243e-07,2.604000e-07,9.291696e-07,1.264946e-06,2.599203e-06,4.431432e-06,6.150681e-06,1.218986e-05,1.288466e-05,2.460211e-05,2.840615e-05,4.366901e-05,5.863702e-05,7.304911e-05,1.102363e-04,1.162864e-04,1.774356e-04,1.922015e-04,2.609547e-04,3.147898e-04,3.715789e-04,4.890193e-04,5.141888e-04,6.936815e-04,7.261457e-04,9.148487e-04,1.037166e-03,1.182265e-03,1.432370e-03,1.500186e-03,1.872458e-03,1.920948e-03,2.302443e-03,2.510665e-03,2.792951e-03,3.207598e-03,3.346192e-03,3.963738e-03,4.015951e-03,4.646498e-03,4.937938e-03,5.394709e-03,5.973733e-03,6.207940e-03,7.085106e-03,7.121500e-03,8.024494e-03,8.377479e-03,9.023801e-03,9.736122e-03,1.008018e-02,1.119028e-02,1.235033e-02,1.273142e-02,1.355616e-02,1.434986e-02,1.480330e-02,1.603504e-02,1.608703e-02,1.740244e-02,1.777575e-02,1.874449e-02,1.956039e-02,2.010808e-02,2.137720e-02,2.148809e-02,2.287943e-02,2.321448e-02,2.427712e-02,2.506078e-02,2.567629e-02,2.690505e-02,2.707224e-02,2.846047e-02,2.873680e-02,2.983668e-02,3.054621e-02,3.119684e-02,3.232421e-02,3.253718e-02,3.385420e-02,3.406254e-02,3.514468e-02,3.575381e-02,3.640569e-02,3.739149e-02,3.763458e-02,3.882902e-02,3.896993e-02,3.998692e-02,4.048436e-02,4.110651e-02,4.193083e-02,4.218627e-02,4.322493e-02,4.330622e-02,4.422150e-02,4.460815e-02,4.517518e-02,4.583496e-02,4.608542e-02,4.695188e-02,4.698562e-02,4.777440e-02,4.805974e-02,4.855300e-02,4.905745e-02,4.928787e-02,4.997936e-02,5.062795e-02,5.082653e-02,5.123423e-02,5.160038e-02,5.179892e-02,5.230265e-02,5.232283e-02,5.280686e-02,5.293537e-02,5.325196e-02,5.350077e-02,5.365918e-02,5.400130e-02,5.402960e-02,5.436435e-02,5.443951e-02,5.466460e-02,5.481810e-02,5.493153e-02,5.513983e-02,5.516636e-02,5.537031e-02,5.540750e-02,5.554461e-02,5.562394e-02,5.569050e-02,5.579198e-02,5.580919e-02,5.590191e-02,5.591442e-02,5.596987e-02,5.599403e-02,5.601424e-02,5.603354e-02,5.603620e-02,5.603689e-02,5.603560e-02,5.601744e-02,5.600279e-02,5.597895e-02,5.593761e-02,5.592247e-02,5.584903e-02,5.584245e-02,5.575965e-02,5.571966e-02,5.565530e-02,5.557142e-02,5.553691e-02,5.540539e-02,5.539987e-02,5.526162e-02,5.520703e-02,5.510644e-02,5.499481e-02,5.494065e-02,5.476504e-02,5.451945e-02,5.425965e-02,5.398718e-02,5.370347e-02,5.340988e-02,5.310765e-02,5.279798e-02,5.248196e-02,5.216061e-02,5.183488e-02,5.150565e-02,5.117374e-02,5.083989e-02,5.050479e-02,5.016910e-02,4.983338e-02,4.949817e-02,4.916396e-02,4.883120e-02,4.850029e-02,4.817159e-02,4.784543e-02,4.752212e-02,4.720191e-02
0.000000e+00,3.733654e-10,1.311761e-09,7.473853e-09,2.184958e-08,3.504252e-08,9.397295e-08,9.730409e-08,2.083291e-07,2.501799e-07,3.833587e-07,5.262938e-07,6.399533e-07,9.650752e-07,9.979164e-07,1.476123e-06,1.610235e-06,2.084760e-06,2.480833e-06,2.817146e-06,3.546166e-06,3.650552e-06,4.556177e-06,4.743586e-06,5.508087e-06,6.014468e-06,6.486154e-06,7.316845e-06,7.475362e-06,8.464266e-06,8.621830e-06,9.443767e-06,9.908336e-06,1.040636e-05,1.115999e-05,1.134574e-05,1.225659e-05,1.236376e-05,1.313450e-05,1.350940e-05,1.397592e-05,1.458929e-05,1.477813e-05,1.553917e-05,1.559823e-05,1.625780e-05,1.653322e-05,1.693343e-05,1.739323e-05,1.756604e-05,1.815606e-05,1.817879e-05,1.870434e-05,1.889172e-05,1.921205e-05,1.953481e-05,1.968057e-05,2.011152e-05,2.050661e-05,2.062576e-05,2.086764e-05,2.108167e-05,2.119645e-05,2.148351e-05,2.149489e-05,2.176478e-05,2.183548e-05,2.200791e-05,2.214167e-05,2.222602e-05,2.240599e-05,2.242075e-05,2.259371e-05,2.263214e-05,2.274640e-05,2.282360e-05,2.288028e-05,2.298359e-05,2.299668e-05,2.309686e-05,2.311505e-05,2.318199e-05,2.322068e-05,2.325318e-05,2.330297e-05,2.331147e-05,2.335782e-05,2.336419e-05,2.339312e-05,2.340639e-05,2.341820e-05,2.343144e-05,2.343384e-05,2.344076e-05,2.344104e-05,2.343963e-05,2.343674e-05,2.343106e-05,2.341993e-05,2.341563e-05,2.339387e-05,2.339188e-05,2.336629e-05,2.335373e-05,2.333334e-05,2.330653e-05,2.329545e-05,2.325301e-05,2.325123e-05,2.320640e-05,2.318867e-05,2.315596e-05,2.311963e-05,2.310200e-05,2.304482e-05,2.298470e-05,2.296488e-05,2.292189e-05,2.288039e-05,2.285662e-05,2.279187e-05,2.278913e-05,2.271961e-05,2.269981e-05,2.264826e-05,2.260464e-05,2.257525e-05,2.250676e-05,2.250075e-05,2.242492e-05,2.240654e-05,2.234789e-05,2.230429e-05,2.226982e-05,2.220033e-05,2.219080e-05,2.211098e-05,2.209493e-05,2.203045e-05,2.198833e-05,2.194931e-05,2.188076e-05,2.186767e-05,2.178561e-05,2.177244e-05,2.170321e-05,2.166356e-05,2.162054e-05,2.155427e-05,2.153769e-05,2.145472e-05,2.144475e-05,2.137168e-05,2.133514e-05,2.128865e-05,2.122557e-05,2.120566e-05,2.112279e-05,2.111616e-05,2.104006e-05,2.100702e-05,2.095752e-05,2.089824e-05,2.087522e-05,2.079320e-05,2.078992e-05,2.071148e-05,2.068215e-05,2.063011e-05,2.057498e-05,2.054911e-05,2.046850e-05,2.036277e-05,2.025784e-05,2.015376e-05,2.005057e-05,1.994832e-05,1.984704e-05,1.974677e-05,1.964753e-05,1.954935e-05,1.945225e-05,1.935625e-05,1.926137e-05,1.916762e-05,1.907501e-05,1.898356e-05,1.889326e-05,1.880414e-05,1.871619e-05,1.862941e-05,1.854381e-05,1.845938e-05,1.837613e-05,1.829406e-05,1.821315e-05
0.000000e+00,2.524782e-11,1.167230e-10,1.071161e-09,4.424876e-09,8.338284e-09,3.156178e-08,3.308173e-08,9.221242e-08,1.178427e-07,2.081821e-07,3.166803e-07,4.095555e-07,6.989218e-07,7.296869e-07,1.198996e-06,1.335875e-06,1.831140e-06,2.252772e-06,2.614036e-06,3.401496e-06,3.514358e-06,4.490189e-06,4.690823e-06,5.502121e-06,6.031801e-06,6.518737e-06,7.359510e-06,7.517374e-06,8.482581e-06,8.633171e-06,9.404106e-06,9.828835e-06,1.027518e-05,1.093268e-05,1.109138e-05,1.184995e-05,1.193703e-05,1.254943e-05,1.283834e-05,1.318942e-05,1.363635e-05,1.377050e-05,1.429411e-05,1.433357e-05,1.476235e-05,1.493473e-05,1.517791e-05,1.544622e-05,1.554389e-05,1.586364e-05,1.587552e-05,1.614069e-05,1.623066e-05,1.637858e-05,1.651976e-05,1.658080e-05,1.675069e-05,1.689143e-05,1.693080e-05,1.700598e-05,1.706684e-05,1.709710e-05,1.716487e-05,1.716731e-05,1.721888e-05,1.723027e-05,1.725389e-05,1.726771e-05,1.727417e-05,1.728126e-05,1.728139e-05,1.727703e-05,1.727440e-05,1.726239e-05,1.725014e-05,1.723863e-05,1.721101e-05,1.720679e-05,1.716777e-05,1.715918e-05,1.712238e-05,1.709651e-05,1.707135e-05,1.702458e-05,1.701529e-05,1.695479e-05,1.694473e-05,1.689034e-05,1.685813e-05,1.682239e-05,1.676578e-05,1.675134e-05,1.667756e-05,1.666853e-05,1.660136e-05,1.656714e-05,1.652303e-05,1.646225e-05,1.644284e-05,1.636103e-05,1.635442e-05,1.627781e-05,1.624416e-05,1.619336e-05,1.613191e-05,1.610788e-05,1.602152e-05,1.601805e-05,1.593442e-05,1.590292e-05,1.584673e-05,1.578682e-05,1.575856e-05,1.567003e-05,1.558123e-05,1.555278e-05,1.549227e-05,1.543529e-05,1.540323e-05,1.531775e-05,1.531419e-05,1.522522e-05,1.520034e-05,1.513640e-05,1.508319e-05,1.504777e-05,1.496647e-05,1.495941e-05,1.487136e-05,1.485028e-05,1.478367e-05,1.473474e-05,1.469638e-05,1.461994e-05,1.460954e-05,1.452318e-05,1.450597e-05,1.443734e-05,1.439292e-05,1.435205e-05,1.428085e-05,1.426734e-05,1.418322e-05,1.416982e-05,1.409974e-05,1.405989e-05,1.401690e-05,1.395111e-05,1.393473e-05,1.385325e-05,1.384352e-05,1.377247e-05,1.373715e-05,1.369240e-05,1.363204e-05,1.361307e-05,1.353447e-05,1.352822e-05,1.345663e-05,1.342570e-05,1.337954e-05,1.332451e-05,1.330322e-05,1.322767e-05,1.322466e-05,1.315290e-05,1.312617e-05,1.307891e-05,1.302905e-05,1.300571e-05,1.293330e-05,1.283892e-05,1.274593e-05,1.265432e-05,1.256409e-05,1.247523e-05,1.238774e-05,1.230162e-05,1.221686e-05,1.213345e-05,1.205137e-05,1.197063e-05,1.189120e-05,1.181308e-05,1.173625e-05,1.166071e-05,1.158643e-05,1.151340e-05,1.144160e-05,1.137103e-05,1.130166e-05,1.123349e-05,1.116649e-05,1.110064e-05,1.103594e-05
0.000000e+00,2.000069e-09,5.107912e-09,1.976483e-08,4.773994e-08,7.142901e-08,1.714826e-07,1.770370e-07,3.620254e-07,4.324445e-07,6.603864e-07,9.110275e-07,1.113529e-06,1.697765e-06,1.756567e-06,2.594493e-06,2.821864e-06,3.599192e-06,4.220397e-06,4.732982e-06,5.813056e-06,5.965372e-06,7.274930e-06,7.544672e-06,8.646189e-06,9.379467e-06,1.006683e-05,1.129040e-05,1.152604e-05,1.301364e-05,1.325363e-05,1.451985e-05,1.524665e-05,1.603520e-05,1.724798e-05,1.755067e-05,1.905777e-05,1.923768e-05,2.054871e-05,2.119778e-05,2.201652e-05,2.311278e-05,2.345507e-05,2.485910e-05,2.496979e-05,2.622424e-05,2.675859e-05,2.754697e-05,2.847149e-05,2.882452e-05,3.005488e-05,3.010309e-05,3.123658e-05,3.164991e-05,3.236881e-05,3.311026e-05,3.345119e-05,3.448372e-05,3.546675e-05,3.577097e-05,3.640093e-05,3.697356e-05,3.728711e-05,3.809367e-05,3.812635e-05,3.891984e-05,3.913399e-05,3.966887e-05,4.009751e-05,4.037480e-05,4.098742e-05,4.103906e-05,4.166309e-05,4.180703e-05,4.224835e-05,4.255972e-05,4.279632e-05,4.324883e-05,4.330844e-05,4.378616e-05,4.387770e-05,4.423089e-05,4.444958e-05,4.464402e-05,4.496761e-05,4.502689e-05,4.538083e-05,4.543486e-05,4.570711e-05,4.585427e-05,4.600698e-05,4.622866e-05,4.628163e-05,4.653222e-05,4.656073e-05,4.675987e-05,4.685305e-05,4.696566e-05,4.710808e-05,4.715063e-05,4.731577e-05,4.732815e-05,4.746205e-05,4.751548e-05,4.759038e-05,4.767217e-05,4.770165e-05,4.779672e-05,4.780020e-05,4.787639e-05,4.790146e-05,4.794145e-05,4.797773e-05,4.799265e-05,4.803070e-05,4.805629e-05,4.806195e-05,4.807007e-05,4.807299e-05,4.807268e-05,4.806523e-05,4.806471e-05,4.804675e-05,4.804000e-05,4.801934e-05,4.799857e-05,4.798300e-05,4.794212e-05,4.793824e-05,4.788554e-05,4.787176e-05,4.782535e-05,4.778855e-05,4.775812e-05,4.769346e-05,4.768426e-05,4.760417e-05,4.758744e-05,4.751823e-05,4.747135e-05,4.742680e-05,4.734602e-05,4.733024e-05,4.722886e-05,4.721221e-05,4.712298e-05,4.707065e-05,4.701291e-05,4.692202e-05,4.689893e-05,4.678131e-05,4.676696e-05,4.666031e-05,4.660606e-05,4.653618e-05,4.643989e-05,4.640916e-05,4.627946e-05,4.626898e-05,4.614731e-05,4.609380e-05,4.601290e-05,4.591483e-05,4.587642e-05,4.573807e-05,4.573250e-05,4.559802e-05,4.554722e-05,4.545643e-05,4.535935e-05,4.531346e-05,4.516927e-05,4.497728e-05,4.478371e-05,4.458885e-05,4.439295e-05,4.419628e-05,4.399906e-05,4.380152e-05,4.360385e-05,4.340624e-05,4.320887e-05,4.301190e-05,4.281549e-05,4.261976e-05,4.242485e-05,4.223087e-05,4.203794e-05,4.184616e-05,4.165562e-05,4.146641e-05,4.127859e-05,4.109225e-05,4.090745e-05,4.072425e-05,4.054270e-05
0.000000e+00,4.615075e-09,1.155834e-08,4.378005e-08,1.045528e-07,1.556274e-07,3.686934e-07,3.804132e-07,7.652678e-07,9.092917e-07,1.367953e-06,1.862190e-06,2.256476e-06,3.385157e-06,3.498860e-06,5.137735e-06,5.590119e-06,7.162054e-06,8.441925e-06,9.509422e-06,1.177892e-05,1.210022e-05,1.486527e-05,1.543434e-05,1.775240e-05,1.928865e-05,2.072271e-05,2.325969e-05,2.374586e-05,2.679689e-05,2.728618e-05,2.985447e-05,3.131889e-05,3.290005e-05,3.531694e-05,3.591747e-05,3.889282e-05,3.924646e-05,4.181428e-05,4.308003e-05,4.467197e-05,4.679618e-05,4.745788e-05,5.016565e-05,5.037874e-05,5.279036e-05,5.381612e-05,5.532835e-05,5.710055e-05,5.777710e-05,6.013502e-05,6.022743e-05,6.240128e-05,6.319466e-05,6.457575e-05,6.600214e-05,6.665882e-05,6.865130e-05,7.055438e-05,7.114472e-05,7.236953e-05,7.348588e-05,7.409848e-05,7.567890e-05,7.574309e-05,7.730533e-05,7.772828e-05,7.878727e-05,7.963879e-05,8.019107e-05,8.141545e-05,8.151893e-05,8.277307e-05,8.306334e-05,8.395571e-05,8.458759e-05,8.506908e-05,8.599331e-05,8.611540e-05,8.709687e-05,8.728557e-05,8.801568e-05,8.846942e-05,8.887399e-05,8.954977e-05,8.967392e-05,9.041755e-05,9.053145e-05,9.110693e-05,9.141915e-05,9.174406e-05,9.221745e-05,9.233089e-05,9.286935e-05,9.293080e-05,9.336129e-05,9.356348e-05,9.380854e-05,9.411964e-05,9.421286e-05,9.457599e-05,9.460331e-05,9.489959e-05,9.501834e-05,9.518530e-05,9.536844e-05,9.543470e-05,9.564932e-05,9.565721e-05,9.583065e-05,9.588806e-05,9.598013e-05,9.606430e-05,9.609915e-05,9.618908e-05,9.625120e-05,9.626542e-05,9.628680e-05,9.629623e-05,9.629709e-05,9.628426e-05,9.628326e-05,9.624645e-05,9.623217e-05,9.618775e-05,9.614248e-05,9.610824e-05,9.601759e-05,9.600894e-05,9.589084e-05,9.585981e-05,9.575489e-05,9.567131e-05,9.560202e-05,9.545420e-05,9.543311e-05,9.524901e-05,9.521044e-05,9.505054e-05,9.494193e-05,9.483851e-05,9.465046e-05,9.461366e-05,9.437672e-05,9.433774e-05,9.412842e-05,9.400539e-05,9.386941e-05,9.365493e-05,9.360035e-05,9.332186e-05,9.328784e-05,9.303455e-05,9.290549e-05,9.273899e-05,9.250918e-05,9.243573e-05,9.212530e-05,9.210017e-05,9.180821e-05,9.167961e-05,9.148494e-05,9.124863e-05,9.115597e-05,9.082174e-05,9.080827e-05,9.048268e-05,9.035952e-05,9.013920e-05,8.990331e-05,8.979169e-05,8.944053e-05,8.897201e-05,8.849853e-05,8.802083e-05,8.753961e-05,8.705552e-05,8.656917e-05,8.608113e-05,8.559195e-05,8.510214e-05,8.461216e-05,8.412245e-05,8.363344e-05,8.314550e-05,8.265900e-05,8.217427e-05,8.169163e-05,8.121135e-05,8.073370e-05,8.025894e-05,7.978730e-05,7.931897e-05,7.885415e-05,7.839303e-05,7.793576e-05
0.000000e+00,7.001573e-13,3.543552e-12,3.908170e-11,1.898700e-10,3.901240e-10,1.828647e-09,1.932821e-09,6.550191e-09,8.800166e-09,1.752201e-08,2.917398e-08,3.989846e-08,7.654917e-08,8.068544e-08,1.485283e-07,1.698849e-07,2.529025e-07,3.308331e-07,4.031892e-07,5.802320e-07,6.079284e-07,8.743237e-07,9.355232e-07,1.207957e-06,1.409360e-06,1.612652e-06,2.009048e-06,2.090437e-06,2.641574e-06,2.736491e-06,3.264638e-06,3.588433e-06,3.956630e-06,4.556925e-06,4.713130e-06,5.528482e-06,5.629971e-06,6.395994e-06,6.792315e-06,7.308166e-06,8.026328e-06,8.256917e-06,9.233824e-06,9.312937e-06,1.023034e-05,1.063253e-05,1.123799e-05,1.196577e-05,1.224857e-05,1.325433e-05,1.329435e-05,1.424801e-05,1.460150e-05,1.522306e-05,1.587242e-05,1.617360e-05,1.709453e-05,1.798152e-05,1.825758e-05,1.883098e-05,1.935362e-05,1.964011e-05,2.037692e-05,2.040675e-05,2.112943e-05,2.132377e-05,2.180727e-05,2.219228e-05,2.243991e-05,2.298213e-05,2.302749e-05,2.357051e-05,2.369430e-05,2.406986e-05,2.433084e-05,2.452669e-05,2.489464e-05,2.494240e-05,2.531855e-05,2.538918e-05,2.565686e-05,2.581842e-05,2.595913e-05,2.618655e-05,2.622723e-05,2.646306e-05,2.649792e-05,2.666851e-05,2.675690e-05,2.684549e-05,2.696780e-05,2.699583e-05,2.712134e-05,2.713482e-05,2.722377e-05,2.726196e-05,2.730479e-05,2.735303e-05,2.736600e-05,2.740892e-05,2.741161e-05,2.743500e-05,2.744102e-05,2.744559e-05,2.744435e-05,2.744198e-05,2.742536e-05,2.742444e-05,2.739685e-05,2.738388e-05,2.735751e-05,2.732506e-05,2.730830e-05,2.725013e-05,2.718383e-05,2.716103e-05,2.711020e-05,2.705955e-05,2.702993e-05,2.694725e-05,2.694370e-05,2.685211e-05,2.682559e-05,2.675574e-05,2.669584e-05,2.665510e-05,2.655915e-05,2.655067e-05,2.644288e-05,2.641656e-05,2.633215e-05,2.626899e-05,2.621884e-05,2.611727e-05,2.610330e-05,2.598583e-05,2.596213e-05,2.586673e-05,2.580424e-05,2.574626e-05,2.564418e-05,2.562466e-05,2.550215e-05,2.548247e-05,2.537893e-05,2.531959e-05,2.525519e-05,2.515594e-05,2.513110e-05,2.500682e-05,2.499190e-05,2.488249e-05,2.482780e-05,2.475824e-05,2.466393e-05,2.463418e-05,2.451043e-05,2.450055e-05,2.438709e-05,2.433789e-05,2.426425e-05,2.417615e-05,2.414198e-05,2.402037e-05,2.401553e-05,2.389949e-05,2.385616e-05,2.377939e-05,2.369820e-05,2.366014e-05,2.354178e-05,2.338699e-05,2.323393e-05,2.308268e-05,2.293332e-05,2.278590e-05,2.264047e-05,2.249708e-05,2.235577e-05,2.221655e-05,2.207945e-05,2.194450e-05,2.181169e-05,2.168105e-05,2.155257e-05,2.142625e-05,2.130208e-05,2.118006e-05,2.106019e-05,2.094244e-05,2.082681e-05,2.071327e-05,2.060181e-05,2.049241e-05,2.038504e-05
0.000000e+00,2.491718e-11,1.119227e-10,9.715961e-10,3.831252e-09,7.046729e-09,2.511512e-08,2.626117e-08,6.898335e-08,8.671166e-08,1.467655e-07,2.153639e-07,2.719462e-07,4.402446e-07,4.576496e-07,7.175717e-07,7.924938e-07,1.064781e-06,1.301192e-06,1.508932e-06,1.982365e-06,2.052776e-06,2.690635e-06,2.828491e-06,3.410338e-06,3.811968e-06,4.196891e-06,4.898373e-06,5.035477e-06,5.912894e-06,6.056103e-06,6.817812e-06,7.259043e-06,7.740546e-06,8.485904e-06,8.672735e-06,9.607094e-06,9.719052e-06,1.053727e-05,1.094377e-05,1.145774e-05,1.214789e-05,1.236380e-05,1.325148e-05,1.332159e-05,1.411750e-05,1.445724e-05,1.495926e-05,1.554914e-05,1.577473e-05,1.656238e-05,1.659329e-05,1.732116e-05,1.758711e-05,1.805039e-05,1.852921e-05,1.874973e-05,1.941911e-05,2.005866e-05,2.025706e-05,2.066871e-05,2.104387e-05,2.124973e-05,2.178073e-05,2.180229e-05,2.232707e-05,2.246912e-05,2.282478e-05,2.311074e-05,2.329621e-05,2.370740e-05,2.374215e-05,2.416344e-05,2.426097e-05,2.456089e-05,2.477337e-05,2.493536e-05,2.524653e-05,2.528767e-05,2.561866e-05,2.568237e-05,2.592913e-05,2.608274e-05,2.621990e-05,2.644948e-05,2.649174e-05,2.674542e-05,2.678437e-05,2.698168e-05,2.708912e-05,2.720127e-05,2.736539e-05,2.740487e-05,2.759317e-05,2.761478e-05,2.776685e-05,2.783879e-05,2.792652e-05,2.803890e-05,2.807283e-05,2.820636e-05,2.821651e-05,2.832769e-05,2.837293e-05,2.843737e-05,2.850944e-05,2.853595e-05,2.862394e-05,2.862725e-05,2.870183e-05,2.872750e-05,2.877011e-05,2.881128e-05,2.882922e-05,2.887962e-05,2.892172e-05,2.893351e-05,2.895593e-05,2.897387e-05,2.898265e-05,2.900159e-05,2.900224e-05,2.901508e-05,2.901750e-05,2.902149e-05,2.902239e-05,2.902181e-05,2.901701e-05,2.901637e-05,2.900545e-05,2.900205e-05,2.898936e-05,2.897819e-05,2.896837e-05,2.894606e-05,2.894275e-05,2.891276e-05,2.890625e-05,2.887863e-05,2.885933e-05,2.884060e-05,2.880581e-05,2.879891e-05,2.875375e-05,2.874621e-05,2.870533e-05,2.868100e-05,2.865386e-05,2.861060e-05,2.859951e-05,2.854247e-05,2.853545e-05,2.848291e-05,2.845594e-05,2.842098e-05,2.837244e-05,2.835685e-05,2.829067e-05,2.828529e-05,2.822257e-05,2.819482e-05,2.815269e-05,2.810135e-05,2.808116e-05,2.800811e-05,2.800516e-05,2.793365e-05,2.790652e-05,2.785789e-05,2.780569e-05,2.778094e-05,2.770291e-05,2.759840e-05,2.749238e-05,2.738504e-05,2.727657e-05,2.716713e-05,2.705691e-05,2.694604e-05,2.683467e-05,2.672292e-05,2.661094e-05,2.649882e-05,2.638668e-05,2.627462e-05,2.616274e-05,2.605111e-05,2.593982e-05,2.582895e-05,2.571856e-05,2.560872e-05,2.549949e-05,2.539091e-05,2.528305e-05,2.517595e-05,2.506965e-05
0.000000e+00,3.646869e-09,8.393998e-09,2.901595e-08,6.612076e-08,9.647319e-08,2.184367e-07,2.249770e-07,4.325236e-07,5.071889e-07,7.366010e-07,9.725853e-07,1.154511e-06,1.654171e-06,1.703273e-06,2.398552e-06,2.588652e-06,3.252012e-06,3.800948e-06,4.267711e-06,5.291692e-06,5.440318e-06,6.757244e-06,7.036570e-06,8.202625e-06,8.999557e-06,9.760169e-06,1.114371e-05,1.141422e-05,1.314984e-05,1.343414e-05,1.495269e-05,1.583784e-05,1.680889e-05,1.832325e-05,1.870505e-05,2.062833e-05,2.086036e-05,2.256653e-05,2.342110e-05,2.450825e-05,2.597981e-05,2.644297e-05,2.836112e-05,2.851359e-05,3.025415e-05,3.100261e-05,3.211454e-05,3.343014e-05,3.393581e-05,3.571244e-05,3.578251e-05,3.743984e-05,3.804892e-05,3.911431e-05,4.022119e-05,4.073292e-05,4.229347e-05,4.379439e-05,4.426192e-05,4.523468e-05,4.612439e-05,4.661382e-05,4.788018e-05,4.793173e-05,4.918866e-05,4.952975e-05,5.038519e-05,5.107446e-05,5.152216e-05,5.251644e-05,5.260059e-05,5.362169e-05,5.385836e-05,5.458680e-05,5.510334e-05,5.549737e-05,5.625479e-05,5.635495e-05,5.716111e-05,5.731632e-05,5.791750e-05,5.829170e-05,5.862577e-05,5.918476e-05,5.928761e-05,5.990468e-05,5.999937e-05,6.047865e-05,6.073934e-05,6.101119e-05,6.140849e-05,6.150393e-05,6.195847e-05,6.201053e-05,6.237640e-05,6.254909e-05,6.275926e-05,6.302770e-05,6.310855e-05,6.342576e-05,6.344979e-05,6.371231e-05,6.381867e-05,6.396961e-05,6.413750e-05,6.419899e-05,6.440179e-05,6.440936e-05,6.457925e-05,6.463718e-05,6.473262e-05,6.482375e-05,6.486308e-05,6.497177e-05,6.505981e-05,6.508380e-05,6.512827e-05,6.516228e-05,6.517816e-05,6.520952e-05,6.521049e-05,6.522620e-05,6.522775e-05,6.522621e-05,6.521905e-05,6.521141e-05,6.518543e-05,6.518263e-05,6.514070e-05,6.512877e-05,6.508639e-05,6.505086e-05,6.502046e-05,6.495338e-05,6.494361e-05,6.485653e-05,6.483795e-05,6.475989e-05,6.470607e-05,6.465432e-05,6.455917e-05,6.454041e-05,6.441874e-05,6.439859e-05,6.428987e-05,6.422560e-05,6.415431e-05,6.404140e-05,6.401258e-05,6.386515e-05,6.384710e-05,6.371248e-05,6.364376e-05,6.355500e-05,6.343237e-05,6.339314e-05,6.322728e-05,6.321385e-05,6.305780e-05,6.298908e-05,6.288506e-05,6.275887e-05,6.270941e-05,6.253116e-05,6.252398e-05,6.235062e-05,6.228512e-05,6.216808e-05,6.204295e-05,6.198382e-05,6.179811e-05,6.155115e-05,6.130261e-05,6.105300e-05,6.080277e-05,6.055235e-05,6.030213e-05,6.005248e-05,5.980373e-05,5.955619e-05,5.931014e-05,5.906584e-05,5.882353e-05,5.858342e-05,5.834571e-05,5.811057e-05,5.787816e-05,5.764862e-05,5.742208e-05,5.719865e-05,5.697843e-05,5.676151e-05,5.654795e-05,5.633782e-05,5.613117e-05
0.000000e+00,5.565541e-09,1.334283e-08,4.819489e-08,1.122017e-07,1.650749e-07,3.796391e-07,3.912064e-07,7.602020e-07,8.936278e-07,1.305144e-06,1.730376e-06,2.059275e-06,2.966639e-06,3.056097e-06,4.328044e-06,4.677491e-06,5.902596e-06,6.923155e-06,7.795746e-06,9.724729e-06,1.000628e-05,1.251608e-05,1.305154e-05,1.529659e-05,1.683882e-05,1.831582e-05,2.101341e-05,2.154233e-05,2.494653e-05,2.550580e-05,2.850048e-05,3.025175e-05,3.217769e-05,3.519116e-05,3.595285e-05,3.980177e-05,4.026749e-05,4.370148e-05,4.542781e-05,4.763034e-05,5.062333e-05,5.156823e-05,5.549664e-05,5.580999e-05,5.939877e-05,6.094884e-05,6.325960e-05,6.600632e-05,6.706589e-05,7.080610e-05,7.095419e-05,7.447037e-05,7.576928e-05,7.805041e-05,8.043316e-05,8.153936e-05,8.493170e-05,8.822310e-05,8.925448e-05,9.141033e-05,9.339438e-05,9.449107e-05,9.734703e-05,9.746385e-05,1.003279e-04,1.011104e-04,1.030832e-04,1.046843e-04,1.057301e-04,1.080702e-04,1.082694e-04,1.107025e-04,1.112708e-04,1.130308e-04,1.142896e-04,1.152563e-04,1.171312e-04,1.173809e-04,1.194068e-04,1.198004e-04,1.213365e-04,1.223027e-04,1.231723e-04,1.246437e-04,1.249168e-04,1.265725e-04,1.268294e-04,1.281421e-04,1.288657e-04,1.296282e-04,1.307587e-04,1.310334e-04,1.323603e-04,1.325144e-04,1.336116e-04,1.341389e-04,1.347898e-04,1.356380e-04,1.358975e-04,1.369372e-04,1.370175e-04,1.379113e-04,1.382832e-04,1.388223e-04,1.394405e-04,1.396725e-04,1.404643e-04,1.404948e-04,1.411999e-04,1.414514e-04,1.418815e-04,1.423152e-04,1.425113e-04,1.430913e-04,1.436236e-04,1.437842e-04,1.441102e-04,1.443986e-04,1.445531e-04,1.449387e-04,1.449540e-04,1.453148e-04,1.454088e-04,1.456372e-04,1.458129e-04,1.459230e-04,1.461549e-04,1.461737e-04,1.463911e-04,1.464384e-04,1.465765e-04,1.466670e-04,1.467316e-04,1.468441e-04,1.468578e-04,1.469564e-04,1.469729e-04,1.470288e-04,1.470565e-04,1.470763e-04,1.470979e-04,1.471002e-04,1.471016e-04,1.470998e-04,1.470817e-04,1.470649e-04,1.470416e-04,1.469958e-04,1.469825e-04,1.469053e-04,1.468949e-04,1.468111e-04,1.467645e-04,1.467008e-04,1.466068e-04,1.465753e-04,1.464356e-04,1.464238e-04,1.462824e-04,1.462176e-04,1.461167e-04,1.459900e-04,1.459392e-04,1.457506e-04,1.457428e-04,1.455517e-04,1.454777e-04,1.453432e-04,1.451962e-04,1.451257e-04,1.448999e-04,1.445902e-04,1.442683e-04,1.439357e-04,1.435934e-04,1.432426e-04,1.428844e-04,1.425197e-04,1.421495e-04,1.417747e-04,1.413960e-04,1.410143e-04,1.406303e-04,1.402446e-04,1.398579e-04,1.394707e-04,1.390836e-04,1.386972e-04,1.383119e-04,1.379280e-04,1.375461e-04,1.371666e-04,1.367896e-04,1.364156e-04,1.360449e-04
0.000000e+00,6.767205e-11,2.516612e-10,1.566861e-09,4.842922e-09,7.949586e-09,2.224487e-08,2.306313e-08,5.051096e-08,6.086964e-08,9.365979e-08,1.284255e-07,1.557192e-07,2.321766e-07,2.397814e-07,3.487324e-07,3.788626e-07,4.849027e-07,5.735469e-07,6.494565e-07,8.174061e-07,8.419221e-07,1.060372e-06,1.106947e-06,1.302089e-06,1.436008e-06,1.564156e-06,1.797917e-06,1.843704e-06,2.137964e-06,2.186229e-06,2.444239e-06,2.594743e-06,2.759895e-06,3.017445e-06,3.082364e-06,3.409167e-06,3.448562e-06,3.737952e-06,3.882673e-06,4.066521e-06,4.314841e-06,4.392859e-06,4.715158e-06,4.740718e-06,5.031826e-06,5.156603e-06,5.341496e-06,5.559471e-06,5.643018e-06,5.935451e-06,5.946948e-06,6.218056e-06,6.317274e-06,6.490271e-06,6.669233e-06,6.751698e-06,7.002084e-06,7.241301e-06,7.315485e-06,7.469327e-06,7.609420e-06,7.686232e-06,7.884131e-06,7.892159e-06,8.087314e-06,8.140060e-06,8.271948e-06,8.377798e-06,8.446352e-06,8.598042e-06,8.610845e-06,8.765762e-06,8.801557e-06,8.911457e-06,8.989150e-06,9.048287e-06,9.161654e-06,9.176617e-06,9.296811e-06,9.319905e-06,9.409226e-06,9.464724e-06,9.514214e-06,9.596919e-06,9.612122e-06,9.703287e-06,9.717269e-06,9.788034e-06,9.826527e-06,9.866680e-06,9.925408e-06,9.939528e-06,1.000687e-05,1.001459e-05,1.006898e-05,1.009473e-05,1.012614e-05,1.016642e-05,1.017859e-05,1.022658e-05,1.023024e-05,1.027035e-05,1.028672e-05,1.031011e-05,1.033638e-05,1.034608e-05,1.037847e-05,1.037969e-05,1.040746e-05,1.041709e-05,1.043323e-05,1.044901e-05,1.045596e-05,1.047582e-05,1.049296e-05,1.049789e-05,1.050753e-05,1.051557e-05,1.051967e-05,1.052917e-05,1.052952e-05,1.053721e-05,1.053899e-05,1.054285e-05,1.054530e-05,1.054656e-05,1.054837e-05,1.054845e-05,1.054863e-05,1.054843e-05,1.054719e-05,1.054571e-05,1.054422e-05,1.054042e-05,1.053982e-05,1.053406e-05,1.053276e-05,1.052703e-05,1.052290e-05,1.051881e-05,1.051103e-05,1.050946e-05,1.049906e-05,1.049730e-05,1.048766e-05,1.048186e-05,1.047534e-05,1.046485e-05,1.046214e-05,1.044813e-05,1.044640e-05,1.043335e-05,1.042662e-05,1.041786e-05,1.040564e-05,1.040171e-05,1.038493e-05,1.038356e-05,1.036757e-05,1.036048e-05,1.034968e-05,1.033648e-05,1.033128e-05,1.031243e-05,1.031166e-05,1.029314e-05,1.028610e-05,1.027346e-05,1.025987e-05,1.025341e-05,1.023303e-05,1.020567e-05,1.017783e-05,1.014958e-05,1.012096e-05,1.009203e-05,1.006283e-05,1.003341e-05,1.000381e-05,9.974056e-06,9.944196e-06,9.914258e-06,9.884273e-06,9.854269e-06,9.824273e-06,9.794308e-06,9.764398e-06,9.734564e-06,9.704826e-06,9.675202e-06,9.645708e-06,9.616361e-06,9.587174e-06,9.558163e-06,9.529338e-06
0.000000e+00,6.736405e-13,3.411388e-12,3.765210e-11,1.828771e-10,3.755052e-10,1.752965e-09,1.852361e-09,6.222709e-09,8.332151e-09,1.641691e-08,2.704624e-08,3.670382e-08,6.913865e-08,7.276127e-08,1.316227e-07,1.500290e-07,2.214229e-07,2.884847e-07,3.509333e-07,5.047883e-07,5.290061e-07,7.640609e-07,8.185954e-07,1.063681e-06,1.247193e-06,1.434321e-06,1.804342e-06,1.881117e-06,2.407762e-06,2.499603e-06,3.016452e-06,3.338023e-06,3.707868e-06,4.320076e-06,4.481212e-06,5.334263e-06,5.441831e-06,6.263487e-06,6.695297e-06,7.264153e-06,8.068924e-06,8.330492e-06,9.455867e-06,9.548232e-06,1.063295e-05,1.111652e-05,1.185391e-05,1.275562e-05,1.311062e-05,1.439478e-05,1.444660e-05,1.569815e-05,1.617051e-05,1.701267e-05,1.790892e-05,1.833056e-05,1.964449e-05,2.094762e-05,2.136130e-05,2.223367e-05,2.304513e-05,2.349697e-05,2.468367e-05,2.473250e-05,2.593587e-05,2.626652e-05,2.710333e-05,2.778524e-05,2.823175e-05,2.923323e-05,2.931860e-05,3.036188e-05,3.060561e-05,3.136012e-05,3.189907e-05,3.231232e-05,3.311172e-05,3.321792e-05,3.407669e-05,3.424283e-05,3.488878e-05,3.529275e-05,3.565462e-05,3.626265e-05,3.637486e-05,3.705039e-05,3.715440e-05,3.768226e-05,3.797040e-05,3.827166e-05,3.871347e-05,3.881989e-05,3.932833e-05,3.938674e-05,3.979844e-05,3.999352e-05,4.023170e-05,4.053726e-05,4.062962e-05,4.099373e-05,4.102144e-05,4.132554e-05,4.144956e-05,4.162656e-05,4.182506e-05,4.189827e-05,4.214211e-05,4.215130e-05,4.235950e-05,4.243155e-05,4.255182e-05,4.266895e-05,4.272039e-05,4.286649e-05,4.299136e-05,4.302704e-05,4.309620e-05,4.315330e-05,4.318213e-05,4.324786e-05,4.325025e-05,4.330160e-05,4.331311e-05,4.333717e-05,4.335133e-05,4.335790e-05,4.336466e-05,4.336471e-05,4.335844e-05,4.335508e-05,4.333991e-05,4.332447e-05,4.330990e-05,4.327457e-05,4.326913e-05,4.321831e-05,4.320699e-05,4.315809e-05,4.312326e-05,4.308909e-05,4.302479e-05,4.301191e-05,4.292711e-05,4.291287e-05,4.283522e-05,4.278874e-05,4.273674e-05,4.265352e-05,4.263213e-05,4.252186e-05,4.250826e-05,4.240633e-05,4.235394e-05,4.228596e-05,4.219147e-05,4.216112e-05,4.203215e-05,4.202167e-05,4.189941e-05,4.184533e-05,4.176321e-05,4.166316e-05,4.162384e-05,4.148159e-05,4.147584e-05,4.133672e-05,4.128398e-05,4.118949e-05,4.108815e-05,4.104014e-05,4.088888e-05,4.068665e-05,4.048192e-05,4.027511e-05,4.006660e-05,3.985675e-05,3.964588e-05,3.943430e-05,3.922229e-05,3.901010e-05,3.879796e-05,3.858610e-05,3.837471e-05,3.816397e-05,3.795405e-05,3.774511e-05,3.753728e-05,3.733070e-05,3.712547e-05,3.692169e-05,3.671948e-05,3.651891e-05,3.632006e-05,3.612300e-05,3.592779e-05
0.000000e+00,8.026766e-10,2.768839e-09,1.535115e-08,4.415210e-08,7.033949e-08,1.863061e-07,1.928353e-07,4.098063e-07,4.914240e-07,7.509286e-07,1.029154e-06,1.250007e-06,1.877318e-06,1.940131e-06,2.838085e-06,3.083643e-06,3.930450e-06,4.614223e-06,5.181943e-06,6.384672e-06,6.554709e-06,8.017778e-06,8.319018e-06,9.547085e-06,1.036185e-05,1.112293e-05,1.246990e-05,1.272801e-05,1.434636e-05,1.460551e-05,1.596299e-05,1.673420e-05,1.756386e-05,1.882450e-05,1.913607e-05,2.066802e-05,2.084866e-05,2.214959e-05,2.278326e-05,2.357226e-05,2.460988e-05,2.492927e-05,2.621539e-05,2.631509e-05,2.742698e-05,2.789021e-05,2.856183e-05,2.933081e-05,2.961897e-05,3.059852e-05,3.063610e-05,3.150153e-05,3.180820e-05,3.232978e-05,3.285149e-05,3.308566e-05,3.377198e-05,3.439190e-05,3.457679e-05,3.494876e-05,3.527366e-05,3.544604e-05,3.587067e-05,3.588728e-05,3.627599e-05,3.637589e-05,3.661562e-05,3.679723e-05,3.690952e-05,3.714231e-05,3.716094e-05,3.737296e-05,3.741832e-05,3.754854e-05,3.763198e-05,3.769045e-05,3.778957e-05,3.780132e-05,3.788360e-05,3.789683e-05,3.793961e-05,3.795907e-05,3.797149e-05,3.798108e-05,3.798123e-05,3.797072e-05,3.796727e-05,3.794166e-05,3.792160e-05,3.789566e-05,3.784766e-05,3.783421e-05,3.775867e-05,3.774872e-05,3.767032e-05,3.762769e-05,3.757033e-05,3.748722e-05,3.745979e-05,3.733968e-05,3.732969e-05,3.721095e-05,3.715723e-05,3.707444e-05,3.697178e-05,3.693093e-05,3.678116e-05,3.677505e-05,3.662579e-05,3.656861e-05,3.646544e-05,3.635385e-05,3.630068e-05,3.613204e-05,3.596000e-05,3.590430e-05,3.578500e-05,3.567164e-05,3.560745e-05,3.543497e-05,3.542774e-05,3.524622e-05,3.519511e-05,3.506321e-05,3.495281e-05,3.487899e-05,3.470870e-05,3.469386e-05,3.450805e-05,3.446338e-05,3.432180e-05,3.421739e-05,3.413533e-05,3.397119e-05,3.394882e-05,3.376245e-05,3.372521e-05,3.357640e-05,3.347983e-05,3.339082e-05,3.323539e-05,3.320584e-05,3.302159e-05,3.299218e-05,3.283818e-05,3.275048e-05,3.265573e-05,3.251051e-05,3.247432e-05,3.229405e-05,3.227250e-05,3.211501e-05,3.203663e-05,3.193725e-05,3.180306e-05,3.176085e-05,3.158586e-05,3.157193e-05,3.141235e-05,3.134337e-05,3.124036e-05,3.111749e-05,3.106993e-05,3.090109e-05,3.089437e-05,3.073390e-05,3.067411e-05,3.056837e-05,3.045677e-05,3.040453e-05,3.024240e-05,3.003105e-05,2.982276e-05,2.961754e-05,2.941544e-05,2.921645e-05,2.902059e-05,2.882786e-05,2.863825e-05,2.845176e-05,2.826837e-05,2.808808e-05,2.791085e-05,2.773668e-05,2.756553e-05,2.739738e-05,2.723219e-05,2.706995e-05,2.691061e-05,2.675414e-05,2.660051e-05,2.644968e-05,2.630161e-05,2.615627e-05,2.601361e-05
0.000000e+00,1.974654e-08,4.547493e-08,1.597621e-07,3.762834e-07,5.636541e-07,1.405256e-06,1.454245e-06,3.196502e-06,3.905451e-06,6.312254e-06,9.067418e-06,1.131665e-05,1.769063e-05,1.831576e-05,2.686538e-05,2.908022e-05,3.638114e-05,4.196882e-05,4.644671e-05,5.556316e-05,5.681863e-05,6.735375e-05,6.947158e-05,7.795818e-05,8.347583e-05,8.856105e-05,9.742246e-05,9.910279e-05,1.095305e-04,1.111851e-04,1.197970e-04,1.246552e-04,1.298608e-04,1.377417e-04,1.396862e-04,1.492433e-04,1.503709e-04,1.585080e-04,1.624868e-04,1.674616e-04,1.740496e-04,1.760903e-04,1.843846e-04,1.850335e-04,1.923391e-04,1.954250e-04,1.999512e-04,2.052201e-04,2.072214e-04,2.141522e-04,2.144224e-04,2.207478e-04,2.230412e-04,2.270139e-04,2.310901e-04,2.329573e-04,2.385855e-04,2.439067e-04,2.455461e-04,2.489297e-04,2.519919e-04,2.536632e-04,2.579436e-04,2.581165e-04,2.622986e-04,2.634223e-04,2.662189e-04,2.684492e-04,2.698865e-04,2.730454e-04,2.733106e-04,2.765000e-04,2.772315e-04,2.794637e-04,2.810279e-04,2.822103e-04,2.844545e-04,2.847483e-04,2.870860e-04,2.875303e-04,2.892316e-04,2.902740e-04,2.911929e-04,2.927035e-04,2.929775e-04,2.945930e-04,2.948363e-04,2.960466e-04,2.966888e-04,2.973452e-04,2.982772e-04,2.984958e-04,2.995048e-04,2.996167e-04,3.003787e-04,3.007220e-04,3.011236e-04,3.016072e-04,3.017455e-04,3.022501e-04,3.022856e-04,3.026430e-04,3.027701e-04,3.029296e-04,3.030730e-04,3.031149e-04,3.032041e-04,3.032057e-04,3.032018e-04,3.031795e-04,3.031128e-04,3.030049e-04,3.029414e-04,3.026919e-04,3.023686e-04,3.022501e-04,3.019752e-04,3.016885e-04,3.015157e-04,3.010157e-04,3.009937e-04,3.004126e-04,3.002398e-04,2.997760e-04,2.993686e-04,2.990869e-04,2.984094e-04,2.983486e-04,2.975640e-04,2.973692e-04,2.967360e-04,2.962543e-04,2.958673e-04,2.950712e-04,2.949605e-04,2.940181e-04,2.938256e-04,2.930426e-04,2.925230e-04,2.920363e-04,2.911688e-04,2.910013e-04,2.899398e-04,2.897677e-04,2.888538e-04,2.883244e-04,2.877452e-04,2.868434e-04,2.866159e-04,2.854677e-04,2.853287e-04,2.843021e-04,2.837842e-04,2.831208e-04,2.822135e-04,2.819254e-04,2.807173e-04,2.806201e-04,2.794978e-04,2.790072e-04,2.782684e-04,2.773778e-04,2.770303e-04,2.757846e-04,2.757347e-04,2.745326e-04,2.740805e-04,2.732753e-04,2.724178e-04,2.720137e-04,2.707488e-04,2.690758e-04,2.674007e-04,2.657254e-04,2.640517e-04,2.623811e-04,2.607153e-04,2.590555e-04,2.574032e-04,2.557594e-04,2.541254e-04,2.525021e-04,2.508905e-04,2.492913e-04,2.477055e-04,2.461337e-04,2.445766e-04,2.430347e-04,2.415086e-04,2.399987e-04,2.385056e-04,2.370295e-04,2.355708e-04,2.341299e-04,2.327068e-04
0.000000e+00,8.561651e-09,2.000322e-08,7.040125e-08,1.624951e-07,2.388815e-07,5.544614e-07,5.717629e-07,1.139961e-06,1.353052e-06,2.033245e-06,2.765484e-06,3.345308e-06,4.963504e-06,5.122442e-06,7.333326e-06,7.921094e-06,9.911760e-06,1.149402e-05,1.280008e-05,1.556480e-05,1.595664e-05,1.934979e-05,2.005435e-05,2.295189e-05,2.489864e-05,2.673598e-05,3.003492e-05,3.067421e-05,3.473743e-05,3.539714e-05,3.889548e-05,4.091607e-05,4.311785e-05,4.652170e-05,4.737428e-05,5.163544e-05,5.214577e-05,5.587373e-05,5.772467e-05,6.006362e-05,6.320131e-05,6.418210e-05,6.820890e-05,6.852653e-05,7.212652e-05,7.365963e-05,7.592032e-05,7.856835e-05,7.957832e-05,8.309110e-05,8.322849e-05,8.645157e-05,8.762302e-05,8.965470e-05,9.174131e-05,9.269741e-05,9.557827e-05,9.829728e-05,9.913334e-05,1.008556e-04,1.024095e-04,1.032552e-04,1.054122e-04,1.054990e-04,1.075902e-04,1.081490e-04,1.095329e-04,1.106289e-04,1.113312e-04,1.128625e-04,1.129902e-04,1.145146e-04,1.148611e-04,1.159097e-04,1.166363e-04,1.171806e-04,1.182004e-04,1.183325e-04,1.193710e-04,1.195655e-04,1.203016e-04,1.207449e-04,1.211303e-04,1.217510e-04,1.218617e-04,1.225007e-04,1.225947e-04,1.230522e-04,1.232870e-04,1.235204e-04,1.238381e-04,1.239099e-04,1.242249e-04,1.242579e-04,1.244695e-04,1.245558e-04,1.246476e-04,1.247409e-04,1.247630e-04,1.248195e-04,1.248215e-04,1.248204e-04,1.248060e-04,1.247692e-04,1.247018e-04,1.246690e-04,1.245229e-04,1.245161e-04,1.243338e-04,1.242558e-04,1.241046e-04,1.239272e-04,1.238380e-04,1.235364e-04,1.232023e-04,1.230889e-04,1.228380e-04,1.225901e-04,1.224458e-04,1.220448e-04,1.220276e-04,1.215856e-04,1.214578e-04,1.211216e-04,1.208333e-04,1.206373e-04,1.201754e-04,1.201345e-04,1.196149e-04,1.194878e-04,1.190799e-04,1.187741e-04,1.185309e-04,1.180374e-04,1.179694e-04,1.173967e-04,1.172809e-04,1.168139e-04,1.165073e-04,1.162222e-04,1.157192e-04,1.156228e-04,1.150166e-04,1.149190e-04,1.144046e-04,1.141091e-04,1.137878e-04,1.132914e-04,1.131669e-04,1.125429e-04,1.124678e-04,1.119164e-04,1.116402e-04,1.112882e-04,1.108101e-04,1.106590e-04,1.100293e-04,1.099789e-04,1.093998e-04,1.091482e-04,1.087710e-04,1.083190e-04,1.081434e-04,1.075175e-04,1.074925e-04,1.068938e-04,1.066698e-04,1.062726e-04,1.058518e-04,1.056543e-04,1.050394e-04,1.042333e-04,1.034341e-04,1.026427e-04,1.018594e-04,1.010848e-04,1.003193e-04,9.956327e-05,9.881712e-05,9.808109e-05,9.735543e-05,9.664036e-05,9.593604e-05,9.524262e-05,9.456021e-05,9.388888e-05,9.322870e-05,9.257969e-05,9.194187e-05,9.131522e-05,9.069973e-05,9.009534e-05,8.950199e-05,8.891963e-05,8.834816e-05
0.000000e+00,1.134846e-09,2.592572e-09,8.850751e-09,1.996852e-08,2.898313e-08,6.477460e-08,6.667938e-08,1.266063e-07,1.479706e-07,2.131449e-07,2.796048e-07,3.305194e-07,4.692025e-07,4.827504e-07,6.732194e-07,7.248667e-07,9.036454e-07,1.049832e-06,1.172835e-06,1.438382e-06,1.476431e-06,1.808187e-06,1.877338e-06,2.161611e-06,2.351971e-06,2.530821e-06,2.849391e-06,2.910696e-06,3.296767e-06,3.358842e-06,3.685064e-06,3.871182e-06,4.072042e-06,4.378537e-06,4.454538e-06,4.829763e-06,4.874183e-06,5.195307e-06,5.352543e-06,5.549140e-06,5.809188e-06,5.889606e-06,6.215411e-06,6.240812e-06,6.525603e-06,6.645155e-06,6.819540e-06,7.020896e-06,7.096860e-06,7.357448e-06,7.367524e-06,7.601389e-06,7.685178e-06,7.828943e-06,7.974516e-06,8.040505e-06,8.236582e-06,8.417756e-06,8.472688e-06,8.584672e-06,8.684331e-06,8.738015e-06,8.873109e-06,8.878489e-06,9.006807e-06,9.040655e-06,9.123680e-06,9.188601e-06,9.229806e-06,9.318538e-06,9.325868e-06,9.412526e-06,9.431995e-06,9.490410e-06,9.530418e-06,9.560121e-06,9.615159e-06,9.622228e-06,9.677272e-06,9.687478e-06,9.725758e-06,9.748540e-06,9.768165e-06,9.799415e-06,9.804937e-06,9.836491e-06,9.841082e-06,9.863216e-06,9.874436e-06,9.885474e-06,9.900293e-06,9.903604e-06,9.917919e-06,9.919395e-06,9.928712e-06,9.932415e-06,9.936253e-06,9.939964e-06,9.940793e-06,9.942567e-06,9.942596e-06,9.941791e-06,9.940812e-06,9.938665e-06,9.935065e-06,9.933377e-06,9.926099e-06,9.925769e-06,9.916992e-06,9.913295e-06,9.906205e-06,9.897980e-06,9.893875e-06,9.880131e-06,9.865092e-06,9.860024e-06,9.848868e-06,9.837911e-06,9.831562e-06,9.814019e-06,9.813270e-06,9.794079e-06,9.788556e-06,9.774073e-06,9.761710e-06,9.753328e-06,9.733651e-06,9.731915e-06,9.709900e-06,9.704534e-06,9.687345e-06,9.674500e-06,9.664307e-06,9.643677e-06,9.640840e-06,9.616993e-06,9.612182e-06,9.592812e-06,9.580120e-06,9.568340e-06,9.547589e-06,9.543619e-06,9.518683e-06,9.514676e-06,9.493570e-06,9.481462e-06,9.468311e-06,9.448018e-06,9.442935e-06,9.417472e-06,9.414412e-06,9.391947e-06,9.380703e-06,9.366385e-06,9.346947e-06,9.340808e-06,9.315238e-06,9.313193e-06,9.289694e-06,9.279488e-06,9.264194e-06,9.245871e-06,9.238755e-06,9.213394e-06,9.212382e-06,9.188125e-06,9.179053e-06,9.162961e-06,9.145916e-06,9.137915e-06,9.112999e-06,9.080326e-06,9.047921e-06,9.015803e-06,8.983991e-06,8.952501e-06,8.921348e-06,8.890545e-06,8.860103e-06,8.830032e-06,8.800341e-06,8.771039e-06,8.742130e-06,8.713621e-06,8.685516e-06,8.657819e-06,8.630533e-06,8.603660e-06,8.577201e-06,8.551157e-06,8.525530e-06,8.500317e-06,8.475520e-06,8.451136e-06,8.427164e-06
0.000000e+00,8.318137e-13,4.191555e-12,4.577433e-11,2.201085e-10,4.494057e-10,2.066507e-09,2.182306e-09,7.216454e-09,9.620186e-09,1.874071e-08,3.058412e-08,4.124490e-08,7.658730e-08,8.050100e-08,1.434505e-07,1.629430e-07,2.379493e-07,3.077415e-07,3.722889e-07,5.298612e-07,5.544991e-07,7.915857e-07,8.460933e-07,1.088897e-06,1.268480e-06,1.449724e-06,1.802762e-06,1.875152e-06,2.364104e-06,2.448053e-06,2.913532e-06,3.197399e-06,3.518684e-06,4.038841e-06,4.173423e-06,4.870551e-06,4.956684e-06,5.602136e-06,5.932803e-06,6.359815e-06,6.947866e-06,7.135080e-06,7.919527e-06,7.982435e-06,8.705072e-06,9.017877e-06,9.484128e-06,1.003710e-05,1.024975e-05,1.099574e-05,1.102509e-05,1.171670e-05,1.196922e-05,1.240810e-05,1.285943e-05,1.306623e-05,1.368822e-05,1.427200e-05,1.445050e-05,1.481622e-05,1.514341e-05,1.532019e-05,1.576603e-05,1.578381e-05,1.620749e-05,1.631907e-05,1.659207e-05,1.680453e-05,1.693874e-05,1.722546e-05,1.724898e-05,1.752447e-05,1.758561e-05,1.776704e-05,1.788923e-05,1.797864e-05,1.814081e-05,1.816126e-05,1.831691e-05,1.834498e-05,1.844757e-05,1.850629e-05,1.855520e-05,1.862917e-05,1.864166e-05,1.870877e-05,1.871782e-05,1.875822e-05,1.877616e-05,1.879163e-05,1.880782e-05,1.881051e-05,1.881625e-05,1.881612e-05,1.881017e-05,1.880406e-05,1.879345e-05,1.877432e-05,1.876721e-05,1.873245e-05,1.872933e-05,1.869009e-05,1.867121e-05,1.864097e-05,1.860185e-05,1.858585e-05,1.852544e-05,1.852292e-05,1.846034e-05,1.843587e-05,1.839113e-05,1.834198e-05,1.831832e-05,1.824237e-05,1.816370e-05,1.813802e-05,1.808269e-05,1.802977e-05,1.799967e-05,1.791837e-05,1.791495e-05,1.782880e-05,1.780446e-05,1.774148e-05,1.768861e-05,1.765320e-05,1.757131e-05,1.756416e-05,1.747456e-05,1.745299e-05,1.738455e-05,1.733402e-05,1.729428e-05,1.721474e-05,1.720389e-05,1.711349e-05,1.709542e-05,1.702320e-05,1.697632e-05,1.693310e-05,1.685765e-05,1.684330e-05,1.675387e-05,1.673960e-05,1.666488e-05,1.662234e-05,1.657640e-05,1.650602e-05,1.648849e-05,1.640119e-05,1.639076e-05,1.631456e-05,1.627666e-05,1.622864e-05,1.616383e-05,1.614346e-05,1.605906e-05,1.605235e-05,1.597548e-05,1.594228e-05,1.589273e-05,1.583368e-05,1.581084e-05,1.572983e-05,1.572661e-05,1.564972e-05,1.562110e-05,1.557052e-05,1.551720e-05,1.549225e-05,1.541492e-05,1.531430e-05,1.521535e-05,1.511809e-05,1.502251e-05,1.492863e-05,1.483644e-05,1.474595e-05,1.465714e-05,1.457002e-05,1.448456e-05,1.440076e-05,1.431861e-05,1.423809e-05,1.415918e-05,1.408186e-05,1.400613e-05,1.393195e-05,1.385930e-05,1.378817e-05,1.371853e-05,1.365037e-05,1.358365e-05,1.351835e-05,1.345446e-05
0.000000e+00,2.671506e-08,6.224628e-08,2.197682e-07,5.129342e-07,7.612606e-07,1.832069e-06,1.892679e-06,3.971701e-06,4.787028e-06,7.468820e-06,1.041678e-05,1.275090e-05,1.913658e-05,1.975108e-05,2.807568e-05,3.022635e-05,3.735079e-05,4.286288e-05,4.732685e-05,5.655451e-05,5.784025e-05,6.877003e-05,7.099681e-05,8.001450e-05,8.595503e-05,9.148120e-05,1.012218e-04,1.030840e-04,1.147429e-04,1.166086e-04,1.263853e-04,1.319483e-04,1.379461e-04,1.470980e-04,1.493692e-04,1.606068e-04,1.619408e-04,1.716187e-04,1.763839e-04,1.823728e-04,1.903574e-04,1.928434e-04,2.030109e-04,2.038107e-04,2.128608e-04,2.167094e-04,2.223830e-04,2.290322e-04,2.315708e-04,2.404208e-04,2.407678e-04,2.489319e-04,2.519130e-04,2.571048e-04,2.624706e-04,2.649423e-04,2.724483e-04,2.796274e-04,2.818566e-04,2.864853e-04,2.907087e-04,2.930283e-04,2.990195e-04,2.992631e-04,3.051968e-04,3.068052e-04,3.108367e-04,3.140828e-04,3.161904e-04,3.208698e-04,3.212657e-04,3.260704e-04,3.271841e-04,3.306122e-04,3.330438e-04,3.348991e-04,3.384669e-04,3.389389e-04,3.427392e-04,3.434713e-04,3.463080e-04,3.480747e-04,3.496526e-04,3.522945e-04,3.527808e-04,3.556998e-04,3.561479e-04,3.584169e-04,3.596516e-04,3.609394e-04,3.628219e-04,3.632742e-04,3.654281e-04,3.656747e-04,3.674079e-04,3.682256e-04,3.692202e-04,3.704894e-04,3.708713e-04,3.723675e-04,3.724807e-04,3.737149e-04,3.742135e-04,3.749194e-04,3.757014e-04,3.759868e-04,3.769227e-04,3.769575e-04,3.777326e-04,3.779943e-04,3.784218e-04,3.788241e-04,3.789954e-04,3.794584e-04,3.798157e-04,3.799084e-04,3.800719e-04,3.801850e-04,3.802317e-04,3.802984e-04,3.802994e-04,3.802793e-04,3.802585e-04,3.801755e-04,3.800748e-04,3.799921e-04,3.797562e-04,3.797328e-04,3.794014e-04,3.793116e-04,3.790016e-04,3.787491e-04,3.785367e-04,3.780766e-04,3.780103e-04,3.774254e-04,3.773017e-04,3.767852e-04,3.764315e-04,3.760928e-04,3.754729e-04,3.753510e-04,3.745627e-04,3.744325e-04,3.737306e-04,3.733163e-04,3.728571e-04,3.721304e-04,3.719449e-04,3.709964e-04,3.708802e-04,3.700138e-04,3.695712e-04,3.689994e-04,3.682084e-04,3.679552e-04,3.668835e-04,3.667966e-04,3.657861e-04,3.653404e-04,3.646649e-04,3.638439e-04,3.635217e-04,3.623584e-04,3.623114e-04,3.611764e-04,3.607467e-04,3.599775e-04,3.591534e-04,3.587632e-04,3.575350e-04,3.558947e-04,3.542356e-04,3.525606e-04,3.508724e-04,3.491735e-04,3.474665e-04,3.457534e-04,3.440366e-04,3.423179e-04,3.405992e-04,3.388823e-04,3.371688e-04,3.354601e-04,3.337578e-04,3.320632e-04,3.303773e-04,3.287015e-04,3.270367e-04,3.253839e-04,3.237440e-04,3.221178e-04,3.205060e-04,3.189094e-04,3.173286e-04
0.000000e+00,3.566384e-12,1.840072e-11,2.111873e-10,1.063474e-09,2.227837e-09,1.095942e-08,1.160574e-08,4.110186e-08,5.583699e-08,1.141106e-07,1.936633e-07,2.679766e-07,5.273344e-07,5.570446e-07,1.055310e-06,1.216170e-06,1.858338e-06,2.484138e-06,3.083810e-06,4.621117e-06,4.870096e-06,7.372807e-06,7.973947e-06,1.075993e-05,1.292868e-05,1.520629e-05,1.988866e-05,2.088789e-05,2.797655e-05,2.925236e-05,3.663504e-05,4.139319e-05,4.701275e-05,5.664236e-05,5.924205e-05,7.343525e-05,7.527493e-05,8.968234e-05,9.749963e-05,1.080493e-04,1.234521e-04,1.285771e-04,1.512814e-04,1.531916e-04,1.761527e-04,1.867013e-04,2.031574e-04,2.238906e-04,2.322385e-04,2.633178e-04,2.646012e-04,2.962978e-04,3.086142e-04,3.310635e-04,3.556587e-04,3.674855e-04,4.054218e-04,4.447207e-04,4.575584e-04,4.852234e-04,5.117012e-04,5.267659e-04,5.674705e-04,5.691818e-04,6.123042e-04,6.244824e-04,6.559675e-04,6.823574e-04,7.000093e-04,7.407264e-04,7.442719e-04,7.886035e-04,7.992371e-04,8.328592e-04,8.575579e-04,8.769022e-04,9.153819e-04,9.206040e-04,9.638455e-04,9.724287e-04,1.006517e-03,1.028447e-03,1.048517e-03,1.083213e-03,1.089757e-03,1.130154e-03,1.136535e-03,1.169637e-03,1.188246e-03,1.208144e-03,1.238209e-03,1.245620e-03,1.282020e-03,1.286314e-03,1.317307e-03,1.332473e-03,1.351451e-03,1.376622e-03,1.384430e-03,1.416226e-03,1.418718e-03,1.446830e-03,1.458737e-03,1.476237e-03,1.496669e-03,1.504448e-03,1.531467e-03,1.532523e-03,1.557304e-03,1.566319e-03,1.581972e-03,1.598086e-03,1.605486e-03,1.627866e-03,1.649133e-03,1.655707e-03,1.669310e-03,1.681663e-03,1.688423e-03,1.705795e-03,1.706499e-03,1.723565e-03,1.728167e-03,1.739651e-03,1.748844e-03,1.754786e-03,1.767897e-03,1.769001e-03,1.782326e-03,1.785395e-03,1.794792e-03,1.801409e-03,1.806429e-03,1.816008e-03,1.817268e-03,1.827339e-03,1.829263e-03,1.836672e-03,1.841243e-03,1.845296e-03,1.852014e-03,1.853241e-03,1.860534e-03,1.861643e-03,1.867205e-03,1.870193e-03,1.873278e-03,1.877725e-03,1.878782e-03,1.883740e-03,1.884300e-03,1.888179e-03,1.889974e-03,1.892122e-03,1.894801e-03,1.895592e-03,1.898612e-03,1.898835e-03,1.901203e-03,1.902124e-03,1.903387e-03,1.904717e-03,1.905182e-03,1.906609e-03,1.906658e-03,1.907685e-03,1.907991e-03,1.908430e-03,1.908755e-03,1.908859e-03,1.908989e-03,1.908729e-03,1.908010e-03,1.906863e-03,1.905318e-03,1.903406e-03,1.901151e-03,1.898580e-03,1.895717e-03,1.892582e-03,1.889199e-03,1.885585e-03,1.881760e-03,1.877741e-03,1.873543e-03,1.869183e-03,1.864674e-03,1.860030e-03,1.855262e-03,1.850384e-03,1.845405e-03,1.840335e-03,1.835186e-03,1.829965e-03,1.824680e-03
0.000000e+00,3.295413e-11,1.699688e-10,1.949321e-09,9.809291e-09,2.054097e-08,1.009387e-07,1.068867e-07,3.781064e-07,5.134907e-07,1.048491e-06,1.778150e-06,2.459245e-06,4.833740e-06,5.105551e-06,9.660239e-06,1.112958e-05,1.699275e-05,2.270522e-05,2.818018e-05,4.222755e-05,4.450471e-05,6.743148e-05,7.294851e-05,9.856536e-05,1.185565e-04,1.395915e-04,1.829419e-04,1.922084e-04,2.580619e-04,2.699312e-04,3.386849e-04,3.830398e-04,4.354480e-04,5.252723e-04,5.495198e-04,6.818383e-04,6.989781e-04,8.330923e-04,9.057632e-04,1.003712e-03,1.146450e-03,1.193869e-03,1.403479e-03,1.421080e-03,1.632215e-03,1.728949e-03,1.879527e-03,2.068676e-03,2.144656e-03,2.426660e-03,2.438276e-03,2.724438e-03,2.835266e-03,3.036756e-03,3.256756e-03,3.362271e-03,3.699558e-03,4.047135e-03,4.160285e-03,4.403483e-03,4.635441e-03,4.767070e-03,5.121507e-03,5.136370e-03,5.509879e-03,5.615015e-03,5.886132e-03,6.112611e-03,6.263716e-03,6.611104e-03,6.641277e-03,7.017535e-03,7.107508e-03,7.391288e-03,7.599073e-03,7.761414e-03,8.083302e-03,8.126880e-03,8.486739e-03,8.557961e-03,8.840136e-03,9.021089e-03,9.186301e-03,9.470991e-03,9.524554e-03,9.854298e-03,9.906232e-03,1.017502e-02,1.032563e-02,1.048628e-02,1.072823e-02,1.078771e-02,1.107904e-02,1.111330e-02,1.136002e-02,1.148033e-02,1.163049e-02,1.182895e-02,1.189034e-02,1.213953e-02,1.215900e-02,1.237803e-02,1.247044e-02,1.260587e-02,1.276337e-02,1.282314e-02,1.302994e-02,1.303800e-02,1.322640e-02,1.329463e-02,1.341269e-02,1.353365e-02,1.358899e-02,1.375552e-02,1.391250e-02,1.396075e-02,1.406016e-02,1.414989e-02,1.419876e-02,1.432353e-02,1.432856e-02,1.444982e-02,1.448229e-02,1.456283e-02,1.462678e-02,1.466785e-02,1.475766e-02,1.476517e-02,1.485507e-02,1.487557e-02,1.493782e-02,1.498114e-02,1.501370e-02,1.507502e-02,1.508300e-02,1.514597e-02,1.515783e-02,1.520289e-02,1.523018e-02,1.525402e-02,1.529267e-02,1.529961e-02,1.533991e-02,1.534589e-02,1.537518e-02,1.539038e-02,1.540564e-02,1.542671e-02,1.543153e-02,1.545308e-02,1.545538e-02,1.547050e-02,1.547691e-02,1.548400e-02,1.549177e-02,1.549379e-02,1.550005e-02,1.550041e-02,1.550299e-02,1.550328e-02,1.550279e-02,1.550079e-02,1.549961e-02,1.549362e-02,1.549333e-02,1.548500e-02,1.548127e-02,1.547388e-02,1.546498e-02,1.546043e-02,1.544478e-02,1.542099e-02,1.539391e-02,1.536382e-02,1.533098e-02,1.529564e-02,1.525804e-02,1.521839e-02,1.517689e-02,1.513374e-02,1.508912e-02,1.504320e-02,1.499612e-02,1.494805e-02,1.489911e-02,1.484943e-02,1.479913e-02,1.474832e-02,1.469710e-02,1.464557e-02,1.459382e-02,1.454191e-02,1.448994e-02,1.443797e-02,1.438607e-02
0.000000e+00,2.300788e-09,6.118539e-09,2.472889e-08,6.085530e-08,9.154526e-08,2.202304e-07,2.273080e-07,4.586334e-07,5.445723e-07,8.161237e-07,1.105903e-06,1.335733e-06,1.992042e-06,2.058317e-06,3.024952e-06,3.297041e-06,4.265768e-06,5.083742e-06,5.786526e-06,7.339796e-06,7.565802e-06,9.567062e-06,9.990570e-06,1.175285e-05,1.295160e-05,1.409144e-05,1.615505e-05,1.655721e-05,1.912905e-05,1.954914e-05,2.178871e-05,2.309165e-05,2.451968e-05,2.674545e-05,2.730660e-05,3.013496e-05,3.047649e-05,3.299105e-05,3.425316e-05,3.586198e-05,3.804640e-05,3.873576e-05,4.160138e-05,4.182997e-05,4.444882e-05,4.558068e-05,4.726916e-05,4.927853e-05,5.005446e-05,5.279784e-05,5.290662e-05,5.549335e-05,5.645102e-05,5.813597e-05,5.990059e-05,6.072155e-05,6.324670e-05,6.570874e-05,6.648290e-05,6.810554e-05,6.960449e-05,7.043548e-05,7.260823e-05,7.269739e-05,7.489050e-05,7.549217e-05,7.701439e-05,7.825546e-05,7.906900e-05,8.089824e-05,8.105454e-05,8.297142e-05,8.342132e-05,8.482024e-05,8.582614e-05,8.660180e-05,8.811465e-05,8.831701e-05,8.996700e-05,9.028930e-05,9.155318e-05,9.235321e-05,9.307680e-05,9.430912e-05,9.453900e-05,9.594109e-05,9.615994e-05,9.728438e-05,9.790865e-05,9.857016e-05,9.955829e-05,9.979979e-05,1.009746e-04,1.011120e-04,1.020961e-04,1.025729e-04,1.031654e-04,1.039442e-04,1.041841e-04,1.051534e-04,1.052288e-04,1.060746e-04,1.064300e-04,1.069492e-04,1.075507e-04,1.077784e-04,1.085635e-04,1.085940e-04,1.093059e-04,1.095629e-04,1.100067e-04,1.104603e-04,1.106673e-04,1.112889e-04,1.118726e-04,1.120516e-04,1.124197e-04,1.127511e-04,1.129313e-04,1.133901e-04,1.134085e-04,1.138525e-04,1.139710e-04,1.142644e-04,1.144965e-04,1.146452e-04,1.149690e-04,1.149960e-04,1.153178e-04,1.153908e-04,1.156115e-04,1.157642e-04,1.158783e-04,1.160915e-04,1.161190e-04,1.163346e-04,1.163748e-04,1.165259e-04,1.166161e-04,1.166939e-04,1.168176e-04,1.168395e-04,1.169633e-04,1.169812e-04,1.170664e-04,1.171087e-04,1.171494e-04,1.172020e-04,1.172132e-04,1.172585e-04,1.172628e-04,1.172861e-04,1.172927e-04,1.172966e-04,1.172936e-04,1.172907e-04,1.172691e-04,1.172668e-04,1.172326e-04,1.172139e-04,1.171816e-04,1.171364e-04,1.171169e-04,1.170390e-04,1.170356e-04,1.169485e-04,1.169130e-04,1.168460e-04,1.167697e-04,1.167320e-04,1.166071e-04,1.164262e-04,1.162284e-04,1.160146e-04,1.157858e-04,1.155432e-04,1.152877e-04,1.150201e-04,1.147414e-04,1.144524e-04,1.141539e-04,1.138467e-04,1.135314e-04,1.132089e-04,1.128798e-04,1.125447e-04,1.122042e-04,1.118589e-04,1.115093e-04,1.111560e-04,1.107994e-04,1.104401e-04,1.100785e-04,1.097150e-04,1.093499e-04
0.000000e+00,8.967877e-09,2.132662e-08,7.618626e-08,1.766220e-07,2.599314e-07,6.042985e-07,6.231931e-07,1.244603e-06,1.477972e-06,2.223072e-06,3.023711e-06,3.655163e-06,5.396986e-06,5.566002e-06,7.871018e-06,8.468689e-06,1.044589e-05,1.196790e-05,1.319326e-05,1.570201e-05,1.604880e-05,1.896793e-05,1.955620e-05,2.191565e-05,2.344958e-05,2.486162e-05,2.731461e-05,2.777823e-05,3.064035e-05,3.109170e-05,3.342559e-05,3.472938e-05,3.611457e-05,3.818555e-05,3.869124e-05,4.114300e-05,4.142834e-05,4.346058e-05,4.443612e-05,4.563787e-05,4.719668e-05,4.767161e-05,4.956095e-05,4.970588e-05,5.130713e-05,5.196612e-05,5.291304e-05,5.398474e-05,5.438285e-05,5.572172e-05,5.577263e-05,5.693540e-05,5.734287e-05,5.803014e-05,5.870999e-05,5.901255e-05,5.988935e-05,6.066718e-05,6.089624e-05,6.135250e-05,6.174551e-05,6.195167e-05,6.245143e-05,6.247073e-05,6.291547e-05,6.302743e-05,6.329136e-05,6.348601e-05,6.360358e-05,6.383877e-05,6.385699e-05,6.405617e-05,6.409637e-05,6.420535e-05,6.426856e-05,6.430853e-05,6.436421e-05,6.436940e-05,6.439140e-05,6.439142e-05,6.437773e-05,6.435752e-05,6.433136e-05,6.426916e-05,6.425505e-05,6.415134e-05,6.413236e-05,6.402260e-05,6.395257e-05,6.387103e-05,6.373468e-05,6.369863e-05,6.350730e-05,6.348315e-05,6.329876e-05,6.320197e-05,6.307463e-05,6.289477e-05,6.283637e-05,6.258538e-05,6.256479e-05,6.232291e-05,6.221498e-05,6.205014e-05,6.184798e-05,6.176816e-05,6.147797e-05,6.146620e-05,6.118049e-05,6.107178e-05,6.087658e-05,6.066667e-05,6.056705e-05,6.025261e-05,5.993394e-05,5.983118e-05,5.961168e-05,5.940381e-05,5.928639e-05,5.897177e-05,5.895861e-05,5.862884e-05,5.853621e-05,5.829752e-05,5.809816e-05,5.796508e-05,5.765857e-05,5.763190e-05,5.729833e-05,5.721826e-05,5.696471e-05,5.677798e-05,5.663134e-05,5.633840e-05,5.629850e-05,5.596644e-05,5.590014e-05,5.563539e-05,5.546372e-05,5.530558e-05,5.502963e-05,5.497719e-05,5.465042e-05,5.459829e-05,5.432542e-05,5.417010e-05,5.400235e-05,5.374538e-05,5.368135e-05,5.336254e-05,5.332443e-05,5.304603e-05,5.290753e-05,5.273193e-05,5.249489e-05,5.242034e-05,5.211133e-05,5.208672e-05,5.180498e-05,5.168321e-05,5.150137e-05,5.128449e-05,5.120054e-05,5.090255e-05,5.089069e-05,5.060745e-05,5.050193e-05,5.031529e-05,5.011830e-05,5.002608e-05,4.973987e-05,4.936670e-05,4.899884e-05,4.863632e-05,4.827915e-05,4.792736e-05,4.758095e-05,4.723991e-05,4.690422e-05,4.657387e-05,4.624883e-05,4.592908e-05,4.561456e-05,4.530525e-05,4.500110e-05,4.470205e-05,4.440806e-05,4.411908e-05,4.383504e-05,4.355589e-05,4.328156e-05,4.301200e-05,4.274714e-05,4.248692e-05,4.223126e-05
0.000000e+00,3.073573e-10,1.078026e-09,6.147716e-09,1.806081e-08,2.908274e-08,7.909822e-08,8.195757e-08,1.787902e-07,2.159450e-07,3.360405e-07,4.674423e-07,5.733459e-07,8.808772e-07,9.121955e-07,1.370183e-06,1.498709e-06,1.951966e-06,2.328135e-06,2.646380e-06,3.335409e-06,3.434247e-06,4.297258e-06,4.477548e-06,5.221086e-06,5.721780e-06,6.194775e-06,7.044616e-06,7.209362e-06,8.256864e-06,8.427011e-06,9.329733e-06,9.851560e-06,1.042063e-05,1.130151e-05,1.152240e-05,1.262813e-05,1.276076e-05,1.373124e-05,1.421418e-05,1.482560e-05,1.564802e-05,1.590565e-05,1.696637e-05,1.705026e-05,1.800341e-05,1.841074e-05,1.901305e-05,1.972128e-05,1.999222e-05,2.093841e-05,2.097554e-05,2.184968e-05,2.216890e-05,2.272461e-05,2.329831e-05,2.356225e-05,2.436201e-05,2.512371e-05,2.535942e-05,2.584742e-05,2.629080e-05,2.653348e-05,2.715719e-05,2.718244e-05,2.779502e-05,2.796014e-05,2.837207e-05,2.870165e-05,2.891456e-05,2.938402e-05,2.942353e-05,2.990008e-05,3.000976e-05,3.034535e-05,3.058146e-05,3.076048e-05,3.110180e-05,3.114665e-05,3.150503e-05,3.157347e-05,3.183678e-05,3.199915e-05,3.214305e-05,3.238145e-05,3.242496e-05,3.268362e-05,3.272292e-05,3.292010e-05,3.302603e-05,3.313544e-05,3.329318e-05,3.333066e-05,3.350673e-05,3.352662e-05,3.366461e-05,3.372855e-05,3.380520e-05,3.390104e-05,3.392939e-05,3.403801e-05,3.404605e-05,3.413188e-05,3.416548e-05,3.421178e-05,3.426108e-05,3.427846e-05,3.433262e-05,3.433454e-05,3.437496e-05,3.438743e-05,3.440613e-05,3.442126e-05,3.442675e-05,3.443743e-05,3.443874e-05,3.443727e-05,3.443122e-05,3.442201e-05,3.441539e-05,3.439285e-05,3.439176e-05,3.436079e-05,3.435087e-05,3.432294e-05,3.429711e-05,3.427864e-05,3.423254e-05,3.422830e-05,3.417231e-05,3.415807e-05,3.411104e-05,3.407456e-05,3.404485e-05,3.398279e-05,3.397407e-05,3.389902e-05,3.388352e-05,3.382001e-05,3.377745e-05,3.373732e-05,3.366523e-05,3.365123e-05,3.356201e-05,3.354746e-05,3.346990e-05,3.342473e-05,3.337513e-05,3.329756e-05,3.327793e-05,3.317851e-05,3.316644e-05,3.307707e-05,3.303185e-05,3.297380e-05,3.289421e-05,3.286888e-05,3.276249e-05,3.275392e-05,3.265477e-05,3.261135e-05,3.254589e-05,3.246686e-05,3.243599e-05,3.232521e-05,3.232077e-05,3.221368e-05,3.217337e-05,3.210151e-05,3.202494e-05,3.198883e-05,3.187574e-05,3.172601e-05,3.157596e-05,3.142581e-05,3.127574e-05,3.112591e-05,3.097650e-05,3.082765e-05,3.067949e-05,3.053214e-05,3.038572e-05,3.024033e-05,3.009606e-05,2.995300e-05,2.981123e-05,2.967081e-05,2.953180e-05,2.939427e-05,2.925826e-05,2.912382e-05,2.899098e-05,2.885978e-05,2.873025e-05,2.860241e-05,2.847628e-05
0.000000e+00,4.184038e-10,1.215210e-09,5.410376e-09,1.391395e-08,2.125783e-08,5.238918e-08,5.410708e-08,1.102242e-07,1.310080e-07,1.963493e-07,2.654960e-07,3.199262e-07,4.735284e-07,4.888992e-07,7.104292e-07,7.719407e-07,9.882163e-07,1.167899e-06,1.320506e-06,1.653498e-06,1.701583e-06,2.124965e-06,2.214207e-06,2.585064e-06,2.837269e-06,3.077275e-06,3.512597e-06,3.597576e-06,4.142190e-06,4.231335e-06,4.707390e-06,4.984901e-06,5.289438e-06,5.764686e-06,5.884583e-06,6.489110e-06,6.562110e-06,7.099396e-06,7.368846e-06,7.711975e-06,8.177056e-06,8.323591e-06,8.931239e-06,8.979596e-06,9.532200e-06,9.770159e-06,1.012405e-05,1.054335e-05,1.070469e-05,1.127231e-05,1.129472e-05,1.182538e-05,1.202069e-05,1.236269e-05,1.271853e-05,1.288323e-05,1.338628e-05,1.387127e-05,1.402259e-05,1.433786e-05,1.462671e-05,1.478584e-05,1.519834e-05,1.521515e-05,1.562586e-05,1.573754e-05,1.601811e-05,1.624470e-05,1.639215e-05,1.672043e-05,1.674827e-05,1.708685e-05,1.716554e-05,1.740828e-05,1.758096e-05,1.771301e-05,1.796771e-05,1.800149e-05,1.827420e-05,1.832689e-05,1.853163e-05,1.865963e-05,1.877429e-05,1.896708e-05,1.900268e-05,1.921729e-05,1.925039e-05,1.941863e-05,1.951070e-05,1.960718e-05,1.974915e-05,1.978344e-05,1.994787e-05,1.996683e-05,2.010094e-05,2.016481e-05,2.024311e-05,2.034414e-05,2.037482e-05,2.049650e-05,2.050582e-05,2.060857e-05,2.065080e-05,2.071144e-05,2.078002e-05,2.080549e-05,2.089111e-05,2.089437e-05,2.096867e-05,2.099469e-05,2.103852e-05,2.108179e-05,2.110101e-05,2.115646e-05,2.120520e-05,2.121943e-05,2.124753e-05,2.127139e-05,2.128374e-05,2.131303e-05,2.131414e-05,2.133897e-05,2.134497e-05,2.135852e-05,2.136782e-05,2.137304e-05,2.138215e-05,2.138276e-05,2.138793e-05,2.138851e-05,2.138876e-05,2.138742e-05,2.138548e-05,2.137935e-05,2.137828e-05,2.136738e-05,2.136477e-05,2.135296e-05,2.134413e-05,2.133520e-05,2.131784e-05,2.131429e-05,2.129038e-05,2.128629e-05,2.126364e-05,2.124985e-05,2.123423e-05,2.120887e-05,2.120228e-05,2.116796e-05,2.116369e-05,2.113138e-05,2.111461e-05,2.109269e-05,2.106194e-05,2.105200e-05,2.100944e-05,2.100596e-05,2.096512e-05,2.094692e-05,2.091915e-05,2.088509e-05,2.087163e-05,2.082267e-05,2.082068e-05,2.077236e-05,2.075393e-05,2.072078e-05,2.068504e-05,2.066804e-05,2.061421e-05,2.054162e-05,2.046745e-05,2.039187e-05,2.031502e-05,2.023705e-05,2.015811e-05,2.007830e-05,1.999777e-05,1.991661e-05,1.983494e-05,1.975286e-05,1.967045e-05,1.958781e-05,1.950501e-05,1.942214e-05,1.933926e-05,1.925644e-05,1.917374e-05,1.909122e-05,1.900894e-05,1.892695e-05,1.884528e-05,1.876399e-05,1.868311e-05
0.000000e+00,5.138889e-13,2.627459e-12,2.958503e-11,1.463469e-10,3.035287e-10,1.453974e-09,1.538017e-09,5.297826e-09,7.141155e-09,1.430235e-08,2.386479e-08,3.264775e-08,6.256270e-08,6.593382e-08,1.212989e-07,1.388006e-07,2.073734e-07,2.726663e-07,3.341609e-07,4.882759e-07,5.128538e-07,7.555777e-07,8.129202e-07,1.075064e-06,1.275836e-06,1.484264e-06,1.906660e-06,1.995920e-06,2.622153e-06,2.733743e-06,3.374077e-06,3.782574e-06,4.261467e-06,5.074472e-06,5.292505e-06,6.473578e-06,6.625622e-06,7.809153e-06,8.446462e-06,9.301707e-06,1.054140e-05,1.095172e-05,1.275769e-05,1.290882e-05,1.471626e-05,1.554132e-05,1.682228e-05,1.842618e-05,1.906899e-05,2.144819e-05,2.154598e-05,2.395040e-05,2.487932e-05,2.656512e-05,2.840163e-05,2.928099e-05,3.208601e-05,3.496777e-05,3.590407e-05,3.791360e-05,3.982669e-05,4.091080e-05,4.382474e-05,4.394677e-05,4.700918e-05,4.786975e-05,5.008610e-05,5.193443e-05,5.316609e-05,5.599307e-05,5.623832e-05,5.929264e-05,6.002194e-05,6.231959e-05,6.399947e-05,6.531051e-05,6.790643e-05,6.825750e-05,7.115346e-05,7.172596e-05,7.399208e-05,7.544363e-05,7.676782e-05,7.904732e-05,7.947589e-05,8.211223e-05,8.252715e-05,8.467345e-05,8.587534e-05,8.715684e-05,8.908605e-05,8.956025e-05,9.188213e-05,9.215522e-05,9.412141e-05,9.508036e-05,9.627751e-05,9.786041e-05,9.835028e-05,1.003399e-04,1.004955e-04,1.022470e-04,1.029869e-04,1.040724e-04,1.053367e-04,1.058172e-04,1.074828e-04,1.075477e-04,1.090706e-04,1.096235e-04,1.105825e-04,1.115680e-04,1.120202e-04,1.133856e-04,1.146809e-04,1.150809e-04,1.159081e-04,1.166587e-04,1.170693e-04,1.181241e-04,1.181668e-04,1.192027e-04,1.194820e-04,1.201792e-04,1.207375e-04,1.210985e-04,1.218956e-04,1.219628e-04,1.227742e-04,1.229613e-04,1.235348e-04,1.239394e-04,1.242468e-04,1.248346e-04,1.249121e-04,1.255327e-04,1.256516e-04,1.261106e-04,1.263948e-04,1.266476e-04,1.270685e-04,1.271456e-04,1.276063e-04,1.276767e-04,1.280316e-04,1.282235e-04,1.284229e-04,1.287126e-04,1.287819e-04,1.291102e-04,1.291476e-04,1.294093e-04,1.295319e-04,1.296805e-04,1.298689e-04,1.299253e-04,1.301449e-04,1.301614e-04,1.303407e-04,1.304126e-04,1.305139e-04,1.306252e-04,1.306656e-04,1.307970e-04,1.308018e-04,1.309091e-04,1.309449e-04,1.310029e-04,1.310568e-04,1.310795e-04,1.311398e-04,1.311959e-04,1.312271e-04,1.312353e-04,1.312221e-04,1.311893e-04,1.311383e-04,1.310706e-04,1.309876e-04,1.308905e-04,1.307805e-04,1.306588e-04,1.305264e-04,1.303843e-04,1.302333e-04,1.300744e-04,1.299084e-04,1.297360e-04,1.295580e-04,1.293749e-04,1.291874e-04,1.289960e-04,1.288014e-04,1.286040e-04,1.284042e-04
0.000000e+00,3.085774e-11,1.303747e-10,1.006316e-09,3.602659e-09,6.308217e-09,2.001787e-08,2.083882e-08,4.941608e-08,6.050948e-08,9.610171e-08,1.341710e-07,1.640972e-07,2.475564e-07,2.558104e-07,3.729277e-07,4.049409e-07,5.164358e-07,6.084471e-07,6.865600e-07,8.577559e-07,8.825990e-07,1.102674e-06,1.149311e-06,1.343528e-06,1.475513e-06,1.600610e-06,1.825192e-06,1.868568e-06,2.141940e-06,2.185839e-06,2.415740e-06,2.546043e-06,2.685741e-06,2.896687e-06,2.948530e-06,3.201439e-06,3.231022e-06,3.442443e-06,3.544317e-06,3.670070e-06,3.833487e-06,3.883317e-06,4.081587e-06,4.096792e-06,4.264633e-06,4.333589e-06,4.432497e-06,4.544109e-06,4.585462e-06,4.724000e-06,4.729249e-06,4.848728e-06,4.890386e-06,4.960367e-06,5.029206e-06,5.059706e-06,5.147570e-06,5.224798e-06,5.247401e-06,5.292220e-06,5.330599e-06,5.350644e-06,5.398985e-06,5.400845e-06,5.443553e-06,5.454264e-06,5.479457e-06,5.497999e-06,5.509192e-06,5.531606e-06,5.533346e-06,5.552460e-06,5.556352e-06,5.567023e-06,5.573360e-06,5.577483e-06,5.583616e-06,5.584245e-06,5.587673e-06,5.587988e-06,5.588099e-06,5.587234e-06,5.585821e-06,5.582018e-06,5.581111e-06,5.574210e-06,5.572917e-06,5.565335e-06,5.560432e-06,5.554681e-06,5.544999e-06,5.542429e-06,5.528737e-06,5.527004e-06,5.513749e-06,5.506778e-06,5.497596e-06,5.484613e-06,5.480395e-06,5.462253e-06,5.460764e-06,5.443269e-06,5.435459e-06,5.423530e-06,5.408895e-06,5.403116e-06,5.382099e-06,5.381247e-06,5.360549e-06,5.352672e-06,5.338525e-06,5.323307e-06,5.316083e-06,5.293275e-06,5.270147e-06,5.262685e-06,5.246742e-06,5.231635e-06,5.223099e-06,5.200214e-06,5.199257e-06,5.175248e-06,5.168501e-06,5.151105e-06,5.136566e-06,5.126855e-06,5.104475e-06,5.102526e-06,5.078142e-06,5.072284e-06,5.053725e-06,5.040046e-06,5.029298e-06,5.007808e-06,5.004879e-06,4.980487e-06,4.975613e-06,4.956139e-06,4.943500e-06,4.931850e-06,4.911504e-06,4.907635e-06,4.883507e-06,4.879655e-06,4.859477e-06,4.847982e-06,4.835559e-06,4.816510e-06,4.811761e-06,4.788093e-06,4.785262e-06,4.764565e-06,4.754259e-06,4.741185e-06,4.723519e-06,4.717960e-06,4.694896e-06,4.693058e-06,4.672001e-06,4.662892e-06,4.649280e-06,4.633032e-06,4.626739e-06,4.604382e-06,4.603491e-06,4.582213e-06,4.574279e-06,4.560236e-06,4.545404e-06,4.538455e-06,4.516873e-06,4.488694e-06,4.460873e-06,4.433412e-06,4.406317e-06,4.379591e-06,4.353235e-06,4.327251e-06,4.301640e-06,4.276403e-06,4.251539e-06,4.227049e-06,4.202931e-06,4.179183e-06,4.155805e-06,4.132794e-06,4.110148e-06,4.087864e-06,4.065940e-06,4.044373e-06,4.023159e-06,4.002295e-06,3.981777e-06,3.961602e-06,3.941765e-06
0.000000e+00,3.654283e-11,1.621132e-10,1.373204e-09,5.301986e-09,9.643585e-09,3.342078e-08,3.490645e-08,8.918851e-08,1.112503e-07,1.845803e-07,2.662888e-07,3.323748e-07,5.234570e-07,5.428213e-07,8.251008e-07,9.044580e-07,1.187270e-06,1.427531e-06,1.635975e-06,2.106117e-06,2.175788e-06,2.808168e-06,2.945597e-06,3.530454e-06,3.939385e-06,4.335567e-06,5.068091e-06,5.212772e-06,6.149165e-06,6.303572e-06,7.131158e-06,7.614798e-06,8.145531e-06,8.972043e-06,9.179988e-06,1.022338e-05,1.034870e-05,1.126570e-05,1.172166e-05,1.229809e-05,1.307125e-05,1.331278e-05,1.430306e-05,1.438105e-05,1.526322e-05,1.563777e-05,1.618856e-05,1.683110e-05,1.707531e-05,1.792055e-05,1.795347e-05,1.872219e-05,1.899982e-05,1.947884e-05,1.996728e-05,2.018979e-05,2.085485e-05,2.147433e-05,2.166304e-05,2.204892e-05,2.239358e-05,2.257967e-05,2.304912e-05,2.306785e-05,2.351494e-05,2.363299e-05,2.392259e-05,2.414896e-05,2.429253e-05,2.460111e-05,2.462655e-05,2.492649e-05,2.499361e-05,2.519419e-05,2.533070e-05,2.543147e-05,2.561653e-05,2.564012e-05,2.582189e-05,2.585517e-05,2.597847e-05,2.605049e-05,2.611151e-05,2.620619e-05,2.622254e-05,2.631309e-05,2.632577e-05,2.638456e-05,2.641249e-05,2.643831e-05,2.646942e-05,2.647562e-05,2.649770e-05,2.649938e-05,2.650569e-05,2.650502e-05,2.650066e-05,2.648876e-05,2.648363e-05,2.645553e-05,2.645284e-05,2.641728e-05,2.639931e-05,2.636969e-05,2.633008e-05,2.631354e-05,2.624958e-05,2.624687e-05,2.617848e-05,2.615126e-05,2.610089e-05,2.604471e-05,2.601739e-05,2.592854e-05,2.583486e-05,2.580395e-05,2.573684e-05,2.567204e-05,2.563492e-05,2.553381e-05,2.552953e-05,2.542105e-05,2.539017e-05,2.530984e-05,2.524196e-05,2.519625e-05,2.508991e-05,2.508059e-05,2.496313e-05,2.493471e-05,2.484417e-05,2.477698e-05,2.472393e-05,2.461727e-05,2.460267e-05,2.448058e-05,2.445608e-05,2.435787e-05,2.429388e-05,2.423473e-05,2.413107e-05,2.411131e-05,2.398778e-05,2.396802e-05,2.386429e-05,2.380506e-05,2.374096e-05,2.364249e-05,2.361791e-05,2.349526e-05,2.348057e-05,2.337311e-05,2.331955e-05,2.325156e-05,2.315963e-05,2.313068e-05,2.301057e-05,2.300099e-05,2.289128e-05,2.284382e-05,2.277289e-05,2.268824e-05,2.265546e-05,2.253903e-05,2.253440e-05,2.242366e-05,2.238239e-05,2.230938e-05,2.223233e-05,2.219625e-05,2.208428e-05,2.193833e-05,2.179453e-05,2.165294e-05,2.151358e-05,2.137651e-05,2.124173e-05,2.110927e-05,2.097914e-05,2.085135e-05,2.072589e-05,2.060277e-05,2.048197e-05,2.036349e-05,2.024731e-05,2.013341e-05,2.002178e-05,1.991239e-05,1.980522e-05,1.970024e-05,1.959742e-05,1.949675e-05,1.939818e-05,1.930168e-05,1.920724e-05
0.000000e+00,2.079207e-12,1.057010e-11,1.175982e-10,5.753207e-10,1.185971e-09,5.591793e-09,5.911196e-09,2.004426e-08,2.690403e-08,5.331634e-08,8.821614e-08,1.200302e-07,2.273105e-07,2.393230e-07,4.351448e-07,4.966038e-07,7.359578e-07,9.621874e-07,1.174067e-06,1.700913e-06,1.784445e-06,2.603049e-06,2.794874e-06,3.664856e-06,4.323930e-06,5.001971e-06,6.358289e-06,6.642039e-06,8.607087e-06,8.952795e-06,1.091281e-05,1.214346e-05,1.356820e-05,1.594605e-05,1.657556e-05,1.993065e-05,2.035620e-05,2.362314e-05,2.535080e-05,2.763710e-05,3.089007e-05,3.195172e-05,3.654197e-05,3.692026e-05,4.137938e-05,4.337665e-05,4.643285e-05,5.018667e-05,5.166940e-05,5.705491e-05,5.727294e-05,6.255486e-05,6.455624e-05,6.813494e-05,7.195801e-05,7.376162e-05,7.940264e-05,8.502743e-05,8.681921e-05,9.060742e-05,9.414285e-05,9.611630e-05,1.013157e-04,1.015302e-04,1.068277e-04,1.082875e-04,1.119900e-04,1.150157e-04,1.170009e-04,1.214653e-04,1.218466e-04,1.265157e-04,1.276089e-04,1.309991e-04,1.334259e-04,1.352897e-04,1.389021e-04,1.393827e-04,1.432747e-04,1.440288e-04,1.469641e-04,1.488025e-04,1.504509e-04,1.532238e-04,1.537359e-04,1.568216e-04,1.572970e-04,1.597111e-04,1.610295e-04,1.624084e-04,1.644310e-04,1.649182e-04,1.672457e-04,1.675130e-04,1.693966e-04,1.702886e-04,1.713770e-04,1.727719e-04,1.731932e-04,1.748516e-04,1.749776e-04,1.763588e-04,1.769208e-04,1.777214e-04,1.786168e-04,1.789462e-04,1.800396e-04,1.800807e-04,1.810083e-04,1.813276e-04,1.818585e-04,1.823721e-04,1.825965e-04,1.832284e-04,1.837601e-04,1.839100e-04,1.841974e-04,1.844302e-04,1.845457e-04,1.848014e-04,1.848105e-04,1.849967e-04,1.850355e-04,1.851094e-04,1.851437e-04,1.851532e-04,1.851366e-04,1.851327e-04,1.850520e-04,1.850242e-04,1.849153e-04,1.848158e-04,1.847266e-04,1.845203e-04,1.844894e-04,1.842074e-04,1.841459e-04,1.838838e-04,1.837002e-04,1.835219e-04,1.831904e-04,1.831245e-04,1.826947e-04,1.826230e-04,1.822349e-04,1.820044e-04,1.817478e-04,1.813401e-04,1.812359e-04,1.807012e-04,1.806356e-04,1.801460e-04,1.798957e-04,1.795722e-04,1.791249e-04,1.789818e-04,1.783765e-04,1.783275e-04,1.777580e-04,1.775073e-04,1.771279e-04,1.766678e-04,1.764876e-04,1.758385e-04,1.758124e-04,1.751820e-04,1.749440e-04,1.745191e-04,1.740654e-04,1.738511e-04,1.731791e-04,1.722874e-04,1.713924e-04,1.704961e-04,1.696002e-04,1.687062e-04,1.678156e-04,1.669297e-04,1.660497e-04,1.651766e-04,1.643114e-04,1.634549e-04,1.626078e-04,1.617709e-04,1.609446e-04,1.601296e-04,1.593262e-04,1.585348e-04,1.577558e-04,1.569893e-04,1.562357e-04,1.554952e-04,1.547677e-04,1.540536e-04,1.533527e-04
0.000000e+00,2.481135e-12,1.274161e-11,1.447923e-10,7.223623e-10,1.505346e-09,7.302602e-09,7.728774e-09,2.697624e-08,3.649816e-08,7.380981e-08,1.241725e-07,1.708164e-07,3.316252e-07,3.498968e-07,6.531848e-07,7.500988e-07,1.133502e-06,1.502984e-06,1.854103e-06,2.744299e-06,2.887368e-06,4.312248e-06,4.651421e-06,6.210696e-06,7.412065e-06,8.663651e-06,1.120849e-05,1.174712e-05,1.552879e-05,1.620261e-05,2.006528e-05,2.252425e-05,2.540022e-05,3.026330e-05,3.156300e-05,3.856820e-05,3.946558e-05,4.641561e-05,5.013202e-05,5.509066e-05,6.222047e-05,6.456536e-05,7.479950e-05,7.564957e-05,8.574204e-05,9.030420e-05,9.733278e-05,1.060417e-04,1.095039e-04,1.221820e-04,1.226985e-04,1.352892e-04,1.400974e-04,1.487453e-04,1.580533e-04,1.624691e-04,1.763798e-04,1.903979e-04,1.948938e-04,2.044470e-04,2.134206e-04,2.184537e-04,2.317966e-04,2.323494e-04,2.460701e-04,2.498723e-04,2.595568e-04,2.675142e-04,2.727565e-04,2.846057e-04,2.856216e-04,2.981102e-04,3.010474e-04,3.101864e-04,3.167572e-04,3.218194e-04,3.316698e-04,3.329841e-04,3.436603e-04,3.457354e-04,3.538325e-04,3.589192e-04,3.634900e-04,3.711994e-04,3.726259e-04,3.812372e-04,3.825663e-04,3.893243e-04,3.930208e-04,3.968906e-04,4.025728e-04,4.039424e-04,4.104880e-04,4.112400e-04,4.165382e-04,4.190464e-04,4.221051e-04,4.260214e-04,4.272028e-04,4.318460e-04,4.321983e-04,4.360510e-04,4.376139e-04,4.398343e-04,4.423068e-04,4.432132e-04,4.462055e-04,4.463174e-04,4.488289e-04,4.496865e-04,4.511014e-04,4.524555e-04,4.530410e-04,4.546653e-04,4.559918e-04,4.563562e-04,4.570377e-04,4.575676e-04,4.578198e-04,4.583375e-04,4.583544e-04,4.586572e-04,4.587026e-04,4.587437e-04,4.586979e-04,4.586285e-04,4.583567e-04,4.583259e-04,4.578495e-04,4.577107e-04,4.572122e-04,4.567897e-04,4.564265e-04,4.556217e-04,4.555041e-04,4.544564e-04,4.542328e-04,4.532941e-04,4.526476e-04,4.520270e-04,4.508889e-04,4.506650e-04,4.492169e-04,4.489778e-04,4.476914e-04,4.469339e-04,4.460963e-04,4.447753e-04,4.444393e-04,4.427274e-04,4.425186e-04,4.409672e-04,4.401791e-04,4.391650e-04,4.377708e-04,4.373265e-04,4.354572e-04,4.353065e-04,4.335620e-04,4.327978e-04,4.316457e-04,4.302554e-04,4.297127e-04,4.277669e-04,4.276889e-04,4.258122e-04,4.251070e-04,4.238520e-04,4.225176e-04,4.218896e-04,4.199278e-04,4.173439e-04,4.147716e-04,4.122159e-04,4.096815e-04,4.071722e-04,4.046915e-04,4.022426e-04,3.998280e-04,3.974501e-04,3.951108e-04,3.928118e-04,3.905545e-04,3.883399e-04,3.861691e-04,3.840427e-04,3.819613e-04,3.799251e-04,3.779344e-04,3.759894e-04,3.740898e-04,3.722355e-04,3.704264e-04,3.686620e-04,3.669419e-04
0.000000e+00,3.746506e-10,1.128597e-09,5.219423e-09,1.359697e-08,2.082403e-08,5.117267e-08,5.283330e-08,1.063575e-07,1.258630e-07,1.862488e-07,2.488378e-07,2.973142e-07,4.311789e-07,4.443810e-07,6.320515e-07,6.835717e-07,8.639124e-07,1.013642e-06,1.141154e-06,1.420824e-06,1.461345e-06,1.818619e-06,1.893861e-06,2.205353e-06,2.415545e-06,2.613955e-06,2.969170e-06,3.037757e-06,3.471151e-06,3.541057e-06,3.909397e-06,4.120258e-06,4.348404e-06,4.697719e-06,4.784563e-06,5.214659e-06,5.265724e-06,5.635830e-06,5.817654e-06,6.045551e-06,6.347927e-06,6.441642e-06,6.822266e-06,6.852001e-06,7.185933e-06,7.326381e-06,7.531487e-06,7.768593e-06,7.858100e-06,8.165242e-06,8.177119e-06,8.452661e-06,8.551295e-06,8.720349e-06,8.891205e-06,8.968512e-06,9.197521e-06,9.407895e-06,9.471383e-06,9.600283e-06,9.714308e-06,9.775417e-06,9.928044e-06,9.934085e-06,1.007713e-05,1.011449e-05,1.020541e-05,1.027565e-05,1.031979e-05,1.041350e-05,1.042115e-05,1.051034e-05,1.053003e-05,1.058818e-05,1.062711e-05,1.065547e-05,1.070657e-05,1.071298e-05,1.076146e-05,1.077013e-05,1.080158e-05,1.081936e-05,1.083399e-05,1.085569e-05,1.085928e-05,1.087803e-05,1.088046e-05,1.089077e-05,1.089490e-05,1.089799e-05,1.090010e-05,1.090015e-05,1.089765e-05,1.089706e-05,1.089090e-05,1.088668e-05,1.088026e-05,1.086977e-05,1.086605e-05,1.084859e-05,1.084706e-05,1.082816e-05,1.081922e-05,1.080503e-05,1.078683e-05,1.077943e-05,1.075159e-05,1.075043e-05,1.072170e-05,1.071048e-05,1.068997e-05,1.066743e-05,1.065657e-05,1.062164e-05,1.058536e-05,1.057348e-05,1.054784e-05,1.052324e-05,1.050921e-05,1.047120e-05,1.046960e-05,1.042910e-05,1.041762e-05,1.038782e-05,1.036272e-05,1.034585e-05,1.030670e-05,1.030328e-05,1.026017e-05,1.024975e-05,1.021660e-05,1.019203e-05,1.017265e-05,1.013369e-05,1.012836e-05,1.008380e-05,1.007487e-05,1.003903e-05,1.001567e-05,9.994080e-06,9.956225e-06,9.949006e-06,9.903849e-06,9.896619e-06,9.858648e-06,9.836946e-06,9.813437e-06,9.777285e-06,9.768251e-06,9.723120e-06,9.717710e-06,9.678073e-06,9.658286e-06,9.633136e-06,9.599072e-06,9.588333e-06,9.543687e-06,9.540123e-06,9.499219e-06,9.481486e-06,9.454948e-06,9.423205e-06,9.410892e-06,9.367067e-06,9.365319e-06,9.323488e-06,9.307863e-06,9.280170e-06,9.250868e-06,9.237124e-06,9.194364e-06,9.138374e-06,9.082922e-06,9.028026e-06,8.973704e-06,8.919972e-06,8.866843e-06,8.814327e-06,8.762435e-06,8.711176e-06,8.660554e-06,8.610578e-06,8.561250e-06,8.512574e-06,8.464552e-06,8.417185e-06,8.370475e-06,8.324420e-06,8.279019e-06,8.234272e-06,8.190175e-06,8.146726e-06,8.103922e-06,8.061758e-06,8.020231e-06
0.000000e+00,3.644179e-09,8.451958e-09,2.951839e-08,6.776383e-08,9.926103e-08,2.272295e-07,2.341469e-07,4.561572e-07,5.371103e-07,7.890321e-07,1.052685e-06,1.258677e-06,1.834199e-06,1.891367e-06,2.707445e-06,2.931589e-06,3.712370e-06,4.353931e-06,4.895029e-06,6.067519e-06,6.236161e-06,7.716404e-06,8.027609e-06,9.318743e-06,1.019514e-05,1.102805e-05,1.253619e-05,1.283020e-05,1.471149e-05,1.501893e-05,1.665847e-05,1.761248e-05,1.865799e-05,2.028689e-05,2.069736e-05,2.276451e-05,2.301389e-05,2.484815e-05,2.576747e-05,2.693793e-05,2.852449e-05,2.902452e-05,3.109960e-05,3.126488e-05,3.315589e-05,3.397170e-05,3.518711e-05,3.663102e-05,3.718790e-05,3.915378e-05,3.923163e-05,4.108103e-05,4.176478e-05,4.296663e-05,4.422380e-05,4.480818e-05,4.660379e-05,4.835207e-05,4.890134e-05,5.005199e-05,5.111424e-05,5.170288e-05,5.324124e-05,5.330435e-05,5.485626e-05,5.528191e-05,5.635865e-05,5.723641e-05,5.781176e-05,5.910542e-05,5.921597e-05,6.057176e-05,6.089000e-05,6.187971e-05,6.259152e-05,6.314050e-05,6.421156e-05,6.435485e-05,6.552356e-05,6.575190e-05,6.664747e-05,6.721448e-05,6.772743e-05,6.860131e-05,6.876436e-05,6.975916e-05,6.991448e-05,7.071276e-05,7.115613e-05,7.162611e-05,7.232844e-05,7.250015e-05,7.333584e-05,7.343360e-05,7.413414e-05,7.447379e-05,7.489599e-05,7.545119e-05,7.562233e-05,7.631411e-05,7.636799e-05,7.697226e-05,7.722631e-05,7.759770e-05,7.802827e-05,7.819134e-05,7.875409e-05,7.877597e-05,7.928682e-05,7.947143e-05,7.979042e-05,8.011667e-05,8.026575e-05,8.071365e-05,8.113495e-05,8.126429e-05,8.153048e-05,8.177046e-05,8.190103e-05,8.223398e-05,8.224738e-05,8.257032e-05,8.265664e-05,8.287058e-05,8.304016e-05,8.314891e-05,8.338622e-05,8.340602e-05,8.364264e-05,8.369645e-05,8.385943e-05,8.397243e-05,8.405708e-05,8.421569e-05,8.423623e-05,8.439754e-05,8.442772e-05,8.454163e-05,8.460995e-05,8.466910e-05,8.476378e-05,8.478056e-05,8.487657e-05,8.489053e-05,8.495770e-05,8.499152e-05,8.502451e-05,8.506800e-05,8.507752e-05,8.511726e-05,8.512116e-05,8.514423e-05,8.515218e-05,8.515893e-05,8.516218e-05,8.516183e-05,8.515339e-05,8.515224e-05,8.513408e-05,8.512341e-05,8.510433e-05,8.507668e-05,8.506456e-05,8.501519e-05,8.501302e-05,8.495662e-05,8.493336e-05,8.488924e-05,8.483859e-05,8.481343e-05,8.472956e-05,8.460711e-05,8.447202e-05,8.432504e-05,8.416692e-05,8.399833e-05,8.381995e-05,8.363243e-05,8.343637e-05,8.323237e-05,8.302097e-05,8.280273e-05,8.257815e-05,8.234773e-05,8.211193e-05,8.187121e-05,8.162599e-05,8.137668e-05,8.112366e-05,8.086732e-05,8.060799e-05,8.034602e-05,8.008174e-05,7.981543e-05,7.954740e-05
0.000000e+00,1.345518e-10,5.684325e-10,4.400156e-09,1.585153e-08,2.789302e-08,9.010274e-08,9.388079e-08,2.283839e-07,2.819863e-07,4.585155e-07,6.542784e-07,8.127679e-07,1.274144e-06,1.321221e-06,2.014395e-06,2.211434e-06,2.919705e-06,3.526565e-06,4.054779e-06,5.243851e-06,5.419117e-06,6.989743e-06,7.325247e-06,8.726227e-06,9.679277e-06,1.058221e-05,1.220232e-05,1.251527e-05,1.449092e-05,1.480910e-05,1.648248e-05,1.743785e-05,1.846935e-05,2.004442e-05,2.043526e-05,2.236721e-05,2.259624e-05,2.425470e-05,2.506887e-05,2.608932e-05,2.744415e-05,2.786446e-05,2.957509e-05,2.970904e-05,3.121754e-05,3.185483e-05,3.278931e-05,3.387636e-05,3.428893e-05,3.571575e-05,3.577131e-05,3.706984e-05,3.753960e-05,3.835180e-05,3.918286e-05,3.956269e-05,4.070394e-05,4.177722e-05,4.210662e-05,4.278441e-05,4.339527e-05,4.372755e-05,4.457466e-05,4.460875e-05,4.543017e-05,4.564976e-05,4.619402e-05,4.662562e-05,4.690252e-05,4.750736e-05,4.755789e-05,4.816230e-05,4.830001e-05,4.871791e-05,4.900854e-05,4.922685e-05,4.963775e-05,4.969118e-05,5.011292e-05,5.019233e-05,5.049402e-05,5.067677e-05,5.083640e-05,5.109544e-05,5.114191e-05,5.141235e-05,5.145248e-05,5.164944e-05,5.175188e-05,5.185482e-05,5.199738e-05,5.203010e-05,5.217680e-05,5.219256e-05,5.229640e-05,5.234081e-05,5.239033e-05,5.244538e-05,5.245994e-05,5.250655e-05,5.250933e-05,5.253141e-05,5.253552e-05,5.253570e-05,5.252670e-05,5.252058e-05,5.248716e-05,5.248546e-05,5.243648e-05,5.241421e-05,5.236957e-05,5.231528e-05,5.228737e-05,5.219081e-05,5.208077e-05,5.204284e-05,5.195807e-05,5.187328e-05,5.182353e-05,5.168393e-05,5.167790e-05,5.152190e-05,5.147646e-05,5.135624e-05,5.125248e-05,5.118158e-05,5.101347e-05,5.099854e-05,5.080771e-05,5.076082e-05,5.060968e-05,5.049583e-05,5.040497e-05,5.021973e-05,5.019411e-05,4.997759e-05,4.993365e-05,4.975587e-05,4.963867e-05,4.952939e-05,4.933578e-05,4.929858e-05,4.906382e-05,4.902592e-05,4.882550e-05,4.870994e-05,4.858397e-05,4.838867e-05,4.833958e-05,4.809264e-05,4.806285e-05,4.784346e-05,4.773319e-05,4.759233e-05,4.740034e-05,4.733953e-05,4.708530e-05,4.706490e-05,4.682989e-05,4.672744e-05,4.657353e-05,4.638849e-05,4.631644e-05,4.605882e-05,4.604851e-05,4.580087e-05,4.570796e-05,4.554277e-05,4.536726e-05,4.528469e-05,4.502678e-05,4.468688e-05,4.434788e-05,4.401008e-05,4.367374e-05,4.333913e-05,4.300646e-05,4.267596e-05,4.234780e-05,4.202216e-05,4.169919e-05,4.137904e-05,4.106183e-05,4.074767e-05,4.043667e-05,4.012891e-05,3.982446e-05,3.952341e-05,3.922580e-05,3.893168e-05,3.864110e-05,3.835409e-05,3.807068e-05,3.779089e-05,3.751472e-05
0.000000e+00,3.569668e-12,1.819096e-11,2.035158e-10,1.001698e-09,2.072882e-09,9.894012e-09,1.046524e-08,3.608178e-08,4.869404e-08,9.802056e-08,1.646235e-07,2.264499e-07,4.409421e-07,4.654452e-07,8.756155e-07,1.007869e-06,1.535322e-06,2.048340e-06,2.538671e-06,3.788133e-06,3.989321e-06,5.991385e-06,6.466595e-06,8.640064e-06,1.029989e-05,1.201419e-05,1.545206e-05,1.617160e-05,2.114715e-05,2.202028e-05,2.695297e-05,3.003277e-05,3.358007e-05,3.945515e-05,4.100096e-05,4.917264e-05,5.020118e-05,5.803973e-05,6.214514e-05,6.753751e-05,7.513398e-05,7.759477e-05,8.813631e-05,8.899826e-05,9.908518e-05,1.035615e-04,1.103645e-04,1.186479e-04,1.218991e-04,1.336165e-04,1.340881e-04,1.454484e-04,1.497233e-04,1.573305e-04,1.654088e-04,1.692040e-04,1.810150e-04,1.927151e-04,1.964286e-04,2.042614e-04,2.115526e-04,2.156160e-04,2.263058e-04,2.267463e-04,2.376243e-04,2.406217e-04,2.482267e-04,2.544475e-04,2.585340e-04,2.677429e-04,2.685309e-04,2.782053e-04,2.804782e-04,2.875484e-04,2.926334e-04,2.965540e-04,3.041968e-04,3.052185e-04,3.135404e-04,3.151636e-04,3.215200e-04,3.255348e-04,3.291595e-04,3.353163e-04,3.364623e-04,3.434328e-04,3.445177e-04,3.500769e-04,3.531519e-04,3.564007e-04,3.612341e-04,3.624115e-04,3.681169e-04,3.687814e-04,3.735249e-04,3.758123e-04,3.786438e-04,3.823461e-04,3.834822e-04,3.880489e-04,3.884028e-04,3.923527e-04,3.940026e-04,3.964024e-04,3.991658e-04,4.002068e-04,4.037748e-04,4.039127e-04,4.071148e-04,4.082631e-04,4.102356e-04,4.122368e-04,4.131455e-04,4.158527e-04,4.183652e-04,4.191294e-04,4.206909e-04,4.220849e-04,4.228375e-04,4.247366e-04,4.248124e-04,4.266228e-04,4.271012e-04,4.282758e-04,4.291949e-04,4.297782e-04,4.310330e-04,4.311365e-04,4.323572e-04,4.326304e-04,4.334464e-04,4.340012e-04,4.344101e-04,4.351589e-04,4.352540e-04,4.359837e-04,4.361164e-04,4.366045e-04,4.368860e-04,4.371215e-04,4.374793e-04,4.375398e-04,4.378641e-04,4.379076e-04,4.380990e-04,4.381813e-04,4.382490e-04,4.383106e-04,4.383182e-04,4.383108e-04,4.383049e-04,4.382307e-04,4.381734e-04,4.380817e-04,4.379246e-04,4.378674e-04,4.375913e-04,4.375666e-04,4.372567e-04,4.371072e-04,4.368669e-04,4.365537e-04,4.364248e-04,4.359335e-04,4.359129e-04,4.353958e-04,4.351914e-04,4.348144e-04,4.343954e-04,4.341919e-04,4.335308e-04,4.326029e-04,4.316172e-04,4.305783e-04,4.294911e-04,4.283599e-04,4.271887e-04,4.259816e-04,4.247420e-04,4.234736e-04,4.221794e-04,4.208626e-04,4.195261e-04,4.181724e-04,4.168042e-04,4.154237e-04,4.140333e-04,4.126349e-04,4.112306e-04,4.098221e-04,4.084112e-04,4.069994e-04,4.055882e-04,4.041789e-04,4.027730e-04
0.000000e+00,9.944705e-12,5.130221e-11,5.886612e-10,2.963998e-09,6.209183e-09,3.055248e-08,3.235491e-08,1.146671e-07,1.558202e-07,3.187312e-07,5.414537e-07,7.497715e-07,1.478308e-06,1.561886e-06,2.966374e-06,3.420732e-06,5.237977e-06,7.012982e-06,8.716709e-06,1.309314e-05,1.380281e-05,2.094444e-05,2.266124e-05,3.062029e-05,3.681599e-05,4.332030e-05,5.667896e-05,5.952694e-05,7.969835e-05,8.332238e-05,1.042541e-04,1.177088e-04,1.335636e-04,1.606447e-04,1.679374e-04,2.076208e-04,2.127488e-04,2.527905e-04,2.744329e-04,3.035521e-04,3.458954e-04,3.599415e-04,4.219263e-04,4.271243e-04,4.894096e-04,5.179092e-04,5.622346e-04,6.178598e-04,6.401904e-04,7.230183e-04,7.264286e-04,8.104181e-04,8.429377e-04,9.020554e-04,9.666055e-04,9.975683e-04,1.096574e-03,1.198675e-03,1.231935e-03,1.303465e-03,1.371754e-03,1.410536e-03,1.515091e-03,1.519480e-03,1.629895e-03,1.661021e-03,1.741390e-03,1.808647e-03,1.853586e-03,1.957113e-03,1.966120e-03,2.078647e-03,2.105616e-03,2.190841e-03,2.253409e-03,2.302396e-03,2.399809e-03,2.413027e-03,2.522473e-03,2.544198e-03,2.630492e-03,2.686025e-03,2.736867e-03,2.824804e-03,2.841398e-03,2.943910e-03,2.960114e-03,3.044245e-03,3.091592e-03,3.142267e-03,3.218938e-03,3.237856e-03,3.330912e-03,3.341904e-03,3.421348e-03,3.460292e-03,3.509096e-03,3.573951e-03,3.594099e-03,3.676317e-03,3.682773e-03,3.755720e-03,3.786688e-03,3.832289e-03,3.885659e-03,3.906016e-03,3.976903e-03,3.979679e-03,4.044959e-03,4.068770e-03,4.110203e-03,4.152975e-03,4.172659e-03,4.232358e-03,4.289336e-03,4.307001e-03,4.343634e-03,4.376998e-03,4.395296e-03,4.442458e-03,4.444372e-03,4.490914e-03,4.503499e-03,4.534976e-03,4.560246e-03,4.576614e-03,4.612831e-03,4.615888e-03,4.652856e-03,4.661393e-03,4.687581e-03,4.706070e-03,4.720123e-03,4.747005e-03,4.750546e-03,4.778911e-03,4.784343e-03,4.805282e-03,4.818227e-03,4.829720e-03,4.848800e-03,4.852288e-03,4.873047e-03,4.876205e-03,4.892060e-03,4.900583e-03,4.909385e-03,4.922071e-03,4.925083e-03,4.939213e-03,4.940806e-03,4.951831e-03,4.956919e-03,4.962995e-03,4.970541e-03,4.972760e-03,4.981179e-03,4.981796e-03,4.988307e-03,4.990808e-03,4.994194e-03,4.997694e-03,4.998892e-03,5.002450e-03,5.002569e-03,5.004916e-03,5.005546e-03,5.006337e-03,5.006729e-03,5.006758e-03,5.006223e-03,5.004128e-03,5.000537e-03,4.995543e-03,4.989234e-03,4.981694e-03,4.973003e-03,4.963239e-03,4.952475e-03,4.940781e-03,4.928225e-03,4.914871e-03,4.900779e-03,4.886008e-03,4.870612e-03,4.854645e-03,4.838157e-03,4.821194e-03,4.803801e-03,4.786021e-03,4.767895e-03,4.749461e-03,4.730754e-03,4.711810e-03,4.692659e-03
0.000000e+00,1.117167e-11,5.723322e-11,6.473631e-10,3.217440e-09,6.692354e-09,3.233514e-08,3.421755e-08,1.191309e-07,1.611172e-07,3.257049e-07,5.481778e-07,7.545962e-07,1.468942e-06,1.550358e-06,2.908345e-06,3.344630e-06,5.079966e-06,6.764263e-06,8.373820e-06,1.248564e-05,1.314995e-05,1.980684e-05,2.140065e-05,2.876366e-05,3.447033e-05,4.044142e-05,5.265094e-05,5.524563e-05,7.355174e-05,7.682868e-05,9.569387e-05,1.077702e-04,1.219564e-04,1.460889e-04,1.525682e-04,1.876993e-04,1.922245e-04,2.274590e-04,2.464342e-04,2.718958e-04,3.087914e-04,3.209991e-04,3.747007e-04,3.791922e-04,4.328793e-04,4.573674e-04,4.953634e-04,5.428983e-04,5.619371e-04,6.323447e-04,6.352367e-04,7.062965e-04,7.337263e-04,7.834745e-04,8.376252e-04,8.635379e-04,9.461293e-04,1.030880e-03,1.058394e-03,1.117413e-03,1.173557e-03,1.205354e-03,1.290752e-03,1.294327e-03,1.383965e-03,1.409134e-03,1.473913e-03,1.527886e-03,1.563825e-03,1.646232e-03,1.653375e-03,1.742252e-03,1.763450e-03,1.830166e-03,1.878875e-03,1.916846e-03,1.991905e-03,2.002043e-03,2.085531e-03,2.102005e-03,2.167104e-03,2.208703e-03,2.246579e-03,2.311599e-03,2.323795e-03,2.398612e-03,2.410352e-03,2.470910e-03,2.504688e-03,2.540588e-03,2.594390e-03,2.607566e-03,2.671779e-03,2.679297e-03,2.733182e-03,2.759299e-03,2.791741e-03,2.834333e-03,2.847440e-03,2.900275e-03,2.904378e-03,2.950253e-03,2.969448e-03,2.997393e-03,3.029593e-03,3.041724e-03,3.083284e-03,3.084890e-03,3.122118e-03,3.135441e-03,3.158278e-03,3.181369e-03,3.191823e-03,3.222815e-03,3.251323e-03,3.259933e-03,3.277418e-03,3.292887e-03,3.301175e-03,3.321853e-03,3.322670e-03,3.341982e-03,3.347009e-03,3.359190e-03,3.368539e-03,3.374376e-03,3.386630e-03,3.387620e-03,3.399003e-03,3.401467e-03,3.408606e-03,3.413236e-03,3.416509e-03,3.422120e-03,3.422791e-03,3.427530e-03,3.428299e-03,3.430801e-03,3.431947e-03,3.432680e-03,3.433237e-03,3.433241e-03,3.432553e-03,3.432332e-03,3.430687e-03,3.429393e-03,3.427710e-03,3.424572e-03,3.423687e-03,3.418681e-03,3.418017e-03,3.412753e-03,3.409868e-03,3.405962e-03,3.400259e-03,3.398365e-03,3.390016e-03,3.389317e-03,3.380967e-03,3.377163e-03,3.371269e-03,3.363910e-03,3.360968e-03,3.350111e-03,3.349666e-03,3.338743e-03,3.334533e-03,3.326903e-03,3.318604e-03,3.314633e-03,3.301970e-03,3.284714e-03,3.266914e-03,3.248642e-03,3.229967e-03,3.210952e-03,3.191654e-03,3.172128e-03,3.152424e-03,3.132588e-03,3.112662e-03,3.092685e-03,3.072693e-03,3.052719e-03,3.032793e-03,3.012941e-03,2.993189e-03,2.973559e-03,2.954071e-03,2.934743e-03,2.915592e-03,2.896632e-03,2.877876e-03,2.859336e-03,2.841022e-03
0.000000e+00,3.152957e-11,1.418967e-10,1.235880e-09,4.884872e-09,8.994574e-09,3.214296e-08,3.361350e-08,8.858800e-08,1.114856e-07,1.894080e-07,2.790583e-07,3.534603e-07,5.764523e-07,5.995987e-07,9.449175e-07,1.043860e-06,1.399317e-06,1.701897e-06,1.963169e-06,2.544885e-06,2.630062e-06,3.391037e-06,3.553729e-06,4.237277e-06,4.708374e-06,5.160922e-06,5.991385e-06,6.154855e-06,7.212197e-06,7.386789e-06,8.325876e-06,8.878267e-06,9.488382e-06,1.044817e-05,1.069169e-05,1.192732e-05,1.207735e-05,1.318645e-05,1.374560e-05,1.446011e-05,1.543231e-05,1.573938e-05,1.701558e-05,1.711729e-05,1.828042e-05,1.878143e-05,1.952621e-05,2.040739e-05,2.074590e-05,2.193324e-05,2.197998e-05,2.308278e-05,2.348645e-05,2.418993e-05,2.491664e-05,2.525095e-05,2.626288e-05,2.722357e-05,2.751992e-05,2.813158e-05,2.868467e-05,2.898612e-05,2.975597e-05,2.978697e-05,3.053443e-05,3.073424e-05,3.122924e-05,3.162129e-05,3.187248e-05,3.241992e-05,3.246556e-05,3.301012e-05,3.313379e-05,3.350796e-05,3.376708e-05,3.396106e-05,3.432438e-05,3.437144e-05,3.474122e-05,3.481049e-05,3.507252e-05,3.523029e-05,3.536745e-05,3.558863e-05,3.562812e-05,3.585658e-05,3.589028e-05,3.605483e-05,3.613982e-05,3.622478e-05,3.634163e-05,3.636831e-05,3.648718e-05,3.649987e-05,3.658310e-05,3.661844e-05,3.665766e-05,3.670098e-05,3.671239e-05,3.674873e-05,3.675088e-05,3.676803e-05,3.677127e-05,3.677157e-05,3.676503e-05,3.676054e-05,3.673606e-05,3.673482e-05,3.669919e-05,3.668307e-05,3.665089e-05,3.661200e-05,3.659209e-05,3.652364e-05,3.644634e-05,3.641985e-05,3.636092e-05,3.630231e-05,3.626807e-05,3.617256e-05,3.616845e-05,3.606264e-05,3.603198e-05,3.595120e-05,3.588186e-05,3.583465e-05,3.572333e-05,3.571347e-05,3.558811e-05,3.555745e-05,3.545897e-05,3.538516e-05,3.532645e-05,3.520732e-05,3.519091e-05,3.505267e-05,3.502472e-05,3.491204e-05,3.483807e-05,3.476932e-05,3.464800e-05,3.462476e-05,3.447862e-05,3.445511e-05,3.433113e-05,3.425991e-05,3.418249e-05,3.406289e-05,3.403291e-05,3.388257e-05,3.386448e-05,3.373164e-05,3.366508e-05,3.358027e-05,3.346504e-05,3.342863e-05,3.327683e-05,3.326468e-05,3.312501e-05,3.306430e-05,3.297328e-05,3.286416e-05,3.282176e-05,3.267053e-05,3.266449e-05,3.251971e-05,3.246552e-05,3.236936e-05,3.226744e-05,3.221957e-05,3.207042e-05,3.187461e-05,3.168017e-05,3.148721e-05,3.129585e-05,3.110619e-05,3.091831e-05,3.073231e-05,3.054823e-05,3.036616e-05,3.018613e-05,3.000820e-05,2.983241e-05,2.965878e-05,2.948734e-05,2.931813e-05,2.915115e-05,2.898642e-05,2.882394e-05,2.866373e-05,2.850579e-05,2.835011e-05,2.819670e-05,2.804554e-05,2.789663e-05
0.000000e+00,1.737157e-09,4.084921e-09,1.445262e-08,3.333374e-08,4.889052e-08,1.120642e-07,1.154773e-07,2.249476e-07,2.648426e-07,3.889781e-07,5.189551e-07,6.206203e-07,9.057198e-07,9.341603e-07,1.343720e-06,1.457617e-06,1.859872e-06,2.196822e-06,2.485065e-06,3.119419e-06,3.211470e-06,4.023982e-06,4.195301e-06,4.905546e-06,5.386005e-06,5.840672e-06,6.658028e-06,6.816412e-06,7.822048e-06,7.985099e-06,8.848497e-06,9.346223e-06,9.887833e-06,1.072381e-05,1.093299e-05,1.197760e-05,1.210264e-05,1.301592e-05,1.346944e-05,1.404280e-05,1.481276e-05,1.505370e-05,1.604464e-05,1.612295e-05,1.701222e-05,1.739206e-05,1.795360e-05,1.861384e-05,1.886645e-05,1.974893e-05,1.978358e-05,2.059963e-05,2.089790e-05,2.141755e-05,2.195466e-05,2.220204e-05,2.295274e-05,2.366959e-05,2.389185e-05,2.435273e-05,2.477239e-05,2.500249e-05,2.559532e-05,2.561937e-05,2.620398e-05,2.636199e-05,2.675705e-05,2.707407e-05,2.727937e-05,2.773348e-05,2.777180e-05,2.823526e-05,2.834229e-05,2.867069e-05,2.890264e-05,2.907904e-05,2.941674e-05,2.946126e-05,2.981830e-05,2.988678e-05,3.015114e-05,3.031497e-05,3.046072e-05,3.070348e-05,3.074798e-05,3.101382e-05,3.105443e-05,3.125915e-05,3.136988e-05,3.148484e-05,3.165183e-05,3.169175e-05,3.188071e-05,3.190222e-05,3.205251e-05,3.212288e-05,3.220795e-05,3.231559e-05,3.234776e-05,3.247269e-05,3.248207e-05,3.258344e-05,3.262391e-05,3.268067e-05,3.274269e-05,3.276506e-05,3.283722e-05,3.283986e-05,3.289776e-05,3.291683e-05,3.294727e-05,3.297492e-05,3.298631e-05,3.301541e-05,3.303509e-05,3.303948e-05,3.304585e-05,3.304827e-05,3.304816e-05,3.304285e-05,3.304248e-05,3.302924e-05,3.302424e-05,3.300887e-05,3.299339e-05,3.298176e-05,3.295121e-05,3.294831e-05,3.290887e-05,3.289855e-05,3.286380e-05,3.283623e-05,3.281344e-05,3.276499e-05,3.275810e-05,3.269810e-05,3.268557e-05,3.263373e-05,3.259862e-05,3.256527e-05,3.250480e-05,3.249299e-05,3.241714e-05,3.240468e-05,3.233796e-05,3.229885e-05,3.225570e-05,3.218782e-05,3.217057e-05,3.208279e-05,3.207208e-05,3.199255e-05,3.195212e-05,3.190005e-05,3.182835e-05,3.180547e-05,3.170899e-05,3.170119e-05,3.161077e-05,3.157103e-05,3.151097e-05,3.143822e-05,3.140974e-05,3.130723e-05,3.130310e-05,3.120356e-05,3.116599e-05,3.109887e-05,3.102717e-05,3.099329e-05,3.088692e-05,3.074549e-05,3.060314e-05,3.046007e-05,3.031649e-05,3.017260e-05,3.002858e-05,2.988459e-05,2.974078e-05,2.959730e-05,2.945428e-05,2.931183e-05,2.917008e-05,2.902912e-05,2.888905e-05,2.874996e-05,2.861192e-05,2.847501e-05,2.833929e-05,2.820482e-05,2.807167e-05,2.793986e-05,2.780946e-05,2.768049e-05,2.755299e-05
0.000000e+00,3.285523e-12,1.685022e-11,1.909568e-10,9.502646e-10,1.977493e-09,9.557618e-09,1.011384e-08,3.516696e-08,4.752945e-08,9.585508e-08,1.608885e-07,2.209807e-07,4.274556e-07,4.508622e-07,8.382363e-07,9.616498e-07,1.448598e-06,1.916365e-06,2.359870e-06,3.481235e-06,3.661156e-06,5.450251e-06,5.875604e-06,7.829734e-06,9.334516e-06,1.090192e-05,1.408880e-05,1.476336e-05,1.949980e-05,2.034379e-05,2.518197e-05,2.826160e-05,3.186273e-05,3.794935e-05,3.957534e-05,4.833284e-05,4.945384e-05,5.812841e-05,6.276133e-05,6.893634e-05,7.780163e-05,8.071375e-05,9.340245e-05,9.445487e-05,1.069313e-04,1.125600e-04,1.212184e-04,1.319243e-04,1.361737e-04,1.517011e-04,1.523327e-04,1.677011e-04,1.735573e-04,1.840723e-04,1.953652e-04,2.007138e-04,2.175263e-04,2.344142e-04,2.398192e-04,2.512861e-04,2.620358e-04,2.680562e-04,2.839856e-04,2.846447e-04,3.009788e-04,3.054975e-04,3.169923e-04,3.264218e-04,3.326264e-04,3.466303e-04,3.478296e-04,3.625571e-04,3.660167e-04,3.767715e-04,3.844954e-04,3.904415e-04,4.020009e-04,4.035423e-04,4.160549e-04,4.184856e-04,4.279659e-04,4.339187e-04,4.392665e-04,4.482843e-04,4.499528e-04,4.600248e-04,4.615795e-04,4.694860e-04,4.738124e-04,4.783434e-04,4.850008e-04,4.866064e-04,4.942872e-04,4.951704e-04,5.013997e-04,5.043531e-04,5.079596e-04,5.125860e-04,5.139840e-04,5.194911e-04,5.199099e-04,5.245000e-04,5.263684e-04,5.290302e-04,5.320068e-04,5.331018e-04,5.367351e-04,5.368716e-04,5.399502e-04,5.410093e-04,5.427676e-04,5.444665e-04,5.452073e-04,5.472889e-04,5.490320e-04,5.495214e-04,5.504554e-04,5.512071e-04,5.515775e-04,5.523879e-04,5.524163e-04,5.529889e-04,5.531038e-04,5.533121e-04,5.533930e-04,5.534019e-04,5.532916e-04,5.532736e-04,5.529421e-04,5.528338e-04,5.524213e-04,5.520520e-04,5.517248e-04,5.509766e-04,5.508653e-04,5.498551e-04,5.496360e-04,5.487058e-04,5.480568e-04,5.474283e-04,5.462638e-04,5.460330e-04,5.445298e-04,5.442799e-04,5.429280e-04,5.421267e-04,5.412363e-04,5.398238e-04,5.394630e-04,5.376159e-04,5.373897e-04,5.357024e-04,5.348411e-04,5.337293e-04,5.321939e-04,5.317031e-04,5.296298e-04,5.294621e-04,5.275153e-04,5.266591e-04,5.253648e-04,5.237970e-04,5.231833e-04,5.209755e-04,5.208867e-04,5.187456e-04,5.179383e-04,5.164979e-04,5.149612e-04,5.142361e-04,5.119636e-04,5.089533e-04,5.059371e-04,5.029214e-04,4.999117e-04,4.969132e-04,4.939306e-04,4.909679e-04,4.880289e-04,4.851168e-04,4.822345e-04,4.793847e-04,4.765695e-04,4.737910e-04,4.710509e-04,4.683506e-04,4.656913e-04,4.630743e-04,4.605002e-04,4.579698e-04,4.554837e-04,4.530423e-04,4.506459e-04,4.482945e-04,4.459884e-04
0.000000e+00,2.345587e-11,1.193694e-10,1.332096e-09,6.542203e-09,1.352141e-08,6.429914e-08,6.799952e-08,2.332469e-07,3.142293e-07,6.292615e-07,1.051393e-06,1.440686e-06,2.777243e-06,2.928813e-06,5.441761e-06,6.244325e-06,9.419456e-06,1.247977e-05,1.538790e-05,2.275659e-05,2.393993e-05,3.570608e-05,3.850124e-05,5.132275e-05,6.117037e-05,7.140325e-05,9.213684e-05,9.651421e-05,1.271579e-04,1.326040e-04,1.637597e-04,1.835481e-04,2.066595e-04,2.456847e-04,2.561069e-04,3.122593e-04,3.194522e-04,3.751819e-04,4.050095e-04,4.448504e-04,5.022456e-04,5.211550e-04,6.039059e-04,6.107970e-04,6.928403e-04,7.300740e-04,7.876303e-04,8.592908e-04,8.878911e-04,9.931899e-04,9.975001e-04,1.103055e-03,1.143629e-03,1.216985e-03,1.296514e-03,1.334458e-03,1.454937e-03,1.577881e-03,1.617655e-03,1.702751e-03,1.783432e-03,1.829014e-03,1.951056e-03,1.956152e-03,2.083666e-03,2.119371e-03,2.211075e-03,2.287280e-03,2.337926e-03,2.453769e-03,2.463793e-03,2.588280e-03,2.617910e-03,2.711020e-03,2.778865e-03,2.831678e-03,2.935894e-03,2.949952e-03,3.065569e-03,3.088352e-03,3.178289e-03,3.235687e-03,3.287900e-03,3.377438e-03,3.394222e-03,3.497100e-03,3.513232e-03,3.596407e-03,3.642774e-03,3.692040e-03,3.765848e-03,3.783921e-03,3.871994e-03,3.882305e-03,3.956221e-03,3.992057e-03,4.036585e-03,4.095076e-03,4.113084e-03,4.185734e-03,4.191380e-03,4.254562e-03,4.281033e-03,4.319612e-03,4.364135e-03,4.380933e-03,4.438590e-03,4.440821e-03,4.492653e-03,4.511251e-03,4.543201e-03,4.575609e-03,4.590318e-03,4.634095e-03,4.674627e-03,4.686928e-03,4.712011e-03,4.734332e-03,4.746349e-03,4.776544e-03,4.777745e-03,4.806301e-03,4.813803e-03,4.832125e-03,4.846352e-03,4.855322e-03,4.874433e-03,4.875997e-03,4.894255e-03,4.898289e-03,4.910200e-03,4.918158e-03,4.923935e-03,4.934274e-03,4.935561e-03,4.945176e-03,4.946867e-03,4.952879e-03,4.956159e-03,4.958763e-03,4.962367e-03,4.962921e-03,4.965443e-03,4.965700e-03,4.966416e-03,4.966359e-03,4.965926e-03,4.964536e-03,4.964055e-03,4.960880e-03,4.960415e-03,4.956480e-03,4.954174e-03,4.950927e-03,4.945979e-03,4.944292e-03,4.936643e-03,4.935989e-03,4.928046e-03,4.924356e-03,4.918563e-03,4.911221e-03,4.908255e-03,4.897178e-03,4.896720e-03,4.885388e-03,4.880979e-03,4.872937e-03,4.864118e-03,4.859874e-03,4.846249e-03,4.827476e-03,4.807900e-03,4.787611e-03,4.766695e-03,4.745233e-03,4.723299e-03,4.700962e-03,4.678287e-03,4.655333e-03,4.632156e-03,4.608806e-03,4.585332e-03,4.561775e-03,4.538176e-03,4.514572e-03,4.490996e-03,4.467480e-03,4.444050e-03,4.420734e-03,4.397553e-03,4.374530e-03,4.351683e-03,4.329029e-03,4.306585e-03
0.000000e+00,3.669014e-11,1.637564e-10,1.404316e-09,5.481906e-09,1.003019e-08,3.529106e-08,3.688245e-08,9.565521e-08,1.198036e-07,2.008315e-07,2.921930e-07,3.667478e-07,5.849537e-07,6.072543e-07,9.354767e-07,1.028656e-06,1.363214e-06,1.649795e-06,1.899643e-06,2.465579e-06,2.549601e-06,3.312528e-06,3.478255e-06,4.182901e-06,4.675071e-06,5.151758e-06,6.033845e-06,6.208319e-06,7.341102e-06,7.528644e-06,8.538504e-06,9.132837e-06,9.789075e-06,1.082031e-05,1.108167e-05,1.240556e-05,1.256604e-05,1.375056e-05,1.434657e-05,1.510716e-05,1.614053e-05,1.646662e-05,1.782106e-05,1.792898e-05,1.916347e-05,1.969567e-05,2.048777e-05,2.142712e-05,2.178878e-05,2.306214e-05,2.311244e-05,2.430427e-05,2.474322e-05,2.551234e-05,2.631323e-05,2.668415e-05,2.781809e-05,2.891302e-05,2.925504e-05,2.996826e-05,3.062261e-05,3.098347e-05,3.192038e-05,3.195862e-05,3.289396e-05,3.314877e-05,3.378991e-05,3.430883e-05,3.464709e-05,3.540210e-05,3.546625e-05,3.624824e-05,3.643049e-05,3.699398e-05,3.739613e-05,3.770446e-05,3.830135e-05,3.838073e-05,3.902383e-05,3.914857e-05,3.963486e-05,3.994028e-05,4.021490e-05,4.067898e-05,4.076503e-05,4.128634e-05,4.136714e-05,4.177988e-05,4.200723e-05,4.224672e-05,4.260165e-05,4.268788e-05,4.310437e-05,4.315273e-05,4.349717e-05,4.366275e-05,4.386726e-05,4.413390e-05,4.421555e-05,4.454296e-05,4.456828e-05,4.485037e-05,4.496793e-05,4.513863e-05,4.533478e-05,4.540856e-05,4.566096e-05,4.567071e-05,4.589660e-05,4.597748e-05,4.611623e-05,4.625679e-05,4.632055e-05,4.651026e-05,4.668603e-05,4.673944e-05,4.684850e-05,4.694578e-05,4.699827e-05,4.713067e-05,4.713596e-05,4.726211e-05,4.729545e-05,4.737730e-05,4.744136e-05,4.748203e-05,4.756960e-05,4.757682e-05,4.766216e-05,4.768128e-05,4.773850e-05,4.777750e-05,4.780630e-05,4.785924e-05,4.786599e-05,4.791797e-05,4.792748e-05,4.796265e-05,4.798312e-05,4.800039e-05,4.802701e-05,4.803157e-05,4.805652e-05,4.805996e-05,4.807559e-05,4.808274e-05,4.808908e-05,4.809607e-05,4.809731e-05,4.810056e-05,4.810063e-05,4.809912e-05,4.809706e-05,4.809325e-05,4.808598e-05,4.808320e-05,4.806922e-05,4.806794e-05,4.805154e-05,4.804349e-05,4.803039e-05,4.801313e-05,4.800597e-05,4.797850e-05,4.797734e-05,4.794816e-05,4.793657e-05,4.791514e-05,4.789124e-05,4.787961e-05,4.784175e-05,4.778846e-05,4.773173e-05,4.767189e-05,4.760924e-05,4.754408e-05,4.747667e-05,4.740726e-05,4.733610e-05,4.726340e-05,4.718938e-05,4.711422e-05,4.703810e-05,4.696120e-05,4.688367e-05,4.680566e-05,4.672730e-05,4.664872e-05,4.657004e-05,4.649137e-05,4.641280e-05,4.633442e-05,4.625634e-05,4.617862e-05,4.610134e-05
0.000000e+00,4.484032e-11,2.066466e-10,1.883279e-09,7.721047e-09,1.447649e-08,5.384424e-08,5.638736e-08,1.530068e-07,1.937330e-07,3.330393e-07,4.935319e-07,6.264358e-07,1.022669e-06,1.063662e-06,1.675298e-06,1.851367e-06,2.490683e-06,3.045783e-06,3.534259e-06,4.652097e-06,4.819014e-06,6.339102e-06,6.669271e-06,8.066641e-06,9.032233e-06,9.955929e-06,1.162834e-05,1.195282e-05,1.400412e-05,1.433416e-05,1.606352e-05,1.704364e-05,1.809384e-05,1.967789e-05,2.006681e-05,2.196173e-05,2.218312e-05,2.376389e-05,2.452474e-05,2.546330e-05,2.668210e-05,2.705360e-05,2.853134e-05,2.864465e-05,2.989540e-05,3.040931e-05,3.114655e-05,3.197868e-05,3.228704e-05,3.332033e-05,3.335949e-05,3.425077e-05,3.456149e-05,3.508336e-05,3.559640e-05,3.582356e-05,3.647707e-05,3.704972e-05,3.721683e-05,3.754729e-05,3.782897e-05,3.797548e-05,3.832637e-05,3.833978e-05,3.864546e-05,3.872123e-05,3.889749e-05,3.902492e-05,3.910056e-05,3.924791e-05,3.925904e-05,3.937701e-05,3.939972e-05,3.945825e-05,3.948900e-05,3.950622e-05,3.952348e-05,3.952415e-05,3.951495e-05,3.951009e-05,3.948131e-05,3.945499e-05,3.942570e-05,3.936364e-05,3.935035e-05,3.925730e-05,3.924090e-05,3.914842e-05,3.909103e-05,3.902538e-05,3.891781e-05,3.888974e-05,3.874290e-05,3.872458e-05,3.858611e-05,3.851428e-05,3.842055e-05,3.828950e-05,3.824726e-05,3.806718e-05,3.805251e-05,3.788120e-05,3.780532e-05,3.769008e-05,3.754971e-05,3.749455e-05,3.729526e-05,3.728721e-05,3.709278e-05,3.701922e-05,3.688767e-05,3.674694e-05,3.668041e-05,3.647144e-05,3.626116e-05,3.619366e-05,3.604995e-05,3.591443e-05,3.583813e-05,3.563449e-05,3.562600e-05,3.541384e-05,3.535447e-05,3.520190e-05,3.507494e-05,3.499041e-05,3.479641e-05,3.477957e-05,3.456958e-05,3.451932e-05,3.436059e-05,3.424405e-05,3.415276e-05,3.397093e-05,3.394622e-05,3.374111e-05,3.370027e-05,3.353752e-05,3.343230e-05,3.333557e-05,3.316725e-05,3.313533e-05,3.293689e-05,3.290531e-05,3.274033e-05,3.264666e-05,3.254569e-05,3.239142e-05,3.235305e-05,3.216245e-05,3.213971e-05,3.197392e-05,3.189164e-05,3.178751e-05,3.164728e-05,3.160325e-05,3.142117e-05,3.140670e-05,3.124128e-05,3.116994e-05,3.106360e-05,3.093705e-05,3.088815e-05,3.071494e-05,3.070806e-05,3.054398e-05,3.048298e-05,3.037526e-05,3.026182e-05,3.020880e-05,3.004458e-05,2.983126e-05,2.962183e-05,2.941628e-05,2.921459e-05,2.901673e-05,2.882267e-05,2.863236e-05,2.844578e-05,2.826287e-05,2.808359e-05,2.790791e-05,2.773576e-05,2.756710e-05,2.740187e-05,2.724003e-05,2.708152e-05,2.692629e-05,2.677428e-05,2.662544e-05,2.647971e-05,2.633705e-05,2.619738e-05,2.606066e-05,2.592684e-05
0.000000e+00,1.736917e-12,8.634375e-12,9.173771e-11,4.307986e-10,8.689075e-10,3.885766e-09,4.099426e-09,1.328670e-08,1.764419e-08,3.415975e-08,5.568781e-08,7.519270e-08,1.407251e-07,1.480555e-07,2.673829e-07,3.047112e-07,4.490341e-07,5.833779e-07,7.070336e-07,1.004743e-06,1.050660e-06,1.482955e-06,1.579880e-06,2.000833e-06,2.301435e-06,2.596251e-06,3.148049e-06,3.257812e-06,3.972310e-06,4.090622e-06,4.725999e-06,5.097729e-06,5.505494e-06,6.139271e-06,6.298357e-06,7.093413e-06,7.188487e-06,7.880881e-06,8.222759e-06,8.652403e-06,9.223750e-06,9.400997e-06,1.012098e-05,1.017720e-05,1.080785e-05,1.107254e-05,1.145824e-05,1.190254e-05,1.206973e-05,1.264081e-05,1.266280e-05,1.317076e-05,1.335145e-05,1.365953e-05,1.396861e-05,1.410764e-05,1.451609e-05,1.488630e-05,1.499695e-05,1.521993e-05,1.541514e-05,1.551891e-05,1.577523e-05,1.578529e-05,1.602122e-05,1.608212e-05,1.622886e-05,1.634078e-05,1.641039e-05,1.655613e-05,1.656790e-05,1.670342e-05,1.673289e-05,1.681889e-05,1.687548e-05,1.691613e-05,1.698795e-05,1.699682e-05,1.706254e-05,1.707402e-05,1.711473e-05,1.713697e-05,1.715472e-05,1.717976e-05,1.718370e-05,1.720276e-05,1.720496e-05,1.721289e-05,1.721484e-05,1.721496e-05,1.721136e-05,1.720978e-05,1.719805e-05,1.719623e-05,1.718041e-05,1.717093e-05,1.715743e-05,1.713672e-05,1.712964e-05,1.709748e-05,1.709473e-05,1.706137e-05,1.704591e-05,1.702169e-05,1.699108e-05,1.697875e-05,1.693287e-05,1.693098e-05,1.688432e-05,1.686623e-05,1.683334e-05,1.679740e-05,1.678015e-05,1.672496e-05,1.666796e-05,1.664936e-05,1.660931e-05,1.657098e-05,1.654916e-05,1.649015e-05,1.648767e-05,1.642496e-05,1.640720e-05,1.636116e-05,1.632240e-05,1.629638e-05,1.623600e-05,1.623072e-05,1.616427e-05,1.614822e-05,1.609713e-05,1.605927e-05,1.602939e-05,1.596933e-05,1.596111e-05,1.589237e-05,1.587857e-05,1.582324e-05,1.578715e-05,1.575378e-05,1.569522e-05,1.568405e-05,1.561410e-05,1.560289e-05,1.554400e-05,1.551030e-05,1.547378e-05,1.541755e-05,1.540349e-05,1.533318e-05,1.532474e-05,1.526288e-05,1.523197e-05,1.519264e-05,1.513931e-05,1.512248e-05,1.505244e-05,1.504685e-05,1.498256e-05,1.495465e-05,1.491285e-05,1.486279e-05,1.484335e-05,1.477409e-05,1.477132e-05,1.470508e-05,1.468030e-05,1.463635e-05,1.458978e-05,1.456792e-05,1.449981e-05,1.441042e-05,1.432166e-05,1.423355e-05,1.414614e-05,1.405945e-05,1.397351e-05,1.388834e-05,1.380395e-05,1.372038e-05,1.363763e-05,1.355572e-05,1.347467e-05,1.339448e-05,1.331516e-05,1.323673e-05,1.315918e-05,1.308253e-05,1.300677e-05,1.293192e-05,1.285797e-05,1.278492e-05,1.271278e-05,1.264154e-05,1.257120e-05
0.000000e+00,6.895205e-10,2.230706e-09,1.134876e-08,3.121169e-08,4.890317e-08,1.259028e-07,1.302028e-07,2.719585e-07,3.248384e-07,4.917155e-07,6.688806e-07,8.085392e-07,1.202901e-06,1.242354e-06,1.810128e-06,1.967414e-06,2.519028e-06,2.975777e-06,3.362772e-06,4.204739e-06,4.326066e-06,5.391633e-06,5.615596e-06,6.543719e-06,7.172345e-06,7.768494e-06,8.844297e-06,9.053440e-06,1.038680e-05,1.060387e-05,1.175729e-05,1.242511e-05,1.315405e-05,1.428340e-05,1.456673e-05,1.598557e-05,1.615581e-05,1.740155e-05,1.802153e-05,1.880649e-05,1.986237e-05,2.019315e-05,2.155519e-05,2.166292e-05,2.288725e-05,2.341065e-05,2.418485e-05,2.509571e-05,2.544436e-05,2.666294e-05,2.671080e-05,2.783847e-05,2.825082e-05,2.896949e-05,2.971265e-05,3.005505e-05,3.109465e-05,3.208817e-05,3.239639e-05,3.303585e-05,3.361852e-05,3.393817e-05,3.476236e-05,3.479582e-05,3.560968e-05,3.582985e-05,3.638080e-05,3.682341e-05,3.711028e-05,3.774570e-05,3.779937e-05,3.844937e-05,3.859970e-05,3.906167e-05,3.938863e-05,3.963771e-05,4.011569e-05,4.017882e-05,4.068628e-05,4.078385e-05,4.116145e-05,4.139623e-05,4.160566e-05,4.195579e-05,4.202017e-05,4.240623e-05,4.246544e-05,4.276507e-05,4.292800e-05,4.309789e-05,4.334619e-05,4.340584e-05,4.369006e-05,4.372262e-05,4.395160e-05,4.405978e-05,4.419153e-05,4.436005e-05,4.441086e-05,4.461055e-05,4.462571e-05,4.479155e-05,4.485892e-05,4.495477e-05,4.506176e-05,4.510107e-05,4.523128e-05,4.523617e-05,4.534622e-05,4.538400e-05,4.544664e-05,4.550702e-05,4.553329e-05,4.560688e-05,4.566808e-05,4.568516e-05,4.571755e-05,4.574333e-05,4.575590e-05,4.578281e-05,4.578373e-05,4.580162e-05,4.580492e-05,4.581010e-05,4.581090e-05,4.580970e-05,4.580192e-05,4.580092e-05,4.578424e-05,4.577911e-05,4.576010e-05,4.574349e-05,4.572895e-05,4.569606e-05,4.569120e-05,4.564724e-05,4.563774e-05,4.559745e-05,4.556938e-05,4.554220e-05,4.549182e-05,4.548183e-05,4.541667e-05,4.540582e-05,4.534703e-05,4.531209e-05,4.527320e-05,4.521132e-05,4.519548e-05,4.511413e-05,4.510413e-05,4.502941e-05,4.499112e-05,4.494156e-05,4.487286e-05,4.485083e-05,4.475743e-05,4.474985e-05,4.466157e-05,4.462259e-05,4.456346e-05,4.449153e-05,4.446329e-05,4.436123e-05,4.435711e-05,4.425747e-05,4.421972e-05,4.415215e-05,4.407974e-05,4.404546e-05,4.393751e-05,4.379337e-05,4.364761e-05,4.350051e-05,4.335235e-05,4.320336e-05,4.305377e-05,4.290380e-05,4.275365e-05,4.260348e-05,4.245348e-05,4.230380e-05,4.215458e-05,4.200596e-05,4.185805e-05,4.171098e-05,4.156484e-05,4.141973e-05,4.127574e-05,4.113295e-05,4.099142e-05,4.085122e-05,4.071242e-05,4.057506e-05,4.043920e-05
0.000000e+00,8.677026e-10,2.222619e-09,8.616735e-09,2.075041e-08,3.092693e-08,7.285619e-08,7.513523e-08,1.484345e-07,1.751562e-07,2.580914e-07,3.444441e-07,4.115985e-07,5.981343e-07,6.166072e-07,8.803442e-07,9.530458e-07,1.208233e-06,1.420765e-06,1.602205e-06,2.001996e-06,2.060192e-06,2.577453e-06,2.687523e-06,3.148333e-06,3.464510e-06,3.767233e-06,4.320336e-06,4.428855e-06,5.128121e-06,5.243164e-06,5.860070e-06,6.221575e-06,6.619805e-06,7.244346e-06,7.402490e-06,8.203384e-06,8.300495e-06,9.017899e-06,9.379462e-06,9.841651e-06,1.047133e-05,1.067052e-05,1.150069e-05,1.156705e-05,1.232868e-05,1.265855e-05,1.315134e-05,1.373878e-05,1.396589e-05,1.476987e-05,1.480178e-05,1.556119e-05,1.584261e-05,1.633804e-05,1.685725e-05,1.709892e-05,1.784259e-05,1.856806e-05,1.879623e-05,1.927454e-05,1.971646e-05,1.996146e-05,2.060210e-05,2.062839e-05,2.127504e-05,2.145245e-05,2.190128e-05,2.226719e-05,2.250704e-05,2.304631e-05,2.309239e-05,2.365745e-05,2.379006e-05,2.420241e-05,2.449889e-05,2.472751e-05,2.517341e-05,2.523305e-05,2.571935e-05,2.581434e-05,2.618676e-05,2.642248e-05,2.663566e-05,2.699872e-05,2.706644e-05,2.747952e-05,2.754399e-05,2.787530e-05,2.805927e-05,2.825423e-05,2.854552e-05,2.861672e-05,2.896322e-05,2.900375e-05,2.929416e-05,2.943496e-05,2.960997e-05,2.984014e-05,2.991108e-05,3.019793e-05,3.022027e-05,3.047092e-05,3.057633e-05,3.073048e-05,3.090927e-05,3.097702e-05,3.121094e-05,3.122004e-05,3.143264e-05,3.150954e-05,3.164251e-05,3.177866e-05,3.184094e-05,3.202829e-05,3.220494e-05,3.225926e-05,3.237124e-05,3.247241e-05,3.252755e-05,3.266851e-05,3.267419e-05,3.281152e-05,3.284835e-05,3.293985e-05,3.301267e-05,3.305951e-05,3.316219e-05,3.317079e-05,3.327401e-05,3.329761e-05,3.336945e-05,3.341961e-05,3.345740e-05,3.352882e-05,3.353814e-05,3.361193e-05,3.362588e-05,3.367904e-05,3.371138e-05,3.373972e-05,3.378591e-05,3.379422e-05,3.384278e-05,3.385001e-05,3.388563e-05,3.390423e-05,3.392299e-05,3.394909e-05,3.395510e-05,3.398215e-05,3.398506e-05,3.400435e-05,3.401263e-05,3.402190e-05,3.403226e-05,3.403500e-05,3.404384e-05,3.404437e-05,3.404859e-05,3.404938e-05,3.404942e-05,3.404770e-05,3.404652e-05,3.404004e-05,3.403971e-05,3.403014e-05,3.402577e-05,3.401698e-05,3.400624e-05,3.400070e-05,3.398145e-05,3.395172e-05,3.391736e-05,3.387867e-05,3.383592e-05,3.378938e-05,3.373930e-05,3.368594e-05,3.362951e-05,3.357025e-05,3.350836e-05,3.344405e-05,3.337750e-05,3.330890e-05,3.323842e-05,3.316623e-05,3.309248e-05,3.301731e-05,3.294089e-05,3.286332e-05,3.278475e-05,3.270530e-05,3.262507e-05,3.254418e-05,3.246272e-05
0.000000e+00,1.278635e-09,3.771615e-09,1.704287e-08,4.397425e-08,6.714625e-08,1.643369e-07,1.696532e-07,3.409413e-07,4.033174e-07,5.961916e-07,7.956502e-07,9.497811e-07,1.373781e-06,1.415475e-06,2.006310e-06,2.168078e-06,2.734046e-06,3.205012e-06,3.608046e-06,4.502423e-06,4.633506e-06,5.809209e-06,6.061695e-06,7.125574e-06,7.859895e-06,8.564269e-06,9.849110e-06,1.010026e-05,1.170558e-05,1.196701e-05,1.335305e-05,1.415159e-05,1.501858e-05,1.635026e-05,1.668191e-05,1.832649e-05,1.852192e-05,1.993894e-05,2.063539e-05,2.150851e-05,2.266735e-05,2.302660e-05,2.448643e-05,2.460053e-05,2.588275e-05,2.642259e-05,2.721167e-05,2.812518e-05,2.847045e-05,2.965737e-05,2.970334e-05,3.077160e-05,3.115489e-05,3.181308e-05,3.248000e-05,3.278239e-05,3.368066e-05,3.450947e-05,3.476033e-05,3.527078e-05,3.572360e-05,3.596679e-05,3.657580e-05,3.659996e-05,3.717288e-05,3.732286e-05,3.768825e-05,3.797099e-05,3.814883e-05,3.852657e-05,3.855741e-05,3.891675e-05,3.899598e-05,3.922961e-05,3.938551e-05,3.949868e-05,3.970131e-05,3.972657e-05,3.991583e-05,3.994927e-05,4.006893e-05,4.013503e-05,4.018822e-05,4.026396e-05,4.027597e-05,4.033435e-05,4.034110e-05,4.036541e-05,4.037120e-05,4.037113e-05,4.035872e-05,4.035337e-05,4.031389e-05,4.030778e-05,4.025437e-05,4.022224e-05,4.017639e-05,4.010569e-05,4.008142e-05,3.997089e-05,3.996142e-05,3.984611e-05,3.979249e-05,3.970832e-05,3.960172e-05,3.955869e-05,3.939832e-05,3.939170e-05,3.922823e-05,3.916481e-05,3.904939e-05,3.892323e-05,3.886269e-05,3.866898e-05,3.846905e-05,3.840388e-05,3.826363e-05,3.812961e-05,3.805341e-05,3.784768e-05,3.783903e-05,3.762108e-05,3.755949e-05,3.740011e-05,3.726629e-05,3.717664e-05,3.696925e-05,3.695115e-05,3.672408e-05,3.666939e-05,3.649583e-05,3.636765e-05,3.626680e-05,3.606488e-05,3.603733e-05,3.580775e-05,3.576185e-05,3.557835e-05,3.545923e-05,3.534941e-05,3.515764e-05,3.512118e-05,3.489390e-05,3.485764e-05,3.466777e-05,3.455970e-05,3.444299e-05,3.426426e-05,3.421974e-05,3.399818e-05,3.397171e-05,3.377845e-05,3.368238e-05,3.356068e-05,3.339656e-05,3.334499e-05,3.313150e-05,3.311451e-05,3.292028e-05,3.283646e-05,3.271144e-05,3.256258e-05,3.250504e-05,3.230114e-05,3.229304e-05,3.209981e-05,3.202797e-05,3.190110e-05,3.176749e-05,3.170504e-05,3.151166e-05,3.126058e-05,3.101427e-05,3.077278e-05,3.053613e-05,3.030432e-05,3.007734e-05,2.985518e-05,2.963781e-05,2.942519e-05,2.921730e-05,2.901407e-05,2.881546e-05,2.862140e-05,2.843183e-05,2.824670e-05,2.806591e-05,2.788942e-05,2.771713e-05,2.754898e-05,2.738489e-05,2.722477e-05,2.706855e-05,2.691615e-05,2.676748e-05
0.000000e+00,1.052209e-10,4.885642e-10,4.523602e-09,1.881968e-08,3.557264e-08,1.351013e-07,1.416017e-07,3.920842e-07,4.991008e-07,8.691795e-07,1.300870e-06,1.661340e-06,2.746621e-06,2.859575e-06,4.554700e-06,5.045245e-06,6.833005e-06,8.391823e-06,9.767890e-06,1.293287e-05,1.340763e-05,1.776450e-05,1.872022e-05,2.281204e-05,2.569143e-05,2.849239e-05,3.369677e-05,3.472840e-05,4.143507e-05,4.254609e-05,4.852742e-05,5.204484e-05,5.592479e-05,6.201191e-05,6.355252e-05,7.134256e-05,7.228529e-05,7.923359e-05,8.272328e-05,8.717082e-05,9.320399e-05,9.510582e-05,1.029963e-04,1.036245e-04,1.108060e-04,1.139001e-04,1.185038e-04,1.239623e-04,1.260640e-04,1.334654e-04,1.337579e-04,1.406909e-04,1.432464e-04,1.477271e-04,1.523982e-04,1.545637e-04,1.611932e-04,1.676103e-04,1.696184e-04,1.738119e-04,1.776670e-04,1.797963e-04,1.853367e-04,1.855632e-04,1.911136e-04,1.926291e-04,1.964491e-04,1.995484e-04,2.015724e-04,2.061010e-04,2.064866e-04,2.111952e-04,2.122951e-04,2.157023e-04,2.181398e-04,2.200122e-04,2.236453e-04,2.241293e-04,2.280585e-04,2.288222e-04,2.318045e-04,2.336817e-04,2.353723e-04,2.382350e-04,2.387667e-04,2.419929e-04,2.424938e-04,2.450557e-04,2.464693e-04,2.479602e-04,2.501731e-04,2.507113e-04,2.533140e-04,2.536165e-04,2.557729e-04,2.568106e-04,2.580931e-04,2.597664e-04,2.602790e-04,2.623354e-04,2.624945e-04,2.642668e-04,2.650054e-04,2.660777e-04,2.673093e-04,2.677724e-04,2.693551e-04,2.694161e-04,2.708300e-04,2.713354e-04,2.722013e-04,2.730765e-04,2.734728e-04,2.746484e-04,2.757319e-04,2.760597e-04,2.767269e-04,2.773190e-04,2.776371e-04,2.784342e-04,2.784658e-04,2.792164e-04,2.794131e-04,2.798923e-04,2.802632e-04,2.804965e-04,2.809918e-04,2.810322e-04,2.815023e-04,2.816056e-04,2.819096e-04,2.821114e-04,2.822571e-04,2.825155e-04,2.825474e-04,2.827832e-04,2.828240e-04,2.829669e-04,2.830426e-04,2.831009e-04,2.831770e-04,2.831878e-04,2.832297e-04,2.832324e-04,2.832289e-04,2.832140e-04,2.831875e-04,2.831265e-04,2.831075e-04,2.829910e-04,2.829747e-04,2.828398e-04,2.827628e-04,2.826558e-04,2.824952e-04,2.824408e-04,2.821965e-04,2.821757e-04,2.819244e-04,2.818082e-04,2.816263e-04,2.813964e-04,2.813036e-04,2.809579e-04,2.809436e-04,2.805904e-04,2.804530e-04,2.802026e-04,2.799279e-04,2.797957e-04,2.793711e-04,2.787854e-04,2.781734e-04,2.775376e-04,2.768804e-04,2.762040e-04,2.755105e-04,2.748018e-04,2.740800e-04,2.733466e-04,2.726034e-04,2.718519e-04,2.710936e-04,2.703299e-04,2.695621e-04,2.687913e-04,2.680187e-04,2.672454e-04,2.664723e-04,2.657004e-04,2.649305e-04,2.641634e-04,2.633999e-04,2.626406e-04,2.618862e-04
0.000000e+00,4.338244e-09,9.949009e-09,3.423401e-08,7.781090e-08,1.134154e-07,2.564195e-07,2.640899e-07,5.078131e-07,5.956728e-07,8.662888e-07,1.145691e-06,1.361751e-06,1.957589e-06,2.016293e-06,2.849075e-06,3.076921e-06,3.870758e-06,4.524706e-06,5.077688e-06,6.278730e-06,6.451567e-06,7.965969e-06,8.283267e-06,9.593526e-06,1.047622e-05,1.130947e-05,1.280325e-05,1.309215e-05,1.492249e-05,1.521860e-05,1.678338e-05,1.768287e-05,1.865937e-05,2.016157e-05,2.053645e-05,2.240207e-05,2.262463e-05,2.424509e-05,2.504632e-05,2.605584e-05,2.740530e-05,2.782607e-05,2.954890e-05,2.968450e-05,3.121879e-05,3.187091e-05,3.283137e-05,3.395505e-05,3.438333e-05,3.587234e-05,3.593057e-05,3.729692e-05,3.779382e-05,3.865629e-05,3.954330e-05,3.995028e-05,4.117927e-05,4.234400e-05,4.270332e-05,4.344559e-05,4.411809e-05,4.448540e-05,4.542698e-05,4.546503e-05,4.638621e-05,4.663391e-05,4.725079e-05,4.774316e-05,4.806069e-05,4.875919e-05,4.881788e-05,4.952436e-05,4.968659e-05,5.018212e-05,5.052994e-05,5.079316e-05,5.129378e-05,5.135943e-05,5.188287e-05,5.198258e-05,5.236536e-05,5.260068e-05,5.280874e-05,5.315228e-05,5.321482e-05,5.358533e-05,5.364143e-05,5.392196e-05,5.407199e-05,5.422634e-05,5.444768e-05,5.450004e-05,5.474458e-05,5.477204e-05,5.496142e-05,5.504841e-05,5.515195e-05,5.528000e-05,5.531754e-05,5.545946e-05,5.546983e-05,5.557897e-05,5.562077e-05,5.567726e-05,5.573552e-05,5.575546e-05,5.581466e-05,5.581665e-05,5.585591e-05,5.586656e-05,5.588021e-05,5.588754e-05,5.588851e-05,5.588173e-05,5.586073e-05,5.585114e-05,5.582635e-05,5.579768e-05,5.577937e-05,5.572314e-05,5.572057e-05,5.565065e-05,5.562918e-05,5.557031e-05,5.551738e-05,5.548021e-05,5.538922e-05,5.538096e-05,5.527317e-05,5.524609e-05,5.515740e-05,5.508928e-05,5.503419e-05,5.492002e-05,5.490405e-05,5.476747e-05,5.473943e-05,5.462492e-05,5.454858e-05,5.447684e-05,5.434848e-05,5.432364e-05,5.416572e-05,5.414005e-05,5.400347e-05,5.392416e-05,5.383725e-05,5.370163e-05,5.366738e-05,5.349420e-05,5.347321e-05,5.331802e-05,5.323962e-05,5.313912e-05,5.300150e-05,5.295777e-05,5.277425e-05,5.275948e-05,5.258880e-05,5.251413e-05,5.240165e-05,5.226598e-05,5.221302e-05,5.202313e-05,5.201551e-05,5.183217e-05,5.176320e-05,5.164033e-05,5.150946e-05,5.144778e-05,5.125470e-05,5.099927e-05,5.074351e-05,5.048774e-05,5.023225e-05,4.997730e-05,4.972314e-05,4.946999e-05,4.921806e-05,4.896754e-05,4.871860e-05,4.847141e-05,4.822610e-05,4.798280e-05,4.774164e-05,4.750273e-05,4.726615e-05,4.703199e-05,4.680034e-05,4.657126e-05,4.634480e-05,4.612103e-05,4.589998e-05,4.568170e-05,4.546622e-05
0.000000e+00,1.144657e-11,5.473837e-11,5.371970e-10,2.349478e-09,4.559720e-09,1.849305e-08,1.943366e-08,5.733923e-08,7.426696e-08,1.352020e-07,2.099949e-07,2.749374e-07,4.813493e-07,5.036271e-07,8.513926e-07,9.557139e-07,1.344599e-06,1.690125e-06,1.996922e-06,2.700177e-06,2.804843e-06,3.750036e-06,3.953255e-06,4.805594e-06,5.388326e-06,5.942181e-06,6.939215e-06,7.132161e-06,8.351547e-06,8.547993e-06,9.580416e-06,1.016874e-05,1.080248e-05,1.176623e-05,1.200447e-05,1.317546e-05,1.331345e-05,1.430645e-05,1.478943e-05,1.538997e-05,1.617794e-05,1.641999e-05,1.739172e-05,1.746683e-05,1.830163e-05,1.864771e-05,1.914732e-05,1.971567e-05,1.992748e-05,2.064180e-05,2.066901e-05,2.129089e-05,2.150885e-05,2.187618e-05,2.223875e-05,2.239971e-05,2.286410e-05,2.327232e-05,2.339162e-05,2.362766e-05,2.382890e-05,2.393355e-05,2.418394e-05,2.419350e-05,2.441104e-05,2.446482e-05,2.458961e-05,2.467943e-05,2.473253e-05,2.483528e-05,2.484299e-05,2.492403e-05,2.493942e-05,2.497849e-05,2.499838e-05,2.500903e-05,2.501806e-05,2.501808e-05,2.500791e-05,2.500375e-05,2.498057e-05,2.496019e-05,2.493792e-05,2.489152e-05,2.488167e-05,2.481336e-05,2.480140e-05,2.473438e-05,2.469305e-05,2.464599e-05,2.456927e-05,2.454932e-05,2.444540e-05,2.443249e-05,2.433515e-05,2.428484e-05,2.421937e-05,2.412815e-05,2.409882e-05,2.397416e-05,2.396403e-05,2.384598e-05,2.379385e-05,2.371482e-05,2.361882e-05,2.358117e-05,2.344544e-05,2.343998e-05,2.330804e-05,2.325824e-05,2.316931e-05,2.307437e-05,2.302956e-05,2.288907e-05,2.274809e-05,2.270291e-05,2.260686e-05,2.251643e-05,2.246557e-05,2.233005e-05,2.232441e-05,2.218355e-05,2.214418e-05,2.204313e-05,2.195915e-05,2.190329e-05,2.177525e-05,2.176415e-05,2.162581e-05,2.159274e-05,2.148838e-05,2.141184e-05,2.135193e-05,2.123274e-05,2.121655e-05,2.108230e-05,2.105559e-05,2.094925e-05,2.088055e-05,2.081744e-05,2.070773e-05,2.068694e-05,2.055778e-05,2.053724e-05,2.042999e-05,2.036915e-05,2.030361e-05,2.020355e-05,2.017867e-05,2.005520e-05,2.004048e-05,1.993320e-05,1.987999e-05,1.981269e-05,1.972212e-05,1.969370e-05,1.957623e-05,1.956689e-05,1.946028e-05,1.941433e-05,1.934587e-05,1.926445e-05,1.923300e-05,1.912167e-05,1.911725e-05,1.901187e-05,1.897272e-05,1.890362e-05,1.883088e-05,1.879689e-05,1.869169e-05,1.855516e-05,1.842127e-05,1.828998e-05,1.816128e-05,1.803515e-05,1.791155e-05,1.779045e-05,1.767183e-05,1.755564e-05,1.744186e-05,1.733045e-05,1.722137e-05,1.711459e-05,1.701007e-05,1.690776e-05,1.680764e-05,1.670965e-05,1.661378e-05,1.651997e-05,1.642818e-05,1.633838e-05,1.625054e-05,1.616460e-05,1.608053e-05
0.000000e+00,5.185306e-11,2.225593e-10,1.770172e-09,6.495784e-09,1.152012e-08,3.772905e-08,3.932625e-08,9.625646e-08,1.189386e-07,1.935464e-07,2.761495e-07,3.429699e-07,5.374759e-07,5.573305e-07,8.498347e-07,9.329557e-07,1.230939e-06,1.484382e-06,1.702912e-06,2.186157e-06,2.256295e-06,2.872338e-06,3.001137e-06,3.529295e-06,3.880410e-06,4.207552e-06,4.782323e-06,4.891659e-06,5.570140e-06,5.677575e-06,6.234522e-06,6.546485e-06,6.878432e-06,7.375475e-06,7.496949e-06,8.086237e-06,8.154839e-06,8.643345e-06,8.877693e-06,9.166106e-06,9.539519e-06,9.653075e-06,1.010347e-05,1.013792e-05,1.051713e-05,1.067236e-05,1.089439e-05,1.114393e-05,1.123608e-05,1.154338e-05,1.155498e-05,1.181778e-05,1.190882e-05,1.206096e-05,1.220943e-05,1.227477e-05,1.246114e-05,1.262203e-05,1.266845e-05,1.275939e-05,1.283583e-05,1.287512e-05,1.296759e-05,1.297107e-05,1.304899e-05,1.306780e-05,1.311053e-05,1.314024e-05,1.315724e-05,1.318834e-05,1.319055e-05,1.321180e-05,1.321524e-05,1.322219e-05,1.322370e-05,1.322286e-05,1.321620e-05,1.321481e-05,1.319896e-05,1.319494e-05,1.317617e-05,1.316183e-05,1.314719e-05,1.311858e-05,1.311272e-05,1.307336e-05,1.306664e-05,1.302968e-05,1.300732e-05,1.298218e-05,1.294174e-05,1.293132e-05,1.287752e-05,1.287088e-05,1.282113e-05,1.279559e-05,1.276249e-05,1.271660e-05,1.270190e-05,1.263963e-05,1.263458e-05,1.257592e-05,1.255009e-05,1.251100e-05,1.246361e-05,1.244506e-05,1.237827e-05,1.237559e-05,1.231081e-05,1.228638e-05,1.224281e-05,1.219633e-05,1.217441e-05,1.210573e-05,1.203686e-05,1.201481e-05,1.196792e-05,1.192380e-05,1.189899e-05,1.183290e-05,1.183015e-05,1.176147e-05,1.174227e-05,1.169301e-05,1.165207e-05,1.162484e-05,1.156242e-05,1.155700e-05,1.148955e-05,1.147343e-05,1.142253e-05,1.138520e-05,1.135597e-05,1.129782e-05,1.128992e-05,1.122440e-05,1.121137e-05,1.115945e-05,1.112590e-05,1.109508e-05,1.104147e-05,1.103131e-05,1.096818e-05,1.095814e-05,1.090570e-05,1.087594e-05,1.084387e-05,1.079490e-05,1.078272e-05,1.072226e-05,1.071505e-05,1.066249e-05,1.063642e-05,1.060343e-05,1.055902e-05,1.054508e-05,1.048744e-05,1.048286e-05,1.043053e-05,1.040797e-05,1.037434e-05,1.033434e-05,1.031888e-05,1.026415e-05,1.026197e-05,1.021014e-05,1.019088e-05,1.015686e-05,1.012105e-05,1.010431e-05,1.005249e-05,9.985188e-06,9.919141e-06,9.854338e-06,9.790772e-06,9.728430e-06,9.667300e-06,9.607371e-06,9.548627e-06,9.491055e-06,9.434639e-06,9.379364e-06,9.325214e-06,9.272172e-06,9.220221e-06,9.169345e-06,9.119526e-06,9.070746e-06,9.022988e-06,8.976235e-06,8.930469e-06,8.885672e-06,8.841826e-06,8.798914e-06,8.756918e-06
0.000000e+00,2.662734e-12,1.290377e-11,1.300151e-10,5.812895e-10,1.140635e-09,4.737750e-09,4.982717e-09,1.491593e-08,1.935854e-08,3.527300e-08,5.456367e-08,7.107845e-08,1.222586e-07,1.276793e-07,2.104516e-07,2.347936e-07,3.245725e-07,4.039693e-07,4.747913e-07,6.400481e-07,6.651101e-07,8.983214e-07,9.502401e-07,1.175492e-06,1.336742e-06,1.495603e-06,1.795451e-06,1.855531e-06,2.250388e-06,2.316410e-06,2.674063e-06,2.885695e-06,3.119818e-06,3.487704e-06,3.580794e-06,4.050390e-06,4.107025e-06,4.522508e-06,4.729607e-06,4.991688e-06,5.343345e-06,5.453172e-06,5.902918e-06,5.938286e-06,6.337584e-06,6.506607e-06,6.754492e-06,7.042490e-06,7.151581e-06,7.527359e-06,7.541931e-06,7.880841e-06,8.002522e-06,8.211496e-06,8.423215e-06,8.519181e-06,8.804087e-06,9.066677e-06,9.146100e-06,9.307637e-06,9.450889e-06,9.527821e-06,9.720559e-06,9.728208e-06,9.909862e-06,9.957519e-06,1.007390e-05,1.016434e-05,1.022146e-05,1.034363e-05,1.035367e-05,1.047166e-05,1.049798e-05,1.057649e-05,1.062984e-05,1.066921e-05,1.074157e-05,1.075081e-05,1.082219e-05,1.083532e-05,1.088424e-05,1.091308e-05,1.093775e-05,1.097665e-05,1.098347e-05,1.102209e-05,1.102765e-05,1.105423e-05,1.106752e-05,1.108047e-05,1.109757e-05,1.110134e-05,1.111732e-05,1.111894e-05,1.112886e-05,1.113263e-05,1.113634e-05,1.113954e-05,1.114013e-05,1.114056e-05,1.114046e-05,1.113792e-05,1.113606e-05,1.113248e-05,1.112697e-05,1.112449e-05,1.111418e-05,1.111372e-05,1.110175e-05,1.109679e-05,1.108738e-05,1.107658e-05,1.107124e-05,1.105349e-05,1.103427e-05,1.102783e-05,1.101370e-05,1.099990e-05,1.099192e-05,1.096996e-05,1.096902e-05,1.094511e-05,1.093825e-05,1.092028e-05,1.090497e-05,1.089461e-05,1.087033e-05,1.086819e-05,1.084108e-05,1.083448e-05,1.081336e-05,1.079759e-05,1.078508e-05,1.075978e-05,1.075630e-05,1.072709e-05,1.072120e-05,1.069748e-05,1.068194e-05,1.066752e-05,1.064213e-05,1.063727e-05,1.060675e-05,1.060184e-05,1.057601e-05,1.056118e-05,1.054507e-05,1.052021e-05,1.051398e-05,1.048277e-05,1.047901e-05,1.045145e-05,1.043765e-05,1.042007e-05,1.039619e-05,1.038864e-05,1.035719e-05,1.035468e-05,1.032574e-05,1.031317e-05,1.029431e-05,1.027171e-05,1.026293e-05,1.023159e-05,1.023034e-05,1.020034e-05,1.018911e-05,1.016917e-05,1.014804e-05,1.013811e-05,1.010717e-05,1.006653e-05,1.002614e-05,9.986037e-06,9.946236e-06,9.906760e-06,9.867625e-06,9.828850e-06,9.790449e-06,9.752436e-06,9.714824e-06,9.677622e-06,9.640841e-06,9.604489e-06,9.568573e-06,9.533100e-06,9.498075e-06,9.463503e-06,9.429387e-06,9.395731e-06,9.362537e-06,9.329807e-06,9.297541e-06,9.265741e-06,9.234406e-06
0.000000e+00,6.104202e-13,3.082665e-12,3.382538e-11,1.634167e-10,3.345767e-10,1.550657e-09,1.638119e-09,5.467375e-09,7.309054e-09,1.434894e-08,2.358134e-08,3.195871e-08,6.006573e-08,6.320390e-08,1.141891e-07,1.301311e-07,1.919431e-07,2.499385e-07,3.038569e-07,4.362206e-07,4.569854e-07,6.574237e-07,7.036305e-07,9.098823e-07,1.062817e-06,1.217468e-06,1.519552e-06,1.581633e-06,2.002232e-06,2.074676e-06,2.477653e-06,2.724519e-06,3.004990e-06,3.461570e-06,3.580224e-06,4.198425e-06,4.275234e-06,4.853949e-06,5.152629e-06,5.540634e-06,6.079370e-06,6.251991e-06,6.981384e-06,7.040316e-06,7.722196e-06,8.020265e-06,8.467979e-06,9.004556e-06,9.212587e-06,9.950283e-06,9.979571e-06,1.067582e-05,1.093312e-05,1.138452e-05,1.185470e-05,1.207228e-05,1.273564e-05,1.337174e-05,1.356915e-05,1.397833e-05,1.435025e-05,1.455371e-05,1.507567e-05,1.509676e-05,1.560680e-05,1.574366e-05,1.608362e-05,1.635381e-05,1.652737e-05,1.690682e-05,1.693853e-05,1.731788e-05,1.740429e-05,1.766639e-05,1.784851e-05,1.798522e-05,1.824228e-05,1.827568e-05,1.853915e-05,1.858873e-05,1.877708e-05,1.889121e-05,1.899096e-05,1.915312e-05,1.918227e-05,1.935248e-05,1.937786e-05,1.950305e-05,1.956875e-05,1.963536e-05,1.972897e-05,1.975076e-05,1.985053e-05,1.986151e-05,1.993589e-05,1.996917e-05,2.000797e-05,2.005455e-05,2.006787e-05,2.011657e-05,2.012001e-05,2.015501e-05,2.016771e-05,2.018406e-05,2.019961e-05,2.020451e-05,2.021711e-05,2.021746e-05,2.022254e-05,2.022286e-05,2.022142e-05,2.021722e-05,2.021433e-05,2.020179e-05,2.018428e-05,2.017771e-05,2.016225e-05,2.014597e-05,2.013611e-05,2.010747e-05,2.010621e-05,2.007290e-05,2.006300e-05,2.003649e-05,2.001327e-05,1.999726e-05,1.995891e-05,1.995548e-05,1.991137e-05,1.990047e-05,1.986517e-05,1.983845e-05,1.981706e-05,1.977331e-05,1.976724e-05,1.971587e-05,1.970543e-05,1.966311e-05,1.963518e-05,1.960911e-05,1.956287e-05,1.955398e-05,1.949787e-05,1.948881e-05,1.944088e-05,1.941324e-05,1.938312e-05,1.933642e-05,1.932468e-05,1.926565e-05,1.925853e-05,1.920612e-05,1.917979e-05,1.914617e-05,1.910037e-05,1.908587e-05,1.902528e-05,1.902042e-05,1.896447e-05,1.894009e-05,1.890349e-05,1.885951e-05,1.884239e-05,1.878124e-05,1.877879e-05,1.872007e-05,1.869805e-05,1.865893e-05,1.861739e-05,1.859786e-05,1.853689e-05,1.845664e-05,1.837672e-05,1.829718e-05,1.821810e-05,1.813953e-05,1.806152e-05,1.798412e-05,1.790736e-05,1.783130e-05,1.775595e-05,1.768136e-05,1.760755e-05,1.753454e-05,1.746235e-05,1.739101e-05,1.732053e-05,1.725093e-05,1.718222e-05,1.711440e-05,1.704749e-05,1.698149e-05,1.691642e-05,1.685227e-05,1.678904e-05
0.000000e+00,4.163171e-11,1.865834e-10,1.612357e-09,6.331349e-09,1.161748e-08,4.113123e-08,4.299554e-08,1.120502e-07,1.404993e-07,2.361580e-07,3.442866e-07,4.326861e-07,6.920334e-07,7.185794e-07,1.109767e-06,1.220886e-06,1.619518e-06,1.959999e-06,2.255701e-06,2.920573e-06,3.018648e-06,3.901458e-06,4.091420e-06,4.892319e-06,5.445605e-06,5.977065e-06,6.949954e-06,7.140864e-06,8.369006e-06,8.570519e-06,9.647222e-06,1.027451e-05,1.096182e-05,1.203092e-05,1.229979e-05,1.364900e-05,1.381112e-05,1.499829e-05,1.558938e-05,1.633765e-05,1.734347e-05,1.765829e-05,1.895264e-05,1.905486e-05,2.021442e-05,2.070881e-05,2.143847e-05,2.229414e-05,2.262078e-05,2.375830e-05,2.380283e-05,2.484886e-05,2.522968e-05,2.589108e-05,2.657176e-05,2.688420e-05,2.782804e-05,2.872284e-05,2.899891e-05,2.956922e-05,3.008590e-05,3.036809e-05,3.109134e-05,3.112056e-05,3.182795e-05,3.201813e-05,3.249168e-05,3.286959e-05,3.311326e-05,3.364924e-05,3.369427e-05,3.423628e-05,3.436075e-05,3.474093e-05,3.500780e-05,3.520980e-05,3.559407e-05,3.564447e-05,3.604652e-05,3.612314e-05,3.641745e-05,3.659853e-05,3.675874e-05,3.702359e-05,3.707185e-05,3.735814e-05,3.740155e-05,3.761897e-05,3.773551e-05,3.785564e-05,3.802840e-05,3.806937e-05,3.826137e-05,3.828300e-05,3.843278e-05,3.850196e-05,3.858469e-05,3.868776e-05,3.871817e-05,3.883420e-05,3.884276e-05,3.893375e-05,3.896916e-05,3.901773e-05,3.906905e-05,3.908702e-05,3.914245e-05,3.914440e-05,3.918482e-05,3.919702e-05,3.921488e-05,3.922865e-05,3.923334e-05,3.924091e-05,3.923822e-05,3.923530e-05,3.922590e-05,3.921324e-05,3.920455e-05,3.917606e-05,3.917471e-05,3.913693e-05,3.912500e-05,3.909171e-05,3.906121e-05,3.903954e-05,3.898578e-05,3.898086e-05,3.891612e-05,3.889972e-05,3.884572e-05,3.880397e-05,3.877006e-05,3.869942e-05,3.868950e-05,3.860440e-05,3.858687e-05,3.851510e-05,3.846710e-05,3.842189e-05,3.834082e-05,3.832510e-05,3.822499e-05,3.820868e-05,3.812184e-05,3.807132e-05,3.801590e-05,3.792931e-05,3.790742e-05,3.779661e-05,3.778317e-05,3.768370e-05,3.763340e-05,3.756888e-05,3.748047e-05,3.745236e-05,3.733431e-05,3.732481e-05,3.721491e-05,3.716680e-05,3.709431e-05,3.700683e-05,3.697267e-05,3.685014e-05,3.684522e-05,3.672685e-05,3.668231e-05,3.660293e-05,3.651837e-05,3.647850e-05,3.635368e-05,3.618850e-05,3.602305e-05,3.585754e-05,3.569217e-05,3.552713e-05,3.536257e-05,3.519865e-05,3.503551e-05,3.487328e-05,3.471207e-05,3.455198e-05,3.439313e-05,3.423559e-05,3.407944e-05,3.392475e-05,3.377159e-05,3.362002e-05,3.347008e-05,3.332183e-05,3.317530e-05,3.303052e-05,3.288753e-05,3.274635e-05,3.260701e-05
0.000000e+00,6.755900e-10,1.902530e-09,8.100718e-09,2.019250e-08,3.036972e-08,7.193673e-08,7.417446e-08,1.449773e-07,1.702696e-07,2.472425e-07,3.252469e-07,3.846047e-07,5.444698e-07,5.599500e-07,7.753690e-07,8.331779e-07,1.031927e-06,1.193490e-06,1.329198e-06,1.622504e-06,1.664623e-06,2.033044e-06,2.110058e-06,2.426962e-06,2.638990e-06,2.837658e-06,3.189300e-06,3.256545e-06,3.676054e-06,3.742796e-06,4.089928e-06,4.285076e-06,4.493167e-06,4.805424e-06,4.881835e-06,5.252898e-06,5.296127e-06,5.604088e-06,5.751880e-06,5.933796e-06,6.169350e-06,6.240986e-06,6.525120e-06,6.546849e-06,6.786089e-06,6.884036e-06,7.024143e-06,7.181651e-06,7.239830e-06,7.433932e-06,7.441260e-06,7.607413e-06,7.665026e-06,7.761364e-06,7.855488e-06,7.896953e-06,8.015398e-06,8.117940e-06,8.147596e-06,8.205809e-06,8.254900e-06,8.280203e-06,8.340021e-06,8.342281e-06,8.393149e-06,8.405527e-06,8.433850e-06,8.453800e-06,8.465361e-06,8.487021e-06,8.488596e-06,8.504396e-06,8.507170e-06,8.513541e-06,8.516024e-06,8.516745e-06,8.515170e-06,8.514660e-06,8.507881e-06,8.506010e-06,8.496945e-06,8.489779e-06,8.482339e-06,8.467559e-06,8.464506e-06,8.443843e-06,8.440299e-06,8.420711e-06,8.408827e-06,8.395434e-06,8.373863e-06,8.368301e-06,8.339574e-06,8.336031e-06,8.309486e-06,8.295871e-06,8.278247e-06,8.253852e-06,8.246044e-06,8.213047e-06,8.210378e-06,8.179406e-06,8.165800e-06,8.145255e-06,8.120418e-06,8.110714e-06,8.075892e-06,8.074494e-06,8.040883e-06,8.028251e-06,8.005774e-06,7.981881e-06,7.970640e-06,7.935550e-06,7.900563e-06,7.889399e-06,7.865735e-06,7.843549e-06,7.831110e-06,7.798103e-06,7.796733e-06,7.762640e-06,7.753150e-06,7.728864e-06,7.708763e-06,7.695434e-06,7.665006e-06,7.662375e-06,7.629709e-06,7.621929e-06,7.597454e-06,7.579578e-06,7.565628e-06,7.537986e-06,7.534243e-06,7.503313e-06,7.497182e-06,7.472846e-06,7.457189e-06,7.442851e-06,7.418025e-06,7.413335e-06,7.384302e-06,7.379702e-06,7.355757e-06,7.342229e-06,7.327701e-06,7.305611e-06,7.300138e-06,7.273067e-06,7.269851e-06,7.246488e-06,7.234949e-06,7.220400e-06,7.200900e-06,7.194801e-06,7.169690e-06,7.167702e-06,7.145063e-06,7.135347e-06,7.120917e-06,7.103827e-06,7.097248e-06,7.074052e-06,7.073134e-06,7.051324e-06,7.043256e-06,7.029060e-06,7.014183e-06,7.007254e-06,6.985901e-06,6.958399e-06,6.931662e-06,6.905676e-06,6.880428e-06,6.855901e-06,6.832082e-06,6.808955e-06,6.786505e-06,6.764717e-06,6.743575e-06,6.723064e-06,6.703169e-06,6.683875e-06,6.665167e-06,6.647029e-06,6.629447e-06,6.612406e-06,6.595893e-06,6.579893e-06,6.564392e-06,6.549376e-06,6.534832e-06,6.520747e-06,6.507108e-06
0.000000e+00,9.983143e-10,3.068986e-09,1.457467e-08,3.855372e-08,5.944734e-08,1.483789e-07,1.532889e-07,3.134866e-07,3.727091e-07,5.585684e-07,7.548391e-07,9.091146e-07,1.343646e-06,1.387064e-06,2.011284e-06,2.183972e-06,2.787973e-06,3.284797e-06,3.702212e-06,4.595601e-06,4.722450e-06,5.814315e-06,6.038655e-06,6.949483e-06,7.549617e-06,8.106765e-06,9.084179e-06,9.270190e-06,1.042717e-05,1.061097e-05,1.156735e-05,1.210606e-05,1.268204e-05,1.355051e-05,1.376398e-05,1.480719e-05,1.492954e-05,1.580692e-05,1.623206e-05,1.675958e-05,1.745052e-05,1.766264e-05,1.851455e-05,1.858047e-05,1.931465e-05,1.962017e-05,2.006299e-05,2.057009e-05,2.076022e-05,2.140752e-05,2.143239e-05,2.200644e-05,2.221055e-05,2.255881e-05,2.290887e-05,2.306668e-05,2.353222e-05,2.395769e-05,2.408575e-05,2.434537e-05,2.457472e-05,2.469756e-05,2.500434e-05,2.501648e-05,2.530430e-05,2.537960e-05,2.556310e-05,2.570528e-05,2.579487e-05,2.598587e-05,2.600152e-05,2.618483e-05,2.622555e-05,2.634650e-05,2.642817e-05,2.648811e-05,2.659731e-05,2.661114e-05,2.671699e-05,2.673621e-05,2.680695e-05,2.684786e-05,2.688223e-05,2.693495e-05,2.694396e-05,2.699318e-05,2.699996e-05,2.703086e-05,2.704512e-05,2.705791e-05,2.707246e-05,2.707517e-05,2.708340e-05,2.708382e-05,2.708334e-05,2.708085e-05,2.707564e-05,2.706507e-05,2.706093e-05,2.703978e-05,2.703783e-05,2.701273e-05,2.700037e-05,2.698027e-05,2.695381e-05,2.694286e-05,2.690091e-05,2.689915e-05,2.685484e-05,2.683731e-05,2.680499e-05,2.676912e-05,2.675171e-05,2.669532e-05,2.663610e-05,2.661660e-05,2.657432e-05,2.653357e-05,2.651025e-05,2.644678e-05,2.644410e-05,2.637610e-05,2.635675e-05,2.630645e-05,2.626394e-05,2.623533e-05,2.616875e-05,2.616291e-05,2.608937e-05,2.607156e-05,2.601484e-05,2.597272e-05,2.593946e-05,2.587254e-05,2.586338e-05,2.578669e-05,2.577129e-05,2.570952e-05,2.566923e-05,2.563197e-05,2.556660e-05,2.555413e-05,2.547609e-05,2.546359e-05,2.539794e-05,2.536041e-05,2.531975e-05,2.525721e-05,2.524159e-05,2.516352e-05,2.515416e-05,2.508562e-05,2.505140e-05,2.500793e-05,2.494905e-05,2.493050e-05,2.485339e-05,2.484723e-05,2.477663e-05,2.474604e-05,2.470028e-05,2.464557e-05,2.462436e-05,2.454892e-05,2.454591e-05,2.447397e-05,2.444712e-05,2.439957e-05,2.434929e-05,2.432572e-05,2.425245e-05,2.415668e-05,2.406201e-05,2.396848e-05,2.387613e-05,2.378499e-05,2.369509e-05,2.360645e-05,2.351908e-05,2.343301e-05,2.334824e-05,2.326479e-05,2.318266e-05,2.310186e-05,2.302239e-05,2.294425e-05,2.286743e-05,2.279194e-05,2.271778e-05,2.264492e-05,2.257338e-05,2.250314e-05,2.243419e-05,2.236651e-05,2.230011e-05
0.000000e+00,8.431081e-12,3.945161e-11,3.706090e-10,1.559438e-09,2.963808e-09,1.138923e-08,1.194206e-08,3.334119e-08,4.251469e-08,7.429307e-08,1.114026e-07,1.423936e-07,2.356391e-07,2.453368e-07,3.907051e-07,4.327224e-07,5.857333e-07,7.190939e-07,8.368614e-07,1.108174e-06,1.148945e-06,1.524148e-06,1.606694e-06,1.960823e-06,2.210368e-06,2.452983e-06,2.902150e-06,2.990772e-06,3.561866e-06,3.655455e-06,4.153192e-06,4.440530e-06,4.752391e-06,5.230143e-06,5.348734e-06,5.933498e-06,6.002551e-06,6.499936e-06,6.742024e-06,7.043071e-06,7.438074e-06,7.559412e-06,8.046678e-06,8.084358e-06,8.503546e-06,8.677634e-06,8.929451e-06,9.216929e-06,9.324424e-06,9.688952e-06,9.702911e-06,1.002387e-05,1.013740e-05,1.033029e-05,1.052301e-05,1.060948e-05,1.086285e-05,1.109189e-05,1.116028e-05,1.129810e-05,1.141880e-05,1.148301e-05,1.164186e-05,1.164810e-05,1.179482e-05,1.183280e-05,1.192457e-05,1.199482e-05,1.203866e-05,1.213088e-05,1.213835e-05,1.222482e-05,1.224372e-05,1.229916e-05,1.233588e-05,1.236240e-05,1.240964e-05,1.241550e-05,1.245933e-05,1.246706e-05,1.249471e-05,1.251001e-05,1.252238e-05,1.254017e-05,1.254303e-05,1.255730e-05,1.255903e-05,1.256577e-05,1.256793e-05,1.256897e-05,1.256806e-05,1.256738e-05,1.256146e-05,1.256048e-05,1.255161e-05,1.254613e-05,1.253821e-05,1.252586e-05,1.252160e-05,1.250209e-05,1.250042e-05,1.247998e-05,1.247046e-05,1.245552e-05,1.243659e-05,1.242895e-05,1.240050e-05,1.239933e-05,1.237037e-05,1.235915e-05,1.233874e-05,1.231646e-05,1.230578e-05,1.227164e-05,1.223647e-05,1.222502e-05,1.220040e-05,1.217690e-05,1.216355e-05,1.212754e-05,1.212603e-05,1.208793e-05,1.207717e-05,1.204935e-05,1.202601e-05,1.201038e-05,1.197423e-05,1.197108e-05,1.193154e-05,1.192202e-05,1.189181e-05,1.186951e-05,1.185196e-05,1.181683e-05,1.181204e-05,1.177210e-05,1.176412e-05,1.173219e-05,1.171146e-05,1.169235e-05,1.165896e-05,1.165261e-05,1.161302e-05,1.160670e-05,1.157360e-05,1.155475e-05,1.153438e-05,1.150317e-05,1.149539e-05,1.145666e-05,1.145203e-05,1.141820e-05,1.140138e-05,1.138004e-05,1.135125e-05,1.134220e-05,1.130468e-05,1.130170e-05,1.126751e-05,1.125274e-05,1.123070e-05,1.120442e-05,1.119426e-05,1.115820e-05,1.115677e-05,1.112253e-05,1.110979e-05,1.108726e-05,1.106351e-05,1.105240e-05,1.101794e-05,1.097311e-05,1.092901e-05,1.088566e-05,1.084306e-05,1.080122e-05,1.076014e-05,1.071982e-05,1.068026e-05,1.064145e-05,1.060341e-05,1.056611e-05,1.052956e-05,1.049376e-05,1.045869e-05,1.042435e-05,1.039073e-05,1.035783e-05,1.032563e-05,1.029413e-05,1.026332e-05,1.023319e-05,1.020373e-05,1.017492e-05,1.014676e-05
0.000000e+00,1.052926e-09,2.480567e-09,8.773576e-09,2.018769e-08,2.955764e-08,6.738197e-08,6.941721e-08,1.343624e-07,1.578981e-07,2.307682e-07,3.065189e-07,3.653500e-07,5.278059e-07,5.437672e-07,7.677825e-07,8.280883e-07,1.034691e-06,1.201278e-06,1.340182e-06,1.637840e-06,1.680386e-06,2.052048e-06,2.129890e-06,2.452155e-06,2.670442e-06,2.877644e-06,3.252303e-06,3.325270e-06,3.791583e-06,3.867688e-06,4.272971e-06,4.508309e-06,4.765741e-06,5.165671e-06,5.266205e-06,5.770772e-06,5.831431e-06,6.276024e-06,6.497724e-06,6.778785e-06,7.157429e-06,7.276168e-06,7.765605e-06,7.804347e-06,8.244867e-06,8.433288e-06,8.712065e-06,9.040092e-06,9.165644e-06,9.604362e-06,9.621587e-06,1.002727e-05,1.017551e-05,1.043369e-05,1.070040e-05,1.082317e-05,1.119548e-05,1.155055e-05,1.166054e-05,1.188847e-05,1.209584e-05,1.220947e-05,1.250199e-05,1.251385e-05,1.280202e-05,1.287986e-05,1.307443e-05,1.323053e-05,1.333160e-05,1.355519e-05,1.357406e-05,1.380239e-05,1.385515e-05,1.401715e-05,1.413171e-05,1.421893e-05,1.438622e-05,1.440831e-05,1.458585e-05,1.461999e-05,1.475212e-05,1.483431e-05,1.490767e-05,1.503043e-05,1.505303e-05,1.518870e-05,1.520955e-05,1.531519e-05,1.537278e-05,1.543296e-05,1.552121e-05,1.554247e-05,1.564416e-05,1.565585e-05,1.573843e-05,1.577766e-05,1.582567e-05,1.588752e-05,1.590628e-05,1.598058e-05,1.598627e-05,1.604894e-05,1.607469e-05,1.611166e-05,1.615350e-05,1.616905e-05,1.622139e-05,1.622339e-05,1.626897e-05,1.628497e-05,1.631203e-05,1.633885e-05,1.635082e-05,1.638557e-05,1.641650e-05,1.642562e-05,1.644381e-05,1.645949e-05,1.646771e-05,1.648761e-05,1.648838e-05,1.650599e-05,1.651040e-05,1.652071e-05,1.652822e-05,1.653270e-05,1.654144e-05,1.654210e-05,1.654905e-05,1.655037e-05,1.655370e-05,1.655534e-05,1.655616e-05,1.655661e-05,1.655656e-05,1.655500e-05,1.655447e-05,1.655160e-05,1.654914e-05,1.654646e-05,1.654087e-05,1.653968e-05,1.653134e-05,1.652987e-05,1.652154e-05,1.651634e-05,1.651035e-05,1.650046e-05,1.649786e-05,1.648414e-05,1.648241e-05,1.646925e-05,1.646236e-05,1.645328e-05,1.644044e-05,1.643627e-05,1.641830e-05,1.641682e-05,1.639941e-05,1.639162e-05,1.637967e-05,1.636496e-05,1.635913e-05,1.633783e-05,1.633696e-05,1.631582e-05,1.630774e-05,1.629316e-05,1.627738e-05,1.626987e-05,1.624600e-05,1.621367e-05,1.618049e-05,1.614652e-05,1.611185e-05,1.607654e-05,1.604067e-05,1.600428e-05,1.596744e-05,1.593020e-05,1.589261e-05,1.585472e-05,1.581658e-05,1.577822e-05,1.573969e-05,1.570101e-05,1.566223e-05,1.562338e-05,1.558449e-05,1.554559e-05,1.550670e-05,1.546785e-05,1.542907e-05,1.539037e-05,1.535178e-05
0.000000e+00,1.025556e-12,5.129854e-12,5.516375e-11,2.615060e-10,5.297221e-10,2.385750e-09,2.517282e-09,8.149399e-09,1.080014e-08,2.072498e-08,3.340253e-08,4.467266e-08,8.137962e-08,8.539578e-08,1.490313e-07,1.684363e-07,2.421072e-07,3.095052e-07,3.710428e-07,5.186826e-07,5.414815e-07,7.575903e-07,8.065219e-07,1.021536e-06,1.177764e-06,1.333266e-06,1.630499e-06,1.690587e-06,2.089461e-06,2.156787e-06,2.524411e-06,2.744130e-06,2.988973e-06,3.377231e-06,3.476122e-06,3.978662e-06,4.039663e-06,4.489545e-06,4.715246e-06,5.002133e-06,5.389095e-06,5.510381e-06,6.008970e-06,6.048298e-06,6.493374e-06,6.682307e-06,6.959891e-06,7.283050e-06,7.405624e-06,7.828445e-06,7.844859e-06,8.226924e-06,8.364245e-06,8.600255e-06,8.839601e-06,8.948172e-06,9.270857e-06,9.568857e-06,9.659134e-06,9.843007e-06,1.000642e-05,1.009435e-05,1.031530e-05,1.032409e-05,1.053350e-05,1.058868e-05,1.072393e-05,1.082963e-05,1.089671e-05,1.104123e-05,1.105317e-05,1.119460e-05,1.122645e-05,1.132223e-05,1.138810e-05,1.143720e-05,1.152877e-05,1.154060e-05,1.163344e-05,1.165083e-05,1.171665e-05,1.175638e-05,1.179105e-05,1.184733e-05,1.185744e-05,1.191651e-05,1.192533e-05,1.196890e-05,1.199185e-05,1.201519e-05,1.204817e-05,1.205588e-05,1.209146e-05,1.209540e-05,1.212233e-05,1.213453e-05,1.214889e-05,1.216640e-05,1.217148e-05,1.219040e-05,1.219176e-05,1.220593e-05,1.221126e-05,1.221834e-05,1.222546e-05,1.222785e-05,1.223466e-05,1.223488e-05,1.223898e-05,1.223995e-05,1.224096e-05,1.224107e-05,1.224079e-05,1.223859e-05,1.223451e-05,1.223282e-05,1.222867e-05,1.222406e-05,1.222118e-05,1.221254e-05,1.221215e-05,1.220169e-05,1.219852e-05,1.218989e-05,1.218219e-05,1.217682e-05,1.216376e-05,1.216258e-05,1.214724e-05,1.214340e-05,1.213086e-05,1.212126e-05,1.211352e-05,1.209751e-05,1.209528e-05,1.207619e-05,1.207228e-05,1.205632e-05,1.204569e-05,1.203571e-05,1.201787e-05,1.201442e-05,1.199249e-05,1.198893e-05,1.196997e-05,1.195896e-05,1.194690e-05,1.192807e-05,1.192331e-05,1.189926e-05,1.189634e-05,1.187477e-05,1.186386e-05,1.184987e-05,1.183070e-05,1.182461e-05,1.179900e-05,1.179694e-05,1.177309e-05,1.176264e-05,1.174689e-05,1.172787e-05,1.172044e-05,1.169375e-05,1.169268e-05,1.166686e-05,1.165714e-05,1.163979e-05,1.162128e-05,1.161255e-05,1.158517e-05,1.154884e-05,1.151235e-05,1.147572e-05,1.143899e-05,1.140221e-05,1.136539e-05,1.132858e-05,1.129180e-05,1.125508e-05,1.121844e-05,1.118191e-05,1.114550e-05,1.110923e-05,1.107314e-05,1.103722e-05,1.100150e-05,1.096600e-05,1.093072e-05,1.089569e-05,1.086090e-05,1.082638e-05,1.079213e-05,1.075816e-05,1.072448e-05
0.000000e+00,5.349273e-11,2.196326e-10,1.612350e-09,5.568940e-09,9.595019e-09,2.949673e-08,3.067511e-08,7.134584e-08,8.704659e-08,1.373597e-07,1.912500e-07,2.337437e-07,3.530629e-07,3.649349e-07,5.348648e-07,5.817990e-07,7.468616e-07,8.848769e-07,1.003237e-06,1.266130e-06,1.304650e-06,1.649723e-06,1.723725e-06,2.035337e-06,2.250530e-06,2.457372e-06,2.836760e-06,2.911359e-06,3.392822e-06,3.472111e-06,3.897361e-06,4.146461e-06,4.420635e-06,4.849848e-06,4.958336e-06,5.506184e-06,5.572406e-06,6.059948e-06,6.304408e-06,6.615492e-06,7.036435e-06,7.168828e-06,7.716178e-06,7.759600e-06,8.254029e-06,8.465781e-06,8.779179e-06,9.147806e-06,9.288774e-06,9.780325e-06,9.799581e-06,1.025173e-05,1.041617e-05,1.070129e-05,1.099382e-05,1.112767e-05,1.152990e-05,1.190735e-05,1.202284e-05,1.225971e-05,1.247203e-05,1.258694e-05,1.287763e-05,1.288925e-05,1.316706e-05,1.324053e-05,1.342097e-05,1.356214e-05,1.365171e-05,1.384427e-05,1.386015e-05,1.404723e-05,1.408906e-05,1.421396e-05,1.429884e-05,1.436140e-05,1.447604e-05,1.449062e-05,1.460270e-05,1.462315e-05,1.469871e-05,1.474263e-05,1.477971e-05,1.483690e-05,1.484672e-05,1.490076e-05,1.490826e-05,1.494276e-05,1.495892e-05,1.497365e-05,1.499094e-05,1.499429e-05,1.500548e-05,1.500623e-05,1.500801e-05,1.500657e-05,1.500260e-05,1.499360e-05,1.498993e-05,1.497063e-05,1.496882e-05,1.494528e-05,1.493357e-05,1.491443e-05,1.488910e-05,1.487859e-05,1.483824e-05,1.483653e-05,1.479379e-05,1.477687e-05,1.474566e-05,1.471101e-05,1.469420e-05,1.463977e-05,1.458267e-05,1.456388e-05,1.452319e-05,1.448399e-05,1.446159e-05,1.440070e-05,1.439813e-05,1.433301e-05,1.431452e-05,1.426646e-05,1.422591e-05,1.419865e-05,1.413530e-05,1.412975e-05,1.405993e-05,1.404305e-05,1.398933e-05,1.394950e-05,1.391808e-05,1.385494e-05,1.384631e-05,1.377412e-05,1.375964e-05,1.370162e-05,1.366383e-05,1.362891e-05,1.356772e-05,1.355606e-05,1.348316e-05,1.347149e-05,1.341028e-05,1.337532e-05,1.333748e-05,1.327934e-05,1.326483e-05,1.319237e-05,1.318369e-05,1.312017e-05,1.308849e-05,1.304826e-05,1.299383e-05,1.297669e-05,1.290549e-05,1.289981e-05,1.283471e-05,1.280652e-05,1.276436e-05,1.271401e-05,1.269449e-05,1.262511e-05,1.262235e-05,1.255626e-05,1.253160e-05,1.248794e-05,1.244180e-05,1.242018e-05,1.235300e-05,1.226523e-05,1.217852e-05,1.209290e-05,1.200838e-05,1.192500e-05,1.184275e-05,1.176166e-05,1.168173e-05,1.160296e-05,1.152537e-05,1.144894e-05,1.137369e-05,1.129962e-05,1.122670e-05,1.115495e-05,1.108436e-05,1.101491e-05,1.094661e-05,1.087943e-05,1.081338e-05,1.074844e-05,1.068460e-05,1.062185e-05,1.056017e-05
0.000000e+00,2.739658e-12,1.377570e-11,1.498064e-10,7.178774e-10,1.463286e-09,6.706651e-09,7.081791e-09,2.339125e-08,3.118701e-08,6.083806e-08,9.951733e-08,1.344981e-07,2.514557e-07,2.644914e-07,4.760325e-07,5.421345e-07,7.984024e-07,1.038821e-06,1.262267e-06,1.810146e-06,1.895977e-06,2.722275e-06,2.912122e-06,3.756304e-06,4.378721e-06,5.005013e-06,6.219435e-06,6.467575e-06,8.136378e-06,8.421713e-06,9.998250e-06,1.095552e-05,1.203568e-05,1.377817e-05,1.422793e-05,1.655203e-05,1.683863e-05,1.898358e-05,2.008104e-05,2.149747e-05,2.344757e-05,2.406849e-05,2.667182e-05,2.688076e-05,2.928351e-05,3.032540e-05,3.188087e-05,3.373014e-05,3.444274e-05,3.694982e-05,3.704871e-05,3.938483e-05,4.024082e-05,4.173268e-05,4.327277e-05,4.398049e-05,4.611769e-05,4.813590e-05,4.875552e-05,5.002890e-05,5.117270e-05,5.179251e-05,5.336167e-05,5.342440e-05,5.492395e-05,5.532020e-05,5.629205e-05,5.705068e-05,5.753090e-05,5.855929e-05,5.864379e-05,5.963494e-05,5.985524e-05,6.050932e-05,6.095000e-05,6.127243e-05,6.185662e-05,6.193020e-05,6.248881e-05,6.258918e-05,6.295458e-05,6.316221e-05,6.333389e-05,6.359030e-05,6.363304e-05,6.385822e-05,6.388779e-05,6.401543e-05,6.406844e-05,6.411043e-05,6.414534e-05,6.414871e-05,6.413549e-05,6.413068e-05,6.407568e-05,6.403579e-05,6.397386e-05,6.387105e-05,6.383434e-05,6.366109e-05,6.364589e-05,6.345779e-05,6.336882e-05,6.322781e-05,6.304747e-05,6.297427e-05,6.270000e-05,6.268864e-05,6.240761e-05,6.229837e-05,6.209945e-05,6.188200e-05,6.177767e-05,6.144422e-05,6.110086e-05,6.098915e-05,6.074918e-05,6.052041e-05,6.039062e-05,6.004114e-05,6.002648e-05,5.965791e-05,5.955407e-05,5.928597e-05,5.906158e-05,5.891160e-05,5.856575e-05,5.853563e-05,5.815882e-05,5.806834e-05,5.778185e-05,5.757090e-05,5.740531e-05,5.707476e-05,5.702976e-05,5.665565e-05,5.658105e-05,5.628344e-05,5.609075e-05,5.591348e-05,5.560471e-05,5.554613e-05,5.518166e-05,5.512364e-05,5.482036e-05,5.464812e-05,5.446244e-05,5.417868e-05,5.410811e-05,5.375754e-05,5.371573e-05,5.341088e-05,5.325962e-05,5.306826e-05,5.281065e-05,5.272981e-05,5.239560e-05,5.236905e-05,5.206573e-05,5.193500e-05,5.174025e-05,5.150866e-05,5.141922e-05,5.110269e-05,5.109012e-05,5.079067e-05,5.067946e-05,5.048320e-05,5.027672e-05,5.018029e-05,4.988194e-05,4.949509e-05,4.911618e-05,4.874515e-05,4.838196e-05,4.802655e-05,4.767884e-05,4.733874e-05,4.700617e-05,4.668102e-05,4.636319e-05,4.605257e-05,4.574905e-05,4.545250e-05,4.516281e-05,4.487985e-05,4.460351e-05,4.433365e-05,4.407015e-05,4.381288e-05,4.356171e-05,4.331652e-05,4.307718e-05,4.284357e-05,4.261555e-05
0.000000e+00,7.236239e-10,1.686226e-09,5.891718e-09,1.347232e-08,1.967615e-08,4.464079e-08,4.598180e-08,8.870027e-08,1.041532e-07,1.519167e-07,2.014311e-07,2.397751e-07,3.450637e-07,3.553577e-07,4.988868e-07,5.372416e-07,6.678422e-07,7.723392e-07,8.589750e-07,1.043232e-06,1.069421e-06,1.296691e-06,1.343956e-06,1.538431e-06,1.669072e-06,1.792275e-06,2.013086e-06,2.055799e-06,2.326545e-06,2.370371e-06,2.602073e-06,2.735328e-06,2.880025e-06,3.102636e-06,3.158183e-06,3.434517e-06,3.467466e-06,3.707219e-06,3.825645e-06,3.974723e-06,4.173729e-06,4.235710e-06,4.489107e-06,4.509025e-06,4.734072e-06,4.829549e-06,4.969974e-06,5.133959e-06,5.196375e-06,5.413003e-06,5.421462e-06,5.619729e-06,5.691722e-06,5.816544e-06,5.944760e-06,6.003538e-06,6.180877e-06,6.348791e-06,6.400577e-06,6.507556e-06,6.604506e-06,6.657482e-06,6.793402e-06,6.798900e-06,6.932158e-06,6.968056e-06,7.057610e-06,7.129283e-06,7.175613e-06,7.277899e-06,7.286518e-06,7.390673e-06,7.414703e-06,7.488415e-06,7.540472e-06,7.580072e-06,7.655947e-06,7.665960e-06,7.746380e-06,7.761834e-06,7.821623e-06,7.858796e-06,7.891964e-06,7.947455e-06,7.957666e-06,8.018978e-06,8.028396e-06,8.076136e-06,8.102162e-06,8.129363e-06,8.169257e-06,8.178871e-06,8.224859e-06,8.230151e-06,8.267517e-06,8.285277e-06,8.307021e-06,8.335039e-06,8.343541e-06,8.377234e-06,8.379812e-06,8.408252e-06,8.419941e-06,8.436735e-06,8.455747e-06,8.462815e-06,8.486621e-06,8.487527e-06,8.508268e-06,8.515555e-06,8.527871e-06,8.540088e-06,8.545535e-06,8.561360e-06,8.575440e-06,8.579592e-06,8.587865e-06,8.594987e-06,8.598718e-06,8.607733e-06,8.608080e-06,8.616026e-06,8.618007e-06,8.622628e-06,8.625972e-06,8.627953e-06,8.631780e-06,8.632065e-06,8.635026e-06,8.635571e-06,8.636892e-06,8.637479e-06,8.637718e-06,8.637626e-06,8.637556e-06,8.636455e-06,8.636126e-06,8.634462e-06,8.633088e-06,8.631621e-06,8.628610e-06,8.627974e-06,8.623561e-06,8.622787e-06,8.618421e-06,8.615706e-06,8.612589e-06,8.607449e-06,8.606100e-06,8.598987e-06,8.598093e-06,8.591282e-06,8.587711e-06,8.583014e-06,8.576371e-06,8.574211e-06,8.564901e-06,8.564135e-06,8.555109e-06,8.551064e-06,8.544862e-06,8.537214e-06,8.534181e-06,8.523089e-06,8.522637e-06,8.511609e-06,8.507385e-06,8.499760e-06,8.491503e-06,8.487563e-06,8.475036e-06,8.458026e-06,8.440512e-06,8.422531e-06,8.404120e-06,8.385310e-06,8.366134e-06,8.346621e-06,8.326799e-06,8.306695e-06,8.286334e-06,8.265739e-06,8.244933e-06,8.223939e-06,8.202775e-06,8.181461e-06,8.160015e-06,8.138455e-06,8.116797e-06,8.095056e-06,8.073247e-06,8.051384e-06,8.029480e-06,8.007548e-06,7.985599e-06
0.000000e+00,1.792923e-11,9.237984e-11,1.057423e-09,5.313519e-09,1.112015e-08,5.461115e-08,5.782971e-08,2.048256e-07,2.783697e-07,5.699594e-07,9.697566e-07,1.344799e-06,2.663442e-06,2.815324e-06,5.382034e-06,6.217130e-06,9.573571e-06,1.287003e-05,1.604496e-05,2.422719e-05,2.555599e-05,3.893434e-05,4.214914e-05,5.703234e-05,6.858749e-05,8.068509e-05,1.054200e-04,1.106740e-04,1.476974e-04,1.543152e-04,1.923484e-04,2.166338e-04,2.450993e-04,2.933666e-04,3.062925e-04,3.761357e-04,3.851030e-04,4.547023e-04,4.920251e-04,5.419354e-04,6.139217e-04,6.376541e-04,7.415636e-04,7.502189e-04,8.532662e-04,9.000227e-04,9.722737e-04,1.062168e-03,1.098021e-03,1.229881e-03,1.235273e-03,1.367176e-03,1.417796e-03,1.509193e-03,1.608087e-03,1.655197e-03,1.804441e-03,1.956181e-03,2.005144e-03,2.109679e-03,2.208508e-03,2.264218e-03,2.412914e-03,2.419107e-03,2.573687e-03,2.616828e-03,2.727334e-03,2.818832e-03,2.879469e-03,3.017632e-03,3.029552e-03,3.177091e-03,3.212072e-03,3.321642e-03,3.401134e-03,3.462805e-03,3.583946e-03,3.600229e-03,3.733605e-03,3.759771e-03,3.862672e-03,3.928009e-03,3.987208e-03,4.088185e-03,4.107034e-03,4.222007e-03,4.239945e-03,4.332020e-03,4.383041e-03,4.436999e-03,4.517328e-03,4.536901e-03,4.631710e-03,4.642745e-03,4.721435e-03,4.759312e-03,4.806110e-03,4.867117e-03,4.885788e-03,4.960538e-03,4.966307e-03,5.030447e-03,5.057078e-03,5.095617e-03,5.139668e-03,5.156160e-03,5.212197e-03,5.214347e-03,5.263861e-03,5.281415e-03,5.311287e-03,5.341190e-03,5.354620e-03,5.394005e-03,5.429593e-03,5.440204e-03,5.461535e-03,5.480135e-03,5.489983e-03,5.514148e-03,5.515090e-03,5.537008e-03,5.542594e-03,5.555887e-03,5.565818e-03,5.571876e-03,5.584159e-03,5.585121e-03,5.595765e-03,5.597948e-03,5.603948e-03,5.607506e-03,5.609806e-03,5.613144e-03,5.613473e-03,5.615077e-03,5.615162e-03,5.614744e-03,5.613845e-03,5.612594e-03,5.609468e-03,5.608742e-03,5.603303e-03,5.602292e-03,5.596382e-03,5.592564e-03,5.588083e-03,5.580519e-03,5.578505e-03,5.567744e-03,5.566377e-03,5.555888e-03,5.550348e-03,5.543026e-03,5.532628e-03,5.529239e-03,5.514605e-03,5.513400e-03,5.499201e-03,5.492839e-03,5.483095e-03,5.471104e-03,5.466357e-03,5.449049e-03,5.448345e-03,5.431231e-03,5.424704e-03,5.412962e-03,5.400308e-03,5.394294e-03,5.375279e-03,5.349727e-03,5.323755e-03,5.297458e-03,5.270922e-03,5.244227e-03,5.217447e-03,5.190647e-03,5.163888e-03,5.137225e-03,5.110709e-03,5.084383e-03,5.058289e-03,5.032462e-03,5.006936e-03,4.981737e-03,4.956893e-03,4.932424e-03,4.908350e-03,4.884687e-03,4.861449e-03,4.838648e-03,4.816294e-03,4.794395e-03,4.772956e-03
0.000000e+00,8.992537e-09,2.297160e-08,8.909667e-08,2.161564e-07,3.245322e-07,7.888310e-07,8.148754e-07,1.694610e-06,2.034528e-06,3.147661e-06,4.386181e-06,5.392423e-06,8.297086e-06,8.588414e-06,1.270170e-05,1.380457e-05,1.753539e-05,2.047915e-05,2.288777e-05,2.791566e-05,2.862042e-05,3.464541e-05,3.587983e-05,4.090158e-05,4.422962e-05,4.733984e-05,5.285620e-05,5.391587e-05,6.058736e-05,6.166089e-05,6.731317e-05,7.054919e-05,7.405385e-05,7.943190e-05,8.077202e-05,8.743299e-05,8.822692e-05,9.400518e-05,9.686157e-05,1.004609e-04,1.052745e-04,1.067762e-04,1.129307e-04,1.134156e-04,1.189079e-04,1.212459e-04,1.246941e-04,1.287361e-04,1.302792e-04,1.356556e-04,1.358662e-04,1.408181e-04,1.426236e-04,1.457637e-04,1.490020e-04,1.504910e-04,1.550002e-04,1.592927e-04,1.606209e-04,1.633710e-04,1.658701e-04,1.672383e-04,1.707560e-04,1.708985e-04,1.743562e-04,1.752887e-04,1.776162e-04,1.794795e-04,1.806838e-04,1.833405e-04,1.835642e-04,1.862632e-04,1.868845e-04,1.887863e-04,1.901246e-04,1.911394e-04,1.930740e-04,1.933281e-04,1.953583e-04,1.957458e-04,1.972357e-04,1.981533e-04,1.989658e-04,2.003094e-04,2.005542e-04,2.020065e-04,2.022266e-04,2.033280e-04,2.039174e-04,2.045240e-04,2.053938e-04,2.055995e-04,2.065598e-04,2.066675e-04,2.074095e-04,2.077496e-04,2.081536e-04,2.086512e-04,2.087966e-04,2.093430e-04,2.093827e-04,2.097973e-04,2.099542e-04,2.101636e-04,2.103753e-04,2.104461e-04,2.106488e-04,2.106553e-04,2.107754e-04,2.108031e-04,2.108298e-04,2.108273e-04,2.108155e-04,2.107359e-04,2.105945e-04,2.105367e-04,2.103944e-04,2.102370e-04,2.101388e-04,2.098440e-04,2.098307e-04,2.094729e-04,2.093642e-04,2.090683e-04,2.088041e-04,2.086195e-04,2.081697e-04,2.081290e-04,2.075994e-04,2.074668e-04,2.070331e-04,2.067007e-04,2.064323e-04,2.058767e-04,2.057991e-04,2.051358e-04,2.049997e-04,2.044442e-04,2.040741e-04,2.037264e-04,2.031046e-04,2.029842e-04,2.022194e-04,2.020950e-04,2.014336e-04,2.010494e-04,2.006284e-04,1.999714e-04,1.998055e-04,1.989662e-04,1.988645e-04,1.981121e-04,1.977319e-04,1.972444e-04,1.965767e-04,1.963645e-04,1.954735e-04,1.954018e-04,1.945727e-04,1.942099e-04,1.936632e-04,1.930035e-04,1.927460e-04,1.918221e-04,1.917850e-04,1.908925e-04,1.905566e-04,1.899581e-04,1.893205e-04,1.890199e-04,1.880785e-04,1.868325e-04,1.855842e-04,1.843351e-04,1.830867e-04,1.818404e-04,1.805975e-04,1.793590e-04,1.781262e-04,1.768999e-04,1.756811e-04,1.744707e-04,1.732694e-04,1.720778e-04,1.708967e-04,1.697267e-04,1.685682e-04,1.674217e-04,1.662877e-04,1.651665e-04,1.640585e-04,1.629639e-04,1.618830e-04,1.608161e-04,1.597633e-04
0.000000e+00,6.384884e-11,3.014555e-10,2.887798e-09,1.239325e-08,2.383778e-08,9.499236e-08,9.977094e-08,2.920651e-07,3.781562e-07,6.902790e-07,1.078427e-06,1.419631e-06,2.524550e-06,2.645289e-06,4.554171e-06,5.132923e-06,7.303515e-06,9.241821e-06,1.096668e-05,1.492804e-05,1.551837e-05,2.086028e-05,2.201205e-05,2.686005e-05,3.019435e-05,3.338164e-05,3.917220e-05,4.030160e-05,4.751423e-05,4.868925e-05,5.493045e-05,5.853993e-05,6.247469e-05,6.855817e-05,7.008177e-05,7.769446e-05,7.860590e-05,8.526209e-05,8.856578e-05,9.273969e-05,9.833792e-05,1.000877e-04,1.072718e-04,1.078385e-04,1.142628e-04,1.169995e-04,1.210364e-04,1.257678e-04,1.275732e-04,1.338581e-04,1.341041e-04,1.398800e-04,1.419819e-04,1.456313e-04,1.493855e-04,1.511080e-04,1.563083e-04,1.612330e-04,1.627511e-04,1.658848e-04,1.687206e-04,1.702679e-04,1.742280e-04,1.743878e-04,1.782511e-04,1.792878e-04,1.818649e-04,1.839167e-04,1.852371e-04,1.881332e-04,1.883759e-04,1.912897e-04,1.919565e-04,1.939872e-04,1.954065e-04,1.964769e-04,1.985029e-04,1.987676e-04,2.008677e-04,2.012656e-04,2.027858e-04,2.037140e-04,2.045300e-04,2.058668e-04,2.061085e-04,2.075292e-04,2.077424e-04,2.087997e-04,2.093584e-04,2.099274e-04,2.107316e-04,2.109195e-04,2.117829e-04,2.118782e-04,2.125244e-04,2.128136e-04,2.131503e-04,2.135525e-04,2.136669e-04,2.140800e-04,2.141088e-04,2.143956e-04,2.144957e-04,2.146189e-04,2.147256e-04,2.147553e-04,2.148099e-04,2.148104e-04,2.147874e-04,2.147613e-04,2.146924e-04,2.145887e-04,2.145294e-04,2.143025e-04,2.140159e-04,2.139122e-04,2.136733e-04,2.134264e-04,2.132784e-04,2.128534e-04,2.128348e-04,2.123456e-04,2.122009e-04,2.118141e-04,2.114762e-04,2.112434e-04,2.106860e-04,2.106362e-04,2.099953e-04,2.098368e-04,2.093234e-04,2.089345e-04,2.086228e-04,2.079845e-04,2.078960e-04,2.071451e-04,2.069922e-04,2.063723e-04,2.059624e-04,2.055795e-04,2.048995e-04,2.047687e-04,2.039416e-04,2.038079e-04,2.031000e-04,2.026913e-04,2.022454e-04,2.015535e-04,2.013794e-04,2.005035e-04,2.003977e-04,1.996189e-04,1.992273e-04,1.987270e-04,1.980449e-04,1.978289e-04,1.969259e-04,1.968534e-04,1.960189e-04,1.956552e-04,1.951090e-04,1.944526e-04,1.941972e-04,1.932843e-04,1.932478e-04,1.923712e-04,1.920426e-04,1.914586e-04,1.908388e-04,1.905474e-04,1.896381e-04,1.884420e-04,1.872519e-04,1.860690e-04,1.848944e-04,1.837293e-04,1.825744e-04,1.814307e-04,1.802988e-04,1.791796e-04,1.780736e-04,1.769812e-04,1.759031e-04,1.748395e-04,1.737909e-04,1.727575e-04,1.717396e-04,1.707374e-04,1.697511e-04,1.687807e-04,1.678265e-04,1.668884e-04,1.659665e-04,1.650608e-04,1.641713e-04
0.000000e+00,1.063298e-12,5.313841e-12,5.705255e-11,2.702287e-10,5.473216e-10,2.468166e-09,2.604534e-09,8.471361e-09,1.124950e-08,2.173461e-08,3.529584e-08,4.749073e-08,8.797806e-08,9.247075e-08,1.649785e-07,1.875020e-07,2.742902e-07,3.549843e-07,4.293842e-07,6.095300e-07,6.374742e-07,9.029801e-07,9.631379e-07,1.227179e-06,1.418510e-06,1.608411e-06,1.969803e-06,2.042610e-06,2.523931e-06,2.604858e-06,3.045356e-06,3.307644e-06,3.599208e-06,4.060310e-06,4.177560e-06,4.772542e-06,4.844693e-06,5.376572e-06,5.643355e-06,5.982519e-06,6.440261e-06,6.583823e-06,7.174579e-06,7.221223e-06,7.749592e-06,7.974166e-06,8.304406e-06,8.689254e-06,8.835313e-06,9.339347e-06,9.358915e-06,9.814253e-06,9.977765e-06,1.025845e-05,1.054245e-05,1.067097e-05,1.105142e-05,1.139987e-05,1.150469e-05,1.171683e-05,1.190355e-05,1.200316e-05,1.225028e-05,1.226000e-05,1.248870e-05,1.254789e-05,1.269076e-05,1.279988e-05,1.286780e-05,1.301002e-05,1.302150e-05,1.315354e-05,1.318219e-05,1.326560e-05,1.332024e-05,1.335932e-05,1.342787e-05,1.343627e-05,1.349795e-05,1.350858e-05,1.354578e-05,1.356562e-05,1.358108e-05,1.360196e-05,1.360509e-05,1.361892e-05,1.362027e-05,1.362364e-05,1.362295e-05,1.362018e-05,1.361212e-05,1.360942e-05,1.359213e-05,1.358965e-05,1.356902e-05,1.355717e-05,1.354073e-05,1.351612e-05,1.350783e-05,1.347084e-05,1.346772e-05,1.343022e-05,1.341305e-05,1.338638e-05,1.335304e-05,1.333970e-05,1.329051e-05,1.328849e-05,1.323910e-05,1.322011e-05,1.318576e-05,1.314849e-05,1.313071e-05,1.307417e-05,1.301634e-05,1.299759e-05,1.295740e-05,1.291916e-05,1.289750e-05,1.283923e-05,1.283679e-05,1.277539e-05,1.275810e-05,1.271344e-05,1.267604e-05,1.265102e-05,1.259328e-05,1.258825e-05,1.252521e-05,1.251004e-05,1.246197e-05,1.242651e-05,1.239862e-05,1.234283e-05,1.233522e-05,1.227184e-05,1.225917e-05,1.220852e-05,1.217565e-05,1.214533e-05,1.209238e-05,1.208231e-05,1.201949e-05,1.200947e-05,1.195693e-05,1.192700e-05,1.189466e-05,1.184507e-05,1.183271e-05,1.177111e-05,1.176375e-05,1.170989e-05,1.168308e-05,1.164908e-05,1.160315e-05,1.158869e-05,1.152876e-05,1.152398e-05,1.146929e-05,1.144564e-05,1.141031e-05,1.136815e-05,1.135183e-05,1.129387e-05,1.129156e-05,1.123643e-05,1.121589e-05,1.117954e-05,1.114116e-05,1.112319e-05,1.106741e-05,1.099464e-05,1.092288e-05,1.085213e-05,1.078241e-05,1.071372e-05,1.064607e-05,1.057946e-05,1.051390e-05,1.044938e-05,1.038591e-05,1.032347e-05,1.026207e-05,1.020170e-05,1.014236e-05,1.008404e-05,1.002673e-05,9.970414e-06,9.915097e-06,9.860762e-06,9.807400e-06,9.755000e-06,9.703552e-06,9.653043e-06,9.603461e-06
0.000000e+00,4.421973e-09,1.022392e-08,3.553394e-08,8.146452e-08,1.194434e-07,2.759939e-07,2.845694e-07,5.659405e-07,6.712681e-07,1.006090e-06,1.362966e-06,1.642219e-06,2.404965e-06,2.478630e-06,3.483892e-06,3.745841e-06,4.619540e-06,5.301066e-06,5.856043e-06,7.010456e-06,7.171967e-06,8.550085e-06,8.831795e-06,9.974929e-06,1.072941e-05,1.143178e-05,1.266987e-05,1.290645e-05,1.438549e-05,1.462169e-05,1.585639e-05,1.655619e-05,1.730794e-05,1.844862e-05,1.873035e-05,2.011538e-05,2.027874e-05,2.145635e-05,2.203101e-05,2.274800e-05,2.369425e-05,2.398647e-05,2.516912e-05,2.526127e-05,2.629434e-05,2.672817e-05,2.736145e-05,2.809377e-05,2.837046e-05,2.932204e-05,2.935892e-05,3.021727e-05,3.052603e-05,3.105762e-05,3.159859e-05,3.184483e-05,3.258083e-05,3.326765e-05,3.347740e-05,3.390743e-05,3.429319e-05,3.450232e-05,3.503319e-05,3.505448e-05,3.556606e-05,3.570231e-05,3.603914e-05,3.630536e-05,3.647576e-05,3.684695e-05,3.687790e-05,3.724745e-05,3.733150e-05,3.758625e-05,3.776319e-05,3.789603e-05,3.814596e-05,3.817846e-05,3.843514e-05,3.848351e-05,3.866756e-05,3.877931e-05,3.887716e-05,3.903659e-05,3.906530e-05,3.923327e-05,3.925836e-05,3.938229e-05,3.944743e-05,3.951351e-05,3.960641e-05,3.962803e-05,3.972686e-05,3.973772e-05,3.981099e-05,3.984359e-05,3.988134e-05,3.992612e-05,3.993877e-05,3.998410e-05,3.998723e-05,4.001811e-05,4.002870e-05,4.004151e-05,4.005219e-05,4.005500e-05,4.005923e-05,4.005922e-05,4.005481e-05,4.005121e-05,4.004231e-05,4.002947e-05,4.002227e-05,3.999520e-05,3.996160e-05,3.994954e-05,3.992190e-05,3.989350e-05,3.987655e-05,3.982805e-05,3.982593e-05,3.977044e-05,3.975407e-05,3.971042e-05,3.967238e-05,3.964622e-05,3.958374e-05,3.957816e-05,3.950653e-05,3.948883e-05,3.943161e-05,3.938832e-05,3.935367e-05,3.928278e-05,3.927296e-05,3.918971e-05,3.917278e-05,3.910415e-05,3.905881e-05,3.901648e-05,3.894136e-05,3.892691e-05,3.883561e-05,3.882085e-05,3.874275e-05,3.869768e-05,3.864851e-05,3.857223e-05,3.855304e-05,3.845648e-05,3.844483e-05,3.835897e-05,3.831579e-05,3.826063e-05,3.818542e-05,3.816159e-05,3.806196e-05,3.805397e-05,3.796185e-05,3.792169e-05,3.786135e-05,3.778881e-05,3.776056e-05,3.765957e-05,3.765553e-05,3.755846e-05,3.752205e-05,3.745731e-05,3.738855e-05,3.735620e-05,3.725518e-05,3.712210e-05,3.698943e-05,3.685732e-05,3.672586e-05,3.659517e-05,3.646533e-05,3.633644e-05,3.620857e-05,3.608180e-05,3.595618e-05,3.583179e-05,3.570865e-05,3.558684e-05,3.546637e-05,3.534730e-05,3.522966e-05,3.511346e-05,3.499875e-05,3.488553e-05,3.477382e-05,3.466365e-05,3.455501e-05,3.444793e-05,3.434240e-05
0.000000e+00,5.360481e-09,1.242104e-08,4.324195e-08,9.892394e-08,1.446160e-07,3.293317e-07,3.392852e-07,6.575714e-07,7.731705e-07,1.131608e-06,1.504682e-06,1.794587e-06,2.595853e-06,2.674658e-06,3.782424e-06,4.081017e-06,5.103365e-06,5.924998e-06,6.606874e-06,8.054919e-06,8.260238e-06,1.003455e-05,1.040166e-05,1.190468e-05,1.290744e-05,1.384805e-05,1.552179e-05,1.584382e-05,1.787268e-05,1.819916e-05,1.991685e-05,2.089871e-05,2.196027e-05,2.358485e-05,2.398872e-05,2.598992e-05,2.622773e-05,2.795350e-05,2.880330e-05,2.987093e-05,3.129306e-05,3.173538e-05,3.354152e-05,3.368337e-05,3.528542e-05,3.596491e-05,3.696434e-05,3.813191e-05,3.857652e-05,4.012103e-05,4.018140e-05,4.159764e-05,4.211265e-05,4.300668e-05,4.392659e-05,4.434889e-05,4.562541e-05,4.683762e-05,4.721221e-05,4.798713e-05,4.869070e-05,4.907567e-05,5.006505e-05,5.010512e-05,5.107740e-05,5.133966e-05,5.199449e-05,5.251908e-05,5.285839e-05,5.360791e-05,5.367109e-05,5.443460e-05,5.461074e-05,5.515088e-05,5.553208e-05,5.582186e-05,5.637636e-05,5.644944e-05,5.703549e-05,5.714788e-05,5.758181e-05,5.785077e-05,5.809015e-05,5.848906e-05,5.856223e-05,5.899969e-05,5.906658e-05,5.940414e-05,5.958701e-05,5.977712e-05,6.005386e-05,6.012013e-05,6.043460e-05,6.047049e-05,6.072192e-05,6.084009e-05,6.098342e-05,6.116569e-05,6.122039e-05,6.143405e-05,6.145017e-05,6.162558e-05,6.169626e-05,6.179614e-05,6.190656e-05,6.194680e-05,6.207861e-05,6.208350e-05,6.219257e-05,6.222941e-05,6.228964e-05,6.234647e-05,6.237074e-05,6.243674e-05,6.248849e-05,6.250218e-05,6.252680e-05,6.254461e-05,6.255242e-05,6.256577e-05,6.256610e-05,6.256853e-05,6.256728e-05,6.256038e-05,6.255068e-05,6.254230e-05,6.251741e-05,6.251488e-05,6.247872e-05,6.246881e-05,6.243437e-05,6.240615e-05,6.238235e-05,6.233064e-05,6.232317e-05,6.225731e-05,6.224338e-05,6.218522e-05,6.214542e-05,6.210734e-05,6.203775e-05,6.202408e-05,6.193584e-05,6.192128e-05,6.184298e-05,6.179688e-05,6.174587e-05,6.166534e-05,6.164483e-05,6.154020e-05,6.152742e-05,6.143227e-05,6.138382e-05,6.132134e-05,6.123519e-05,6.120767e-05,6.109153e-05,6.108214e-05,6.097316e-05,6.092525e-05,6.085280e-05,6.076503e-05,6.073067e-05,6.060697e-05,6.060199e-05,6.048190e-05,6.043658e-05,6.035565e-05,6.026922e-05,6.022840e-05,6.010031e-05,5.993022e-05,5.975928e-05,5.958781e-05,5.941609e-05,5.924438e-05,5.907295e-05,5.890200e-05,5.873176e-05,5.856240e-05,5.839410e-05,5.822702e-05,5.806130e-05,5.789707e-05,5.773446e-05,5.757356e-05,5.741448e-05,5.725730e-05,5.710209e-05,5.694892e-05,5.679786e-05,5.664895e-05,5.650223e-05,5.635775e-05,5.621553e-05
0.000000e+00,3.567527e-09,8.173218e-09,2.814572e-08,6.415287e-08,9.372273e-08,2.137269e-07,2.202168e-07,4.290355e-07,5.054898e-07,7.446000e-07,9.968037e-07,1.195240e-06,1.756175e-06,1.812430e-06,2.626671e-06,2.854074e-06,3.658658e-06,4.332814e-06,4.908679e-06,6.170944e-06,6.353392e-06,7.954707e-06,8.290164e-06,9.672585e-06,1.060021e-05,1.147253e-05,1.302761e-05,1.332705e-05,1.521455e-05,1.551840e-05,1.711762e-05,1.803232e-05,1.902189e-05,2.053793e-05,2.091519e-05,2.278705e-05,2.300979e-05,2.462852e-05,2.542712e-05,2.643196e-05,2.777317e-05,2.819099e-05,2.990034e-05,3.003481e-05,3.155583e-05,3.220220e-05,3.315425e-05,3.426843e-05,3.469326e-05,3.617127e-05,3.622911e-05,3.758740e-05,3.808197e-05,3.894132e-05,3.982654e-05,4.023323e-05,4.146369e-05,4.263364e-05,4.299543e-05,4.374425e-05,4.442455e-05,4.479693e-05,4.575444e-05,4.579323e-05,4.673483e-05,4.698891e-05,4.762349e-05,4.813203e-05,4.846103e-05,4.918802e-05,4.924932e-05,4.999020e-05,5.016117e-05,5.068554e-05,5.105573e-05,5.133719e-05,5.187593e-05,5.194695e-05,5.251662e-05,5.262590e-05,5.304793e-05,5.330962e-05,5.354258e-05,5.393096e-05,5.400221e-05,5.442843e-05,5.449363e-05,5.482277e-05,5.500118e-05,5.518674e-05,5.545700e-05,5.552176e-05,5.582923e-05,5.586434e-05,5.611047e-05,5.622624e-05,5.636677e-05,5.654564e-05,5.659937e-05,5.680943e-05,5.682530e-05,5.699810e-05,5.706782e-05,5.716646e-05,5.727568e-05,5.731554e-05,5.744636e-05,5.745122e-05,5.755985e-05,5.759665e-05,5.765694e-05,5.771403e-05,5.773849e-05,5.780534e-05,5.785828e-05,5.787241e-05,5.789808e-05,5.791699e-05,5.792546e-05,5.794071e-05,5.794112e-05,5.794572e-05,5.794512e-05,5.793990e-05,5.793165e-05,5.792425e-05,5.790167e-05,5.789935e-05,5.786576e-05,5.785646e-05,5.782399e-05,5.779721e-05,5.777454e-05,5.772505e-05,5.771789e-05,5.765449e-05,5.764104e-05,5.758478e-05,5.754617e-05,5.750916e-05,5.744135e-05,5.742802e-05,5.734174e-05,5.732748e-05,5.725067e-05,5.720535e-05,5.715514e-05,5.707574e-05,5.705549e-05,5.695201e-05,5.693935e-05,5.684499e-05,5.679685e-05,5.673471e-05,5.664887e-05,5.662142e-05,5.650539e-05,5.649600e-05,5.638684e-05,5.633877e-05,5.626600e-05,5.617769e-05,5.614308e-05,5.601828e-05,5.601325e-05,5.589180e-05,5.584588e-05,5.576381e-05,5.567601e-05,5.563449e-05,5.550400e-05,5.533022e-05,5.515502e-05,5.497868e-05,5.480151e-05,5.462377e-05,5.444570e-05,5.426754e-05,5.408951e-05,5.391178e-05,5.373456e-05,5.355800e-05,5.338226e-05,5.320748e-05,5.303379e-05,5.286131e-05,5.269015e-05,5.252041e-05,5.235217e-05,5.218553e-05,5.202055e-05,5.185729e-05,5.169583e-05,5.153621e-05,5.137849e-05
0.000000e+00,1.179600e-11,5.537880e-11,5.235122e-10,2.213953e-09,4.218095e-09,1.629320e-08,1.708700e-08,4.785474e-08,6.105034e-08,1.067271e-07,1.599522e-07,2.042893e-07,3.370504e-07,3.508036e-07,5.558408e-07,6.147425e-07,8.280627e-07,1.012701e-06,1.174942e-06,1.546565e-06,1.602215e-06,2.112974e-06,2.225165e-06,2.706592e-06,3.046516e-06,3.377998e-06,3.995340e-06,4.117816e-06,4.913389e-06,5.044902e-06,5.750298e-06,6.162354e-06,6.613822e-06,7.314390e-06,7.490017e-06,8.366333e-06,8.470965e-06,9.231887e-06,9.606895e-06,1.007749e-05,1.070209e-05,1.089557e-05,1.168002e-05,1.174117e-05,1.242608e-05,1.271291e-05,1.313016e-05,1.360966e-05,1.378976e-05,1.440332e-05,1.442690e-05,1.497010e-05,1.516266e-05,1.549007e-05,1.581719e-05,1.596381e-05,1.639238e-05,1.677725e-05,1.689146e-05,1.712020e-05,1.731861e-05,1.742325e-05,1.767863e-05,1.768854e-05,1.791835e-05,1.797666e-05,1.811499e-05,1.821800e-05,1.828075e-05,1.840794e-05,1.841791e-05,1.852870e-05,1.855160e-05,1.861523e-05,1.865386e-05,1.867955e-05,1.871932e-05,1.872360e-05,1.874920e-05,1.875225e-05,1.875805e-05,1.875657e-05,1.875175e-05,1.873582e-05,1.873177e-05,1.869948e-05,1.869326e-05,1.865615e-05,1.863178e-05,1.860294e-05,1.855398e-05,1.854092e-05,1.847106e-05,1.846220e-05,1.839426e-05,1.835849e-05,1.831134e-05,1.824469e-05,1.822304e-05,1.813004e-05,1.812242e-05,1.803297e-05,1.799312e-05,1.793237e-05,1.785805e-05,1.782877e-05,1.772262e-05,1.771833e-05,1.761435e-05,1.757492e-05,1.750433e-05,1.742870e-05,1.739291e-05,1.728041e-05,1.716710e-05,1.713071e-05,1.705323e-05,1.698017e-05,1.693904e-05,1.682931e-05,1.682474e-05,1.671050e-05,1.667855e-05,1.659650e-05,1.652827e-05,1.648288e-05,1.637881e-05,1.636979e-05,1.625733e-05,1.623045e-05,1.614562e-05,1.608343e-05,1.603475e-05,1.593796e-05,1.592481e-05,1.581588e-05,1.579421e-05,1.570801e-05,1.565236e-05,1.560126e-05,1.551250e-05,1.549569e-05,1.539135e-05,1.537477e-05,1.528826e-05,1.523923e-05,1.518646e-05,1.510597e-05,1.508598e-05,1.498684e-05,1.497503e-05,1.488905e-05,1.484646e-05,1.479265e-05,1.472030e-05,1.469762e-05,1.460399e-05,1.459656e-05,1.451176e-05,1.447526e-05,1.442093e-05,1.435640e-05,1.433151e-05,1.424348e-05,1.423999e-05,1.415685e-05,1.412600e-05,1.407161e-05,1.401444e-05,1.398775e-05,1.390528e-05,1.379850e-05,1.369408e-05,1.359199e-05,1.349219e-05,1.339467e-05,1.329938e-05,1.320628e-05,1.311535e-05,1.302654e-05,1.293982e-05,1.285514e-05,1.277247e-05,1.269177e-05,1.261299e-05,1.253610e-05,1.246105e-05,1.238781e-05,1.231633e-05,1.224658e-05,1.217852e-05,1.211211e-05,1.204731e-05,1.198408e-05,1.192238e-05
0.000000e+00,1.045688e-10,4.410343e-10,3.409904e-09,1.231180e-08,2.172816e-08,7.123164e-08,7.428180e-08,1.858658e-07,2.318658e-07,3.889989e-07,5.724341e-07,7.271432e-07,1.202195e-06,1.252269e-06,2.008315e-06,2.226388e-06,3.008272e-06,3.667783e-06,4.230905e-06,5.461590e-06,5.639140e-06,7.197685e-06,7.524905e-06,8.879519e-06,9.796084e-06,1.066507e-05,1.223409e-05,1.253941e-05,1.448990e-05,1.480826e-05,1.650475e-05,1.749130e-05,1.857225e-05,2.025619e-05,2.068054e-05,2.281765e-05,2.307547e-05,2.497164e-05,2.592174e-05,2.713090e-05,2.876856e-05,2.928426e-05,3.142127e-05,3.159123e-05,3.353234e-05,3.436753e-05,3.560880e-05,3.707810e-05,3.764302e-05,3.962841e-05,3.970672e-05,4.155938e-05,4.224030e-05,4.343135e-05,4.466868e-05,4.524065e-05,4.698445e-05,4.866071e-05,4.918261e-05,5.026805e-05,5.126020e-05,5.180570e-05,5.321605e-05,5.327341e-05,5.467139e-05,5.505040e-05,5.600021e-05,5.676466e-05,5.726076e-05,5.836115e-05,5.845419e-05,5.958186e-05,5.984288e-05,6.064530e-05,6.121339e-05,6.164617e-05,6.247658e-05,6.258624e-05,6.346732e-05,6.363662e-05,6.429130e-05,6.469784e-05,6.506010e-05,6.566465e-05,6.577563e-05,6.643982e-05,6.654145e-05,6.705458e-05,6.733266e-05,6.762180e-05,6.804262e-05,6.814336e-05,6.862110e-05,6.867557e-05,6.905680e-05,6.923565e-05,6.945224e-05,6.972690e-05,6.980912e-05,7.012913e-05,7.015319e-05,7.041388e-05,7.051827e-05,7.066496e-05,7.082574e-05,7.088389e-05,7.107215e-05,7.107907e-05,7.123119e-05,7.128156e-05,7.136239e-05,7.143638e-05,7.146708e-05,7.154656e-05,7.160209e-05,7.161499e-05,7.163485e-05,7.164440e-05,7.164600e-05,7.163743e-05,7.163667e-05,7.160793e-05,7.159654e-05,7.156080e-05,7.152412e-05,7.149628e-05,7.142239e-05,7.141533e-05,7.131885e-05,7.129348e-05,7.120773e-05,7.113942e-05,7.108281e-05,7.096211e-05,7.094490e-05,7.079477e-05,7.076335e-05,7.063317e-05,7.054485e-05,7.046081e-05,7.030822e-05,7.027838e-05,7.008652e-05,7.005499e-05,6.988586e-05,6.978659e-05,6.967700e-05,6.950439e-05,6.946050e-05,6.923693e-05,6.920965e-05,6.900679e-05,6.890357e-05,6.877058e-05,6.858730e-05,6.852879e-05,6.828186e-05,6.826190e-05,6.803024e-05,6.792836e-05,6.777432e-05,6.758763e-05,6.751451e-05,6.725119e-05,6.724058e-05,6.698470e-05,6.688805e-05,6.671539e-05,6.653081e-05,6.644358e-05,6.616958e-05,6.580504e-05,6.543782e-05,6.506852e-05,6.469769e-05,6.432584e-05,6.395345e-05,6.358097e-05,6.320881e-05,6.283735e-05,6.246694e-05,6.209792e-05,6.173059e-05,6.136523e-05,6.100208e-05,6.064139e-05,6.028338e-05,5.992824e-05,5.957614e-05,5.922726e-05,5.888174e-05,5.853970e-05,5.820128e-05,5.786658e-05,5.753568e-05
0.000000e+00,1.533575e-11,7.225372e-11,6.884613e-10,2.934695e-09,5.617526e-09,2.199139e-08,2.307641e-08,6.564775e-08,8.414547e-08,1.490062e-07,2.259163e-07,2.909033e-07,4.896914e-07,5.106048e-07,8.283548e-07,9.214445e-07,1.263887e-06,1.565511e-06,1.833365e-06,2.452855e-06,2.546046e-06,3.402993e-06,3.591273e-06,4.398332e-06,4.967266e-06,5.521680e-06,6.554972e-06,6.760356e-06,8.100779e-06,8.323767e-06,9.529159e-06,1.024199e-05,1.103177e-05,1.227818e-05,1.259504e-05,1.420562e-05,1.440145e-05,1.585050e-05,1.658186e-05,1.751714e-05,1.879097e-05,1.919362e-05,2.086884e-05,2.100249e-05,2.253261e-05,2.319283e-05,2.417579e-05,2.534156e-05,2.579031e-05,2.736923e-05,2.743156e-05,2.890670e-05,2.944909e-05,3.039792e-05,3.138353e-05,3.183906e-05,3.322721e-05,3.456028e-05,3.497499e-05,3.583688e-05,3.662390e-05,3.705625e-05,3.817280e-05,3.821818e-05,3.932288e-05,3.962201e-05,4.037096e-05,4.097301e-05,4.136335e-05,4.222814e-05,4.230119e-05,4.318584e-05,4.339041e-05,4.401881e-05,4.446328e-05,4.480169e-05,4.545054e-05,4.553618e-05,4.622401e-05,4.635613e-05,4.686695e-05,4.718412e-05,4.746676e-05,4.793857e-05,4.802522e-05,4.854406e-05,4.862352e-05,4.902502e-05,4.924291e-05,4.946976e-05,4.980060e-05,4.987995e-05,5.025716e-05,5.030029e-05,5.060296e-05,5.074555e-05,5.091884e-05,5.113980e-05,5.120625e-05,5.146659e-05,5.148629e-05,5.170119e-05,5.178812e-05,5.191136e-05,5.204824e-05,5.209832e-05,5.226328e-05,5.226944e-05,5.240736e-05,5.245434e-05,5.253167e-05,5.260544e-05,5.263724e-05,5.272508e-05,5.279614e-05,5.281548e-05,5.285133e-05,5.287873e-05,5.289153e-05,5.291679e-05,5.291757e-05,5.293024e-05,5.293150e-05,5.293030e-05,5.292459e-05,5.291848e-05,5.289770e-05,5.289546e-05,5.286190e-05,5.285235e-05,5.281843e-05,5.278998e-05,5.276564e-05,5.271193e-05,5.270410e-05,5.263435e-05,5.261946e-05,5.255690e-05,5.251375e-05,5.247225e-05,5.239591e-05,5.238085e-05,5.228316e-05,5.226698e-05,5.217960e-05,5.212792e-05,5.207056e-05,5.197964e-05,5.195642e-05,5.183756e-05,5.182299e-05,5.171430e-05,5.165876e-05,5.158698e-05,5.148770e-05,5.145592e-05,5.132139e-05,5.131049e-05,5.118368e-05,5.112777e-05,5.104307e-05,5.094016e-05,5.089979e-05,5.075409e-05,5.074821e-05,5.060619e-05,5.055245e-05,5.045631e-05,5.035337e-05,5.030466e-05,5.015142e-05,4.994702e-05,4.974057e-05,4.953244e-05,4.932297e-05,4.911246e-05,4.890122e-05,4.868953e-05,4.847762e-05,4.826574e-05,4.805409e-05,4.784290e-05,4.763232e-05,4.742254e-05,4.721372e-05,4.700599e-05,4.679948e-05,4.659432e-05,4.639062e-05,4.618848e-05,4.598799e-05,4.578923e-05,4.559228e-05,4.539721e-05,4.520407e-05
0.000000e+00,2.601847e-09,6.231575e-09,2.244486e-08,5.223928e-08,7.697766e-08,1.791468e-07,1.847450e-07,3.683717e-07,4.371112e-07,6.559368e-07,8.902358e-07,1.074650e-06,1.583536e-06,1.633049e-06,2.313369e-06,2.491707e-06,3.088450e-06,3.555311e-06,3.936073e-06,4.729381e-06,4.840497e-06,5.789888e-06,5.984262e-06,6.774200e-06,7.296717e-06,7.784051e-06,8.645378e-06,8.810312e-06,9.844048e-06,1.000956e-05,1.087664e-05,1.136946e-05,1.189996e-05,1.270695e-05,1.290661e-05,1.389001e-05,1.400617e-05,1.484447e-05,1.525403e-05,1.576534e-05,1.644046e-05,1.664897e-05,1.749264e-05,1.755834e-05,1.829445e-05,1.860318e-05,1.905330e-05,1.957279e-05,1.976874e-05,2.044089e-05,2.046688e-05,2.107032e-05,2.128665e-05,2.165805e-05,2.203445e-05,2.220520e-05,2.271321e-05,2.318367e-05,2.332656e-05,2.361825e-05,2.387835e-05,2.401869e-05,2.437264e-05,2.438676e-05,2.472421e-05,2.481344e-05,2.503274e-05,2.520468e-05,2.531403e-05,2.555015e-05,2.556970e-05,2.580130e-05,2.585347e-05,2.601031e-05,2.611802e-05,2.619815e-05,2.634700e-05,2.636615e-05,2.651559e-05,2.654336e-05,2.664765e-05,2.670984e-05,2.676347e-05,2.684898e-05,2.686410e-05,2.695053e-05,2.696311e-05,2.702370e-05,2.705436e-05,2.708447e-05,2.712472e-05,2.713367e-05,2.717205e-05,2.717597e-05,2.720034e-05,2.720977e-05,2.721921e-05,2.722764e-05,2.722929e-05,2.723115e-05,2.723096e-05,2.722535e-05,2.722101e-05,2.721241e-05,2.719894e-05,2.719281e-05,2.716699e-05,2.716583e-05,2.713538e-05,2.712266e-05,2.709837e-05,2.707031e-05,2.705634e-05,2.700962e-05,2.695855e-05,2.694134e-05,2.690343e-05,2.686616e-05,2.684454e-05,2.678471e-05,2.678215e-05,2.671652e-05,2.669759e-05,2.664788e-05,2.660534e-05,2.657644e-05,2.650844e-05,2.650243e-05,2.642603e-05,2.640736e-05,2.634742e-05,2.630251e-05,2.626679e-05,2.619428e-05,2.618429e-05,2.610008e-05,2.608304e-05,2.601429e-05,2.596910e-05,2.592707e-05,2.585278e-05,2.583853e-05,2.574881e-05,2.573435e-05,2.565802e-05,2.561408e-05,2.556625e-05,2.549220e-05,2.547361e-05,2.538020e-05,2.536894e-05,2.528610e-05,2.524450e-05,2.519140e-05,2.511907e-05,2.509618e-05,2.500050e-05,2.499283e-05,2.490445e-05,2.486594e-05,2.480808e-05,2.473854e-05,2.471147e-05,2.461466e-05,2.461079e-05,2.451772e-05,2.448280e-05,2.442069e-05,2.435469e-05,2.432363e-05,2.422659e-05,2.409858e-05,2.397076e-05,2.384322e-05,2.371605e-05,2.358930e-05,2.346306e-05,2.333739e-05,2.321234e-05,2.308796e-05,2.296431e-05,2.284144e-05,2.271938e-05,2.259817e-05,2.247784e-05,2.235843e-05,2.223997e-05,2.212248e-05,2.200598e-05,2.189050e-05,2.177605e-05,2.166265e-05,2.155032e-05,2.143907e-05,2.132891e-05
0.000000e+00,8.796633e-11,3.943189e-10,3.415484e-09,1.348630e-08,2.486948e-08,8.996544e-08,9.415552e-08,2.550271e-07,3.242627e-07,5.684041e-07,8.632474e-07,1.117224e-06,1.914649e-06,1.999720e-06,3.297349e-06,3.674949e-06,5.037416e-06,6.195439e-06,7.189590e-06,9.376243e-06,9.693011e-06,1.248362e-05,1.307121e-05,1.550718e-05,1.715694e-05,1.872104e-05,2.154268e-05,2.209117e-05,2.558874e-05,2.615840e-05,2.918756e-05,3.094365e-05,3.286287e-05,3.584211e-05,3.659079e-05,4.034833e-05,4.080018e-05,4.411373e-05,4.576771e-05,4.786670e-05,5.069917e-05,5.158871e-05,5.526325e-05,5.555472e-05,5.887592e-05,6.030083e-05,6.241438e-05,6.491023e-05,6.586828e-05,6.922919e-05,6.936160e-05,7.249044e-05,7.363906e-05,7.564691e-05,7.773150e-05,7.869488e-05,8.163189e-05,8.445655e-05,8.533660e-05,8.716832e-05,8.884469e-05,8.976742e-05,9.215730e-05,9.225466e-05,9.463136e-05,9.527726e-05,9.689925e-05,9.820859e-05,9.906035e-05,1.009562e-04,1.011169e-04,1.030715e-04,1.035257e-04,1.049267e-04,1.059232e-04,1.066851e-04,1.081548e-04,1.083497e-04,1.099231e-04,1.102271e-04,1.114083e-04,1.121467e-04,1.128081e-04,1.139200e-04,1.141253e-04,1.153628e-04,1.155536e-04,1.165232e-04,1.170537e-04,1.176094e-04,1.184267e-04,1.186240e-04,1.195696e-04,1.196785e-04,1.204488e-04,1.208152e-04,1.212641e-04,1.218425e-04,1.220179e-04,1.227127e-04,1.227658e-04,1.233507e-04,1.235905e-04,1.239342e-04,1.243219e-04,1.244654e-04,1.249465e-04,1.249647e-04,1.253794e-04,1.255238e-04,1.257661e-04,1.260038e-04,1.261087e-04,1.264089e-04,1.266686e-04,1.267434e-04,1.268895e-04,1.270114e-04,1.270734e-04,1.272165e-04,1.272218e-04,1.273364e-04,1.273626e-04,1.274186e-04,1.274530e-04,1.274699e-04,1.274910e-04,1.274917e-04,1.274855e-04,1.274800e-04,1.274525e-04,1.274228e-04,1.273940e-04,1.273224e-04,1.273112e-04,1.272053e-04,1.271815e-04,1.270775e-04,1.270027e-04,1.269288e-04,1.267885e-04,1.267602e-04,1.265728e-04,1.265412e-04,1.263676e-04,1.262630e-04,1.261455e-04,1.259562e-04,1.259073e-04,1.256541e-04,1.256227e-04,1.253865e-04,1.252644e-04,1.251053e-04,1.248831e-04,1.248115e-04,1.245056e-04,1.244806e-04,1.241884e-04,1.240585e-04,1.238605e-04,1.236183e-04,1.235227e-04,1.231755e-04,1.231614e-04,1.228196e-04,1.226894e-04,1.224554e-04,1.222034e-04,1.220836e-04,1.217047e-04,1.211945e-04,1.206739e-04,1.201439e-04,1.196056e-04,1.190597e-04,1.185073e-04,1.179492e-04,1.173860e-04,1.168186e-04,1.162477e-04,1.156739e-04,1.150977e-04,1.145199e-04,1.139408e-04,1.133611e-04,1.127812e-04,1.122015e-04,1.116224e-04,1.110444e-04,1.104678e-04,1.098930e-04,1.093202e-04,1.087498e-04,1.081819e-04
0.000000e+00,9.449581e-10,2.471024e-09,9.777049e-09,2.374888e-08,3.551001e-08,8.423452e-08,8.689414e-08,1.730300e-07,2.047146e-07,3.039773e-07,4.087277e-07,4.910902e-07,7.234029e-07,7.466527e-07,1.082062e-06,1.175348e-06,1.503965e-06,1.777543e-06,2.009970e-06,2.515662e-06,2.588364e-06,3.222937e-06,3.355180e-06,3.898157e-06,4.260994e-06,4.601298e-06,5.206129e-06,5.322351e-06,6.053285e-06,6.170690e-06,6.787408e-06,7.139202e-06,7.518971e-06,8.098985e-06,8.242957e-06,8.954985e-06,9.039439e-06,9.651267e-06,9.951794e-06,1.032859e-05,1.082902e-05,1.098429e-05,1.161625e-05,1.166572e-05,1.222281e-05,1.245805e-05,1.280281e-05,1.320349e-05,1.335544e-05,1.388029e-05,1.390070e-05,1.437724e-05,1.454933e-05,1.484644e-05,1.514982e-05,1.528824e-05,1.570315e-05,1.609181e-05,1.621076e-05,1.645498e-05,1.667439e-05,1.679345e-05,1.709597e-05,1.710811e-05,1.739987e-05,1.747759e-05,1.766966e-05,1.782138e-05,1.791843e-05,1.812953e-05,1.814711e-05,1.835667e-05,1.840422e-05,1.854807e-05,1.864768e-05,1.872226e-05,1.886197e-05,1.888008e-05,1.902236e-05,1.904902e-05,1.914993e-05,1.921072e-05,1.926358e-05,1.934883e-05,1.936405e-05,1.945207e-05,1.946504e-05,1.952831e-05,1.956093e-05,1.959346e-05,1.963801e-05,1.964813e-05,1.969294e-05,1.969768e-05,1.972845e-05,1.974127e-05,1.975521e-05,1.977001e-05,1.977373e-05,1.978451e-05,1.978505e-05,1.978803e-05,1.978750e-05,1.978472e-05,1.977836e-05,1.977502e-05,1.975932e-05,1.975858e-05,1.973801e-05,1.972904e-05,1.971146e-05,1.969057e-05,1.967999e-05,1.964394e-05,1.960363e-05,1.958987e-05,1.955933e-05,1.952902e-05,1.951134e-05,1.946202e-05,1.945990e-05,1.940528e-05,1.938944e-05,1.934770e-05,1.931182e-05,1.928738e-05,1.922966e-05,1.922454e-05,1.915938e-05,1.914341e-05,1.909208e-05,1.905352e-05,1.902282e-05,1.896038e-05,1.895177e-05,1.887909e-05,1.886437e-05,1.880492e-05,1.876581e-05,1.872941e-05,1.866504e-05,1.865269e-05,1.857489e-05,1.856235e-05,1.849612e-05,1.845801e-05,1.841650e-05,1.835227e-05,1.833614e-05,1.825512e-05,1.824536e-05,1.817355e-05,1.813751e-05,1.809151e-05,1.802890e-05,1.800909e-05,1.792636e-05,1.791973e-05,1.784340e-05,1.781016e-05,1.776027e-05,1.770035e-05,1.767704e-05,1.759377e-05,1.759044e-05,1.751052e-05,1.748057e-05,1.742734e-05,1.737084e-05,1.734428e-05,1.726139e-05,1.715230e-05,1.704366e-05,1.693557e-05,1.682811e-05,1.672133e-05,1.661530e-05,1.651009e-05,1.640574e-05,1.630231e-05,1.619982e-05,1.609833e-05,1.599786e-05,1.589844e-05,1.580011e-05,1.570287e-05,1.560675e-05,1.551177e-05,1.541795e-05,1.532528e-05,1.523379e-05,1.514348e-05,1.505435e-05,1.496641e-05,1.487966e-05
0.000000e+00,3.250380e-11,1.671365e-10,1.904844e-09,9.531289e-09,1.989733e-08,9.701082e-08,1.026950e-07,3.605451e-07,4.886643e-07,9.929313e-07,1.677553e-06,2.314601e-06,4.526648e-06,4.779243e-06,8.999949e-06,1.035786e-05,1.576325e-05,2.101285e-05,2.603067e-05,3.885162e-05,4.092332e-05,6.169127e-05,6.666667e-05,8.967380e-05,1.075354e-04,1.262570e-04,1.646527e-04,1.728331e-04,2.307625e-04,2.411726e-04,3.013411e-04,3.400691e-04,3.857710e-04,4.640206e-04,4.851359e-04,6.003797e-04,6.153151e-04,7.322899e-04,7.957757e-04,8.814837e-04,1.006706e-03,1.048398e-03,1.233285e-03,1.248855e-03,1.436204e-03,1.522400e-03,1.657032e-03,1.826949e-03,1.895458e-03,2.150996e-03,2.161565e-03,2.422996e-03,2.524794e-03,2.710651e-03,2.914724e-03,3.013020e-03,3.329036e-03,3.657530e-03,3.765080e-03,3.997246e-03,4.219944e-03,4.346859e-03,4.690526e-03,4.704998e-03,5.070256e-03,5.173612e-03,5.441216e-03,5.665939e-03,5.816460e-03,6.164264e-03,6.194588e-03,6.574228e-03,6.665417e-03,6.954050e-03,7.166353e-03,7.332779e-03,7.664188e-03,7.709198e-03,8.082157e-03,8.156238e-03,8.450583e-03,8.640038e-03,8.813477e-03,9.113361e-03,9.169924e-03,9.519090e-03,9.574229e-03,9.860224e-03,1.002092e-02,1.019266e-02,1.045195e-02,1.051581e-02,1.082917e-02,1.086609e-02,1.113230e-02,1.126235e-02,1.142486e-02,1.163995e-02,1.170655e-02,1.197716e-02,1.199832e-02,1.223653e-02,1.233710e-02,1.248455e-02,1.265608e-02,1.272120e-02,1.294646e-02,1.295523e-02,1.316039e-02,1.323465e-02,1.336308e-02,1.349456e-02,1.355466e-02,1.373528e-02,1.390514e-02,1.395726e-02,1.406445e-02,1.416098e-02,1.421345e-02,1.434702e-02,1.435239e-02,1.448153e-02,1.451598e-02,1.460118e-02,1.466852e-02,1.471161e-02,1.480533e-02,1.481313e-02,1.490605e-02,1.492711e-02,1.499068e-02,1.503457e-02,1.506734e-02,1.512844e-02,1.513633e-02,1.519797e-02,1.520945e-02,1.525257e-02,1.527829e-02,1.530044e-02,1.533567e-02,1.534188e-02,1.537719e-02,1.538229e-02,1.540666e-02,1.541881e-02,1.543057e-02,1.544589e-02,1.544920e-02,1.546283e-02,1.546414e-02,1.547171e-02,1.547418e-02,1.547609e-02,1.547658e-02,1.547624e-02,1.547237e-02,1.547190e-02,1.546473e-02,1.546066e-02,1.545353e-02,1.544338e-02,1.543898e-02,1.542129e-02,1.542052e-02,1.540065e-02,1.539253e-02,1.537725e-02,1.535985e-02,1.535127e-02,1.532288e-02,1.528199e-02,1.523754e-02,1.518987e-02,1.513928e-02,1.508607e-02,1.503052e-02,1.497288e-02,1.491339e-02,1.485227e-02,1.478972e-02,1.472594e-02,1.466110e-02,1.459538e-02,1.452891e-02,1.446184e-02,1.439430e-02,1.432642e-02,1.425829e-02,1.419003e-02,1.412173e-02,1.405346e-02,1.398532e-02,1.391736e-02,1.384967e-02
0.000000e+00,3.429284e-09,7.868482e-09,2.706465e-08,6.146043e-08,8.953569e-08,2.021890e-07,2.082293e-07,4.001800e-07,4.694174e-07,6.828951e-07,9.036744e-07,1.074621e-06,1.546400e-06,1.592858e-06,2.249631e-06,2.428213e-06,3.045468e-06,3.547986e-06,3.969092e-06,4.874315e-06,5.003776e-06,6.132921e-06,6.368755e-06,7.341748e-06,7.997375e-06,8.616958e-06,9.730290e-06,9.946070e-06,1.131701e-05,1.153945e-05,1.271799e-05,1.339774e-05,1.413751e-05,1.527904e-05,1.556453e-05,1.698866e-05,1.715890e-05,1.840029e-05,1.901516e-05,1.979070e-05,2.082846e-05,2.115221e-05,2.247818e-05,2.258255e-05,2.376306e-05,2.426445e-05,2.500229e-05,2.586425e-05,2.619233e-05,2.733053e-05,2.737495e-05,2.841504e-05,2.879209e-05,2.944477e-05,3.011341e-05,3.041922e-05,3.133846e-05,3.220300e-05,3.246823e-05,3.301372e-05,3.350487e-05,3.377180e-05,3.445135e-05,3.447867e-05,3.513592e-05,3.531129e-05,3.574529e-05,3.608870e-05,3.630863e-05,3.678786e-05,3.682781e-05,3.730476e-05,3.741316e-05,3.774141e-05,3.796904e-05,3.813967e-05,3.845989e-05,3.850143e-05,3.882854e-05,3.888996e-05,3.912280e-05,3.926342e-05,3.938596e-05,3.958423e-05,3.961972e-05,3.982569e-05,3.985617e-05,4.000544e-05,4.008284e-05,4.016046e-05,4.026765e-05,4.029220e-05,4.040203e-05,4.041380e-05,4.049124e-05,4.052429e-05,4.056109e-05,4.060195e-05,4.061276e-05,4.064736e-05,4.064943e-05,4.066598e-05,4.066918e-05,4.066963e-05,4.066352e-05,4.065926e-05,4.063579e-05,4.063460e-05,4.060009e-05,4.058440e-05,4.055296e-05,4.051479e-05,4.049519e-05,4.042750e-05,4.035059e-05,4.032413e-05,4.026510e-05,4.020619e-05,4.017167e-05,4.007504e-05,4.007087e-05,3.996325e-05,3.993197e-05,3.984934e-05,3.977818e-05,3.972962e-05,3.961475e-05,3.960456e-05,3.947459e-05,3.944272e-05,3.934013e-05,3.926302e-05,3.920157e-05,3.907653e-05,3.905926e-05,3.891357e-05,3.888405e-05,3.876480e-05,3.868633e-05,3.861326e-05,3.848405e-05,3.845925e-05,3.830304e-05,3.827785e-05,3.814487e-05,3.806832e-05,3.798499e-05,3.785600e-05,3.782362e-05,3.766097e-05,3.764137e-05,3.749724e-05,3.742491e-05,3.733262e-05,3.720702e-05,3.716729e-05,3.700140e-05,3.698811e-05,3.683510e-05,3.676851e-05,3.666856e-05,3.654856e-05,3.650188e-05,3.633521e-05,3.632855e-05,3.616867e-05,3.610876e-05,3.600235e-05,3.588944e-05,3.583637e-05,3.567081e-05,3.545309e-05,3.523645e-05,3.502108e-05,3.480712e-05,3.459473e-05,3.438402e-05,3.417511e-05,3.396810e-05,3.376308e-05,3.356013e-05,3.335933e-05,3.316074e-05,3.296441e-05,3.277040e-05,3.257873e-05,3.238945e-05,3.220258e-05,3.201815e-05,3.183618e-05,3.165668e-05,3.147965e-05,3.130511e-05,3.113306e-05,3.096350e-05
0.000000e+00,4.839545e-10,1.528907e-09,7.538070e-09,2.037790e-08,3.170379e-08,8.044267e-08,8.314580e-08,1.714686e-07,2.040818e-07,3.060076e-07,4.127701e-07,4.960158e-07,7.274557e-07,7.503564e-07,1.076079e-06,1.165316e-06,1.476208e-06,1.732305e-06,1.949066e-06,2.421707e-06,2.490039e-06,3.093541e-06,3.221240e-06,3.753811e-06,4.117639e-06,4.464962e-06,5.097193e-06,5.220891e-06,6.015243e-06,6.145469e-06,6.841464e-06,7.247419e-06,7.692912e-06,8.387800e-06,8.562997e-06,9.445323e-06,9.551733e-06,1.033381e-05,1.072522e-05,1.122280e-05,1.189558e-05,1.210714e-05,1.298223e-05,1.305172e-05,1.384404e-05,1.418424e-05,1.468905e-05,1.528539e-05,1.551434e-05,1.631747e-05,1.634911e-05,1.709650e-05,1.737075e-05,1.784992e-05,1.834703e-05,1.857661e-05,1.927580e-05,1.994702e-05,2.015587e-05,2.059006e-05,2.098680e-05,2.120491e-05,2.176884e-05,2.179179e-05,2.235103e-05,2.250273e-05,2.288311e-05,2.318956e-05,2.338861e-05,2.383075e-05,2.386818e-05,2.432253e-05,2.442791e-05,2.475242e-05,2.498277e-05,2.515865e-05,2.549720e-05,2.554202e-05,2.590336e-05,2.597306e-05,2.624351e-05,2.641228e-05,2.656328e-05,2.681674e-05,2.686349e-05,2.714497e-05,2.718832e-05,2.740850e-05,2.752884e-05,2.765486e-05,2.784010e-05,2.788481e-05,2.809909e-05,2.812379e-05,2.829843e-05,2.838158e-05,2.848351e-05,2.861505e-05,2.865501e-05,2.881358e-05,2.882572e-05,2.895985e-05,2.901505e-05,2.909442e-05,2.918439e-05,2.921787e-05,2.933077e-05,2.933508e-05,2.943366e-05,2.946834e-05,2.952704e-05,2.958537e-05,2.961142e-05,2.968727e-05,2.975504e-05,2.977509e-05,2.981517e-05,2.984984e-05,2.986808e-05,2.991245e-05,2.991417e-05,2.995382e-05,2.996381e-05,2.998738e-05,3.000475e-05,3.001522e-05,3.003606e-05,3.003767e-05,3.005503e-05,3.005848e-05,3.006762e-05,3.007269e-05,3.007572e-05,3.007935e-05,3.007960e-05,3.007954e-05,3.007907e-05,3.007578e-05,3.007243e-05,3.006855e-05,3.005997e-05,3.005809e-05,3.004460e-05,3.004218e-05,3.002830e-05,3.001954e-05,3.000938e-05,2.999248e-05,2.998803e-05,2.996441e-05,2.996143e-05,2.993870e-05,2.992677e-05,2.991106e-05,2.988885e-05,2.988163e-05,2.985057e-05,2.984801e-05,2.981799e-05,2.980457e-05,2.978404e-05,2.975882e-05,2.974884e-05,2.971249e-05,2.971101e-05,2.967511e-05,2.966142e-05,2.963680e-05,2.961027e-05,2.959766e-05,2.955778e-05,2.950416e-05,2.944958e-05,2.939422e-05,2.933824e-05,2.928179e-05,2.922500e-05,2.916800e-05,2.911091e-05,2.905383e-05,2.899685e-05,2.894007e-05,2.888357e-05,2.882741e-05,2.877167e-05,2.871641e-05,2.866168e-05,2.860754e-05,2.855401e-05,2.850115e-05,2.844899e-05,2.839756e-05,2.834689e-05,2.829700e-05,2.824790e-05
0.000000e+00,1.012825e-09,2.313948e-09,7.925622e-09,1.799829e-08,2.626065e-08,5.988879e-08,6.171480e-08,1.209552e-07,1.428595e-07,2.117496e-07,2.841751e-07,3.402998e-07,4.922563e-07,5.068904e-07,7.071324e-07,7.596557e-07,9.363835e-07,1.076115e-06,1.191212e-06,1.434530e-06,1.468999e-06,1.767399e-06,1.829344e-06,2.084020e-06,2.255017e-06,2.416285e-06,2.705443e-06,2.761405e-06,3.116415e-06,3.173929e-06,3.478237e-06,3.653420e-06,3.843773e-06,4.136836e-06,4.209993e-06,4.574014e-06,4.617419e-06,4.933159e-06,5.089005e-06,5.285013e-06,5.546231e-06,5.627457e-06,5.958684e-06,5.984650e-06,6.277202e-06,6.400777e-06,6.581832e-06,6.792057e-06,6.871686e-06,7.146147e-06,7.156799e-06,7.404841e-06,7.494074e-06,7.647608e-06,7.803598e-06,7.874473e-06,8.085615e-06,8.281342e-06,8.340784e-06,8.462065e-06,8.570076e-06,8.628272e-06,8.774685e-06,8.780514e-06,8.919383e-06,8.955954e-06,9.045498e-06,9.115310e-06,9.159496e-06,9.254220e-06,9.262014e-06,9.353692e-06,9.374151e-06,9.435154e-06,9.476540e-06,9.507013e-06,9.562777e-06,9.569863e-06,9.624273e-06,9.634191e-06,9.670792e-06,9.692038e-06,9.709943e-06,9.737501e-06,9.742224e-06,9.768105e-06,9.771682e-06,9.788033e-06,9.795608e-06,9.802429e-06,9.810230e-06,9.811689e-06,9.816188e-06,9.816424e-06,9.816274e-06,9.815000e-06,9.812278e-06,9.806701e-06,9.804508e-06,9.793251e-06,9.792208e-06,9.778779e-06,9.772146e-06,9.761343e-06,9.747088e-06,9.741180e-06,9.718511e-06,9.717555e-06,9.693541e-06,9.684026e-06,9.666462e-06,9.646936e-06,9.637454e-06,9.606685e-06,9.574311e-06,9.563636e-06,9.540476e-06,9.518119e-06,9.505318e-06,9.470437e-06,9.468961e-06,9.431526e-06,9.420866e-06,9.393121e-06,9.369655e-06,9.353848e-06,9.317034e-06,9.313804e-06,9.273077e-06,9.263210e-06,9.231749e-06,9.208372e-06,9.189898e-06,9.152694e-06,9.147596e-06,9.104909e-06,9.096331e-06,9.061899e-06,9.039426e-06,9.018624e-06,8.982108e-06,8.975138e-06,8.931490e-06,8.924495e-06,8.887727e-06,8.866693e-06,8.843892e-06,8.808799e-06,8.800025e-06,8.756162e-06,8.750901e-06,8.712339e-06,8.693077e-06,8.668586e-06,8.635399e-06,8.624933e-06,8.581408e-06,8.577932e-06,8.538036e-06,8.520735e-06,8.494839e-06,8.463859e-06,8.451840e-06,8.409058e-06,8.407352e-06,8.366512e-06,8.351256e-06,8.324217e-06,8.295608e-06,8.282189e-06,8.240443e-06,8.185790e-06,8.131676e-06,8.078125e-06,8.025155e-06,7.972786e-06,7.921033e-06,7.869908e-06,7.819424e-06,7.769588e-06,7.720410e-06,7.671894e-06,7.624046e-06,7.576868e-06,7.530363e-06,7.484532e-06,7.439375e-06,7.394891e-06,7.351078e-06,7.307934e-06,7.265456e-06,7.223640e-06,7.182482e-06,7.141977e-06,7.102120e-06
0.000000e+00,9.660410e-13,4.735740e-12,4.885186e-11,2.230479e-10,4.426709e-10,1.892317e-09,1.992457e-09,6.132457e-09,8.018394e-09,1.488352e-08,2.336795e-08,3.073597e-08,5.401884e-08,5.651753e-08,9.527413e-08,1.068552e-07,1.501417e-07,1.890454e-07,2.241451e-07,3.071784e-07,3.198837e-07,4.391746e-07,4.659475e-07,5.828004e-07,6.670410e-07,7.504514e-07,9.089342e-07,9.408506e-07,1.151975e-06,1.187514e-06,1.381299e-06,1.497020e-06,1.626012e-06,1.830892e-06,1.883180e-06,2.149867e-06,2.182372e-06,2.423206e-06,2.544872e-06,2.700459e-06,2.912194e-06,2.979044e-06,3.256564e-06,3.278653e-06,3.530827e-06,3.639170e-06,3.799858e-06,3.989333e-06,4.061914e-06,4.315494e-06,4.325442e-06,4.559337e-06,4.644533e-06,4.792424e-06,4.944371e-06,5.013972e-06,5.223422e-06,5.420423e-06,5.480803e-06,5.604812e-06,5.716200e-06,5.776598e-06,5.929796e-06,5.935933e-06,6.083095e-06,6.122168e-06,6.218461e-06,6.294207e-06,6.342490e-06,6.447029e-06,6.455701e-06,6.558653e-06,6.581900e-06,6.651935e-06,6.700173e-06,6.736148e-06,6.803231e-06,6.811893e-06,6.879765e-06,6.892445e-06,6.940342e-06,6.969145e-06,6.994182e-06,7.034592e-06,7.041818e-06,7.083752e-06,7.089965e-06,7.120459e-06,7.136353e-06,7.152381e-06,7.174751e-06,7.179930e-06,7.203485e-06,7.206060e-06,7.223397e-06,7.231088e-06,7.239987e-06,7.250555e-06,7.253549e-06,7.264350e-06,7.265102e-06,7.272636e-06,7.275297e-06,7.278631e-06,7.281642e-06,7.282536e-06,7.284536e-06,7.284579e-06,7.284798e-06,7.284496e-06,7.283472e-06,7.281735e-06,7.280697e-06,7.276597e-06,7.271286e-06,7.269348e-06,7.264868e-06,7.260223e-06,7.257436e-06,7.249429e-06,7.249078e-06,7.239871e-06,7.237151e-06,7.229887e-06,7.223552e-06,7.219193e-06,7.208777e-06,7.207847e-06,7.195905e-06,7.192957e-06,7.183420e-06,7.176208e-06,7.170437e-06,7.158636e-06,7.157001e-06,7.143150e-06,7.140334e-06,7.128924e-06,7.121388e-06,7.114354e-06,7.101875e-06,7.099475e-06,7.084315e-06,7.081866e-06,7.068903e-06,7.061423e-06,7.053264e-06,7.040606e-06,7.037422e-06,7.021401e-06,7.019468e-06,7.005222e-06,6.998057e-06,6.988903e-06,6.976419e-06,6.972464e-06,6.955922e-06,6.954595e-06,6.939293e-06,6.932621e-06,6.922593e-06,6.910533e-06,6.905835e-06,6.889034e-06,6.888362e-06,6.872202e-06,6.866137e-06,6.855351e-06,6.843887e-06,6.838492e-06,6.821636e-06,6.799406e-06,6.777220e-06,6.755096e-06,6.733053e-06,6.711107e-06,6.689273e-06,6.667565e-06,6.645996e-06,6.624578e-06,6.603321e-06,6.582237e-06,6.561332e-06,6.540616e-06,6.520096e-06,6.499778e-06,6.479669e-06,6.459773e-06,6.440097e-06,6.420643e-06,6.401416e-06,6.382418e-06,6.363654e-06,6.345125e-06,6.326832e-06
0.000000e+00,2.351489e-12,1.181637e-11,1.283349e-10,6.142723e-10,1.251277e-09,5.724112e-09,6.043778e-09,1.991514e-08,2.653196e-08,5.164217e-08,8.429419e-08,1.137451e-07,2.118139e-07,2.227144e-07,3.990672e-07,4.540365e-07,6.669255e-07,8.667004e-07,1.052677e-06,1.510676e-06,1.582728e-06,2.281000e-06,2.442646e-06,3.166935e-06,3.706616e-06,4.254370e-06,5.329499e-06,5.551227e-06,7.059796e-06,7.320695e-06,8.777346e-06,9.674084e-06,1.069687e-05,1.237092e-05,1.280781e-05,1.509677e-05,1.538268e-05,1.754803e-05,1.867356e-05,2.014412e-05,2.220245e-05,2.286618e-05,2.569438e-05,2.592461e-05,2.860824e-05,2.979311e-05,3.158696e-05,3.376010e-05,3.460971e-05,3.765592e-05,3.777797e-05,4.070557e-05,4.180055e-05,4.373942e-05,4.578407e-05,4.673926e-05,4.968808e-05,5.257028e-05,5.347616e-05,5.537174e-05,5.711647e-05,5.807998e-05,6.058209e-05,6.068413e-05,6.317505e-05,6.385115e-05,6.554520e-05,6.690681e-05,6.778869e-05,6.973705e-05,6.990115e-05,7.187966e-05,7.233437e-05,7.372266e-05,7.469537e-05,7.542981e-05,7.682033e-05,7.700190e-05,7.844068e-05,7.871266e-05,7.974877e-05,8.037842e-05,8.092952e-05,8.182580e-05,8.198687e-05,8.292527e-05,8.306470e-05,8.374958e-05,8.410623e-05,8.446494e-05,8.496236e-05,8.507669e-05,8.559032e-05,8.564562e-05,8.601137e-05,8.616873e-05,8.634539e-05,8.654444e-05,8.659789e-05,8.677426e-05,8.678524e-05,8.687979e-05,8.690332e-05,8.691959e-05,8.691034e-05,8.689862e-05,8.682162e-05,8.681744e-05,8.669314e-05,8.663512e-05,8.651751e-05,8.637325e-05,8.629883e-05,8.604099e-05,8.574764e-05,8.564684e-05,8.542223e-05,8.519864e-05,8.506798e-05,8.470358e-05,8.468792e-05,8.428486e-05,8.416824e-05,8.386142e-05,8.359859e-05,8.342003e-05,8.300007e-05,8.296298e-05,8.249233e-05,8.237757e-05,8.201004e-05,8.173554e-05,8.151788e-05,8.107793e-05,8.101750e-05,8.051041e-05,8.040831e-05,7.999800e-05,7.972987e-05,7.948154e-05,7.904544e-05,7.896220e-05,7.844103e-05,7.835754e-05,7.791901e-05,7.766840e-05,7.739702e-05,7.697998e-05,7.687585e-05,7.635624e-05,7.629403e-05,7.583885e-05,7.561205e-05,7.532426e-05,7.493538e-05,7.481301e-05,7.430558e-05,7.426516e-05,7.380239e-05,7.360239e-05,7.330382e-05,7.294792e-05,7.281023e-05,7.232189e-05,7.230247e-05,7.183908e-05,7.166667e-05,7.136202e-05,7.104101e-05,7.089092e-05,7.042593e-05,6.982177e-05,6.922879e-05,6.864720e-05,6.807716e-05,6.751876e-05,6.697206e-05,6.643708e-05,6.591380e-05,6.540217e-05,6.490212e-05,6.441356e-05,6.393636e-05,6.347040e-05,6.301553e-05,6.257158e-05,6.213840e-05,6.171579e-05,6.130357e-05,6.090155e-05,6.050954e-05,6.012733e-05,5.975472e-05,5.939151e-05,5.903749e-05
0.000000e+00,3.189466e-12,1.566082e-11,1.623808e-10,7.470888e-10,1.491373e-09,6.518649e-09,6.871611e-09,2.192957e-08,2.904079e-08,5.599826e-08,9.127658e-08,1.234046e-07,2.322466e-07,2.444815e-07,4.441858e-07,5.066255e-07,7.468399e-07,9.681539e-07,1.169720e-06,1.646932e-06,1.719593e-06,2.393115e-06,2.541802e-06,3.179495e-06,3.628096e-06,4.063639e-06,4.869590e-06,5.028749e-06,6.058073e-06,6.227653e-06,7.135874e-06,7.666182e-06,8.247859e-06,9.153430e-06,9.381261e-06,1.052478e-05,1.066219e-05,1.166844e-05,1.216940e-05,1.280349e-05,1.365563e-05,1.392229e-05,1.501821e-05,1.510473e-05,1.608563e-05,1.650353e-05,1.711982e-05,1.784169e-05,1.811696e-05,1.907403e-05,1.911144e-05,1.998879e-05,2.030743e-05,2.085969e-05,2.142637e-05,2.168584e-05,2.246686e-05,2.320289e-05,2.342899e-05,2.389445e-05,2.431410e-05,2.454241e-05,2.512449e-05,2.514791e-05,2.571230e-05,2.586316e-05,2.623707e-05,2.653359e-05,2.672384e-05,2.713957e-05,2.717431e-05,2.759019e-05,2.768505e-05,2.797322e-05,2.817401e-05,2.832512e-05,2.861040e-05,2.864759e-05,2.894229e-05,2.899804e-05,2.921082e-05,2.934062e-05,2.945471e-05,2.964163e-05,2.967545e-05,2.987446e-05,2.990437e-05,3.005306e-05,3.013192e-05,3.021254e-05,3.032717e-05,3.035410e-05,3.047888e-05,3.049278e-05,3.058796e-05,3.063124e-05,3.068235e-05,3.074484e-05,3.076299e-05,3.083079e-05,3.083569e-05,3.088659e-05,3.090572e-05,3.093117e-05,3.095673e-05,3.096527e-05,3.098959e-05,3.099037e-05,3.100479e-05,3.100814e-05,3.101146e-05,3.101143e-05,3.101019e-05,3.100151e-05,3.098593e-05,3.097956e-05,3.096390e-05,3.094664e-05,3.093589e-05,3.090374e-05,3.090230e-05,3.086351e-05,3.085177e-05,3.081990e-05,3.079157e-05,3.077181e-05,3.072388e-05,3.071955e-05,3.066344e-05,3.064942e-05,3.060374e-05,3.056884e-05,3.054072e-05,3.048272e-05,3.047464e-05,3.040572e-05,3.039162e-05,3.033419e-05,3.029603e-05,3.026025e-05,3.019642e-05,3.018409e-05,3.010590e-05,3.009321e-05,3.002585e-05,2.998680e-05,2.994409e-05,2.987756e-05,2.986078e-05,2.977605e-05,2.976580e-05,2.969006e-05,2.965184e-05,2.960291e-05,2.953597e-05,2.951472e-05,2.942561e-05,2.941845e-05,2.933568e-05,2.929951e-05,2.924504e-05,2.917937e-05,2.915376e-05,2.906194e-05,2.905826e-05,2.896966e-05,2.893634e-05,2.887700e-05,2.881381e-05,2.878403e-05,2.869081e-05,2.856750e-05,2.844402e-05,2.832050e-05,2.819704e-05,2.807376e-05,2.795076e-05,2.782812e-05,2.770594e-05,2.758429e-05,2.746324e-05,2.734285e-05,2.722319e-05,2.710431e-05,2.698626e-05,2.686909e-05,2.675283e-05,2.663753e-05,2.652322e-05,2.640992e-05,2.629768e-05,2.618651e-05,2.607643e-05,2.596747e-05,2.585965e-05
0.000000e+00,8.587291e-12,3.993255e-11,3.705127e-10,1.542612e-09,2.915685e-09,1.105660e-08,1.158740e-08,3.197741e-08,4.065823e-08,7.057407e-08,1.053162e-07,1.342318e-07,2.209283e-07,2.299281e-07,3.646579e-07,4.035665e-07,5.452155e-07,6.686369e-07,7.775765e-07,1.028156e-06,1.065741e-06,1.410378e-06,1.485854e-06,1.808085e-06,2.033634e-06,2.251805e-06,2.653262e-06,2.732162e-06,3.238994e-06,3.321879e-06,3.762537e-06,4.017164e-06,4.294071e-06,4.720008e-06,4.826156e-06,5.352609e-06,5.415154e-06,5.868379e-06,6.090852e-06,6.369394e-06,6.738285e-06,6.852429e-06,7.314996e-06,7.351057e-06,7.755251e-06,7.924803e-06,8.171921e-06,8.456869e-06,8.564234e-06,8.931850e-06,8.946040e-06,9.274799e-06,9.392280e-06,9.593421e-06,9.796480e-06,9.888305e-06,1.016024e-05,1.041016e-05,1.048565e-05,1.063911e-05,1.077513e-05,1.084819e-05,1.103129e-05,1.103855e-05,1.121136e-05,1.125676e-05,1.136776e-05,1.145419e-05,1.150888e-05,1.162614e-05,1.163579e-05,1.174955e-05,1.177500e-05,1.185113e-05,1.190305e-05,1.194148e-05,1.201239e-05,1.202147e-05,1.209191e-05,1.210492e-05,1.215357e-05,1.218240e-05,1.220715e-05,1.224640e-05,1.225332e-05,1.229266e-05,1.229836e-05,1.232575e-05,1.233956e-05,1.235309e-05,1.237115e-05,1.237516e-05,1.239238e-05,1.239414e-05,1.240516e-05,1.240947e-05,1.241387e-05,1.241796e-05,1.241883e-05,1.242035e-05,1.242034e-05,1.241873e-05,1.241726e-05,1.241421e-05,1.240931e-05,1.240705e-05,1.239745e-05,1.239702e-05,1.238562e-05,1.238085e-05,1.237174e-05,1.236123e-05,1.235600e-05,1.233853e-05,1.231950e-05,1.231310e-05,1.229903e-05,1.228524e-05,1.227725e-05,1.225521e-05,1.225427e-05,1.223020e-05,1.222328e-05,1.220514e-05,1.218967e-05,1.217918e-05,1.215457e-05,1.215240e-05,1.212488e-05,1.211817e-05,1.209669e-05,1.208064e-05,1.206790e-05,1.204213e-05,1.203858e-05,1.200878e-05,1.200277e-05,1.197856e-05,1.196269e-05,1.194796e-05,1.192200e-05,1.191704e-05,1.188583e-05,1.188081e-05,1.185438e-05,1.183921e-05,1.182273e-05,1.179729e-05,1.179091e-05,1.175896e-05,1.175512e-05,1.172690e-05,1.171277e-05,1.169477e-05,1.167032e-05,1.166259e-05,1.163039e-05,1.162781e-05,1.159819e-05,1.158531e-05,1.156601e-05,1.154287e-05,1.153388e-05,1.150181e-05,1.150052e-05,1.146982e-05,1.145832e-05,1.143792e-05,1.141630e-05,1.140614e-05,1.137449e-05,1.133293e-05,1.129164e-05,1.125066e-05,1.121000e-05,1.116968e-05,1.112973e-05,1.109016e-05,1.105099e-05,1.101223e-05,1.097390e-05,1.093600e-05,1.089855e-05,1.086155e-05,1.082501e-05,1.078894e-05,1.075335e-05,1.071823e-05,1.068359e-05,1.064944e-05,1.061577e-05,1.058259e-05,1.054990e-05,1.051770e-05,1.048599e-05
0.000000e+00,7.241811e-11,3.138440e-10,2.546435e-09,9.514762e-09,1.704243e-08,5.726969e-08,5.975692e-08,1.500922e-07,1.867791e-07,3.094366e-07,4.479737e-07,5.616651e-07,8.987001e-07,9.335086e-07,1.452263e-06,1.601211e-06,2.138840e-06,2.599661e-06,2.999422e-06,3.892636e-06,4.023515e-06,5.190041e-06,5.438321e-06,6.475120e-06,7.182761e-06,7.856669e-06,9.077709e-06,9.315646e-06,1.083562e-05,1.108348e-05,1.240195e-05,1.316628e-05,1.400123e-05,1.529595e-05,1.562095e-05,1.724942e-05,1.744490e-05,1.887579e-05,1.958813e-05,2.049014e-05,2.170349e-05,2.208357e-05,2.364828e-05,2.377201e-05,2.517755e-05,2.577803e-05,2.666574e-05,2.770919e-05,2.810826e-05,2.950152e-05,2.955619e-05,3.084279e-05,3.131253e-05,3.213016e-05,3.297414e-05,3.336242e-05,3.453896e-05,3.565969e-05,3.600658e-05,3.672494e-05,3.737791e-05,3.773543e-05,3.865487e-05,3.869212e-05,3.959622e-05,3.984013e-05,4.044912e-05,4.093691e-05,4.125233e-05,4.194877e-05,4.200745e-05,4.271616e-05,4.287954e-05,4.338017e-05,4.373313e-05,4.400119e-05,4.451351e-05,4.458096e-05,4.512118e-05,4.522462e-05,4.562354e-05,4.587036e-05,4.608971e-05,4.645450e-05,4.652129e-05,4.691988e-05,4.698070e-05,4.728700e-05,4.745248e-05,4.762414e-05,4.787321e-05,4.793271e-05,4.821412e-05,4.824612e-05,4.846967e-05,4.857426e-05,4.870067e-05,4.886055e-05,4.890832e-05,4.909382e-05,4.910774e-05,4.925829e-05,4.931843e-05,4.940282e-05,4.949511e-05,4.952843e-05,4.963613e-05,4.964008e-05,4.972686e-05,4.975555e-05,4.980153e-05,4.984357e-05,4.986100e-05,4.990610e-05,4.993761e-05,4.994495e-05,4.995629e-05,4.996185e-05,4.996287e-05,4.995842e-05,4.995801e-05,4.994238e-05,4.993616e-05,4.991660e-05,4.989650e-05,4.988125e-05,4.984077e-05,4.983691e-05,4.978411e-05,4.977024e-05,4.972336e-05,4.968606e-05,4.965516e-05,4.958933e-05,4.957996e-05,4.949820e-05,4.948110e-05,4.941031e-05,4.936232e-05,4.931668e-05,4.923389e-05,4.921770e-05,4.911373e-05,4.909665e-05,4.900510e-05,4.895141e-05,4.889216e-05,4.879889e-05,4.877519e-05,4.865451e-05,4.863979e-05,4.853039e-05,4.847475e-05,4.840309e-05,4.830438e-05,4.827287e-05,4.813997e-05,4.812923e-05,4.800462e-05,4.794983e-05,4.786702e-05,4.776668e-05,4.772739e-05,4.758593e-05,4.758023e-05,4.744280e-05,4.739091e-05,4.729820e-05,4.719911e-05,4.715228e-05,4.700520e-05,4.680953e-05,4.661242e-05,4.641417e-05,4.621506e-05,4.601534e-05,4.581524e-05,4.561500e-05,4.541483e-05,4.521489e-05,4.501539e-05,4.481647e-05,4.461828e-05,4.442098e-05,4.422468e-05,4.402949e-05,4.383554e-05,4.364291e-05,4.345170e-05,4.326199e-05,4.307385e-05,4.288736e-05,4.270256e-05,4.251952e-05,4.233829e-05
0.000000e+00,5.593795e-09,1.283265e-08,4.427362e-08,1.009959e-07,1.475584e-07,3.360794e-07,3.462509e-07,6.721409e-07,7.908004e-07,1.159791e-06,1.545768e-06,1.847285e-06,2.689508e-06,2.773141e-06,3.966188e-06,4.293596e-06,5.433542e-06,6.370193e-06,7.160592e-06,8.875657e-06,9.122659e-06,1.129453e-05,1.175203e-05,1.365338e-05,1.494688e-05,1.617829e-05,1.841292e-05,1.884928e-05,2.164656e-05,2.210452e-05,2.455024e-05,2.597595e-05,2.754040e-05,2.998146e-05,3.059722e-05,3.370134e-05,3.407611e-05,3.683411e-05,3.821704e-05,3.997795e-05,4.236455e-05,4.311649e-05,4.623481e-05,4.648299e-05,4.931950e-05,5.054125e-05,5.235872e-05,5.451296e-05,5.534217e-05,5.826108e-05,5.837639e-05,6.110809e-05,6.211421e-05,6.387717e-05,6.571314e-05,6.656353e-05,6.916345e-05,7.167420e-05,7.245848e-05,7.409390e-05,7.559417e-05,7.642141e-05,7.856865e-05,7.865626e-05,8.079852e-05,8.138182e-05,8.284872e-05,8.403503e-05,8.480780e-05,8.653076e-05,8.667702e-05,8.845791e-05,8.887236e-05,9.015220e-05,9.106390e-05,9.176183e-05,9.310990e-05,9.328885e-05,9.473541e-05,9.501527e-05,9.610376e-05,9.678516e-05,9.739619e-05,9.842487e-05,9.861503e-05,9.976262e-05,9.993977e-05,1.008413e-04,1.013353e-04,1.018534e-04,1.026167e-04,1.028013e-04,1.036872e-04,1.037895e-04,1.045134e-04,1.048586e-04,1.052822e-04,1.058294e-04,1.059957e-04,1.066561e-04,1.067067e-04,1.072655e-04,1.074954e-04,1.078259e-04,1.082002e-04,1.083393e-04,1.088077e-04,1.088255e-04,1.092329e-04,1.093758e-04,1.096168e-04,1.098552e-04,1.099612e-04,1.102678e-04,1.105383e-04,1.106175e-04,1.107743e-04,1.109080e-04,1.109774e-04,1.111428e-04,1.111491e-04,1.112909e-04,1.113255e-04,1.114043e-04,1.114592e-04,1.114905e-04,1.115470e-04,1.115510e-04,1.115869e-04,1.115920e-04,1.115996e-04,1.115971e-04,1.115903e-04,1.115648e-04,1.115601e-04,1.115100e-04,1.114977e-04,1.114412e-04,1.113984e-04,1.113548e-04,1.112691e-04,1.112516e-04,1.111326e-04,1.111121e-04,1.109988e-04,1.109295e-04,1.108509e-04,1.107232e-04,1.106900e-04,1.105167e-04,1.104952e-04,1.103319e-04,1.102471e-04,1.101363e-04,1.099808e-04,1.099306e-04,1.097154e-04,1.096979e-04,1.094916e-04,1.093997e-04,1.092596e-04,1.090878e-04,1.090200e-04,1.087736e-04,1.087636e-04,1.085207e-04,1.084282e-04,1.082619e-04,1.080829e-04,1.079978e-04,1.077288e-04,1.073670e-04,1.069985e-04,1.066242e-04,1.062450e-04,1.058617e-04,1.054751e-04,1.050860e-04,1.046949e-04,1.043025e-04,1.039095e-04,1.035163e-04,1.031234e-04,1.027315e-04,1.023407e-04,1.019517e-04,1.015648e-04,1.011802e-04,1.007984e-04,1.004195e-04,1.000440e-04,9.967198e-05,9.930372e-05,9.893940e-05,9.857922e-05
0.000000e+00,4.253305e-10,1.662871e-09,1.124103e-08,3.673009e-08,6.180766e-08,1.821804e-07,1.892321e-07,4.321325e-07,5.263411e-07,8.314329e-07,1.163700e-06,1.428922e-06,2.181146e-06,2.256140e-06,3.322199e-06,3.612821e-06,4.618510e-06,5.439861e-06,6.131240e-06,7.630685e-06,7.846826e-06,9.751706e-06,1.015412e-05,1.183090e-05,1.297534e-05,1.406717e-05,1.605274e-05,1.644091e-05,1.893055e-05,1.933813e-05,2.151318e-05,2.277895e-05,2.416523e-05,2.632110e-05,2.686329e-05,2.958469e-05,2.991180e-05,3.230813e-05,3.350196e-05,3.501400e-05,3.704785e-05,3.768478e-05,4.030520e-05,4.051225e-05,4.286221e-05,4.386476e-05,4.534497e-05,4.708159e-05,4.774474e-05,5.005474e-05,5.014519e-05,5.226992e-05,5.304346e-05,5.438680e-05,5.576900e-05,5.640326e-05,5.831831e-05,6.013197e-05,6.069103e-05,6.184504e-05,6.288927e-05,6.345899e-05,6.491698e-05,6.497581e-05,6.639793e-05,6.677951e-05,6.772804e-05,6.848317e-05,6.896911e-05,7.003492e-05,7.012425e-05,7.119668e-05,7.144211e-05,7.218967e-05,7.271227e-05,7.310652e-05,7.385297e-05,7.395051e-05,7.472490e-05,7.487171e-05,7.543288e-05,7.577582e-05,7.607757e-05,7.657245e-05,7.666203e-05,7.718922e-05,7.726845e-05,7.766200e-05,7.787042e-05,7.808313e-05,7.838465e-05,7.845529e-05,7.878104e-05,7.881713e-05,7.906285e-05,7.917354e-05,7.930309e-05,7.945927e-05,7.950403e-05,7.966783e-05,7.967940e-05,7.979658e-05,7.983871e-05,7.989226e-05,7.994174e-05,7.995676e-05,7.999190e-05,7.999272e-05,7.999939e-05,7.999564e-05,7.998089e-05,7.995426e-05,7.993796e-05,7.987209e-05,7.978470e-05,7.975242e-05,7.967715e-05,7.959833e-05,7.955071e-05,7.941271e-05,7.940662e-05,7.924602e-05,7.919825e-05,7.907003e-05,7.895748e-05,7.887968e-05,7.869274e-05,7.867598e-05,7.845986e-05,7.840624e-05,7.823222e-05,7.810003e-05,7.799391e-05,7.777602e-05,7.774574e-05,7.748846e-05,7.743597e-05,7.722280e-05,7.708157e-05,7.694943e-05,7.671434e-05,7.666902e-05,7.638217e-05,7.633572e-05,7.608946e-05,7.594704e-05,7.579144e-05,7.554955e-05,7.548863e-05,7.518152e-05,7.514440e-05,7.487057e-05,7.473265e-05,7.455623e-05,7.431530e-05,7.423889e-05,7.391895e-05,7.389326e-05,7.359679e-05,7.346738e-05,7.327274e-05,7.303844e-05,7.294714e-05,7.262028e-05,7.260718e-05,7.229247e-05,7.217427e-05,7.196396e-05,7.174032e-05,7.163503e-05,7.130590e-05,7.087155e-05,7.043774e-05,7.000492e-05,6.957349e-05,6.914383e-05,6.871628e-05,6.829115e-05,6.786872e-05,6.744925e-05,6.703297e-05,6.662010e-05,6.621083e-05,6.580532e-05,6.540372e-05,6.500618e-05,6.461281e-05,6.422372e-05,6.383900e-05,6.345872e-05,6.308297e-05,6.271179e-05,6.234524e-05,6.198334e-05,6.162614e-05
0.000000e+00,1.712353e-09,4.360778e-09,1.668945e-08,3.986903e-08,5.932049e-08,1.408280e-07,1.453404e-07,2.955684e-07,3.527210e-07,5.365872e-07,7.342018e-07,8.886146e-07,1.304979e-06,1.344670e-06,1.877169e-06,2.013370e-06,2.461340e-06,2.805181e-06,3.082326e-06,3.652760e-06,3.732072e-06,4.405780e-06,4.543069e-06,5.099788e-06,5.467518e-06,5.810514e-06,6.417569e-06,6.534010e-06,7.265854e-06,7.383404e-06,8.001195e-06,8.353899e-06,8.734900e-06,9.317168e-06,9.461736e-06,1.017653e-05,1.026126e-05,1.087439e-05,1.117491e-05,1.155084e-05,1.204820e-05,1.220197e-05,1.282439e-05,1.287286e-05,1.341541e-05,1.364255e-05,1.397297e-05,1.435287e-05,1.449564e-05,1.498258e-05,1.500131e-05,1.543351e-05,1.558705e-05,1.584862e-05,1.611073e-05,1.622852e-05,1.657424e-05,1.688697e-05,1.698028e-05,1.716804e-05,1.733207e-05,1.741910e-05,1.763344e-05,1.764182e-05,1.783796e-05,1.788835e-05,1.800926e-05,1.810085e-05,1.815748e-05,1.827492e-05,1.828432e-05,1.839144e-05,1.841440e-05,1.848043e-05,1.852289e-05,1.855276e-05,1.860375e-05,1.860983e-05,1.865297e-05,1.866003e-05,1.868338e-05,1.869455e-05,1.870221e-05,1.870983e-05,1.871049e-05,1.870918e-05,1.870814e-05,1.869916e-05,1.869149e-05,1.868122e-05,1.866167e-05,1.865611e-05,1.862448e-05,1.862028e-05,1.858694e-05,1.856870e-05,1.854405e-05,1.850818e-05,1.849630e-05,1.844415e-05,1.843980e-05,1.838802e-05,1.836453e-05,1.832827e-05,1.828322e-05,1.826526e-05,1.819930e-05,1.819660e-05,1.813066e-05,1.810535e-05,1.805962e-05,1.801005e-05,1.798640e-05,1.791123e-05,1.783430e-05,1.780934e-05,1.775579e-05,1.770480e-05,1.767588e-05,1.759798e-05,1.759471e-05,1.751243e-05,1.748921e-05,1.742917e-05,1.737879e-05,1.734505e-05,1.726699e-05,1.726018e-05,1.717466e-05,1.715405e-05,1.708859e-05,1.704018e-05,1.700206e-05,1.692559e-05,1.691514e-05,1.682793e-05,1.681045e-05,1.674047e-05,1.669493e-05,1.665286e-05,1.657917e-05,1.656513e-05,1.647736e-05,1.646332e-05,1.638959e-05,1.634748e-05,1.630188e-05,1.623178e-05,1.621426e-05,1.612679e-05,1.611631e-05,1.603951e-05,1.600117e-05,1.595244e-05,1.588644e-05,1.586563e-05,1.577911e-05,1.577220e-05,1.569290e-05,1.565852e-05,1.560704e-05,1.554546e-05,1.552156e-05,1.543647e-05,1.543307e-05,1.535180e-05,1.532143e-05,1.526757e-05,1.521056e-05,1.518380e-05,1.510051e-05,1.499133e-05,1.488304e-05,1.477568e-05,1.466927e-05,1.456385e-05,1.445942e-05,1.435602e-05,1.425366e-05,1.415235e-05,1.405211e-05,1.395294e-05,1.385486e-05,1.375787e-05,1.366197e-05,1.356718e-05,1.347349e-05,1.338091e-05,1.328943e-05,1.319905e-05,1.310978e-05,1.302161e-05,1.293453e-05,1.284855e-05,1.276365e-05
0.000000e+00,1.479181e-10,5.596047e-10,3.581450e-09,1.126835e-08,1.863694e-08,5.289752e-08,5.486789e-08,1.211940e-07,1.462836e-07,2.257479e-07,3.099545e-07,3.759815e-07,5.604631e-07,5.787739e-07,8.404971e-07,9.127418e-07,1.167001e-06,1.380107e-06,1.563466e-06,1.973563e-06,2.034050e-06,2.581284e-06,2.699993e-06,3.205319e-06,3.559352e-06,3.903322e-06,4.542627e-06,4.669479e-06,5.495701e-06,5.632857e-06,6.372700e-06,6.808896e-06,7.290973e-06,8.049143e-06,8.241374e-06,9.215377e-06,9.333464e-06,1.020513e-05,1.064372e-05,1.120341e-05,1.196373e-05,1.220362e-05,1.319972e-05,1.327907e-05,1.418623e-05,1.457703e-05,1.515823e-05,1.584659e-05,1.611132e-05,1.704166e-05,1.707836e-05,1.794595e-05,1.826456e-05,1.882139e-05,1.939901e-05,1.966567e-05,2.047697e-05,2.125387e-05,2.149504e-05,2.199538e-05,2.245106e-05,2.270085e-05,2.334389e-05,2.336996e-05,2.400266e-05,2.417332e-05,2.459917e-05,2.493987e-05,2.515990e-05,2.564469e-05,2.568546e-05,2.617658e-05,2.628942e-05,2.663415e-05,2.687608e-05,2.705912e-05,2.740696e-05,2.745254e-05,2.781550e-05,2.788454e-05,2.814915e-05,2.831144e-05,2.845464e-05,2.869035e-05,2.873315e-05,2.898585e-05,2.902397e-05,2.921392e-05,2.931499e-05,2.941852e-05,2.956605e-05,2.960077e-05,2.976180e-05,2.977975e-05,2.990269e-05,2.995858e-05,3.002450e-05,3.010494e-05,3.012824e-05,3.021491e-05,3.022114e-05,3.028546e-05,3.030938e-05,3.034081e-05,3.037174e-05,3.038183e-05,3.040937e-05,3.041020e-05,3.042423e-05,3.042663e-05,3.042719e-05,3.042279e-05,3.041900e-05,3.040035e-05,3.037191e-05,3.036085e-05,3.033434e-05,3.030577e-05,3.028823e-05,3.023647e-05,3.023416e-05,3.017269e-05,3.015423e-05,3.010434e-05,3.006024e-05,3.002961e-05,2.995562e-05,2.994896e-05,2.986285e-05,2.984142e-05,2.977170e-05,2.971860e-05,2.967590e-05,2.958806e-05,2.957584e-05,2.947188e-05,2.945065e-05,2.936435e-05,2.930714e-05,2.925358e-05,2.915825e-05,2.913987e-05,2.902350e-05,2.900465e-05,2.890475e-05,2.884697e-05,2.878386e-05,2.868578e-05,2.866108e-05,2.853664e-05,2.852161e-05,2.841075e-05,2.835495e-05,2.828360e-05,2.818625e-05,2.815539e-05,2.802629e-05,2.801593e-05,2.789647e-05,2.784438e-05,2.776608e-05,2.767194e-05,2.763528e-05,2.750419e-05,2.749894e-05,2.737294e-05,2.732568e-05,2.724166e-05,2.715243e-05,2.711046e-05,2.697944e-05,2.680694e-05,2.663513e-05,2.646420e-05,2.629433e-05,2.612566e-05,2.595833e-05,2.579247e-05,2.562820e-05,2.546560e-05,2.530478e-05,2.514581e-05,2.498875e-05,2.483368e-05,2.468063e-05,2.452966e-05,2.438079e-05,2.423407e-05,2.408952e-05,2.394716e-05,2.380700e-05,2.366905e-05,2.353331e-05,2.339980e-05,2.326850e-05
0.000000e+00,2.156215e-09,4.935953e-09,1.696452e-08,3.857622e-08,5.626619e-08,1.276076e-07,1.314471e-07,2.540965e-07,2.986108e-07,4.366690e-07,5.806339e-07,6.928852e-07,1.006149e-06,1.037275e-06,1.482810e-06,1.605743e-06,2.036278e-06,2.392589e-06,2.694515e-06,3.351369e-06,3.445987e-06,4.276106e-06,4.450325e-06,5.171140e-06,5.658238e-06,6.119341e-06,6.949520e-06,7.110647e-06,8.136128e-06,8.302819e-06,9.187562e-06,9.699183e-06,1.025722e-05,1.112111e-05,1.133775e-05,1.242225e-05,1.255235e-05,1.350425e-05,1.397797e-05,1.457777e-05,1.538464e-05,1.563742e-05,1.667841e-05,1.676075e-05,1.769656e-05,1.809661e-05,1.868831e-05,1.938435e-05,1.965072e-05,2.058140e-05,2.061793e-05,2.147849e-05,2.179295e-05,2.234063e-05,2.290642e-05,2.316688e-05,2.395669e-05,2.470984e-05,2.494312e-05,2.542642e-05,2.586595e-05,2.610671e-05,2.672613e-05,2.675124e-05,2.736067e-05,2.752512e-05,2.793580e-05,2.826480e-05,2.847755e-05,2.894731e-05,2.898689e-05,2.946485e-05,2.957501e-05,2.991252e-05,3.015039e-05,3.033100e-05,3.067600e-05,3.072140e-05,3.108483e-05,3.115438e-05,3.142241e-05,3.158809e-05,3.173522e-05,3.197964e-05,3.202435e-05,3.229085e-05,3.233146e-05,3.253575e-05,3.264593e-05,3.276005e-05,3.292530e-05,3.296471e-05,3.315067e-05,3.317178e-05,3.331885e-05,3.338744e-05,3.347011e-05,3.357427e-05,3.360530e-05,3.372522e-05,3.373418e-05,3.383066e-05,3.386894e-05,3.392235e-05,3.398027e-05,3.400102e-05,3.406735e-05,3.406976e-05,3.412200e-05,3.413894e-05,3.416560e-05,3.418924e-05,3.419874e-05,3.422201e-05,3.423594e-05,3.423852e-05,3.424107e-05,3.423997e-05,3.423790e-05,3.422748e-05,3.422690e-05,3.420853e-05,3.420212e-05,3.418322e-05,3.416488e-05,3.415139e-05,3.411668e-05,3.411343e-05,3.406972e-05,3.405841e-05,3.402061e-05,3.399089e-05,3.396646e-05,3.391488e-05,3.390758e-05,3.384428e-05,3.383111e-05,3.377685e-05,3.374026e-05,3.370559e-05,3.364295e-05,3.363074e-05,3.355257e-05,3.353977e-05,3.347132e-05,3.343129e-05,3.338721e-05,3.331801e-05,3.330046e-05,3.321128e-05,3.320042e-05,3.311986e-05,3.307898e-05,3.302639e-05,3.295410e-05,3.293105e-05,3.283400e-05,3.282617e-05,3.273541e-05,3.269557e-05,3.263541e-05,3.256263e-05,3.253416e-05,3.243179e-05,3.242767e-05,3.232843e-05,3.229100e-05,3.222420e-05,3.215288e-05,3.211921e-05,3.201357e-05,3.187331e-05,3.173233e-05,3.159082e-05,3.144898e-05,3.130698e-05,3.116499e-05,3.102315e-05,3.088162e-05,3.074051e-05,3.059994e-05,3.046003e-05,3.032086e-05,3.018255e-05,3.004516e-05,2.990877e-05,2.977346e-05,2.963929e-05,2.950631e-05,2.937458e-05,2.924414e-05,2.911504e-05,2.898730e-05,2.886098e-05,2.873609e-05
0.000000e+00,2.971713e-12,1.450411e-11,1.482318e-10,6.710116e-10,1.325487e-09,5.599942e-09,5.893574e-09,1.795002e-08,2.341058e-08,4.321065e-08,6.760206e-08,8.876041e-08,1.556606e-07,1.628504e-07,2.747220e-07,3.082829e-07,4.341931e-07,5.478345e-07,6.505890e-07,8.937639e-07,9.309181e-07,1.277957e-06,1.355247e-06,1.689254e-06,1.926252e-06,2.157486e-06,2.586950e-06,2.671836e-06,3.219727e-06,3.309641e-06,3.788388e-06,4.065185e-06,4.365958e-06,4.827437e-06,4.942122e-06,5.508352e-06,5.575293e-06,6.057883e-06,6.293002e-06,6.585544e-06,6.969560e-06,7.087539e-06,7.561212e-06,7.597825e-06,8.004846e-06,8.173653e-06,8.417488e-06,8.695196e-06,8.798813e-06,9.149011e-06,9.162378e-06,9.468686e-06,9.576470e-06,9.758783e-06,9.939759e-06,1.002051e-05,1.025527e-05,1.046461e-05,1.052651e-05,1.065019e-05,1.075727e-05,1.081369e-05,1.095146e-05,1.095681e-05,1.108123e-05,1.111294e-05,1.118856e-05,1.124541e-05,1.128036e-05,1.135236e-05,1.135809e-05,1.142313e-05,1.143699e-05,1.147674e-05,1.150220e-05,1.152008e-05,1.155058e-05,1.155422e-05,1.158012e-05,1.158439e-05,1.159864e-05,1.160562e-05,1.161056e-05,1.161598e-05,1.161658e-05,1.161730e-05,1.161696e-05,1.161328e-05,1.160981e-05,1.160501e-05,1.159562e-05,1.159291e-05,1.157739e-05,1.157531e-05,1.155877e-05,1.154968e-05,1.153737e-05,1.151941e-05,1.151346e-05,1.148727e-05,1.148508e-05,1.145903e-05,1.144720e-05,1.142893e-05,1.140621e-05,1.139715e-05,1.136384e-05,1.136248e-05,1.132915e-05,1.131636e-05,1.129322e-05,1.126813e-05,1.125616e-05,1.121807e-05,1.117906e-05,1.116640e-05,1.113923e-05,1.111333e-05,1.109864e-05,1.105906e-05,1.105740e-05,1.101556e-05,1.100374e-05,1.097319e-05,1.094754e-05,1.093035e-05,1.089058e-05,1.088711e-05,1.084351e-05,1.083300e-05,1.079961e-05,1.077491e-05,1.075546e-05,1.071642e-05,1.071109e-05,1.066654e-05,1.065762e-05,1.062186e-05,1.059859e-05,1.057709e-05,1.053942e-05,1.053224e-05,1.048736e-05,1.048018e-05,1.044248e-05,1.042094e-05,1.039762e-05,1.036176e-05,1.035281e-05,1.030806e-05,1.030270e-05,1.026341e-05,1.024380e-05,1.021888e-05,1.018512e-05,1.017448e-05,1.013023e-05,1.012670e-05,1.008615e-05,1.006857e-05,1.004226e-05,1.001078e-05,9.998569e-06,9.955092e-06,9.953357e-06,9.911842e-06,9.896330e-06,9.868831e-06,9.839726e-06,9.826070e-06,9.783570e-06,9.727886e-06,9.672692e-06,9.618007e-06,9.563848e-06,9.510229e-06,9.457162e-06,9.404660e-06,9.352732e-06,9.301386e-06,9.250630e-06,9.200471e-06,9.150913e-06,9.101962e-06,9.053619e-06,9.005889e-06,8.958771e-06,8.912269e-06,8.866381e-06,8.821108e-06,8.776449e-06,8.732402e-06,8.688965e-06,8.646137e-06,8.603914e-06
0.000000e+00,3.388958e-12,1.746258e-11,1.998818e-10,1.004092e-09,2.100641e-09,1.029859e-08,1.090445e-08,3.849098e-08,5.224415e-08,1.065368e-07,1.805002e-07,2.494874e-07,4.897302e-07,5.172085e-07,9.770010e-07,1.125059e-06,1.714481e-06,2.286619e-06,2.833047e-06,4.227139e-06,4.452149e-06,6.704774e-06,7.243806e-06,9.734515e-06,1.166704e-05,1.369243e-05,1.784793e-05,1.873381e-05,2.501495e-05,2.614534e-05,3.268996e-05,3.691303e-05,4.190763e-05,5.048727e-05,5.280850e-05,6.552207e-05,6.717517e-05,8.016426e-05,8.724422e-05,9.683518e-05,1.109133e-04,1.156172e-04,1.365736e-04,1.383455e-04,1.597471e-04,1.696429e-04,1.851594e-04,2.048436e-04,2.128110e-04,2.426809e-04,2.439213e-04,2.747275e-04,2.867860e-04,3.088896e-04,3.332879e-04,3.450869e-04,3.832221e-04,4.231824e-04,4.363348e-04,4.648413e-04,4.923309e-04,5.080605e-04,5.508816e-04,5.526920e-04,5.985804e-04,6.116326e-04,6.455646e-04,6.742126e-04,6.934798e-04,7.382409e-04,7.421595e-04,7.914375e-04,8.033348e-04,8.411489e-04,8.691162e-04,8.911321e-04,9.352173e-04,9.412300e-04,9.912912e-04,1.001286e-03,1.041171e-03,1.066990e-03,1.090731e-03,1.132019e-03,1.139842e-03,1.188384e-03,1.196090e-03,1.236244e-03,1.258944e-03,1.283319e-03,1.320351e-03,1.329516e-03,1.374750e-03,1.380110e-03,1.418947e-03,1.438048e-03,1.462040e-03,1.494017e-03,1.503972e-03,1.544693e-03,1.547897e-03,1.584164e-03,1.599594e-03,1.622350e-03,1.649034e-03,1.659227e-03,1.694774e-03,1.696168e-03,1.728980e-03,1.740965e-03,1.761838e-03,1.783411e-03,1.793347e-03,1.823509e-03,1.852335e-03,1.861278e-03,1.879834e-03,1.896746e-03,1.906025e-03,1.929954e-03,1.930925e-03,1.954558e-03,1.960951e-03,1.976947e-03,1.989795e-03,1.998119e-03,2.016548e-03,2.018104e-03,2.036930e-03,2.041280e-03,2.054630e-03,2.064062e-03,2.071236e-03,2.084970e-03,2.086780e-03,2.101297e-03,2.104080e-03,2.114821e-03,2.121472e-03,2.127385e-03,2.137223e-03,2.139024e-03,2.149773e-03,2.151412e-03,2.159664e-03,2.164118e-03,2.168732e-03,2.175416e-03,2.177009e-03,2.184528e-03,2.185381e-03,2.191321e-03,2.194088e-03,2.197419e-03,2.201608e-03,2.202853e-03,2.207651e-03,2.208009e-03,2.211844e-03,2.213358e-03,2.215459e-03,2.217719e-03,2.218523e-03,2.221063e-03,2.221154e-03,2.223104e-03,2.223721e-03,2.224670e-03,2.225477e-03,2.225787e-03,2.226476e-03,2.226768e-03,2.226402e-03,2.225425e-03,2.223878e-03,2.221805e-03,2.219243e-03,2.216230e-03,2.212799e-03,2.208984e-03,2.204815e-03,2.200321e-03,2.195529e-03,2.190464e-03,2.185150e-03,2.179610e-03,2.173864e-03,2.167933e-03,2.161833e-03,2.155583e-03,2.149198e-03,2.142694e-03,2.136084e-03,2.129381e-03,2.122598e-03
0.000000e+00,1.462115e-09,3.351112e-09,1.152456e-08,2.620124e-08,3.820995e-08,8.663230e-08,8.923867e-08,1.725481e-07,2.028133e-07,2.967799e-07,3.949130e-07,4.715126e-07,6.855408e-07,7.068209e-07,1.011502e-06,1.095563e-06,1.389771e-06,1.632849e-06,1.838378e-06,2.283493e-06,2.347336e-06,2.903880e-06,3.019803e-06,3.495926e-06,3.814385e-06,4.113369e-06,4.645605e-06,4.748011e-06,5.393099e-06,5.496888e-06,6.042917e-06,6.355035e-06,6.692531e-06,7.209167e-06,7.337643e-06,7.974518e-06,8.050231e-06,8.599947e-06,8.870796e-06,9.211225e-06,9.664942e-06,9.806121e-06,1.038285e-05,1.042816e-05,1.094006e-05,1.115724e-05,1.147675e-05,1.185007e-05,1.199225e-05,1.248617e-05,1.250548e-05,1.295839e-05,1.312309e-05,1.340898e-05,1.370314e-05,1.383817e-05,1.424634e-05,1.463398e-05,1.475377e-05,1.500164e-05,1.522675e-05,1.534996e-05,1.566678e-05,1.567961e-05,1.599129e-05,1.607544e-05,1.628572e-05,1.645439e-05,1.656360e-05,1.680526e-05,1.682566e-05,1.707258e-05,1.712967e-05,1.730506e-05,1.742920e-05,1.752378e-05,1.770538e-05,1.772938e-05,1.792249e-05,1.795967e-05,1.810372e-05,1.819345e-05,1.827364e-05,1.840805e-05,1.843282e-05,1.858178e-05,1.860471e-05,1.872105e-05,1.878460e-05,1.885111e-05,1.894884e-05,1.897243e-05,1.908544e-05,1.909846e-05,1.919056e-05,1.923443e-05,1.928821e-05,1.935766e-05,1.937877e-05,1.946258e-05,1.946901e-05,1.954001e-05,1.956927e-05,1.961138e-05,1.965918e-05,1.967699e-05,1.973715e-05,1.973945e-05,1.979213e-05,1.981071e-05,1.984221e-05,1.987358e-05,1.988763e-05,1.992863e-05,1.996545e-05,1.997638e-05,1.999829e-05,2.001732e-05,2.002737e-05,2.005193e-05,2.005288e-05,2.007500e-05,2.008062e-05,2.009392e-05,2.010380e-05,2.010979e-05,2.012184e-05,2.012278e-05,2.013304e-05,2.013511e-05,2.014070e-05,2.014392e-05,2.014592e-05,2.014858e-05,2.014881e-05,2.014949e-05,2.014938e-05,2.014810e-05,2.014658e-05,2.014473e-05,2.014045e-05,2.013949e-05,2.013248e-05,2.013120e-05,2.012380e-05,2.011907e-05,2.011354e-05,2.010425e-05,2.010178e-05,2.008862e-05,2.008694e-05,2.007411e-05,2.006733e-05,2.005835e-05,2.004557e-05,2.004140e-05,2.002332e-05,2.002183e-05,2.000419e-05,1.999626e-05,1.998407e-05,1.996899e-05,1.996300e-05,1.994106e-05,1.994016e-05,1.991828e-05,1.990989e-05,1.989472e-05,1.987829e-05,1.987044e-05,1.984547e-05,1.981154e-05,1.977658e-05,1.974069e-05,1.970395e-05,1.966644e-05,1.962824e-05,1.958941e-05,1.955003e-05,1.951014e-05,1.946981e-05,1.942910e-05,1.938805e-05,1.934671e-05,1.930513e-05,1.926336e-05,1.922142e-05,1.917936e-05,1.913722e-05,1.909502e-05,1.905280e-05,1.901058e-05,1.896841e-05,1.892629e-05,1.888425e-05
0.000000e+00,2.144735e-11,9.741508e-11,8.635345e-10,3.461529e-09,6.417249e-09,2.325530e-08,2.433005e-08,6.459350e-08,8.134610e-08,1.380641e-07,2.026292e-07,2.556409e-07,4.119245e-07,4.279710e-07,6.653386e-07,7.330741e-07,9.773291e-07,1.187705e-06,1.371864e-06,1.791127e-06,1.853580e-06,2.422364e-06,2.546199e-06,3.073138e-06,3.441107e-06,3.797058e-06,4.453755e-06,4.583261e-06,5.420319e-06,5.558214e-06,6.297074e-06,6.728895e-06,7.202990e-06,7.942100e-06,8.128254e-06,9.063770e-06,9.176315e-06,1.000116e-05,1.041221e-05,1.093279e-05,1.163271e-05,1.185177e-05,1.275204e-05,1.282309e-05,1.362832e-05,1.397110e-05,1.447619e-05,1.506700e-05,1.529202e-05,1.607297e-05,1.610345e-05,1.681690e-05,1.707535e-05,1.752235e-05,1.797960e-05,1.818843e-05,1.881478e-05,1.940148e-05,1.958091e-05,1.994896e-05,2.027911e-05,2.045799e-05,2.091139e-05,2.092955e-05,2.136484e-05,2.148040e-05,2.176518e-05,2.198920e-05,2.213201e-05,2.244120e-05,2.246684e-05,2.277122e-05,2.283992e-05,2.304671e-05,2.318895e-05,2.329487e-05,2.349186e-05,2.351723e-05,2.371530e-05,2.375213e-05,2.389055e-05,2.397313e-05,2.404439e-05,2.415806e-05,2.417818e-05,2.429323e-05,2.430998e-05,2.439077e-05,2.443173e-05,2.447201e-05,2.452601e-05,2.453806e-05,2.458999e-05,2.459532e-05,2.462880e-05,2.464198e-05,2.465546e-05,2.466814e-05,2.467085e-05,2.467583e-05,2.467580e-05,2.467118e-05,2.466680e-05,2.465766e-05,2.464283e-05,2.463597e-05,2.460675e-05,2.460543e-05,2.457063e-05,2.455605e-05,2.452818e-05,2.449599e-05,2.447995e-05,2.442644e-05,2.436812e-05,2.434851e-05,2.430542e-05,2.426320e-05,2.423877e-05,2.417142e-05,2.416855e-05,2.409511e-05,2.407402e-05,2.401879e-05,2.397174e-05,2.393990e-05,2.386530e-05,2.385873e-05,2.377555e-05,2.375532e-05,2.369062e-05,2.364237e-05,2.360415e-05,2.352698e-05,2.351639e-05,2.342751e-05,2.340962e-05,2.333772e-05,2.329072e-05,2.324718e-05,2.317067e-05,2.315606e-05,2.306450e-05,2.304982e-05,2.297265e-05,2.292849e-05,2.288062e-05,2.280696e-05,2.278855e-05,2.269653e-05,2.268550e-05,2.260467e-05,2.256433e-05,2.251306e-05,2.244366e-05,2.242179e-05,2.233093e-05,2.232368e-05,2.224055e-05,2.220455e-05,2.215072e-05,2.208642e-05,2.206150e-05,2.197295e-05,2.196942e-05,2.188511e-05,2.185367e-05,2.179802e-05,2.173926e-05,2.171174e-05,2.162629e-05,2.151483e-05,2.140494e-05,2.129670e-05,2.119013e-05,2.108529e-05,2.098220e-05,2.088090e-05,2.078140e-05,2.068371e-05,2.058785e-05,2.049382e-05,2.040163e-05,2.031126e-05,2.022272e-05,2.013600e-05,2.005108e-05,1.996795e-05,1.988660e-05,1.980701e-05,1.972916e-05,1.965304e-05,1.957860e-05,1.950585e-05,1.943475e-05
0.000000e+00,1.688093e-10,6.468524e-10,4.216690e-09,1.339873e-08,2.224183e-08,6.357709e-08,6.596348e-08,1.469184e-07,1.778872e-07,2.773431e-07,3.850823e-07,4.712284e-07,7.188347e-07,7.438816e-07,1.107379e-06,1.208504e-06,1.561865e-06,1.850874e-06,2.092081e-06,2.603364e-06,2.675455e-06,3.291750e-06,3.417575e-06,3.926265e-06,4.259888e-06,4.568750e-06,5.108982e-06,5.211594e-06,5.848603e-06,5.949613e-06,6.474379e-06,6.769324e-06,7.084097e-06,7.557413e-06,7.673474e-06,8.238803e-06,8.304874e-06,8.777010e-06,9.004583e-06,9.285686e-06,9.651437e-06,9.763096e-06,1.020815e-05,1.024234e-05,1.062037e-05,1.077606e-05,1.099980e-05,1.125295e-05,1.134695e-05,1.166269e-05,1.167468e-05,1.194821e-05,1.204386e-05,1.220491e-05,1.236380e-05,1.243435e-05,1.263817e-05,1.281807e-05,1.287087e-05,1.297576e-05,1.306580e-05,1.311291e-05,1.322676e-05,1.323115e-05,1.333203e-05,1.335738e-05,1.341705e-05,1.346103e-05,1.348760e-05,1.354084e-05,1.354498e-05,1.359039e-05,1.359964e-05,1.362496e-05,1.363997e-05,1.364972e-05,1.366414e-05,1.366561e-05,1.367350e-05,1.367419e-05,1.367417e-05,1.367191e-05,1.366834e-05,1.365890e-05,1.365666e-05,1.363972e-05,1.363656e-05,1.361805e-05,1.360612e-05,1.359215e-05,1.356868e-05,1.356246e-05,1.352937e-05,1.352519e-05,1.349325e-05,1.347648e-05,1.345442e-05,1.342329e-05,1.341319e-05,1.336982e-05,1.336627e-05,1.332456e-05,1.330598e-05,1.327763e-05,1.324292e-05,1.322924e-05,1.317956e-05,1.317755e-05,1.312877e-05,1.311024e-05,1.307701e-05,1.304134e-05,1.302443e-05,1.297116e-05,1.291731e-05,1.289997e-05,1.286298e-05,1.282800e-05,1.280827e-05,1.275547e-05,1.275327e-05,1.269806e-05,1.268257e-05,1.264271e-05,1.260946e-05,1.258729e-05,1.253630e-05,1.253187e-05,1.247650e-05,1.246322e-05,1.242122e-05,1.239033e-05,1.236609e-05,1.231774e-05,1.231116e-05,1.225645e-05,1.224554e-05,1.220201e-05,1.217381e-05,1.214786e-05,1.210264e-05,1.209405e-05,1.204059e-05,1.203207e-05,1.198751e-05,1.196218e-05,1.193484e-05,1.189300e-05,1.188258e-05,1.183077e-05,1.182459e-05,1.177942e-05,1.175698e-05,1.172854e-05,1.169020e-05,1.167815e-05,1.162826e-05,1.162429e-05,1.157888e-05,1.155927e-05,1.153002e-05,1.149516e-05,1.148168e-05,1.143388e-05,1.143198e-05,1.138662e-05,1.136974e-05,1.133990e-05,1.130845e-05,1.129374e-05,1.124813e-05,1.118877e-05,1.113039e-05,1.107299e-05,1.101657e-05,1.096112e-05,1.090666e-05,1.085316e-05,1.080063e-05,1.074907e-05,1.069846e-05,1.064880e-05,1.060008e-05,1.055229e-05,1.050543e-05,1.045948e-05,1.041443e-05,1.037027e-05,1.032699e-05,1.028459e-05,1.024304e-05,1.020233e-05,1.016246e-05,1.012340e-05,1.008516e-05
0.000000e+00,2.574886e-11,1.186169e-10,1.081142e-09,4.437318e-09,8.327610e-09,3.107713e-08,3.254999e-08,8.867990e-08,1.124087e-07,1.937526e-07,2.876682e-07,3.655237e-07,5.977943e-07,6.218272e-07,9.803139e-07,1.083473e-06,1.458008e-06,1.783375e-06,2.070084e-06,2.728985e-06,2.827856e-06,3.737008e-06,3.937075e-06,4.797263e-06,5.406754e-06,6.003484e-06,7.123449e-06,7.347299e-06,8.818475e-06,9.064940e-06,1.040574e-05,1.120538e-05,1.209716e-05,1.351694e-05,1.388030e-05,1.574229e-05,1.597041e-05,1.766994e-05,1.853545e-05,1.964981e-05,2.118115e-05,2.166843e-05,2.371246e-05,2.387669e-05,2.576894e-05,2.659221e-05,2.782544e-05,2.929953e-05,2.987025e-05,3.189251e-05,3.197278e-05,3.388232e-05,3.458897e-05,3.583082e-05,3.712820e-05,3.773024e-05,3.957386e-05,4.135605e-05,4.191259e-05,4.307217e-05,4.413409e-05,4.471857e-05,4.623095e-05,4.629249e-05,4.779198e-05,4.819831e-05,4.921583e-05,5.003359e-05,5.056350e-05,5.173609e-05,5.183502e-05,5.303092e-05,5.330678e-05,5.415215e-05,5.474791e-05,5.520004e-05,5.606280e-05,5.617622e-05,5.708254e-05,5.725560e-05,5.792106e-05,5.833103e-05,5.869401e-05,5.929429e-05,5.940369e-05,6.005252e-05,6.015085e-05,6.064296e-05,6.090635e-05,6.117747e-05,6.156648e-05,6.165854e-05,6.208863e-05,6.213693e-05,6.247016e-05,6.262327e-05,6.280554e-05,6.303100e-05,6.309710e-05,6.334714e-05,6.336542e-05,6.355787e-05,6.363165e-05,6.373145e-05,6.383460e-05,6.386996e-05,6.397541e-05,6.397897e-05,6.404973e-05,6.406923e-05,6.409479e-05,6.410963e-05,6.411237e-05,6.410418e-05,6.407186e-05,6.405668e-05,6.401697e-05,6.397069e-05,6.394100e-05,6.384958e-05,6.384539e-05,6.373149e-05,6.369650e-05,6.360059e-05,6.351441e-05,6.345392e-05,6.330607e-05,6.329266e-05,6.311791e-05,6.307408e-05,6.293073e-05,6.282085e-05,6.273211e-05,6.254863e-05,6.252301e-05,6.230432e-05,6.225951e-05,6.207689e-05,6.195544e-05,6.184153e-05,6.163824e-05,6.159898e-05,6.134998e-05,6.130959e-05,6.109519e-05,6.097103e-05,6.083526e-05,6.062402e-05,6.057078e-05,6.030233e-05,6.026987e-05,6.003043e-05,5.990984e-05,5.975559e-05,5.954504e-05,5.947828e-05,5.919894e-05,5.917651e-05,5.891798e-05,5.880523e-05,5.863580e-05,5.843207e-05,5.835276e-05,5.806919e-05,5.805784e-05,5.778543e-05,5.768328e-05,5.750175e-05,5.730906e-05,5.721846e-05,5.693579e-05,5.656404e-05,5.619431e-05,5.582705e-05,5.546269e-05,5.510160e-05,5.474410e-05,5.439049e-05,5.404103e-05,5.369597e-05,5.335549e-05,5.301978e-05,5.268899e-05,5.236324e-05,5.204266e-05,5.172732e-05,5.141731e-05,5.111267e-05,5.081345e-05,5.051968e-05,5.023136e-05,4.994851e-05,4.967112e-05,4.939918e-05,4.913265e-05
0.000000e+00,2.843481e-10,9.673912e-10,5.262819e-09,1.497987e-08,2.376234e-08,6.232977e-08,6.448809e-08,1.354998e-07,1.618704e-07,2.445748e-07,3.315359e-07,3.995260e-07,5.892815e-07,6.081117e-07,8.768484e-07,9.507215e-07,1.208579e-06,1.421190e-06,1.601010e-06,1.991950e-06,2.048295e-06,2.543682e-06,2.647963e-06,3.080826e-06,3.374697e-06,3.653905e-06,4.158999e-06,4.257369e-06,4.885737e-06,4.988221e-06,5.533523e-06,5.849745e-06,6.195242e-06,6.731013e-06,6.865490e-06,7.539037e-06,7.619845e-06,8.210928e-06,8.504838e-06,8.876575e-06,9.375720e-06,9.531829e-06,1.017303e-05,1.022362e-05,1.079702e-05,1.104119e-05,1.140117e-05,1.182266e-05,1.198336e-05,1.254196e-05,1.256379e-05,1.307577e-05,1.326171e-05,1.358400e-05,1.391477e-05,1.406625e-05,1.452237e-05,1.495255e-05,1.508477e-05,1.535713e-05,1.560289e-05,1.573669e-05,1.607816e-05,1.609191e-05,1.642361e-05,1.651239e-05,1.673267e-05,1.690762e-05,1.702003e-05,1.726608e-05,1.728668e-05,1.753361e-05,1.759005e-05,1.776181e-05,1.788180e-05,1.797229e-05,1.814362e-05,1.816601e-05,1.834391e-05,1.837768e-05,1.850692e-05,1.858608e-05,1.865590e-05,1.877083e-05,1.879171e-05,1.891516e-05,1.893381e-05,1.902700e-05,1.907678e-05,1.912798e-05,1.920139e-05,1.921877e-05,1.930002e-05,1.930916e-05,1.937235e-05,1.940150e-05,1.943634e-05,1.947972e-05,1.949252e-05,1.954141e-05,1.954503e-05,1.958349e-05,1.959851e-05,1.961920e-05,1.964120e-05,1.964896e-05,1.967317e-05,1.967403e-05,1.969219e-05,1.969784e-05,1.970638e-05,1.971343e-05,1.971605e-05,1.972150e-05,1.972303e-05,1.972274e-05,1.972090e-05,1.971772e-05,1.971535e-05,1.970702e-05,1.970662e-05,1.969492e-05,1.969114e-05,1.968047e-05,1.967055e-05,1.966345e-05,1.964567e-05,1.964404e-05,1.962241e-05,1.961690e-05,1.959872e-05,1.958461e-05,1.957312e-05,1.954911e-05,1.954574e-05,1.951672e-05,1.951073e-05,1.948618e-05,1.946974e-05,1.945423e-05,1.942639e-05,1.942099e-05,1.938655e-05,1.938093e-05,1.935101e-05,1.933358e-05,1.931446e-05,1.928454e-05,1.927698e-05,1.923865e-05,1.923400e-05,1.919955e-05,1.918212e-05,1.915975e-05,1.912907e-05,1.911931e-05,1.907830e-05,1.907500e-05,1.903677e-05,1.902003e-05,1.899479e-05,1.896430e-05,1.895239e-05,1.890963e-05,1.890792e-05,1.886656e-05,1.885099e-05,1.882322e-05,1.879362e-05,1.877965e-05,1.873589e-05,1.867790e-05,1.861971e-05,1.856140e-05,1.850304e-05,1.844468e-05,1.838639e-05,1.832822e-05,1.827021e-05,1.821240e-05,1.815485e-05,1.809758e-05,1.804063e-05,1.798404e-05,1.792782e-05,1.787202e-05,1.781665e-05,1.776173e-05,1.770729e-05,1.765334e-05,1.759990e-05,1.754699e-05,1.749461e-05,1.744279e-05,1.739152e-05
0.000000e+00,4.221616e-12,2.107130e-11,2.256782e-10,1.066547e-09,2.157405e-09,9.691133e-09,1.022470e-08,3.307640e-08,4.384182e-08,8.422755e-08,1.359977e-07,1.821871e-07,3.336267e-07,3.502830e-07,6.162569e-07,6.980760e-07,1.011397e-06,1.301427e-06,1.568785e-06,2.219118e-06,2.320585e-06,3.295057e-06,3.518737e-06,4.514213e-06,5.250002e-06,5.992571e-06,7.439927e-06,7.736978e-06,9.747138e-06,1.009307e-05,1.201651e-05,1.319460e-05,1.453333e-05,1.671429e-05,1.728157e-05,2.024182e-05,2.061027e-05,2.339208e-05,2.483229e-05,2.670844e-05,2.932445e-05,3.016564e-05,3.373767e-05,3.402760e-05,3.739827e-05,3.888146e-05,4.112139e-05,4.382644e-05,4.488162e-05,4.865455e-05,4.880540e-05,5.241713e-05,5.376494e-05,5.614791e-05,5.865658e-05,5.982726e-05,6.343752e-05,6.696307e-05,6.807108e-05,7.039037e-05,7.252690e-05,7.370796e-05,7.678085e-05,7.690640e-05,7.997817e-05,8.081475e-05,8.291754e-05,8.461586e-05,8.572045e-05,8.817637e-05,8.838433e-05,9.090799e-05,9.149278e-05,9.329142e-05,9.456523e-05,9.553564e-05,9.739691e-05,9.764257e-05,9.961484e-05,9.999342e-05,1.014557e-04,1.023623e-04,1.031690e-04,1.045125e-04,1.047587e-04,1.062294e-04,1.064540e-04,1.075856e-04,1.081974e-04,1.088322e-04,1.097537e-04,1.099738e-04,1.110155e-04,1.111340e-04,1.119619e-04,1.123494e-04,1.128178e-04,1.134107e-04,1.135880e-04,1.142768e-04,1.143286e-04,1.148888e-04,1.151131e-04,1.154283e-04,1.157740e-04,1.158992e-04,1.163056e-04,1.163206e-04,1.166513e-04,1.167615e-04,1.169398e-04,1.171051e-04,1.171746e-04,1.173589e-04,1.174960e-04,1.175304e-04,1.175888e-04,1.176262e-04,1.176400e-04,1.176526e-04,1.176524e-04,1.176284e-04,1.176155e-04,1.175705e-04,1.175204e-04,1.174809e-04,1.173723e-04,1.173617e-04,1.172150e-04,1.171759e-04,1.170427e-04,1.169356e-04,1.168464e-04,1.166553e-04,1.166280e-04,1.163890e-04,1.163389e-04,1.161310e-04,1.159897e-04,1.158553e-04,1.156110e-04,1.155632e-04,1.152561e-04,1.152057e-04,1.149351e-04,1.147765e-04,1.146014e-04,1.143259e-04,1.142559e-04,1.138996e-04,1.138562e-04,1.135336e-04,1.133697e-04,1.131586e-04,1.128682e-04,1.127755e-04,1.123851e-04,1.123536e-04,1.119881e-04,1.118275e-04,1.115851e-04,1.112916e-04,1.111768e-04,1.107639e-04,1.107473e-04,1.103468e-04,1.101958e-04,1.099262e-04,1.096383e-04,1.095025e-04,1.090761e-04,1.085101e-04,1.079412e-04,1.073704e-04,1.067984e-04,1.062259e-04,1.056537e-04,1.050822e-04,1.045122e-04,1.039441e-04,1.033784e-04,1.028155e-04,1.022558e-04,1.016997e-04,1.011474e-04,1.005993e-04,1.000556e-04,9.951659e-05,9.898245e-05,9.845338e-05,9.792956e-05,9.741112e-05,9.689820e-05,9.639091e-05,9.588936e-05
0.000000e+00,5.894511e-10,1.470336e-09,5.505282e-09,1.296165e-08,1.911052e-08,4.388057e-08,4.520782e-08,8.717600e-08,1.021964e-07,1.480947e-07,1.949379e-07,2.308151e-07,3.283948e-07,3.379126e-07,4.714041e-07,5.074979e-07,6.321095e-07,7.336410e-07,8.188221e-07,1.001897e-06,1.028032e-06,1.254751e-06,1.301731e-06,1.493779e-06,1.621364e-06,1.740462e-06,1.950695e-06,1.990868e-06,2.241702e-06,2.281682e-06,2.490182e-06,2.607913e-06,2.733964e-06,2.924276e-06,2.971086e-06,3.199939e-06,3.226782e-06,3.419251e-06,3.512465e-06,3.628054e-06,3.779285e-06,3.825663e-06,4.011649e-06,4.026018e-06,4.185798e-06,4.252133e-06,4.348088e-06,4.457662e-06,4.498650e-06,4.637740e-06,4.643070e-06,4.765715e-06,4.809145e-06,4.883001e-06,4.956894e-06,4.990080e-06,5.087466e-06,5.175694e-06,5.202082e-06,5.255306e-06,5.301986e-06,5.326842e-06,5.388411e-06,5.390833e-06,5.447794e-06,5.462551e-06,5.498222e-06,5.525541e-06,5.542592e-06,5.578451e-06,5.581356e-06,5.614940e-06,5.622275e-06,5.643745e-06,5.657930e-06,5.668149e-06,5.686263e-06,5.688503e-06,5.705139e-06,5.708048e-06,5.718365e-06,5.723990e-06,5.728464e-06,5.734726e-06,5.735703e-06,5.740325e-06,5.740838e-06,5.742560e-06,5.742847e-06,5.742618e-06,5.741227e-06,5.740692e-06,5.736964e-06,5.736404e-06,5.731599e-06,5.728760e-06,5.724750e-06,5.718641e-06,5.716559e-06,5.707157e-06,5.706356e-06,5.696662e-06,5.692184e-06,5.685186e-06,5.676374e-06,5.672832e-06,5.659692e-06,5.659152e-06,5.645854e-06,5.640717e-06,5.631397e-06,5.621251e-06,5.616395e-06,5.600916e-06,5.585020e-06,5.579855e-06,5.568767e-06,5.558200e-06,5.552207e-06,5.536067e-06,5.535390e-06,5.518359e-06,5.513558e-06,5.501156e-06,5.490768e-06,5.483818e-06,5.467778e-06,5.466380e-06,5.448872e-06,5.444663e-06,5.431324e-06,5.421489e-06,5.413762e-06,5.398315e-06,5.396210e-06,5.378690e-06,5.375192e-06,5.361223e-06,5.352167e-06,5.343827e-06,5.329281e-06,5.326518e-06,5.309312e-06,5.306570e-06,5.292223e-06,5.284065e-06,5.275263e-06,5.261795e-06,5.258443e-06,5.241773e-06,5.239783e-06,5.225263e-06,5.218052e-06,5.208921e-06,5.196618e-06,5.192754e-06,5.176769e-06,5.175498e-06,5.160971e-06,5.154705e-06,5.145365e-06,5.134251e-06,5.129956e-06,5.114748e-06,5.114144e-06,5.099744e-06,5.094393e-06,5.084946e-06,5.075003e-06,5.070357e-06,5.055979e-06,5.037325e-06,5.019042e-06,5.001133e-06,4.983598e-06,4.966436e-06,4.949645e-06,4.933226e-06,4.917174e-06,4.901487e-06,4.886162e-06,4.871195e-06,4.856581e-06,4.842318e-06,4.828399e-06,4.814821e-06,4.801577e-06,4.788663e-06,4.776072e-06,4.763801e-06,4.751842e-06,4.740191e-06,4.728841e-06,4.717786e-06,4.707021e-06
0.000000e+00,7.190304e-11,3.138791e-10,2.578322e-09,9.712111e-09,1.745123e-08,5.888600e-08,6.144620e-08,1.540531e-07,1.914292e-07,3.154245e-07,4.538356e-07,5.662793e-07,8.946197e-07,9.281672e-07,1.422009e-06,1.562083e-06,2.063114e-06,2.488260e-06,2.854701e-06,3.667545e-06,3.786082e-06,4.837430e-06,5.060113e-06,5.986345e-06,6.615300e-06,7.211951e-06,8.287375e-06,8.496099e-06,9.822987e-06,1.003829e-05,1.117846e-05,1.183538e-05,1.254946e-05,1.364919e-05,1.392375e-05,1.528986e-05,1.545273e-05,1.663720e-05,1.722156e-05,1.795616e-05,1.893434e-05,1.923829e-05,2.047632e-05,2.057327e-05,2.166428e-05,2.212435e-05,2.279747e-05,2.357745e-05,2.387240e-05,2.488674e-05,2.492604e-05,2.583921e-05,2.616685e-05,2.672943e-05,2.729941e-05,2.755782e-05,2.832546e-05,2.903397e-05,2.924852e-05,2.968537e-05,3.007336e-05,3.028200e-05,3.080561e-05,3.082642e-05,3.132133e-05,3.145141e-05,3.176951e-05,3.201714e-05,3.217373e-05,3.250918e-05,3.253678e-05,3.286133e-05,3.293379e-05,3.315003e-05,3.329698e-05,3.340538e-05,3.360442e-05,3.362979e-05,3.382552e-05,3.386141e-05,3.399471e-05,3.407287e-05,3.413937e-05,3.424329e-05,3.426137e-05,3.436246e-05,3.437680e-05,3.444427e-05,3.447714e-05,3.450831e-05,3.454768e-05,3.455597e-05,3.458854e-05,3.459149e-05,3.460723e-05,3.461133e-05,3.461313e-05,3.460969e-05,3.460727e-05,3.459058e-05,3.458881e-05,3.456395e-05,3.455068e-05,3.452815e-05,3.449713e-05,3.448395e-05,3.443201e-05,3.442978e-05,3.437296e-05,3.435008e-05,3.430740e-05,3.425937e-05,3.423585e-05,3.415882e-05,3.407676e-05,3.404950e-05,3.399009e-05,3.393239e-05,3.389922e-05,3.380836e-05,3.380450e-05,3.370628e-05,3.367819e-05,3.360487e-05,3.354261e-05,3.350055e-05,3.340225e-05,3.339361e-05,3.328428e-05,3.325772e-05,3.317281e-05,3.310953e-05,3.305942e-05,3.295819e-05,3.294429e-05,3.282764e-05,3.280414e-05,3.270962e-05,3.264777e-05,3.259041e-05,3.248946e-05,3.247015e-05,3.234899e-05,3.232954e-05,3.222707e-05,3.216831e-05,3.210451e-05,3.200607e-05,3.198141e-05,3.185790e-05,3.184306e-05,3.173407e-05,3.167951e-05,3.161002e-05,3.151565e-05,3.148584e-05,3.136160e-05,3.135166e-05,3.123739e-05,3.118774e-05,3.111329e-05,3.102403e-05,3.098934e-05,3.086563e-05,3.086069e-05,3.074221e-05,3.069786e-05,3.061913e-05,3.053566e-05,3.049645e-05,3.037421e-05,3.021361e-05,3.005396e-05,2.989534e-05,2.973783e-05,2.958151e-05,2.942643e-05,2.927266e-05,2.912024e-05,2.896923e-05,2.881967e-05,2.867160e-05,2.852504e-05,2.838003e-05,2.823660e-05,2.809476e-05,2.795453e-05,2.781594e-05,2.767899e-05,2.754370e-05,2.741008e-05,2.727812e-05,2.714784e-05,2.701923e-05,2.689230e-05
0.000000e+00,2.972806e-12,1.527862e-11,1.739217e-10,8.691295e-10,1.812911e-09,8.817089e-09,9.332642e-09,3.266159e-08,4.422339e-08,8.960427e-08,1.509837e-07,2.079173e-07,4.046179e-07,4.269986e-07,7.991147e-07,9.182117e-07,1.389971e-06,1.845236e-06,2.278255e-06,3.377139e-06,3.553849e-06,5.314876e-06,5.734334e-06,7.664050e-06,9.152484e-06,1.070486e-05,1.386740e-05,1.453792e-05,1.925767e-05,2.010097e-05,2.494952e-05,2.804911e-05,3.168744e-05,3.787217e-05,3.953205e-05,4.852919e-05,4.968789e-05,5.870898e-05,6.356692e-05,7.008531e-05,7.953071e-05,8.265582e-05,9.640221e-05,9.755181e-05,1.112910e-04,1.175562e-04,1.272747e-04,1.394275e-04,1.442929e-04,1.622740e-04,1.630121e-04,1.811366e-04,1.881260e-04,2.007916e-04,2.145613e-04,2.211439e-04,2.420938e-04,2.635392e-04,2.704895e-04,2.853769e-04,2.995113e-04,3.075040e-04,3.289247e-04,3.298198e-04,3.522259e-04,3.585029e-04,3.746284e-04,3.880307e-04,3.969378e-04,4.173081e-04,4.190703e-04,4.409478e-04,4.461523e-04,4.624986e-04,4.743999e-04,4.836577e-04,5.019071e-04,5.043666e-04,5.245734e-04,5.285504e-04,5.442328e-04,5.542263e-04,5.633061e-04,5.788505e-04,5.817604e-04,5.995690e-04,6.023569e-04,6.167106e-04,6.246968e-04,6.331692e-04,6.458366e-04,6.489336e-04,6.639969e-04,6.657572e-04,6.783565e-04,6.844519e-04,6.920134e-04,7.019251e-04,7.049717e-04,7.172388e-04,7.181906e-04,7.288244e-04,7.332705e-04,7.397406e-04,7.471935e-04,7.500013e-04,7.596223e-04,7.599941e-04,7.686205e-04,7.717108e-04,7.770140e-04,7.823859e-04,7.848218e-04,7.920638e-04,7.987600e-04,8.007908e-04,8.049309e-04,8.086143e-04,8.105974e-04,8.155817e-04,8.157799e-04,8.204993e-04,8.217405e-04,8.247759e-04,8.271378e-04,8.286300e-04,8.318196e-04,8.320813e-04,8.351493e-04,8.358307e-04,8.378529e-04,8.392147e-04,8.402107e-04,8.420136e-04,8.422404e-04,8.439594e-04,8.442675e-04,8.453846e-04,8.460148e-04,8.465319e-04,8.472923e-04,8.474169e-04,8.480547e-04,8.481347e-04,8.484594e-04,8.485750e-04,8.486449e-04,8.486442e-04,8.486242e-04,8.484099e-04,8.483718e-04,8.480140e-04,8.477852e-04,8.474478e-04,8.469104e-04,8.467223e-04,8.458476e-04,8.457715e-04,8.448337e-04,8.443912e-04,8.436898e-04,8.427907e-04,8.424248e-04,8.410470e-04,8.409897e-04,8.395645e-04,8.390066e-04,8.379847e-04,8.368585e-04,8.363147e-04,8.345614e-04,8.321299e-04,8.295778e-04,8.269179e-04,8.241619e-04,8.213206e-04,8.184043e-04,8.154223e-04,8.123831e-04,8.092948e-04,8.061648e-04,8.029998e-04,7.998061e-04,7.965894e-04,7.933552e-04,7.901083e-04,7.868531e-04,7.835939e-04,7.803345e-04,7.770783e-04,7.738286e-04,7.705883e-04,7.673600e-04,7.641464e-04,7.609495e-04
0.000000e+00,3.966230e-12,2.044461e-11,2.341860e-10,1.177068e-09,2.463127e-09,1.208065e-08,1.279145e-08,4.515112e-08,6.127861e-08,1.249094e-07,2.115156e-07,2.922273e-07,5.729293e-07,6.050078e-07,1.141324e-06,1.313929e-06,2.001074e-06,2.668425e-06,3.306301e-06,4.936136e-06,5.199504e-06,7.839837e-06,8.472427e-06,1.139775e-05,1.366878e-05,1.604893e-05,2.092890e-05,2.196827e-05,2.932416e-05,3.064510e-05,3.827345e-05,4.317717e-05,4.895705e-05,5.883493e-05,6.149633e-05,7.599025e-05,7.786467e-05,9.251321e-05,1.004396e-04,1.111137e-04,1.266541e-04,1.318137e-04,1.546086e-04,1.565219e-04,1.794677e-04,1.899778e-04,2.063359e-04,2.268819e-04,2.351348e-04,2.657651e-04,2.670268e-04,2.981088e-04,3.101467e-04,3.320322e-04,3.559276e-04,3.673879e-04,4.040181e-04,4.417574e-04,4.540405e-04,4.804352e-04,5.056016e-04,5.198783e-04,5.583027e-04,5.599134e-04,6.003689e-04,6.117488e-04,6.410773e-04,6.655562e-04,6.818767e-04,7.193591e-04,7.226120e-04,7.631363e-04,7.728152e-04,8.033117e-04,8.256094e-04,8.430103e-04,8.774568e-04,8.821142e-04,9.205165e-04,9.281041e-04,9.581208e-04,9.773309e-04,9.948415e-04,1.024949e-03,1.030604e-03,1.065342e-03,1.070802e-03,1.099003e-03,1.114763e-03,1.131540e-03,1.156737e-03,1.162918e-03,1.193108e-03,1.196650e-03,1.222092e-03,1.234458e-03,1.249855e-03,1.270136e-03,1.276393e-03,1.301706e-03,1.303679e-03,1.325800e-03,1.335099e-03,1.348686e-03,1.364423e-03,1.370378e-03,1.390896e-03,1.391693e-03,1.410262e-03,1.416957e-03,1.428502e-03,1.440276e-03,1.445644e-03,1.461716e-03,1.476751e-03,1.481349e-03,1.490782e-03,1.499250e-03,1.503842e-03,1.515498e-03,1.515965e-03,1.527187e-03,1.530172e-03,1.537543e-03,1.543355e-03,1.547067e-03,1.555125e-03,1.555795e-03,1.563761e-03,1.565563e-03,1.570999e-03,1.574747e-03,1.577543e-03,1.582754e-03,1.583426e-03,1.588680e-03,1.589658e-03,1.593336e-03,1.595530e-03,1.597424e-03,1.600440e-03,1.600973e-03,1.604013e-03,1.604454e-03,1.606571e-03,1.607634e-03,1.608672e-03,1.610042e-03,1.610343e-03,1.611607e-03,1.611732e-03,1.612488e-03,1.612761e-03,1.613009e-03,1.613177e-03,1.613191e-03,1.613055e-03,1.613031e-03,1.612619e-03,1.612365e-03,1.611903e-03,1.611224e-03,1.610924e-03,1.609700e-03,1.609646e-03,1.608245e-03,1.607669e-03,1.606577e-03,1.605327e-03,1.604708e-03,1.602653e-03,1.599678e-03,1.596428e-03,1.592931e-03,1.589210e-03,1.585289e-03,1.581188e-03,1.576927e-03,1.572524e-03,1.567995e-03,1.563356e-03,1.558621e-03,1.553803e-03,1.548916e-03,1.543969e-03,1.538973e-03,1.533939e-03,1.528874e-03,1.523788e-03,1.518686e-03,1.513578e-03,1.508468e-03,1.503362e-03,1.498267e-03,1.493187e-03
0.000000e+00,1.879094e-09,4.482441e-09,1.611485e-08,3.747741e-08,5.515619e-08,1.273092e-07,1.312191e-07,2.570607e-07,3.030960e-07,4.468102e-07,5.979085e-07,7.164171e-07,1.049351e-06,1.082549e-06,1.558318e-06,1.689475e-06,2.147478e-06,2.524834e-06,2.843663e-06,3.535989e-06,3.635716e-06,4.512503e-06,4.697157e-06,5.464408e-06,5.986278e-06,6.483071e-06,7.384703e-06,7.560800e-06,8.690138e-06,8.875125e-06,9.863650e-06,1.044043e-05,1.107387e-05,1.206345e-05,1.231333e-05,1.357466e-05,1.372715e-05,1.485072e-05,1.541508e-05,1.613469e-05,1.711183e-05,1.742015e-05,1.870120e-05,1.880333e-05,1.997250e-05,2.047719e-05,2.122924e-05,2.212271e-05,2.246724e-05,2.368287e-05,2.373098e-05,2.487304e-05,2.529475e-05,2.603518e-05,2.680835e-05,2.716722e-05,2.826752e-05,2.933482e-05,2.966923e-05,3.036821e-05,3.101151e-05,3.136711e-05,3.229328e-05,3.233117e-05,3.326029e-05,3.351420e-05,3.415458e-05,3.467452e-05,3.501427e-05,3.577497e-05,3.583977e-05,3.663158e-05,3.681666e-05,3.739029e-05,3.780097e-05,3.811659e-05,3.872950e-05,3.881121e-05,3.947492e-05,3.960403e-05,4.010855e-05,4.042641e-05,4.071291e-05,4.119857e-05,4.128885e-05,4.183722e-05,4.192245e-05,4.235887e-05,4.260003e-05,4.285468e-05,4.323328e-05,4.332548e-05,4.377210e-05,4.382411e-05,4.419539e-05,4.437445e-05,4.459615e-05,4.488615e-05,4.497517e-05,4.533325e-05,4.536101e-05,4.567114e-05,4.580082e-05,4.598960e-05,4.620725e-05,4.628933e-05,4.657106e-05,4.658197e-05,4.683547e-05,4.692655e-05,4.708323e-05,4.724253e-05,4.731498e-05,4.753136e-05,4.773297e-05,4.779446e-05,4.792040e-05,4.803317e-05,4.809422e-05,4.824880e-05,4.825498e-05,4.840323e-05,4.844257e-05,4.853948e-05,4.861567e-05,4.866422e-05,4.876923e-05,4.877793e-05,4.888110e-05,4.890433e-05,4.897415e-05,4.902201e-05,4.905753e-05,4.912324e-05,4.913166e-05,4.919693e-05,4.920896e-05,4.925375e-05,4.928007e-05,4.930247e-05,4.933742e-05,4.934348e-05,4.937710e-05,4.938182e-05,4.940369e-05,4.941404e-05,4.942355e-05,4.943482e-05,4.943701e-05,4.944436e-05,4.944485e-05,4.944590e-05,4.944480e-05,4.944189e-05,4.943530e-05,4.943261e-05,4.941831e-05,4.941696e-05,4.939924e-05,4.939033e-05,4.937564e-05,4.935597e-05,4.934774e-05,4.931575e-05,4.931439e-05,4.927988e-05,4.926607e-05,4.924035e-05,4.921147e-05,4.919734e-05,4.915105e-05,4.908521e-05,4.901434e-05,4.893883e-05,4.885903e-05,4.877527e-05,4.868787e-05,4.859713e-05,4.850334e-05,4.840676e-05,4.830765e-05,4.820625e-05,4.810279e-05,4.799749e-05,4.789054e-05,4.778213e-05,4.767246e-05,4.756168e-05,4.744996e-05,4.733745e-05,4.722429e-05,4.711062e-05,4.699657e-05,4.688224e-05,4.676775e-05
0.000000e+00,2.032760e-09,4.673972e-09,1.610982e-08,3.662210e-08,5.338074e-08,1.207721e-07,1.243924e-07,2.398229e-07,2.816419e-07,4.111709e-07,5.459903e-07,6.508882e-07,9.419166e-07,9.706435e-07,1.376503e-06,1.486501e-06,1.864673e-06,2.169997e-06,2.424133e-06,2.965688e-06,3.042665e-06,3.709767e-06,3.848221e-06,4.416668e-06,4.797393e-06,5.155635e-06,5.795861e-06,5.919453e-06,6.701174e-06,6.827458e-06,7.494064e-06,7.876707e-06,8.291655e-06,8.928994e-06,9.087840e-06,9.876975e-06,9.970950e-06,1.065396e-05,1.099081e-05,1.141431e-05,1.197866e-05,1.215417e-05,1.287034e-05,1.292653e-05,1.356023e-05,1.382836e-05,1.422185e-05,1.467988e-05,1.485376e-05,1.545498e-05,1.547839e-05,1.602500e-05,1.622252e-05,1.656363e-05,1.691205e-05,1.707104e-05,1.754761e-05,1.799397e-05,1.813054e-05,1.841088e-05,1.866267e-05,1.879927e-05,1.914619e-05,1.916011e-05,1.949449e-05,1.958352e-05,1.980351e-05,1.997721e-05,2.008829e-05,2.032987e-05,2.034998e-05,2.058972e-05,2.064411e-05,2.080862e-05,2.092251e-05,2.100777e-05,2.116754e-05,2.118824e-05,2.135107e-05,2.138160e-05,2.149724e-05,2.156698e-05,2.162771e-05,2.172585e-05,2.174340e-05,2.184520e-05,2.186025e-05,2.193392e-05,2.197210e-05,2.201037e-05,2.206321e-05,2.207531e-05,2.212946e-05,2.213526e-05,2.217349e-05,2.218982e-05,2.220805e-05,2.222836e-05,2.223375e-05,2.225118e-05,2.225223e-05,2.226087e-05,2.226270e-05,2.226335e-05,2.226094e-05,2.225909e-05,2.224857e-05,2.224803e-05,2.223221e-05,2.222497e-05,2.221042e-05,2.219271e-05,2.218359e-05,2.215209e-05,2.211624e-05,2.210391e-05,2.207639e-05,2.204891e-05,2.203282e-05,2.198777e-05,2.198582e-05,2.193567e-05,2.192110e-05,2.188262e-05,2.184949e-05,2.182690e-05,2.177348e-05,2.176874e-05,2.170835e-05,2.169355e-05,2.164592e-05,2.161015e-05,2.158165e-05,2.152370e-05,2.151571e-05,2.144825e-05,2.143459e-05,2.137944e-05,2.134317e-05,2.130942e-05,2.124976e-05,2.123832e-05,2.116627e-05,2.115467e-05,2.109340e-05,2.105816e-05,2.101981e-05,2.096049e-05,2.094560e-05,2.087089e-05,2.086189e-05,2.079575e-05,2.076258e-05,2.072028e-05,2.066275e-05,2.064455e-05,2.056865e-05,2.056257e-05,2.049263e-05,2.046221e-05,2.041658e-05,2.036183e-05,2.034054e-05,2.026458e-05,2.026155e-05,2.018875e-05,2.016149e-05,2.011310e-05,2.006178e-05,2.003767e-05,1.996252e-05,1.986379e-05,1.976569e-05,1.966829e-05,1.957165e-05,1.947585e-05,1.938093e-05,1.928694e-05,1.919394e-05,1.910196e-05,1.901103e-05,1.892119e-05,1.883245e-05,1.874485e-05,1.865841e-05,1.857313e-05,1.848903e-05,1.840613e-05,1.832443e-05,1.824394e-05,1.816465e-05,1.808658e-05,1.800973e-05,1.793409e-05,1.785966e-05
0.000000e+00,3.337117e-09,7.638222e-09,2.624849e-08,5.968937e-08,8.706954e-08,1.975818e-07,2.035339e-07,3.939190e-07,4.631301e-07,6.780623e-07,9.023145e-07,1.076875e-06,1.559700e-06,1.607153e-06,2.272698e-06,2.451669e-06,3.064207e-06,3.557555e-06,3.968626e-06,4.848782e-06,4.974512e-06,6.072054e-06,6.301740e-06,7.251904e-06,7.894780e-06,8.504432e-06,9.605274e-06,9.819436e-06,1.118619e-05,1.140894e-05,1.259364e-05,1.328041e-05,1.403069e-05,1.519433e-05,1.548648e-05,1.695063e-05,1.712643e-05,1.841349e-05,1.905442e-05,1.986622e-05,2.095867e-05,2.130099e-05,2.271092e-05,2.282246e-05,2.409017e-05,2.463215e-05,2.543385e-05,2.637702e-05,2.673800e-05,2.799951e-05,2.804904e-05,2.921601e-05,2.964259e-05,3.038583e-05,3.115407e-05,3.150788e-05,3.258159e-05,3.360680e-05,3.392465e-05,3.458372e-05,3.518384e-05,3.551287e-05,3.636060e-05,3.639499e-05,3.723103e-05,3.745701e-05,3.802208e-05,3.847561e-05,3.876934e-05,3.941927e-05,3.947412e-05,4.013777e-05,4.029108e-05,4.076168e-05,4.109424e-05,4.134727e-05,4.183202e-05,4.189596e-05,4.240918e-05,4.250769e-05,4.288832e-05,4.312447e-05,4.333478e-05,4.368554e-05,4.374992e-05,4.413507e-05,4.419400e-05,4.449153e-05,4.465282e-05,4.482057e-05,4.506488e-05,4.512341e-05,4.540124e-05,4.543296e-05,4.565521e-05,4.575969e-05,4.588644e-05,4.604761e-05,4.609598e-05,4.628487e-05,4.629912e-05,4.645410e-05,4.651651e-05,4.660463e-05,4.670195e-05,4.673738e-05,4.685322e-05,4.685751e-05,4.695300e-05,4.698515e-05,4.703754e-05,4.708671e-05,4.710760e-05,4.716394e-05,4.720727e-05,4.721850e-05,4.723827e-05,4.725195e-05,4.725760e-05,4.726575e-05,4.726588e-05,4.726371e-05,4.726130e-05,4.725166e-05,4.723992e-05,4.723028e-05,4.720282e-05,4.720009e-05,4.716160e-05,4.715117e-05,4.711527e-05,4.708608e-05,4.706157e-05,4.700856e-05,4.700093e-05,4.693376e-05,4.691958e-05,4.686047e-05,4.682006e-05,4.678142e-05,4.671084e-05,4.669698e-05,4.660750e-05,4.659273e-05,4.651329e-05,4.646649e-05,4.641468e-05,4.633282e-05,4.631196e-05,4.620541e-05,4.619238e-05,4.609530e-05,4.604580e-05,4.598190e-05,4.589365e-05,4.586544e-05,4.574616e-05,4.573650e-05,4.562427e-05,4.557484e-05,4.550000e-05,4.540916e-05,4.537354e-05,4.524509e-05,4.523991e-05,4.511481e-05,4.506750e-05,4.498289e-05,4.489233e-05,4.484950e-05,4.471477e-05,4.453516e-05,4.435381e-05,4.417103e-05,4.398709e-05,4.380226e-05,4.361677e-05,4.343085e-05,4.324471e-05,4.305854e-05,4.287252e-05,4.268682e-05,4.250159e-05,4.231698e-05,4.213312e-05,4.195012e-05,4.176811e-05,4.158719e-05,4.140745e-05,4.122897e-05,4.105185e-05,4.087614e-05,4.070193e-05,4.052926e-05,4.035819e-05
0.000000e+00,5.158711e-09,1.216035e-08,4.314999e-08,9.971444e-08,1.464045e-07,3.366422e-07,3.469469e-07,6.787543e-07,8.002507e-07,1.179939e-06,1.579539e-06,1.892938e-06,2.770902e-06,2.858090e-06,4.096380e-06,4.433463e-06,5.595133e-06,6.535236e-06,7.318892e-06,8.992141e-06,9.230345e-06,1.129873e-05,1.172896e-05,1.349887e-05,1.468757e-05,1.580856e-05,1.781809e-05,1.820696e-05,2.067387e-05,2.107362e-05,2.318968e-05,2.440906e-05,2.573552e-05,2.778184e-05,2.829363e-05,3.084757e-05,3.115304e-05,3.338247e-05,3.448834e-05,3.588517e-05,3.775861e-05,3.834428e-05,4.075008e-05,4.093999e-05,4.309456e-05,4.401370e-05,4.537127e-05,4.696561e-05,4.757509e-05,4.970214e-05,4.978559e-05,5.174971e-05,5.246699e-05,5.371596e-05,5.500603e-05,5.559991e-05,5.740125e-05,5.912024e-05,5.965303e-05,6.075760e-05,6.176318e-05,6.231446e-05,6.373461e-05,6.379222e-05,6.519257e-05,6.557104e-05,6.651735e-05,6.727679e-05,6.776860e-05,6.885660e-05,6.894840e-05,7.005895e-05,7.031543e-05,7.110247e-05,7.165840e-05,7.208121e-05,7.289072e-05,7.299744e-05,7.385342e-05,7.401758e-05,7.465139e-05,7.504414e-05,7.539356e-05,7.597546e-05,7.608211e-05,7.671920e-05,7.681650e-05,7.730691e-05,7.757208e-05,7.784730e-05,7.824689e-05,7.834237e-05,7.879406e-05,7.884544e-05,7.920428e-05,7.937211e-05,7.957486e-05,7.983109e-05,7.990758e-05,8.020418e-05,8.022640e-05,8.046633e-05,8.056190e-05,8.069564e-05,8.084130e-05,8.089369e-05,8.106198e-05,8.106812e-05,8.120198e-05,8.124572e-05,8.131508e-05,8.137732e-05,8.140264e-05,8.146598e-05,8.150634e-05,8.151460e-05,8.152493e-05,8.152595e-05,8.152292e-05,8.150265e-05,8.150143e-05,8.146152e-05,8.144719e-05,8.140423e-05,8.136193e-05,8.133055e-05,8.124910e-05,8.124142e-05,8.113776e-05,8.111081e-05,8.102043e-05,8.094908e-05,8.089028e-05,8.076578e-05,8.074811e-05,8.059467e-05,8.056269e-05,8.043070e-05,8.034151e-05,8.025691e-05,8.010382e-05,8.007396e-05,7.988250e-05,7.985112e-05,7.968313e-05,7.958480e-05,7.947645e-05,7.930620e-05,7.926300e-05,7.904332e-05,7.901657e-05,7.881792e-05,7.871706e-05,7.858729e-05,7.840878e-05,7.835187e-05,7.811212e-05,7.809276e-05,7.786844e-05,7.776997e-05,7.762125e-05,7.744129e-05,7.737090e-05,7.711777e-05,7.710759e-05,7.686220e-05,7.676966e-05,7.660450e-05,7.642821e-05,7.634499e-05,7.608396e-05,7.573753e-05,7.538953e-05,7.504050e-05,7.469097e-05,7.434141e-05,7.399227e-05,7.364395e-05,7.329683e-05,7.295126e-05,7.260756e-05,7.226603e-05,7.192692e-05,7.159050e-05,7.125698e-05,7.092657e-05,7.059945e-05,7.027579e-05,6.995574e-05,6.963943e-05,6.932698e-05,6.901849e-05,6.871406e-05,6.841377e-05,6.811768e-05
0.000000e+00,1.524788e-09,3.497235e-09,1.205807e-08,2.752381e-08,4.026063e-08,9.231510e-08,9.514712e-08,1.871641e-07,2.212666e-07,3.292068e-07,4.449234e-07,5.371186e-07,8.019891e-07,8.288281e-07,1.220736e-06,1.330876e-06,1.720843e-06,2.046365e-06,2.322689e-06,2.921421e-06,3.007137e-06,3.750892e-06,3.904869e-06,4.533458e-06,4.950374e-06,5.339254e-06,6.025679e-06,6.156932e-06,6.978092e-06,7.109349e-06,7.796265e-06,8.186362e-06,8.606247e-06,9.245406e-06,9.403715e-06,1.018504e-05,1.027756e-05,1.094714e-05,1.127570e-05,1.168748e-05,1.223430e-05,1.240400e-05,1.309504e-05,1.314918e-05,1.375935e-05,1.401739e-05,1.439608e-05,1.483713e-05,1.500469e-05,1.558491e-05,1.560752e-05,1.613675e-05,1.632850e-05,1.666043e-05,1.700063e-05,1.715633e-05,1.762499e-05,1.806707e-05,1.820304e-05,1.848331e-05,1.873652e-05,1.887452e-05,1.922733e-05,1.924156e-05,1.958531e-05,1.967751e-05,1.990668e-05,2.008913e-05,2.020657e-05,2.046430e-05,2.048591e-05,2.074558e-05,2.080508e-05,2.098648e-05,2.111351e-05,2.120948e-05,2.139157e-05,2.141541e-05,2.160510e-05,2.164115e-05,2.177933e-05,2.186409e-05,2.193889e-05,2.206211e-05,2.208450e-05,2.221687e-05,2.223687e-05,2.233669e-05,2.238994e-05,2.244461e-05,2.252280e-05,2.254125e-05,2.262722e-05,2.263685e-05,2.270309e-05,2.273341e-05,2.276940e-05,2.281373e-05,2.282668e-05,2.287542e-05,2.287896e-05,2.291610e-05,2.293021e-05,2.294917e-05,2.296851e-05,2.297506e-05,2.299418e-05,2.299481e-05,2.300693e-05,2.301003e-05,2.301368e-05,2.301502e-05,2.301477e-05,2.301055e-05,2.300134e-05,2.299738e-05,2.298743e-05,2.297621e-05,2.296913e-05,2.294767e-05,2.294670e-05,2.292040e-05,2.291237e-05,2.289048e-05,2.287089e-05,2.285718e-05,2.282375e-05,2.282072e-05,2.278131e-05,2.277144e-05,2.273916e-05,2.271442e-05,2.269445e-05,2.265313e-05,2.264736e-05,2.259807e-05,2.258796e-05,2.254673e-05,2.251928e-05,2.249351e-05,2.244746e-05,2.243855e-05,2.238199e-05,2.237279e-05,2.232395e-05,2.229561e-05,2.226456e-05,2.221617e-05,2.220395e-05,2.214222e-05,2.213474e-05,2.207947e-05,2.205157e-05,2.201582e-05,2.196688e-05,2.195134e-05,2.188613e-05,2.188088e-05,2.182028e-05,2.179377e-05,2.175386e-05,2.170573e-05,2.168695e-05,2.161962e-05,2.161692e-05,2.155194e-05,2.152750e-05,2.148397e-05,2.143762e-05,2.141577e-05,2.134740e-05,2.125698e-05,2.116646e-05,2.107595e-05,2.098555e-05,2.089535e-05,2.080543e-05,2.071587e-05,2.062673e-05,2.053809e-05,2.044999e-05,2.036249e-05,2.027565e-05,2.018950e-05,2.010409e-05,2.001945e-05,1.993561e-05,1.985261e-05,1.977047e-05,1.968921e-05,1.960886e-05,1.952943e-05,1.945094e-05,1.937340e-05,1.929683e-05
0.000000e+00,2.144095e-11,1.000082e-10,9.351365e-10,3.929675e-09,7.474008e-09,2.894594e-08,3.036695e-08,8.639752e-08,1.109791e-07,1.984187e-07,3.044117e-07,3.955699e-07,6.800777e-07,7.102937e-07,1.169898e-06,1.303713e-06,1.789412e-06,2.207687e-06,2.571904e-06,3.392125e-06,3.513255e-06,4.606495e-06,4.842702e-06,5.844015e-06,6.541986e-06,7.218074e-06,8.471873e-06,8.720541e-06,1.034248e-05,1.061242e-05,1.207387e-05,1.294058e-05,1.390358e-05,1.543001e-05,1.581948e-05,1.780873e-05,1.805174e-05,1.985811e-05,2.077547e-05,2.195436e-05,2.357086e-05,2.408450e-05,2.623612e-05,2.640882e-05,2.839756e-05,2.926246e-05,3.055812e-05,3.210770e-05,3.270812e-05,3.483893e-05,3.492366e-05,3.694304e-05,3.769270e-05,3.901395e-05,4.040036e-05,4.104616e-05,4.303509e-05,4.497699e-05,4.558796e-05,4.686888e-05,4.805233e-05,4.870841e-05,5.042350e-05,5.049386e-05,5.222399e-05,5.269839e-05,5.389800e-05,5.487527e-05,5.551546e-05,5.695350e-05,5.707628e-05,5.858061e-05,5.893328e-05,6.002884e-05,6.081555e-05,6.142153e-05,6.260173e-05,6.275941e-05,6.404333e-05,6.429372e-05,6.527423e-05,6.589369e-05,6.645315e-05,6.740406e-05,6.758116e-05,6.865943e-05,6.882741e-05,6.968912e-05,7.016647e-05,7.067144e-05,7.142402e-05,7.160762e-05,7.249889e-05,7.260288e-05,7.334648e-05,7.370591e-05,7.415165e-05,7.473596e-05,7.491562e-05,7.563961e-05,7.569584e-05,7.632485e-05,7.658837e-05,7.697254e-05,7.741628e-05,7.758385e-05,7.815995e-05,7.818228e-05,7.870200e-05,7.888902e-05,7.921113e-05,7.953908e-05,7.968842e-05,8.013498e-05,8.055186e-05,8.067917e-05,8.094010e-05,8.117401e-05,8.130072e-05,8.162184e-05,8.163470e-05,8.194301e-05,8.202487e-05,8.222660e-05,8.238526e-05,8.248638e-05,8.270512e-05,8.272325e-05,8.293808e-05,8.298646e-05,8.313172e-05,8.323121e-05,8.330500e-05,8.344127e-05,8.345871e-05,8.359363e-05,8.361843e-05,8.371053e-05,8.376443e-05,8.381013e-05,8.388095e-05,8.389315e-05,8.396028e-05,8.396959e-05,8.401219e-05,8.403190e-05,8.404954e-05,8.406934e-05,8.407294e-05,8.408301e-05,8.408335e-05,8.408034e-05,8.407528e-05,8.406551e-05,8.404644e-05,8.403906e-05,8.400153e-05,8.399807e-05,8.395345e-05,8.393137e-05,8.389530e-05,8.384748e-05,8.382758e-05,8.375075e-05,8.374749e-05,8.366526e-05,8.363245e-05,8.357155e-05,8.350335e-05,8.347005e-05,8.336115e-05,8.320675e-05,8.304102e-05,8.286478e-05,8.267881e-05,8.248387e-05,8.228067e-05,8.206988e-05,8.185214e-05,8.162808e-05,8.139826e-05,8.116325e-05,8.092356e-05,8.067969e-05,8.043211e-05,8.018126e-05,7.992756e-05,7.967142e-05,7.941321e-05,7.915328e-05,7.889197e-05,7.862960e-05,7.836646e-05,7.810283e-05,7.783899e-05
0.000000e+00,1.707299e-12,8.733840e-12,9.845271e-11,4.875798e-10,1.012003e-09,4.859269e-09,5.140735e-09,1.776719e-08,2.397606e-08,4.817797e-08,8.064775e-08,1.105905e-07,2.132233e-07,2.248409e-07,4.167751e-07,4.778137e-07,7.182092e-07,9.484905e-07,1.166235e-06,1.714097e-06,1.801630e-06,2.666342e-06,2.870395e-06,3.800403e-06,4.508474e-06,5.238875e-06,6.702890e-06,7.009355e-06,9.130317e-06,9.502910e-06,1.161034e-05,1.292826e-05,1.444807e-05,1.696892e-05,1.763284e-05,2.114564e-05,2.158805e-05,2.496042e-05,2.672660e-05,2.904550e-05,3.230899e-05,3.336503e-05,3.788035e-05,3.824884e-05,4.255137e-05,4.445431e-05,4.733767e-05,5.083283e-05,5.219951e-05,5.709869e-05,5.729492e-05,6.199917e-05,6.375715e-05,6.686760e-05,7.014421e-05,7.167364e-05,7.639021e-05,8.099355e-05,8.243929e-05,8.546327e-05,8.824573e-05,8.978225e-05,9.377365e-05,9.393651e-05,9.791502e-05,9.899632e-05,1.017095e-04,1.038954e-04,1.053142e-04,1.084598e-04,1.087256e-04,1.119422e-04,1.126852e-04,1.149642e-04,1.165722e-04,1.177935e-04,1.201263e-04,1.204332e-04,1.228875e-04,1.233565e-04,1.251613e-04,1.262744e-04,1.272607e-04,1.288938e-04,1.291918e-04,1.309614e-04,1.312301e-04,1.325767e-04,1.332993e-04,1.340449e-04,1.351184e-04,1.353732e-04,1.365690e-04,1.367039e-04,1.376396e-04,1.380728e-04,1.385921e-04,1.392412e-04,1.394334e-04,1.401704e-04,1.402251e-04,1.408096e-04,1.410393e-04,1.413574e-04,1.416985e-04,1.418196e-04,1.422022e-04,1.422160e-04,1.425106e-04,1.426045e-04,1.427501e-04,1.428760e-04,1.429254e-04,1.430414e-04,1.431024e-04,1.431110e-04,1.431125e-04,1.430940e-04,1.430756e-04,1.429993e-04,1.429953e-04,1.428750e-04,1.428347e-04,1.427180e-04,1.426074e-04,1.425272e-04,1.423242e-04,1.423054e-04,1.420551e-04,1.419911e-04,1.417788e-04,1.416136e-04,1.414788e-04,1.411968e-04,1.411571e-04,1.408157e-04,1.407452e-04,1.404563e-04,1.402630e-04,1.400808e-04,1.397540e-04,1.396906e-04,1.392873e-04,1.392216e-04,1.388720e-04,1.386689e-04,1.384462e-04,1.380987e-04,1.380110e-04,1.375674e-04,1.375137e-04,1.371165e-04,1.369160e-04,1.366592e-04,1.363079e-04,1.361963e-04,1.357287e-04,1.356912e-04,1.352572e-04,1.350676e-04,1.347823e-04,1.344386e-04,1.343047e-04,1.338251e-04,1.338058e-04,1.333439e-04,1.331704e-04,1.328617e-04,1.325335e-04,1.323790e-04,1.318962e-04,1.312595e-04,1.306241e-04,1.299908e-04,1.293604e-04,1.287335e-04,1.281107e-04,1.274923e-04,1.268790e-04,1.262711e-04,1.256689e-04,1.250728e-04,1.244831e-04,1.239000e-04,1.233237e-04,1.227545e-04,1.221925e-04,1.216378e-04,1.210905e-04,1.205509e-04,1.200189e-04,1.194946e-04,1.189780e-04,1.184693e-04,1.179684e-04
0.000000e+00,6.597728e-13,3.299678e-12,3.546795e-11,1.680539e-10,3.403101e-10,1.531118e-09,1.615455e-09,5.222883e-09,6.918825e-09,1.326152e-08,2.135135e-08,2.853477e-08,5.189404e-08,5.444721e-08,9.486008e-08,1.071735e-07,1.539077e-07,1.966714e-07,2.357454e-07,3.296768e-07,3.442111e-07,4.824513e-07,5.138813e-07,6.526131e-07,7.540842e-07,8.556700e-07,1.051526e-06,1.091395e-06,1.358442e-06,1.403933e-06,1.654502e-06,1.806033e-06,1.976485e-06,2.250282e-06,2.320717e-06,2.683120e-06,2.727626e-06,3.059385e-06,3.228202e-06,3.445124e-06,3.741947e-06,3.835999e-06,4.227836e-06,4.259105e-06,4.616720e-06,4.770630e-06,4.999061e-06,5.268482e-06,5.371658e-06,5.731725e-06,5.745833e-06,6.076919e-06,6.197168e-06,6.405337e-06,6.618314e-06,6.715513e-06,7.006393e-06,7.277307e-06,7.359721e-06,7.527932e-06,7.677666e-06,7.758254e-06,7.960492e-06,7.968523e-06,8.159214e-06,8.209185e-06,8.330983e-06,8.425288e-06,8.484627e-06,8.610746e-06,8.621049e-06,8.741225e-06,8.767763e-06,8.846177e-06,8.898687e-06,8.936944e-06,9.005913e-06,9.014568e-06,9.080071e-06,9.091805e-06,9.134444e-06,9.158638e-06,9.178641e-06,9.208564e-06,9.213565e-06,9.240066e-06,9.243578e-06,9.258939e-06,9.265508e-06,9.270923e-06,9.276010e-06,9.276700e-06,9.276897e-06,9.276574e-06,9.272089e-06,9.268525e-06,9.262800e-06,9.253038e-06,9.249505e-06,9.232636e-06,9.231144e-06,9.212583e-06,9.203750e-06,9.189698e-06,9.171647e-06,9.164299e-06,9.136674e-06,9.135526e-06,9.107079e-06,9.095989e-06,9.075748e-06,9.053557e-06,9.042888e-06,9.008688e-06,8.973317e-06,8.961776e-06,8.936927e-06,8.913168e-06,8.899657e-06,8.863164e-06,8.861630e-06,8.822957e-06,8.812027e-06,8.783741e-06,8.759988e-06,8.744072e-06,8.707248e-06,8.704033e-06,8.663700e-06,8.653984e-06,8.623141e-06,8.600353e-06,8.582419e-06,8.546492e-06,8.541588e-06,8.500702e-06,8.492522e-06,8.459806e-06,8.438551e-06,8.418944e-06,8.384674e-06,8.378153e-06,8.337470e-06,8.330973e-06,8.296926e-06,8.277523e-06,8.256551e-06,8.224391e-06,8.216372e-06,8.176412e-06,8.171633e-06,8.136695e-06,8.119302e-06,8.097240e-06,8.067442e-06,8.058067e-06,8.019191e-06,8.016094e-06,7.980627e-06,7.965292e-06,7.942390e-06,7.915068e-06,7.904491e-06,7.866941e-06,7.865447e-06,7.829751e-06,7.816452e-06,7.792929e-06,7.768104e-06,7.756483e-06,7.720419e-06,7.673412e-06,7.627095e-06,7.581476e-06,7.536564e-06,7.492364e-06,7.448881e-06,7.406115e-06,7.364070e-06,7.322745e-06,7.282138e-06,7.242247e-06,7.203070e-06,7.164602e-06,7.126839e-06,7.089776e-06,7.053406e-06,7.017723e-06,6.982720e-06,6.948390e-06,6.914724e-06,6.881715e-06,6.849355e-06,6.817635e-06,6.786545e-06
0.000000e+00,7.406250e-09,1.736414e-08,6.106133e-08,1.400634e-07,2.048254e-07,4.660582e-07,4.801147e-07,9.290195e-07,1.091910e-06,1.596965e-06,2.123006e-06,2.532159e-06,3.664429e-06,3.775856e-06,5.342118e-06,5.764073e-06,7.207766e-06,8.367049e-06,9.328756e-06,1.137094e-05,1.166057e-05,1.416531e-05,1.468410e-05,1.681062e-05,1.823197e-05,1.956731e-05,2.194882e-05,2.240783e-05,2.530559e-05,2.577282e-05,2.823501e-05,2.964516e-05,3.117171e-05,3.351096e-05,3.409294e-05,3.697794e-05,3.732080e-05,3.980824e-05,4.103203e-05,4.256783e-05,4.460945e-05,4.524325e-05,4.782350e-05,4.802553e-05,5.029995e-05,5.125998e-05,5.266627e-05,5.429933e-05,5.491814e-05,5.705303e-05,5.713598e-05,5.906991e-05,5.976713e-05,6.096912e-05,6.219412e-05,6.275219e-05,6.442123e-05,6.597903e-05,6.645461e-05,6.742917e-05,6.830250e-05,6.877546e-05,6.997403e-05,7.002203e-05,7.117325e-05,7.147910e-05,7.223352e-05,7.282786e-05,7.320725e-05,7.403043e-05,7.409883e-05,7.491260e-05,7.509680e-05,7.565280e-05,7.603672e-05,7.632355e-05,7.685951e-05,7.692882e-05,7.747243e-05,7.757408e-05,7.795805e-05,7.818882e-05,7.838918e-05,7.871166e-05,7.876915e-05,7.910114e-05,7.915001e-05,7.938815e-05,7.951079e-05,7.963304e-05,7.980043e-05,7.983849e-05,8.000706e-05,8.002493e-05,8.014117e-05,8.018984e-05,8.024307e-05,8.030031e-05,8.031492e-05,8.035874e-05,8.036109e-05,8.037642e-05,8.037658e-05,8.036976e-05,8.035084e-05,8.034044e-05,8.029005e-05,8.028762e-05,8.022008e-05,8.019037e-05,8.013193e-05,8.006228e-05,8.002692e-05,7.990629e-05,7.977120e-05,7.972510e-05,7.962275e-05,7.952120e-05,7.946196e-05,7.929689e-05,7.928980e-05,7.910717e-05,7.905427e-05,7.891492e-05,7.879529e-05,7.871386e-05,7.852174e-05,7.850473e-05,7.828824e-05,7.823526e-05,7.806504e-05,7.793736e-05,7.783577e-05,7.762944e-05,7.760099e-05,7.736126e-05,7.731277e-05,7.711709e-05,7.698852e-05,7.686895e-05,7.665778e-05,7.661729e-05,7.636255e-05,7.632153e-05,7.610511e-05,7.598069e-05,7.584534e-05,7.563608e-05,7.558359e-05,7.532019e-05,7.528848e-05,7.505544e-05,7.493859e-05,7.478962e-05,7.458705e-05,7.452300e-05,7.425583e-05,7.423444e-05,7.398835e-05,7.388131e-05,7.372076e-05,7.352815e-05,7.345328e-05,7.318609e-05,7.317541e-05,7.291937e-05,7.282350e-05,7.265328e-05,7.247278e-05,7.238798e-05,7.212361e-05,7.177629e-05,7.143111e-05,7.108831e-05,7.074812e-05,7.041076e-05,7.007640e-05,6.974522e-05,6.941737e-05,6.909298e-05,6.877216e-05,6.845502e-05,6.814164e-05,6.783212e-05,6.752650e-05,6.722486e-05,6.692724e-05,6.663367e-05,6.634418e-05,6.605881e-05,6.577757e-05,6.550047e-05,6.522751e-05,6.495869e-05,6.469402e-05
0.000000e+00,7.563769e-09,1.746279e-08,6.071007e-08,1.394903e-07,2.048812e-07,4.762884e-07,4.912295e-07,9.849169e-07,1.171328e-06,1.770090e-06,2.420902e-06,2.941295e-06,4.418637e-06,4.565566e-06,6.630439e-06,7.182560e-06,9.047812e-06,1.051602e-05,1.171385e-05,1.420030e-05,1.454704e-05,1.749053e-05,1.808868e-05,2.050357e-05,2.208714e-05,2.355465e-05,2.612772e-05,2.661763e-05,2.966997e-05,3.015600e-05,3.269197e-05,3.412665e-05,3.566660e-05,3.800241e-05,3.857942e-05,4.141840e-05,4.175364e-05,4.417392e-05,4.535791e-05,4.683851e-05,4.879937e-05,4.940674e-05,5.187480e-05,5.206783e-05,5.424029e-05,5.515752e-05,5.650225e-05,5.806663e-05,5.866053e-05,6.071590e-05,6.079599e-05,6.266976e-05,6.334865e-05,6.452401e-05,6.572920e-05,6.628101e-05,6.794341e-05,6.951402e-05,6.999771e-05,7.099580e-05,7.189892e-05,7.239180e-05,7.365414e-05,7.370513e-05,7.493889e-05,7.527051e-05,7.609618e-05,7.675513e-05,7.718007e-05,7.811499e-05,7.819355e-05,7.913958e-05,7.935692e-05,8.002104e-05,8.048750e-05,8.084073e-05,8.151313e-05,8.160138e-05,8.230560e-05,8.243990e-05,8.295596e-05,8.327368e-05,8.355492e-05,8.402006e-05,8.410485e-05,8.460804e-05,8.468436e-05,8.506670e-05,8.527167e-05,8.548295e-05,8.578678e-05,8.585882e-05,8.619627e-05,8.623427e-05,8.649718e-05,8.661847e-05,8.676335e-05,8.694348e-05,8.699652e-05,8.719833e-05,8.721316e-05,8.737037e-05,8.743120e-05,8.751417e-05,8.760103e-05,8.763117e-05,8.772277e-05,8.772592e-05,8.779030e-05,8.780896e-05,8.783503e-05,8.785305e-05,8.785818e-05,8.786091e-05,8.784434e-05,8.783513e-05,8.780952e-05,8.777813e-05,8.775747e-05,8.769218e-05,8.768915e-05,8.760550e-05,8.757944e-05,8.750738e-05,8.744193e-05,8.739565e-05,8.728153e-05,8.727111e-05,8.713452e-05,8.710003e-05,8.698661e-05,8.689910e-05,8.682809e-05,8.668032e-05,8.665960e-05,8.648179e-05,8.644516e-05,8.629526e-05,8.619501e-05,8.610058e-05,8.593116e-05,8.589830e-05,8.568895e-05,8.565483e-05,8.547301e-05,8.536716e-05,8.525096e-05,8.506923e-05,8.502325e-05,8.479031e-05,8.476203e-05,8.455255e-05,8.444651e-05,8.431035e-05,8.412354e-05,8.406409e-05,8.381410e-05,8.379395e-05,8.356073e-05,8.345851e-05,8.330430e-05,8.311793e-05,8.304510e-05,8.278342e-05,8.277290e-05,8.251953e-05,8.242404e-05,8.225369e-05,8.207193e-05,8.198614e-05,8.171713e-05,8.136015e-05,8.100146e-05,8.064151e-05,8.028072e-05,7.991946e-05,7.955810e-05,7.919697e-05,7.883637e-05,7.847659e-05,7.811791e-05,7.776056e-05,7.740477e-05,7.705075e-05,7.669870e-05,7.634880e-05,7.600120e-05,7.565607e-05,7.531352e-05,7.497370e-05,7.463672e-05,7.430267e-05,7.397166e-05,7.364377e-05,7.331907e-05
0.000000e+00,8.016180e-12,3.954509e-11,4.133667e-10,1.910796e-09,3.818566e-09,1.662681e-08,1.752014e-08,5.497318e-08,7.227073e-08,1.360470e-07,2.161460e-07,2.865688e-07,5.130244e-07,5.376194e-07,9.246571e-07,1.042008e-06,1.485948e-06,1.890680e-06,2.259462e-06,3.142113e-06,3.278188e-06,4.565390e-06,4.856215e-06,6.131663e-06,7.056074e-06,7.974518e-06,9.726297e-06,1.007996e-05,1.242506e-05,1.282063e-05,1.498072e-05,1.627267e-05,1.771408e-05,2.000542e-05,2.059045e-05,2.357474e-05,2.393846e-05,2.663252e-05,2.799264e-05,2.973071e-05,3.209313e-05,3.283818e-05,3.592609e-05,3.617148e-05,3.896823e-05,4.016693e-05,4.194119e-05,4.402725e-05,4.482446e-05,4.760057e-05,4.770917e-05,5.025499e-05,5.117846e-05,5.277608e-05,5.440964e-05,5.515499e-05,5.738544e-05,5.946352e-05,6.009598e-05,6.138746e-05,6.253786e-05,6.315736e-05,6.471314e-05,6.477495e-05,6.624337e-05,6.662835e-05,6.756686e-05,6.829350e-05,6.875058e-05,6.972119e-05,6.980039e-05,7.072265e-05,7.092576e-05,7.152407e-05,7.192265e-05,7.221155e-05,7.272783e-05,7.279208e-05,7.327262e-05,7.335734e-05,7.366003e-05,7.382691e-05,7.396101e-05,7.415177e-05,7.418202e-05,7.432928e-05,7.434640e-05,7.440872e-05,7.442442e-05,7.442595e-05,7.439854e-05,7.438630e-05,7.429477e-05,7.428053e-05,7.415607e-05,7.408124e-05,7.397458e-05,7.381057e-05,7.375441e-05,7.349936e-05,7.347755e-05,7.321296e-05,7.309036e-05,7.289849e-05,7.265640e-05,7.255898e-05,7.219722e-05,7.218233e-05,7.181579e-05,7.167413e-05,7.141707e-05,7.113718e-05,7.100324e-05,7.057629e-05,7.013808e-05,6.999575e-05,6.969028e-05,6.939937e-05,6.923443e-05,6.879056e-05,6.877195e-05,6.830413e-05,6.817235e-05,6.783214e-05,6.754740e-05,6.735706e-05,6.691809e-05,6.687985e-05,6.640141e-05,6.628650e-05,6.592255e-05,6.565447e-05,6.544398e-05,6.502362e-05,6.496638e-05,6.449034e-05,6.439537e-05,6.401641e-05,6.377096e-05,6.354506e-05,6.315145e-05,6.307674e-05,6.261184e-05,6.253780e-05,6.215070e-05,6.193078e-05,6.169364e-05,6.133111e-05,6.124093e-05,6.079281e-05,6.073935e-05,6.034950e-05,6.015601e-05,5.991118e-05,5.958150e-05,5.947801e-05,5.905014e-05,5.901615e-05,5.862769e-05,5.846024e-05,5.821074e-05,5.791400e-05,5.779939e-05,5.739370e-05,5.737759e-05,5.699371e-05,5.685113e-05,5.659948e-05,5.633470e-05,5.621102e-05,5.582835e-05,5.533209e-05,5.484592e-05,5.436980e-05,5.390366e-05,5.344743e-05,5.300103e-05,5.256434e-05,5.213725e-05,5.171962e-05,5.131132e-05,5.091221e-05,5.052213e-05,5.014093e-05,4.976845e-05,4.940452e-05,4.904899e-05,4.870168e-05,4.836242e-05,4.803105e-05,4.770740e-05,4.739130e-05,4.708258e-05,4.678108e-05,4.648663e-05
0.000000e+00,4.209328e-09,1.008919e-08,3.660512e-08,8.615255e-08,1.279452e-07,3.055508e-07,3.154853e-07,6.507684e-07,7.802797e-07,1.203649e-06,1.671149e-06,2.046485e-06,3.103720e-06,3.207778e-06,4.650867e-06,5.032281e-06,6.315369e-06,7.325476e-06,8.153003e-06,9.887584e-06,1.013168e-05,1.222932e-05,1.266154e-05,1.442849e-05,1.560697e-05,1.671353e-05,1.868804e-05,1.906902e-05,2.147937e-05,2.186907e-05,2.392883e-05,2.511383e-05,2.640170e-05,2.838665e-05,2.888284e-05,3.135789e-05,3.165385e-05,3.381355e-05,3.488476e-05,3.623782e-05,3.805270e-05,3.862011e-05,4.095126e-05,4.113531e-05,4.322361e-05,4.411463e-05,4.543085e-05,4.697690e-05,4.756799e-05,4.963123e-05,4.971218e-05,5.161781e-05,5.231385e-05,5.352594e-05,5.477812e-05,5.535461e-05,5.710350e-05,5.877288e-05,5.929039e-05,6.036348e-05,6.134063e-05,6.187644e-05,6.325717e-05,6.331320e-05,6.467546e-05,6.504379e-05,6.596510e-05,6.670486e-05,6.718414e-05,6.824513e-05,6.833471e-05,6.941901e-05,6.966963e-05,7.043928e-05,7.098350e-05,7.139778e-05,7.219195e-05,7.229676e-05,7.313847e-05,7.330013e-05,7.392512e-05,7.431315e-05,7.465890e-05,7.523598e-05,7.534195e-05,7.597635e-05,7.607348e-05,7.656416e-05,7.683034e-05,7.710736e-05,7.751109e-05,7.760787e-05,7.806757e-05,7.812007e-05,7.848825e-05,7.866145e-05,7.887169e-05,7.913922e-05,7.921955e-05,7.953349e-05,7.955718e-05,7.981506e-05,7.991897e-05,8.006579e-05,8.022804e-05,8.028713e-05,8.048050e-05,8.048767e-05,8.064724e-05,8.070099e-05,8.078864e-05,8.087097e-05,8.090597e-05,8.100042e-05,8.107313e-05,8.109199e-05,8.112522e-05,8.114822e-05,8.115773e-05,8.117148e-05,8.117170e-05,8.116808e-05,8.116405e-05,8.114782e-05,8.112805e-05,8.111181e-05,8.106549e-05,8.106089e-05,8.099590e-05,8.097830e-05,8.091762e-05,8.086826e-05,8.082680e-05,8.073707e-05,8.072415e-05,8.061037e-05,8.058634e-05,8.048611e-05,8.041756e-05,8.035199e-05,8.023217e-05,8.020863e-05,8.005659e-05,8.003149e-05,7.989641e-05,7.981680e-05,7.972863e-05,7.958927e-05,7.955375e-05,7.937223e-05,7.935003e-05,7.918454e-05,7.910011e-05,7.899111e-05,7.884052e-05,7.879235e-05,7.858867e-05,7.857217e-05,7.838042e-05,7.829593e-05,7.816799e-05,7.801263e-05,7.795170e-05,7.773188e-05,7.772302e-05,7.750885e-05,7.742783e-05,7.728289e-05,7.712772e-05,7.705430e-05,7.682333e-05,7.651526e-05,7.620404e-05,7.589021e-05,7.557424e-05,7.525658e-05,7.493765e-05,7.461785e-05,7.429755e-05,7.397708e-05,7.365675e-05,7.333688e-05,7.301772e-05,7.269953e-05,7.238255e-05,7.206699e-05,7.175305e-05,7.144092e-05,7.113078e-05,7.082276e-05,7.051703e-05,7.021371e-05,6.991292e-05,6.961477e-05,6.931937e-05
0.000000e+00,7.195331e-10,2.555367e-09,1.482741e-08,4.391777e-08,7.086596e-08,1.924925e-07,1.994034e-07,4.306638e-07,5.180547e-07,7.961182e-07,1.093774e-06,1.329495e-06,1.997325e-06,2.064173e-06,3.023558e-06,3.287981e-06,4.209738e-06,4.966792e-06,5.604603e-06,6.983826e-06,7.181849e-06,8.915756e-06,9.279262e-06,1.078319e-05,1.179989e-05,1.276279e-05,1.449731e-05,1.483403e-05,1.697675e-05,1.732489e-05,1.917119e-05,2.023725e-05,2.139823e-05,2.319112e-05,2.363976e-05,2.587898e-05,2.614679e-05,2.810068e-05,2.906916e-05,3.029144e-05,3.192850e-05,3.243963e-05,3.453550e-05,3.470066e-05,3.657105e-05,3.736691e-05,3.853994e-05,3.991349e-05,4.043733e-05,4.225974e-05,4.233104e-05,4.400481e-05,4.461380e-05,4.567115e-05,4.675902e-05,4.725829e-05,4.876643e-05,5.019632e-05,5.063755e-05,5.154921e-05,5.237538e-05,5.282671e-05,5.398392e-05,5.403069e-05,5.516327e-05,5.546790e-05,5.622669e-05,5.683252e-05,5.722332e-05,5.808332e-05,5.815559e-05,5.902600e-05,5.922597e-05,5.983701e-05,6.026615e-05,6.059108e-05,6.120948e-05,6.129062e-05,6.193805e-05,6.206149e-05,6.253571e-05,6.282757e-05,6.308587e-05,6.351291e-05,6.359074e-05,6.405248e-05,6.412249e-05,6.447316e-05,6.466109e-05,6.485478e-05,6.513327e-05,6.519929e-05,6.550856e-05,6.554339e-05,6.578437e-05,6.589558e-05,6.602845e-05,6.619375e-05,6.624246e-05,6.642797e-05,6.644163e-05,6.658651e-05,6.664270e-05,6.671954e-05,6.680030e-05,6.682844e-05,6.691455e-05,6.691754e-05,6.697914e-05,6.699736e-05,6.702342e-05,6.704253e-05,6.704857e-05,6.705567e-05,6.704580e-05,6.703923e-05,6.701996e-05,6.699549e-05,6.697912e-05,6.692663e-05,6.692418e-05,6.685602e-05,6.683468e-05,6.677547e-05,6.672152e-05,6.668332e-05,6.658895e-05,6.658033e-05,6.646721e-05,6.643863e-05,6.634464e-05,6.627212e-05,6.621327e-05,6.609088e-05,6.607372e-05,6.592657e-05,6.589627e-05,6.577237e-05,6.568958e-05,6.561166e-05,6.547199e-05,6.544493e-05,6.527265e-05,6.524461e-05,6.509529e-05,6.500848e-05,6.491327e-05,6.476457e-05,6.472699e-05,6.453683e-05,6.451377e-05,6.434317e-05,6.425693e-05,6.414634e-05,6.399483e-05,6.394667e-05,6.374447e-05,6.372819e-05,6.354003e-05,6.345770e-05,6.333364e-05,6.318396e-05,6.312554e-05,6.291599e-05,6.290758e-05,6.270522e-05,6.262908e-05,6.249344e-05,6.234897e-05,6.228088e-05,6.206771e-05,6.178573e-05,6.150341e-05,6.122113e-05,6.093923e-05,6.065801e-05,6.037775e-05,6.009871e-05,5.982115e-05,5.954526e-05,5.927126e-05,5.899932e-05,5.872961e-05,5.846228e-05,5.819747e-05,5.793528e-05,5.767584e-05,5.741924e-05,5.716557e-05,5.691489e-05,5.666729e-05,5.642281e-05,5.618150e-05,5.594341e-05,5.570856e-05
0.000000e+00,1.266141e-10,4.831362e-10,3.132033e-09,9.926776e-09,1.646397e-08,4.695809e-08,4.871486e-08,1.080015e-07,1.305061e-07,2.020897e-07,2.784858e-07,3.387900e-07,5.090953e-07,5.261350e-07,7.718052e-07,8.401333e-07,1.081226e-06,1.282807e-06,1.454971e-06,1.833135e-06,1.887949e-06,2.371456e-06,2.473375e-06,2.895983e-06,3.182004e-06,3.452794e-06,3.939834e-06,4.034231e-06,4.633530e-06,4.730658e-06,5.244556e-06,5.540335e-06,5.861643e-06,6.356125e-06,6.479526e-06,7.093343e-06,7.166513e-06,7.698672e-06,7.961291e-06,8.291557e-06,8.731682e-06,8.868544e-06,9.426715e-06,9.470481e-06,9.963676e-06,1.017208e-05,1.047754e-05,1.083243e-05,1.096693e-05,1.143090e-05,1.144892e-05,1.186889e-05,1.202017e-05,1.228074e-05,1.254591e-05,1.266656e-05,1.302671e-05,1.336178e-05,1.346383e-05,1.367252e-05,1.385902e-05,1.395980e-05,1.421440e-05,1.422458e-05,1.446788e-05,1.453230e-05,1.469077e-05,1.481515e-05,1.489432e-05,1.506544e-05,1.507962e-05,1.524773e-05,1.528563e-05,1.539969e-05,1.547812e-05,1.553652e-05,1.564517e-05,1.565917e-05,1.576860e-05,1.578897e-05,1.586567e-05,1.591155e-05,1.595124e-05,1.601480e-05,1.602609e-05,1.609098e-05,1.610048e-05,1.614661e-05,1.617022e-05,1.619364e-05,1.622549e-05,1.623269e-05,1.626435e-05,1.626767e-05,1.628914e-05,1.629801e-05,1.630758e-05,1.631764e-05,1.632014e-05,1.632726e-05,1.632761e-05,1.632934e-05,1.632885e-05,1.632677e-05,1.632223e-05,1.631989e-05,1.630905e-05,1.630854e-05,1.629454e-05,1.628848e-05,1.627666e-05,1.626270e-05,1.625566e-05,1.623179e-05,1.620529e-05,1.619629e-05,1.617636e-05,1.615667e-05,1.614522e-05,1.611340e-05,1.611203e-05,1.607698e-05,1.606685e-05,1.604023e-05,1.601742e-05,1.600191e-05,1.596542e-05,1.596219e-05,1.592118e-05,1.591116e-05,1.587900e-05,1.585491e-05,1.583577e-05,1.579694e-05,1.579160e-05,1.574657e-05,1.573748e-05,1.570079e-05,1.567672e-05,1.565434e-05,1.561486e-05,1.560730e-05,1.555974e-05,1.555209e-05,1.551174e-05,1.548855e-05,1.546335e-05,1.542440e-05,1.541463e-05,1.536566e-05,1.535976e-05,1.531646e-05,1.529476e-05,1.526711e-05,1.522951e-05,1.521763e-05,1.516808e-05,1.516412e-05,1.511849e-05,1.509866e-05,1.506891e-05,1.503323e-05,1.501936e-05,1.496988e-05,1.496790e-05,1.492050e-05,1.490275e-05,1.487124e-05,1.483783e-05,1.482214e-05,1.477321e-05,1.470894e-05,1.464506e-05,1.458162e-05,1.451866e-05,1.445621e-05,1.439430e-05,1.433297e-05,1.427224e-05,1.421213e-05,1.415266e-05,1.409385e-05,1.403572e-05,1.397828e-05,1.392154e-05,1.386551e-05,1.381020e-05,1.375562e-05,1.370177e-05,1.364866e-05,1.359629e-05,1.354467e-05,1.349379e-05,1.344366e-05,1.339427e-05
0.000000e+00,2.404612e-12,1.198434e-11,1.279674e-10,6.031161e-10,1.218132e-09,5.449797e-09,5.748867e-09,1.851573e-08,2.451038e-08,4.692445e-08,7.552940e-08,1.009575e-07,1.838598e-07,1.929412e-07,3.372010e-07,3.813408e-07,5.496100e-07,7.045641e-07,8.469291e-07,1.192054e-06,1.245806e-06,1.761441e-06,1.879730e-06,2.406189e-06,2.795459e-06,3.188484e-06,3.954954e-06,4.112310e-06,5.177227e-06,5.360461e-06,6.378808e-06,7.001940e-06,7.709298e-06,8.859621e-06,9.158352e-06,1.071376e-05,1.090693e-05,1.236212e-05,1.311322e-05,1.408935e-05,1.544603e-05,1.588122e-05,1.772369e-05,1.787286e-05,1.960322e-05,2.036252e-05,2.150703e-05,2.288606e-05,2.342319e-05,2.534080e-05,2.541740e-05,2.725005e-05,2.793361e-05,2.914218e-05,3.041511e-05,3.100956e-05,3.284558e-05,3.464465e-05,3.521176e-05,3.640212e-05,3.750328e-05,3.811419e-05,3.971227e-05,3.977785e-05,4.139081e-05,4.183311e-05,4.295138e-05,4.386208e-05,4.445842e-05,4.579704e-05,4.591126e-05,4.730967e-05,4.763719e-05,4.865373e-05,4.938280e-05,4.994383e-05,5.103498e-05,5.118060e-05,5.236487e-05,5.259551e-05,5.349763e-05,5.406668e-05,5.458000e-05,5.545114e-05,5.561320e-05,5.659852e-05,5.675182e-05,5.753733e-05,5.797185e-05,5.843102e-05,5.911444e-05,5.928101e-05,6.008873e-05,6.018289e-05,6.085562e-05,6.118048e-05,6.158310e-05,6.211051e-05,6.227260e-05,6.292550e-05,6.297619e-05,6.354319e-05,6.378070e-05,6.412701e-05,6.452713e-05,6.467828e-05,6.519830e-05,6.521847e-05,6.568832e-05,6.585762e-05,6.614956e-05,6.644738e-05,6.658322e-05,6.699044e-05,6.737235e-05,6.748939e-05,6.773003e-05,6.794671e-05,6.806452e-05,6.836476e-05,6.837684e-05,6.866797e-05,6.874582e-05,6.893886e-05,6.909205e-05,6.919041e-05,6.940552e-05,6.942351e-05,6.963900e-05,6.968819e-05,6.983770e-05,6.994194e-05,7.002040e-05,7.016854e-05,7.018786e-05,7.034079e-05,7.036970e-05,7.047991e-05,7.054701e-05,7.060588e-05,7.070202e-05,7.071936e-05,7.082096e-05,7.083615e-05,7.091127e-05,7.095079e-05,7.099088e-05,7.104723e-05,7.106034e-05,7.112015e-05,7.112671e-05,7.117085e-05,7.119039e-05,7.121290e-05,7.123936e-05,7.124677e-05,7.127291e-05,7.127468e-05,7.129174e-05,7.129732e-05,7.130367e-05,7.130821e-05,7.130909e-05,7.130838e-05,7.130823e-05,7.130189e-05,7.129820e-05,7.128996e-05,7.127891e-05,7.127292e-05,7.125108e-05,7.121541e-05,7.117255e-05,7.112310e-05,7.106766e-05,7.100674e-05,7.094087e-05,7.087052e-05,7.079613e-05,7.071813e-05,7.063690e-05,7.055282e-05,7.046622e-05,7.037742e-05,7.028674e-05,7.019443e-05,7.010077e-05,7.000599e-05,6.991033e-05,6.981398e-05,6.971715e-05,6.962002e-05,6.952275e-05,6.942550e-05,6.932841e-05
0.000000e+00,2.009713e-10,8.498473e-10,6.589165e-09,2.376828e-08,4.185648e-08,1.356006e-07,1.413088e-07,3.456389e-07,4.276681e-07,7.001985e-07,1.006554e-06,1.257564e-06,2.001250e-06,2.078034e-06,3.220093e-06,3.546576e-06,4.716179e-06,5.705203e-06,6.552097e-06,8.407763e-06,8.675657e-06,1.102363e-05,1.151505e-05,1.354051e-05,1.490123e-05,1.618295e-05,1.847462e-05,1.891701e-05,2.171439e-05,2.216613e-05,2.454980e-05,2.591733e-05,2.739968e-05,2.967502e-05,3.024180e-05,3.305534e-05,3.339011e-05,3.582113e-05,3.701844e-05,3.852194e-05,4.052174e-05,4.114270e-05,4.367062e-05,4.386852e-05,4.609524e-05,4.703426e-05,4.840838e-05,5.000135e-05,5.060402e-05,5.267809e-05,5.275849e-05,5.462834e-05,5.529993e-05,5.645402e-05,5.762456e-05,5.815568e-05,5.973501e-05,6.119467e-05,6.163703e-05,6.253808e-05,6.333866e-05,6.376919e-05,6.484942e-05,6.489233e-05,6.591217e-05,6.617988e-05,6.683357e-05,6.734113e-05,6.766130e-05,6.834432e-05,6.840029e-05,6.905551e-05,6.920084e-05,6.963177e-05,6.992175e-05,7.013379e-05,7.051782e-05,7.056617e-05,7.093328e-05,7.099924e-05,7.123931e-05,7.137566e-05,7.148831e-05,7.165623e-05,7.168415e-05,7.183047e-05,7.184952e-05,7.193076e-05,7.196353e-05,7.198832e-05,7.200568e-05,7.200624e-05,7.198749e-05,7.198290e-05,7.193481e-05,7.190157e-05,7.185083e-05,7.176759e-05,7.173800e-05,7.159862e-05,7.158639e-05,7.143487e-05,7.136300e-05,7.124876e-05,7.110199e-05,7.104220e-05,7.081699e-05,7.080761e-05,7.057478e-05,7.048373e-05,7.031714e-05,7.013387e-05,7.004552e-05,6.976130e-05,6.946575e-05,6.936898e-05,6.916006e-05,6.895961e-05,6.884534e-05,6.853566e-05,6.852261e-05,6.819285e-05,6.809938e-05,6.785696e-05,6.765282e-05,6.751576e-05,6.719784e-05,6.717003e-05,6.682051e-05,6.673613e-05,6.646784e-05,6.626921e-05,6.611266e-05,6.579849e-05,6.575555e-05,6.539703e-05,6.532520e-05,6.503761e-05,6.485050e-05,6.467774e-05,6.437540e-05,6.431784e-05,6.395830e-05,6.390083e-05,6.359948e-05,6.342760e-05,6.324171e-05,6.295646e-05,6.288530e-05,6.253052e-05,6.248807e-05,6.217763e-05,6.202302e-05,6.182686e-05,6.156183e-05,6.147843e-05,6.113252e-05,6.110496e-05,6.078932e-05,6.065284e-05,6.044899e-05,6.020580e-05,6.011166e-05,5.977747e-05,5.976417e-05,5.944654e-05,5.932822e-05,5.911897e-05,5.889819e-05,5.879485e-05,5.847426e-05,5.805660e-05,5.764536e-05,5.724065e-05,5.684255e-05,5.645114e-05,5.606645e-05,5.568853e-05,5.531738e-05,5.495300e-05,5.459539e-05,5.424452e-05,5.390035e-05,5.356284e-05,5.323194e-05,5.290758e-05,5.258972e-05,5.227826e-05,5.197314e-05,5.167428e-05,5.138158e-05,5.109498e-05,5.081436e-05,5.053965e-05,5.027074e-05
0.000000e+00,1.845248e-12,9.256592e-12,1.002173e-10,4.786828e-10,9.744031e-10,4.458963e-09,4.708409e-09,1.558762e-08,2.081211e-08,4.081438e-08,6.717729e-08,9.124141e-08,1.728829e-07,1.820743e-07,3.329959e-07,3.806602e-07,5.667704e-07,7.424601e-07,9.061356e-07,1.307435e-06,1.370198e-06,1.971788e-06,2.109219e-06,2.716352e-06,3.159718e-06,3.602171e-06,4.449830e-06,4.621400e-06,5.761467e-06,5.954065e-06,7.006503e-06,7.636203e-06,8.338633e-06,9.454423e-06,9.739062e-06,1.118892e-05,1.136534e-05,1.266990e-05,1.332690e-05,1.416475e-05,1.530030e-05,1.565762e-05,1.713421e-05,1.725125e-05,1.858199e-05,1.915056e-05,1.999017e-05,2.097441e-05,2.134974e-05,2.265338e-05,2.270428e-05,2.389541e-05,2.432661e-05,2.507164e-05,2.583239e-05,2.617923e-05,2.721658e-05,2.818312e-05,2.847749e-05,2.907921e-05,2.961623e-05,2.990598e-05,3.063607e-05,3.066516e-05,3.135899e-05,3.154190e-05,3.199007e-05,3.233979e-05,3.256129e-05,3.303660e-05,3.307574e-05,3.353658e-05,3.363957e-05,3.394706e-05,3.415612e-05,3.431038e-05,3.459363e-05,3.462973e-05,3.490819e-05,3.495924e-05,3.514874e-05,3.525979e-05,3.535423e-05,3.550172e-05,3.552735e-05,3.567068e-05,3.569102e-05,3.578663e-05,3.583322e-05,3.587743e-05,3.593340e-05,3.594521e-05,3.599191e-05,3.599619e-05,3.601935e-05,3.602576e-05,3.602921e-05,3.602590e-05,3.602304e-05,3.600227e-05,3.600002e-05,3.596822e-05,3.595116e-05,3.592211e-05,3.588207e-05,3.586505e-05,3.579807e-05,3.579520e-05,3.572210e-05,3.569272e-05,3.563801e-05,3.557660e-05,3.554659e-05,3.544857e-05,3.534460e-05,3.531018e-05,3.523532e-05,3.516284e-05,3.512126e-05,3.500776e-05,3.500296e-05,3.488087e-05,3.484607e-05,3.475544e-05,3.467875e-05,3.462707e-05,3.450668e-05,3.449611e-05,3.436291e-05,3.433065e-05,3.422778e-05,3.415136e-05,3.409099e-05,3.396945e-05,3.395281e-05,3.381347e-05,3.378549e-05,3.367320e-05,3.359996e-05,3.353221e-05,3.341334e-05,3.339067e-05,3.324876e-05,3.322603e-05,3.310663e-05,3.303838e-05,3.296444e-05,3.285073e-05,3.282231e-05,3.268038e-05,3.266336e-05,3.253874e-05,3.247655e-05,3.239751e-05,3.229051e-05,3.225679e-05,3.211665e-05,3.210547e-05,3.197718e-05,3.192160e-05,3.183846e-05,3.173908e-05,3.170055e-05,3.156351e-05,3.155805e-05,3.142740e-05,3.137864e-05,3.129227e-05,3.120097e-05,3.115817e-05,3.102515e-05,3.085125e-05,3.067937e-05,3.050957e-05,3.034191e-05,3.017645e-05,3.001322e-05,2.985226e-05,2.969360e-05,2.953727e-05,2.938328e-05,2.923165e-05,2.908239e-05,2.893550e-05,2.879098e-05,2.864884e-05,2.850907e-05,2.837166e-05,2.823659e-05,2.810387e-05,2.797346e-05,2.784537e-05,2.771956e-05,2.759602e-05,2.747473e-05
0.000000e+00,7.180026e-10,2.497581e-09,1.404826e-08,4.085940e-08,6.547395e-08,1.760653e-07,1.823516e-07,3.939314e-07,4.746506e-07,7.345075e-07,1.017488e-06,1.244653e-06,1.898872e-06,1.964954e-06,2.917335e-06,3.179648e-06,4.087926e-06,4.823888e-06,5.435762e-06,6.732602e-06,6.915898e-06,8.491629e-06,8.815666e-06,1.013501e-05,1.100880e-05,1.182392e-05,1.326411e-05,1.353976e-05,1.526612e-05,1.554231e-05,1.698831e-05,1.780957e-05,1.869321e-05,2.003687e-05,2.036928e-05,2.200661e-05,2.220007e-05,2.359690e-05,2.427995e-05,2.513349e-05,2.626216e-05,2.661122e-05,2.802635e-05,2.813677e-05,2.937632e-05,2.989771e-05,3.065968e-05,3.154210e-05,3.187586e-05,3.302505e-05,3.306963e-05,3.410811e-05,3.448205e-05,3.512624e-05,3.578229e-05,3.608106e-05,3.697442e-05,3.780845e-05,3.806318e-05,3.858542e-05,3.905378e-05,3.930761e-05,3.995160e-05,3.997741e-05,4.059718e-05,4.076207e-05,4.116927e-05,4.149059e-05,4.169598e-05,4.214242e-05,4.217958e-05,4.262226e-05,4.272265e-05,4.302615e-05,4.323616e-05,4.339331e-05,4.368758e-05,4.372569e-05,4.402521e-05,4.408132e-05,4.429366e-05,4.442155e-05,4.453277e-05,4.471218e-05,4.474422e-05,4.492956e-05,4.495690e-05,4.509031e-05,4.515915e-05,4.522789e-05,4.532218e-05,4.534366e-05,4.543890e-05,4.544901e-05,4.551486e-05,4.554246e-05,4.557268e-05,4.560517e-05,4.561347e-05,4.563827e-05,4.563960e-05,4.564809e-05,4.564803e-05,4.564385e-05,4.563260e-05,4.562645e-05,4.559672e-05,4.559529e-05,4.555547e-05,4.553794e-05,4.550344e-05,4.546228e-05,4.544136e-05,4.536990e-05,4.528968e-05,4.526227e-05,4.520133e-05,4.514077e-05,4.510540e-05,4.500669e-05,4.500244e-05,4.489296e-05,4.486120e-05,4.477743e-05,4.470541e-05,4.465632e-05,4.454033e-05,4.453004e-05,4.439902e-05,4.436690e-05,4.426362e-05,4.418602e-05,4.412421e-05,4.399848e-05,4.398112e-05,4.383470e-05,4.380503e-05,4.368522e-05,4.360639e-05,4.353299e-05,4.340318e-05,4.337826e-05,4.322131e-05,4.319600e-05,4.306235e-05,4.298541e-05,4.290163e-05,4.277192e-05,4.273935e-05,4.257571e-05,4.255599e-05,4.241090e-05,4.233806e-05,4.224510e-05,4.211853e-05,4.207848e-05,4.191119e-05,4.189778e-05,4.174338e-05,4.167614e-05,4.157519e-05,4.145393e-05,4.140675e-05,4.123818e-05,4.123144e-05,4.106960e-05,4.100893e-05,4.090111e-05,4.078665e-05,4.073282e-05,4.056482e-05,4.034365e-05,4.012333e-05,3.990403e-05,3.968590e-05,3.946910e-05,3.925375e-05,3.903997e-05,3.882786e-05,3.861753e-05,3.840907e-05,3.820254e-05,3.799802e-05,3.779558e-05,3.759527e-05,3.739713e-05,3.720121e-05,3.700755e-05,3.681617e-05,3.662711e-05,3.644039e-05,3.625602e-05,3.607401e-05,3.589439e-05,3.571714e-05
0.000000e+00,1.780866e-09,4.765095e-09,1.937674e-08,4.782316e-08,7.204060e-08,1.740616e-07,1.796948e-07,3.650112e-07,4.343841e-07,6.548281e-07,8.906155e-07,1.076601e-06,1.594889e-06,1.645857e-06,2.358093e-06,2.548700e-06,3.198634e-06,3.720027e-06,4.153454e-06,5.079233e-06,5.211280e-06,6.362276e-06,6.602812e-06,7.596807e-06,8.268473e-06,8.904862e-06,1.005277e-05,1.027593e-05,1.169918e-05,1.193101e-05,1.316367e-05,1.387813e-05,1.465871e-05,1.586983e-05,1.617406e-05,1.770016e-05,1.788360e-05,1.922832e-05,1.989932e-05,2.075075e-05,2.189972e-05,2.226061e-05,2.375204e-05,2.387041e-05,2.522006e-05,2.579976e-05,2.666054e-05,2.767870e-05,2.807009e-05,2.944603e-05,2.950034e-05,3.078626e-05,3.125969e-05,3.208923e-05,3.295341e-05,3.335386e-05,3.457937e-05,3.576526e-05,3.613633e-05,3.691132e-05,3.762390e-05,3.801757e-05,3.904229e-05,3.908420e-05,4.011156e-05,4.039226e-05,4.110016e-05,4.167496e-05,4.205059e-05,4.289183e-05,4.296350e-05,4.383966e-05,4.404457e-05,4.467995e-05,4.513521e-05,4.548534e-05,4.616593e-05,4.625673e-05,4.699490e-05,4.713863e-05,4.770074e-05,4.805531e-05,4.837516e-05,4.891801e-05,4.901901e-05,4.963316e-05,4.972873e-05,5.021849e-05,5.048946e-05,5.077585e-05,5.120219e-05,5.130611e-05,5.181011e-05,5.186886e-05,5.228867e-05,5.249139e-05,5.274261e-05,5.307162e-05,5.317272e-05,5.357980e-05,5.361139e-05,5.396460e-05,5.411246e-05,5.432790e-05,5.457656e-05,5.467042e-05,5.499287e-05,5.500536e-05,5.529597e-05,5.540048e-05,5.558040e-05,5.576349e-05,5.584682e-05,5.609589e-05,5.632824e-05,5.639915e-05,5.654447e-05,5.667469e-05,5.674520e-05,5.692384e-05,5.693100e-05,5.710243e-05,5.714793e-05,5.726005e-05,5.734821e-05,5.740439e-05,5.752589e-05,5.753596e-05,5.765526e-05,5.768212e-05,5.776279e-05,5.781803e-05,5.785900e-05,5.793467e-05,5.794436e-05,5.801930e-05,5.803308e-05,5.808426e-05,5.811423e-05,5.813965e-05,5.817907e-05,5.818586e-05,5.822329e-05,5.822849e-05,5.825231e-05,5.826336e-05,5.827328e-05,5.828449e-05,5.828655e-05,5.829246e-05,5.829269e-05,5.829134e-05,5.828870e-05,5.828350e-05,5.827324e-05,5.826925e-05,5.824888e-05,5.824699e-05,5.822268e-05,5.821062e-05,5.819091e-05,5.816475e-05,5.815386e-05,5.811176e-05,5.810997e-05,5.806487e-05,5.804686e-05,5.801342e-05,5.797595e-05,5.795765e-05,5.789777e-05,5.781280e-05,5.772151e-05,5.762436e-05,5.752176e-05,5.741412e-05,5.730182e-05,5.718523e-05,5.706469e-05,5.694053e-05,5.681307e-05,5.668261e-05,5.654941e-05,5.641375e-05,5.627589e-05,5.613606e-05,5.599448e-05,5.585138e-05,5.570696e-05,5.556140e-05,5.541489e-05,5.526760e-05,5.511970e-05,5.497133e-05,5.482264e-05
0.000000e+00,2.253767e-12,1.140547e-11,1.257171e-10,6.100412e-10,1.252173e-09,5.844628e-09,6.176163e-09,2.077667e-08,2.783932e-08,5.498871e-08,9.085001e-08,1.235727e-07,2.342592e-07,2.466863e-07,4.500216e-07,5.140599e-07,7.639531e-07,1.000304e-06,1.221365e-06,1.768363e-06,1.854646e-06,2.692784e-06,2.887170e-06,3.759197e-06,4.409746e-06,5.070487e-06,6.368239e-06,6.635969e-06,8.457787e-06,8.772851e-06,1.053140e-05,1.161329e-05,1.284630e-05,1.486159e-05,1.538685e-05,1.813320e-05,1.847552e-05,2.106217e-05,2.240224e-05,2.414817e-05,2.658188e-05,2.736404e-05,3.068184e-05,3.095083e-05,3.407359e-05,3.544481e-05,3.751186e-05,4.000140e-05,4.097036e-05,4.442437e-05,4.456210e-05,4.785103e-05,4.907389e-05,5.122967e-05,5.349023e-05,5.454190e-05,5.777170e-05,6.090544e-05,6.188605e-05,6.393184e-05,6.580811e-05,6.684181e-05,6.951935e-05,6.962837e-05,7.228648e-05,7.300724e-05,7.481282e-05,7.626458e-05,7.720563e-05,7.928875e-05,7.946455e-05,8.159036e-05,8.208093e-05,8.358487e-05,8.464540e-05,8.545072e-05,8.698887e-05,8.719123e-05,8.881025e-05,8.911985e-05,9.031205e-05,9.104817e-05,9.170119e-05,9.278451e-05,9.298247e-05,9.416078e-05,9.434008e-05,9.524107e-05,9.572626e-05,9.622831e-05,9.695438e-05,9.712738e-05,9.794309e-05,9.803560e-05,9.868012e-05,9.898066e-05,9.934301e-05,9.979991e-05,9.993613e-05,1.004637e-04,1.005032e-04,1.009296e-04,1.010997e-04,1.013379e-04,1.015981e-04,1.016920e-04,1.019954e-04,1.020066e-04,1.022515e-04,1.023327e-04,1.024632e-04,1.025834e-04,1.026335e-04,1.027651e-04,1.028606e-04,1.028839e-04,1.029224e-04,1.029453e-04,1.029527e-04,1.029543e-04,1.029538e-04,1.029275e-04,1.029155e-04,1.028758e-04,1.028333e-04,1.028005e-04,1.027116e-04,1.027031e-04,1.025852e-04,1.025540e-04,1.024483e-04,1.023638e-04,1.022936e-04,1.021439e-04,1.021226e-04,1.019363e-04,1.018973e-04,1.017359e-04,1.016265e-04,1.015224e-04,1.013337e-04,1.012968e-04,1.010601e-04,1.010212e-04,1.008130e-04,1.006909e-04,1.005563e-04,1.003447e-04,1.002909e-04,1.000175e-04,9.998415e-05,9.973662e-05,9.961086e-05,9.944899e-05,9.922622e-05,9.915517e-05,9.885570e-05,9.883152e-05,9.855112e-05,9.842796e-05,9.824190e-05,9.801664e-05,9.792849e-05,9.761133e-05,9.759857e-05,9.729081e-05,9.717468e-05,9.696732e-05,9.674584e-05,9.664122e-05,9.631282e-05,9.587637e-05,9.543716e-05,9.499580e-05,9.455287e-05,9.410890e-05,9.366438e-05,9.321974e-05,9.277541e-05,9.233176e-05,9.188915e-05,9.144790e-05,9.100831e-05,9.057064e-05,9.013515e-05,8.970207e-05,8.927160e-05,8.884395e-05,8.841928e-05,8.799776e-05,8.757953e-05,8.716472e-05,8.675346e-05,8.634585e-05,8.594199e-05
0.000000e+00,1.494175e-12,7.541215e-12,8.265176e-11,3.989178e-10,8.163425e-10,3.779580e-09,3.992622e-09,1.331735e-08,1.780152e-08,3.494362e-08,5.743009e-08,7.784047e-08,1.463686e-07,1.540250e-07,2.785805e-07,3.175942e-07,4.691751e-07,6.118151e-07,7.447359e-07,1.071959e-06,1.123377e-06,1.620247e-06,1.734832e-06,2.245945e-06,2.624194e-06,3.005762e-06,3.747754e-06,3.899631e-06,4.922584e-06,5.097676e-06,6.065487e-06,6.653139e-06,7.315905e-06,8.383715e-06,8.658964e-06,1.007819e-05,1.025280e-05,1.155626e-05,1.222072e-05,1.307562e-05,1.424736e-05,1.461910e-05,1.617029e-05,1.629425e-05,1.771395e-05,1.832615e-05,1.923623e-05,2.031208e-05,2.072486e-05,2.216924e-05,2.222596e-05,2.356049e-05,2.404689e-05,2.489139e-05,2.575902e-05,2.615636e-05,2.735130e-05,2.847353e-05,2.881701e-05,2.952156e-05,3.015316e-05,3.049503e-05,3.135993e-05,3.139450e-05,3.222131e-05,3.244005e-05,3.297744e-05,3.339821e-05,3.366538e-05,3.424051e-05,3.428799e-05,3.484844e-05,3.497406e-05,3.535004e-05,3.560652e-05,3.579625e-05,3.614585e-05,3.619054e-05,3.653636e-05,3.660001e-05,3.683710e-05,3.697677e-05,3.709605e-05,3.728360e-05,3.731638e-05,3.750109e-05,3.752753e-05,3.765305e-05,3.771516e-05,3.777495e-05,3.785253e-05,3.786932e-05,3.793850e-05,3.794522e-05,3.798470e-05,3.799827e-05,3.800993e-05,3.801624e-05,3.801607e-05,3.800485e-05,3.800325e-05,3.797785e-05,3.796296e-05,3.793653e-05,3.789867e-05,3.788223e-05,3.781618e-05,3.781331e-05,3.773949e-05,3.770947e-05,3.765319e-05,3.758949e-05,3.755821e-05,3.745542e-05,3.734559e-05,3.730908e-05,3.722944e-05,3.715209e-05,3.710763e-05,3.698590e-05,3.698073e-05,3.684931e-05,3.681177e-05,3.671386e-05,3.663085e-05,3.657484e-05,3.644414e-05,3.643266e-05,3.628772e-05,3.625256e-05,3.614035e-05,3.605689e-05,3.599089e-05,3.585787e-05,3.583963e-05,3.568685e-05,3.565613e-05,3.553279e-05,3.545225e-05,3.537768e-05,3.524674e-05,3.522174e-05,3.506516e-05,3.504006e-05,3.490812e-05,3.483263e-05,3.475079e-05,3.462481e-05,3.459331e-05,3.443583e-05,3.441694e-05,3.427848e-05,3.420932e-05,3.412138e-05,3.400221e-05,3.396463e-05,3.380835e-05,3.379587e-05,3.365262e-05,3.359050e-05,3.349753e-05,3.338631e-05,3.334316e-05,3.318958e-05,3.318346e-05,3.303686e-05,3.298211e-05,3.288507e-05,3.278240e-05,3.273425e-05,3.258446e-05,3.238840e-05,3.219431e-05,3.200228e-05,3.181240e-05,3.162472e-05,3.143930e-05,3.125620e-05,3.107545e-05,3.089709e-05,3.072116e-05,3.054768e-05,3.037665e-05,3.020811e-05,3.004206e-05,2.987850e-05,2.971744e-05,2.955887e-05,2.940280e-05,2.924921e-05,2.909809e-05,2.894944e-05,2.880324e-05,2.865946e-05,2.851810e-05
0.000000e+00,2.800790e-09,8.704400e-09,4.222418e-08,1.142842e-07,1.789808e-07,4.713091e-07,4.881900e-07,1.076918e-06,1.311640e-06,2.099238e-06,3.000003e-06,3.745329e-06,5.944066e-06,6.167607e-06,9.361614e-06,1.022576e-05,1.315527e-05,1.546115e-05,1.733744e-05,2.121123e-05,2.174894e-05,2.628828e-05,2.720535e-05,3.089059e-05,3.329324e-05,3.551085e-05,3.938043e-05,4.011473e-05,4.467420e-05,4.539797e-05,4.916578e-05,5.129169e-05,5.356970e-05,5.701859e-05,5.786956e-05,6.205204e-05,6.254553e-05,6.610670e-05,6.784813e-05,7.002561e-05,7.290965e-05,7.380312e-05,7.743550e-05,7.771975e-05,8.092064e-05,8.227326e-05,8.425780e-05,8.656908e-05,8.744733e-05,9.049047e-05,9.060918e-05,9.338918e-05,9.439783e-05,9.614597e-05,9.794100e-05,9.876377e-05,1.012458e-04,1.035956e-04,1.043202e-04,1.058169e-04,1.071727e-04,1.079133e-04,1.098121e-04,1.098888e-04,1.117473e-04,1.122472e-04,1.134926e-04,1.144871e-04,1.151287e-04,1.165407e-04,1.166594e-04,1.180886e-04,1.184169e-04,1.194200e-04,1.201242e-04,1.206573e-04,1.216712e-04,1.218041e-04,1.228641e-04,1.230660e-04,1.238406e-04,1.243166e-04,1.247372e-04,1.254308e-04,1.255570e-04,1.263032e-04,1.264160e-04,1.269792e-04,1.272795e-04,1.275877e-04,1.280281e-04,1.281319e-04,1.286145e-04,1.286684e-04,1.290384e-04,1.292069e-04,1.294061e-04,1.296497e-04,1.297204e-04,1.299836e-04,1.300025e-04,1.301983e-04,1.302711e-04,1.303667e-04,1.304606e-04,1.304911e-04,1.305738e-04,1.305762e-04,1.306167e-04,1.306228e-04,1.306219e-04,1.306049e-04,1.305914e-04,1.305270e-04,1.304305e-04,1.303932e-04,1.303038e-04,1.302075e-04,1.301483e-04,1.299736e-04,1.299658e-04,1.297578e-04,1.296952e-04,1.295258e-04,1.293756e-04,1.292711e-04,1.290181e-04,1.289952e-04,1.286994e-04,1.286256e-04,1.283849e-04,1.282010e-04,1.280529e-04,1.277471e-04,1.277045e-04,1.273409e-04,1.272665e-04,1.269632e-04,1.267615e-04,1.265722e-04,1.262344e-04,1.261691e-04,1.257547e-04,1.256874e-04,1.253299e-04,1.251226e-04,1.248956e-04,1.245418e-04,1.244525e-04,1.240015e-04,1.239468e-04,1.235432e-04,1.233394e-04,1.230783e-04,1.227211e-04,1.226076e-04,1.221316e-04,1.220934e-04,1.216511e-04,1.214577e-04,1.211664e-04,1.208153e-04,1.206783e-04,1.201871e-04,1.201674e-04,1.196935e-04,1.195153e-04,1.191978e-04,1.188599e-04,1.187006e-04,1.182022e-04,1.175433e-04,1.168839e-04,1.162248e-04,1.155669e-04,1.149108e-04,1.142571e-04,1.136065e-04,1.129594e-04,1.123164e-04,1.116780e-04,1.110446e-04,1.104165e-04,1.097942e-04,1.091779e-04,1.085679e-04,1.079645e-04,1.073680e-04,1.067785e-04,1.061962e-04,1.056213e-04,1.050540e-04,1.044943e-04,1.039423e-04,1.033983e-04
0.000000e+00,2.198663e-10,8.696175e-10,5.975641e-09,1.966442e-08,3.312973e-08,9.722035e-08,1.009445e-07,2.273563e-07,2.755158e-07,4.288191e-07,5.922795e-07,7.210410e-07,1.082768e-06,1.118772e-06,1.633016e-06,1.774211e-06,2.265068e-06,2.666142e-06,3.001799e-06,3.717409e-06,3.818764e-06,4.688740e-06,4.866908e-06,5.587862e-06,6.060448e-06,6.497157e-06,7.257854e-06,7.401756e-06,8.289816e-06,8.429704e-06,9.151793e-06,9.553975e-06,9.980074e-06,1.061442e-05,1.076876e-05,1.151356e-05,1.159983e-05,1.221160e-05,1.250348e-05,1.286133e-05,1.332250e-05,1.346230e-05,1.401501e-05,1.405718e-05,1.452068e-05,1.471016e-05,1.498110e-05,1.528580e-05,1.539846e-05,1.577527e-05,1.578954e-05,1.611414e-05,1.622737e-05,1.641778e-05,1.660549e-05,1.668885e-05,1.693000e-05,1.714375e-05,1.720677e-05,1.733250e-05,1.744118e-05,1.749841e-05,1.763813e-05,1.764356e-05,1.776988e-05,1.780211e-05,1.787911e-05,1.793714e-05,1.797290e-05,1.804678e-05,1.805268e-05,1.811982e-05,1.813419e-05,1.817554e-05,1.820216e-05,1.822092e-05,1.825310e-05,1.825696e-05,1.828457e-05,1.828916e-05,1.830456e-05,1.831219e-05,1.831767e-05,1.832384e-05,1.832455e-05,1.832581e-05,1.832553e-05,1.832199e-05,1.831851e-05,1.831360e-05,1.830389e-05,1.830107e-05,1.828481e-05,1.828262e-05,1.826518e-05,1.825556e-05,1.824252e-05,1.822346e-05,1.821713e-05,1.818929e-05,1.818697e-05,1.815926e-05,1.814668e-05,1.812724e-05,1.810309e-05,1.809347e-05,1.805813e-05,1.805668e-05,1.802139e-05,1.800785e-05,1.798342e-05,1.795697e-05,1.794436e-05,1.790434e-05,1.786350e-05,1.785027e-05,1.782194e-05,1.779502e-05,1.777977e-05,1.773881e-05,1.773709e-05,1.769398e-05,1.768184e-05,1.765052e-05,1.762431e-05,1.760680e-05,1.756639e-05,1.756287e-05,1.751880e-05,1.750821e-05,1.747466e-05,1.744992e-05,1.743049e-05,1.739163e-05,1.738634e-05,1.734226e-05,1.733346e-05,1.729830e-05,1.727549e-05,1.725448e-05,1.721782e-05,1.721086e-05,1.716745e-05,1.716052e-05,1.712428e-05,1.710366e-05,1.708140e-05,1.704731e-05,1.703881e-05,1.699656e-05,1.699151e-05,1.695464e-05,1.693631e-05,1.691309e-05,1.688177e-05,1.687192e-05,1.683115e-05,1.682790e-05,1.679079e-05,1.677476e-05,1.675085e-05,1.672236e-05,1.671135e-05,1.667229e-05,1.667074e-05,1.663369e-05,1.661990e-05,1.659555e-05,1.656988e-05,1.655787e-05,1.652067e-05,1.647231e-05,1.642479e-05,1.637812e-05,1.633231e-05,1.628736e-05,1.624327e-05,1.620004e-05,1.615768e-05,1.611617e-05,1.607552e-05,1.603571e-05,1.599675e-05,1.595862e-05,1.592132e-05,1.588484e-05,1.584916e-05,1.581429e-05,1.578021e-05,1.574692e-05,1.571439e-05,1.568261e-05,1.565159e-05,1.562129e-05,1.559173e-05
0.000000e+00,1.198299e-11,5.890307e-11,6.113664e-10,2.809034e-09,5.596210e-09,2.419333e-08,2.548655e-08,7.953659e-08,1.044451e-07,1.962082e-07,3.114900e-07,4.129721e-07,7.403986e-07,7.760660e-07,1.339909e-06,1.511722e-06,2.164464e-06,2.762351e-06,3.308574e-06,4.618383e-06,4.820390e-06,6.729392e-06,7.159915e-06,9.043401e-06,1.040344e-05,1.175044e-05,1.430849e-05,1.482327e-05,1.822441e-05,1.879622e-05,2.191060e-05,2.376780e-05,2.583601e-05,2.911747e-05,2.995439e-05,3.422051e-05,3.474029e-05,3.859094e-05,4.053629e-05,4.302458e-05,4.641264e-05,4.748296e-05,5.193056e-05,5.228491e-05,5.633498e-05,5.807803e-05,6.066712e-05,6.372693e-05,6.490127e-05,6.901517e-05,6.917695e-05,7.299003e-05,7.438387e-05,7.681042e-05,7.931371e-05,8.046415e-05,8.394203e-05,8.723770e-05,8.825314e-05,9.034732e-05,9.223902e-05,9.326931e-05,9.589823e-05,9.600404e-05,9.855359e-05,9.923472e-05,1.009214e-04,1.022568e-04,1.031122e-04,1.049760e-04,1.051314e-04,1.069853e-04,1.074064e-04,1.086807e-04,1.095635e-04,1.102247e-04,1.114640e-04,1.116246e-04,1.128880e-04,1.131249e-04,1.140221e-04,1.145632e-04,1.150344e-04,1.157958e-04,1.159320e-04,1.167221e-04,1.168390e-04,1.174113e-04,1.177083e-04,1.180063e-04,1.184186e-04,1.185132e-04,1.189380e-04,1.189837e-04,1.192864e-04,1.194169e-04,1.195637e-04,1.197301e-04,1.197751e-04,1.199252e-04,1.199347e-04,1.200186e-04,1.200411e-04,1.200596e-04,1.200589e-04,1.200521e-04,1.199999e-04,1.199969e-04,1.199064e-04,1.198633e-04,1.197750e-04,1.196655e-04,1.196086e-04,1.194102e-04,1.191824e-04,1.191038e-04,1.189278e-04,1.187518e-04,1.186486e-04,1.183595e-04,1.183470e-04,1.180251e-04,1.179316e-04,1.176847e-04,1.174724e-04,1.173276e-04,1.169858e-04,1.169555e-04,1.165698e-04,1.164754e-04,1.161719e-04,1.159444e-04,1.157633e-04,1.153957e-04,1.153451e-04,1.149184e-04,1.148322e-04,1.144844e-04,1.142561e-04,1.140440e-04,1.136698e-04,1.135981e-04,1.131475e-04,1.130751e-04,1.126932e-04,1.124739e-04,1.122357e-04,1.118680e-04,1.117758e-04,1.113141e-04,1.112586e-04,1.108512e-04,1.106473e-04,1.103876e-04,1.100351e-04,1.099238e-04,1.094603e-04,1.094233e-04,1.089976e-04,1.088127e-04,1.085359e-04,1.082044e-04,1.080757e-04,1.076173e-04,1.075990e-04,1.071610e-04,1.069973e-04,1.067071e-04,1.063999e-04,1.062558e-04,1.058074e-04,1.052204e-04,1.046391e-04,1.040641e-04,1.034957e-04,1.029342e-04,1.023799e-04,1.018329e-04,1.012935e-04,1.007618e-04,1.002381e-04,9.972229e-05,9.921458e-05,9.871501e-05,9.822363e-05,9.774047e-05,9.726555e-05,9.679886e-05,9.634039e-05,9.589012e-05,9.544801e-05,9.501402e-05,9.458809e-05,9.417016e-05,9.376018e-05
0.000000e+00,1.832039e-09,4.202513e-09,1.444619e-08,3.276483e-08,4.767833e-08,1.071416e-07,1.103125e-07,2.101608e-07,2.457487e-07,3.541248e-07,4.642209e-07,5.482280e-07,7.755203e-07,7.976105e-07,1.106475e-06,1.189827e-06,1.477971e-06,1.714138e-06,1.914014e-06,2.351500e-06,2.415024e-06,2.979607e-06,3.099885e-06,3.604276e-06,3.951047e-06,4.283353e-06,4.890314e-06,5.009247e-06,5.773094e-06,5.898207e-06,6.565560e-06,6.953413e-06,7.377535e-06,8.035444e-06,8.200551e-06,9.026959e-06,9.126025e-06,9.849978e-06,1.020947e-05,1.066367e-05,1.127264e-05,1.146288e-05,1.224323e-05,1.230473e-05,1.300101e-05,1.329710e-05,1.373318e-05,1.424308e-05,1.443729e-05,1.511145e-05,1.513778e-05,1.575428e-05,1.597783e-05,1.636482e-05,1.676126e-05,1.694253e-05,1.748718e-05,1.799885e-05,1.815567e-05,1.847788e-05,1.876756e-05,1.892479e-05,1.932425e-05,1.934027e-05,1.972517e-05,1.982759e-05,2.008042e-05,2.027976e-05,2.040704e-05,2.068315e-05,2.070609e-05,2.097869e-05,2.104030e-05,2.122597e-05,2.135382e-05,2.144908e-05,2.162632e-05,2.164915e-05,2.182732e-05,2.186043e-05,2.198470e-05,2.205869e-05,2.212238e-05,2.222359e-05,2.224143e-05,2.234287e-05,2.235753e-05,2.242770e-05,2.246280e-05,2.249689e-05,2.254160e-05,2.255136e-05,2.259202e-05,2.259601e-05,2.261970e-05,2.262798e-05,2.263523e-05,2.263940e-05,2.263940e-05,2.263294e-05,2.263199e-05,2.261658e-05,2.260741e-05,2.259098e-05,2.256719e-05,2.255679e-05,2.251462e-05,2.251278e-05,2.246506e-05,2.244552e-05,2.240865e-05,2.236666e-05,2.234593e-05,2.227737e-05,2.220346e-05,2.217875e-05,2.212463e-05,2.207179e-05,2.204130e-05,2.195744e-05,2.195387e-05,2.186271e-05,2.183656e-05,2.176817e-05,2.170996e-05,2.167058e-05,2.157838e-05,2.157026e-05,2.146750e-05,2.144250e-05,2.136257e-05,2.130296e-05,2.125574e-05,2.116034e-05,2.114724e-05,2.103731e-05,2.101517e-05,2.092616e-05,2.086795e-05,2.081400e-05,2.071913e-05,2.070100e-05,2.058735e-05,2.056911e-05,2.047320e-05,2.041828e-05,2.035872e-05,2.026699e-05,2.024404e-05,2.012930e-05,2.011554e-05,2.001462e-05,1.996422e-05,1.990012e-05,1.981328e-05,1.978590e-05,1.967206e-05,1.966297e-05,1.955869e-05,1.951350e-05,1.944588e-05,1.936505e-05,1.933370e-05,1.922223e-05,1.921779e-05,1.911153e-05,1.907188e-05,1.900166e-05,1.892745e-05,1.889267e-05,1.878462e-05,1.864351e-05,1.850419e-05,1.836676e-05,1.823128e-05,1.809780e-05,1.796639e-05,1.783708e-05,1.770991e-05,1.758489e-05,1.746205e-05,1.734141e-05,1.722297e-05,1.710673e-05,1.699269e-05,1.688085e-05,1.677120e-05,1.666372e-05,1.655840e-05,1.645522e-05,1.635416e-05,1.625519e-05,1.615830e-05,1.606346e-05,1.597063e-05
0.000000e+00,1.591437e-11,7.348144e-11,6.733209e-10,2.779641e-09,5.236286e-09,1.978422e-08,2.073437e-08,5.750753e-08,7.333872e-08,1.287018e-07,1.944919e-07,2.503870e-07,4.233987e-07,4.417697e-07,7.238506e-07,8.072326e-07,1.115118e-06,1.386332e-06,1.626314e-06,2.176402e-06,2.258486e-06,3.005192e-06,3.167405e-06,3.856184e-06,4.336189e-06,4.800276e-06,5.657401e-06,5.826757e-06,6.925733e-06,7.107675e-06,8.088007e-06,8.665801e-06,9.304826e-06,1.031184e-05,1.056769e-05,1.186828e-05,1.202650e-05,1.319847e-05,1.379108e-05,1.455036e-05,1.558768e-05,1.591645e-05,1.728965e-05,1.739961e-05,1.866344e-05,1.921176e-05,2.003187e-05,2.101081e-05,2.138963e-05,2.273204e-05,2.278536e-05,2.405505e-05,2.452590e-05,2.535519e-05,2.622474e-05,2.662959e-05,2.787585e-05,2.909205e-05,2.947463e-05,3.027669e-05,3.101773e-05,3.142859e-05,3.250285e-05,3.254693e-05,3.363115e-05,3.392857e-05,3.468093e-05,3.529421e-05,3.569615e-05,3.659967e-05,3.667686e-05,3.762324e-05,3.784530e-05,3.853560e-05,3.903181e-05,3.941434e-05,4.016020e-05,4.025994e-05,4.107294e-05,4.123168e-05,4.185395e-05,4.224763e-05,4.260359e-05,4.320954e-05,4.332254e-05,4.401150e-05,4.411899e-05,4.467117e-05,4.497762e-05,4.530227e-05,4.578709e-05,4.590555e-05,4.648173e-05,4.654909e-05,4.703155e-05,4.726531e-05,4.755575e-05,4.793745e-05,4.805505e-05,4.853017e-05,4.856716e-05,4.898184e-05,4.915609e-05,4.941075e-05,4.970587e-05,4.981761e-05,5.020310e-05,5.021809e-05,5.056790e-05,5.069429e-05,5.091267e-05,5.113599e-05,5.123805e-05,5.154468e-05,5.183318e-05,5.192178e-05,5.210417e-05,5.226868e-05,5.235823e-05,5.258676e-05,5.259596e-05,5.281791e-05,5.287730e-05,5.302463e-05,5.314159e-05,5.321668e-05,5.338085e-05,5.339457e-05,5.355881e-05,5.359626e-05,5.370991e-05,5.378896e-05,5.384834e-05,5.396007e-05,5.397459e-05,5.408910e-05,5.411063e-05,5.419232e-05,5.424168e-05,5.428469e-05,5.435421e-05,5.436663e-05,5.443854e-05,5.444915e-05,5.450083e-05,5.452742e-05,5.455387e-05,5.458989e-05,5.459803e-05,5.463369e-05,5.463741e-05,5.466118e-05,5.467078e-05,5.468085e-05,5.469078e-05,5.469304e-05,5.469804e-05,5.469814e-05,5.469619e-05,5.469359e-05,5.468777e-05,5.467780e-05,5.467307e-05,5.465237e-05,5.465142e-05,5.462595e-05,5.461508e-05,5.459406e-05,5.456938e-05,5.455696e-05,5.451489e-05,5.445216e-05,5.438170e-05,5.430402e-05,5.421960e-05,5.412889e-05,5.403233e-05,5.393032e-05,5.382327e-05,5.371155e-05,5.359551e-05,5.347551e-05,5.335186e-05,5.322488e-05,5.309486e-05,5.296207e-05,5.282679e-05,5.268926e-05,5.254973e-05,5.240842e-05,5.226555e-05,5.212133e-05,5.197593e-05,5.182956e-05,5.168238e-05
0.000000e+00,3.290829e-09,7.496306e-09,2.550160e-08,5.748263e-08,8.347358e-08,1.875144e-07,1.930941e-07,3.710321e-07,4.356028e-07,6.361896e-07,8.460201e-07,1.010052e-06,1.468771e-06,1.514345e-06,2.163609e-06,2.341068e-06,2.953739e-06,3.448318e-06,3.857603e-06,4.716162e-06,4.836292e-06,5.854046e-06,6.059787e-06,6.884312e-06,7.418661e-06,7.908771e-06,8.755430e-06,8.914733e-06,9.893069e-06,1.004656e-05,1.083697e-05,1.127625e-05,1.174131e-05,1.243368e-05,1.260225e-05,1.341711e-05,1.351170e-05,1.418416e-05,1.450627e-05,1.490257e-05,1.541596e-05,1.557227e-05,1.619386e-05,1.624153e-05,1.676843e-05,1.698542e-05,1.729751e-05,1.765132e-05,1.778297e-05,1.822693e-05,1.824386e-05,1.863167e-05,1.876823e-05,1.899958e-05,1.922988e-05,1.933293e-05,1.963407e-05,1.990526e-05,1.998607e-05,2.014869e-05,2.029091e-05,2.036649e-05,2.055332e-05,2.056066e-05,2.073307e-05,2.077768e-05,2.088547e-05,2.096800e-05,2.101951e-05,2.112792e-05,2.113671e-05,2.123848e-05,2.126075e-05,2.132610e-05,2.136944e-05,2.140078e-05,2.145667e-05,2.146362e-05,2.151563e-05,2.152482e-05,2.155774e-05,2.157601e-05,2.159080e-05,2.161214e-05,2.161558e-05,2.163280e-05,2.163490e-05,2.164312e-05,2.164579e-05,2.164713e-05,2.164617e-05,2.164538e-05,2.163838e-05,2.163721e-05,2.162659e-05,2.162000e-05,2.161043e-05,2.159546e-05,2.159028e-05,2.156651e-05,2.156447e-05,2.153944e-05,2.152776e-05,2.150937e-05,2.148602e-05,2.147658e-05,2.144131e-05,2.143985e-05,2.140381e-05,2.138981e-05,2.136429e-05,2.133636e-05,2.132295e-05,2.127996e-05,2.123551e-05,2.122100e-05,2.118974e-05,2.115982e-05,2.114280e-05,2.109675e-05,2.109481e-05,2.104592e-05,2.103208e-05,2.099621e-05,2.096605e-05,2.094581e-05,2.089891e-05,2.089481e-05,2.084330e-05,2.083087e-05,2.079136e-05,2.076212e-05,2.073907e-05,2.069282e-05,2.068650e-05,2.063372e-05,2.062315e-05,2.058079e-05,2.055322e-05,2.052776e-05,2.048319e-05,2.047470e-05,2.042164e-05,2.041315e-05,2.036863e-05,2.034322e-05,2.031572e-05,2.027348e-05,2.026294e-05,2.021033e-05,2.020403e-05,2.015793e-05,2.013494e-05,2.010576e-05,2.006628e-05,2.005385e-05,2.000223e-05,1.999811e-05,1.995092e-05,1.993049e-05,1.989994e-05,1.986346e-05,1.984933e-05,1.979908e-05,1.979708e-05,1.974923e-05,1.973138e-05,1.969978e-05,1.966640e-05,1.965076e-05,1.960217e-05,1.953872e-05,1.947607e-05,1.941424e-05,1.935326e-05,1.929313e-05,1.923387e-05,1.917550e-05,1.911802e-05,1.906143e-05,1.900575e-05,1.895097e-05,1.889710e-05,1.884414e-05,1.879209e-05,1.874095e-05,1.869071e-05,1.864138e-05,1.859294e-05,1.854539e-05,1.849872e-05,1.845293e-05,1.840802e-05,1.836396e-05,1.832076e-05
0.000000e+00,9.283475e-10,3.361055e-09,2.009013e-08,6.060354e-08,9.852261e-08,2.711049e-07,2.809395e-07,6.099670e-07,7.339686e-07,1.126527e-06,1.543136e-06,1.870594e-06,2.789756e-06,2.881321e-06,4.195436e-06,4.559486e-06,5.842197e-06,6.915559e-06,7.835014e-06,9.869029e-06,1.016584e-05,1.280924e-05,1.337255e-05,1.573209e-05,1.735112e-05,1.890053e-05,2.172797e-05,2.228202e-05,2.584517e-05,2.643007e-05,2.955924e-05,3.138671e-05,3.339401e-05,3.652883e-05,3.731992e-05,4.130847e-05,4.179001e-05,4.533267e-05,4.710804e-05,4.936732e-05,5.242641e-05,5.338942e-05,5.737830e-05,5.769541e-05,6.131573e-05,6.287268e-05,6.518592e-05,6.792321e-05,6.897547e-05,7.267319e-05,7.281906e-05,7.626999e-05,7.753869e-05,7.975865e-05,8.206628e-05,8.313363e-05,8.639091e-05,8.952774e-05,9.050579e-05,9.254249e-05,9.440753e-05,9.543451e-05,9.809551e-05,9.820394e-05,1.008516e-04,1.015713e-04,1.033788e-04,1.048381e-04,1.057875e-04,1.079006e-04,1.080798e-04,1.102582e-04,1.107644e-04,1.123254e-04,1.134356e-04,1.142843e-04,1.159210e-04,1.161380e-04,1.178895e-04,1.182278e-04,1.195420e-04,1.203633e-04,1.210987e-04,1.223347e-04,1.225628e-04,1.239376e-04,1.241494e-04,1.252261e-04,1.258149e-04,1.264315e-04,1.273382e-04,1.275570e-04,1.286056e-04,1.287264e-04,1.295802e-04,1.299864e-04,1.304838e-04,1.311248e-04,1.313193e-04,1.320894e-04,1.321483e-04,1.327969e-04,1.330629e-04,1.334443e-04,1.338748e-04,1.340344e-04,1.345695e-04,1.345898e-04,1.350521e-04,1.352134e-04,1.354844e-04,1.357510e-04,1.358689e-04,1.362077e-04,1.365028e-04,1.365884e-04,1.367565e-04,1.368979e-04,1.369705e-04,1.371406e-04,1.371469e-04,1.372875e-04,1.373207e-04,1.373940e-04,1.374424e-04,1.374683e-04,1.375094e-04,1.375118e-04,1.375263e-04,1.375256e-04,1.375132e-04,1.374944e-04,1.374741e-04,1.374192e-04,1.374102e-04,1.373231e-04,1.373030e-04,1.372140e-04,1.371489e-04,1.370841e-04,1.369598e-04,1.369346e-04,1.367668e-04,1.367383e-04,1.365817e-04,1.364870e-04,1.363803e-04,1.362083e-04,1.361638e-04,1.359330e-04,1.359044e-04,1.356889e-04,1.355776e-04,1.354325e-04,1.352298e-04,1.351644e-04,1.348857e-04,1.348629e-04,1.345970e-04,1.344789e-04,1.342991e-04,1.340793e-04,1.339927e-04,1.336785e-04,1.336658e-04,1.333572e-04,1.332399e-04,1.330293e-04,1.328030e-04,1.326956e-04,1.323564e-04,1.319014e-04,1.314391e-04,1.309707e-04,1.304972e-04,1.300195e-04,1.295385e-04,1.290551e-04,1.285700e-04,1.280840e-04,1.275977e-04,1.271119e-04,1.266269e-04,1.261435e-04,1.256621e-04,1.251831e-04,1.247070e-04,1.242341e-04,1.237649e-04,1.232996e-04,1.228385e-04,1.223820e-04,1.219302e-04,1.214834e-04,1.210418e-04
0.000000e+00,2.534742e-11,1.172879e-10,1.078041e-09,4.454537e-09,8.388171e-09,3.154900e-08,3.305401e-08,9.067499e-08,1.151455e-07,1.993782e-07,2.971613e-07,3.785862e-07,6.231942e-07,6.486366e-07,1.030841e-06,1.141713e-06,1.547384e-06,1.903618e-06,2.220326e-06,2.957377e-06,3.068995e-06,4.105788e-06,4.336056e-06,5.331868e-06,6.040754e-06,6.735246e-06,8.034232e-06,8.292540e-06,9.973401e-06,1.025163e-05,1.174532e-05,1.261896e-05,1.357728e-05,1.506743e-05,1.544174e-05,1.731528e-05,1.753975e-05,1.917842e-05,1.999068e-05,2.101515e-05,2.238524e-05,2.281236e-05,2.455936e-05,2.469667e-05,2.624749e-05,2.690467e-05,2.786988e-05,2.899424e-05,2.942119e-05,3.089744e-05,3.095488e-05,3.229589e-05,3.277994e-05,3.361490e-05,3.446605e-05,3.485376e-05,3.601263e-05,3.709236e-05,3.742138e-05,3.809442e-05,3.869586e-05,3.902077e-05,3.984103e-05,3.987377e-05,4.065609e-05,4.086286e-05,4.137060e-05,4.176803e-05,4.202037e-05,4.256366e-05,4.260852e-05,4.313826e-05,4.325705e-05,4.361276e-05,4.385554e-05,4.403519e-05,4.436632e-05,4.440864e-05,4.473614e-05,4.479639e-05,4.502061e-05,4.515245e-05,4.526484e-05,4.544088e-05,4.547154e-05,4.564327e-05,4.566767e-05,4.578248e-05,4.583843e-05,4.589148e-05,4.595840e-05,4.597246e-05,4.602748e-05,4.603244e-05,4.605851e-05,4.606503e-05,4.606735e-05,4.606031e-05,4.605575e-05,4.602530e-05,4.602209e-05,4.597751e-05,4.595386e-05,4.591380e-05,4.585882e-05,4.583550e-05,4.574382e-05,4.573989e-05,4.563993e-05,4.559975e-05,4.552490e-05,4.544082e-05,4.539972e-05,4.526534e-05,4.512263e-05,4.507533e-05,4.497238e-05,4.487262e-05,4.481536e-05,4.465890e-05,4.465226e-05,4.448374e-05,4.443567e-05,4.431040e-05,4.420432e-05,4.413280e-05,4.396609e-05,4.395146e-05,4.376687e-05,4.372214e-05,4.357948e-05,4.347347e-05,4.338970e-05,4.322102e-05,4.319792e-05,4.300449e-05,4.296564e-05,4.280976e-05,4.270808e-05,4.261401e-05,4.244902e-05,4.241754e-05,4.222061e-05,4.218908e-05,4.202346e-05,4.192881e-05,4.182631e-05,4.166872e-05,4.162936e-05,4.143281e-05,4.140926e-05,4.123682e-05,4.115081e-05,4.104157e-05,4.089375e-05,4.084718e-05,4.065381e-05,4.063839e-05,4.046157e-05,4.038501e-05,4.027057e-05,4.013387e-05,4.008091e-05,3.989269e-05,3.988519e-05,3.970599e-05,3.963917e-05,3.952089e-05,3.939597e-05,3.933745e-05,3.915575e-05,3.891863e-05,3.868473e-05,3.845414e-05,3.822695e-05,3.800321e-05,3.778297e-05,3.756630e-05,3.735320e-05,3.714372e-05,3.693785e-05,3.673562e-05,3.653701e-05,3.634202e-05,3.615064e-05,3.596284e-05,3.577862e-05,3.559795e-05,3.542079e-05,3.524711e-05,3.507688e-05,3.491006e-05,3.474661e-05,3.458649e-05,3.442966e-05
0.000000e+00,4.065285e-12,2.055973e-11,2.262609e-10,1.095850e-09,2.246467e-09,1.044017e-08,1.103002e-08,3.687114e-08,4.929952e-08,9.676878e-08,1.589053e-07,2.151716e-07,4.032673e-07,4.242141e-07,7.635565e-07,8.694283e-07,1.279726e-06,1.665190e-06,2.024534e-06,2.912134e-06,3.052159e-06,4.415181e-06,4.732301e-06,6.160514e-06,7.232213e-06,8.326159e-06,1.049024e-05,1.093915e-05,1.401469e-05,1.455009e-05,1.755618e-05,1.941972e-05,2.155586e-05,2.507381e-05,2.599587e-05,3.084946e-05,3.145813e-05,3.608238e-05,3.849480e-05,4.165418e-05,4.608767e-05,4.751958e-05,5.362982e-05,5.412770e-05,5.993382e-05,6.249801e-05,6.637945e-05,7.107869e-05,7.291455e-05,7.948796e-05,7.975099e-05,8.605038e-05,8.840108e-05,9.255513e-05,9.692311e-05,9.895878e-05,1.052216e-04,1.113081e-04,1.132133e-04,1.171869e-04,1.208277e-04,1.228311e-04,1.280082e-04,1.282185e-04,1.333310e-04,1.347112e-04,1.381548e-04,1.409062e-04,1.426801e-04,1.465744e-04,1.469007e-04,1.508140e-04,1.517075e-04,1.544203e-04,1.563067e-04,1.577225e-04,1.603810e-04,1.607259e-04,1.634379e-04,1.639461e-04,1.658674e-04,1.670226e-04,1.680249e-04,1.696352e-04,1.699217e-04,1.715699e-04,1.718114e-04,1.729824e-04,1.735805e-04,1.741723e-04,1.749728e-04,1.751527e-04,1.759371e-04,1.760186e-04,1.765384e-04,1.767484e-04,1.769696e-04,1.771913e-04,1.772433e-04,1.773715e-04,1.773758e-04,1.773658e-04,1.773286e-04,1.772376e-04,1.770752e-04,1.769972e-04,1.766548e-04,1.766391e-04,1.762199e-04,1.760424e-04,1.757014e-04,1.753053e-04,1.751076e-04,1.744463e-04,1.737249e-04,1.734824e-04,1.729500e-04,1.724289e-04,1.721279e-04,1.712997e-04,1.712645e-04,1.703650e-04,1.701074e-04,1.694344e-04,1.688630e-04,1.684772e-04,1.675767e-04,1.674976e-04,1.664993e-04,1.662574e-04,1.654859e-04,1.649129e-04,1.644605e-04,1.635504e-04,1.634259e-04,1.623849e-04,1.621761e-04,1.613397e-04,1.607953e-04,1.602926e-04,1.594130e-04,1.592455e-04,1.582001e-04,1.580332e-04,1.571581e-04,1.566596e-04,1.561209e-04,1.552954e-04,1.550897e-04,1.540657e-04,1.539434e-04,1.530499e-04,1.526058e-04,1.520432e-04,1.512847e-04,1.510464e-04,1.500603e-04,1.499818e-04,1.490853e-04,1.486986e-04,1.481221e-04,1.474361e-04,1.471711e-04,1.462327e-04,1.461954e-04,1.453072e-04,1.449773e-04,1.443950e-04,1.437823e-04,1.434962e-04,1.426111e-04,1.414638e-04,1.403408e-04,1.392422e-04,1.381679e-04,1.371181e-04,1.360926e-04,1.350912e-04,1.341138e-04,1.331601e-04,1.322297e-04,1.313225e-04,1.304380e-04,1.295759e-04,1.287358e-04,1.279173e-04,1.271200e-04,1.263435e-04,1.255874e-04,1.248511e-04,1.241344e-04,1.234367e-04,1.227576e-04,1.220967e-04,1.214536e-04
0.000000e+00,7.911807e-09,1.874411e-08,6.697916e-08,1.556343e-07,2.292384e-07,5.323032e-07,5.488505e-07,1.087963e-06,1.288150e-06,1.921814e-06,2.599094e-06,3.135252e-06,4.646124e-06,4.796195e-06,6.918214e-06,7.492593e-06,9.465169e-06,1.105891e-05,1.238913e-05,1.524269e-05,1.565089e-05,1.922058e-05,1.996923e-05,2.307322e-05,2.518056e-05,2.718511e-05,3.082163e-05,3.153184e-05,3.608745e-05,3.683391e-05,4.082435e-05,4.315400e-05,4.571363e-05,4.971488e-05,5.072568e-05,5.583079e-05,5.644826e-05,6.099974e-05,6.328698e-05,6.620432e-05,7.016719e-05,7.141792e-05,7.661582e-05,7.703028e-05,8.177544e-05,8.382394e-05,8.687649e-05,9.050283e-05,9.190106e-05,9.683356e-05,9.702875e-05,1.016606e-04,1.033704e-04,1.063711e-04,1.095029e-04,1.109558e-04,1.154073e-04,1.197198e-04,1.210698e-04,1.238892e-04,1.264810e-04,1.279123e-04,1.316353e-04,1.317874e-04,1.355135e-04,1.365301e-04,1.390905e-04,1.411654e-04,1.425192e-04,1.455439e-04,1.458011e-04,1.489379e-04,1.496693e-04,1.519317e-04,1.535468e-04,1.547853e-04,1.571827e-04,1.575014e-04,1.600832e-04,1.605837e-04,1.625338e-04,1.637574e-04,1.648566e-04,1.667114e-04,1.670550e-04,1.691326e-04,1.694541e-04,1.710930e-04,1.719935e-04,1.729398e-04,1.743378e-04,1.746765e-04,1.763067e-04,1.764954e-04,1.778340e-04,1.784743e-04,1.792618e-04,1.802825e-04,1.805935e-04,1.818327e-04,1.819279e-04,1.829825e-04,1.834182e-04,1.840464e-04,1.847609e-04,1.850274e-04,1.859288e-04,1.859633e-04,1.867536e-04,1.870323e-04,1.875047e-04,1.879749e-04,1.881851e-04,1.887976e-04,1.893449e-04,1.895068e-04,1.898298e-04,1.901086e-04,1.902549e-04,1.906090e-04,1.906226e-04,1.909355e-04,1.910136e-04,1.911958e-04,1.913278e-04,1.914060e-04,1.915570e-04,1.915682e-04,1.916846e-04,1.917060e-04,1.917574e-04,1.917797e-04,1.917884e-04,1.917828e-04,1.917797e-04,1.917332e-04,1.917195e-04,1.916506e-04,1.915940e-04,1.915338e-04,1.914105e-04,1.913845e-04,1.912043e-04,1.911727e-04,1.909947e-04,1.908842e-04,1.907574e-04,1.905485e-04,1.904937e-04,1.902052e-04,1.901690e-04,1.898931e-04,1.897487e-04,1.895588e-04,1.892907e-04,1.892036e-04,1.888287e-04,1.887978e-04,1.884351e-04,1.882728e-04,1.880242e-04,1.877181e-04,1.875969e-04,1.871543e-04,1.871363e-04,1.866974e-04,1.865296e-04,1.862272e-04,1.859003e-04,1.857445e-04,1.852503e-04,1.845818e-04,1.838964e-04,1.831961e-04,1.824824e-04,1.817569e-04,1.810211e-04,1.802764e-04,1.795240e-04,1.787654e-04,1.780015e-04,1.772335e-04,1.764624e-04,1.756892e-04,1.749148e-04,1.741401e-04,1.733657e-04,1.725925e-04,1.718211e-04,1.710522e-04,1.702864e-04,1.695243e-04,1.687662e-04,1.680128e-04,1.672645e-04
0.000000e+00,2.761558e-09,6.561974e-09,2.353157e-08,5.481591e-08,8.085824e-08,1.886317e-07,1.945387e-07,3.880389e-07,4.603273e-07,6.902565e-07,9.371998e-07,1.133049e-06,1.684073e-06,1.738617e-06,2.504288e-06,2.709572e-06,3.408118e-06,3.965546e-06,4.426361e-06,5.402306e-06,5.540588e-06,6.736722e-06,6.984711e-06,8.002874e-06,8.685270e-06,9.328020e-06,1.047888e-05,1.070143e-05,1.211258e-05,1.234117e-05,1.355122e-05,1.424865e-05,1.500760e-05,1.617935e-05,1.647264e-05,1.793802e-05,1.811353e-05,1.939637e-05,2.003411e-05,2.084119e-05,2.192674e-05,2.226690e-05,2.366881e-05,2.377981e-05,2.504303e-05,2.558424e-05,2.638642e-05,2.733316e-05,2.769650e-05,2.897136e-05,2.902160e-05,3.020958e-05,3.064617e-05,3.141017e-05,3.220473e-05,3.257249e-05,3.369620e-05,3.478122e-05,3.512027e-05,3.582767e-05,3.647728e-05,3.683583e-05,3.776803e-05,3.780612e-05,3.873903e-05,3.899364e-05,3.963519e-05,4.015552e-05,4.049527e-05,4.125529e-05,4.131998e-05,4.211010e-05,4.229466e-05,4.286641e-05,4.327548e-05,4.358974e-05,4.419965e-05,4.428092e-05,4.494079e-05,4.506908e-05,4.557020e-05,4.588574e-05,4.617000e-05,4.665156e-05,4.674103e-05,4.728413e-05,4.736849e-05,4.780013e-05,4.803843e-05,4.828987e-05,4.866328e-05,4.875414e-05,4.919375e-05,4.924488e-05,4.960948e-05,4.978504e-05,5.000211e-05,5.028552e-05,5.037239e-05,5.072106e-05,5.074804e-05,5.104885e-05,5.117428e-05,5.135647e-05,5.156586e-05,5.164461e-05,5.191395e-05,5.192434e-05,5.216514e-05,5.225125e-05,5.239882e-05,5.254805e-05,5.261563e-05,5.281618e-05,5.300105e-05,5.305699e-05,5.317082e-05,5.327181e-05,5.332605e-05,5.346190e-05,5.346729e-05,5.359506e-05,5.362849e-05,5.370988e-05,5.377276e-05,5.381224e-05,5.389584e-05,5.390264e-05,5.398153e-05,5.399880e-05,5.404937e-05,5.408271e-05,5.410661e-05,5.414854e-05,5.415366e-05,5.419095e-05,5.419727e-05,5.421886e-05,5.422981e-05,5.423780e-05,5.424703e-05,5.424812e-05,5.425020e-05,5.424980e-05,5.424439e-05,5.423890e-05,5.423102e-05,5.421511e-05,5.421043e-05,5.418292e-05,5.417917e-05,5.414881e-05,5.413179e-05,5.410840e-05,5.407364e-05,5.406196e-05,5.400977e-05,5.400536e-05,5.395211e-05,5.392757e-05,5.388922e-05,5.384085e-05,5.382137e-05,5.374877e-05,5.374577e-05,5.367168e-05,5.364287e-05,5.359031e-05,5.353264e-05,5.350487e-05,5.341558e-05,5.329216e-05,5.316280e-05,5.302794e-05,5.288797e-05,5.274328e-05,5.259422e-05,5.244115e-05,5.228438e-05,5.212424e-05,5.196102e-05,5.179500e-05,5.162644e-05,5.145561e-05,5.128274e-05,5.110806e-05,5.093179e-05,5.075413e-05,5.057527e-05,5.039541e-05,5.021471e-05,5.003335e-05,4.985146e-05,4.966922e-05,4.948674e-05
0.000000e+00,1.625572e-09,4.261109e-09,1.697134e-08,4.153844e-08,6.241346e-08,1.503588e-07,1.552190e-07,3.154443e-07,3.756008e-07,5.673616e-07,7.733301e-07,9.362582e-07,1.391649e-06,1.436516e-06,2.065275e-06,2.234208e-06,2.812871e-06,3.280387e-06,3.671448e-06,4.514451e-06,4.635566e-06,5.700652e-06,5.925373e-06,6.861873e-06,7.501864e-06,8.113580e-06,9.230124e-06,9.449151e-06,1.086105e-05,1.109350e-05,1.234103e-05,1.307305e-05,1.388035e-05,1.514849e-05,1.547002e-05,1.710109e-05,1.729918e-05,1.876480e-05,1.950501e-05,2.045281e-05,2.174709e-05,2.215727e-05,2.387095e-05,2.400824e-05,2.558727e-05,2.627320e-05,2.730034e-05,2.852877e-05,2.900493e-05,3.069645e-05,3.076378e-05,3.237093e-05,3.296890e-05,3.402497e-05,3.513654e-05,3.565567e-05,3.726062e-05,3.883778e-05,3.933633e-05,4.038551e-05,4.135999e-05,4.190249e-05,4.332887e-05,4.338765e-05,4.484020e-05,4.524098e-05,4.625952e-05,4.709498e-05,4.764519e-05,4.889005e-05,4.899694e-05,5.031464e-05,5.062582e-05,5.159826e-05,5.230222e-05,5.284786e-05,5.391950e-05,5.406361e-05,5.524571e-05,5.547812e-05,5.639446e-05,5.697873e-05,5.751017e-05,5.842212e-05,5.859324e-05,5.964405e-05,5.980922e-05,6.066306e-05,6.114102e-05,6.165072e-05,6.241860e-05,6.260752e-05,6.353397e-05,6.364312e-05,6.443057e-05,6.481576e-05,6.529786e-05,6.593773e-05,6.613638e-05,6.694666e-05,6.701028e-05,6.772925e-05,6.803466e-05,6.848471e-05,6.901215e-05,6.921359e-05,6.991644e-05,6.994402e-05,7.059382e-05,7.083155e-05,7.124628e-05,7.167600e-05,7.187437e-05,7.247863e-05,7.305961e-05,7.324070e-05,7.361785e-05,7.396343e-05,7.415388e-05,7.464806e-05,7.466822e-05,7.516141e-05,7.529577e-05,7.563394e-05,7.590776e-05,7.608634e-05,7.648519e-05,7.651910e-05,7.693272e-05,7.702920e-05,7.732769e-05,7.754090e-05,7.770448e-05,7.802140e-05,7.806357e-05,7.840542e-05,7.847176e-05,7.873049e-05,7.889304e-05,7.903922e-05,7.928625e-05,7.933205e-05,7.960943e-05,7.965240e-05,7.987176e-05,7.999246e-05,8.011947e-05,8.030739e-05,8.035297e-05,8.057265e-05,8.059810e-05,8.077891e-05,8.086550e-05,8.097212e-05,8.111047e-05,8.115267e-05,8.132092e-05,8.133386e-05,8.147723e-05,8.153649e-05,8.162195e-05,8.171918e-05,8.175544e-05,8.187801e-05,8.188269e-05,8.199001e-05,8.202781e-05,8.209176e-05,8.215525e-05,8.218357e-05,8.226574e-05,8.235997e-05,8.243860e-05,8.250229e-05,8.255168e-05,8.258736e-05,8.260993e-05,8.261997e-05,8.261802e-05,8.260462e-05,8.258028e-05,8.254551e-05,8.250079e-05,8.244659e-05,8.238335e-05,8.231151e-05,8.223149e-05,8.214369e-05,8.204852e-05,8.194633e-05,8.183751e-05,8.172239e-05,8.160132e-05,8.147462e-05,8.134260e-05
0.000000e+00,3.821335e-09,9.242660e-09,3.376113e-08,7.929074e-08,1.172909e-07,2.747579e-07,2.833888e-07,5.655288e-07,6.703752e-07,9.999835e-07,1.344914e-06,1.611103e-06,2.331356e-06,2.400952e-06,3.362365e-06,3.617945e-06,4.489617e-06,5.191811e-06,5.778688e-06,7.043533e-06,7.225261e-06,8.823400e-06,9.160538e-06,1.056495e-05,1.152383e-05,1.243942e-05,1.410755e-05,1.443423e-05,1.653507e-05,1.688001e-05,1.872631e-05,1.980542e-05,2.099156e-05,2.284588e-05,2.331420e-05,2.567777e-05,2.596338e-05,2.806641e-05,2.912146e-05,3.046511e-05,3.228626e-05,3.286000e-05,3.523864e-05,3.542789e-05,3.759001e-05,3.852072e-05,3.990445e-05,4.154329e-05,4.217369e-05,4.439082e-05,4.447833e-05,4.655013e-05,4.731242e-05,4.864706e-05,5.003549e-05,5.067806e-05,5.264049e-05,5.453249e-05,5.512284e-05,5.635289e-05,5.748008e-05,5.810110e-05,5.971139e-05,5.977705e-05,6.138105e-05,6.181736e-05,6.291377e-05,6.379958e-05,6.437617e-05,6.566049e-05,6.576944e-05,6.709493e-05,6.740313e-05,6.835416e-05,6.903098e-05,6.954874e-05,7.054785e-05,7.068038e-05,7.175084e-05,7.195775e-05,7.276191e-05,7.326481e-05,7.371542e-05,7.447323e-05,7.461321e-05,7.545709e-05,7.558723e-05,7.624889e-05,7.661099e-05,7.699042e-05,7.754864e-05,7.768345e-05,7.832972e-05,7.840422e-05,7.893097e-05,7.918169e-05,7.948886e-05,7.988488e-05,8.000505e-05,8.048114e-05,8.051754e-05,8.091869e-05,8.108326e-05,8.131922e-05,8.158552e-05,8.168422e-05,8.201512e-05,8.202767e-05,8.231333e-05,8.241294e-05,8.258019e-05,8.274442e-05,8.281702e-05,8.302508e-05,8.320562e-05,8.325777e-05,8.335981e-05,8.344521e-05,8.348882e-05,8.358999e-05,8.359374e-05,8.367566e-05,8.369461e-05,8.373560e-05,8.376145e-05,8.377458e-05,8.379276e-05,8.379356e-05,8.379346e-05,8.379070e-05,8.377519e-05,8.375734e-05,8.373961e-05,8.369464e-05,8.368755e-05,8.361981e-05,8.360445e-05,8.353716e-05,8.348855e-05,8.344036e-05,8.334862e-05,8.333011e-05,8.320710e-05,8.318628e-05,8.307199e-05,8.300303e-05,8.292542e-05,8.280033e-05,8.276800e-05,8.260032e-05,8.257954e-05,8.242294e-05,8.234196e-05,8.223640e-05,8.208883e-05,8.204123e-05,8.183792e-05,8.182132e-05,8.162695e-05,8.154052e-05,8.140878e-05,8.124749e-05,8.118386e-05,8.095260e-05,8.094322e-05,8.071541e-05,8.062865e-05,8.047269e-05,8.030466e-05,8.022479e-05,7.997209e-05,7.963174e-05,7.928435e-05,7.893062e-05,7.857124e-05,7.820681e-05,7.783794e-05,7.746518e-05,7.708907e-05,7.671008e-05,7.632870e-05,7.594535e-05,7.556045e-05,7.517438e-05,7.478750e-05,7.440016e-05,7.401267e-05,7.362533e-05,7.323841e-05,7.285219e-05,7.246689e-05,7.208275e-05,7.169998e-05,7.131877e-05,7.093931e-05
0.000000e+00,1.030598e-12,5.290351e-12,6.006871e-11,2.994649e-10,6.238211e-10,3.023269e-09,3.199576e-09,1.115681e-08,1.509079e-08,3.049658e-08,5.127478e-08,7.050671e-08,1.367451e-07,1.442658e-07,2.689594e-07,3.087511e-07,4.659322e-07,6.170639e-07,7.603963e-07,1.122698e-06,1.180799e-06,1.757957e-06,1.895020e-06,2.524075e-06,3.007966e-06,3.511748e-06,4.536075e-06,4.752998e-06,6.278374e-06,6.550729e-06,8.116140e-06,9.116776e-06,1.029155e-05,1.228966e-05,1.282625e-05,1.573775e-05,1.611312e-05,1.903906e-05,2.061743e-05,2.273842e-05,2.581840e-05,2.683919e-05,3.133980e-05,3.171696e-05,3.623387e-05,3.829935e-05,4.151040e-05,4.553791e-05,4.715412e-05,5.314580e-05,5.339239e-05,5.946274e-05,6.181160e-05,6.607926e-05,7.073532e-05,7.296719e-05,8.009641e-05,8.743539e-05,8.982288e-05,9.495168e-05,9.983999e-05,1.026124e-04,1.100722e-04,1.103848e-04,1.182363e-04,1.204447e-04,1.261355e-04,1.308852e-04,1.340519e-04,1.413250e-04,1.419563e-04,1.498213e-04,1.517001e-04,1.576212e-04,1.619517e-04,1.653322e-04,1.720270e-04,1.729325e-04,1.804023e-04,1.818791e-04,1.877240e-04,1.914674e-04,1.948818e-04,2.007576e-04,2.018620e-04,2.086529e-04,2.097212e-04,2.152445e-04,2.183352e-04,2.216287e-04,2.265823e-04,2.277989e-04,2.337503e-04,2.344496e-04,2.394792e-04,2.419289e-04,2.449835e-04,2.490159e-04,2.502622e-04,2.553154e-04,2.557100e-04,2.601441e-04,2.620132e-04,2.647503e-04,2.679305e-04,2.691367e-04,2.733067e-04,2.734690e-04,2.772642e-04,2.786377e-04,2.810137e-04,2.834470e-04,2.845601e-04,2.879086e-04,2.910648e-04,2.920351e-04,2.940344e-04,2.958397e-04,2.968232e-04,2.993361e-04,2.994374e-04,3.018830e-04,3.025384e-04,3.041661e-04,3.054606e-04,3.062929e-04,3.081168e-04,3.082695e-04,3.101020e-04,3.105210e-04,3.117963e-04,3.126869e-04,3.133583e-04,3.146281e-04,3.147938e-04,3.161085e-04,3.163574e-04,3.173078e-04,3.178877e-04,3.183972e-04,3.192311e-04,3.193818e-04,3.202668e-04,3.203995e-04,3.210570e-04,3.214040e-04,3.217572e-04,3.222556e-04,3.223719e-04,3.229056e-04,3.229644e-04,3.233624e-04,3.235402e-04,3.237466e-04,3.239924e-04,3.240621e-04,3.243125e-04,3.243299e-04,3.245016e-04,3.245609e-04,3.246328e-04,3.246933e-04,3.247095e-04,3.247348e-04,3.247347e-04,3.247117e-04,3.246921e-04,3.246432e-04,3.245721e-04,3.245321e-04,3.243810e-04,3.241245e-04,3.238083e-04,3.234374e-04,3.230167e-04,3.225508e-04,3.220439e-04,3.215000e-04,3.209227e-04,3.203156e-04,3.196819e-04,3.190246e-04,3.183464e-04,3.176501e-04,3.169381e-04,3.162125e-04,3.154756e-04,3.147293e-04,3.139753e-04,3.132155e-04,3.124512e-04,3.116840e-04,3.109151e-04,3.101458e-04,3.093772e-04
0.000000e+00,5.873607e-09,1.340781e-08,4.599105e-08,1.051044e-07,1.542641e-07,3.603514e-07,3.717982e-07,7.549301e-07,9.013903e-07,1.373745e-06,1.882558e-06,2.280668e-06,3.353741e-06,3.455786e-06,4.815106e-06,5.158975e-06,6.276076e-06,7.117393e-06,7.784440e-06,9.124344e-06,9.307002e-06,1.082155e-05,1.112196e-05,1.231126e-05,1.307143e-05,1.376238e-05,1.494309e-05,1.516351e-05,1.650534e-05,1.671403e-05,1.778071e-05,1.836770e-05,1.898448e-05,1.989370e-05,2.011340e-05,2.116583e-05,2.128696e-05,2.214169e-05,2.254710e-05,2.304223e-05,2.367753e-05,2.386955e-05,2.462646e-05,2.468407e-05,2.531628e-05,2.557422e-05,2.594260e-05,2.635633e-05,2.650917e-05,2.701981e-05,2.703913e-05,2.747828e-05,2.763127e-05,2.788826e-05,2.814114e-05,2.825326e-05,2.857666e-05,2.886162e-05,2.894518e-05,2.911112e-05,2.925350e-05,2.932797e-05,2.950782e-05,2.951475e-05,2.967387e-05,2.971378e-05,2.980758e-05,2.987647e-05,2.991794e-05,3.000048e-05,3.000685e-05,3.007608e-05,3.008995e-05,3.012726e-05,3.014859e-05,3.016188e-05,3.017975e-05,3.018132e-05,3.018685e-05,3.018640e-05,3.017965e-05,3.017123e-05,3.016079e-05,3.013666e-05,3.013125e-05,3.009197e-05,3.008483e-05,3.004377e-05,3.001770e-05,2.998744e-05,2.993699e-05,2.992368e-05,2.985316e-05,2.984428e-05,2.977649e-05,2.974095e-05,2.969423e-05,2.962829e-05,2.960689e-05,2.951495e-05,2.950741e-05,2.941885e-05,2.937934e-05,2.931901e-05,2.924501e-05,2.921579e-05,2.910955e-05,2.910524e-05,2.900060e-05,2.896078e-05,2.888925e-05,2.881230e-05,2.877577e-05,2.866041e-05,2.854341e-05,2.850566e-05,2.842498e-05,2.834854e-05,2.830534e-05,2.818951e-05,2.818467e-05,2.806313e-05,2.802897e-05,2.794090e-05,2.786729e-05,2.781812e-05,2.770479e-05,2.769492e-05,2.757145e-05,2.754178e-05,2.744780e-05,2.737853e-05,2.732410e-05,2.721527e-05,2.720044e-05,2.707692e-05,2.705224e-05,2.695363e-05,2.688963e-05,2.683064e-05,2.672762e-05,2.670803e-05,2.658587e-05,2.656637e-05,2.646423e-05,2.640604e-05,2.634315e-05,2.624674e-05,2.622270e-05,2.610292e-05,2.608859e-05,2.598386e-05,2.593171e-05,2.586556e-05,2.577619e-05,2.574806e-05,2.563140e-05,2.562211e-05,2.551561e-05,2.546954e-05,2.540071e-05,2.531855e-05,2.528673e-05,2.517371e-05,2.516920e-05,2.506165e-05,2.502155e-05,2.495058e-05,2.487563e-05,2.484052e-05,2.473148e-05,2.458913e-05,2.444862e-05,2.430997e-05,2.417319e-05,2.403830e-05,2.390532e-05,2.377424e-05,2.364508e-05,2.351784e-05,2.339251e-05,2.326910e-05,2.314759e-05,2.302799e-05,2.291028e-05,2.279446e-05,2.268051e-05,2.256841e-05,2.245817e-05,2.234975e-05,2.224314e-05,2.213834e-05,2.203531e-05,2.193404e-05,2.183451e-05
0.000000e+00,1.551488e-10,6.350276e-10,4.633358e-09,1.592667e-08,2.738225e-08,8.391546e-08,8.726469e-08,2.033623e-07,2.485121e-07,3.946446e-07,5.537271e-07,6.810304e-07,1.046709e-06,1.083702e-06,1.622908e-06,1.774350e-06,2.311524e-06,2.761881e-06,3.145733e-06,3.980889e-06,4.100616e-06,5.137086e-06,5.350507e-06,6.214592e-06,6.779638e-06,7.299700e-06,8.199075e-06,8.368144e-06,9.403253e-06,9.564962e-06,1.039368e-05,1.085083e-05,1.133165e-05,1.204066e-05,1.221190e-05,1.303100e-05,1.312507e-05,1.378705e-05,1.409954e-05,1.447943e-05,1.496331e-05,1.510861e-05,1.567595e-05,1.571872e-05,1.618356e-05,1.637047e-05,1.663414e-05,1.692497e-05,1.703078e-05,1.737687e-05,1.738971e-05,1.767596e-05,1.777282e-05,1.793165e-05,1.808255e-05,1.814751e-05,1.832700e-05,1.847346e-05,1.851387e-05,1.859003e-05,1.865031e-05,1.867965e-05,1.874288e-05,1.874506e-05,1.878880e-05,1.879747e-05,1.881315e-05,1.881936e-05,1.882025e-05,1.881318e-05,1.881200e-05,1.879013e-05,1.878303e-05,1.875621e-05,1.873249e-05,1.871166e-05,1.866466e-05,1.865773e-05,1.859556e-05,1.858223e-05,1.852618e-05,1.848756e-05,1.845050e-05,1.838265e-05,1.836932e-05,1.828340e-05,1.826925e-05,1.819337e-05,1.814887e-05,1.809982e-05,1.802281e-05,1.800328e-05,1.790422e-05,1.789218e-05,1.780306e-05,1.775797e-05,1.770016e-05,1.762101e-05,1.759587e-05,1.749049e-05,1.748202e-05,1.738429e-05,1.734163e-05,1.727750e-05,1.720038e-05,1.717035e-05,1.706303e-05,1.705873e-05,1.695570e-05,1.691710e-05,1.684854e-05,1.677583e-05,1.674167e-05,1.663522e-05,1.652930e-05,1.649553e-05,1.642400e-05,1.635699e-05,1.631943e-05,1.621978e-05,1.621565e-05,1.611273e-05,1.608408e-05,1.601074e-05,1.595001e-05,1.590973e-05,1.581771e-05,1.580975e-05,1.571084e-05,1.568726e-05,1.561304e-05,1.555876e-05,1.551637e-05,1.543227e-05,1.542087e-05,1.532656e-05,1.530785e-05,1.523347e-05,1.518554e-05,1.514159e-05,1.506537e-05,1.505096e-05,1.496157e-05,1.494738e-05,1.487344e-05,1.483158e-05,1.478657e-05,1.471798e-05,1.470096e-05,1.461663e-05,1.460659e-05,1.453356e-05,1.449741e-05,1.445175e-05,1.439042e-05,1.437121e-05,1.429192e-05,1.428563e-05,1.421389e-05,1.418302e-05,1.413709e-05,1.408257e-05,1.406154e-05,1.398721e-05,1.398426e-05,1.391410e-05,1.388808e-05,1.384220e-05,1.379399e-05,1.377149e-05,1.370197e-05,1.361200e-05,1.352404e-05,1.343807e-05,1.335405e-05,1.327196e-05,1.319175e-05,1.311341e-05,1.303688e-05,1.296215e-05,1.288917e-05,1.281791e-05,1.274834e-05,1.268043e-05,1.261413e-05,1.254942e-05,1.248627e-05,1.242463e-05,1.236448e-05,1.230578e-05,1.224850e-05,1.219262e-05,1.213809e-05,1.208489e-05,1.203298e-05
0.000000e+00,7.894764e-12,3.935166e-11,4.204150e-10,1.983275e-09,4.008707e-09,1.798917e-08,1.897948e-08,6.144905e-08,8.149793e-08,1.569355e-07,2.541031e-07,3.411745e-07,6.286012e-07,6.603605e-07,1.170020e-06,1.327435e-06,1.931349e-06,2.490575e-06,3.005437e-06,4.253439e-06,4.447529e-06,6.303089e-06,6.727011e-06,8.606026e-06,9.988173e-06,1.137853e-05,1.407884e-05,1.463185e-05,1.836741e-05,1.900948e-05,2.257807e-05,2.476392e-05,2.724927e-05,3.130395e-05,3.236010e-05,3.788428e-05,3.857355e-05,4.379119e-05,4.650279e-05,5.004673e-05,5.501164e-05,5.661428e-05,6.345558e-05,6.401354e-05,7.053158e-05,7.341893e-05,7.780320e-05,8.313828e-05,8.523203e-05,9.278092e-05,9.308487e-05,1.004145e-04,1.031768e-04,1.080995e-04,1.133389e-04,1.158051e-04,1.235031e-04,1.311677e-04,1.336096e-04,1.387762e-04,1.436067e-04,1.463082e-04,1.534505e-04,1.537460e-04,1.610742e-04,1.631046e-04,1.682796e-04,1.725392e-04,1.753512e-04,1.817309e-04,1.822798e-04,1.890578e-04,1.906614e-04,1.956793e-04,1.993172e-04,2.021396e-04,2.076886e-04,2.084353e-04,2.145640e-04,2.157695e-04,2.205241e-04,2.235565e-04,2.263150e-04,2.310485e-04,2.319366e-04,2.373895e-04,2.382463e-04,2.426746e-04,2.451524e-04,2.477936e-04,2.517703e-04,2.527481e-04,2.575403e-04,2.581046e-04,2.621726e-04,2.641608e-04,2.666476e-04,2.699450e-04,2.709679e-04,2.751365e-04,2.754635e-04,2.791562e-04,2.807232e-04,2.830303e-04,2.857312e-04,2.867618e-04,2.903539e-04,2.904947e-04,2.938098e-04,2.950212e-04,2.971326e-04,2.993179e-04,3.003257e-04,3.033923e-04,3.063355e-04,3.072518e-04,3.091586e-04,3.109037e-04,3.118646e-04,3.143553e-04,3.144568e-04,3.169382e-04,3.176136e-04,3.193120e-04,3.206858e-04,3.215810e-04,3.235786e-04,3.237483e-04,3.258168e-04,3.262989e-04,3.277894e-04,3.288532e-04,3.296688e-04,3.312479e-04,3.314580e-04,3.331594e-04,3.334895e-04,3.347760e-04,3.355838e-04,3.363101e-04,3.375370e-04,3.377645e-04,3.391415e-04,3.393548e-04,3.404437e-04,3.410428e-04,3.416734e-04,3.426065e-04,3.428329e-04,3.439246e-04,3.440512e-04,3.449507e-04,3.453819e-04,3.459133e-04,3.466037e-04,3.468145e-04,3.476564e-04,3.477213e-04,3.484411e-04,3.487394e-04,3.491704e-04,3.496624e-04,3.498464e-04,3.504707e-04,3.504947e-04,3.510454e-04,3.512404e-04,3.515721e-04,3.519037e-04,3.520525e-04,3.524883e-04,3.529980e-04,3.534365e-04,3.538072e-04,3.541135e-04,3.543586e-04,3.545455e-04,3.546773e-04,3.547569e-04,3.547869e-04,3.547701e-04,3.547090e-04,3.546060e-04,3.544635e-04,3.542836e-04,3.540686e-04,3.538206e-04,3.535415e-04,3.532331e-04,3.528974e-04,3.525360e-04,3.521507e-04,3.517429e-04,3.513143e-04,3.508663e-04
0.000000e+00,9.262499e-10,2.141942e-09,7.403033e-09,1.678542e-08,2.439756e-08,5.456978e-08,5.617212e-08,1.063727e-07,1.241659e-07,1.781047e-07,2.325891e-07,2.739910e-07,3.854132e-07,3.962022e-07,5.464471e-07,5.868208e-07,7.258996e-07,8.393632e-07,9.350330e-07,1.143263e-06,1.173359e-06,1.439161e-06,1.495374e-06,1.729427e-06,1.888723e-06,2.040129e-06,2.313594e-06,2.366728e-06,2.704655e-06,2.759481e-06,3.049588e-06,3.216467e-06,3.397568e-06,3.675728e-06,3.745016e-06,4.088729e-06,4.129585e-06,4.425868e-06,4.571476e-06,4.753957e-06,4.995933e-06,5.070874e-06,5.374849e-06,5.398563e-06,5.664452e-06,5.776012e-06,5.938580e-06,6.125911e-06,6.196435e-06,6.437500e-06,6.446789e-06,6.661512e-06,6.737967e-06,6.868429e-06,6.999439e-06,7.058403e-06,7.231747e-06,7.388908e-06,7.435869e-06,7.530437e-06,7.613103e-06,7.656969e-06,7.764974e-06,7.769197e-06,7.867856e-06,7.893152e-06,7.953704e-06,7.999383e-06,8.027510e-06,8.085435e-06,8.090041e-06,8.142054e-06,8.153055e-06,8.184290e-06,8.203939e-06,8.217463e-06,8.239707e-06,8.242263e-06,8.259347e-06,8.261893e-06,8.269339e-06,8.271930e-06,8.272831e-06,8.271150e-06,8.270380e-06,8.262510e-06,8.260781e-06,8.249709e-06,8.241948e-06,8.232434e-06,8.215680e-06,8.211111e-06,8.186136e-06,8.182911e-06,8.157875e-06,8.144488e-06,8.126668e-06,8.101174e-06,8.092828e-06,8.056646e-06,8.053659e-06,8.018389e-06,8.002560e-06,7.978302e-06,7.948434e-06,7.936611e-06,7.893525e-06,7.891776e-06,7.849235e-06,7.833029e-06,7.803914e-06,7.772590e-06,7.757724e-06,7.710810e-06,7.663308e-06,7.648003e-06,7.615339e-06,7.584446e-06,7.567015e-06,7.520384e-06,7.518438e-06,7.469700e-06,7.456036e-06,7.420886e-06,7.391593e-06,7.372072e-06,7.327223e-06,7.323327e-06,7.274715e-06,7.263074e-06,7.226292e-06,7.199277e-06,7.178109e-06,7.135944e-06,7.130213e-06,7.082645e-06,7.073174e-06,7.035441e-06,7.011051e-06,6.988636e-06,6.949649e-06,6.942258e-06,6.896334e-06,6.889029e-06,6.850886e-06,6.829246e-06,6.805935e-06,6.770344e-06,6.761498e-06,6.717592e-06,6.712359e-06,6.674228e-06,6.655323e-06,6.631418e-06,6.599259e-06,6.589172e-06,6.547497e-06,6.544188e-06,6.506399e-06,6.490122e-06,6.465883e-06,6.437073e-06,6.425952e-06,6.386609e-06,6.385047e-06,6.347855e-06,6.334047e-06,6.309690e-06,6.284074e-06,6.272114e-06,6.235125e-06,6.187195e-06,6.140279e-06,6.094368e-06,6.049452e-06,6.005521e-06,5.962562e-06,5.920563e-06,5.879509e-06,5.839385e-06,5.800178e-06,5.761870e-06,5.724446e-06,5.687890e-06,5.652186e-06,5.617316e-06,5.583264e-06,5.550013e-06,5.517546e-06,5.485846e-06,5.454898e-06,5.424684e-06,5.395187e-06,5.366392e-06,5.338283e-06
0.000000e+00,2.439890e-12,1.243329e-11,1.390235e-10,6.833468e-10,1.412394e-09,6.706939e-09,7.092161e-09,2.423197e-08,3.259555e-08,6.496409e-08,1.080149e-07,1.474610e-07,2.814903e-07,2.965770e-07,5.442151e-07,6.224964e-07,9.293972e-07,1.221978e-06,1.497858e-06,2.190312e-06,2.300842e-06,3.392906e-06,3.650868e-06,4.828920e-06,5.729029e-06,6.660850e-06,8.539624e-06,8.934850e-06,1.168905e-05,1.217634e-05,1.495210e-05,1.670492e-05,1.874243e-05,2.216011e-05,2.306812e-05,2.792717e-05,2.854565e-05,3.330818e-05,3.583631e-05,3.919114e-05,4.398121e-05,4.554852e-05,5.234625e-05,5.290795e-05,5.954493e-05,6.252700e-05,6.710089e-05,7.273622e-05,7.496733e-05,8.309535e-05,8.342520e-05,9.143495e-05,9.447932e-05,9.993593e-05,1.057834e-04,1.085487e-04,1.172249e-04,1.259183e-04,1.286966e-04,1.345850e-04,1.400985e-04,1.431838e-04,1.513396e-04,1.516768e-04,1.600295e-04,1.623387e-04,1.682107e-04,1.730254e-04,1.761928e-04,1.833398e-04,1.839518e-04,1.914670e-04,1.932324e-04,1.987212e-04,2.026641e-04,2.057002e-04,2.116051e-04,2.123928e-04,2.187908e-04,2.200344e-04,2.248882e-04,2.279388e-04,2.306816e-04,2.353121e-04,2.361697e-04,2.413530e-04,2.421541e-04,2.462336e-04,2.484699e-04,2.508153e-04,2.542686e-04,2.551029e-04,2.591024e-04,2.595634e-04,2.628208e-04,2.643697e-04,2.662656e-04,2.687058e-04,2.694451e-04,2.723680e-04,2.725910e-04,2.750433e-04,2.760462e-04,2.774804e-04,2.790928e-04,2.796886e-04,2.816777e-04,2.817528e-04,2.834570e-04,2.840481e-04,2.850362e-04,2.860005e-04,2.864246e-04,2.876314e-04,2.886658e-04,2.889619e-04,2.895366e-04,2.900121e-04,2.902525e-04,2.908017e-04,2.908218e-04,2.912526e-04,2.913495e-04,2.915528e-04,2.916734e-04,2.917300e-04,2.917906e-04,2.917914e-04,2.917440e-04,2.917172e-04,2.915946e-04,2.914687e-04,2.913495e-04,2.910595e-04,2.910149e-04,2.905966e-04,2.905034e-04,2.901003e-04,2.898132e-04,2.895313e-04,2.890009e-04,2.888947e-04,2.881953e-04,2.880779e-04,2.874376e-04,2.870546e-04,2.866262e-04,2.859410e-04,2.857650e-04,2.848580e-04,2.847462e-04,2.839089e-04,2.834789e-04,2.829214e-04,2.821471e-04,2.818986e-04,2.808438e-04,2.807581e-04,2.797599e-04,2.793188e-04,2.786497e-04,2.778356e-04,2.775159e-04,2.763611e-04,2.763145e-04,2.751875e-04,2.747608e-04,2.739973e-04,2.731797e-04,2.727928e-04,2.715758e-04,2.699535e-04,2.683166e-04,2.666688e-04,2.650136e-04,2.633539e-04,2.616926e-04,2.600322e-04,2.583752e-04,2.567235e-04,2.550793e-04,2.534442e-04,2.518199e-04,2.502078e-04,2.486092e-04,2.470253e-04,2.454571e-04,2.439056e-04,2.423715e-04,2.408556e-04,2.393586e-04,2.378809e-04,2.364231e-04,2.349855e-04,2.335685e-04
0.000000e+00,2.124047e-09,5.838251e-09,2.439649e-08,6.081072e-08,9.180216e-08,2.214017e-07,2.285058e-07,4.592675e-07,5.443255e-07,8.109181e-07,1.091953e-06,1.312320e-06,1.928189e-06,1.989181e-06,2.851615e-06,3.085222e-06,3.887413e-06,4.534412e-06,5.072946e-06,6.221929e-06,6.385482e-06,7.806029e-06,8.101609e-06,9.317894e-06,1.013489e-05,1.090526e-05,1.228560e-05,1.255255e-05,1.424439e-05,1.451821e-05,1.596581e-05,1.679837e-05,1.770255e-05,1.909405e-05,1.944140e-05,2.117039e-05,2.137668e-05,2.287895e-05,2.362184e-05,2.455798e-05,2.580953e-05,2.619982e-05,2.779822e-05,2.792405e-05,2.934819e-05,2.995373e-05,3.084592e-05,3.189033e-05,3.228861e-05,3.367435e-05,3.372858e-05,3.500200e-05,3.546562e-05,3.627104e-05,3.710048e-05,3.748146e-05,3.863371e-05,3.972856e-05,4.006695e-05,4.076704e-05,4.140265e-05,4.175039e-05,4.264386e-05,4.268004e-05,4.355750e-05,4.379405e-05,4.438437e-05,4.485691e-05,4.516234e-05,4.583632e-05,4.589308e-05,4.657831e-05,4.673619e-05,4.721975e-05,4.756046e-05,4.781909e-05,4.831302e-05,4.837801e-05,4.889816e-05,4.899768e-05,4.938115e-05,4.961814e-05,4.982856e-05,5.017801e-05,5.024192e-05,5.062274e-05,5.068074e-05,5.097245e-05,5.112968e-05,5.129246e-05,5.152801e-05,5.158414e-05,5.184879e-05,5.187879e-05,5.208767e-05,5.218494e-05,5.230202e-05,5.244924e-05,5.249300e-05,5.266175e-05,5.267433e-05,5.280936e-05,5.286272e-05,5.293687e-05,5.301680e-05,5.304530e-05,5.313559e-05,5.313884e-05,5.320869e-05,5.323097e-05,5.326549e-05,5.329523e-05,5.330683e-05,5.333352e-05,5.334637e-05,5.334767e-05,5.334610e-05,5.333938e-05,5.333344e-05,5.331028e-05,5.330909e-05,5.327368e-05,5.326187e-05,5.322785e-05,5.319561e-05,5.317221e-05,5.311284e-05,5.310732e-05,5.303374e-05,5.301484e-05,5.295197e-05,5.290281e-05,5.286254e-05,5.277787e-05,5.276591e-05,5.266253e-05,5.264109e-05,5.255285e-05,5.249346e-05,5.243728e-05,5.233593e-05,5.231620e-05,5.219001e-05,5.216937e-05,5.205905e-05,5.199460e-05,5.192367e-05,5.181240e-05,5.178419e-05,5.164093e-05,5.162350e-05,5.149418e-05,5.142858e-05,5.134422e-05,5.122827e-05,5.119131e-05,5.103572e-05,5.102316e-05,5.087768e-05,5.081383e-05,5.071742e-05,5.060078e-05,5.055516e-05,5.039111e-05,5.038451e-05,5.022546e-05,5.016548e-05,5.005841e-05,4.994409e-05,4.989012e-05,4.972076e-05,4.949586e-05,4.926972e-05,4.904266e-05,4.881500e-05,4.858699e-05,4.835890e-05,4.813096e-05,4.790340e-05,4.767642e-05,4.745022e-05,4.722495e-05,4.700078e-05,4.677787e-05,4.655634e-05,4.633632e-05,4.611793e-05,4.590126e-05,4.568641e-05,4.547347e-05,4.526251e-05,4.505361e-05,4.484682e-05,4.464220e-05,4.443980e-05
0.000000e+00,1.308640e-09,3.239444e-09,1.208894e-08,2.853653e-08,4.217422e-08,9.755449e-08,1.005368e-07,1.953253e-07,2.294142e-07,3.338919e-07,4.408076e-07,5.227958e-07,7.459898e-07,7.677711e-07,1.073640e-06,1.156551e-06,1.444133e-06,1.680771e-06,1.881565e-06,2.322269e-06,2.386362e-06,2.956619e-06,3.078186e-06,3.588065e-06,3.938631e-06,4.274627e-06,4.888799e-06,5.009272e-06,5.784682e-06,5.912043e-06,6.593610e-06,6.991727e-06,7.429028e-06,8.111898e-06,8.284201e-06,9.152743e-06,9.257578e-06,1.002867e-05,1.041498e-05,1.090645e-05,1.157169e-05,1.178106e-05,1.264798e-05,1.271688e-05,1.350324e-05,1.384129e-05,1.434340e-05,1.493730e-05,1.516553e-05,1.596719e-05,1.599880e-05,1.674639e-05,1.702108e-05,1.750155e-05,1.800071e-05,1.823148e-05,1.893531e-05,1.961246e-05,1.982345e-05,2.026259e-05,2.066443e-05,2.088559e-05,2.145820e-05,2.148152e-05,2.205062e-05,2.220520e-05,2.259322e-05,2.290624e-05,2.310977e-05,2.356245e-05,2.360081e-05,2.406693e-05,2.417516e-05,2.450878e-05,2.474587e-05,2.492704e-05,2.527618e-05,2.532244e-05,2.569570e-05,2.576777e-05,2.604757e-05,2.622234e-05,2.637879e-05,2.664161e-05,2.669011e-05,2.698228e-05,2.702730e-05,2.725602e-05,2.738108e-05,2.751206e-05,2.770462e-05,2.775111e-05,2.797386e-05,2.799953e-05,2.818099e-05,2.826735e-05,2.837317e-05,2.850962e-05,2.855103e-05,2.871520e-05,2.872777e-05,2.886629e-05,2.892320e-05,2.900488e-05,2.909725e-05,2.913154e-05,2.924682e-05,2.925120e-05,2.935125e-05,2.938628e-05,2.944533e-05,2.950366e-05,2.952957e-05,2.960443e-05,2.967038e-05,2.968967e-05,2.972785e-05,2.976037e-05,2.977726e-05,2.981750e-05,2.981903e-05,2.985354e-05,2.986195e-05,2.988117e-05,2.989459e-05,2.990228e-05,2.991623e-05,2.991721e-05,2.992630e-05,2.992765e-05,2.992986e-05,2.992956e-05,2.992821e-05,2.992266e-05,2.992162e-05,2.991039e-05,2.990761e-05,2.989477e-05,2.988501e-05,2.987503e-05,2.985544e-05,2.985141e-05,2.982414e-05,2.981946e-05,2.979345e-05,2.977757e-05,2.975956e-05,2.973027e-05,2.972266e-05,2.968296e-05,2.967801e-05,2.964063e-05,2.962123e-05,2.959587e-05,2.956032e-05,2.954883e-05,2.949969e-05,2.949567e-05,2.944859e-05,2.942763e-05,2.939568e-05,2.935655e-05,2.934111e-05,2.928500e-05,2.928273e-05,2.922749e-05,2.920647e-05,2.916870e-05,2.912805e-05,2.910874e-05,2.904772e-05,2.896573e-05,2.888230e-05,2.879765e-05,2.871197e-05,2.862545e-05,2.853826e-05,2.845055e-05,2.836248e-05,2.827419e-05,2.818580e-05,2.809742e-05,2.800918e-05,2.792117e-05,2.783349e-05,2.774622e-05,2.765944e-05,2.757322e-05,2.748763e-05,2.740274e-05,2.731859e-05,2.723524e-05,2.715274e-05,2.707112e-05,2.699042e-05
0.000000e+00,7.448362e-13,3.766884e-12,4.145238e-11,2.007562e-10,4.115386e-10,1.912641e-09,2.020713e-09,6.756443e-09,9.034892e-09,1.774138e-08,2.914670e-08,3.948197e-08,7.407635e-08,7.793266e-08,1.405001e-07,1.600548e-07,2.359823e-07,3.075189e-07,3.743831e-07,5.402439e-07,5.664977e-07,8.232072e-07,8.832106e-07,1.154568e-06,1.359231e-06,1.568903e-06,1.985461e-06,2.072108e-06,2.667262e-06,2.771072e-06,3.354557e-06,3.716539e-06,4.131458e-06,4.814250e-06,4.993032e-06,5.932353e-06,6.049907e-06,6.940950e-06,7.404237e-06,8.009227e-06,8.854696e-06,9.126860e-06,1.028315e-05,1.037700e-05,1.146731e-05,1.194640e-05,1.266875e-05,1.353874e-05,1.387727e-05,1.508322e-05,1.513128e-05,1.627765e-05,1.670322e-05,1.745239e-05,1.823622e-05,1.860016e-05,1.971455e-05,2.079008e-05,2.112527e-05,2.182217e-05,2.245817e-05,2.280714e-05,2.370572e-05,2.374214e-05,2.462513e-05,2.486286e-05,2.545482e-05,2.592675e-05,2.623055e-05,2.689653e-05,2.695229e-05,2.762053e-05,2.777304e-05,2.823620e-05,2.855848e-05,2.880061e-05,2.925619e-05,2.931541e-05,2.978247e-05,2.987034e-05,3.020387e-05,3.040569e-05,3.058183e-05,3.086743e-05,3.091865e-05,3.121668e-05,3.126093e-05,3.147831e-05,3.159165e-05,3.170588e-05,3.186497e-05,3.190171e-05,3.206806e-05,3.208615e-05,3.220711e-05,3.226017e-05,3.232092e-05,3.239178e-05,3.241150e-05,3.248073e-05,3.248540e-05,3.253037e-05,3.254513e-05,3.256211e-05,3.257474e-05,3.257748e-05,3.257796e-05,3.257768e-05,3.256487e-05,3.255708e-05,3.253947e-05,3.251576e-05,3.250291e-05,3.245625e-05,3.240046e-05,3.238083e-05,3.233644e-05,3.229153e-05,3.226501e-05,3.219016e-05,3.218692e-05,3.210285e-05,3.207833e-05,3.201344e-05,3.195747e-05,3.191926e-05,3.182884e-05,3.182082e-05,3.171861e-05,3.169357e-05,3.161307e-05,3.155266e-05,3.150458e-05,3.140697e-05,3.139352e-05,3.128021e-05,3.125730e-05,3.116494e-05,3.110433e-05,3.104801e-05,3.094868e-05,3.092965e-05,3.081011e-05,3.079088e-05,3.068958e-05,3.063143e-05,3.056826e-05,3.047075e-05,3.044632e-05,3.032393e-05,3.030922e-05,3.020124e-05,3.014719e-05,3.007837e-05,2.998495e-05,2.995546e-05,2.983260e-05,2.982278e-05,2.970991e-05,2.966090e-05,2.958748e-05,2.949955e-05,2.946540e-05,2.934375e-05,2.933889e-05,2.922260e-05,2.917911e-05,2.910201e-05,2.902036e-05,2.898205e-05,2.886278e-05,2.870647e-05,2.855155e-05,2.839811e-05,2.824624e-05,2.809601e-05,2.794748e-05,2.780071e-05,2.765574e-05,2.751263e-05,2.737140e-05,2.723209e-05,2.709472e-05,2.695931e-05,2.682587e-05,2.669443e-05,2.656498e-05,2.643754e-05,2.631209e-05,2.618866e-05,2.606722e-05,2.594778e-05,2.583032e-05,2.571485e-05,2.560133e-05
0.000000e+00,8.528931e-10,2.103153e-09,7.801243e-09,1.833417e-08,2.703895e-08,6.226549e-08,6.415935e-08,1.243071e-07,1.459400e-07,2.123233e-07,2.804348e-07,3.328015e-07,4.758541e-07,4.898409e-07,6.862062e-07,7.392813e-07,9.222276e-07,1.070984e-06,1.195737e-06,1.464656e-06,1.503220e-06,1.840821e-06,1.911615e-06,2.204670e-06,2.402956e-06,2.590877e-06,2.929679e-06,2.995489e-06,3.414495e-06,3.482603e-06,3.843881e-06,4.052509e-06,4.279701e-06,4.630437e-06,4.718168e-06,5.155728e-06,5.208016e-06,5.589125e-06,5.777739e-06,6.015450e-06,6.333150e-06,6.432162e-06,6.837105e-06,6.868936e-06,7.228498e-06,7.380933e-06,7.604924e-06,7.866062e-06,7.965298e-06,8.308844e-06,8.322228e-06,8.635057e-06,8.748192e-06,8.943668e-06,9.143429e-06,9.234613e-06,9.508000e-06,9.764078e-06,9.842423e-06,1.000321e-05,1.014757e-05,1.022585e-05,1.042455e-05,1.043251e-05,1.062379e-05,1.067466e-05,1.080027e-05,1.089933e-05,1.096260e-05,1.110000e-05,1.111142e-05,1.124739e-05,1.127818e-05,1.137114e-05,1.143535e-05,1.148332e-05,1.157296e-05,1.158455e-05,1.167544e-05,1.169243e-05,1.175657e-05,1.179510e-05,1.182852e-05,1.188227e-05,1.189184e-05,1.194704e-05,1.195515e-05,1.199463e-05,1.201491e-05,1.203509e-05,1.206262e-05,1.206886e-05,1.209639e-05,1.209929e-05,1.211808e-05,1.212587e-05,1.213432e-05,1.214324e-05,1.214548e-05,1.215191e-05,1.215223e-05,1.215393e-05,1.215358e-05,1.215186e-05,1.214801e-05,1.214600e-05,1.213661e-05,1.213617e-05,1.212396e-05,1.211866e-05,1.210830e-05,1.209605e-05,1.208986e-05,1.206885e-05,1.204548e-05,1.203754e-05,1.201995e-05,1.200255e-05,1.199242e-05,1.196429e-05,1.196309e-05,1.193209e-05,1.192314e-05,1.189959e-05,1.187943e-05,1.186573e-05,1.183348e-05,1.183063e-05,1.179443e-05,1.178558e-05,1.175723e-05,1.173600e-05,1.171914e-05,1.168497e-05,1.168027e-05,1.164072e-05,1.163273e-05,1.160056e-05,1.157947e-05,1.155989e-05,1.152538e-05,1.151878e-05,1.147730e-05,1.147063e-05,1.143552e-05,1.141539e-05,1.139351e-05,1.135977e-05,1.135133e-05,1.130902e-05,1.130393e-05,1.126663e-05,1.124798e-05,1.122423e-05,1.119201e-05,1.118184e-05,1.113952e-05,1.113614e-05,1.109729e-05,1.108044e-05,1.105520e-05,1.102499e-05,1.101327e-05,1.097154e-05,1.096987e-05,1.093003e-05,1.091514e-05,1.088876e-05,1.086086e-05,1.084777e-05,1.080707e-05,1.075383e-05,1.070117e-05,1.064913e-05,1.059775e-05,1.054703e-05,1.049702e-05,1.044774e-05,1.039919e-05,1.035139e-05,1.030436e-05,1.025810e-05,1.021262e-05,1.016793e-05,1.012402e-05,1.008091e-05,1.003859e-05,9.997062e-06,9.956320e-06,9.916361e-06,9.877183e-06,9.838780e-06,9.801145e-06,9.764272e-06,9.728153e-06
0.000000e+00,2.324937e-09,5.385015e-09,1.869617e-08,4.264352e-08,6.224396e-08,1.413134e-07,1.455719e-07,2.818944e-07,3.315269e-07,4.859401e-07,6.474208e-07,7.732728e-07,1.121339e-06,1.155505e-06,1.632903e-06,1.760531e-06,2.194255e-06,2.539700e-06,2.824713e-06,3.426189e-06,3.511142e-06,4.242780e-06,4.393701e-06,5.010361e-06,5.420861e-06,5.805358e-06,6.488362e-06,6.619607e-06,7.445214e-06,7.577854e-06,8.274618e-06,8.671974e-06,9.100718e-06,9.754826e-06,9.917012e-06,1.071771e-05,1.081250e-05,1.149780e-05,1.183340e-05,1.225307e-05,1.280836e-05,1.298013e-05,1.367637e-05,1.373067e-05,1.433987e-05,1.459581e-05,1.496939e-05,1.540121e-05,1.556426e-05,1.612427e-05,1.614594e-05,1.664963e-05,1.683037e-05,1.714089e-05,1.745587e-05,1.759886e-05,1.802454e-05,1.841911e-05,1.853900e-05,1.878382e-05,1.900219e-05,1.912003e-05,1.941724e-05,1.942910e-05,1.971244e-05,1.978735e-05,1.997142e-05,2.011569e-05,2.020742e-05,2.040539e-05,2.042178e-05,2.061576e-05,2.065943e-05,2.079063e-05,2.088065e-05,2.094757e-05,2.107175e-05,2.108772e-05,2.121214e-05,2.123523e-05,2.132187e-05,2.137345e-05,2.141788e-05,2.148859e-05,2.150107e-05,2.157231e-05,2.158266e-05,2.163242e-05,2.165753e-05,2.168214e-05,2.171492e-05,2.172220e-05,2.175326e-05,2.175642e-05,2.177597e-05,2.178346e-05,2.179091e-05,2.179740e-05,2.179863e-05,2.179965e-05,2.179946e-05,2.179446e-05,2.179075e-05,2.178351e-05,2.177231e-05,2.176723e-05,2.174602e-05,2.174508e-05,2.172025e-05,2.170992e-05,2.169027e-05,2.166764e-05,2.165640e-05,2.161894e-05,2.157820e-05,2.156451e-05,2.153442e-05,2.150493e-05,2.148787e-05,2.144078e-05,2.143877e-05,2.138734e-05,2.137256e-05,2.133380e-05,2.130073e-05,2.127832e-05,2.122572e-05,2.122108e-05,2.116227e-05,2.114793e-05,2.110202e-05,2.106772e-05,2.104049e-05,2.098540e-05,2.097782e-05,2.091413e-05,2.090128e-05,2.084954e-05,2.081563e-05,2.078416e-05,2.072871e-05,2.071810e-05,2.065146e-05,2.064075e-05,2.058432e-05,2.055194e-05,2.051677e-05,2.046250e-05,2.044890e-05,2.038077e-05,2.037258e-05,2.031245e-05,2.028235e-05,2.024401e-05,2.019196e-05,2.017552e-05,2.010701e-05,2.010154e-05,2.003856e-05,2.001120e-05,1.997020e-05,1.992107e-05,1.990199e-05,1.983396e-05,1.983124e-05,1.976615e-05,1.974180e-05,1.969860e-05,1.965284e-05,1.963135e-05,1.956442e-05,1.947663e-05,1.938951e-05,1.930312e-05,1.921752e-05,1.913274e-05,1.904884e-05,1.896583e-05,1.888375e-05,1.880264e-05,1.872251e-05,1.864338e-05,1.856528e-05,1.848821e-05,1.841219e-05,1.833723e-05,1.826334e-05,1.819052e-05,1.811878e-05,1.804812e-05,1.797854e-05,1.791004e-05,1.784262e-05,1.777628e-05,1.771101e-05
0.000000e+00,1.140585e-09,2.609760e-09,8.977380e-09,2.049628e-08,3.001390e-08,6.927679e-08,7.143049e-08,1.423647e-07,1.690844e-07,2.547884e-07,3.476017e-07,4.213280e-07,6.270963e-07,6.472587e-07,9.261374e-07,9.997380e-07,1.247387e-06,1.442618e-06,1.602843e-06,1.939712e-06,1.987239e-06,2.396948e-06,2.481662e-06,2.829012e-06,3.061588e-06,3.280616e-06,3.672938e-06,3.748848e-06,4.230634e-06,4.308764e-06,4.722756e-06,4.961677e-06,5.221914e-06,5.624089e-06,5.724811e-06,6.228237e-06,6.288536e-06,6.729142e-06,6.948005e-06,7.224704e-06,7.596179e-06,7.712376e-06,8.189918e-06,8.227623e-06,8.655399e-06,8.837842e-06,9.107205e-06,9.423297e-06,9.544038e-06,9.964896e-06,9.981387e-06,1.036904e-05,1.051034e-05,1.075599e-05,1.100914e-05,1.112546e-05,1.147736e-05,1.181178e-05,1.191513e-05,1.212891e-05,1.232295e-05,1.242907e-05,1.270163e-05,1.271266e-05,1.298015e-05,1.305223e-05,1.323206e-05,1.337595e-05,1.346894e-05,1.367409e-05,1.369137e-05,1.389995e-05,1.394801e-05,1.409528e-05,1.419909e-05,1.427795e-05,1.442870e-05,1.444856e-05,1.460768e-05,1.463818e-05,1.475589e-05,1.482882e-05,1.489372e-05,1.500187e-05,1.502171e-05,1.514035e-05,1.515850e-05,1.525015e-05,1.529984e-05,1.535156e-05,1.542694e-05,1.544502e-05,1.553097e-05,1.554080e-05,1.560980e-05,1.564233e-05,1.568190e-05,1.573242e-05,1.574763e-05,1.580733e-05,1.581186e-05,1.586134e-05,1.588142e-05,1.590996e-05,1.594180e-05,1.595349e-05,1.599220e-05,1.599365e-05,1.602635e-05,1.603758e-05,1.605620e-05,1.607416e-05,1.608198e-05,1.610391e-05,1.612220e-05,1.612731e-05,1.613705e-05,1.614483e-05,1.614865e-05,1.615689e-05,1.615717e-05,1.616280e-05,1.616387e-05,1.616567e-05,1.616614e-05,1.616595e-05,1.616404e-05,1.616378e-05,1.615930e-05,1.615789e-05,1.615262e-05,1.614797e-05,1.614388e-05,1.613456e-05,1.613318e-05,1.612064e-05,1.611792e-05,1.610636e-05,1.609828e-05,1.609044e-05,1.607586e-05,1.607296e-05,1.605402e-05,1.605086e-05,1.603371e-05,1.602349e-05,1.601209e-05,1.599391e-05,1.598925e-05,1.596525e-05,1.596230e-05,1.594017e-05,1.592881e-05,1.591407e-05,1.589359e-05,1.588701e-05,1.585905e-05,1.585677e-05,1.583024e-05,1.581849e-05,1.580063e-05,1.577885e-05,1.577028e-05,1.573923e-05,1.573798e-05,1.570753e-05,1.569597e-05,1.567523e-05,1.565293e-05,1.564235e-05,1.560895e-05,1.556411e-05,1.551849e-05,1.547217e-05,1.542523e-05,1.537772e-05,1.532971e-05,1.528127e-05,1.523243e-05,1.518326e-05,1.513381e-05,1.508412e-05,1.503423e-05,1.498419e-05,1.493402e-05,1.488378e-05,1.483349e-05,1.478318e-05,1.473288e-05,1.468262e-05,1.463243e-05,1.458233e-05,1.453235e-05,1.448250e-05,1.443280e-05
0.000000e+00,7.836698e-11,3.643610e-10,3.382401e-09,1.410352e-08,2.669053e-08,1.016938e-07,1.066013e-07,2.962482e-07,3.775327e-07,6.595823e-07,9.902122e-07,1.267477e-06,2.107817e-06,2.195702e-06,3.521900e-06,3.907634e-06,5.317280e-06,6.547884e-06,7.632945e-06,1.011810e-05,1.048934e-05,1.387654e-05,1.461516e-05,1.776292e-05,1.996694e-05,2.210504e-05,2.606933e-05,2.685459e-05,3.196183e-05,3.280886e-05,3.737705e-05,4.007123e-05,4.305091e-05,4.774352e-05,4.893481e-05,5.498126e-05,5.571556e-05,6.114445e-05,6.388194e-05,6.738091e-05,7.214451e-05,7.365003e-05,7.991463e-05,8.041458e-05,8.614119e-05,8.861439e-05,9.230003e-05,9.667784e-05,9.836537e-05,1.043152e-04,1.045505e-04,1.101311e-04,1.121890e-04,1.157979e-04,1.195599e-04,1.213035e-04,1.266387e-04,1.317962e-04,1.334083e-04,1.367713e-04,1.398580e-04,1.415607e-04,1.459823e-04,1.461627e-04,1.505771e-04,1.517796e-04,1.548045e-04,1.572517e-04,1.588464e-04,1.624031e-04,1.627051e-04,1.663836e-04,1.672400e-04,1.698852e-04,1.717703e-04,1.732137e-04,1.760026e-04,1.763729e-04,1.793671e-04,1.799466e-04,1.822008e-04,1.836123e-04,1.848783e-04,1.870100e-04,1.874042e-04,1.897832e-04,1.901505e-04,1.920198e-04,1.930441e-04,1.941186e-04,1.957016e-04,1.960843e-04,1.979212e-04,1.981332e-04,1.996340e-04,2.003494e-04,2.012270e-04,2.023602e-04,2.027045e-04,2.040708e-04,2.041755e-04,2.053301e-04,2.058047e-04,2.064863e-04,2.072573e-04,2.075435e-04,2.085056e-04,2.085422e-04,2.093763e-04,2.096681e-04,2.101593e-04,2.106434e-04,2.108581e-04,2.114764e-04,2.120173e-04,2.121746e-04,2.124842e-04,2.127457e-04,2.128804e-04,2.131969e-04,2.132087e-04,2.134723e-04,2.135349e-04,2.136741e-04,2.137666e-04,2.138167e-04,2.138981e-04,2.139030e-04,2.139354e-04,2.139355e-04,2.139166e-04,2.138847e-04,2.138490e-04,2.137510e-04,2.137350e-04,2.135767e-04,2.135399e-04,2.133764e-04,2.132563e-04,2.131362e-04,2.129051e-04,2.128581e-04,2.125441e-04,2.124907e-04,2.121961e-04,2.120175e-04,2.118159e-04,2.114897e-04,2.114052e-04,2.109657e-04,2.109111e-04,2.104991e-04,2.102856e-04,2.100068e-04,2.096165e-04,2.094904e-04,2.089514e-04,2.089073e-04,2.083910e-04,2.081612e-04,2.078107e-04,2.073811e-04,2.072116e-04,2.065950e-04,2.065700e-04,2.059622e-04,2.057305e-04,2.053141e-04,2.048653e-04,2.046519e-04,2.039766e-04,2.030668e-04,2.021381e-04,2.011924e-04,2.002318e-04,1.992580e-04,1.982728e-04,1.972776e-04,1.962741e-04,1.952637e-04,1.942477e-04,1.932274e-04,1.922038e-04,1.911782e-04,1.901516e-04,1.891248e-04,1.880989e-04,1.870747e-04,1.860528e-04,1.850342e-04,1.840194e-04,1.830090e-04,1.820037e-04,1.810040e-04,1.800104e-04
0.000000e+00,9.043365e-10,2.447625e-09,1.004757e-08,2.481569e-08,3.732396e-08,8.936171e-08,9.220612e-08,1.843420e-07,2.182152e-07,3.242226e-07,4.358914e-07,5.235386e-07,7.698204e-07,7.943735e-07,1.145978e-06,1.242779e-06,1.580172e-06,1.857233e-06,2.090557e-06,2.594565e-06,2.666857e-06,3.299067e-06,3.431449e-06,3.978742e-06,4.348519e-06,4.698721e-06,5.329930e-06,5.452567e-06,6.234159e-06,6.361386e-06,7.037494e-06,7.429069e-06,7.856623e-06,8.519350e-06,8.685679e-06,9.518958e-06,9.618973e-06,1.035101e-05,1.071539e-05,1.117671e-05,1.179707e-05,1.199134e-05,1.279070e-05,1.285387e-05,1.357107e-05,1.387717e-05,1.432926e-05,1.485992e-05,1.506262e-05,1.576899e-05,1.579666e-05,1.644670e-05,1.668341e-05,1.709452e-05,1.751752e-05,1.771161e-05,1.829751e-05,1.885205e-05,1.902289e-05,1.937534e-05,1.969399e-05,1.986771e-05,2.031177e-05,2.032967e-05,2.076191e-05,2.087772e-05,2.116523e-05,2.139369e-05,2.154050e-05,2.186182e-05,2.188870e-05,2.221084e-05,2.228439e-05,2.250797e-05,2.266382e-05,2.278113e-05,2.300256e-05,2.303142e-05,2.325988e-05,2.330305e-05,2.346758e-05,2.356772e-05,2.365554e-05,2.379891e-05,2.382477e-05,2.397627e-05,2.399892e-05,2.411096e-05,2.416992e-05,2.422978e-05,2.431401e-05,2.433361e-05,2.442330e-05,2.443315e-05,2.449965e-05,2.452923e-05,2.456346e-05,2.460401e-05,2.461545e-05,2.465635e-05,2.465916e-05,2.468682e-05,2.469624e-05,2.470752e-05,2.471671e-05,2.471905e-05,2.472199e-05,2.472194e-05,2.471690e-05,2.471320e-05,2.470430e-05,2.469169e-05,2.468468e-05,2.465852e-05,2.462626e-05,2.461472e-05,2.458833e-05,2.456126e-05,2.454512e-05,2.449902e-05,2.449701e-05,2.444435e-05,2.442884e-05,2.438750e-05,2.435149e-05,2.432675e-05,2.426769e-05,2.426242e-05,2.419478e-05,2.417809e-05,2.412412e-05,2.408331e-05,2.405067e-05,2.398393e-05,2.397468e-05,2.389637e-05,2.388045e-05,2.381596e-05,2.377338e-05,2.373364e-05,2.366316e-05,2.364961e-05,2.356404e-05,2.355021e-05,2.347709e-05,2.343491e-05,2.338892e-05,2.331761e-05,2.329969e-05,2.320952e-05,2.319864e-05,2.311855e-05,2.307831e-05,2.302691e-05,2.295687e-05,2.293470e-05,2.284203e-05,2.283460e-05,2.274901e-05,2.271173e-05,2.265573e-05,2.258846e-05,2.256228e-05,2.246873e-05,2.246499e-05,2.237518e-05,2.234151e-05,2.228168e-05,2.221818e-05,2.218832e-05,2.209514e-05,2.197254e-05,2.185050e-05,2.172914e-05,2.160855e-05,2.148883e-05,2.137006e-05,2.125232e-05,2.113568e-05,2.102019e-05,2.090591e-05,2.079289e-05,2.068117e-05,2.057079e-05,2.046177e-05,2.035415e-05,2.024795e-05,2.014319e-05,2.003988e-05,1.993804e-05,1.983768e-05,1.973880e-05,1.964140e-05,1.954550e-05,1.945108e-05
0.000000e+00,8.466328e-10,1.934758e-09,6.618049e-09,1.496888e-08,2.176049e-08,4.885147e-08,5.029777e-08,9.597424e-08,1.123253e-07,1.623694e-07,2.135987e-07,2.529494e-07,3.604914e-07,3.710222e-07,5.195700e-07,5.600357e-07,7.009334e-07,8.173499e-07,9.163371e-07,1.133724e-06,1.165306e-06,1.445171e-06,1.504453e-06,1.751020e-06,1.918208e-06,2.076363e-06,2.359632e-06,2.414267e-06,2.758359e-06,2.813617e-06,3.103330e-06,3.267957e-06,3.444982e-06,3.713708e-06,3.780073e-06,4.106113e-06,4.144534e-06,4.421204e-06,4.555992e-06,4.723916e-06,4.945040e-06,5.013200e-06,5.288330e-06,5.309714e-06,5.548850e-06,5.648909e-06,5.794531e-06,5.962206e-06,6.025337e-06,6.241393e-06,6.249732e-06,6.442952e-06,6.512031e-06,6.630372e-06,6.749960e-06,6.804088e-06,6.964596e-06,7.112435e-06,7.157159e-06,7.248170e-06,7.328956e-06,7.372381e-06,7.481326e-06,7.485655e-06,7.588572e-06,7.615612e-06,7.681708e-06,7.733127e-06,7.765620e-06,7.835141e-06,7.840853e-06,7.907928e-06,7.922868e-06,7.967346e-06,7.997455e-06,8.019586e-06,8.059982e-06,8.065104e-06,8.104331e-06,8.111458e-06,8.137678e-06,8.152824e-06,8.165531e-06,8.184951e-06,8.188257e-06,8.206198e-06,8.208647e-06,8.219681e-06,8.224660e-06,8.229010e-06,8.233677e-06,8.234473e-06,8.236338e-06,8.236332e-06,8.234859e-06,8.233210e-06,8.230273e-06,8.224847e-06,8.222802e-06,8.212656e-06,8.211734e-06,8.200030e-06,8.194326e-06,8.185107e-06,8.173038e-06,8.168060e-06,8.149049e-06,8.148250e-06,8.128226e-06,8.120313e-06,8.105731e-06,8.089547e-06,8.081697e-06,8.056247e-06,8.029498e-06,8.020682e-06,8.001558e-06,7.983099e-06,7.972529e-06,7.943724e-06,7.942505e-06,7.911577e-06,7.902766e-06,7.879827e-06,7.860415e-06,7.847333e-06,7.816844e-06,7.814168e-06,7.780401e-06,7.772214e-06,7.746095e-06,7.726671e-06,7.711311e-06,7.680349e-06,7.676104e-06,7.640526e-06,7.633370e-06,7.604626e-06,7.585846e-06,7.568450e-06,7.537881e-06,7.532041e-06,7.495439e-06,7.489567e-06,7.458680e-06,7.440991e-06,7.421800e-06,7.392231e-06,7.384831e-06,7.347804e-06,7.343358e-06,7.310746e-06,7.294439e-06,7.273685e-06,7.245532e-06,7.236645e-06,7.199649e-06,7.196691e-06,7.162717e-06,7.147968e-06,7.125871e-06,7.099405e-06,7.089129e-06,7.052507e-06,7.051045e-06,7.016022e-06,7.002924e-06,6.979688e-06,6.955075e-06,6.943520e-06,6.907530e-06,6.860315e-06,6.813455e-06,6.766973e-06,6.720887e-06,6.675216e-06,6.629976e-06,6.585180e-06,6.540841e-06,6.496969e-06,6.453573e-06,6.410662e-06,6.368243e-06,6.326320e-06,6.284899e-06,6.243983e-06,6.203575e-06,6.163677e-06,6.124290e-06,6.085416e-06,6.047053e-06,6.009201e-06,5.971860e-06,5.935027e-06,5.898701e-06
0.000000e+00,7.695642e-09,1.766834e-08,6.079366e-08,1.380442e-07,2.010836e-07,4.539661e-07,4.675241e-07,8.984145e-07,1.053882e-06,1.533462e-06,2.029897e-06,2.414643e-06,3.478258e-06,3.583138e-06,5.068021e-06,5.472262e-06,6.869598e-06,8.005845e-06,8.956105e-06,1.099073e-05,1.128069e-05,1.379814e-05,1.432127e-05,1.646996e-05,1.790921e-05,1.926317e-05,2.168162e-05,2.214826e-05,2.509777e-05,2.557392e-05,2.808582e-05,2.952654e-05,3.108800e-05,3.348460e-05,3.408161e-05,3.704588e-05,3.739872e-05,3.996224e-05,4.122599e-05,4.281444e-05,4.493061e-05,4.558865e-05,4.827341e-05,4.848404e-05,5.085956e-05,5.186478e-05,5.334012e-05,5.505781e-05,5.571000e-05,5.796584e-05,5.805367e-05,6.010589e-05,6.084783e-05,6.212965e-05,6.343962e-05,6.403767e-05,6.583145e-05,6.751324e-05,6.802821e-05,6.908585e-05,7.003652e-05,7.055255e-05,7.186429e-05,7.191695e-05,7.318291e-05,7.352028e-05,7.435444e-05,7.501374e-05,7.543565e-05,7.635416e-05,7.643069e-05,7.734365e-05,7.755100e-05,7.817861e-05,7.861361e-05,7.893956e-05,7.955108e-05,7.963040e-05,8.025491e-05,8.037218e-05,8.081674e-05,8.108529e-05,8.131940e-05,8.169839e-05,8.176627e-05,8.216061e-05,8.221904e-05,8.250551e-05,8.265438e-05,8.280393e-05,8.301111e-05,8.305870e-05,8.327250e-05,8.329553e-05,8.344788e-05,8.351351e-05,8.358728e-05,8.367058e-05,8.369299e-05,8.376720e-05,8.377184e-05,8.381198e-05,8.382209e-05,8.382928e-05,8.382577e-05,8.382096e-05,8.378877e-05,8.378701e-05,8.373436e-05,8.370964e-05,8.365931e-05,8.359724e-05,8.356510e-05,8.345310e-05,8.332466e-05,8.328028e-05,8.318100e-05,8.308161e-05,8.302329e-05,8.285971e-05,8.285265e-05,8.267011e-05,8.261701e-05,8.247666e-05,8.235573e-05,8.227320e-05,8.207794e-05,8.206062e-05,8.183973e-05,8.178556e-05,8.161129e-05,8.148034e-05,8.137604e-05,8.116391e-05,8.113464e-05,8.088774e-05,8.083775e-05,8.063593e-05,8.050324e-05,8.037978e-05,8.016164e-05,8.011981e-05,7.985652e-05,7.981412e-05,7.959038e-05,7.946174e-05,7.932181e-05,7.910548e-05,7.905122e-05,7.877900e-05,7.874624e-05,7.850549e-05,7.838483e-05,7.823104e-05,7.802202e-05,7.795595e-05,7.768052e-05,7.765848e-05,7.740501e-05,7.729484e-05,7.712968e-05,7.693168e-05,7.685476e-05,7.658047e-05,7.656951e-05,7.630701e-05,7.620881e-05,7.603457e-05,7.584999e-05,7.576333e-05,7.549345e-05,7.513953e-05,7.478855e-05,7.444078e-05,7.409649e-05,7.375589e-05,7.341918e-05,7.308654e-05,7.275813e-05,7.243407e-05,7.211448e-05,7.179946e-05,7.148909e-05,7.118344e-05,7.088257e-05,7.058652e-05,7.029533e-05,7.000901e-05,6.972757e-05,6.945104e-05,6.917939e-05,6.891263e-05,6.865072e-05,6.839367e-05,6.814142e-05
0.000000e+00,8.893187e-11,3.541064e-10,2.467237e-09,8.221295e-09,1.394476e-08,4.161556e-08,4.323818e-08,9.888121e-08,1.202863e-07,1.888992e-07,2.626149e-07,3.209771e-07,4.860974e-07,5.026277e-07,7.410972e-07,8.075188e-07,1.042632e-06,1.240557e-06,1.410867e-06,1.789689e-06,1.845162e-06,2.340616e-06,2.446420e-06,2.889911e-06,3.194217e-06,3.485241e-06,4.015496e-06,4.119251e-06,4.785154e-06,4.894228e-06,5.476567e-06,5.815700e-06,6.187365e-06,6.765967e-06,6.911616e-06,7.643594e-06,7.731688e-06,8.377833e-06,8.700278e-06,9.109200e-06,9.660194e-06,9.832970e-06,1.054488e-05,1.060120e-05,1.124117e-05,1.151457e-05,1.191860e-05,1.239313e-05,1.257446e-05,1.320655e-05,1.323132e-05,1.381316e-05,1.402505e-05,1.439303e-05,1.477161e-05,1.494529e-05,1.546946e-05,1.596536e-05,1.611808e-05,1.643307e-05,1.671777e-05,1.687294e-05,1.726947e-05,1.728546e-05,1.767129e-05,1.777465e-05,1.803123e-05,1.823513e-05,1.836615e-05,1.865298e-05,1.867698e-05,1.896471e-05,1.903043e-05,1.923034e-05,1.936982e-05,1.947490e-05,1.967349e-05,1.969941e-05,1.990488e-05,1.994378e-05,2.009231e-05,2.018296e-05,2.026266e-05,2.039325e-05,2.041688e-05,2.055587e-05,2.057676e-05,2.068052e-05,2.073550e-05,2.079166e-05,2.087139e-05,2.089009e-05,2.097659e-05,2.098620e-05,2.105188e-05,2.108163e-05,2.111664e-05,2.115924e-05,2.117155e-05,2.121722e-05,2.122050e-05,2.125424e-05,2.126675e-05,2.128317e-05,2.129928e-05,2.130453e-05,2.131882e-05,2.131925e-05,2.132651e-05,2.132774e-05,2.132803e-05,2.132577e-05,2.132382e-05,2.131425e-05,2.129971e-05,2.129406e-05,2.128053e-05,2.126597e-05,2.125704e-05,2.123073e-05,2.122956e-05,2.119837e-05,2.118901e-05,2.116374e-05,2.114142e-05,2.112594e-05,2.108856e-05,2.108519e-05,2.104174e-05,2.103093e-05,2.099579e-05,2.096904e-05,2.094754e-05,2.090333e-05,2.089719e-05,2.084490e-05,2.083422e-05,2.079084e-05,2.076209e-05,2.073518e-05,2.068729e-05,2.067805e-05,2.061960e-05,2.061014e-05,2.055996e-05,2.053094e-05,2.049924e-05,2.044997e-05,2.043756e-05,2.037503e-05,2.036747e-05,2.031174e-05,2.028368e-05,2.024780e-05,2.019882e-05,2.018329e-05,2.011829e-05,2.011308e-05,2.005289e-05,2.002663e-05,1.998715e-05,1.993964e-05,1.992114e-05,1.985493e-05,1.985227e-05,1.978857e-05,1.976466e-05,1.972213e-05,1.967693e-05,1.965565e-05,1.958919e-05,1.950156e-05,1.941413e-05,1.932699e-05,1.924022e-05,1.915390e-05,1.906810e-05,1.898286e-05,1.889826e-05,1.881434e-05,1.873114e-05,1.864871e-05,1.856708e-05,1.848628e-05,1.840635e-05,1.832730e-05,1.824917e-05,1.817196e-05,1.809571e-05,1.802041e-05,1.794609e-05,1.787275e-05,1.780040e-05,1.772905e-05,1.765870e-05
0.000000e+00,4.198120e-12,2.145225e-11,2.412869e-10,1.192642e-09,2.472853e-09,1.184340e-08,1.252814e-08,4.319597e-08,5.825461e-08,1.168785e-07,1.954140e-07,2.677609e-07,5.153923e-07,5.433983e-07,1.005618e-06,1.152479e-06,1.730530e-06,2.284005e-06,2.807333e-06,4.124853e-06,4.335529e-06,6.420328e-06,6.913382e-06,9.166448e-06,1.088855e-05,1.267110e-05,1.626249e-05,1.701733e-05,2.226880e-05,2.319612e-05,2.846659e-05,3.178365e-05,3.562803e-05,4.204785e-05,4.374733e-05,5.279748e-05,5.394406e-05,6.273305e-05,6.737005e-05,7.349342e-05,8.217870e-05,8.500615e-05,9.719027e-05,9.819144e-05,1.099594e-04,1.152109e-04,1.232243e-04,1.330317e-04,1.368955e-04,1.508851e-04,1.514501e-04,1.651082e-04,1.702700e-04,1.794843e-04,1.893088e-04,1.939381e-04,2.084000e-04,2.228068e-04,2.273959e-04,2.371013e-04,2.461672e-04,2.512327e-04,2.646038e-04,2.651563e-04,2.788332e-04,2.826138e-04,2.922301e-04,3.001220e-04,3.053190e-04,3.170685e-04,3.180764e-04,3.304835e-04,3.334074e-04,3.425254e-04,3.491050e-04,3.541907e-04,3.641382e-04,3.654713e-04,3.763619e-04,3.784930e-04,3.868598e-04,3.921633e-04,3.969644e-04,4.051492e-04,4.066770e-04,4.160006e-04,4.174565e-04,4.249395e-04,4.290951e-04,4.334993e-04,4.400785e-04,4.416865e-04,4.495085e-04,4.504229e-04,4.569733e-04,4.601468e-04,4.640894e-04,4.692699e-04,4.708658e-04,4.773118e-04,4.778135e-04,4.834368e-04,4.857991e-04,4.892505e-04,4.932491e-04,4.947626e-04,4.999830e-04,5.001858e-04,5.049212e-04,5.066317e-04,5.095869e-04,5.126089e-04,5.139898e-04,5.181391e-04,5.220442e-04,5.232438e-04,5.257142e-04,5.279438e-04,5.291580e-04,5.322593e-04,5.323843e-04,5.354015e-04,5.362100e-04,5.382180e-04,5.398149e-04,5.408418e-04,5.430921e-04,5.432806e-04,5.455422e-04,5.460594e-04,5.476338e-04,5.487335e-04,5.495625e-04,5.511306e-04,5.513354e-04,5.529590e-04,5.532664e-04,5.544399e-04,5.551556e-04,5.557842e-04,5.568124e-04,5.569981e-04,5.580874e-04,5.582505e-04,5.590576e-04,5.594826e-04,5.599142e-04,5.605211e-04,5.606623e-04,5.613071e-04,5.613778e-04,5.618534e-04,5.620638e-04,5.623058e-04,5.625896e-04,5.626688e-04,5.629468e-04,5.629655e-04,5.631439e-04,5.632009e-04,5.632640e-04,5.633051e-04,5.633111e-04,5.632889e-04,5.632866e-04,5.632008e-04,5.631536e-04,5.630503e-04,5.629139e-04,5.628406e-04,5.625750e-04,5.621437e-04,5.616266e-04,5.610301e-04,5.603601e-04,5.596222e-04,5.588216e-04,5.579635e-04,5.570524e-04,5.560929e-04,5.550893e-04,5.540454e-04,5.529651e-04,5.518518e-04,5.507090e-04,5.495397e-04,5.483469e-04,5.471335e-04,5.459019e-04,5.446547e-04,5.433942e-04,5.421225e-04,5.408417e-04,5.395536e-04,5.382601e-04
0.000000e+00,2.581024e-09,5.862657e-09,1.982970e-08,4.443455e-08,6.428639e-08,1.427308e-07,1.468971e-07,2.779310e-07,3.247014e-07,4.677797e-07,6.144119e-07,7.272371e-07,1.036092e-06,1.066327e-06,1.490476e-06,1.604707e-06,1.995565e-06,2.308863e-06,2.567796e-06,3.112933e-06,3.189612e-06,3.845054e-06,3.978999e-06,4.521318e-06,4.877749e-06,5.208235e-06,5.787297e-06,5.897408e-06,6.581616e-06,6.690194e-06,7.254506e-06,7.571798e-06,7.910468e-06,8.419745e-06,8.544622e-06,9.152842e-06,9.223918e-06,9.731762e-06,9.976507e-06,1.027879e-05,1.067205e-05,1.079209e-05,1.127054e-05,1.130729e-05,1.171362e-05,1.188094e-05,1.212137e-05,1.239337e-05,1.249434e-05,1.283345e-05,1.284633e-05,1.313993e-05,1.324255e-05,1.341524e-05,1.358548e-05,1.366101e-05,1.387898e-05,1.407091e-05,1.412713e-05,1.423862e-05,1.433406e-05,1.438387e-05,1.450379e-05,1.450840e-05,1.461385e-05,1.464018e-05,1.470183e-05,1.474685e-05,1.477382e-05,1.482715e-05,1.483124e-05,1.487538e-05,1.488413e-05,1.490745e-05,1.492056e-05,1.492857e-05,1.493892e-05,1.493977e-05,1.494199e-05,1.494144e-05,1.493610e-05,1.493009e-05,1.492287e-05,1.490662e-05,1.490303e-05,1.487724e-05,1.487260e-05,1.484608e-05,1.482939e-05,1.481011e-05,1.477819e-05,1.476981e-05,1.472563e-05,1.472009e-05,1.467798e-05,1.465601e-05,1.462722e-05,1.458678e-05,1.457370e-05,1.451772e-05,1.451315e-05,1.445956e-05,1.443574e-05,1.439947e-05,1.435514e-05,1.433769e-05,1.427441e-05,1.427186e-05,1.420985e-05,1.418632e-05,1.414416e-05,1.409894e-05,1.407752e-05,1.401006e-05,1.394193e-05,1.392000e-05,1.387323e-05,1.382903e-05,1.380409e-05,1.373739e-05,1.373461e-05,1.366487e-05,1.364531e-05,1.359497e-05,1.355299e-05,1.352499e-05,1.346059e-05,1.345499e-05,1.338505e-05,1.336827e-05,1.331521e-05,1.327617e-05,1.324554e-05,1.318442e-05,1.317609e-05,1.310691e-05,1.309311e-05,1.303803e-05,1.300235e-05,1.296950e-05,1.291223e-05,1.290135e-05,1.283361e-05,1.282281e-05,1.276632e-05,1.273418e-05,1.269949e-05,1.264638e-05,1.263316e-05,1.256734e-05,1.255948e-05,1.250206e-05,1.247351e-05,1.243733e-05,1.238851e-05,1.237317e-05,1.230959e-05,1.230453e-05,1.224661e-05,1.222159e-05,1.218424e-05,1.213971e-05,1.212249e-05,1.206136e-05,1.205893e-05,1.200087e-05,1.197925e-05,1.194101e-05,1.190068e-05,1.188181e-05,1.182326e-05,1.174697e-05,1.167183e-05,1.159784e-05,1.152500e-05,1.145332e-05,1.138279e-05,1.131340e-05,1.124517e-05,1.117807e-05,1.111210e-05,1.104726e-05,1.098353e-05,1.092091e-05,1.085939e-05,1.079895e-05,1.073959e-05,1.068128e-05,1.062403e-05,1.056781e-05,1.051261e-05,1.045843e-05,1.040524e-05,1.035303e-05,1.030178e-05
0.000000e+00,4.761191e-10,1.555108e-09,7.996470e-09,2.206336e-08,3.457432e-08,8.872009e-08,9.172945e-08,1.901788e-07,2.265646e-07,3.403616e-07,4.597078e-07,5.529001e-07,8.128252e-07,8.386236e-07,1.207382e-06,1.309026e-06,1.665024e-06,1.959955e-06,2.210237e-06,2.756102e-06,2.834889e-06,3.527680e-06,3.673401e-06,4.277296e-06,4.686124e-06,5.073541e-06,5.771695e-06,5.907251e-06,6.769965e-06,6.910151e-06,7.653678e-06,8.083057e-06,8.550731e-06,9.273058e-06,9.453821e-06,1.035605e-05,1.046395e-05,1.125104e-05,1.164101e-05,1.213294e-05,1.279121e-05,1.299655e-05,1.383738e-05,1.390355e-05,1.465160e-05,1.496911e-05,1.543607e-05,1.598105e-05,1.618832e-05,1.690651e-05,1.693451e-05,1.758935e-05,1.782636e-05,1.823608e-05,1.865504e-05,1.884637e-05,1.942028e-05,1.995821e-05,2.012285e-05,2.046081e-05,2.076434e-05,2.092898e-05,2.134701e-05,2.136378e-05,2.176639e-05,2.187352e-05,2.213806e-05,2.234674e-05,2.248007e-05,2.276971e-05,2.279380e-05,2.308062e-05,2.314561e-05,2.334193e-05,2.347762e-05,2.357907e-05,2.376886e-05,2.379342e-05,2.398631e-05,2.402242e-05,2.415901e-05,2.424124e-05,2.431275e-05,2.442813e-05,2.444875e-05,2.456814e-05,2.458577e-05,2.467205e-05,2.471676e-05,2.476162e-05,2.482367e-05,2.483790e-05,2.490171e-05,2.490857e-05,2.495393e-05,2.497345e-05,2.499539e-05,2.502014e-05,2.502681e-05,2.504892e-05,2.505031e-05,2.506239e-05,2.506550e-05,2.506784e-05,2.506714e-05,2.506587e-05,2.505704e-05,2.505655e-05,2.504185e-05,2.503493e-05,2.502081e-05,2.500339e-05,2.499436e-05,2.496294e-05,2.492694e-05,2.491452e-05,2.488674e-05,2.485897e-05,2.484269e-05,2.479708e-05,2.479511e-05,2.474432e-05,2.472956e-05,2.469059e-05,2.465706e-05,2.463420e-05,2.458018e-05,2.457539e-05,2.451441e-05,2.449947e-05,2.445146e-05,2.441543e-05,2.438676e-05,2.432851e-05,2.432048e-05,2.425281e-05,2.423913e-05,2.418392e-05,2.414766e-05,2.411396e-05,2.405446e-05,2.404306e-05,2.397137e-05,2.395984e-05,2.389901e-05,2.386408e-05,2.382610e-05,2.376745e-05,2.375274e-05,2.367904e-05,2.367018e-05,2.360509e-05,2.357249e-05,2.353097e-05,2.347458e-05,2.345677e-05,2.338256e-05,2.337662e-05,2.330841e-05,2.327878e-05,2.323439e-05,2.318120e-05,2.316055e-05,2.308695e-05,2.308401e-05,2.301365e-05,2.298734e-05,2.294068e-05,2.289128e-05,2.286809e-05,2.279593e-05,2.270138e-05,2.260771e-05,2.251498e-05,2.242326e-05,2.233259e-05,2.224303e-05,2.215461e-05,2.206738e-05,2.198136e-05,2.189657e-05,2.181304e-05,2.173080e-05,2.164984e-05,2.157018e-05,2.149184e-05,2.141482e-05,2.133911e-05,2.126472e-05,2.119166e-05,2.111991e-05,2.104947e-05,2.098033e-05,2.091250e-05,2.084595e-05
0.000000e+00,1.370805e-09,3.851306e-09,1.652148e-08,4.175210e-08,6.337072e-08,1.542461e-07,1.592358e-07,3.212126e-07,3.807735e-07,5.667592e-07,7.617635e-07,9.141492e-07,1.340078e-06,1.382442e-06,1.990274e-06,2.158726e-06,2.752681e-06,3.250178e-06,3.676638e-06,4.620918e-06,4.758810e-06,5.988025e-06,6.250261e-06,7.349911e-06,8.105695e-06,8.830029e-06,1.015478e-05,1.041486e-05,1.209174e-05,1.236777e-05,1.384859e-05,1.471683e-05,1.567366e-05,1.717512e-05,1.755548e-05,1.948285e-05,1.971668e-05,2.144498e-05,2.231665e-05,2.343155e-05,2.495166e-05,2.543281e-05,2.743975e-05,2.760030e-05,2.944408e-05,3.024338e-05,3.143832e-05,3.286413e-05,3.341578e-05,3.537057e-05,3.544822e-05,3.729759e-05,3.798365e-05,3.919244e-05,4.046063e-05,4.105138e-05,4.287134e-05,4.464974e-05,4.520972e-05,4.638457e-05,4.747123e-05,4.807421e-05,4.965264e-05,4.971747e-05,5.131348e-05,5.175182e-05,5.286168e-05,5.376749e-05,5.436173e-05,5.569917e-05,5.581355e-05,5.721722e-05,5.754696e-05,5.857300e-05,5.931145e-05,5.988126e-05,6.099361e-05,6.114250e-05,6.235731e-05,6.259475e-05,6.352635e-05,6.411641e-05,6.465036e-05,6.556030e-05,6.573012e-05,6.676645e-05,6.692829e-05,6.776022e-05,6.822237e-05,6.871232e-05,6.944459e-05,6.962364e-05,7.049512e-05,7.059706e-05,7.132768e-05,7.168192e-05,7.212226e-05,7.270132e-05,7.287980e-05,7.360126e-05,7.365744e-05,7.428755e-05,7.455244e-05,7.493963e-05,7.538845e-05,7.555840e-05,7.614480e-05,7.616760e-05,7.669973e-05,7.689197e-05,7.722409e-05,7.756364e-05,7.771876e-05,7.818462e-05,7.862253e-05,7.875689e-05,7.903333e-05,7.928240e-05,7.941785e-05,7.976303e-05,7.977692e-05,8.011132e-05,8.020064e-05,8.042185e-05,8.059703e-05,8.070927e-05,8.095395e-05,8.097435e-05,8.121780e-05,8.127310e-05,8.144037e-05,8.155614e-05,8.164274e-05,8.180468e-05,8.182562e-05,8.198967e-05,8.202028e-05,8.213555e-05,8.220444e-05,8.226390e-05,8.235863e-05,8.237535e-05,8.247050e-05,8.248426e-05,8.254996e-05,8.258269e-05,8.261429e-05,8.265526e-05,8.266407e-05,8.269985e-05,8.270322e-05,8.272215e-05,8.272783e-05,8.273150e-05,8.273025e-05,8.272840e-05,8.271335e-05,8.271165e-05,8.268683e-05,8.267311e-05,8.264929e-05,8.261571e-05,8.260120e-05,8.254299e-05,8.254046e-05,8.247508e-05,8.244835e-05,8.239790e-05,8.234032e-05,8.231184e-05,8.221729e-05,8.208012e-05,8.192966e-05,8.176671e-05,8.159204e-05,8.140640e-05,8.121050e-05,8.100501e-05,8.079059e-05,8.056786e-05,8.033741e-05,8.009983e-05,7.985566e-05,7.960541e-05,7.934960e-05,7.908868e-05,7.882312e-05,7.855336e-05,7.827980e-05,7.800284e-05,7.772285e-05,7.744019e-05,7.715520e-05,7.686820e-05,7.657951e-05
0.000000e+00,7.394635e-11,3.298743e-10,2.825069e-09,1.101073e-08,2.012654e-08,7.061462e-08,7.378983e-08,1.907854e-07,2.387460e-07,3.993747e-07,5.801088e-07,7.273959e-07,1.157858e-06,1.201818e-06,1.848537e-06,2.032113e-06,2.691483e-06,3.256829e-06,3.750226e-06,4.869603e-06,5.035969e-06,6.547609e-06,6.875984e-06,8.270656e-06,9.242152e-06,1.018003e-05,1.190543e-05,1.224493e-05,1.443322e-05,1.479270e-05,1.671405e-05,1.783330e-05,1.905908e-05,2.096399e-05,2.144265e-05,2.384176e-05,2.412970e-05,2.623588e-05,2.728295e-05,2.860684e-05,3.038342e-05,3.093876e-05,3.321800e-05,3.339771e-05,3.543312e-05,3.629905e-05,3.757474e-05,3.906694e-05,3.963541e-05,4.160950e-05,4.168660e-05,4.349301e-05,4.414837e-05,4.528337e-05,4.644690e-05,4.697928e-05,4.858050e-05,5.008771e-05,5.055037e-05,5.150231e-05,5.235996e-05,5.282632e-05,5.401442e-05,5.406220e-05,5.521281e-05,5.552012e-05,5.628125e-05,5.688422e-05,5.727079e-05,5.811440e-05,5.818483e-05,5.902682e-05,5.921857e-05,5.980023e-05,6.020467e-05,6.050850e-05,6.108058e-05,6.115501e-05,6.174308e-05,6.185397e-05,6.227593e-05,6.253223e-05,6.275668e-05,6.312244e-05,6.318833e-05,6.357377e-05,6.363134e-05,6.391578e-05,6.406529e-05,6.421699e-05,6.443028e-05,6.447993e-05,6.470699e-05,6.473194e-05,6.490047e-05,6.497553e-05,6.506253e-05,6.516595e-05,6.519523e-05,6.530050e-05,6.530779e-05,6.538020e-05,6.540531e-05,6.543606e-05,6.546244e-05,6.546973e-05,6.548276e-05,6.548287e-05,6.547662e-05,6.546999e-05,6.545270e-05,6.542694e-05,6.541229e-05,6.535662e-05,6.528685e-05,6.526173e-05,6.520407e-05,6.514474e-05,6.510930e-05,6.500794e-05,6.500351e-05,6.488760e-05,6.485344e-05,6.476241e-05,6.468319e-05,6.462876e-05,6.449897e-05,6.448739e-05,6.433901e-05,6.430242e-05,6.418427e-05,6.409507e-05,6.402379e-05,6.387829e-05,6.385816e-05,6.368792e-05,6.365337e-05,6.351358e-05,6.342147e-05,6.333562e-05,6.318366e-05,6.315448e-05,6.297059e-05,6.294093e-05,6.278432e-05,6.269418e-05,6.259606e-05,6.244423e-05,6.240613e-05,6.221485e-05,6.219182e-05,6.202252e-05,6.193764e-05,6.182942e-05,6.168231e-05,6.163581e-05,6.144191e-05,6.142639e-05,6.124796e-05,6.117041e-05,6.105415e-05,6.091481e-05,6.086069e-05,6.066774e-05,6.066003e-05,6.047547e-05,6.040645e-05,6.028404e-05,6.015441e-05,6.009358e-05,5.990421e-05,5.965614e-05,5.941043e-05,5.916731e-05,5.892698e-05,5.868960e-05,5.845532e-05,5.822428e-05,5.799659e-05,5.777234e-05,5.755162e-05,5.733450e-05,5.712103e-05,5.691126e-05,5.670523e-05,5.650294e-05,5.630443e-05,5.610970e-05,5.591876e-05,5.573158e-05,5.554817e-05,5.536850e-05,5.519255e-05,5.502029e-05,5.485170e-05
0.000000e+00,7.254892e-10,2.195068e-09,1.026122e-08,2.701622e-08,4.162048e-08,1.038143e-07,1.072463e-07,2.188594e-07,2.598839e-07,3.876251e-07,5.207962e-07,6.242671e-07,9.107715e-07,9.390638e-07,1.341659e-06,1.452328e-06,1.840604e-06,2.164695e-06,2.442573e-06,3.060533e-06,3.151231e-06,3.966006e-06,4.141291e-06,4.881277e-06,5.393641e-06,5.886656e-06,6.790847e-06,6.968458e-06,8.111760e-06,8.299410e-06,9.302041e-06,9.886124e-06,1.052609e-05,1.152180e-05,1.177231e-05,1.303063e-05,1.318201e-05,1.429236e-05,1.484664e-05,1.555004e-05,1.649918e-05,1.679725e-05,1.802854e-05,1.812621e-05,1.923930e-05,1.971698e-05,2.042571e-05,2.126306e-05,2.158462e-05,2.271352e-05,2.275802e-05,2.381043e-05,2.419719e-05,2.487388e-05,2.557734e-05,2.590278e-05,2.689646e-05,2.785450e-05,2.815353e-05,2.877680e-05,2.934835e-05,2.966344e-05,3.048133e-05,3.051471e-05,3.133103e-05,3.155341e-05,3.211296e-05,3.256588e-05,3.286115e-05,3.352031e-05,3.357633e-05,3.425929e-05,3.441850e-05,3.491087e-05,3.526237e-05,3.553193e-05,3.605394e-05,3.612338e-05,3.668611e-05,3.679529e-05,3.722104e-05,3.748852e-05,3.772909e-05,3.813573e-05,3.821116e-05,3.866815e-05,3.873900e-05,3.910096e-05,3.930038e-05,3.951047e-05,3.982188e-05,3.989754e-05,4.026301e-05,4.030545e-05,4.060770e-05,4.075299e-05,4.093243e-05,4.116635e-05,4.123798e-05,4.152511e-05,4.154730e-05,4.179457e-05,4.189756e-05,4.204707e-05,4.221878e-05,4.228333e-05,4.250402e-05,4.251254e-05,4.270980e-05,4.278036e-05,4.290131e-05,4.302370e-05,4.307916e-05,4.324395e-05,4.339626e-05,4.344245e-05,4.353664e-05,4.362048e-05,4.366564e-05,4.377924e-05,4.378376e-05,4.389152e-05,4.391989e-05,4.398938e-05,4.404355e-05,4.407783e-05,4.415126e-05,4.415730e-05,4.422823e-05,4.424402e-05,4.429102e-05,4.432279e-05,4.434609e-05,4.438847e-05,4.439382e-05,4.443457e-05,4.444191e-05,4.446870e-05,4.448395e-05,4.449655e-05,4.451533e-05,4.451845e-05,4.453471e-05,4.453681e-05,4.454564e-05,4.454908e-05,4.455153e-05,4.455279e-05,4.455264e-05,4.454926e-05,4.454857e-05,4.454164e-05,4.453700e-05,4.453001e-05,4.451865e-05,4.451462e-05,4.449570e-05,4.449403e-05,4.447344e-05,4.446366e-05,4.444807e-05,4.442799e-05,4.441978e-05,4.438876e-05,4.438747e-05,4.435519e-05,4.434251e-05,4.431924e-05,4.429351e-05,4.428107e-05,4.424084e-05,4.418485e-05,4.412586e-05,4.406418e-05,4.400010e-05,4.393389e-05,4.386580e-05,4.379608e-05,4.372494e-05,4.365260e-05,4.357924e-05,4.350505e-05,4.343020e-05,4.335485e-05,4.327913e-05,4.320320e-05,4.312717e-05,4.305116e-05,4.297529e-05,4.289964e-05,4.282432e-05,4.274940e-05,4.267497e-05,4.260109e-05,4.252784e-05
0.000000e+00,2.479920e-10,1.078529e-09,8.805122e-09,3.303959e-08,5.927970e-08,1.996317e-07,2.083046e-07,5.223468e-07,6.492863e-07,1.071110e-06,1.543006e-06,1.926978e-06,3.050178e-06,3.165040e-06,4.856158e-06,5.335546e-06,7.047978e-06,8.498051e-06,9.746190e-06,1.251303e-05,1.291670e-05,1.650483e-05,1.726740e-05,2.045237e-05,2.262884e-05,2.470476e-05,2.847542e-05,2.921163e-05,3.392531e-05,3.469559e-05,3.879961e-05,4.118305e-05,4.378950e-05,4.783528e-05,4.885139e-05,5.394375e-05,5.455500e-05,5.902778e-05,6.125284e-05,6.406803e-05,6.784972e-05,6.903286e-05,7.389464e-05,7.427839e-05,7.862985e-05,8.048401e-05,8.321903e-05,8.642387e-05,8.764650e-05,9.190016e-05,9.206655e-05,9.597104e-05,9.739055e-05,9.985300e-05,1.023829e-04,1.035424e-04,1.070376e-04,1.103390e-04,1.113547e-04,1.134481e-04,1.153383e-04,1.163679e-04,1.189965e-04,1.191023e-04,1.216560e-04,1.223393e-04,1.240341e-04,1.253791e-04,1.262424e-04,1.281292e-04,1.282868e-04,1.301736e-04,1.306036e-04,1.319090e-04,1.328170e-04,1.334993e-04,1.347840e-04,1.349511e-04,1.362705e-04,1.365190e-04,1.374638e-04,1.380364e-04,1.385369e-04,1.393500e-04,1.394960e-04,1.403467e-04,1.404732e-04,1.410947e-04,1.414189e-04,1.417455e-04,1.421995e-04,1.423041e-04,1.427758e-04,1.428268e-04,1.431653e-04,1.433119e-04,1.434774e-04,1.436656e-04,1.437166e-04,1.438871e-04,1.438979e-04,1.439930e-04,1.440182e-04,1.440384e-04,1.440357e-04,1.440269e-04,1.439623e-04,1.439586e-04,1.438478e-04,1.437950e-04,1.436868e-04,1.435523e-04,1.434824e-04,1.432375e-04,1.429551e-04,1.428572e-04,1.426377e-04,1.424174e-04,1.422879e-04,1.419240e-04,1.419082e-04,1.415008e-04,1.413821e-04,1.410680e-04,1.407969e-04,1.406117e-04,1.401729e-04,1.401340e-04,1.396366e-04,1.395146e-04,1.391214e-04,1.388258e-04,1.385901e-04,1.381103e-04,1.380440e-04,1.374849e-04,1.373716e-04,1.369140e-04,1.366129e-04,1.363326e-04,1.358371e-04,1.357420e-04,1.351434e-04,1.350470e-04,1.345379e-04,1.342451e-04,1.339265e-04,1.334338e-04,1.333102e-04,1.326898e-04,1.326152e-04,1.320663e-04,1.317912e-04,1.314405e-04,1.309637e-04,1.308130e-04,1.301847e-04,1.301344e-04,1.295561e-04,1.293047e-04,1.289279e-04,1.284762e-04,1.283006e-04,1.276749e-04,1.276499e-04,1.270511e-04,1.268271e-04,1.264297e-04,1.260088e-04,1.258113e-04,1.251960e-04,1.243896e-04,1.235902e-04,1.227986e-04,1.220154e-04,1.212411e-04,1.204762e-04,1.197212e-04,1.189764e-04,1.182421e-04,1.175186e-04,1.168062e-04,1.161049e-04,1.154151e-04,1.147367e-04,1.140699e-04,1.134147e-04,1.127712e-04,1.121394e-04,1.115193e-04,1.109108e-04,1.103140e-04,1.097286e-04,1.091548e-04,1.085923e-04
0.000000e+00,2.953503e-09,7.443751e-09,2.823776e-08,6.706168e-08,9.931886e-08,2.308931e-07,2.380087e-07,4.660942e-07,5.491120e-07,8.070606e-07,1.076581e-06,1.286938e-06,1.873558e-06,1.931711e-06,2.758228e-06,2.983790e-06,3.763818e-06,4.397973e-06,4.928197e-06,6.063584e-06,6.225458e-06,7.632190e-06,7.924907e-06,9.129008e-06,9.937408e-06,1.069943e-05,1.206456e-05,1.232859e-05,1.400239e-05,1.427342e-05,1.570710e-05,1.653239e-05,1.742930e-05,1.881084e-05,1.915590e-05,2.087436e-05,2.107946e-05,2.257287e-05,2.331104e-05,2.424050e-05,2.548113e-05,2.586739e-05,2.744487e-05,2.756870e-05,2.896550e-05,2.955640e-05,3.042309e-05,3.143072e-05,3.181273e-05,3.313064e-05,3.318183e-05,3.437421e-05,3.480335e-05,3.554181e-05,3.629198e-05,3.663272e-05,3.764702e-05,3.858547e-05,3.886996e-05,3.944941e-05,3.996406e-05,4.024068e-05,4.093402e-05,4.096153e-05,4.161445e-05,4.178546e-05,4.220215e-05,4.252465e-05,4.272748e-05,4.315823e-05,4.319338e-05,4.360281e-05,4.369301e-05,4.395877e-05,4.413586e-05,4.426425e-05,4.449371e-05,4.452226e-05,4.473574e-05,4.477334e-05,4.490752e-05,4.498128e-05,4.504034e-05,4.512377e-05,4.513689e-05,4.519971e-05,4.520680e-05,4.523131e-05,4.523612e-05,4.523422e-05,4.521761e-05,4.521096e-05,4.516352e-05,4.515629e-05,4.509375e-05,4.505646e-05,4.500351e-05,4.492225e-05,4.489445e-05,4.476816e-05,4.475736e-05,4.462614e-05,4.456525e-05,4.446979e-05,4.434906e-05,4.430039e-05,4.411917e-05,4.411169e-05,4.392728e-05,4.385579e-05,4.372578e-05,4.358379e-05,4.351568e-05,4.329791e-05,4.307331e-05,4.300013e-05,4.284270e-05,4.269230e-05,4.260682e-05,4.237606e-05,4.236636e-05,4.212197e-05,4.205292e-05,4.187425e-05,4.172426e-05,4.162376e-05,4.139129e-05,4.137100e-05,4.111645e-05,4.105514e-05,4.086054e-05,4.071679e-05,4.060368e-05,4.037716e-05,4.034625e-05,4.008858e-05,4.003705e-05,3.983099e-05,3.969718e-05,3.957378e-05,3.935820e-05,3.931720e-05,3.906151e-05,3.902070e-05,3.880692e-05,3.868517e-05,3.855364e-05,3.835208e-05,3.830185e-05,3.805172e-05,3.802183e-05,3.780341e-05,3.769477e-05,3.755705e-05,3.737121e-05,3.731277e-05,3.707068e-05,3.705141e-05,3.683088e-05,3.673563e-05,3.659347e-05,3.642404e-05,3.635851e-05,3.612608e-05,3.611683e-05,3.589623e-05,3.581414e-05,3.566904e-05,3.551607e-05,3.544452e-05,3.522274e-05,3.493421e-05,3.465054e-05,3.437178e-05,3.409795e-05,3.382906e-05,3.356512e-05,3.330612e-05,3.305204e-05,3.280285e-05,3.255852e-05,3.231900e-05,3.208426e-05,3.185424e-05,3.162889e-05,3.140814e-05,3.119193e-05,3.098020e-05,3.077287e-05,3.056988e-05,3.037116e-05,3.017663e-05,2.998622e-05,2.979985e-05,2.961745e-05
0.000000e+00,1.042082e-09,3.597478e-09,2.002916e-08,5.792183e-08,9.257251e-08,2.470934e-07,2.558231e-07,5.464580e-07,6.557905e-07,1.002646e-06,1.372949e-06,1.665979e-06,2.498346e-06,2.582046e-06,3.797245e-06,4.137938e-06,5.348804e-06,6.370886e-06,7.250069e-06,9.198831e-06,9.483093e-06,1.200743e-05,1.254308e-05,1.477587e-05,1.629710e-05,1.774448e-05,2.036493e-05,2.087538e-05,2.413586e-05,2.466758e-05,2.749686e-05,2.913797e-05,3.093183e-05,3.371643e-05,3.441610e-05,3.792663e-05,3.834862e-05,4.144198e-05,4.298510e-05,4.494239e-05,4.758161e-05,4.840994e-05,5.182856e-05,5.209950e-05,5.518417e-05,5.650599e-05,5.846462e-05,6.077414e-05,6.165960e-05,6.476060e-05,6.488259e-05,6.776089e-05,6.881528e-05,7.065516e-05,7.256064e-05,7.343947e-05,7.611121e-05,7.866882e-05,7.946301e-05,8.111163e-05,8.261484e-05,8.343983e-05,8.556788e-05,8.565429e-05,8.775644e-05,8.832517e-05,8.974820e-05,9.089120e-05,9.163183e-05,9.327146e-05,9.340989e-05,9.508516e-05,9.547226e-05,9.666062e-05,9.750043e-05,9.813936e-05,9.936316e-05,9.952455e-05,1.008194e-04,1.010678e-04,1.020272e-04,1.026219e-04,1.031512e-04,1.040329e-04,1.041946e-04,1.051606e-04,1.053082e-04,1.060524e-04,1.064550e-04,1.068731e-04,1.074805e-04,1.076257e-04,1.083131e-04,1.083914e-04,1.089383e-04,1.091943e-04,1.095040e-04,1.098958e-04,1.100129e-04,1.104678e-04,1.105019e-04,1.108711e-04,1.110186e-04,1.112253e-04,1.114513e-04,1.115329e-04,1.117960e-04,1.118056e-04,1.120170e-04,1.120866e-04,1.121979e-04,1.122991e-04,1.123408e-04,1.124478e-04,1.125206e-04,1.125370e-04,1.125612e-04,1.125710e-04,1.125712e-04,1.125537e-04,1.125525e-04,1.125065e-04,1.124889e-04,1.124348e-04,1.123802e-04,1.123390e-04,1.122308e-04,1.122205e-04,1.120806e-04,1.120440e-04,1.119206e-04,1.118227e-04,1.117417e-04,1.115697e-04,1.115453e-04,1.113323e-04,1.112878e-04,1.111039e-04,1.109794e-04,1.108612e-04,1.106470e-04,1.106051e-04,1.103366e-04,1.102926e-04,1.100566e-04,1.099183e-04,1.097659e-04,1.095263e-04,1.094654e-04,1.091559e-04,1.091182e-04,1.088381e-04,1.086958e-04,1.085126e-04,1.082607e-04,1.081803e-04,1.078417e-04,1.078144e-04,1.074975e-04,1.073583e-04,1.071481e-04,1.068938e-04,1.067943e-04,1.064365e-04,1.064221e-04,1.060751e-04,1.059443e-04,1.057107e-04,1.054615e-04,1.053438e-04,1.049746e-04,1.044848e-04,1.039927e-04,1.034991e-04,1.030050e-04,1.025108e-04,1.020173e-04,1.015250e-04,1.010345e-04,1.005463e-04,1.000608e-04,9.957840e-05,9.909957e-05,9.862463e-05,9.815387e-05,9.768759e-05,9.722606e-05,9.676950e-05,9.631812e-05,9.587211e-05,9.543163e-05,9.499683e-05,9.456783e-05,9.414475e-05,9.372768e-05
0.000000e+00,4.836468e-09,1.110860e-08,3.824712e-08,8.691529e-08,1.266826e-07,2.866832e-07,2.952826e-07,5.696631e-07,6.691546e-07,9.775962e-07,1.299151e-06,1.549838e-06,2.249136e-06,2.318577e-06,3.310938e-06,3.584037e-06,4.537087e-06,5.321013e-06,5.981353e-06,7.404298e-06,7.607667e-06,9.374215e-06,9.740940e-06,1.124363e-05,1.224601e-05,1.318543e-05,1.485423e-05,1.517484e-05,1.719106e-05,1.751490e-05,1.921596e-05,2.018618e-05,2.123339e-05,2.283216e-05,2.322885e-05,2.518937e-05,2.542173e-05,2.710350e-05,2.792841e-05,2.896133e-05,3.033043e-05,3.075450e-05,3.247619e-05,3.261066e-05,3.412101e-05,3.475648e-05,3.568498e-05,3.675938e-05,3.716534e-05,3.856049e-05,3.861452e-05,3.986986e-05,4.032027e-05,4.109378e-05,4.187773e-05,4.223325e-05,4.328973e-05,4.426531e-05,4.456081e-05,4.516248e-05,4.569676e-05,4.598394e-05,4.670407e-05,4.673266e-05,4.741176e-05,4.758986e-05,4.802441e-05,4.836145e-05,4.857384e-05,4.902624e-05,4.906327e-05,4.949587e-05,4.959160e-05,4.987482e-05,5.006474e-05,5.020317e-05,5.045263e-05,5.048390e-05,5.071990e-05,5.076198e-05,5.091395e-05,5.099916e-05,5.106871e-05,5.117022e-05,5.118674e-05,5.127047e-05,5.128084e-05,5.132222e-05,5.133636e-05,5.134421e-05,5.134179e-05,5.133854e-05,5.130718e-05,5.130178e-05,5.125203e-05,5.122069e-05,5.117487e-05,5.110254e-05,5.107738e-05,5.096115e-05,5.095109e-05,5.082768e-05,5.076978e-05,5.067838e-05,5.056183e-05,5.051458e-05,5.033753e-05,5.033019e-05,5.014840e-05,5.007758e-05,4.994831e-05,4.980651e-05,4.973828e-05,4.951929e-05,4.929224e-05,4.921803e-05,4.905800e-05,4.890468e-05,4.881736e-05,4.858102e-05,4.857106e-05,4.831981e-05,4.824866e-05,4.806426e-05,4.790912e-05,4.780501e-05,4.756373e-05,4.754264e-05,4.727766e-05,4.721374e-05,4.701058e-05,4.686027e-05,4.674185e-05,4.650435e-05,4.647190e-05,4.620112e-05,4.614690e-05,4.592988e-05,4.578876e-05,4.565851e-05,4.543070e-05,4.538733e-05,4.511663e-05,4.507338e-05,4.484668e-05,4.471744e-05,4.457772e-05,4.436342e-05,4.430998e-05,4.404366e-05,4.401181e-05,4.377896e-05,4.366305e-05,4.351605e-05,4.331754e-05,4.325509e-05,4.299622e-05,4.297561e-05,4.273958e-05,4.263757e-05,4.248528e-05,4.230369e-05,4.223342e-05,4.198411e-05,4.197419e-05,4.173743e-05,4.164929e-05,4.149346e-05,4.132913e-05,4.125225e-05,4.101388e-05,4.070364e-05,4.039852e-05,4.009859e-05,3.980391e-05,3.951452e-05,3.923046e-05,3.895172e-05,3.867833e-05,3.841026e-05,3.814750e-05,3.789002e-05,3.763778e-05,3.739075e-05,3.714887e-05,3.691208e-05,3.668033e-05,3.645355e-05,3.623169e-05,3.601465e-05,3.580238e-05,3.559480e-05,3.539183e-05,3.519339e-05,3.499940e-05
0.000000e+00,3.660010e-09,8.392343e-09,2.892023e-08,6.589576e-08,9.621261e-08,2.187432e-07,2.253462e-07,4.365474e-07,5.132828e-07,7.513172e-07,9.992320e-07,1.191988e-06,1.725222e-06,1.777707e-06,2.516704e-06,2.716430e-06,3.402818e-06,3.957994e-06,4.421538e-06,5.415176e-06,5.557125e-06,6.795100e-06,7.053791e-06,8.122061e-06,8.842951e-06,9.525088e-06,1.075309e-05,1.099144e-05,1.250853e-05,1.275514e-05,1.406406e-05,1.482090e-05,1.564629e-05,1.692383e-05,1.724415e-05,1.884752e-05,1.903984e-05,2.044724e-05,2.114785e-05,2.203526e-05,2.322996e-05,2.360454e-05,2.514911e-05,2.527145e-05,2.666395e-05,2.726062e-05,2.814496e-05,2.918845e-05,2.958882e-05,3.099296e-05,3.104827e-05,3.235539e-05,3.283537e-05,3.367470e-05,3.454671e-05,3.494996e-05,3.618060e-05,3.736640e-05,3.773638e-05,3.850741e-05,3.921426e-05,3.960389e-05,4.061505e-05,4.065631e-05,4.166527e-05,4.194009e-05,4.263150e-05,4.319106e-05,4.355582e-05,4.436994e-05,4.443912e-05,4.528237e-05,4.547890e-05,4.608656e-05,4.652023e-05,4.685273e-05,4.749634e-05,4.758193e-05,4.827522e-05,4.840967e-05,4.893369e-05,4.926268e-05,4.955840e-05,5.005786e-05,5.015043e-05,5.071085e-05,5.079765e-05,5.124070e-05,5.148448e-05,5.174103e-05,5.212073e-05,5.221287e-05,5.265722e-05,5.270874e-05,5.307507e-05,5.325078e-05,5.346739e-05,5.374907e-05,5.383513e-05,5.417923e-05,5.420576e-05,5.450058e-05,5.462294e-05,5.480006e-05,5.500264e-05,5.507854e-05,5.533686e-05,5.534679e-05,5.557583e-05,5.565728e-05,5.579625e-05,5.593592e-05,5.599887e-05,5.618446e-05,5.635372e-05,5.640456e-05,5.650737e-05,5.659783e-05,5.664609e-05,5.676582e-05,5.677053e-05,5.688134e-05,5.691000e-05,5.697912e-05,5.703179e-05,5.706448e-05,5.713253e-05,5.713799e-05,5.720020e-05,5.721352e-05,5.725167e-05,5.727598e-05,5.729289e-05,5.732111e-05,5.732439e-05,5.734663e-05,5.735001e-05,5.736009e-05,5.736376e-05,5.736521e-05,5.736338e-05,5.736242e-05,5.735214e-05,5.734983e-05,5.733478e-05,5.732404e-05,5.731071e-05,5.728688e-05,5.728031e-05,5.724393e-05,5.723918e-05,5.720192e-05,5.718173e-05,5.715460e-05,5.711529e-05,5.710230e-05,5.704530e-05,5.704055e-05,5.698392e-05,5.695819e-05,5.691841e-05,5.686885e-05,5.684906e-05,5.677612e-05,5.677313e-05,5.669983e-05,5.667160e-05,5.662044e-05,5.656479e-05,5.653816e-05,5.645321e-05,5.633734e-05,5.621763e-05,5.609451e-05,5.596837e-05,5.583960e-05,5.570854e-05,5.557553e-05,5.544087e-05,5.530487e-05,5.516778e-05,5.502988e-05,5.489139e-05,5.475254e-05,5.461353e-05,5.447457e-05,5.433582e-05,5.419745e-05,5.405963e-05,5.392248e-05,5.378615e-05,5.365075e-05,5.351639e-05,5.338318e-05,5.325121e-05
0.000000e+00,8.234622e-09,2.128518e-08,8.325198e-08,2.013964e-07,3.008986e-07,7.149246e-07,7.376214e-07,1.478240e-06,1.753148e-06,2.620352e-06,3.538721e-06,4.257199e-06,6.237129e-06,6.430431e-06,9.115668e-06,9.830959e-06,1.226527e-05,1.421597e-05,1.583755e-05,1.930357e-05,1.979832e-05,2.411561e-05,2.501895e-05,2.875589e-05,3.128443e-05,3.368244e-05,3.801277e-05,3.885522e-05,4.423154e-05,4.510770e-05,4.976719e-05,5.246780e-05,5.541764e-05,5.999129e-05,6.113928e-05,6.689048e-05,6.758073e-05,7.263240e-05,7.514665e-05,7.832965e-05,8.261011e-05,8.395065e-05,8.946785e-05,8.990401e-05,9.485769e-05,9.697343e-05,1.001005e-04,1.037752e-04,1.051803e-04,1.100843e-04,1.102767e-04,1.148030e-04,1.164551e-04,1.193297e-04,1.222959e-04,1.236600e-04,1.277915e-04,1.317234e-04,1.329396e-04,1.354564e-04,1.377420e-04,1.389925e-04,1.422044e-04,1.423343e-04,1.454855e-04,1.463343e-04,1.484504e-04,1.501420e-04,1.512339e-04,1.536389e-04,1.538411e-04,1.562776e-04,1.568376e-04,1.585492e-04,1.597515e-04,1.606621e-04,1.623955e-04,1.626230e-04,1.644374e-04,1.647832e-04,1.661113e-04,1.669281e-04,1.676505e-04,1.688434e-04,1.690605e-04,1.703471e-04,1.705419e-04,1.715157e-04,1.720363e-04,1.725716e-04,1.733388e-04,1.735201e-04,1.743661e-04,1.744609e-04,1.751145e-04,1.754141e-04,1.757700e-04,1.762089e-04,1.763373e-04,1.768207e-04,1.768559e-04,1.772245e-04,1.773647e-04,1.775529e-04,1.777448e-04,1.778097e-04,1.779989e-04,1.780051e-04,1.781239e-04,1.781539e-04,1.781884e-04,1.781994e-04,1.781957e-04,1.781491e-04,1.780517e-04,1.780102e-04,1.779064e-04,1.777895e-04,1.777160e-04,1.774935e-04,1.774834e-04,1.772111e-04,1.771280e-04,1.769015e-04,1.766989e-04,1.765572e-04,1.762116e-04,1.761803e-04,1.757730e-04,1.756710e-04,1.753375e-04,1.750819e-04,1.748756e-04,1.744489e-04,1.743893e-04,1.738803e-04,1.737759e-04,1.733504e-04,1.730671e-04,1.728012e-04,1.723261e-04,1.722342e-04,1.716510e-04,1.715562e-04,1.710528e-04,1.707608e-04,1.704411e-04,1.699428e-04,1.698171e-04,1.691820e-04,1.691051e-04,1.685369e-04,1.682502e-04,1.678830e-04,1.673807e-04,1.672212e-04,1.665525e-04,1.664987e-04,1.658778e-04,1.656065e-04,1.651981e-04,1.647060e-04,1.645140e-04,1.638265e-04,1.637989e-04,1.631361e-04,1.628871e-04,1.624437e-04,1.619720e-04,1.617498e-04,1.610551e-04,1.601379e-04,1.592214e-04,1.583068e-04,1.573952e-04,1.564876e-04,1.555848e-04,1.546876e-04,1.537968e-04,1.529130e-04,1.520368e-04,1.511688e-04,1.503094e-04,1.494592e-04,1.486184e-04,1.477875e-04,1.469668e-04,1.461565e-04,1.453568e-04,1.445680e-04,1.437902e-04,1.430235e-04,1.422681e-04,1.415241e-04,1.407915e-04
0.000000e+00,3.832544e-09,8.806648e-09,3.038374e-08,6.928799e-08,1.012678e-07,2.315728e-07,2.386476e-07,4.679299e-07,5.526590e-07,8.200365e-07,1.105060e-06,1.330492e-06,1.965682e-06,2.028755e-06,2.918000e-06,3.157241e-06,3.971697e-06,4.620423e-06,5.155132e-06,6.281741e-06,6.440697e-06,7.808813e-06,8.090989e-06,9.244662e-06,1.001383e-05,1.073557e-05,1.202177e-05,1.226963e-05,1.383509e-05,1.408770e-05,1.542028e-05,1.618478e-05,1.701366e-05,1.828675e-05,1.860407e-05,2.018096e-05,2.036880e-05,2.173453e-05,2.240840e-05,2.325595e-05,2.438591e-05,2.473745e-05,2.617236e-05,2.628497e-05,2.755513e-05,2.809260e-05,2.888128e-05,2.979910e-05,3.014740e-05,3.135099e-05,3.139781e-05,3.249044e-05,3.288476e-05,3.356489e-05,3.425827e-05,3.457415e-05,3.551857e-05,3.639902e-05,3.666745e-05,3.721673e-05,3.770784e-05,3.797324e-05,3.864358e-05,3.867034e-05,3.931003e-05,3.947914e-05,3.989443e-05,4.021945e-05,4.042576e-05,4.086966e-05,4.090628e-05,4.133832e-05,4.143505e-05,4.172418e-05,4.192095e-05,4.206615e-05,4.233257e-05,4.236649e-05,4.262741e-05,4.267506e-05,4.285108e-05,4.295335e-05,4.303955e-05,4.317215e-05,4.319485e-05,4.331891e-05,4.333599e-05,4.341365e-05,4.344926e-05,4.348092e-05,4.351612e-05,4.352244e-05,4.353986e-05,4.354040e-05,4.353472e-05,4.352571e-05,4.350855e-05,4.347547e-05,4.346277e-05,4.339874e-05,4.339287e-05,4.331775e-05,4.328089e-05,4.322103e-05,4.314229e-05,4.310972e-05,4.298493e-05,4.297968e-05,4.284771e-05,4.279546e-05,4.269904e-05,4.259188e-05,4.253985e-05,4.237102e-05,4.219337e-05,4.213479e-05,4.200769e-05,4.188497e-05,4.181470e-05,4.162322e-05,4.161512e-05,4.140958e-05,4.135104e-05,4.119870e-05,4.106986e-05,4.098307e-05,4.078095e-05,4.076322e-05,4.053967e-05,4.048552e-05,4.031289e-05,4.018464e-05,4.008332e-05,3.987934e-05,3.985140e-05,3.961750e-05,3.957052e-05,3.938200e-05,3.925903e-05,3.914525e-05,3.894563e-05,3.890755e-05,3.866921e-05,3.863104e-05,3.843052e-05,3.831589e-05,3.819171e-05,3.800076e-05,3.795305e-05,3.771475e-05,3.768619e-05,3.747701e-05,3.737264e-05,3.724003e-05,3.706055e-05,3.700399e-05,3.676905e-05,3.675031e-05,3.653536e-05,3.644226e-05,3.630305e-05,3.613673e-05,3.607227e-05,3.584311e-05,3.583398e-05,3.561569e-05,3.553426e-05,3.539011e-05,3.523780e-05,3.516645e-05,3.494479e-05,3.465539e-05,3.436974e-05,3.408799e-05,3.381022e-05,3.353652e-05,3.326698e-05,3.300165e-05,3.274057e-05,3.248378e-05,3.223129e-05,3.198313e-05,3.173929e-05,3.149977e-05,3.126455e-05,3.103361e-05,3.080693e-05,3.058449e-05,3.036623e-05,3.015213e-05,2.994213e-05,2.973620e-05,2.953428e-05,2.933632e-05,2.914226e-05
0.000000e+00,4.269425e-09,1.128880e-08,4.509752e-08,1.097287e-07,1.639519e-07,3.866458e-07,3.987148e-07,7.852764e-07,9.255566e-07,1.359323e-06,1.808939e-06,2.157451e-06,3.120811e-06,3.215827e-06,4.563264e-06,4.931238e-06,6.208768e-06,7.254734e-06,8.134472e-06,1.003204e-05,1.030386e-05,1.267578e-05,1.317103e-05,1.521203e-05,1.658437e-05,1.787851e-05,2.019628e-05,2.064425e-05,2.348032e-05,2.393877e-05,2.635934e-05,2.774886e-05,2.925538e-05,3.156807e-05,3.214413e-05,3.500315e-05,3.534325e-05,3.781221e-05,3.902768e-05,4.055343e-05,4.258180e-05,4.321139e-05,4.577329e-05,4.597377e-05,4.822879e-05,4.917932e-05,5.056985e-05,5.218119e-05,5.279063e-05,5.488731e-05,5.496856e-05,5.685780e-05,5.753614e-05,5.870154e-05,5.988322e-05,6.041928e-05,6.201282e-05,6.348489e-05,6.393084e-05,6.483888e-05,6.564528e-05,6.607875e-05,6.716569e-05,6.720885e-05,6.823380e-05,6.850260e-05,6.915844e-05,6.966712e-05,6.998768e-05,7.067058e-05,7.072647e-05,7.137976e-05,7.152437e-05,7.195242e-05,7.223967e-05,7.244920e-05,7.282724e-05,7.287468e-05,7.323332e-05,7.329740e-05,7.352940e-05,7.366001e-05,7.376704e-05,7.392437e-05,7.395017e-05,7.408252e-05,7.409923e-05,7.416767e-05,7.419277e-05,7.420898e-05,7.421263e-05,7.420966e-05,7.417273e-05,7.416591e-05,7.410106e-05,7.405922e-05,7.399734e-05,7.389864e-05,7.386410e-05,7.370374e-05,7.368980e-05,7.351850e-05,7.343792e-05,7.331049e-05,7.314775e-05,7.308170e-05,7.283398e-05,7.282370e-05,7.256906e-05,7.246980e-05,7.228859e-05,7.208976e-05,7.199407e-05,7.168695e-05,7.136854e-05,7.126447e-05,7.104009e-05,7.082516e-05,7.070277e-05,7.037158e-05,7.035764e-05,7.000573e-05,6.990610e-05,6.964796e-05,6.943085e-05,6.928521e-05,6.894777e-05,6.891828e-05,6.854794e-05,6.845863e-05,6.817488e-05,6.796502e-05,6.779975e-05,6.746839e-05,6.742314e-05,6.704561e-05,6.697004e-05,6.666768e-05,6.647115e-05,6.628981e-05,6.597277e-05,6.591244e-05,6.553598e-05,6.547586e-05,6.516079e-05,6.498125e-05,6.478721e-05,6.448972e-05,6.441555e-05,6.404610e-05,6.400192e-05,6.367910e-05,6.351846e-05,6.331480e-05,6.303986e-05,6.295341e-05,6.259512e-05,6.256659e-05,6.224011e-05,6.209905e-05,6.188853e-05,6.163760e-05,6.154052e-05,6.119622e-05,6.118252e-05,6.085572e-05,6.073409e-05,6.051912e-05,6.029251e-05,6.018652e-05,5.985798e-05,5.943063e-05,5.901059e-05,5.859795e-05,5.819277e-05,5.779509e-05,5.740494e-05,5.702232e-05,5.664723e-05,5.627963e-05,5.591949e-05,5.556676e-05,5.522138e-05,5.488328e-05,5.455238e-05,5.422860e-05,5.391185e-05,5.360203e-05,5.329903e-05,5.300277e-05,5.271312e-05,5.242998e-05,5.215323e-05,5.188277e-05,5.161847e-05
0.000000e+00,3.926962e-10,1.109728e-09,4.742450e-09,1.183897e-08,1.781391e-08,4.221596e-08,4.352935e-08,8.506404e-08,9.988990e-08,1.449701e-07,1.905891e-07,2.252565e-07,3.184136e-07,3.274176e-07,4.524050e-07,4.858496e-07,6.005450e-07,6.934921e-07,7.714086e-07,9.395233e-07,9.636522e-07,1.174869e-06,1.219098e-06,1.401533e-06,1.524036e-06,1.639135e-06,1.843451e-06,1.882582e-06,2.126784e-06,2.165611e-06,2.367186e-06,2.480108e-06,2.600090e-06,2.779121e-06,2.822722e-06,3.033143e-06,3.057507e-06,3.230106e-06,3.312310e-06,3.412913e-06,3.542194e-06,3.581284e-06,3.735268e-06,3.746972e-06,3.875158e-06,3.927271e-06,4.001436e-06,4.084270e-06,4.114718e-06,4.215711e-06,4.219506e-06,4.305181e-06,4.334723e-06,4.383926e-06,4.431756e-06,4.452749e-06,4.512444e-06,4.563784e-06,4.578570e-06,4.607506e-06,4.631814e-06,4.644308e-06,4.673738e-06,4.674847e-06,4.699729e-06,4.705761e-06,4.719519e-06,4.729165e-06,4.734732e-06,4.745092e-06,4.745840e-06,4.753273e-06,4.754554e-06,4.757421e-06,4.758441e-06,4.758636e-06,4.757533e-06,4.757237e-06,4.753511e-06,4.752509e-06,4.747715e-06,4.743961e-06,4.740082e-06,4.732403e-06,4.730819e-06,4.720115e-06,4.718280e-06,4.708137e-06,4.701979e-06,4.695035e-06,4.683835e-06,4.680944e-06,4.665986e-06,4.664138e-06,4.650271e-06,4.643141e-06,4.633895e-06,4.621062e-06,4.616947e-06,4.599506e-06,4.598092e-06,4.581645e-06,4.574397e-06,4.563426e-06,4.550120e-06,4.544909e-06,4.526145e-06,4.525390e-06,4.507182e-06,4.500314e-06,4.488062e-06,4.474991e-06,4.468824e-06,4.449504e-06,4.430132e-06,4.423927e-06,4.410737e-06,4.398325e-06,4.391346e-06,4.372755e-06,4.371982e-06,4.352665e-06,4.347268e-06,4.333416e-06,4.321906e-06,4.314251e-06,4.296708e-06,4.295186e-06,4.276236e-06,4.271707e-06,4.257414e-06,4.246933e-06,4.238730e-06,4.222412e-06,4.220196e-06,4.201822e-06,4.198166e-06,4.183614e-06,4.174215e-06,4.165581e-06,4.150574e-06,4.147730e-06,4.130066e-06,4.127258e-06,4.112595e-06,4.104278e-06,4.095321e-06,4.081647e-06,4.078248e-06,4.061381e-06,4.059370e-06,4.044721e-06,4.037457e-06,4.028271e-06,4.015911e-06,4.012034e-06,3.996011e-06,3.994738e-06,3.980203e-06,3.973941e-06,3.964612e-06,3.953521e-06,3.949238e-06,3.934083e-06,3.933481e-06,3.919144e-06,3.913820e-06,3.904424e-06,3.894539e-06,3.889921e-06,3.875636e-06,3.857109e-06,3.838958e-06,3.821179e-06,3.803770e-06,3.786726e-06,3.770046e-06,3.753723e-06,3.737755e-06,3.722137e-06,3.706864e-06,3.691932e-06,3.677335e-06,3.663069e-06,3.649128e-06,3.635506e-06,3.622200e-06,3.609203e-06,3.596509e-06,3.584114e-06,3.572012e-06,3.560197e-06,3.548664e-06,3.537408e-06,3.526422e-06
0.000000e+00,2.734953e-09,6.332556e-09,2.198632e-08,5.013033e-08,7.312755e-08,1.654199e-07,1.703666e-07,3.273791e-07,3.839131e-07,5.578646e-07,7.372197e-07,8.757587e-07,1.257098e-06,1.294607e-06,1.825251e-06,1.969869e-06,2.471341e-06,2.881218e-06,3.225292e-06,3.964348e-06,4.069781e-06,4.984191e-06,5.173749e-06,5.949666e-06,6.466557e-06,6.950478e-06,7.808850e-06,7.973563e-06,9.007791e-06,9.173638e-06,1.004349e-05,1.053862e-05,1.107219e-05,1.188514e-05,1.208654e-05,1.308025e-05,1.319784e-05,1.404802e-05,1.446448e-05,1.498556e-05,1.567575e-05,1.588947e-05,1.675720e-05,1.682500e-05,1.758693e-05,1.790790e-05,1.837749e-05,1.892209e-05,1.912828e-05,1.983913e-05,1.986674e-05,2.051029e-05,2.074229e-05,2.114231e-05,2.155012e-05,2.173597e-05,2.229224e-05,2.281226e-05,2.297121e-05,2.329726e-05,2.358987e-05,2.374853e-05,2.415126e-05,2.416742e-05,2.455530e-05,2.465854e-05,2.491358e-05,2.511490e-05,2.524361e-05,2.552346e-05,2.554676e-05,2.582432e-05,2.588728e-05,2.607760e-05,2.620930e-05,2.630785e-05,2.649237e-05,2.651627e-05,2.670403e-05,2.673920e-05,2.687224e-05,2.695235e-05,2.702199e-05,2.713425e-05,2.715429e-05,2.727015e-05,2.728722e-05,2.737050e-05,2.741343e-05,2.745625e-05,2.751491e-05,2.752826e-05,2.758734e-05,2.759360e-05,2.763427e-05,2.765127e-05,2.766981e-05,2.768963e-05,2.769465e-05,2.770946e-05,2.771023e-05,2.771489e-05,2.771457e-05,2.771153e-05,2.770399e-05,2.769996e-05,2.768072e-05,2.767980e-05,2.765433e-05,2.764318e-05,2.762128e-05,2.759524e-05,2.758203e-05,2.753702e-05,2.748665e-05,2.746947e-05,2.743134e-05,2.739350e-05,2.737143e-05,2.730993e-05,2.730729e-05,2.723925e-05,2.721954e-05,2.716761e-05,2.712303e-05,2.709268e-05,2.702107e-05,2.701473e-05,2.693402e-05,2.691427e-05,2.685081e-05,2.680320e-05,2.676532e-05,2.668839e-05,2.667779e-05,2.658840e-05,2.657032e-05,2.649737e-05,2.644945e-05,2.640488e-05,2.632617e-05,2.631109e-05,2.621617e-05,2.620088e-05,2.612027e-05,2.607393e-05,2.602354e-05,2.594565e-05,2.592611e-05,2.582811e-05,2.581632e-05,2.572966e-05,2.568623e-05,2.563087e-05,2.555562e-05,2.553184e-05,2.543267e-05,2.542474e-05,2.533346e-05,2.529378e-05,2.523428e-05,2.516294e-05,2.513522e-05,2.503635e-05,2.503240e-05,2.493774e-05,2.490231e-05,2.483945e-05,2.477283e-05,2.474155e-05,2.464409e-05,2.451621e-05,2.438929e-05,2.426343e-05,2.413873e-05,2.401526e-05,2.389309e-05,2.377229e-05,2.365290e-05,2.353498e-05,2.341857e-05,2.330371e-05,2.319043e-05,2.307875e-05,2.296869e-05,2.286028e-05,2.275353e-05,2.264844e-05,2.254502e-05,2.244329e-05,2.234323e-05,2.224485e-05,2.214815e-05,2.205311e-05,2.195974e-05
0.000000e+00,9.622845e-12,4.602909e-11,4.519424e-10,1.976663e-09,3.834953e-09,1.551175e-08,1.629772e-08,4.775268e-08,6.167361e-08,1.112266e-07,1.710166e-07,2.221513e-07,3.809073e-07,3.977613e-07,6.559591e-07,7.320831e-07,1.012771e-06,1.259996e-06,1.479068e-06,1.983188e-06,2.058686e-06,2.748855e-06,2.899549e-06,3.541994e-06,3.991718e-06,4.427643e-06,5.234391e-06,5.393896e-06,6.428257e-06,6.599230e-06,7.518081e-06,8.057203e-06,8.650817e-06,9.579630e-06,9.814173e-06,1.099627e-05,1.113884e-05,1.218582e-05,1.270884e-05,1.337229e-05,1.426599e-05,1.454606e-05,1.569857e-05,1.578962e-05,1.682239e-05,1.726244e-05,1.791126e-05,1.867072e-05,1.896011e-05,1.996498e-05,2.000422e-05,2.092299e-05,2.125600e-05,2.183219e-05,2.242199e-05,2.269151e-05,2.350060e-05,2.425972e-05,2.449221e-05,2.496968e-05,2.539877e-05,2.563164e-05,2.622338e-05,2.624713e-05,2.681789e-05,2.696994e-05,2.734582e-05,2.764285e-05,2.783294e-05,2.824682e-05,2.828131e-05,2.869303e-05,2.878662e-05,2.907016e-05,2.926701e-05,2.941475e-05,2.969263e-05,2.972876e-05,3.001410e-05,3.006789e-05,3.027259e-05,3.039697e-05,3.050596e-05,3.068379e-05,3.071587e-05,3.090386e-05,3.093201e-05,3.107142e-05,3.114499e-05,3.121991e-05,3.132585e-05,3.135063e-05,3.146479e-05,3.147743e-05,3.156353e-05,3.160236e-05,3.164790e-05,3.170303e-05,3.171891e-05,3.177746e-05,3.178163e-05,3.182442e-05,3.184014e-05,3.186060e-05,3.188039e-05,3.188674e-05,3.190355e-05,3.190404e-05,3.191168e-05,3.191259e-05,3.191172e-05,3.190743e-05,3.190425e-05,3.188980e-05,3.186886e-05,3.186087e-05,3.184189e-05,3.182167e-05,3.180932e-05,3.177316e-05,3.177155e-05,3.172896e-05,3.171621e-05,3.168188e-05,3.165163e-05,3.163066e-05,3.158014e-05,3.157560e-05,3.151698e-05,3.150241e-05,3.145507e-05,3.141906e-05,3.139012e-05,3.133064e-05,3.132237e-05,3.125203e-05,3.123768e-05,3.117932e-05,3.114064e-05,3.110443e-05,3.103996e-05,3.102753e-05,3.094880e-05,3.093605e-05,3.086840e-05,3.082926e-05,3.078648e-05,3.071994e-05,3.070318e-05,3.061862e-05,3.060840e-05,3.053295e-05,3.049492e-05,3.044626e-05,3.037977e-05,3.035868e-05,3.027030e-05,3.026320e-05,3.018123e-05,3.014543e-05,3.009156e-05,3.002666e-05,3.000136e-05,2.991073e-05,2.990709e-05,2.981973e-05,2.978690e-05,2.972845e-05,2.966624e-05,2.963694e-05,2.954527e-05,2.942412e-05,2.930293e-05,2.918181e-05,2.906088e-05,2.894022e-05,2.881994e-05,2.870011e-05,2.858083e-05,2.846215e-05,2.834415e-05,2.822688e-05,2.811040e-05,2.799477e-05,2.788002e-05,2.776621e-05,2.765336e-05,2.754152e-05,2.743071e-05,2.732096e-05,2.721230e-05,2.710475e-05,2.699833e-05,2.689306e-05,2.678895e-05
0.000000e+00,5.336147e-09,1.316224e-08,4.898926e-08,1.157769e-07,1.714477e-07,4.006232e-07,4.131109e-07,8.179575e-07,9.673014e-07,1.437021e-06,1.935377e-06,2.328440e-06,3.436322e-06,3.546701e-06,5.117452e-06,5.545543e-06,7.021241e-06,8.215448e-06,9.210679e-06,1.133442e-05,1.163658e-05,1.425814e-05,1.480291e-05,1.704209e-05,1.854426e-05,1.995965e-05,2.249420e-05,2.298429e-05,2.609077e-05,2.659377e-05,2.925482e-05,3.078715e-05,3.245322e-05,3.502190e-05,3.566407e-05,3.886713e-05,3.925008e-05,4.204404e-05,4.342932e-05,4.517850e-05,4.752347e-05,4.825629e-05,5.126535e-05,5.150280e-05,5.419572e-05,5.534397e-05,5.703933e-05,5.902938e-05,5.978984e-05,6.244252e-05,6.254654e-05,6.499401e-05,6.588732e-05,6.744214e-05,6.904722e-05,6.978580e-05,7.202488e-05,7.415970e-05,7.482095e-05,7.619120e-05,7.743788e-05,7.812099e-05,7.987963e-05,7.995093e-05,8.168326e-05,8.215115e-05,8.332045e-05,8.425820e-05,8.486515e-05,8.620690e-05,8.632005e-05,8.768800e-05,8.800369e-05,8.897188e-05,8.965522e-05,9.017461e-05,9.116820e-05,9.129911e-05,9.234827e-05,9.254932e-05,9.332497e-05,9.380517e-05,9.423205e-05,9.494224e-05,9.507230e-05,9.584843e-05,9.596684e-05,9.656311e-05,9.688509e-05,9.721893e-05,9.770292e-05,9.781844e-05,9.836407e-05,9.842604e-05,9.885823e-05,9.905995e-05,9.930322e-05,9.960991e-05,9.970129e-05,1.000546e-04,1.000810e-04,1.003652e-04,1.004780e-04,1.006352e-04,1.008055e-04,1.008665e-04,1.010609e-04,1.010679e-04,1.012203e-04,1.012695e-04,1.013465e-04,1.014141e-04,1.014411e-04,1.015056e-04,1.015418e-04,1.015476e-04,1.015510e-04,1.015434e-04,1.015347e-04,1.014963e-04,1.014943e-04,1.014310e-04,1.014094e-04,1.013462e-04,1.012855e-04,1.012411e-04,1.011274e-04,1.011168e-04,1.009744e-04,1.009377e-04,1.008151e-04,1.007188e-04,1.006397e-04,1.004730e-04,1.004494e-04,1.002450e-04,1.002025e-04,1.000274e-04,9.990934e-05,9.979751e-05,9.959548e-05,9.955612e-05,9.930401e-05,9.926273e-05,9.904193e-05,9.891280e-05,9.877059e-05,9.854730e-05,9.849066e-05,9.820280e-05,9.816776e-05,9.790762e-05,9.777558e-05,9.760571e-05,9.737211e-05,9.729764e-05,9.698392e-05,9.695860e-05,9.666509e-05,9.653623e-05,9.634161e-05,9.610609e-05,9.601395e-05,9.568255e-05,9.566922e-05,9.534782e-05,9.522658e-05,9.501017e-05,9.477908e-05,9.466995e-05,9.432754e-05,9.387277e-05,9.341548e-05,9.295637e-05,9.249607e-05,9.203516e-05,9.157419e-05,9.111368e-05,9.065410e-05,9.019587e-05,8.973940e-05,8.928506e-05,8.883319e-05,8.838412e-05,8.793811e-05,8.749544e-05,8.705634e-05,8.662104e-05,8.618973e-05,8.576259e-05,8.533979e-05,8.492146e-05,8.450773e-05,8.409873e-05,8.369454e-05
0.000000e+00,1.990282e-09,4.577870e-09,1.579262e-08,3.591929e-08,5.235801e-08,1.183278e-07,1.218641e-07,2.341420e-07,2.745862e-07,3.990991e-07,5.276167e-07,6.270121e-07,9.014105e-07,9.284829e-07,1.313695e-06,1.419570e-06,1.790541e-06,2.098914e-06,2.361762e-06,2.939032e-06,3.022769e-06,3.762352e-06,3.918434e-06,4.565959e-06,5.004227e-06,5.418962e-06,6.164036e-06,6.308286e-06,7.222726e-06,7.370708e-06,8.152702e-06,8.602132e-06,9.089922e-06,9.840006e-06,1.002713e-05,1.095793e-05,1.106892e-05,1.187670e-05,1.227587e-05,1.277856e-05,1.345005e-05,1.365930e-05,1.451537e-05,1.458270e-05,1.534388e-05,1.566702e-05,1.614249e-05,1.669797e-05,1.690945e-05,1.764346e-05,1.767212e-05,1.834369e-05,1.858741e-05,1.900970e-05,1.944297e-05,1.964138e-05,2.023890e-05,2.080268e-05,2.097606e-05,2.133334e-05,2.165593e-05,2.183165e-05,2.228041e-05,2.229849e-05,2.273488e-05,2.285175e-05,2.314186e-05,2.337239e-05,2.352054e-05,2.384493e-05,2.387208e-05,2.419761e-05,2.427200e-05,2.449830e-05,2.465627e-05,2.477531e-05,2.500037e-05,2.502975e-05,2.526275e-05,2.530687e-05,2.547539e-05,2.557827e-05,2.566873e-05,2.581696e-05,2.584378e-05,2.600153e-05,2.602523e-05,2.614294e-05,2.620527e-05,2.626890e-05,2.635915e-05,2.638031e-05,2.647798e-05,2.648882e-05,2.656274e-05,2.659613e-05,2.663533e-05,2.668281e-05,2.669648e-05,2.674690e-05,2.675049e-05,2.678724e-05,2.680070e-05,2.681813e-05,2.683486e-05,2.684017e-05,2.685392e-05,2.685431e-05,2.685992e-05,2.686029e-05,2.685869e-05,2.685396e-05,2.685070e-05,2.683641e-05,2.681627e-05,2.680865e-05,2.679067e-05,2.677161e-05,2.676002e-05,2.672617e-05,2.672467e-05,2.668498e-05,2.667313e-05,2.664127e-05,2.661325e-05,2.659385e-05,2.654721e-05,2.654303e-05,2.648907e-05,2.647568e-05,2.643223e-05,2.639925e-05,2.637277e-05,2.631846e-05,2.631092e-05,2.624689e-05,2.623384e-05,2.618089e-05,2.614586e-05,2.611312e-05,2.605495e-05,2.604375e-05,2.597297e-05,2.596152e-05,2.590093e-05,2.586595e-05,2.582778e-05,2.576856e-05,2.575367e-05,2.567873e-05,2.566969e-05,2.560309e-05,2.556962e-05,2.552687e-05,2.546862e-05,2.545017e-05,2.537311e-05,2.536693e-05,2.529577e-05,2.526478e-05,2.521825e-05,2.516237e-05,2.514063e-05,2.506299e-05,2.505989e-05,2.498541e-05,2.495751e-05,2.490796e-05,2.485539e-05,2.483069e-05,2.475367e-05,2.465248e-05,2.455193e-05,2.445214e-05,2.435319e-05,2.425518e-05,2.415817e-05,2.406225e-05,2.396746e-05,2.387386e-05,2.378150e-05,2.369042e-05,2.360065e-05,2.351223e-05,2.342517e-05,2.333951e-05,2.325525e-05,2.317241e-05,2.309101e-05,2.301104e-05,2.293251e-05,2.285543e-05,2.277979e-05,2.270558e-05,2.263281e-05
0.000000e+00,8.675717e-10,2.243158e-09,8.764111e-09,2.113447e-08,3.148664e-08,7.392123e-08,7.621853e-08,1.496774e-07,1.762733e-07,2.582875e-07,3.429396e-07,4.083212e-07,5.882248e-07,6.059235e-07,8.568301e-07,9.255213e-07,1.165519e-06,1.364471e-06,1.533890e-06,1.906330e-06,1.960472e-06,2.441087e-06,2.543225e-06,2.970322e-06,3.262874e-06,3.542578e-06,4.052554e-06,4.152443e-06,4.794688e-06,4.900109e-06,5.464203e-06,5.793776e-06,6.155952e-06,6.722017e-06,6.864966e-06,7.586385e-06,7.673564e-06,8.315511e-06,8.637605e-06,9.047866e-06,9.604021e-06,9.779252e-06,1.050579e-05,1.056360e-05,1.122398e-05,1.150819e-05,1.193067e-05,1.243081e-05,1.262312e-05,1.329898e-05,1.332564e-05,1.395626e-05,1.418801e-05,1.459333e-05,1.501433e-05,1.520891e-05,1.580200e-05,1.637189e-05,1.654926e-05,1.691810e-05,1.725512e-05,1.744037e-05,1.791918e-05,1.793865e-05,1.841303e-05,1.854159e-05,1.886372e-05,1.912290e-05,1.929107e-05,1.966399e-05,1.969552e-05,2.007757e-05,2.016600e-05,2.043780e-05,2.063023e-05,2.077682e-05,2.105813e-05,2.109528e-05,2.139386e-05,2.145125e-05,2.167326e-05,2.181119e-05,2.193416e-05,2.213956e-05,2.217729e-05,2.240334e-05,2.243797e-05,2.261300e-05,2.270803e-05,2.280698e-05,2.295131e-05,2.298593e-05,2.315053e-05,2.316934e-05,2.330141e-05,2.336362e-05,2.343921e-05,2.353555e-05,2.356453e-05,2.367796e-05,2.368653e-05,2.378006e-05,2.381786e-05,2.387140e-05,2.393080e-05,2.395250e-05,2.402387e-05,2.402653e-05,2.408601e-05,2.410621e-05,2.413938e-05,2.417091e-05,2.418445e-05,2.422164e-05,2.425139e-05,2.425939e-05,2.427407e-05,2.428507e-05,2.429010e-05,2.429955e-05,2.429982e-05,2.430359e-05,2.430363e-05,2.430175e-05,2.429809e-05,2.429463e-05,2.428367e-05,2.428252e-05,2.426573e-05,2.426103e-05,2.424453e-05,2.423083e-05,2.421919e-05,2.419367e-05,2.418997e-05,2.415711e-05,2.415012e-05,2.412084e-05,2.410071e-05,2.408139e-05,2.404594e-05,2.403896e-05,2.399377e-05,2.398629e-05,2.394599e-05,2.392219e-05,2.389581e-05,2.385406e-05,2.384341e-05,2.378896e-05,2.378229e-05,2.373259e-05,2.370723e-05,2.367448e-05,2.362923e-05,2.361475e-05,2.355355e-05,2.354860e-05,2.349100e-05,2.346563e-05,2.342723e-05,2.338061e-05,2.336234e-05,2.329645e-05,2.329379e-05,2.322966e-05,2.320542e-05,2.316207e-05,2.311570e-05,2.309378e-05,2.302486e-05,2.293309e-05,2.284057e-05,2.274746e-05,2.265392e-05,2.256010e-05,2.246613e-05,2.237212e-05,2.227820e-05,2.218447e-05,2.209103e-05,2.199796e-05,2.190536e-05,2.181328e-05,2.172181e-05,2.163100e-05,2.154092e-05,2.145161e-05,2.136312e-05,2.127550e-05,2.118877e-05,2.110299e-05,2.101817e-05,2.093434e-05,2.085153e-05
0.000000e+00,9.322207e-09,2.153528e-08,7.498850e-08,1.723381e-07,2.529373e-07,5.846551e-07,6.027794e-07,1.194340e-06,1.414481e-06,2.112517e-06,2.859902e-06,3.452050e-06,5.120949e-06,5.286623e-06,7.624380e-06,8.255033e-06,1.041226e-05,1.214483e-05,1.358375e-05,1.664907e-05,1.708525e-05,2.087625e-05,2.166618e-05,2.492314e-05,2.711823e-05,2.919461e-05,3.293343e-05,3.365951e-05,3.828606e-05,3.903915e-05,4.304206e-05,4.536149e-05,4.789544e-05,5.182720e-05,5.281492e-05,5.777068e-05,5.836646e-05,6.273488e-05,6.491516e-05,6.768209e-05,7.141647e-05,7.258950e-05,7.743703e-05,7.782170e-05,8.220731e-05,8.409041e-05,8.688563e-05,9.019008e-05,9.145970e-05,9.591951e-05,9.609541e-05,1.002571e-04,1.017875e-04,1.044663e-04,1.072528e-04,1.085425e-04,1.124826e-04,1.162844e-04,1.174716e-04,1.199470e-04,1.222179e-04,1.234702e-04,1.267217e-04,1.268544e-04,1.301008e-04,1.309853e-04,1.332110e-04,1.350124e-04,1.361868e-04,1.388079e-04,1.390306e-04,1.417449e-04,1.423774e-04,1.443325e-04,1.457272e-04,1.467961e-04,1.488640e-04,1.491389e-04,1.513639e-04,1.517950e-04,1.534742e-04,1.545273e-04,1.554730e-04,1.570682e-04,1.573635e-04,1.591490e-04,1.594251e-04,1.608324e-04,1.616052e-04,1.624172e-04,1.636159e-04,1.639062e-04,1.653028e-04,1.654643e-04,1.666098e-04,1.671573e-04,1.678304e-04,1.687020e-04,1.689674e-04,1.700238e-04,1.701049e-04,1.710024e-04,1.713727e-04,1.719059e-04,1.725116e-04,1.727372e-04,1.734988e-04,1.735279e-04,1.741934e-04,1.744276e-04,1.748235e-04,1.752163e-04,1.753915e-04,1.758998e-04,1.763509e-04,1.764835e-04,1.767469e-04,1.769724e-04,1.770900e-04,1.773717e-04,1.773825e-04,1.776263e-04,1.776862e-04,1.778236e-04,1.779205e-04,1.779763e-04,1.780790e-04,1.780863e-04,1.781554e-04,1.781661e-04,1.781854e-04,1.781858e-04,1.781781e-04,1.781421e-04,1.781351e-04,1.780581e-04,1.780387e-04,1.779486e-04,1.778793e-04,1.778081e-04,1.776673e-04,1.776382e-04,1.774402e-04,1.774060e-04,1.772155e-04,1.770986e-04,1.769654e-04,1.767480e-04,1.766913e-04,1.763943e-04,1.763572e-04,1.760756e-04,1.759288e-04,1.757364e-04,1.754656e-04,1.753778e-04,1.750008e-04,1.749699e-04,1.746066e-04,1.744442e-04,1.741959e-04,1.738907e-04,1.737700e-04,1.733296e-04,1.733116e-04,1.728756e-04,1.727090e-04,1.724088e-04,1.720846e-04,1.719302e-04,1.714405e-04,1.707783e-04,1.700997e-04,1.694064e-04,1.686997e-04,1.679810e-04,1.672519e-04,1.665134e-04,1.657668e-04,1.650132e-04,1.642538e-04,1.634894e-04,1.627211e-04,1.619497e-04,1.611761e-04,1.604011e-04,1.596254e-04,1.588498e-04,1.580748e-04,1.573010e-04,1.565292e-04,1.557597e-04,1.549932e-04,1.542300e-04,1.534706e-04
0.000000e+00,5.055482e-11,2.333852e-10,2.133486e-09,8.766202e-09,1.645256e-08,6.131766e-08,6.421813e-08,1.745138e-07,2.210491e-07,3.803979e-07,5.643112e-07,7.168817e-07,1.173157e-06,1.220472e-06,1.928171e-06,2.132243e-06,2.872814e-06,3.513336e-06,4.073594e-06,5.339848e-06,5.526843e-06,7.204728e-06,7.563517e-06,9.062756e-06,1.008332e-05,1.105037e-05,1.278453e-05,1.311916e-05,1.522695e-05,1.556538e-05,1.733875e-05,1.834526e-05,1.942608e-05,2.106259e-05,2.146575e-05,2.343877e-05,2.367028e-05,2.532964e-05,2.613227e-05,2.712584e-05,2.842152e-05,2.881758e-05,3.039759e-05,3.051900e-05,3.186102e-05,3.241308e-05,3.320522e-05,3.409881e-05,3.442959e-05,3.553531e-05,3.557711e-05,3.652511e-05,3.685379e-05,3.740296e-05,3.793847e-05,3.817386e-05,3.884356e-05,3.941834e-05,3.958329e-05,3.990478e-05,4.017284e-05,4.030959e-05,4.062762e-05,4.063946e-05,4.090094e-05,4.096277e-05,4.110037e-05,4.119277e-05,4.124377e-05,4.133111e-05,4.133683e-05,4.138486e-05,4.139025e-05,4.139280e-05,4.138144e-05,4.136518e-05,4.131477e-05,4.130616e-05,4.121954e-05,4.119921e-05,4.110875e-05,4.104263e-05,4.097689e-05,4.085191e-05,4.082677e-05,4.066088e-05,4.063303e-05,4.048149e-05,4.039119e-05,4.029061e-05,4.013083e-05,4.009001e-05,3.988131e-05,3.985579e-05,3.966590e-05,3.956933e-05,3.944506e-05,3.927427e-05,3.921989e-05,3.899138e-05,3.897298e-05,3.876040e-05,3.866749e-05,3.852772e-05,3.835953e-05,3.829402e-05,3.805991e-05,3.805054e-05,3.782589e-05,3.774176e-05,3.759245e-05,3.743424e-05,3.735998e-05,3.712884e-05,3.689935e-05,3.682630e-05,3.667177e-05,3.652723e-05,3.644634e-05,3.623214e-05,3.622326e-05,3.600272e-05,3.594145e-05,3.578487e-05,3.565550e-05,3.556983e-05,3.537458e-05,3.535772e-05,3.514863e-05,3.509890e-05,3.494263e-05,3.482865e-05,3.473979e-05,3.456395e-05,3.454016e-05,3.434378e-05,3.430489e-05,3.415067e-05,3.405156e-05,3.396086e-05,3.380398e-05,3.377436e-05,3.359117e-05,3.356217e-05,3.341129e-05,3.332613e-05,3.323472e-05,3.309584e-05,3.306144e-05,3.289144e-05,3.287126e-05,3.272469e-05,3.265235e-05,3.256117e-05,3.243904e-05,3.240086e-05,3.224372e-05,3.223128e-05,3.208972e-05,3.202899e-05,3.193882e-05,3.183208e-05,3.179099e-05,3.164619e-05,3.164046e-05,3.150438e-05,3.145406e-05,3.136553e-05,3.127276e-05,3.122957e-05,3.109648e-05,3.092512e-05,3.075856e-05,3.059672e-05,3.043948e-05,3.028674e-05,3.013839e-05,2.999434e-05,2.985447e-05,2.971869e-05,2.958688e-05,2.945896e-05,2.933481e-05,2.921435e-05,2.909747e-05,2.898407e-05,2.887407e-05,2.876736e-05,2.866387e-05,2.856349e-05,2.846615e-05,2.837175e-05,2.828022e-05,2.819147e-05,2.810542e-05
0.000000e+00,8.096617e-09,1.877977e-08,6.534648e-08,1.493325e-07,2.182172e-07,4.971164e-07,5.121777e-07,9.961724e-07,1.173188e-06,1.726253e-06,2.307903e-06,2.763103e-06,4.027537e-06,4.151888e-06,5.888697e-06,6.351991e-06,7.921153e-06,9.164693e-06,1.018663e-05,1.233238e-05,1.263435e-05,1.522509e-05,1.575743e-05,1.792591e-05,1.936378e-05,2.070670e-05,2.308327e-05,2.353867e-05,2.639406e-05,2.685130e-05,2.924646e-05,3.060726e-05,3.207132e-05,3.429634e-05,3.484639e-05,3.755212e-05,3.787132e-05,4.017184e-05,4.129363e-05,4.269183e-05,4.453356e-05,4.510127e-05,4.739201e-05,4.756996e-05,4.955841e-05,5.038932e-05,5.159702e-05,5.298474e-05,5.350627e-05,5.528621e-05,5.535474e-05,5.693824e-05,5.750211e-05,5.846483e-05,5.943291e-05,5.986927e-05,6.115554e-05,6.232809e-05,6.268006e-05,6.339168e-05,6.401750e-05,6.435130e-05,6.517945e-05,6.521204e-05,6.597905e-05,6.617771e-05,6.665744e-05,6.702403e-05,6.725223e-05,6.772985e-05,6.776836e-05,6.821061e-05,6.830627e-05,6.858359e-05,6.876388e-05,6.889178e-05,6.911277e-05,6.913943e-05,6.933062e-05,6.936243e-05,6.946922e-05,6.952174e-05,6.955891e-05,6.959903e-05,6.960320e-05,6.960540e-05,6.960206e-05,6.956866e-05,6.953807e-05,6.949593e-05,6.941373e-05,6.939002e-05,6.925355e-05,6.923524e-05,6.908900e-05,6.900832e-05,6.889872e-05,6.873824e-05,6.868488e-05,6.844956e-05,6.842986e-05,6.819468e-05,6.808766e-05,6.792205e-05,6.771572e-05,6.763336e-05,6.733021e-05,6.731780e-05,6.701408e-05,6.689736e-05,6.668635e-05,6.645753e-05,6.634832e-05,6.600120e-05,6.564612e-05,6.553099e-05,6.528413e-05,6.504927e-05,6.491619e-05,6.455824e-05,6.454323e-05,6.416609e-05,6.405985e-05,6.378555e-05,6.355590e-05,6.340234e-05,6.304801e-05,6.301713e-05,6.263055e-05,6.253763e-05,6.224317e-05,6.202609e-05,6.185552e-05,6.151456e-05,6.146810e-05,6.108135e-05,6.100412e-05,6.069570e-05,6.049572e-05,6.031152e-05,5.999020e-05,5.992916e-05,5.954894e-05,5.948832e-05,5.917115e-05,5.899076e-05,5.879606e-05,5.849810e-05,5.842391e-05,5.805491e-05,5.801086e-05,5.768927e-05,5.752949e-05,5.732715e-05,5.705439e-05,5.696871e-05,5.661410e-05,5.658590e-05,5.626344e-05,5.612431e-05,5.591684e-05,5.566986e-05,5.557439e-05,5.523619e-05,5.522275e-05,5.490229e-05,5.478315e-05,5.457276e-05,5.435120e-05,5.424764e-05,5.392699e-05,5.351060e-05,5.310207e-05,5.270143e-05,5.230869e-05,5.192384e-05,5.154684e-05,5.117766e-05,5.081623e-05,5.046250e-05,5.011638e-05,4.977779e-05,4.944663e-05,4.912281e-05,4.880621e-05,4.849674e-05,4.819427e-05,4.789869e-05,4.760987e-05,4.732769e-05,4.705203e-05,4.678276e-05,4.651975e-05,4.626288e-05,4.601202e-05
0.000000e+00,4.029488e-12,1.980632e-11,2.054866e-10,9.433909e-10,1.878249e-09,8.100448e-09,8.532383e-09,2.652549e-08,3.478594e-08,6.508516e-08,1.029064e-07,1.360115e-07,2.418327e-07,2.532805e-07,4.325947e-07,4.867158e-07,6.907114e-07,8.759133e-07,1.044187e-06,1.445530e-06,1.507250e-06,2.089129e-06,2.220085e-06,2.791912e-06,3.203541e-06,3.609902e-06,4.377045e-06,4.530580e-06,5.536565e-06,5.704120e-06,6.607833e-06,7.139128e-06,7.723657e-06,8.634924e-06,8.864066e-06,1.001079e-05,1.014804e-05,1.114779e-05,1.164140e-05,1.226147e-05,1.308530e-05,1.334065e-05,1.437651e-05,1.445729e-05,1.536232e-05,1.574151e-05,1.629330e-05,1.692781e-05,1.716628e-05,1.797955e-05,1.801083e-05,1.873260e-05,1.898902e-05,1.942590e-05,1.986382e-05,2.006070e-05,2.063890e-05,2.116282e-05,2.131945e-05,2.163516e-05,2.191170e-05,2.205878e-05,2.242243e-05,2.243670e-05,2.277197e-05,2.285862e-05,2.306761e-05,2.322720e-05,2.332657e-05,2.353488e-05,2.355171e-05,2.374575e-05,2.378798e-05,2.391127e-05,2.399240e-05,2.405067e-05,2.415355e-05,2.416622e-05,2.426002e-05,2.427634e-05,2.433400e-05,2.436523e-05,2.438994e-05,2.442419e-05,2.442948e-05,2.445413e-05,2.445679e-05,2.446526e-05,2.446617e-05,2.446412e-05,2.445516e-05,2.445187e-05,2.442953e-05,2.442622e-05,2.439806e-05,2.438155e-05,2.435833e-05,2.432310e-05,2.431113e-05,2.425717e-05,2.425258e-05,2.419710e-05,2.417150e-05,2.413153e-05,2.408121e-05,2.406099e-05,2.398598e-05,2.398289e-05,2.390695e-05,2.387760e-05,2.382432e-05,2.376626e-05,2.373846e-05,2.364971e-05,2.355840e-05,2.352868e-05,2.346480e-05,2.340383e-05,2.336920e-05,2.327575e-05,2.327182e-05,2.317290e-05,2.314495e-05,2.307264e-05,2.301191e-05,2.297122e-05,2.287705e-05,2.286883e-05,2.276562e-05,2.274075e-05,2.266174e-05,2.260333e-05,2.255734e-05,2.246512e-05,2.245252e-05,2.234741e-05,2.232637e-05,2.224212e-05,2.218733e-05,2.213675e-05,2.204823e-05,2.203138e-05,2.192610e-05,2.190926e-05,2.182098e-05,2.177061e-05,2.171611e-05,2.163242e-05,2.161153e-05,2.150733e-05,2.149485e-05,2.140354e-05,2.135802e-05,2.130023e-05,2.122206e-05,2.119744e-05,2.109522e-05,2.108706e-05,2.099360e-05,2.095313e-05,2.089262e-05,2.082033e-05,2.079232e-05,2.069272e-05,2.068875e-05,2.059386e-05,2.055846e-05,2.049576e-05,2.042950e-05,2.039845e-05,2.030194e-05,2.017582e-05,2.005117e-05,1.992803e-05,1.980644e-05,1.968640e-05,1.956795e-05,1.945111e-05,1.933587e-05,1.922227e-05,1.911029e-05,1.899995e-05,1.889126e-05,1.878419e-05,1.867877e-05,1.857498e-05,1.847282e-05,1.837227e-05,1.827334e-05,1.817600e-05,1.808026e-05,1.798609e-05,1.789349e-05,1.780244e-05,1.771292e-05
0.000000e+00,5.847872e-10,1.722808e-09,7.769951e-09,2.002171e-08,3.055356e-08,7.468920e-08,7.710266e-08,1.548702e-07,1.832059e-07,2.709202e-07,3.618198e-07,4.322088e-07,6.264522e-07,6.455921e-07,9.170375e-07,9.912674e-07,1.249755e-06,1.462624e-06,1.642730e-06,2.035004e-06,2.091650e-06,2.591069e-06,2.696539e-06,3.135677e-06,3.435074e-06,3.720507e-06,4.239337e-06,4.340761e-06,4.991616e-06,5.098265e-06,5.668126e-06,6.000472e-06,6.365193e-06,6.934151e-06,7.077610e-06,7.800126e-06,7.887259e-06,8.527544e-06,8.847851e-06,9.254809e-06,9.804449e-06,9.977098e-06,1.068991e-05,1.074639e-05,1.138910e-05,1.166412e-05,1.207098e-05,1.254937e-05,1.273230e-05,1.337027e-05,1.339527e-05,1.398261e-05,1.419641e-05,1.456747e-05,1.494875e-05,1.512345e-05,1.564956e-05,1.614520e-05,1.629731e-05,1.661008e-05,1.689147e-05,1.704424e-05,1.743240e-05,1.744797e-05,1.782177e-05,1.792116e-05,1.816634e-05,1.835941e-05,1.848254e-05,1.874920e-05,1.877132e-05,1.903374e-05,1.909292e-05,1.927093e-05,1.939317e-05,1.948407e-05,1.965267e-05,1.967434e-05,1.984296e-05,1.987419e-05,1.999113e-05,2.006049e-05,2.012004e-05,2.021430e-05,2.023086e-05,2.032471e-05,2.033823e-05,2.040271e-05,2.043482e-05,2.046590e-05,2.050647e-05,2.051530e-05,2.055188e-05,2.055545e-05,2.057657e-05,2.058389e-05,2.059024e-05,2.059377e-05,2.059372e-05,2.058780e-05,2.058694e-05,2.057321e-05,2.056510e-05,2.055064e-05,2.052983e-05,2.052076e-05,2.048418e-05,2.048258e-05,2.044146e-05,2.042468e-05,2.039314e-05,2.035734e-05,2.033972e-05,2.028168e-05,2.021943e-05,2.019870e-05,2.015340e-05,2.010932e-05,2.008395e-05,2.001439e-05,2.001144e-05,1.993619e-05,1.991467e-05,1.985851e-05,1.981085e-05,1.977867e-05,1.970355e-05,1.969695e-05,1.961357e-05,1.959334e-05,1.952876e-05,1.948073e-05,1.944274e-05,1.936618e-05,1.935569e-05,1.926779e-05,1.925012e-05,1.917920e-05,1.913292e-05,1.909008e-05,1.901491e-05,1.900056e-05,1.891078e-05,1.889640e-05,1.882085e-05,1.877766e-05,1.873088e-05,1.865894e-05,1.864097e-05,1.855121e-05,1.854046e-05,1.846170e-05,1.842241e-05,1.837250e-05,1.830496e-05,1.828368e-05,1.819532e-05,1.818827e-05,1.810747e-05,1.807249e-05,1.802018e-05,1.795771e-05,1.793351e-05,1.784749e-05,1.784407e-05,1.776218e-05,1.773164e-05,1.767759e-05,1.762051e-05,1.759378e-05,1.751076e-05,1.740243e-05,1.729559e-05,1.719028e-05,1.708653e-05,1.698438e-05,1.688385e-05,1.678495e-05,1.668771e-05,1.659213e-05,1.649822e-05,1.640597e-05,1.631539e-05,1.622648e-05,1.613922e-05,1.605361e-05,1.596964e-05,1.588729e-05,1.580655e-05,1.572741e-05,1.564984e-05,1.557383e-05,1.549936e-05,1.542640e-05,1.535495e-05
0.000000e+00,1.717278e-09,5.144032e-09,2.369129e-08,6.176652e-08,9.473607e-08,2.342203e-07,2.418949e-07,4.912121e-07,5.829162e-07,8.693042e-07,1.169661e-06,1.404428e-06,2.060311e-06,2.125460e-06,3.055750e-06,3.311367e-06,4.201687e-06,4.932229e-06,5.546834e-06,6.871225e-06,7.060714e-06,8.711464e-06,9.055513e-06,1.047130e-05,1.142152e-05,1.231648e-05,1.391691e-05,1.422592e-05,1.618011e-05,1.649569e-05,1.816063e-05,1.911549e-05,2.015009e-05,2.173710e-05,2.213220e-05,2.409199e-05,2.432501e-05,2.601601e-05,2.684813e-05,2.789243e-05,2.928042e-05,2.971118e-05,3.146390e-05,3.160105e-05,3.314391e-05,3.379437e-05,3.474614e-05,3.584952e-05,3.626701e-05,3.770424e-05,3.775997e-05,3.905672e-05,3.952282e-05,4.032432e-05,4.113816e-05,4.150779e-05,4.260860e-05,4.362858e-05,4.393828e-05,4.457010e-05,4.513278e-05,4.543594e-05,4.619864e-05,4.622900e-05,4.695245e-05,4.714298e-05,4.760950e-05,4.797322e-05,4.820342e-05,4.869691e-05,4.873751e-05,4.921501e-05,4.932155e-05,4.963913e-05,4.985447e-05,5.001295e-05,5.030273e-05,5.033951e-05,5.062172e-05,5.067309e-05,5.086238e-05,5.097200e-05,5.106418e-05,5.120553e-05,5.122967e-05,5.136130e-05,5.137938e-05,5.146139e-05,5.149887e-05,5.153213e-05,5.156899e-05,5.157561e-05,5.159379e-05,5.159437e-05,5.158855e-05,5.157928e-05,5.156164e-05,5.152771e-05,5.151471e-05,5.144932e-05,5.144333e-05,5.136693e-05,5.132952e-05,5.126892e-05,5.118941e-05,5.115658e-05,5.103114e-05,5.102586e-05,5.089371e-05,5.084152e-05,5.074538e-05,5.063880e-05,5.058714e-05,5.041993e-05,5.024462e-05,5.018695e-05,5.006203e-05,4.994171e-05,4.987292e-05,4.968592e-05,4.967802e-05,4.947797e-05,4.942113e-05,4.927342e-05,4.914876e-05,4.906493e-05,4.887010e-05,4.885304e-05,4.863826e-05,4.858633e-05,4.842105e-05,4.829852e-05,4.820186e-05,4.800764e-05,4.798107e-05,4.775907e-05,4.771456e-05,4.753621e-05,4.742008e-05,4.731280e-05,4.712493e-05,4.708914e-05,4.686550e-05,4.682974e-05,4.664215e-05,4.653511e-05,4.641931e-05,4.624155e-05,4.619719e-05,4.597600e-05,4.594953e-05,4.575592e-05,4.565948e-05,4.553712e-05,4.537177e-05,4.531974e-05,4.510392e-05,4.508673e-05,4.488980e-05,4.480465e-05,4.467748e-05,4.452579e-05,4.446707e-05,4.425866e-05,4.425037e-05,4.405234e-05,4.397860e-05,4.384819e-05,4.371063e-05,4.364626e-05,4.344662e-05,4.318669e-05,4.293093e-05,4.267944e-05,4.243228e-05,4.218950e-05,4.195114e-05,4.171722e-05,4.148777e-05,4.126277e-05,4.104224e-05,4.082615e-05,4.061448e-05,4.040721e-05,4.020430e-05,4.000571e-05,3.981140e-05,3.962132e-05,3.943543e-05,3.925366e-05,3.907595e-05,3.890226e-05,3.873252e-05,3.856666e-05,3.840463e-05
0.000000e+00,1.196582e-08,2.760642e-08,9.587449e-08,2.197455e-07,3.219877e-07,7.407270e-07,7.635313e-07,1.505022e-06,1.779971e-06,2.650296e-06,3.582736e-06,4.324473e-06,6.443401e-06,6.656701e-06,9.730694e-06,1.057948e-05,1.353191e-05,1.594177e-05,1.795768e-05,2.226610e-05,2.287881e-05,2.818250e-05,2.928103e-05,3.378091e-05,3.678517e-05,3.960525e-05,4.463054e-05,4.559877e-05,5.171189e-05,5.269804e-05,5.789974e-05,6.088419e-05,6.412097e-05,6.909625e-05,7.033744e-05,7.651437e-05,7.725142e-05,8.262041e-05,8.527735e-05,8.862793e-05,9.311287e-05,9.451294e-05,1.002549e-04,1.007076e-04,1.058372e-04,1.080223e-04,1.112462e-04,1.150272e-04,1.164711e-04,1.215041e-04,1.217013e-04,1.263397e-04,1.280314e-04,1.309744e-04,1.340105e-04,1.354068e-04,1.396368e-04,1.436655e-04,1.449126e-04,1.474954e-04,1.498437e-04,1.511297e-04,1.544381e-04,1.545722e-04,1.578274e-04,1.587059e-04,1.609002e-04,1.626586e-04,1.637960e-04,1.663085e-04,1.665203e-04,1.690784e-04,1.696683e-04,1.714761e-04,1.727509e-04,1.737192e-04,1.755697e-04,1.758133e-04,1.777641e-04,1.781376e-04,1.795773e-04,1.804676e-04,1.812584e-04,1.825724e-04,1.828128e-04,1.842459e-04,1.844643e-04,1.855629e-04,1.861553e-04,1.867688e-04,1.876569e-04,1.878686e-04,1.888671e-04,1.889804e-04,1.897690e-04,1.901364e-04,1.905788e-04,1.911353e-04,1.913008e-04,1.919393e-04,1.919869e-04,1.924984e-04,1.927006e-04,1.929819e-04,1.932855e-04,1.933938e-04,1.937376e-04,1.937499e-04,1.940168e-04,1.941023e-04,1.942350e-04,1.943501e-04,1.943953e-04,1.945009e-04,1.945548e-04,1.945616e-04,1.945599e-04,1.945388e-04,1.945189e-04,1.944388e-04,1.944346e-04,1.943095e-04,1.942675e-04,1.941460e-04,1.940305e-04,1.939466e-04,1.937331e-04,1.937133e-04,1.934484e-04,1.933804e-04,1.931540e-04,1.929769e-04,1.928319e-04,1.925272e-04,1.924842e-04,1.921125e-04,1.920354e-04,1.917186e-04,1.915055e-04,1.913041e-04,1.909412e-04,1.908706e-04,1.904196e-04,1.903459e-04,1.899524e-04,1.897229e-04,1.894705e-04,1.890752e-04,1.889751e-04,1.884674e-04,1.884057e-04,1.879487e-04,1.877172e-04,1.874199e-04,1.870120e-04,1.868822e-04,1.863365e-04,1.862925e-04,1.857838e-04,1.855610e-04,1.852251e-04,1.848194e-04,1.846610e-04,1.840925e-04,1.840697e-04,1.835203e-04,1.833136e-04,1.829451e-04,1.825527e-04,1.823677e-04,1.817886e-04,1.810226e-04,1.802561e-04,1.794903e-04,1.787263e-04,1.779651e-04,1.772077e-04,1.764549e-04,1.757074e-04,1.749661e-04,1.742315e-04,1.735043e-04,1.727849e-04,1.720740e-04,1.713718e-04,1.706788e-04,1.699953e-04,1.693217e-04,1.686581e-04,1.680048e-04,1.673620e-04,1.667299e-04,1.661085e-04,1.654981e-04,1.648986e-04
0.000000e+00,5.497922e-09,1.261806e-08,4.363929e-08,1.000526e-07,1.468075e-07,3.401701e-07,3.507837e-07,7.000585e-07,8.314179e-07,1.252614e-06,1.711028e-06,2.079411e-06,3.140754e-06,3.247852e-06,4.786536e-06,5.208743e-06,6.667529e-06,7.849086e-06,8.833404e-06,1.093180e-05,1.123016e-05,1.381786e-05,1.435568e-05,1.656821e-05,1.805540e-05,1.945983e-05,2.198479e-05,2.247478e-05,2.559648e-05,2.610477e-05,2.880861e-05,3.037771e-05,3.209466e-05,3.476546e-05,3.543786e-05,3.882135e-05,3.922928e-05,4.222836e-05,4.373067e-05,4.564254e-05,4.823243e-05,4.904821e-05,5.243057e-05,5.269973e-05,5.577594e-05,5.710090e-05,5.907187e-05,6.140801e-05,6.230720e-05,6.547214e-05,6.559715e-05,6.855826e-05,6.964854e-05,7.155841e-05,7.354636e-05,7.446672e-05,7.727850e-05,7.999013e-05,8.083624e-05,8.259897e-05,8.421384e-05,8.510327e-05,8.740814e-05,8.750206e-05,8.979505e-05,9.041816e-05,9.198256e-05,9.324475e-05,9.406539e-05,9.589023e-05,9.604481e-05,9.792242e-05,9.835810e-05,9.970012e-05,1.006528e-04,1.013801e-04,1.027794e-04,1.029646e-04,1.044562e-04,1.047436e-04,1.058575e-04,1.065514e-04,1.071712e-04,1.082090e-04,1.084000e-04,1.095468e-04,1.097228e-04,1.106142e-04,1.110992e-04,1.116051e-04,1.123447e-04,1.125224e-04,1.133686e-04,1.134655e-04,1.141465e-04,1.144679e-04,1.148589e-04,1.153580e-04,1.155082e-04,1.160971e-04,1.161417e-04,1.166280e-04,1.168247e-04,1.171034e-04,1.174126e-04,1.175256e-04,1.178969e-04,1.179107e-04,1.182196e-04,1.183242e-04,1.184957e-04,1.186581e-04,1.187276e-04,1.189170e-04,1.190661e-04,1.191055e-04,1.191766e-04,1.192280e-04,1.192505e-04,1.192886e-04,1.192896e-04,1.192954e-04,1.192913e-04,1.192697e-04,1.192398e-04,1.192140e-04,1.191377e-04,1.191300e-04,1.190190e-04,1.189885e-04,1.188824e-04,1.187953e-04,1.187217e-04,1.185613e-04,1.185381e-04,1.183329e-04,1.182894e-04,1.181073e-04,1.179824e-04,1.178625e-04,1.176428e-04,1.175996e-04,1.173196e-04,1.172733e-04,1.170236e-04,1.168762e-04,1.167126e-04,1.164536e-04,1.163875e-04,1.160492e-04,1.160078e-04,1.156986e-04,1.155406e-04,1.153365e-04,1.150541e-04,1.149637e-04,1.145809e-04,1.145499e-04,1.141890e-04,1.140298e-04,1.137885e-04,1.134953e-04,1.133803e-04,1.129647e-04,1.129480e-04,1.125426e-04,1.123892e-04,1.121145e-04,1.118202e-04,1.116809e-04,1.112424e-04,1.106568e-04,1.100645e-04,1.094667e-04,1.088642e-04,1.082579e-04,1.076487e-04,1.070375e-04,1.064248e-04,1.058115e-04,1.051981e-04,1.045853e-04,1.039735e-04,1.033634e-04,1.027554e-04,1.021500e-04,1.015475e-04,1.009483e-04,1.003528e-04,9.976132e-05,9.917413e-05,9.859151e-05,9.801370e-05,9.744093e-05,9.687340e-05
0.000000e+00,1.503827e-09,3.450621e-09,1.191650e-08,2.723311e-08,3.984795e-08,9.129599e-08,9.408839e-08,1.844020e-07,2.176718e-07,3.223128e-07,4.334511e-07,5.212564e-07,7.697381e-07,7.945904e-07,1.150521e-06,1.248317e-06,1.588162e-06,1.866266e-06,2.100091e-06,2.605083e-06,2.677583e-06,3.313197e-06,3.446748e-06,4.000947e-06,4.377470e-06,4.735739e-06,5.385866e-06,5.512859e-06,6.327648e-06,6.461195e-06,7.175351e-06,7.592505e-06,8.051065e-06,8.768435e-06,8.949773e-06,9.866413e-06,9.977375e-06,1.079596e-05,1.120779e-05,1.173354e-05,1.244857e-05,1.267445e-05,1.361429e-05,1.368931e-05,1.454899e-05,1.492058e-05,1.547484e-05,1.613412e-05,1.638856e-05,1.728726e-05,1.732286e-05,1.816845e-05,1.848096e-05,1.902994e-05,1.960359e-05,1.986997e-05,2.068710e-05,2.148018e-05,2.172875e-05,2.224838e-05,2.272669e-05,2.299110e-05,2.367974e-05,2.370791e-05,2.439862e-05,2.458733e-05,2.506319e-05,2.544942e-05,2.570171e-05,2.626635e-05,2.631442e-05,2.690162e-05,2.703880e-05,2.746373e-05,2.776771e-05,2.800119e-05,2.845420e-05,2.851454e-05,2.900434e-05,2.909953e-05,2.947118e-05,2.970506e-05,2.991567e-05,3.027225e-05,3.033846e-05,3.074019e-05,3.080255e-05,3.112150e-05,3.129747e-05,3.148305e-05,3.175851e-05,3.182550e-05,3.214947e-05,3.218713e-05,3.245561e-05,3.258482e-05,3.274454e-05,3.295300e-05,3.301689e-05,3.327324e-05,3.329307e-05,3.351419e-05,3.360639e-05,3.374032e-05,3.389427e-05,3.395218e-05,3.415032e-05,3.415797e-05,3.433528e-05,3.439873e-05,3.450756e-05,3.461773e-05,3.466767e-05,3.481609e-05,3.495328e-05,3.499489e-05,3.507971e-05,3.515518e-05,3.519582e-05,3.529795e-05,3.530202e-05,3.539873e-05,3.542416e-05,3.548634e-05,3.553471e-05,3.556525e-05,3.563047e-05,3.563581e-05,3.569840e-05,3.571227e-05,3.575334e-05,3.578089e-05,3.580097e-05,3.583710e-05,3.584162e-05,3.587559e-05,3.588161e-05,3.590317e-05,3.591509e-05,3.592467e-05,3.593821e-05,3.594034e-05,3.595046e-05,3.595159e-05,3.595529e-05,3.595580e-05,3.595506e-05,3.595141e-05,3.595003e-05,3.594040e-05,3.593895e-05,3.592641e-05,3.591893e-05,3.590826e-05,3.589182e-05,3.588617e-05,3.586031e-05,3.585808e-05,3.583088e-05,3.581816e-05,3.579807e-05,3.577244e-05,3.576204e-05,3.572296e-05,3.572134e-05,3.568099e-05,3.566520e-05,3.563629e-05,3.560440e-05,3.558899e-05,3.553925e-05,3.547008e-05,3.539718e-05,3.532084e-05,3.524132e-05,3.515887e-05,3.507374e-05,3.498616e-05,3.489634e-05,3.480448e-05,3.471077e-05,3.461540e-05,3.451854e-05,3.442035e-05,3.432099e-05,3.422059e-05,3.411929e-05,3.401723e-05,3.391453e-05,3.381129e-05,3.370762e-05,3.360363e-05,3.349942e-05,3.339507e-05,3.329066e-05
0.000000e+00,1.374623e-11,6.054153e-11,5.052750e-10,1.925115e-09,3.476339e-09,1.182773e-08,1.234433e-08,3.097657e-08,3.845068e-08,6.301661e-08,9.001057e-08,1.116172e-07,1.732095e-07,1.793892e-07,2.684198e-07,2.931363e-07,3.802807e-07,4.532970e-07,5.159795e-07,6.553783e-07,6.758241e-07,8.592017e-07,8.985684e-07,1.064358e-06,1.178710e-06,1.288347e-06,1.488228e-06,1.527284e-06,1.776807e-06,1.817418e-06,2.032565e-06,2.156349e-06,2.290555e-06,2.496185e-06,2.547279e-06,2.799782e-06,2.829677e-06,3.045619e-06,3.151151e-06,3.282814e-06,3.456331e-06,3.509811e-06,3.725429e-06,3.742160e-06,3.928829e-06,4.006638e-06,4.119472e-06,4.248673e-06,4.297085e-06,4.461628e-06,4.467939e-06,4.613248e-06,4.664724e-06,4.752256e-06,4.839793e-06,4.879083e-06,4.994255e-06,5.098366e-06,5.129448e-06,5.192052e-06,5.246845e-06,5.275975e-06,5.347972e-06,5.350799e-06,5.417186e-06,5.434351e-06,5.475779e-06,5.507453e-06,5.527198e-06,5.568674e-06,5.572032e-06,5.610838e-06,5.619314e-06,5.644138e-06,5.660563e-06,5.672417e-06,5.693506e-06,5.696124e-06,5.715673e-06,5.719118e-06,5.731445e-06,5.738270e-06,5.743787e-06,5.751736e-06,5.753016e-06,5.759423e-06,5.760204e-06,5.763272e-06,5.764283e-06,5.764805e-06,5.764511e-06,5.764240e-06,5.761775e-06,5.761360e-06,5.757590e-06,5.755246e-06,5.751847e-06,5.746533e-06,5.744696e-06,5.736271e-06,5.735546e-06,5.726695e-06,5.722568e-06,5.716079e-06,5.707848e-06,5.704523e-06,5.692120e-06,5.691608e-06,5.678954e-06,5.674043e-06,5.665102e-06,5.655327e-06,5.650634e-06,5.635614e-06,5.620099e-06,5.615038e-06,5.604143e-06,5.593724e-06,5.587797e-06,5.571778e-06,5.571104e-06,5.554107e-06,5.549299e-06,5.536844e-06,5.526373e-06,5.519350e-06,5.503078e-06,5.501656e-06,5.483794e-06,5.479485e-06,5.465791e-06,5.455657e-06,5.447672e-06,5.431650e-06,5.429461e-06,5.411179e-06,5.407516e-06,5.392848e-06,5.383302e-06,5.374485e-06,5.359049e-06,5.356109e-06,5.337734e-06,5.334796e-06,5.319377e-06,5.310575e-06,5.301050e-06,5.286419e-06,5.282766e-06,5.264538e-06,5.262355e-06,5.246376e-06,5.238409e-06,5.228291e-06,5.214603e-06,5.210292e-06,5.192387e-06,5.190959e-06,5.174584e-06,5.167493e-06,5.156891e-06,5.144224e-06,5.139315e-06,5.121861e-06,5.121166e-06,5.104536e-06,5.098332e-06,5.087345e-06,5.075734e-06,5.070292e-06,5.053382e-06,5.031286e-06,5.009454e-06,4.987894e-06,4.966611e-06,4.945611e-06,4.924898e-06,4.904477e-06,4.884349e-06,4.864519e-06,4.844987e-06,4.825755e-06,4.806825e-06,4.788195e-06,4.769868e-06,4.751841e-06,4.734115e-06,4.716688e-06,4.699559e-06,4.682726e-06,4.666189e-06,4.649944e-06,4.633989e-06,4.618322e-06,4.602941e-06
0.000000e+00,8.182715e-12,3.989257e-11,4.070081e-10,1.841658e-09,3.639412e-09,1.543618e-08,1.624987e-08,4.996884e-08,6.541620e-08,1.221980e-07,1.935605e-07,2.565303e-07,4.607459e-07,4.830702e-07,8.367342e-07,9.444163e-07,1.351063e-06,1.718343e-06,2.048472e-06,2.816984e-06,2.932556e-06,3.986900e-06,4.215597e-06,5.179772e-06,5.841702e-06,6.471303e-06,7.602106e-06,7.820138e-06,9.188144e-06,9.406551e-06,1.054298e-05,1.118082e-05,1.185893e-05,1.287050e-05,1.311666e-05,1.430248e-05,1.443948e-05,1.540737e-05,1.586640e-05,1.642602e-05,1.714097e-05,1.735606e-05,1.819737e-05,1.826088e-05,1.895159e-05,1.922952e-05,1.962166e-05,2.005415e-05,2.021147e-05,2.072564e-05,2.074471e-05,2.116924e-05,2.131269e-05,2.154762e-05,2.177043e-05,2.186621e-05,2.213043e-05,2.234556e-05,2.240486e-05,2.251664e-05,2.260522e-05,2.264842e-05,2.274207e-05,2.274533e-05,2.281143e-05,2.282494e-05,2.285043e-05,2.286223e-05,2.286567e-05,2.286128e-05,2.286014e-05,2.283650e-05,2.282839e-05,2.279710e-05,2.276894e-05,2.274403e-05,2.268747e-05,2.267911e-05,2.260394e-05,2.258780e-05,2.251991e-05,2.247312e-05,2.242823e-05,2.234610e-05,2.232997e-05,2.222606e-05,2.220896e-05,2.211730e-05,2.206358e-05,2.200440e-05,2.191151e-05,2.188798e-05,2.176858e-05,2.175407e-05,2.164668e-05,2.159236e-05,2.152270e-05,2.142732e-05,2.139702e-05,2.126996e-05,2.125975e-05,2.114183e-05,2.109033e-05,2.101288e-05,2.091966e-05,2.088334e-05,2.075344e-05,2.074824e-05,2.062335e-05,2.057651e-05,2.049326e-05,2.040486e-05,2.036330e-05,2.023362e-05,2.010435e-05,2.006309e-05,1.997559e-05,1.989351e-05,1.984745e-05,1.972510e-05,1.972002e-05,1.959338e-05,1.955807e-05,1.946761e-05,1.939259e-05,1.934277e-05,1.922879e-05,1.921892e-05,1.909613e-05,1.906682e-05,1.897443e-05,1.890677e-05,1.885387e-05,1.874875e-05,1.873449e-05,1.861633e-05,1.859284e-05,1.849941e-05,1.843911e-05,1.838376e-05,1.828761e-05,1.826940e-05,1.815636e-05,1.813839e-05,1.804464e-05,1.799150e-05,1.793427e-05,1.784695e-05,1.782526e-05,1.771761e-05,1.770479e-05,1.761134e-05,1.756501e-05,1.750644e-05,1.742764e-05,1.740292e-05,1.730079e-05,1.729268e-05,1.720004e-05,1.716012e-05,1.710067e-05,1.702998e-05,1.700268e-05,1.690606e-05,1.690223e-05,1.681082e-05,1.677686e-05,1.671693e-05,1.665387e-05,1.662441e-05,1.653323e-05,1.641493e-05,1.629894e-05,1.618524e-05,1.607381e-05,1.596462e-05,1.585763e-05,1.575282e-05,1.565016e-05,1.554962e-05,1.545117e-05,1.535477e-05,1.526039e-05,1.516800e-05,1.507756e-05,1.498904e-05,1.490241e-05,1.481763e-05,1.473466e-05,1.465348e-05,1.457406e-05,1.449634e-05,1.442032e-05,1.434594e-05,1.427318e-05
0.000000e+00,9.481580e-11,4.029039e-10,3.149967e-09,1.142134e-08,2.014717e-08,6.525688e-08,6.799269e-08,1.648949e-07,2.032220e-07,3.282876e-07,4.650476e-07,5.744280e-07,8.870410e-07,9.185137e-07,1.374756e-06,1.502417e-06,1.956094e-06,2.340422e-06,2.673262e-06,3.422241e-06,3.533029e-06,4.535929e-06,4.753183e-06,5.674640e-06,6.315767e-06,6.934366e-06,8.071649e-06,8.295313e-06,9.735838e-06,9.972277e-06,1.123488e-05,1.196947e-05,1.277319e-05,1.402059e-05,1.433372e-05,1.590151e-05,1.608949e-05,1.746344e-05,1.814584e-05,1.900812e-05,2.016441e-05,2.052568e-05,2.200772e-05,2.212453e-05,2.344721e-05,2.400977e-05,2.483843e-05,2.580762e-05,2.617684e-05,2.745908e-05,2.750916e-05,2.868275e-05,2.910863e-05,2.984639e-05,3.060299e-05,3.094930e-05,3.199150e-05,3.297352e-05,3.327521e-05,3.389639e-05,3.445662e-05,3.476151e-05,3.553926e-05,3.557057e-05,3.632546e-05,3.652739e-05,3.702823e-05,3.742577e-05,3.768105e-05,3.823945e-05,3.828615e-05,3.884579e-05,3.897359e-05,3.936220e-05,3.963333e-05,3.983758e-05,4.022372e-05,4.027412e-05,4.067392e-05,4.074966e-05,4.103902e-05,4.121581e-05,4.137138e-05,4.162663e-05,4.167286e-05,4.194528e-05,4.198628e-05,4.219033e-05,4.229872e-05,4.240965e-05,4.256760e-05,4.260476e-05,4.277711e-05,4.279633e-05,4.292807e-05,4.298805e-05,4.305893e-05,4.314572e-05,4.317094e-05,4.326524e-05,4.327205e-05,4.334292e-05,4.336957e-05,4.340500e-05,4.344059e-05,4.345245e-05,4.348618e-05,4.348725e-05,4.350703e-05,4.351155e-05,4.351583e-05,4.351531e-05,4.351332e-05,4.350022e-05,4.347719e-05,4.346783e-05,4.344487e-05,4.341959e-05,4.340386e-05,4.335682e-05,4.335470e-05,4.329794e-05,4.328075e-05,4.323405e-05,4.319250e-05,4.316351e-05,4.309312e-05,4.308676e-05,4.300421e-05,4.298358e-05,4.291625e-05,4.286477e-05,4.282325e-05,4.273751e-05,4.272555e-05,4.262349e-05,4.260257e-05,4.251735e-05,4.246066e-05,4.240745e-05,4.231241e-05,4.229404e-05,4.217739e-05,4.215844e-05,4.205774e-05,4.199932e-05,4.193533e-05,4.183554e-05,4.181035e-05,4.168303e-05,4.166761e-05,4.155356e-05,4.149595e-05,4.142211e-05,4.132099e-05,4.128885e-05,4.115396e-05,4.114310e-05,4.101758e-05,4.096265e-05,4.087986e-05,4.077995e-05,4.074094e-05,4.060094e-05,4.059532e-05,4.046000e-05,4.040904e-05,4.031821e-05,4.022138e-05,4.017570e-05,4.003256e-05,3.984284e-05,3.965240e-05,3.946146e-05,3.927018e-05,3.907875e-05,3.888731e-05,3.869601e-05,3.850498e-05,3.831435e-05,3.812423e-05,3.793473e-05,3.774594e-05,3.755797e-05,3.737089e-05,3.718478e-05,3.699971e-05,3.681575e-05,3.663295e-05,3.645138e-05,3.627108e-05,3.609211e-05,3.591450e-05,3.573828e-05,3.556351e-05
0.000000e+00,8.107220e-12,3.925476e-11,3.947199e-10,1.761183e-09,3.451991e-09,1.430047e-08,1.503851e-08,4.494931e-08,5.833064e-08,1.063391e-07,1.647344e-07,2.149241e-07,3.716501e-07,3.883521e-07,6.455710e-07,7.219020e-07,1.005437e-06,1.257949e-06,1.483818e-06,2.010253e-06,2.089787e-06,2.822944e-06,2.984111e-06,3.673334e-06,4.156324e-06,4.623643e-06,5.483450e-06,5.652379e-06,6.736812e-06,6.914004e-06,7.855088e-06,8.397981e-06,8.987443e-06,9.891838e-06,1.011671e-05,1.122832e-05,1.135993e-05,1.231015e-05,1.277407e-05,1.335221e-05,1.411256e-05,1.434645e-05,1.528646e-05,1.535916e-05,1.616738e-05,1.650237e-05,1.698572e-05,1.753488e-05,1.773926e-05,1.842696e-05,1.845309e-05,1.904878e-05,1.925667e-05,1.960566e-05,1.994807e-05,2.009928e-05,2.053201e-05,2.090672e-05,2.101491e-05,2.122672e-05,2.140444e-05,2.149557e-05,2.170901e-05,2.171700e-05,2.189481e-05,2.193729e-05,2.203275e-05,2.209792e-05,2.213451e-05,2.219922e-05,2.220363e-05,2.224347e-05,2.224903e-05,2.225718e-05,2.225455e-05,2.224770e-05,2.222233e-05,2.221774e-05,2.216976e-05,2.215821e-05,2.210602e-05,2.206733e-05,2.202854e-05,2.195419e-05,2.193916e-05,2.183950e-05,2.182270e-05,2.173102e-05,2.167620e-05,2.161501e-05,2.151756e-05,2.149262e-05,2.136486e-05,2.134922e-05,2.123263e-05,2.117323e-05,2.109670e-05,2.099135e-05,2.095777e-05,2.081645e-05,2.080506e-05,2.067329e-05,2.061561e-05,2.052873e-05,2.042403e-05,2.038321e-05,2.023707e-05,2.023122e-05,2.009064e-05,2.003791e-05,1.994419e-05,1.984473e-05,1.979798e-05,1.965221e-05,1.950709e-05,1.946081e-05,1.936276e-05,1.927088e-05,1.921939e-05,1.908276e-05,1.907709e-05,1.893597e-05,1.889669e-05,1.879615e-05,1.871290e-05,1.865769e-05,1.853159e-05,1.852068e-05,1.838518e-05,1.835289e-05,1.825124e-05,1.817694e-05,1.811892e-05,1.800384e-05,1.798824e-05,1.785925e-05,1.783366e-05,1.773197e-05,1.766647e-05,1.760643e-05,1.750232e-05,1.748264e-05,1.736061e-05,1.734125e-05,1.724036e-05,1.718328e-05,1.712190e-05,1.702841e-05,1.700521e-05,1.689032e-05,1.687665e-05,1.677721e-05,1.672800e-05,1.666587e-05,1.658245e-05,1.655631e-05,1.644851e-05,1.643997e-05,1.634247e-05,1.630054e-05,1.623816e-05,1.616414e-05,1.613559e-05,1.603473e-05,1.603073e-05,1.593556e-05,1.590028e-05,1.583808e-05,1.577275e-05,1.574226e-05,1.564809e-05,1.552628e-05,1.540725e-05,1.529097e-05,1.517739e-05,1.506645e-05,1.495812e-05,1.485233e-05,1.474904e-05,1.464821e-05,1.454977e-05,1.445368e-05,1.435988e-05,1.426834e-05,1.417899e-05,1.409179e-05,1.400669e-05,1.392364e-05,1.384259e-05,1.376350e-05,1.368633e-05,1.361101e-05,1.353752e-05,1.346580e-05,1.339581e-05
0.000000e+00,2.341737e-12,1.184970e-11,1.306908e-10,6.353875e-10,1.306576e-09,6.148316e-09,6.500028e-09,2.218988e-08,2.989122e-08,5.999526e-08,1.006869e-07,1.385106e-07,2.697461e-07,2.847108e-07,5.332500e-07,6.124044e-07,9.227242e-07,1.216487e-06,1.490421e-06,2.162588e-06,2.267786e-06,3.277640e-06,3.508836e-06,4.533113e-06,5.284577e-06,6.037797e-06,7.490854e-06,7.786643e-06,9.767200e-06,1.010443e-05,1.196097e-05,1.308304e-05,1.434473e-05,1.637070e-05,1.689181e-05,1.957319e-05,1.990255e-05,2.235854e-05,2.360910e-05,2.521711e-05,2.741988e-05,2.811855e-05,3.103357e-05,3.126652e-05,3.393453e-05,3.508519e-05,3.679591e-05,3.881852e-05,3.959461e-05,4.231026e-05,4.241690e-05,4.492531e-05,4.583919e-05,4.742511e-05,4.905299e-05,4.979783e-05,5.203442e-05,5.412841e-05,5.476764e-05,5.607572e-05,5.724405e-05,5.787444e-05,5.946141e-05,5.952458e-05,6.102781e-05,6.142277e-05,6.238721e-05,6.313553e-05,6.360702e-05,6.461043e-05,6.469245e-05,6.564940e-05,6.586066e-05,6.648432e-05,6.690110e-05,6.720402e-05,6.774761e-05,6.781551e-05,6.832589e-05,6.841646e-05,6.874225e-05,6.892392e-05,6.907155e-05,6.928584e-05,6.932056e-05,6.949584e-05,6.951746e-05,6.960364e-05,6.963317e-05,6.964990e-05,6.964639e-05,6.964024e-05,6.957995e-05,6.956954e-05,6.947394e-05,6.941402e-05,6.932683e-05,6.919017e-05,6.914288e-05,6.892601e-05,6.890735e-05,6.867987e-05,6.857397e-05,6.840778e-05,6.819754e-05,6.811280e-05,6.779772e-05,6.778473e-05,6.746508e-05,6.734149e-05,6.711722e-05,6.687305e-05,6.675622e-05,6.638402e-05,6.600234e-05,6.587846e-05,6.561275e-05,6.535992e-05,6.521667e-05,6.483152e-05,6.481539e-05,6.441005e-05,6.429597e-05,6.400170e-05,6.375564e-05,6.359128e-05,6.321259e-05,6.317964e-05,6.276752e-05,6.266861e-05,6.235560e-05,6.212525e-05,6.194450e-05,6.158383e-05,6.153475e-05,6.112684e-05,6.104552e-05,6.072120e-05,6.051129e-05,6.031821e-05,5.998201e-05,5.991822e-05,5.952154e-05,5.945839e-05,5.912841e-05,5.894105e-05,5.873909e-05,5.843051e-05,5.835378e-05,5.797265e-05,5.792720e-05,5.759586e-05,5.743149e-05,5.722355e-05,5.694366e-05,5.685583e-05,5.649280e-05,5.646396e-05,5.613454e-05,5.599258e-05,5.578111e-05,5.552967e-05,5.543257e-05,5.508896e-05,5.507532e-05,5.475031e-05,5.462961e-05,5.441664e-05,5.419260e-05,5.408796e-05,5.376428e-05,5.334466e-05,5.293371e-05,5.253139e-05,5.213763e-05,5.175237e-05,5.137552e-05,5.100699e-05,5.064668e-05,5.029447e-05,4.995025e-05,4.961390e-05,4.928529e-05,4.896429e-05,4.865077e-05,4.834460e-05,4.804564e-05,4.775375e-05,4.746879e-05,4.719063e-05,4.691912e-05,4.665412e-05,4.639551e-05,4.614313e-05,4.589686e-05
0.000000e+00,8.248676e-11,3.531897e-10,2.799862e-09,1.026096e-08,1.819486e-08,5.964065e-08,6.216911e-08,1.523955e-07,1.883646e-07,3.066044e-07,4.372113e-07,5.425335e-07,8.470961e-07,8.780056e-07,1.329513e-06,1.456565e-06,1.908230e-06,2.288883e-06,2.615675e-06,3.338241e-06,3.443494e-06,4.377525e-06,4.575693e-06,5.402117e-06,5.965687e-06,6.502328e-06,7.474826e-06,7.664367e-06,8.875309e-06,9.072767e-06,1.012281e-05,1.073108e-05,1.139495e-05,1.242272e-05,1.268032e-05,1.396811e-05,1.412233e-05,1.524831e-05,1.580682e-05,1.651186e-05,1.745606e-05,1.775076e-05,1.895818e-05,1.905323e-05,2.012844e-05,2.058508e-05,2.125699e-05,2.204172e-05,2.234035e-05,2.337604e-05,2.341645e-05,2.436247e-05,2.470535e-05,2.529882e-05,2.590683e-05,2.618494e-05,2.702123e-05,2.780854e-05,2.805033e-05,2.854809e-05,2.899702e-05,2.924137e-05,2.986494e-05,2.989005e-05,3.049597e-05,3.065823e-05,3.106105e-05,3.138132e-05,3.158726e-05,3.203873e-05,3.207656e-05,3.253092e-05,3.263498e-05,3.295227e-05,3.317450e-05,3.334247e-05,3.366154e-05,3.370335e-05,3.403662e-05,3.410011e-05,3.434395e-05,3.449403e-05,3.462690e-05,3.484684e-05,3.488697e-05,3.512556e-05,3.516183e-05,3.534401e-05,3.544208e-05,3.554356e-05,3.569038e-05,3.572538e-05,3.589059e-05,3.590935e-05,3.604022e-05,3.610137e-05,3.617524e-05,3.626863e-05,3.629655e-05,3.640500e-05,3.641314e-05,3.650139e-05,3.653675e-05,3.658648e-05,3.664113e-05,3.666094e-05,3.672545e-05,3.672783e-05,3.678060e-05,3.679828e-05,3.682697e-05,3.685377e-05,3.686510e-05,3.689549e-05,3.691861e-05,3.692454e-05,3.693489e-05,3.694193e-05,3.694477e-05,3.694857e-05,3.694861e-05,3.694679e-05,3.694532e-05,3.693965e-05,3.693295e-05,3.692752e-05,3.691220e-05,3.691068e-05,3.688944e-05,3.688372e-05,3.686405e-05,3.684812e-05,3.683478e-05,3.680598e-05,3.680184e-05,3.676548e-05,3.675781e-05,3.672590e-05,3.670411e-05,3.668330e-05,3.664532e-05,3.663787e-05,3.658978e-05,3.658185e-05,3.653921e-05,3.651410e-05,3.648631e-05,3.644242e-05,3.643124e-05,3.637413e-05,3.636715e-05,3.631512e-05,3.628859e-05,3.625434e-05,3.620703e-05,3.619190e-05,3.612792e-05,3.612274e-05,3.606252e-05,3.603598e-05,3.599578e-05,3.594696e-05,3.592782e-05,3.585871e-05,3.585593e-05,3.578856e-05,3.576306e-05,3.571744e-05,3.566856e-05,3.564543e-05,3.557261e-05,3.547536e-05,3.537697e-05,3.527759e-05,3.517736e-05,3.507639e-05,3.497481e-05,3.487274e-05,3.477026e-05,3.466749e-05,3.456451e-05,3.446141e-05,3.435827e-05,3.425516e-05,3.415215e-05,3.404931e-05,3.394670e-05,3.384438e-05,3.374240e-05,3.364080e-05,3.353965e-05,3.343897e-05,3.333881e-05,3.323921e-05,3.314020e-05
0.000000e+00,8.937136e-10,2.393940e-09,9.688824e-09,2.369503e-08,3.545765e-08,8.374497e-08,8.635955e-08,1.699262e-07,2.001596e-07,2.933099e-07,3.893137e-07,4.633480e-07,6.664316e-07,6.863546e-07,9.675719e-07,1.044144e-06,1.310238e-06,1.529126e-06,1.714287e-06,2.116993e-06,2.174984e-06,2.682396e-06,2.788312e-06,3.222801e-06,3.511970e-06,3.781655e-06,4.255952e-06,4.346226e-06,4.906606e-06,4.995358e-06,5.455486e-06,5.713246e-06,5.987565e-06,6.398520e-06,6.499015e-06,6.987112e-06,7.044018e-06,7.449988e-06,7.645337e-06,7.886462e-06,8.200131e-06,8.295924e-06,8.678227e-06,8.707642e-06,9.033596e-06,9.168313e-06,9.362560e-06,9.583482e-06,9.665877e-06,9.944476e-06,9.955121e-06,1.019941e-05,1.028561e-05,1.043182e-05,1.057759e-05,1.064288e-05,1.083379e-05,1.100575e-05,1.105697e-05,1.115995e-05,1.124985e-05,1.129753e-05,1.141501e-05,1.141961e-05,1.152724e-05,1.155493e-05,1.162144e-05,1.167192e-05,1.170318e-05,1.176815e-05,1.177336e-05,1.183282e-05,1.184559e-05,1.188239e-05,1.190610e-05,1.192281e-05,1.195138e-05,1.195479e-05,1.197899e-05,1.198295e-05,1.199603e-05,1.200225e-05,1.200648e-05,1.201057e-05,1.201089e-05,1.200975e-05,1.200908e-05,1.200352e-05,1.199885e-05,1.199264e-05,1.198086e-05,1.197752e-05,1.195853e-05,1.195600e-05,1.193602e-05,1.192508e-05,1.191031e-05,1.188881e-05,1.188169e-05,1.185045e-05,1.184784e-05,1.181682e-05,1.180276e-05,1.178106e-05,1.175411e-05,1.174338e-05,1.170398e-05,1.170237e-05,1.166305e-05,1.164798e-05,1.162078e-05,1.159134e-05,1.157730e-05,1.153279e-05,1.148737e-05,1.147266e-05,1.144117e-05,1.141124e-05,1.139430e-05,1.134879e-05,1.134689e-05,1.129902e-05,1.128555e-05,1.125079e-05,1.122172e-05,1.120229e-05,1.115750e-05,1.115360e-05,1.110478e-05,1.109305e-05,1.105590e-05,1.102852e-05,1.100702e-05,1.096406e-05,1.095821e-05,1.090951e-05,1.089978e-05,1.086096e-05,1.083580e-05,1.081262e-05,1.077219e-05,1.076452e-05,1.071669e-05,1.070907e-05,1.066917e-05,1.064649e-05,1.062200e-05,1.058452e-05,1.057519e-05,1.052877e-05,1.052323e-05,1.048276e-05,1.046266e-05,1.043719e-05,1.040286e-05,1.039207e-05,1.034741e-05,1.034386e-05,1.030324e-05,1.028571e-05,1.025956e-05,1.022842e-05,1.021638e-05,1.017371e-05,1.017202e-05,1.013157e-05,1.011653e-05,1.008996e-05,1.006196e-05,1.004888e-05,1.000834e-05,9.955656e-06,9.903928e-06,9.853157e-06,9.803345e-06,9.754492e-06,9.706596e-06,9.659653e-06,9.613658e-06,9.568606e-06,9.524489e-06,9.481298e-06,9.439025e-06,9.397660e-06,9.357191e-06,9.317607e-06,9.278897e-06,9.241048e-06,9.204048e-06,9.167883e-06,9.132540e-06,9.098006e-06,9.064267e-06,9.031310e-06,8.999119e-06
0.000000e+00,2.809554e-10,1.091020e-09,7.298753e-09,2.370696e-08,3.980948e-08,1.170666e-07,1.215962e-07,2.780391e-07,3.389524e-07,5.372553e-07,7.554623e-07,9.318389e-07,1.446343e-06,1.498974e-06,2.275759e-06,2.496611e-06,3.286913e-06,3.956292e-06,4.531320e-06,5.798799e-06,5.982685e-06,7.604271e-06,7.945886e-06,9.361849e-06,1.032013e-05,1.122782e-05,1.286277e-05,1.318016e-05,1.520038e-05,1.552880e-05,1.727210e-05,1.828034e-05,1.938022e-05,2.108348e-05,2.151073e-05,2.365056e-05,2.390738e-05,2.578774e-05,2.672442e-05,2.791143e-05,2.951045e-05,3.001201e-05,3.208106e-05,3.224500e-05,3.411143e-05,3.491135e-05,3.609707e-05,3.749623e-05,3.803306e-05,3.991546e-05,3.998959e-05,4.174122e-05,4.238417e-05,4.350808e-05,4.467508e-05,4.521447e-05,4.685937e-05,4.844230e-05,4.893573e-05,4.996319e-05,5.090411e-05,5.142231e-05,5.276547e-05,5.282022e-05,5.415772e-05,5.452153e-05,5.543580e-05,5.617460e-05,5.665560e-05,5.772742e-05,5.781838e-05,5.892546e-05,5.918303e-05,5.997827e-05,6.054466e-05,6.097823e-05,6.181565e-05,6.192682e-05,6.282556e-05,6.299947e-05,6.367606e-05,6.409977e-05,6.447986e-05,6.512003e-05,6.523842e-05,6.595325e-05,6.606366e-05,6.662585e-05,6.693414e-05,6.725771e-05,6.773481e-05,6.785023e-05,6.840483e-05,6.846891e-05,6.892292e-05,6.913965e-05,6.940583e-05,6.975015e-05,6.985491e-05,7.027142e-05,7.030337e-05,7.065662e-05,7.080222e-05,7.101175e-05,7.124950e-05,7.133800e-05,7.163653e-05,7.164791e-05,7.190846e-05,7.200006e-05,7.215489e-05,7.230843e-05,7.237687e-05,7.257543e-05,7.275156e-05,7.280334e-05,7.290623e-05,7.299439e-05,7.304037e-05,7.315066e-05,7.315488e-05,7.325063e-05,7.327419e-05,7.332847e-05,7.336691e-05,7.338920e-05,7.343065e-05,7.343363e-05,7.346249e-05,7.346719e-05,7.347653e-05,7.347819e-05,7.347646e-05,7.346526e-05,7.346295e-05,7.343666e-05,7.342993e-05,7.339822e-05,7.337364e-05,7.334825e-05,7.329779e-05,7.328733e-05,7.321602e-05,7.320368e-05,7.313487e-05,7.309257e-05,7.304440e-05,7.296565e-05,7.294512e-05,7.283750e-05,7.282405e-05,7.272203e-05,7.266884e-05,7.259914e-05,7.250104e-05,7.246926e-05,7.233281e-05,7.232162e-05,7.219018e-05,7.213148e-05,7.204175e-05,7.193150e-05,7.188789e-05,7.172896e-05,7.172250e-05,7.156528e-05,7.150525e-05,7.139717e-05,7.128049e-05,7.122495e-05,7.104892e-05,7.081119e-05,7.056792e-05,7.031971e-05,7.006709e-05,6.981060e-05,6.955072e-05,6.928792e-05,6.902263e-05,6.875526e-05,6.848620e-05,6.821580e-05,6.794441e-05,6.767235e-05,6.739991e-05,6.712737e-05,6.685499e-05,6.658301e-05,6.631167e-05,6.604117e-05,6.577171e-05,6.550347e-05,6.523663e-05,6.497134e-05,6.470774e-05
0.000000e+00,6.346532e-11,2.820671e-10,2.416003e-09,9.549515e-09,1.772675e-08,6.684010e-08,7.012643e-08,2.051185e-07,2.672369e-07,4.961939e-07,7.779355e-07,1.016018e-06,1.711892e-06,1.781428e-06,2.752327e-06,3.009566e-06,3.872838e-06,4.548308e-06,5.098176e-06,6.239529e-06,6.398901e-06,7.755945e-06,8.032829e-06,9.155237e-06,9.895453e-06,1.058445e-05,1.179935e-05,1.203161e-05,1.348479e-05,1.371707e-05,1.493236e-05,1.562196e-05,1.636339e-05,1.748962e-05,1.776799e-05,1.913757e-05,1.929921e-05,2.046500e-05,2.103419e-05,2.174460e-05,2.268244e-05,2.297212e-05,2.414460e-05,2.423596e-05,2.526022e-05,2.569032e-05,2.631812e-05,2.704402e-05,2.731826e-05,2.826124e-05,2.829778e-05,2.914816e-05,2.945401e-05,2.998052e-05,3.051625e-05,3.076008e-05,3.148879e-05,3.216874e-05,3.237638e-05,3.280208e-05,3.318396e-05,3.339098e-05,3.391653e-05,3.393761e-05,3.444410e-05,3.457901e-05,3.491254e-05,3.517618e-05,3.534494e-05,3.571261e-05,3.574327e-05,3.610938e-05,3.619266e-05,3.644507e-05,3.662041e-05,3.675205e-05,3.699974e-05,3.703195e-05,3.728630e-05,3.733424e-05,3.751659e-05,3.762729e-05,3.772420e-05,3.788203e-05,3.791045e-05,3.807659e-05,3.810138e-05,3.822379e-05,3.828805e-05,3.835317e-05,3.844455e-05,3.846578e-05,3.856262e-05,3.857322e-05,3.864462e-05,3.867623e-05,3.871267e-05,3.875558e-05,3.876761e-05,3.881022e-05,3.881312e-05,3.884125e-05,3.885057e-05,3.886139e-05,3.886953e-05,3.887131e-05,3.887164e-05,3.887146e-05,3.886296e-05,3.885774e-05,3.884582e-05,3.882961e-05,3.882076e-05,3.878826e-05,3.874879e-05,3.873477e-05,3.870280e-05,3.867013e-05,3.865069e-05,3.859527e-05,3.859285e-05,3.852967e-05,3.851106e-05,3.846148e-05,3.841830e-05,3.838861e-05,3.831771e-05,3.831138e-05,3.823008e-05,3.821000e-05,3.814499e-05,3.809578e-05,3.805636e-05,3.797565e-05,3.796446e-05,3.786950e-05,3.785016e-05,3.777171e-05,3.771982e-05,3.767131e-05,3.758508e-05,3.756848e-05,3.746341e-05,3.744640e-05,3.735628e-05,3.730418e-05,3.724726e-05,3.715879e-05,3.713651e-05,3.702416e-05,3.701058e-05,3.691038e-05,3.685989e-05,3.679528e-05,3.670700e-05,3.667899e-05,3.656164e-05,3.655220e-05,3.644333e-05,3.639576e-05,3.632417e-05,3.623791e-05,3.620427e-05,3.608372e-05,3.607888e-05,3.596260e-05,3.591888e-05,3.584101e-05,3.575810e-05,3.571903e-05,3.559673e-05,3.543493e-05,3.527285e-05,3.511065e-05,3.494846e-05,3.478639e-05,3.462458e-05,3.446312e-05,3.430211e-05,3.414165e-05,3.398182e-05,3.382270e-05,3.366436e-05,3.350687e-05,3.335029e-05,3.319469e-05,3.304010e-05,3.288658e-05,3.273418e-05,3.258292e-05,3.243286e-05,3.228402e-05,3.213644e-05,3.199013e-05,3.184514e-05
0.000000e+00,9.197902e-09,2.131137e-08,7.423599e-08,1.701649e-07,2.492313e-07,5.722439e-07,5.898037e-07,1.159194e-06,1.369474e-06,2.030735e-06,2.728272e-06,3.272002e-06,4.759883e-06,4.904250e-06,6.892787e-06,7.417318e-06,9.187366e-06,1.059026e-05,1.174685e-05,1.419240e-05,1.453872e-05,1.753369e-05,1.815451e-05,2.070257e-05,2.240911e-05,2.401506e-05,2.688563e-05,2.743984e-05,3.094533e-05,3.151161e-05,3.450052e-05,3.621590e-05,3.807583e-05,4.093205e-05,4.164384e-05,4.517979e-05,4.560089e-05,4.866193e-05,5.017212e-05,5.207163e-05,5.460488e-05,5.539334e-05,5.861442e-05,5.886745e-05,6.172497e-05,6.293653e-05,6.471767e-05,6.679646e-05,6.758735e-05,7.033072e-05,7.043780e-05,7.294607e-05,7.385616e-05,7.543309e-05,7.705140e-05,7.779269e-05,8.002631e-05,8.213618e-05,8.278568e-05,8.412525e-05,8.533634e-05,8.599676e-05,8.768614e-05,8.775430e-05,8.940170e-05,8.984377e-05,9.094292e-05,9.181835e-05,9.238197e-05,9.361910e-05,9.372285e-05,9.496962e-05,9.525529e-05,9.612629e-05,9.673615e-05,9.719682e-05,9.807070e-05,9.818507e-05,9.909480e-05,9.926765e-05,9.992969e-05,1.003354e-04,1.006933e-04,1.012821e-04,1.013890e-04,1.020202e-04,1.021154e-04,1.025901e-04,1.028428e-04,1.031018e-04,1.034712e-04,1.035582e-04,1.039622e-04,1.040073e-04,1.043165e-04,1.044574e-04,1.046238e-04,1.048274e-04,1.048865e-04,1.051071e-04,1.051230e-04,1.052879e-04,1.053495e-04,1.054310e-04,1.055119e-04,1.055386e-04,1.056127e-04,1.056149e-04,1.056551e-04,1.056630e-04,1.056677e-04,1.056602e-04,1.056523e-04,1.056105e-04,1.055439e-04,1.055176e-04,1.054539e-04,1.053848e-04,1.053422e-04,1.052155e-04,1.052099e-04,1.050584e-04,1.050127e-04,1.048889e-04,1.047791e-04,1.047027e-04,1.045174e-04,1.045007e-04,1.042842e-04,1.042302e-04,1.040541e-04,1.039196e-04,1.038113e-04,1.035880e-04,1.035568e-04,1.032915e-04,1.032372e-04,1.030161e-04,1.028692e-04,1.027315e-04,1.024857e-04,1.024383e-04,1.021373e-04,1.020885e-04,1.018291e-04,1.016789e-04,1.015145e-04,1.012584e-04,1.011939e-04,1.008679e-04,1.008284e-04,1.005371e-04,1.003901e-04,1.002020e-04,9.994467e-05,9.986299e-05,9.952063e-05,9.949310e-05,9.917530e-05,9.903643e-05,9.882741e-05,9.857556e-05,9.847735e-05,9.812546e-05,9.811136e-05,9.777211e-05,9.764460e-05,9.741760e-05,9.717602e-05,9.706223e-05,9.670630e-05,9.623606e-05,9.576588e-05,9.529628e-05,9.482776e-05,9.436076e-05,9.389571e-05,9.343297e-05,9.297290e-05,9.251581e-05,9.206199e-05,9.161170e-05,9.116518e-05,9.072265e-05,9.028430e-05,8.985030e-05,8.942082e-05,8.899598e-05,8.857592e-05,8.816074e-05,8.775053e-05,8.734537e-05,8.694534e-05,8.655049e-05,8.616087e-05
0.000000e+00,9.896615e-12,4.824729e-11,4.923900e-10,2.228487e-09,4.403386e-09,1.864056e-08,1.962021e-08,5.996085e-08,7.828655e-08,1.449173e-07,2.272535e-07,2.988121e-07,5.253936e-07,5.497471e-07,9.279596e-07,1.041006e-06,1.462836e-06,1.840297e-06,2.179085e-06,2.973260e-06,3.093888e-06,4.216060e-06,4.465601e-06,5.546754e-06,6.319618e-06,7.080797e-06,8.519237e-06,8.808041e-06,1.071446e-05,1.103501e-05,1.278302e-05,1.382792e-05,1.499438e-05,1.685217e-05,1.732748e-05,1.976016e-05,2.005770e-05,2.226975e-05,2.339249e-05,2.483361e-05,2.680483e-05,2.742968e-05,3.003692e-05,3.024539e-05,3.263573e-05,3.366882e-05,3.520821e-05,3.703505e-05,3.773840e-05,4.021235e-05,4.030996e-05,4.261819e-05,4.346566e-05,4.494607e-05,4.648037e-05,4.718806e-05,4.933805e-05,5.139157e-05,5.202779e-05,5.334560e-05,5.454314e-05,5.519844e-05,5.688141e-05,5.694950e-05,5.859912e-05,5.904297e-05,6.014845e-05,6.103064e-05,6.159930e-05,6.284910e-05,6.295400e-05,6.421529e-05,6.450443e-05,6.538621e-05,6.600367e-05,6.647005e-05,6.735453e-05,6.747025e-05,6.839035e-05,6.856507e-05,6.923391e-05,6.964352e-05,7.000454e-05,7.059811e-05,7.070580e-05,7.134118e-05,7.143696e-05,7.191415e-05,7.216799e-05,7.242805e-05,7.279882e-05,7.288613e-05,7.329154e-05,7.333679e-05,7.364731e-05,7.378887e-05,7.395635e-05,7.416169e-05,7.422146e-05,7.444531e-05,7.446151e-05,7.463046e-05,7.469423e-05,7.477934e-05,7.486540e-05,7.489429e-05,7.497751e-05,7.498021e-05,7.503110e-05,7.504353e-05,7.505706e-05,7.505991e-05,7.505729e-05,7.503358e-05,7.498762e-05,7.496848e-05,7.492104e-05,7.486831e-05,7.483535e-05,7.473645e-05,7.473199e-05,7.461233e-05,7.457608e-05,7.447765e-05,7.439014e-05,7.432916e-05,7.418134e-05,7.416800e-05,7.399526e-05,7.395219e-05,7.381194e-05,7.370503e-05,7.361901e-05,7.344199e-05,7.341736e-05,7.320784e-05,7.316506e-05,7.299124e-05,7.287606e-05,7.276831e-05,7.257667e-05,7.253975e-05,7.230621e-05,7.226843e-05,7.206832e-05,7.195276e-05,7.182665e-05,7.163096e-05,7.158174e-05,7.133410e-05,7.130423e-05,7.108420e-05,7.097364e-05,7.083248e-05,7.064021e-05,7.057935e-05,7.032520e-05,7.030483e-05,7.007038e-05,6.996834e-05,6.981523e-05,6.963149e-05,6.956005e-05,6.930514e-05,6.929496e-05,6.905076e-05,6.895936e-05,6.879715e-05,6.862526e-05,6.854455e-05,6.829317e-05,6.796352e-05,6.763674e-05,6.731318e-05,6.699317e-05,6.667699e-05,6.636488e-05,6.605708e-05,6.575376e-05,6.545510e-05,6.516123e-05,6.487227e-05,6.458832e-05,6.430945e-05,6.403573e-05,6.376720e-05,6.350389e-05,6.324582e-05,6.299300e-05,6.274542e-05,6.250307e-05,6.226593e-05,6.203396e-05,6.180712e-05,6.158538e-05
0.000000e+00,3.038841e-09,6.986325e-09,2.410390e-08,5.488312e-08,8.008304e-08,1.817647e-07,1.872401e-07,3.623374e-07,4.259790e-07,6.236067e-07,8.298660e-07,9.905526e-07,1.436191e-06,1.480107e-06,2.097930e-06,2.264423e-06,2.833854e-06,3.290767e-06,3.669603e-06,4.473698e-06,4.587721e-06,5.573847e-06,5.778135e-06,6.615763e-06,7.175876e-06,7.702299e-06,8.641660e-06,8.822791e-06,9.966939e-06,1.015153e-05,1.112488e-05,1.168285e-05,1.228737e-05,1.321488e-05,1.344590e-05,1.459286e-05,1.472939e-05,1.572161e-05,1.621101e-05,1.682651e-05,1.764736e-05,1.790287e-05,1.894694e-05,1.902898e-05,1.995583e-05,2.034903e-05,2.092739e-05,2.160296e-05,2.186017e-05,2.275328e-05,2.278817e-05,2.360633e-05,2.390361e-05,2.441931e-05,2.494940e-05,2.519255e-05,2.592664e-05,2.662240e-05,2.683710e-05,2.728078e-05,2.768303e-05,2.790287e-05,2.846703e-05,2.848985e-05,2.904293e-05,2.919189e-05,2.956338e-05,2.986052e-05,3.005248e-05,3.047586e-05,3.051150e-05,3.094174e-05,3.104085e-05,3.134445e-05,3.155839e-05,3.172084e-05,3.203127e-05,3.207213e-05,3.239948e-05,3.246218e-05,3.270401e-05,3.285371e-05,3.298681e-05,3.320835e-05,3.324895e-05,3.349142e-05,3.352846e-05,3.371520e-05,3.381626e-05,3.392123e-05,3.407388e-05,3.411040e-05,3.428357e-05,3.430331e-05,3.444154e-05,3.450645e-05,3.458512e-05,3.468506e-05,3.471504e-05,3.483202e-05,3.484084e-05,3.493674e-05,3.497534e-05,3.502985e-05,3.509005e-05,3.511197e-05,3.518369e-05,3.518635e-05,3.524558e-05,3.526556e-05,3.529817e-05,3.532888e-05,3.534197e-05,3.537747e-05,3.540513e-05,3.541240e-05,3.542540e-05,3.543468e-05,3.543868e-05,3.544524e-05,3.544538e-05,3.544588e-05,3.544496e-05,3.544055e-05,3.543468e-05,3.542971e-05,3.541516e-05,3.541370e-05,3.539283e-05,3.538713e-05,3.536739e-05,3.535126e-05,3.533767e-05,3.530818e-05,3.530393e-05,3.526641e-05,3.525848e-05,3.522537e-05,3.520271e-05,3.518103e-05,3.514140e-05,3.513361e-05,3.508331e-05,3.507501e-05,3.503033e-05,3.500400e-05,3.497485e-05,3.492879e-05,3.491705e-05,3.485710e-05,3.484977e-05,3.479515e-05,3.476730e-05,3.473136e-05,3.468174e-05,3.466588e-05,3.459882e-05,3.459340e-05,3.453034e-05,3.450257e-05,3.446054e-05,3.440953e-05,3.438954e-05,3.431745e-05,3.431455e-05,3.424439e-05,3.421786e-05,3.417043e-05,3.411969e-05,3.409569e-05,3.402024e-05,3.391972e-05,3.381830e-05,3.371615e-05,3.361342e-05,3.351028e-05,3.340684e-05,3.330324e-05,3.319959e-05,3.309600e-05,3.299257e-05,3.288939e-05,3.278655e-05,3.268413e-05,3.258220e-05,3.248082e-05,3.238006e-05,3.227998e-05,3.218062e-05,3.208204e-05,3.198428e-05,3.188737e-05,3.179136e-05,3.169627e-05,3.160214e-05
0.000000e+00,4.932004e-09,1.356649e-08,5.672657e-08,1.413851e-07,2.133815e-07,5.138144e-07,5.302517e-07,1.062403e-06,1.257693e-06,1.866976e-06,2.505254e-06,3.003559e-06,4.391910e-06,4.529454e-06,6.485555e-06,7.020465e-06,8.875848e-06,1.039060e-05,1.166055e-05,1.438599e-05,1.477484e-05,1.815230e-05,1.885410e-05,2.173488e-05,2.366213e-05,2.547291e-05,2.870097e-05,2.932280e-05,3.324526e-05,3.387715e-05,3.720458e-05,3.910853e-05,4.116846e-05,4.432338e-05,4.510811e-05,4.899831e-05,4.946075e-05,5.281747e-05,5.447061e-05,5.654751e-05,5.931355e-05,6.017369e-05,6.368438e-05,6.395997e-05,6.707065e-05,6.838877e-05,7.032595e-05,7.258620e-05,7.344598e-05,7.642802e-05,7.654441e-05,7.927084e-05,8.026015e-05,8.197449e-05,8.373395e-05,8.453996e-05,8.696905e-05,8.926420e-05,8.997083e-05,9.142833e-05,9.274613e-05,9.346474e-05,9.530287e-05,9.537702e-05,9.716897e-05,9.764968e-05,9.884451e-05,9.979561e-05,1.004076e-04,1.017499e-04,1.018624e-04,1.032129e-04,1.035219e-04,1.044630e-04,1.051209e-04,1.056170e-04,1.065559e-04,1.066786e-04,1.076517e-04,1.078361e-04,1.085403e-04,1.089701e-04,1.093478e-04,1.099663e-04,1.100781e-04,1.107345e-04,1.108329e-04,1.113206e-04,1.115778e-04,1.118395e-04,1.122086e-04,1.122947e-04,1.126890e-04,1.127324e-04,1.130256e-04,1.131561e-04,1.133073e-04,1.134865e-04,1.135370e-04,1.137173e-04,1.137296e-04,1.138508e-04,1.138916e-04,1.139400e-04,1.139781e-04,1.139873e-04,1.139951e-04,1.139946e-04,1.139655e-04,1.139461e-04,1.139006e-04,1.138374e-04,1.138026e-04,1.136733e-04,1.135146e-04,1.134579e-04,1.133284e-04,1.131955e-04,1.131162e-04,1.128898e-04,1.128799e-04,1.126209e-04,1.125445e-04,1.123407e-04,1.121631e-04,1.120408e-04,1.117487e-04,1.117226e-04,1.113873e-04,1.113044e-04,1.110361e-04,1.108330e-04,1.106704e-04,1.103373e-04,1.102911e-04,1.098995e-04,1.098197e-04,1.094964e-04,1.092826e-04,1.090829e-04,1.087281e-04,1.086599e-04,1.082282e-04,1.081584e-04,1.077888e-04,1.075754e-04,1.073424e-04,1.069808e-04,1.068898e-04,1.064316e-04,1.063763e-04,1.059686e-04,1.057635e-04,1.055014e-04,1.051439e-04,1.050306e-04,1.045568e-04,1.045188e-04,1.040805e-04,1.038894e-04,1.036022e-04,1.032569e-04,1.031224e-04,1.026416e-04,1.026224e-04,1.021602e-04,1.019868e-04,1.016786e-04,1.013512e-04,1.011972e-04,1.007163e-04,1.000830e-04,9.945190e-05,9.882372e-05,9.819905e-05,9.757845e-05,9.696242e-05,9.635141e-05,9.574584e-05,9.514607e-05,9.455245e-05,9.396528e-05,9.338482e-05,9.281130e-05,9.224494e-05,9.168592e-05,9.113439e-05,9.059049e-05,9.005433e-05,8.952600e-05,8.900557e-05,8.849310e-05,8.798863e-05,8.749219e-05,8.700380e-05
0.000000e+00,1.502847e-09,3.501233e-09,1.227609e-08,2.825072e-08,4.145675e-08,9.567001e-08,9.862780e-08,1.950853e-07,2.309801e-07,3.449261e-07,4.671928e-07,5.642244e-07,8.379938e-07,8.651700e-07,1.248188e-06,1.351336e-06,1.703564e-06,1.985815e-06,2.219827e-06,2.717268e-06,2.787943e-06,3.401266e-06,3.528877e-06,4.054509e-06,4.408393e-06,4.742937e-06,5.345018e-06,5.461914e-06,6.206703e-06,6.327941e-06,6.972429e-06,7.345950e-06,7.754100e-06,8.387544e-06,8.546699e-06,9.345278e-06,9.441280e-06,1.014506e-05,1.049617e-05,1.094151e-05,1.154198e-05,1.173042e-05,1.250799e-05,1.256960e-05,1.327084e-05,1.357118e-05,1.401602e-05,1.454019e-05,1.474102e-05,1.544375e-05,1.547137e-05,1.612252e-05,1.636075e-05,1.677601e-05,1.720543e-05,1.740325e-05,1.800356e-05,1.857654e-05,1.875409e-05,1.912204e-05,1.945675e-05,1.964011e-05,2.011185e-05,2.013096e-05,2.059492e-05,2.072007e-05,2.103246e-05,2.128254e-05,2.144416e-05,2.180065e-05,2.183066e-05,2.219267e-05,2.227599e-05,2.253095e-05,2.271030e-05,2.284627e-05,2.310542e-05,2.313946e-05,2.341131e-05,2.346320e-05,2.366267e-05,2.378554e-05,2.389434e-05,2.407433e-05,2.410715e-05,2.430190e-05,2.433143e-05,2.447938e-05,2.455866e-05,2.464036e-05,2.475778e-05,2.478561e-05,2.491584e-05,2.493050e-05,2.503179e-05,2.507846e-05,2.513414e-05,2.520324e-05,2.522355e-05,2.530069e-05,2.530635e-05,2.536616e-05,2.538921e-05,2.542056e-05,2.545321e-05,2.546449e-05,2.549848e-05,2.549964e-05,2.552308e-05,2.552973e-05,2.553879e-05,2.554465e-05,2.554611e-05,2.554551e-05,2.553744e-05,2.553335e-05,2.552232e-05,2.550914e-05,2.550058e-05,2.547383e-05,2.547260e-05,2.543876e-05,2.542829e-05,2.539943e-05,2.537334e-05,2.535494e-05,2.530975e-05,2.530563e-05,2.525181e-05,2.523825e-05,2.519376e-05,2.515953e-05,2.513179e-05,2.507422e-05,2.506616e-05,2.499713e-05,2.498294e-05,2.492495e-05,2.488624e-05,2.484984e-05,2.478465e-05,2.477203e-05,2.469173e-05,2.467867e-05,2.460915e-05,2.456875e-05,2.452447e-05,2.445534e-05,2.443787e-05,2.434953e-05,2.433882e-05,2.425962e-05,2.421959e-05,2.416827e-05,2.409799e-05,2.407565e-05,2.398189e-05,2.397434e-05,2.388712e-05,2.384896e-05,2.379147e-05,2.372212e-05,2.369506e-05,2.359799e-05,2.359409e-05,2.350037e-05,2.346512e-05,2.340231e-05,2.333542e-05,2.330390e-05,2.320522e-05,2.307469e-05,2.294404e-05,2.281341e-05,2.268296e-05,2.255284e-05,2.242318e-05,2.229408e-05,2.216567e-05,2.203804e-05,2.191128e-05,2.178548e-05,2.166070e-05,2.153703e-05,2.141451e-05,2.129321e-05,2.117317e-05,2.105444e-05,2.093706e-05,2.082106e-05,2.070646e-05,2.059330e-05,2.048160e-05,2.037138e-05,2.026264e-05
0.000000e+00,1.431959e-12,7.185043e-12,7.782849e-11,3.718846e-10,7.571182e-10,3.464912e-09,3.658716e-09,1.210519e-08,1.615743e-08,3.165104e-08,5.203032e-08,7.060030e-08,1.334459e-07,1.405103e-07,2.563469e-07,2.928963e-07,4.355760e-07,5.702984e-07,6.958707e-07,1.004035e-06,1.052268e-06,1.514986e-06,1.620782e-06,2.088458e-06,2.430224e-06,2.771431e-06,3.425371e-06,3.557754e-06,4.437454e-06,4.586053e-06,5.397861e-06,5.883355e-06,6.424644e-06,7.283701e-06,7.502672e-06,8.616718e-06,8.752115e-06,9.752003e-06,1.025463e-05,1.089459e-05,1.175993e-05,1.203170e-05,1.315186e-05,1.324043e-05,1.424506e-05,1.467284e-05,1.530278e-05,1.603837e-05,1.631800e-05,1.728512e-05,1.732274e-05,1.819992e-05,1.851584e-05,1.905945e-05,1.961138e-05,1.986188e-05,2.060640e-05,2.129306e-05,2.150068e-05,2.192266e-05,2.229628e-05,2.249660e-05,2.299697e-05,2.301677e-05,2.348542e-05,2.360776e-05,2.390510e-05,2.413453e-05,2.427853e-05,2.458365e-05,2.460852e-05,2.489796e-05,2.496171e-05,2.514972e-05,2.527529e-05,2.536659e-05,2.553076e-05,2.555132e-05,2.570652e-05,2.573424e-05,2.583469e-05,2.589144e-05,2.593818e-05,2.600766e-05,2.601920e-05,2.607980e-05,2.608773e-05,2.612189e-05,2.613604e-05,2.614724e-05,2.615655e-05,2.615746e-05,2.615404e-05,2.615278e-05,2.613835e-05,2.612787e-05,2.611161e-05,2.608460e-05,2.607495e-05,2.602941e-05,2.602541e-05,2.597591e-05,2.595247e-05,2.591529e-05,2.586767e-05,2.584832e-05,2.577569e-05,2.577267e-05,2.569802e-05,2.566893e-05,2.561588e-05,2.555773e-05,2.552978e-05,2.544019e-05,2.534752e-05,2.531728e-05,2.525216e-05,2.518988e-05,2.515445e-05,2.505874e-05,2.505471e-05,2.495321e-05,2.492451e-05,2.485022e-05,2.478780e-05,2.474597e-05,2.464912e-05,2.464066e-05,2.453451e-05,2.450893e-05,2.442768e-05,2.436762e-05,2.432033e-05,2.422556e-05,2.421262e-05,2.410468e-05,2.408307e-05,2.399662e-05,2.394042e-05,2.388857e-05,2.379788e-05,2.378062e-05,2.367287e-05,2.365565e-05,2.356540e-05,2.351395e-05,2.345830e-05,2.337293e-05,2.335164e-05,2.324548e-05,2.323277e-05,2.313988e-05,2.309361e-05,2.303490e-05,2.295556e-05,2.293059e-05,2.282699e-05,2.281874e-05,2.272415e-05,2.268323e-05,2.262210e-05,2.254914e-05,2.252088e-05,2.242052e-05,2.241653e-05,2.232105e-05,2.228546e-05,2.222249e-05,2.215600e-05,2.212487e-05,2.202820e-05,2.190209e-05,2.177771e-05,2.165510e-05,2.153428e-05,2.141526e-05,2.129807e-05,2.118271e-05,2.106920e-05,2.095754e-05,2.084773e-05,2.073977e-05,2.063365e-05,2.052937e-05,2.042693e-05,2.032631e-05,2.022750e-05,2.013049e-05,2.003526e-05,1.994180e-05,1.985009e-05,1.976011e-05,1.967185e-05,1.958528e-05,1.950039e-05
0.000000e+00,9.956262e-10,2.790172e-09,1.185473e-08,2.962085e-08,4.465097e-08,1.066052e-07,1.099626e-07,2.171538e-07,2.558494e-07,3.747579e-07,4.968588e-07,5.907603e-07,8.475306e-07,8.726755e-07,1.227236e-06,1.323750e-06,1.659390e-06,1.935979e-06,2.170393e-06,2.681781e-06,2.755614e-06,3.404061e-06,3.540052e-06,4.100820e-06,4.477093e-06,4.830604e-06,5.459217e-06,5.579937e-06,6.337656e-06,6.459034e-06,7.094605e-06,7.455390e-06,7.843200e-06,8.431764e-06,8.577100e-06,9.291013e-06,9.375122e-06,9.980572e-06,1.027533e-05,1.064227e-05,1.112483e-05,1.127339e-05,1.187196e-05,1.191840e-05,1.243667e-05,1.265290e-05,1.296681e-05,1.332698e-05,1.346219e-05,1.392307e-05,1.394080e-05,1.435006e-05,1.449566e-05,1.474409e-05,1.499378e-05,1.510630e-05,1.543799e-05,1.574061e-05,1.583155e-05,1.601566e-05,1.617794e-05,1.626469e-05,1.648071e-05,1.648924e-05,1.669086e-05,1.674340e-05,1.687104e-05,1.696947e-05,1.703124e-05,1.716218e-05,1.717286e-05,1.729723e-05,1.732465e-05,1.740561e-05,1.745976e-05,1.749919e-05,1.757019e-05,1.757909e-05,1.764637e-05,1.765840e-05,1.770200e-05,1.772662e-05,1.774689e-05,1.777693e-05,1.778190e-05,1.780781e-05,1.781116e-05,1.782536e-05,1.783101e-05,1.783522e-05,1.783801e-05,1.783803e-05,1.783436e-05,1.783352e-05,1.782476e-05,1.781878e-05,1.780971e-05,1.779492e-05,1.778969e-05,1.776510e-05,1.776295e-05,1.773635e-05,1.772376e-05,1.770379e-05,1.767819e-05,1.766777e-05,1.762859e-05,1.762696e-05,1.758653e-05,1.757074e-05,1.754186e-05,1.751012e-05,1.749483e-05,1.744565e-05,1.739455e-05,1.737782e-05,1.734171e-05,1.730706e-05,1.728731e-05,1.723377e-05,1.723152e-05,1.717448e-05,1.715831e-05,1.711635e-05,1.708100e-05,1.705726e-05,1.700214e-05,1.699732e-05,1.693665e-05,1.692199e-05,1.687535e-05,1.684079e-05,1.681353e-05,1.675876e-05,1.675126e-05,1.668864e-05,1.667608e-05,1.662574e-05,1.659295e-05,1.656264e-05,1.650952e-05,1.649939e-05,1.643606e-05,1.642593e-05,1.637271e-05,1.634231e-05,1.630940e-05,1.625880e-05,1.624616e-05,1.618304e-05,1.617548e-05,1.612009e-05,1.609246e-05,1.605735e-05,1.600982e-05,1.599485e-05,1.593262e-05,1.592765e-05,1.587070e-05,1.584602e-05,1.580911e-05,1.576498e-05,1.574787e-05,1.568702e-05,1.568460e-05,1.562658e-05,1.560492e-05,1.556655e-05,1.552599e-05,1.550697e-05,1.544785e-05,1.537054e-05,1.529409e-05,1.521853e-05,1.514387e-05,1.507015e-05,1.499737e-05,1.492556e-05,1.485472e-05,1.478487e-05,1.471601e-05,1.464816e-05,1.458131e-05,1.451547e-05,1.445063e-05,1.438681e-05,1.432399e-05,1.426218e-05,1.420138e-05,1.414157e-05,1.408275e-05,1.402492e-05,1.396806e-05,1.391218e-05,1.385726e-05
0.000000e+00,8.110009e-11,3.499650e-10,2.818046e-09,1.047413e-08,1.871966e-08,6.270830e-08,6.542876e-08,1.645168e-07,2.049466e-07,3.409354e-07,4.958660e-07,6.238052e-07,1.004798e-06,1.044135e-06,1.625815e-06,1.790666e-06,2.376769e-06,2.869206e-06,3.290625e-06,4.219817e-06,4.355087e-06,5.558086e-06,5.814395e-06,6.889595e-06,7.629909e-06,8.341092e-06,9.647164e-06,9.904485e-06,1.157129e-05,1.184696e-05,1.333216e-05,1.420780e-05,1.517677e-05,1.670520e-05,1.709384e-05,1.907130e-05,1.931206e-05,2.109658e-05,2.199955e-05,2.315686e-05,2.473820e-05,2.523935e-05,2.733163e-05,2.749907e-05,2.942177e-05,3.025469e-05,3.149859e-05,3.297985e-05,3.355181e-05,3.557212e-05,3.565213e-05,3.755125e-05,3.825224e-05,3.948200e-05,4.076412e-05,4.135826e-05,4.317490e-05,4.492782e-05,4.547474e-05,4.661380e-05,4.765657e-05,4.823047e-05,4.971576e-05,4.977622e-05,5.125010e-05,5.164984e-05,5.265176e-05,5.345815e-05,5.398138e-05,5.514151e-05,5.523956e-05,5.642727e-05,5.670198e-05,5.754581e-05,5.814254e-05,5.859671e-05,5.946693e-05,5.958171e-05,6.050272e-05,6.067942e-05,6.136176e-05,6.178466e-05,6.216092e-05,6.278754e-05,6.290238e-05,6.358834e-05,6.369308e-05,6.422099e-05,6.450637e-05,6.480254e-05,6.523246e-05,6.533518e-05,6.582107e-05,6.587633e-05,6.626231e-05,6.644285e-05,6.666098e-05,6.693673e-05,6.701908e-05,6.733858e-05,6.736253e-05,6.762137e-05,6.772463e-05,6.786929e-05,6.802719e-05,6.808411e-05,6.826753e-05,6.827423e-05,6.842119e-05,6.846954e-05,6.854669e-05,6.861671e-05,6.864553e-05,6.871916e-05,6.876899e-05,6.878012e-05,6.879633e-05,6.880262e-05,6.880247e-05,6.878954e-05,6.878862e-05,6.875595e-05,6.874358e-05,6.870557e-05,6.866728e-05,6.863854e-05,6.856304e-05,6.855587e-05,6.845853e-05,6.843309e-05,6.834744e-05,6.827955e-05,6.822347e-05,6.810438e-05,6.808745e-05,6.794018e-05,6.790944e-05,6.778241e-05,6.769647e-05,6.761487e-05,6.746707e-05,6.743822e-05,6.725313e-05,6.722278e-05,6.706021e-05,6.696500e-05,6.686004e-05,6.669506e-05,6.665318e-05,6.644016e-05,6.641420e-05,6.622147e-05,6.612358e-05,6.599760e-05,6.582426e-05,6.576899e-05,6.553607e-05,6.551726e-05,6.529924e-05,6.520350e-05,6.505889e-05,6.488386e-05,6.481538e-05,6.456906e-05,6.455915e-05,6.432024e-05,6.423011e-05,6.406924e-05,6.389746e-05,6.381634e-05,6.356182e-05,6.322381e-05,6.288399e-05,6.254287e-05,6.220093e-05,6.185860e-05,6.151631e-05,6.117441e-05,6.083327e-05,6.049319e-05,6.015447e-05,5.981738e-05,5.948216e-05,5.914904e-05,5.881822e-05,5.848989e-05,5.816421e-05,5.784133e-05,5.752140e-05,5.720454e-05,5.689085e-05,5.658044e-05,5.627339e-05,5.596978e-05,5.566967e-05
0.000000e+00,2.904062e-12,1.433695e-11,1.502282e-10,6.968691e-10,1.396234e-09,6.137026e-09,6.469863e-09,2.059766e-08,2.721287e-08,5.196029e-08,8.362307e-08,1.118286e-07,2.038277e-07,2.138885e-07,3.726573e-07,4.207574e-07,6.018497e-07,7.654870e-07,9.133803e-07,1.263435e-06,1.317003e-06,1.820313e-06,1.933460e-06,2.428860e-06,2.788174e-06,3.146277e-06,3.834406e-06,3.974357e-06,4.913117e-06,5.073499e-06,5.960856e-06,6.501561e-06,7.114242e-06,8.109810e-06,8.368433e-06,9.717245e-06,9.885123e-06,1.115335e-05,1.181080e-05,1.266853e-05,1.386751e-05,1.425391e-05,1.590018e-05,1.603423e-05,1.759791e-05,1.828929e-05,1.933767e-05,2.061117e-05,2.111031e-05,2.290703e-05,2.297928e-05,2.471956e-05,2.537444e-05,2.654022e-05,2.777930e-05,2.836198e-05,3.017848e-05,3.198406e-05,3.255871e-05,3.377371e-05,3.490869e-05,3.554307e-05,3.721908e-05,3.728839e-05,3.900645e-05,3.948225e-05,4.069459e-05,4.169216e-05,4.235057e-05,4.384412e-05,4.397259e-05,4.555922e-05,4.593461e-05,4.710933e-05,4.796112e-05,4.862209e-05,4.992195e-05,5.009691e-05,5.153343e-05,5.181612e-05,5.293146e-05,5.364320e-05,5.429095e-05,5.540322e-05,5.561201e-05,5.689485e-05,5.709658e-05,5.813978e-05,5.872399e-05,5.934718e-05,6.028638e-05,6.051750e-05,6.165125e-05,6.178487e-05,6.274899e-05,6.322073e-05,6.381130e-05,6.459535e-05,6.483881e-05,6.583216e-05,6.591017e-05,6.679202e-05,6.716673e-05,6.771906e-05,6.836659e-05,6.861396e-05,6.947744e-05,6.951133e-05,7.031017e-05,7.060257e-05,7.111287e-05,7.164191e-05,7.188624e-05,7.263098e-05,7.334777e-05,7.357136e-05,7.403732e-05,7.446465e-05,7.470030e-05,7.531240e-05,7.533740e-05,7.594928e-05,7.611618e-05,7.653660e-05,7.687748e-05,7.710002e-05,7.759780e-05,7.764018e-05,7.815770e-05,7.827861e-05,7.865322e-05,7.892132e-05,7.912734e-05,7.952733e-05,7.958065e-05,8.001376e-05,8.009801e-05,8.042723e-05,8.063467e-05,8.082164e-05,8.113861e-05,8.119753e-05,8.155545e-05,8.161108e-05,8.189592e-05,8.205331e-05,8.221948e-05,8.246648e-05,8.252662e-05,8.281784e-05,8.285174e-05,8.309363e-05,8.321021e-05,8.335446e-05,8.354297e-05,8.360080e-05,8.383309e-05,8.385108e-05,8.405178e-05,8.413554e-05,8.425729e-05,8.439734e-05,8.445005e-05,8.463046e-05,8.463743e-05,8.479893e-05,8.485673e-05,8.495584e-05,8.505613e-05,8.510157e-05,8.523648e-05,8.539863e-05,8.554336e-05,8.567145e-05,8.578365e-05,8.588067e-05,8.596321e-05,8.603194e-05,8.608749e-05,8.613050e-05,8.616156e-05,8.618124e-05,8.619010e-05,8.618866e-05,8.617745e-05,8.615696e-05,8.612765e-05,8.608999e-05,8.604441e-05,8.599134e-05,8.593118e-05,8.586431e-05,8.579111e-05,8.571194e-05,8.562715e-05
0.000000e+00,7.584972e-09,1.742884e-08,6.024006e-08,1.375196e-07,2.009470e-07,4.574118e-07,4.712298e-07,9.127403e-07,1.072889e-06,1.568815e-06,2.084389e-06,2.485134e-06,3.597378e-06,3.707398e-06,5.272873e-06,5.702011e-06,7.197482e-06,8.429141e-06,9.470929e-06,1.173907e-05,1.206653e-05,1.495364e-05,1.556344e-05,1.810316e-05,1.983552e-05,2.148784e-05,2.449339e-05,2.508129e-05,2.885709e-05,2.947636e-05,3.278857e-05,3.472308e-05,3.684885e-05,4.017187e-05,4.101126e-05,4.524970e-05,4.576222e-05,4.953913e-05,5.143648e-05,5.385592e-05,5.714144e-05,5.817818e-05,6.248595e-05,6.282939e-05,6.676131e-05,6.845877e-05,7.098844e-05,7.399430e-05,7.515357e-05,7.924486e-05,7.940682e-05,8.325231e-05,8.467283e-05,8.716767e-05,8.977403e-05,9.098423e-05,9.469677e-05,9.830129e-05,9.943138e-05,1.017946e-04,1.039709e-04,1.051745e-04,1.083114e-04,1.084398e-04,1.115899e-04,1.124512e-04,1.146247e-04,1.163905e-04,1.175448e-04,1.201307e-04,1.203511e-04,1.230447e-04,1.236746e-04,1.256272e-04,1.270256e-04,1.281004e-04,1.301878e-04,1.304661e-04,1.327265e-04,1.331661e-04,1.348837e-04,1.359655e-04,1.369402e-04,1.385914e-04,1.388981e-04,1.407600e-04,1.410492e-04,1.425284e-04,1.433447e-04,1.442056e-04,1.454835e-04,1.457942e-04,1.472967e-04,1.474714e-04,1.487156e-04,1.493140e-04,1.500532e-04,1.510171e-04,1.513121e-04,1.524947e-04,1.525861e-04,1.536033e-04,1.540266e-04,1.546404e-04,1.553440e-04,1.556081e-04,1.565088e-04,1.565434e-04,1.573447e-04,1.576302e-04,1.581180e-04,1.586092e-04,1.588308e-04,1.594853e-04,1.600835e-04,1.602633e-04,1.606273e-04,1.609478e-04,1.611188e-04,1.615432e-04,1.615599e-04,1.619524e-04,1.620538e-04,1.622981e-04,1.624838e-04,1.625988e-04,1.628373e-04,1.628563e-04,1.630722e-04,1.631180e-04,1.632481e-04,1.633297e-04,1.633856e-04,1.634761e-04,1.634863e-04,1.635516e-04,1.635606e-04,1.635831e-04,1.635866e-04,1.635821e-04,1.635572e-04,1.635500e-04,1.634881e-04,1.634756e-04,1.633978e-04,1.633447e-04,1.632802e-04,1.631673e-04,1.631366e-04,1.629681e-04,1.629463e-04,1.627759e-04,1.626841e-04,1.625611e-04,1.623834e-04,1.623248e-04,1.620679e-04,1.620465e-04,1.617915e-04,1.616757e-04,1.614965e-04,1.612732e-04,1.611839e-04,1.608545e-04,1.608410e-04,1.605093e-04,1.603813e-04,1.601491e-04,1.598959e-04,1.597746e-04,1.593867e-04,1.588554e-04,1.583036e-04,1.577330e-04,1.571450e-04,1.565412e-04,1.559228e-04,1.552912e-04,1.546476e-04,1.539931e-04,1.533290e-04,1.526563e-04,1.519760e-04,1.512890e-04,1.505962e-04,1.498985e-04,1.491967e-04,1.484916e-04,1.477839e-04,1.470742e-04,1.463633e-04,1.456518e-04,1.449401e-04,1.442288e-04,1.435186e-04
0.000000e+00,4.238496e-09,9.783717e-09,3.397848e-08,7.783362e-08,1.139917e-07,2.617606e-07,2.697945e-07,5.303358e-07,6.266133e-07,9.300417e-07,1.252223e-06,1.505603e-06,2.210782e-06,2.280103e-06,3.248080e-06,3.506799e-06,4.387785e-06,5.093373e-06,5.679367e-06,6.930274e-06,7.108688e-06,8.664771e-06,8.990301e-06,1.033736e-05,1.124959e-05,1.211560e-05,1.368227e-05,1.398755e-05,1.594010e-05,1.625906e-05,1.795921e-05,1.894775e-05,2.003028e-05,2.171457e-05,2.213847e-05,2.426916e-05,2.452568e-05,2.640825e-05,2.734864e-05,2.854244e-05,3.015357e-05,3.065948e-05,3.274834e-05,3.291393e-05,3.479923e-05,3.560701e-05,3.680367e-05,3.821401e-05,3.875446e-05,4.064569e-05,4.072003e-05,4.247257e-05,4.311376e-05,4.423142e-05,4.538716e-05,4.591952e-05,4.753503e-05,4.907684e-05,4.955456e-05,5.054452e-05,5.144497e-05,5.193820e-05,5.320706e-05,5.325847e-05,5.450633e-05,5.484292e-05,5.568308e-05,5.635563e-05,5.679028e-05,5.774900e-05,5.782971e-05,5.880329e-05,5.902738e-05,5.971308e-05,6.019548e-05,6.056119e-05,6.125824e-05,6.134980e-05,6.208112e-05,6.222071e-05,6.275736e-05,6.308796e-05,6.338071e-05,6.386506e-05,6.395336e-05,6.447748e-05,6.455697e-05,6.495516e-05,6.516857e-05,6.538849e-05,6.570457e-05,6.577947e-05,6.613007e-05,6.616952e-05,6.644219e-05,6.656781e-05,6.671768e-05,6.690365e-05,6.695832e-05,6.716584e-05,6.718106e-05,6.734190e-05,6.740387e-05,6.748810e-05,6.757575e-05,6.760599e-05,6.769705e-05,6.770015e-05,6.776270e-05,6.778038e-05,6.780432e-05,6.781956e-05,6.782321e-05,6.782064e-05,6.779781e-05,6.778641e-05,6.775587e-05,6.771952e-05,6.769594e-05,6.762245e-05,6.761906e-05,6.752626e-05,6.749755e-05,6.741849e-05,6.734704e-05,6.729669e-05,6.717299e-05,6.716173e-05,6.701445e-05,6.697736e-05,6.685566e-05,6.676200e-05,6.668613e-05,6.652863e-05,6.650658e-05,6.631771e-05,6.627888e-05,6.612019e-05,6.601427e-05,6.591464e-05,6.573622e-05,6.570167e-05,6.548184e-05,6.544607e-05,6.525571e-05,6.514507e-05,6.502378e-05,6.483440e-05,6.478656e-05,6.454450e-05,6.451515e-05,6.429805e-05,6.418833e-05,6.404763e-05,6.385491e-05,6.379364e-05,6.353646e-05,6.351576e-05,6.327645e-05,6.317173e-05,6.301395e-05,6.282358e-05,6.274927e-05,6.248273e-05,6.247203e-05,6.221460e-05,6.211775e-05,6.194518e-05,6.176135e-05,6.167470e-05,6.140342e-05,6.104448e-05,6.068503e-05,6.032552e-05,5.996638e-05,5.960798e-05,5.925070e-05,5.889486e-05,5.854076e-05,5.818867e-05,5.783885e-05,5.749152e-05,5.714690e-05,5.680518e-05,5.646652e-05,5.613109e-05,5.579901e-05,5.547042e-05,5.514542e-05,5.482411e-05,5.450657e-05,5.419288e-05,5.388310e-05,5.357728e-05,5.327547e-05
0.000000e+00,8.364201e-10,2.783608e-09,1.473959e-08,4.151218e-08,6.570808e-08,1.727928e-07,1.788303e-07,3.800161e-07,4.559020e-07,6.975783e-07,9.571072e-07,1.163466e-06,1.753299e-06,1.812838e-06,2.679520e-06,2.922751e-06,3.785880e-06,4.511510e-06,5.133158e-06,6.503817e-06,6.703103e-06,8.469095e-06,8.843475e-06,1.040518e-05,1.147160e-05,1.248898e-05,1.433930e-05,1.470113e-05,1.702411e-05,1.740495e-05,1.944135e-05,2.063039e-05,2.193682e-05,2.397897e-05,2.449484e-05,2.710019e-05,2.741531e-05,2.973830e-05,3.090585e-05,3.239534e-05,3.441941e-05,3.505848e-05,3.771596e-05,3.792799e-05,4.035712e-05,4.140686e-05,4.297250e-05,4.483492e-05,4.555382e-05,4.809390e-05,4.819456e-05,5.058669e-05,5.147151e-05,5.302709e-05,5.465447e-05,5.541093e-05,5.773485e-05,5.999624e-05,6.070633e-05,6.219309e-05,6.356454e-05,6.432400e-05,6.630675e-05,6.638802e-05,6.838464e-05,6.893159e-05,7.031369e-05,7.143873e-05,7.217530e-05,7.382873e-05,7.396984e-05,7.569790e-05,7.610283e-05,7.736026e-05,7.826281e-05,7.895781e-05,8.031085e-05,8.049158e-05,8.196269e-05,8.224950e-05,8.337234e-05,8.408149e-05,8.472180e-05,8.580977e-05,8.601236e-05,8.724537e-05,8.743740e-05,8.842219e-05,8.896751e-05,8.954421e-05,9.040330e-05,9.061282e-05,9.162942e-05,9.174799e-05,9.259541e-05,9.300478e-05,9.351219e-05,9.417688e-05,9.438114e-05,9.520362e-05,9.526745e-05,9.598101e-05,9.627964e-05,9.671464e-05,9.721650e-05,9.740584e-05,9.805591e-05,9.808108e-05,9.866614e-05,9.887631e-05,9.923779e-05,9.960510e-05,9.977209e-05,1.002703e-04,1.007335e-04,1.008746e-04,1.011630e-04,1.014206e-04,1.015598e-04,1.019111e-04,1.019251e-04,1.022601e-04,1.023485e-04,1.025656e-04,1.027353e-04,1.028428e-04,1.030738e-04,1.030928e-04,1.033164e-04,1.033663e-04,1.035147e-04,1.036150e-04,1.036885e-04,1.038221e-04,1.038389e-04,1.039667e-04,1.039896e-04,1.040727e-04,1.041195e-04,1.041579e-04,1.042138e-04,1.042229e-04,1.042687e-04,1.042743e-04,1.042960e-04,1.043028e-04,1.043056e-04,1.043009e-04,1.042981e-04,1.042743e-04,1.042704e-04,1.042350e-04,1.042128e-04,1.041806e-04,1.041297e-04,1.041120e-04,1.040296e-04,1.040225e-04,1.039342e-04,1.038926e-04,1.038264e-04,1.037413e-04,1.037066e-04,1.035754e-04,1.035700e-04,1.034335e-04,1.033798e-04,1.032812e-04,1.031721e-04,1.031192e-04,1.029478e-04,1.027081e-04,1.024540e-04,1.021866e-04,1.019067e-04,1.016153e-04,1.013132e-04,1.010013e-04,1.006804e-04,1.003511e-04,1.000143e-04,9.967055e-05,9.932056e-05,9.896493e-05,9.860425e-05,9.823907e-05,9.786993e-05,9.749734e-05,9.712176e-05,9.674365e-05,9.636344e-05,9.598153e-05,9.559832e-05,9.521416e-05,9.482940e-05
0.000000e+00,5.056962e-11,2.322235e-10,2.103322e-09,8.587125e-09,1.607321e-08,5.964981e-08,6.246567e-08,1.697010e-07,2.150712e-07,3.710526e-07,5.522306e-07,7.033975e-07,1.159555e-06,1.207168e-06,1.924770e-06,2.133237e-06,2.893724e-06,3.555103e-06,4.135675e-06,5.454516e-06,5.650138e-06,7.418088e-06,7.799637e-06,9.410699e-06,1.052524e-05,1.159672e-05,1.356051e-05,1.394625e-05,1.643171e-05,1.684026e-05,1.902742e-05,2.030531e-05,2.170896e-05,2.390012e-05,2.445274e-05,2.723584e-05,2.757139e-05,3.003608e-05,3.126813e-05,3.283234e-05,3.494260e-05,3.560483e-05,3.833542e-05,3.855156e-05,4.100787e-05,4.205733e-05,4.360801e-05,4.542848e-05,4.612378e-05,4.854529e-05,4.864007e-05,5.086468e-05,5.167347e-05,5.307606e-05,5.451595e-05,5.517534e-05,5.716003e-05,5.902907e-05,5.960273e-05,6.078262e-05,6.184481e-05,6.242191e-05,6.389003e-05,6.394899e-05,6.536663e-05,6.574440e-05,6.667814e-05,6.741565e-05,6.788726e-05,6.891267e-05,6.899800e-05,7.001462e-05,7.024508e-05,7.094145e-05,7.142290e-05,7.178292e-05,7.245630e-05,7.254343e-05,7.322735e-05,7.335533e-05,7.383898e-05,7.412984e-05,7.438248e-05,7.478934e-05,7.486190e-05,7.528113e-05,7.534287e-05,7.564390e-05,7.579902e-05,7.595377e-05,7.616587e-05,7.621415e-05,7.642829e-05,7.645103e-05,7.659925e-05,7.666156e-05,7.672995e-05,7.680405e-05,7.682314e-05,7.688141e-05,7.688464e-05,7.690723e-05,7.690900e-05,7.690291e-05,7.688235e-05,7.687061e-05,7.681239e-05,7.680955e-05,7.673018e-05,7.669506e-05,7.662577e-05,7.654297e-05,7.650088e-05,7.635708e-05,7.619589e-05,7.614086e-05,7.601869e-05,7.589749e-05,7.582680e-05,7.562991e-05,7.562146e-05,7.540380e-05,7.534080e-05,7.517492e-05,7.503263e-05,7.493583e-05,7.470766e-05,7.468747e-05,7.443072e-05,7.436794e-05,7.416641e-05,7.401538e-05,7.389531e-05,7.365171e-05,7.361815e-05,7.333560e-05,7.327850e-05,7.304829e-05,7.289721e-05,7.275682e-05,7.250916e-05,7.246172e-05,7.216352e-05,7.211555e-05,7.186269e-05,7.171748e-05,7.155967e-05,7.131597e-05,7.125489e-05,7.094872e-05,7.091191e-05,7.064154e-05,7.050614e-05,7.033367e-05,7.009942e-05,7.002543e-05,6.971711e-05,6.969244e-05,6.940897e-05,6.928582e-05,6.910126e-05,6.888012e-05,6.879422e-05,6.848807e-05,6.847584e-05,6.818298e-05,6.807346e-05,6.787916e-05,6.767337e-05,6.757677e-05,6.727597e-05,6.688158e-05,6.649050e-05,6.610300e-05,6.571931e-05,6.533965e-05,6.496420e-05,6.459313e-05,6.422657e-05,6.386464e-05,6.350746e-05,6.315511e-05,6.280766e-05,6.246517e-05,6.212768e-05,6.179524e-05,6.146787e-05,6.114559e-05,6.082839e-05,6.051629e-05,6.020927e-05,5.990733e-05,5.961043e-05,5.931856e-05,5.903168e-05
0.000000e+00,1.458271e-09,3.335857e-09,1.142681e-08,2.586865e-08,3.762016e-08,8.451586e-08,8.701987e-08,1.661035e-07,1.944127e-07,2.810494e-07,3.697255e-07,4.378254e-07,6.237624e-07,6.419456e-07,8.974922e-07,9.666639e-07,1.205339e-06,1.399465e-06,1.562099e-06,1.911529e-06,1.961471e-06,2.396514e-06,2.487225e-06,2.860799e-06,3.111837e-06,3.348519e-06,3.772372e-06,3.854298e-06,4.373071e-06,4.456956e-06,4.900042e-06,5.154567e-06,5.430714e-06,5.855122e-06,5.960948e-06,6.487008e-06,6.549693e-06,7.005606e-06,7.230681e-06,7.513919e-06,7.891894e-06,8.009594e-06,8.490725e-06,8.528540e-06,8.955831e-06,9.137129e-06,9.403816e-06,9.715329e-06,9.833927e-06,1.024571e-05,1.026179e-05,1.063896e-05,1.077598e-05,1.101368e-05,1.125800e-05,1.137007e-05,1.170844e-05,1.202922e-05,1.212824e-05,1.233294e-05,1.251861e-05,1.262015e-05,1.288091e-05,1.289147e-05,1.314754e-05,1.321659e-05,1.338900e-05,1.352714e-05,1.361652e-05,1.381407e-05,1.383074e-05,1.403229e-05,1.407885e-05,1.422181e-05,1.432291e-05,1.439990e-05,1.454762e-05,1.456714e-05,1.472409e-05,1.475429e-05,1.487129e-05,1.494416e-05,1.500926e-05,1.511838e-05,1.513849e-05,1.525943e-05,1.527804e-05,1.537254e-05,1.542417e-05,1.547823e-05,1.555771e-05,1.557690e-05,1.566892e-05,1.567954e-05,1.575466e-05,1.579048e-05,1.583445e-05,1.589131e-05,1.590861e-05,1.597744e-05,1.598272e-05,1.604122e-05,1.606538e-05,1.610023e-05,1.613990e-05,1.615471e-05,1.620492e-05,1.620684e-05,1.625107e-05,1.626674e-05,1.629338e-05,1.632007e-05,1.633206e-05,1.636729e-05,1.639926e-05,1.640883e-05,1.642814e-05,1.644507e-05,1.645408e-05,1.647638e-05,1.647725e-05,1.649779e-05,1.650309e-05,1.651583e-05,1.652552e-05,1.653151e-05,1.654396e-05,1.654495e-05,1.655627e-05,1.655868e-05,1.656557e-05,1.656994e-05,1.657296e-05,1.657796e-05,1.657854e-05,1.658241e-05,1.658299e-05,1.658465e-05,1.658520e-05,1.658535e-05,1.658481e-05,1.658459e-05,1.658245e-05,1.658198e-05,1.657900e-05,1.657689e-05,1.657430e-05,1.656969e-05,1.656843e-05,1.656144e-05,1.656053e-05,1.655340e-05,1.654955e-05,1.654437e-05,1.653686e-05,1.653438e-05,1.652351e-05,1.652260e-05,1.651179e-05,1.650688e-05,1.649928e-05,1.648980e-05,1.648601e-05,1.647203e-05,1.647145e-05,1.645738e-05,1.645195e-05,1.644209e-05,1.643136e-05,1.642622e-05,1.640978e-05,1.638728e-05,1.636393e-05,1.633981e-05,1.631497e-05,1.628948e-05,1.626339e-05,1.623676e-05,1.620965e-05,1.618208e-05,1.615412e-05,1.612580e-05,1.609717e-05,1.606825e-05,1.603910e-05,1.600973e-05,1.598019e-05,1.595049e-05,1.592068e-05,1.589077e-05,1.586079e-05,1.583077e-05,1.580072e-05,1.577067e-05,1.574064e-05
0.000000e+00,7.766272e-10,2.184431e-09,9.298416e-09,2.320424e-08,3.493456e-08,8.305866e-08,8.565833e-08,1.683405e-07,1.980662e-07,2.891048e-07,3.821971e-07,4.535672e-07,6.479028e-07,6.668755e-07,9.334337e-07,1.005703e-06,1.256161e-06,1.461637e-06,1.635205e-06,2.012209e-06,2.066462e-06,2.540987e-06,2.640020e-06,3.046318e-06,3.316807e-06,3.569140e-06,4.013041e-06,4.097535e-06,4.621921e-06,4.704935e-06,5.135009e-06,5.375625e-06,5.631371e-06,6.013697e-06,6.107017e-06,6.559077e-06,6.611636e-06,6.985564e-06,7.164771e-06,7.385226e-06,7.670611e-06,7.757417e-06,8.102007e-06,8.128388e-06,8.419289e-06,8.538689e-06,8.709906e-06,8.903144e-06,8.974772e-06,9.214995e-06,9.224109e-06,9.431835e-06,9.504434e-06,9.626653e-06,9.747266e-06,9.800853e-06,9.955859e-06,1.009308e-05,1.013346e-05,1.021389e-05,1.028321e-05,1.031961e-05,1.040808e-05,1.041151e-05,1.049076e-05,1.051084e-05,1.055849e-05,1.059403e-05,1.061573e-05,1.065994e-05,1.066343e-05,1.070249e-05,1.071067e-05,1.073371e-05,1.074804e-05,1.075783e-05,1.077373e-05,1.077553e-05,1.078743e-05,1.078917e-05,1.079409e-05,1.079566e-05,1.079603e-05,1.079433e-05,1.079369e-05,1.078751e-05,1.078619e-05,1.077786e-05,1.077210e-05,1.076509e-05,1.075284e-05,1.074951e-05,1.073140e-05,1.072907e-05,1.071103e-05,1.070141e-05,1.068863e-05,1.067037e-05,1.066440e-05,1.063854e-05,1.063641e-05,1.061123e-05,1.059994e-05,1.058263e-05,1.056131e-05,1.055287e-05,1.052209e-05,1.052084e-05,1.049042e-05,1.047882e-05,1.045796e-05,1.043549e-05,1.042481e-05,1.039107e-05,1.035682e-05,1.034576e-05,1.032213e-05,1.029974e-05,1.028708e-05,1.025315e-05,1.025173e-05,1.021614e-05,1.020614e-05,1.018037e-05,1.015883e-05,1.014445e-05,1.011133e-05,1.010845e-05,1.007240e-05,1.006375e-05,1.003634e-05,1.001616e-05,1.000031e-05,9.968650e-06,9.964337e-06,9.928452e-06,9.921288e-06,9.892682e-06,9.874137e-06,9.857054e-06,9.827253e-06,9.821591e-06,9.786313e-06,9.780687e-06,9.751241e-06,9.734484e-06,9.716391e-06,9.688684e-06,9.681782e-06,9.647426e-06,9.643322e-06,9.613339e-06,9.598429e-06,9.579532e-06,9.554033e-06,9.546016e-06,9.512802e-06,9.510158e-06,9.479898e-06,9.466825e-06,9.447312e-06,9.424052e-06,9.415053e-06,9.383126e-06,9.381856e-06,9.351538e-06,9.340250e-06,9.320293e-06,9.299245e-06,9.289396e-06,9.258851e-06,9.219076e-06,9.179926e-06,9.141406e-06,9.103520e-06,9.066268e-06,9.029654e-06,8.993675e-06,8.958333e-06,8.923625e-06,8.889548e-06,8.856100e-06,8.823277e-06,8.791075e-06,8.759488e-06,8.728511e-06,8.698139e-06,8.668365e-06,8.639184e-06,8.610587e-06,8.582569e-06,8.555122e-06,8.528238e-06,8.501911e-06,8.476132e-06
0.000000e+00,1.497589e-09,4.360127e-09,1.940251e-08,4.974421e-08,7.584828e-08,1.860484e-07,1.921191e-07,3.904390e-07,4.640189e-07,6.961303e-07,9.431087e-07,1.138296e-06,1.690067e-06,1.745159e-06,2.530785e-06,2.745223e-06,3.484449e-06,4.081944e-06,4.579012e-06,5.636491e-06,5.786577e-06,7.085036e-06,7.354079e-06,8.457460e-06,9.195667e-06,9.889946e-06,1.113049e-05,1.136999e-05,1.288562e-05,1.313064e-05,1.442502e-05,1.516892e-05,1.597646e-05,1.721857e-05,1.752849e-05,1.907008e-05,1.925387e-05,2.059087e-05,2.125094e-05,2.208134e-05,2.318853e-05,2.353297e-05,2.493837e-05,2.504861e-05,2.629131e-05,2.681662e-05,2.758671e-05,2.848154e-05,2.882067e-05,2.999034e-05,3.003576e-05,3.109387e-05,3.147475e-05,3.213033e-05,3.279669e-05,3.309954e-05,3.400203e-05,3.483888e-05,3.509306e-05,3.561166e-05,3.607347e-05,3.632226e-05,3.694801e-05,3.697291e-05,3.756602e-05,3.772213e-05,3.810417e-05,3.840178e-05,3.859001e-05,3.899311e-05,3.902625e-05,3.941559e-05,3.950235e-05,3.976072e-05,3.993566e-05,4.006426e-05,4.029902e-05,4.032878e-05,4.055675e-05,4.059817e-05,4.075054e-05,4.083856e-05,4.091243e-05,4.102535e-05,4.104458e-05,4.114906e-05,4.116334e-05,4.122782e-05,4.125702e-05,4.128268e-05,4.131054e-05,4.131539e-05,4.132756e-05,4.132772e-05,4.132072e-05,4.131206e-05,4.129630e-05,4.126682e-05,4.125565e-05,4.120001e-05,4.119495e-05,4.113057e-05,4.109918e-05,4.104842e-05,4.098197e-05,4.095457e-05,4.084999e-05,4.084560e-05,4.073557e-05,4.069212e-05,4.061213e-05,4.052344e-05,4.048045e-05,4.034125e-05,4.019520e-05,4.014712e-05,4.004293e-05,3.994248e-05,3.988501e-05,3.972862e-05,3.972200e-05,3.955440e-05,3.950672e-05,3.938268e-05,3.927785e-05,3.920727e-05,3.904299e-05,3.902858e-05,3.884699e-05,3.880302e-05,3.866286e-05,3.855875e-05,3.847650e-05,3.831092e-05,3.828824e-05,3.809834e-05,3.806019e-05,3.790707e-05,3.780716e-05,3.771469e-05,3.755238e-05,3.752141e-05,3.732744e-05,3.729636e-05,3.713299e-05,3.703954e-05,3.693824e-05,3.678232e-05,3.674334e-05,3.654847e-05,3.652510e-05,3.635377e-05,3.626818e-05,3.615936e-05,3.601189e-05,3.596538e-05,3.577194e-05,3.575649e-05,3.557915e-05,3.550224e-05,3.538711e-05,3.524934e-05,3.519590e-05,3.500561e-05,3.499801e-05,3.481631e-05,3.474843e-05,3.462809e-05,3.450074e-05,3.444100e-05,3.425510e-05,3.401163e-05,3.377044e-05,3.353164e-05,3.329531e-05,3.306153e-05,3.283036e-05,3.260186e-05,3.237608e-05,3.215307e-05,3.193284e-05,3.171544e-05,3.150088e-05,3.128918e-05,3.108034e-05,3.087438e-05,3.067129e-05,3.047107e-05,3.027372e-05,3.007923e-05,2.988758e-05,2.969877e-05,2.951277e-05,2.932957e-05,2.914915e-05
0.000000e+00,6.174681e-13,3.134764e-12,3.479343e-11,1.699784e-10,3.502683e-10,1.652986e-09,1.747586e-09,5.953115e-09,8.006617e-09,1.597490e-08,2.662816e-08,3.644038e-08,7.006055e-08,7.386575e-08,1.366541e-07,1.565688e-07,2.346219e-07,3.087293e-07,3.781698e-07,5.502474e-07,5.774109e-07,8.414667e-07,9.027582e-07,1.177983e-06,1.383634e-06,1.592838e-06,2.004820e-06,2.090004e-06,2.671505e-06,2.772405e-06,3.337455e-06,3.686675e-06,4.086160e-06,4.742497e-06,4.914254e-06,5.816879e-06,5.929922e-06,6.787886e-06,7.234968e-06,7.820064e-06,8.640506e-06,8.905370e-06,1.003517e-05,1.012721e-05,1.120047e-05,1.167449e-05,1.239215e-05,1.326140e-05,1.360114e-05,1.481863e-05,1.486738e-05,1.603619e-05,1.647299e-05,1.724594e-05,1.806036e-05,1.844059e-05,1.961357e-05,2.075903e-05,2.111891e-05,2.187188e-05,2.256496e-05,2.294778e-05,2.394256e-05,2.398315e-05,2.497511e-05,2.524476e-05,2.592145e-05,2.646668e-05,2.682059e-05,2.760525e-05,2.767153e-05,2.847377e-05,2.865905e-05,2.922728e-05,2.962808e-05,2.993242e-05,3.051350e-05,3.058991e-05,3.120074e-05,3.131741e-05,3.176616e-05,3.204270e-05,3.228760e-05,3.269279e-05,3.276667e-05,3.320506e-05,3.327155e-05,3.360458e-05,3.378309e-05,3.396708e-05,3.423167e-05,3.429442e-05,3.458848e-05,3.462162e-05,3.485114e-05,3.495723e-05,3.508422e-05,3.524270e-05,3.528954e-05,3.546883e-05,3.548210e-05,3.562379e-05,3.567933e-05,3.575604e-05,3.583807e-05,3.586713e-05,3.595854e-05,3.596181e-05,3.603169e-05,3.605381e-05,3.608791e-05,3.611712e-05,3.612847e-05,3.615455e-05,3.616727e-05,3.616870e-05,3.616769e-05,3.616196e-05,3.615679e-05,3.613652e-05,3.613548e-05,3.610464e-05,3.609440e-05,3.606506e-05,3.603743e-05,3.601749e-05,3.596727e-05,3.596263e-05,3.590112e-05,3.588544e-05,3.583358e-05,3.579332e-05,3.576055e-05,3.569216e-05,3.568256e-05,3.560009e-05,3.558309e-05,3.551357e-05,3.546713e-05,3.542344e-05,3.534520e-05,3.533006e-05,3.523379e-05,3.521814e-05,3.513496e-05,3.508670e-05,3.503387e-05,3.495156e-05,3.493080e-05,3.482602e-05,3.481334e-05,3.471975e-05,3.467258e-05,3.461222e-05,3.452979e-05,3.450365e-05,3.439420e-05,3.438541e-05,3.428406e-05,3.423985e-05,3.417340e-05,3.409348e-05,3.406236e-05,3.395108e-05,3.394662e-05,3.383968e-05,3.379957e-05,3.372828e-05,3.365259e-05,3.361699e-05,3.350591e-05,3.335976e-05,3.321432e-05,3.306975e-05,3.292623e-05,3.278387e-05,3.264280e-05,3.250313e-05,3.236496e-05,3.222836e-05,3.209341e-05,3.196018e-05,3.182871e-05,3.169907e-05,3.157128e-05,3.144538e-05,3.132140e-05,3.119937e-05,3.107930e-05,3.096120e-05,3.084509e-05,3.073096e-05,3.061883e-05,3.050868e-05,3.040053e-05
0.000000e+00,5.743715e-09,1.375784e-08,4.967068e-08,1.156918e-07,1.703042e-07,3.926332e-07,4.046510e-07,7.896702e-07,9.296589e-07,1.363869e-06,1.816237e-06,2.168520e-06,3.149994e-06,3.247439e-06,4.643233e-06,5.029342e-06,6.388075e-06,7.522522e-06,8.492031e-06,1.062837e-05,1.093912e-05,1.369581e-05,1.428087e-05,1.672318e-05,1.839190e-05,1.998406e-05,2.287898e-05,2.344486e-05,2.707509e-05,2.766973e-05,3.084640e-05,3.269880e-05,3.473191e-05,3.790519e-05,3.870585e-05,4.274357e-05,4.323125e-05,4.682158e-05,4.862292e-05,5.091777e-05,5.403032e-05,5.501157e-05,5.908412e-05,5.940848e-05,6.311837e-05,6.471787e-05,6.709911e-05,6.992458e-05,7.101305e-05,7.484867e-05,7.500032e-05,7.859622e-05,7.992217e-05,8.224757e-05,8.467211e-05,8.579611e-05,8.923659e-05,9.256499e-05,9.360590e-05,9.577839e-05,9.777369e-05,9.887485e-05,1.017364e-04,1.018532e-04,1.047132e-04,1.054928e-04,1.074549e-04,1.090435e-04,1.100792e-04,1.123907e-04,1.125871e-04,1.149804e-04,1.155379e-04,1.172609e-04,1.184894e-04,1.194306e-04,1.212503e-04,1.214920e-04,1.234474e-04,1.238260e-04,1.252996e-04,1.262227e-04,1.270511e-04,1.284466e-04,1.287048e-04,1.302634e-04,1.305041e-04,1.317298e-04,1.324017e-04,1.331068e-04,1.341460e-04,1.343973e-04,1.356040e-04,1.357433e-04,1.367298e-04,1.372002e-04,1.377774e-04,1.385230e-04,1.387496e-04,1.396491e-04,1.397180e-04,1.404784e-04,1.407911e-04,1.412402e-04,1.417483e-04,1.419370e-04,1.425713e-04,1.425954e-04,1.431455e-04,1.433379e-04,1.436619e-04,1.439814e-04,1.441230e-04,1.445309e-04,1.448878e-04,1.449916e-04,1.451958e-04,1.453683e-04,1.454571e-04,1.456657e-04,1.456735e-04,1.458472e-04,1.458884e-04,1.459798e-04,1.460406e-04,1.460734e-04,1.461265e-04,1.461297e-04,1.461503e-04,1.461501e-04,1.461370e-04,1.461153e-04,1.460914e-04,1.460257e-04,1.460149e-04,1.459093e-04,1.458847e-04,1.457758e-04,1.456959e-04,1.456159e-04,1.454622e-04,1.454310e-04,1.452223e-04,1.451868e-04,1.449912e-04,1.448726e-04,1.447388e-04,1.445224e-04,1.444664e-04,1.441750e-04,1.441388e-04,1.438658e-04,1.437244e-04,1.435398e-04,1.432814e-04,1.431980e-04,1.428414e-04,1.428122e-04,1.424709e-04,1.423190e-04,1.420874e-04,1.418038e-04,1.416919e-04,1.412850e-04,1.412685e-04,1.408677e-04,1.407150e-04,1.404407e-04,1.401451e-04,1.400046e-04,1.395603e-04,1.389623e-04,1.383525e-04,1.377323e-04,1.371031e-04,1.364660e-04,1.358223e-04,1.351731e-04,1.345193e-04,1.338620e-04,1.332021e-04,1.325404e-04,1.318778e-04,1.312149e-04,1.305526e-04,1.298914e-04,1.292319e-04,1.285748e-04,1.279206e-04,1.272697e-04,1.266226e-04,1.259797e-04,1.253415e-04,1.247082e-04,1.240803e-04
0.000000e+00,3.066819e-12,1.523149e-11,1.614475e-10,7.557029e-10,1.520473e-09,6.733818e-09,7.100370e-09,2.263149e-08,2.987208e-08,5.676793e-08,9.081706e-08,1.209024e-07,2.181684e-07,2.287636e-07,3.959359e-07,4.467436e-07,6.393634e-07,8.155980e-07,9.768130e-07,1.365774e-06,1.426188e-06,2.004539e-06,2.137050e-06,2.726713e-06,3.162946e-06,3.603766e-06,4.464645e-06,4.641562e-06,5.839952e-06,6.046264e-06,7.192738e-06,7.893693e-06,8.688334e-06,9.977084e-06,1.031088e-05,1.204151e-05,1.225548e-05,1.385965e-05,1.468189e-05,1.574408e-05,1.720762e-05,1.767378e-05,1.962863e-05,1.978554e-05,2.158986e-05,2.237223e-05,2.354031e-05,2.492928e-05,2.546465e-05,2.734942e-05,2.742382e-05,2.918308e-05,2.982876e-05,3.095591e-05,3.212256e-05,3.265995e-05,3.428888e-05,3.583792e-05,3.631615e-05,3.730365e-05,3.819694e-05,3.868388e-05,3.992745e-05,3.997752e-05,4.118443e-05,4.150689e-05,4.230526e-05,4.293698e-05,4.334137e-05,4.422140e-05,4.429467e-05,4.516754e-05,4.536536e-05,4.596271e-05,4.637517e-05,4.668318e-05,4.725796e-05,4.733218e-05,4.791304e-05,4.802133e-05,4.842918e-05,4.867315e-05,4.888407e-05,4.922135e-05,4.928113e-05,4.962378e-05,4.967377e-05,4.991534e-05,5.003810e-05,5.015906e-05,5.032172e-05,5.035810e-05,5.051548e-05,5.053171e-05,5.063412e-05,5.067477e-05,5.071679e-05,5.075721e-05,5.076615e-05,5.078472e-05,5.078494e-05,5.077487e-05,5.076349e-05,5.073887e-05,5.069796e-05,5.067885e-05,5.059681e-05,5.059310e-05,5.049465e-05,5.045328e-05,5.037412e-05,5.028253e-05,5.023690e-05,5.008455e-05,4.991850e-05,4.986270e-05,4.974013e-05,4.962010e-05,4.955071e-05,4.935956e-05,4.935141e-05,4.914335e-05,4.908366e-05,4.892754e-05,4.879473e-05,4.870494e-05,4.849491e-05,4.847643e-05,4.824283e-05,4.818610e-05,4.800492e-05,4.787006e-05,4.776338e-05,4.754836e-05,4.751888e-05,4.727202e-05,4.722241e-05,4.702334e-05,4.689349e-05,4.677337e-05,4.656274e-05,4.652258e-05,4.627139e-05,4.623119e-05,4.602021e-05,4.589975e-05,4.576940e-05,4.556925e-05,4.551930e-05,4.527020e-05,4.524039e-05,4.502239e-05,4.491383e-05,4.477612e-05,4.459013e-05,4.453162e-05,4.428910e-05,4.426978e-05,4.404873e-05,4.395323e-05,4.381070e-05,4.364084e-05,4.357515e-05,4.334221e-05,4.333295e-05,4.311200e-05,4.302982e-05,4.288464e-05,4.273170e-05,4.266021e-05,4.243878e-05,4.215123e-05,4.186917e-05,4.159271e-05,4.132192e-05,4.105686e-05,4.079757e-05,4.054405e-05,4.029631e-05,4.005433e-05,3.981808e-05,3.958754e-05,3.936263e-05,3.914332e-05,3.892953e-05,3.872118e-05,3.851820e-05,3.832051e-05,3.812801e-05,3.794062e-05,3.775825e-05,3.758078e-05,3.740814e-05,3.724021e-05,3.707690e-05
0.000000e+00,3.353301e-09,7.690063e-09,2.652789e-08,6.062127e-08,8.875345e-08,2.041860e-07,2.104858e-07,4.161569e-07,4.928169e-07,7.367116e-07,9.996741e-07,1.209669e-06,1.810473e-06,1.870841e-06,2.734054e-06,2.969608e-06,3.779087e-06,4.429776e-06,4.968597e-06,6.108119e-06,6.269185e-06,7.656939e-06,7.943372e-06,9.114863e-06,9.896225e-06,1.062969e-05,1.193763e-05,1.218985e-05,1.378448e-05,1.404210e-05,1.540296e-05,1.618525e-05,1.703493e-05,1.834340e-05,1.867027e-05,2.029938e-05,2.049402e-05,2.191324e-05,2.261635e-05,2.350361e-05,2.469200e-05,2.506310e-05,2.658526e-05,2.670525e-05,2.806458e-05,2.864325e-05,2.949647e-05,3.049596e-05,3.087724e-05,3.220405e-05,3.225597e-05,3.347480e-05,3.391825e-05,3.468808e-05,3.547986e-05,3.584311e-05,3.693960e-05,3.797775e-05,3.829771e-05,3.895809e-05,3.955557e-05,3.988151e-05,4.071548e-05,4.074913e-05,4.156229e-05,4.178041e-05,4.232247e-05,4.275382e-05,4.303130e-05,4.363952e-05,4.369047e-05,4.430175e-05,4.444153e-05,4.486693e-05,4.516398e-05,4.538785e-05,4.581108e-05,4.586631e-05,4.630413e-05,4.638698e-05,4.670311e-05,4.689582e-05,4.706501e-05,4.734160e-05,4.739154e-05,4.768439e-05,4.772823e-05,4.794520e-05,4.805947e-05,4.817555e-05,4.833894e-05,4.837699e-05,4.855100e-05,4.857011e-05,4.869902e-05,4.875627e-05,4.882243e-05,4.890058e-05,4.892255e-05,4.900068e-05,4.900602e-05,4.905804e-05,4.907543e-05,4.909580e-05,4.911149e-05,4.911509e-05,4.911700e-05,4.911673e-05,4.910255e-05,4.909354e-05,4.907274e-05,4.904418e-05,4.902851e-05,4.897077e-05,4.890036e-05,4.887530e-05,4.881812e-05,4.875965e-05,4.872484e-05,4.862558e-05,4.862124e-05,4.850805e-05,4.847474e-05,4.838595e-05,4.830868e-05,4.825557e-05,4.812884e-05,4.811753e-05,4.797241e-05,4.793659e-05,4.782076e-05,4.773319e-05,4.766312e-05,4.751982e-05,4.749997e-05,4.733178e-05,4.729758e-05,4.715902e-05,4.706751e-05,4.698210e-05,4.683057e-05,4.680142e-05,4.661737e-05,4.658764e-05,4.643031e-05,4.633955e-05,4.624057e-05,4.608707e-05,4.604848e-05,4.585434e-05,4.583092e-05,4.565845e-05,4.557177e-05,4.546106e-05,4.531021e-05,4.526245e-05,4.506284e-05,4.504683e-05,4.486246e-05,4.478214e-05,4.466153e-05,4.451663e-05,4.446025e-05,4.425880e-05,4.425074e-05,4.405737e-05,4.398489e-05,4.385611e-05,4.371944e-05,4.365519e-05,4.345474e-05,4.319111e-05,4.292883e-05,4.266818e-05,4.240937e-05,4.215264e-05,4.189817e-05,4.164615e-05,4.139673e-05,4.115005e-05,4.090623e-05,4.066540e-05,4.042763e-05,4.019303e-05,3.996166e-05,3.973358e-05,3.950884e-05,3.928750e-05,3.906957e-05,3.885509e-05,3.864408e-05,3.843655e-05,3.823250e-05,3.803194e-05,3.783486e-05
0.000000e+00,1.408180e-12,7.065299e-12,7.655262e-11,3.661431e-10,7.461190e-10,3.428683e-09,3.621296e-09,1.207162e-08,1.615640e-08,3.190555e-08,5.284287e-08,7.205909e-08,1.374772e-07,1.448385e-07,2.649819e-07,3.025734e-07,4.477039e-07,5.825875e-07,7.067458e-07,1.006649e-06,1.053110e-06,1.494542e-06,1.594686e-06,2.035525e-06,2.356785e-06,2.677558e-06,3.294208e-06,3.419526e-06,4.258094e-06,4.400905e-06,5.188065e-06,5.664990e-06,6.202704e-06,7.070054e-06,7.294041e-06,8.453149e-06,8.596345e-06,9.670415e-06,1.022186e-05,1.093580e-05,1.192338e-05,1.223908e-05,1.357009e-05,1.367747e-05,1.491891e-05,1.546128e-05,1.627606e-05,1.725334e-05,1.763264e-05,1.898047e-05,1.903410e-05,2.031213e-05,2.078627e-05,2.162102e-05,2.249510e-05,2.290140e-05,2.414839e-05,2.535791e-05,2.573648e-05,2.652665e-05,2.725203e-05,2.765205e-05,2.868987e-05,2.873219e-05,2.976576e-05,3.004670e-05,3.075198e-05,3.132083e-05,3.169052e-05,3.251193e-05,3.258146e-05,3.342522e-05,3.362077e-05,3.422248e-05,3.464898e-05,3.497419e-05,3.559888e-05,3.568144e-05,3.634551e-05,3.647326e-05,3.696775e-05,3.727527e-05,3.754962e-05,3.800828e-05,3.809261e-05,3.859826e-05,3.867580e-05,3.906812e-05,3.928139e-05,3.950373e-05,3.982858e-05,3.990662e-05,4.027830e-05,4.032088e-05,4.062026e-05,4.076167e-05,4.093393e-05,4.115426e-05,4.122070e-05,4.148195e-05,4.150178e-05,4.171896e-05,4.180726e-05,4.193300e-05,4.207357e-05,4.212529e-05,4.229697e-05,4.230342e-05,4.244916e-05,4.249938e-05,4.258293e-05,4.266388e-05,4.269928e-05,4.279919e-05,4.288359e-05,4.290746e-05,4.295335e-05,4.299070e-05,4.300931e-05,4.305079e-05,4.305227e-05,4.308299e-05,4.308949e-05,4.310218e-05,4.310846e-05,4.311054e-05,4.310923e-05,4.310872e-05,4.309734e-05,4.309325e-05,4.307697e-05,4.306186e-05,4.304819e-05,4.301631e-05,4.301151e-05,4.296744e-05,4.295778e-05,4.291645e-05,4.288736e-05,4.285900e-05,4.280606e-05,4.279551e-05,4.272639e-05,4.271484e-05,4.265203e-05,4.261457e-05,4.257277e-05,4.250608e-05,4.248898e-05,4.240097e-05,4.239014e-05,4.230905e-05,4.226745e-05,4.221353e-05,4.213868e-05,4.211466e-05,4.201272e-05,4.200444e-05,4.190796e-05,4.186531e-05,4.180060e-05,4.172183e-05,4.169088e-05,4.157899e-05,4.157447e-05,4.146514e-05,4.142371e-05,4.134952e-05,4.126998e-05,4.123231e-05,4.111366e-05,4.095513e-05,4.079472e-05,4.063276e-05,4.046954e-05,4.030532e-05,4.014036e-05,3.997489e-05,3.980913e-05,3.964327e-05,3.947750e-05,3.931199e-05,3.914689e-05,3.898234e-05,3.881848e-05,3.865543e-05,3.849329e-05,3.833217e-05,3.817217e-05,3.801336e-05,3.785582e-05,3.769963e-05,3.754484e-05,3.739151e-05,3.723969e-05
0.000000e+00,3.986914e-13,2.000373e-12,2.164727e-11,1.032079e-10,2.097148e-10,9.519678e-10,1.004767e-09,3.277099e-09,4.351468e-09,8.389516e-09,1.356992e-08,1.818893e-08,3.329046e-08,3.494680e-08,6.127006e-08,6.932304e-08,9.999831e-08,1.282066e-07,1.540916e-07,2.167501e-07,2.265009e-07,3.200097e-07,3.414657e-07,4.370499e-07,5.078659e-07,5.795186e-07,7.197564e-07,7.486337e-07,9.448539e-07,9.787542e-07,1.167867e-06,1.284151e-06,1.416635e-06,1.633084e-06,1.689480e-06,1.984188e-06,2.020901e-06,2.298128e-06,2.441606e-06,2.628363e-06,2.888314e-06,2.971755e-06,3.325066e-06,3.353662e-06,3.685038e-06,3.830173e-06,4.048474e-06,4.310559e-06,4.412297e-06,4.773606e-06,4.787967e-06,5.129717e-06,5.256168e-06,5.478198e-06,5.709693e-06,5.816889e-06,6.143921e-06,6.457719e-06,6.555122e-06,6.757001e-06,6.940453e-06,7.040772e-06,7.297923e-06,7.308306e-06,7.559133e-06,7.626334e-06,7.793016e-06,7.925192e-06,8.009925e-06,8.194619e-06,8.210014e-06,8.393595e-06,8.435246e-06,8.561114e-06,8.648112e-06,8.713125e-06,8.834571e-06,8.850265e-06,8.973239e-06,8.996199e-06,9.082794e-06,9.134716e-06,9.179706e-06,9.251919e-06,9.264765e-06,9.338760e-06,9.349625e-06,9.402470e-06,9.429622e-06,9.456656e-06,9.493643e-06,9.502054e-06,9.539366e-06,9.543332e-06,9.569263e-06,9.580234e-06,9.592378e-06,9.605777e-06,9.609305e-06,9.620597e-06,9.621273e-06,9.626770e-06,9.627914e-06,9.628301e-06,9.626776e-06,9.625628e-06,9.619158e-06,9.618826e-06,9.609263e-06,9.604928e-06,9.596280e-06,9.585849e-06,9.580521e-06,9.562267e-06,9.541775e-06,9.534783e-06,9.519277e-06,9.503924e-06,9.494985e-06,9.470157e-06,9.469093e-06,9.441773e-06,9.433889e-06,9.413184e-06,9.395481e-06,9.383469e-06,9.355248e-06,9.352758e-06,9.321169e-06,9.313469e-06,9.288808e-06,9.270386e-06,9.255773e-06,9.226216e-06,9.222153e-06,9.188027e-06,9.181148e-06,9.153469e-06,9.135351e-06,9.118546e-06,9.088972e-06,9.083318e-06,9.047840e-06,9.042144e-06,9.012164e-06,8.994982e-06,8.976335e-06,8.947592e-06,8.940397e-06,8.904388e-06,8.900064e-06,8.868345e-06,8.852484e-06,8.832300e-06,8.804924e-06,8.796284e-06,8.760323e-06,8.757450e-06,8.724444e-06,8.710121e-06,8.688670e-06,8.662989e-06,8.653021e-06,8.617519e-06,8.616102e-06,8.582180e-06,8.569502e-06,8.547023e-06,8.523227e-06,8.512061e-06,8.477310e-06,8.431782e-06,8.386669e-06,8.341996e-06,8.297784e-06,8.254050e-06,8.210812e-06,8.168084e-06,8.125879e-06,8.084206e-06,8.043075e-06,8.002495e-06,7.962471e-06,7.923008e-06,7.884111e-06,7.845782e-06,7.808023e-06,7.770836e-06,7.734220e-06,7.698176e-06,7.662702e-06,7.627796e-06,7.593457e-06,7.559680e-06,7.526465e-06
0.000000e+00,2.289847e-12,1.157408e-11,1.272400e-10,6.157974e-10,1.261966e-09,5.862060e-09,6.193215e-09,2.070581e-08,2.768960e-08,5.438572e-08,8.937684e-08,1.211012e-07,2.273741e-07,2.392271e-07,4.316703e-07,4.918552e-07,7.256577e-07,9.460484e-07,1.152098e-06,1.663299e-06,1.744218e-06,2.535355e-06,2.720244e-06,3.556199e-06,4.186520e-06,4.832140e-06,6.114561e-06,6.381291e-06,8.213443e-06,8.533052e-06,1.032989e-05,1.144507e-05,1.272392e-05,1.482996e-05,1.538176e-05,1.828378e-05,1.864732e-05,2.140567e-05,2.284191e-05,2.471973e-05,2.734855e-05,2.819599e-05,3.180324e-05,3.209653e-05,3.550993e-05,3.701345e-05,3.928494e-05,4.202831e-05,4.309819e-05,4.692119e-05,4.707393e-05,5.072738e-05,5.208873e-05,5.449243e-05,5.701788e-05,5.819443e-05,6.181399e-05,6.533426e-05,6.643737e-05,6.874090e-05,7.085592e-05,7.202199e-05,7.504479e-05,7.516793e-05,7.817126e-05,7.898585e-05,8.102651e-05,8.266700e-05,8.373003e-05,8.608146e-05,8.627976e-05,8.867510e-05,8.922705e-05,9.091667e-05,9.210539e-05,9.300620e-05,9.472127e-05,9.494630e-05,9.674034e-05,9.708197e-05,9.839234e-05,9.919671e-05,9.990677e-05,1.010761e-04,1.012885e-04,1.025427e-04,1.027319e-04,1.036747e-04,1.041763e-04,1.046901e-04,1.054220e-04,1.055942e-04,1.063928e-04,1.064818e-04,1.070912e-04,1.073682e-04,1.076949e-04,1.080937e-04,1.082093e-04,1.086394e-04,1.086703e-04,1.089904e-04,1.091097e-04,1.092670e-04,1.094228e-04,1.094740e-04,1.096159e-04,1.096203e-04,1.096969e-04,1.097120e-04,1.097213e-04,1.097075e-04,1.096929e-04,1.096156e-04,1.094928e-04,1.094444e-04,1.093279e-04,1.092018e-04,1.091242e-04,1.088949e-04,1.088846e-04,1.086122e-04,1.085303e-04,1.083094e-04,1.081144e-04,1.079791e-04,1.076527e-04,1.076234e-04,1.072447e-04,1.071506e-04,1.068452e-04,1.066131e-04,1.064268e-04,1.060445e-04,1.059914e-04,1.055408e-04,1.054490e-04,1.050766e-04,1.048304e-04,1.046005e-04,1.041923e-04,1.041138e-04,1.036178e-04,1.035377e-04,1.031140e-04,1.028697e-04,1.026034e-04,1.021909e-04,1.020872e-04,1.015664e-04,1.015036e-04,1.010419e-04,1.008102e-04,1.005147e-04,1.001126e-04,9.998550e-05,9.945517e-05,9.941271e-05,9.892438e-05,9.871209e-05,9.839381e-05,9.801226e-05,9.786405e-05,9.733566e-05,9.731456e-05,9.680918e-05,9.662020e-05,9.628506e-05,9.593025e-05,9.576376e-05,9.524567e-05,9.456734e-05,9.389599e-05,9.323231e-05,9.257689e-05,9.193023e-05,9.129278e-05,9.066491e-05,9.004696e-05,8.943919e-05,8.884182e-05,8.825503e-05,8.767896e-05,8.711371e-05,8.655934e-05,8.601591e-05,8.548341e-05,8.496185e-05,8.445119e-05,8.395137e-05,8.346233e-05,8.298399e-05,8.251624e-05,8.205897e-05,8.161205e-05
0.000000e+00,2.261738e-09,6.941365e-09,3.306821e-08,8.854265e-08,1.380784e-07,3.613506e-07,3.742505e-07,8.255733e-07,1.006090e-06,1.610913e-06,2.293202e-06,2.844341e-06,4.383805e-06,4.533294e-06,6.557719e-06,7.077111e-06,8.777744e-06,1.006893e-05,1.109778e-05,1.317673e-05,1.346137e-05,1.583325e-05,1.630630e-05,1.818810e-05,1.939889e-05,2.050518e-05,2.240904e-05,2.276639e-05,2.495562e-05,2.529826e-05,2.705903e-05,2.803474e-05,2.906523e-05,3.059417e-05,3.096538e-05,3.275324e-05,3.296004e-05,3.442501e-05,3.512332e-05,3.597908e-05,3.708156e-05,3.741573e-05,3.873685e-05,3.883763e-05,3.994555e-05,4.039844e-05,4.104590e-05,4.177372e-05,4.204267e-05,4.294105e-05,4.297501e-05,4.374651e-05,4.401480e-05,4.446462e-05,4.490589e-05,4.510096e-05,4.566097e-05,4.614997e-05,4.629229e-05,4.657304e-05,4.681145e-05,4.693503e-05,4.722933e-05,4.724052e-05,4.749385e-05,4.755599e-05,4.769906e-05,4.780068e-05,4.785995e-05,4.797187e-05,4.798006e-05,4.806268e-05,4.807727e-05,4.811087e-05,4.812389e-05,4.812748e-05,4.811806e-05,4.811513e-05,4.807626e-05,4.806551e-05,4.801314e-05,4.797144e-05,4.792786e-05,4.784050e-05,4.782233e-05,4.769835e-05,4.767691e-05,4.755756e-05,4.748447e-05,4.740149e-05,4.726659e-05,4.723155e-05,4.704904e-05,4.702635e-05,4.685515e-05,4.676653e-05,4.665100e-05,4.648962e-05,4.643761e-05,4.621592e-05,4.619786e-05,4.598681e-05,4.589327e-05,4.575108e-05,4.557768e-05,4.550948e-05,4.526270e-05,4.525273e-05,4.501136e-05,4.491988e-05,4.475605e-05,4.458046e-05,4.449732e-05,4.423566e-05,4.397154e-05,4.388657e-05,4.370537e-05,4.353413e-05,4.343755e-05,4.317922e-05,4.316843e-05,4.289836e-05,4.282262e-05,4.262765e-05,4.246502e-05,4.235656e-05,4.210706e-05,4.208536e-05,4.181430e-05,4.174929e-05,4.154359e-05,4.139222e-05,4.127344e-05,4.103631e-05,4.100402e-05,4.073553e-05,4.068195e-05,4.046810e-05,4.032950e-05,4.020188e-05,3.997930e-05,3.993701e-05,3.967361e-05,3.963161e-05,3.941178e-05,3.928669e-05,3.915162e-05,3.894477e-05,3.889324e-05,3.863670e-05,3.860604e-05,3.838208e-05,3.827067e-05,3.812945e-05,3.793882e-05,3.787888e-05,3.763041e-05,3.761062e-05,3.738409e-05,3.728618e-05,3.713997e-05,3.696558e-05,3.689808e-05,3.665847e-05,3.664893e-05,3.642115e-05,3.633628e-05,3.618615e-05,3.602768e-05,3.595349e-05,3.572319e-05,3.542284e-05,3.512665e-05,3.483464e-05,3.454681e-05,3.426318e-05,3.398373e-05,3.370846e-05,3.343734e-05,3.317037e-05,3.290752e-05,3.264875e-05,3.239405e-05,3.214338e-05,3.189669e-05,3.165396e-05,3.141513e-05,3.118018e-05,3.094905e-05,3.072170e-05,3.049808e-05,3.027814e-05,3.006184e-05,2.984912e-05,2.963994e-05
0.000000e+00,4.153896e-09,9.529442e-09,3.278880e-08,7.448452e-08,1.085144e-07,2.448783e-07,2.521790e-07,4.834883e-07,5.665731e-07,8.215670e-07,1.083510e-06,1.285235e-06,1.838307e-06,1.892573e-06,2.659006e-06,2.867803e-06,3.593215e-06,4.189137e-06,4.692340e-06,5.784053e-06,5.941079e-06,7.316637e-06,7.604819e-06,8.794887e-06,9.596671e-06,1.035357e-05,1.171044e-05,1.197284e-05,1.363490e-05,1.390370e-05,1.532358e-05,1.613921e-05,1.702410e-05,1.838398e-05,1.872304e-05,2.040832e-05,2.060911e-05,2.206928e-05,2.278997e-05,2.369670e-05,2.490624e-05,2.528275e-05,2.682100e-05,2.694183e-05,2.830631e-05,2.888468e-05,2.973472e-05,3.072630e-05,3.110337e-05,3.241033e-05,3.246131e-05,3.365454e-05,3.408700e-05,3.483561e-05,3.560277e-05,3.595377e-05,3.700973e-05,3.800456e-05,3.831022e-05,3.893969e-05,3.950760e-05,3.981678e-05,4.060590e-05,4.063768e-05,4.140437e-05,4.160961e-05,4.211893e-05,4.252353e-05,4.278349e-05,4.335259e-05,4.340022e-05,4.397126e-05,4.410175e-05,4.449877e-05,4.477594e-05,4.498485e-05,4.538000e-05,4.543160e-05,4.584104e-05,4.591862e-05,4.621513e-05,4.639632e-05,4.655577e-05,4.681739e-05,4.686478e-05,4.714391e-05,4.718592e-05,4.739486e-05,4.750578e-05,4.761923e-05,4.778065e-05,4.781859e-05,4.799441e-05,4.801399e-05,4.814810e-05,4.820906e-05,4.828101e-05,4.836891e-05,4.839441e-05,4.848954e-05,4.849639e-05,4.856753e-05,4.859418e-05,4.862950e-05,4.866479e-05,4.867650e-05,4.870951e-05,4.871055e-05,4.872947e-05,4.873363e-05,4.873727e-05,4.873607e-05,4.873376e-05,4.871974e-05,4.869596e-05,4.868640e-05,4.866313e-05,4.863768e-05,4.862193e-05,4.857510e-05,4.857300e-05,4.851694e-05,4.850004e-05,4.845431e-05,4.841381e-05,4.838566e-05,4.831762e-05,4.831149e-05,4.823227e-05,4.821256e-05,4.814846e-05,4.809968e-05,4.806047e-05,4.797991e-05,4.796871e-05,4.787354e-05,4.785413e-05,4.777532e-05,4.772315e-05,4.767438e-05,4.758772e-05,4.757103e-05,4.746556e-05,4.744850e-05,4.735823e-05,4.730614e-05,4.724932e-05,4.716120e-05,4.713904e-05,4.702764e-05,4.701421e-05,4.691532e-05,4.686565e-05,4.680227e-05,4.671597e-05,4.668867e-05,4.657470e-05,4.656557e-05,4.646052e-05,4.641482e-05,4.634627e-05,4.626404e-05,4.623209e-05,4.611810e-05,4.611355e-05,4.600443e-05,4.596360e-05,4.589118e-05,4.581446e-05,4.577845e-05,4.566635e-05,4.551946e-05,4.537398e-05,4.523006e-05,4.508785e-05,4.494747e-05,4.480904e-05,4.467264e-05,4.453837e-05,4.440629e-05,4.427647e-05,4.414895e-05,4.402378e-05,4.390098e-05,4.378059e-05,4.366262e-05,4.354709e-05,4.343399e-05,4.332334e-05,4.321512e-05,4.310932e-05,4.300594e-05,4.290495e-05,4.280634e-05,4.271009e-05
0.000000e+00,2.731111e-11,1.200830e-10,1.000939e-09,3.818890e-09,6.908165e-09,2.368340e-08,2.472770e-08,6.278800e-08,7.823946e-08,1.296299e-07,1.870181e-07,2.335564e-07,3.687811e-07,3.825402e-07,5.842385e-07,6.413113e-07,8.459592e-07,1.021289e-06,1.174441e-06,1.523243e-06,1.575314e-06,2.052219e-06,2.156846e-06,2.605874e-06,2.923366e-06,3.233670e-06,3.814355e-06,3.930111e-06,4.687872e-06,4.814267e-06,5.498864e-06,5.904656e-06,6.354980e-06,7.067129e-06,7.248456e-06,8.171998e-06,8.284514e-06,9.118776e-06,9.541057e-06,1.008240e-05,1.082234e-05,1.105691e-05,1.203679e-05,1.211526e-05,1.301695e-05,1.340804e-05,1.399275e-05,1.469028e-05,1.496003e-05,1.591510e-05,1.595300e-05,1.685470e-05,1.718862e-05,1.777606e-05,1.839094e-05,1.867681e-05,1.955498e-05,2.040900e-05,2.067697e-05,2.123761e-05,2.175413e-05,2.203986e-05,2.278461e-05,2.281509e-05,2.356286e-05,2.376728e-05,2.428295e-05,2.470168e-05,2.497529e-05,2.558783e-05,2.563999e-05,2.627729e-05,2.642620e-05,2.688753e-05,2.721760e-05,2.747114e-05,2.796308e-05,2.802862e-05,2.856054e-05,2.866391e-05,2.906751e-05,2.932148e-05,2.955017e-05,2.993732e-05,3.000920e-05,3.044529e-05,3.051298e-05,3.085913e-05,3.105009e-05,3.125145e-05,3.155028e-05,3.162295e-05,3.197434e-05,3.201519e-05,3.230633e-05,3.244644e-05,3.261961e-05,3.284561e-05,3.291487e-05,3.319277e-05,3.321428e-05,3.345398e-05,3.355394e-05,3.369914e-05,3.386606e-05,3.392887e-05,3.414378e-05,3.415207e-05,3.434447e-05,3.441335e-05,3.453152e-05,3.465122e-05,3.470550e-05,3.486693e-05,3.501636e-05,3.506172e-05,3.515429e-05,3.523675e-05,3.528121e-05,3.539315e-05,3.539760e-05,3.550394e-05,3.553197e-05,3.560065e-05,3.565423e-05,3.568817e-05,3.576092e-05,3.576691e-05,3.583728e-05,3.585296e-05,3.589966e-05,3.593124e-05,3.595442e-05,3.599659e-05,3.600192e-05,3.604250e-05,3.604982e-05,3.607650e-05,3.609169e-05,3.610424e-05,3.612292e-05,3.612601e-05,3.614212e-05,3.614420e-05,3.615285e-05,3.615617e-05,3.615848e-05,3.615947e-05,3.615925e-05,3.615544e-05,3.615468e-05,3.614726e-05,3.614235e-05,3.613497e-05,3.612301e-05,3.611878e-05,3.609890e-05,3.609716e-05,3.607554e-05,3.606527e-05,3.604889e-05,3.602778e-05,3.601915e-05,3.598649e-05,3.598513e-05,3.595109e-05,3.593770e-05,3.591311e-05,3.588589e-05,3.587270e-05,3.583003e-05,3.577048e-05,3.570754e-05,3.564152e-05,3.557270e-05,3.550134e-05,3.542769e-05,3.535200e-05,3.527448e-05,3.519534e-05,3.511478e-05,3.503298e-05,3.495011e-05,3.486634e-05,3.478181e-05,3.469668e-05,3.461107e-05,3.452510e-05,3.443890e-05,3.435257e-05,3.426621e-05,3.417992e-05,3.409378e-05,3.400788e-05,3.392229e-05
0.000000e+00,5.844581e-12,2.992096e-11,3.381823e-10,1.681955e-09,3.502634e-09,1.703676e-08,1.803584e-08,6.366835e-08,8.655917e-08,1.778422e-07,3.042276e-07,4.238111e-07,8.491759e-07,8.984799e-07,1.734683e-06,2.006712e-06,3.094356e-06,4.150565e-06,5.155612e-06,7.693379e-06,8.098962e-06,1.209579e-05,1.303548e-05,1.729985e-05,2.052742e-05,2.384163e-05,3.044720e-05,3.182482e-05,4.132446e-05,4.298860e-05,5.238633e-05,5.825694e-05,6.502716e-05,7.626994e-05,7.923558e-05,9.497370e-05,9.696235e-05,1.121791e-04,1.201932e-04,1.307672e-04,1.457558e-04,1.506343e-04,1.716601e-04,1.733883e-04,1.937113e-04,2.027871e-04,2.166445e-04,2.336184e-04,2.403095e-04,2.645522e-04,2.655318e-04,2.892178e-04,2.981712e-04,3.141528e-04,3.311860e-04,3.392079e-04,3.642396e-04,3.891122e-04,3.970169e-04,4.136989e-04,4.292298e-04,4.378826e-04,4.606213e-04,4.615573e-04,4.846278e-04,4.909676e-04,5.070103e-04,5.200789e-04,5.286323e-04,5.477998e-04,5.494323e-04,5.693596e-04,5.740076e-04,5.883736e-04,5.986105e-04,6.064433e-04,6.215459e-04,6.235467e-04,6.396703e-04,6.427767e-04,6.548077e-04,6.622893e-04,6.689595e-04,6.800902e-04,6.821325e-04,6.943387e-04,6.962031e-04,7.055948e-04,7.106662e-04,7.159216e-04,7.235300e-04,7.253431e-04,7.338864e-04,7.348540e-04,7.415807e-04,7.447052e-04,7.484572e-04,7.531562e-04,7.545482e-04,7.598873e-04,7.602830e-04,7.645086e-04,7.661637e-04,7.684463e-04,7.708776e-04,7.717349e-04,7.744088e-04,7.745034e-04,7.765016e-04,7.771192e-04,7.780467e-04,7.788011e-04,7.790765e-04,7.796229e-04,7.797164e-04,7.796556e-04,7.793869e-04,7.789672e-04,7.786629e-04,7.776223e-04,7.775719e-04,7.761403e-04,7.756819e-04,7.743934e-04,7.732039e-04,7.723551e-04,7.702423e-04,7.700484e-04,7.674950e-04,7.668478e-04,7.647156e-04,7.630676e-04,7.617295e-04,7.589455e-04,7.585552e-04,7.552101e-04,7.545220e-04,7.517105e-04,7.498347e-04,7.480717e-04,7.449182e-04,7.443082e-04,7.404336e-04,7.398042e-04,7.364604e-04,7.345218e-04,7.324006e-04,7.290978e-04,7.282652e-04,7.240645e-04,7.235565e-04,7.198081e-04,7.179200e-04,7.155051e-04,7.122086e-04,7.111636e-04,7.067914e-04,7.064405e-04,7.023957e-04,7.006323e-04,6.979830e-04,6.947990e-04,6.935597e-04,6.891311e-04,6.889540e-04,6.847027e-04,6.831095e-04,6.802793e-04,6.772764e-04,6.758651e-04,6.714643e-04,6.656820e-04,6.599373e-04,6.542368e-04,6.485867e-04,6.429922e-04,6.374581e-04,6.319882e-04,6.265861e-04,6.212547e-04,6.159966e-04,6.108138e-04,6.057081e-04,6.006808e-04,5.957332e-04,5.908658e-04,5.860795e-04,5.813743e-04,5.767506e-04,5.722083e-04,5.677472e-04,5.633669e-04,5.590669e-04,5.548468e-04,5.507058e-04
0.000000e+00,9.069976e-12,4.223227e-11,3.928813e-10,1.639357e-09,3.101937e-09,1.178934e-08,1.235617e-08,3.413095e-08,4.339476e-08,7.526502e-08,1.121510e-07,1.427399e-07,2.338424e-07,2.432480e-07,3.829737e-07,4.229747e-07,5.674595e-07,6.921228e-07,8.014189e-07,1.051053e-06,1.088360e-06,1.429980e-06,1.504847e-06,1.825524e-06,2.051466e-06,2.271515e-06,2.680903e-06,2.762100e-06,3.289853e-06,3.377203e-06,3.846669e-06,4.121877e-06,4.424469e-06,4.896674e-06,5.015630e-06,5.613178e-06,5.685008e-06,6.210869e-06,6.472453e-06,6.803194e-06,7.246793e-06,7.385353e-06,7.953237e-06,7.997943e-06,8.503397e-06,8.717847e-06,9.033016e-06,9.400353e-06,9.539871e-06,1.002229e-05,1.004106e-05,1.047912e-05,1.063716e-05,1.090964e-05,1.118719e-05,1.131354e-05,1.169087e-05,1.204193e-05,1.214881e-05,1.236730e-05,1.256238e-05,1.266770e-05,1.293343e-05,1.294404e-05,1.319729e-05,1.326421e-05,1.342854e-05,1.355719e-05,1.363890e-05,1.381496e-05,1.382950e-05,1.400150e-05,1.404013e-05,1.415601e-05,1.423531e-05,1.429415e-05,1.440302e-05,1.441699e-05,1.452557e-05,1.454567e-05,1.462089e-05,1.466553e-05,1.470389e-05,1.476475e-05,1.477547e-05,1.483648e-05,1.484531e-05,1.488771e-05,1.490905e-05,1.492992e-05,1.495765e-05,1.496379e-05,1.499000e-05,1.499266e-05,1.500914e-05,1.501548e-05,1.502179e-05,1.502739e-05,1.502848e-05,1.502970e-05,1.502958e-05,1.502591e-05,1.502308e-05,1.501752e-05,1.500886e-05,1.500494e-05,1.498853e-05,1.498779e-05,1.496862e-05,1.496066e-05,1.494554e-05,1.492818e-05,1.491957e-05,1.489097e-05,1.486001e-05,1.484964e-05,1.482691e-05,1.480470e-05,1.479188e-05,1.475662e-05,1.475511e-05,1.471681e-05,1.470583e-05,1.467712e-05,1.465271e-05,1.463621e-05,1.459761e-05,1.459422e-05,1.455128e-05,1.454085e-05,1.450752e-05,1.448270e-05,1.446305e-05,1.442341e-05,1.441798e-05,1.437240e-05,1.436323e-05,1.432640e-05,1.430235e-05,1.428008e-05,1.424096e-05,1.423349e-05,1.418672e-05,1.417922e-05,1.413982e-05,1.411729e-05,1.409287e-05,1.405530e-05,1.404590e-05,1.399898e-05,1.399336e-05,1.395216e-05,1.393159e-05,1.390546e-05,1.387009e-05,1.385894e-05,1.381262e-05,1.380893e-05,1.376655e-05,1.374820e-05,1.372075e-05,1.368796e-05,1.367525e-05,1.363008e-05,1.362828e-05,1.358525e-05,1.356921e-05,1.354080e-05,1.351078e-05,1.349673e-05,1.345306e-05,1.339607e-05,1.333984e-05,1.328440e-05,1.322977e-05,1.317597e-05,1.312302e-05,1.307094e-05,1.301972e-05,1.296938e-05,1.291993e-05,1.287136e-05,1.282369e-05,1.277690e-05,1.273101e-05,1.268600e-05,1.264187e-05,1.259862e-05,1.255624e-05,1.251472e-05,1.247406e-05,1.243425e-05,1.239527e-05,1.235713e-05,1.231980e-05
0.000000e+00,6.919458e-13,3.476008e-12,3.772122e-11,1.803386e-10,3.670227e-10,1.673275e-09,1.766404e-09,5.787844e-09,7.695300e-09,1.488558e-08,2.414275e-08,3.241817e-08,5.956714e-08,6.255140e-08,1.100945e-07,1.246723e-07,1.802953e-07,2.315372e-07,2.786107e-07,3.926916e-07,4.104568e-07,5.809348e-07,6.200753e-07,7.945272e-07,9.238546e-07,1.054769e-06,1.311128e-06,1.363932e-06,1.722773e-06,1.784762e-06,2.130411e-06,2.342739e-06,2.584362e-06,2.978271e-06,3.080699e-06,3.614321e-06,3.680585e-06,4.179262e-06,4.436094e-06,4.769019e-06,5.229684e-06,5.376850e-06,5.996039e-06,6.045869e-06,6.620115e-06,6.869738e-06,7.243013e-06,7.687641e-06,7.859201e-06,8.463759e-06,8.487637e-06,9.052416e-06,9.259726e-06,9.621570e-06,9.995923e-06,1.016827e-05,1.069020e-05,1.118561e-05,1.133833e-05,1.165330e-05,1.193772e-05,1.209254e-05,1.248716e-05,1.250303e-05,1.288479e-05,1.298659e-05,1.323820e-05,1.343688e-05,1.356386e-05,1.383964e-05,1.386256e-05,1.413528e-05,1.419699e-05,1.438310e-05,1.451143e-05,1.460718e-05,1.478571e-05,1.480875e-05,1.498906e-05,1.502268e-05,1.514936e-05,1.522523e-05,1.529091e-05,1.539623e-05,1.541494e-05,1.552265e-05,1.553844e-05,1.561518e-05,1.565454e-05,1.569366e-05,1.574702e-05,1.575912e-05,1.581258e-05,1.581824e-05,1.585498e-05,1.587037e-05,1.588722e-05,1.590544e-05,1.591013e-05,1.592449e-05,1.592529e-05,1.593103e-05,1.593161e-05,1.593044e-05,1.592594e-05,1.592334e-05,1.591032e-05,1.590968e-05,1.589193e-05,1.588409e-05,1.586867e-05,1.585031e-05,1.584100e-05,1.580936e-05,1.577415e-05,1.576218e-05,1.573572e-05,1.570959e-05,1.569441e-05,1.565234e-05,1.565054e-05,1.560438e-05,1.559109e-05,1.555621e-05,1.552644e-05,1.550627e-05,1.545894e-05,1.545477e-05,1.540192e-05,1.538905e-05,1.534790e-05,1.531721e-05,1.529290e-05,1.524381e-05,1.523707e-05,1.518054e-05,1.516917e-05,1.512346e-05,1.509361e-05,1.506595e-05,1.501739e-05,1.500812e-05,1.495006e-05,1.494076e-05,1.489188e-05,1.486393e-05,1.483365e-05,1.478709e-05,1.477546e-05,1.471737e-05,1.471041e-05,1.465946e-05,1.463404e-05,1.460177e-05,1.455812e-05,1.454437e-05,1.448730e-05,1.448275e-05,1.443060e-05,1.440804e-05,1.437432e-05,1.433407e-05,1.431849e-05,1.426314e-05,1.426094e-05,1.420831e-05,1.418870e-05,1.415401e-05,1.411741e-05,1.410027e-05,1.404712e-05,1.397788e-05,1.390972e-05,1.384267e-05,1.377676e-05,1.371200e-05,1.364842e-05,1.358601e-05,1.352480e-05,1.346478e-05,1.340596e-05,1.334833e-05,1.329190e-05,1.323665e-05,1.318258e-05,1.312968e-05,1.307795e-05,1.302736e-05,1.297792e-05,1.292959e-05,1.288238e-05,1.283626e-05,1.279122e-05,1.274724e-05,1.270431e-05
0.000000e+00,2.550860e-11,1.178088e-10,1.076805e-09,4.419042e-09,8.284777e-09,3.075533e-08,3.220400e-08,8.706380e-08,1.101120e-07,1.887525e-07,2.791496e-07,3.539484e-07,5.770358e-07,6.001352e-07,9.451355e-07,1.044461e-06,1.404215e-06,1.714256e-06,1.984394e-06,2.590630e-06,2.679603e-06,3.471094e-06,3.638705e-06,4.332804e-06,4.799580e-06,5.237748e-06,6.013955e-06,6.162403e-06,7.088361e-06,7.235671e-06,8.002098e-06,8.433388e-06,8.893906e-06,9.586739e-06,9.756698e-06,1.058506e-05,1.068193e-05,1.137463e-05,1.170880e-05,1.212179e-05,1.265942e-05,1.282357e-05,1.347755e-05,1.352774e-05,1.408196e-05,1.430958e-05,1.463571e-05,1.500278e-05,1.513838e-05,1.559027e-05,1.560730e-05,1.599228e-05,1.612506e-05,1.634590e-05,1.655971e-05,1.665310e-05,1.691622e-05,1.713789e-05,1.720053e-05,1.732094e-05,1.741916e-05,1.746827e-05,1.757887e-05,1.758286e-05,1.766762e-05,1.768640e-05,1.772540e-05,1.774825e-05,1.775891e-05,1.777052e-05,1.777073e-05,1.776326e-05,1.775884e-05,1.773872e-05,1.771829e-05,1.769915e-05,1.765339e-05,1.764642e-05,1.758220e-05,1.756812e-05,1.750801e-05,1.746595e-05,1.742521e-05,1.734989e-05,1.733501e-05,1.723847e-05,1.722250e-05,1.713656e-05,1.708599e-05,1.703012e-05,1.694221e-05,1.691989e-05,1.680653e-05,1.679274e-05,1.669061e-05,1.663893e-05,1.657264e-05,1.648189e-05,1.645307e-05,1.633228e-05,1.632257e-05,1.621061e-05,1.616177e-05,1.608838e-05,1.600017e-05,1.596584e-05,1.584323e-05,1.583832e-05,1.572074e-05,1.567672e-05,1.559857e-05,1.551574e-05,1.547686e-05,1.535575e-05,1.523537e-05,1.519702e-05,1.511582e-05,1.503979e-05,1.499720e-05,1.488426e-05,1.487958e-05,1.476304e-05,1.473061e-05,1.464764e-05,1.457897e-05,1.453343e-05,1.442946e-05,1.442047e-05,1.430878e-05,1.428217e-05,1.419842e-05,1.413720e-05,1.408939e-05,1.399458e-05,1.398174e-05,1.387547e-05,1.385438e-05,1.377061e-05,1.371664e-05,1.366716e-05,1.358137e-05,1.356514e-05,1.346456e-05,1.344860e-05,1.336541e-05,1.331833e-05,1.326770e-05,1.319056e-05,1.317142e-05,1.307659e-05,1.306530e-05,1.298318e-05,1.294254e-05,1.289121e-05,1.282225e-05,1.280065e-05,1.271150e-05,1.270443e-05,1.262375e-05,1.258904e-05,1.253739e-05,1.247607e-05,1.245241e-05,1.236880e-05,1.236549e-05,1.228654e-05,1.225726e-05,1.220563e-05,1.215136e-05,1.212603e-05,1.204775e-05,1.194640e-05,1.184727e-05,1.175032e-05,1.165552e-05,1.156283e-05,1.147220e-05,1.138360e-05,1.129699e-05,1.121233e-05,1.112958e-05,1.104870e-05,1.096965e-05,1.089238e-05,1.081687e-05,1.074308e-05,1.067096e-05,1.060047e-05,1.053159e-05,1.046427e-05,1.039847e-05,1.033417e-05,1.027133e-05,1.020990e-05,1.014987e-05
0.000000e+00,3.226181e-09,7.386189e-09,2.533681e-08,5.744840e-08,8.363888e-08,1.886768e-07,1.943084e-07,3.733400e-07,4.379648e-07,6.374196e-07,8.440474e-07,1.004312e-06,1.448153e-06,1.492004e-06,2.115380e-06,2.286091e-06,2.880031e-06,3.367200e-06,3.776983e-06,4.658763e-06,4.784666e-06,5.876964e-06,6.103388e-06,7.029812e-06,7.646451e-06,8.223296e-06,9.245306e-06,9.441242e-06,1.067026e-05,1.086715e-05,1.189898e-05,1.248573e-05,1.311761e-05,1.407953e-05,1.431770e-05,1.549203e-05,1.563092e-05,1.663452e-05,1.712581e-05,1.774019e-05,1.855340e-05,1.880508e-05,1.982617e-05,1.990590e-05,2.080131e-05,2.117816e-05,2.172908e-05,2.236731e-05,2.260874e-05,2.344010e-05,2.347235e-05,2.422343e-05,2.449379e-05,2.495940e-05,2.543328e-05,2.564897e-05,2.629336e-05,2.689395e-05,2.707713e-05,2.745226e-05,2.778814e-05,2.796991e-05,2.843014e-05,2.844856e-05,2.888991e-05,2.900704e-05,2.929567e-05,2.952274e-05,2.966753e-05,2.998113e-05,3.000715e-05,3.031618e-05,3.038598e-05,3.059621e-05,3.074094e-05,3.084878e-05,3.104951e-05,3.107538e-05,3.127745e-05,3.131504e-05,3.145636e-05,3.154068e-05,3.161343e-05,3.172943e-05,3.174993e-05,3.186707e-05,3.188410e-05,3.196600e-05,3.200734e-05,3.204781e-05,3.210163e-05,3.211354e-05,3.216419e-05,3.216930e-05,3.220070e-05,3.221251e-05,3.222395e-05,3.223329e-05,3.223481e-05,3.223407e-05,3.223353e-05,3.222250e-05,3.221499e-05,3.220080e-05,3.217931e-05,3.216968e-05,3.212977e-05,3.212800e-05,3.208168e-05,3.206248e-05,3.202599e-05,3.198407e-05,3.196325e-05,3.189397e-05,3.181864e-05,3.179333e-05,3.173772e-05,3.168319e-05,3.165163e-05,3.156451e-05,3.156080e-05,3.146559e-05,3.143821e-05,3.136639e-05,3.130509e-05,3.126353e-05,3.116594e-05,3.115733e-05,3.104810e-05,3.102147e-05,3.093612e-05,3.087232e-05,3.082167e-05,3.071910e-05,3.070499e-05,3.058633e-05,3.056238e-05,3.046590e-05,3.040266e-05,3.034393e-05,3.024042e-05,3.022060e-05,3.009610e-05,3.007609e-05,2.997061e-05,2.991007e-05,2.984429e-05,2.974274e-05,2.971730e-05,2.958976e-05,2.957443e-05,2.946183e-05,2.940545e-05,2.933363e-05,2.923609e-05,2.920527e-05,2.907687e-05,2.906660e-05,2.894852e-05,2.889722e-05,2.882032e-05,2.872817e-05,2.869237e-05,2.856474e-05,2.855965e-05,2.843752e-05,2.839183e-05,2.831077e-05,2.822488e-05,2.818456e-05,2.805896e-05,2.789418e-05,2.773068e-05,2.756855e-05,2.740791e-05,2.724883e-05,2.709139e-05,2.693566e-05,2.678171e-05,2.662958e-05,2.647932e-05,2.633097e-05,2.618456e-05,2.604013e-05,2.589769e-05,2.575726e-05,2.561885e-05,2.548249e-05,2.534816e-05,2.521589e-05,2.508565e-05,2.495746e-05,2.483131e-05,2.470719e-05,2.458509e-05
0.000000e+00,4.908134e-11,2.542715e-10,2.943409e-09,1.493971e-08,3.143381e-08,1.564008e-07,1.657013e-07,5.935169e-07,8.087749e-07,1.665593e-06,2.844233e-06,3.951327e-06,7.844063e-06,8.292120e-06,1.585035e-05,1.830442e-05,2.815141e-05,3.781007e-05,4.711344e-05,7.114292e-05,7.505633e-05,1.146822e-04,1.242714e-04,1.690264e-04,2.041881e-04,2.413844e-04,3.186207e-04,3.352246e-04,4.540954e-04,4.756747e-04,6.015311e-04,6.834602e-04,7.809634e-04,9.497372e-04,9.956397e-04,1.248550e-03,1.281599e-03,1.542363e-03,1.685205e-03,1.879375e-03,2.165571e-03,2.261469e-03,2.690084e-03,2.726415e-03,3.166195e-03,3.370067e-03,3.690307e-03,4.097429e-03,4.262457e-03,4.882221e-03,4.907991e-03,5.548738e-03,5.799895e-03,6.260729e-03,6.770027e-03,7.016536e-03,7.814151e-03,8.651258e-03,8.927057e-03,9.525273e-03,1.010272e-02,1.043339e-02,1.133448e-02,1.137261e-02,1.233981e-02,1.261520e-02,1.333175e-02,1.393742e-02,1.434513e-02,1.529352e-02,1.537663e-02,1.642294e-02,1.667589e-02,1.748077e-02,1.807699e-02,1.854691e-02,1.948950e-02,1.961823e-02,2.069170e-02,2.090640e-02,2.176445e-02,2.232106e-02,2.283370e-02,2.372726e-02,2.389685e-02,2.495148e-02,2.511927e-02,2.599529e-02,2.649185e-02,2.702619e-02,2.784030e-02,2.804223e-02,2.904168e-02,2.916041e-02,3.002292e-02,3.044853e-02,3.098455e-02,3.170149e-02,3.192531e-02,3.284410e-02,3.291663e-02,3.373998e-02,3.409174e-02,3.461215e-02,3.522506e-02,3.545995e-02,3.628286e-02,3.631525e-02,3.708046e-02,3.736134e-02,3.785247e-02,3.836272e-02,3.859870e-02,3.931908e-02,4.001362e-02,4.023042e-02,4.068239e-02,4.109697e-02,4.132558e-02,4.191919e-02,4.194342e-02,4.253620e-02,4.269774e-02,4.310429e-02,4.343345e-02,4.364807e-02,4.412727e-02,4.416800e-02,4.466455e-02,4.478031e-02,4.513825e-02,4.539373e-02,4.558962e-02,4.596880e-02,4.601923e-02,4.642766e-02,4.650685e-02,4.681550e-02,4.700924e-02,4.718335e-02,4.747735e-02,4.753183e-02,4.786155e-02,4.791261e-02,4.817313e-02,4.831642e-02,4.846717e-02,4.869020e-02,4.874430e-02,4.900511e-02,4.903534e-02,4.925021e-02,4.935323e-02,4.948019e-02,4.964522e-02,4.969563e-02,4.989709e-02,4.991262e-02,5.008515e-02,5.015674e-02,5.026035e-02,5.037883e-02,5.042322e-02,5.057428e-02,5.058008e-02,5.071404e-02,5.076168e-02,5.084299e-02,5.092474e-02,5.096160e-02,5.107034e-02,5.119952e-02,5.131327e-02,5.141253e-02,5.149820e-02,5.157115e-02,5.163217e-02,5.168205e-02,5.172153e-02,5.175129e-02,5.177199e-02,5.178425e-02,5.178867e-02,5.178579e-02,5.177614e-02,5.176020e-02,5.173845e-02,5.171131e-02,5.167920e-02,5.164251e-02,5.160159e-02,5.155679e-02,5.150842e-02,5.145680e-02,5.140219e-02
0.000000e+00,2.449538e-12,1.242006e-11,1.374199e-10,6.689096e-10,1.375105e-09,6.438597e-09,6.804491e-09,2.292421e-08,3.071851e-08,6.063616e-08,1.000358e-07,1.358744e-07,2.564234e-07,2.699022e-07,4.893084e-07,5.580816e-07,8.256638e-07,1.078288e-06,1.314681e-06,1.901671e-06,1.994630e-06,2.903844e-06,3.116389e-06,4.077511e-06,4.802207e-06,5.544360e-06,7.017718e-06,7.323972e-06,9.425185e-06,9.791223e-06,1.184568e-05,1.311751e-05,1.457254e-05,1.695997e-05,1.758358e-05,2.084901e-05,2.125631e-05,2.433332e-05,2.592572e-05,2.799717e-05,3.087629e-05,3.179909e-05,3.569705e-05,3.601179e-05,3.964977e-05,4.123727e-05,4.361778e-05,4.646341e-05,4.756425e-05,5.145557e-05,5.160964e-05,5.526179e-05,5.660605e-05,5.895681e-05,6.139443e-05,6.251846e-05,6.592847e-05,6.917227e-05,7.017329e-05,7.223885e-05,7.410472e-05,7.512040e-05,7.770811e-05,7.781209e-05,8.031168e-05,8.097710e-05,8.261922e-05,8.391232e-05,8.473671e-05,8.652009e-05,8.666783e-05,8.841758e-05,8.881120e-05,8.999209e-05,9.079982e-05,9.139829e-05,9.250255e-05,9.264379e-05,9.373658e-05,9.393755e-05,9.468498e-05,9.512388e-05,9.549741e-05,9.608093e-05,9.618228e-05,9.674795e-05,9.682794e-05,9.720258e-05,9.738369e-05,9.755410e-05,9.776623e-05,9.781016e-05,9.797810e-05,9.799267e-05,9.806492e-05,9.807913e-05,9.807723e-05,9.804063e-05,9.802131e-05,9.790304e-05,9.789106e-05,9.772797e-05,9.764320e-05,9.750125e-05,9.730875e-05,9.722770e-05,9.691183e-05,9.689837e-05,9.655777e-05,9.642172e-05,9.616940e-05,9.588753e-05,9.575027e-05,9.530368e-05,9.483267e-05,9.467726e-05,9.434004e-05,9.401461e-05,9.382837e-05,9.332144e-05,9.330001e-05,9.275714e-05,9.260281e-05,9.220174e-05,9.186326e-05,9.163564e-05,9.110681e-05,9.106051e-05,9.047786e-05,9.033706e-05,8.988909e-05,8.955718e-05,8.929547e-05,8.877001e-05,8.869817e-05,8.809824e-05,8.797802e-05,8.749664e-05,8.718344e-05,8.689425e-05,8.638821e-05,8.629185e-05,8.569019e-05,8.559403e-05,8.508990e-05,8.480242e-05,8.449158e-05,8.401472e-05,8.389578e-05,8.330297e-05,8.323206e-05,8.271361e-05,8.245548e-05,8.212807e-05,8.168584e-05,8.154671e-05,8.096986e-05,8.092391e-05,8.039779e-05,8.017035e-05,7.983075e-05,7.942572e-05,7.926896e-05,7.871263e-05,7.869049e-05,7.816192e-05,7.796506e-05,7.761697e-05,7.724978e-05,7.707793e-05,7.654491e-05,7.585069e-05,7.516729e-05,7.449484e-05,7.383345e-05,7.318318e-05,7.254406e-05,7.191610e-05,7.129929e-05,7.069359e-05,7.009894e-05,6.951527e-05,6.894250e-05,6.838052e-05,6.782924e-05,6.728853e-05,6.675826e-05,6.623830e-05,6.572852e-05,6.522875e-05,6.473886e-05,6.425869e-05,6.378808e-05,6.332688e-05,6.287492e-05
0.000000e+00,6.364183e-13,3.206662e-12,3.502182e-11,1.684918e-10,3.441948e-10,1.586388e-09,1.675501e-09,5.563943e-09,7.428648e-09,1.453997e-08,2.384312e-08,3.227198e-08,6.051327e-08,6.366509e-08,1.149103e-07,1.309638e-07,1.934187e-07,2.523720e-07,3.075077e-07,4.441377e-07,4.657241e-07,6.758551e-07,7.246802e-07,9.438956e-07,1.107417e-06,1.273278e-06,1.597832e-06,1.664525e-06,2.115315e-06,2.192677e-06,2.620849e-06,2.881029e-06,3.174385e-06,3.646369e-06,3.767832e-06,4.392318e-06,4.468907e-06,5.038690e-06,5.327693e-06,5.697939e-06,6.202295e-06,6.361515e-06,7.021560e-06,7.073995e-06,7.671066e-06,7.926525e-06,8.303961e-06,8.746458e-06,8.915144e-06,9.500475e-06,9.523302e-06,1.005674e-05,1.024939e-05,1.058156e-05,1.091965e-05,1.107337e-05,1.153128e-05,1.195497e-05,1.208336e-05,1.234468e-05,1.257654e-05,1.270104e-05,1.301266e-05,1.302501e-05,1.331785e-05,1.339445e-05,1.358098e-05,1.372524e-05,1.381597e-05,1.400875e-05,1.402450e-05,1.420826e-05,1.424886e-05,1.436897e-05,1.444953e-05,1.450833e-05,1.461462e-05,1.462799e-05,1.472955e-05,1.474783e-05,1.481454e-05,1.485266e-05,1.488438e-05,1.493235e-05,1.494045e-05,1.498401e-05,1.498990e-05,1.501624e-05,1.502800e-05,1.503822e-05,1.504911e-05,1.505097e-05,1.505540e-05,1.505542e-05,1.505236e-05,1.504886e-05,1.504262e-05,1.503117e-05,1.502688e-05,1.500577e-05,1.500387e-05,1.497988e-05,1.496831e-05,1.494973e-05,1.492565e-05,1.491579e-05,1.487849e-05,1.487693e-05,1.483821e-05,1.482305e-05,1.479531e-05,1.476480e-05,1.475010e-05,1.470287e-05,1.465387e-05,1.463785e-05,1.460333e-05,1.457027e-05,1.455146e-05,1.450059e-05,1.449845e-05,1.444447e-05,1.442921e-05,1.438968e-05,1.435648e-05,1.433422e-05,1.428271e-05,1.427821e-05,1.422177e-05,1.420817e-05,1.416500e-05,1.413310e-05,1.410800e-05,1.405771e-05,1.405085e-05,1.399362e-05,1.398217e-05,1.393639e-05,1.390665e-05,1.387922e-05,1.383129e-05,1.382218e-05,1.376530e-05,1.375622e-05,1.370865e-05,1.368154e-05,1.365226e-05,1.360736e-05,1.359617e-05,1.354042e-05,1.353375e-05,1.348504e-05,1.346080e-05,1.343007e-05,1.338857e-05,1.337552e-05,1.332142e-05,1.331711e-05,1.326779e-05,1.324648e-05,1.321466e-05,1.317672e-05,1.316203e-05,1.310994e-05,1.310786e-05,1.305838e-05,1.303995e-05,1.300737e-05,1.297300e-05,1.295692e-05,1.290705e-05,1.284210e-05,1.277818e-05,1.271530e-05,1.265347e-05,1.259270e-05,1.253298e-05,1.247433e-05,1.241675e-05,1.236022e-05,1.230476e-05,1.225035e-05,1.219700e-05,1.214469e-05,1.209342e-05,1.204317e-05,1.199395e-05,1.194573e-05,1.189851e-05,1.185228e-05,1.180702e-05,1.176273e-05,1.171938e-05,1.167697e-05,1.163549e-05
0.000000e+00,8.897690e-11,3.872830e-10,3.169511e-09,1.192843e-08,2.144199e-08,7.258943e-08,7.575968e-08,1.909672e-07,2.376840e-07,3.932283e-07,5.674946e-07,7.093530e-07,1.124395e-06,1.166856e-06,1.793498e-06,1.972009e-06,2.614861e-06,3.167229e-06,3.649475e-06,4.742263e-06,4.904441e-06,6.375562e-06,6.694796e-06,8.051433e-06,8.999051e-06,9.917605e-06,1.162111e-05,1.195884e-05,1.415972e-05,1.452563e-05,1.650456e-05,1.767652e-05,1.897729e-05,2.103653e-05,2.156149e-05,2.424051e-05,2.456757e-05,2.699779e-05,2.823160e-05,2.981716e-05,3.199179e-05,3.268305e-05,3.558084e-05,3.581362e-05,3.849693e-05,3.966568e-05,4.141894e-05,4.352012e-05,4.433567e-05,4.723717e-05,4.735279e-05,5.011471e-05,5.114327e-05,5.296073e-05,5.487465e-05,5.576871e-05,5.853315e-05,6.124946e-05,6.210787e-05,6.391382e-05,6.559031e-05,6.652316e-05,6.897406e-05,6.907500e-05,7.156744e-05,7.225446e-05,7.399902e-05,7.542831e-05,7.636872e-05,7.849359e-05,7.867585e-05,8.092003e-05,8.144925e-05,8.310115e-05,8.429506e-05,8.521931e-05,8.703143e-05,8.727479e-05,8.926802e-05,8.965925e-05,9.119957e-05,9.217982e-05,9.307011e-05,9.459476e-05,9.488039e-05,9.663128e-05,9.690597e-05,9.832367e-05,9.911552e-05,9.995852e-05,1.012256e-04,1.015368e-04,1.030596e-04,1.032387e-04,1.045280e-04,1.051571e-04,1.059430e-04,1.069834e-04,1.073058e-04,1.086174e-04,1.087202e-04,1.098790e-04,1.103699e-04,1.110917e-04,1.119352e-04,1.122567e-04,1.133750e-04,1.134187e-04,1.144478e-04,1.148230e-04,1.154761e-04,1.161506e-04,1.164612e-04,1.174041e-04,1.183058e-04,1.185859e-04,1.191675e-04,1.196985e-04,1.199902e-04,1.207444e-04,1.207750e-04,1.215229e-04,1.217259e-04,1.222350e-04,1.226454e-04,1.229121e-04,1.235052e-04,1.235554e-04,1.241658e-04,1.243075e-04,1.247442e-04,1.250545e-04,1.252916e-04,1.257484e-04,1.258089e-04,1.262971e-04,1.263913e-04,1.267569e-04,1.269851e-04,1.271892e-04,1.275318e-04,1.275950e-04,1.279750e-04,1.280335e-04,1.283301e-04,1.284919e-04,1.286610e-04,1.289089e-04,1.289685e-04,1.292535e-04,1.292862e-04,1.295165e-04,1.296256e-04,1.297585e-04,1.299286e-04,1.299800e-04,1.301818e-04,1.301971e-04,1.303645e-04,1.304324e-04,1.305288e-04,1.306360e-04,1.306753e-04,1.308048e-04,1.308096e-04,1.309177e-04,1.309544e-04,1.310146e-04,1.310718e-04,1.310963e-04,1.311632e-04,1.312297e-04,1.312727e-04,1.312934e-04,1.312928e-04,1.312720e-04,1.312322e-04,1.311744e-04,1.310994e-04,1.310084e-04,1.309021e-04,1.307815e-04,1.306474e-04,1.305006e-04,1.303419e-04,1.301720e-04,1.299917e-04,1.298016e-04,1.296023e-04,1.293946e-04,1.291791e-04,1.289562e-04,1.287266e-04,1.284908e-04,1.282493e-04
0.000000e+00,4.421084e-13,2.251505e-12,2.513847e-11,1.233702e-10,2.547428e-10,1.206106e-09,1.275207e-09,4.340734e-09,5.832034e-09,1.158491e-08,1.920243e-08,2.615622e-08,4.964542e-08,5.227829e-08,9.524636e-08,1.087464e-07,1.613724e-07,2.111793e-07,2.578852e-07,3.742845e-07,3.927765e-07,5.745722e-07,6.173294e-07,8.120080e-07,9.603172e-07,1.113617e-06,1.422356e-06,1.487279e-06,1.939789e-06,2.019889e-06,2.476515e-06,2.765213e-06,3.101164e-06,3.665539e-06,3.815657e-06,4.620116e-06,4.722638e-06,5.512923e-06,5.932966e-06,6.490839e-06,7.288139e-06,7.549173e-06,8.681967e-06,8.775603e-06,9.882199e-06,1.037943e-05,1.114199e-05,1.208114e-05,1.245279e-05,1.380563e-05,1.386048e-05,1.519122e-05,1.569626e-05,1.660023e-05,1.756699e-05,1.802337e-05,1.945155e-05,2.087604e-05,2.132973e-05,2.228855e-05,2.318267e-05,2.368134e-05,2.499323e-05,2.504727e-05,2.637987e-05,2.674622e-05,2.767337e-05,2.842859e-05,2.892275e-05,3.002948e-05,3.012368e-05,3.127258e-05,3.154024e-05,3.236657e-05,3.295438e-05,3.340345e-05,3.426741e-05,3.438166e-05,3.530024e-05,3.547675e-05,3.615876e-05,3.658147e-05,3.695732e-05,3.758215e-05,3.769645e-05,3.837708e-05,3.848063e-05,3.900047e-05,3.927981e-05,3.956818e-05,3.998347e-05,4.008202e-05,4.054398e-05,4.059603e-05,4.095622e-05,4.112243e-05,4.132100e-05,4.156794e-05,4.164067e-05,4.191761e-05,4.193800e-05,4.215424e-05,4.223815e-05,4.235296e-05,4.247390e-05,4.251615e-05,4.264612e-05,4.265066e-05,4.274517e-05,4.277368e-05,4.281549e-05,4.284798e-05,4.285920e-05,4.287833e-05,4.287483e-05,4.286923e-05,4.285053e-05,4.282487e-05,4.280718e-05,4.274917e-05,4.274642e-05,4.266981e-05,4.264572e-05,4.257879e-05,4.251783e-05,4.247472e-05,4.236854e-05,4.235886e-05,4.223240e-05,4.220059e-05,4.209642e-05,4.201650e-05,4.195194e-05,4.181851e-05,4.179990e-05,4.164115e-05,4.160867e-05,4.147651e-05,4.138881e-05,4.130669e-05,4.116055e-05,4.113238e-05,4.095420e-05,4.092537e-05,4.077271e-05,4.068457e-05,4.058843e-05,4.043931e-05,4.040183e-05,4.021336e-05,4.019063e-05,4.002340e-05,3.993944e-05,3.983232e-05,3.968656e-05,3.964045e-05,3.944809e-05,3.943269e-05,3.925551e-05,3.917847e-05,3.906296e-05,3.892447e-05,3.887066e-05,3.867881e-05,3.867115e-05,3.848761e-05,3.841897e-05,3.829721e-05,3.816828e-05,3.810777e-05,3.791942e-05,3.767267e-05,3.742829e-05,3.718648e-05,3.694743e-05,3.671130e-05,3.647822e-05,3.624830e-05,3.602165e-05,3.579834e-05,3.557843e-05,3.536197e-05,3.514901e-05,3.493956e-05,3.473366e-05,3.453130e-05,3.433250e-05,3.413725e-05,3.394553e-05,3.375734e-05,3.357266e-05,3.339145e-05,3.321370e-05,3.303938e-05,3.286845e-05
0.000000e+00,1.580956e-11,7.448965e-11,7.101455e-10,3.030617e-09,5.806812e-09,2.282330e-08,2.395451e-08,6.861096e-08,8.815777e-08,1.572686e-07,2.402204e-07,3.110525e-07,5.312862e-07,5.547322e-07,9.162319e-07,1.023740e-06,1.424014e-06,1.781441e-06,2.101656e-06,2.849090e-06,2.962115e-06,4.005439e-06,4.235243e-06,5.220847e-06,5.915231e-06,6.590923e-06,7.846598e-06,8.095529e-06,9.714379e-06,9.982694e-06,1.142828e-05,1.227945e-05,1.321949e-05,1.469710e-05,1.507168e-05,1.696982e-05,1.720001e-05,1.890000e-05,1.975610e-05,2.084942e-05,2.233657e-05,2.280632e-05,2.476005e-05,2.491592e-05,2.670106e-05,2.747198e-05,2.862093e-05,2.998599e-05,3.051234e-05,3.236904e-05,3.244251e-05,3.418581e-05,3.482923e-05,3.595840e-05,3.713674e-05,3.768338e-05,3.935813e-05,4.098073e-05,4.148870e-05,4.254981e-05,4.352555e-05,4.406457e-05,4.546726e-05,4.552461e-05,4.692992e-05,4.731364e-05,4.828079e-05,4.906539e-05,4.957775e-05,5.072399e-05,5.082156e-05,5.201313e-05,5.229145e-05,5.315349e-05,5.377016e-05,5.424380e-05,5.516283e-05,5.528526e-05,5.627916e-05,5.647235e-05,5.722681e-05,5.770175e-05,5.812955e-05,5.885413e-05,5.898873e-05,5.980571e-05,5.993260e-05,6.058184e-05,6.094028e-05,6.131848e-05,6.188024e-05,6.201694e-05,6.267855e-05,6.275553e-05,6.330459e-05,6.356910e-05,6.389632e-05,6.432385e-05,6.445498e-05,6.498179e-05,6.502259e-05,6.547792e-05,6.566804e-05,6.594452e-05,6.626282e-05,6.638272e-05,6.679360e-05,6.680949e-05,6.717823e-05,6.731047e-05,6.753763e-05,6.776812e-05,6.787280e-05,6.818471e-05,6.847429e-05,6.856238e-05,6.874245e-05,6.890324e-05,6.899007e-05,6.920925e-05,6.921800e-05,6.942706e-05,6.948232e-05,6.961805e-05,6.972428e-05,6.979173e-05,6.993686e-05,6.994884e-05,7.009010e-05,7.012172e-05,7.021621e-05,7.028045e-05,7.032782e-05,7.041456e-05,7.042558e-05,7.051011e-05,7.052548e-05,7.058200e-05,7.061459e-05,7.064184e-05,7.068319e-05,7.069018e-05,7.072754e-05,7.073254e-05,7.075446e-05,7.076381e-05,7.077141e-05,7.077813e-05,7.077889e-05,7.077734e-05,7.077657e-05,7.076722e-05,7.076015e-05,7.074893e-05,7.072983e-05,7.072290e-05,7.068952e-05,7.068654e-05,7.064916e-05,7.063114e-05,7.060218e-05,7.056447e-05,7.054895e-05,7.048978e-05,7.048729e-05,7.042500e-05,7.040037e-05,7.035493e-05,7.030441e-05,7.027985e-05,7.020006e-05,7.008798e-05,6.996875e-05,6.984294e-05,6.971109e-05,6.957372e-05,6.943129e-05,6.928426e-05,6.913307e-05,6.897811e-05,6.881978e-05,6.865842e-05,6.849438e-05,6.832799e-05,6.815954e-05,6.798931e-05,6.781758e-05,6.764460e-05,6.747061e-05,6.729582e-05,6.712044e-05,6.694468e-05,6.676871e-05,6.659271e-05,6.641684e-05
0.000000e+00,2.942568e-12,1.519352e-11,1.746525e-10,8.807203e-10,1.846351e-09,9.098952e-09,9.636213e-09,3.417832e-08,4.644779e-08,9.499434e-08,1.612928e-07,2.232303e-07,4.393557e-07,4.641070e-07,8.789853e-07,1.012842e-06,1.546914e-06,2.067071e-06,2.565376e-06,3.842812e-06,4.049745e-06,6.131032e-06,6.631322e-06,8.951861e-06,1.076033e-05,1.266124e-05,1.657339e-05,1.740884e-05,2.333944e-05,2.440731e-05,3.058792e-05,3.457138e-05,3.927500e-05,4.733045e-05,4.950386e-05,6.135759e-05,6.289238e-05,7.489750e-05,8.139999e-05,9.016212e-05,1.029271e-04,1.071670e-04,1.259052e-04,1.274784e-04,1.463480e-04,1.549921e-04,1.684464e-04,1.853451e-04,1.921327e-04,2.173229e-04,2.183604e-04,2.439182e-04,2.538154e-04,2.718077e-04,2.914507e-04,3.008709e-04,3.309794e-04,3.619993e-04,3.720959e-04,3.937937e-04,4.144845e-04,4.262239e-04,4.578268e-04,4.591518e-04,4.924410e-04,5.018086e-04,5.259587e-04,5.461252e-04,5.595762e-04,5.904867e-04,5.931706e-04,6.266250e-04,6.346209e-04,6.598296e-04,6.782766e-04,6.926821e-04,7.212255e-04,7.250876e-04,7.569596e-04,7.632629e-04,7.882193e-04,8.042086e-04,8.187960e-04,8.439065e-04,8.486270e-04,8.776571e-04,8.822243e-04,9.058387e-04,9.190523e-04,9.331312e-04,9.543024e-04,9.595012e-04,9.849212e-04,9.879067e-04,1.009370e-03,1.019816e-03,1.032833e-03,1.049998e-03,1.055299e-03,1.076763e-03,1.078436e-03,1.097223e-03,1.105127e-03,1.116684e-03,1.130081e-03,1.135152e-03,1.152636e-03,1.153315e-03,1.169151e-03,1.174861e-03,1.184710e-03,1.194754e-03,1.199333e-03,1.213038e-03,1.225848e-03,1.229762e-03,1.237785e-03,1.244977e-03,1.248873e-03,1.258742e-03,1.259137e-03,1.268602e-03,1.271113e-03,1.277296e-03,1.282153e-03,1.285244e-03,1.291922e-03,1.292474e-03,1.299013e-03,1.300482e-03,1.304887e-03,1.307896e-03,1.310123e-03,1.314224e-03,1.314748e-03,1.318788e-03,1.319528e-03,1.322269e-03,1.323866e-03,1.325216e-03,1.327297e-03,1.327654e-03,1.329608e-03,1.329878e-03,1.331102e-03,1.331662e-03,1.332158e-03,1.332702e-03,1.332798e-03,1.333046e-03,1.333050e-03,1.332921e-03,1.332754e-03,1.332445e-03,1.331859e-03,1.331636e-03,1.330514e-03,1.330411e-03,1.329097e-03,1.328452e-03,1.327403e-03,1.326022e-03,1.325449e-03,1.323251e-03,1.323158e-03,1.320824e-03,1.319898e-03,1.318184e-03,1.316274e-03,1.315345e-03,1.312320e-03,1.308066e-03,1.303539e-03,1.298768e-03,1.293776e-03,1.288588e-03,1.283226e-03,1.277710e-03,1.272059e-03,1.266291e-03,1.260424e-03,1.254472e-03,1.248450e-03,1.242371e-03,1.236249e-03,1.230093e-03,1.223916e-03,1.217726e-03,1.211533e-03,1.205345e-03,1.199169e-03,1.193014e-03,1.186884e-03,1.180787e-03,1.174727e-03
0.000000e+00,2.271248e-09,5.526395e-09,2.023155e-08,4.731485e-08,6.969454e-08,1.605027e-07,1.653985e-07,3.216729e-07,3.782522e-07,5.530641e-07,7.342075e-07,8.746358e-07,1.263015e-06,1.301341e-06,1.845317e-06,1.994025e-06,2.510702e-06,2.933963e-06,3.289928e-06,4.057093e-06,4.166883e-06,5.123655e-06,5.323139e-06,6.144309e-06,6.695723e-06,7.215300e-06,8.145123e-06,8.324769e-06,9.461933e-06,9.645771e-06,1.061678e-05,1.117461e-05,1.177996e-05,1.271071e-05,1.294288e-05,1.409771e-05,1.423541e-05,1.523750e-05,1.573265e-05,1.635619e-05,1.718910e-05,1.744866e-05,1.851065e-05,1.859419e-05,1.953879e-05,1.993996e-05,2.053047e-05,2.122082e-05,2.148380e-05,2.239753e-05,2.243324e-05,2.327092e-05,2.357541e-05,2.410373e-05,2.464691e-05,2.489608e-05,2.564843e-05,2.636146e-05,2.658147e-05,2.703608e-05,2.744817e-05,2.767335e-05,2.825107e-05,2.827443e-05,2.884058e-05,2.899302e-05,2.937310e-05,2.967704e-05,2.987335e-05,3.030623e-05,3.034267e-05,3.078240e-05,3.088368e-05,3.119388e-05,3.141246e-05,3.157842e-05,3.189554e-05,3.193729e-05,3.227173e-05,3.233579e-05,3.258294e-05,3.273597e-05,3.287207e-05,3.309871e-05,3.314025e-05,3.338855e-05,3.342650e-05,3.361798e-05,3.372170e-05,3.382954e-05,3.398655e-05,3.402416e-05,3.420273e-05,3.422312e-05,3.436611e-05,3.443340e-05,3.451512e-05,3.461923e-05,3.465052e-05,3.477306e-05,3.478233e-05,3.488344e-05,3.492433e-05,3.498232e-05,3.504675e-05,3.507033e-05,3.514809e-05,3.515099e-05,3.521615e-05,3.523839e-05,3.527507e-05,3.531017e-05,3.532535e-05,3.536750e-05,3.540196e-05,3.541144e-05,3.542918e-05,3.544300e-05,3.544959e-05,3.546313e-05,3.546357e-05,3.547150e-05,3.547268e-05,3.547373e-05,3.547248e-05,3.547061e-05,3.546329e-05,3.546246e-05,3.544958e-05,3.544582e-05,3.543226e-05,3.542072e-05,3.541076e-05,3.538861e-05,3.538536e-05,3.535630e-05,3.535006e-05,3.532380e-05,3.530562e-05,3.528809e-05,3.525577e-05,3.524939e-05,3.520788e-05,3.520099e-05,3.516375e-05,3.514170e-05,3.511720e-05,3.507831e-05,3.506837e-05,3.501744e-05,3.501119e-05,3.496456e-05,3.494070e-05,3.490986e-05,3.486717e-05,3.485349e-05,3.479558e-05,3.479088e-05,3.473625e-05,3.471214e-05,3.467561e-05,3.463120e-05,3.461377e-05,3.455085e-05,3.454831e-05,3.448693e-05,3.446369e-05,3.442211e-05,3.437757e-05,3.435648e-05,3.429013e-05,3.420157e-05,3.411205e-05,3.402174e-05,3.393078e-05,3.383931e-05,3.374746e-05,3.365535e-05,3.356309e-05,3.347078e-05,3.337852e-05,3.328639e-05,3.319448e-05,3.310286e-05,3.301160e-05,3.292076e-05,3.283041e-05,3.274059e-05,3.265137e-05,3.256278e-05,3.247486e-05,3.238766e-05,3.230121e-05,3.221554e-05,3.213068e-05
0.000000e+00,5.476395e-12,2.831998e-11,3.265873e-10,1.651804e-09,3.468655e-09,1.717002e-08,1.818722e-08,6.480786e-08,8.818787e-08,1.809692e-07,3.081394e-07,4.272727e-07,8.446144e-07,8.925341e-07,1.698402e-06,1.959256e-06,3.003020e-06,4.023196e-06,5.003116e-06,7.524138e-06,7.933523e-06,1.206307e-05,1.305848e-05,1.768650e-05,2.130354e-05,2.511323e-05,3.297340e-05,3.465478e-05,4.661230e-05,4.876877e-05,6.126530e-05,6.933055e-05,7.886232e-05,9.520231e-05,9.961355e-05,1.236855e-04,1.268035e-04,1.511979e-04,1.644133e-04,1.822216e-04,2.081636e-04,2.167791e-04,2.548458e-04,2.580409e-04,2.963519e-04,3.138938e-04,3.411864e-04,3.754460e-04,3.892006e-04,4.402127e-04,4.423126e-04,4.940123e-04,5.140182e-04,5.503657e-04,5.900164e-04,6.090201e-04,6.697086e-04,7.321545e-04,7.524624e-04,7.960759e-04,8.376287e-04,8.611888e-04,9.245565e-04,9.272113e-04,9.938662e-04,1.012606e-03,1.060884e-03,1.101160e-03,1.128004e-03,1.189632e-03,1.194979e-03,1.261573e-03,1.277474e-03,1.327567e-03,1.364184e-03,1.392755e-03,1.449303e-03,1.456948e-03,1.519974e-03,1.532425e-03,1.581675e-03,1.613190e-03,1.641913e-03,1.691290e-03,1.700563e-03,1.757517e-03,1.766465e-03,1.812682e-03,1.838502e-03,1.865980e-03,1.907230e-03,1.917346e-03,1.966730e-03,1.972521e-03,2.014093e-03,2.034284e-03,2.059406e-03,2.092464e-03,2.102655e-03,2.143831e-03,2.147035e-03,2.182937e-03,2.198002e-03,2.219985e-03,2.245394e-03,2.254991e-03,2.287982e-03,2.289260e-03,2.318987e-03,2.329669e-03,2.348042e-03,2.366707e-03,2.375189e-03,2.400471e-03,2.423937e-03,2.431070e-03,2.445637e-03,2.458623e-03,2.465624e-03,2.483252e-03,2.483954e-03,2.500682e-03,2.505086e-03,2.515866e-03,2.524259e-03,2.529563e-03,2.540903e-03,2.541833e-03,2.552733e-03,2.555152e-03,2.562323e-03,2.567141e-03,2.570658e-03,2.577002e-03,2.577798e-03,2.583797e-03,2.584865e-03,2.588711e-03,2.590856e-03,2.592595e-03,2.595099e-03,2.595501e-03,2.597480e-03,2.597714e-03,2.598583e-03,2.598816e-03,2.598859e-03,2.598515e-03,2.598354e-03,2.597115e-03,2.596919e-03,2.595185e-03,2.594129e-03,2.592608e-03,2.590240e-03,2.589423e-03,2.585670e-03,2.585346e-03,2.581387e-03,2.579534e-03,2.576611e-03,2.572885e-03,2.571374e-03,2.565712e-03,2.565477e-03,2.559655e-03,2.557383e-03,2.553233e-03,2.548672e-03,2.546475e-03,2.539409e-03,2.529652e-03,2.519459e-03,2.508882e-03,2.497970e-03,2.486769e-03,2.475320e-03,2.463662e-03,2.451832e-03,2.439864e-03,2.427787e-03,2.415630e-03,2.403420e-03,2.391180e-03,2.378932e-03,2.366696e-03,2.354490e-03,2.342331e-03,2.330234e-03,2.318212e-03,2.306278e-03,2.294443e-03,2.282717e-03,2.271109e-03,2.259626e-03
0.000000e+00,5.578160e-12,2.889218e-11,3.344049e-10,1.697899e-09,3.574035e-09,1.782308e-08,1.888546e-08,6.794654e-08,9.274394e-08,1.919932e-07,3.296273e-07,4.598327e-07,9.231173e-07,9.769004e-07,1.895191e-06,2.197114e-06,3.422840e-06,4.642738e-06,5.830424e-06,8.939805e-06,9.450616e-06,1.467022e-05,1.594314e-05,2.191664e-05,2.663533e-05,3.164198e-05,4.206415e-05,4.430702e-05,6.036649e-05,6.328050e-05,8.025625e-05,9.128446e-05,1.043823e-04,1.269817e-04,1.331121e-04,1.667669e-04,1.711499e-04,2.056173e-04,2.244148e-04,2.498782e-04,2.872344e-04,2.997075e-04,3.552040e-04,3.598901e-04,4.164082e-04,4.424861e-04,4.833029e-04,5.349521e-04,5.558156e-04,6.338212e-04,6.370534e-04,7.171454e-04,7.484033e-04,8.055692e-04,8.684792e-04,8.988328e-04,9.966412e-04,1.098668e-03,1.132151e-03,1.204563e-03,1.274193e-03,1.313952e-03,1.421895e-03,1.426449e-03,1.541654e-03,1.574342e-03,1.659163e-03,1.730604e-03,1.778567e-03,1.889744e-03,1.899461e-03,2.021443e-03,2.050837e-03,2.144121e-03,2.212982e-03,2.267113e-03,2.375312e-03,2.390050e-03,2.512578e-03,2.537005e-03,2.634362e-03,2.697289e-03,2.755084e-03,2.855450e-03,2.874444e-03,2.992165e-03,3.010831e-03,3.107989e-03,3.162841e-03,3.221679e-03,3.310949e-03,3.333020e-03,3.441815e-03,3.454691e-03,3.547891e-03,3.593663e-03,3.651093e-03,3.727521e-03,3.751286e-03,3.848352e-03,3.855979e-03,3.942193e-03,3.978808e-03,4.032729e-03,4.095830e-03,4.119893e-03,4.203636e-03,4.206914e-03,4.283923e-03,4.311976e-03,4.360733e-03,4.410971e-03,4.434055e-03,4.503893e-03,4.570260e-03,4.590767e-03,4.633178e-03,4.671652e-03,4.692682e-03,4.746628e-03,4.748809e-03,4.801609e-03,4.815804e-03,4.851136e-03,4.879305e-03,4.897449e-03,4.937275e-03,4.940614e-03,4.980701e-03,4.989871e-03,5.017782e-03,5.037265e-03,5.051937e-03,5.079634e-03,5.083243e-03,5.111783e-03,5.117166e-03,5.137640e-03,5.150053e-03,5.160899e-03,5.178492e-03,5.181646e-03,5.199968e-03,5.202681e-03,5.215952e-03,5.222819e-03,5.229684e-03,5.239106e-03,5.241250e-03,5.250737e-03,5.251740e-03,5.258230e-03,5.260916e-03,5.263812e-03,5.266827e-03,5.267566e-03,5.269574e-03,5.269662e-03,5.269916e-03,5.269604e-03,5.268671e-03,5.266835e-03,5.265915e-03,5.261723e-03,5.261526e-03,5.256168e-03,5.253849e-03,5.249323e-03,5.243965e-03,5.241255e-03,5.232032e-03,5.218202e-03,5.202617e-03,5.185419e-03,5.166739e-03,5.146703e-03,5.125433e-03,5.103042e-03,5.079640e-03,5.055329e-03,5.030207e-03,5.004366e-03,4.977894e-03,4.950871e-03,4.923375e-03,4.895478e-03,4.867248e-03,4.838748e-03,4.810038e-03,4.781174e-03,4.752206e-03,4.723183e-03,4.694149e-03,4.665146e-03,4.636212e-03
0.000000e+00,1.039660e-11,5.372190e-11,6.186897e-10,3.126900e-09,6.565446e-09,3.253053e-08,3.446069e-08,1.232296e-07,1.679372e-07,3.463408e-07,5.929350e-07,8.257097e-07,1.651626e-06,1.747336e-06,3.377501e-06,3.912014e-06,6.075138e-06,8.217410e-06,1.029338e-05,1.568597e-05,1.656640e-05,2.548484e-05,2.764019e-05,3.766630e-05,4.549538e-05,5.372633e-05,7.064546e-05,7.425274e-05,9.978430e-05,1.043665e-04,1.307941e-04,1.477439e-04,1.676772e-04,2.016231e-04,2.107426e-04,2.602078e-04,2.665806e-04,3.161981e-04,3.429128e-04,3.787469e-04,4.306394e-04,4.477989e-04,5.232158e-04,5.295182e-04,6.047825e-04,6.390696e-04,6.922147e-04,7.586062e-04,7.851674e-04,8.832437e-04,8.872672e-04,9.860041e-04,1.024054e-03,1.092975e-03,1.167867e-03,1.203658e-03,1.317538e-03,1.434090e-03,1.471865e-03,1.552788e-03,1.629639e-03,1.673109e-03,1.789669e-03,1.794542e-03,1.916588e-03,1.950806e-03,2.038770e-03,2.111954e-03,2.160633e-03,2.272094e-03,2.281746e-03,2.401706e-03,2.430283e-03,2.520141e-03,2.585668e-03,2.636705e-03,2.737487e-03,2.751088e-03,2.863006e-03,2.885071e-03,2.972208e-03,3.027845e-03,3.078472e-03,3.165322e-03,3.181606e-03,3.281446e-03,3.297105e-03,3.377853e-03,3.422876e-03,3.470717e-03,3.542396e-03,3.559948e-03,3.645483e-03,3.655496e-03,3.727275e-03,3.762071e-03,3.805300e-03,3.862075e-03,3.879552e-03,3.950038e-03,3.955515e-03,4.016783e-03,4.042441e-03,4.079823e-03,4.122946e-03,4.139208e-03,4.194997e-03,4.197155e-03,4.247258e-03,4.265222e-03,4.296067e-03,4.327328e-03,4.341508e-03,4.383669e-03,4.422645e-03,4.434460e-03,4.458532e-03,4.479926e-03,4.491432e-03,4.520301e-03,4.521448e-03,4.548683e-03,4.555825e-03,4.573243e-03,4.586739e-03,4.595234e-03,4.613287e-03,4.614761e-03,4.631928e-03,4.635709e-03,4.646841e-03,4.654245e-03,4.659600e-03,4.669127e-03,4.670307e-03,4.679060e-03,4.680585e-03,4.685956e-03,4.688840e-03,4.691090e-03,4.694108e-03,4.694554e-03,4.696436e-03,4.696597e-03,4.696824e-03,4.696504e-03,4.695801e-03,4.694022e-03,4.693449e-03,4.689845e-03,4.689332e-03,4.685064e-03,4.682606e-03,4.679179e-03,4.674011e-03,4.672260e-03,4.664373e-03,4.663702e-03,4.655582e-03,4.651826e-03,4.645948e-03,4.638522e-03,4.635529e-03,4.624382e-03,4.623922e-03,4.612560e-03,4.608149e-03,4.600113e-03,4.591317e-03,4.587090e-03,4.573537e-03,4.554908e-03,4.535526e-03,4.515479e-03,4.494849e-03,4.473712e-03,4.452139e-03,4.430197e-03,4.407946e-03,4.385443e-03,4.362740e-03,4.339884e-03,4.316921e-03,4.293890e-03,4.270830e-03,4.247774e-03,4.224755e-03,4.201800e-03,4.178936e-03,4.156186e-03,4.133573e-03,4.111115e-03,4.088831e-03,4.066737e-03,4.044846e-03
0.000000e+00,5.221395e-13,2.614642e-12,2.817869e-11,1.338348e-10,2.713657e-10,1.224817e-09,1.292442e-09,4.190201e-09,5.554496e-09,1.066171e-08,1.718035e-08,2.296940e-08,4.178512e-08,4.384031e-08,7.632696e-08,8.620892e-08,1.236539e-07,1.578519e-07,1.890651e-07,2.640678e-07,2.756785e-07,3.863449e-07,4.115884e-07,5.235082e-07,6.059598e-07,6.890651e-07,8.509932e-07,8.842400e-07,1.109493e-06,1.148313e-06,1.364478e-06,1.497127e-06,1.648058e-06,1.894277e-06,1.958364e-06,2.292897e-06,2.334531e-06,2.648645e-06,2.811030e-06,3.022212e-06,3.315803e-06,3.409951e-06,3.808078e-06,3.840263e-06,4.212787e-06,4.375673e-06,4.620346e-06,4.913538e-06,5.027180e-06,5.429939e-06,5.445920e-06,5.825551e-06,5.965681e-06,6.211264e-06,6.466650e-06,6.584668e-06,6.943714e-06,7.286713e-06,7.392856e-06,7.612332e-06,7.811136e-06,7.919580e-06,8.196627e-06,8.207784e-06,8.476568e-06,8.548326e-06,8.725818e-06,8.866034e-06,8.955656e-06,9.150234e-06,9.166401e-06,9.358547e-06,9.401961e-06,9.532721e-06,9.622679e-06,9.689661e-06,9.814162e-06,9.830187e-06,9.955175e-06,9.978389e-06,1.006554e-05,1.011746e-05,1.016221e-05,1.023351e-05,1.024612e-05,1.031818e-05,1.032868e-05,1.037930e-05,1.040501e-05,1.043034e-05,1.046447e-05,1.047212e-05,1.050544e-05,1.050890e-05,1.053103e-05,1.054002e-05,1.054958e-05,1.055937e-05,1.056174e-05,1.056812e-05,1.056839e-05,1.056926e-05,1.056836e-05,1.056567e-05,1.056042e-05,1.055782e-05,1.054614e-05,1.054560e-05,1.053101e-05,1.052480e-05,1.051280e-05,1.049882e-05,1.049182e-05,1.046837e-05,1.044271e-05,1.043407e-05,1.041507e-05,1.039646e-05,1.038569e-05,1.035601e-05,1.035474e-05,1.032242e-05,1.031314e-05,1.028887e-05,1.026822e-05,1.025425e-05,1.022157e-05,1.021869e-05,1.018230e-05,1.017346e-05,1.014520e-05,1.012415e-05,1.010748e-05,1.007385e-05,1.006923e-05,1.003053e-05,1.002275e-05,9.991462e-06,9.971019e-06,9.952082e-06,9.918809e-06,9.912455e-06,9.872637e-06,9.866252e-06,9.832679e-06,9.813464e-06,9.792628e-06,9.760549e-06,9.752527e-06,9.712415e-06,9.707603e-06,9.672328e-06,9.654706e-06,9.632298e-06,9.601933e-06,9.592357e-06,9.552530e-06,9.549350e-06,9.512844e-06,9.497015e-06,9.473323e-06,9.444980e-06,9.433986e-06,9.394854e-06,9.393293e-06,9.355945e-06,9.341996e-06,9.317276e-06,9.291125e-06,9.278861e-06,9.240715e-06,9.190794e-06,9.141388e-06,9.092521e-06,9.044212e-06,8.996479e-06,8.949338e-06,8.902801e-06,8.856880e-06,8.811584e-06,8.766921e-06,8.722897e-06,8.679517e-06,8.636785e-06,8.594704e-06,8.553275e-06,8.512498e-06,8.472372e-06,8.432897e-06,8.394071e-06,8.355891e-06,8.318353e-06,8.281454e-06,8.245190e-06,8.209555e-06
0.000000e+00,3.426535e-09,7.778738e-09,2.620242e-08,5.842248e-08,8.427896e-08,1.857247e-07,1.910894e-07,3.590789e-07,4.187932e-07,6.009774e-07,7.871398e-07,9.300678e-07,1.319688e-06,1.357669e-06,1.886376e-06,2.027272e-06,2.504165e-06,2.880748e-06,3.188459e-06,3.827049e-06,3.915965e-06,4.668007e-06,4.820066e-06,5.430655e-06,5.827801e-06,6.193271e-06,6.827484e-06,6.947216e-06,7.685111e-06,7.801243e-06,8.400519e-06,8.734245e-06,9.087817e-06,9.614173e-06,9.742222e-06,1.035983e-05,1.043131e-05,1.093763e-05,1.117869e-05,1.147355e-05,1.185206e-05,1.196637e-05,1.241568e-05,1.244975e-05,1.282181e-05,1.297237e-05,1.318572e-05,1.342239e-05,1.350886e-05,1.379307e-05,1.380366e-05,1.404050e-05,1.412101e-05,1.425347e-05,1.437986e-05,1.443444e-05,1.458591e-05,1.471039e-05,1.474490e-05,1.481017e-05,1.486214e-05,1.488757e-05,1.494287e-05,1.494480e-05,1.498387e-05,1.499183e-05,1.500672e-05,1.501338e-05,1.501510e-05,1.501141e-05,1.501062e-05,1.499474e-05,1.498938e-05,1.496880e-05,1.495033e-05,1.493401e-05,1.489692e-05,1.489143e-05,1.484205e-05,1.483144e-05,1.478674e-05,1.475589e-05,1.472626e-05,1.467199e-05,1.466132e-05,1.459253e-05,1.458120e-05,1.452043e-05,1.448479e-05,1.444551e-05,1.438385e-05,1.436822e-05,1.428893e-05,1.427930e-05,1.420800e-05,1.417194e-05,1.412572e-05,1.406245e-05,1.404237e-05,1.395818e-05,1.395142e-05,1.387339e-05,1.383934e-05,1.378816e-05,1.372664e-05,1.370269e-05,1.361711e-05,1.361369e-05,1.353157e-05,1.350081e-05,1.344618e-05,1.338826e-05,1.336105e-05,1.327628e-05,1.319195e-05,1.316508e-05,1.310814e-05,1.305481e-05,1.302492e-05,1.294563e-05,1.294234e-05,1.286045e-05,1.283766e-05,1.277931e-05,1.273100e-05,1.269896e-05,1.262575e-05,1.261942e-05,1.254074e-05,1.252199e-05,1.246294e-05,1.241976e-05,1.238604e-05,1.231914e-05,1.231007e-05,1.223504e-05,1.222015e-05,1.216097e-05,1.212283e-05,1.208786e-05,1.202720e-05,1.201573e-05,1.194459e-05,1.193329e-05,1.187443e-05,1.184111e-05,1.180527e-05,1.175066e-05,1.173711e-05,1.166995e-05,1.166195e-05,1.160378e-05,1.157498e-05,1.153861e-05,1.148974e-05,1.147443e-05,1.141124e-05,1.140622e-05,1.134903e-05,1.132442e-05,1.128780e-05,1.124432e-05,1.122754e-05,1.116825e-05,1.116590e-05,1.110991e-05,1.108914e-05,1.105252e-05,1.101404e-05,1.099608e-05,1.094056e-05,1.086869e-05,1.079840e-05,1.072967e-05,1.066248e-05,1.059679e-05,1.053259e-05,1.046984e-05,1.040853e-05,1.034863e-05,1.029010e-05,1.023292e-05,1.017707e-05,1.012251e-05,1.006923e-05,1.001719e-05,9.966369e-06,9.916741e-06,9.868280e-06,9.820959e-06,9.774755e-06,9.729641e-06,9.685593e-06,9.642587e-06,9.600599e-06
0.000000e+00,1.632346e-10,6.749379e-10,5.030237e-09,1.762856e-08,3.062811e-08,9.635792e-08,1.003070e-07,2.393923e-07,2.942948e-07,4.739027e-07,6.716686e-07,8.310788e-07,1.293109e-06,1.340152e-06,2.032396e-06,2.229336e-06,2.939259e-06,3.551152e-06,4.087239e-06,5.308343e-06,5.490196e-06,7.144053e-06,7.503377e-06,9.028872e-06,1.009099e-05,1.111644e-05,1.300518e-05,1.337745e-05,1.578500e-05,1.618218e-05,1.831530e-05,1.956712e-05,2.094708e-05,2.311245e-05,2.366088e-05,2.643847e-05,2.677524e-05,2.926267e-05,3.051586e-05,3.211723e-05,3.429758e-05,3.498690e-05,3.785755e-05,3.808685e-05,4.071620e-05,4.185363e-05,4.355111e-05,4.557164e-05,4.635184e-05,4.910920e-05,4.921847e-05,5.181525e-05,5.277554e-05,5.446325e-05,5.622781e-05,5.704756e-05,5.956356e-05,6.200756e-05,6.277394e-05,6.437671e-05,6.585267e-05,6.666889e-05,6.879557e-05,6.888260e-05,7.101691e-05,7.160022e-05,7.307138e-05,7.426572e-05,7.504601e-05,7.679241e-05,7.694110e-05,7.875729e-05,7.918153e-05,8.049544e-05,8.143511e-05,8.215663e-05,8.355582e-05,8.374212e-05,8.525328e-05,8.554672e-05,8.669160e-05,8.741126e-05,8.805867e-05,8.915316e-05,8.935615e-05,9.058574e-05,9.077629e-05,9.174919e-05,9.228467e-05,9.284827e-05,9.368236e-05,9.388473e-05,9.486036e-05,9.497343e-05,9.577692e-05,9.616195e-05,9.663618e-05,9.725199e-05,9.743991e-05,9.818985e-05,9.824757e-05,9.888772e-05,9.915267e-05,9.953521e-05,9.997115e-05,1.001340e-04,1.006857e-04,1.007068e-04,1.011920e-04,1.013634e-04,1.016544e-04,1.019446e-04,1.020745e-04,1.024538e-04,1.027938e-04,1.028946e-04,1.030960e-04,1.032702e-04,1.033617e-04,1.035838e-04,1.035924e-04,1.037894e-04,1.038387e-04,1.039540e-04,1.040377e-04,1.040875e-04,1.041839e-04,1.041911e-04,1.042661e-04,1.042800e-04,1.043136e-04,1.043287e-04,1.043349e-04,1.043327e-04,1.043309e-04,1.043028e-04,1.042944e-04,1.042516e-04,1.042163e-04,1.041784e-04,1.041006e-04,1.040841e-04,1.039698e-04,1.039497e-04,1.038362e-04,1.037656e-04,1.036844e-04,1.035503e-04,1.035151e-04,1.033293e-04,1.033060e-04,1.031278e-04,1.030343e-04,1.029112e-04,1.027371e-04,1.026805e-04,1.024363e-04,1.024162e-04,1.021794e-04,1.020732e-04,1.019104e-04,1.017096e-04,1.016299e-04,1.013388e-04,1.013269e-04,1.010374e-04,1.009266e-04,1.007266e-04,1.005100e-04,1.004067e-04,1.000784e-04,9.963310e-05,9.917522e-05,9.870588e-05,9.822615e-05,9.773704e-05,9.723950e-05,9.673446e-05,9.622276e-05,9.570523e-05,9.518264e-05,9.465572e-05,9.412516e-05,9.359162e-05,9.305572e-05,9.251803e-05,9.197910e-05,9.143945e-05,9.089957e-05,9.035991e-05,8.982091e-05,8.928295e-05,8.874642e-05,8.821167e-05,8.767903e-05
0.000000e+00,1.761437e-11,8.669768e-11,9.026116e-10,4.160938e-09,8.306509e-09,3.613308e-08,3.807522e-08,1.197345e-07,1.576030e-07,2.979983e-07,4.758697e-07,6.335110e-07,1.147208e-06,1.203551e-06,2.101706e-06,2.377666e-06,3.433191e-06,4.407713e-06,5.302999e-06,7.465070e-06,7.800173e-06,1.098583e-05,1.170870e-05,1.488922e-05,1.720372e-05,1.951066e-05,2.393171e-05,2.482776e-05,3.080219e-05,3.181595e-05,3.738524e-05,4.074532e-05,4.452198e-05,5.059082e-05,5.215396e-05,6.022100e-05,6.121539e-05,6.866235e-05,7.247952e-05,7.741758e-05,8.424487e-05,8.642729e-05,9.563374e-05,9.637708e-05,1.049815e-04,1.087482e-04,1.144179e-04,1.212391e-04,1.238936e-04,1.333630e-04,1.337411e-04,1.427844e-04,1.461570e-04,1.521203e-04,1.584026e-04,1.613372e-04,1.704061e-04,1.793016e-04,1.821080e-04,1.880024e-04,1.934604e-04,1.964907e-04,2.044260e-04,2.047519e-04,2.127744e-04,2.149767e-04,2.205493e-04,2.250926e-04,2.280701e-04,2.347610e-04,2.353324e-04,2.423335e-04,2.439748e-04,2.490725e-04,2.527319e-04,2.555497e-04,2.610342e-04,2.617666e-04,2.677256e-04,2.688868e-04,2.734301e-04,2.762971e-04,2.788839e-04,2.832745e-04,2.840914e-04,2.890576e-04,2.898301e-04,2.937877e-04,2.959759e-04,2.982872e-04,3.017246e-04,3.025618e-04,3.066175e-04,3.070897e-04,3.104601e-04,3.120849e-04,3.140957e-04,3.167240e-04,3.175303e-04,3.207700e-04,3.210209e-04,3.238208e-04,3.249896e-04,3.266888e-04,3.286438e-04,3.293797e-04,3.318996e-04,3.319969e-04,3.342541e-04,3.350623e-04,3.364489e-04,3.378530e-04,3.384896e-04,3.403817e-04,3.421305e-04,3.426607e-04,3.437412e-04,3.447020e-04,3.452191e-04,3.465174e-04,3.465690e-04,3.477958e-04,3.481180e-04,3.489044e-04,3.495147e-04,3.498993e-04,3.507181e-04,3.507850e-04,3.515660e-04,3.517383e-04,3.522465e-04,3.525852e-04,3.528306e-04,3.532681e-04,3.533224e-04,3.537257e-04,3.537961e-04,3.540444e-04,3.541779e-04,3.542821e-04,3.544218e-04,3.544424e-04,3.545288e-04,3.545359e-04,3.545445e-04,3.545279e-04,3.544928e-04,3.544050e-04,3.543769e-04,3.541997e-04,3.541744e-04,3.539642e-04,3.538428e-04,3.536732e-04,3.534167e-04,3.533295e-04,3.529357e-04,3.529021e-04,3.524943e-04,3.523050e-04,3.520079e-04,3.516310e-04,3.514787e-04,3.509091e-04,3.508855e-04,3.503012e-04,3.500735e-04,3.496573e-04,3.491998e-04,3.489793e-04,3.482692e-04,3.472861e-04,3.462545e-04,3.451786e-04,3.440620e-04,3.429083e-04,3.417211e-04,3.405034e-04,3.392584e-04,3.379889e-04,3.366977e-04,3.353873e-04,3.340603e-04,3.327190e-04,3.313654e-04,3.300018e-04,3.286299e-04,3.272517e-04,3.258688e-04,3.244830e-04,3.230956e-04,3.217081e-04,3.203219e-04,3.189381e-04,3.175580e-04
0.000000e+00,6.077658e-12,2.944552e-11,2.967407e-10,1.329200e-09,2.613845e-09,1.097851e-08,1.155385e-08,3.538964e-08,4.633461e-08,8.678265e-08,1.381031e-07,1.837925e-07,3.340221e-07,3.505984e-07,6.158528e-07,6.973034e-07,1.006220e-06,1.285709e-06,1.536420e-06,2.115687e-06,2.202106e-06,2.980242e-06,3.146382e-06,3.835612e-06,4.297901e-06,4.729137e-06,5.482504e-06,5.624601e-06,6.492583e-06,6.627375e-06,7.311813e-06,7.683499e-06,8.068797e-06,8.624674e-06,8.756518e-06,9.372884e-06,9.442090e-06,9.919254e-06,1.013835e-05,1.039921e-05,1.072252e-05,1.081761e-05,1.117996e-05,1.120670e-05,1.149192e-05,1.160385e-05,1.175904e-05,1.192655e-05,1.198655e-05,1.217931e-05,1.218636e-05,1.234173e-05,1.239355e-05,1.247776e-05,1.255698e-05,1.259089e-05,1.268421e-05,1.276041e-05,1.278157e-05,1.282181e-05,1.285428e-05,1.287041e-05,1.290665e-05,1.290795e-05,1.293590e-05,1.294218e-05,1.295550e-05,1.296372e-05,1.296785e-05,1.297357e-05,1.297383e-05,1.297424e-05,1.297359e-05,1.296974e-05,1.296529e-05,1.296089e-05,1.294990e-05,1.294818e-05,1.293204e-05,1.292843e-05,1.291282e-05,1.290171e-05,1.289084e-05,1.287045e-05,1.286638e-05,1.283968e-05,1.283522e-05,1.281097e-05,1.279652e-05,1.278042e-05,1.275479e-05,1.274822e-05,1.271453e-05,1.271039e-05,1.267947e-05,1.266365e-05,1.264318e-05,1.261485e-05,1.260578e-05,1.256737e-05,1.256426e-05,1.252805e-05,1.251209e-05,1.248792e-05,1.245857e-05,1.244705e-05,1.240553e-05,1.240386e-05,1.236342e-05,1.234813e-05,1.232080e-05,1.229155e-05,1.227771e-05,1.223423e-05,1.219041e-05,1.217632e-05,1.214629e-05,1.211792e-05,1.210193e-05,1.205915e-05,1.205736e-05,1.201263e-05,1.200008e-05,1.196778e-05,1.194082e-05,1.192284e-05,1.188145e-05,1.187785e-05,1.183283e-05,1.182203e-05,1.178783e-05,1.176264e-05,1.174286e-05,1.170333e-05,1.169794e-05,1.165312e-05,1.164417e-05,1.160840e-05,1.158520e-05,1.156381e-05,1.152647e-05,1.151937e-05,1.147510e-05,1.146803e-05,1.143101e-05,1.140992e-05,1.138712e-05,1.135217e-05,1.134345e-05,1.130000e-05,1.129481e-05,1.125680e-05,1.123788e-05,1.121386e-05,1.118140e-05,1.117118e-05,1.112877e-05,1.112539e-05,1.108665e-05,1.106989e-05,1.104483e-05,1.101490e-05,1.100331e-05,1.096210e-05,1.096046e-05,1.092121e-05,1.090657e-05,1.088064e-05,1.085324e-05,1.084040e-05,1.080050e-05,1.074835e-05,1.069680e-05,1.064587e-05,1.059555e-05,1.054586e-05,1.049680e-05,1.044837e-05,1.040058e-05,1.035343e-05,1.030692e-05,1.026105e-05,1.021583e-05,1.017125e-05,1.012731e-05,1.008401e-05,1.004135e-05,9.999324e-06,9.957930e-06,9.917165e-06,9.877026e-06,9.837508e-06,9.798607e-06,9.760318e-06,9.722637e-06
0.000000e+00,1.924002e-09,5.289396e-09,2.207735e-08,5.489996e-08,8.272841e-08,1.981920e-07,2.044821e-07,4.068350e-07,4.805325e-07,7.087923e-07,9.455095e-07,1.128781e-06,1.632969e-06,1.682435e-06,2.377647e-06,2.565443e-06,3.211559e-06,3.735482e-06,4.174021e-06,5.117473e-06,5.252619e-06,6.434710e-06,6.682425e-06,7.707471e-06,8.400757e-06,9.057639e-06,1.024155e-05,1.047147e-05,1.193491e-05,1.217272e-05,1.343395e-05,1.416211e-05,1.495496e-05,1.617890e-05,1.648505e-05,1.801230e-05,1.819485e-05,1.952598e-05,2.018524e-05,2.101672e-05,2.212934e-05,2.247648e-05,2.389855e-05,2.401052e-05,2.527756e-05,2.581612e-05,2.660928e-05,2.753704e-05,2.789058e-05,2.911927e-05,2.916730e-05,3.029397e-05,3.070350e-05,3.141405e-05,3.214445e-05,3.247944e-05,3.349056e-05,3.444822e-05,3.474356e-05,3.535353e-05,3.590606e-05,3.620783e-05,3.698138e-05,3.701264e-05,3.776961e-05,3.797322e-05,3.848047e-05,3.888559e-05,3.914700e-05,3.972262e-05,3.977102e-05,4.035432e-05,4.048845e-05,4.089870e-05,4.118721e-05,4.140592e-05,4.182293e-05,4.187773e-05,4.231578e-05,4.239949e-05,4.272173e-05,4.292065e-05,4.309713e-05,4.338997e-05,4.344351e-05,4.376232e-05,4.381087e-05,4.405498e-05,4.418656e-05,4.432282e-05,4.452009e-05,4.456713e-05,4.478914e-05,4.481433e-05,4.499001e-05,4.507198e-05,4.517086e-05,4.529558e-05,4.533277e-05,4.547674e-05,4.548751e-05,4.560374e-05,4.565000e-05,4.571469e-05,4.578513e-05,4.581047e-05,4.589191e-05,4.589488e-05,4.595980e-05,4.598107e-05,4.601489e-05,4.604541e-05,4.605790e-05,4.608951e-05,4.611035e-05,4.611485e-05,4.612105e-05,4.612284e-05,4.612218e-05,4.611478e-05,4.611430e-05,4.609793e-05,4.609189e-05,4.607357e-05,4.605531e-05,4.604169e-05,4.600610e-05,4.600274e-05,4.595714e-05,4.594525e-05,4.590530e-05,4.587369e-05,4.584761e-05,4.579228e-05,4.578442e-05,4.571608e-05,4.570183e-05,4.564293e-05,4.560309e-05,4.556526e-05,4.549676e-05,4.548338e-05,4.539757e-05,4.538349e-05,4.530809e-05,4.526391e-05,4.521519e-05,4.513857e-05,4.511911e-05,4.502009e-05,4.500802e-05,4.491833e-05,4.487274e-05,4.481404e-05,4.473321e-05,4.470741e-05,4.459863e-05,4.458984e-05,4.448788e-05,4.444306e-05,4.437531e-05,4.429322e-05,4.426108e-05,4.414535e-05,4.414069e-05,4.402825e-05,4.398579e-05,4.390992e-05,4.382882e-05,4.379049e-05,4.367007e-05,4.350980e-05,4.334826e-05,4.318567e-05,4.302226e-05,4.285822e-05,4.269374e-05,4.252898e-05,4.236411e-05,4.219928e-05,4.203462e-05,4.187026e-05,4.170633e-05,4.154292e-05,4.138015e-05,4.121811e-05,4.105687e-05,4.089653e-05,4.073716e-05,4.057883e-05,4.042159e-05,4.026550e-05,4.011063e-05,3.995700e-05,3.980468e-05
0.000000e+00,8.648035e-10,2.147909e-09,8.012624e-09,1.886889e-08,2.785744e-08,6.446460e-08,6.644504e-08,1.300920e-07,1.533544e-07,2.259752e-07,3.023317e-07,3.621681e-07,5.293754e-07,5.459313e-07,7.797485e-07,8.429302e-07,1.059108e-06,1.232361e-06,1.375704e-06,1.678771e-06,1.721608e-06,2.090665e-06,2.166822e-06,2.478163e-06,2.685641e-06,2.880220e-06,3.226646e-06,3.293355e-06,3.714257e-06,3.782105e-06,4.139699e-06,4.344596e-06,4.566535e-06,4.906968e-06,4.991738e-06,5.412455e-06,5.462512e-06,5.826059e-06,6.005176e-06,6.230204e-06,6.529760e-06,6.622849e-06,7.002286e-06,7.032027e-06,7.367137e-06,7.508746e-06,7.716349e-06,7.957670e-06,8.049181e-06,8.365172e-06,8.377458e-06,8.664102e-06,8.767533e-06,8.945967e-06,9.127978e-06,9.210957e-06,9.459413e-06,9.691794e-06,9.762849e-06,9.908653e-06,1.003959e-05,1.011062e-05,1.029112e-05,1.029836e-05,1.047258e-05,1.051904e-05,1.063400e-05,1.072500e-05,1.078333e-05,1.091065e-05,1.092128e-05,1.104854e-05,1.107757e-05,1.116578e-05,1.122730e-05,1.127365e-05,1.136130e-05,1.137275e-05,1.146366e-05,1.148091e-05,1.154694e-05,1.158740e-05,1.162310e-05,1.168192e-05,1.169262e-05,1.175595e-05,1.176554e-05,1.181352e-05,1.183921e-05,1.186570e-05,1.190382e-05,1.191287e-05,1.195537e-05,1.196017e-05,1.199350e-05,1.200897e-05,1.202755e-05,1.205087e-05,1.205780e-05,1.208449e-05,1.208648e-05,1.210786e-05,1.211632e-05,1.212811e-05,1.214088e-05,1.214545e-05,1.216006e-05,1.216059e-05,1.217211e-05,1.217585e-05,1.218176e-05,1.218703e-05,1.218917e-05,1.219445e-05,1.219775e-05,1.219841e-05,1.219919e-05,1.219918e-05,1.219887e-05,1.219700e-05,1.219689e-05,1.219337e-05,1.219211e-05,1.218837e-05,1.218471e-05,1.218201e-05,1.217500e-05,1.217434e-05,1.216545e-05,1.216314e-05,1.215541e-05,1.214930e-05,1.214428e-05,1.213363e-05,1.213212e-05,1.211900e-05,1.211627e-05,1.210497e-05,1.209734e-05,1.209009e-05,1.207696e-05,1.207439e-05,1.205794e-05,1.205524e-05,1.204076e-05,1.203228e-05,1.202291e-05,1.200817e-05,1.200443e-05,1.198534e-05,1.198302e-05,1.196570e-05,1.195688e-05,1.194552e-05,1.192986e-05,1.192485e-05,1.190372e-05,1.190201e-05,1.188214e-05,1.187340e-05,1.186016e-05,1.184410e-05,1.183780e-05,1.181508e-05,1.181416e-05,1.179203e-05,1.178365e-05,1.176866e-05,1.175261e-05,1.174501e-05,1.172109e-05,1.168915e-05,1.165681e-05,1.162413e-05,1.159114e-05,1.155787e-05,1.152437e-05,1.149066e-05,1.145678e-05,1.142275e-05,1.138861e-05,1.135436e-05,1.132005e-05,1.128569e-05,1.125131e-05,1.121692e-05,1.118254e-05,1.114819e-05,1.111389e-05,1.107966e-05,1.104550e-05,1.101144e-05,1.097748e-05,1.094365e-05,1.090994e-05
0.000000e+00,7.479522e-13,3.717283e-12,3.943925e-11,1.846601e-10,3.715009e-10,1.643439e-09,1.732770e-09,5.509020e-09,7.264729e-09,1.376633e-08,2.196070e-08,2.917365e-08,5.235305e-08,5.486682e-08,9.429380e-08,1.061993e-07,1.510614e-07,1.917762e-07,2.287802e-07,3.172382e-07,3.308832e-07,4.603857e-07,4.897922e-07,6.195775e-07,7.145507e-07,8.096942e-07,9.932790e-07,1.030663e-06,1.281003e-06,1.323613e-06,1.557913e-06,1.699158e-06,1.857502e-06,2.110390e-06,2.175114e-06,2.505667e-06,2.545956e-06,2.843974e-06,2.993976e-06,3.184995e-06,3.443085e-06,3.524042e-06,3.856906e-06,3.883154e-06,4.179942e-06,4.305701e-06,4.490100e-06,4.704041e-06,4.784929e-06,5.062552e-06,5.073278e-06,5.321625e-06,5.410171e-06,5.561290e-06,5.712940e-06,5.781116e-06,5.981042e-06,6.161317e-06,6.214931e-06,6.322448e-06,6.415845e-06,6.465144e-06,6.585591e-06,6.590270e-06,6.698807e-06,6.726366e-06,6.791807e-06,6.840605e-06,6.870368e-06,6.930848e-06,6.935602e-06,6.988617e-06,6.999643e-06,7.030493e-06,7.049470e-06,7.062275e-06,7.082682e-06,7.084955e-06,7.099471e-06,7.101472e-06,7.106700e-06,7.107851e-06,7.107455e-06,7.103636e-06,7.102485e-06,7.092476e-06,7.090449e-06,7.078051e-06,7.069726e-06,7.059775e-06,7.042728e-06,7.038160e-06,7.013663e-06,7.010550e-06,6.986695e-06,6.974142e-06,6.957622e-06,6.934320e-06,6.926769e-06,6.894424e-06,6.891780e-06,6.860845e-06,6.847119e-06,6.826257e-06,6.800841e-06,6.790859e-06,6.754827e-06,6.753375e-06,6.718316e-06,6.705081e-06,6.681461e-06,6.656265e-06,6.644382e-06,6.607182e-06,6.569954e-06,6.558048e-06,6.532777e-06,6.509042e-06,6.495720e-06,6.460316e-06,6.458845e-06,6.422206e-06,6.411995e-06,6.385847e-06,6.364183e-06,6.349809e-06,6.316967e-06,6.314126e-06,6.278830e-06,6.270420e-06,6.243946e-06,6.224599e-06,6.209495e-06,6.179553e-06,6.175497e-06,6.141968e-06,6.135319e-06,6.108919e-06,6.091928e-06,6.076364e-06,6.049404e-06,6.044309e-06,6.012762e-06,6.007762e-06,5.981729e-06,5.967017e-06,5.951214e-06,5.927176e-06,5.921219e-06,5.891746e-06,5.888245e-06,5.862796e-06,5.850223e-06,5.834367e-06,5.813110e-06,5.806459e-06,5.779070e-06,5.776902e-06,5.752197e-06,5.741592e-06,5.725837e-06,5.707173e-06,5.699985e-06,5.674638e-06,5.673635e-06,5.649792e-06,5.640968e-06,5.625440e-06,5.609160e-06,5.601577e-06,5.578199e-06,5.548071e-06,5.518762e-06,5.490258e-06,5.462542e-06,5.435600e-06,5.409417e-06,5.383975e-06,5.359259e-06,5.335252e-06,5.311939e-06,5.289303e-06,5.267328e-06,5.245998e-06,5.225297e-06,5.205210e-06,5.185720e-06,5.166813e-06,5.148472e-06,5.130684e-06,5.113433e-06,5.096705e-06,5.080486e-06,5.064761e-06,5.049517e-06
0.000000e+00,2.612848e-12,1.278165e-11,1.312993e-10,5.973949e-10,1.183535e-09,5.039810e-09,5.305801e-09,1.628834e-08,2.128803e-08,3.949147e-08,6.201360e-08,8.160140e-08,1.436885e-07,1.503684e-07,2.543588e-07,2.855588e-07,4.026040e-07,5.082755e-07,6.039137e-07,8.309232e-07,8.657221e-07,1.192736e-06,1.266122e-06,1.585970e-06,1.815819e-06,2.042581e-06,2.470701e-06,2.556438e-06,3.119108e-06,3.213026e-06,3.720892e-06,4.020677e-06,4.351707e-06,4.870633e-06,5.001719e-06,5.661745e-06,5.741217e-06,6.323481e-06,6.613262e-06,6.979597e-06,7.470552e-06,7.623757e-06,8.250594e-06,8.299854e-06,8.855671e-06,9.090782e-06,9.435421e-06,9.835578e-06,9.987082e-06,1.050863e-05,1.052885e-05,1.099873e-05,1.116730e-05,1.145661e-05,1.174943e-05,1.188204e-05,1.227523e-05,1.263677e-05,1.274592e-05,1.296756e-05,1.316363e-05,1.326872e-05,1.353118e-05,1.354157e-05,1.378756e-05,1.385183e-05,1.400821e-05,1.412909e-05,1.420510e-05,1.436659e-05,1.437979e-05,1.453383e-05,1.456790e-05,1.466875e-05,1.473650e-05,1.478601e-05,1.487569e-05,1.488699e-05,1.497300e-05,1.498852e-05,1.504528e-05,1.507782e-05,1.510497e-05,1.514617e-05,1.515315e-05,1.519079e-05,1.519590e-05,1.521882e-05,1.522911e-05,1.523807e-05,1.524767e-05,1.524932e-05,1.525325e-05,1.525327e-05,1.525052e-05,1.524736e-05,1.524171e-05,1.523128e-05,1.522735e-05,1.520793e-05,1.520617e-05,1.518390e-05,1.517308e-05,1.515565e-05,1.513291e-05,1.512356e-05,1.508797e-05,1.508648e-05,1.504918e-05,1.503449e-05,1.500748e-05,1.497759e-05,1.496312e-05,1.491634e-05,1.486735e-05,1.485124e-05,1.481636e-05,1.478275e-05,1.476354e-05,1.471128e-05,1.470907e-05,1.465310e-05,1.463718e-05,1.459578e-05,1.456078e-05,1.453722e-05,1.448238e-05,1.447757e-05,1.441693e-05,1.440224e-05,1.435540e-05,1.432059e-05,1.429308e-05,1.423767e-05,1.423007e-05,1.416645e-05,1.415366e-05,1.410229e-05,1.406874e-05,1.403767e-05,1.398308e-05,1.397265e-05,1.390731e-05,1.389683e-05,1.384169e-05,1.381012e-05,1.377586e-05,1.372307e-05,1.370986e-05,1.364375e-05,1.363581e-05,1.357756e-05,1.354842e-05,1.351134e-05,1.346102e-05,1.344513e-05,1.337897e-05,1.337367e-05,1.331288e-05,1.328647e-05,1.324690e-05,1.319949e-05,1.318107e-05,1.311541e-05,1.311278e-05,1.304994e-05,1.302642e-05,1.298469e-05,1.294045e-05,1.291968e-05,1.285493e-05,1.276991e-05,1.268541e-05,1.260150e-05,1.251818e-05,1.243551e-05,1.235351e-05,1.227219e-05,1.219159e-05,1.211173e-05,1.203262e-05,1.195428e-05,1.187673e-05,1.179997e-05,1.172401e-05,1.164888e-05,1.157456e-05,1.150108e-05,1.142843e-05,1.135662e-05,1.128566e-05,1.121553e-05,1.114625e-05,1.107782e-05,1.101023e-05
0.000000e+00,7.028627e-12,3.465091e-11,3.619349e-10,1.673462e-09,3.346373e-09,1.462541e-08,1.541472e-08,4.874737e-08,6.427639e-08,1.221227e-07,1.958654e-07,2.615252e-07,4.766299e-07,5.002806e-07,8.771414e-07,9.925410e-07,1.430817e-06,1.830329e-06,2.192851e-06,3.051587e-06,3.182728e-06,4.406750e-06,4.679364e-06,5.859670e-06,6.701253e-06,7.527431e-06,9.079798e-06,9.389933e-06,1.142329e-05,1.176277e-05,1.360156e-05,1.469073e-05,1.589793e-05,1.780209e-05,1.828568e-05,2.073882e-05,2.103639e-05,2.323259e-05,2.433671e-05,2.574392e-05,2.765123e-05,2.825173e-05,3.073710e-05,3.093445e-05,3.318346e-05,3.414782e-05,3.557659e-05,3.725992e-05,3.790460e-05,4.015784e-05,4.024630e-05,4.232875e-05,4.308898e-05,4.441169e-05,4.577576e-05,4.640271e-05,4.829938e-05,5.010053e-05,5.065669e-05,5.180611e-05,5.284788e-05,5.341695e-05,5.487566e-05,5.493461e-05,5.636122e-05,5.674470e-05,5.769936e-05,5.846099e-05,5.895195e-05,6.003147e-05,6.012213e-05,6.121319e-05,6.146364e-05,6.222850e-05,6.276527e-05,6.317150e-05,6.394422e-05,6.404559e-05,6.485412e-05,6.500826e-05,6.560041e-05,6.596495e-05,6.628767e-05,6.682162e-05,6.691900e-05,6.749741e-05,6.758524e-05,6.802579e-05,6.826246e-05,6.850691e-05,6.885957e-05,6.894342e-05,6.933785e-05,6.938247e-05,6.969260e-05,6.983671e-05,7.000996e-05,7.022749e-05,7.029211e-05,7.054112e-05,7.055967e-05,7.075896e-05,7.083778e-05,7.094747e-05,7.106604e-05,7.110842e-05,7.124349e-05,7.124837e-05,7.135423e-05,7.138844e-05,7.144216e-05,7.148964e-05,7.150867e-05,7.155511e-05,7.158273e-05,7.158779e-05,7.159272e-05,7.159039e-05,7.158622e-05,7.156543e-05,7.156427e-05,7.152790e-05,7.151525e-05,7.147803e-05,7.144202e-05,7.141558e-05,7.134773e-05,7.134138e-05,7.125624e-05,7.123426e-05,7.116090e-05,7.110332e-05,7.105607e-05,7.095652e-05,7.094244e-05,7.082062e-05,7.079533e-05,7.069122e-05,7.062113e-05,7.055481e-05,7.043518e-05,7.041190e-05,7.026301e-05,7.023866e-05,7.010861e-05,7.003267e-05,6.994914e-05,6.981820e-05,6.978502e-05,6.961666e-05,6.959619e-05,6.944443e-05,6.936751e-05,6.926867e-05,6.913295e-05,6.908973e-05,6.890791e-05,6.889325e-05,6.872352e-05,6.864910e-05,6.853683e-05,6.840113e-05,6.834810e-05,6.815758e-05,6.814993e-05,6.796551e-05,6.789603e-05,6.777211e-05,6.763993e-05,6.757757e-05,6.738210e-05,6.712296e-05,6.686291e-05,6.660230e-05,6.634146e-05,6.608071e-05,6.582033e-05,6.556058e-05,6.530170e-05,6.504390e-05,6.478739e-05,6.453235e-05,6.427895e-05,6.402733e-05,6.377765e-05,6.353003e-05,6.328457e-05,6.304138e-05,6.280056e-05,6.256219e-05,6.232635e-05,6.209309e-05,6.186248e-05,6.163457e-05,6.140940e-05
0.000000e+00,5.024399e-11,2.263570e-10,1.977641e-09,7.853080e-09,1.451245e-08,5.260816e-08,5.505692e-08,1.486031e-07,1.885809e-07,3.283562e-07,4.951263e-07,6.374230e-07,1.078907e-06,1.125677e-06,1.834586e-06,2.039721e-06,2.776546e-06,3.398648e-06,3.929341e-06,5.084040e-06,5.249751e-06,6.690875e-06,6.989853e-06,8.212075e-06,9.023828e-06,9.781435e-06,1.111884e-05,1.137447e-05,1.297197e-05,1.322691e-05,1.455834e-05,1.531193e-05,1.612054e-05,1.734545e-05,1.764759e-05,1.913032e-05,1.930490e-05,2.056128e-05,2.117294e-05,2.193463e-05,2.293714e-05,2.324606e-05,2.449265e-05,2.458952e-05,2.567270e-05,2.612592e-05,2.678557e-05,2.754535e-05,2.783151e-05,2.881147e-05,2.884932e-05,2.972698e-05,3.004115e-05,3.057998e-05,3.112546e-05,3.137273e-05,3.210770e-05,3.278748e-05,3.299378e-05,3.341473e-05,3.378985e-05,3.399214e-05,3.450203e-05,3.452236e-05,3.500800e-05,3.513633e-05,3.545157e-05,3.569855e-05,3.585553e-05,3.619419e-05,3.622221e-05,3.655386e-05,3.662849e-05,3.685262e-05,3.700631e-05,3.712050e-05,3.733223e-05,3.735943e-05,3.757123e-05,3.761049e-05,3.775762e-05,3.784503e-05,3.792020e-05,3.803949e-05,3.806051e-05,3.817997e-05,3.819725e-05,3.827996e-05,3.832140e-05,3.836172e-05,3.841481e-05,3.842645e-05,3.847529e-05,3.848013e-05,3.850927e-05,3.851978e-05,3.852940e-05,3.853599e-05,3.853659e-05,3.853172e-05,3.853083e-05,3.851561e-05,3.850619e-05,3.848902e-05,3.846380e-05,3.845268e-05,3.840727e-05,3.840527e-05,3.835341e-05,3.833207e-05,3.829171e-05,3.824555e-05,3.822272e-05,3.814696e-05,3.806494e-05,3.803744e-05,3.797711e-05,3.791805e-05,3.788390e-05,3.778975e-05,3.778573e-05,3.768298e-05,3.765344e-05,3.757600e-05,3.750993e-05,3.746514e-05,3.735998e-05,3.735070e-05,3.723299e-05,3.720429e-05,3.711229e-05,3.704349e-05,3.698886e-05,3.687818e-05,3.686295e-05,3.673479e-05,3.670890e-05,3.660459e-05,3.653615e-05,3.647256e-05,3.636038e-05,3.633889e-05,3.620377e-05,3.618203e-05,3.606736e-05,3.600147e-05,3.592982e-05,3.581907e-05,3.579130e-05,3.565194e-05,3.563517e-05,3.551187e-05,3.545005e-05,3.537122e-05,3.526401e-05,3.523011e-05,3.508864e-05,3.507731e-05,3.494691e-05,3.489017e-05,3.480502e-05,3.470282e-05,3.466307e-05,3.452113e-05,3.451546e-05,3.437929e-05,3.432826e-05,3.423762e-05,3.414141e-05,3.409619e-05,3.395506e-05,3.376935e-05,3.358440e-05,3.340034e-05,3.321728e-05,3.303532e-05,3.285454e-05,3.267503e-05,3.249687e-05,3.232012e-05,3.214484e-05,3.197109e-05,3.179892e-05,3.162838e-05,3.145949e-05,3.129231e-05,3.112685e-05,3.096315e-05,3.080123e-05,3.064111e-05,3.048281e-05,3.032633e-05,3.017169e-05,3.001890e-05,2.986797e-05
0.000000e+00,6.829961e-12,3.310485e-11,3.335407e-10,1.490463e-09,2.923334e-09,1.212309e-08,1.274898e-08,3.809171e-08,4.941141e-08,8.992316e-08,1.389908e-07,1.809881e-07,3.111823e-07,3.249792e-07,5.358925e-07,5.980054e-07,8.273831e-07,1.030499e-06,1.211749e-06,1.634248e-06,1.698202e-06,2.290590e-06,2.421619e-06,2.985510e-06,3.383993e-06,3.771897e-06,4.490558e-06,4.632363e-06,5.545677e-06,5.695211e-06,6.489452e-06,6.946926e-06,7.442319e-06,8.198348e-06,8.385369e-06,9.302859e-06,9.410616e-06,1.018236e-05,1.055482e-05,1.101461e-05,1.161143e-05,1.179311e-05,1.251373e-05,1.256880e-05,1.317431e-05,1.342156e-05,1.377429e-05,1.416908e-05,1.431433e-05,1.479612e-05,1.481421e-05,1.522206e-05,1.536228e-05,1.559509e-05,1.582021e-05,1.591853e-05,1.619588e-05,1.643079e-05,1.649759e-05,1.662687e-05,1.673362e-05,1.678766e-05,1.691199e-05,1.691658e-05,1.701684e-05,1.704019e-05,1.709146e-05,1.712509e-05,1.714322e-05,1.717286e-05,1.717469e-05,1.718817e-05,1.718897e-05,1.718578e-05,1.717820e-05,1.716937e-05,1.714469e-05,1.714064e-05,1.710108e-05,1.709198e-05,1.705200e-05,1.702312e-05,1.699458e-05,1.694067e-05,1.692986e-05,1.685874e-05,1.684683e-05,1.678204e-05,1.674344e-05,1.670045e-05,1.663209e-05,1.661460e-05,1.652506e-05,1.651409e-05,1.643230e-05,1.639059e-05,1.633677e-05,1.626254e-05,1.623884e-05,1.613887e-05,1.613079e-05,1.603716e-05,1.599604e-05,1.593397e-05,1.585892e-05,1.582957e-05,1.572417e-05,1.571994e-05,1.561796e-05,1.557957e-05,1.551113e-05,1.543821e-05,1.540383e-05,1.529621e-05,1.518840e-05,1.515389e-05,1.508053e-05,1.501151e-05,1.497270e-05,1.486932e-05,1.486502e-05,1.475756e-05,1.472753e-05,1.465042e-05,1.458632e-05,1.454367e-05,1.444587e-05,1.443738e-05,1.433161e-05,1.430631e-05,1.422642e-05,1.416778e-05,1.412186e-05,1.403040e-05,1.401797e-05,1.391481e-05,1.389426e-05,1.381240e-05,1.375946e-05,1.371078e-05,1.362606e-05,1.360998e-05,1.351004e-05,1.349413e-05,1.341097e-05,1.336373e-05,1.331280e-05,1.323492e-05,1.321554e-05,1.311922e-05,1.310773e-05,1.302385e-05,1.298219e-05,1.292944e-05,1.285834e-05,1.283601e-05,1.274356e-05,1.273621e-05,1.265210e-05,1.261580e-05,1.256164e-05,1.249713e-05,1.247218e-05,1.238373e-05,1.238022e-05,1.229629e-05,1.226506e-05,1.220986e-05,1.215166e-05,1.212444e-05,1.204003e-05,1.193015e-05,1.182202e-05,1.171564e-05,1.161099e-05,1.150807e-05,1.140685e-05,1.130732e-05,1.120947e-05,1.111329e-05,1.101874e-05,1.092582e-05,1.083450e-05,1.074476e-05,1.065658e-05,1.056994e-05,1.048482e-05,1.040119e-05,1.031903e-05,1.023833e-05,1.015904e-05,1.008116e-05,1.000466e-05,9.929517e-06,9.855703e-06
0.000000e+00,1.266579e-12,6.224042e-12,6.450491e-11,2.956552e-10,5.879189e-10,2.524569e-09,2.658609e-09,8.212579e-09,1.074730e-08,1.998559e-08,3.141544e-08,4.134597e-08,7.272880e-08,7.609600e-08,1.282857e-07,1.438650e-07,2.020322e-07,2.542363e-07,3.012911e-07,4.125005e-07,4.295088e-07,5.891306e-07,6.249360e-07,7.810720e-07,8.934100e-07,1.004361e-06,1.214088e-06,1.256111e-06,1.531835e-06,1.577814e-06,1.825976e-06,1.971935e-06,2.132491e-06,2.382565e-06,2.445375e-06,2.759044e-06,2.796496e-06,3.068594e-06,3.202403e-06,3.369920e-06,3.591381e-06,3.659746e-06,3.935600e-06,3.957008e-06,4.195737e-06,4.295123e-06,4.439047e-06,4.603473e-06,4.664961e-06,4.873359e-06,4.881332e-06,5.064472e-06,5.129133e-06,5.238811e-06,5.348138e-06,5.397090e-06,5.540171e-06,5.669008e-06,5.707391e-06,5.784606e-06,5.852114e-06,5.887989e-06,5.976686e-06,5.980170e-06,6.062135e-06,6.083384e-06,6.134822e-06,6.174352e-06,6.199116e-06,6.251563e-06,6.255841e-06,6.305752e-06,6.316795e-06,6.349543e-06,6.371628e-06,6.387840e-06,6.417448e-06,6.421209e-06,6.450158e-06,6.455458e-06,6.475139e-06,6.486697e-06,6.496556e-06,6.512054e-06,6.514765e-06,6.530085e-06,6.532287e-06,6.542795e-06,6.548044e-06,6.553145e-06,6.559874e-06,6.561355e-06,6.567619e-06,6.568249e-06,6.572112e-06,6.573568e-06,6.574988e-06,6.576177e-06,6.576383e-06,6.576422e-06,6.576370e-06,6.575214e-06,6.574405e-06,6.572860e-06,6.570505e-06,6.569449e-06,6.565062e-06,6.564867e-06,6.559775e-06,6.557664e-06,6.553654e-06,6.549047e-06,6.546761e-06,6.539155e-06,6.530886e-06,6.528109e-06,6.522004e-06,6.516019e-06,6.512554e-06,6.502987e-06,6.502578e-06,6.492114e-06,6.489102e-06,6.481199e-06,6.474448e-06,6.469867e-06,6.459101e-06,6.458150e-06,6.446077e-06,6.443130e-06,6.433677e-06,6.426599e-06,6.420975e-06,6.409569e-06,6.407998e-06,6.394767e-06,6.392092e-06,6.381305e-06,6.374220e-06,6.367633e-06,6.356000e-06,6.353770e-06,6.339736e-06,6.337475e-06,6.325546e-06,6.318685e-06,6.311218e-06,6.299667e-06,6.296767e-06,6.282208e-06,6.280455e-06,6.267555e-06,6.261081e-06,6.252821e-06,6.241577e-06,6.238018e-06,6.223159e-06,6.221968e-06,6.208253e-06,6.202281e-06,6.193313e-06,6.182539e-06,6.178347e-06,6.163366e-06,6.162766e-06,6.148377e-06,6.142982e-06,6.133391e-06,6.123205e-06,6.118414e-06,6.103453e-06,6.083744e-06,6.064092e-06,6.044511e-06,6.025014e-06,6.005614e-06,5.986322e-06,5.967149e-06,5.948102e-06,5.929192e-06,5.910427e-06,5.891813e-06,5.873357e-06,5.855067e-06,5.836946e-06,5.819001e-06,5.801235e-06,5.783653e-06,5.766259e-06,5.749056e-06,5.732046e-06,5.715233e-06,5.698619e-06,5.682204e-06,5.665992e-06
0.000000e+00,1.330161e-12,6.880405e-12,7.938848e-11,4.017448e-10,8.438981e-10,4.181104e-09,4.428981e-09,1.579890e-08,2.150549e-08,4.417127e-08,7.527515e-08,1.044431e-07,2.067933e-07,2.185596e-07,4.167719e-07,4.810465e-07,7.386546e-07,9.909463e-07,1.233628e-06,1.859049e-06,1.960720e-06,2.987497e-06,3.235264e-06,4.388348e-06,5.290763e-06,6.242389e-06,8.209681e-06,8.631216e-06,1.163666e-05,1.218014e-05,1.533865e-05,1.738555e-05,1.981323e-05,2.399667e-05,2.513075e-05,3.135432e-05,3.216471e-05,3.853843e-05,4.201566e-05,4.672791e-05,5.364580e-05,5.595704e-05,6.624900e-05,6.711870e-05,7.761553e-05,8.246346e-05,9.005684e-05,9.967427e-05,1.035618e-04,1.181082e-04,1.187113e-04,1.336636e-04,1.395026e-04,1.501854e-04,1.619466e-04,1.676227e-04,1.859161e-04,2.049996e-04,2.112616e-04,2.248014e-04,2.378163e-04,2.452448e-04,2.653998e-04,2.662497e-04,2.877332e-04,2.938229e-04,3.096111e-04,3.228918e-04,3.317984e-04,3.524114e-04,3.542107e-04,3.767647e-04,3.821896e-04,3.993788e-04,4.120396e-04,4.219744e-04,4.417830e-04,4.444757e-04,4.668107e-04,4.712517e-04,4.889113e-04,5.002896e-04,5.107138e-04,5.287541e-04,5.321590e-04,5.531927e-04,5.565165e-04,5.737650e-04,5.834626e-04,5.938314e-04,6.094932e-04,6.133519e-04,6.322914e-04,6.345236e-04,6.506194e-04,6.584832e-04,6.683100e-04,6.813152e-04,6.853417e-04,7.016969e-04,7.029757e-04,7.173624e-04,7.234331e-04,7.323283e-04,7.426670e-04,7.465884e-04,7.601398e-04,7.606671e-04,7.729825e-04,7.774329e-04,7.851193e-04,7.929718e-04,7.965556e-04,8.072989e-04,8.173589e-04,8.204357e-04,8.267472e-04,8.324091e-04,8.354768e-04,8.432511e-04,8.435624e-04,8.510197e-04,8.529974e-04,8.578654e-04,8.616867e-04,8.641174e-04,8.693607e-04,8.697941e-04,8.749143e-04,8.760625e-04,8.794976e-04,8.818370e-04,8.835636e-04,8.867297e-04,8.871324e-04,8.902238e-04,8.907866e-04,8.928579e-04,8.940536e-04,8.950547e-04,8.965764e-04,8.968338e-04,8.982149e-04,8.984002e-04,8.992172e-04,8.995693e-04,8.998595e-04,9.001267e-04,9.001605e-04,9.001382e-04,9.001146e-04,8.998101e-04,8.995734e-04,8.991937e-04,8.985424e-04,8.983053e-04,8.971612e-04,8.970591e-04,8.957770e-04,8.951594e-04,8.941677e-04,8.928779e-04,8.923480e-04,8.903318e-04,8.902473e-04,8.881326e-04,8.872986e-04,8.857632e-04,8.840613e-04,8.832362e-04,8.805632e-04,8.768305e-04,8.728880e-04,8.687586e-04,8.644642e-04,8.600249e-04,8.554596e-04,8.507861e-04,8.460207e-04,8.411786e-04,8.362738e-04,8.313194e-04,8.263273e-04,8.213087e-04,8.162738e-04,8.112317e-04,8.061912e-04,8.011599e-04,7.961450e-04,7.911529e-04,7.861895e-04,7.812600e-04,7.763693e-04,7.715216e-04,7.667207e-04
0.000000e+00,1.154520e-12,5.871724e-12,6.539385e-11,3.203202e-10,6.608772e-10,3.125506e-09,3.304548e-09,1.125899e-08,1.513755e-08,3.015169e-08,5.014708e-08,6.850158e-08,1.311095e-07,1.381792e-07,2.547781e-07,2.918239e-07,4.377099e-07,5.774798e-07,7.096475e-07,1.042018e-06,1.095078e-06,1.618238e-06,1.741387e-06,2.301040e-06,2.725338e-06,3.161442e-06,4.031102e-06,4.212453e-06,5.461702e-06,5.680203e-06,6.911463e-06,7.677941e-06,8.558984e-06,1.001465e-05,1.039701e-05,1.241440e-05,1.266788e-05,1.459679e-05,1.560504e-05,1.692730e-05,1.878602e-05,1.938711e-05,2.195615e-05,2.216577e-05,2.461360e-05,2.569662e-05,2.733843e-05,2.933032e-05,3.010983e-05,3.290759e-05,3.301977e-05,3.571243e-05,3.672038e-05,3.850625e-05,4.039115e-05,4.127231e-05,4.399540e-05,4.666191e-05,4.750124e-05,4.925988e-05,5.088178e-05,5.177900e-05,5.411509e-05,5.421058e-05,5.654748e-05,5.718405e-05,5.878408e-05,6.007606e-05,6.091609e-05,6.278260e-05,6.294055e-05,6.485561e-05,6.529884e-05,6.666049e-05,6.762312e-05,6.835534e-05,6.975649e-05,6.994107e-05,7.141933e-05,7.170226e-05,7.279232e-05,7.346555e-05,7.406274e-05,7.505289e-05,7.523370e-05,7.630859e-05,7.647190e-05,7.729107e-05,7.773094e-05,7.818494e-05,7.883889e-05,7.899415e-05,7.972269e-05,7.980488e-05,8.037456e-05,8.063813e-05,8.095377e-05,8.134781e-05,8.146427e-05,8.190993e-05,8.194290e-05,8.229453e-05,8.243211e-05,8.262175e-05,8.282381e-05,8.289513e-05,8.311808e-05,8.312600e-05,8.329390e-05,8.334626e-05,8.342570e-05,8.349171e-05,8.351647e-05,8.356907e-05,8.358617e-05,8.358458e-05,8.357036e-05,8.354408e-05,8.352404e-05,8.345299e-05,8.344949e-05,8.334888e-05,8.331631e-05,8.322422e-05,8.313869e-05,8.307743e-05,8.292437e-05,8.291029e-05,8.272448e-05,8.267729e-05,8.252158e-05,8.240105e-05,8.230307e-05,8.209895e-05,8.207031e-05,8.182462e-05,8.177403e-05,8.156718e-05,8.142905e-05,8.129913e-05,8.106655e-05,8.102153e-05,8.073535e-05,8.068883e-05,8.044151e-05,8.029801e-05,8.014087e-05,7.989600e-05,7.983422e-05,7.952231e-05,7.948456e-05,7.920581e-05,7.906527e-05,7.888538e-05,7.863959e-05,7.856161e-05,7.823506e-05,7.820883e-05,7.790623e-05,7.777417e-05,7.757561e-05,7.733671e-05,7.724364e-05,7.691074e-05,7.689741e-05,7.657727e-05,7.645716e-05,7.624360e-05,7.601676e-05,7.591005e-05,7.557693e-05,7.513832e-05,7.470152e-05,7.426705e-05,7.383537e-05,7.340692e-05,7.298206e-05,7.256113e-05,7.214441e-05,7.173218e-05,7.132466e-05,7.092204e-05,7.052451e-05,7.013220e-05,6.974525e-05,6.936375e-05,6.898780e-05,6.861748e-05,6.825282e-05,6.789389e-05,6.754070e-05,6.719328e-05,6.685164e-05,6.651576e-05,6.618565e-05
0.000000e+00,5.281210e-12,2.712481e-11,3.084406e-10,1.540691e-09,3.213967e-09,1.565632e-08,1.657371e-08,5.825983e-08,7.902390e-08,1.610419e-07,2.730270e-07,3.777772e-07,7.447268e-07,7.868970e-07,1.497707e-06,1.728420e-06,2.653893e-06,3.560704e-06,4.432533e-06,6.673462e-06,7.036650e-06,1.068230e-05,1.155545e-05,1.558349e-05,1.869497e-05,2.193809e-05,2.852489e-05,2.991663e-05,3.965450e-05,4.138279e-05,5.124740e-05,5.748841e-05,6.474956e-05,7.693609e-05,8.017407e-05,9.749500e-05,9.969836e-05,1.166506e-04,1.256372e-04,1.375473e-04,1.545200e-04,1.600645e-04,1.840591e-04,1.860378e-04,2.093703e-04,2.198248e-04,2.358245e-04,2.554774e-04,2.632398e-04,2.914298e-04,2.925709e-04,3.202076e-04,3.306758e-04,3.493887e-04,3.693707e-04,3.787942e-04,4.082528e-04,4.376027e-04,4.469469e-04,4.666934e-04,4.851109e-04,4.953862e-04,5.224400e-04,5.235553e-04,5.510879e-04,5.586692e-04,5.778847e-04,5.935730e-04,6.038592e-04,6.269660e-04,6.289379e-04,6.530594e-04,6.587004e-04,6.761742e-04,6.886638e-04,6.982435e-04,7.167769e-04,7.192390e-04,7.391415e-04,7.429898e-04,7.579407e-04,7.672790e-04,7.756337e-04,7.896439e-04,7.922247e-04,8.077241e-04,8.101037e-04,8.221475e-04,8.286944e-04,8.355153e-04,8.454656e-04,8.478517e-04,8.591845e-04,8.604784e-04,8.695439e-04,8.738021e-04,8.789628e-04,8.855132e-04,8.874754e-04,8.951175e-04,8.956923e-04,9.019256e-04,9.044237e-04,9.079369e-04,9.117927e-04,9.131889e-04,9.177189e-04,9.178856e-04,9.215640e-04,9.227878e-04,9.247611e-04,9.265834e-04,9.273463e-04,9.293547e-04,9.308209e-04,9.311811e-04,9.317783e-04,9.321390e-04,9.322592e-04,9.323017e-04,9.322950e-04,9.319157e-04,9.317391e-04,9.311504e-04,9.305175e-04,9.300268e-04,9.286995e-04,9.285715e-04,9.268098e-04,9.263441e-04,9.247657e-04,9.235064e-04,9.224624e-04,9.202383e-04,9.199216e-04,9.171638e-04,9.165880e-04,9.142087e-04,9.126003e-04,9.110747e-04,9.083168e-04,9.077793e-04,9.043389e-04,9.037760e-04,9.007689e-04,8.990136e-04,8.970839e-04,8.940623e-04,8.932976e-04,8.894226e-04,8.889522e-04,8.854710e-04,8.837110e-04,8.814540e-04,8.783639e-04,8.773821e-04,8.732650e-04,8.729339e-04,8.691117e-04,8.674422e-04,8.649309e-04,8.619079e-04,8.607302e-04,8.565170e-04,8.563483e-04,8.522980e-04,8.507790e-04,8.480795e-04,8.452141e-04,8.438672e-04,8.396665e-04,8.341475e-04,8.286673e-04,8.232349e-04,8.178584e-04,8.125449e-04,8.073006e-04,8.021310e-04,7.970406e-04,7.920335e-04,7.871130e-04,7.822821e-04,7.775431e-04,7.728978e-04,7.683477e-04,7.638938e-04,7.595370e-04,7.552775e-04,7.511156e-04,7.470511e-04,7.430838e-04,7.392130e-04,7.354381e-04,7.317582e-04,7.281722e-04
0.000000e+00,1.722373e-12,8.734040e-12,9.673022e-11,4.718238e-10,9.716817e-10,4.583725e-09,4.846179e-09,1.654026e-08,2.226794e-08,4.458527e-08,7.461041e-08,1.024187e-07,1.985297e-07,2.094722e-07,3.913063e-07,4.493468e-07,6.778154e-07,8.955573e-07,1.099876e-06,1.606082e-06,1.685891e-06,2.459252e-06,2.638021e-06,3.436944e-06,4.029722e-06,4.629072e-06,5.798842e-06,6.039026e-06,7.664016e-06,7.943489e-06,9.495817e-06,1.044493e-05,1.152160e-05,1.327088e-05,1.372482e-05,1.608600e-05,1.637896e-05,1.858363e-05,1.971995e-05,2.119484e-05,2.324089e-05,2.389616e-05,2.666408e-05,2.688770e-05,2.947563e-05,3.060749e-05,3.230878e-05,3.435036e-05,3.514286e-05,3.795875e-05,3.807076e-05,4.073915e-05,4.172837e-05,4.346863e-05,4.528864e-05,4.613373e-05,4.872294e-05,5.122663e-05,5.200843e-05,5.363700e-05,5.512777e-05,5.594793e-05,5.806863e-05,5.815487e-05,6.025468e-05,6.082314e-05,6.224550e-05,6.338733e-05,6.412659e-05,6.576046e-05,6.589818e-05,6.756132e-05,6.794452e-05,6.911779e-05,6.994366e-05,7.056991e-05,7.176369e-05,7.192050e-05,7.317276e-05,7.341171e-05,7.433014e-05,7.489570e-05,7.539633e-05,7.622424e-05,7.637514e-05,7.727047e-05,7.740624e-05,7.808626e-05,7.845075e-05,7.882645e-05,7.936679e-05,7.949493e-05,8.009552e-05,8.016321e-05,8.063197e-05,8.084863e-05,8.110792e-05,8.143134e-05,8.152688e-05,8.189226e-05,8.191927e-05,8.220730e-05,8.231994e-05,8.247515e-05,8.264045e-05,8.269877e-05,8.288102e-05,8.288748e-05,8.302459e-05,8.306731e-05,8.313207e-05,8.318579e-05,8.320589e-05,8.324836e-05,8.326167e-05,8.326011e-05,8.324788e-05,8.322574e-05,8.320894e-05,8.314960e-05,8.314668e-05,8.306283e-05,8.303571e-05,8.295902e-05,8.288780e-05,8.283679e-05,8.270930e-05,8.269757e-05,8.254271e-05,8.250336e-05,8.237349e-05,8.227291e-05,8.219111e-05,8.202060e-05,8.199667e-05,8.179123e-05,8.174891e-05,8.157578e-05,8.146010e-05,8.135124e-05,8.115623e-05,8.111847e-05,8.087828e-05,8.083921e-05,8.063144e-05,8.051079e-05,8.037864e-05,8.017256e-05,8.012055e-05,7.985781e-05,7.982599e-05,7.959097e-05,7.947240e-05,7.932058e-05,7.911303e-05,7.904715e-05,7.877116e-05,7.874898e-05,7.849303e-05,7.838128e-05,7.821318e-05,7.801085e-05,7.793200e-05,7.764984e-05,7.763853e-05,7.736702e-05,7.726511e-05,7.708387e-05,7.689127e-05,7.680065e-05,7.651766e-05,7.614484e-05,7.577333e-05,7.540361e-05,7.503611e-05,7.467119e-05,7.430921e-05,7.395047e-05,7.359524e-05,7.324377e-05,7.289626e-05,7.255292e-05,7.221390e-05,7.187935e-05,7.154940e-05,7.122414e-05,7.090366e-05,7.058805e-05,7.027736e-05,6.997164e-05,6.967092e-05,6.937523e-05,6.908458e-05,6.879899e-05,6.851844e-05
0.000000e+00,2.238880e-12,1.120699e-11,1.207884e-10,5.745034e-10,1.166624e-09,5.302398e-09,5.597359e-09,1.838344e-08,2.448529e-08,4.769627e-08,7.802699e-08,1.055239e-07,1.978953e-07,2.082274e-07,3.766451e-07,4.294906e-07,6.349408e-07,8.281479e-07,1.007864e-06,1.448392e-06,1.517343e-06,2.179772e-06,2.331575e-06,3.004674e-06,3.498950e-06,3.994637e-06,4.951297e-06,5.146075e-06,6.450380e-06,6.672469e-06,7.895144e-06,8.634168e-06,9.465282e-06,1.080041e-05,1.114399e-05,1.291354e-05,1.313113e-05,1.475585e-05,1.558489e-05,1.665303e-05,1.812089e-05,1.858774e-05,2.054348e-05,2.070038e-05,2.250483e-05,2.328773e-05,2.445762e-05,2.585108e-05,2.638904e-05,2.828770e-05,2.836282e-05,3.014367e-05,3.079970e-05,3.194849e-05,3.314287e-05,3.369507e-05,3.537769e-05,3.699187e-05,3.749339e-05,3.853431e-05,3.948272e-05,4.000271e-05,4.134149e-05,4.139575e-05,4.271291e-05,4.306813e-05,4.395437e-05,4.466322e-05,4.512092e-05,4.612909e-05,4.621385e-05,4.723486e-05,4.746941e-05,4.818596e-05,4.868889e-05,4.906945e-05,4.979293e-05,4.988777e-05,5.064353e-05,5.078741e-05,5.133940e-05,5.167849e-05,5.197811e-05,5.247244e-05,5.256238e-05,5.309493e-05,5.317552e-05,5.357845e-05,5.379389e-05,5.401554e-05,5.433350e-05,5.440876e-05,5.476057e-05,5.480012e-05,5.507335e-05,5.519920e-05,5.534939e-05,5.553596e-05,5.559089e-05,5.579992e-05,5.581530e-05,5.597849e-05,5.604182e-05,5.612850e-05,5.621983e-05,5.625175e-05,5.634994e-05,5.635337e-05,5.642471e-05,5.644619e-05,5.647759e-05,5.650178e-05,5.651002e-05,5.652337e-05,5.651894e-05,5.651397e-05,5.649796e-05,5.647637e-05,5.646156e-05,5.641312e-05,5.641083e-05,5.634680e-05,5.632662e-05,5.627043e-05,5.621906e-05,5.618262e-05,5.609246e-05,5.608422e-05,5.597603e-05,5.594870e-05,5.585882e-05,5.578950e-05,5.573328e-05,5.561645e-05,5.560008e-05,5.545986e-05,5.543102e-05,5.531319e-05,5.523455e-05,5.516062e-05,5.502830e-05,5.500269e-05,5.483987e-05,5.481340e-05,5.467262e-05,5.459090e-05,5.450137e-05,5.436177e-05,5.432653e-05,5.414847e-05,5.412690e-05,5.396754e-05,5.388711e-05,5.378407e-05,5.364314e-05,5.359839e-05,5.341078e-05,5.339569e-05,5.322151e-05,5.314539e-05,5.303083e-05,5.289282e-05,5.283900e-05,5.264623e-05,5.263850e-05,5.245272e-05,5.238292e-05,5.225869e-05,5.212654e-05,5.206431e-05,5.186974e-05,5.161292e-05,5.135640e-05,5.110050e-05,5.084549e-05,5.059164e-05,5.033917e-05,5.008830e-05,4.983921e-05,4.959208e-05,4.934705e-05,4.910428e-05,4.886387e-05,4.862595e-05,4.839061e-05,4.815793e-05,4.792799e-05,4.770086e-05,4.747660e-05,4.725524e-05,4.703684e-05,4.682143e-05,4.660903e-05,4.639966e-05,4.619334e-05
0.000000e+00,5.618664e-10,1.690974e-09,7.800309e-09,2.029543e-08,3.109299e-08,7.685287e-08,7.938019e-08,1.623121e-07,1.932639e-07,2.914888e-07,3.967312e-07,4.801367e-07,7.147542e-07,7.379563e-07,1.061854e-06,1.147782e-06,1.436044e-06,1.660916e-06,1.843211e-06,2.218783e-06,2.270890e-06,2.710976e-06,2.799956e-06,3.157772e-06,3.391207e-06,3.606681e-06,3.982393e-06,4.053608e-06,4.494741e-06,4.564544e-06,4.926545e-06,5.129542e-06,5.345820e-06,5.670343e-06,5.749798e-06,6.136196e-06,6.181293e-06,6.503249e-06,6.658285e-06,6.849713e-06,7.098776e-06,7.174835e-06,7.478310e-06,7.501652e-06,7.760217e-06,7.867021e-06,8.020958e-06,8.195948e-06,8.261192e-06,8.481769e-06,8.490197e-06,8.683677e-06,8.751998e-06,8.867989e-06,8.983842e-06,9.035826e-06,9.188322e-06,9.326594e-06,9.368015e-06,9.451728e-06,9.525400e-06,9.564762e-06,9.662802e-06,9.666676e-06,9.758391e-06,9.782360e-06,9.840758e-06,9.886022e-06,9.914565e-06,9.975532e-06,9.980537e-06,1.003934e-05,1.005245e-05,1.009156e-05,1.011815e-05,1.013777e-05,1.017385e-05,1.017846e-05,1.021408e-05,1.022063e-05,1.024503e-05,1.025942e-05,1.027170e-05,1.029104e-05,1.029442e-05,1.031350e-05,1.031623e-05,1.032921e-05,1.033563e-05,1.034180e-05,1.034979e-05,1.035151e-05,1.035855e-05,1.035922e-05,1.036310e-05,1.036436e-05,1.036534e-05,1.036560e-05,1.036543e-05,1.036352e-05,1.036328e-05,1.035974e-05,1.035773e-05,1.035422e-05,1.034923e-05,1.034707e-05,1.033840e-05,1.033802e-05,1.032830e-05,1.032434e-05,1.031688e-05,1.030839e-05,1.030421e-05,1.029037e-05,1.027544e-05,1.027045e-05,1.025949e-05,1.024878e-05,1.024258e-05,1.022551e-05,1.022478e-05,1.020613e-05,1.020077e-05,1.018670e-05,1.017468e-05,1.016653e-05,1.014737e-05,1.014567e-05,1.012417e-05,1.011892e-05,1.010208e-05,1.008945e-05,1.007942e-05,1.005904e-05,1.005623e-05,1.003257e-05,1.002778e-05,1.000845e-05,9.995738e-06,9.983909e-06,9.962994e-06,9.958980e-06,9.933692e-06,9.929614e-06,9.908071e-06,9.895663e-06,9.882144e-06,9.861199e-06,9.855936e-06,9.829470e-06,9.826278e-06,9.802769e-06,9.790952e-06,9.775854e-06,9.755269e-06,9.748747e-06,9.721465e-06,9.719276e-06,9.694029e-06,9.683015e-06,9.666455e-06,9.646526e-06,9.638760e-06,9.610960e-06,9.609847e-06,9.583071e-06,9.573012e-06,9.555107e-06,9.536056e-06,9.527082e-06,9.499008e-06,9.461899e-06,9.424755e-06,9.387602e-06,9.350464e-06,9.313364e-06,9.276322e-06,9.239358e-06,9.202490e-06,9.165737e-06,9.129114e-06,9.092636e-06,9.056317e-06,9.020171e-06,8.984210e-06,8.948445e-06,8.912886e-06,8.877545e-06,8.842429e-06,8.807547e-06,8.772908e-06,8.738518e-06,8.704383e-06,8.670511e-06,8.636907e-06
0.000000e+00,6.814162e-11,3.161385e-10,2.923422e-09,1.215867e-08,2.299004e-08,8.760833e-08,9.184480e-08,2.565260e-07,3.276951e-07,5.772572e-07,8.745506e-07,1.127330e-06,1.908421e-06,1.991110e-06,3.251515e-06,3.620393e-06,4.967902e-06,6.137842e-06,7.161884e-06,9.478534e-06,9.821278e-06,1.291386e-05,1.358089e-05,1.639976e-05,1.835429e-05,2.023823e-05,2.370612e-05,2.438984e-05,2.881631e-05,2.954752e-05,3.347969e-05,3.579106e-05,3.834176e-05,4.234852e-05,4.336390e-05,4.850737e-05,4.913091e-05,5.373391e-05,5.605028e-05,5.900639e-05,6.302239e-05,6.428950e-05,6.955039e-05,6.996938e-05,7.475906e-05,7.682178e-05,7.988869e-05,8.351980e-05,8.491585e-05,8.982041e-05,9.001380e-05,9.458556e-05,9.626415e-05,9.919757e-05,1.022406e-04,1.036457e-04,1.079217e-04,1.120198e-04,1.132930e-04,1.159363e-04,1.183466e-04,1.196693e-04,1.230800e-04,1.232184e-04,1.265845e-04,1.274944e-04,1.297693e-04,1.315943e-04,1.327756e-04,1.353865e-04,1.356066e-04,1.382664e-04,1.388798e-04,1.407594e-04,1.420845e-04,1.430905e-04,1.450122e-04,1.452651e-04,1.472887e-04,1.476758e-04,1.491669e-04,1.500880e-04,1.509054e-04,1.522617e-04,1.525095e-04,1.539849e-04,1.542093e-04,1.553367e-04,1.559432e-04,1.565702e-04,1.574754e-04,1.576907e-04,1.587032e-04,1.588176e-04,1.596125e-04,1.599811e-04,1.604233e-04,1.609767e-04,1.611405e-04,1.617683e-04,1.618148e-04,1.623113e-04,1.625057e-04,1.627736e-04,1.630588e-04,1.631593e-04,1.634723e-04,1.634834e-04,1.637164e-04,1.637880e-04,1.638951e-04,1.639812e-04,1.640121e-04,1.640706e-04,1.640740e-04,1.640639e-04,1.640253e-04,1.639681e-04,1.639274e-04,1.637899e-04,1.637833e-04,1.635956e-04,1.635357e-04,1.633671e-04,1.632114e-04,1.631001e-04,1.628226e-04,1.627971e-04,1.624604e-04,1.623748e-04,1.620922e-04,1.618730e-04,1.616945e-04,1.613218e-04,1.612694e-04,1.608188e-04,1.607257e-04,1.603444e-04,1.600889e-04,1.598480e-04,1.594153e-04,1.593313e-04,1.587958e-04,1.587085e-04,1.582431e-04,1.579721e-04,1.576745e-04,1.572091e-04,1.570914e-04,1.564951e-04,1.564227e-04,1.558868e-04,1.556156e-04,1.552676e-04,1.547905e-04,1.546388e-04,1.540013e-04,1.539499e-04,1.533560e-04,1.530960e-04,1.527040e-04,1.522309e-04,1.520462e-04,1.513833e-04,1.513567e-04,1.507162e-04,1.504752e-04,1.500457e-04,1.495880e-04,1.493723e-04,1.486969e-04,1.478032e-04,1.469083e-04,1.460134e-04,1.451198e-04,1.442285e-04,1.433404e-04,1.424564e-04,1.415775e-04,1.407043e-04,1.398374e-04,1.389777e-04,1.381255e-04,1.372814e-04,1.364459e-04,1.356193e-04,1.348021e-04,1.339945e-04,1.331969e-04,1.324094e-04,1.316323e-04,1.308658e-04,1.301101e-04,1.293652e-04,1.286312e-04
0.000000e+00,5.333548e-13,2.737362e-12,3.107104e-11,1.548741e-10,3.226155e-10,1.564028e-09,1.655283e-09,5.778452e-09,7.819790e-09,1.582882e-08,2.666248e-08,3.671731e-08,7.151248e-08,7.547717e-08,1.415483e-07,1.627473e-07,2.469115e-07,3.283512e-07,4.059481e-07,6.032246e-07,6.349775e-07,9.515652e-07,1.026977e-06,1.373745e-06,1.640932e-06,1.919271e-06,2.485181e-06,2.604964e-06,3.446164e-06,3.596114e-06,4.456299e-06,5.004547e-06,5.646555e-06,6.734381e-06,7.025631e-06,8.599585e-06,8.801741e-06,1.037174e-05,1.121452e-05,1.234266e-05,1.397227e-05,1.451020e-05,1.686956e-05,1.706640e-05,1.941349e-05,2.048066e-05,2.213240e-05,2.419190e-05,2.501465e-05,2.804674e-05,2.817093e-05,3.121364e-05,3.238362e-05,3.449906e-05,3.679207e-05,3.788574e-05,4.135574e-05,4.489079e-05,4.603273e-05,4.847248e-05,5.078080e-05,5.208258e-05,5.555844e-05,5.570325e-05,5.931729e-05,6.032576e-05,6.290823e-05,6.504523e-05,6.646059e-05,6.968226e-05,6.995993e-05,7.339296e-05,7.420565e-05,7.674761e-05,7.858790e-05,8.001308e-05,8.280532e-05,8.317984e-05,8.623963e-05,8.683811e-05,8.918546e-05,9.067029e-05,9.201155e-05,9.428954e-05,9.471331e-05,9.728724e-05,9.768703e-05,9.973091e-05,1.008571e-04,1.020429e-04,1.037972e-04,1.042225e-04,1.062702e-04,1.065070e-04,1.081867e-04,1.089889e-04,1.099739e-04,1.112469e-04,1.116338e-04,1.131693e-04,1.132868e-04,1.145833e-04,1.151157e-04,1.158794e-04,1.167417e-04,1.170613e-04,1.181331e-04,1.181738e-04,1.190989e-04,1.194215e-04,1.199631e-04,1.204949e-04,1.207299e-04,1.214039e-04,1.219895e-04,1.221589e-04,1.224911e-04,1.227701e-04,1.229131e-04,1.232473e-04,1.232598e-04,1.235354e-04,1.236004e-04,1.237440e-04,1.238387e-04,1.238897e-04,1.239714e-04,1.239763e-04,1.240075e-04,1.240071e-04,1.239869e-04,1.239541e-04,1.239180e-04,1.238201e-04,1.238041e-04,1.236483e-04,1.236124e-04,1.234537e-04,1.233380e-04,1.232230e-04,1.230033e-04,1.229590e-04,1.226642e-04,1.226144e-04,1.223412e-04,1.221767e-04,1.219921e-04,1.216956e-04,1.216192e-04,1.212244e-04,1.211757e-04,1.208097e-04,1.206214e-04,1.203770e-04,1.200370e-04,1.199278e-04,1.194638e-04,1.194261e-04,1.189864e-04,1.187921e-04,1.184971e-04,1.181382e-04,1.179972e-04,1.174878e-04,1.174672e-04,1.169701e-04,1.167819e-04,1.164452e-04,1.160846e-04,1.159140e-04,1.153775e-04,1.146625e-04,1.139415e-04,1.132162e-04,1.124879e-04,1.117581e-04,1.110280e-04,1.102986e-04,1.095709e-04,1.088459e-04,1.081242e-04,1.074067e-04,1.066940e-04,1.059866e-04,1.052851e-04,1.045898e-04,1.039012e-04,1.032196e-04,1.025454e-04,1.018787e-04,1.012199e-04,1.005691e-04,9.992642e-05,9.929210e-05,9.866621e-05
0.000000e+00,2.604818e-09,6.554556e-09,2.487251e-08,5.921429e-08,8.787009e-08,2.057231e-07,2.121368e-07,4.196074e-07,4.959304e-07,7.352310e-07,9.875640e-07,1.185036e-06,1.731719e-06,1.785303e-06,2.531979e-06,2.731200e-06,3.408781e-06,3.950582e-06,4.399901e-06,5.356792e-06,5.492994e-06,6.677617e-06,6.924642e-06,7.943666e-06,8.630710e-06,9.280569e-06,1.045009e-05,1.067704e-05,1.212118e-05,1.235585e-05,1.360073e-05,1.431986e-05,1.510338e-05,1.631405e-05,1.661713e-05,1.813057e-05,1.831165e-05,1.963314e-05,2.028833e-05,2.111530e-05,2.222287e-05,2.256863e-05,2.398592e-05,2.409756e-05,2.536111e-05,2.589828e-05,2.668933e-05,2.761439e-05,2.796678e-05,2.919063e-05,2.923844e-05,3.035897e-05,3.076574e-05,3.147066e-05,3.219399e-05,3.252523e-05,3.352279e-05,3.446392e-05,3.475332e-05,3.534959e-05,3.588788e-05,3.618106e-05,3.692970e-05,3.695987e-05,3.768769e-05,3.788259e-05,3.836636e-05,3.875077e-05,3.899780e-05,3.953869e-05,3.958397e-05,4.012685e-05,4.025092e-05,4.062844e-05,4.089204e-05,4.109072e-05,4.146654e-05,4.151562e-05,4.190502e-05,4.197880e-05,4.226075e-05,4.243302e-05,4.258460e-05,4.283324e-05,4.287826e-05,4.314340e-05,4.318327e-05,4.338157e-05,4.348675e-05,4.359428e-05,4.374709e-05,4.378297e-05,4.394902e-05,4.396749e-05,4.409373e-05,4.415096e-05,4.421833e-05,4.430031e-05,4.432401e-05,4.441189e-05,4.441818e-05,4.448302e-05,4.450701e-05,4.453842e-05,4.456909e-05,4.457903e-05,4.460576e-05,4.460656e-05,4.461947e-05,4.462137e-05,4.462096e-05,4.461539e-05,4.461100e-05,4.459031e-05,4.455958e-05,4.454773e-05,4.451946e-05,4.448913e-05,4.447055e-05,4.441587e-05,4.441343e-05,4.434866e-05,4.432922e-05,4.427674e-05,4.423037e-05,4.419817e-05,4.412040e-05,4.411340e-05,4.402288e-05,4.400034e-05,4.392701e-05,4.387113e-05,4.382617e-05,4.373363e-05,4.372075e-05,4.361107e-05,4.358866e-05,4.349748e-05,4.343697e-05,4.338028e-05,4.327925e-05,4.325975e-05,4.313618e-05,4.311614e-05,4.300982e-05,4.294826e-05,4.288093e-05,4.277613e-05,4.274972e-05,4.261642e-05,4.260029e-05,4.248124e-05,4.242121e-05,4.234436e-05,4.223932e-05,4.220598e-05,4.206625e-05,4.205502e-05,4.192536e-05,4.186870e-05,4.178344e-05,4.168071e-05,4.164065e-05,4.149711e-05,4.149136e-05,4.135297e-05,4.130095e-05,4.120833e-05,4.110976e-05,4.106332e-05,4.091803e-05,4.072601e-05,4.053391e-05,4.034193e-05,4.015025e-05,3.995904e-05,3.976845e-05,3.957863e-05,3.938971e-05,3.920180e-05,3.901501e-05,3.882945e-05,3.864521e-05,3.846236e-05,3.828099e-05,3.810116e-05,3.792292e-05,3.774635e-05,3.757148e-05,3.739836e-05,3.722703e-05,3.705752e-05,3.688986e-05,3.672409e-05,3.656021e-05
0.000000e+00,2.102882e-09,4.971638e-09,1.763924e-08,4.062433e-08,5.948804e-08,1.355690e-07,1.396595e-07,2.700140e-07,3.171681e-07,4.628915e-07,6.140414e-07,7.313510e-07,1.056408e-06,1.088533e-06,1.545401e-06,1.670591e-06,2.106494e-06,2.464438e-06,2.765735e-06,3.414231e-06,3.506791e-06,4.308714e-06,4.474603e-06,5.151715e-06,5.600770e-06,6.019549e-06,6.758293e-06,6.899444e-06,7.781288e-06,7.921994e-06,8.656895e-06,9.072950e-06,9.519542e-06,1.019657e-05,1.036369e-05,1.118481e-05,1.128162e-05,1.197930e-05,1.231969e-05,1.274436e-05,1.330485e-05,1.347796e-05,1.417870e-05,1.423331e-05,1.484576e-05,1.510306e-05,1.547881e-05,1.591359e-05,1.607795e-05,1.664353e-05,1.666546e-05,1.717621e-05,1.736009e-05,1.767689e-05,1.799957e-05,1.814656e-05,1.858638e-05,1.899755e-05,1.912328e-05,1.938133e-05,1.961316e-05,1.973899e-05,2.005894e-05,2.007180e-05,2.038102e-05,2.046355e-05,2.066790e-05,2.082980e-05,2.093363e-05,2.116044e-05,2.117939e-05,2.140629e-05,2.145806e-05,2.161541e-05,2.172514e-05,2.180778e-05,2.196399e-05,2.198438e-05,2.214615e-05,2.217680e-05,2.229396e-05,2.236559e-05,2.242866e-05,2.253226e-05,2.255104e-05,2.266186e-05,2.267857e-05,2.276182e-05,2.280615e-05,2.285160e-05,2.291652e-05,2.293184e-05,2.300311e-05,2.301109e-05,2.306600e-05,2.309115e-05,2.312102e-05,2.315790e-05,2.316869e-05,2.320946e-05,2.321244e-05,2.324379e-05,2.325581e-05,2.327209e-05,2.328895e-05,2.329475e-05,2.331214e-05,2.331273e-05,2.332460e-05,2.332795e-05,2.333248e-05,2.333536e-05,2.333606e-05,2.333565e-05,2.333151e-05,2.332945e-05,2.332391e-05,2.331733e-05,2.331307e-05,2.329985e-05,2.329924e-05,2.328261e-05,2.327749e-05,2.326340e-05,2.325071e-05,2.324179e-05,2.321994e-05,2.321796e-05,2.319207e-05,2.318557e-05,2.316428e-05,2.314795e-05,2.313475e-05,2.310742e-05,2.310360e-05,2.307097e-05,2.306428e-05,2.303699e-05,2.301881e-05,2.300176e-05,2.297128e-05,2.296539e-05,2.292800e-05,2.292193e-05,2.288967e-05,2.287097e-05,2.285050e-05,2.281860e-05,2.281056e-05,2.276994e-05,2.276503e-05,2.272872e-05,2.271041e-05,2.268697e-05,2.265491e-05,2.264474e-05,2.260211e-05,2.259868e-05,2.255913e-05,2.254185e-05,2.251585e-05,2.248455e-05,2.247234e-05,2.242863e-05,2.242688e-05,2.238478e-05,2.236896e-05,2.234081e-05,2.231088e-05,2.229679e-05,2.225273e-05,2.219459e-05,2.213654e-05,2.207863e-05,2.202095e-05,2.196354e-05,2.190645e-05,2.184974e-05,2.179344e-05,2.173759e-05,2.168223e-05,2.162740e-05,2.157311e-05,2.151940e-05,2.146629e-05,2.141379e-05,2.136194e-05,2.131073e-05,2.126020e-05,2.121034e-05,2.116117e-05,2.111269e-05,2.106492e-05,2.101786e-05,2.097152e-05
0.000000e+00,3.018976e-12,1.485368e-11,1.543671e-10,7.095472e-10,1.413437e-09,6.102861e-09,6.428560e-09,2.000829e-08,2.624938e-08,4.917445e-08,7.785890e-08,1.030237e-07,1.837616e-07,1.925179e-07,3.299683e-07,3.714877e-07,5.276686e-07,6.685964e-07,7.956449e-07,1.094216e-06,1.139557e-06,1.559800e-06,1.652690e-06,2.051923e-06,2.333648e-06,2.607819e-06,3.116508e-06,3.217120e-06,3.868409e-06,3.975734e-06,4.550112e-06,4.884835e-06,5.251091e-06,5.818760e-06,5.960987e-06,6.670398e-06,6.755086e-06,7.370954e-06,7.674473e-06,8.055352e-06,8.560816e-06,8.717362e-06,9.351805e-06,9.401239e-06,9.954539e-06,1.018601e-05,1.052241e-05,1.090840e-05,1.105319e-05,1.154554e-05,1.156443e-05,1.199889e-05,1.215255e-05,1.241334e-05,1.267330e-05,1.278961e-05,1.312888e-05,1.343273e-05,1.352277e-05,1.370299e-05,1.385928e-05,1.394173e-05,1.414326e-05,1.415110e-05,1.433333e-05,1.437979e-05,1.449062e-05,1.457393e-05,1.462514e-05,1.473057e-05,1.473896e-05,1.483406e-05,1.485430e-05,1.491227e-05,1.494934e-05,1.497532e-05,1.501949e-05,1.502475e-05,1.506202e-05,1.506813e-05,1.508842e-05,1.509824e-05,1.510512e-05,1.511242e-05,1.511316e-05,1.511350e-05,1.511289e-05,1.510696e-05,1.510161e-05,1.509430e-05,1.508022e-05,1.507619e-05,1.505321e-05,1.505015e-05,1.502589e-05,1.501261e-05,1.499469e-05,1.496865e-05,1.496003e-05,1.492229e-05,1.491914e-05,1.488178e-05,1.486488e-05,1.483881e-05,1.480650e-05,1.479365e-05,1.474652e-05,1.474460e-05,1.469765e-05,1.467967e-05,1.464723e-05,1.461215e-05,1.459544e-05,1.454243e-05,1.448834e-05,1.447083e-05,1.443332e-05,1.439767e-05,1.437749e-05,1.432322e-05,1.432094e-05,1.426379e-05,1.424770e-05,1.420614e-05,1.417133e-05,1.414805e-05,1.409431e-05,1.408963e-05,1.403093e-05,1.401681e-05,1.397204e-05,1.393899e-05,1.391300e-05,1.386098e-05,1.385388e-05,1.379474e-05,1.378291e-05,1.373562e-05,1.370490e-05,1.367656e-05,1.362704e-05,1.361762e-05,1.355883e-05,1.354944e-05,1.350023e-05,1.347217e-05,1.344184e-05,1.339532e-05,1.338372e-05,1.332587e-05,1.331895e-05,1.326833e-05,1.324312e-05,1.321113e-05,1.316789e-05,1.315428e-05,1.309781e-05,1.309331e-05,1.304173e-05,1.301942e-05,1.298607e-05,1.294626e-05,1.293084e-05,1.287606e-05,1.287388e-05,1.282173e-05,1.280229e-05,1.276788e-05,1.273153e-05,1.271451e-05,1.266163e-05,1.259259e-05,1.252445e-05,1.245721e-05,1.239090e-05,1.232551e-05,1.226106e-05,1.219755e-05,1.213500e-05,1.207340e-05,1.201275e-05,1.195306e-05,1.189433e-05,1.183655e-05,1.177971e-05,1.172382e-05,1.166887e-05,1.161486e-05,1.156178e-05,1.150961e-05,1.145836e-05,1.140802e-05,1.135857e-05,1.131001e-05,1.126232e-05
0.000000e+00,8.149285e-10,1.861849e-09,6.340986e-09,1.427845e-08,2.071732e-08,4.643659e-08,4.781444e-08,9.172048e-08,1.076441e-07,1.570797e-07,2.086880e-07,2.488839e-07,3.600128e-07,3.709151e-07,5.227741e-07,5.631038e-07,6.987477e-07,8.048374e-07,8.908836e-07,1.067849e-06,1.092337e-06,1.298202e-06,1.339583e-06,1.505038e-06,1.612104e-06,1.710288e-06,1.879977e-06,1.911923e-06,2.108273e-06,2.139102e-06,2.297956e-06,2.386298e-06,2.479855e-06,2.619187e-06,2.653115e-06,2.817126e-06,2.836165e-06,2.971516e-06,3.036351e-06,3.116125e-06,3.219493e-06,3.250975e-06,3.376245e-06,3.385861e-06,3.492230e-06,3.536107e-06,3.599314e-06,3.671155e-06,3.697948e-06,3.788621e-06,3.792089e-06,3.871840e-06,3.900074e-06,3.948123e-06,3.996292e-06,4.017977e-06,4.081895e-06,4.140347e-06,4.157971e-06,4.193779e-06,4.225536e-06,4.242610e-06,4.285517e-06,4.287225e-06,4.327978e-06,4.338742e-06,4.365194e-06,4.385951e-06,4.399170e-06,4.427801e-06,4.430179e-06,4.458464e-06,4.464873e-06,4.484250e-06,4.497674e-06,4.507737e-06,4.526649e-06,4.529107e-06,4.548527e-06,4.552190e-06,4.566147e-06,4.574643e-06,4.582103e-06,4.594311e-06,4.596519e-06,4.609507e-06,4.611459e-06,4.621169e-06,4.626323e-06,4.631598e-06,4.639111e-06,4.640880e-06,4.649091e-06,4.650008e-06,4.656304e-06,4.659178e-06,4.662583e-06,4.666767e-06,4.667987e-06,4.672574e-06,4.672907e-06,4.676392e-06,4.677716e-06,4.679491e-06,4.681300e-06,4.681912e-06,4.683698e-06,4.683757e-06,4.684886e-06,4.685173e-06,4.685510e-06,4.685629e-06,4.685604e-06,4.685198e-06,4.684321e-06,4.683946e-06,4.683001e-06,4.681934e-06,4.681261e-06,4.679219e-06,4.679127e-06,4.676620e-06,4.675854e-06,4.673761e-06,4.671886e-06,4.670572e-06,4.667360e-06,4.667069e-06,4.663272e-06,4.662318e-06,4.659196e-06,4.656799e-06,4.654859e-06,4.650837e-06,4.650275e-06,4.645458e-06,4.644468e-06,4.640422e-06,4.637722e-06,4.635181e-06,4.630628e-06,4.629746e-06,4.624129e-06,4.623214e-06,4.618342e-06,4.615506e-06,4.612395e-06,4.607529e-06,4.606298e-06,4.600061e-06,4.599303e-06,4.593693e-06,4.590852e-06,4.587203e-06,4.582194e-06,4.580599e-06,4.573890e-06,4.573349e-06,4.567083e-06,4.564334e-06,4.560185e-06,4.555166e-06,4.553203e-06,4.546144e-06,4.545860e-06,4.539014e-06,4.536432e-06,4.531820e-06,4.526894e-06,4.524567e-06,4.517261e-06,4.507545e-06,4.497756e-06,4.487907e-06,4.478007e-06,4.468066e-06,4.458093e-06,4.448097e-06,4.438086e-06,4.428067e-06,4.418048e-06,4.408035e-06,4.398035e-06,4.388054e-06,4.378097e-06,4.368170e-06,4.358277e-06,4.348423e-06,4.338613e-06,4.328850e-06,4.319139e-06,4.309482e-06,4.299884e-06,4.290346e-06,4.280873e-06
0.000000e+00,1.235163e-09,3.588651e-09,1.596051e-08,4.095763e-08,6.248043e-08,1.532290e-07,1.582173e-07,3.202734e-07,3.799040e-07,5.661954e-07,7.615999e-07,9.142990e-07,1.340738e-06,1.383100e-06,1.989300e-06,2.156645e-06,2.743895e-06,3.231949e-06,3.647148e-06,4.554537e-06,4.685525e-06,5.834168e-06,6.074553e-06,7.063875e-06,7.726126e-06,8.347364e-06,9.450363e-06,9.662012e-06,1.098991e-05,1.120261e-05,1.231696e-05,1.295026e-05,1.363197e-05,1.466922e-05,1.492598e-05,1.619183e-05,1.634155e-05,1.742384e-05,1.795402e-05,1.861760e-05,1.949720e-05,1.976980e-05,2.087807e-05,2.096478e-05,2.194084e-05,2.235298e-05,2.295719e-05,2.366001e-05,2.392678e-05,2.484973e-05,2.488568e-05,2.572650e-05,2.603097e-05,2.655785e-05,2.709773e-05,2.734478e-05,2.808842e-05,2.879006e-05,2.900593e-05,2.945105e-05,2.985341e-05,3.007282e-05,3.063417e-05,3.065682e-05,3.120452e-05,3.135157e-05,3.171737e-05,3.200896e-05,3.219683e-05,3.260967e-05,3.264433e-05,3.306127e-05,3.315694e-05,3.344901e-05,3.365390e-05,3.380890e-05,3.410358e-05,3.414222e-05,3.445022e-05,3.450889e-05,3.473411e-05,3.487260e-05,3.499506e-05,3.519735e-05,3.523419e-05,3.545257e-05,3.548565e-05,3.565124e-05,3.573990e-05,3.583121e-05,3.596235e-05,3.599342e-05,3.613879e-05,3.615514e-05,3.626819e-05,3.632029e-05,3.638248e-05,3.645971e-05,3.648244e-05,3.656885e-05,3.657519e-05,3.664243e-05,3.666844e-05,3.670390e-05,3.674103e-05,3.675392e-05,3.679313e-05,3.679448e-05,3.682213e-05,3.683019e-05,3.684152e-05,3.684948e-05,3.685183e-05,3.685361e-05,3.684736e-05,3.684374e-05,3.683355e-05,3.682095e-05,3.681264e-05,3.678629e-05,3.678506e-05,3.675124e-05,3.674071e-05,3.671156e-05,3.668510e-05,3.666640e-05,3.662032e-05,3.661612e-05,3.656105e-05,3.654716e-05,3.650152e-05,3.646634e-05,3.643783e-05,3.637857e-05,3.637027e-05,3.629912e-05,3.628449e-05,3.622465e-05,3.618469e-05,3.614709e-05,3.607974e-05,3.606670e-05,3.598368e-05,3.597017e-05,3.589826e-05,3.585646e-05,3.581064e-05,3.573908e-05,3.572100e-05,3.562954e-05,3.561844e-05,3.553641e-05,3.549495e-05,3.544179e-05,3.536897e-05,3.534583e-05,3.524867e-05,3.524085e-05,3.515045e-05,3.511089e-05,3.505130e-05,3.497941e-05,3.495135e-05,3.485072e-05,3.484668e-05,3.474950e-05,3.471294e-05,3.464782e-05,3.457845e-05,3.454575e-05,3.444341e-05,3.430803e-05,3.417249e-05,3.403698e-05,3.390164e-05,3.376664e-05,3.363209e-05,3.349813e-05,3.336487e-05,3.323242e-05,3.310087e-05,3.297031e-05,3.284081e-05,3.271246e-05,3.258531e-05,3.245942e-05,3.233485e-05,3.221164e-05,3.208983e-05,3.196947e-05,3.185058e-05,3.173320e-05,3.161734e-05,3.150303e-05,3.139029e-05
0.000000e+00,8.409334e-12,4.006511e-11,3.902405e-10,1.695139e-09,3.277361e-09,1.315665e-08,1.381979e-08,4.031411e-08,5.203958e-08,9.387639e-08,1.446369e-07,1.883210e-07,3.255550e-07,3.402631e-07,5.686260e-07,6.369499e-07,8.921395e-07,1.120353e-06,1.324568e-06,1.798877e-06,1.870214e-06,2.522744e-06,2.664893e-06,3.267555e-06,3.685098e-06,4.085684e-06,4.815044e-06,4.957314e-06,5.864026e-06,6.011250e-06,6.789827e-06,7.236968e-06,7.721338e-06,8.463192e-06,8.647554e-06,9.559457e-06,9.667557e-06,1.044964e-05,1.083284e-05,1.131204e-05,1.194579e-05,1.214169e-05,1.293463e-05,1.299638e-05,1.368778e-05,1.397736e-05,1.439887e-05,1.488396e-05,1.506644e-05,1.568968e-05,1.571369e-05,1.626846e-05,1.646600e-05,1.680318e-05,1.714206e-05,1.729472e-05,1.774433e-05,1.815360e-05,1.827633e-05,1.852433e-05,1.874228e-05,1.885850e-05,1.914685e-05,1.915820e-05,1.942557e-05,1.949493e-05,1.966274e-05,1.979144e-05,1.987185e-05,2.004121e-05,2.005495e-05,2.021405e-05,2.024887e-05,2.035104e-05,2.041877e-05,2.046772e-05,2.055494e-05,2.056578e-05,2.064680e-05,2.066110e-05,2.071226e-05,2.074061e-05,2.076352e-05,2.079652e-05,2.080183e-05,2.082836e-05,2.083158e-05,2.084417e-05,2.084823e-05,2.085022e-05,2.084865e-05,2.084743e-05,2.083659e-05,2.083478e-05,2.081845e-05,2.080834e-05,2.079370e-05,2.077084e-05,2.076295e-05,2.072677e-05,2.072365e-05,2.068566e-05,2.066795e-05,2.064011e-05,2.060480e-05,2.059054e-05,2.053734e-05,2.053515e-05,2.048087e-05,2.045981e-05,2.042146e-05,2.037953e-05,2.035940e-05,2.029497e-05,2.022841e-05,2.020670e-05,2.015996e-05,2.011526e-05,2.008983e-05,2.002110e-05,2.001821e-05,1.994527e-05,1.992464e-05,1.987119e-05,1.982625e-05,1.979610e-05,1.972627e-05,1.972016e-05,1.964348e-05,1.962499e-05,1.956619e-05,1.952268e-05,1.948839e-05,1.941958e-05,1.941018e-05,1.933165e-05,1.931592e-05,1.925290e-05,1.921188e-05,1.917399e-05,1.910764e-05,1.909500e-05,1.901601e-05,1.900337e-05,1.893706e-05,1.889920e-05,1.885822e-05,1.879526e-05,1.877954e-05,1.870108e-05,1.869168e-05,1.862287e-05,1.858855e-05,1.854496e-05,1.848597e-05,1.846738e-05,1.839018e-05,1.838402e-05,1.831339e-05,1.828279e-05,1.823703e-05,1.818234e-05,1.816113e-05,1.808573e-05,1.808273e-05,1.801084e-05,1.798402e-05,1.793649e-05,1.788625e-05,1.786270e-05,1.778948e-05,1.769373e-05,1.759905e-05,1.750547e-05,1.741300e-05,1.732167e-05,1.723151e-05,1.714252e-05,1.705472e-05,1.696812e-05,1.688274e-05,1.679857e-05,1.671562e-05,1.663390e-05,1.655340e-05,1.647412e-05,1.639607e-05,1.631923e-05,1.624361e-05,1.616920e-05,1.609599e-05,1.602398e-05,1.595315e-05,1.588350e-05,1.581502e-05
0.000000e+00,2.838079e-10,1.072322e-09,6.850828e-09,2.154321e-08,3.563558e-08,1.013348e-07,1.051226e-07,2.332250e-07,2.819789e-07,4.374120e-07,6.037190e-07,7.351942e-07,1.107036e-06,1.144272e-06,1.681949e-06,1.831885e-06,2.363220e-06,2.811174e-06,3.197008e-06,4.055723e-06,4.181430e-06,5.301790e-06,5.540169e-06,6.534390e-06,7.211031e-06,7.853334e-06,9.010762e-06,9.235252e-06,1.066063e-05,1.089161e-05,1.211329e-05,1.281615e-05,1.357952e-05,1.475427e-05,1.504749e-05,1.650692e-05,1.668104e-05,1.794885e-05,1.857574e-05,1.936561e-05,2.042149e-05,2.075073e-05,2.209888e-05,2.220500e-05,2.340582e-05,2.391629e-05,2.466827e-05,2.554831e-05,2.588384e-05,2.705089e-05,2.709655e-05,2.816847e-05,2.855860e-05,2.923619e-05,2.993378e-05,3.025412e-05,3.122272e-05,3.214278e-05,3.242711e-05,3.301531e-05,3.354934e-05,3.384153e-05,3.459237e-05,3.462277e-05,3.536050e-05,3.555947e-05,3.605623e-05,3.645416e-05,3.671152e-05,3.728004e-05,3.732796e-05,3.790712e-05,3.804074e-05,3.845057e-05,3.873988e-05,3.895986e-05,3.938098e-05,3.943650e-05,3.988198e-05,3.996747e-05,4.029774e-05,4.050265e-05,4.068516e-05,4.098969e-05,4.104560e-05,4.138035e-05,4.143161e-05,4.169067e-05,4.183130e-05,4.197775e-05,4.219147e-05,4.224276e-05,4.248679e-05,4.251472e-05,4.271091e-05,4.280348e-05,4.291614e-05,4.306007e-05,4.310344e-05,4.327374e-05,4.328666e-05,4.342792e-05,4.348527e-05,4.356683e-05,4.365783e-05,4.369126e-05,4.380199e-05,4.380614e-05,4.389975e-05,4.393190e-05,4.398523e-05,4.403668e-05,4.405910e-05,4.412199e-05,4.417451e-05,4.418922e-05,4.421722e-05,4.423967e-05,4.425068e-05,4.427458e-05,4.427540e-05,4.429188e-05,4.429509e-05,4.430059e-05,4.430228e-05,4.430198e-05,4.429715e-05,4.429647e-05,4.428446e-05,4.428066e-05,4.426635e-05,4.425367e-05,4.424249e-05,4.421703e-05,4.421324e-05,4.417893e-05,4.417149e-05,4.413987e-05,4.411778e-05,4.409636e-05,4.405658e-05,4.404868e-05,4.399711e-05,4.398851e-05,4.394190e-05,4.391417e-05,4.388329e-05,4.383411e-05,4.382151e-05,4.375679e-05,4.374883e-05,4.368932e-05,4.365883e-05,4.361932e-05,4.356454e-05,4.354697e-05,4.347244e-05,4.346639e-05,4.339591e-05,4.336477e-05,4.331754e-05,4.326005e-05,4.323747e-05,4.315586e-05,4.315256e-05,4.307283e-05,4.304262e-05,4.298853e-05,4.293053e-05,4.290307e-05,4.281657e-05,4.270098e-05,4.258402e-05,4.246590e-05,4.234683e-05,4.222700e-05,4.210660e-05,4.198578e-05,4.186471e-05,4.174353e-05,4.162237e-05,4.150135e-05,4.138059e-05,4.126019e-05,4.114025e-05,4.102087e-05,4.090211e-05,4.078407e-05,4.066680e-05,4.055038e-05,4.043486e-05,4.032029e-05,4.020673e-05,4.009422e-05,3.998280e-05
0.000000e+00,6.013758e-09,1.389568e-08,4.838030e-08,1.112033e-07,1.632794e-07,3.785123e-07,3.903194e-07,7.785548e-07,9.244215e-07,1.391398e-06,1.897455e-06,2.301509e-06,3.447494e-06,3.561499e-06,5.169472e-06,5.602561e-06,7.081113e-06,8.265510e-06,9.247297e-06,1.133409e-05,1.163059e-05,1.420416e-05,1.473981e-05,1.694716e-05,1.843435e-05,1.984124e-05,2.237603e-05,2.286863e-05,2.601118e-05,2.652343e-05,2.925011e-05,3.083337e-05,3.256607e-05,3.526110e-05,3.593943e-05,3.935074e-05,3.976174e-05,4.278107e-05,4.429173e-05,4.621232e-05,4.881022e-05,4.962756e-05,5.301123e-05,5.328012e-05,5.634925e-05,5.766883e-05,5.962915e-05,6.194852e-05,6.284005e-05,6.597267e-05,6.609624e-05,6.901923e-05,7.009365e-05,7.197335e-05,7.392673e-05,7.482999e-05,7.758529e-05,8.023644e-05,8.106248e-05,8.278158e-05,8.435434e-05,8.521970e-05,8.745928e-05,8.755045e-05,8.977414e-05,9.037769e-05,9.189158e-05,9.311154e-05,9.390400e-05,9.566405e-05,9.581300e-05,9.762049e-05,9.803942e-05,9.932860e-05,1.002426e-04,1.009396e-04,1.022790e-04,1.024561e-04,1.038805e-04,1.041546e-04,1.052156e-04,1.058754e-04,1.064640e-04,1.074477e-04,1.076285e-04,1.087119e-04,1.088779e-04,1.097169e-04,1.101722e-04,1.106462e-04,1.113370e-04,1.115026e-04,1.122887e-04,1.123784e-04,1.130071e-04,1.133025e-04,1.136606e-04,1.141152e-04,1.142515e-04,1.147824e-04,1.148224e-04,1.152557e-04,1.154295e-04,1.156739e-04,1.159420e-04,1.160391e-04,1.163536e-04,1.163652e-04,1.166197e-04,1.167040e-04,1.168393e-04,1.169633e-04,1.170147e-04,1.171478e-04,1.172405e-04,1.172619e-04,1.172947e-04,1.173100e-04,1.173121e-04,1.172960e-04,1.172947e-04,1.172439e-04,1.172240e-04,1.171615e-04,1.170976e-04,1.170491e-04,1.169204e-04,1.169081e-04,1.167400e-04,1.166958e-04,1.165463e-04,1.164271e-04,1.163283e-04,1.161174e-04,1.160873e-04,1.158246e-04,1.157695e-04,1.155413e-04,1.153863e-04,1.152387e-04,1.149704e-04,1.149179e-04,1.145799e-04,1.145243e-04,1.142258e-04,1.140504e-04,1.138566e-04,1.135510e-04,1.134732e-04,1.130766e-04,1.130282e-04,1.126677e-04,1.124840e-04,1.122472e-04,1.119204e-04,1.118159e-04,1.113748e-04,1.113391e-04,1.109244e-04,1.107418e-04,1.104655e-04,1.101303e-04,1.099989e-04,1.095250e-04,1.095059e-04,1.090446e-04,1.088702e-04,1.085583e-04,1.082244e-04,1.080665e-04,1.075699e-04,1.069079e-04,1.062394e-04,1.055655e-04,1.048873e-04,1.042056e-04,1.035213e-04,1.028353e-04,1.021482e-04,1.014609e-04,1.007739e-04,1.000878e-04,9.940331e-05,9.872088e-05,9.804102e-05,9.736418e-05,9.669079e-05,9.602124e-05,9.535588e-05,9.469504e-05,9.403902e-05,9.338810e-05,9.274254e-05,9.210255e-05,9.146835e-05
0.000000e+00,4.752212e-11,2.190117e-10,1.999297e-09,8.227770e-09,1.547561e-08,5.828828e-08,6.108170e-08,1.691638e-07,2.157151e-07,3.787098e-07,5.728089e-07,7.379971e-07,1.250158e-06,1.304563e-06,2.138659e-06,2.384406e-06,3.287280e-06,4.076055e-06,4.768733e-06,6.338643e-06,6.570887e-06,8.661737e-06,9.111110e-06,1.100199e-05,1.230456e-05,1.355315e-05,1.583370e-05,1.628065e-05,1.915397e-05,1.962537e-05,2.214566e-05,2.361619e-05,2.523029e-05,2.774871e-05,2.838381e-05,3.158330e-05,3.196928e-05,3.480698e-05,3.622774e-05,3.803438e-05,4.047799e-05,4.124659e-05,4.442641e-05,4.467893e-05,4.755855e-05,4.879501e-05,5.062968e-05,5.279665e-05,5.362842e-05,5.654532e-05,5.666018e-05,5.937273e-05,6.036748e-05,6.210465e-05,6.390548e-05,6.473662e-05,6.726546e-05,6.968923e-05,7.044246e-05,7.200698e-05,7.343463e-05,7.421862e-05,7.624253e-05,7.632476e-05,7.832656e-05,7.886857e-05,8.022561e-05,8.131652e-05,8.202386e-05,8.359116e-05,8.372357e-05,8.532724e-05,8.569813e-05,8.683760e-05,8.764369e-05,8.825748e-05,8.943445e-05,8.958981e-05,9.083760e-05,9.107728e-05,9.200393e-05,9.257927e-05,9.309195e-05,9.394778e-05,9.410495e-05,9.504611e-05,9.519023e-05,9.591844e-05,9.631358e-05,9.672487e-05,9.732447e-05,9.746822e-05,9.815118e-05,9.822920e-05,9.877636e-05,9.903380e-05,9.934633e-05,9.974411e-05,9.986356e-05,1.003304e-04,1.003657e-04,1.007492e-04,1.009038e-04,1.011222e-04,1.013635e-04,1.014514e-04,1.017391e-04,1.017497e-04,1.019871e-04,1.020671e-04,1.021974e-04,1.023199e-04,1.023720e-04,1.025124e-04,1.026205e-04,1.026485e-04,1.026979e-04,1.027320e-04,1.027462e-04,1.027665e-04,1.027668e-04,1.027613e-04,1.027553e-04,1.027311e-04,1.027016e-04,1.026774e-04,1.026085e-04,1.026017e-04,1.025050e-04,1.024788e-04,1.023886e-04,1.023152e-04,1.022536e-04,1.021203e-04,1.021011e-04,1.019321e-04,1.018964e-04,1.017476e-04,1.016458e-04,1.015485e-04,1.013707e-04,1.013358e-04,1.011103e-04,1.010731e-04,1.008728e-04,1.007548e-04,1.006241e-04,1.004177e-04,1.003650e-04,1.000962e-04,1.000634e-04,9.981838e-05,9.969343e-05,9.953214e-05,9.930938e-05,9.923814e-05,9.893698e-05,9.891259e-05,9.862920e-05,9.850437e-05,9.831536e-05,9.808593e-05,9.799597e-05,9.767151e-05,9.765843e-05,9.734245e-05,9.722294e-05,9.700922e-05,9.678047e-05,9.667226e-05,9.633195e-05,9.587827e-05,9.542024e-05,9.495864e-05,9.449417e-05,9.402752e-05,9.355929e-05,9.309008e-05,9.262042e-05,9.215080e-05,9.168170e-05,9.121354e-05,9.074673e-05,9.028162e-05,8.981857e-05,8.935788e-05,8.889984e-05,8.844471e-05,8.799275e-05,8.754416e-05,8.709917e-05,8.665793e-05,8.622064e-05,8.578743e-05,8.535844e-05
0.000000e+00,1.301151e-10,4.950373e-10,3.198137e-09,1.012962e-08,1.680726e-08,4.807539e-08,4.988198e-08,1.111031e-07,1.344473e-07,2.089862e-07,2.889057e-07,3.521991e-07,5.317316e-07,5.497529e-07,8.108277e-07,8.839152e-07,1.143893e-06,1.364232e-06,1.554847e-06,1.981822e-06,2.044643e-06,2.608093e-06,2.728792e-06,3.235149e-06,3.582353e-06,3.913743e-06,4.514983e-06,4.632162e-06,5.380083e-06,5.501880e-06,6.148692e-06,6.522713e-06,6.930432e-06,7.560834e-06,7.718730e-06,8.507796e-06,8.602286e-06,9.292514e-06,9.635232e-06,1.006838e-05,1.064969e-05,1.083147e-05,1.157842e-05,1.163739e-05,1.230640e-05,1.259174e-05,1.301307e-05,1.350763e-05,1.369659e-05,1.435552e-05,1.438135e-05,1.498885e-05,1.521044e-05,1.559589e-05,1.599344e-05,1.617624e-05,1.672979e-05,1.725661e-05,1.741959e-05,1.775699e-05,1.806354e-05,1.823134e-05,1.866271e-05,1.868019e-05,1.910416e-05,1.921851e-05,1.950396e-05,1.973253e-05,1.988031e-05,2.020654e-05,2.023402e-05,2.056587e-05,2.064236e-05,2.087671e-05,2.104190e-05,2.116734e-05,2.140702e-05,2.143857e-05,2.169123e-05,2.173960e-05,2.192610e-05,2.204146e-05,2.214397e-05,2.231439e-05,2.234558e-05,2.253169e-05,2.256007e-05,2.270299e-05,2.278016e-05,2.286018e-05,2.297623e-05,2.300394e-05,2.313489e-05,2.314977e-05,2.325365e-05,2.330220e-05,2.336082e-05,2.343486e-05,2.345695e-05,2.354261e-05,2.354903e-05,2.361831e-05,2.364592e-05,2.368455e-05,2.372666e-05,2.374182e-05,2.379055e-05,2.379233e-05,2.383121e-05,2.384395e-05,2.386420e-05,2.388246e-05,2.388993e-05,2.390877e-05,2.392109e-05,2.392372e-05,2.392725e-05,2.392810e-05,2.392756e-05,2.392266e-05,2.392235e-05,2.391193e-05,2.390811e-05,2.389657e-05,2.388511e-05,2.387656e-05,2.385426e-05,2.385215e-05,2.382360e-05,2.381616e-05,2.379114e-05,2.377134e-05,2.375500e-05,2.372033e-05,2.371540e-05,2.367254e-05,2.366359e-05,2.362661e-05,2.360159e-05,2.357781e-05,2.353473e-05,2.352632e-05,2.347229e-05,2.346342e-05,2.341589e-05,2.338803e-05,2.335728e-05,2.330890e-05,2.329660e-05,2.323399e-05,2.322636e-05,2.316959e-05,2.314071e-05,2.310351e-05,2.305224e-05,2.303587e-05,2.296680e-05,2.296122e-05,2.289640e-05,2.286789e-05,2.282477e-05,2.277250e-05,2.275202e-05,2.267822e-05,2.267525e-05,2.260348e-05,2.257635e-05,2.252787e-05,2.247600e-05,2.245148e-05,2.237438e-05,2.227164e-05,2.216795e-05,2.206346e-05,2.195830e-05,2.185259e-05,2.174646e-05,2.164002e-05,2.153337e-05,2.142661e-05,2.131982e-05,2.121310e-05,2.110651e-05,2.100013e-05,2.089402e-05,2.078826e-05,2.068289e-05,2.057797e-05,2.047354e-05,2.036966e-05,2.026637e-05,2.016370e-05,2.006169e-05,1.996038e-05,1.985978e-05
0.000000e+00,2.825956e-11,1.338796e-10,1.290643e-09,5.566169e-09,1.073149e-08,4.297880e-08,4.514855e-08,1.326125e-07,1.718123e-07,3.139273e-07,4.903727e-07,6.449889e-07,1.140932e-06,1.194608e-06,2.028573e-06,2.276137e-06,3.185368e-06,3.975420e-06,4.664319e-06,6.206858e-06,6.432813e-06,8.441764e-06,8.867753e-06,1.063877e-05,1.183923e-05,1.297547e-05,1.501540e-05,1.540996e-05,1.790665e-05,1.830980e-05,2.043509e-05,2.165210e-05,2.296875e-05,2.498359e-05,2.548419e-05,2.796066e-05,2.825432e-05,3.037986e-05,3.142201e-05,3.272601e-05,3.445195e-05,3.498581e-05,3.714851e-05,3.731706e-05,3.920582e-05,3.999783e-05,4.115181e-05,4.248182e-05,4.298274e-05,4.469682e-05,4.476294e-05,4.629393e-05,4.684048e-05,4.777543e-05,4.871804e-05,4.914381e-05,5.040250e-05,5.155565e-05,5.190311e-05,5.260788e-05,5.323064e-05,5.356417e-05,5.439675e-05,5.442970e-05,5.520968e-05,5.541346e-05,5.590935e-05,5.629273e-05,5.653383e-05,5.704624e-05,5.708811e-05,5.757701e-05,5.768512e-05,5.800510e-05,5.821991e-05,5.837676e-05,5.866043e-05,5.869612e-05,5.896706e-05,5.901577e-05,5.919324e-05,5.929431e-05,5.937808e-05,5.950373e-05,5.952476e-05,5.963626e-05,5.965102e-05,5.971535e-05,5.974256e-05,5.976459e-05,5.978412e-05,5.978639e-05,5.978296e-05,5.978095e-05,5.975635e-05,5.973780e-05,5.970848e-05,5.965896e-05,5.964110e-05,5.955585e-05,5.954830e-05,5.945424e-05,5.940934e-05,5.933768e-05,5.924523e-05,5.920747e-05,5.906480e-05,5.905885e-05,5.891080e-05,5.885278e-05,5.874648e-05,5.862935e-05,5.857281e-05,5.839067e-05,5.820088e-05,5.813865e-05,5.800419e-05,5.787502e-05,5.780132e-05,5.760134e-05,5.759290e-05,5.737956e-05,5.731901e-05,5.716183e-05,5.702932e-05,5.694025e-05,5.673340e-05,5.671529e-05,5.648740e-05,5.643231e-05,5.625698e-05,5.612699e-05,5.602443e-05,5.581830e-05,5.579009e-05,5.555430e-05,5.550699e-05,5.531736e-05,5.519379e-05,5.507954e-05,5.487930e-05,5.484112e-05,5.460234e-05,5.456411e-05,5.436341e-05,5.424874e-05,5.412455e-05,5.393363e-05,5.388594e-05,5.364777e-05,5.361923e-05,5.341019e-05,5.330589e-05,5.317337e-05,5.299397e-05,5.293744e-05,5.270252e-05,5.268377e-05,5.246875e-05,5.237558e-05,5.223622e-05,5.206963e-05,5.200504e-05,5.177531e-05,5.176615e-05,5.154710e-05,5.146533e-05,5.132049e-05,5.116735e-05,5.109556e-05,5.087236e-05,5.058051e-05,5.029190e-05,5.000665e-05,4.972485e-05,4.944657e-05,4.917189e-05,4.890085e-05,4.863351e-05,4.836991e-05,4.811007e-05,4.785402e-05,4.760177e-05,4.735333e-05,4.710870e-05,4.686789e-05,4.663087e-05,4.639765e-05,4.616821e-05,4.594253e-05,4.572059e-05,4.550236e-05,4.528781e-05,4.507692e-05,4.486966e-05
0.000000e+00,2.222201e-11,1.048535e-10,1.002258e-09,4.284893e-09,8.215218e-09,3.228866e-08,3.388689e-08,9.672486e-08,1.240726e-07,2.200368e-07,3.338398e-07,4.299411e-07,7.233457e-07,7.541591e-07,1.221178e-06,1.357667e-06,1.859108e-06,2.300727e-06,2.693517e-06,3.606347e-06,3.744346e-06,5.023335e-06,5.306909e-06,6.533311e-06,7.408395e-06,8.269327e-06,9.894574e-06,1.022070e-05,1.237294e-05,1.273483e-05,1.470916e-05,1.589056e-05,1.721106e-05,1.931902e-05,1.985949e-05,2.263484e-05,2.297547e-05,2.551740e-05,2.681465e-05,2.848767e-05,3.079202e-05,3.152665e-05,3.461611e-05,3.486492e-05,3.773879e-05,3.899354e-05,4.087868e-05,4.314174e-05,4.402106e-05,4.715266e-05,4.727752e-05,5.026161e-05,5.137325e-05,5.333753e-05,5.540563e-05,5.637140e-05,5.935551e-05,6.228339e-05,6.320753e-05,6.514969e-05,6.694976e-05,6.795007e-05,7.057322e-05,7.068109e-05,7.334014e-05,7.407150e-05,7.592529e-05,7.744034e-05,7.843523e-05,8.067726e-05,8.086916e-05,8.322678e-05,8.378125e-05,8.550812e-05,8.675248e-05,8.771356e-05,8.959208e-05,8.984376e-05,9.189957e-05,9.230190e-05,9.388206e-05,9.488437e-05,9.579243e-05,9.734238e-05,9.763201e-05,9.940223e-05,9.967913e-05,1.011046e-04,1.018981e-04,1.027407e-04,1.040029e-04,1.043121e-04,1.058204e-04,1.059973e-04,1.072674e-04,1.078850e-04,1.086546e-04,1.096699e-04,1.099837e-04,1.112565e-04,1.113559e-04,1.124744e-04,1.129467e-04,1.136393e-04,1.144461e-04,1.147527e-04,1.158162e-04,1.158578e-04,1.168314e-04,1.171854e-04,1.177998e-04,1.184324e-04,1.187230e-04,1.196024e-04,1.204395e-04,1.206987e-04,1.212357e-04,1.217245e-04,1.219925e-04,1.226831e-04,1.227112e-04,1.233930e-04,1.235775e-04,1.240394e-04,1.244108e-04,1.246516e-04,1.251857e-04,1.252308e-04,1.257783e-04,1.259051e-04,1.262951e-04,1.265716e-04,1.267825e-04,1.271878e-04,1.272414e-04,1.276731e-04,1.277563e-04,1.280786e-04,1.282794e-04,1.284588e-04,1.287594e-04,1.288147e-04,1.291474e-04,1.291985e-04,1.294576e-04,1.295989e-04,1.297464e-04,1.299626e-04,1.300146e-04,1.302630e-04,1.302915e-04,1.304924e-04,1.305875e-04,1.307036e-04,1.308525e-04,1.308975e-04,1.310746e-04,1.310881e-04,1.312358e-04,1.312960e-04,1.313817e-04,1.314777e-04,1.315131e-04,1.316304e-04,1.316348e-04,1.317344e-04,1.317687e-04,1.318257e-04,1.318808e-04,1.319048e-04,1.319724e-04,1.320447e-04,1.320989e-04,1.321362e-04,1.321576e-04,1.321642e-04,1.321570e-04,1.321369e-04,1.321047e-04,1.320614e-04,1.320078e-04,1.319445e-04,1.318723e-04,1.317920e-04,1.317041e-04,1.316093e-04,1.315081e-04,1.314012e-04,1.312890e-04,1.311720e-04,1.310507e-04,1.309256e-04,1.307970e-04,1.306653e-04,1.305310e-04
0.000000e+00,2.784566e-11,1.338032e-10,1.326718e-09,5.859475e-09,1.143476e-08,4.707063e-08,4.949555e-08,1.483293e-07,1.929571e-07,3.552026e-07,5.567612e-07,7.333430e-07,1.301676e-06,1.363559e-06,2.341227e-06,2.638481e-06,3.761477e-06,4.777699e-06,5.693389e-06,7.834998e-06,8.158386e-06,1.112670e-05,1.177522e-05,1.453009e-05,1.644282e-05,1.828033e-05,2.163085e-05,2.228502e-05,2.645760e-05,2.713555e-05,3.072207e-05,3.278235e-05,3.501418e-05,3.843167e-05,3.928072e-05,4.347812e-05,4.397541e-05,4.757105e-05,4.933130e-05,5.153111e-05,5.443790e-05,5.533588e-05,5.896817e-05,5.925089e-05,6.241530e-05,6.374025e-05,6.566864e-05,6.788805e-05,6.872306e-05,7.157647e-05,7.168642e-05,7.422935e-05,7.513575e-05,7.668435e-05,7.824291e-05,7.894588e-05,8.101973e-05,8.291276e-05,8.348157e-05,8.463259e-05,8.564612e-05,8.618735e-05,8.753247e-05,8.758550e-05,8.883562e-05,8.916030e-05,8.994630e-05,9.054930e-05,9.092600e-05,9.171878e-05,9.178301e-05,9.252534e-05,9.268730e-05,9.316071e-05,9.347257e-05,9.369651e-05,9.409122e-05,9.413975e-05,9.449711e-05,9.455884e-05,9.477490e-05,9.488989e-05,9.497906e-05,9.509775e-05,9.511518e-05,9.518852e-05,9.519476e-05,9.520400e-05,9.519225e-05,9.516623e-05,9.510058e-05,9.507952e-05,9.494790e-05,9.492926e-05,9.477511e-05,9.468695e-05,9.456466e-05,9.438156e-05,9.431982e-05,9.404362e-05,9.402026e-05,9.373889e-05,9.360961e-05,9.340826e-05,9.315555e-05,9.305418e-05,9.267891e-05,9.266349e-05,9.228458e-05,9.213833e-05,9.187313e-05,9.158450e-05,9.144639e-05,9.100604e-05,9.055366e-05,9.040659e-05,9.009068e-05,8.978944e-05,8.961845e-05,8.915757e-05,8.913822e-05,8.865113e-05,8.851367e-05,8.815826e-05,8.786017e-05,8.766058e-05,8.719927e-05,8.715902e-05,8.665441e-05,8.653293e-05,8.614752e-05,8.586294e-05,8.563907e-05,8.519088e-05,8.512973e-05,8.462009e-05,8.451817e-05,8.411071e-05,8.384611e-05,8.360211e-05,8.317583e-05,8.309475e-05,8.258908e-05,8.250835e-05,8.208547e-05,8.184459e-05,8.158431e-05,8.118535e-05,8.108590e-05,8.059057e-05,8.053134e-05,8.009857e-05,7.988321e-05,7.961016e-05,7.924150e-05,7.912556e-05,7.864497e-05,7.860670e-05,7.816858e-05,7.797924e-05,7.769655e-05,7.735947e-05,7.722902e-05,7.676613e-05,7.674772e-05,7.630799e-05,7.614424e-05,7.585470e-05,7.554928e-05,7.540635e-05,7.496301e-05,7.438558e-05,7.381712e-05,7.325772e-05,7.270744e-05,7.216633e-05,7.163441e-05,7.111168e-05,7.059813e-05,7.009374e-05,6.959845e-05,6.911223e-05,6.863500e-05,6.816669e-05,6.770722e-05,6.725650e-05,6.681442e-05,6.638089e-05,6.595579e-05,6.553903e-05,6.513047e-05,6.473000e-05,6.433751e-05,6.395285e-05,6.357593e-05
0.000000e+00,2.277340e-11,1.024495e-10,8.917043e-10,3.522080e-09,6.481765e-09,2.310442e-08,2.415773e-08,6.331277e-08,7.949704e-08,1.340546e-07,1.959084e-07,2.465880e-07,3.957658e-07,4.110755e-07,6.376339e-07,7.023518e-07,9.361115e-07,1.138027e-06,1.315277e-06,1.720665e-06,1.781278e-06,2.335947e-06,2.457324e-06,2.976085e-06,3.340382e-06,3.694238e-06,4.350508e-06,4.480423e-06,5.323755e-06,5.463267e-06,6.213508e-06,6.654086e-06,7.139589e-06,7.900307e-06,8.092655e-06,9.064077e-06,9.181496e-06,1.004588e-05,1.047924e-05,1.103070e-05,1.177703e-05,1.201182e-05,1.298313e-05,1.306024e-05,1.393918e-05,1.431624e-05,1.487522e-05,1.553444e-05,1.578714e-05,1.667151e-05,1.670627e-05,1.752555e-05,1.782514e-05,1.834707e-05,1.888627e-05,1.913443e-05,1.988652e-05,2.060265e-05,2.082416e-05,2.128254e-05,2.169866e-05,2.192624e-05,2.251045e-05,2.253408e-05,2.310664e-05,2.326073e-05,2.364466e-05,2.395128e-05,2.414907e-05,2.458432e-05,2.462089e-05,2.506124e-05,2.516237e-05,2.547128e-05,2.568812e-05,2.585224e-05,2.616440e-05,2.620535e-05,2.653184e-05,2.659405e-05,2.683295e-05,2.697991e-05,2.710990e-05,2.732475e-05,2.736389e-05,2.759607e-05,2.763127e-05,2.780757e-05,2.790207e-05,2.799949e-05,2.813963e-05,2.817287e-05,2.832874e-05,2.834631e-05,2.846805e-05,2.852434e-05,2.859173e-05,2.867583e-05,2.870068e-05,2.879573e-05,2.880276e-05,2.887770e-05,2.890699e-05,2.894734e-05,2.899026e-05,2.900539e-05,2.905253e-05,2.905420e-05,2.908943e-05,2.910032e-05,2.911670e-05,2.913005e-05,2.913494e-05,2.914471e-05,2.914653e-05,2.914551e-05,2.914090e-05,2.913362e-05,2.912831e-05,2.911008e-05,2.910920e-05,2.908399e-05,2.907590e-05,2.905309e-05,2.903198e-05,2.901688e-05,2.897918e-05,2.897572e-05,2.892994e-05,2.891830e-05,2.887987e-05,2.885006e-05,2.882580e-05,2.877516e-05,2.876804e-05,2.870684e-05,2.869421e-05,2.864246e-05,2.860781e-05,2.857515e-05,2.851650e-05,2.850512e-05,2.843261e-05,2.842079e-05,2.835780e-05,2.832113e-05,2.828089e-05,2.821797e-05,2.820206e-05,2.812149e-05,2.811171e-05,2.803932e-05,2.800271e-05,2.795572e-05,2.789131e-05,2.787083e-05,2.778477e-05,2.777784e-05,2.769769e-05,2.766259e-05,2.760969e-05,2.754583e-05,2.752089e-05,2.743140e-05,2.742781e-05,2.734131e-05,2.730876e-05,2.725073e-05,2.718889e-05,2.715973e-05,2.706841e-05,2.694749e-05,2.682631e-05,2.670501e-05,2.658374e-05,2.646263e-05,2.634180e-05,2.622136e-05,2.610140e-05,2.598203e-05,2.586333e-05,2.574537e-05,2.562823e-05,2.551196e-05,2.539663e-05,2.528228e-05,2.516897e-05,2.505674e-05,2.494562e-05,2.483565e-05,2.472686e-05,2.461927e-05,2.451291e-05,2.440779e-05,2.430394e-05
0.000000e+00,8.953077e-13,4.503795e-12,4.901004e-11,2.349066e-10,4.787677e-10,2.191412e-09,2.313776e-09,7.616135e-09,1.014028e-08,1.969158e-08,3.205369e-08,4.315464e-08,7.983793e-08,8.389177e-08,1.489485e-07,1.690533e-07,2.463172e-07,3.181379e-07,3.845473e-07,5.467491e-07,5.721308e-07,8.167520e-07,8.730972e-07,1.124588e-06,1.311122e-06,1.499822e-06,1.868607e-06,1.944419e-06,2.458132e-06,2.546613e-06,3.038676e-06,3.339946e-06,3.682004e-06,4.238221e-06,4.382626e-06,5.133942e-06,5.227162e-06,5.928558e-06,6.289884e-06,6.758582e-06,7.408083e-06,7.615888e-06,8.492349e-06,8.563053e-06,9.380037e-06,9.736546e-06,1.027139e-05,1.091145e-05,1.115934e-05,1.203744e-05,1.207228e-05,1.289990e-05,1.320555e-05,1.374165e-05,1.429999e-05,1.455839e-05,1.534655e-05,1.610328e-05,1.633843e-05,1.682642e-05,1.727088e-05,1.751445e-05,1.814105e-05,1.816643e-05,1.878194e-05,1.894775e-05,1.936103e-05,1.969116e-05,1.990411e-05,2.037259e-05,2.041194e-05,2.088555e-05,2.099426e-05,2.132616e-05,2.155901e-05,2.173517e-05,2.207013e-05,2.211406e-05,2.246440e-05,2.253119e-05,2.278781e-05,2.294588e-05,2.308590e-05,2.331789e-05,2.336026e-05,2.361246e-05,2.365085e-05,2.384400e-05,2.394823e-05,2.405633e-05,2.421329e-05,2.425082e-05,2.442878e-05,2.444908e-05,2.459143e-05,2.465844e-05,2.473990e-05,2.484393e-05,2.487527e-05,2.499853e-05,2.500790e-05,2.511058e-05,2.515246e-05,2.521228e-05,2.527952e-05,2.530439e-05,2.538762e-05,2.539078e-05,2.546265e-05,2.548776e-05,2.553005e-05,2.557182e-05,2.559039e-05,2.564417e-05,2.569185e-05,2.570589e-05,2.573385e-05,2.575793e-05,2.577056e-05,2.580117e-05,2.580235e-05,2.582952e-05,2.583635e-05,2.585240e-05,2.586418e-05,2.587125e-05,2.588526e-05,2.588633e-05,2.589788e-05,2.590015e-05,2.590611e-05,2.590935e-05,2.591123e-05,2.591331e-05,2.591343e-05,2.591288e-05,2.591245e-05,2.590974e-05,2.590714e-05,2.590417e-05,2.589772e-05,2.589631e-05,2.588629e-05,2.588450e-05,2.587424e-05,2.586777e-05,2.586028e-05,2.584781e-05,2.584452e-05,2.582705e-05,2.582484e-05,2.580798e-05,2.579910e-05,2.578740e-05,2.577080e-05,2.576540e-05,2.574205e-05,2.574013e-05,2.571745e-05,2.570728e-05,2.569167e-05,2.567240e-05,2.566476e-05,2.563681e-05,2.563567e-05,2.560788e-05,2.559723e-05,2.557802e-05,2.555722e-05,2.554729e-05,2.551576e-05,2.547298e-05,2.542899e-05,2.538390e-05,2.533781e-05,2.529082e-05,2.524302e-05,2.519448e-05,2.514528e-05,2.509551e-05,2.504524e-05,2.499452e-05,2.494342e-05,2.489199e-05,2.484031e-05,2.478840e-05,2.473634e-05,2.468415e-05,2.463188e-05,2.457959e-05,2.452729e-05,2.447503e-05,2.442285e-05,2.437077e-05,2.431882e-05
0.000000e+00,3.357458e-09,7.687840e-09,2.638023e-08,5.984342e-08,8.715844e-08,1.968851e-07,2.027754e-07,3.903517e-07,4.581895e-07,6.678812e-07,8.854994e-07,1.054495e-06,1.523394e-06,1.569802e-06,2.231978e-06,2.414398e-06,3.054326e-06,3.586695e-06,4.040441e-06,5.035466e-06,5.179479e-06,6.445021e-06,6.710155e-06,7.800302e-06,8.527691e-06,9.207218e-06,1.040489e-05,1.063322e-05,1.205353e-05,1.227898e-05,1.345035e-05,1.410863e-05,1.481107e-05,1.586754e-05,1.612673e-05,1.739103e-05,1.753906e-05,1.859956e-05,1.911285e-05,1.974941e-05,2.058296e-05,2.083886e-05,2.186713e-05,2.194675e-05,2.283422e-05,2.320405e-05,2.374076e-05,2.435658e-05,2.458786e-05,2.537706e-05,2.540744e-05,2.611015e-05,2.636072e-05,2.678918e-05,2.722114e-05,2.741631e-05,2.799381e-05,2.852401e-05,2.868406e-05,2.900923e-05,2.929723e-05,2.945178e-05,2.983859e-05,2.985393e-05,3.021792e-05,3.031329e-05,3.054588e-05,3.072623e-05,3.083990e-05,3.108213e-05,3.110197e-05,3.133401e-05,3.138543e-05,3.153784e-05,3.164032e-05,3.171521e-05,3.185073e-05,3.186778e-05,3.199712e-05,3.202033e-05,3.210472e-05,3.215256e-05,3.219200e-05,3.225060e-05,3.226031e-05,3.231089e-05,3.231742e-05,3.234496e-05,3.235578e-05,3.236364e-05,3.236821e-05,3.236799e-05,3.235901e-05,3.235709e-05,3.233767e-05,3.232459e-05,3.230484e-05,3.227272e-05,3.226136e-05,3.220803e-05,3.220336e-05,3.214559e-05,3.211822e-05,3.207474e-05,3.201889e-05,3.199613e-05,3.191038e-05,3.190681e-05,3.181806e-05,3.178333e-05,3.171973e-05,3.164968e-05,3.161588e-05,3.150701e-05,3.139356e-05,3.135636e-05,3.127595e-05,3.119868e-05,3.115458e-05,3.103487e-05,3.102981e-05,3.090201e-05,3.086572e-05,3.077148e-05,3.069198e-05,3.063853e-05,3.051433e-05,3.050345e-05,3.036651e-05,3.033340e-05,3.022795e-05,3.014974e-05,3.008802e-05,2.996390e-05,2.994691e-05,2.980485e-05,2.977634e-05,2.966201e-05,2.958750e-05,2.951859e-05,2.939777e-05,2.937473e-05,2.923059e-05,2.920751e-05,2.908632e-05,2.901707e-05,2.894206e-05,2.882672e-05,2.879791e-05,2.865400e-05,2.863676e-05,2.851044e-05,2.844741e-05,2.836732e-05,2.825890e-05,2.822474e-05,2.808277e-05,2.807144e-05,2.794150e-05,2.788521e-05,2.780100e-05,2.770035e-05,2.766134e-05,2.752257e-05,2.751704e-05,2.738475e-05,2.733538e-05,2.724793e-05,2.715550e-05,2.711217e-05,2.697750e-05,2.680146e-05,2.662748e-05,2.645561e-05,2.628593e-05,2.611847e-05,2.595328e-05,2.579040e-05,2.562985e-05,2.547167e-05,2.531586e-05,2.516244e-05,2.501142e-05,2.486280e-05,2.471658e-05,2.457276e-05,2.443133e-05,2.429228e-05,2.415560e-05,2.402128e-05,2.388929e-05,2.375962e-05,2.363225e-05,2.350716e-05,2.338433e-05
0.000000e+00,7.169680e-12,3.540053e-11,3.707269e-10,1.716637e-09,3.433887e-09,1.499175e-08,1.579904e-08,4.972216e-08,6.542613e-08,1.234625e-07,1.965789e-07,2.610230e-07,4.690208e-07,4.916701e-07,8.492875e-07,9.581066e-07,1.371148e-06,1.749400e-06,2.095287e-06,2.927182e-06,3.055864e-06,4.277287e-06,4.554022e-06,5.769283e-06,6.650396e-06,7.524925e-06,9.187528e-06,9.521996e-06,1.172658e-05,1.209588e-05,1.409748e-05,1.528162e-05,1.659045e-05,1.864306e-05,1.916147e-05,2.176923e-05,2.208282e-05,2.437653e-05,2.551509e-05,2.695107e-05,2.886895e-05,2.946575e-05,3.189852e-05,3.208905e-05,3.423210e-05,3.513473e-05,3.645354e-05,3.797830e-05,3.855374e-05,4.052689e-05,4.060312e-05,4.237003e-05,4.300155e-05,4.408255e-05,4.517305e-05,4.566575e-05,4.712246e-05,4.845668e-05,4.885854e-05,4.967329e-05,5.039273e-05,5.077781e-05,5.173815e-05,5.177612e-05,5.267436e-05,5.290878e-05,5.347875e-05,5.391890e-05,5.419546e-05,5.478260e-05,5.483055e-05,5.538988e-05,5.551347e-05,5.587907e-05,5.612440e-05,5.630349e-05,5.662742e-05,5.666820e-05,5.697794e-05,5.703369e-05,5.723719e-05,5.735344e-05,5.745010e-05,5.759597e-05,5.762053e-05,5.775207e-05,5.776973e-05,5.784804e-05,5.788237e-05,5.791149e-05,5.794074e-05,5.794525e-05,5.795192e-05,5.795102e-05,5.793390e-05,5.791872e-05,5.789339e-05,5.784882e-05,5.783242e-05,5.775285e-05,5.774573e-05,5.765639e-05,5.761343e-05,5.754460e-05,5.745544e-05,5.741893e-05,5.728071e-05,5.727494e-05,5.713114e-05,5.707474e-05,5.697136e-05,5.685740e-05,5.680238e-05,5.662515e-05,5.644054e-05,5.638004e-05,5.624935e-05,5.612388e-05,5.605231e-05,5.585828e-05,5.585010e-05,5.564334e-05,5.558471e-05,5.543260e-05,5.530446e-05,5.521840e-05,5.501871e-05,5.500124e-05,5.478155e-05,5.472850e-05,5.455975e-05,5.443476e-05,5.433622e-05,5.413836e-05,5.411131e-05,5.388533e-05,5.384003e-05,5.365858e-05,5.354047e-05,5.343135e-05,5.324027e-05,5.320387e-05,5.297637e-05,5.293999e-05,5.274908e-05,5.264011e-05,5.252219e-05,5.234108e-05,5.229587e-05,5.207029e-05,5.204328e-05,5.184561e-05,5.174707e-05,5.162196e-05,5.145276e-05,5.139947e-05,5.117826e-05,5.116062e-05,5.095844e-05,5.087092e-05,5.074010e-05,5.058386e-05,5.052333e-05,5.030822e-05,5.029965e-05,5.009483e-05,5.001845e-05,4.988324e-05,4.974042e-05,4.967351e-05,4.946569e-05,4.919437e-05,4.892656e-05,4.866235e-05,4.840181e-05,4.814500e-05,4.789197e-05,4.764275e-05,4.739738e-05,4.715588e-05,4.691826e-05,4.668453e-05,4.645470e-05,4.622875e-05,4.600668e-05,4.578847e-05,4.557411e-05,4.536357e-05,4.515683e-05,4.495387e-05,4.475463e-05,4.455910e-05,4.436724e-05,4.417901e-05,4.399437e-05
0.000000e+00,5.181967e-12,2.514895e-11,2.541788e-10,1.140217e-09,2.242482e-09,9.392823e-09,9.882864e-09,3.001063e-08,3.915489e-08,7.253094e-08,1.141452e-07,1.506734e-07,2.684295e-07,2.812583e-07,4.838306e-07,5.453321e-07,7.771050e-07,9.859599e-07,1.173407e-06,1.609080e-06,1.674541e-06,2.271493e-06,2.400984e-06,2.947322e-06,3.323057e-06,3.681194e-06,4.326954e-06,4.451922e-06,5.240297e-06,5.366951e-06,6.030218e-06,6.406062e-06,6.808932e-06,7.417239e-06,7.566760e-06,8.296588e-06,8.382027e-06,8.993345e-06,9.288491e-06,9.653528e-06,1.012936e-05,1.027485e-05,1.085598e-05,1.090071e-05,1.139634e-05,1.160106e-05,1.189599e-05,1.223085e-05,1.235553e-05,1.277600e-05,1.279203e-05,1.315880e-05,1.328771e-05,1.350565e-05,1.372194e-05,1.381847e-05,1.409935e-05,1.435048e-05,1.442492e-05,1.457408e-05,1.470376e-05,1.477236e-05,1.494088e-05,1.494747e-05,1.510148e-05,1.514110e-05,1.523636e-05,1.530886e-05,1.535393e-05,1.544826e-05,1.545588e-05,1.554378e-05,1.556294e-05,1.561904e-05,1.565614e-05,1.568293e-05,1.573068e-05,1.573662e-05,1.578113e-05,1.578901e-05,1.581738e-05,1.583325e-05,1.584620e-05,1.586519e-05,1.586830e-05,1.588434e-05,1.588638e-05,1.589489e-05,1.589815e-05,1.590045e-05,1.590163e-05,1.590149e-05,1.589841e-05,1.589778e-05,1.589156e-05,1.588743e-05,1.588126e-05,1.587131e-05,1.586781e-05,1.585146e-05,1.585004e-05,1.583246e-05,1.582415e-05,1.581100e-05,1.579414e-05,1.578729e-05,1.576149e-05,1.576042e-05,1.573379e-05,1.572337e-05,1.570431e-05,1.568332e-05,1.567319e-05,1.564057e-05,1.560656e-05,1.559540e-05,1.557127e-05,1.554805e-05,1.553479e-05,1.549875e-05,1.549723e-05,1.545866e-05,1.544770e-05,1.541918e-05,1.539508e-05,1.537886e-05,1.534108e-05,1.533776e-05,1.529597e-05,1.528584e-05,1.525353e-05,1.522951e-05,1.521052e-05,1.517224e-05,1.516699e-05,1.512299e-05,1.511413e-05,1.507857e-05,1.505532e-05,1.503377e-05,1.499589e-05,1.498865e-05,1.494325e-05,1.493596e-05,1.489760e-05,1.487561e-05,1.485174e-05,1.481493e-05,1.480571e-05,1.475954e-05,1.475399e-05,1.471326e-05,1.469287e-05,1.466690e-05,1.463163e-05,1.462049e-05,1.457406e-05,1.457035e-05,1.452763e-05,1.450907e-05,1.448123e-05,1.444785e-05,1.443487e-05,1.438859e-05,1.438674e-05,1.434239e-05,1.432578e-05,1.429629e-05,1.426502e-05,1.425033e-05,1.420450e-05,1.414425e-05,1.408431e-05,1.402471e-05,1.396548e-05,1.390664e-05,1.384822e-05,1.379024e-05,1.373272e-05,1.367568e-05,1.361913e-05,1.356310e-05,1.350759e-05,1.345261e-05,1.339819e-05,1.334432e-05,1.329103e-05,1.323830e-05,1.318616e-05,1.313461e-05,1.308365e-05,1.303329e-05,1.298353e-05,1.293437e-05,1.288582e-05
0.000000e+00,1.254276e-09,2.967826e-09,1.056837e-08,2.447621e-08,3.599128e-08,8.328459e-08,8.586438e-08,1.698907e-07,2.010679e-07,2.993522e-07,4.029852e-07,4.835153e-07,7.028199e-07,7.240567e-07,1.017068e-06,1.094713e-06,1.358456e-06,1.569693e-06,1.745455e-06,2.122159e-06,2.176077e-06,2.648471e-06,2.747784e-06,3.160533e-06,3.441659e-06,3.709726e-06,4.197542e-06,4.293022e-06,4.906916e-06,5.007722e-06,5.547495e-06,5.863220e-06,6.210536e-06,6.754166e-06,6.891606e-06,7.586178e-06,7.670219e-06,8.289740e-06,8.601017e-06,8.997898e-06,9.536581e-06,9.706456e-06,1.041149e-05,1.046763e-05,1.110940e-05,1.138584e-05,1.179696e-05,1.228396e-05,1.247130e-05,1.312996e-05,1.315595e-05,1.377087e-05,1.399691e-05,1.439231e-05,1.480307e-05,1.499293e-05,1.557171e-05,1.612790e-05,1.630103e-05,1.666105e-05,1.699004e-05,1.717089e-05,1.763836e-05,1.765738e-05,1.812062e-05,1.824620e-05,1.856091e-05,1.881423e-05,1.897865e-05,1.934346e-05,1.937431e-05,1.974847e-05,1.983514e-05,2.010178e-05,2.029077e-05,2.043491e-05,2.071194e-05,2.074858e-05,2.104353e-05,2.110033e-05,2.132050e-05,2.145766e-05,2.158024e-05,2.178567e-05,2.182352e-05,2.205112e-05,2.208613e-05,2.226377e-05,2.236073e-05,2.246216e-05,2.261104e-05,2.264694e-05,2.281879e-05,2.283857e-05,2.297833e-05,2.304479e-05,2.312617e-05,2.323107e-05,2.326290e-05,2.338906e-05,2.339872e-05,2.350520e-05,2.354897e-05,2.361183e-05,2.368299e-05,2.370944e-05,2.379849e-05,2.380188e-05,2.387942e-05,2.390666e-05,2.395266e-05,2.399828e-05,2.401861e-05,2.407764e-05,2.413012e-05,2.414559e-05,2.417639e-05,2.420289e-05,2.421677e-05,2.425030e-05,2.425159e-05,2.428112e-05,2.428848e-05,2.430566e-05,2.431809e-05,2.432546e-05,2.433971e-05,2.434078e-05,2.435186e-05,2.435391e-05,2.435892e-05,2.436120e-05,2.436218e-05,2.436207e-05,2.436184e-05,2.435810e-05,2.435696e-05,2.435114e-05,2.434631e-05,2.434114e-05,2.433050e-05,2.432826e-05,2.431265e-05,2.430991e-05,2.429448e-05,2.428488e-05,2.427387e-05,2.425573e-05,2.425098e-05,2.422591e-05,2.422276e-05,2.419880e-05,2.418626e-05,2.416977e-05,2.414648e-05,2.413892e-05,2.410635e-05,2.410367e-05,2.407217e-05,2.405807e-05,2.403647e-05,2.400988e-05,2.399935e-05,2.396088e-05,2.395931e-05,2.392115e-05,2.390656e-05,2.388024e-05,2.385178e-05,2.383822e-05,2.379516e-05,2.373685e-05,2.367699e-05,2.361572e-05,2.355317e-05,2.348946e-05,2.342471e-05,2.335901e-05,2.329247e-05,2.322518e-05,2.315724e-05,2.308871e-05,2.301969e-05,2.295024e-05,2.288043e-05,2.281032e-05,2.273999e-05,2.266948e-05,2.259884e-05,2.252813e-05,2.245740e-05,2.238668e-05,2.231603e-05,2.224547e-05,2.217505e-05
0.000000e+00,1.811804e-12,9.050039e-12,9.703475e-11,4.587826e-10,9.280198e-10,4.165156e-09,4.394209e-09,1.418429e-08,1.878549e-08,3.599974e-08,5.798128e-08,7.752863e-08,1.412891e-07,1.482761e-07,2.593213e-07,2.933170e-07,4.229810e-07,5.424513e-07,6.522436e-07,9.183632e-07,9.597888e-07,1.356567e-06,1.447379e-06,1.850248e-06,2.146514e-06,2.444019e-06,3.018967e-06,3.136086e-06,3.919898e-06,4.053164e-06,4.784908e-06,5.225081e-06,5.717647e-06,6.502367e-06,6.702833e-06,7.724406e-06,7.848675e-06,8.766383e-06,9.227352e-06,9.813531e-06,1.060414e-05,1.085183e-05,1.186880e-05,1.194890e-05,1.285365e-05,1.323651e-05,1.379736e-05,1.444722e-05,1.469268e-05,1.553404e-05,1.556651e-05,1.631742e-05,1.658471e-05,1.704026e-05,1.749649e-05,1.770125e-05,1.830020e-05,1.883787e-05,1.899721e-05,1.931579e-05,1.959129e-05,1.973614e-05,2.008796e-05,2.010156e-05,2.041507e-05,2.049398e-05,2.067991e-05,2.081687e-05,2.089949e-05,2.106450e-05,2.107727e-05,2.121668e-05,2.124481e-05,2.132111e-05,2.136552e-05,2.139381e-05,2.143401e-05,2.143789e-05,2.145630e-05,2.145715e-05,2.145179e-05,2.144124e-05,2.142692e-05,2.139202e-05,2.138404e-05,2.132533e-05,2.131461e-05,2.125276e-05,2.121353e-05,2.116811e-05,2.109278e-05,2.107299e-05,2.096886e-05,2.095582e-05,2.085702e-05,2.080567e-05,2.073863e-05,2.064492e-05,2.061473e-05,2.048623e-05,2.047577e-05,2.035394e-05,2.030013e-05,2.021860e-05,2.011961e-05,2.008083e-05,1.994119e-05,1.993558e-05,1.980019e-05,1.974917e-05,1.965824e-05,1.956139e-05,1.951575e-05,1.937303e-05,1.923039e-05,1.918481e-05,1.908808e-05,1.899729e-05,1.894633e-05,1.881096e-05,1.880534e-05,1.866527e-05,1.862623e-05,1.852627e-05,1.844344e-05,1.838848e-05,1.826287e-05,1.825200e-05,1.811694e-05,1.808474e-05,1.798337e-05,1.790926e-05,1.785138e-05,1.773656e-05,1.772101e-05,1.759232e-05,1.756679e-05,1.746536e-05,1.740003e-05,1.734015e-05,1.723636e-05,1.721673e-05,1.709512e-05,1.707583e-05,1.697534e-05,1.691850e-05,1.685740e-05,1.676437e-05,1.674130e-05,1.662706e-05,1.661348e-05,1.651467e-05,1.646581e-05,1.640414e-05,1.632136e-05,1.629545e-05,1.618859e-05,1.618013e-05,1.608357e-05,1.604208e-05,1.598037e-05,1.590718e-05,1.587897e-05,1.577937e-05,1.577542e-05,1.568154e-05,1.564675e-05,1.558546e-05,1.552112e-05,1.549113e-05,1.539851e-05,1.527885e-05,1.516211e-05,1.504823e-05,1.493716e-05,1.482885e-05,1.472324e-05,1.462028e-05,1.451992e-05,1.442210e-05,1.432676e-05,1.423385e-05,1.414332e-05,1.405510e-05,1.396916e-05,1.388542e-05,1.380385e-05,1.372438e-05,1.364697e-05,1.357156e-05,1.349811e-05,1.342656e-05,1.335687e-05,1.328899e-05,1.322287e-05
0.000000e+00,1.067807e-11,5.043747e-11,4.831568e-10,2.070550e-09,3.976592e-09,1.573727e-08,1.652252e-08,4.776629e-08,6.156918e-08,1.108831e-07,1.709743e-07,2.229414e-07,3.874577e-07,4.051751e-07,6.811309e-07,7.637262e-07,1.071050e-06,1.343531e-06,1.585176e-06,2.138706e-06,2.221101e-06,2.966267e-06,3.126873e-06,3.802725e-06,4.267365e-06,4.711307e-06,5.517087e-06,5.674102e-06,6.675410e-06,6.838267e-06,7.701807e-06,8.199953e-06,8.741806e-06,9.576878e-06,9.785471e-06,1.082409e-05,1.094801e-05,1.185000e-05,1.229560e-05,1.285645e-05,1.360471e-05,1.383760e-05,1.478848e-05,1.486311e-05,1.570500e-05,1.606123e-05,1.658390e-05,1.719203e-05,1.742276e-05,1.821988e-05,1.825088e-05,1.897425e-05,1.923527e-05,1.968550e-05,2.014456e-05,2.035375e-05,2.097959e-05,2.156397e-05,2.174241e-05,2.210811e-05,2.243592e-05,2.261349e-05,2.306367e-05,2.308170e-05,2.351449e-05,2.362957e-05,2.391365e-05,2.413775e-05,2.428099e-05,2.459241e-05,2.461834e-05,2.492749e-05,2.499769e-05,2.521019e-05,2.535758e-05,2.546812e-05,2.567589e-05,2.570289e-05,2.591606e-05,2.595623e-05,2.610908e-05,2.620195e-05,2.628334e-05,2.641617e-05,2.644013e-05,2.658070e-05,2.660176e-05,2.670617e-05,2.676136e-05,2.681764e-05,2.689740e-05,2.691609e-05,2.700248e-05,2.701208e-05,2.707767e-05,2.710741e-05,2.714246e-05,2.718523e-05,2.719763e-05,2.724385e-05,2.724719e-05,2.728181e-05,2.729481e-05,2.731208e-05,2.732945e-05,2.733525e-05,2.735184e-05,2.735237e-05,2.736232e-05,2.736469e-05,2.736716e-05,2.736743e-05,2.736676e-05,2.736154e-05,2.735183e-05,2.734784e-05,2.733799e-05,2.732711e-05,2.732033e-05,2.730005e-05,2.729914e-05,2.727468e-05,2.726729e-05,2.724723e-05,2.722941e-05,2.721700e-05,2.718693e-05,2.718422e-05,2.714910e-05,2.714034e-05,2.711182e-05,2.709007e-05,2.707257e-05,2.703652e-05,2.703150e-05,2.698879e-05,2.698006e-05,2.694456e-05,2.692101e-05,2.689896e-05,2.685969e-05,2.685211e-05,2.680413e-05,2.679636e-05,2.675513e-05,2.673128e-05,2.670522e-05,2.666469e-05,2.665449e-05,2.660303e-05,2.659680e-05,2.655092e-05,2.652781e-05,2.649825e-05,2.645789e-05,2.644509e-05,2.639150e-05,2.638720e-05,2.633756e-05,2.631590e-05,2.628333e-05,2.624413e-05,2.622885e-05,2.617419e-05,2.617200e-05,2.611940e-05,2.609965e-05,2.606451e-05,2.602716e-05,2.600958e-05,2.595465e-05,2.588220e-05,2.580988e-05,2.573779e-05,2.566597e-05,2.559451e-05,2.552345e-05,2.545284e-05,2.538274e-05,2.531318e-05,2.524421e-05,2.517586e-05,2.510816e-05,2.504114e-05,2.497482e-05,2.490924e-05,2.484440e-05,2.478033e-05,2.471705e-05,2.465456e-05,2.459288e-05,2.453202e-05,2.447198e-05,2.441278e-05,2.435442e-05
0.000000e+00,7.259657e-10,2.345926e-09,1.191309e-08,3.271680e-08,5.122046e-08,1.315549e-07,1.360329e-07,2.832199e-07,3.379243e-07,5.098898e-07,6.913839e-07,8.336847e-07,1.231725e-06,1.271227e-06,1.833115e-06,1.986647e-06,2.518727e-06,2.953177e-06,3.318077e-06,4.105267e-06,4.218175e-06,5.206539e-06,5.413772e-06,6.271551e-06,6.851909e-06,7.401952e-06,8.393799e-06,8.586501e-06,9.813950e-06,1.001358e-05,1.107318e-05,1.168571e-05,1.235342e-05,1.338587e-05,1.364448e-05,1.493698e-05,1.509176e-05,1.622241e-05,1.678380e-05,1.749330e-05,1.844544e-05,1.874319e-05,1.996664e-05,2.006324e-05,2.115918e-05,2.162672e-05,2.231724e-05,2.312811e-05,2.343805e-05,2.451956e-05,2.456198e-05,2.556035e-05,2.592488e-05,2.655952e-05,2.721496e-05,2.751665e-05,2.843168e-05,2.930486e-05,2.957552e-05,3.013671e-05,3.064771e-05,3.092792e-05,3.165007e-05,3.167937e-05,3.239206e-05,3.258481e-05,3.306706e-05,3.345444e-05,3.370552e-05,3.426166e-05,3.430864e-05,3.487765e-05,3.500927e-05,3.541377e-05,3.570011e-05,3.591827e-05,3.633703e-05,3.639235e-05,3.683726e-05,3.692285e-05,3.725419e-05,3.746033e-05,3.764433e-05,3.795217e-05,3.800882e-05,3.834879e-05,3.840098e-05,3.866533e-05,3.880926e-05,3.895950e-05,3.917943e-05,3.923234e-05,3.948483e-05,3.951380e-05,3.971793e-05,3.981459e-05,3.993256e-05,4.008389e-05,4.012963e-05,4.030998e-05,4.032371e-05,4.047445e-05,4.053596e-05,4.062382e-05,4.072245e-05,4.075886e-05,4.088030e-05,4.088489e-05,4.098885e-05,4.102490e-05,4.108517e-05,4.114401e-05,4.116991e-05,4.124369e-05,4.130710e-05,4.132529e-05,4.136070e-05,4.139011e-05,4.140504e-05,4.143937e-05,4.144064e-05,4.146798e-05,4.147422e-05,4.148754e-05,4.149574e-05,4.149978e-05,4.150494e-05,4.150512e-05,4.150398e-05,4.150278e-05,4.149674e-05,4.149016e-05,4.148378e-05,4.146793e-05,4.146546e-05,4.144211e-05,4.143687e-05,4.141407e-05,4.139773e-05,4.138164e-05,4.135121e-05,4.134510e-05,4.130476e-05,4.129796e-05,4.126086e-05,4.123860e-05,4.121366e-05,4.117368e-05,4.116340e-05,4.111031e-05,4.110376e-05,4.105461e-05,4.102933e-05,4.099650e-05,4.095085e-05,4.093619e-05,4.087384e-05,4.086877e-05,4.080965e-05,4.078349e-05,4.074378e-05,4.069540e-05,4.067638e-05,4.060761e-05,4.060483e-05,4.053761e-05,4.051213e-05,4.046651e-05,4.041761e-05,4.039445e-05,4.032153e-05,4.022418e-05,4.012578e-05,4.002658e-05,3.992678e-05,3.982658e-05,3.972615e-05,3.962566e-05,3.952527e-05,3.942510e-05,3.932530e-05,3.922598e-05,3.912724e-05,3.902919e-05,3.893192e-05,3.883550e-05,3.874001e-05,3.864552e-05,3.855209e-05,3.845977e-05,3.836861e-05,3.827864e-05,3.818992e-05,3.810246e-05,3.801630e-05
0.000000e+00,2.252002e-11,1.085890e-10,1.083643e-09,4.807036e-09,9.395688e-09,3.868322e-08,4.067041e-08,1.209276e-07,1.567094e-07,2.846418e-07,4.394812e-07,5.719737e-07,9.826663e-07,1.026189e-06,1.691649e-06,1.887700e-06,2.612265e-06,3.255026e-06,3.829958e-06,5.177396e-06,5.382467e-06,7.300048e-06,7.729270e-06,9.601493e-06,1.095196e-05,1.229099e-05,1.484227e-05,1.535733e-05,1.877562e-05,1.935298e-05,2.251076e-05,2.440408e-05,2.652103e-05,2.989710e-05,3.076136e-05,3.518571e-05,3.572682e-05,3.974864e-05,4.178890e-05,4.440643e-05,4.798417e-05,4.911760e-05,5.384347e-05,5.422109e-05,5.854841e-05,6.041716e-05,6.320004e-05,6.649981e-05,6.776941e-05,7.223105e-05,7.240695e-05,7.656301e-05,7.808710e-05,8.074676e-05,8.349918e-05,8.476712e-05,8.861204e-05,9.227241e-05,9.340364e-05,9.574183e-05,9.786012e-05,9.901631e-05,1.019747e-04,1.020940e-04,1.049749e-04,1.057465e-04,1.076608e-04,1.091798e-04,1.101545e-04,1.122826e-04,1.124603e-04,1.145831e-04,1.150660e-04,1.165288e-04,1.175433e-04,1.183036e-04,1.197295e-04,1.199143e-04,1.213680e-04,1.216405e-04,1.226717e-04,1.232929e-04,1.238328e-04,1.247033e-04,1.248586e-04,1.257562e-04,1.258884e-04,1.265327e-04,1.268645e-04,1.271951e-04,1.276473e-04,1.277501e-04,1.282042e-04,1.282522e-04,1.285639e-04,1.286937e-04,1.288351e-04,1.289857e-04,1.290237e-04,1.291354e-04,1.291411e-04,1.291754e-04,1.291724e-04,1.291488e-04,1.290912e-04,1.290605e-04,1.289151e-04,1.289081e-04,1.287168e-04,1.286334e-04,1.284700e-04,1.282764e-04,1.281784e-04,1.278458e-04,1.274756e-04,1.273497e-04,1.270711e-04,1.267957e-04,1.266355e-04,1.261906e-04,1.261715e-04,1.256820e-04,1.255407e-04,1.251696e-04,1.248521e-04,1.246366e-04,1.241300e-04,1.240852e-04,1.235177e-04,1.233793e-04,1.229360e-04,1.226047e-04,1.223419e-04,1.218103e-04,1.217372e-04,1.211235e-04,1.209998e-04,1.205023e-04,1.201768e-04,1.198750e-04,1.193442e-04,1.192428e-04,1.186071e-04,1.185051e-04,1.179689e-04,1.176620e-04,1.173293e-04,1.168172e-04,1.166892e-04,1.160495e-04,1.159728e-04,1.154110e-04,1.151307e-04,1.147746e-04,1.142926e-04,1.141408e-04,1.135103e-04,1.134601e-04,1.128838e-04,1.126344e-04,1.122617e-04,1.118169e-04,1.116446e-04,1.110328e-04,1.110084e-04,1.104268e-04,1.102101e-04,1.098269e-04,1.094226e-04,1.092334e-04,1.086468e-04,1.078831e-04,1.071321e-04,1.063943e-04,1.056700e-04,1.049595e-04,1.042630e-04,1.035807e-04,1.029127e-04,1.022590e-04,1.016198e-04,1.009949e-04,1.003844e-04,9.978820e-05,9.920617e-05,9.863821e-05,9.808416e-05,9.754387e-05,9.701716e-05,9.650385e-05,9.600372e-05,9.551656e-05,9.504216e-05,9.458027e-05,9.413065e-05
0.000000e+00,2.969413e-10,1.159543e-09,7.835844e-09,2.566635e-08,4.330315e-08,1.291350e-07,1.342195e-07,3.127908e-07,3.837258e-07,6.192906e-07,8.851992e-07,1.103849e-06,1.750455e-06,1.816750e-06,2.784274e-06,3.053852e-06,3.996249e-06,4.770559e-06,5.422315e-06,6.830106e-06,7.032158e-06,8.802583e-06,9.174340e-06,1.071621e-05,1.176303e-05,1.275857e-05,1.456370e-05,1.491608e-05,1.717489e-05,1.754474e-05,1.952053e-05,2.067286e-05,2.193790e-05,2.391303e-05,2.441149e-05,2.692566e-05,2.722936e-05,2.946512e-05,3.058667e-05,3.201514e-05,3.395168e-05,3.456191e-05,3.709269e-05,3.729411e-05,3.959594e-05,4.058719e-05,4.206143e-05,4.380814e-05,4.448024e-05,4.684478e-05,4.693814e-05,4.914868e-05,4.996220e-05,5.138674e-05,5.286886e-05,5.355482e-05,5.564978e-05,5.766931e-05,5.829935e-05,5.961185e-05,6.081425e-05,6.147654e-05,6.319308e-05,6.326304e-05,6.497151e-05,6.543597e-05,6.660252e-05,6.754429e-05,6.815695e-05,6.952039e-05,6.963597e-05,7.104099e-05,7.136735e-05,7.237357e-05,7.308880e-05,7.363542e-05,7.468879e-05,7.482837e-05,7.595432e-05,7.617164e-05,7.701522e-05,7.754184e-05,7.801306e-05,7.880399e-05,7.894986e-05,7.982764e-05,7.996274e-05,8.064840e-05,8.102271e-05,8.141416e-05,8.198848e-05,8.212688e-05,8.278852e-05,8.286457e-05,8.340099e-05,8.365540e-05,8.396620e-05,8.436527e-05,8.448596e-05,8.496210e-05,8.499836e-05,8.539636e-05,8.555872e-05,8.579046e-05,8.605027e-05,8.614606e-05,8.646478e-05,8.647679e-05,8.674820e-05,8.684189e-05,8.699785e-05,8.714908e-05,8.721520e-05,8.740169e-05,8.755871e-05,8.760295e-05,8.768759e-05,8.775592e-05,8.778965e-05,8.786354e-05,8.786612e-05,8.791822e-05,8.792861e-05,8.794713e-05,8.795381e-05,8.795397e-05,8.794170e-05,8.793982e-05,8.790574e-05,8.789471e-05,8.785274e-05,8.781515e-05,8.778178e-05,8.770524e-05,8.769381e-05,8.758973e-05,8.756705e-05,8.747040e-05,8.740260e-05,8.733666e-05,8.721376e-05,8.718930e-05,8.702910e-05,8.700233e-05,8.685681e-05,8.677001e-05,8.667312e-05,8.651842e-05,8.647871e-05,8.627425e-05,8.624907e-05,8.606037e-05,8.596342e-05,8.583765e-05,8.566284e-05,8.560669e-05,8.536802e-05,8.534861e-05,8.512219e-05,8.502197e-05,8.486970e-05,8.468406e-05,8.461103e-05,8.434666e-05,8.433597e-05,8.407701e-05,8.397873e-05,8.380252e-05,8.361331e-05,8.352359e-05,8.324061e-05,8.286151e-05,8.247679e-05,8.208723e-05,8.169353e-05,8.129637e-05,8.089637e-05,8.049411e-05,8.009015e-05,7.968501e-05,7.927916e-05,7.887305e-05,7.846710e-05,7.806170e-05,7.765721e-05,7.725397e-05,7.685229e-05,7.645246e-05,7.605476e-05,7.565942e-05,7.526667e-05,7.487672e-05,7.448977e-05,7.410599e-05,7.372554e-05
0.000000e+00,1.454164e-12,7.332067e-12,8.018859e-11,3.861760e-10,7.891689e-10,3.637389e-09,3.841582e-09,1.273186e-08,1.698216e-08,3.312286e-08,5.409600e-08,7.297780e-08,1.355540e-07,1.424804e-07,2.538015e-07,2.882469e-07,4.207546e-07,5.441082e-07,6.583435e-07,9.382347e-07,9.821616e-07,1.407588e-06,1.506148e-06,1.948815e-06,2.280116e-06,2.617854e-06,3.285321e-06,3.423727e-06,4.371957e-06,4.537058e-06,5.464376e-06,6.039565e-06,6.699214e-06,7.786302e-06,8.071372e-06,9.572824e-06,9.761211e-06,1.119308e-05,1.194047e-05,1.291967e-05,1.429447e-05,1.473867e-05,1.663513e-05,1.678973e-05,1.859352e-05,1.939070e-05,2.059815e-05,2.206141e-05,2.263353e-05,2.468462e-05,2.476679e-05,2.673714e-05,2.747379e-05,2.877773e-05,3.015221e-05,3.079413e-05,3.277524e-05,3.471126e-05,3.531983e-05,3.659362e-05,3.776676e-05,3.841505e-05,4.010067e-05,4.016949e-05,4.185209e-05,4.230981e-05,4.345908e-05,4.438580e-05,4.498772e-05,4.632330e-05,4.643620e-05,4.780357e-05,4.811962e-05,4.908958e-05,4.977435e-05,5.029467e-05,5.128897e-05,5.141981e-05,5.246646e-05,5.266653e-05,5.343647e-05,5.391129e-05,5.433200e-05,5.502846e-05,5.515548e-05,5.590954e-05,5.602393e-05,5.659693e-05,5.690403e-05,5.722052e-05,5.767543e-05,5.778325e-05,5.828805e-05,5.834488e-05,5.873790e-05,5.891917e-05,5.913570e-05,5.940500e-05,5.948435e-05,5.978665e-05,5.980892e-05,6.004536e-05,6.013724e-05,6.026313e-05,6.039603e-05,6.044254e-05,6.058606e-05,6.059109e-05,6.069606e-05,6.072789e-05,6.077481e-05,6.081162e-05,6.082447e-05,6.084713e-05,6.084473e-05,6.083898e-05,6.081915e-05,6.079142e-05,6.077214e-05,6.070840e-05,6.070538e-05,6.062044e-05,6.059360e-05,6.051882e-05,6.045042e-05,6.040192e-05,6.028201e-05,6.027106e-05,6.012749e-05,6.009127e-05,5.997238e-05,5.988088e-05,5.980681e-05,5.965329e-05,5.963182e-05,5.944838e-05,5.941076e-05,5.925738e-05,5.915536e-05,5.905968e-05,5.888899e-05,5.885604e-05,5.864723e-05,5.861338e-05,5.843391e-05,5.833011e-05,5.821673e-05,5.804061e-05,5.799629e-05,5.777314e-05,5.774620e-05,5.754780e-05,5.744807e-05,5.732074e-05,5.714730e-05,5.709241e-05,5.686321e-05,5.684485e-05,5.663354e-05,5.654161e-05,5.640373e-05,5.623838e-05,5.617412e-05,5.594500e-05,5.593585e-05,5.571664e-05,5.563467e-05,5.548930e-05,5.533541e-05,5.526321e-05,5.503857e-05,5.474461e-05,5.445392e-05,5.416684e-05,5.388368e-05,5.360471e-05,5.333015e-05,5.306020e-05,5.279501e-05,5.253472e-05,5.227945e-05,5.202927e-05,5.178425e-05,5.154444e-05,5.130987e-05,5.108055e-05,5.085648e-05,5.063765e-05,5.042404e-05,5.021561e-05,5.001232e-05,4.981413e-05,4.962097e-05,4.943278e-05,4.924950e-05
0.000000e+00,1.288834e-09,4.613085e-09,2.706628e-08,8.064368e-08,1.303982e-07,3.552057e-07,3.679790e-07,7.950549e-07,9.562464e-07,1.468565e-06,2.016490e-06,2.450530e-06,3.684561e-06,3.808679e-06,5.608734e-06,6.112098e-06,7.893189e-06,9.384599e-06,1.065775e-05,1.344855e-05,1.385231e-05,1.740656e-05,1.815444e-05,2.125277e-05,2.334868e-05,2.533341e-05,2.890664e-05,2.959997e-05,3.400975e-05,3.472595e-05,3.852349e-05,4.071603e-05,4.310401e-05,4.679258e-05,4.771578e-05,5.232498e-05,5.287638e-05,5.689978e-05,5.889410e-05,6.141069e-05,6.477970e-05,6.583098e-05,7.013687e-05,7.047576e-05,7.430777e-05,7.593433e-05,7.832629e-05,8.111718e-05,8.217823e-05,8.585243e-05,8.599557e-05,8.934059e-05,9.054961e-05,9.263703e-05,9.476734e-05,9.573847e-05,9.864368e-05,1.013533e-04,1.021794e-04,1.038694e-04,1.053798e-04,1.061956e-04,1.082541e-04,1.083362e-04,1.102967e-04,1.108141e-04,1.120830e-04,1.130739e-04,1.137017e-04,1.150489e-04,1.151597e-04,1.164641e-04,1.167551e-04,1.176222e-04,1.182095e-04,1.186412e-04,1.194287e-04,1.195284e-04,1.202911e-04,1.204293e-04,1.209362e-04,1.212275e-04,1.214707e-04,1.218392e-04,1.219014e-04,1.222346e-04,1.222793e-04,1.224766e-04,1.225622e-04,1.226335e-04,1.227016e-04,1.227110e-04,1.227146e-04,1.227103e-04,1.226496e-04,1.226005e-04,1.225209e-04,1.223835e-04,1.223333e-04,1.220913e-04,1.220698e-04,1.217992e-04,1.216693e-04,1.214611e-04,1.211912e-04,1.210807e-04,1.206616e-04,1.206441e-04,1.202073e-04,1.200357e-04,1.197209e-04,1.193734e-04,1.192055e-04,1.186639e-04,1.180988e-04,1.179134e-04,1.175127e-04,1.171276e-04,1.169079e-04,1.163118e-04,1.162866e-04,1.156509e-04,1.154706e-04,1.150027e-04,1.146085e-04,1.143438e-04,1.137295e-04,1.136758e-04,1.130003e-04,1.128373e-04,1.123188e-04,1.119351e-04,1.116327e-04,1.110259e-04,1.109430e-04,1.102512e-04,1.101126e-04,1.095581e-04,1.091976e-04,1.088649e-04,1.082831e-04,1.081723e-04,1.074814e-04,1.073710e-04,1.067928e-04,1.064633e-04,1.061072e-04,1.055615e-04,1.054254e-04,1.047480e-04,1.046670e-04,1.040754e-04,1.037811e-04,1.034081e-04,1.029049e-04,1.027467e-04,1.020916e-04,1.020394e-04,1.014430e-04,1.011855e-04,1.008014e-04,1.003439e-04,1.001670e-04,9.954011e-05,9.951520e-05,9.892095e-05,9.869998e-05,9.830970e-05,9.789868e-05,9.770657e-05,9.711168e-05,9.633927e-05,9.558170e-05,9.483913e-05,9.411168e-05,9.339944e-05,9.270241e-05,9.202061e-05,9.135397e-05,9.070242e-05,9.006585e-05,8.944413e-05,8.883711e-05,8.824461e-05,8.766644e-05,8.710240e-05,8.655227e-05,8.601581e-05,8.549280e-05,8.498299e-05,8.448613e-05,8.400196e-05,8.353022e-05,8.307065e-05,8.262299e-05
0.000000e+00,3.372526e-09,8.069683e-09,2.907199e-08,6.758355e-08,9.938293e-08,2.285296e-07,2.355003e-07,4.584669e-07,5.394039e-07,7.901251e-07,1.050873e-06,1.253603e-06,1.816525e-06,1.872228e-06,2.665081e-06,2.882446e-06,3.639489e-06,4.261820e-06,4.786858e-06,5.924035e-06,6.087434e-06,7.518445e-06,7.818382e-06,9.058593e-06,9.896216e-06,1.068888e-05,1.211533e-05,1.239207e-05,1.415210e-05,1.443796e-05,1.595382e-05,1.682919e-05,1.778285e-05,1.925668e-05,1.962576e-05,2.147011e-05,2.169098e-05,2.330462e-05,2.410604e-05,2.511920e-05,2.647949e-05,2.690504e-05,2.865461e-05,2.879282e-05,3.036160e-05,3.103128e-05,3.202086e-05,3.318363e-05,3.362830e-05,3.518081e-05,3.524173e-05,3.667613e-05,3.720014e-05,3.811276e-05,3.905567e-05,3.948982e-05,4.080701e-05,4.206445e-05,4.245430e-05,4.326268e-05,4.399883e-05,4.440251e-05,4.544280e-05,4.548502e-05,4.651149e-05,4.678905e-05,4.748334e-05,4.804088e-05,4.840213e-05,4.920195e-05,4.926948e-05,5.008706e-05,5.027607e-05,5.085658e-05,5.126716e-05,5.157977e-05,5.217921e-05,5.225835e-05,5.289404e-05,5.301618e-05,5.348854e-05,5.378196e-05,5.404352e-05,5.448037e-05,5.456063e-05,5.504146e-05,5.511513e-05,5.548758e-05,5.568983e-05,5.590051e-05,5.620795e-05,5.628173e-05,5.663267e-05,5.667281e-05,5.695471e-05,5.708760e-05,5.724920e-05,5.745538e-05,5.751743e-05,5.776065e-05,5.777906e-05,5.798006e-05,5.806142e-05,5.817682e-05,5.830510e-05,5.835205e-05,5.850682e-05,5.851260e-05,5.864215e-05,5.868631e-05,5.875905e-05,5.882849e-05,5.885845e-05,5.894127e-05,5.900839e-05,5.902669e-05,5.906065e-05,5.908666e-05,5.909884e-05,5.912298e-05,5.912373e-05,5.913607e-05,5.913737e-05,5.913655e-05,5.913144e-05,5.912586e-05,5.910671e-05,5.910464e-05,5.907349e-05,5.906461e-05,5.903303e-05,5.900650e-05,5.898379e-05,5.893365e-05,5.892633e-05,5.886116e-05,5.884725e-05,5.878877e-05,5.874842e-05,5.870962e-05,5.863824e-05,5.862416e-05,5.853282e-05,5.851768e-05,5.843600e-05,5.838769e-05,5.833409e-05,5.824914e-05,5.822745e-05,5.811644e-05,5.810284e-05,5.800139e-05,5.794957e-05,5.788261e-05,5.779004e-05,5.776042e-05,5.763509e-05,5.762494e-05,5.750690e-05,5.745489e-05,5.737611e-05,5.728047e-05,5.724297e-05,5.710770e-05,5.710225e-05,5.697054e-05,5.692073e-05,5.683168e-05,5.673640e-05,5.669134e-05,5.654969e-05,5.636103e-05,5.617081e-05,5.597938e-05,5.578707e-05,5.559420e-05,5.540105e-05,5.520790e-05,5.501498e-05,5.482252e-05,5.463074e-05,5.443982e-05,5.424994e-05,5.406126e-05,5.387394e-05,5.368810e-05,5.350386e-05,5.332135e-05,5.314067e-05,5.296189e-05,5.278511e-05,5.261040e-05,5.243783e-05,5.226744e-05,5.209930e-05
0.000000e+00,1.407259e-12,7.195228e-12,8.102756e-11,4.009798e-10,8.319939e-10,3.993501e-09,4.224832e-09,1.461131e-08,1.972535e-08,3.969850e-08,6.658170e-08,9.145064e-08,1.771743e-07,1.869197e-07,3.489324e-07,4.008005e-07,6.063503e-07,8.047682e-07,9.934228e-07,1.471282e-06,1.547954e-06,2.308584e-06,2.488725e-06,3.311858e-06,3.940291e-06,4.589693e-06,5.894061e-06,6.167495e-06,8.063025e-06,8.396553e-06,1.028589e-05,1.146987e-05,1.283757e-05,1.511169e-05,1.571180e-05,1.889526e-05,1.929719e-05,2.236845e-05,2.398223e-05,2.610664e-05,2.910722e-05,3.008089e-05,3.425910e-05,3.460116e-05,3.860700e-05,4.038573e-05,4.308904e-05,4.637902e-05,4.766934e-05,5.231238e-05,5.249891e-05,5.698368e-05,5.866588e-05,6.165040e-05,6.480533e-05,6.628173e-05,7.084929e-05,7.532736e-05,7.673761e-05,7.969300e-05,8.241865e-05,8.392621e-05,8.784957e-05,8.800986e-05,9.192968e-05,9.299623e-05,9.567414e-05,9.783283e-05,9.923434e-05,1.023414e-04,1.026038e-04,1.057784e-04,1.065110e-04,1.087558e-04,1.103369e-04,1.115358e-04,1.138198e-04,1.141196e-04,1.165099e-04,1.169651e-04,1.187106e-04,1.197817e-04,1.207268e-04,1.222818e-04,1.225640e-04,1.242288e-04,1.244797e-04,1.257282e-04,1.263913e-04,1.270695e-04,1.280338e-04,1.282603e-04,1.293084e-04,1.294249e-04,1.302216e-04,1.305827e-04,1.310078e-04,1.315251e-04,1.316746e-04,1.322298e-04,1.322696e-04,1.326807e-04,1.328335e-04,1.330345e-04,1.332330e-04,1.332981e-04,1.334782e-04,1.334837e-04,1.335811e-04,1.336004e-04,1.336128e-04,1.335967e-04,1.335792e-04,1.334855e-04,1.333371e-04,1.332788e-04,1.331385e-04,1.329873e-04,1.328945e-04,1.326213e-04,1.326092e-04,1.322865e-04,1.321899e-04,1.319301e-04,1.317016e-04,1.315435e-04,1.311639e-04,1.311299e-04,1.306921e-04,1.305838e-04,1.302330e-04,1.299675e-04,1.297550e-04,1.293206e-04,1.292604e-04,1.287515e-04,1.286482e-04,1.282303e-04,1.279549e-04,1.276984e-04,1.272447e-04,1.271577e-04,1.266096e-04,1.265214e-04,1.260556e-04,1.257880e-04,1.254970e-04,1.250475e-04,1.249349e-04,1.243704e-04,1.243026e-04,1.238046e-04,1.235554e-04,1.232382e-04,1.228079e-04,1.226722e-04,1.221072e-04,1.220620e-04,1.215439e-04,1.213193e-04,1.209831e-04,1.205810e-04,1.204251e-04,1.198705e-04,1.198484e-04,1.193198e-04,1.191226e-04,1.187734e-04,1.184044e-04,1.182316e-04,1.176947e-04,1.169941e-04,1.163032e-04,1.156225e-04,1.149525e-04,1.142934e-04,1.136455e-04,1.130091e-04,1.123843e-04,1.117713e-04,1.111702e-04,1.105809e-04,1.100036e-04,1.094382e-04,1.088847e-04,1.083431e-04,1.078132e-04,1.072950e-04,1.067883e-04,1.062932e-04,1.058093e-04,1.053366e-04,1.048750e-04,1.044242e-04,1.039842e-04
0.000000e+00,9.920954e-13,4.968353e-12,5.355783e-11,2.544644e-10,5.161007e-10,2.332012e-09,2.460913e-09,7.993540e-09,1.060340e-08,2.039577e-08,3.293691e-08,4.410822e-08,8.060015e-08,8.460107e-08,1.481748e-07,1.676231e-07,2.417092e-07,3.098388e-07,3.723493e-07,5.235791e-07,5.470963e-07,7.722700e-07,8.238260e-07,1.052856e-06,1.221745e-06,1.391834e-06,1.722110e-06,1.789653e-06,2.244002e-06,2.321647e-06,2.749933e-06,3.009069e-06,3.300288e-06,3.766704e-06,3.886302e-06,4.498276e-06,4.572982e-06,5.126216e-06,5.405036e-06,5.760376e-06,6.240879e-06,6.391679e-06,7.012012e-06,7.060947e-06,7.614401e-06,7.849005e-06,8.193103e-06,8.592513e-06,8.743591e-06,9.262507e-06,9.282571e-06,9.747566e-06,9.913616e-06,1.019744e-05,1.048296e-05,1.061162e-05,1.099028e-05,1.133417e-05,1.143705e-05,1.164446e-05,1.182609e-05,1.192265e-05,1.216114e-05,1.217050e-05,1.238987e-05,1.244646e-05,1.258275e-05,1.268659e-05,1.275112e-05,1.288607e-05,1.289695e-05,1.302216e-05,1.304935e-05,1.312859e-05,1.318064e-05,1.321797e-05,1.328382e-05,1.329194e-05,1.335200e-05,1.336246e-05,1.339955e-05,1.341976e-05,1.343587e-05,1.345855e-05,1.346212e-05,1.347937e-05,1.348136e-05,1.348856e-05,1.349037e-05,1.349057e-05,1.348751e-05,1.348615e-05,1.347601e-05,1.347444e-05,1.346077e-05,1.345259e-05,1.344098e-05,1.342321e-05,1.341714e-05,1.338970e-05,1.338736e-05,1.335904e-05,1.334596e-05,1.332553e-05,1.329981e-05,1.328948e-05,1.325117e-05,1.324960e-05,1.321087e-05,1.319591e-05,1.316879e-05,1.313928e-05,1.312515e-05,1.308014e-05,1.303391e-05,1.301888e-05,1.298662e-05,1.295586e-05,1.293840e-05,1.289136e-05,1.288939e-05,1.283969e-05,1.282567e-05,1.278941e-05,1.275900e-05,1.273864e-05,1.269157e-05,1.268746e-05,1.263596e-05,1.262356e-05,1.258421e-05,1.255514e-05,1.253226e-05,1.248645e-05,1.248020e-05,1.242806e-05,1.241762e-05,1.237590e-05,1.234878e-05,1.232377e-05,1.228003e-05,1.227171e-05,1.221976e-05,1.221146e-05,1.216796e-05,1.214316e-05,1.211635e-05,1.207520e-05,1.206494e-05,1.201378e-05,1.200766e-05,1.196289e-05,1.194058e-05,1.191228e-05,1.187404e-05,1.186200e-05,1.181205e-05,1.180807e-05,1.176245e-05,1.174271e-05,1.171322e-05,1.167802e-05,1.166439e-05,1.161595e-05,1.161402e-05,1.156793e-05,1.155074e-05,1.152033e-05,1.148821e-05,1.147317e-05,1.142646e-05,1.136550e-05,1.130534e-05,1.124601e-05,1.118752e-05,1.112988e-05,1.107309e-05,1.101717e-05,1.096211e-05,1.090791e-05,1.085459e-05,1.080215e-05,1.075057e-05,1.069986e-05,1.065001e-05,1.060103e-05,1.055291e-05,1.050563e-05,1.045921e-05,1.041362e-05,1.036886e-05,1.032493e-05,1.028181e-05,1.023950e-05,1.019798e-05
0.000000e+00,3.818338e-11,1.695940e-10,1.440464e-09,5.577523e-09,1.016275e-08,3.541583e-08,3.699986e-08,9.524870e-08,1.191028e-07,1.990286e-07,2.891216e-07,3.627059e-07,5.785856e-07,6.006902e-07,9.265082e-07,1.019020e-06,1.350328e-06,1.632226e-06,1.876044e-06,2.420633e-06,2.500553e-06,3.215738e-06,3.368751e-06,4.011121e-06,4.452736e-06,4.875624e-06,5.647184e-06,5.798269e-06,6.768292e-06,6.927184e-06,7.775132e-06,8.268445e-06,8.808447e-06,9.647411e-06,9.858215e-06,1.091489e-05,1.104173e-05,1.196957e-05,1.243088e-05,1.301415e-05,1.379680e-05,1.404142e-05,1.504517e-05,1.512428e-05,1.602015e-05,1.640111e-05,1.696212e-05,1.761797e-05,1.786771e-05,1.873440e-05,1.876823e-05,1.956045e-05,1.984765e-05,2.034479e-05,2.085405e-05,2.108694e-05,2.178689e-05,2.244503e-05,2.264692e-05,2.306210e-05,2.343590e-05,2.363906e-05,2.415628e-05,2.417707e-05,2.467745e-05,2.481101e-05,2.514162e-05,2.540334e-05,2.557104e-05,2.593673e-05,2.596724e-05,2.633175e-05,2.641468e-05,2.666609e-05,2.684071e-05,2.697178e-05,2.721824e-05,2.725028e-05,2.750303e-05,2.755061e-05,2.773143e-05,2.784101e-05,2.793681e-05,2.809250e-05,2.812048e-05,2.828367e-05,2.830795e-05,2.842756e-05,2.849011e-05,2.855328e-05,2.864151e-05,2.866192e-05,2.875450e-05,2.876457e-05,2.883199e-05,2.886154e-05,2.889531e-05,2.893450e-05,2.894534e-05,2.898292e-05,2.898541e-05,2.900883e-05,2.901609e-05,2.902381e-05,2.902823e-05,2.902857e-05,2.902378e-05,2.902340e-05,2.901006e-05,2.900306e-05,2.898801e-05,2.896855e-05,2.895820e-05,2.892114e-05,2.887734e-05,2.886198e-05,2.882728e-05,2.879216e-05,2.877139e-05,2.871266e-05,2.871011e-05,2.864382e-05,2.862441e-05,2.857290e-05,2.852827e-05,2.849769e-05,2.842501e-05,2.841854e-05,2.833576e-05,2.831538e-05,2.824963e-05,2.820004e-05,2.816044e-05,2.807962e-05,2.806844e-05,2.797389e-05,2.795470e-05,2.787701e-05,2.782579e-05,2.777803e-05,2.769340e-05,2.767714e-05,2.757454e-05,2.755797e-05,2.747041e-05,2.741993e-05,2.736491e-05,2.727965e-05,2.725822e-05,2.715048e-05,2.713749e-05,2.704184e-05,2.699378e-05,2.693241e-05,2.684881e-05,2.682234e-05,2.671173e-05,2.670286e-05,2.660070e-05,2.655619e-05,2.648934e-05,2.640902e-05,2.637776e-05,2.626605e-05,2.626158e-05,2.615428e-05,2.611405e-05,2.604254e-05,2.596662e-05,2.593091e-05,2.581944e-05,2.567268e-05,2.552647e-05,2.538093e-05,2.523617e-05,2.509230e-05,2.494942e-05,2.480760e-05,2.466693e-05,2.452747e-05,2.438928e-05,2.425243e-05,2.411695e-05,2.398289e-05,2.385030e-05,2.371919e-05,2.358961e-05,2.346158e-05,2.333511e-05,2.321023e-05,2.308695e-05,2.296528e-05,2.284523e-05,2.272680e-05,2.261000e-05
0.000000e+00,3.608167e-09,8.290711e-09,2.872166e-08,6.596309e-08,9.690201e-08,2.254353e-07,2.325134e-07,4.663387e-07,5.545764e-07,8.377686e-07,1.145228e-06,1.390885e-06,2.088008e-06,2.157366e-06,3.134266e-06,3.396526e-06,4.287272e-06,4.994489e-06,5.575906e-06,6.796430e-06,6.968141e-06,8.440925e-06,8.743549e-06,9.976829e-06,1.079558e-05,1.156143e-05,1.292071e-05,1.318189e-05,1.482636e-05,1.509095e-05,1.648381e-05,1.728098e-05,1.814409e-05,1.946811e-05,1.979796e-05,2.143724e-05,2.163262e-05,2.305477e-05,2.375798e-05,2.464445e-05,2.583080e-05,2.620118e-05,2.772082e-05,2.784069e-05,2.920007e-05,2.977988e-05,3.063641e-05,3.164291e-05,3.202794e-05,3.337337e-05,3.342622e-05,3.467189e-05,3.512778e-05,3.592307e-05,3.674677e-05,3.712682e-05,3.828336e-05,3.939309e-05,3.973841e-05,4.045661e-05,4.111335e-05,4.147466e-05,4.241000e-05,4.244809e-05,4.337785e-05,4.363049e-05,4.426493e-05,4.477714e-05,4.511040e-05,4.585241e-05,4.591534e-05,4.668086e-05,4.685885e-05,4.740810e-05,4.779905e-05,4.809819e-05,4.867563e-05,4.875226e-05,4.937144e-05,4.949119e-05,4.995686e-05,5.024831e-05,5.050963e-05,5.094952e-05,5.103083e-05,5.152156e-05,5.159731e-05,5.198285e-05,5.219413e-05,5.241576e-05,5.274233e-05,5.282129e-05,5.320044e-05,5.324421e-05,5.355418e-05,5.370202e-05,5.388345e-05,5.411790e-05,5.418918e-05,5.447226e-05,5.449395e-05,5.473356e-05,5.483218e-05,5.497394e-05,5.513451e-05,5.519421e-05,5.539518e-05,5.540283e-05,5.557763e-05,5.563892e-05,5.574231e-05,5.584451e-05,5.588994e-05,5.602124e-05,5.613689e-05,5.617070e-05,5.623755e-05,5.629441e-05,5.632387e-05,5.639381e-05,5.639646e-05,5.645593e-05,5.647031e-05,5.650285e-05,5.652522e-05,5.653779e-05,5.655981e-05,5.656128e-05,5.657385e-05,5.657530e-05,5.657600e-05,5.657284e-05,5.656822e-05,5.655353e-05,5.655098e-05,5.652473e-05,5.651843e-05,5.648990e-05,5.646854e-05,5.644692e-05,5.640481e-05,5.639619e-05,5.633810e-05,5.632814e-05,5.627302e-05,5.623941e-05,5.620132e-05,5.613943e-05,5.612335e-05,5.603944e-05,5.602899e-05,5.594992e-05,5.590882e-05,5.585508e-05,5.577964e-05,5.575524e-05,5.565067e-05,5.564211e-05,5.554166e-05,5.549686e-05,5.542846e-05,5.534451e-05,5.531133e-05,5.519052e-05,5.518561e-05,5.506626e-05,5.502072e-05,5.493877e-05,5.485034e-05,5.480827e-05,5.467497e-05,5.449505e-05,5.431103e-05,5.412332e-05,5.393231e-05,5.373836e-05,5.354182e-05,5.334301e-05,5.314225e-05,5.293983e-05,5.273602e-05,5.253108e-05,5.232525e-05,5.211876e-05,5.191182e-05,5.170463e-05,5.149739e-05,5.129027e-05,5.108343e-05,5.087703e-05,5.067122e-05,5.046612e-05,5.026187e-05,5.005858e-05,4.985636e-05
0.000000e+00,1.359688e-09,3.657976e-09,1.489706e-08,3.657815e-08,5.483036e-08,1.298911e-07,1.339570e-07,2.637919e-07,3.106748e-07,4.547397e-07,6.025893e-07,7.161852e-07,1.026148e-06,1.056444e-06,1.482506e-06,1.598146e-06,1.999472e-06,2.329682e-06,2.609628e-06,3.222396e-06,3.311247e-06,4.097670e-06,4.264200e-06,4.957549e-06,5.429002e-06,5.876516e-06,6.683006e-06,6.839416e-06,7.831964e-06,7.992651e-06,8.841452e-06,9.328721e-06,9.856842e-06,1.066698e-05,1.086865e-05,1.186876e-05,1.198765e-05,1.285032e-05,1.327481e-05,1.380760e-05,1.451599e-05,1.473593e-05,1.563160e-05,1.570175e-05,1.649175e-05,1.682538e-05,1.731434e-05,1.788254e-05,1.809798e-05,1.884191e-05,1.887084e-05,1.954584e-05,1.978947e-05,2.020991e-05,2.063895e-05,2.083461e-05,2.142072e-05,2.196921e-05,2.213697e-05,2.248124e-05,2.279038e-05,2.295807e-05,2.338397e-05,2.340106e-05,2.381161e-05,2.392094e-05,2.419116e-05,2.440461e-05,2.454115e-05,2.483827e-05,2.486301e-05,2.515817e-05,2.522519e-05,2.542800e-05,2.556854e-05,2.567384e-05,2.587138e-05,2.589701e-05,2.609874e-05,2.613662e-05,2.628025e-05,2.636703e-05,2.644269e-05,2.656522e-05,2.658718e-05,2.671476e-05,2.673367e-05,2.682643e-05,2.687467e-05,2.692317e-05,2.699041e-05,2.700586e-05,2.707539e-05,2.708289e-05,2.713256e-05,2.715400e-05,2.717815e-05,2.720551e-05,2.721290e-05,2.723749e-05,2.723904e-05,2.725260e-05,2.725612e-05,2.725883e-05,2.725816e-05,2.725678e-05,2.724700e-05,2.724646e-05,2.723002e-05,2.722224e-05,2.720633e-05,2.718663e-05,2.717639e-05,2.714066e-05,2.709953e-05,2.708530e-05,2.705342e-05,2.702145e-05,2.700267e-05,2.694993e-05,2.694765e-05,2.688868e-05,2.687151e-05,2.682607e-05,2.678688e-05,2.676011e-05,2.669671e-05,2.669108e-05,2.661923e-05,2.660160e-05,2.654481e-05,2.650209e-05,2.646804e-05,2.639871e-05,2.638914e-05,2.630831e-05,2.629193e-05,2.622575e-05,2.618219e-05,2.614162e-05,2.606987e-05,2.605610e-05,2.596935e-05,2.595537e-05,2.588152e-05,2.583901e-05,2.579274e-05,2.572112e-05,2.570314e-05,2.561285e-05,2.560197e-05,2.552198e-05,2.548184e-05,2.543064e-05,2.536097e-05,2.533893e-05,2.524694e-05,2.523958e-05,2.515477e-05,2.511787e-05,2.506250e-05,2.499604e-05,2.497020e-05,2.487794e-05,2.487425e-05,2.478579e-05,2.475266e-05,2.469383e-05,2.463142e-05,2.460209e-05,2.451065e-05,2.439047e-05,2.427098e-05,2.415230e-05,2.403450e-05,2.391766e-05,2.380186e-05,2.368716e-05,2.357362e-05,2.346128e-05,2.335020e-05,2.324041e-05,2.313195e-05,2.302484e-05,2.291912e-05,2.281480e-05,2.271191e-05,2.261046e-05,2.251045e-05,2.241191e-05,2.231483e-05,2.221922e-05,2.212509e-05,2.203243e-05,2.194123e-05
0.000000e+00,5.089619e-09,1.226509e-08,4.447431e-08,1.037331e-07,1.528359e-07,3.540457e-07,3.649920e-07,7.198898e-07,8.509704e-07,1.264132e-06,1.703915e-06,2.051634e-06,3.033947e-06,3.131877e-06,4.523242e-06,4.901049e-06,6.196272e-06,7.234887e-06,8.093314e-06,9.902848e-06,1.015786e-05,1.234557e-05,1.279479e-05,1.462273e-05,1.583301e-05,1.696219e-05,1.895833e-05,1.934060e-05,2.173684e-05,2.212057e-05,2.413147e-05,2.527501e-05,2.650661e-05,2.838176e-05,2.884608e-05,3.113548e-05,3.140623e-05,3.336234e-05,3.431958e-05,3.551619e-05,3.709900e-05,3.758856e-05,3.957283e-05,3.972761e-05,4.146419e-05,4.219395e-05,4.325942e-05,4.449137e-05,4.495666e-05,4.655519e-05,4.661708e-05,4.805548e-05,4.857178e-05,4.945890e-05,5.035889e-05,5.076745e-05,5.198373e-05,5.311074e-05,5.345305e-05,5.415175e-05,5.477449e-05,5.511028e-05,5.595625e-05,5.598997e-05,5.679452e-05,5.700684e-05,5.752767e-05,5.793483e-05,5.819311e-05,5.874864e-05,5.879448e-05,5.933533e-05,5.945652e-05,5.981913e-05,6.006638e-05,6.024920e-05,6.058578e-05,6.062876e-05,6.096089e-05,6.102189e-05,6.124854e-05,6.138148e-05,6.149452e-05,6.167091e-05,6.170151e-05,6.187206e-05,6.189613e-05,6.200858e-05,6.206270e-05,6.211335e-05,6.217578e-05,6.218856e-05,6.223624e-05,6.224020e-05,6.225833e-05,6.226042e-05,6.225665e-05,6.224055e-05,6.223294e-05,6.218881e-05,6.218444e-05,6.212579e-05,6.209562e-05,6.204532e-05,6.197735e-05,6.194876e-05,6.183738e-05,6.183264e-05,6.171238e-05,6.166426e-05,6.157488e-05,6.147478e-05,6.142593e-05,6.126654e-05,6.109762e-05,6.104170e-05,6.092005e-05,6.080224e-05,6.073465e-05,6.055000e-05,6.054218e-05,6.034336e-05,6.028664e-05,6.013886e-05,6.001370e-05,5.992931e-05,5.973257e-05,5.971529e-05,5.949737e-05,5.944454e-05,5.927603e-05,5.915078e-05,5.905178e-05,5.885237e-05,5.882504e-05,5.859624e-05,5.855027e-05,5.836577e-05,5.824539e-05,5.813399e-05,5.793852e-05,5.790123e-05,5.766780e-05,5.763041e-05,5.743400e-05,5.732172e-05,5.720009e-05,5.701306e-05,5.696633e-05,5.673294e-05,5.670497e-05,5.650014e-05,5.639795e-05,5.626814e-05,5.609245e-05,5.603710e-05,5.580720e-05,5.578886e-05,5.557859e-05,5.548754e-05,5.535141e-05,5.518881e-05,5.512581e-05,5.490188e-05,5.489296e-05,5.467975e-05,5.460024e-05,5.445951e-05,5.431088e-05,5.424126e-05,5.402507e-05,5.374298e-05,5.346476e-05,5.319054e-05,5.292043e-05,5.265452e-05,5.239289e-05,5.213559e-05,5.188268e-05,5.163419e-05,5.139014e-05,5.115055e-05,5.091542e-05,5.068476e-05,5.045854e-05,5.023676e-05,5.001938e-05,4.980639e-05,4.959775e-05,4.939341e-05,4.919335e-05,4.899750e-05,4.880583e-05,4.861828e-05,4.843480e-05
0.000000e+00,2.572606e-09,6.839973e-09,2.761119e-08,6.781232e-08,1.018560e-07,2.436754e-07,2.514355e-07,5.030586e-07,5.956218e-07,8.851280e-07,1.189204e-06,1.426695e-06,2.085496e-06,2.150365e-06,3.063216e-06,3.309966e-06,4.159877e-06,4.851165e-06,5.432005e-06,6.690359e-06,6.871713e-06,8.470909e-06,8.809095e-06,1.022027e-05,1.118568e-05,1.210874e-05,1.379328e-05,1.412358e-05,1.625057e-05,1.660029e-05,1.847450e-05,1.957179e-05,2.077959e-05,2.267145e-05,2.315001e-05,2.557026e-05,2.586333e-05,2.802553e-05,2.911333e-05,3.050196e-05,3.239032e-05,3.298682e-05,3.546862e-05,3.566672e-05,3.793716e-05,3.891881e-05,4.038348e-05,4.212670e-05,4.279988e-05,4.517978e-05,4.527413e-05,4.751767e-05,4.834813e-05,4.980901e-05,5.133861e-05,5.205010e-05,5.423801e-05,5.637045e-05,5.704083e-05,5.844573e-05,5.974334e-05,6.046264e-05,6.234321e-05,6.242038e-05,6.431853e-05,6.483930e-05,6.615694e-05,6.723137e-05,6.793576e-05,6.951992e-05,6.965531e-05,7.131611e-05,7.170603e-05,7.291882e-05,7.379125e-05,7.446421e-05,7.577745e-05,7.595317e-05,7.738666e-05,7.766679e-05,7.876570e-05,7.946163e-05,8.009136e-05,8.116447e-05,8.136475e-05,8.258703e-05,8.277793e-05,8.375935e-05,8.430467e-05,8.488290e-05,8.574742e-05,8.595887e-05,8.698845e-05,8.710894e-05,8.797284e-05,8.839197e-05,8.891324e-05,8.959924e-05,8.981082e-05,9.066677e-05,9.073348e-05,9.148225e-05,9.179737e-05,9.225841e-05,9.279354e-05,9.299639e-05,9.369732e-05,9.372460e-05,9.436229e-05,9.459309e-05,9.499239e-05,9.540149e-05,9.558870e-05,9.615225e-05,9.668407e-05,9.684772e-05,9.718518e-05,9.749023e-05,9.765656e-05,9.808200e-05,9.809916e-05,9.851395e-05,9.862523e-05,9.890183e-05,9.912202e-05,9.926371e-05,9.957444e-05,9.960047e-05,9.991297e-05,9.998445e-05,1.002020e-04,1.003540e-04,1.004685e-04,1.006849e-04,1.007132e-04,1.009368e-04,1.009790e-04,1.011401e-04,1.012381e-04,1.013239e-04,1.014637e-04,1.014888e-04,1.016356e-04,1.016575e-04,1.017650e-04,1.018211e-04,1.018775e-04,1.019559e-04,1.019739e-04,1.020547e-04,1.020634e-04,1.021206e-04,1.021450e-04,1.021721e-04,1.022020e-04,1.022099e-04,1.022344e-04,1.022358e-04,1.022462e-04,1.022475e-04,1.022458e-04,1.022383e-04,1.022338e-04,1.022105e-04,1.022093e-04,1.021765e-04,1.021618e-04,1.021323e-04,1.020966e-04,1.020783e-04,1.020148e-04,1.019174e-04,1.018053e-04,1.016794e-04,1.015405e-04,1.013895e-04,1.012270e-04,1.010539e-04,1.008709e-04,1.006786e-04,1.004777e-04,1.002688e-04,1.000525e-04,9.982931e-05,9.959985e-05,9.936459e-05,9.912403e-05,9.887863e-05,9.862883e-05,9.837506e-05,9.811771e-05,9.785717e-05,9.759379e-05,9.732794e-05,9.705992e-05
0.000000e+00,2.318574e-10,9.401348e-10,6.732830e-09,2.277433e-08,3.882486e-08,1.165360e-07,1.210889e-07,2.768937e-07,3.367316e-07,5.285736e-07,7.351712e-07,8.992713e-07,1.365832e-06,1.412653e-06,2.086296e-06,2.272145e-06,2.917573e-06,3.441221e-06,3.875146e-06,4.783790e-06,4.910523e-06,5.977833e-06,6.191957e-06,7.043696e-06,7.589877e-06,8.086607e-06,8.934737e-06,9.092855e-06,1.005318e-05,1.020209e-05,1.096085e-05,1.137630e-05,1.181084e-05,1.244684e-05,1.259955e-05,1.332470e-05,1.340738e-05,1.398528e-05,1.425549e-05,1.458151e-05,1.499237e-05,1.511468e-05,1.558701e-05,1.562225e-05,1.600142e-05,1.615173e-05,1.636139e-05,1.658900e-05,1.667075e-05,1.693349e-05,1.694309e-05,1.715368e-05,1.722331e-05,1.733531e-05,1.743877e-05,1.748224e-05,1.759809e-05,1.768627e-05,1.770916e-05,1.774991e-05,1.777909e-05,1.779187e-05,1.781415e-05,1.781473e-05,1.782079e-05,1.781977e-05,1.781214e-05,1.780066e-05,1.779061e-05,1.776084e-05,1.775783e-05,1.771525e-05,1.770372e-05,1.766413e-05,1.763220e-05,1.760560e-05,1.754875e-05,1.754064e-05,1.747013e-05,1.745543e-05,1.739483e-05,1.735400e-05,1.731541e-05,1.724594e-05,1.723245e-05,1.714649e-05,1.713248e-05,1.705796e-05,1.701469e-05,1.696730e-05,1.689347e-05,1.687485e-05,1.678095e-05,1.676959e-05,1.668587e-05,1.664373e-05,1.658986e-05,1.651642e-05,1.649316e-05,1.639598e-05,1.638818e-05,1.629848e-05,1.625943e-05,1.620083e-05,1.613052e-05,1.610319e-05,1.600568e-05,1.600178e-05,1.590841e-05,1.587348e-05,1.581150e-05,1.574585e-05,1.571504e-05,1.561911e-05,1.552380e-05,1.549344e-05,1.542916e-05,1.536898e-05,1.533527e-05,1.524588e-05,1.524217e-05,1.514991e-05,1.512424e-05,1.505855e-05,1.500417e-05,1.496811e-05,1.488576e-05,1.487863e-05,1.479015e-05,1.476906e-05,1.470268e-05,1.465415e-05,1.461625e-05,1.454106e-05,1.453087e-05,1.444658e-05,1.442985e-05,1.436337e-05,1.432053e-05,1.428126e-05,1.421315e-05,1.420026e-05,1.412038e-05,1.410770e-05,1.404162e-05,1.400421e-05,1.396398e-05,1.390268e-05,1.388747e-05,1.381209e-05,1.380312e-05,1.373783e-05,1.370551e-05,1.366469e-05,1.360986e-05,1.359268e-05,1.352177e-05,1.351615e-05,1.345198e-05,1.342437e-05,1.338329e-05,1.333451e-05,1.331569e-05,1.324919e-05,1.324655e-05,1.318376e-05,1.316047e-05,1.311940e-05,1.307624e-05,1.305610e-05,1.299385e-05,1.291327e-05,1.283447e-05,1.275744e-05,1.268213e-05,1.260853e-05,1.253661e-05,1.246633e-05,1.239766e-05,1.233059e-05,1.226507e-05,1.220108e-05,1.213858e-05,1.207756e-05,1.201797e-05,1.195979e-05,1.190299e-05,1.184754e-05,1.179341e-05,1.174057e-05,1.168900e-05,1.163866e-05,1.158953e-05,1.154157e-05,1.149478e-05
0.000000e+00,1.114329e-09,2.970905e-09,1.196612e-08,2.920645e-08,4.367773e-08,1.030815e-07,1.062986e-07,2.091818e-07,2.464368e-07,3.613505e-07,4.800122e-07,5.716919e-07,8.240152e-07,8.488375e-07,1.200551e-06,1.296748e-06,1.632396e-06,1.909955e-06,2.145662e-06,2.660843e-06,2.735298e-06,3.389624e-06,3.526889e-06,4.092807e-06,4.472278e-06,4.828487e-06,5.460948e-06,5.582250e-06,6.342334e-06,6.463878e-06,7.099362e-06,7.459394e-06,7.845852e-06,8.431369e-06,8.575782e-06,9.284309e-06,9.367702e-06,9.967580e-06,1.025942e-05,1.062261e-05,1.110014e-05,1.124717e-05,1.183973e-05,1.188572e-05,1.239934e-05,1.261385e-05,1.292559e-05,1.328382e-05,1.341849e-05,1.387843e-05,1.389615e-05,1.430608e-05,1.445231e-05,1.470237e-05,1.495448e-05,1.506837e-05,1.540531e-05,1.571448e-05,1.580777e-05,1.599724e-05,1.616498e-05,1.625496e-05,1.648010e-05,1.648902e-05,1.670078e-05,1.675626e-05,1.689157e-05,1.699652e-05,1.706269e-05,1.720379e-05,1.721536e-05,1.735078e-05,1.738084e-05,1.747008e-05,1.753025e-05,1.757434e-05,1.765446e-05,1.766458e-05,1.774176e-05,1.775571e-05,1.780678e-05,1.783607e-05,1.786050e-05,1.789747e-05,1.790371e-05,1.793717e-05,1.794167e-05,1.796158e-05,1.797028e-05,1.797760e-05,1.798479e-05,1.798584e-05,1.798688e-05,1.798655e-05,1.798126e-05,1.797680e-05,1.796947e-05,1.795668e-05,1.795199e-05,1.792926e-05,1.792723e-05,1.790168e-05,1.788938e-05,1.786964e-05,1.784400e-05,1.783349e-05,1.779356e-05,1.779189e-05,1.775017e-05,1.773375e-05,1.770359e-05,1.767025e-05,1.765411e-05,1.760197e-05,1.754741e-05,1.752948e-05,1.749065e-05,1.745325e-05,1.743188e-05,1.737376e-05,1.737130e-05,1.730909e-05,1.729140e-05,1.724541e-05,1.720657e-05,1.718042e-05,1.711959e-05,1.711426e-05,1.704706e-05,1.703080e-05,1.697896e-05,1.694046e-05,1.691005e-05,1.684885e-05,1.684047e-05,1.677030e-05,1.675620e-05,1.669963e-05,1.666272e-05,1.662857e-05,1.656862e-05,1.655718e-05,1.648555e-05,1.647407e-05,1.641375e-05,1.637924e-05,1.634184e-05,1.628427e-05,1.626988e-05,1.619793e-05,1.618930e-05,1.612604e-05,1.609445e-05,1.605427e-05,1.599983e-05,1.598266e-05,1.591124e-05,1.590554e-05,1.584007e-05,1.581168e-05,1.576917e-05,1.571832e-05,1.569859e-05,1.562834e-05,1.562554e-05,1.555846e-05,1.553341e-05,1.548899e-05,1.544198e-05,1.541993e-05,1.535131e-05,1.526145e-05,1.517244e-05,1.508432e-05,1.499713e-05,1.491088e-05,1.482562e-05,1.474135e-05,1.465811e-05,1.457589e-05,1.449473e-05,1.441463e-05,1.433560e-05,1.425765e-05,1.418078e-05,1.410499e-05,1.403030e-05,1.395668e-05,1.388416e-05,1.381272e-05,1.374235e-05,1.367307e-05,1.360485e-05,1.353770e-05,1.347161e-05
0.000000e+00,2.289500e-10,9.609697e-10,7.339007e-09,2.611467e-08,4.564205e-08,1.448837e-07,1.508520e-07,3.607827e-07,4.434557e-07,7.132157e-07,1.009300e-06,1.247426e-06,1.935359e-06,2.005201e-06,3.026484e-06,3.314067e-06,4.335270e-06,5.192241e-06,5.923580e-06,7.522041e-06,7.752518e-06,9.770331e-06,1.019216e-05,1.192884e-05,1.309364e-05,1.418928e-05,1.614430e-05,1.652110e-05,1.889902e-05,1.928224e-05,2.130062e-05,2.245563e-05,2.370504e-05,2.561730e-05,2.609254e-05,2.844447e-05,2.872347e-05,3.074350e-05,3.173420e-05,3.297393e-05,3.461461e-05,3.512196e-05,3.717588e-05,3.733583e-05,3.912621e-05,3.987563e-05,4.096566e-05,4.221845e-05,4.268911e-05,4.429349e-05,4.435517e-05,4.577754e-05,4.628237e-05,4.714165e-05,4.800158e-05,4.838758e-05,4.951827e-05,5.053754e-05,5.084092e-05,5.145001e-05,5.198028e-05,5.226079e-05,5.294857e-05,5.297538e-05,5.359947e-05,5.375879e-05,5.413888e-05,5.442428e-05,5.459939e-05,5.495828e-05,5.498671e-05,5.530637e-05,5.537362e-05,5.556373e-05,5.568255e-05,5.576388e-05,5.589654e-05,5.591166e-05,5.601163e-05,5.602626e-05,5.606806e-05,5.608154e-05,5.608496e-05,5.607133e-05,5.606604e-05,5.601473e-05,5.600373e-05,5.593420e-05,5.588603e-05,5.582736e-05,5.572475e-05,5.569689e-05,5.554525e-05,5.552574e-05,5.537471e-05,5.529422e-05,5.518733e-05,5.503481e-05,5.498498e-05,5.476938e-05,5.475161e-05,5.454210e-05,5.444824e-05,5.430456e-05,5.412793e-05,5.405808e-05,5.380383e-05,5.379351e-05,5.354288e-05,5.344749e-05,5.327621e-05,5.309207e-05,5.300472e-05,5.272921e-05,5.245041e-05,5.236061e-05,5.216899e-05,5.198779e-05,5.188556e-05,5.161207e-05,5.160066e-05,5.131478e-05,5.123463e-05,5.102840e-05,5.085649e-05,5.074190e-05,5.047855e-05,5.045567e-05,5.017003e-05,5.010160e-05,4.988529e-05,4.972633e-05,4.960172e-05,4.935334e-05,4.931957e-05,4.903906e-05,4.898317e-05,4.876039e-05,4.861627e-05,4.848374e-05,4.825303e-05,4.820927e-05,4.793712e-05,4.789380e-05,4.766742e-05,4.753888e-05,4.740030e-05,4.718851e-05,4.713583e-05,4.687412e-05,4.684291e-05,4.661525e-05,4.650226e-05,4.635927e-05,4.616671e-05,4.610626e-05,4.585625e-05,4.583638e-05,4.560929e-05,4.551137e-05,4.536541e-05,4.519175e-05,4.512465e-05,4.488703e-05,4.487759e-05,4.465255e-05,4.456892e-05,4.442125e-05,4.426577e-05,4.419311e-05,4.396815e-05,4.367606e-05,4.338949e-05,4.310842e-05,4.283281e-05,4.256264e-05,4.229785e-05,4.203840e-05,4.178423e-05,4.153529e-05,4.129150e-05,4.105281e-05,4.081914e-05,4.059043e-05,4.036659e-05,4.014755e-05,3.993324e-05,3.972357e-05,3.951847e-05,3.931785e-05,3.912164e-05,3.892976e-05,3.874212e-05,3.855864e-05,3.837925e-05
0.000000e+00,3.803433e-10,1.437305e-09,9.190911e-09,2.896753e-08,4.802255e-08,1.379873e-07,1.432309e-07,3.241256e-07,3.947217e-07,6.255873e-07,8.807228e-07,1.086639e-06,1.677069e-06,1.736178e-06,2.574428e-06,2.801233e-06,3.577215e-06,4.199579e-06,4.715319e-06,5.809324e-06,5.964398e-06,7.305010e-06,7.582608e-06,8.720280e-06,9.480434e-06,1.019433e-05,1.146665e-05,1.171173e-05,1.325749e-05,1.350647e-05,1.481733e-05,1.556711e-05,1.637800e-05,1.761905e-05,1.792755e-05,1.945552e-05,1.963699e-05,2.095300e-05,2.160028e-05,2.241262e-05,2.349297e-05,2.382855e-05,2.519638e-05,2.530362e-05,2.651287e-05,2.702457e-05,2.777586e-05,2.865138e-05,2.898413e-05,3.013717e-05,3.018214e-05,3.123508e-05,3.161694e-05,3.227848e-05,3.295738e-05,3.326841e-05,3.420606e-05,3.509290e-05,3.536623e-05,3.593057e-05,3.644166e-05,3.672078e-05,3.743642e-05,3.746535e-05,3.816613e-05,3.835475e-05,3.882493e-05,3.920083e-05,3.944358e-05,3.997883e-05,4.002388e-05,4.056758e-05,4.069281e-05,4.107639e-05,4.134671e-05,4.155199e-05,4.194430e-05,4.199596e-05,4.240986e-05,4.248917e-05,4.279518e-05,4.298473e-05,4.315335e-05,4.343423e-05,4.348573e-05,4.379363e-05,4.384071e-05,4.407831e-05,4.420706e-05,4.434096e-05,4.453599e-05,4.458272e-05,4.480468e-05,4.483003e-05,4.500787e-05,4.509159e-05,4.519329e-05,4.532290e-05,4.536187e-05,4.551451e-05,4.552606e-05,4.565206e-05,4.570304e-05,4.577533e-05,4.585567e-05,4.588508e-05,4.598206e-05,4.598568e-05,4.606695e-05,4.609468e-05,4.614042e-05,4.618418e-05,4.620310e-05,4.625557e-05,4.629842e-05,4.631018e-05,4.633217e-05,4.634924e-05,4.635734e-05,4.637388e-05,4.637441e-05,4.638385e-05,4.638518e-05,4.638609e-05,4.638415e-05,4.638155e-05,4.637172e-05,4.637062e-05,4.635368e-05,4.634876e-05,4.633108e-05,4.631609e-05,4.630317e-05,4.627446e-05,4.627026e-05,4.623265e-05,4.622459e-05,4.619064e-05,4.616715e-05,4.614451e-05,4.610275e-05,4.609450e-05,4.604087e-05,4.603197e-05,4.598386e-05,4.595536e-05,4.592368e-05,4.587341e-05,4.586056e-05,4.579468e-05,4.578660e-05,4.572624e-05,4.569536e-05,4.565543e-05,4.560012e-05,4.558240e-05,4.550734e-05,4.550125e-05,4.543039e-05,4.539911e-05,4.535169e-05,4.529404e-05,4.527140e-05,4.518964e-05,4.518634e-05,4.510653e-05,4.507631e-05,4.502220e-05,4.496422e-05,4.493676e-05,4.485032e-05,4.473486e-05,4.461804e-05,4.450008e-05,4.438117e-05,4.426148e-05,4.414118e-05,4.402044e-05,4.389938e-05,4.377816e-05,4.365688e-05,4.353567e-05,4.341463e-05,4.329387e-05,4.317348e-05,4.305354e-05,4.293413e-05,4.281532e-05,4.269719e-05,4.257980e-05,4.246320e-05,4.234744e-05,4.223258e-05,4.211866e-05,4.200572e-05
0.000000e+00,1.160978e-10,5.254115e-10,4.627551e-09,1.846749e-08,3.417553e-08,1.235906e-07,1.293025e-07,3.441112e-07,4.340169e-07,7.408037e-07,1.094437e-06,1.388110e-06,2.269396e-06,2.361049e-06,3.736222e-06,4.133756e-06,5.577572e-06,6.826392e-06,7.918573e-06,1.038998e-05,1.075579e-05,1.405778e-05,1.477008e-05,1.777938e-05,1.986435e-05,2.187220e-05,2.556262e-05,2.628927e-05,3.098596e-05,3.176049e-05,3.591921e-05,3.835880e-05,4.104686e-05,4.526092e-05,4.632723e-05,5.171921e-05,5.237183e-05,5.718271e-05,5.959929e-05,6.267916e-05,6.685604e-05,6.817220e-05,7.362817e-05,7.406211e-05,7.901649e-05,8.114668e-05,8.431001e-05,8.804925e-05,8.948511e-05,9.452175e-05,9.472009e-05,9.940331e-05,1.011200e-04,1.041164e-04,1.072198e-04,1.086508e-04,1.129989e-04,1.171553e-04,1.184444e-04,1.211171e-04,1.235499e-04,1.248831e-04,1.283143e-04,1.284534e-04,1.318299e-04,1.327410e-04,1.350154e-04,1.368365e-04,1.380135e-04,1.406100e-04,1.408286e-04,1.434657e-04,1.440726e-04,1.459300e-04,1.472367e-04,1.482273e-04,1.501154e-04,1.503634e-04,1.523443e-04,1.527224e-04,1.541761e-04,1.550717e-04,1.558648e-04,1.571772e-04,1.574166e-04,1.588372e-04,1.590528e-04,1.601327e-04,1.607117e-04,1.613087e-04,1.621672e-04,1.623708e-04,1.633244e-04,1.634318e-04,1.641750e-04,1.645178e-04,1.649274e-04,1.654368e-04,1.655868e-04,1.661578e-04,1.661998e-04,1.666451e-04,1.668176e-04,1.670531e-04,1.673001e-04,1.673859e-04,1.676478e-04,1.676568e-04,1.678425e-04,1.678969e-04,1.679739e-04,1.680289e-04,1.680455e-04,1.680607e-04,1.680229e-04,1.680002e-04,1.679352e-04,1.678543e-04,1.678006e-04,1.676298e-04,1.676218e-04,1.674018e-04,1.673331e-04,1.671430e-04,1.669701e-04,1.668479e-04,1.665465e-04,1.665190e-04,1.661584e-04,1.660674e-04,1.657683e-04,1.655378e-04,1.653508e-04,1.649622e-04,1.649078e-04,1.644411e-04,1.643450e-04,1.639525e-04,1.636903e-04,1.634436e-04,1.630017e-04,1.629161e-04,1.623715e-04,1.622828e-04,1.618111e-04,1.615369e-04,1.612363e-04,1.607670e-04,1.606485e-04,1.600487e-04,1.599760e-04,1.594383e-04,1.591666e-04,1.588182e-04,1.583411e-04,1.581895e-04,1.575531e-04,1.575019e-04,1.569101e-04,1.566512e-04,1.562612e-04,1.557909e-04,1.556074e-04,1.549492e-04,1.549228e-04,1.542876e-04,1.540487e-04,1.536232e-04,1.531702e-04,1.529567e-04,1.522885e-04,1.514053e-04,1.505215e-04,1.496385e-04,1.487572e-04,1.478787e-04,1.470037e-04,1.461331e-04,1.452676e-04,1.444080e-04,1.435547e-04,1.427085e-04,1.418697e-04,1.410388e-04,1.402162e-04,1.394023e-04,1.385974e-04,1.378018e-04,1.370157e-04,1.362394e-04,1.354730e-04,1.347166e-04,1.339705e-04,1.332348e-04,1.325094e-04
0.000000e+00,1.311668e-09,3.034901e-09,1.052733e-08,2.402890e-08,3.511216e-08,8.014932e-08,8.258962e-08,1.614456e-07,1.904877e-07,2.818844e-07,3.791259e-07,4.561567e-07,6.758386e-07,6.979963e-07,1.020323e-06,1.110674e-06,1.430464e-06,1.697625e-06,1.924625e-06,2.416634e-06,2.487016e-06,3.095972e-06,3.221494e-06,3.731285e-06,4.066755e-06,4.377571e-06,4.921021e-06,5.024166e-06,5.663826e-06,5.765169e-06,6.291509e-06,6.587424e-06,6.903529e-06,7.379936e-06,7.497042e-06,8.069764e-06,8.137002e-06,8.619837e-06,8.854295e-06,9.145759e-06,9.528570e-06,9.646350e-06,1.012075e-05,1.015755e-05,1.056838e-05,1.073986e-05,1.098896e-05,1.127502e-05,1.138248e-05,1.174916e-05,1.176328e-05,1.208943e-05,1.220558e-05,1.240391e-05,1.260341e-05,1.269337e-05,1.295871e-05,1.320091e-05,1.327370e-05,1.342102e-05,1.355079e-05,1.362012e-05,1.379255e-05,1.379936e-05,1.395985e-05,1.400158e-05,1.410271e-05,1.418044e-05,1.422906e-05,1.433164e-05,1.433997e-05,1.443648e-05,1.445761e-05,1.451958e-05,1.456063e-05,1.459024e-05,1.464286e-05,1.464937e-05,1.469783e-05,1.470631e-05,1.473643e-05,1.475287e-05,1.476595e-05,1.478424e-05,1.478709e-05,1.480053e-05,1.480200e-05,1.480688e-05,1.480759e-05,1.480674e-05,1.480231e-05,1.480063e-05,1.478908e-05,1.478735e-05,1.477253e-05,1.476379e-05,1.475144e-05,1.473261e-05,1.472620e-05,1.469717e-05,1.469470e-05,1.466471e-05,1.465084e-05,1.462913e-05,1.460173e-05,1.459070e-05,1.454970e-05,1.454801e-05,1.450640e-05,1.449030e-05,1.446105e-05,1.442915e-05,1.441385e-05,1.436500e-05,1.431468e-05,1.429829e-05,1.426306e-05,1.422941e-05,1.421030e-05,1.415871e-05,1.415654e-05,1.410191e-05,1.408648e-05,1.404654e-05,1.401300e-05,1.399053e-05,1.393852e-05,1.393398e-05,1.387700e-05,1.386327e-05,1.381968e-05,1.378745e-05,1.376209e-05,1.371125e-05,1.370430e-05,1.364640e-05,1.363481e-05,1.358844e-05,1.355829e-05,1.353048e-05,1.348183e-05,1.347257e-05,1.341476e-05,1.340553e-05,1.335711e-05,1.332950e-05,1.329964e-05,1.325383e-05,1.324241e-05,1.318543e-05,1.317862e-05,1.312876e-05,1.310393e-05,1.307241e-05,1.302982e-05,1.301642e-05,1.296080e-05,1.295637e-05,1.290559e-05,1.288362e-05,1.285079e-05,1.281161e-05,1.279644e-05,1.274254e-05,1.274039e-05,1.268911e-05,1.266999e-05,1.263617e-05,1.260045e-05,1.258372e-05,1.253178e-05,1.246401e-05,1.239716e-05,1.233124e-05,1.226627e-05,1.220227e-05,1.213923e-05,1.207716e-05,1.201607e-05,1.195597e-05,1.189684e-05,1.183869e-05,1.178152e-05,1.172532e-05,1.167009e-05,1.161583e-05,1.156252e-05,1.151017e-05,1.145876e-05,1.140828e-05,1.135873e-05,1.131010e-05,1.126238e-05,1.121555e-05,1.116961e-05
0.000000e+00,1.280267e-11,6.080320e-11,5.883716e-10,2.540451e-09,4.895081e-09,1.946913e-08,2.044223e-08,5.899989e-08,7.591231e-08,1.357015e-07,2.073101e-07,2.682630e-07,4.564871e-07,4.764073e-07,7.807139e-07,8.702166e-07,1.199667e-06,1.489121e-06,1.744928e-06,2.330252e-06,2.417425e-06,3.207007e-06,3.377462e-06,4.095413e-06,4.589110e-06,5.060404e-06,5.913472e-06,6.079190e-06,7.130512e-06,7.300451e-06,8.195588e-06,8.706881e-06,9.258317e-06,1.009763e-05,1.030516e-05,1.132492e-05,1.144501e-05,1.230847e-05,1.272786e-05,1.324865e-05,1.393076e-05,1.414000e-05,1.497865e-05,1.504338e-05,1.576216e-05,1.605983e-05,1.648935e-05,1.697794e-05,1.716009e-05,1.777517e-05,1.779863e-05,1.833608e-05,1.852513e-05,1.884489e-05,1.916236e-05,1.930405e-05,1.971630e-05,2.008454e-05,2.019357e-05,2.041174e-05,2.060097e-05,2.070085e-05,2.094528e-05,2.095480e-05,2.117637e-05,2.123298e-05,2.136824e-05,2.147017e-05,2.153293e-05,2.166247e-05,2.167279e-05,2.179001e-05,2.181500e-05,2.188659e-05,2.193237e-05,2.196441e-05,2.201871e-05,2.202515e-05,2.207038e-05,2.207770e-05,2.210152e-05,2.211257e-05,2.211984e-05,2.212620e-05,2.212654e-05,2.212267e-05,2.212113e-05,2.210920e-05,2.209958e-05,2.208701e-05,2.206353e-05,2.205691e-05,2.201962e-05,2.201469e-05,2.197580e-05,2.195460e-05,2.192605e-05,2.188461e-05,2.187092e-05,2.181091e-05,2.180591e-05,2.174647e-05,2.171955e-05,2.167803e-05,2.162648e-05,2.160595e-05,2.153060e-05,2.152752e-05,2.145228e-05,2.142342e-05,2.137129e-05,2.131483e-05,2.128790e-05,2.120236e-05,2.111488e-05,2.108652e-05,2.102569e-05,2.096780e-05,2.093498e-05,2.084662e-05,2.084292e-05,2.074967e-05,2.072338e-05,2.065540e-05,2.059840e-05,2.056024e-05,2.047202e-05,2.046432e-05,2.036776e-05,2.034451e-05,2.027068e-05,2.021612e-05,2.017317e-05,2.008709e-05,2.007534e-05,1.997727e-05,1.995763e-05,1.987904e-05,1.982793e-05,1.978074e-05,1.969816e-05,1.968244e-05,1.958419e-05,1.956848e-05,1.948607e-05,1.943903e-05,1.938813e-05,1.930994e-05,1.929042e-05,1.919299e-05,1.918132e-05,1.909590e-05,1.905329e-05,1.899917e-05,1.892593e-05,1.890286e-05,1.880699e-05,1.879934e-05,1.871161e-05,1.867359e-05,1.861673e-05,1.854876e-05,1.852240e-05,1.842864e-05,1.842490e-05,1.833547e-05,1.830208e-05,1.824292e-05,1.818034e-05,1.815100e-05,1.805974e-05,1.794030e-05,1.782208e-05,1.770509e-05,1.758938e-05,1.747495e-05,1.736184e-05,1.725005e-05,1.713961e-05,1.703053e-05,1.692282e-05,1.681648e-05,1.671151e-05,1.660793e-05,1.650574e-05,1.640492e-05,1.630549e-05,1.620744e-05,1.611077e-05,1.601546e-05,1.592152e-05,1.582893e-05,1.573770e-05,1.564780e-05,1.555922e-05
0.000000e+00,2.970618e-12,1.535933e-11,1.770620e-10,8.952787e-10,1.879751e-09,9.302427e-09,9.853462e-09,3.511017e-08,4.777839e-08,9.806738e-08,1.670368e-07,2.316867e-07,4.584075e-07,4.844600e-07,9.229974e-07,1.065061e-06,1.633699e-06,2.189431e-06,2.722920e-06,4.093275e-06,4.315480e-06,6.551866e-06,7.089660e-06,9.584646e-06,1.152955e-05,1.357447e-05,1.778591e-05,1.868593e-05,2.508341e-05,2.623715e-05,3.292710e-05,3.725085e-05,4.236917e-05,5.116859e-05,5.355019e-05,6.659599e-05,6.829213e-05,8.161478e-05,8.887160e-05,9.869483e-05,1.130960e-04,1.179026e-04,1.392813e-04,1.410861e-04,1.628502e-04,1.728907e-04,1.886042e-04,2.084846e-04,2.165140e-04,2.465270e-04,2.477702e-04,2.785680e-04,2.905815e-04,3.125414e-04,3.366890e-04,3.483320e-04,3.858080e-04,4.248228e-04,4.376068e-04,4.652171e-04,4.917159e-04,5.068222e-04,5.477383e-04,5.494615e-04,5.929533e-04,6.052588e-04,6.371134e-04,6.638532e-04,6.817567e-04,7.230975e-04,7.266996e-04,7.717619e-04,7.825749e-04,8.167680e-04,8.418837e-04,8.615491e-04,9.006420e-04,9.059438e-04,9.497996e-04,9.584933e-04,9.929734e-04,1.015110e-03,1.035332e-03,1.070195e-03,1.076755e-03,1.117129e-03,1.123485e-03,1.156356e-03,1.174751e-03,1.194347e-03,1.223798e-03,1.231025e-03,1.266322e-03,1.270463e-03,1.300184e-03,1.314617e-03,1.332565e-03,1.356162e-03,1.363430e-03,1.392751e-03,1.395029e-03,1.420511e-03,1.431176e-03,1.446701e-03,1.464584e-03,1.471319e-03,1.494371e-03,1.495260e-03,1.515867e-03,1.523229e-03,1.535827e-03,1.548533e-03,1.554272e-03,1.571231e-03,1.586734e-03,1.591394e-03,1.600818e-03,1.609104e-03,1.613521e-03,1.624454e-03,1.624883e-03,1.634949e-03,1.637541e-03,1.643763e-03,1.648471e-03,1.651373e-03,1.657350e-03,1.657825e-03,1.663168e-03,1.664290e-03,1.667450e-03,1.669403e-03,1.670721e-03,1.672801e-03,1.673029e-03,1.674422e-03,1.674595e-03,1.674949e-03,1.674896e-03,1.674656e-03,1.673811e-03,1.673590e-03,1.671797e-03,1.671445e-03,1.669320e-03,1.667901e-03,1.666202e-03,1.663275e-03,1.662486e-03,1.658211e-03,1.657662e-03,1.653417e-03,1.651153e-03,1.648141e-03,1.643832e-03,1.642421e-03,1.636289e-03,1.635782e-03,1.629781e-03,1.627079e-03,1.622928e-03,1.617796e-03,1.615759e-03,1.608305e-03,1.608001e-03,1.600593e-03,1.597758e-03,1.592648e-03,1.587126e-03,1.584497e-03,1.576161e-03,1.564915e-03,1.553435e-03,1.541766e-03,1.529948e-03,1.518019e-03,1.506013e-03,1.493961e-03,1.481892e-03,1.469832e-03,1.457805e-03,1.445831e-03,1.433929e-03,1.422117e-03,1.410410e-03,1.398821e-03,1.387362e-03,1.376044e-03,1.364875e-03,1.353864e-03,1.343017e-03,1.332339e-03,1.321836e-03,1.311512e-03,1.301368e-03
0.000000e+00,8.121169e-09,2.047552e-08,7.786218e-08,1.856919e-07,2.759059e-07,6.492127e-07,6.696309e-07,1.335225e-06,1.582268e-06,2.362455e-06,3.190692e-06,3.839828e-06,5.626377e-06,5.800049e-06,8.185930e-06,8.811552e-06,1.090678e-05,1.254865e-05,1.388969e-05,1.668899e-05,1.708156e-05,2.043882e-05,2.112655e-05,2.392113e-05,2.576825e-05,2.748912e-05,3.052425e-05,3.110431e-05,3.472994e-05,3.530868e-05,3.833186e-05,4.004322e-05,4.187945e-05,4.466038e-05,4.534611e-05,4.870957e-05,4.910535e-05,5.195187e-05,5.333638e-05,5.505915e-05,5.732405e-05,5.802133e-05,6.083166e-05,6.104980e-05,6.348631e-05,6.450418e-05,6.598383e-05,6.768500e-05,6.832479e-05,7.051134e-05,7.059564e-05,7.254689e-05,7.324354e-05,7.443580e-05,7.563903e-05,7.618309e-05,7.779431e-05,7.927529e-05,7.972268e-05,8.063205e-05,8.143800e-05,8.187068e-05,8.295425e-05,8.299724e-05,8.401771e-05,8.428523e-05,8.493795e-05,8.544436e-05,8.576366e-05,8.644455e-05,8.650033e-05,8.715326e-05,8.729808e-05,8.772754e-05,8.801659e-05,8.822801e-05,8.861103e-05,8.865928e-05,8.902574e-05,8.909162e-05,8.933156e-05,8.946795e-05,8.958073e-05,8.974903e-05,8.977703e-05,8.992406e-05,8.994324e-05,9.002518e-05,9.005835e-05,9.008357e-05,9.010155e-05,9.010225e-05,9.008406e-05,9.007953e-05,9.003170e-05,8.999849e-05,8.994769e-05,8.986414e-05,8.983441e-05,8.969410e-05,8.968177e-05,8.952887e-05,8.945625e-05,8.934072e-05,8.919210e-05,8.913149e-05,8.890293e-05,8.889341e-05,8.865665e-05,8.856395e-05,8.839420e-05,8.820723e-05,8.811702e-05,8.782648e-05,8.752384e-05,8.742464e-05,8.721028e-05,8.700439e-05,8.688690e-05,8.656817e-05,8.655473e-05,8.621474e-05,8.611827e-05,8.586784e-05,8.565674e-05,8.551488e-05,8.518549e-05,8.515665e-05,8.479388e-05,8.470622e-05,8.442726e-05,8.422051e-05,8.405743e-05,8.372981e-05,8.368499e-05,8.331050e-05,8.323540e-05,8.293447e-05,8.273850e-05,8.255740e-05,8.224017e-05,8.217971e-05,8.180185e-05,8.174140e-05,8.142418e-05,8.124308e-05,8.104707e-05,8.074600e-05,8.067085e-05,8.029582e-05,8.025091e-05,7.992226e-05,7.975843e-05,7.955044e-05,7.926916e-05,7.918059e-05,7.881294e-05,7.878363e-05,7.844768e-05,7.830229e-05,7.808500e-05,7.782556e-05,7.772507e-05,7.736804e-05,7.735382e-05,7.701406e-05,7.688739e-05,7.666324e-05,7.642656e-05,7.631571e-05,7.597157e-05,7.552264e-05,7.507996e-05,7.464368e-05,7.421393e-05,7.379083e-05,7.337444e-05,7.296486e-05,7.256211e-05,7.216624e-05,7.177726e-05,7.139518e-05,7.102000e-05,7.065168e-05,7.029021e-05,6.993555e-05,6.958765e-05,6.924646e-05,6.891192e-05,6.858397e-05,6.826253e-05,6.794754e-05,6.763892e-05,6.733658e-05,6.704044e-05
0.000000e+00,2.488885e-10,9.792324e-10,6.689640e-09,2.202551e-08,3.720672e-08,1.108447e-07,1.151917e-07,2.669052e-07,3.267349e-07,5.241578e-07,7.455555e-07,9.271610e-07,1.465955e-06,1.521527e-06,2.341934e-06,2.573469e-06,3.389690e-06,4.064032e-06,4.631127e-06,5.846317e-06,6.019135e-06,7.511915e-06,7.820124e-06,9.078248e-06,9.914025e-06,1.069541e-05,1.208016e-05,1.234583e-05,1.401481e-05,1.428268e-05,1.568915e-05,1.649112e-05,1.735661e-05,1.867789e-05,1.900572e-05,2.062588e-05,2.081788e-05,2.220748e-05,2.288893e-05,2.374202e-05,2.487228e-05,2.522224e-05,2.664211e-05,2.675294e-05,2.799690e-05,2.851977e-05,2.928309e-05,3.016529e-05,3.049831e-05,3.164120e-05,3.168541e-05,3.271136e-05,3.307886e-05,3.370915e-05,3.434681e-05,3.463560e-05,3.549231e-05,3.628127e-05,3.651981e-05,3.700485e-05,3.743482e-05,3.766564e-05,3.824350e-05,3.826642e-05,3.881005e-05,3.895243e-05,3.929946e-05,3.956831e-05,3.973759e-05,4.009788e-05,4.012735e-05,4.047158e-05,4.054773e-05,4.077306e-05,4.092423e-05,4.103448e-05,4.123345e-05,4.125842e-05,4.144735e-05,4.148114e-05,4.160362e-05,4.167273e-05,4.172948e-05,4.181324e-05,4.182704e-05,4.189831e-05,4.190740e-05,4.194518e-05,4.195954e-05,4.196943e-05,4.197369e-05,4.197275e-05,4.195671e-05,4.195356e-05,4.192279e-05,4.190255e-05,4.187236e-05,4.182380e-05,4.180673e-05,4.172712e-05,4.172018e-05,4.163466e-05,4.159431e-05,4.153040e-05,4.144860e-05,4.141536e-05,4.129044e-05,4.128525e-05,4.115651e-05,4.110625e-05,4.101439e-05,4.091345e-05,4.086482e-05,4.070851e-05,4.054610e-05,4.049295e-05,4.037822e-05,4.026817e-05,4.020543e-05,4.003542e-05,4.002825e-05,3.984718e-05,3.979585e-05,3.966268e-05,3.955051e-05,3.947517e-05,3.930035e-05,3.928505e-05,3.909269e-05,3.904623e-05,3.889843e-05,3.878894e-05,3.870259e-05,3.852917e-05,3.850546e-05,3.830732e-05,3.826759e-05,3.810842e-05,3.800477e-05,3.790899e-05,3.774123e-05,3.770926e-05,3.750943e-05,3.747746e-05,3.730968e-05,3.721388e-05,3.711018e-05,3.695087e-05,3.691110e-05,3.671257e-05,3.668879e-05,3.651475e-05,3.642796e-05,3.631774e-05,3.616864e-05,3.612167e-05,3.592665e-05,3.591109e-05,3.573276e-05,3.565554e-05,3.554009e-05,3.540217e-05,3.534873e-05,3.515875e-05,3.515118e-05,3.497022e-05,3.490271e-05,3.478319e-05,3.465690e-05,3.459772e-05,3.441387e-05,3.417372e-05,3.393655e-05,3.370242e-05,3.347141e-05,3.324356e-05,3.301893e-05,3.279754e-05,3.257942e-05,3.236459e-05,3.215306e-05,3.194484e-05,3.173993e-05,3.153833e-05,3.134002e-05,3.114499e-05,3.095323e-05,3.076471e-05,3.057941e-05,3.039731e-05,3.021837e-05,3.004257e-05,2.986987e-05,2.970023e-05,2.953364e-05
0.000000e+00,7.886374e-11,3.270677e-10,2.448376e-09,8.601378e-09,1.495892e-08,4.718235e-08,4.912243e-08,1.177872e-07,1.450852e-07,2.352005e-07,3.358798e-07,4.181127e-07,6.613932e-07,6.865308e-07,1.062294e-06,1.170648e-06,1.563380e-06,1.901564e-06,2.195604e-06,2.852983e-06,2.949211e-06,3.804183e-06,3.985366e-06,4.738479e-06,5.249181e-06,5.733100e-06,6.604281e-06,6.773269e-06,7.847656e-06,8.022107e-06,8.947226e-06,9.481670e-06,1.006428e-05,1.096581e-05,1.119184e-05,1.232334e-05,1.245909e-05,1.345249e-05,1.394700e-05,1.457322e-05,1.541577e-05,1.567975e-05,1.676664e-05,1.685259e-05,1.782888e-05,1.824582e-05,1.886187e-05,1.958524e-05,1.986160e-05,2.082460e-05,2.086231e-05,2.174798e-05,2.207023e-05,2.262943e-05,2.320396e-05,2.346721e-05,2.426008e-05,2.500732e-05,2.523675e-05,2.570868e-05,2.613352e-05,2.636430e-05,2.695112e-05,2.697467e-05,2.754056e-05,2.769117e-05,2.806295e-05,2.835599e-05,2.854302e-05,2.894844e-05,2.898209e-05,2.938161e-05,2.947179e-05,2.974317e-05,2.992969e-05,3.006845e-05,3.032609e-05,3.035921e-05,3.061717e-05,3.066498e-05,3.084407e-05,3.095037e-05,3.104169e-05,3.118634e-05,3.121178e-05,3.135623e-05,3.137709e-05,3.147695e-05,3.152695e-05,3.157558e-05,3.163958e-05,3.165361e-05,3.171241e-05,3.171824e-05,3.175332e-05,3.176598e-05,3.177759e-05,3.178562e-05,3.178638e-05,3.178083e-05,3.177980e-05,3.176201e-05,3.175100e-05,3.173094e-05,3.170150e-05,3.168854e-05,3.163571e-05,3.163340e-05,3.157330e-05,3.154864e-05,3.150209e-05,3.144902e-05,3.142282e-05,3.133619e-05,3.124283e-05,3.121164e-05,3.114336e-05,3.107675e-05,3.103834e-05,3.093278e-05,3.092829e-05,3.081371e-05,3.078088e-05,3.069507e-05,3.062211e-05,3.057279e-05,3.045742e-05,3.044727e-05,3.031888e-05,3.028768e-05,3.018797e-05,3.011368e-05,3.005486e-05,2.993615e-05,2.991986e-05,2.978323e-05,2.975573e-05,2.964524e-05,2.957302e-05,2.950612e-05,2.938856e-05,2.936611e-05,2.922540e-05,2.920283e-05,2.908419e-05,2.901628e-05,2.894265e-05,2.882929e-05,2.880094e-05,2.865923e-05,2.864223e-05,2.851764e-05,2.845542e-05,2.837631e-05,2.826915e-05,2.823536e-05,2.809488e-05,2.808367e-05,2.795499e-05,2.789922e-05,2.781578e-05,2.771602e-05,2.767733e-05,2.753972e-05,2.753423e-05,2.740301e-05,2.735403e-05,2.726727e-05,2.717556e-05,2.713257e-05,2.699895e-05,2.682431e-05,2.665174e-05,2.648133e-05,2.631314e-05,2.614724e-05,2.598369e-05,2.582251e-05,2.566376e-05,2.550746e-05,2.535362e-05,2.520227e-05,2.505341e-05,2.490705e-05,2.476319e-05,2.462182e-05,2.448293e-05,2.434652e-05,2.421257e-05,2.408106e-05,2.395198e-05,2.382530e-05,2.370100e-05,2.357906e-05,2.345944e-05
0.000000e+00,6.541209e-13,3.362079e-12,3.827722e-11,1.913023e-10,3.990604e-10,1.941170e-09,2.054691e-09,7.192638e-09,9.739620e-09,1.973974e-08,3.327166e-08,4.582897e-08,8.924711e-08,9.419020e-08,1.764505e-07,2.028042e-07,3.072975e-07,4.082707e-07,5.044121e-07,7.487616e-07,7.880978e-07,1.180634e-06,1.274256e-06,1.705471e-06,2.038578e-06,2.386395e-06,3.096087e-06,3.246729e-06,4.308623e-06,4.498621e-06,5.592446e-06,6.292917e-06,7.116271e-06,8.518553e-06,8.895457e-06,1.094232e-05,1.120640e-05,1.326591e-05,1.437752e-05,1.587182e-05,1.804253e-05,1.876212e-05,2.193539e-05,2.220135e-05,2.538673e-05,2.684340e-05,2.910794e-05,3.194807e-05,3.308769e-05,3.731179e-05,3.748561e-05,4.176347e-05,4.341818e-05,4.642371e-05,4.970121e-05,5.127162e-05,5.628476e-05,6.143957e-05,6.311507e-05,6.671171e-05,7.013603e-05,7.207643e-05,7.729062e-05,7.750891e-05,8.298459e-05,8.452224e-05,8.847946e-05,9.177588e-05,9.397028e-05,9.899918e-05,9.943487e-05,1.048523e-04,1.061432e-04,1.102028e-04,1.131631e-04,1.154684e-04,1.200186e-04,1.206324e-04,1.256800e-04,1.266743e-04,1.305978e-04,1.330998e-04,1.353741e-04,1.392695e-04,1.399989e-04,1.444639e-04,1.451629e-04,1.487619e-04,1.507641e-04,1.528876e-04,1.560613e-04,1.568369e-04,1.606069e-04,1.610471e-04,1.641959e-04,1.657176e-04,1.676035e-04,1.700722e-04,1.708302e-04,1.738772e-04,1.741132e-04,1.767467e-04,1.778455e-04,1.794417e-04,1.812759e-04,1.819656e-04,1.843225e-04,1.844133e-04,1.865167e-04,1.872677e-04,1.885532e-04,1.898504e-04,1.904370e-04,1.921735e-04,1.937682e-04,1.942495e-04,1.952267e-04,1.960914e-04,1.965548e-04,1.977123e-04,1.977581e-04,1.988424e-04,1.991254e-04,1.998132e-04,2.003436e-04,2.006762e-04,2.013795e-04,2.014368e-04,2.021003e-04,2.022457e-04,2.026719e-04,2.029539e-04,2.031568e-04,2.035156e-04,2.035598e-04,2.038856e-04,2.039419e-04,2.041387e-04,2.042431e-04,2.043236e-04,2.044291e-04,2.044443e-04,2.045050e-04,2.045093e-04,2.045093e-04,2.044925e-04,2.044610e-04,2.043867e-04,2.043635e-04,2.042200e-04,2.041999e-04,2.040338e-04,2.039391e-04,2.038078e-04,2.036111e-04,2.035447e-04,2.032473e-04,2.032221e-04,2.029179e-04,2.027778e-04,2.025590e-04,2.022836e-04,2.021728e-04,2.017614e-04,2.017445e-04,2.013268e-04,2.011650e-04,2.008708e-04,2.005494e-04,2.003951e-04,1.999015e-04,1.992250e-04,1.985232e-04,1.977990e-04,1.970553e-04,1.962947e-04,1.955195e-04,1.947319e-04,1.939337e-04,1.931270e-04,1.923132e-04,1.914941e-04,1.906708e-04,1.898448e-04,1.890171e-04,1.881889e-04,1.873611e-04,1.865347e-04,1.857103e-04,1.848888e-04,1.840709e-04,1.832570e-04,1.824479e-04,1.816440e-04,1.808457e-04
0.000000e+00,7.240313e-12,3.745296e-11,4.322248e-10,2.187963e-09,4.597170e-09,2.279984e-08,2.415284e-08,8.630383e-08,1.175482e-07,2.418832e-07,4.129752e-07,5.738023e-07,1.140358e-06,1.205673e-06,2.310281e-06,2.669933e-06,4.116833e-06,5.540516e-06,6.914685e-06,1.047131e-05,1.105108e-05,1.692234e-05,1.834233e-05,2.496032e-05,3.014597e-05,3.561670e-05,4.692506e-05,4.934703e-05,6.659589e-05,6.971077e-05,8.778370e-05,9.946759e-05,1.132953e-04,1.370480e-04,1.434708e-04,1.785981e-04,1.831577e-04,2.189073e-04,2.383309e-04,2.645676e-04,3.029156e-04,3.156848e-04,3.723014e-04,3.770681e-04,4.343976e-04,4.607544e-04,5.018935e-04,5.537596e-04,5.746527e-04,6.524865e-04,6.557022e-04,7.351587e-04,7.660528e-04,8.223912e-04,8.841551e-04,9.138697e-04,1.009249e-03,1.108162e-03,1.140496e-03,1.210218e-03,1.277000e-03,1.315019e-03,1.417829e-03,1.422154e-03,1.531214e-03,1.562039e-03,1.641787e-03,1.708689e-03,1.753470e-03,1.856858e-03,1.865867e-03,1.978595e-03,2.005658e-03,2.091288e-03,2.154248e-03,2.203593e-03,2.301837e-03,2.315179e-03,2.425734e-03,2.447696e-03,2.534969e-03,2.591159e-03,2.642614e-03,2.731628e-03,2.748425e-03,2.852178e-03,2.868574e-03,2.953671e-03,3.001532e-03,3.052726e-03,3.130107e-03,3.149185e-03,3.242910e-03,3.253967e-03,3.333785e-03,3.372841e-03,3.421712e-03,3.486516e-03,3.506612e-03,3.588421e-03,3.594831e-03,3.667094e-03,3.697677e-03,3.742598e-03,3.794989e-03,3.814917e-03,3.884045e-03,3.886744e-03,3.949989e-03,3.972953e-03,4.012768e-03,4.053663e-03,4.072409e-03,4.128948e-03,4.182430e-03,4.198906e-03,4.232905e-03,4.263658e-03,4.280431e-03,4.323340e-03,4.325071e-03,4.366892e-03,4.378106e-03,4.405965e-03,4.428120e-03,4.442364e-03,4.473556e-03,4.476166e-03,4.507452e-03,4.514594e-03,4.536300e-03,4.551421e-03,4.562794e-03,4.584226e-03,4.587015e-03,4.609047e-03,4.613198e-03,4.628973e-03,4.638530e-03,4.646875e-03,4.660409e-03,4.662835e-03,4.676934e-03,4.679023e-03,4.689253e-03,4.694556e-03,4.699869e-03,4.707188e-03,4.708860e-03,4.716302e-03,4.717095e-03,4.722270e-03,4.724447e-03,4.726834e-03,4.729408e-03,4.730066e-03,4.732034e-03,4.732139e-03,4.732804e-03,4.732791e-03,4.732441e-03,4.731513e-03,4.731007e-03,4.728562e-03,4.728444e-03,4.725164e-03,4.723718e-03,4.720869e-03,4.717464e-03,4.715731e-03,4.709803e-03,4.700852e-03,4.690719e-03,4.679509e-03,4.667321e-03,4.654245e-03,4.640370e-03,4.625777e-03,4.610544e-03,4.594741e-03,4.578438e-03,4.561696e-03,4.544576e-03,4.527132e-03,4.509415e-03,4.491473e-03,4.473351e-03,4.455089e-03,4.436726e-03,4.418297e-03,4.399834e-03,4.381367e-03,4.362924e-03,4.344531e-03,4.326209e-03
0.000000e+00,4.930629e-09,1.161333e-08,4.131791e-08,9.609498e-08,1.418254e-07,3.325707e-07,3.430937e-07,6.913465e-07,8.230676e-07,1.247303e-06,1.711574e-06,2.086362e-06,3.175020e-06,3.285655e-06,4.891172e-06,5.336470e-06,6.886290e-06,8.149202e-06,9.202821e-06,1.144406e-05,1.176157e-05,1.449757e-05,1.506161e-05,1.736337e-05,1.889295e-05,2.032411e-05,2.286455e-05,2.335272e-05,2.642663e-05,2.692130e-05,2.952609e-05,3.101764e-05,3.263338e-05,3.511397e-05,3.573240e-05,3.880866e-05,3.917565e-05,4.184928e-05,4.317290e-05,4.484297e-05,4.708077e-05,4.778005e-05,5.065235e-05,5.087912e-05,5.345315e-05,5.455220e-05,5.617705e-05,5.808827e-05,5.881989e-05,6.137858e-05,6.147914e-05,6.385094e-05,6.471958e-05,6.623563e-05,6.780676e-05,6.853196e-05,7.073984e-05,7.285964e-05,7.351949e-05,7.489215e-05,7.614763e-05,7.683846e-05,7.862707e-05,7.869992e-05,8.047811e-05,8.096131e-05,8.217474e-05,8.315434e-05,8.379167e-05,8.521052e-05,8.533084e-05,8.679427e-05,8.713445e-05,8.818401e-05,8.893085e-05,8.950214e-05,9.060455e-05,9.075079e-05,9.193204e-05,9.216039e-05,9.304800e-05,9.360319e-05,9.410075e-05,9.493772e-05,9.509236e-05,9.602486e-05,9.616870e-05,9.690025e-05,9.730074e-05,9.772052e-05,9.833833e-05,9.848758e-05,9.920335e-05,9.928588e-05,9.986967e-05,1.001477e-04,1.004884e-04,1.009278e-04,1.010612e-04,1.015899e-04,1.016303e-04,1.020761e-04,1.022591e-04,1.025215e-04,1.028178e-04,1.029277e-04,1.032962e-04,1.033102e-04,1.036285e-04,1.037396e-04,1.039262e-04,1.041095e-04,1.041905e-04,1.044230e-04,1.046248e-04,1.046832e-04,1.047974e-04,1.048931e-04,1.049420e-04,1.050556e-04,1.050598e-04,1.051519e-04,1.051733e-04,1.052196e-04,1.052489e-04,1.052638e-04,1.052848e-04,1.052857e-04,1.052864e-04,1.052835e-04,1.052667e-04,1.052472e-04,1.052277e-04,1.051781e-04,1.051702e-04,1.050953e-04,1.050782e-04,1.050036e-04,1.049497e-04,1.048962e-04,1.047943e-04,1.047737e-04,1.046370e-04,1.046138e-04,1.044867e-04,1.044100e-04,1.043237e-04,1.041846e-04,1.041486e-04,1.039621e-04,1.039390e-04,1.037648e-04,1.036747e-04,1.035573e-04,1.033932e-04,1.033403e-04,1.031142e-04,1.030958e-04,1.028797e-04,1.027837e-04,1.026373e-04,1.024582e-04,1.023875e-04,1.021307e-04,1.021203e-04,1.018675e-04,1.017713e-04,1.015983e-04,1.014121e-04,1.013236e-04,1.010436e-04,1.006669e-04,1.002827e-04,9.989194e-05,9.949533e-05,9.909364e-05,9.868755e-05,9.827771e-05,9.786475e-05,9.744923e-05,9.703171e-05,9.661270e-05,9.619268e-05,9.577211e-05,9.535140e-05,9.493096e-05,9.451116e-05,9.409233e-05,9.367482e-05,9.325891e-05,9.284491e-05,9.243305e-05,9.202359e-05,9.161677e-05,9.121277e-05
0.000000e+00,5.835244e-13,2.972492e-12,3.321031e-11,1.631053e-10,3.369546e-10,1.597893e-09,1.689571e-09,5.764196e-09,7.750395e-09,1.542987e-08,2.563164e-08,3.497097e-08,6.666589e-08,7.023078e-08,1.286925e-07,1.471568e-07,2.194955e-07,2.884050e-07,3.533472e-07,5.162528e-07,5.422459e-07,7.989502e-07,8.595604e-07,1.136224e-06,1.347465e-06,1.566001e-06,2.006129e-06,2.098626e-06,2.742278e-06,2.855981e-06,3.502619e-06,3.910012e-06,4.382642e-06,5.173145e-06,5.382685e-06,6.500571e-06,6.642446e-06,7.731826e-06,8.307886e-06,9.069953e-06,1.015340e-05,1.050673e-05,1.203253e-05,1.215812e-05,1.363660e-05,1.429759e-05,1.530742e-05,1.654496e-05,1.703290e-05,1.880072e-05,1.887214e-05,2.059855e-05,2.125076e-05,2.241423e-05,2.365308e-05,2.423601e-05,2.605269e-05,2.785372e-05,2.842514e-05,2.962939e-05,3.074837e-05,3.137081e-05,3.300298e-05,3.307005e-05,3.472012e-05,3.517248e-05,3.631498e-05,3.724326e-05,3.784958e-05,3.920459e-05,3.931975e-05,4.072225e-05,4.104850e-05,4.205467e-05,4.276958e-05,4.331538e-05,4.436474e-05,4.450346e-05,4.561865e-05,4.583296e-05,4.666127e-05,4.717501e-05,4.763216e-05,4.839319e-05,4.853258e-05,4.936421e-05,4.949101e-05,5.012899e-05,5.047299e-05,5.082917e-05,5.134441e-05,5.146716e-05,5.204554e-05,5.211107e-05,5.256701e-05,5.277913e-05,5.303431e-05,5.335495e-05,5.345024e-05,5.381758e-05,5.384495e-05,5.413911e-05,5.425550e-05,5.441754e-05,5.459283e-05,5.465555e-05,5.485572e-05,5.486297e-05,5.502054e-05,5.507169e-05,5.515242e-05,5.522445e-05,5.525365e-05,5.532642e-05,5.537281e-05,5.538240e-05,5.539478e-05,5.539690e-05,5.539420e-05,5.537405e-05,5.537282e-05,5.533227e-05,5.531770e-05,5.527411e-05,5.523136e-05,5.519977e-05,5.511824e-05,5.511060e-05,5.500785e-05,5.498130e-05,5.489269e-05,5.482320e-05,5.476623e-05,5.464638e-05,5.462945e-05,5.448331e-05,5.445303e-05,5.432867e-05,5.424517e-05,5.416634e-05,5.402459e-05,5.399707e-05,5.382155e-05,5.379293e-05,5.364042e-05,5.355166e-05,5.345427e-05,5.330210e-05,5.326365e-05,5.306906e-05,5.304547e-05,5.287098e-05,5.278283e-05,5.266984e-05,5.251517e-05,5.246603e-05,5.225993e-05,5.224335e-05,5.205188e-05,5.196818e-05,5.184218e-05,5.169035e-05,5.163114e-05,5.141902e-05,5.141052e-05,5.120607e-05,5.112925e-05,5.099251e-05,5.084706e-05,5.077857e-05,5.056443e-05,5.028177e-05,4.999947e-05,4.971786e-05,4.943726e-05,4.915792e-05,4.888012e-05,4.860405e-05,4.832993e-05,4.805793e-05,4.778821e-05,4.752090e-05,4.725615e-05,4.699405e-05,4.673471e-05,4.647821e-05,4.622462e-05,4.597402e-05,4.572646e-05,4.548198e-05,4.524062e-05,4.500241e-05,4.476738e-05,4.453555e-05,4.430694e-05
0.000000e+00,6.564776e-11,2.940973e-10,2.540089e-09,9.973867e-09,1.830452e-08,6.489043e-08,6.783718e-08,1.772893e-07,2.225423e-07,3.753322e-07,5.491180e-07,6.919692e-07,1.114494e-06,1.157989e-06,1.802684e-06,1.986733e-06,2.648691e-06,3.215120e-06,3.707391e-06,4.815473e-06,4.979152e-06,6.457165e-06,6.776649e-06,8.131172e-06,9.075242e-06,9.989387e-06,1.168328e-05,1.201897e-05,1.420587e-05,1.456937e-05,1.653469e-05,1.769804e-05,1.898859e-05,2.102966e-05,2.154950e-05,2.419841e-05,2.452127e-05,2.691584e-05,2.812817e-05,2.968223e-05,3.180561e-05,3.247840e-05,3.528591e-05,3.551048e-05,3.808744e-05,3.920273e-05,4.086697e-05,4.284642e-05,4.361002e-05,4.630374e-05,4.641030e-05,4.893692e-05,4.986817e-05,5.150004e-05,5.319881e-05,5.398513e-05,5.638578e-05,5.869694e-05,5.941696e-05,6.091484e-05,6.228411e-05,6.303688e-05,6.498238e-05,6.506148e-05,6.698795e-05,6.750978e-05,6.881639e-05,6.986665e-05,7.054746e-05,7.205509e-05,7.218238e-05,7.372276e-05,7.407860e-05,7.517061e-05,7.594183e-05,7.652820e-05,7.765017e-05,7.779799e-05,7.898264e-05,7.920959e-05,8.008494e-05,8.062656e-05,8.110780e-05,8.190775e-05,8.205414e-05,8.292692e-05,8.305994e-05,8.372919e-05,8.409014e-05,8.446406e-05,8.500549e-05,8.513459e-05,8.574368e-05,8.581278e-05,8.629413e-05,8.651846e-05,8.678869e-05,8.712879e-05,8.722998e-05,8.762055e-05,8.764967e-05,8.796284e-05,8.808679e-05,8.825928e-05,8.844562e-05,8.851217e-05,8.872376e-05,8.873139e-05,8.889614e-05,8.894899e-05,8.903136e-05,8.910309e-05,8.913139e-05,8.919813e-05,8.923341e-05,8.923835e-05,8.923898e-05,8.922772e-05,8.921650e-05,8.917000e-05,8.916755e-05,8.909368e-05,8.906872e-05,8.899631e-05,8.892721e-05,8.887687e-05,8.874862e-05,8.873667e-05,8.857699e-05,8.853590e-05,8.839904e-05,8.829185e-05,8.820399e-05,8.801907e-05,8.799294e-05,8.776693e-05,8.772003e-05,8.752698e-05,8.739700e-05,8.727403e-05,8.705217e-05,8.700899e-05,8.673273e-05,8.668754e-05,8.644607e-05,8.630501e-05,8.614980e-05,8.590636e-05,8.584466e-05,8.553135e-05,8.549324e-05,8.521056e-05,8.506720e-05,8.488291e-05,8.462969e-05,8.454901e-05,8.420945e-05,8.418205e-05,8.386475e-05,8.372555e-05,8.351544e-05,8.326135e-05,8.316200e-05,8.280491e-05,8.279055e-05,8.244459e-05,8.231417e-05,8.208147e-05,8.183315e-05,8.171594e-05,8.134837e-05,8.086064e-05,8.037072e-05,7.987932e-05,7.938708e-05,7.889460e-05,7.840243e-05,7.791108e-05,7.742103e-05,7.693271e-05,7.644651e-05,7.596280e-05,7.548190e-05,7.500414e-05,7.452977e-05,7.405906e-05,7.359223e-05,7.312948e-05,7.267100e-05,7.221696e-05,7.176750e-05,7.132276e-05,7.088284e-05,7.044785e-05,7.001788e-05
0.000000e+00,6.813258e-12,3.475597e-11,3.895503e-10,1.919498e-09,3.973385e-09,1.895548e-08,2.004849e-08,6.891015e-08,9.287129e-08,1.861028e-07,3.110130e-07,4.261572e-07,8.209551e-07,8.656663e-07,1.604805e-06,1.839938e-06,2.765507e-06,3.650557e-06,4.485443e-06,6.576447e-06,6.909247e-06,1.017941e-05,1.094691e-05,1.442838e-05,1.706405e-05,1.977245e-05,2.517852e-05,2.630742e-05,3.410577e-05,3.547428e-05,4.321511e-05,4.806076e-05,5.365772e-05,6.297078e-05,6.543092e-05,7.850817e-05,8.016298e-05,9.284085e-05,9.952797e-05,1.083605e-04,1.208971e-04,1.249814e-04,1.426035e-04,1.440533e-04,1.611153e-04,1.687425e-04,1.803970e-04,1.946863e-04,2.003232e-04,2.207662e-04,2.215929e-04,2.415980e-04,2.491682e-04,2.626926e-04,2.771247e-04,2.839283e-04,3.051891e-04,3.263659e-04,3.331080e-04,3.473576e-04,3.606522e-04,3.680719e-04,3.876190e-04,3.884253e-04,4.083436e-04,4.138338e-04,4.277621e-04,4.391495e-04,4.466246e-04,4.634464e-04,4.648840e-04,4.825013e-04,4.866303e-04,4.994452e-04,5.086304e-04,5.156917e-04,5.293977e-04,5.312233e-04,5.460286e-04,5.489018e-04,5.601014e-04,5.671293e-04,5.734407e-04,5.840808e-04,5.860493e-04,5.979339e-04,5.997689e-04,6.091046e-04,6.142165e-04,6.195738e-04,6.274542e-04,6.293566e-04,6.384699e-04,6.395193e-04,6.469320e-04,6.504540e-04,6.547626e-04,6.603042e-04,6.619823e-04,6.686125e-04,6.691181e-04,6.746751e-04,6.769460e-04,6.801920e-04,6.838388e-04,6.851855e-04,6.896778e-04,6.898474e-04,6.936911e-04,6.950228e-04,6.972470e-04,6.994149e-04,7.003672e-04,7.030726e-04,7.053839e-04,7.060435e-04,7.073211e-04,7.083737e-04,7.089038e-04,7.101074e-04,7.101510e-04,7.110811e-04,7.112871e-04,7.117117e-04,7.119535e-04,7.120600e-04,7.121453e-04,7.121425e-04,7.119750e-04,7.118993e-04,7.115727e-04,7.112504e-04,7.109504e-04,7.102317e-04,7.101219e-04,7.091007e-04,7.088745e-04,7.078996e-04,7.072081e-04,7.065310e-04,7.052605e-04,7.050065e-04,7.033373e-04,7.030576e-04,7.015341e-04,7.006239e-04,6.996069e-04,6.979824e-04,6.975654e-04,6.954187e-04,6.951545e-04,6.931756e-04,6.921603e-04,6.908444e-04,6.890186e-04,6.884329e-04,6.859485e-04,6.857468e-04,6.833983e-04,6.823613e-04,6.807890e-04,6.788772e-04,6.781268e-04,6.754178e-04,6.753086e-04,6.726676e-04,6.716685e-04,6.698815e-04,6.679690e-04,6.670645e-04,6.642213e-04,6.604359e-04,6.566221e-04,6.527889e-04,6.489443e-04,6.450957e-04,6.412500e-04,6.374134e-04,6.335915e-04,6.297896e-04,6.260123e-04,6.222640e-04,6.185484e-04,6.148689e-04,6.112288e-04,6.076307e-04,6.040771e-04,6.005701e-04,5.971116e-04,5.937033e-04,5.903466e-04,5.870427e-04,5.837925e-04,5.805970e-04,5.774566e-04
0.000000e+00,1.923523e-09,4.416942e-09,1.525583e-08,3.481564e-08,5.086673e-08,1.157476e-07,1.192423e-07,2.308393e-07,2.712856e-07,3.964200e-07,5.263527e-07,6.272730e-07,9.074496e-07,9.352031e-07,1.332105e-06,1.441854e-06,1.828855e-06,2.153775e-06,2.433309e-06,3.056360e-06,3.147825e-06,3.967784e-06,4.143571e-06,4.882593e-06,5.391301e-06,5.878668e-06,6.768069e-06,6.942243e-06,8.060820e-06,8.244145e-06,9.223459e-06,9.794314e-06,1.042055e-05,1.139725e-05,1.164353e-05,1.288458e-05,1.303438e-05,1.413657e-05,1.468919e-05,1.539290e-05,1.634690e-05,1.664757e-05,1.789508e-05,1.799443e-05,1.913053e-05,1.962033e-05,2.034953e-05,2.121486e-05,2.154826e-05,2.272341e-05,2.276989e-05,2.387218e-05,2.427882e-05,2.499225e-05,2.573650e-05,2.608170e-05,2.713905e-05,2.816314e-05,2.848368e-05,2.915315e-05,2.976860e-05,3.010852e-05,3.099280e-05,3.102894e-05,3.191433e-05,3.215597e-05,3.276476e-05,3.325832e-05,3.358046e-05,3.430054e-05,3.436179e-05,3.510923e-05,3.528363e-05,3.582332e-05,3.620888e-05,3.650470e-05,3.707780e-05,3.715405e-05,3.777210e-05,3.789202e-05,3.835960e-05,3.865329e-05,3.891735e-05,3.936345e-05,3.944615e-05,3.994682e-05,4.002437e-05,4.042019e-05,4.063795e-05,4.086707e-05,4.120607e-05,4.128831e-05,4.168470e-05,4.173064e-05,4.205708e-05,4.221352e-05,4.240623e-05,4.265654e-05,4.273295e-05,4.303802e-05,4.306151e-05,4.332220e-05,4.343019e-05,4.358623e-05,4.376428e-05,4.383085e-05,4.405678e-05,4.406544e-05,4.426471e-05,4.433529e-05,4.445533e-05,4.457539e-05,4.462929e-05,4.478725e-05,4.492984e-05,4.497232e-05,4.505766e-05,4.513199e-05,4.517132e-05,4.526763e-05,4.527138e-05,4.535842e-05,4.538053e-05,4.543297e-05,4.547193e-05,4.549557e-05,4.554304e-05,4.554672e-05,4.558692e-05,4.559499e-05,4.561665e-05,4.562890e-05,4.563637e-05,4.564581e-05,4.564654e-05,4.564759e-05,4.564674e-05,4.563993e-05,4.563265e-05,4.562398e-05,4.560446e-05,4.560013e-05,4.556876e-05,4.556306e-05,4.553023e-05,4.550929e-05,4.548489e-05,4.544396e-05,4.543310e-05,4.537517e-05,4.536782e-05,4.531142e-05,4.528161e-05,4.524217e-05,4.518603e-05,4.516770e-05,4.508830e-05,4.508174e-05,4.500424e-05,4.496938e-05,4.491579e-05,4.484953e-05,4.482320e-05,4.472672e-05,4.472278e-05,4.462657e-05,4.458966e-05,4.452299e-05,4.445070e-05,4.441618e-05,4.430637e-05,4.415715e-05,4.400348e-05,4.384576e-05,4.368441e-05,4.351978e-05,4.335224e-05,4.318212e-05,4.300974e-05,4.283538e-05,4.265935e-05,4.248189e-05,4.230327e-05,4.212371e-05,4.194345e-05,4.176268e-05,4.158160e-05,4.140040e-05,4.121925e-05,4.103831e-05,4.085772e-05,4.067765e-05,4.049820e-05,4.031951e-05,4.014169e-05
0.000000e+00,9.552807e-12,4.605830e-11,4.596904e-10,2.040252e-09,3.989654e-09,1.645563e-08,1.730259e-08,5.159134e-08,6.692025e-08,1.218876e-07,1.886921e-07,2.460568e-07,4.248509e-07,4.438749e-07,7.362590e-07,8.228661e-07,1.144381e-06,1.431046e-06,1.688260e-06,2.292796e-06,2.384924e-06,3.246898e-06,3.439876e-06,4.281673e-06,4.889145e-06,5.492060e-06,6.643798e-06,6.876972e-06,8.432225e-06,8.696458e-06,1.015115e-05,1.103188e-05,1.202503e-05,1.362875e-05,1.404344e-05,1.619445e-05,1.646088e-05,1.846494e-05,1.949819e-05,2.084079e-05,2.270783e-05,2.330723e-05,2.584912e-05,2.605527e-05,2.845120e-05,2.950552e-05,3.109846e-05,3.302426e-05,3.377632e-05,3.647088e-05,3.657882e-05,3.916908e-05,4.013897e-05,4.185885e-05,4.367741e-05,4.452918e-05,4.717018e-05,4.977307e-05,5.059667e-05,5.233021e-05,5.393969e-05,5.483502e-05,5.718524e-05,5.728195e-05,5.966638e-05,6.032229e-05,6.198458e-05,6.334247e-05,6.423363e-05,6.623975e-05,6.641130e-05,6.851602e-05,6.901017e-05,7.054677e-05,7.165147e-05,7.250303e-05,7.416284e-05,7.438471e-05,7.619206e-05,7.654466e-05,7.792569e-05,7.879830e-05,7.958642e-05,8.092588e-05,8.117533e-05,8.269366e-05,8.293013e-05,8.414281e-05,8.481426e-05,8.552428e-05,8.658182e-05,8.683969e-05,8.809072e-05,8.823660e-05,8.927909e-05,8.978258e-05,9.040657e-05,9.122383e-05,9.147494e-05,9.248602e-05,9.256448e-05,9.344159e-05,9.380869e-05,9.434347e-05,9.496057e-05,9.519343e-05,9.599323e-05,9.602421e-05,9.674462e-05,9.700360e-05,9.744930e-05,9.790266e-05,9.810895e-05,9.872523e-05,9.929975e-05,9.947503e-05,9.983407e-05,1.001557e-04,1.003298e-04,1.007706e-04,1.007883e-04,1.012111e-04,1.013233e-04,1.015997e-04,1.018170e-04,1.019554e-04,1.022547e-04,1.022795e-04,1.025734e-04,1.026396e-04,1.028383e-04,1.029745e-04,1.030755e-04,1.032622e-04,1.032861e-04,1.034713e-04,1.035054e-04,1.036322e-04,1.037066e-04,1.037699e-04,1.038684e-04,1.038854e-04,1.039797e-04,1.039929e-04,1.040539e-04,1.040826e-04,1.041087e-04,1.041394e-04,1.041453e-04,1.041643e-04,1.041655e-04,1.041667e-04,1.041627e-04,1.041533e-04,1.041331e-04,1.041249e-04,1.040822e-04,1.040782e-04,1.040260e-04,1.039999e-04,1.039569e-04,1.038996e-04,1.038757e-04,1.037830e-04,1.037790e-04,1.036794e-04,1.036395e-04,1.035655e-04,1.034825e-04,1.034419e-04,1.033092e-04,1.031209e-04,1.029188e-04,1.027040e-04,1.024775e-04,1.022405e-04,1.019937e-04,1.017381e-04,1.014746e-04,1.012039e-04,1.009269e-04,1.006441e-04,1.003564e-04,1.000643e-04,9.976840e-05,9.946930e-05,9.916752e-05,9.886355e-05,9.855786e-05,9.825088e-05,9.794303e-05,9.763469e-05,9.732620e-05,9.701792e-05,9.671015e-05
0.000000e+00,6.705508e-12,3.205380e-11,3.140657e-10,1.369685e-09,2.652003e-09,1.065437e-08,1.119055e-08,3.248160e-08,4.182302e-08,7.477653e-08,1.140490e-07,1.472997e-07,2.490495e-07,2.597464e-07,4.219491e-07,4.693534e-07,6.433796e-07,7.963457e-07,9.320502e-07,1.245670e-06,1.292825e-06,1.725958e-06,1.820935e-06,2.226774e-06,2.511186e-06,2.786608e-06,3.294417e-06,3.394395e-06,4.038203e-06,4.143765e-06,4.706355e-06,5.032504e-06,5.388063e-06,5.936681e-06,6.073702e-06,6.754847e-06,6.835924e-06,7.424194e-06,7.713319e-06,8.075479e-06,8.555076e-06,8.703394e-06,9.303515e-06,9.350211e-06,9.872261e-06,1.009032e-05,1.040685e-05,1.076944e-05,1.090526e-05,1.136620e-05,1.138384e-05,1.178901e-05,1.193187e-05,1.217367e-05,1.241367e-05,1.252065e-05,1.283089e-05,1.310568e-05,1.318638e-05,1.334662e-05,1.348389e-05,1.355553e-05,1.372775e-05,1.373435e-05,1.388517e-05,1.392266e-05,1.401008e-05,1.407345e-05,1.411117e-05,1.418490e-05,1.419049e-05,1.425002e-05,1.426157e-05,1.429161e-05,1.430774e-05,1.431705e-05,1.432737e-05,1.432797e-05,1.432593e-05,1.432409e-05,1.431234e-05,1.430116e-05,1.428853e-05,1.426151e-05,1.425569e-05,1.421493e-05,1.420774e-05,1.416724e-05,1.414217e-05,1.411356e-05,1.406689e-05,1.405475e-05,1.399159e-05,1.398375e-05,1.392474e-05,1.389431e-05,1.385479e-05,1.379989e-05,1.378227e-05,1.370761e-05,1.370156e-05,1.363121e-05,1.360023e-05,1.355340e-05,1.349668e-05,1.347449e-05,1.339475e-05,1.339155e-05,1.331440e-05,1.328537e-05,1.323366e-05,1.317862e-05,1.315270e-05,1.307170e-05,1.299079e-05,1.296494e-05,1.291010e-05,1.285863e-05,1.282975e-05,1.275303e-05,1.274984e-05,1.267044e-05,1.264832e-05,1.259165e-05,1.254469e-05,1.251352e-05,1.244228e-05,1.243612e-05,1.235949e-05,1.234122e-05,1.228369e-05,1.224162e-05,1.220876e-05,1.214355e-05,1.213472e-05,1.206160e-05,1.204709e-05,1.198943e-05,1.195229e-05,1.191823e-05,1.185919e-05,1.184802e-05,1.177881e-05,1.176783e-05,1.171061e-05,1.167824e-05,1.164344e-05,1.159043e-05,1.157729e-05,1.151217e-05,1.150442e-05,1.144808e-05,1.142021e-05,1.138502e-05,1.133779e-05,1.132300e-05,1.126200e-05,1.125717e-05,1.120203e-05,1.117833e-05,1.114308e-05,1.110126e-05,1.108514e-05,1.102821e-05,1.102595e-05,1.097228e-05,1.095238e-05,1.091733e-05,1.088054e-05,1.086337e-05,1.081039e-05,1.074191e-05,1.067509e-05,1.060989e-05,1.054629e-05,1.048426e-05,1.042378e-05,1.036480e-05,1.030731e-05,1.025128e-05,1.019667e-05,1.014346e-05,1.009161e-05,1.004110e-05,9.991893e-06,9.943964e-06,9.897284e-06,9.851823e-06,9.807553e-06,9.764445e-06,9.722472e-06,9.681606e-06,9.641820e-06,9.603087e-06,9.565382e-06
0.000000e+00,5.627465e-09,1.298304e-08,4.506889e-08,1.031974e-07,1.510849e-07,3.463260e-07,3.569175e-07,6.989988e-07,8.247322e-07,1.219008e-06,1.635740e-06,1.963642e-06,2.887297e-06,2.979485e-06,4.299916e-06,4.663214e-06,5.926870e-06,6.959505e-06,7.823992e-06,9.670809e-06,9.933113e-06,1.219706e-05,1.266419e-05,1.457005e-05,1.583522e-05,1.701737e-05,1.911078e-05,1.951220e-05,2.203289e-05,2.243735e-05,2.456139e-05,2.577328e-05,2.708246e-05,2.908518e-05,2.958314e-05,3.205256e-05,3.234635e-05,3.448173e-05,3.553585e-05,3.686328e-05,3.863777e-05,3.919137e-05,4.146144e-05,4.164043e-05,4.367004e-05,4.453568e-05,4.581468e-05,4.731824e-05,4.789367e-05,4.990597e-05,4.998506e-05,5.185108e-05,5.253486e-05,5.372896e-05,5.496766e-05,5.553991e-05,5.728453e-05,5.896363e-05,5.948727e-05,6.057823e-05,6.157824e-05,6.212946e-05,6.356018e-05,6.361856e-05,6.504689e-05,6.543612e-05,6.641584e-05,6.720930e-05,6.772685e-05,6.888308e-05,6.898140e-05,7.018099e-05,7.046088e-05,7.132713e-05,7.194619e-05,7.242133e-05,7.334247e-05,7.346511e-05,7.445995e-05,7.465317e-05,7.540735e-05,7.588173e-05,7.630878e-05,7.703153e-05,7.716570e-05,7.797955e-05,7.810586e-05,7.875171e-05,7.910795e-05,7.948357e-05,8.004095e-05,8.017647e-05,8.083174e-05,8.090790e-05,8.145066e-05,8.171180e-05,8.203450e-05,8.245552e-05,8.258449e-05,8.310184e-05,8.314185e-05,8.358771e-05,8.377350e-05,8.404325e-05,8.435308e-05,8.446957e-05,8.486774e-05,8.488310e-05,8.523883e-05,8.536599e-05,8.558385e-05,8.580408e-05,8.590379e-05,8.619962e-05,8.647228e-05,8.655478e-05,8.672266e-05,8.687163e-05,8.695166e-05,8.715216e-05,8.716011e-05,8.734886e-05,8.739828e-05,8.751869e-05,8.761183e-05,8.767038e-05,8.779457e-05,8.780469e-05,8.792233e-05,8.794817e-05,8.802402e-05,8.807425e-05,8.811042e-05,8.817434e-05,8.818221e-05,8.824000e-05,8.824993e-05,8.828441e-05,8.830242e-05,8.831604e-05,8.833315e-05,8.833546e-05,8.834322e-05,8.834342e-05,8.833985e-05,8.833444e-05,8.832588e-05,8.830739e-05,8.830179e-05,8.826806e-05,8.826339e-05,8.822516e-05,8.820350e-05,8.817354e-05,8.812874e-05,8.811362e-05,8.804582e-05,8.804007e-05,8.797053e-05,8.793841e-05,8.788815e-05,8.782465e-05,8.779904e-05,8.770356e-05,8.769961e-05,8.760205e-05,8.756410e-05,8.749485e-05,8.741886e-05,8.738227e-05,8.726461e-05,8.710204e-05,8.693179e-05,8.675449e-05,8.657070e-05,8.638099e-05,8.618588e-05,8.598587e-05,8.578144e-05,8.557302e-05,8.536104e-05,8.514590e-05,8.492798e-05,8.470764e-05,8.448521e-05,8.426101e-05,8.403535e-05,8.380850e-05,8.358074e-05,8.335232e-05,8.312346e-05,8.289441e-05,8.266536e-05,8.243650e-05,8.220804e-05
0.000000e+00,1.138237e-11,5.001313e-11,4.162227e-10,1.585386e-09,2.864972e-09,9.792379e-09,1.022277e-08,2.586034e-08,3.218666e-08,5.315390e-08,7.645305e-08,9.526890e-08,1.495913e-07,1.550917e-07,2.352079e-07,2.577131e-07,3.378610e-07,4.058821e-07,4.648418e-07,5.976467e-07,6.173084e-07,7.956416e-07,8.343904e-07,9.994556e-07,1.115195e-06,1.227747e-06,1.437381e-06,1.479072e-06,1.751674e-06,1.797134e-06,2.043556e-06,2.189870e-06,2.352525e-06,2.610430e-06,2.676233e-06,3.012216e-06,3.053239e-06,3.357941e-06,3.512491e-06,3.710864e-06,3.982353e-06,4.068475e-06,4.428349e-06,4.457166e-06,4.788185e-06,4.931624e-06,5.145845e-06,5.400908e-06,5.499375e-06,5.847023e-06,5.860784e-06,6.187250e-06,6.307652e-06,6.518728e-06,6.738558e-06,6.840341e-06,7.151175e-06,7.450503e-06,7.543764e-06,7.737776e-06,7.915117e-06,8.012602e-06,8.264492e-06,8.274732e-06,8.524042e-06,8.591547e-06,8.760519e-06,8.896275e-06,8.984242e-06,9.178939e-06,9.195371e-06,9.394130e-06,9.440022e-06,9.580799e-06,9.680170e-06,9.755698e-06,9.900156e-06,9.919185e-06,1.007164e-05,1.010084e-05,1.021346e-05,1.028314e-05,1.034506e-05,1.044801e-05,1.046686e-05,1.057927e-05,1.059641e-05,1.068272e-05,1.072931e-05,1.077761e-05,1.084765e-05,1.086437e-05,1.094338e-05,1.095236e-05,1.101504e-05,1.104434e-05,1.107973e-05,1.112445e-05,1.113781e-05,1.118963e-05,1.119352e-05,1.123554e-05,1.125232e-05,1.127586e-05,1.130161e-05,1.131091e-05,1.134099e-05,1.134209e-05,1.136638e-05,1.137442e-05,1.138736e-05,1.139924e-05,1.140419e-05,1.141712e-05,1.142639e-05,1.142862e-05,1.143223e-05,1.143426e-05,1.143485e-05,1.143452e-05,1.143445e-05,1.143123e-05,1.142985e-05,1.142537e-05,1.142066e-05,1.141705e-05,1.140737e-05,1.140644e-05,1.139368e-05,1.139032e-05,1.137893e-05,1.136986e-05,1.136234e-05,1.134631e-05,1.134402e-05,1.132412e-05,1.131996e-05,1.130275e-05,1.129109e-05,1.128001e-05,1.125994e-05,1.125603e-05,1.123089e-05,1.122677e-05,1.120469e-05,1.119177e-05,1.117754e-05,1.115517e-05,1.114949e-05,1.112065e-05,1.111714e-05,1.109108e-05,1.107786e-05,1.106086e-05,1.103749e-05,1.103005e-05,1.099871e-05,1.099619e-05,1.096691e-05,1.095407e-05,1.093470e-05,1.091129e-05,1.090214e-05,1.086926e-05,1.086794e-05,1.083613e-05,1.082415e-05,1.080278e-05,1.078000e-05,1.076925e-05,1.073559e-05,1.069101e-05,1.064632e-05,1.060161e-05,1.055694e-05,1.051236e-05,1.046794e-05,1.042371e-05,1.037973e-05,1.033603e-05,1.029266e-05,1.024964e-05,1.020701e-05,1.016479e-05,1.012301e-05,1.008169e-05,1.004084e-05,1.000049e-05,9.960651e-06,9.921333e-06,9.882548e-06,9.844306e-06,9.806616e-06,9.769482e-06,9.732911e-06
0.000000e+00,1.002757e-10,4.260778e-10,3.332460e-09,1.210547e-08,2.139821e-08,7.006140e-08,7.304622e-08,1.812171e-07,2.253009e-07,3.741199e-07,5.450889e-07,6.874385e-07,1.116228e-06,1.160799e-06,1.822168e-06,2.009488e-06,2.671219e-06,3.219528e-06,3.681903e-06,4.677107e-06,4.819159e-06,6.051822e-06,6.307608e-06,7.356397e-06,8.057338e-06,8.715793e-06,9.890373e-06,1.011687e-05,1.154851e-05,1.177971e-05,1.300041e-05,1.370157e-05,1.446256e-05,1.563301e-05,1.592506e-05,1.737810e-05,1.755138e-05,1.881219e-05,1.943484e-05,2.021830e-05,2.126305e-05,2.158806e-05,2.291396e-05,2.301793e-05,2.418943e-05,2.468425e-05,2.540904e-05,2.625006e-05,2.656839e-05,2.766413e-05,2.770660e-05,2.869394e-05,2.904824e-05,2.965646e-05,3.027226e-05,3.055119e-05,3.137840e-05,3.213898e-05,3.236850e-05,3.283431e-05,3.324593e-05,3.346628e-05,3.401547e-05,3.403716e-05,3.454944e-05,3.468274e-05,3.500582e-05,3.525402e-05,3.540919e-05,3.573595e-05,3.576244e-05,3.606848e-05,3.613523e-05,3.633024e-05,3.645855e-05,3.655058e-05,3.671243e-05,3.673229e-05,3.687806e-05,3.690314e-05,3.699049e-05,3.703660e-05,3.707205e-05,3.711843e-05,3.712509e-05,3.715182e-05,3.715380e-05,3.715434e-05,3.714754e-05,3.713462e-05,3.710408e-05,3.709451e-05,3.703572e-05,3.702749e-05,3.695988e-05,3.692149e-05,3.686847e-05,3.678945e-05,3.676289e-05,3.664444e-05,3.663445e-05,3.651432e-05,3.645926e-05,3.637364e-05,3.626639e-05,3.622343e-05,3.606465e-05,3.605813e-05,3.589817e-05,3.583652e-05,3.572482e-05,3.560339e-05,3.554534e-05,3.536042e-05,3.517072e-05,3.510910e-05,3.497682e-05,3.485077e-05,3.477926e-05,3.458663e-05,3.457855e-05,3.437515e-05,3.431777e-05,3.416948e-05,3.404515e-05,3.396194e-05,3.376965e-05,3.375288e-05,3.354264e-05,3.349204e-05,3.333153e-05,3.321302e-05,3.311981e-05,3.293322e-05,3.290776e-05,3.269560e-05,3.265318e-05,3.248356e-05,3.237340e-05,3.227182e-05,3.209433e-05,3.206057e-05,3.184998e-05,3.181635e-05,3.164019e-05,3.153982e-05,3.143135e-05,3.126504e-05,3.122358e-05,3.101699e-05,3.099229e-05,3.081170e-05,3.072180e-05,3.060778e-05,3.045378e-05,3.040534e-05,3.020443e-05,3.018843e-05,3.000514e-05,2.992589e-05,2.980753e-05,2.966632e-05,2.961165e-05,2.941754e-05,2.940982e-05,2.922526e-05,2.915650e-05,2.903485e-05,2.890644e-05,2.884632e-05,2.865972e-05,2.841639e-05,2.817651e-05,2.794009e-05,2.770719e-05,2.747780e-05,2.725194e-05,2.702962e-05,2.681083e-05,2.659556e-05,2.638380e-05,2.617554e-05,2.597074e-05,2.576938e-05,2.557143e-05,2.537687e-05,2.518566e-05,2.499776e-05,2.481313e-05,2.463173e-05,2.445352e-05,2.427847e-05,2.410652e-05,2.393762e-05,2.377175e-05
0.000000e+00,1.064919e-09,2.758050e-09,1.075751e-08,2.584581e-08,3.841860e-08,8.969375e-08,9.246238e-08,1.808470e-07,2.128290e-07,3.115597e-07,4.137603e-07,4.929473e-07,7.119697e-07,7.335975e-07,1.041215e-06,1.125597e-06,1.420027e-06,1.662742e-06,1.867834e-06,2.311986e-06,2.375699e-06,2.931133e-06,3.046806e-06,3.521673e-06,3.838976e-06,4.136553e-06,4.665291e-06,4.766852e-06,5.405093e-06,5.507506e-06,6.044838e-06,6.350763e-06,6.680430e-06,7.182524e-06,7.306854e-06,7.919676e-06,7.992111e-06,8.515035e-06,8.770591e-06,9.089639e-06,9.510766e-06,9.640773e-06,1.016628e-05,1.020716e-05,1.066452e-05,1.085592e-05,1.113439e-05,1.145474e-05,1.157522e-05,1.198675e-05,1.200260e-05,1.236907e-05,1.249963e-05,1.272259e-05,1.294684e-05,1.304793e-05,1.334595e-05,1.361764e-05,1.369919e-05,1.386410e-05,1.400916e-05,1.408655e-05,1.427863e-05,1.428620e-05,1.446432e-05,1.451051e-05,1.462218e-05,1.470768e-05,1.476101e-05,1.487300e-05,1.488206e-05,1.498648e-05,1.500920e-05,1.507544e-05,1.511891e-05,1.515002e-05,1.520457e-05,1.521124e-05,1.526011e-05,1.526849e-05,1.529755e-05,1.531279e-05,1.532442e-05,1.533944e-05,1.534156e-05,1.534972e-05,1.535025e-05,1.534963e-05,1.534686e-05,1.534196e-05,1.533078e-05,1.532733e-05,1.530631e-05,1.530339e-05,1.527946e-05,1.526592e-05,1.524726e-05,1.521952e-05,1.521020e-05,1.516869e-05,1.516519e-05,1.512315e-05,1.510388e-05,1.507393e-05,1.503642e-05,1.502139e-05,1.496584e-05,1.496356e-05,1.490758e-05,1.488599e-05,1.484687e-05,1.480433e-05,1.478399e-05,1.471915e-05,1.465257e-05,1.463093e-05,1.458445e-05,1.454014e-05,1.451499e-05,1.444719e-05,1.444434e-05,1.437267e-05,1.435244e-05,1.430013e-05,1.425624e-05,1.422684e-05,1.415887e-05,1.415294e-05,1.407854e-05,1.406062e-05,1.400374e-05,1.396172e-05,1.392864e-05,1.386239e-05,1.385334e-05,1.377792e-05,1.376283e-05,1.370246e-05,1.366322e-05,1.362702e-05,1.356371e-05,1.355167e-05,1.347647e-05,1.346446e-05,1.340148e-05,1.336557e-05,1.332675e-05,1.326718e-05,1.325232e-05,1.317824e-05,1.316938e-05,1.310455e-05,1.307226e-05,1.303128e-05,1.297589e-05,1.295846e-05,1.288613e-05,1.288037e-05,1.281431e-05,1.278573e-05,1.274303e-05,1.269205e-05,1.267230e-05,1.260216e-05,1.259936e-05,1.253261e-05,1.250772e-05,1.246367e-05,1.241715e-05,1.239536e-05,1.232769e-05,1.223936e-05,1.215219e-05,1.206620e-05,1.198140e-05,1.189780e-05,1.181540e-05,1.173423e-05,1.165428e-05,1.157554e-05,1.149803e-05,1.142174e-05,1.134666e-05,1.127280e-05,1.120014e-05,1.112867e-05,1.105839e-05,1.098929e-05,1.092136e-05,1.085458e-05,1.078895e-05,1.072445e-05,1.066107e-05,1.059879e-05,1.053760e-05
0.000000e+00,4.784195e-10,1.825385e-09,1.185844e-08,3.774533e-08,6.280109e-08,1.810356e-07,1.879032e-07,4.224650e-07,5.127383e-07,8.036687e-07,1.119728e-06,1.372793e-06,2.102310e-06,2.176396e-06,3.263832e-06,3.572143e-06,4.677876e-06,5.621686e-06,6.440169e-06,8.273427e-06,8.542830e-06,1.095477e-05,1.147074e-05,1.363563e-05,1.512269e-05,1.654599e-05,1.914244e-05,1.965104e-05,2.292051e-05,2.345704e-05,2.632739e-05,2.800415e-05,2.984683e-05,3.272763e-05,3.345537e-05,3.713062e-05,3.757511e-05,4.085118e-05,4.249729e-05,4.459667e-05,4.744808e-05,4.834793e-05,5.208711e-05,5.238522e-05,5.579783e-05,5.727078e-05,5.946528e-05,6.207160e-05,6.307629e-05,6.661929e-05,6.675945e-05,7.008432e-05,7.131098e-05,7.346296e-05,7.570747e-05,7.674823e-05,7.993448e-05,8.301731e-05,8.398140e-05,8.599341e-05,8.784099e-05,8.886045e-05,9.150885e-05,9.161698e-05,9.426230e-05,9.498304e-05,9.679636e-05,9.826359e-05,9.921968e-05,1.013522e-04,1.015332e-04,1.037384e-04,1.042517e-04,1.058369e-04,1.069661e-04,1.078306e-04,1.095003e-04,1.097219e-04,1.115130e-04,1.118594e-04,1.132065e-04,1.140493e-04,1.148049e-04,1.160760e-04,1.163109e-04,1.177272e-04,1.179456e-04,1.190565e-04,1.196646e-04,1.203017e-04,1.212391e-04,1.214655e-04,1.225505e-04,1.226756e-04,1.235596e-04,1.239802e-04,1.244953e-04,1.251591e-04,1.253604e-04,1.261573e-04,1.262182e-04,1.268887e-04,1.271634e-04,1.275570e-04,1.280005e-04,1.281647e-04,1.287141e-04,1.287349e-04,1.292075e-04,1.293719e-04,1.296473e-04,1.299168e-04,1.300356e-04,1.303745e-04,1.306661e-04,1.307497e-04,1.309124e-04,1.310472e-04,1.311154e-04,1.312712e-04,1.312769e-04,1.313988e-04,1.314261e-04,1.314829e-04,1.315159e-04,1.315309e-04,1.315446e-04,1.315444e-04,1.315251e-04,1.315157e-04,1.314744e-04,1.314330e-04,1.313940e-04,1.312997e-04,1.312852e-04,1.311494e-04,1.311192e-04,1.309880e-04,1.308944e-04,1.308023e-04,1.306285e-04,1.305936e-04,1.303629e-04,1.303241e-04,1.301116e-04,1.299840e-04,1.298407e-04,1.296106e-04,1.295513e-04,1.292444e-04,1.292065e-04,1.289210e-04,1.287738e-04,1.285822e-04,1.283148e-04,1.282287e-04,1.278615e-04,1.278316e-04,1.274815e-04,1.273260e-04,1.270894e-04,1.268001e-04,1.266860e-04,1.262722e-04,1.262554e-04,1.258485e-04,1.256938e-04,1.254158e-04,1.251167e-04,1.249746e-04,1.245257e-04,1.239221e-04,1.233073e-04,1.226827e-04,1.220492e-04,1.214081e-04,1.207604e-04,1.201071e-04,1.194492e-04,1.187875e-04,1.181228e-04,1.174559e-04,1.167875e-04,1.161183e-04,1.154490e-04,1.147802e-04,1.141123e-04,1.134459e-04,1.127815e-04,1.121195e-04,1.114604e-04,1.108045e-04,1.101522e-04,1.095038e-04,1.088597e-04
0.000000e+00,7.485573e-11,3.850853e-10,4.392367e-09,2.199047e-08,4.591663e-08,2.239000e-07,2.370167e-07,8.315546e-07,1.126639e-06,2.286253e-06,3.856658e-06,5.314453e-06,1.035508e-05,1.092884e-05,2.047139e-05,2.352619e-05,3.562873e-05,4.731189e-05,5.842882e-05,8.666778e-05,9.121302e-05,1.365786e-04,1.474033e-04,1.972941e-04,2.358745e-04,2.761963e-04,3.585787e-04,3.760823e-04,4.996061e-04,5.217291e-04,6.491864e-04,7.308726e-04,8.269306e-04,9.905839e-04,1.034574e-03,1.273439e-03,1.304247e-03,1.544405e-03,1.673926e-03,1.847900e-03,2.100316e-03,2.183904e-03,2.551958e-03,2.582764e-03,2.951196e-03,3.119355e-03,3.380372e-03,3.707039e-03,3.837901e-03,4.321906e-03,4.341788e-03,4.830259e-03,5.018784e-03,5.360633e-03,5.732604e-03,5.910547e-03,6.477411e-03,7.058572e-03,7.247126e-03,7.651354e-03,8.035600e-03,8.253091e-03,8.836750e-03,8.861162e-03,9.473022e-03,9.644685e-03,1.008622e-02,1.045381e-02,1.069842e-02,1.125888e-02,1.130744e-02,1.191120e-02,1.205511e-02,1.250782e-02,1.283815e-02,1.309556e-02,1.360416e-02,1.367283e-02,1.423822e-02,1.434977e-02,1.479049e-02,1.507211e-02,1.532854e-02,1.576881e-02,1.585142e-02,1.635834e-02,1.643792e-02,1.684865e-02,1.707793e-02,1.732181e-02,1.768773e-02,1.777744e-02,1.821524e-02,1.826656e-02,1.863503e-02,1.881400e-02,1.903672e-02,1.932991e-02,1.942033e-02,1.978593e-02,1.981440e-02,2.013368e-02,2.026783e-02,2.046380e-02,2.069072e-02,2.077656e-02,2.107229e-02,2.108377e-02,2.135134e-02,2.144780e-02,2.161413e-02,2.178376e-02,2.186109e-02,2.209266e-02,2.230933e-02,2.237560e-02,2.251159e-02,2.263370e-02,2.269994e-02,2.286813e-02,2.287488e-02,2.303694e-02,2.308007e-02,2.318662e-02,2.327071e-02,2.332444e-02,2.344121e-02,2.345092e-02,2.356655e-02,2.359274e-02,2.367183e-02,2.372645e-02,2.376725e-02,2.384345e-02,2.385329e-02,2.393041e-02,2.394481e-02,2.399907e-02,2.403158e-02,2.405971e-02,2.410476e-02,2.411276e-02,2.415862e-02,2.416532e-02,2.419770e-02,2.421417e-02,2.423039e-02,2.425219e-02,2.425706e-02,2.427805e-02,2.428021e-02,2.429372e-02,2.429901e-02,2.430439e-02,2.430935e-02,2.431038e-02,2.431197e-02,2.431192e-02,2.430948e-02,2.430739e-02,2.430315e-02,2.429637e-02,2.429326e-02,2.428005e-02,2.427945e-02,2.426375e-02,2.425717e-02,2.424459e-02,2.423004e-02,2.422279e-02,2.419853e-02,2.416309e-02,2.412413e-02,2.408204e-02,2.403715e-02,2.398982e-02,2.394034e-02,2.388898e-02,2.383602e-02,2.378169e-02,2.372621e-02,2.366978e-02,2.361260e-02,2.355482e-02,2.349661e-02,2.343811e-02,2.337945e-02,2.332075e-02,2.326211e-02,2.320365e-02,2.314543e-02,2.308755e-02,2.303008e-02,2.297307e-02,2.291660e-02
0.000000e+00,1.869235e-11,9.050238e-11,9.110016e-10,4.074929e-09,8.003479e-09,3.341711e-08,3.515592e-08,1.063582e-07,1.385867e-07,2.556793e-07,4.006295e-07,5.270307e-07,9.301787e-07,9.737613e-07,1.655573e-06,1.860788e-06,2.630054e-06,3.320978e-06,3.941721e-06,5.394980e-06,5.615229e-06,7.655332e-06,8.106604e-06,1.005120e-05,1.143092e-05,1.278173e-05,1.531437e-05,1.581995e-05,1.913578e-05,1.968998e-05,2.269764e-05,2.448523e-05,2.647314e-05,2.962528e-05,3.042940e-05,3.453329e-05,3.503411e-05,3.875168e-05,4.063556e-05,4.305175e-05,4.635468e-05,4.740147e-05,5.177005e-05,5.211947e-05,5.612838e-05,5.786272e-05,6.044945e-05,6.352362e-05,6.470864e-05,6.888399e-05,6.904898e-05,7.295634e-05,7.439394e-05,7.690935e-05,7.952221e-05,8.072947e-05,8.440582e-05,8.793005e-05,8.902463e-05,9.129613e-05,9.336551e-05,9.450009e-05,9.742143e-05,9.753985e-05,1.004149e-04,1.011905e-04,1.031262e-04,1.046752e-04,1.056758e-04,1.078812e-04,1.080667e-04,1.103027e-04,1.108168e-04,1.123883e-04,1.134923e-04,1.143282e-04,1.159192e-04,1.161279e-04,1.177927e-04,1.181100e-04,1.193283e-04,1.200776e-04,1.207403e-04,1.218350e-04,1.220344e-04,1.232163e-04,1.233954e-04,1.242915e-04,1.247713e-04,1.252655e-04,1.259753e-04,1.261435e-04,1.269307e-04,1.270192e-04,1.276319e-04,1.279145e-04,1.282521e-04,1.286720e-04,1.287957e-04,1.292672e-04,1.293019e-04,1.296707e-04,1.298139e-04,1.300102e-04,1.302172e-04,1.302896e-04,1.305125e-04,1.305203e-04,1.306823e-04,1.307311e-04,1.308024e-04,1.308572e-04,1.308758e-04,1.309055e-04,1.308944e-04,1.308826e-04,1.308450e-04,1.307944e-04,1.307598e-04,1.306467e-04,1.306414e-04,1.304918e-04,1.304446e-04,1.303133e-04,1.301931e-04,1.301078e-04,1.298966e-04,1.298772e-04,1.296234e-04,1.295593e-04,1.293481e-04,1.291851e-04,1.290528e-04,1.287776e-04,1.287390e-04,1.284082e-04,1.283401e-04,1.280617e-04,1.278757e-04,1.277008e-04,1.273874e-04,1.273267e-04,1.269405e-04,1.268776e-04,1.265432e-04,1.263489e-04,1.261360e-04,1.258036e-04,1.257196e-04,1.252951e-04,1.252436e-04,1.248632e-04,1.246710e-04,1.244247e-04,1.240875e-04,1.239803e-04,1.235309e-04,1.234947e-04,1.230769e-04,1.228942e-04,1.226191e-04,1.222874e-04,1.221580e-04,1.216941e-04,1.216755e-04,1.212279e-04,1.210597e-04,1.207600e-04,1.204411e-04,1.202908e-04,1.198207e-04,1.191994e-04,1.185780e-04,1.179574e-04,1.173382e-04,1.167210e-04,1.161065e-04,1.154952e-04,1.148875e-04,1.142839e-04,1.136849e-04,1.130906e-04,1.125016e-04,1.119180e-04,1.113402e-04,1.107683e-04,1.102026e-04,1.096432e-04,1.090904e-04,1.085442e-04,1.080047e-04,1.074721e-04,1.069465e-04,1.064279e-04,1.059163e-04
0.000000e+00,9.904878e-11,5.113850e-10,5.877331e-09,2.963305e-08,6.211869e-08,3.060908e-07,3.241637e-07,1.149798e-06,1.562619e-06,3.196404e-06,5.428494e-06,7.514563e-06,1.479837e-05,1.563290e-05,2.962755e-05,3.414413e-05,5.216312e-05,6.970208e-05,8.648875e-05,1.294383e-04,1.363838e-04,2.060628e-04,2.227672e-04,3.000552e-04,3.601005e-04,4.230724e-04,5.523195e-04,5.798721e-04,7.751242e-04,8.102348e-04,1.013285e-03,1.144069e-03,1.298477e-03,1.562989e-03,1.634388e-03,2.024177e-03,2.074701e-03,2.470402e-03,2.685133e-03,2.974960e-03,3.398203e-03,3.539053e-03,4.163165e-03,4.215685e-03,4.847060e-03,5.137169e-03,5.589796e-03,6.160118e-03,6.389755e-03,7.244685e-03,7.279987e-03,8.151753e-03,8.490430e-03,9.107608e-03,9.783533e-03,1.010845e-02,1.115009e-02,1.222806e-02,1.257992e-02,1.333764e-02,1.406212e-02,1.447396e-02,1.558539e-02,1.563207e-02,1.680697e-02,1.713828e-02,1.799372e-02,1.870944e-02,1.918748e-02,2.028785e-02,2.038351e-02,2.157727e-02,2.186295e-02,2.276445e-02,2.342485e-02,2.394094e-02,2.496438e-02,2.510293e-02,2.624687e-02,2.647321e-02,2.736952e-02,2.794389e-02,2.846792e-02,2.936990e-02,2.953943e-02,3.058169e-02,3.074559e-02,3.159264e-02,3.206625e-02,3.257053e-02,3.332802e-02,3.351385e-02,3.442141e-02,3.452786e-02,3.529221e-02,3.566353e-02,3.612555e-02,3.673350e-02,3.692090e-02,3.767797e-02,3.773688e-02,3.839666e-02,3.867340e-02,3.907704e-02,3.954331e-02,3.971933e-02,4.032391e-02,4.034731e-02,4.089128e-02,4.108654e-02,4.142207e-02,4.176246e-02,4.191698e-02,4.237683e-02,4.280251e-02,4.293166e-02,4.319494e-02,4.342912e-02,4.355514e-02,4.387157e-02,4.388414e-02,4.418302e-02,4.426145e-02,4.445287e-02,4.460131e-02,4.469480e-02,4.489370e-02,4.490995e-02,4.509944e-02,4.514122e-02,4.526439e-02,4.534646e-02,4.540593e-02,4.551199e-02,4.552515e-02,4.562316e-02,4.564031e-02,4.570101e-02,4.573389e-02,4.575977e-02,4.579512e-02,4.580045e-02,4.582406e-02,4.582632e-02,4.583156e-02,4.582971e-02,4.582388e-02,4.580744e-02,4.580196e-02,4.576666e-02,4.576156e-02,4.571882e-02,4.569402e-02,4.565928e-02,4.560668e-02,4.558881e-02,4.550815e-02,4.550128e-02,4.541804e-02,4.537950e-02,4.531916e-02,4.524290e-02,4.521216e-02,4.509767e-02,4.509294e-02,4.497629e-02,4.493101e-02,4.484858e-02,4.475840e-02,4.471508e-02,4.457631e-02,4.438587e-02,4.418813e-02,4.398405e-02,4.377455e-02,4.356044e-02,4.334251e-02,4.312146e-02,4.289794e-02,4.267256e-02,4.244586e-02,4.221835e-02,4.199049e-02,4.176269e-02,4.153534e-02,4.130877e-02,4.108331e-02,4.085923e-02,4.063679e-02,4.041622e-02,4.019771e-02,3.998144e-02,3.976759e-02,3.955627e-02,3.934763e-02
0.000000e+00,2.140382e-09,4.906568e-09,1.689637e-08,3.846930e-08,5.614084e-08,1.274477e-07,1.312857e-07,2.538407e-07,2.982831e-07,4.359444e-07,5.791896e-07,6.906659e-07,1.000966e-06,1.031752e-06,1.472286e-06,1.593992e-06,2.021693e-06,2.377961e-06,2.681668e-06,3.347558e-06,3.443954e-06,4.292738e-06,4.471260e-06,5.209792e-06,5.707950e-06,6.178288e-06,7.021118e-06,7.184030e-06,8.215246e-06,8.381921e-06,9.262021e-06,9.767447e-06,1.031581e-05,1.115884e-05,1.136914e-05,1.241545e-05,1.254025e-05,1.344898e-05,1.389838e-05,1.446477e-05,1.522226e-05,1.545856e-05,1.642682e-05,1.650309e-05,1.736665e-05,1.773409e-05,1.827577e-05,1.891031e-05,1.915241e-05,1.999533e-05,2.002833e-05,2.080369e-05,2.108613e-05,2.157700e-05,2.208275e-05,2.231512e-05,2.301814e-05,2.368638e-05,2.389295e-05,2.432034e-05,2.470837e-05,2.492065e-05,2.546599e-05,2.548807e-05,2.602343e-05,2.616770e-05,2.652763e-05,2.681559e-05,2.700162e-05,2.741186e-05,2.744639e-05,2.786292e-05,2.795880e-05,2.825224e-05,2.845875e-05,2.861535e-05,2.891400e-05,2.895325e-05,2.926695e-05,2.932687e-05,2.955741e-05,2.969960e-05,2.982561e-05,3.003437e-05,3.007248e-05,3.029893e-05,3.033333e-05,3.050587e-05,3.059853e-05,3.069416e-05,3.083194e-05,3.086465e-05,3.101815e-05,3.103547e-05,3.115546e-05,3.121094e-05,3.127733e-05,3.136008e-05,3.138450e-05,3.147770e-05,3.148457e-05,3.155759e-05,3.158598e-05,3.162486e-05,3.166582e-05,3.168012e-05,3.172400e-05,3.172552e-05,3.175708e-05,3.176645e-05,3.177992e-05,3.178989e-05,3.179308e-05,3.179707e-05,3.179240e-05,3.178915e-05,3.177953e-05,3.176721e-05,3.175894e-05,3.173231e-05,3.173106e-05,3.169631e-05,3.168541e-05,3.165510e-05,3.162744e-05,3.160782e-05,3.155927e-05,3.155483e-05,3.149649e-05,3.148173e-05,3.143313e-05,3.139559e-05,3.136509e-05,3.130157e-05,3.129266e-05,3.121614e-05,3.120037e-05,3.113582e-05,3.109263e-05,3.105195e-05,3.097896e-05,3.096480e-05,3.087461e-05,3.085992e-05,3.078162e-05,3.073605e-05,3.068604e-05,3.060785e-05,3.058808e-05,3.048795e-05,3.047580e-05,3.038583e-05,3.034032e-05,3.028192e-05,3.020184e-05,3.017637e-05,3.006936e-05,3.006074e-05,2.996104e-05,2.991737e-05,2.985155e-05,2.977208e-05,2.974105e-05,2.962965e-05,2.962518e-05,2.951750e-05,2.947696e-05,2.940470e-05,2.932769e-05,2.929137e-05,2.917762e-05,2.902700e-05,2.887603e-05,2.872493e-05,2.857388e-05,2.842305e-05,2.827260e-05,2.812269e-05,2.797344e-05,2.782499e-05,2.767745e-05,2.753092e-05,2.738550e-05,2.724127e-05,2.709832e-05,2.695673e-05,2.681654e-05,2.667783e-05,2.654063e-05,2.640501e-05,2.627100e-05,2.613863e-05,2.600794e-05,2.587896e-05,2.575170e-05
0.000000e+00,1.748134e-09,4.011472e-09,1.378411e-08,3.127289e-08,4.554712e-08,1.029381e-07,1.060226e-07,2.045070e-07,2.402593e-07,3.512252e-07,4.670099e-07,5.572215e-07,8.075706e-07,8.322592e-07,1.179931e-06,1.273678e-06,1.594022e-06,1.850245e-06,2.061786e-06,2.507304e-06,2.570052e-06,3.107972e-06,3.218326e-06,3.666932e-06,3.963502e-06,4.239813e-06,4.727245e-06,4.820429e-06,5.403255e-06,5.496373e-06,5.983325e-06,6.259458e-06,6.556213e-06,7.006737e-06,7.118055e-06,7.665561e-06,7.730164e-06,8.196015e-06,8.423437e-06,8.707257e-06,9.081926e-06,9.197648e-06,9.666025e-06,9.702519e-06,1.011165e-05,1.028343e-05,1.053413e-05,1.082395e-05,1.093341e-05,1.130966e-05,1.132424e-05,1.166327e-05,1.178512e-05,1.199476e-05,1.220789e-05,1.230482e-05,1.259417e-05,1.286363e-05,1.294579e-05,1.311404e-05,1.326471e-05,1.334627e-05,1.355291e-05,1.356119e-05,1.375966e-05,1.381239e-05,1.394252e-05,1.404509e-05,1.411061e-05,1.425289e-05,1.426472e-05,1.440564e-05,1.443758e-05,1.453410e-05,1.460086e-05,1.465081e-05,1.474434e-05,1.475646e-05,1.485168e-05,1.486952e-05,1.493709e-05,1.497782e-05,1.501327e-05,1.507053e-05,1.508077e-05,1.514011e-05,1.514888e-05,1.519179e-05,1.521401e-05,1.523627e-05,1.526697e-05,1.527399e-05,1.530537e-05,1.530873e-05,1.533080e-05,1.534020e-05,1.535064e-05,1.536220e-05,1.536525e-05,1.537496e-05,1.537553e-05,1.538006e-05,1.538088e-05,1.538086e-05,1.537893e-05,1.537764e-05,1.537064e-05,1.537028e-05,1.536011e-05,1.535550e-05,1.534628e-05,1.533511e-05,1.532938e-05,1.530959e-05,1.528712e-05,1.527939e-05,1.526215e-05,1.524493e-05,1.523484e-05,1.520658e-05,1.520536e-05,1.517385e-05,1.516469e-05,1.514047e-05,1.511960e-05,1.510535e-05,1.507160e-05,1.506860e-05,1.503036e-05,1.502097e-05,1.499073e-05,1.496798e-05,1.494983e-05,1.491285e-05,1.490774e-05,1.486458e-05,1.485582e-05,1.482041e-05,1.479708e-05,1.477533e-05,1.473683e-05,1.472943e-05,1.468276e-05,1.467523e-05,1.463541e-05,1.461246e-05,1.458744e-05,1.454865e-05,1.453890e-05,1.448987e-05,1.448396e-05,1.444040e-05,1.441851e-05,1.439054e-05,1.435241e-05,1.434033e-05,1.428983e-05,1.428578e-05,1.423908e-05,1.421872e-05,1.418812e-05,1.415133e-05,1.413700e-05,1.408573e-05,1.408368e-05,1.403438e-05,1.401587e-05,1.398295e-05,1.394796e-05,1.393149e-05,1.388002e-05,1.381213e-05,1.374432e-05,1.367667e-05,1.360922e-05,1.354202e-05,1.347510e-05,1.340851e-05,1.334228e-05,1.327645e-05,1.321104e-05,1.314608e-05,1.308161e-05,1.301763e-05,1.295417e-05,1.289125e-05,1.282889e-05,1.276709e-05,1.270588e-05,1.264527e-05,1.258526e-05,1.252587e-05,1.246710e-05,1.240896e-05,1.235146e-05
0.000000e+00,2.270741e-09,5.221077e-09,1.806568e-08,4.135178e-08,6.058320e-08,1.395598e-07,1.438716e-07,2.846425e-07,3.370942e-07,5.038281e-07,6.833030e-07,8.264206e-07,1.235437e-06,1.276547e-06,1.866075e-06,2.027705e-06,2.585848e-06,3.037069e-06,3.411906e-06,4.206311e-06,4.318641e-06,5.285379e-06,5.484490e-06,6.296633e-06,6.836024e-06,7.340486e-06,8.235329e-06,8.407174e-06,9.488244e-06,9.662034e-06,1.057613e-05,1.109869e-05,1.166397e-05,1.253003e-05,1.274558e-05,1.381545e-05,1.394281e-05,1.486878e-05,1.532591e-05,1.590142e-05,1.667025e-05,1.690994e-05,1.789153e-05,1.796883e-05,1.884399e-05,1.921642e-05,1.976563e-05,2.040947e-05,2.065530e-05,2.151221e-05,2.154580e-05,2.233598e-05,2.262440e-05,2.312651e-05,2.364516e-05,2.388397e-05,2.460871e-05,2.530128e-05,2.551621e-05,2.596232e-05,2.636921e-05,2.659263e-05,2.716958e-05,2.719303e-05,2.776443e-05,2.791935e-05,2.830775e-05,2.862065e-05,2.882392e-05,2.927566e-05,2.931391e-05,2.977868e-05,2.988658e-05,3.021918e-05,3.045561e-05,3.063634e-05,3.098488e-05,3.103109e-05,3.140434e-05,3.147649e-05,3.175696e-05,3.193246e-05,3.208982e-05,3.235475e-05,3.240374e-05,3.269953e-05,3.274522e-05,3.297796e-05,3.310567e-05,3.323980e-05,3.343781e-05,3.348577e-05,3.371656e-05,3.374326e-05,3.393285e-05,3.402359e-05,3.413528e-05,3.428025e-05,3.432449e-05,3.450105e-05,3.451465e-05,3.466556e-05,3.472811e-05,3.481856e-05,3.492189e-05,3.496057e-05,3.509211e-05,3.509716e-05,3.521366e-05,3.525506e-05,3.532567e-05,3.539663e-05,3.542861e-05,3.552290e-05,3.560894e-05,3.563479e-05,3.568712e-05,3.573321e-05,3.575782e-05,3.581899e-05,3.582140e-05,3.587821e-05,3.589294e-05,3.592856e-05,3.595580e-05,3.597277e-05,3.600828e-05,3.601114e-05,3.604397e-05,3.605105e-05,3.607151e-05,3.608473e-05,3.609405e-05,3.610993e-05,3.611182e-05,3.612506e-05,3.612719e-05,3.613402e-05,3.613705e-05,3.613890e-05,3.614000e-05,3.613991e-05,3.613726e-05,3.613651e-05,3.613114e-05,3.612702e-05,3.612172e-05,3.611194e-05,3.610919e-05,3.609371e-05,3.609167e-05,3.607545e-05,3.606657e-05,3.605454e-05,3.603698e-05,3.603115e-05,3.600540e-05,3.600325e-05,3.597744e-05,3.596566e-05,3.594738e-05,3.592452e-05,3.591536e-05,3.588148e-05,3.588009e-05,3.584586e-05,3.583263e-05,3.580860e-05,3.578238e-05,3.576981e-05,3.572957e-05,3.567441e-05,3.561711e-05,3.555785e-05,3.549680e-05,3.543415e-05,3.537004e-05,3.530462e-05,3.523803e-05,3.517040e-05,3.510186e-05,3.503252e-05,3.496249e-05,3.489186e-05,3.482074e-05,3.474922e-05,3.467737e-05,3.460528e-05,3.453303e-05,3.446067e-05,3.438828e-05,3.431591e-05,3.424362e-05,3.417147e-05,3.409951e-05
0.000000e+00,1.227018e-09,3.034281e-09,1.134854e-08,2.697532e-08,4.010934e-08,9.506063e-08,9.809175e-08,1.980914e-07,2.357241e-07,3.562112e-07,4.869776e-07,5.918854e-07,8.944803e-07,9.251166e-07,1.368671e-06,1.491510e-06,1.918686e-06,2.266295e-06,2.555871e-06,3.170438e-06,3.257350e-06,4.004860e-06,4.158682e-06,4.785587e-06,5.201556e-06,5.590369e-06,6.279720e-06,6.412070e-06,7.244620e-06,7.378464e-06,8.082561e-06,8.485196e-06,8.920863e-06,9.588634e-06,9.754888e-06,1.058041e-05,1.067872e-05,1.139367e-05,1.174675e-05,1.219136e-05,1.278544e-05,1.297067e-05,1.372928e-05,1.378901e-05,1.446528e-05,1.475302e-05,1.517726e-05,1.567438e-05,1.586412e-05,1.652512e-05,1.655102e-05,1.715983e-05,1.738185e-05,1.776806e-05,1.816654e-05,1.834985e-05,1.890539e-05,1.943504e-05,1.959913e-05,1.993926e-05,2.024888e-05,2.041862e-05,2.085600e-05,2.087375e-05,2.130534e-05,2.142206e-05,2.171411e-05,2.194872e-05,2.210079e-05,2.243766e-05,2.246612e-05,2.281087e-05,2.289063e-05,2.313579e-05,2.330936e-05,2.344163e-05,2.369557e-05,2.372912e-05,2.399900e-05,2.405092e-05,2.425196e-05,2.437705e-05,2.448871e-05,2.467553e-05,2.470991e-05,2.491621e-05,2.494788e-05,2.510825e-05,2.519555e-05,2.528664e-05,2.541992e-05,2.545197e-05,2.560482e-05,2.562234e-05,2.574572e-05,2.580407e-05,2.587521e-05,2.596631e-05,2.599381e-05,2.610199e-05,2.611021e-05,2.620024e-05,2.623686e-05,2.628901e-05,2.634729e-05,2.636872e-05,2.643981e-05,2.644248e-05,2.650266e-05,2.652335e-05,2.655767e-05,2.659079e-05,2.660521e-05,2.664562e-05,2.667925e-05,2.668864e-05,2.670643e-05,2.672057e-05,2.672746e-05,2.674214e-05,2.674264e-05,2.675226e-05,2.675399e-05,2.675659e-05,2.675676e-05,2.675589e-05,2.675103e-05,2.675042e-05,2.674041e-05,2.673736e-05,2.672610e-05,2.671629e-05,2.670771e-05,2.668831e-05,2.668544e-05,2.665949e-05,2.665388e-05,2.663007e-05,2.661346e-05,2.659735e-05,2.656745e-05,2.656151e-05,2.652272e-05,2.651625e-05,2.648113e-05,2.646023e-05,2.643691e-05,2.639974e-05,2.639021e-05,2.634115e-05,2.633511e-05,2.628988e-05,2.626665e-05,2.623653e-05,2.619466e-05,2.618121e-05,2.612405e-05,2.611940e-05,2.606516e-05,2.604114e-05,2.600465e-05,2.596013e-05,2.594261e-05,2.587916e-05,2.587659e-05,2.581437e-05,2.579074e-05,2.574834e-05,2.570278e-05,2.568116e-05,2.561291e-05,2.552131e-05,2.542815e-05,2.533358e-05,2.523777e-05,2.514084e-05,2.504294e-05,2.494419e-05,2.484470e-05,2.474460e-05,2.464398e-05,2.454293e-05,2.444156e-05,2.433995e-05,2.423817e-05,2.413631e-05,2.403443e-05,2.393261e-05,2.383089e-05,2.372935e-05,2.362804e-05,2.352700e-05,2.342629e-05,2.332595e-05,2.322601e-05
0.000000e+00,5.513893e-10,1.368694e-09,5.115978e-09,1.208152e-08,1.786322e-08,4.144960e-08,4.272564e-08,8.364775e-08,9.854693e-08,1.448371e-07,1.931936e-07,2.309451e-07,3.365354e-07,3.470498e-07,4.981603e-07,5.400917e-07,6.878630e-07,8.112123e-07,9.163703e-07,1.146499e-06,1.179740e-06,1.471525e-06,1.532698e-06,1.785165e-06,1.955029e-06,2.115189e-06,2.401887e-06,2.457282e-06,2.807968e-06,2.864673e-06,3.164302e-06,3.336570e-06,3.523665e-06,3.811722e-06,3.883664e-06,4.242082e-06,4.284888e-06,4.596875e-06,4.751347e-06,4.946174e-06,5.206926e-06,5.288299e-06,5.621776e-06,5.648041e-06,5.945335e-06,6.071739e-06,6.257921e-06,6.475702e-06,6.558681e-06,6.846960e-06,6.858225e-06,7.122291e-06,7.218177e-06,7.384368e-06,7.554923e-06,7.633033e-06,7.868261e-06,8.090142e-06,8.158351e-06,8.298854e-06,8.425636e-06,8.494658e-06,8.670786e-06,8.677878e-06,8.848890e-06,8.894641e-06,9.008106e-06,9.098155e-06,9.155965e-06,9.282361e-06,9.292928e-06,9.419465e-06,9.448335e-06,9.536049e-06,9.597165e-06,9.643154e-06,9.729940e-06,9.741251e-06,9.830804e-06,9.847729e-06,9.912263e-06,9.951569e-06,9.986066e-06,1.004245e-05,1.005263e-05,1.011236e-05,1.012131e-05,1.016564e-05,1.018904e-05,1.021285e-05,1.024649e-05,1.025435e-05,1.029046e-05,1.029445e-05,1.032151e-05,1.033365e-05,1.034781e-05,1.036480e-05,1.036965e-05,1.038729e-05,1.038853e-05,1.040101e-05,1.040545e-05,1.041104e-05,1.041612e-05,1.041763e-05,1.042098e-05,1.042105e-05,1.042131e-05,1.042072e-05,1.041880e-05,1.041558e-05,1.041366e-05,1.040604e-05,1.039612e-05,1.039249e-05,1.038405e-05,1.037527e-05,1.036998e-05,1.035470e-05,1.035403e-05,1.033635e-05,1.033111e-05,1.031706e-05,1.030475e-05,1.029626e-05,1.027590e-05,1.027407e-05,1.025060e-05,1.024478e-05,1.022593e-05,1.021162e-05,1.020015e-05,1.017663e-05,1.017336e-05,1.014563e-05,1.013998e-05,1.011704e-05,1.010186e-05,1.008766e-05,1.006242e-05,1.005756e-05,1.002679e-05,1.002182e-05,9.995431e-06,9.980179e-06,9.963522e-06,9.937639e-06,9.931122e-06,9.898280e-06,9.894311e-06,9.865042e-06,9.850303e-06,9.831453e-06,9.805715e-06,9.797553e-06,9.763383e-06,9.760639e-06,9.728979e-06,9.715159e-06,9.694374e-06,9.669354e-06,9.659603e-06,9.624694e-06,9.623295e-06,9.589676e-06,9.577049e-06,9.554578e-06,9.530677e-06,9.519423e-06,9.484235e-06,9.437775e-06,9.391346e-06,9.344989e-06,9.298747e-06,9.252656e-06,9.206749e-06,9.161058e-06,9.115611e-06,9.070435e-06,9.025552e-06,8.980984e-06,8.936751e-06,8.892870e-06,8.849358e-06,8.806228e-06,8.763495e-06,8.721168e-06,8.679260e-06,8.637778e-06,8.596732e-06,8.556127e-06,8.515971e-06,8.476268e-06,8.437022e-06
0.000000e+00,2.670803e-09,6.146967e-09,2.129998e-08,4.870447e-08,7.121275e-08,1.621954e-07,1.670933e-07,3.232405e-07,3.796930e-07,5.538466e-07,7.338840e-07,8.731780e-07,1.257465e-06,1.295338e-06,1.833076e-06,1.980465e-06,2.495705e-06,2.923208e-06,3.287770e-06,4.092378e-06,4.209851e-06,5.260326e-06,5.485603e-06,6.436483e-06,7.096635e-06,7.734860e-06,8.916860e-06,9.151201e-06,1.068038e-05,1.093513e-05,1.231638e-05,1.313759e-05,1.405227e-05,1.550776e-05,1.588036e-05,1.779231e-05,1.802696e-05,1.977926e-05,2.067492e-05,2.183204e-05,2.343044e-05,2.394132e-05,2.609775e-05,2.627203e-05,2.829217e-05,2.917856e-05,3.051565e-05,3.212976e-05,3.275968e-05,3.501621e-05,3.510662e-05,3.727770e-05,3.809169e-05,3.953718e-05,4.106921e-05,4.178828e-05,4.402523e-05,4.624282e-05,4.694759e-05,4.843643e-05,4.982585e-05,5.060199e-05,5.265123e-05,5.273594e-05,5.483521e-05,5.541642e-05,5.689715e-05,5.811547e-05,5.891956e-05,6.074365e-05,6.090057e-05,6.283868e-05,6.329730e-05,6.473268e-05,6.577369e-05,6.658162e-05,6.817087e-05,6.838482e-05,7.014178e-05,7.048759e-05,7.185220e-05,7.272319e-05,7.351597e-05,7.487748e-05,7.513309e-05,7.670369e-05,7.695069e-05,7.822804e-05,7.894339e-05,7.970646e-05,8.085642e-05,8.113939e-05,8.252733e-05,8.269088e-05,8.387081e-05,8.444802e-05,8.517046e-05,8.612927e-05,8.642691e-05,8.764086e-05,8.773616e-05,8.881300e-05,8.927032e-05,8.994409e-05,9.073346e-05,9.103486e-05,9.208611e-05,9.212735e-05,9.309860e-05,9.345376e-05,9.407312e-05,9.471453e-05,9.501049e-05,9.591148e-05,9.677692e-05,9.704648e-05,9.760759e-05,9.812135e-05,9.840430e-05,9.913792e-05,9.916783e-05,9.989899e-05,1.000980e-04,1.005985e-04,1.010034e-04,1.012673e-04,1.018560e-04,1.019060e-04,1.025154e-04,1.026573e-04,1.030962e-04,1.034093e-04,1.036492e-04,1.041135e-04,1.041752e-04,1.046748e-04,1.047716e-04,1.051488e-04,1.053854e-04,1.055978e-04,1.059562e-04,1.060226e-04,1.064237e-04,1.064858e-04,1.068020e-04,1.069756e-04,1.071580e-04,1.074272e-04,1.074923e-04,1.078057e-04,1.078419e-04,1.080986e-04,1.082212e-04,1.083717e-04,1.085665e-04,1.086257e-04,1.088610e-04,1.088790e-04,1.090783e-04,1.091602e-04,1.092780e-04,1.094113e-04,1.094608e-04,1.096272e-04,1.096335e-04,1.097776e-04,1.098280e-04,1.099127e-04,1.099960e-04,1.100328e-04,1.101385e-04,1.102568e-04,1.103518e-04,1.104246e-04,1.104761e-04,1.105074e-04,1.105193e-04,1.105128e-04,1.104887e-04,1.104479e-04,1.103912e-04,1.103193e-04,1.102331e-04,1.101332e-04,1.100204e-04,1.098953e-04,1.097587e-04,1.096111e-04,1.094531e-04,1.092854e-04,1.091084e-04,1.089228e-04,1.087291e-04,1.085278e-04,1.083193e-04
0.000000e+00,1.100824e-10,5.701489e-10,6.596724e-09,3.347032e-08,7.041212e-08,3.502744e-07,3.711040e-07,1.329579e-06,1.812090e-06,3.734146e-06,6.381388e-06,8.870848e-06,1.764233e-05,1.865351e-05,3.575024e-05,4.131520e-05,6.370007e-05,8.572927e-05,1.070042e-04,1.621590e-04,1.711650e-04,2.626429e-04,2.848449e-04,3.887175e-04,4.705483e-04,5.572686e-04,7.376804e-04,7.765062e-04,1.054687e-03,1.105208e-03,1.399841e-03,1.591546e-03,1.819522e-03,2.213568e-03,2.320596e-03,2.909068e-03,2.985806e-03,3.589943e-03,3.919850e-03,4.367133e-03,5.023951e-03,5.243393e-03,6.220291e-03,6.302810e-03,7.298213e-03,7.757533e-03,8.476386e-03,9.385730e-03,9.752927e-03,1.112492e-02,1.118173e-02,1.258847e-02,1.313688e-02,1.413885e-02,1.523992e-02,1.577055e-02,1.747742e-02,1.925274e-02,1.983415e-02,2.108940e-02,2.229361e-02,2.297992e-02,2.483837e-02,2.491662e-02,2.689168e-02,2.745050e-02,2.889725e-02,3.011198e-02,3.092551e-02,3.280493e-02,3.296877e-02,3.501953e-02,3.551201e-02,3.707052e-02,3.821657e-02,3.911477e-02,4.090286e-02,4.114564e-02,4.315686e-02,4.355622e-02,4.514254e-02,4.616317e-02,4.709722e-02,4.871150e-02,4.901586e-02,5.089385e-02,5.119028e-02,5.272702e-02,5.358991e-02,5.451163e-02,5.590211e-02,5.624436e-02,5.792231e-02,5.811987e-02,5.954301e-02,6.023742e-02,6.110434e-02,6.225018e-02,6.260459e-02,6.404239e-02,6.415468e-02,6.541670e-02,6.594848e-02,6.672682e-02,6.763010e-02,6.797232e-02,6.915307e-02,6.919895e-02,7.026917e-02,7.065520e-02,7.132098e-02,7.199976e-02,7.230905e-02,7.323414e-02,7.409718e-02,7.436042e-02,7.489924e-02,7.538113e-02,7.564157e-02,7.629924e-02,7.632549e-02,7.695246e-02,7.711802e-02,7.752403e-02,7.784104e-02,7.804180e-02,7.847208e-02,7.850745e-02,7.892271e-02,7.901508e-02,7.928936e-02,7.947411e-02,7.960918e-02,7.985332e-02,7.988398e-02,8.011560e-02,8.015691e-02,8.030586e-02,8.038906e-02,8.045658e-02,8.055396e-02,8.056958e-02,8.064663e-02,8.065574e-02,8.068951e-02,8.069846e-02,8.069995e-02,8.068610e-02,8.067967e-02,8.063034e-02,8.062254e-02,8.055358e-02,8.051153e-02,8.045099e-02,8.035671e-02,8.032413e-02,8.017449e-02,8.016158e-02,8.000354e-02,7.992950e-02,7.981267e-02,7.966369e-02,7.960327e-02,7.937663e-02,7.936722e-02,7.913403e-02,7.904302e-02,7.887668e-02,7.869385e-02,7.860575e-02,7.832235e-02,7.793101e-02,7.752215e-02,7.709797e-02,7.666055e-02,7.621182e-02,7.575357e-02,7.528748e-02,7.481513e-02,7.433795e-02,7.385729e-02,7.337438e-02,7.289037e-02,7.240630e-02,7.192313e-02,7.144174e-02,7.096291e-02,7.048738e-02,7.001579e-02,6.954873e-02,6.908674e-02,6.863027e-02,6.817975e-02,6.773554e-02,6.729797e-02
0.000000e+00,4.685366e-11,2.037142e-10,1.655987e-09,6.163974e-09,1.099379e-08,3.629806e-08,3.784003e-08,9.255266e-08,1.141911e-07,1.847076e-07,2.616804e-07,3.231771e-07,4.987323e-07,5.163867e-07,7.713660e-07,8.421888e-07,1.090701e-06,1.296040e-06,1.469164e-06,1.841059e-06,1.893947e-06,2.348871e-06,2.442093e-06,2.818859e-06,3.065140e-06,3.292080e-06,3.685763e-06,3.760001e-06,4.216574e-06,4.288261e-06,4.657393e-06,4.862378e-06,5.079118e-06,5.401005e-06,5.479184e-06,5.855675e-06,5.899200e-06,6.207267e-06,6.353867e-06,6.533213e-06,6.763632e-06,6.833303e-06,7.107815e-06,7.128689e-06,7.357443e-06,7.450548e-06,7.583218e-06,7.731719e-06,7.786423e-06,7.968515e-06,7.975382e-06,8.131049e-06,8.185080e-06,8.275616e-06,8.364467e-06,8.403796e-06,8.517115e-06,8.617024e-06,8.646385e-06,8.704871e-06,8.755341e-06,8.781897e-06,8.846708e-06,8.849229e-06,8.907887e-06,8.922884e-06,8.958787e-06,8.985944e-06,9.002740e-06,9.037662e-06,9.040467e-06,9.072606e-06,9.079552e-06,9.099720e-06,9.112897e-06,9.122307e-06,9.138785e-06,9.140801e-06,9.155590e-06,9.158135e-06,9.167017e-06,9.171733e-06,9.175385e-06,9.180245e-06,9.180959e-06,9.183974e-06,9.184233e-06,9.184640e-06,9.184181e-06,9.183145e-06,9.180511e-06,9.179663e-06,9.174350e-06,9.173596e-06,9.167346e-06,9.163761e-06,9.158775e-06,9.151285e-06,9.148754e-06,9.137389e-06,9.136425e-06,9.124781e-06,9.119410e-06,9.111021e-06,9.100447e-06,9.096192e-06,9.080372e-06,9.079719e-06,9.063632e-06,9.057394e-06,9.046041e-06,9.033625e-06,9.027662e-06,9.008555e-06,8.988776e-06,8.982312e-06,8.968373e-06,8.955012e-06,8.947398e-06,8.926763e-06,8.925894e-06,8.903905e-06,8.897667e-06,8.881473e-06,8.867816e-06,8.858635e-06,8.837297e-06,8.835428e-06,8.811884e-06,8.806188e-06,8.788038e-06,8.774562e-06,8.763917e-06,8.742487e-06,8.739551e-06,8.714967e-06,8.710026e-06,8.690190e-06,8.677238e-06,8.665245e-06,8.644177e-06,8.640153e-06,8.614938e-06,8.610893e-06,8.589618e-06,8.577434e-06,8.564214e-06,8.543841e-06,8.538742e-06,8.513221e-06,8.510156e-06,8.487667e-06,8.476416e-06,8.462094e-06,8.442656e-06,8.436518e-06,8.410952e-06,8.408908e-06,8.385409e-06,8.375201e-06,8.359901e-06,8.341564e-06,8.334440e-06,8.309036e-06,8.308021e-06,8.283700e-06,8.274597e-06,8.258441e-06,8.241314e-06,8.233268e-06,8.208191e-06,8.175248e-06,8.142501e-06,8.109966e-06,8.077658e-06,8.045591e-06,8.013776e-06,7.982224e-06,7.950946e-06,7.919951e-06,7.889247e-06,7.858842e-06,7.828742e-06,7.798954e-06,7.769483e-06,7.740334e-06,7.711510e-06,7.683016e-06,7.654855e-06,7.627028e-06,7.599538e-06,7.572388e-06,7.545577e-06,7.519108e-06,7.492980e-06
0.000000e+00,2.861647e-11,1.484335e-10,1.722828e-09,8.767236e-09,1.847461e-08,9.231411e-08,9.782183e-08,3.520986e-07,4.804985e-07,9.934542e-07,1.702446e-06,2.370954e-06,4.735315e-06,5.008556e-06,9.643030e-06,1.115624e-05,1.725990e-05,2.328708e-05,2.912284e-05,4.430403e-05,4.678880e-05,7.210070e-05,7.826115e-05,1.071546e-04,1.299885e-04,1.542454e-04,2.048762e-04,2.157988e-04,2.942990e-04,3.085976e-04,3.922164e-04,4.468201e-04,5.119407e-04,6.249393e-04,6.557220e-04,8.256187e-04,8.478506e-04,1.023456e-03,1.119768e-03,1.250792e-03,1.444086e-03,1.508892e-03,1.798717e-03,1.823294e-03,2.120906e-03,2.258927e-03,2.475785e-03,2.751558e-03,2.863364e-03,3.283351e-03,3.300818e-03,3.735166e-03,3.905454e-03,4.217958e-03,4.563402e-03,4.730632e-03,5.271869e-03,5.840151e-03,6.027442e-03,6.433791e-03,6.826188e-03,7.050957e-03,7.663761e-03,7.689700e-03,8.347977e-03,8.535509e-03,9.023680e-03,9.436572e-03,9.714657e-03,1.036198e-02,1.041873e-02,1.113373e-02,1.130671e-02,1.185749e-02,1.226583e-02,1.258788e-02,1.323446e-02,1.332283e-02,1.406031e-02,1.420794e-02,1.479838e-02,1.518178e-02,1.553516e-02,1.615175e-02,1.626887e-02,1.699783e-02,1.711391e-02,1.772044e-02,1.806459e-02,1.843521e-02,1.900045e-02,1.914076e-02,1.983580e-02,1.991844e-02,2.051916e-02,2.081585e-02,2.118975e-02,2.169027e-02,2.184662e-02,2.248888e-02,2.253961e-02,2.311576e-02,2.336205e-02,2.372657e-02,2.415608e-02,2.432073e-02,2.489773e-02,2.492044e-02,2.545714e-02,2.565415e-02,2.599862e-02,2.635645e-02,2.652190e-02,2.702678e-02,2.751313e-02,2.766483e-02,2.798087e-02,2.827044e-02,2.842998e-02,2.884363e-02,2.886050e-02,2.927251e-02,2.938457e-02,2.966614e-02,2.989356e-02,3.004156e-02,3.037104e-02,3.039897e-02,3.073863e-02,3.081753e-02,3.106078e-02,3.123366e-02,3.136574e-02,3.162013e-02,3.165381e-02,3.192535e-02,3.197771e-02,3.218071e-02,3.230723e-02,3.242027e-02,3.260956e-02,3.264440e-02,3.285352e-02,3.288562e-02,3.304804e-02,3.313633e-02,3.322835e-02,3.336267e-02,3.339489e-02,3.354808e-02,3.356559e-02,3.368834e-02,3.374607e-02,3.381610e-02,3.390510e-02,3.393179e-02,3.403582e-02,3.404365e-02,3.412862e-02,3.416269e-02,3.421060e-02,3.426317e-02,3.428219e-02,3.434378e-02,3.434604e-02,3.439577e-02,3.441222e-02,3.443857e-02,3.446262e-02,3.447256e-02,3.449812e-02,3.451958e-02,3.452784e-02,3.452369e-02,3.450793e-02,3.448131e-02,3.444455e-02,3.439835e-02,3.434339e-02,3.428030e-02,3.420970e-02,3.413217e-02,3.404828e-02,3.395857e-02,3.386353e-02,3.376366e-02,3.365941e-02,3.355122e-02,3.343950e-02,3.332464e-02,3.320701e-02,3.308696e-02,3.296480e-02,3.284086e-02,3.271542e-02
0.000000e+00,1.195910e-09,2.729453e-09,9.308617e-09,2.099716e-08,3.048056e-08,6.821061e-08,7.022240e-08,1.337298e-07,1.564735e-07,2.261945e-07,2.978124e-07,3.530253e-07,5.048410e-07,5.197755e-07,7.313765e-07,7.892015e-07,9.904426e-07,1.155932e-06,1.295663e-06,1.598598e-06,1.642146e-06,2.023494e-06,2.103393e-06,2.433564e-06,2.656362e-06,2.867070e-06,3.246017e-06,3.319511e-06,3.786915e-06,3.862840e-06,4.265618e-06,4.498381e-06,4.752137e-06,5.144717e-06,5.243111e-06,5.735287e-06,5.794279e-06,6.225546e-06,6.439886e-06,6.710937e-06,7.074874e-06,7.188705e-06,7.656351e-06,7.693257e-06,8.111649e-06,8.289865e-06,8.552655e-06,8.860395e-06,8.977726e-06,9.385533e-06,9.401470e-06,9.775038e-06,9.910627e-06,1.014549e-05,1.038625e-05,1.049640e-05,1.082751e-05,1.113880e-05,1.123425e-05,1.143042e-05,1.160687e-05,1.170267e-05,1.194623e-05,1.195601e-05,1.219097e-05,1.225355e-05,1.240820e-05,1.253031e-05,1.260839e-05,1.277814e-05,1.279227e-05,1.296060e-05,1.299877e-05,1.311418e-05,1.319405e-05,1.325384e-05,1.336584e-05,1.338035e-05,1.349447e-05,1.351587e-05,1.359695e-05,1.364589e-05,1.368853e-05,1.375753e-05,1.376989e-05,1.384169e-05,1.385233e-05,1.390456e-05,1.393175e-05,1.395912e-05,1.399714e-05,1.400591e-05,1.404547e-05,1.404975e-05,1.407830e-05,1.409073e-05,1.410486e-05,1.412113e-05,1.412560e-05,1.414092e-05,1.414192e-05,1.415120e-05,1.415399e-05,1.415680e-05,1.415812e-05,1.415805e-05,1.415526e-05,1.415507e-05,1.414871e-05,1.414549e-05,1.413867e-05,1.412998e-05,1.412539e-05,1.410910e-05,1.409001e-05,1.408334e-05,1.406832e-05,1.405316e-05,1.404422e-05,1.401897e-05,1.401788e-05,1.398946e-05,1.398115e-05,1.395911e-05,1.394003e-05,1.392697e-05,1.389594e-05,1.389318e-05,1.385784e-05,1.384915e-05,1.382109e-05,1.379992e-05,1.378301e-05,1.374849e-05,1.374371e-05,1.370329e-05,1.369508e-05,1.366183e-05,1.363989e-05,1.361941e-05,1.358309e-05,1.357611e-05,1.353200e-05,1.352487e-05,1.348714e-05,1.346536e-05,1.344160e-05,1.340472e-05,1.339544e-05,1.334872e-05,1.334307e-05,1.330147e-05,1.328054e-05,1.325377e-05,1.321723e-05,1.320564e-05,1.315714e-05,1.315324e-05,1.310830e-05,1.308869e-05,1.305918e-05,1.302364e-05,1.300979e-05,1.296017e-05,1.295819e-05,1.291037e-05,1.289240e-05,1.286040e-05,1.282635e-05,1.281031e-05,1.276011e-05,1.269372e-05,1.262725e-05,1.256075e-05,1.249427e-05,1.242785e-05,1.236153e-05,1.229535e-05,1.222935e-05,1.216355e-05,1.209799e-05,1.203271e-05,1.196771e-05,1.190303e-05,1.183869e-05,1.177471e-05,1.171111e-05,1.164791e-05,1.158512e-05,1.152276e-05,1.146083e-05,1.139936e-05,1.133836e-05,1.127783e-05,1.121778e-05
0.000000e+00,2.065371e-09,5.235544e-09,2.000846e-08,4.771009e-08,7.075913e-08,1.646726e-07,1.697402e-07,3.312768e-07,3.895886e-07,5.690385e-07,7.538314e-07,8.963151e-07,1.287238e-06,1.325591e-06,1.866500e-06,2.013486e-06,2.522662e-06,2.939510e-06,3.291013e-06,4.054567e-06,4.164716e-06,5.135951e-06,5.341206e-06,6.196788e-06,6.781144e-06,7.339077e-06,8.355267e-06,8.554213e-06,9.833012e-06,1.004288e-05,1.116575e-05,1.182166e-05,1.254230e-05,1.366812e-05,1.395230e-05,1.538540e-05,1.555843e-05,1.683144e-05,1.746927e-05,1.828069e-05,1.937860e-05,1.972398e-05,2.115283e-05,2.126628e-05,2.255960e-05,2.311456e-05,2.393746e-05,2.490828e-05,2.528051e-05,2.658373e-05,2.663497e-05,2.784296e-05,2.828484e-05,2.905486e-05,2.985057e-05,3.021686e-05,3.132709e-05,3.238431e-05,3.271130e-05,3.338785e-05,3.400183e-05,3.433751e-05,3.519872e-05,3.523354e-05,3.607653e-05,3.630318e-05,3.686737e-05,3.731731e-05,3.760721e-05,3.824396e-05,3.829738e-05,3.893938e-05,3.908647e-05,3.953483e-05,3.984858e-05,4.008542e-05,4.053423e-05,4.059292e-05,4.105911e-05,4.114755e-05,4.148580e-05,4.169266e-05,4.187479e-05,4.217373e-05,4.222788e-05,4.254682e-05,4.259480e-05,4.283335e-05,4.295986e-05,4.308914e-05,4.327273e-05,4.331582e-05,4.351498e-05,4.353711e-05,4.368815e-05,4.375650e-05,4.383680e-05,4.393425e-05,4.396235e-05,4.406614e-05,4.407354e-05,4.414947e-05,4.417736e-05,4.421359e-05,4.424852e-05,4.425968e-05,4.428886e-05,4.428969e-05,4.430222e-05,4.430335e-05,4.430077e-05,4.429182e-05,4.428548e-05,4.425729e-05,4.421705e-05,4.420178e-05,4.416562e-05,4.412718e-05,4.410376e-05,4.403528e-05,4.403224e-05,4.395175e-05,4.392769e-05,4.386296e-05,4.380597e-05,4.376650e-05,4.367151e-05,4.366298e-05,4.355295e-05,4.352563e-05,4.343694e-05,4.336956e-05,4.331547e-05,4.320443e-05,4.318900e-05,4.305799e-05,4.303127e-05,4.292284e-05,4.285107e-05,4.278397e-05,4.266470e-05,4.264173e-05,4.249650e-05,4.247300e-05,4.234859e-05,4.227674e-05,4.219832e-05,4.207660e-05,4.204597e-05,4.189184e-05,4.187323e-05,4.173616e-05,4.166724e-05,4.157919e-05,4.145916e-05,4.142115e-05,4.126225e-05,4.124951e-05,4.110269e-05,4.103873e-05,4.094266e-05,4.082725e-05,4.078234e-05,4.062187e-05,4.061545e-05,4.046142e-05,4.040369e-05,4.030113e-05,4.019229e-05,4.014113e-05,3.998154e-05,3.977170e-05,3.956302e-05,3.935571e-05,3.914998e-05,3.894599e-05,3.874390e-05,3.854386e-05,3.834599e-05,3.815040e-05,3.795719e-05,3.776645e-05,3.757825e-05,3.739265e-05,3.720972e-05,3.702949e-05,3.685200e-05,3.667728e-05,3.650536e-05,3.633625e-05,3.616996e-05,3.600650e-05,3.584587e-05,3.568807e-05,3.553308e-05
0.000000e+00,3.083770e-12,1.512413e-11,1.562720e-10,7.154218e-10,1.422849e-09,6.132325e-09,6.459630e-09,2.015162e-08,2.647479e-08,4.985355e-08,7.940564e-08,1.055730e-07,1.908233e-07,2.001753e-07,3.493037e-07,3.951247e-07,5.702259e-07,7.314518e-07,8.790201e-07,1.232598e-06,1.287002e-06,1.798318e-06,1.912811e-06,2.409697e-06,2.764274e-06,3.111914e-06,3.762502e-06,3.891931e-06,4.734927e-06,4.874637e-06,5.625832e-06,6.066226e-06,6.550290e-06,7.305136e-06,7.495159e-06,8.448704e-06,8.563207e-06,9.400601e-06,9.816553e-06,1.034186e-05,1.104529e-05,1.126473e-05,1.216257e-05,1.223315e-05,1.302982e-05,1.336708e-05,1.386185e-05,1.443702e-05,1.465500e-05,1.540644e-05,1.543560e-05,1.611414e-05,1.635794e-05,1.677683e-05,1.720141e-05,1.739389e-05,1.796529e-05,1.849153e-05,1.865053e-05,1.897355e-05,1.925942e-05,1.941264e-05,1.979526e-05,1.981040e-05,2.016863e-05,2.026212e-05,2.048931e-05,2.066455e-05,2.077451e-05,2.100739e-05,2.102636e-05,2.124702e-05,2.129558e-05,2.143862e-05,2.153399e-05,2.160323e-05,2.172739e-05,2.174289e-05,2.185953e-05,2.188026e-05,2.195501e-05,2.199687e-05,2.203105e-05,2.208112e-05,2.208931e-05,2.213132e-05,2.213663e-05,2.215850e-05,2.216667e-05,2.217218e-05,2.217424e-05,2.217359e-05,2.216386e-05,2.216200e-05,2.214403e-05,2.213235e-05,2.211506e-05,2.208746e-05,2.207781e-05,2.203310e-05,2.202923e-05,2.198167e-05,2.195936e-05,2.192418e-05,2.187938e-05,2.186124e-05,2.179343e-05,2.179062e-05,2.172124e-05,2.169428e-05,2.164516e-05,2.159141e-05,2.156560e-05,2.148296e-05,2.139759e-05,2.136975e-05,2.130982e-05,2.125253e-05,2.121995e-05,2.113195e-05,2.112825e-05,2.103496e-05,2.100858e-05,2.094031e-05,2.088295e-05,2.084451e-05,2.075552e-05,2.074775e-05,2.065020e-05,2.062669e-05,2.055202e-05,2.049682e-05,2.045336e-05,2.036625e-05,2.035435e-05,2.025512e-05,2.023525e-05,2.015576e-05,2.010409e-05,2.005640e-05,1.997299e-05,1.995711e-05,1.985799e-05,1.984215e-05,1.975911e-05,1.971176e-05,1.966055e-05,1.958198e-05,1.956238e-05,1.946465e-05,1.945295e-05,1.936741e-05,1.932480e-05,1.927072e-05,1.919764e-05,1.917463e-05,1.907917e-05,1.907157e-05,1.898439e-05,1.894667e-05,1.889031e-05,1.882303e-05,1.879697e-05,1.870440e-05,1.870071e-05,1.861262e-05,1.857977e-05,1.852165e-05,1.846027e-05,1.843152e-05,1.834224e-05,1.822572e-05,1.811075e-05,1.799736e-05,1.788556e-05,1.777537e-05,1.766680e-05,1.755987e-05,1.745459e-05,1.735095e-05,1.724896e-05,1.714862e-05,1.704992e-05,1.695285e-05,1.685742e-05,1.676361e-05,1.667141e-05,1.658081e-05,1.649179e-05,1.640435e-05,1.631846e-05,1.623411e-05,1.615129e-05,1.606998e-05,1.599016e-05
0.000000e+00,4.383372e-09,1.067329e-08,3.912929e-08,9.159869e-08,1.349684e-07,3.108088e-07,3.202786e-07,6.218292e-07,7.306360e-07,1.065561e-06,1.410720e-06,1.677083e-06,2.409057e-06,2.480969e-06,3.497180e-06,3.773975e-06,4.734800e-06,5.523347e-06,6.189324e-06,7.638255e-06,7.847459e-06,9.693273e-06,1.008354e-05,1.171072e-05,1.282229e-05,1.388371e-05,1.581710e-05,1.619564e-05,1.862914e-05,1.902857e-05,2.116599e-05,2.241489e-05,2.378741e-05,2.593261e-05,2.647432e-05,2.920777e-05,2.953803e-05,3.196928e-05,3.318863e-05,3.474115e-05,3.684446e-05,3.750681e-05,4.025098e-05,4.046916e-05,4.295985e-05,4.403071e-05,4.562116e-05,4.750179e-05,4.822422e-05,5.075990e-05,5.085981e-05,5.322058e-05,5.408682e-05,5.560004e-05,5.716914e-05,5.789340e-05,6.009697e-05,6.220812e-05,6.286388e-05,6.422521e-05,6.546637e-05,6.614741e-05,6.790336e-05,6.797463e-05,6.970741e-05,7.017579e-05,7.134678e-05,7.228618e-05,7.289424e-05,7.423831e-05,7.435164e-05,7.572110e-05,7.603694e-05,7.700498e-05,7.768752e-05,7.820584e-05,7.919602e-05,7.932633e-05,8.036921e-05,8.056872e-05,8.133730e-05,8.181210e-05,8.223345e-05,8.293272e-05,8.306052e-05,8.382135e-05,8.393712e-05,8.451874e-05,8.483178e-05,8.515549e-05,8.562306e-05,8.573432e-05,8.625788e-05,8.631712e-05,8.672879e-05,8.691996e-05,8.714956e-05,8.743734e-05,8.752266e-05,8.785046e-05,8.787480e-05,8.813527e-05,8.823765e-05,8.837930e-05,8.853096e-05,8.858469e-05,8.875352e-05,8.875954e-05,8.888776e-05,8.892799e-05,8.898933e-05,8.904067e-05,8.906005e-05,8.910168e-05,8.911590e-05,8.911493e-05,8.910434e-05,8.908412e-05,8.906852e-05,8.901270e-05,8.900994e-05,8.893000e-05,8.890397e-05,8.883005e-05,8.876102e-05,8.871138e-05,8.858673e-05,8.857522e-05,8.842274e-05,8.838385e-05,8.825507e-05,8.815493e-05,8.807325e-05,8.790237e-05,8.787832e-05,8.767123e-05,8.762844e-05,8.745291e-05,8.733523e-05,8.722422e-05,8.702472e-05,8.698600e-05,8.673903e-05,8.669876e-05,8.648407e-05,8.635906e-05,8.622183e-05,8.600724e-05,8.595297e-05,8.567814e-05,8.564478e-05,8.539794e-05,8.527310e-05,8.511294e-05,8.489347e-05,8.482369e-05,8.453070e-05,8.450712e-05,8.423446e-05,8.411515e-05,8.393541e-05,8.371861e-05,8.363401e-05,8.333064e-05,8.331847e-05,8.302570e-05,8.291560e-05,8.271954e-05,8.251084e-05,8.241252e-05,8.210494e-05,8.169861e-05,8.129248e-05,8.088714e-05,8.048315e-05,8.008098e-05,7.968110e-05,7.928392e-05,7.888981e-05,7.849911e-05,7.811213e-05,7.772914e-05,7.735038e-05,7.697609e-05,7.660644e-05,7.624163e-05,7.588178e-05,7.552704e-05,7.517752e-05,7.483331e-05,7.449449e-05,7.416113e-05,7.383326e-05,7.351094e-05,7.319418e-05
0.000000e+00,1.692455e-10,5.598726e-10,2.934977e-09,8.201390e-09,1.292715e-08,3.360408e-08,3.476065e-08,7.286875e-08,8.705611e-08,1.316845e-07,1.788181e-07,2.158084e-07,3.196498e-07,3.300018e-07,4.786819e-07,5.198713e-07,6.647873e-07,7.856618e-07,8.888964e-07,1.116506e-06,1.149666e-06,1.444984e-06,1.508001e-06,1.772691e-06,1.955219e-06,2.130746e-06,2.453502e-06,2.517147e-06,2.929821e-06,2.998142e-06,3.366557e-06,3.584044e-06,3.824973e-06,4.205613e-06,4.302528e-06,4.796539e-06,4.856795e-06,5.304232e-06,5.531226e-06,5.822789e-06,6.222423e-06,6.349394e-06,6.881290e-06,6.923990e-06,7.415812e-06,7.629783e-06,7.950426e-06,8.334076e-06,8.482777e-06,9.010704e-06,9.031701e-06,9.532246e-06,9.718094e-06,1.004565e-05,1.038934e-05,1.054940e-05,1.104217e-05,1.152287e-05,1.167398e-05,1.199057e-05,1.228273e-05,1.244454e-05,1.286693e-05,1.288424e-05,1.330925e-05,1.342559e-05,1.371931e-05,1.395810e-05,1.411426e-05,1.446425e-05,1.449408e-05,1.485880e-05,1.494410e-05,1.520856e-05,1.539797e-05,1.554356e-05,1.582636e-05,1.586406e-05,1.617035e-05,1.622993e-05,1.646276e-05,1.660946e-05,1.674167e-05,1.696579e-05,1.700745e-05,1.726052e-05,1.729985e-05,1.750127e-05,1.761258e-05,1.773013e-05,1.790493e-05,1.794751e-05,1.815384e-05,1.817787e-05,1.834952e-05,1.843236e-05,1.853497e-05,1.866932e-05,1.871060e-05,1.887678e-05,1.888968e-05,1.903391e-05,1.909431e-05,1.918235e-05,1.928406e-05,1.932248e-05,1.945463e-05,1.945976e-05,1.957915e-05,1.962217e-05,1.969637e-05,1.977206e-05,1.980659e-05,1.991011e-05,2.000724e-05,2.003701e-05,2.009825e-05,2.015340e-05,2.018340e-05,2.025987e-05,2.026295e-05,2.033715e-05,2.035700e-05,2.040624e-05,2.044534e-05,2.047044e-05,2.052538e-05,2.052997e-05,2.058503e-05,2.059761e-05,2.063583e-05,2.066248e-05,2.068255e-05,2.072043e-05,2.072537e-05,2.076447e-05,2.077186e-05,2.080001e-05,2.081714e-05,2.083216e-05,2.085664e-05,2.086106e-05,2.088685e-05,2.089070e-05,2.090969e-05,2.091964e-05,2.092970e-05,2.094375e-05,2.094700e-05,2.096172e-05,2.096332e-05,2.097398e-05,2.097862e-05,2.098389e-05,2.098990e-05,2.099154e-05,2.099705e-05,2.099740e-05,2.100051e-05,2.100135e-05,2.100202e-05,2.100194e-05,2.100166e-05,2.099952e-05,2.099939e-05,2.099567e-05,2.099389e-05,2.099021e-05,2.098561e-05,2.098320e-05,2.097471e-05,2.096136e-05,2.094572e-05,2.092791e-05,2.090808e-05,2.088634e-05,2.086283e-05,2.083765e-05,2.081091e-05,2.078272e-05,2.075316e-05,2.072233e-05,2.069032e-05,2.065720e-05,2.062306e-05,2.058796e-05,2.055198e-05,2.051519e-05,2.047763e-05,2.043938e-05,2.040049e-05,2.036102e-05,2.032100e-05,2.028049e-05,2.023954e-05
0.000000e+00,1.937582e-09,4.436322e-09,1.523333e-08,3.456880e-08,5.033837e-08,1.134484e-07,1.168237e-07,2.235751e-07,2.618305e-07,3.789473e-07,4.988061e-07,5.908131e-07,8.418749e-07,8.664249e-07,1.211981e-06,1.305855e-06,1.631770e-06,1.899863e-06,2.126911e-06,2.622521e-06,2.694186e-06,3.325980e-06,3.459181e-06,4.011767e-06,4.385939e-06,4.740224e-06,5.377276e-06,5.500700e-06,6.283770e-06,6.410593e-06,7.081224e-06,7.466979e-06,7.885927e-06,8.530708e-06,8.691670e-06,9.493072e-06,9.588721e-06,1.028551e-05,1.063031e-05,1.106507e-05,1.164689e-05,1.182849e-05,1.257314e-05,1.263183e-05,1.329691e-05,1.358020e-05,1.399821e-05,1.448857e-05,1.467588e-05,1.532914e-05,1.535476e-05,1.595750e-05,1.617757e-05,1.656077e-05,1.695666e-05,1.713896e-05,1.769227e-05,1.822105e-05,1.838514e-05,1.872574e-05,1.903635e-05,1.920690e-05,1.964722e-05,1.966512e-05,2.010107e-05,2.021924e-05,2.051544e-05,2.075399e-05,2.090892e-05,2.125312e-05,2.128226e-05,2.163616e-05,2.171829e-05,2.197136e-05,2.215116e-05,2.228855e-05,2.255334e-05,2.258844e-05,2.287171e-05,2.292643e-05,2.313903e-05,2.327196e-05,2.339106e-05,2.359140e-05,2.362842e-05,2.385173e-05,2.388620e-05,2.406158e-05,2.415769e-05,2.425854e-05,2.440719e-05,2.444315e-05,2.461596e-05,2.463593e-05,2.477746e-05,2.484507e-05,2.492816e-05,2.503575e-05,2.506852e-05,2.519900e-05,2.520902e-05,2.532003e-05,2.536589e-05,2.543203e-05,2.550730e-05,2.553539e-05,2.563051e-05,2.563415e-05,2.571775e-05,2.574730e-05,2.579747e-05,2.584754e-05,2.586999e-05,2.593565e-05,2.599475e-05,2.601233e-05,2.604760e-05,2.607827e-05,2.609447e-05,2.613410e-05,2.613564e-05,2.617137e-05,2.618043e-05,2.620190e-05,2.621783e-05,2.622749e-05,2.624684e-05,2.624834e-05,2.626469e-05,2.626796e-05,2.627674e-05,2.628168e-05,2.628469e-05,2.628845e-05,2.628874e-05,2.628906e-05,2.628869e-05,2.628583e-05,2.628281e-05,2.627923e-05,2.627118e-05,2.626940e-05,2.625651e-05,2.625417e-05,2.624070e-05,2.623212e-05,2.622212e-05,2.620534e-05,2.620089e-05,2.617715e-05,2.617414e-05,2.615102e-05,2.613880e-05,2.612262e-05,2.609959e-05,2.609206e-05,2.605945e-05,2.605676e-05,2.602490e-05,2.601055e-05,2.598850e-05,2.596120e-05,2.595035e-05,2.591054e-05,2.590891e-05,2.586915e-05,2.585389e-05,2.582628e-05,2.579632e-05,2.578200e-05,2.573639e-05,2.567426e-05,2.561011e-05,2.554408e-05,2.547631e-05,2.540694e-05,2.533610e-05,2.526391e-05,2.519048e-05,2.511593e-05,2.504035e-05,2.496385e-05,2.488651e-05,2.480843e-05,2.472968e-05,2.465034e-05,2.457048e-05,2.449018e-05,2.440949e-05,2.432849e-05,2.424723e-05,2.416576e-05,2.408414e-05,2.400242e-05,2.392064e-05
0.000000e+00,9.006253e-11,3.959816e-10,3.297674e-09,1.256269e-08,2.270401e-08,7.768391e-08,8.110554e-08,2.060248e-07,2.569292e-07,4.272874e-07,6.196434e-07,7.773077e-07,1.243184e-06,1.291146e-06,2.001845e-06,2.204365e-06,2.929368e-06,3.543575e-06,4.071466e-06,5.236726e-06,5.406017e-06,6.901370e-06,7.216857e-06,8.525405e-06,9.411120e-06,1.024960e-05,1.175731e-05,1.204946e-05,1.390352e-05,1.420387e-05,1.579227e-05,1.670580e-05,1.769749e-05,1.922192e-05,1.960196e-05,2.148950e-05,2.171414e-05,2.334509e-05,2.414786e-05,2.515510e-05,2.649278e-05,2.690752e-05,2.859204e-05,2.872360e-05,3.020015e-05,3.082044e-05,3.172518e-05,3.276894e-05,3.316224e-05,3.450808e-05,3.455999e-05,3.576095e-05,3.618910e-05,3.692043e-05,3.765588e-05,3.798729e-05,3.896324e-05,3.985074e-05,4.011654e-05,4.065284e-05,4.112300e-05,4.137311e-05,4.199117e-05,4.201542e-05,4.258390e-05,4.273042e-05,4.308281e-05,4.335055e-05,4.351644e-05,4.386139e-05,4.388906e-05,4.420485e-05,4.427264e-05,4.446789e-05,4.459362e-05,4.468210e-05,4.483319e-05,4.485122e-05,4.497883e-05,4.499967e-05,4.506829e-05,4.510081e-05,4.512280e-05,4.514376e-05,4.514533e-05,4.513867e-05,4.513507e-05,4.510542e-05,4.508072e-05,4.504798e-05,4.498614e-05,4.496861e-05,4.486939e-05,4.485624e-05,4.475224e-05,4.469547e-05,4.461894e-05,4.450785e-05,4.447114e-05,4.431034e-05,4.429696e-05,4.413794e-05,4.406602e-05,4.395521e-05,4.381792e-05,4.376333e-05,4.356339e-05,4.355523e-05,4.335636e-05,4.328028e-05,4.314318e-05,4.299511e-05,4.292465e-05,4.270157e-05,4.247461e-05,4.240127e-05,4.224443e-05,4.209569e-05,4.201160e-05,4.178610e-05,4.177667e-05,4.154012e-05,4.147366e-05,4.130241e-05,4.115939e-05,4.106393e-05,4.084417e-05,4.082506e-05,4.058613e-05,4.052882e-05,4.034746e-05,4.021402e-05,4.010932e-05,3.990041e-05,3.987197e-05,3.963564e-05,3.958851e-05,3.940053e-05,3.927882e-05,3.916684e-05,3.897175e-05,3.893472e-05,3.870434e-05,3.866765e-05,3.847583e-05,3.836684e-05,3.824931e-05,3.806960e-05,3.802489e-05,3.780267e-05,3.777616e-05,3.758273e-05,3.748670e-05,3.736515e-05,3.720141e-05,3.715000e-05,3.693732e-05,3.692041e-05,3.672717e-05,3.664383e-05,3.651960e-05,3.637176e-05,3.631463e-05,3.611230e-05,3.610426e-05,3.591263e-05,3.584140e-05,3.571563e-05,3.558320e-05,3.552132e-05,3.532970e-05,3.508091e-05,3.483682e-05,3.459743e-05,3.436272e-05,3.413266e-05,3.390722e-05,3.368636e-05,3.347004e-05,3.325821e-05,3.305081e-05,3.284779e-05,3.264909e-05,3.245465e-05,3.226440e-05,3.207828e-05,3.189621e-05,3.171814e-05,3.154400e-05,3.137370e-05,3.120718e-05,3.104438e-05,3.088521e-05,3.072962e-05,3.057752e-05
0.000000e+00,1.045165e-11,5.131181e-11,5.315880e-10,2.441437e-09,4.866107e-09,2.112643e-08,2.226204e-08,7.019217e-08,9.254823e-08,1.761113e-07,2.833437e-07,3.794593e-07,6.979170e-07,7.332194e-07,1.301553e-06,1.477339e-06,2.150166e-06,2.768658e-06,3.332747e-06,4.675604e-06,4.881211e-06,6.803476e-06,7.231978e-06,9.087030e-06,1.040870e-05,1.170488e-05,1.413627e-05,1.462136e-05,1.779661e-05,1.832593e-05,2.118959e-05,2.288362e-05,2.475980e-05,2.771731e-05,2.846825e-05,3.227790e-05,3.274018e-05,3.615392e-05,3.787192e-05,4.006378e-05,4.303932e-05,4.397742e-05,4.786733e-05,4.817673e-05,5.170867e-05,5.322657e-05,5.547937e-05,5.813963e-05,5.916020e-05,6.273473e-05,6.287530e-05,6.618928e-05,6.740134e-05,6.951280e-05,7.169348e-05,7.269671e-05,7.573469e-05,7.862247e-05,7.951440e-05,8.135763e-05,8.302757e-05,8.393930e-05,8.627378e-05,8.636801e-05,8.864543e-05,8.925632e-05,9.077415e-05,9.198138e-05,9.275755e-05,9.445733e-05,9.459960e-05,9.630475e-05,9.669415e-05,9.787780e-05,9.870288e-05,9.932378e-05,1.004953e-04,1.006479e-04,1.018554e-04,1.020834e-04,1.029516e-04,1.034794e-04,1.039418e-04,1.046954e-04,1.048312e-04,1.056248e-04,1.057433e-04,1.063277e-04,1.066343e-04,1.069447e-04,1.073797e-04,1.074806e-04,1.079397e-04,1.079899e-04,1.083266e-04,1.084750e-04,1.086454e-04,1.088446e-04,1.089001e-04,1.090945e-04,1.091076e-04,1.092324e-04,1.092726e-04,1.093174e-04,1.093475e-04,1.093526e-04,1.093413e-04,1.093399e-04,1.092866e-04,1.092568e-04,1.091914e-04,1.091048e-04,1.090583e-04,1.088900e-04,1.086890e-04,1.086181e-04,1.084576e-04,1.082946e-04,1.081980e-04,1.079243e-04,1.079124e-04,1.076027e-04,1.075119e-04,1.072708e-04,1.070617e-04,1.069185e-04,1.065777e-04,1.065474e-04,1.061592e-04,1.060637e-04,1.057554e-04,1.055229e-04,1.053373e-04,1.049587e-04,1.049063e-04,1.044637e-04,1.043739e-04,1.040107e-04,1.037713e-04,1.035483e-04,1.031534e-04,1.030776e-04,1.025996e-04,1.025225e-04,1.021152e-04,1.018807e-04,1.016253e-04,1.012300e-04,1.011307e-04,1.006322e-04,1.005722e-04,1.001305e-04,9.990891e-05,9.962625e-05,9.924171e-05,9.912008e-05,9.861259e-05,9.857195e-05,9.810433e-05,9.790093e-05,9.759581e-05,9.722978e-05,9.708751e-05,9.657987e-05,9.655959e-05,9.607331e-05,9.589129e-05,9.556822e-05,9.522578e-05,9.506495e-05,9.456384e-05,9.390618e-05,9.325346e-05,9.260624e-05,9.196505e-05,9.133035e-05,9.070256e-05,9.008203e-05,8.946908e-05,8.886399e-05,8.826700e-05,8.767832e-05,8.709811e-05,8.652654e-05,8.596370e-05,8.540970e-05,8.486460e-05,8.432846e-05,8.380130e-05,8.328315e-05,8.277398e-05,8.227380e-05,8.178256e-05,8.130024e-05,8.082676e-05
0.000000e+00,3.239695e-12,1.605505e-11,1.694478e-10,7.903344e-10,1.587352e-09,7.003918e-09,7.384282e-09,2.348913e-08,3.099826e-08,5.892837e-08,9.439213e-08,1.258325e-07,2.281453e-07,2.393493e-07,4.175314e-07,4.721650e-07,6.810146e-07,8.740948e-07,1.052018e-06,1.484767e-06,1.552280e-06,2.200316e-06,2.348909e-06,3.009038e-06,3.495387e-06,3.984581e-06,4.932745e-06,5.126416e-06,6.428314e-06,6.650814e-06,7.879694e-06,8.625538e-06,9.466941e-06,1.082417e-05,1.117454e-05,1.298592e-05,1.320945e-05,1.488411e-05,1.574244e-05,1.685218e-05,1.838440e-05,1.887350e-05,2.093206e-05,2.109789e-05,2.301255e-05,2.384762e-05,2.510054e-05,2.660096e-05,2.718260e-05,2.924640e-05,2.932841e-05,3.128075e-05,3.200394e-05,3.327566e-05,3.460515e-05,3.522238e-05,3.711338e-05,3.894233e-05,3.951361e-05,4.070406e-05,4.179437e-05,4.239450e-05,4.394742e-05,4.401060e-05,4.555026e-05,4.596747e-05,4.701219e-05,4.785181e-05,4.839591e-05,4.959996e-05,4.970155e-05,5.092984e-05,5.121324e-05,5.208197e-05,5.269449e-05,5.315956e-05,5.404769e-05,5.416452e-05,5.509905e-05,5.527771e-05,5.596552e-05,5.639003e-05,5.676647e-05,5.739055e-05,5.750452e-05,5.818236e-05,5.828540e-05,5.880268e-05,5.908080e-05,5.936819e-05,5.978292e-05,5.988155e-05,6.034539e-05,6.039785e-05,6.076228e-05,6.093148e-05,6.113470e-05,6.138949e-05,6.146507e-05,6.175570e-05,6.177731e-05,6.200884e-05,6.210008e-05,6.222663e-05,6.236270e-05,6.241111e-05,6.256425e-05,6.256975e-05,6.268789e-05,6.272553e-05,6.278382e-05,6.283409e-05,6.285372e-05,6.289919e-05,6.292174e-05,6.292435e-05,6.292280e-05,6.291284e-05,6.290375e-05,6.286772e-05,6.286586e-05,6.281034e-05,6.279180e-05,6.273836e-05,6.268772e-05,6.265099e-05,6.255790e-05,6.254926e-05,6.243414e-05,6.240462e-05,6.230653e-05,6.222995e-05,6.216732e-05,6.203584e-05,6.201729e-05,6.185724e-05,6.182409e-05,6.168787e-05,6.159634e-05,6.150987e-05,6.135415e-05,6.132388e-05,6.113052e-05,6.109893e-05,6.093035e-05,6.083200e-05,6.072391e-05,6.055458e-05,6.051171e-05,6.029422e-05,6.026779e-05,6.007191e-05,5.997268e-05,5.984520e-05,5.967020e-05,5.961448e-05,5.938013e-05,5.936124e-05,5.914251e-05,5.904663e-05,5.890196e-05,5.872712e-05,5.865878e-05,5.841327e-05,5.840341e-05,5.816572e-05,5.807616e-05,5.791639e-05,5.774595e-05,5.766552e-05,5.741335e-05,5.707885e-05,5.674293e-05,5.640602e-05,5.606852e-05,5.573080e-05,5.539318e-05,5.505599e-05,5.471951e-05,5.438399e-05,5.404968e-05,5.371680e-05,5.338555e-05,5.305612e-05,5.272866e-05,5.240333e-05,5.208028e-05,5.175962e-05,5.144147e-05,5.112593e-05,5.081310e-05,5.050306e-05,5.019587e-05,4.989161e-05,4.959033e-05
0.000000e+00,1.873911e-12,9.331936e-12,9.946843e-11,4.680081e-10,9.443855e-10,4.215985e-09,4.447003e-09,1.430162e-08,1.892758e-08,3.623101e-08,5.834159e-08,7.802780e-08,1.424212e-07,1.494944e-07,2.623288e-07,2.970201e-07,4.299034e-07,5.530544e-07,6.667632e-07,9.442060e-07,9.876018e-07,1.405625e-06,1.501834e-06,1.930628e-06,2.247733e-06,2.567431e-06,3.188276e-06,3.315169e-06,4.167528e-06,4.312944e-06,5.113691e-06,5.597129e-06,6.139602e-06,7.007043e-06,7.229278e-06,8.365966e-06,8.504732e-06,9.533061e-06,1.005211e-05,1.071479e-05,1.161371e-05,1.189664e-05,1.306564e-05,1.315826e-05,1.421050e-05,1.465948e-05,1.532162e-05,1.609621e-05,1.639106e-05,1.741246e-05,1.745225e-05,1.838095e-05,1.871593e-05,1.929296e-05,1.987961e-05,2.014612e-05,2.093911e-05,2.167152e-05,2.189314e-05,2.234371e-05,2.274276e-05,2.295669e-05,2.349086e-05,2.351199e-05,2.401155e-05,2.414175e-05,2.445766e-05,2.470070e-05,2.485282e-05,2.517366e-05,2.519970e-05,2.550108e-05,2.556695e-05,2.575977e-05,2.588704e-05,2.597858e-05,2.614036e-05,2.616030e-05,2.630764e-05,2.633321e-05,2.642322e-05,2.647161e-05,2.650955e-05,2.656124e-05,2.656905e-05,2.660398e-05,2.660744e-05,2.661650e-05,2.661514e-05,2.660862e-05,2.658890e-05,2.658223e-05,2.653908e-05,2.653286e-05,2.648082e-05,2.645079e-05,2.640896e-05,2.634613e-05,2.632491e-05,2.622996e-05,2.622193e-05,2.612530e-05,2.608097e-05,2.601203e-05,2.592571e-05,2.589116e-05,2.576362e-05,2.575839e-05,2.563024e-05,2.558096e-05,2.549182e-05,2.539517e-05,2.534905e-05,2.520259e-05,2.505301e-05,2.500458e-05,2.490086e-05,2.480237e-05,2.474663e-05,2.459703e-05,2.459077e-05,2.443366e-05,2.438950e-05,2.427569e-05,2.418062e-05,2.411717e-05,2.397112e-05,2.395842e-05,2.379969e-05,2.376163e-05,2.364124e-05,2.355272e-05,2.348329e-05,2.334486e-05,2.332604e-05,2.316965e-05,2.313849e-05,2.301430e-05,2.293397e-05,2.286011e-05,2.273160e-05,2.270723e-05,2.255576e-05,2.253166e-05,2.240579e-05,2.233437e-05,2.225742e-05,2.213993e-05,2.211073e-05,2.196577e-05,2.194850e-05,2.182261e-05,2.176020e-05,2.168130e-05,2.157516e-05,2.154187e-05,2.140437e-05,2.139345e-05,2.126881e-05,2.121514e-05,2.113523e-05,2.104028e-05,2.100364e-05,2.087405e-05,2.086891e-05,2.074647e-05,2.070104e-05,2.062091e-05,2.053669e-05,2.049737e-05,2.037585e-05,2.021851e-05,2.006467e-05,1.991428e-05,1.976733e-05,1.962377e-05,1.948356e-05,1.934667e-05,1.921304e-05,1.908262e-05,1.895536e-05,1.883121e-05,1.871011e-05,1.859200e-05,1.847683e-05,1.836453e-05,1.825505e-05,1.814833e-05,1.804431e-05,1.794292e-05,1.784412e-05,1.774784e-05,1.765402e-05,1.756261e-05,1.747355e-05
0.000000e+00,9.821816e-12,4.613003e-11,4.366122e-10,1.849265e-09,3.526822e-09,1.366602e-08,1.433391e-08,4.030240e-08,5.147702e-08,9.028273e-08,1.356920e-07,1.736436e-07,2.878199e-07,2.996873e-07,4.773258e-07,5.285767e-07,7.148929e-07,8.769681e-07,1.019960e-06,1.349455e-06,1.399032e-06,1.857034e-06,1.958385e-06,2.396566e-06,2.709305e-06,3.017077e-06,3.597872e-06,3.714293e-06,4.480233e-06,4.608459e-06,5.303917e-06,5.716076e-06,6.172560e-06,6.890872e-06,7.072822e-06,7.991812e-06,8.102776e-06,8.917746e-06,9.324632e-06,9.840261e-06,1.053358e-05,1.075050e-05,1.164106e-05,1.171126e-05,1.250584e-05,1.284341e-05,1.333996e-05,1.391935e-05,1.413957e-05,1.490176e-05,1.493144e-05,1.562444e-05,1.587464e-05,1.630621e-05,1.674605e-05,1.694634e-05,1.754458e-05,1.810118e-05,1.827059e-05,1.861675e-05,1.892560e-05,1.909221e-05,1.951201e-05,1.952874e-05,1.992770e-05,2.003288e-05,2.029060e-05,2.049171e-05,2.061907e-05,2.089229e-05,2.091478e-05,2.117944e-05,2.123854e-05,2.141479e-05,2.153442e-05,2.162254e-05,2.178385e-05,2.180436e-05,2.196190e-05,2.199064e-05,2.209676e-05,2.215843e-05,2.221047e-05,2.229070e-05,2.230448e-05,2.238021e-05,2.239072e-05,2.243899e-05,2.246155e-05,2.248207e-05,2.250604e-05,2.251065e-05,2.252585e-05,2.252683e-05,2.252873e-05,2.252635e-05,2.252028e-05,2.250686e-05,2.250144e-05,2.247307e-05,2.247041e-05,2.243598e-05,2.241888e-05,2.239095e-05,2.235401e-05,2.233868e-05,2.227983e-05,2.227735e-05,2.221502e-05,2.219034e-05,2.214482e-05,2.209428e-05,2.206976e-05,2.199035e-05,2.190704e-05,2.187962e-05,2.182025e-05,2.176307e-05,2.173039e-05,2.164158e-05,2.163783e-05,2.154289e-05,2.151593e-05,2.144590e-05,2.138685e-05,2.134715e-05,2.125498e-05,2.124691e-05,2.114543e-05,2.112091e-05,2.104292e-05,2.098516e-05,2.093962e-05,2.084820e-05,2.083571e-05,2.073136e-05,2.071046e-05,2.062676e-05,2.057231e-05,2.052204e-05,2.043409e-05,2.041735e-05,2.031281e-05,2.029611e-05,2.020855e-05,2.015863e-05,2.010466e-05,2.002189e-05,2.000125e-05,1.989840e-05,1.988610e-05,1.979620e-05,1.975146e-05,1.969472e-05,1.961812e-05,1.959403e-05,1.949418e-05,1.948623e-05,1.939523e-05,1.935591e-05,1.929723e-05,1.922727e-05,1.920021e-05,1.910423e-05,1.910041e-05,1.900931e-05,1.897541e-05,1.891548e-05,1.885232e-05,1.882278e-05,1.873121e-05,1.861212e-05,1.849510e-05,1.838016e-05,1.826733e-05,1.815662e-05,1.804805e-05,1.794161e-05,1.783730e-05,1.773512e-05,1.763506e-05,1.753710e-05,1.744122e-05,1.734742e-05,1.725566e-05,1.716593e-05,1.707819e-05,1.699243e-05,1.690862e-05,1.682672e-05,1.674670e-05,1.666854e-05,1.659220e-05,1.651765e-05,1.644486e-05
0.000000e+00,1.623084e-09,3.992854e-09,1.476022e-08,3.467976e-08,5.121797e-08,1.191580e-07,1.228613e-07,2.432999e-07,2.879529e-07,4.291949e-07,5.802092e-07,6.999944e-07,1.039770e-06,1.073733e-06,1.557121e-06,1.688385e-06,2.136847e-06,2.493300e-06,2.784893e-06,3.388684e-06,3.472486e-06,4.177713e-06,4.319460e-06,4.885597e-06,5.251209e-06,5.585877e-06,6.162769e-06,6.271157e-06,6.935798e-06,7.039914e-06,7.575353e-06,7.872369e-06,8.186319e-06,8.652663e-06,8.765988e-06,9.312397e-06,9.375664e-06,9.824274e-06,1.003837e-05,1.030097e-05,1.063965e-05,1.074238e-05,1.114891e-05,1.117995e-05,1.152133e-05,1.166097e-05,1.186069e-05,1.208530e-05,1.216833e-05,1.244576e-05,1.245626e-05,1.269463e-05,1.277755e-05,1.291662e-05,1.305311e-05,1.311347e-05,1.328687e-05,1.343850e-05,1.348269e-05,1.356998e-05,1.364428e-05,1.368287e-05,1.377511e-05,1.377863e-05,1.385866e-05,1.387843e-05,1.392427e-05,1.395722e-05,1.397668e-05,1.401422e-05,1.401703e-05,1.404637e-05,1.405189e-05,1.406570e-05,1.407248e-05,1.407590e-05,1.407801e-05,1.407783e-05,1.407224e-05,1.407028e-05,1.405984e-05,1.405093e-05,1.404130e-05,1.402140e-05,1.401720e-05,1.398809e-05,1.398301e-05,1.395448e-05,1.393689e-05,1.391684e-05,1.388409e-05,1.387557e-05,1.383107e-05,1.382553e-05,1.378370e-05,1.376203e-05,1.373378e-05,1.369432e-05,1.368160e-05,1.362745e-05,1.362304e-05,1.357157e-05,1.354878e-05,1.351418e-05,1.347205e-05,1.345550e-05,1.339572e-05,1.339331e-05,1.333501e-05,1.331296e-05,1.327353e-05,1.323136e-05,1.321142e-05,1.314883e-05,1.308587e-05,1.306567e-05,1.302266e-05,1.298211e-05,1.295928e-05,1.289838e-05,1.289585e-05,1.283243e-05,1.281469e-05,1.276911e-05,1.273120e-05,1.270596e-05,1.264807e-05,1.264304e-05,1.258041e-05,1.256543e-05,1.251812e-05,1.248340e-05,1.245621e-05,1.240209e-05,1.239473e-05,1.233372e-05,1.232158e-05,1.227322e-05,1.224196e-05,1.221324e-05,1.216329e-05,1.215383e-05,1.209500e-05,1.208564e-05,1.203678e-05,1.200905e-05,1.197918e-05,1.193357e-05,1.192223e-05,1.186594e-05,1.185923e-05,1.181031e-05,1.178606e-05,1.175538e-05,1.171408e-05,1.170113e-05,1.164758e-05,1.164333e-05,1.159474e-05,1.157380e-05,1.154260e-05,1.150551e-05,1.149119e-05,1.144049e-05,1.143847e-05,1.139050e-05,1.137269e-05,1.134124e-05,1.130816e-05,1.129270e-05,1.124488e-05,1.118285e-05,1.112206e-05,1.106251e-05,1.100419e-05,1.094708e-05,1.089118e-05,1.083647e-05,1.078294e-05,1.073057e-05,1.067935e-05,1.062926e-05,1.058029e-05,1.053243e-05,1.048564e-05,1.043991e-05,1.039524e-05,1.035159e-05,1.030895e-05,1.026731e-05,1.022664e-05,1.018692e-05,1.014814e-05,1.011028e-05,1.007332e-05
0.000000e+00,6.983163e-12,3.454438e-11,3.632984e-10,1.689533e-09,3.388411e-09,1.490360e-08,1.571128e-08,4.987377e-08,6.579361e-08,1.250072e-07,2.002235e-07,2.669415e-07,4.842189e-07,5.080214e-07,8.865072e-07,1.002464e-06,1.444913e-06,1.852423e-06,2.226391e-06,3.129170e-06,3.269122e-06,4.600409e-06,4.902677e-06,6.232828e-06,7.200328e-06,8.163557e-06,1.000431e-05,1.037631e-05,1.284466e-05,1.326118e-05,1.553561e-05,1.689569e-05,1.841274e-05,2.082339e-05,2.143872e-05,2.457710e-05,2.495960e-05,2.779349e-05,2.922517e-05,3.105632e-05,3.354956e-05,3.433724e-05,3.761128e-05,3.787224e-05,4.085684e-05,4.214288e-05,4.405557e-05,4.632097e-05,4.719219e-05,5.025420e-05,5.037498e-05,5.323167e-05,5.428133e-05,5.611694e-05,5.802328e-05,5.890432e-05,6.158984e-05,6.417103e-05,6.497473e-05,6.664662e-05,6.817543e-05,6.901638e-05,7.119236e-05,7.128094e-05,7.344159e-05,7.402818e-05,7.550016e-05,7.668723e-05,7.745892e-05,7.917504e-05,7.932045e-05,8.108757e-05,8.149796e-05,8.276327e-05,8.366287e-05,8.435064e-05,8.567699e-05,8.585286e-05,8.727313e-05,8.754763e-05,8.861464e-05,8.928215e-05,8.988054e-05,9.088775e-05,9.107395e-05,9.219792e-05,9.237151e-05,9.325543e-05,9.374028e-05,9.424937e-05,9.500066e-05,9.518258e-05,9.605776e-05,9.615901e-05,9.687756e-05,9.722138e-05,9.764451e-05,9.819356e-05,9.836106e-05,9.902958e-05,9.908106e-05,9.965233e-05,9.988911e-05,1.002315e-04,1.006227e-04,1.007691e-04,1.012673e-04,1.012864e-04,1.017278e-04,1.018848e-04,1.021527e-04,1.024220e-04,1.025435e-04,1.029021e-04,1.032299e-04,1.033286e-04,1.035287e-04,1.037052e-04,1.037997e-04,1.040352e-04,1.040445e-04,1.042644e-04,1.043217e-04,1.044607e-04,1.045677e-04,1.046346e-04,1.047758e-04,1.047873e-04,1.049199e-04,1.049488e-04,1.050334e-04,1.050891e-04,1.051289e-04,1.051989e-04,1.052074e-04,1.052698e-04,1.052804e-04,1.053169e-04,1.053357e-04,1.053497e-04,1.053667e-04,1.053689e-04,1.053753e-04,1.053751e-04,1.053695e-04,1.053627e-04,1.053524e-04,1.053310e-04,1.053246e-04,1.052867e-04,1.052815e-04,1.052393e-04,1.052156e-04,1.051830e-04,1.051345e-04,1.051183e-04,1.050457e-04,1.050396e-04,1.049658e-04,1.049319e-04,1.048790e-04,1.048126e-04,1.047858e-04,1.046866e-04,1.046825e-04,1.045818e-04,1.045427e-04,1.044717e-04,1.043941e-04,1.043569e-04,1.042375e-04,1.040735e-04,1.039031e-04,1.037268e-04,1.035452e-04,1.033590e-04,1.031687e-04,1.029748e-04,1.027778e-04,1.025782e-04,1.023763e-04,1.021726e-04,1.019674e-04,1.017611e-04,1.015539e-04,1.013462e-04,1.011382e-04,1.009302e-04,1.007224e-04,1.005150e-04,1.003082e-04,1.001023e-04,9.989733e-05,9.969351e-05,9.949098e-05
0.000000e+00,5.040000e-11,2.607130e-10,3.010493e-09,1.526226e-08,3.211122e-08,1.601820e-07,1.697416e-07,6.127503e-07,8.376577e-07,1.743052e-06,3.009425e-06,4.216349e-06,8.559208e-06,9.067043e-06,1.780675e-05,2.069828e-05,3.247218e-05,4.419870e-05,5.559400e-05,8.525466e-05,9.010061e-05,1.391903e-04,1.510508e-04,2.061988e-04,2.492394e-04,2.944761e-04,3.874530e-04,4.072789e-04,5.476792e-04,5.728965e-04,7.184898e-04,8.120261e-04,9.222033e-04,1.110306e-03,1.160946e-03,1.436443e-03,1.472039e-03,1.749998e-03,1.900259e-03,2.102480e-03,2.396683e-03,2.494322e-03,2.925529e-03,2.961717e-03,3.395696e-03,3.594505e-03,3.904026e-03,4.293019e-03,4.449364e-03,5.030226e-03,5.054175e-03,5.644837e-03,5.873975e-03,6.291169e-03,6.747658e-03,6.966981e-03,7.669861e-03,8.397260e-03,8.634776e-03,9.146533e-03,9.636299e-03,9.914973e-03,1.066817e-02,1.069985e-02,1.149842e-02,1.172410e-02,1.230798e-02,1.279789e-02,1.312589e-02,1.388351e-02,1.394955e-02,1.477649e-02,1.497517e-02,1.560431e-02,1.606743e-02,1.643075e-02,1.715518e-02,1.725368e-02,1.807109e-02,1.823374e-02,1.888110e-02,1.929881e-02,1.968200e-02,2.034654e-02,2.047219e-02,2.125024e-02,2.137351e-02,2.201484e-02,2.237671e-02,2.276481e-02,2.335356e-02,2.349912e-02,2.421686e-02,2.430184e-02,2.491724e-02,2.521973e-02,2.559958e-02,2.610574e-02,2.626331e-02,2.690798e-02,2.695872e-02,2.753322e-02,2.777781e-02,2.813875e-02,2.856242e-02,2.872438e-02,2.928999e-02,2.931220e-02,2.983555e-02,3.002704e-02,3.036106e-02,3.070700e-02,3.086662e-02,3.135234e-02,3.181842e-02,3.196345e-02,3.226507e-02,3.254086e-02,3.269256e-02,3.308520e-02,3.310119e-02,3.349127e-02,3.359722e-02,3.386316e-02,3.407772e-02,3.421724e-02,3.452758e-02,3.455388e-02,3.487351e-02,3.494773e-02,3.517653e-02,3.533914e-02,3.546339e-02,3.570279e-02,3.573451e-02,3.599033e-02,3.603970e-02,3.623131e-02,3.635090e-02,3.645789e-02,3.663742e-02,3.667052e-02,3.686964e-02,3.690028e-02,3.705570e-02,3.714050e-02,3.722914e-02,3.735910e-02,3.739040e-02,3.753990e-02,3.755707e-02,3.767807e-02,3.773538e-02,3.780532e-02,3.789498e-02,3.792207e-02,3.802871e-02,3.803681e-02,3.812563e-02,3.816177e-02,3.821322e-02,3.827072e-02,3.829186e-02,3.836190e-02,3.836453e-02,3.842371e-02,3.844401e-02,3.847763e-02,3.850996e-02,3.852399e-02,3.856312e-02,3.860425e-02,3.863404e-02,3.865317e-02,3.866228e-02,3.866199e-02,3.865289e-02,3.863556e-02,3.861052e-02,3.857829e-02,3.853937e-02,3.849421e-02,3.844326e-02,3.838694e-02,3.832565e-02,3.825978e-02,3.818967e-02,3.811568e-02,3.803812e-02,3.795730e-02,3.787351e-02,3.778703e-02,3.769811e-02,3.760700e-02,3.751393e-02
0.000000e+00,2.618625e-11,1.355180e-10,1.566153e-09,7.944890e-09,1.672030e-08,8.343983e-08,8.841994e-08,3.191295e-07,4.361941e-07,9.070798e-07,1.564880e-06,2.191074e-06,4.439850e-06,4.702435e-06,9.212251e-06,1.070122e-05,1.675264e-05,2.276614e-05,2.860056e-05,4.375857e-05,4.623227e-05,7.126399e-05,7.730673e-05,1.053900e-04,1.272994e-04,1.503246e-04,1.976547e-04,2.077492e-04,2.792673e-04,2.921193e-04,3.663644e-04,4.141033e-04,4.703757e-04,5.665474e-04,5.924589e-04,7.335731e-04,7.518234e-04,8.944638e-04,9.716636e-04,1.075653e-03,1.227121e-03,1.277434e-03,1.499873e-03,1.518558e-03,1.742815e-03,1.845656e-03,2.005889e-03,2.207455e-03,2.288525e-03,2.589969e-03,2.602405e-03,2.909298e-03,3.028433e-03,3.245444e-03,3.483023e-03,3.597211e-03,3.963298e-03,4.342320e-03,4.466104e-03,4.732830e-03,4.988098e-03,5.133336e-03,5.525820e-03,5.542323e-03,5.958269e-03,6.075774e-03,6.379660e-03,6.634487e-03,6.805007e-03,7.198572e-03,7.232858e-03,7.661808e-03,7.764768e-03,8.090508e-03,8.329989e-03,8.517673e-03,8.891345e-03,8.942091e-03,9.362625e-03,9.446171e-03,9.778216e-03,9.992042e-03,1.018789e-02,1.052678e-02,1.059074e-02,1.098597e-02,1.104845e-02,1.137284e-02,1.155537e-02,1.175069e-02,1.204611e-02,1.211897e-02,1.247717e-02,1.251945e-02,1.282486e-02,1.297442e-02,1.316169e-02,1.341024e-02,1.348738e-02,1.380169e-02,1.382634e-02,1.410446e-02,1.422231e-02,1.439557e-02,1.459791e-02,1.467495e-02,1.494260e-02,1.495306e-02,1.519852e-02,1.528780e-02,1.544279e-02,1.560229e-02,1.567551e-02,1.589679e-02,1.610681e-02,1.617166e-02,1.630573e-02,1.642732e-02,1.649378e-02,1.666427e-02,1.667116e-02,1.683812e-02,1.688304e-02,1.699492e-02,1.708423e-02,1.714182e-02,1.726845e-02,1.727909e-02,1.740702e-02,1.743636e-02,1.752589e-02,1.758861e-02,1.763600e-02,1.772589e-02,1.773765e-02,1.783112e-02,1.784886e-02,1.791673e-02,1.795823e-02,1.799475e-02,1.805465e-02,1.806549e-02,1.812924e-02,1.813880e-02,1.818627e-02,1.821135e-02,1.823689e-02,1.827293e-02,1.828135e-02,1.831994e-02,1.832419e-02,1.835291e-02,1.836571e-02,1.838054e-02,1.839811e-02,1.840307e-02,1.842074e-02,1.842195e-02,1.843380e-02,1.843778e-02,1.844248e-02,1.844614e-02,1.844700e-02,1.844758e-02,1.844753e-02,1.844444e-02,1.844243e-02,1.843777e-02,1.843132e-02,1.842777e-02,1.841464e-02,1.839280e-02,1.836621e-02,1.833524e-02,1.830026e-02,1.826161e-02,1.821960e-02,1.817454e-02,1.812672e-02,1.807640e-02,1.802383e-02,1.796926e-02,1.791290e-02,1.785496e-02,1.779564e-02,1.773511e-02,1.767356e-02,1.761114e-02,1.754799e-02,1.748425e-02,1.742005e-02,1.735551e-02,1.729074e-02,1.722585e-02,1.716091e-02
0.000000e+00,1.956077e-09,4.921614e-09,1.870554e-08,4.461337e-08,6.625810e-08,1.552652e-07,1.601038e-07,3.161330e-07,3.732700e-07,5.515930e-07,7.387534e-07,8.851255e-07,1.293228e-06,1.333616e-06,1.905813e-06,2.061548e-06,2.600372e-06,3.040523e-06,3.411179e-06,4.215885e-06,4.332013e-06,5.357581e-06,5.574834e-06,6.482997e-06,7.105999e-06,7.703152e-06,8.797123e-06,9.012309e-06,1.040392e-05,1.063374e-05,1.187058e-05,1.259886e-05,1.340412e-05,1.467322e-05,1.499575e-05,1.663621e-05,1.683589e-05,1.831598e-05,1.906505e-05,2.002546e-05,2.133872e-05,2.175521e-05,2.349603e-05,2.363551e-05,2.523917e-05,2.593522e-05,2.697642e-05,2.821931e-05,2.870019e-05,3.040356e-05,3.047118e-05,3.208035e-05,3.267641e-05,3.372510e-05,3.482279e-05,3.533308e-05,3.690027e-05,3.842331e-05,3.890090e-05,3.989948e-05,4.081861e-05,4.132662e-05,4.264907e-05,4.270314e-05,4.402788e-05,4.438943e-05,4.530015e-05,4.603817e-05,4.651961e-05,4.759487e-05,4.768626e-05,4.880038e-05,4.906001e-05,4.986250e-05,5.043483e-05,5.087333e-05,5.172116e-05,5.183379e-05,5.274491e-05,5.292131e-05,5.360784e-05,5.403794e-05,5.442384e-05,5.507396e-05,5.519421e-05,5.592032e-05,5.603248e-05,5.660356e-05,5.691671e-05,5.724536e-05,5.772992e-05,5.784715e-05,5.841033e-05,5.847539e-05,5.893635e-05,5.915639e-05,5.942660e-05,5.977613e-05,5.988248e-05,6.030534e-05,6.033779e-05,6.069652e-05,6.084442e-05,6.105733e-05,6.129902e-05,6.138903e-05,6.169287e-05,6.170446e-05,6.197005e-05,6.206353e-05,6.222173e-05,6.237888e-05,6.244904e-05,6.265308e-05,6.283490e-05,6.288855e-05,6.299552e-05,6.308765e-05,6.313593e-05,6.325258e-05,6.325707e-05,6.335986e-05,6.338547e-05,6.344518e-05,6.348833e-05,6.351387e-05,6.356308e-05,6.356675e-05,6.360460e-05,6.361153e-05,6.362817e-05,6.363541e-05,6.363819e-05,6.363635e-05,6.363535e-05,6.362031e-05,6.361589e-05,6.359370e-05,6.357551e-05,6.355615e-05,6.351658e-05,6.350824e-05,6.345053e-05,6.344042e-05,6.338356e-05,6.334827e-05,6.330784e-05,6.324130e-05,6.322387e-05,6.313212e-05,6.312061e-05,6.303305e-05,6.298725e-05,6.292709e-05,6.284220e-05,6.281464e-05,6.269612e-05,6.268639e-05,6.257189e-05,6.252069e-05,6.244233e-05,6.234593e-05,6.230777e-05,6.216854e-05,6.216288e-05,6.202497e-05,6.197228e-05,6.187735e-05,6.177481e-05,6.172598e-05,6.157112e-05,6.136182e-05,6.114749e-05,6.092865e-05,6.070581e-05,6.047946e-05,6.025002e-05,6.001792e-05,5.978355e-05,5.954728e-05,5.930944e-05,5.907035e-05,5.883033e-05,5.858963e-05,5.834853e-05,5.810727e-05,5.786608e-05,5.762516e-05,5.738472e-05,5.714493e-05,5.690597e-05,5.666798e-05,5.643113e-05,5.619553e-05,5.596132e-05
0.000000e+00,7.839369e-10,2.408515e-09,1.142702e-08,3.021170e-08,4.657946e-08,1.163117e-07,1.201657e-07,2.461757e-07,2.928960e-07,4.400003e-07,5.961105e-07,7.193335e-07,1.068511e-06,1.103549e-06,1.609534e-06,1.750122e-06,2.243524e-06,2.651307e-06,2.995397e-06,3.737138e-06,3.843097e-06,4.762414e-06,4.952983e-06,5.732879e-06,6.252336e-06,6.738709e-06,7.601923e-06,7.767683e-06,8.809835e-06,8.977214e-06,9.856558e-06,1.035830e-05,1.090007e-05,1.172773e-05,1.193320e-05,1.294926e-05,1.306974e-05,1.394212e-05,1.437018e-05,1.490626e-05,1.561676e-05,1.583679e-05,1.672951e-05,1.679919e-05,1.758106e-05,1.790952e-05,1.838869e-05,1.894182e-05,1.915038e-05,1.986489e-05,1.989247e-05,2.053151e-05,2.075974e-05,2.115017e-05,2.154366e-05,2.172128e-05,2.224568e-05,2.272456e-05,2.286843e-05,2.315943e-05,2.341543e-05,2.355200e-05,2.389081e-05,2.390415e-05,2.421787e-05,2.429910e-05,2.449522e-05,2.464505e-05,2.473830e-05,2.493346e-05,2.494920e-05,2.512998e-05,2.516911e-05,2.528266e-05,2.535661e-05,2.540919e-05,2.550040e-05,2.551145e-05,2.559124e-05,2.560466e-05,2.565027e-05,2.567331e-05,2.569016e-05,2.570999e-05,2.571243e-05,2.571851e-05,2.571807e-05,2.570974e-05,2.570063e-05,2.568739e-05,2.566050e-05,2.565260e-05,2.560648e-05,2.560023e-05,2.555003e-05,2.552217e-05,2.548419e-05,2.542841e-05,2.540983e-05,2.532774e-05,2.532087e-05,2.523868e-05,2.520125e-05,2.514332e-05,2.507113e-05,2.504231e-05,2.493621e-05,2.493187e-05,2.482558e-05,2.478474e-05,2.471091e-05,2.463085e-05,2.459265e-05,2.447122e-05,2.434702e-05,2.430675e-05,2.422040e-05,2.413825e-05,2.409169e-05,2.396644e-05,2.396119e-05,2.382918e-05,2.379198e-05,2.369591e-05,2.361545e-05,2.356162e-05,2.343736e-05,2.342652e-05,2.329082e-05,2.325818e-05,2.315468e-05,2.307833e-05,2.301829e-05,2.289817e-05,2.288179e-05,2.274532e-05,2.271804e-05,2.260901e-05,2.253824e-05,2.247299e-05,2.235902e-05,2.233734e-05,2.220219e-05,2.218061e-05,2.206761e-05,2.200324e-05,2.193368e-05,2.182707e-05,2.180049e-05,2.166810e-05,2.165227e-05,2.153656e-05,2.147897e-05,2.140594e-05,2.130732e-05,2.127629e-05,2.114765e-05,2.113741e-05,2.102007e-05,2.096934e-05,2.089357e-05,2.080318e-05,2.076819e-05,2.064397e-05,2.063902e-05,2.052092e-05,2.047692e-05,2.039907e-05,2.031691e-05,2.027844e-05,2.015905e-05,2.000337e-05,1.984989e-05,1.969864e-05,1.954963e-05,1.940288e-05,1.925838e-05,1.911614e-05,1.897617e-05,1.883844e-05,1.870296e-05,1.856971e-05,1.843868e-05,1.830985e-05,1.818321e-05,1.805874e-05,1.793641e-05,1.781620e-05,1.769809e-05,1.758205e-05,1.746806e-05,1.735610e-05,1.724613e-05,1.713813e-05,1.703206e-05
0.000000e+00,4.668481e-09,1.097016e-08,3.882972e-08,8.965844e-08,1.315916e-07,3.021088e-07,3.113270e-07,6.070335e-07,7.147677e-07,1.049705e-06,1.399793e-06,1.673110e-06,2.436781e-06,2.512715e-06,3.600543e-06,3.901046e-06,4.954988e-06,5.829306e-06,6.571802e-06,8.192445e-06,8.426492e-06,1.048608e-05,1.091970e-05,1.271852e-05,1.393824e-05,1.509580e-05,1.718677e-05,1.759359e-05,2.019017e-05,2.061344e-05,2.286559e-05,2.417228e-05,2.560125e-05,2.782145e-05,2.837980e-05,3.118511e-05,3.152283e-05,3.400238e-05,3.524225e-05,3.681817e-05,3.894977e-05,3.962052e-05,4.239885e-05,4.261979e-05,4.514402e-05,4.623101e-05,4.784823e-05,4.976615e-05,5.050489e-05,5.310854e-05,5.321152e-05,5.565476e-05,5.655664e-05,5.814004e-05,5.979379e-05,6.056163e-05,6.291752e-05,6.520628e-05,6.592434e-05,6.742699e-05,6.881230e-05,6.957918e-05,7.158071e-05,7.166273e-05,7.367786e-05,7.422990e-05,7.562505e-05,7.676101e-05,7.750495e-05,7.917574e-05,7.931840e-05,8.106636e-05,8.147625e-05,8.274993e-05,8.366505e-05,8.437030e-05,8.574494e-05,8.592872e-05,8.742648e-05,8.771887e-05,8.886494e-05,8.958995e-05,9.024546e-05,9.136135e-05,9.156945e-05,9.283832e-05,9.303632e-05,9.405350e-05,9.461814e-05,9.521641e-05,9.611005e-05,9.632846e-05,9.739106e-05,9.751532e-05,9.840561e-05,9.883715e-05,9.937349e-05,1.000787e-04,1.002961e-04,1.011747e-04,1.012431e-04,1.020107e-04,1.023335e-04,1.028054e-04,1.033527e-04,1.035600e-04,1.042759e-04,1.043037e-04,1.049542e-04,1.051894e-04,1.055962e-04,1.060125e-04,1.062030e-04,1.067758e-04,1.073157e-04,1.074818e-04,1.078239e-04,1.081330e-04,1.083014e-04,1.087319e-04,1.087493e-04,1.091686e-04,1.092810e-04,1.095602e-04,1.097824e-04,1.099253e-04,1.102384e-04,1.102646e-04,1.105792e-04,1.106511e-04,1.108700e-04,1.110227e-04,1.111377e-04,1.113550e-04,1.113834e-04,1.116077e-04,1.116500e-04,1.118115e-04,1.119096e-04,1.119956e-04,1.121355e-04,1.121607e-04,1.123076e-04,1.123294e-04,1.124370e-04,1.124930e-04,1.125495e-04,1.126279e-04,1.126459e-04,1.127268e-04,1.127355e-04,1.127928e-04,1.128173e-04,1.128446e-04,1.128747e-04,1.128827e-04,1.129077e-04,1.129091e-04,1.129201e-04,1.129217e-04,1.129206e-04,1.129138e-04,1.129096e-04,1.128876e-04,1.128865e-04,1.128551e-04,1.128409e-04,1.128126e-04,1.127782e-04,1.127606e-04,1.126994e-04,1.126054e-04,1.124973e-04,1.123758e-04,1.122419e-04,1.120964e-04,1.119401e-04,1.117737e-04,1.115979e-04,1.114135e-04,1.112210e-04,1.110212e-04,1.108145e-04,1.106015e-04,1.103828e-04,1.101590e-04,1.099303e-04,1.096974e-04,1.094607e-04,1.092206e-04,1.089774e-04,1.087315e-04,1.084834e-04,1.082333e-04,1.079815e-04
0.000000e+00,2.085776e-10,7.639858e-10,4.645273e-09,1.414605e-08,2.307580e-08,6.379594e-08,6.611604e-08,1.435794e-07,1.726788e-07,2.644428e-07,3.612564e-07,4.369680e-07,6.478943e-07,6.687920e-07,9.669408e-07,1.049083e-06,1.337694e-06,1.579012e-06,1.786195e-06,2.247855e-06,2.315722e-06,2.926711e-06,3.058476e-06,3.616070e-06,4.003482e-06,4.377377e-06,5.066193e-06,5.201997e-06,6.080401e-06,6.225297e-06,7.003075e-06,7.458994e-06,7.960928e-06,8.746767e-06,8.945397e-06,9.948439e-06,1.006969e-05,1.096250e-05,1.141035e-05,1.198054e-05,1.275287e-05,1.299603e-05,1.400299e-05,1.408301e-05,1.499603e-05,1.538826e-05,1.597038e-05,1.665795e-05,1.692183e-05,1.784684e-05,1.788324e-05,1.874241e-05,1.905712e-05,1.960611e-05,2.017425e-05,2.043606e-05,2.123084e-05,2.198946e-05,2.222448e-05,2.271134e-05,2.315394e-05,2.339624e-05,2.401898e-05,2.404419e-05,2.465550e-05,2.482017e-05,2.523067e-05,2.555870e-05,2.577038e-05,2.623632e-05,2.627547e-05,2.674689e-05,2.685514e-05,2.718567e-05,2.741753e-05,2.759291e-05,2.792610e-05,2.796975e-05,2.831739e-05,2.838352e-05,2.863701e-05,2.879255e-05,2.892982e-05,2.915594e-05,2.919702e-05,2.943979e-05,2.947645e-05,2.965930e-05,2.975674e-05,2.985669e-05,2.999943e-05,3.003309e-05,3.018957e-05,3.020706e-05,3.032719e-05,3.038202e-05,3.044695e-05,3.052663e-05,3.054984e-05,3.063678e-05,3.064308e-05,3.070869e-05,3.073344e-05,3.076643e-05,3.079970e-05,3.081084e-05,3.084270e-05,3.084372e-05,3.086277e-05,3.086725e-05,3.087178e-05,3.087194e-05,3.087041e-05,3.085933e-05,3.083917e-05,3.083089e-05,3.081051e-05,3.078798e-05,3.077394e-05,3.073187e-05,3.072997e-05,3.067914e-05,3.066374e-05,3.062192e-05,3.058472e-05,3.055878e-05,3.049583e-05,3.049015e-05,3.041644e-05,3.039804e-05,3.033806e-05,3.029226e-05,3.025537e-05,3.017932e-05,3.016873e-05,3.007846e-05,3.006000e-05,2.998488e-05,2.993501e-05,2.988829e-05,2.980503e-05,2.978897e-05,2.968719e-05,2.967069e-05,2.958319e-05,2.953255e-05,2.947721e-05,2.939116e-05,2.936948e-05,2.926020e-05,2.924699e-05,2.914957e-05,2.910051e-05,2.903778e-05,2.895214e-05,2.892499e-05,2.881139e-05,2.880227e-05,2.869711e-05,2.865124e-05,2.858230e-05,2.849939e-05,2.846710e-05,2.835164e-05,2.834702e-05,2.823603e-05,2.819440e-05,2.812039e-05,2.804179e-05,2.800482e-05,2.788942e-05,2.773750e-05,2.758621e-05,2.743574e-05,2.728624e-05,2.713786e-05,2.699073e-05,2.684495e-05,2.670064e-05,2.655788e-05,2.641677e-05,2.627736e-05,2.613974e-05,2.600394e-05,2.587003e-05,2.573803e-05,2.560799e-05,2.547993e-05,2.535388e-05,2.522985e-05,2.510785e-05,2.498791e-05,2.487001e-05,2.475416e-05,2.464036e-05
0.000000e+00,1.515698e-12,7.548355e-12,8.045180e-11,3.784279e-10,7.634301e-10,3.404670e-09,3.591038e-09,1.153006e-08,1.525112e-08,2.914686e-08,4.686240e-08,6.260494e-08,1.139347e-07,1.195590e-07,2.089169e-07,2.362494e-07,3.402879e-07,4.357252e-07,5.229810e-07,7.324542e-07,7.647966e-07,1.071077e-06,1.140336e-06,1.444277e-06,1.664764e-06,1.884010e-06,2.302760e-06,2.387399e-06,2.949549e-06,3.044535e-06,3.564050e-06,3.875439e-06,4.223425e-06,4.777776e-06,4.919531e-06,5.643894e-06,5.732311e-06,6.387986e-06,6.719475e-06,7.143463e-06,7.720320e-06,7.902359e-06,8.657247e-06,8.717257e-06,9.401358e-06,9.694610e-06,1.012867e-05,1.063898e-05,1.083398e-05,1.151291e-05,1.153947e-05,1.216192e-05,1.238769e-05,1.277829e-05,1.317774e-05,1.336005e-05,1.390596e-05,1.441539e-05,1.457068e-05,1.488828e-05,1.517193e-05,1.532505e-05,1.571112e-05,1.572651e-05,1.609381e-05,1.619071e-05,1.642831e-05,1.661391e-05,1.673158e-05,1.698446e-05,1.700532e-05,1.725128e-05,1.730637e-05,1.747126e-05,1.758378e-05,1.766707e-05,1.782079e-05,1.784047e-05,1.799318e-05,1.802139e-05,1.812685e-05,1.818936e-05,1.824305e-05,1.832824e-05,1.834326e-05,1.842886e-05,1.844129e-05,1.850116e-05,1.853149e-05,1.856135e-05,1.860154e-05,1.861055e-05,1.864978e-05,1.865386e-05,1.867997e-05,1.869061e-05,1.870197e-05,1.871370e-05,1.871657e-05,1.872448e-05,1.872485e-05,1.872635e-05,1.872554e-05,1.872277e-05,1.871712e-05,1.871427e-05,1.870134e-05,1.870073e-05,1.868441e-05,1.867741e-05,1.866389e-05,1.864806e-05,1.864013e-05,1.861347e-05,1.858420e-05,1.857433e-05,1.855260e-05,1.853126e-05,1.851891e-05,1.848480e-05,1.848335e-05,1.844613e-05,1.843544e-05,1.840744e-05,1.838358e-05,1.836744e-05,1.832962e-05,1.832629e-05,1.828413e-05,1.827388e-05,1.824110e-05,1.821666e-05,1.819730e-05,1.815821e-05,1.815285e-05,1.810785e-05,1.809879e-05,1.806238e-05,1.803858e-05,1.801654e-05,1.797779e-05,1.797039e-05,1.792402e-05,1.791658e-05,1.787748e-05,1.785510e-05,1.783084e-05,1.779349e-05,1.778415e-05,1.773746e-05,1.773186e-05,1.769082e-05,1.767032e-05,1.764427e-05,1.760898e-05,1.759785e-05,1.755160e-05,1.754791e-05,1.750555e-05,1.748719e-05,1.745973e-05,1.742691e-05,1.741418e-05,1.736891e-05,1.736711e-05,1.732396e-05,1.730785e-05,1.727933e-05,1.724919e-05,1.723506e-05,1.719117e-05,1.713382e-05,1.707718e-05,1.702128e-05,1.696614e-05,1.691179e-05,1.685825e-05,1.680553e-05,1.675365e-05,1.670261e-05,1.665243e-05,1.660312e-05,1.655467e-05,1.650710e-05,1.646039e-05,1.641456e-05,1.636960e-05,1.632551e-05,1.628228e-05,1.623991e-05,1.619840e-05,1.615773e-05,1.611791e-05,1.607891e-05,1.604075e-05
0.000000e+00,6.479643e-10,2.047225e-09,1.008415e-08,2.721891e-08,4.230565e-08,1.070572e-07,1.106426e-07,2.275952e-07,2.707124e-07,4.053395e-07,5.462509e-07,6.561031e-07,9.615914e-07,9.918296e-07,1.422057e-06,1.539928e-06,1.950304e-06,2.287788e-06,2.572905e-06,3.192698e-06,3.282086e-06,4.069277e-06,4.235347e-06,4.926252e-06,5.396807e-06,5.845026e-06,6.658671e-06,6.817547e-06,7.835527e-06,8.002055e-06,8.890434e-06,9.407362e-06,9.973599e-06,1.085465e-05,1.107637e-05,1.219028e-05,1.232431e-05,1.330724e-05,1.379770e-05,1.441968e-05,1.525781e-05,1.552065e-05,1.660391e-05,1.668963e-05,1.766398e-05,1.808044e-05,1.869618e-05,1.941987e-05,1.969658e-05,2.066196e-05,2.069981e-05,2.158980e-05,2.191425e-05,2.247822e-05,2.305915e-05,2.332592e-05,2.413208e-05,2.489634e-05,2.513205e-05,2.561871e-05,2.605919e-05,2.629952e-05,2.691457e-05,2.693939e-05,2.753912e-05,2.769998e-05,2.809971e-05,2.841775e-05,2.862231e-05,2.907059e-05,2.910813e-05,2.955851e-05,2.966147e-05,2.997480e-05,3.019355e-05,3.035839e-05,3.067003e-05,3.071071e-05,3.103315e-05,3.109418e-05,3.132713e-05,3.146921e-05,3.159403e-05,3.179828e-05,3.183519e-05,3.205194e-05,3.208444e-05,3.224555e-05,3.233063e-05,3.241726e-05,3.253967e-05,3.256827e-05,3.269972e-05,3.271423e-05,3.281273e-05,3.285689e-05,3.290836e-05,3.297003e-05,3.298761e-05,3.305148e-05,3.305595e-05,3.310088e-05,3.311679e-05,3.313671e-05,3.315457e-05,3.315980e-05,3.317095e-05,3.317116e-05,3.317095e-05,3.316836e-05,3.316051e-05,3.314780e-05,3.314032e-05,3.311103e-05,3.307328e-05,3.305951e-05,3.302765e-05,3.299457e-05,3.297470e-05,3.291747e-05,3.291496e-05,3.284893e-05,3.282937e-05,3.277708e-05,3.273136e-05,3.269986e-05,3.262445e-05,3.261770e-05,3.253100e-05,3.250956e-05,3.244013e-05,3.238756e-05,3.234546e-05,3.225926e-05,3.224731e-05,3.214601e-05,3.212540e-05,3.204186e-05,3.198667e-05,3.193514e-05,3.184370e-05,3.182611e-05,3.171503e-05,3.169708e-05,3.160213e-05,3.154735e-05,3.148763e-05,3.139502e-05,3.137174e-05,3.125465e-05,3.124053e-05,3.113656e-05,3.108432e-05,3.101763e-05,3.092678e-05,3.089802e-05,3.077788e-05,3.076825e-05,3.065736e-05,3.060908e-05,3.053659e-05,3.044955e-05,3.041569e-05,3.029478e-05,3.028994e-05,3.017396e-05,3.013051e-05,3.005334e-05,2.997148e-05,2.993301e-05,2.981306e-05,2.965544e-05,2.949878e-05,2.934325e-05,2.918897e-05,2.903609e-05,2.888470e-05,2.873491e-05,2.858680e-05,2.844046e-05,2.829595e-05,2.815334e-05,2.801267e-05,2.787398e-05,2.773733e-05,2.760273e-05,2.747021e-05,2.733979e-05,2.721148e-05,2.708530e-05,2.696126e-05,2.683935e-05,2.671957e-05,2.660192e-05,2.648639e-05
0.000000e+00,1.984713e-12,1.017553e-11,1.152507e-10,5.733657e-10,1.193140e-09,5.769655e-09,6.105691e-09,2.126632e-08,2.876288e-08,5.814637e-08,9.785158e-08,1.346756e-07,2.619554e-07,2.764437e-07,5.174084e-07,5.945177e-07,8.996322e-07,1.193346e-06,1.471899e-06,2.175034e-06,2.287606e-06,3.402444e-06,3.666236e-06,4.872175e-06,5.794691e-06,6.750649e-06,8.681323e-06,9.088085e-06,1.192962e-05,1.243374e-05,1.531410e-05,1.714108e-05,1.927311e-05,2.287015e-05,2.383029e-05,2.900079e-05,2.966287e-05,3.479108e-05,3.753489e-05,4.119890e-05,4.647553e-05,4.821349e-05,5.581598e-05,5.644884e-05,6.398000e-05,6.739561e-05,7.267239e-05,7.923636e-05,8.185410e-05,9.148110e-05,9.187477e-05,1.015053e-04,1.052016e-04,1.118759e-04,1.190986e-04,1.225396e-04,1.334426e-04,1.445306e-04,1.481090e-04,1.557499e-04,1.629751e-04,1.670485e-04,1.779230e-04,1.783760e-04,1.896847e-04,1.928415e-04,2.009296e-04,2.076285e-04,2.120692e-04,2.221917e-04,2.230652e-04,2.338831e-04,2.364494e-04,2.444919e-04,2.503311e-04,2.548643e-04,2.637775e-04,2.649766e-04,2.748086e-04,2.767399e-04,2.843436e-04,2.891797e-04,2.935679e-04,3.010683e-04,3.024708e-04,3.110445e-04,3.123854e-04,3.192838e-04,3.231188e-04,3.271855e-04,3.332632e-04,3.347489e-04,3.419749e-04,3.428194e-04,3.488662e-04,3.517934e-04,3.554270e-04,3.601954e-04,3.616626e-04,3.675796e-04,3.680394e-04,3.731852e-04,3.753421e-04,3.784877e-04,3.821226e-04,3.834957e-04,3.882185e-04,3.884017e-04,3.926657e-04,3.942011e-04,3.968470e-04,3.995436e-04,4.007725e-04,4.044522e-04,4.078962e-04,4.089501e-04,4.111144e-04,4.130602e-04,4.141168e-04,4.168051e-04,4.169131e-04,4.195128e-04,4.202068e-04,4.219253e-04,4.232867e-04,4.241597e-04,4.260655e-04,4.262246e-04,4.281288e-04,4.285627e-04,4.298803e-04,4.307975e-04,4.314872e-04,4.327876e-04,4.329570e-04,4.342971e-04,4.345502e-04,4.355146e-04,4.361014e-04,4.366161e-04,4.374564e-04,4.376081e-04,4.384966e-04,4.386296e-04,4.392876e-04,4.396343e-04,4.399867e-04,4.404832e-04,4.405990e-04,4.411297e-04,4.411882e-04,4.415836e-04,4.417602e-04,4.419653e-04,4.422096e-04,4.422789e-04,4.425288e-04,4.425461e-04,4.427187e-04,4.427787e-04,4.428523e-04,4.429156e-04,4.429331e-04,4.429644e-04,4.429647e-04,4.429494e-04,4.429333e-04,4.428911e-04,4.428281e-04,4.427922e-04,4.426553e-04,4.424209e-04,4.421302e-04,4.417882e-04,4.413997e-04,4.409690e-04,4.405000e-04,4.399965e-04,4.394620e-04,4.388996e-04,4.383124e-04,4.377031e-04,4.370742e-04,4.364281e-04,4.357671e-04,4.350931e-04,4.344080e-04,4.337136e-04,4.330115e-04,4.323030e-04,4.315898e-04,4.308729e-04,4.301535e-04,4.294328e-04,4.287118e-04
0.000000e+00,4.167251e-09,9.536854e-09,3.277780e-08,7.458919e-08,1.088764e-07,2.477827e-07,2.552878e-07,4.966043e-07,5.849187e-07,8.610432e-07,1.151902e-06,1.380054e-06,2.017924e-06,2.081093e-06,2.974222e-06,3.216251e-06,4.048596e-06,4.721983e-06,5.284260e-06,6.490059e-06,6.662430e-06,8.167808e-06,8.482985e-06,9.787428e-06,1.067076e-05,1.150922e-05,1.302566e-05,1.332110e-05,1.521054e-05,1.551918e-05,1.716446e-05,1.812129e-05,1.916936e-05,2.080076e-05,2.121152e-05,2.327728e-05,2.352612e-05,2.535335e-05,2.626680e-05,2.742704e-05,2.899410e-05,2.948646e-05,3.152071e-05,3.168206e-05,3.352002e-05,3.430799e-05,3.547577e-05,3.685273e-05,3.738054e-05,3.922805e-05,3.930069e-05,4.101316e-05,4.163972e-05,4.273185e-05,4.386104e-05,4.438109e-05,4.595869e-05,4.746332e-05,4.792926e-05,4.889431e-05,4.977146e-05,5.025162e-05,5.148573e-05,5.153570e-05,5.274744e-05,5.307393e-05,5.388811e-05,5.453903e-05,5.495926e-05,5.588485e-05,5.596268e-05,5.690033e-05,5.711581e-05,5.777431e-05,5.823675e-05,5.858684e-05,5.925281e-05,5.934016e-05,6.003658e-05,6.016924e-05,6.067842e-05,6.099137e-05,6.126798e-05,6.172448e-05,6.180754e-05,6.229936e-05,6.237376e-05,6.274563e-05,6.294431e-05,6.314853e-05,6.344101e-05,6.351013e-05,6.383247e-05,6.386860e-05,6.411752e-05,6.423162e-05,6.436718e-05,6.453438e-05,6.458327e-05,6.476757e-05,6.478100e-05,6.492177e-05,6.497538e-05,6.504748e-05,6.512124e-05,6.514628e-05,6.521964e-05,6.522206e-05,6.526899e-05,6.528115e-05,6.529571e-05,6.530161e-05,6.530109e-05,6.528638e-05,6.525276e-05,6.523820e-05,6.520138e-05,6.515966e-05,6.513330e-05,6.505319e-05,6.504955e-05,6.495113e-05,6.492106e-05,6.483895e-05,6.476541e-05,6.471390e-05,6.458823e-05,6.457684e-05,6.442855e-05,6.439138e-05,6.426981e-05,6.417662e-05,6.410134e-05,6.394558e-05,6.392382e-05,6.373791e-05,6.369977e-05,6.354423e-05,6.344064e-05,6.334337e-05,6.316950e-05,6.313588e-05,6.292230e-05,6.288760e-05,6.270313e-05,6.259608e-05,6.247884e-05,6.229602e-05,6.224988e-05,6.201668e-05,6.198843e-05,6.177965e-05,6.167424e-05,6.153916e-05,6.135431e-05,6.129559e-05,6.104926e-05,6.102944e-05,6.080050e-05,6.070038e-05,6.054962e-05,6.036783e-05,6.029691e-05,6.004263e-05,6.003243e-05,5.978705e-05,5.969477e-05,5.953041e-05,5.935541e-05,5.927294e-05,5.901484e-05,5.867356e-05,5.833198e-05,5.799050e-05,5.764951e-05,5.730933e-05,5.697029e-05,5.663265e-05,5.629670e-05,5.596265e-05,5.563075e-05,5.530117e-05,5.497410e-05,5.464971e-05,5.432814e-05,5.400952e-05,5.369398e-05,5.338161e-05,5.307252e-05,5.276678e-05,5.246447e-05,5.216564e-05,5.187036e-05,5.157867e-05,5.129061e-05
0.000000e+00,3.445775e-12,1.713784e-11,1.821601e-10,8.546540e-10,1.721630e-09,7.646119e-09,8.063174e-09,2.575945e-08,3.401906e-08,6.472460e-08,1.036241e-07,1.380059e-07,2.491729e-07,2.612809e-07,4.522356e-07,5.102296e-07,7.298741e-07,9.304877e-07,1.113677e-06,1.554210e-06,1.622436e-06,2.272710e-06,2.420944e-06,3.077121e-06,3.558993e-06,4.042978e-06,4.980185e-06,5.171572e-06,6.458241e-06,6.678177e-06,7.893007e-06,8.630234e-06,9.461565e-06,1.080104e-05,1.114638e-05,1.292776e-05,1.314703e-05,1.478481e-05,1.562040e-05,1.669624e-05,1.817233e-05,1.864102e-05,2.059892e-05,2.075554e-05,2.255092e-05,2.332610e-05,2.447953e-05,2.584471e-05,2.636897e-05,2.820536e-05,2.827754e-05,2.997678e-05,3.059660e-05,3.167324e-05,3.277985e-05,3.328672e-05,3.481101e-05,3.624165e-05,3.667917e-05,3.757578e-05,3.837825e-05,3.881195e-05,3.990635e-05,3.995000e-05,4.099086e-05,4.126512e-05,4.193640e-05,4.245904e-05,4.278926e-05,4.349483e-05,4.355270e-05,4.423044e-05,4.438079e-05,4.482658e-05,4.512639e-05,4.534547e-05,4.574173e-05,4.579157e-05,4.616945e-05,4.623724e-05,4.648365e-05,4.662336e-05,4.673865e-05,4.691031e-05,4.693883e-05,4.708843e-05,4.710795e-05,4.719151e-05,4.722562e-05,4.725195e-05,4.727209e-05,4.727344e-05,4.725943e-05,4.725552e-05,4.721321e-05,4.718346e-05,4.713783e-05,4.706279e-05,4.703613e-05,4.691076e-05,4.689978e-05,4.676418e-05,4.670012e-05,4.659865e-05,4.646892e-05,4.641628e-05,4.621898e-05,4.621080e-05,4.600854e-05,4.592987e-05,4.578657e-05,4.562982e-05,4.555457e-05,4.531390e-05,4.506581e-05,4.498503e-05,4.481142e-05,4.464579e-05,4.455178e-05,4.429845e-05,4.428782e-05,4.402041e-05,4.394502e-05,4.375031e-05,4.358726e-05,4.347823e-05,4.322672e-05,4.320481e-05,4.293063e-05,4.286477e-05,4.265620e-05,4.250259e-05,4.238199e-05,4.214121e-05,4.210843e-05,4.183590e-05,4.178155e-05,4.156474e-05,4.142437e-05,4.129524e-05,4.107036e-05,4.102769e-05,4.076233e-05,4.072008e-05,4.049936e-05,4.037404e-05,4.023897e-05,4.003264e-05,3.998134e-05,3.972661e-05,3.969624e-05,3.947490e-05,3.936513e-05,3.922633e-05,3.903956e-05,3.898098e-05,3.873894e-05,3.871972e-05,3.850027e-05,3.840577e-05,3.826504e-05,3.809782e-05,3.803327e-05,3.780502e-05,3.779596e-05,3.758029e-05,3.750025e-05,3.735911e-05,3.721074e-05,3.714149e-05,3.692743e-05,3.665032e-05,3.637939e-05,3.611460e-05,3.585592e-05,3.560327e-05,3.535660e-05,3.511582e-05,3.488087e-05,3.465164e-05,3.442805e-05,3.421000e-05,3.399740e-05,3.379014e-05,3.358811e-05,3.339121e-05,3.319934e-05,3.301239e-05,3.283026e-05,3.265282e-05,3.247998e-05,3.231163e-05,3.214767e-05,3.198799e-05,3.183248e-05
0.000000e+00,2.726986e-10,1.410623e-09,1.627954e-08,8.241435e-08,1.731741e-07,8.591289e-07,9.101273e-07,3.253973e-06,4.432948e-06,9.127929e-06,1.559520e-05,2.168001e-05,4.314678e-05,4.562407e-05,8.757257e-05,1.012461e-04,1.562970e-04,2.104958e-04,2.628152e-04,3.981856e-04,4.202428e-04,6.434377e-04,6.973709e-04,9.485180e-04,1.145100e-03,1.352333e-03,1.780320e-03,1.871935e-03,2.524083e-03,2.641812e-03,3.324793e-03,3.766322e-03,4.288935e-03,5.186970e-03,5.429891e-03,6.759269e-03,6.931935e-03,8.286669e-03,9.023452e-03,1.001951e-02,1.147711e-02,1.196292e-02,1.411966e-02,1.430145e-02,1.649015e-02,1.749783e-02,1.907245e-02,2.106061e-02,2.186240e-02,2.485372e-02,2.497745e-02,2.803817e-02,2.922997e-02,3.140573e-02,3.379438e-02,3.494477e-02,3.864233e-02,4.248430e-02,4.374179e-02,4.645563e-02,4.905793e-02,5.054060e-02,5.455403e-02,5.472299e-02,5.898631e-02,6.019228e-02,6.331398e-02,6.593460e-02,6.768951e-02,7.174332e-02,7.209669e-02,7.651965e-02,7.758180e-02,8.094309e-02,8.341492e-02,8.535232e-02,8.920955e-02,8.973334e-02,9.407296e-02,9.493482e-02,9.835884e-02,1.005624e-01,1.025795e-01,1.060667e-01,1.067244e-01,1.107839e-01,1.114249e-01,1.147493e-01,1.166169e-01,1.186128e-01,1.216256e-01,1.223676e-01,1.260076e-01,1.264365e-01,1.295278e-01,1.310376e-01,1.329239e-01,1.354197e-01,1.361923e-01,1.393303e-01,1.395756e-01,1.423358e-01,1.435005e-01,1.452074e-01,1.471916e-01,1.479443e-01,1.505464e-01,1.506477e-01,1.530139e-01,1.538693e-01,1.553475e-01,1.568586e-01,1.575486e-01,1.596187e-01,1.615597e-01,1.621539e-01,1.633740e-01,1.644697e-01,1.650640e-01,1.665722e-01,1.666326e-01,1.680828e-01,1.684680e-01,1.694176e-01,1.701645e-01,1.706404e-01,1.716695e-01,1.717547e-01,1.727638e-01,1.729908e-01,1.736715e-01,1.741368e-01,1.744813e-01,1.751158e-01,1.751968e-01,1.758218e-01,1.759363e-01,1.763599e-01,1.766066e-01,1.768148e-01,1.771352e-01,1.771900e-01,1.774892e-01,1.775302e-01,1.777158e-01,1.777998e-01,1.778733e-01,1.779518e-01,1.779651e-01,1.779945e-01,1.779940e-01,1.779648e-01,1.779338e-01,1.778791e-01,1.777784e-01,1.777404e-01,1.775518e-01,1.775346e-01,1.773161e-01,1.772093e-01,1.770361e-01,1.768086e-01,1.767145e-01,1.763540e-01,1.763388e-01,1.759569e-01,1.758054e-01,1.755257e-01,1.752142e-01,1.750627e-01,1.745702e-01,1.738783e-01,1.731433e-01,1.723695e-01,1.715611e-01,1.707218e-01,1.698554e-01,1.689652e-01,1.680543e-01,1.671259e-01,1.661826e-01,1.652269e-01,1.642613e-01,1.632880e-01,1.623090e-01,1.613262e-01,1.603413e-01,1.593560e-01,1.583716e-01,1.573896e-01,1.564112e-01,1.554375e-01,1.544695e-01,1.535082e-01,1.525543e-01
0.000000e+00,9.143842e-10,2.437762e-09,9.825342e-09,2.400839e-08,3.593300e-08,8.503894e-08,8.770498e-08,1.732964e-07,2.044422e-07,3.009955e-07,4.014226e-07,4.794800e-07,6.960898e-07,7.175154e-07,1.022375e-06,1.105916e-06,1.396578e-06,1.634863e-06,1.835153e-06,2.265760e-06,2.327218e-06,2.860497e-06,2.971113e-06,3.424213e-06,3.726386e-06,4.009563e-06,4.512591e-06,4.609230e-06,5.216908e-06,5.314499e-06,5.827014e-06,6.119240e-06,6.434558e-06,6.915756e-06,7.035114e-06,7.624819e-06,7.694691e-06,8.200373e-06,8.448410e-06,8.759042e-06,9.170969e-06,9.298633e-06,9.817465e-06,9.858035e-06,1.031432e-05,1.050672e-05,1.078841e-05,1.111540e-05,1.123929e-05,1.166684e-05,1.168346e-05,1.207119e-05,1.221114e-05,1.245268e-05,1.269929e-05,1.281182e-05,1.314923e-05,1.346566e-05,1.356261e-05,1.376188e-05,1.394125e-05,1.403875e-05,1.428713e-05,1.429712e-05,1.453788e-05,1.460225e-05,1.476188e-05,1.488860e-05,1.496999e-05,1.514814e-05,1.516305e-05,1.534188e-05,1.538276e-05,1.550726e-05,1.559428e-05,1.565995e-05,1.578441e-05,1.580069e-05,1.593016e-05,1.595476e-05,1.604902e-05,1.610685e-05,1.615790e-05,1.624209e-05,1.625740e-05,1.634807e-05,1.636180e-05,1.643044e-05,1.646719e-05,1.650502e-05,1.655939e-05,1.657228e-05,1.663266e-05,1.663947e-05,1.668659e-05,1.670838e-05,1.673446e-05,1.676702e-05,1.677665e-05,1.681350e-05,1.681622e-05,1.684534e-05,1.685675e-05,1.687250e-05,1.688931e-05,1.689526e-05,1.691389e-05,1.691455e-05,1.692866e-05,1.693308e-05,1.693981e-05,1.694545e-05,1.694757e-05,1.695216e-05,1.695378e-05,1.695370e-05,1.695261e-05,1.695050e-05,1.694885e-05,1.694296e-05,1.694266e-05,1.693421e-05,1.693145e-05,1.692363e-05,1.691632e-05,1.691107e-05,1.689789e-05,1.689668e-05,1.688056e-05,1.687645e-05,1.686285e-05,1.685227e-05,1.684364e-05,1.682560e-05,1.682306e-05,1.680119e-05,1.679667e-05,1.677812e-05,1.676569e-05,1.675396e-05,1.673287e-05,1.672878e-05,1.670265e-05,1.669839e-05,1.667566e-05,1.666242e-05,1.664787e-05,1.662511e-05,1.661935e-05,1.659016e-05,1.658661e-05,1.656035e-05,1.654706e-05,1.652999e-05,1.650657e-05,1.649912e-05,1.646780e-05,1.646527e-05,1.643607e-05,1.642327e-05,1.640397e-05,1.638065e-05,1.637154e-05,1.633883e-05,1.633752e-05,1.630588e-05,1.629396e-05,1.627270e-05,1.625004e-05,1.623935e-05,1.620584e-05,1.616143e-05,1.611687e-05,1.607221e-05,1.602751e-05,1.598282e-05,1.593819e-05,1.589365e-05,1.584925e-05,1.580502e-05,1.576099e-05,1.571719e-05,1.567366e-05,1.563041e-05,1.558748e-05,1.554487e-05,1.550261e-05,1.546073e-05,1.541922e-05,1.537812e-05,1.533743e-05,1.529716e-05,1.525732e-05,1.521793e-05,1.517899e-05
0.000000e+00,2.741781e-09,6.565427e-09,2.364464e-08,5.489998e-08,8.066379e-08,1.850248e-07,1.906478e-07,3.701259e-07,4.351247e-07,6.360699e-07,8.444925e-07,1.006182e-06,1.453525e-06,1.497656e-06,2.123017e-06,2.293524e-06,2.884299e-06,3.366692e-06,3.771721e-06,4.644097e-06,4.768994e-06,5.859080e-06,6.086841e-06,7.026486e-06,7.659433e-06,8.257325e-06,9.330894e-06,9.538839e-06,1.085903e-05,1.107309e-05,1.220655e-05,1.285989e-05,1.357068e-05,1.466721e-05,1.494144e-05,1.630970e-05,1.647332e-05,1.766723e-05,1.825925e-05,1.900682e-05,2.000904e-05,2.032224e-05,2.160825e-05,2.170973e-05,2.286057e-05,2.335127e-05,2.407575e-05,2.492617e-05,2.525114e-05,2.638479e-05,2.642925e-05,2.747538e-05,2.785729e-05,2.852212e-05,2.920866e-05,2.952466e-05,3.048305e-05,3.139763e-05,3.168113e-05,3.226900e-05,3.280436e-05,3.309796e-05,3.385477e-05,3.388549e-05,3.463267e-05,3.483481e-05,3.534066e-05,3.574716e-05,3.601070e-05,3.659471e-05,3.664406e-05,3.724203e-05,3.738042e-05,3.780591e-05,3.810727e-05,3.833700e-05,3.877825e-05,3.883658e-05,3.930594e-05,3.939629e-05,3.974631e-05,3.996426e-05,4.015892e-05,4.048492e-05,4.054494e-05,4.090553e-05,4.096094e-05,4.124181e-05,4.139491e-05,4.155486e-05,4.178927e-05,4.184572e-05,4.211539e-05,4.214638e-05,4.236485e-05,4.246846e-05,4.259504e-05,4.275764e-05,4.280684e-05,4.300112e-05,4.301593e-05,4.317872e-05,4.324526e-05,4.334041e-05,4.344742e-05,4.348698e-05,4.361914e-05,4.362414e-05,4.373760e-05,4.377702e-05,4.384302e-05,4.390759e-05,4.393606e-05,4.401731e-05,4.408738e-05,4.410753e-05,4.414682e-05,4.417953e-05,4.419617e-05,4.423453e-05,4.423595e-05,4.426664e-05,4.427367e-05,4.428871e-05,4.429801e-05,4.430262e-05,4.430858e-05,4.430880e-05,4.430764e-05,4.430632e-05,4.429955e-05,4.429213e-05,4.428489e-05,4.426685e-05,4.426403e-05,4.423730e-05,4.423128e-05,4.420502e-05,4.418616e-05,4.416752e-05,4.413219e-05,4.412508e-05,4.407799e-05,4.407004e-05,4.402651e-05,4.400032e-05,4.397090e-05,4.392361e-05,4.391142e-05,4.384828e-05,4.384047e-05,4.378173e-05,4.375141e-05,4.371196e-05,4.365691e-05,4.363918e-05,4.356359e-05,4.355742e-05,4.348536e-05,4.345337e-05,4.340468e-05,4.334517e-05,4.332172e-05,4.323662e-05,4.323318e-05,4.314956e-05,4.311776e-05,4.306066e-05,4.299924e-05,4.297007e-05,4.287792e-05,4.275411e-05,4.262807e-05,4.250006e-05,4.237032e-05,4.223908e-05,4.210654e-05,4.197289e-05,4.183834e-05,4.170304e-05,4.156716e-05,4.143085e-05,4.129425e-05,4.115749e-05,4.102069e-05,4.088398e-05,4.074745e-05,4.061121e-05,4.047535e-05,4.033995e-05,4.020509e-05,4.007085e-05,3.993730e-05,3.980449e-05,3.967250e-05
0.000000e+00,3.371376e-10,1.006140e-09,4.605160e-09,1.194733e-08,1.827680e-08,4.487975e-08,4.633710e-08,9.341452e-08,1.106210e-07,1.640533e-07,2.196810e-07,2.629234e-07,3.829303e-07,3.948041e-07,5.639700e-07,6.104327e-07,7.725948e-07,9.062010e-07,1.018988e-06,1.262908e-06,1.297872e-06,1.602692e-06,1.666224e-06,1.927471e-06,2.102564e-06,2.267257e-06,2.561229e-06,2.617909e-06,2.975805e-06,3.033517e-06,3.337655e-06,3.511845e-06,3.700416e-06,3.989384e-06,4.061278e-06,4.417674e-06,4.460029e-06,4.767304e-06,4.918469e-06,5.108158e-06,5.360275e-06,5.438528e-06,5.757010e-06,5.781939e-06,6.062499e-06,6.180864e-06,6.354175e-06,6.555304e-06,6.631476e-06,6.894075e-06,6.904270e-06,7.141848e-06,7.227423e-06,7.374849e-06,7.524948e-06,7.593276e-06,7.797446e-06,7.987771e-06,8.045828e-06,8.164732e-06,8.271219e-06,8.328865e-06,8.474891e-06,8.480738e-06,8.620942e-06,8.658190e-06,8.750077e-06,8.822494e-06,8.868742e-06,8.969176e-06,8.977529e-06,9.077016e-06,9.099572e-06,9.167764e-06,9.214967e-06,9.250311e-06,9.316581e-06,9.325175e-06,9.392847e-06,9.405559e-06,9.453793e-06,9.482974e-06,9.508453e-06,9.549816e-06,9.557244e-06,9.600557e-06,9.607004e-06,9.638759e-06,9.655383e-06,9.672195e-06,9.695730e-06,9.701187e-06,9.726038e-06,9.728755e-06,9.747029e-06,9.755112e-06,9.764425e-06,9.775393e-06,9.778471e-06,9.789397e-06,9.790142e-06,9.797416e-06,9.799856e-06,9.802730e-06,9.804985e-06,9.805524e-06,9.805973e-06,9.805944e-06,9.804238e-06,9.803108e-06,9.800471e-06,9.796822e-06,9.794814e-06,9.787399e-06,9.778348e-06,9.775126e-06,9.767778e-06,9.760265e-06,9.755795e-06,9.743056e-06,9.742501e-06,9.727988e-06,9.723718e-06,9.712346e-06,9.702453e-06,9.695656e-06,9.679444e-06,9.677997e-06,9.659440e-06,9.654861e-06,9.640054e-06,9.628859e-06,9.619901e-06,9.601581e-06,9.599042e-06,9.577533e-06,9.573157e-06,9.555425e-06,9.543709e-06,9.532769e-06,9.513347e-06,9.509610e-06,9.485993e-06,9.482174e-06,9.461957e-06,9.450283e-06,9.437543e-06,9.417762e-06,9.412785e-06,9.387717e-06,9.384690e-06,9.362373e-06,9.351142e-06,9.336782e-06,9.317185e-06,9.310972e-06,9.284970e-06,9.282882e-06,9.258802e-06,9.248293e-06,9.232490e-06,9.213470e-06,9.206058e-06,9.179527e-06,9.178464e-06,9.152916e-06,9.143320e-06,9.126244e-06,9.108081e-06,9.099529e-06,9.072787e-06,9.037472e-06,9.002172e-06,8.966916e-06,8.931734e-06,8.896651e-06,8.861692e-06,8.826880e-06,8.792236e-06,8.757777e-06,8.723522e-06,8.689488e-06,8.655687e-06,8.622135e-06,8.588842e-06,8.555822e-06,8.523083e-06,8.490634e-06,8.458485e-06,8.426643e-06,8.395114e-06,8.363905e-06,8.333021e-06,8.302467e-06,8.272246e-06
0.000000e+00,1.154020e-10,5.000866e-10,4.057202e-09,1.516054e-08,2.715764e-08,9.131555e-08,9.528494e-08,2.396438e-07,2.983752e-07,4.951593e-07,7.181916e-07,9.018377e-07,1.449663e-06,1.506551e-06,2.362073e-06,2.610607e-06,3.519263e-06,4.312572e-06,5.010958e-06,6.600564e-06,6.836306e-06,8.959583e-06,9.415185e-06,1.132447e-05,1.262966e-05,1.387126e-05,1.611223e-05,1.654717e-05,1.930933e-05,1.975690e-05,2.212369e-05,2.348488e-05,2.496285e-05,2.723666e-05,2.780412e-05,3.062830e-05,3.096525e-05,3.341889e-05,3.463236e-05,3.616165e-05,3.820661e-05,3.884442e-05,4.145696e-05,4.166267e-05,4.399083e-05,4.498078e-05,4.643928e-05,4.814629e-05,4.879711e-05,5.106056e-05,5.114909e-05,5.322710e-05,5.398303e-05,5.529533e-05,5.664530e-05,5.726478e-05,5.913581e-05,6.090943e-05,6.145666e-05,6.258720e-05,6.361158e-05,6.417112e-05,6.560557e-05,6.566354e-05,6.706710e-05,6.744454e-05,6.838459e-05,6.913500e-05,6.961898e-05,7.068383e-05,7.077330e-05,7.185065e-05,7.209810e-05,7.285413e-05,7.338496e-05,7.378683e-05,7.455149e-05,7.465182e-05,7.545211e-05,7.560467e-05,7.619067e-05,7.655128e-05,7.687037e-05,7.739788e-05,7.749400e-05,7.806429e-05,7.815076e-05,7.858383e-05,7.881594e-05,7.905516e-05,7.939916e-05,7.948072e-05,7.986286e-05,7.990591e-05,8.020383e-05,8.034138e-05,8.050580e-05,8.071048e-05,8.077083e-05,8.100092e-05,8.101787e-05,8.119796e-05,8.126794e-05,8.136380e-05,8.146485e-05,8.150016e-05,8.160871e-05,8.161250e-05,8.169104e-05,8.171455e-05,8.174866e-05,8.177447e-05,8.178303e-05,8.179552e-05,8.178745e-05,8.178073e-05,8.176007e-05,8.173297e-05,8.171458e-05,8.165492e-05,8.165211e-05,8.157374e-05,8.154909e-05,8.148051e-05,8.141784e-05,8.137339e-05,8.126337e-05,8.125331e-05,8.112115e-05,8.108774e-05,8.097777e-05,8.089286e-05,8.082395e-05,8.068055e-05,8.066045e-05,8.048799e-05,8.045248e-05,8.030725e-05,8.021021e-05,8.011889e-05,7.995521e-05,7.992350e-05,7.972169e-05,7.968884e-05,7.951399e-05,7.941235e-05,7.930092e-05,7.912694e-05,7.908299e-05,7.886066e-05,7.883370e-05,7.863436e-05,7.853365e-05,7.840453e-05,7.822773e-05,7.817155e-05,7.793580e-05,7.791683e-05,7.769763e-05,7.760176e-05,7.745738e-05,7.728328e-05,7.721535e-05,7.697185e-05,7.696209e-05,7.672716e-05,7.663882e-05,7.648153e-05,7.631409e-05,7.623521e-05,7.598844e-05,7.566239e-05,7.533639e-05,7.501089e-05,7.468627e-05,7.436290e-05,7.404111e-05,7.372120e-05,7.340345e-05,7.308812e-05,7.277543e-05,7.246558e-05,7.215876e-05,7.185515e-05,7.155488e-05,7.125809e-05,7.096490e-05,7.067542e-05,7.038973e-05,7.010791e-05,6.983003e-05,6.955615e-05,6.928632e-05,6.902057e-05,6.875892e-05
0.000000e+00,1.848071e-11,8.368462e-11,7.368602e-10,2.934612e-09,5.420366e-09,1.945146e-08,2.034225e-08,5.348277e-08,6.717955e-08,1.133052e-07,1.655011e-07,2.081919e-07,3.334932e-07,3.463228e-07,5.354678e-07,5.892163e-07,7.820186e-07,9.465409e-07,1.089194e-06,1.408791e-06,1.455776e-06,1.876642e-06,1.966707e-06,2.344525e-06,2.603811e-06,2.851637e-06,3.302464e-06,3.390534e-06,3.954345e-06,4.046435e-06,4.536702e-06,4.821048e-06,5.131604e-06,5.612706e-06,5.733332e-06,6.336443e-06,6.408662e-06,6.935807e-06,7.197102e-06,7.526677e-06,7.967398e-06,8.104762e-06,8.666289e-06,8.710396e-06,9.208052e-06,9.418615e-06,9.727424e-06,1.008634e-05,1.022236e-05,1.069138e-05,1.070959e-05,1.113351e-05,1.128599e-05,1.154827e-05,1.181461e-05,1.193557e-05,1.229567e-05,1.262915e-05,1.273036e-05,1.293678e-05,1.312056e-05,1.321956e-05,1.346866e-05,1.347858e-05,1.371504e-05,1.377738e-05,1.393019e-05,1.404959e-05,1.412531e-05,1.428822e-05,1.430167e-05,1.446051e-05,1.449616e-05,1.460305e-05,1.467619e-05,1.473046e-05,1.483095e-05,1.484385e-05,1.494427e-05,1.496289e-05,1.503272e-05,1.507428e-05,1.511011e-05,1.516720e-05,1.517730e-05,1.523509e-05,1.524352e-05,1.528422e-05,1.530493e-05,1.532537e-05,1.535297e-05,1.535917e-05,1.538620e-05,1.538901e-05,1.540698e-05,1.541427e-05,1.542200e-05,1.542984e-05,1.543171e-05,1.543651e-05,1.543670e-05,1.543679e-05,1.543572e-05,1.543290e-05,1.542768e-05,1.542514e-05,1.541381e-05,1.541329e-05,1.539918e-05,1.539315e-05,1.538150e-05,1.536784e-05,1.536099e-05,1.533786e-05,1.531231e-05,1.530366e-05,1.528453e-05,1.526564e-05,1.525466e-05,1.522418e-05,1.522287e-05,1.518931e-05,1.517961e-05,1.515410e-05,1.513223e-05,1.511736e-05,1.508232e-05,1.507922e-05,1.503978e-05,1.503013e-05,1.499913e-05,1.497588e-05,1.495738e-05,1.491980e-05,1.491462e-05,1.487091e-05,1.486206e-05,1.482635e-05,1.480286e-05,1.478099e-05,1.474234e-05,1.473492e-05,1.468819e-05,1.468066e-05,1.464086e-05,1.461795e-05,1.459300e-05,1.455435e-05,1.454464e-05,1.449585e-05,1.448996e-05,1.444666e-05,1.442491e-05,1.439713e-05,1.435928e-05,1.434729e-05,1.429719e-05,1.429318e-05,1.424686e-05,1.422668e-05,1.419634e-05,1.415987e-05,1.414566e-05,1.409485e-05,1.409282e-05,1.404394e-05,1.402560e-05,1.399296e-05,1.395827e-05,1.394194e-05,1.389090e-05,1.382354e-05,1.375623e-05,1.368903e-05,1.362199e-05,1.355513e-05,1.348850e-05,1.342214e-05,1.335607e-05,1.329033e-05,1.322495e-05,1.315994e-05,1.309533e-05,1.303115e-05,1.296742e-05,1.290414e-05,1.284135e-05,1.277905e-05,1.271725e-05,1.265598e-05,1.259524e-05,1.253504e-05,1.247539e-05,1.241630e-05,1.235778e-05
0.000000e+00,5.134302e-09,1.245448e-08,4.559303e-08,1.071557e-07,1.585744e-07,3.722495e-07,3.839950e-07,7.704607e-07,9.155827e-07,1.378907e-06,1.877255e-06,2.271254e-06,3.367468e-06,3.474891e-06,4.966007e-06,5.361720e-06,6.700789e-06,7.764447e-06,8.642232e-06,1.050011e-05,1.076341e-05,1.304310e-05,1.351637e-05,1.546213e-05,1.676874e-05,1.800129e-05,2.021244e-05,2.064062e-05,2.335929e-05,2.380023e-05,2.613600e-05,2.748315e-05,2.894939e-05,3.121249e-05,3.177863e-05,3.460390e-05,3.494177e-05,3.740681e-05,3.862865e-05,4.017068e-05,4.223593e-05,4.288071e-05,4.552423e-05,4.573251e-05,4.809064e-05,4.909360e-05,5.057126e-05,5.230028e-05,5.295925e-05,5.524952e-05,5.533904e-05,5.743847e-05,5.820121e-05,5.952384e-05,6.088212e-05,6.150454e-05,6.338060e-05,6.515275e-05,6.569807e-05,6.682226e-05,6.783780e-05,6.839114e-05,6.980479e-05,6.986176e-05,7.123691e-05,7.160525e-05,7.251961e-05,7.324619e-05,7.371307e-05,7.473509e-05,7.482061e-05,7.584563e-05,7.607973e-05,7.679155e-05,7.728799e-05,7.766180e-05,7.836775e-05,7.845980e-05,7.918888e-05,7.932672e-05,7.985233e-05,8.017246e-05,8.045336e-05,8.091225e-05,8.099507e-05,8.148049e-05,8.155314e-05,8.191255e-05,8.210181e-05,8.229406e-05,8.256469e-05,8.262772e-05,8.291615e-05,8.294784e-05,8.316184e-05,8.325703e-05,8.336720e-05,8.349771e-05,8.353451e-05,8.366598e-05,8.367501e-05,8.376369e-05,8.379378e-05,8.382966e-05,8.385858e-05,8.386579e-05,8.387391e-05,8.387367e-05,8.385574e-05,8.384308e-05,8.381294e-05,8.377057e-05,8.374708e-05,8.365966e-05,8.355209e-05,8.351364e-05,8.342574e-05,8.333560e-05,8.328187e-05,8.312843e-05,8.312172e-05,8.294643e-05,8.289479e-05,8.275711e-05,8.263721e-05,8.255478e-05,8.235801e-05,8.234045e-05,8.211503e-05,8.205938e-05,8.187942e-05,8.174333e-05,8.163444e-05,8.141176e-05,8.138091e-05,8.111955e-05,8.106640e-05,8.085109e-05,8.070890e-05,8.057618e-05,8.034075e-05,8.029547e-05,8.000954e-05,7.996335e-05,7.971897e-05,7.957800e-05,7.942428e-05,7.918591e-05,7.912598e-05,7.882453e-05,7.878817e-05,7.852038e-05,7.838581e-05,7.821396e-05,7.797979e-05,7.790564e-05,7.759581e-05,7.757097e-05,7.728481e-05,7.716016e-05,7.697297e-05,7.674809e-05,7.666059e-05,7.634796e-05,7.633546e-05,7.603536e-05,7.592287e-05,7.572302e-05,7.551091e-05,7.541119e-05,7.510009e-05,7.469090e-05,7.428376e-05,7.387908e-05,7.347721e-05,7.307849e-05,7.268319e-05,7.229160e-05,7.190393e-05,7.152042e-05,7.114123e-05,7.076655e-05,7.039651e-05,7.003124e-05,6.967086e-05,6.931545e-05,6.896509e-05,6.861985e-05,6.827979e-05,6.794493e-05,6.761532e-05,6.729097e-05,6.697188e-05,6.665808e-05,6.634954e-05
0.000000e+00,3.982008e-12,1.939628e-11,1.976294e-10,8.933584e-10,1.764324e-09,7.463971e-09,7.856233e-09,2.402838e-08,3.138876e-08,5.822353e-08,9.153269e-08,1.206046e-07,2.133068e-07,2.233226e-07,3.798947e-07,4.270059e-07,6.037317e-07,7.627991e-07,9.060885e-07,1.243177e-06,1.294471e-06,1.772142e-06,1.878400e-06,2.338548e-06,2.667073e-06,2.990172e-06,3.599324e-06,3.721391e-06,4.525162e-06,4.659976e-06,5.393521e-06,5.830778e-06,6.317908e-06,7.091776e-06,7.289411e-06,8.298956e-06,8.422226e-06,9.337482e-06,9.801314e-06,1.039610e-05,1.120881e-05,1.146626e-05,1.253986e-05,1.262566e-05,1.360941e-05,1.403454e-05,1.466809e-05,1.542019e-05,1.570986e-05,1.672941e-05,1.676967e-05,1.772228e-05,1.807243e-05,1.868474e-05,1.932030e-05,1.961383e-05,2.050727e-05,2.136344e-05,2.162935e-05,2.218125e-05,2.268424e-05,2.296013e-05,2.367108e-05,2.369992e-05,2.440084e-05,2.459019e-05,2.506339e-05,2.544281e-05,2.568832e-05,2.623084e-05,2.627658e-05,2.682926e-05,2.695674e-05,2.734755e-05,2.762326e-05,2.783275e-05,2.823339e-05,2.828617e-05,2.870918e-05,2.879025e-05,2.910314e-05,2.929697e-05,2.946941e-05,2.975665e-05,2.980932e-05,3.012421e-05,3.017235e-05,3.041533e-05,3.054700e-05,3.068394e-05,3.088342e-05,3.093123e-05,3.115836e-05,3.118431e-05,3.136642e-05,3.145220e-05,3.155647e-05,3.168949e-05,3.172952e-05,3.188654e-05,3.189844e-05,3.202843e-05,3.208115e-05,3.215607e-05,3.223961e-05,3.227028e-05,3.237184e-05,3.237565e-05,3.246150e-05,3.249100e-05,3.253996e-05,3.258725e-05,3.260788e-05,3.266590e-05,3.271461e-05,3.272832e-05,3.275457e-05,3.277580e-05,3.278632e-05,3.280954e-05,3.281036e-05,3.282716e-05,3.283063e-05,3.283719e-05,3.284012e-05,3.284085e-05,3.283895e-05,3.283856e-05,3.283068e-05,3.282800e-05,3.281759e-05,3.280810e-05,3.279962e-05,3.278001e-05,3.277708e-05,3.275028e-05,3.274443e-05,3.271950e-05,3.270202e-05,3.268502e-05,3.265337e-05,3.264708e-05,3.260593e-05,3.259906e-05,3.256179e-05,3.253961e-05,3.251488e-05,3.247548e-05,3.246539e-05,3.241352e-05,3.240715e-05,3.235946e-05,3.233501e-05,3.230335e-05,3.225946e-05,3.224538e-05,3.218569e-05,3.218085e-05,3.212442e-05,3.209951e-05,3.206172e-05,3.201574e-05,3.199769e-05,3.193248e-05,3.192984e-05,3.186618e-05,3.184207e-05,3.179891e-05,3.175266e-05,3.173077e-05,3.166185e-05,3.156984e-05,3.147683e-05,3.138300e-05,3.128850e-05,3.119350e-05,3.109814e-05,3.100255e-05,3.090684e-05,3.081114e-05,3.071554e-05,3.062013e-05,3.052502e-05,3.043027e-05,3.033596e-05,3.024216e-05,3.014893e-05,3.005632e-05,2.996439e-05,2.987319e-05,2.978276e-05,2.969314e-05,2.960436e-05,2.951646e-05,2.942946e-05
0.000000e+00,5.644019e-11,2.183973e-10,1.447797e-09,4.653960e-09,7.763769e-09,2.237467e-08,2.321894e-08,5.176476e-08,6.261203e-08,9.711583e-08,1.339150e-07,1.629369e-07,2.447854e-07,2.529684e-07,3.709954e-07,4.038936e-07,5.205584e-07,6.191323e-07,7.042752e-07,8.947354e-07,9.227322e-07,1.173330e-06,1.226826e-06,1.450031e-06,1.601528e-06,1.744604e-06,1.999682e-06,2.048652e-06,2.355062e-06,2.403925e-06,2.658465e-06,2.801857e-06,2.955033e-06,3.185543e-06,3.242097e-06,3.517799e-06,3.550054e-06,3.780865e-06,3.892379e-06,4.030446e-06,4.210782e-06,4.266028e-06,4.487366e-06,4.504456e-06,4.694439e-06,4.773304e-06,4.887408e-06,5.017783e-06,5.066585e-06,5.232402e-06,5.238764e-06,5.385379e-06,5.437420e-06,5.526105e-06,5.615122e-06,5.655212e-06,5.773356e-06,5.881203e-06,5.913648e-06,5.979416e-06,6.037518e-06,6.068646e-06,6.146438e-06,6.149520e-06,6.222642e-06,6.241806e-06,6.288584e-06,6.324929e-06,6.347887e-06,6.397018e-06,6.401057e-06,6.448568e-06,6.459178e-06,6.490860e-06,6.512417e-06,6.528340e-06,6.557643e-06,6.561386e-06,6.590345e-06,6.595674e-06,6.615536e-06,6.627246e-06,6.637255e-06,6.653015e-06,6.655773e-06,6.671337e-06,6.673569e-06,6.684177e-06,6.689434e-06,6.694502e-06,6.701081e-06,6.702505e-06,6.708362e-06,6.708929e-06,6.712236e-06,6.713350e-06,6.714275e-06,6.714682e-06,6.714616e-06,6.713387e-06,6.713225e-06,6.710703e-06,6.709246e-06,6.706671e-06,6.702989e-06,6.701389e-06,6.694949e-06,6.694669e-06,6.687436e-06,6.684483e-06,6.678926e-06,6.672608e-06,6.669493e-06,6.659203e-06,6.648117e-06,6.644411e-06,6.636294e-06,6.628365e-06,6.623787e-06,6.611183e-06,6.610646e-06,6.596918e-06,6.592975e-06,6.582646e-06,6.573839e-06,6.567871e-06,6.553867e-06,6.552631e-06,6.536961e-06,6.533141e-06,6.520895e-06,6.511737e-06,6.504464e-06,6.489725e-06,6.487696e-06,6.470620e-06,6.467170e-06,6.453261e-06,6.444130e-06,6.435643e-06,6.420661e-06,6.417789e-06,6.399722e-06,6.396812e-06,6.381460e-06,6.372631e-06,6.363023e-06,6.348160e-06,6.344429e-06,6.325695e-06,6.323439e-06,6.306837e-06,6.298505e-06,6.287871e-06,6.273392e-06,6.268809e-06,6.249666e-06,6.248132e-06,6.230455e-06,6.222755e-06,6.211188e-06,6.197287e-06,6.191876e-06,6.172530e-06,6.171756e-06,6.153160e-06,6.146183e-06,6.133776e-06,6.120592e-06,6.114387e-06,6.095002e-06,6.069433e-06,6.043901e-06,6.018425e-06,5.993018e-06,5.967695e-06,5.942469e-06,5.917352e-06,5.892356e-06,5.867490e-06,5.842766e-06,5.818191e-06,5.793773e-06,5.769521e-06,5.745442e-06,5.721541e-06,5.697825e-06,5.674299e-06,5.650968e-06,5.627837e-06,5.604909e-06,5.582188e-06,5.559678e-06,5.537381e-06,5.515300e-06
0.000000e+00,2.995875e-11,1.353632e-10,1.187498e-09,4.717946e-09,8.706046e-09,3.120279e-08,3.263115e-08,8.581878e-08,1.078304e-07,1.820782e-07,2.662959e-07,3.353125e-07,5.384642e-07,5.593081e-07,8.674041e-07,9.552082e-07,1.271040e-06,1.541590e-06,1.776936e-06,2.306639e-06,2.384784e-06,3.087642e-06,3.238685e-06,3.874493e-06,4.312719e-06,4.732877e-06,5.500148e-06,5.650445e-06,6.615476e-06,6.773538e-06,7.616900e-06,8.107393e-06,8.644161e-06,9.477765e-06,9.687151e-06,1.073622e-05,1.086207e-05,1.178225e-05,1.223935e-05,1.281681e-05,1.359066e-05,1.383224e-05,1.482175e-05,1.489961e-05,1.577951e-05,1.615259e-05,1.670063e-05,1.733892e-05,1.758120e-05,1.841824e-05,1.845079e-05,1.920963e-05,1.948306e-05,1.995400e-05,2.043297e-05,2.065072e-05,2.129975e-05,2.190155e-05,2.208429e-05,2.245702e-05,2.278876e-05,2.296739e-05,2.341632e-05,2.343417e-05,2.385907e-05,2.397078e-05,2.424393e-05,2.445643e-05,2.459069e-05,2.487778e-05,2.490135e-05,2.517792e-05,2.523945e-05,2.542240e-05,2.554603e-05,2.563676e-05,2.580202e-05,2.582293e-05,2.598276e-05,2.601172e-05,2.611804e-05,2.617925e-05,2.623048e-05,2.630847e-05,2.632171e-05,2.639327e-05,2.640300e-05,2.644663e-05,2.646619e-05,2.648317e-05,2.650115e-05,2.650417e-05,2.651086e-05,2.651075e-05,2.650437e-05,2.649762e-05,2.648578e-05,2.646416e-05,2.645606e-05,2.641616e-05,2.641256e-05,2.636694e-05,2.634482e-05,2.630920e-05,2.626278e-05,2.624369e-05,2.617113e-05,2.616808e-05,2.609214e-05,2.606225e-05,2.600733e-05,2.594663e-05,2.591727e-05,2.582248e-05,2.572343e-05,2.569091e-05,2.562057e-05,2.555294e-05,2.551433e-05,2.540949e-05,2.540507e-05,2.529316e-05,2.526140e-05,2.517893e-05,2.510941e-05,2.506268e-05,2.495419e-05,2.494470e-05,2.482524e-05,2.479637e-05,2.470454e-05,2.463650e-05,2.458284e-05,2.447506e-05,2.446033e-05,2.433720e-05,2.431252e-05,2.421364e-05,2.414927e-05,2.408980e-05,2.398567e-05,2.396583e-05,2.384187e-05,2.382204e-05,2.371804e-05,2.365869e-05,2.359446e-05,2.349585e-05,2.347124e-05,2.334847e-05,2.333378e-05,2.322625e-05,2.317266e-05,2.310465e-05,2.301270e-05,2.298375e-05,2.286361e-05,2.285404e-05,2.274431e-05,2.269683e-05,2.262589e-05,2.254120e-05,2.250840e-05,2.239190e-05,2.238726e-05,2.227642e-05,2.223510e-05,2.216199e-05,2.208481e-05,2.204867e-05,2.193646e-05,2.179011e-05,2.164580e-05,2.150360e-05,2.136352e-05,2.122559e-05,2.108985e-05,2.095630e-05,2.082495e-05,2.069581e-05,2.056888e-05,2.044416e-05,2.032163e-05,2.020130e-05,2.008314e-05,1.996715e-05,1.985330e-05,1.974158e-05,1.963196e-05,1.952443e-05,1.941895e-05,1.931551e-05,1.921408e-05,1.911463e-05,1.901714e-05
0.000000e+00,1.335474e-11,6.240705e-11,5.852294e-10,2.462739e-09,4.685115e-09,1.812239e-08,1.900997e-08,5.386054e-08,6.907128e-08,1.228567e-07,1.874731e-07,2.425948e-07,4.123288e-07,4.301750e-07,6.982585e-07,7.753185e-07,1.052168e-06,1.287716e-06,1.491111e-06,1.944517e-06,2.011009e-06,2.606598e-06,2.734314e-06,3.272343e-06,3.644375e-06,4.002546e-06,4.661323e-06,4.791163e-06,5.631593e-06,5.770395e-06,6.516595e-06,6.954946e-06,7.438335e-06,8.196628e-06,8.388539e-06,9.358707e-06,9.476064e-06,1.034036e-05,1.077378e-05,1.132526e-05,1.207116e-05,1.230565e-05,1.327442e-05,1.335122e-05,1.422520e-05,1.459920e-05,1.515246e-05,1.580289e-05,1.605157e-05,1.691875e-05,1.695272e-05,1.775105e-05,1.804170e-05,1.854632e-05,1.906519e-05,1.930311e-05,2.002059e-05,2.069848e-05,2.090706e-05,2.133696e-05,2.172515e-05,2.193659e-05,2.247648e-05,2.249823e-05,2.302298e-05,2.316348e-05,2.351213e-05,2.378912e-05,2.396709e-05,2.435675e-05,2.438936e-05,2.478048e-05,2.486989e-05,2.514203e-05,2.533216e-05,2.547557e-05,2.574714e-05,2.578264e-05,2.606475e-05,2.611831e-05,2.632336e-05,2.644901e-05,2.655987e-05,2.674244e-05,2.677562e-05,2.697190e-05,2.700158e-05,2.714991e-05,2.722921e-05,2.731082e-05,2.742795e-05,2.745569e-05,2.758556e-05,2.760019e-05,2.770139e-05,2.774814e-05,2.780408e-05,2.787385e-05,2.789447e-05,2.797336e-05,2.797920e-05,2.804149e-05,2.806589e-05,2.809956e-05,2.813550e-05,2.814821e-05,2.818806e-05,2.818948e-05,2.821967e-05,2.822914e-05,2.824358e-05,2.825569e-05,2.826028e-05,2.827024e-05,2.827390e-05,2.827381e-05,2.827166e-05,2.826731e-05,2.826391e-05,2.825161e-05,2.825100e-05,2.823326e-05,2.822748e-05,2.821102e-05,2.819563e-05,2.818456e-05,2.815673e-05,2.815416e-05,2.812008e-05,2.811138e-05,2.808256e-05,2.806014e-05,2.804183e-05,2.800351e-05,2.799811e-05,2.795159e-05,2.794197e-05,2.790247e-05,2.787596e-05,2.785092e-05,2.780586e-05,2.779711e-05,2.774120e-05,2.773206e-05,2.768333e-05,2.765490e-05,2.762365e-05,2.757469e-05,2.756229e-05,2.749937e-05,2.749172e-05,2.743501e-05,2.740627e-05,2.736933e-05,2.731858e-05,2.730242e-05,2.723438e-05,2.722889e-05,2.716531e-05,2.713741e-05,2.709530e-05,2.704435e-05,2.702442e-05,2.695277e-05,2.694989e-05,2.688041e-05,2.685419e-05,2.680741e-05,2.675744e-05,2.673384e-05,2.665976e-05,2.656131e-05,2.646220e-05,2.636257e-05,2.626251e-05,2.616215e-05,2.606156e-05,2.596085e-05,2.586010e-05,2.575937e-05,2.565876e-05,2.555832e-05,2.545812e-05,2.535821e-05,2.525866e-05,2.515950e-05,2.506079e-05,2.496257e-05,2.486488e-05,2.476776e-05,2.467124e-05,2.457536e-05,2.448013e-05,2.438559e-05,2.429177e-05
0.000000e+00,1.019747e-08,2.342616e-08,8.093668e-08,1.850982e-07,2.711202e-07,6.248776e-07,6.442216e-07,1.277626e-06,1.514439e-06,2.268649e-06,3.079166e-06,3.720990e-06,5.514814e-06,5.691159e-06,8.141846e-06,8.791400e-06,1.098072e-05,1.270686e-05,1.412133e-05,1.708355e-05,1.749985e-05,2.106849e-05,2.180146e-05,2.478760e-05,2.676893e-05,2.862103e-05,3.190415e-05,3.253423e-05,3.649377e-05,3.712943e-05,4.046769e-05,4.237140e-05,4.442607e-05,4.756307e-05,4.834150e-05,5.218955e-05,5.264574e-05,5.594901e-05,5.757038e-05,5.960199e-05,6.229794e-05,6.313388e-05,6.653314e-05,6.679908e-05,6.979110e-05,7.105327e-05,7.290162e-05,7.504763e-05,7.586080e-05,7.866668e-05,7.877572e-05,8.131890e-05,8.223623e-05,8.381843e-05,8.543193e-05,8.616736e-05,8.836855e-05,9.042561e-05,9.105410e-05,9.234275e-05,9.349840e-05,9.412456e-05,9.571225e-05,9.577586e-05,9.730163e-05,9.770705e-05,9.870697e-05,9.949451e-05,9.999701e-05,1.010864e-04,1.011769e-04,1.022516e-04,1.024944e-04,1.032261e-04,1.037298e-04,1.041053e-04,1.048039e-04,1.048939e-04,1.055965e-04,1.057271e-04,1.062176e-04,1.065097e-04,1.067614e-04,1.071616e-04,1.072322e-04,1.076338e-04,1.076919e-04,1.079702e-04,1.081095e-04,1.082449e-04,1.084228e-04,1.084616e-04,1.086236e-04,1.086395e-04,1.087341e-04,1.087673e-04,1.087963e-04,1.088129e-04,1.088129e-04,1.087870e-04,1.087831e-04,1.087210e-04,1.086840e-04,1.086176e-04,1.085214e-04,1.084793e-04,1.083082e-04,1.083007e-04,1.081067e-04,1.080271e-04,1.078768e-04,1.077052e-04,1.076204e-04,1.073395e-04,1.070358e-04,1.069342e-04,1.067111e-04,1.064930e-04,1.063670e-04,1.060197e-04,1.060049e-04,1.056263e-04,1.055175e-04,1.052326e-04,1.049897e-04,1.048251e-04,1.044390e-04,1.044049e-04,1.039733e-04,1.038682e-04,1.035313e-04,1.032797e-04,1.030800e-04,1.026759e-04,1.026204e-04,1.021533e-04,1.020590e-04,1.016796e-04,1.014309e-04,1.012001e-04,1.007935e-04,1.007156e-04,1.002269e-04,1.001483e-04,9.973456e-05,9.949714e-05,9.923925e-05,9.884128e-05,9.874159e-05,9.824212e-05,9.818209e-05,9.774138e-05,9.752078e-05,9.723987e-05,9.685848e-05,9.673804e-05,9.623633e-05,9.619621e-05,9.573514e-05,9.553490e-05,9.523485e-05,9.487540e-05,9.473582e-05,9.423837e-05,9.421851e-05,9.374281e-05,9.356492e-05,9.324942e-05,9.291528e-05,9.275846e-05,9.227018e-05,9.163013e-05,9.099562e-05,9.036706e-05,8.974483e-05,8.912928e-05,8.852070e-05,8.791934e-05,8.732545e-05,8.673921e-05,8.616080e-05,8.559036e-05,8.502800e-05,8.447383e-05,8.392791e-05,8.339031e-05,8.286106e-05,8.234018e-05,8.182770e-05,8.132359e-05,8.082784e-05,8.034043e-05,7.986131e-05,7.939044e-05,7.892776e-05
0.000000e+00,3.504889e-12,1.695159e-11,1.702324e-10,7.595046e-10,1.489233e-09,6.182900e-09,6.502779e-09,1.950435e-08,2.533807e-08,4.632131e-08,7.191518e-08,9.394780e-08,1.628227e-07,1.701630e-07,2.830684e-07,3.165052e-07,4.404283e-07,5.505321e-07,6.489678e-07,8.790312e-07,9.139454e-07,1.239088e-06,1.311564e-06,1.626742e-06,1.853459e-06,2.078082e-06,2.506571e-06,2.593272e-06,3.171575e-06,3.269866e-06,3.811416e-06,4.139730e-06,4.510421e-06,5.110143e-06,5.265459e-06,6.072692e-06,6.172862e-06,6.927649e-06,7.317674e-06,7.825312e-06,8.532750e-06,8.760219e-06,9.726586e-06,9.805076e-06,1.071842e-05,1.112093e-05,1.172965e-05,1.246635e-05,1.275423e-05,1.378625e-05,1.382761e-05,1.482005e-05,1.519161e-05,1.585026e-05,1.654618e-05,1.687188e-05,1.788036e-05,1.887156e-05,1.918449e-05,1.984186e-05,2.045038e-05,2.078806e-05,2.167123e-05,2.170746e-05,2.259781e-05,2.284164e-05,2.345727e-05,2.395753e-05,2.428444e-05,2.501599e-05,2.507825e-05,2.583798e-05,2.601519e-05,2.656322e-05,2.695423e-05,2.725383e-05,2.783299e-05,2.790990e-05,2.853172e-05,2.865201e-05,2.911975e-05,2.941237e-05,2.967460e-05,3.011558e-05,3.019702e-05,3.068782e-05,3.076347e-05,3.114791e-05,3.135813e-05,3.157826e-05,3.190180e-05,3.197987e-05,3.235378e-05,3.239684e-05,3.270104e-05,3.284567e-05,3.302272e-05,3.325073e-05,3.331987e-05,3.359354e-05,3.361445e-05,3.384477e-05,3.393921e-05,3.407458e-05,3.422733e-05,3.428396e-05,3.447388e-05,3.448108e-05,3.464528e-05,3.470262e-05,3.479907e-05,3.489404e-05,3.493613e-05,3.505731e-05,3.516344e-05,3.519434e-05,3.525527e-05,3.530691e-05,3.533359e-05,3.539671e-05,3.539909e-05,3.545248e-05,3.546535e-05,3.549442e-05,3.551434e-05,3.552553e-05,3.554511e-05,3.554642e-05,3.555767e-05,3.555899e-05,3.555981e-05,3.555724e-05,3.555339e-05,3.554103e-05,3.553888e-05,3.551677e-05,3.551148e-05,3.548751e-05,3.546961e-05,3.545152e-05,3.541640e-05,3.540922e-05,3.536099e-05,3.535275e-05,3.530720e-05,3.527951e-05,3.524821e-05,3.519749e-05,3.518434e-05,3.511591e-05,3.510741e-05,3.504322e-05,3.500997e-05,3.496657e-05,3.490582e-05,3.488621e-05,3.480240e-05,3.479556e-05,3.471540e-05,3.467976e-05,3.462543e-05,3.455894e-05,3.453271e-05,3.443745e-05,3.443359e-05,3.433985e-05,3.430417e-05,3.424009e-05,3.417111e-05,3.413835e-05,3.403481e-05,3.389562e-05,3.375391e-05,3.360999e-05,3.346416e-05,3.331669e-05,3.316785e-05,3.301788e-05,3.286699e-05,3.271540e-05,3.256330e-05,3.241086e-05,3.225825e-05,3.210562e-05,3.195313e-05,3.180088e-05,3.164902e-05,3.149764e-05,3.134685e-05,3.119675e-05,3.104742e-05,3.089894e-05,3.075139e-05,3.060483e-05,3.045933e-05
0.000000e+00,1.459415e-09,4.244643e-09,1.892572e-08,4.873008e-08,7.452368e-08,1.845111e-07,1.906128e-07,3.918314e-07,4.672684e-07,7.072637e-07,9.648205e-07,1.168987e-06,1.743914e-06,1.800927e-06,2.604598e-06,2.821329e-06,3.563293e-06,4.160386e-06,4.657290e-06,5.719075e-06,5.870509e-06,7.189992e-06,7.465609e-06,8.604093e-06,9.372999e-06,1.010126e-05,1.141434e-05,1.166953e-05,1.329639e-05,1.356127e-05,1.496902e-05,1.578434e-05,1.667451e-05,1.805407e-05,1.840024e-05,2.013409e-05,2.034216e-05,2.186478e-05,2.262259e-05,2.358200e-05,2.487239e-05,2.527656e-05,2.694045e-05,2.707202e-05,2.856682e-05,2.920556e-05,3.015001e-05,3.126055e-05,3.168542e-05,3.316947e-05,3.322773e-05,3.459948e-05,3.510067e-05,3.597356e-05,3.687535e-05,3.729051e-05,3.854977e-05,3.975130e-05,4.012365e-05,4.089547e-05,4.159796e-05,4.198301e-05,4.297464e-05,4.301486e-05,4.399219e-05,4.425624e-05,4.491628e-05,4.544578e-05,4.578859e-05,4.654676e-05,4.661072e-05,4.738432e-05,4.756296e-05,4.811110e-05,4.849827e-05,4.879275e-05,4.935668e-05,4.943105e-05,5.002772e-05,5.014222e-05,5.058455e-05,5.085897e-05,5.110343e-05,5.151134e-05,5.158622e-05,5.203440e-05,5.210300e-05,5.244954e-05,5.263753e-05,5.283316e-05,5.311830e-05,5.318666e-05,5.351145e-05,5.354856e-05,5.380889e-05,5.393143e-05,5.408027e-05,5.426987e-05,5.432685e-05,5.454981e-05,5.456666e-05,5.475030e-05,5.482445e-05,5.492943e-05,5.504578e-05,5.508827e-05,5.522784e-05,5.523303e-05,5.534910e-05,5.538846e-05,5.545301e-05,5.551420e-05,5.554043e-05,5.561224e-05,5.566925e-05,5.568449e-05,5.571223e-05,5.573272e-05,5.574193e-05,5.575862e-05,5.575908e-05,5.576435e-05,5.576378e-05,5.575839e-05,5.574968e-05,5.574182e-05,5.571773e-05,5.571525e-05,5.567923e-05,5.566923e-05,5.563430e-05,5.560544e-05,5.558098e-05,5.552751e-05,5.551976e-05,5.545111e-05,5.543653e-05,5.537548e-05,5.533354e-05,5.529330e-05,5.521949e-05,5.520496e-05,5.511085e-05,5.509528e-05,5.501135e-05,5.496178e-05,5.490680e-05,5.481976e-05,5.479754e-05,5.468389e-05,5.466997e-05,5.456615e-05,5.451312e-05,5.444460e-05,5.434985e-05,5.431953e-05,5.419119e-05,5.418079e-05,5.405983e-05,5.400649e-05,5.392568e-05,5.382750e-05,5.378898e-05,5.364994e-05,5.364433e-05,5.350875e-05,5.345743e-05,5.336561e-05,5.326726e-05,5.322071e-05,5.307421e-05,5.287868e-05,5.268102e-05,5.248157e-05,5.228063e-05,5.207850e-05,5.187545e-05,5.167173e-05,5.146758e-05,5.126322e-05,5.105884e-05,5.085465e-05,5.065080e-05,5.044747e-05,5.024480e-05,5.004294e-05,4.984201e-05,4.964212e-05,4.944340e-05,4.924593e-05,4.904982e-05,4.885514e-05,4.866198e-05,4.847039e-05,4.828046e-05
0.000000e+00,1.274114e-09,3.055307e-09,1.086690e-08,2.477350e-08,3.599158e-08,8.004656e-08,8.237336e-08,1.549634e-07,1.806307e-07,2.585181e-07,3.375461e-07,3.979415e-07,5.621683e-07,5.782006e-07,8.034354e-07,8.644211e-07,1.074880e-06,1.245756e-06,1.388286e-06,1.690791e-06,1.733460e-06,2.097378e-06,2.171317e-06,2.468189e-06,2.660691e-06,2.837106e-06,3.141191e-06,3.198287e-06,3.547992e-06,3.602705e-06,3.883799e-06,4.039552e-06,4.204085e-06,4.448374e-06,4.507731e-06,4.793975e-06,4.827129e-06,5.062341e-06,5.174695e-06,5.312615e-06,5.490727e-06,5.544817e-06,5.759189e-06,5.775581e-06,5.956170e-06,6.030224e-06,6.136366e-06,6.256126e-06,6.300519e-06,6.449472e-06,6.455127e-06,6.584138e-06,6.629304e-06,6.705472e-06,6.780857e-06,6.814441e-06,6.912004e-06,6.999096e-06,7.024901e-06,7.076610e-06,7.121585e-06,7.145392e-06,7.203940e-06,7.206231e-06,7.259859e-06,7.273676e-06,7.306949e-06,7.332321e-06,7.348112e-06,7.381228e-06,7.383906e-06,7.414833e-06,7.421582e-06,7.441344e-06,7.454415e-06,7.463845e-06,7.480619e-06,7.482700e-06,7.498231e-06,7.500965e-06,7.510729e-06,7.516116e-06,7.520453e-06,7.526649e-06,7.527637e-06,7.532493e-06,7.533066e-06,7.535206e-06,7.535797e-06,7.535944e-06,7.535215e-06,7.534858e-06,7.532085e-06,7.531645e-06,7.527750e-06,7.525376e-06,7.521964e-06,7.516661e-06,7.514832e-06,7.506445e-06,7.505723e-06,7.496891e-06,7.492760e-06,7.486247e-06,7.477951e-06,7.474588e-06,7.461980e-06,7.461457e-06,7.448486e-06,7.443423e-06,7.434164e-06,7.423979e-06,7.419067e-06,7.403246e-06,7.386749e-06,7.381334e-06,7.369619e-06,7.358344e-06,7.351899e-06,7.334368e-06,7.333627e-06,7.314841e-06,7.309493e-06,7.295575e-06,7.283798e-06,7.275861e-06,7.257357e-06,7.255732e-06,7.235215e-06,7.230237e-06,7.214340e-06,7.202503e-06,7.193132e-06,7.174213e-06,7.171616e-06,7.149816e-06,7.145424e-06,7.127754e-06,7.116186e-06,7.105452e-06,7.086547e-06,7.082929e-06,7.060205e-06,7.056552e-06,7.037299e-06,7.026244e-06,7.014227e-06,6.995662e-06,6.991007e-06,6.967653e-06,6.964842e-06,6.944181e-06,6.933820e-06,6.920605e-06,6.902627e-06,6.896939e-06,6.873196e-06,6.871293e-06,6.849386e-06,6.839847e-06,6.825524e-06,6.808316e-06,6.801619e-06,6.777681e-06,6.776723e-06,6.753722e-06,6.745094e-06,6.729751e-06,6.713448e-06,6.705777e-06,6.681808e-06,6.650191e-06,6.618616e-06,6.587099e-06,6.555657e-06,6.524304e-06,6.493053e-06,6.461917e-06,6.430908e-06,6.400038e-06,6.369317e-06,6.338753e-06,6.308357e-06,6.278136e-06,6.248099e-06,6.218252e-06,6.188602e-06,6.159154e-06,6.129915e-06,6.100890e-06,6.072084e-06,6.043499e-06,6.015142e-06,5.987014e-06,5.959120e-06
0.000000e+00,2.825778e-09,6.446876e-09,2.195898e-08,4.951833e-08,7.192235e-08,1.616987e-07,1.665184e-07,3.204940e-07,3.764823e-07,5.505419e-07,7.321207e-07,8.729559e-07,1.256916e-06,1.294058e-06,1.801820e-06,1.934160e-06,2.374555e-06,2.716349e-06,2.993245e-06,3.564598e-06,3.644013e-06,4.316233e-06,4.452441e-06,5.000895e-06,5.359108e-06,5.689861e-06,6.266427e-06,6.375652e-06,7.051492e-06,7.158293e-06,7.711423e-06,8.021024e-06,8.350413e-06,8.843774e-06,8.964413e-06,9.550354e-06,9.618670e-06,1.010609e-05,1.034068e-05,1.063032e-05,1.100729e-05,1.112247e-05,1.158257e-05,1.161801e-05,1.201116e-05,1.217395e-05,1.240912e-05,1.267736e-05,1.277766e-05,1.311814e-05,1.313120e-05,1.343206e-05,1.353888e-05,1.372100e-05,1.390400e-05,1.398651e-05,1.423017e-05,1.445349e-05,1.452089e-05,1.465792e-05,1.477949e-05,1.484485e-05,1.500905e-05,1.501558e-05,1.517133e-05,1.521241e-05,1.531323e-05,1.539216e-05,1.544233e-05,1.555064e-05,1.555961e-05,1.566597e-05,1.568996e-05,1.576222e-05,1.581200e-05,1.584914e-05,1.591845e-05,1.592740e-05,1.599767e-05,1.601082e-05,1.606052e-05,1.609045e-05,1.611649e-05,1.615856e-05,1.616608e-05,1.620975e-05,1.621622e-05,1.624791e-05,1.626438e-05,1.628095e-05,1.630392e-05,1.630921e-05,1.633304e-05,1.633561e-05,1.635272e-05,1.636015e-05,1.636855e-05,1.637815e-05,1.638077e-05,1.638962e-05,1.639019e-05,1.639532e-05,1.639677e-05,1.639809e-05,1.639836e-05,1.639810e-05,1.639554e-05,1.639539e-05,1.639057e-05,1.638822e-05,1.638334e-05,1.637721e-05,1.637400e-05,1.636268e-05,1.634951e-05,1.634493e-05,1.633460e-05,1.632420e-05,1.631807e-05,1.630076e-05,1.630001e-05,1.628053e-05,1.627483e-05,1.625971e-05,1.624661e-05,1.623764e-05,1.621630e-05,1.621440e-05,1.619007e-05,1.618407e-05,1.616471e-05,1.615010e-05,1.613841e-05,1.611452e-05,1.611121e-05,1.608319e-05,1.607749e-05,1.605439e-05,1.603913e-05,1.602487e-05,1.599956e-05,1.599469e-05,1.596389e-05,1.595891e-05,1.593252e-05,1.591727e-05,1.590062e-05,1.587475e-05,1.586824e-05,1.583541e-05,1.583144e-05,1.580216e-05,1.578742e-05,1.576855e-05,1.574277e-05,1.573459e-05,1.570032e-05,1.569757e-05,1.566578e-05,1.565189e-05,1.563099e-05,1.560579e-05,1.559597e-05,1.556076e-05,1.555935e-05,1.552537e-05,1.551260e-05,1.548984e-05,1.546561e-05,1.545419e-05,1.541843e-05,1.537111e-05,1.532368e-05,1.527620e-05,1.522870e-05,1.518121e-05,1.513377e-05,1.508641e-05,1.503917e-05,1.499206e-05,1.494511e-05,1.489836e-05,1.485181e-05,1.480550e-05,1.475943e-05,1.471364e-05,1.466813e-05,1.462292e-05,1.457803e-05,1.453346e-05,1.448924e-05,1.444537e-05,1.440186e-05,1.435872e-05,1.431597e-05
0.000000e+00,1.174013e-11,5.498101e-11,5.173620e-10,2.180063e-09,4.146309e-09,1.595675e-08,1.673204e-08,4.674252e-08,5.960147e-08,1.040970e-07,1.559440e-07,1.991444e-07,3.285963e-07,3.420157e-07,5.422770e-07,5.998750e-07,8.087153e-07,9.897670e-07,1.149071e-06,1.514702e-06,1.569543e-06,2.073976e-06,2.185050e-06,2.662856e-06,3.001409e-06,3.332537e-06,3.951895e-06,4.075195e-06,4.879647e-06,5.013228e-06,5.732701e-06,6.155369e-06,6.620556e-06,7.346911e-06,7.529892e-06,8.448547e-06,8.558888e-06,9.365833e-06,9.766592e-06,1.027259e-05,1.094992e-05,1.116115e-05,1.202521e-05,1.209312e-05,1.285970e-05,1.318429e-05,1.366066e-05,1.421490e-05,1.442514e-05,1.515103e-05,1.517924e-05,1.583701e-05,1.607405e-05,1.648242e-05,1.689805e-05,1.708716e-05,1.765160e-05,1.817651e-05,1.833629e-05,1.866295e-05,1.895468e-05,1.911223e-05,1.950995e-05,1.952583e-05,1.990537e-05,2.000576e-05,2.025252e-05,2.044599e-05,2.056903e-05,2.083463e-05,2.085661e-05,2.111701e-05,2.117564e-05,2.135190e-05,2.147291e-05,2.156292e-05,2.173014e-05,2.175166e-05,2.191963e-05,2.195086e-05,2.206826e-05,2.213837e-05,2.219893e-05,2.229575e-05,2.231292e-05,2.241144e-05,2.242585e-05,2.249564e-05,2.253128e-05,2.256658e-05,2.261445e-05,2.262525e-05,2.267259e-05,2.267756e-05,2.270947e-05,2.272260e-05,2.273670e-05,2.275140e-05,2.275503e-05,2.276515e-05,2.276563e-05,2.276772e-05,2.276677e-05,2.276334e-05,2.275620e-05,2.275257e-05,2.273592e-05,2.273514e-05,2.271389e-05,2.270473e-05,2.268692e-05,2.266596e-05,2.265542e-05,2.261977e-05,2.258035e-05,2.256698e-05,2.253746e-05,2.250835e-05,2.249144e-05,2.244456e-05,2.244255e-05,2.239106e-05,2.237622e-05,2.233723e-05,2.230389e-05,2.228127e-05,2.222809e-05,2.222339e-05,2.216381e-05,2.214927e-05,2.210269e-05,2.206785e-05,2.204020e-05,2.198421e-05,2.197651e-05,2.191176e-05,2.189869e-05,2.184608e-05,2.181160e-05,2.177960e-05,2.172323e-05,2.171244e-05,2.164470e-05,2.163382e-05,2.157649e-05,2.154361e-05,2.150790e-05,2.145281e-05,2.143902e-05,2.136992e-05,2.136162e-05,2.130068e-05,2.127019e-05,2.123138e-05,2.117870e-05,2.116207e-05,2.109281e-05,2.108727e-05,2.102366e-05,2.099605e-05,2.095468e-05,2.090513e-05,2.088590e-05,2.081737e-05,2.081464e-05,2.074914e-05,2.072465e-05,2.068123e-05,2.063526e-05,2.061369e-05,2.054654e-05,2.045857e-05,2.037139e-05,2.028506e-05,2.019964e-05,2.011516e-05,2.003167e-05,1.994919e-05,1.986776e-05,1.978739e-05,1.970812e-05,1.962996e-05,1.955291e-05,1.947701e-05,1.940224e-05,1.932863e-05,1.925618e-05,1.918489e-05,1.911476e-05,1.904579e-05,1.897798e-05,1.891133e-05,1.884583e-05,1.878147e-05,1.871826e-05
0.000000e+00,2.326305e-10,8.692405e-10,5.452086e-09,1.693744e-08,2.787535e-08,7.860888e-08,8.153096e-08,1.806112e-07,2.185229e-07,3.403229e-07,4.722946e-07,5.778276e-07,8.817172e-07,9.125636e-07,1.365386e-06,1.493891e-06,1.955781e-06,2.351752e-06,2.696587e-06,3.472952e-06,3.587332e-06,4.610463e-06,4.828377e-06,5.734805e-06,6.347489e-06,6.924507e-06,7.950446e-06,8.147143e-06,9.377212e-06,9.573381e-06,1.059604e-05,1.117301e-05,1.179028e-05,1.272144e-05,1.295036e-05,1.406929e-05,1.420054e-05,1.514198e-05,1.559830e-05,1.616469e-05,1.690690e-05,1.713484e-05,1.805077e-05,1.812167e-05,1.891162e-05,1.924047e-05,1.971720e-05,2.026322e-05,2.046794e-05,2.116474e-05,2.119151e-05,2.180893e-05,2.202827e-05,2.240215e-05,2.277738e-05,2.294629e-05,2.344343e-05,2.389579e-05,2.403145e-05,2.430562e-05,2.454668e-05,2.467526e-05,2.499444e-05,2.500701e-05,2.530314e-05,2.537998e-05,2.556589e-05,2.570840e-05,2.579740e-05,2.598458e-05,2.599975e-05,2.617492e-05,2.621313e-05,2.632482e-05,2.639839e-05,2.645122e-05,2.654437e-05,2.655583e-05,2.664024e-05,2.665483e-05,2.670596e-05,2.673321e-05,2.675438e-05,2.678267e-05,2.678684e-05,2.680457e-05,2.680612e-05,2.680872e-05,2.680620e-05,2.680036e-05,2.678535e-05,2.678051e-05,2.675008e-05,2.674576e-05,2.670996e-05,2.668945e-05,2.666096e-05,2.661824e-05,2.660382e-05,2.653924e-05,2.653378e-05,2.646788e-05,2.643758e-05,2.639034e-05,2.633100e-05,2.630718e-05,2.621892e-05,2.621529e-05,2.612604e-05,2.609157e-05,2.602900e-05,2.596084e-05,2.592821e-05,2.582404e-05,2.571688e-05,2.568200e-05,2.560703e-05,2.553547e-05,2.549483e-05,2.538514e-05,2.538053e-05,2.526443e-05,2.523162e-05,2.514675e-05,2.507548e-05,2.502772e-05,2.491721e-05,2.490756e-05,2.478647e-05,2.475728e-05,2.466461e-05,2.459610e-05,2.454216e-05,2.443404e-05,2.441927e-05,2.429609e-05,2.427143e-05,2.417275e-05,2.410859e-05,2.404936e-05,2.394577e-05,2.392604e-05,2.380290e-05,2.378322e-05,2.368003e-05,2.362117e-05,2.355751e-05,2.345981e-05,2.343543e-05,2.331387e-05,2.329932e-05,2.319288e-05,2.313985e-05,2.307254e-05,2.298155e-05,2.295290e-05,2.283401e-05,2.282453e-05,2.271592e-05,2.266892e-05,2.259868e-05,2.251481e-05,2.248232e-05,2.236688e-05,2.236229e-05,2.225240e-05,2.221142e-05,2.213889e-05,2.206228e-05,2.202639e-05,2.191493e-05,2.176941e-05,2.162576e-05,2.148403e-05,2.134423e-05,2.120639e-05,2.107054e-05,2.093668e-05,2.080483e-05,2.067499e-05,2.054716e-05,2.042134e-05,2.029753e-05,2.017573e-05,2.005592e-05,1.993809e-05,1.982224e-05,1.970835e-05,1.959640e-05,1.948637e-05,1.937826e-05,1.927204e-05,1.916768e-05,1.906518e-05,1.896451e-05
0.000000e+00,3.035937e-09,7.003089e-09,2.425154e-08,5.531930e-08,8.077338e-08,1.835248e-07,1.890583e-07,3.660025e-07,4.303084e-07,6.299874e-07,8.383771e-07,1.000708e-06,1.450827e-06,1.495189e-06,2.120462e-06,2.289655e-06,2.872108e-06,3.344835e-06,3.741020e-06,4.595884e-06,4.718709e-06,5.798223e-06,6.025799e-06,6.973400e-06,7.620261e-06,8.238056e-06,9.364635e-06,9.585489e-06,1.100824e-05,1.124233e-05,1.249805e-05,1.323437e-05,1.404593e-05,1.531961e-05,1.564228e-05,1.727714e-05,1.747543e-05,1.894034e-05,1.967851e-05,2.062173e-05,2.190563e-05,2.231138e-05,2.399977e-05,2.413451e-05,2.567789e-05,2.634438e-05,2.733744e-05,2.851652e-05,2.897083e-05,3.057133e-05,3.063458e-05,3.213301e-05,3.268470e-05,3.365077e-05,3.465556e-05,3.512037e-05,3.653833e-05,3.790197e-05,3.832650e-05,3.920924e-05,4.001565e-05,4.045876e-05,4.160320e-05,4.164971e-05,4.278179e-05,4.308822e-05,4.385510e-05,4.447108e-05,4.487017e-05,4.575328e-05,4.582780e-05,4.672911e-05,4.693718e-05,4.757541e-05,4.802585e-05,4.836818e-05,4.902284e-05,4.910907e-05,4.979980e-05,4.993209e-05,5.044219e-05,5.075775e-05,5.103810e-05,5.150411e-05,5.158940e-05,5.209798e-05,5.217552e-05,5.256574e-05,5.277630e-05,5.299452e-05,5.331073e-05,5.338618e-05,5.374250e-05,5.378296e-05,5.406521e-05,5.419699e-05,5.435600e-05,5.455667e-05,5.461651e-05,5.484832e-05,5.486567e-05,5.505293e-05,5.512749e-05,5.523181e-05,5.534546e-05,5.538636e-05,5.551791e-05,5.552271e-05,5.562773e-05,5.566219e-05,5.571706e-05,5.576668e-05,5.578704e-05,5.583879e-05,5.587336e-05,5.588096e-05,5.589176e-05,5.589549e-05,5.589494e-05,5.588452e-05,5.588381e-05,5.585922e-05,5.585003e-05,5.582199e-05,5.579392e-05,5.577290e-05,5.571790e-05,5.571269e-05,5.564205e-05,5.562362e-05,5.556164e-05,5.551258e-05,5.547208e-05,5.538619e-05,5.537398e-05,5.526789e-05,5.524576e-05,5.515435e-05,5.509253e-05,5.503386e-05,5.492762e-05,5.490689e-05,5.477391e-05,5.475210e-05,5.463534e-05,5.456696e-05,5.449158e-05,5.437309e-05,5.434301e-05,5.419001e-05,5.417137e-05,5.403291e-05,5.396257e-05,5.387204e-05,5.374745e-05,5.370770e-05,5.354020e-05,5.352667e-05,5.336979e-05,5.330087e-05,5.319674e-05,5.307065e-05,5.302130e-05,5.284370e-05,5.283656e-05,5.266416e-05,5.259909e-05,5.248289e-05,5.235873e-05,5.230008e-05,5.211591e-05,5.187104e-05,5.162449e-05,5.137662e-05,5.112775e-05,5.087818e-05,5.062818e-05,5.037801e-05,5.012792e-05,4.987811e-05,4.962880e-05,4.938016e-05,4.913237e-05,4.888559e-05,4.863996e-05,4.839562e-05,4.815268e-05,4.791127e-05,4.767148e-05,4.743341e-05,4.719714e-05,4.696275e-05,4.673031e-05,4.649988e-05,4.627152e-05
0.000000e+00,1.375501e-12,7.018608e-12,7.868935e-11,3.876798e-10,8.022502e-10,3.820329e-09,4.040175e-09,1.383487e-08,1.861892e-08,3.714295e-08,6.178324e-08,8.435353e-08,1.609570e-07,1.695703e-07,3.106615e-07,3.551484e-07,5.290468e-07,6.941038e-07,8.491274e-07,1.235854e-06,1.297294e-06,1.900606e-06,2.042229e-06,2.685373e-06,3.173325e-06,3.675839e-06,4.682335e-06,4.893093e-06,6.354224e-06,6.611540e-06,8.071736e-06,8.989622e-06,1.005319e-05,1.183021e-05,1.230104e-05,1.481267e-05,1.513148e-05,1.758056e-05,1.887665e-05,2.059261e-05,2.303521e-05,2.383257e-05,2.728058e-05,2.756474e-05,3.091371e-05,3.241319e-05,3.470663e-05,3.752131e-05,3.863224e-05,4.266234e-05,4.282531e-05,4.676817e-05,4.825929e-05,5.092110e-05,5.375762e-05,5.509303e-05,5.925695e-05,6.338726e-05,6.469791e-05,6.746011e-05,7.002640e-05,7.145365e-05,7.519453e-05,7.534818e-05,7.912629e-05,8.016118e-05,8.277286e-05,8.489224e-05,8.627510e-05,8.936062e-05,8.962250e-05,9.280672e-05,9.354591e-05,9.582148e-05,9.743403e-05,9.866244e-05,1.010167e-04,1.013271e-04,1.038144e-04,1.042906e-04,1.061249e-04,1.072571e-04,1.082604e-04,1.099211e-04,1.102238e-04,1.120190e-04,1.122909e-04,1.136506e-04,1.143772e-04,1.151239e-04,1.161925e-04,1.164448e-04,1.176194e-04,1.177509e-04,1.186545e-04,1.190674e-04,1.195566e-04,1.201576e-04,1.203328e-04,1.209898e-04,1.210374e-04,1.215346e-04,1.217226e-04,1.219740e-04,1.222288e-04,1.223146e-04,1.225629e-04,1.225710e-04,1.227253e-04,1.227640e-04,1.228079e-04,1.228215e-04,1.228165e-04,1.227568e-04,1.226340e-04,1.225823e-04,1.224533e-04,1.223095e-04,1.222195e-04,1.219493e-04,1.219372e-04,1.216106e-04,1.215118e-04,1.212438e-04,1.210061e-04,1.208407e-04,1.204407e-04,1.204047e-04,1.199392e-04,1.198235e-04,1.194474e-04,1.191615e-04,1.189320e-04,1.184612e-04,1.183958e-04,1.178414e-04,1.177285e-04,1.172709e-04,1.169687e-04,1.166866e-04,1.161865e-04,1.160904e-04,1.154843e-04,1.153865e-04,1.148698e-04,1.145723e-04,1.142485e-04,1.137476e-04,1.136219e-04,1.129913e-04,1.129154e-04,1.123579e-04,1.120786e-04,1.117228e-04,1.112396e-04,1.110870e-04,1.104514e-04,1.104006e-04,1.098169e-04,1.095636e-04,1.091843e-04,1.087304e-04,1.085542e-04,1.079273e-04,1.079023e-04,1.073042e-04,1.070809e-04,1.066853e-04,1.062671e-04,1.060711e-04,1.054621e-04,1.046667e-04,1.038817e-04,1.031077e-04,1.023452e-04,1.015947e-04,1.008566e-04,1.001311e-04,9.941854e-05,9.871905e-05,9.803276e-05,9.735975e-05,9.670006e-05,9.605369e-05,9.542063e-05,9.480081e-05,9.419415e-05,9.360056e-05,9.301991e-05,9.245206e-05,9.189687e-05,9.135417e-05,9.082379e-05,9.030553e-05,8.979922e-05
0.000000e+00,1.274373e-09,3.750649e-09,1.692010e-08,4.367679e-08,6.674434e-08,1.639396e-07,1.692759e-07,3.422166e-07,4.056583e-07,6.032808e-07,8.097876e-07,9.707032e-07,1.418250e-06,1.462563e-06,2.093199e-06,2.265932e-06,2.866372e-06,3.358149e-06,3.771537e-06,4.661991e-06,4.789404e-06,5.899973e-06,6.131626e-06,7.085762e-06,7.726990e-06,8.331569e-06,9.414276e-06,9.623551e-06,1.094865e-05,1.116289e-05,1.229439e-05,1.294419e-05,1.364897e-05,1.473153e-05,1.500133e-05,1.634138e-05,1.650092e-05,1.766011e-05,1.823153e-05,1.894966e-05,1.990606e-05,2.020337e-05,2.141575e-05,2.151082e-05,2.258245e-05,2.303556e-05,2.370014e-05,2.447316e-05,2.476645e-05,2.577984e-05,2.581927e-05,2.673950e-05,2.707177e-05,2.764523e-05,2.823045e-05,2.849733e-05,2.929654e-05,3.004393e-05,3.027236e-05,3.074084e-05,3.116107e-05,3.138881e-05,3.196638e-05,3.198953e-05,3.254479e-05,3.269237e-05,3.305645e-05,3.334331e-05,3.352641e-05,3.392358e-05,3.395658e-05,3.434885e-05,3.443757e-05,3.470510e-05,3.488956e-05,3.502718e-05,3.528375e-05,3.531687e-05,3.557592e-05,3.562420e-05,3.580601e-05,3.591477e-05,3.600879e-05,3.615914e-05,3.618580e-05,3.633855e-05,3.636083e-05,3.646847e-05,3.652314e-05,3.657695e-05,3.664917e-05,3.666529e-05,3.673474e-05,3.674186e-05,3.678649e-05,3.680395e-05,3.682168e-05,3.683801e-05,3.684138e-05,3.684661e-05,3.684643e-05,3.683834e-05,3.683146e-05,3.681749e-05,3.679518e-05,3.678493e-05,3.674149e-05,3.673953e-05,3.668794e-05,3.666633e-05,3.662501e-05,3.657723e-05,3.655342e-05,3.647381e-05,3.638680e-05,3.635750e-05,3.629299e-05,3.622964e-05,3.619293e-05,3.609146e-05,3.608713e-05,3.597609e-05,3.594413e-05,3.586028e-05,3.578868e-05,3.574012e-05,3.562610e-05,3.561604e-05,3.548841e-05,3.545729e-05,3.535760e-05,3.528308e-05,3.522395e-05,3.510424e-05,3.508778e-05,3.494939e-05,3.492147e-05,3.480907e-05,3.473542e-05,3.466707e-05,3.454669e-05,3.452366e-05,3.437905e-05,3.435582e-05,3.423347e-05,3.416330e-05,3.408712e-05,3.396961e-05,3.394018e-05,3.379285e-05,3.377515e-05,3.364527e-05,3.358031e-05,3.349762e-05,3.338543e-05,3.335002e-05,3.320262e-05,3.319084e-05,3.305553e-05,3.299681e-05,3.290888e-05,3.280362e-05,3.276277e-05,3.261729e-05,3.261149e-05,3.247255e-05,3.242064e-05,3.232862e-05,3.223126e-05,3.218559e-05,3.204351e-05,3.185757e-05,3.167355e-05,3.149158e-05,3.131177e-05,3.113421e-05,3.095899e-05,3.078616e-05,3.061580e-05,3.044795e-05,3.028265e-05,3.011994e-05,2.995985e-05,2.980239e-05,2.964758e-05,2.949543e-05,2.934593e-05,2.919910e-05,2.905492e-05,2.891338e-05,2.877447e-05,2.863817e-05,2.850447e-05,2.837334e-05,2.824476e-05
0.000000e+00,2.839461e-12,1.404634e-11,1.476265e-10,6.855107e-10,1.373097e-09,6.010312e-09,6.334445e-09,1.995637e-08,2.625886e-08,4.951843e-08,7.874521e-08,1.044373e-07,1.869763e-07,1.959324e-07,3.366782e-07,3.792966e-07,5.404155e-07,6.873241e-07,8.213416e-07,1.143205e-06,1.192996e-06,1.666523e-06,1.774144e-06,2.248678e-06,2.594871e-06,2.940329e-06,3.602126e-06,3.736033e-06,4.624718e-06,4.774559e-06,5.591091e-06,6.077359e-06,6.617308e-06,7.468720e-06,7.684547e-06,8.774272e-06,8.905710e-06,9.869142e-06,1.034843e-05,1.095359e-05,1.176242e-05,1.201413e-05,1.303947e-05,1.311969e-05,1.402047e-05,1.439881e-05,1.495005e-05,1.558450e-05,1.582298e-05,1.663573e-05,1.666696e-05,1.738623e-05,1.764099e-05,1.807370e-05,1.850527e-05,1.869839e-05,1.926148e-05,1.976483e-05,1.991366e-05,2.021085e-05,2.046752e-05,2.060239e-05,2.092989e-05,2.094255e-05,2.123465e-05,2.130828e-05,2.148207e-05,2.161050e-05,2.168823e-05,2.184434e-05,2.185648e-05,2.199010e-05,2.201737e-05,2.209223e-05,2.213678e-05,2.216585e-05,2.220929e-05,2.221378e-05,2.223863e-05,2.224105e-05,2.224285e-05,2.223765e-05,2.222869e-05,2.220410e-05,2.219820e-05,2.215328e-05,2.214487e-05,2.209565e-05,2.206392e-05,2.202684e-05,2.196471e-05,2.194828e-05,2.186121e-05,2.185025e-05,2.176679e-05,2.172319e-05,2.166604e-05,2.158579e-05,2.155986e-05,2.144907e-05,2.144003e-05,2.133441e-05,2.128761e-05,2.121652e-05,2.112997e-05,2.109599e-05,2.097332e-05,2.096838e-05,2.084899e-05,2.080389e-05,2.072338e-05,2.063744e-05,2.059688e-05,2.046980e-05,2.034242e-05,2.030164e-05,2.021500e-05,2.013353e-05,2.008776e-05,1.996596e-05,1.996090e-05,1.983460e-05,1.979935e-05,1.970900e-05,1.963405e-05,1.958426e-05,1.947034e-05,1.946048e-05,1.933777e-05,1.930849e-05,1.921623e-05,1.914870e-05,1.909593e-05,1.899115e-05,1.897694e-05,1.885933e-05,1.883598e-05,1.874315e-05,1.868331e-05,1.862844e-05,1.853325e-05,1.851524e-05,1.840358e-05,1.838586e-05,1.829349e-05,1.824122e-05,1.818499e-05,1.809935e-05,1.807810e-05,1.797283e-05,1.796030e-05,1.786918e-05,1.782409e-05,1.776716e-05,1.769072e-05,1.766678e-05,1.756804e-05,1.756021e-05,1.747093e-05,1.743254e-05,1.737545e-05,1.730770e-05,1.728159e-05,1.718934e-05,1.718568e-05,1.709870e-05,1.706645e-05,1.700965e-05,1.694999e-05,1.692218e-05,1.683627e-05,1.672525e-05,1.661690e-05,1.651117e-05,1.640803e-05,1.630743e-05,1.620934e-05,1.611370e-05,1.602047e-05,1.592961e-05,1.584106e-05,1.575478e-05,1.567073e-05,1.558885e-05,1.550910e-05,1.543143e-05,1.535580e-05,1.528215e-05,1.521044e-05,1.514063e-05,1.507268e-05,1.500653e-05,1.494214e-05,1.487947e-05,1.481848e-05
0.000000e+00,4.949992e-11,2.296793e-10,2.123547e-09,8.823395e-09,1.666655e-08,6.319537e-08,6.623195e-08,1.831553e-07,2.330836e-07,4.057241e-07,6.071734e-07,7.755017e-07,1.283156e-06,1.336075e-06,2.132263e-06,2.363368e-06,3.208089e-06,3.947445e-06,4.601958e-06,6.112619e-06,6.339765e-06,8.429843e-06,8.889584e-06,1.086290e-05,1.225651e-05,1.361633e-05,1.615461e-05,1.665963e-05,1.995876e-05,2.050802e-05,2.347872e-05,2.523653e-05,2.718484e-05,3.026096e-05,3.104321e-05,3.502089e-05,3.550470e-05,3.908606e-05,4.089457e-05,4.320833e-05,4.636166e-05,4.735891e-05,5.151095e-05,5.184243e-05,5.563981e-05,5.727979e-05,5.972320e-05,6.262389e-05,6.374136e-05,6.767704e-05,6.783253e-05,7.151552e-05,7.287114e-05,7.524450e-05,7.771245e-05,7.885394e-05,8.233591e-05,8.568439e-05,8.672696e-05,8.889506e-05,9.087623e-05,9.196514e-05,9.477872e-05,9.489310e-05,9.767860e-05,9.843306e-05,1.003222e-04,1.018408e-04,1.028253e-04,1.050058e-04,1.051899e-04,1.074186e-04,1.079336e-04,1.095145e-04,1.106314e-04,1.114808e-04,1.131069e-04,1.133212e-04,1.150395e-04,1.153689e-04,1.166397e-04,1.174265e-04,1.181258e-04,1.192889e-04,1.195018e-04,1.207720e-04,1.209656e-04,1.219403e-04,1.224661e-04,1.230108e-04,1.237996e-04,1.239876e-04,1.248747e-04,1.249753e-04,1.256758e-04,1.260021e-04,1.263948e-04,1.268886e-04,1.270354e-04,1.276012e-04,1.276434e-04,1.280957e-04,1.282743e-04,1.285223e-04,1.287893e-04,1.288843e-04,1.291849e-04,1.291957e-04,1.294272e-04,1.295007e-04,1.296141e-04,1.297111e-04,1.297485e-04,1.298333e-04,1.298710e-04,1.298736e-04,1.298642e-04,1.298377e-04,1.298155e-04,1.297314e-04,1.297272e-04,1.296015e-04,1.295599e-04,1.294407e-04,1.293282e-04,1.292468e-04,1.290410e-04,1.290219e-04,1.287679e-04,1.287028e-04,1.284867e-04,1.283179e-04,1.281799e-04,1.278903e-04,1.278494e-04,1.274967e-04,1.274237e-04,1.271234e-04,1.269216e-04,1.267310e-04,1.263875e-04,1.263208e-04,1.258942e-04,1.258245e-04,1.254525e-04,1.252354e-04,1.249969e-04,1.246232e-04,1.245285e-04,1.240486e-04,1.239902e-04,1.235581e-04,1.233391e-04,1.230580e-04,1.226721e-04,1.225493e-04,1.220329e-04,1.219913e-04,1.215097e-04,1.212987e-04,1.209804e-04,1.205961e-04,1.204459e-04,1.199069e-04,1.198852e-04,1.193640e-04,1.191678e-04,1.188180e-04,1.184452e-04,1.182694e-04,1.177188e-04,1.169900e-04,1.162599e-04,1.155297e-04,1.148002e-04,1.140726e-04,1.133476e-04,1.126260e-04,1.119086e-04,1.111960e-04,1.104888e-04,1.097876e-04,1.090929e-04,1.084050e-04,1.077244e-04,1.070516e-04,1.063867e-04,1.057300e-04,1.050819e-04,1.044426e-04,1.038121e-04,1.031907e-04,1.025786e-04,1.019757e-04,1.013823e-04
0.000000e+00,1.599899e-12,7.994049e-12,8.580814e-11,4.064061e-10,8.231576e-10,3.712883e-09,3.918074e-09,1.274841e-08,1.693108e-08,3.272113e-08,5.314986e-08,7.152490e-08,1.325636e-07,1.393406e-07,2.488644e-07,2.829569e-07,4.147088e-07,5.378165e-07,6.518690e-07,9.302091e-07,9.736571e-07,1.389939e-06,1.485098e-06,1.906205e-06,2.214684e-06,2.523479e-06,3.117994e-06,3.238818e-06,4.046082e-06,4.183233e-06,4.936770e-06,5.391007e-06,5.900772e-06,6.717329e-06,6.927002e-06,8.003895e-06,8.135971e-06,9.119776e-06,9.620140e-06,1.026315e-05,1.114364e-05,1.142291e-05,1.258851e-05,1.268171e-05,1.375010e-05,1.421156e-05,1.489862e-05,1.571283e-05,1.602588e-05,1.712459e-05,1.716786e-05,1.818846e-05,1.856187e-05,1.921214e-05,1.988300e-05,2.019123e-05,2.112228e-05,2.200272e-05,2.227347e-05,2.283081e-05,2.333283e-05,2.360557e-05,2.429886e-05,2.432668e-05,2.499446e-05,2.517197e-05,2.560971e-05,2.595415e-05,2.617369e-05,2.664865e-05,2.668801e-05,2.715457e-05,2.725967e-05,2.757548e-05,2.779209e-05,2.795300e-05,2.825121e-05,2.828951e-05,2.858741e-05,2.864257e-05,2.884915e-05,2.897176e-05,2.907713e-05,2.924428e-05,2.927372e-05,2.944122e-05,2.946547e-05,2.958182e-05,2.964039e-05,2.969765e-05,2.977381e-05,2.979069e-05,2.986283e-05,2.987017e-05,2.991586e-05,2.993357e-05,2.995143e-05,2.996775e-05,2.997110e-05,2.997629e-05,2.997612e-05,2.996834e-05,2.996176e-05,2.994848e-05,2.992744e-05,2.991784e-05,2.987745e-05,2.987564e-05,2.982828e-05,2.980860e-05,2.977120e-05,2.972828e-05,2.970701e-05,2.963645e-05,2.956019e-05,2.953469e-05,2.947885e-05,2.942438e-05,2.939297e-05,2.930675e-05,2.930309e-05,2.920965e-05,2.918291e-05,2.911309e-05,2.905382e-05,2.901379e-05,2.892033e-05,2.891212e-05,2.880839e-05,2.878322e-05,2.870289e-05,2.864315e-05,2.859591e-05,2.850072e-05,2.848768e-05,2.837843e-05,2.835647e-05,2.826836e-05,2.821087e-05,2.815767e-05,2.806433e-05,2.804652e-05,2.793507e-05,2.791722e-05,2.782347e-05,2.776988e-05,2.771183e-05,2.762259e-05,2.760029e-05,2.748895e-05,2.747561e-05,2.737791e-05,2.732917e-05,2.726725e-05,2.718347e-05,2.715707e-05,2.704744e-05,2.703870e-05,2.693843e-05,2.689501e-05,2.683009e-05,2.675254e-05,2.672249e-05,2.661568e-05,2.661142e-05,2.650970e-05,2.647176e-05,2.640459e-05,2.633364e-05,2.630040e-05,2.619716e-05,2.606238e-05,2.592937e-05,2.579817e-05,2.566884e-05,2.554141e-05,2.541591e-05,2.529237e-05,2.517081e-05,2.505124e-05,2.493367e-05,2.481811e-05,2.470455e-05,2.459301e-05,2.448347e-05,2.437593e-05,2.427038e-05,2.416680e-05,2.406519e-05,2.396553e-05,2.386781e-05,2.377199e-05,2.367807e-05,2.358603e-05,2.349583e-05
0.000000e+00,6.269768e-10,2.114786e-09,1.138422e-08,3.226560e-08,5.112822e-08,1.340603e-07,1.387067e-07,2.918187e-07,3.487639e-07,5.275241e-07,7.156272e-07,8.627415e-07,1.273578e-06,1.314385e-06,1.898477e-06,2.059879e-06,2.627425e-06,3.101091e-06,3.506001e-06,4.399253e-06,4.529339e-06,5.685280e-06,5.931056e-06,6.958608e-06,7.661976e-06,8.333868e-06,9.556994e-06,9.796236e-06,1.133152e-05,1.158300e-05,1.292593e-05,1.370828e-05,1.456600e-05,1.590207e-05,1.623857e-05,1.793092e-05,1.813475e-05,1.963094e-05,2.037841e-05,2.132724e-05,2.260745e-05,2.300934e-05,2.466774e-05,2.479913e-05,2.629406e-05,2.693393e-05,2.788099e-05,2.899566e-05,2.942233e-05,3.091295e-05,3.097146e-05,3.234875e-05,3.285157e-05,3.372653e-05,3.462907e-05,3.504398e-05,3.629954e-05,3.749231e-05,3.786068e-05,3.862200e-05,3.931196e-05,3.968879e-05,4.065430e-05,4.069330e-05,4.163649e-05,4.188976e-05,4.251963e-05,4.302129e-05,4.334420e-05,4.405250e-05,4.411186e-05,4.482441e-05,4.498743e-05,4.548374e-05,4.583045e-05,4.609181e-05,4.658611e-05,4.665064e-05,4.716223e-05,4.725906e-05,4.762863e-05,4.785396e-05,4.805183e-05,4.837539e-05,4.843382e-05,4.877656e-05,4.882788e-05,4.908195e-05,4.921582e-05,4.935185e-05,4.954344e-05,4.958807e-05,4.979236e-05,4.981481e-05,4.996641e-05,5.003383e-05,5.011185e-05,5.020422e-05,5.023025e-05,5.032314e-05,5.032952e-05,5.039197e-05,5.041307e-05,5.043812e-05,5.045806e-05,5.046293e-05,5.046769e-05,5.046748e-05,5.045360e-05,5.044415e-05,5.042185e-05,5.039074e-05,5.037354e-05,5.030975e-05,5.023147e-05,5.020353e-05,5.013969e-05,5.007428e-05,5.003531e-05,4.992408e-05,4.991922e-05,4.979225e-05,4.975485e-05,4.965518e-05,4.956841e-05,4.950877e-05,4.936644e-05,4.935373e-05,4.919074e-05,4.915052e-05,4.902045e-05,4.892212e-05,4.884345e-05,4.868260e-05,4.866032e-05,4.847162e-05,4.843326e-05,4.827786e-05,4.817526e-05,4.807952e-05,4.790972e-05,4.787707e-05,4.767095e-05,4.763765e-05,4.746156e-05,4.736000e-05,4.724929e-05,4.707766e-05,4.703452e-05,4.681758e-05,4.679142e-05,4.659880e-05,4.650204e-05,4.637849e-05,4.621021e-05,4.615694e-05,4.593442e-05,4.591658e-05,4.571117e-05,4.562172e-05,4.548744e-05,4.532618e-05,4.526345e-05,4.503942e-05,4.503046e-05,4.481553e-05,4.473500e-05,4.459197e-05,4.444022e-05,4.436891e-05,4.414651e-05,4.385420e-05,4.356361e-05,4.327503e-05,4.298871e-05,4.270488e-05,4.242375e-05,4.214550e-05,4.187031e-05,4.159832e-05,4.132966e-05,4.106443e-05,4.080274e-05,4.054468e-05,4.029031e-05,4.003969e-05,3.979288e-05,3.954990e-05,3.931079e-05,3.907556e-05,3.884424e-05,3.861681e-05,3.839329e-05,3.817366e-05,3.795792e-05
0.000000e+00,2.729862e-09,6.699828e-09,2.479109e-08,5.832584e-08,8.611658e-08,1.990371e-07,2.051231e-07,3.988907e-07,4.687363e-07,6.833282e-07,9.037217e-07,1.073247e-06,1.536803e-06,1.582187e-06,2.221636e-06,2.395488e-06,2.999259e-06,3.495984e-06,3.916726e-06,4.836133e-06,4.969301e-06,6.147943e-06,6.397855e-06,7.441739e-06,8.156185e-06,8.839080e-06,1.008409e-05,1.032795e-05,1.189598e-05,1.215336e-05,1.353050e-05,1.433496e-05,1.521880e-05,1.659969e-05,1.694829e-05,1.870676e-05,1.891917e-05,2.048264e-05,2.126672e-05,2.226512e-05,2.361811e-05,2.404433e-05,2.581138e-05,2.595197e-05,2.755843e-05,2.825008e-05,2.927866e-05,3.049731e-05,3.096625e-05,3.261634e-05,3.268151e-05,3.422493e-05,3.479322e-05,3.578881e-05,3.682541e-05,3.730549e-05,3.877311e-05,4.019035e-05,4.063308e-05,4.155638e-05,4.240355e-05,4.287077e-05,4.408393e-05,4.413345e-05,4.534461e-05,4.567456e-05,4.650471e-05,4.717652e-05,4.761440e-05,4.859148e-05,4.867449e-05,4.968592e-05,4.992153e-05,5.064974e-05,5.116909e-05,5.156707e-05,5.233681e-05,5.243910e-05,5.326707e-05,5.342748e-05,5.405223e-05,5.444402e-05,5.479586e-05,5.538937e-05,5.549927e-05,5.616373e-05,5.626652e-05,5.679055e-05,5.707843e-05,5.738100e-05,5.782802e-05,5.793634e-05,5.845783e-05,5.851819e-05,5.894669e-05,5.915175e-05,5.940411e-05,5.973146e-05,5.983129e-05,6.022936e-05,6.025998e-05,6.059946e-05,6.073991e-05,6.094268e-05,6.117375e-05,6.126009e-05,6.155272e-05,6.156392e-05,6.182159e-05,6.191275e-05,6.206767e-05,6.222248e-05,6.229192e-05,6.249525e-05,6.267857e-05,6.273314e-05,6.284272e-05,6.293812e-05,6.298856e-05,6.311208e-05,6.311689e-05,6.322849e-05,6.325684e-05,6.332411e-05,6.337413e-05,6.340450e-05,6.346560e-05,6.347035e-05,6.352234e-05,6.353282e-05,6.356112e-05,6.357732e-05,6.358734e-05,6.360050e-05,6.360160e-05,6.360449e-05,6.360375e-05,6.359657e-05,6.358836e-05,6.357839e-05,6.355557e-05,6.355047e-05,6.351332e-05,6.350655e-05,6.346741e-05,6.344241e-05,6.341323e-05,6.336422e-05,6.335122e-05,6.328180e-05,6.327299e-05,6.320539e-05,6.316966e-05,6.312239e-05,6.305514e-05,6.303319e-05,6.293814e-05,6.293029e-05,6.283760e-05,6.279592e-05,6.273190e-05,6.265279e-05,6.262138e-05,6.250634e-05,6.250164e-05,6.238707e-05,6.234315e-05,6.226386e-05,6.217797e-05,6.213699e-05,6.200672e-05,6.182996e-05,6.164826e-05,6.146211e-05,6.127202e-05,6.107843e-05,6.088178e-05,6.068246e-05,6.048087e-05,6.027736e-05,6.007225e-05,5.986588e-05,5.965853e-05,5.945047e-05,5.924197e-05,5.903326e-05,5.882458e-05,5.861612e-05,5.840810e-05,5.820068e-05,5.799404e-05,5.778833e-05,5.758371e-05,5.738030e-05,5.717822e-05
0.000000e+00,1.427815e-09,3.269444e-09,1.124658e-08,2.560054e-08,3.736553e-08,8.492768e-08,8.749210e-08,1.696260e-07,1.995252e-07,2.924604e-07,3.894738e-07,4.649551e-07,6.732734e-07,6.937026e-07,9.794777e-07,1.056142e-06,1.318207e-06,1.529084e-06,1.704738e-06,2.080772e-06,2.134484e-06,2.603297e-06,2.701388e-06,3.107069e-06,3.381434e-06,3.641518e-06,4.110873e-06,4.202140e-06,4.784272e-06,4.879094e-06,5.383197e-06,5.675277e-06,5.994273e-06,6.488876e-06,6.613039e-06,7.235323e-06,7.310049e-06,7.857309e-06,8.129992e-06,8.475576e-06,8.941112e-06,9.087126e-06,9.689383e-06,9.737094e-06,1.028018e-05,1.051287e-05,1.085773e-05,1.126454e-05,1.142059e-05,1.196767e-05,1.198921e-05,1.249811e-05,1.268487e-05,1.301132e-05,1.335027e-05,1.350693e-05,1.398473e-05,1.444465e-05,1.458805e-05,1.488676e-05,1.516044e-05,1.531123e-05,1.570236e-05,1.571831e-05,1.610830e-05,1.621449e-05,1.648158e-05,1.669768e-05,1.683853e-05,1.715287e-05,1.717958e-05,1.750520e-05,1.758110e-05,1.781583e-05,1.798342e-05,1.811196e-05,1.836094e-05,1.839406e-05,1.866261e-05,1.871473e-05,1.891807e-05,1.904590e-05,1.916092e-05,1.935551e-05,1.939162e-05,1.961062e-05,1.964460e-05,1.981836e-05,1.991421e-05,2.001528e-05,2.016531e-05,2.020180e-05,2.037833e-05,2.039886e-05,2.054526e-05,2.061577e-05,2.070298e-05,2.081692e-05,2.085187e-05,2.099228e-05,2.100316e-05,2.112458e-05,2.117530e-05,2.124909e-05,2.133410e-05,2.136614e-05,2.147606e-05,2.148031e-05,2.157913e-05,2.161462e-05,2.167565e-05,2.173770e-05,2.176592e-05,2.185019e-05,2.192873e-05,2.195269e-05,2.200179e-05,2.204578e-05,2.206961e-05,2.213000e-05,2.213242e-05,2.219046e-05,2.220588e-05,2.224393e-05,2.227390e-05,2.229304e-05,2.233454e-05,2.233798e-05,2.237896e-05,2.238822e-05,2.241614e-05,2.243538e-05,2.244972e-05,2.247641e-05,2.247985e-05,2.250670e-05,2.251168e-05,2.253041e-05,2.254156e-05,2.255116e-05,2.256638e-05,2.256906e-05,2.258427e-05,2.258646e-05,2.259690e-05,2.260210e-05,2.260710e-05,2.261358e-05,2.261498e-05,2.262065e-05,2.262118e-05,2.262422e-05,2.262516e-05,2.262581e-05,2.262575e-05,2.262551e-05,2.262342e-05,2.262318e-05,2.261963e-05,2.261767e-05,2.261424e-05,2.260942e-05,2.260733e-05,2.259898e-05,2.259862e-05,2.258927e-05,2.258546e-05,2.257828e-05,2.257011e-05,2.256607e-05,2.255272e-05,2.253346e-05,2.251246e-05,2.248987e-05,2.246580e-05,2.244039e-05,2.241374e-05,2.238596e-05,2.235716e-05,2.232743e-05,2.229685e-05,2.226552e-05,2.223351e-05,2.220090e-05,2.216776e-05,2.213415e-05,2.210014e-05,2.206578e-05,2.203113e-05,2.199624e-05,2.196116e-05,2.192593e-05,2.189060e-05,2.185521e-05,2.181978e-05
0.000000e+00,2.798291e-09,6.411111e-09,2.203865e-08,5.006179e-08,7.294194e-08,1.646850e-07,1.695988e-07,3.253499e-07,3.813191e-07,5.531526e-07,7.297558e-07,8.658266e-07,1.239325e-06,1.276018e-06,1.795613e-06,1.937744e-06,2.434238e-06,2.845938e-06,3.196710e-06,3.968253e-06,4.080413e-06,5.074728e-06,5.285499e-06,6.163532e-06,6.761092e-06,7.328919e-06,8.354491e-06,8.553823e-06,9.822971e-06,1.002922e-05,1.112291e-05,1.175426e-05,1.244172e-05,1.350320e-05,1.376881e-05,1.509469e-05,1.525330e-05,1.641092e-05,1.698505e-05,1.771005e-05,1.868195e-05,1.898562e-05,2.023208e-05,2.033040e-05,2.144480e-05,2.191957e-05,2.262000e-05,2.344119e-05,2.375466e-05,2.484652e-05,2.488928e-05,2.589392e-05,2.625989e-05,2.689582e-05,2.755079e-05,2.785162e-05,2.876117e-05,2.962469e-05,2.989136e-05,3.044266e-05,3.094260e-05,3.121583e-05,3.191680e-05,3.194515e-05,3.263170e-05,3.281643e-05,3.327669e-05,3.364427e-05,3.388142e-05,3.440338e-05,3.444725e-05,3.497558e-05,3.509695e-05,3.546782e-05,3.572825e-05,3.592541e-05,3.630056e-05,3.634977e-05,3.674232e-05,3.681713e-05,3.710442e-05,3.728115e-05,3.743746e-05,3.769573e-05,3.774276e-05,3.802162e-05,3.806386e-05,3.827528e-05,3.838845e-05,3.850497e-05,3.867226e-05,3.871187e-05,3.889711e-05,3.891793e-05,3.906178e-05,3.912799e-05,3.920694e-05,3.930483e-05,3.933359e-05,3.944272e-05,3.945072e-05,3.953525e-05,3.956782e-05,3.961207e-05,3.965814e-05,3.967405e-05,3.972199e-05,3.972363e-05,3.975669e-05,3.976608e-05,3.977889e-05,3.978721e-05,3.978930e-05,3.978862e-05,3.977749e-05,3.977182e-05,3.975653e-05,3.973824e-05,3.972635e-05,3.968921e-05,3.968749e-05,3.964051e-05,3.962597e-05,3.958592e-05,3.954971e-05,3.952420e-05,3.946153e-05,3.945583e-05,3.938124e-05,3.936246e-05,3.930086e-05,3.925346e-05,3.921509e-05,3.913545e-05,3.912430e-05,3.902887e-05,3.900926e-05,3.892913e-05,3.887568e-05,3.882542e-05,3.873545e-05,3.871804e-05,3.860728e-05,3.858927e-05,3.849344e-05,3.843777e-05,3.837676e-05,3.828156e-05,3.825751e-05,3.813592e-05,3.812118e-05,3.801222e-05,3.795717e-05,3.788661e-05,3.779001e-05,3.775931e-05,3.763050e-05,3.762014e-05,3.750037e-05,3.744799e-05,3.736909e-05,3.727393e-05,3.723681e-05,3.710369e-05,3.709835e-05,3.696987e-05,3.692155e-05,3.683549e-05,3.674387e-05,3.670069e-05,3.656557e-05,3.638693e-05,3.620819e-05,3.602957e-05,3.585128e-05,3.567352e-05,3.549645e-05,3.532024e-05,3.514504e-05,3.497097e-05,3.479816e-05,3.462672e-05,3.445675e-05,3.428835e-05,3.412159e-05,3.395654e-05,3.379328e-05,3.363185e-05,3.347232e-05,3.331472e-05,3.315910e-05,3.300549e-05,3.285392e-05,3.270440e-05,3.255697e-05
0.000000e+00,2.707503e-09,6.199711e-09,2.131688e-08,4.846684e-08,7.066555e-08,1.598900e-07,1.646771e-07,3.167652e-07,3.715655e-07,5.402243e-07,7.141381e-07,8.484866e-07,1.218619e-06,1.255080e-06,1.773041e-06,1.915228e-06,2.413469e-06,2.828355e-06,3.183019e-06,3.966676e-06,4.080974e-06,5.097776e-06,5.314013e-06,6.216745e-06,6.832414e-06,7.418051e-06,8.476536e-06,8.682308e-06,9.992305e-06,1.020513e-05,1.133331e-05,1.198426e-05,1.269279e-05,1.378636e-05,1.405993e-05,1.542542e-05,1.558877e-05,1.678114e-05,1.737272e-05,1.812009e-05,1.912273e-05,1.943624e-05,2.072453e-05,2.082626e-05,2.198073e-05,2.247343e-05,2.320141e-05,2.405675e-05,2.438384e-05,2.552598e-05,2.557080e-05,2.662630e-05,2.701197e-05,2.768381e-05,2.837816e-05,2.869794e-05,2.966849e-05,3.059555e-05,3.088308e-05,3.147950e-05,3.202286e-05,3.232091e-05,3.308932e-05,3.312051e-05,3.387920e-05,3.408444e-05,3.459796e-05,3.501050e-05,3.527787e-05,3.587003e-05,3.592004e-05,3.652566e-05,3.666570e-05,3.709592e-05,3.740027e-05,3.763203e-05,3.807653e-05,3.813521e-05,3.860668e-05,3.869727e-05,3.904764e-05,3.926528e-05,3.945928e-05,3.978326e-05,3.984278e-05,4.019927e-05,4.025387e-05,4.052988e-05,4.067970e-05,4.083570e-05,4.106323e-05,4.111780e-05,4.137722e-05,4.140687e-05,4.161495e-05,4.171294e-05,4.183198e-05,4.198365e-05,4.202924e-05,4.220765e-05,4.222113e-05,4.236809e-05,4.242742e-05,4.251140e-05,4.260445e-05,4.263842e-05,4.274992e-05,4.275407e-05,4.284667e-05,4.287804e-05,4.292941e-05,4.297803e-05,4.299884e-05,4.305563e-05,4.310044e-05,4.311235e-05,4.313390e-05,4.314963e-05,4.315660e-05,4.316881e-05,4.316913e-05,4.317203e-05,4.317119e-05,4.316584e-05,4.315797e-05,4.315107e-05,4.313032e-05,4.312820e-05,4.309770e-05,4.308930e-05,4.306002e-05,4.303595e-05,4.301559e-05,4.297123e-05,4.296482e-05,4.290809e-05,4.289606e-05,4.284578e-05,4.281130e-05,4.277826e-05,4.271775e-05,4.270586e-05,4.262890e-05,4.261619e-05,4.254771e-05,4.250732e-05,4.246258e-05,4.239183e-05,4.237379e-05,4.228161e-05,4.227033e-05,4.218631e-05,4.214344e-05,4.208812e-05,4.201171e-05,4.198728e-05,4.188402e-05,4.187567e-05,4.177855e-05,4.173579e-05,4.167107e-05,4.159255e-05,4.156177e-05,4.145084e-05,4.144637e-05,4.133844e-05,4.129765e-05,4.122475e-05,4.114678e-05,4.110992e-05,4.099409e-05,4.083992e-05,4.068458e-05,4.052834e-05,4.037146e-05,4.021421e-05,4.005679e-05,3.989942e-05,3.974231e-05,3.958561e-05,3.942951e-05,3.927416e-05,3.911969e-05,3.896623e-05,3.881391e-05,3.866283e-05,3.851308e-05,3.836477e-05,3.821796e-05,3.807273e-05,3.792914e-05,3.778727e-05,3.764714e-05,3.750882e-05,3.737234e-05
0.000000e+00,2.186127e-12,1.069496e-11,1.099175e-10,5.005514e-10,9.923468e-10,4.236181e-09,4.460318e-09,1.374400e-08,1.798535e-08,3.348794e-08,5.277390e-08,6.962395e-08,1.233867e-07,1.291959e-07,2.199886e-07,2.472987e-07,3.497260e-07,4.419244e-07,5.250133e-07,7.207385e-07,7.505637e-07,1.028988e-06,1.091111e-06,1.361013e-06,1.554642e-06,1.745869e-06,2.108621e-06,2.181669e-06,2.665696e-06,2.747399e-06,3.194590e-06,3.463275e-06,3.764473e-06,4.247002e-06,4.371025e-06,5.009552e-06,5.088090e-06,5.675056e-06,5.975082e-06,6.362309e-06,6.895872e-06,7.065952e-06,7.780590e-06,7.838075e-06,8.500893e-06,8.789437e-06,9.221699e-06,9.738223e-06,9.938101e-06,1.064553e-05,1.067358e-05,1.133981e-05,1.158580e-05,1.201722e-05,1.246654e-05,1.267450e-05,1.330889e-05,1.391813e-05,1.410746e-05,1.450039e-05,1.485825e-05,1.505434e-05,1.555862e-05,1.557904e-05,1.607394e-05,1.620713e-05,1.653882e-05,1.680337e-05,1.697377e-05,1.734779e-05,1.737914e-05,1.775548e-05,1.784157e-05,1.810354e-05,1.828642e-05,1.842420e-05,1.868449e-05,1.871844e-05,1.898734e-05,1.903818e-05,1.923204e-05,1.935011e-05,1.945370e-05,1.962295e-05,1.965350e-05,1.983262e-05,1.985943e-05,1.999222e-05,2.006225e-05,2.013347e-05,2.023400e-05,2.025747e-05,2.036531e-05,2.037721e-05,2.045802e-05,2.049427e-05,2.053659e-05,2.058743e-05,2.060197e-05,2.065506e-05,2.065880e-05,2.069671e-05,2.071035e-05,2.072773e-05,2.074390e-05,2.074886e-05,2.076083e-05,2.076113e-05,2.076430e-05,2.076360e-05,2.075991e-05,2.075272e-05,2.074822e-05,2.072980e-05,2.070516e-05,2.069604e-05,2.067477e-05,2.065252e-05,2.063909e-05,2.060023e-05,2.059852e-05,2.055346e-05,2.054009e-05,2.050427e-05,2.047291e-05,2.045128e-05,2.039945e-05,2.039481e-05,2.033516e-05,2.032040e-05,2.027259e-05,2.023638e-05,2.020737e-05,2.014795e-05,2.013971e-05,2.006986e-05,2.005564e-05,1.999801e-05,1.995992e-05,1.992435e-05,1.986121e-05,1.984906e-05,1.977231e-05,1.975991e-05,1.969426e-05,1.965637e-05,1.961504e-05,1.955091e-05,1.953479e-05,1.945363e-05,1.944384e-05,1.937169e-05,1.933542e-05,1.928908e-05,1.922590e-05,1.920588e-05,1.912221e-05,1.911550e-05,1.903814e-05,1.900442e-05,1.895376e-05,1.889286e-05,1.886914e-05,1.878436e-05,1.878097e-05,1.869949e-05,1.866892e-05,1.861458e-05,1.855684e-05,1.852969e-05,1.844487e-05,1.833312e-05,1.822169e-05,1.811068e-05,1.800018e-05,1.789027e-05,1.778101e-05,1.767248e-05,1.756473e-05,1.745781e-05,1.735177e-05,1.724666e-05,1.714251e-05,1.703935e-05,1.693721e-05,1.683613e-05,1.673611e-05,1.663719e-05,1.653938e-05,1.644270e-05,1.634715e-05,1.625274e-05,1.615949e-05,1.606740e-05,1.597647e-05
0.000000e+00,2.285180e-09,5.772293e-09,2.202944e-08,5.264934e-08,7.826269e-08,1.837903e-07,1.895348e-07,3.751183e-07,4.432233e-07,6.562120e-07,8.804829e-07,1.056501e-06,1.551278e-06,1.600631e-06,2.308257e-06,2.503394e-06,3.184503e-06,3.744544e-06,4.216308e-06,5.234560e-06,5.380434e-06,6.653391e-06,6.919229e-06,8.015342e-06,8.753175e-06,9.449871e-06,1.070056e-05,1.094281e-05,1.248134e-05,1.273093e-05,1.405355e-05,1.481686e-05,1.564825e-05,1.693318e-05,1.725502e-05,1.886424e-05,1.905709e-05,2.046720e-05,2.116847e-05,2.205612e-05,2.325011e-05,2.362423e-05,2.516572e-05,2.528774e-05,2.667572e-05,2.726998e-05,2.815024e-05,2.918811e-05,2.958611e-05,3.098087e-05,3.103578e-05,3.233270e-05,3.280859e-05,3.364031e-05,3.450380e-05,3.490290e-05,3.612011e-05,3.729186e-05,3.765726e-05,3.841840e-05,3.911587e-05,3.950019e-05,4.049720e-05,4.053787e-05,4.153223e-05,4.180300e-05,4.248417e-05,4.303539e-05,4.339470e-05,4.419671e-05,4.426486e-05,4.509579e-05,4.528950e-05,4.588862e-05,4.631639e-05,4.664450e-05,4.728001e-05,4.736457e-05,4.805000e-05,4.818303e-05,4.870194e-05,4.902810e-05,4.932154e-05,4.981782e-05,4.990991e-05,5.046815e-05,5.055475e-05,5.099735e-05,5.124135e-05,5.149854e-05,5.188003e-05,5.197276e-05,5.242101e-05,5.247310e-05,5.284427e-05,5.302284e-05,5.324349e-05,5.353138e-05,5.361959e-05,5.397345e-05,5.400082e-05,5.430594e-05,5.443314e-05,5.461790e-05,5.483025e-05,5.491014e-05,5.518343e-05,5.519398e-05,5.543854e-05,5.552607e-05,5.567619e-05,5.582819e-05,5.589710e-05,5.610193e-05,5.629134e-05,5.634881e-05,5.646598e-05,5.657027e-05,5.662644e-05,5.676769e-05,5.677332e-05,5.690717e-05,5.694240e-05,5.702856e-05,5.709562e-05,5.713800e-05,5.722856e-05,5.723599e-05,5.732303e-05,5.734234e-05,5.739958e-05,5.743804e-05,5.746610e-05,5.751668e-05,5.752302e-05,5.757075e-05,5.757923e-05,5.760970e-05,5.762662e-05,5.764026e-05,5.765971e-05,5.766279e-05,5.767766e-05,5.767935e-05,5.768520e-05,5.768632e-05,5.768576e-05,5.768138e-05,5.767963e-05,5.766714e-05,5.766523e-05,5.764857e-05,5.763855e-05,5.762421e-05,5.760199e-05,5.759432e-05,5.755918e-05,5.755615e-05,5.751902e-05,5.750161e-05,5.747409e-05,5.743891e-05,5.742462e-05,5.737083e-05,5.736859e-05,5.731294e-05,5.729113e-05,5.725115e-05,5.720700e-05,5.718565e-05,5.711664e-05,5.702048e-05,5.691891e-05,5.681231e-05,5.670104e-05,5.658545e-05,5.646584e-05,5.634253e-05,5.621580e-05,5.608594e-05,5.595319e-05,5.581781e-05,5.568002e-05,5.554006e-05,5.539812e-05,5.525441e-05,5.510911e-05,5.496240e-05,5.481444e-05,5.466540e-05,5.451543e-05,5.436466e-05,5.421323e-05,5.406126e-05,5.390889e-05
0.000000e+00,2.256050e-09,5.302551e-09,1.874596e-08,4.319565e-08,6.331024e-08,1.447181e-07,1.491040e-07,2.891421e-07,3.398831e-07,4.968299e-07,6.597267e-07,7.861627e-07,1.136193e-06,1.170738e-06,1.660420e-06,1.793997e-06,2.257244e-06,2.636398e-06,2.955725e-06,3.647707e-06,3.747331e-06,4.623639e-06,4.808377e-06,5.576933e-06,6.100614e-06,6.599808e-06,7.507306e-06,7.684749e-06,8.823936e-06,9.010700e-06,1.000922e-05,1.059206e-05,1.123220e-05,1.223202e-05,1.248439e-05,1.375740e-05,1.391118e-05,1.504310e-05,1.561081e-05,1.633373e-05,1.731345e-05,1.762209e-05,1.890158e-05,1.900337e-05,2.016626e-05,2.066679e-05,2.141091e-05,2.229208e-05,2.263100e-05,2.382266e-05,2.386969e-05,2.498271e-05,2.539207e-05,2.610855e-05,2.685350e-05,2.719812e-05,2.824989e-05,2.926275e-05,2.957852e-05,3.023599e-05,3.083788e-05,3.116923e-05,3.202741e-05,3.206237e-05,3.291556e-05,3.314735e-05,3.372918e-05,3.419856e-05,3.450374e-05,3.518241e-05,3.523991e-05,3.593847e-05,3.610062e-05,3.660029e-05,3.695520e-05,3.722630e-05,3.774835e-05,3.781748e-05,3.837487e-05,3.848238e-05,3.889949e-05,3.915970e-05,3.939242e-05,3.978277e-05,3.985472e-05,4.028746e-05,4.035403e-05,4.069170e-05,4.087592e-05,4.106848e-05,4.135082e-05,4.141882e-05,4.174374e-05,4.178107e-05,4.204423e-05,4.216896e-05,4.232126e-05,4.251670e-05,4.257578e-05,4.280869e-05,4.282642e-05,4.302090e-05,4.310019e-05,4.321328e-05,4.333998e-05,4.338666e-05,4.354186e-05,4.354770e-05,4.367968e-05,4.372518e-05,4.380086e-05,4.387415e-05,4.390617e-05,4.399629e-05,4.407194e-05,4.409319e-05,4.413376e-05,4.416636e-05,4.418239e-05,4.421726e-05,4.421847e-05,4.424257e-05,4.424725e-05,4.425527e-05,4.425765e-05,4.425712e-05,4.424970e-05,4.424865e-05,4.423037e-05,4.422458e-05,4.420277e-05,4.418342e-05,4.416632e-05,4.412728e-05,4.412147e-05,4.406866e-05,4.405718e-05,4.400830e-05,4.397406e-05,4.394079e-05,4.387884e-05,4.386652e-05,4.378585e-05,4.377238e-05,4.369915e-05,4.365548e-05,4.360674e-05,4.352893e-05,4.350895e-05,4.340610e-05,4.339343e-05,4.329848e-05,4.324970e-05,4.318638e-05,4.309836e-05,4.307008e-05,4.294982e-05,4.294004e-05,4.282588e-05,4.277532e-05,4.269847e-05,4.260473e-05,4.256785e-05,4.243422e-05,4.242881e-05,4.229779e-05,4.224803e-05,4.215877e-05,4.206286e-05,4.201736e-05,4.187372e-05,4.168102e-05,4.148515e-05,4.128646e-05,4.108529e-05,4.088196e-05,4.067678e-05,4.047002e-05,4.026194e-05,4.005280e-05,3.984282e-05,3.963222e-05,3.942121e-05,3.920996e-05,3.899867e-05,3.878750e-05,3.857660e-05,3.836611e-05,3.815618e-05,3.794692e-05,3.773845e-05,3.753087e-05,3.732430e-05,3.711881e-05,3.691450e-05
0.000000e+00,2.806828e-10,1.053513e-09,6.669262e-09,2.090775e-08,3.460253e-08,9.933092e-08,1.031114e-07,2.341943e-07,2.857166e-07,4.556934e-07,6.462593e-07,8.021610e-07,1.258779e-06,1.305182e-06,1.973089e-06,2.156202e-06,2.787567e-06,3.297815e-06,3.722562e-06,4.628411e-06,4.757327e-06,5.877324e-06,6.110540e-06,7.071424e-06,7.718348e-06,8.329743e-06,9.429247e-06,9.642551e-06,1.099992e-05,1.122055e-05,1.239172e-05,1.306904e-05,1.380784e-05,1.495160e-05,1.523841e-05,1.667403e-05,1.684622e-05,1.810597e-05,1.873280e-05,1.952635e-05,2.059375e-05,2.092815e-05,2.230532e-05,2.241427e-05,2.365273e-05,2.418240e-05,2.496617e-05,2.588888e-05,2.624225e-05,2.747834e-05,2.752692e-05,2.867249e-05,2.909184e-05,2.982334e-05,3.058075e-05,3.093007e-05,3.199227e-05,3.300991e-05,3.332619e-05,3.398328e-05,3.458322e-05,3.491289e-05,3.576482e-05,3.579947e-05,3.664391e-05,3.687294e-05,3.744722e-05,3.790992e-05,3.821051e-05,3.887838e-05,3.893493e-05,3.962172e-05,3.978109e-05,4.027212e-05,4.062093e-05,4.088741e-05,4.140081e-05,4.146884e-05,4.201768e-05,4.212365e-05,4.253519e-05,4.279232e-05,4.302260e-05,4.340964e-05,4.348111e-05,4.391192e-05,4.397835e-05,4.431617e-05,4.450111e-05,4.469500e-05,4.498049e-05,4.504949e-05,4.538070e-05,4.541893e-05,4.568966e-05,4.581881e-05,4.597736e-05,4.618238e-05,4.624475e-05,4.649276e-05,4.651179e-05,4.672228e-05,4.680910e-05,4.693417e-05,4.707627e-05,4.712924e-05,4.730831e-05,4.731515e-05,4.747211e-05,4.752749e-05,4.762140e-05,4.771499e-05,4.775688e-05,4.787921e-05,4.798905e-05,4.802166e-05,4.808702e-05,4.814376e-05,4.817371e-05,4.824686e-05,4.824970e-05,4.831553e-05,4.833222e-05,4.837173e-05,4.840104e-05,4.841880e-05,4.845445e-05,4.845722e-05,4.848744e-05,4.849352e-05,4.850991e-05,4.851927e-05,4.852505e-05,4.853263e-05,4.853326e-05,4.853493e-05,4.853451e-05,4.853041e-05,4.852574e-05,4.852007e-05,4.850712e-05,4.850424e-05,4.848323e-05,4.847941e-05,4.845735e-05,4.844329e-05,4.842690e-05,4.839944e-05,4.839216e-05,4.835338e-05,4.834847e-05,4.831083e-05,4.829097e-05,4.826474e-05,4.822749e-05,4.821534e-05,4.816286e-05,4.815854e-05,4.810751e-05,4.808461e-05,4.804948e-05,4.800615e-05,4.798896e-05,4.792614e-05,4.792358e-05,4.786119e-05,4.783731e-05,4.779426e-05,4.774771e-05,4.772553e-05,4.765513e-05,4.755989e-05,4.746231e-05,4.736267e-05,4.726124e-05,4.715827e-05,4.705399e-05,4.694861e-05,4.684236e-05,4.673540e-05,4.662792e-05,4.652009e-05,4.641205e-05,4.630394e-05,4.619590e-05,4.608805e-05,4.598050e-05,4.587335e-05,4.576670e-05,4.566064e-05,4.555524e-05,4.545059e-05,4.534675e-05,4.524379e-05,4.514175e-05
0.000000e+00,5.738523e-12,2.786034e-11,2.818646e-10,1.265503e-09,2.489610e-09,1.042170e-08,1.096450e-08,3.315636e-08,4.317254e-08,7.940704e-08,1.239479e-07,1.625409e-07,2.844379e-07,2.975305e-07,5.010877e-07,5.620853e-07,7.905556e-07,9.961587e-07,1.181524e-06,1.618244e-06,1.684754e-06,2.304031e-06,2.441627e-06,3.035947e-06,3.458164e-06,3.871251e-06,4.643300e-06,4.796858e-06,5.797715e-06,5.963791e-06,6.858202e-06,7.383897e-06,7.963022e-06,8.869026e-06,9.097683e-06,1.024871e-05,1.038734e-05,1.140377e-05,1.191035e-05,1.255166e-05,1.341305e-05,1.368236e-05,1.478699e-05,1.487400e-05,1.585790e-05,1.627532e-05,1.688857e-05,1.760272e-05,1.787370e-05,1.880908e-05,1.884541e-05,1.969160e-05,1.999594e-05,2.051917e-05,2.104989e-05,2.129060e-05,2.200554e-05,2.266434e-05,2.286345e-05,2.326798e-05,2.362602e-05,2.381793e-05,2.429712e-05,2.431608e-05,2.476461e-05,2.488163e-05,2.516593e-05,2.538512e-05,2.552259e-05,2.581353e-05,2.583722e-05,2.611247e-05,2.617297e-05,2.635100e-05,2.646951e-05,2.655540e-05,2.670904e-05,2.672818e-05,2.687177e-05,2.689719e-05,2.698847e-05,2.703926e-05,2.708047e-05,2.714016e-05,2.714982e-05,2.719845e-05,2.720443e-05,2.722817e-05,2.723621e-05,2.724065e-05,2.723927e-05,2.723744e-05,2.721999e-05,2.721700e-05,2.718960e-05,2.717245e-05,2.714751e-05,2.710838e-05,2.709483e-05,2.703260e-05,2.702724e-05,2.696176e-05,2.693121e-05,2.688317e-05,2.682224e-05,2.679764e-05,2.670588e-05,2.670209e-05,2.660857e-05,2.657229e-05,2.650630e-05,2.643422e-05,2.639965e-05,2.628911e-05,2.617515e-05,2.613803e-05,2.605820e-05,2.598196e-05,2.593865e-05,2.582176e-05,2.581685e-05,2.569313e-05,2.565818e-05,2.556778e-05,2.549191e-05,2.544109e-05,2.532355e-05,2.531329e-05,2.518462e-05,2.515363e-05,2.505528e-05,2.498263e-05,2.492546e-05,2.481097e-05,2.479535e-05,2.466509e-05,2.463903e-05,2.453483e-05,2.446714e-05,2.440471e-05,2.429561e-05,2.427485e-05,2.414536e-05,2.412468e-05,2.401633e-05,2.395460e-05,2.388787e-05,2.378556e-05,2.376005e-05,2.363296e-05,2.361776e-05,2.350665e-05,2.345134e-05,2.338119e-05,2.328645e-05,2.325665e-05,2.313306e-05,2.312322e-05,2.301049e-05,2.296175e-05,2.288896e-05,2.280212e-05,2.276851e-05,2.264918e-05,2.264444e-05,2.253101e-05,2.248875e-05,2.241400e-05,2.233512e-05,2.229820e-05,2.218361e-05,2.203424e-05,2.188706e-05,2.174209e-05,2.159935e-05,2.145885e-05,2.132061e-05,2.118463e-05,2.105091e-05,2.091944e-05,2.079023e-05,2.066326e-05,2.053852e-05,2.041600e-05,2.029568e-05,2.017754e-05,2.006156e-05,1.994772e-05,1.983599e-05,1.972636e-05,1.961880e-05,1.951328e-05,1.940977e-05,1.930825e-05,1.920869e-05
0.000000e+00,3.490421e-09,8.233341e-09,2.925789e-08,6.770784e-08,9.949422e-08,2.293235e-07,2.363681e-07,4.637085e-07,5.471554e-07,8.083734e-07,1.083509e-06,1.299008e-06,1.899047e-06,1.958253e-06,2.791785e-06,3.016770e-06,3.788866e-06,4.412550e-06,4.933127e-06,6.049630e-06,6.209276e-06,7.603918e-06,7.895962e-06,9.104574e-06,9.922707e-06,1.069885e-05,1.210112e-05,1.237406e-05,1.411720e-05,1.440154e-05,1.591517e-05,1.679384e-05,1.775497e-05,1.924846e-05,1.962403e-05,2.151048e-05,2.173748e-05,2.340328e-05,2.423550e-05,2.529241e-05,2.672014e-05,2.716892e-05,2.902497e-05,2.917236e-05,3.085380e-05,3.157640e-05,3.264970e-05,3.391965e-05,3.440791e-05,3.612457e-05,3.619232e-05,3.779660e-05,3.838714e-05,3.942164e-05,4.049891e-05,4.099793e-05,4.252424e-05,4.399979e-05,4.446118e-05,4.542419e-05,4.630892e-05,4.679737e-05,4.806761e-05,4.811952e-05,4.939106e-05,4.973810e-05,5.061260e-05,5.132183e-05,5.178489e-05,5.282066e-05,5.290881e-05,5.398531e-05,5.423672e-05,5.501541e-05,5.557240e-05,5.600019e-05,5.683022e-05,5.694080e-05,5.783839e-05,5.801285e-05,5.869413e-05,5.912297e-05,5.950920e-05,6.016332e-05,6.028481e-05,6.102214e-05,6.113664e-05,6.172237e-05,6.204565e-05,6.238668e-05,6.289304e-05,6.301622e-05,6.361215e-05,6.368146e-05,6.417559e-05,6.441349e-05,6.470764e-05,6.509167e-05,6.520938e-05,6.568189e-05,6.571846e-05,6.612620e-05,6.629626e-05,6.654332e-05,6.682738e-05,6.693425e-05,6.729996e-05,6.731407e-05,6.764137e-05,6.775852e-05,6.795942e-05,6.816280e-05,6.825499e-05,6.852896e-05,6.878215e-05,6.885892e-05,6.901540e-05,6.915457e-05,6.922949e-05,6.941771e-05,6.942519e-05,6.960326e-05,6.965006e-05,6.976441e-05,6.985328e-05,6.990935e-05,7.002896e-05,7.003876e-05,7.015329e-05,7.017863e-05,7.025358e-05,7.030375e-05,7.034024e-05,7.040571e-05,7.041387e-05,7.047505e-05,7.048584e-05,7.052432e-05,7.054542e-05,7.056223e-05,7.058567e-05,7.058930e-05,7.060601e-05,7.060776e-05,7.061287e-05,7.061279e-05,7.061032e-05,7.060183e-05,7.059883e-05,7.057883e-05,7.057587e-05,7.055072e-05,7.053590e-05,7.051492e-05,7.048281e-05,7.047182e-05,7.042178e-05,7.041748e-05,7.036516e-05,7.034075e-05,7.030232e-05,7.025340e-05,7.023358e-05,7.015927e-05,7.015619e-05,7.007970e-05,7.004982e-05,6.999515e-05,6.993497e-05,6.990593e-05,6.981229e-05,6.968238e-05,6.954583e-05,6.940319e-05,6.925497e-05,6.910166e-05,6.894374e-05,6.878165e-05,6.861579e-05,6.844658e-05,6.827437e-05,6.809953e-05,6.792238e-05,6.774323e-05,6.756239e-05,6.738013e-05,6.719671e-05,6.701238e-05,6.682737e-05,6.664190e-05,6.645616e-05,6.627036e-05,6.608467e-05,6.589926e-05,6.571428e-05
0.000000e+00,4.203416e-12,2.064030e-11,2.137588e-10,9.800769e-10,1.950038e-09,8.396768e-09,8.843914e-09,2.744306e-08,3.596696e-08,6.716762e-08,1.059900e-07,1.398718e-07,2.476417e-07,2.592566e-07,4.402537e-07,4.945803e-07,6.983413e-07,8.822249e-07,1.048631e-06,1.443964e-06,1.504657e-06,2.077120e-06,2.206269e-06,2.772987e-06,3.184735e-06,3.595176e-06,4.382853e-06,4.542749e-06,5.611412e-06,5.793197e-06,6.794118e-06,7.399694e-06,8.081677e-06,9.180005e-06,9.463294e-06,1.092706e-05,1.110763e-05,1.246034e-05,1.315368e-05,1.405020e-05,1.528835e-05,1.568367e-05,1.734808e-05,1.748220e-05,1.903125e-05,1.970718e-05,2.072173e-05,2.193744e-05,2.240896e-05,2.408331e-05,2.414989e-05,2.573622e-05,2.632455e-05,2.736020e-05,2.844464e-05,2.894879e-05,3.049659e-05,3.199916e-05,3.246982e-05,3.345295e-05,3.435650e-05,3.485526e-05,3.615120e-05,3.620410e-05,3.749818e-05,3.785059e-05,3.873674e-05,3.945311e-05,3.991954e-05,4.095861e-05,4.104675e-05,4.211888e-05,4.236808e-05,4.313676e-05,4.368345e-05,4.410143e-05,4.490730e-05,4.501412e-05,4.587623e-05,4.604271e-05,4.668924e-05,4.709312e-05,4.745473e-05,4.806222e-05,4.817434e-05,4.884972e-05,4.895379e-05,4.948255e-05,4.977170e-05,5.007453e-05,5.051980e-05,5.062730e-05,5.114254e-05,5.120192e-05,5.162186e-05,5.182179e-05,5.206684e-05,5.238303e-05,5.247905e-05,5.285996e-05,5.288913e-05,5.321106e-05,5.334347e-05,5.353376e-05,5.374928e-05,5.382941e-05,5.409935e-05,5.410963e-05,5.434483e-05,5.442746e-05,5.456710e-05,5.470557e-05,5.476730e-05,5.494659e-05,5.510604e-05,5.515305e-05,5.524669e-05,5.532730e-05,5.536954e-05,5.547160e-05,5.547553e-05,5.556559e-05,5.558807e-05,5.564058e-05,5.567869e-05,5.570134e-05,5.574535e-05,5.574866e-05,5.578332e-05,5.578983e-05,5.580602e-05,5.581378e-05,5.581748e-05,5.581878e-05,5.581834e-05,5.580925e-05,5.580629e-05,5.579080e-05,5.577770e-05,5.576357e-05,5.573431e-05,5.572811e-05,5.568493e-05,5.567733e-05,5.563453e-05,5.560791e-05,5.557738e-05,5.552710e-05,5.551393e-05,5.544462e-05,5.543592e-05,5.536983e-05,5.533530e-05,5.528997e-05,5.522611e-05,5.520540e-05,5.511647e-05,5.510917e-05,5.502350e-05,5.498526e-05,5.492682e-05,5.485507e-05,5.482671e-05,5.472347e-05,5.471928e-05,5.461737e-05,5.457852e-05,5.450865e-05,5.443335e-05,5.439756e-05,5.428432e-05,5.413194e-05,5.397667e-05,5.381894e-05,5.365916e-05,5.349771e-05,5.333493e-05,5.317114e-05,5.300665e-05,5.284172e-05,5.267661e-05,5.251156e-05,5.234679e-05,5.218248e-05,5.201883e-05,5.185600e-05,5.169414e-05,5.153340e-05,5.137390e-05,5.121576e-05,5.105908e-05,5.090396e-05,5.075048e-05,5.059872e-05,5.044874e-05
0.000000e+00,2.451483e-09,5.928428e-09,2.159045e-08,5.042231e-08,7.425659e-08,1.710442e-07,1.762645e-07,3.429236e-07,4.032478e-07,5.894836e-07,7.821389e-07,9.312148e-07,1.342092e-06,1.382521e-06,1.954059e-06,2.109594e-06,2.647952e-06,3.087051e-06,3.455364e-06,4.247253e-06,4.360449e-06,5.346294e-06,5.551776e-06,6.397629e-06,6.965661e-06,7.500930e-06,8.458846e-06,8.643910e-06,9.815171e-06,1.000448e-05,1.100411e-05,1.157819e-05,1.220098e-05,1.315820e-05,1.339693e-05,1.458411e-05,1.472565e-05,1.575570e-05,1.626473e-05,1.690590e-05,1.776276e-05,1.802991e-05,1.912381e-05,1.920992e-05,2.018454e-05,2.059900e-05,2.120978e-05,2.192501e-05,2.219784e-05,2.314761e-05,2.318479e-05,2.405841e-05,2.437670e-05,2.492998e-05,2.550022e-05,2.576232e-05,2.655574e-05,2.731075e-05,2.754435e-05,2.802802e-05,2.846762e-05,2.870833e-05,2.932749e-05,2.935258e-05,2.996175e-05,3.012617e-05,3.053685e-05,3.086600e-05,3.107895e-05,3.154946e-05,3.158912e-05,3.206848e-05,3.217906e-05,3.251811e-05,3.275733e-05,3.293911e-05,3.328677e-05,3.333256e-05,3.369952e-05,3.376983e-05,3.404105e-05,3.420893e-05,3.435816e-05,3.460642e-05,3.465188e-05,3.492317e-05,3.496457e-05,3.517301e-05,3.528558e-05,3.540230e-05,3.557157e-05,3.561197e-05,3.580288e-05,3.582457e-05,3.597589e-05,3.604655e-05,3.613180e-05,3.623936e-05,3.627143e-05,3.639553e-05,3.640481e-05,3.650484e-05,3.654459e-05,3.660008e-05,3.666033e-05,3.668194e-05,3.675107e-05,3.675358e-05,3.680812e-05,3.682582e-05,3.685370e-05,3.687845e-05,3.688841e-05,3.691279e-05,3.692742e-05,3.693012e-05,3.693279e-05,3.693162e-05,3.692943e-05,3.691842e-05,3.691780e-05,3.689838e-05,3.689160e-05,3.687160e-05,3.685217e-05,3.683788e-05,3.680110e-05,3.679765e-05,3.675127e-05,3.673927e-05,3.669914e-05,3.666755e-05,3.664159e-05,3.658675e-05,3.657898e-05,3.651162e-05,3.649761e-05,3.643984e-05,3.640085e-05,3.636391e-05,3.629716e-05,3.628414e-05,3.620079e-05,3.618714e-05,3.611412e-05,3.607142e-05,3.602438e-05,3.595053e-05,3.593179e-05,3.583659e-05,3.582500e-05,3.573899e-05,3.569534e-05,3.563919e-05,3.556199e-05,3.553738e-05,3.543375e-05,3.542539e-05,3.532848e-05,3.528594e-05,3.522172e-05,3.514403e-05,3.511364e-05,3.500439e-05,3.500000e-05,3.489411e-05,3.485418e-05,3.478293e-05,3.470689e-05,3.467099e-05,3.455840e-05,3.440899e-05,3.425891e-05,3.410838e-05,3.395762e-05,3.380684e-05,3.365620e-05,3.350589e-05,3.335606e-05,3.320685e-05,3.305840e-05,3.291084e-05,3.276427e-05,3.261879e-05,3.247450e-05,3.233149e-05,3.218983e-05,3.204959e-05,3.191084e-05,3.177362e-05,3.163800e-05,3.150402e-05,3.137170e-05,3.124110e-05,3.111223e-05
0.000000e+00,4.769470e-10,2.466476e-09,2.844688e-08,1.439164e-07,3.022838e-07,1.497804e-06,1.586624e-06,5.663613e-06,7.711703e-06,1.585608e-05,2.705278e-05,3.756988e-05,7.457649e-05,7.883928e-05,1.508466e-04,1.742612e-04,2.683294e-04,3.607052e-04,4.497138e-04,6.794697e-04,7.168464e-04,1.094346e-03,1.185400e-03,1.608722e-03,1.939389e-03,2.287408e-03,3.004553e-03,3.157809e-03,4.246418e-03,4.442531e-03,5.578030e-03,6.310209e-03,7.175067e-03,8.657005e-03,9.057010e-03,1.123996e-02,1.152277e-02,1.373628e-02,1.493627e-02,1.655444e-02,1.891433e-02,1.969882e-02,2.316979e-02,2.346149e-02,2.696373e-02,2.857021e-02,3.107326e-02,3.422151e-02,3.548741e-02,4.019199e-02,4.038598e-02,4.516988e-02,4.702512e-02,5.040145e-02,5.409276e-02,5.586489e-02,6.153668e-02,6.739196e-02,6.930021e-02,7.340492e-02,7.732380e-02,7.954918e-02,8.554647e-02,8.579811e-02,9.212520e-02,9.390722e-02,9.850432e-02,1.023461e-01,1.049100e-01,1.108055e-01,1.113176e-01,1.177036e-01,1.192305e-01,1.240456e-01,1.275700e-01,1.303226e-01,1.357771e-01,1.365151e-01,1.426051e-01,1.438093e-01,1.485760e-01,1.516288e-01,1.544129e-01,1.592025e-01,1.601024e-01,1.656329e-01,1.665023e-01,1.709940e-01,1.735045e-01,1.761769e-01,1.801901e-01,1.811744e-01,1.859804e-01,1.865440e-01,1.905902e-01,1.925554e-01,1.950003e-01,1.982170e-01,1.992085e-01,2.032134e-01,2.035250e-01,2.070148e-01,2.084784e-01,2.106131e-01,2.130790e-01,2.140099e-01,2.172073e-01,2.173311e-01,2.202080e-01,2.212408e-01,2.230155e-01,2.248161e-01,2.256335e-01,2.280666e-01,2.303193e-01,2.310029e-01,2.323967e-01,2.336367e-01,2.343041e-01,2.359804e-01,2.360470e-01,2.376312e-01,2.380471e-01,2.390624e-01,2.398502e-01,2.403466e-01,2.414033e-01,2.414897e-01,2.424977e-01,2.427201e-01,2.433765e-01,2.438144e-01,2.441320e-01,2.446996e-01,2.447702e-01,2.452967e-01,2.453892e-01,2.457174e-01,2.458961e-01,2.460377e-01,2.462332e-01,2.462631e-01,2.463988e-01,2.464126e-01,2.464501e-01,2.464462e-01,2.464220e-01,2.463455e-01,2.463192e-01,2.461464e-01,2.461212e-01,2.459082e-01,2.457838e-01,2.456089e-01,2.453431e-01,2.452526e-01,2.448434e-01,2.448085e-01,2.443850e-01,2.441887e-01,2.438812e-01,2.434922e-01,2.433354e-01,2.427510e-01,2.427268e-01,2.421311e-01,2.418999e-01,2.414788e-01,2.410182e-01,2.407970e-01,2.400883e-01,2.391161e-01,2.381073e-01,2.370669e-01,2.359997e-01,2.349103e-01,2.338026e-01,2.326805e-01,2.315474e-01,2.304064e-01,2.292605e-01,2.281122e-01,2.269641e-01,2.258183e-01,2.246768e-01,2.235414e-01,2.224136e-01,2.212950e-01,2.201868e-01,2.190902e-01,2.180062e-01,2.169357e-01,2.158794e-01,2.148382e-01,2.138125e-01
0.000000e+00,8.091639e-10,2.772941e-09,1.526553e-08,4.382243e-08,6.980328e-08,1.849093e-07,1.913863e-07,4.059412e-07,4.862063e-07,7.395620e-07,1.008193e-06,1.219568e-06,1.814551e-06,1.873934e-06,2.726151e-06,2.961555e-06,3.785333e-06,4.465910e-06,5.041992e-06,6.295447e-06,6.476225e-06,8.067287e-06,8.402658e-06,9.796731e-06,1.074513e-05,1.164777e-05,1.328470e-05,1.360411e-05,1.564929e-05,1.598364e-05,1.776649e-05,1.880333e-05,1.993868e-05,2.170463e-05,2.214892e-05,2.438070e-05,2.464921e-05,2.661829e-05,2.760084e-05,2.884701e-05,3.052660e-05,3.105345e-05,3.322566e-05,3.339764e-05,3.535317e-05,3.618960e-05,3.742703e-05,3.888274e-05,3.943977e-05,4.138536e-05,4.146172e-05,4.325906e-05,4.391528e-05,4.505733e-05,4.623575e-05,4.677768e-05,4.841859e-05,4.997934e-05,5.046182e-05,5.145990e-05,5.236561e-05,5.286083e-05,5.413177e-05,5.418317e-05,5.542836e-05,5.576341e-05,5.659813e-05,5.726462e-05,5.769450e-05,5.864020e-05,5.871965e-05,5.967590e-05,5.989542e-05,6.056568e-05,6.103585e-05,6.139148e-05,6.206725e-05,6.215581e-05,6.286118e-05,6.299541e-05,6.351012e-05,6.382609e-05,6.410510e-05,6.456498e-05,6.464857e-05,6.514293e-05,6.521762e-05,6.559049e-05,6.578938e-05,6.599355e-05,6.628542e-05,6.635429e-05,6.667484e-05,6.671070e-05,6.695726e-05,6.706995e-05,6.720352e-05,6.736767e-05,6.741553e-05,6.759513e-05,6.760815e-05,6.774408e-05,6.779545e-05,6.786406e-05,6.793342e-05,6.795669e-05,6.802352e-05,6.802567e-05,6.806603e-05,6.807565e-05,6.808563e-05,6.808657e-05,6.808369e-05,6.806148e-05,6.802026e-05,6.800324e-05,6.796118e-05,6.791452e-05,6.788537e-05,6.779785e-05,6.779390e-05,6.768778e-05,6.765558e-05,6.756799e-05,6.748993e-05,6.743544e-05,6.730298e-05,6.729101e-05,6.713552e-05,6.709665e-05,6.696978e-05,6.687277e-05,6.679453e-05,6.663302e-05,6.661049e-05,6.641833e-05,6.637898e-05,6.621869e-05,6.611213e-05,6.601219e-05,6.583385e-05,6.579940e-05,6.558087e-05,6.554540e-05,6.535711e-05,6.524799e-05,6.512862e-05,6.494272e-05,6.489585e-05,6.465926e-05,6.463063e-05,6.441924e-05,6.431266e-05,6.417621e-05,6.398970e-05,6.393052e-05,6.368252e-05,6.366259e-05,6.343255e-05,6.333207e-05,6.318091e-05,6.299886e-05,6.292790e-05,6.267379e-05,6.266361e-05,6.241885e-05,6.232691e-05,6.216332e-05,6.198933e-05,6.190742e-05,6.165138e-05,6.131351e-05,6.097618e-05,6.063976e-05,6.030464e-05,5.997114e-05,5.963955e-05,5.931016e-05,5.898322e-05,5.865896e-05,5.833757e-05,5.801924e-05,5.770414e-05,5.739240e-05,5.708418e-05,5.677957e-05,5.647868e-05,5.618160e-05,5.588839e-05,5.559914e-05,5.531389e-05,5.503268e-05,5.475555e-05,5.448252e-05,5.421362e-05
0.000000e+00,4.771925e-11,2.196903e-10,2.000041e-09,8.204854e-09,1.540141e-08,5.765473e-08,6.040113e-08,1.660534e-07,2.112797e-07,3.686267e-07,5.540701e-07,7.101220e-07,1.182195e-06,1.231246e-06,1.958076e-06,2.164049e-06,2.895193e-06,3.507796e-06,4.030670e-06,5.178333e-06,5.344727e-06,6.815452e-06,7.126464e-06,8.420947e-06,9.301879e-06,1.013957e-05,1.165480e-05,1.194967e-05,1.382952e-05,1.413532e-05,1.575755e-05,1.669394e-05,1.771283e-05,1.928333e-05,1.967558e-05,2.162767e-05,2.186042e-05,2.355304e-05,2.438809e-05,2.543787e-05,2.683613e-05,2.727076e-05,2.904258e-05,2.918147e-05,3.074644e-05,3.140780e-05,3.237744e-05,3.350481e-05,3.393241e-05,3.540971e-05,3.546718e-05,3.680892e-05,3.729362e-05,3.813067e-05,3.898589e-05,3.937634e-05,4.054798e-05,4.164803e-05,4.198537e-05,4.267928e-05,4.330454e-05,4.364471e-05,4.451248e-05,4.454742e-05,4.539056e-05,4.561639e-05,4.617724e-05,4.662344e-05,4.691055e-05,4.754063e-05,4.759348e-05,4.822893e-05,4.837468e-05,4.881967e-05,4.913194e-05,4.936834e-05,4.981839e-05,4.987747e-05,5.034945e-05,5.043959e-05,5.078652e-05,5.100072e-05,5.119082e-05,5.150657e-05,5.156435e-05,5.190898e-05,5.196156e-05,5.222649e-05,5.236975e-05,5.251853e-05,5.273488e-05,5.278667e-05,5.303235e-05,5.306039e-05,5.325696e-05,5.334944e-05,5.346176e-05,5.360492e-05,5.364797e-05,5.381671e-05,5.382948e-05,5.396903e-05,5.402558e-05,5.410592e-05,5.419545e-05,5.422831e-05,5.433707e-05,5.434115e-05,5.443301e-05,5.446457e-05,5.451691e-05,5.456745e-05,5.458948e-05,5.465138e-05,5.470327e-05,5.471785e-05,5.474573e-05,5.476821e-05,5.477931e-05,5.480371e-05,5.480456e-05,5.482197e-05,5.482550e-05,5.483199e-05,5.483464e-05,5.483507e-05,5.483213e-05,5.483162e-05,5.482204e-05,5.481887e-05,5.480669e-05,5.479570e-05,5.478591e-05,5.476340e-05,5.476004e-05,5.472938e-05,5.472270e-05,5.469423e-05,5.467427e-05,5.465486e-05,5.461872e-05,5.461154e-05,5.456450e-05,5.455665e-05,5.451399e-05,5.448857e-05,5.446022e-05,5.441499e-05,5.440340e-05,5.434373e-05,5.433638e-05,5.428139e-05,5.425317e-05,5.421657e-05,5.416576e-05,5.414944e-05,5.408015e-05,5.407452e-05,5.400885e-05,5.397981e-05,5.393569e-05,5.388195e-05,5.386081e-05,5.378433e-05,5.378124e-05,5.370638e-05,5.367798e-05,5.362707e-05,5.357243e-05,5.354652e-05,5.346483e-05,5.335542e-05,5.324441e-05,5.313202e-05,5.301841e-05,5.290379e-05,5.278830e-05,5.267211e-05,5.255536e-05,5.243818e-05,5.232070e-05,5.220305e-05,5.208532e-05,5.196763e-05,5.185007e-05,5.173273e-05,5.161569e-05,5.149903e-05,5.138283e-05,5.126715e-05,5.115205e-05,5.103759e-05,5.092383e-05,5.081082e-05,5.069860e-05
0.000000e+00,1.347962e-12,6.778327e-12,7.370328e-11,3.529878e-10,7.190939e-10,3.286690e-09,3.469977e-09,1.139956e-08,1.516764e-08,2.939689e-08,4.775861e-08,6.420326e-08,1.183037e-07,1.242623e-07,2.194391e-07,2.487022e-07,3.606281e-07,4.640379e-07,5.592230e-07,7.903770e-07,8.264112e-07,1.172339e-06,1.251743e-06,1.605297e-06,1.866868e-06,2.131091e-06,2.646750e-06,2.752676e-06,3.470067e-06,3.593591e-06,4.280453e-06,4.700984e-06,5.178472e-06,5.954975e-06,6.156579e-06,7.205468e-06,7.335596e-06,8.314495e-06,8.818567e-06,9.472117e-06,1.037701e-05,1.066629e-05,1.188484e-05,1.198302e-05,1.311580e-05,1.360907e-05,1.434770e-05,1.522916e-05,1.556976e-05,1.677213e-05,1.681969e-05,1.794598e-05,1.836006e-05,1.908359e-05,1.983308e-05,2.017842e-05,2.122509e-05,2.221933e-05,2.252587e-05,2.315797e-05,2.372848e-05,2.403884e-05,2.482896e-05,2.486069e-05,2.562307e-05,2.582590e-05,2.632626e-05,2.672011e-05,2.697116e-05,2.751417e-05,2.755916e-05,2.809209e-05,2.821203e-05,2.857210e-05,2.881868e-05,2.900159e-05,2.933980e-05,2.938315e-05,2.971946e-05,2.978153e-05,3.001327e-05,3.015019e-05,3.026737e-05,3.045212e-05,3.048448e-05,3.066731e-05,3.069355e-05,3.081845e-05,3.088048e-05,3.094041e-05,3.101859e-05,3.103559e-05,3.110627e-05,3.111320e-05,3.115458e-05,3.116927e-05,3.118254e-05,3.119135e-05,3.119204e-05,3.118484e-05,3.118359e-05,3.116256e-05,3.114977e-05,3.112672e-05,3.109330e-05,3.107870e-05,3.101980e-05,3.101723e-05,3.095117e-05,3.092430e-05,3.087391e-05,3.081695e-05,3.078900e-05,3.069735e-05,3.059977e-05,3.056742e-05,3.049703e-05,3.042888e-05,3.038980e-05,3.028321e-05,3.027870e-05,3.016431e-05,3.013175e-05,3.004712e-05,2.997567e-05,2.992761e-05,2.981598e-05,2.980621e-05,2.968328e-05,2.965359e-05,2.955917e-05,2.948928e-05,2.943421e-05,2.932375e-05,2.930866e-05,2.918279e-05,2.915759e-05,2.905682e-05,2.899135e-05,2.893096e-05,2.882547e-05,2.880541e-05,2.868031e-05,2.866035e-05,2.855584e-05,2.849635e-05,2.843211e-05,2.833375e-05,2.830925e-05,2.818737e-05,2.817281e-05,2.806655e-05,2.801376e-05,2.794690e-05,2.785678e-05,2.782848e-05,2.771135e-05,2.770204e-05,2.759558e-05,2.754966e-05,2.748122e-05,2.739977e-05,2.736831e-05,2.725688e-05,2.725246e-05,2.714698e-05,2.710779e-05,2.703862e-05,2.696583e-05,2.693183e-05,2.682663e-05,2.669022e-05,2.655662e-05,2.642585e-05,2.629791e-05,2.617281e-05,2.605053e-05,2.593105e-05,2.581436e-05,2.570044e-05,2.558926e-05,2.548079e-05,2.537498e-05,2.527182e-05,2.517125e-05,2.507324e-05,2.497775e-05,2.488473e-05,2.479414e-05,2.470593e-05,2.462006e-05,2.453649e-05,2.445516e-05,2.437602e-05,2.429904e-05
0.000000e+00,1.819126e-12,9.110369e-12,9.824097e-11,4.670506e-10,9.477123e-10,4.289573e-09,4.527063e-09,1.474189e-08,1.957150e-08,3.773818e-08,6.108731e-08,8.194968e-08,1.504334e-07,1.579690e-07,2.782935e-07,3.152933e-07,4.568846e-07,5.878069e-07,7.083783e-07,1.001249e-06,1.046895e-06,1.484703e-06,1.585061e-06,2.031119e-06,2.360232e-06,2.691882e-06,3.336860e-06,3.468993e-06,4.360910e-06,4.513997e-06,5.362941e-06,5.880962e-06,6.467751e-06,7.419299e-06,7.665877e-06,8.946238e-06,9.104836e-06,1.029661e-05,1.090963e-05,1.170405e-05,1.280373e-05,1.315531e-05,1.463715e-05,1.475663e-05,1.613666e-05,1.673862e-05,1.764150e-05,1.872175e-05,1.914011e-05,2.062189e-05,2.068067e-05,2.207729e-05,2.259312e-05,2.349791e-05,2.444032e-05,2.487651e-05,2.620702e-05,2.748452e-05,2.788146e-05,2.870516e-05,2.945520e-05,2.986615e-05,3.092279e-05,3.096557e-05,3.200238e-05,3.228141e-05,3.297627e-05,3.353052e-05,3.388757e-05,3.467143e-05,3.473715e-05,3.552633e-05,3.570693e-05,3.625681e-05,3.664097e-05,3.693058e-05,3.747832e-05,3.754983e-05,3.811693e-05,3.822431e-05,3.863434e-05,3.888459e-05,3.910458e-05,3.946499e-05,3.953020e-05,3.991371e-05,3.997134e-05,4.025762e-05,4.040935e-05,4.056436e-05,4.078456e-05,4.083626e-05,4.107561e-05,4.110225e-05,4.128457e-05,4.136742e-05,4.146520e-05,4.158476e-05,4.161948e-05,4.174927e-05,4.175864e-05,4.185630e-05,4.189312e-05,4.194224e-05,4.199193e-05,4.200864e-05,4.205694e-05,4.205851e-05,4.208850e-05,4.209601e-05,4.210459e-05,4.210731e-05,4.210641e-05,4.209504e-05,4.207152e-05,4.206159e-05,4.203682e-05,4.200915e-05,4.199181e-05,4.193968e-05,4.193733e-05,4.187415e-05,4.185500e-05,4.180299e-05,4.175674e-05,4.172452e-05,4.164639e-05,4.163934e-05,4.154805e-05,4.152529e-05,4.145117e-05,4.139466e-05,4.134920e-05,4.125562e-05,4.124260e-05,4.113180e-05,4.110917e-05,4.101721e-05,4.095624e-05,4.089918e-05,4.079765e-05,4.077808e-05,4.065421e-05,4.063416e-05,4.052788e-05,4.046645e-05,4.039937e-05,4.029516e-05,4.026893e-05,4.013680e-05,4.012084e-05,4.000321e-05,3.994402e-05,3.986837e-05,3.976517e-05,3.973246e-05,3.959567e-05,3.958470e-05,3.945817e-05,3.940301e-05,3.932012e-05,3.922045e-05,3.918165e-05,3.904290e-05,3.903735e-05,3.890400e-05,3.885399e-05,3.876507e-05,3.867063e-05,3.862621e-05,3.848753e-05,3.830489e-05,3.812292e-05,3.794179e-05,3.776167e-05,3.758269e-05,3.740501e-05,3.722872e-05,3.705395e-05,3.688078e-05,3.670930e-05,3.653958e-05,3.637171e-05,3.620573e-05,3.604169e-05,3.587965e-05,3.571964e-05,3.556169e-05,3.540584e-05,3.525210e-05,3.510050e-05,3.495105e-05,3.480376e-05,3.465864e-05,3.451569e-05
0.000000e+00,1.251726e-10,5.186207e-10,3.876205e-09,1.360026e-08,2.363387e-08,7.431453e-08,7.735683e-08,1.843880e-07,2.265972e-07,3.646220e-07,5.165930e-07,6.391207e-07,9.943263e-07,1.030480e-06,1.561149e-06,1.711326e-06,2.247808e-06,2.702403e-06,3.093836e-06,3.961027e-06,4.087389e-06,5.207587e-06,5.444829e-06,6.432112e-06,7.103338e-06,7.740964e-06,8.892899e-06,9.116915e-06,1.054474e-05,1.077706e-05,1.201048e-05,1.272361e-05,1.350100e-05,1.470293e-05,1.500395e-05,1.650775e-05,1.668775e-05,1.800178e-05,1.865355e-05,1.947645e-05,2.057900e-05,2.092330e-05,2.233509e-05,2.244632e-05,2.370573e-05,2.424133e-05,2.503030e-05,2.595327e-05,2.630496e-05,2.752685e-05,2.757460e-05,2.869398e-05,2.910049e-05,2.980514e-05,3.052846e-05,3.085979e-05,3.185791e-05,3.279997e-05,3.308972e-05,3.368683e-05,3.422597e-05,3.451963e-05,3.526955e-05,3.529976e-05,3.602878e-05,3.622397e-05,3.670838e-05,3.709317e-05,3.734036e-05,3.788130e-05,3.792656e-05,3.846885e-05,3.859267e-05,3.896911e-05,3.923161e-05,3.942924e-05,3.980242e-05,3.985108e-05,4.023645e-05,4.030930e-05,4.058711e-05,4.075632e-05,4.090480e-05,4.114740e-05,4.119118e-05,4.144788e-05,4.148630e-05,4.167645e-05,4.177661e-05,4.187839e-05,4.202173e-05,4.205513e-05,4.220806e-05,4.222488e-05,4.233850e-05,4.238909e-05,4.244770e-05,4.251725e-05,4.253690e-05,4.260722e-05,4.261207e-05,4.265979e-05,4.267608e-05,4.269565e-05,4.271168e-05,4.271580e-05,4.272119e-05,4.272111e-05,4.271273e-05,4.270646e-05,4.269128e-05,4.266970e-05,4.265766e-05,4.261266e-05,4.255701e-05,4.253707e-05,4.249141e-05,4.244452e-05,4.241654e-05,4.233652e-05,4.233302e-05,4.224146e-05,4.221446e-05,4.214242e-05,4.207963e-05,4.203644e-05,4.193326e-05,4.192404e-05,4.180570e-05,4.177647e-05,4.168188e-05,4.161030e-05,4.155300e-05,4.143574e-05,4.141949e-05,4.128172e-05,4.125369e-05,4.114007e-05,4.106499e-05,4.099488e-05,4.087043e-05,4.084648e-05,4.069518e-05,4.067072e-05,4.054127e-05,4.046654e-05,4.038502e-05,4.025852e-05,4.022670e-05,4.006656e-05,4.004723e-05,3.990481e-05,3.983319e-05,3.974169e-05,3.961691e-05,3.957739e-05,3.941210e-05,3.939884e-05,3.924602e-05,3.917940e-05,3.907930e-05,3.895897e-05,3.891212e-05,3.874461e-05,3.873791e-05,3.857693e-05,3.851655e-05,3.840920e-05,3.829518e-05,3.824155e-05,3.807410e-05,3.785354e-05,3.763373e-05,3.741490e-05,3.719724e-05,3.698090e-05,3.676607e-05,3.655288e-05,3.634146e-05,3.613192e-05,3.592438e-05,3.571893e-05,3.551565e-05,3.531461e-05,3.511589e-05,3.491953e-05,3.472558e-05,3.453410e-05,3.434510e-05,3.415863e-05,3.397471e-05,3.379334e-05,3.361456e-05,3.343837e-05,3.326476e-05
0.000000e+00,3.267968e-12,1.640397e-11,1.777577e-10,8.490797e-10,1.727631e-09,7.880580e-09,8.319717e-09,2.733934e-08,3.639618e-08,7.071107e-08,1.152345e-07,1.553088e-07,2.881458e-07,3.028487e-07,5.388331e-07,6.116465e-07,8.904031e-07,1.147648e-06,1.383775e-06,1.953709e-06,2.042076e-06,2.883906e-06,3.075565e-06,3.922581e-06,4.543281e-06,5.165855e-06,6.370114e-06,6.615966e-06,8.269878e-06,8.552952e-06,1.011966e-05,1.107366e-05,1.215297e-05,1.390098e-05,1.435361e-05,1.670219e-05,1.699294e-05,1.917680e-05,2.029949e-05,2.175373e-05,2.376540e-05,2.440820e-05,2.711509e-05,2.733315e-05,2.984953e-05,3.094562e-05,3.258756e-05,3.454840e-05,3.530656e-05,3.798569e-05,3.809175e-05,4.060616e-05,4.153192e-05,4.315145e-05,4.483199e-05,4.560742e-05,4.796230e-05,5.020666e-05,5.090028e-05,5.233333e-05,5.363021e-05,5.433723e-05,5.614250e-05,5.621517e-05,5.796571e-05,5.843300e-05,5.958888e-05,6.050216e-05,6.108604e-05,6.235421e-05,6.245962e-05,6.371295e-05,6.399630e-05,6.485010e-05,6.543785e-05,6.587566e-05,6.668983e-05,6.679466e-05,6.761238e-05,6.776426e-05,6.833431e-05,6.867368e-05,6.896596e-05,6.943084e-05,6.951288e-05,6.998054e-05,7.004836e-05,7.037427e-05,7.053853e-05,7.069925e-05,7.091311e-05,7.096049e-05,7.116277e-05,7.118330e-05,7.131062e-05,7.135955e-05,7.140836e-05,7.145164e-05,7.146006e-05,7.146955e-05,7.146860e-05,7.144044e-05,7.141874e-05,7.137608e-05,7.130969e-05,7.127961e-05,7.115397e-05,7.114837e-05,7.100186e-05,7.094111e-05,7.082580e-05,7.069361e-05,7.062815e-05,7.041105e-05,7.017651e-05,7.009808e-05,6.992639e-05,6.975891e-05,6.966237e-05,6.939731e-05,6.938603e-05,6.909883e-05,6.901665e-05,6.880209e-05,6.861998e-05,6.849703e-05,6.821001e-05,6.818479e-05,6.786639e-05,6.778917e-05,6.754279e-05,6.735963e-05,6.721486e-05,6.692334e-05,6.688340e-05,6.654914e-05,6.648201e-05,6.621274e-05,6.603718e-05,6.587484e-05,6.559023e-05,6.553597e-05,6.519666e-05,6.514236e-05,6.485737e-05,6.469465e-05,6.451853e-05,6.424804e-05,6.418052e-05,6.384370e-05,6.380338e-05,6.350839e-05,6.336140e-05,6.317487e-05,6.292276e-05,6.284341e-05,6.251424e-05,6.248802e-05,6.218759e-05,6.205767e-05,6.186364e-05,6.163216e-05,6.154256e-05,6.122451e-05,6.121185e-05,6.090962e-05,6.079706e-05,6.059801e-05,6.038806e-05,6.028980e-05,5.998508e-05,5.958831e-05,5.919792e-05,5.881403e-05,5.843674e-05,5.806612e-05,5.770222e-05,5.734508e-05,5.699472e-05,5.665113e-05,5.631431e-05,5.598422e-05,5.566082e-05,5.534408e-05,5.503394e-05,5.473033e-05,5.443318e-05,5.414241e-05,5.385796e-05,5.357972e-05,5.330761e-05,5.304154e-05,5.278141e-05,5.252713e-05,5.227860e-05
0.000000e+00,2.811586e-09,6.908580e-09,2.578077e-08,6.171467e-08,9.245579e-08,2.263822e-07,2.340072e-07,4.970623e-07,6.005059e-07,9.386639e-07,1.303483e-06,1.586897e-06,2.345801e-06,2.418085e-06,3.394580e-06,3.647387e-06,4.490180e-06,5.149568e-06,5.688997e-06,6.820571e-06,6.980052e-06,8.353902e-06,8.637782e-06,9.801053e-06,1.057921e-05,1.131139e-05,1.262101e-05,1.287410e-05,1.447795e-05,1.473762e-05,1.611153e-05,1.690290e-05,1.776364e-05,1.909144e-05,1.942356e-05,2.108132e-05,2.127966e-05,2.272783e-05,2.344661e-05,2.435502e-05,2.557440e-05,2.595586e-05,2.752437e-05,2.764830e-05,2.905560e-05,2.965671e-05,3.054550e-05,3.159081e-05,3.199088e-05,3.338935e-05,3.344428e-05,3.473913e-05,3.521290e-05,3.603907e-05,3.689420e-05,3.728849e-05,3.848713e-05,3.963507e-05,3.999176e-05,4.073269e-05,4.140905e-05,4.178062e-05,4.274062e-05,4.277965e-05,4.373072e-05,4.398857e-05,4.463489e-05,4.515535e-05,4.549331e-05,4.624369e-05,4.630720e-05,4.707781e-05,4.725646e-05,4.780645e-05,4.819664e-05,4.849442e-05,4.906725e-05,4.914305e-05,4.975366e-05,4.987134e-05,5.032757e-05,5.061192e-05,5.086607e-05,5.129199e-05,5.137045e-05,5.184197e-05,5.191444e-05,5.228187e-05,5.248215e-05,5.269137e-05,5.299789e-05,5.307166e-05,5.342390e-05,5.346433e-05,5.374920e-05,5.388409e-05,5.404868e-05,5.425967e-05,5.432340e-05,5.457439e-05,5.459347e-05,5.480266e-05,5.488783e-05,5.500919e-05,5.514496e-05,5.519492e-05,5.536076e-05,5.536699e-05,5.550759e-05,5.555597e-05,5.563628e-05,5.571384e-05,5.574764e-05,5.584247e-05,5.592154e-05,5.594364e-05,5.598560e-05,5.601904e-05,5.603535e-05,5.607029e-05,5.607149e-05,5.609467e-05,5.609893e-05,5.610554e-05,5.610641e-05,5.610472e-05,5.609414e-05,5.609279e-05,5.607032e-05,5.606342e-05,5.603786e-05,5.601552e-05,5.599594e-05,5.595162e-05,5.594505e-05,5.588570e-05,5.587285e-05,5.581834e-05,5.578029e-05,5.574341e-05,5.567495e-05,5.566136e-05,5.557259e-05,5.555779e-05,5.547749e-05,5.542971e-05,5.537645e-05,5.529158e-05,5.526983e-05,5.515797e-05,5.514421e-05,5.504121e-05,5.498837e-05,5.491987e-05,5.482478e-05,5.479425e-05,5.466465e-05,5.465412e-05,5.453134e-05,5.447704e-05,5.439460e-05,5.429416e-05,5.425467e-05,5.411181e-05,5.410603e-05,5.396624e-05,5.391322e-05,5.381819e-05,5.371621e-05,5.366788e-05,5.351550e-05,5.331152e-05,5.310471e-05,5.289546e-05,5.268415e-05,5.247111e-05,5.225668e-05,5.204117e-05,5.182486e-05,5.160802e-05,5.139089e-05,5.117372e-05,5.095672e-05,5.074009e-05,5.052401e-05,5.030868e-05,5.009424e-05,4.988084e-05,4.966863e-05,4.945773e-05,4.924826e-05,4.904033e-05,4.883404e-05,4.862947e-05,4.842672e-05
0.000000e+00,3.213334e-09,7.485034e-09,2.642416e-08,6.178392e-08,9.189128e-08,2.234211e-07,2.309428e-07,4.924293e-07,5.960220e-07,9.358419e-07,1.302221e-06,1.585578e-06,2.336420e-06,2.407290e-06,3.353806e-06,3.595697e-06,4.393543e-06,5.009303e-06,5.508019e-06,6.540919e-06,6.685153e-06,7.915252e-06,8.166821e-06,9.189132e-06,9.865751e-06,1.049741e-05,1.161587e-05,1.183041e-05,1.317827e-05,1.339465e-05,1.453125e-05,1.517973e-05,1.587999e-05,1.695004e-05,1.721577e-05,1.853068e-05,1.868673e-05,1.981778e-05,2.037370e-05,2.107106e-05,2.199788e-05,2.228562e-05,2.345755e-05,2.354937e-05,2.458384e-05,2.502106e-05,2.566230e-05,2.640836e-05,2.669151e-05,2.767071e-05,2.770883e-05,2.859967e-05,2.892181e-05,2.947851e-05,3.004778e-05,3.030783e-05,3.108850e-05,3.182164e-05,3.204641e-05,3.250856e-05,3.292460e-05,3.315071e-05,3.372648e-05,3.374962e-05,3.430688e-05,3.445567e-05,3.482413e-05,3.511596e-05,3.530302e-05,3.571116e-05,3.574523e-05,3.615238e-05,3.624507e-05,3.652611e-05,3.672138e-05,3.686799e-05,3.714374e-05,3.717958e-05,3.746237e-05,3.751561e-05,3.771784e-05,3.784035e-05,3.794738e-05,3.812115e-05,3.815235e-05,3.833406e-05,3.836107e-05,3.849378e-05,3.856298e-05,3.863269e-05,3.872962e-05,3.875195e-05,3.885268e-05,3.886358e-05,3.893593e-05,3.896728e-05,3.900271e-05,3.904303e-05,3.905397e-05,3.909065e-05,3.909299e-05,3.911362e-05,3.911916e-05,3.912372e-05,3.912346e-05,3.912173e-05,3.910842e-05,3.910766e-05,3.908451e-05,3.907344e-05,3.905068e-05,3.902234e-05,3.900758e-05,3.895584e-05,3.889603e-05,3.887528e-05,3.882872e-05,3.878195e-05,3.875443e-05,3.867702e-05,3.867367e-05,3.858691e-05,3.856160e-05,3.849460e-05,3.843673e-05,3.839716e-05,3.830335e-05,3.829501e-05,3.818853e-05,3.816237e-05,3.807807e-05,3.801460e-05,3.796398e-05,3.786083e-05,3.784658e-05,3.772618e-05,3.770176e-05,3.760306e-05,3.753806e-05,3.747750e-05,3.737034e-05,3.734976e-05,3.722008e-05,3.719916e-05,3.708869e-05,3.702507e-05,3.695580e-05,3.684854e-05,3.682161e-05,3.668633e-05,3.667003e-05,3.655012e-05,3.648995e-05,3.641317e-05,3.630868e-05,3.627562e-05,3.613762e-05,3.612657e-05,3.599933e-05,3.594395e-05,3.586086e-05,3.576112e-05,3.572234e-05,3.558389e-05,3.557835e-05,3.544561e-05,3.539590e-05,3.530761e-05,3.521398e-05,3.516998e-05,3.503281e-05,3.485258e-05,3.467346e-05,3.449562e-05,3.431919e-05,3.414430e-05,3.397107e-05,3.379960e-05,3.362998e-05,3.346230e-05,3.329663e-05,3.313304e-05,3.297157e-05,3.281227e-05,3.265520e-05,3.250037e-05,3.234783e-05,3.219758e-05,3.204966e-05,3.190407e-05,3.176083e-05,3.161993e-05,3.148138e-05,3.134517e-05,3.121130e-05
0.000000e+00,8.113206e-11,3.626566e-10,3.119183e-09,1.220793e-08,2.236973e-08,7.904499e-08,8.262561e-08,2.155001e-07,2.704112e-07,4.558407e-07,6.669254e-07,8.406449e-07,1.356047e-06,1.409270e-06,2.203100e-06,2.431708e-06,3.262320e-06,3.983736e-06,4.618259e-06,6.068025e-06,6.284222e-06,8.251821e-06,8.679502e-06,1.049563e-05,1.176046e-05,1.298181e-05,1.523160e-05,1.567501e-05,1.854187e-05,1.901460e-05,2.155185e-05,2.303915e-05,2.467688e-05,2.724208e-05,2.789076e-05,3.116876e-05,3.156530e-05,3.448745e-05,3.595482e-05,3.782474e-05,4.036078e-05,4.116002e-05,4.447431e-05,4.473801e-05,4.775042e-05,4.904669e-05,5.097309e-05,5.325275e-05,5.412896e-05,5.720664e-05,5.732798e-05,6.019658e-05,6.124994e-05,6.309103e-05,6.500153e-05,6.588387e-05,6.857049e-05,7.114760e-05,7.194878e-05,7.361310e-05,7.513191e-05,7.596590e-05,7.811837e-05,7.820580e-05,8.033338e-05,8.090911e-05,8.234980e-05,8.350699e-05,8.425677e-05,8.591635e-05,8.605643e-05,8.775126e-05,8.814271e-05,8.934398e-05,9.019239e-05,9.083752e-05,9.207226e-05,9.223499e-05,9.353959e-05,9.378965e-05,9.475458e-05,9.535205e-05,9.588326e-05,9.676707e-05,9.692893e-05,9.789488e-05,9.804224e-05,9.878433e-05,9.918504e-05,9.960050e-05,1.002028e-04,1.003465e-04,1.010255e-04,1.011026e-04,1.016404e-04,1.018914e-04,1.021942e-04,1.025759e-04,1.026897e-04,1.031296e-04,1.031625e-04,1.035166e-04,1.036572e-04,1.038534e-04,1.040661e-04,1.041423e-04,1.043858e-04,1.043947e-04,1.045863e-04,1.046483e-04,1.047459e-04,1.048322e-04,1.048668e-04,1.049511e-04,1.050008e-04,1.050097e-04,1.050177e-04,1.050122e-04,1.050037e-04,1.049629e-04,1.049606e-04,1.048901e-04,1.048656e-04,1.047936e-04,1.047240e-04,1.046729e-04,1.045417e-04,1.045294e-04,1.043645e-04,1.043218e-04,1.041795e-04,1.040676e-04,1.039757e-04,1.037819e-04,1.037544e-04,1.035168e-04,1.034674e-04,1.032639e-04,1.031267e-04,1.029969e-04,1.027624e-04,1.027167e-04,1.024244e-04,1.023765e-04,1.021208e-04,1.019714e-04,1.018069e-04,1.015489e-04,1.014835e-04,1.011513e-04,1.011109e-04,1.008113e-04,1.006593e-04,1.004640e-04,1.001956e-04,1.001101e-04,9.975041e-05,9.972140e-05,9.938542e-05,9.923808e-05,9.901575e-05,9.874700e-05,9.864195e-05,9.826456e-05,9.824939e-05,9.788406e-05,9.774642e-05,9.750095e-05,9.723915e-05,9.711565e-05,9.672859e-05,9.621566e-05,9.570121e-05,9.518605e-05,9.467089e-05,9.415642e-05,9.364327e-05,9.313200e-05,9.262315e-05,9.211718e-05,9.161455e-05,9.111566e-05,9.062086e-05,9.013049e-05,8.964486e-05,8.916422e-05,8.868882e-05,8.821888e-05,8.775458e-05,8.729609e-05,8.684356e-05,8.639712e-05,8.595688e-05,8.552292e-05,8.509533e-05
0.000000e+00,2.617440e-11,1.177362e-10,1.023600e-09,4.034771e-09,7.414081e-09,2.629530e-08,2.748762e-08,7.158359e-08,8.971136e-08,1.505202e-07,2.190348e-07,2.749109e-07,4.383372e-07,4.550336e-07,7.007028e-07,7.704172e-07,1.020488e-06,1.234155e-06,1.419770e-06,1.836869e-06,1.898312e-06,2.449406e-06,2.567371e-06,3.061566e-06,3.399582e-06,3.721403e-06,4.302922e-06,4.415861e-06,5.133256e-06,5.249471e-06,5.863455e-06,6.215874e-06,6.597673e-06,7.182755e-06,7.328242e-06,8.048453e-06,8.133897e-06,8.752477e-06,9.055806e-06,9.435337e-06,9.937585e-06,1.009290e-05,1.072189e-05,1.077089e-05,1.131980e-05,1.154985e-05,1.188491e-05,1.227088e-05,1.241620e-05,1.291323e-05,1.293240e-05,1.337613e-05,1.353450e-05,1.380543e-05,1.407861e-05,1.420203e-05,1.456713e-05,1.490208e-05,1.500315e-05,1.520842e-05,1.539019e-05,1.548774e-05,1.573199e-05,1.574169e-05,1.597191e-05,1.603234e-05,1.618002e-05,1.629494e-05,1.636761e-05,1.652337e-05,1.653619e-05,1.668721e-05,1.672099e-05,1.682201e-05,1.689091e-05,1.694190e-05,1.703600e-05,1.704805e-05,1.714159e-05,1.715888e-05,1.722354e-05,1.726190e-05,1.729486e-05,1.734719e-05,1.735642e-05,1.740903e-05,1.741666e-05,1.745342e-05,1.747202e-05,1.749029e-05,1.751479e-05,1.752025e-05,1.754388e-05,1.754632e-05,1.756170e-05,1.756782e-05,1.757418e-05,1.758037e-05,1.758177e-05,1.758486e-05,1.758493e-05,1.758383e-05,1.758235e-05,1.757902e-05,1.757338e-05,1.757073e-05,1.755925e-05,1.755873e-05,1.754484e-05,1.753898e-05,1.752773e-05,1.751468e-05,1.750817e-05,1.748633e-05,1.746243e-05,1.745437e-05,1.743662e-05,1.741917e-05,1.740906e-05,1.738111e-05,1.737992e-05,1.734932e-05,1.734051e-05,1.731739e-05,1.729765e-05,1.728425e-05,1.725279e-05,1.725001e-05,1.721477e-05,1.720618e-05,1.717863e-05,1.715803e-05,1.714167e-05,1.710854e-05,1.710398e-05,1.706563e-05,1.705789e-05,1.702670e-05,1.700624e-05,1.698724e-05,1.695374e-05,1.694733e-05,1.690702e-05,1.690054e-05,1.686636e-05,1.684674e-05,1.682541e-05,1.679248e-05,1.678422e-05,1.674282e-05,1.673784e-05,1.670127e-05,1.668294e-05,1.665959e-05,1.662785e-05,1.661782e-05,1.657601e-05,1.657266e-05,1.653417e-05,1.651744e-05,1.649235e-05,1.646226e-05,1.645056e-05,1.640884e-05,1.640718e-05,1.636721e-05,1.635225e-05,1.632569e-05,1.629754e-05,1.628431e-05,1.624308e-05,1.618891e-05,1.613509e-05,1.608165e-05,1.602861e-05,1.597601e-05,1.592387e-05,1.587222e-05,1.582109e-05,1.577048e-05,1.572042e-05,1.567093e-05,1.562202e-05,1.557369e-05,1.552597e-05,1.547886e-05,1.543237e-05,1.538650e-05,1.534127e-05,1.529667e-05,1.525271e-05,1.520939e-05,1.516672e-05,1.512469e-05,1.508330e-05
0.000000e+00,1.127965e-09,2.900791e-09,1.122147e-08,2.684645e-08,3.984175e-08,9.277503e-08,9.563235e-08,1.868674e-07,2.198928e-07,3.218545e-07,4.273340e-07,5.089456e-07,7.337595e-07,7.558656e-07,1.067953e-06,1.152706e-06,1.445162e-06,1.682175e-06,1.879453e-06,2.297203e-06,2.356081e-06,2.858753e-06,2.961146e-06,3.373814e-06,3.643067e-06,3.891170e-06,4.322138e-06,4.403545e-06,4.905597e-06,4.984684e-06,5.393317e-06,5.621414e-06,5.863693e-06,6.226005e-06,6.314526e-06,6.744296e-06,6.794403e-06,7.152066e-06,7.324385e-06,7.537393e-06,7.815198e-06,7.900243e-06,8.240908e-06,8.267218e-06,8.559936e-06,8.681650e-06,8.858065e-06,9.060262e-06,9.136166e-06,9.395197e-06,9.405176e-06,9.636168e-06,9.718693e-06,9.860104e-06,1.000318e-05,1.006803e-05,1.026096e-05,1.043985e-05,1.049428e-05,1.060563e-05,1.070526e-05,1.075918e-05,1.089586e-05,1.090134e-05,1.103288e-05,1.106791e-05,1.115454e-05,1.122307e-05,1.126699e-05,1.136288e-05,1.137089e-05,1.146681e-05,1.148871e-05,1.155531e-05,1.160183e-05,1.163691e-05,1.170338e-05,1.171208e-05,1.178125e-05,1.179440e-05,1.184483e-05,1.187580e-05,1.190318e-05,1.194841e-05,1.195666e-05,1.200557e-05,1.201300e-05,1.205023e-05,1.207023e-05,1.209090e-05,1.212073e-05,1.212783e-05,1.216127e-05,1.216506e-05,1.219143e-05,1.220371e-05,1.221851e-05,1.223716e-05,1.224271e-05,1.226420e-05,1.226581e-05,1.228315e-05,1.229005e-05,1.229970e-05,1.231022e-05,1.231400e-05,1.232619e-05,1.232663e-05,1.233638e-05,1.233958e-05,1.234469e-05,1.234933e-05,1.235124e-05,1.235612e-05,1.235944e-05,1.236018e-05,1.236127e-05,1.236170e-05,1.236171e-05,1.236089e-05,1.236083e-05,1.235871e-05,1.235790e-05,1.235541e-05,1.235290e-05,1.235102e-05,1.234605e-05,1.234558e-05,1.233915e-05,1.233747e-05,1.233180e-05,1.232729e-05,1.232357e-05,1.231564e-05,1.231451e-05,1.230468e-05,1.230262e-05,1.229411e-05,1.228834e-05,1.228285e-05,1.227288e-05,1.227093e-05,1.225840e-05,1.225634e-05,1.224530e-05,1.223881e-05,1.223165e-05,1.222036e-05,1.221749e-05,1.220285e-05,1.220106e-05,1.218775e-05,1.218098e-05,1.217224e-05,1.216018e-05,1.215633e-05,1.214005e-05,1.213873e-05,1.212342e-05,1.211668e-05,1.210648e-05,1.209408e-05,1.208923e-05,1.207170e-05,1.207099e-05,1.205391e-05,1.204744e-05,1.203588e-05,1.202349e-05,1.201763e-05,1.199917e-05,1.197452e-05,1.194958e-05,1.192438e-05,1.189896e-05,1.187334e-05,1.184756e-05,1.182163e-05,1.179560e-05,1.176947e-05,1.174327e-05,1.171703e-05,1.169076e-05,1.166449e-05,1.163822e-05,1.161198e-05,1.158578e-05,1.155964e-05,1.153356e-05,1.150758e-05,1.148168e-05,1.145590e-05,1.143023e-05,1.140468e-05,1.137928e-05
0.000000e+00,4.987542e-13,2.510647e-12,2.735844e-11,1.312902e-10,2.677605e-10,1.227598e-09,1.296228e-09,4.273222e-09,5.691692e-09,1.106319e-08,1.802126e-08,2.427296e-08,4.494645e-08,4.723211e-08,8.393736e-08,9.529010e-08,1.389692e-07,1.796562e-07,2.173646e-07,3.098712e-07,3.244026e-07,4.652590e-07,4.979097e-07,6.445411e-07,7.541853e-07,8.657948e-07,1.085660e-06,1.131110e-06,1.440910e-06,1.494546e-06,1.793950e-06,1.978006e-06,2.187460e-06,2.528736e-06,2.617414e-06,3.078829e-06,3.136050e-06,3.566079e-06,3.787119e-06,4.073186e-06,4.468124e-06,4.594070e-06,5.122757e-06,5.165215e-06,5.653541e-06,5.865238e-06,6.181113e-06,6.556243e-06,6.700642e-06,7.207836e-06,7.227813e-06,7.698974e-06,7.871230e-06,8.170914e-06,8.479535e-06,8.621089e-06,9.047483e-06,9.448602e-06,9.571444e-06,9.823435e-06,1.004925e-05,1.017141e-05,1.048002e-05,1.049234e-05,1.078638e-05,1.086395e-05,1.105399e-05,1.120215e-05,1.129586e-05,1.149640e-05,1.151287e-05,1.170607e-05,1.174902e-05,1.187662e-05,1.196270e-05,1.202577e-05,1.214035e-05,1.215481e-05,1.226506e-05,1.228497e-05,1.235783e-05,1.239959e-05,1.243442e-05,1.248719e-05,1.249611e-05,1.254412e-05,1.255061e-05,1.257961e-05,1.259253e-05,1.260370e-05,1.261546e-05,1.261743e-05,1.262178e-05,1.262172e-05,1.261766e-05,1.261339e-05,1.260592e-05,1.259238e-05,1.258734e-05,1.256263e-05,1.256041e-05,1.253245e-05,1.251899e-05,1.249741e-05,1.246947e-05,1.245804e-05,1.241485e-05,1.241305e-05,1.236828e-05,1.235077e-05,1.231875e-05,1.228356e-05,1.226662e-05,1.221222e-05,1.215586e-05,1.213745e-05,1.209780e-05,1.205987e-05,1.203829e-05,1.198000e-05,1.197755e-05,1.191577e-05,1.189831e-05,1.185314e-05,1.181521e-05,1.178981e-05,1.173105e-05,1.172592e-05,1.166161e-05,1.164613e-05,1.159699e-05,1.156071e-05,1.153217e-05,1.147504e-05,1.146724e-05,1.140229e-05,1.138930e-05,1.133739e-05,1.130369e-05,1.127261e-05,1.121834e-05,1.120802e-05,1.114367e-05,1.113340e-05,1.107961e-05,1.104898e-05,1.101589e-05,1.096518e-05,1.095254e-05,1.088961e-05,1.088209e-05,1.082712e-05,1.079978e-05,1.076512e-05,1.071832e-05,1.070361e-05,1.064263e-05,1.063778e-05,1.058220e-05,1.055819e-05,1.052234e-05,1.047960e-05,1.046306e-05,1.040438e-05,1.040204e-05,1.034630e-05,1.032555e-05,1.028885e-05,1.025015e-05,1.023203e-05,1.017586e-05,1.010269e-05,1.003066e-05,9.959782e-06,9.890058e-06,9.821493e-06,9.754089e-06,9.687844e-06,9.622757e-06,9.558823e-06,9.496038e-06,9.434393e-06,9.373881e-06,9.314492e-06,9.256217e-06,9.199043e-06,9.142960e-06,9.087954e-06,9.034013e-06,8.981122e-06,8.929268e-06,8.878436e-06,8.828612e-06,8.779780e-06,8.731925e-06
0.000000e+00,5.839918e-09,1.349616e-08,4.684360e-08,1.069790e-07,1.562630e-07,3.550756e-07,3.657714e-07,7.069476e-07,8.304818e-07,1.212427e-06,1.608625e-06,1.915990e-06,2.766561e-06,2.850516e-06,4.042251e-06,4.368105e-06,5.500638e-06,6.428620e-06,7.208689e-06,8.885669e-06,9.124912e-06,1.119805e-05,1.162720e-05,1.338081e-05,1.454603e-05,1.563463e-05,1.756009e-05,1.792878e-05,2.023831e-05,2.060783e-05,2.254248e-05,2.364136e-05,2.482389e-05,2.662274e-05,2.706795e-05,2.926259e-05,2.952215e-05,3.139806e-05,3.231687e-05,3.346666e-05,3.499044e-05,3.546258e-05,3.738161e-05,3.753172e-05,3.922099e-05,3.993405e-05,4.097911e-05,4.219423e-05,4.265531e-05,4.424980e-05,4.431189e-05,4.576340e-05,4.628874e-05,4.719743e-05,4.812799e-05,4.855362e-05,4.983401e-05,5.104086e-05,5.141191e-05,5.217657e-05,5.286726e-05,5.324368e-05,5.420597e-05,5.424478e-05,5.518254e-05,5.543411e-05,5.605954e-05,5.655765e-05,5.687836e-05,5.758248e-05,5.764154e-05,5.835159e-05,5.851437e-05,5.901094e-05,5.935891e-05,5.962196e-05,6.012149e-05,6.018693e-05,6.070807e-05,6.080723e-05,6.118753e-05,6.142107e-05,6.162738e-05,6.196772e-05,6.202963e-05,6.239618e-05,6.245164e-05,6.272887e-05,6.287707e-05,6.302949e-05,6.324802e-05,6.329971e-05,6.354118e-05,6.356830e-05,6.375544e-05,6.384148e-05,6.394398e-05,6.407095e-05,6.410823e-05,6.424954e-05,6.425989e-05,6.436921e-05,6.441130e-05,6.446848e-05,6.452800e-05,6.454855e-05,6.461052e-05,6.461264e-05,6.465548e-05,6.466771e-05,6.468446e-05,6.469554e-05,6.469843e-05,6.469832e-05,6.468500e-05,6.467810e-05,6.465934e-05,6.463680e-05,6.462212e-05,6.457622e-05,6.457410e-05,6.451601e-05,6.449803e-05,6.444853e-05,6.440382e-05,6.437233e-05,6.429503e-05,6.428800e-05,6.419615e-05,6.417305e-05,6.409734e-05,6.403915e-05,6.399208e-05,6.389452e-05,6.388088e-05,6.376421e-05,6.374026e-05,6.364253e-05,6.357742e-05,6.351627e-05,6.340695e-05,6.338581e-05,6.325155e-05,6.322974e-05,6.311385e-05,6.304663e-05,6.297304e-05,6.285838e-05,6.282945e-05,6.268339e-05,6.266570e-05,6.253513e-05,6.246927e-05,6.238495e-05,6.226969e-05,6.223311e-05,6.207985e-05,6.206753e-05,6.192538e-05,6.186331e-05,6.176994e-05,6.165752e-05,6.161371e-05,6.145689e-05,6.145061e-05,6.129965e-05,6.124297e-05,6.114216e-05,6.103500e-05,6.098457e-05,6.082704e-05,6.061940e-05,6.041238e-05,6.020625e-05,6.000125e-05,5.979759e-05,5.959549e-05,5.939512e-05,5.919665e-05,5.900022e-05,5.880598e-05,5.861402e-05,5.842447e-05,5.823741e-05,5.805292e-05,5.787107e-05,5.769193e-05,5.751555e-05,5.734196e-05,5.717121e-05,5.700332e-05,5.683832e-05,5.667621e-05,5.651702e-05,5.636074e-05
0.000000e+00,6.154254e-12,3.164028e-11,3.604398e-10,1.802479e-09,3.761298e-09,1.831345e-08,1.938520e-08,6.792732e-08,9.200674e-08,1.866080e-07,3.147174e-07,4.336675e-07,8.452824e-07,8.921697e-07,1.673023e-06,1.923383e-06,2.916885e-06,3.878043e-06,4.794141e-06,7.126119e-06,7.501975e-06,1.125846e-05,1.215580e-05,1.629463e-05,1.949738e-05,2.284589e-05,2.968945e-05,3.114373e-05,4.140828e-05,4.324695e-05,5.384198e-05,6.063432e-05,6.862426e-05,8.224439e-05,8.590740e-05,1.058133e-04,1.083829e-04,1.284313e-04,1.392580e-04,1.538169e-04,1.749752e-04,1.819912e-04,2.129414e-04,2.155362e-04,2.466217e-04,2.608420e-04,2.829552e-04,3.106996e-04,3.218357e-04,3.631312e-04,3.648311e-04,4.066860e-04,4.228855e-04,4.523247e-04,4.844519e-04,4.998552e-04,5.490726e-04,5.997621e-04,6.162578e-04,6.517029e-04,6.854982e-04,7.046709e-04,7.562782e-04,7.584417e-04,8.127936e-04,8.280865e-04,8.675095e-04,9.004261e-04,9.223794e-04,9.728223e-04,9.772018e-04,1.031785e-03,1.044830e-03,1.085950e-03,1.116036e-03,1.139528e-03,1.186067e-03,1.192363e-03,1.244315e-03,1.254587e-03,1.295253e-03,1.321302e-03,1.345063e-03,1.385955e-03,1.393641e-03,1.440899e-03,1.448332e-03,1.486759e-03,1.508255e-03,1.531155e-03,1.565581e-03,1.574033e-03,1.615350e-03,1.620201e-03,1.655071e-03,1.672037e-03,1.693173e-03,1.721037e-03,1.729639e-03,1.764462e-03,1.767177e-03,1.797640e-03,1.810452e-03,1.829179e-03,1.850878e-03,1.859090e-03,1.887390e-03,1.888489e-03,1.914100e-03,1.923332e-03,1.939246e-03,1.955465e-03,1.962855e-03,1.984960e-03,2.005595e-03,2.011893e-03,2.024796e-03,2.036351e-03,2.042603e-03,2.058422e-03,2.059055e-03,2.074192e-03,2.078200e-03,2.088057e-03,2.095782e-03,2.100691e-03,2.111266e-03,2.112139e-03,2.122441e-03,2.124748e-03,2.131642e-03,2.136329e-03,2.139783e-03,2.146105e-03,2.146907e-03,2.153056e-03,2.154172e-03,2.158270e-03,2.160626e-03,2.162591e-03,2.165558e-03,2.166057e-03,2.168708e-03,2.169059e-03,2.170581e-03,2.171215e-03,2.171714e-03,2.172112e-03,2.172143e-03,2.171902e-03,2.171830e-03,2.171027e-03,2.170449e-03,2.169549e-03,2.168042e-03,2.167500e-03,2.164913e-03,2.164684e-03,2.161817e-03,2.160442e-03,2.158240e-03,2.155383e-03,2.154211e-03,2.149756e-03,2.149570e-03,2.144902e-03,2.143062e-03,2.139673e-03,2.135916e-03,2.134093e-03,2.128186e-03,2.119923e-03,2.111176e-03,2.101991e-03,2.092409e-03,2.082474e-03,2.072221e-03,2.061689e-03,2.050910e-03,2.039916e-03,2.028738e-03,2.017403e-03,2.005938e-03,1.994366e-03,1.982711e-03,1.970994e-03,1.959235e-03,1.947451e-03,1.935661e-03,1.923880e-03,1.912122e-03,1.900401e-03,1.888729e-03,1.877118e-03,1.865579e-03
0.000000e+00,7.924190e-09,1.833553e-08,6.389383e-08,1.467232e-07,2.151603e-07,4.956130e-07,5.108841e-07,1.006731e-06,1.190128e-06,1.768720e-06,2.385560e-06,2.874534e-06,4.268674e-06,4.409187e-06,6.449815e-06,7.020601e-06,9.037198e-06,1.071951e-05,1.214952e-05,1.526079e-05,1.570806e-05,1.961300e-05,2.042730e-05,2.377432e-05,2.601534e-05,2.812137e-05,3.187661e-05,3.260023e-05,3.716829e-05,3.790501e-05,4.178998e-05,4.401818e-05,4.643422e-05,5.014700e-05,5.107311e-05,5.568137e-05,5.623119e-05,6.023616e-05,6.221797e-05,6.471705e-05,6.806196e-05,6.910608e-05,7.338777e-05,7.372526e-05,7.754906e-05,7.917738e-05,8.157923e-05,8.439489e-05,8.546976e-05,8.921421e-05,8.936088e-05,9.280789e-05,9.406407e-05,9.624770e-05,9.849798e-05,9.953200e-05,1.026604e-04,1.056336e-04,1.065524e-04,1.084529e-04,1.101774e-04,1.111205e-04,1.135412e-04,1.136392e-04,1.160122e-04,1.166511e-04,1.182432e-04,1.195152e-04,1.203360e-04,1.221428e-04,1.222947e-04,1.241235e-04,1.245435e-04,1.258267e-04,1.267274e-04,1.274089e-04,1.287045e-04,1.288744e-04,1.302275e-04,1.304850e-04,1.314726e-04,1.320787e-04,1.326139e-04,1.334954e-04,1.336556e-04,1.346019e-04,1.347447e-04,1.354567e-04,1.358357e-04,1.362240e-04,1.367774e-04,1.369076e-04,1.375112e-04,1.375785e-04,1.380385e-04,1.382472e-04,1.384929e-04,1.387916e-04,1.388778e-04,1.391964e-04,1.392192e-04,1.394521e-04,1.395373e-04,1.396477e-04,1.397530e-04,1.397862e-04,1.398706e-04,1.398729e-04,1.399035e-04,1.399033e-04,1.398876e-04,1.398502e-04,1.398254e-04,1.397194e-04,1.395719e-04,1.395163e-04,1.393852e-04,1.392461e-04,1.391614e-04,1.389136e-04,1.389026e-04,1.386108e-04,1.385235e-04,1.382880e-04,1.380801e-04,1.379359e-04,1.375877e-04,1.375564e-04,1.371511e-04,1.370502e-04,1.367217e-04,1.364712e-04,1.362696e-04,1.358542e-04,1.357964e-04,1.353034e-04,1.352026e-04,1.347921e-04,1.345194e-04,1.342637e-04,1.338076e-04,1.337195e-04,1.331607e-04,1.330699e-04,1.325882e-04,1.323090e-04,1.320034e-04,1.315272e-04,1.314071e-04,1.308003e-04,1.307269e-04,1.301840e-04,1.299101e-04,1.295591e-04,1.290789e-04,1.289264e-04,1.282867e-04,1.282353e-04,1.276408e-04,1.273809e-04,1.269894e-04,1.265174e-04,1.263332e-04,1.256728e-04,1.256463e-04,1.250089e-04,1.247692e-04,1.243421e-04,1.238873e-04,1.236729e-04,1.230019e-04,1.221142e-04,1.212252e-04,1.203361e-04,1.194476e-04,1.185607e-04,1.176761e-04,1.167947e-04,1.159171e-04,1.150439e-04,1.141758e-04,1.133132e-04,1.124566e-04,1.116065e-04,1.107633e-04,1.099274e-04,1.090990e-04,1.082785e-04,1.074661e-04,1.066621e-04,1.058668e-04,1.050801e-04,1.043025e-04,1.035339e-04,1.027745e-04
0.000000e+00,1.141075e-09,2.903839e-09,1.116682e-08,2.676194e-08,3.980058e-08,9.332300e-08,9.622593e-08,1.893835e-07,2.232706e-07,3.282777e-07,4.374139e-07,5.221852e-07,7.573495e-07,7.806222e-07,1.112831e-06,1.204447e-06,1.526428e-06,1.795202e-06,2.025094e-06,2.532475e-06,2.606345e-06,3.261533e-06,3.400404e-06,3.978628e-06,4.371863e-06,4.745366e-06,5.419788e-06,5.550876e-06,6.385915e-06,6.521717e-06,7.242568e-06,7.659375e-06,8.113914e-06,8.817416e-06,8.993806e-06,9.876741e-06,9.982659e-06,1.075781e-05,1.114375e-05,1.163267e-05,1.229106e-05,1.249753e-05,1.334912e-05,1.341659e-05,1.418469e-05,1.451390e-05,1.500194e-05,1.557796e-05,1.579903e-05,1.657451e-05,1.660506e-05,1.732728e-05,1.759255e-05,1.805652e-05,1.853869e-05,1.876172e-05,1.944255e-05,2.009890e-05,2.030377e-05,2.073083e-05,2.112252e-05,2.133851e-05,2.189933e-05,2.192223e-05,2.248236e-05,2.263503e-05,2.301935e-05,2.333065e-05,2.353371e-05,2.398739e-05,2.402597e-05,2.449672e-05,2.460656e-05,2.494653e-05,2.518951e-05,2.537603e-05,2.573767e-05,2.578582e-05,2.617653e-05,2.625243e-05,2.654876e-05,2.673523e-05,2.690314e-05,2.718746e-05,2.724027e-05,2.756074e-05,2.761051e-05,2.786515e-05,2.800572e-05,2.815405e-05,2.837440e-05,2.842803e-05,2.868761e-05,2.871782e-05,2.893334e-05,2.903720e-05,2.916573e-05,2.933374e-05,2.938529e-05,2.959250e-05,2.960856e-05,2.978785e-05,2.986277e-05,2.997178e-05,3.009740e-05,3.014475e-05,3.030719e-05,3.031347e-05,3.045950e-05,3.051194e-05,3.060210e-05,3.069372e-05,3.073538e-05,3.085970e-05,3.097544e-05,3.101072e-05,3.108294e-05,3.114757e-05,3.118254e-05,3.127102e-05,3.127456e-05,3.135932e-05,3.138180e-05,3.143713e-05,3.148059e-05,3.150827e-05,3.156807e-05,3.157302e-05,3.163166e-05,3.164485e-05,3.168444e-05,3.171154e-05,3.173162e-05,3.176870e-05,3.177344e-05,3.181013e-05,3.181687e-05,3.184192e-05,3.185658e-05,3.186901e-05,3.188830e-05,3.189163e-05,3.190995e-05,3.191250e-05,3.192419e-05,3.192963e-05,3.193452e-05,3.194009e-05,3.194112e-05,3.194416e-05,3.194430e-05,3.194381e-05,3.194262e-05,3.194022e-05,3.193542e-05,3.193354e-05,3.192392e-05,3.192303e-05,3.191150e-05,3.190578e-05,3.189641e-05,3.188397e-05,3.187879e-05,3.185875e-05,3.185791e-05,3.183643e-05,3.182785e-05,3.181192e-05,3.179406e-05,3.178534e-05,3.175680e-05,3.171629e-05,3.167276e-05,3.162643e-05,3.157748e-05,3.152611e-05,3.147251e-05,3.141683e-05,3.135925e-05,3.129991e-05,3.123896e-05,3.117654e-05,3.111278e-05,3.104779e-05,3.098170e-05,3.091462e-05,3.084664e-05,3.077788e-05,3.070841e-05,3.063833e-05,3.056772e-05,3.049666e-05,3.042522e-05,3.035348e-05,3.028150e-05
0.000000e+00,1.675156e-09,5.001400e-09,2.299175e-08,6.002420e-08,9.219902e-08,2.291971e-07,2.367703e-07,4.844282e-07,5.762295e-07,8.650121e-07,1.170880e-06,1.411819e-06,2.092115e-06,2.160178e-06,3.139261e-06,3.410194e-06,4.358869e-06,5.142711e-06,5.806051e-06,7.248771e-06,7.456789e-06,9.287359e-06,9.673229e-06,1.127773e-05,1.237009e-05,1.341067e-05,1.530083e-05,1.567021e-05,1.804059e-05,1.842907e-05,2.050569e-05,2.171774e-05,2.304896e-05,2.512847e-05,2.565346e-05,2.830217e-05,2.862218e-05,3.097825e-05,3.216017e-05,3.366537e-05,3.570535e-05,3.634796e-05,3.901148e-05,3.922332e-05,4.164257e-05,4.268320e-05,4.422923e-05,4.605808e-05,4.676082e-05,4.922813e-05,4.932537e-05,5.162335e-05,5.246670e-05,5.394003e-05,5.546782e-05,5.617300e-05,5.831826e-05,6.037287e-05,6.101086e-05,6.233486e-05,6.354138e-05,6.420311e-05,6.590812e-05,6.597728e-05,6.765766e-05,6.811146e-05,6.924509e-05,7.015347e-05,7.074089e-05,7.203755e-05,7.214675e-05,7.346471e-05,7.376818e-05,7.469702e-05,7.535061e-05,7.584615e-05,7.679066e-05,7.691473e-05,7.790547e-05,7.809453e-05,7.882120e-05,7.926867e-05,7.966475e-05,8.031965e-05,8.043899e-05,8.114678e-05,8.125405e-05,8.179094e-05,8.207836e-05,8.237428e-05,8.279900e-05,8.289954e-05,8.336941e-05,8.342220e-05,8.378654e-05,8.395403e-05,8.415348e-05,8.440032e-05,8.447271e-05,8.474664e-05,8.476666e-05,8.497758e-05,8.505844e-05,8.516780e-05,8.528077e-05,8.531947e-05,8.543466e-05,8.543854e-05,8.551540e-05,8.553641e-05,8.556361e-05,8.557877e-05,8.558115e-05,8.556980e-05,8.553125e-05,8.551345e-05,8.546715e-05,8.541343e-05,8.537904e-05,8.527327e-05,8.526843e-05,8.513674e-05,8.509627e-05,8.498532e-05,8.488556e-05,8.481549e-05,8.464405e-05,8.462848e-05,8.442548e-05,8.437450e-05,8.420760e-05,8.407950e-05,8.397593e-05,8.376145e-05,8.373147e-05,8.347522e-05,8.342263e-05,8.320808e-05,8.306516e-05,8.293093e-05,8.269101e-05,8.264462e-05,8.234992e-05,8.230204e-05,8.204760e-05,8.189998e-05,8.173836e-05,8.148644e-05,8.142288e-05,8.110179e-05,8.106292e-05,8.077572e-05,8.063081e-05,8.044521e-05,8.019141e-05,8.011083e-05,7.977308e-05,7.974593e-05,7.943245e-05,7.929549e-05,7.908938e-05,7.884111e-05,7.874432e-05,7.839767e-05,7.838377e-05,7.804980e-05,7.792434e-05,7.770109e-05,7.746365e-05,7.735186e-05,7.700244e-05,7.654142e-05,7.608121e-05,7.562241e-05,7.516554e-05,7.471110e-05,7.425954e-05,7.381124e-05,7.336660e-05,7.292592e-05,7.248952e-05,7.205766e-05,7.163059e-05,7.120850e-05,7.079160e-05,7.038004e-05,6.997397e-05,6.957352e-05,6.917878e-05,6.878985e-05,6.840679e-05,6.802967e-05,6.765852e-05,6.729338e-05,6.693427e-05
0.000000e+00,3.848850e-10,1.275572e-09,6.711982e-09,1.885038e-08,2.983261e-08,7.885167e-08,8.163926e-08,1.760882e-07,2.124900e-07,3.310567e-07,4.623914e-07,5.693687e-07,8.848685e-07,9.173542e-07,1.398567e-06,1.535388e-06,2.022436e-06,2.430130e-06,2.775955e-06,3.522511e-06,3.628991e-06,4.548261e-06,4.737530e-06,5.506621e-06,6.013726e-06,6.484720e-06,7.311695e-06,7.469223e-06,8.450734e-06,8.607011e-06,9.422351e-06,9.883615e-06,1.037880e-05,1.113023e-05,1.131595e-05,1.223057e-05,1.233869e-05,1.312017e-05,1.350317e-05,1.398288e-05,1.461970e-05,1.481734e-05,1.562268e-05,1.568584e-05,1.639842e-05,1.670038e-05,1.714440e-05,1.766313e-05,1.786073e-05,1.854774e-05,1.857461e-05,1.920592e-05,1.943592e-05,1.983589e-05,2.024853e-05,2.043838e-05,2.101418e-05,2.156413e-05,2.173480e-05,2.208910e-05,2.241238e-05,2.258997e-05,2.304896e-05,2.306763e-05,2.352297e-05,2.364659e-05,2.395686e-05,2.420726e-05,2.437016e-05,2.473292e-05,2.476370e-05,2.513830e-05,2.522547e-05,2.549475e-05,2.568672e-05,2.583382e-05,2.611840e-05,2.615624e-05,2.646272e-05,2.652217e-05,2.675396e-05,2.689960e-05,2.703061e-05,2.725219e-05,2.729331e-05,2.754266e-05,2.758135e-05,2.777924e-05,2.788843e-05,2.800362e-05,2.817469e-05,2.821632e-05,2.841787e-05,2.844133e-05,2.860874e-05,2.868947e-05,2.878942e-05,2.892019e-05,2.896034e-05,2.912194e-05,2.913448e-05,2.927463e-05,2.933330e-05,2.941879e-05,2.951753e-05,2.955481e-05,2.968304e-05,2.968802e-05,2.980383e-05,2.984555e-05,2.991749e-05,2.999088e-05,3.002435e-05,3.012470e-05,3.021882e-05,3.024768e-05,3.030700e-05,3.036043e-05,3.038948e-05,3.046354e-05,3.046652e-05,3.053835e-05,3.055756e-05,3.060521e-05,3.064302e-05,3.066730e-05,3.072040e-05,3.072484e-05,3.077802e-05,3.079016e-05,3.082703e-05,3.085273e-05,3.087206e-05,3.090853e-05,3.091328e-05,3.095084e-05,3.095793e-05,3.098492e-05,3.100131e-05,3.101566e-05,3.103901e-05,3.104321e-05,3.106770e-05,3.107134e-05,3.108926e-05,3.109861e-05,3.110803e-05,3.112112e-05,3.112413e-05,3.113766e-05,3.113912e-05,3.114875e-05,3.115288e-05,3.115749e-05,3.116264e-05,3.116400e-05,3.116836e-05,3.116862e-05,3.117067e-05,3.117104e-05,3.117102e-05,3.117011e-05,3.116950e-05,3.116619e-05,3.116602e-05,3.116116e-05,3.115895e-05,3.115450e-05,3.114907e-05,3.114627e-05,3.113654e-05,3.112152e-05,3.110416e-05,3.108459e-05,3.106294e-05,3.103935e-05,3.101391e-05,3.098676e-05,3.095798e-05,3.092769e-05,3.089598e-05,3.086293e-05,3.082864e-05,3.079318e-05,3.075663e-05,3.071907e-05,3.068056e-05,3.064117e-05,3.060097e-05,3.056001e-05,3.051834e-05,3.047603e-05,3.043313e-05,3.038969e-05,3.034574e-05
0.000000e+00,3.434795e-09,7.845710e-09,2.671661e-08,6.005644e-08,8.695869e-08,1.928892e-07,1.984923e-07,3.732636e-07,4.349231e-07,6.211404e-07,8.083471e-07,9.500831e-07,1.329521e-06,1.366113e-06,1.872964e-06,2.008275e-06,2.471275e-06,2.845119e-06,3.157362e-06,3.826709e-06,3.922230e-06,4.752000e-06,4.924296e-06,5.630042e-06,6.100060e-06,6.539499e-06,7.316328e-06,7.464874e-06,8.392566e-06,8.540405e-06,9.310885e-06,9.745374e-06,1.020992e-05,1.090965e-05,1.108140e-05,1.191862e-05,1.201652e-05,1.271630e-05,1.305371e-05,1.347054e-05,1.401301e-05,1.417864e-05,1.483902e-05,1.488976e-05,1.545102e-05,1.568229e-05,1.601482e-05,1.639136e-05,1.653125e-05,1.700166e-05,1.701954e-05,1.742779e-05,1.757074e-05,1.781168e-05,1.804975e-05,1.815559e-05,1.846185e-05,1.873288e-05,1.881257e-05,1.897109e-05,1.910740e-05,1.917882e-05,1.935172e-05,1.935839e-05,1.951199e-05,1.955063e-05,1.964171e-05,1.970891e-05,1.974953e-05,1.983099e-05,1.983732e-05,1.990680e-05,1.992093e-05,1.995958e-05,1.998240e-05,1.999716e-05,2.001875e-05,2.002091e-05,2.003212e-05,2.003296e-05,2.003194e-05,2.002771e-05,2.002146e-05,2.000542e-05,2.000166e-05,1.997345e-05,1.996821e-05,1.993764e-05,1.991799e-05,1.989501e-05,1.985645e-05,1.984623e-05,1.979195e-05,1.978510e-05,1.973274e-05,1.970527e-05,1.966913e-05,1.961814e-05,1.960160e-05,1.953060e-05,1.952478e-05,1.945652e-05,1.942611e-05,1.937973e-05,1.932296e-05,1.930057e-05,1.921936e-05,1.921607e-05,1.913636e-05,1.910609e-05,1.905183e-05,1.899361e-05,1.896602e-05,1.887913e-05,1.879136e-05,1.876311e-05,1.870288e-05,1.864597e-05,1.861387e-05,1.852806e-05,1.852447e-05,1.843482e-05,1.840969e-05,1.834504e-05,1.829116e-05,1.825525e-05,1.817271e-05,1.816554e-05,1.807602e-05,1.805457e-05,1.798677e-05,1.793693e-05,1.789786e-05,1.781997e-05,1.780938e-05,1.772138e-05,1.770384e-05,1.763392e-05,1.758867e-05,1.754705e-05,1.747458e-05,1.746083e-05,1.737530e-05,1.736168e-05,1.729049e-05,1.725005e-05,1.720645e-05,1.713978e-05,1.712319e-05,1.704076e-05,1.703092e-05,1.695917e-05,1.692354e-05,1.687844e-05,1.681768e-05,1.679860e-05,1.671966e-05,1.671339e-05,1.664164e-05,1.661070e-05,1.656455e-05,1.650963e-05,1.648840e-05,1.641319e-05,1.641021e-05,1.633894e-05,1.631245e-05,1.626565e-05,1.621637e-05,1.619333e-05,1.612196e-05,1.602925e-05,1.593822e-05,1.584888e-05,1.576121e-05,1.567522e-05,1.559088e-05,1.550820e-05,1.542714e-05,1.534771e-05,1.526988e-05,1.519364e-05,1.511896e-05,1.504582e-05,1.497422e-05,1.490411e-05,1.483549e-05,1.476833e-05,1.470261e-05,1.463830e-05,1.457538e-05,1.451383e-05,1.445362e-05,1.439473e-05,1.433714e-05
0.000000e+00,5.961019e-11,2.477818e-10,1.861930e-09,6.554008e-09,1.140113e-08,3.585056e-08,3.731494e-08,8.853565e-08,1.085706e-07,1.734429e-07,2.437878e-07,2.997390e-07,4.585755e-07,4.744956e-07,7.041759e-07,7.681301e-07,9.945482e-07,1.185512e-06,1.350424e-06,1.720488e-06,1.775154e-06,2.269894e-06,2.377141e-06,2.832812e-06,3.150874e-06,3.458701e-06,4.027192e-06,4.139383e-06,4.864840e-06,4.984360e-06,5.624520e-06,5.998322e-06,6.408318e-06,7.046525e-06,7.207067e-06,8.012676e-06,8.109464e-06,8.818070e-06,9.170758e-06,9.617096e-06,1.021680e-05,1.040444e-05,1.117556e-05,1.123643e-05,1.192660e-05,1.222066e-05,1.265437e-05,1.316249e-05,1.335630e-05,1.403037e-05,1.405673e-05,1.467506e-05,1.489974e-05,1.528932e-05,1.568929e-05,1.587250e-05,1.642432e-05,1.694476e-05,1.710471e-05,1.743408e-05,1.773113e-05,1.789276e-05,1.830485e-05,1.832143e-05,1.872086e-05,1.882758e-05,1.909194e-05,1.930137e-05,1.943562e-05,1.972848e-05,1.975292e-05,2.004488e-05,2.011131e-05,2.031260e-05,2.045233e-05,2.055714e-05,2.075402e-05,2.077958e-05,2.098100e-05,2.101885e-05,2.116243e-05,2.124923e-05,2.132492e-05,2.144749e-05,2.146945e-05,2.159700e-05,2.161590e-05,2.170850e-05,2.175659e-05,2.180485e-05,2.187161e-05,2.188693e-05,2.195555e-05,2.196292e-05,2.201152e-05,2.203234e-05,2.205560e-05,2.208160e-05,2.208852e-05,2.211097e-05,2.211233e-05,2.212360e-05,2.212605e-05,2.212706e-05,2.212420e-05,2.212193e-05,2.210878e-05,2.210810e-05,2.208816e-05,2.207901e-05,2.206057e-05,2.203808e-05,2.202650e-05,2.198641e-05,2.194073e-05,2.192500e-05,2.188987e-05,2.185479e-05,2.183423e-05,2.177666e-05,2.177417e-05,2.171004e-05,2.169140e-05,2.164217e-05,2.159978e-05,2.157086e-05,2.150248e-05,2.149642e-05,2.141911e-05,2.140016e-05,2.133920e-05,2.129340e-05,2.125693e-05,2.118277e-05,2.117253e-05,2.108623e-05,2.106876e-05,2.099822e-05,2.095184e-05,2.090869e-05,2.083246e-05,2.081784e-05,2.072582e-05,2.071100e-05,2.063280e-05,2.058784e-05,2.053893e-05,2.046331e-05,2.044434e-05,2.034917e-05,2.033771e-05,2.025354e-05,2.021135e-05,2.015757e-05,2.008446e-05,2.006136e-05,1.996501e-05,1.995730e-05,1.986862e-05,1.983008e-05,1.977228e-05,1.970299e-05,1.967607e-05,1.958005e-05,1.957622e-05,1.948431e-05,1.944992e-05,1.938891e-05,1.932426e-05,1.929391e-05,1.919936e-05,1.907534e-05,1.895232e-05,1.883038e-05,1.870962e-05,1.859011e-05,1.847193e-05,1.835513e-05,1.823977e-05,1.812590e-05,1.801354e-05,1.790274e-05,1.779353e-05,1.768592e-05,1.757994e-05,1.747560e-05,1.737291e-05,1.727187e-05,1.717250e-05,1.707480e-05,1.697875e-05,1.688437e-05,1.679163e-05,1.670053e-05,1.661107e-05
0.000000e+00,2.805248e-10,1.151116e-09,8.453392e-09,2.926505e-08,5.053218e-08,1.567603e-07,1.631020e-07,3.851364e-07,4.723877e-07,7.572982e-07,1.070886e-06,1.323880e-06,2.058564e-06,2.133445e-06,3.234032e-06,3.545780e-06,4.659246e-06,5.601345e-06,6.410649e-06,8.194711e-06,8.453460e-06,1.073151e-05,1.121009e-05,1.318628e-05,1.451542e-05,1.576721e-05,1.800242e-05,1.843325e-05,2.115083e-05,2.158848e-05,2.389161e-05,2.520806e-05,2.663089e-05,2.880647e-05,2.934682e-05,3.202007e-05,3.233717e-05,3.463379e-05,3.576116e-05,3.717355e-05,3.904682e-05,3.962734e-05,4.198558e-05,4.216988e-05,4.424083e-05,4.511282e-05,4.638769e-05,4.786428e-05,4.842266e-05,5.034383e-05,5.041829e-05,5.215070e-05,5.277330e-05,5.384399e-05,5.493132e-05,5.542528e-05,5.689699e-05,5.826221e-05,5.867716e-05,5.952449e-05,6.028010e-05,6.068770e-05,6.171502e-05,6.175598e-05,6.273356e-05,6.299162e-05,6.362475e-05,6.411978e-05,6.443383e-05,6.510935e-05,6.516509e-05,6.582270e-05,6.597003e-05,6.641076e-05,6.671116e-05,6.693320e-05,6.734169e-05,6.739383e-05,6.779632e-05,6.787016e-05,6.814418e-05,6.830460e-05,6.844075e-05,6.865258e-05,6.868923e-05,6.889265e-05,6.892121e-05,6.905389e-05,6.911711e-05,6.917569e-05,6.924647e-05,6.926063e-05,6.931117e-05,6.931504e-05,6.932962e-05,6.932814e-05,6.931817e-05,6.929074e-05,6.927887e-05,6.921369e-05,6.920741e-05,6.912444e-05,6.908240e-05,6.901287e-05,6.891963e-05,6.888060e-05,6.872917e-05,6.872273e-05,6.856001e-05,6.849504e-05,6.837448e-05,6.823963e-05,6.817387e-05,6.795936e-05,6.773210e-05,6.765685e-05,6.749312e-05,6.733450e-05,6.724344e-05,6.699454e-05,6.698399e-05,6.671563e-05,6.663901e-05,6.643920e-05,6.626979e-05,6.615547e-05,6.588860e-05,6.586515e-05,6.556892e-05,6.549702e-05,6.526743e-05,6.509652e-05,6.496127e-05,6.468842e-05,6.465099e-05,6.433712e-05,6.427396e-05,6.402014e-05,6.385424e-05,6.370052e-05,6.343030e-05,6.337867e-05,6.305501e-05,6.300308e-05,6.272989e-05,6.257342e-05,6.240367e-05,6.214212e-05,6.207667e-05,6.174920e-05,6.170989e-05,6.142154e-05,6.127737e-05,6.109394e-05,6.084517e-05,6.076666e-05,6.043993e-05,6.041382e-05,6.011394e-05,5.998381e-05,5.978891e-05,5.955558e-05,5.946501e-05,5.914241e-05,5.912953e-05,5.882126e-05,5.870603e-05,5.850171e-05,5.828540e-05,5.818389e-05,5.786793e-05,5.745389e-05,5.704350e-05,5.663699e-05,5.623453e-05,5.583628e-05,5.544239e-05,5.505298e-05,5.466816e-05,5.428802e-05,5.391264e-05,5.354208e-05,5.317639e-05,5.281561e-05,5.245977e-05,5.210890e-05,5.176300e-05,5.142208e-05,5.108614e-05,5.075517e-05,5.042915e-05,5.010806e-05,4.979189e-05,4.948059e-05,4.917414e-05
0.000000e+00,1.523757e-09,3.473395e-09,1.181302e-08,2.659723e-08,3.859018e-08,8.644033e-08,8.900041e-08,1.703762e-07,1.997994e-07,2.909378e-07,3.859863e-07,4.601833e-07,6.677124e-07,6.883607e-07,9.837669e-07,1.065016e-06,1.347526e-06,1.578000e-06,1.770428e-06,2.179285e-06,2.237073e-06,2.732740e-06,2.834322e-06,3.246447e-06,3.518095e-06,3.770643e-06,4.215140e-06,4.300008e-06,4.830463e-06,4.915201e-06,5.358568e-06,5.610303e-06,5.881215e-06,6.293442e-06,6.395494e-06,6.898668e-06,6.958180e-06,7.388193e-06,7.598656e-06,7.861761e-06,8.209740e-06,8.317342e-06,8.753220e-06,8.787195e-06,9.168009e-06,9.327775e-06,9.560667e-06,9.829267e-06,9.930485e-06,1.027707e-05,1.029045e-05,1.060033e-05,1.071102e-05,1.090043e-05,1.109145e-05,1.117774e-05,1.143286e-05,1.166652e-05,1.173689e-05,1.187957e-05,1.200553e-05,1.207295e-05,1.224102e-05,1.224766e-05,1.240475e-05,1.244572e-05,1.254527e-05,1.262206e-05,1.267026e-05,1.277243e-05,1.278077e-05,1.287779e-05,1.289918e-05,1.296230e-05,1.300451e-05,1.303523e-05,1.309053e-05,1.309746e-05,1.314981e-05,1.315917e-05,1.319308e-05,1.321222e-05,1.322798e-05,1.325133e-05,1.325519e-05,1.327536e-05,1.327797e-05,1.328905e-05,1.329348e-05,1.329681e-05,1.329909e-05,1.329914e-05,1.329650e-05,1.329587e-05,1.328930e-05,1.328479e-05,1.327793e-05,1.326672e-05,1.326275e-05,1.324406e-05,1.324243e-05,1.322218e-05,1.321259e-05,1.319737e-05,1.317783e-05,1.316987e-05,1.313992e-05,1.313867e-05,1.310772e-05,1.309561e-05,1.307347e-05,1.304910e-05,1.303735e-05,1.299954e-05,1.296019e-05,1.294730e-05,1.291946e-05,1.289272e-05,1.287746e-05,1.283607e-05,1.283432e-05,1.279015e-05,1.277761e-05,1.274504e-05,1.271756e-05,1.269908e-05,1.265612e-05,1.265235e-05,1.260494e-05,1.259347e-05,1.255691e-05,1.252976e-05,1.250832e-05,1.246513e-05,1.245922e-05,1.240968e-05,1.239972e-05,1.235975e-05,1.233366e-05,1.230950e-05,1.226708e-05,1.225898e-05,1.220823e-05,1.220009e-05,1.215727e-05,1.213276e-05,1.210616e-05,1.206518e-05,1.205492e-05,1.200359e-05,1.199743e-05,1.195222e-05,1.192960e-05,1.190083e-05,1.186178e-05,1.184945e-05,1.179811e-05,1.179401e-05,1.174684e-05,1.172635e-05,1.169565e-05,1.165885e-05,1.164456e-05,1.159361e-05,1.159157e-05,1.154280e-05,1.152455e-05,1.149216e-05,1.145783e-05,1.144171e-05,1.139145e-05,1.132544e-05,1.125984e-05,1.119466e-05,1.112995e-05,1.106571e-05,1.100197e-05,1.093875e-05,1.087607e-05,1.081394e-05,1.075239e-05,1.069141e-05,1.063102e-05,1.057123e-05,1.051205e-05,1.045349e-05,1.039555e-05,1.033823e-05,1.028155e-05,1.022550e-05,1.017010e-05,1.011533e-05,1.006120e-05,1.000771e-05,9.954870e-06
0.000000e+00,4.734105e-09,1.091868e-08,3.779281e-08,8.612353e-08,1.256429e-07,2.844106e-07,2.929254e-07,5.632987e-07,6.606625e-07,9.601634e-07,1.268759e-06,1.506972e-06,2.162258e-06,2.226713e-06,3.139932e-06,3.389667e-06,4.260646e-06,4.980193e-06,5.590631e-06,6.923118e-06,7.115564e-06,8.807348e-06,9.162730e-06,1.063173e-05,1.162157e-05,1.255528e-05,1.422607e-05,1.454861e-05,1.658662e-05,1.691538e-05,1.864789e-05,1.964002e-05,2.071386e-05,2.235910e-05,2.276838e-05,2.479739e-05,2.503857e-05,2.678881e-05,2.765041e-05,2.873235e-05,3.017213e-05,3.061951e-05,3.244337e-05,3.258638e-05,3.419854e-05,3.488043e-05,3.588097e-05,3.704564e-05,3.748782e-05,3.901729e-05,3.907685e-05,4.046852e-05,4.097176e-05,4.184138e-05,4.273041e-05,4.313641e-05,4.435464e-05,4.549753e-05,4.584764e-05,4.656690e-05,4.721364e-05,4.756477e-05,4.845755e-05,4.849340e-05,4.935514e-05,4.958478e-05,5.015248e-05,5.060100e-05,5.088791e-05,5.151203e-05,5.156399e-05,5.218325e-05,5.232370e-05,5.274821e-05,5.304179e-05,5.326135e-05,5.367199e-05,5.372511e-05,5.414187e-05,5.421979e-05,5.451395e-05,5.469052e-05,5.484360e-05,5.508931e-05,5.513300e-05,5.538425e-05,5.542104e-05,5.559938e-05,5.569039e-05,5.578035e-05,5.590180e-05,5.592904e-05,5.604725e-05,5.605948e-05,5.613672e-05,5.616742e-05,5.619911e-05,5.622939e-05,5.623600e-05,5.624892e-05,5.624896e-05,5.623931e-05,5.622947e-05,5.620856e-05,5.617409e-05,5.615801e-05,5.608891e-05,5.608577e-05,5.600246e-05,5.596732e-05,5.589982e-05,5.582133e-05,5.578207e-05,5.565025e-05,5.550536e-05,5.545638e-05,5.534832e-05,5.524187e-05,5.518004e-05,5.500870e-05,5.500137e-05,5.481309e-05,5.475876e-05,5.461599e-05,5.449379e-05,5.441077e-05,5.421540e-05,5.419813e-05,5.397872e-05,5.392512e-05,5.375314e-05,5.362435e-05,5.352199e-05,5.331439e-05,5.328580e-05,5.304511e-05,5.299647e-05,5.280039e-05,5.267170e-05,5.255211e-05,5.234113e-05,5.230072e-05,5.204661e-05,5.200573e-05,5.179018e-05,5.166638e-05,5.153179e-05,5.132391e-05,5.127180e-05,5.101051e-05,5.097908e-05,5.074823e-05,5.063259e-05,5.048525e-05,5.028508e-05,5.022184e-05,4.995824e-05,4.993715e-05,4.969469e-05,4.958933e-05,4.943141e-05,4.924213e-05,4.916860e-05,4.890646e-05,4.889599e-05,4.864516e-05,4.855133e-05,4.838486e-05,4.820852e-05,4.812573e-05,4.786791e-05,4.752980e-05,4.719448e-05,4.686219e-05,4.653316e-05,4.620759e-05,4.588566e-05,4.556751e-05,4.525331e-05,4.494315e-05,4.463714e-05,4.433538e-05,4.403794e-05,4.374487e-05,4.345622e-05,4.317204e-05,4.289235e-05,4.261717e-05,4.234651e-05,4.208036e-05,4.181873e-05,4.156160e-05,4.130895e-05,4.106077e-05,4.081701e-05
0.000000e+00,3.354175e-12,1.674214e-11,1.793508e-10,8.479967e-10,1.716009e-09,7.721491e-09,8.147380e-09,2.643757e-08,3.508217e-08,6.763926e-08,1.096198e-07,1.472713e-07,2.717694e-07,2.855465e-07,5.072562e-07,5.759790e-07,8.406826e-07,1.087173e-06,1.315123e-06,1.870880e-06,1.957644e-06,2.790286e-06,2.981108e-06,3.828445e-06,4.452555e-06,5.080479e-06,6.298928e-06,6.548142e-06,8.227463e-06,8.515273e-06,1.010975e-05,1.108181e-05,1.218256e-05,1.396775e-05,1.443055e-05,1.683619e-05,1.713457e-05,1.938042e-05,2.053863e-05,2.204313e-05,2.413331e-05,2.480364e-05,2.764115e-05,2.787085e-05,3.053506e-05,3.170392e-05,3.346538e-05,3.558694e-05,3.641292e-05,3.935963e-05,3.947724e-05,4.228876e-05,4.333595e-05,4.518499e-05,4.712855e-05,4.803456e-05,5.082533e-05,5.354675e-05,5.440146e-05,5.618988e-05,5.783691e-05,5.874730e-05,6.111624e-05,6.121304e-05,6.358248e-05,6.422818e-05,6.585224e-05,6.716526e-05,6.802004e-05,6.992328e-05,7.008463e-05,7.204562e-05,7.250087e-05,7.390338e-05,7.489899e-05,7.565893e-05,7.712051e-05,7.731385e-05,7.887017e-05,7.916981e-05,8.033029e-05,8.105242e-05,8.169690e-05,8.277471e-05,8.297290e-05,8.416137e-05,8.434362e-05,8.526550e-05,8.576648e-05,8.628856e-05,8.705085e-05,8.723384e-05,8.810466e-05,8.820431e-05,8.890428e-05,8.923440e-05,8.963595e-05,9.014853e-05,9.030285e-05,9.090807e-05,9.095391e-05,9.145466e-05,9.165753e-05,9.194554e-05,9.226609e-05,9.238358e-05,9.277150e-05,9.278601e-05,9.311196e-05,9.322339e-05,9.340749e-05,9.358404e-05,9.366053e-05,9.387343e-05,9.404842e-05,9.409676e-05,9.418764e-05,9.425891e-05,9.429313e-05,9.436449e-05,9.436685e-05,9.441067e-05,9.441782e-05,9.442634e-05,9.442294e-05,9.441556e-05,9.438368e-05,9.437995e-05,9.432103e-05,9.430358e-05,9.424025e-05,9.418598e-05,9.413900e-05,9.403401e-05,9.401859e-05,9.388027e-05,9.385056e-05,9.372523e-05,9.363837e-05,9.355458e-05,9.339997e-05,9.336941e-05,9.317071e-05,9.313773e-05,9.295945e-05,9.285386e-05,9.273654e-05,9.255040e-05,9.250284e-05,9.225917e-05,9.222930e-05,9.200630e-05,9.189231e-05,9.174496e-05,9.154111e-05,9.147585e-05,9.119962e-05,9.117723e-05,9.091690e-05,9.080212e-05,9.062826e-05,9.041710e-05,9.033428e-05,9.003546e-05,9.002341e-05,8.973231e-05,8.962220e-05,8.942529e-05,8.921453e-05,8.911485e-05,8.880140e-05,8.838370e-05,8.796230e-05,8.753797e-05,8.711143e-05,8.668336e-05,8.625437e-05,8.582504e-05,8.539587e-05,8.496736e-05,8.453994e-05,8.411402e-05,8.368998e-05,8.326816e-05,8.284885e-05,8.243236e-05,8.201892e-05,8.160879e-05,8.120217e-05,8.079924e-05,8.040019e-05,8.000515e-05,7.961428e-05,7.922769e-05,7.884549e-05
0.000000e+00,1.848013e-09,4.608121e-09,1.737307e-08,4.139510e-08,6.156120e-08,1.455863e-07,1.502053e-07,3.018266e-07,3.585706e-07,5.394323e-07,7.347614e-07,8.910276e-07,1.340951e-06,1.386505e-06,2.047781e-06,2.231799e-06,2.875721e-06,3.404637e-06,3.848610e-06,4.800110e-06,4.935597e-06,6.109054e-06,6.352172e-06,7.348059e-06,8.012940e-06,8.637096e-06,9.749611e-06,9.964030e-06,1.131864e-05,1.153733e-05,1.269180e-05,1.335500e-05,1.407505e-05,1.518357e-05,1.546046e-05,1.684067e-05,1.700561e-05,1.820886e-05,1.880544e-05,1.955886e-05,2.056930e-05,2.088518e-05,2.218303e-05,2.228550e-05,2.344833e-05,2.394455e-05,2.467769e-05,2.553902e-05,2.586838e-05,2.701828e-05,2.706341e-05,2.812583e-05,2.851396e-05,2.918995e-05,2.988840e-05,3.021000e-05,3.118572e-05,3.211718e-05,3.240594e-05,3.300470e-05,3.354990e-05,3.384884e-05,3.461907e-05,3.465033e-05,3.541005e-05,3.561542e-05,3.612900e-05,3.654125e-05,3.680826e-05,3.739912e-05,3.744899e-05,3.805237e-05,3.819177e-05,3.861964e-05,3.892199e-05,3.915203e-05,3.959266e-05,3.965078e-05,4.011714e-05,4.020663e-05,4.055233e-05,4.076672e-05,4.095758e-05,4.127572e-05,4.133407e-05,4.168298e-05,4.173632e-05,4.200545e-05,4.215116e-05,4.230258e-05,4.252277e-05,4.257546e-05,4.282514e-05,4.285359e-05,4.305264e-05,4.314597e-05,4.325894e-05,4.340214e-05,4.344500e-05,4.361172e-05,4.362425e-05,4.376001e-05,4.381435e-05,4.389071e-05,4.397439e-05,4.400465e-05,4.410263e-05,4.410622e-05,4.418540e-05,4.421161e-05,4.425369e-05,4.429223e-05,4.430823e-05,4.434968e-05,4.437869e-05,4.438545e-05,4.439589e-05,4.440098e-05,4.440188e-05,4.439761e-05,4.439723e-05,4.438250e-05,4.437664e-05,4.435821e-05,4.433927e-05,4.432488e-05,4.428664e-05,4.428298e-05,4.423298e-05,4.421983e-05,4.417534e-05,4.413987e-05,4.411046e-05,4.404772e-05,4.403877e-05,4.396065e-05,4.394429e-05,4.387647e-05,4.383043e-05,4.378660e-05,4.370696e-05,4.369138e-05,4.359112e-05,4.357464e-05,4.348615e-05,4.343418e-05,4.337676e-05,4.328626e-05,4.326324e-05,4.314586e-05,4.313153e-05,4.302488e-05,4.297057e-05,4.290054e-05,4.280395e-05,4.277309e-05,4.264275e-05,4.263220e-05,4.250973e-05,4.245582e-05,4.237424e-05,4.227528e-05,4.223649e-05,4.209664e-05,4.209101e-05,4.195489e-05,4.190343e-05,4.181140e-05,4.171292e-05,4.166634e-05,4.151985e-05,4.132456e-05,4.112736e-05,4.092856e-05,4.072843e-05,4.052723e-05,4.032521e-05,4.012259e-05,3.991959e-05,3.971641e-05,3.951323e-05,3.931022e-05,3.910754e-05,3.890534e-05,3.870376e-05,3.850293e-05,3.830296e-05,3.810396e-05,3.790605e-05,3.770930e-05,3.751381e-05,3.731965e-05,3.712689e-05,3.693561e-05,3.674587e-05
0.000000e+00,8.558070e-11,3.619835e-10,2.806709e-09,1.012334e-08,1.782933e-08,5.786212e-08,6.030623e-08,1.483624e-07,1.840360e-07,3.038690e-07,4.408076e-07,5.545362e-07,8.974547e-07,9.332266e-07,1.468810e-06,1.622262e-06,2.169948e-06,2.628848e-06,3.018041e-06,3.858111e-06,3.977958e-06,5.013575e-06,5.227086e-06,6.095988e-06,6.670179e-06,7.204452e-06,8.144837e-06,8.324295e-06,9.444616e-06,9.623308e-06,1.055670e-05,1.108536e-05,1.165313e-05,1.251459e-05,1.272737e-05,1.377359e-05,1.389700e-05,1.478670e-05,1.522083e-05,1.576235e-05,1.647657e-05,1.669697e-05,1.758779e-05,1.765709e-05,1.843283e-05,1.875776e-05,1.923096e-05,1.977625e-05,1.998167e-05,2.068508e-05,2.071224e-05,2.134184e-05,2.156706e-05,2.195305e-05,2.234335e-05,2.252011e-05,2.304473e-05,2.352882e-05,2.367550e-05,2.397439e-05,2.424027e-05,2.438346e-05,2.474379e-05,2.475814e-05,2.510051e-05,2.519086e-05,2.541261e-05,2.558617e-05,2.569643e-05,2.593425e-05,2.595392e-05,2.618688e-05,2.623933e-05,2.639702e-05,2.650535e-05,2.658599e-05,2.673597e-05,2.675530e-05,2.690638e-05,2.693453e-05,2.704057e-05,2.710409e-05,2.715910e-05,2.724741e-05,2.726313e-05,2.735371e-05,2.736703e-05,2.743184e-05,2.746519e-05,2.749842e-05,2.754395e-05,2.755430e-05,2.760025e-05,2.760514e-05,2.763700e-05,2.765042e-05,2.766519e-05,2.768129e-05,2.768546e-05,2.769836e-05,2.769909e-05,2.770441e-05,2.770503e-05,2.770410e-05,2.770020e-05,2.769789e-05,2.768617e-05,2.768560e-05,2.766935e-05,2.766211e-05,2.764776e-05,2.763054e-05,2.762176e-05,2.759163e-05,2.755767e-05,2.754604e-05,2.752014e-05,2.749437e-05,2.747930e-05,2.743718e-05,2.743536e-05,2.738855e-05,2.737496e-05,2.733908e-05,2.730819e-05,2.728711e-05,2.723727e-05,2.723284e-05,2.717643e-05,2.716259e-05,2.711803e-05,2.708451e-05,2.705778e-05,2.700335e-05,2.699583e-05,2.693230e-05,2.691941e-05,2.686730e-05,2.683296e-05,2.680096e-05,2.674426e-05,2.673337e-05,2.666464e-05,2.665355e-05,2.659487e-05,2.656103e-05,2.652414e-05,2.646692e-05,2.645253e-05,2.638013e-05,2.637139e-05,2.630700e-05,2.627462e-05,2.623323e-05,2.617677e-05,2.615888e-05,2.608400e-05,2.607799e-05,2.600867e-05,2.597842e-05,2.593293e-05,2.587818e-05,2.585685e-05,2.578046e-05,2.577740e-05,2.570383e-05,2.567618e-05,2.562698e-05,2.557463e-05,2.554998e-05,2.547285e-05,2.537092e-05,2.526893e-05,2.516696e-05,2.506508e-05,2.496335e-05,2.486184e-05,2.476061e-05,2.465972e-05,2.455920e-05,2.445912e-05,2.435950e-05,2.426041e-05,2.416186e-05,2.406390e-05,2.396656e-05,2.386986e-05,2.377384e-05,2.367852e-05,2.358392e-05,2.349007e-05,2.339698e-05,2.330468e-05,2.321317e-05,2.312247e-05
0.000000e+00,4.048998e-12,2.010378e-11,2.129896e-10,9.969219e-10,2.006345e-09,8.905550e-09,9.391751e-09,3.010819e-08,3.983563e-08,7.630436e-08,1.231432e-07,1.650824e-07,3.037062e-07,3.190546e-07,5.664057e-07,6.431913e-07,9.391543e-07,1.214611e-06,1.468857e-06,2.085440e-06,2.181188e-06,3.091867e-06,3.298382e-06,4.205229e-06,4.862601e-06,5.515145e-06,6.757060e-06,7.007274e-06,8.661717e-06,8.939977e-06,1.045543e-05,1.135875e-05,1.236410e-05,1.395747e-05,1.436345e-05,1.643007e-05,1.668151e-05,1.854179e-05,1.947986e-05,2.067794e-05,2.230589e-05,2.281932e-05,2.494826e-05,2.511754e-05,2.704852e-05,2.787723e-05,2.910531e-05,3.055174e-05,3.110530e-05,3.303662e-05,3.311229e-05,3.488892e-05,3.553466e-05,3.665337e-05,3.779925e-05,3.832270e-05,3.989115e-05,4.135449e-05,4.180006e-05,4.270992e-05,4.352006e-05,4.395602e-05,4.504925e-05,4.509262e-05,4.612069e-05,4.638935e-05,4.704223e-05,4.754517e-05,4.786010e-05,4.852406e-05,4.857790e-05,4.919981e-05,4.933531e-05,4.973048e-05,4.998964e-05,5.017488e-05,5.049870e-05,5.053819e-05,5.082573e-05,5.087462e-05,5.104285e-05,5.112969e-05,5.119485e-05,5.127600e-05,5.128691e-05,5.132408e-05,5.132526e-05,5.131119e-05,5.128859e-05,5.125286e-05,5.117641e-05,5.115344e-05,5.101703e-05,5.099836e-05,5.084746e-05,5.076327e-05,5.064830e-05,5.047919e-05,5.042285e-05,5.017414e-05,5.015332e-05,4.990495e-05,4.979213e-05,4.961785e-05,4.940135e-05,4.931515e-05,4.899897e-05,4.898607e-05,4.867122e-05,4.855074e-05,4.833365e-05,4.809928e-05,4.798780e-05,4.763511e-05,4.727683e-05,4.716119e-05,4.691410e-05,4.668010e-05,4.654795e-05,4.619408e-05,4.617929e-05,4.580895e-05,4.570505e-05,4.543764e-05,4.521467e-05,4.506603e-05,4.472437e-05,4.469468e-05,4.432413e-05,4.423537e-05,4.395483e-05,4.374871e-05,4.358717e-05,4.326530e-05,4.322154e-05,4.285824e-05,4.278588e-05,4.249756e-05,4.231112e-05,4.213973e-05,4.184153e-05,4.178499e-05,4.143351e-05,4.137759e-05,4.108547e-05,4.091967e-05,4.074100e-05,4.046808e-05,4.040022e-05,4.006325e-05,4.002307e-05,3.973017e-05,3.958486e-05,3.940105e-05,3.915361e-05,3.907596e-05,3.875494e-05,3.872944e-05,3.843804e-05,3.831244e-05,3.812528e-05,3.790267e-05,3.781668e-05,3.751226e-05,3.750017e-05,3.721202e-05,3.710496e-05,3.691596e-05,3.671703e-05,3.662408e-05,3.633635e-05,3.596291e-05,3.559664e-05,3.523749e-05,3.488538e-05,3.454025e-05,3.420201e-05,3.387056e-05,3.354582e-05,3.322768e-05,3.291605e-05,3.261080e-05,3.231185e-05,3.201906e-05,3.173234e-05,3.145158e-05,3.117664e-05,3.090744e-05,3.064384e-05,3.038574e-05,3.013302e-05,2.988557e-05,2.964329e-05,2.940605e-05,2.917375e-05
0.000000e+00,2.411311e-12,1.241015e-11,1.416797e-10,7.098792e-10,1.482866e-09,7.238340e-09,7.662700e-09,2.691040e-08,3.646922e-08,7.405321e-08,1.249832e-07,1.722832e-07,3.359419e-07,3.545791e-07,6.647481e-07,7.641116e-07,1.158080e-06,1.538855e-06,1.901595e-06,2.824918e-06,2.973793e-06,4.463765e-06,4.820382e-06,6.469455e-06,7.750648e-06,9.095031e-06,1.185787e-05,1.244753e-05,1.663314e-05,1.738703e-05,2.175346e-05,2.457111e-05,2.790215e-05,3.361763e-05,3.516206e-05,4.360291e-05,4.469795e-05,5.327968e-05,5.793965e-05,6.423145e-05,7.342207e-05,7.648088e-05,9.003410e-05,9.117449e-05,1.048810e-04,1.111767e-04,1.209959e-04,1.333617e-04,1.383385e-04,1.568551e-04,1.576193e-04,1.764799e-04,1.838017e-04,1.971365e-04,2.117291e-04,2.187396e-04,2.411966e-04,2.644091e-04,2.719799e-04,2.882745e-04,3.038426e-04,3.126878e-04,3.365413e-04,3.375427e-04,3.627331e-04,3.698323e-04,3.881544e-04,4.034753e-04,4.137043e-04,4.372389e-04,4.392841e-04,4.647991e-04,4.709029e-04,4.901595e-04,5.042622e-04,5.152811e-04,5.371281e-04,5.400854e-04,5.644998e-04,5.693300e-04,5.884583e-04,6.007164e-04,6.119010e-04,6.311551e-04,6.347746e-04,6.570317e-04,6.605328e-04,6.786314e-04,6.887552e-04,6.995386e-04,7.157457e-04,7.197238e-04,7.391631e-04,7.414448e-04,7.578377e-04,7.658085e-04,7.757335e-04,7.888073e-04,7.928408e-04,8.091541e-04,8.104248e-04,8.246718e-04,8.306564e-04,8.393956e-04,8.495078e-04,8.533304e-04,8.664840e-04,8.669940e-04,8.788664e-04,8.831376e-04,8.904901e-04,8.979680e-04,9.013694e-04,9.115203e-04,9.209602e-04,9.238338e-04,9.297078e-04,9.349519e-04,9.377826e-04,9.449205e-04,9.452051e-04,9.519963e-04,9.537877e-04,9.581778e-04,9.616030e-04,9.637713e-04,9.684169e-04,9.687988e-04,9.732824e-04,9.742800e-04,9.772443e-04,9.792432e-04,9.807063e-04,9.833565e-04,9.836900e-04,9.862170e-04,9.866695e-04,9.883083e-04,9.892305e-04,9.899846e-04,9.910868e-04,9.912662e-04,9.921728e-04,9.922844e-04,9.927238e-04,9.928675e-04,9.929380e-04,9.928791e-04,9.928336e-04,9.924283e-04,9.923603e-04,9.917392e-04,9.913503e-04,9.907827e-04,9.898869e-04,9.895750e-04,9.881312e-04,9.880059e-04,9.864662e-04,9.857415e-04,9.845943e-04,9.831261e-04,9.825291e-04,9.802836e-04,9.801902e-04,9.778705e-04,9.769630e-04,9.753017e-04,9.734719e-04,9.725888e-04,9.697427e-04,9.657996e-04,9.616656e-04,9.573619e-04,9.529087e-04,9.483248e-04,9.436276e-04,9.388336e-04,9.339579e-04,9.290147e-04,9.240171e-04,9.189774e-04,9.139068e-04,9.088157e-04,9.037139e-04,8.986102e-04,8.935127e-04,8.884289e-04,8.833657e-04,8.783293e-04,8.733254e-04,8.683593e-04,8.634355e-04,8.585583e-04,8.537316e-04
0.000000e+00,4.627772e-09,1.103251e-08,3.971691e-08,9.264561e-08,1.366554e-07,3.179109e-07,3.278011e-07,6.493515e-07,7.683810e-07,1.143824e-06,1.543080e-06,1.857889e-06,2.740812e-06,2.828285e-06,4.063897e-06,4.398488e-06,5.549867e-06,6.483604e-06,7.265642e-06,8.951578e-06,9.193642e-06,1.131921e-05,1.176683e-05,1.362870e-05,1.489771e-05,1.610810e-05,1.831114e-05,1.874237e-05,2.151536e-05,2.197078e-05,2.440999e-05,2.583746e-05,2.740866e-05,2.987058e-05,3.049363e-05,3.364747e-05,3.402976e-05,3.685338e-05,3.827635e-05,4.009550e-05,4.257463e-05,4.335911e-05,4.663076e-05,4.689247e-05,4.989836e-05,5.120181e-05,5.315116e-05,5.547867e-05,5.637973e-05,5.957584e-05,5.970291e-05,6.273246e-05,6.385800e-05,6.584364e-05,6.793069e-05,6.890437e-05,7.191049e-05,7.485863e-05,7.578933e-05,7.774607e-05,7.956118e-05,8.057069e-05,8.322168e-05,8.333084e-05,8.602533e-05,8.676790e-05,8.865334e-05,9.019802e-05,9.121438e-05,9.351119e-05,9.370822e-05,9.613484e-05,9.670724e-05,9.849443e-05,9.978666e-05,1.007874e-04,1.027504e-04,1.030141e-04,1.051753e-04,1.055998e-04,1.072717e-04,1.083365e-04,1.093041e-04,1.109624e-04,1.112733e-04,1.131802e-04,1.134796e-04,1.150259e-04,1.158904e-04,1.168114e-04,1.181970e-04,1.185376e-04,1.202058e-04,1.204021e-04,1.218169e-04,1.225080e-04,1.233721e-04,1.245174e-04,1.248726e-04,1.263194e-04,1.264329e-04,1.277137e-04,1.282570e-04,1.290566e-04,1.299923e-04,1.303493e-04,1.315929e-04,1.316416e-04,1.327885e-04,1.332073e-04,1.339372e-04,1.346921e-04,1.350402e-04,1.360985e-04,1.371134e-04,1.374291e-04,1.380857e-04,1.386862e-04,1.390166e-04,1.398723e-04,1.399072e-04,1.407585e-04,1.409899e-04,1.415715e-04,1.420413e-04,1.423472e-04,1.430288e-04,1.430866e-04,1.437907e-04,1.439546e-04,1.444605e-04,1.448209e-04,1.450969e-04,1.456300e-04,1.457008e-04,1.462731e-04,1.463839e-04,1.468148e-04,1.470846e-04,1.473267e-04,1.477342e-04,1.478096e-04,1.482645e-04,1.483347e-04,1.486920e-04,1.488878e-04,1.490932e-04,1.493955e-04,1.494686e-04,1.498192e-04,1.498596e-04,1.501456e-04,1.502817e-04,1.504486e-04,1.506636e-04,1.507289e-04,1.509872e-04,1.510070e-04,1.512243e-04,1.513133e-04,1.514408e-04,1.515843e-04,1.516373e-04,1.518145e-04,1.518212e-04,1.519731e-04,1.520257e-04,1.521136e-04,1.521991e-04,1.522366e-04,1.523428e-04,1.524580e-04,1.525461e-04,1.526082e-04,1.526457e-04,1.526595e-04,1.526509e-04,1.526209e-04,1.525706e-04,1.525008e-04,1.524127e-04,1.523070e-04,1.521848e-04,1.520469e-04,1.518940e-04,1.517271e-04,1.515469e-04,1.513541e-04,1.511494e-04,1.509335e-04,1.507072e-04,1.504709e-04,1.502254e-04,1.499712e-04,1.497089e-04
0.000000e+00,6.619212e-09,1.522476e-08,5.272739e-08,1.207234e-07,1.768212e-07,4.063079e-07,4.187919e-07,8.238698e-07,9.736627e-07,1.446513e-06,1.951384e-06,2.352211e-06,3.496974e-06,3.612401e-06,5.285335e-06,5.751235e-06,7.387290e-06,8.740292e-06,9.883395e-06,1.235695e-05,1.271179e-05,1.581157e-05,1.645955e-05,1.913358e-05,2.093582e-05,2.263958e-05,2.570400e-05,2.629858e-05,3.008371e-05,3.069937e-05,3.397036e-05,3.586514e-05,3.793525e-05,4.114844e-05,4.195603e-05,4.601130e-05,4.649927e-05,5.008079e-05,5.187092e-05,5.414540e-05,5.722023e-05,5.818736e-05,6.219076e-05,6.250892e-05,6.614116e-05,6.770360e-05,7.002596e-05,7.277617e-05,7.383420e-05,7.755657e-05,7.770356e-05,8.118532e-05,8.246749e-05,8.471413e-05,8.705403e-05,8.813799e-05,9.145306e-05,9.465657e-05,9.565780e-05,9.774666e-05,9.966429e-05,1.007223e-04,1.034709e-04,1.035831e-04,1.063293e-04,1.070778e-04,1.089616e-04,1.104868e-04,1.114813e-04,1.137010e-04,1.138897e-04,1.161887e-04,1.167244e-04,1.183803e-04,1.195614e-04,1.204667e-04,1.222175e-04,1.224502e-04,1.243334e-04,1.246982e-04,1.261188e-04,1.270094e-04,1.278090e-04,1.291571e-04,1.294067e-04,1.309145e-04,1.311475e-04,1.323351e-04,1.329868e-04,1.336712e-04,1.346811e-04,1.349256e-04,1.361007e-04,1.362366e-04,1.371994e-04,1.376592e-04,1.382240e-04,1.389548e-04,1.391772e-04,1.400616e-04,1.401294e-04,1.408794e-04,1.411885e-04,1.416332e-04,1.421375e-04,1.423252e-04,1.429579e-04,1.429820e-04,1.435333e-04,1.437269e-04,1.440538e-04,1.443774e-04,1.445215e-04,1.449383e-04,1.453064e-04,1.454143e-04,1.456278e-04,1.458098e-04,1.459043e-04,1.461292e-04,1.461378e-04,1.463301e-04,1.463768e-04,1.464829e-04,1.465564e-04,1.465980e-04,1.466720e-04,1.466770e-04,1.467215e-04,1.467272e-04,1.467330e-04,1.467256e-04,1.467131e-04,1.466707e-04,1.466631e-04,1.465846e-04,1.465656e-04,1.464788e-04,1.464134e-04,1.463470e-04,1.462172e-04,1.461906e-04,1.460107e-04,1.459798e-04,1.458085e-04,1.457039e-04,1.455852e-04,1.453921e-04,1.453419e-04,1.450796e-04,1.450468e-04,1.447993e-04,1.446705e-04,1.445020e-04,1.442654e-04,1.441888e-04,1.438604e-04,1.438335e-04,1.435179e-04,1.433770e-04,1.431619e-04,1.428978e-04,1.427934e-04,1.424132e-04,1.423977e-04,1.420219e-04,1.418785e-04,1.416203e-04,1.413417e-04,1.412092e-04,1.407891e-04,1.402220e-04,1.396420e-04,1.390503e-04,1.384482e-04,1.378369e-04,1.372175e-04,1.365912e-04,1.359588e-04,1.353214e-04,1.346799e-04,1.340352e-04,1.333879e-04,1.327388e-04,1.320888e-04,1.314383e-04,1.307881e-04,1.301387e-04,1.294907e-04,1.288445e-04,1.282007e-04,1.275596e-04,1.269217e-04,1.262874e-04,1.256569e-04
0.000000e+00,1.327258e-09,4.121261e-09,1.994206e-08,5.368313e-08,8.365539e-08,2.157110e-07,2.231881e-07,4.762844e-07,5.738732e-07,8.914257e-07,1.240046e-06,1.519120e-06,2.305859e-06,2.383584e-06,3.471811e-06,3.763346e-06,4.757940e-06,5.556566e-06,6.221166e-06,7.643662e-06,7.846944e-06,9.623722e-06,9.996234e-06,1.154044e-05,1.258856e-05,1.358527e-05,1.539242e-05,1.574515e-05,1.800583e-05,1.837589e-05,2.035216e-05,2.150422e-05,2.276846e-05,2.474127e-05,2.523896e-05,2.774826e-05,2.805127e-05,3.028159e-05,3.140029e-05,3.282519e-05,3.475735e-05,3.536639e-05,3.789383e-05,3.809512e-05,4.039743e-05,4.139020e-05,4.286845e-05,4.462316e-05,4.529939e-05,4.768395e-05,4.777829e-05,5.001694e-05,5.084337e-05,5.229422e-05,5.380925e-05,5.451251e-05,5.666930e-05,5.876271e-05,5.941898e-05,6.079139e-05,6.205538e-05,6.275453e-05,6.457715e-05,6.465177e-05,6.648317e-05,6.698420e-05,6.824906e-05,6.927739e-05,6.995003e-05,7.145830e-05,7.158692e-05,7.316072e-05,7.352918e-05,7.467269e-05,7.549297e-05,7.612440e-05,7.735319e-05,7.751727e-05,7.885253e-05,7.911281e-05,8.013169e-05,8.077513e-05,8.135611e-05,8.234337e-05,8.252724e-05,8.364656e-05,8.382095e-05,8.471555e-05,8.521120e-05,8.573563e-05,8.651746e-05,8.670826e-05,8.763487e-05,8.774303e-05,8.851687e-05,8.889119e-05,8.935568e-05,8.996513e-05,9.015267e-05,9.090919e-05,9.096800e-05,9.162656e-05,9.190285e-05,9.230610e-05,9.277264e-05,9.294906e-05,9.355669e-05,9.358027e-05,9.413020e-05,9.432854e-05,9.467078e-05,9.502016e-05,9.517959e-05,9.565775e-05,9.610635e-05,9.624384e-05,9.652647e-05,9.678088e-05,9.691914e-05,9.727121e-05,9.728536e-05,9.762612e-05,9.771710e-05,9.794237e-05,9.812074e-05,9.823504e-05,9.848422e-05,9.850500e-05,9.875315e-05,9.880955e-05,9.898031e-05,9.909866e-05,9.918731e-05,9.935342e-05,9.937493e-05,9.954395e-05,9.957559e-05,9.969510e-05,9.976688e-05,9.982911e-05,9.992893e-05,9.994666e-05,1.000484e-04,1.000633e-04,1.001351e-04,1.001715e-04,1.002072e-04,1.002549e-04,1.002655e-04,1.003105e-04,1.003150e-04,1.003427e-04,1.003530e-04,1.003627e-04,1.003702e-04,1.003711e-04,1.003684e-04,1.003677e-04,1.003550e-04,1.003468e-04,1.003315e-04,1.003085e-04,1.002982e-04,1.002557e-04,1.002538e-04,1.002044e-04,1.001838e-04,1.001446e-04,1.000994e-04,1.000769e-04,1.000015e-04,9.989097e-05,9.976860e-05,9.963520e-05,9.949151e-05,9.933824e-05,9.917605e-05,9.900561e-05,9.882750e-05,9.864233e-05,9.845063e-05,9.825293e-05,9.804973e-05,9.784151e-05,9.762871e-05,9.741175e-05,9.719106e-05,9.696699e-05,9.673993e-05,9.651021e-05,9.627816e-05,9.604409e-05,9.580830e-05,9.557104e-05,9.533260e-05
0.000000e+00,2.039151e-10,1.055922e-09,1.221152e-08,6.192744e-08,1.302365e-07,6.472313e-07,6.856876e-07,2.453361e-06,3.342233e-06,6.878586e-06,1.174068e-05,1.630607e-05,3.235121e-05,3.419737e-05,6.531940e-05,7.541498e-05,1.158690e-04,1.554553e-04,1.934917e-04,2.913089e-04,3.071826e-04,4.670919e-04,5.055798e-04,6.842707e-04,8.236925e-04,9.703819e-04,1.272740e-03,1.337394e-03,1.797270e-03,1.880254e-03,2.361664e-03,2.672973e-03,3.041627e-03,3.675686e-03,3.847342e-03,4.787884e-03,4.910192e-03,5.871014e-03,6.394439e-03,7.103020e-03,8.141860e-03,8.488593e-03,1.003075e-02,1.016094e-02,1.173080e-02,1.245500e-02,1.358835e-02,1.502222e-02,1.560134e-02,1.776612e-02,1.785580e-02,2.007757e-02,2.094438e-02,2.252918e-02,2.427245e-02,2.511325e-02,2.782098e-02,3.064269e-02,3.156803e-02,3.356795e-02,3.548938e-02,3.658573e-02,3.955922e-02,3.968459e-02,4.285282e-02,4.375074e-02,4.607857e-02,4.803669e-02,4.934999e-02,5.238995e-02,5.265535e-02,5.598316e-02,5.678393e-02,5.932223e-02,6.119299e-02,6.266177e-02,6.559275e-02,6.599146e-02,6.930153e-02,6.996036e-02,7.258274e-02,7.427467e-02,7.582647e-02,7.851638e-02,7.902473e-02,8.217017e-02,8.266809e-02,8.525609e-02,8.671439e-02,8.827643e-02,9.064182e-02,9.122577e-02,9.409933e-02,9.443886e-02,9.689293e-02,9.809583e-02,9.960297e-02,1.016049e-01,1.022265e-01,1.047609e-01,1.049597e-01,1.072043e-01,1.081558e-01,1.095552e-01,1.111900e-01,1.118126e-01,1.139758e-01,1.140604e-01,1.160446e-01,1.167663e-01,1.180192e-01,1.193083e-01,1.199000e-01,1.216877e-01,1.233834e-01,1.239067e-01,1.249883e-01,1.259685e-01,1.265039e-01,1.278764e-01,1.279319e-01,1.292741e-01,1.296348e-01,1.305325e-01,1.312481e-01,1.317091e-01,1.327213e-01,1.328062e-01,1.338261e-01,1.340596e-01,1.347710e-01,1.352684e-01,1.356434e-01,1.363531e-01,1.364458e-01,1.371805e-01,1.373195e-01,1.378500e-01,1.381732e-01,1.384568e-01,1.389199e-01,1.390034e-01,1.394922e-01,1.395652e-01,1.399255e-01,1.401146e-01,1.403059e-01,1.405736e-01,1.406356e-01,1.409169e-01,1.409475e-01,1.411521e-01,1.412416e-01,1.413434e-01,1.414607e-01,1.414929e-01,1.416027e-01,1.416099e-01,1.416749e-01,1.416937e-01,1.417114e-01,1.417166e-01,1.417141e-01,1.416849e-01,1.416831e-01,1.416255e-01,1.415971e-01,1.415377e-01,1.414627e-01,1.414232e-01,1.412834e-01,1.410630e-01,1.408048e-01,1.405118e-01,1.401872e-01,1.398338e-01,1.394542e-01,1.390510e-01,1.386265e-01,1.381829e-01,1.377222e-01,1.372465e-01,1.367574e-01,1.362568e-01,1.357461e-01,1.352269e-01,1.347004e-01,1.341680e-01,1.336308e-01,1.330899e-01,1.325463e-01,1.320009e-01,1.314546e-01,1.309081e-01,1.303622e-01
0.000000e+00,1.191334e-10,5.020533e-10,3.874871e-09,1.395954e-08,2.459332e-08,8.003694e-08,8.343012e-08,2.059796e-07,2.556969e-07,4.225837e-07,6.126469e-07,7.697657e-07,1.239076e-06,1.287661e-06,2.008624e-06,2.213651e-06,2.944124e-06,3.558818e-06,4.084984e-06,5.244123e-06,5.412668e-06,6.908511e-06,7.226417e-06,8.556687e-06,9.469392e-06,1.034365e-05,1.194272e-05,1.225678e-05,1.428351e-05,1.461746e-05,1.641081e-05,1.746371e-05,1.862523e-05,2.045024e-05,2.091300e-05,2.326032e-05,2.354536e-05,2.565373e-05,2.671809e-05,2.808033e-05,2.993925e-05,3.052800e-05,3.298555e-05,3.318227e-05,3.544285e-05,3.642364e-05,3.789086e-05,3.964314e-05,4.032158e-05,4.272811e-05,4.282378e-05,4.510453e-05,4.595169e-05,4.744584e-05,4.901566e-05,4.974777e-05,5.200685e-05,5.422024e-05,5.491850e-05,5.638572e-05,5.774566e-05,5.850154e-05,6.048481e-05,6.056642e-05,6.257941e-05,6.313365e-05,6.453990e-05,6.569084e-05,6.644754e-05,6.815579e-05,6.830221e-05,7.010399e-05,7.052857e-05,7.185310e-05,7.280974e-05,7.354992e-05,7.500025e-05,7.519494e-05,7.678872e-05,7.710139e-05,7.833194e-05,7.911466e-05,7.982530e-05,8.104176e-05,8.126958e-05,8.266562e-05,8.288456e-05,8.401425e-05,8.464502e-05,8.531638e-05,8.632520e-05,8.657290e-05,8.778474e-05,8.792721e-05,8.895284e-05,8.945319e-05,9.007814e-05,9.090533e-05,9.116159e-05,9.220414e-05,9.228580e-05,9.320674e-05,9.359681e-05,9.417035e-05,9.484053e-05,9.509590e-05,9.598434e-05,9.601912e-05,9.683660e-05,9.713473e-05,9.765360e-05,9.818948e-05,9.843625e-05,9.918546e-05,9.990211e-05,1.001247e-04,1.005871e-04,1.010093e-04,1.012413e-04,1.018411e-04,1.018655e-04,1.024606e-04,1.026221e-04,1.030274e-04,1.033542e-04,1.035667e-04,1.040392e-04,1.040793e-04,1.045660e-04,1.046790e-04,1.050276e-04,1.052753e-04,1.054647e-04,1.058298e-04,1.058782e-04,1.062688e-04,1.063442e-04,1.066371e-04,1.068201e-04,1.069839e-04,1.072590e-04,1.073097e-04,1.076154e-04,1.076625e-04,1.079015e-04,1.080321e-04,1.081687e-04,1.083692e-04,1.084175e-04,1.086486e-04,1.086752e-04,1.088625e-04,1.089514e-04,1.090599e-04,1.091992e-04,1.092413e-04,1.094071e-04,1.094198e-04,1.095581e-04,1.096144e-04,1.096946e-04,1.097842e-04,1.098172e-04,1.099263e-04,1.099304e-04,1.100225e-04,1.100541e-04,1.101062e-04,1.101562e-04,1.101779e-04,1.102379e-04,1.103002e-04,1.103439e-04,1.103700e-04,1.103794e-04,1.103730e-04,1.103515e-04,1.103158e-04,1.102666e-04,1.102047e-04,1.101307e-04,1.100454e-04,1.099493e-04,1.098432e-04,1.097275e-04,1.096029e-04,1.094700e-04,1.093292e-04,1.091811e-04,1.090262e-04,1.088649e-04,1.086976e-04,1.085249e-04,1.083470e-04,1.081645e-04
0.000000e+00,3.722378e-12,1.874763e-11,2.045816e-10,9.834901e-10,2.008160e-09,9.242901e-09,9.761477e-09,3.235574e-08,4.317304e-08,8.435125e-08,1.380840e-07,1.866623e-07,3.488724e-07,3.669308e-07,6.595143e-07,7.508138e-07,1.104596e-06,1.436701e-06,1.745896e-06,2.507415e-06,2.627234e-06,3.788986e-06,4.058124e-06,5.265328e-06,6.166434e-06,7.082608e-06,8.885924e-06,9.258700e-06,1.180310e-05,1.224459e-05,1.471741e-05,1.624630e-05,1.799609e-05,2.087354e-05,2.162719e-05,2.559320e-05,2.609061e-05,2.987180e-05,3.184675e-05,3.443663e-05,3.807916e-05,3.925799e-05,4.430358e-05,4.471590e-05,4.953921e-05,5.167875e-05,5.492943e-05,5.888591e-05,6.043826e-05,6.602977e-05,6.625465e-05,7.166869e-05,7.370369e-05,7.732089e-05,8.115531e-05,8.295387e-05,8.853713e-05,9.404247e-05,9.578345e-05,9.944422e-05,1.028363e-04,1.047194e-04,1.096457e-04,1.098478e-04,1.148121e-04,1.161706e-04,1.195974e-04,1.223777e-04,1.241919e-04,1.282420e-04,1.285860e-04,1.327726e-04,1.337460e-04,1.367469e-04,1.388786e-04,1.405059e-04,1.436350e-04,1.440487e-04,1.473756e-04,1.480153e-04,1.504888e-04,1.520242e-04,1.533913e-04,1.556698e-04,1.560875e-04,1.585823e-04,1.589631e-04,1.608815e-04,1.619176e-04,1.629916e-04,1.645480e-04,1.649193e-04,1.666717e-04,1.668705e-04,1.682561e-04,1.689020e-04,1.696800e-04,1.706595e-04,1.709509e-04,1.720763e-04,1.721602e-04,1.730634e-04,1.734213e-04,1.739198e-04,1.744593e-04,1.746523e-04,1.752682e-04,1.752905e-04,1.757739e-04,1.759304e-04,1.761762e-04,1.763939e-04,1.764813e-04,1.766951e-04,1.768235e-04,1.768475e-04,1.768721e-04,1.768637e-04,1.768460e-04,1.767555e-04,1.767503e-04,1.765899e-04,1.765340e-04,1.763691e-04,1.762095e-04,1.760924e-04,1.757919e-04,1.757638e-04,1.753871e-04,1.752900e-04,1.749661e-04,1.747122e-04,1.745040e-04,1.740662e-04,1.740043e-04,1.734699e-04,1.733591e-04,1.729037e-04,1.725977e-04,1.723085e-04,1.717880e-04,1.716868e-04,1.710410e-04,1.709356e-04,1.703733e-04,1.700457e-04,1.696859e-04,1.691231e-04,1.689807e-04,1.682597e-04,1.681722e-04,1.675245e-04,1.671970e-04,1.667769e-04,1.662012e-04,1.660182e-04,1.652501e-04,1.651883e-04,1.644738e-04,1.641612e-04,1.636905e-04,1.631230e-04,1.629015e-04,1.621078e-04,1.620760e-04,1.613105e-04,1.610228e-04,1.605106e-04,1.599655e-04,1.597088e-04,1.589060e-04,1.578462e-04,1.567876e-04,1.557317e-04,1.546800e-04,1.536334e-04,1.525933e-04,1.515604e-04,1.505357e-04,1.495200e-04,1.485140e-04,1.475182e-04,1.465332e-04,1.455596e-04,1.445976e-04,1.436477e-04,1.427102e-04,1.417852e-04,1.408732e-04,1.399741e-04,1.390882e-04,1.382155e-04,1.373562e-04,1.365103e-04,1.356777e-04
0.000000e+00,8.151370e-11,4.227081e-10,4.903289e-09,2.493431e-08,5.251714e-08,2.619935e-07,2.776027e-07,9.968562e-07,1.359303e-06,2.803866e-06,4.793845e-06,6.664782e-06,1.325036e-05,1.400880e-05,2.680789e-05,3.096422e-05,4.763719e-05,6.397862e-05,7.970339e-05,1.202410e-04,1.268323e-04,1.934167e-04,2.094900e-04,2.843342e-04,3.429615e-04,4.048434e-04,5.329749e-04,5.604668e-04,7.568650e-04,7.924525e-04,9.997079e-04,1.134407e-03,1.294546e-03,1.571431e-03,1.646687e-03,2.061079e-03,2.115207e-03,2.542204e-03,2.776074e-03,3.093989e-03,3.562656e-03,3.719730e-03,4.422027e-03,4.481579e-03,5.202750e-03,5.537273e-03,6.063010e-03,6.731869e-03,7.003151e-03,8.022758e-03,8.065182e-03,9.120681e-03,9.534769e-03,1.029507e-02,1.113606e-02,1.154340e-02,1.286256e-02,1.424888e-02,1.470603e-02,1.569823e-02,1.665679e-02,1.720603e-02,1.870397e-02,1.876739e-02,2.037711e-02,2.083577e-02,2.202980e-02,2.303973e-02,2.371990e-02,2.530300e-02,2.544179e-02,2.718980e-02,2.761258e-02,2.895829e-02,2.995550e-02,3.074168e-02,3.231905e-02,3.253451e-02,3.433147e-02,3.469090e-02,3.612743e-02,3.705930e-02,3.791748e-02,3.941311e-02,3.969692e-02,4.146132e-02,4.174195e-02,4.320652e-02,4.403625e-02,4.492863e-02,4.628726e-02,4.662405e-02,4.828945e-02,4.848713e-02,4.992181e-02,5.062887e-02,5.151840e-02,5.270636e-02,5.307675e-02,5.459471e-02,5.471434e-02,5.607035e-02,5.664839e-02,5.750204e-02,5.850486e-02,5.888839e-02,6.022825e-02,6.028086e-02,6.152069e-02,6.197422e-02,6.276502e-02,6.358342e-02,6.396073e-02,6.510752e-02,6.620526e-02,6.654618e-02,6.725399e-02,6.789953e-02,6.825389e-02,6.916816e-02,6.920529e-02,7.010866e-02,7.035307e-02,7.096456e-02,7.145560e-02,7.177368e-02,7.247742e-02,7.253680e-02,7.325477e-02,7.342047e-02,7.392852e-02,7.428688e-02,7.455906e-02,7.507902e-02,7.514743e-02,7.569473e-02,7.579937e-02,7.620211e-02,7.645056e-02,7.667074e-02,7.703530e-02,7.710180e-02,7.749653e-02,7.755639e-02,7.785613e-02,7.801664e-02,7.818186e-02,7.841889e-02,7.847495e-02,7.873663e-02,7.876598e-02,7.896814e-02,7.906076e-02,7.917070e-02,7.930602e-02,7.934551e-02,7.949379e-02,7.950454e-02,7.961669e-02,7.965900e-02,7.971538e-02,7.977209e-02,7.979100e-02,7.984465e-02,7.984635e-02,7.987743e-02,7.988432e-02,7.989038e-02,7.988840e-02,7.988456e-02,7.986095e-02,7.980419e-02,7.972031e-02,7.961136e-02,7.947933e-02,7.932611e-02,7.915349e-02,7.896318e-02,7.875680e-02,7.853589e-02,7.830189e-02,7.805617e-02,7.780002e-02,7.753464e-02,7.726119e-02,7.698072e-02,7.669422e-02,7.640265e-02,7.610685e-02,7.580765e-02,7.550579e-02,7.520197e-02,7.489685e-02,7.459102e-02,7.428502e-02
0.000000e+00,2.215843e-12,1.119132e-11,1.228140e-10,5.932706e-10,1.214404e-09,5.621373e-09,5.937971e-09,1.976281e-08,2.639031e-08,5.162019e-08,8.449984e-08,1.141643e-07,2.127603e-07,2.236943e-07,3.998173e-07,4.544329e-07,6.649152e-07,8.612894e-07,1.043445e-06,1.490751e-06,1.561069e-06,2.243574e-06,2.402064e-06,3.115563e-06,3.651301e-06,4.198920e-06,5.285276e-06,5.511180e-06,7.064023e-06,7.335224e-06,8.862174e-06,9.811898e-06,1.090288e-05,1.270353e-05,1.317604e-05,1.566491e-05,1.597706e-05,1.834718e-05,1.958194e-05,2.119633e-05,2.345529e-05,2.418299e-05,2.727624e-05,2.752736e-05,3.044483e-05,3.172646e-05,3.365813e-05,3.598296e-05,3.688699e-05,4.010426e-05,4.023236e-05,4.328527e-05,4.441724e-05,4.640806e-05,4.848844e-05,4.945354e-05,5.240547e-05,5.525042e-05,5.613638e-05,5.797761e-05,5.965730e-05,6.057877e-05,6.295171e-05,6.304788e-05,6.538100e-05,6.600957e-05,6.757598e-05,6.882638e-05,6.963228e-05,7.140225e-05,7.155069e-05,7.333318e-05,7.374105e-05,7.498264e-05,7.584958e-05,7.650275e-05,7.773684e-05,7.789779e-05,7.917249e-05,7.941344e-05,8.033194e-05,8.089106e-05,8.138144e-05,8.218202e-05,8.232642e-05,8.317240e-05,8.329894e-05,8.392485e-05,8.425440e-05,8.458920e-05,8.506082e-05,8.517076e-05,8.567471e-05,8.573021e-05,8.610605e-05,8.627409e-05,8.646961e-05,8.670343e-05,8.677001e-05,8.701165e-05,8.702857e-05,8.719874e-05,8.725920e-05,8.733526e-05,8.740437e-05,8.742498e-05,8.747145e-05,8.747246e-05,8.747803e-05,8.747125e-05,8.744788e-05,8.740790e-05,8.738394e-05,8.728900e-05,8.716565e-05,8.712058e-05,8.701632e-05,8.690817e-05,8.684328e-05,8.665683e-05,8.664865e-05,8.643441e-05,8.637116e-05,8.620239e-05,8.605536e-05,8.595431e-05,8.571326e-05,8.569176e-05,8.541624e-05,8.534834e-05,8.512911e-05,8.496373e-05,8.483165e-05,8.456229e-05,8.452505e-05,8.421042e-05,8.414662e-05,8.388877e-05,8.371905e-05,8.356104e-05,8.328171e-05,8.322812e-05,8.289082e-05,8.283649e-05,8.254987e-05,8.238513e-05,8.220598e-05,8.192918e-05,8.185979e-05,8.151188e-05,8.147004e-05,8.116280e-05,8.100896e-05,8.081305e-05,8.054707e-05,8.046309e-05,8.011334e-05,8.008538e-05,7.976420e-05,7.962479e-05,7.941602e-05,7.916611e-05,7.906913e-05,7.872382e-05,7.871005e-05,7.838039e-05,7.825726e-05,7.803906e-05,7.780829e-05,7.770009e-05,7.736366e-05,7.692379e-05,7.648908e-05,7.605985e-05,7.563639e-05,7.521895e-05,7.480774e-05,7.440294e-05,7.400470e-05,7.361312e-05,7.322832e-05,7.285036e-05,7.247929e-05,7.211514e-05,7.175794e-05,7.140768e-05,7.106435e-05,7.072793e-05,7.039839e-05,7.007567e-05,6.975974e-05,6.945052e-05,6.914795e-05,6.885197e-05,6.856248e-05
0.000000e+00,8.165110e-09,1.869363e-08,6.447866e-08,1.478692e-07,2.172572e-07,5.072154e-07,5.232645e-07,1.057407e-06,1.260379e-06,1.912155e-06,2.611033e-06,3.156512e-06,4.628992e-06,4.769762e-06,6.671579e-06,7.162910e-06,8.795275e-06,1.006556e-05,1.110002e-05,1.325593e-05,1.355823e-05,1.614668e-05,1.667799e-05,1.884249e-05,2.027894e-05,2.162208e-05,2.400398e-05,2.446124e-05,2.733580e-05,2.779744e-05,3.022236e-05,3.160565e-05,3.309898e-05,3.537964e-05,3.594572e-05,3.874496e-05,3.907693e-05,4.148157e-05,4.266250e-05,4.414294e-05,4.610891e-05,4.671889e-05,4.920149e-05,4.939587e-05,5.158486e-05,5.250946e-05,5.386494e-05,5.544117e-05,5.603921e-05,5.810646e-05,5.818692e-05,6.006661e-05,6.074617e-05,6.192045e-05,6.312109e-05,6.366951e-05,6.531588e-05,6.686209e-05,6.733619e-05,6.831102e-05,6.918870e-05,6.966576e-05,7.088072e-05,7.092957e-05,7.210584e-05,7.241997e-05,7.319799e-05,7.381434e-05,7.420947e-05,7.507174e-05,7.514371e-05,7.600411e-05,7.619999e-05,7.679399e-05,7.720675e-05,7.751663e-05,7.809944e-05,7.817519e-05,7.877276e-05,7.888522e-05,7.931233e-05,7.957095e-05,7.979679e-05,8.016321e-05,8.022896e-05,8.061152e-05,8.066830e-05,8.094708e-05,8.109219e-05,8.123813e-05,8.144054e-05,8.148706e-05,8.169617e-05,8.171869e-05,8.186766e-05,8.193174e-05,8.200363e-05,8.208446e-05,8.210611e-05,8.217703e-05,8.218140e-05,8.221824e-05,8.222680e-05,8.223149e-05,8.222464e-05,8.221843e-05,8.218065e-05,8.217865e-05,8.211968e-05,8.209234e-05,8.203698e-05,8.196904e-05,8.193393e-05,8.181184e-05,8.167197e-05,8.162365e-05,8.151551e-05,8.140718e-05,8.134357e-05,8.116495e-05,8.115723e-05,8.095752e-05,8.089933e-05,8.074538e-05,8.061252e-05,8.052174e-05,8.030657e-05,8.028746e-05,8.004336e-05,7.998341e-05,7.979024e-05,7.964482e-05,7.952882e-05,7.929248e-05,7.925982e-05,7.898388e-05,7.892792e-05,7.870165e-05,7.855259e-05,7.841371e-05,7.816784e-05,7.812062e-05,7.782293e-05,7.777490e-05,7.752112e-05,7.737493e-05,7.721567e-05,7.696900e-05,7.690704e-05,7.659564e-05,7.655811e-05,7.628187e-05,7.614316e-05,7.596611e-05,7.572502e-05,7.564871e-05,7.533001e-05,7.530446e-05,7.501031e-05,7.488221e-05,7.468991e-05,7.445894e-05,7.436909e-05,7.404810e-05,7.403527e-05,7.372721e-05,7.361175e-05,7.340662e-05,7.318891e-05,7.308656e-05,7.276723e-05,7.234714e-05,7.192904e-05,7.151330e-05,7.110024e-05,7.069017e-05,7.028336e-05,6.988006e-05,6.948048e-05,6.908483e-05,6.869328e-05,6.830599e-05,6.792311e-05,6.754474e-05,6.717100e-05,6.680199e-05,6.643778e-05,6.607842e-05,6.572399e-05,6.537452e-05,6.503005e-05,6.469060e-05,6.435618e-05,6.402680e-05,6.370247e-05
0.000000e+00,4.616252e-13,2.319262e-12,2.518980e-11,1.206545e-10,2.459566e-10,1.129084e-09,1.192375e-09,3.954877e-09,5.281660e-09,1.035770e-08,1.703727e-08,2.312509e-08,4.374075e-08,4.606013e-08,8.419150e-08,9.627267e-08,1.437160e-07,1.889563e-07,2.315178e-07,3.375109e-07,3.542884e-07,5.175877e-07,5.554787e-07,7.251887e-07,8.513043e-07,9.788201e-07,1.227317e-06,1.278240e-06,1.621515e-06,1.680306e-06,2.005383e-06,2.202846e-06,2.425623e-06,2.784759e-06,2.877387e-06,3.355473e-06,3.414359e-06,3.854546e-06,4.079414e-06,4.369297e-06,4.767815e-06,4.894574e-06,5.425467e-06,5.468040e-06,5.957376e-06,6.169462e-06,6.486062e-06,6.862542e-06,7.007675e-06,7.518778e-06,7.538959e-06,8.016357e-06,8.191664e-06,8.497826e-06,8.814900e-06,8.961017e-06,9.404174e-06,9.825930e-06,9.956198e-06,1.022528e-05,1.046879e-05,1.060157e-05,1.094078e-05,1.095445e-05,1.128383e-05,1.137186e-05,1.158988e-05,1.176246e-05,1.187298e-05,1.211364e-05,1.213368e-05,1.237268e-05,1.242689e-05,1.259078e-05,1.270411e-05,1.278888e-05,1.294742e-05,1.296794e-05,1.312897e-05,1.315910e-05,1.327299e-05,1.334150e-05,1.340103e-05,1.349699e-05,1.351412e-05,1.361325e-05,1.362789e-05,1.369941e-05,1.373643e-05,1.377353e-05,1.382476e-05,1.383651e-05,1.388920e-05,1.389487e-05,1.393242e-05,1.394863e-05,1.396693e-05,1.398776e-05,1.399342e-05,1.401258e-05,1.401381e-05,1.402500e-05,1.402822e-05,1.403128e-05,1.403228e-05,1.403193e-05,1.402744e-05,1.402716e-05,1.401825e-05,1.401388e-05,1.400479e-05,1.399339e-05,1.398744e-05,1.396652e-05,1.394238e-05,1.393401e-05,1.391529e-05,1.389653e-05,1.388552e-05,1.385465e-05,1.385332e-05,1.381890e-05,1.380890e-05,1.378248e-05,1.375975e-05,1.374424e-05,1.370760e-05,1.370436e-05,1.366298e-05,1.365284e-05,1.362025e-05,1.359579e-05,1.357631e-05,1.353673e-05,1.353128e-05,1.348526e-05,1.347595e-05,1.343837e-05,1.341366e-05,1.339069e-05,1.335010e-05,1.334231e-05,1.329332e-05,1.328543e-05,1.324379e-05,1.321984e-05,1.319378e-05,1.315348e-05,1.314337e-05,1.309261e-05,1.308650e-05,1.304155e-05,1.301901e-05,1.299025e-05,1.295113e-05,1.293875e-05,1.288711e-05,1.288297e-05,1.283535e-05,1.281462e-05,1.278351e-05,1.274617e-05,1.273165e-05,1.267977e-05,1.267770e-05,1.262793e-05,1.260927e-05,1.257614e-05,1.254096e-05,1.252443e-05,1.247283e-05,1.240492e-05,1.233729e-05,1.226999e-05,1.220305e-05,1.213651e-05,1.207041e-05,1.200478e-05,1.193964e-05,1.187503e-05,1.181096e-05,1.174746e-05,1.168454e-05,1.162222e-05,1.156052e-05,1.149945e-05,1.143903e-05,1.137925e-05,1.132013e-05,1.126168e-05,1.120391e-05,1.114681e-05,1.109040e-05,1.103468e-05,1.097964e-05
0.000000e+00,8.121493e-09,1.857807e-08,6.397069e-08,1.465642e-07,2.153121e-07,5.033510e-07,5.193346e-07,1.053248e-06,1.256655e-06,1.907926e-06,2.597530e-06,3.127591e-06,4.528122e-06,4.660251e-06,6.427116e-06,6.879705e-06,8.376510e-06,9.536113e-06,1.047800e-05,1.243539e-05,1.270933e-05,1.505002e-05,1.552944e-05,1.747885e-05,1.876931e-05,1.997353e-05,2.210316e-05,2.251110e-05,2.506869e-05,2.547827e-05,2.762431e-05,2.884426e-05,3.015758e-05,3.215571e-05,3.265017e-05,3.508613e-05,3.537397e-05,3.745202e-05,3.846791e-05,3.973693e-05,4.141398e-05,4.193234e-05,4.403197e-05,4.419566e-05,4.603149e-05,4.680263e-05,4.792831e-05,4.922976e-05,4.972133e-05,5.141065e-05,5.147608e-05,5.299740e-05,5.354386e-05,5.448347e-05,5.543778e-05,5.587142e-05,5.716422e-05,5.836522e-05,5.873073e-05,5.947799e-05,6.014558e-05,6.050625e-05,6.141738e-05,6.145378e-05,6.232438e-05,6.255489e-05,6.312185e-05,6.356678e-05,6.384991e-05,6.446154e-05,6.451219e-05,6.511224e-05,6.524737e-05,6.565346e-05,6.593209e-05,6.613917e-05,6.652316e-05,6.657250e-05,6.695650e-05,6.702764e-05,6.729406e-05,6.745216e-05,6.758794e-05,6.780299e-05,6.784079e-05,6.805509e-05,6.808597e-05,6.823324e-05,6.830657e-05,6.837748e-05,6.846990e-05,6.848995e-05,6.857268e-05,6.858070e-05,6.862759e-05,6.864342e-05,6.865651e-05,6.866215e-05,6.866113e-05,6.864310e-05,6.864073e-05,6.860394e-05,6.858268e-05,6.854509e-05,6.849131e-05,6.846793e-05,6.837375e-05,6.836965e-05,6.826376e-05,6.822052e-05,6.813911e-05,6.804653e-05,6.800089e-05,6.785011e-05,6.768772e-05,6.763346e-05,6.751465e-05,6.739866e-05,6.733172e-05,6.714759e-05,6.713975e-05,6.693949e-05,6.688203e-05,6.673164e-05,6.660357e-05,6.651688e-05,6.631372e-05,6.629582e-05,6.606906e-05,6.601386e-05,6.583716e-05,6.570524e-05,6.560063e-05,6.538904e-05,6.535996e-05,6.511561e-05,6.506634e-05,6.486801e-05,6.473812e-05,6.461757e-05,6.440529e-05,6.436467e-05,6.410966e-05,6.406869e-05,6.385288e-05,6.372908e-05,6.359463e-05,6.338718e-05,6.333522e-05,6.307492e-05,6.304363e-05,6.281397e-05,6.269902e-05,6.255263e-05,6.235389e-05,6.229112e-05,6.202964e-05,6.200873e-05,6.176840e-05,6.166400e-05,6.150757e-05,6.132012e-05,6.124732e-05,6.098781e-05,6.097745e-05,6.072920e-05,6.063634e-05,6.047161e-05,6.029710e-05,6.021517e-05,5.996000e-05,5.962531e-05,5.929325e-05,5.896402e-05,5.863782e-05,5.831481e-05,5.799514e-05,5.767893e-05,5.736630e-05,5.705735e-05,5.675216e-05,5.645082e-05,5.615338e-05,5.585990e-05,5.557041e-05,5.528497e-05,5.500358e-05,5.472628e-05,5.445307e-05,5.418396e-05,5.391895e-05,5.365804e-05,5.340121e-05,5.314846e-05,5.289975e-05
0.000000e+00,1.599376e-10,6.281547e-10,4.276658e-09,1.403045e-08,2.364111e-08,6.973692e-08,7.243289e-08,1.649248e-07,2.006089e-07,3.155981e-07,4.402762e-07,5.398314e-07,8.252120e-07,8.540508e-07,1.274054e-06,1.391950e-06,1.810148e-06,2.161187e-06,2.461198e-06,3.119079e-06,3.214223e-06,4.050671e-06,4.226345e-06,4.952612e-06,5.442395e-06,5.904996e-06,6.734797e-06,6.895345e-06,7.912859e-06,8.077519e-06,8.947766e-06,9.448017e-06,9.991016e-06,1.082595e-05,1.103420e-05,1.206959e-05,1.219297e-05,1.309019e-05,1.353296e-05,1.408985e-05,1.483228e-05,1.506325e-05,1.600597e-05,1.607994e-05,1.691441e-05,1.726754e-05,1.778579e-05,1.838909e-05,1.861810e-05,1.940996e-05,1.944078e-05,2.016057e-05,2.042063e-05,2.086969e-05,2.132824e-05,2.153745e-05,2.216434e-05,2.275114e-05,2.293061e-05,2.329886e-05,2.362943e-05,2.380868e-05,2.426366e-05,2.428191e-05,2.471995e-05,2.483649e-05,2.512426e-05,2.535128e-05,2.549634e-05,2.581149e-05,2.583771e-05,2.614986e-05,2.622059e-05,2.643428e-05,2.658198e-05,2.669241e-05,2.689895e-05,2.692568e-05,2.713546e-05,2.717471e-05,2.732307e-05,2.741229e-05,2.748979e-05,2.761459e-05,2.763684e-05,2.776539e-05,2.778432e-05,2.787656e-05,2.792406e-05,2.797141e-05,2.803623e-05,2.805096e-05,2.811616e-05,2.812306e-05,2.816793e-05,2.818668e-05,2.820714e-05,2.822905e-05,2.823462e-05,2.825113e-05,2.825199e-05,2.825741e-05,2.825722e-05,2.825416e-05,2.824629e-05,2.824204e-05,2.822167e-05,2.822069e-05,2.819363e-05,2.818176e-05,2.815847e-05,2.813077e-05,2.811673e-05,2.806888e-05,2.801540e-05,2.799717e-05,2.795672e-05,2.791662e-05,2.789325e-05,2.782817e-05,2.782537e-05,2.775346e-05,2.773265e-05,2.767785e-05,2.763085e-05,2.759887e-05,2.752349e-05,2.751682e-05,2.743198e-05,2.741123e-05,2.734462e-05,2.729469e-05,2.725499e-05,2.717443e-05,2.716333e-05,2.706986e-05,2.705096e-05,2.697478e-05,2.692477e-05,2.687829e-05,2.679628e-05,2.678057e-05,2.668180e-05,2.666591e-05,2.658212e-05,2.653401e-05,2.648170e-05,2.640092e-05,2.638067e-05,2.627916e-05,2.626695e-05,2.617729e-05,2.613239e-05,2.607518e-05,2.599748e-05,2.597294e-05,2.587065e-05,2.586247e-05,2.576842e-05,2.572756e-05,2.566633e-05,2.559296e-05,2.556446e-05,2.546288e-05,2.545882e-05,2.536167e-05,2.532533e-05,2.526088e-05,2.519261e-05,2.516057e-05,2.506080e-05,2.493002e-05,2.480038e-05,2.467195e-05,2.454484e-05,2.441911e-05,2.429483e-05,2.417206e-05,2.405084e-05,2.393123e-05,2.381325e-05,2.369694e-05,2.358233e-05,2.346944e-05,2.335828e-05,2.324887e-05,2.314122e-05,2.303533e-05,2.293121e-05,2.282885e-05,2.272825e-05,2.262941e-05,2.253232e-05,2.243698e-05,2.234336e-05
0.000000e+00,3.636811e-12,1.701354e-11,1.596910e-10,6.711530e-10,1.274518e-09,4.884240e-09,5.120648e-09,1.424343e-08,1.814097e-08,3.159672e-08,4.723783e-08,6.025224e-08,9.920481e-08,1.032411e-07,1.634906e-07,1.808324e-07,2.437897e-07,2.984875e-07,3.467127e-07,4.577440e-07,4.744376e-07,6.284208e-07,6.624199e-07,8.089558e-07,9.129725e-07,1.014765e-06,1.205027e-06,1.242847e-06,1.488726e-06,1.529366e-06,1.747033e-06,1.873788e-06,2.012192e-06,2.225737e-06,2.279006e-06,2.543015e-06,2.574328e-06,2.800633e-06,2.911228e-06,3.049133e-06,3.230663e-06,3.286553e-06,3.511566e-06,3.529003e-06,3.723349e-06,3.804253e-06,3.921481e-06,4.055607e-06,4.105845e-06,4.276561e-06,4.283110e-06,4.433933e-06,4.487401e-06,4.578399e-06,4.669535e-06,4.710497e-06,4.830834e-06,4.940066e-06,4.972785e-06,5.038872e-06,5.096953e-06,5.127939e-06,5.204917e-06,5.207952e-06,5.279580e-06,5.298222e-06,5.343469e-06,5.378346e-06,5.400236e-06,5.446676e-06,5.450467e-06,5.494710e-06,5.504495e-06,5.533478e-06,5.552976e-06,5.567249e-06,5.593182e-06,5.596460e-06,5.621518e-06,5.626064e-06,5.642793e-06,5.652475e-06,5.660624e-06,5.673169e-06,5.675321e-06,5.687167e-06,5.688815e-06,5.696417e-06,5.700005e-06,5.703305e-06,5.707258e-06,5.708042e-06,5.710820e-06,5.711030e-06,5.711813e-06,5.711726e-06,5.711179e-06,5.709697e-06,5.709061e-06,5.705589e-06,5.705257e-06,5.700883e-06,5.698679e-06,5.695049e-06,5.690206e-06,5.688186e-06,5.680382e-06,5.680052e-06,5.671721e-06,5.668407e-06,5.662275e-06,5.655439e-06,5.652113e-06,5.641299e-06,5.629888e-06,5.626120e-06,5.617934e-06,5.610022e-06,5.605486e-06,5.593112e-06,5.592588e-06,5.579281e-06,5.575487e-06,5.565604e-06,5.557234e-06,5.551591e-06,5.538431e-06,5.537276e-06,5.522688e-06,5.519150e-06,5.507856e-06,5.499453e-06,5.492805e-06,5.479400e-06,5.477561e-06,5.462145e-06,5.459043e-06,5.446579e-06,5.438432e-06,5.430882e-06,5.417610e-06,5.415073e-06,5.399169e-06,5.396617e-06,5.383186e-06,5.375490e-06,5.367138e-06,5.354264e-06,5.351041e-06,5.334906e-06,5.332968e-06,5.318746e-06,5.311631e-06,5.302573e-06,5.290280e-06,5.286398e-06,5.270230e-06,5.268938e-06,5.254080e-06,5.247626e-06,5.237955e-06,5.226366e-06,5.221864e-06,5.205816e-06,5.205175e-06,5.189816e-06,5.184070e-06,5.173873e-06,5.163066e-06,5.157991e-06,5.142178e-06,5.121418e-06,5.100798e-06,5.080329e-06,5.060021e-06,5.039882e-06,5.019921e-06,5.000144e-06,4.980559e-06,4.961172e-06,4.941987e-06,4.923009e-06,4.904243e-06,4.885692e-06,4.867359e-06,4.849247e-06,4.831359e-06,4.813696e-06,4.796260e-06,4.779053e-06,4.762075e-06,4.745327e-06,4.728809e-06,4.712522e-06,4.696466e-06
0.000000e+00,3.932752e-09,9.074124e-09,3.136602e-08,7.132307e-08,1.039135e-07,2.344203e-07,2.414064e-07,4.628877e-07,5.425529e-07,7.875574e-07,1.040107e-06,1.235182e-06,1.772022e-06,1.824798e-06,2.569923e-06,2.772318e-06,3.471312e-06,4.039508e-06,4.514783e-06,5.532810e-06,5.677929e-06,6.937885e-06,7.199661e-06,8.274405e-06,8.993703e-06,9.669801e-06,1.087574e-05,1.110814e-05,1.257468e-05,1.281100e-05,1.405560e-05,1.476773e-05,1.553803e-05,1.671706e-05,1.701012e-05,1.846119e-05,1.863344e-05,1.988182e-05,2.049513e-05,2.126394e-05,2.228440e-05,2.260082e-05,2.388706e-05,2.398764e-05,2.511852e-05,2.559506e-05,2.629220e-05,2.710034e-05,2.740615e-05,2.845932e-05,2.850018e-05,2.945145e-05,2.979373e-05,3.038292e-05,3.098214e-05,3.125468e-05,3.206808e-05,3.282482e-05,3.305532e-05,3.352686e-05,3.394844e-05,3.417634e-05,3.475248e-05,3.477551e-05,3.532673e-05,3.547279e-05,3.583234e-05,3.611480e-05,3.629471e-05,3.668392e-05,3.671618e-05,3.709905e-05,3.718544e-05,3.744553e-05,3.762446e-05,3.775777e-05,3.800587e-05,3.803785e-05,3.828776e-05,3.833429e-05,3.850939e-05,3.861407e-05,3.870455e-05,3.884927e-05,3.887494e-05,3.902220e-05,3.904371e-05,3.914785e-05,3.920092e-05,3.925335e-05,3.932417e-05,3.934008e-05,3.940931e-05,3.941650e-05,3.946228e-05,3.948072e-05,3.950011e-05,3.951941e-05,3.952389e-05,3.953463e-05,3.953495e-05,3.953325e-05,3.952952e-05,3.952067e-05,3.950512e-05,3.949769e-05,3.946511e-05,3.946362e-05,3.942366e-05,3.940670e-05,3.937402e-05,3.933592e-05,3.931684e-05,3.925271e-05,3.918221e-05,3.915838e-05,3.910585e-05,3.905414e-05,3.902413e-05,3.894107e-05,3.893752e-05,3.884644e-05,3.882019e-05,3.875130e-05,3.869243e-05,3.865249e-05,3.855863e-05,3.855034e-05,3.844520e-05,3.841955e-05,3.833737e-05,3.827592e-05,3.822714e-05,3.812837e-05,3.811478e-05,3.800055e-05,3.797750e-05,3.788468e-05,3.782385e-05,3.776738e-05,3.766791e-05,3.764887e-05,3.752934e-05,3.751013e-05,3.740896e-05,3.735092e-05,3.728790e-05,3.719067e-05,3.716632e-05,3.704436e-05,3.702970e-05,3.692215e-05,3.686833e-05,3.679982e-05,3.670685e-05,3.667749e-05,3.655527e-05,3.654549e-05,3.643324e-05,3.638451e-05,3.631152e-05,3.622411e-05,3.619018e-05,3.606930e-05,3.606447e-05,3.594896e-05,3.590578e-05,3.582922e-05,3.574818e-05,3.571016e-05,3.559182e-05,3.543682e-05,3.528328e-05,3.513132e-05,3.498101e-05,3.483243e-05,3.468566e-05,3.454076e-05,3.439776e-05,3.425673e-05,3.411769e-05,3.398068e-05,3.384572e-05,3.371284e-05,3.358204e-05,3.345335e-05,3.332677e-05,3.320230e-05,3.307994e-05,3.295969e-05,3.284155e-05,3.272551e-05,3.261156e-05,3.249968e-05,3.238987e-05
0.000000e+00,3.965740e-09,9.209815e-09,3.219427e-08,7.404457e-08,1.086913e-07,2.514766e-07,2.592904e-07,5.148457e-07,6.099434e-07,9.091681e-07,1.221852e-06,1.462108e-06,2.104820e-06,2.166270e-06,3.002860e-06,3.221494e-06,3.956055e-06,4.536120e-06,5.013528e-06,6.021349e-06,6.163917e-06,7.395350e-06,7.650249e-06,8.695000e-06,9.393287e-06,1.004928e-05,1.121889e-05,1.144424e-05,1.286612e-05,1.309523e-05,1.430177e-05,1.499216e-05,1.573905e-05,1.688267e-05,1.716705e-05,1.857627e-05,1.874372e-05,1.995861e-05,2.055655e-05,2.130741e-05,2.230678e-05,2.261740e-05,2.388448e-05,2.398390e-05,2.510565e-05,2.558076e-05,2.627881e-05,2.709302e-05,2.740268e-05,2.847661e-05,2.851853e-05,2.950050e-05,2.985691e-05,3.047468e-05,3.110905e-05,3.139981e-05,3.227684e-05,3.310690e-05,3.336281e-05,3.389129e-05,3.436997e-05,3.463140e-05,3.530161e-05,3.532870e-05,3.598471e-05,3.616120e-05,3.660097e-05,3.695229e-05,3.717903e-05,3.767841e-05,3.772041e-05,3.822665e-05,3.834309e-05,3.869924e-05,3.894974e-05,3.913964e-05,3.950170e-05,3.954927e-05,3.992953e-05,4.000218e-05,4.028175e-05,4.045426e-05,4.060724e-05,4.086090e-05,4.090724e-05,4.118298e-05,4.122492e-05,4.143561e-05,4.154900e-05,4.166626e-05,4.183568e-05,4.187601e-05,4.206589e-05,4.208738e-05,4.223689e-05,4.230640e-05,4.238997e-05,4.249488e-05,4.252603e-05,4.264596e-05,4.265488e-05,4.275058e-05,4.278833e-05,4.284070e-05,4.289704e-05,4.291708e-05,4.298045e-05,4.298272e-05,4.303151e-05,4.304700e-05,4.307092e-05,4.309140e-05,4.309932e-05,4.311733e-05,4.312551e-05,4.312614e-05,4.312442e-05,4.311910e-05,4.311459e-05,4.309739e-05,4.309651e-05,4.307068e-05,4.306212e-05,4.303754e-05,4.301434e-05,4.299754e-05,4.295502e-05,4.295107e-05,4.289855e-05,4.288509e-05,4.284034e-05,4.280540e-05,4.277681e-05,4.271676e-05,4.270828e-05,4.263510e-05,4.261993e-05,4.255756e-05,4.251561e-05,4.247595e-05,4.240447e-05,4.239056e-05,4.230166e-05,4.228712e-05,4.220949e-05,4.216415e-05,4.211429e-05,4.203610e-05,4.201629e-05,4.191571e-05,4.190347e-05,4.181275e-05,4.176674e-05,4.170761e-05,4.162635e-05,4.160047e-05,4.149151e-05,4.148272e-05,4.138089e-05,4.133622e-05,4.126878e-05,4.118722e-05,4.115532e-05,4.104066e-05,4.103605e-05,4.092493e-05,4.088303e-05,4.080826e-05,4.072844e-05,4.069076e-05,4.057257e-05,4.041565e-05,4.025793e-05,4.009963e-05,3.994094e-05,3.978205e-05,3.962314e-05,3.946437e-05,3.930589e-05,3.914784e-05,3.899034e-05,3.883352e-05,3.867747e-05,3.852231e-05,3.836811e-05,3.821498e-05,3.806297e-05,3.791217e-05,3.776264e-05,3.761442e-05,3.746759e-05,3.732218e-05,3.717823e-05,3.703579e-05,3.689489e-05
0.000000e+00,2.166282e-12,1.083296e-11,1.164820e-10,5.524970e-10,1.119848e-09,5.057162e-09,5.336763e-09,1.735817e-08,2.304248e-08,4.443957e-08,7.198398e-08,9.663735e-08,1.778349e-07,1.867935e-07,3.304427e-07,3.748344e-07,5.456343e-07,7.048486e-07,8.525614e-07,1.215660e-06,1.272794e-06,1.827907e-06,1.956899e-06,2.537470e-06,2.972776e-06,3.416732e-06,4.293212e-06,4.474635e-06,5.712690e-06,5.927197e-06,7.124934e-06,7.861210e-06,8.698799e-06,1.006246e-05,1.041653e-05,1.225684e-05,1.248482e-05,1.419649e-05,1.507525e-05,1.621162e-05,1.777919e-05,1.827887e-05,2.037611e-05,2.054456e-05,2.248301e-05,2.332431e-05,2.458133e-05,2.607772e-05,2.665505e-05,2.869045e-05,2.877090e-05,3.067598e-05,3.137668e-05,3.260216e-05,3.387415e-05,3.446146e-05,3.624804e-05,3.795765e-05,3.848796e-05,3.958739e-05,4.058768e-05,4.113555e-05,4.254436e-05,4.260142e-05,4.398515e-05,4.435798e-05,4.528760e-05,4.603065e-05,4.651023e-05,4.756618e-05,4.765494e-05,4.872403e-05,4.896963e-05,4.972004e-05,5.024691e-05,5.064575e-05,5.140452e-05,5.150406e-05,5.229797e-05,5.244930e-05,5.303053e-05,5.338822e-05,5.370477e-05,5.422827e-05,5.432371e-05,5.489033e-05,5.497633e-05,5.540752e-05,5.563905e-05,5.587810e-05,5.622282e-05,5.630478e-05,5.669017e-05,5.673376e-05,5.703678e-05,5.717763e-05,5.734702e-05,5.755988e-05,5.762317e-05,5.786740e-05,5.788562e-05,5.808177e-05,5.815960e-05,5.826825e-05,5.838629e-05,5.842869e-05,5.856483e-05,5.856980e-05,5.867834e-05,5.871397e-05,5.877078e-05,5.882235e-05,5.884361e-05,5.889823e-05,5.893593e-05,5.894462e-05,5.895794e-05,5.896433e-05,5.896542e-05,5.895993e-05,5.895945e-05,5.894105e-05,5.893380e-05,5.891117e-05,5.888811e-05,5.887072e-05,5.882488e-05,5.882052e-05,5.876138e-05,5.874593e-05,5.869402e-05,5.865297e-05,5.861914e-05,5.854755e-05,5.853740e-05,5.844938e-05,5.843108e-05,5.835568e-05,5.830488e-05,5.825681e-05,5.817013e-05,5.815327e-05,5.804553e-05,5.802793e-05,5.793402e-05,5.787928e-05,5.781915e-05,5.772509e-05,5.770130e-05,5.758082e-05,5.756620e-05,5.745803e-05,5.740336e-05,5.733326e-05,5.723727e-05,5.720678e-05,5.707886e-05,5.706857e-05,5.694976e-05,5.689783e-05,5.681969e-05,5.672558e-05,5.668889e-05,5.655754e-05,5.655228e-05,5.642584e-05,5.637838e-05,5.629396e-05,5.620425e-05,5.616205e-05,5.603026e-05,5.585672e-05,5.568392e-05,5.551211e-05,5.534153e-05,5.517238e-05,5.500485e-05,5.483910e-05,5.467528e-05,5.451351e-05,5.435390e-05,5.419656e-05,5.404156e-05,5.388897e-05,5.373886e-05,5.359128e-05,5.344626e-05,5.330384e-05,5.316404e-05,5.302688e-05,5.289237e-05,5.276052e-05,5.263132e-05,5.250477e-05,5.238087e-05
0.000000e+00,4.987862e-10,1.401853e-09,5.966769e-09,1.490093e-08,2.244616e-08,5.345847e-08,5.513589e-08,1.085727e-07,1.278202e-07,1.868713e-07,2.474046e-07,2.939099e-07,4.209248e-07,4.333514e-07,6.082515e-07,6.557136e-07,8.200137e-07,9.542983e-07,1.067219e-06,1.310837e-06,1.345739e-06,1.650240e-06,1.713791e-06,1.975528e-06,2.151339e-06,2.316994e-06,2.613331e-06,2.670557e-06,3.032488e-06,3.090938e-06,3.399292e-06,3.576108e-06,3.767655e-06,4.061360e-06,4.134451e-06,4.496766e-06,4.539813e-06,4.851935e-06,5.005324e-06,5.197585e-06,5.452633e-06,5.531655e-06,5.852418e-06,5.877461e-06,6.158485e-06,6.276549e-06,6.448797e-06,6.647636e-06,6.722608e-06,6.979464e-06,6.989382e-06,7.219171e-06,7.301267e-06,7.441761e-06,7.583456e-06,7.647466e-06,7.836676e-06,8.009915e-06,8.062078e-06,8.167807e-06,8.261124e-06,8.311050e-06,8.435480e-06,8.440396e-06,8.556628e-06,8.586931e-06,8.660542e-06,8.717310e-06,8.752936e-06,8.828441e-06,8.834597e-06,8.906292e-06,8.922099e-06,8.968762e-06,8.999980e-06,9.022714e-06,9.063684e-06,9.068824e-06,9.107727e-06,9.114696e-06,9.140021e-06,9.154390e-06,9.166266e-06,9.184018e-06,9.186981e-06,9.202651e-06,9.204720e-06,9.213724e-06,9.217529e-06,9.220616e-06,9.223377e-06,9.223709e-06,9.223354e-06,9.223095e-06,9.219874e-06,9.217429e-06,9.213563e-06,9.207043e-06,9.204695e-06,9.193518e-06,9.192531e-06,9.180259e-06,9.174419e-06,9.165125e-06,9.153175e-06,9.148306e-06,9.129977e-06,9.129214e-06,9.110295e-06,9.102907e-06,9.089405e-06,9.074579e-06,9.067442e-06,9.044524e-06,9.020762e-06,9.012997e-06,8.996258e-06,8.980228e-06,8.971102e-06,8.946418e-06,8.945380e-06,8.919167e-06,8.911749e-06,8.892534e-06,8.876381e-06,8.865547e-06,8.840456e-06,8.838264e-06,8.810739e-06,8.804103e-06,8.783023e-06,8.767434e-06,8.755159e-06,8.730550e-06,8.727190e-06,8.699153e-06,8.693541e-06,8.671084e-06,8.656486e-06,8.643014e-06,8.619457e-06,8.614973e-06,8.586988e-06,8.582517e-06,8.559082e-06,8.545723e-06,8.531280e-06,8.509125e-06,8.503600e-06,8.476062e-06,8.472768e-06,8.448683e-06,8.436690e-06,8.421478e-06,8.400927e-06,8.394461e-06,8.367647e-06,8.365511e-06,8.341046e-06,8.330468e-06,8.314669e-06,8.295822e-06,8.288526e-06,8.262625e-06,8.261594e-06,8.236975e-06,8.227803e-06,8.211582e-06,8.194464e-06,8.186452e-06,8.161591e-06,8.129195e-06,8.097286e-06,8.065871e-06,8.034958e-06,8.004551e-06,7.974653e-06,7.945269e-06,7.916398e-06,7.888043e-06,7.860203e-06,7.832876e-06,7.806062e-06,7.779757e-06,7.753960e-06,7.728666e-06,7.703872e-06,7.679574e-06,7.655766e-06,7.632445e-06,7.609603e-06,7.587237e-06,7.565340e-06,7.543907e-06,7.522930e-06
0.000000e+00,6.862924e-12,3.345225e-11,3.412689e-10,1.544045e-09,3.050591e-09,1.291447e-08,1.359342e-08,4.158245e-08,5.431715e-08,1.007202e-07,1.582659e-07,2.084522e-07,3.683728e-07,3.856519e-07,6.562910e-07,7.380412e-07,1.046671e-06,1.327612e-06,1.583472e-06,2.195670e-06,2.290018e-06,3.181307e-06,3.382205e-06,4.259927e-06,4.891710e-06,5.514946e-06,6.689403e-06,6.924048e-06,8.457538e-06,8.712257e-06,1.008260e-05,1.088553e-05,1.176672e-05,1.313629e-05,1.347995e-05,1.519612e-05,1.540117e-05,1.689324e-05,1.762920e-05,1.855347e-05,1.978179e-05,2.016275e-05,2.171037e-05,2.183126e-05,2.318851e-05,2.375902e-05,2.459176e-05,2.555378e-05,2.591677e-05,2.716184e-05,2.720997e-05,2.832663e-05,2.872642e-05,2.941191e-05,3.010527e-05,3.041928e-05,3.135104e-05,3.220994e-05,3.246991e-05,3.299911e-05,3.346912e-05,3.372190e-05,3.435656e-05,3.438179e-05,3.498234e-05,3.514034e-05,3.552708e-05,3.582860e-05,3.601951e-05,3.642925e-05,3.646301e-05,3.686087e-05,3.694992e-05,3.721624e-05,3.739781e-05,3.753211e-05,3.777967e-05,3.781133e-05,3.805658e-05,3.810177e-05,3.827038e-05,3.836993e-05,3.845512e-05,3.858946e-05,3.861301e-05,3.874612e-05,3.876525e-05,3.885640e-05,3.890175e-05,3.894564e-05,3.900302e-05,3.901553e-05,3.906762e-05,3.907275e-05,3.910336e-05,3.911426e-05,3.912410e-05,3.913060e-05,3.913108e-05,3.912546e-05,3.912450e-05,3.910831e-05,3.909844e-05,3.908062e-05,3.905467e-05,3.904330e-05,3.899722e-05,3.899521e-05,3.894316e-05,3.892189e-05,3.888185e-05,3.883636e-05,3.881395e-05,3.874010e-05,3.866087e-05,3.863447e-05,3.857680e-05,3.852069e-05,3.848838e-05,3.839983e-05,3.839607e-05,3.830029e-05,3.827290e-05,3.820143e-05,3.814078e-05,3.809985e-05,3.800429e-05,3.799589e-05,3.788986e-05,3.786413e-05,3.778203e-05,3.772097e-05,3.767269e-05,3.757540e-05,3.756207e-05,3.745039e-05,3.742795e-05,3.733787e-05,3.727909e-05,3.722469e-05,3.712925e-05,3.711104e-05,3.699707e-05,3.697882e-05,3.688294e-05,3.682814e-05,3.676878e-05,3.667752e-05,3.665472e-05,3.654088e-05,3.652724e-05,3.642737e-05,3.637755e-05,3.631428e-05,3.622867e-05,3.620171e-05,3.608973e-05,3.608080e-05,3.597843e-05,3.593412e-05,3.586788e-05,3.578877e-05,3.575813e-05,3.564924e-05,3.564491e-05,3.554127e-05,3.550264e-05,3.543426e-05,3.536207e-05,3.532826e-05,3.522330e-05,3.508641e-05,3.495147e-05,3.481853e-05,3.468765e-05,3.455887e-05,3.443222e-05,3.430772e-05,3.418541e-05,3.406529e-05,3.394737e-05,3.383166e-05,3.371816e-05,3.360687e-05,3.349778e-05,3.339088e-05,3.328616e-05,3.318360e-05,3.308318e-05,3.298489e-05,3.288871e-05,3.279461e-05,3.270256e-05,3.261255e-05,3.252455e-05
0.000000e+00,6.968050e-09,1.625017e-08,5.747073e-08,1.342894e-07,1.993841e-07,4.799603e-07,4.958313e-07,1.039197e-06,1.251515e-06,1.945042e-06,2.697332e-06,3.286242e-06,4.880656e-06,5.033608e-06,7.112851e-06,7.654285e-06,9.466096e-06,1.088962e-05,1.205744e-05,1.451551e-05,1.486278e-05,1.786224e-05,1.848374e-05,2.103646e-05,2.274943e-05,2.436512e-05,2.726479e-05,2.782664e-05,3.139865e-05,3.197890e-05,3.505841e-05,3.683965e-05,3.878350e-05,4.179613e-05,4.255243e-05,4.634503e-05,4.680083e-05,5.014281e-05,5.181112e-05,5.392913e-05,5.678996e-05,5.768930e-05,6.141054e-05,6.170622e-05,6.508190e-05,6.653436e-05,6.869415e-05,7.125399e-05,7.223961e-05,7.571209e-05,7.584940e-05,7.910666e-05,8.030884e-05,8.241936e-05,8.462360e-05,8.564706e-05,8.878749e-05,9.183908e-05,9.279664e-05,9.480080e-05,9.664890e-05,9.767218e-05,1.003437e-04,1.004532e-04,1.031441e-04,1.038815e-04,1.057455e-04,1.072637e-04,1.082582e-04,1.104926e-04,1.106834e-04,1.130226e-04,1.135714e-04,1.152773e-04,1.165035e-04,1.174489e-04,1.192922e-04,1.195388e-04,1.215486e-04,1.219411e-04,1.234799e-04,1.244537e-04,1.253344e-04,1.268340e-04,1.271137e-04,1.288197e-04,1.290859e-04,1.304539e-04,1.312134e-04,1.320182e-04,1.332203e-04,1.335141e-04,1.349435e-04,1.351107e-04,1.363081e-04,1.368884e-04,1.376096e-04,1.385576e-04,1.388497e-04,1.400301e-04,1.401220e-04,1.411524e-04,1.415854e-04,1.422183e-04,1.429517e-04,1.432293e-04,1.441872e-04,1.442244e-04,1.450934e-04,1.454073e-04,1.459496e-04,1.465039e-04,1.467572e-04,1.475177e-04,1.482326e-04,1.484520e-04,1.489033e-04,1.493101e-04,1.495313e-04,1.500952e-04,1.501179e-04,1.506644e-04,1.508104e-04,1.511722e-04,1.514588e-04,1.516426e-04,1.520433e-04,1.520768e-04,1.524760e-04,1.525668e-04,1.528415e-04,1.530319e-04,1.531745e-04,1.534415e-04,1.534760e-04,1.537472e-04,1.537979e-04,1.539892e-04,1.541038e-04,1.542030e-04,1.543616e-04,1.543897e-04,1.545503e-04,1.545736e-04,1.546856e-04,1.547420e-04,1.547968e-04,1.548690e-04,1.548847e-04,1.549502e-04,1.549566e-04,1.549943e-04,1.550070e-04,1.550176e-04,1.550220e-04,1.550211e-04,1.550056e-04,1.550036e-04,1.549718e-04,1.549534e-04,1.549206e-04,1.548733e-04,1.548526e-04,1.547685e-04,1.547648e-04,1.546691e-04,1.546296e-04,1.545549e-04,1.544693e-04,1.544268e-04,1.542852e-04,1.540788e-04,1.538515e-04,1.536045e-04,1.533391e-04,1.530564e-04,1.527577e-04,1.524440e-04,1.521164e-04,1.517758e-04,1.514232e-04,1.510595e-04,1.506856e-04,1.503024e-04,1.499105e-04,1.495109e-04,1.491041e-04,1.486909e-04,1.482720e-04,1.478479e-04,1.474193e-04,1.469867e-04,1.465507e-04,1.461117e-04,1.456703e-04
0.000000e+00,1.389191e-10,5.134045e-10,3.163704e-09,9.716015e-09,1.591248e-08,4.446880e-08,4.610916e-08,1.016638e-07,1.229219e-07,1.912894e-07,2.654087e-07,3.245471e-07,4.926299e-07,5.094130e-07,7.477764e-07,8.124995e-07,1.034878e-06,1.214281e-06,1.363625e-06,1.682337e-06,1.727717e-06,2.122049e-06,2.204145e-06,2.542149e-06,2.769357e-06,2.983714e-06,3.368034e-06,3.442390e-06,3.913735e-06,3.990028e-06,4.393294e-06,4.625112e-06,4.876702e-06,5.263395e-06,5.359800e-06,5.838744e-06,5.895770e-06,6.310082e-06,6.514268e-06,6.770804e-06,7.112276e-06,7.218376e-06,7.650732e-06,7.684612e-06,8.066266e-06,8.227490e-06,8.463792e-06,8.738399e-06,8.842512e-06,9.201962e-06,9.215936e-06,9.541973e-06,9.659624e-06,9.862611e-06,1.006971e-05,1.016414e-05,1.044698e-05,1.071168e-05,1.079266e-05,1.095888e-05,1.110822e-05,1.118927e-05,1.139531e-05,1.140359e-05,1.160260e-05,1.165569e-05,1.178708e-05,1.189111e-05,1.195779e-05,1.210334e-05,1.211549e-05,1.226092e-05,1.229407e-05,1.239478e-05,1.246494e-05,1.251776e-05,1.261750e-05,1.263051e-05,1.273366e-05,1.275319e-05,1.282779e-05,1.287337e-05,1.291347e-05,1.297929e-05,1.299122e-05,1.306153e-05,1.307212e-05,1.312488e-05,1.315294e-05,1.318170e-05,1.322273e-05,1.323240e-05,1.327737e-05,1.328240e-05,1.331698e-05,1.333279e-05,1.335156e-05,1.337467e-05,1.338142e-05,1.340688e-05,1.340873e-05,1.342819e-05,1.343562e-05,1.344564e-05,1.345594e-05,1.345945e-05,1.346987e-05,1.347022e-05,1.347710e-05,1.347896e-05,1.348134e-05,1.348262e-05,1.348279e-05,1.348162e-05,1.347799e-05,1.347634e-05,1.347207e-05,1.346714e-05,1.346399e-05,1.345434e-05,1.345390e-05,1.344193e-05,1.343825e-05,1.342818e-05,1.341914e-05,1.341279e-05,1.339726e-05,1.339585e-05,1.337746e-05,1.337284e-05,1.335773e-05,1.334612e-05,1.333673e-05,1.331728e-05,1.331456e-05,1.329129e-05,1.328651e-05,1.326700e-05,1.325398e-05,1.324175e-05,1.321986e-05,1.321562e-05,1.318867e-05,1.318428e-05,1.316095e-05,1.314739e-05,1.313252e-05,1.310930e-05,1.310344e-05,1.307375e-05,1.307015e-05,1.304350e-05,1.303003e-05,1.301274e-05,1.298904e-05,1.298150e-05,1.294984e-05,1.294729e-05,1.291778e-05,1.290485e-05,1.288536e-05,1.286182e-05,1.285262e-05,1.281958e-05,1.281826e-05,1.278629e-05,1.277424e-05,1.275276e-05,1.272984e-05,1.271902e-05,1.268511e-05,1.264010e-05,1.259488e-05,1.254949e-05,1.250397e-05,1.245838e-05,1.241274e-05,1.236710e-05,1.232149e-05,1.227595e-05,1.223050e-05,1.218517e-05,1.213998e-05,1.209497e-05,1.205015e-05,1.200554e-05,1.196117e-05,1.191705e-05,1.187319e-05,1.182962e-05,1.178634e-05,1.174338e-05,1.170073e-05,1.165842e-05,1.161645e-05
0.000000e+00,5.135865e-13,2.620349e-12,2.937314e-11,1.446993e-10,2.994262e-10,1.425828e-09,1.507879e-09,5.163453e-09,6.948919e-09,1.386191e-08,2.305616e-08,3.147663e-08,6.004597e-08,6.325742e-08,1.158430e-07,1.324175e-07,1.971935e-07,2.586763e-07,3.164404e-07,4.606962e-07,4.836407e-07,7.094183e-07,7.625513e-07,1.004504e-06,1.188796e-06,1.379219e-06,1.762437e-06,1.842972e-06,2.403828e-06,2.503028e-06,3.068171e-06,3.425208e-06,3.840490e-06,4.537821e-06,4.723262e-06,5.716932e-06,5.843572e-06,6.819971e-06,7.339147e-06,8.028997e-06,9.015682e-06,9.338947e-06,1.074327e-05,1.085947e-05,1.223419e-05,1.285285e-05,1.380287e-05,1.497514e-05,1.543977e-05,1.713477e-05,1.720363e-05,1.887746e-05,1.951449e-05,2.065736e-05,2.188361e-05,2.246404e-05,2.428737e-05,2.611758e-05,2.670317e-05,2.794543e-05,2.911000e-05,2.976228e-05,3.148870e-05,3.156016e-05,3.333178e-05,3.382223e-05,3.507063e-05,3.609577e-05,3.677091e-05,3.829675e-05,3.842758e-05,4.003629e-05,4.041483e-05,4.159341e-05,4.244172e-05,4.309596e-05,4.437116e-05,4.454156e-05,4.592841e-05,4.619861e-05,4.725524e-05,4.792119e-05,4.852124e-05,4.953739e-05,4.972605e-05,5.086965e-05,5.104697e-05,5.195241e-05,5.245069e-05,5.297494e-05,5.375021e-05,5.393816e-05,5.484315e-05,5.494789e-05,5.569120e-05,5.604667e-05,5.648376e-05,5.704995e-05,5.722238e-05,5.790872e-05,5.796142e-05,5.854451e-05,5.878507e-05,5.913153e-05,5.952500e-05,5.967159e-05,6.016654e-05,6.018542e-05,6.061821e-05,6.077058e-05,6.102845e-05,6.128467e-05,6.139907e-05,6.173188e-05,6.202864e-05,6.211627e-05,6.229108e-05,6.244181e-05,6.252089e-05,6.271235e-05,6.271972e-05,6.288918e-05,6.293157e-05,6.303080e-05,6.310304e-05,6.314608e-05,6.323013e-05,6.323648e-05,6.330338e-05,6.331609e-05,6.334812e-05,6.336397e-05,6.337198e-05,6.337670e-05,6.337622e-05,6.336199e-05,6.335704e-05,6.333045e-05,6.330757e-05,6.328268e-05,6.323076e-05,6.321970e-05,6.314250e-05,6.312890e-05,6.305204e-05,6.300417e-05,6.294920e-05,6.285859e-05,6.283484e-05,6.270977e-05,6.269408e-05,6.257478e-05,6.251243e-05,6.243059e-05,6.231529e-05,6.227791e-05,6.211739e-05,6.210423e-05,6.194968e-05,6.188071e-05,6.177536e-05,6.164609e-05,6.159501e-05,6.140916e-05,6.140162e-05,6.121831e-05,6.114848e-05,6.102295e-05,6.088776e-05,6.082353e-05,6.062048e-05,6.034757e-05,6.006991e-05,5.978831e-05,5.950351e-05,5.921619e-05,5.892700e-05,5.863652e-05,5.834529e-05,5.805379e-05,5.776250e-05,5.747181e-05,5.718212e-05,5.689376e-05,5.660705e-05,5.632228e-05,5.603971e-05,5.575957e-05,5.548207e-05,5.520740e-05,5.493573e-05,5.466721e-05,5.440198e-05,5.414014e-05,5.388180e-05
0.000000e+00,6.363824e-09,1.470627e-08,5.114235e-08,1.171307e-07,1.714098e-07,3.917064e-07,4.036099e-07,7.856508e-07,9.250094e-07,1.358999e-06,1.813735e-06,2.169339e-06,3.163487e-06,3.262226e-06,4.669868e-06,5.055661e-06,6.396561e-06,7.495496e-06,8.420965e-06,1.042407e-05,1.071207e-05,1.324022e-05,1.377196e-05,1.597946e-05,1.747942e-05,1.890625e-05,2.149317e-05,2.199802e-05,2.523235e-05,2.576157e-05,2.858668e-05,3.023274e-05,3.203840e-05,3.485487e-05,3.556518e-05,3.914528e-05,3.957748e-05,4.275798e-05,4.435284e-05,4.638385e-05,4.913726e-05,5.000501e-05,5.360527e-05,5.389195e-05,5.717017e-05,5.858334e-05,6.068708e-05,6.318336e-05,6.414511e-05,6.753496e-05,6.766902e-05,7.084888e-05,7.202205e-05,7.408058e-05,7.622854e-05,7.722500e-05,8.027825e-05,8.323742e-05,8.416414e-05,8.610052e-05,8.788188e-05,8.886629e-05,9.142931e-05,9.153414e-05,9.410402e-05,9.480607e-05,9.657636e-05,9.801328e-05,9.895199e-05,1.010531e-04,1.012321e-04,1.034180e-04,1.039288e-04,1.055115e-04,1.066442e-04,1.075144e-04,1.092035e-04,1.094286e-04,1.112562e-04,1.116115e-04,1.129993e-04,1.138731e-04,1.146602e-04,1.159934e-04,1.162411e-04,1.177442e-04,1.179776e-04,1.191719e-04,1.198310e-04,1.205263e-04,1.215588e-04,1.218099e-04,1.230249e-04,1.231662e-04,1.241734e-04,1.246583e-04,1.252577e-04,1.260402e-04,1.262800e-04,1.272424e-04,1.273169e-04,1.281470e-04,1.284931e-04,1.289959e-04,1.295737e-04,1.297910e-04,1.305343e-04,1.305630e-04,1.312278e-04,1.314657e-04,1.318734e-04,1.322859e-04,1.324728e-04,1.330278e-04,1.335402e-04,1.336954e-04,1.340117e-04,1.342927e-04,1.344438e-04,1.348232e-04,1.348383e-04,1.351965e-04,1.352906e-04,1.355201e-04,1.356983e-04,1.358105e-04,1.360496e-04,1.360691e-04,1.362973e-04,1.363476e-04,1.364963e-04,1.365955e-04,1.366675e-04,1.367962e-04,1.368121e-04,1.369314e-04,1.369523e-04,1.370264e-04,1.370666e-04,1.370983e-04,1.371416e-04,1.371482e-04,1.371771e-04,1.371798e-04,1.371860e-04,1.371835e-04,1.371759e-04,1.371548e-04,1.371478e-04,1.371026e-04,1.370960e-04,1.370411e-04,1.370091e-04,1.369641e-04,1.368959e-04,1.368726e-04,1.367672e-04,1.367582e-04,1.366488e-04,1.365979e-04,1.365180e-04,1.364166e-04,1.363756e-04,1.362222e-04,1.362159e-04,1.360585e-04,1.359972e-04,1.358851e-04,1.357619e-04,1.357026e-04,1.355115e-04,1.352472e-04,1.349702e-04,1.346816e-04,1.343826e-04,1.340741e-04,1.337572e-04,1.334327e-04,1.331015e-04,1.327645e-04,1.324223e-04,1.320758e-04,1.317255e-04,1.313723e-04,1.310165e-04,1.306589e-04,1.302999e-04,1.299401e-04,1.295799e-04,1.292197e-04,1.288599e-04,1.285010e-04,1.281433e-04,1.277870e-04,1.274326e-04
0.000000e+00,4.658207e-11,2.089451e-10,1.809287e-09,7.120296e-09,1.308258e-08,4.649554e-08,4.861103e-08,1.272223e-07,1.597164e-07,2.693002e-07,3.936345e-07,4.955775e-07,7.959450e-07,8.267908e-07,1.283525e-06,1.414049e-06,1.885516e-06,2.292617e-06,2.649787e-06,3.465930e-06,3.587888e-06,4.703934e-06,4.948334e-06,5.994866e-06,6.732675e-06,7.452469e-06,8.797588e-06,9.065647e-06,1.082194e-05,1.111536e-05,1.270828e-05,1.365597e-05,1.471120e-05,1.638824e-05,1.681694e-05,1.901146e-05,1.928009e-05,2.128057e-05,2.229895e-05,2.361010e-05,2.541234e-05,2.598608e-05,2.839498e-05,2.858872e-05,3.082386e-05,3.179826e-05,3.326056e-05,3.501347e-05,3.569382e-05,3.811336e-05,3.820973e-05,4.050994e-05,4.136548e-05,4.287536e-05,4.446235e-05,4.520245e-05,4.748504e-05,4.971792e-05,5.042121e-05,5.189674e-05,5.326116e-05,5.401798e-05,5.599759e-05,5.607884e-05,5.807717e-05,5.862528e-05,6.001142e-05,6.114076e-05,6.188055e-05,6.354210e-05,6.368395e-05,6.542141e-05,6.582860e-05,6.709306e-05,6.800057e-05,6.869930e-05,7.005918e-05,7.024076e-05,7.171830e-05,7.200622e-05,7.313290e-05,7.384400e-05,7.448572e-05,7.557525e-05,7.577800e-05,7.701108e-05,7.720297e-05,7.818635e-05,7.873038e-05,7.930528e-05,8.016085e-05,8.036935e-05,8.138007e-05,8.149785e-05,8.233898e-05,8.274487e-05,8.324760e-05,8.390547e-05,8.410747e-05,8.492013e-05,8.498315e-05,8.568708e-05,8.598139e-05,8.640981e-05,8.690364e-05,8.708982e-05,8.772855e-05,8.775326e-05,8.832744e-05,8.853355e-05,8.888787e-05,8.924771e-05,8.941124e-05,8.989888e-05,9.035210e-05,9.049007e-05,9.077219e-05,9.102424e-05,9.116040e-05,9.150421e-05,9.151794e-05,9.184600e-05,9.193274e-05,9.214574e-05,9.231246e-05,9.241828e-05,9.264592e-05,9.266470e-05,9.288607e-05,9.293558e-05,9.308341e-05,9.318380e-05,9.325772e-05,9.339282e-05,9.340996e-05,9.354107e-05,9.356484e-05,9.365196e-05,9.370193e-05,9.374351e-05,9.380608e-05,9.381656e-05,9.387194e-05,9.387922e-05,9.391044e-05,9.392316e-05,9.393284e-05,9.393966e-05,9.393987e-05,9.393226e-05,9.393039e-05,9.391069e-05,9.389695e-05,9.387583e-05,9.384086e-05,9.382834e-05,9.376884e-05,9.376358e-05,9.369792e-05,9.366649e-05,9.361617e-05,9.355092e-05,9.352415e-05,9.342239e-05,9.341812e-05,9.331141e-05,9.326930e-05,9.319172e-05,9.310560e-05,9.306379e-05,9.292810e-05,9.273783e-05,9.253578e-05,9.232287e-05,9.209999e-05,9.186798e-05,9.162764e-05,9.137971e-05,9.112492e-05,9.086393e-05,9.059738e-05,9.032589e-05,9.005002e-05,8.977031e-05,8.948727e-05,8.920138e-05,8.891310e-05,8.862284e-05,8.833101e-05,8.803799e-05,8.774412e-05,8.744975e-05,8.715519e-05,8.686072e-05,8.656661e-05
0.000000e+00,1.750009e-09,5.744151e-09,2.977420e-08,8.276670e-08,1.303586e-07,3.409158e-07,3.528323e-07,7.548005e-07,9.091864e-07,1.411198e-06,1.966186e-06,2.416924e-06,3.731317e-06,3.864837e-06,5.789978e-06,6.318424e-06,8.137243e-06,9.597873e-06,1.080392e-05,1.333887e-05,1.369516e-05,1.674162e-05,1.736499e-05,1.989466e-05,2.156402e-05,2.311805e-05,2.585831e-05,2.638221e-05,2.966112e-05,3.018549e-05,3.293077e-05,3.449027e-05,3.616875e-05,3.872224e-05,3.935418e-05,4.246802e-05,4.283605e-05,4.549344e-05,4.679278e-05,4.841589e-05,5.056052e-05,5.122323e-05,5.390583e-05,5.411481e-05,5.645642e-05,5.743849e-05,5.886997e-05,6.052116e-05,6.114355e-05,6.327600e-05,6.335837e-05,6.526781e-05,6.595075e-05,6.712089e-05,6.830322e-05,6.883816e-05,7.042314e-05,7.188046e-05,7.232061e-05,7.321498e-05,7.400714e-05,7.443213e-05,7.549530e-05,7.553743e-05,7.653663e-05,7.679817e-05,7.743544e-05,7.792890e-05,7.823953e-05,7.890046e-05,7.895450e-05,7.958580e-05,7.972544e-05,8.013868e-05,8.041594e-05,8.061822e-05,8.098342e-05,8.102929e-05,8.137651e-05,8.143868e-05,8.166428e-05,8.179182e-05,8.189677e-05,8.205225e-05,8.207794e-05,8.221150e-05,8.222868e-05,8.230095e-05,8.232919e-05,8.234959e-05,8.236121e-05,8.236051e-05,8.233662e-05,8.233155e-05,8.228063e-05,8.224648e-05,8.219507e-05,8.211175e-05,8.208234e-05,8.194465e-05,8.193262e-05,8.178407e-05,8.171388e-05,8.160256e-05,8.145992e-05,8.140191e-05,8.118381e-05,8.117475e-05,8.094984e-05,8.086201e-05,8.070146e-05,8.052502e-05,8.044003e-05,8.016682e-05,7.988303e-05,7.979016e-05,7.958975e-05,7.939754e-05,7.928799e-05,7.899124e-05,7.897873e-05,7.866284e-05,7.857332e-05,7.834114e-05,7.814566e-05,7.801441e-05,7.770997e-05,7.768334e-05,7.734860e-05,7.726779e-05,7.701080e-05,7.682051e-05,7.667051e-05,7.636941e-05,7.632825e-05,7.598451e-05,7.591562e-05,7.563973e-05,7.546018e-05,7.529435e-05,7.500403e-05,7.494873e-05,7.460324e-05,7.454800e-05,7.425821e-05,7.409284e-05,7.391394e-05,7.363925e-05,7.357070e-05,7.322877e-05,7.318783e-05,7.288836e-05,7.273913e-05,7.254971e-05,7.229362e-05,7.221300e-05,7.187842e-05,7.185175e-05,7.154614e-05,7.141391e-05,7.121631e-05,7.098042e-05,7.088906e-05,7.056452e-05,7.055159e-05,7.024280e-05,7.012769e-05,6.992401e-05,6.970895e-05,6.960823e-05,6.929556e-05,6.888769e-05,6.848550e-05,6.808910e-05,6.769860e-05,6.731408e-05,6.693559e-05,6.656320e-05,6.619694e-05,6.583682e-05,6.548286e-05,6.513506e-05,6.479340e-05,6.445787e-05,6.412843e-05,6.380505e-05,6.348770e-05,6.317632e-05,6.287087e-05,6.257128e-05,6.227749e-05,6.198945e-05,6.170708e-05,6.143032e-05,6.115908e-05
0.000000e+00,2.723618e-09,6.311479e-09,2.185293e-08,4.961618e-08,7.219951e-08,1.623591e-07,1.671788e-07,3.199239e-07,3.749027e-07,5.443029e-07,7.195536e-07,8.554050e-07,1.231400e-06,1.268521e-06,1.795005e-06,1.938592e-06,2.435276e-06,2.838784e-06,3.175322e-06,3.890973e-06,3.992273e-06,4.863063e-06,5.041931e-06,5.768723e-06,6.248425e-06,6.694543e-06,7.479262e-06,7.628927e-06,8.562317e-06,8.711004e-06,9.486516e-06,9.924723e-06,1.039434e-05,1.110454e-05,1.127948e-05,1.213644e-05,1.223715e-05,1.296057e-05,1.331177e-05,1.374805e-05,1.432016e-05,1.449589e-05,1.520192e-05,1.525655e-05,1.586471e-05,1.611753e-05,1.648352e-05,1.690175e-05,1.705824e-05,1.758928e-05,1.760963e-05,1.807752e-05,1.824303e-05,1.852417e-05,1.880490e-05,1.893074e-05,1.929894e-05,1.963065e-05,1.972941e-05,1.992783e-05,2.010084e-05,2.019250e-05,2.041787e-05,2.042668e-05,2.063238e-05,2.068514e-05,2.081157e-05,2.090715e-05,2.096614e-05,2.108819e-05,2.109794e-05,2.120870e-05,2.123233e-05,2.130008e-05,2.134338e-05,2.137365e-05,2.142482e-05,2.143087e-05,2.147309e-05,2.147985e-05,2.150158e-05,2.151137e-05,2.151753e-05,2.152203e-05,2.152202e-05,2.151608e-05,2.151423e-05,2.150064e-05,2.149011e-05,2.147656e-05,2.145160e-05,2.144462e-05,2.140556e-05,2.140042e-05,2.136005e-05,2.133815e-05,2.130872e-05,2.126616e-05,2.125213e-05,2.119081e-05,2.118571e-05,2.112523e-05,2.109791e-05,2.105585e-05,2.100376e-05,2.098305e-05,2.090722e-05,2.090413e-05,2.082870e-05,2.079984e-05,2.074780e-05,2.069158e-05,2.066481e-05,2.057999e-05,2.049359e-05,2.046564e-05,2.040582e-05,2.034903e-05,2.031690e-05,2.023062e-05,2.022701e-05,2.013632e-05,2.011080e-05,2.004499e-05,1.998994e-05,1.995317e-05,1.986837e-05,1.986098e-05,1.976856e-05,1.974636e-05,1.967602e-05,1.962418e-05,1.958345e-05,1.950205e-05,1.949096e-05,1.939862e-05,1.938018e-05,1.930652e-05,1.925874e-05,1.921473e-05,1.913791e-05,1.912331e-05,1.903233e-05,1.901782e-05,1.894185e-05,1.889860e-05,1.885190e-05,1.878037e-05,1.876254e-05,1.867381e-05,1.866321e-05,1.858575e-05,1.854723e-05,1.849839e-05,1.843249e-05,1.841176e-05,1.832590e-05,1.831906e-05,1.824081e-05,1.820700e-05,1.815653e-05,1.809637e-05,1.807308e-05,1.799048e-05,1.798719e-05,1.790873e-05,1.787952e-05,1.782786e-05,1.777337e-05,1.774787e-05,1.766877e-05,1.756575e-05,1.746432e-05,1.736449e-05,1.726627e-05,1.716966e-05,1.707467e-05,1.698129e-05,1.688952e-05,1.679936e-05,1.671079e-05,1.662381e-05,1.653841e-05,1.645458e-05,1.637229e-05,1.629155e-05,1.621232e-05,1.613460e-05,1.605836e-05,1.598360e-05,1.591028e-05,1.583840e-05,1.576793e-05,1.569885e-05,1.563113e-05
0.000000e+00,1.736154e-09,3.969264e-09,1.358883e-08,3.075199e-08,4.471137e-08,1.003556e-07,1.033238e-07,1.969162e-07,2.303477e-07,3.324362e-07,4.365990e-07,5.163877e-07,7.334937e-07,7.546778e-07,1.051912e-06,1.132311e-06,1.410031e-06,1.636637e-06,1.827187e-06,2.239069e-06,2.298219e-06,2.816341e-06,2.924992e-06,3.374489e-06,3.678258e-06,3.965810e-06,4.483333e-06,4.583722e-06,5.221866e-06,5.325433e-06,5.874105e-06,6.190451e-06,6.534566e-06,7.065117e-06,7.197706e-06,7.858390e-06,7.937280e-06,8.511955e-06,8.796183e-06,9.154262e-06,9.632654e-06,9.781716e-06,1.039128e-05,1.043919e-05,1.098045e-05,1.120995e-05,1.154725e-05,1.194062e-05,1.209016e-05,1.260812e-05,1.262830e-05,1.310042e-05,1.327130e-05,1.356673e-05,1.386892e-05,1.400696e-05,1.442128e-05,1.481005e-05,1.492914e-05,1.517380e-05,1.539377e-05,1.551318e-05,1.581677e-05,1.582896e-05,1.612195e-05,1.620002e-05,1.639303e-05,1.654554e-05,1.664311e-05,1.685544e-05,1.687312e-05,1.708399e-05,1.713186e-05,1.727666e-05,1.737694e-05,1.745204e-05,1.759279e-05,1.761104e-05,1.775453e-05,1.778145e-05,1.788338e-05,1.794486e-05,1.799839e-05,1.808490e-05,1.810037e-05,1.819007e-05,1.820333e-05,1.826822e-05,1.830183e-05,1.833551e-05,1.838198e-05,1.839261e-05,1.844016e-05,1.844525e-05,1.847874e-05,1.849303e-05,1.850893e-05,1.852660e-05,1.853127e-05,1.854628e-05,1.854718e-05,1.855443e-05,1.855588e-05,1.855619e-05,1.855375e-05,1.855200e-05,1.854227e-05,1.854177e-05,1.852738e-05,1.852083e-05,1.850770e-05,1.849176e-05,1.848358e-05,1.845534e-05,1.842330e-05,1.841229e-05,1.838774e-05,1.836326e-05,1.834894e-05,1.830888e-05,1.830715e-05,1.826262e-05,1.824969e-05,1.821558e-05,1.818623e-05,1.816624e-05,1.811898e-05,1.811480e-05,1.806145e-05,1.804838e-05,1.800637e-05,1.797484e-05,1.794974e-05,1.789873e-05,1.789169e-05,1.783240e-05,1.782040e-05,1.777199e-05,1.774017e-05,1.771059e-05,1.765834e-05,1.764832e-05,1.758531e-05,1.757516e-05,1.752165e-05,1.749090e-05,1.745745e-05,1.740576e-05,1.739280e-05,1.732779e-05,1.731996e-05,1.726249e-05,1.723370e-05,1.719700e-05,1.714713e-05,1.713137e-05,1.706568e-05,1.706042e-05,1.699998e-05,1.697371e-05,1.693434e-05,1.688714e-05,1.686880e-05,1.680343e-05,1.680082e-05,1.673826e-05,1.671485e-05,1.667333e-05,1.662935e-05,1.660870e-05,1.654439e-05,1.646005e-05,1.637641e-05,1.629352e-05,1.621146e-05,1.613026e-05,1.604997e-05,1.597064e-05,1.589229e-05,1.581496e-05,1.573867e-05,1.566344e-05,1.558930e-05,1.551626e-05,1.544433e-05,1.537352e-05,1.530383e-05,1.523528e-05,1.516786e-05,1.510158e-05,1.503643e-05,1.497242e-05,1.490953e-05,1.484776e-05,1.478711e-05
0.000000e+00,2.953999e-09,6.782351e-09,2.339402e-08,5.331717e-08,7.785735e-08,1.771535e-07,1.825108e-07,3.542746e-07,4.168784e-07,6.116575e-07,8.151390e-07,9.734502e-07,1.409955e-06,1.452727e-06,2.050785e-06,2.211249e-06,2.760264e-06,3.202800e-06,3.572021e-06,4.364383e-06,4.477783e-06,5.469908e-06,5.678024e-06,6.540673e-06,7.125844e-06,7.681851e-06,8.688388e-06,8.884577e-06,1.013943e-05,1.034440e-05,1.143664e-05,1.207144e-05,1.276631e-05,1.384684e-05,1.411866e-05,1.548425e-05,1.564858e-05,1.685418e-05,1.745619e-05,1.822025e-05,1.925126e-05,1.957500e-05,2.091186e-05,2.101786e-05,2.222507e-05,2.274261e-05,2.350975e-05,2.441471e-05,2.476177e-05,2.597777e-05,2.602562e-05,2.715513e-05,2.756912e-05,2.829187e-05,2.904091e-05,2.938657e-05,3.043829e-05,3.144649e-05,3.175989e-05,3.241103e-05,3.300546e-05,3.333202e-05,3.417558e-05,3.420988e-05,3.504518e-05,3.527155e-05,3.583872e-05,3.629515e-05,3.659137e-05,3.724857e-05,3.730415e-05,3.797815e-05,3.813426e-05,3.861450e-05,3.895486e-05,3.921440e-05,3.971311e-05,3.977904e-05,4.030968e-05,4.041183e-05,4.080752e-05,4.105385e-05,4.127381e-05,4.164199e-05,4.170975e-05,4.211655e-05,4.217901e-05,4.249539e-05,4.266764e-05,4.284743e-05,4.311052e-05,4.317379e-05,4.347558e-05,4.351019e-05,4.375386e-05,4.386913e-05,4.400969e-05,4.418972e-05,4.424407e-05,4.445798e-05,4.447424e-05,4.465236e-05,4.472486e-05,4.482813e-05,4.494366e-05,4.498618e-05,4.512734e-05,4.513264e-05,4.525244e-05,4.529370e-05,4.536227e-05,4.542862e-05,4.545759e-05,4.553913e-05,4.560760e-05,4.562685e-05,4.566366e-05,4.569333e-05,4.570796e-05,4.574001e-05,4.574113e-05,4.576376e-05,4.576828e-05,4.577642e-05,4.577946e-05,4.577966e-05,4.577477e-05,4.577400e-05,4.575996e-05,4.575539e-05,4.573800e-05,4.572242e-05,4.570859e-05,4.567689e-05,4.567216e-05,4.562915e-05,4.561980e-05,4.557995e-05,4.555205e-05,4.552495e-05,4.547453e-05,4.546451e-05,4.539899e-05,4.538806e-05,4.532871e-05,4.529339e-05,4.525401e-05,4.519126e-05,4.517518e-05,4.509251e-05,4.508235e-05,4.500629e-05,4.496729e-05,4.491677e-05,4.484669e-05,4.482421e-05,4.472885e-05,4.472111e-05,4.463091e-05,4.459107e-05,4.453062e-05,4.445706e-05,4.442817e-05,4.432377e-05,4.431956e-05,4.421760e-05,4.417898e-05,4.410984e-05,4.403573e-05,4.400065e-05,4.389020e-05,4.374273e-05,4.359364e-05,4.344326e-05,4.329184e-05,4.313968e-05,4.298700e-05,4.283403e-05,4.268100e-05,4.252808e-05,4.237547e-05,4.222333e-05,4.207181e-05,4.192105e-05,4.177119e-05,4.162234e-05,4.147461e-05,4.132810e-05,4.118290e-05,4.103910e-05,4.089676e-05,4.075596e-05,4.061674e-05,4.047917e-05,4.034330e-05
0.000000e+00,3.234014e-09,7.408991e-09,2.547181e-08,5.788822e-08,8.438537e-08,1.909325e-07,1.966533e-07,3.787489e-07,4.445463e-07,6.477037e-07,8.581552e-07,1.021266e-06,1.471679e-06,1.516026e-06,2.142309e-06,2.312354e-06,2.899528e-06,3.377419e-06,3.778226e-06,4.642085e-06,4.765963e-06,5.850699e-06,6.078295e-06,7.021305e-06,7.660414e-06,8.267130e-06,9.364011e-06,9.577588e-06,1.094199e-05,1.116457e-05,1.234954e-05,1.303733e-05,1.378949e-05,1.495769e-05,1.525132e-05,1.672490e-05,1.690207e-05,1.820075e-05,1.884854e-05,1.967004e-05,2.077738e-05,2.112481e-05,2.255798e-05,2.267151e-05,2.396339e-05,2.451657e-05,2.533577e-05,2.630095e-05,2.667075e-05,2.796473e-05,2.801560e-05,2.921492e-05,2.965383e-05,3.041917e-05,3.121105e-05,3.157600e-05,3.268438e-05,3.374378e-05,3.407242e-05,3.475410e-05,3.537504e-05,3.571557e-05,3.659309e-05,3.662869e-05,3.749421e-05,3.772815e-05,3.831307e-05,3.878242e-05,3.908633e-05,3.975851e-05,3.981521e-05,4.050100e-05,4.065932e-05,4.114504e-05,4.148800e-05,4.174876e-05,4.224780e-05,4.231357e-05,4.284093e-05,4.294204e-05,4.333229e-05,4.357404e-05,4.378907e-05,4.414710e-05,4.421272e-05,4.460463e-05,4.466449e-05,4.496619e-05,4.512935e-05,4.529874e-05,4.554478e-05,4.560359e-05,4.588203e-05,4.591373e-05,4.613530e-05,4.623908e-05,4.636460e-05,4.652356e-05,4.657110e-05,4.675592e-05,4.676980e-05,4.692014e-05,4.698030e-05,4.706482e-05,4.715746e-05,4.719097e-05,4.729954e-05,4.730353e-05,4.739148e-05,4.742068e-05,4.746768e-05,4.751094e-05,4.752899e-05,4.757624e-05,4.761022e-05,4.761842e-05,4.763169e-05,4.763920e-05,4.764137e-05,4.764020e-05,4.763994e-05,4.762808e-05,4.762298e-05,4.760642e-05,4.758897e-05,4.757556e-05,4.753953e-05,4.753607e-05,4.748851e-05,4.747596e-05,4.743341e-05,4.739945e-05,4.737126e-05,4.731113e-05,4.730255e-05,4.722772e-05,4.721206e-05,4.714722e-05,4.710325e-05,4.706145e-05,4.698562e-05,4.697080e-05,4.687566e-05,4.686004e-05,4.677637e-05,4.672733e-05,4.667327e-05,4.658826e-05,4.656668e-05,4.645691e-05,4.644354e-05,4.634424e-05,4.629382e-05,4.622895e-05,4.613974e-05,4.611130e-05,4.599153e-05,4.598186e-05,4.586987e-05,4.582073e-05,4.574656e-05,4.565685e-05,4.562178e-05,4.549574e-05,4.549068e-05,4.536863e-05,4.532265e-05,4.524063e-05,4.515315e-05,4.511189e-05,4.498257e-05,4.481124e-05,4.463947e-05,4.446756e-05,4.429578e-05,4.412437e-05,4.395355e-05,4.378354e-05,4.361452e-05,4.344667e-05,4.328014e-05,4.311508e-05,4.295161e-05,4.278985e-05,4.262990e-05,4.247186e-05,4.231581e-05,4.216181e-05,4.200995e-05,4.186026e-05,4.171281e-05,4.156762e-05,4.142473e-05,4.128418e-05,4.114597e-05
0.000000e+00,1.918024e-11,9.877960e-11,1.129340e-09,5.666342e-09,1.184575e-08,5.794654e-08,6.134926e-08,2.159409e-07,2.928338e-07,5.956153e-07,1.006672e-06,1.388970e-06,2.714427e-06,2.865575e-06,5.385421e-06,6.194054e-06,9.404984e-06,1.251378e-05,1.547880e-05,2.303549e-05,2.425474e-05,3.646186e-05,3.938384e-05,5.289193e-05,6.337975e-05,7.437699e-05,9.695168e-05,1.017655e-04,1.358988e-04,1.420409e-04,1.775891e-04,2.005112e-04,2.275997e-04,2.740690e-04,2.866264e-04,3.552831e-04,3.641947e-04,4.340883e-04,4.720882e-04,5.234556e-04,5.986281e-04,6.236859e-04,7.349628e-04,7.443450e-04,8.573511e-04,9.094094e-04,9.907967e-04,1.093633e-03,1.135130e-03,1.290069e-03,1.296482e-03,1.455231e-03,1.517102e-03,1.630136e-03,1.754351e-03,1.814218e-03,2.006837e-03,2.207290e-03,2.272967e-03,2.414821e-03,2.550990e-03,2.628636e-03,2.839043e-03,2.847909e-03,3.071798e-03,3.135199e-03,3.299456e-03,3.437507e-03,3.530036e-03,3.744030e-03,3.762701e-03,3.996636e-03,4.052880e-03,4.231050e-03,4.362248e-03,4.465186e-03,4.670422e-03,4.698323e-03,4.929780e-03,4.975813e-03,5.158921e-03,5.276962e-03,5.385157e-03,5.572551e-03,5.607944e-03,5.826791e-03,5.861410e-03,6.041252e-03,6.142517e-03,6.250930e-03,6.414994e-03,6.455477e-03,6.654590e-03,6.678106e-03,6.848011e-03,6.931255e-03,7.035522e-03,7.173970e-03,7.216950e-03,7.392156e-03,7.405900e-03,7.561038e-03,7.626804e-03,7.723529e-03,7.836542e-03,7.879590e-03,8.029211e-03,8.035062e-03,8.172408e-03,8.222393e-03,8.309221e-03,8.398636e-03,8.439709e-03,8.563951e-03,8.682044e-03,8.718552e-03,8.794096e-03,8.862695e-03,8.900230e-03,8.996674e-03,9.000579e-03,9.095285e-03,9.120811e-03,9.184498e-03,9.235453e-03,9.268373e-03,9.340963e-03,9.347072e-03,9.420758e-03,9.437715e-03,9.489597e-03,9.526092e-03,9.553757e-03,9.606481e-03,9.613406e-03,9.668714e-03,9.679269e-03,9.719846e-03,9.744840e-03,9.766969e-03,9.803573e-03,9.810246e-03,9.849838e-03,9.855841e-03,9.885902e-03,9.902006e-03,9.918595e-03,9.942422e-03,9.948065e-03,9.974461e-03,9.977429e-03,9.997926e-03,1.000736e-02,1.001860e-02,1.003252e-02,1.003661e-02,1.005210e-02,1.005323e-02,1.006519e-02,1.006978e-02,1.007599e-02,1.008243e-02,1.008464e-02,1.009123e-02,1.009145e-02,1.009589e-02,1.009711e-02,1.009870e-02,1.009962e-02,1.009978e-02,1.009922e-02,1.009612e-02,1.009053e-02,1.008262e-02,1.007258e-02,1.006058e-02,1.004677e-02,1.003131e-02,1.001432e-02,9.995944e-03,9.976299e-03,9.955499e-03,9.933651e-03,9.910854e-03,9.887201e-03,9.862779e-03,9.837668e-03,9.811945e-03,9.785679e-03,9.758936e-03,9.731778e-03,9.704260e-03,9.676435e-03,9.648354e-03,9.620060e-03
0.000000e+00,4.732637e-10,1.895697e-09,1.337227e-08,4.506992e-08,7.693860e-08,2.336534e-07,2.429446e-07,5.664075e-07,6.929293e-07,1.104776e-06,1.556386e-06,1.919711e-06,2.970815e-06,3.077688e-06,4.645742e-06,5.089694e-06,6.678714e-06,8.031340e-06,9.202289e-06,1.182191e-05,1.220687e-05,1.565859e-05,1.639890e-05,1.951528e-05,2.166697e-05,2.373566e-05,2.753395e-05,2.828171e-05,3.311780e-05,3.391619e-05,3.820956e-05,4.073448e-05,4.352319e-05,4.791142e-05,4.902536e-05,5.468342e-05,5.537135e-05,6.046583e-05,6.304169e-05,6.634259e-05,7.085464e-05,7.228557e-05,7.826884e-05,7.874851e-05,8.426879e-05,8.666862e-05,9.026427e-05,9.456762e-05,9.623651e-05,1.021690e-04,1.024053e-04,1.080474e-04,1.101480e-04,1.138595e-04,1.177684e-04,1.195948e-04,1.252446e-04,1.308015e-04,1.325591e-04,1.362596e-04,1.396987e-04,1.416141e-04,1.466531e-04,1.468609e-04,1.519971e-04,1.534150e-04,1.570203e-04,1.599794e-04,1.619290e-04,1.663428e-04,1.667220e-04,1.713986e-04,1.725036e-04,1.759586e-04,1.784613e-04,1.804020e-04,1.842161e-04,1.847293e-04,1.889410e-04,1.897695e-04,1.930379e-04,1.951233e-04,1.970212e-04,2.002800e-04,2.008918e-04,2.046511e-04,2.052424e-04,2.083006e-04,2.100137e-04,2.118416e-04,2.145975e-04,2.152759e-04,2.186049e-04,2.189974e-04,2.218304e-04,2.232173e-04,2.249542e-04,2.272613e-04,2.279780e-04,2.309036e-04,2.311335e-04,2.337328e-04,2.348380e-04,2.364676e-04,2.383791e-04,2.391097e-04,2.416610e-04,2.417612e-04,2.441234e-04,2.449885e-04,2.464988e-04,2.480653e-04,2.487890e-04,2.509959e-04,2.531213e-04,2.537846e-04,2.551671e-04,2.564355e-04,2.571352e-04,2.589530e-04,2.590272e-04,2.608451e-04,2.613410e-04,2.625905e-04,2.636038e-04,2.642654e-04,2.657453e-04,2.658713e-04,2.674100e-04,2.677695e-04,2.688833e-04,2.696804e-04,2.702928e-04,2.714816e-04,2.716400e-04,2.729268e-04,2.731770e-04,2.741546e-04,2.747703e-04,2.753250e-04,2.762649e-04,2.764396e-04,2.774999e-04,2.776646e-04,2.785074e-04,2.789726e-04,2.794635e-04,2.801924e-04,2.803697e-04,2.812275e-04,2.813272e-04,2.820381e-04,2.823803e-04,2.828031e-04,2.833546e-04,2.835236e-04,2.842010e-04,2.842534e-04,2.848367e-04,2.850795e-04,2.854317e-04,2.858358e-04,2.859875e-04,2.865051e-04,2.865250e-04,2.869858e-04,2.871500e-04,2.874307e-04,2.877133e-04,2.878409e-04,2.882175e-04,2.886652e-04,2.890586e-04,2.894001e-04,2.896921e-04,2.899367e-04,2.901360e-04,2.902921e-04,2.904070e-04,2.904826e-04,2.905208e-04,2.905234e-04,2.904921e-04,2.904286e-04,2.903346e-04,2.902115e-04,2.900609e-04,2.898844e-04,2.896832e-04,2.894587e-04,2.892123e-04,2.889452e-04,2.886587e-04,2.883538e-04,2.880317e-04
0.000000e+00,1.452959e-12,7.295515e-12,7.915096e-11,3.788525e-10,7.721362e-10,3.545539e-09,3.744441e-09,1.244393e-08,1.663336e-08,3.271710e-08,5.399331e-08,7.347503e-08,1.399370e-07,1.474531e-07,2.718289e-07,3.114850e-07,4.680102e-07,6.181080e-07,7.598227e-07,1.114059e-06,1.170246e-06,1.717943e-06,1.845140e-06,2.414861e-06,2.837969e-06,3.265334e-06,4.096472e-06,4.266474e-06,5.409352e-06,5.604515e-06,6.680490e-06,7.331421e-06,8.063361e-06,9.237871e-06,9.539714e-06,1.109064e-05,1.128087e-05,1.269742e-05,1.341742e-05,1.434206e-05,1.560692e-05,1.600776e-05,1.767913e-05,1.781265e-05,1.934233e-05,2.000255e-05,2.098519e-05,2.214945e-05,2.259713e-05,2.416919e-05,2.423113e-05,2.569390e-05,2.623000e-05,2.716523e-05,2.813279e-05,2.857846e-05,2.993004e-05,3.121751e-05,3.161569e-05,3.243934e-05,3.318651e-05,3.359483e-05,3.464167e-05,3.468397e-05,3.570737e-05,3.598229e-05,3.666613e-05,3.721097e-05,3.756175e-05,3.833151e-05,3.839605e-05,3.917109e-05,3.934853e-05,3.988915e-05,4.026724e-05,4.055259e-05,4.109320e-05,4.116388e-05,4.172553e-05,4.183213e-05,4.224005e-05,4.248980e-05,4.270993e-05,4.307192e-05,4.313761e-05,4.352549e-05,4.358402e-05,4.387589e-05,4.403143e-05,4.419104e-05,4.441922e-05,4.447308e-05,4.472409e-05,4.475221e-05,4.494600e-05,4.503491e-05,4.514068e-05,4.527152e-05,4.530991e-05,4.545534e-05,4.546600e-05,4.557857e-05,4.562198e-05,4.568107e-05,4.574284e-05,4.576427e-05,4.582947e-05,4.583172e-05,4.587792e-05,4.589148e-05,4.591078e-05,4.592478e-05,4.592914e-05,4.593404e-05,4.592644e-05,4.592152e-05,4.590724e-05,4.588925e-05,4.587727e-05,4.583913e-05,4.583735e-05,4.578821e-05,4.577289e-05,4.573054e-05,4.569211e-05,4.566499e-05,4.559825e-05,4.559217e-05,4.551265e-05,4.549262e-05,4.542695e-05,4.537646e-05,4.533559e-05,4.525087e-05,4.523902e-05,4.513769e-05,4.511688e-05,4.503199e-05,4.497543e-05,4.492231e-05,4.482737e-05,4.480901e-05,4.469242e-05,4.467348e-05,4.457285e-05,4.451449e-05,4.445060e-05,4.435105e-05,4.432593e-05,4.419912e-05,4.418376e-05,4.407038e-05,4.401319e-05,4.393995e-05,4.383982e-05,4.380804e-05,4.367484e-05,4.366413e-05,4.354054e-05,4.348654e-05,4.340530e-05,4.330744e-05,4.326928e-05,4.313265e-05,4.312717e-05,4.299552e-05,4.294607e-05,4.285805e-05,4.276442e-05,4.272034e-05,4.258251e-05,4.240057e-05,4.221883e-05,4.203749e-05,4.185675e-05,4.167678e-05,4.149772e-05,4.131972e-05,4.114291e-05,4.096740e-05,4.079330e-05,4.062070e-05,4.044968e-05,4.028032e-05,4.011269e-05,3.994684e-05,3.978284e-05,3.962072e-05,3.946053e-05,3.930230e-05,3.914606e-05,3.899184e-05,3.883966e-05,3.868954e-05,3.854149e-05
0.000000e+00,1.500871e-10,5.536863e-10,3.383870e-09,1.026911e-08,1.668386e-08,4.547026e-08,4.709351e-08,1.006589e-07,1.205614e-07,1.828885e-07,2.482468e-07,2.992349e-07,4.412293e-07,4.553113e-07,6.567205e-07,7.123785e-07,9.083532e-07,1.072392e-06,1.213017e-06,1.524147e-06,1.569486e-06,1.970782e-06,2.055381e-06,2.404184e-06,2.636974e-06,2.853765e-06,3.232571e-06,3.304134e-06,3.743131e-06,3.811717e-06,4.162595e-06,4.355508e-06,4.557803e-06,4.854923e-06,4.926487e-06,5.267938e-06,5.307086e-06,5.582386e-06,5.712374e-06,5.870605e-06,6.072769e-06,6.133680e-06,6.372879e-06,6.391024e-06,6.589572e-06,6.670266e-06,6.785187e-06,6.913794e-06,6.961177e-06,7.118992e-06,7.124947e-06,7.260060e-06,7.307013e-06,7.385767e-06,7.463158e-06,7.497449e-06,7.596368e-06,7.683698e-06,7.709377e-06,7.760530e-06,7.804666e-06,7.827880e-06,7.884487e-06,7.886686e-06,7.937793e-06,7.950828e-06,7.981960e-06,8.005420e-06,8.019881e-06,8.049791e-06,8.052182e-06,8.079416e-06,8.085255e-06,8.102077e-06,8.112936e-06,8.120608e-06,8.133813e-06,8.135403e-06,8.146813e-06,8.148717e-06,8.155153e-06,8.158371e-06,8.160705e-06,8.163394e-06,8.163714e-06,8.164393e-06,8.164299e-06,8.162937e-06,8.161532e-06,8.159523e-06,8.155490e-06,8.154310e-06,8.147434e-06,8.146503e-06,8.139024e-06,8.134868e-06,8.129197e-06,8.120847e-06,8.118060e-06,8.105705e-06,8.104667e-06,8.092223e-06,8.086532e-06,8.077692e-06,8.066623e-06,8.062188e-06,8.045779e-06,8.045105e-06,8.028529e-06,8.022124e-06,8.010495e-06,7.997813e-06,7.991734e-06,7.972295e-06,7.952226e-06,7.945678e-06,7.931572e-06,7.918066e-06,7.910375e-06,7.889550e-06,7.888673e-06,7.866504e-06,7.860217e-06,7.843901e-06,7.830146e-06,7.820899e-06,7.799410e-06,7.797527e-06,7.773815e-06,7.768076e-06,7.749789e-06,7.736208e-06,7.725477e-06,7.703864e-06,7.700901e-06,7.676087e-06,7.671097e-06,7.651055e-06,7.637960e-06,7.625827e-06,7.604498e-06,7.600422e-06,7.574859e-06,7.570755e-06,7.549156e-06,7.536774e-06,7.523330e-06,7.502591e-06,7.497397e-06,7.471372e-06,7.468244e-06,7.445270e-06,7.433764e-06,7.419104e-06,7.399183e-06,7.392887e-06,7.366632e-06,7.364530e-06,7.340351e-06,7.329834e-06,7.314055e-06,7.295118e-06,7.287754e-06,7.261458e-06,7.260407e-06,7.235178e-06,7.225722e-06,7.208922e-06,7.191086e-06,7.182698e-06,7.156516e-06,7.122031e-06,7.087649e-06,7.053383e-06,7.019251e-06,6.985264e-06,6.951435e-06,6.917777e-06,6.884301e-06,6.851015e-06,6.817931e-06,6.785056e-06,6.752399e-06,6.719966e-06,6.687765e-06,6.655802e-06,6.624083e-06,6.592613e-06,6.561396e-06,6.530437e-06,6.499740e-06,6.469308e-06,6.439145e-06,6.409253e-06,6.379635e-06
0.000000e+00,1.187815e-09,2.782860e-09,9.768914e-09,2.235990e-08,3.264953e-08,7.390225e-08,7.611133e-08,1.461469e-07,1.713341e-07,2.487693e-07,3.285253e-07,3.900586e-07,5.588306e-07,5.753619e-07,8.072824e-07,8.697842e-07,1.084241e-06,1.257398e-06,1.401796e-06,1.710819e-06,1.754912e-06,2.138949e-06,2.219089e-06,2.549659e-06,2.772413e-06,2.982960e-06,3.361411e-06,3.434776e-06,3.900987e-06,3.976640e-06,4.377451e-06,4.608588e-06,4.860068e-06,5.247917e-06,5.344868e-06,5.828087e-06,5.885799e-06,6.306253e-06,6.514223e-06,6.776229e-06,7.126224e-06,7.235260e-06,7.680989e-06,7.716012e-06,8.111467e-06,8.279026e-06,8.525134e-06,8.811886e-06,8.920805e-06,9.297638e-06,9.312311e-06,9.655098e-06,9.778983e-06,9.992923e-06,1.021141e-05,1.031109e-05,1.060976e-05,1.088927e-05,1.097474e-05,1.115009e-05,1.130746e-05,1.139278e-05,1.160931e-05,1.161799e-05,1.182642e-05,1.188188e-05,1.201882e-05,1.212687e-05,1.219593e-05,1.234604e-05,1.235854e-05,1.250740e-05,1.254117e-05,1.264328e-05,1.271398e-05,1.276692e-05,1.286616e-05,1.287903e-05,1.298032e-05,1.299933e-05,1.307144e-05,1.311502e-05,1.315303e-05,1.321466e-05,1.322571e-05,1.329003e-05,1.329959e-05,1.334656e-05,1.337107e-05,1.339579e-05,1.343025e-05,1.343822e-05,1.347430e-05,1.347822e-05,1.350446e-05,1.351595e-05,1.352910e-05,1.354437e-05,1.354860e-05,1.356331e-05,1.356429e-05,1.357357e-05,1.357649e-05,1.357968e-05,1.358168e-05,1.358194e-05,1.358062e-05,1.358049e-05,1.357597e-05,1.357353e-05,1.356823e-05,1.356132e-05,1.355763e-05,1.354436e-05,1.352864e-05,1.352311e-05,1.351063e-05,1.349798e-05,1.349051e-05,1.346936e-05,1.346844e-05,1.344457e-05,1.343758e-05,1.341903e-05,1.340297e-05,1.339196e-05,1.336581e-05,1.336349e-05,1.333372e-05,1.332639e-05,1.330276e-05,1.328494e-05,1.327071e-05,1.324168e-05,1.323767e-05,1.320372e-05,1.319683e-05,1.316895e-05,1.315057e-05,1.313343e-05,1.310307e-05,1.309724e-05,1.306044e-05,1.305451e-05,1.302311e-05,1.300501e-05,1.298528e-05,1.295472e-05,1.294704e-05,1.290841e-05,1.290376e-05,1.286946e-05,1.285224e-05,1.283024e-05,1.280026e-05,1.279077e-05,1.275111e-05,1.274793e-05,1.271129e-05,1.269533e-05,1.267135e-05,1.264254e-05,1.263132e-05,1.259123e-05,1.258963e-05,1.255111e-05,1.253667e-05,1.251099e-05,1.248372e-05,1.247090e-05,1.243085e-05,1.237809e-05,1.232551e-05,1.227314e-05,1.222102e-05,1.216919e-05,1.211769e-05,1.206653e-05,1.201576e-05,1.196539e-05,1.191545e-05,1.186596e-05,1.181693e-05,1.176838e-05,1.172034e-05,1.167280e-05,1.162578e-05,1.157929e-05,1.153335e-05,1.148795e-05,1.144311e-05,1.139882e-05,1.135510e-05,1.131194e-05,1.126936e-05
0.000000e+00,8.373390e-09,1.923397e-08,6.633323e-08,1.513737e-07,2.214639e-07,5.091452e-07,5.248645e-07,1.039687e-06,1.232371e-06,1.847220e-06,2.510126e-06,3.036564e-06,4.513658e-06,4.659240e-06,6.687048e-06,7.225564e-06,9.042480e-06,1.047638e-05,1.165214e-05,1.411703e-05,1.446380e-05,1.744160e-05,1.805463e-05,2.055857e-05,2.222663e-05,2.379153e-05,2.658067e-05,2.711835e-05,3.051663e-05,3.106546e-05,3.396342e-05,3.562825e-05,3.743531e-05,4.021505e-05,4.090874e-05,4.436058e-05,4.477229e-05,4.776862e-05,4.924886e-05,5.111204e-05,5.359798e-05,5.437171e-05,5.753051e-05,5.777840e-05,6.057384e-05,6.175605e-05,6.348959e-05,6.550433e-05,6.626794e-05,6.890134e-05,6.900358e-05,7.138452e-05,7.224100e-05,7.371420e-05,7.520989e-05,7.588892e-05,7.790880e-05,7.977538e-05,8.034073e-05,8.149139e-05,8.251228e-05,8.306052e-05,8.443301e-05,8.448741e-05,8.577706e-05,8.611428e-05,8.693481e-05,8.756862e-05,8.796662e-05,8.880986e-05,8.887855e-05,8.967676e-05,8.985210e-05,9.036749e-05,9.070966e-05,9.095692e-05,9.139661e-05,9.145108e-05,9.185590e-05,9.192665e-05,9.217713e-05,9.231299e-05,9.242033e-05,9.256824e-05,9.259085e-05,9.269376e-05,9.270429e-05,9.273393e-05,9.273228e-05,9.271595e-05,9.266264e-05,9.264419e-05,9.252277e-05,9.250505e-05,9.235560e-05,9.226850e-05,9.214634e-05,9.196129e-05,9.189845e-05,9.161515e-05,9.159105e-05,9.129950e-05,9.116481e-05,9.095431e-05,9.068898e-05,9.058224e-05,9.018578e-05,9.016945e-05,8.976724e-05,8.961158e-05,8.932879e-05,8.902029e-05,8.887243e-05,8.840004e-05,8.791338e-05,8.775490e-05,8.741405e-05,8.708854e-05,8.690357e-05,8.640433e-05,8.638335e-05,8.585468e-05,8.570530e-05,8.531877e-05,8.499421e-05,8.477674e-05,8.427355e-05,8.422962e-05,8.367838e-05,8.354557e-05,8.312390e-05,8.281228e-05,8.256700e-05,8.207553e-05,8.200844e-05,8.144892e-05,8.133696e-05,8.088908e-05,8.059803e-05,8.032951e-05,7.986009e-05,7.977077e-05,7.921334e-05,7.912431e-05,7.865770e-05,7.839175e-05,7.810426e-05,7.766335e-05,7.755341e-05,7.700549e-05,7.693996e-05,7.646084e-05,7.622229e-05,7.591973e-05,7.551102e-05,7.538244e-05,7.484920e-05,7.480672e-05,7.432022e-05,7.410988e-05,7.379572e-05,7.342093e-05,7.327585e-05,7.276077e-05,7.274026e-05,7.225062e-05,7.206819e-05,7.174552e-05,7.140499e-05,7.124558e-05,7.075088e-05,7.010606e-05,6.947067e-05,6.884483e-05,6.822863e-05,6.762214e-05,6.702538e-05,6.643837e-05,6.586111e-05,6.529358e-05,6.473573e-05,6.418752e-05,6.364889e-05,6.311975e-05,6.260001e-05,6.208960e-05,6.158840e-05,6.109631e-05,6.061321e-05,6.013898e-05,5.967350e-05,5.921664e-05,5.876828e-05,5.832828e-05,5.789650e-05
0.000000e+00,2.935918e-12,1.475996e-11,1.605089e-10,7.696496e-10,1.569912e-09,7.219525e-09,7.624823e-09,2.534640e-08,3.387385e-08,6.656472e-08,1.097012e-07,1.491030e-07,2.829539e-07,2.980437e-07,5.466881e-07,6.256243e-07,9.360323e-07,1.232395e-06,1.511357e-06,2.206108e-06,2.316039e-06,3.384772e-06,3.632333e-06,4.738649e-06,5.557803e-06,6.383187e-06,7.982712e-06,8.308957e-06,1.049394e-05,1.086559e-05,1.290665e-05,1.413473e-05,1.550939e-05,1.770091e-05,1.826117e-05,2.112013e-05,2.146845e-05,2.404540e-05,2.534349e-05,2.699847e-05,2.923959e-05,2.994412e-05,3.285095e-05,3.308097e-05,3.569167e-05,3.680413e-05,3.844319e-05,4.035826e-05,4.108655e-05,4.360666e-05,4.370473e-05,4.599211e-05,4.681625e-05,4.823480e-05,4.967556e-05,5.032962e-05,5.227411e-05,5.406805e-05,5.461055e-05,5.571316e-05,5.668940e-05,5.721275e-05,5.851966e-05,5.857137e-05,5.979461e-05,6.011370e-05,6.088877e-05,6.148614e-05,6.186070e-05,6.265307e-05,6.271756e-05,6.346666e-05,6.363122e-05,6.411535e-05,6.443747e-05,6.467089e-05,6.508833e-05,6.514035e-05,6.553058e-05,6.559969e-05,6.584808e-05,6.598652e-05,6.609906e-05,6.626276e-05,6.628936e-05,6.642444e-05,6.644128e-05,6.650941e-05,6.653379e-05,6.654899e-05,6.655093e-05,6.654756e-05,6.650913e-05,6.650222e-05,6.643742e-05,6.639620e-05,6.633579e-05,6.624046e-05,6.620734e-05,6.605489e-05,6.604174e-05,6.588100e-05,6.580597e-05,6.568800e-05,6.553841e-05,6.547801e-05,6.525295e-05,6.524366e-05,6.501456e-05,6.492578e-05,6.476441e-05,6.458833e-05,6.450394e-05,6.423442e-05,6.395704e-05,6.386680e-05,6.367286e-05,6.348785e-05,6.338283e-05,6.309971e-05,6.308782e-05,6.278863e-05,6.270420e-05,6.248596e-05,6.230296e-05,6.218046e-05,6.189740e-05,6.187272e-05,6.156326e-05,6.148879e-05,6.125258e-05,6.107822e-05,6.094110e-05,6.066666e-05,6.062922e-05,6.031731e-05,6.025496e-05,6.000570e-05,5.984388e-05,5.969467e-05,5.943407e-05,5.938451e-05,5.907545e-05,5.902612e-05,5.876772e-05,5.862054e-05,5.846152e-05,5.821779e-05,5.815704e-05,5.785443e-05,5.781825e-05,5.755385e-05,5.742227e-05,5.725544e-05,5.703017e-05,5.695931e-05,5.666558e-05,5.664219e-05,5.637435e-05,5.625858e-05,5.608570e-05,5.587952e-05,5.579972e-05,5.551647e-05,5.550520e-05,5.523603e-05,5.513576e-05,5.495843e-05,5.477132e-05,5.468374e-05,5.441199e-05,5.405784e-05,5.370896e-05,5.336539e-05,5.302718e-05,5.269435e-05,5.236693e-05,5.204492e-05,5.172832e-05,5.141712e-05,5.111130e-05,5.081084e-05,5.051571e-05,5.022588e-05,4.994131e-05,4.966196e-05,4.938777e-05,4.911870e-05,4.885469e-05,4.859570e-05,4.834165e-05,4.809249e-05,4.784815e-05,4.760858e-05,4.737370e-05
0.000000e+00,9.316843e-12,4.584328e-11,4.770445e-10,2.198714e-09,4.389467e-09,1.910717e-08,2.013516e-08,6.343298e-08,8.355378e-08,1.583280e-07,2.533574e-07,3.377582e-07,6.131775e-07,6.433750e-07,1.122914e-06,1.269290e-06,1.824104e-06,2.329169e-06,2.787522e-06,3.875379e-06,4.041904e-06,5.602952e-06,5.952489e-06,7.474575e-06,8.568989e-06,9.651093e-06,1.170563e-05,1.211948e-05,1.486123e-05,1.532382e-05,1.785384e-05,1.937203e-05,2.107193e-05,2.379044e-05,2.448820e-05,2.807423e-05,2.851459e-05,3.180125e-05,3.347845e-05,3.564080e-05,3.861711e-05,3.956531e-05,4.354859e-05,4.386905e-05,4.756623e-05,4.917783e-05,5.159587e-05,5.449324e-05,5.561737e-05,5.961286e-05,5.977192e-05,6.356679e-05,6.497738e-05,6.746575e-05,7.007981e-05,7.129845e-05,7.505548e-05,7.872915e-05,7.988608e-05,8.231334e-05,8.455801e-05,8.580328e-05,8.906161e-05,8.919538e-05,9.248709e-05,9.339053e-05,9.567672e-05,9.754107e-05,9.876331e-05,1.015117e-04,1.017465e-04,1.046266e-04,1.053025e-04,1.074040e-04,1.089149e-04,1.100798e-04,1.123514e-04,1.126552e-04,1.151317e-04,1.156152e-04,1.175109e-04,1.187102e-04,1.197946e-04,1.216405e-04,1.219847e-04,1.240834e-04,1.244108e-04,1.260925e-04,1.270257e-04,1.280143e-04,1.294903e-04,1.298509e-04,1.316045e-04,1.318094e-04,1.332772e-04,1.339882e-04,1.348713e-04,1.360315e-04,1.363889e-04,1.378321e-04,1.379444e-04,1.392032e-04,1.397319e-04,1.405042e-04,1.413987e-04,1.417372e-04,1.429044e-04,1.429497e-04,1.440076e-04,1.443895e-04,1.450489e-04,1.457227e-04,1.460303e-04,1.469537e-04,1.478209e-04,1.480869e-04,1.486339e-04,1.491265e-04,1.493943e-04,1.500765e-04,1.501039e-04,1.507645e-04,1.509410e-04,1.513778e-04,1.517237e-04,1.519453e-04,1.524284e-04,1.524687e-04,1.529495e-04,1.530587e-04,1.533892e-04,1.536180e-04,1.537893e-04,1.541097e-04,1.541512e-04,1.544763e-04,1.545370e-04,1.547660e-04,1.549030e-04,1.550215e-04,1.552107e-04,1.552442e-04,1.554352e-04,1.554630e-04,1.555959e-04,1.556625e-04,1.557273e-04,1.558121e-04,1.558306e-04,1.559069e-04,1.559142e-04,1.559572e-04,1.559714e-04,1.559826e-04,1.559858e-04,1.559841e-04,1.559626e-04,1.559599e-04,1.559192e-04,1.558958e-04,1.558546e-04,1.557955e-04,1.557698e-04,1.556657e-04,1.556611e-04,1.555430e-04,1.554944e-04,1.554025e-04,1.552973e-04,1.552452e-04,1.550715e-04,1.548188e-04,1.545406e-04,1.542385e-04,1.539141e-04,1.535686e-04,1.532034e-04,1.528199e-04,1.524191e-04,1.520024e-04,1.515707e-04,1.511252e-04,1.506669e-04,1.501966e-04,1.497154e-04,1.492241e-04,1.487236e-04,1.482146e-04,1.476979e-04,1.471741e-04,1.466441e-04,1.461084e-04,1.455677e-04,1.450225e-04,1.444734e-04
0.000000e+00,3.800845e-11,1.765102e-10,1.634275e-09,6.796577e-09,1.284257e-08,4.872027e-08,5.106183e-08,1.412144e-07,1.797057e-07,3.127860e-07,4.680640e-07,5.978112e-07,9.890431e-07,1.029811e-06,1.642238e-06,1.819498e-06,2.464419e-06,3.024157e-06,3.515489e-06,4.634193e-06,4.800613e-06,6.312244e-06,6.640440e-06,8.034384e-06,9.006433e-06,9.946714e-06,1.168394e-05,1.202718e-05,1.425313e-05,1.462125e-05,1.660169e-05,1.776581e-05,1.904991e-05,2.106487e-05,2.157493e-05,2.415421e-05,2.446632e-05,2.676590e-05,2.791992e-05,2.938925e-05,3.137881e-05,3.200489e-05,3.459523e-05,3.480088e-05,3.714457e-05,3.814970e-05,3.963928e-05,4.139510e-05,4.206784e-05,4.442073e-05,4.451316e-05,4.669041e-05,4.748597e-05,4.887114e-05,5.030106e-05,5.095880e-05,5.295074e-05,5.484556e-05,5.543131e-05,5.664294e-05,5.774236e-05,5.834347e-05,5.988608e-05,5.994847e-05,6.145987e-05,6.186661e-05,6.288008e-05,6.368956e-05,6.421184e-05,6.536154e-05,6.545818e-05,6.662231e-05,6.688983e-05,6.770755e-05,6.828208e-05,6.871727e-05,6.954607e-05,6.965489e-05,7.052377e-05,7.068959e-05,7.132725e-05,7.172030e-05,7.206859e-05,7.264562e-05,7.275096e-05,7.337745e-05,7.347271e-05,7.395103e-05,7.420839e-05,7.447455e-05,7.485916e-05,7.495074e-05,7.538225e-05,7.543114e-05,7.577156e-05,7.593011e-05,7.612107e-05,7.636149e-05,7.643306e-05,7.670969e-05,7.673036e-05,7.695302e-05,7.704147e-05,7.716500e-05,7.729925e-05,7.734747e-05,7.750221e-05,7.750785e-05,7.763087e-05,7.767110e-05,7.773502e-05,7.779261e-05,7.781616e-05,7.787570e-05,7.791497e-05,7.792347e-05,7.793524e-05,7.793880e-05,7.793771e-05,7.792437e-05,7.792349e-05,7.789367e-05,7.788266e-05,7.784924e-05,7.781597e-05,7.779116e-05,7.772645e-05,7.772034e-05,7.763762e-05,7.761609e-05,7.754381e-05,7.748671e-05,7.743966e-05,7.734003e-05,7.732589e-05,7.720319e-05,7.717764e-05,7.707219e-05,7.700100e-05,7.693350e-05,7.681147e-05,7.678769e-05,7.663529e-05,7.661033e-05,7.647682e-05,7.639873e-05,7.631275e-05,7.617777e-05,7.614353e-05,7.596961e-05,7.594844e-05,7.579137e-05,7.571168e-05,7.560920e-05,7.546835e-05,7.542346e-05,7.523450e-05,7.521925e-05,7.504261e-05,7.496511e-05,7.484812e-05,7.470663e-05,7.465131e-05,7.445243e-05,7.444444e-05,7.425176e-05,7.417912e-05,7.404951e-05,7.391121e-05,7.384593e-05,7.364121e-05,7.336960e-05,7.309679e-05,7.282318e-05,7.254913e-05,7.227498e-05,7.200104e-05,7.172759e-05,7.145490e-05,7.118320e-05,7.091272e-05,7.064365e-05,7.037619e-05,7.011050e-05,6.984674e-05,6.958505e-05,6.932555e-05,6.906836e-05,6.881359e-05,6.856132e-05,6.831164e-05,6.806462e-05,6.782034e-05,6.757885e-05,6.734020e-05
0.000000e+00,5.612471e-12,2.814628e-11,3.044619e-10,1.452244e-09,2.952867e-09,1.345003e-08,1.419885e-08,4.661895e-08,6.205556e-08,1.205620e-07,1.965502e-07,2.650390e-07,4.928209e-07,5.181090e-07,9.260791e-07,1.052718e-06,1.540451e-06,1.994095e-06,2.413007e-06,3.432103e-06,3.590969e-06,5.113642e-06,5.462335e-06,7.010768e-06,8.152217e-06,9.302137e-06,1.153927e-05,1.199792e-05,1.509936e-05,1.563288e-05,1.859955e-05,2.041737e-05,2.248431e-05,2.585530e-05,2.673295e-05,3.131919e-05,3.189080e-05,3.621198e-05,3.845304e-05,4.137641e-05,4.545987e-05,4.677467e-05,5.236695e-05,5.282149e-05,5.811240e-05,6.044427e-05,6.397002e-05,6.823424e-05,6.989942e-05,7.586162e-05,7.610026e-05,8.181962e-05,8.395673e-05,8.773889e-05,9.172561e-05,9.358780e-05,9.933783e-05,1.049637e-04,1.067341e-04,1.104436e-04,1.138653e-04,1.157587e-04,1.206920e-04,1.208938e-04,1.258364e-04,1.271844e-04,1.305768e-04,1.333211e-04,1.351082e-04,1.390884e-04,1.394259e-04,1.435274e-04,1.444794e-04,1.474119e-04,1.494928e-04,1.510804e-04,1.541319e-04,1.545353e-04,1.577799e-04,1.584039e-04,1.608186e-04,1.623192e-04,1.636568e-04,1.658900e-04,1.663001e-04,1.687549e-04,1.691306e-04,1.710277e-04,1.720561e-04,1.731256e-04,1.746826e-04,1.750554e-04,1.768244e-04,1.770262e-04,1.784395e-04,1.791032e-04,1.799079e-04,1.809299e-04,1.812364e-04,1.824319e-04,1.825220e-04,1.835012e-04,1.838950e-04,1.844506e-04,1.850635e-04,1.852864e-04,1.860148e-04,1.860417e-04,1.866415e-04,1.868433e-04,1.871722e-04,1.874810e-04,1.876124e-04,1.879671e-04,1.882414e-04,1.883130e-04,1.884400e-04,1.885295e-04,1.885674e-04,1.886268e-04,1.886280e-04,1.886259e-04,1.886145e-04,1.885649e-04,1.885016e-04,1.884488e-04,1.882963e-04,1.882811e-04,1.880652e-04,1.880066e-04,1.878043e-04,1.876397e-04,1.875015e-04,1.872025e-04,1.871595e-04,1.867811e-04,1.867013e-04,1.863689e-04,1.861420e-04,1.859253e-04,1.855302e-04,1.854527e-04,1.849532e-04,1.848709e-04,1.844289e-04,1.841690e-04,1.838818e-04,1.834289e-04,1.833137e-04,1.827263e-04,1.826546e-04,1.821214e-04,1.818501e-04,1.815005e-04,1.810187e-04,1.808650e-04,1.802163e-04,1.801639e-04,1.795558e-04,1.792885e-04,1.788847e-04,1.783955e-04,1.782041e-04,1.775152e-04,1.774874e-04,1.768189e-04,1.765667e-04,1.761163e-04,1.756354e-04,1.754083e-04,1.746958e-04,1.737495e-04,1.727985e-04,1.718443e-04,1.708882e-04,1.699318e-04,1.689762e-04,1.680225e-04,1.670718e-04,1.661251e-04,1.651831e-04,1.642467e-04,1.633166e-04,1.623934e-04,1.614776e-04,1.605700e-04,1.596708e-04,1.587805e-04,1.578995e-04,1.570281e-04,1.561666e-04,1.553153e-04,1.544743e-04,1.536439e-04,1.528243e-04
0.000000e+00,1.597135e-09,5.568978e-09,3.148437e-08,9.207307e-08,1.480648e-07,4.028103e-07,4.174233e-07,9.156836e-07,1.108429e-06,1.735297e-06,2.423082e-06,2.974407e-06,4.535011e-06,4.689540e-06,6.848413e-06,7.422717e-06,9.359904e-06,1.088610e-05,1.213457e-05,1.473987e-05,1.510482e-05,1.821922e-05,1.885553e-05,2.143494e-05,2.313441e-05,2.471406e-05,2.749248e-05,2.802250e-05,3.132994e-05,3.185722e-05,3.461007e-05,3.616818e-05,3.784076e-05,4.037743e-05,4.100393e-05,4.408534e-05,4.444906e-05,4.707413e-05,4.835775e-05,4.996250e-05,5.208710e-05,5.274505e-05,5.541841e-05,5.562750e-05,5.798094e-05,5.897479e-05,6.043225e-05,6.212869e-05,6.277303e-05,6.500472e-05,6.509175e-05,6.712937e-05,6.786851e-05,6.914948e-05,7.046484e-05,7.106782e-05,7.288742e-05,7.461149e-05,7.514355e-05,7.624331e-05,7.724079e-05,7.778619e-05,7.918676e-05,7.924345e-05,8.061840e-05,8.098908e-05,8.191430e-05,8.265522e-05,8.313434e-05,8.419249e-05,8.428167e-05,8.535935e-05,8.560797e-05,8.637036e-05,8.690848e-05,8.731758e-05,8.810060e-05,8.820382e-05,8.903179e-05,8.919062e-05,8.980410e-05,9.018455e-05,9.052329e-05,9.108813e-05,9.119178e-05,9.181193e-05,9.190682e-05,9.238598e-05,9.264579e-05,9.291611e-05,9.330999e-05,9.340439e-05,9.385284e-05,9.390407e-05,9.426336e-05,9.443245e-05,9.463780e-05,9.489933e-05,9.497791e-05,9.528540e-05,9.530864e-05,9.556188e-05,9.566414e-05,9.580889e-05,9.596933e-05,9.602793e-05,9.622040e-05,9.622756e-05,9.638766e-05,9.644196e-05,9.653102e-05,9.661549e-05,9.665171e-05,9.675092e-05,9.682978e-05,9.685089e-05,9.688936e-05,9.691787e-05,9.693071e-05,9.695417e-05,9.695481e-05,9.696261e-05,9.696199e-05,9.695499e-05,9.694338e-05,9.693281e-05,9.690027e-05,9.689691e-05,9.684805e-05,9.683448e-05,9.678698e-05,9.674772e-05,9.671442e-05,9.664158e-05,9.663103e-05,9.653746e-05,9.651759e-05,9.643434e-05,9.637714e-05,9.632225e-05,9.622156e-05,9.620174e-05,9.607335e-05,9.605211e-05,9.593759e-05,9.586994e-05,9.579493e-05,9.567616e-05,9.564585e-05,9.549078e-05,9.547179e-05,9.533014e-05,9.525780e-05,9.516433e-05,9.503508e-05,9.499372e-05,9.481867e-05,9.480449e-05,9.463953e-05,9.456681e-05,9.445663e-05,9.432278e-05,9.427027e-05,9.408075e-05,9.407311e-05,9.388836e-05,9.381844e-05,9.369335e-05,9.355938e-05,9.349598e-05,9.329649e-05,9.303030e-05,9.276133e-05,9.249001e-05,9.221680e-05,9.194209e-05,9.166625e-05,9.138964e-05,9.111259e-05,9.083539e-05,9.055834e-05,9.028168e-05,9.000567e-05,8.973052e-05,8.945646e-05,8.918366e-05,8.891232e-05,8.864259e-05,8.837462e-05,8.810856e-05,8.784453e-05,8.758265e-05,8.732303e-05,8.706576e-05,8.681093e-05
0.000000e+00,4.127553e-09,9.508242e-09,3.293836e-08,7.537554e-08,1.103866e-07,2.539335e-07,2.617631e-07,5.171860e-07,6.123122e-07,9.146505e-07,1.239843e-06,1.498654e-06,2.233236e-06,2.306522e-06,3.345276e-06,3.626382e-06,4.588027e-06,5.358490e-06,5.996008e-06,7.344925e-06,7.535754e-06,9.182162e-06,9.522481e-06,1.091601e-05,1.184678e-05,1.272130e-05,1.428237e-05,1.458360e-05,1.648912e-05,1.679711e-05,1.842448e-05,1.936021e-05,2.037664e-05,2.194199e-05,2.233303e-05,2.428175e-05,2.451455e-05,2.621177e-05,2.705244e-05,2.811308e-05,2.953334e-05,2.997676e-05,3.179508e-05,3.193838e-05,3.356147e-05,3.425225e-05,3.527057e-05,3.646324e-05,3.691815e-05,3.850098e-05,3.856291e-05,4.001674e-05,4.054569e-05,4.146397e-05,4.240852e-05,4.284191e-05,4.415044e-05,4.538996e-05,4.577216e-05,4.656132e-05,4.727575e-05,4.766571e-05,4.866430e-05,4.870462e-05,4.967979e-05,4.994167e-05,5.059310e-05,5.111224e-05,5.144658e-05,5.218076e-05,5.224234e-05,5.298256e-05,5.315219e-05,5.366942e-05,5.403158e-05,5.430514e-05,5.482401e-05,5.489191e-05,5.543190e-05,5.553448e-05,5.592725e-05,5.616788e-05,5.638003e-05,5.672897e-05,5.679229e-05,5.716600e-05,5.722235e-05,5.750307e-05,5.765240e-05,5.780536e-05,5.802334e-05,5.807464e-05,5.831263e-05,5.833917e-05,5.852100e-05,5.860370e-05,5.870131e-05,5.882053e-05,5.885510e-05,5.898381e-05,5.899307e-05,5.908884e-05,5.912453e-05,5.917153e-05,5.921795e-05,5.923315e-05,5.927491e-05,5.927619e-05,5.929798e-05,5.930193e-05,5.930346e-05,5.929768e-05,5.929241e-05,5.926583e-05,5.922468e-05,5.920858e-05,5.916987e-05,5.912803e-05,5.910227e-05,5.902611e-05,5.902270e-05,5.893196e-05,5.890465e-05,5.883077e-05,5.876535e-05,5.871986e-05,5.860981e-05,5.859989e-05,5.847151e-05,5.843952e-05,5.833532e-05,5.825585e-05,5.819189e-05,5.806012e-05,5.804177e-05,5.788549e-05,5.785353e-05,5.772352e-05,5.763720e-05,5.755633e-05,5.741218e-05,5.738436e-05,5.720804e-05,5.717945e-05,5.702775e-05,5.693991e-05,5.684387e-05,5.669441e-05,5.665675e-05,5.646672e-05,5.644374e-05,5.627411e-05,5.618861e-05,5.607920e-05,5.592971e-05,5.588228e-05,5.568361e-05,5.566765e-05,5.548346e-05,5.540303e-05,5.528204e-05,5.513637e-05,5.507959e-05,5.487631e-05,5.486817e-05,5.467240e-05,5.459888e-05,5.446806e-05,5.432894e-05,5.426344e-05,5.405872e-05,5.378859e-05,5.351887e-05,5.324988e-05,5.298188e-05,5.271513e-05,5.244986e-05,5.218629e-05,5.192460e-05,5.166497e-05,5.140755e-05,5.115250e-05,5.089994e-05,5.064998e-05,5.040272e-05,5.015826e-05,4.991667e-05,4.967803e-05,4.944240e-05,4.920983e-05,4.898036e-05,4.875403e-05,4.853087e-05,4.831091e-05,4.809416e-05
0.000000e+00,7.683845e-11,3.418841e-10,2.914031e-09,1.131811e-08,2.065730e-08,7.230773e-08,7.555589e-08,1.954439e-07,2.447406e-07,4.105701e-07,5.984980e-07,7.526375e-07,1.207333e-06,1.254046e-06,1.944226e-06,2.140406e-06,2.842390e-06,3.438279e-06,3.952448e-06,5.097344e-06,5.265033e-06,6.763486e-06,7.083807e-06,8.428653e-06,9.353947e-06,1.024102e-05,1.186290e-05,1.218108e-05,1.422919e-05,1.456559e-05,1.636546e-05,1.741630e-05,1.856987e-05,2.036912e-05,2.082260e-05,2.310446e-05,2.337936e-05,2.539728e-05,2.640522e-05,2.768430e-05,2.940917e-05,2.995037e-05,3.218222e-05,3.235893e-05,3.436843e-05,3.522795e-05,3.649952e-05,3.799537e-05,3.856778e-05,4.056723e-05,4.064571e-05,4.249341e-05,4.316826e-05,4.434322e-05,4.555645e-05,4.611476e-05,4.780713e-05,4.942031e-05,4.991989e-05,5.095495e-05,5.189644e-05,5.241226e-05,5.374009e-05,5.379393e-05,5.510196e-05,5.545532e-05,5.633862e-05,5.704738e-05,5.750638e-05,5.852206e-05,5.860780e-05,5.964553e-05,5.988540e-05,6.062224e-05,6.114355e-05,6.154061e-05,6.230261e-05,6.240327e-05,6.321283e-05,6.336859e-05,6.397181e-05,6.434731e-05,6.468268e-05,6.524436e-05,6.534780e-05,6.596946e-05,6.606505e-05,6.654988e-05,6.681444e-05,6.709115e-05,6.749734e-05,6.759529e-05,6.806425e-05,6.811824e-05,6.849984e-05,6.868139e-05,6.890383e-05,6.919076e-05,6.927789e-05,6.962359e-05,6.965007e-05,6.994245e-05,7.006280e-05,7.023590e-05,7.043222e-05,7.050530e-05,7.075193e-05,7.076134e-05,7.097704e-05,7.105302e-05,7.118176e-05,7.130990e-05,7.136721e-05,7.153444e-05,7.168442e-05,7.172893e-05,7.181811e-05,7.189552e-05,7.193638e-05,7.203622e-05,7.204009e-05,7.213004e-05,7.215286e-05,7.220698e-05,7.224720e-05,7.227163e-05,7.232084e-05,7.232467e-05,7.236675e-05,7.237529e-05,7.239849e-05,7.241196e-05,7.242046e-05,7.243215e-05,7.243321e-05,7.243727e-05,7.243708e-05,7.243313e-05,7.242790e-05,7.242126e-05,7.240565e-05,7.240211e-05,7.237611e-05,7.237134e-05,7.234364e-05,7.232587e-05,7.230510e-05,7.227013e-05,7.226084e-05,7.221121e-05,7.220491e-05,7.215653e-05,7.213095e-05,7.209712e-05,7.204897e-05,7.203326e-05,7.196523e-05,7.195962e-05,7.189331e-05,7.186350e-05,7.181774e-05,7.176120e-05,7.173875e-05,7.165659e-05,7.165324e-05,7.157145e-05,7.154012e-05,7.148355e-05,7.142230e-05,7.139309e-05,7.130024e-05,7.117432e-05,7.104494e-05,7.091244e-05,7.077717e-05,7.063944e-05,7.049952e-05,7.035771e-05,7.021425e-05,7.006937e-05,6.992330e-05,6.977626e-05,6.962842e-05,6.947998e-05,6.933110e-05,6.918194e-05,6.903265e-05,6.888336e-05,6.873421e-05,6.858531e-05,6.843678e-05,6.828871e-05,6.814120e-05,6.799435e-05,6.784823e-05
0.000000e+00,1.367318e-10,7.049213e-10,8.076968e-09,4.060783e-08,8.498968e-08,4.170334e-07,4.415800e-07,1.559515e-06,2.116893e-06,4.316890e-06,7.312778e-06,1.010588e-05,1.982550e-05,2.093668e-05,3.952287e-05,4.550699e-05,6.933655e-05,9.248469e-05,1.146114e-04,1.711404e-04,1.802734e-04,2.718012e-04,2.937208e-04,3.950397e-04,4.736492e-04,5.559954e-04,7.247142e-04,7.606315e-04,1.014677e-03,1.060273e-03,1.323457e-03,1.492538e-03,1.691740e-03,2.031983e-03,2.123617e-03,2.622400e-03,2.686877e-03,3.190553e-03,3.462952e-03,3.829637e-03,4.363210e-03,4.540296e-03,5.322251e-03,5.387858e-03,6.174327e-03,6.534363e-03,7.094492e-03,7.797614e-03,8.079919e-03,9.127057e-03,9.170169e-03,1.023171e-02,1.064257e-02,1.138914e-02,1.220370e-02,1.259414e-02,1.384116e-02,1.512437e-02,1.554167e-02,1.643778e-02,1.729140e-02,1.777530e-02,1.907637e-02,1.913087e-02,2.049846e-02,2.088274e-02,2.187222e-02,2.269707e-02,2.324648e-02,2.450656e-02,2.461581e-02,2.597507e-02,2.629926e-02,2.731946e-02,2.806415e-02,2.864451e-02,2.979129e-02,2.994612e-02,3.122056e-02,3.147189e-02,3.246449e-02,3.309827e-02,3.367493e-02,3.466392e-02,3.484930e-02,3.598537e-02,3.616346e-02,3.708128e-02,3.759259e-02,3.813549e-02,3.894801e-02,3.914679e-02,4.011428e-02,4.022740e-02,4.103734e-02,4.142931e-02,4.191561e-02,4.255306e-02,4.274897e-02,4.353752e-02,4.359868e-02,4.428158e-02,4.456684e-02,4.498161e-02,4.545873e-02,4.563827e-02,4.625234e-02,4.627603e-02,4.682473e-02,4.702078e-02,4.735645e-02,4.769535e-02,4.784860e-02,4.830237e-02,4.871899e-02,4.884467e-02,4.909974e-02,4.932521e-02,4.944596e-02,4.974708e-02,4.975898e-02,5.004018e-02,5.011339e-02,5.029092e-02,5.042731e-02,5.051257e-02,5.069198e-02,5.070650e-02,5.087406e-02,5.091050e-02,5.101658e-02,5.108594e-02,5.113537e-02,5.122128e-02,5.123170e-02,5.130682e-02,5.131940e-02,5.136195e-02,5.138311e-02,5.139826e-02,5.141506e-02,5.141690e-02,5.141897e-02,5.141784e-02,5.140553e-02,5.139388e-02,5.137761e-02,5.134551e-02,5.133619e-02,5.128220e-02,5.127493e-02,5.121656e-02,5.118421e-02,5.114012e-02,5.107531e-02,5.105370e-02,5.095809e-02,5.095007e-02,5.085402e-02,5.081019e-02,5.074221e-02,5.065728e-02,5.062331e-02,5.049797e-02,5.049283e-02,5.036678e-02,5.031824e-02,5.023032e-02,5.013478e-02,5.008911e-02,4.994367e-02,4.974598e-02,4.954276e-02,4.933492e-02,4.912332e-02,4.890877e-02,4.869196e-02,4.847357e-02,4.825419e-02,4.803436e-02,4.781458e-02,4.759529e-02,4.737690e-02,4.715976e-02,4.694420e-02,4.673050e-02,4.651893e-02,4.630971e-02,4.610304e-02,4.589911e-02,4.569805e-02,4.550000e-02,4.530508e-02,4.511337e-02,4.492496e-02
0.000000e+00,1.996888e-09,5.584151e-09,2.375188e-08,5.981821e-08,9.086799e-08,2.243490e-07,2.318388e-07,4.847338e-07,5.824200e-07,9.019620e-07,1.255470e-06,1.539620e-06,2.337790e-06,2.415912e-06,3.485823e-06,3.763764e-06,4.682839e-06,5.389376e-06,5.957544e-06,7.119401e-06,7.279914e-06,8.631135e-06,8.903594e-06,9.997603e-06,1.071036e-05,1.136791e-05,1.251425e-05,1.273158e-05,1.407872e-05,1.429210e-05,1.540006e-05,1.602263e-05,1.668716e-05,1.768715e-05,1.793258e-05,1.913004e-05,1.927027e-05,2.027453e-05,2.076031e-05,2.136227e-05,2.214938e-05,2.239070e-05,2.335836e-05,2.343313e-05,2.426478e-05,2.461026e-05,2.511033e-05,2.568200e-05,2.589607e-05,2.662359e-05,2.665151e-05,2.729492e-05,2.752329e-05,2.791242e-05,2.830290e-05,2.847870e-05,2.899650e-05,2.946859e-05,2.961042e-05,2.989759e-05,3.015082e-05,3.028628e-05,3.062395e-05,3.063730e-05,3.095316e-05,3.103564e-05,3.123633e-05,3.139150e-05,3.148911e-05,3.169669e-05,3.171366e-05,3.191203e-05,3.195596e-05,3.208614e-05,3.217373e-05,3.223779e-05,3.235400e-05,3.236865e-05,3.248027e-05,3.250041e-05,3.257408e-05,3.261627e-05,3.265141e-05,3.270456e-05,3.271352e-05,3.276154e-05,3.276799e-05,3.279653e-05,3.280899e-05,3.281947e-05,3.282976e-05,3.283127e-05,3.283278e-05,3.283230e-05,3.282476e-05,3.281840e-05,3.280794e-05,3.278967e-05,3.278298e-05,3.275050e-05,3.274759e-05,3.271107e-05,3.269347e-05,3.266522e-05,3.262852e-05,3.261345e-05,3.255621e-05,3.255381e-05,3.249392e-05,3.247033e-05,3.242697e-05,3.237898e-05,3.235575e-05,3.228057e-05,3.220176e-05,3.217583e-05,3.211962e-05,3.206543e-05,3.203442e-05,3.194999e-05,3.194641e-05,3.185584e-05,3.183005e-05,3.176293e-05,3.170615e-05,3.166789e-05,3.157873e-05,3.157090e-05,3.147216e-05,3.144822e-05,3.137183e-05,3.131502e-05,3.127008e-05,3.117947e-05,3.116705e-05,3.106288e-05,3.104192e-05,3.095770e-05,3.090265e-05,3.085163e-05,3.076194e-05,3.074480e-05,3.063730e-05,3.062004e-05,3.052924e-05,3.047720e-05,3.042071e-05,3.033361e-05,3.031181e-05,3.020261e-05,3.018949e-05,3.009319e-05,3.004500e-05,2.998363e-05,2.990031e-05,2.987399e-05,2.976435e-05,2.975558e-05,2.965476e-05,2.961095e-05,2.954527e-05,2.946654e-05,2.943595e-05,2.932684e-05,2.932248e-05,2.921799e-05,2.917887e-05,2.910944e-05,2.903582e-05,2.900123e-05,2.889341e-05,2.875173e-05,2.861086e-05,2.847087e-05,2.833182e-05,2.819378e-05,2.805678e-05,2.792089e-05,2.778615e-05,2.765260e-05,2.752027e-05,2.738920e-05,2.725941e-05,2.713093e-05,2.700378e-05,2.687799e-05,2.675357e-05,2.663053e-05,2.650889e-05,2.638866e-05,2.626985e-05,2.615246e-05,2.603650e-05,2.592197e-05,2.580887e-05
0.000000e+00,8.448240e-10,2.455035e-09,1.087563e-08,2.775893e-08,4.221993e-08,1.028884e-07,1.062175e-07,2.144799e-07,2.544536e-07,3.800163e-07,5.127975e-07,6.171196e-07,9.086958e-07,9.375131e-07,1.342262e-06,1.450758e-06,1.818829e-06,2.110291e-06,2.349150e-06,2.847691e-06,2.917473e-06,3.511945e-06,3.633142e-06,4.123447e-06,4.445610e-06,4.744424e-06,5.268484e-06,5.368228e-06,5.988862e-06,6.087501e-06,6.600935e-06,6.890268e-06,7.199695e-06,7.666367e-06,7.781084e-06,8.341771e-06,8.407531e-06,8.879153e-06,9.107704e-06,9.391329e-06,9.762934e-06,9.877049e-06,1.033563e-05,1.037114e-05,1.076691e-05,1.093181e-05,1.117110e-05,1.144565e-05,1.154877e-05,1.190074e-05,1.191430e-05,1.222803e-05,1.234002e-05,1.253174e-05,1.272542e-05,1.281310e-05,1.307335e-05,1.331377e-05,1.338672e-05,1.353559e-05,1.366837e-05,1.374005e-05,1.392106e-05,1.392829e-05,1.410146e-05,1.414738e-05,1.426059e-05,1.434975e-05,1.440668e-05,1.453038e-05,1.454068e-05,1.466343e-05,1.469132e-05,1.477577e-05,1.483440e-05,1.487842e-05,1.496130e-05,1.497209e-05,1.505741e-05,1.507352e-05,1.513496e-05,1.517241e-05,1.520531e-05,1.525919e-05,1.526894e-05,1.532631e-05,1.533494e-05,1.537787e-05,1.540066e-05,1.542399e-05,1.545723e-05,1.546505e-05,1.550138e-05,1.550543e-05,1.553328e-05,1.554599e-05,1.556105e-05,1.557956e-05,1.558496e-05,1.560524e-05,1.560671e-05,1.562213e-05,1.562798e-05,1.563583e-05,1.564384e-05,1.564655e-05,1.565447e-05,1.565473e-05,1.565976e-05,1.566105e-05,1.566258e-05,1.566316e-05,1.566308e-05,1.566139e-05,1.565765e-05,1.565604e-05,1.565198e-05,1.564738e-05,1.564448e-05,1.563568e-05,1.563528e-05,1.562447e-05,1.562117e-05,1.561214e-05,1.560406e-05,1.559839e-05,1.558455e-05,1.558329e-05,1.556693e-05,1.556282e-05,1.554938e-05,1.553906e-05,1.553071e-05,1.551341e-05,1.551099e-05,1.549028e-05,1.548602e-05,1.546864e-05,1.545704e-05,1.544612e-05,1.542658e-05,1.542279e-05,1.539869e-05,1.539477e-05,1.537387e-05,1.536171e-05,1.534837e-05,1.532752e-05,1.532224e-05,1.529553e-05,1.529228e-05,1.526826e-05,1.525609e-05,1.524048e-05,1.521904e-05,1.521222e-05,1.518352e-05,1.518120e-05,1.515440e-05,1.514265e-05,1.512491e-05,1.510346e-05,1.509507e-05,1.506490e-05,1.506369e-05,1.503444e-05,1.502340e-05,1.500370e-05,1.498266e-05,1.497272e-05,1.494152e-05,1.490002e-05,1.485822e-05,1.481617e-05,1.477390e-05,1.473145e-05,1.468887e-05,1.464619e-05,1.460343e-05,1.456064e-05,1.451785e-05,1.447507e-05,1.443234e-05,1.438968e-05,1.434711e-05,1.430466e-05,1.426234e-05,1.422018e-05,1.417819e-05,1.413639e-05,1.409479e-05,1.405341e-05,1.401226e-05,1.397136e-05,1.393071e-05
0.000000e+00,4.596647e-09,1.121656e-08,4.127617e-08,9.696786e-08,1.431903e-07,3.319758e-07,3.421986e-07,6.703153e-07,7.898288e-07,1.160905e-06,1.547523e-06,1.848080e-06,2.679205e-06,2.760988e-06,3.912141e-06,4.223139e-06,5.291462e-06,6.154946e-06,6.875445e-06,8.418360e-06,8.638600e-06,1.055736e-05,1.095783e-05,1.260974e-05,1.372271e-05,1.477447e-05,1.666434e-05,1.703061e-05,1.935766e-05,1.973523e-05,2.173586e-05,2.289004e-05,2.414657e-05,2.608693e-05,2.657259e-05,2.899839e-05,2.928880e-05,3.141025e-05,3.246392e-05,3.379626e-05,3.558605e-05,3.614630e-05,3.845192e-05,3.863423e-05,4.070625e-05,4.159234e-05,4.290375e-05,4.444830e-05,4.504010e-05,4.711203e-05,4.719353e-05,4.911718e-05,4.982235e-05,5.105393e-05,5.233135e-05,5.292134e-05,5.471898e-05,5.644686e-05,5.698510e-05,5.810537e-05,5.913071e-05,5.969518e-05,6.115763e-05,6.121722e-05,6.267260e-05,6.306833e-05,6.406259e-05,6.486576e-05,6.538856e-05,6.655319e-05,6.665200e-05,6.785444e-05,6.813412e-05,6.899748e-05,6.961224e-05,7.008275e-05,7.099132e-05,7.111191e-05,7.208662e-05,7.227518e-05,7.300856e-05,7.346766e-05,7.387938e-05,7.457258e-05,7.470075e-05,7.547430e-05,7.559374e-05,7.620167e-05,7.653487e-05,7.688444e-05,7.739962e-05,7.752420e-05,7.812249e-05,7.819157e-05,7.868083e-05,7.891422e-05,7.920070e-05,7.957097e-05,7.968356e-05,8.013082e-05,8.016511e-05,8.054389e-05,8.069984e-05,8.092410e-05,8.117825e-05,8.127277e-05,8.159119e-05,8.160332e-05,8.188060e-05,8.197792e-05,8.214222e-05,8.230484e-05,8.237722e-05,8.258674e-05,8.277189e-05,8.282616e-05,8.293374e-05,8.302559e-05,8.307334e-05,8.318736e-05,8.319170e-05,8.328978e-05,8.331374e-05,8.336853e-05,8.340688e-05,8.342886e-05,8.346886e-05,8.347166e-05,8.349777e-05,8.350164e-05,8.350801e-05,8.350712e-05,8.350319e-05,8.348708e-05,8.348405e-05,8.345135e-05,8.344324e-05,8.340579e-05,8.337724e-05,8.334805e-05,8.329063e-05,8.327880e-05,8.319867e-05,8.318489e-05,8.310828e-05,8.306141e-05,8.300820e-05,8.292155e-05,8.289901e-05,8.278124e-05,8.276656e-05,8.265542e-05,8.259764e-05,8.252206e-05,8.241595e-05,8.238162e-05,8.223458e-05,8.222255e-05,8.208138e-05,8.201847e-05,8.192243e-05,8.180467e-05,8.175816e-05,8.158894e-05,8.158208e-05,8.141516e-05,8.135155e-05,8.123717e-05,8.111390e-05,8.105531e-05,8.086991e-05,8.062029e-05,8.036572e-05,8.010686e-05,7.984431e-05,7.957862e-05,7.931035e-05,7.903998e-05,7.876799e-05,7.849481e-05,7.822085e-05,7.794650e-05,7.767211e-05,7.739802e-05,7.712453e-05,7.685193e-05,7.658049e-05,7.631045e-05,7.604204e-05,7.577547e-05,7.551094e-05,7.524861e-05,7.498865e-05,7.473122e-05,7.447644e-05
0.000000e+00,1.109657e-11,5.422442e-11,5.559414e-10,2.526450e-09,5.003795e-09,2.132735e-08,2.245529e-08,6.925574e-08,9.070159e-08,1.694489e-07,2.681421e-07,3.549287e-07,6.342212e-07,6.645424e-07,1.139409e-06,1.282081e-06,1.814253e-06,2.287954e-06,2.709903e-06,3.684761e-06,3.830995e-06,5.168188e-06,5.459993e-06,6.702248e-06,7.569554e-06,8.408020e-06,9.953061e-06,1.025742e-05,1.222140e-05,1.254434e-05,1.427110e-05,1.527714e-05,1.637852e-05,1.808803e-05,1.851697e-05,2.066141e-05,2.091803e-05,2.278877e-05,2.371394e-05,2.487823e-05,2.642950e-05,2.691147e-05,2.887288e-05,2.902629e-05,3.074962e-05,3.147426e-05,3.253162e-05,3.375179e-05,3.421156e-05,3.578461e-05,3.584527e-05,3.724827e-05,3.774826e-05,3.860206e-05,3.946044e-05,3.984721e-05,4.098641e-05,4.202345e-05,4.233446e-05,4.296295e-05,4.351544e-05,4.381015e-05,4.454181e-05,4.457064e-05,4.525022e-05,4.542680e-05,4.585470e-05,4.618374e-05,4.638983e-05,4.682567e-05,4.686115e-05,4.727398e-05,4.736492e-05,4.763334e-05,4.781298e-05,4.794392e-05,4.818036e-05,4.821009e-05,4.843588e-05,4.847652e-05,4.862498e-05,4.870995e-05,4.878078e-05,4.888816e-05,4.890634e-05,4.900447e-05,4.901779e-05,4.907770e-05,4.910469e-05,4.912832e-05,4.915394e-05,4.915841e-05,4.916982e-05,4.917002e-05,4.916426e-05,4.915683e-05,4.914324e-05,4.911778e-05,4.910814e-05,4.906022e-05,4.905587e-05,4.900060e-05,4.897371e-05,4.893031e-05,4.887361e-05,4.885027e-05,4.876133e-05,4.875760e-05,4.866427e-05,4.862748e-05,4.855979e-05,4.848484e-05,4.844853e-05,4.833109e-05,4.820800e-05,4.816751e-05,4.807977e-05,4.799521e-05,4.794685e-05,4.781523e-05,4.780967e-05,4.766862e-05,4.762848e-05,4.752406e-05,4.743578e-05,4.737633e-05,4.723789e-05,4.722574e-05,4.707259e-05,4.703548e-05,4.691714e-05,4.682917e-05,4.675963e-05,4.661953e-05,4.660032e-05,4.643941e-05,4.640706e-05,4.627711e-05,4.619223e-05,4.611362e-05,4.597549e-05,4.594910e-05,4.578373e-05,4.575721e-05,4.561767e-05,4.553775e-05,4.545105e-05,4.531746e-05,4.528402e-05,4.511671e-05,4.509662e-05,4.494923e-05,4.487552e-05,4.478170e-05,4.465441e-05,4.461423e-05,4.444691e-05,4.443353e-05,4.427983e-05,4.421309e-05,4.411309e-05,4.399329e-05,4.394677e-05,4.378093e-05,4.377431e-05,4.361566e-05,4.355632e-05,4.345102e-05,4.333946e-05,4.328707e-05,4.312387e-05,4.290968e-05,4.269701e-05,4.248595e-05,4.227661e-05,4.206907e-05,4.186341e-05,4.165969e-05,4.145798e-05,4.125834e-05,4.106081e-05,4.086545e-05,4.067228e-05,4.048134e-05,4.029266e-05,4.010627e-05,3.992218e-05,3.974042e-05,3.956098e-05,3.938390e-05,3.920916e-05,3.903678e-05,3.886676e-05,3.869909e-05,3.853377e-05
0.000000e+00,1.138018e-12,5.862114e-12,6.704869e-11,3.365340e-10,7.036880e-10,3.444349e-09,3.646707e-09,1.284573e-08,1.742422e-08,3.546602e-08,5.998487e-08,8.280872e-08,1.620575e-07,1.711044e-07,3.221586e-07,3.707124e-07,5.638209e-07,7.511883e-07,9.302010e-07,1.387562e-06,1.461485e-06,2.203184e-06,2.381075e-06,3.204734e-06,3.845293e-06,4.517586e-06,5.898535e-06,6.193034e-06,8.280072e-06,8.655259e-06,1.082346e-05,1.221807e-05,1.386212e-05,1.667132e-05,1.742792e-05,2.154479e-05,2.207668e-05,2.622825e-05,2.847054e-05,3.148515e-05,3.586317e-05,3.731378e-05,4.370418e-05,4.423920e-05,5.063857e-05,5.355929e-05,5.809207e-05,6.376270e-05,6.603342e-05,7.442582e-05,7.477033e-05,8.322784e-05,8.648824e-05,9.239431e-05,9.881129e-05,1.018772e-04,1.116267e-04,1.215917e-04,1.248176e-04,1.317208e-04,1.382660e-04,1.419631e-04,1.518557e-04,1.522685e-04,1.625888e-04,1.654748e-04,1.728776e-04,1.790174e-04,1.830910e-04,1.923853e-04,1.931878e-04,2.031300e-04,2.054892e-04,2.128826e-04,2.182492e-04,2.224138e-04,2.305957e-04,2.316955e-04,2.407025e-04,2.424690e-04,2.494132e-04,2.538194e-04,2.578090e-04,2.646068e-04,2.658746e-04,2.735974e-04,2.748005e-04,2.809678e-04,2.843783e-04,2.879789e-04,2.933259e-04,2.946261e-04,3.009070e-04,3.016360e-04,3.068214e-04,3.093081e-04,3.123711e-04,3.163469e-04,3.175594e-04,3.223911e-04,3.227624e-04,3.268725e-04,3.285685e-04,3.310108e-04,3.337828e-04,3.348146e-04,3.382931e-04,3.384256e-04,3.414561e-04,3.425195e-04,3.443141e-04,3.460891e-04,3.468783e-04,3.491599e-04,3.511704e-04,3.517585e-04,3.529217e-04,3.539118e-04,3.544254e-04,3.556471e-04,3.556935e-04,3.567376e-04,3.569914e-04,3.575694e-04,3.579713e-04,3.582003e-04,3.586129e-04,3.586415e-04,3.589041e-04,3.589417e-04,3.589987e-04,3.589823e-04,3.589358e-04,3.587582e-04,3.587255e-04,3.583773e-04,3.582920e-04,3.579009e-04,3.576054e-04,3.573051e-04,3.567188e-04,3.565987e-04,3.557900e-04,3.556516e-04,3.548867e-04,3.544218e-04,3.538966e-04,3.530468e-04,3.528268e-04,3.516840e-04,3.515423e-04,3.504750e-04,3.499235e-04,3.492056e-04,3.482043e-04,3.478819e-04,3.465093e-04,3.463975e-04,3.450929e-04,3.445152e-04,3.436377e-04,3.425685e-04,3.421483e-04,3.406290e-04,3.405676e-04,3.390838e-04,3.385219e-04,3.375165e-04,3.364399e-04,3.359306e-04,3.343296e-04,3.321980e-04,3.300519e-04,3.278971e-04,3.257389e-04,3.235823e-04,3.214317e-04,3.192909e-04,3.171636e-04,3.150527e-04,3.129611e-04,3.108914e-04,3.088455e-04,3.068254e-04,3.048328e-04,3.028690e-04,3.009352e-04,2.990325e-04,2.971617e-04,2.953235e-04,2.935184e-04,2.917468e-04,2.900089e-04,2.883051e-04,2.866353e-04
0.000000e+00,2.348773e-12,1.167189e-11,1.238603e-10,5.803534e-10,1.168293e-09,5.180653e-09,5.462917e-09,1.742998e-08,2.301150e-08,4.374872e-08,7.000124e-08,9.319262e-08,1.681195e-07,1.762759e-07,3.048181e-07,3.438284e-07,4.914875e-07,6.262756e-07,7.493356e-07,1.045403e-06,1.091293e-06,1.529576e-06,1.629773e-06,2.074944e-06,2.403774e-06,2.735832e-06,3.384175e-06,3.517450e-06,4.421063e-06,4.576822e-06,5.443666e-06,5.974827e-06,6.578113e-06,7.559093e-06,7.813682e-06,9.136898e-06,9.300861e-06,1.053246e-05,1.116526e-05,1.198415e-05,1.311488e-05,1.347558e-05,1.499087e-05,1.511266e-05,1.651502e-05,1.712405e-05,1.803432e-05,1.911823e-05,1.953645e-05,2.101064e-05,2.106889e-05,2.244765e-05,2.295433e-05,2.383973e-05,2.475742e-05,2.518060e-05,2.646526e-05,2.768998e-05,2.806876e-05,2.885207e-05,2.956214e-05,2.994987e-05,3.094247e-05,3.098252e-05,3.194991e-05,3.220914e-05,3.285255e-05,3.336345e-05,3.369145e-05,3.440817e-05,3.446805e-05,3.518413e-05,3.534721e-05,3.584173e-05,3.618526e-05,3.644307e-05,3.692760e-05,3.699053e-05,3.748657e-05,3.757983e-05,3.793370e-05,3.814772e-05,3.833445e-05,3.863707e-05,3.869133e-05,3.900682e-05,3.905362e-05,3.928336e-05,3.940296e-05,3.952331e-05,3.969047e-05,3.972896e-05,3.990250e-05,3.992127e-05,4.004605e-05,4.010024e-05,4.016163e-05,4.023196e-05,4.025117e-05,4.031649e-05,4.032072e-05,4.035933e-05,4.037054e-05,4.038133e-05,4.038515e-05,4.038405e-05,4.036895e-05,4.036800e-05,4.033742e-05,4.032229e-05,4.029074e-05,4.025098e-05,4.023014e-05,4.015677e-05,4.007169e-05,4.004216e-05,3.997591e-05,3.990943e-05,3.987037e-05,3.976069e-05,3.975595e-05,3.963349e-05,3.959786e-05,3.950373e-05,3.942269e-05,3.936742e-05,3.923678e-05,3.922520e-05,3.907772e-05,3.904161e-05,3.892555e-05,3.883849e-05,3.876924e-05,3.862866e-05,3.860929e-05,3.844617e-05,3.841320e-05,3.828032e-05,3.819314e-05,3.811215e-05,3.796937e-05,3.794203e-05,3.777032e-05,3.774272e-05,3.759734e-05,3.751395e-05,3.742339e-05,3.728372e-05,3.724875e-05,3.707367e-05,3.705264e-05,3.689840e-05,3.682127e-05,3.672314e-05,3.659009e-05,3.654811e-05,3.637349e-05,3.635955e-05,3.619945e-05,3.613004e-05,3.602615e-05,3.590191e-05,3.585373e-05,3.568233e-05,3.567549e-05,3.551205e-05,3.545105e-05,3.534302e-05,3.522884e-05,3.517533e-05,3.500907e-05,3.479194e-05,3.457761e-05,3.436623e-05,3.415791e-05,3.395276e-05,3.375088e-05,3.355232e-05,3.335716e-05,3.316543e-05,3.297717e-05,3.279240e-05,3.261114e-05,3.243340e-05,3.225917e-05,3.208844e-05,3.192120e-05,3.175744e-05,3.159712e-05,3.144022e-05,3.128670e-05,3.113654e-05,3.098968e-05,3.084609e-05,3.070572e-05
0.000000e+00,4.800322e-12,2.350037e-11,2.418733e-10,1.102920e-09,2.188151e-09,9.358928e-09,9.854896e-09,3.042696e-08,3.983847e-08,7.428167e-08,1.171982e-07,1.547416e-07,2.747902e-07,2.877857e-07,4.915652e-07,5.531253e-07,7.851395e-07,9.954553e-07,1.186069e-06,1.638390e-06,1.707650e-06,2.357150e-06,2.502591e-06,3.135580e-06,3.590059e-06,4.038625e-06,4.887517e-06,5.058011e-06,6.182848e-06,6.371789e-06,7.400668e-06,8.014362e-06,8.698176e-06,9.784400e-06,1.006174e-05,1.147773e-05,1.165053e-05,1.293273e-05,1.358192e-05,1.441376e-05,1.554909e-05,1.590842e-05,1.740503e-05,1.752452e-05,1.889281e-05,1.948321e-05,2.036193e-05,2.140320e-05,2.180366e-05,2.321035e-05,2.326580e-05,2.457552e-05,2.505575e-05,2.589381e-05,2.676124e-05,2.716094e-05,2.837365e-05,2.952966e-05,2.988735e-05,3.062752e-05,3.129930e-05,3.166656e-05,3.260866e-05,3.264674e-05,3.356861e-05,3.381641e-05,3.443318e-05,3.492498e-05,3.524183e-05,3.593784e-05,3.599624e-05,3.669832e-05,3.685927e-05,3.735016e-05,3.769405e-05,3.795393e-05,3.844728e-05,3.851189e-05,3.902631e-05,3.912417e-05,3.949946e-05,3.972993e-05,3.993357e-05,4.026967e-05,4.033084e-05,4.069339e-05,4.074831e-05,4.102325e-05,4.117056e-05,4.132239e-05,4.154085e-05,4.159269e-05,4.183592e-05,4.186337e-05,4.205378e-05,4.214201e-05,4.224785e-05,4.238038e-05,4.241966e-05,4.257062e-05,4.258183e-05,4.270206e-05,4.274946e-05,4.281525e-05,4.288611e-05,4.291137e-05,4.299151e-05,4.299440e-05,4.305673e-05,4.307674e-05,4.310798e-05,4.313533e-05,4.314619e-05,4.317219e-05,4.318680e-05,4.318919e-05,4.319076e-05,4.318803e-05,4.318477e-05,4.317026e-05,4.316947e-05,4.314550e-05,4.313731e-05,4.311342e-05,4.309050e-05,4.307377e-05,4.303104e-05,4.302705e-05,4.297375e-05,4.296002e-05,4.291429e-05,4.287847e-05,4.284911e-05,4.278731e-05,4.277858e-05,4.270308e-05,4.268741e-05,4.262295e-05,4.257956e-05,4.253851e-05,4.246449e-05,4.245008e-05,4.235793e-05,4.234286e-05,4.226233e-05,4.221529e-05,4.216354e-05,4.208237e-05,4.206179e-05,4.195731e-05,4.194460e-05,4.185031e-05,4.180248e-05,4.174099e-05,4.165646e-05,4.162953e-05,4.151611e-05,4.150696e-05,4.140091e-05,4.135436e-05,4.128406e-05,4.119901e-05,4.116574e-05,4.104606e-05,4.104125e-05,4.092517e-05,4.088138e-05,4.080319e-05,4.071968e-05,4.068024e-05,4.055643e-05,4.039186e-05,4.022619e-05,4.005965e-05,3.989242e-05,3.972468e-05,3.955661e-05,3.938835e-05,3.922006e-05,3.905186e-05,3.888389e-05,3.871625e-05,3.854906e-05,3.838241e-05,3.821639e-05,3.805110e-05,3.788660e-05,3.772297e-05,3.756028e-05,3.739860e-05,3.723796e-05,3.707844e-05,3.692007e-05,3.676290e-05,3.660697e-05
0.000000e+00,4.233772e-09,9.749688e-09,3.371432e-08,7.686412e-08,1.122071e-07,2.547600e-07,2.624309e-07,5.073723e-07,5.962229e-07,8.716196e-07,1.158465e-06,1.381775e-06,2.002186e-06,2.063524e-06,2.933087e-06,3.169950e-06,3.989026e-06,4.656108e-06,5.215418e-06,6.419463e-06,6.591919e-06,8.099569e-06,8.415332e-06,9.721621e-06,1.060516e-05,1.144268e-05,1.295403e-05,1.324792e-05,1.512261e-05,1.542803e-05,1.705208e-05,1.799340e-05,1.902179e-05,2.061698e-05,2.101756e-05,2.302578e-05,2.326699e-05,2.503367e-05,2.591395e-05,2.702941e-05,2.853143e-05,2.900232e-05,3.094294e-05,3.109653e-05,3.284301e-05,3.359008e-05,3.469553e-05,3.599659e-05,3.649467e-05,3.823570e-05,3.830408e-05,3.991493e-05,4.050376e-05,4.152956e-05,4.258958e-05,4.307763e-05,4.455797e-05,4.597002e-05,4.640744e-05,4.731380e-05,4.813818e-05,4.858976e-05,4.975158e-05,4.979866e-05,5.094156e-05,5.124992e-05,5.201977e-05,5.263626e-05,5.303479e-05,5.391425e-05,5.398831e-05,5.488214e-05,5.508800e-05,5.571824e-05,5.616196e-05,5.649857e-05,5.714074e-05,5.722517e-05,5.790011e-05,5.802909e-05,5.852551e-05,5.883188e-05,5.910364e-05,5.955449e-05,5.963687e-05,6.012714e-05,6.020172e-05,6.057635e-05,6.077795e-05,6.098642e-05,6.128753e-05,6.135918e-05,6.169641e-05,6.173457e-05,6.199983e-05,6.212307e-05,6.227114e-05,6.245686e-05,6.251196e-05,6.272382e-05,6.273957e-05,6.290824e-05,6.297465e-05,6.306667e-05,6.316544e-05,6.320051e-05,6.331109e-05,6.331505e-05,6.339971e-05,6.342647e-05,6.346759e-05,6.350252e-05,6.351592e-05,6.354584e-05,6.355842e-05,6.355895e-05,6.355470e-05,6.354423e-05,6.353568e-05,6.350390e-05,6.350230e-05,6.345547e-05,6.344007e-05,6.339606e-05,6.335472e-05,6.332489e-05,6.324970e-05,6.324274e-05,6.315037e-05,6.312676e-05,6.304849e-05,6.298753e-05,6.293777e-05,6.283355e-05,6.281887e-05,6.269240e-05,6.266625e-05,6.255895e-05,6.248698e-05,6.241907e-05,6.229699e-05,6.227329e-05,6.212210e-05,6.209745e-05,6.196600e-05,6.188945e-05,6.180542e-05,6.167402e-05,6.164079e-05,6.147251e-05,6.145209e-05,6.130098e-05,6.122457e-05,6.112655e-05,6.099226e-05,6.094957e-05,6.077035e-05,6.075593e-05,6.058921e-05,6.051628e-05,6.040643e-05,6.027397e-05,6.022229e-05,6.003704e-05,6.002961e-05,5.985092e-05,5.978375e-05,5.966417e-05,5.953691e-05,5.947698e-05,5.928957e-05,5.904217e-05,5.879509e-05,5.854872e-05,5.830340e-05,5.805941e-05,5.781706e-05,5.757659e-05,5.733824e-05,5.710220e-05,5.686868e-05,5.663783e-05,5.640981e-05,5.618474e-05,5.596276e-05,5.574394e-05,5.552840e-05,5.531619e-05,5.510739e-05,5.490205e-05,5.470021e-05,5.450191e-05,5.430717e-05,5.411601e-05,5.392843e-05
0.000000e+00,5.560533e-12,2.857218e-11,3.251366e-10,1.624521e-09,3.388513e-09,1.648384e-08,1.744801e-08,6.110688e-08,8.276154e-08,1.678394e-07,2.830686e-07,3.900766e-07,7.604576e-07,8.026541e-07,1.505462e-06,1.730810e-06,2.625020e-06,3.490035e-06,4.314427e-06,6.412746e-06,6.750920e-06,1.013040e-05,1.093752e-05,1.465904e-05,1.753687e-05,2.054318e-05,2.667737e-05,2.797892e-05,3.714285e-05,3.877989e-05,4.818466e-05,5.418757e-05,6.122181e-05,7.314454e-05,7.633633e-05,9.357344e-05,9.578531e-05,1.129417e-04,1.221332e-04,1.344145e-04,1.521059e-04,1.579324e-04,1.834064e-04,1.855256e-04,2.107216e-04,2.221331e-04,2.397409e-04,2.616035e-04,2.703092e-04,3.022577e-04,3.035618e-04,3.354071e-04,3.475993e-04,3.695719e-04,3.932877e-04,4.045635e-04,4.401931e-04,4.762748e-04,4.878866e-04,5.126273e-04,5.359543e-04,5.490765e-04,5.840046e-04,5.854565e-04,6.216112e-04,6.316741e-04,6.573953e-04,6.786316e-04,6.926746e-04,7.245804e-04,7.273268e-04,7.612415e-04,7.692600e-04,7.943200e-04,8.124461e-04,8.264758e-04,8.539496e-04,8.576336e-04,8.877292e-04,8.936159e-04,9.167090e-04,9.313227e-04,9.445295e-04,9.669776e-04,9.711566e-04,9.965652e-04,1.000516e-03,1.020738e-03,1.031899e-03,1.043665e-03,1.061109e-03,1.065345e-03,1.085779e-03,1.088148e-03,1.104978e-03,1.113038e-03,1.122955e-03,1.135812e-03,1.139729e-03,1.155322e-03,1.156519e-03,1.169759e-03,1.175217e-03,1.183069e-03,1.191972e-03,1.195283e-03,1.206433e-03,1.206858e-03,1.216555e-03,1.219953e-03,1.225683e-03,1.231341e-03,1.233855e-03,1.241107e-03,1.247478e-03,1.249336e-03,1.253005e-03,1.256117e-03,1.257726e-03,1.261535e-03,1.261679e-03,1.264902e-03,1.265678e-03,1.267430e-03,1.268628e-03,1.269299e-03,1.270469e-03,1.270546e-03,1.271205e-03,1.271279e-03,1.271308e-03,1.271136e-03,1.270889e-03,1.270114e-03,1.269980e-03,1.268611e-03,1.268284e-03,1.266811e-03,1.265714e-03,1.264609e-03,1.262468e-03,1.262032e-03,1.259106e-03,1.258608e-03,1.255858e-03,1.254190e-03,1.252309e-03,1.249270e-03,1.248484e-03,1.244405e-03,1.243899e-03,1.240092e-03,1.238125e-03,1.235565e-03,1.231993e-03,1.230842e-03,1.225943e-03,1.225544e-03,1.220884e-03,1.218818e-03,1.215680e-03,1.211852e-03,1.210347e-03,1.204899e-03,1.204679e-03,1.199351e-03,1.197331e-03,1.193714e-03,1.189836e-03,1.188000e-03,1.182221e-03,1.174511e-03,1.166729e-03,1.158894e-03,1.151026e-03,1.143143e-03,1.135260e-03,1.127391e-03,1.119549e-03,1.111746e-03,1.103993e-03,1.096298e-03,1.088672e-03,1.081120e-03,1.073650e-03,1.066267e-03,1.058977e-03,1.051784e-03,1.044693e-03,1.037706e-03,1.030826e-03,1.024055e-03,1.017396e-03,1.010850e-03,1.004417e-03
0.000000e+00,2.561205e-09,5.864289e-09,2.013106e-08,4.567329e-08,6.650742e-08,1.499687e-07,1.544373e-07,2.960868e-07,3.470117e-07,5.034857e-07,6.645132e-07,7.886994e-07,1.129648e-06,1.163110e-06,1.634932e-06,1.763010e-06,2.205778e-06,2.566843e-06,2.870100e-06,3.524604e-06,3.618521e-06,4.441095e-06,4.613672e-06,5.328434e-06,5.812479e-06,6.271637e-06,7.100737e-06,7.262010e-06,8.290905e-06,8.458526e-06,9.349701e-06,9.866039e-06,1.042989e-05,1.130389e-05,1.152323e-05,1.262183e-05,1.275367e-05,1.371837e-05,1.419843e-05,1.480611e-05,1.562318e-05,1.587904e-05,1.693186e-05,1.701508e-05,1.796004e-05,1.836354e-05,1.895977e-05,1.966019e-05,1.992794e-05,2.086211e-05,2.089874e-05,2.176043e-05,2.207478e-05,2.262157e-05,2.318544e-05,2.344466e-05,2.422926e-05,2.497528e-05,2.520588e-05,2.568291e-05,2.611585e-05,2.635261e-05,2.696042e-05,2.698501e-05,2.758093e-05,2.774137e-05,2.814129e-05,2.846087e-05,2.866713e-05,2.912137e-05,2.915956e-05,2.961973e-05,2.972550e-05,3.004883e-05,3.027600e-05,3.044807e-05,3.077565e-05,3.081865e-05,3.116179e-05,3.122723e-05,3.147867e-05,3.163346e-05,3.177046e-05,3.199703e-05,3.203832e-05,3.228337e-05,3.232053e-05,3.250669e-05,3.260647e-05,3.270934e-05,3.285726e-05,3.289234e-05,3.305668e-05,3.307519e-05,3.320330e-05,3.326245e-05,3.333313e-05,3.342111e-05,3.344704e-05,3.354588e-05,3.355316e-05,3.363044e-05,3.366045e-05,3.370152e-05,3.374475e-05,3.375984e-05,3.380611e-05,3.380772e-05,3.384102e-05,3.385093e-05,3.386521e-05,3.387585e-05,3.387930e-05,3.388387e-05,3.387949e-05,3.387629e-05,3.386670e-05,3.385433e-05,3.384600e-05,3.381914e-05,3.381788e-05,3.378280e-05,3.377180e-05,3.374121e-05,3.371330e-05,3.369352e-05,3.364459e-05,3.364012e-05,3.358140e-05,3.356656e-05,3.351773e-05,3.348003e-05,3.344943e-05,3.338576e-05,3.337683e-05,3.330025e-05,3.328448e-05,3.321997e-05,3.317686e-05,3.313628e-05,3.306352e-05,3.304943e-05,3.295967e-05,3.294506e-05,3.286725e-05,3.282201e-05,3.277238e-05,3.269488e-05,3.267529e-05,3.257616e-05,3.256414e-05,3.247519e-05,3.243023e-05,3.237257e-05,3.229357e-05,3.226845e-05,3.216301e-05,3.215453e-05,3.205640e-05,3.201345e-05,3.194875e-05,3.187068e-05,3.184021e-05,3.173090e-05,3.172652e-05,3.162095e-05,3.158123e-05,3.151047e-05,3.143510e-05,3.139957e-05,3.128834e-05,3.114120e-05,3.099387e-05,3.084653e-05,3.069938e-05,3.055256e-05,3.040622e-05,3.026051e-05,3.011553e-05,2.997141e-05,2.982825e-05,2.968613e-05,2.954516e-05,2.940540e-05,2.926692e-05,2.912979e-05,2.899406e-05,2.885979e-05,2.872701e-05,2.859576e-05,2.846609e-05,2.833802e-05,2.821157e-05,2.808676e-05,2.796362e-05
0.000000e+00,5.816396e-10,1.849076e-09,9.192543e-09,2.496376e-08,3.891000e-08,9.908092e-08,1.024228e-07,2.117757e-07,2.522142e-07,3.787531e-07,5.115265e-07,6.152220e-07,9.044965e-07,9.332169e-07,1.344292e-06,1.457900e-06,1.857488e-06,2.191079e-06,2.476288e-06,3.105494e-06,3.197124e-06,4.011323e-06,4.184446e-06,4.908380e-06,5.404127e-06,5.877927e-06,6.741235e-06,6.910237e-06,7.996068e-06,8.174166e-06,9.126466e-06,9.682304e-06,1.029265e-05,1.124558e-05,1.148602e-05,1.269819e-05,1.284453e-05,1.392114e-05,1.446068e-05,1.514729e-05,1.607694e-05,1.636959e-05,1.758165e-05,1.767799e-05,1.877771e-05,1.925050e-05,1.995272e-05,2.078323e-05,2.110234e-05,2.222288e-05,2.226705e-05,2.331132e-05,2.369482e-05,2.436523e-05,2.506119e-05,2.538274e-05,2.636247e-05,2.730347e-05,2.759631e-05,2.820518e-05,2.876155e-05,2.906740e-05,2.985801e-05,2.989017e-05,3.067381e-05,3.088628e-05,3.141881e-05,3.184754e-05,3.212585e-05,3.274347e-05,3.279571e-05,3.342931e-05,3.357608e-05,3.402762e-05,3.434764e-05,3.459168e-05,3.506059e-05,3.512258e-05,3.562145e-05,3.571748e-05,3.608941e-05,3.632091e-05,3.652760e-05,3.687351e-05,3.693716e-05,3.731922e-05,3.737787e-05,3.767489e-05,3.783656e-05,3.800526e-05,3.825207e-05,3.831141e-05,3.859439e-05,3.862684e-05,3.885522e-05,3.896322e-05,3.909487e-05,3.926345e-05,3.931432e-05,3.951450e-05,3.952970e-05,3.969629e-05,3.976406e-05,3.986057e-05,3.996849e-05,4.000818e-05,4.013993e-05,4.014488e-05,4.025659e-05,4.029504e-05,4.035891e-05,4.042067e-05,4.044761e-05,4.052338e-05,4.058688e-05,4.060471e-05,4.063874e-05,4.066612e-05,4.067959e-05,4.070898e-05,4.071000e-05,4.073053e-05,4.073459e-05,4.074173e-05,4.074417e-05,4.074409e-05,4.073890e-05,4.073812e-05,4.072429e-05,4.071985e-05,4.070305e-05,4.068807e-05,4.067482e-05,4.064452e-05,4.064001e-05,4.059903e-05,4.059013e-05,4.055224e-05,4.052574e-05,4.050001e-05,4.045217e-05,4.044266e-05,4.038054e-05,4.037018e-05,4.031395e-05,4.028049e-05,4.024319e-05,4.018376e-05,4.016854e-05,4.009026e-05,4.008064e-05,4.000863e-05,3.997171e-05,3.992388e-05,3.985752e-05,3.983624e-05,3.974594e-05,3.973860e-05,3.965318e-05,3.961544e-05,3.955818e-05,3.948848e-05,3.946111e-05,3.936216e-05,3.935817e-05,3.926150e-05,3.922488e-05,3.915930e-05,3.908901e-05,3.905572e-05,3.895089e-05,3.881085e-05,3.866920e-05,3.852622e-05,3.838216e-05,3.823728e-05,3.809181e-05,3.794594e-05,3.779989e-05,3.765382e-05,3.750792e-05,3.736233e-05,3.721720e-05,3.707267e-05,3.692884e-05,3.678584e-05,3.664377e-05,3.650272e-05,3.636278e-05,3.622402e-05,3.608652e-05,3.595034e-05,3.581554e-05,3.568217e-05,3.555028e-05
0.000000e+00,1.908073e-12,9.816821e-12,1.119929e-10,5.607542e-10,1.170909e-09,5.709691e-09,6.044170e-09,2.120339e-08,2.872627e-08,5.828459e-08,9.830402e-08,1.354457e-07,2.638254e-07,2.784347e-07,5.213269e-07,5.990546e-07,9.069029e-07,1.203983e-06,1.486611e-06,2.204462e-06,2.320008e-06,3.473535e-06,3.748875e-06,5.018518e-06,6.001017e-06,7.028475e-06,9.129373e-06,9.575992e-06,1.272956e-05,1.329460e-05,1.655071e-05,1.863773e-05,2.109166e-05,2.527074e-05,2.639357e-05,3.248541e-05,3.327042e-05,3.938339e-05,4.267523e-05,4.709096e-05,5.348511e-05,5.559919e-05,6.488748e-05,6.566338e-05,7.492462e-05,7.914034e-05,8.566995e-05,9.381799e-05,9.707470e-05,1.090834e-04,1.095754e-04,1.216352e-04,1.262745e-04,1.346656e-04,1.437652e-04,1.481071e-04,1.618911e-04,1.759487e-04,1.804938e-04,1.902119e-04,1.994173e-04,2.046139e-04,2.185109e-04,2.190907e-04,2.335810e-04,2.376327e-04,2.480271e-04,2.566509e-04,2.623750e-04,2.754454e-04,2.765748e-04,2.905810e-04,2.939090e-04,3.043523e-04,3.119477e-04,3.178517e-04,3.294802e-04,3.310465e-04,3.439083e-04,3.464385e-04,3.564126e-04,3.627666e-04,3.685388e-04,3.784201e-04,3.802699e-04,3.915923e-04,3.933652e-04,4.024957e-04,4.075782e-04,4.129725e-04,4.210436e-04,4.230181e-04,4.326300e-04,4.337543e-04,4.418081e-04,4.457095e-04,4.505543e-04,4.569147e-04,4.588721e-04,4.667667e-04,4.673802e-04,4.742445e-04,4.771207e-04,4.813133e-04,4.861542e-04,4.879815e-04,4.942587e-04,4.945018e-04,5.001550e-04,5.021865e-04,5.056811e-04,5.092332e-04,5.108483e-04,5.156679e-04,5.201516e-04,5.215174e-04,5.243114e-04,5.268092e-04,5.281592e-04,5.315706e-04,5.317069e-04,5.349664e-04,5.358290e-04,5.379494e-04,5.396114e-04,5.406676e-04,5.429442e-04,5.431324e-04,5.453549e-04,5.458535e-04,5.473462e-04,5.483643e-04,5.491169e-04,5.505011e-04,5.506776e-04,5.520382e-04,5.522872e-04,5.532087e-04,5.537454e-04,5.541985e-04,5.548971e-04,5.550169e-04,5.556726e-04,5.557630e-04,5.561743e-04,5.563628e-04,5.565301e-04,5.567151e-04,5.567480e-04,5.568355e-04,5.568376e-04,5.567999e-04,5.567471e-04,5.566483e-04,5.564595e-04,5.563872e-04,5.560232e-04,5.559898e-04,5.555623e-04,5.553521e-04,5.550104e-04,5.545598e-04,5.543730e-04,5.536556e-04,5.536253e-04,5.528632e-04,5.525605e-04,5.520006e-04,5.513763e-04,5.510724e-04,5.500832e-04,5.486909e-04,5.472084e-04,5.456443e-04,5.440066e-04,5.423027e-04,5.405396e-04,5.387236e-04,5.368610e-04,5.349573e-04,5.330177e-04,5.310472e-04,5.290504e-04,5.270313e-04,5.249940e-04,5.229421e-04,5.208790e-04,5.188077e-04,5.167313e-04,5.146524e-04,5.125734e-04,5.104966e-04,5.084242e-04,5.063581e-04,5.043001e-04
0.000000e+00,1.253815e-09,3.541826e-09,1.523601e-08,3.845042e-08,5.828665e-08,1.414475e-07,1.460102e-07,2.943055e-07,3.489954e-07,5.204817e-07,7.013359e-07,8.431512e-07,1.239191e-06,1.278380e-06,1.832200e-06,1.982252e-06,2.498393e-06,2.916173e-06,3.265194e-06,4.014230e-06,4.121364e-06,5.057553e-06,5.253665e-06,6.065602e-06,6.615597e-06,7.137700e-06,8.081925e-06,8.265857e-06,9.441697e-06,9.633674e-06,1.065644e-05,1.125067e-05,1.190100e-05,1.291192e-05,1.316616e-05,1.444279e-05,1.459633e-05,1.572199e-05,1.628346e-05,1.699533e-05,1.795430e-05,1.825496e-05,1.949374e-05,1.959175e-05,2.070532e-05,2.118106e-05,2.188415e-05,2.270996e-05,2.302554e-05,2.412564e-05,2.416874e-05,2.518136e-05,2.555008e-05,2.619037e-05,2.684896e-05,2.715104e-05,2.806232e-05,2.892373e-05,2.918884e-05,2.973528e-05,3.022866e-05,3.049734e-05,3.118307e-05,3.121068e-05,3.187631e-05,3.205430e-05,3.249549e-05,3.284529e-05,3.306965e-05,3.355948e-05,3.360037e-05,3.408932e-05,3.420065e-05,3.453824e-05,3.477281e-05,3.494891e-05,3.528008e-05,3.532312e-05,3.566267e-05,3.572657e-05,3.596932e-05,3.611637e-05,3.624484e-05,3.645345e-05,3.649091e-05,3.670920e-05,3.674165e-05,3.690130e-05,3.698466e-05,3.706876e-05,3.718598e-05,3.721306e-05,3.733562e-05,3.734893e-05,3.743779e-05,3.747663e-05,3.752087e-05,3.757200e-05,3.758609e-05,3.763460e-05,3.763779e-05,3.766753e-05,3.767657e-05,3.768592e-05,3.769071e-05,3.769076e-05,3.768300e-05,3.768244e-05,3.766352e-05,3.765380e-05,3.763315e-05,3.760669e-05,3.759269e-05,3.754288e-05,3.748442e-05,3.746400e-05,3.741798e-05,3.737154e-05,3.734416e-05,3.726690e-05,3.726355e-05,3.717671e-05,3.715135e-05,3.708415e-05,3.702606e-05,3.698634e-05,3.689213e-05,3.688376e-05,3.677681e-05,3.675054e-05,3.666591e-05,3.660222e-05,3.655143e-05,3.644800e-05,3.643371e-05,3.631310e-05,3.628865e-05,3.618989e-05,3.612489e-05,3.606438e-05,3.595737e-05,3.593684e-05,3.580751e-05,3.578667e-05,3.567665e-05,3.561336e-05,3.554447e-05,3.543792e-05,3.541118e-05,3.527697e-05,3.526081e-05,3.514202e-05,3.508245e-05,3.500650e-05,3.490322e-05,3.487057e-05,3.473437e-05,3.472346e-05,3.459804e-05,3.454350e-05,3.446171e-05,3.436361e-05,3.432549e-05,3.418949e-05,3.418406e-05,3.405383e-05,3.400509e-05,3.391858e-05,3.382690e-05,3.378384e-05,3.364970e-05,3.347365e-05,3.329891e-05,3.312563e-05,3.295392e-05,3.278391e-05,3.261569e-05,3.244935e-05,3.228496e-05,3.212260e-05,3.196231e-05,3.180416e-05,3.164819e-05,3.149442e-05,3.134290e-05,3.119364e-05,3.104666e-05,3.090197e-05,3.075959e-05,3.061952e-05,3.048176e-05,3.034630e-05,3.021315e-05,3.008229e-05,2.995371e-05
0.000000e+00,3.258814e-09,7.464432e-09,2.570129e-08,5.858169e-08,8.558667e-08,1.952102e-07,2.011400e-07,3.920109e-07,4.619245e-07,6.806188e-07,9.111482e-07,1.092186e-06,1.600254e-06,1.650776e-06,2.369754e-06,2.566014e-06,3.244439e-06,3.795860e-06,4.257068e-06,5.245979e-06,5.387170e-06,6.616807e-06,6.873316e-06,7.930955e-06,8.643307e-06,9.316494e-06,1.052663e-05,1.076130e-05,1.225378e-05,1.249624e-05,1.378264e-05,1.452621e-05,1.533700e-05,1.659181e-05,1.690643e-05,1.848112e-05,1.867000e-05,2.005205e-05,2.073992e-05,2.161100e-05,2.278329e-05,2.315071e-05,2.466483e-05,2.478469e-05,2.614793e-05,2.673144e-05,2.759548e-05,2.861359e-05,2.900377e-05,3.036987e-05,3.042360e-05,3.169153e-05,3.215611e-05,3.296710e-05,3.380756e-05,3.419545e-05,3.537594e-05,3.650828e-05,3.686046e-05,3.759254e-05,3.826137e-05,3.862904e-05,3.957967e-05,3.961835e-05,4.056120e-05,4.081699e-05,4.145847e-05,4.197537e-05,4.231117e-05,4.305723e-05,4.312040e-05,4.388730e-05,4.406520e-05,4.461309e-05,4.500204e-05,4.529902e-05,4.587065e-05,4.594633e-05,4.655631e-05,4.667394e-05,4.713023e-05,4.741484e-05,4.766936e-05,4.809626e-05,4.817495e-05,4.864825e-05,4.872107e-05,4.909048e-05,4.929206e-05,4.950283e-05,4.981199e-05,4.988648e-05,5.024257e-05,5.028350e-05,5.057223e-05,5.070918e-05,5.087653e-05,5.109151e-05,5.115655e-05,5.141331e-05,5.143287e-05,5.164780e-05,5.173558e-05,5.186100e-05,5.200184e-05,5.205384e-05,5.222723e-05,5.223377e-05,5.238204e-05,5.243339e-05,5.251913e-05,5.260264e-05,5.263930e-05,5.274336e-05,5.283207e-05,5.285733e-05,5.290615e-05,5.294621e-05,5.296631e-05,5.301162e-05,5.301325e-05,5.304761e-05,5.305507e-05,5.307003e-05,5.307801e-05,5.308112e-05,5.308181e-05,5.308146e-05,5.307161e-05,5.306779e-05,5.305211e-05,5.303718e-05,5.302349e-05,5.299115e-05,5.298624e-05,5.294083e-05,5.293081e-05,5.288774e-05,5.285723e-05,5.282739e-05,5.277140e-05,5.276021e-05,5.268660e-05,5.267426e-05,5.260696e-05,5.256670e-05,5.252165e-05,5.244956e-05,5.243103e-05,5.233544e-05,5.232365e-05,5.223521e-05,5.218971e-05,5.213064e-05,5.204846e-05,5.202204e-05,5.190969e-05,5.190055e-05,5.179386e-05,5.174662e-05,5.167482e-05,5.158726e-05,5.155281e-05,5.142807e-05,5.142302e-05,5.130082e-05,5.125444e-05,5.117129e-05,5.108200e-05,5.103967e-05,5.090617e-05,5.072738e-05,5.054604e-05,5.036252e-05,5.017719e-05,4.999038e-05,4.980240e-05,4.961354e-05,4.942408e-05,4.923427e-05,4.904434e-05,4.885452e-05,4.866501e-05,4.847599e-05,4.828764e-05,4.810014e-05,4.791361e-05,4.772821e-05,4.754406e-05,4.736128e-05,4.717998e-05,4.700024e-05,4.682217e-05,4.664584e-05,4.647132e-05
0.000000e+00,1.073172e-11,5.538970e-11,6.361946e-10,3.206071e-09,6.719284e-09,3.309778e-08,3.505180e-08,1.243409e-07,1.690052e-07,3.458920e-07,5.878381e-07,8.142137e-07,1.606271e-06,1.697164e-06,3.225139e-06,3.719622e-06,5.697919e-06,7.630840e-06,9.486505e-06,1.425423e-05,1.502745e-05,2.280956e-05,2.468054e-05,3.335537e-05,4.010930e-05,4.720060e-05,6.176773e-05,6.487384e-05,8.687798e-05,9.083207e-05,1.136741e-04,1.283599e-04,1.456679e-04,1.752361e-04,1.831992e-04,2.265338e-04,2.321337e-04,2.758583e-04,2.994884e-04,3.312767e-04,3.774866e-04,3.928106e-04,4.603998e-04,4.660649e-04,5.339063e-04,5.649206e-04,6.131183e-04,6.735298e-04,6.977572e-04,7.874841e-04,7.911736e-04,8.819077e-04,9.169674e-04,9.805928e-04,1.049894e-03,1.083069e-03,1.188837e-03,1.297381e-03,1.332615e-03,1.408173e-03,1.480014e-03,1.520681e-03,1.629814e-03,1.634378e-03,1.748742e-03,1.780815e-03,1.863271e-03,1.931864e-03,1.977479e-03,2.081867e-03,2.090902e-03,2.203106e-03,2.229807e-03,2.313683e-03,2.374754e-03,2.422257e-03,2.515872e-03,2.528485e-03,2.632053e-03,2.652423e-03,2.732685e-03,2.783771e-03,2.830135e-03,2.909378e-03,2.924191e-03,3.014672e-03,3.028806e-03,3.101426e-03,3.141708e-03,3.184333e-03,3.247824e-03,3.263298e-03,3.338255e-03,3.346978e-03,3.409160e-03,3.439069e-03,3.475993e-03,3.524061e-03,3.538753e-03,3.597462e-03,3.601984e-03,3.652155e-03,3.672919e-03,3.702884e-03,3.736992e-03,3.749717e-03,3.792731e-03,3.794373e-03,3.832016e-03,3.845264e-03,3.867670e-03,3.889895e-03,3.899800e-03,3.928518e-03,3.953942e-03,3.961402e-03,3.976195e-03,3.988830e-03,3.995402e-03,4.011094e-03,4.011691e-03,4.025191e-03,4.028489e-03,4.036031e-03,4.041312e-03,4.044341e-03,4.049862e-03,4.050249e-03,4.053883e-03,4.054430e-03,4.055367e-03,4.055306e-03,4.054826e-03,4.052770e-03,4.052380e-03,4.048147e-03,4.047096e-03,4.042241e-03,4.038546e-03,4.034773e-03,4.027373e-03,4.025852e-03,4.015581e-03,4.013819e-03,4.004060e-03,3.998114e-03,3.991385e-03,3.980477e-03,3.977649e-03,3.962940e-03,3.961113e-03,3.947342e-03,3.940219e-03,3.930937e-03,3.917976e-03,3.913800e-03,3.896005e-03,3.894555e-03,3.877620e-03,3.870116e-03,3.858712e-03,3.844809e-03,3.839342e-03,3.819568e-03,3.818770e-03,3.799447e-03,3.792128e-03,3.779028e-03,3.765000e-03,3.758363e-03,3.737494e-03,3.709711e-03,3.681741e-03,3.653666e-03,3.625563e-03,3.597499e-03,3.569535e-03,3.541728e-03,3.514126e-03,3.486775e-03,3.459713e-03,3.432974e-03,3.406589e-03,3.380585e-03,3.354983e-03,3.329804e-03,3.305063e-03,3.280773e-03,3.256946e-03,3.233590e-03,3.210712e-03,3.188315e-03,3.166404e-03,3.144979e-03,3.124039e-03
0.000000e+00,3.934223e-11,1.747365e-10,1.482650e-09,5.729526e-09,1.042423e-08,3.614575e-08,3.775352e-08,9.656658e-08,1.205165e-07,2.003506e-07,2.897543e-07,3.624241e-07,5.743420e-07,5.959624e-07,9.138325e-07,1.003999e-06,1.327439e-06,1.603857e-06,1.844039e-06,2.383820e-06,2.463323e-06,3.175827e-06,3.328128e-06,3.964863e-06,4.398838e-06,4.810606e-06,5.550654e-06,5.693737e-06,6.597356e-06,6.742858e-06,7.507386e-06,7.943003e-06,8.412278e-06,9.126045e-06,9.302523e-06,1.017024e-05,1.027253e-05,1.100893e-05,1.136735e-05,1.181329e-05,1.239904e-05,1.257915e-05,1.330338e-05,1.335945e-05,1.398384e-05,1.424345e-05,1.461926e-05,1.504858e-05,1.520917e-05,1.575381e-05,1.577467e-05,1.625397e-05,1.642338e-05,1.671093e-05,1.699780e-05,1.712631e-05,1.750202e-05,1.784014e-05,1.794076e-05,1.814288e-05,1.831910e-05,1.841248e-05,1.864222e-05,1.865120e-05,1.886125e-05,1.891522e-05,1.904477e-05,1.914302e-05,1.920383e-05,1.933024e-05,1.934038e-05,1.945625e-05,1.948118e-05,1.955318e-05,1.959979e-05,1.963277e-05,1.968965e-05,1.969651e-05,1.974577e-05,1.975400e-05,1.978183e-05,1.979575e-05,1.980585e-05,1.981750e-05,1.981889e-05,1.982194e-05,1.982156e-05,1.981589e-05,1.981000e-05,1.980157e-05,1.978465e-05,1.977971e-05,1.975100e-05,1.974712e-05,1.971606e-05,1.969886e-05,1.967546e-05,1.964115e-05,1.962973e-05,1.957933e-05,1.957511e-05,1.952471e-05,1.950177e-05,1.946626e-05,1.942201e-05,1.940434e-05,1.933928e-05,1.933662e-05,1.927139e-05,1.924631e-05,1.920094e-05,1.915171e-05,1.912820e-05,1.905340e-05,1.897675e-05,1.895187e-05,1.889846e-05,1.884758e-05,1.881871e-05,1.874093e-05,1.873766e-05,1.865548e-05,1.863229e-05,1.857231e-05,1.852198e-05,1.848827e-05,1.841031e-05,1.840351e-05,1.831812e-05,1.829755e-05,1.823223e-05,1.818393e-05,1.814591e-05,1.806968e-05,1.805927e-05,1.797239e-05,1.795499e-05,1.788534e-05,1.784003e-05,1.779819e-05,1.772497e-05,1.771103e-05,1.762389e-05,1.760996e-05,1.753686e-05,1.749513e-05,1.744996e-05,1.738059e-05,1.736327e-05,1.727681e-05,1.726646e-05,1.719064e-05,1.715283e-05,1.710480e-05,1.703980e-05,1.701931e-05,1.693422e-05,1.692743e-05,1.684956e-05,1.681581e-05,1.676534e-05,1.670501e-05,1.668161e-05,1.659838e-05,1.659506e-05,1.651568e-05,1.648604e-05,1.643353e-05,1.637799e-05,1.635194e-05,1.627094e-05,1.616494e-05,1.606001e-05,1.595620e-05,1.585351e-05,1.575198e-05,1.565162e-05,1.555245e-05,1.545448e-05,1.535772e-05,1.526218e-05,1.516787e-05,1.507479e-05,1.498295e-05,1.489234e-05,1.480297e-05,1.471483e-05,1.462792e-05,1.454225e-05,1.445779e-05,1.437455e-05,1.429252e-05,1.421169e-05,1.413206e-05,1.405361e-05
0.000000e+00,1.829326e-12,9.375020e-12,1.060969e-10,5.273970e-10,1.096913e-09,5.294941e-09,5.602825e-09,1.945998e-08,2.629314e-08,5.298706e-08,8.888019e-08,1.220240e-07,2.357880e-07,2.486752e-07,4.617446e-07,5.295562e-07,7.968635e-07,1.053335e-06,1.296292e-06,1.909934e-06,2.008328e-06,2.986253e-06,3.218695e-06,4.286782e-06,5.109879e-06,5.968146e-06,7.717049e-06,8.088006e-06,1.070140e-05,1.116880e-05,1.385888e-05,1.558107e-05,1.760495e-05,2.105085e-05,2.197679e-05,2.700328e-05,2.765150e-05,3.270444e-05,3.542980e-05,3.909103e-05,4.440447e-05,4.616448e-05,5.391712e-05,5.456624e-05,6.233253e-05,6.587901e-05,7.138609e-05,7.828208e-05,8.104576e-05,9.127287e-05,9.169315e-05,1.020231e-04,1.060119e-04,1.132472e-04,1.211235e-04,1.248925e-04,1.369032e-04,1.492219e-04,1.532194e-04,1.617902e-04,1.699378e-04,1.745495e-04,1.869243e-04,1.874418e-04,2.004106e-04,2.040480e-04,2.134011e-04,2.211839e-04,2.263608e-04,2.382140e-04,2.392403e-04,2.519929e-04,2.550298e-04,2.645755e-04,2.715326e-04,2.769484e-04,2.876344e-04,2.890755e-04,3.009244e-04,3.032582e-04,3.124663e-04,3.183383e-04,3.236760e-04,3.328195e-04,3.345319e-04,3.450155e-04,3.466573e-04,3.551118e-04,3.598168e-04,3.648088e-04,3.722727e-04,3.740974e-04,3.829710e-04,3.840078e-04,3.914258e-04,3.950127e-04,3.994600e-04,4.052850e-04,4.070741e-04,4.142704e-04,4.148281e-04,4.210528e-04,4.236511e-04,4.274269e-04,4.317672e-04,4.333996e-04,4.389788e-04,4.391939e-04,4.441736e-04,4.459515e-04,4.489939e-04,4.520631e-04,4.534503e-04,4.575539e-04,4.613165e-04,4.624505e-04,4.647501e-04,4.667806e-04,4.678670e-04,4.705727e-04,4.706796e-04,4.732004e-04,4.738557e-04,4.754421e-04,4.766584e-04,4.774172e-04,4.790095e-04,4.791381e-04,4.806170e-04,4.809373e-04,4.818662e-04,4.824697e-04,4.828972e-04,4.836334e-04,4.837219e-04,4.843514e-04,4.844548e-04,4.847967e-04,4.849590e-04,4.850685e-04,4.851703e-04,4.851771e-04,4.851325e-04,4.851118e-04,4.849443e-04,4.848057e-04,4.846218e-04,4.842730e-04,4.841737e-04,4.836087e-04,4.835334e-04,4.829349e-04,4.826059e-04,4.821600e-04,4.815082e-04,4.812916e-04,4.803367e-04,4.802568e-04,4.793021e-04,4.788673e-04,4.781941e-04,4.773545e-04,4.770190e-04,4.757825e-04,4.757318e-04,4.744901e-04,4.740121e-04,4.731469e-04,4.722071e-04,4.717580e-04,4.703278e-04,4.683844e-04,4.663862e-04,4.643418e-04,4.622593e-04,4.601461e-04,4.580089e-04,4.558538e-04,4.536866e-04,4.515123e-04,4.493358e-04,4.471612e-04,4.449924e-04,4.428329e-04,4.406858e-04,4.385541e-04,4.364401e-04,4.343463e-04,4.322745e-04,4.302267e-04,4.282042e-04,4.262086e-04,4.242409e-04,4.223023e-04,4.203936e-04
0.000000e+00,3.910184e-09,9.953888e-09,3.820798e-08,9.129435e-08,1.355084e-07,3.158800e-07,3.256208e-07,6.364290e-07,7.487485e-07,1.094710e-06,1.451343e-06,1.726529e-06,2.482503e-06,2.556768e-06,3.607060e-06,3.893668e-06,4.891292e-06,5.713253e-06,6.409037e-06,7.922921e-06,8.141009e-06,1.005218e-05,1.045229e-05,1.210126e-05,1.320802e-05,1.424891e-05,1.610403e-05,1.646106e-05,1.870882e-05,1.907008e-05,2.096759e-05,2.204938e-05,2.321618e-05,2.499535e-05,2.543631e-05,2.761230e-05,2.786979e-05,2.973092e-05,3.064205e-05,3.178127e-05,3.328841e-05,3.375459e-05,3.564413e-05,3.579151e-05,3.744493e-05,3.813961e-05,3.915366e-05,4.032579e-05,4.076836e-05,4.228829e-05,4.234712e-05,4.371369e-05,4.420388e-05,4.504563e-05,4.589883e-05,4.628585e-05,4.743661e-05,4.850056e-05,4.882317e-05,4.948067e-05,5.006541e-05,5.038012e-05,5.117078e-05,5.120222e-05,5.195036e-05,5.214705e-05,5.262798e-05,5.300212e-05,5.323850e-05,5.374382e-05,5.378530e-05,5.427172e-05,5.437984e-05,5.470102e-05,5.491766e-05,5.507636e-05,5.536447e-05,5.540082e-05,5.567735e-05,5.572716e-05,5.590882e-05,5.601229e-05,5.609796e-05,5.622606e-05,5.624741e-05,5.635969e-05,5.637436e-05,5.643718e-05,5.646271e-05,5.648220e-05,5.649629e-05,5.649691e-05,5.648341e-05,5.647999e-05,5.644368e-05,5.641838e-05,5.637960e-05,5.631571e-05,5.629294e-05,5.618539e-05,5.617593e-05,5.605852e-05,5.600271e-05,5.591385e-05,5.579946e-05,5.575279e-05,5.557670e-05,5.556937e-05,5.538685e-05,5.531537e-05,5.518443e-05,5.504019e-05,5.497058e-05,5.474635e-05,5.451274e-05,5.443616e-05,5.427070e-05,5.411178e-05,5.402112e-05,5.377518e-05,5.376481e-05,5.350257e-05,5.342818e-05,5.323512e-05,5.307244e-05,5.296316e-05,5.270951e-05,5.268731e-05,5.240819e-05,5.234077e-05,5.212634e-05,5.196752e-05,5.184230e-05,5.159092e-05,5.155655e-05,5.126955e-05,5.121203e-05,5.098171e-05,5.083184e-05,5.069344e-05,5.045122e-05,5.040509e-05,5.011701e-05,5.007096e-05,4.982951e-05,4.969180e-05,4.954288e-05,4.931438e-05,4.925738e-05,4.897327e-05,4.893928e-05,4.869077e-05,4.856703e-05,4.841008e-05,4.819809e-05,4.813141e-05,4.785491e-05,4.783289e-05,4.758076e-05,4.747178e-05,4.730909e-05,4.711510e-05,4.704003e-05,4.677371e-05,4.676311e-05,4.651022e-05,4.641608e-05,4.624967e-05,4.607421e-05,4.599213e-05,4.573767e-05,4.540663e-05,4.508121e-05,4.476150e-05,4.444759e-05,4.413953e-05,4.383737e-05,4.354114e-05,4.325083e-05,4.296645e-05,4.268798e-05,4.241539e-05,4.214865e-05,4.188771e-05,4.163253e-05,4.138303e-05,4.113916e-05,4.090084e-05,4.066799e-05,4.044054e-05,4.021841e-05,4.000149e-05,3.978971e-05,3.958298e-05,3.938120e-05
0.000000e+00,7.247834e-09,1.664430e-08,5.743726e-08,1.309073e-07,1.911054e-07,4.339172e-07,4.469787e-07,8.635265e-07,1.014314e-06,1.480498e-06,1.964276e-06,2.339944e-06,3.382690e-06,3.485964e-06,4.961966e-06,5.369597e-06,6.803886e-06,8.002820e-06,9.029230e-06,1.129665e-05,1.162693e-05,1.455708e-05,1.517811e-05,1.776264e-05,1.951834e-05,2.118383e-05,2.418462e-05,2.476678e-05,2.846566e-05,2.906558e-05,3.224188e-05,3.407209e-05,3.606251e-05,3.913172e-05,3.989906e-05,4.372659e-05,4.418422e-05,4.752325e-05,4.917899e-05,5.126997e-05,5.407387e-05,5.495030e-05,5.855024e-05,5.883439e-05,6.205808e-05,6.343322e-05,6.546427e-05,6.784946e-05,6.876122e-05,7.194313e-05,7.206795e-05,7.500577e-05,7.607854e-05,7.794630e-05,7.987525e-05,8.076312e-05,8.345566e-05,8.602423e-05,8.682014e-05,8.846988e-05,8.997134e-05,9.079428e-05,9.291363e-05,9.299959e-05,9.508836e-05,9.565271e-05,9.706345e-05,9.819524e-05,9.892800e-05,1.005486e-04,1.006853e-04,1.023387e-04,1.027204e-04,1.038918e-04,1.047190e-04,1.053480e-04,1.065523e-04,1.067111e-04,1.079844e-04,1.082286e-04,1.091716e-04,1.097560e-04,1.102761e-04,1.111425e-04,1.113014e-04,1.122508e-04,1.123959e-04,1.131276e-04,1.135236e-04,1.139351e-04,1.145331e-04,1.146762e-04,1.153542e-04,1.154314e-04,1.159719e-04,1.162253e-04,1.165321e-04,1.169212e-04,1.170377e-04,1.174912e-04,1.175253e-04,1.178953e-04,1.180437e-04,1.182525e-04,1.184819e-04,1.185651e-04,1.188354e-04,1.188454e-04,1.190657e-04,1.191392e-04,1.192581e-04,1.193683e-04,1.194146e-04,1.195372e-04,1.196278e-04,1.196503e-04,1.196882e-04,1.197118e-04,1.197201e-04,1.197255e-04,1.197252e-04,1.197051e-04,1.196951e-04,1.196613e-04,1.196242e-04,1.195953e-04,1.195161e-04,1.195084e-04,1.194020e-04,1.193737e-04,1.192774e-04,1.192001e-04,1.191358e-04,1.189980e-04,1.189783e-04,1.188061e-04,1.187700e-04,1.186202e-04,1.185185e-04,1.184216e-04,1.182457e-04,1.182113e-04,1.179902e-04,1.179539e-04,1.177592e-04,1.176450e-04,1.175190e-04,1.173209e-04,1.172705e-04,1.170145e-04,1.169833e-04,1.167516e-04,1.166339e-04,1.164824e-04,1.162741e-04,1.162078e-04,1.159281e-04,1.159056e-04,1.156441e-04,1.155294e-04,1.153563e-04,1.151470e-04,1.150651e-04,1.147711e-04,1.147593e-04,1.144748e-04,1.143676e-04,1.141765e-04,1.139728e-04,1.138767e-04,1.135757e-04,1.131773e-04,1.127783e-04,1.123794e-04,1.119814e-04,1.115847e-04,1.111900e-04,1.107978e-04,1.104085e-04,1.100226e-04,1.096404e-04,1.092622e-04,1.088885e-04,1.085194e-04,1.081552e-04,1.077962e-04,1.074425e-04,1.070942e-04,1.067516e-04,1.064148e-04,1.060838e-04,1.057587e-04,1.054397e-04,1.051267e-04,1.048198e-04
0.000000e+00,5.059842e-12,2.593787e-11,2.936649e-10,1.460147e-09,3.037183e-09,1.466270e-08,1.551533e-08,5.389102e-08,7.281536e-08,1.467505e-07,2.461847e-07,3.380235e-07,6.533997e-07,6.891389e-07,1.280364e-06,1.468641e-06,2.211202e-06,2.924049e-06,3.599491e-06,5.305265e-06,5.578669e-06,8.292907e-06,8.937026e-06,1.189058e-05,1.415910e-05,1.651713e-05,2.129828e-05,2.230831e-05,2.938453e-05,3.064301e-05,3.784638e-05,4.242398e-05,4.777154e-05,5.680165e-05,5.921290e-05,7.219770e-05,7.385994e-05,8.672769e-05,9.360537e-05,1.027800e-04,1.159705e-04,1.203088e-04,1.392471e-04,1.408206e-04,1.595094e-04,1.679629e-04,1.809946e-04,1.971574e-04,2.035883e-04,2.271661e-04,2.281279e-04,2.515965e-04,2.605741e-04,2.767434e-04,2.941819e-04,3.024685e-04,3.286341e-04,3.551047e-04,3.636182e-04,3.817492e-04,3.988345e-04,4.084417e-04,4.340013e-04,4.350634e-04,4.615032e-04,4.688596e-04,4.876585e-04,5.031757e-04,5.134354e-04,5.367431e-04,5.387493e-04,5.635246e-04,5.693829e-04,5.876948e-04,6.009441e-04,6.112025e-04,6.313020e-04,6.339986e-04,6.560422e-04,6.603575e-04,6.773000e-04,6.880347e-04,6.977462e-04,7.142793e-04,7.173612e-04,7.361319e-04,7.390563e-04,7.540504e-04,7.623476e-04,7.711139e-04,7.841501e-04,7.873241e-04,8.026867e-04,8.044737e-04,8.172109e-04,8.233390e-04,8.309088e-04,8.407757e-04,8.437953e-04,8.558874e-04,8.568210e-04,8.672040e-04,8.715180e-04,8.777655e-04,8.849144e-04,8.875937e-04,8.967110e-04,8.970613e-04,9.051410e-04,9.080122e-04,9.129076e-04,9.178221e-04,9.200348e-04,9.265471e-04,9.324689e-04,9.342431e-04,9.378244e-04,9.409659e-04,9.426377e-04,9.467704e-04,9.469325e-04,9.507322e-04,9.517106e-04,9.540596e-04,9.558386e-04,9.569370e-04,9.592055e-04,9.593862e-04,9.614284e-04,9.618602e-04,9.630841e-04,9.638499e-04,9.643733e-04,9.652200e-04,9.653153e-04,9.659288e-04,9.660136e-04,9.662316e-04,9.662721e-04,9.662412e-04,9.660347e-04,9.659741e-04,9.654463e-04,9.653387e-04,9.646732e-04,9.642193e-04,9.636694e-04,9.627099e-04,9.624491e-04,9.610258e-04,9.608420e-04,9.594123e-04,9.586453e-04,9.576210e-04,9.561479e-04,9.556636e-04,9.535515e-04,9.533761e-04,9.512952e-04,9.503547e-04,9.489051e-04,9.471067e-04,9.463907e-04,9.437615e-04,9.436540e-04,9.410261e-04,9.400170e-04,9.381930e-04,9.362147e-04,9.352701e-04,9.322649e-04,9.281843e-04,9.239884e-04,9.196916e-04,9.153073e-04,9.108482e-04,9.063259e-04,9.017511e-04,8.971338e-04,8.924835e-04,8.878086e-04,8.831171e-04,8.784163e-04,8.737130e-04,8.690134e-04,8.643232e-04,8.596477e-04,8.549916e-04,8.503594e-04,8.457550e-04,8.411822e-04,8.366441e-04,8.321439e-04,8.276843e-04,8.232676e-04
0.000000e+00,2.902722e-09,8.033108e-09,3.379937e-08,8.447998e-08,1.276512e-07,3.083790e-07,3.182942e-07,6.408943e-07,7.600848e-07,1.134773e-06,1.531852e-06,1.844993e-06,2.730783e-06,2.819512e-06,4.096877e-06,4.450374e-06,5.686375e-06,6.703578e-06,7.560038e-06,9.404675e-06,9.668322e-06,1.196066e-05,1.243731e-05,1.439441e-05,1.570409e-05,1.693492e-05,1.913011e-05,1.955316e-05,2.222360e-05,2.265414e-05,2.492298e-05,2.622258e-05,2.762978e-05,2.978709e-05,3.032404e-05,3.298748e-05,3.330422e-05,3.560360e-05,3.673589e-05,3.815786e-05,4.004992e-05,4.063770e-05,4.303261e-05,4.322027e-05,4.533406e-05,4.622692e-05,4.753541e-05,4.905561e-05,4.963181e-05,5.162006e-05,5.169731e-05,5.349840e-05,5.414754e-05,5.526613e-05,5.640514e-05,5.692361e-05,5.847224e-05,5.991401e-05,6.035323e-05,6.125157e-05,6.205432e-05,6.248799e-05,6.358297e-05,6.362668e-05,6.467131e-05,6.494746e-05,6.562569e-05,6.615665e-05,6.649379e-05,6.721966e-05,6.727959e-05,6.798706e-05,6.814564e-05,6.862016e-05,6.894365e-05,6.918276e-05,6.962256e-05,6.967867e-05,7.011158e-05,7.019092e-05,7.048509e-05,7.065698e-05,7.080263e-05,7.102856e-05,7.106754e-05,7.128301e-05,7.131311e-05,7.145211e-05,7.151767e-05,7.157775e-05,7.164886e-05,7.166274e-05,7.170972e-05,7.171293e-05,7.172124e-05,7.171569e-05,7.169969e-05,7.166260e-05,7.164735e-05,7.156640e-05,7.155875e-05,7.145889e-05,7.140888e-05,7.132675e-05,7.121741e-05,7.117184e-05,7.099588e-05,7.098842e-05,7.080051e-05,7.072573e-05,7.058730e-05,7.043286e-05,7.035769e-05,7.011308e-05,6.985475e-05,6.976940e-05,6.958394e-05,6.940461e-05,6.930180e-05,6.902129e-05,6.900941e-05,6.870778e-05,6.862180e-05,6.839788e-05,6.820834e-05,6.808060e-05,6.778292e-05,6.775680e-05,6.742725e-05,6.734738e-05,6.709270e-05,6.690342e-05,6.675384e-05,6.645260e-05,6.641133e-05,6.606576e-05,6.599633e-05,6.571771e-05,6.553592e-05,6.536771e-05,6.507256e-05,6.501625e-05,6.466379e-05,6.460733e-05,6.431076e-05,6.414122e-05,6.395755e-05,6.367511e-05,6.360454e-05,6.325207e-05,6.320983e-05,6.290046e-05,6.274610e-05,6.255001e-05,6.228460e-05,6.220097e-05,6.185362e-05,6.182591e-05,6.150817e-05,6.137058e-05,6.116485e-05,6.091907e-05,6.082384e-05,6.048532e-05,6.047183e-05,6.014946e-05,6.002923e-05,5.981641e-05,5.959160e-05,5.948629e-05,5.915924e-05,5.873241e-05,5.831133e-05,5.789619e-05,5.748716e-05,5.708436e-05,5.668792e-05,5.629792e-05,5.591443e-05,5.553751e-05,5.516718e-05,5.480347e-05,5.444638e-05,5.409590e-05,5.375202e-05,5.341470e-05,5.308391e-05,5.275960e-05,5.244172e-05,5.213020e-05,5.182499e-05,5.152600e-05,5.123317e-05,5.094641e-05,5.066563e-05
0.000000e+00,5.689397e-12,2.726997e-11,2.687098e-10,1.178589e-09,2.290229e-09,9.311439e-09,9.785824e-09,2.891996e-08,3.747104e-08,6.826369e-08,1.060404e-07,1.387764e-07,2.419746e-07,2.530095e-07,4.220310e-07,4.714982e-07,6.510960e-07,8.049429e-07,9.376535e-07,1.230415e-06,1.272811e-06,1.644400e-06,1.721959e-06,2.039726e-06,2.250775e-06,2.447253e-06,2.791875e-06,2.857315e-06,3.262194e-06,3.326073e-06,3.655925e-06,3.839590e-06,4.034023e-06,4.323022e-06,4.393232e-06,4.731332e-06,4.770413e-06,5.046974e-06,5.178563e-06,5.339556e-06,5.546487e-06,5.609096e-06,5.856122e-06,5.874937e-06,6.081555e-06,6.165946e-06,6.286604e-06,6.422398e-06,6.472667e-06,6.641247e-06,6.647648e-06,6.793876e-06,6.845211e-06,6.932066e-06,7.018527e-06,7.057259e-06,7.170806e-06,7.273946e-06,7.304939e-06,7.367797e-06,7.423455e-06,7.453361e-06,7.528528e-06,7.531522e-06,7.603056e-06,7.621992e-06,7.668639e-06,7.705383e-06,7.728864e-06,7.779978e-06,7.784241e-06,7.835215e-06,7.846837e-06,7.882171e-06,7.906839e-06,7.925446e-06,7.960716e-06,7.965333e-06,8.002088e-06,8.009084e-06,8.035938e-06,8.052460e-06,8.067085e-06,8.091289e-06,8.095706e-06,8.121962e-06,8.125953e-06,8.145997e-06,8.156784e-06,8.167943e-06,8.184076e-06,8.187919e-06,8.206033e-06,8.208086e-06,8.222387e-06,8.229049e-06,8.237073e-06,8.247172e-06,8.250178e-06,8.261781e-06,8.262646e-06,8.271957e-06,8.275644e-06,8.280777e-06,8.286325e-06,8.288307e-06,8.294607e-06,8.294835e-06,8.299738e-06,8.301309e-06,8.303752e-06,8.305872e-06,8.306703e-06,8.308640e-06,8.309609e-06,8.309722e-06,8.309655e-06,8.309219e-06,8.308819e-06,8.307225e-06,8.307142e-06,8.304663e-06,8.303829e-06,8.301416e-06,8.299115e-06,8.297438e-06,8.293159e-06,8.292760e-06,8.287416e-06,8.286037e-06,8.281434e-06,8.277817e-06,8.274844e-06,8.268564e-06,8.267673e-06,8.259949e-06,8.258339e-06,8.251695e-06,8.247202e-06,8.242937e-06,8.235208e-06,8.233698e-06,8.224000e-06,8.222407e-06,8.213864e-06,8.208849e-06,8.203311e-06,8.194582e-06,8.192361e-06,8.181032e-06,8.179648e-06,8.169344e-06,8.164091e-06,8.157312e-06,8.147949e-06,8.144954e-06,8.132287e-06,8.131260e-06,8.119325e-06,8.114061e-06,8.106083e-06,8.096384e-06,8.092577e-06,8.078819e-06,8.078263e-06,8.064823e-06,8.059728e-06,8.050601e-06,8.040809e-06,8.036167e-06,8.021532e-06,8.001924e-06,7.982011e-06,7.961816e-06,7.941363e-06,7.920671e-06,7.899764e-06,7.878659e-06,7.857376e-06,7.835932e-06,7.814344e-06,7.792629e-06,7.770801e-06,7.748876e-06,7.726867e-06,7.704788e-06,7.682651e-06,7.660468e-06,7.638250e-06,7.616009e-06,7.593755e-06,7.571498e-06,7.549246e-06,7.527009e-06,7.504796e-06
0.000000e+00,2.373755e-09,5.584216e-09,1.975098e-08,4.556370e-08,6.687714e-08,1.540589e-07,1.588014e-07,3.127900e-07,3.698167e-07,5.502067e-07,7.433779e-07,8.969990e-07,1.335361e-06,1.379419e-06,2.011953e-06,2.185652e-06,2.786293e-06,3.272593e-06,3.676910e-06,4.534469e-06,4.655784e-06,5.700252e-06,5.915449e-06,6.793442e-06,7.376774e-06,7.922481e-06,8.890836e-06,9.076846e-06,1.024734e-05,1.043555e-05,1.142557e-05,1.199155e-05,1.260370e-05,1.354122e-05,1.377444e-05,1.493107e-05,1.506862e-05,1.606749e-05,1.655970e-05,1.717832e-05,1.800252e-05,1.825888e-05,1.930528e-05,1.938742e-05,2.031442e-05,2.070708e-05,2.128391e-05,2.195643e-05,2.221206e-05,2.309762e-05,2.313214e-05,2.394001e-05,2.423266e-05,2.473908e-05,2.525784e-05,2.549512e-05,2.620872e-05,2.688075e-05,2.708720e-05,2.751232e-05,2.789585e-05,2.810465e-05,2.863767e-05,2.865914e-05,2.917724e-05,2.931599e-05,2.966046e-05,2.993430e-05,3.011035e-05,3.049614e-05,3.052846e-05,3.091632e-05,3.100507e-05,3.127545e-05,3.146457e-05,3.160733e-05,3.187799e-05,3.191340e-05,3.219505e-05,3.224857e-05,3.245363e-05,3.257939e-05,3.269040e-05,3.287336e-05,3.290662e-05,3.310344e-05,3.313321e-05,3.328199e-05,3.336151e-05,3.344332e-05,3.356067e-05,3.358844e-05,3.371832e-05,3.373292e-05,3.383384e-05,3.388035e-05,3.393587e-05,3.400489e-05,3.402522e-05,3.410264e-05,3.410834e-05,3.416886e-05,3.419237e-05,3.422457e-05,3.425852e-05,3.427039e-05,3.430695e-05,3.430822e-05,3.433480e-05,3.434280e-05,3.435449e-05,3.436347e-05,3.436652e-05,3.437138e-05,3.436951e-05,3.436756e-05,3.436135e-05,3.435300e-05,3.434728e-05,3.432858e-05,3.432769e-05,3.430294e-05,3.429513e-05,3.427336e-05,3.425343e-05,3.423927e-05,3.420417e-05,3.420096e-05,3.415872e-05,3.414802e-05,3.411281e-05,3.408559e-05,3.406349e-05,3.401744e-05,3.401098e-05,3.395552e-05,3.394409e-05,3.389731e-05,3.386602e-05,3.383655e-05,3.378368e-05,3.377343e-05,3.370812e-05,3.369748e-05,3.364079e-05,3.360780e-05,3.357160e-05,3.351500e-05,3.350069e-05,3.342821e-05,3.341941e-05,3.335429e-05,3.332134e-05,3.327905e-05,3.322105e-05,3.320261e-05,3.312508e-05,3.311883e-05,3.304656e-05,3.301491e-05,3.296717e-05,3.290951e-05,3.288698e-05,3.280609e-05,3.280284e-05,3.272458e-05,3.269510e-05,3.264253e-05,3.258647e-05,3.256002e-05,3.247711e-05,3.236718e-05,3.225681e-05,3.214615e-05,3.203531e-05,3.192440e-05,3.181354e-05,3.170281e-05,3.159232e-05,3.148213e-05,3.137233e-05,3.126299e-05,3.115418e-05,3.104594e-05,3.093835e-05,3.083144e-05,3.072527e-05,3.061988e-05,3.051530e-05,3.041158e-05,3.030874e-05,3.020681e-05,3.010582e-05,3.000580e-05,2.990676e-05
0.000000e+00,2.295013e-09,6.303412e-09,2.635074e-08,6.583462e-08,9.959908e-08,2.423518e-07,2.502474e-07,5.104066e-07,6.079593e-07,9.184071e-07,1.251088e-06,1.513833e-06,2.246818e-06,2.318924e-06,3.326365e-06,3.595843e-06,4.514186e-06,5.250375e-06,5.862089e-06,7.168222e-06,7.354499e-06,8.978372e-06,9.317821e-06,1.072111e-05,1.166995e-05,1.256945e-05,1.419322e-05,1.450908e-05,1.652474e-05,1.685325e-05,1.860054e-05,1.961354e-05,2.072033e-05,2.243712e-05,2.286819e-05,2.502883e-05,2.528827e-05,2.718788e-05,2.813394e-05,2.933222e-05,3.094478e-05,3.145008e-05,3.353114e-05,3.369576e-05,3.556657e-05,3.636626e-05,3.754898e-05,3.894009e-05,3.947242e-05,4.133221e-05,4.140522e-05,4.312479e-05,4.375316e-05,4.484766e-05,4.597856e-05,4.649927e-05,4.807880e-05,4.958589e-05,5.005290e-05,5.102093e-05,5.190190e-05,5.238472e-05,5.362797e-05,5.367839e-05,5.490339e-05,5.523432e-05,5.606143e-05,5.672486e-05,5.715432e-05,5.810392e-05,5.818401e-05,5.915254e-05,5.937612e-05,6.006203e-05,6.054634e-05,6.091459e-05,6.161946e-05,6.171237e-05,6.245750e-05,6.260039e-05,6.315208e-05,6.349398e-05,6.379819e-05,6.430496e-05,6.439787e-05,6.495309e-05,6.503793e-05,6.546579e-05,6.569735e-05,6.593786e-05,6.628748e-05,6.637111e-05,6.676731e-05,6.681244e-05,6.712815e-05,6.727614e-05,6.745527e-05,6.768232e-05,6.775027e-05,6.801466e-05,6.803454e-05,6.824991e-05,6.833617e-05,6.845742e-05,6.859042e-05,6.863855e-05,6.879460e-05,6.880034e-05,6.892680e-05,6.896879e-05,6.903636e-05,6.909850e-05,6.912441e-05,6.919205e-05,6.924033e-05,6.925186e-05,6.927025e-05,6.928021e-05,6.928278e-05,6.927929e-05,6.927882e-05,6.925927e-05,6.925111e-05,6.922495e-05,6.919762e-05,6.917668e-05,6.912060e-05,6.911522e-05,6.904130e-05,6.902178e-05,6.895561e-05,6.890275e-05,6.885884e-05,6.876502e-05,6.875162e-05,6.863455e-05,6.861001e-05,6.850822e-05,6.843905e-05,6.837318e-05,6.825340e-05,6.822996e-05,6.807907e-05,6.805425e-05,6.792098e-05,6.784268e-05,6.775616e-05,6.761975e-05,6.758505e-05,6.740805e-05,6.738643e-05,6.722557e-05,6.714364e-05,6.703799e-05,6.689223e-05,6.684566e-05,6.664894e-05,6.663302e-05,6.644814e-05,6.636675e-05,6.624358e-05,6.609414e-05,6.603556e-05,6.582436e-05,6.581585e-05,6.561025e-05,6.553250e-05,6.539348e-05,6.524468e-05,6.517430e-05,6.495293e-05,6.465776e-05,6.435964e-05,6.405903e-05,6.375635e-05,6.345197e-05,6.314626e-05,6.283957e-05,6.253221e-05,6.222447e-05,6.191663e-05,6.160895e-05,6.130165e-05,6.099498e-05,6.068911e-05,6.038426e-05,6.008059e-05,5.977826e-05,5.947744e-05,5.917825e-05,5.888082e-05,5.858527e-05,5.829171e-05,5.800024e-05,5.771095e-05
0.000000e+00,1.583071e-09,3.652543e-09,1.266242e-08,2.890533e-08,4.220956e-08,9.577112e-08,9.864706e-08,1.900622e-07,2.230091e-07,3.243923e-07,4.288671e-07,5.095048e-07,7.312633e-07,7.530719e-07,1.062098e-06,1.146652e-06,1.441924e-06,1.686537e-06,1.894717e-06,2.351733e-06,2.418061e-06,3.004884e-06,3.129009e-06,3.645176e-06,3.995697e-06,4.328275e-06,4.927910e-06,5.044322e-06,5.784716e-06,5.904928e-06,6.542039e-06,6.909642e-06,7.309845e-06,7.927829e-06,8.082502e-06,8.855077e-06,8.947569e-06,9.623266e-06,9.958904e-06,1.038336e-05,1.095365e-05,1.113219e-05,1.186710e-05,1.192523e-05,1.258592e-05,1.286854e-05,1.328689e-05,1.377975e-05,1.396864e-05,1.463012e-05,1.465615e-05,1.527060e-05,1.549593e-05,1.588957e-05,1.629803e-05,1.648675e-05,1.706203e-05,1.761544e-05,1.778793e-05,1.814714e-05,1.847615e-05,1.865739e-05,1.912735e-05,1.914652e-05,1.961492e-05,1.974241e-05,2.006303e-05,2.032235e-05,2.049132e-05,2.086829e-05,2.090032e-05,2.129052e-05,2.138143e-05,2.166248e-05,2.186300e-05,2.201672e-05,2.231424e-05,2.235380e-05,2.267427e-05,2.273642e-05,2.297866e-05,2.313077e-05,2.326751e-05,2.349852e-05,2.354135e-05,2.380070e-05,2.384089e-05,2.404608e-05,2.415904e-05,2.427798e-05,2.445412e-05,2.449689e-05,2.470329e-05,2.472724e-05,2.489764e-05,2.497946e-05,2.508040e-05,2.521182e-05,2.525201e-05,2.541290e-05,2.542532e-05,2.556347e-05,2.562091e-05,2.570414e-05,2.579951e-05,2.583529e-05,2.595730e-05,2.596200e-05,2.607054e-05,2.610922e-05,2.617535e-05,2.624199e-05,2.627209e-05,2.636108e-05,2.644265e-05,2.646723e-05,2.651709e-05,2.656114e-05,2.658472e-05,2.664349e-05,2.664581e-05,2.670065e-05,2.671493e-05,2.674951e-05,2.677605e-05,2.679263e-05,2.682747e-05,2.683028e-05,2.686269e-05,2.686971e-05,2.689009e-05,2.690333e-05,2.691271e-05,2.692882e-05,2.693075e-05,2.694444e-05,2.694667e-05,2.695396e-05,2.695733e-05,2.695951e-05,2.696123e-05,2.696127e-05,2.695942e-05,2.695880e-05,2.695413e-05,2.695041e-05,2.694556e-05,2.693646e-05,2.693388e-05,2.691923e-05,2.691728e-05,2.690176e-05,2.689322e-05,2.688161e-05,2.686459e-05,2.685892e-05,2.683382e-05,2.683171e-05,2.680642e-05,2.679485e-05,2.677686e-05,2.675429e-05,2.674523e-05,2.671167e-05,2.671029e-05,2.667626e-05,2.666309e-05,2.663912e-05,2.661292e-05,2.660034e-05,2.656002e-05,2.650457e-05,2.644679e-05,2.638686e-05,2.632495e-05,2.626123e-05,2.619587e-05,2.612901e-05,2.606079e-05,2.599134e-05,2.592080e-05,2.584928e-05,2.577690e-05,2.570376e-05,2.562996e-05,2.555560e-05,2.548076e-05,2.540554e-05,2.533000e-05,2.525423e-05,2.517829e-05,2.510226e-05,2.502618e-05,2.495012e-05,2.487414e-05
0.000000e+00,3.426594e-11,1.582507e-10,1.449239e-09,5.970479e-09,1.122555e-08,4.206174e-08,4.406154e-08,1.204057e-07,1.527242e-07,2.635946e-07,3.916458e-07,4.977774e-07,8.140349e-07,8.467150e-07,1.332983e-06,1.472458e-06,1.977060e-06,2.413207e-06,2.795941e-06,3.670440e-06,3.801097e-06,4.995999e-06,5.257352e-06,6.373918e-06,7.157303e-06,7.917171e-06,9.321663e-06,9.598680e-06,1.138553e-05,1.167888e-05,1.324321e-05,1.415035e-05,1.513912e-05,1.666396e-05,1.704460e-05,1.893577e-05,1.916079e-05,2.079341e-05,2.159614e-05,2.260248e-05,2.393770e-05,2.435149e-05,2.603189e-05,2.616316e-05,2.763759e-05,2.825798e-05,2.916448e-05,3.021359e-05,3.061007e-05,3.197322e-05,3.202603e-05,3.325386e-05,3.369482e-05,3.445276e-05,3.522205e-05,3.557139e-05,3.661172e-05,3.757611e-05,3.786911e-05,3.846722e-05,3.900038e-05,3.928789e-05,4.001222e-05,4.004109e-05,4.072985e-05,4.091157e-05,4.135723e-05,4.170546e-05,4.192627e-05,4.240086e-05,4.243999e-05,4.290131e-05,4.300455e-05,4.331312e-05,4.352313e-05,4.367818e-05,4.396291e-05,4.399919e-05,4.427873e-05,4.432989e-05,4.451930e-05,4.462978e-05,4.472327e-05,4.486799e-05,4.489292e-05,4.503044e-05,4.504960e-05,4.513788e-05,4.517936e-05,4.521724e-05,4.526176e-05,4.527038e-05,4.529910e-05,4.530098e-05,4.530508e-05,4.530093e-05,4.528994e-05,4.526524e-05,4.525519e-05,4.520227e-05,4.519730e-05,4.513255e-05,4.510025e-05,4.504732e-05,4.497703e-05,4.494779e-05,4.483511e-05,4.483034e-05,4.471036e-05,4.466269e-05,4.457456e-05,4.447640e-05,4.442868e-05,4.427361e-05,4.411020e-05,4.405629e-05,4.393926e-05,4.382625e-05,4.376154e-05,4.358519e-05,4.357773e-05,4.338851e-05,4.333464e-05,4.319449e-05,4.307601e-05,4.299625e-05,4.281061e-05,4.279433e-05,4.258925e-05,4.253962e-05,4.238148e-05,4.226412e-05,4.217146e-05,4.198511e-05,4.195961e-05,4.174631e-05,4.170350e-05,4.153192e-05,4.142011e-05,4.131677e-05,4.113569e-05,4.110118e-05,4.088544e-05,4.085093e-05,4.066981e-05,4.056642e-05,4.045454e-05,4.028274e-05,4.023986e-05,4.002597e-05,4.000037e-05,3.981308e-05,3.971977e-05,3.960136e-05,3.944133e-05,3.939097e-05,3.918207e-05,3.916543e-05,3.897479e-05,3.889236e-05,3.876926e-05,3.862242e-05,3.856559e-05,3.836388e-05,3.835585e-05,3.816422e-05,3.809287e-05,3.796671e-05,3.783366e-05,3.777141e-05,3.757839e-05,3.732720e-05,3.708019e-05,3.683747e-05,3.659910e-05,3.636516e-05,3.613568e-05,3.591071e-05,3.569024e-05,3.547430e-05,3.526288e-05,3.505597e-05,3.485354e-05,3.465557e-05,3.446203e-05,3.427287e-05,3.408805e-05,3.390752e-05,3.373121e-05,3.355909e-05,3.339108e-05,3.322711e-05,3.306714e-05,3.291108e-05,3.275887e-05
0.000000e+00,8.760957e-10,3.141632e-09,1.852151e-08,5.552893e-08,9.019389e-08,2.497891e-07,2.589919e-07,5.742380e-07,6.967934e-07,1.097923e-06,1.543895e-06,1.907167e-06,2.970305e-06,3.078617e-06,4.648761e-06,5.083146e-06,6.592330e-06,7.822300e-06,8.851204e-06,1.105564e-05,1.137016e-05,1.410802e-05,1.467907e-05,1.703457e-05,1.862271e-05,2.012534e-05,2.283219e-05,2.335806e-05,2.671074e-05,2.725680e-05,3.016092e-05,3.184491e-05,3.368561e-05,3.654335e-05,3.726151e-05,4.086547e-05,4.129875e-05,4.447496e-05,4.605933e-05,4.806861e-05,5.077684e-05,5.162645e-05,5.513020e-05,5.540766e-05,5.856365e-05,5.991408e-05,6.191256e-05,6.426455e-05,6.516483e-05,6.831041e-05,6.843389e-05,7.134118e-05,7.240289e-05,7.425086e-05,7.615785e-05,7.703482e-05,7.968990e-05,8.221434e-05,8.299444e-05,8.460757e-05,8.607053e-05,8.687000e-05,8.891999e-05,8.900283e-05,9.100791e-05,9.154674e-05,9.288755e-05,9.395625e-05,9.464449e-05,9.615516e-05,9.628183e-05,9.780311e-05,9.815136e-05,9.921208e-05,9.995350e-05,1.005126e-04,1.015706e-04,1.017087e-04,1.028044e-04,1.030119e-04,1.038039e-04,1.042870e-04,1.047113e-04,1.054055e-04,1.055310e-04,1.062677e-04,1.063782e-04,1.069254e-04,1.072140e-04,1.075075e-04,1.079214e-04,1.080180e-04,1.084601e-04,1.085088e-04,1.088375e-04,1.089839e-04,1.091534e-04,1.093543e-04,1.094110e-04,1.096133e-04,1.096272e-04,1.097634e-04,1.098094e-04,1.098641e-04,1.099075e-04,1.099180e-04,1.099279e-04,1.099275e-04,1.098963e-04,1.098752e-04,1.098256e-04,1.097563e-04,1.097180e-04,1.095759e-04,1.094013e-04,1.093389e-04,1.091962e-04,1.090498e-04,1.089626e-04,1.087132e-04,1.087023e-04,1.084170e-04,1.083329e-04,1.081085e-04,1.079129e-04,1.077783e-04,1.074567e-04,1.074280e-04,1.070589e-04,1.069677e-04,1.066726e-04,1.064491e-04,1.062702e-04,1.059038e-04,1.058530e-04,1.054223e-04,1.053346e-04,1.049790e-04,1.047440e-04,1.045244e-04,1.041344e-04,1.040594e-04,1.035849e-04,1.035082e-04,1.031019e-04,1.028673e-04,1.026112e-04,1.022137e-04,1.021137e-04,1.016101e-04,1.015493e-04,1.011011e-04,1.008757e-04,1.005875e-04,1.001944e-04,1.000698e-04,9.954881e-05,9.950700e-05,9.902496e-05,9.881475e-05,9.849883e-05,9.811890e-05,9.797095e-05,9.744180e-05,9.742061e-05,9.691184e-05,9.672094e-05,9.638149e-05,9.602085e-05,9.585117e-05,9.532125e-05,9.462296e-05,9.392674e-05,9.323329e-05,9.254324e-05,9.185718e-05,9.117561e-05,9.049904e-05,8.982788e-05,8.916253e-05,8.850334e-05,8.785062e-05,8.720466e-05,8.656570e-05,8.593396e-05,8.530963e-05,8.469288e-05,8.408385e-05,8.348265e-05,8.288938e-05,8.230413e-05,8.172697e-05,8.115793e-05,8.059704e-05,8.004434e-05
0.000000e+00,2.277988e-10,5.246867e-10,1.805440e-09,4.086417e-09,5.937773e-09,1.329746e-08,1.368948e-08,2.604005e-08,3.045086e-08,4.393023e-08,5.770967e-08,6.828739e-08,9.718566e-08,1.000153e-07,1.399297e-07,1.508001e-07,1.886180e-07,2.197940e-07,2.462211e-07,3.038807e-07,3.122054e-07,3.852950e-07,4.006123e-07,4.636954e-07,5.059216e-07,5.454936e-07,6.155713e-07,6.289825e-07,7.127940e-07,7.261601e-07,7.958859e-07,8.352773e-07,8.774793e-07,9.412813e-07,9.569962e-07,1.034010e-06,1.043067e-06,1.108210e-06,1.139909e-06,1.179384e-06,1.231365e-06,1.247394e-06,1.312168e-06,1.317210e-06,1.373691e-06,1.397394e-06,1.431988e-06,1.472001e-06,1.487125e-06,1.539192e-06,1.541212e-06,1.588302e-06,1.605282e-06,1.634583e-06,1.664508e-06,1.678173e-06,1.719214e-06,1.757852e-06,1.769732e-06,1.794231e-06,1.816393e-06,1.828491e-06,1.859514e-06,1.860769e-06,1.891195e-06,1.899399e-06,1.919892e-06,1.936330e-06,1.946978e-06,1.970566e-06,1.972560e-06,1.996742e-06,2.002348e-06,2.019617e-06,2.031890e-06,2.041274e-06,2.059389e-06,2.061794e-06,2.081251e-06,2.085022e-06,2.099717e-06,2.108948e-06,2.117253e-06,2.131309e-06,2.133920e-06,2.149771e-06,2.152234e-06,2.164855e-06,2.171838e-06,2.179220e-06,2.190222e-06,2.192907e-06,2.205956e-06,2.207480e-06,2.218401e-06,2.223694e-06,2.230276e-06,2.238939e-06,2.241612e-06,2.252437e-06,2.253282e-06,2.262777e-06,2.266783e-06,2.272657e-06,2.279498e-06,2.282098e-06,2.291123e-06,2.291475e-06,2.299749e-06,2.302761e-06,2.307996e-06,2.313396e-06,2.315881e-06,2.323419e-06,2.330624e-06,2.332863e-06,2.337513e-06,2.341760e-06,2.344096e-06,2.350140e-06,2.350386e-06,2.356396e-06,2.358030e-06,2.362136e-06,2.365455e-06,2.367616e-06,2.372437e-06,2.372846e-06,2.377836e-06,2.378998e-06,2.382593e-06,2.385159e-06,2.387127e-06,2.390939e-06,2.391446e-06,2.395556e-06,2.396353e-06,2.399465e-06,2.401421e-06,2.403180e-06,2.406155e-06,2.406707e-06,2.410054e-06,2.410573e-06,2.413224e-06,2.414686e-06,2.416225e-06,2.418508e-06,2.419062e-06,2.421740e-06,2.422051e-06,2.424264e-06,2.425327e-06,2.426639e-06,2.428347e-06,2.428870e-06,2.430960e-06,2.431122e-06,2.432915e-06,2.433660e-06,2.434739e-06,2.435973e-06,2.436435e-06,2.438007e-06,2.438068e-06,2.439460e-06,2.439954e-06,2.440796e-06,2.441640e-06,2.442019e-06,2.443133e-06,2.444442e-06,2.445572e-06,2.446531e-06,2.447326e-06,2.447963e-06,2.448448e-06,2.448787e-06,2.448985e-06,2.449048e-06,2.448981e-06,2.448789e-06,2.448477e-06,2.448049e-06,2.447510e-06,2.446864e-06,2.446116e-06,2.445269e-06,2.444327e-06,2.443293e-06,2.442172e-06,2.440967e-06,2.439681e-06,2.438318e-06,2.436879e-06
0.000000e+00,2.000509e-09,4.887727e-09,1.798217e-08,4.217393e-08,6.219946e-08,1.436234e-07,1.480185e-07,2.884929e-07,3.394181e-07,4.969158e-07,6.602959e-07,7.870255e-07,1.137463e-06,1.172014e-06,1.660956e-06,1.794003e-06,2.253961e-06,2.628445e-06,2.942297e-06,3.617367e-06,3.713986e-06,4.557809e-06,4.734343e-06,5.463886e-06,5.956601e-06,6.423073e-06,7.263292e-06,7.426429e-06,8.465015e-06,8.633860e-06,9.529898e-06,1.004779e-05,1.061228e-05,1.148508e-05,1.170369e-05,1.279610e-05,1.292690e-05,1.388214e-05,1.435624e-05,1.495516e-05,1.575830e-05,1.600928e-05,1.703948e-05,1.712073e-05,1.804150e-05,1.843362e-05,1.901190e-05,1.968944e-05,1.994794e-05,2.084755e-05,2.088276e-05,2.170927e-05,2.201001e-05,2.253213e-05,2.306921e-05,2.331564e-05,2.405967e-05,2.476444e-05,2.498174e-05,2.543040e-05,2.583657e-05,2.605825e-05,2.662592e-05,2.664884e-05,2.720315e-05,2.735201e-05,2.772228e-05,2.801736e-05,2.820739e-05,2.862469e-05,2.865970e-05,2.908043e-05,2.917685e-05,2.947087e-05,2.967674e-05,2.983226e-05,3.012726e-05,3.016586e-05,3.047292e-05,3.053125e-05,3.075465e-05,3.089154e-05,3.101224e-05,3.121082e-05,3.124686e-05,3.145963e-05,3.149172e-05,3.165165e-05,3.173676e-05,3.182396e-05,3.194831e-05,3.197759e-05,3.211352e-05,3.212868e-05,3.223267e-05,3.228003e-05,3.233597e-05,3.240441e-05,3.242428e-05,3.249842e-05,3.250376e-05,3.255919e-05,3.257993e-05,3.260735e-05,3.263463e-05,3.264363e-05,3.266872e-05,3.266950e-05,3.268328e-05,3.268607e-05,3.268795e-05,3.268577e-05,3.268332e-05,3.266996e-05,3.264843e-05,3.263990e-05,3.261925e-05,3.259678e-05,3.258290e-05,3.254170e-05,3.253986e-05,3.249057e-05,3.247571e-05,3.243546e-05,3.239977e-05,3.237494e-05,3.231480e-05,3.230937e-05,3.223914e-05,3.222163e-05,3.216459e-05,3.212107e-05,3.208603e-05,3.201384e-05,3.200378e-05,3.191814e-05,3.190063e-05,3.182939e-05,3.178209e-05,3.173778e-05,3.165880e-05,3.164356e-05,3.154698e-05,3.153133e-05,3.144826e-05,3.140017e-05,3.134760e-05,3.126582e-05,3.124521e-05,3.114127e-05,3.112871e-05,3.103597e-05,3.098925e-05,3.092947e-05,3.084782e-05,3.082193e-05,3.071349e-05,3.070478e-05,3.060431e-05,3.056045e-05,3.049450e-05,3.041513e-05,3.038421e-05,3.027353e-05,3.026910e-05,3.016259e-05,3.012261e-05,3.005149e-05,2.997590e-05,2.994032e-05,2.982918e-05,2.968266e-05,2.953651e-05,2.939090e-05,2.924598e-05,2.910190e-05,2.895877e-05,2.881672e-05,2.867584e-05,2.853623e-05,2.839798e-05,2.826116e-05,2.812584e-05,2.799207e-05,2.785991e-05,2.772941e-05,2.760060e-05,2.747352e-05,2.734821e-05,2.722467e-05,2.710295e-05,2.698304e-05,2.686497e-05,2.674874e-05,2.663435e-05
0.000000e+00,2.081311e-11,9.569000e-11,8.687245e-10,3.553175e-09,6.655979e-09,2.472247e-08,2.588923e-08,7.020241e-08,8.887000e-08,1.526533e-07,2.259707e-07,2.865321e-07,4.662202e-07,4.847366e-07,7.594883e-07,8.381007e-07,1.122114e-06,1.367367e-06,1.582600e-06,2.075016e-06,2.148708e-06,2.824805e-06,2.973314e-06,3.611061e-06,4.062291e-06,4.503567e-06,5.330273e-06,5.495249e-06,6.577014e-06,6.757785e-06,7.738670e-06,8.321505e-06,8.969497e-06,9.996618e-06,1.025856e-05,1.159491e-05,1.175793e-05,1.296765e-05,1.358044e-05,1.436615e-05,1.543986e-05,1.578007e-05,1.719961e-05,1.731314e-05,1.861555e-05,1.917898e-05,2.001938e-05,2.101830e-05,2.140342e-05,2.276081e-05,2.281447e-05,2.408559e-05,2.455351e-05,2.537263e-05,2.622407e-05,2.661770e-05,2.781735e-05,2.896888e-05,2.932686e-05,3.007030e-05,3.074826e-05,3.112025e-05,3.207901e-05,3.211790e-05,3.306294e-05,3.331812e-05,3.395544e-05,3.446591e-05,3.479588e-05,3.552372e-05,3.558499e-05,3.632378e-05,3.649373e-05,3.701345e-05,3.737872e-05,3.765538e-05,3.818195e-05,3.825103e-05,3.880200e-05,3.890698e-05,3.930993e-05,3.955761e-05,3.977651e-05,4.013773e-05,4.020345e-05,4.059245e-05,4.065129e-05,4.094523e-05,4.110220e-05,4.126348e-05,4.149432e-05,4.154884e-05,4.180295e-05,4.183142e-05,4.202739e-05,4.211714e-05,4.222370e-05,4.235500e-05,4.239337e-05,4.253784e-05,4.254835e-05,4.265851e-05,4.270042e-05,4.275672e-05,4.281425e-05,4.283376e-05,4.289086e-05,4.289274e-05,4.292920e-05,4.293864e-05,4.294993e-05,4.295452e-05,4.295413e-05,4.294284e-05,4.291703e-05,4.290587e-05,4.287767e-05,4.284578e-05,4.282564e-05,4.276457e-05,4.276181e-05,4.268697e-05,4.266416e-05,4.260192e-05,4.254629e-05,4.250738e-05,4.241263e-05,4.240406e-05,4.229261e-05,4.226472e-05,4.217366e-05,4.210400e-05,4.204782e-05,4.193182e-05,4.191564e-05,4.177766e-05,4.174941e-05,4.163438e-05,4.155794e-05,4.148628e-05,4.135849e-05,4.133382e-05,4.117741e-05,4.115205e-05,4.101747e-05,4.093956e-05,4.085438e-05,4.072187e-05,4.068848e-05,4.052013e-05,4.049977e-05,4.034963e-05,4.027401e-05,4.017728e-05,4.004524e-05,4.000338e-05,3.982818e-05,3.981411e-05,3.965192e-05,3.958118e-05,3.947486e-05,3.934699e-05,3.929719e-05,3.911913e-05,3.911200e-05,3.894087e-05,3.887668e-05,3.876259e-05,3.864142e-05,3.858445e-05,3.840660e-05,3.817256e-05,3.793959e-05,3.770799e-05,3.747800e-05,3.724984e-05,3.702373e-05,3.679985e-05,3.657837e-05,3.635941e-05,3.614313e-05,3.592962e-05,3.571899e-05,3.551132e-05,3.530668e-05,3.510514e-05,3.490675e-05,3.471153e-05,3.451954e-05,3.433078e-05,3.414529e-05,3.396305e-05,3.378409e-05,3.360840e-05,3.343596e-05
0.000000e+00,1.194646e-11,5.683617e-11,5.522024e-10,2.394157e-09,4.624541e-09,1.852164e-08,1.945326e-08,5.658822e-08,7.297714e-08,1.312588e-07,2.016118e-07,2.618821e-07,4.499061e-07,4.699622e-07,7.799522e-07,8.724234e-07,1.218033e-06,1.528640e-06,1.808628e-06,2.468430e-06,2.568923e-06,3.504119e-06,3.711657e-06,4.606278e-06,5.239577e-06,5.857023e-06,7.004721e-06,7.231979e-06,8.704915e-06,8.947961e-06,1.025059e-05,1.101154e-05,1.184618e-05,1.314509e-05,1.347174e-05,1.511015e-05,1.530691e-05,1.674683e-05,1.746315e-05,1.836936e-05,1.958648e-05,1.996722e-05,2.153157e-05,2.165504e-05,2.305507e-05,2.365165e-05,2.453174e-05,2.556322e-05,2.595681e-05,2.732666e-05,2.738027e-05,2.863869e-05,2.909651e-05,2.989119e-05,3.070840e-05,3.108327e-05,3.221470e-05,3.328585e-05,3.361600e-05,3.429751e-05,3.491431e-05,3.525091e-05,3.611275e-05,3.614755e-05,3.698917e-05,3.721522e-05,3.777768e-05,3.822615e-05,3.851513e-05,3.915031e-05,3.920363e-05,3.984532e-05,3.999260e-05,4.044235e-05,4.075798e-05,4.099686e-05,4.145131e-05,4.151094e-05,4.198665e-05,4.207736e-05,4.242598e-05,4.264069e-05,4.283085e-05,4.314567e-05,4.320312e-05,4.354456e-05,4.359644e-05,4.385687e-05,4.399692e-05,4.414169e-05,4.435078e-05,4.440055e-05,4.463492e-05,4.466147e-05,4.484621e-05,4.493221e-05,4.503574e-05,4.516600e-05,4.520476e-05,4.535447e-05,4.536565e-05,4.548599e-05,4.553375e-05,4.560039e-05,4.567272e-05,4.569867e-05,4.578180e-05,4.578482e-05,4.585066e-05,4.587212e-05,4.590611e-05,4.593657e-05,4.594895e-05,4.597995e-05,4.599982e-05,4.600394e-05,4.600923e-05,4.601006e-05,4.600883e-05,4.599976e-05,4.599921e-05,4.598095e-05,4.597437e-05,4.595459e-05,4.593510e-05,4.592064e-05,4.588310e-05,4.587957e-05,4.583183e-05,4.581943e-05,4.577786e-05,4.574507e-05,4.571807e-05,4.566092e-05,4.565282e-05,4.558248e-05,4.556783e-05,4.550739e-05,4.546658e-05,4.542788e-05,4.535789e-05,4.534424e-05,4.525677e-05,4.524244e-05,4.516574e-05,4.512085e-05,4.507140e-05,4.499370e-05,4.497399e-05,4.487374e-05,4.486153e-05,4.477088e-05,4.472484e-05,4.466560e-05,4.458409e-05,4.455810e-05,4.444856e-05,4.443971e-05,4.433715e-05,4.429210e-05,4.422404e-05,4.414164e-05,4.410939e-05,4.399333e-05,4.398866e-05,4.387601e-05,4.383349e-05,4.375755e-05,4.367642e-05,4.363809e-05,4.351773e-05,4.335768e-05,4.319651e-05,4.303443e-05,4.287166e-05,4.270837e-05,4.254475e-05,4.238097e-05,4.221717e-05,4.205350e-05,4.189008e-05,4.172704e-05,4.156448e-05,4.140252e-05,4.124125e-05,4.108075e-05,4.092111e-05,4.076240e-05,4.060469e-05,4.044805e-05,4.029252e-05,4.013818e-05,3.998505e-05,3.983320e-05,3.968265e-05
0.000000e+00,2.283192e-11,9.997121e-11,8.263173e-10,3.129639e-09,5.639618e-09,1.915785e-08,1.999569e-08,5.038870e-08,6.267945e-08,1.034697e-07,1.489601e-07,1.858536e-07,2.932451e-07,3.041942e-07,4.652561e-07,5.110223e-07,6.757777e-07,8.176278e-07,9.419401e-07,1.225879e-06,1.268308e-06,1.656365e-06,1.741212e-06,2.103278e-06,2.356660e-06,2.601747e-06,3.052647e-06,3.141237e-06,3.709938e-06,3.802865e-06,4.296507e-06,4.581434e-06,4.891048e-06,5.366892e-06,5.485418e-06,6.073117e-06,6.142937e-06,6.649027e-06,6.897628e-06,7.209148e-06,7.622341e-06,7.750375e-06,8.270337e-06,8.310958e-06,8.767273e-06,8.959307e-06,9.239947e-06,9.564792e-06,9.687572e-06,1.010974e-05,1.012610e-05,1.050637e-05,1.064294e-05,1.087766e-05,1.111586e-05,1.122402e-05,1.154605e-05,1.184450e-05,1.193516e-05,1.212021e-05,1.228517e-05,1.237413e-05,1.259829e-05,1.260723e-05,1.282052e-05,1.287683e-05,1.301504e-05,1.312316e-05,1.319180e-05,1.333961e-05,1.335182e-05,1.349609e-05,1.352848e-05,1.362557e-05,1.369196e-05,1.374118e-05,1.383215e-05,1.384380e-05,1.393430e-05,1.395101e-05,1.401347e-05,1.405042e-05,1.408208e-05,1.413207e-05,1.414084e-05,1.419045e-05,1.419759e-05,1.423155e-05,1.424843e-05,1.426474e-05,1.428598e-05,1.429059e-05,1.430964e-05,1.431149e-05,1.432238e-05,1.432611e-05,1.432928e-05,1.433090e-05,1.433079e-05,1.432730e-05,1.432682e-05,1.431921e-05,1.431477e-05,1.430688e-05,1.429555e-05,1.429063e-05,1.427078e-05,1.426991e-05,1.424762e-05,1.423852e-05,1.422142e-05,1.420200e-05,1.419244e-05,1.416092e-05,1.412706e-05,1.411578e-05,1.409109e-05,1.406705e-05,1.405320e-05,1.401517e-05,1.401355e-05,1.397232e-05,1.396052e-05,1.392967e-05,1.390346e-05,1.388574e-05,1.384430e-05,1.384066e-05,1.379455e-05,1.378335e-05,1.374755e-05,1.372087e-05,1.369975e-05,1.365710e-05,1.365125e-05,1.360216e-05,1.359227e-05,1.355255e-05,1.352658e-05,1.350252e-05,1.346021e-05,1.345213e-05,1.340145e-05,1.339332e-05,1.335056e-05,1.332607e-05,1.329951e-05,1.325860e-05,1.324836e-05,1.319716e-05,1.319102e-05,1.314596e-05,1.312345e-05,1.309481e-05,1.305599e-05,1.304374e-05,1.299280e-05,1.298873e-05,1.294201e-05,1.292175e-05,1.289142e-05,1.285514e-05,1.284106e-05,1.279095e-05,1.278895e-05,1.274111e-05,1.272325e-05,1.269158e-05,1.265808e-05,1.264237e-05,1.259350e-05,1.252956e-05,1.246627e-05,1.240369e-05,1.234184e-05,1.228074e-05,1.222042e-05,1.216090e-05,1.210219e-05,1.204430e-05,1.198725e-05,1.193105e-05,1.187570e-05,1.182120e-05,1.176757e-05,1.171480e-05,1.166290e-05,1.161185e-05,1.156167e-05,1.151235e-05,1.146388e-05,1.141627e-05,1.136950e-05,1.132356e-05,1.127846e-05
0.000000e+00,4.531331e-10,1.742488e-09,1.145855e-08,3.673867e-08,6.129700e-08,1.774562e-07,1.842065e-07,4.146112e-07,5.031646e-07,7.880379e-07,1.096643e-06,1.343096e-06,2.050157e-06,2.121650e-06,3.162694e-06,3.454556e-06,4.487344e-06,5.351009e-06,6.087205e-06,7.698801e-06,7.931890e-06,9.985764e-06,1.041876e-05,1.221717e-05,1.343862e-05,1.459929e-05,1.669926e-05,1.710828e-05,1.972149e-05,2.014778e-05,2.241661e-05,2.373285e-05,2.517150e-05,2.740373e-05,2.796430e-05,3.077381e-05,3.111111e-05,3.357989e-05,3.480859e-05,3.636380e-05,3.845418e-05,3.910848e-05,4.179880e-05,4.201127e-05,4.442162e-05,4.544929e-05,4.696583e-05,4.874379e-05,4.942230e-05,5.178374e-05,5.187614e-05,5.404459e-05,5.483307e-05,5.620090e-05,5.760612e-05,5.825010e-05,6.019084e-05,6.202284e-05,6.258620e-05,6.374673e-05,6.479387e-05,6.536385e-05,6.681766e-05,6.687618e-05,6.828617e-05,6.866301e-05,6.959668e-05,7.033653e-05,7.081085e-05,7.184567e-05,7.193202e-05,7.296370e-05,7.319839e-05,7.390950e-05,7.440299e-05,7.477306e-05,7.546790e-05,7.555807e-05,7.626817e-05,7.640152e-05,7.690696e-05,7.721211e-05,7.747793e-05,7.790766e-05,7.798453e-05,7.843011e-05,7.849595e-05,7.881792e-05,7.898448e-05,7.915111e-05,7.938038e-05,7.943271e-05,7.966562e-05,7.969043e-05,7.985265e-05,7.992111e-05,7.999651e-05,8.007855e-05,8.009976e-05,8.016486e-05,8.016849e-05,8.019418e-05,8.019640e-05,8.018997e-05,8.016738e-05,8.015437e-05,8.008942e-05,8.008624e-05,7.999708e-05,7.995749e-05,7.987919e-05,7.978534e-05,7.973752e-05,7.957373e-05,7.938942e-05,7.932636e-05,7.918609e-05,7.904665e-05,7.896518e-05,7.873782e-05,7.872804e-05,7.847594e-05,7.840284e-05,7.821011e-05,7.804450e-05,7.793170e-05,7.766537e-05,7.764178e-05,7.734139e-05,7.726785e-05,7.703150e-05,7.685415e-05,7.671302e-05,7.642634e-05,7.638681e-05,7.605370e-05,7.598631e-05,7.571444e-05,7.553583e-05,7.536975e-05,7.507653e-05,7.502033e-05,7.466680e-05,7.460989e-05,7.430977e-05,7.413731e-05,7.394980e-05,7.366006e-05,7.358742e-05,7.322313e-05,7.317930e-05,7.285739e-05,7.269612e-05,7.249064e-05,7.221148e-05,7.212328e-05,7.175569e-05,7.172629e-05,7.138824e-05,7.124137e-05,7.102125e-05,7.075747e-05,7.065502e-05,7.028985e-05,7.027527e-05,6.992601e-05,6.979539e-05,6.956373e-05,6.931839e-05,6.920324e-05,6.884477e-05,6.837499e-05,6.790945e-05,6.744853e-05,6.699254e-05,6.654178e-05,6.609650e-05,6.565691e-05,6.522322e-05,6.479559e-05,6.437415e-05,6.395903e-05,6.355032e-05,6.314810e-05,6.275242e-05,6.236334e-05,6.198087e-05,6.160504e-05,6.123585e-05,6.087328e-05,6.051731e-05,6.016792e-05,5.982507e-05,5.948871e-05,5.915880e-05
0.000000e+00,6.766309e-10,2.060466e-09,9.664752e-09,2.537927e-08,3.900030e-08,9.651104e-08,9.966795e-08,2.017891e-07,2.391501e-07,3.552043e-07,4.760275e-07,5.699266e-07,8.303561e-07,8.561092e-07,1.222712e-06,1.323303e-06,1.674064e-06,1.962731e-06,2.206235e-06,2.732471e-06,2.807876e-06,3.465160e-06,3.602148e-06,4.165483e-06,4.543086e-06,4.898291e-06,5.532349e-06,5.654599e-06,6.426397e-06,6.550822e-06,7.206302e-06,7.581493e-06,7.987414e-06,8.608836e-06,8.763305e-06,9.528081e-06,9.618849e-06,1.027645e-05,1.059933e-05,1.100381e-05,1.154009e-05,1.170621e-05,1.238043e-05,1.243307e-05,1.302399e-05,1.327238e-05,1.363502e-05,1.405412e-05,1.421232e-05,1.475521e-05,1.477621e-05,1.526352e-05,1.543808e-05,1.573749e-05,1.604045e-05,1.617769e-05,1.658499e-05,1.696047e-05,1.707410e-05,1.730537e-05,1.751068e-05,1.762106e-05,1.789797e-05,1.790897e-05,1.817059e-05,1.823934e-05,1.840743e-05,1.853825e-05,1.862097e-05,1.879811e-05,1.881268e-05,1.898397e-05,1.902219e-05,1.913620e-05,1.921362e-05,1.927070e-05,1.937537e-05,1.938870e-05,1.949139e-05,1.951019e-05,1.957988e-05,1.962064e-05,1.965522e-05,1.970906e-05,1.971838e-05,1.977030e-05,1.977762e-05,1.981181e-05,1.982829e-05,1.984373e-05,1.986286e-05,1.986680e-05,1.988170e-05,1.988297e-05,1.988908e-05,1.989010e-05,1.988953e-05,1.988558e-05,1.988361e-05,1.987182e-05,1.987064e-05,1.985464e-05,1.984636e-05,1.983251e-05,1.981374e-05,1.980584e-05,1.977500e-05,1.977368e-05,1.974034e-05,1.972699e-05,1.970219e-05,1.967440e-05,1.966084e-05,1.961657e-05,1.956965e-05,1.955411e-05,1.952030e-05,1.948755e-05,1.946875e-05,1.941739e-05,1.941521e-05,1.935986e-05,1.934407e-05,1.930289e-05,1.926799e-05,1.924445e-05,1.918953e-05,1.918470e-05,1.912379e-05,1.910901e-05,1.906183e-05,1.902672e-05,1.899896e-05,1.894296e-05,1.893528e-05,1.887091e-05,1.885796e-05,1.880594e-05,1.877194e-05,1.874046e-05,1.868512e-05,1.867455e-05,1.860831e-05,1.859768e-05,1.854179e-05,1.850979e-05,1.847507e-05,1.842159e-05,1.840821e-05,1.834128e-05,1.833324e-05,1.827431e-05,1.824485e-05,1.820737e-05,1.815655e-05,1.814051e-05,1.807376e-05,1.806843e-05,1.800717e-05,1.798059e-05,1.794078e-05,1.789312e-05,1.787462e-05,1.780872e-05,1.780609e-05,1.774312e-05,1.771957e-05,1.767783e-05,1.763364e-05,1.761290e-05,1.754834e-05,1.746372e-05,1.737984e-05,1.729673e-05,1.721443e-05,1.713297e-05,1.705239e-05,1.697270e-05,1.689394e-05,1.681612e-05,1.673925e-05,1.666336e-05,1.658845e-05,1.651454e-05,1.644163e-05,1.636972e-05,1.629883e-05,1.622896e-05,1.616010e-05,1.609226e-05,1.602544e-05,1.595963e-05,1.589484e-05,1.583106e-05,1.576828e-05
0.000000e+00,1.881571e-09,4.787322e-09,1.838166e-08,4.400519e-08,6.543762e-08,1.537745e-07,1.585868e-07,3.143726e-07,3.717225e-07,5.517578e-07,7.424393e-07,8.928472e-07,1.318705e-06,1.361399e-06,1.976654e-06,2.147074e-06,2.743098e-06,3.233372e-06,3.645698e-06,4.531535e-06,4.657852e-06,5.752748e-06,5.979635e-06,6.908508e-06,7.527787e-06,8.108222e-06,9.140050e-06,9.338456e-06,1.058796e-05,1.078900e-05,1.184689e-05,1.245188e-05,1.310637e-05,1.410891e-05,1.435835e-05,1.559560e-05,1.574277e-05,1.681168e-05,1.733856e-05,1.800093e-05,1.888385e-05,1.915857e-05,2.028063e-05,2.036876e-05,2.136393e-05,2.178583e-05,2.240604e-05,2.312986e-05,2.340522e-05,2.436034e-05,2.439762e-05,2.527080e-05,2.558760e-05,2.613649e-05,2.669970e-05,2.695767e-05,2.773493e-05,2.846913e-05,2.869514e-05,2.916133e-05,2.958285e-05,2.981274e-05,3.040098e-05,3.042472e-05,3.099871e-05,3.115282e-05,3.153619e-05,3.184179e-05,3.203869e-05,3.247139e-05,3.250772e-05,3.294481e-05,3.304512e-05,3.335144e-05,3.356641e-05,3.372910e-05,3.403860e-05,3.407920e-05,3.440314e-05,3.446491e-05,3.470225e-05,3.484841e-05,3.497783e-05,3.519202e-05,3.523110e-05,3.546325e-05,3.549852e-05,3.567543e-05,3.577050e-05,3.586871e-05,3.601042e-05,3.604412e-05,3.620266e-05,3.622059e-05,3.634524e-05,3.640316e-05,3.647277e-05,3.656015e-05,3.658609e-05,3.668600e-05,3.669343e-05,3.677325e-05,3.680478e-05,3.684858e-05,3.689581e-05,3.691266e-05,3.696615e-05,3.696807e-05,3.700965e-05,3.702298e-05,3.704375e-05,3.706186e-05,3.706901e-05,3.708593e-05,3.709502e-05,3.709636e-05,3.709675e-05,3.709420e-05,3.709156e-05,3.708045e-05,3.707986e-05,3.706205e-05,3.705603e-05,3.703852e-05,3.702180e-05,3.700961e-05,3.697855e-05,3.697566e-05,3.693699e-05,3.692704e-05,3.689391e-05,3.686796e-05,3.684669e-05,3.680193e-05,3.679561e-05,3.674092e-05,3.672957e-05,3.668287e-05,3.665143e-05,3.662168e-05,3.656802e-05,3.655757e-05,3.649075e-05,3.647982e-05,3.642141e-05,3.638729e-05,3.634974e-05,3.629083e-05,3.627590e-05,3.620007e-05,3.619084e-05,3.612239e-05,3.608767e-05,3.604302e-05,3.598165e-05,3.596210e-05,3.587975e-05,3.587311e-05,3.579611e-05,3.576232e-05,3.571129e-05,3.564956e-05,3.562541e-05,3.553857e-05,3.553508e-05,3.545087e-05,3.541910e-05,3.536240e-05,3.530185e-05,3.527326e-05,3.518353e-05,3.506433e-05,3.494440e-05,3.482393e-05,3.470305e-05,3.458191e-05,3.446063e-05,3.433934e-05,3.421813e-05,3.409713e-05,3.397642e-05,3.385608e-05,3.373621e-05,3.361687e-05,3.349814e-05,3.338007e-05,3.326273e-05,3.314617e-05,3.303044e-05,3.291558e-05,3.280164e-05,3.268865e-05,3.257665e-05,3.246566e-05,3.235572e-05
0.000000e+00,3.345131e-12,1.697859e-11,1.883207e-10,9.192796e-10,1.893387e-09,8.922643e-09,9.432714e-09,3.208414e-08,4.313380e-08,8.597520e-08,1.432036e-07,1.958903e-07,3.763970e-07,3.968330e-07,7.344023e-07,8.416315e-07,1.262621e-06,1.663215e-06,2.039159e-06,2.972206e-06,3.119596e-06,4.552466e-06,4.884894e-06,6.375871e-06,7.487483e-06,8.615705e-06,1.082900e-05,1.128516e-05,1.438514e-05,1.492054e-05,1.790522e-05,1.973842e-05,2.182495e-05,2.522924e-05,2.611532e-05,3.074028e-05,3.131583e-05,3.565824e-05,3.790331e-05,4.082357e-05,4.488503e-05,4.618801e-05,5.170197e-05,5.214806e-05,5.731577e-05,5.957826e-05,6.298065e-05,6.706462e-05,6.864980e-05,7.427910e-05,7.450285e-05,7.982777e-05,8.179831e-05,8.525887e-05,8.886795e-05,9.053962e-05,9.564160e-05,1.005408e-04,1.020625e-04,1.052177e-04,1.080870e-04,1.096569e-04,1.136843e-04,1.138470e-04,1.177804e-04,1.188351e-04,1.214528e-04,1.235304e-04,1.248632e-04,1.277704e-04,1.280129e-04,1.309059e-04,1.315627e-04,1.335481e-04,1.349209e-04,1.359469e-04,1.378634e-04,1.381110e-04,1.400502e-04,1.404120e-04,1.417751e-04,1.425910e-04,1.432966e-04,1.444258e-04,1.446261e-04,1.457751e-04,1.459429e-04,1.467548e-04,1.471683e-04,1.475766e-04,1.481276e-04,1.482513e-04,1.487897e-04,1.488456e-04,1.492018e-04,1.493457e-04,1.494975e-04,1.496501e-04,1.496861e-04,1.497762e-04,1.497794e-04,1.497762e-04,1.497527e-04,1.496937e-04,1.495874e-04,1.495361e-04,1.493099e-04,1.492996e-04,1.490216e-04,1.489037e-04,1.486768e-04,1.484128e-04,1.482809e-04,1.478389e-04,1.473554e-04,1.471926e-04,1.468345e-04,1.464833e-04,1.462801e-04,1.457196e-04,1.456957e-04,1.450846e-04,1.449091e-04,1.444498e-04,1.440587e-04,1.437940e-04,1.431743e-04,1.431197e-04,1.424292e-04,1.422613e-04,1.417245e-04,1.413245e-04,1.410077e-04,1.403682e-04,1.402804e-04,1.395443e-04,1.393961e-04,1.388008e-04,1.384117e-04,1.380512e-04,1.374179e-04,1.372969e-04,1.365389e-04,1.364173e-04,1.357782e-04,1.354125e-04,1.350159e-04,1.344054e-04,1.342527e-04,1.334895e-04,1.333979e-04,1.327269e-04,1.323917e-04,1.319656e-04,1.313883e-04,1.312063e-04,1.304494e-04,1.303890e-04,1.296956e-04,1.293950e-04,1.289451e-04,1.284072e-04,1.281986e-04,1.274562e-04,1.274266e-04,1.267185e-04,1.264541e-04,1.259857e-04,1.254903e-04,1.252581e-04,1.245359e-04,1.235913e-04,1.226572e-04,1.217339e-04,1.208218e-04,1.199211e-04,1.190322e-04,1.181552e-04,1.172904e-04,1.164379e-04,1.155977e-04,1.147701e-04,1.139550e-04,1.131525e-04,1.123626e-04,1.115852e-04,1.108204e-04,1.100682e-04,1.093283e-04,1.086009e-04,1.078858e-04,1.071829e-04,1.064921e-04,1.058133e-04,1.051464e-04
0.000000e+00,5.821001e-12,2.631943e-11,2.313458e-10,9.212896e-10,1.702559e-09,6.127919e-09,6.409596e-09,1.693233e-08,2.130042e-08,3.606696e-08,5.285135e-08,6.661969e-08,1.071662e-07,1.113264e-07,1.728254e-07,1.903660e-07,2.536230e-07,3.081646e-07,3.560041e-07,4.654619e-07,4.818500e-07,6.323535e-07,6.654500e-07,8.076958e-07,9.083938e-07,1.006836e-06,1.190911e-06,1.227557e-06,1.466783e-06,1.506544e-06,1.721015e-06,1.847332e-06,1.986720e-06,2.205305e-06,2.260581e-06,2.539616e-06,2.573320e-06,2.821206e-06,2.945316e-06,3.103075e-06,3.316265e-06,3.383263e-06,3.660090e-06,3.682047e-06,3.932132e-06,4.039333e-06,4.198192e-06,4.385492e-06,4.457287e-06,4.708623e-06,4.718506e-06,4.951579e-06,5.036897e-06,5.185688e-06,5.339655e-06,5.410619e-06,5.626163e-06,5.832211e-06,5.896135e-06,6.028742e-06,6.149549e-06,6.215809e-06,6.386595e-06,6.393526e-06,6.562054e-06,6.607622e-06,6.721595e-06,6.813102e-06,6.872382e-06,7.003593e-06,7.014669e-06,7.148729e-06,7.179711e-06,7.274845e-06,7.342109e-06,7.393308e-06,7.491459e-06,7.504413e-06,7.608455e-06,7.628441e-06,7.705726e-06,7.753729e-06,7.796518e-06,7.867984e-06,7.881115e-06,7.959795e-06,7.971853e-06,8.032830e-06,8.065959e-06,8.100483e-06,8.150903e-06,8.163010e-06,8.220658e-06,8.227259e-06,8.273665e-06,8.295577e-06,8.322260e-06,8.356378e-06,8.366665e-06,8.407091e-06,8.410159e-06,8.443741e-06,8.457389e-06,8.476812e-06,8.498512e-06,8.506490e-06,8.532953e-06,8.533947e-06,8.556374e-06,8.564092e-06,8.576914e-06,8.589318e-06,8.594732e-06,8.609976e-06,8.622789e-06,8.626398e-06,8.633306e-06,8.638892e-06,8.641657e-06,8.647752e-06,8.647967e-06,8.652352e-06,8.653251e-06,8.654926e-06,8.655645e-06,8.655794e-06,8.655175e-06,8.655060e-06,8.652819e-06,8.652067e-06,8.649164e-06,8.646533e-06,8.644183e-06,8.638770e-06,8.637960e-06,8.630573e-06,8.628963e-06,8.622099e-06,8.617286e-06,8.612608e-06,8.603901e-06,8.602170e-06,8.590849e-06,8.588959e-06,8.578706e-06,8.572603e-06,8.565800e-06,8.554963e-06,8.552186e-06,8.537917e-06,8.536163e-06,8.523043e-06,8.516319e-06,8.507611e-06,8.495537e-06,8.491666e-06,8.475250e-06,8.473918e-06,8.458405e-06,8.451555e-06,8.441167e-06,8.428534e-06,8.423574e-06,8.405660e-06,8.404937e-06,8.387456e-06,8.380838e-06,8.368994e-06,8.356308e-06,8.350303e-06,8.331410e-06,8.306206e-06,8.280752e-06,8.255098e-06,8.229293e-06,8.203381e-06,8.177404e-06,8.151399e-06,8.125401e-06,8.099443e-06,8.073553e-06,8.047760e-06,8.022088e-06,7.996560e-06,7.971197e-06,7.946019e-06,7.921043e-06,7.896284e-06,7.871757e-06,7.847474e-06,7.823448e-06,7.799689e-06,7.776205e-06,7.753006e-06,7.730098e-06
0.000000e+00,1.993717e-12,9.998818e-12,1.081302e-10,5.153892e-10,1.047271e-09,4.757549e-09,5.021702e-09,1.641375e-08,2.181389e-08,4.217632e-08,6.842893e-08,9.194229e-08,1.693976e-07,1.779405e-07,3.147310e-07,3.569056e-07,5.186113e-07,6.684175e-07,8.065153e-07,1.142191e-06,1.194520e-06,1.696388e-06,1.811407e-06,2.322516e-06,2.699531e-06,3.079417e-06,3.818260e-06,3.969651e-06,4.992052e-06,5.167643e-06,6.142124e-06,6.737445e-06,7.412512e-06,8.508970e-06,8.793473e-06,1.027335e-05,1.045697e-05,1.183900e-05,1.255143e-05,1.347623e-05,1.475925e-05,1.517015e-05,1.690560e-05,1.704577e-05,1.866742e-05,1.937619e-05,2.044080e-05,2.171679e-05,2.221155e-05,2.396634e-05,2.403602e-05,2.569288e-05,2.630534e-05,2.738007e-05,2.849983e-05,2.901812e-05,3.059860e-05,3.211447e-05,3.258494e-05,3.356006e-05,3.444628e-05,3.493100e-05,3.617397e-05,3.622418e-05,3.743764e-05,3.776298e-05,3.857048e-05,3.921146e-05,3.962272e-05,4.052029e-05,4.059518e-05,4.148941e-05,4.169260e-05,4.230749e-05,4.273330e-05,4.305200e-05,4.364864e-05,4.372588e-05,4.433232e-05,4.444581e-05,4.487472e-05,4.513262e-05,4.535659e-05,4.571719e-05,4.578150e-05,4.615299e-05,4.620771e-05,4.647459e-05,4.661225e-05,4.674972e-05,4.693861e-05,4.698172e-05,4.717376e-05,4.719427e-05,4.732891e-05,4.738624e-05,4.745006e-05,4.752108e-05,4.753994e-05,4.760112e-05,4.760484e-05,4.763600e-05,4.764309e-05,4.764682e-05,4.764089e-05,4.763566e-05,4.760447e-05,4.760283e-05,4.755503e-05,4.753309e-05,4.748899e-05,4.743539e-05,4.740788e-05,4.731310e-05,4.720593e-05,4.716922e-05,4.708757e-05,4.700645e-05,4.695910e-05,4.682719e-05,4.682152e-05,4.667575e-05,4.663358e-05,4.652262e-05,4.642754e-05,4.636291e-05,4.621077e-05,4.619732e-05,4.602650e-05,4.598478e-05,4.585103e-05,4.575094e-05,4.567146e-05,4.551045e-05,4.548830e-05,4.530200e-05,4.526440e-05,4.511297e-05,4.501373e-05,4.492161e-05,4.475932e-05,4.472827e-05,4.453327e-05,4.450193e-05,4.433691e-05,4.424226e-05,4.413947e-05,4.398090e-05,4.394119e-05,4.374232e-05,4.371843e-05,4.354307e-05,4.345532e-05,4.334362e-05,4.319203e-05,4.314417e-05,4.294487e-05,4.292894e-05,4.274589e-05,4.266642e-05,4.254737e-05,4.240478e-05,4.234943e-05,4.215219e-05,4.214431e-05,4.195576e-05,4.188527e-05,4.176025e-05,4.162787e-05,4.156574e-05,4.137233e-05,4.111882e-05,4.086752e-05,4.061855e-05,4.037205e-05,4.012814e-05,3.988690e-05,3.964842e-05,3.941279e-05,3.918006e-05,3.895029e-05,3.872352e-05,3.849980e-05,3.827915e-05,3.806159e-05,3.784715e-05,3.763583e-05,3.742764e-05,3.722260e-05,3.702068e-05,3.682189e-05,3.662623e-05,3.643366e-05,3.624420e-05,3.605780e-05
0.000000e+00,1.455633e-09,3.535758e-09,1.293012e-08,3.037423e-08,4.498734e-08,1.064101e-07,1.098219e-07,2.240413e-07,2.678108e-07,4.099502e-07,5.653627e-07,6.888353e-07,1.029309e-06,1.062208e-06,1.507825e-06,1.622577e-06,2.000763e-06,2.291104e-06,2.524811e-06,3.004252e-06,3.070701e-06,3.632618e-06,3.746522e-06,4.206113e-06,4.507571e-06,4.787172e-06,5.278206e-06,5.371829e-06,5.956106e-06,6.049290e-06,6.536078e-06,6.811830e-06,7.108013e-06,7.557449e-06,7.668470e-06,8.214406e-06,8.278815e-06,8.743232e-06,8.969936e-06,9.252847e-06,9.626299e-06,9.741643e-06,1.020848e-05,1.024486e-05,1.065266e-05,1.082391e-05,1.107387e-05,1.136291e-05,1.147211e-05,1.184770e-05,1.186226e-05,1.220114e-05,1.232309e-05,1.253314e-05,1.274706e-05,1.284451e-05,1.313617e-05,1.340909e-05,1.349263e-05,1.366427e-05,1.381874e-05,1.390272e-05,1.411681e-05,1.412543e-05,1.433339e-05,1.438910e-05,1.452752e-05,1.463774e-05,1.470873e-05,1.486477e-05,1.487788e-05,1.503576e-05,1.507206e-05,1.518313e-05,1.526134e-05,1.532071e-05,1.543420e-05,1.544915e-05,1.556907e-05,1.559208e-05,1.568104e-05,1.573630e-05,1.578558e-05,1.586802e-05,1.588319e-05,1.597432e-05,1.598832e-05,1.605938e-05,1.609817e-05,1.613876e-05,1.619842e-05,1.621282e-05,1.628189e-05,1.628986e-05,1.634628e-05,1.637319e-05,1.640626e-05,1.644906e-05,1.646209e-05,1.651403e-05,1.651802e-05,1.656228e-05,1.658060e-05,1.660707e-05,1.663728e-05,1.664858e-05,1.668699e-05,1.668847e-05,1.672248e-05,1.673456e-05,1.675519e-05,1.677592e-05,1.678527e-05,1.681286e-05,1.683808e-05,1.684568e-05,1.686106e-05,1.687465e-05,1.688191e-05,1.690001e-05,1.690073e-05,1.691761e-05,1.692201e-05,1.693266e-05,1.694085e-05,1.694596e-05,1.695672e-05,1.695759e-05,1.696763e-05,1.696982e-05,1.697616e-05,1.698030e-05,1.698324e-05,1.698832e-05,1.698894e-05,1.699332e-05,1.699404e-05,1.699644e-05,1.699758e-05,1.699835e-05,1.699908e-05,1.699913e-05,1.699880e-05,1.699865e-05,1.699742e-05,1.699640e-05,1.699505e-05,1.699245e-05,1.699171e-05,1.698746e-05,1.698689e-05,1.698233e-05,1.697981e-05,1.697637e-05,1.697130e-05,1.696961e-05,1.696208e-05,1.696145e-05,1.695383e-05,1.695033e-05,1.694487e-05,1.693801e-05,1.693525e-05,1.692499e-05,1.692457e-05,1.691412e-05,1.691007e-05,1.690268e-05,1.689457e-05,1.689067e-05,1.687814e-05,1.686083e-05,1.684269e-05,1.682378e-05,1.680414e-05,1.678382e-05,1.676286e-05,1.674131e-05,1.671920e-05,1.669658e-05,1.667347e-05,1.664992e-05,1.662595e-05,1.660160e-05,1.657689e-05,1.655186e-05,1.652653e-05,1.650093e-05,1.647508e-05,1.644901e-05,1.642273e-05,1.639627e-05,1.636966e-05,1.634290e-05,1.631602e-05
0.000000e+00,5.739738e-09,1.320300e-08,4.563848e-08,1.041556e-07,1.522056e-07,3.470891e-07,3.576235e-07,6.963784e-07,8.203252e-07,1.207629e-06,1.615134e-06,1.934428e-06,2.825520e-06,2.913644e-06,4.157334e-06,4.493628e-06,5.647706e-06,6.578560e-06,7.353859e-06,9.010392e-06,9.246511e-06,1.130126e-05,1.172977e-05,1.349700e-05,1.468793e-05,1.581401e-05,1.783989e-05,1.823298e-05,2.073458e-05,2.114122e-05,2.329959e-05,2.454775e-05,2.590914e-05,2.801662e-05,2.854509e-05,3.119036e-05,3.150766e-05,3.382923e-05,3.498458e-05,3.644750e-05,3.841585e-05,3.903267e-05,4.157390e-05,4.177502e-05,4.406207e-05,4.504074e-05,4.648963e-05,4.819649e-05,4.885054e-05,5.114011e-05,5.123015e-05,5.335488e-05,5.413339e-05,5.549245e-05,5.690111e-05,5.755134e-05,5.953080e-05,6.143082e-05,6.202211e-05,6.325188e-05,6.437636e-05,6.499495e-05,6.659614e-05,6.666134e-05,6.825264e-05,6.868499e-05,6.977068e-05,7.064716e-05,7.121745e-05,7.248733e-05,7.259505e-05,7.390566e-05,7.421049e-05,7.515155e-05,7.582181e-05,7.633496e-05,7.732650e-05,7.745819e-05,7.852349e-05,7.872979e-05,7.953309e-05,8.003679e-05,8.048917e-05,8.125250e-05,8.139389e-05,8.224933e-05,8.238177e-05,8.305754e-05,8.342928e-05,8.382048e-05,8.439955e-05,8.454010e-05,8.521823e-05,8.529691e-05,8.585668e-05,8.612547e-05,8.645716e-05,8.688917e-05,8.702135e-05,8.755085e-05,8.759175e-05,8.804719e-05,8.823678e-05,8.851187e-05,8.882764e-05,8.894631e-05,8.935187e-05,8.936751e-05,8.972987e-05,8.985945e-05,9.008157e-05,9.030631e-05,9.040816e-05,9.071082e-05,9.099065e-05,9.107555e-05,9.124871e-05,9.140292e-05,9.148602e-05,9.169522e-05,9.170355e-05,9.190224e-05,9.195462e-05,9.208298e-05,9.218316e-05,9.224662e-05,9.238277e-05,9.239398e-05,9.252584e-05,9.255527e-05,9.264296e-05,9.270237e-05,9.274604e-05,9.282570e-05,9.283578e-05,9.291283e-05,9.292677e-05,9.297781e-05,9.300703e-05,9.303132e-05,9.306783e-05,9.307394e-05,9.310622e-05,9.311046e-05,9.312867e-05,9.313611e-05,9.314180e-05,9.314591e-05,9.314609e-05,9.314199e-05,9.314095e-05,9.312994e-05,9.312223e-05,9.311036e-05,9.309069e-05,9.308365e-05,9.305019e-05,9.304724e-05,9.301035e-05,9.299270e-05,9.296447e-05,9.292789e-05,9.291289e-05,9.285592e-05,9.285353e-05,9.279388e-05,9.277035e-05,9.272704e-05,9.267900e-05,9.265570e-05,9.258011e-05,9.247426e-05,9.236202e-05,9.224389e-05,9.212037e-05,9.199192e-05,9.185897e-05,9.172195e-05,9.158122e-05,9.143715e-05,9.129008e-05,9.114034e-05,9.098821e-05,9.083399e-05,9.067795e-05,9.052032e-05,9.036135e-05,9.020125e-05,9.004023e-05,8.987848e-05,8.971619e-05,8.955353e-05,8.939065e-05,8.922770e-05,8.906483e-05
0.000000e+00,8.616670e-09,1.975481e-08,6.804312e-08,1.552371e-07,2.270833e-07,5.214898e-07,5.375484e-07,1.061598e-06,1.256762e-06,1.875978e-06,2.537794e-06,3.059448e-06,4.508474e-06,4.650402e-06,6.618716e-06,7.140150e-06,8.900188e-06,1.029242e-05,1.143712e-05,1.384705e-05,1.418719e-05,1.711828e-05,1.772376e-05,2.020295e-05,2.185905e-05,2.341525e-05,2.619321e-05,2.672919e-05,3.011845e-05,3.066595e-05,3.355656e-05,3.521650e-05,3.701741e-05,3.978552e-05,4.047587e-05,4.390828e-05,4.431736e-05,4.729281e-05,4.876177e-05,5.061013e-05,5.307583e-05,5.384332e-05,5.697811e-05,5.722427e-05,6.000278e-05,6.117965e-05,6.290802e-05,6.492180e-05,6.568679e-05,6.833418e-05,6.843730e-05,7.084711e-05,7.171852e-05,7.322410e-05,7.476272e-05,7.546509e-05,7.757114e-05,7.954433e-05,8.014812e-05,8.138746e-05,8.250038e-05,8.310397e-05,8.463634e-05,8.469779e-05,8.617316e-05,8.656565e-05,8.753459e-05,8.829869e-05,8.878674e-05,8.984627e-05,8.993434e-05,9.098217e-05,9.121933e-05,9.193496e-05,9.242876e-05,9.279740e-05,9.348525e-05,9.357407e-05,9.426946e-05,9.439916e-05,9.488790e-05,9.518048e-05,9.543360e-05,9.583874e-05,9.591061e-05,9.632282e-05,9.638301e-05,9.667396e-05,9.682186e-05,9.696760e-05,9.716341e-05,9.720716e-05,9.739589e-05,9.741527e-05,9.753691e-05,9.758461e-05,9.763317e-05,9.767812e-05,9.768747e-05,9.770248e-05,9.770206e-05,9.768074e-05,9.766229e-05,9.762464e-05,9.756426e-05,9.753647e-05,9.741838e-05,9.741307e-05,9.727242e-05,9.721342e-05,9.710051e-05,9.696973e-05,9.690449e-05,9.668608e-05,9.644693e-05,9.636627e-05,9.618856e-05,9.601380e-05,9.591244e-05,9.563195e-05,9.561995e-05,9.531239e-05,9.522374e-05,9.499097e-05,9.479196e-05,9.465686e-05,9.433920e-05,9.431114e-05,9.395483e-05,9.386786e-05,9.358892e-05,9.338014e-05,9.321429e-05,9.287810e-05,9.283182e-05,9.244230e-05,9.236362e-05,9.204650e-05,9.183843e-05,9.164512e-05,9.130414e-05,9.123884e-05,9.082828e-05,9.076223e-05,9.041402e-05,9.021404e-05,8.999664e-05,8.966084e-05,8.957666e-05,8.915455e-05,8.910378e-05,8.873079e-05,8.854392e-05,8.830579e-05,8.798222e-05,8.787996e-05,8.745367e-05,8.741955e-05,8.702726e-05,8.685674e-05,8.660106e-05,8.629451e-05,8.617538e-05,8.575051e-05,8.573353e-05,8.532670e-05,8.517443e-05,8.490420e-05,8.461777e-05,8.448325e-05,8.406405e-05,8.351373e-05,8.296723e-05,8.242493e-05,8.188715e-05,8.135419e-05,8.082634e-05,8.030383e-05,7.978686e-05,7.927563e-05,7.877029e-05,7.827099e-05,7.777785e-05,7.729097e-05,7.681044e-05,7.633631e-05,7.586865e-05,7.540751e-05,7.495289e-05,7.450484e-05,7.406335e-05,7.362842e-05,7.320005e-05,7.277821e-05,7.236288e-05
0.000000e+00,2.272338e-11,1.066465e-10,1.008191e-09,4.267785e-09,8.139065e-09,3.157413e-08,3.312024e-08,9.345890e-08,1.195511e-07,2.107131e-07,3.184059e-07,4.091955e-07,6.862227e-07,7.153239e-07,1.156698e-06,1.285732e-06,1.759205e-06,2.174496e-06,2.541803e-06,3.385818e-06,3.512133e-06,4.666286e-06,4.918202e-06,5.992086e-06,6.743958e-06,7.473097e-06,8.824074e-06,9.091518e-06,1.082959e-05,1.111762e-05,1.266999e-05,1.358475e-05,1.459577e-05,1.618661e-05,1.659018e-05,1.863652e-05,1.888479e-05,2.071827e-05,2.164124e-05,2.281914e-05,2.441886e-05,2.492335e-05,2.701587e-05,2.718234e-05,2.908265e-05,2.989923e-05,3.111082e-05,3.254069e-05,3.308888e-05,3.500678e-05,3.508212e-05,3.685597e-05,3.750345e-05,3.862941e-05,3.978917e-05,4.032151e-05,4.192810e-05,4.344626e-05,4.391309e-05,4.487427e-05,4.574052e-05,4.621142e-05,4.740979e-05,4.745792e-05,4.861474e-05,4.892279e-05,4.968353e-05,5.028343e-05,5.066645e-05,5.149712e-05,5.156610e-05,5.238541e-05,5.257044e-05,5.312757e-05,5.351072e-05,5.379593e-05,5.432578e-05,5.439395e-05,5.492516e-05,5.502369e-05,5.539308e-05,5.561257e-05,5.580124e-05,5.610044e-05,5.615309e-05,5.645200e-05,5.649513e-05,5.670124e-05,5.680418e-05,5.690400e-05,5.703477e-05,5.706329e-05,5.718206e-05,5.719372e-05,5.726307e-05,5.728745e-05,5.730900e-05,5.732200e-05,5.732237e-05,5.730558e-05,5.730300e-05,5.726089e-05,5.723568e-05,5.719043e-05,5.712488e-05,5.709621e-05,5.698012e-05,5.697505e-05,5.684394e-05,5.679032e-05,5.668934e-05,5.657450e-05,5.651789e-05,5.633108e-05,5.613027e-05,5.606326e-05,5.591675e-05,5.577398e-05,5.569172e-05,5.546590e-05,5.545630e-05,5.521156e-05,5.514149e-05,5.495847e-05,5.480299e-05,5.469795e-05,5.445244e-05,5.443085e-05,5.415797e-05,5.409170e-05,5.388004e-05,5.372245e-05,5.359775e-05,5.334623e-05,5.331173e-05,5.302258e-05,5.296442e-05,5.273085e-05,5.257831e-05,5.243706e-05,5.218902e-05,5.214167e-05,5.184513e-05,5.179760e-05,5.154783e-05,5.140498e-05,5.125016e-05,5.101199e-05,5.095246e-05,5.065504e-05,5.061938e-05,5.035820e-05,5.022785e-05,5.006221e-05,4.983798e-05,4.976732e-05,4.947374e-05,4.945032e-05,4.918171e-05,4.906536e-05,4.889139e-05,4.868352e-05,4.860297e-05,4.831660e-05,4.830519e-05,4.803242e-05,4.793068e-05,4.775058e-05,4.756031e-05,4.747117e-05,4.719431e-05,4.683292e-05,4.647632e-05,4.612467e-05,4.577810e-05,4.543674e-05,4.510067e-05,4.476996e-05,4.444467e-05,4.412483e-05,4.381047e-05,4.350160e-05,4.319821e-05,4.290031e-05,4.260787e-05,4.232086e-05,4.203925e-05,4.176300e-05,4.149205e-05,4.122636e-05,4.096587e-05,4.071051e-05,4.046022e-05,4.021493e-05,3.997457e-05
0.000000e+00,5.668327e-09,1.311238e-08,4.565119e-08,1.046467e-07,1.532330e-07,3.509864e-07,3.616977e-07,7.068764e-07,8.334506e-07,1.229763e-06,1.648161e-06,1.977230e-06,2.903021e-06,2.995245e-06,4.310178e-06,4.669828e-06,5.915677e-06,6.932163e-06,7.785815e-06,9.629374e-06,9.894235e-06,1.222037e-05,1.271024e-05,1.474791e-05,1.613699e-05,1.746232e-05,1.987616e-05,2.034898e-05,2.339240e-05,2.389280e-05,2.657587e-05,2.814846e-05,2.988148e-05,3.260130e-05,3.329043e-05,3.678331e-05,3.720716e-05,4.034052e-05,4.192105e-05,4.394265e-05,4.669868e-05,4.757083e-05,5.120702e-05,5.149775e-05,5.483435e-05,5.627927e-05,5.843726e-05,6.100821e-05,6.200156e-05,6.551454e-05,6.565382e-05,6.896500e-05,7.018995e-05,7.234323e-05,7.459486e-05,7.564091e-05,7.885107e-05,8.196802e-05,8.294498e-05,8.498720e-05,8.686651e-05,8.790511e-05,9.060864e-05,9.071919e-05,9.342771e-05,9.416703e-05,9.602968e-05,9.753956e-05,9.852476e-05,1.007260e-04,1.009132e-04,1.031955e-04,1.037277e-04,1.053730e-04,1.065471e-04,1.074470e-04,1.091879e-04,1.094193e-04,1.112917e-04,1.116544e-04,1.130664e-04,1.139514e-04,1.147457e-04,1.160843e-04,1.163320e-04,1.178277e-04,1.180588e-04,1.192355e-04,1.198808e-04,1.205580e-04,1.215562e-04,1.217976e-04,1.229571e-04,1.230910e-04,1.240391e-04,1.244913e-04,1.250463e-04,1.257631e-04,1.259810e-04,1.268461e-04,1.269123e-04,1.276438e-04,1.279447e-04,1.283768e-04,1.288658e-04,1.290475e-04,1.296581e-04,1.296813e-04,1.302112e-04,1.303966e-04,1.307088e-04,1.310167e-04,1.311533e-04,1.315468e-04,1.318915e-04,1.319918e-04,1.321893e-04,1.323562e-04,1.324422e-04,1.326446e-04,1.326522e-04,1.328211e-04,1.328613e-04,1.329509e-04,1.330106e-04,1.330431e-04,1.330963e-04,1.330996e-04,1.331219e-04,1.331224e-04,1.331118e-04,1.330924e-04,1.330706e-04,1.330100e-04,1.330000e-04,1.329013e-04,1.328783e-04,1.327760e-04,1.327007e-04,1.326253e-04,1.324802e-04,1.324507e-04,1.322532e-04,1.322196e-04,1.320342e-04,1.319218e-04,1.317949e-04,1.315894e-04,1.315362e-04,1.312593e-04,1.312249e-04,1.309653e-04,1.308307e-04,1.306551e-04,1.304091e-04,1.303297e-04,1.299900e-04,1.299622e-04,1.296369e-04,1.294921e-04,1.292712e-04,1.290007e-04,1.288939e-04,1.285055e-04,1.284898e-04,1.281070e-04,1.279612e-04,1.276990e-04,1.274165e-04,1.272823e-04,1.268574e-04,1.262852e-04,1.257014e-04,1.251072e-04,1.245040e-04,1.238929e-04,1.232750e-04,1.226513e-04,1.220228e-04,1.213905e-04,1.207551e-04,1.201175e-04,1.194785e-04,1.188387e-04,1.181989e-04,1.175596e-04,1.169214e-04,1.162848e-04,1.156504e-04,1.150187e-04,1.143900e-04,1.137647e-04,1.131433e-04,1.125260e-04,1.119132e-04
0.000000e+00,3.518832e-09,8.137693e-09,2.836587e-08,6.519563e-08,9.566240e-08,2.207667e-07,2.275891e-07,4.496317e-07,5.320019e-07,7.926403e-07,1.071543e-06,1.293076e-06,1.924000e-06,1.987335e-06,2.896192e-06,3.145896e-06,4.011171e-06,4.715060e-06,5.303430e-06,6.563116e-06,6.742758e-06,8.305636e-06,8.631409e-06,9.974378e-06,1.087910e-05,1.173457e-05,1.327429e-05,1.357323e-05,1.547791e-05,1.578796e-05,1.743634e-05,1.839193e-05,1.943645e-05,2.105860e-05,2.146644e-05,2.351506e-05,2.376164e-05,2.557170e-05,2.647662e-05,2.762659e-05,2.918166e-05,2.967089e-05,3.169671e-05,3.185776e-05,3.369715e-05,3.448886e-05,3.566628e-05,3.706181e-05,3.759907e-05,3.949134e-05,3.956613e-05,4.133968e-05,4.199378e-05,4.314137e-05,4.433878e-05,4.489431e-05,4.659694e-05,4.824813e-05,4.876553e-05,4.984719e-05,5.084304e-05,5.139374e-05,5.282895e-05,5.288770e-05,5.432923e-05,5.472350e-05,5.571867e-05,5.652754e-05,5.705655e-05,5.824241e-05,5.834351e-05,5.958032e-05,5.986979e-05,6.076783e-05,6.141165e-05,6.190698e-05,6.287019e-05,6.299873e-05,6.404413e-05,6.424774e-05,6.504422e-05,6.554672e-05,6.600009e-05,6.676965e-05,6.691283e-05,6.778356e-05,6.791905e-05,6.861337e-05,6.899748e-05,6.940339e-05,7.000750e-05,7.015472e-05,7.086847e-05,7.095165e-05,7.154572e-05,7.183243e-05,7.218755e-05,7.265231e-05,7.279503e-05,7.336921e-05,7.341374e-05,7.391111e-05,7.411907e-05,7.442176e-05,7.477063e-05,7.490215e-05,7.535325e-05,7.537070e-05,7.577604e-05,7.592149e-05,7.617144e-05,7.642513e-05,7.654037e-05,7.688373e-05,7.720240e-05,7.729930e-05,7.749723e-05,7.767379e-05,7.776905e-05,7.800912e-05,7.801869e-05,7.824694e-05,7.830712e-05,7.845456e-05,7.856955e-05,7.864231e-05,7.879813e-05,7.881093e-05,7.896113e-05,7.899451e-05,7.909360e-05,7.916028e-05,7.920901e-05,7.929698e-05,7.930802e-05,7.939127e-05,7.940608e-05,7.945937e-05,7.948900e-05,7.951293e-05,7.954710e-05,7.955252e-05,7.957872e-05,7.958170e-05,7.959206e-05,7.959406e-05,7.959309e-05,7.958539e-05,7.958231e-05,7.956023e-05,7.955685e-05,7.952733e-05,7.950955e-05,7.948408e-05,7.944457e-05,7.943093e-05,7.936833e-05,7.936292e-05,7.929668e-05,7.926559e-05,7.921642e-05,7.915352e-05,7.912793e-05,7.903161e-05,7.902760e-05,7.892781e-05,7.888869e-05,7.881691e-05,7.873762e-05,7.869925e-05,7.857517e-05,7.840210e-05,7.821911e-05,7.802691e-05,7.782613e-05,7.761741e-05,7.740133e-05,7.717848e-05,7.694938e-05,7.671455e-05,7.647448e-05,7.622964e-05,7.598047e-05,7.572739e-05,7.547081e-05,7.521110e-05,7.494863e-05,7.468374e-05,7.441675e-05,7.414798e-05,7.387771e-05,7.360623e-05,7.333379e-05,7.306064e-05,7.278702e-05
0.000000e+00,1.932971e-10,7.844468e-10,5.658904e-09,1.939007e-08,3.337249e-08,1.034951e-07,1.077078e-07,2.574693e-07,3.175410e-07,5.182714e-07,7.465846e-07,9.356756e-07,1.503700e-06,1.562792e-06,2.444594e-06,2.696474e-06,3.594349e-06,4.347208e-06,4.987544e-06,6.379925e-06,6.580029e-06,8.328079e-06,8.693105e-06,1.019661e-05,1.120674e-05,1.215893e-05,1.386428e-05,1.419403e-05,1.628416e-05,1.662261e-05,1.841345e-05,1.944505e-05,2.056716e-05,2.229836e-05,2.273143e-05,2.489333e-05,2.515202e-05,2.704092e-05,2.797850e-05,2.916338e-05,3.075366e-05,3.125107e-05,3.329564e-05,3.345712e-05,3.528996e-05,3.607226e-05,3.722815e-05,3.858620e-05,3.910549e-05,4.091833e-05,4.098947e-05,4.266399e-05,4.327560e-05,4.434062e-05,4.544072e-05,4.594713e-05,4.748307e-05,4.894852e-05,4.940265e-05,5.034400e-05,5.120080e-05,5.167043e-05,5.287995e-05,5.292901e-05,5.412117e-05,5.444329e-05,5.524853e-05,5.589458e-05,5.631287e-05,5.723799e-05,5.731604e-05,5.825999e-05,5.847795e-05,5.914671e-05,5.961901e-05,5.997819e-05,6.066581e-05,6.075646e-05,6.148352e-05,6.162296e-05,6.216136e-05,6.249505e-05,6.279196e-05,6.328655e-05,6.337722e-05,6.391905e-05,6.400183e-05,6.441928e-05,6.464515e-05,6.487971e-05,6.522058e-05,6.530209e-05,6.568810e-05,6.573206e-05,6.603940e-05,6.618339e-05,6.635757e-05,6.657817e-05,6.664414e-05,6.690061e-05,6.691987e-05,6.712840e-05,6.721179e-05,6.732888e-05,6.745708e-05,6.750340e-05,6.765323e-05,6.765872e-05,6.777959e-05,6.781957e-05,6.788368e-05,6.794232e-05,6.796663e-05,6.802953e-05,6.807343e-05,6.808363e-05,6.809933e-05,6.810691e-05,6.810820e-05,6.810156e-05,6.810097e-05,6.807851e-05,6.806962e-05,6.804169e-05,6.801303e-05,6.799130e-05,6.793364e-05,6.792813e-05,6.785293e-05,6.783317e-05,6.776640e-05,6.771325e-05,6.766922e-05,6.757542e-05,6.756205e-05,6.744551e-05,6.742113e-05,6.732018e-05,6.725174e-05,6.718665e-05,6.706853e-05,6.704544e-05,6.689708e-05,6.687272e-05,6.674207e-05,6.666543e-05,6.658086e-05,6.644773e-05,6.641390e-05,6.624164e-05,6.622063e-05,6.606446e-05,6.598505e-05,6.588277e-05,6.574189e-05,6.569692e-05,6.550728e-05,6.549195e-05,6.531417e-05,6.523603e-05,6.511791e-05,6.497483e-05,6.491881e-05,6.471715e-05,6.470904e-05,6.451321e-05,6.443928e-05,6.430724e-05,6.416616e-05,6.409950e-05,6.389021e-05,6.361195e-05,6.333186e-05,6.305039e-05,6.276795e-05,6.248493e-05,6.220168e-05,6.191854e-05,6.163581e-05,6.135378e-05,6.107271e-05,6.079285e-05,6.051441e-05,6.023760e-05,5.996261e-05,5.968962e-05,5.941877e-05,5.915021e-05,5.888407e-05,5.862048e-05,5.835953e-05,5.810132e-05,5.784594e-05,5.759346e-05,5.734395e-05
0.000000e+00,2.347569e-11,1.207780e-10,1.379644e-09,6.932075e-09,1.452104e-08,7.179002e-08,7.605316e-08,2.733559e-07,3.735777e-07,7.780671e-07,1.346266e-06,1.889528e-06,3.848178e-06,4.077043e-06,7.993164e-06,9.277289e-06,1.444394e-05,1.949806e-05,2.433284e-05,3.662646e-05,3.860086e-05,5.817438e-05,6.280372e-05,8.392402e-05,1.000190e-04,1.166338e-04,1.499866e-04,1.569792e-04,2.055114e-04,2.140661e-04,2.626480e-04,2.932170e-04,3.286678e-04,3.879778e-04,4.037100e-04,4.877761e-04,4.984656e-04,5.807358e-04,6.243943e-04,6.823349e-04,7.651058e-04,7.922057e-04,9.098795e-04,9.196143e-04,1.034800e-03,1.086658e-03,1.166336e-03,1.264755e-03,1.303801e-03,1.446462e-03,1.452266e-03,1.593557e-03,1.647447e-03,1.744309e-03,1.848511e-03,1.897938e-03,2.053671e-03,2.210754e-03,2.261186e-03,2.368459e-03,2.469396e-03,2.526095e-03,2.676752e-03,2.683007e-03,2.838587e-03,2.881832e-03,2.992273e-03,3.083360e-03,3.143553e-03,3.280209e-03,3.291967e-03,3.437104e-03,3.471408e-03,3.578605e-03,3.656139e-03,3.716158e-03,3.833729e-03,3.849500e-03,3.978414e-03,4.003649e-03,4.102724e-03,4.165500e-03,4.222296e-03,4.319000e-03,4.337029e-03,4.446861e-03,4.463976e-03,4.551757e-03,4.600352e-03,4.651713e-03,4.728132e-03,4.746747e-03,4.836903e-03,4.847396e-03,4.922240e-03,4.958281e-03,5.002837e-03,5.060978e-03,5.078787e-03,5.150196e-03,5.155716e-03,5.217178e-03,5.242759e-03,5.279858e-03,5.322396e-03,5.338365e-03,5.392837e-03,5.394934e-03,5.443411e-03,5.460692e-03,5.490231e-03,5.519997e-03,5.533439e-03,5.573179e-03,5.609593e-03,5.620566e-03,5.642824e-03,5.662485e-03,5.673010e-03,5.699254e-03,5.700291e-03,5.724800e-03,5.731184e-03,5.746669e-03,5.758576e-03,5.766026e-03,5.781722e-03,5.782995e-03,5.797696e-03,5.800900e-03,5.810247e-03,5.816377e-03,5.820758e-03,5.828407e-03,5.829338e-03,5.836090e-03,5.837230e-03,5.841114e-03,5.843076e-03,5.844506e-03,5.846159e-03,5.846355e-03,5.846750e-03,5.846684e-03,5.845773e-03,5.844841e-03,5.843505e-03,5.840811e-03,5.840020e-03,5.835391e-03,5.834762e-03,5.829687e-03,5.826853e-03,5.822972e-03,5.817231e-03,5.815308e-03,5.806754e-03,5.806033e-03,5.797367e-03,5.793390e-03,5.787198e-03,5.779422e-03,5.776299e-03,5.764717e-03,5.764240e-03,5.752497e-03,5.747950e-03,5.739682e-03,5.730648e-03,5.726312e-03,5.712426e-03,5.693367e-03,5.673551e-03,5.653049e-03,5.631930e-03,5.610257e-03,5.588088e-03,5.565479e-03,5.542478e-03,5.519134e-03,5.495489e-03,5.471585e-03,5.447459e-03,5.423146e-03,5.398678e-03,5.374085e-03,5.349396e-03,5.324636e-03,5.299829e-03,5.274997e-03,5.250162e-03,5.225341e-03,5.200554e-03,5.175816e-03,5.151143e-03
0.000000e+00,1.492471e-09,4.322398e-09,1.917378e-08,4.921583e-08,7.514575e-08,1.851586e-07,1.912378e-07,3.904883e-07,4.646332e-07,6.988316e-07,9.477723e-07,1.143657e-06,1.689973e-06,1.743819e-06,2.499461e-06,2.702745e-06,3.399328e-06,3.961949e-06,4.432189e-06,5.444146e-06,5.589303e-06,6.862928e-06,7.130935e-06,8.244938e-06,9.003424e-06,9.726167e-06,1.103950e-05,1.129622e-05,1.294359e-05,1.321353e-05,1.465596e-05,1.549723e-05,1.642053e-05,1.786109e-05,1.822439e-05,2.005488e-05,2.027575e-05,2.189985e-05,2.271325e-05,2.374790e-05,2.514801e-05,2.558858e-05,2.741250e-05,2.755744e-05,2.921136e-05,2.992224e-05,3.097797e-05,3.222651e-05,3.270626e-05,3.439118e-05,3.445761e-05,3.602866e-05,3.660590e-05,3.761552e-05,3.866443e-05,3.914938e-05,4.062855e-05,4.205198e-05,4.249560e-05,4.341912e-05,4.426451e-05,4.472991e-05,4.593552e-05,4.598464e-05,4.718394e-05,4.750992e-05,4.832867e-05,4.898977e-05,4.941993e-05,5.037773e-05,5.045896e-05,5.144715e-05,5.167691e-05,5.238597e-05,5.289071e-05,5.327695e-05,5.402271e-05,5.412169e-05,5.492181e-05,5.507662e-05,5.567892e-05,5.605615e-05,5.639464e-05,5.696505e-05,5.707060e-05,5.770837e-05,5.780697e-05,5.830952e-05,5.858552e-05,5.887559e-05,5.930418e-05,5.940806e-05,5.990838e-05,5.996632e-05,6.037797e-05,6.057520e-05,6.081818e-05,6.113392e-05,6.123036e-05,6.161576e-05,6.164547e-05,6.197562e-05,6.211268e-05,6.231113e-05,6.253826e-05,6.262343e-05,6.291362e-05,6.292478e-05,6.318275e-05,6.327468e-05,6.343184e-05,6.359027e-05,6.366186e-05,6.387374e-05,6.406837e-05,6.412716e-05,6.424663e-05,6.435249e-05,6.440931e-05,6.455158e-05,6.455722e-05,6.469110e-05,6.472617e-05,6.481167e-05,6.487791e-05,6.491962e-05,6.500835e-05,6.501561e-05,6.510026e-05,6.511896e-05,6.517418e-05,6.521110e-05,6.523794e-05,6.528608e-05,6.529209e-05,6.533715e-05,6.534511e-05,6.537362e-05,6.538935e-05,6.540197e-05,6.541986e-05,6.542267e-05,6.543615e-05,6.543767e-05,6.544282e-05,6.544372e-05,6.544308e-05,6.543891e-05,6.543729e-05,6.542583e-05,6.542409e-05,6.540903e-05,6.540003e-05,6.538722e-05,6.536749e-05,6.536071e-05,6.532980e-05,6.532714e-05,6.529476e-05,6.527965e-05,6.525586e-05,6.522562e-05,6.521337e-05,6.516752e-05,6.516562e-05,6.511854e-05,6.510019e-05,6.506666e-05,6.502982e-05,6.501207e-05,6.495499e-05,6.487614e-05,6.479367e-05,6.470796e-05,6.461938e-05,6.452825e-05,6.443489e-05,6.433959e-05,6.424262e-05,6.414423e-05,6.404465e-05,6.394412e-05,6.384281e-05,6.374093e-05,6.363866e-05,6.353614e-05,6.343354e-05,6.333099e-05,6.322861e-05,6.312653e-05,6.302485e-05,6.292367e-05,6.282309e-05,6.272319e-05,6.262405e-05
0.000000e+00,5.114594e-13,2.579335e-12,2.821976e-11,1.359593e-10,2.779289e-10,1.282796e-09,1.354916e-09,4.502852e-09,6.012487e-09,1.176797e-08,1.929234e-08,2.610476e-08,4.890092e-08,5.144255e-08,9.270502e-08,1.056083e-07,1.557055e-07,2.028433e-07,2.467965e-07,3.551952e-07,3.722583e-07,5.376024e-07,5.758527e-07,7.470073e-07,8.742191e-07,1.003000e-06,1.254669e-06,1.306378e-06,1.656301e-06,1.716475e-06,2.050504e-06,2.254476e-06,2.485543e-06,2.860072e-06,2.957061e-06,3.460036e-06,3.522251e-06,3.989009e-06,4.228530e-06,4.538286e-06,4.965768e-06,5.102105e-06,5.674790e-06,5.720822e-06,6.250872e-06,6.481087e-06,6.825187e-06,7.234902e-06,7.392960e-06,7.949867e-06,7.971861e-06,8.492071e-06,8.683011e-06,9.016257e-06,9.360965e-06,9.519633e-06,9.999928e-06,1.045538e-05,1.059565e-05,1.088470e-05,1.114534e-05,1.128704e-05,1.164751e-05,1.166198e-05,1.200944e-05,1.210182e-05,1.232964e-05,1.250889e-05,1.262311e-05,1.287011e-05,1.289057e-05,1.313294e-05,1.318749e-05,1.335127e-05,1.346346e-05,1.354671e-05,1.370074e-05,1.372050e-05,1.387390e-05,1.390225e-05,1.400822e-05,1.407094e-05,1.412472e-05,1.420976e-05,1.422469e-05,1.430935e-05,1.432156e-05,1.437989e-05,1.440908e-05,1.443745e-05,1.447488e-05,1.448311e-05,1.451787e-05,1.452136e-05,1.454269e-05,1.455070e-05,1.455847e-05,1.456491e-05,1.456601e-05,1.456610e-05,1.456580e-05,1.455942e-05,1.455500e-05,1.454662e-05,1.453396e-05,1.452830e-05,1.450500e-05,1.450398e-05,1.447722e-05,1.446620e-05,1.444539e-05,1.442166e-05,1.440994e-05,1.437124e-05,1.432962e-05,1.431574e-05,1.428540e-05,1.425587e-05,1.423886e-05,1.419223e-05,1.419025e-05,1.413979e-05,1.412537e-05,1.408772e-05,1.405577e-05,1.403420e-05,1.398385e-05,1.397942e-05,1.392354e-05,1.390998e-05,1.386670e-05,1.383450e-05,1.380903e-05,1.375769e-05,1.375065e-05,1.369167e-05,1.367981e-05,1.363219e-05,1.360110e-05,1.357231e-05,1.352175e-05,1.351210e-05,1.345165e-05,1.344196e-05,1.339102e-05,1.336187e-05,1.333028e-05,1.328164e-05,1.326948e-05,1.320870e-05,1.320140e-05,1.314796e-05,1.312127e-05,1.308733e-05,1.304134e-05,1.302684e-05,1.296653e-05,1.296171e-05,1.290644e-05,1.288247e-05,1.284659e-05,1.280368e-05,1.278703e-05,1.272778e-05,1.272541e-05,1.266886e-05,1.264773e-05,1.261030e-05,1.257069e-05,1.255211e-05,1.249433e-05,1.241869e-05,1.234382e-05,1.226975e-05,1.219650e-05,1.212410e-05,1.205257e-05,1.198194e-05,1.191221e-05,1.184340e-05,1.177552e-05,1.170858e-05,1.164259e-05,1.157756e-05,1.151348e-05,1.145036e-05,1.138820e-05,1.132699e-05,1.126675e-05,1.120746e-05,1.114911e-05,1.109172e-05,1.103526e-05,1.097974e-05,1.092515e-05
0.000000e+00,2.623389e-12,1.275560e-11,1.294103e-10,5.821726e-10,1.146187e-09,4.800820e-09,5.050720e-09,1.523742e-08,1.981524e-08,3.627643e-08,5.631205e-08,7.350925e-08,1.269522e-07,1.326209e-07,2.192711e-07,2.447685e-07,3.388014e-07,4.219116e-07,4.959898e-07,6.686336e-07,6.947930e-07,9.380349e-07,9.921647e-07,1.227078e-06,1.395445e-06,1.561604e-06,1.876331e-06,1.939605e-06,2.357588e-06,2.427878e-06,2.810915e-06,3.039497e-06,3.294172e-06,3.698402e-06,3.801507e-06,4.326908e-06,4.390886e-06,4.864422e-06,5.103277e-06,5.408315e-06,5.822608e-06,5.953197e-06,6.494110e-06,6.537074e-06,7.026593e-06,7.236328e-06,7.546723e-06,7.911658e-06,8.051138e-06,8.537040e-06,8.556058e-06,9.002186e-06,9.164211e-06,9.444861e-06,9.732405e-06,9.863847e-06,1.025837e-05,1.062807e-05,1.074112e-05,1.097293e-05,1.118071e-05,1.129322e-05,1.157807e-05,1.158946e-05,1.186239e-05,1.193475e-05,1.211289e-05,1.225282e-05,1.234193e-05,1.253463e-05,1.255060e-05,1.274001e-05,1.278273e-05,1.291130e-05,1.299973e-05,1.306561e-05,1.318826e-05,1.320407e-05,1.332779e-05,1.335085e-05,1.343781e-05,1.348994e-05,1.353515e-05,1.360783e-05,1.362078e-05,1.369560e-05,1.370662e-05,1.376046e-05,1.378830e-05,1.381617e-05,1.385465e-05,1.386347e-05,1.390304e-05,1.390730e-05,1.393553e-05,1.394773e-05,1.396152e-05,1.397727e-05,1.398157e-05,1.399616e-05,1.399711e-05,1.400577e-05,1.400831e-05,1.401081e-05,1.401184e-05,1.401168e-05,1.400873e-05,1.400854e-05,1.400230e-05,1.399918e-05,1.399267e-05,1.398445e-05,1.398013e-05,1.396494e-05,1.394731e-05,1.394120e-05,1.392748e-05,1.391371e-05,1.390562e-05,1.388291e-05,1.388193e-05,1.385657e-05,1.384919e-05,1.382969e-05,1.381289e-05,1.380144e-05,1.377434e-05,1.377193e-05,1.374130e-05,1.373380e-05,1.370966e-05,1.369153e-05,1.367710e-05,1.364776e-05,1.364371e-05,1.360960e-05,1.360269e-05,1.357483e-05,1.355652e-05,1.353949e-05,1.350940e-05,1.350364e-05,1.346734e-05,1.346150e-05,1.343066e-05,1.341294e-05,1.339366e-05,1.336385e-05,1.335638e-05,1.331887e-05,1.331436e-05,1.328118e-05,1.326455e-05,1.324335e-05,1.321452e-05,1.320541e-05,1.316741e-05,1.316437e-05,1.312937e-05,1.311416e-05,1.309134e-05,1.306397e-05,1.305333e-05,1.301537e-05,1.301385e-05,1.297749e-05,1.296388e-05,1.293972e-05,1.291410e-05,1.290206e-05,1.286456e-05,1.281530e-05,1.276637e-05,1.271779e-05,1.266961e-05,1.262184e-05,1.257453e-05,1.252768e-05,1.248132e-05,1.243548e-05,1.239015e-05,1.234537e-05,1.230115e-05,1.225749e-05,1.221440e-05,1.217189e-05,1.212998e-05,1.208865e-05,1.204793e-05,1.200781e-05,1.196830e-05,1.192939e-05,1.189109e-05,1.185340e-05,1.181631e-05
0.000000e+00,1.955112e-12,1.008426e-11,1.156495e-10,5.818577e-10,1.218202e-09,5.981270e-09,6.333431e-09,2.237034e-08,3.036345e-08,6.189310e-08,1.047809e-07,1.447196e-07,2.833984e-07,2.992255e-07,5.632506e-07,6.480024e-07,9.844437e-07,1.309864e-06,1.619822e-06,2.407631e-06,2.534435e-06,3.799287e-06,4.100806e-06,5.488814e-06,6.560203e-06,7.678196e-06,9.957271e-06,1.044069e-05,1.384513e-05,1.445368e-05,1.795368e-05,2.019198e-05,2.281990e-05,2.728794e-05,2.848720e-05,3.498769e-05,3.582482e-05,4.234140e-05,4.584976e-05,5.055599e-05,5.737239e-05,5.962676e-05,6.953702e-05,7.036534e-05,8.025879e-05,8.476646e-05,9.175373e-05,1.004824e-04,1.039742e-04,1.168647e-04,1.173934e-04,1.303628e-04,1.353580e-04,1.444010e-04,1.542190e-04,1.589076e-04,1.738085e-04,1.890281e-04,1.939533e-04,2.044905e-04,2.144792e-04,2.201207e-04,2.352153e-04,2.358452e-04,2.515933e-04,2.559977e-04,2.672972e-04,2.766716e-04,2.828931e-04,2.970943e-04,2.983210e-04,3.135257e-04,3.171359e-04,3.284566e-04,3.366810e-04,3.430678e-04,3.556287e-04,3.573185e-04,3.711725e-04,3.738929e-04,3.845985e-04,3.914020e-04,3.975700e-04,4.080984e-04,4.100647e-04,4.220645e-04,4.239376e-04,4.335557e-04,4.388875e-04,4.445278e-04,4.529272e-04,4.549743e-04,4.648915e-04,4.660460e-04,4.742790e-04,4.782422e-04,4.831389e-04,4.895222e-04,4.914757e-04,4.992959e-04,4.998994e-04,5.066082e-04,5.093931e-04,5.134226e-04,5.180272e-04,5.197509e-04,5.256057e-04,5.258302e-04,5.310009e-04,5.328335e-04,5.359512e-04,5.390709e-04,5.404717e-04,5.445784e-04,5.482873e-04,5.493929e-04,5.516149e-04,5.535521e-04,5.545777e-04,5.570940e-04,5.571920e-04,5.594745e-04,5.600564e-04,5.614414e-04,5.624766e-04,5.631086e-04,5.643914e-04,5.644920e-04,5.656070e-04,5.658364e-04,5.664688e-04,5.668462e-04,5.670918e-04,5.674541e-04,5.674905e-04,5.676786e-04,5.676921e-04,5.676693e-04,5.675907e-04,5.674754e-04,5.671789e-04,5.671093e-04,5.665826e-04,5.664843e-04,5.659068e-04,5.655327e-04,5.650927e-04,5.643486e-04,5.641504e-04,5.630898e-04,5.629551e-04,5.619204e-04,5.613736e-04,5.606508e-04,5.596242e-04,5.592896e-04,5.578446e-04,5.577257e-04,5.563236e-04,5.556954e-04,5.547334e-04,5.535496e-04,5.530810e-04,5.513725e-04,5.513031e-04,5.496140e-04,5.489698e-04,5.478112e-04,5.465625e-04,5.459691e-04,5.440929e-04,5.415716e-04,5.390087e-04,5.364131e-04,5.337931e-04,5.311562e-04,5.285091e-04,5.258582e-04,5.232090e-04,5.205665e-04,5.179354e-04,5.153197e-04,5.127230e-04,5.101487e-04,5.075996e-04,5.050784e-04,5.025871e-04,5.001279e-04,4.977023e-04,4.953120e-04,4.929581e-04,4.906417e-04,4.883637e-04,4.861248e-04,4.839256e-04
0.000000e+00,1.117979e-12,5.643843e-12,6.187980e-11,2.986971e-10,6.112053e-10,2.827382e-09,2.986573e-09,9.939567e-09,1.327455e-08,2.598258e-08,4.257244e-08,5.756605e-08,1.075523e-07,1.131080e-07,2.028456e-07,2.307419e-07,3.383930e-07,4.388629e-07,5.319574e-07,7.597202e-07,7.953875e-07,1.139306e-06,1.218558e-06,1.572472e-06,1.835242e-06,2.101382e-06,2.622690e-06,2.730081e-06,3.460125e-06,3.586311e-06,4.290644e-06,4.724143e-06,5.218501e-06,6.027438e-06,6.238495e-06,7.343616e-06,7.481559e-06,8.525333e-06,9.067080e-06,9.773905e-06,1.076101e-05,1.107870e-05,1.242851e-05,1.253809e-05,1.381186e-05,1.437202e-05,1.521730e-05,1.623661e-05,1.663366e-05,1.805027e-05,1.810679e-05,1.945713e-05,1.995942e-05,2.084508e-05,2.177383e-05,2.220587e-05,2.353224e-05,2.481796e-05,2.521993e-05,2.605781e-05,2.682524e-05,2.724754e-05,2.833949e-05,2.838388e-05,2.946441e-05,2.975673e-05,3.048754e-05,3.107347e-05,3.145239e-05,3.228838e-05,3.235874e-05,3.320691e-05,3.340190e-05,3.399773e-05,3.441598e-05,3.473241e-05,3.533371e-05,3.541249e-05,3.603978e-05,3.615907e-05,3.661627e-05,3.689669e-05,3.714412e-05,3.755157e-05,3.762558e-05,3.806295e-05,3.812900e-05,3.845857e-05,3.863432e-05,3.881476e-05,3.907286e-05,3.913381e-05,3.941799e-05,3.944985e-05,3.966947e-05,3.977030e-05,3.989036e-05,4.003902e-05,4.008268e-05,4.024839e-05,4.026055e-05,4.038931e-05,4.043913e-05,4.050720e-05,4.057875e-05,4.060371e-05,4.068040e-05,4.068308e-05,4.073874e-05,4.075552e-05,4.078010e-05,4.079919e-05,4.080578e-05,4.081697e-05,4.081482e-05,4.081148e-05,4.080036e-05,4.078511e-05,4.077459e-05,4.074005e-05,4.073841e-05,4.069268e-05,4.067827e-05,4.063819e-05,4.060159e-05,4.057567e-05,4.051165e-05,4.050580e-05,4.042923e-05,4.040992e-05,4.034654e-05,4.029777e-05,4.025829e-05,4.017642e-05,4.016497e-05,4.006706e-05,4.004697e-05,3.996500e-05,3.991043e-05,3.985921e-05,3.976772e-05,3.975004e-05,3.963786e-05,3.961966e-05,3.952300e-05,3.946699e-05,3.940574e-05,3.931041e-05,3.928638e-05,3.916518e-05,3.915052e-05,3.904237e-05,3.898789e-05,3.891818e-05,3.882301e-05,3.879283e-05,3.866650e-05,3.865636e-05,3.853938e-05,3.848834e-05,3.841162e-05,3.831934e-05,3.828340e-05,3.815484e-05,3.814969e-05,3.802608e-05,3.797971e-05,3.789725e-05,3.780967e-05,3.776846e-05,3.763982e-05,3.747040e-05,3.730161e-05,3.713364e-05,3.696666e-05,3.680081e-05,3.663624e-05,3.647307e-05,3.631139e-05,3.615132e-05,3.599293e-05,3.583631e-05,3.568151e-05,3.552860e-05,3.537764e-05,3.522865e-05,3.508168e-05,3.493677e-05,3.479393e-05,3.465319e-05,3.451456e-05,3.437806e-05,3.424370e-05,3.411148e-05,3.398141e-05
0.000000e+00,2.198383e-12,1.126213e-11,1.273211e-10,6.320946e-10,1.313570e-09,6.324179e-09,6.691101e-09,2.316334e-08,3.126518e-08,6.283222e-08,1.051318e-07,1.440830e-07,2.772109e-07,2.922460e-07,5.397686e-07,6.181774e-07,9.257674e-07,1.218851e-06,1.494795e-06,2.185011e-06,2.294839e-06,3.374857e-06,3.628681e-06,4.782215e-06,5.658034e-06,6.560323e-06,8.368051e-06,8.746619e-06,1.137097e-05,1.183306e-05,1.445455e-05,1.610161e-05,1.800914e-05,2.119372e-05,2.203691e-05,2.653052e-05,2.710037e-05,3.147368e-05,3.378504e-05,3.684187e-05,4.118669e-05,4.260340e-05,4.872052e-05,4.922400e-05,5.515067e-05,5.780014e-05,6.184775e-05,6.680783e-05,6.876338e-05,7.584804e-05,7.613424e-05,8.305218e-05,8.566550e-05,9.032715e-05,9.529055e-05,9.762603e-05,1.049043e-04,1.121205e-04,1.144102e-04,1.192363e-04,1.237217e-04,1.262173e-04,1.327634e-04,1.330325e-04,1.396552e-04,1.414718e-04,1.460622e-04,1.497948e-04,1.522343e-04,1.576916e-04,1.581557e-04,1.638142e-04,1.651320e-04,1.692006e-04,1.720957e-04,1.743087e-04,1.785708e-04,1.791350e-04,1.836784e-04,1.845532e-04,1.879400e-04,1.900454e-04,1.919225e-04,1.950554e-04,1.956305e-04,1.990699e-04,1.995958e-04,2.022478e-04,2.036826e-04,2.051721e-04,2.073348e-04,2.078516e-04,2.102956e-04,2.105735e-04,2.125140e-04,2.134211e-04,2.145167e-04,2.159009e-04,2.163141e-04,2.179164e-04,2.180365e-04,2.193340e-04,2.198515e-04,2.205770e-04,2.213695e-04,2.216555e-04,2.225792e-04,2.226131e-04,2.233578e-04,2.236044e-04,2.240005e-04,2.243644e-04,2.245161e-04,2.249132e-04,2.252002e-04,2.252700e-04,2.253847e-04,2.254526e-04,2.254744e-04,2.254778e-04,2.254762e-04,2.253970e-04,2.253612e-04,2.252431e-04,2.251174e-04,2.250205e-04,2.247599e-04,2.247348e-04,2.243915e-04,2.243011e-04,2.239955e-04,2.237524e-04,2.235515e-04,2.231245e-04,2.230638e-04,2.225368e-04,2.224269e-04,2.219740e-04,2.216685e-04,2.213793e-04,2.208573e-04,2.207558e-04,2.201067e-04,2.200007e-04,2.194349e-04,2.191052e-04,2.187432e-04,2.181770e-04,2.180339e-04,2.173094e-04,2.172216e-04,2.165719e-04,2.162438e-04,2.158233e-04,2.152482e-04,2.150656e-04,2.143003e-04,2.142388e-04,2.135291e-04,2.132193e-04,2.127535e-04,2.121930e-04,2.119746e-04,2.111939e-04,2.111627e-04,2.104124e-04,2.101310e-04,2.096311e-04,2.091005e-04,2.088510e-04,2.080730e-04,2.070506e-04,2.060348e-04,2.050272e-04,2.040290e-04,2.030413e-04,2.020652e-04,2.011014e-04,2.001509e-04,1.992141e-04,1.982917e-04,1.973840e-04,1.964916e-04,1.956146e-04,1.947534e-04,1.939080e-04,1.930788e-04,1.922657e-04,1.914688e-04,1.906882e-04,1.899237e-04,1.891754e-04,1.884432e-04,1.877269e-04,1.870264e-04
0.000000e+00,7.094347e-13,3.653065e-12,4.175333e-11,2.094199e-10,4.376991e-10,2.139489e-09,2.265043e-09,7.964673e-09,1.079736e-08,2.194213e-08,3.705493e-08,5.109690e-08,9.970527e-08,1.052418e-07,1.973767e-07,2.268807e-07,3.437558e-07,4.565062e-07,5.636892e-07,8.354178e-07,8.790796e-07,1.313771e-06,1.417215e-06,1.892788e-06,2.259356e-06,2.641538e-06,3.419965e-06,3.585005e-06,4.746978e-06,4.954666e-06,6.149335e-06,6.913636e-06,7.811396e-06,9.339045e-06,9.749377e-06,1.197595e-05,1.226299e-05,1.449991e-05,1.570603e-05,1.732599e-05,1.967639e-05,2.045479e-05,2.388279e-05,2.416975e-05,2.760251e-05,2.916969e-05,3.160276e-05,3.464859e-05,3.586898e-05,4.038356e-05,4.056904e-05,4.512635e-05,4.688538e-05,5.007504e-05,5.354559e-05,5.520567e-05,6.049309e-05,6.591138e-05,6.766859e-05,7.143430e-05,7.501178e-05,7.703568e-05,8.246289e-05,8.268975e-05,8.837150e-05,8.996404e-05,9.405687e-05,9.746028e-05,9.972305e-05,1.049005e-04,1.053486e-04,1.109136e-04,1.122381e-04,1.163998e-04,1.194313e-04,1.217905e-04,1.264436e-04,1.270709e-04,1.322278e-04,1.332434e-04,1.372497e-04,1.398045e-04,1.421268e-04,1.461055e-04,1.468507e-04,1.514148e-04,1.521298e-04,1.558136e-04,1.578651e-04,1.600431e-04,1.633030e-04,1.641007e-04,1.679845e-04,1.684389e-04,1.716940e-04,1.732710e-04,1.752295e-04,1.778007e-04,1.785921e-04,1.817836e-04,1.820316e-04,1.848065e-04,1.859692e-04,1.876640e-04,1.896208e-04,1.903595e-04,1.928969e-04,1.929952e-04,1.952806e-04,1.961019e-04,1.975150e-04,1.989516e-04,1.996050e-04,2.015553e-04,2.033710e-04,2.039245e-04,2.050572e-04,2.060707e-04,2.066190e-04,2.080059e-04,2.080614e-04,2.093895e-04,2.097416e-04,2.106083e-04,2.112892e-04,2.117228e-04,2.126601e-04,2.127377e-04,2.136578e-04,2.138650e-04,2.144877e-04,2.149146e-04,2.152317e-04,2.158189e-04,2.158943e-04,2.164796e-04,2.165877e-04,2.169915e-04,2.172301e-04,2.174341e-04,2.177549e-04,2.178109e-04,2.181256e-04,2.181704e-04,2.183816e-04,2.184846e-04,2.185821e-04,2.187047e-04,2.187302e-04,2.188290e-04,2.188377e-04,2.188812e-04,2.188901e-04,2.188895e-04,2.188681e-04,2.188566e-04,2.187848e-04,2.187774e-04,2.186764e-04,2.186233e-04,2.185337e-04,2.184108e-04,2.183587e-04,2.181535e-04,2.181447e-04,2.179198e-04,2.178291e-04,2.176595e-04,2.174682e-04,2.173743e-04,2.170656e-04,2.166250e-04,2.161496e-04,2.156424e-04,2.151061e-04,2.145435e-04,2.139569e-04,2.133486e-04,2.127207e-04,2.120751e-04,2.114136e-04,2.107380e-04,2.100497e-04,2.093503e-04,2.086410e-04,2.079232e-04,2.071979e-04,2.064664e-04,2.057295e-04,2.049882e-04,2.042435e-04,2.034960e-04,2.027466e-04,2.019960e-04,2.012448e-04
0.000000e+00,1.711512e-10,7.267628e-10,5.683750e-09,2.067923e-08,3.661225e-08,1.207004e-07,1.258889e-07,3.158250e-07,3.941256e-07,6.612698e-07,9.717987e-07,1.231859e-06,2.015257e-06,2.096331e-06,3.286271e-06,3.618762e-06,4.779955e-06,5.730162e-06,6.525899e-06,8.229230e-06,8.471826e-06,1.057654e-05,1.101368e-05,1.280920e-05,1.401247e-05,1.514528e-05,1.717162e-05,1.756311e-05,2.004209e-05,2.044304e-05,2.256196e-05,2.378015e-05,2.510280e-05,2.713758e-05,2.764533e-05,3.017129e-05,3.047248e-05,3.266388e-05,3.374609e-05,3.510802e-05,3.692503e-05,3.749061e-05,3.980058e-05,3.998195e-05,4.202890e-05,4.289572e-05,4.416851e-05,4.565107e-05,4.621414e-05,4.816218e-05,4.823804e-05,5.001054e-05,5.065137e-05,5.175843e-05,5.288969e-05,5.340608e-05,5.495466e-05,5.640606e-05,5.685035e-05,5.776261e-05,5.858231e-05,5.902713e-05,6.015741e-05,6.020277e-05,6.129288e-05,6.158326e-05,6.230100e-05,6.286803e-05,6.323076e-05,6.402004e-05,6.408577e-05,6.486966e-05,6.504761e-05,6.558599e-05,6.595893e-05,6.623825e-05,6.676195e-05,6.682985e-05,6.736407e-05,6.746431e-05,6.784409e-05,6.807329e-05,6.827296e-05,6.859582e-05,6.865360e-05,6.898883e-05,6.903843e-05,6.928130e-05,6.940725e-05,6.953356e-05,6.970805e-05,6.974803e-05,6.992702e-05,6.994622e-05,7.007270e-05,7.012679e-05,7.018715e-05,7.025445e-05,7.027233e-05,7.033009e-05,7.033358e-05,7.036219e-05,7.036823e-05,7.037031e-05,7.036218e-05,7.035600e-05,7.032076e-05,7.031893e-05,7.026598e-05,7.024174e-05,7.019300e-05,7.013361e-05,7.010306e-05,6.999734e-05,6.987696e-05,6.983552e-05,6.974297e-05,6.965053e-05,6.959636e-05,6.944460e-05,6.943805e-05,6.926894e-05,6.921977e-05,6.908985e-05,6.897794e-05,6.890157e-05,6.872085e-05,6.870482e-05,6.850030e-05,6.845013e-05,6.828866e-05,6.816727e-05,6.807053e-05,6.787365e-05,6.784647e-05,6.761703e-05,6.757055e-05,6.738273e-05,6.725913e-05,6.714404e-05,6.694049e-05,6.690142e-05,6.665529e-05,6.661561e-05,6.640606e-05,6.628543e-05,6.615409e-05,6.595079e-05,6.589974e-05,6.564335e-05,6.561246e-05,6.538522e-05,6.527117e-05,6.512564e-05,6.492757e-05,6.486490e-05,6.460324e-05,6.458228e-05,6.434091e-05,6.423584e-05,6.407814e-05,6.388878e-05,6.381512e-05,6.355207e-05,6.354155e-05,6.328916e-05,6.319459e-05,6.302657e-05,6.284828e-05,6.276447e-05,6.250299e-05,6.215904e-05,6.181673e-05,6.147634e-05,6.113810e-05,6.080223e-05,6.046895e-05,6.013843e-05,5.981084e-05,5.948632e-05,5.916500e-05,5.884700e-05,5.853242e-05,5.822135e-05,5.791387e-05,5.761005e-05,5.730994e-05,5.701360e-05,5.672106e-05,5.643236e-05,5.614753e-05,5.586658e-05,5.558952e-05,5.531637e-05,5.504713e-05
0.000000e+00,1.677868e-12,8.325357e-12,8.807546e-11,4.115905e-10,8.274552e-10,3.658871e-09,3.857872e-09,1.229169e-08,1.622684e-08,3.086903e-08,4.946373e-08,6.594689e-08,1.195532e-07,1.254197e-07,2.185898e-07,2.471055e-07,3.558678e-07,4.560583e-07,5.480752e-07,7.706893e-07,8.052744e-07,1.135447e-06,1.210732e-06,1.543520e-06,1.787139e-06,2.031005e-06,2.500709e-06,2.596213e-06,3.234796e-06,3.343377e-06,3.940423e-06,4.300718e-06,4.705412e-06,5.354456e-06,5.521275e-06,6.379120e-06,6.484455e-06,7.269958e-06,7.670086e-06,8.184922e-06,8.891131e-06,9.115422e-06,1.005327e-05,1.012838e-05,1.099076e-05,1.136405e-05,1.192078e-05,1.258208e-05,1.283680e-05,1.373301e-05,1.376837e-05,1.460428e-05,1.491096e-05,1.544621e-05,1.600006e-05,1.625512e-05,1.702805e-05,1.776273e-05,1.798947e-05,1.845753e-05,1.888076e-05,1.911140e-05,1.970016e-05,1.972386e-05,2.029490e-05,2.044742e-05,2.082493e-05,2.112357e-05,2.131472e-05,2.173069e-05,2.176532e-05,2.217805e-05,2.227162e-05,2.255438e-05,2.274982e-05,2.289593e-05,2.316910e-05,2.320444e-05,2.348165e-05,2.353350e-05,2.372939e-05,2.384715e-05,2.394943e-05,2.411415e-05,2.414354e-05,2.431344e-05,2.433849e-05,2.446081e-05,2.452401e-05,2.458723e-05,2.467432e-05,2.469424e-05,2.478327e-05,2.479281e-05,2.485570e-05,2.488265e-05,2.491281e-05,2.494670e-05,2.495579e-05,2.498575e-05,2.498762e-05,2.500375e-05,2.500781e-05,2.501074e-05,2.500946e-05,2.500762e-05,2.499522e-05,2.499454e-05,2.497430e-05,2.496483e-05,2.494558e-05,2.492191e-05,2.490969e-05,2.486724e-05,2.481879e-05,2.480210e-05,2.476484e-05,2.472765e-05,2.470587e-05,2.464492e-05,2.464229e-05,2.457453e-05,2.455485e-05,2.450293e-05,2.445827e-05,2.442784e-05,2.435594e-05,2.434957e-05,2.426841e-05,2.424853e-05,2.418463e-05,2.413666e-05,2.409847e-05,2.402086e-05,2.401016e-05,2.391990e-05,2.390164e-05,2.382791e-05,2.377944e-05,2.373435e-05,2.365467e-05,2.363939e-05,2.354318e-05,2.352769e-05,2.344588e-05,2.339883e-05,2.334762e-05,2.326839e-05,2.324851e-05,2.314868e-05,2.313666e-05,2.304823e-05,2.300387e-05,2.294727e-05,2.287025e-05,2.284588e-05,2.274415e-05,2.273600e-05,2.264217e-05,2.260133e-05,2.254001e-05,2.246639e-05,2.243775e-05,2.233543e-05,2.233134e-05,2.223314e-05,2.219633e-05,2.213092e-05,2.206148e-05,2.202883e-05,2.192691e-05,2.179274e-05,2.165905e-05,2.152595e-05,2.139350e-05,2.126180e-05,2.113089e-05,2.100086e-05,2.087174e-05,2.074360e-05,2.061648e-05,2.049041e-05,2.036544e-05,2.024161e-05,2.011893e-05,1.999743e-05,1.987715e-05,1.975809e-05,1.964027e-05,1.952372e-05,1.940845e-05,1.929445e-05,1.918175e-05,1.907035e-05,1.896026e-05
0.000000e+00,2.033901e-12,1.049226e-11,1.203776e-10,6.059560e-10,1.269113e-09,6.239270e-09,6.607054e-09,2.338360e-08,3.176098e-08,6.487896e-08,1.100713e-07,1.522754e-07,2.995204e-07,3.163844e-07,5.991554e-07,6.904298e-07,1.054753e-06,1.409708e-06,1.749757e-06,2.621021e-06,2.762055e-06,4.178421e-06,4.518253e-06,6.091242e-06,7.313472e-06,8.594942e-06,1.122281e-05,1.178249e-05,1.574219e-05,1.645293e-05,2.055493e-05,2.318934e-05,2.629180e-05,3.158703e-05,3.301222e-05,4.076250e-05,4.176342e-05,4.957484e-05,5.379378e-05,5.946675e-05,6.770880e-05,7.044088e-05,8.248519e-05,8.349428e-05,9.557350e-05,1.010927e-04,1.096663e-04,1.204065e-04,1.247118e-04,1.406473e-04,1.413023e-04,1.574005e-04,1.636165e-04,1.748908e-04,1.871612e-04,1.930314e-04,2.117304e-04,2.308926e-04,2.371065e-04,2.504208e-04,2.630658e-04,2.702173e-04,2.893844e-04,2.901852e-04,3.102296e-04,3.158431e-04,3.302583e-04,3.422312e-04,3.501833e-04,3.683507e-04,3.699209e-04,3.893928e-04,3.940182e-04,4.085261e-04,4.190678e-04,4.272543e-04,4.433518e-04,4.455169e-04,4.632596e-04,4.667415e-04,4.804350e-04,4.891279e-04,4.970014e-04,5.104209e-04,5.129239e-04,5.281731e-04,5.305489e-04,5.427258e-04,5.494581e-04,5.565638e-04,5.671111e-04,5.696746e-04,5.820500e-04,5.834855e-04,5.936867e-04,5.985729e-04,6.045853e-04,6.123771e-04,6.147501e-04,6.241887e-04,6.249128e-04,6.329121e-04,6.362040e-04,6.409335e-04,6.462830e-04,6.482687e-04,6.549355e-04,6.551885e-04,6.609532e-04,6.629647e-04,6.663428e-04,6.696601e-04,6.711263e-04,6.753267e-04,6.789676e-04,6.800184e-04,6.820731e-04,6.837910e-04,6.846678e-04,6.867007e-04,6.867760e-04,6.884225e-04,6.888041e-04,6.896315e-04,6.901570e-04,6.904272e-04,6.908147e-04,6.908334e-04,6.908732e-04,6.908308e-04,6.905695e-04,6.902576e-04,6.899444e-04,6.891455e-04,6.890193e-04,6.878151e-04,6.875425e-04,6.863518e-04,6.854948e-04,6.846485e-04,6.830461e-04,6.827241e-04,6.805959e-04,6.802376e-04,6.782811e-04,6.771085e-04,6.757958e-04,6.736951e-04,6.731553e-04,6.703742e-04,6.700317e-04,6.674665e-04,6.661504e-04,6.644453e-04,6.620809e-04,6.613229e-04,6.581110e-04,6.578505e-04,6.548206e-04,6.534847e-04,6.514619e-04,6.490070e-04,6.480448e-04,6.445782e-04,6.444387e-04,6.410707e-04,6.397995e-04,6.375300e-04,6.351073e-04,6.339637e-04,6.303785e-04,6.256280e-04,6.208690e-04,6.161137e-04,6.113730e-04,6.066564e-04,6.019727e-04,5.973295e-04,5.927336e-04,5.881908e-04,5.837065e-04,5.792849e-04,5.749301e-04,5.706451e-04,5.664328e-04,5.622953e-04,5.582345e-04,5.542519e-04,5.503483e-04,5.465245e-04,5.427812e-04,5.391183e-04,5.355359e-04,5.320338e-04,5.286116e-04
0.000000e+00,2.116552e-12,1.082788e-11,1.220591e-10,6.044008e-10,1.254257e-09,6.017303e-09,6.365526e-09,2.196325e-08,2.961989e-08,5.940368e-08,9.924394e-08,1.358903e-07,2.610032e-07,2.751265e-07,5.076464e-07,5.813449e-07,8.708582e-07,1.147500e-06,1.408798e-06,2.066339e-06,2.171513e-06,3.213914e-06,3.461031e-06,4.593998e-06,5.464633e-06,6.370491e-06,8.210774e-06,8.600215e-06,1.133552e-05,1.182325e-05,1.462206e-05,1.640669e-05,1.849708e-05,2.203971e-05,2.298822e-05,2.811287e-05,2.877083e-05,3.387793e-05,3.661693e-05,4.027999e-05,4.556370e-05,4.730568e-05,5.493244e-05,5.556768e-05,6.312928e-05,6.655925e-05,7.185776e-05,7.844650e-05,8.107303e-05,9.072495e-05,9.111935e-05,1.007592e-04,1.044541e-04,1.111182e-04,1.183176e-04,1.217426e-04,1.325718e-04,1.435453e-04,1.470775e-04,1.546034e-04,1.616981e-04,1.656880e-04,1.763022e-04,1.767431e-04,1.877159e-04,1.907667e-04,1.985566e-04,2.049784e-04,2.092193e-04,2.188356e-04,2.196620e-04,2.298469e-04,2.322491e-04,2.397404e-04,2.451424e-04,2.493132e-04,2.574521e-04,2.585404e-04,2.674009e-04,2.691274e-04,2.758779e-04,2.801298e-04,2.839582e-04,2.904320e-04,2.916323e-04,2.988939e-04,3.000173e-04,3.057400e-04,3.088782e-04,3.121700e-04,3.170159e-04,3.181862e-04,3.237930e-04,3.244386e-04,3.289967e-04,3.311607e-04,3.338055e-04,3.372019e-04,3.382289e-04,3.422777e-04,3.425858e-04,3.459638e-04,3.473395e-04,3.492998e-04,3.514925e-04,3.522991e-04,3.549754e-04,3.550759e-04,3.573428e-04,3.581222e-04,3.594156e-04,3.606641e-04,3.612081e-04,3.627346e-04,3.640094e-04,3.643664e-04,3.650463e-04,3.655914e-04,3.658590e-04,3.664407e-04,3.664609e-04,3.668650e-04,3.669444e-04,3.670838e-04,3.671313e-04,3.671296e-04,3.670288e-04,3.670139e-04,3.667479e-04,3.666629e-04,3.663424e-04,3.660583e-04,3.658077e-04,3.652379e-04,3.651533e-04,3.643887e-04,3.642233e-04,3.635226e-04,3.630349e-04,3.625633e-04,3.616914e-04,3.615188e-04,3.603964e-04,3.602101e-04,3.592033e-04,3.586073e-04,3.579459e-04,3.568979e-04,3.566305e-04,3.552629e-04,3.550955e-04,3.538485e-04,3.532128e-04,3.523926e-04,3.512612e-04,3.508998e-04,3.493747e-04,3.492515e-04,3.478215e-04,3.471931e-04,3.462439e-04,3.450951e-04,3.446457e-04,3.430302e-04,3.429653e-04,3.414006e-04,3.408110e-04,3.397597e-04,3.386389e-04,3.381103e-04,3.364549e-04,3.342644e-04,3.320722e-04,3.298828e-04,3.277000e-04,3.255274e-04,3.233681e-04,3.212249e-04,3.191002e-04,3.169962e-04,3.149149e-04,3.128578e-04,3.108266e-04,3.088223e-04,3.068460e-04,3.048988e-04,3.029813e-04,3.010942e-04,2.992379e-04,2.974128e-04,2.956193e-04,2.938575e-04,2.921276e-04,2.904296e-04,2.887634e-04
0.000000e+00,1.528661e-09,3.988265e-09,1.571426e-08,3.800390e-08,5.665987e-08,1.330892e-07,1.372249e-07,2.693999e-07,3.172341e-07,4.647194e-07,6.169374e-07,7.344847e-07,1.057519e-06,1.089236e-06,1.536541e-06,1.657980e-06,2.077884e-06,2.420528e-06,2.708594e-06,3.331614e-06,3.421190e-06,4.207916e-06,4.373494e-06,5.061264e-06,5.528848e-06,5.973717e-06,6.780167e-06,6.937487e-06,7.944448e-06,8.109010e-06,8.986192e-06,9.496078e-06,1.005418e-05,1.092177e-05,1.113995e-05,1.223524e-05,1.236694e-05,1.333226e-05,1.381360e-05,1.442373e-05,1.524547e-05,1.550308e-05,1.656442e-05,1.664840e-05,1.760268e-05,1.801053e-05,1.861353e-05,1.932234e-05,1.959341e-05,2.053945e-05,2.057656e-05,2.144949e-05,2.176796e-05,2.232191e-05,2.289312e-05,2.315567e-05,2.395019e-05,2.470529e-05,2.493861e-05,2.542112e-05,2.585885e-05,2.609815e-05,2.671222e-05,2.673706e-05,2.733871e-05,2.750063e-05,2.790412e-05,2.822645e-05,2.843443e-05,2.889236e-05,2.893085e-05,2.939465e-05,2.950125e-05,2.982712e-05,3.005611e-05,3.022958e-05,3.055997e-05,3.060335e-05,3.094975e-05,3.101585e-05,3.127005e-05,3.142671e-05,3.156552e-05,3.179543e-05,3.183739e-05,3.208685e-05,3.212476e-05,3.231506e-05,3.241737e-05,3.252311e-05,3.267577e-05,3.271209e-05,3.288301e-05,3.290235e-05,3.303684e-05,3.309936e-05,3.317453e-05,3.326893e-05,3.329696e-05,3.340499e-05,3.341304e-05,3.349943e-05,3.353357e-05,3.358105e-05,3.363228e-05,3.365057e-05,3.370870e-05,3.371080e-05,3.375610e-05,3.377066e-05,3.379339e-05,3.381328e-05,3.382117e-05,3.384001e-05,3.385044e-05,3.385209e-05,3.385297e-05,3.385066e-05,3.384808e-05,3.383682e-05,3.383622e-05,3.381783e-05,3.381157e-05,3.379332e-05,3.377583e-05,3.376306e-05,3.373048e-05,3.372744e-05,3.368680e-05,3.367633e-05,3.364146e-05,3.361413e-05,3.359173e-05,3.354458e-05,3.353792e-05,3.348029e-05,3.346833e-05,3.341912e-05,3.338599e-05,3.335464e-05,3.329811e-05,3.328711e-05,3.321674e-05,3.320523e-05,3.314374e-05,3.310782e-05,3.306831e-05,3.300634e-05,3.299064e-05,3.291091e-05,3.290121e-05,3.282928e-05,3.279281e-05,3.274593e-05,3.268152e-05,3.266099e-05,3.257462e-05,3.256765e-05,3.248694e-05,3.245154e-05,3.239809e-05,3.233346e-05,3.230818e-05,3.221733e-05,3.221368e-05,3.212565e-05,3.209246e-05,3.203324e-05,3.197002e-05,3.194018e-05,3.184659e-05,3.172235e-05,3.159749e-05,3.147218e-05,3.134658e-05,3.122084e-05,3.109509e-05,3.096946e-05,3.084405e-05,3.071899e-05,3.059435e-05,3.047025e-05,3.034674e-05,3.022392e-05,3.010185e-05,2.998060e-05,2.986022e-05,2.974076e-05,2.962228e-05,2.950482e-05,2.938842e-05,2.927311e-05,2.915892e-05,2.904589e-05,2.893404e-05
0.000000e+00,7.852820e-12,4.065263e-11,4.699511e-10,2.383108e-09,5.012533e-09,2.493952e-08,2.642334e-08,9.479698e-08,1.292779e-07,2.669341e-07,4.570980e-07,6.363191e-07,1.269083e-06,1.342063e-06,2.573970e-06,2.973600e-06,4.572337e-06,6.131262e-06,7.623549e-06,1.143715e-05,1.205299e-05,1.821621e-05,1.968974e-05,2.648894e-05,3.175223e-05,3.725633e-05,4.850969e-05,5.090190e-05,6.779658e-05,7.082490e-05,8.828829e-05,9.949609e-05,1.126925e-04,1.352192e-04,1.412841e-04,1.742906e-04,1.785570e-04,2.118872e-04,2.299167e-04,2.541934e-04,2.895365e-04,3.012718e-04,3.531274e-04,3.574811e-04,4.097099e-04,4.336449e-04,4.709155e-04,5.177621e-04,5.365912e-04,6.065389e-04,6.094224e-04,6.805206e-04,7.080900e-04,7.582638e-04,8.131250e-04,8.394671e-04,9.238059e-04,1.010938e-03,1.039352e-03,1.100507e-03,1.158944e-03,1.192153e-03,1.281746e-03,1.285508e-03,1.380210e-03,1.406919e-03,1.475899e-03,1.533641e-03,1.572225e-03,1.661116e-03,1.668849e-03,1.765446e-03,1.788590e-03,1.861704e-03,1.915352e-03,1.957333e-03,2.040746e-03,2.052056e-03,2.145621e-03,2.164174e-03,2.237791e-03,2.285097e-03,2.328352e-03,2.403037e-03,2.417109e-03,2.503888e-03,2.517578e-03,2.588533e-03,2.628364e-03,2.670908e-03,2.735096e-03,2.750897e-03,2.828400e-03,2.837529e-03,2.903333e-03,2.935472e-03,2.975631e-03,3.028782e-03,3.045241e-03,3.112126e-03,3.117358e-03,3.176262e-03,3.201144e-03,3.237637e-03,3.280116e-03,3.296249e-03,3.352109e-03,3.354286e-03,3.405234e-03,3.423695e-03,3.455652e-03,3.488408e-03,3.503398e-03,3.548512e-03,3.591041e-03,3.604113e-03,3.631039e-03,3.655335e-03,3.668562e-03,3.702312e-03,3.703671e-03,3.736429e-03,3.745189e-03,3.766904e-03,3.784121e-03,3.795163e-03,3.819266e-03,3.821278e-03,3.845320e-03,3.850790e-03,3.867361e-03,3.878857e-03,3.887474e-03,3.903636e-03,3.905732e-03,3.922207e-03,3.925294e-03,3.936971e-03,3.943997e-03,3.950097e-03,3.959907e-03,3.961654e-03,3.971712e-03,3.973186e-03,3.980338e-03,3.983990e-03,3.987600e-03,3.992471e-03,3.993562e-03,3.998289e-03,3.998777e-03,4.001843e-03,4.003050e-03,4.004283e-03,4.005429e-03,4.005668e-03,4.006055e-03,4.006044e-03,4.005499e-03,4.005024e-03,4.004052e-03,4.002487e-03,4.001765e-03,3.998688e-03,3.998549e-03,3.994868e-03,3.993320e-03,3.990351e-03,3.986903e-03,3.985179e-03,3.979395e-03,3.970892e-03,3.961479e-03,3.951239e-03,3.940251e-03,3.928588e-03,3.916318e-03,3.903506e-03,3.890211e-03,3.876490e-03,3.862395e-03,3.847976e-03,3.833278e-03,3.818342e-03,3.803210e-03,3.787916e-03,3.772496e-03,3.756979e-03,3.741396e-03,3.725772e-03,3.710132e-03,3.694500e-03,3.678894e-03,3.663336e-03,3.647841e-03
0.000000e+00,8.673614e-12,4.486853e-11,5.178980e-10,2.622621e-09,5.512182e-09,2.737389e-08,2.900039e-08,1.038612e-07,1.415759e-07,2.920184e-07,4.996588e-07,6.952308e-07,1.385146e-06,1.464672e-06,2.806025e-06,3.240785e-06,4.978525e-06,6.670932e-06,8.289344e-06,1.241901e-05,1.308514e-05,1.974196e-05,2.133115e-05,2.865402e-05,3.431264e-05,4.022196e-05,5.228098e-05,5.484090e-05,7.288880e-05,7.611853e-05,9.471555e-05,1.066279e-04,1.206332e-04,1.444933e-04,1.509077e-04,1.857524e-04,1.902489e-04,2.253230e-04,2.442580e-04,2.697151e-04,3.067012e-04,3.189631e-04,3.730408e-04,3.775735e-04,4.318635e-04,4.566917e-04,4.952917e-04,5.437070e-04,5.631356e-04,6.351600e-04,6.381242e-04,7.110905e-04,7.393234e-04,7.906195e-04,8.465847e-04,8.734122e-04,9.591130e-04,1.047352e-03,1.076062e-03,1.137748e-03,1.196557e-03,1.229918e-03,1.319715e-03,1.323480e-03,1.418054e-03,1.444666e-03,1.513272e-03,1.570563e-03,1.608777e-03,1.696599e-03,1.704225e-03,1.799293e-03,1.822018e-03,1.893672e-03,1.946117e-03,1.987077e-03,2.068257e-03,2.079243e-03,2.169925e-03,2.187864e-03,2.258903e-03,2.304430e-03,2.345976e-03,2.417515e-03,2.430967e-03,2.513718e-03,2.526741e-03,2.594095e-03,2.631797e-03,2.671980e-03,2.732429e-03,2.747277e-03,2.819907e-03,2.828440e-03,2.889807e-03,2.919686e-03,2.956932e-03,3.006071e-03,3.021250e-03,3.082744e-03,3.087541e-03,3.141408e-03,3.164083e-03,3.197250e-03,3.235718e-03,3.250287e-03,3.300545e-03,3.302498e-03,3.348058e-03,3.364500e-03,3.392871e-03,3.421825e-03,3.435031e-03,3.474593e-03,3.511618e-03,3.522941e-03,3.546169e-03,3.567015e-03,3.578315e-03,3.606976e-03,3.608124e-03,3.635671e-03,3.642988e-03,3.661028e-03,3.675224e-03,3.684273e-03,3.703858e-03,3.705482e-03,3.724731e-03,3.729067e-03,3.742097e-03,3.751028e-03,3.757656e-03,3.769915e-03,3.771486e-03,3.783660e-03,3.785902e-03,3.794252e-03,3.799159e-03,3.803335e-03,3.809851e-03,3.810981e-03,3.817258e-03,3.818140e-03,3.822235e-03,3.824181e-03,3.825978e-03,3.828127e-03,3.828551e-03,3.830017e-03,3.830121e-03,3.830435e-03,3.830303e-03,3.829865e-03,3.828806e-03,3.828363e-03,3.825982e-03,3.825756e-03,3.822776e-03,3.821273e-03,3.818794e-03,3.815473e-03,3.814084e-03,3.808693e-03,3.808464e-03,3.802665e-03,3.800348e-03,3.796043e-03,3.791221e-03,3.788866e-03,3.781175e-03,3.770295e-03,3.758662e-03,3.746351e-03,3.733432e-03,3.719972e-03,3.706033e-03,3.691671e-03,3.676941e-03,3.661891e-03,3.646568e-03,3.631016e-03,3.615273e-03,3.599377e-03,3.583362e-03,3.567258e-03,3.551095e-03,3.534900e-03,3.518696e-03,3.502507e-03,3.486353e-03,3.470253e-03,3.454223e-03,3.438281e-03,3.422438e-03
0.000000e+00,1.155222e-09,3.565240e-09,1.704071e-08,4.527850e-08,6.995183e-08,1.751528e-07,1.809611e-07,3.700646e-07,4.397070e-07,6.571694e-07,8.849743e-07,1.062752e-06,1.557846e-06,1.606886e-06,2.304361e-06,2.495156e-06,3.157683e-06,3.700256e-06,4.157067e-06,5.145799e-06,5.287976e-06,6.536476e-06,6.799169e-06,7.890045e-06,8.631467e-06,9.336763e-06,1.061520e-05,1.086459e-05,1.246104e-05,1.272198e-05,1.411319e-05,1.492212e-05,1.580781e-05,1.718521e-05,1.753170e-05,1.927191e-05,1.948124e-05,2.101607e-05,2.178173e-05,2.275259e-05,2.406068e-05,2.447088e-05,2.616146e-05,2.629525e-05,2.781602e-05,2.846614e-05,2.942749e-05,3.055771e-05,3.098998e-05,3.249873e-05,3.255791e-05,3.395007e-05,3.445795e-05,3.534130e-05,3.625204e-05,3.667060e-05,3.793693e-05,3.913991e-05,3.951150e-05,4.027974e-05,4.097638e-05,4.135709e-05,4.233357e-05,4.237304e-05,4.332898e-05,4.358611e-05,4.422655e-05,4.473783e-05,4.506757e-05,4.579307e-05,4.585403e-05,4.658797e-05,4.675654e-05,4.727154e-05,4.763313e-05,4.790687e-05,4.842779e-05,4.849615e-05,4.904150e-05,4.914548e-05,4.954503e-05,4.979103e-05,5.000882e-05,5.036917e-05,5.043488e-05,5.082515e-05,5.088440e-05,5.118153e-05,5.134108e-05,5.150581e-05,5.174331e-05,5.179975e-05,5.206501e-05,5.209499e-05,5.230318e-05,5.239979e-05,5.251578e-05,5.266116e-05,5.270428e-05,5.287004e-05,5.288236e-05,5.301438e-05,5.306640e-05,5.313855e-05,5.321613e-05,5.324373e-05,5.333105e-05,5.333419e-05,5.340157e-05,5.342304e-05,5.345630e-05,5.348499e-05,5.349620e-05,5.352216e-05,5.353506e-05,5.353656e-05,5.353569e-05,5.353002e-05,5.352484e-05,5.350427e-05,5.350321e-05,5.347150e-05,5.346091e-05,5.343036e-05,5.340141e-05,5.338040e-05,5.332715e-05,5.332221e-05,5.325632e-05,5.323942e-05,5.318325e-05,5.313939e-05,5.310350e-05,5.302816e-05,5.301753e-05,5.292578e-05,5.290677e-05,5.282865e-05,5.277615e-05,5.272654e-05,5.263719e-05,5.261982e-05,5.250884e-05,5.249071e-05,5.239392e-05,5.233745e-05,5.227537e-05,5.217812e-05,5.215349e-05,5.202855e-05,5.201337e-05,5.190083e-05,5.184380e-05,5.177055e-05,5.166998e-05,5.163796e-05,5.150328e-05,5.149242e-05,5.136671e-05,5.131160e-05,5.122845e-05,5.112797e-05,5.108869e-05,5.094760e-05,5.094193e-05,5.080534e-05,5.075387e-05,5.066207e-05,5.056414e-05,5.051793e-05,5.037307e-05,5.018096e-05,4.998810e-05,4.979473e-05,4.960109e-05,4.940742e-05,4.921390e-05,4.902074e-05,4.882809e-05,4.863611e-05,4.844496e-05,4.825477e-05,4.806565e-05,4.787772e-05,4.769109e-05,4.750584e-05,4.732206e-05,4.713983e-05,4.695922e-05,4.678028e-05,4.660309e-05,4.642768e-05,4.625411e-05,4.608240e-05,4.591261e-05
0.000000e+00,1.714423e-09,4.952931e-09,2.190885e-08,5.618894e-08,8.580273e-08,2.118780e-07,2.188666e-07,4.491508e-07,5.354191e-07,8.098156e-07,1.104671e-06,1.339185e-06,2.006269e-06,2.073073e-06,3.027093e-06,3.287672e-06,4.186103e-06,4.912524e-06,5.517137e-06,6.804561e-06,6.987417e-06,8.570644e-06,8.898938e-06,1.024594e-05,1.114750e-05,1.199552e-05,1.351071e-05,1.380321e-05,1.565367e-05,1.595272e-05,1.753221e-05,1.843976e-05,1.942488e-05,2.094035e-05,2.131859e-05,2.320135e-05,2.342602e-05,2.506239e-05,2.587188e-05,2.689224e-05,2.825703e-05,2.868281e-05,3.042738e-05,3.056479e-05,3.212050e-05,3.278233e-05,3.375786e-05,3.490041e-05,3.533627e-05,3.685346e-05,3.691285e-05,3.830798e-05,3.881612e-05,3.969918e-05,4.060889e-05,4.102682e-05,4.229116e-05,4.349299e-05,4.386452e-05,4.463330e-05,4.533142e-05,4.571342e-05,4.669509e-05,4.673484e-05,4.769920e-05,4.795922e-05,4.860822e-05,4.912783e-05,4.946372e-05,5.020512e-05,5.026757e-05,5.102163e-05,5.119540e-05,5.172779e-05,5.210301e-05,5.238791e-05,5.293222e-05,5.300386e-05,5.357745e-05,5.368724e-05,5.411046e-05,5.437217e-05,5.460463e-05,5.499096e-05,5.506166e-05,5.548318e-05,5.554744e-05,5.587081e-05,5.604528e-05,5.622607e-05,5.648799e-05,5.655047e-05,5.684543e-05,5.687892e-05,5.711236e-05,5.722127e-05,5.735258e-05,5.751808e-05,5.756738e-05,5.775800e-05,5.777224e-05,5.792562e-05,5.798649e-05,5.807138e-05,5.816342e-05,5.819638e-05,5.830167e-05,5.830549e-05,5.838825e-05,5.841502e-05,5.845708e-05,5.849422e-05,5.850909e-05,5.854515e-05,5.856612e-05,5.856978e-05,5.857281e-05,5.856995e-05,5.856598e-05,5.854740e-05,5.854638e-05,5.851471e-05,5.850377e-05,5.847165e-05,5.844061e-05,5.841784e-05,5.835937e-05,5.835390e-05,5.828041e-05,5.826142e-05,5.819795e-05,5.814805e-05,5.810704e-05,5.802046e-05,5.800819e-05,5.790190e-05,5.787979e-05,5.778863e-05,5.772712e-05,5.766882e-05,5.756343e-05,5.754289e-05,5.741125e-05,5.738969e-05,5.727429e-05,5.720676e-05,5.713236e-05,5.701548e-05,5.698582e-05,5.683499e-05,5.681662e-05,5.668020e-05,5.661092e-05,5.652175e-05,5.639905e-05,5.635991e-05,5.619497e-05,5.618165e-05,5.602718e-05,5.595933e-05,5.585679e-05,5.573263e-05,5.568404e-05,5.550913e-05,5.550210e-05,5.533230e-05,5.526820e-05,5.515373e-05,5.503142e-05,5.497362e-05,5.479216e-05,5.455083e-05,5.430780e-05,5.406341e-05,5.381800e-05,5.357187e-05,5.332528e-05,5.307851e-05,5.283180e-05,5.258536e-05,5.233941e-05,5.209415e-05,5.184973e-05,5.160634e-05,5.136413e-05,5.112323e-05,5.088377e-05,5.064588e-05,5.040966e-05,5.017521e-05,4.994262e-05,4.971198e-05,4.948336e-05,4.925682e-05,4.903244e-05
0.000000e+00,3.076514e-09,7.923200e-09,3.073839e-08,7.372990e-08,1.095775e-07,2.561719e-07,2.641072e-07,5.185304e-07,6.111125e-07,8.985896e-07,1.198673e-06,1.432785e-06,2.086470e-06,2.151432e-06,3.080785e-06,3.336855e-06,4.231379e-06,4.968075e-06,5.589194e-06,6.929284e-06,7.120998e-06,8.788391e-06,9.135016e-06,1.055718e-05,1.150755e-05,1.239952e-05,1.398725e-05,1.429277e-05,1.621778e-05,1.652758e-05,1.815772e-05,1.908967e-05,2.009735e-05,2.163940e-05,2.202270e-05,2.392097e-05,2.414638e-05,2.578058e-05,2.658385e-05,2.759119e-05,2.892890e-05,2.934382e-05,3.103085e-05,3.116278e-05,3.264589e-05,3.327062e-05,3.418410e-05,3.524193e-05,3.564181e-05,3.701658e-05,3.706982e-05,3.830705e-05,3.875088e-05,3.951283e-05,4.028458e-05,4.063436e-05,4.167283e-05,4.262999e-05,4.291947e-05,4.350809e-05,4.402980e-05,4.430978e-05,4.501021e-05,4.503796e-05,4.569579e-05,4.586782e-05,4.628653e-05,4.661017e-05,4.681354e-05,4.724501e-05,4.728020e-05,4.768988e-05,4.778010e-05,4.804591e-05,4.822306e-05,4.835153e-05,4.858130e-05,4.860991e-05,4.882409e-05,4.886189e-05,4.899701e-05,4.907156e-05,4.913148e-05,4.921667e-05,4.923016e-05,4.929561e-05,4.930316e-05,4.933023e-05,4.933657e-05,4.933629e-05,4.932204e-05,4.931596e-05,4.927125e-05,4.926434e-05,4.920407e-05,4.916785e-05,4.911621e-05,4.903664e-05,4.900934e-05,4.888505e-05,4.887440e-05,4.874479e-05,4.868453e-05,4.858996e-05,4.847017e-05,4.842182e-05,4.824159e-05,4.823415e-05,4.805039e-05,4.797907e-05,4.784925e-05,4.770731e-05,4.763916e-05,4.742102e-05,4.719568e-05,4.712218e-05,4.696392e-05,4.681257e-05,4.672647e-05,4.649380e-05,4.648402e-05,4.623718e-05,4.616737e-05,4.598656e-05,4.583460e-05,4.573269e-05,4.549670e-05,4.547608e-05,4.521719e-05,4.515477e-05,4.495646e-05,4.480980e-05,4.469430e-05,4.446269e-05,4.443106e-05,4.416709e-05,4.411424e-05,4.390272e-05,4.376518e-05,4.363823e-05,4.341616e-05,4.337389e-05,4.310995e-05,4.306777e-05,4.284664e-05,4.272054e-05,4.258417e-05,4.237492e-05,4.232273e-05,4.206249e-05,4.203135e-05,4.180363e-05,4.169020e-05,4.154628e-05,4.135179e-05,4.129058e-05,4.103665e-05,4.101642e-05,4.078461e-05,4.068434e-05,4.053455e-05,4.035579e-05,4.028657e-05,4.004075e-05,4.003096e-05,3.979715e-05,3.971001e-05,3.955585e-05,3.939311e-05,3.931690e-05,3.908036e-05,3.877187e-05,3.846774e-05,3.816803e-05,3.787280e-05,3.758209e-05,3.729593e-05,3.701434e-05,3.673733e-05,3.646491e-05,3.619705e-05,3.593375e-05,3.567499e-05,3.542074e-05,3.517097e-05,3.492564e-05,3.468471e-05,3.444814e-05,3.421587e-05,3.398786e-05,3.376406e-05,3.354442e-05,3.332886e-05,3.311735e-05,3.290981e-05
0.000000e+00,2.644689e-09,7.696499e-09,3.436234e-08,8.853159e-08,1.353760e-07,3.342996e-07,3.452883e-07,7.046730e-07,8.379254e-07,1.257092e-06,1.700665e-06,2.049497e-06,3.030141e-06,3.127835e-06,4.523423e-06,4.906255e-06,6.235220e-06,7.320268e-06,8.229888e-06,1.018323e-05,1.046222e-05,1.289092e-05,1.339708e-05,1.548148e-05,1.688254e-05,1.820416e-05,2.057352e-05,2.103198e-05,2.393981e-05,2.441089e-05,2.690411e-05,2.834057e-05,2.990313e-05,3.231395e-05,3.291704e-05,3.592815e-05,3.628854e-05,3.892094e-05,4.022844e-05,4.188206e-05,4.410432e-05,4.480023e-05,4.766613e-05,4.789290e-05,5.047208e-05,5.157626e-05,5.321200e-05,5.514117e-05,5.588117e-05,5.847590e-05,5.857810e-05,6.099354e-05,6.188065e-05,6.343226e-05,6.504488e-05,6.579088e-05,6.806881e-05,7.026594e-05,7.095199e-05,7.238253e-05,7.369515e-05,7.441919e-05,7.629995e-05,7.637675e-05,7.825626e-05,7.876870e-05,8.005894e-05,8.110422e-05,8.178612e-05,8.330972e-05,8.343929e-05,8.501998e-05,8.538873e-05,8.652979e-05,8.734495e-05,8.797040e-05,8.918223e-05,8.934349e-05,9.065078e-05,9.090449e-05,9.189401e-05,9.251575e-05,9.307492e-05,9.402001e-05,9.419527e-05,9.525678e-05,9.542128e-05,9.626120e-05,9.672355e-05,9.721025e-05,9.793076e-05,9.810563e-05,9.894902e-05,9.904681e-05,9.974208e-05,1.000755e-04,1.004864e-04,1.010206e-04,1.011837e-04,1.018355e-04,1.018858e-04,1.024434e-04,1.026746e-04,1.030088e-04,1.033905e-04,1.035333e-04,1.040183e-04,1.040369e-04,1.044653e-04,1.046172e-04,1.048756e-04,1.051344e-04,1.052507e-04,1.055918e-04,1.059002e-04,1.059922e-04,1.061772e-04,1.063386e-04,1.064241e-04,1.066338e-04,1.066419e-04,1.068320e-04,1.068804e-04,1.069954e-04,1.070810e-04,1.071332e-04,1.072383e-04,1.072464e-04,1.073362e-04,1.073544e-04,1.074036e-04,1.074318e-04,1.074494e-04,1.074727e-04,1.074747e-04,1.074804e-04,1.074792e-04,1.074673e-04,1.074533e-04,1.074363e-04,1.073971e-04,1.073883e-04,1.073240e-04,1.073123e-04,1.072443e-04,1.072008e-04,1.071499e-04,1.070642e-04,1.070415e-04,1.069198e-04,1.069043e-04,1.067855e-04,1.067226e-04,1.066393e-04,1.065206e-04,1.064818e-04,1.063136e-04,1.062997e-04,1.061353e-04,1.060613e-04,1.059475e-04,1.058067e-04,1.057507e-04,1.055454e-04,1.055371e-04,1.053323e-04,1.052537e-04,1.051116e-04,1.049576e-04,1.048840e-04,1.046499e-04,1.043316e-04,1.040036e-04,1.036670e-04,1.033225e-04,1.029709e-04,1.026131e-04,1.022498e-04,1.018816e-04,1.015093e-04,1.011334e-04,1.007546e-04,1.003734e-04,9.999031e-05,9.960583e-05,9.922041e-05,9.883450e-05,9.844851e-05,9.806281e-05,9.767777e-05,9.729371e-05,9.691096e-05,9.652979e-05,9.615050e-05,9.577332e-05
0.000000e+00,3.746415e-11,1.657228e-10,1.396469e-09,5.371029e-09,9.752065e-09,3.368572e-08,3.517982e-08,8.976469e-08,1.119646e-07,1.858695e-07,2.684632e-07,3.354657e-07,5.301927e-07,5.500050e-07,8.402177e-07,9.222006e-07,1.215287e-06,1.464879e-06,1.681475e-06,2.169156e-06,2.241270e-06,2.893788e-06,3.035172e-06,3.635932e-06,4.055869e-06,4.463396e-06,5.220757e-06,5.371177e-06,6.353730e-06,6.517478e-06,7.404952e-06,7.931986e-06,8.518146e-06,9.448448e-06,9.686033e-06,1.090082e-05,1.104936e-05,1.215431e-05,1.271592e-05,1.343802e-05,1.442858e-05,1.474339e-05,1.606187e-05,1.616767e-05,1.738516e-05,1.791401e-05,1.870527e-05,1.964955e-05,2.001470e-05,2.130652e-05,2.135773e-05,2.257443e-05,2.302392e-05,2.381280e-05,2.463548e-05,2.501671e-05,2.618197e-05,2.730509e-05,2.765512e-05,2.838332e-05,2.904881e-05,2.941451e-05,3.035878e-05,3.039714e-05,3.133021e-05,3.158251e-05,3.221324e-05,3.271902e-05,3.304620e-05,3.376859e-05,3.382943e-05,3.456357e-05,3.473257e-05,3.524959e-05,3.561316e-05,3.588864e-05,3.641324e-05,3.648209e-05,3.703146e-05,3.713618e-05,3.753834e-05,3.778569e-05,3.800444e-05,3.836572e-05,3.843150e-05,3.882130e-05,3.888033e-05,3.917562e-05,3.933362e-05,3.949625e-05,3.972966e-05,3.978492e-05,4.004336e-05,4.007242e-05,4.027324e-05,4.036576e-05,4.047620e-05,4.061340e-05,4.065379e-05,4.080754e-05,4.081886e-05,4.093890e-05,4.098548e-05,4.104924e-05,4.111642e-05,4.113990e-05,4.121213e-05,4.121465e-05,4.126713e-05,4.128293e-05,4.130603e-05,4.132385e-05,4.132992e-05,4.133980e-05,4.133663e-05,4.133302e-05,4.132133e-05,4.130557e-05,4.129475e-05,4.125935e-05,4.125768e-05,4.121088e-05,4.119614e-05,4.115508e-05,4.111755e-05,4.109092e-05,4.102507e-05,4.101906e-05,4.094006e-05,4.092010e-05,4.085449e-05,4.080390e-05,4.076287e-05,4.067762e-05,4.066568e-05,4.056338e-05,4.054234e-05,4.045640e-05,4.039905e-05,4.034513e-05,4.024864e-05,4.022997e-05,4.011125e-05,4.009195e-05,3.998931e-05,3.992973e-05,3.986446e-05,3.976268e-05,3.973699e-05,3.960717e-05,3.959144e-05,3.947525e-05,3.941660e-05,3.934146e-05,3.923868e-05,3.920604e-05,3.906920e-05,3.905819e-05,3.893111e-05,3.887557e-05,3.879197e-05,3.869124e-05,3.865195e-05,3.851121e-05,3.850556e-05,3.836989e-05,3.831890e-05,3.822813e-05,3.813155e-05,3.808606e-05,3.794381e-05,3.775594e-05,3.756818e-05,3.738075e-05,3.719384e-05,3.700764e-05,3.682232e-05,3.663801e-05,3.645486e-05,3.627298e-05,3.609250e-05,3.591350e-05,3.573607e-05,3.556029e-05,3.538624e-05,3.521398e-05,3.504356e-05,3.487504e-05,3.470844e-05,3.454382e-05,3.438120e-05,3.422061e-05,3.406207e-05,3.390560e-05,3.375121e-05
0.000000e+00,2.543970e-09,5.815944e-09,1.998850e-08,4.572390e-08,6.713070e-08,1.568946e-07,1.618823e-07,3.289996e-07,3.929574e-07,5.991487e-07,8.203946e-07,9.925683e-07,1.453521e-06,1.497241e-06,2.080927e-06,2.229468e-06,2.715995e-06,3.087170e-06,3.384723e-06,3.991792e-06,4.075557e-06,4.779829e-06,4.921630e-06,5.490111e-06,5.859553e-06,6.199593e-06,6.790301e-06,6.901957e-06,7.591461e-06,7.700239e-06,8.263037e-06,8.577738e-06,8.912410e-06,9.413587e-06,9.536147e-06,1.013164e-05,1.020111e-05,1.069709e-05,1.093606e-05,1.123140e-05,1.161633e-05,1.173408e-05,1.220520e-05,1.224153e-05,1.264522e-05,1.281270e-05,1.305496e-05,1.333179e-05,1.343544e-05,1.378787e-05,1.380140e-05,1.411357e-05,1.422454e-05,1.441392e-05,1.460441e-05,1.469035e-05,1.494428e-05,1.517711e-05,1.524737e-05,1.539018e-05,1.551677e-05,1.558479e-05,1.575540e-05,1.576218e-05,1.592352e-05,1.596597e-05,1.606992e-05,1.615102e-05,1.620242e-05,1.631287e-05,1.632198e-05,1.642951e-05,1.645363e-05,1.652587e-05,1.657525e-05,1.661185e-05,1.667950e-05,1.668817e-05,1.675552e-05,1.676797e-05,1.681454e-05,1.684213e-05,1.686581e-05,1.690329e-05,1.690988e-05,1.694725e-05,1.695264e-05,1.697840e-05,1.699128e-05,1.700377e-05,1.702017e-05,1.702376e-05,1.703875e-05,1.704022e-05,1.704908e-05,1.705224e-05,1.705509e-05,1.705695e-05,1.705708e-05,1.705532e-05,1.705503e-05,1.705009e-05,1.704707e-05,1.704162e-05,1.703364e-05,1.703014e-05,1.701587e-05,1.701524e-05,1.699899e-05,1.699232e-05,1.697971e-05,1.696531e-05,1.695818e-05,1.693458e-05,1.690904e-05,1.690048e-05,1.688171e-05,1.686334e-05,1.685273e-05,1.682345e-05,1.682220e-05,1.679026e-05,1.678108e-05,1.675701e-05,1.673647e-05,1.672255e-05,1.668985e-05,1.668697e-05,1.665036e-05,1.664143e-05,1.661281e-05,1.659140e-05,1.657439e-05,1.653993e-05,1.653519e-05,1.649526e-05,1.648720e-05,1.645468e-05,1.643334e-05,1.641351e-05,1.637850e-05,1.637179e-05,1.632960e-05,1.632280e-05,1.628697e-05,1.626637e-05,1.624396e-05,1.620931e-05,1.620061e-05,1.615697e-05,1.615172e-05,1.611308e-05,1.609369e-05,1.606896e-05,1.603532e-05,1.602467e-05,1.598023e-05,1.597667e-05,1.593568e-05,1.591784e-05,1.589104e-05,1.585887e-05,1.584635e-05,1.580163e-05,1.579984e-05,1.575690e-05,1.574080e-05,1.571219e-05,1.568182e-05,1.566753e-05,1.562293e-05,1.556418e-05,1.550562e-05,1.544729e-05,1.538922e-05,1.533144e-05,1.527399e-05,1.521690e-05,1.516018e-05,1.510388e-05,1.504799e-05,1.499256e-05,1.493759e-05,1.488310e-05,1.482910e-05,1.477562e-05,1.472266e-05,1.467023e-05,1.461835e-05,1.456701e-05,1.451624e-05,1.446603e-05,1.441639e-05,1.436733e-05,1.431885e-05
0.000000e+00,1.002064e-09,2.893017e-09,1.277496e-08,3.269403e-08,4.985213e-08,1.224834e-07,1.264917e-07,2.576597e-07,3.063796e-07,4.600039e-07,6.230157e-07,7.512633e-07,1.109768e-06,1.145185e-06,1.642537e-06,1.776004e-06,2.230266e-06,2.592435e-06,2.891325e-06,3.522086e-06,3.611161e-06,4.377990e-06,4.536076e-06,5.181545e-06,5.610717e-06,6.012267e-06,6.724383e-06,6.861036e-06,7.719211e-06,7.856845e-06,8.578765e-06,8.989679e-06,9.432446e-06,1.010685e-05,1.027388e-05,1.109763e-05,1.119507e-05,1.189920e-05,1.224392e-05,1.267501e-05,1.324567e-05,1.342230e-05,1.413904e-05,1.419502e-05,1.482387e-05,1.508867e-05,1.547597e-05,1.592499e-05,1.609497e-05,1.668089e-05,1.670364e-05,1.723404e-05,1.742525e-05,1.775496e-05,1.809116e-05,1.824440e-05,1.870321e-05,1.913236e-05,1.926360e-05,1.953289e-05,1.977471e-05,1.990588e-05,2.023905e-05,2.025242e-05,2.057364e-05,2.065919e-05,2.087064e-05,2.103768e-05,2.114453e-05,2.137702e-05,2.139638e-05,2.162726e-05,2.167966e-05,2.183818e-05,2.194797e-05,2.203017e-05,2.218421e-05,2.220417e-05,2.236114e-05,2.239056e-05,2.250195e-05,2.256909e-05,2.262749e-05,2.272175e-05,2.273858e-05,2.283602e-05,2.285040e-05,2.292057e-05,2.295679e-05,2.299296e-05,2.304259e-05,2.305389e-05,2.310402e-05,2.310934e-05,2.314399e-05,2.315852e-05,2.317441e-05,2.319149e-05,2.319585e-05,2.320886e-05,2.320956e-05,2.321397e-05,2.321392e-05,2.321168e-05,2.320570e-05,2.320245e-05,2.318673e-05,2.318598e-05,2.316496e-05,2.315572e-05,2.313755e-05,2.311587e-05,2.310486e-05,2.306728e-05,2.302514e-05,2.301075e-05,2.297878e-05,2.294704e-05,2.292850e-05,2.287683e-05,2.287461e-05,2.281737e-05,2.280078e-05,2.275706e-05,2.271949e-05,2.269391e-05,2.263353e-05,2.262818e-05,2.256008e-05,2.254340e-05,2.248982e-05,2.244960e-05,2.241760e-05,2.235257e-05,2.234360e-05,2.226802e-05,2.225272e-05,2.219101e-05,2.215045e-05,2.211272e-05,2.204609e-05,2.203332e-05,2.195293e-05,2.193999e-05,2.187170e-05,2.183244e-05,2.178974e-05,2.172372e-05,2.170716e-05,2.162409e-05,2.161409e-05,2.154062e-05,2.150379e-05,2.145684e-05,2.139303e-05,2.137286e-05,2.128874e-05,2.128201e-05,2.120458e-05,2.117092e-05,2.112044e-05,2.105992e-05,2.103640e-05,2.095252e-05,2.094917e-05,2.086886e-05,2.083880e-05,2.078547e-05,2.072895e-05,2.070241e-05,2.061973e-05,2.051124e-05,2.040358e-05,2.029683e-05,2.019107e-05,2.008638e-05,1.998281e-05,1.988041e-05,1.977924e-05,1.967934e-05,1.958074e-05,1.948348e-05,1.938758e-05,1.929307e-05,1.919997e-05,1.910828e-05,1.901803e-05,1.892922e-05,1.884186e-05,1.875595e-05,1.867149e-05,1.858847e-05,1.850691e-05,1.842679e-05,1.834810e-05
0.000000e+00,5.192929e-10,1.196333e-09,4.141534e-09,9.446746e-09,1.378814e-08,3.122498e-08,3.215926e-08,6.174653e-08,7.235749e-08,1.048371e-07,1.380449e-07,1.635038e-07,2.328120e-07,2.395767e-07,3.345953e-07,3.603588e-07,4.497421e-07,5.233153e-07,5.857652e-07,7.229353e-07,7.429007e-07,9.208090e-07,9.588106e-07,1.118539e-06,1.228700e-06,1.334538e-06,1.528578e-06,1.566713e-06,1.812554e-06,1.852975e-06,2.069312e-06,2.195608e-06,2.334187e-06,2.550129e-06,2.604509e-06,2.877860e-06,2.910762e-06,3.152136e-06,3.272642e-06,3.425562e-06,3.631880e-06,3.696664e-06,3.964243e-06,3.985467e-06,4.227331e-06,4.331130e-06,4.485159e-06,4.667197e-06,4.737129e-06,4.982780e-06,4.992469e-06,5.221773e-06,5.306133e-06,5.453871e-06,5.607676e-06,5.678918e-06,5.896826e-06,6.107568e-06,6.173494e-06,6.311161e-06,6.437733e-06,6.507660e-06,6.689703e-06,6.697149e-06,6.879738e-06,6.929644e-06,7.055555e-06,7.157853e-06,7.224741e-06,7.374667e-06,7.387449e-06,7.543839e-06,7.580451e-06,7.694076e-06,7.775585e-06,7.838330e-06,7.960459e-06,7.976771e-06,8.109569e-06,8.135466e-06,8.236895e-06,8.300998e-06,8.358917e-06,8.457440e-06,8.475803e-06,8.587717e-06,8.605173e-06,8.694821e-06,8.744568e-06,8.797271e-06,8.875985e-06,8.895222e-06,8.988826e-06,8.999774e-06,9.078229e-06,9.116273e-06,9.163574e-06,9.225809e-06,9.245001e-06,9.322644e-06,9.328696e-06,9.396634e-06,9.425236e-06,9.467100e-06,9.515721e-06,9.534163e-06,9.597945e-06,9.600430e-06,9.658560e-06,9.679628e-06,9.716121e-06,9.753574e-06,9.770737e-06,9.822511e-06,9.871546e-06,9.886675e-06,9.917939e-06,9.946289e-06,9.961786e-06,1.000157e-05,1.000318e-05,1.004220e-05,1.005272e-05,1.007895e-05,1.009993e-05,1.011349e-05,1.014340e-05,1.014592e-05,1.017630e-05,1.018330e-05,1.020472e-05,1.021980e-05,1.023124e-05,1.025307e-05,1.025593e-05,1.027887e-05,1.028325e-05,1.030010e-05,1.031050e-05,1.031971e-05,1.033495e-05,1.033773e-05,1.035425e-05,1.035675e-05,1.036930e-05,1.037602e-05,1.038294e-05,1.039288e-05,1.039523e-05,1.040622e-05,1.040745e-05,1.041595e-05,1.041984e-05,1.042447e-05,1.043016e-05,1.043182e-05,1.043805e-05,1.043850e-05,1.044321e-05,1.044497e-05,1.044732e-05,1.044966e-05,1.045043e-05,1.045258e-05,1.045265e-05,1.045381e-05,1.045403e-05,1.045414e-05,1.045388e-05,1.045362e-05,1.045227e-05,1.044927e-05,1.044497e-05,1.043941e-05,1.043267e-05,1.042481e-05,1.041588e-05,1.040594e-05,1.039504e-05,1.038323e-05,1.037056e-05,1.035708e-05,1.034282e-05,1.032783e-05,1.031215e-05,1.029582e-05,1.027887e-05,1.026135e-05,1.024327e-05,1.022468e-05,1.020560e-05,1.018606e-05,1.016610e-05,1.014573e-05,1.012498e-05
0.000000e+00,1.678821e-12,8.484944e-12,9.324400e-11,4.509809e-10,9.237573e-10,4.283506e-09,4.525088e-09,1.508924e-08,2.016094e-08,3.949736e-08,6.474932e-08,8.757249e-08,1.636483e-07,1.721028e-07,3.086880e-07,3.511781e-07,5.154205e-07,6.692411e-07,8.123294e-07,1.164900e-06,1.220439e-06,1.760309e-06,1.885760e-06,2.450154e-06,2.872995e-06,3.303938e-06,4.154018e-06,4.329892e-06,5.529769e-06,5.737660e-06,6.898826e-06,7.613138e-06,8.426401e-06,9.752229e-06,1.009687e-05,1.189078e-05,1.211331e-05,1.378607e-05,1.464607e-05,1.575917e-05,1.729597e-05,1.778605e-05,1.984301e-05,2.000818e-05,2.190746e-05,2.273056e-05,2.395837e-05,2.541588e-05,2.597672e-05,2.794572e-05,2.802325e-05,2.985094e-05,3.051881e-05,3.168033e-05,3.287598e-05,3.342422e-05,3.507518e-05,3.662786e-05,3.710336e-05,3.807884e-05,3.895322e-05,3.942638e-05,4.062246e-05,4.067024e-05,4.181147e-05,4.211288e-05,4.285217e-05,4.342955e-05,4.379533e-05,4.458003e-05,4.464462e-05,4.540423e-05,4.557370e-05,4.607875e-05,4.642110e-05,4.667299e-05,4.713346e-05,4.719192e-05,4.764054e-05,4.772227e-05,4.802382e-05,4.819893e-05,4.834664e-05,4.857454e-05,4.861372e-05,4.882960e-05,4.885968e-05,4.899862e-05,4.906432e-05,4.912489e-05,4.919772e-05,4.921226e-05,4.926436e-05,4.926840e-05,4.928454e-05,4.928412e-05,4.927593e-05,4.925193e-05,4.924143e-05,4.918371e-05,4.917816e-05,4.910521e-05,4.906850e-05,4.900817e-05,4.892798e-05,4.889465e-05,4.876651e-05,4.876111e-05,4.862547e-05,4.857184e-05,4.847307e-05,4.836368e-05,4.831073e-05,4.813970e-05,4.796116e-05,4.790261e-05,4.777615e-05,4.765478e-05,4.758561e-05,4.739828e-05,4.739039e-05,4.719128e-05,4.713493e-05,4.698896e-05,4.686630e-05,4.678408e-05,4.659379e-05,4.657718e-05,4.636879e-05,4.631860e-05,4.615936e-05,4.604178e-05,4.594931e-05,4.576425e-05,4.573901e-05,4.552879e-05,4.548678e-05,4.531896e-05,4.521008e-05,4.510978e-05,4.493475e-05,4.490149e-05,4.469432e-05,4.466128e-05,4.448845e-05,4.439015e-05,4.428406e-05,4.412172e-05,4.408131e-05,4.388033e-05,4.385633e-05,4.368124e-05,4.359427e-05,4.348415e-05,4.333576e-05,4.328916e-05,4.309635e-05,4.308102e-05,4.290580e-05,4.283022e-05,4.271756e-05,4.258349e-05,4.253169e-05,4.234824e-05,4.234095e-05,4.216725e-05,4.210270e-05,4.198875e-05,4.186881e-05,4.181277e-05,4.163933e-05,4.141429e-05,4.119374e-05,4.097767e-05,4.076609e-05,4.055899e-05,4.035636e-05,4.015817e-05,3.996438e-05,3.977497e-05,3.958988e-05,3.940908e-05,3.923251e-05,3.906011e-05,3.889183e-05,3.872761e-05,3.856738e-05,3.841108e-05,3.825865e-05,3.811001e-05,3.796510e-05,3.782386e-05,3.768620e-05,3.755206e-05,3.742137e-05
0.000000e+00,1.024970e-11,5.002018e-11,5.115834e-10,2.320112e-09,4.589949e-09,1.949916e-08,2.052724e-08,6.301878e-08,8.240106e-08,1.531921e-07,2.412314e-07,3.181574e-07,5.636129e-07,5.901274e-07,1.003931e-06,1.128105e-06,1.592326e-06,2.008130e-06,2.381267e-06,3.255002e-06,3.387572e-06,4.619122e-06,4.892611e-06,6.076359e-06,6.921742e-06,7.753983e-06,9.326528e-06,9.642317e-06,1.172824e-05,1.207930e-05,1.399581e-05,1.514345e-05,1.642666e-05,1.847527e-05,1.900042e-05,2.169512e-05,2.202552e-05,2.448762e-05,2.574120e-05,2.735417e-05,2.956758e-05,3.027091e-05,3.321441e-05,3.345037e-05,3.616218e-05,3.733768e-05,3.909303e-05,4.118178e-05,4.198752e-05,4.482811e-05,4.494039e-05,4.759939e-05,4.857747e-05,5.028813e-05,5.206362e-05,5.288331e-05,5.537604e-05,5.775943e-05,5.849815e-05,6.002848e-05,6.141908e-05,6.217990e-05,6.413292e-05,6.421190e-05,6.612402e-05,6.663800e-05,6.791694e-05,6.893611e-05,6.959228e-05,7.103180e-05,7.115245e-05,7.260050e-05,7.293173e-05,7.393997e-05,7.464408e-05,7.517476e-05,7.617810e-05,7.630905e-05,7.734719e-05,7.754367e-05,7.829362e-05,7.875102e-05,7.915284e-05,7.981045e-05,7.992931e-05,8.062743e-05,8.073215e-05,8.125153e-05,8.152604e-05,8.180580e-05,8.220168e-05,8.229432e-05,8.272099e-05,8.276822e-05,8.308959e-05,8.323430e-05,8.340369e-05,8.360809e-05,8.366674e-05,8.388200e-05,8.389725e-05,8.405256e-05,8.410893e-05,8.418135e-05,8.424979e-05,8.427116e-05,8.432462e-05,8.432603e-05,8.434419e-05,8.434340e-05,8.433223e-05,8.430721e-05,8.429093e-05,8.422237e-05,8.412851e-05,8.409343e-05,8.401117e-05,8.392456e-05,8.387209e-05,8.371962e-05,8.371288e-05,8.353508e-05,8.348216e-05,8.334011e-05,8.321545e-05,8.312932e-05,8.292250e-05,8.290397e-05,8.266523e-05,8.260607e-05,8.241422e-05,8.226869e-05,8.215198e-05,8.191270e-05,8.187949e-05,8.159765e-05,8.154024e-05,8.130733e-05,8.115328e-05,8.100933e-05,8.075362e-05,8.070439e-05,8.039323e-05,8.034291e-05,8.007651e-05,7.992269e-05,7.975484e-05,7.949433e-05,7.942879e-05,7.909893e-05,7.905911e-05,7.876573e-05,7.861820e-05,7.842970e-05,7.817267e-05,7.809125e-05,7.775081e-05,7.772350e-05,7.740877e-05,7.727158e-05,7.706548e-05,7.681773e-05,7.672128e-05,7.637649e-05,7.636269e-05,7.603139e-05,7.590713e-05,7.568627e-05,7.545170e-05,7.534137e-05,7.499693e-05,7.454336e-05,7.409145e-05,7.364161e-05,7.319423e-05,7.274967e-05,7.230822e-05,7.187017e-05,7.143577e-05,7.100525e-05,7.057881e-05,7.015662e-05,6.973885e-05,6.932563e-05,6.891708e-05,6.851332e-05,6.811443e-05,6.772047e-05,6.733154e-05,6.694766e-05,6.656888e-05,6.619524e-05,6.582675e-05,6.546344e-05,6.510529e-05
0.000000e+00,1.938842e-11,1.003716e-10,1.160148e-09,5.880444e-09,1.236347e-08,6.139897e-08,6.504525e-08,2.325727e-07,3.167803e-07,6.516843e-07,1.111957e-06,1.544003e-06,3.061460e-06,3.235958e-06,6.174174e-06,7.125878e-06,1.093278e-05,1.464867e-05,1.821160e-05,2.734729e-05,2.882679e-05,4.369616e-05,4.726737e-05,6.382033e-05,7.671225e-05,9.026091e-05,1.181554e-04,1.241164e-04,1.664965e-04,1.741420e-04,2.184958e-04,2.471839e-04,2.811680e-04,3.396565e-04,3.555003e-04,4.423904e-04,4.536997e-04,5.426257e-04,5.911320e-04,6.568659e-04,7.533788e-04,7.856284e-04,9.292785e-04,9.414210e-04,1.088023e-03,1.155762e-03,1.261906e-03,1.396418e-03,1.450814e-03,1.654475e-03,1.662923e-03,1.872471e-03,1.954355e-03,2.104243e-03,2.269374e-03,2.349109e-03,2.606271e-03,2.874834e-03,2.963025e-03,3.153822e-03,3.337364e-03,3.442188e-03,3.726827e-03,3.738837e-03,4.042637e-03,4.128825e-03,4.352430e-03,4.540700e-03,4.667055e-03,4.959780e-03,4.985351e-03,5.306175e-03,5.383424e-03,5.628407e-03,5.809067e-03,5.950964e-03,6.234255e-03,6.272804e-03,6.592934e-03,6.656672e-03,6.910416e-03,7.074165e-03,7.224368e-03,7.484759e-03,7.533971e-03,7.838470e-03,7.886669e-03,8.137173e-03,8.278307e-03,8.429456e-03,8.658280e-03,8.714757e-03,8.992578e-03,9.025393e-03,9.262486e-03,9.378640e-03,9.524106e-03,9.717198e-03,9.777122e-03,1.002128e-02,1.004042e-02,1.025636e-02,1.034782e-02,1.048222e-02,1.063906e-02,1.069874e-02,1.090586e-02,1.091395e-02,1.110355e-02,1.117242e-02,1.129183e-02,1.141451e-02,1.147074e-02,1.164036e-02,1.180080e-02,1.185022e-02,1.195218e-02,1.204438e-02,1.209466e-02,1.222322e-02,1.222840e-02,1.235361e-02,1.238717e-02,1.247049e-02,1.253670e-02,1.257924e-02,1.267232e-02,1.268011e-02,1.277332e-02,1.279458e-02,1.285912e-02,1.290402e-02,1.293775e-02,1.300122e-02,1.300947e-02,1.307454e-02,1.308677e-02,1.313319e-02,1.316125e-02,1.318570e-02,1.322523e-02,1.323230e-02,1.327326e-02,1.327931e-02,1.330882e-02,1.332404e-02,1.333921e-02,1.335998e-02,1.336470e-02,1.338549e-02,1.338769e-02,1.340184e-02,1.340768e-02,1.341395e-02,1.342047e-02,1.342206e-02,1.342636e-02,1.342655e-02,1.342707e-02,1.342639e-02,1.342438e-02,1.342046e-02,1.341850e-02,1.340959e-02,1.340917e-02,1.339784e-02,1.339295e-02,1.338343e-02,1.337219e-02,1.336652e-02,1.334726e-02,1.331851e-02,1.328628e-02,1.325088e-02,1.321261e-02,1.317175e-02,1.312855e-02,1.308326e-02,1.303611e-02,1.298731e-02,1.293707e-02,1.288556e-02,1.283296e-02,1.277944e-02,1.272513e-02,1.267019e-02,1.261473e-02,1.255887e-02,1.250272e-02,1.244639e-02,1.238996e-02,1.233352e-02,1.227714e-02,1.222090e-02,1.216486e-02
0.000000e+00,1.454533e-11,7.525735e-11,8.688805e-10,4.399828e-09,9.245931e-09,4.586558e-08,4.858748e-08,1.735932e-07,2.364135e-07,4.862661e-07,8.297658e-07,1.152377e-06,2.287134e-06,2.417807e-06,4.624301e-06,5.341579e-06,8.223290e-06,1.105446e-05,1.378465e-05,2.084531e-05,2.199593e-05,3.364957e-05,3.646919e-05,4.961973e-05,5.993653e-05,7.083313e-05,9.339812e-05,9.823800e-05,1.327740e-04,1.390227e-04,1.753450e-04,1.988836e-04,2.267944e-04,2.748624e-04,2.878853e-04,3.592832e-04,3.685711e-04,4.415431e-04,4.812951e-04,5.351002e-04,6.139540e-04,6.402635e-04,7.572133e-04,7.670809e-04,8.860010e-04,9.408180e-04,1.026552e-03,1.134927e-03,1.178670e-03,1.342046e-03,1.348810e-03,1.516265e-03,1.581543e-03,1.700817e-03,1.831915e-03,1.895108e-03,2.098471e-03,2.310178e-03,2.379560e-03,2.529451e-03,2.673383e-03,2.755478e-03,2.978035e-03,2.987416e-03,3.224409e-03,3.291556e-03,3.465596e-03,3.611963e-03,3.710117e-03,3.937293e-03,3.957126e-03,4.205793e-03,4.265630e-03,4.455316e-03,4.595132e-03,4.704920e-03,4.924053e-03,4.953869e-03,5.201461e-03,5.250759e-03,5.447041e-03,5.573740e-03,5.689992e-03,5.891622e-03,5.929746e-03,6.165781e-03,6.203169e-03,6.397621e-03,6.507286e-03,6.624836e-03,6.803019e-03,6.847043e-03,7.063905e-03,7.089555e-03,7.275126e-03,7.366209e-03,7.480453e-03,7.632428e-03,7.679674e-03,7.872615e-03,7.887775e-03,8.059137e-03,8.131925e-03,8.239137e-03,8.364655e-03,8.412540e-03,8.579303e-03,8.585836e-03,8.739411e-03,8.795421e-03,8.892871e-03,8.993442e-03,9.039714e-03,9.179993e-03,9.313776e-03,9.355229e-03,9.441152e-03,9.519355e-03,9.562220e-03,9.672618e-03,9.677096e-03,9.785905e-03,9.815303e-03,9.888782e-03,9.947721e-03,9.985872e-03,1.007021e-02,1.007732e-02,1.016330e-02,1.018313e-02,1.024395e-02,1.028685e-02,1.031944e-02,1.038174e-02,1.038994e-02,1.045563e-02,1.046820e-02,1.051666e-02,1.054661e-02,1.057320e-02,1.061736e-02,1.062543e-02,1.067352e-02,1.068084e-02,1.071761e-02,1.073741e-02,1.075789e-02,1.078747e-02,1.079451e-02,1.082763e-02,1.083137e-02,1.085740e-02,1.086948e-02,1.088397e-02,1.090213e-02,1.090750e-02,1.092813e-02,1.092965e-02,1.094599e-02,1.095239e-02,1.096122e-02,1.097063e-02,1.097395e-02,1.098432e-02,1.098469e-02,1.099244e-02,1.099484e-02,1.099844e-02,1.100136e-02,1.100242e-02,1.100451e-02,1.100453e-02,1.100166e-02,1.099612e-02,1.098813e-02,1.097787e-02,1.096555e-02,1.095133e-02,1.093539e-02,1.091788e-02,1.089895e-02,1.087873e-02,1.085736e-02,1.083496e-02,1.081164e-02,1.078751e-02,1.076267e-02,1.073720e-02,1.071120e-02,1.068475e-02,1.065792e-02,1.063078e-02,1.060338e-02,1.057581e-02,1.054810e-02
0.000000e+00,3.924236e-09,9.013471e-09,3.114173e-08,7.122108e-08,1.043140e-07,2.402950e-07,2.477246e-07,4.904964e-07,5.808936e-07,8.663314e-07,1.166809e-06,1.399123e-06,2.024532e-06,2.084517e-06,2.902797e-06,3.116998e-06,3.837474e-06,4.407314e-06,4.876966e-06,5.870650e-06,6.011488e-06,7.231108e-06,7.484312e-06,8.525043e-06,9.223417e-06,9.881637e-06,1.106066e-05,1.128866e-05,1.273372e-05,1.296764e-05,1.420470e-05,1.491656e-05,1.569009e-05,1.688163e-05,1.717930e-05,1.866279e-05,1.884001e-05,2.013220e-05,2.077241e-05,2.158040e-05,2.266312e-05,2.300140e-05,2.439031e-05,2.449992e-05,2.574327e-05,2.627369e-05,2.705729e-05,2.797801e-05,2.833018e-05,2.956042e-05,2.960873e-05,3.074707e-05,3.116349e-05,3.188966e-05,3.264140e-05,3.298812e-05,3.404269e-05,3.505387e-05,3.536840e-05,3.602237e-05,3.662021e-05,3.694906e-05,3.780025e-05,3.783492e-05,3.868102e-05,3.891096e-05,3.948850e-05,3.995494e-05,4.025854e-05,4.093496e-05,4.099236e-05,4.169117e-05,4.185381e-05,4.235619e-05,4.271429e-05,4.298864e-05,4.351921e-05,4.358972e-05,4.416062e-05,4.427128e-05,4.470250e-05,4.497318e-05,4.521649e-05,4.562750e-05,4.570370e-05,4.616520e-05,4.623673e-05,4.660206e-05,4.680329e-05,4.701527e-05,4.732947e-05,4.740582e-05,4.777466e-05,4.781751e-05,4.812271e-05,4.826949e-05,4.845085e-05,4.868746e-05,4.875995e-05,4.905081e-05,4.907331e-05,4.932423e-05,4.942889e-05,4.958099e-05,4.975594e-05,4.982180e-05,5.004738e-05,5.005610e-05,5.025841e-05,5.033094e-05,5.045553e-05,5.058195e-05,5.063937e-05,5.081053e-05,5.096960e-05,5.101803e-05,5.111712e-05,5.120571e-05,5.125362e-05,5.137477e-05,5.137961e-05,5.149559e-05,5.152633e-05,5.160202e-05,5.166148e-05,5.169934e-05,5.178121e-05,5.178799e-05,5.186838e-05,5.188649e-05,5.194091e-05,5.197823e-05,5.200595e-05,5.205728e-05,5.206386e-05,5.211499e-05,5.212444e-05,5.215968e-05,5.218048e-05,5.219824e-05,5.222611e-05,5.223097e-05,5.225817e-05,5.226202e-05,5.228011e-05,5.228885e-05,5.229706e-05,5.230720e-05,5.230928e-05,5.231701e-05,5.231764e-05,5.232048e-05,5.232072e-05,5.231992e-05,5.231693e-05,5.231554e-05,5.230755e-05,5.230676e-05,5.229613e-05,5.229065e-05,5.228149e-05,5.226904e-05,5.226379e-05,5.224320e-05,5.224232e-05,5.221990e-05,5.221087e-05,5.219403e-05,5.217505e-05,5.216575e-05,5.213520e-05,5.209162e-05,5.204461e-05,5.199446e-05,5.194143e-05,5.188577e-05,5.182771e-05,5.176746e-05,5.170524e-05,5.164125e-05,5.157565e-05,5.150863e-05,5.144035e-05,5.137095e-05,5.130058e-05,5.122936e-05,5.115744e-05,5.108491e-05,5.101190e-05,5.093851e-05,5.086482e-05,5.079094e-05,5.071694e-05,5.064290e-05,5.056890e-05
0.000000e+00,2.102111e-10,6.376554e-10,2.990744e-09,7.891563e-09,1.217247e-08,3.048318e-08,3.149720e-08,6.467079e-08,7.695662e-08,1.155050e-07,1.561011e-07,1.878625e-07,2.762761e-07,2.850109e-07,4.085204e-07,4.420784e-07,5.580851e-07,6.527785e-07,7.324833e-07,9.053675e-07,9.302922e-07,1.150016e-06,1.196450e-06,1.390018e-06,1.522232e-06,1.648463e-06,1.878327e-06,1.923318e-06,2.212393e-06,2.259813e-06,2.513401e-06,2.661443e-06,2.824026e-06,3.077916e-06,3.141989e-06,3.465107e-06,3.504129e-06,3.791333e-06,3.935366e-06,4.118790e-06,4.367438e-06,4.445795e-06,4.770862e-06,4.796744e-06,5.092705e-06,5.220287e-06,5.410228e-06,5.635649e-06,5.722515e-06,6.028817e-06,6.040936e-06,6.328531e-06,6.434721e-06,6.621185e-06,6.815971e-06,6.906422e-06,7.183982e-06,7.453693e-06,7.538323e-06,7.715448e-06,7.878775e-06,7.969206e-06,8.205291e-06,8.214969e-06,8.452784e-06,8.517958e-06,8.682731e-06,8.816965e-06,8.904914e-06,9.102573e-06,9.119459e-06,9.326507e-06,9.375100e-06,9.526214e-06,9.634903e-06,9.718743e-06,9.882367e-06,9.904266e-06,1.008296e-05,1.011789e-05,1.025500e-05,1.034190e-05,1.042058e-05,1.055479e-05,1.057986e-05,1.073304e-05,1.075699e-05,1.088029e-05,1.094891e-05,1.102179e-05,1.113096e-05,1.115771e-05,1.128823e-05,1.130354e-05,1.141352e-05,1.146704e-05,1.153375e-05,1.162183e-05,1.164906e-05,1.175964e-05,1.176828e-05,1.186562e-05,1.190676e-05,1.196716e-05,1.203760e-05,1.206440e-05,1.215750e-05,1.216114e-05,1.224659e-05,1.227770e-05,1.233180e-05,1.238760e-05,1.241327e-05,1.249112e-05,1.256547e-05,1.258855e-05,1.263646e-05,1.268017e-05,1.270419e-05,1.276625e-05,1.276877e-05,1.283032e-05,1.284702e-05,1.288894e-05,1.292275e-05,1.294473e-05,1.299365e-05,1.299780e-05,1.304823e-05,1.305996e-05,1.309613e-05,1.312188e-05,1.314158e-05,1.317961e-05,1.318466e-05,1.322547e-05,1.323336e-05,1.326408e-05,1.328331e-05,1.330057e-05,1.332964e-05,1.333502e-05,1.336750e-05,1.337251e-05,1.339808e-05,1.341210e-05,1.342683e-05,1.344855e-05,1.345381e-05,1.347910e-05,1.348202e-05,1.350275e-05,1.351265e-05,1.352482e-05,1.354057e-05,1.354537e-05,1.356445e-05,1.356592e-05,1.358213e-05,1.358881e-05,1.359844e-05,1.360937e-05,1.361344e-05,1.362719e-05,1.362771e-05,1.363972e-05,1.364394e-05,1.365108e-05,1.365816e-05,1.366132e-05,1.367047e-05,1.368096e-05,1.368973e-05,1.369685e-05,1.370242e-05,1.370651e-05,1.370920e-05,1.371055e-05,1.371063e-05,1.370952e-05,1.370727e-05,1.370394e-05,1.369959e-05,1.369427e-05,1.368804e-05,1.368095e-05,1.367303e-05,1.366435e-05,1.365493e-05,1.364483e-05,1.363407e-05,1.362271e-05,1.361077e-05,1.359829e-05,1.358530e-05
0.000000e+00,3.150870e-12,1.614294e-11,1.825999e-10,9.076207e-10,1.888132e-09,9.130933e-09,9.663060e-09,3.371673e-08,4.564099e-08,9.254129e-08,1.562629e-07,2.156636e-07,4.228523e-07,4.466014e-07,8.458113e-07,9.750743e-07,1.492663e-06,1.998799e-06,2.484729e-06,3.731452e-06,3.933245e-06,5.955474e-06,6.438992e-06,8.666028e-06,1.038271e-05,1.216904e-05,1.578869e-05,1.655216e-05,2.188266e-05,2.282677e-05,2.820534e-05,3.159995e-05,3.554210e-05,4.214207e-05,4.389251e-05,5.323531e-05,5.442142e-05,6.353042e-05,6.834792e-05,7.472125e-05,8.378238e-05,8.673726e-05,9.949654e-05,1.005467e-04,1.129084e-04,1.184343e-04,1.268758e-04,1.372198e-04,1.412979e-04,1.560717e-04,1.566685e-04,1.710949e-04,1.765447e-04,1.862665e-04,1.966183e-04,2.014895e-04,2.166711e-04,2.317245e-04,2.365012e-04,2.465692e-04,2.559261e-04,2.611318e-04,2.747854e-04,2.753465e-04,2.891550e-04,2.929415e-04,3.025066e-04,3.102800e-04,3.153583e-04,3.267095e-04,3.276744e-04,3.394263e-04,3.421602e-04,3.505920e-04,3.565827e-04,3.611558e-04,3.699461e-04,3.711078e-04,3.804432e-04,3.822362e-04,3.891620e-04,3.934533e-04,3.972684e-04,4.036101e-04,4.047702e-04,4.116786e-04,4.127297e-04,4.180074e-04,4.208441e-04,4.237730e-04,4.279919e-04,4.289933e-04,4.336880e-04,4.342170e-04,4.378779e-04,4.395672e-04,4.415848e-04,4.440925e-04,4.448308e-04,4.476386e-04,4.478449e-04,4.500309e-04,4.508766e-04,4.520305e-04,4.532396e-04,4.536598e-04,4.549409e-04,4.549852e-04,4.558954e-04,4.561632e-04,4.565445e-04,4.568217e-04,4.569084e-04,4.570068e-04,4.568588e-04,4.567623e-04,4.564824e-04,4.561297e-04,4.558950e-04,4.551481e-04,4.551133e-04,4.541528e-04,4.538539e-04,4.530286e-04,4.522813e-04,4.517546e-04,4.504618e-04,4.503443e-04,4.488101e-04,4.484248e-04,4.471639e-04,4.461973e-04,4.454168e-04,4.438040e-04,4.435790e-04,4.416604e-04,4.412678e-04,4.396701e-04,4.386096e-04,4.376164e-04,4.358482e-04,4.355073e-04,4.333501e-04,4.330010e-04,4.311516e-04,4.300836e-04,4.289182e-04,4.271103e-04,4.266557e-04,4.243696e-04,4.240939e-04,4.220649e-04,4.210461e-04,4.197461e-04,4.179771e-04,4.174176e-04,4.150834e-04,4.148965e-04,4.127469e-04,4.118125e-04,4.104116e-04,4.087326e-04,4.080804e-04,4.057562e-04,4.056634e-04,4.034414e-04,4.026108e-04,4.011383e-04,3.995801e-04,3.988492e-04,3.965758e-04,3.936019e-04,3.906620e-04,3.877590e-04,3.848957e-04,3.820743e-04,3.792966e-04,3.765643e-04,3.738786e-04,3.712407e-04,3.686513e-04,3.661111e-04,3.636205e-04,3.611799e-04,3.587893e-04,3.564488e-04,3.541583e-04,3.519175e-04,3.497261e-04,3.475838e-04,3.454901e-04,3.434446e-04,3.414465e-04,3.394953e-04,3.375904e-04
0.000000e+00,6.117813e-11,2.428398e-10,1.680244e-09,5.563348e-09,9.405979e-09,2.789166e-08,2.897404e-08,6.615631e-08,8.052746e-08,1.269488e-07,1.774830e-07,2.179814e-07,3.347137e-07,3.465567e-07,5.198080e-07,5.686573e-07,7.424770e-07,8.887618e-07,1.013779e-06,1.286673e-06,1.325885e-06,1.666201e-06,1.736466e-06,2.021654e-06,2.208815e-06,2.381610e-06,2.681854e-06,2.738525e-06,3.087384e-06,3.142216e-06,3.424897e-06,3.582202e-06,3.748887e-06,3.997361e-06,4.057922e-06,4.351089e-06,4.385174e-06,4.627870e-06,4.744401e-06,4.888067e-06,5.074761e-06,5.131751e-06,5.359207e-06,5.376716e-06,5.570901e-06,5.651296e-06,5.767433e-06,5.899939e-06,5.949505e-06,6.117881e-06,6.124342e-06,6.273363e-06,6.326338e-06,6.416775e-06,6.507822e-06,6.548940e-06,6.670658e-06,6.782701e-06,6.816633e-06,6.885804e-06,6.947419e-06,6.980657e-06,7.064551e-06,7.067903e-06,7.148141e-06,7.169428e-06,7.221924e-06,7.263308e-06,7.289759e-06,7.347315e-06,7.352112e-06,7.409408e-06,7.422450e-06,7.462035e-06,7.489600e-06,7.510346e-06,7.549547e-06,7.554664e-06,7.595281e-06,7.602984e-06,7.632463e-06,7.650523e-06,7.666455e-06,7.692704e-06,7.697477e-06,7.725730e-06,7.730006e-06,7.751399e-06,7.762852e-06,7.774652e-06,7.791620e-06,7.795644e-06,7.814515e-06,7.816644e-06,7.831396e-06,7.838224e-06,7.846405e-06,7.856629e-06,7.859653e-06,7.871241e-06,7.872099e-06,7.881262e-06,7.884852e-06,7.889804e-06,7.895084e-06,7.896948e-06,7.902768e-06,7.902974e-06,7.907334e-06,7.908683e-06,7.910711e-06,7.912360e-06,7.912960e-06,7.914139e-06,7.914300e-06,7.914145e-06,7.913494e-06,7.912493e-06,7.911769e-06,7.909288e-06,7.909168e-06,7.905733e-06,7.904628e-06,7.901505e-06,7.898603e-06,7.896521e-06,7.891297e-06,7.890815e-06,7.884422e-06,7.882789e-06,7.877374e-06,7.873153e-06,7.869701e-06,7.862455e-06,7.861432e-06,7.852595e-06,7.850761e-06,7.843215e-06,7.838131e-06,7.833317e-06,7.824621e-06,7.822926e-06,7.812064e-06,7.810283e-06,7.800752e-06,7.795170e-06,7.789013e-06,7.779326e-06,7.776865e-06,7.764328e-06,7.762798e-06,7.751419e-06,7.745626e-06,7.738157e-06,7.727852e-06,7.724558e-06,7.710639e-06,7.709512e-06,7.696415e-06,7.690643e-06,7.681900e-06,7.671278e-06,7.667109e-06,7.652056e-06,7.651449e-06,7.636754e-06,7.631187e-06,7.621215e-06,7.610520e-06,7.605453e-06,7.589477e-06,7.568084e-06,7.546365e-06,7.524344e-06,7.502044e-06,7.479486e-06,7.456691e-06,7.433678e-06,7.410465e-06,7.387071e-06,7.363512e-06,7.339804e-06,7.315963e-06,7.292002e-06,7.267938e-06,7.243781e-06,7.219546e-06,7.195244e-06,7.170886e-06,7.146484e-06,7.122049e-06,7.097589e-06,7.073116e-06,7.048637e-06,7.024161e-06
0.000000e+00,1.581111e-10,5.610842e-10,3.250277e-09,9.627987e-09,1.555710e-08,4.268868e-08,4.425032e-08,9.778950e-08,1.186554e-07,1.871762e-07,2.636612e-07,3.260790e-07,5.084255e-07,5.269191e-07,7.916770e-07,8.635581e-07,1.107952e-06,1.300860e-06,1.458025e-06,1.782718e-06,1.827790e-06,2.208113e-06,2.284886e-06,2.593056e-06,2.793588e-06,2.978324e-06,3.299639e-06,3.360436e-06,3.736392e-06,3.795793e-06,4.103568e-06,4.276016e-06,4.459704e-06,4.735389e-06,4.802922e-06,5.131730e-06,5.170163e-06,5.445024e-06,5.577755e-06,5.742059e-06,5.956663e-06,6.022417e-06,6.285965e-06,6.306324e-06,6.532811e-06,6.626935e-06,6.763258e-06,6.919275e-06,6.977757e-06,7.176866e-06,7.184520e-06,7.361229e-06,7.424123e-06,7.531542e-06,7.639697e-06,7.688527e-06,7.832920e-06,7.965457e-06,8.005482e-06,8.086855e-06,8.159028e-06,8.197814e-06,8.295137e-06,8.299006e-06,8.391071e-06,8.415297e-06,8.474616e-06,8.520896e-06,8.550220e-06,8.613233e-06,8.618430e-06,8.679762e-06,8.693512e-06,8.734693e-06,8.762822e-06,8.783662e-06,8.822154e-06,8.827085e-06,8.865353e-06,8.872420e-06,8.898830e-06,8.914457e-06,8.927852e-06,8.949015e-06,8.952729e-06,8.973753e-06,8.976777e-06,8.991196e-06,8.998372e-06,9.005311e-06,9.014364e-06,9.016331e-06,9.024474e-06,9.025268e-06,9.029943e-06,9.031552e-06,9.032927e-06,9.033642e-06,9.033602e-06,9.032129e-06,9.031924e-06,9.028663e-06,9.026751e-06,9.023345e-06,9.018444e-06,9.016307e-06,9.007672e-06,9.007295e-06,8.997554e-06,8.993570e-06,8.986062e-06,8.977513e-06,8.973294e-06,8.959345e-06,8.944301e-06,8.939269e-06,8.928244e-06,8.917472e-06,8.911251e-06,8.894122e-06,8.893392e-06,8.874734e-06,8.869375e-06,8.855340e-06,8.843374e-06,8.835268e-06,8.816250e-06,8.814573e-06,8.793306e-06,8.788123e-06,8.771516e-06,8.759102e-06,8.749248e-06,8.729290e-06,8.726544e-06,8.703443e-06,8.698779e-06,8.679985e-06,8.667656e-06,8.656202e-06,8.635999e-06,8.632130e-06,8.607797e-06,8.603882e-06,8.583235e-06,8.571371e-06,8.558469e-06,8.538528e-06,8.533527e-06,8.508431e-06,8.505410e-06,8.483205e-06,8.472070e-06,8.457870e-06,8.438555e-06,8.432447e-06,8.406954e-06,8.404912e-06,8.381409e-06,8.371180e-06,8.355829e-06,8.337399e-06,8.330231e-06,8.304628e-06,8.303604e-06,8.279035e-06,8.269826e-06,8.253465e-06,8.236096e-06,8.227930e-06,8.202442e-06,8.168889e-06,8.135460e-06,8.102177e-06,8.069059e-06,8.036126e-06,8.003393e-06,7.970876e-06,7.938589e-06,7.906545e-06,7.874756e-06,7.843232e-06,7.811982e-06,7.781016e-06,7.750342e-06,7.719966e-06,7.689894e-06,7.660134e-06,7.630688e-06,7.601563e-06,7.572761e-06,7.544286e-06,7.516141e-06,7.488327e-06,7.460848e-06
0.000000e+00,1.887390e-10,7.522060e-10,5.249378e-09,1.752011e-08,2.975283e-08,8.925214e-08,9.275962e-08,2.142812e-07,2.616700e-07,4.159225e-07,5.854778e-07,7.223456e-07,1.120470e-06,1.161087e-06,1.757599e-06,1.926056e-06,2.524233e-06,3.025081e-06,3.451156e-06,4.377382e-06,4.510348e-06,5.668315e-06,5.909035e-06,6.895348e-06,7.552670e-06,8.167933e-06,9.258518e-06,9.467645e-06,1.077947e-05,1.098960e-05,1.209057e-05,1.271628e-05,1.338967e-05,1.441353e-05,1.466675e-05,1.591301e-05,1.606011e-05,1.712083e-05,1.763840e-05,1.828382e-05,1.913449e-05,1.939682e-05,2.045581e-05,2.053810e-05,2.145791e-05,2.184237e-05,2.240125e-05,2.304351e-05,2.328488e-05,2.410863e-05,2.414033e-05,2.487298e-05,2.513379e-05,2.557898e-05,2.602649e-05,2.622813e-05,2.682224e-05,2.736339e-05,2.752574e-05,2.785383e-05,2.814220e-05,2.829596e-05,2.867724e-05,2.869224e-05,2.904517e-05,2.913655e-05,2.935720e-05,2.952581e-05,2.963078e-05,2.985055e-05,2.986828e-05,3.007199e-05,3.011611e-05,3.024414e-05,3.032754e-05,3.038682e-05,3.048963e-05,3.050207e-05,3.059182e-05,3.060687e-05,3.065788e-05,3.068345e-05,3.070198e-05,3.072324e-05,3.072574e-05,3.073068e-05,3.072983e-05,3.071827e-05,3.070654e-05,3.068984e-05,3.065643e-05,3.064668e-05,3.058996e-05,3.058230e-05,3.052081e-05,3.048671e-05,3.044026e-05,3.037203e-05,3.034930e-05,3.024884e-05,3.024042e-05,3.013972e-05,3.009383e-05,3.002274e-05,2.993407e-05,2.989864e-05,2.976811e-05,2.976277e-05,2.963180e-05,2.958142e-05,2.949029e-05,2.939139e-05,2.934416e-05,2.919391e-05,2.904004e-05,2.899010e-05,2.888298e-05,2.878098e-05,2.872315e-05,2.856747e-05,2.856094e-05,2.839671e-05,2.835041e-05,2.823078e-05,2.813054e-05,2.806347e-05,2.790857e-05,2.789506e-05,2.772581e-05,2.768510e-05,2.755597e-05,2.746068e-05,2.738576e-05,2.723583e-05,2.721538e-05,2.704503e-05,2.701098e-05,2.687489e-05,2.678654e-05,2.670510e-05,2.656288e-05,2.653584e-05,2.636722e-05,2.634031e-05,2.619937e-05,2.611912e-05,2.603242e-05,2.589956e-05,2.586645e-05,2.570157e-05,2.568186e-05,2.553787e-05,2.546623e-05,2.537541e-05,2.525282e-05,2.521427e-05,2.505452e-05,2.504180e-05,2.489621e-05,2.483330e-05,2.473939e-05,2.462744e-05,2.458411e-05,2.443041e-05,2.442430e-05,2.427832e-05,2.422397e-05,2.412788e-05,2.402653e-05,2.397910e-05,2.383202e-05,2.364049e-05,2.345198e-05,2.326652e-05,2.308412e-05,2.290478e-05,2.272852e-05,2.255533e-05,2.238521e-05,2.221814e-05,2.205409e-05,2.189306e-05,2.173502e-05,2.157994e-05,2.142778e-05,2.127852e-05,2.113212e-05,2.098855e-05,2.084776e-05,2.070972e-05,2.057439e-05,2.044172e-05,2.031168e-05,2.018421e-05,2.005928e-05
0.000000e+00,2.995082e-11,1.552913e-10,1.800782e-09,9.155340e-09,1.928150e-08,9.618532e-08,1.019164e-07,3.660936e-07,4.992857e-07,1.030518e-06,1.763158e-06,2.452686e-06,4.883783e-06,5.164069e-06,9.899761e-06,1.143904e-05,1.761605e-05,2.366974e-05,2.949203e-05,4.448228e-05,4.691679e-05,7.146589e-05,7.738062e-05,1.048702e-04,1.263503e-04,1.489789e-04,1.957107e-04,2.057185e-04,2.770491e-04,2.899468e-04,3.649191e-04,4.135303e-04,4.712201e-04,5.707394e-04,5.977434e-04,7.461391e-04,7.654884e-04,9.178793e-04,1.001174e-03,1.114227e-03,1.280550e-03,1.336209e-03,1.584597e-03,1.605625e-03,1.859894e-03,1.977607e-03,2.162327e-03,2.396866e-03,2.491849e-03,2.848139e-03,2.862940e-03,3.230614e-03,3.374564e-03,3.638447e-03,3.929726e-03,4.070579e-03,4.525744e-03,5.002490e-03,5.159348e-03,5.499207e-03,5.826784e-03,6.014147e-03,6.523912e-03,6.545454e-03,7.091190e-03,7.246310e-03,7.649353e-03,7.989371e-03,8.217910e-03,8.748399e-03,8.794810e-03,9.378012e-03,9.518693e-03,9.965498e-03,1.029562e-02,1.055529e-02,1.107469e-02,1.114548e-02,1.173420e-02,1.185161e-02,1.231970e-02,1.262232e-02,1.290029e-02,1.338304e-02,1.347439e-02,1.404053e-02,1.413028e-02,1.459733e-02,1.486091e-02,1.514353e-02,1.557209e-02,1.567798e-02,1.619964e-02,1.626134e-02,1.670758e-02,1.692651e-02,1.720098e-02,1.756580e-02,1.767912e-02,1.814140e-02,1.817768e-02,1.858730e-02,1.876097e-02,1.901640e-02,1.931476e-02,1.942837e-02,1.982299e-02,1.983841e-02,2.020008e-02,2.033152e-02,2.055956e-02,2.079393e-02,2.090141e-02,2.122569e-02,2.153251e-02,2.162703e-02,2.182203e-02,2.199834e-02,2.209446e-02,2.234016e-02,2.235006e-02,2.258914e-02,2.265316e-02,2.281202e-02,2.293813e-02,2.301908e-02,2.319592e-02,2.321069e-02,2.338729e-02,2.342748e-02,2.354930e-02,2.363382e-02,2.369718e-02,2.381598e-02,2.383138e-02,2.395239e-02,2.397505e-02,2.406069e-02,2.411214e-02,2.415675e-02,2.422835e-02,2.424107e-02,2.431414e-02,2.432482e-02,2.437644e-02,2.440267e-02,2.442846e-02,2.446300e-02,2.447068e-02,2.450356e-02,2.450690e-02,2.452757e-02,2.453544e-02,2.454317e-02,2.454968e-02,2.455081e-02,2.455091e-02,2.455061e-02,2.454391e-02,2.453921e-02,2.453022e-02,2.451644e-02,2.451024e-02,2.448436e-02,2.448320e-02,2.445295e-02,2.444036e-02,2.441638e-02,2.438874e-02,2.437500e-02,2.432915e-02,2.426232e-02,2.418897e-02,2.410977e-02,2.402536e-02,2.393633e-02,2.384324e-02,2.374662e-02,2.364695e-02,2.354469e-02,2.344026e-02,2.333406e-02,2.322646e-02,2.311778e-02,2.300835e-02,2.289845e-02,2.278833e-02,2.267824e-02,2.256840e-02,2.245901e-02,2.235024e-02,2.224226e-02,2.213522e-02,2.202925e-02,2.192447e-02
0.000000e+00,3.377990e-12,1.737059e-11,1.979856e-10,9.907757e-10,2.068562e-09,1.009152e-08,1.068321e-08,3.755703e-08,5.092986e-08,1.036644e-07,1.754660e-07,2.424510e-07,4.760321e-07,5.027847e-07,9.515209e-07,1.096414e-06,1.674719e-06,2.237702e-06,2.776299e-06,4.151898e-06,4.373917e-06,6.593072e-06,7.122708e-06,9.560790e-06,1.144088e-05,1.339975e-05,1.738107e-05,1.822331e-05,2.413147e-05,2.518327e-05,3.120788e-05,3.503939e-05,3.951765e-05,4.708456e-05,4.910600e-05,5.999757e-05,6.139254e-05,7.219644e-05,7.797466e-05,8.568656e-05,9.678173e-05,1.004329e-04,1.163825e-04,1.177085e-04,1.334668e-04,1.406000e-04,1.516028e-04,1.652594e-04,1.706961e-04,1.906423e-04,1.914563e-04,2.113297e-04,2.189363e-04,2.326416e-04,2.474293e-04,2.544581e-04,2.766584e-04,2.991224e-04,3.063473e-04,3.217326e-04,3.362272e-04,3.443754e-04,3.660423e-04,3.669422e-04,3.893306e-04,3.955543e-04,4.114452e-04,4.245456e-04,4.331980e-04,4.528221e-04,4.545090e-04,4.753064e-04,4.802140e-04,4.955264e-04,5.065765e-04,5.151138e-04,5.317896e-04,5.340212e-04,5.522089e-04,5.557571e-04,5.696449e-04,5.784059e-04,5.863041e-04,5.996838e-04,6.021680e-04,6.172243e-04,6.195579e-04,6.314665e-04,6.380129e-04,6.448930e-04,6.550489e-04,6.575070e-04,6.693159e-04,6.706794e-04,6.803307e-04,6.849292e-04,6.905656e-04,6.978329e-04,7.000377e-04,7.087664e-04,7.094332e-04,7.167731e-04,7.197787e-04,7.240808e-04,7.289232e-04,7.307139e-04,7.366977e-04,7.369239e-04,7.420582e-04,7.438406e-04,7.468221e-04,7.497343e-04,7.510160e-04,7.546669e-04,7.578015e-04,7.586999e-04,7.604463e-04,7.618940e-04,7.626275e-04,7.643090e-04,7.643706e-04,7.657009e-04,7.660027e-04,7.666425e-04,7.670309e-04,7.672194e-04,7.674476e-04,7.674543e-04,7.673694e-04,7.673039e-04,7.669861e-04,7.666487e-04,7.663247e-04,7.655282e-04,7.654048e-04,7.642452e-04,7.639861e-04,7.628637e-04,7.620633e-04,7.612773e-04,7.597982e-04,7.595021e-04,7.575537e-04,7.572268e-04,7.554465e-04,7.543827e-04,7.531943e-04,7.512971e-04,7.508103e-04,7.483067e-04,7.479987e-04,7.456951e-04,7.445146e-04,7.429864e-04,7.408692e-04,7.401909e-04,7.373183e-04,7.370854e-04,7.343775e-04,7.331841e-04,7.313772e-04,7.291844e-04,7.283251e-04,7.252288e-04,7.251041e-04,7.220951e-04,7.209591e-04,7.189306e-04,7.167642e-04,7.157412e-04,7.125326e-04,7.082766e-04,7.040072e-04,6.997341e-04,6.954666e-04,6.912126e-04,6.869793e-04,6.827734e-04,6.786005e-04,6.744658e-04,6.703738e-04,6.663286e-04,6.623336e-04,6.583919e-04,6.545062e-04,6.506787e-04,6.469113e-04,6.432057e-04,6.395631e-04,6.359846e-04,6.324710e-04,6.290229e-04,6.256406e-04,6.223244e-04,6.190744e-04
0.000000e+00,1.561195e-12,8.003660e-12,9.062724e-11,4.506521e-10,9.374257e-10,4.526413e-09,4.789668e-09,1.664206e-08,2.248920e-08,4.534590e-08,7.611338e-08,1.045558e-07,2.023865e-07,2.134869e-07,3.974587e-07,4.561617e-07,6.881078e-07,9.112582e-07,1.123006e-06,1.658561e-06,1.744466e-06,2.597639e-06,2.800121e-06,3.728284e-06,4.440665e-06,5.180591e-06,6.679035e-06,6.995277e-06,9.208046e-06,9.601100e-06,1.184843e-05,1.327461e-05,1.493898e-05,1.774590e-05,1.849472e-05,2.252297e-05,2.303817e-05,2.702329e-05,2.915119e-05,3.198771e-05,3.606203e-05,3.740114e-05,4.324188e-05,4.372681e-05,4.948231e-05,5.208321e-05,5.608964e-05,6.105340e-05,6.302673e-05,7.025300e-05,7.054747e-05,7.772529e-05,8.046693e-05,8.539871e-05,9.070820e-05,9.322754e-05,1.011660e-04,1.091688e-04,1.117361e-04,1.171921e-04,1.223183e-04,1.251940e-04,1.328186e-04,1.331345e-04,1.409768e-04,1.431503e-04,1.486867e-04,1.532361e-04,1.562332e-04,1.630080e-04,1.635889e-04,1.707293e-04,1.724086e-04,1.776337e-04,1.813903e-04,1.842843e-04,1.899154e-04,1.906668e-04,1.967696e-04,1.979559e-04,2.025844e-04,2.054922e-04,2.081052e-04,2.125128e-04,2.133285e-04,2.182532e-04,2.190134e-04,2.228800e-04,2.249959e-04,2.272117e-04,2.304673e-04,2.312524e-04,2.350076e-04,2.354394e-04,2.384841e-04,2.399274e-04,2.416895e-04,2.439495e-04,2.446323e-04,2.473217e-04,2.475261e-04,2.497671e-04,2.506793e-04,2.519787e-04,2.534319e-04,2.539666e-04,2.557410e-04,2.558077e-04,2.573125e-04,2.578305e-04,2.586913e-04,2.595240e-04,2.598876e-04,2.609115e-04,2.617727e-04,2.620155e-04,2.624808e-04,2.628580e-04,2.630451e-04,2.634599e-04,2.634746e-04,2.637777e-04,2.638411e-04,2.639629e-04,2.640206e-04,2.640378e-04,2.640161e-04,2.640103e-04,2.638872e-04,2.638443e-04,2.636756e-04,2.635208e-04,2.633818e-04,2.630602e-04,2.630120e-04,2.625718e-04,2.624758e-04,2.620668e-04,2.617803e-04,2.615021e-04,2.609851e-04,2.608825e-04,2.602125e-04,2.601009e-04,2.594964e-04,2.591375e-04,2.587382e-04,2.581038e-04,2.579416e-04,2.571101e-04,2.570081e-04,2.562469e-04,2.558579e-04,2.553552e-04,2.546601e-04,2.544377e-04,2.534972e-04,2.534210e-04,2.525360e-04,2.521463e-04,2.515566e-04,2.508412e-04,2.505610e-04,2.495512e-04,2.495106e-04,2.485293e-04,2.481587e-04,2.474967e-04,2.467894e-04,2.464553e-04,2.454064e-04,2.440129e-04,2.426118e-04,2.412058e-04,2.397972e-04,2.383883e-04,2.369811e-04,2.355772e-04,2.341784e-04,2.327861e-04,2.314014e-04,2.300257e-04,2.286600e-04,2.273051e-04,2.259620e-04,2.246312e-04,2.233136e-04,2.220097e-04,2.207199e-04,2.194447e-04,2.181846e-04,2.169397e-04,2.157104e-04,2.144970e-04,2.132996e-04
0.000000e+00,2.719416e-12,1.402274e-11,1.607528e-10,8.087122e-10,1.693344e-09,8.322583e-09,8.813192e-09,3.120638e-08,4.239866e-08,8.670416e-08,1.472951e-07,2.039975e-07,4.025532e-07,4.253567e-07,8.092542e-07,9.337002e-07,1.432446e-06,1.920872e-06,2.390600e-06,3.600164e-06,3.796609e-06,5.776567e-06,6.253139e-06,8.464275e-06,1.018668e-05,1.199528e-05,1.570959e-05,1.650126e-05,2.210501e-05,2.311105e-05,2.891647e-05,3.264318e-05,3.702945e-05,4.450822e-05,4.651929e-05,5.744130e-05,5.885003e-05,6.982987e-05,7.574961e-05,8.369820e-05,9.522381e-05,9.903858e-05,1.158232e-04,1.172270e-04,1.340051e-04,1.416553e-04,1.535201e-04,1.683519e-04,1.742881e-04,1.962152e-04,1.971150e-04,2.191962e-04,2.277054e-04,2.431160e-04,2.598555e-04,2.678524e-04,2.932779e-04,3.192622e-04,3.276736e-04,3.456734e-04,3.627400e-04,3.723805e-04,3.981782e-04,3.992548e-04,4.261712e-04,4.336988e-04,4.530094e-04,4.690270e-04,4.796553e-04,5.039073e-04,5.060016e-04,5.319484e-04,5.381059e-04,5.574040e-04,5.714131e-04,5.822849e-04,6.036449e-04,6.065161e-04,6.300311e-04,6.346430e-04,6.527722e-04,6.642749e-04,6.746898e-04,6.924337e-04,6.957426e-04,7.158968e-04,7.190363e-04,7.351266e-04,7.440226e-04,7.534126e-04,7.673535e-04,7.707426e-04,7.871101e-04,7.890095e-04,8.025145e-04,8.089882e-04,8.169601e-04,8.273028e-04,8.304558e-04,8.430147e-04,8.439795e-04,8.546536e-04,8.590559e-04,8.653923e-04,8.725793e-04,8.752533e-04,8.842616e-04,8.846046e-04,8.924439e-04,8.951928e-04,8.998286e-04,9.044096e-04,9.064451e-04,9.123240e-04,9.174964e-04,9.190075e-04,9.219937e-04,9.245323e-04,9.258476e-04,9.289713e-04,9.290896e-04,9.317513e-04,9.323967e-04,9.338635e-04,9.348798e-04,9.354568e-04,9.364901e-04,9.365612e-04,9.372057e-04,9.372952e-04,9.374190e-04,9.373603e-04,9.372283e-04,9.367477e-04,9.366605e-04,9.357410e-04,9.355171e-04,9.344947e-04,9.337253e-04,9.329451e-04,9.314259e-04,9.311152e-04,9.290264e-04,9.286696e-04,9.266996e-04,9.255039e-04,9.241544e-04,9.219736e-04,9.214095e-04,9.184828e-04,9.181202e-04,9.153910e-04,9.139825e-04,9.121500e-04,9.095964e-04,9.087748e-04,9.052796e-04,9.049952e-04,9.016775e-04,9.002097e-04,8.979813e-04,8.952682e-04,8.942024e-04,8.903521e-04,8.901967e-04,8.864405e-04,8.850192e-04,8.824773e-04,8.797575e-04,8.784715e-04,8.744313e-04,8.690590e-04,8.636568e-04,8.582397e-04,8.528210e-04,8.474130e-04,8.420264e-04,8.366709e-04,8.313552e-04,8.260869e-04,8.208728e-04,8.157189e-04,8.106304e-04,8.056119e-04,8.006671e-04,7.957996e-04,7.910119e-04,7.863066e-04,7.816854e-04,7.771499e-04,7.727013e-04,7.683403e-04,7.640676e-04,7.598833e-04,7.557877e-04
0.000000e+00,1.844363e-11,9.529458e-11,1.097930e-09,5.557107e-09,1.168435e-08,5.825416e-08,6.173199e-08,2.232482e-07,3.054888e-07,6.379054e-07,1.105684e-06,1.553796e-06,3.177877e-06,3.368589e-06,6.662405e-06,7.754311e-06,1.219886e-05,1.661504e-05,2.089271e-05,3.196057e-05,3.376007e-05,5.186609e-05,5.621026e-05,7.627750e-05,9.180717e-05,1.080226e-04,1.410589e-04,1.480586e-04,1.972459e-04,2.060166e-04,2.563284e-04,2.883878e-04,3.259181e-04,3.894761e-04,4.064854e-04,4.983526e-04,5.101457e-04,6.016911e-04,6.508052e-04,7.165228e-04,8.114102e-04,8.427232e-04,9.800285e-04,9.914817e-04,1.128044e-03,1.190138e-03,1.286257e-03,1.406139e-03,1.454046e-03,1.630697e-03,1.637936e-03,1.815417e-03,1.883729e-03,2.007350e-03,2.141524e-03,2.205591e-03,2.409198e-03,2.617213e-03,2.684550e-03,2.828666e-03,2.965355e-03,3.042594e-03,3.249414e-03,3.258050e-03,3.474112e-03,3.534596e-03,3.689891e-03,3.818868e-03,3.904539e-03,4.100328e-03,4.117257e-03,4.327294e-03,4.377226e-03,4.533959e-03,4.647978e-03,4.736613e-03,4.911173e-03,4.934681e-03,5.127645e-03,5.165584e-03,5.315046e-03,5.410162e-03,5.496486e-03,5.644036e-03,5.671622e-03,5.840167e-03,5.866506e-03,6.001888e-03,6.077035e-03,6.156602e-03,6.275234e-03,6.304171e-03,6.444506e-03,6.460857e-03,6.577554e-03,6.633783e-03,6.703304e-03,6.794005e-03,6.821777e-03,6.933027e-03,6.941617e-03,7.037137e-03,7.076804e-03,7.134213e-03,7.199825e-03,7.224386e-03,7.307804e-03,7.311002e-03,7.384634e-03,7.410714e-03,7.455056e-03,7.499382e-03,7.519264e-03,7.577459e-03,7.629852e-03,7.645427e-03,7.676658e-03,7.703784e-03,7.718098e-03,7.753040e-03,7.754396e-03,7.785775e-03,7.793711e-03,7.812460e-03,7.826312e-03,7.834675e-03,7.851354e-03,7.852640e-03,7.866573e-03,7.869341e-03,7.876688e-03,7.880764e-03,7.883196e-03,7.886102e-03,7.886302e-03,7.886205e-03,7.885819e-03,7.883100e-03,7.880359e-03,7.877175e-03,7.870151e-03,7.868611e-03,7.857584e-03,7.855603e-03,7.844263e-03,7.837102e-03,7.828810e-03,7.815017e-03,7.811380e-03,7.792121e-03,7.789694e-03,7.771176e-03,7.761462e-03,7.748681e-03,7.730627e-03,7.724764e-03,7.699549e-03,7.697479e-03,7.673151e-03,7.662286e-03,7.645682e-03,7.625300e-03,7.617246e-03,7.587943e-03,7.586754e-03,7.557865e-03,7.546864e-03,7.527101e-03,7.505832e-03,7.495734e-03,7.463843e-03,7.421067e-03,7.377661e-03,7.333770e-03,7.289525e-03,7.245046e-03,7.200444e-03,7.155817e-03,7.111257e-03,7.066845e-03,7.022654e-03,6.978751e-03,6.935194e-03,6.892036e-03,6.849325e-03,6.807101e-03,6.765401e-03,6.724256e-03,6.683694e-03,6.643738e-03,6.604408e-03,6.565721e-03,6.527690e-03,6.490326e-03,6.453637e-03
0.000000e+00,4.223586e-11,1.816498e-10,1.453682e-09,5.374697e-09,9.577245e-09,3.179287e-08,3.315768e-08,8.228378e-08,1.020355e-07,1.674072e-07,2.401934e-07,2.992190e-07,4.711904e-07,4.887381e-07,7.469369e-07,8.202403e-07,1.083329e-06,1.308328e-06,1.504059e-06,1.945777e-06,2.011178e-06,2.603640e-06,2.732156e-06,3.278805e-06,3.661500e-06,4.033392e-06,4.725995e-06,4.863796e-06,5.766062e-06,5.916805e-06,6.735768e-06,7.223751e-06,7.767971e-06,8.635062e-06,8.857186e-06,9.997449e-06,1.013741e-05,1.118241e-05,1.171625e-05,1.240543e-05,1.335624e-05,1.365977e-05,1.493865e-05,1.504182e-05,1.623542e-05,1.675768e-05,1.754362e-05,1.848913e-05,1.885710e-05,2.017009e-05,2.022252e-05,2.147725e-05,2.194545e-05,2.277372e-05,2.364695e-05,2.405511e-05,2.531751e-05,2.655751e-05,2.694908e-05,2.777215e-05,2.853503e-05,2.895891e-05,3.007002e-05,3.011570e-05,3.124077e-05,3.154991e-05,3.233276e-05,3.297163e-05,3.339061e-05,3.433301e-05,3.441355e-05,3.540104e-05,3.563273e-05,3.635279e-05,3.687011e-05,3.726869e-05,3.804506e-05,3.814879e-05,3.899331e-05,3.915798e-05,3.980258e-05,4.020961e-05,4.057703e-05,4.120104e-05,4.131719e-05,4.202365e-05,4.213360e-05,4.269707e-05,4.300878e-05,4.333817e-05,4.382827e-05,4.394768e-05,4.452639e-05,4.459380e-05,4.507509e-05,4.530722e-05,4.559461e-05,4.597042e-05,4.608576e-05,4.654937e-05,4.658530e-05,4.698629e-05,4.715377e-05,4.739734e-05,4.767774e-05,4.778335e-05,4.814514e-05,4.815912e-05,4.848351e-05,4.859975e-05,4.879927e-05,4.900147e-05,4.909319e-05,4.936607e-05,4.961864e-05,4.969529e-05,4.985165e-05,4.999085e-05,5.006583e-05,5.025438e-05,5.026188e-05,5.044051e-05,5.048749e-05,5.060237e-05,5.069172e-05,5.074814e-05,5.086858e-05,5.087845e-05,5.099392e-05,5.101949e-05,5.109516e-05,5.114586e-05,5.118275e-05,5.124901e-05,5.125728e-05,5.131929e-05,5.133024e-05,5.136932e-05,5.139078e-05,5.140790e-05,5.143182e-05,5.143552e-05,5.145269e-05,5.145449e-05,5.145986e-05,5.145990e-05,5.145751e-05,5.144907e-05,5.144607e-05,5.142598e-05,5.142301e-05,5.139765e-05,5.138267e-05,5.136147e-05,5.132898e-05,5.131785e-05,5.126714e-05,5.126279e-05,5.120972e-05,5.118495e-05,5.114593e-05,5.109625e-05,5.107611e-05,5.100057e-05,5.099744e-05,5.091964e-05,5.088925e-05,5.083362e-05,5.077236e-05,5.074279e-05,5.064743e-05,5.051508e-05,5.037590e-05,5.023045e-05,5.007927e-05,4.992286e-05,4.976170e-05,4.959625e-05,4.942693e-05,4.925416e-05,4.907832e-05,4.889978e-05,4.871887e-05,4.853593e-05,4.835126e-05,4.816515e-05,4.797787e-05,4.778968e-05,4.760082e-05,4.741151e-05,4.722197e-05,4.703240e-05,4.684298e-05,4.665389e-05,4.646528e-05
0.000000e+00,5.668368e-12,2.933374e-11,3.388453e-10,1.717011e-09,3.609956e-09,1.793978e-08,1.900617e-08,6.809648e-08,9.283019e-08,1.914979e-07,3.277253e-07,4.561346e-07,9.104076e-07,9.629276e-07,1.854274e-06,2.145428e-06,3.319533e-06,4.477378e-06,5.596118e-06,8.492973e-06,8.965125e-06,1.374263e-05,1.489678e-05,2.026861e-05,2.446986e-05,2.889520e-05,3.802321e-05,3.997519e-05,5.385143e-05,5.635308e-05,7.084732e-05,8.020151e-05,9.125851e-05,1.102231e-04,1.153459e-04,1.433302e-04,1.469590e-04,1.753872e-04,1.908173e-04,2.116452e-04,2.420613e-04,2.521831e-04,2.970299e-04,3.008036e-04,3.461656e-04,3.670070e-04,3.995221e-04,4.404908e-04,4.569868e-04,5.184050e-04,5.209414e-04,5.835840e-04,6.079265e-04,6.522975e-04,7.009123e-04,7.242900e-04,7.992817e-04,8.769730e-04,9.023534e-04,9.570497e-04,1.009401e-03,1.039187e-03,1.119671e-03,1.123054e-03,1.208319e-03,1.232398e-03,1.294650e-03,1.346824e-03,1.381721e-03,1.462206e-03,1.469214e-03,1.556822e-03,1.577832e-03,1.644251e-03,1.693027e-03,1.731219e-03,1.807161e-03,1.817464e-03,1.902738e-03,1.919655e-03,1.986811e-03,2.029984e-03,2.069474e-03,2.137680e-03,2.150535e-03,2.229820e-03,2.242330e-03,2.307176e-03,2.343580e-03,2.382465e-03,2.441129e-03,2.455571e-03,2.526390e-03,2.534731e-03,2.594840e-03,2.624188e-03,2.660849e-03,2.709352e-03,2.724366e-03,2.785348e-03,2.790116e-03,2.843769e-03,2.866417e-03,2.899614e-03,2.938225e-03,2.952879e-03,3.003570e-03,3.005544e-03,3.051703e-03,3.068408e-03,3.097301e-03,3.126876e-03,3.140396e-03,3.181028e-03,3.219239e-03,3.230964e-03,3.255080e-03,3.276799e-03,3.288605e-03,3.318663e-03,3.319871e-03,3.348940e-03,3.356695e-03,3.375877e-03,3.391042e-03,3.400745e-03,3.421857e-03,3.423615e-03,3.444553e-03,3.449298e-03,3.463630e-03,3.473526e-03,3.480915e-03,3.494700e-03,3.496479e-03,3.510392e-03,3.512983e-03,3.522723e-03,3.528533e-03,3.533541e-03,3.541507e-03,3.542913e-03,3.550905e-03,3.552061e-03,3.557585e-03,3.560343e-03,3.563014e-03,3.566500e-03,3.567256e-03,3.570372e-03,3.570673e-03,3.572420e-03,3.572998e-03,3.573458e-03,3.573606e-03,3.573541e-03,3.572724e-03,3.572621e-03,3.571057e-03,3.570164e-03,3.568592e-03,3.566349e-03,3.565376e-03,3.561455e-03,3.561285e-03,3.556875e-03,3.555073e-03,3.551677e-03,3.547811e-03,3.545903e-03,3.539591e-03,3.530500e-03,3.520620e-03,3.510027e-03,3.498793e-03,3.486985e-03,3.474667e-03,3.461897e-03,3.448731e-03,3.435218e-03,3.421407e-03,3.407342e-03,3.393064e-03,3.378611e-03,3.364017e-03,3.349316e-03,3.334537e-03,3.319708e-03,3.304853e-03,3.289997e-03,3.275161e-03,3.260363e-03,3.245621e-03,3.230953e-03,3.216372e-03
0.000000e+00,1.436907e-11,7.405520e-11,8.482140e-10,4.265438e-09,8.931139e-09,4.393280e-08,4.652572e-08,1.651730e-07,2.246552e-07,4.610376e-07,7.861947e-07,1.092059e-06,2.172069e-06,2.296824e-06,4.412517e-06,5.103060e-06,7.884821e-06,1.062277e-05,1.326268e-05,2.007190e-05,2.117811e-05,3.231758e-05,3.499478e-05,4.739155e-05,5.702025e-05,6.710623e-05,8.774993e-05,9.213921e-05,1.231194e-04,1.286668e-04,1.606109e-04,1.810658e-04,2.051007e-04,2.460036e-04,2.569894e-04,3.165850e-04,3.242655e-04,3.840991e-04,4.163468e-04,4.596456e-04,5.224468e-04,5.432413e-04,6.348089e-04,6.424743e-04,7.341814e-04,7.760622e-04,8.411079e-04,9.225913e-04,9.552609e-04,1.076244e-03,1.081219e-03,1.203602e-03,1.250916e-03,1.336829e-03,1.430498e-03,1.475377e-03,1.618669e-03,1.766103e-03,1.814056e-03,1.917064e-03,2.015245e-03,2.070934e-03,2.220812e-03,2.227094e-03,2.384936e-03,2.429351e-03,2.543865e-03,2.639504e-03,2.703306e-03,2.849972e-03,2.862711e-03,3.021555e-03,3.059539e-03,3.179348e-03,3.267080e-03,3.335630e-03,3.471570e-03,3.489976e-03,3.641996e-03,3.672089e-03,3.791334e-03,3.867822e-03,3.937670e-03,4.058062e-03,4.080718e-03,4.220228e-03,4.242206e-03,4.355979e-03,4.419748e-03,4.487784e-03,4.590280e-03,4.615485e-03,4.738953e-03,4.753479e-03,4.858083e-03,4.909105e-03,4.972797e-03,5.056992e-03,5.083040e-03,5.188776e-03,5.197039e-03,5.289990e-03,5.329210e-03,5.386685e-03,5.453517e-03,5.478879e-03,5.566605e-03,5.570022e-03,5.649909e-03,5.678827e-03,5.728848e-03,5.780067e-03,5.803489e-03,5.873909e-03,5.940191e-03,5.960542e-03,6.002426e-03,6.040176e-03,6.060709e-03,6.113037e-03,6.115142e-03,6.165827e-03,6.179362e-03,6.212873e-03,6.239400e-03,6.256390e-03,6.293402e-03,6.296487e-03,6.333277e-03,6.341628e-03,6.366874e-03,6.384334e-03,6.397389e-03,6.421782e-03,6.424934e-03,6.449621e-03,6.454226e-03,6.471562e-03,6.481921e-03,6.490863e-03,6.505116e-03,6.507634e-03,6.521979e-03,6.524056e-03,6.534003e-03,6.538980e-03,6.543807e-03,6.550119e-03,6.551491e-03,6.557152e-03,6.557700e-03,6.560884e-03,6.561940e-03,6.562780e-03,6.563048e-03,6.562930e-03,6.561419e-03,6.561229e-03,6.558333e-03,6.556676e-03,6.553754e-03,6.549576e-03,6.547760e-03,6.540428e-03,6.540108e-03,6.531832e-03,6.528442e-03,6.522044e-03,6.514743e-03,6.511133e-03,6.499165e-03,6.481857e-03,6.462959e-03,6.442607e-03,6.420925e-03,6.398035e-03,6.374051e-03,6.349080e-03,6.323224e-03,6.296578e-03,6.269234e-03,6.241275e-03,6.212783e-03,6.183832e-03,6.154493e-03,6.124831e-03,6.094909e-03,6.064785e-03,6.034511e-03,6.004140e-03,5.973717e-03,5.943286e-03,5.912887e-03,5.882558e-03,5.852334e-03
0.000000e+00,2.017574e-10,8.349883e-10,6.226118e-09,2.179636e-08,3.782680e-08,1.184809e-07,1.233093e-07,2.924445e-07,3.588001e-07,5.746048e-07,8.103390e-07,9.991255e-07,1.541027e-06,1.595805e-06,2.394578e-06,2.619570e-06,3.423657e-06,4.109327e-06,4.705535e-06,6.051560e-06,6.250853e-06,8.052133e-06,8.440988e-06,1.008161e-05,1.121311e-05,1.229597e-05,1.426259e-05,1.464560e-05,1.708305e-05,1.747836e-05,1.956752e-05,2.076674e-05,2.206578e-05,2.405627e-05,2.455125e-05,2.700269e-05,2.729372e-05,2.940302e-05,3.043934e-05,3.173855e-05,3.346340e-05,3.399835e-05,3.617388e-05,3.634408e-05,3.825870e-05,3.906614e-05,4.024820e-05,4.161989e-05,4.213941e-05,4.393072e-05,4.400028e-05,4.562169e-05,4.620596e-05,4.721289e-05,4.823861e-05,4.870573e-05,5.010226e-05,5.140507e-05,5.180266e-05,5.261715e-05,5.334677e-05,5.374178e-05,5.474240e-05,5.478246e-05,5.574279e-05,5.599779e-05,5.662648e-05,5.712145e-05,5.743723e-05,5.812188e-05,5.817873e-05,5.885463e-05,5.900747e-05,5.946846e-05,5.978638e-05,6.002367e-05,6.046641e-05,6.052359e-05,6.097144e-05,6.105504e-05,6.137032e-05,6.155936e-05,6.172317e-05,6.198608e-05,6.203284e-05,6.230200e-05,6.234148e-05,6.253321e-05,6.263144e-05,6.272892e-05,6.286148e-05,6.289143e-05,6.302293e-05,6.303673e-05,6.312550e-05,6.316197e-05,6.320108e-05,6.324163e-05,6.325154e-05,6.327863e-05,6.327983e-05,6.328399e-05,6.328040e-05,6.326918e-05,6.324685e-05,6.323567e-05,6.318484e-05,6.318247e-05,6.311800e-05,6.309026e-05,6.303638e-05,6.297301e-05,6.294111e-05,6.283330e-05,6.271396e-05,6.267350e-05,6.258405e-05,6.249578e-05,6.244447e-05,6.230216e-05,6.229606e-05,6.213963e-05,6.209449e-05,6.197590e-05,6.187446e-05,6.180559e-05,6.164364e-05,6.162934e-05,6.144777e-05,6.140346e-05,6.126145e-05,6.115523e-05,6.107092e-05,6.090017e-05,6.087668e-05,6.067920e-05,6.063935e-05,6.047892e-05,6.037381e-05,6.027626e-05,6.010446e-05,6.007159e-05,5.986528e-05,5.983214e-05,5.965765e-05,5.955762e-05,5.944902e-05,5.928159e-05,5.923968e-05,5.902989e-05,5.900470e-05,5.881991e-05,5.872751e-05,5.860996e-05,5.845056e-05,5.840027e-05,5.819103e-05,5.817431e-05,5.798242e-05,5.789920e-05,5.777463e-05,5.762560e-05,5.756779e-05,5.736207e-05,5.735387e-05,5.715760e-05,5.708431e-05,5.695448e-05,5.681721e-05,5.675285e-05,5.655280e-05,5.629132e-05,5.603295e-05,5.577787e-05,5.552622e-05,5.527813e-05,5.503371e-05,5.479306e-05,5.455626e-05,5.432337e-05,5.409444e-05,5.386951e-05,5.364862e-05,5.343178e-05,5.321900e-05,5.301028e-05,5.280563e-05,5.260503e-05,5.240847e-05,5.221592e-05,5.202735e-05,5.184274e-05,5.166204e-05,5.148523e-05,5.131225e-05
0.000000e+00,1.362193e-11,6.977076e-11,7.887060e-10,3.917421e-09,8.145413e-09,3.932382e-08,4.161197e-08,1.448230e-07,1.958689e-07,3.961037e-07,6.671146e-07,9.189087e-07,1.792348e-06,1.892064e-06,3.558460e-06,4.094629e-06,6.228110e-06,8.297176e-06,1.027075e-05,1.528995e-05,1.609750e-05,2.413649e-05,2.604714e-05,3.480803e-05,4.152914e-05,4.850332e-05,6.259852e-05,6.556788e-05,8.628985e-05,8.996065e-05,1.108926e-04,1.241285e-04,1.395309e-04,1.654066e-04,1.722897e-04,2.091857e-04,2.138895e-04,2.501699e-04,2.694719e-04,2.951325e-04,3.318649e-04,3.439081e-04,3.962820e-04,4.006200e-04,4.519974e-04,4.751548e-04,5.107622e-04,5.547823e-04,5.722564e-04,6.361394e-04,6.387395e-04,7.020570e-04,7.262159e-04,7.696477e-04,8.163799e-04,8.385489e-04,9.084021e-04,9.788582e-04,1.001476e-03,1.049581e-03,1.094835e-03,1.120251e-03,1.187764e-03,1.190567e-03,1.260250e-03,1.279612e-03,1.329043e-03,1.369794e-03,1.396714e-03,1.457799e-03,1.463053e-03,1.527873e-03,1.543186e-03,1.591015e-03,1.625587e-03,1.652337e-03,1.704703e-03,1.711723e-03,1.769077e-03,1.780296e-03,1.824319e-03,1.852191e-03,1.877392e-03,1.920265e-03,1.928253e-03,1.976874e-03,1.984444e-03,2.023241e-03,2.044697e-03,2.067354e-03,2.101028e-03,2.109223e-03,2.148866e-03,2.153475e-03,2.186313e-03,2.202102e-03,2.221598e-03,2.246995e-03,2.254764e-03,2.285859e-03,2.288258e-03,2.314933e-03,2.326009e-03,2.342043e-03,2.360378e-03,2.367246e-03,2.390604e-03,2.391501e-03,2.412178e-03,2.419521e-03,2.432033e-03,2.444584e-03,2.450231e-03,2.466838e-03,2.481918e-03,2.486431e-03,2.495533e-03,2.503508e-03,2.507748e-03,2.518215e-03,2.518625e-03,2.528224e-03,2.530691e-03,2.536606e-03,2.541075e-03,2.543828e-03,2.549498e-03,2.549948e-03,2.555021e-03,2.556089e-03,2.559100e-03,2.560970e-03,2.562239e-03,2.564261e-03,2.564486e-03,2.565890e-03,2.566074e-03,2.566500e-03,2.566517e-03,2.566359e-03,2.565692e-03,2.565511e-03,2.563998e-03,2.563696e-03,2.561859e-03,2.560622e-03,2.559135e-03,2.556557e-03,2.555860e-03,2.552071e-03,2.551583e-03,2.547801e-03,2.545778e-03,2.543082e-03,2.539215e-03,2.537946e-03,2.532421e-03,2.531963e-03,2.526536e-03,2.524087e-03,2.520318e-03,2.515648e-03,2.513791e-03,2.506981e-03,2.506703e-03,2.499909e-03,2.497304e-03,2.492599e-03,2.487503e-03,2.485071e-03,2.477345e-03,2.466874e-03,2.456132e-03,2.445155e-03,2.433978e-03,2.422636e-03,2.411158e-03,2.399572e-03,2.387904e-03,2.376179e-03,2.364418e-03,2.352642e-03,2.340871e-03,2.329121e-03,2.317409e-03,2.305748e-03,2.294153e-03,2.282635e-03,2.271205e-03,2.259874e-03,2.248650e-03,2.237542e-03,2.226556e-03,2.215700e-03,2.204978e-03
0.000000e+00,1.176623e-12,6.034611e-12,6.847020e-11,3.417980e-10,7.132989e-10,3.489798e-09,3.695370e-09,1.312826e-08,1.788090e-08,3.691556e-08,6.342450e-08,8.863897e-08,1.792350e-07,1.898219e-07,3.718022e-07,4.318940e-07,6.757669e-07,9.171593e-07,1.150189e-06,1.749576e-06,1.846547e-06,2.814831e-06,3.045186e-06,4.099851e-06,4.905896e-06,5.738672e-06,7.409367e-06,7.759154e-06,1.017936e-05,1.060438e-05,1.300761e-05,1.451018e-05,1.624300e-05,1.911842e-05,1.987617e-05,2.389021e-05,2.439645e-05,2.826177e-05,3.029127e-05,3.296204e-05,3.673378e-05,3.795780e-05,4.321248e-05,4.364288e-05,4.868707e-05,5.092943e-05,5.434106e-05,5.849991e-05,6.013327e-05,6.602261e-05,6.625962e-05,7.196871e-05,7.411565e-05,7.793261e-05,8.197918e-05,8.387715e-05,8.976744e-05,9.557118e-05,9.740520e-05,1.012589e-04,1.048258e-04,1.068041e-04,1.119717e-04,1.121834e-04,1.173765e-04,1.187948e-04,1.223662e-04,1.252564e-04,1.271383e-04,1.313268e-04,1.316816e-04,1.359874e-04,1.369847e-04,1.400497e-04,1.422168e-04,1.438649e-04,1.470167e-04,1.474316e-04,1.507502e-04,1.513843e-04,1.538230e-04,1.553248e-04,1.566536e-04,1.588479e-04,1.592472e-04,1.616099e-04,1.619669e-04,1.637488e-04,1.646982e-04,1.656717e-04,1.670602e-04,1.673872e-04,1.689041e-04,1.690732e-04,1.702317e-04,1.707583e-04,1.713794e-04,1.721372e-04,1.723567e-04,1.731732e-04,1.732319e-04,1.738384e-04,1.740642e-04,1.743615e-04,1.746553e-04,1.747517e-04,1.750178e-04,1.750260e-04,1.751685e-04,1.751961e-04,1.752121e-04,1.751846e-04,1.751564e-04,1.750091e-04,1.747775e-04,1.746867e-04,1.744684e-04,1.742330e-04,1.740883e-04,1.736624e-04,1.736435e-04,1.731395e-04,1.729886e-04,1.725820e-04,1.722239e-04,1.719760e-04,1.713798e-04,1.713263e-04,1.706374e-04,1.704667e-04,1.699134e-04,1.694941e-04,1.691582e-04,1.684706e-04,1.683753e-04,1.675682e-04,1.674042e-04,1.667399e-04,1.663018e-04,1.658933e-04,1.651699e-04,1.650310e-04,1.641554e-04,1.640142e-04,1.632688e-04,1.628399e-04,1.623732e-04,1.616515e-04,1.614705e-04,1.605625e-04,1.604533e-04,1.596508e-04,1.592488e-04,1.587367e-04,1.580414e-04,1.578217e-04,1.569070e-04,1.568339e-04,1.559936e-04,1.556289e-04,1.550826e-04,1.544286e-04,1.541748e-04,1.532712e-04,1.532352e-04,1.523724e-04,1.520502e-04,1.514792e-04,1.508753e-04,1.505921e-04,1.497117e-04,1.485607e-04,1.474232e-04,1.463001e-04,1.451921e-04,1.440998e-04,1.430237e-04,1.419644e-04,1.409220e-04,1.398969e-04,1.388893e-04,1.378993e-04,1.369270e-04,1.359725e-04,1.350357e-04,1.341167e-04,1.332153e-04,1.323316e-04,1.314653e-04,1.306164e-04,1.297846e-04,1.289699e-04,1.281720e-04,1.273907e-04,1.266258e-04
0.000000e+00,2.408596e-12,1.235734e-11,1.401869e-10,6.986256e-10,1.455383e-09,7.061946e-09,7.474453e-09,2.615328e-08,3.542500e-08,7.191834e-08,1.215128e-07,1.677266e-07,3.286347e-07,3.470442e-07,6.552722e-07,7.545650e-07,1.149726e-06,1.532715e-06,1.897647e-06,2.823940e-06,2.972747e-06,4.451242e-06,4.802006e-06,6.408102e-06,7.638382e-06,8.913844e-06,1.148955e-05,1.203197e-05,1.581698e-05,1.648757e-05,2.031299e-05,2.273368e-05,2.555274e-05,3.029446e-05,3.155710e-05,3.833489e-05,3.920018e-05,4.588311e-05,4.944508e-05,5.418735e-05,6.098916e-05,6.322257e-05,7.295403e-05,7.376138e-05,8.333839e-05,8.766381e-05,9.432495e-05,1.025765e-04,1.058569e-04,1.178729e-04,1.183627e-04,1.303079e-04,1.348742e-04,1.430950e-04,1.519566e-04,1.561661e-04,1.694535e-04,1.828906e-04,1.872114e-04,1.964126e-04,2.050825e-04,2.099575e-04,2.229279e-04,2.234668e-04,2.368856e-04,2.406196e-04,2.501630e-04,2.580422e-04,2.632527e-04,2.750933e-04,2.761128e-04,2.887056e-04,2.916844e-04,3.009985e-04,3.077406e-04,3.129627e-04,3.232000e-04,3.245740e-04,3.358121e-04,3.380134e-04,3.466606e-04,3.521435e-04,3.571067e-04,3.655633e-04,3.671408e-04,3.767563e-04,3.782557e-04,3.859496e-04,3.902120e-04,3.947194e-04,4.014310e-04,4.030668e-04,4.109948e-04,4.119182e-04,4.185081e-04,4.216841e-04,4.256130e-04,4.307441e-04,4.323170e-04,4.386289e-04,4.391172e-04,4.445581e-04,4.468250e-04,4.501152e-04,4.538919e-04,4.553110e-04,4.601569e-04,4.603436e-04,4.646647e-04,4.662071e-04,4.688465e-04,4.715100e-04,4.727143e-04,4.762803e-04,4.795567e-04,4.805460e-04,4.825556e-04,4.843348e-04,4.852889e-04,4.876739e-04,4.877684e-04,4.900056e-04,4.905901e-04,4.920118e-04,4.931092e-04,4.937980e-04,4.952562e-04,4.953749e-04,4.967530e-04,4.970552e-04,4.979422e-04,4.985293e-04,4.989522e-04,4.997004e-04,4.997926e-04,5.004722e-04,5.005897e-04,5.009999e-04,5.012169e-04,5.013838e-04,5.016012e-04,5.016322e-04,5.017525e-04,5.017604e-04,5.017523e-04,5.017114e-04,5.016384e-04,5.014701e-04,5.014177e-04,5.010966e-04,5.010516e-04,5.006811e-04,5.004699e-04,5.001771e-04,4.997383e-04,4.995902e-04,4.989257e-04,4.988693e-04,4.981885e-04,4.978745e-04,4.973836e-04,4.967647e-04,4.965155e-04,4.955886e-04,4.955503e-04,4.946069e-04,4.942408e-04,4.935743e-04,4.928451e-04,4.924947e-04,4.913714e-04,4.898277e-04,4.882210e-04,4.865582e-04,4.848456e-04,4.830888e-04,4.812935e-04,4.794646e-04,4.776068e-04,4.757245e-04,4.738216e-04,4.719021e-04,4.699692e-04,4.680263e-04,4.660762e-04,4.641218e-04,4.621655e-04,4.602097e-04,4.582565e-04,4.563080e-04,4.543659e-04,4.524319e-04,4.505075e-04,4.485942e-04,4.466932e-04
0.000000e+00,1.676388e-12,8.401995e-12,9.077360e-11,4.324871e-10,8.788166e-10,3.995775e-09,4.217904e-09,1.381968e-08,1.838390e-08,3.565315e-08,5.803168e-08,7.816650e-08,1.449885e-07,1.523991e-07,2.719334e-07,3.090728e-07,4.524584e-07,5.864460e-07,7.107652e-07,1.015572e-06,1.063381e-06,1.525290e-06,1.631941e-06,2.109054e-06,2.464113e-06,2.824393e-06,3.532019e-06,3.678110e-06,4.674237e-06,4.846966e-06,5.814274e-06,6.412464e-06,7.097458e-06,8.225268e-06,8.521013e-06,1.008038e-05,1.027635e-05,1.176939e-05,1.255174e-05,1.358052e-05,1.503328e-05,1.550497e-05,1.753293e-05,1.769932e-05,1.965370e-05,2.052547e-05,2.185593e-05,2.348534e-05,2.412778e-05,2.645712e-05,2.655132e-05,2.883173e-05,2.969533e-05,3.123948e-05,3.288960e-05,3.366849e-05,3.610730e-05,3.854497e-05,3.932308e-05,4.097122e-05,4.251358e-05,4.337650e-05,4.565770e-05,4.575205e-05,4.808997e-05,4.873686e-05,5.038318e-05,5.173503e-05,5.262547e-05,5.463876e-05,5.481145e-05,5.693655e-05,5.743707e-05,5.899695e-05,6.012134e-05,6.098959e-05,6.268513e-05,6.291206e-05,6.476259e-05,6.512395e-05,6.653999e-05,6.743508e-05,6.824357e-05,6.961736e-05,6.987312e-05,7.142887e-05,7.167098e-05,7.291140e-05,7.359725e-05,7.432159e-05,7.539843e-05,7.566060e-05,7.692981e-05,7.707750e-05,7.813078e-05,7.863801e-05,7.926518e-05,8.008392e-05,8.033483e-05,8.134161e-05,8.141949e-05,8.228745e-05,8.264917e-05,8.317434e-05,8.377753e-05,8.400429e-05,8.477932e-05,8.480921e-05,8.550145e-05,8.574884e-05,8.617265e-05,8.660099e-05,8.679491e-05,8.737017e-05,8.790033e-05,8.806076e-05,8.838726e-05,8.867705e-05,8.883279e-05,8.922319e-05,8.923868e-05,8.960667e-05,8.970315e-05,8.993843e-05,9.012076e-05,9.023557e-05,9.047971e-05,9.049966e-05,9.073222e-05,9.078351e-05,9.093471e-05,9.103550e-05,9.110855e-05,9.123889e-05,9.125508e-05,9.137562e-05,9.139672e-05,9.147143e-05,9.151187e-05,9.154371e-05,9.158709e-05,9.159362e-05,9.162229e-05,9.162498e-05,9.163078e-05,9.162799e-05,9.162012e-05,9.159846e-05,9.159129e-05,9.154524e-05,9.153860e-05,9.148288e-05,9.145049e-05,9.140507e-05,9.133611e-05,9.131264e-05,9.120639e-05,9.119732e-05,9.108709e-05,9.103587e-05,9.095545e-05,9.085343e-05,9.081218e-05,9.065794e-05,9.065155e-05,9.049337e-05,9.043171e-05,9.031908e-05,9.019531e-05,9.013565e-05,8.994364e-05,8.967796e-05,8.939941e-05,8.910908e-05,8.880802e-05,8.849718e-05,8.817747e-05,8.784975e-05,8.751482e-05,8.717344e-05,8.682631e-05,8.647410e-05,8.611744e-05,8.575690e-05,8.539305e-05,8.502638e-05,8.465738e-05,8.428650e-05,8.391416e-05,8.354076e-05,8.316666e-05,8.279220e-05,8.241772e-05,8.204350e-05,8.166982e-05
0.000000e+00,2.364260e-12,1.221249e-11,1.405092e-10,7.091970e-10,1.487610e-09,7.343665e-09,7.777897e-09,2.764788e-08,3.759928e-08,7.704968e-08,1.310673e-07,1.816425e-07,3.587289e-07,3.790584e-07,7.209276e-07,8.315905e-07,1.274383e-06,1.707075e-06,2.122509e-06,3.190045e-06,3.363201e-06,5.106427e-06,5.525680e-06,7.470379e-06,8.985448e-06,1.057717e-05,1.385010e-05,1.454853e-05,1.950182e-05,2.039291e-05,2.554643e-05,2.886485e-05,3.278074e-05,3.948230e-05,4.128960e-05,5.114233e-05,5.241763e-05,6.239130e-05,6.779274e-05,7.507109e-05,8.567540e-05,8.919806e-05,1.047705e-04,1.060782e-04,1.217690e-04,1.289602e-04,1.401577e-04,1.542301e-04,1.598851e-04,1.808858e-04,1.817512e-04,2.030818e-04,2.113482e-04,2.263846e-04,2.428134e-04,2.506970e-04,2.759145e-04,3.019276e-04,3.104014e-04,3.286233e-04,3.460138e-04,3.558867e-04,3.824867e-04,3.836026e-04,4.116566e-04,4.195569e-04,4.399366e-04,4.569677e-04,4.683339e-04,4.944730e-04,4.967439e-04,5.250666e-04,5.318405e-04,5.532079e-04,5.688545e-04,5.810794e-04,6.053179e-04,6.085991e-04,6.356917e-04,6.410527e-04,6.622881e-04,6.759013e-04,6.883263e-04,7.097263e-04,7.137509e-04,7.385128e-04,7.424103e-04,7.625693e-04,7.738550e-04,7.858839e-04,8.039806e-04,8.084259e-04,8.301699e-04,8.327245e-04,8.510960e-04,8.600404e-04,8.711893e-04,8.858965e-04,8.904391e-04,9.088394e-04,9.102746e-04,9.263876e-04,9.331685e-04,9.430850e-04,9.545827e-04,9.589360e-04,9.739479e-04,9.745310e-04,9.881306e-04,9.930356e-04,1.001496e-03,1.010125e-03,1.014059e-03,1.025835e-03,1.036842e-03,1.040205e-03,1.047099e-03,1.053279e-03,1.056626e-03,1.065103e-03,1.065442e-03,1.073571e-03,1.075727e-03,1.081034e-03,1.085202e-03,1.087854e-03,1.093579e-03,1.094053e-03,1.099653e-03,1.100911e-03,1.104679e-03,1.107251e-03,1.109153e-03,1.112651e-03,1.113097e-03,1.116534e-03,1.117163e-03,1.119487e-03,1.120837e-03,1.121976e-03,1.123724e-03,1.124023e-03,1.125650e-03,1.125872e-03,1.126875e-03,1.127328e-03,1.127721e-03,1.128136e-03,1.128205e-03,1.128347e-03,1.128342e-03,1.128164e-03,1.127986e-03,1.127675e-03,1.127109e-03,1.126897e-03,1.125845e-03,1.125750e-03,1.124536e-03,1.123944e-03,1.122986e-03,1.121728e-03,1.121208e-03,1.119217e-03,1.119133e-03,1.117026e-03,1.116191e-03,1.114649e-03,1.112932e-03,1.112097e-03,1.109384e-03,1.105573e-03,1.101524e-03,1.097260e-03,1.092803e-03,1.088174e-03,1.083392e-03,1.078475e-03,1.073440e-03,1.068302e-03,1.063076e-03,1.057776e-03,1.052415e-03,1.047003e-03,1.041552e-03,1.036073e-03,1.030573e-03,1.025063e-03,1.019550e-03,1.014041e-03,1.008543e-03,1.003061e-03,9.976032e-04,9.921728e-04,9.867750e-04
0.000000e+00,2.252801e-10,9.433074e-10,7.191222e-09,2.564462e-08,4.494593e-08,1.445062e-07,1.505637e-07,3.679485e-07,4.556472e-07,7.490045e-07,1.082257e-06,1.357706e-06,2.182957e-06,2.268699e-06,3.548245e-06,3.914203e-06,5.222229e-06,6.324529e-06,7.266897e-06,9.333577e-06,9.632714e-06,1.227035e-05,1.282688e-05,1.514084e-05,1.671544e-05,1.821463e-05,2.093608e-05,2.146772e-05,2.487838e-05,2.543728e-05,2.842526e-05,3.016978e-05,3.208659e-05,3.508300e-05,3.583994e-05,3.966246e-05,4.012472e-05,4.353122e-05,4.524229e-05,4.742366e-05,5.038434e-05,5.131804e-05,5.519379e-05,5.550246e-05,5.903179e-05,6.055246e-05,6.281465e-05,6.549541e-05,6.652692e-05,7.015518e-05,7.029839e-05,7.368786e-05,7.493431e-05,7.711528e-05,7.938171e-05,8.042957e-05,8.362456e-05,8.669555e-05,8.765151e-05,8.963930e-05,9.145555e-05,9.245378e-05,9.503302e-05,9.513788e-05,9.769146e-05,9.838317e-05,1.001153e-04,1.015078e-04,1.024106e-04,1.044106e-04,1.045795e-04,1.066243e-04,1.070969e-04,1.085478e-04,1.095731e-04,1.103531e-04,1.118464e-04,1.120433e-04,1.136220e-04,1.139247e-04,1.150929e-04,1.158163e-04,1.164595e-04,1.175295e-04,1.177255e-04,1.188946e-04,1.190730e-04,1.199707e-04,1.204552e-04,1.209573e-04,1.216846e-04,1.218581e-04,1.226767e-04,1.227695e-04,1.234165e-04,1.237179e-04,1.240810e-04,1.245377e-04,1.246735e-04,1.251973e-04,1.252364e-04,1.256556e-04,1.258212e-04,1.260514e-04,1.262993e-04,1.263876e-04,1.266672e-04,1.266772e-04,1.268929e-04,1.269615e-04,1.270674e-04,1.271582e-04,1.271934e-04,1.272731e-04,1.273092e-04,1.273119e-04,1.273039e-04,1.272797e-04,1.272593e-04,1.271816e-04,1.271777e-04,1.270611e-04,1.270224e-04,1.269114e-04,1.268065e-04,1.267305e-04,1.265381e-04,1.265202e-04,1.262824e-04,1.262213e-04,1.260185e-04,1.258600e-04,1.257303e-04,1.254576e-04,1.254191e-04,1.250866e-04,1.250176e-04,1.247340e-04,1.245432e-04,1.243627e-04,1.240373e-04,1.239740e-04,1.235690e-04,1.235028e-04,1.231490e-04,1.229424e-04,1.227150e-04,1.223585e-04,1.222681e-04,1.218093e-04,1.217535e-04,1.213395e-04,1.211296e-04,1.208597e-04,1.204889e-04,1.203707e-04,1.198733e-04,1.198332e-04,1.193684e-04,1.191645e-04,1.188567e-04,1.184844e-04,1.183388e-04,1.178155e-04,1.177944e-04,1.172873e-04,1.170961e-04,1.167550e-04,1.163909e-04,1.162191e-04,1.156800e-04,1.149647e-04,1.142460e-04,1.135250e-04,1.128026e-04,1.120798e-04,1.113573e-04,1.106360e-04,1.099166e-04,1.091996e-04,1.084857e-04,1.077755e-04,1.070694e-04,1.063680e-04,1.056715e-04,1.049805e-04,1.042953e-04,1.036162e-04,1.029434e-04,1.022773e-04,1.016180e-04,1.009658e-04,1.003208e-04,9.968325e-05,9.905321e-05
0.000000e+00,4.025962e-11,2.084673e-10,2.410931e-09,1.222858e-08,2.572224e-08,1.279490e-07,1.355586e-07,4.859008e-07,6.623997e-07,1.366220e-06,2.337220e-06,3.251751e-06,6.481969e-06,6.854953e-06,1.317185e-05,1.523026e-05,2.350939e-05,3.164460e-05,3.948211e-05,5.969447e-05,6.297966e-05,9.611579e-05,1.040979e-04,1.411678e-04,1.700908e-04,2.005124e-04,2.631715e-04,2.765607e-04,3.716952e-04,3.888428e-04,4.882081e-04,5.523651e-04,6.282453e-04,7.585286e-04,7.937535e-04,9.864356e-04,1.011454e-03,1.207711e-03,1.314428e-03,1.458687e-03,1.669780e-03,1.740134e-03,2.052473e-03,2.078799e-03,2.395770e-03,2.541704e-03,2.769739e-03,3.057648e-03,3.173751e-03,3.606852e-03,3.624764e-03,4.067784e-03,4.240244e-03,4.555011e-03,4.900446e-03,5.066752e-03,5.601011e-03,6.155613e-03,6.337006e-03,6.728237e-03,7.103057e-03,7.316455e-03,7.893489e-03,7.917761e-03,8.529605e-03,8.702461e-03,9.149428e-03,9.524090e-03,9.774682e-03,1.035256e-02,1.040286e-02,1.103153e-02,1.118222e-02,1.165833e-02,1.200767e-02,1.228100e-02,1.282383e-02,1.289740e-02,1.350553e-02,1.362599e-02,1.410349e-02,1.440984e-02,1.468956e-02,1.517151e-02,1.526216e-02,1.581984e-02,1.590760e-02,1.636132e-02,1.661515e-02,1.688548e-02,1.729166e-02,1.739132e-02,1.787800e-02,1.793508e-02,1.834483e-02,1.854380e-02,1.879124e-02,1.911657e-02,1.921678e-02,1.962115e-02,1.965257e-02,2.000413e-02,2.015131e-02,2.036562e-02,2.061260e-02,2.070564e-02,2.102426e-02,2.103657e-02,2.132167e-02,2.142359e-02,2.159811e-02,2.177426e-02,2.185389e-02,2.208940e-02,2.230506e-02,2.236996e-02,2.250136e-02,2.261707e-02,2.267881e-02,2.283194e-02,2.283797e-02,2.297941e-02,2.301592e-02,2.310374e-02,2.317039e-02,2.321160e-02,2.329681e-02,2.330360e-02,2.338041e-02,2.339665e-02,2.344267e-02,2.347143e-02,2.349105e-02,2.352265e-02,2.352619e-02,2.354875e-02,2.355181e-02,2.355937e-02,2.356039e-02,2.355870e-02,2.354986e-02,2.354736e-02,2.352596e-02,2.352164e-02,2.349511e-02,2.347711e-02,2.345538e-02,2.341760e-02,2.340736e-02,2.335159e-02,2.334441e-02,2.328862e-02,2.325876e-02,2.321895e-02,2.316183e-02,2.314308e-02,2.306150e-02,2.305474e-02,2.297466e-02,2.293855e-02,2.288301e-02,2.281427e-02,2.278696e-02,2.268693e-02,2.268285e-02,2.258329e-02,2.254517e-02,2.247641e-02,2.240206e-02,2.236664e-02,2.225430e-02,2.210262e-02,2.194769e-02,2.179012e-02,2.163051e-02,2.146937e-02,2.130719e-02,2.114442e-02,2.098147e-02,2.081870e-02,2.065644e-02,2.049502e-02,2.033468e-02,2.017568e-02,2.001824e-02,1.986255e-02,1.970878e-02,1.955708e-02,1.940757e-02,1.926037e-02,1.911558e-02,1.897326e-02,1.883350e-02,1.869634e-02,1.856181e-02
0.000000e+00,4.988794e-09,1.170297e-08,4.132135e-08,9.535823e-08,1.400414e-07,3.232428e-07,3.332230e-07,6.575757e-07,7.776065e-07,1.155261e-06,1.553015e-06,1.862210e-06,2.705276e-06,2.786970e-06,3.913932e-06,4.212274e-06,5.223945e-06,6.031795e-06,6.702065e-06,8.132129e-06,8.336047e-06,1.011394e-05,1.048567e-05,1.202272e-05,1.306222e-05,1.404777e-05,1.582689e-05,1.617295e-05,1.838091e-05,1.874067e-05,2.065361e-05,2.176213e-05,2.297278e-05,2.484951e-05,2.532050e-05,2.767957e-05,2.796264e-05,3.003393e-05,3.106452e-05,3.236891e-05,3.412237e-05,3.467134e-05,3.692967e-05,3.710813e-05,3.913407e-05,3.999884e-05,4.127635e-05,4.277650e-05,4.334980e-05,4.534915e-05,4.542752e-05,4.727041e-05,4.794236e-05,4.911072e-05,5.031492e-05,5.086824e-05,5.254196e-05,5.413166e-05,5.462268e-05,5.563778e-05,5.655820e-05,5.706114e-05,5.835082e-05,5.840295e-05,5.966491e-05,6.000420e-05,6.084889e-05,6.152272e-05,6.195701e-05,6.291143e-05,6.299154e-05,6.395486e-05,6.417573e-05,6.484941e-05,6.532126e-05,6.567770e-05,6.635376e-05,6.644222e-05,6.714552e-05,6.727905e-05,6.779009e-05,6.810287e-05,6.837839e-05,6.883088e-05,6.891288e-05,6.939592e-05,6.946859e-05,6.982985e-05,7.002136e-05,7.021694e-05,7.049437e-05,7.055939e-05,7.085936e-05,7.089260e-05,7.111892e-05,7.122084e-05,7.134007e-05,7.148366e-05,7.152476e-05,7.167485e-05,7.168542e-05,7.179216e-05,7.183029e-05,7.187841e-05,7.192221e-05,7.193527e-05,7.196435e-05,7.196495e-05,7.196718e-05,7.196207e-05,7.194526e-05,7.191693e-05,7.189998e-05,7.183272e-05,7.174476e-05,7.171245e-05,7.163736e-05,7.155897e-05,7.151171e-05,7.137496e-05,7.136894e-05,7.121014e-05,7.116295e-05,7.103635e-05,7.092529e-05,7.084856e-05,7.066424e-05,7.064772e-05,7.043472e-05,7.038189e-05,7.021044e-05,7.008021e-05,6.997568e-05,6.976104e-05,6.973122e-05,6.947782e-05,6.942613e-05,6.921617e-05,6.907708e-05,6.894695e-05,6.871543e-05,6.867080e-05,6.838832e-05,6.834257e-05,6.810008e-05,6.795985e-05,6.780664e-05,6.756849e-05,6.750852e-05,6.720619e-05,6.716965e-05,6.690014e-05,6.676441e-05,6.659079e-05,6.635375e-05,6.627858e-05,6.596389e-05,6.593862e-05,6.564709e-05,6.551986e-05,6.532854e-05,6.509829e-05,6.500858e-05,6.468751e-05,6.467465e-05,6.436563e-05,6.424961e-05,6.404323e-05,6.382383e-05,6.372056e-05,6.339787e-05,6.297228e-05,6.254757e-05,6.212417e-05,6.170252e-05,6.128300e-05,6.086595e-05,6.045170e-05,6.004054e-05,5.963272e-05,5.922848e-05,5.882805e-05,5.843160e-05,5.803931e-05,5.765133e-05,5.726780e-05,5.688883e-05,5.651452e-05,5.614496e-05,5.578022e-05,5.542036e-05,5.506544e-05,5.471549e-05,5.437054e-05,5.403061e-05
0.000000e+00,1.170889e-08,3.109551e-08,1.258091e-07,3.111755e-07,4.702811e-07,1.153268e-06,1.191547e-06,2.480390e-06,2.976475e-06,4.597210e-06,6.401560e-06,7.875328e-06,1.221157e-05,1.265526e-05,1.912030e-05,2.091709e-05,2.717064e-05,3.226486e-05,3.651527e-05,4.556692e-05,4.685110e-05,5.794403e-05,6.023785e-05,6.962712e-05,7.589358e-05,8.177737e-05,9.227229e-05,9.429653e-05,1.070996e-04,1.091691e-04,1.201088e-04,1.264049e-04,1.332512e-04,1.438146e-04,1.464580e-04,1.596646e-04,1.612465e-04,1.728115e-04,1.785631e-04,1.858445e-04,1.956434e-04,1.987152e-04,2.113811e-04,2.123844e-04,2.238056e-04,2.287008e-04,2.359579e-04,2.445243e-04,2.478122e-04,2.593481e-04,2.598027e-04,2.705493e-04,2.744974e-04,2.814036e-04,2.885818e-04,2.919022e-04,3.020394e-04,3.118118e-04,3.148618e-04,3.212187e-04,3.270475e-04,3.302607e-04,3.386000e-04,3.389403e-04,3.472610e-04,3.495272e-04,3.552277e-04,3.598401e-04,3.628460e-04,3.695523e-04,3.701219e-04,3.770624e-04,3.786791e-04,3.836748e-04,3.872371e-04,3.899664e-04,3.952440e-04,3.959452e-04,4.016192e-04,4.027181e-04,4.069964e-04,4.096779e-04,4.120849e-04,4.161421e-04,4.168929e-04,4.214286e-04,4.221296e-04,4.257000e-04,4.276588e-04,4.297153e-04,4.327484e-04,4.334824e-04,4.370092e-04,4.374166e-04,4.403035e-04,4.416813e-04,4.433729e-04,4.455599e-04,4.462250e-04,4.488671e-04,4.490696e-04,4.513066e-04,4.522272e-04,4.535505e-04,4.550489e-04,4.556057e-04,4.574792e-04,4.575504e-04,4.591775e-04,4.597472e-04,4.607071e-04,4.616541e-04,4.620743e-04,4.632854e-04,4.643464e-04,4.646552e-04,4.652631e-04,4.657768e-04,4.660413e-04,4.666631e-04,4.666865e-04,4.672040e-04,4.673268e-04,4.675993e-04,4.677798e-04,4.678773e-04,4.680338e-04,4.680430e-04,4.681013e-04,4.680998e-04,4.680568e-04,4.679887e-04,4.679141e-04,4.677106e-04,4.676774e-04,4.673512e-04,4.672756e-04,4.669395e-04,4.666930e-04,4.664464e-04,4.659720e-04,4.658756e-04,4.652310e-04,4.651213e-04,4.645162e-04,4.641491e-04,4.637346e-04,4.630636e-04,4.628897e-04,4.619847e-04,4.618722e-04,4.610228e-04,4.605824e-04,4.600071e-04,4.592010e-04,4.589406e-04,4.578259e-04,4.577348e-04,4.566660e-04,4.561900e-04,4.554635e-04,4.545728e-04,4.542209e-04,4.529408e-04,4.528888e-04,4.516253e-04,4.511436e-04,4.502770e-04,4.493424e-04,4.488979e-04,4.474903e-04,4.455918e-04,4.436515e-04,4.416738e-04,4.396625e-04,4.376216e-04,4.355548e-04,4.334653e-04,4.313566e-04,4.292318e-04,4.270936e-04,4.249449e-04,4.227883e-04,4.206261e-04,4.184608e-04,4.162945e-04,4.141292e-04,4.119669e-04,4.098093e-04,4.076581e-04,4.055148e-04,4.033810e-04,4.012580e-04,3.991471e-04,3.970495e-04
0.000000e+00,3.988957e-12,2.031166e-11,2.268266e-10,1.114231e-09,2.302893e-09,1.094975e-08,1.157987e-08,3.972996e-08,5.353589e-08,1.073151e-07,1.795437e-07,2.462932e-07,4.761042e-07,5.022019e-07,9.348709e-07,1.072821e-06,1.616418e-06,2.136457e-06,2.626893e-06,3.854040e-06,4.049181e-06,5.964466e-06,6.413493e-06,8.448765e-06,9.988554e-06,1.157055e-05,1.472924e-05,1.538922e-05,1.995420e-05,2.075661e-05,2.530445e-05,2.816019e-05,3.146818e-05,3.699697e-05,3.846286e-05,4.629523e-05,4.729133e-05,5.496146e-05,5.903550e-05,6.444748e-05,7.219075e-05,7.472934e-05,8.577378e-05,8.668908e-05,9.753885e-05,1.024357e-04,1.099747e-04,1.193123e-04,1.230247e-04,1.366259e-04,1.371805e-04,1.507110e-04,1.558864e-04,1.652086e-04,1.752649e-04,1.800448e-04,1.951446e-04,2.104324e-04,2.153519e-04,2.258334e-04,2.357157e-04,2.412747e-04,2.560709e-04,2.566859e-04,2.719997e-04,2.762614e-04,2.871531e-04,2.961435e-04,3.020873e-04,3.155868e-04,3.167484e-04,3.310876e-04,3.344762e-04,3.450613e-04,3.527124e-04,3.586312e-04,3.702124e-04,3.717643e-04,3.844328e-04,3.869086e-04,3.966138e-04,4.027490e-04,4.082891e-04,4.176957e-04,4.194453e-04,4.300729e-04,4.317239e-04,4.401663e-04,4.448207e-04,4.497236e-04,4.569840e-04,4.587458e-04,4.672370e-04,4.682205e-04,4.752038e-04,4.785452e-04,4.826549e-04,4.879794e-04,4.896011e-04,4.960545e-04,4.965499e-04,5.020287e-04,5.042875e-04,5.075385e-04,5.112266e-04,5.125993e-04,5.172275e-04,5.174038e-04,5.214396e-04,5.228574e-04,5.252527e-04,5.276264e-04,5.286839e-04,5.317504e-04,5.344692e-04,5.352686e-04,5.368573e-04,5.382198e-04,5.389313e-04,5.406420e-04,5.407075e-04,5.422019e-04,5.425719e-04,5.434299e-04,5.440451e-04,5.444065e-04,5.450955e-04,5.451463e-04,5.456633e-04,5.457557e-04,5.459709e-04,5.460565e-04,5.460820e-04,5.460271e-04,5.460091e-04,5.457640e-04,5.456953e-04,5.453581e-04,5.450870e-04,5.448021e-04,5.442267e-04,5.441064e-04,5.432808e-04,5.431372e-04,5.423345e-04,5.418400e-04,5.412764e-04,5.403550e-04,5.401148e-04,5.388576e-04,5.387007e-04,5.375124e-04,5.368944e-04,5.360862e-04,5.349522e-04,5.345857e-04,5.330172e-04,5.328890e-04,5.313868e-04,5.307185e-04,5.296999e-04,5.284534e-04,5.279619e-04,5.261778e-04,5.261056e-04,5.243523e-04,5.236858e-04,5.224897e-04,5.212041e-04,5.205943e-04,5.186698e-04,5.160912e-04,5.134763e-04,5.108321e-04,5.081651e-04,5.054815e-04,5.027866e-04,5.000856e-04,4.973829e-04,4.946828e-04,4.919890e-04,4.893051e-04,4.866340e-04,4.839787e-04,4.813416e-04,4.787251e-04,4.761313e-04,4.735618e-04,4.710185e-04,4.685026e-04,4.660156e-04,4.635584e-04,4.611322e-04,4.587376e-04,4.563755e-04
0.000000e+00,7.774546e-11,4.022832e-10,4.646030e-09,2.354032e-08,4.949195e-08,2.459711e-07,2.605938e-07,9.338641e-07,1.273138e-06,2.626687e-06,4.495484e-06,6.256845e-06,1.248617e-05,1.320621e-05,2.542478e-05,2.941645e-05,4.552424e-05,6.143530e-05,7.684010e-05,1.168850e-04,1.234333e-04,1.900089e-04,2.061723e-04,2.817553e-04,3.412182e-04,4.041294e-04,5.346172e-04,5.626268e-04,7.625608e-04,7.987323e-04,1.008871e-03,1.144890e-03,1.305965e-03,1.582755e-03,1.657602e-03,2.066803e-03,2.119890e-03,2.535803e-03,2.761502e-03,3.066022e-03,3.510338e-03,3.658072e-03,4.311774e-03,4.366711e-03,5.026198e-03,5.328626e-03,5.799714e-03,6.391987e-03,6.630057e-03,7.514399e-03,7.550850e-03,8.449415e-03,8.797717e-03,9.431368e-03,1.012384e-02,1.045618e-02,1.151951e-02,1.261683e-02,1.297439e-02,1.374347e-02,1.447773e-02,1.489471e-02,1.601867e-02,1.606584e-02,1.725216e-02,1.758643e-02,1.844910e-02,1.917050e-02,1.965220e-02,2.076080e-02,2.085716e-02,2.205989e-02,2.234778e-02,2.325650e-02,2.392256e-02,2.444334e-02,2.547696e-02,2.561700e-02,2.677431e-02,2.700355e-02,2.791239e-02,2.849570e-02,2.902859e-02,2.994754e-02,3.012053e-02,3.118608e-02,3.135399e-02,3.222336e-02,3.271073e-02,3.323074e-02,3.401415e-02,3.420680e-02,3.515036e-02,3.526135e-02,3.606044e-02,3.645006e-02,3.693626e-02,3.757860e-02,3.777723e-02,3.858294e-02,3.864586e-02,3.935312e-02,3.965121e-02,4.008766e-02,4.059448e-02,4.078660e-02,4.145008e-02,4.147589e-02,4.207838e-02,4.229603e-02,4.267187e-02,4.305578e-02,4.323099e-02,4.375630e-02,4.424840e-02,4.439897e-02,4.470798e-02,4.498537e-02,4.513576e-02,4.551722e-02,4.553251e-02,4.589905e-02,4.599638e-02,4.623623e-02,4.642481e-02,4.654492e-02,4.680452e-02,4.682601e-02,4.708040e-02,4.713759e-02,4.730902e-02,4.742613e-02,4.751278e-02,4.767225e-02,4.769260e-02,4.784940e-02,4.787807e-02,4.798409e-02,4.804570e-02,4.809758e-02,4.817719e-02,4.819077e-02,4.826453e-02,4.827458e-02,4.831972e-02,4.833987e-02,4.835720e-02,4.837499e-02,4.837780e-02,4.838233e-02,4.838183e-02,4.837158e-02,4.836220e-02,4.834631e-02,4.831786e-02,4.830728e-02,4.825521e-02,4.825050e-02,4.819080e-02,4.816174e-02,4.811474e-02,4.805313e-02,4.802768e-02,4.793026e-02,4.792615e-02,4.782308e-02,4.778223e-02,4.770675e-02,4.762270e-02,4.758182e-02,4.744884e-02,4.726187e-02,4.706294e-02,4.685313e-02,4.663346e-02,4.640490e-02,4.616836e-02,4.592470e-02,4.567472e-02,4.541917e-02,4.515876e-02,4.489415e-02,4.462596e-02,4.435475e-02,4.408108e-02,4.380543e-02,4.352827e-02,4.325003e-02,4.297112e-02,4.269190e-02,4.241272e-02,4.213388e-02,4.185569e-02,4.157841e-02,4.130228e-02
0.000000e+00,2.631771e-12,1.347067e-11,1.520345e-10,7.538177e-10,1.565625e-09,7.530621e-09,7.967390e-09,2.758475e-08,3.724212e-08,7.492421e-08,1.255404e-07,1.722591e-07,3.326033e-07,3.507701e-07,6.512893e-07,7.469983e-07,1.124534e-06,1.487050e-06,1.830597e-06,2.698281e-06,2.837349e-06,4.217504e-06,4.544843e-06,6.044435e-06,7.194274e-06,8.387329e-06,1.079861e-05,1.130655e-05,1.484991e-05,1.547719e-05,1.905018e-05,2.130512e-05,2.392387e-05,2.830835e-05,2.947119e-05,3.567685e-05,3.646452e-05,4.251159e-05,4.570788e-05,4.993399e-05,5.593674e-05,5.789267e-05,6.632846e-05,6.702202e-05,7.517656e-05,7.881602e-05,8.436864e-05,9.116061e-05,9.383464e-05,1.035045e-04,1.038946e-04,1.133095e-04,1.168596e-04,1.231836e-04,1.299053e-04,1.330641e-04,1.428925e-04,1.526153e-04,1.556962e-04,1.621839e-04,1.682066e-04,1.715549e-04,1.803297e-04,1.806901e-04,1.895568e-04,1.919875e-04,1.981272e-04,2.031174e-04,2.063782e-04,2.136710e-04,2.142913e-04,2.218523e-04,2.236133e-04,2.290508e-04,2.329209e-04,2.358799e-04,2.415809e-04,2.423359e-04,2.484178e-04,2.495895e-04,2.541274e-04,2.569504e-04,2.594683e-04,2.636739e-04,2.644462e-04,2.690682e-04,2.697753e-04,2.733429e-04,2.752742e-04,2.772799e-04,2.801933e-04,2.808896e-04,2.841832e-04,2.845577e-04,2.871723e-04,2.883942e-04,2.898692e-04,2.917307e-04,2.922859e-04,2.944349e-04,2.945956e-04,2.963286e-04,2.970174e-04,2.979793e-04,2.990243e-04,2.993993e-04,3.006006e-04,3.006442e-04,3.015948e-04,3.019042e-04,3.023934e-04,3.028304e-04,3.030076e-04,3.034481e-04,3.037253e-04,3.037812e-04,3.038493e-04,3.038528e-04,3.038298e-04,3.036846e-04,3.036760e-04,3.033968e-04,3.032973e-04,3.030006e-04,3.027102e-04,3.024957e-04,3.019416e-04,3.018896e-04,3.011896e-04,3.010085e-04,3.004029e-04,2.999269e-04,2.995360e-04,2.987117e-04,2.985951e-04,2.975862e-04,2.973768e-04,2.965149e-04,2.959350e-04,2.953867e-04,2.943985e-04,2.942063e-04,2.929787e-04,2.927782e-04,2.917082e-04,2.910844e-04,2.903991e-04,2.893267e-04,2.890554e-04,2.876807e-04,2.875138e-04,2.862785e-04,2.856537e-04,2.848522e-04,2.837539e-04,2.834048e-04,2.819391e-04,2.818212e-04,2.804581e-04,2.798619e-04,2.789640e-04,2.778816e-04,2.774594e-04,2.759463e-04,2.758857e-04,2.744270e-04,2.738789e-04,2.729033e-04,2.718656e-04,2.713770e-04,2.698498e-04,2.678350e-04,2.658247e-04,2.638217e-04,2.618286e-04,2.598481e-04,2.578821e-04,2.559326e-04,2.540014e-04,2.520900e-04,2.501997e-04,2.483318e-04,2.464873e-04,2.446670e-04,2.428718e-04,2.411023e-04,2.393591e-04,2.376427e-04,2.359533e-04,2.342912e-04,2.326568e-04,2.310501e-04,2.294711e-04,2.279200e-04,2.263967e-04
0.000000e+00,6.224284e-09,1.648876e-08,6.614035e-08,1.616360e-07,2.421921e-07,5.764120e-07,5.946662e-07,1.186216e-06,1.404002e-06,2.087161e-06,2.809835e-06,3.379466e-06,4.992567e-06,5.154450e-06,7.494770e-06,8.146253e-06,1.043875e-05,1.234245e-05,1.395666e-05,1.746541e-05,1.797022e-05,2.239112e-05,2.331716e-05,2.714269e-05,2.972313e-05,3.216300e-05,3.655031e-05,3.740119e-05,4.281316e-05,4.369247e-05,4.835856e-05,5.105646e-05,5.399917e-05,5.855543e-05,5.969818e-05,6.542000e-05,6.610651e-05,7.113049e-05,7.363111e-05,7.679729e-05,8.105617e-05,8.239020e-05,8.788151e-05,8.831566e-05,9.324628e-05,9.535173e-05,9.846256e-05,1.021156e-04,1.035115e-04,1.083772e-04,1.085679e-04,1.130469e-04,1.146779e-04,1.175104e-04,1.204240e-04,1.217604e-04,1.257919e-04,1.296022e-04,1.307745e-04,1.331903e-04,1.353705e-04,1.365572e-04,1.395835e-04,1.397053e-04,1.426381e-04,1.434213e-04,1.453603e-04,1.468947e-04,1.478773e-04,1.500172e-04,1.501955e-04,1.523214e-04,1.528038e-04,1.542623e-04,1.552711e-04,1.560255e-04,1.574362e-04,1.576187e-04,1.590494e-04,1.593167e-04,1.603254e-04,1.609304e-04,1.614544e-04,1.622947e-04,1.624439e-04,1.633014e-04,1.634269e-04,1.640342e-04,1.643437e-04,1.646493e-04,1.650612e-04,1.651536e-04,1.655537e-04,1.655950e-04,1.658561e-04,1.659598e-04,1.660670e-04,1.661697e-04,1.661922e-04,1.662374e-04,1.662378e-04,1.662082e-04,1.661767e-04,1.661095e-04,1.659983e-04,1.659464e-04,1.657235e-04,1.657134e-04,1.654454e-04,1.653325e-04,1.651162e-04,1.648652e-04,1.647400e-04,1.643206e-04,1.638615e-04,1.637068e-04,1.633663e-04,1.630319e-04,1.628381e-04,1.623028e-04,1.622800e-04,1.616947e-04,1.615264e-04,1.610851e-04,1.607087e-04,1.604537e-04,1.598555e-04,1.598028e-04,1.591347e-04,1.589721e-04,1.584515e-04,1.580631e-04,1.577552e-04,1.571331e-04,1.570476e-04,1.563305e-04,1.561861e-04,1.556055e-04,1.552259e-04,1.548741e-04,1.542557e-04,1.541376e-04,1.533975e-04,1.532789e-04,1.526550e-04,1.522981e-04,1.519112e-04,1.513158e-04,1.511671e-04,1.504237e-04,1.503346e-04,1.496820e-04,1.493563e-04,1.489427e-04,1.483830e-04,1.482067e-04,1.474747e-04,1.474163e-04,1.467473e-04,1.464578e-04,1.460251e-04,1.455087e-04,1.453087e-04,1.445986e-04,1.445703e-04,1.438952e-04,1.436437e-04,1.431989e-04,1.427298e-04,1.425102e-04,1.418293e-04,1.409431e-04,1.400717e-04,1.392156e-04,1.383753e-04,1.375510e-04,1.367431e-04,1.359518e-04,1.351773e-04,1.344195e-04,1.336787e-04,1.329548e-04,1.322477e-04,1.315574e-04,1.308839e-04,1.302269e-04,1.295863e-04,1.289619e-04,1.283537e-04,1.277612e-04,1.271844e-04,1.266229e-04,1.260765e-04,1.255449e-04,1.250280e-04
0.000000e+00,5.527570e-13,2.762266e-12,2.964429e-11,1.402710e-10,2.838532e-10,1.275076e-09,1.345232e-09,4.343928e-09,5.752963e-09,1.102135e-08,1.774054e-08,2.370776e-08,4.312240e-08,4.524553e-08,7.888425e-08,8.914677e-08,1.281590e-07,1.639514e-07,1.967426e-07,2.759415e-07,2.882450e-07,4.059367e-07,4.328615e-07,5.524046e-07,6.405068e-07,7.292081e-07,9.014140e-07,9.366309e-07,1.173594e-06,1.214108e-06,1.437740e-06,1.573216e-06,1.725654e-06,1.970302e-06,2.033150e-06,2.355590e-06,2.395059e-06,2.688171e-06,2.836496e-06,3.026174e-06,3.283929e-06,3.365147e-06,3.701050e-06,3.727680e-06,4.030335e-06,4.159503e-06,4.349991e-06,4.572778e-06,4.657557e-06,4.951103e-06,4.962532e-06,5.229203e-06,5.325338e-06,5.490886e-06,5.659148e-06,5.735585e-06,5.963086e-06,6.173469e-06,6.237224e-06,6.367059e-06,6.482375e-06,6.544372e-06,6.699893e-06,6.706071e-06,6.852930e-06,6.891504e-06,6.985792e-06,7.059160e-06,7.105547e-06,7.204922e-06,7.213098e-06,7.309350e-06,7.330868e-06,7.395188e-06,7.439028e-06,7.471466e-06,7.531332e-06,7.539000e-06,7.598561e-06,7.609580e-06,7.650867e-06,7.675424e-06,7.696588e-06,7.730358e-06,7.736341e-06,7.770692e-06,7.775723e-06,7.800161e-06,7.812711e-06,7.825218e-06,7.842375e-06,7.846290e-06,7.863764e-06,7.865636e-06,7.877987e-06,7.883297e-06,7.889273e-06,7.896061e-06,7.897904e-06,7.904133e-06,7.904535e-06,7.908188e-06,7.909248e-06,7.910273e-06,7.910658e-06,7.910571e-06,7.909248e-06,7.909163e-06,7.906451e-06,7.905110e-06,7.902315e-06,7.898800e-06,7.896961e-06,7.890496e-06,7.883021e-06,7.880431e-06,7.874625e-06,7.868805e-06,7.865388e-06,7.855801e-06,7.855387e-06,7.844688e-06,7.841576e-06,7.833354e-06,7.826272e-06,7.821442e-06,7.810017e-06,7.809004e-06,7.796089e-06,7.792923e-06,7.782740e-06,7.775091e-06,7.769000e-06,7.756614e-06,7.754906e-06,7.740493e-06,7.737575e-06,7.725794e-06,7.718048e-06,7.710840e-06,7.698103e-06,7.695660e-06,7.680279e-06,7.677801e-06,7.664722e-06,7.657200e-06,7.649014e-06,7.636352e-06,7.633174e-06,7.617224e-06,7.615304e-06,7.601182e-06,7.594099e-06,7.585066e-06,7.572779e-06,7.568893e-06,7.552677e-06,7.551378e-06,7.536434e-06,7.529932e-06,7.520176e-06,7.508469e-06,7.503918e-06,7.487670e-06,7.487021e-06,7.471444e-06,7.465610e-06,7.455251e-06,7.444263e-06,7.439100e-06,7.423000e-06,7.401842e-06,7.380805e-06,7.359908e-06,7.339165e-06,7.318590e-06,7.298194e-06,7.277990e-06,7.257988e-06,7.238196e-06,7.218623e-06,7.199277e-06,7.180164e-06,7.161289e-06,7.142658e-06,7.124275e-06,7.106143e-06,7.088267e-06,7.070648e-06,7.053289e-06,7.036192e-06,7.019357e-06,7.002787e-06,6.986480e-06,6.970437e-06
0.000000e+00,4.365089e-12,2.116140e-11,2.133216e-10,9.541148e-10,1.872816e-09,7.793274e-09,8.197222e-09,2.465408e-08,3.206108e-08,5.881626e-08,9.168026e-08,1.201609e-07,2.101696e-07,2.198373e-07,3.698235e-07,4.145599e-07,5.807961e-07,7.282613e-07,8.593232e-07,1.161011e-06,1.206112e-06,1.616204e-06,1.705074e-06,2.080585e-06,2.339876e-06,2.588189e-06,3.039580e-06,3.127556e-06,3.687911e-06,3.778857e-06,4.259681e-06,4.535718e-06,4.834631e-06,5.292147e-06,5.405774e-06,5.967234e-06,6.033716e-06,6.514081e-06,6.748980e-06,7.042212e-06,7.428981e-06,7.548268e-06,8.029582e-06,8.066954e-06,8.484143e-06,8.658146e-06,8.910562e-06,9.199683e-06,9.308033e-06,9.676289e-06,9.690413e-06,1.001554e-05,1.013069e-05,1.032643e-05,1.052210e-05,1.060990e-05,1.086720e-05,1.109976e-05,1.116920e-05,1.130913e-05,1.143172e-05,1.149696e-05,1.165853e-05,1.166488e-05,1.181455e-05,1.185340e-05,1.194754e-05,1.201996e-05,1.206536e-05,1.216156e-05,1.216941e-05,1.226103e-05,1.228130e-05,1.234141e-05,1.238192e-05,1.241165e-05,1.246586e-05,1.247274e-05,1.252559e-05,1.253525e-05,1.257100e-05,1.259191e-05,1.260968e-05,1.263744e-05,1.264227e-05,1.266933e-05,1.267318e-05,1.269137e-05,1.270029e-05,1.270882e-05,1.271976e-05,1.272210e-05,1.273154e-05,1.273243e-05,1.273747e-05,1.273904e-05,1.274017e-05,1.274021e-05,1.273988e-05,1.273684e-05,1.273648e-05,1.273124e-05,1.272833e-05,1.272328e-05,1.271618e-05,1.271312e-05,1.270092e-05,1.270039e-05,1.268682e-05,1.268130e-05,1.267094e-05,1.265920e-05,1.265342e-05,1.263435e-05,1.261384e-05,1.260698e-05,1.259198e-05,1.257733e-05,1.256887e-05,1.254559e-05,1.254459e-05,1.251922e-05,1.251193e-05,1.249282e-05,1.247653e-05,1.246548e-05,1.243954e-05,1.243725e-05,1.240819e-05,1.240110e-05,1.237836e-05,1.236134e-05,1.234782e-05,1.232040e-05,1.231662e-05,1.228480e-05,1.227837e-05,1.225242e-05,1.223537e-05,1.221951e-05,1.219149e-05,1.218611e-05,1.215228e-05,1.214682e-05,1.211803e-05,1.210146e-05,1.208342e-05,1.205548e-05,1.204846e-05,1.201320e-05,1.200895e-05,1.197766e-05,1.196195e-05,1.194188e-05,1.191453e-05,1.190587e-05,1.186967e-05,1.186676e-05,1.183330e-05,1.181871e-05,1.179678e-05,1.177041e-05,1.176014e-05,1.172339e-05,1.172192e-05,1.168656e-05,1.167328e-05,1.164966e-05,1.162455e-05,1.161272e-05,1.157575e-05,1.152694e-05,1.147813e-05,1.142937e-05,1.138069e-05,1.133212e-05,1.128368e-05,1.123540e-05,1.118730e-05,1.113940e-05,1.109173e-05,1.104429e-05,1.099712e-05,1.095023e-05,1.090363e-05,1.085733e-05,1.081135e-05,1.076570e-05,1.072040e-05,1.067544e-05,1.063084e-05,1.058661e-05,1.054276e-05,1.049929e-05,1.045621e-05
0.000000e+00,1.217532e-12,6.181150e-12,6.868219e-11,3.363328e-10,6.943725e-10,3.299470e-09,3.489496e-09,1.200634e-08,1.620072e-08,3.262428e-08,5.484547e-08,7.550569e-08,1.472495e-07,1.554412e-07,2.920609e-07,3.358519e-07,5.091012e-07,6.755887e-07,8.330999e-07,1.228915e-06,1.292055e-06,1.914291e-06,2.060793e-06,2.727562e-06,3.234813e-06,3.758328e-06,4.810292e-06,5.031157e-06,6.568222e-06,6.840009e-06,8.388869e-06,9.368385e-06,1.050927e-05,1.243007e-05,1.294213e-05,1.569653e-05,1.604896e-05,1.877781e-05,2.023768e-05,2.218756e-05,2.499751e-05,2.592371e-05,2.998069e-05,3.031886e-05,3.434962e-05,3.618198e-05,3.901866e-05,4.255813e-05,4.397328e-05,4.919660e-05,4.941086e-05,5.466980e-05,5.669743e-05,6.037246e-05,6.437034e-05,6.628294e-05,7.237870e-05,7.863667e-05,8.066966e-05,8.503350e-05,8.918957e-05,9.154588e-05,9.788510e-05,9.815079e-05,1.048256e-04,1.067041e-04,1.115486e-04,1.155966e-04,1.182985e-04,1.245149e-04,1.250552e-04,1.317997e-04,1.334145e-04,1.385140e-04,1.422545e-04,1.451812e-04,1.509971e-04,1.517858e-04,1.583135e-04,1.596086e-04,1.647509e-04,1.680587e-04,1.710862e-04,1.763210e-04,1.773086e-04,1.834085e-04,1.843726e-04,1.893774e-04,1.921938e-04,1.952079e-04,1.997683e-04,2.008936e-04,2.064291e-04,2.070830e-04,2.118098e-04,2.141273e-04,2.170321e-04,2.208933e-04,2.220932e-04,2.269910e-04,2.273757e-04,2.317240e-04,2.335710e-04,2.362916e-04,2.394777e-04,2.406936e-04,2.449303e-04,2.450964e-04,2.490026e-04,2.504286e-04,2.529118e-04,2.554777e-04,2.566595e-04,2.602479e-04,2.636792e-04,2.647444e-04,2.669560e-04,2.689735e-04,2.700813e-04,2.729419e-04,2.730582e-04,2.758897e-04,2.766570e-04,2.785794e-04,2.801265e-04,2.811307e-04,2.833588e-04,2.835473e-04,2.858328e-04,2.863622e-04,2.879910e-04,2.891453e-04,2.900256e-04,2.917169e-04,2.919405e-04,2.937394e-04,2.940857e-04,2.954262e-04,2.962603e-04,2.970047e-04,2.982495e-04,2.984784e-04,2.998513e-04,3.000618e-04,3.011269e-04,3.017057e-04,3.023088e-04,3.031893e-04,3.034006e-04,3.044058e-04,3.045207e-04,3.053277e-04,3.057078e-04,3.061696e-04,3.067580e-04,3.069349e-04,3.076266e-04,3.076789e-04,3.082479e-04,3.084774e-04,3.088018e-04,3.091604e-04,3.092911e-04,3.097187e-04,3.097345e-04,3.100873e-04,3.102061e-04,3.103996e-04,3.105811e-04,3.106582e-04,3.108655e-04,3.110647e-04,3.111841e-04,3.112286e-04,3.112032e-04,3.111124e-04,3.109605e-04,3.107517e-04,3.104899e-04,3.101788e-04,3.098220e-04,3.094227e-04,3.089841e-04,3.085092e-04,3.080008e-04,3.074617e-04,3.068941e-04,3.063007e-04,3.056835e-04,3.050447e-04,3.043862e-04,3.037100e-04,3.030177e-04,3.023110e-04,3.015916e-04
0.000000e+00,3.212048e-09,8.016300e-09,3.005681e-08,7.090800e-08,1.047050e-07,2.417978e-07,2.491851e-07,4.848793e-07,5.701971e-07,8.339072e-07,1.107468e-06,1.319791e-06,1.907959e-06,1.966050e-06,2.790241e-06,3.015125e-06,3.793526e-06,4.426740e-06,4.955694e-06,6.084065e-06,6.244260e-06,7.627243e-06,7.912757e-06,9.078411e-06,9.852847e-06,1.057680e-05,1.185905e-05,1.210489e-05,1.364726e-05,1.389440e-05,1.518984e-05,1.592652e-05,1.671972e-05,1.792649e-05,1.822507e-05,1.969529e-05,1.986890e-05,2.112109e-05,2.173229e-05,2.249460e-05,2.349948e-05,2.380938e-05,2.506042e-05,2.515763e-05,2.624408e-05,2.669810e-05,2.735799e-05,2.811606e-05,2.840088e-05,2.937249e-05,2.940988e-05,3.027345e-05,3.058074e-05,3.110505e-05,3.163184e-05,3.186913e-05,3.256801e-05,3.320432e-05,3.339519e-05,3.378095e-05,3.412006e-05,3.430092e-05,3.474967e-05,3.476734e-05,3.518335e-05,3.529122e-05,3.555205e-05,3.575184e-05,3.587651e-05,3.613848e-05,3.615968e-05,3.640446e-05,3.645780e-05,3.661358e-05,3.671610e-05,3.678965e-05,3.691920e-05,3.693512e-05,3.705229e-05,3.707252e-05,3.714335e-05,3.718107e-05,3.721036e-05,3.724945e-05,3.725521e-05,3.727970e-05,3.728185e-05,3.728549e-05,3.728207e-05,3.727411e-05,3.725362e-05,3.724700e-05,3.720551e-05,3.719962e-05,3.715086e-05,3.712294e-05,3.708420e-05,3.702616e-05,3.700658e-05,3.691900e-05,3.691160e-05,3.682237e-05,3.678137e-05,3.671751e-05,3.663737e-05,3.660522e-05,3.648620e-05,3.648131e-05,3.636112e-05,3.631473e-05,3.623061e-05,3.613904e-05,3.609522e-05,3.595547e-05,3.581187e-05,3.576517e-05,3.566484e-05,3.556915e-05,3.551482e-05,3.536832e-05,3.536217e-05,3.520726e-05,3.516352e-05,3.505041e-05,3.495549e-05,3.489191e-05,3.474489e-05,3.473206e-05,3.457110e-05,3.453233e-05,3.440927e-05,3.431835e-05,3.424679e-05,3.410344e-05,3.408387e-05,3.392068e-05,3.388803e-05,3.375740e-05,3.367252e-05,3.359419e-05,3.345726e-05,3.343120e-05,3.326855e-05,3.324256e-05,3.310637e-05,3.302872e-05,3.294477e-05,3.281598e-05,3.278385e-05,3.262372e-05,3.260456e-05,3.246446e-05,3.239468e-05,3.230614e-05,3.218650e-05,3.214885e-05,3.199264e-05,3.198019e-05,3.183757e-05,3.177588e-05,3.168371e-05,3.157370e-05,3.153109e-05,3.137977e-05,3.137375e-05,3.122979e-05,3.117613e-05,3.108117e-05,3.098091e-05,3.093396e-05,3.078818e-05,3.059798e-05,3.041038e-05,3.022540e-05,3.004308e-05,2.986345e-05,2.968652e-05,2.951232e-05,2.934085e-05,2.917211e-05,2.900611e-05,2.884283e-05,2.868227e-05,2.852442e-05,2.836927e-05,2.821679e-05,2.806697e-05,2.791978e-05,2.777521e-05,2.763322e-05,2.749380e-05,2.735690e-05,2.722251e-05,2.709060e-05,2.696112e-05
0.000000e+00,2.689350e-10,9.477473e-10,5.440935e-09,1.602306e-08,2.579498e-08,6.970319e-08,7.218984e-08,1.549177e-07,1.859385e-07,2.837975e-07,3.872408e-07,4.683283e-07,6.951533e-07,7.176952e-07,1.040299e-06,1.129396e-06,1.442539e-06,1.703897e-06,1.927575e-06,2.422989e-06,2.495460e-06,3.144375e-06,3.283652e-06,3.871588e-06,4.279600e-06,4.673768e-06,5.402661e-06,5.546962e-06,6.486546e-06,6.642695e-06,7.487220e-06,7.987530e-06,8.543079e-06,9.423209e-06,9.647719e-06,1.079438e-05,1.093447e-05,1.197609e-05,1.250533e-05,1.318583e-05,1.411971e-05,1.441667e-05,1.566190e-05,1.576194e-05,1.691509e-05,1.741724e-05,1.817025e-05,1.907205e-05,1.942183e-05,2.066476e-05,2.071423e-05,2.189451e-05,2.233320e-05,2.310705e-05,2.391993e-05,2.429886e-05,2.546692e-05,2.660866e-05,2.696809e-05,2.772194e-05,2.841869e-05,2.880502e-05,2.981509e-05,2.985653e-05,3.087538e-05,3.115470e-05,3.186082e-05,3.243581e-05,3.281231e-05,3.365743e-05,3.372954e-05,3.461241e-05,3.481919e-05,3.546096e-05,3.592123e-05,3.627539e-05,3.696411e-05,3.705601e-05,3.780324e-05,3.794872e-05,3.851757e-05,3.887620e-05,3.919957e-05,3.974791e-05,3.984986e-05,4.046911e-05,4.056535e-05,4.105802e-05,4.133014e-05,4.161734e-05,4.204398e-05,4.214780e-05,4.265018e-05,4.270862e-05,4.312526e-05,4.332585e-05,4.357382e-05,4.389746e-05,4.399663e-05,4.439448e-05,4.442526e-05,4.476815e-05,4.491101e-05,4.511839e-05,4.535648e-05,4.544597e-05,4.575163e-05,4.576341e-05,4.603612e-05,4.613349e-05,4.630016e-05,4.646838e-05,4.654445e-05,4.676971e-05,4.697660e-05,4.703903e-05,4.716579e-05,4.727789e-05,4.733793e-05,4.748775e-05,4.749367e-05,4.763362e-05,4.767006e-05,4.775838e-05,4.782619e-05,4.786854e-05,4.795749e-05,4.796467e-05,4.804734e-05,4.806523e-05,4.811707e-05,4.815067e-05,4.817440e-05,4.821500e-05,4.821984e-05,4.825387e-05,4.825935e-05,4.827699e-05,4.828485e-05,4.828965e-05,4.829254e-05,4.829232e-05,4.828541e-05,4.828345e-05,4.826937e-05,4.825854e-05,4.824459e-05,4.821875e-05,4.821148e-05,4.817042e-05,4.816498e-05,4.812178e-05,4.809807e-05,4.806592e-05,4.801885e-05,4.800318e-05,4.793391e-05,4.792809e-05,4.785842e-05,4.782655e-05,4.777703e-05,4.771494e-05,4.769003e-05,4.759773e-05,4.759393e-05,4.750039e-05,4.746417e-05,4.739830e-05,4.732629e-05,4.729171e-05,4.718088e-05,4.702848e-05,4.686964e-05,4.670487e-05,4.653465e-05,4.635943e-05,4.617965e-05,4.599574e-05,4.580807e-05,4.561702e-05,4.542295e-05,4.522619e-05,4.502706e-05,4.482585e-05,4.462285e-05,4.441832e-05,4.421252e-05,4.400569e-05,4.379805e-05,4.358981e-05,4.338117e-05,4.317233e-05,4.296344e-05,4.275469e-05,4.254623e-05
0.000000e+00,2.032320e-12,1.012063e-11,1.079222e-10,5.083445e-10,1.026766e-09,4.601914e-09,4.855112e-09,1.571942e-08,2.085383e-08,4.020816e-08,6.521410e-08,8.768658e-08,1.622164e-07,1.704784e-07,3.035619e-07,3.448016e-07,5.033096e-07,6.502403e-07,7.854592e-07,1.112460e-06,1.163184e-06,1.645929e-06,1.755625e-06,2.239087e-06,2.591829e-06,2.944248e-06,3.621991e-06,3.759731e-06,4.681183e-06,4.838042e-06,5.702135e-06,6.225209e-06,6.814491e-06,7.763952e-06,8.008926e-06,9.275242e-06,9.431523e-06,1.060267e-05,1.120325e-05,1.198015e-05,1.305366e-05,1.339656e-05,1.484099e-05,1.495743e-05,1.630286e-05,1.689024e-05,1.777219e-05,1.882945e-05,1.923963e-05,2.069666e-05,2.075461e-05,2.213556e-05,2.264780e-05,2.354954e-05,2.449376e-05,2.493268e-05,2.627996e-05,2.758721e-05,2.799650e-05,2.885106e-05,2.963590e-05,3.006888e-05,3.119286e-05,3.123872e-05,3.235923e-05,3.266401e-05,3.342959e-05,3.404758e-05,3.444946e-05,3.534317e-05,3.541888e-05,3.633822e-05,3.655147e-05,3.720814e-05,3.767404e-05,3.802954e-05,3.871308e-05,3.880349e-05,3.953119e-05,3.967130e-05,4.021400e-05,4.055178e-05,4.085331e-05,4.135779e-05,4.145060e-05,4.200737e-05,4.209280e-05,4.252516e-05,4.276031e-05,4.300550e-05,4.336384e-05,4.344992e-05,4.385992e-05,4.390688e-05,4.423700e-05,4.439286e-05,4.458261e-05,4.482511e-05,4.489818e-05,4.518510e-05,4.520685e-05,4.544471e-05,4.554120e-05,4.567832e-05,4.583113e-05,4.588719e-05,4.607255e-05,4.607949e-05,4.623556e-05,4.628899e-05,4.637736e-05,4.646222e-05,4.649904e-05,4.660163e-05,4.668616e-05,4.670955e-05,4.675357e-05,4.678816e-05,4.680479e-05,4.683956e-05,4.684071e-05,4.686217e-05,4.686569e-05,4.686997e-05,4.686843e-05,4.686490e-05,4.684949e-05,4.684769e-05,4.681904e-05,4.681054e-05,4.677964e-05,4.675312e-05,4.673013e-05,4.667867e-05,4.667111e-05,4.660318e-05,4.658857e-05,4.652689e-05,4.648410e-05,4.644278e-05,4.636645e-05,4.635135e-05,4.625309e-05,4.623676e-05,4.614844e-05,4.609608e-05,4.603787e-05,4.594541e-05,4.592176e-05,4.580054e-05,4.578566e-05,4.567456e-05,4.561772e-05,4.554419e-05,4.544238e-05,4.540977e-05,4.527162e-05,4.526041e-05,4.513004e-05,4.507252e-05,4.498534e-05,4.487936e-05,4.483777e-05,4.468762e-05,4.468156e-05,4.453512e-05,4.447969e-05,4.438050e-05,4.427428e-05,4.422401e-05,4.406583e-05,4.385482e-05,4.364166e-05,4.342676e-05,4.321050e-05,4.299322e-05,4.277524e-05,4.255685e-05,4.233834e-05,4.211995e-05,4.190191e-05,4.168445e-05,4.146776e-05,4.125202e-05,4.103740e-05,4.082406e-05,4.061212e-05,4.040173e-05,4.019300e-05,3.998603e-05,3.978091e-05,3.957774e-05,3.937659e-05,3.917753e-05,3.898061e-05
